システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動Zステージ / テーブルサイズ 50×50,70×70
Motorized Vertical Linear Stages / Table Size 50×50,70×70

実験用Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZ
Z

ZA05A-X102

ZA07A-X103

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)ZA07F-X103※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

ZA05A-X102

ZA07A-X103
ZA07F-X103

自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY(200)

ZZ
59

CW
CCWアライメントステージ
XYθ

(4)

70±1011114050(54)

□30
□40
□60
□70

145.5(172.5)□13□30□40□50CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

4-for M3 screws
Shaft length 7.5mm(15)4050(65)30(10)

4-for M4 screws
Shaft length 7mm(15)6070(85)405515

4H8

4H8

アプリ
ケーション
Application

6070(80)

φ4H8 Depth 4mm

モーター
ドライバ
Motor
DriverDepth 4mm

20ドライバボックス
DriverBox

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

4-M4 Depth 5mm
4-M3 Depth 5mm
4-M3 Depth 5mm
M4 Depth 4mm

50±7.5113.5

制御装置
Control
Electronics4-M3 Depth 8mm
4-M3 Depth 5mm
4-M2 Depth 5mm
M4 Depth 4mm(220.5)CW

真空ステージ
VacuumStage

モーター
コントローラMotorController

CCW

(75)

40(59)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)(200)

回転Rotation

φ4H8 Depth 4mm

Depth 4mm

裏面
Back Side

モーター
ケーブル
MotorCable

裏面
Back Side

付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemI-016

I.indd 16

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:07

アルミ, 鉄 / 縦置き / クロスローラガイド / 研削ネジ

システム
製品
SystemProductsAluminum, Steel Body / Vertical X / Cross-Roller Guide / Ground Screw

産業用Industrial

型式
Model Number

ZA05A-X102

ZA07A-X103

ZA07F-X103

勝手違い型式
Mirror Model Number

ZA05A-X102-R

ZA07A-X103-R

ZA07F-X103-R

テーブル面
Table Size

50mm×50mm

70mm×70mm

案内方式
Guide Mechanism
移動範囲
Motion Range

手動精密ステージ
ManualStage

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide±7.5mm±10mm

送り方式
Lead Mechanism

X・XY
X・XY

研削ネジ, リード 0.5mm
Ground Screw, Lead 0.5mm

フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※1Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)

ZZ

0.5μm/0.25μm0.025μm

最高速度
Maximum Speed

2.5mm/sec

繰返し位置決め精度
Repeatability≦±0.3μm

回転
Rotation

ロストモーション
Lost Motion≦1μm≦1.5μm

垂直度
Verticality≦5μm/15mm≦7μm/20mm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

24.5N（2.5kgf）

49N（5kgf）

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

鉄Steel

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

ニッケルメッキ仕上げ
Nickel Plating

自重
Weight0.65kg1.4kg

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

PK523HPMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，
基本ステップ角 0.36°,PK544PMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
リード線5本）PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)
PK523HPMB(Oriental Motor: Phase Current0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)

モーター軸径Motor Shaft DiameterΦ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle: A type

コネクタ
Connector

丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

ステージ結線タイプ※2
Stage Wiring TypeV3

センサ基板型式
Sensor Model

F-116(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME,LIMIT)
F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT)

ZZ

回転Rotation

アライ
メントステージXYθZA07A-X103-C

ZA07F-X103-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ZA05A-X102-V

ZA07A-X103-V

ZA07F-X103-V

※2

X・XY
X・XY

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)ZA05A-X102-C

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

自動精密ステージ
Motorized
Stage

1.85kg

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number※1

実験用Experimental

真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセサリーAccessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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