MOTORIZED STAGES

マイクロスキャニングステージ

MSS-B series
MSS-50B / MSS-50WB / MSS-150B / MSS-200B / MSS-300B

取扱説明書
このたびは、当社製品をお買い上げいただき、まことにありがとうございました。
この取扱説明書をよくお読みのうえ、製品を正しく安全にお使いください。
お読みになったあとも大切に保管し、必要なときにご活用ください。

マイクロスキャニングステージ

目次
123456789特長..................................................................................................................... 2付属品................................................................................................................. 3MSS-B シリーズ 対応顕微鏡一覧...................................................................... 4
使用上のご注意................................................................................................... 5
各部の名称と機能................................................................................................ 6
顕微鏡への取付................................................................................................... 8
ステージ面の平行調整......................................................................................10手動操作............................................................................................................ 11主な仕様............................................................................................................121. 製品仕様.......................................................................................................122. 寸法図...........................................................................................................133. モータ仕様....................................................................................................23
4. モータ内部結線.............................................................................................23
5. コネクタ結線仕様.........................................................................................23
6. センサの仕様................................................................................................25
10 コントローラ、接続ケーブル（別売）................................................................26
1. 接続方法........................................................................................................26
2. コントローラ、接続ケーブル（別売）...........................................................26
3. コントローラの設定......................................................................................27
4. 表示単位の設定............................................................................................28
11 MSS シリーズ用ホルダ＆プレート（オプション）............................................29
12 保証と修理........................................................................................................30

1 特長● 薄型、軽量、大移動量を誇る自動ステージです。
● ボールねじとクロスローラーガイドの採用により高精度を実現。
● 顕微鏡への取付が容易。
● 原点センサを標準で装備。
● 透過照明に対応。
（※一部非対応）● 各種ホルダをオプションで用意。
● 当社製ステージ用コントローラに対応。
● 被検物の多様化に応じ、用途に合わせた選択が可能。
● RoHS 指令に適合。ステッピングモータに RoHS 指令適合の高性能モータ（0.35/ 相）を採用しています。

マイクロスキャニングステージ

2 付属品
MSS-50B-OA, OB, NA / MSS-50WB-OA, OB, NA
品名
取扱説明書（本書）
六角レンチ
六角穴付きボルト
アルミプレート
アダプタ

アダプタ取付用（レンチの呼び 2.5）
アルミプレート固定用（レンチの呼び 1.5）
アダプタ取付用（M3）数量1114
11 セットMSS-150B
品名
取扱説明書（本書）
六角レンチ
六角穴付きボルト
アルミプレート

アダプタ取付用（レンチの呼び 3）
アルミプレート固定用（レンチの呼び 1.5）
アダプタ取付用（M4）数量
1114
1MSS-150B-OA, NB, NA
品名
取扱説明書（本書）
六角レンチ
六角穴付きボルト
アルミプレート
スペーサ

本体固定およびスペーサ固定取付用（レンチの呼び 3）
アルミプレート固定用（レンチの呼び 1.5）
アダプタ取付用（M4）スペーサ取付用（M4）

数量
11144
11MSS-150B-NC
品名
取扱説明書（本書）
六角レンチ

六角穴付きボルト
アルミプレート

本体固定用（レンチの呼び 3）
スペーサ取付用（レンチの呼び 5）
アルミプレート固定用（レンチの呼び 1.5）
アダプタ取付用（M4）スペーサ取付用（M6）数量111144
1MSS-200B / MSS-300B
品名
取扱説明書（本書）
六角レンチ

六角穴付きボルト
アルミプレート

本体固定用（レンチの呼び 3）
本体固定用（レンチの呼び 5）
アルミプレート固定用（レンチの呼び 1.5）
本体固定用（M4）
本体固定用（M6）

数量111144
1MSS-200B-NA / MSS-300B-NA
品名
取扱説明書（本書）
六角レンチ

六角穴付きボルト
アルミプレート
スペーサ

本体固定用（レンチの呼び 3）
本体固定用（レンチの呼び 5）
アルミプレート固定用（レンチの呼び 1.5）
本体固定用（M4）
本体固定用（M6）

数量
11114411

マイクロスキャニングステージ

3 MSS-B シリーズ対応顕微鏡一覧
MSS-B シリーズ（マイクロスキャニングステージ）は各社の多くの顕微鏡に取り付けできるように設計されています。顕微鏡への取付の際は、直接またはアダプタを介して取り付けますが、それぞれ顕微鏡によってアダプタの種類が異なります。ご注文時、顕微鏡の指定がない場合、または製品番号が異なった場合は、取り付けに必要なアダプタが付属しませんので、ご注意ください。

