MOTORIZED STAGES□30 小型ステージ
ALS-301-HM / ALS-3050-CT / ALD-301-HM / ALD-3050-CT / ALD-3050-CT-R
ALZ-301-HM / ALV-3005-HM / ARS-336-HM

取扱説明書
このたびは、当社製品をお買い上げいただき、まことにありがとうございました。
この取扱説明書をよくお読みのうえ、製品を正しく安全にお使いください。
お読みになったあとも大切に保管し、必要なときにご活用ください。

□30 小型ステージ

この取扱説明書について
この取扱説明書は、□30小型ステージの全機種を一冊にまとめて解説してあります。
「設置方法」（P.7）などについては、機種によって方法が一部異なりますので、お使いの機種をご確認の上、該当する項目をご覧になってください。また、文章や説明図は、代表例として類似した形式のものが使われている場合がありますが、内容や手順については同様です。

目次
1

特長 .................................................................................................................. 32

付属品 .............................................................................................................. 33

使用上のご注意 ................................................................................................ 44設置方法 ........................................................................................................... 7

1. 設置上のご注意 ........................................................................................... 72. X / XYステージの設置 ................................................................................ 73. 回転、Z 、Z昇降ステージの設置 ................................................................ 85主な仕様 ........................................................................................................... 9

1. ステージ仕様 ............................................................................................... 92. モータ仕様（モータ単体）........................................................................... 17
3. モータ内部結線 ......................................................................................... 174. コネクタ結線仕様 ...................................................................................... 18
5. センサ仕様 ................................................................................................. 20
6. リミット、原点信号の動作論理 ................................................................ 20
6コントローラとの接続と設定 ........................................................................ 20

1. 接続方法 .................................................................................................... 21
2. コントローラの設定 .................................................................................. 22
3. 表示単位の設定 ......................................................................................... 237

保証と修理 ..................................................................................................... 242□ 30 小型ステージ

1 特長
小型・軽量・薄型
チャンバなど狭い場所への組み込みが容易です。

高精度・高性能
小型・軽量にもかかわらず、従来のステージと同等の高精度・高性能を誇ります。

高度な制御が可能□30小型ステージは、専用コントローラと組み合わせることにより、簡単な操作で高度な制御が可能となります。

豊富な品揃え□30小型ステージは、X（2種）、X･Y（3種）、Z（1種）、Z昇降（1種）、回転（1種）の8種類をラインアップ。使用目的に合わせた選択が可能です。

センサ□30小型ステージには、機種によって異なる2 種類のセンサを採用、ALS-3050-CT, ALD3050-CT, ALD-3050-CT-R, ALV-3005-HMには「フォトセンサ」、ALS-301-HM, ALD-301HM, ALZ-301-HM, ARS-336HMには「ホールICセンサ」を使用しています。また、すべての機種に「リミットセンサ」、または「原点センサ」を内蔵しています。
専用コントローラからの指示により、原点センサを持たない機種においてもリミットセンサを原点センサとして使用することで簡単に、素早く正確な原点復帰を行うことができます。

本製品には20mm角の小型モータを使用しています。このモータは電流仕様が0.35A/相です。0.75A/相を駆動させていた従来のコントローラでは、駆動させることはできません。誤って0.75A/相で本製品を駆動させるとモータが発熱し、破損する恐れがあります
ので、十分にご注意ください。

2 付属品
本製品には下記のものが付属品として同梱されています。開梱時にすべてのものが揃っているかご確認ください。

六角穴付きボルト（固定用）
ALS-301-HM （M2）..................................... 4本
ALS-3050-CT （低頭 M2.5）.......................... 6本
ALD-301-HM （M2）..................................... 4本
ALD-3050-CT （低頭 M2.5）.......................... 6本
ALD-3050-CT-R （低頭 M2.5）.......................... 6本
ALZ-301-HM（M2）..................................... 2本
ALV-3005-HM （M2）..................................... 3本
ARS-336-HM （M2）..................................... 3本
接続ケーブル（3050シリーズのみに付属）
ALS-3050-CT （2m）..................................... 1本
ALD-3050-CT （2m）..................................... 2本
ALD-3050-CT-R （2m）..................................... 2本

