ULVAC ニューススマート社会を実現するテクノロジーに大きく貢献。次世代 MEMS センサー・アクチュエーター向け PZT 圧電薄膜スパッタリング技術を発表、量産装置の販売開始——㈱アルバック

大阪大学吹田キャンパス内

センテラス棟

協働研究所では、大阪大学の産学連携の枠組みを通じて、相互の研究者の人財交流を図り、研究開発ネットワークを構築するとともに、医工学分野における学術の発展、技術課題の解決、および創造力豊かな大学の人財育成への貢献をめざす。また、アルバックにおいては、協働研究所を基礎研究拠点として位置付け、アルバックのオリジナル技術をベースパッタリング装置「SME-200」

スにした次世代の FPD 応用や人工光合成につながる半導体量子ドット創製と、その量産㈱アルバックは、2019 年 7 月、アルバックが次世代 MEMS 技術として開発を進めてクチュエーターとしての活用の可能性も広が技術の検討、さらに超高速冷凍乾燥技術の医きた独自技術「低温スパッタリングプロセることが期待される。

学応用（細胞保存）という新たな価値創出をスによる PZT 圧電薄膜量産技術」を発表し、●お問い合わせ先めざす。

量産向け装置の販売を開始した。

㈱アルバック グローバル市場・技術戦略室【研究テーマ】「PZT 圧電薄膜量産技術」は、スマート社㈱アルバック 電子機器事業部（1）希土類窒化物を用いた極低温蓄冷材の創製会を支える VR ／ AR ／ MR、LIDAR などに

TEL：0467-89-2139（2）異方性、材質制御した合金粉体の創製搭載されるマイクロミラーデバイス（光学デURL：https://www.ulvac.co.jp/（3）超高速冷凍乾燥技術による細胞保存の確立、バイス）の実現に欠かせない技術で、独自技など術をより進化させることでデバイスの実用化【研究体制】に求められる信頼性を大幅に向上、装置運用の最適化によりランニングコストの改善などを満たす世界最高水準の量産技術を実現し、大阪大学内に「アルバック未来技術協働研究所」
開設

所 長：山本 孝夫（大阪大学 大学院工学研究科 教授）
副所長：村上 裕彦（アルバック 未来技術研——㈱アルバック

装置販売を開始した。

究所長、シニアフェロー）
上記含め、教員及び研究員 11 名（非常勤含む）

MEMS デバイスの半導体（CMOS）融合㈱アルバックと国立大学法人大阪大学大学と小型化・低消費電力化・高性能化・生産コ

院工学研究科は、2018 年 11 月 1 日に大阪

スト低減等を同時に実現することが可能とな

大学吹田キャンパス内のセンテラス棟に、「ア㈱アルバック 総務・人事部

り、スマートグラスなどによる空間情報セン

ルバック未来技術協働研究所（以下、協働研

TEL：0467-89-2033

シングや、立体画像表示などのセンサーやア究所）」を開設した。

URL：https://www.ulvac.co.jp/

茅ヶ崎への感謝をこめて「ULVAC Global Festival 2018」——㈱アルバック2018 年 11 月 10 日（土）、㈱アルバッ

当日は天候にも恵まれ、暖かい秋晴れのク本社・工場において、昨年に引き続き恒中、約 5,000 名の方々の来場をいただき、例になりつつある「ULVAC Global Festival

また参加いただいた皆様や協賛団体の温か2018（以下、ULFes）」が開催された。

いご支援・ご協力のもと無事閉会した。

今回の ULFes は、1968 年に茅ヶ崎工場が完成して 50 年の節目であることから「茅●お問い合わせ先㈱アルバック 総務・人事部ヶ崎への感謝」をテーマに、新入社員を中

TEL：0467-89-2033

心とした実行委員が企画・運営を担い、持URL：https://www.ulvac.co.jp/
屋上からの集合写真

ち前の若い力と発想で昨年とは一味違う活気溢れる ULFes となった。アルバックグル
ープ会社が趣向を凝らしたグルメグランプ
リをはじめ、地元中学生・高校生によるパフォーマンスやステージイベント、工場見学、真空実験や大抽選会など、子供も大人も楽しめるイベントを企画し、どれも大盛況であった。

