ハイソメット

非 接 触 段 差 測 定 機 DH2

高精度非接触 段差測定
測定点 の 表面形状を観察しな測定点の表面形状を観察しな
個人差によるバラツキ のな
個人差によるバラツキのな
ハイソメットは光学式焦点位置検出方式の非接触段差測定機です。

DH2（HISOMETⅡ）

プリサイスフォーカスユニットの採用により、ターゲット像を合わせるだけで、測定点の表面状態を観察しながら、高さ・深さ・段差等の測定が可能です。変形や打痕の心配が無いので、IC等の高精度非接触段差測定

DH2-AF
オートフォーカス付

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電子部品や精密加工部品の測定に最適です。

Non-Contact Depth Measuring Microscope System DH2

がら、がら、簡単な操作で、簡単な操作で、い、高精度な非接触段差測定が可能です。
い、高精度な非接触段差測定が可能です。
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1. 高精度非接触段差測定機

2. オートフォーカス付高精度非接触段差測定機
2特徴

測定原理
測 定 原 理本装置は、顕微鏡の反射照明光学系に、精密焦点合わせ機構としてターゲットマークおよびスプリットプリズムを組み込み、正しい焦点位置では被検面の鮮明な像の中央にターゲット像が左右のズレなく鮮明に見られ、微少に焦点がズレると視野内ターゲット像の上下部分が中央で左右にズレて観察される光学原理を採用しています。

ベストフォーカス

デフォーカス光源

スプリットプリズム（ターゲットマーク）

ターゲットマーク
投影レンズ（結像系）

対物レンズ

ベストフォーカス

デフォーカス

焦点面（白ヌキターゲットマーク）

焦点面（黒ヌキターゲットマーク）

測定方法
測 定 方 法
焦点合わせは、被検面のボケをみるのではなくターゲット像の縦線が中央で左右にズレているか、正しく直線に見られるかを判断することによって測定します。この方式は、対物レンズの焦点深度に関係なく、また肉眼の2 点識別力に依存しないという画期的方法を利用しているので、通常の焦点合わせに比べ、高精度の焦点位置確認が行えます。
この方法により、焦点合わせを行って各面間の段差を、デジタル測定することにより、非接触で高精度な測定が可能となりました。
3特長 特長■

焦点検出が光学式非接触方式なので、被検面に対し接触による変形や打痕等の影響なく測定できます。
（①参照）

■

焦点合わせ方法には、プリサイスフォーカスユニットのスプリット・ターゲット方式を採用し、ターゲット像を合わせるだけで、高精度な段差測定が行えます。

■

取扱いが容易で、現場作業用として最適です。

■

測定点の微小な表面状態を観察しながら、測定基準点と測定点の位置関係を同一視野で確認し測定できます。

（②参照）
■

高倍率の対物レンズに交換することにより、さらに測定精度を向上させる事が可能です。
（③参照）

■

被検面の状態に応じて、黒ヌキターゲットマーク・白ヌキターゲットマークのどちらかの選択ができます。
又、写真撮影の場合、ターゲットマークなしの選択が出来る三段切換になっています。

