5450/5451

デジタル超高抵抗／微少電流計

化学・材料分野で活躍する超高抵抗／微少電流計±1000V電圧発生機能を備え、半導体評価にも最適
5½桁表示の高分解能
微少電流測定：1fA〜19.9999mA
高抵抗測定：3×1017Ω
（電流ファンクションにて）電圧発生：±1000V、最小±1mV
高速測定：最高1000サンプリング／秒

1000Vのフローティング測定が可能（5450）
測定時の温度、湿度も測定可能（別売りアクセサリ併用）

BCD
出荷時オプション

測定条件を選ぶだけで測定ができるプリセット機能
ルーチン測定に便利なシーケンス・プログラム機能内蔵

超高抵抗測定漏れ電流測定まで

分解能

3×10 Ω
17

1 fA

高速測定

1000

サンプリング／秒

http://www.adcmt.com

絶縁抵抗測定／微少電流測定の新標準【高性能】【高速測定】【抜群の使い易さ】【自動化対応】

5450/5451 は、エーディーシー創立以来の伝統技術に、さ【自動化システム対応】

らに新しい直流増幅器技術を加え、また、長年ご愛用い

インタフェースとして標準で GPIB と USB、オプションでただいているユーザーの皆様の声を生かして、誰にでも同BCD 出力を備えている他、他の自動機との同期が取れる

じ測定結果が得られるように、使いやすさを大幅に改善しハンドラ・インタフェースやアナログ出力も用意されています。

た最新鋭の 5½ 桁表示

超高抵抗 / 微少電流計で、様々な絶縁物や半導体などの絶縁抵抗測定や微少電流測定

このような高性能を持っている 5450/5451 は、二次電池やの標準器とも言える製品です。

半導体で用いる材料の試験やコンデンサ、プリント基板な
どの電気電子部品の試験、また各種合成樹脂やゴム材料【高性能】【高速測定】などの絶縁材料において、研究開発から製造、品質検査

従来機種の 10 倍以上、性能を向上させています。例え17までの幅広い分野で使用できます。

ば、
電流測定分解能は 1fA 、
高抵抗測定範囲は 3×10 Ω、

とくに絶縁材料の試験では、豊富に用意された各種フィク

被測定物への印加電圧±1000V まで、測定速度は、1,000

スチャと組み合わせることにより、JIS 規格に準拠した表面

回／秒と高スループットを実現し、測定結果のメモリ容量も抵抗率、体積抵抗率の測定が可能です。

65,000 データを持っています。

微少電流測定についても、高電圧印加時の半導体素子のさらに、絶縁抵抗測定と同時に要求される温度、湿度にリーク電流などを、高感度、高速で測定できます。

関しても、別売りアクセサリを併用して測定できます。

5451 は、46V ピークまでのフローティング測定が可能です
が、被測定物の片方が接地された試料の試験をより安心【抜群の使い易さ】

して行うためには、1,000V ピークまでのフローティング測定

測定対象別に測定条件を設定できる「プリセット」や、つが可能な 5450 が最適です。

ねに同一の試験ができるように自動測定が可能な「シーケンス・プログラム」、容量性被試験デバイスの過渡電流を見ながら測定できる「測定値のグラフ表示」などの機能を内蔵しています。

The new standard of Ultra-High2

フレキシブルに高性能測定を実現
抵抗測定3X1017Ω、電流測定1fA 、電圧発生±1000V
高速・高性能測定を実現接地された試料も安定測定

5450/5451は、微少電流測定では、1fA～19.9999mAを、高抵抗（電流ファンクション時）までの測定ができる高測定では、3×1017Ω
性能を実現しています。
しかも、最高1,000回／秒というサンプリング・スピードを持っていますので、電子部品の生産ラインにおけるGo/No-Go選別などにも威力を発揮します。

5450/5451は、フローティング測定ができます。
5451は46V peakまでですが、5450は1000V peakまでのフローティ
ング測定ができますので、片方が接地された状態での試料も測定できます。

パワフルでかつフレキシブルな電圧発生
内蔵する電圧発生器は、±1000Vで最大10Wのソース/シンクが可能な電源を新たに開発しました。この新しい電源は、マイナス電圧も印加できますので、たとえばpチャンネル、nチャンネルの半導体や、逆バイアス電圧で動作するAPD（アバランシェ・フォト・ダイオード）などの測定ができるほか、コンデンサの充放電をアシストします。
また、電流リミット値を任意に設定できますので、半導体評価でのブレークダウンによる過電流からデバイスを保護します。

測定時の温度、 湿度も測定可能
JIS K6911やK6723では材料の抵抗率を測定する試験条件に温度、湿度が規定されています。
5450/5451では推奨品の温湿度センサプローブを接続することで、
環境温度、湿度も測定できます。

温度

湿度

電流
＋20mA
＋10mA

−1000V

−100V

＋100V

＋1000V 電圧

各種インタフェースを装備
GPIBおよびUSBはもちろん、製造ラインの自動機など外部装置とのタイミング・コントロールが可能なハンドラ・インタフェースを標準装備しています。また、オペレーターが安全に測定できるよう不用
意に電圧出力されないインターロック信号を備えています。

−10mA
−20mA

必要に応じて電流計の応答を選択

用途に合わせてすぐに使えるプリセット機能

実際の超高抵抗測定や微少電流測定では、周りのノイズ環境に影響されて測定が困難な場合があります。一方では、ノイズに影響されない環境で、高速で測定したい場合があり、用途に応じて様々な使い方が必要です。
5450/5451は、可変ゲイン・フィードバック方式で構成され、電流計の応答速度が選択できます。これによって外乱ノイズに対して強い測定にするか、応答を早くして測定速度を優先するかをアプ
リケーションや必要な測定精度に応じて選択することができるため信頼性の高い測定が行えます。

