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ISSN 0910-6170

m

ULVAC
ULVAC グループのコミュニティ誌

巻頭対談 ● コア技術をベースにして新規事業分野に大転換
ブルックスオートメーション社
視点 ● 到達点が新たな出発点の相変化メモリ研究
特集 ● 茅ヶ崎市とアルバック
アルバックの恩人たち ● 石川芳次郎／株式会社東洋精機 真空研究所／林主税グループ会社設立物語 ● アルバックテクノ株式会社／アルバック成膜株式会社

69

No.

ポ エ ム ス ケ ッ チ

氷のうつわ
移ろい揺れる

熱の鍵

生命のかたち氷のうつわが
捉え

閉じ込め

与える熱は

眠らせる

鍵となり

時の壁を溶かし去る

眠りと覚醒は対となり生命を未来へ

繋ぎ結ぶ

ULVAC No.69

co

巻頭対談［ EXECUTIVE GUEST ］‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

3

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グループ会社設立物語‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

s24

サービス事業：アルバックテクノ株式会社
マスクブランクス事業：アルバック成膜株式会社

コア技術をベースにして新規事業分野に大転換――将来の継続的な安定経営を目指す
半導体関連事業とライフサイエンス関連事業●ゲスト

ブルックスオートメーション社●聞き手

株式会社アルバック 代表取締役執行役員社長

ULVACニュース‥ ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ 28CEODr. スティーブン S. シュワルツ 氏㈱アルバック／アルバッククライオ㈱／アルバック機工㈱／アルバック成膜㈱岩下 節生

視点［第 44 回］‥ ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

8

到達点が新たな出発点の相変化メモリ研究
独自の視点で「やればできる」をモットーに取り組む研究ポリシー
国立研究開発法人

産業技術総合研究所

エレクトロニクス・製造領域
首席研究員

特集

ナノエレクトロニクス研究部門

Ph.D. 富永 淳二

茅ヶ崎市とアルバック‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

14

茅ヶ崎からグローバルへ 技術戦略と研究開発の発信地
アルバックの恩人たち❶‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

18

石川 芳次郎――創業期アルバックを支えた多大な信用力
アルバックの恩人たち❷‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

20

株式会社東洋精機 真空研究所――真空総合メーカーへの扉を開いてくれた恩人
アルバックの恩人たち❸‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥

22

林 主税

※ 記事中の会社・団体・役職名等は取材時のものです。

写真提供：p4 〜 5 ＝ブルックスオートメーション社
p9、12 ＝ Ph.D. 富永 淳二
p16 〜 17 ＝茅ヶ崎市
p20 〜 21 ＝東洋精機㈱ポエム：鈴木優子――日本の産業に多大なる貢献を果たした真空の父

発行：㈱アルバック 本社・工場（〒 253-8543 神奈川県茅ヶ崎市萩園 2500
● ULVAC の紹介はこちらをご覧ください。 https://www.ulvac.co.jp/

表紙の写真：「茅ヶ崎海岸沖のえぼし岩から富士山を望む」＊詳しくは「特集」（16 ページ参照）をご覧ください。
表紙写真説明：
アルバックは 1968 年に横浜市から現在の本社・工場のある茅ヶ崎市に移転しました。すでに 50 年以上もの長い間茅ヶ崎市にお世話になっています。今回は、その感謝の意味も含めて「特集」を掲載しました。
写真は、茅ヶ崎市の名所の一つ、えぼし岩から富士山を望んだものです。

電話 0467-89-2033） 編集

制作協力：アドパ㈱総務・人事部 広報室

2019© ULVAC, Inc.

Printed in Japan（2019 年 9 月）

EXECUTIVE GUEST

コア技術をベースにして新規事業分野に大転換――将来の継続的な安定経営を目指す半導体関連事業とライフサイエンス関連事業
ブルックスオートメーション社（本社：米国マサチュ
ーセッツ州チェルムズフォード）は、1978 年に設立され、一貫して半導体製造におけるロボット化事業を事業の柱にしてきたが、半導体業界は好不況の波が激しい業界であるため、将来の継続的な安定経営を目指し、2010 年頃から同社のコア技術をベースにして新たな事業分野に挑戦した。そのために不採算部門を整理売却し、その資金で思い切った M&A を図り、ライ
フサイエンスへの事業に大転換を実現した。その牽引役が、2010 年に大手半導体製造装置メーカーから同社社長に迎え入れられたスティーブン S. シュワルツ氏である。シュワルツ氏を当社の岩下節生社長がお迎●ゲスト
ブルックスオートメーション社

CEO

えし、その経営理念や M&A の心得などを伺った。

Dr. スティーブン S. シュワルツ 氏●聞き手株式会社 アルバック

岩下 節生

代表取締役執行役員社長

事業戦略を明確化し、将来に向けた安定経営を目指す
岩下：ブルックスオートメーション社（以下、ブルックス社）
さんとアルバックは緊密な関係を築き、長い間お付き合いをさせていただいています。また、シュワルツさんは公私ともにいろいろ経営のことでも相談にのっていただいています。改めて感謝申し上げます。
今日はいろいろなお話をうかがえるということで、お会いできるのを楽しみにしてまいりました。
ブルックス社は 2010 年頃を境に従来の事業の大転換を図り、「半導体関連事業」と新たに加わった「ライフサイエ
ンス関連事業」という大きな事業の柱を構築されました。
そこで、企業のあり方とその成長についてのお考えをお聞かせください。
シュワルツ：確かに、私たちブルックス社は成長事業に焦点を当てる経営に注力してきました。これは過去 8 年間の重要な目標でもありました。
私たちは、それまで世界の半導体装置市場に貢献する企業として、好不況の激しい半導体サイクルに流されるままでした。もちろん、好況のときはそれなりの恩恵を受けましたが、不況に陥るとコスト削減や人員削減などの大きな影響を受けました。これを例えると、好況のときは片足をアクセルに、不況になると片足はブレーキに、というように停発車を使い分けながら安定的な会社運営に苦労しました。
10 年ほど前、変革に着手した時、こうしたサイクルの激●本稿では製品名等の登録商標の表記は割愛しています。

しい半導体ビジネスへの依存を減らし、もっと安定的に継続的に成長する道を歩むことにしました。実際、成長が見込めない 3 つの事業部門を売却し、そこで得た資金を成長分野に充てました。
岩下：なぜライフサイエンスを選ばれたのですか、また、その経営方針を社員にどのように理解させたのでしょうか。
シュワルツ：私たちは常にお客様、会社、そしてその双方に責任を負っています。社員に対しては私たちの事業戦略を明確化することでした。その事業戦略とは、世界にとって重要な市場ともいえるライフサイエンスと半導体に焦点を当てることでした。ライフサイエンスは、人々がより長く、より健康的な生活に貢献する研究を支援することです。
半導体は人々の生活の質を向上させ続ける事業です。この 2 つの分野は、今後数十年にわたり追求する価値があると考えており、社員もこの分野への貢献に力を注いでくれるものと思いました。
とはいえ、社員に対しては労働負荷と変化を強いることですから、社員を活気づけるか、一方で士気を奪うことになるかもしれませんが、成功すれば社員はもちろんのこと、
顧客、株主などへの利益還元となります。
私たちはこの 5 年間、主軸製品の開発に重点を置いてきました。半導体製品しか持っていなかった頃は、市場が好調なときは製品需要に対応するために、不況のときはコス
ト削減、人員調整にエネルギーを費やしました。 こうした対応策は、会社の内部の問題であり、顧客には多くの利益をもたらすものではありませんでした。
半導体製造の前工程が多様化する中で、半導体のアップ｜3ダウンサイクルに対応するためのマネジメントを一部におさえて、将来にフォーカスしたマネジメントに専念するよ
うに努めました。さらに、社員全員の自身の開発計画を策定し、次世代のリーダーを確実に成長させることができる
ようにしました。それは将来も会社を成長させ続けることです。

企業文化と人を主眼に置き
フローマップを基準にする M&A
岩下：ブルックス社は新規事業を手に入れるために M&A を
積極的に行ってきたそうですが、どのような問題点がありましたでしょうか。
シュワルツ：私たちにとっての課題の一つは、過去 7 年間にわたる M&A に関する問題点が浮上してきたことです。M&A によって、2019 年度末（9 月末）時点では、約3,000 名の世界中の社員の半数以上がこの 2 年の間に入社した社員で占められました。2014 年度までさかのぼると、その割合は 70% 以上が新しい社員で占められます。こうした多くの新しい社員で占められていることは、ブルックス
社の企業文化、行動指針、安定経営の観点から見たら大きな課題となりました。
そこで当社の人事チームは、M&A で獲得した会社には当社のプロセスと福利厚生などを統合するという思い切った対策を講じました。また、経営陣は、新しい社員がブルックス社の企業文化や行動指針を理解できるように一生懸命取り組んでいます。
もちろん、常に変化に追いつくのは難しく、なぜ変化が必要なのか、その変化が戦略にどのようにフィットして成功するかを理解してもらうことは、どんなに努力してもこれで完全であるとはいえないと思っています。私たちは毎日これに取り組んでいます。
岩下：M&A で大変だと思うのは、やはりそこで働くのは“人”ですからそうした人事面のこととか、企業文化の構築は難しいことですね。ブルックス社が M&A を行う場合、何か基準みたいなものはお持ちなのでしょうか。
シュワルツ：私たちは幸運にも、当社の強い技術、それは制御された環境での自動化や低温技術を活用して地球規模の問題を解決できる新しい機会を得ました。
世界中に 20 億個以上のバイオサンプルが冷凍庫に保存されていますが、保存の自動化技術がないために、サンプルを追跡・特定するための正確な方法がなく、サンプルの温度履歴や品質が保証されていないことがわかりました。サ
ンプルの保管場所、温度、履歴、および使用許可を管理・監視する能力は、サンプルの価値をはかる上で大変重要であり、研究者が高度な研究を行うために不可欠です。
バイオサンプルの低温保存を自動化することは、オートメーション技術と低温技術を活用して新たな価値をもたらすことでした。私たちは、低温サンプルの誤まった管理に起因する問題について多くのことを学び、コールドチェー
ンと呼ばれるフローマップを作成しました。それは、サン
プル管理に価値をもたらすすべてのプロセスツールとプロ
セス手順の概要を説明したものです。このフローマップから、コールドチェーン全体の流れを作成し、そのための企業買収と社内製品開発の両方を行いました。
岩下：M&A を行う上でのベースとなるものがコールドチェーンのためのフローマップということですね。そのフロー
マップの考え方はどのようなものでしょうか。
シュワルツ：「どのような戦術も目の前の敵には歯が立たない」という例えにもあります。言い換えると、私たちは買収能力の種類に関する概要や対象とする多くの企業名を把握していますが、買収のロードマップというのは A 地点から B 地点、C 地点へ直行する単純なものになることはほと
んどありません。ですから、ほとんどの場合において私た
ちは当社の価値マップに忠実であったものの、ときには希望と異なる順序で買収を行いましたし、対象とする計画を変更したこともありました。状況への適応は何度もありましたが、生体試料に関する高付加価値のコールドチェーンをつくるという目標は見失いませんでした。
また、当社の M&A に関する基準は長年にわたり進化してきました。ライフサイエンス市場に参入した当初は、私たちの戦略的ロードマップを満たす市場をリードする能力を獲得したいと考えました。当時はマーケットリーダーであることが非常に重要でした。もちろん、買収を正当化するための財務基準はありましたが、当初はコールドチェーンサンプル
管理ソリューションの作成において独自に戦略的な機能を

図１ ブルックスオートメーション社 2019 年度業績概要

半導体製造資本設備
収益の60%・ ロボットを用いたウエハー関連ソリューション
・ 極低温・真空関連製品
・ コンタミネーション管理ソリューション
・ 世界規模のサービスサポート

ライフサイエンスサンプル管理
収益の40%

・ 徹底したコールドチェーン管理・ 自動化超低温ストレージ製品
・ サンプルコンテナ用消耗品
・ サンプル管理アウトソーシングサービス

2019年度上期の収益3億7,000万ドルは前年同期比で23%増加
・ 拠点はマサチューセッツ州
チェルムズフォード・ 従業員約3,500人
・ 現金2億ドル、負債5億5,000万ドル

4

ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)

・ 50カ国で販売
・ 11カ国で事業運営
・ 500を超える基本特許

組み合わせて取得することに最も焦点をあてていました。
しかし、ここ数年間は、買収に向けた具体的な財務上のハードルに重点を置いてきました。半導体企業やライフサ
イエンス企業の買収に最大 5 年間かかります。私たちが行
う M&A は、優れた企業文化を保有し、私たちが成長し続けることができる企業でなければなりません。

EXECUTIVE GUEST

売却益を新たな第 3 分野へ投資し、更なる発展を目指す
岩下：ブルックス社とアルバックとはクライオポンプの開発製造を行っているアルバック・クライオ株式会社を合弁というかたちで経営にあたってきましたが、このたびブルックス社はその部門を売却されました。その理由などお教えください。
シュワルツ：この決定は、クライオポンプが特に市場シェアが高く、非常に好調なコアビジネスであるため、アルバックが関心をもつのも当然だと思います。実は、これは何年もの間にわたって検討してきた決断でした。当初の計画
は、低温真空技術での成長を拡大する計画でした。半導体
および関連アプリケーション以外のさまざまな成長機会を検討するために、戦略的な市場評価を実施しました。真空技術やその周辺の分野で成長できる機会について私たちは非常に前向きに考えていたのですが、ブルックス社のように小規模な企業が半導体オートメーション、ライフサイエ
ンス、真空技術という 3 分野へ同時に投資することは正当化できず、そのためオートメーションとライフサイエンスに重点を置くことに決定しました。
クライオビジネスに投資しない場合は、事業が停滞したり、投資不足による株式損失をしたくないと判断しましたので、事業に適した譲渡価格を受け取れるかどうかを確認しました
ら、クライオポンプ事業のバイヤーからは良い条件が出されましたので、アトラスコプコ社へ売却しました。そこで得た売却益を残りの事業に投資する予定です。

強みはエンジニアリング技術と優秀な人材に恵まれていること

ブルックスオートメーション社

CEO

Dr. Stephen S. Schwartz（スティーブン S. シュワルツ）氏のプロフィール
1959年10月24日生まれ
1987年6月

Applied Materials, Inc.（カリフォルニア州サンタクララ）
高温フィルム事業部長

1994年1月

同 社 グ ロ ー バ ル 高 温 フ ィ ル ム 事 業 部（ Applied Materials
Japan ）に1年間移籍

1997年6月

同社グローバルサービス事業担当副社長兼事業部長

1999年6月

Consilium, and Applied Materials Company 社長

2001年1月

Asyst Technologies 社 SVP オペレーション

2002年8月

同社 CEO2002年10月

同社会長兼 CEO2010年4月

Brooks Automation. Inc. 社長

2010年10月

同社社長兼 CEO

●会社概要
ブルックスオートメーション社
業

設

種： 半導体製造、ライフサイエンス、およびクリーンエネルギーなど、複数の市場に対応した自動化、真空、および計測ソリューション
を提供する世界規模の大手プロバイダー
立：1978 年

