グループ会社設立物語●第 2 回●

マスクブランクス事業
本社・工場 〒 368-0056

アルバック成膜株式会社
埼玉県秩父市寺尾 2804

ホームページ：http://www.ulcoat.co.jp/【主な事業】半導体用ハードマスクブランクス／ FPD 用ラージマスクブ

アルバック成膜株式会社
株式会社ファインサーフェス技術

ランクス／ガラス MEMS など【子会社】株式会社ファインサーフェス技術（埼玉県秩父市）／台湾成膜
光電股份有限公司（台湾）／愛発科成膜技術（合肥）有限公司（中国）

世界初のハードマスクブランクス、世界中の半導体・電子産業に貢献

台湾成膜光電股份有限公司

マスクブランクスは半導体集積回路（IC）をつくるうえで不可欠な材料です。マスクブランクスがなければ、コンピューターやスマートフォンなどの情報機器、自動車・家電・医療機器などの高機能化は成り立ちません。そのマスクブランクスは世界で初めてアルバックが真空薄膜技術を用いて開発し、製品化したものです。そのマスクブランクス事業を引き継いで世界中のユーザーに供給しているのがアルバック成膜株式会社です。

自社真空装置による材料開発がマスクブランクスのルーツ
1960 年代後半のことです。アルバックでは自社開発した真空装置を使った

愛発科成膜技術（合肥）有限公司（完成イメージ）

直射日光を遮断するサングラスに応用

さっそく、当社の技術者は IC 回路されていましたが、その特性をサング用マスクの状況を調べ上げ、その結果、ラス以外の何に利用して良いのか、製写真乾板式のエマルジョン方式が使わ品化までには至らないまま、展示室のれていることがわかったのです。

片隅に置き去りにされてしまいました。

材料開発が行われていました。それをある日のことです。大手電気メー奨励・指示したのが林主税（当時副社カーの責任者がそのサングラスをみ長）でした。て「クロム膜は紫外線を遮断するから、世界初のマスクブランクス開発、世界市場に展開

そしてできあがったのが、クロムIC 回路用のマスクに利用できるかも」

半導体集積回路（IC）の進歩は、
フォサーメット（クロム酸化物の複合金属と、この一言が担当者の好奇心と探究

トリソグラフィ技術による回路パター材料の一種）のハイブリッド薄膜で、心を揺り動かすことになったのです。

ンの微細化を抜きにして語ることはで■アルバック成膜グループは自社製品を通して世界中の「最 先 端 分 野 」に貢献しています。
●半導体用マスクブランクス●フラットパネルディスプレイ用
ラージマスクブランクス

日本・秩父市
中国・合肥市
台湾・台南市●ガラス MEMS

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ULVAC ｜ No.69 (September, 2019)アルバック成膜 NOW ● 現状と展望

高品質、かつグローバル規模の安定供給体制でお応えします

アルバック成膜株式会社
代表取締役社長

木田佳紀

当社は、今年で 40 周年を迎えます

近年、IoT、AI、５G などといった働予定の愛発科成膜技術（合肥）有限が、アルバックグループのアルバック

次世代高度情報化社会の実現によっ公司とともに、高品質、かつグローバテクノ株式会社と同じ設立年月日でて、半導体および FPD 向けマスクブ

ル規模の安定供給体制でお応えしていす。両社とも、親会社アルバックの事ランクスの役割はますます重要度を増ます。

業部から分離独立しました。当社の場してきています。

マスクブランクス製造は、半導体 IC

合は、設立当初から半導体 IC のマス

当社の特長は、マスクブランクス製の高集積化、FPD の高解像度化により、クブランクスの製造を目的に事業を続造の重要な工程である「研磨」「洗浄」常にニーズを先取りした製品開発が求けて参りました。2000 年以降は FPD「成膜」「レジスト塗布」までの一貫しめられますが、当社は真空装置メー用マスクブランクスの製造も加わり、た作業を、2002 年に台湾に設立したカーの親会社アルバックとの連携を強現在、その分野では 50％ものシェア台湾成膜光電股份有限公司と、2018化し、総合的なマスクブランクスメーを獲得しています。

年 5 月に中国に設立し、2020 年春稼カーを目指しています。

きません。そのフォトリソグラフィ技ら位置合わせができる。今回当社が開アルバックの当時の社内報『真空タ術の中心的役割を果たしているのが発したクロム膜を使うことで、その欠イムズ』では次のように報じられていフォトマスク技術です。さらにフォト点を十分に補う画期的なものになる」。

ます。

マスクの元となるものがマスクブラン

こうして 1970 年に完成したのがク「世界でただ一つである当社の酸化クスです。マスクブランクスは、“ブロム膜によるハードマスクブランクスクロームマスクを製造販売している SIランクス”というとおり、パターン回でした。これは当初 ST マスクと命名事業部の製品は、発売以来 1 年半を路をつくる前の原板のことです。そのされ、世界初の快挙でもあったのでし経過し、その実力は国内ばかりでなくマスクブランクスは、現在、半導体 ICた。ST と は「See Through」 を 意 味

広く世界的な評価を得るまでに成長しだけでなく FPD（フラットパネルディするもので、文字通り、クロム膜が紫た。特に電子工業の本場米国からも本スプレイ）にも利用されています。

外線は通さず、可視光は通すという特格的な引き合いがきはじめており、今長をあらわしたものです。

後の成約に大きな期待がかけられていマスクブランクスを材料から大別する」

るとハードマスクとエマルジョンマス
クの 2 つの方式がありますが、当時はまだハードは実用化されず、エマルジョンが主流でした。エマルジョンはガラスなどの基板上に写真乾板で使わアルバック SI 事業部から分離独立した
アルバック成膜

アルバックのマスクブランクス事業
は、当時の半導体を中心とする電子産業の急速な市場拡大に牽引されるようにして、順調すぎるほどの発展を遂げていきました。

れるハロゲン化銀の乳液（エマルジョ

1971 年、アルバックは ST マスクン）を塗布したものでした。その欠点を本格的に製造販売する目的で SI 部

1978 年 4 月 上 旬、SI 事 業 部 の 独

は、塗布面が透明でないため、何層にを 新 設 し ま し た。 そ の 翌 年 の 1972

立が承認され、現在の本社所在地（秩も重ねていくための位置合わせには不年には SI 事業部へと昇格していきま父市寺尾 2804）への進出が本決まり向きで、ますます高集積が進もうとしし た。 ち な み に SI 事 業 部 の SI と はと な り、 同 年 10 月 に は「 ア ル バ ッていた当時としては、より精度の高い「Surface Instruments」を意味するもク 成 膜 株 式 会 社（ULVAC COATING作業ができるマスクブランクスが要求ので「真空装置を駆使していろいろなCORPORATION）」 と 社 名 が 決 定 し、されていました。

薄膜材料をつくりだし、それを事業に翌 1979 年 1 月 1 日、SI 事業部は分離していこう」というものでした。

独立しました。

そこでアルバックが下した結論は、「IC 製造工程で使う光源は紫外線であST マスク（ハードマスクブランク

その後アルバック成膜は、台湾にもるため、肉眼で見える光（可視光）はス）は日本国内の半導体メーカーはも現地法人を設立し、現在、中国にも現いくら通しても支障はない。つまり、ちろんのこと、半導体産業の本場とも地法人を設立しマスクブランクスの製

可視光は通すが、紫外線だけは通さないえる米国メーカーからも活発な引き造を計画しています。

い膜ができれば、人の目で確認しなが合いを得るまでになったのです。
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