MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

この取扱説明書について
この取扱説明書は、MMステージ［MMスタンダードMタイプ］の全機種を一冊にまとめて解説してあります。
「設置方法」（P.6）などについては、機種によって方法が一部異なりますので、お使いの機種をご確認の上、該当する項目をご覧になってください。また、文章や説明図は、代表例として類似した形式のものが使われている場合がありますが、内容や手順については同様です。

目次
1特長 .................................................................................................................. 32

付属品 .............................................................................................................. 3

3

使用上のご注意 ................................................................................................ 44

設置方法 ........................................................................................................... 6■ 傾斜ステージの設置 .................................................................................... 6■ 回転、Z昇降ステージの設置 ....................................................................... 75

主な仕様 ........................................................................................................... 8

1.ステージ仕様 ................................................................................................ 82.モータ仕様（モータ単体）............................................................................ 133.モータ内部結線 ........................................................................................... 134.コネクタ結線仕様 ....................................................................................... 145.センサ仕様 .................................................................................................. 156. リミット、原点信号の動作論理 ................................................................ 156コントローラ、接続ケーブル（別売）.............................................................. 161.接続方法 ..................................................................................................... 162. コントローラの設定 .................................................................................. 163. 表示単位の設定 ......................................................................................... 18
7保証と修理 ..................................................................................................... 192

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

1 特長
小型・軽量・薄型
狭い場所への組み込みが容易です。

高精度・高性能
小型・軽量にもかかわらず高精度・高性能です。

高度な制御が可能
当社製QT-Aシリーズコントローラと組み合わせることにより、簡単な操作で高度な制御が可能です。

原点センサ
すべての機種に原点センサが内蔵されています。センサにはホールICを使用しています。

2 付属品
本製品には下記のものが付属品として同梱されています。開梱時にすべてのものが揃っているかご確認ください。万一不足していたり、破損していた場合は、当社営業部までご連絡ください。

六角レンチ
（固定用）
ステージ面40mmシリーズ （レンチの呼び 2.5）.................................................. 1本
ステージ面60mmシリーズ （レンチの呼び 3）..................................................... 1本
六角穴付きボルト（固定用）
ARS-436B-HM
ATS-410B/415B/420B-HM，ATD-410B/415B-HM
ARS-636B-HM
ATS-610B/615B/620B-HM，ATD-610B/615B-HM（M3）.............................. 3本（M3）.............................. 4本（M4）.............................. 3本（M4）.............................. 4本

取扱説明書（本書）.......................................................................................................... 1冊
接続コネクタ、接続ケーブル、コントローラは別売です。

3

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

3 使用上のご注意
衝撃を与えないでください
本製品は精密部品で構成されています。衝撃を与えたり、他の機器からの振動の悪影響を受ける恐れのあるところで使用しないでください。保証された精度内の動作が行えなくなります。

分解や改造をしないでください
本製品は精密に調整されていますので、分解や改造は絶対に行わないでください。故障や動作不良の原因になります。分解や改造を起因とする精度低下や故障が発生した場合、保証が適用できなくなります。改造や追加工が必要な場合には、当社営業部までご相談ください。

ステージ面に他の器具を取り付ける時は①本製品のステージ面に別の器具などを取り付ける場合は、取り付けネジの長さに注意してください。使用ス
テージにより異なりますが、取り付け器具の底面から3〜5mmでご使用ください。長すぎる場合、破損の原因となりますので注意してください。

3〜5mm

ステージ面に他の器具を取り付ける時は②本製品のステージ面に別の器具などを取り付ける場合
は、移動部に無理な力がかからないように移動部をしっかり固定した状態で取り付けを行ってください。移動部を固定しないで力をかけると精度に影響したり、破損する場合がありますので注意してください。

4

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

磁気記録媒体を近づけないでください
ステージに使用されているモータには強力なマグネットが使われています。フロッピーディスク、MOディスク、カセットテープなどの磁気記録媒体をステージに近づけないでください。データを破損する恐れがあります。

