半 導 体 カーブトレーサ
CS-8000 シリーズ

 最大5kV、最大最大、最大2000A
2000Aでのハイパワーテスト
ハイパワーテスト
 正確な微小電流測定 ((分解能250fA250fA）
 大画面12.1
大画面12.1インチのタッチスクリーン
インチのタッチスクリーン 多彩なGATE
多彩な ATE信号出力機能
出力機能
 充実した温度特性測定オプション
 プローバーでのハイパワーオンウェハテスト

半導体カーブトレーサの概要

機能と使いやすさの融合。進化をしつづけるカーブトレーサ
CS-8000シリーズは、最大シリーズは、最大シリーズは、最大5kVの高電圧ソースの高電圧ソース、、2kAの大電流電流ソースを搭載し、を搭載し、パルス出力・ゲートパターン・微パルス出力・ゲートパターン・微小電流測定機能を備えており、小電流測定機能を備えており、SiC、GaNGaN等、ワイドギャップ半導体の設計評価を強力にサポートします。
等、ワイドギャップ半導体の設計評価を強力にサポートします。

①④⑦⑤②③⑥①X-Y表示エリア
エリア
任意の電圧
任意の電圧/電流パラメータをそれぞれ
電流パラメータをそれぞれX軸Y軸電流パラメータをそれぞれに設定でき、に設定でき、Vds Id特性、スレッショルド電圧特性、スレッショルド電圧、特性、スレッショルド電圧
Vds-Vgs飽和特性等飽和特性等、様々な様々な半導体特性特性カーブのカーブの表示が可能でです。また、YY軸に複数のパラメータを複数のパラメータを設定できます。スケールはます。スケールはます。スケールはLog/リニアリニアの切り替えがが可能です。
②Y-T表示エリア
エリア
測定印加波形
測定印加波形をオシロスコープのようにオシロスコープのように時間軸でオシロスコープのように時間軸で表示します。パルス幅
パルス幅・測定ポイント・測定ポイント・発振などの発振などの波波形異常等をリアルタイムでリアルタイムでリアルタイムで確認できるので、るので、正確な正確な測定が行えたかの検証測定が行えたかの検証をを容易に行えまに行えます。
全ての印加波形
全ての印加波形データははX-Y表示のデータ表示のデータと同時と同時に保存できるので、できるので、測定結果の測定結果の再検証検証を行うことができます。
③測定データ
測定データ表示エリア
詳細な測定結果
詳細な測定結果と測定条件、ステータスと測定条件、ステータスをテキスと測定条件、ステータスをテキス
ト形式で表示表示します。
X-Y表示、Y--T表示、測定データ表示の３表示、測定データ表示の３つのエリ
表示、測定データ表示の３
アは表示のON/OFF
ON/OFF・サイズ
サイズの変更がができ、測定に測定に応じて見やすくアレンジすることができます。
また、３つのエリア
エリアはリンクしてはリンクして表示されます。
表示されます。

④コンフィ
コンフィグレーション
レーション設定エリア
エリア
デバイスの測定デバイスの測定コンフィグレーション
コンフィグレーションを設定します。
を設定します。
電圧/電流ユニットの選択や配線変更等を
電圧 電流ユニットの選択や配線変更等を
電流ユニットの選択や配線変更等をグラフィ
カルな表示でサポートしカルサポートします。
ます。
⑤パラメータ設定
パラメータ設定エリア
パラメータ設定
測定パラメータ・測定リミット
測定パラメータ
リミットの設定やマニュアル
マニュアル/自動測定の自動測定の切替えなどをこの替えなどをこの替えなどをこのエリアで行行います。
⑥USB
USB端子
USBメモリーにUSBメモリーに波形や設定を保存することがで波形や設定を保存することができます。
⑦操作
操作パネル
正面パネルにボタン
正面パネル ボタンとロータリーとロータリーノブが配置されが配置されており、マニュアル測定をており、マニュアル測定を簡単に簡単に行えます
えます。
中央に配置されたテンキーで中央に配置されたでは、パラメータの数値、パラメータの数値入力を行うことができます。
DRAIN/COLLECTOR・GATE/BASE
DRAIN/COLLECTOR GATE/BASE・垂直軸・
GATE/BASE
水平軸ロータリー
水平 ロータリーノブによりマニュアル測定をによりマニュアル測定を簡単によりマニュアル測定をに行うことができます。