超高抵抗や微少電流測定では、用途に合わせてアンプ・ゲインや
積分時間、入力抵抗、さらには表面抵抗率、体積抵抗率の測定
では電極係数など、様々な最適設定をする必要があります。
5450/5451では、たとえば、アクセサリを使用した体積抵抗率/表
面抵抗率の測定や、微少電流測定を行う場合のピコ・アンメータ設
定、コンデンサのリーク電流測定など、計10種類のプリセット条件がセットされていますので、面倒な測定条件設定を行うことなく、用途に合わせて選択するだけで、すぐに測定が開始できます。
もちろん自分で測定条件設定を行う「ユーザー・パラメータ設定」も内蔵しています。

電流計応答

Slow

測定レスポンス

遅速

入力抵抗による誤差

大

小

耐ノイズ性

良

悪

Med

Fast

ExFastResistance/Current Meter

3

グラフィック表示や接触不良の自動検出など多彩な機能が高い再現性の実現と自動化をサポート
ルーチン測定に便利なシーケンス・プログラム機能

より安全な入力コネクタを採用

様々な測定では、設定や測定の順番が重要です。
5450/5451では、シーケンス・プログラム機能があり、測定の手順、条件など7パターンのシーケンスを記憶できます。
この機能を用いて、JIS規格に準拠して絶縁抵抗測定に規定された
電圧印加時から1分後の評価が手軽に行えるほか、設定した条件を記憶できるため、測定者が異なっても同一の測定結果が得られます。

絶縁抵抗測定において、フローティング測定を行った場合、入力端子とドライビング・ガード間（内側シールド）に設定電圧と逆極性の電圧が発生します。
従来のトライアキシャル（Triax）コネクタでは金属部分が露出しており決して安全とは言えませんでした。
5450では、より安全性の高いセーフティ・トライアキシャル（S-Triax）
コネクタを採用しましたので、安心して測定に集中できます。
ドライビング・ガード

開始

ディスチャージ

チャージ

メジャー

ディスチャージ

停止

絶縁物で
ドライビングガード端子を被っています

入力端子

電圧
メジャー

チャージ

5450のコネクタ

一般用（表示なし）

ディスチャージ

チャージ

ディスチャージ

時間

時間

時間

ドライビング・ガード
入力端子

測定値表示

逆極性の
電圧が発生

−

＋

大地アースに接続された試料

発生電圧：

0V〜±1000V

シーケンス・プログラムがワンタッチで読み出せます240×64ドットマトリクスの大型表示

測定結果から設定条件まで見易い表示

コンデンサのチャージ、ディスチャージも簡単にできますワンタッチでグラフ表示ができます

すべての設定がこのメニューから可能で、十字キーの上下左右のキー設定で簡単に測定条件設定を選択できますコンタクト・チェックがワンタッチで可能

5450

安全性を考慮した
入力コネクタ－1000V～ ＋1000Vの電圧発生

各種の演算機能があります

The new standard of Ultra-High4

測定値が時間と共に変化する様子をグラフで表示

判定はオープン・キャルで測定した容量値に対して、チェック実行

コンデンサのリーク電流を測定する場合、直流電圧を印加した直後は容量分に応じた充電電流と呼ばれる突入電流が流れ、その後はほぼ指数関数的に減少していきます。この電流を吸収電流と呼び、試料内部で誘電体の分極が行われているときの時間変化によるものです。この電流が平衡に達しても残る電流がリーク電流となります。
ここで、指数関数的に減少する吸収電流が平衡値に落ち着く時間
は、誘電体の材料によって異なり、相当時間を要するものもあります。
リーク電流を正しく測定するには、吸収電流の落ち着きを見極めることが重要になります。
そこで、5450/5451ではドット・マトリックスLCDを生かし、測定値の時間推移をグラフとして表示させる機能を持たせ、このような振る舞いの測定値を視覚的に捉えることができるようにしました。

時の容量が大きければ「OK」、小さければ「NG」となります。

INPUT
A
Cx
Hi

Vac

Vs

Lo

接触不良の検出回路

オートレンジでも高速測定
生産ラインにおいて、電流ファンクションで測定する場合、オートレンジ
設定では、デバイスの測定と測定の間に切り替え動作が入り、測定する値のレンジまで移動するのにレンジング時間がかかってスピードアッ
プできません。そのためラインのタクトタイムを上げるには、固定レンジで測定するのが通例でした。

ここでは右側はグラフ表示。 左側は経過時間、測定値のMAX値、MIN値
および印加電圧を表示しています。

しかし本器ではオートレンジでもレンジの上下限を設定できます。したがって、必要最小限のオートレンジ範囲に設定することにより最低限の切り替え時間で測定でき、タクトタイムが大幅に向上します。

試料の接触不良を素早く検出－コンタクト・チェック機能
容量性の試料（コンデンサ）と測定ケーブル、または測定電極との接触不良を素早く検出できるコンタクト・チェック機能を備えています。この機能は指定した時、または測定毎に実行可能で、予めオープン・キャル（初期値測定）を行うことにより、測定ケーブルまたは測定電極の容量をキャンセルすることで、より正確に試料を検出します。

温度、湿度測定が可能（別売りセンサにて）

リアパネル

アナログ出力など

BCD出力（工場オプション）

ハンドラ・インタフェース

GPIBインタフェース
USBインタフェース

Resistance/Current Meter

5

電子部品からシートやフィルム、液体まで豊富なアクセサリでJISに準拠した高精度測定も可能
JIS規格の抵抗率測定条件をワンタッチ設定
絶縁体の体積抵抗率・表面抵抗率を測定するためには、材料によってそれぞれのJIS規格があり、電極寸法が異なります。
5450/5451では、よく使用される代表的な電極寸法の設定をあらかじ
めプリセット機能として用意していますので、様々な絶縁体の測定でも簡単な設定で試験できます。
JIS 番号