本 社：米国マサチューセッツ州チェルムズフォード
代表者：Dr. スティーブン S. シュワルツ（CEO）
従業員数：約 3,500 人（2019 年度末）
Web サイト：www.brooks.com

岩下：ブルックス社は思い切った方向転換で 10 年先、20
年先も安定的に事業を継続できる地盤を形成されましたが、事業の相乗効果など、その強みはシュワルツさんご自図２ 事業大転換による過去と現状比較
身が評価してどこにあると100%思いますか。
受託製造
売却
90%
シュワルツ：オートメーシ
ョンと低温学のエンジニア
80%
後発製品ライン売却
リングとサイエンスの相乗70%
効果は、私たちにとって非汎用品
現金化
常に大きな価値があるとい60%えます。当社は革新的なエ
50%
投資25% 高付加価値
ンジニアリング企業だと思半導体40%います。長年培ったエンジ
ニアリング技術は私たちの30%
遺産であり、創業以来 40
20%
年間にわたり評価されてきました。
10%
高シェア半導体
維持
そうしたエンジニアリン
0%
グ技術は、超低温環境下で2011

ライフサイエンスによる
80%

高付加価値半導体・真空自動化システム
・高度なパッケージング
・コンタミネーション管理

クライオポンプ部門
売却

2018

2019
（予想）

｜5

の自動化によるライフサイエンスのディスカバリー市場に役立つ可能性があると思っています。この新たな課題を提示されたとき、私たちのチームは極低温下でオートメーシ
ョン機能を考案し、またそのオートメーション機能を動かすために電力供給時においてもサンプルを冷却状態のまま保管する方法を考案しました。
もう一つの利点は、人材に関するものです。私たちが革新的で最先端のテクノロジーを決断したとき、非常に困難な問題に立ち向かう優秀な人材と巡り会うことができました。そういう人材を獲得したことは他の社員にも活気を与えており、一緒になって難問に立ち向かっています。
また、私たちのグローバル拠点も利点の一つだと思います。米国、中国、英国、ドイツ、韓国、日本で製品開発を行っています。そこには非常に優秀な人材を確保しており、社員のグローバル展開も行っています。

グローバル化の観点で日本企業の利点・欠点とは
岩下：大変うらやましい限りです。アルバックも将来を見据えて真の意味でのグローバル化は大きなテーマです。グローバル企業の大先輩でもあるブルックス社のグローバル展開をお聞かせください。
シュワルツ：グローバル市場が私たちの事業の成長、コラ
ボレーション、拡大に多くの機会を提供していることを幸運に思います。貿易摩擦や規制に関するニュースは最近多くありますが、過去 50 年間、これは私たちが今まで見た中で最も堅牢な世界貿易と開かれた市場の時代でした。 もちろん、異なる地域で競争するには、お客様、商習慣、規制に関する知識が必要ですが、課題は投資に見合うものであり、成長地域でのビジネスを継続して構築することが奨励されています。
これは常に重要なことですが、世界規模での流動性が高く、貿易の機会が拡大している今日では、私は個人的に、今日のグローバリゼーションと世界とのつながりが文化の違いを理解する機会になっていると信じています。この傾向は年々増加しているようで、より多様な職場になってきていると思います。
岩下：その場合、日本企業は難しい立場にあると思いますが、
グローバル展開する上で日本企業の長所と短所はどこにあると思いますか。
シュワルツ：確かに日本人ではない私にとっては難しい質問ですが、私の観察や印象をいくつか挙げたいと思います。
しかし、これはあくまでも米国企業の立場からの観点です。
まず第一に、日本企業の強みを述べます。私は、会社の目的に沿ったチームワークと従業員の連携が強いように思います。大きな課題に取り組むとき、このチームワークは大変大きな資産となるものでしょう。
第二に、労働力の安定性はプラスであり、そこには絶大な信頼が構築できるように思われます。第三に、常に品質向上の文化があり、ルールやプロセスの遵守は称賛に値し、これは日本の製品やサービスの品質が市場に受け入れられているようです。
一方で、これは長所でも短所でもないかも知れませんが、多くの場合、アメリカの企業は、製品を開発するために迅速に転換してきました。この課程では、試してみて、失敗
して、変更してという繰り返し作業となります。日本の企業の場合は、多くの時間をかけて計画を立て、完全に準備し、完成度の高い製品を提供するために実行するといった傾向があります。私はしばしば、これら日米企業の異なる点を
うまくミックスすれば、迅速に高品質な製品を創り出し、市場に提供するより良い方法ではないかと信じています。

真空技術はますます重要度を増す
岩下：ブルックス社の今後の展望についてお聞かせください。
シュワルツ：私たちは常に未来を見据えており、私たちがサービスを提供している市場の見通しについても前向きに考えています。
半導体分野は、急速に統合されつつある業界で規模が拡大しています。その中で当社の課題は、顧客の技術的ニーズに対応することです。市場規模に対応した製品を迅速に開発する力が成功への最優先事項です。それにはパートナ

図３ アルバックのスマート社会を実現するコアテクノロジー

主な用途

自動車
（自動運転）

金融(Block Chain)

ドローン（無人輸送）

食品（スマート農業）

スマートフォン
（ヘルスケア）

5G

医療（遠隔医療）

5G
エッジサーバー

スマート社会を支える技術
IoT

アルバックの成長市場（キーデバイス）
6

AR/VR

クラウド型サーバー

ビッグデータ半導体メモリ・ロジック・新型不揮発性メモリ（PCRAM）、MEMS・センサ、
通信デバイス、パワーデバイス、Li バッテリー、先端実装、有機 EL ディスプレイULVAC ｜ No.69 (September, 2019)AI

株式会社 アルバック
代表取締役執行役員社長

岩下 節生

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です。第三に、研究開発に積極的に投資し、自社の地位を確保するために資本投資をしていることです。
これらの要素と成長市場でのアルバックの対応は、他の会社が容易に入り込めないのですから。私はアルバックの欠点は思い当たりませんが、開拓する余地が大いにあると思います。
最後に、私の個人的な見解ですが、アルバックのトップAI
リーダーである岩下さんが、アルバックができること、そうすべきことについて、いつも私に質問されますが、そのこと自体がアルバックにとって大きな力になることだと思5G
5Gっています。
今後アルバックとの岩下：ありがとうございます。
（笑）
コラボレーションも視野にアルバックもグループを含めた総力で、世界的な社会課
Smart
岩下：シュワルツさんからご覧になってアルバックとはどSmart Energy
Smart題の解決に貢献していきます。医療や農業、情報通信やエICTFunctionality
ネルギーなど、あらゆる産業のエレクトロニクス化によっのような会社でしょうか。
Smart Packaging
Smart Materialてスマート社会になっていきます。アルバックグループはシュワルツ：第一にアルバックは強く、信頼できるブランド、
それに必要なキーデバイスに、薄膜技術や装置要素技術、優秀な真空技術、信頼できる製品に優秀な評価が与えられ
スパッタ
蒸着
CVD
巻き取り アッシング インプラ エッチング
ALD
材料技術など、長年培ってきた経験と総合力で世界の役にています。アルバックは真空分野のリーダーです。第二は、立っていきます。それがアルバックの価値だと思っていま
技術の幅広さとグローバルな能力、アジア全域にわたるビ
金属
コンポー
計測・
プラズマ
ロボット
材料
加工
ネント
分析
イオン源
す。
ジネス、特に日本と中国でのプレゼンスは素晴らしいもの
これは私が常々考えていることですが、ブルックス社とアルバックとが何か将来に向けて新たなコラボレーション
図４ 成長市場（キーデバイス）を実現するができればと思っています。
アルバックの技術戦略
シュワルツ：アルバックとブルックス社の合弁会社である
アルバック・クライオを通じて、30 年以上の協力関係にあ
成長市場
技術戦略
りました。そうした緊密な協力関係も良いコラボレーションの一つではなかったかと思います。
SaaB
当社のクライオポンプ部門の売却は、アルバックとブル
新サービス
ックス社の 2 つの強いチームをより良く活用し、ブルック
Frontier（新市場・新分野）
ス社にとってより多くの成功を生み出す本当の機会を逃したのだと思います。これは、両社の緊密なコラボレーショ
ンを通じて、より大きなチャンスを得ることでは私の失敗でした。ですから、今後はさらにアルバックとの協力関係
Smart Energy（エネルギー）を強化し、もっと機会を増やすことを歓迎します。
Smart
岩下：ぜひそうしたいと思います。今後ともよろしくお願
Smart ICT
Functionality（半導体）（機能性部品）
いいたします。本日は大変貴重なお話をいただきありがと
Smart Manufacturing／Components
うございました。
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EXECUTIVE GUESTS

ョンーとの提携能力が鍵となります。
技術的観点からすると、当社の半導体、ライフサイエン
ス事業にはどちらも汚染レベルを下げるという傾向が顕著に見られます。確かに、当社の半導体オートメーション事
業においては、真空中で行うプロセス手順を増やすことでこれを達成しています。昨今の汚染管理はもはや高純度空気の使用だけではなく、今はむしろ真空下での浮遊分子状
汚染物質（AMC）の削減を取り入れています。次世代のデバイス技術においては、最先端プロセス技術だけではなく歩留まり向上に関しても真空技術がますます貴重な役割を果たすようになると私たちは考えています。ウエハー製造
装置市場、ディスプレイ市場における真空プロセスのシェ
アも、総合的な市場機会に比べてより速く成長していることは疑いようがありません。
ライフサイエンス分野における機会の規模は、私たちのロードマップよりも明確です。ライフサイエンス市場はまるで 1980 年代の半導体分野のように発明と革新に恵まれ、規格はほとんどなく、自動化も限られており、一見すると実験や発見の余地が無限にあるように思われます。私たちはこのブームにぜひ加わりたいと考え、日々変化しているように見える研究に付加価値を加えていける分野で成長し続ける方法を模索しています。私たちがいるのはこの長期戦の序盤に過ぎません。
そのため私たちは市場の見通しについては肯定的に受け止めていますが、こうした好機を見いだせるのは当社だけではありません。他社の動きに対しても神経質になっています。それに私たちは鼓舞され、若干の恐れも感じています。
IoT
ビッグデータAR/VRしかし、この好機を確実に捉えようと懸命に対応していこクラウド
うと思っています。

（装置のスマート化／コンポーネント）｜7大衡村はちょっと変わっていて、面積の約半分は防衛省の所有地で、で勉強なんてほとんどしませんでした。夏になると川をせき止めてプー――少年時代は？
生まれは宮城県大衡村（おおひら小学校の近くには自衛隊の演習場もあります。授業中に演習中の大砲の音や戦闘機のエンジン音がよく聞ル代わりにして使用していました。
秋にはトンボがたくさん飛んできます。田んぼや貯水池にはカエルがいむら）です。仙台平野に位置している農村で宮城県では唯一の「村」です。いまはトヨタの工場ができて、こえました。私の飛行機好きはこの頃の体験が影響しているのかも知れません。

っぱいいて、つかまえて遊んでいました。じゃが芋掘りもよくやりましたね。

となり町よりも財政は豊かで人口も多い。それなのに「村」なのです。

小学生、中学 1年まではもっぱら
豊かな自然のなかで育ちましたの

小学 4 年のときにとなり町（大和町：たいわちょう）に移りました。

豊かな自然に恵まれ
のびのび育った少年時代

視点
NO.

44

富永 淳二（とみなが・じゅんじ）氏のプロフィール
1985 年千葉大学大学院工学研究科修了。同年 TDK 株
式会社 開発研究所研究員。1987 年から 1990 年まで企業留学生として、イギリス王立クランフィールド工科大学
産業科学部博士課程に留学。1991 年 Ph.D.（博士）取得。
帰国後から 1997 年まで書き換え型光ディスク (DVDRW、DVD-RAM) の研究開発に従事。1997 年工業技術院
産業技術融合領域研究所の主任研究官へ転職。2001 年産
業技術総合研究所への改組とともに、次世代光工学研究ラボ長、2003 年近接場光応用工学研究センター長、2011
年からナノエレクトロニクス研究部門 首席研究員。
この間、通商産業大臣表彰（1999 年）、日本 IBM 科学賞（2000 年）
、米国光学会フェロー（2006 年）、S.R.OvshinskyAward（2014 年）、本多フロンティア賞（2016 年）ほか、学会賞多数。東北大学客員教授、クランフィールド大学客員教授、東京電機大学連携大学院教授、東海大学連携大学
院教授を併任。
現在は、不揮発性相変化メモリ、およびトポロジカル
絶縁体を応用した新奇エレクトロニクスデバイスの研究において、企業、大学との共同研究を実施。

国立研究開発法人 産業技術総合研究所
エレクトロニクス・製造領域 ナノエレクトロニクス研究部門

首席研究員

Ph.D.

富永

到達点が新たな出発点の相変化メモリ研究

淳二――独自の視点で「やればできる」をモットーに取り組む研究ポリシー
1960 年代に開発された「相変化メモリ」は、同一材料の結晶状態と非結晶（アモルファス）状態による差異変化を記憶させる技術である。この技術は 1990 年代まで光磁気（MO：Magnetic Optical）技術に押されていたが、青色レーザーの実用化により、メモリの超高密度化の要求が高まり「相変化」が俄然注目されるようになった。今回「視点」にご登場いただいた産業技術総合研究所・首席研究員の富永淳二氏は 1990 年頃から一貫して「相変化」研究に取り組み続けている。その成果も、相変
化 CD-RW、ブルーレイ対応超高密度 DVD-RW のディスクメディア開発を経て、独自に考案した超格子型省エネルギー相変化
固体メモリなど、次々に素晴らしい実績をあげられている。そればかりか現在、相変化メモリの新たな可能性を秘めた「トポロジカル絶縁体」の実用化にも取り組んでいる。富永氏の相変化メモリ研究とそれに伴うエピソードなどをお伺いした。

8

ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)2016 年公開の「殿、利息でござる（配給：松竹株式会社）」の舞台になったのがその町です。小学生の時は絵を描くのが好きでした。写生
大会ではいつも入賞して、クレヨ
ンとか絵の具が賞品でしたので買ったことはありませんでした。あとはプラモデルづくりです。
中学３年のときは受験勉強そっち
のけで、親に内緒でアマチュア無線
資格の勉強を最優先していました。
学校の勉強はそんなにしませんでし
たが、理数系は得意でした。歴史も好きでした。
高校に進学して数学、物理が面白いと感じるようになりました。物理愛好会をつくって活動していました。

号は留学先で取得しました。イギリス留学は私にとってたくさんの素晴ら
しい経験ができたところで、研究者としての原点がここにあるといっても過言ではありません。ですから私の研究室のスタ
ッフには海外留学を積極的に勧めています。日本
恩師等と一緒に英クランフィールド工科大学留学中とは違う文化を知り、新 （右から 2 人目が富永氏）
たな人脈をつくることは紹介を兼ねてアメリカ出張を命ぜら将来の自分自身の財産になることでれました。
すからね。とにかく「遊んでこい！」といって送り出しています。
イギリス留学を終える頃にプラザ合意で急激に円高が進み、その影――最初は民間企業に入社された

