1997 第 7
CJ信頼性シンポジ

予稿集

箇記念講演、国際技術交流会

国電子ヂノミイスの信頼性シンポジウム
EOS/ESD／巨 MCシンポジウム
寝信頼性向上技術フォーうム
建出展社ガイド及び技術資料箇

1997年 11月

財団法人日本電子部品信頼性センター

1997 第 7困 RCJ信頼性シンポジウム
19977
thRCJReliabilitySymposium
全体ブ口グラム醐！6
革 担 闇 帥 臨 醐1
1.
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1
曙E開 鴎 臨 調i：：
鵬
首童話ψ川 工 ︑ 古 川︶一会

町札一演交
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1 一回吉際
1一国時一目日一項

11丹6日（木＞

国首U§革関~j覇軍調＝＝·~豊臣藍轟輪車重量』
1

11月7日（金）電子ヂバイ IEOS/ESD/ IJIS環境試｜電子デバイ IEOS/ESD/ I
1997信 頼 性
ス の 信 頼 性 IEMCシンポ l験規格に関 1
スの信頼性 IE~Cシンポ l 向上技術
シンポジウム｜ジウム｜するセミナー｜シンポジウム｜
ジウム｜フォーラム

AtA場14階コンペンション 4階コンベンションホーjレ 1 1階 A・B 14階コンペンションホール｜ 1階 A・B
ホーjレ
A会 場
B会 場 ｜ 会議室
A会 場 ｜ B会 場 ｜ 会 議 室

II(lltlll
問 盟 麗 脇i）
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me臨調圃臨 ，1>I
(11
棚 m：調画制 I)I＜揃師軍潤醐嗣）｜基礎セミナー 1
1セミナー｜基礎セミナーIl
平 成 8、9年 iI
特別講演(1)「アメリカは日本か｜「 IEC61709:I「半導体デバ｜度に制定さ｜・「 IEC61163 I「ESD保護区ら何をどう学んだ｜電子部品の｜イスの ESD I
れた JIS規 格 l‑
2信頼性ストレ｜域（ EPA）のリ｜故障率の基｜誼価試験方｜についてス｜J.
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1）
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ゲJI
接地につい （踊臨IIU四 醐 幽 ）
黒川兼行｜準条件及び 弘について Jricのための｜てj（（株）富士通研究所｜換算のため｜
I
ITQMによる特別講演フエロー）｜のストレスモ｜
Ill
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C第三者認(2)
デルJ
I
Ii
証制度J
セミナー

l

I

ト懇親会
午後｜（組制回融制）
EOS/ESD国 際
前 半 シンポジウム）｜（脚向醐酎）｜（醐偏醐監酬）
一般論文｜特別講演
4件
I c3)

午後I~議官詑~1ifr1 ＜同日削）｜（町田町側）｜（阻揃同副I副）｜（組制岡田酬）｜（畑一酬）
交 流 会 （ 優 秀 論 文 ｜ 一 般 論 文 ！ 一 般 論 文 ｜ 最 近 の IEC I
特別セミナー｜一般論文

I 4件

I4件
｜II後半｜発表及びチユトリアル講演））｜｜環境試験方｜
｜
「｜LS
Iの信頼性
｜法の紹介
I
1設計・評価用

4件

TEGJ

展示」』
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（ 酬I同醐削）（日剛I 同 醐）I酎(lltlllll四 臨 刷 ）(1階大展示ホール）(1階大展示ホール）(1階大震示ホール）

ご挨拶
第 7回 RCJ信頼性シンポジウムが平成 9年 11月 5日（水）〜 7日（金）の 3日間、 f電子ヂバイ王 MCシンポジウム jを軸として国際技術交流会、 JI
S
スの信頼性シンポジウム J、fEOS/ESD／

