超 音 波 モ ー タカタロ グ

ピエゾソニック モータ
小 型・高トルク・静 音・ノンバックラッシュを実 現する新たな選 択 。

小 さ な ボ ディ か ら 生 ま れ る 、
大 きな エ ネ ル ギ ー 。
20年以上研究・開発を続けている超音波モータのエンジニアにより、長寿命化・高トルク化という超音波モータの持つ相反する2つの課題の解決に取り組んでいます。
その結果、従来の超音波モータと比べ長寿命化に成功し、その技術は国内の学会より賞を賜りました。
（特許出願中）高精度・非磁性・高トルクが求められる半導体製造装置用ステージや各種位置決め装置に最適な超音波モータを開発しております。
また、原理構成が難しいとされる超音波モータの駆動回路についても精通しており、応答性、制御特性に優れた駆動回路を持つドライバも開発しております。

ピエゾソニック モータとは
ピ エゾソニック モ ータ（ 高トルク型 超 音 波 モ ータ）は 磁 石 やコイ
ル を 利 用 せ ず 、圧 電 セラミックを 振 動 さ せ 、そ の エ ネ ル ギ ー を 駆
動 力としてい ます。摩 擦 を 利 用して回 転 する た め 、小 型 ・軽 量 でありな がら同 サイズ の D C モータと比 べ 約 5 倍 〜 1 0 倍 の 高トルクを 発 揮 するモ ータです 。 駆 動 源 に コイル や 磁 石 を 利 用しな い た
め 、非 磁 性 モ ータを 構 築することが でき、M R I 内 など の 高 磁 場 環
境 や 磁 場 の 影 響をきらう半 導 体 製 造 装 置 内 などで安 心してご 利
用 い た だ けます 。 また 、非 通 電 、非 制 御 で 姿 勢・状 態 を 保 持 することができ、 バックラッシュが な い た め に 装 置 のダイレクトドライ
ブ による 高 精 度 な 位 置 制 御 が 可 能 です 。 起 動 、静 止 の 応 答 性 も高く、ステ ージ など の 搬 送 装 置 や カメラ の 雲 台 、ジン バ ル 、割り出し装 置 、多 関 節ロボットの 関 節 用 のモータとして最 適です。

ロータ

ロータの方向表面進行波の方向
ステータ

接触点の動き
圧電セラミックA*Sin ω t

A*Cos ω t

他方式のモータとの比較
小型・静音でありながら、高トルクで精密な位置決めが可能。

回転数・トルク
同サイズの超音波モータ、DC モータ、ブラシレスモー
タ、ステッピングモータのトルクと回転数の関係にフォー

回転数

DCモータ

カスした領域図です。
超音波モータは他のモータに比べ、低速・高トルクというブラシレスモータ
ステッピングモータ

特徴を持ちます。
摩擦力により非制御時でも高保持力を維持でき、バック

超音波モータラッシュもないため、ギアを使わないダイレクトドライブのアクチュエータシステムを構築することが可能です。

トルク

重量・位置制御
同サイズの超音波モータ、DC モータ、ブラシレスモー

重量（軽量）

タ、ステッピングモータの位置制御性と重量（軽量）の関係にフォーカスした領域図です。
超音波モータは他のモータに比べ、軽量で高い位置制御性を有するという特徴を持ちます。

超音波モータブラシレスモータ

DCモータ

回転部の重量が軽いためイナーシャが小さく、駆動信号

ステッピングモータ

が停止すると瞬時に摩擦力により静止するため、精密な位置決めが可能です。
位置制御性※最終的な位置決め精度は外部のセンサ：エンコーダやポテンショメータと制御コントローラに依存します。

超音波モータの活用例
回転・静止を繰り返す動作に最適
精密位置決めステージ

オフィス等で利用可能な小型の搬送装置
オフィス等で利用可能な小型の仕分け・分配装置
監視、記録カメラのための静音移動装置
姿勢制御のためのジンバル装置

割り出し装置

医療機器 MRI 内での搬送用・駆動用モータ
微細制御が可能なロボットアーム
強放射線環境での駆動用モータ
真空環境用モータ（宇宙環境等）

搬送用コンベア

ロボットの関節制御

一 般 環 境 用 モ ータ PSM60S SERIESFOR GENERAL ENVIRONMENT

一般環境用センサレス片軸モータ

PSM60S-B

APPEARANCE / FEATURES

PSM60S-A

一般環境用センサレス両軸モータ

PSM60Sシリーズで最小サイズ。

他社製外部センサをモータに直接装着するための組み込み対象装置に搭載されたセンサを利用した

サブシャフトを有しています。

位置決めや、タイマーによる間欠動作用モータとしてエンコーダやタコジェネレータを利用した制御が最適です。

可能になります。
DESIGN

片軸モータ PSM60S-A

製品名

駆動周波数

40〜45 [KHz]