使用環境にご注意ください
温度の極端に高いところや低いところ、温度の変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでは使用しないでください。本製品は、周囲温度10〜40℃/湿度20〜80％
RHでご使用ください。

10℃〜40℃

移動中のステージに触れないでください
コントローラによる操作を行っているときは、移動中のステージに触れたり、手動ハンドルに触れたりしないでください。
正確な動作ができなくなり、故障や動作不良の原因となります。また、指などを巻き込みけがをする恐れがあります。
使用中モータは発熱しています。火傷の恐れがあります
ので、モータには触れないよう十分ご注意ください。

異常が発生したら使用中に異音・異臭・発煙などが発生した場合は、すぐに使用を中止して、コントローラ（ドライバ）の電源をOFFにし、電源プラグをコンセントから抜き、お買い上げの販売店または当社営業部までご連絡ください。

5

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

4 設置方法設置上のご注意● ステージはしっかりとした作業台などに、付属のネジで設置してください。
● 取り付け穴の間隔、位置、ネジの数は機種によって異なります。主な仕様（P.8）
を参照して、設置面にあらかじめネジ穴加工などを施してください。
● ステージを設置する面の平面度が悪いと、性能を十分に発揮できないだけでなく故障や動作不良の原因にもなります。設置面の精度には十分配慮してください。
● 設置面とステージ裏面のゴミの付着や傷にご注意ください。
● ステージ設置の際、手動でステージを移動させたときは、設置終了後必ず手動でステージを中央付近に戻してください。移動したままの状態では、リミットセンサの検知範囲外になっている場合があり、そのままモータ駆動を行うと故障や誤動作の原因となります（回転ステージを除く）。

■ 傾斜ステージの設置
傾斜ステージを設置する場合は、ステージを図のように移動させ取り付け穴が見える状態にして行います。二軸の場合も同様に、下軸を移動して行います。

締め付け順序BDCA

A→B→C→Dの順序で徐々に締め付けます。
［注意］最後の締め付けは確実に行ってください。

傾斜、二軸傾斜ステージ設置を行う際のステージの移動についてステージの移動は、ハンドルを回して手動で行う方法と、コントローラ（ドライバ）制御による自動で行う2つの方法があります。
［注意］● 手動でステージを移動する場合は、必ずドライバの電源を切ってください。ドライバの電源を入れたまま手動ハンドルを回すと、故障や動作不良の原因となります。
● 自動でステージを移動する場合は、指や工具を挟まないように注意してください。故障や動作不良の原因となるばかりではなく、けがをする恐れがあります。
● 自動でステージを移動させた場合にステージの種類よっては、取付穴が見えないものがあります。そのような場合はコントローラの電源を切り手動でステージを移動してください。

6

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］■ 回転、Z昇降ステージの設置図のようにすべての取り付け穴を付属のネジで固定します。
ARS-436B、ARS-636Bは3か所、ALV-600Bは4か所の取り付け穴があります。
各ネジを順番に少しずつ締め付けます。
［注意］最後の締め付けは確実に行ってください。

