Y-001-c

光学式非接触 小径内径測定器 IDM
MEASURING MACHINE FOR SMALL INTERNAL DIAMETER

IDM-30EX-S/100EX-S
誰でもすぐに高精度、高速測定

Highly accurate, high speed measurements for anyone, any time

ＥＸシステムで位置合わせが簡単。
リングゲ−ジ、ハサミゲ−ジの校正に最適です。
Easy alignment is possible with the EX system. Optimal for the calibration snap gauges and ring gauges.
外観図 IDM-30EX
Outward view (IDM-30EX)

IDM-100EX

構造の概略図

①XYテーブル

④対物レンズ⑦高さ（Z）位置決めハンドル⑩メインコンピュータ②Y微動マイクロ⑤サーチライト⑧高さ表示器⑪内蔵ディジタルスケール

XY Table

Y Fine adjustment③X微動マイクロ
X Fine adjustment

Objective lensSearch light⑥カメラ
CameraHeight (Z) positioning handle
Height indicator⑨タッチパネルモニタ

Block diagram of structure

Main computer

Built-in digital scale

Touch panel monitor

測定例［Examples of measurement］
IDMは内径を、高さ、厚さの任意の位置で測定出来ますIDM can measure internal diameter with any
position of height and thickness.
高さ設定範囲0〜24mm
The range of height setting range 0〜24mm

リングゲージの測定だけでなく穴のピッチ・直角度・テーパが測定できます。
角穴やスリットにも適用し，外径や外幅についても同様に測定が可能ですので内外径の同軸度など多様に対応します。
It can be used to measure not only ring gauges but also the pitch, squareness, taper, and others.
It is also applicable to square holes and slits, and can be used to measure external diameter and width, making it ideal for measuring the coaxial degree ofan inner/outer diameter and a variety of other measurements.

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測定原理 ［Measurement principle］
レクチル反射像を用いた壁面間距離測定法

Wall-to-wall distance measurement using reticle reflection images

IDM uses the measuring head of the light reflected onto the wall surface of a workpieces
The measuring head of the light can be observed from a camera as a cross image, and follows the movement of the work pieces.
Furthermore, the system finds the distance (measurement) of the wall surface gap by the scale with which the movement is detected.
リングゲージ寸法測定例
Examples of ring gauge measurement

スケールゼロ位置
Scale zero position

スケール値
Scale value
光の測定子
Measuring head of the light
左壁のクロス像
Cross image ofleft side wall surface

被測定物移動Moving the workpieces

移動完了Movement Complete

内径寸法値[mm]Internal diameter value

右壁のクロス像
Cross image oflight side wall surface

高い繰り返し精度 ［High repeatabilty］
カメラに映るクロス像位置合わせは，手動で行う必要があり，僅かな位置決めのズレがそのまま測定誤差につながります。
そこで独自の画像認識処理を用いて，位置合わせ誤差をキャンセルできる仕組みを備えました（EXシステム）。
このEXシステムにより，σ=0.1μmという高い繰返し精度が 誰でも簡単 に 素早く 行えます。
The cross image alignment shown on the camera must be done manually, and a slight misalignment will result in a measurement error.
That is where we used our original image recognition processing, and prepared a system to cancel the alignment errors（EX system）.
Using this EX system, anyone can "easily" and "quickly" achieve the high repeatability of σ=0.1μm.
位置合せ誤差あり：操作ミス方向
Alignment error: Operation error direction

差は6.85µm
Dimensional error 6.85μm

EXシステム適用例
Application of EX system

EX ON

位置合せ誤差キャンセル
To cancel a alignment error

差は0.02µm
Dimensional error 0.02μm

こんなにズレていてもEXシステムを使うと．
．
．
Even if you are mistaken,
when you use EX · · ·.

EX ON

注1)上記例はオプション0.01µm仕様
The above example is optional 0.01 μm specification.

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計測機器

IDMは被測定物壁面に反射させた光の測定子を使います。光の測定子はクロス像としてカメラから観察でき，被測定物の動きに追従します。
さらにその移動を検出するスケールによって，壁面間の距離（寸法）が分かる仕組みです。

Y-003-e

標準付属品 ［Standard accessories］

ワークセットプレート
Work set plate

載物補助台

マスタリングゲ−ジ
Master ring gauge

小さいワ−クの測定に使用します。
Auxiliary
Support table can be used to small workpieces measurement.