28●お問い合わせ先ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)

大抽選会で応募用紙を引くゆるキャ
ラたち（左）、真空砲の実演（右）面はパンダの精子や卵子、幹細胞等の保存に中国・成都のジャイアントパンダ繁殖研究基地に液体窒素ジェネレーター寄贈

この液体窒素ジェネレーターを使用させていただくが、パンダ以外の希少動物の保護・繁殖にも利用していきたい」と感謝の言葉を述——アルバック・クライオ㈱べた。
アルバック・クライオ㈱は、従来のクライオポンプに加え、2009 年から 4K 冷凍機の販売を開始し、2014 年には岩谷瓦斯㈱低温機器事業部の製品を譲り受け、本格的に低温機器事業に取り組んでいる。その中の液体窒素ジェネレーターは、汎用性の高い製品であるため、幅広い分野の利用が期待されており、液体窒素ジェネレーター
アルバック・クライオ萩之内社長（左）とパンダ繁殖研究基地 王革生副所長

今回のような希少動物保護という大きな社会貢献としても大変意義のある取り組みとなっつくることができる液体窒素ジェネレーターた。

を寄贈し、その式典が執り行われた。

●お問い合わせ先

アルバック・クライオ㈱は、2018 年 11 月、当日は、アルバック・クライオ㈱の萩之内

アルバック・クライオ㈱中国・成都にあるジャイアントパンダの繁殖剛社長が直接目録を手渡した。それに対し、

TEL：0467-85-0303

研究基地に周辺の空気から手軽に液体窒素をパンダ繁殖研究基地の王革生副所長は、「当URL：https://www.ulvac-cryo.com/

経済産業省「健康経営優良法人 2019（ホワイト 500）」に 2 年連続認定——㈱アルバック及びグループ会社

左から 神尾保健師（アルバック健康保険組合）、大平保健師（アルバック）㈱アルバックは、2018 年度に続き 2019

定会、構内駅伝大会や職場対抗ウォーキン

ト 500 認定記念イベント 第 1 回 UL-fit's

グ企画なども実施している。その結果、歩

RUN! 駅伝大会」を本社・工場の構内で開行習慣を有する社員が年々増加し、自社の催した。

健康年齢 ® と実年齢の差はマイナス 2.86 歳

大会当日は真冬ということもあって、かになった。また健康度調査でイキイキ働くねて心配していた積雪もなく、参加したア

社員が年々増加し、運動習慣を有すること

ルバックグループ社員 14 チーム全 97 名がで、仕事の活力、強み・チャレンジの要素汗を流して、全力でタスキをつなぎ、部署が高いことが分かった。

や会社の垣根を越えたコミュニケーション●お問い合わせ先が生まれた。終了後のアンケートでは、「職㈱アルバック 総務・人事部

場の団結力向上に役立つ」と 97.1％の回答

TEL：0467-89-2033

があり、駅伝大会を通じて〈走ってスッキ

URL：https://www.ulvac.co.jp/リ！〉以上の体験ができたのではないかと評価している。

年度も経済産業省と日本健康会議が共同で実施する「健康経営優良法人 2019（ホワイト 500）」大規模法人部門に認定された。また、アルバックグループのアルバック販売㈱も今年度、中小規模法人部門に認定された。

本社・工場構内で
UL-fit's RUN! 駅伝大会 開催！
——㈱アルバック㈱アルバックは、2019 年 2 月 9 日、ア

予想以上の効果があったため、第 2 回の開催も予定し、今後更なる参加者が期待される。
●お問い合わせ先㈱アルバック 総務・人事部

健康経営優良法人認定制度とは、地域のルバックの考える健康像「夢があって、仕TEL：0467-89-2033

健康課題に即した取り組みや日本健康会議

事が楽しく、職場に行くのが楽しくなる状

URL：https://www.ulvac.co.jp/

が進める健康増進の取り組みをもとに、特態」の環境づくりの一環として、「ホワイに優良な健康経営を実践している大企業や中小企業等の法人を顕彰する制度である。
アルバックグループは、「社員一人ひとりが心身ともに健康で活気にあふれ、自らの能力を最大限に発揮してこそ、アルバックの価値創造ができる」と考え、ものづくり寒いなか熱い戦いを支える健康づくりに取り組んでいる。
その一環として「夢があって、仕事が楽しく、職場に行くのが楽しくなる」状態を目指し、経営層と管理職が中心となって進める組織活性化プログラムや、体力年齢測グループ会社、協力会社から 97 名が参加職場の団結力向上に！

