Tokyo Electron

Annual Report 2011

社長インタビュー&Questions
Answers代表取締役社長

竹中博司

Q 東京エレクトロンが中長期的に目指す姿についてお話しください。
A

以前より半導体は「産業の米」と言われていますが、今や私たちの身の回りのありとあらゆるものに内蔵され、まさに社会基盤や人々の豊かな生活を支えるために必要不可欠な存在となっています。そして、その米を作り出すのが装置技術であり、当社はそのトップメーカーとして人々の夢のある未来の実現に深く関わっていきたいと思っています。また、半導体製造装置技術は幅広く、奥深いものがあり、現在のほとんどのテレビに使われている液晶ディスプレイや近未来の有機 Elディスプレイ、あるいは再生可能エネルギーとして注目されている太陽電池などの製造にも応用できます。そうした科学技術の最前線にある製造装置技術への展開を通して、社会の発展に広く貢献していきたいと考えています。

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半導体製造装置技術の展開
新技術分野
有機 EL ディスプレイ製造装置
太陽電池製造装置
フラットパネルディスプレイ製造装置

半導体製造装置技術

安全設計

テスト

塗布現像洗浄熱処理

自動化

材料加工

コスト開発

センシング

温度制御

クリーン化

流体制御

システム設計プラズマ制御電力制御

低 co2メカトロニクス

Q SPE 事業のさらなる拡大のための重点戦略は何でしょうか。
A

SPE 市場は、今後も技術革新により発展していく市場であり、まずはここでのポジション向上に最大の努力を払いたいと思います。具体的に言えば、コータ/デベロッパが80% 以
上、熱処理成膜装置が60% 以上のシェアを獲得している一方で、エッチャーは30% 、洗浄装置は20%にも満たないポジションにあります。どちらも半導体製造の主要工程に使われる装置で、今後の市場拡大が期待できる分野です。宮城新工場の開設も含め、この 2 分野に開発、設備予算を多めに投入し、確実にその成果を上げたいと思っています。また、既存製品分野の強化に加えて、新規技術分野の事業化にも注力していきます。

市場の伸びが期待される洗浄装置の開発力強化を目的として、東京エレクトロン九州（株）合志事業所内にプロセス評価室が増設されました。

次世代向け微細化プロセスの量
産をターゲットとした枚葉洗浄装
置の最新モデル CELLESTA™ -i

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Q SPE 関連の新規技術分野とは？ もう少し詳しく教えてください。
A

当社独自の新プラズマ技術を用いたエッチャーTactras™ RlSA™ Etchを2010 年市場にリリースいたしましたが、この技術を応用して新たな成膜分野などへの参入も検討しています。
昨今、微細化を極限まで追い求める開発が盛んな一方、複数のシリコンチップを積層させてデバイスを飛躍的に高性能化する技術も研究、開発されています。この 3DI（3 次元チップ積層）技術においても、当社が長年蓄積してきた技術が活かされます。2 〜3 年後には量産適用されると過去 10 年間の研究開発費（億円）見られており、現在製品ラインアップの拡充に努めてい
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541

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0405ます。
また、従来からのウェーハテスト関連でも、お客様からのテストコスト削減のご要求が強く、新たなソリューショ

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501

538600610661800ンの提案に向けて準備を進めているところです。

20000203060708091011

研究開発・製造拠点

Process Technology Center*1

Tokyo Electron Korea Solution

TEL Technology Center, America（京畿道華城市）（京畿道華城市）

SEMATECH（ニューヨーク州アルバニー）

Timbre Technologies

imec（カリフォルニア州フリーモント）（ベルギー、ルーヴェン）

TEL Technology Center, Taiwan

技術開発センター
先端プロセス開発センター
東京エレクトロン PV（山梨県韮崎市）（台湾新竹市）

東京エレクトロン技術研究所（宮城県仙台市）

東京エレクトロンテクノロジーセンターつくば *2（茨城県つくば市）*1：2011 年末 稼働開始予定*2：2012 年春 稼働開始予定

6（ニューヨーク州アルバニー）

TEL Epion（マサチューセッツ州ビレリカ）

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有機 EL ディスプレイに対して、どのようなソリューションを提供してQ いくのですか。

