TheCrystallizers
半導体産業用特殊黒鉛（グラファイト）SIGRABOND
SIGRAFINE®
SIGRAFLEX®
SIGRATHERM®

Graphite Solutions

2<5SIGRAFINE®
純度を最優先半導体製造プロセス装置で使用される特殊黒鉛は、高純度品である事が必須で、不純物濃度を5ppm未満に抑える必要があります。当社の高純度に精製された特殊黒鉛製品は、この非常に厳しい基準を満たしております。
当社ラボのエンジニアは、不純物分析における専門家でもあり、特殊黒鉛材料のDIN (ド イツ規格) およびASTM (米国材料試験協会規格) の化学薬品分析定義にも積極的に関わっております。
当社は高純度製品メーカーとして、特定用途に対する技術的な助言を行いながら、梱包および輸送を含めたサプライチェーン全般にわたる適切な対応を行っております。当社の製品および専門知識は、理想的な結晶化プロセス実現のため、お役に立つ事ができます。

3ppm

半導体産業用特殊黒鉛（グラファイト）4

当社高純度特殊黒鉛のアプリケーション
最先端技術における結晶成長、エピタキシー成長、イオン注入、プラズマエッチングなどの半導体製造プロセス
装置、ならびにLEDチップ製造MOCVD装置↑ サファイア単結晶成長↑ SiC昇華成長

バリューチェーン

単結晶成長

代表的な用途• シリコン(Si)• 炭化ケイ素(SiC)• サファイア(Al₂O₃)• 化合物半導体

SGLカーボンの製品• ヒーター• ルツボ• ヒートシールド• 断熱材

SGLカーボンの素材• SIGRAFINE® 等方性押出成形黒鉛• SIGRABOND炭素繊維強化炭素（C/C）• SIGRATHERM® 炭素及び黒鉛フェルト• SIGRAFINE® SiCフレキシブル膨張黒鉛フォイル• SIGRAFLEX® フレキシブル膨張黒鉛フォイル↑ Si単結晶成長（CZ）

The Crystallizers | 概要

SGLカーボンでは、お客様の個別のご要望に応じて構成部品を製造し、お客様の計画、設計、事業最適化をサポートします。
高純度製品の取り扱いに関する豊富な専門知識を元に、お客様の要件に応じた広範な認証を通じた製品対応が可能です。

↑ ウエハ加工↑ パンケーキ型
シリコンエピタキシー

ウエハスライシング

エピタキシー• シリコンウエハ• 化合物半導体ウエハ• シリコンエピタキシー• SiCエピタキシー• MOCVD• スライシングビーム• 枚葉式ウエハサセプタ• パンケーキ型サセプタ• バレル型サセプタ• SIGRAFINE®等方性黒鉛• SIGRAFINE®等方性黒鉛• SIGRAFINE®SiCコーティング↑ バレル型
シリコンエピタキシー↑ MOCVD

56

半導体産業用製品
SGLは半導体産業用に、様々な単結晶成長工程及び材料向けのヒーター、支持用ルツボ、熱シールド、断熱材、また、シリコンエピタキシー及びMOCVD用のサセプタを提供していす。
一貫した高い品質と、個々に合わせたテーラーメイド製造で知られる当社では、機械加工、洗浄、コーティングを通じて、用途に特化した仕上げを行っています。

CZユニット用ヒーター

The Crystallizers | 特殊黒鉛

半導体結晶成長に適した特殊黒鉛
ホットゾーンの課題
半導体用結晶成長の工程は、全て高温環境で稼働しており、これはシリコン用(CZ)、サファイア用(HEM)、SiC用(PVT)の全てにおいて共通しています。
そのため、一般に工業用結晶成長炉のホットゾーンには、耐熱性及び耐腐食性を有する黒鉛製構成部品が使われています。
あらゆるタイプの炉に適した材料
SGLカーボンでは、ヒーター、ルツボ、反射材、断熱材など、広範で代表的な部品を製造しています。これらは高強度で均一な特殊黒鉛又は炭素強化炭素（CFRC）、並びにリジッド又はソフトフェルトのいずれかとSIGRAFLEX断熱フォイルより作られています。