MSS-50B の対応顕微鏡
メーカー
オリンパス
ニコン

対応顕微鏡
BH2
BX40 / BX41M-LED / BX51 / BX51M / BX60 / BX61
オプチフォト 100S / エクリプス ME600

顕微鏡に対応する製品番号
MSS-50B-OA
MSS-50B-OB
MSS-50B-NA※製品によっては、透過照明に対応できないものがあります。

MSS-50BW の対応顕微鏡
メーカー
オリンパス
ニコン

対応顕微鏡
BH2
BX40 / BX41M-LED / BX51 / BX51M / BX60 / BX61
オプチフォト 100S / エクリプス ME600

顕微鏡に対応する製品番号
MSS-50WB-OA
MSS-50WB-OB
MSS-50WB-NA※製品によっては、透過照明に対応できないものがあります。

MSS-150B の対応顕微鏡
メーカー
オリンパス

ニコン

対応顕微鏡
MX40
MX50
MX-51
MA-61 / MX61L / MX80
オプチフォト 150
エクリプス LV100D
エクリプス L150
エクリプス LV150 / LV150A
エクリプス LV200 / LV200A

顕微鏡に対応する製品番号
MSS-150B-OA
MSS-150B
MSS-150B-OA
MSS-150B
MSS-150B
MSS-150B-NB
MSS-150B
MSS-150B-NA
MSS-150B-NC

MSS-200B の対応顕微鏡
メーカー

オリンパス

ニコン

対応顕微鏡

顕微鏡に対応する製品番号

MX-50 / MX61 / MX61A / MX61L / MX80

MSS-200B

エクリプス L200 / L200A / L200D

MSS-200B-NA

オプチフォト 200

MSS-200B

MSS-300B の対応顕微鏡
メーカー
オリンパス
ニコン

対応顕微鏡
MX61A / MX61L / MX80
エクリプス L300 / L300D、オプチフォト 300

注意

顕微鏡に対応する製品番号
MSS-300B
MSS-300B-NA● 透過照明用のコンデンサレンズによっては、搭載不可能な場合がありますのでご注意ください。
● 上記以外の顕微鏡への搭載は、調査検討が必要となりますのでお問い合わせください。
● 上記顕微鏡および他の顕微鏡において搭載できる荷重にはご注意ください。

マイクロスキャニングステージ

4 使用上のご注意

衝撃を与えないでください

10℃〜40℃

使用環境にご注意ください

本製品は精密部品で構成されています。衝撃を与えたり、他の機器からの振動の悪影響を受ける恐れのあるところで使用しないでください。保証された精度内の動作が行えなくなります。

温度の極端に高いところや低いところ、温度の変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでは使用しないでください。本製品は、周囲温度
10 ～ 40℃ / 湿度 20 ～ 80％ RH でご使用ください。

磁気記録媒体を近づけないでください

異常が発生したらステージに使用されているモータには強力なマグネットが使われています。フロッピディスク、MO ディスク、カセットテープなどの磁気記録媒体をステージに近づけないでください。データを破損する恐れがあります。

分解や改造をしないでください

本製品は精密に調整されていますので、分解や改造は絶対に行わないでください。故障や動作不良の原因になります。分解や改造を起因とする精度低下や故障が発生した場合、保証が適用できなくなります。
改造や追加工が必要な場合には、当社営業部までご相談ください。



使用中に異音・異臭・発煙などが発生した場合は、すぐに使用を中止し、コントローラ（ドライバ）の電源を OFF にして、お買い上げの販売店または当社営業部までご連絡ください。