駆動周波数

両軸モータ PSM60S-B

40〜45 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

120 [rpm]

定格回転数

120 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

定格トルク

0.6 [N･m]

定格トルク

0.6 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

66×66×45 [mm]サイズ(W×D×H)

66×66×53 [mm]質量230 [g]質量

233 [g]

エンコーダ分解能

非搭載 片軸エンコーダ分解能

非搭載

最小位置決め精度

外部センサに依存

最小位置決め精度

外部センサに依存

SPEC

製品名

両軸

05

一 般 環 境 用 モ ータ PSM60S SERIES
for GENERAL ENVIRONMENTAPPEARANCE / FEATURES

PSM60S-E

一般環境用500p/rエンコーダ付モータ

PSM60S-ET

一般環境用1,000p/rエンコーダ付モータ

1周で500パルスのTTL出力のエンコーダを装備。

1周で1,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。

°4逓(てい )倍時）の精度でモータの位置・速度制御±0.18（°4逓(てい )倍時）の精度でモータの位置・速度制御±0.09（が可能です。

が可能です。
高精度位置決めステージなどの搬送装置用モーボールネジを利用した搬送装置用モータとして最適です。

タとして最適です。

DESIGNSPEC

製品名

エンコーダ付500p/rモータ PSM60S-E

製品名

駆動周波数

40〜45 [KHz]

駆動周波数

エンコーダ付1,000p/rモータ PSM60S-ET

40〜45 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

120 [rpm]

定格回転数

120 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

定格トルク

0.6 [N･m]

定格トルク

0.6 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

66×66×63 [mm]サイズ(W×D×H)

66×66×56 [mm]質量250 [g]

質量240 [g]

エンコーダ分解能

500 [p/r]

エンコーダ分解能

1,000 [p/r]最小位置決め精度

0.18°

最小位置決め精度

0.09°

06

磁 場 環 境 用 モ ータ PSM60N SERIES

for GENERAL ENVIRONMENT

for MAGNETIC ENVIRONMENT

PSM60S-E2T

PSM60N-A

一般環境用2,000p/rエンコーダ付モータ

磁場環境用センサレス片軸モータ

1周で2,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓（てい）倍時）の精度でモータの位置・速度制御±0.045（

3［T］の磁場環境に対応。PSM60Nシリーズで最小サイズ。
MRIや元素分析機など、強磁場環境内で利用する装置にが可能です。

搭載されたセンサを利用した位置決めや搬送用モータとし超高精度な割り出し装置用モータとして最適です。

て最適です。

APPEARANCE / FEATURES

一 般 環 境 用 モ ータ PSM60S SERIESDESIGN

エンコーダ付2,000p/rモータ PSM60S-E2T

製品名

駆動周波数

40〜45 [KHz]

駆動周波数

片軸モータ PSM60N-A

40〜45 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

120 [rpm]

定格回転数

120 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

定格トルク

0.6 [N･m]

定格トルク

0.6 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

66×66×56 [mm]サイズ(W×D×H)

66×66×45 [mm]質量240 [g]

質量

230 [g]

エンコーダ分解能

2,000 [p/r]

エンコーダ分解能

非搭載 片軸最小位置決め精度

0.045°

最小位置決め精度

外部センサに依存

SPEC

製品名

07

磁 場 環 境 用 モ ータ PSM60N SERIES
for MAGNETIC ENVIRONMENTAPPEARANCE / FEATURES

PSM60N-B

PSM60N-E

磁場環境用センサレス両軸モータ

磁場環境用500p/rエンコーダ付モータ

他社製外部センサをモータに直接装着するためのサブシャフトを有しています。

1周で500パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓（てい）倍時）の精度で3［T］の磁場環境で±0.18（