↑ C/Cコンポジットルツボ

当社の専門家は何十年にも及ぶ経験を基に、あらゆるタイプの結晶成長炉に適した最高純度で最適な材料を選定しています。当社のモデリング・シミュレーショングループと共同で、あらゆる種類の結晶成長炉における熱機械的及びガス流動的な最適化を行っています。
SiCコートが寿命を延長
SGLカーボンでは、特に厳しい条件下の用途や環境で使用される、厳しい基準が求められる部品の寿命を延ばすために、精巧なSiCコーティングを開発しました。

↑ シリンダ型成形断熱材↑ CZユニット向け黒鉛部品

78

シリコンエピタキシー及びSiCエピタキシー
向け特殊黒鉛
ウエハは、数多くのプロセス工程を経た後で電子デバイスとして使用できるようになります。

さらに、誘導加熱方式のシステムでの使用に理想的な電気抵抗特性を有する材料の選定も行っています。

重要な工程の1つに、シリコンエピタキシーがあり、この工程でウエハは黒鉛サセプタ上に載せられます。このサセプタの特性と品質が、ウエハのエピタキシャル層の品質へ重大な影響を及ぼします。

完成した全ての構成部品に、純度及び寸法に関する検査成績証明書を発行する事も可能です。

高純度と認証済みの適合性
SGLカーボンのSiCコーティングを施した黒鉛サセプタの利点として特筆すべきものに、極めて高い純度、化学薬品に対する高耐久性、および、高い熱安定性があります。
SiCコーティングにおいて、高精度の機械加工を用いることで許容誤差をきわめて小さくし、サセプタの形状が均一となることを保証しています。

サセプタの幅広いラインナップ
SGLカーボンでは、現在使用されているあらゆるエピタキシー炉に向けたサセプタ及び黒鉛部品を提供しています。
当社の製品ラインナップには、アプライド・マテリアルズ社、ムーア社、LPE社製炉向けバレル型サセプタ、LPE社、CSD社、ジェミニ社製炉向けパンケーキ型サセプタ、アプライド・マテリアルズ社とASM社製炉向け枚葉式ウエハサセプタがあります。
SGLカーボンのサセプタは全て、高強度の等方性黒鉛で製造しています。徹底した品質管理を通じ、最高品質と完全なトレーサビリティを有する製品をお客様へ確実にお届けします。
イオン注入とドライエッチング
SGLカーボンでは、イオン注入装置とドライエッチング装置用の黒鉛部品も製造しています。

↑ エピタキシー炉用サセプタ

The Crystallizers | 特殊黒鉛

LEDチップ製造向け特殊黒鉛
プラネタリ型のサセプタ又はキャリアは、MOCVD装置にて広範囲な成膜工程の間、基板ウエハを回転させています。このサセプタの材料特性が、成膜時の特性、ひいてはチップの歩留りに多大な影響を及ぼします。
高精度
SGLカーボンのSiCコーティングサセプタによって、LEDの波長偏差を最小限に抑えながら、高品質のLEDウエハ製造をより効率的に行えるようになります。これには多くの重要な要因が関わっています。
その中に、当社の等方性黒鉛とSiCコーティングの極めて高度な純度と均一な熱伝導性があります。当社では、サセプタ及びキャリアに適した黒鉛のグレードを厳選しています。
高精度の機械加工と均質なコーティングによって、ウエハキャリアポケット形状を平面度の偏差を最小限に抑えた均一なものとしています。
広範囲に及ぶ品質管理によって、高品質を維持し、トレーサビリティの確保された製品の提供が容易となります。
チップ歩留りの向上と偏差の最小化
SGLカーボンでは、MOCVD装置メーカーやエンドユーザーと密に協力して、当社製の材料と製品の改善を絶えず行っています。
これらの企業と共同で、波長の偏差を最小限に抑えつつ、LEDウエハ製造におけるチップ歩留りの向上を目指します。
SGLカーボンでは更に、現在使用されているあらゆるMOCVD装置向けの黒鉛部品も提供しています。直径が1mを超えるものも含め、ほぼ全ての黒鉛部品にSiCコーティングが可能です。