響をうけて日本のハードディスク事業はほとんど縮小しました。TDKもフライングヘッドだけ残してハードディスク事業を撤退しましたので、会社からは光磁気ディスクを勧められましたが、手遅れだと判断して1990年に相変化に進むことにし、
相変化 CD-RW の研究からはじめました。
光磁気（ MO ）のグループは 40 人いましたが、相変化研究グループは
私一人からスタートしました。MO
グループからは「相変化なんて商品にならない」といわれました。やがて MO の全盛は短期間のうちに終焉ということですが……。
大学の修士を経て1985年に TDKとなったのです。その大きな理由は1994 年頃から画像を扱うためにギの開発研究所に入社し、最初はハードディスクの研究をしていました。
2 年半（ 1987 年）ほどして会社の留学制度でイギリスのクランフィール

ガバイト級の高密度メディアが求められるようになったからです。
ちょうどその頃、DVD-RAM を相変化でやるか、光磁気でやるのかがド工科大学に留学しました。ハード
ディスクの読み出しヘッド（フライ

大議論になったことがありました。
MO を推す企業と相変化を推す企業

ングヘッド）が日本の梅雨時の湿気が原因でよく壊れるので、なぜ壊れるのかを解明するためにイギリス留学を命ぜられたのです。

との大激論が交わされたのです。まさに「天王山」ともいえる会議でした。それで相変化が勝ったのです。

正式な部ではありませんから部費が出ないので、自分の小遣いをつぎ込
んで物理実験などに費やしました。
そのときつくったのが太陽炉という太陽光集光炉です。アルミ板を買ってきて、パラボラアンテナのように、太陽光が一点に集中するように計算してつくりあげました。発表会
では10分間で1リットルの水を沸騰させました。

イギリス留学を経て光磁気が主流の中、相変化研究に取り組む

留学当時のクランフィールド工科大学は地図を見てものっていません。なぜかというと、大学には空軍施設も存在していたのです。ジェット旅客機も降りられる2,400メート
ルに及ぶ滑走路がありました。博士

飛行場で偶然巡り会った
利根川進先生の一言――専門の研究機関にお入りになったきっかけは……。
相変化ディスクの製品化を前に、会社からその研究発表と新製品のボストンで用事を済ませて、次の訪問地であるニューヨーク行きの飛行機を待っていたときでした。待合
室で私の前の席に座られたのが利根川進先生でした。ノーベル賞を受賞されたばかりのあこがれの人でしたからサインをいただくことにしました。飛行機の出発まで１時間ほどの待ち時間があり、研究者の先輩である先生とお話をすることができました。
そのときに「君は企業の研究をやっているんだね。そろそろ上を目指したらどうかね」と先生がおっしゃいました。
帰国して学会誌に産業技術融合
領域研究所（現・産総研）の研究員
公募案内が目にとまりました。
「相変化を極めてみよう」と思い応募しました。私の研究成果でもあった新製品もできたということもあり、次のことに挑戦する区切りのタイミングでした。1997年の入所以後22年間、産総研で新たなチャレンジをすることになったのは、ボストンの空
港での利根川先生の一言でした。

GST 三元合金を使っての超高密度光記録ディスクを実現――入所して次々に成果をあげられたとお聞きしていますが……。
応募で採用されたのは私を含めて 2 名でした。あとは旧・電総研からこられた方、それに秘書の4名で、できあがったばかりのこの研究棟を与えられました。6 ～ 7 年でこの研｜9ビ4台と我々が開発した超解像 DVD
ディスクをセットして、それにブル
ーレイレーザー光源が 1本、その１本に 4 つの画像を同時にテレビ４台にそれぞれ振り分けて映し出すことに成功しました。
400 ナノの波長、解像度が 60 〜
80ナノ、いまのブルーレイは140ナ
ノの解像度ですから、我々はそれよ
りも４倍高密度の映像を４チャンネ
ルにして同時に映し出すことに成功しました。映し出した映像は京都の名所風景、花などでした。このときの 60 ナノは今でも世界の超解像技■スターリングエンジン模型の説明
下側の電極にあたる部分がお湯を入れる
コップです。（コップ状の器に熱湯を注ぐ）
電流が注入されたのと同じです。これによって相変化膜がスイッチします。ピストンの部分が Ge の原子だと思ってください。いま上下していますね。この原子の動きは外に対して仕事をしているのです。つまりエントロピーを捨てているんです。これが相変化メモリのスイッチと同じ理屈です。論
文の著者はただ単に熱を入れることしか考
えていなかった。見逃していたのです。上部は室温、下の器との熱の違いで動きます。
上部は放熱に利用できます。

究棟を設備と人で満杯にしました。
当時の研究テーマは、相変化による超高密度光記録の研究でした。光は波という性質もありますから一点に集光できないのです。それに波は回折限界というのがあって波長の３分の1か４分の1しか集光できない。
そこを固体の膜にして、なおかつ光でなく熱に応答して光の窓をあける（開光）という超解像技術の研究に取り組みました。
アンチモン（Sb ）、ゲルマニウム（Ge）・テルル（Te）の三元合金を使いました。それは1999年のことでした。その研究で通商産業（現：経済産業）大臣賞を受賞し、2000年にIBMからも賞をいただきました。
次に、2009 年にその光超解像技術をつかってブルーレイによる4 倍
密度の DVD ディスクを開発しまし術のチャンピオンデータではないでしょうか。
ちなみに 2014 年のノーベル化学
賞は超解像技術を利用したものでした。ドイツとアメリカの研究グルー
プによってなされたものですが、彼らの解像度は 90 ～ 100 ナノです。
我々のほうが解像度では勝っていたんですが、彼らは医療分野に利用しました。受賞のニュースを知ったとき、我々の研究スタッフと「おしかったね〜」と「生き物を相手にすればよかったのかもね」という言葉を交わし合ったこともありました。もし、このとき生きたものを見ていたらノーベル賞の可能性も……。
（笑）

高解像相変化ディスクから超格子省エネ型
相変化固体メモリへ――相変化メモリ研究は次々に新たなテーマが現われるようですが…
…。
次に手がけたのがカルコゲナイドという GST の三元合金でなく、独自に考案した超格子をつかった省エ
ネ型相変化メモリでした。そのきっかけとなったのは、私はそれまで光相変化ディスクをやってきたんですが、2006 年に半導体関係の人がやってきて、電気を使った相変化メモた。そのデモを三菱電機の京都事業リにも注力してほしいという要求をいただきました。私にとってじつにタイミングの良いことでした。というのは、各企業が光ディスクから手所で行いました。ハイビジョンテレを引き始めていた頃で、2008 年秋

10

ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)のリーマンショック以降、国内から海外生産へ移行していきました。
まず電気スイッチ型の相変化メモ
リ関係の論文を読むことから始めました。ある論文の中にコンピュータ
ーシミュレーションによる熱解析ソフトを使って140万色に色分けされたとても綺麗なデバイスの温度分布図が掲載されていました。最高温度
が 650℃（熔融状態）と200℃（結晶状態）での結果が記載されているのですが、相転移の瞬間については何も記載されていませんでした。
「なぜ、なぜ」という疑問が湧いてきました。何か間違っている、と思ったんです。
相変化とは結晶状態とアモルファ
ス状態を行き来して、熔融と冷却の繰り返しです。温度をあげて固定して、温度を下げて固定するという熱サイクルなのです。これは熱力学の問題です。熱力学には第一法則、第二法則、第三法則という基本法則＊
で理論づけられています。
つまり、論文は第一法則だけで議論しています。これでは熱力学サイ
クルは動作しません。サイクル中でエントロピーがどれくらいとられているのかを考えていない、つまり第二法則を無視している。私は物理化学が専門だったので、ここを解決
すれば改善結果が出ると確信しました。だれもやらないのなら自分でやれば良いと思ったのです。
このエントロピー問題はそれまでの光ディスクの時にも感じていました。実際に計算をしてみると95％がエントロピーで消える、それを消えないようにすれば良いということがわかりました。エントロピーはゼロにはできないが、この 95％のエ
ネルギーロスをなくすために行き着いたのが超格子型相変化メモリでした。

今取り組んでいるのがトポロジカル絶縁体――相変化研究はこれで終わりではなかったのですね……。
実は、結晶状態のGeTeとSb2Te3

スパッタリング小型薄膜形成研究開発実験
装置「QAM」と共に。現在の実験の大半はこの装置で評価を行っているを積層した超格子で相変化メモリの省エネルギー化はできて、これで終わったと思いました。2011年 3 月
11日に発生した東日本大震災の影
響で、しばらく実験できなかったので、いろいろな論文を読むことにしました。そこで目に入ってきたのが「トポロジカル絶縁体」という聞いたこともないキーワードでした。しかし Sb2Te3 はトポロジカル絶縁体だという。私のやってきた超格子メ
モリも同じ材料を使っていましたか
ら興味が湧きましたが、読んでも最初は全くわかりません。何か大きな可能性をもっているように感じました。
「読書百遍何事かなる」ですね。
東工大にその研究をされている先生がいらっしゃいましたので、詳し
く聞きに行くことにしました。そのとき宿題を出していただき、戻ってきてシミュレーションをしてみました。確かに先生のおっしゃった現象が確認できました。
磁石をつかって電子スピンの時間
反転対称性を壊せば良い、ということでした。デバイスは低抵抗を示す「セット」と高抵抗を示す「リセット」
を繰り返す、そのサイクルの途中で磁石を近づけてみると、抵抗値が突然増加し、高抵抗状態に張り付いて低抵抗状態に戻らなくなりました。
「壊れたかな？」と思って磁石を離すと今度は低抵抗状態に戻りました。
この現象は電子のスピンに関係しているなと気が付きました。
現在スピン制御のプロジェクトをしてあります。ここを解決しなければ、という視点で考えます。
たとえば、TDK から産総研に移――研究活動をされる上でのポリシ
ーは……。
私はポリシーが一つありまして。

ってきたとき、光を使った研究をやりはじめましたが、近接場光を用いた走査型トンネル顕微鏡（プローブ顕微鏡）をただ見るだけでなく、これをものづくりの機構に活用できな
いかと考えました。
プローブ顕微鏡も光を使って原子を見るわけですから、原子の分解能をもっています。その発想が出発点となって、2009 年に私は光超解像薄膜技術を可能にしました。超格子型の相変化メモリも同じ技術を応用してできたものです。
結晶とアモルファスの状態を行き他人が「できない」と決めつけてい来する（セット、リセット）のが相るものに対して、こだわりをもっています。山形・米沢藩の上杉鷹山の有名な言葉で「なせば成る なさねば成らぬ 何事も 成らぬは人の なさぬなりけり」という金言がありますが、変化メモリです。先ほども申し上げましたが、そこでは必ずエネルギー
ロスはあります。ここを根底からひっくり返したら面白いだろうということで、結晶／結晶間相転移型の超その通りだと思います。
「できない」のは自分自身が決めつけてできない

格子型の相変化メモリを開発しました。

のであって、「やってみれば（取り組めば）」できると解釈しています。私の研究活動もそういう似通ったとこ
ろがあります。

そのとき多くの人からは「できっこない」といわれました。
「できっこない」と誰が決めたのか、それは「やっていないだけのことだ」と考えまある研究分野に関する論文を読んでいると、誰も触れていない、あした。皆が見逃しているところに着目して有益なものを創り出すことがるいは見落としている個所が往々に研究者としての使命だと思います。

スタートさせ、「トポロジカル絶縁体」の研究に取り組んでいます。
「トポロジカル絶縁体」が実用化すれば、今後の AI、IoT 社会を支える重要な技術として迎えられると確信しています。
（詳しくは13 ページ
参照）「やれば」できるという
上杉鷹山の言葉に同感＊第一法則：系の内部エネルギーの増加量は、外から加えられた仕事量と熱量の和に等しい。熱量まで含めたエネルギー保存則。
第二法則：低温から高温へ熱を移し、他の何の変化も残さないようにしておくことはできない。エントロピー増大の原理。
第三法則：絶対ゼロ度ではいかなる物質のエントロピーもゼロになる。有限回数の課程によって絶対ゼロ度に到達することはできない。ネルンストの熱定理。

｜ 11

コラム【富永先生より一言】

カラフル時代、装置も優しく明るい色にスパッタリング小型薄膜形成研究開発実験装置「QAM（キャム）」装置については、
アルバック九州株式会社 WEBSITE：
https://www.ulvac-kyushu.com/summary/qam/

自然に逆らってはいけない、
騙せれば良い――どんなときにひらめきますか。
アイデアは毎朝の歯磨きしながらのトイレのときです。さきほど紹介した超解像技術はお風呂の中でした。娘をお風呂に入れていたときにひらめきました。ひらめきに至るま
でいろいろ考え続けていますので、
瞬間的なひらめきというよりも、こ
うすればいけるんじゃないか、と考えながらのひらめきです。ひらめいたことは、いろんな書物とか理論と照らし合わせていくんですが、自然を騙せたらいける場合が多いですね。この「自然を騙す」という考え方はイギリス留学で学びました。
留学先の先生は金属工学が専門
で航空機のジェットエンジンや機体の金属疲労を研究している人でした。その先生が「技術というのは自然を騙せたら良いんだ。自然を克服するようなものをつくったらしっぺ返しを食う。だから自然を乗り越えようとか、克服しようとかしてはいけない。自然を騙せれば自然は受け入れてくれる」という。
私の超格子型メモリのエントロピ
ー問題もそれが当てはまります。そこには「マックスウェルの悪魔」が住んでいて、熱エネルギーをつかうときは、悪魔に熱エネルギーの税金をアルバックさんが良い装置をつくっていただいてとても感謝しています。ただし、アルバックの装置は実験装置みたいなつくりなんです。納品した装置は特別に色を塗っていただきました。いま柔道着も白からカラフルになり、いろいろなものがカラフルになりました。工場色にとらわれないでもっとカラフルに楽しい色の装置があって良いのだと思います。女
性が見ても優しい感じになる。イギリスに行ったとき、装置の色がオレンジ色だったのです。とっても気に入りました。最
初に装置を入れたときにオレンジ色にしていましたら、担当の方が「本当にいいですか」と念押しされたほどでした。

ることはできません（永久機関禁止の法則）。だから「マックスウェルの悪魔」をうまく騙せば良いわけです。

飛行機のジェットエンジンの音に魅せられて……
――どのような趣味をお持ちでしょうか……。
趣味はラジコンの飛行機を飛ばすことです。週末はラジコン飛行機
を飛ばしています。飛行機の流体力学にかなった流線形が好きですね。
私がイギリスの留学先の大学では、ロールスロイスのジェットエン
ジンのタービンブレードの開発研究グループに所属していました。ANAの787はそのロールスロイスのジェ
ットエンジンを積んでいます。出張

好のポイントは、成田では南風の時、成田の桜山がお勧めです。午後 2 時
半から3 時半は帰国便が多いのでその時間帯がいいですね。一番お勧めなのが大阪・伊丹空港の近くにある土手が最高です。頭の上、50メー
トルの所を飛んできます。でも乗るのが一番です。うるさいと聞くのではなく、芸術として聞いてみてください。
（笑）

