自動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 160×160

システム
製品
SystemProducts

Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table Size 160×160

産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

SA16A-RT01

Z
Z

SA16A-RM01

SA16A-RS01

回転Rotation

SA16A-RT01

55

X・XY
X・XY

280(60)4-for M5 screw
Shaft length 6mm(13.5)

CCW

50(60)(73.5)CW□140

SA16A-RS01(129.5)

裏面
Back Side
8-M3 Depth 8mm
8-M4 Depth 8mm
4-M5 Depth 8mm
4-M5 Depth 10mm

(321.5)8Depth 6mm

φ8H8 Depth 20mm

モーター
ドライバ
MotorDriver

30406090110140160(32)

110

160
140
110
90
60
4030

□140

6H8

アプリ
ケーション
Application

4-for M5 screw
Shaft length 6mm
φ6H8 Depth 6mm

55(129.5)(321.5)

Rotation Center
220

モーター
ケーブル
Motor
Cable

Rotation Center(13.5)

220□140

4-for M5 screw
Shaft length 6mm

真空ステージ
Vacuum
Stage

ドライバ
ボックス
DriverBox

CCW

φ6H8 Depth 6mm

SA16A-RM0160

アライ
メント
ステージ
XYθ

モーター
コントローラ
Motor
Controller

CW

110(129.5)(321.5)

Rotation Center

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

8(1.4)(32)

回転Rotation

Depth 6mm

(8.6)

(2)

304060
90110
140
160

6H8

φ8H8SA16A-RT01 Depth 20mm
SA16A-RM01 Depth 8mm

ZZ

制御装置
ControlElectronics

裏面
Back Side(179)160
14011090604030

自動精密ステージ
Motorized
Stage

8-M3 Depth 8mm
8-M4 Depth 8mm
4-M5 Depth 8mm
4-M5 Depth 10mm

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

(17)

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

CW

CCW

検査システムInspection
SystemK-026

K.indd 26(8.6)

アクセ
サリー
Accessories

5060

付録
Appendix

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:09

アルミ / クロスローラガイド / ウォーム＆ウォームホイール

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Worm and Worm Wheel
型式
Model Number
勝手違い型式※2
Mirror Model Number
テーブル面
Table Size
案内方式
Guide Mechanism
回転範囲
Angular Range
送り方式
Lead Mechanism
減速比
Reduction Ratio
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※3
Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)
最高速度
Maximum Speed
ワークディスタンス
Work Distance
回転中心変位量Rotation Center Error
繰返し位置決め精度
Repeatability
ロストモーション
Lost Motion
バックラッシュBacklash
モーメント剛性※4
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重Weight
5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motorモーター軸径
Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ※5Stage Wiring Type
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number
※1
※2

産業用
Industrial

SA16A-RT01

SA16A-RM01

SA16A-RS01 ※1

SA16A-RT01-R

SA16A-RM01-R

SA16A-RS01-R

実験用
Experimental

160mm×160mm
手動精密
ステージ
ManualStage

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide
±10°

X・XY
X・XY

ウォーム＆ウォームホイール
Worm & Worm Wheel
510(RT01)
600(RM01)
0.001412°/0.000706°（RT01）,/0.0006°（RM01）
0.0012°0.0000706°（RT01）,
0.00006°（RM01）

5106000.001412°/0.000706°

0.0012°/0.0006°

0.0000706°

0.00006°

7.06°/sec

6°/sec7.06°/sec（RT01）, 6°/sec（RM01）

220mm±0.5mm

280mm±0.5mm

220mm±1mm

Φ0.5mm/±10°≦±0.001°（AVE. ±0.0001°）

ZZ

回転Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

Φ1mm/±10°≦±0.001°（AVE. ±0.0001°）≦±0.001°≦0.005°（AVE. 0.0006°）≦0.002°（AVE. 0.0004°）≦0.005°(RT01)≦0.002°(RM01)≦0.001°（AVE. 0.0001°）≦0.001°（AVE. 0.0001°）≦0.001°0.02 arcsec/N・cm
（AVE. 0.008 arcsec/N・cm）

0.02 arcsec/N・cm
（AVE. 0.008 arcsec/N・cm）

0.06 arcsec/N・cm

196N（20kgf）

自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZ
Z

137.2N（14kgf）
アルミ合金
Aluminum Alloy
白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

6.2kg

5.5kg

回転Rotation

11.7kgスイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

C087Q-9215P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
C087Q-9215P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)
Φ8mm オプションハンドル：B type
Φ8mm Conformance option handle: B type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

アライメントステージ
XYθV3

真空ステージ
VacuumStage

F-101(HOME,LIMIT)
SA16A-RT01-C

SA16A-RM01-C

SA16A-RS01-C

SA16A-RT01-V

SA16A-RM01-V

SA16A-RS01-V

SA16A-RS01は、SA16A-RT01とSA16A-RM01の組み合わせです。
Combination of SA16A-RT01 and SA16A-RM01 form 2-axes swivel stage model
SA16A-RS01.
勝手違い、重ねの組勝手についてはK-005ページを参照して下さい。
Refer to page K-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.

※3

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※4

 イベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
スMoment Stiffness of single swivel stage is measured in Roll Direction.

※5

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

K.indd 27

K-027

2022/07/29 20:09