■

目的に応じて、鏡筒・測定ステージ・TV装置等を選択し、各種モデルに設定できます。
（システムダイヤグラム参照）■

レーザー方式では、乱反射によってフォーカスエラーになりやすい透明体、鏡面、梨地面等に、ターゲットマークを投影することで、試料の段差を測定することができます。

①②光学式測定基準点

③接触式

測定点

断面図

モニタ画面

ボンディングワイヤ高さ測定例

40 倍時（PLLWDM40 X）

1 0 0 倍時（PLLWDM1 0 0 X）

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標準仕様･構成
標準仕様

鏡体・
ブラケット

上下移動量

粗動140ｍｍ、微動25ｍｍ

観察可能最大高さ

150ｍｍ（柱高架下は50ｍｍ）

照明光学系

落射照明

ターゲットマーク入りピンホール照明、
3W白色スポットLED照明

ターゲットマーク

白抜き・無し・黒抜き 三段スライド切替

フォーカス機構

粗微動共軸遊星歯車方式 粗動：5.5mm/回転、微動：0.1mm/回転

Z軸測定測定距離10ｍｍ・25ｍｍ から選択

Z軸測定値最小表示

0.1・0.5・1μｍ から選択

Z軸測定精度Ｒａｎｇｅ≦1μｍ(10ｍｍストローク内)、
Range≦2μｍ(25ｍｍストローク内)※弊社測定方法による双眼ヘッド

正立三眼鏡筒傾斜角30°
正立像観察、眼幅調整範囲54～75ｍｍ

接眼レンズ

NWF10×（視野数16）
2本TV鏡筒CマウントTV観察用

対物つなぎ
プラン対物
対物レンズ

ステージ

右側接眼レンズに偏心実線クロスレチクル内蔵

4ケ穴レボルバー（対物レンズ4本まで取付可）
PLM5×NA0.1

WD19.8ｍｍ

PLLWDM10×NA0.2

WD24.3ｍｍ

長作動対物 PLLWDM20×NA0.4

WD11.2ｍｍ

PLLWDM40×NA0.5

WD10.0mm

XY測定距離（ｍｍ）

50×50

100×50100×100

150×150200×100

200×200

300×150300×300

載物面の大きさ（ｍｍ）

φ174

270×210

φ232

φ293

430×270□430

520×320□520

ステージガラスの大きさ
（ｍｍ）

φ150

170×120

φ205

φ260

280×170□290

370×220□370

有無有有無無無無回転ステージの有無
送り機構

ベアリングハサミ機構によるアクチュエータ方式、リリースレバーによりフリー移動可測定精度(送り精度)

XY共：（4+0.02L）
μｍ L：ストローク

カウンター 3軸カウンター

最小表示を 0.1・0.5・1μｍ から選択

オプション
鏡体・ブラケット

透過照明
照明光学系
正立三眼

鏡筒

落射・透過共各種レチクル
TV観察

テレセントリック照明、
3W緑色スポットLED照明標準
LED色はR(赤)・G(緑)・B(青)・W(白)から選択可
ライトガイド(ホルダー別)・別置光源(ハロゲン光源・高輝度LED光源)への変更可
接眼レンズ用レチクル/実線クロスレチクル・十字ミクロスケール・点線クロスレチクル
マシンビジョン用Cマウントカメラ(USB3.0・ダイレクトカメラ他)

対物つなぎ
プラン対物
長作動対物

対物レンズ

超長作動対物
プランアポクロマート対物

単対物用・5ケ穴レボルバー
PLM3X

その他

NA0.075

PLLM3X

NA0.075

PLLWDM100×WD8.5mm

WD29.5mm
NA0.73PLSWDM20×

NA0.35

WD20.7mm★新製品

NA0.45

WD14.1mm★新製品

SPLM50X

NA0.75

WD1.5mm

SPLM100X

NA0.9

WD1.0mm

NA0.95

WD0.2mm

SPLM150X
NA0.4

WD11.2ｍｍ 0～2.5mmガラス厚補正※同焦点距離50ｍｍ

NA0.5

WD10.0mm※同焦点距離50ｍｍ

0～2.0mmガラス厚補正

カウンター値取込・画面内測定・カウンター値演算ソフト他※要ご相談

プリンター・通信ケーブル・出力スイッチ・ゼロリセットスイッチ・電動仕様※その他カスタマイズにも対応しますのでご相談ください。

5※同焦点距離70.7ｍｍ

WD5.0ｍｍ

PLSWDM50×

ガラス厚補正 PLLWDC20×機構付対物 PLLWDC40×
ソフトウエア

※要ご相談

※要ご相談

測定使用例
半導体、MEMS、磁気ヘッド、電子部品、精密加工 等の産業分野で、広く使用されています。
これからの産業分野での被検物の材質、形状は、多種多様です。応用例を参考下さい。
＜ロッドレンズとコネクタ端面の深さ測定＞（ローパワーモジュール）

レーザーパッケージ

ロッドレンズ＜ICプローブ高さ測定＞（高さ測定をして、プローブの摩擦量を管理）

ロッドレンズ

深さ

精密スリーブロッドレンズ
セラミック
キャピラリ

シングルモード
コネクタ
レーザーロッド
レンズユニット＜ボンディングワイヤの高さ、ボンディングボールの高さ測定＞

試験前形状

1 0 0 万回耐久試験後＜多層配線基板電極段差測定＞

ボンディングワイヤの高さ

ボンディングボールの高さ＜Si, GaAs等のウェハの段差測定＞＜缶のフタの溝の深さ測定＞（スコア段差測定）＜水晶振動子の段差測定＞＜シール材高さ測定＞（ガラス基板とガラス基板のスキ間量測定）

バックライトユニット

蛍光管

反射フィルム

TFT素子

導光板
ガラス基板

カラーフィルター
ガラス基板

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外外観図

観図

∅232(ステージガラスφ204.5)

511■ DH2 11S 外観図

10300

419

質量 約70kg

691■ DH2-300 外観図

430

820

質量 約250kg

ス テ ー ジステージ

ストローク（mm）
50×50、100×100、150×150

100×50、200×100、300×150

ユニオン光学株式会社
本 社 ・ 工 場

200×200、300×300●本カタログの仕様については予告なく変更することがあります。

販売店〒175-0081 東京都板橋区新河岸2-22-4
Tel.03（5997）8531 Fax.03（5997）8532

URL；http://www.union.co.jp E-mail；new-union@union.co.jp
S10204A123-06-500