相変化と磁気技術の融合で日本企業は進むべきの時は ANA に乗るようにしています。席にはノイズキャンセリングイ
ヤホーンが用意されていますが、私はジェットエンジンの音に興味があるのでいつも使用しません。
あるときキャビンアテンダントがようになります。磁気の材料を使わなくてもスピンを自由に制御できる席にやってきて「これをつけていた
だくとノイズが消えて快適にお乗りいただけます」という。私は「タービンブレードの研究をやっていたことがあるのでジェットエンジン音に大ようになる。相変化の中にトポロジ
カル絶縁体をつかってスピンを制御する相変化メモリの部分と、スピンを使うメモリの部分をわけて、一つ変興味があって、エンジンが正常に必ず支払わなければいけない。それが自然の掟なのです。つまりエント
ロピーを「ゼロ」にして熱機関をつくした。
「こういうお客様が飛行機に

ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)

乗っていていただくと我々も安心して操縦できます」と感謝されました。
飛行機のエンジン音を楽しむ絶――相変化メモリと他のメモリとの棲み分けは可能なのでしょうか。
いまからやるべきことは相変化メ
モリと MRAM が組むことです。トポロジカル絶縁体をつかって、通常の磁性材料をつかわないで動かせる

動いているかどうか、その音を楽しんでいるんです」と答えました。そのアテンダントは機長にそのことを伝えたのでしょう。飛行機から降りるときに機長からの伝言を渡されま

12

機長からのメッセージのデバイスの中に埋め込めば良い。
それが私の考える将来です。片方の技術をつぶす必要はない。一緒に共同の道を歩めば良い。そうすれば日本のメーカーは成長するのではない
かと思います。もう昔のように光ディスクのときのような喧嘩はやめな
いと！

●富永淳二博士講演録〈抜粋版〉2018 年 11 月 21 日開催 特別講演「次世代相変化メモリ」（主催：アルバック販売株式会社）

ビッグデータをベースとする
IoT、AI 社会に大いなる可能性が期待される「トポロジカル絶縁体」とは富永先生の研究テーマである「相文を読んでいました。私の扱ってい変化メモリ」はまさに到達点が次へる Sb2Te3 がトポロジカル絶縁体だとの新たな出発点ともいえるもので、書いてあったのです。論文を読んで現在も次世代相変化メモリとして「トいるうちに時間反転対称性を壊すとポロジカル絶縁体」に取り組んでいいう表現が目にとまりました。

超格子はどうか。普通のトポロジ

る。 こ の 耳 慣 れ な い「 ト ポ ロ ジ ー」

そこで磁場をかけてみることにし

カル絶縁体は面でしか電気伝導をもとは何なのか、その理論を応用する

ま し た。 通 常 の GST の 三 元 合 金 に2 は普通のたないのですが、（GeTe）「トポロジカル絶縁体」の可能性、利磁石を近づけても何も変化しません。

絶 縁 体 で、Sb2Te3 は ト ポ ロ ジ カ ル

用分野を紹介する。

ところが私が開発した超格子の積層絶縁体です。この２つを繰り返し積膜に磁石を近づけると一気にしきい層すると表面だけでなく界面に電気2016 年のノーベル物理学賞はサウ

値電圧が 0.8V から 2V に上がりましが流れるようになります。積層数をレス、ホールデン、コスタリッツのた。磁石を外すともとに戻る。0.1 テ

増やせばその分、界面数が増えるの３名に授与された。この３名は、数スラぐらいの弱い磁石ですが、これでより二次元的な電流とスピン流を学の幾何学理論の一つであるトポロを近づけるだけで抵抗値が２桁変わ取り出せます。それも極低温でなく、ジーの考え方を導入したもので、物ることがわかった。MRAM の変化量

室温の状態でできます。470K でちゃ質の基本的な性質にトポロジカルなはもっと低い数値です。相変化はいんと動きます。紙面の都合上、詳し状態が相転移することを発見した。

ままでの経験上、磁性は出ないと考くはご紹介できませんが、私の研究

まさに 21 世紀に誕生した現代科学

えていました。この実験で、時間反成果を論文で発表したところ、2017のトップをゆく最先端材料の開発で、転対称性を壊すと何か変化すること

年には論文引用が 300 件ほどありま

今、世界中の研究者たちが大いなるがわかってきました。

した。こういうものをつくる競争が世界中ではじまっています。

可能性を求めて様々な研究合戦が繰り広げられている。

トポロジカル絶縁体は、電子の状

メモリにはいろいろあり、一番高

その一つとして、内部では電気が態（波動関数）が通常の絶縁体と異速で動くのは CPU、SRAM、DRAM

流れないにもかかわらず、表面ではなり「ねじれている」という。このなどです。その下に NAND、光ディ電気が流れるという「トポロジカル

ねじれによって物質の中身には電気ス ク、 ハ ー ド デ ィ ス ク（HD） な

絶縁体」の物質の研究が進められてが流れず、表面だけに電気が流れる

どのストレージメモリがあります。

いる。

という想像もつかない現象が確かめ

DRAM と HD では処理スピードは３

富永：2010 年の秋、超格子型省エネられた。

桁ほど違います。ビッグデータを扱

ルギー相変化メモリの論文を専門誌

富永：Ge2Sb2Te5 の三元合金はねじうようになると、この桁数の違いはに投稿してそれが通ったのでほっとれていないので普通の絶縁体です。

していた矢先のことでした。2011 年

つまり合金の中に２つの顔があるとの「3.11 大震災」で 3 ～ 4 カ月間実

いうことです。一部は普通の絶縁体、験ができなかったので、もっぱら論

もう一つは違う。

大きな問題になります。これを解消するために新しいストレージクラス
メモリが登場することになります。
それが相変化メモリなのです。

トポロジカル絶縁体超格子が応用される相変化メモリの大いなる可能性●● 次世代相変化メモリは超格子型で格段の省エネ化が達成できる●● 相変化は AI のチップに向いている●● DRAM を使わずにビッグデータを使って機械学習を行える●● ファンデルワールス結合型の超格子膜はスパッタリングでも作製可能●● GeTe/SbTe 超格子膜はトポロジカル絶縁体だ●● トポロジカル特性を上手く出現させれば将来はスピンメモリにも●● 相変化メモリの進展はメモリを超えた…分野の応用が期待できる｜ 13

特集●茅ヶ崎市とアルバック

神奈川県

茅ヶ崎からグローバルへ

横浜市

茅ヶ崎市

技術戦略と研究開発の発信地――地域に根付く企業として

本社・工場外観◆地域とともに成長してきた本社・工場
株式会社アルバック（以下、アルバック）は、神奈川県茅ヶ崎市の住宅地の中に本社・工場を構えています。敷地面積約 48,000 ㎡、こちらで働いている人数は、従業員や協力会社を合わせて約 1,600 名です。天気が良い
日は 6 階建ての社屋から富士山がよく見え、お客様をお出迎えします。
本社・工場では主に、ディスプレイ、半導体、電子部品、一般産業、医薬品業界向けなどの真空装置・コンポーネントの製造や、研究開発を行っています。非常に大きな装置も扱うため、それぞれの現場では建物の 2 階分の高さを確保しており、一部の現場はクリーンルームとなっています。

本社・工場５階に設置されたアルバックの歴史紹介コーナー「History River」

茅ヶ崎市に本社・工場を移転してきたのは 1968 年。当時その周辺は、わずかな小さな工場のほかは広々とした田園風景が続くばかりで、路線バスの運行もなかった

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ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)

本社から見える富士山とアルバックテクノ㈱の社屋

◆宇宙のまち ちがさき

◆休耕田を利用した田んぼプロジェクト

茅ヶ崎市は、宇宙とゆかりのあるまちです。宇2019 年で 10 年目となる「田んぼプロジェクト」では、宙飛行士の野口聡一氏は茅ヶ崎市ご出身です。ま子どもの環境教育、従業員のリフレッシュなどを目的とた、㈶日本宇宙少年団の茅ヶ崎分団の初代団長は、して、使われなくなった市内の休耕田をお借りして米づ

アルバックの第三代社長 林主税が務めていました。

くりを行っています。従業員やその家族だけでなく、地

近年、アルバックは、㈶日本宇宙少年団 茅ヶ崎

域の NPO 団体や大学生と共に、田起こしから田植え、分団の後身であり茅ヶ崎市が全面バックアップし収穫までできるだけ手作業で行います。獲れたお米を皆ている市民活動団体「ちがさき宇宙フォーラム」

で食べる収穫祭も開催しています。

に協力し、定期的に開催されている「ちがさき宇宙教室」で子どもたちに真空実験・工場見学を実施しています。マシュマロを膨らませる実験や、
水の沸騰、蒸着、真空砲、エアインチョコの実験など、大人も子どもも一緒に楽しめる実験を行っています。
▲▶田植えと稲刈りの様子◆ ULVAC Global Festival (ULFes)

あらゆるステークホルダーの皆様に日頃の感謝の気持

ちを込めておもてなしをするイベント「ULVAC Global▲ピンポン玉を時速約 1,000km
で飛ばしてアルミ缶を貫通させる真空砲の実験◀溶かしたチョコレートを真空装置に入れてエアインチョ
コをつくる実験

Festival」を毎年開催しています。国内外グループ各社
出店によるグルメグランプリや物産展、縁日、工場見学、真空実験、地元中学生・高校生による吹奏楽・チアリー
ディングパフォーマンスなど、様々な企画を行っています。また、近隣の児童養護施設の子どもたちもご招待し◆鶴嶺東地区
コミュニティセンターにて
出張真空実験

ています。2018 年度は当日に約 5,000 名の来場者にお越しいただくなど、大盛況に終わりました。

茅ヶ崎市鶴嶺東地区のコミュニティセン
ターが開館 15 周年を記念した特別イベン
ト開催の際に、出張真空実験を行いました。
真空の原理を知ってもらうべく用意した複数の実験では、会場内に何度も驚きの声が▲アルバックイメー
ジキャラクター「あるばっくん」▲大抽選会時の集合写真◀子どもたちから大人気のゆるキャラたち

上がりました。今後も、子どもたちに理科や真空技術に興味を持ってもらうようなイ
ベントを行っていきます。

◆茅ヶ崎市海岸ビーチクリーン活動
年に 2 回、自治会や地元企業と一緒にサザンビーチ
ちがさきでビーチクリーン活動を行っています。茅ヶ崎海岸を利用する方々が気持ちよく利用できるように貢献しています。

▲半球同士をくっつけるマクデブルクの半球実験▲えぼし岩を眺めながら海岸清掃

｜ 15

茅ヶ崎市

相模湾と里山の大自然

アルバック本社・工場が茅ヶ崎市に移転してきて 50 年以上が経ちました。
豊かな自然に囲まれた茅ヶ崎市をイラストマップとともにご紹介します。
※ このイラストマップは茅ヶ崎市のご指導、ご協力を得て作成したものです。（写真提供も茅ヶ崎市によるものです。）❶ちがさきのシンボル「茅ヶ崎サザンＣ」と「えぼし岩」●ご当地ゆるキャラのえぼし麻呂とミーナ

茅ヶ崎市オリジナル広報キャラクター
えぼし麻呂：「ちがさ貴族」の 9 歳くらいの男の子。
「～ぞよ」が口癖。ミーナ：波の精霊。波を起こすことができる。
宮山

海水浴場の「サザンビーチちがさき」には、茅ヶ崎の頭文字の「Ｃ」をかたどったシンボル「茅ヶ崎
サザンＣ」があり、湘南を歌った歌の中に数多く登場しています。また、沖合いには、平安時代の貴族がかぶっていた烏帽子に似ていることから名付けられた「えぼし岩」があり、名所になっています。茅ヶ崎の 4 大まつりの「湘南祭」と「サザンビーチちがさき花火大会」が行われるのも、
ここサザンビーチです。

寒川神社

高座郡寒川町アルバック
田んぼ
プロジェクト

寒川神社
参詣ルート

田村の渡し

寒川
茅ヶ崎サザンＣ

えぼし岩

下寺尾官衙遺跡群❷夏の到来を告げる茅ヶ崎海岸「浜降祭」

鶴嶺八幡宮
南湖の左富士

馬入の渡し❹ 旧相模川橋脚

市役所
茶屋町

須賀湊

❺

浜見平団地
桜並木

❾ 旧南湖院第 1 病舎

サザ
ン通
り

相模川（馬入川）1923 年（大正 12 年）の関東大震災の際に水田の中から現れた橋脚です。1198 年（建久 9 年）
、源頼朝の重臣である稲毛三郎重成が、亡妻の供養のために架けたものと考えられています。国の史跡および天然記念物に指定されています。
当時の相模川がこの辺りを
ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)

熊澤
酒造

アルバック

文化資料

柳島湊
浜降祭

❹関東大震災で出現した旧相模川橋脚

16

浄心寺

浜降りをする神輿

湘南、茅ヶ崎の漁場では新鮮な「生しらす」を水揚げします。そのまま食べられるように冷水で洗われたあと、パックされて「朝獲 生しらすは漁獲量によっては食べれないこともれ生しらす」として出荷されます。
また、茅ヶ崎の海は船釣り・磯釣り・投釣りのいずれの釣りを楽しむにも絶好のポイントです。えぼし岩へ磯釣りに出かける人のために漁港から渡し船も出ています。昔ながらの漁法である地引網
は現在 3 軒の綱元が営業しています。

流れていたことが分かる

柳島通り
大山道

線
模
相
R
J

❸生しらす、たたみいわし、
釣り・地引き網香川

夜明けとともに市内などの各神社から約 40 基の神輿が浜に集まります。
「どっこい、どっこい」という相州神輿独特のかけ声のなか、砂浜を所狭しと乱舞し、五穀豊穣を願う合同神事が行われます。神奈川
県無形民俗文化財に指定され、「かながわのまつり 50選」にも選ばれている歴史あるお祭りです。

●大山道について
大山山頂にある阿夫利神社につながる街
道の総称で、江戸時
代、庶民が信仰と観光をかねて利用されました。大きな木刀を担いで阿夫利神社に奉納する風習もありました。

❷

サザンビーチ❶❸❺面白い通りの名前●鉄砲道●東海岸を東西に貫く道で、江戸時代に海岸に設けられていた鉄砲場へ大砲を運んだ道であり、演習する武士が通った道であったのでその名が付いたと言い伝えられます。
●サザン通り●茅ケ崎駅からサザンビーチまで続く道が平成 12 年からサザン
通りの愛称で呼ばれるようなりました。

【茅ヶ崎の 4 大まつり】「大岡越前祭」：江戸時代の名奉行大岡越前守忠相公の遺徳を偲んで行われる春祭りです。
（4 月中旬の土日）「湘南祭」：スポーツ・飲食等の様々な催しが行われます。（4 月下旬の土日）「浜降祭」：神輿が砂浜を乱舞し、茅ヶ崎に夏を告げます。（7 月海の日）「サザンビーチちがさき花火大会」：茅ヶ崎海岸の夜空を彩ります。（8 月上旬）
おおおかえちぜんのかみただすけ❻「大岡越前祭」と大 岡越前守忠 相堤という場所を治めていた江戸時代の名奉行、大岡越前守忠相公は、人格、見職共に優れ、将軍徳川吉宗公の信任を得て、江戸町奉行、寺社奉行の要職を歴任するなど、司法官として偉大な足跡を残しました。
一方で、経世家、文化人としてその偉業も数多く知られています。浄見寺には大岡一族の墓所があり、忠相公の遺徳を偲んで行われる「大岡越前祭」は、春のお祭りとして広く親しまれています。
越前行列の奴頭（やっこがしら）

