システム製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動Zステージ / テーブルサイズ 70×70
Motorized Vertical Linear Stages / Table Size 70×70

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

(1)

(200)
(45)
Depth 4mm40

φ4H8 Depth 4mm

54H8

X・XY
X・XY

(115)
70
60
40706040

自動精密
ステージ
Motorized
Stage※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

ZA07A-V1F01

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

ZA07A-V201

20回転Rotation

ZA07A-V1F01

ZZ4-M4 Depth 8mm
4-M3 Depth 8mm

裏面Back Side

回転Rotation

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor
CCW

アライ
メント
ステージ
XYθ

CW

96±10スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

真空ステージ
VacuumStage□60

4-for M4 screws
Shaft length 8mm

制御装置
Control
Electronics

ZA07A-V201

モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories

I.indd 10

4H84H855

DepthDepth
3mm
3mm

404015154-M4 Depth 8mm
4-M3 Depth 8mm

CCW
CCW

CW
CW

検査システムInspection
System

I-010

(200)
(200)

4-M4 Depth 8mm
4-M3 Depth 8mm

CW Limit Sensor
Home Position
CCW(42)
Limit Sensor

φ4H8 Depth3mm
φ4H8 Depth
3mm

1515

裏面
裏面
BackBackSide
Side(42)92.5 92.5

モーター
ドライバ
Motor
Driver

(30)
(30)

(81)
(81)
70
70
60
60
4040

アプリ
ケーション
Application

(100)
(100)
70
70
60
60
40
40

(11)
(11)

ドライバ
ボックス
DriverBox(CW: 4 :CCW
(CW4 : 10)
CCW : 10)モーターコントローラMotorController

CONTACT

5

□60

5

□60

4-for M4 screws
Shaft length 8mm

4-for M4 screws
Shaft length 8mm

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:07

アルミ / 四面フラットローラガイド / ベルト式 / 研削ネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Tetrahedral Flat-Roller Guide/ Belt-Drive / Ground Screw

産業用Industrial

型式
Model Number

ZA07A-V1F01

ZA07A-V201

勝手違い型式
Mirror Model Number−−

実験用Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage

テーブル面
Table Size

70mm×70mm

案内方式
Guide Mechanism

四面フラットローラガイド
Tetrahedral Flat-Roller Guide

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

移動範囲
Motion Range±10mm

CW : 4mm , CCW : 10mm送り方式
Lead Mechanism

1/2-ベルト, 研削ネジ, リード 0.5mm
1/2 Belt Drive, Ground Screw, Lead 0.5mm

1/2-ベルト, ボールネジ, リード 1.0mm
1/2 Belt Drive, Ball Screw, Lead 1.0mm

フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※1Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)

ZZ

0.5μm/0.25μm
0.025μm

最高速度
Maximum Speed

2.5mm/sec

5mm/sec : Half 20kpps

繰返し位置決め精度
Repeatability≦±0.2μm（AVE. ±0.05μm）≦±0.5μm

ロストモーション
Lost Motion≦2μm（AVE. 0.48μm）

≦1μm

垂直度
Verticality≦6μm/20mm（AVE. 1.62μm/20mm）≦8μm/14mm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

117.6N（12kgf）

49N（5kgf）

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重Weight

1.8kg

1.2kg

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

C090P-9015P（オリエンタルモーター当社専用型式:
定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
C090P-9015P (Oriental Motor (KOHZU exclusive):
Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)

PK544PMB（オリエンタルモーター:
定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
PK544PMB(Oriental Motor:
Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)

モーター軸径Motor Shaft DiameterΦ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle: A type

コネクタ
Connector

丸形20ピン（ヒロセ：RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

ステージ結線タイプ※2
Stage Wiring TypeV3

センサ基板型式
Sensor Model

F-115(HOME,LIMIT)ZA07A-V201-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ZA07A-V1F01-V

ZA07A-V201-V※2

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
StageZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

ZA07A-V1F01-C

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

回転Rotation

X・XY
X・XY

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

※1

X・XY
X・XYアライメントステージXYθ真空ステージVacuumStage

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

I.indd 11I-011

2022/07/29 20:07