システム製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 70×70
Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table Size 70×70

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

SA07A-R2T01

SA07A-R2S01

SA07A-R2M01

SA07A-R2B01

SA07A-R2L01

回転Rotation※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

SA07A-R2T01

(200)

(15)

裏面
Back Side
20(28)(31.5)

(156)

K-018

K.indd 18(3.5)(3.5)
4-for M4 screws
Shaft length 4mm□6026(5.5)

26(3.5)CCW□60(200)

4-for M4 screws
Shaft length 4mm(74)

裏面Back Side

Depth 4mm

30406070(15)4-for M4 screws
Shaft length 4mm(159)54H8

φ4H8 Depth 4mm

20(74)

SA07A-R2L01
Rotation Center

Rotation CenterCW

CCW

40

□60(156)

(200)

CW

CCW

(5.5)

検査システムInspection
SystemCW

4-M3 Depth 4mm
4-M3 Depth 6mm
4-M4 Depth 5mm(5.5)

アクセ
サリー
Accessories□60

SA07A-R2S01

26

付録
Appendix

CCW96

モーター
ケーブル
Motor
Cable

4-for M4 screws
Shaft length 4mm70モーター
ドライバMotor
DriverRotation Center

26

アプリ
ケーション
Application

SA07A-R2B01

9670
ドライバ
ボックス
DriverBox

CW

70604030

モーター
コントローラ
Motor
Controller

CCW

(12)

制御装置
ControlElectronics

CW

φ4H8 Depth 4mm

Rotation Center

26

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

真空ステージ
VacuumStage

SA07A-R2M01

Rotation Center

回転Rotation

アライ
メントステージXYθ(74)

540(5.5)(12)

Depth 4mm12230
40
6070(5.5)ZZ

4H8(0.5)

X・XY
X・XY

26

自動精密ステージ
Motorized
Stage

CCW Limit Sensor
Home Position
CW Limit Sensor

4-M3 Depth 4mm
4-M3 Depth 6mm
4-M4 Depth 5mm(85.5)
7060
4030

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

26

Z
Z

CONTACTTEL+81-44-981-2131/FAX+81-44-981-2181
【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp
【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:09

アルミ / クロスローラガイド / ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ball Screw

産業用
Industrial

型式
SA07A-R2T01
SA07A-R2M01
SA07A-R2B01
SA07A-R2S01 ※1
SA07A-R2L01 ※2
Model Number
勝手違い型式※3
SA07A-R2T01-R
SA07A-R2M01-R
SA07A-R2B01-R
SA07A-R2S01-RRR
SA07A-R2L01-RRR
Mirror Model Number
テーブル面70mm×70mm
Table Size
案内方式
精密クロスローラガイド
Guide Mechanism
Cross-Roller Guide
回転範囲±5°（R2T01）,±4.5°（R2M01）,
±5°
±4.5°
±4°
Angular Range（R2M01）（R2B01）
±4.5°
±4°
送り方式
ボールネジ, リード1.0mm
Lead Mechanism
Ball Screw, Lead 1.0mm
フル/ハーフ ステップ
0.000756°/0.000378°（R2T01）, 0.000564°/0.000282°（R2M01）,0.000756°/0.000378° 0.000564°/0.000282° 0.000448°/0.000224°
Full/Half Step
0.000564°/0.000282°（R2M01） 0.000448°/0.000224°（R2B01）
分解能※4Resolutionマイクロステップ（1/20分割）
0.0000378°（R2T01）,0.0000282°（R2M01）,0.0000378°
0.0000282°
0.0000224°
Micro Step (1/20 div)0.0000282°（R2M01） 0.0000224°（R2B01）
最高速度
11.3°/sec : Half
11.3°/sec（R2T01）,
8.5°/sec（R2M01）,/sec : Half 30kpps 6.7°
/sec : Half 30kpps
8.5°
Maximum Speed
30kpps
8.5°/sec（R2M01）: Half 30kpps 6.7°/sec（R2B01）: Half 30kpps
ワークディスタンス
70mm±0.2mm
96mm±0.2mm
122mm±0.2mm
70mm±0.4mm
96mm±0.4mm
Work Distance
回転中心変位量
Φ0.05mm/±5°
Φ0.05mm/±4.5°
Φ0.05mm/±4°
Φ0.1mm/±4.5°
Φ0.1mm/±4°
Rotation Center Error
繰返し位置決め精度≦±0.001°（AVE. ±0.0001°） ≦±0.001°（AVE. ±0.0001°） ≦±0.001°（AVE. ±0.0001°）≦±0.001°≦±0.001°
Repeatability
ロストモーション≦0.003°（AVE. 0.0006°） ≦0.003°（AVE. 0.0004°） ≦0.003°（AVE. 0.0002°）≦0.003°≦0.003°
Lost Motion

実験用Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
MotorizedStage

バックラッシュ≦0.003°（AVE. 0.0006°） ≦0.003°（AVE. 0.0004°） ≦0.003°（AVE. 0.0003°）≦0.003°≦0.003°
Backlash
モーメント剛性0.06 arcsec/N・cm
0.06 arcsec/N・cm
0.06 arcsec/N・cm
※50.35 arcsec/N・cm
0.35 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness（AVE. 0.036 arcsec/N・cm） （AVE. 0.037 arcsec/N・cm） （AVE. 0.038 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
49N（5kgf）
42.1N（4.3kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
アルミ合金
Material
Aluminum Alloy
外観
白色仕上げ
FinishClear-Matt Anodizing
自重0.66kg
1.32kgWeightPK523HPMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
5相ステッピングモーター※7PK523HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径
Φ5mm オプションハンドル：A type
Motor Shaft DiameterΦ5mm Conformance option handle: A type
コネクタ
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
Connector
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)
ステージ結線タイプ※6V3Stage Wiring Type
センサ基板型式
F-116(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME,LIMIT)
Sensor Model
F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT)
クリーングリス仕様型式
SA07A-R2T01-C
SA07A-R2M01-C
SA07A-R2B01-C
SA07A-R2S01-C
SA07A-R2L01-C
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
SA07A-R2T01-V
SA07A-R2M01-V
SA07A-R2B01-V
SA07A-R2S01-V
SA07A-R2L01-V
Vacuum Lubricant Model Number
※1
※2

※3

SA07A-R2S01は、SA07A-R2T01とSA07A-R2M01の組み合わせです。
Combination of SA07A-R2T01 and SA07A-R2M01 form 2-axes swivel stage
model SA07A-R2S01.
SA07A-R2L01は、SA07A-R2M01とSA07A-R2B01の組み合わせです。
Combination of SA07A-R2M01 and SA07A-R2B01 form 2-axes swivel stage
model SA07A-R2L01.
勝手違い、重ねの組勝手についてはK-005ページを参照して下さい。
Refer to page K-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.

※4

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※5ス
 イベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single swivel stage is measured in Roll Direction.

※6

 テージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
ス
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

※7出力側軸端をカットしています。
Cut off the edge of motor shaft's output side.

X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージXYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーターコントローラ
MotorController

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

K.indd 19K-019

2022/07/29 20:09