｜ 29ULVAC ニュース
英国 Oxford Instruments 社とアルバックによる国内パワーデバイス
及び RF デバイス市場への
Atomic Scale Processing Solution 提供——㈱アルバック

今回のアルバックとのコラボレーションに際し、Oxford 社の Mike Gansser-Potts 管理部長は「アルバックとのコラボレーションにとても期待しており、実績のある Atomic Scale
Processing Solution を日本のパワーデバイス及び RF デバイス市場に提供して参ります」

Oxford Instruments が Atomfab® を発表：GaN パワーデバイスのパッシベーションに対応する ALD 量産ソリューションの国内販売——㈱アルバックとコメントしている。
㈱ ア ル バ ッ ク は、2019 年 1 月、Oxford

また、アルバックの島田鉄也執行役員電子㈱ ア ル バ ッ ク は、2019 年 7 月、Oxford

Instruments Plasma Technology 部門（Oxford

機器事業部長は「非常に大きな意味をもつコInstruments Plasma Technology（以下、OIPT）

Instruments Nanotechnology Tools Limited 本

ラボレーションです。アルバックの保有するの GaN（窒化ガリウム）パワーデバイス業界

社：英国オックスフォード）（以下、Oxford 社）ラインアップを補完する Oxford 社の ALD/向けプラズマアトミックレイヤーデポジショと、重要なコラボレーションとして日本におALE プロセス技術とノウハウにより、完成さン（ALD）HVM（high-volume manufacturing）ける販売代理店契約を締結した。

れたソリューション提供が可能になります」

ソリューション Atomfab® の国内販売を開始とメッセージを寄せている。

した。

Oxford 社は、英国オックスフォード大学からのスピンアウト企業として 1959 年にオッ

●お問い合わせ先GaN デバイスは、省エネ家電、5G ネット

クスフォードの地で創業した。３年後には世㈱アルバック 電子機器事業部

ワーク、電気自動車、再生可能エネルギー変界初の超電導マグネットの製品化に成功し、TEL：0467-89-2139

換などの用途に適した次世代の効率的なパワ

近年は最先端技術を搭載した原子間力顕微鏡

URL：https://www.ulvac.co.jp/

ーエレクトロニクスデバイスを実現するもや超高感度デジタルカメラ技術でのソリュー

オックスフォード インストゥルメンツ㈱の。GaN デバイスは、効率と性能に優れていションも拡充し、物性物理・材料から生命科

マーケティング・コミュニケーション

るが、製造歩留まりと量産性の二点に課題が学や地球科学まで、幅広い分野に事業を展開

TEL：03-6732-8961

あり、信頼性あるデバイスを低コストで提供している。

するには、これらの課題を解決する必要があった。
OIPT は、重要な課題の 1 つである高品質のゲートパッシベーションを安定して実現することであるが、Atomfab® は、高スループットと低 CoO によりこれらの課題を解決した。
１．性能：優れたパッシベーションと誘電特性は、主要アプリケーションに必要な優れたデバイス性能を提供
２．プラズマ：リモートプラズマが再現可能
ALD 量産ソリューション
Atomfab®

不思議な実験に子どもたちからの歓声！
第 46 回ちがさき宇宙教室開催——㈱アルバック2019 年 3 月 2 日、第 46 回ちがさき宇を き っ か け に し て、宙教室が㈱アルバックの本社・工場にて開真空を通じてアルバ催された。

ッ ク に 興 味 を 持 ち、前回は 2017 年に開催したもので、応募将来のアルバック予者が多数により抽選になるほどの好評を博備軍として期待したしたため、今回は募集人数を増やしてよりい。