3□30 小型ステージ

3 使用上のご注意
衝撃を与えないでください
本製品は精密部品で構成されています。衝撃を与えたり、他の機器から振動の悪影響を受ける恐れのあるところで使用しないでください。保証された精度内の動作が行えなくなります。

分解や改造をしないでください
本製品は精密に調整されていますので、分解や改造は絶対に行わないでください。故障や動作不良の原因になります。分解や改造を起因とする精度低下や故障が発生した場合、保証が適用できなくなります。改造や追加工が必要な場合には、当社営業部までご相談ください。

ステージ面に他の器具を取り付ける時は①本製品のステージ面に別の器具などを取り付ける場合は、取り付けネジの長さに注意してください。使用ステージにより異なりますが、取り付け器具の底面から3〜4mmでご使用ください。長すぎる場合、破損の原因となりますので注意してください。

3〜4mm

ステージ面に他の器具を取り付ける時は②本製品のステージ面に別の器具などを取り付ける場合
は、移動部に無理な力がかからないように移動部をしっかり固定した状態で取り付けを行ってください。移動部を固定しないで力をかけると、精度に影響したり破損する場合がありますので、ご注意ください。

4□ 30 小型ステージ

磁気記録媒体を近づけないでください
ステージに使用されているモータには強力なマグネットが使われています。磁気記録媒体をステージに近づけないでください。データを破損する恐れがあります。

使用環境にご注意ください
温度の極端に高いところや低いところ、温度の変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでは使用しないでください。本製品は、周囲温度10〜40℃／湿度20〜80％
RHでご使用ください。

10℃〜40℃

移動中のステージに触れないでください
コントローラによる操作を行っているときは、移動中のステージに触れたり、手動ハンドルに触れたりしないでください。
正確な動作ができなくなり、故障や動作不良の原因となります。また、指などを巻き込みけがをする恐れがあります。
使用中モータは発熱しています。火傷の恐れがあります
ので、モータには触れないよう十分ご注意ください。

本製品のモータ電流仕様は0.35A/相です
本製品のモータ電流仕様は0.35A/相です。0.75A/相を駆動させていた従来のコントローラでは、駆動させることは出来ませんので十分にご注意ください。誤って0.75A/相で本製品を駆動させるとモータが発熱し、破損する恐れがあります。

異常が発生したら使用中に異音・異臭・発煙などが発生した場合は、すぐに使用を中止し、コントローラ（ドライバ）の電源をOFFにして、お買い上げの販売店または当社営業部までご連絡ください。

5□30 小型ステージ

ALS-3050-CT, ALD-3050-CT, ALD-3050-CT-Rケーブルの取り扱いについてのご注意
3050シリーズの接続ケーブルは、ステージ側の接続部でリード線が露出してコネクタに接続されています。
リード線は切れやすいためケーブルの取り扱いには十分注意してください。
● ケーブルに無理な力を加えたり、引っぱったりしないでください。
● ステージを移動させるのに十分なゆとりを持たせて、ケーブルを設置してください。
● ステージ側のコネクタは図の位置に2か所あります。向かって左がモータ用結線（5ピン）、右がセンサ用結線（6ピン）です。コネクタが外れたときは、コントローラの電源をOFFにして、コネクタを正しい位置に差し込んでください。