電極寸法

K6911

φ50

熱硬化性プラスチック

JIS 名

K6723

φ70

軟質ポリ塩化ビニルコンパウンド

C2170

φ30.5

静電気電荷蓄積を防止する個体平面材料

太陽電池の漏れ電流（PID）試験に
メガソーラに使用される太陽電池は、高温多湿の環境下では、高電圧を出力することによりモジュール回路内に漏れ電流が発生し、出力が低下するPID(Potential-induced degradation)現象が発生します。
PID現象は、太陽電池の表面の強化ガラスやセル、バックシート、
アルミフレームなどの相互作用で発生するもので、これを評価するには、セルとフレーム間の漏れ電流を測定する必要があります。
セルに対し接地されているフレームにはマイナスの電圧を印加する必要があるため、−1000Vのフローティング測定ができる5450が
最適です。
太陽電池

フレーム

±1,000Vの電圧発生で正確なJIS K6911測定

セル

JIS K6911は、プラスチックのような絶縁物の体積抵抗率・表面抵抗率測定の基本規格ですが、このうち表面抵抗率測定では主電極に対してリング電極はマイナスの電圧印加が規定されています。
5450/5451は、±1,000Vとマイナス電圧も発生できるバイポーラの電圧源を搭載していますので、JIS規格に沿った正確な表面抵抗率測定ができます。

R

A

5450

試料

主電極

リング電極
（マイナス電圧印加）
試験
太陽電池の漏れ電流（PID）

ケーブルの絶縁抵抗測定に
裏面電極
（ガード）

表面抵抗率測定の図5450は、DC1,000Vまでフローティングが可能ですから、被測定物が接地されているケーブルの絶縁抵抗やトランスなどの絶縁抵抗の測定に適しています。

プリント基板の絶縁抵抗測定にアクセサリの12603テスト
・
リードを使用して、プリント基板の絶縁抵抗測定ができます。

INPUT

A

Lo
GUARD

12603

5450/5451

5450

Vs

水そう

（ショート・バー）

GND

試料（ケーブル）

Vs
ケーブルの絶縁抵抗測定例
プリント基板の絶縁抵抗測定

試料（プリント基板）

Wide Use of Ultra-High Resist6半導体や電子部品の評価システムのコンポーネントとして5450/5451は、最 高1,000回サンプリング／ 秒の高 速 測 定に加え、65,000のデータ・メモリ、ハンドラ・インタフェースなどを備えています。
パソコンを利用して、スキャナやハンドラと組み合わせて、半導体や電子部品の自動選別などに威力を発揮します。

±1000Vのスイープ機能で半導体の耐圧試験に
5450/5451は、±1,000Vまでの4桁の設定分解能でスイープできるシー
ケンス・プログラム機能があります。この機能を使用して、半導体などの精密な耐圧試験が可能です。

ストップ電圧ステップ電圧5450/5451
ハンドラ・インタフェース
スタート電圧Th

コントローラ

Td

Vs
INPUT

プログラムスタート

半導体や電子部品の評価システムとして

Td

Tp

Tp

測定値表示

測定値表示

測定値表示

DUT

7210スキャナ

Td

Td
Tp

Tp
測定値表示

プログラム
ストップ

設定項目：
スタート電圧値（Vstart） メジャーディレイ時間（Tｄ）
ストップ電圧値（Vstop） ホールド時間（Th）
ステップ電圧値（Vstep） リバース OFF/ON
ステップ時間（Tp）
リピート回数（0～1000）

出力電圧のスイープ機能
半導体や電子部品など

新素材、 高分子材料の研究・開発に………豊富なアクセサリ
アクセサリのレジスティビティ・チェンバを使用して、材料の体積抵抗率、 したがって、測定条件を一度設定しておけば、常に一定の条件で測定
表面抵抗率の測定が簡単にできます。5450/5451のシーケンシャル・プロ
ができますので、オペレーターの操作ミスによる測定不良を防ぐことができま
グラム機能とLID信号を使用すると、フタの開閉のタイミングで設定されす。体積抵抗率、表面抵抗率の計算に必要な電極係数は、それぞれた手順に沿った試料への放電→充電→測定を自動的に行います。
のレジスティビティ・チェンバのほかに、任意の電極係数も入力可能です。
用
途

モデル番号
希望小売価格12702A/B￥248,000

レジスティビティ・
チェンバ

レジスティビティ・
チェンバ

12708
￥800,000

レジスティビティ・
チェンバ

42￥100,000

レジスティビティ・
チェンバ

液体抵抗試料箱

点検用

15045

シリーズ
￥65,000～
標準抵抗用
途

シート状、フィルム状、板状試料の体積抵抗、表面抵抗測定用。
試料の圧力調整や厚み測定が可能ですから、試料に圧力を加えて電極を密着させて測定可能。
シート状、フィルム状、板状試料の体積抵抗、表面抵抗測定用。すべての電極の素材が導電ゴムで接触しますので試料との密着性に優れている。
ワンタッチで体積抵抗と表面抵抗測定の切り替え可能。

モデル番号
希望小売価格12706A￥90,000

テスト・フィクスチャ

12701A￥180,000

テスト・フィクスチャ

シート状、フィルム状、板状試料の体積抵抗、表面抵抗測定用。
試 料に常温～200 ℃までの温度印加
可能。

12604
￥70,000

シート状、フィルム状、板状試料の体積抵抗、表面抵抗測定用。
一般用。

A08076￥20,000

液体試料の体積抵抗測定用。
0.8ccと微量の試料で測定可能。
電極部分を簡単に取り外せますので洗浄が容易。

デジタル・エレクトロメータの点検用。
1×108Ω、1×10 9Ω、1×1010Ω、1×1011Ω、1×1012Ωの5 機種を用意。

ピンセット・プローブ

測定用シールド板
プリント板

液 体

12707
￥200,000

用途・特長

電子部品

シートやフィルムなど

12704A￥180,000

概観

12603￥90,000

テストリード概観

用途・特長
コンデンサなどの電子部品の絶縁抵
抗や微少電流測定向け。
シールドと絶縁を考慮した設計で微少電流、高抵抗を安定して測定可能。

半導体など、電子部品の電流測定用

チップ・コンデンサなどの絶縁測定が可能。
ピンセット形のプローブにより、小さなチップ部品も簡単に効率よく測定可能。

12604と併用。外部ノイズの除去に使用。
誘導ノイズの影響の少ない測定ができるテフロン絶縁された測定用のシールド板。
プリント基板上のパターン間の絶縁測定や電圧、電流測定が可能。
測定ポイントを次々に変えるような測定に適したプローブ。絶縁抵抗測定では、外部電源が必要。