回転ステージ

Z昇降ステージ7MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

5 主な仕様1.ステージ仕様
ALV-600B-H0M

製品番号（型式）

ALV-600B-H1M
Z軸1方向

移動方向

0〜5mm移動量60mm×60mm

ステージ面

PK523HPB 相当（5線式ペンタゴン結線）

使用モータ
分解能

0.0005mm

送りねじリード0.5mm

0.001mm
1mm
V溝とクロスローラ

移動ガイド0.005mm

真直度（水平・垂直）
位置決め精度

0.012mm0.01mm

繰り返し精度±0.0015mm±0.001mm
0.003mm

ロストモーション

29.4N（3kgf）

耐荷重

0.7kg

質量（5,000pps時）
最高速度2.5mm/s

5mm/s

材質

アルミ合金

ALV-600B-H0M/ALV-600B-H1M

4-M3深84-M4深8

6050
32
2450

100

φ20

4-M2深8コネクタ

手動ハンドル
2432
50
6050
ステッピングモーター

619

28

55〜60

123

8

4-4.5キリ7.5深ザグリ

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

ARS-436B-HM

製品番号（型式）

ARS-636B-HM
回転方向

移動方向

360゜移動量φ40mm

ステージ面

φ60mm
PK525HPB 相当（5線式ペンタゴン結線）

使用モータ

0.008゜

分解能

アンギュラベアリング

移動ガイド
心振れ

0.01mm

面振れ0.05mm

位置決め精度

0.15゜

繰り返し精度±0.003゜
0.01゜

ロストモーション
29.4N（3kgf）

耐荷重

39.2N（4kgf）
0.8kg

質量

0.5kg

最高速度（5,000pps時）

40゜/s

40゜/s
アルミ合金

材質

ARS-436B-HM
136
77.5

4-M2深6
P.C.D.24
4-M3深6
P.C.D.32100

19

φ201431.5

コネクタ

32 0
432(74)6)

5.

(2手動ハンドル
ステッピングモータ

7)(4φ6 透過穴

403-3.5キリ6深ザグリ

28
41535

φ40

ARS-636B-HM
4-M2深5156.5
984-M3深5100φ201442(78.

5)

30

コネクタ

手動ハンドル(3(3φ10 透過穴603-4.5キリ7.5深ザグリ

5024 23 05 06232 48)

0.