6□ 30 小型ステージ

4 設置方法1. 設置上のご注意● ステージはしっかりとした作業台などに、ねじで設置してください。
● 取付穴の間隔、位置、ねじの数は機種によって異なります。主な仕様（P.9）
を参照して、設置面にあらかじめねじ穴加工などを施してください。
● ステージを設置する面の平面度が悪いと、性能を十分に発揮できないだけでなく故障や動作不良の原因にもなります。設置面の精度には十分配慮してください。
● 設置面とステージ裏面のゴミの付着や傷にご注意ください。
● ステージ設置の際、手動でステージを移動させたときは、設置終了後必ず手動でステージを中央付近に戻してください。移動したままの状態では、リミットセンサの検知範囲外になっている場合があり、そのままモータ駆動を行うと故障や誤動作の原因となります（回転ステージを除く）。

2. X / XYステージの設置
Xステージを設置する場合は、ステージを図のように移動させ取付穴が見える状態にして行います。X･Yステージの場合も同様に、下側の軸を移動して行います。

締め付け順序BDCA
A → B → C → D の順序で徐々に締め付けます。3050シリーズの場合は、低頭ねじ6本を使用して、同様に離れた対角線上のねじを締めてください。

ALS-301-HM, ALD-301-HM

注意
最後の締め付けは確実に行ってください。

ALS-3050-CT設置を行う際のステージの移動についてステージの移動は、ハンドルを回して手動で行う方法と、コントローラ制御によるモータ駆動で行う2つの方法があります。
注意 ●手動でステージを移動する場合は、必ずドライバの電源を切ってください。ドライバの電源を入れたまま手動ハンドルを回すと、故障や動作不良の原因となります。
●自動でステージを移動する場合は、指や工具を挟まないように注意してください。故障や動作不良の原因となるばかりではなく、けがをする恐れがあります。

7□30 小型ステージ

3. 回転、Z、Z昇降ステージの設置
図のようにすべての取付穴をねじで固定します。
ARS-336-HMは3か所、ALZ-301-HMは2か所、ALV-3005-HMは3か所の取付穴があります。
各ねじを順番に少しずつ締め付けます。