↑ AIXTRON 2800 G4 MOCVD装置LED製造用プラネタリ型サセプタ（Aixtron SEの許可を得て掲載）

9

半導体産業用黒鉛及び炭素系材料
10

SGLカーボンでは、多様な用途向けの特殊黒鉛（ファイングレイングラファイト）、SiCコーティング、黒鉛製ソフトフェル
ト及びリジッドフェルト、並びに炭素繊維強化炭素（CFRC）と、SIGRAFLEX黒鉛フォイルを提供しています。
当社の材料は全て、高純度、抜群の機械的強度及び優れた耐腐食・耐熱特性を誇り、多岐にわたるサイズでお届けすることが可能です。

SIGRAFINE等方性黒鉛ブロック

The Crystallizers | ファイングレイングラファイト

11SIGRAFINE® ファイングレイングラファイト
SGLカーボンでは多数の等方性黒鉛グレードを生産しており、これらは特定用途に製品がマッチするよう、各々個別の特性を備えております。

R6520(CZ5.2)は、R6500とR6510の間の特性範囲を有するように開発されました。このグレードは、半導体及び太陽電池用途において、非常に良好な性能を発揮しております。

R6300は当社のヒーターのグレードです。このグレードの電気抵抗率は、～1000℃を超える高温でも一定した数値を示し、加熱材としての使用に非常に有益です。

R6650は、溶融シリコン又は気体状の酸化ケイ素といった用途の高かさ密度グレード品です。

R6710は、平均粒径が3μmという、SGLカーボンの中で最も細かい
R6340及びR6500は、色々な等方性黒鉛材料として、優れた性能等方性黒鉛グレードです。イオン注入装置で使用される部品なを発揮することが認められています。どちらのグレードも、ルツボ、 ど、非常に精密で壊れやすい部品を、機械加工することができま治具、電極といった様々な部品用に、世界中で使用されています。 す。このグレードは、当社のあらゆる等方性黒鉛の中でも最高のこれら2つのグレードの主な違いはかさ密度と粒径で、これにより 曲げ強度を有します。
異なる熱膨張率と熱伝導率の値となります。
R6810は当社で最高の熱伝導率を有する等方性黒鉛グレードでR6510は、市場ではCZ5とも呼ばれており、Si-Oの気体環境にて使 す。このグレードはR6510同様、SiCコーティング用途に最適です。
用される多くの部品にて、業界標準となっております。シリコンCZ法単結晶引上げ装置にて使用されるR6510 製のヒートシールド及 SGLカーボンでは、更に多岐にわたるSIGRAFINE押出成型、及びファンネル(リフレクタ)は、長寿命と低パーティクルが実証され び振動成型用黒鉛グレードの他、バルクSiC成長に使用するており、結晶の品質向上が可能となります。
SIGRAFLEX黒鉛フォイルや、SIGRAFINEポーラス黒鉛ロッドも取り扱っております。
更に当社では、R6510がSiCコーティング成膜と同等の熱膨張特性を持つことから、SiCコーティングにはR6510を主に使用しています。 材料や技術関連についてより詳しい情報が必要な場合は、当社ま
これらは、広範な温度範囲にてSIGRAFINE SiCコーティングとして でお問い合わせください。
使用されております。