多くの子どもたちが楽しめるように配慮し【ちがさき宇宙教室とは】た。

制御により、下地の繊細な GaN 基板を保護

日本宇宙少年団茅ヶ崎分団の宇宙教室

当日は、アルバックの技術開発部と総務・は、茅ヶ崎市教育委員会が主催しており、人事部の社員が講師を務め、真空砲やエア2008 年から定期的に開催されている。主インチョコ・蒸着といった 7 種類に及ぶ真に JAXA の教授や東京大学のサイエンスサ空実験を体験してもらった。

ークルなどが講師を歴任している。日本宇ちがさき宇宙教室は、真空実験と工場見宙少年団茅ヶ崎分団の初代分団長は、アル学をあわせて 2 時間にも及ぶ長丁場であっバック第 3 代社長の林主税で、宇宙開発事たが、見るもの聞くものの多くが初体験で、業団や宇宙飛行士と懇意だったことから設㈱アルバック 総務・人事部

参加者は終始目を輝かせ興味を示していた。

立に貢献している。林はアルバック引退後、

TEL：0467-89-2033

私財から林基金も提供している。

URL：https://www.ulvac.co.jp/

今回来場した子どもたちがこの宇宙教室

30な GaN 界面を提供し、プラズマの正確なULVAC ｜ No.69 (September, 2019)●お問い合わせ先● ULVAC の紹介はこちらをご覧ください。

https://www.ulvac.co.jp/
３．速度：GaN パワーアプリケーション用に引を継続することができ、コンパクト設計に開発された長稼働時間の HVM に耐えうるより持ち運びも可能で、災害時のみならず壁プラットフォーム上で高速成膜プロセスを吸引を備えていない施設や学校などでの使用使用することにより、卓越したスループッも可能となる。このように壁吸引と同じ差しトを実現

込み口を有した吸引装置は国内で例がないもこのように、Atomfab® は、特許申請中ののである。

高速リモートプラズマソースなど、多数の技

アルバック機工㈱幅に削減する。

TEL：0983-42-1411●お問い合わせ先

URL：https://www.ulvac-kiko.com/㈱アルバック 電子機器事業部
URL：https://www.ulvac.co.jp/

愛発科成膜技術（合肥）有限公司
新工場起工式——アルバック成膜㈱災害時にも使用できる「ポータブル吸引装置」を産学官連携で開発——アルバック機工㈱新工場起工式

アルバック機工㈱は、2019 年３月、宮崎大学医学部附属病院救命救急センター（以下、医学部附属病院）と連携して、災害時にも安心して使用できる「ポータブル吸引装置」を開発した。
宮 崎 県 で は、 地 域 の 産 学 官 が 連 携 し て2010 年に策定した「東九州メディカルバレ完成イメージー構想」のもと、医学部附属病院の医療現場

アルバック成膜㈱（本社：埼玉県秩父市）は、からのニーズと、優れた技術を有する地場企2018 年 5 月、中国における FPD 中心基地

業とのマッチングにより、医療機器等の開発である合肥市（安徽省）に愛発科成膜技術（合に取り組んできたもので、今回の「ポータブ肥）有限公司（以下、ULH）を設立し、同年

ル吸引装置」はその一環事業から生まれたも9 月、新工場の起工式が執り行われた。のである。

アルバック成膜㈱は、1979 年 1 月に半導通常、病院などの医療機関では、痰の吸引体 IC 用マスクブランクスの開発製造を目的や手術時における血液等の吸引に壁吸引が設に㈱アルバックから分離独立した。2000 年備されており、吸引器（ボトル）のアダプタ

代からは独自のマスクブランクス技術によるーを差し込むことで吸引される。しかし、こFPD 用ラージマスクブランクスを手がけ、現のような設備を用いた吸引では、地震などの在その分野では、全世界 50％のシェアを有

災害による停電や破損で壁吸引が使えなくなしている。また、2002 年には台湾の台南市る恐れがあり、こういった際に吸引ボトルのに 100％子会社、台湾成膜光電股份有限公司