腰掛神社 ❼
県立茅ケ崎里山公園
藤沢市
勘重郎堀
道祖神

●東海道について江戸と京都を結ぶ東海道は江戸時代一番の幹線街道でした。
茅ヶ崎は藤沢宿と平塚宿の中間にあり、相模川が増水したときは茶屋町が間の宿（あいのしゅく）といって臨時に宿場機能を果たしました。

民俗資料館（旧和田家）

田村通り
大山道

崎
茅ヶ
北

本在寺

水越家の長屋門

四つ谷
一の鳥居
国道一号（東海道）JR 東海道本線

雄三通り❽❺ 高砂緑地

茅ヶ崎
ゆかりの
人物館

館

さだやっこ

茅ヶ崎駅から海の方（南）へ行くと、静かな住宅
街の中に緑豊かな高砂緑地があります。この一帯は、明治時代に「オッペケペー節」で一世を風靡した人
気新劇俳優、川上音二郎・貞奴夫妻が住まいを構えた場所で、「萬松園」と名付けられました。妻の貞奴も日本の女優第１号として舞台に立ち、活躍しま
した。

❺

❺ 鉄砲道

氷室椿庭園
開高健記念館
茅ヶ崎公園野球場
国木田独歩追悼の碑

辻堂

毎 年 2 月 に は「 梅 ま つ り 」が開催されるなんこいん

川上音二郎・貞奴夫妻（所蔵 川上新一郎氏）❾南湖院と国木田独歩
南湖院は、旧結核療養施設として明治期から茅ヶ崎市の発展に大きく貢献するとともに、文化・歴史に大きな影響を与えた施設です。1908 年（明治 41 年 ） に 結 核 を患った国木田独歩が入院して闘病生活を送ったことから、南湖院が全国に知られるようになりました。

現存する第 1 病舎の外観（敷地の一部を一般公開している）●援農ボランティア制度

団十郎の碑

ラチエ
ン通り
（旧・
郷堺）

崎
茅ヶ

たかすなりょくち❽高砂緑地と川上音二郎・ 貞 奴

市民の森

西光寺

❻

北部は人と自然が共生する昔懐かしい里山が息づいています。市の天然記念物にも指定されている樹叢が生い茂る「腰掛神社」は、日本武尊が東征の際に腰かけて休んだと言われる「腰掛玉石」が祀られていることから名付けられました。すぐ近くには「県立茅ケ崎里山公園」があり、里山の景観を受け継ぎながら子供から大人まで楽しめる憩いの場となって
います。

清水谷
建彦神社

浄見寺

❼自然豊かな茅ヶ崎北部と「腰掛神社」

県立湘南
宇宙飛行士 汐見台公園
展示コーナー❶

えぼし岩（姥島）●雄三通り●以前は海岸付近に加山雄三邸がありました。古くは、加山雄三の父の名から「上原謙通り」とも呼ばれました。
●ラチエン通り● 1932 年（昭和 7 年）にドイツ人貿易商のル
ドルフ・ラチエンが通り沿いに大きな別荘をつくったことからその名前で呼ばれるようになりました。
＊観光のタネ、道の愛称事業、市 HP（商店会紹介ページ）より引用

茅ヶ崎市は、漁業のほかに農業も盛んです。援農
ボランティア制度では市内の農家の人手不足の解消を図るとともに、 健康増進など市民の余
暇の充実と農業への理解を深め、農業の振興を図ることを目的としています。
秋野菜の収穫作業●夏はアロハビズ！ホノルルとは姉妹都市

茅ヶ崎市は海に面していて過ごしやすい気候であり、たくさんのハワイ
アンショップが立ち並んでいます。アロハシャツを着てもらおうと茅ヶ崎
ア ロ ハ 委 員 会 に よ り 2003 年（ 平 成 15 年 ）からアロハビズが提唱され、市の職員も夏はクールビズならぬ「アロハビズ」で仕事をしています。また、米国ハワイ州ホノルル市とは姉妹都市で、フラダンス愛好家も多く、フラダンスの世界的大会も開催されました。
アロハビズで勤務｜ 17

アルバックの恩人たち❶

この人がいなかったらアルバックは消滅していたかも!?
いしかわ

よ し じ ろ う

株式会社アルバック 初代社長 石川 芳次郎

創業期アルバックを支えた
多大な信用力郎さんから、真空技術というものが国家的見地からみて非常に重要であり、その振興開発のために、この会社をつくることが必要であるというお話を伺い、私も大いに共感し、賛同するところがあって、アルバック設立の当初か

株式会社アルバックは実に多く

ら関係させて頂くことになった」の恩人たちで支えられ、発展し――と述べている。

てきた。その一人が「石川芳次郎」である。芳次郎は当社の初●「石川さんがやるならば」の一言で代社長であるが、設立間もない
アルバックにとって、芳次郎の著名財界人がアルバック支援

存在は遙かに大きいものがあった。芳次郎がいなかったらアルアルバックは、1952 年 8 月 23 日、

バックは自然消滅していたに違

当初、日本真空技術株式会社という社いないからである。

名で設立した。社名が示すとおり、日本の産業界ではほとんど活用されていなかった「真空技術」を標榜する会社であった。
アルバック設立 10 周年（1962 年）のときの記念写真（左から井街仁、芳次郎、石川浩三）

石川芳次郎のおいたち
1881 年東京に生まれ、13 歳で東京電灯
神田発電所に奉公に出される。このとき日本の電気学の草分けでもある藤岡市助博士と巡り会い教えを得る。その後、静岡電灯に派遣され、京都大学・小木虎次郎博士と巡り会う。18 歳のとき、小木博士の取り計らいで名古屋電鉄に移籍し、20 歳の 1901
年に小木博士の紹介を得て大沢善助（大沢商会の創業者）の経営する京都電灯の技手として移籍。小木博士と大沢善助は芳次郎
にとって一生を通じての恩人となる。勉学を志す芳次郎は同志社普通学校３年に編入。
勉学と仕事を両立させる。1904 年、23 歳
で第三高等学校に入学、1907 年には 26 歳
で京都帝国大学電気工学科に入学し、1910
年、29 歳で同校を卒業し、京都電灯に復帰。
まだ普及が進んでいなかった電気の普及に努める。1911 年と 1919 年には欧米の海外視察を経験する。アメリカでは発明王エジソンと会う。以来、エジソン財団の役員を務める。1941 年・京都電灯副社長、1943
年・京福電鉄社長、1952 年・アルバック（日本真空技術）を設立し、社長就任。公職は実に多く、1969 年に 88 歳で死去するまで、政府機関、団体、民間企業の委員、評議員、会長、終身役員などに推挙され、叙従五位
銀杯、勲四等瑞宝章など受章。

18

ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)●アルバック設立の原動力となった芳次郎の信用力

設立のきっかけは、米国の真空装置メーカーの NRC 社リチャード・モース社長からの手紙によってもたらされた。その手紙を受け取ったのが井街仁（アルバック第 2 代社長）で、「真空技

アルバックの設立に当たって、発起術の事業をされるなら支援を惜しまな

人代表であった石川芳次郎は、財界のい」というものだった。井街は当時あおもだった人に出資を要請してまわっる研究所の研究員であり、以前から真た。その際、要請された財界人は「石空技術の学会に参加しており、会社設

川さんがやるならば」と無条件で百万立についてその学会仲間も賛同した。

円の出資を快諾し、しかも全員が取締

同時に井街は義弟にあたる石川浩三に役にも名を連ねた。その一人が松下幸相談した。浩三は「会社を設立すると之助（パナソニック創業者）だった。

なると我々だけでは無理だ。親父に相当時、海のものとも山のものともわ談しよう」という。その親父というのからなかったアルバックの船出に、松が石川芳次郎であった。つまり、芳次

下幸之助はじめ 6 名の財界人の存在

郎は井街にとって義父にあたる。

は、当社の社会的信用を高める上で大きな力となった。

芳次郎は京都電灯の副社長を歴任
し、当時・京福電鉄の社長であり、多ちなみに 1968 年、設立 15 周年をくの公職にも就いていた。また、芳次迎えたアルバックは、横浜市から茅ヶ郎は京都帝国大学で電気工学を修めた崎市に新たに本社・工場を竣工した。

技術者でもあった。井街たちの「真空その祝辞で松下幸之助当時・松下電器

事業で日本の産業に貢献する」ことに産業会長（当社取締役も兼務）は「15

深い理解を示し、全面的にバックアッ

年前（1952 年）は現会長の石川芳次

プを約束した。冒頭の財界人 6 名の強としかいいようがないのです。
30 年も続けられたその主な理由は、初代社長の石川芳次郎さんの存在が非常に大きい。石川芳次郎さんの一言で、松下さん、弘世さん（日本生命社長）、大沢さん（大沢商会会長）など
社会的に大きな信用力をもった方々に信頼され、その援助が受けられるよう会社の基礎固めをキチンと確保されていたことが大きいですね」
アルバック（日本真空技術）設立登記簿の一部（発起人兼役員の自筆サイン）

力な支援を得ることになったのである。

●芳次郎の人間性を物語る
エピソード
芳次郎は、アルバックの経営は井街と浩三に任せっきりで、ほとんど

このようにして、アルバックの設

口出ししなかった。ただし、資金繰立に至ったのであるが、当時、芳次

りや受注面では面識の広さを発揮し郎は 71 歳という高齢であるにもかかて最大限のバックアップを惜しまな

わらず、自ら社長に就き、アルバッ

かった。

クが一人歩きできるまで、その職を全うしたのである。

1960 年頃、
NRC 社との交渉のため渡米する芳次郎。
芳次郎の右後方にいるのが林主税である

1964 年、エジソン財団シスラー会長よりエジ
ソンの白熱電球を贈られる

1957 年、大手金属メーカーから林主税が開発した我国初の真空熔解炉の引き合いがあった。そのとき、芳次●真空技術の産業貢献を
アルバックに託した芳次郎の気概郎は、「ここは真空の専門会社に任せてもらえないだろうか」と自ら会社に出向いて経営陣にお願いしたという。
また、1960 年頃、ある大手金属メー

井街が誘った学会仲間の一人が、カーから真空溶解炉の注文がもらえ

アルバックの「研究開発の祖」ともなかった。芳次郎は「私が社長に頼言える林主税であるが、アルバック

んであげよう」と約束した。芳次郎

創立 30 周年（1982 年）に際し、次は先方に出向いて受注につなげたののようにコメントしている。

である。

アルバック初の合弁会社日本リライアンス設立にあたり、リライアンス社の社長夫妻を松下幸之助私邸に招待する芳次郎（後列右から 3 人目）、ちなみに芳次郎の左が松下幸之助

そのときの裏話が残されている。
「アルバックという会社は非常に運のいい会社であるということです。

その社長の学生時代のことである。

1966 年に制定されたアルバックの大学進学に際し、その父親は経済学

社是は、当時の役員が中心となってそれは真空技術という仕事が将来部を希望していた。ところが、本人作成したが、石川芳次郎の企業精神の産業界にとって大切な仕事であるは哲学を専攻したいという。その父が色濃く反映されている。

ことや、必ず社会的にも認められる

親は芳次郎に相談した。

１．わが社の生命は永遠である。

ことは初めから確信していたわけで「息子さんはいずれ経営にあたられ

２．わが社は人によって興り、人にすが、それがいつ頃、どういう形でる。経営は人間が相手だから哲学はよって滅びる。

かなえられるかということになると、将来大いに役に立つはずだ。息子さ３．わが社は利潤を追求する。

これは自分で決められる問題じゃなんの希望通りにしては」と助言した。

４．わが社は社会の公器である。

いわけですね。

その助言が功を奏して、哲学部への５．わが社は顧客によってのみ生か

初めの頃は世間がそれを認めてい進学が許された。

たわけじゃありませんから、赤ん坊

これらの逸話は芳次郎の人望の厚のような時期をどうして生き残れたさと、人知れず真空事業への深い思かを考えると、やはり幸運であった

い入れを示したエピソードであろう。

される。
６．わが社は時間を尊重する。
７．わが社は真空技術の総合利用をもって社業とする。

｜ 19

アルバックの恩人たち❷

この会社がなかったらアルバックは真空総合メーカーになれなかったかも!?
た な べと も た ろ う

東洋精機株式会社 第四代社長 田邉 友太郎

株式会社東洋精機 真空研究所
真空総合メーカーへの扉を開いてくれた恩人

他にも東京真空、神港精機、共和真
空など、真空機器メーカーが相次いで創業している。東洋精機は産学共同で油回転真空ポンプや真空乾燥機、真空蒸留装置を製造し、「真空のパイオニア」としてペニシリンや血清の製造、鯨の肝油からビタミンＡを精製するなど、製薬や製油、化学をはじめとする産業界に貢献していた。
そして 1953 年に真空部門を分離し、株式会社東洋精機 真空研究所が設立された。
東洋精機は現在、超高圧空気系バ
ルブ、非鉄金属精密型打鍛造に高い

現在の東洋精機本社工場（兵庫県尼崎市）

旧東洋精機本社工場（ 1956年からアルバック尼崎工場となる）

技術と長い歴史をもつ 110 年企業で株式会社アルバックは、真空総合メーカーとしある。東洋精機の 80 年史にも、「（アて、真空部品から材料、真空ポンプ・計器類など

ルバックは）名実共に真空専門の国のコンポーネント、真空装置に至るまで幅広い製

内トップメーカーであり、また世界品を提供している。しかし、その扉を開いてく

屈指の専門メーカーとして発展し、れたのは、アルバックの自力によるものでなく、全世界にその名をとどろかせている。

1956 年に株式会社東洋精機 真空研究所との合併

まさに昭和 21 年当時、密田良太郎博によってもたらされたものである。

士と田邉友太郎社長が社運をかけて種をまき、育成した希望の木は素晴● 110 年の社歴を誇る東洋精機
アルバックの1957年頃の営業内容
株式会社東洋精機 真空研究所との合併により、アルバックの取扱商品は下記の通り幅
広いラインアップで構成されるようになった。
・真空化学装置（各種真空蒸留装置）
・真空冶金装置
真空溶解炉
真空焼結炉
真空焼鈍炉
真空脱ガス鋳造装置
・真空含浸装置
・各種排気装置
・ブラウン管連続排気装置
・電気冷蔵庫連続排気乾燥装置
・魔法瓶自動排気台
・超高真空排気装置
・真空蒸着装置
・真空成型機・真空ポンプ、バルブ
・真空計
・各種真空用材料【輸入】・米国：NRC 社製品
・ドイツ：ライボルト社製品

20

ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)

東洋精機株式会社（以下、東洋精機）

らしい花を咲かせ、今や立派な果実を結んでいる。
」とアルバックとの合併の歴史が紹介されている。

は、1908 年（明治 41 年）に福岡のちなみに、アルバックの出資者の松本鑢（やすり）製造所を買収して一人である松下幸之助氏の自宅兼工

大阪に松本鑢合資会社として創業さ場が東洋精機の大阪工場（当時本社れたのがはじまりで、1946 年（昭和工場）がある大阪市福島区大開にあ21 年）に真空部門を開設した。

