システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

手動X・XYステージ / テーブルサイズ 160×160
Manual X,XY Linear Stages / Table Size 160×160

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

X・XY
X・XY

YM16A-C1

ClampΦ20（18）1601401109060
40

4-M5 Depth 7mm

1601401109060405-M5 Depth 10mm(3)32ClampΦ20
4-M5 Depth 7mm
5-M5 Depth 10mm

160
140
110
906040

自動精密ステージ
Motorized
Stage

XM16A-C1

（18）

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)YM16A-C1

160
140110906040

回転Rotation

XM16A-C1ZZ
4-M3 Depth 10mm
8-M4 Depth 10mm（35）（95.5）（95.5）
回転
Rotation

8-M4 Depth 10mm
4-M3 Depth 10mm

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

Micrometer HeadMicrometer Head

4-for M5 screws
Shaft Length 4.5mm

□140

26

真空ステージ
Vacuum
Stage

32

アライ
メント
ステージ
XYθ

4-for M5 screws
Shaft Length 4.5mm

□140

制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemD-034

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

32アルミ, 鉄 / クロスローラガイド / マイクロメータセンター押しシステム
製品
SystemProducts

Aluminum, Steel Body / Cross-Roller Guide / Center-Mount Micrometer

産業用Industrial

型式
Model Number

XM16A-C1

YM16A-C1

勝手違い型式※1
Mirror Model Number

XM16A-C1-R

YM16A-C1-RRR

テーブル面
Table Size

160mm×160mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

移動範囲
Motion Range±12.5mm

真直度
Straightness≦2μm/25mm

最小読み取りMinimum Readout

10μm/目盛
10μm/div

手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

モーメント剛性※2
Moment Load Stiffness

0.03 arcsec/N・cm

0.06 arcsec/N・cm水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

196N（20kgf）

166.6N（17kgf）

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重Weight

2.9kg

5.8kg

直交度
Perpendicularity－≦20μm/25mm

駆動方式
Actuator

マイクロメータヘッド（25mm）
Micrometer (25mm)
XM16A-C1-C

YM16A-C1-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

XM16A-C1-V

YM16A-C1-V

勝手違い、重ねの組勝手についてはD-004ページを参照して下さい。
Refer to pageD-004 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.

※2

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number※1

実験用Experimental

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

ZZ

回転Rotation

縦置きZ仕様 Vertical X linear stage customizing

縦置き用ブラケットを用いることで、XステージをZステージとして利用することが可能です。ただし、落下防止のためにステージをZ仕様にする必要があります（無償で対応致します）。Z仕様への改造についてはD-004ページの組勝手表も併せてご覧下さい。標準タイプの縦置きZステージについてはE-016ページをご覧下さい。
X linear stage can utilize as a vertical stage by the use of an option bracket. However, such X linear stage should customize Z-specification(service without charge). Refer to pageD-004 for further information. About the standard vertical X linear stage, refer to page E-016 for further information.
オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい（マイクロメータヘッドはオーバーホール対象外となります）。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information (Micrometer is not included in the overhaul).

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-003ペー
ジを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-003 forfurther information.

 リーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-003
クページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-003 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。
詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システム
Inspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

D-035