Tokyo Electron Limited

Annual Report 08

環 境・ 健 康・ 安 全 に 対 する 取 り 組 み東京エレクトロンは、人々の健康と安全を最優先し、地球環境の保全に配慮することを、事業活動を行う企業としての重要な使命と考えています。

製品における環境負荷低減への取り組み先取りした環境配慮設計に向けて当社の改訂された環境理念・方針により明確に謳われているように 、基本ポリシー

環境配慮設計の促進は極めて重要なものであると考えています。特に装東京エレクトロンでは、当社の継続的な成長と社会の持続的な発展のために、環境・健康・安全に対する取り組みを最重要経営課題の一つと置の省エネルギー化の促進や、規制含有化学物質の削減・代替化を、優先的に取り組むべき課題と位置付けています。

位置付けています。当社が携わるあらゆる分野で環境負荷を低減することに、また、当社やお客さまの施設内における安全性について絶対の信頼を確保することに積極的に取り組んでいます。
こうした取り組み姿勢を明確にするため、1998 年に「環境に関する基1. 装置使用時における省エネルギー化への取り組み
東京エレクトロンの製品の多くは、クリーンルーム内で製造・使用されるものであることから、装置からクリーンルーム全体まで含めた多角的本理念 / 方針」および「安全・健康に関する基本理念 / 方針」を制定し、前な省エネルギーへのアプローチを進めています。具体的には次の 5 つが者は、2006 年5 月、グループの方向性や考え方をさらに明確にするためあります。

見直しを行い、改訂しました。また、昨今の地球温暖化・気候変動問題への対応の必要性を認識し、環境ステアリング委員会を2007 年 10 月に発1. 装置本体のエネルギー使用量低減足させ、環境対応活動をより加速させています。この委員会は開発部門の2. 周辺機器のエネルギー使用量低減

執行役員やマーケティング部門、経営戦略室、広報部門などで構成され、3. 装置の省エネルギー運用環境面における活動の社内最高機関として位置付けられています。さら4. クリーンルームのエネルギー使用量削減に、現在「 technology for eco life™」
を環境活動のスローガンとして、5. クリーンルームの省エネルギーマネジメント

中期的な環境目標の設定を検討しており、今後この目標に対する基準や（計画運転、適正運用など）達成計画を明確化して活動を進めていきます。
なお、半導体業界の世界標準として「 Semi S23 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティー、および材料の保全のためのガイド」が制定され、当社の製品群もこのガイドラインに基づき各装置のエネルギー使用量を把握しています。

2. 装置に含有される規制化学物質への取り組み

EHSマネジメント
東京エレクトロンでは、1997 年より主に製造系の各事業所を中心にiSo14001 に基づく環境管理システムを構築し、認証を取得しています。

近年、部品や材料に含まれる化学物質の環境や生態系への影響懸念により、自動車や電気製品などへの使用規制の動きが世界各国で活発になってきています。2006 年 7 月発効の欧州 RoHS*1 規制に対しては、当社製品の半導体製造装置はlarge-scale Stationary industrial toolに環境会計の導入
東京エレクトロンは、企業活動のうち環境保全に関わるコストを定量的に把握し、企業活動の指針として活用するために「環境会計制度」を導入しています。2008 年 3 月期の結果については、2008 年 9 月に発行予定の「東京エレクトロン環境・社会報告書 2008」をご覧ください。

該当するため 、適用除外と判断し、声明書を用意しました。また、2007
年 3 月発行の中国版 RoHS*2 に対しては 、遺漏なく適合を達成しています。東京エレクトロングループでは規制を先取りし、製造部門の代表者で構成される化学物質対策チームを結成し、必要な情報を共有しています。
また、取引先にも積極的にご協力いただき、含有物質の調査と非含有代替品への変更を推進しています。当社グループでは RoHS 指定 6 物質非含有製品の出荷を2008 年 10 月より開始していく予定です。
*1 Restriction of the use of certain Hazardous Substances in electrical and electronic equipment*2 中国 RoHS は俗称、正式名称は「中国電子情報製品汚染制御管理弁法」という