り、松下幸之助氏が当時（1918 年頃

太平洋戦争終了後直ちに真空機器～）よく工具や治具類を借りにこら製作の必要性を痛感し、当時原子物れたり、プレス機械の技術的な相談

理学の第一人者だった大阪大学の菊をしていたそうである。

池正士教授を研究室長に迎える。この 頃、 戦 後 の 混 乱 期 に も 関 わ ら ず、

東洋精機製
回転型真空ポンプ「 R-1型」（ 1948年頃）

東洋精機製
可塑剤用高真空蒸留装置（ 1949年頃）

東洋精機製
分子蒸留装置（ 1948年頃）

1,600トンプレスの大型鍛造品

高圧バルブ（圧力計用止弁、油圧用止弁、油圧用電磁弁）

1,600トン鍛造プレス●田邉東洋精機社長の英断で実現した
アルバックとの合併劇所は、1946 年（昭和 21 年）に東洋た。この合併によって当社は、ただ精機が開設した真空部門をさらに発

単に企業規模が拡大しただけではな

展させ、1953 年（昭和 28 年）に同い。自社製品、つまり国産化率が 93

社から分離し設立されたもの。東洋パーセントを占めるようになった。

2002 年アルバック発行 50 年史『真精機との産学協同で、真空業界の発

当社は、両社の技術を結集させたこ

空に生きるⅢ』より抜粋し、東洋精展に力を注いでいた大阪大学の菊池とにより生まれる、新たなパワーを機との歴史を振り返ってみる。

正士教授もまた、同様の考えをもっ後ろ盾にして、“産業への貢献”といていた。

う大きな使命に立ち向かう体制を整菊池教授は、当社の技術顧問の嵯1956 年（昭和 31 年）11 月、ア峨根遼吉と熊谷寛夫と、東京帝国大

ルバックは兵庫県尼崎市の株式会社

学で同じ学問を志す同門の間柄に

東洋精機 真空研究所（資本金 500 万あった。当社と株式会社東洋精機 真円）と合併した。この合併は、歩き空研究所の合併は、このようなこと

はじめたばかりの当社（＝アルバッを背景にして 1956 年（昭和 31 年）

ク）および日本の真空業界にあって、4 月に合併交渉がまとまり、同年 11

その後の発展に大きな意義のあるも月に正式にスタートした。

のとなった。

えたのである。

●合併後もアルバックにとって大切な企業文化を受け継ぐ
1963 年に当時米軍により一部接収されていたアルバックの横浜（井土ヶ当社が後発の企業にもかかわらず、谷）本社工場が全面接収解除となり、当社にとって、真空技術は将来有

社名は日本真空技術株式会社（アル尼崎工場は横浜本社工場に集結され望な事業であり、ますます高度化す

バック設立時の社名）となり、資本た。

る産業界に、必要不可欠な先端技術

金は両社の資本金を合わせた 2,300

その後、1988 年には鹿児島工業団として受け入れられるものと確信し万円、従業員についても東洋精機 真

地に九州真空技術が設立され、尼崎ていた。しかし、現実はごく限られ空研究所の 46 人全員が当社に移籍し工場で培われたポンプ製造を同社にた小さな市場のなかで、価格競争をた。したがって、従業員数は 56 人か

移管し、現在のアルバック九州に受繰り返している状況であった。つまら 102 人という大世帯となった。

け継がれている。尼崎工場の下請け

り、 お 互 い の 技 術 を 競 い 合 う の で

尼崎の本社工場は、当社の尼崎工会社だった工場は現在のアルバック

はなく、お互いの企業体力をただ疲

場（工場長：小林省己）となり、業

テクノの大阪 CS センターとなって弊するだけのまったく不毛の競争で務についても、同社が開発してきた

おり、現在も東洋精機のすぐ近くにあった。「将来有望とはいえ、これで

凍 結 真 空 乾 燥 装 置、 真 空 化 学 装 置、ある。

は真空業界の発展は望めない。いつ

真空用バルブ、真空ポンプなどの製このように東洋精機とアルバック

までたっても日本の産業に貢献でき造をそのまま引き継いだ。田邉友太

は違う道を進んできたが、両社は現

ない……」という危惧を当社の経営

郎社長は、当社の取締役として参加

在も技術に自信をもち創業時の信念

陣は抱いていた。

し、 菊 池 正 士 教 授 は、 西 堀 栄 三 郎、を貫いている。100 年企業を目指す

関西で株式会社東洋精機 真空研究

嵯峨根遼吉、熊谷寛夫とともに、当アルバックにとって、これからもこ所を経営していた田邉友太郎東洋精社の技術顧問として引き続き指導をの DNA を大切に持ち続けていくこと

機 株 式 会 社（1908 年 創 業 ） 社 長 もすることになった。

であろう。

そのような考えをもっていた一人で1956 年度（ 昭和 31 年度）の決算あった。株式会社東洋精機 真空研究

では 1 億 6,500 万円の売上を計上し｜ 21

アルバックの恩人たち❸
はやし

ち か ら

株式会社アルバック 第三代社長 林 主税

日本の産業に多大なる貢献を果たした真空の父●根っからの研究者と大学発の企業
人生の多くを研究に没頭していた
林主税も、「じつは中学の頃は物理だ
けが飛びぬけて悪かった」と語っている。それは決して出来が悪いなどということではなく、むしろ逆で、「なぜ重力があるのか」「なぜ光があるのか」と物理の領域から哲学に入り込んでし
まっていたからだったそうだ。高等学校ではやたらに哲学書を読んだという。
戦後、林は東京大学の嵯峨根研究室
で原子核物理の勉強をしていたが、学者になろうと思っていた訳ではなかった。林の価値判断の基準は、大学や企

低速電子回析装置（LEED）と林主税業の区別ではなく、「面白いかどうか」

当社第三代社長「林主税」はアルバックのルーツともいえる人物で、「真空技術で世の中を豊かにしよう」という思いと技術者の DNAは今もなお受け継がれている。技術と産業に対する林の偉業は数多
く、学者としても世界的に著名であり、世界の科学者との交流も深かった。
林主税のおいたち
東京生まれ。父親の都合で小、中、高等学校は台湾で過ごす。1942 年東京帝国大学理学
部物理学科に入学し、1944 年海軍士官として愛知県の豊川海軍工廠に赴く。戦後、大手光学メーカーに就職したが、「夕食後、同じ寮の社員が愚痴や雑談ばかりで、こんな連中と一生付き合っていくのでは生き残った意味がない。死んだ仲間に申し訳ない」と 3 日で辞めた。そして、1945 年東京大学理学部
物理学科研究員となった。研究生活を送っていたとき、東芝マツダ研究所の井街仁（のちにアルバック第二代社長）から「日本に真空技術を根付かせ、産業に貢献できる真空の会
社を一緒につくろう」と協力要請があり、日本真空技術株式会社の設立に参加。のちの株式会社アルバックでは第三代社長（社長在任は 1971 ～ 1986 年）、会長・顧問を歴任した。
また、1981 年には、新技術開発事業団（科学技術振興機構＝ JST の前身）が始めた「林超微粒子プロジェクト」の総括責任者を務めた。他のプロジェクトに大学教授が起用されている中、民間企業の社長が抜擢されるのは異例であった。

22

ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)

なのだった。
そんな中、林は 29 歳の時に日本真空技術株式会社（現・アルバック）の設立に声を掛けられる。はじめは 10
人でのスタートで、研究者を中心とした「大学発ベンチャー企業」の先駆け●無限に広がる真空の可能性「真空技術の発展には３段階がありであった。アメリカでは学者が企業を経営するケースが多いが、日本では極めて珍しかった。

ます。最初の段階は〈真空をつくる時

最初の 15 年間は実質的に赤字の連代〉、次の段階は〈真空のアプリケー

続だった。研究に突出した企業は経済ション（利用）の時代〉、そして３番

的困難に突き当たりがちだが、それで目は〈人類がカプセルに乗って宇宙にも生き延びてこられたのは、従業員の飛び出していって、無限に広がる真空努力もさることながら、松下幸之助氏の場で実験する時代〉というわけです」（パナソニック創業者）をはじめとす

こ れ は 林 主 税 が 1960 年 頃、 あ る

る発起人支援者のおかげであった。資

雑誌に依頼されて、「真空技術の発展」

金が尽きると増資をさせてもらい、そについて執筆したものである。

の増資のお金で少しだけ配当を払うこ

アルバックが設立された 1952 年頃の真空技術は、「真空をつくる」こととを繰り返しながら、何とかしのいでいた。

から「真空を利用する」までの、その中間の黎明期であった。このような真空技術に対する壮大なビジョンをもった林主税とはどのような人物であったのだろうか。

●真空技術で世の中を豊かにするという使命感
バックグラウンドに物理学がある林は、本能的に重要なことを追求しての時には従業員に向かって「海外に分だけなら」と快諾。思わぬハプニ

いくことは非常に得意だったが、さ行ったら必ず友達をつくってきなさ

ングで子供たちは大喜びだったといらにそれを突き詰めて「やらなけれい」と頻繁に口にしていた。

う。

ば」と思ってしまう性分であった。

そんな林は宇宙飛行士の毛利衛氏だが、研究のような成果があがるまともつながりがあった。同じ日本真でに 20 年、25 年かかるサイクルで空学会の仲間でもあったことから交世の中の経済は回っていくはずもな

流があり、1993 年発行の本広報誌「巻い。新しいものを作ってマーケット

頭対談」でも二人は対談をしている。

研究開発には一切の妥協をせず、を開いていかなければ、大きな企業

宇宙飛行士になる前は北海道大学の間違ったものは認めない、という原にもなれず、お金もたいして入って高真空研究室で働いていた毛利氏と、則を貫き通してきた林であるが、一こない。だがどうしても研究の方を大学の研究室で真空について学んだ方で研究を志す研究者への支援は惜

頑張ってしまう、というのが当時の林は意気投合したのだろう。

しまなかった。自身が学んだ東京大●林真空イノベーション基金と受け継がれる思い

学生産技術研究所へ個人で寄付金を提供し、「林真空イノベーション基金」

儲け話よりも研究開発を優先しよで、 公 益 財 団 法 人 日 本 宇 宙 少 年 団として運営されている。主な事業は、うとする林に、時には支援者である

茅ヶ崎分団の初代分団長を務めた。

①真空に関する展示会の開催、②真

松下幸之助氏や弘世現氏（日本生命

宇宙飛行士の野口聡一氏が茅ヶ崎市

空に関する国際会議、③東南アジア

社長）がアドバイスをしたこともあっ出身であることから、「宇宙のまち ちからの留学生支援であるが、③では、た。のちに林は自伝でこう記していがさき」を世に広めるべく、同分団大学でサイエンスを教えるだけでなる。

は現在でも茅ヶ崎市と共に宇宙を身く企業でエンジニアリングも教えて←←を支えてきたものでもあった。

←

さらにその後林は、アルバックの本社・工場がある神奈川県茅ヶ崎市

日本真空技術であり、その存在意義

1980 年代、当社株主総会の席上、アルバックの設立発起人でもあり、社外取締役でもあった松下幸之助氏（写真左、パナソニック創業者）に長年の支援に対して感謝を述べる林社長（写真右）

写真前列中央が毛利氏、左端が林主税←←行われている。

近に感じられるような様々な活動が←「だんだん会社での地位が上がっていきましたが、僕は使命感で仕事を欲しい、と林が東京大学に託したことから、現在ではアルバックがそのやってきました。真空技術をもってその茅ヶ崎分団の設立間もない頃、意志を受け継ぎ、海外からのインター

日本の経済や産業の復興に役立ちた林の顔の広さと人望の深さが伺える

ンシップ生の受け入れ、次世代科学

い。それが日本人のために必要だか

こんなエピソードがある。

技術を担う若手人材の育成など真空らやるという使命感です。
」（白日社『日本真空の恩人たち』P.217）

林主税分団長を筆頭に子供たちを 連 れ て 筑 波 の NASDA（ 現 在 の技術継承につながる活動を行っている。

JAXA）へ見学に行ったことがあった。

林の「世の中の役に立ちたい」と多忙のため毛利氏とはお会いできな

いう使命感で仕事をする思いと、研いと事前に言われていたが、毛利氏究で新しいことに挑戦していく創造

林は、義理堅く真面目で、多方面が歩いているところを子供が発見し、の DNA は、まさにアルバックのルーとの交流があり、従業員にもよく目

林は事務局へ「少しの時間でも良いツであり、創業から 70 年近く経ったを向けている人であった。グローバから子供たちに会ってくれませんか」

今も受け継がれている。

ルな目線も持ち合わせており、社長と交渉した。すぐに毛利氏から「10●林主税と宇宙と真空｜ 23

グループ会社設立物語●第 1 回●サービス事業

アルバックテクノ株式会社

本社 〒 253-8555 神奈川県茅ヶ崎市萩園 2609-5
ホームページ：https://www.ulvac-techno.co.jp/【主な事業】メンテナンスサービス事業／機器・装置販売事業／中古の真空機器・装置の売買事業／内部治具の洗浄事業／真空材料・部品・消耗品販売事業など【子会社】アルバックヒューマンリレーションズ㈱（神奈川県茅ヶ崎市）
本社全景

お客様第一主義をモットーに幅広いソリューションサービス事業を展開
アルバックは真空機器装置の研究開発を主要な事業にしていますが、国千歳分室

内・海外を問わず、真空機器装置のメンテナンスサービスや保守保全業
務、材料・部品類の供給業務・洗浄業務、装置の改良改善業務などのサービス、いわゆるカスタマーサポートについても重点事業として位置づけています。アルバックのサービス業務を引き継いで大きく発展させたのがアルバックテクノ株式会社です。

岩手CSセンター

アルバックのサービス事業部がルーツのアルバックテクノ株式会社

宮城CSセンター

山形CSセンター

新潟CSセンター
石川CSセンター

茨城CSセンター

ア ル バ ッ ク テ ク ノ 株 式 会 社 は、

長野CSセンター

1979 年 1 月 1 日、アルバックサー
ビス株式会社という社名で、アルバッ

姫路CSセンター

愛媛分室

た。つまり、メーカー（アルバック）
はお客様にとって有益な装置への開発・製造に重点を置き、サービス会
社（アルバックテクノ）はお客様の生産活動のサポート役として、真のサービスを提供するためのもので「お客様第一主義」を貫くことです。
独立に際し判断基準としたのが、下記のようにメーカーとサービス会
社の大きな違いを克服するためでした。
24

ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)

リセール本部 技術営業部（新大阪）
洗浄本部 技術営業部
（新大阪）

本社
茅ヶ崎CSセンター
ケミカル本部 茅ヶ崎ケミカルセンター
リセール本部
調達本部 調達センター
調達本部 調達管理室
グローバルカスタマーサポート本部
GCIP本部
アルバックヒューマンリレーションズ㈱宮崎分室

鹿児島ＣＳセンター
ケミカル本部 鹿児島ケミカルセンター
ケミカル本部 鹿児島ケミカルセンター 出水工場
洗浄本部 技術営業部（鹿児島）
調達本部 九州調達課でした。独立させた大きな理由は、細かなサービスを提供するためでし

