自動回転ステージ / テーブルサイズ Φ158

システム
製品
SystemProducts

Motorized Rotation Stages / Table Size Φ158

産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XYZ
Z

RA16A-WH01

回転Rotation

RA16A-WH01

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

CCW

CW
2-for M5 screws
Shaft length 7mm

自動精密
ステージ
MotorizedStage

φ6H8 Depth 6mm

8

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

80

CCW Limit Sensor
Home Position
CW Limit Sensor

裏面
Back Side

80
35

Table matrix

3560(42)

(10)

φ158

4-M6 Depth 10mm

ドライバ
ボックス
DriverBox

80

4-M6 Depth 10mm

85H
φ5Thru4-M4 Depth 10mm
4-M4 Depth 8mm

6

モーター
コントローラ
Motor
Controller

(8)
(1)

制御装置
ControlElectronics

62-for M5 screws
Shaft length 8.5mm

9060(6)140160

アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
VacuumStage

80140175(180.1)

Z
Z

55

6H8

X・XY
X・XY

回転
Rotation

Depth 6mm

110(5.1)

(232)

60
90

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemJ-012

J.indd 12

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/08/31 14:45アルミ / アンギュラベアリング / ウォーム＆ウォームホイール

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Angular Bearing / Worm and Worm Wheel
型式
Model Number
テーブル面
Table Size
案内方式
Guide Mechanism
回転範囲
Angular Range
送り方式
Lead Mechanism
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※1Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)
最高速度
Maximum Speed
累積誤差
Accumulated Lead Error
ロストモーション
Lost Motion
角度再現性
Angular Repeatability
ピッチ誤差
Pitch Error
バックラッシュBacklash
面振れSurface Runout
偏心
Eccentricity
モーメント剛性
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重Weight
5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ※2
Stage Wiring Type
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number※1

産業用
Industrial

RA16A-WH01
実験用
Experimental

Φ158mmアンギュラベアリング
Angular Bearing

手動精密
ステージ
ManualStage±170°
ウォーム＆ウォームホイール 1/180
Worm & Worm Wheel 1/180

X・XY
X・XY

0.004°/0.002°0.0002°ZZ

20°/sec≦0.006°/360°（AVE. 0.0029°/360°）

回転
Rotation≦0.004°（AVE. 0.0024°）≦0.001°（AVE. 0.0003°）

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)≦0.004°/2°（AVE. 0.0012°/2°）≦0.001°（AVE. 0.0001°）

自動精密ステージ
MotorizedStage≦20μm/360°（AVE. 11.68μm/360°）

X・XY
X・XY

≦10μm/360°（AVE. 3.68μm/360°）0.03 arcsec/N・cm（AVE. 0.01 arcsec/N・cm）
588N（60kgf）: 水平, 98N（10kgf）: 垂直
588N (60kgf): horizontal, 98N (10kgf): vertical
アルミ合金
Aluminum Alloy
白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

ZZ

回転Rotation

5.4kg
スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

C090P-9015P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
C090P-9015P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

Φ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle: A type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

アライ
メント
ステージ
XYθ

V3

真空ステージ
Vacuum
Stage

F-115(HOME,LIMIT)
RA16A-WH01-C

制御装置
Control
Electronics

RA16A-WH01-V※2

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable付録Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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