ハンドスイッチ使用例Example of use ofhand switch

ハンドスイッチ
モニタにタッチせず素早い測定が可能です。
※ハンドスイッチはIDM-30CAM/100CAMを除き標準付属品です。
Hand switch
Measurement can be made quickly without touching
the monitor.
The hand switch is a standard accessory except for
IDM-30CAM/100CAM.

オプション ［Options］

挟みゲ−ジ載物台

専用架台

温度センサユニット

チルティングテ−ブル

測定ポイントが真直な被測定物向けに効果があります。IDM30/100用があります。

アルミベースの専用架台です。
IDM30/100用があります。

温度補正機能がさらに便利に。IDMと被測定物の温度をIDMコンピュータに取り込めます。

Snap gauge table
This ensures measurement of workpieces inwhich the measuring point is straight.
This table is dedicated for IDM30/100.

System table
This is an aluminum system table dedicatedfor IDM30/100.
Wall-to-wall distance measurement using
reticle reflection images
Monitors are not included in the product.

載物台を測定方向に傾斜できる機構を取り付けたものです。傾斜範囲は±2°であり、傾いた被測定物の測定に威力を発揮します。

※モニタは付属されません。

Temperature sensor unit
The temperature compensation function has
been added with another function.
The temperatures of IDM and the workpieces
can be captured and put into the computer.

Tilting table
The Tilting table can be sloped ±2° in themeasuring direction. It is effective to measure
the work inclined within ±2°.

イメージ

クレンメル

フットスイッチ

I2K転送デバイス

軽いワークの動きを防ぎ安定した測定が可能です。

モニタにタッチせず素早い測定が可能です。

測定値や温度などを仮想キーボードとして外部パソコンに出力できます。

ClampsP r e v ents workpiece movement ands t a b i lizes measurement.

Foot switch
Measurement can be made quickly without
touching the monitor.

I2K transmission device
Measured values and temperature can beoutput to an external computer as a virtual
keyboard.

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Y-004-c

IDM-30EX-S/100EX-S仕様 ［Specifications］
型

IDM-30EX-S

式 Model構成

主Main

要

Instrument, System controller, Touch panel monitor, Light source

最小表示値mm

総合精度μm±（0.4+L/150） L:測定長 mm

繰返し精度μm

0.1 （操作誤差±2μmの時、標準偏差σ）

Minimum reading
Overrall accuracy
Repeatability

0.0001（0.1μm）
0.0001(0.1μm)

L=measuring length mmStandard deviation σ at an operation error of ±2μm

システムの消費電力

System power consumption

MAX 300W 100V〜240V 50/60Hz

測定範囲

mm

0.1〜30被測定物の大きさmm

φ70×50（H）

Measuring range

Work pieces size

測定しうる最小限度mm

測定しうる最大限度mm

Measurable min. limits

Measurable max. limits

0.1〜100

内径と厚さの関係

Materials showing a gloss higher than the specified level.

内径 0.1

内径 30Thickness 49

厚さは内径の10倍まで 注3）

Thickness 49

Rz 5μm以下 注4）(See note 4.)

Measuring surface roughness

測定高さ設定範囲

mm

目盛範囲 0〜24（最小目盛 0.01）、
デジマチックインジケータ使用（電池2万時間、連続使用）

測定高さ幾何特性mm

直角度0.005 注8）

キャリッジ粗動範囲mm

キャリッジ微動範囲mm

載物台の大きさmm

載物台最大積載量kg

Measuring height range

Area of carriage shift

Area of fine carriage shift
Table size

Range 0〜24(minimum unit length 0.01), digimatic indicatorright angle

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Maximum carrying weight of table
Table swivel angle

外形寸法mm

重量kg

Dimensions
Weight光源

Light source

105±5

載物台回転範囲

φ70

φ170210約100°約±3°

420
（幅）
×390
（奥行）
×600
（高さ）注5）

810
（幅）
×450
（奥行）
×745
（高さ）注5）100420Width x 390Depth x 600Heigth (See note 5.)

810Width x 450Depth x 745Heigth (See note 5.)48（see note 5.）

140(see note 5.)