磁場環境での利用に対応した他社製エンコーダやタコジェネ

モータの位置・速度制御が可能です。

レータを利用した制御が可能になります。

ボールネジを利用した搬送装置用モータとして最適です。

DESIGNSPEC

製品名

両軸モータ PSM60N-B

製品名

エンコーダ付500p/rモータ PSM60N-E

駆動周波数

40〜45 [KHz]

駆動周波数40〜45 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

120 [rpm]

定格回転数

120 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

定格トルク

0.6 [N･m]

定格トルク

0.6 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

66×66×53 [mm]サイズ(W×D×H)

66×66×63 [mm]質量

233 [g]

質量250 [g]

エンコーダ分解能

非搭載

エンコーダ分解能

500 [p/r]

最小位置決め精度

外部センサに依存

最小位置決め精度

0.18°

両軸

08

磁 場 環 境 用 モ ータ PSM60N SERIES
for MAGNETIC ENVIRONMENT

PSM60N-E2T

磁場環境用1,000p/rエンコーダ付モータ
1周で1,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓（てい）倍時）の精度で3［T］の磁場環境で±0.09（

磁場環境用2,000p/rエンコーダ付モータ

モータの位置・速度制御が可能です。

モータの位置・速度制御が可能です。

MRI内や半導体製造装置で利用される高精度位置決め

MRI内や半導体製造装置で利用される

ステージなどの搬送装置用モータとして最適です。

超高精度な割り出し装置用モータとして最適です。

APPEARANCE / FEATURES

PSM60N-ET

1周で2,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓（てい）倍時）の精度で3［T］の磁場環境で±0.045（

DESIGN

エンコーダ付1,000p/rモータ PSM60N-ET

製品名

駆動周波数

40〜45 [KHz]

駆動周波数

エンコーダ付2,000p/rモータ PSM60N-E2T

40〜45 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

120 [rpm]

定格回転数

120 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

最大回転数

180 [rpm]

定格トルク

0.6 [N･m]

定格トルク

0.6 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

最大トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

非通電時保持トルク

1.2 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

66×66×56 [mm]サイズ(W×D×H)

66×66×56 [mm]質量240 [g]

質量240 [g]

エンコーダ分解能

1,000 [p/r]

エンコーダ分解能

2,000 [p/r]最小位置決め精度

0.09°

最小位置決め精度

0.045°

SPEC

製品名

09

PSM40S SERIES
一 般 環 境 用 モ ータ PSM40S
for GENERAL ENVIRONMENTAPPEARANCE / FEATURES

PSM40S-A

一般環境用センサレス片軸小型モータ

PSM40S-B

一般環境用センサレス両軸小型モータ
他社製外部センサをモータに直接装着するためのサブシャフトを有しています。

位置決めや、タイマーによる間欠動作用モータとしてエンコーダやタコジェネレータを利用した制御が可能に

最適です。

なります。

※ モータベース側に3-M3 PCDΦ28 深さ3.5mmの取付けネジ穴あり※ モータベース側に3-M3 PCDΦ28 深さ3.5mmの取付けネジ穴あり

DESIGN

PSM40Sシリーズで最小サイズ。
組み込み対象装置に搭載されたセンサを利用した

SPEC

製品名

片軸モータ PSM40S-A

製品名

両軸モータ PSM40S-B

駆動周波数

52〜58 [KHz]

駆動周波数52〜58 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

150[rpm]

定格回転数

150[rpm]

最大回転数

250[rpm]

最大回転数

250[rpm]

定格トルク0.15 [N･m]

定格トルク0.15 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、
CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

46×46×35.5 [mm]サイズ(W×D×H)

46×46×43.5 [mm]質量

83 [g]

質量

84 [g]

エンコーダ分解能

非搭載 片軸エンコーダ分解能

非搭載 両軸最小位置決め精度

外部センサに依存

最小位置決め精度

外部センサに依存※PSM40 シリーズは受注生産となります。

10

一 般 環 境 用 モ ータ PSM40S SERIES
for GENERAL ENVIRONMENT

一般環境用500p/rエンコーダ付小型モータ

1周で500パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓(てい )倍時）の精度でモータの位置・速度制御±0.18（が可能です。
ボールネジを利用した小型搬送装置用モータとして最適です。

PSM40S-ET

APPEARANCE / FEATURES

PSM40S-E

一般環境用1,000p/rエンコーダ付小型モータ

1周で1,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓(てい )倍時）の精度でモータの位置・速度制御±0.09（が可能です。高精度位置決めステージなどの小型搬送装置
用モータとして最適です。
DESIGN※ モータベース側に3-M3 PCDΦ28 深さ3.5mmの取付けネジ穴あり

