NACHITECHNICALREPORT
Machining

21A1

Vol.

Sep/2010■ 寄稿・論文・報文・解説「開発とセレンディピティ」
マシニング事業"Development and serendipity"〈キーワード〉セレンディピティ・研究開発・テーマの創出・密着性・ダイヤモンドコーティング

福井工業大学／機械工学科
教授

神田 一隆

Kazutaka KANDA

「開発とセレンディピティ」

要旨

1. はじめに※1

新商品や新技術の開発は、何か新しいアイデアセレンディピティという言葉に一体何かと思われるを取り入れて行なわなければならない。そのようなア諸兄も多いであろう。実はかなり以前から開発や研イデアは他人の研究成果の見聞き、他人との交流、究者の心構えとして説かれてきた有名な言葉であり、自分自身の研究内容の注意深い観察などの中から関連著書も多くある。筆者がこの言葉を最初に耳に生まれるものであって、普段からそれらを取り込むよしたのは、2004年ころのある研究会で話された京都

うな努力をしていなければ決して生まれてこない。

大学名誉教授の小岩昌宏先生が書かれた著書

そのような努力をしていれば、何かに遭遇した時に、に関する講演である。意味と語源を最短に要約して新しいアイデアを出して対処できるということを説明

説明すると、「偶然と賢明さに助けられて、探していするためには セレンディピティ という言葉が適して「セレンディッたものではないものを発見する能力」を、いる。セレンディピティは開発のいたるところに見られプという小国の３人の王子が旅をして遭遇するでき事」

それを筆者が携わったダイヤモンドコーるのであるが、を通して教えるおとぎ話に端を発している。まず脚注

ティング技術の開発およびスパッタコーティング装置にある物語の要約を読んでいただきたい。セレンディッの開発を通して紹介した。

プは現在のスリランカという説もある。また、語源や解

1）

※2

※3

釈は諸説あるようだが、いずれも多くの偉大な発明がこのセレンディピティと関係していると説明されて

1

Abstractいる。

New Ideas of some kind must be adopted indeveloping a new product or new technology.
New ideas can be developed in the course ofobtaining the information on others' research
results, interacting with others and making a
careful observation of own research. Thus newideas can never be born unless the daily efforts
are made to absorb such knowledge and information. Such efforts allow us to deal with any
encounters with new ideas. Serendipity is anappropriate word to describe this situation. Serendipity can be seen every place where development takes place. Through the developments of
diamond coating technology and sputter coating
unit that this author worked on, serendipity
will be touched upon in this article.

源から聞いたので深く印象に残っており、これまで筆者はその講演会でセレンディピティの説明を語学生達に研究者や技術者にはセレンディピティが重要であると教訓を述べてきた。
しかし、よく考えてみると、君たちは偶然に期待して研究や開発を進めな
そうすると何かが見つかる、といっているようなさい、ものではないかと思うようになった。明らかに期待していたものではない発見をするのが我々の研究や開発の目的ではないはずである。三人の王子の物語は問題なく示唆に富んでおり、よくできている。
しその解釈がどこか間違っていないだろうかと思っかし、て考え直してみた。そして、「様々な経験をして、物事を注意深く観察し考察する努力をしていると、必要な時に役に立つ」という解釈の方が研究者や技術者にはピッタリ当てはまり、物語の趣旨通りではな

析を中心に研究を行なっているが、十分な成果を得自分いかと考えるようになった。ここでいう物事とは、ないまま今日に至っている。そこで、筆者が会社に在の実験事実や他人の意見や研究成果がその例でセレンディ籍した時の開発の経緯を振り返りながら、ある。セレンディピティを本稿のテーマに付したのは、もちろん、筆ピティと関連付けて紹介することにした。

自らの開発の歴史を振り返ってみても、この言葉がセレンディ者の場合、世間と比肩できる成果ではなく、うまく当てはまると思ったからである。

ピティとはいっても 他人の褌で相撲をとる に近い

筆者は2008年にNACHIから福井工業大学へ移っ側面もあることをお断りしておく。ており、これまでの開発の中で調べたいと思いながら手つかずになっていたダイヤモンドやダイヤモンド（DLC）が低摩擦係数を示す要因の解状カーボン

