第 39 回 プラズマプロセシング研究会 /第 34 回 プラズマ材料科学シンポジウム
プログラム

39th Symposium on Plasma Processing (SPP-39) /The 34th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM34)
Program2022 年 1 月 24～26 日
January 24-26, 2022

プログラム / Program
Room A

2022 年 1 月 24 日(月) / Jan. 24, 2022(Mon.)

9:00-9:20

開会式 / Opening Remarks

プレナリー講演 / Plenary Lecture
Room A
9:20-10:10
PL-01

Room A
9:20-10:10
PL-02

2022 年 1 月 24 日(月) / Jan. 24, 2022(Mon.)座長 / Chair：石川 健治(名古屋大学)
低侵襲プラズマ止血機器の基礎・開発と国際標準の推進
R & D of Minimally Invasive Plasma Hemostasis Equipment and Its
Promotion to International Standardization
榊田 創(産業技術総合研究所)
2022 年 1 月 25 日(火) / Jan. 25, 2022(Tue.)
座長 / Chair：伊藤 昌文(名城大学)
プラズマによるカーボンナノウォールの合成と新規応用
Plasma Synthesis of Carbon Nanowalls and their Emerging Applications
平松 美根男(名城大学)

プラズマ材料科学賞記念講演 / Memorial Lecture
Room A
9:20-10:10
PL-03

2022 年 1 月 26 日(水) / Jan. 26, 2022(Wed.)
座長 / Chair：渡辺 隆行(九州大学), 伊藤 昌文(名城大学)
サブナノメータノード半導体デバイス製造をめざしたプラズマプロセスの理解
Understanding of Plasma Processing Aiming at Manufacturing of
Sub-Nanometer-Node Semiconductor Devices
浜口 智志(大阪大学)

2

招待講演 / Invited Lecture
Room A
13:10-13:50
IT24-A-01

Room B
14:10-14:50
IT24-B-01

Room A
10:30-11:10
IT25-A-01

Room B
14:10-14:50
IT25-B-01

Room B
11:30-12:10
IT26-B-01

Room A
13:10-13:50
IT26-A-01

2022 年 1 月 24 日(月) / Jan. 24, 2022(Mon.)座長 / Chair：王 斗艶(熊本大学)
プラズマ遺伝子・分子導入法の機序と応用
Mechanism and Applications of Plasma Gene and Molecular Introduction
神野 雅文(愛媛大学)
2022 年 1 月 24 日(月) / Jan. 24, 2022(Mon.)座長 / Chair：明石 治朗(防衛大学)
トムソン散乱法を用いた空気ストリーマ放電や EUV 光源用プラズマの研究
Thomson scattering studies of atmospheric-air streamer discharges
and Extreme-ultraviolet (EUV) light sources
富田 健太郎(北海道大学)
2022 年 1 月 25 日(火) / Jan. 25, 2022(Tue.)
座長 / Chair：熊谷 慎也(名城大学)
DLC の医療応用の現状と将来展望
Present trends and future prospects for medical applications of
diamond-like carbon
中谷 達行(岡山理科大学)
2022 年 1 月 25 日(火) / Jan. 25, 2022(Tue.)
座長 / Chair：栗原 一彰(キオクシア株式会社)
半導体製造プロセス最適化への機械学習技術の適用
Machine Learning Approaches Optimizing Semiconductor
Manufacturing Processes
守屋 剛(東京エレクトロン株式会社)
2022 年 1 月 26 日(水) / Jan. 26, 2022(Wed.)
座長 / Chair：神原 淳(東京大学)
多相交流アークの高速度温度計測とナノ粒子合成
High-speed Temperature Measurement for Nano-particle Synthesis in
Multiphase AC Arc
大熊 崇文(パナソニック株式会社)
2022 年 1 月 26 日(水) / Jan. 26, 2022(Wed.)
座長 / Chair：平岡 尊宏(ウシオ電機株式会社)
Fluidized-bed DBD reactor for better plasma-catalyst coupling:a new reactor design concept
野崎 智洋(東京工業大学)

3一般講演(口頭発表(長)) / Long-Oral Presentation

Room A
10:30-10:50
LO24-AM-A-01

10:50-11:10
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11:10-11:30
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11:30-11:50
LO24-AM-A-04

11:50-12:10
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2022 年 1 月 24 日(月) / Jan. 24, 2022(Mon.)
P2. プラズマの医療・バイオ分野・農業応用
座長 / Chair：大矢根 綾子(産業技術総合研究所)
プラズマ照射肥料を用いて栽培した植物の成長解析
Growth Analysis of Plant Cultivated with Plasma-Irradiated Fertilizer
奥村 賢直 1, アタリ パンカジ 1, 中尾 匠 1, 田中 颯 1, 鎌滝 晋礼 1,
山下 尚人 1, 古閑一憲 1, 2, 板垣 奈穂 1, 白谷 正治 1, 竹内 希 3(1 九州大学, 2 自然科学研究機構, 3 東京工業大学)
プラズマ照射による酸化還元反応に対する種子内水分量の効果
Effects of Water Contents in Seeds on Redox Reaction by Plasma Irradiation
阿南 輝樹 1, 田中 颯 1, 奥村 賢直 1, アタリ パンカジ 1, 中尾 匠 1,
鎌滝 晋礼 1, 山下 尚人 1, 板垣 奈穂 1, 古閑 一憲 1, 2, 白谷 正治 1
(1 九州大学, 2 自然科学研究機構)
低温プラズマ処理による高品質イチゴ果実の安定的生産
Stable production of high-quality strawberry fruits with cold
plasma treatment during cultivation
橋爪 博司 1, 松本 省吾 1, 坪田 憲紀 1, 三田 薫 1, 水野 寛子 1,
阿部 明子 1, 湯浅 元気 2, 東野 里江 2, 田中 宏昌 1, 石川 健治 1,
伊藤 昌文 3, 北野 英己 1, 榊原 均 1, 仁川 進 2, 大熊 隆之 4,
前島 正義 1, 水野 正明 1, 堀 勝 1(1 名古屋大学, 2 富士通クライアントコンピューティング株式会社,3
名城大学, 4 幸田町企画部企業立地課)
筋芽細胞 C2C12 の分化に対する大気圧プラズマの効果
Effects of Non-Thermal Atmospheric Pressure Plasma on
Differentiation of Cells
熊谷 慎也 1, 牧野 克俊 1, 日比 滉大 1 (1 名城大学 理工学部)
プラズマ活性乳酸リンゲル液によるがん細胞死の分子機構
Molecular Mechanisms of Cancer Cell Death by Plasma-activated
Ringer’s Lactate Solution
田中 宏昌 1, 水野 正明 2, 石川 健司 1, 橋爪 博司 3, 中村 香江 1,
岡崎 康昌 4, 豊國 伸哉 4, 梶山 広明 5, 吉川 史隆 5, 堀 勝 1(1 名古屋大学低温プラズマ科学研究センター,2 名古屋大学病院先端医療臨床研究支援センター, 3 名古屋大学未来社会創造機構,
4
名古屋大学医学部生体反応病理学, 5 名古屋大学医学部産婦人科学)4