各アクセサリと本体を接続するケーブルは、11ページの「 接続ケーブル・セレクションガイド」
をご参照ください。

ance/Current Meter

7

性能諸元
特に規定のない場合、温度 23℃ ±5℃、湿度 70％ RH 以下において 1 年間保証。温度係数は、特に記載のない場合は、0℃～ 50℃の範囲にての規格です。
温度係数：4½ 表示の場合は digits 項が 1/10 となります。

直流電流ファンクション（電流表示）
電流
レンジ

最大表示

200pA
2000pA
20nA
200nA
2000nA
20μA
200μA
2000μA
20mA

199.999pA
1999.99pA
19.9999nA
199.999nA
1999.99nA
19.9999μA
199.999μA
1999.99μA
19.9999mA

5450

分解能

5451

測定確度 ※1※2±（% of rdg ＋ digits）

測定確度 ※1※2±（% of rdg ＋ digits）

0.3 ＋ 60（60fA）
0.25 ＋ 30（300fA）
0.2 ＋ 30（3pA）
0.1 ＋ 30（30pA）
0.1 ＋ 30（300pA）
0.1 ＋ 20（2nA）
0.1 ＋ 10（10nA）
0.1 ＋ 10（100nA）
0.1 ＋ 10（1μA）

0.7 ＋ 60（60fA）
0.7 ＋ 30（300fA）
0.3 ＋ 30（3pA）
0.3 ＋ 30（30pA）
0.15 ＋ 30（300pA）
0.15 ＋ 20（2nA）
0.1 ＋ 10（10nA）
0.1 ＋ 10（100nA）
0.1 ＋ 10（1μA）

1fA
10fA
100fA
1pA
10pA
100pA
1nA
10nA
100nA

温度係数 ※3±（% of rdg ± digits）/ ℃

セットリング
タイム ※40.035 ＋ 10（10fA）
0.02 ＋ 2（20fA）
0.01 ＋ 2（200fA）
0.01 ＋ 2（2pA）
0.005 ＋ 2（20pA）
0.005 ＋ 2.5（250pA）
0.005 ＋ 1（1nA）
0.005 ＋ 1（10nA）
0.005 ＋ 1（100nA）

250ms
25ms
5ms

2ms

※1 積分時間：10PLC 表示桁：5½ 桁 オート・ゼロ：ＯＮにて※2 拡張設定機能の「インプット 1k Ω ON」時は、digits 項に 15digits 加算。
※3 40℃～ 50℃は digits 項に 20fA/ ℃を加算。
※4 電流計応答 EXFAST において最終値の ±1％に入るまでの時間（レンジ切換え時間は含まない）

直流電流ファンクション（抵抗表示）

積分時間設定による追加誤差

積分時間

表示桁数

500 µs2ms
1PLC

4 ½桁4 ½桁5 ½桁電流レンジ
追加誤差 ±（digits)

20mA レンジ～
20nA レンジ 2000pA レンジ
200nA レンジ
2
10
30
2
10
30
2
10
30

200pA レンジ50
50
50

ノイズ除去比（50/60Hz±0.08%）
積分時間

NMRR

実効 CMRR※5

1PLC の整数倍

60dB 以上
0dB

120dB 以上
60dB 以上

その他

入力仕様
入力抵抗（最大値）※6
電流計応答（入力アンプゲイン）

200 pA
2000 pA
20 nA
200 nA
2000 nA
20 μA
200 μA
2000 μA
20 mA※6「インプット 1k Ω

入力電圧降下
入力バイアス電流

SLOW
（×1）
11 GΩ
1 GΩ
100 MΩ
10 MΩ
1 MΩ
100 kΩ
11 kΩ
1.3 kΩ
180 Ω

MED

（×10）
1.1 G Ω100 MΩ
10 MΩ
1 MΩ
100 kΩ
10 kΩ
1.1 kΩ
130 Ω
18 Ω

ON」時は、1.2kΩ を加算

FAST（×100）
110 MΩ
10 MΩ
1 MΩ
100 kΩ
10 kΩ
1 kΩ
110 Ω
13 Ω
3Ω

5×10 ～ 3×10
5×105 ～ 3×1016
5×104 ～ 3×1015
5×103 ～ 3×1014
1 桁～ 5 桁
5×102 ～ 3×1013（1 ～ 9.9999）
5×101 ～ 3×1012
5×100 ～ 3×1011
5×10 － 1 ～ 3×1010
5×10 － 2 ～ 3×109
6