注意
最後の締め付けは確実に行ってください。

ARS-336-HM

ALV-3005-HM

ALZ-301-HM

8

□ 30 小型ステージ

5 主な仕様1. ステージ仕様
ALS-301-HM

製品番号（型式）
移動方向

X軸1方向

移動量

±7.5mmステージ面

30mm×30mm

使用モータ

PK513PB 相当（5線式ペンタゴン結線）
0.001mm

分解能0.5mm

送りねじリード

V溝とクロスローラ

移動ガイド0.008mm

真直度（水平・垂直）
位置決め精度

0.015mm

繰り返し精度±0.0005mm
0.005mm

ロストモーション

19.6N（2kgf）

耐荷重

0.16kg

質量8mm/s（8,000pps時）

最高速度

アルミ合金

材質

ALS-301-HM
150

12 12

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

30

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

4-2.5ｷﾘ,4.3深ｻﾞｸﾞﾘ

23

20

132

24

φ1824

30

ｺﾈｸﾀ

92.5

1834.56-M2深ｻ5924

□30 小型ステージ

ALD-301-HM

製品番号（型式）

X・Y軸2方向

移動方向±7.5mm

移動量
ステージ面

30mm×30mm

使用モータ

PK513PB 相当（5線式ペンタゴン結線）
0.001mm

分解能0.5mm

送りねじリード

V溝とクロスローラ

移動ガイド0.008mm

真直度（水平・垂直）
位置決め精度

0.015mm

繰り返し精度±0.0005mm
0.005mm

ロストモーション
耐荷重

14.7N（1.5kgf）

質量0.32kg8mm/s（8,000pps時）
最高速度

アルミ合金

材質

0.01mm

XY直交度

ALD-301-HM

ｺﾈｸﾀ

4131

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

20

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

150

φ186-M2深ｻ524

ｺﾈｸﾀ

φ1812 12

30

92.5

150

手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

2436

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

30

23

20

132

18

18

97

10

4-2.5ｷﾘ,4.3深ｻﾞｸﾞﾘ24

□ 30 小型ステージ

ALZ-301-HM

製品番号（型式）
移動方向

Z軸1方向

移動量

±7.5mm
30mm×30mm

ステージ面

PK513PB 相当（5線式ペンタゴン結線）

使用モータ

0.001mm

分解能

0.5mm

送りねじリード

V溝とクロスローラ

移動ガイド0.008mm

真直度（水平・垂直）
位置決め精度

0.015mm

繰り返し精度±0.001mm

ロストモーション

0.005mm

耐荷重

9.8N（1kgf）

質量0.18kg
5mm/s（5,000pps時）
最高速度

アルミ合金

材質

ALZ-301-HM
242-2.5ｷﾘ,4.3深ｻﾞｸﾞﾘ

ｺﾈｸﾀ

150

φ18
手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

2092.5

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

21530
12 126-M2深ｻ62430

1834.511121533

□30 小型ステージ

ALV-3005-HM

製品番号（型式）

Z軸1方向

移動方向

0〜5mm

移動量
ステージ面

30mm×30mm

使用モータ

PK513PB 相当（5線式ペンタゴン結線）
0.001mm

分解能0.5mm

送りねじリード

V溝とクロスローラ

移動ガイド0.005mm

真直度（水平・垂直）
位置決め精度

0.020mm

繰り返し精度±0.002mm
0.005mm

ロストモーション
耐荷重

9.8N（1kgf）

質量0.20kg
3mm/s（3,000pps時）
最高速度

アルミ合金

材質

ALV-3005-HM
150
24

12 12ｺﾈｸﾀ

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ301121
24.8
0.5

27.5～32.5
3.3

100

1224

φ1830

12 128-M2深ｻ43-2.5ｷﾘ,4.3深ｻﾞｸﾞﾘ□ 30 小型ステージ

ARS-336-HM

製品番号（型式）

回転方向

移動方向
移動量

360°

ステージ面

φ30mm

使用モータ

PK513PB 相当（5線式ペンタゴン結線）

分解能

0.015°

移動ガイド

深溝玉軸受

心振れ

0.02mm

面振れ0.06mm

位置決め精度0.18°

繰り返し精度±0.003mm
0.02°

ロストモーション
耐荷重

19.6N（2kgf）

質量0.18kg
75°/s（5,000pps時）
最高速度

アルミ合金

材質

ARS-336-HM

330

30

086
手動ﾊﾝﾄﾞﾙ

φ18

ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ

M6深ｻ6.5

152437.5

154-M2深ｻ4.5

243-2.5ｷﾘ,4.3深ｻﾞｸﾞﾘ

ｺﾈｸﾀ

442222025φ3013□30 小型ステージ
製品番号（型式）
移動方向

ALS-3050-CT

ALD-3050-CT

ALD-3050-CT-R

X軸1方向

XY軸2方向

XY軸2方向

±25mm

移動量
ステージ面

30mm×30mm

使用モータ

PK513PB相当（5相ペンタゴン結線、0.35A/相）
0.002mm

分解能1mm

送りねじリード
移動ガイド

ボールウェイ

移動精度

真直度（水平・垂直）0.015mm

位置決め精度

0.020mm

繰り返し精度±0.001mm
0.007mm

ロストモーション
XY直交度

ー0.010mm

耐荷重

19.6N(2kgf)

14.7N(1.5kgf)

質量0.27kg

最高速度
主要材質/表面処理

0.55kg16mm/s（8000pps時）
ステンレス/低温黒色クロムメッキー

原点センサ
リミットセンサ
適合ケーブル

ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、B接点）動作、フォトセンサ専用ケーブル（ACB-STT2）付属

