cEo インタビュー

Questions&Answers

代表取締役社長
竹中 博司

4Tokyo Electron

Annual Report 2010

Q

社長ご就任初年度となった2010 年 3 月期を振り返って、どのような1 年だったでしょうか。

A

思い返せば、就任当初は先行きの見えない厳しいには余すところなく開発費をかけてきています。ここ事業環境の中での出発となりましたが、「人材と将来に来て、約 8 年間投資してきた RLSA 技術を搭載したに向けての開発投資は最重要」ということを揺らぐこ

エッチング装置の本格量産採用も決まりましたし、まとなく進めてきました。

た太陽電池向けCVD 製造装置の出荷も始まりました。

具体的にいくつか申し上げれば、社員は削減する今後の展開が楽しみです。のではなく、逆に教育投資をして、この機会にワング

一方で、短期的には、「この厳しい状況にあったサレードアップしてもらう。また、日頃忙しくてなかなかイズにするべきものは時間をかけずに対処する」といできない作業効率の見直し等にも取り組んでもらい、う方針で、特に不要不急な費用の削減には経営陣、次の繁忙期に備える準備をする。また、言うまでもな社員一体となって取り組みました。こうした対応によ

く、私たちの生命線は「いかに技術差別化された装り、売上が当初の予定よりも1,200 億円ほど増える置をタイムリーに出せるか」であり、現事業の製品強中、固定費を抑えた経営をすることができました。

化はもちろんのこと、次代の魅力的な技術への挑戦

売上高と研究開発費の推移（億円）
10,000

常に一定の研究開発費を維持8,000

画期的な新プラズマ技術を用いたエッチング装置

6,000（億円）

Tactras® rlSA™ Etch

4,000800

東京エレクトロンは、本製品の市場投入により、エッチング2,000400

分野においてこれまで優位性のあった配線工程プロセスに00010203040506070809

加え、トランジスタ形成工程プロセスを強化していきます。
RLSA: Radial Line Slot Antenna（低電子温度を特徴とする新プラズマ源）

10n 売上高

研究開発費

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Q

マクロ経済の回復とともに、東京エレクトロンの参入している設備投資産業にも活況が戻ってきているようですが、今後の事業環境および産業の成長性をどのように見ておられますか。

A2009 年 8 月ごろより引き合いが戻ってきて、今でディスプレイとして期待される有機 EL 向けの製造装は納期調整に苦労するほどの生産状況です。当社の置等の開発も加速させます。PV（太陽電池製造装置）

事業は人々 の生活や社会インフラに深く影響していは、その事業環境がこの1 年で様変わりしました。一るので、経済が明るさを取り戻してきた今、他産業に部の化合物材料が脚光を浴びる中、結晶系も材料コ比較していち早く復活の兆しを見せています。

スト低減により高い市場シェアを維持しています。当このような状況において、SPE（半導体製造装置）

社はこれまで薄膜シリコン中心に資源を集中して進は今後も技術革新をベースとした成長が期待されるめてきました。薄膜シリコンは製造装置メーカーとしとともに、強者が勝ち弱者が負ける優勝劣敗の時代ての技術力が最も活かせる分野であり、今後も製造となるでしょう。従って、技術差別化を実現するため装置メーカーとして一層の力を入れてまいります。同の投資を今後も最優先で進めます。FPD（フラットパ

時に、太陽電池市場は今後10 年、20 年にわたり成長

ネルディスプレイ装置）
は、中国におけるTV 普及政策が期待される市場です。市場をよく見ながら、当社ににより、当面活発な投資が期待されますが、一方でコとってどのような技術分野、また事業形態が最適なのストダウンも急を要する課題です。また、次世代のかを見極めてまいりたいと思います。

V 字回復した半導体産業（国内）
鉱工業生産指数

140

906,092

851,975160

半導体

120

乗用車
鉄鋼業

673,686100

508,082

418,63780

セメント製品
繊維工業

60
40200

CY06

CY07

CY08

（注）鉱工業生産指数＝2005 年の平均を100とした生産動向を表す指数
出所：経済産業省

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Q

顧客のアジアシフトや寡占化等、東京エレクトロンを取り巻く環境にも変化が見えます。こうした変化にどのように対処していきますか。

A

顧客の設備投資が巨額となり、また技術力にも差ます。以上のような市場変化に対応するために、異が生じてきていることから、今後も継続して大型の2010 年 3 月期におきましては、次のような施策を実設備投資ができる顧客が限られてきています。また、施しました。

同様に、それに対応する製造装置メーカー側でも、よ• エッチング装置事業の強化に向けて、開発・製造り大手に需要が集中する傾向が表れてきています。

を一貫体制とする宮城工場の建設を決定するとと常に最新の装置をタイムリーに提供できる技術力、資もに、洗浄装置事業においても、同様に、佐賀工金力を活かした実力の維持・向上が極めて重要となり場を閉鎖し、開発・製造を合志工場に集約ます。