測定確度

温度係数

※7
※11

※8

17

EXFAST（×10000）
10 kΩ
1 kΩ
100 Ω
11 Ω
2Ω
1Ω
1Ω
1Ω
1Ω

：±（測定電流 × 入力抵抗＋ 100μV）：30fA 以下

測定確度2 =｛ A／（（Vs－Vi）／Rm）＋B／Vs ︸×100
A： 直流電流ファンクション（電流表示）の電流レンジの測定確度のdigits項［A］
B： 直流電圧発生の電圧発生レンジの発生確度のdigits項［V］
Vs： 発生電圧
Vi： 入力電圧降下※12
Rm：測定値※8 温度係数：±（温度係数1＋温度係数2 ）% of rdg／℃
温度係数1 =A＋B
Ａ： 直流電流ファンクション（電流表示）の電流レンジの温度係数のrdg項［%／℃］
Ｂ： 直流電圧発生の電圧発生レンジの温度係数のsetting項［%／℃］
温度係数2 =｛ A／（（Vs－Vi）／Rm）＋B／Vs ︸×100
Ａ： 直流電流ファンクション（電流表示）の電流レンジの温度係数のdigits項［A/℃］
Ｂ： 直流電圧発生の電圧発生レンジの温度係数のdigits項［V/℃］
Vs： 発生電圧※12
Vi： 入力電圧降下
Rm：測定値※9 IVコレクション（入力電圧降下補正）
×100 [%] 項は除外される
ON時は Vi/（Vs－Vi）（IVコレクションOFF時）は測定確度保証外※10 10Ω未満、および入力抵抗未満※11 |Vs| ≧ |Vi| ＋100mV 印加で規定※12 入力電圧降下の算出方法は、入力仕様参照

抵抗ファンクション（抵抗表示）
抵抗レンジ
100 kΩ
1000 kΩ
10 MΩ
100 MΩ
1000 MΩ
10 GΩ
100 GΩ
1000 GΩ
10 TΩ
100 TΩ
1000 TΩ

8

測定範囲［Ω］※10※7 測定確度：±（測定確度1＋測定確度2 ）% of rdg
測定確度1 =A＋B＋Vi/（Vs－Vi）
×100※9Ａ： 直流電流ファンクション（電流表示）の電流レンジの測定確度のrdg項［%］
Ｂ： 直流電圧発生の電圧発生レンジの発生確度のsetting項［%］
Vs： 発生電圧※12
Vi： 入力電圧降下※5 不平衡インピーダンス 1kΩ

電流レンジ

200 pA
2000 pA
20 nA
200 nA
2000 nA
20 μA
200 μA
2000 μA
20 mA

最大表示

最大表示

109.9 kΩ1099 kΩ10.99 MΩ
109.9 MΩ
1099 MΩ
10.99 GΩ109.9 GΩ1099 GΩ
10.99 TΩ
109.9 TΩ
1099 TΩ

最小表示
5.0 kΩ
50 kΩ
0.50 MΩ
5.0 MΩ
50 MΩ
0.50 GΩ
5.0 GΩ
50 GΩ
0.50 TΩ
5.0 TΩ
50 TΩ

分解能
0.1 kΩ
1 kΩ
0.01 MΩ
0.1 MΩ
1 MΩ
0.01 GΩ
0.1 GΩ
1 GΩ
0.01 TΩ
0.1 TΩ
1 TΩ

セットリング・タイム

電流測定
レンジによる（前ページより続く）
抵抗ファンクション（抵抗表示）
測定確度／温度係数 ※13
発生電圧

Ω レンジ

100kΩ

1000kΩ

10MΩ

100MΩ

1000MΩ

10GΩ

100GΩ

1000GΩ※14

10TΩ※14

100TΩ※14

1000TΩ※14

電流測定レンジ
測定確度
温度係数
電流測定レンジ
測定確度
温度係数
電流測定レンジ
測定確度
温度係数
電流測定レンジ
測定確度
温度係数
電流測定レンジ
測定確度
温度係数
電流測定レンジ
測定確度
温度係数
電流測定レンジ
測定確度
温度係数
電流測定レンジ
測定確度
温度係数
電流測定レンジ
測定確度
温度係数
電流測定レンジ
測定確度
温度係数
電流測定レンジ
測定確度
温度係数

10V
25V
20mA
20mA
（1.3 ＋ 0.003） 0.8 ＋ 0.001
0.12 ＋ 0.0003 0.07 ＋ 0.0001
2mA
2mA
1.3 ＋ 0.003
0.8 ＋ 0.001
0.12 ＋ 0.0003 0.07 ＋ 0.0001
200μA
200μA
1.3 ＋ 0.003
0.8 ＋ 0.001
0.12 ＋ 0.0003 0.07 ＋ 0.0001
20μA
20μA
2.3 ＋ 0.005
1.3 ＋ 0.002
0.27 ＋ 0.0007 0.13 ＋ 0.0003
2μA
2μA
3.3 ＋ 0.008
1.7 ＋ 0.003
0.22 ＋ 0.0005 0.11 ＋ 0.0002
200nA
200nA
3.5 ＋ 0.008
1.8 ＋ 0.003
0.23 ＋ 0.0005 0.11 ＋ 0.0002
20nA
20nA
3.5 ＋ 0.008
1.8 ＋ 0.003
0.23 ＋ 0.0005 0.11 ＋ 0.0002
2nA
2nA
3.9 ＋ 0.008
2.2 ＋ 0.003
0.24 ＋ 0.0005 0.12 ＋ 0.0002
200pA
200pA
6.9 ＋ 0.015
3.4 ＋ 0.006
1.05 ＋ 0.0025 0.46 ＋ 0.0010
—