2.ダイヤモンドコーティング技術開発とセレンディピティ優れた特性を持つ切削工具が得られると期待され1）開発の背景ていた。
もちろん、同業他社も異榻同夢ですでに活

このテーマは筆者が1986年にNACHIへ入社し発に開発に取り組んでおり、切削工具分野以外でたとき、最初に与えられた開発テーマである。従来、もデバイス関連の企業から石油やガス関連の業界まダイヤモンドは高温高圧下でしか合成できないといでが興味を持ち開発に着手していた。残念ながら我々うのが一般的な常識であったが、1981年に日本のはスタートがやや遅れ、特許やコーティング技術開発研究者がメタンガスと水素ガスを使って減圧下でダで後塵を拝することになったが、後になってみると、

2）

イヤモンドを気相合成する技術 を開発した。これを技術開発に要する時間が短くて済み、我慢する期受けて、気相合成ダイヤモンドを応用するための研間が短くて済んだというありがたい側面もあった。

究開発が世界中で展開されはじめたという状況下であった。

このテーマは物理系の研究に携わってきた筆者には馴染みのない領域であり、非常に高いバリアー切削工具が主力商品の一つである同社もこの技に感じられたものである。また、開発部隊の周囲にダ術に注目しており、物質中で最も硬いダイヤモンドをイヤモンドの気相合成に関する装置が無かったのも刃物の表面へコーティングすることで、従来にないそれをより高く感じさせていた。

NACHI TECHNICAL REPORT

Vol.

21A1

2

「開発とセレンディピティ」

2）ダイヤモンド合成装置の壁

その成果を受けて、研究テーマを立ち上げ、簡単当時、ダイヤモンドの気相合成ができたと称する技

ダイヤモンドコーティング
な手作り装置ではあったが、術が５種類ほど開発されていた。その中にイオンガン専用の実験装置を作ることができ、以後実験が飛を使って炭化水素イオンを加速し、ダイヤモンドを合躍的に進むことになった。

成するというＡ大学の方法（後に分かったことであこの方法ではダイヤモンドは合成されない）がるが、あり、筆者が前の職場で学んだ技術に似た部分があったことから、早速手作りのイオンガンでダイヤモンド合
しかし、半年ほど苦戦したが、顕微鏡成を開始した。

メタン＋水素下ではダイヤモンドの粒が見当たらず、ヤスリで傷がつくような柔らかい膜ばかりが得られていた。

フィラメント

そのうち、研究会の発表や文献を整理する中から、この方法ではダイヤモンド状カーボンはできてもダイヤモンドはできないことに気づき、従来の方法の中からダイヤモンド

日本で最初にダイヤモンドの合成に成功したことを写
2）を真真付きで紹介した熱フィラメント法 （図１参照）

基板似て開発を再スタートした。当時は自分の研究費が無かったので、この方法は簡単な装置で実験ができるという現実的な側面もあった。
当初はありあわせの装置を使っていたので、基板ヒーター加熱が難しいなど様々な制約があったが、熱フィラメ
ント法はさすがに最初に発明された方法だけあって数１０回の試作でシリコン基板上にダイヤモンドらしきものができるようになった。ダイヤモンドの同定には

排気当時すでにラマン分光分析という手法が使われるようになっていたので、民間の分析機関へ送り、生成物の中にダイヤモンドがあることを確認してもらって、ようやく最初の壁を越えることができた。

3

図１ 初期の熱フィラメント法構成図3）密着性の壁1 − 中間層 −ダイヤモンドが手軽に合成できるようになった後もずっ

4）密着性の壁2− 超硬合金の前処理 −と、筆者は切削工具にダイヤモンドをコーティングして中間層を用いない方式では、B社が超硬合金（WC-使えるようにするのは無理と思っていた。それはダイCo合金）の表層のコバルトを酸処理で除去してかヤモンドの熱膨張率が他の工具材料と大きく異なるらコーティングすると密着性が改善されるという技術