ALS-3050-CT

14□ 30 小型ステージ

ALD-3050-CT

15□30 小型ステージ

ALD-3050-CT-R

16□ 30 小型ステージ

2. モータ仕様（モータ単体）
項目

仕様モータ型式

PK513PB相当

励磁最大静止トルク

0.022 N・m

定格電流0.35 A／相

巻線抵抗3.5Ω／相ロータ慣性モーメント2.6 gcm2

質量0.05 kg

モータ構造

ハイブリッド型

巻線相数

5相ステップ角

フルステップ 0.72゜ハーフステップ 0.36゜

静止角度誤差±0.17°

絶緑抵抗

常温常湿においてモータのコイルケース間をDC500Vメガーで測定した値が100MΩ以上あります。

絶縁耐圧

常温常湿においてモータのコイルケース間に50Hz 0.5kVを1分間印加しても異常を認めません。

絶縁階級

UL / CSA規格：A種絶縁

温度上昇

／

IEC規格：B種絶縁

常温常湿において定格電流で5相励磁・静止状態のとき80℃以下（抵抗法）

使用温度範囲

−10℃〜＋50℃

有害物質

RoHS
（EU指令 2002/95/EC 27 Jan. 2003）適合※静止角度誤差：フルステップ（0.72゜）無負荷時の値（負荷により変動します）※本モータはオリエンタルモーター社製の当社専用仕様品です。

3. モータ内部結線
モータの内部結線は5線式ペンタゴン結線です。

青A相

D相
黒赤

B相C相

緑

E相

橙17□30 小型ステージ

4. コネクタ結線仕様
ALS-301-HM, ALD-301-HM, ALZ-301-HM, ALV-3005-HM, ARS-336-HM
コネクタの結線は以下のとおりです。機種によって内蔵されるセンサが異なりますので、センサが無いピン（No.7、8、10のいずれか）には結線されていません。
センサの有無とその動作論理
ステージの種類
Z昇降ステージ（ALV-3005-HM）
回転ステージ
その他のステージ

原点センサ（No.10）−

リミットセンサ（No.7,8）

N.C.

N.O.

−

−

N.O.

（N.C.：ノーマルクローズ ／ N.O：ノーマルオープン ／−：装備なし）

モータ

PK513PB相当（オリエンタルモーター製）

コネクタ

RP17-13PA-12PC（ヒロセ電機製）

ピンNo.
123456789101112青赤
橙緑
黒−（CCW）方向リミットセンサ
GND
OUT
Vcc

原点センサ
GND

内容
モータ線
モータ線
モータ線
モータ線
モータ線
センサ Vcc 4.5V〜16V（※1）＋（CW）方向リミットOUT （※2）−（CCW）方向リミットOUT（※2）
センサ用コモン（GND）
原点センサOUT（※3）
保守用
保安用フレームグランド※1 : ALV-3005-HMは、Vcc 5V〜24V。
※2 : 回転ステージには、リミットはありません。
※3 : 回転ステージ以外には、原点センサはありません。
リミットセンサを原点としてご使用ください。

OUT
Vcc

＋（CW）方向リミットセンサ
GND
OUT
Vcc

注意 ●ステージとコントローラの間のケーブルは3m以内にしてください。
●リミットOUT、原点センサOUTはコントローラ側においてフォトカプラ等でのアイソレーションを推奨します。

18

□ 30 小型ステージ

ALS-3050-CT, ALD-3050-CT, ALD-3050-CT-Rコネクタの結線は以下のとおりです。

コネクタ：D02-M15PG-N-F0（日本航空電子工業製）
フード：XM2S-0911（オムロン製）

ALS-3050-CT

15 10 5ケーブル長 2m

5相ステッピングモーター
PK513PB相当(オリエンタルモーター製)