Room B
10:30-10:50
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10:50-11:10
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2022 年 1 月 24 日(月) / Jan. 24, 2022(Mon.)
2. プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング
座長 / Chair：小野 亮(東京大学)
大気圧空気中の平行平板 DBD における表面電位分布と実電界強度計測
Measurement of Surface Potential Distribution and Net Electric
Field Strength in a Plane-Parallel DBD in Atmospheric Air
夏目 知奈 1, 小室 淳史 2, 安藤 晃 1(1 東北大学 大学院工学研究科, 2 東京大学 新領域創成科学研究科)
プラズマ診断への応用を目的とした光波マイクロホンによる音声到来方向の検出
Detection of Sound Arrival Direction with Optical Wave Microphone
for Application of Plasma Diagnostics
宇都 明日佳 1 ,中宮 俊幸 2 ,園田 義人 2 ,光木 文秋 3
(1 熊本大学 大学院自然科学教育部, 2 株式会社新技術開発研究所,
3
熊本大学 先端科学研究部)
パルス高電圧による沿面放電で発生する音波の光波マイクロホン計測
Optical Wave Microphone Measurement of Acoustic Wave Generated byPulsed High-Voltage Surface Discharge
末元 大地 1, 園田 義人 2, 中宮 俊幸 2, 光木 文秋 3
(1 熊本大学 大学院自然科学教育部, 2 株式会社新技術開発研究所,
3
熊本大学 先端科学研究部)
プラズマジェット発生による衝撃波の光波マイクロホン計測
Optical wave microphone measurement of pressure waves produced byplasma jet formation
釜崎 雅大 1, Khing Zaw Phyo1, 川崎 敏之 2, 光木 文秋 3
(1 熊本大学 大学院自然科学教育部,
2
西日本工業大学 総合システム工学科, 3 熊本大学 先端科学研究部)
過酸化水素を用いたラジカル計測用化学プローブの校正の試み
Study on calibration of chemical probes for radical measurementwith hydrogen peroxyde
松浦 寛人 1, 胡敏 2, トラントラングエン 2, 坂本 仁 1(1 大阪府立大学放射線研究センター, 2 大阪府立大学工学研究科)

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Room A
13:50-14:10
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14:10-14:30
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14:30-14:50
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Room B
13:10-13:30
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13:30-13:50
LO24-PM-B-02

13:50-14:10
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2022 年 1 月 24 日(月) / Jan. 24, 2022(Mon.)
P2. プラズマの医療・バイオ分野・農業応用
5. 液相・気液界面プラズマの生成および応用
座長 / Chair：王 斗艶(熊本大学)
アークジェット放電法を用いた Gd 等金属内包炭素ナノカプセルの合成と医療応用
Production of Gd (metal) included carbon nano-capsules by the arc
jet method and their medical applications
三重野 哲 1, 2, 田邊 康介 1, ホッサイン アル イムラン 2(1 静岡大学理学部, 2 静岡大学創造科学技術大学院)
大気圧プラズマと相互作用する液体の表面張力変化
Effect of atmospheric pressure plasma irradiation on change of
surface tension of water
白井 直機 1, 金子 拓真 1, 高村 佑仁 1, 佐々木 浩一 1
(1 北海道大学 大学院工学研究院)
プラズマが誘起する液体流と界面活性剤初期濃度の関係
Relationship Between Plasma-induced Liquid Flows and Initial
Surfactant Concentration
川崎 敏之 1, 釜崎 雅大 2, 竹内 希 3, 光木 文秋 2
(1 西日本工業大学 工学部 電気情報工学系, 2 熊本大学 工学部 情報電気電子工学科, 3 東京工業大学 工学院 電気電子系)
2022 年 1 月 24 日(月) / Jan. 24, 2022(Mon.)
2. プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング
座長 / Chair：明石 治朗(防衛大学)
低温環境下におけるストリーマ放電の発生と相似則効果の観測
Observation of streamer discharges in low-temperature condition
and the effects of the similarity law
小室 淳史 1, 戸田 悠太 1, 小野 亮 1 (1 東京大学 新領域創成科学研究科)
空気ストリーマ放電の電子エネルギー分布関数の空間分解計測
Space-resolved measurements of Electron Energy Distribution
Function in a Pulsed Positive Streamer Discharge in Atmosphericpressure air
宮澤 冬馬 1, 富田 健太郎 1, 吉野 彰浩 2, 小室 淳史 3, 小野 亮 3(1 北海道大学 大学院工学研究院, 2 東京大学大学院 工学系研究科 電気系工学専攻, 3 東京大学大学院 新領域創成科学研究科 先端エネルギー専攻)
準大気圧窒素中のパルスストリーマによる N2(A3Σu+, v”= 0-3)の LIF 観測
LIF Imaging of N2(A3Σu+, v”= 0-3) Metastable Molecules in the
Pulsed Positive Streamer at Sub-Atmospheric Pressure Nitrogen金澤 誠司 1, 中谷 俊晶 1, 久納 晃人 1, 古木 貴志 1, 立花 孝介 1,
市來 龍大 1, マレック コチック 2, イエジー ミゼラチック 3,(1 大分大学理工学部電気電子コース, 2 ポーランド科学アカデミー,
3
グディニア海事大学)