環境試験規格に関するセミナー、信頼性向上技術フォーラム及び展示会を含め東京都大田区産業プラザで開催致します。
電子デバイスの進展は自覚しく、高集積化・高機能化 超微細化が急速に進んでいますが、E同時に一層の高信頼性も要求されています。一般に、機能や性能の向上と信頼性の向上とはトレードオフにありますが、電子デバイスでは、相反する要求を同時に満足させることが求められています。このような状況で、より高い信頼性を確保するためには、信頼性向上技術や故障解析技術の高度化が必要となります。また、高機能化・超微細化に伴い過電圧（ EOS）や静電気放電（ ESD)Iこ対する耐性も確実に低下しており、歩留りや信頼性向上のためには、現象の理解とその対策が不可欠となっています。このような電子デバイス・電子装置を取巻く状
況を鑑み、信頼性技術・故障解析技術の向上、 EOS/ESD/EMC現象把握や対策技術向上のための研究・技術発表と討論の場を提供すること、またその中から IECや JISの新規格作成のためのテーマの発掘や資料の蓄積を図ることを目的として、本シンポジウムは企闇され、平成3年度から開催されてきました。幸い多くの方々のご協力を得て、田を重ねる毎に内容が充実してきでおり、若い参加者も増加し、順調に発展して参りました。
本シンポジウムは、米国 EOS/ESDシンポジウムと欧州の電子デバイスの信頼性・故障解析シンポジウム（ ESREF）との優秀論文の交換を行っており、優秀論文の講演・討論を通して国際技術交流を行っております。また、本シンポジウムで推薦され優秀論文は、いずれかのシンポジウムに招待論文として招待されます。なお、米国 EOS/ESDシンポジウムとは 1994年以来、欧州 ESREFシンポジウムとは昨年から交流を進めております。
第 7回 RCJ信頼性シンポジウムは、第 1日目の 5日に、恒例の記念講演と優秀論文の表彰式及び国際技術交流会が行われます。記念講演では、富士通研究所フエローの黒川兼行氏
アメリカは日本から何をどう学んだか Jと題してご講演を頂きます。優秀論文の表彰式でから rは、昨年の第 6回 RCJ信頼性シンポジウムの 3件の優秀論文の表彰を行います。闇際技術交流会では、 EOS/ESD国際シンポジウムと題し、 1996年米国 EOS/ESDシンポジウム優秀論文、1996年欧州 ESREF優秀論文（ Best Student Paper）の発表、引き続いて米国 ESD協会によるチュトリアル講演があり、本シンポジウムの大きなトピックスで、す。なお欧州 ESREFからの発表は今年が最初となります。
6目、 7自には、「電子デバイスの信頼性シンポジウム Jと「 EOS/ESD/EMCシンポジウム」を並行して開催いたします。「電子デバイスの信頼性シンポジウム」では、一般論文発表の他に、 IECTC56で作成した「電子部品の故障率」に関する規格、及び「電子部品のストレススクicの TQMによリーニング jに関する規格の解説があります。また、 IECSC47Aが作成している rる第三者認証制度 J
Iこ関する解説があります。その他、 RCJ故障物理委員会のメンバーによる
fL
S
Iの信頼性設計・評価用 TEGJに関する特別セミナーを企画しました。「 EOS/ESD/EMCシンポジウム Jでは、 ESD評価試験方法と ESD保護区域の接地に関する基礎セミナーがあります。

恒例により、平成 8年及び 9年に制定された環境試験方法に関する JIS規格の内容説明及び最近の IEC環境試験方法に関する解説からなるセミナーを開催致します。
本年は、「信頼性向上技術フォーラム jと題して、 ESDや環境試験に関する専門家による講演を新たに企画しました。
、 23社
また、好評を頂いております「電子デバイス・装置の静電気対策・信頼性展示会 jがのご協力により開催致します。本年は出展会場を 1F大展示場に移し、展示スペースを広く取り余裕のある展示と致します。 EOS/ESD/EMC対策用資材・評価装置や信頼性・故障解析装置やサービスに特化した展示会として、一層充実して展示を行います。同時に技術国製品紹介のワークショップも行い、また相談コーナーも設けてありますので、遠慮なく出展社スタッフにご質問等をお申し付け下さい。
以上のように、今年は参加者のお役に立つことを願い、多くの企Eをいたしました。本シンポジウムは参加者の討論への積極的参加により支えられておりますので、皆様のご協力をお願い致します。
最後に、企画や会場を始め種々ご尽力頂いた運営委員会、実行委員会、論文審査委員会、
関 連TC国内委員会ならびに招待講演者、講師、発表者及び出展会社各位、さらに米国 ESD協会、欧州 ESREF委員会、協賛諸国体の方々に心からお礼申し上げます。
平成 9年 11月
RCJ信頼性シンポジウム運営委員会