製品名

エンコーダ付500p/rモータ PSM40S-E

製品名

エンコーダ付1,000p/rモータ PSM40S-ET

駆動周波数52〜58 [KHz]

駆動周波数52〜58 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

150[rpm]

定格回転数

150[rpm]

最大回転数

250[rpm]

最大回転数

250[rpm]

定格トルク0.15 [N･m]

定格トルク0.15 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、
CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]

質量

90[g]

質量

90[g]

エンコーダ分解能

500 [p/r]

エンコーダ分解能

1,000 [p/r]0.18°

最小位置決め精度

0.09°

最小位置決め精度SPEC※ モータベース側に3-M3 PCDΦ28 深さ3.5mmの取付けネジ穴あり※PSM40 シリーズは受注生産となります。

11

一 般 環 境 用 モ ータ PSM40S SERIES

磁 場 環 境 用 モ ータ PSM40N SERIES

for GENERAL ENVIRONMENT

for MAGNETIC ENVIRONMENTAPPEARANCE / FEATURES

PSM40S-E2T

PSM40N-A

磁場環境用センサレス片軸小型モータ

1周で2,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。

3[T]の磁場環境に対応。PSM40Nシリーズで最小サイズ。

±0.045°（4逓(てい)倍時）の精度でモータの位置・速度制御

MRIや元素分析機など強磁場環境内で利用する装置にが可能です。

搭載されたセンサを利用した位置決めや搬送用モータ

高精度な割り出し装置用モータとして最適です。

として最適です。

※ モータベース側に3-M3 PCDΦ28 深さ3.5mmの取付けネジ穴あり※ モータベース側に3-M3 PCDΦ28 深さ3.5mmの取付けネジ穴あり

製品名

エンコーダ付2,000p/rモータ PSM40S-E2T

製品名

片軸モータ PSM40N-A

駆動周波数

52〜58 [KHz]

駆動周波数52〜58 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

150[rpm]

定格回転数

150[rpm]

最大回転数

250[rpm]

最大回転数

250[rpm]

定格トルク0.15 [N･m]

定格トルク0.15 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、
CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]サイズ(W×D×H)

46×46×35.5 [mm]

質量

90[g]

質量

83 [g]

エンコーダ分解能

2,000[p/r]

エンコーダ分解能

非搭載 片軸最小位置決め精度

0.045°

最小位置決め精度

外部センサに依存

DESIGN

一般環境用2,000p/rエンコーダ付小型モータ

SPEC※PSM40 シリーズは受注生産となります。

12

PSM40N-E

APPEARANCE / FEATURES

PSM40N-B

磁場環境用センサレス両軸小型モータ

磁場環境用500p/rエンコーダ付小型モータ

他社製外部センサをモータに直接装着するための1周で500パルスのTTL出力のエンコーダを装備。

サブシャフトを有しています。

3[T]の磁場環境で±0.18°（4逓(てい)倍時）の精度でモータの位置・速度制御が可能です。
ボールネジを利用した小型搬送装置用モータとして最適です。

※ モータベース側に3-M3 PCDΦ28 深さ3.5mmの取付けネジ穴あり※ モータベース側に3-M3 PCDΦ28 深さ3.5mmの取付けネジ穴あり

製品名

両軸モータ PSM40N-B

製品名

エンコーダ付500p/rモータ PSM40N-E

駆動周波数

52〜58 [KHz]

駆動周波数52〜58 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

150[rpm]

定格回転数

150[rpm]

最大回転数

250[rpm]

最大回転数

250[rpm]

定格トルク0.15 [N･m]

定格トルク0.15 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

回転方向と応答性

CW、
CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、
CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

46×46×43.5 [mm]サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]質量

84 [g]

質量90[g]エンコーダ分解能

非搭載 両軸エンコーダ分解能

500 [p/r]

外部センサに依存

最小位置決め精度

0.18°

DESIGN

磁場環境での利用に対応した他社製エンコーダやタコジェネレータを利用した制御が可能になります。

SPEC

最小位置決め精度※PSM40 シリーズは受注生産となります。

※PSM40 シリーズは受注生産となります。

13

磁 場 環 境 用 モ ータ PSM40N SERIES
for MAGNETIC ENVIRONMENTAPPEARANCE / FEATURES

PSM40N-ET

PSM40N-ET2

磁場環境用2,000p/rエンコーダ付小型モータ

1周で1,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓(てい )倍時）の精度でモータ
3[T]の磁場環境で±0.09（