移動中のステージに触れないでください

コントローラによる操作を行っているときは、移動中のステージに触れたり、手動ハンドルに触れたりしないでください。正確な動作ができなくなり、故障や動作不良の原因となるばかりでなく、指などを巻き込みけがをする恐れがあります。また、使用中モータは発熱しています。火傷の恐れがありますので、モータには触れないよう十分ご注意ください。

マイクロスキャニングステージ

5 各部の名称と機能
MSS-50B / MSS-50WB①②③ ④⑤Y軸の動き
X軸の動き⑥⑦⑧⑨⑥ 取付ねじ

① アルミプレート② Y 軸モータステージ本体の顕微鏡への取り付けに使用します。
（→ P.8）③ コネクタ⑦ アルミプレート固定ねじ

HG ステージ接続ケーブル（別売）でコントローラ、またはドライバと接続します。

④ 平行調整ねじ（3 か所）

3 か所のねじでアルミプレート面の平行を調整します。

重要

ステージ移動によるピントのずれを防ぐため平行調整は正確に行ってください。

手動で Y 軸の移動を行います。
奥へ移動

手前へ移動
（時計回り）⑧ X 軸手動ハンドル

手動で X 軸の移動を行います。
左へ移動

右へ移動

（反時計回り）（時計回り）⑨ X 軸モータ⑤ Y 軸手動ハンドル（反時計回り）

MSS-50B / MSS-50WB は側面 2 か所のねじで固定されています。アルミプレートを外すときやステージ面の平行調整（→ P.11）を行うときは、このねじを緩めてください。

注意

手動ハンドルでの操作はコントローラの電源が OFF の状態、または励磁が OFF の状態で使用してください。
マイクロスキャニングステージ

MSS-150B / MSS-200B / MSS-300B①②③④⑤Y軸の動き

X軸の動き⑥⑦⑧① アルミプレート⑥ アルミプレート固定ねじ② コネクタHG ステージ接続ケーブル（別売）でコントローラ、またはドライバと接続します。

③ Y 軸モータMSS-150B / MSS-200B/ MSS-300B は 側面にそれぞれ 2 か所（合計 4 か所）のねじで固定されています。アルミプレートを外すときやステージ面の平行調整（→ P.9 〜 P.11）を行うときは、このねじを緩めてください。

⑦ X 軸手動ハンドル④ 平行調整ねじ（3 か所）

3 か所のねじでアルミプレート面の平行を調整します。

重要

手動で X 軸の移動を行います。
左へ移動

右へ移動

（反時計回り）（時計回り）

ステージ移動によるピントのずれを防ぐため平行調整は正確に行ってください。

⑧ X 軸モータ⑤ Y 軸手動ハンドル

手動ハンドルでの操作はコントローラの電源が OFF の状態、または励磁が OFF の状態で使用してください。

手動で Y 軸の移動を行います。
奥へ移動

手前へ移動

（反時計回り）（時計回り）

注意

マイクロスキャニングステージ

6 顕微鏡への取付■ MSS-50B / MSS-50WB① しっかりとした作業台の上に布などを敷き、ステージを裏返しにして静かに置きます。
② ステージ裏側の図の位置に「アダプタ」を付属のねじで取付けます。

取付ねじ
アダプタ

MSS-50B裏面③ 取付ねじを緩めて、顕微鏡の取付部に静かに載せます。その際、顕微鏡の取付部と取付アダプタがかみ合うように設置してください。
④ 取付ねじを締めて、ステージを固定します。

マイクロスキャニングステージ■ MSS-150B / MSS-200B / MSS-300B① アルミプレート固定ねじ（4 か所）を緩め、アルミプレートを取り外します。

② ステージを顕微鏡に静かに載せ、取付用の穴と顕微鏡側のねじ穴を合わせます。
③ 付属のねじでステージと顕微鏡を固定します。

マイクロスキャニングステージ■ MSS-150B / MSS-200B / MSS-300B（製品番号の末尾に -OA, -OB, -NA, -NB, -NC が付く製品）① アダプタを付属のねじで顕微鏡に固定します。
② ステージをアダプタに静かに載せ、ステージの穴とアダプタのねじ穴を合わせます。
③ 付属のねじでアダプタとステージを固定します。

