システム製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動X・XYステージ / テーブルサイズ 40×40
Motorized X, XY Linear Stages / Table Size 40×40

実験用Experimental

XA04A-R102

XA04A-R201

ZZ

YA04A-R102-NNR

回転Rotation※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

XA04A-R102

YA04A-R102-NNR(112)

回転Rotation

(97)
(57)

φ3H8 Depth 4mm

Depth 4mm

4-M3 Depth 4mm

裏面Back Side

4-M2 Depth 4mm
裏面Back Side(200)CCW

φ3H8 Depth 4mm

15153.51330
403H83230

40

13
4-M2 Depth 4mm

4-φ2H8 Depth 3mm(200)Depth 4mm

4-M3 Depth 4mm(15)3.5(15)(200)CW
CCW Limit Sensor(3.5)

Home Position

17(20.5)

CW Limit Sensor□30□32(20)4-for M3 screws
Shaft length 3.2mm

17

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

3230

4-φ2H8 Depth 3mm

X・XY
X・XY

ZZ

40
30
13(57)4030
13

3H8(97)(57)

自動精密ステージ
Motorized
Stage30

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

YA04A-R201

アライメントステージ
XYθ(37.5)

X・XY
X・XY

17

手動精密ステージManualStage

□30□324-for M3 screws
Shaft length 3.2mm

真空ステージ
VacuumStage

XA04A-R201

モーター
コントローラ
Motor
Controller

YA04A-R201

(100)

(100)
(60)

4030
134-M2 Depth 4mm

403013
裏面
Back Side

4-M2 Depth 4mm
4-M3 Depth 5mm

裏面Back Side

(200)

CW

CCW Limit Sensor

Home Position
CW Limit Sensor

(24)

□30

24

24
4-for M3 screws
Shaft length 3.5mm

24

付録
Appendix

M3 Depth 5mm

(24)

モーター
ケーブル
Motor
Cable

(200)

(15)

4-M3 Depth 5mm

CCW

(60)

(115)

(200)

モーター
ドライバ
MotorDriver

403013(60)

(15)

アプリ
ケーション
Application133040

ドライバ
ボックス
DriverBox

M3 Depth 5mm

(1)

制御装置
Control
Electronics

4-for M3 screws
Shaft lrngth 3.5mm

アクセサリー
Accessories□30

検査システムInspection
SystemH-008

H.indd 8

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:12

アルミ / クロスローラガイド / 研削ネジ, ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide/ Ground Screw, Ball Screw

産業用
Industrial

型式
XA04A-R102
YA04A-R102-NNR
XA04A-R201
YA04A-R201
Model Number
勝手違い型式※1
XA04A-R102-R
YA04A-R102-RRN
XA04A-R201-R
YA04A-R201-RRR
Mirror Model Number
テーブル面
40mm×40mm
Table Size
案内方式
精密クロスローラガイド
Guide Mechanism
Cross-Roller Guide
移動範囲
±5mm
Motion Range
送り方式
研削ネジ, リード 0.5mm
ボールネジ, リード 1.0mm
Lead Mechanism
Ground Screw, Lead 0.5mm
Ball Screw, Lead 1.0mm
フル/ハーフ ステップ
1μm/0.5μm
2μm/1μm
Full/Half Step
分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.05μm0.1μm
Micro Step (1/20 div)
最高速度
5mm/sec
10mm/sec
Maximum Speed
累積リード誤差≦5μm/10mm≦5μm/10mm≦5μm/10mm≦5μm/10mm
Accumulated Lead Error（AVE. 1.70μm/10mm）（AVE. 1.85μm/10mm）
繰返し位置決め精度≦±0.3μm（AVE. ±0.06μm）≦±0.3μm≦±0.2μm（AVE. ±0.06μm）≦±0.2μm
Repeatability
ロストモーション≦2μm（AVE. 0.45μm）≦2μm≦1μm（AVE. 0.35μm）≦1μm
Lost Motion
水平≦2μm/10mm≦2μm/10mm≦2μm/10mm≦2μm/10mm
Horizontal（AVE. 0.4μm/10mm）（AVE. 0.5μm/10mm）
真直度
Straightness
垂直≦2μm/10mm≦2μm/10mm≦2μm/10mm≦2μm/10mm
Vertical（AVE. 0.39μm/10mm）（AVE. 0.26μm/10mm）
バックラッシュ≦2μm（AVE. 0.51μm）≦2μm≦0.5μm（AVE. 0.16μm）≦0.5μmBacklash
モーメント剛性0.51 arcsec/N・cm
0.78 arcsec/N・cm※31.56 arcsec/N・cm
1.02 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness（AVE. 0.40 arcsec/N・cm）（AVE. 0.31 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
39.2N（4kgf）
34.3N（3.5kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
アルミ合金
Material
Aluminum Alloy
外観
白色仕上げ
FinishClear-Matt Anodizing
自重
0.19kg0.38kg0.28kg0.56kgWeight直交度－≦8μm/10mm－≦5μm/10mm
Perpendicularity
PK513PB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.35A/相，基本ステップ角 0.72°,リード線5本） TS3664N16E2（多摩川精機: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°,リード線5本）
5相ステッピングモーター
PK513PB (Oriental Motor: Phase Current 0.35A, Basic Step Angle 0.72° , 5-Leads)
TS3664N16E2 (Tamagawa Seiki: Phase Current 0.75A, Basic Step 0.72°, 5-Leads)
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径
Φ4mm オプションハンドル：C type
Φ5mm オプションハンドル：A type
Motor Shaft DiameterΦ4mm Conformance option handle: C type
Φ5mm Conformance option handle: A type
コネクタ
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
Connector
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)
ステージ結線タイプ※4V3Stage Wiring Type
センサ基板型式
F-115(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-115R(HOME,LIMIT)
Sensor Model
F-115(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-115R(HOME,LIMIT)
クリーングリス仕様型式
XA04A-R102-C
YA04A-R102-NNR-C
XA04A-R201-C
YA04A-R201-C
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
XA04A-R102-V
YA04A-R102-NNR-V
XA04A-R201-V
YA04A-R201-V
Vacuum Lubricant Model Number※1※2

勝手違い、重ねの組勝手についてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※3

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-026〜N-027ページを参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

実験用Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
XA04A-R201、YA04A-R201はモーター交換ができません。
XA04A-R201, YA04A-R201 are impossible to change the motor.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。 ※対応不可：XA04A-R201,YA04A-R201
2 phase stepper motor is available. ※Not compatible:XA04A-R201,YA04A-R201

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
MotorCable付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 9H-009

2022/09/06 16:12