委員長後川昭雄

1997 第 7回 RCJ信頼性シンポジウム予稿集
19977
thRCJReliabilitySymposium
目 次
第 7回 RCJ信頼性シンポジウム記念講演、国際技術交流会
記念講演
司 会 久 保 陽 一 （ RCJ 専務理事）
平成9年 11月5日（水） (10:10〜 12:00)

アメリカは日本から何をどう学んだか

黒川兼行（（株）富士通研究所）

EOS/ESD国際シンポジウム
司 会 塩 野 登 （ RCJ)
平 成9年 11月5日（水） (14:00〜17:00)

1996年 米 国 巴OS/ESDシンポジウム

優秀論文H.GieserandM.Haunschild
Fraunhofe「 lnstitut
FestKorpertechnologie(Germany)
1996年 欧 州 ESREF (EuropeanSymposiumonReliabilityofElectronDev
ices,F討lurePhysicsandAnalysis)
Very‑Fast Transmission LinePulsingof
Integrated Structures and the Charged
DeviceModel

17

優秀論文
Measurements of the Turn・on Time in
Grounded‑Gate nMOS Transistors underFastRiseTimeStressPulsesm（情報）IEC AJWG64：サージ過電圧とサージ防護ー活動報告一（仮訳）

(i)

.R.M.
G.Meneghesso1l,JLuchics2l,F.G.Kuper
2landA.J.Mouthaan3>(1:Universityo
fPadova,
2:PhilipsSemiconductors
3:UniversityofTwente)

2
7J.Huse（ノルウェー電力研究学会（ EFI))33

第 7回電子デバイスの信頼性シンポジウム
￡』
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場
： 4階コンベンション＊ー lレ（ A会場）

極匝目玉置錨冨 E
甑直掴

座長：瀬戸屋 孝（（株）東芝）
(12:
30〜 1
3:00)
須 川 学 、 松 島 博 、 和 田 哲明
盛謹盟富 半 導 体SMDのはんだ耐熱評価における（松下電子工業（株））
加熱条件の検討
3:30)(13:00〜1罷翠聾費 SMDの耐熱試験方法の検討
酒 井 正弘（富士通（株））(13:30〜14:00)
睦翠畢罰 SMDはんだ耐熱性評価方法に関するー
考察(14:00〜 14:30)
盛謹璽l SMDはんだぬれの試験方法

江藤吉宏、香山龍雄、
佐々木健二（ソニー（株））

井上琢仁（（株）村田製作所）
休憩（ 14:30〜15:00)
座長：和田哲明（松下電子工業（株））

里島本
久中橋

(15:00〜 15:30)
盟運盟書 SMDのリフロー耐熱性評価における加熱・・・細川豊 1）、田中政樹 2)
条件の検討(*1（株）日立マイコンシステム、*2（株）日立製作所）(15:30〜16:00)、）
窟聾盟富 はんだ浸漬とはんだフローのストレス比較・・・ 坂 本 清 志 1)、 大 塚 文 典 1瀬 戸 屋 孝 1）、鈴木リエ子 2、）と信頼性について
添Jll 優子2）、岩田みどり 2)(*1（株）東芝 *2東芝マイクロエレクトロ
ニクス
（株）
）
(16:00〜16:30)
富謹盟Z 各種はんだの機械的特性と破面様相
裕二、若松建吾、正博、竹田直樹、隆（（株）東芝）
7:00)(16:30〜 1
睦翠寵富 アジア環境に対応した混合ガス腐食試験
平本抽、秋本昌子、方法の開発
野見山敦子（ソニー（株））