11No.
1
234
567891011121314
15

1

内容
モータ線 黒モータ線 緑モータ線 橙モータ線 赤モータ線 青センサ Vcc 5V〜24V
保守用
センサ用コモン（GND）−（CCW）方向リミットOUT＋（CW）方向リミットOUT
保安用フレームグランド
保守用
保守用
N.C.
保守用（ノーマルクローズ）です。
● リミットセンサの動作論理は、「N.C.」● 原点センサはありません。リミットセンサを原点としてご使用ください。
● ステージとコントローラ間のケーブルは3m以内にしてください。
● リミットOUTは、コントローラ側においてフォトカプラ等でのアイソレーションを推奨します。
● 7番、12番〜15番ピンに配線をして使用しないでください。

196□30 小型ステージ

5. センサ仕様● 本製品には、ストロークエンドのリミットセンサ、または原点センサが内蔵されています。
● 本製品に使用されているセンサは、機種によって異なります。
ALS-3050-CT, ALD-3050-CT, ALD-3050-CT-R, ALV-3005-HMにはフォトセンサ、ALS-301-HM, ALD-301HM, ALZ-301-HM, ARS-336HMにはホールICセンサが使用されています。
● 原点センサの位置は固定で、移動することはできません。標準以外の原点位置が必要な場合には、コントローラによる原点復帰オフセットを利用するか、原点復帰の後必要な位置までステージを移動し、その位置を原点とするようにしてください。
● 原点復帰速度が速すぎると、原点信号を感知できず原点復帰が正常に行われない場合があります。その場合は、原点復帰速度を下げてください。
ホールIC：+4.5〜16V
フォトセンサ ：+5〜24V

ALS-3050-CT, ALD-3050-CT
ALD-3050-CT-R, ALV-3005-HM

機種

出力形態
オープンコレクタ
センサ電源電圧（Vcc） 5V〜24V
センサ消費電流（Icc） 30mA（センサ1個当り）
最大電圧（Vo）
30V
最大電流（Io）
50mA

ALS-301-HM, ALD-301-HM
ALZ-301-HM, ARS-336-HM
オープンコレクタ

4.5V〜16V
10mA（センサ1個当り）
16V（ただし、センサ電源電圧（Vcc）を越えないこと）
20mA

注意 ●ホールICは磁力で動作します。ステージの周辺に強い磁力を発生するものがあると誤動作の原因となることがあります。ALS-301-HM, ALD-301-HM, ALZ-301-HM, ARS-336HMを使用する場
合はご注意ください。
●回転ステージ以外のステージは、手動ハンドルでステージを移動させるとリミットセンサの範囲を超えてしまう場合があります。手動でステージを移動して、リミットセンサの範囲を超えた場合は、必ずステージを移動中心付近に移動させてから、モータ動作を行ってください。

6. リミット、原点信号の動作論理
ALS* / ALD* / ALZ
ALV / 3050シリーズ
ARS

リミットセンサ

原点センサ

N.O.
N.C.

−

−

N.O.

−

N.O.：ノーマルオープン ／ N.C.：ノーマルクローズ

6 コントローラとの接続と設定
20● 回転ステージには、リミットはありません。
● 回転ステージ以外には、原点センサはありません。
リミットセンサを原点としてご使用ください。

*3050シリーズを除く

□ 30 小型ステージ

1. 接続方法□30小型ステージは、当社製の専用コントローラQT-ADL1-35 / QT-ADM2-35 / QT-ADM3-35 / QT-AMH2A-35のいずれかと組み合わせてご使用ください。

注意● 上記以外のコントローラを使用すると、故障の原因となるばかりでなく、発熱、発煙、発火など重大な事故の原因となりますので、十分にご注意ください。
● 当社製であっても従来製品は、ドライバ駆動電流が異なるため使用することができませんので、ご注意ください。
当社製コントローラとの接続を示します。お客様の仕様に合わせてご購入ください。万が一、間違って購入された場合には、速やかに当社までご連絡ください。