ダイヤモンドが他の材料と接合しにくという現実と、を論文や特許で紹介していた。また、基板の表面をシリコンとタンいという思い込みからきていた。事実、ダイヤモンド粒で傷つけ処理すると、核と呼ばれるダグステンとモリブデン以外の基板にはダイヤモンドをコー

イヤモンドの芽がコーティング初期から基板表面にたティングしてもあえなく剥離してしまうばかりであった。

くさん生成されるという研究発表もあった。セレンディ

先にも述べたように、すでに多くの企業や研究機ピティというよりまねごとに近いが、筆者はこれらの技

関がダイヤモンドコーティングの研究を開始していた術を早速いただいて改良を重ねた。さすがに密着ので、後発の我々はその中から有望な技術を選ん

これらの処理により、超硬合金性の改善は抜群で、で試験することができる立場であった。当時、窒化チ基板上にはこれまでになくしっかりダイヤモンド膜がタンなどの硬質薄膜を物理蒸着する技術では膜の残るようになった。

密着性を上げるために、膜と基板の間に両者と親

このころ、ダイヤモンドコーティングのためにAさんが和性が高い中間層を置くという方式が一般的であり、移籍され、一緒に開発することになった。彼は非常ダイヤモンドに関してもすでに多くの中間層に関するに仕事熱心で、深夜まで頑張って筆者が頼んだこと特許が出されていた。そこで、筆者もそれにならって以外にも自分で工夫して様々な実験を行なっていき、工具用基板の表面にタングステンやシリコンをコーティどんどんデータが蓄積されていった。また、Aさんは体その上にダイヤモンドをコーティングしングしてもらい、もよく動いたので、超硬合金製のインサートチップにた。膜は安定してできるようになったが、それを厚くダイヤモンドをコーティングして切削試験を開始する

するとやはり容易に剥離してしまうという状態が続ことになった。最初は比較的切削が容易なADC12ダイヤモンド膜といた。剥離面をよく調べてみると、とよばれる鋳造用アルミニウム合金のドライ切削から中間層の間で剥離しているわけではなく、中間層とスタートした。

工具材料の間で剥離が生じでいることが分かった。

Aさんより半年ほど遅れてBさんが配属された。彼

その後もいくつかの試みを行なったが、中間層を使そのころすでに製作してあった２もまた研究熱心で、う技術はそれ以上の進歩はなかった。

台目のダイヤモンドコーティング装置の使い方を教えて渡すと、翌日から試験を開始した。
切削試験はどんどん進んでいったが、残念ながら数分で膜が剥離し、性能はいまいちという状態が続あるとき、Aさんがコーティングいていた。その中で、したチップの中に、突然それまでの数倍も長持ちすそるものが現れた。非常に期待された結果であり、の要因をつかめば飛躍的な前進ができるのであるが、残念ながらさんざん調べたあげく、２度と同じ性能を得ることができなかった。

NACHI TECHNICAL REPORT

Vol.

21A1

4

「開発とセレンディピティ」

5）密着性の壁3− 炭化タングステンとダイヤモンド −は非常に相性がよいのだと理解するようになってい我々が苦戦している中で、Ｂ社はダイヤモンドコーティた。その後、Bさんが超硬合金から剥れたダイヤモン粒とよくくっついていた。これから、ダイヤモンドとWC

3）ングチップの販売を開始 したというニュースが入っ

ド膜の裏面にＷＣ粒が付着しているという事実を見ダイヤモンドコーティングではないが、ダてきた。また、付けた。これによりＷＣとダイヤモンドの相性の良さをイヤモンドの厚膜を作り、それをろう付けして切削工再確認することができ、その後のダイヤモンド膜の密4）具にするというＣ社の発表 もあった。このようなニュー着性改善へとつながっていったのである。そして、スには多少のあせりはあるものの、後発の我々には1990年にはインサートチップにコーティングして図2お先があるのだという励みにもなり、先行各社の花火よび図3に示すような実用レベルの切削性能が得らが自分たちの開発テーマを中断させられることがなれるようになった。
セレンディ
この前進も筆者一人のことではないが、いだろうという意識にもつながっていた。