約48 注5）LED light source(100W)illumination unit, Optical fiber light guide

平均、繰返し（σ）

Average, repeat (σ)

Calculation

温度補正演算Temperature correction calculation

IDM温度、被測定物温度、被測定物膨張係数により測定結果を補正。
（温度はオプションの温度センサユニットからも取込み可）
The measurement result is corrected according to the IDM temperature, the workpiece temperature,and the expansion coefficient of the workpiece. (The temperatures can also be captured from an optional temperature sensor unit.)

高さプリセット機能

設定値からの相対高さ表示

The height relative to the set value is displayed.

Height preset function

多言語

日本語、英語選択可能

Japanese and English can be switched.

Multilingualization

測定データメモリ、CSV出力

Measurement data memory, CSV output

操作

約140 注5）

LED光源（１００W）照明装置と光ファイバーライトガイド（寿命3万時間）演算

Softwarefunction

厚さ 49 注2）(See note 2.)

Bore dia.100

Half angle 2.5°
(Taper 1/10)

測定面の表面粗さ

Geometric characteristics in the measuring height direction

ソフトウェア機能

内径 100

半角2.5°以下（1/10テーパ）

Measuring surface slope

体

Slit width 0.1

Thickness is 10 times max of bore dia(See note 3.)

測定面の傾きInstrument

Thickness 0.5

厚さ 49 注2）(See note 2.)

Bore dia.30

スリット 0.1

厚さ 0.5 注1）(See note 1.)

Bore dia.0.1

Bore dia v.s.thickness

本

φ170×50（H）
一定の光沢を有するもの 注7）

被測定物の材質

Material of workpieces

計測機器

Components

IDM-100EX-S

本体、メインコントローラ、タッチパネルモニタ、光源装置

測定時間、測定値などを内部テーブルに保存、CSV出力可能

Measurement times, measured values, etc. can be stored in the internal table and outputted as CSV format.

Operation

比較測定

Comparison measurement

タッチパネルモニタ（10.4型）注6）、キーボード、マウス
Touch panel monitor (10.4-inch Note 6）; keyboard; mouse

マスタを登録して測定値を補正する事が可能

Measurement value can be corrected by registering a master.

ワークセットプレート、載物補助台、キーボード、マウス、ハンドスイッチ、USBハブ
標準付属品 マスターリングゲージ、Standard accessories Master ring gauge; work set plate; auxiliary stage; keyboard; mouse; hand switch; USB hab

オプション
Option適合規格

Compatible
standards

温度センサユニット、架台、チルティングテーブル、
はさみゲージ用テーブル、大型タッチパネルモニタ、
フットスイッチ、プリンタ、
クレンメル
Temperature sensor unit, table, tilting table, snap gauge table, large touch panel monitor, foot switch or printer,clamps

CE規格（海外向けモデルのみ）:
EMI: EN61326-1:2013（Class A）, EN55011:2009+A1:2010（Group1,ClassA）
EMS: EN61326-1:2013（Basic requirements）
LVD: EN61010-1:2010

注1）面取り部分を除く直線部分。
注2）厚さ24mmまでは任意の位置の測定が可能で、厚さ49mmでは中央部の測定が可能です。
注3）仕様を超えると厚さ方向で測定可能な範囲が狭くなります。
注4）粗さ曲線のピッチ、反射率が影響します。
注5）LED照明装置［78（幅）×200（奥行）×144（高さ）、約1.8kg］を含みません。
注6）タッチサウンドはありません
注7）四三酸化鉄被膜など艶のある黒色は測定可能です。
注8）測定高さ1mm〜23mm間での特性です。
※推奨使用温度環境 20℃〜25℃±1℃

CE standards (applicable only to models for overseas)
EMI: EN61326-1:2013 (Class A), EN55011:2009+A1:2010 (Group 1, Class A)
EMS: EN61326-1:2013 (Basic requirements)
LVD: EN61010-1:2010

Note 1) The straight area excluding chamfers.
Note 2) Capable of measuring at a desired height up to 24mm of bore length and only at The middle
section at a bore length of 49mm.
Note 3) When this specification is exceeded, the measurable range in the thickness direction is reduced.
Note 4) It depends on the pitch and reflectance of the roughness curve.
Note 5) The LED illumination unit [78 (W) x 200 (D) x 144 (H), approx. 1.8 kg] is not included.
Note 6) There is no touch sound.
Note 7) Available for glossy black surfaces such as a film of triiron tetraoxide.
Note 8) Characteristics between 1 mm and 23 mm in measuring height.
*Recommendation temperature environment 20℃〜25℃ ±1℃9