QT-ADL1-35

ALS-301-HM

ACB-STS2
QT-ADM2-35
ケーブル長2m

QT-ADM3-35
QT-AMH2A-35

ALS-3050-CT

ACB-STC-D3

製品名
1軸コントローラドライバ（0.35A／相）2軸コントローラドライバ（0.35A／相）3軸コントローラドライバ（0.35A／相）高機能2軸コントローラドライバ（0.35A／相）
接続ケーブル（2m）
ドライバ側切り離しケーブル
（3m）

製品番号

QT-ADL1-35
QT-ADM2-35
QT-ADM3-35
QT-AMH2A-35
ACB-STS2
ACB-STC-D3※ コントローラと組み合わせて使用する操作ボックスなどを用意しております。当社カタログをご参照ください。
※ ステージの軸数に合わせて、コントローラ・ドライバの台数および接続ケーブルの本数をご選定ください。

21

□30 小型ステージ

2. コントローラの設定
本製品のセンサ論理は以下のとおりです。QT-Aシリーズコントローラで動作させる場合、リミットセンサ、原点センサのセンサ論理を合わせる必要がありますので、ご注意ください。
コントローラの設定については、QT-Aシリーズコントローラに付属の取扱説明書も併せてご覧ください。

■ ステージのセンサ論理
ステージの種類

リミットセンサ

ALS* / ALD* / ALZ （*3050シリーズを除く）
ALV / 3050シリーズ
ARS

N.O.
N.C.
−

原点前センサ
−−
−

原点センサ
−
−

N.O.

N.O.：ノーマルオープン ／ N.C.：ノーマルクローズ● 回転ステージには、リミットはありません。
● 回転ステージ以外には、原点センサはありません。リミットセンサを原点としてご使用ください。

■ パラメータの設定
センサ論理と原点復帰モードは、 QT-Aシリーズコントローラのパラメータ設定「04：接続ステージ選択」
で自動設定することができます。
使用するステージの製品番号をご確認の上、以下のように設定してください。
パラメータNo.

04□30小型ステージ製品番号
ALS* / ALD* / ALZ（*3050シリーズを除く）
ALV / 3050シリーズ
ARS

設定値

515231

設定されるセンサ論理と原点復帰モード
原点センサ：未使用 ／ 原点前センサ：未使用
原点復帰モード：リミット
同上原点センサ：N.O. ／ 原点前センサ：未使用
原点復帰モード：原点注意
工場出荷時の初期設定は、原点センサ「N.O.」、原点前センサ「N.C.」となっています。原点センサと原点前センサの論理設定は、原点復帰モードと関係がありますのでご注意ください。

■ パラメータの手動設定
パラメータNo.01〜03を手動で設定するときは、パラメータNo.04を「00」（手動設定）にして、以下の設定を行ってください。

No.
01

項目
原点センサ論理

設定値

01

設定内容
未使用

N.O.

該当機種

ALS / ALD / ALZ / ALV
ARSN.O.：ノーマルオープン（通常開、A接）

No.
02

項目
原点前センサ論理

設定値

No.
03

項目
原点復帰モード

設定値

02
345

設定内容
未使用
設定内容
原点・Z 相原点リミット・Z 相リミット

22

該当機種

ALS / ALD / ALZ / ALV / ARS
該当機種

ARS
ALS / ALD / ALZ / ALV□ 30 小型ステージ

原点復帰モードの手動設定□30小型ステージでは、前記表の「原点復帰モード」のうち機種によって「2または3」、「4または5」が設定できます。
当社としては、ALS / ALD / ALZ / ALVは「設定値：5」、ARSは「設定値：3」を推奨いたします。
原点復帰の動作については、コントローラの取扱説明書を参照してください。
□30小型ステージ製品番号

設定値

ALS / ALD / ALZ / ALV
ARS

4または5
2または3

設定される原点復帰モード
4：リミット・Z相 ／ 5：リミット （※1）
2：原点・Z相 ／ 3：原点（※2）※1：自動設定の場合、パラメータNo.03（原点復帰モード）は、「5」（リミット）に設定されます。
※2：自動設定の場合、パラメータNo.03（原点復帰モード）は、「3」（原点）に設定されます。

