令和４年度
ひょうごオンリーワン企業

再認定

最先端分野を支えるオリジナル装置で未来創造に貢献する
明昌機工株式会社■会社概要
所在地
丹波市氷上町沼148
電話0795-82-7111
FAX0795-82-7113
URL
https://www.meisyo.co.jp/
従業員数 50名
資本金3,000万円
設立
1952年5月（創業1940年9月）
代表者
代表取締役社⾧ 足立真士
（本インタビュー回答者）■事業概要
ナノテク機器、R&D機器、超高真空機器、放射光機器、レーザー機器、中性子機器、半導体・液晶パネル製造装置、防衛関連機器などの設計からシステム制御に至るまで完全一貫受注生産を手掛ける。

―「ひょうごオンリーワン企業」に認定された反響はいかがでしたか。

―認定後5年間で変わった点をお聞かせください。

当社では、放射光・レーザー関連機器、各種「高度先端医療や次世代先端エネルギー（カー超高真空機器、ナノテクノロジー関連装置、半ボンニュートラル施策）にベストマッチした研導体製造装置および自動機・省力機器の4つの究機器を市場に提供する」という当社の活動方分野で、開発設計からシステム制御まで一貫個針に変わりはありません。その中で、高度先端別受注生産を行っています。この4分野の一角

医療に関しては、5年前には手がけていなかっをなすナノインプリンターの功績が認められてた超小型がん粒子線治療装置向けのユニット開から5年が経過。この技術から派生した新しい発に参画。カーボンニュートラルに向けては、装置の開発も進み、開発・製造に携わる社員た

核融合エネルギーの実用化実験機器、さらには、ちのモチベーションはさらに上がっています。

次世代パワー半導体デバイスの後工程製造装置

また、当社の機器や技術を再認定いただいたこ

等、さまざまな顧客とコラボレーションし、機とを社員一同、非常に喜んでいます。認定から器や装置の開発ならびに開発支援を行っていま再認定の間に「地域未来牽引企業認定」「ひょす。

うご仕事と生活のバランス企業表彰」「ひょうその中の一つに、次世代パワー半導体向け後ご産業SDGｓ推進宣言事業登録」なども認定を工程製造装置の「シンタリング装置」がありまいただきました。技術一辺倒ではない方面にもす。シンタリングとは焼結という意味で、粉末企業力を高めようとした活動のきっかけにも状の金属を固めたものを融点よりも低い温度でなっています。

焼き固めて加工する技術を指します。この装置は、半導体チップと基板の間に銀等の材料を挟み、加圧・焼成することで、より高密度の接着層を形成するものです。
次世代パワー半導体は高電圧、大電流に対応する必要があり、当然高熱にもなります。その負荷に耐えうる接着が重要で、本装置はそうした接着を可能にしました。シンタリング装置には繊細な温度制御と、面内均一精度の高いプレス圧制御、かつ応答性の高い時間制御が必要です。温度制御、プレス圧制御等はナノインプリンターの要素技術を最大限活用しました。

多くのラインナップがあるナノインプリンター製品

シンタリング装置

―いろいろな大学や研究機関と協力して、最新テクノロジー装置を開発・製造されています。

豊かな未来創造」に貢献すべく、チャレンジし最終製品を市場に供給することに加え、実験設備や試作装置を提供することも必要不可欠で―シェアを伸ばすために工夫されていることについてお聞かせください。

す。最近では、大阪大学レーザー科学研究所のナノインプリンターを例に取ると、デモ機をパワーレーザーラボのSENJUレーザー計画に参社内クリーンルームに数台常備しています。お画しており、100J/100Hzと高出力/高繰り返し客様に来社いただき、自ら装置の感触を確かめの大型パワーレーザーの、主に実験設備の開発ていただいたり、実際にデモしたい材料を形成に協力しています。

いただいたり、もっと追加したいオプション機続けていきます。

今、核融合エネルギーの実用化に向けて、世能を戦々恐々と議論したりさせていただいてい界的に核融合研究開発が加速度的に進んでいまます。そのようなコミュニケーションの中で、す。その研究をこのレーザーで進めていくのでお客様の真のニーズをつかみ取り、それを装置す。私たちは高度で豊かな暮らしをしていますという形で具現化して、お返しさせていただいが、よりIT化が進み便利な社会が実現されると、ています。

さらに1人当たりのエネルギー消費量が増大すると見込まれています。それらのエネルギー需要に応える一つの候補が核融合エネルギーです。
核融合反応から発生するエネルギーは莫大なもの。しかも融合に使うのは水素（重水素と三重水素）ですから、環境や人体に影響をもたらすものは発生しません。世の中を変えるかもしれない研究に貢献できることを大変うれしく思っています。

