自動X・XYステージ / テーブルサイズ 50×60

システム
製品
SystemProducts

Motorized X, XY Linear Stages / Table Size 50×60

産業用
Industrial

実験用Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZ
Z

SXA0530-R01

SYA0530-R01

回転Rotation※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

SXA0530-R01(168.5)49.5604030131330
4050(59.5)

自動精密
ステージ
MotorizedStage

200 +200Z
Z(9.5)(0.82)

X・XY
X・XY

4-M2 Depth 4mm

8-M3 Depth 6mmCCW
回転Rotation

Depth 4mm
裏面Back Side

30(28)(1)4-for M3 screws
Shaft length 7mm(168.5)(113.5)50403013Depth 4mm30

φ4H8 Depth 4mm

6200 +20060
4030
13154H8(4.5)

(5)

制御装置
Control
Electronics

(173)

モーター
コントローラ
Motor
Controller

8-M3 Depth 6mm
4-M2 Depth 4mm(108.5)アプリ
ケーション
Application

40

SYA0530-R01

真空ステージ
Vacuum
Stage

ドライバ
ボックス
DriverBox

630

Home Position
CCW Limit Sensor

(1)

アライ
メント
ステージ
XYθ

φ4H8 Depth 4mm

CW

CW Limit Sensor

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

4H8(59)40スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

裏面
Back Side

200+200

モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable

(1)

30

アクセ
サリー
Accessories□40

検査システムInspection
System

H-042

H.indd 42(28)

(60)

30

付録
Appendix

CONTACT

4-for M3 screws
Shaft length 7mm

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:13

アルミ / クロスローラガイド / ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ball Screw
型式
Model Number
勝手違い型式※1
Mirror Model Number
テーブル面Table Size
案内方式
Guide Mechanism
移動範囲Motion Range
送り方式
Lead Mechanism
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)
最高速度
Maximum Speed
累積リード誤差
Accumulated Lead Error
繰返し位置決め精度
Repeatability
ロストモーション
Lost Motion
水平Horizontal
真直度
Straightness
垂直Vertical
バックラッシュBacklash
モーメント剛性※3
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重
Weight直交度
Perpendicularity
5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ※4Stage Wiring Type
原点復帰
Returning direction
センサ基板型式
Sensor Model※1

産業用Industrial

SXA0530-R01

SYA0530-R01

SXA0530-R01-R

SYA0530-R01-RRR

実験用
Experimental

50mm×60mm
手動精密ステージ
ManualStage

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide
±15mm

X・XY
X・XY

ボールネジ, リード 1.0mm
Ball Screw, Lead 1.0mm
1μm/0.5μm

ZZ

0.05μm10mm/sec : Half 20kpps

回転Rotation≦8μm/30mm≦±0.3μm

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)≦1.5μm
≦1.5μm/30mm

自動精密ステージ
Motorized
Stage≦1.5μm/30mm≦0.2μm0.12 arcsec/N･cm

X・XY
X・XY

0.35 arcsec/N･cm

147N（15kgf）

142N（14.5kgf）

ZZ

アルミ合金
Aluminum Alloy
白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing
0.53kg1.06kg－≦5μm/30mm

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

PK523HPMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
PK523HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)
Φ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle: A type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
VacuumStage

V3
原点復帰の際に、領域（データム）センサを利用しています。CW側常時遮光。
Returning direction is determined with zone sensor. CW side’s light is intercepted in all time.
F-115R(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-115(HOME,LIMIT)
F-115R(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-115(HOME,LIMIT)

勝手違い、重ねの組勝手についてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.

ステージの検査はハーフステップで行っております。
※2
Stage is inspected by half step setting.
オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.
標準でクリーングリスを使用しています。
These stages have clean room lubricant as standard.
真空グリスに対応しておりません。
Vacuum lubricant exchange is not available.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.
対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

※3

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-026〜N-027ページを参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

制御装置
ControlElectronics
モーターコントローラ
MotorController

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 43

H-043

2022/09/06 16:13