システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

手動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 160×160
Manual Swivel (Tilt) Stages/ Table Size 160×160

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZSH16A-RT

SH16A-RS

SH16A-RM
回転Rotation
Φ8 Depth 8mm

SH16A-RT

8-M3 Depth 8mm
8-M4 Depth 8mm
4-M5 Depth 8mm
4-M5 Depth 10mm

（19）

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage

Clamp Φ25160
140
110
90
604030Handle Φ40(2)

X・XY
X・XY

ZZ(32)

回転Rotation

30406090
110140160（40）SH16A-RM
Rotation CenterRotation Center4-for M5 screws
Shaft Length 6mm

制御装置
ControlElectronics

Φ8 Depth 8mm

8-M3 Depth 8mm
8-M4 Depth 8mm
4-M5 Depth 8mm
4-M5 Depth 10mm

（40）

SH16A-RSモーター
コントローラ
Motor
Controller

21.4□140504-for M5 screws
Shaft Length 6mm

真空ステージ
Vacuum
Stage

3.560

アライ
メント
ステージ
XYθ

16.5

280

220

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)□140

Clamp Φ25Handle Φ40
16014011090
604030

ドライバ
ボックス
DriverBox(32)アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver

(32)

モーター
ケーブル
Motor
Cable

30406090110
140160（40）220Rotation Center60

付録
Appendix50

アクセ
サリーAccessories□1404-for M5 screws
Shaft Length 6mm

検査システムInspection
SystemG-038

G.indd 38

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 17:31

アルミ / クロスローラガイド / ウォーム＆ウォームホイール

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Worm and Worm Wheel

産業用Industrial

型式
Model Number

SH16A-RT

SH16A-RM

SH16A-RS

勝手違い型式※2
Mirror Model Number

SH16A-RT-R

SH16A-RM-R

SH16A-RS-RRR

テーブル面
Table Size

160mm×160mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide回転範囲
Angular Range±10°

ワークディスタンス
Work Distance

220mm±0.5mm

280mm±0.5mm

回転中心変位量Rotation Center Error

Φ0.5mm/±10°

最小読み取りMinimum Readout
回転角
Angular Motion

220mm±1mm
Φ1mm/±10°0.6°/ハンドル１回転
0.6°/Handle Revolution

モーメント剛性※3
Moment Load Stiffness

0.02 arcsec/N・cm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

196N（20kgf）

147N（15kgf）
アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing
5.2kg

4.5kg

駆動方式
Actuator

0.705°/ハンドル１回転（RT）
0.6°/ハンドル１回転（RM）
0.705°/Handle Revolution (RT)
0.6°/Handle Revolution (RM)
0.06 arcsec/N・cm

材質Material

9.7kg

ハンドル
Handle-Wheel
SH16A-RT-C

SH16A-RM-C

SH16A-RS-C

SH16A-RT-V

SH16A-RM-V

SH16A-RS-V

※3

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

X・XY
X・XYZ
Z

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

SH16A-RSは、SH16A-RTとSH16A-RMの組み合わせです。
Combination of SH16A-RT and SH16A-RM form 2-axes swivel stage model
SH16A-RS.

X・XY
X・XY

自動精密ステージ
Motorized
Stage

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number※1

実験用Experimental
手動精密ステージ
ManualStage

0.1°（バーニヤ）
0.1°(vernier)0.705°/ハンドル１回転0.705°/Handle Revolution

自重Weight※1

スイベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single Swivel stage is measured in Roll Direction.

勝手違い、重ねの組勝手についてはG-004ページを参照して下さい。
※2
Refer to page G-004 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.
オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-003ペー
ジを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-003 forfurther information.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-003
ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-003 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。
詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

G.indd 39

G-039

2022/07/28 17:31