SIGRAFINE® 等方性ファイングレイングラファイト
代表特性*

平均粒径
かさ密度
抵抗率
曲げ強度
圧縮強度
熱膨張係数（20～200℃）
灰分単位R6300

R6340

R6500

R6510

R6520

R6650

R6710

R6810

µm
g/cm³µΩm
MPa
MPa
10-⁶ K-¹ppm

201.73
1640852.7≤ 200

151.721245903.2≤ 200

101.771450110
4.2
≤ 200

10
1.83
1360
130
4.2
≤ 200

101.801355120
4.2
≤ 200

7
1.84
1465150
4.1
≤ 200

31.88
1085
170
4.7
≤ 200

20
1.82
1045
100
4.1
≤ 200

* これらは様々な長方形及び円形のブロックサイズの一般的な平均値です。個々のブロックの実測値は、寸法と型式によって異なる場合があります。

純化後の代表的純度レベル
コードP30P5

元素濃度（単位ppm）

灰分AlBCaCoCrCuFeMgMn

Ni

PSiTi

V

< 30 ppm< 5 ppm

0.05< 0.010.1< 0.020.20.01< 0.02< 0.01< 0.02
< 0.01< 0.02< 0.01

0.5
0.02

0.1
0.01

< 0.01< 0.01

1< 0.01< 0.1< 0.02<2<10.2
0.01

0.50.01

12

SIGRAFINE® SiCコーティング
高い耐特性、優れた伝導率
グラファイトとC/Cコンポジット部品の寿命を延長
SIGRAFINEのSiCコーティングは、高密度で耐摩耗性に優れた炭
SiCコーティングによって製品品質が改善され、工程効率が向上す化ケイ素コーティングです。高い耐腐食性・耐熱特性を有し、熱るため、お客様の全般的なコストが削減されます。このSiCコーテ
伝導率にも優れています。当社では、化学気相蒸着（CVD）法を用 ィングによりグラファイト部品の寿命を延ばし、半導体製造工程いて、黒鉛の上に薄いSiC層を成膜します。に不可欠な高純度表面処理が可能となります。
多岐にわたる用途
SGLカーボンでは、高強度な等方性黒鉛製品、及びCFRC製品へのSiCコーティングを提供しています。CZ法シリコン成長炉、プラズマCVD装置、Siエピタキシー装置、MOCVD装置などのサセプタ、及び流動床リアクタ、STC-TCS変換器など、様々な分野にて使用されております。

SIGRAFINE® SiCコーティングの純度データ(glow discharge mass spectroscopy)
元素

ナトリウム
マグネシウムアルミニウム
リン
硫黄
カリウム
カルシウム
チタン
バナジウム
クロム
マンガン
鉄
ニッケルppm< 0.05< 0.01< 0.04< 0.01< 0.04< 0.05< 0.05
< 0.005< 0.001< 0.05< 0.005< 0.01< 0.005

元素

銅
亜鉛
ガリウム
ゲルマニウム
ヒ素
インジウム
錫
アンチモン
タングステン
テルル
鉛
ビスマス

ppm

< 0.01< 0.05< 0.05< 0.05
< 0.005< 0.01< 0.01< 0.01< 0.01< 0.01< 0.01< 0.01↑ SiC表面の顕微鏡写真

SIGRAFINE® SiCコーティングの材料特性データ
代表特性構造
配向
かさ密度
定比
硬度
破壊強度
熱膨張（100～600°C)
弾性係数
膜厚
表面粗さ

単位

g/cm³GPa
MPa m¹/ ²
10-⁶ K-¹
GPaµmµm値

ベータ（キューブ）3Cポリタイプ
111面優先3.2
1:1 Si/C
40
3.0
4.3
435
1002.5

分析方法

XRD
XRD
XRD
XPS/EDS
ナノインデンテーション
ビッカース圧子
膨張計
ナノインデンテーション
ベータバックスキャッタ
表面形状測定装置（プロファイロメータ）

The Crystallizers | SiCコーティングとSIGRAFLEXSIGRAFLEX®フレキシブルグラファイトフォイル
ホットゾーンのソリューション
天然膨張黒鉛から製造されるSIGRAFLEXは、半導体用途における性能を向上させ、エネルギー消費を最小限に抑え、更に信頼性を向上します。

システムのサプライヤ
SIGRAFLEXは、SIGRATHERMソフト及びリジッドフェルト、SIGRABOND炭素繊維強化炭素（CFRC）、及びSIGRAFINE
合成黒鉛とあわせてよく使用されています。

SIGRAFLEX高純度フレキシブルグラファイトフォイルは、接着剤や結合剤を含んでいないため、超高純度でコンタミフリーの製品を提供する事が可能です。

超高温度でも優れた熱伝導性を発揮
熱伝導率 [Wm−¹K−¹]