35

4
14753

61677583

画面圃＝ 11r
A1;:::1!
筆活副座長： 千 野 健 一 （住友金属鉱山（株））(12:30〜13:00)
罷謹寵盟 MOSFET芭上へのスタッド1＼ンプ形成が下山展弘、町田克之、デバイスの信頼性に及ぼす影響
嶋屋正一、秋谷秀夫、
久 良 木 億 （ NTT)
3:30)
(13:00〜 1
富謹覇軍軍先端デバイスにおける LatchUp耐性
市川憲治、加藤且宏、馬場俊祐、福田保裕（沖電気工業（株））(13:30〜14:00)
醒霊盟置II
Jーク電流の温度特性に基づく新しいしSI
嶋 屋 正 一 (NTT)
スクリーニンゲ手法の提案

89

95

103−
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l・l第 7回 EOS/ESD/EMCシンポジウム プログラム
会場： 4階コンベンションホール（ B会場）

踊量司王醐：：： 1
豊富朝−−4ZE−4EE−

座長：西村勝美（（株）日立製作所）(12:30〜13:00)
若 井 伸 之 1)、 堤 雅 義 2、）盟璽輯
PN接合の ESD破壊メカニズムの検討
佐 藤 有 亮 2）、瀬戸屋孝 I)(*1(株）東芝、＊2東芝マイクロエレク株））
トロ
ニクλ（(13:00〜13:30)）
闇聾盟書 薄膜エピタキシャル基板を用いた半導体デバ・・・ 鈴 木 輝 夫 1）、関野聡2、伊 藤 誠 吾 1）、門馬秀夫 2)
イスのラッチアップ特性(*1富士通VLSI（株）、*2富士通（株））(13:30〜14:00)
瞳童聾盟 先端プロセスにおけるWaferLevelESD試験／・・・加藤 且宏、市川憲治、
評価方法の検討福田 保裕（沖電気工業（株））(14:00〜14:30)
盟 聾 盟 半導体製品の静電破壊における Non‑Wired阿部 昭裕、日高光守、ピンの影響
細 野 異行（（株）日立製作所）

119

127133

休憩（ 14:30〜15:00)
座長：大日方浩二（ソニー（株））(15:00〜15:30)
闇 聾 盟 集積回路の静電気放電評価／試験方法にお福田保裕（沖電気工業（株））、ける放電波形と故障現象の検討
大日方浩二（ソニー（株））、松本雅俊（三菱電機（株））、西村勝美（（株）日立製作所）、岡山良徳（（株）東芝）、渡辺毅（日本電気（株））、
鳴神長昭（ RCJ)
(15:30〜16:00)
覇軍霊童 COM試験において EIAJ規格でピン電流を中 家 事j幸、吉野彰
測定する方法
（阪和電子工業（株））(16:00〜16:30)
鈴 木 功 一 （日本電気（株））
園 聾 翻 過剰電荷の理論と応用
一放電電流特性と過剰勤電持量一(16:30〜17:00)
菌 聾 翻 デバイスの各静竜破壊試験と実際の静電気
田中政樹（（株）日立製作所）
放電現象の相関性についての考察
面踊

139

145

153

163

1.
:
1
11J.
1:::
1
11
語
翻座長： 鳴神長昭（ RCJ)
勝博 2、）
憲道 2、）

171所

島b Z L F

岬茂拘九hr
A 江川誉﹄査抑制開閉

東科京(iii)

刊川︑ω︑幻工一察警
E− 昭弘農警府
憲安勝京学都(13:
30〜 14:00)
菌璽盟璽電子機器組立工場における半導体デバイスの静電破壊対策崎 本 本1qq

(13:00〜13:30)
誼聾覇園金属物体間における ESDとその芭 Ml作用

村萩岡付暗時(12:30〜13:00)
盟聾覇園 静電界の座標システムと ESDセキュリテイ

本田昌賞（（株）インパルス物理研究所）

177

五月女清孝、松橋賢治(NEC埼玉（株））

185

(14:00〜14:30)
置車盟国静電界計潰jl
法と静電電位計測法について

上原利夫（トレック圃ジャパン（株））

193

休憩（ 14:30〜15:00)