半導体カーブトレーサの特長■用途に合わせた出力ソース■最小電流分解能 250fA

用途に合わせて用途に合わせて測定に必要な電圧・電流測定に必要な電圧・電流ユニットを測定に必要な電圧・電流ユニットを任意に選択できま選択できます。

トライアキシャルの採用と測定系
トライアキシャルと測定系の最適化の最適化等により、機器内のリークやノイズを低減したため、微小電流の安定した測定が可能です。の安定した測定が可能です。

■HVユニット
ユニット
2kV、5kV5kVの高電圧ユニットです。の高電圧ユニットです。DC/DC/パルス波
パルス波が選択可能です。
が選択可能です。定電圧・定電流駆動測定の選択が定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。
メインユニット

CS-8200
8200

CS-8500

最大電圧（最大電流）

2kV（20mA20mA）

５kV（8mA）

波形

DC、パルス、パルス

極性

正/負

測定電流分解能250ｆAAユニット (全メインユニット全メインユニット共通共通)■MVユニット
200Vの中電圧ユニットです。の中電圧ユニットです。定電圧・定電流駆動の中電圧ユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。
測定の選択ができます。DC
DC、パルスの他、、パルスの他、SIN、半、半波、全波波形が選択できます。

■多彩な■GATE 信号出力
最大電圧（最大電流）

200V（２（２A）

波形

DC（200mA200mA）、パルス（2A2A）、SIN、半波、全波、半波、全波

極性正/負/両極性
両極性

測定電流分解能

250ｆA
A

ATE信号をシーケンス出力
シーケンス出力
シーケンス出力し、印加することがでし、印加することがでGATEきます。
ホールドタイム可変範囲
ホールドタイム可変範囲 0.000[s] ～ 5.000[s]予備信号電圧範囲 GATE側 -40[V] ～ +40[V]■GATEユニット
ユニット (全メインユニット全メインユニット共通共通)
40Vのユニットです。のユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。
択ができます。DC、パルスの他、、パルスの他、SINSINが選択できまが選択できます。

①②③

最大電圧（最大電流）

４０V（11A）

波形

DC、パルス、、パルス、SIN

極性

正/負//両極性

測定電流分解能

250ｆA
A15V

②

■HCユニット
ユニット
大電流モード搭載により、大電流モード搭載により、2000Aまでのまでの大電流測大電流測定に対応できます。
定に対応できます。パルス幅、パルス幅、測定周期測定周期、測定範囲、測定範囲が可変できます。
できます。

-2V
2V

③HCユニット

CS-205

CS-210CS-2２0最大電流（電圧））500A（50V50V）

１kA（50V））

2kA（50V50V）

10us～1ms
1ms

10us～500us
500us

波形
パルス幅
極性

パルス

正/負-15V①半導体カーブトレーサの特長■ヒステリシスの測定
ヒステリシスの測定■コンフィグレーションに合わせた■コンフィグレーションに合わせた容易
容易な測定設定

CS-8000はヒステリシスを持ったはヒステリシスを持ったSiCやGaNなはヒステリシスを持ったSiC
どのワイドバンドバンドギャップ半導体の測定に便利な機
ギャップ半導体の測定に便利な機能を備えています。

測定用コンフィグレーションのグラフィ
ック表示により容易に各種設定が可能です。

ダブルスイープ機能は UP スイープ・DOWN
DOWN スイープを同時表示するためヒステリシスの観測が可能です。

テスト・フィクスチャCS-322
テスト・フィクスチャ
322にはコンフィグレーシにはコンフィグレーシ
ョン設定に合わせ内部マトリックススイッチが自動的に切り替わるため、配線の差し替えの必要がありません。また、従来必要だったません。また、従来必要だったHVユニットとユニットとHCユニットの手動の接続切り替えが、コンフィグレーション設定により内部リレーで自動的に切り替わるため必要ありません。これらの機能により測定時の誤配線を防止します。

■温度特性測定
振幅・時間を調整し、任意のゲートパターン入力が可能です。また、ゲートへの予備信号印可も可能です。
これらの機能により、同じ条件でのヒステリシスの測定を実現します。