最高温度3000°C
同製品は、その卓越した温度特性により、不活性蒸気圧雰囲気、又は真空中にて最高3000°Cまでの超高温度にて使用が可能です。
また、秀でた熱及び電気伝導率のため、多岐にわたる半導体製造装置の部品、例えば熱シールド、断絶材、フレキシブル層及びシーリング材にふさわしい材料となっています。
フレキシブルグラファイトフォイルは、お客様の仕様に合わせた製品が可能です。
SIGRAFLEX THPは、超高純度の要求に対応可能です。不純物を含まない特別仕様のSIGRAFLEX製品が可能です。

250 —
200 —
150 —
100 —
50 —
0—
0

温度 [°C]1000

かさ密度1.0 g / cm³のSIGRAFLEX® THの材料データ
代表特性昇華点
耐熱性

電気抵抗率
(20 °C)
熱伝導率
(20 °C)
比熱容量 (20 °C)

熱膨張係数
(20 – 1000 °C)引張強度 (D)
破断時の伸び率
透気係数
放射率 (1500 °C)発光係数 (1500 °C)
灰分

空気中
不活性ガス及び真空中

面方向
厚さ方向
面方向
厚さ方向

単位値°C

> 3000°C

約400
約3000μΩm

11700

Wm⁻¹K⁻¹kJkg⁻¹K⁻¹

220
50.7

面方向
厚さ方向

10⁻⁶K⁻¹厚さ方向%
N/mm²cm²/s

上記以外の特性値や寸法につきましては別途お問い合わせください%

約1約5030≥1≥42 x 10⁻⁵0.65
約0.1↑ SIGRAFLEX高純度黒鉛フォイル

2000

1314

SIGRATHERM®黒鉛ソフトフェルト↑ SIGRATHERMソフトフェルト

ホットゾーンの断熱に推奨
SGLカーボンの黒鉛ソフトフェルトは、熱、化学及び繊維特性を独自に組み合わせております。
何十年にもわたって、世界中多くの結晶成長を扱う企業が、ホットゾーンの断熱材用に、当社のGFAフェルトを選んでおります。
当社では高純度のSIGRATHERMソフトフェルトを、お客様が指定する寸法にて、予め組立てた断熱材パッケージとしても提供しております。

SIGRATHERM® GFAの材料データ
代表特性単位

GFA5

GFA10

GFA15

厚み
面積当たり重量
幅（灰分）長さ
灰分
灰分（高純度）mm (in)g/m²mm (in)m (ft)ppm
ppm

6 (1/4)5001350 (53)
25 – 30 (82 – 98)
1000
< 20

11.5 (1/2)
10001350 (53)
25 – 30 (82 – 98)
1000< 2016 (5/8)
15001350 (53)
25 – 30 (82 – 98)
1000
< 20

最高使用温度°C (°F)

2000 (3600)
真空又は不活性ガス中

2000 (3600)
真空又は不活性ガス中

2000 (3600)
真空又は不活性ガス中

The Crystallizers | SIGRATHERM黒鉛ソフトフェルト

15↑ 断熱用SIGRATHERMフレキシブルカーボンフェルトosphere)
Inert gas
Vakuum000/3632

温度に応じた SIGRATHERM GFA の熱伝導率（不活性ガス及び真空雰囲気中）

一貫した低熱伝導率
当社の特別な製造工程によって、SIGRATHERM黒鉛ソフトフェルト
は非常に低い熱伝導率を実現します。

熱伝導率 [Wm-¹K-¹]—

ロール長全体にわたって非常に均質な厚さとかさ密度分布を有し、一貫した高い断熱効果を実証します。

————
—
—
温度 [°C/°F]

不活性ガス
真空16SIGRATHERM®黒鉛リジッドフェルト
構造的で安定した断熱部品に
SIGRATHERMリジッドフェルトは、黒鉛繊維と炭素結合剤で作製される、形状保持型の断熱材です。
この材料は炭素化させた後に黒鉛化させて、最高で2200°C(3992°F)の温度での使用を保証します。
加工が容易
SGLカーボンのMFAグレードは、標準的な断熱部品、及びお客様仕様の構成部品に対応できます。優れた機械加工性を有し、複雑な形状、及び大型の自立型断熱構成部品への加工が容易です。