アダプタ

10

マイクロスキャニングステージ

7

ステージ面の平行調整
ステージ面の平行調整についてステージ面の平行調整に狂いがあるとステージ移動の際ピントのずれが生じます。ステージ面の四隅でピントのずれが最小になるように調整してください。
① アルミプレート固定ねじを緩めます。
● MSS-50B, -50WB の場合、側面に 2 か所の固定ねじがあります。
● MSS-150B, -200B, -300B の場合、前面と側面にそれぞれ 2 か所（合計 4 か所）の固定ねじがあります。
② アルミプレートの平行調整ねじ（3 か所）を回して平行調整を行います。
ねじを時計方向に回すと上がり、反時計方向で下がります。
③ ステージ面の四隅でピントを確認し、平行調整を行います。
④ 平行調整が終了したら、アルミプレート固定ねじを締め付けます。
平行調整ねじ（3か所）

アルミプレート固定ねじ

MSS-150B  

11

マイクロスキャニングステージ

8 手動操作
コントローラの電源が OFF の状態、または励磁が OFF の状態で、ステージを手動で移動させることができます。

注意● 上記以外での手動操作は、機械の故障の原因となるばかりでなく思わぬ事故の原因となる場合がありますので、絶対に行わないでください。
● 手動でステージを移動させた場合、ステージ位置がリミットセンサの検知範囲外になっている場合があります。そのまま、モータ駆動を行うと故障や誤動作の原因となります。手動操作でステージを大きく移動させた場合は、手動で元の位置または原点まで戻してください。

奥へ移動

左へ移動

手前へ移動

右へ移動

MSS-150B  

12マイクロスキャニングステージ

9 主な仕様1. 製品仕様
MSS-50B / MSS-50WB
項目
移動方向
移動量

ステージ面

使用モータ

MSS-50B± 25mm

位置決め精度

繰り返し精度

質量

最高速度（8,000pps 時）

205mm × 155mm

0.002mm（0.001mm）
1mm

0.008mm
0.005mm

ロストモーション耐荷重

X 軸± 50mm Y 軸± 25mm

PK523PA（5 線式ペンタゴン結線）

送りねじリード
移動ガイド

MSS-50WB

X・Y 軸 2 方向155mm × 155mm

分解能

真直度（水平・垂直）仕様

V 溝とクロスローラ

水平 0.010mm 垂直 0.015mm

X 軸 0.010mm Y 軸 0.005mm± 0.002mm
0.002mm

29.4N（3kgf）

2.7kg（アルミプレートを除く）

3.3kg（アルミプレートを除く）

16mm/sec（8mm/sec）

材質

アルミ合金

標準付属品

アルミプレート

MSS-150B / MSS-200B / MSS-300B
項目
移動方向
移動量

ステージ面

使用モータ

分解能

MSS-150B± 75mm

280mm × 230mm

真直度（水平・垂直）
位置決め精度

繰り返し精度

質量（アルミプレートを除く）

最高速度（8,000pps 時）± 100mm

355mm × 305mm± 150mm

460mm × 405mm

PK525PA
（5 線式ペンタゴン結線）

0.002mm（0.001mm）
1mm

水平 0.010mm
垂直 0.015mm
0.010mm

ロストモーション
耐荷重

MSS-300B

X・Y 軸 2 方向

PK523PA
（5 線式ペンタゴン結線）

送りねじリード
移動ガイド仕様

MSS-200B

V 溝とクロスローラ
水平 0.015mm
垂直 0.025mm0.015mm± 0.002mm

ー0.040mm

0.003mm

5.1kg

材質

49N（5kgf）
7.3kg

16mm/sec（8mm/sec）
アルミ合金

標準付属品

アルミプレート※ 分解能および移動速度の（）の数値はハーフステップ時の数値です。
※ 位置決め精度は移動量の 1/10 に対しての精度です。
※ MSS-300B の真直度についてはお問い合せください。