1周で2,000パルスのTTL出力のエンコーダを装備。
°4逓(てい )倍時）の精度で3[T]の磁場環境で±0.045（の位置・速度制御が可能です。

モータの位置・速度制御が可能です。

MRI内や半導体製造装置で利用される高精度位置決めス

MRI内や半導体製造装置で利用される超高精度な割り出し

テージなどの小型搬送装置用モータとして最適です。

装置用モータとして最適です。

※ モータベース側に3-M3 PCDΦ28 深さ3.5mmの取付けネジ穴あり※ モータベース側に3-M3 PCDΦ28 深さ3.5mmの取付けネジ穴あり

DESIGN

磁場環境用1,000p/rエンコーダ付小型モータ

SPEC

製品名

エンコーダ付1,000p/rモータ PSM40N-ET

製品名

駆動周波数

52〜58 [KHz]

駆動周波数

エンコーダ付2,000p/rモータ PSM40N-E2T

52〜58 [KHz]

駆動電圧130 [Vrms]

駆動電圧130 [Vrms]

定格回転数

150[rpm]

定格回転数

150[rpm]

最大回転数

250[rpm]

最大回転数

250[rpm]

定格トルク0.15 [N･m]

定格トルク0.15 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

最大トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

非通電時保持トルク

0.3 [N･m]

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

回転方向と応答性

CW、CCW、応答性1 [ms]以下（慣性負荷なし）

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

使用温度範囲

-10 〜 +55 [℃]

耐久時間

3,000 [Hours]

耐久時間

3,000 [Hours]

サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]サイズ(W×D×H)

46×46×46 [mm]

質量

90[g]

質量

90[g]

エンコーダ分解能

1,000 [p/r]

エンコーダ分解能

2,000[p/r]最小位置決め精度

0.09°

最小位置決め精度

0.045°※PSM40 シリーズは受注生産となります。

14

ドライバ

PSMD SERIES

for MOTOR CONTROLPSMD-BACの機能に加え、エンコーダ信号を利用した速度

PSMD-PCCAPPEARANCE / FEATURES

PSMD-SPC

PSMD-SPCの機能に加え、USBで接続したPCから安定化機能を追加したアナログコントロールモデル。

モータの回転方向、速度を直接操作する

2本のTTL信号でモータの回転方向を、0 〜 3.2[V]のデジタルコントロールが可能なモデル。

アナログ電圧でモータの速度を制御可能。

回転方向制御用TTL信号や速度制御用アナログ電圧を

超音波モータを外部アナログ電圧で等速コントロールする

入力することなしに、
デジタル信号でモータの制御が可能。

用途に最適です。

超音波モータを精密にコントロールする用途に最適です。
DESIGN

USB接続による高精度制御対応ドライバ PSMD-PCC

速度安定化機能付ドライバ PSMD-SPC

製品名

発振周波数 / 波形

20 [KHz] 〜 55 [KHz] / 合成正弦波

発振周波数 / 波形

20 [KHz] 〜 55 [KHz] / 合成正弦波

モータドライブ電圧

130 [Vrms] ~ 140 [Vrms]

モータドライブ電圧

130 [Vrms] 〜 140 [Vrms]

可変速方式

アナログ電圧（DC 0 [V] 〜 3.2 [V]）

可変速方式

アナログ電圧（DC 0 [V] 〜 3.2 [V]）

無負荷可変速範囲

1 [rpm] 〜 モータの最高回転数

起動・停止操作

CW、CCW制御端子に対しスイッチ、無負荷可変速範囲

外部信号により操作（アクティブロー）

起動・停止操作SPEC

製品名

or USB接続された機器よりデジタル信号制御
0.1 [rpm] 〜 モータの最高回転数
CW、CCW制御端子に対しスイッチ、外部信号により操作（アクティブロー）or USB 接続された機器よりデジタル信号制御

起動応答性

10 [ms]（モータ慣性負荷なし）

停止応答性

1 [ms]以下（モータ慣性負荷なし）

起動応答性

10 [ms]（モータ慣性負荷なし）

使用温度範囲-10 [℃] 〜 +60 [℃]

