東京エレクトロン アニュアルレポート 2014

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CEO インタビュー

Fueling growth
opportunities

Q&A

哲郎

代表取締役会長 兼 社長
最高経営責任者（CEO）

事業へ経営資源の集中を図り、収益性の改視野に経営基盤の一層の強化を図りまし

善、財務体質の強化に取り組みました。そた。太陽光パネル製造装置事業からの撤退

して、次の 50 年の経営基盤強化のため、アや研究開発拠点の集約のほか、電子部品・プライド マテリアルズとの経営統合とい情報通信機器事業についても、当事業を運う大きな決断をいたしました。今後はこの営する東京エレクトロン デバイスの当社

事業基盤の強化を糧に一層の事業成長を実

保有株式数を減らし、連結子会社から持分現し、会社の成長を通じて皆さまへの利益法適用関連会社に変更するなど、当社のコ還元を果たしていく所存です。

ア事業である半導体および FPD 製造装置して、戦略的、財務的な目標を意欲的に掲Question 2
アプライド マテリアルズとのげ、達成することができると確信しており経営統合を決断された目的・ます。

背景についてお聞かせください。

半導体およびディスプレイ業界は、高度情報通信ネットワーク社会の発展により、今後

Technological innovation createsvalue for stakeholders

東して、今後のさらなる成長と持続的発展を

昨年 9 月、次の半世紀に向けたさらなるも事業成長の機会が飛躍的に増大すると同成長を視野に、半導体およびディスプレイ時に、世界中のすみずみに至るまでネット製造装置業界における「 グローバル・イノワークが拡大するための基幹産業として、そベーター」となることを目指し、アプライの役割と重要性も高まっております。一方

ド マテリアルズとの経営統合を発表しま

で、世界中の人がその恩恵を享受するには、した。本経営統合は、今後 50 年またそれ以それを支える高度の技術革新と徹底的なコ降を形作る大きな一歩であり、両社が協力スト削減が喫緊の課題となっております。

ます。他方で、事業再編やアプライド マテ

Question 12014 年 3 月期は、リアルズとの経営統合など、「 今後の経営基東京エレクトロンの経営戦略に盤確立 」という観点においては、次の 50 年おいて、どのような意味をもつを見据えた新たな変革への挑戦と位置づけ一年でしたか？

られる大きな意味をもつ年でありました。
半導体が産業のコメと呼ばれて長らく経2014 年 3 月期は、東京エレクトロンにちますが、今もなお、半導体の果たす役割とって、創業 50 周年という大きな節目の年とその重要性は高まるばかりです。当社はでありました。この期に 194 億円もの当期こうした社会の基盤を支える半導体および純損失計上という結果となったことに対フラットパネルディスプレイ（FPD）製造装し、株主の皆さまには深くお詫び申し上げ

置市場におけるリーディングカンパニーと経営統合発表の記者会見（ 2013 年 9 月 24 日）
当社の東会長 兼 社長 CEO（左）とアプライド マテリアルズのゲイリー・ディッカーソン社長 兼 CEO（右）東京エレクトロン アニュアルレポート 2014

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この意味において半導体業界は、未だかつてすことにより画期的な技術革新を生み出し、お客さまが直面する高次元の技術課題

Question 4
東京エレクトロンの半導体製造ニング技術などの新しい技術革新の潮流がないほどの大きな変革点（Inflection Point）に立っていると言えます。

をより迅速に効果的に低コストで解決する装置事業の成長戦略について

当社は、こうした新しい技術に対応した世界で半導体およびディスプレイ業界をことで、両社のさらなる成長を実現できるリードする両社がともに手を携え、両社のとともに、業界全体の発展にも大きく貢献お聞かせください。

相互に補完し合う技術と製品の強みを活かできると確信しております。

生まれています。
（図 1）
製品開発で強固なマーケットポジションを築いています。微細なパターン形成には、半導体業界は歴史的に見てもかつてない欠陥低減機能を付加したコータ / デベロッ

ほど重要な変革点（Inflection Point）を迎パ、ナノスケールの成膜と高生産性を同時えつつあります。半導体はムーアの法則にに実現する ALD 成膜装置、パターン倒壊を沿って微細化を繰り返すことで、今日まで抑制した枚葉洗浄装置などの製品で差別化発展し続けてきました。一方、微細化が物を図り収益を拡大しています。また、3 次元

理的な限界に近づくにつれて、これまでのトランジスタや 3D NAND フラッシュメモ

Question 3
今後の半導体製造装置市場のらゆる分野において期待されています。

技術の延長線上だけでは解決できないさまリなどの新構造の半導体デバイスの生産にネットワークという社会インフラは、こうざまな技術的な課題に直面しています。こ

成長をどのように考えているのか

おいても、低ダメージを特長とするエッチした新たな製品・サービスの広がりによりのような状況を解決するために、従来からング装置やドライ洗浄装置などで高い評価お聞かせください。また、成長の価値が増し、価値が増すことでさらに利用の 微 細 化 技 術 に 加 え、3D NAND フ ラ ッを得ています。

牽引役となるのは何でしょうか？

されるという新たな拡大サイクルに移行しシュや STT-MRAM（磁気メモリ）などの次今後もこうした技術的な変革点をビジネつつあります。その潜在市場の規模は計り世代メモリをはじめ、FinFET と呼ばれる 3ス拡大の好機と捉え、新しい技術に対応し知れません。