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Room A
11:10-11:30
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11:30-11:50
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Room B
10:30-10:50
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11:30-11:50
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2022 年 1 月 25 日(火) / Jan. 25, 2022(Tue.)
5. 液相・気液界面プラズマの生成および応用
座長 / Chair：熊谷 慎也(名城大学)
気泡供給を伴うプラズマ処理での PFOS 分解特性
Decomposition Characteristics of Perfluorooctane Sulfonic Acid
(PFOS) in Plasma Treatments with Supply of Bubbles
卿珊杉 1, 鈴木 大輔 1, 竹内 希 1, 浪平 隆男 2, 王 斗艶 2
(1 東京工業大学 工学院, 2 熊本大学 産業ナノマテリアル研究所)
水蒸気を含むオゾン気泡内放電による酢酸分解
Acetic Acid Decomposition by Discharge inside Ozone Bubbles
Containing Water Vapor
風間 亮汰 1, 全 俊豪 1, 竹内 希 1 (1 東京工業大学 工学院電気電子系)
核燃料サイクルに向けた液面上パルス放電プラズマによるアルカリ廃液
中リン酸ジブチルの分解
Decomposition of Dibutyl Phosphate in Alkaline Liquid Waste by Pulsed
Discharge Plasma over Liquid Surface for Nuclear Recycling Process
高橋 克幸 1, 2, 榊原 哲 1, 高木 浩一 1, 2, 堀米 達哉 3, 兼平 憲男 3
(1 岩手大学理工学部, 2 岩手大学次世代アグリイノベーションセンター,
3
日本原燃株式会社)
2022 年 1 月 25 日(火) / Jan. 25, 2022(Tue.)
2. プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング
座長 / Chair：中村 圭二(中部大学)線スペクトルと連続光を考慮した相対強度法によるアーク温度の二次元解析
Two-Dimensional Arc Temperature Analysis by Relative Intensity
Method with Line Spectrum and Continuum Emission
竹本 裕貴 1, 田中 学 1, 渡辺 隆行 1
(1 九州大学 大学院工学研究院 化学工学部門)
Fulcher-α 帯の発光分光計測と水素分子の回転定数の再検討
Optical Spectroscopic Measurement of Fulcher-α Band andReconsideration of Rotation Constant of Hydrogen Molecule H2
赤塚 洋 3, 1, 菅波 賢也 1, 根津 篤 2, 3
(1 東京工業大学 工学院, 2 東京工業大学 オープンファシリティーセンター,
3
東京工業大学 研究院)
深紫外吸収分光法による誘電体バリア放電プラズマ中の CO2 の振動温度計測
Measurement of vibrational temperature of CO2 in dielectric barrierdischarge plasma by deep ultraviolet absorption spectroscopy
馬庭 祐介 1, 佐々木 浩一 1
(1 北海道大学 大学院工学研究院 応用量子科学部門)
水素原子バルマーアルファ線のキャビティリングダウン吸収分光法における飽和パラメータ：プラズマ中の電場計測に向けて
Saturation parameter in cavity ringdown absorption spectroscopy
at Balmer-α line of atomic hydrogen: toward sheath electricfield measurement in plasmas
伏見 公花 1, 西山 修輔 2, 佐々木 浩一 1
(1 北海道大学 大学院工学院, 2 日本医療大学 保健医療学部)

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Room A
13:10-13:30
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13:30-13:50
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Room B
13:10-13:30
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13:30-13:50
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2022 年 1 月 25 日(火) / Jan. 25, 2022(Tue.)
5. 液相・気液界面プラズマの生成および応用
座長 / Chair：竹内 希(東京工業大学)
プラズマ・液界面プロセスを用いた褐藻（オオウキモ）由来フコイダンのプラズマ解重合Plasma Depolymerization of Fucoidan from Brown Algae (Macrocystis
pyrifera) Using a Plasma-Liquid Interface Process
山本 紗哉加 1, 呉 準席 1, 白藤 立 1, 前澤 志織 2, 高岡 素子 2
(1 大阪市立大学大学院工学研究科電子情報系専攻,2
神戸女学院大学人間科学部環境・バイオサイエンス学科)
プラズマ・液界面プロセスで分解したウシ血清アルブミンの FTIR 評価
FTIR Characterization of Bovine Serum Albumin Decomposed by a
Plasma-Liquid Interface Process
白藤 立 1, 中谷 大樹 1, 呉 準席 1, 前澤 志織 2, 高岡 素子 2
(1 大阪市立大学大学院工学研究科電子情報系専攻,2
神戸女学院大学人間科学部環境・バイオサイエンス学科)
大気圧直流グロー放電における自己組織化パターン形成時の OH ラジカル
密度分布
Density distribution of OH radicals in atmospheric-pressure DC
glow discharge with formation of self-organized pattern
宮崎 俊明 1, 白井 直機 1, 佐々木 浩一 1
(1 北海道大学 大学院工学研究院応用量子科学部門)
液中プラズマによる混合原子価金属有機構造体合成
Mixed-valence metal-organic framework synthesis by plasma in liquid
菅野 杜之 1, 北尾 岳史 1, 伊藤 剛仁 1, 寺嶋 和夫 1
(1 東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系専攻)
2022 年 1 月 25 日(火) / Jan. 25, 2022(Tue.)
6. プラズマによる薄膜・表面プロセス(エッチング, 薄膜形成, 表面改質)
座長 / Chair：栗原 一彰(キオクシア株式会社)
シリコン表面パッシベーション中のプラズマ誘起欠陥とバンド形成
Plasma-induced defects and band formation during silicon surface
passivation
布村 正太 1, 坂田 功 1 (1 産業技術総合研究所 電子光基礎技術研究部門)
MoS2 薄膜の分子およびバンド構造制御のための窒素プラズマ処理
Nitrogen Plasma Treatment for Molecular and Band Structure
Control of MoS2 Thin Film
荻野 明久 1, 浅田 柊哉 1 (1 静岡大学大学院総合科学技術研究科)
容量結合型プラズマにおける電極入射高速粒子角度分布のイメージング計測
Imaging measurement of angular distribution of high-energy
particles incident on an electrode in a capacitively-coupled plasma
市川 景太 1, チュマンフン 1, 森山 誠 1, 中原 尚哉 1, 鈴木 陽香 1, 2,
豊田 浩孝 1, 2, 3
(1 名古屋大学 大学院工学研究科,
2
名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター, 3 核融合科学研究所)