停止応答性

1 [ms]以下（モータ慣性負荷なし）

電源電圧・消費電流

DC 24 [V] ± 0.5 [V] / 常用 1[A]、最大2.5 [A]

使用温度範囲-10 [℃] 〜 +60 [℃]

過電流保護

復帰型過電流保護回路搭載

電源電圧・消費電流

DC 24 [V] ± 0.5 [V] / 常用1[A]、最大2.5 [A]

耐久時間

運転10,000 [Hours] or 出荷後1年 のどちらか短い期間

過電流保護

復帰型過電流保護回路搭載

サイズ（W×D×H）

80 × 60 × 45 [mm]耐久時間

運転10,000 [Hours] or 出荷後1年 のどちらか短い期間

質量250[g]

サイズ（W×D×H）

80 × 90 × 45 [mm]備考

速度安定化機能付

質量270[g]

備考

PCとUSB接続で操作可能※ 出荷時に同シリアル番号のモータと対で調整しております。
※ 一般環境用PSM60/40※ 出荷時に同シリアル番号のモータと対で調整しております。
※ 一般環境用PSM60/40 S

モータ、
磁場環境用PSM60/40 Nモータ共に同一方法でコントロール可能です。

モータ、
磁場環境用PSM60/40 Nモータ共に同一方法でコントロール可能です。

15

ドライバ の 端 子 構 成
PIN ASSIGNMENT
各ドライバにはその特徴にあわせて調整用のボリューム（VR1〜VR3）
や各種コネクタ（CN1〜CN5）が装備されています。

VR1：

最低速度調整用ボリューム（PSMD-BAC、
SPCのみ）

VR2：

最高速度調整用ボリューム（PSMD-BAC、
SPCのみ）VR3：

CW、CCW速度バランス調整用ボリューム（PSMD-BAC、SPCのみ）

CN1：

電源用コネクタ（全ドライバ）CN2：

モータ制御用コネクタ（全ドライバ）CN3：

モータ接続用コネクタ（全ドライバ）CN4：

エンコーダ接続用コネクタ（PSMD-SPC、PCCのみ）CN5：（PSMD-PCCのみ）
PC接続用コネクタ

ご利用の際には各端子の情報をご確認いただき、お間違いのないようご注意ください。

CN1

CN4

2

1

4

3

6

5

1. Main_power_入力 (+24V)
2. Main_power_入力 (+24V)
3. GND
4. GND
5. CASE
6. CASE

2

1

4

3

6

5

8

7

1. エンコーダ用電圧出力(+5V)
2. GND
3. エンコーダA相(+)入力
4. エンコーダA相(−)入力
5. エンコーダB相(+)入力
6. エンコーダB相(−)入力
7. エンコーダZ相(+)入力
8. エンコーダZ相(−)入力

CN2
1
3
5
7
9
11
13
15
17
19
21
23

2
4
6
8
10
12
14
16
18
20
22
24

1. リファレンス電圧出力(3.3V)
2. 速度指定電圧入力
3. GND
4. 回転方向指示：CW
5. 回転方向指示：CCW
6. GND
7. SPI_CS入力
8. SPI_CLK入力
9. SPI_DT入力
10. SPI_DT出力
11. BOOSTモード入力
12. GND

CN3

CN5

2

1

4

3

1. Sin信号出力
2. Cos信号出力
3. FB号入力

赤
白
黄

SW1
ON
OFF

16

13. PWM_code_02入力（オプション）
14. PWM_code_01入力（オプション）
15. PWM_code_00入力（オプション）
16. PWM_SEL_入力（オプション）
17. ERROR_出力
18. AUX_01_入力（オプション）
19. AUX_00_入力（オプション）
20. GND
21. エンコーダA相（＋）出力（エンコーダ接続時のみ）
22. エンコーダB相（＋）出力（エンコーダ接続時のみ）
23. -24. --

1

2

3

4

・エンコーダなし（速度制御なし）
1：OFF、2: OFF、3:OFF、4:OFF
・ PSM60＊ - E
1：ON、2: OFF、3:OFF、4:OFF
・ PSM60＊ - ET
1：ON、2: OFF、3:OFF、4:ON
・ PSM60＊ - E2T
1：ON、2: OFF、3:ON、4:OFF