ステッピングモータ6.
1)5152835

φ609

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

ATS-410B-HM ATS-415B-HM ATS-420B-HM ATS-610B-HM ATS-612B-HM ATS-615B-HM

製品番号（型式）

傾斜1方向

移動方向
回転中心

91mm

64mm

37mm

127mm

99mm

71mm

移動量

±5゜

±7.5゜±10゜±5゜±6゜±7.5゜

40mm×40mm

ステージ面

60mm×60mm

PK525HPB 相当（5線式ペンタゴン結線）

使用モータ
0.002゜

分解能0.004゜0.002゜

移動ガイド

V溝レールと鋼球

回転中心精度

φ0.1mm

位置決め精度0.05゜

繰り返し精度±0.002゜
0.006゜ロストモーション
耐荷重

19.6N（2kgf）

質量

0.4kg
10゜/s

最高速度（5,000pps時）

24.5N（2.5kgf）
0.6kg

20゜/s

10゜/s

材質

アルミ合金

ATS-410B-HM/ATS-415B-HM/ATS-420B-HM
4-M3深6φ2040

324091（ATS-410B-HM）
64（ATS-415B-HM）
37（ATS-420B-HM）

コネクタ

手動ハンドル

321132100

M6深585.5

ステッピングモータ

136.5

32
4-3.5キリ6深ザグリ

293152728

回転中心ATS-610B-HM/ATS-612B-HM/ATS-615B-HM
4-M4深64-M3深6

φ20

3250

60

50

100

M6深5

コネクタ

手動ハンドルステッピングモータ

3260

85.5
156.5

127（ATS-610B-HM）
99（ATS-612B-HM）
71（ATS-615B-HM）
4152928回転中心

2850
4-4.5キリ7.5深ザグリ

501110MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

ATD-410B-HM

製品番号（型式）

ATD-415B-HM

移動方向

傾斜2方向

回転中心

64mm

37mm

移動量

上軸±7.5゜ 下軸±5゜

上軸±10゜ 下軸±7.5゜

ステージ面

40mm×40mm

使用モータ

PK525HPB 相当（5線式ペンタゴン結線）
上軸 0.004゜ 下軸 0.002゜

分解能

0.004゜

移動ガイド

V溝レールと鋼球

回転中心精度

φ0.1mm

位置決め精度

0.05゜

繰り返し精度±0.002゜

ロストモーション

0.006゜

耐荷重

16.6N（1.7kgf）

質量0.8kg
上軸 20゜/s 下軸 10゜/s

最高速度（5,000pps時）

20゜/s

材質

アルミ合金

ATD-410B-HM/ATD-415B-HM

コネクタ

56

100

手動ハンドル

42φ202885.5

ステッピングモータ

100φ2032

コネクタ

1140

4-M3深632

136.5

M6深5手動ハンドル
543211404-3.5キリ6深ザグリ

64（ATD-410B-HM）
37（ATD-415B-HM）

136.5

31529

28

27

回転中心

2732

ステッピングモータ

85.5

11

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

ATD-610B-HM

製品番号（型式）

ATD-612B-HM

移動方向

傾斜2方向

回転中心

99mm

71mm

移動量

上軸±6゜下軸±5゜

上軸±7.5゜下軸±6゜

ステージ面

60mm×60mm

使用モータ

PK525HPB 相当（5線式ペンタゴン配線）

分解能0.002゜

移動ガイド

V溝レールと鋼球

位置決め精度0.05゜

繰り返し精度±0.002゜

ロストモーション

0.006゜

耐荷重

19.6N（2kgf）

質量1.2kg（5,000pps時）
最高速度

10゜/s

材質

アルミ合金

ATD-610B-HM/ATD-612B-HM

コネクタ

57

100

手動ハンドル

4328

φ2085.5

ステッピングモータ

M6深54-M3深64-M4深650

φ2032

60

50

156.5

100

コネクタ

11手動ハンドル
ステッピングモータ
56

32
1160

85.5

99（ATD-610B-HM）
71（ATD-612B-HM）

156.5

4

1529

28

28

回転中心

28

50
4-4.5キリ7.5深ザグリ

50

12

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

2.モータ仕様（モータ単体）
項目

仕モータ型式
励磁最大静止トルク様PK523HPB相当

PK525HPB相当

0.046N・m

0.074N・m

定格電流0.75A／相

巻線抵抗1.1Ω／相-7

ロータ慣性モーメント9x10 kg・m

質量1.41Ω／相218x10-7 kg・m20.11kg0.2kg

モータ構造

ハイブリッド型

巻線相数

5相ステップ角

フルステップ 0.72゜ハーフステップ 0.36゜

静止角度誤差±0.05°

絶緑抵抗

常温常湿においてモータのコイルケース間をDC500Vメガーで測定した値が100MΩ以上あります。

絶縁耐圧

常温常湿においてモータのコイルケース間に50Hz 0.5kVを1分間印加しても異常を認めません。

絶縁階級
温度上昇

B種（130℃）
常温常湿において定格電流で5相励磁・静止状態のとき80℃以下（抵抗法）

使用温度範囲

−10℃〜＋50℃

有害物質

RoHS（EU指令 2002/95/EC 27 Jan. 2003）適合※静止角度誤差：フルステップ（0.72゜）無負荷時の値（負荷により変動します）※本モータはオリエンタルモーター社製の当社専用仕様品です。

3.モータ内部結線
モータの内部結線は5線式ペンタゴン結線になっています。ドライバを選定する際には注意してください。

青D相A相黒赤B相C相緑E相13橙MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

4.コネクタ結線仕様
コネクタの結線はすべての機種が共通になっています。ただし、回転ステージにはリミットセンサがありませんので、ピンNo.7 、8 には結線をしてありません。
モータ PK523HPB / PK525HPB相当（オリエンタルモーター製）

コネクタ HR10A-10J-12PC（ヒロセ製）

ピンNo.
123456789101112

青
赤
橙
緑
黒

CCWリミットセンサ
GND
OUT
Vcc

原点センサ

内容
モータ線
モータ線
モータ線
モータ線
モータ線
センサ Vcc 4.5V〜16V
CW方向リミットOUT
CCW方向リミットOUT
センサ用コモン（GND）
原点センサOUT
保守用
保安用フレームグランド※回転ステージには、リミットはありません。

GND
OUT
Vcc

CWリミットセンサ

GND
OUT
Vcc

［注意］● ステージとコントローラの間のケーブルは3m以内にしてください。
● リミットOUT、
原点センサOUTはコントローラ側においてフォトカプラ等でのアイソレーションを推奨します。