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Room A
10:30-10:50
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2022 年 1 月 26 日(水) / Jan. 26, 2022(Wed.)
6. プラズマによる薄膜・表面プロセス(エッチング, 薄膜形成, 表面改質)
8. 環境・宇宙・エネルギー分野へのプラズマ応用
座長 / Chair：内田 儀一郎(名城大学)
異なる状態の混合粉末ターゲットによる Al ドープ酸化亜鉛薄膜のスパッ
タリング堆積Sputtering Deposition of Al-doped Zinc Oxide Thin Films by Mixed
Powder Targets with Different States
大島 多美子 1, 3, 日比野 祐介 1, 猪原 武士 1, 柳生 義人 1,
佐竹 卓彦 1, 2, 川崎 仁晴 1, 青木 振一 2, 板垣 奈穂 3, 古閑 一憲 3,
白谷 正治 3
(1 佐世保工業高等専門学校, 2 崇城大学 大学院工学研究科,
3
九州大学 システム情報科学府)
DLC 成膜用準大気圧 He/CH4 パルスプラズマ特性に及ぼす印加電圧波形の影響の数値解析
Computational Study on Influence of Applied Voltage Waveform on
Fundamental Properties in Sub-atmospheric Pressure He/CH4 Pulsed
Plasma for DLC Films Deposition
藤田 諒 1, 木村 勇太 1, 小田 昭紀 1 (1 千葉工業大学 大学院工学研究科)
高繰り返しナノ秒パルスグロー放電プラズマによって成膜されたダイヤ
モンドライクカーボン膜の膜質制御
Control of properties of diamond-like carbon films prepared witha high-repetition nanosecond pulsed glow discharge plasma
峯 卓馬 1, 政井 瞭平 1, 川口 瑞稀 1, 菊池 祐介 1
(1 兵庫県立大学 大学院工学研究科)
摩擦点近傍での DBD 生成によるなじみ促進
Running-in promotion by dielectric barrier discharge near thefriction point
上坂 裕之 1, 吉田 敦哉 2, 古木 辰也 1
(1 岐阜大学 工学部 機械工学科, 2 岐阜大学大学院 自然科学技術研究科)
CO プラズマへの He 混合による DLC 膜中酸素量の低減
Reduction of Oxygen Content in DLC Films by Mixing He in CO Plasma
針谷 達 1, 濱﨑 史帆 1, 大浦 曜 1, 坂東 隆宏 1, 滝川 浩史 1, 國次 真輔 2
(1 豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系, 2 岡山県工業技術センター)

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Room B
10:30-10:50
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10:50-11:10
LO26-AM-B-02