2

1

3

4

1. -2. - Data
3. + Data
4. GND

赤
黒
青
緑
白
灰
黄
橙

モ ータとドライバ の 接 続 方 法
CONNECTION

PSMD-SPC[1]エンコーダ信号無し、制御ボードを利用した簡易動作

CN1にDC24V電源、CN2にモータの回転方向・停止状態を制御するTTL信号レ（CW / CCW）
ベルの信号（2本：アクティブロー）、速度変化のためのDC0V 〜 3.2Vのアナログ信号を入力します。

CN3をモータの信号入力端子に接続します。モータの制御に必要な信号はマイコンボードのポートとアナログ電圧出力を利用していただくか、ス
イッチと半固定抵抗を利用することが可能です。
モータにエンコーダがないため、CN4は利用しま
せん。

PSMD-SPC[2]エンコーダ信号による速度制御・位置制御

CN1 に DC24V 電源、CN2 にモータの回転方向・停止状態を制御するTTL 信号レ（ CW / CCW ）ベルの信号（2 本：アクティブロー）、速度変化のためのDC0V 〜 3.2Vのアナログ信号を入力します。
C N 3 をモータの 信 号 入 力 端 子 に 接 続します。
CN4をモータのエンコーダ信号端子に接続します。エンコーダ信号を利用した速度の安定化機能
により外部のマイコンボードでの速度制御なしに、
速度指定端子に一定電圧を加えてモータの回転速度の維持が可能です。

PSMD-PCC[1]エンコーダ信号無し、制御ボードを利用した簡易動作
CN1 に DC24V 電源、CN2 にモータの回転方向・停止状態を制御する
（CN1
CW に
/ DC24VCCW ）TTL 信号レ
電源、CN2 にモータの回転方向
本：アクティブロー）、速度変化のた
ベルの信号
（2）
・停止状態を制御する（
CW / CCWTTL 信号レのアナログ信号を入力します。
めのDC0V（〜2本
3.2V：アクティブロー）、速度変化のた
ベルの信号
をモータの信のアナログ信号を入力します。
号 入 力 端 子 に 接 続します。
C
N 3DC0V〜 3.2Vめのをモータのエンコーダ信号端子に接続しま
CN4
モーCN3をモータの信号入力端子に接続します。
す。エンコーダ信号を利用した速度の安定化機能
タの制御に必要な信号はマイコンボードのポートにより外部のマイコンボードでの速度制御なしに、とアナログ
電 圧 出 力を利 用してい た だくか 、ス
速度指定端子に一定電圧を加えてモータの回転
イッチと半固定抵抗を利用することが可能です。
速度の維持が可能です。
CN4、CN5は利用しません。

17

モ ータとドライバ の 接 続 方 法
CONNECTION

PSMD-PCC[2]エンコーダ信号による速度制御・位置制御

CN1 に DC24V 電源、CN2 にモータの回転方向・停止状態を制御するTTL 信号レ（ CW / CCW ）ベルの信号（2 本：アクティブロー）、速度変化のためのDC0V 〜 3.2Vのアナログ信号を入力します。
C N 3 をモータの 信 号 入 力 端 子 に 接 続します。
CN4をモータのエンコーダ信号端子に接続します。エンコーダ信号を利用した速度の安定化機能
により外部のマイコンボードでの速度制御なしに、
速度指定端子に一定電圧を加えてモータの回転速度の維持が可能です。CN5は利用しません。

PSMD-PCC[3]エンコーダ信号・PCによる速度制御・位置制御

CN1に DC24V 電源を接続します。CN2は利用しません。CN3をモータの信号入力端子に接続します。CN4をモータのエンコーダ信号端子に接続します。CN5をPCのUSB端子に接続します。
・停止状態の制
モータの回転方向（ CW / CCW ）御や、速度変化のための制御指示は USB 経由で伝えることができます。アナログ電圧の制御信号が必要ないため、マイコンボードなど周辺装置を用意することなく、簡単に超音波モータを操作することが可能です。