14

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

5.センサ仕様● 本製品には、ストロークエンドのリミットセンサと原点センサが組み込まれています。
（回転ステージは、原点セン
サのみ）● センサにはパナソニック製のホールIC DN6848S を使用していますので、高精度の機械原点検出が可能です。
● 当社製のコントローラをお使いの場合、原点復帰方向は通常CCWにしてください。原点復帰方向を逆にすると、原点位置が目盛りの0位置と合わない場合があります。
● ホールICは磁力で動作します。ステージの周辺に強い磁気を発生するものがあると、誤動作することがありますので注意してください。
● 原点センサの位置はすべて固定で移動することはできません。標準以外の原点位置が必要な場合には、コントロー
ラによる原点復帰の後、必要な位置までテーブルを移動させそこを原点とするようにしてください。
● 原点復帰速度が速すぎると、原点信号を感知できず原点復帰が正常に行われない場合があります。その場合は、原点復帰速度を下げてください。

＋4.5V〜16V

出力形態：オープンコレクタセンサ電源電圧（Vcc） ：4.5V〜16V
センサ消費電流（Icc） ：8mA（センサ1個当り）
最大電圧
（Vo）
：16V
（ただし、センサ電源電圧〔Vcc〕を越えないこと）
最大電流
（Io）
：20mA

6. リミット、原点信号の動作論理
リミットセンサ

原点センサ

N.O.

N.O.

−N.O.

Z昇降ステージ
傾斜ステージ回転ステージ

N.O.：ノーマルオープン※回転ステージには、リミットはありません。

15

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

6 コントローラ、接続ケーブル（別売）
1.接続方法
当社製コントローラとの接続を示します。お客様の仕様に合わせてご購入ください。万が一、間違って購入された場合には、速やかに当社までご連絡ください。

QT-ADL1

QT-ADM2

QT-ADM3

QT-AMH2

オリエンタルモーター（株）社製のドライバなど※他のコントローラとの接続については、当社までお問い合わせください。
製品名
1軸コントローラドライバ
2軸コントローラドライバ
3軸コントローラドライバ
高機能2軸コントローラドライバ
接続ケーブル（1.5m）
接続ケーブル（3m）
ドライバ側切り離しケーブル
（3m）

製品番号

QT-ADL1
QT-ADM2
QT-ADM3
QT-AMH2
ACB-STM2
ACB-STM3
ACB-STM-D3

価格￥72,000￥130,000￥265,000￥230,000￥8,000￥8,000￥7,000※コントローラには、操作ボックスなどを用意しておりますので、当社カタログをご参照ください。
※ステージの軸数に合わせて、コントローラ・ドライバの台数および接続ケーブルの本数をご選定ください。

2. コントローラの設定
本製品のセンサ論理は以下のとおりです。使用するコントローラのリミットセンサ、原点センサのセンサ論理を合わせる必要がありますので、ご注意ください。

■ ステージのセンサ論理
ステージの種類
Z昇降ステージ
傾斜ステージ回転ステージ

リミットセンサ 原点前センサ

原点センサ

N.O.

−

N.O.

−−

N.O.

N.O.：ノーマルオープン※すべてのステージに、原点前センサはありません。回転ステージには、リミットセンサはありません。

16

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］■ パラメータの設定原点前センサと原点センサの論理、および原点復帰モードの設定は、コントローラのパラメータで設定します。工場出荷時の初期設定は、原点前センサ「N.C.」、原点センサ「N.O.」となっています。原点前センサと原点センサの論理設定は、原点復帰モードと関係がありますのでご注意ください。

自動設定についてパラメータNo.04 を 31 に設定すると、パラメータNo.01〜03とディップスイッチの設定（次項）がMMスタンダードMステージの推奨値に自動的に設定されます。
※ この場合、パラメータNo.01〜03の設定値とディップスイッチの設定は無効になります。
手動にて設定を行う場合は、パラメータNo.04を 00 に設定し、パラメータNo.01 〜03の設定とディップスイッチの設定を行ってください。

MMスタンダードMステージの設定値（推奨値）
パラメータNo.
項 目
01
原点センサ論理と使用／未使用
02
原点前センサ論理と使用／未使用
03

原点復帰モード04

ステージセンサ論理と原点復帰モード

設定値

設定内容

1023
3100

未使用
原点・Z 相原点自動設定手動設定

N.O.