アダプターと接続できる吸引装置の要望が出を設立し、グローバル規模でマスクブランクされていた。

スの安定供給に貢献している。

宮崎県の医工連携コーディネーターに相談

今回設立した ULH は、中国における FPDしたところ、医学部附属病院への紹介があり、用ラージマスクブランクスの現地供給を実現

2011 年 3 月 11 日の東日本大震災で、岩手するもので、中国フォトマスクメーカーを通県釜石市の病院で壁吸引が破損し吸引できなじて FPD メーカーに貢献することを目的とくなった事例が報告されており、共同開発がしている。なお、生産開始は 2020 年春を目スタートした。

指している。

今回開発した「ポータブル吸引装置」は、https://www.ulvac.co.jp/wiki/

ULVAC グループ

●お問い合わせ先術革新により、ウエハーあたりのコストを大TEL：0467-89-2139● Vacuum Magazine●お問い合わせ先

壁吸引と同じ差し込み口を有し、バッテリー

アルバック成膜㈱を内蔵しているため、吸引器（ボトル）のア

TEL：0494-24-6511

ダプターを接続することで最大 90 分間、吸URL：http://www.ulcoat.co.jp/

株式会社アルバック
アルバックテクノ株式会社
アルバック九州株式会社
アルバック東北株式会社
アルバック機工株式会社
アルバック販売株式会社
アルバック・クライオ株式会社
アルバック・ファイ株式会社
タイゴールド株式会社
アルバック成膜株式会社
日真制御株式会社
アルバックヒューマンリレーションズ株式会社
真空セラミックス株式会社
株式会社ファインサーフェス技術
株式会社 REJ
株式会社昭和真空■中国
愛発科（中国）投資有限公司
寧波愛発科真空技術有限公司
愛発科真空技術（蘇州）有限公司
愛発科東方真空（成都）有限公司
愛発科自動化科技（上海）有限公司
愛発科天馬電機（靖江）有限公司
愛発科真空技術（沈陽）有限公司
愛発科商貿（上海）有限公司
愛発科電子材料（蘇州）有限公司
愛発科豪威光電薄膜科技（深圳）有限公司
寧波愛発科低温泵有限公司
寧波愛発科精密鋳件有限公司
愛発科（蘇州）技術研究開発有限公司
香港真空有限公司
愛発科真空設備（上海）有限公司
愛発科成膜技術（合肥）有限公司■台湾
ULVAC TAIWAN INC.
ULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP.
ULCOAT TAIWAN, Inc.
ULVAC AUTOMATION TAIWAN Inc.
ULVAC SOFTWARE CREATIVE TECHNOLOGY, CO., LTD.
ULVAC Materials Taiwan, Inc.
■韓国
ULVAC KOREA, Ltd.
Ulvac Korea Precision, Ltd.
Pure Surface Technology, Ltd.
ULVAC CRYOGENICS KOREA INCORPORATEDULVAC Materials Korea, Ltd.
UF TECH, Ltd.
■東南アジアULVAC SINGAPORE PTE LTDULVAC MALAYSIA SDN. BHD.
ULVAC（THAILAND）LTD.
■北米
ULVAC Technologies, Inc.
Physical Electronics USA, Inc.
■欧州
ULVAC GmbH

■皆様のご意見、ご感想を編集室までお寄せください。
〒 253-8543 神奈川県茅ヶ崎市萩園 2500
TEL : 0467-89-2023㈱アルバック 総務・人事部 広報室
E メールでのご意見、ご感想はpr@ml.ulvac.com までお寄せください。

｜ 31私たちが暮らしのなかであたりまえのように使っているものには、アルバックの真空技術が役立っています。
真空技術の応用分野は、半導体、電子デバイス、ディスプレイ、太陽電池、自動車、医薬、食品など多岐にわたり、スマート社会など多くの産業分野と科学の発展に必要不可欠な基盤技術となっています。
「ココニモ、アル。アルバックの真空テクノロジー。」
アルバックは、技術革新が進む様々な分野で、真空の極限を追求していきます。