座長：村上俊郎（原田産業（株））(15:00〜15:30)
園重富霊園リストストラップとリストストラップの信頼性耐久鼠験について（接地コードの屈曲寿命試験方法）(15:30〜16:00)臣軍盟盟イオナイザー性能評価の一考察(16:00〜16:30)
国軍覇薗電荷減衰浪jl定に関する諸問題（ I)(16:30〜17:00)
園蓋冨厨電荷減表測定に関する諸問題（ II)内田秀樹、沼口敏一（住友スリーエム（株））

199

上原利夫
（トレック・ジャパン（株））

207

内田秀樹、諏訪敏宏（住友スリーエム（株））

215

和泉健吉
（シシド静電気（株））

2
2
1

1997年信頼性向上技術フォーラム会 場 ： 1階A・B会議室
開催日：

11月7日（金）F

司 会 穴 山 汎 （ RCJ)

(10:00〜 11:00)

醒

複合材料にみる自然と人間恵比べ
一新しい帯電防止材料のヒントを求めて一(11:00〜12:00)
喝霊園電子材料の璃食試験ーガス、サイクル、酸性雨一

白井浩（アムコ工ントプライスー（株））229

谷口陪一、名取悦二、
三田村勝昭（スガ試験機（株））

235

昼休み（ 12:00〜13:00)(13:00〜14:00)
醐園プリント回路製造や実装時に知ってて得する
藤江明雄
静電気問題
（（株）カイジョー）

E(iv)

243

（付録）
出展社ガイド及び技術資料
出展社

株式会社アイテス
株式会社いけうち
エア・ブラウン株式会社
NTT
アドバンステクノロジ株式会社

取扱製品及び業務内容
半導体／しC D！こ関する「分析・解析・信頼性評
価Jの受託サービス
里ユニット、 AKIT（アキット）−C
ドライフオゲ加 j
回転衝撃試験装置、衝撃計測記録解析装、電磁式小型振動加振器、｛也BTA
社 CADツール： BTABER丁、 BSIMPro、
BERTしink、SIGMAPro、RelPro、＋ 1/fNoise25125525726
1

ParameterE
xt
ract
ionSystem

大坪電気株式会社
沖エンジニアリング株式会社
春日電機株式会社
株式会社クニコー
シシド静電気株式会社
シムコジャパン株式会社
ショーワ株式会社
住友スリーエム株式会社
瀧原産業株式会社
タバイエスペック株式会社
東京電子交易株式会社

静電気除電機器、材料等
IC・ 部品・コネクタ・基板等の特性評価掴故障解・・・・・・・
析及び材料の分析・ 5式験サービス
電荷量測定器、表面電位測定器、高密度除・・・・・・・電システム、除電器他
静電気測定器（表面電位計、電界計、エレクト ・・・・・・・ロメータ等）
エアーイオナイザ一、静電気測定器（表面電位測定器、電荷減衰器）
静電気除去装置、静電気測定器、導電性製品
静電気対策手袋
静電気導電性マット、シールド＂＇ツゲ、エアーイオナイ
サ 一、静電気測定器等
S
tati
cDecayMeter4060、シールドハ。ツクテスト装置 431、
ホ。−＇n'J
レ型抵抗計 385、静電防止材
ス
「9ティ
サイド」
恒温恒湿器、イオンマイグレーション評価シス
テム
Model7000 (ESD&Latch‑upTester、）

265
269
273

277
2
81285
289
293
297

301
303

ModelCDM‑500E(CDMTester)

株式会社東陽子クニカ

ウエハレベル ESDテス夕、
ロボティック C DMテスタ

307

トレック・ジャパン株式会社

静電気測定器、吸引式小型帯電量測定装置、高圧電源、静電気マルチチャンネルモ二宮リンクゅシステム
静竃気対策機器、計測器他
CDM試験器（自動測定）
静電気除去装置309

原因産業株式会社
阪和電子工業株式会社
ヒュ一夕、ルエレクト口ニクス
株式会社
株式会社平山製作所
ミドリ安全株式会社（財）日本電子部品信頼性センター

プレツシヤ一クツ力一．
MODEし PC
一422R7
静電靴チェッカー、静電靴、 ESD拡散性床材、 IGR
方式絶縁監視装置
品質認証業務、信頼性試験受託サービス等(v)

313

317
3
2
1
325
329
333