18よくあ る 質 問
FAQQ

商品はどこで買えますか？

A

弊社の製品のご購入方法は3つあります。
１．
弊社提携商社様からのご購入
２．
WEB（Yahoo!ショッピング）でのオンライン購入

Q

利用環境や保存環境で、特別に注意することはありますか？

A

超音波モータは摩擦を利用して回転しているため、摩擦の状態が大きく変わってしまうことを避ける必要がございます。たとえば、

３．
弊社に直接ご連絡いただきご購入

での利用
水中・高湿・高温環境（湿度：60%以上、温度：65℃以上）

数量割引をご希望の場合は弊社提携商社様もしくは弊社へのはお控えください。

ご連絡をお願い致します。

Q

商品の注文方法を教えてほしい。。

A

ご購入方法により注文方法が異なります。

Q

DCモータ等との違いは何ですか？

A

同じトルクのDCモータと比較した場合、超音波モータはサイズがWEBからのご購入の場合には必要な数量をYahoo!ショッピング

1/5〜 1/10 倍、小型になります。またそれに伴い重量も軽くなります。
動作中の音についても超音波モータは非常に静音です。

サイトよりご注文ください。弊社で情報を確認次第、納期をご返答

保持力により非通電時、非制御の状態であっても電力0で姿勢・させていただきます。弊社提携商社様もしくは弊社からの直接購角度を維持できることも超音波モータの大きな特徴です。

入の場合にはお見積りをご依頼ください。弊社に直接ご依頼いただく場合には、
メールかお問い合わせフォームをご利用ください。
弊社で情報を確認次第、ご返答させていただきます。

Q

1個から注文可能ですか？

A

弊社の製品は全て1個からご購入いただけます。

Q

ドライバはどれを選べばいいですか？

A

エンコーダを装備してないモータ（***-Aや-B）
をご利用の場合Q

超音波モータの特徴（メリット）
は何ですか？

A

超音波モータは小型・高トルク・静音・磁場環境で利用できる非磁性に対応したモータです。既存のモータを超音波モータに変える
ことで装置全体の小型化・低消費電力化が期待できます。
また、

MRIや半導体製造装置、元素分析器など磁場の発生を嫌う製品に対して安心してご利用頂くことができます。

（ PSMD-SPC やには PSMD-BACを推奨させていただきます。

QA

超音波モータのデメリットは何ですか？
弊社の超音波モータは従来の超音波モータに比べて長寿命です

PSMD-PCCもご利用可能ですが、モータからのエンコーダ信号

が、超音波モータは一般的にDCモータやステッピングモータと比が入力されない状態であるため、速度の安定化機能などがご利べると寿命という点においては優位性がありません。

用いただけません）
をご利用の場
エンコーダを装備したモータ（***-Eや-ET、E2T）
合にはPSMD-SPCやPSMD-PCCを推奨させていただきます。

Q

これらのドライバによりモータからのエンコーダ信号を利用したモータ制御を簡単に実現することが可能です。
（PSMD-BACもごA

利用可能です）Q
A

利用可能なケーブルは何mですか？
標準のケーブル長は3mです。最長30mまでのモータケーブルに対応しています（弊社純正品に限ります）

耐久時間は、
どのように算出されますか？

Q

特注対応は可能ですか？

出荷時の特性に対し、最高トルクが60%にまで落ちた状態を弊社

A

シャフトの長さ変更や直径の変更は1個から対応させていただき

ではモータの寿命と考えております。
そのため、お客様の使用条件ます。

が定格トルク（最高トルクの50%）以下で計算されている場合、弊フルカスタム品の製作も可能です。お問い合わせフォームより仕社の保証時間を超える装置の動作時間を実現することが可能で様についてご連絡ください。

す。

Q

真空環境で利用することはできますか？

A

弊社の超音波モータは真空中でも動作は可能です。
しかし、真空環境では摩擦の状態が悪くなるため、寿命が短くなる可能性が考Q

購入時期によりモータ・ドライバの外観色が若干異なる製品があるようですA

製造時の材料・染色材料のわずかな違いによって製品の外観・色味、風合いが変わる場合がございます。

えられます。一般環境での利用とは異なるため、動作は保証してお出荷時に特性計測を行っておりますので、製品の保証に違いはりません。

ございません19

トルク型超音波モータと自律ロボットの開発なら株式会社 Piezo Sonic

本社〒157-0063
東京都世田谷区粕谷 1-15-5

中央事業所〒143-0013
東京都大田区大森南 4-6-15
テクノFRONT 森ケ崎 507

秋葉原オフィス

〒101-0022
東京都千代田区神田練塀町 3
富士ソフト秋葉原ビル

DMM.make 12F 2505
TEL

03-6379-6020

WEB

https://www.piezo-sonic.com/

E-mailinfo @ piezo-sonic.com

Copyright © PIEZO SONIC 2020 All rights reserved.

Ver.2.4