1310.3kg

マイクロスキャニングステージ

2. 寸法図MSS-50B

MSS-50B-OA

14

マイクロスキャニングステージ

MSS-50B-OB

MSS-50B-NA

15マイクロスキャニングステージ

MSS-50WB

MSS-50WB-OA

16

マイクロスキャニングステージ

MSS-50WB-OB

MSS-50WB-NA

17

マイクロスキャニングステージ

MSS-150B

MSS-150B-OA

18

マイクロスキャニングステージ

MSS-150B-NA

MSS-150B-NB

19マイクロスキャニングステージ

MSS-150B-NC

20マイクロスキャニングステージ

MSS-200B

MSS-200B-NA

21

マイクロスキャニングステージ

MSS-300B

MSS-300B-NA

22

マイクロスキャニングステージ

3. モータ仕様
項目仕様

製品番号

MSS-50B / MSS-50WB /MSS-150B / MSS-200B

モータ型式

PK523PA

電流

0.35A ／相励磁最大静止トルク

巻線抵抗

ロータ慣性モーメント
質量

モータ構造

MSS-300B
PK525PA

0.046N・m（0.46kgcm）

0.078N・m（0.78kgcm）

4.95 Ω／相6.5 Ω／相9gcm218gcm2

0.11kg0.2kg

ハイブリッド型

巻線相数

5相ステップ角

フルステップ 0.72 ゜／ハーフステップ 0.36 ゜

絶緑抵抗

常温常湿においてモータのコイルケース間を DC500V メガーで測定した値が 100M Ω以上あります。

静止角度誤差± 0.05°（± 3'）

絶縁耐圧

常温常湿においてモータのコイルケース間に 50Hz 0.5kV を 1分間印加しても異常を認めません。

絶縁階級

UL/CSA 規格：A 種絶縁 ／ IEC 規格：B 種絶縁（130℃）

温度上昇

常温常湿において定格電流で 5 相励磁・静止状態のとき 80℃以下（抵抗法）

使用温度範囲

− 10℃〜 50℃

有害物質

RoHS（EU 指令 2002/95/EC  27 Jan. 2003）適合※ 静止角度誤差：フルステップ（0.72 ゜）無負荷時の値（負荷により変動します）※ 本モータはオリエンタルモーター社製の当社専用仕様品です。

4. モータ内部結線

モータの内部結線は 5 線式ペンタゴン結線になっています。ドライバを選定する際には注意してください。
青D相

青A相

D相

黒赤

B相

C相

緑

E相

橙灰紫

B相

C相緑

オリエンタルモーター

A相

E相
中央精機

23茶マイクロスキャニングステージ

5. コネクタ結線仕様
コネクタHR30-7R-12PC（71）ヒロセ電機製

PK525PAまたはPK523PA

青紫茶緑
黒コネクタHR30-7R-12PC（71）ヒロセ電機製

PK525PAまたはPK523PA

青紫茶緑
黒Y

注意

● ステージとコントローラの間のケーブルは 3m 以内にしてください。
● センサ信号入力は、コントローラ側においてフォトカプラ等でのアイソレーションを推奨します。
24

マイクロスキャニングステージ

6. センサの仕様
ステージ側

コントローラ側（+5〜+24V）

主回路

遮光・入光の検出センサは、オムロン製フォトインタラプタ IC EE-SX4134 を使用しています。
出力形態：オープンコレクタ
センサ電源電圧（Vcc）：+5V 〜 +24V
センサ消費電流（Icc） ：max.30mA（センサ 1 個当り）
最大電圧（Vo）：max.30V
最大電流（Io）：max.30mA

25

マイクロスキャニングステージ

10 コントローラ、接続ケーブル（別売）
1. 接続方法

当社製コントローラとの接続を示します。お客様の仕様に合わせてご購入ください。万が一、間違って購入された場合には、速やかに当社までご連絡ください。
MSS-B シリーズ

接続ケーブルコントローラ・ドライバ

QT-ADL1-35
ACB-STH2
ACB-STH3

QT-ADM2-35

QT-ADM3-35

ACB-STH-D3

QT-AMH2-35※接続ケーブルは、1軸につき2本必要です。
オリエンタルモーター（株）社製のドライバなど※他のコントローラとの接続については、当社までお問い合わせください。