11:10-11:30
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Room A
13:50-14:10
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14:30-14:50
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2022 年 1 月 26 日(水) / Jan. 26, 2022(Wed.)
4. 大気圧プラズマ・熱プラズマの生成および応用
座長 / Chair：神原 淳(東京大学)
パルスアーク型プラズマジェット中 NH ラジカルのレーザー誘起蛍光観測
Laser-Induced Fluorescence Observation of NH Radicals Present inPulsed-Arc Plasma Jet
市來 龍大 1, 矢川 智健 1, 西田 脩 1, 立花 孝介 1, 古木 貴志 1,
金澤 誠司 1 (1 大分大学 理工学部電気電子コース)
アルゴン—窒素雰囲気下における多相交流アークの電極現象の可視化
Visualization of Electrode Phenomena in Multiphase AC Arc under
Argon-Nitrogen Atmosphere田中 学 1, 釘宮 悠太 1, 末永 拓也 1, 渡辺 隆行 1
(1 九州大学 大学院工学研究院 化学工学部門)
モデル遮断器における空気および SF6 アークプラズマの乱流的ダイナミ
クスの数値実験
Numerical Experiment for Turbulent-like Flow Dynamics of Air andSF6 Arc Plasmas in a Model Circuit Breaker
茂田 正哉 1, 田中 康規 2, 稲田 優貴 3, 平野 雄一 4, 前出 裕亮 4,
出村 文俊 2, 甲斐 広将 2, 藤野 貴康 5, 猪野 健太 6, 熊田 亜紀子 4(1 東北大学 大学院工学研究科, 2 金沢大学 大学院自然科学研究科, 3 埼玉
大学 大学院理工学研究科, 4 東京大学 大学院工学系研究科, 5 筑波大学 シ
ステム情報系, 6 筑波大学 構造エネルギー工学学位プログラム)
2022 年 1 月 26 日(水) / Jan. 26, 2022(Wed.)
6. プラズマによる薄膜・表面プロセス(エッチング, 薄膜形成, 表面改質)
8. 環境・宇宙・エネルギー分野へのプラズマ応用
座長 / Chair：平岡 尊宏(ウシオ電機株式会社)
プラズマ触媒を用いた CO2 メタン化のためのプラズマシミュレーション
Plasma simulation for CO2 methanation with plasma catalysis
都甲 将 1, 出口 雅志 2, 長谷川 大樹 2, 奥村 賢直 2, 鎌滝 晋礼 2,
竹中 弘祐 1, 古閑 一憲 2, 3, 白谷 正治 2, 節原 裕一 1
(1 大阪大学 接合科学研究所, 2 九州大学 システム情報科学府,
3
自然科学研究機構 新分野創生センター)
高密度 Li 二次電池に資する PS-PVD による均質 Si-Ge ナノ粒子の生成
Formation of homogeneous Si-Ge nanoparticles by PS-PVD for highdensity lithium ion batteries
太田 遼至 1, 王 文博 1, 道垣内 将司 2, 神原 淳 1(1 東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻,2
島根県産業技術センター)
大電力パルススパッタを用いたプラスチック基板上への硬質アモルファ
スカーボン成膜
Formation of amorphous carbon film on plastic substrate by highpower pulse sputtering
太田 貴之 1, 小田 昭紀 2, 上坂 裕之 3
(1 名城大学 理工学部 電気電子工学科,2
千葉工業大学 工学部 電気電子工学科, 3 岐阜大学 工学部 機械工学科)10

Room B
13:10-13:30
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2022 年 1 月 26 日(水) / Jan. 26, 2022(Wed.)
3. 低ガス圧プロセシングプラズマの生成および応用
7. エレクトロニクス・ナノテクノロジー分野へのプラズマ応用
座長 / Chair：大熊 崇文(パナソニック株式会社)
ナノ粒子生成用変調熱プラズマにおける原料粒子挙動のレーザストロボ
撮影および数値解析的考察
Investigation of Feedstock Particle Dynamics in Modulated Thermal
Plasma for Nanoparticle Synthesis by Laser Strobe Observation andNumerical Analysis
古川 颯大 1, 長瀬 有理奈 1, 不破 知哉 1, 田中 康規 1, 中野 裕介 1,
石島 達夫 1, 末安 志織 2, 渡邉 周 2, 中村 圭太郎 2(1 金沢大学, 2 日清製粉グループ本社)
プラズマ中の反応粒子と多層カーボンナノチューブ上に修飾されるイソ
シアネート基数との関係の調査
Relationship Between Gas-Phase Species in Plasma andFunctionalization of Isocyanate Groups on Multi-walled Carbon
Nanotubes
小川 大輔 1, 中村 圭二 1
(1 中部大学 工学部 電気電子システム工学科工学科)
プラズマ・メタマテリアル複合体の分散関係の実験観測とプラズマ反応
容器設計への応用可能性
Experimental Observation of Frequency Dispersion of Plasma
Metamaterial Composite and Its Feasible Application to Plasma
Reactor Design
酒井 道 1, 井波 柱偉 1, 野寄 陽太 1, 水富 拓弥 1
(1 滋賀県立大学 大学院工学研究科電子システム工学専攻)
AM 変調放電を用いた TEOS プラズマにおけるナノ粒子成長とプラズマ生成の関係についての研究
Investigation of relationship between growth of nanoparticle andplasma generation due to amplitude modulated discharge voltage in
TEOS plasma
鎌滝 晋礼 1, 阿部 滉平 1, 山本 晃大 1, 長尾 伊織 1, 大高 真寛 1,
山下 大輔 1, 奥村 賢直 1, 板垣 奈穂 1, 古閑 一憲 1, 2, 白谷 正治 1
(1 九州大学 システム情報科学研究院, 2 自然科学研究機構)

11一般講演(口頭発表(短)) / Short-Oral Presentation

Room A
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2022 年 1 月 24 日(月) / Jan. 24, 2022(Mon.)
P2. プラズマの医療・バイオ分野・農業応用
2. プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング
座長 / Chair：市來 龍大(大分大学)
高電圧パルス放電を用いた土壌酸化の空間分布評価
Evaluation of spatial distribution of soil oxidation using highvoltage pulsed discharge
城下 卓 1, 播磨屋 瑛 1, 高橋 克幸 1, 2, 高木 浩一 1, 2, 小長谷 耕平 3
(1 岩手大学院 総合科学研究科, 2 岩手大学アグリイノベーションセンター,
3
J&T 環境株式会社)
オゾン処理土壌から作成したろ液を用いた UV 分光測定
UV spectroscopic measurement of ozone treated soil filtrate solution
野間口 裕翔 1, Mai Kai Suan Tial2, 光木 文秋 3
(1 熊本大学 自然科学教育部 情報電気工学専攻, 2 ヤンゴン工科大学,
3
熊本大学 先端科学研究部)
大気圧プラズマ照射が誘発する核酸塩基修飾と除去修復
Production and removal of modified DNA bases in plasma-irradiatedcells
栗田 弘史 1, 荒井 寿美麗 1, Bidbayasakh Khulan1, 福田 敦史 1,
高島 和則 1 (1 豊橋技術科学大学 大学院工学研究科)
150 kHz 帯大電力バースト型誘導性結合窒素プラズマの特性
Characteristics of 150 kHz Band High Power Burst Inductively
Coupled Nitrogen Plasma
末永 光 1, 菊池 尚希 1, 高橋 克幸 1, 2, 向川 政治 1, 高木 浩一 1, 2
(1 岩手大学院 総合科学研究科, 2 岩手大学アグリイノベーションセンター)
超高周波容量結合型 Ar/C4F8/O2 プラズマにおけるイオンおよび中性ラジ
カル種の測定Ionic and Neutral radical measurement of Ar/C4F8/O2 very highfrequency capacitively-coupled plasma
関 悠斗 1, 加藤 閣人 1, 久保井 宗一 1, 鈴木 陽香 1, 2, 豊田 浩孝 1, 2, 3
(1 名古屋大学 大学院工学研究科,
2
名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター, 3 核融合科学研究所)
イオンエネルギー分布関数測定用改良型 RFEA の動作性能試験
Operational performance test of the improved retarding field energy
analyzer to use for measuring ion energy distribution function
井川 樹 1, 小久江 利光 1, 渡辺 航希 1, 埋ノ江 翔真 1, 松田 良信 1
(1 長崎大学 大学院工学研究科)