—

—

—

50V
100V
250V
20mA
—
—
0.5 ＋ 0.001
0.04 ＋ 0.0001
2mA
20mA
20mA
0.5 ＋ 0.001 （1.3 ＋ 0.003） 0.8 ＋ 0.001
0.04 ＋ 0.0001 0.12 ＋ 0.0003 0.07 ＋ 0.0001
200μA
2mA
2mA
0.5 ＋ 0.001 （1.3 ＋ 0.003） 0.8 ＋ 0.001
0.04 ＋ 0.0001 0.12 ＋ 0.0003 0.07 ＋ 0.0001
20μA
200μA
200μA
0.8 ＋ 0.001 （1.3 ＋ 0.003） 0.8 ＋ 0.001
0.07 ＋ 0.0002 0.12 ＋ 0.0003 0.07 ＋ 0.0001
2μA
20μA
20μA
1.0 ＋ 0.002 （2.3 ＋ 0.005） 1.3 ＋ 0.002
0.06 ＋ 0.0001 0.27 ＋ 0.0007 0.13 ＋ 0.0003
200nA
2μA
2μA
1.1 ＋ 0.002 （3.3 ＋ 0.008） 1.7 ＋ 0.003
0.07 ＋ 0.0001 0.22 ＋ 0.0005 0.11 ＋ 0.0002
20nA
200nA
200nA
1.1 ＋ 0.002 （3.5 ＋ 0.008） 1.8 ＋ 0.003
0.07 ＋ 0.0001 0.22 ＋ 0.0005 0.11 ＋ 0.0002
2nA
20nA
20nA
1.5 ＋ 0.002 （3.5 ＋ 0.008） 1.8 ＋ 0.003
0.08 ＋ 0.0001 0.22 ＋ 0.0005 0.11 ＋ 0.0002
200pA
2nA
2nA
2.1 ＋ 0.003 （3.9 ＋ 0.008） 2.2 ＋ 0.003
0.25 ＋ 0.0005 0.23 ＋ 0.0005 0.12 ＋ 0.0002
200pA
200pA
—
6.9 ＋ 0.015
3.4 ＋ 0.006
1.05 ＋ 0.0025 0.46 ＋ 0.001
—

—

500V

1000V

—

—

20mA
0.5 ＋ 0.001
0.04 ＋ 0.0001
2mA
0.5 ＋ 0.001
0.04 ＋ 0.0001
200μA
0.5 ＋ 0.001
0.04 ＋ 0.0001
20μA
0.8 ＋ 0.001
0.07 ＋ 0.0002
2μA
1.0 ＋ 0.002
0.06 ＋ 0.0001
200nA
1.1 ＋ 0.002
0.07 ＋ 0.0001
20nA
1.1 ＋ 0.002
0.07 ＋ 0.0001
2nA
1.5 ＋ 0.002
0.08 ＋ 0.0001
200pA
2.1 ＋ 0.003
0.25 ＋ 0.0005

—

—

—

20mA
1.3 ＋ 0.003
0.12 ＋ 0.0003
2mA
1.3 ＋ 0.003
0.12 ＋ 0.0003
200μA
1.3 ＋ 0.003
0.12 ＋ 0.0003
20μA
2.3 ＋ 0.005
0.27 ＋ 0.0007
2μA
3.3 ＋ 0.008
0.22 ＋ 0.0005
200nA
3.5 ＋ 0.008
0.22 ＋ 0.0005
20nA
3.5 ＋ 0.008
0.22 ＋ 0.0005
2nA
3.9 ＋ 0.008
0.23 ＋ 0.0005
200pA
6.9 ＋ 0.015
1.05 ＋ 0.0025

測定確度：% of reading + % of range、オート・ゼロ：ＯＮにて（ ）内は抵抗標準からの保証値。
それ以外は直流電流ファンクション（電流表示）の測定確度と直流電圧発生の発生確度からの計算値。
温度係数： % of reading ＋ % of range※13 積分時間：10PLC 以上、 オート・ゼロ：ＯＮにて確度保証※14 1000GΩ レンジ以上は 0 ～ 40℃にて確度保証

直流電圧発生
電圧発生
レンジ

発生範囲

測定速度：直流電流ファンクション（電流表示）
発生確度
温度係数
出力ノイズ
最大出力電流±（% of setting ＋ digits） ±（% of setting ＋ digits）/℃ （10-500Hz）±20mA 0.05 ＋ 5（5mV） 0.005 ＋ 0.5（0.5mV） 1mVp-p±20mA 0.05 ＋ 5（50mV） 0.005 ＋ 0.3（3mV） 2mVp-p±10mA 0.05 ＋ 5（500mV） 0.005 ＋ 0.3（30mV） 5mVp-p

設定分解能

10V 0 ～ ±10.000V
1mV
100V 0 ～ ±100.00V 10mV
1000V 0 ～ ±1000.0V 100mV
電流
リミッタレンジ
200μA

2mA
20mA

設定
確度
温度係数
分解能 ±(% of setting + digits) ±（% of setting ＋ digits）/℃
20.0μA ～ 200.0μA 0.1μA 0.3 ＋ 50（5μA） 0.01 ＋ 10（1μA）
0.201mA ～ 2.000mA 1μA 0.3 ＋ 20（20μA） 0.01 ＋ 3（3μA）
2.01mA ～ 20.00mA 10μA 0.3 ＋ 10（100μA） 0.01 ＋ 2（20μA）
設定範囲

純抵抗負荷セットリングタイム
電圧発生レンジ

10 Ｖ
100 Ｖ
1000 Ｖ

※15

積分時間

測定速度

500μsec（バースト）※16
500μsec
2msec
1PLC
5PLC
10PLC
40PLC
80PLC
160PLC

1000 回／秒
200 回／秒
100 回／秒
33 回／秒
9 回／秒
4.8 回／秒
1.2 回／秒
0.6 回／秒
0.3 回／秒

表示桁数

19999

199999※16：データ・メモリ・ストアをバーストに設定すると自動的に積分時間 500μs、サンプリング・
インターバル 1msec、フリーラン、オートレンジ OFF、演算 OFF、測定表示 OFF に設定され、1000 回／秒の測定が可能となる。

電流リミッタレンジ

200μA
7ms
25ms
200ms

2mA
3ms
5ms
30ms

20mA
3ms
5ms
20ms

※15 ゼロからフルスケールまで出力を変化させたとき最終値の 1％に入るまでの時間。
電圧発生値、電流リミッタ値はレンジの最大設定値において9拡張設定機能

インタフェース機能◦ プリセット
アプリケーション別に、10 種類のパラメータ設定をあらかじめプリセット。
◦ 積分時間とサンプリング・インターバル
A/D 変換の積分時間を 8 種類、測定する周期を 1ms ～ 9999.9s の値に設定。