↑ 様々な表面層のSIGRATHERMリジッドフェルト

SIGRATHERM MFAの材料データ
代表特性単位

MFA

かさ密度
圧縮強度
曲げ強度
吸湿性
灰分
灰分（高純度）

g/cm³
MPa
MPa%ppm
ppm

0.170.70.8< 1.01000< 20

最高使用温度°C (°F)

2000 (3600)
真空又は不活性ガス中

The Crystallizers | SIGRATHERM黒鉛リジッドフェルト

17

特別な要求へのソリューション
SGLカーボンでは通常、直径が最大2000mmまでの、より大型の断熱シリンダ向けにRFAグレードを推奨しています。このグレードは、MFAグレードと同様の断熱特性を有します。
黒鉛シートを形成断熱材に付着させ、対流バリア及び反射コーティングとして適用することができます。当社では更に、機械的表面保護用に、C/C繊維で覆ったリジッドフェルトで構成される断熱用複合材も提供しています。
当社のリジッドフェルト部品は全て、半導体の厳しい純度規格に適合させるために、高純度化精製することが可能です。

↑ SIGRATHERMリジッドフェルトシリンダ

温度に応じた SIGRATHERM MFA
熱伝導率（不活性ガス雰囲気中）

SIGRATHERM MFA注文情報
MFA–FF

1524 x 1219 x 40 mm (60" x 48" x 1.57")

熱伝導率 [Wm−¹K−¹]表面コーティング、オプション：
FF = 両面をSIGRAFLEX®
フォイルで覆うCC = 両面をC/Cで覆う

1.0 —
0.8 —
0.6 —

板寸法

リジッドフェ
ルト複合板

0.4 —
0.2 —
0—
200/390

温度 [°C/°F]

1000/1800

2000/3600

Forms supplied
規格寸法：1524 x 1219mm (60" x 48")
板厚：30/40/45/50mm (1.18"/1.57"/1.77"/1.97")
お客様指定のサイズと表面コーティングについてご要望に応じます。

18

SIGRABOND炭素繊維強化炭素(C/C)
軽量で剛性、かつ耐久性のある構造部品に
SIGRABOND炭素繊維強化炭素材料は、軽量にて、高い機械的耐荷重性能を発揮します。これらは耐腐食性に非常に優れており、高い熱安定性を示します。

多様なグレードで様々な用途に対応
SGLカーボンのC/Cプレートには、2つのグレード、即ち、SIGRABOND StandardとSIGRABOND Performanceがあり、後者は剛性を向上させ、更に軽量部品の製造も可能にしました。

↑ 自動繊維巻き機を使用したSIGRABOND FilWound C/Cルツボ

SIGRABOND炭素繊維強化炭素の材料データ
代表特性

かさ密度
曲げ強度
弾性係数
層間せん断強度
灰分
灰分（高純度）
長さ/幅 1)
直径max/長さmax
厚み
最大壁厚みmax
最高使用温度

単位g/cm³
MPa
GPa%
ppm
ppm
mm
inmm (in)mm (in)mm (in)°C (°F)

Performance

プレート

シリンダ

Standard

FilWound

1.5
1.5
1.4
200
150
70
6088
レイアップ構造により異なる≤ 1000≤ 1000≤ 1000≤ 10≤ 10≤ 101220 x 1220 / 2450 x 1220
1220 x 1220 / 2450 x 1220–
48 x 48 / 96 x 48
48 x 48 / 96 x 48–
特殊寸法は問合せ
特殊寸法は問合せ
2000/2500 (79/98)
1.8 – 15 (0.07 – 0.6)
1.7 – 30 (0.03 – 1.2)–––
100 (4)
真空又は不活性ガス中で2000 (3600)

The Crystallizers | SIGRABOND炭素繊維強化炭素osphere)
Inert gas
Vakuum19

温度に応じた SIGRATHERM GFA の熱伝導率（不活性ガス及び真空雰囲気中）
熱伝導率 [Wm-¹K-¹]—

SGLカーボンでは、ルツボやシリンダといった回転対称構造部品も製造しています。

———

当社では通常、自動繊維巻き機を使用する特定のお客様向けに、これらの部品をSIGRABOND FilWoundグレードとして製造しています。

不活性ガス

—

真空

SIGRABOND C/Cは全て、半導体の厳しい純度規格を満たすために、高純度化を施すことが可能です。

——000/3632

温度 [°C/°F]