2. コントローラ、接続ケーブル（別売）
製品名

1 軸コントローラドライバ（0.35A/ 相）

製品番号

QT-ADL1-35

価格￥72,000￥130,000

2 軸コントローラドライバ（0.35A/ 相）QT-ADM2-35

高機能 2 軸コントローラドライバ（0.35A/ 相）QT-AMH2-35￥230,000

ACB-STH3￥8,0003 軸コントローラドライバ（0.35A/ 相）HG ステージ接続ケーブル（1.5m）
HG ステージ接続ケーブル（3m）

ドライバ側切り離しケーブル（3m）

QT-ADM3-35
ACB-STH2ACB-STH-D3￥265,000￥8,000￥7,000※ コントローラと組み合わせて使用する操作ボックスなどを用意しております。当社カタログをご参照ください。
※ ステージの軸数に合わせて、コントローラ・ドライバの台数および接続ケーブルの本数をご選定ください。

26

マイクロスキャニングステージ

3. コントローラの設定

本製品のセンサ論理は以下のとおりです。使用するコントローラのリミットセンサ、原点センサのセンサ論理を合わせる必要がありますので、ご注意ください。

■ MSS-B シリーズのセンサ論理
リミットセンサ

原点センサ

N.C.

N.C.

N.C.：ノーマルクローズ■ パラメータの設定

原点前センサと原点センサの論理、および原点復帰モードの設定は、コントローラのパラメータで設定します。工場出荷時の初期設定は、原点前センサ「N.C.」、原点センサ「N.O.」となっています。原点前センサと原点センサの論理設定は、原点復帰モードと関係がありますのでご注意ください。

自動設定についてパラメータ No.04 を「36」に設定するとパラメータ No.01 〜 03 とディップスイッチの設定（次項）が MSS-B シリーズの推奨値に自動的に設定されます。
※ この場合、パラメータ No.01 〜 03 の設定値とディップスイッチの設定は無効になります。
手動にて設定を行う場合は、パラメータ No.04 を「00」に設定し、パラメータ No.01 〜03 の設定とディップスイッチの設定を行ってください。
パラメータ No.
01

項目

原点センサ論理と使用／未使用

02

原点前センサ論理と使用／未使用

03

原点復帰モード04

ステージセンサ論理と原点復帰モード

原点復帰モードについて

設定値
20

設定内容
NC

未使用

2

原点・Z 相

36

自動設定

300

原点

手動設定

MSS-B シリーズでは、上記表の原点復帰モード 2 つの中から選択できます。当社としては、「設定値：3」を推奨いたします。原点復帰の動作については、コントローラの取扱説明書をご参照ください。

27

マイクロスキャニングステージ■ ディップスイッチの設定

MSS-B シリーズを当社製コントローラ（QT-ADL1-35/QT-ADM2-35/QT-AMH2-35/QTADM3-35）で動作させる場合は、パラメータ No.04 を「36」（自動設定）に設定してください。
この場合、下記のディップスイッチの設定は不要です。

ディップスイッチの手動設定

ディップスイッチの設定を手動で行う場合は、パラメータ No.04 を「00」（手動設定）に設定し、下記に従いディップスイッチを設定してください。

注意パラメータ No.04 を「00」（手動設定）に設定した場合は、パラメータ No.01 〜 03 の設定も必要となります。
「パラメータの設定」（→ P.27）、およびコントローラの取扱説明書を参照
してください。
QT-ADL1-35

QT-ADM2-35 / QT-AMH2-35

QT-ADM3-35● QT-ADL1-35 は 1 軸、
QT-ADM2-35 と QT-AMH2-35 は 2 軸、
QT-ADM3-35 は 3 軸です。
使用する軸に合わせて設定してください。
● 動作が異常な場合は、各スイッチの設定を確認してください。

4. 表示単位の設定

当社製コントローラ（QT-ADL1-35/QT-ADM2-35/QT-AMH2-35/QT-ADM3-35）では、パラメータ設定によりステージの移動量を mm 単位やμ m 単位などでの表示が可能です。パラメータ No.19, 20 の設定を、ステージの分解能に合わせて設定を行ってください。
例：0.000mm → mm 単位でμ m まで表示する。
ステージの分解能：0.002mm
パラメータ No.
1920