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2022 年 1 月 24 日(月) / Jan. 24, 2022(Mon.)
4. 大気圧プラズマ・熱プラズマの生成および応用
6. プラズマによる薄膜・表面プロセス(エッチング, 薄膜形成, 表面改質)
7. エレクトロニクス・ナノテクノロジー分野へのプラズマ応用
8. 環境・宇宙・エネルギー分野へのプラズマ応用
10. 上記以外のプラズマ関連研究座長 / Chair：田中 康規(金沢大学)
フィラメント状大気圧マイクロ波放電プラズマの生成
Generation of filamentary microwave discharge plasma in
atmospheric pressure
齋藤 翼 1, 佐々木 善太朗 1, 鎌田 貴晴 2, 高橋 克幸 1, 高木 浩一 1,
向川 政治 1
(1 岩手大学 大学院総合科学研究科,
2
八戸工業高等専門学校 産業システム工学科)
真空紫外原子吸光分光法による大気圧マイクロ波 Ar/O2 プラズマの O 原
子密度計測
Oxygen Atom Density Measurement of Ar/O2 Microwave line Plasma in
Atmospheric Pressure Using Vacuum Ultraviolet Atomic Spectroscopy
岩田 悠揮 1, 小笠原 知裕 1, 鈴木 陽香 1, 2, 堤 隆嘉 2, 堀 勝 2,
豊田 浩孝 1, 2, 3
(1 名古屋大学 大学院工学研究科 電子工学専攻,
2
名古屋大学低温プラズマ科学研究センター, 3 核融合科学研究所)
Ni をドープした金属表面への水素侵入防止傾斜機能性膜の作製
Ni-doped elemental gradient functional production on for hydrogen
entry prevention in the metal
川崎 仁晴 1, 大島 多美子 1, 柳生 義人 1, 猪原 武士 1, 西口 廣志 1,
佐竹 卓彦 1, 2, 青木 振一 2
(1 佐世保工業高等専門学校, 2 崇城大学)
空気プラズマガス気泡化処理による 1,4-ジオキサンの分解
1,4-Dioxan Decomposition by Air Plasma-Gas Bubbling Treatment
吉木 宏之 1, 中村 和弘 2, 遠田 明広 1, 高橋 宏之 2
(1 鶴岡高専 創造工学科, 2 飛島建設株式会社)h-BN 成膜用 Ar 希釈アンモニアボランプラズマの質量分析
Mass Spectrometry of Ar-diluted Ammonia Borane Plasma for h-BN
Film Formation
北嶋 武 1, 森表 拓哉 1, 中野 俊樹 1 (1 防衛大学校 電気電子工学科）
長尺プラズマアクチュエータに対する投入エネルギーの評価
Evaluation of Energy Consumption for Plasma Actuator with Long
Span Length
遠藤 優介 1, 赤松 浩 1 (1 神戸市立工業高等専門学校)

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2022 年 1 月 25 日(火) / Jan. 25, 2022(Tue.)P2. プラズマの医療・バイオ分野・農業応用
4. 大気圧プラズマ・熱プラズマの生成および応用
5. 液相・気液界面プラズマの生成および応用
7. エレクトロニクス・ナノテクノロジー分野へのプラズマ応用
10. 上記以外のプラズマ関連研究座長 / Chair：白藤 立(大阪市立大学), 大久保 雄司(大阪大学)
プラズマ合成 N2O5 によるカルシウム系植物全身防御応答活性化
Calcium-based systemic activation of plant defense response
induced by plasma-generated N2O5 gas
岩本 拡仁 1, 佐々木 渉太 1, 高島 圭介 1, 東谷 篤志 2, 豊田 正嗣 3,
金子 俊郎 1
(1 東北大学 大学院工学研究科, 2 東北大学 大学院生命科学研究科,
3
埼玉大学 理工学研究科)
原子状酸素ラジカル処理したポリエチレンテレフタレートの生分解
Biodegradation of polyethylene terephthalate treated neutraloxygen-radical
五藤 大智 1, 岩田 直幸 1, 石川 健治 1, 橋爪 博司 1, 田中 宏昌 1,
伊藤 昌文 2, 上坂 裕之 3, 堀 勝 1(1 名古屋大学, 2 名城大学, 3 岐阜大学)
プラズマにより合成されたナノグラフェンの生体分子修飾
Biomolecular Modification of Plasma-Synthesized Nanographene
久住 一誠 1, 竹田 圭吾 1, 平松 美根男 1 (1 名城大学電気電子工学科)
水素プラズマ照射下におけるスズ-ビスマス-リチウム-エルビウム 溶融
合金の発泡現象
Bubbling phenomenon of melted tin-bismuth-lithium-erbium alloy
during hydrogen plasma exposure
田村 晃汰 1, 鈴木 陽香 1, 2, 宮澤 順一 3, 増崎 貴 3, 時谷 政行 3,
豊田 浩孝 1, 2, 3
(1 名古屋大学 大学院電子工学専攻,
2
名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター, 3 核融合科学研究所)
大気圧 RF プラズマジェットを用いた異材接合プロセスの開発
Development of Dissimilar Material Joining Process Using an
Atmospheric-Pressure RF Plasma Jet
陣田 尭哉 1, 中本 壮太郎 1, 都甲 将 1, 竹中 弘祐 1, 内田 儀一郎 2,
節原 裕一 1
(1 大阪大学 接合科学研究所, 2 名城大学 理工学部)
大気圧窒素マイクロギャップ DBD の自己組織構造の観測
Observation of the self-organized structure of atmosphericpressure nitrogen microgap dielectric barrier discharge
赤石 崚太 1, 高橋 克幸 1, 2, 高木 浩一 1, 2, 向川 政治 1, 2
(1 岩手大学 理工学部, 2 岩手大学 ソフトパス理工学研究センター)14