A

すでに従来技術による有機 Elディスプレイ時代は始まっていますが、当社は近い将来の大型テレビや照明への展開を視野に、成膜装置の開発を進めています。独自開発によるより材料効率の高い蒸着装置と、産業用インクジェット技術で高いノウハウを持つセイコーエプソン株式会社との共同開発によるインクジェット方式の成膜装置です。有機 Elは、液晶に比べてより軽量で低消費電力、また、高精彩な色合いを持つ新世代のディスプレイ技術であり、遠からず市場が確立されるものと思われます。液晶で培った大型基板用製造装置技術をベースに、次の有機 El 世代でも差別化技術を提案してまいりたいと思います。

Q アジアの装置サプライヤーの台頭により競争が激化していますが、事業拡大、収益向上に向けてどのように取り組んでいかれますか。
A

近年、技術力が向上してきた韓国を始めとするアジアの装置メーカーの台頭が顕著になっています。そうしたメーカーに対抗し得るのは、やはり常に一歩先を行く技術開発です。幸いにもこの業界は技術革新が続いており、差別化技術があればこそ、将来にわたり当社の高い価値を提供していけるものと思っております。お客様も日々激しい技術競争の中にあり、当社の高付加価値製品をベストタイミングで提供できるのであれば、必ずやパートナーとして選ばれます。韓国の華城市にSPE のプロセス評価センターの設立を決めたのもその理由です。
また、その上で、急務となっているコストダウンを加速させるために、現在中国昆山市にFPD 関連の工場建設を進めています。

中 国 江 蘇 省 昆 山 市 において、中 国 新 会 社
Tokyo Electron（ kunshan ）ltd.の工場建設にあたり行われた起工式（2011.1.18）

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Q 株主還元に対する方針をお聞かせください。
A

常に競争優位性のある技術力を維持、拡大することが当社の成長の源泉です。従って、いかなる状況においても、そのために必要な資金を保持し、重要な開発や知的財産の獲得等に投資していくことが会社の成長を実現するためには最も重要であり、ひいては会社の価値向上にもつながると考えます。
その一方で、変化の激しい市場環境の中でも財務の健全性を保ちつつ、株主の皆様のご支援に報いるためには、どのような還元策が最良かという検討を行ってまいりました。この
たび、配当性向を20% 目途から35% 目途に引き上げたことに加え、配当の原資となる当期純利益の改善もあって、2011 年 3 月期通年の 1 株当たりの配当は114 円となり、前期比で大幅な増配を実現することができました。
今後も健全な事業拡大による企業価値の向上を目指すとともに、株主の皆様への直接還元を増やす努力を行ってまいります。

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東日本大震災からの復旧と対応について2011 年 3 月11 日に発生した東日本大震災により被災された皆様に心よりお見舞い申し上げます。被災地の一日も早い復旧を心よりお祈り申し上げます。

従業員の状況

震災後の対応震災後、全員の無事を確認しました。

サプライヤー

被災地域のサプライヤー約 300 社の状況を速やかに把握し、一生産体制の復旧状況東北地方にある当社の3 製造拠点が被災しました。しかし、損害規模は小さく、2012 年 3 月期第 1 四半期に、全ての工場が通常部供給不安のある部品については対応策を講じています。

• 工程調整、一時的な代替品使用、設計変更等で対応の生産体制に戻りました。
放射能

海外へ出荷する全ての装置、およびパーツの放射能測定を実施しています。
東京エレクトロン東北（奥州市）
熱処理成膜装置• 3月下旬から操業再開
東京エレクトロン宮城（松島町）
エッチャー• 国際航空運送協会（ IATA ）の規定に準拠
青森県

電

今夏、2010 年ピーク比で15%の電力削減を行いますが、開発・秋田県

岩手県• 5月上旬から操業再開
東京エレクトロン宮城（大和町）• 事務棟／開発棟：5月下旬竣工• 製造棟：9月竣工予定
東京エレクトロン技術研究所（仙台市）
RlSA™エッチャー• 3月下旬から操業再開

山形県

力

生産を止めない徹底した措置を講じます。

• 太陽光発電（2000kW ）、ターボ冷凍機等の導入•7 月〜9 月、山梨・仙台地区で輪番休日実施

宮城県

被災地への支援
義援金

福島県復興支援のため、総額 5 億円の義援金を拠出しました。
顧客サポート東北地方

被災顧客工場の立ち上げ支援にフィールドエンジニア100 名〜200 名体制で臨みました。

従業員激励のために、東京エレクトロン東北を竹中社長が訪問（2011.3.25）

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