これからピティの賜物といえるであろう。残念ながら、研究が少しずつ深まっていく中で、Ｄ大学が超硬5）合金とダイヤモンドの界面の写真を研究発表 した。

先の話は今でも企業秘密に属するので、扉は閉じダ
それを見ると、表層のコバルトを除去した状態で、たままにしておこう。

イヤモンドは超硬合金中の炭化タングステン（WC）

ダイヤモンドコート
焼結ダイヤ

50500mm
95mm

前逃げ面摩耗幅VB（μm）

60
スリット幅10mm
カッター径160mm

403020100050100

150200
切削時間（分）250

被削材 ： A390（AI-17%Si） チップ型： SPGN120308
切削速度 ： 330m/min
刃数： 1個切込深さ ： 0.5mm
切削油 ： 乾式切削
送り速度 ： 0.15mm/rev

図2 ダイヤコートチップと焼結ダイヤチップのフライス切削試験結果

5300

Cutting Time

Wear mode of diamond-coated insert

Cutting Time

Wear mode of PCD insert

Rake face

Rake face

0 min

0 min
Flank face

Flank facer

100μm

100μm

150 min

150 minFlank wear
60μm

Flank wear
35μm

250 min

250 minFlank wear
82μm

Flank wear
40μm

ダイヤモンドコートチップ

焼結ダイヤチップ

図3 ダイヤコートチップと焼結ダイヤチップのフライス切削試験による摩擦比較

6）開発の裏話

インサートチップの他にドリルの性能が実用化のレ

我々のダイヤモンドコーティング技術が実用レベルベルに達した後、量産装置の製作に入ったが、生産に達したとき、研究会などで時々顔をあわせるＥ社の能力は当時多く使われていた物理蒸着法と呼ばれ人とお互いに結果を公表しないことを前提にダイヤる窒化チタン膜などをコーティングする装置の１０分

モンドコーティングチップを交換し、お互いの切削性の１以下であった。量産装置といいながら、実験室能を比較したことがある。同社は超硬合金表面を水規模の熱フィラメント法の装置を並べただけと揶揄さ

素プラズマで還元してからダイヤモンドをコーティングれながらの船出であったが、結果的には現在でも世するという技術を開発していた。我々は自信を持っ界に比肩できる生産容量を持っていると思っている。て比較試験に臨んだのであるが、残念ながらＥ社の方が20〜30%寿命が長いという結果であった。
しかし、同社の方法は技術的にはやや面倒であり、適用範囲が限定されることもあって、以後実用化されることがなかった。

NACHI TECHNICAL REPORT

Vol.

21A1

6

「開発とセレンディピティ」

3.コーティング装置の開発とセレンディピティ
1）開発の背景いので、良質な膜ができる、という話を聞いた。以下

硬質薄膜をコーティングする物理蒸着法に興味をこのは話がやや専門的になってしまうのであるが、持っていた筆者には、膜の開発には装置からという話から筆者は図5のように２枚のターゲットの外側に思いがあった。

被コーティング物を置く方式が量産装置に応用でき6）るのではないかと考え、しばらくの間デザインを考えを販売しており、この装置はTiNやTiCNのコーティていた。
しかしながら、現状の技術に比べると、量産ングには抜群の性能を示していた。

ターゲットを装置の中央に置性に限界があることと、NACHIは1987年頃からイオンプレーティング装置

しかし、蒸発源を１個しか持たないこの装置は、当時切削工具用薄膜として伸びつつあったTiAlNのような金属元素を複数含む多元素膜のコーティングには不向きであった。

を進めることはできなかった。
その後、斜め方向にエネルギーの高い粒子が多く飛び出すという特性を活かすために、ターゲット同

そこで、筆者や同僚たちは多元素膜のコーティン士を平行に対向させるのではなく、図6のように斜めグができるような新たな装置を入手したいと思ってしかに対向させる方式のターゲット配置を考案した。

いた。

し、この配置では放電で生じるプラズマがターゲット

2）出会いとセレンディピティ
その頃、共同研究であったか別の形態であった付近に閉じ込められ、コーティングに必要な要素である基板電流すなわち基板へ入射するイオン電流が十分にとれない可能性があった。