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Li-W 複合酸化物ナノ粒子生成プロセスにおける多相交流アークの温度変動
Temperature Fluctuation in Multiphase AC Arc during Li-W
Composite-Oxide Nanoparticles Synthesis
玉江 藍花 1, 末永 拓也 1, 十河 りつ 1, 竹中 凌 1, 田中 学 1, 2,
渡辺 隆行 1, 2, 大熊 崇文 2, 3, 永井 久雄 3, 丸山 大貴 3
(1 九州大学 大学院工学研究院 化学工学部門,
2
九州大学 プラズマナノ界面工学センター, 3 パナソニック株式会社)
マッハ・ツェンダー干渉計を利用した大気圧 Ar グロー放電内のガス温度
推定
Gas Temperature Estimation in Atmospheric-Pressure Argon Glow
Discharge Using Mach-Zehnder Interferometer
吉川 昇汰 1, 中川 雄介 1, 杤久保 文嘉 1
(1 東京都立大学 大学院システムデザイン研究科)
プラズマ CVD により合成したグラフェンナノリボン量子ドットデバイスの電気伝導特性評価
Electrical transport properties of graphene nanoribbon quantum
dot devices grown by plasma CVD
佐藤 尚郁 1, 加藤 樹 1, 北田 孝仁 2, 瀬尾 瑞樹 1, 金子 俊郎 1,
大塚 朋廣 2, 加藤 俊顕 1
(1 東北大学 大学院工学研究科, 2 東北大学 電気通信研究所)
カーボンナノウォールの形態と高さが光透過率に及ぼす影響
Effect of morphology and heights of carbon nanowalls on their
optical transmittance
射場 信太朗 1, 近藤 博基 1, 石川 健治 1, 関根 誠 1, 堤 隆嘉 1,
平松 美根男 2, 堀 勝 1(1 名古屋大学 大学院工学研究科, 2 名城大学 理工学部)
液中プラズマプロセスを用いたメタノール内金属基板上へのナノグラフ
ェンの成膜
Deposition of Nanographene on Ethanol-Immersed Metal Substrates
by In-liquid Plasma Process
デラヴェガマリアシャンリン 1, 近藤 博基 2, 堤 隆嘉 2,
グエン ティ・トゥイーンガ 2, 石川 健治 2, 関根 誠 2,
ヴァスケズマグダレノジュニア 3, 堀 勝 2(1 名古屋大学 大学院工学研究科, 2 名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター, 3 フィリピン大学ディリマンキャンパス 国立大学院工学研究科)

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2022 年 1 月 25 日(火) / Jan. 25, 2022(Tue.)
3. 低ガス圧プロセシングプラズマの生成および応用
6. プラズマによる薄膜・表面プロセス(エッチング, 薄膜形成, 表面改質)
座長 / Chair：古免 久弥(大阪大学), 古閑 一憲(九州大学)
プラズマ支援反応プロセスで作成された IGZO 薄膜トランジスタの特性評価
Characterization of IGZO Thin-Film Transistors Prepared with
Plasma-Assisted Reactive Processes
林 祐仁 1, 小松 響 1, 都甲 将 1, 竹中 弘祐 1, 江部 明憲 2, 節原 裕一 1
(1 大阪大学 接合科学研究所, 2 株式会社イー・エム・ディー)
高電圧バイアス印加 Ar/C6H6ECR プラズマを用いた導電性炭素膜堆積における磁場構造の影響
Influence of the magnetic field configuration on the conductive carbon
film deposition in an ECR Ar/C6H6 plasma with high voltage bias
濱口 育未 1, ベハンシン 1, 笹井 建典 2, 鈴木 陽香 1, 2, 豊田 浩孝 1, 2, 3
(1 名古屋大学 大学院工学研究科,
2
名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター, 3 核融合科学研究所)
全固体 Li イオン電池のためのスパッタリング LiPON 薄膜のイオン導電率制御
Control of ionic conductivity of sputtering LiPON thin films for
All-Solid-State Li-ion batteries
羽生 侑真 1, 林 純希 1, 永井 健太 1, 木賀 海青 1, 山田 輝也 1,
内田 儀一郎 1, 2
(1 名城大学 大学院理工学研究科,
2
次世代エネルギーマテリアルイノベーションセンター)
全固体リチウムイオン電池のためのスパッタリング LiAlGePO 電解質膜の組成制御
Composition control of LiAlGePO solid electrolyte film by plasma
sputtering for All-Solid-State Li-ion batteries
林 純希 1, 永井 健太 1, 羽生 侑真 1, 木賀 海青 1, 山田 輝也 1,
内田 儀一郎 1, 2
(1 名城大学 大学院理工学研究科,
2
次世代エネルギーマテリアルイノベーションセンター)
sub-Torr プラズマスパッタリングを用いた Ge 薄膜のナノ構造制御と Li
イオン電池アノードへの応用
Nanostructure control of Ge films by sub-Torr plasma sputteringfor Li-ion battery anode永井 健太 1, 若菜 文佳 1, 花井 稜 1, 林 純希 1, 羽生 侑真 1,
内田 儀一郎 1, 2
(1 名城大学 大学院理工学研究科,
2
次世代エネルギーマテリアルイノベーションセンター)
金ナノ粒子プラズモンによるシリコンの低ダメージラジカル酸化
Low Damage Radical Oxidation using Gold Nanoparticle Plasmon
渡邉 一叶 1, 北嶋 武 1, 中野 俊樹 1 (1 防衛大学校 電気電子工学科）
カーボンナノウォールを用いた電気二重層キャパシタの作製
Fabrication of Electrical Double-Layer Capacitor Using Carbon
Nanowalls
竹内 皓紀 1, 竹田 圭吾 1, 平松 美根男 1 (1 名城大学 電気電子工学科)16

