自動Xステージ / テーブルサイズ 160×160

システム
製品
SystemProducts

Motorized X Linear Stages / Table Size 160×160

産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZXA16F-L2101

XA16F-L2201

XA16F-L2301

回転Rotation

XA16F-L2101

付録
Appendix(1)(90.5)

1160

173

140(596.5)

60

CW

(1)

CCW

628-for M6 screws (M8 tapped hole)
Shaft length 18mm

(73)

140150#1

CW Limit Sensor

Home Position
25200

2573

140150CCW Limit Sensor

裏面Back Side

18160
140100118(60)48

φ15 Depth 12mm

12-for M5 screw
Shaft length 18mm(18)110308030

11018173

140(184)

160

162(1)

62(18)

160
140100140(184)

(23)

(1)
(60)

200(1)

21

オプションテーブル

Option Table

OTX160-K

10-M5 Depth 10mm

(23)

CW(1)

CCW

65
CCW Limit Sensor

CW Limit Sensor

Home Position

6-for M5 screws
Shaft length 5mm

7070

M8 Depth 11mm
4-M3 Depth 8mm#28-for M6 screws (M8 tapped hole)
Shaft length 21mm

100

200

100

53
160
110
90
60
40(53)

140(4)(60)

Option Table

8-M4 Depth 11mm

140150

4-M5 Depth 11mm
裏面Back Side

φ15 Depth 15mm

t = 11#1 8-for M5 screw
Shaft length 21mm

検査システムInspection
SystemH.indd 34

8-for M5 screw
Shaft length 18mm

XA16F-L2301

アクセ
サリー
Accessories

H-034#2(48)(486.5)

118

10-M5 Depth 10mm

Home Position

φ15 Depth 12mm

#1

制御装置
Control
Electronics

モーター
ケーブル
Motor
Cable

CW

CW Limit Sensor

裏面
Back Side

真空ステージ
Vacuum
Stage

モーター
ドライバ
Motor
Driver

CCW Limit Sensor

4-for M6 screws (M8 tapped hole)
Shaft length 18mm

アライ
メント
ステージ
XYθ

(90.5)

11

Option Table(1)#2

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

アプリ
ケーション
Application

18140(184)
CCW

Option Table

回転Rotation

ドライバ
ボックス
DriverBox

6810-M5 Depth 10mm(23)

X・XY
X・XYZZ

160
140
100160162

自動精密ステージ
Motorized
Stage

モーター
コントローラMotorController

68160(90.5)

11(1)

18162

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

XA16F-L2201(386.5)

CONTACT(43)

14014014043#1

表側からステージを取り付ける際はM5用貫通穴となります。
Through hole for M5 screw mount from upper side.

#2

裏側からステージを取り付ける際はM8タップ穴となります。
Tapping hole for M8 screw mount from back side.

40
60
90110
160

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:13

鉄 / リニアガイド / ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Steel Body / Linear Guide / Ball Screw
型式
Model Number
勝手違い型式※1
Mirror Model Number
テーブル面
Table Size
案内方式
Guide Mechanism
移動範囲Motion Range
送り方式
Lead Mechanism
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※2
Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)
最高速度
Maximum Speed
累積リード誤差
Accumulated Lead Error
繰返し位置決め精度
Repeatability
ロストモーション
Lost Motion
水平Horizontal
真直度
Straightness
垂直
Vertical
バックラッシュBacklash
モーメント剛性※3
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重Weight
5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ※4Stage Wiring Type
原点復帰
Returning direction
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number
※1

※2

産業用
Industrial

XA16F-L2101

XA16F-L2201

XA16F-L2301

XA16F-L2101-R

XA16F-L2201-R

XA16F-L2301-R

実験用
Experimental

160mm×160mm
手動精密ステージ
ManualStage

精密リニアガイド
Linear Guide±50mm±100mm±152mm

X・XY
X・XY

ボールネジ, リード 5.0mm
Ball Screw, Lead 5.0mm
10μm/5μm

ZZ

0.5μm
50mm/sec≦15μm/100mm（AVE. 2.71μm/100mm）≦20μm/200mm（AVE. 5.38μm/200mm）≦20μm/304mm（AVE :10.05μm/304mm）≦±0.5μm（AVE. ±0.06μm）≦±0.5μm（AVE. ±0.07μm）≦±0.5μm（AVE. ±0.09μm）≦5μm（AVE. 2.82μm）≦5μm（AVE. 2.93μm）≦5μm（AVE. 3.04μm）≦4μm/100mm（AVE. 1.03μm/100mm）≦2μm/100mm（AVE. 0.78μm/100mm）≦5μm/200mm（AVE. 1.57μm/200mm）≦5μm/200mm（AVE. 1.07μm/200mm）≦5μm/304mm（AVE. 2.13μm/304mm）≦5μm/304mm（AVE. 1.36μm/304mm）≦2μm（AVE. 0.22μm）≦2μm（AVE. 0.23μm）≦2μm（AVE. 0.31μm）

0.02 arcsec/N・cm（AVE. 0.001 arcsec/N・cm）

0.02 arcsec/N・cm（AVE. 0.001 arcsec/N・cm）

0.02 arcsec/N・cm（AVE. 0.001 arcsec/N・cm）

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

392N（40kgf）

ZZ

鉄（テーブル: アルミ合金）
Steel (Table: Aluminum Alloy)
黒色仕上げ
Matt Black
11.5kg13.5kg

回転
Rotation

18.2kg

C087Q-9215P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，
基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
C087Q-9215P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)
Φ8mm オプションハンドル：B type
Φ8mm Conformance option handle: B type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ

V3
原点復帰の際に、領域（データム）センサを利用しています。CW側常時遮光。
Returning direction is determined with zone sensor. CW side’s light is intercepted in all time.

真空ステージ
VacuumStage

F-104(LIMIT), F-105(HOME)XA16F-L2101-C

XA16F-L2201-C

XA16F-L2301-C

XA16F-L2101-V

XA16F-L2201-V

XA16F-L2301-V

勝手違いについてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※3

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027ページを参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005
ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ペー
ジを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

制御装置
ControlElectronics
モーターコントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
DriverBox
アプリ
ケーション
Application

XYでの組み付けをご希望の際は、営業部までお問い合わせ下さい。
About the XY assembly for these stages, contact us for further information.

モーター
ドライバ
Motor
Driver

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

モーターケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 35

H-035

2022/09/06 16:13