三重CSセンター

大分分室

を独立させたのは日本では初のこと

産活動に利用される真空装置のきめ

徳島分室

熊本ＣＳセンター

真空装置メーカーがサービス部門

り近いところに拠点を置き、日々生

GCIP本部
裾野研修センター

静岡分室

福岡CSセンター

周年を迎えました。

サービス事業はユーザーにできる限洗浄本部 技術営業部（千葉）
茂原CSセンター

四日市CSセンター

サービス事業を目的として株式会社
離独立しました。2019 年に創立 40

滋賀CSセンター
愛知CSセンター

広島CSセンター

ク製真空機器装置のメンテナンス
アルバックのサービス事業部から分

埼玉CSセンター

大阪CSセンター
鳥取分室【地理的条件】【評価】

メーカー： 生産に便利であれば僻地でメーカー： 客先によって商品が評価さも良い。
サービス： 客先の便宜を第一とし、客先に近づくこと。

れる。
サービス： 客先によって個人（サービスマン）が評価される。

【組織】【勤務時間】

メーカー： 多数の部署が一致協力を必メーカー： 休日は機械化、量産化技術要とする。
サービス： 個人の単独作業に大きく依存される。

力で自主的に決めて良い。
サービス： 24 時間を原則とし、客先の生産を阻害しないよう装【能力】

置の休止時間が作業に当て

メーカー： 技術に対する開発的積極性

られる。

が必要。
サービス： 経験的技能と親切性が重要。

以上のように、アルバックテクノはこの原則をいまも守り続けています。

アルバックテクノ NOW ● 現状と展望

高度次世代情報化社会に対応する
新たなカスタマーサービスの構築を目指す

アルバックテクノ株式会社
代表取締役社長

小林久也

当社は 2019 年 1 月に会社設立 40

当社においても大きなテーマとして取「リセールコネクト」という豊富な周年を迎えました。その 40 年間ものり上げており、従来型カスタマーサー

中古品情報のリアルタイム情報サー

長い間、当社は、「お客様第一主義」

ビスの見直しも含め、お客様にとっビスの提供を行っています。

を ス ロ ー ガ ン に 掲 げ、 半 導 体 電 子、てより魅力ある、かつ、有益なサービ

３．その他、「見積支援システム」「ス

FPD、医療・食品、一般産業などの多スの構築を親会社アルバックと一緒にマートグラス」「遠隔診断」など、

くの産業分野における真空機器・装置

なって、下記のような次世代サービス

いずれもグローバル対応サービスのの総合的なカスタマーサービスをご提の構築を目指しています。

準備も行っています。

供して参りました。

１．グローバルコールセンターを開設

以上のように、当社の長年培った保この大きな節目にあたり IoT、AI、し、世界のユーザーに向けて、現在

守ビジネスを更に発展させ、お客様へ

5G といった高度情報化社会の到来によ

開発中の FAQ システム（４カ国対高付加価値のサービス提供を目指しまり、暮らしや産業がグローバル規模で応）などで問題解決に当たります。

す。

大きく変わろうとしています。これは

２．これはすでに実現していますが、お客様至近体制とお客様第一主義

いきました。半導体製造工場近くにの向上と一貫したサービスメニュー

サービス拠点を設け、定期的な保守の充実」に対応していったので保全業務をこなしていったのです。

す。つまり、幅広いソリューション

1970 年代、当時のサービスの多く

ちなみに、この拠点拡大は 1980

サービスを次々に展開していきましは、「機器・装置が壊れたから直す」

年代半ば頃から本格的にはじまり、た。その結果、アルバックテクノは、という修理が主な業務でしたが、一九州、中国、四国、近畿、中部、北以下のような事業内容でカスタマー

方で「修理するだけ」という枠を越陸、上信越、関東、東北などの日本サポートを行っています。

えた、ユーザー側の生産計画をサポー

全国の半導体製造工場に展開していトする事前サービス（保守保全）へ

き、10 年間で 16 拠点が開所しましソリューション事業のあらましと、サービスに対する認識が変化した。

●真空装置に使用する計測機器のていった時代でもありました。
そのような状況の中でアルバック
は、1971 年に装置製造部署にサービ

幅広い
ソリューション事業展開

ス課を設け、1974 年からは専門部署

1990 年代半ば以降になるとサービとしてサービス事業部へと伸展してス業務の内容が変わっていきました。

いきました。装置製造部門の一部署

ただ単に真空装置の保守保全業務にだったサービス業務が事業部にまで加え、サービスの質の向上と一貫し拡大していったのは、上記のようにたサービスメニューの充実が求めらカスタマーサポートの意義が認識されるようになったのです。

れていったからでした。
そうして 1979 年に設立されたのがアルバックテクノなのです。

1994 年、 ア ル バ ッ ク テ ク ノ は同じアルバックグループ会社を吸収 し、 真 空 材 料（ マ テ リ ア ル ） の1980 年代は日本の半導体電子産業

販売事業をはじめるようになりまが世界トップをゆく規模にまで花開し た。 そ れ ま で の メ ン テ ナ ン ス 業いた時代でした。半導体製造は 24 時

務と消耗部品の販売だった事業メ

間稼働が当たり前の事業です。です

ニューにマテリアル販売が加わっ

から真空装置の故障は生産活動に致た こ と に よ り、 社 名 も ア ル バ ッ ク

命的な支障をきたします。

サービスから現在のアルバックテク

創立したばかりのアルバックテク
ノはそうした状況に迅速に対応して

ノに変更しました。
これを契機として、「サービスの質校正および修理事業●真空ポンプの円滑なトラブル解決事業●半導体製造装置や FPD 製造装置の改良・改善の提案活動事業●一般産業向け真空装置の改造・改善事業●真空機器装置の部品、真空材料の販売事業●中古品売買事業●真空装置部品の再生・洗浄事業●アルマイトを中心とした表面処
理事業●常駐型サービス技術者の人材派
遣事業●海外グループ会社へのメンテナ
ンスサービスサポート事業｜ 25

グループ会社設立物語●第 2 回●

マスクブランクス事業
本社・工場 〒 368-0056

アルバック成膜株式会社
埼玉県秩父市寺尾 2804

ホームページ：http://www.ulcoat.co.jp/【主な事業】半導体用ハードマスクブランクス／ FPD 用ラージマスクブ

アルバック成膜株式会社
株式会社ファインサーフェス技術

ランクス／ガラス MEMS など【子会社】株式会社ファインサーフェス技術（埼玉県秩父市）／台湾成膜
光電股份有限公司（台湾）／愛発科成膜技術（合肥）有限公司（中国）

世界初のハードマスクブランクス、
世界中の半導体・電子産業に貢献

台湾成膜光電股份有限公司

マスクブランクスは半導体集積回路（IC）をつくるうえで不可欠な材料です。マスクブランクスがなければ、コンピューターやスマートフォンなどの情報機器、自動車・家電・医療機器などの高機能化は成り立ちません。そのマスクブランクスは世界で初めてアルバックが真空薄膜技術を用いて開発し、製品化したものです。そのマスクブランクス事業を引き継いで世界中のユーザーに供給しているのがアルバック成膜株式会社です。

自社真空装置による材料開発がマスクブランクスのルーツ
1960 年代後半のことです。アルバックでは自社開発した真空装置を使った

愛発科成膜技術（合肥）有限公司（完成イメージ）

直射日光を遮断するサングラスに応用

さっそく、当社の技術者は IC 回路

されていましたが、その特性をサング

用マスクの状況を調べ上げ、その結果、ラス以外の何に利用して良いのか、製

写真乾板式のエマルジョン方式が使わ品化までには至らないまま、展示室のれていることがわかったのです。

片隅に置き去りにされてしまいました。

材料開発が行われていました。それをある日のことです。大手電気メー

奨励・指示したのが林主税（当時副社

カーの責任者がそのサングラスをみ長）でした。

て「クロム膜は紫外線を遮断するから、世界初のマスクブランクス開発、世界市場に展開

そしてできあがったのが、クロム

IC 回路用のマスクに利用できるかも」

半導体集積回路（IC）の進歩は、
フォサーメット（クロム酸化物の複合金属と、この一言が担当者の好奇心と探究

トリソグラフィ技術による回路パター

材料の一種）のハイブリッド薄膜で、心を揺り動かすことになったのです。

ンの微細化を抜きにして語ることはで■アルバック成膜グループは自社製品を通して世界中の「最 先 端 分 野 」に貢献しています。
●半導体用マスクブランクス●フラットパネルディスプレイ用
ラージマスクブランクス

日本・秩父市
中国・合肥市
台湾・台南市●ガラス MEMS

26

ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)アルバック成膜 NOW ● 現状と展望

高品質、かつグローバル規模の安定供給体制でお応えします

アルバック成膜株式会社
代表取締役社長

木田佳紀

当社は、今年で 40 周年を迎えます

近年、IoT、AI、５G などといった働予定の愛発科成膜技術（合肥）有限が、アルバックグループのアルバック

次世代高度情報化社会の実現によっ公司とともに、高品質、かつグローバ

テクノ株式会社と同じ設立年月日でて、半導体および FPD 向けマスクブ

ル規模の安定供給体制でお応えしていす。両社とも、親会社アルバックの事

ランクスの役割はますます重要度を増ます。

業部から分離独立しました。当社の場してきています。

マスクブランクス製造は、半導体 IC

合は、設立当初から半導体 IC のマス

当社の特長は、マスクブランクス製の高集積化、
FPD の高解像度化により、クブランクスの製造を目的に事業を続造の重要な工程である「研磨」「洗浄」

常にニーズを先取りした製品開発が求けて参りました。2000 年以降は FPD「成膜」「レジスト塗布」までの一貫しめられますが、当社は真空装置メー用マスクブランクスの製造も加わり、た作業を、2002 年に台湾に設立したカーの親会社アルバックとの連携を強現在、その分野では 50％ものシェア

台湾成膜光電股份有限公司と、2018

化し、総合的なマスクブランクスメーを獲得しています。

年 5 月に中国に設立し、2020 年春稼

カーを目指しています。

きません。そのフォトリソグラフィ技

ら位置合わせができる。今回当社が開アルバックの当時の社内報『真空タ術の中心的役割を果たしているのが発したクロム膜を使うことで、その欠イムズ』では次のように報じられていフォトマスク技術です。さらにフォト

点を十分に補う画期的なものになる」。

ます。

マスクの元となるものがマスクブラン

こうして 1970 年に完成したのがク「世界でただ一つである当社の酸化クスです。マスクブランクスは、“ブ

ロム膜によるハードマスクブランクス

クロームマスクを製造販売している SI

ランクス”というとおり、パターン回でした。これは当初 ST マスクと命名

事業部の製品は、発売以来 1 年半を路をつくる前の原板のことです。そのされ、世界初の快挙でもあったのでし経過し、その実力は国内ばかりでなくマスクブランクスは、現在、半導体 IC

た。ST と は「See Through」 を 意 味

広く世界的な評価を得るまでに成長しだけでなく FPD（フラットパネルディするもので、文字通り、クロム膜が紫た。特に電子工業の本場米国からも本

スプレイ）にも利用されています。

外線は通さず、可視光は通すという特格的な引き合いがきはじめており、今長をあらわしたものです。

後の成約に大きな期待がかけられていマスクブランクスを材料から大別す

る」

るとハードマスクとエマルジョンマス
クの 2 つの方式がありますが、当時はまだハードは実用化されず、エマルジョンが主流でした。エマルジョンはガラスなどの基板上に写真乾板で使わアルバック SI 事業部から分離独立したアルバック成膜

アルバックのマスクブランクス事業
は、当時の半導体を中心とする電子産業の急速な市場拡大に牽引されるようにして、順調すぎるほどの発展を遂げていきました。

れるハロゲン化銀の乳液（エマルジョ

1971 年、アルバックは ST マスクン）を塗布したものでした。その欠点を本格的に製造販売する目的で SI 部

1978 年 4 月 上 旬、SI 事 業 部 の 独

は、塗布面が透明でないため、何層にを 新 設 し ま し た。 そ の 翌 年 の 1972

立が承認され、現在の本社所在地（秩も重ねていくための位置合わせには不

年には SI 事業部へと昇格していきま

父市寺尾 2804）への進出が本決まり

向きで、ますます高集積が進もうとしし た。 ち な み に SI 事 業 部 の SI と はと な り、 同 年 10 月 に は「 ア ル バ ッていた当時としては、より精度の高い「Surface Instruments」を意味するもク 成 膜 株 式 会 社（ULVAC COATING作業ができるマスクブランクスが要求ので「真空装置を駆使していろいろな

CORPORATION）」 と 社 名 が 決 定 し、されていました。

薄膜材料をつくりだし、それを事業に

翌 1979 年 1 月 1 日、SI 事業部は分離していこう」というものでした。

独立しました。

そこでアルバックが下した結論は、「IC 製造工程で使う光源は紫外線であST マスク（ハードマスクブランク

その後アルバック成膜は、台湾にもるため、肉眼で見える光（可視光）はス）は日本国内の半導体メーカーはも現地法人を設立し、現在、中国にも現

いくら通しても支障はない。つまり、ちろんのこと、半導体産業の本場とも

地法人を設立しマスクブランクスの製

可視光は通すが、紫外線だけは通さないえる米国メーカーからも活発な引き造を計画しています。

い膜ができれば、人の目で確認しなが合いを得るまでになったのです。
｜ 27

ULVAC ニューススマート社会を実現するテクノロジーに大きく貢献。次世代 MEMS センサー・アク
チュエーター向け PZT 圧電薄膜スパッタ
リング技術を発表、量産装置の販売開始——㈱アルバック

大阪大学吹田キャンパス内

センテラス棟

協働研究所では、大阪大学の産学連携の枠組みを通じて、相互の研究者の人財交流を図り、研究開発ネットワークを構築するとともに、医工学分野における学術の発展、技術課
題の解決、および創造力豊かな大学の人財育成への貢献をめざす。また、アルバックにおいては、協働研究所を基礎研究拠点として位置付け、アルバックのオリジナル技術をベー

スパッタリング装置「SME-200」

スにした次世代の FPD 応用や人工光合成につながる半導体量子ドット創製と、その量産㈱アルバックは、2019 年 7 月、アルバックが次世代 MEMS 技術として開発を進めてクチュエーターとしての活用の可能性も広が技術の検討、さらに超高速冷凍乾燥技術の医

きた独自技術「低温スパッタリングプロセ

ることが期待される。

学応用（細胞保存）という新たな価値創出をスによる PZT 圧電薄膜量産技術」を発表し、●お問い合わせ先めざす。

量産向け装置の販売を開始した。

㈱アルバック グローバル市場・技術戦略室【研究テーマ】「PZT 圧電薄膜量産技術」は、スマート社㈱アルバック 電子機器事業部（1）希土類窒化物を用いた極低温蓄冷材の創製会を支える VR ／ AR ／ MR、LIDAR などに

TEL：0467-89-2139（2）異方性、材質制御した合金粉体の創製搭載されるマイクロミラーデバイス（光学デURL：https://www.ulvac.co.jp/（3）超高速冷凍乾燥技術による細胞保存の確立、バイス）の実現に欠かせない技術で、独自技など術をより進化させることでデバイスの実用化【研究体制】に求められる信頼性を大幅に向上、装置運用の最適化によりランニングコストの改善などを満たす世界最高水準の量産技術を実現し、大阪大学内に「アルバック未来技術協働研究所」
開設

