メカニカルステージ ／ 手動ステージ
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自動ステージ９．ステージの固定方法

手動ステージステージの固定は、クランプねじまたはクランプレバーを締めるだけで簡単に行えます。
クランプを行ったときに、テーブルが極力動かないよう考慮しています。

ステージ面
↓

ステージ用
アクセサリ

クランプレバーのタイプ（D-T 方式のステージ）
は、レバーの位置調整が６０度毎に行えます。
クランプレバー

レバーの位置調整は図のようにクランプレバー固定ねじ、クランプレバー等

クランプレバー固定ネジ
ステージを取り外し、レバーを任意の位置にずらし、クランプレバー固定ねじで再度固X定します。

ステージXY

ステージ 回転ステージ 傾斜ステージ

１０．基本構造と移動方法

Z❶ D-T 方式のステージ【写真 1】
ベース板を取り外すことにより、XY、Z、XYZ、XZ への組み替えが可能になっています。D-T 方式のステージには、移動方法として主にラックピニオン方式を採用しています。ベースおよびベース板が固定側で、ハンドルを回すことに傾斜回転
ステージ

よりテーブルが移動します。
テーブル︑ステージ
XZ

ベースY
Z
ステージ

X
YZ

回転ステージ
X
YZ

フィックス
ステージ

クランプレバー
ベース板

ハンドル

写真1

LM-412 ＋ SS-401 ＋ TS-413

LS-112 ＋ LS-912 ＋ LV-612

移動量± 10 ㎜の LM-412 とゴニオステージ TS-413 を組み合

移動量± 50 ㎜の LS-112 と移動量± 30 ㎜の LS-912、移動量± 15 ㎜の LV-612 を XYZ に構成しました。
上軸になるごとに小さなサイズで構成していますので安定性わせました。
40 ㎜× 40 ㎜ステージで構成されたコンパクトな X・Z 傾斜ステージです。に優れた組み合わせになります。

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自動ステージ❷ V-B、V-CR、HG-VCR 方式のステージ【写真３】

手動ステージ

移動するテーブルとマイクロメータヘッドのスピンドルとの間をスプリングローディングすることにより、再現性が良く、バックラッシもほとんど無視できます。
案内に適当な予圧（プリロード）をかけ、案内のスキマがステージ用アクセサリ0 になるよう製作しています。
V-B、V-CR 方式のステージは、主としてマイクロメータヘッドを使用してテーブルを移動させます。
ベースが固定側で、マイクロメータヘッドを回すことによりテーブルが移動します。

ステージX

テーブル

ステージX
Y

ステージ 回転ステージ 傾斜ステージ

Z

マイクロ当てマイクロ台

クランプねじベース
クランプ板

傾斜回転ステージ

マイクロメータヘッド

写真 3︑ステージXZY
Zステージ

X
Y
Z

ステージに取り付いているマイクロメータヘッドの位置はセンター、サイドにそれぞれ対称型があります。
【写真 4】

回転ステージ
XYZ

フィックスステージ

センター（標準型）

センター（対称型）

サイド（標準型）

サイド（対称型）

写真 4

XY 軸ステージは、X 軸ステージを重ね合わせたタイプと、ステージの高さを低くするため X 軸（下軸）のテーブルと Y 軸（上軸）のベースを一体構造とした 3 枚構成としたスリムステージがあります。
高精度で高剛性の HG-VCR 方式を採用したステージは、X 軸ステージを重ね合わせて直交度を精度よく組み立てています。
タイプの違うステージを組み合わせて直交度を精度良く調整し、出荷することも可能ですのでご要望の際は別途お問い合わせください。

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自動ステージ❸回転ステージ

手動ステージ

テーブル粗動のみの回転ステージ。
【写真 5】

テーブル

テーブルを回転させるための、ハンドルやマイクロメータヘッドが付いていないシンプルな構造です。テーブルを手などで直接回転させます。クランプ機構はありません。

ステージ用アクセサリ

ベース

写真 5

テーブル

ステージ

粗微動のできる回転ステージ。
【写真 6】

X

マイクロメータヘッド

粗動はクランプがされていない状態で、テーブルを手などで直接回転させます。クランプねじにて粗動のクランプをし、マイクロメータヘッドにて微ステージ

X
Y動が行えます。
ベース

クランプねじステージ 回転ステージ 傾斜ステージ

Z

写真 6

ギヤー式の回転ステージ【写真 7】

テーブル

ハンドルを回すことにより、微動で回転します。360°の調整が可能です。

ベース

ハンドル

傾斜回転ステージ

写真7❹傾斜ステージ××

YZ

クランプねじします。試料（負荷）の重心位置は、テーブルの中央にてごX
YZ

アオリネジ×

使用ください。

XZ

テーブル×

ステージ

各々のハンドルを回すことにより、テーブルが傾斜回転︑
ステージ

傾斜 2 方向と回転のできるステージ【写真 8】

アオリネジ

回転ステージ

クランプねじ
アオリネジ

XYZ

アオリネジ
アオリネジ

ベース

フィックスステージ

写真 8

傾斜 2 方向のステージ【写真 9,10】
各々のマイクロメータヘッドまたはアオリねじを回すことにより、テーブルが傾斜します。クランプ機構はありません。
支点

ベース

マイクロメータヘッド

2軸傾斜ステージの動作イメージ

写真 9
アオリネジ

アオリネジ

ベース

写真10

2 軸傾斜ステージの動作イメージ

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自動ステージゴニオステージ【写真 11】
ハンドルを回すことにより、テーブルが傾斜します。2 台を重ねることにより、回転中心が同位置の 2 軸の傾斜となります。水平面上で手動ステージ

円弧運動をするゴニオステージもあります。

ステージ用アクセサリ

テーブル

ステージ

X

ベース

ハンドル

写真11ステージ

X
Y

ステージ 回転ステージ 傾斜ステージ

Z■ ゴニオステージの回転中心
回転中心

回転中心

回転中心

5500

傾斜回転
ステージ

5︑
ステージ
X
Z

回転中心

505

回転中心

5

複合カップリング機構を採用したゴニオステージは、図のような回転中心の異なる 3 種類を用意しています。
それぞれステージ本体の厚さ分、回転中心までの長さが違いますので、ゴニオステージ同士を組み合わせても回転中心を一致させることが 【1 軸ゴニオステージの移動イメージ】 【2 軸ゴニオステージの移動イメージ】できます。

YZ
ステージ

X
YZ

回転ステージ
X
Y
Z

フィックス
ステージ

１１．使用環境
手動ステージをご使用の際は、使用環境にもご注意ください。温度の極端に高いところや低いところ、温度変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでの使用は避け、下記の温度／湿度でご使用ください。
温 度
湿 度

276

10 〜 40℃
20 〜 80%RH

ユニット製品総合カタログ 38号