■使い易さを追求したユーザインタフェース
使い易さを追求したユーザインタフェース
１2.1インチのタッチスクリーンや正面パネルのインチのタッチスクリーンや正面パネルのボタインチのタッチスクリーンや正面パネルのボタン、ロータリーロータリーノブによって直感的な操作が行えまノブによって直感的な操作が行えます。また、画面上のオンスクリーンキーボードや正面パネルのテンキーにより設定値、リミット値など直接入力が可能です。
接入力が可能です。USB
USBマウス/キーボードでの操キーボードでの操作も可能です。

タッチスクリーン UI

正面パネル

実動作時に高温・低温環境で使用される実動作時に高温・低温環境で使用されるDUT
DUTに対しては温度特性の評価が不可欠です。
CS-8000はホットプレートやサーモストリーマとCS
はホットプレートやサーモストリーマとの組み合わせにより、温度特性測定が可能です。サ組み合わせにより、温度特性測定が可能です。サーモストリーマを使用するには専用フィクスチャ及びアダプタが必要です。ソフトウェアにより自動測定も可能です。

半導体カーブトレーサの特長■オンウェハテストの親和性向上
オンウェハテストの親和性向上
出力端子に耐ノイズ性の高いトライアキシャルを搭載し、プローバーとの接続が容易です。

外部インターロック端子―出力リミット
出力リミット機能―機能―
電圧・電流・電力、それぞれのリミット値を設定でき、DUT の損傷を防ぐことができます。
また、ハードウェアの過電流保護機能により、測定レンジの１．４倍の電流が流れると電流を遮断します。

■安全機構
安全機構
―インターロック機能―
フィクスチャのカバーに連動したインターロック機
能を搭載しており、インターロック動作時には出力を停止し、感電等の危険を回避し安全に測定を行います。
プローバーや恒温槽等を使用する場合においても、外部インターロック端子と連動させることによって安全に測定することができます。
本体、フィクスチャの本体、フィクスチャのLED
LEDによりインターロックの状によりインターロックの状態を確認できます。

テスト・フィクスチャ

メインユニット

組合せ構成
測定ターゲットの電圧と電流に合わせてHCユニットやフィクスチャを選択できます
測定ターゲットの電圧と電流に合わせてユニットやフィクスチャを選択できます。
ユニットやフィクスチャを選択できます
構成例 ２ｋ２ｋV、2000A
2000Aで使用する場合で使用する場合
メインユニット： CS-8200
8200
HCユニット
ユニット: CS-220
テスト・フィクスチャ : CS-322HV/HC
322HV/HC

アクセサリケーブル
HV標準ケーブルセット
標準ケーブルセット CS-021-021
HC標準ケーブルセット
標準ケーブルセット CS--022

アクセサリ■パッチパネルパッチパネル
CS-32x
32x用 パッチパネル
CS-55ｘｘ アダプタ用パッチパネル

テスト・アダプタはオプションアダプタはオプション))■アダプタ

CS-500シリーズ
シリーズ

テスト・フィクスチャに装着して使用します
テスト・フィクスチャに装着して使用します■ケーブル
CS-025025

1本

HV(2kV)、HV(5kV)
HV(2kV) HV(5kV)のフォース、センス用のフォース、センス用ケーブルです
ケーブルです1本

MV、ゲート、エミッタのフォース、センスと、ゲート、エミッタのフォース、センスと GNDU 用ケーブルです用1本

ユニット制御用ケーブル
ユニット制御用ケーブルです

1本

本ケーブルは、インターロック用
本ケーブルは、インターロック用とＨＣセンス用にそれぞれ必要となりＨＣセンス用にそれぞれ必要となりHV ケーブル
ケーブル(L=1.0m)
CS-026026
トライアキシャルケーブル
トライアキシャルケーブル(L=1.0m)(L=1.0m)
CS-027027
コントロールインタフェースケーブル
コントロールインタフェースケーブル(L=1.0m)(L=1.0m)
CS-028028
インターロック／センスケーブル
インターロック／センスケーブル(L=1.0m)(L=1.0m)

HVケーブルケーブル

トライアキシャルケーブル

ますコントロールインタフェースケーブル

インターロック／センスケーブル

仕様
メインユニット モデル名
HV ユニット

CS-80208020

CS-8200
8200

CS-8500
8500(TBD)