所 長：山本 孝夫（大阪大学 大学院工学研究科 教授）
副所長：村上 裕彦（アルバック 未来技術研——㈱アルバック装置販売を開始した。

究所長、シニアフェロー）
上記含め、教員及び研究員 11 名（非常勤含む）

MEMS デバイスの半導体（CMOS）融合㈱アルバックと国立大学法人大阪大学大学と小型化・低消費電力化・高性能化・生産コ

院工学研究科は、2018 年 11 月 1 日に大阪

スト低減等を同時に実現することが可能とな

大学吹田キャンパス内のセンテラス棟に、「ア㈱アルバック 総務・人事部

り、スマートグラスなどによる空間情報セン

ルバック未来技術協働研究所（以下、協働研

TEL：0467-89-2033

シングや、立体画像表示などのセンサーやア究所）」を開設した。

URL：https://www.ulvac.co.jp/

茅ヶ崎への感謝をこめて「ULVAC Global Festival 2018」——㈱アルバック2018 年 11 月 10 日（土）、㈱アルバッ

当日は天候にも恵まれ、暖かい秋晴れのク本社・工場において、昨年に引き続き恒中、約 5,000 名の方々の来場をいただき、

例になりつつある「ULVAC Global Festival

また参加いただいた皆様や協賛団体の温か2018（以下、ULFes）」が開催された。

いご支援・ご協力のもと無事閉会した。

今回の ULFes は、1968 年に茅ヶ崎工場が完成して 50 年の節目であることから「茅●お問い合わせ先㈱アルバック 総務・人事部ヶ崎への感謝」をテーマに、新入社員を中

TEL：0467-89-2033

心とした実行委員が企画・運営を担い、持URL：https://www.ulvac.co.jp/
屋上からの集合写真

ち前の若い力と発想で昨年とは一味違う活気溢れる ULFes となった。アルバックグル
ープ会社が趣向を凝らしたグルメグランプ
リをはじめ、地元中学生・高校生によるパフォーマンスやステージイベント、工場見学、真空実験や大抽選会など、子供も大人も楽しめるイベントを企画し、どれも大盛況であった。

28●お問い合わせ先ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)

大抽選会で応募用
紙を引くゆるキャ
ラたち（左）、真空砲の実演（右）

面はパンダの精子や卵子、幹細胞等の保存に

中国・成都のジャイアントパンダ繁殖研究基地に
液体窒素ジェネレーター寄贈

この液体窒素ジェネレーターを使用させていただくが、パンダ以外の希少動物の保護・繁殖にも利用していきたい」と感謝の言葉を述——アルバック・クライオ㈱べた。
アルバック・クライオ㈱は、従来のクライオポンプに加え、2009 年から 4K 冷凍機の販売を開始し、2014 年には岩谷瓦斯㈱低温機器事業部の製品を譲り受け、本格的に低温機器事業に取り組んでいる。その中の液体窒
素ジェネレーターは、汎用性の高い製品であるため、幅広い分野の利用が期待されており、液体窒素
ジェネレーターアルバック・クライオ萩之内社長（左）とパンダ繁殖研究基地 王革生副所長

今回のような希少動物保護という大きな社会貢献としても大変意義のある取り組みとなっつくることができる液体窒素ジェネレーターた。

を寄贈し、その式典が執り行われた。

●お問い合わせ先

アルバック・クライオ㈱は、2018 年 11 月、

当日は、アルバック・クライオ㈱の萩之内

アルバック・クライオ㈱中国・成都にあるジャイアントパンダの繁殖

剛社長が直接目録を手渡した。それに対し、

TEL：0467-85-0303

研究基地に周辺の空気から手軽に液体窒素をパンダ繁殖研究基地の王革生副所長は、「当

URL：https://www.ulvac-cryo.com/

経済産業省「健康経営優良法人 2019（ホワイト 500）」に 2 年連続認定——㈱アルバック及びグループ会社

左から 神尾保健師（アルバック健康保険組合）、
大平保健師（アルバック）㈱アルバックは、2018 年度に続き 2019

定会、構内駅伝大会や職場対抗ウォーキン

ト 500 認定記念イベント 第 1 回 UL-fit's

グ企画なども実施している。その結果、歩

RUN! 駅伝大会」を本社・工場の構内で開行習慣を有する社員が年々増加し、自社の催した。

健康年齢 ® と実年齢の差はマイナス 2.86 歳

大会当日は真冬ということもあって、かになった。また健康度調査でイキイキ働く

ねて心配していた積雪もなく、参加したア

社員が年々増加し、運動習慣を有すること

ルバックグループ社員 14 チーム全 97 名がで、仕事の活力、強み・チャレンジの要素

汗を流して、全力でタスキをつなぎ、部署が高いことが分かった。

や会社の垣根を越えたコミュニケーション●お問い合わせ先が生まれた。終了後のアンケートでは、「職㈱アルバック 総務・人事部

場の団結力向上に役立つ」と 97.1％の回答

TEL：0467-89-2033

があり、駅伝大会を通じて〈走ってスッキ

URL：https://www.ulvac.co.jp/リ！〉以上の体験ができたのではないかと評価している。

年度も経済産業省と日本健康会議が共同で実施する「健康経営優良法人 2019（ホワイト 500）」大規模法人部門に認定された。また、アルバックグループのアルバック販売㈱も今年度、中小規模法人部門に認定された。

本社・工場構内で
UL-fit's RUN! 駅伝大会 開催！
——㈱アルバック㈱アルバックは、2019 年 2 月 9 日、ア

予想以上の効果があったため、第 2 回の開催も予定し、今後更なる参加者が期待される。
●お問い合わせ先㈱アルバック 総務・人事部

健康経営優良法人認定制度とは、地域のルバックの考える健康像「夢があって、仕TEL：0467-89-2033

健康課題に即した取り組みや日本健康会議

事が楽しく、職場に行くのが楽しくなる状

URL：https://www.ulvac.co.jp/

が進める健康増進の取り組みをもとに、特態」の環境づくりの一環として、「ホワイに優良な健康経営を実践している大企業や中小企業等の法人を顕彰する制度である。
アルバックグループは、「社員一人ひとりが心身ともに健康で活気にあふれ、自らの能力を最大限に発揮してこそ、アルバックの価値創造ができる」と考え、ものづくり

寒いなか熱い戦いを支える健康づくりに取り組んでいる。
その一環として「夢があって、仕事が楽
しく、職場に行くのが楽しくなる」状態を目指し、経営層と管理職が中心となって進める組織活性化プログラムや、体力年齢測グループ会社、協力会社から 97 名が参加

職場の団結力向上に！

｜ 29

ULVAC ニュース
英国 Oxford Instruments 社とアルバックによる国内パワーデバイス
及び RF デバイス市場への
Atomic Scale Processing Solution 提供——㈱アルバック

今回のアルバックとのコラボレーションに際し、Oxford 社の Mike Gansser-Potts 管理部
長は「アルバックとのコラボレーションにとても期待しており、実績のある Atomic Scale
Processing Solution を日本のパワーデバイス
及び RF デバイス市場に提供して参ります」

Oxford Instruments が Atomfab® を
発表：GaN パワーデバイスのパッシベー
ションに対応する ALD 量産ソリューションの国内販売——㈱アルバックとコメントしている。
㈱ ア ル バ ッ ク は、2019 年 1 月、Oxford

また、アルバックの島田鉄也執行役員電子㈱ ア ル バ ッ ク は、2019 年 7 月、Oxford

Instruments Plasma Technology 部門（Oxford

機器事業部長は「非常に大きな意味をもつコ

Instruments Plasma Technology（以下、OIPT）

Instruments Nanotechnology Tools Limited 本

ラボレーションです。アルバックの保有するの GaN（窒化ガリウム）パワーデバイス業界

社：英国オックスフォード）（以下、Oxford 社）

ラインアップを補完する Oxford 社の ALD/

向けプラズマアトミックレイヤーデポジショと、重要なコラボレーションとして日本におALE プロセス技術とノウハウにより、完成さン（ALD）HVM（high-volume manufacturing）

ける販売代理店契約を締結した。

れたソリューション提供が可能になります」

ソリューション Atomfab® の国内販売を開始とメッセージを寄せている。

した。

Oxford 社は、英国オックスフォード大学からのスピンアウト企業として 1959 年にオッ

●お問い合わせ先GaN デバイスは、省エネ家電、5G ネット

クスフォードの地で創業した。３年後には世㈱アルバック 電子機器事業部

ワーク、電気自動車、再生可能エネルギー変界初の超電導マグネットの製品化に成功し、TEL：0467-89-2139

換などの用途に適した次世代の効率的なパワ

近年は最先端技術を搭載した原子間力顕微鏡

URL：https://www.ulvac.co.jp/

ーエレクトロニクスデバイスを実現するもや超高感度デジタルカメラ技術でのソリュー

オックスフォード インストゥルメンツ㈱の。GaN デバイスは、効率と性能に優れてい

ションも拡充し、物性物理・材料から生命科

マーケティング・コミュニケーション

るが、製造歩留まりと量産性の二点に課題が学や地球科学まで、幅広い分野に事業を展開

TEL：03-6732-8961

あり、信頼性あるデバイスを低コストで提供している。

するには、これらの課題を解決する必要があった。
OIPT は、重要な課題の 1 つである高品質のゲートパッシベーションを安定して実現することであるが、Atomfab® は、高スループ
ットと低 CoO によりこれらの課題を解決した。
１．性能：優れたパッシベーションと誘電特性は、主要アプリケーションに必要な優れたデバイス性能を提供
２．プラズマ：リモートプラズマが再現可能
ALD 量産ソリューション
Atomfab®

不思議な実験に子どもたちからの歓声！
第 46 回ちがさき宇宙教室開催——㈱アルバック2019 年 3 月 2 日、第 46 回ちがさき宇を き っ か け に し て、宙教室が㈱アルバックの本社・工場にて開真空を通じてアルバ催された。

ッ ク に 興 味 を 持 ち、

前回は 2017 年に開催したもので、応募

将来のアルバック予者が多数により抽選になるほどの好評を博備軍として期待したしたため、今回は募集人数を増やしてよりい。

多くの子どもたちが楽しめるように配慮し【ちがさき宇宙教室とは】た。

制御により、下地の繊細な GaN 基板を保護

日本宇宙少年団茅ヶ崎分団の宇宙教室

当日は、アルバックの技術開発部と総務・は、茅ヶ崎市教育委員会が主催しており、人事部の社員が講師を務め、真空砲やエア2008 年から定期的に開催されている。主インチョコ・蒸着といった 7 種類に及ぶ真に JAXA の教授や東京大学のサイエンスサ

空実験を体験してもらった。

ークルなどが講師を歴任している。日本宇

ちがさき宇宙教室は、真空実験と工場見

宙少年団茅ヶ崎分団の初代分団長は、アル学をあわせて 2 時間にも及ぶ長丁場であっバック第 3 代社長の林主税で、宇宙開発事たが、見るもの聞くものの多くが初体験で、業団や宇宙飛行士と懇意だったことから設㈱アルバック 総務・人事部

参加者は終始目を輝かせ興味を示していた。

立に貢献している。林はアルバック引退後、

TEL：0467-89-2033

私財から林基金も提供している。

URL：https://www.ulvac.co.jp/

今回来場した子どもたちがこの宇宙教室

30

な GaN 界面を提供し、プラズマの正確なULVAC ｜ No.69 (September, 2019)●お問い合わせ先● ULVAC の紹介はこちらをご覧ください。

https://www.ulvac.co.jp/
３．速度：GaN パワーアプリケーション用に引を継続することができ、コンパクト設計に開発された長稼働時間の HVM に耐えうるより持ち運びも可能で、災害時のみならず壁

プラットフォーム上で高速成膜プロセスを吸引を備えていない施設や学校などでの使用

使用することにより、卓越したスループッも可能となる。このように壁吸引と同じ差しトを実現

込み口を有した吸引装置は国内で例がないもこのように、Atomfab® は、特許申請中ののである。

高速リモートプラズマソースなど、多数の技

アルバック機工㈱幅に削減する。

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URL：https://www.ulvac.co.jp/

愛発科成膜技術（合肥）有限公司
新工場起工式——アルバック成膜㈱災害時にも使用できる「ポータブル吸引装置」を
産学官連携で開発——アルバック機工㈱新工場起工式

アルバック機工㈱は、2019 年３月、宮崎大学医学部附属病院救命救急センター（以下、医学部附属病院）と連携して、災害時にも安心して使用できる「ポータブル吸引装置」を開発した。
宮 崎 県 で は、 地 域 の 産 学 官 が 連 携 し て2010 年に策定した「東九州メディカルバレ

完成イメージー構想」のもと、医学部附属病院の医療現場

アルバック成膜㈱（本社：埼玉県秩父市）は、からのニーズと、優れた技術を有する地場企2018 年 5 月、中国における FPD 中心基地

業とのマッチングにより、医療機器等の開発である合肥市（安徽省）に愛発科成膜技術（合に取り組んできたもので、今回の「ポータブ肥）有限公司（以下、ULH）を設立し、同年

ル吸引装置」はその一環事業から生まれたも9 月、新工場の起工式が執り行われた。

のである。

アルバック成膜㈱は、1979 年 1 月に半導通常、病院などの医療機関では、痰の吸引

体 IC 用マスクブランクスの開発製造を目的や手術時における血液等の吸引に壁吸引が設に㈱アルバックから分離独立した。2000 年備されており、吸引器（ボトル）のアダプタ

代からは独自のマスクブランクス技術によるーを差し込むことで吸引される。しかし、こFPD 用ラージマスクブランクスを手がけ、現のような設備を用いた吸引では、地震などの在その分野では、全世界 50％のシェアを有

災害による停電や破損で壁吸引が使えなくなしている。また、2002 年には台湾の台南市る恐れがあり、こういった際に吸引ボトルのに 100％子会社、台湾成膜光電股份有限公司

アダプターと接続できる吸引装置の要望が出を設立し、グローバル規模でマスクブランク

されていた。

スの安定供給に貢献している。

宮崎県の医工連携コーディネーターに相談

今回設立した ULH は、中国における FPDしたところ、医学部附属病院への紹介があり、用ラージマスクブランクスの現地供給を実現

2011 年 3 月 11 日の東日本大震災で、岩手するもので、中国フォトマスクメーカーを通

県釜石市の病院で壁吸引が破損し吸引できな

じて FPD メーカーに貢献することを目的とくなった事例が報告されており、共同開発がしている。なお、生産開始は 2020 年春を目スタートした。

指している。

今回開発した「ポータブル吸引装置」は、

https://www.ulvac.co.jp/wiki/

ULVAC グループ

●お問い合わせ先術革新により、ウエハーあたりのコストを大TEL：0467-89-2139● Vacuum Magazine●お問い合わせ先

壁吸引と同じ差し込み口を有し、バッテリー

アルバック成膜㈱を内蔵しているため、吸引器（ボトル）のア

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ダプターを接続することで最大 90 分間、吸URL：http://www.ulcoat.co.jp/

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