◦ リモート・コマンド◦ GPIBADC コマンド体系、弊社製品 8340A のコマンド

体系に準拠
規格
IEEE488.2 準拠
コネクタ
24 ピン・アンフェノール
インタフェース機能

SH1,AH1,T5,L4,SR1,RL1,PP0,
DC1,DT1,C0,E2
出力フォーマット ASCII
アドレス指定 正面パネルより 31 種類のトーカ /◦ オート・ゼロ
本器内部測定回路のオフセット誤差を除去。

リスナ・アドレスを指定◦ 入力アンプ・レスポンス（入力アンプ・ゲイン）
入力部のゲインを 4 段階に選択することで、耐ノイズ性とレスポンスを調整。
◦ インプット 1kΩ
入力抵抗 1kΩ を ON、または OFF に選択。
コンデンサのリーク電流／絶縁抵抗測定では測定動作安定化のため ONを推奨。
◦ IV コレクション（入力電圧降下補正）
直流電流ファンクション（抵抗表示）において、入力抵抗によって生じる誤差を測定し補正
ON の時、有効な測定データがあれば補正した電圧を表示。
※ 抵抗ファンクション（抵抗表示）は常時実効◦ オートレンジ・レスポンス
オート・レンジの切り替え速度を 3 段階に設定。
必要な桁数に応じた高速レスポンス測定が可能。
◦ オート・レンジ・ディレイ
オートレンジ動作によるレンジ変更後、次のサンプリングを開始するまでの遅延時間を設定。
◦ レンジ・リミット
測定レンジの上限・下限を設定。
測定範囲を限定できるため、不要なレンジングによる測定遅延を短縮。
◦ コンタクトチェック
測定試料の接触不良を検出する機能。
コンデンサなど容量性試料の生産ラインに必須の機能。
検出範囲：0.5pF 以上。
オープンキャル範囲：0.5pF ～ 50pF
◦ シーケンス・プログラム
JIS に準拠した絶縁抵抗測定で、電圧を印加し 1 分経過後の評価など、7種類のシーケンスを選択。

演算機能◦ NULL 演算◦ スムージング演算◦ 区間平均値演算◦ コンパレータ演算◦ MAX/MIN/AVE 演算◦ 積算演算◦ 体積抵抗率演算◦ 表面抵抗率演算

表示値（NULL）＝測定値－ NULL 定数
表示値（SM）＝指定回数の移動平均値
表示値（CAVE）＝指定回数の平均値
判定（HIGH）← HIGH 設定値＜測定値
判定（LOW）←測定値＜ LOW 設定値
表示（GO）← LOW 設定値≦測定値≦ HIGH 設定値
表示値（MAX）＝演算開始後の最大測定値
表示値（MIN）＝演算開始後の最小測定値
平均値（AVE）＝演算開始後の算術平均
表示値（Q）=（電流測定値［A］× 積算時間［s］）の指定回数分の積算ρv ＝（πd2/4t）×Rv
ρs ＝ π×（D+d）/（D-d）×Rs

表示機能◦ グラフ表示10

240×64 ドット・マトリクス LCD により、測定値の時間推移を表示する機能。
チャージ電流の応答や収束などを視覚的に確認し、試料の特性解析に役立てる。

規格
コネクタ◦ ハンドラ・インターフェース 機能◦ USB

USB2.0 Full-Speed 準拠
タイプ B

オート・ハンドラ等外部機器との同期
信号入出力
コネクタ
24 ピン・アンフェノール
入力信号
外部トリガ、コンタクトチェック・スタート、LID
出力信号
コンプリート出力、コンパレータ演算
結果、コンタクトチェック判定結果、測定終了、演算終了、アラーム
信号レベル
入力：TTL、立下りエッジ検出
出力：TTL、負パルス（オープン・コレクタ）◦ 外部トリガ入力
コネクタ
BNC
信号レベル TTL、立下りエッジ検出
パルス幅
100μsec 以上◦ インターロック /LID 入力 コネクタ
BNC
信号レベル TTL、立上り / 立下りエッジ検出◦ コンプリート出力
コネクタ
BNC
信号レベル TTL、負パルス（オープン・コレクタ）
シンク電流 5mA 以下
パルス幅
約 100μ/500μsec から選択
◦ D/A 出力機能
表示値の任意の 2 桁または 3 桁をD/A 変換して出力±1V（分解能 1mV）の範囲で任意電圧を出力（リモートのみ）
コネクタ
BNC
出力電圧
±1V
変換確度
±(0.2% ＋ 2digit）
出力抵抗
1Ω 以下
最大負荷電流 ±0.5mA
最大許容印加電圧 ±5V◦ BCD 出力機能
表示値を BCD コードまたはバイナリコード（工場オプション）
としてパラレル出力
OFF（全て High）も選択可
任意の pin の Hi/Lo を出力できるデ
ジタル・アウト（リモートのみ）
コネクタ
50 ピン・アンフェノール
信号レベル TTL 正論理◦ 温度・湿度センサ入力 温度測定範囲 ：－ 50℃～＋ 100℃
湿度測定範囲 ：0 ～ 100％ RH（推奨品の出力ケーブル付き温湿度センサを用いて）

一般仕様
使用環境範囲：温度：0℃～＋ 50℃
湿度：85％ RH 以下、結露のないこと
保存環境範囲：
温度：－ 25℃～＋ 70℃
湿度：85％ RH 以下、結露のないこと
ウォームアップ時間： 60 分以上
表示：
240×64 ドット・マトリクス LCD
レンジ切替え：自動または手動
フローティング方式
入力方式：
測定方式：
積分方式
過入力表示：
OL 表示
データ・メモリ：最大 65,000 データ
メモリ：
条件設定メモリ：4（USER0 ～ USER3）
トリガ機能：
内部および外部トリガ
外部トリガは単線信号、パネルキー、リモート（GPIB,USB）

測定端子

入力端子：

INPUT（5450：S.TRIAX、5451：TRIAX）
Lo（黒色セーフティ・ソケット）
GUARD（青色セーフティ・ソケット、端子台）
GND（端子台）
VSOURCE（赤色セーフティ・ソケット）