最大ピーク電圧（最大電流）
測定電圧レンジ（フルスケール）
測定電流レンジ
最小測定電流分解能
波形
MV ユニット－－－－－

2kV（20mA20mA）
50V～
～2kV
20mA～
～50μA
250fA
DC・パルス・パルス

５kV（（8mA）
50V～5kV
50V
20mA～
～50μA
250fA
DC・パルス・パルス

最大ピーク電圧（最大電流）
測定電圧レンジ（フルスケール）
測定電流レンジ
最小測定電流分解能
波形
GATE ユニット

200V（2A）
200V
200mV～200V
200mV
2A～～5nA
250fA
DC・パルス・パルス

最大ピーク電圧（最大電流）
測定電圧レンジ（フルスケール）
測定電流レンジ
最小測定電流分解能
波形
標準付属品

40V（1A）
40V
1V～～50V
1A～～5nA
250fA
DC・パルス・・パルス・SIN（50Hz））
電源ケーブル
電源ケーブル、コントロールインタフェース終端器
コントロールインタフェース終端器
コントロールインタフェース終端器、取扱説明書、取扱説明書/CD

HC ユニット モデル名
最大ピーク電流（最大電圧）
測定電圧レンジ（フルスケール）
測定電流レンジ波形
標準付属品

CS--205

CS-210CS

CS-220CS

500A（50V50V）
１000A（50V50V）
2000A（50V50V）
200mV～50V
50V
200mV～50V
50V
200mV～～50V
500mA～500A
500A
500mA～11000A
500mA～～2000A
パルス（幅10u10us～1ms）
パルス（幅10u10us～500us）
パルス（幅10u10us～500us）
電源ケーブル、電源ケーブル、HC-FIXTUREFIXTURE 接続ユニット
ユニット、取扱説明書、取扱説明書※HC ユニットユニットをご使用のご使用の場合は、別途場合は、別途センスケーブルが必要となります。
ケーブルが必要となります。

テスト・フィクスチャ モデル名
標準付属品

CS-320320(近日発売予定)
CS-322電源ケーブル、標準リードセット
電源ケーブル、標準リードセット(CS(CS-005 1 式 7 本組) 、取扱説明書
HV/HC ケーブル (2 本)※テスト・フィクスチャを接続する場合は、別途ケーブルが必要となります。
テスト・フィクスチャを接続する場合は、別途ケーブルが必要となります。

■ケーブルセット
ケーブルセット

テスト・フィクスチャやHCユニットへの接続時に使用します。
テスト・フィクスチャやユニットへの接続時に使用します。
ケーブルセット名

型番

品名

CS-020CS-026

トライアキシャルケーブル(L=1.0m)
トライアキシャルケーブル(L=1.0m)

MV 標準ケーブルセット
ケーブルセット (CS-320(CS用推奨セット)
用推奨セットCS-027

コントロールインタフェースケーブル
コントロールインタフェースケーブル(L=1.0m)(L=1.0m) １本

７本

CS-028インターロック／センスケーブル
インターロック／センスケーブル(L=1.0m) １本

CS-021

CS-025

HV ケーブル(L=1.0m)(L=1.0m)

HV 標準ケーブルセット
ケーブルセット (CS-322(CS用推奨セット)
用推奨セットCS-026

トライアキシャルケーブル(L=1.0m)
トライアキシャルケーブル(L=1.0m)

CS-027

コントロールインタフェースケーブル
コントロールインタフェースケーブル(L=1.0m)(L=1.0m) １本

２本
７本

CS-028

インターロック／センスケーブル
インターロック／センスケーブル(L=1.0m) １本

CS-022

CS-027

コントロールインタフェースケーブル
コントロールインタフェースケーブル(L=1.0m)(L=1.0m)

HC 標準ケーブルセット
ケーブルセット (HC ユニット用推奨セット)
ユニット用推奨セット

CS-028

インターロック／センスケーブル
インターロック／センスケーブル(L=1.0m)

１本

１本

オーダーインフォメーション
品名
メインユニットHC ユニット

型番価格(税別税別)

備考

CS-8020

2,480,000
000 円

200V、2A、2A

CS-8200

3,980,000
000 円

2kV、20mA0mA

CS-8500

5,980,000
000 円

5kV、8mA8mA

HC500

CS-2052,800,000
000 円

500A (50V)

HC1k

CS-2105,000,000
000 円

1000A (50V)

9,000,000
000 円

2000A (50V)