ISO14001 取得会社・事業所
認証取得年月日

認証番号

東京エレクトロン At（株）/
東京エレクトロン pS（株）

会社名相模事業所

1997 年 12 月 10 日

1110-1997-Ae-koB-RvA

東京エレクトロン東北（株）

東北事業所

1998 年 2 月 19 日

1118-1998-Ae-koB-RvA

東京エレクトロン九州（株）

熊本 / 合志 / 大津 / 佐賀事業所

1998 年 3 月 26 日

1120-1998-Ae-koB-RvA

東京エレクトロン At（株）

山梨事業所（藤井 / 穂坂地区）

1998 年 5 月 15 日

1124-1998-Ae-koB-RvA

宮城事業所

2005 年 3 月 1 日

01245-2005-Ae-koB-RvA

横浜事業所

2004 年 7 月 14 日

ec04J0144

東京エレクトロンデバイス
（株）

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事業所名

Annual Report 08 Tokyo Electron Limited

健康・安全への取り組み
東京エレクトロンでは、社員やお客さまの安全と健康優先、装置の安全性に配慮した設計など、企業活動のあらゆる側面で「健康と安全」を推TOPICS既存装置の改造による省エネルギー化進しています。
「東京エレクトロングループの安全 / 健康に関する基本理環境に配慮した設計を推進することは非常に重要と考えており、念/ 方針」の中には、各種業務の遂行において安全や健康に対する配慮を特に装置の省エネルギー化や、装置に含有される規制化学物質の削常に念頭において行動する責務が従業員に課せられていることが明示

減・代替は、優先的に取り組むべき課題として位置付けています。

されています。

東京エレクトロングループでは 、新規開発製品の場合、省エネル

2008 年 3 月期の当社グループ全体での応急処置を除く人身事故災害

ギー化、省資源化というコンセプトを盛り込んで製造・設置していくの件数は、売上や製品出荷が増加している中で、前期と比較して40% 以ことができますが、すでに販売・設置した装置の場合、当時の設計コ上大幅に削減することができました。特に顧客先での立ち上げ作業・メンセプトでは対策が取られていなかった機能などが含まれています。

ンテナンス作業時の人身事故災害が大幅に減少しています。これは 、従当社グループでは、これらを改善する商品を販売しています。一つ

来国内顧客先で行っていた安全管理体制（安全管理責任者の設置、安全の例として、熱処理成膜装置のAlpHA（α）-8Se を取りあげてご紹巡視や作業前の危険予知ミーティングの実施など）をグローバルに展開介します。

し、特にアジア地区において新規顧客工場設置時に重点的に進めたことによります。また 、当社オリジナルの安全ツールの開発や、教育の充実、高所作業や重量物作業の軽減を進めたことにもよります。今後もさらなる事故削減に向けて活動を進めていく方針です。

1. 配管ヒーター断熱性の向上
一部の配管では内容物の付着などを防ぐため 、温度を100 ℃〜200℃といった高温に保つ必要があります。この際、ヒーターを巻き配管内の熱を調整しますが、このヒーターの回りに断熱性の高い材

ステークホルダーとのコミュニケーション
東京エレクトロングループは、ステークホルダーの皆さまとのコミュニケーションを積極的に推進しています。それは、環境・健康・安全への取り組みを進めるためには、事業活動に関わるすべての皆さまとできる限り情報を共有し、コミュニケーションによってフィードバックを得る相互作用が不可欠と考えているからです。
その一つの例が地域への社会貢献です。
「社会に対し、常に規律を守り、協力的でありたい」「 社会の健全な発展のために協調することが我々

質を用いることでヒーターにかかる電力量を40% から 50% 程度削減できます。

2. 省エネルギー型ポンプ
従来のポンプから高効率の省エネルギー型ポンプに交換することにより、電力消費量を約 70% 削減することができます。これらの商品を用いることにより、従来のエネルギー使用量から約70% を削減することができる例もあります。の義務である」という考えに基づき、行政や地域社会との信頼関係を築きながら、国内はもちろん 、海外においても様々な社会貢献活動を展開

省エネルギー化による効果しています。

省エネポンプ
真空配管ヒーターより詳しい活動内容については、「東京エレクトロン環境・社会報告書（2008 年 9 月発行予定）をご覧ください。
2008」

http://www.tel.com/jpn/environment/ehsreport.htm
約70%のエネルギー使用量削減
従来変更後

AlpHA（α）-8Se

このほか、水冷機構追加によるクリーンルームへの放熱量低減や窒素使用量の削減、さらには品質や生産性の向上を目的としたものも用意されています。

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