出力端子：
入力保護ヒューズ

タイムラグ・ヒューズ

1A/250V

最大許容印加電圧
シャーシ

入出力端子

GUARD
GND

46Vpeak

LO
1000Vpeak（46Vpeak）
1000Vpeak（46Vpeak）

INPUT
50Vdc

V SOURCE
1000Vpeak
1000Vpeak

1000Vpeak

1000Vpeak

1000Vpeak

1000Vpeak

カッコ内は5451の場合

最大許容入力電流50mApeak

電源

AC電源：100V/120V/220V/240V（ユーザにて切り替え可能）
オプションＮＯ
標準 OPT. 32 OPT. 42 OPT. 44
電源電圧
100V
120V
220V
240V

電源周波数：
消費電力：
外形寸法：
質量：

注文時指定
ユーザにて電源電圧を変更する場合は、適合ケーブルと適合ヒューズを確かめてご使用ください。

50Hz/60Hz
80VA 以下
約 424（幅）×88（高）×350（奥行）mm
9.5kg 以下

アクセサリ（別売）
型名

名称（フロントハンドルとラックマウントは組み合わせ可能）※20：XXX：ケーブルの長さで型名と価格が異なる

推奨品
型名

名称
出力ケーブル付き温湿度センサ

HC2-S-E2ACT-ADC
安全性：

EMI：

IEC61010-1 準拠、測定カテゴリⅡ
EN61326-1 classA◦ 本製品のご購入は(株）第一科学様に直接お問い合わせください。

標準付属品

住所：東京都文京区本郷2-12-13（3812）
9755
電話：03

型名

数量

名称

A01402CC010003100※17
CC010006※18
CC010005
CC015005
A1400011

電源ケーブル1

入力ケーブル（S.TRIAX- セーフティ）

1
1

入力ケーブル（TRIAX- みの虫）
出力ケーブル（セーフティ - セーフティ赤）ワニ口クリップ
ショートプラグ※191※17：5450、※18：5451の場合

価格（S.TRIAX-高耐圧TRIAX）￥85,500～
CC010004-XXX※20 入力ケーブル（TRIAX-TRIAX）￥15,000～
A01009-XXX※20 入力ケーブル（TRIAX-BNC）￥15,000～
A01011-XXX※20 入力ケーブル
入出力ケーブル BNC-BNC1.5m￥4,700A01036-1500
入出力ケーブル セーフティ・プラグ
￥1,900
A01044（高耐圧TRIAX-TRIAX）￥90,000～
A01239-XXX※20 入力ケーブル
接続コネクタ（TRIAXJ－TRIAXJ）￥8,000
A04201
接続コネクタ（TRIAXJ－BNCPアダプタ1） ￥10,000
A04202接続コネクタ（TRIAXJ－BNCPアダプタ2） ￥11,000
A04203接続コネクタ（BNCJ－MP）￥5,000
A04207接続コネクタ（TRIAXJレセプタクル）￥3,500
A04208
バナナチップアダプタA01044用￥600
Ａ08531
接続コネクタ（S.TRIAXP- 高耐圧TRIAXJ） ￥69,000
CC015003￥11,100
MI-03
BNC-みの虫テスト・リード￥70,000～
12603,12604
測定用シールド板￥20,000
A08076
テスト・フィクスチャ、レジスティビティ・チェンバ￥90,000～
127XXシリーズ
標準抵抗￥65,000～
15045シリーズ
レジスティビティ・チェンバ￥100,000
42
フロント取手セット（2U）￥16,000
CC028002
ラックマウント・セット（EIA 2U）￥12,000
CC024002
ラックマウント・セット（JIS 2U）￥12,000
CC022002※19：5450は2個、5451は1個メーカ希望小売価格
名称
デジタル超高抵抗／微少電流計
デジタル超高抵抗／微少電流計

型名

5450
5451

価格
￥600,000￥500,000

BCD オプション付き
名称

型名（工場オプション）
BCDオプション付き（工場オプション）
BCDオプション付き

5450＋04
5451＋04

価格￥650,000￥550,000◦ 表示価格に消費税は含まれていません。消費税相当額については別途申し受けます。
◦ 本製品を正しくご利用いただくため、お使いになる前に必ず取扱説明書をお読みください。
◦ ユーザ各位のご要望、当社の品質管理の一層の高度化などにともなって、おことわりなしに仕様の一部を変更させていただくことがあります。

接続ケーブル・セレクションガイド
測定器

5450

用途
入力 ※21（標準付属品：

電圧印加

CC010003-100、
CC010005）
Inter lock
5451

入力

（標準付属品：
CC010006、
CC010005）

電圧印加

アクセサリ（7ページ参照）

12701A
A01239＋ CC015003/CC010004
A01044/CC010005

12702A/B
A01239＋ CC015003/CC010004
A01044＋ A08531/
CC010005＋ A08531－

A01036-1500
A01009A01009A01044/CC010005＋ A08531/

A01044CC010005＋ A08531

12704A
A01239＋ CC015003/CC010004
A01044/CC010005

A01036-1500
A01009A01044/CC010005－
Inter lock A01036-1500
A01036-1500※21：フローティング接続にしない場合は、Ａ 01239 の代わりにＡ 01009 も使用可能

42
A04207＋ A01011＋ CC015003
A01044＋ A08531/
CC010005＋ A08531

15045
A01239＋ CC015003/CC010004
A01044/CC010005－－

A04207＋ A01011
A01044＋ A08531/
CC010005＋ A08531

A0100912706A
A01239＋ CC015003/CC010004
A01044＋ A08531/
CC010005＋ A08531
A01036-1500
A01009A01044/CC010005＋ A08531/－

CC010005＋ A08531
A01036-1500－

A0104412707
A01239＋ CC015003/CC010004
A01044＋ A08531/
CC010005＋ A08531
A01036-1500
A0100912708
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