―2022年5月に創立70周年を迎えました。
創業当初は兵庫県神戸市で無線用機器を製造していた会社です。以降も部品加工を主に手がけていましたが、その当時から大阪大学との取引がありました。そこから、装置製造会社としての歩みを始め、1998年以降はSpring-8のビームラインや各種モニターなどの設計製作、時を同じくして大学や研究機関との共同研究をさらに活発に行いました。2002年には兵庫県立大学

クリーンルームでのデモ風景の松井真二教授のご指導でナノインプリント装置の開発に着手し、2004年には市場供給を開始―技術を向上させるためにどんなことに取り組んでいますか。

しました。今では幅広いラインナップのカスタ国の研究機関・教育機関やさまざまなメーム製品を生み出しています。これからも「よりカーなどのR＆D分野の方々との共同研究を活発に行っています。詳しくは言えませんが、最先その1つは最先端医療の普及に寄与する超小端技術を学ぶためにAI画像処理技術を開発初期型がん粒子線治療装置向けのユニット装置、もから大学機関に指導していただいたり、ナノテう1つは脱炭素社会の実現に貢献するパワーデクノロジー関連装置に関しては、学会等を通じバイス向け後工程製造装置を計画しています。て最新のニーズを一緒に分析させていただいた

これらの試作開発特化型と準量産型の2輪でビりしています。専門家とのやり取りに基礎ならジネスを展開していきたいと考えています。

びに最先端の知識が必要不可欠であるため、そのような機会を利用して知識を向上させています。さらに技術を社内展開するために、社内での開発審査会や開発報告会を定期的に開催しております。部門の垣根を越えて、議論する中で、社員は個々に研鑽して技術を習得しています。
またコロナ禍は控えていましたが、大学や研究機関に社員を派遣するなどして、最新テクノロジーのニーズやシーズをとらえるようにも心がけています。

―これからオンリーワン企業を受ける企業に対してのメッセージをお願いします。
大学や大企業は挑戦したい研究開発をたくさん持たれています。しかし、そのアイデアを具現化することに制約があるケースが多いのが現状であり、当社のような中小企業のやるべき仕事があると思っています。お互いにアイデアを共有し、それを装置として具現化し、共同で成果を分かち合っています。将来を見つめ、正しい方向を目指し、挑戦していけば何かが生まれるはず。その何かがオンリーワンになるのではないでしょうか。将来のビジョンを持ちながら挑戦を続けていく。その姿勢を大切にしてほしいと思います。

報告会では活発な意見交換が行われる―今後の事業展開についてお聞かせください。
現在の当社のビジネスモデルの主軸は試作開発特化型です。しかしこれに留まらず、景気動向やコロナパンデミックなどの外的要因に左右されない安定した経営基盤をさらに強固にしたいと考えており、従来ビジネスを回しながら準量産化技術の導入を試みようとしています。既存の取引先との共同研究・開発案件の中から、開発の延⾧線上に準量産を見込める案件をピックアップしスタートを切ることにしています。

準量産体制を見据えた設備増強

TECHNOLOGYSENJU
100 J/100 Hz/10kWのパワーレーザー
100Jを超える高いパルスエネルギーのレーザーを従来の5桁以上高い100Hz以上の繰り返し動作で実現するパワーレーザー開発に参画（大阪大学レーザー科学研究所）。
このハイパワーレーザーを活用することで従来の実験と比べ何桁も高いエネルギーを蓄積することが可能となり、核融合エネルギーの実用化に向けて、大きく前進できます。
資源が海水中に豊富にあり、二酸化炭素を排出しないといった特⾧がある核融合エネルギーの研究開発に貢献していきます。

NEWS&TOPICS
プラズマ援用研磨
プラズマプロセスと砥粒研磨プロセスの利点を融合
大阪大学で開発されたプラズマCVMやプラズマ援用研磨（PAP）技術を実用化。次世代半導体材料であるSiCやGaN基板等を高精度に平坦化できる技術であり、これを装置化し販売しています。
プラズマCVMはダメージフリーにナノメータ精度の形状加工ができるという利点がある一方、表面粗さは砥粒加工に比べ劣ります。PAPはプ
ラズマプロセスと砥粒研磨プロセスの利点を融合することでダイヤモンド基板やGaNウエハ等の硬脆材料を高能率かつダメージフリーに研磨し、サブナノメータオーダの表面粗さが得られます。