■ ディップスイッチの設定
QT-Aシリーズコントローラのディップスイッチを以下のように設定してください。
● 工場出荷時の設定では、「N.C.」の設定となっています。3050シリーズとALV-3005-HMは、工場出荷時設定のままで使用できます。
● QT-ADM2-35, QT-ADM3-35, QT-AMH2A-35は、多軸コントローラですので使用する軸に合わせて設定してください。
〈ALS* / ALD* / ALZ / ARS 〉*3050シリーズを除く
QT-ADL1-35

QT-ADM2-35 / QT-AMH2A-35

QT-ADM3-35

1:A 軸→ ON に設定
2:B 軸→ ON に設定
3:C 軸→ ON に設定〈ALV / 3050シリーズ〉
QT-ADL1-35

QT-ADM2-35 / QT-AMH2A-35

QT-ADM3-35

3. 表示単位の設定
QT-Aシリーズコントローラでは、パラメータ設定によりステージの移動量をmm単位やμm単位などでの表示が可能です。パラメータNo.19, 20の設定を、ステージの分解能に合わせて設定を行ってください。
〈ALS / ALD / ALZ / ALV〉
設定例：0.000mmのようにmm単位でμmの桁まで表示するにはステージの分解能が0.001mmの場合、パラメータNo.19,20を下表のように設定します。
パラメータNo.

1920

項目
単位表示の選択
単位表示の分解能

設定値

設定内容

11000

mm表示（1μmまで）
1000nm〈ARS〉
設定例：0°00 00 のように60進の角度で表示するにはステージの分解能が0.015度の場合、パラメータNo.19,20を下表のように設定します。
パラメータNo.

1920

項目
単位表示の選択
単位表示の分解能

設定値

715000※ 割り切れない数値は四捨五入して表示します。

23設定内容度（60進）※15000n度□30 小型ステージ

7 保証と修理■ 保証期間
取扱説明書、本体貼付ラベルなどの注意書きまたはカタログ記載の取り扱いの注意に基づき、正常な使用状態で故障が発生した場合は、工場出荷日より次の期間、無償修理いたします。

保証期間

工場出荷日より1年間

ただし、納入後の故障により誘発される損害については、この対象範囲から除外させていただきます。
保証期間内でも下記の場合には有償修理となりますのでご了承ください。
・使用上の誤り、または修理や改造によるもの。
・お買い上げ後の落下などによる故障および損傷。
・火災、地震、水害、落雷その他天災地変、公害や異常電圧による故障および破損。
・消耗品の劣化などによる性能低下や動作異常。
・事前に当社が保証範囲外と定めた製品や部品。
※この保証は、日本国内においてのみ有効です。

■ 保証期間中の修理お求めの販売店までご連絡ください。

■ 保証期間が過ぎてしまった場合の修理保証期間が過ぎてしまった場合でも、お求めになった販売店にご連絡ください。故障の状態により有償にて修理いたします。その際、修理期間の短縮、修理内容を確実にするために以下の事項をお知らせください。
・購入年月日、製品名、製品番号、製造番号。
・お客様の具体的な使用方法。
・具体的な故障内容。
・故障の原因となったと思われる点。

■ お問い合わせ弊社の製品でご不明な点がありましたら下記にご連絡ください。

本社営業部

TEL.03-3257-1911

FAX.03-3257-191524

□ 30 小型ステージ25

本取扱説明書に記載された内容は予告無しに変更する場合がありますのでご了承ください。また、製品についても改良のため予告無しに変更することがありますのでご了承ください。

□30小型ステージ 取扱説明書

Ver.4.2

2021/11/01 ADV.

本社営業部

〒101-0063 東京都千代田区神田淡路町1-5 及川ビル3F
TEL.03-3257-1911 FAX.03-3257-1915

A002-A009