項目

設定値

単位表示の分解能

2000

単位表示の選択281

設定内容mm 表示（1 μ m まで）
0.002 × 1,000,000

マイクロスキャニングステージ

11 MSS シリーズ用ホルダ＆プレート（オプション）
製品名

MSS-50B

MSS-50WB

MSS-150B

MSS-200B

MSS-300B

アルミプレート（標準付属品）MSS-50A-AL￥10,000

MSS-50WA-AL￥13,000

MSS-150A-AL￥15,000

MSS-200A-AL￥20,000

MSS-300A-AL￥35,000

ガラスプレートMSS-50A-GP￥10,000MSS-50WA-GP￥13,000

MSS-150A-GP￥15,000

MSS-200A-GP￥20,000

MSS-300A-GP￥35,000

3,4 インチ用

MSS-150A-4WH￥43,000

MSS-200A-4WH￥48,000

4,5,6 インチ用

MSS-150A-6WH￥45,000

MSS-200A-6WH￥50,000

ウェハホルダ

6,8 インチ用

MSS-200A-8WH￥55,000

8 インチ用 ,300mm 用
マスクホルダMSS-300A-30WH￥75,000

4 インチ用MSS-150A-4MH￥23,000

MSS-200A-4MH￥28,000

5 インチ用MSS-150A-5MH￥23,000

MSS-200A-5MH￥28,000

6 インチ用MSS-150A-6MH￥23,000

MSS-200A-6MH￥30,000

7 インチ用
フラットベース
接続ケーブルMSS-50A-FB￥40,000

MSS-50A-FB￥40,000MSS-300A-7MH￥50,000

MSS-150A-FB￥40,000

MSS-300A-FB￥70,000

接続ケーブルについては、P.26 をご覧ください。

真空ポンプ※ 特 注 仕 様 製 作 バ キュー ム
チャック用

ウェアホルダMSS-150A-FB￥40,000

MSS-200A-7MH￥32,000

ZP-1（切り替えスイッチ付）￥40,000

マスクホルダ29

ガラスプレートマイクロスキャニングステージ

12 保証と修理■ 保証期間

取扱説明書、本体貼付ラベルなどの注意書きまたはカタログ記載の取り扱いの注意に基づき、正常な使用状態で故障が発生した場合は、工場出荷日より次の期間、無償修理いたします。
保証期間

工場出荷日より 3 年間

ただし、納入後の故障により誘発される損害については、この対象範囲から除外させていただ
きます。
保証期間内でも下記の場合には有償修理となりますのでご了承ください。
・使用上の誤り、または修理や改造によるもの。
・お買い上げ後の落下などによる故障および損傷。
・火災、地震、水害、落雷その他天災地変、公害や異常電圧による故障および破損。
・消耗品の劣化などによる性能低下や動作異常。
・保証期間外のもの。
・事前に当社が保証範囲外と定めた製品や部品。
※この保証は、日本国内においてのみ有効です。

■ 保証期間中の修理お買い上げの販売店までご連絡ください。

■ 保証期間が過ぎてしまった場合の修理保証期間が過ぎてしまった場合でも、お求めになった販売店にご連絡ください。故障の状態により有償にて修理いたします。その際、修理期間の短縮、修理内容を確実にするために以下の事項をお知らせください。
・購入年月日、製品名、製品番号、製造番号。
・お客様の具体的な使用方法。
・具体的な故障内容。
・故障の原因となったと思われる点。

■ お問い合わせ弊社の製品でご不明な点がありましたら下記にご連絡ください。

本社営業部
関西営業所

TEL.03-3257-1911
TEL.06-6306-1911

FAX.03-3257-1915
FAX.06-6306-191230

マイクロスキャニングステージ

31

本取扱説明書に記載された内容は予告無しに変更する場合がありますのでご了承ください。また、製品についても改良のため予告無しに変更することがありますのでご了承ください。

MSS-B シリーズ 取扱説明書 Ver.1.0
2008/07/25 ADV.

本社営業部
関西営業所

〒 101-0063 東京都千代田区神田淡路町 1-5 及川ビル 3F
TEL. 03-3257-1911
FAX. 03-3257-1915
TEL. 06-6306-1911
FAX. 06-6306-1912

A002-A031