か記憶が定かではないが、富山県工業技術センター

このプラズマからイオン電流を引き出すため、そこで、のD氏および富山大学のE先生とコーティングに関Ｆ社のマグネトロンスパッタ装置に取り付けられていする交流が始まっていた。当時D氏は一対の円板た電磁石を参考に、一対のターゲットの周囲に電磁状のターゲットが向かいあう、対向ターゲット式マグ石を配した。

ネトロンスパッタ装置を使って、薄膜の研究をされていた。

さらに、筆者の基本的な考えであった「膜質の制御性の高い装置」を実現するため、ターゲット材料

その中で、同氏からスパッタリング現象ではじき出の蒸発量と基板へ入射するイオン電流の量を独立（完されたターゲット材料が、ターゲットの正面方向では全に独立ではないが）に制御できるように、アノード

しかもなく、図4のように斜め方向に多く飛び出し、と呼ばれる電極を置いた。

斜め方向へ飛び出す粒子の方のエネルギーが高7

それ以上考えかなければならないという制約から、

電磁石

入射イオン

アノード
S

はじき出されたターゲット材料

タN ーSゲ
ット

蒸発粒子

ワーク

ターゲット

N

ターゲ
S ット
N
アノード

図４ スパッタ粒子数の角度分布
電磁石

磁石

図６ 傾斜対向式マグネトロンスパッタ装置の構成

蒸発粒子
SSS

ターゲット
磁力線

ワークワーク

ターゲット
NN

N
プラズマ

図5

対向ターゲット式マグネトロンスパッタ装置の構成

NACHI TECHNICAL REPORT

Vol.

21A1

8

「開発とセレンディピティ」

3）開発の裏話
後に判明したことであるが、筆者が考案したターゲッ
トを斜めに対向させて配置する方式の特許がすでにＧ社から出されていた。しかし、前述のように一対のターゲットの周りに磁石を配する点と、アノードを配する点が異なっており、その特許へ の抵触をまぬがれることができた。
この新しいコーティング装置（マグネトロンスパッ
日頃からタリング装 置）の基 本デザインが完 成し、NACHIと付きあいのあった協力企業の方々の力をお借りして、試作機を完成した。また、筆者はまともな図面が書けないので、この完成にはCさんが尽
図7

力してくれた。

傾斜対向式マグネトロンスパッタ装置

その後、実験装置として図7のような小型装置を発売し、社内的には図8のような大型装置の製作

7）にもつながった。この開発においてもいくつかの出会いがあり、自画自賛ではあるがセレンディピティを心掛けていたためと思っている。

図89

量産用傾斜対向式マグネトロンスパッタ装置

4. おわりに開発者にとっては、半年あるいは１年ごとにやっ筆者は時々セレンディピティの大切さを学生に教てくる開発テーマの企画はかなり手ごわい作業であえている。その中で、彼らには、自動車や携帯電話これまでのる。セレンディピティの考え方からすると、から筆記用具に至るまですべての工業製品には先人生で様々な成功を体験してきた上司や開発の先人たちに膨大な知恵が込められているので、そのこのような時にその分だけ大きな能力を輩たちは、考え方や作り方をしっかり学びなさいといっている。

発揮しなければならないのである。
しかし、最近はともっと具体的に何をしたらいいのか分かるように説もすると、新規テーマの企画を若い人たちに任せる明してほしいといわれると難しいのであるが、筆者という傾向がないだろうか。これは、先輩たちが自分の心に深く印象付けられているでき事があった。

たちには新しいテーマを創出する力はありませんと

それは筆者が若いころに出会ったある大企業の宣言しているようなもので、管理者としては別である開発責任者が、どこかの学会の講演会で数名の部が、開発責任者として失格ではなかろうか。時代背下たちに、この講演会を聞いて特許案でも開発テー

景は多少異なるものの、筆者が30〜40歳代のころマ案でもいいから４つ以上探すこと、と指示していには開発テーマは上の方からどんどん降ってきて、ともいったことである。そして自分はもう２つ考えたよ、それを消化するのに手一杯であった。先輩たちはセていた。筆者も以後それを念頭において、学会やレンディピティを実践していたと思われる。