熱膨張係数Inert gas

000/3632

繊維の並び方向に垂直繊維の並び方向に平行

α = x × 10-6/K
12 —
10 —
8—
6—
4—
2—0—-2 —0

温度 [°C/°F]

400/752

1200/2192

2000/3632↑SIGRABOND加熱素子

お客様とともに成功を目指して
20

SGLカーボンは、黒鉛ブロックや図面通りに設計した製品の提供にとどまりません。当社のモデリング及びオプティマイゼーション部門では、お客様と協力し真の価値をもたらすソリューションビジネスを作り出していきます。
お客様との密なコラボレーションにより、客先要求仕様を深く理解し、ソリューション創出の手助けを行います。
新たな等方性黒鉛グレードR6520のような革新的製品は、こうした活動を通じて生み出すことができました。

The Crystallizers | お客様とともに成功を目指して

21

シリコン結晶成長分野
での性能向上
半導体用途向けのシリコン結晶成長は、ウエハに設計されるデバイス性能が要求する技術を達成する為の最先端なテクノロジーです。
また、この分野にて成功を収めるには、最高品質のウエハの高い歩留りを確保することが不可欠となります。
当社のモデリング及びシミュレーショングループがお客様と共同で、要求性能をを満たすために必要となる材料特性とあわせて、CZ引上げ機のホットゾーン部品の理想的形状を開発しました。
当社で新たに開発した等方性黒鉛グレードSIGRAFINE
R6520は、この設計思想に完璧にマッチします。最適な形状とあわせてこのグレードから製造したホットゾーンの部品によって、最高品質のウエハ歩留りが大幅に改善されました。これが、当社の目指す事業姿勢、即ち「お客様とともに成功を目指して」の取り組みを最もよく示しています。

22

スマートソリューション
材料、構成部品、製造工程のいずれであろうと、わたしたちは思考力と行動力をお客様のために結集させ、全体像を注視し続けています。当社のソリューションは常に未来を見据えています。
SGL独自の製品例は以下の通りです。

Mobilityモビリティ• 自動車/飛行機製造用、繊維強化複合材を基盤とした、軽量部材• 電気自動車リチウムイオン電池用の黒鉛負極材• スポーツカーおよび高級車用のカーボンセラミッ
ク・ブレーキディスク

Energyエネルギー• 特殊黒鉛および繊維材を基盤とした、太陽電池向け高温ソリューション
• 風力発電ローターブレード用炭素繊維材• 燃料電池用ガス拡散層• 高効率の熱交換及び熱回収システム• 高圧ガス容器用の炭素繊維Digitizationデジタイゼーション• 半導体における多結晶・単結晶引上げ用の、炭素/黒鉛/炭素繊維複合材の構成部品• LED製造用、高精度加工とコーティング黒鉛キャリヤ→ 世界最大の等方プレスによる、最先端かつ環境にやさしい製造工程

SGL Carbon

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SGL Carbon
SGLカーボンは、炭素・黒鉛・炭素繊維・繊維強化複合材を基盤とした製品の開発と製造におけるトップメーカーです。わたしたちはお客様とともに、明確な利益を生み出すことができる、知的で革新的、かつ持続可能なソリューションを開発しています。
わたしたちは、材料、エンジニアリングおよびアプリケーションに関する徹底したノウハウを駆使して、Mobility、Energy、そしてDigitizationといった、今後の主要分野に多大な貢献をしてまいります。

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本書の情報はSGLグループの現在の知識を基盤としており、SGLグループの製品及びその用途に関する一般的な見解を提供することを意図したものです。従って、これらの情報を、ここに記載の製品の具体的特性や、特定の用途におけるそれらの適性を保証するものとして解釈されるべきではありません。既存の工業所有権はいずれも、順守する必要があります。SGLグループの製品品質は、SGLグループの「一般販売条件」の下で保証しています。
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