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C2F6/H2 混合ガスを用いてラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法により成長させたカーボンナノウォールのモフォロジー制御
Morphological Control of Carbon Nanowalls Grown by a RadicalInjection Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Using C2F6 /H2 Mixture Gas
橋本 拓海 1, 近藤 博基 2, 石川 健治 2, 堤 隆嘉 2, 関根 誠 2,
平松 美根男 3, 堀 勝 2(1 名古屋大学 大学院 工学研究科,
2
名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター, 3 名城大学)
大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライク
カーボン成膜における炭素イオンエネルギーの解析
Ion Energy of Carbon in High Power Pulse Magnetron Sputtering for
Deposition of Diamond-like Carbon Film奥村 壮太 1, 松島 丈 1, 小田 昭紀 2, 上坂 裕之 3, 太田 貴之 1
(1 名城大学 理工学部, 2 千葉工業大学 工学部, 3 岐阜大学 工学部)
パルス供給した偏在ガスによるプラズマの生成
Production of Plasma in Pulse Injected Unevenly Distributed Gas
橋田 隆助 1, 八田 章光 2
(1 高知工科大学 システム工学群, 2 高知工科大学 システム工学群)

Room A

2022 年 1 月 26 日(水) / Jan. 26, 2022(Wed.)

15:10-15:40

閉会式 / Closing

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ᴾ
ᴾ
ᴾ

ᴾ

HZ-Pro S4

HZ-Pro S12モジュール式，最大 FK まで増設可能

オプションブースタボード 9$ブースターボード挿入枚数に応じて出力電流の増幅が可能

作用極，参照極，対極各電極間の電位を同時測定



作用極，参照極，対極インピーダンスも同時測定



マルチユーザー対応で  ユニットに複数 3& が同時アクセス可能（要 +XE 接続）マルチチャンネル向けにソフトウェアをリニューアル

自由度の高いウィンドウレイアウト

操作性の高いユーザーインターフェイス

測定法を自由に並べ替え可能

マルチユーザー向け管理機能搭載

シングルチャンネル向け画面も搭載



設定イメージをグラフで表示

解析機能順次拡充予定

日本語―英語表示変換機能


チャンネル： FK タイプ 6 FK タイプ 6 

電位検出確度： 設定値の±±P9

最大出力： ±9±P$ ブースタ－なしの場合  電流検出確度：各電流レンジでは以下になります
検出電圧レンジ： ±9±9$872

P$～μ$：設定値の±±レンジの 

検出電流レンジ： ±P$f±Q$$872

Q$：設定値の±±レンジの 

)5$：μ+]f0+]

Q$：設定値の±±レンジの 

外形寸法 PP ： :[+['（FK）、:[+['（FK）


詳細は下記にお問い合わせください。

HD 北斗電工株式会社ᴾ

本社・東京営業所ᴾ〒ᵏᵓᵐᵋᵎᵎᵎᵑᴾ

東京都目黒区碑文谷 ᵒᵋᵐᵐᵋᵏᵑᴾᵲᵣᵪᵌᵆᵎᵑᵇᵑᵕᵏᵔᵋᵑᵐᵑᵓᴾ

ᵤᵟᵶᵌᵆᵎᵑᵇᵑᵕᵗᵑᵋᵖᵕᵖᵕᴾ

大 阪 営 業 所ᴾ〒ᵔᵔᵎᵋᵎᵖᵎᵓᴾ

兵庫県尼崎市西長洲町 ᵏᵋᵏᵋᵏᴾ

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厚〒ᵐᵒᵑᵋᵎᵖᵎᵏᴾ

神奈川県厚木市上依知字上の原 ᵑᵎᵐᵖᴾ

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木

工

場ᴾ

ᴾ ᵣᵋᶋᵿᶇᶊᴾ （東京）ᴾ ᶆᶍᶌᶑᶆᵿᵞᶆᶍᶉᶓᶒᶍᵋᶂᶃᶌᶉᶍᵌᶁᶍᵌᶈᶎᴾ ᴾ （大阪）ᴾ ᶍᶑᵿᶉᵿᵞᶆᶍᶉᶓᶒᶍᵋᶂᶃᶌᶉᶍᵌᶁᶍᵌᶈᶎᴾ ᴾ ᴾ ᵦᵭᵫᵣᴾᵮᵟᵥᵣᴾ ᴾ ᶆᶒᶒᶎᶑᵘᵍᵍᶕᶕᶕᵌᶋᶃᶇᶂᶃᶌᶑᶆᵿᵌᶁᶍᵌᶈᶎᵍᶆᶉᶒᵍᴾ

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Powder

超電導材料
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先進機能性酸化物
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工学系機能性材料
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株式会社 豊島製作所 マテリアルズシステム事業部〒355-0036 埼玉県東松山市下野本1414

TEL:0493-24-6774
URL:http://www.material-sys.com