半導体カーブトレーサ

HC2k

CS-220

テスト・

テスト・フィクスチャ MV

CS-320

フィクスチャ

テスト・フィクスチャ
フィクスチャ HV/HC

CS-3221,800,000000 円

MV 標準ケーブルセット
標準CS-020

89,00000 円

CS-320320 用 推奨ケーブルセット

HV 標準ケーブルセット
ケーブルセット

CS-021

219,000
00 円

CS-321/322
321/322 用 推奨ケーブルセット

HC 標準ケーブルセット
ケーブルセット

CS-022

19,00000 円

HC ユニット用ユニット用 推奨ケーブルセット

HV ケーブルCS-025

65,00000 円

HV(2kV),HV(5kV)
HV(2kV),HV(5kV)のフォース、センス用
フォース、センス用

トライアキシャルケーブル

CS-026

10,00000 円

MV、ゲート・エミッタのフォース、センス用、ゲート・エミッタのフォース、センス用

コントロールインタフェースケーブル

CS-027

10,00000 円

ユニット制御用インターロック センスケーブル
インターロック/センスケーブル

CS-0289,000
00 円

インターロック、インターロック、HC センス用

CS-32xx 用パッチパネル

CS-52098,00000 円

CS-5xx
5xx アダプタ用

小型ワニ口赤 10 個セット

CS-00114,800 円

小型ワニ口クリップ 赤 10 個組み

小型ワニ口黒 10 個セット

CS-00214,800 円

小型ワニ口クリップ 黒 10 個組み

高圧ワイヤ 5 本セット
高圧ワイヤ赤CS-003

16,00000 円

高電圧ワイヤ
高電圧ワイヤ(赤色)5 本セット

ワイヤ黒 5 本セット

CS-00416,00000 円標準ワイヤ
標準ワイヤ(黒色)5 本セット

標準リードセット

CS-00550,000 円

標準添付リードセット

High Current 用ケーブル

CS-006

２５,00000 円

20cm 2 本セット

High Current 用ケーブル

CS-00735,00000 円

30cm 2 本セット

TO タイプテスト・アダプタ

CS-501A

69,800 円

TO-220
220、TO247

AXIAL タイプアダプタ

CS-50269,800 円

アキシャルタイプ

TO-263263-3(D2PAK)タイプアダプタ

CS-50369,800 円

TO-263263-3/D2PAK

TO-252
252-3 タイプアダプタ

CS-50469,800 円

TO-252
252-3 用TO-263263-7 タイプアダプタ

CS-50569,800 円

TO-263263-7 用TO-252252-5 タイプアダプタ

CS-50669,800 円

SC-70--3(SOT-323-3)タイプアダプタ

CS-50769,800 円

SC-70--3、SOT-323
323-3 用SMD チップタイプアダプタ

CS-508248,000000 円

SMD 用 2 端子

SC-59A
59A タイプアダプタ

CS-50969,800 円

SC-59A/SOT
59A/SOT-23-3
3用

SC-62 タイプアダプタ

CS-51069,800 円

SC-62/SOT
62/SOT-89 用

測定器用台車MT-600L

220,000000 円

最大荷重 : 100kg

ケーブルセット

ケーブル

パネル
ワニ口

測定ケーブル

近日発売予定テスト・アダプタ

200V/2A
5kV/２０００２０００A

TO-252252-5 用※注文時に※注文時に#1,2,4,5 ピンの接続をご指定ください

その他※ 製品を廃棄する場合には、地方自治体の条例・規則に従って廃棄してください。 ●製品改良等により、外観および性能の一部を予告なく変更することがあります。
製品改良等により、外観および性能の一部を予告なく変更することがあります。
製品改良等により、外観および性能の一部を予告なく変更することがあります。
※ 社名、商品名等は各社の商標または登録商標です。

●ここに記載しました内容は、ここに記載しました内容は、2021 年 1 月現在のものです。
月現在のものです。

●お問い合せは、下記当社営業部および営業所または取次店へお問い合せください。
お問い合せは、下記当社営業部および営業所または取次店へお問い合せください。
お問い合せは、下記当社営業部および営業所または取次店へお問い合せください。 ●価格は変更の可能性があります。ご注文の際はご確認を頂けますようお願い申し上げます。
価格は変更の可能性があります。ご注文の際はご確認を頂けますようお願い申し上げます。
価格は変更の可能性があります。ご注文の際はご確認を頂けますようお願い申し上げます。

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関 西 営 業 所 〒 530-0041 大阪市北区天神橋2-2-10Y'sビル4F TEL.06-6357-6166