システム製品SystemProducts
産業用
Industrial

自動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 70×70
Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table Size 70×70

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZ
Z

SA07A-RT02

SA07A-RB02

SA07A-RM02

SA07A-RS02

回転Rotation※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

SA07A-RT02

K-016

K.indd 16

204H8122（6.85）（7.5）

96（12）

26010□60

4-for M4 screws
Shaft length 4mm

φ5H8 Depth 5mm
4-M3 Depth 6mm
4-M3 Depth 6mm
4-M4 Depth 5mm

100（9.15）

1026□60

裏面
Back Side

Depth 4mm

4.5

404H8
φ4H8 Depth 4mm（16）20（182.5）（96.5）

SA07A-RL02

CCWCW

CCW（7.5）

CW

Rotation Center
9670

Rotation Center

01010104-for M4 screws
Shaft length 4mm

□60

22626

110100（68.65）30406070

104-for M4 screws
Shaft length 4mm□60（9.15）

検査システムInspection
System10

SA07A-RS02（8.5）

アクセサリー
Accessories

CCW

426

付録
Appendix□60CW

24-for M4 screws
Shaft length 4mmモータードライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable

（4）

70
4-for M4 screws
Shaft length 4mm

1026

アプリ
ケーション
Application

10

Rotation Center□60

ドライバ
ボックス
Driver
Box

CCW

100

SA07A-RB02

2

モーターコントローラ
Motor
Controller

CW

1

10

φ4H8 Depth 4mm
40Rotation Center（64.5）

制御装置
Control
Electronics

CCW

4.5

SA07A-RM02

70604030

真空ステージ
Vacuum
Stage

CW

（16）

アライ
メント
ステージ
XYθ

（96.5）（182.5）

Rotation Center

26

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)（16）

Depth 4mm

（42）（182.5）（96.5）

回転Rotation

30
406070（8.5）

Z
Z

（4）

X・XY
X・XY

裏面
Back Side(200)（85.5）
70（15）
604030

自動精密ステージ
MotorizedStage

φ5H8 Depth 5mm
4-M3 Depth 6mm
4-M3 Depth 6mm
4-M4 Depth 5mm

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

（0.5）

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

SA07A-RL02

CONTACTTEL+81-44-981-2131/FAX+81-44-981-2181
【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp
【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:09

アルミ / クロスローラガイド / ウォーム＆ウォームホイール

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Worm and Worm Wheel

産業用Industrial

型式
SA07A-RT02
SA07A-RM02
SA07A-RB02
SA07A-RS02 ※1
SA07A-RL02 ※2
Model Number
勝手違い型式※3
SA07A-RT02-R
SA07A-RM02-R
SA07A-RB02-R
SA07A-RS02-RRR
SA07A-RL02-RRR
Mirror Model Number
テーブル面
70mm×70mm
Table Size
案内方式
精密クロスローラガイド
Guide Mechanism
Cross-Roller Guide
回転範囲
±10°
（RM02）, ±8°（RB02）±10°±8°±10°Angular Range
送り方式
ウォーム＆ウォームホイール
Lead Mechanism
Worm & Worm Wheel
減速比
235(RT02)
300(RM02)
235300375
Reduction Ratio
300(RM02)
375(RB02)
フル/ハーフ ステップ
0.00153°/0.000766°（RT02）, 0.0012°/0.0006°（RM02）,
0.00153°/0.000766°0.0012°/0.0006°
0.00096°/0.00048°
Full/Half Step
0.0012°/0.0006°（RM02）
0.00096°/0.00048°（RB02）
分解能※4Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.0000766°（RT02）,
0.00006°（RM02）,
0.0000766°
0.00006°
0.000048°
Micro Step (1/20 div)0.00006°（RM02）（RB02）
0.000048°
最高速度
7.65°/sec（RT02）,
6°/sec（RM02）,
7.66°/sec
6°/sec
4.8°/sec
Maximum Speed
6°/sec（RM02）
4.8°/sec（RB02）
ワークディスタンス
70mm±0.2mm
96mm±0.2mm
122mm±0.2mm
70mm±0.4mm
96mm±0.4mm
Work Distance
回転中心変位量
Φ0.05mm/±10°
Φ0.05mm/±8°
Φ0.1mm/±10°
Φ0.1mm/±8°
Rotation Center Error繰返し位置決め精度≦±0.001°（AVE. ±0.0001°） ≦±0.001°（AVE. ±0.0001°） ≦±0.001°（AVE. ±0.0001°）≦±0.001°≦±0.001°
Repeatability
ロストモーション≦0.003°（AVE. 0.0007°） ≦0.003°（AVE. 0.0006°） ≦0.003°（AVE. 0.0004°）≦0.003°≦0.003°
Lost Motion
バックラッシュ≦0.001°（AVE. 0.0001°） ≦0.001°（AVE. 0.0001°） ≦0.001°（AVE. 0.0001°）≦0.001°≦0.001°
Backlash
モーメント剛性0.09 arcsec/N・cm0.09 arcsec/N・cm
0.09 arcsec/N・cm
※50.28 arcsec/N・cm
0.28 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness（AVE. 0.045 arcsec/N・cm） （AVE. 0.046 arcsec/N・cm） （AVE. 0.045 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
49N（5kgf）
39.2N（4kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
アルミ合金
Material
Aluminum Alloy
外観
白色仕上げ
FinishClear-Matt Anodizing
自重0.95kg
1.9kg
Weight5相ステッピングモーター
PK544PMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，
基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
5 Phase Stepper Motor
PK544PMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)
モーター軸径
Φ5mm オプションハンドル：A type
Motor Shaft DiameterΦ5mm Conformance option handle: A type
コネクタ
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
Connector
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)
ステージ結線タイプ※6V3
Stage Wiring Type
センサ基板型式
F-116(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME,LIMIT)
Sensor Model
F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT)
クリーングリス仕様型式
SA07A-RT02-C
SA07A-RM02-C
SA07A-RB02-C
SA07A-RS02-C
SA07A-RL02-C
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
SA07A-RT02-V
SA07A-RM02-V
SA07A-RB02-V
SA07A-RS02-V
SA07A-RL02-V
Vacuum Lubricant Model Number
SA07A-RS02は、SA07A-RT02とSA07A-RM02の組み合わせです。
Combination of SA07A-RT02 and SA07A-RM02 form 2-axes swivel stage model
SA07A-RS02.
SA07A-RL02は、SA07A-RM02とSA07A-RB02の組み合わせです。
※2
Combination of SA07A-RM02 and SA07A-RB02 form 2-axes swivel stage model
SA07A-RL02.
勝手違い、重ねの組勝手についてはK-005ページを参照して下さい。
※3
Refer to page K-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.
※1

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.
ス
 イベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
※5
Moment Stiffness of single swivel stage is measured in Roll Direction.
ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
※6
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.
※4

モーターコントローラMotorController
ドライバ
ボックス
DriverBox

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

 空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参真照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
 ーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
モPage C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

K.indd 17K-017

2022/07/29 20:09