• RLSA 技術の強化のため、尼崎拠点を閉鎖し、仙一方、最先端の装置を導入するのみならず、一度台拠点への集約を決定設置した装置を改良しながら今まで以上の長きにわ• 一層の顧客密着型の営業・開発体制に再編たり使用していこうという、いわゆるポストセールス• 米国テクノロジーセンターの強化と台湾テクノロ市場も育成されています。これまで市場に出荷した5 万台以上に及ぶ装置が世界中で稼動しており、これは今後の新たなビジネスチャンスと捉えています。いジーセンターの新設• 装 置 販 売 後の事 業 強 化のため、フィールドソリューション・ビジネスユニットを設置

ずれも当社にとりましてポジティブな環境変化と言え研究開発・製造拠点

imec（ベルギー）
imecとの間で液浸露光技術開発
および EUV 露光技術開発におけTokyo Electron korea Solution（京畿道華城市）

先端プロセス開発センター
東京エレクトロン PV（山梨県韮崎市）

TEl Technology center, America

TEl Venture capital（ニューヨーク州アルバニー）（カリフォルニア州フリーモント）

TEl Epionる共同研究が進行中

Timbre Technologies（カリフォルニア州フリーモント）（マサチューセッツ州ビレリカ）

東京エレクトロン技術研究所（宮城県仙台市）

TEl Technology center, Taiwan（台湾新竹市）

imec について
imecは、ナノエレクトロニクスおよびナノテクノロジーに関する研究機関であり、次世代半導体 / 製造装置、なら国内製造・開発拠点
東京エレクトロン AT（山梨県韮崎市）
東京エレクトロン九州（熊本県合志市）
東京エレクトロン東北（岩手県奥州市）

びに要素技術を中心とした研究に取り組んでいます。

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Q

次世代技術および新規分野への取り組みについて、もう少しお話をお聞かせください。

A

半導体技術については、いよいよ微細化のレベルが30nmから20nmとなり、やがて 10nm へというよ
うに究極の技術が求められるようになってきています。このような時代となっても、これまで同様、当社がその先陣となって未知の領域の開拓に挑んでいくことに変わりはありません。液浸を使った2 重露光や造装置については当社独自の装置開発にも一層の力

3 次元積層技術による微細化への対応等、既にいくを入れていきます。国内はもとより、米ニューヨーク

つものアイディアが提案され、日々実現に向けて進歩

州アルバニーにあるナノテクプロジェクトやベルギー

しています。FPD 製造装置の分野においても液晶のにあるimec 等、技術革新については今後も世界中の大型化とともに、次世代のディスプレイと言われる有研究開発インフラを活かして、その実現に向けて最機EL 向け製造装置等の開発の加速、また太陽電池製大の努力を行ってまいります。

新たな可能性のある技術分野

水質浄化
有機 PV

MocVD

バイオセンサー

有機 El

MEMS

電子ペーパー
コア技術

Sic エピ

TSV

先端医療用装置

二次電池
応用技術分野

新技術分野

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MOCVD: Metal Organic Chemical Vapor Deposition
MEMS: Micro Electro Mechanical Systems
SiC: Silicon Carbide
TSV: Through Silicon Via

QA

現在の最も重要な経営課題は何であると考え、どのように取り組んでいかれるのでしょうか。

企業にとって最も重要なことは、「将来にわたる継続的な安定と成長」です。そのためには、いかなる経営環境の変化にも耐えうる強靭な収益基盤を持つことが重要と考えます。当社はまもなく創立50 年を迎えようとしていますが、幸い技術革新が実現され続ける「半導体」という稀有な市場で事業を行っていますの• アジアを中心とした新興装置メーカーに負けないモノ作り力の強化• これらの実現により、差別化された製品を継続的に市場に投入• 新規事業は当社が長年培った製造装置技術を活かせる分野を中心に構築

で、今後もこれを主軸とした次のような事業戦略を• 今後も市場環境の変化には柔軟に対応とってまいります。

こうした戦略を通して収益力を再構築し、数年内に• 成長枠が大きい既存事業分野においては、最大の注力によりポジション向上を達成は過去最高のパフォーマンスの達成を目指したいと思います。

• 製品の差別化に資源を投入し、価値の高い技術革新を実現

Q
A最後に、東京エレクトロンが長期的に目指す姿についてお聞かせください。

当社は夢のある社会の構築、人々の豊かな生活の輝いている会社は、株主様、お客様を始めとする全実現に最も貢献する製造装置メーカーでありたいとてのステークホルダーの皆様にも魅力ある会社と映思っています。お客様から信頼され、期待され続けるることと思います。透明性のあるフェアな経営を心しパートナーとして、また、社会に貢献する企業としてて執り行い、会社を成長させることで企業価値の向の使命感を社員全員と共有し、いきいきと輝き、夢と上を実現し、皆様のご期待に応えてまいりますので、活力のある会社を目指して進んでまいります。社員が今後とも倍旧のご支援を心よりお願い申し上げます。

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