昨 年、「2017 年 に は 人 類 の 半 数 が イ ン

次元構造のトランジスタ、先端パッケージた製品をタイムリーに市場投入し、お客さターネットに接続し、世界の IP トラフィッ

このような膨大なデータ通信を可能とす

ング技術、また既存の露光技術を用いたままの求める技術革新を一段と加速させるこク（ネットワーク上で送受信されるデータ）

るネットワークの構築やモバイル端末の発ま、エッチングや成膜技術の応用により微とで、さらなる成長につなげたいと考えて量は年間 1.4 ゼタバイト * に達する。これは展には、その根底を支える半導体のさらな細パターンの形成を実現するマルチパターいます。

イ ン タ ー ネ ッ ト が 誕 生 し た 1984 年 か らる進化が不可欠であり、半導体製造装置2012 年までの累計トラフィック量の 1.2メーカーの果たす役割は以前にも増して重ゼタバイトを、単年で上回ることになる 」

要となっています。高速化・大容量化・低というシスコシステムズ社の調査報告が業消費電力化などの性能向上はもちろんのこ界を賑わせました。デジタルネットワークと、コスト低減を可能とするブレイクス

社会は、ゼタバイト時代到来という、新たルー技術が求められています。今後も高度な拡大期を迎えようとしています。

情報通信ネットワーク社会の新時代の発展に貢献する革新的な先端技術を生み出し続ターネット）という言葉が注目を浴びつつけることで、半導体製造装置市場は継続的ありますが、さまざまなモノがインターに成長していくと確信しています。

ネットに接続され、膨大な情報を高度に利* 1.4 ゼ タ バ イ ト：DVD の 枚 数 で 表 す と 3,620 億 枚 に用した新しい製品・サービスの拡大が、あ相当するデータ量多岐にわたる技術開発が次世代メモリ

光配線

半導体の進化を支え、半導体製造装置市場を牽引する

More than Moore

近年、Internet of Things（モノのイン先端パッケージング

図 1：

新材料 / 新構造

ウェーハ大口径化
TSV/WLP

フリップ
チップ

450 mmReRAM
STT-MRAM

3D NAND

カーボン材料

Ge/III-V チャネル
FinFET 3 次元トランジスタ
DSA

EB 描画

EUV
マルチパターニング

More Moore

パターニング東京エレクトロン アニュアルレポート 2014

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Question 5
FPD 製造装置事業の今後の技術を応用したエッチング装置を市場投入展望についてお聞かせください。

本に在住するということは大きな意味を持し、大型基板向けの装置市場で優位性を築Question 6
アプライド マテリアルズとのつと考えています。最高経営責任者が、東いています。

経営統合で異なる企業文化を京エレクトロンの会社運営や企業文化をよどのように融合していくのでく理解することが、新会社を成功させる上しょうか？

で重要であることは間違いありません。

また、次世代ディスプレイとして注目さスマートフォン、タブレットなどのモバれている有機 EL についても、現在のモバイ

イル端末向け中小型ディスプレイの設備投ルに加え、近い将来には大型テレビまで用資に加えて、中国での大型パネル向け設備途が拡大していくと考えています。当社は、この大規模かつクロスボーダーの経営統業運営の基礎となる新会社のコーポレート投資が活発化しており、FPD 製造装置市場2014 年から第 8 世代基板対応の有機 EL パ合を成功させるには、お互いを良く理解す「 ミッション 」・「 ビジョン 」・「 バリュー」

は好調に推移しています。スマートフォン、ネル製造用インクジェット描画装置の販売ることが極めて重要であると考えています。の策定を進めています。新会社の目指す方

4K テレビをはじめとする先端機器に求めを開始しました。本装置は材料の使用効率

経営統合完了直後から最適な会社運営を行向性や価値、ありたい姿を社員に示し、行られるディスプレイ技術はより高度になが従来の蒸着方式に比べて極めて高く、テうために、経営統合発表後間もなく両社に動原理や仕事の動機づけを共有することり、ディスプレイを駆動する TFT（薄膜トラ

レビ用パネルの大型化や低コスト化の実現よる統合準備チームを立ち上げました。両で、これまで別々の会社であった両社の社ンジスタ）には、高精細、高画質、低消費電に大きく寄与できると考えています。今後社の各部門が定期的に話し合いを実施し、員が、グローバル・イノベーターになると力などの性能向上を実現するために、低温もフレキシブルディスプレイやウェアラブ

お互いのビジネスのやり方がどうであるのいう一つの目標に向かって歩み寄れるもの

ポ リ シ リ コ ン（LTPS）や 酸 化 物 半 導 体ル端末などディスプレイの用途は多様化しかを相互に理解することで、最適な会社運と確信しています。世界的に見てもこれは（IGZO）の採用が進んでいます。当社は、こていくとともに、美しさを求める技術の進営の実現が可能になると確信しています。

素晴らしいと言われるような企業文化の枠うした技術変化に対して、新しいプラズマ化は続いていくと思います。

同様の視点から、新会社の最高経営責任者組みを策定し、両社の社員が一丸となってとなるゲイリー・ディッカーソン氏が、日経営統合を成功させたいと考えています。

Question 7
アプライド マテリアルズとの還元を大幅に向上することができると考え経営統合により株主還元や月以内に 30 億米ドル相当の自社株買いを配当に関する考え方は行う予定で、統合によるシナジー効果と合どのようになりますか？

わせて、初年度より 1 株当たり当期純利益

また、両社の良い部分を取り入れて、事ています。また、新会社は統合完了後 12 カの向上を見込んでいます。また、株主重視

本経営統合により両社が一体となることの経営は新会社においても最高位のプライで、より競争力のある製品を生み出し、よオリティの一つとして意識し、今後も一層り多くの利益を創出することにより、株主の株主価値向上に取り組んでいきます。