研究会に参加してきたつもりである。

筆者が会社に在籍していたとき大学や研究機関開発は一朝一夕に完成するものではないので、と多くの共同研究をさせていただいた。それで大きセレンディピティを求めて日頃から努力することが大な成果があったかと問われると苦しいところであるが、切である。そのためには多くの出会いが必要であり、それらの共同研究を通して多くのことを学ばせてい同業界の人を含めて多くの仲間が必要である。開ただいたことは確かである。また、研究会や講演会発者みずから、あるいは開発責任者はそのようなに参加し、多くの研究者との出会い、意見を交換し環境を作るよう努力することが成功の秘訣ではなたことが自分の栄養になっていたと思っている。こかろうか。

れらの出会いがセレンディピティにつながっていると思われる。

NACHI TECHNICAL REPORT

Vol.

21A1

10

用語解説

参考文献

※1 セレンディピティ

1）小岩昌宏著：金属学プロムナード‐セレンディピティを追ってアグネ技術センター 2004年12月出版.という言葉は、イギリスの政治家で小説家のホレス・ウォルポール（HoraceWalpole）が1754年に生み出した造語で、「セレンディップの3人の王子」というおとぎ話に因んでいる。

※2「セレンディップの3人の王子」（小岩昌宏訳）の抄訳
昔々、ずっと遠くの東方に、立派な王様が治めるSerendippoという国がありました。王様には3人の王子があり、偉い学者を招いて教育した甲斐あって、賢く育ちました。王様は3人の王子が一人前に育ったところで、他国でもっと経験を積み、知識を磨いてこいと送りだしました。
母国を離れBeramoという王様が治める国についた3人は、自分が飼っているらくだの行方が分からなくなったと探している男に会いました。
「歯が一本抜けており」、「足を一本怪我してい「そのらくだは、片目で」、るのではありませんか？」と3人の王子が口々にたずねました。そんなによとその男に訴えられて、く知っているなら、お前たちが盗んだにちがいない、王子たちは牢屋へ入れられてしまいました。ところがまもなく、らくだが家へ戻ってきたので、男は王様に話して3人を牢から出してもらいました。
「見たこともないらくだの様子がどうして分かったのか？」とたずねる王様に3人の王子は次々に答えました。
「旅の途中に、片側の草がよく茂っており、反対側がそうでもないのに草を食べた跡があったので、片眼のらくだだと思いました」、「道には草の切れ端が散らばっており、ちょうど欠けた歯のすき間ほどの大きさだったのです」、「はっきりした足跡は3つ足分で、足をひきずったあとが目立ちました」。
王様は3人の王子の賢さと注意深さに感じ入り、客人として手厚くもてなしました。

2）S.Matsumoto、Y.Sato、M.Kamo and N.Setaka：Jpn. J. Appl. Phys.,21（1982）L183.
3）菊池則文、吉村寛範：NEW DIAMOND，Vol.3, No.3（1987）p.26-31.
4）奥 住 文 徳 ：NEW DIAMOND，Vol.3, No.1（1987）p.32-33.
5）松 原 秀 彰 ：NEW DIAMOND，Vol.6, No.1（1990）p.9-15.
6）松波浩二、松倉則昭、杉沢 尋：不二越技報、Vol.52, No.1（1996）p.62-66.
7）須貝賢一、松波浩二、橋本孝信：NACHI-BUSINESS news, Vol.8 B2（2005）p.1-7.

レントゲンによるX線の発明、キュリー※3 ノーベルによるダイナマイトの発明、夫妻によるラジウムの発見、フレミングによるペニシリンの発見、江崎玲於奈によるトンネルダイオードの発見、田中耕一による高分子質量分析法の発見、白川英樹による導電性高分子発見等々がセレンディピティの例としてあげられる。

NACHI TECHNICAL REPORT

Vol.21A1 September / 2010〈発行〉 2010年9月10日
株式会社 不二越 開発本部
富山市不二越本町1-1-1 〒930-8511
Tel.076-423-5118 Fax.076-493-5213