システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 50×50
Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table Size 50×50

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

SA05A-R2T01

SA05A-R2M01

SA05A-R2B01

SA05A-R2G01

回転Rotation※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

SA05A-R2T01
CCW Limit Sensor
Home Position
CW Limit Sensor

4-M3 Depth 4mm
4-M3 Depth 3.5mm(65.5)
504030

X・XY
X・XY

裏面Back Side(200)(15)

自動精密ステージ
Motorized
Stage

(0.5)

ZZ

4H8

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

回転Rotation

530
4050

(9.5)

(10) 15

ZZ

(20)
(22)

(65.5)

φ4H8 Depth 4mm

30

Depth 4mm

(125)

Rotation Center50

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
CW

CCW
(2)

アライ
メント
ステージ
XYθ

□40

4-for M3 screws
Shaft length 3mm

(4)

18

1

真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller

SA05A-R2M01

SA05A-R2B01
Rotation Center

SA05A-R2G01
Rotation Center

Rotation Center104

86(2)

CCW
(2)

CW

CCW

44-for M3 screwsShaft length 3mm(2)□40618□40(4)

4-for M3 screws
Shaft length 3mm

4-for M3 screws
Shaft length 3mm□40(4)

付録
Appendix

CW

218

モーター
ケーブル
Motor
Cable

CCW(4)

モーター
ドライバ
Motor
Driver

CW

18

アプリ
ケーション
Application

68

ドライバ
ボックス
DriverBox

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

K-012

K.indd 12

CONTACTTEL+81-44-981-2131/FAX+81-44-981-2181
【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp
【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:09

アルミ / クロスローラガイド / ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ball Screw

産業用Industrial

型式
SA05A-R2T01
SA05A-R2M01
SA05A-R2B01
SA05A-R2G01
Model Number
勝手違い型式※1
SA05A-R2T01-R
SA05A-R2M01-R
SA05A-R2B01-R
SA05A-R2G01-R
Mirror Model Number
テーブル面
50mm×50mm
Table Size
案内方式
精密クロスローラガイド
Guide Mechanism
Cross-Roller Guide
回転範囲
±5°
±4.5°
±3.5°
±3.0°
Angular Range
送り方式
ボールネジ, リード1.0mm
Lead Mechanism
Ball Screw, Lead 1.0mm
フル/ハーフ ステップ
0.002126°/0.001063°
0.001594°/0.000797°
0.001274°/0.000637°
0.001062°/0.000531°
Full/Half Step
分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.0001063°
0.0000797°
0.0000637°
0.0000531°
Micro Step (1/20 div)
最高速度
16°/sec : Half 15kpps
12°/sec : Half 15kpps
9.6°/sec : Half 15kpps
8°/sec : Half 15kpps
Maximum Speed
ワークディスタンス
50mm±0.2mm
68mm±0.2mm
86mm±0.2mm
104mm±0.2mm
Work Distance
回転中心変位量
Φ0.05mm/±5°
Φ0.05mm/±4.5°
Φ0.05mm/±3.5°
Φ0.05mm/±3.0°
Rotation Center Error
繰返し位置決め精度≦±0.001°（AVE. ±0.0001°） ≦±0.001°（AVE. ±0.0001°） ≦±0.001°（AVE. ±0.0001°） ≦±0.001°（AVE. ±0.0001°）
Repeatability
ロストモーション≦0.003°（AVE. 0.0012°）≦0.003°（AVE. 0.0006°）≦0.003°（AVE. 0.0006°）≦0.003°（AVE. 0.0005°）
Lost Motion
バックラッシュBacklash
モーメント剛性※3
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重
Weight5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ※4Stage Wiring Type
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number≦0.003°（AVE. 0.001°）≦0.003°（AVE. 0.0006°）

手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密
ステージ
MotorizedStage≦0.003°（AVE. 0.0004°）

0.41 arcsec/N・cm
0.41 arcsec/N・cm
0.41 arcsec/N・cm
0.41 arcsec/N・cm
（AVE. 0.29 arcsec/N・cm） （AVE. 0.283 arcsec/N・cm） （AVE. 0.295 arcsec/N・cm） （AVE. 0.291 arcsec/N・cm）

X・XY
X・XY

29.4N（3kgf）
アルミ合金
Aluminum Alloy
白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

ZZ

回転Rotation

0.27kg
PK513PB（オリエンタルモーター: 定格電流0.35A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
PK513PB (Oriental Motor: Phase Current 0.35A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

Φ4mm オプションハンドル：C type
Φ4mm Conformance option handle: C type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

アライ
メント
ステージ
XYθ

V3F-116(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME,LIMIT)
F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT)
SA05A-R2T01-C

SA05A-R2M01-C

SA05A-R2B01-C

SA05A-R2G01-C

SA05A-R2T01-V

SA05A-R2M01-V

SA05A-R2B01-V

SA05A-R2G01-V

勝手違い、重ねの組勝手についてはK-005ページを参照して下さい。
※1
Refer to page K-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.
※2≦0.003°（AVE. 0.0006°）

実験用
Experimental

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronicsス イベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
※3
Moment Stiffness of single swivel stage is measured in Roll Direction.
※4

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

 リーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページ
クを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

 空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参真照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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K-013

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