※ 自動設定の場合、パラメータ03（原点復帰モード）は、「3」（原点）に設定されます。

原点復帰モードの手動設定
MMスタンダードMステージでは、上記表の「原点復帰モード」2つのうちどちらかを選択します。当社としては、「設定値：3」を推奨いたします。
原点復帰の動作については、コントローラの取扱説明書をご参照ください。

■ ディップスイッチの設定
MMスタンダードMステージを当社製コントローラ（QT-ADL1/QT-ADM2/QT-AMH2/QT-ADM3）で動作させる場合、パラメータNo.04 を 31 に設定すると、下記ディップスイッチの設定は不要です。
ディップスイッチの手動設定
ディップスイッチの設定を手動で行う場合は、パラメータNo.04 を 00（手動設定）に設定し、下記に従いディップスイッチを設定してください。

注意パラメータNo.04 を 00（手動設定）に設定した場合は、パラメータNo.01 〜03 の設定も必要となります。
上記、「■ パラメータの設定」およびコントローラの取扱説明書を参照してください。

QT-ADL1

ON に設定QT-ADM2 / QT-AMH2

ON に設定ON に設定QT-ADM3

ON に設定ON に設定ON に設定● QT-ADL1は1軸、QT-ADM2とQT-AMH2は2軸、QT-ADM3は3軸です。使用する軸に合わせて設定してください。
● 動作が異常な場合は、各スイッチの設定を確認してください。

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MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

3.表示単位の設定
当社製コントローラ（QT-ADL1/QT-ADM2/QT-AMH2/QT-ADM3）
では、パラメータ設定によりステージの移動量をmm単位やμm単位などでの表示が可能です。パラメータNo.19,20の設定を、ステージの分解能に合わせて設定を行ってください。
設定例：0.000mm のように mm単位でμmの桁まで表示するにはステージの分解能が0.002mmの場合、パラメータNo.19, 20を下表のように設定します。
パラメータNo.

1920

項目
単位表示の選択
単位表示の分解能

設定値

設定内容

12000mm表示（1μmまで）
2000n18

MMステージ［MMスタンダードMタイプ］

7 保証と修理■ 保証期間取扱説明書、本体貼付ラベルなどの注意書きまたはカタログ記載の取り扱いの注意に基づき、正常な使用状態で故障が発生した場合は、工場出荷日より次の期間、無償修理いたします。

保証期間

工場出荷日より 3 年間

ただし、納入後の故障により誘発される損害については、この対象範囲から除外させていただきます。
保証期間内でも下記の場合には有償修理となりますのでご了承ください。
・使用上の誤り、または修理や改造によるもの。
・お買い上げ後の落下などによる故障および損傷。
・火災、地震、水害、落雷その他天災地変、公害や異常電圧による故障および破損。
・消耗品の劣化などによる性能低下や動作異常。
・事前に当社が保証範囲外と定めた製品や部品。
※この保証は、日本国内においてのみ有効です。

■ 保証期間中の修理お求めの販売店までご連絡ください。

■ 保証期間が過ぎてしまった場合の修理保証期間が過ぎてしまった場合でも、お求めになった販売店にご連絡ください。故障の状態により有償にて修理いたします。その際、修理期間の短縮、修理内容を確実にするために以下の事項をお知らせください。
・購入年月日、製品名、製品番号、製造番号。
・お客様の具体的な使用方法。
・具体的な故障内容。
・故障の原因となったと思われる点。

■ お問い合わせ弊社の製品でご不明な点がありましたら下記にご連絡ください。

本社営業部

TEL.03-3257-1911

FAX.03-3257-191519

本取扱説明書に記載された内容は予告無しに変更する場合がありますのでご了承ください。また、製品についても改良のため予告無しに変更することがありますのでご了承ください。

MMスタンダードMタイプ 取扱説明書 Ver.2.4
2013/04/10

本社営業部

ADV.

〒101-0063 東京都千代田区神田淡路町1-5 及川ビル3F
TEL. 03-3257-1911 FAX.03-3257-1915

A002-A007