研究基盤技術センター

年次報告書
2023

東北大学 電気通信研究所

表紙写真の説明
表紙の画像は、電子後方散乱回折（EBSD）法を用いて鉄の結晶の向き（結晶方位）を可視化したものになります。原子が規則正しく配列した構造を結晶構造といい、材料中の全ての原子の向きがそろうと単結晶と言います。その一方、表紙の画像のように結晶の向きがそろった領域を1つの結晶粒として様々な向きの結晶粒があつまったものを多結晶といいます。この画像では結晶の向きで色分けしているだけでなく、鉄の結晶構造である面心立
方格子の回転でも可視化しています。
評価部で共通利用を提供している電子顕微鏡（日立製SU-6600）とそれに付随するのEBSD
検出器（Oxford製HKL channel 5）を使用してデータを測定して、結晶方位解析ソフトMTEXを用いて解析しました。評価部では、EBSD測定のための試料の前処理から、結晶方位の測定・解析まで一貫した技術を提供しております。

評価部

丹野健徳

目次
巻頭言

・ ・ ・ ・ P0 1

研究基盤技術センター センター長 佐藤 茂雄

組織図・ ・ ・ ・ P0 2

業務紹介・ ・ ・ ・ P0 3

研究基盤技術センター業務紹介
各部機器リスト ・ 有資格リスト

第一章 業務報告・ ・ ・ ・ P1 0

研究基盤技術センター年間活動報告
各部年間活動報告
研究基盤技術センター講演技術発表会 開催報告
社会貢献

第二章 研修 出張報告・ ・ ・ ・ P3 2

研修報告一覧 ・ 報告書

第三章 成果報告・ ・ ・ ・ P5 6

発表報告一覧 ・ 報告書 ・ 発表資料
主催、 講師担当報告一覧 ・ 報告書 ・ 講習会資料
共著 ・ 謝辞一覧
受賞報告一覧

第四章 技術報告・ ・ ・ ・ P1 0 0

題目 「Google Workspace を用いた DX による業務効率化」
評価部 丹野 健徳
題目 「FIB を用いた SiC 試料の TEM 薄片作成」
プロセス部 武者 倫正

編集後記・ ・ ・ ・ P1 1 3

各部問い合わせ先・ ・ ・ ・ P1 1 4

巻頭言
電気通信研究所では情報通信分野の研究拠点として、磁気記録や半導体・光通信をはじめとして世界をリードする研究が数多く行われています。研究技術基盤センターに所属する
技術職員は、こうした最先端の研究の細かなニーズに合わせて機械工作や、理化学計測、材料加工、あるいは情報管理のための様々な技術を提供しています。研究内容の変化に柔軟に対応し技術と知見のブラッシュアップに努めており、卓越した技量と経験を通して研究開発に貢献しています。
本報告書は研究基盤技術センターの年度ごとの業務内容や成果をまとめたもので、広く学内外の皆様にその活動状況を知っていただくことを大きな目的として発行させていただ
くものです。より良い内容としていくために、ご覧になった皆様から忌憚のないご意見・ご要望などをお待ちしております。また、本センターの利用についてご希望やご質問等がございましたら、巻末の問い合わせ先までご連絡ください。

研究基盤技術センター長
佐藤 茂雄

01

東北大学電気通信研究所 研究基盤技術センター組織図（2024年4月1日現在）

末永 保(技術長）
グループ長
阿部 健人

前田 泰明
月本 佳奈

センター長

教授 佐藤茂雄

教 授
教 授
教 授
教 授
技術長

グループ長
丹野 健徳

技術長
末永 保

グループ長
武者 倫正

佐藤 茂雄
石山 和志
長谷川 剛
吉信 達夫
末永 保

グループ長
太田 憲治

02

阿部 真帆
柳生寛幸

小野 力摩
森田 伊織

丸山由子

業務紹介
研究基盤技術センター
電気通信研究所において基礎科学から応用通信工学に広がる幅広い学問領域において先駆的な研究がこれまでになされてきた。伝統的には、技術職員は卓越した技量と経験を通してこれらに貢献してきた。将来に向かってこのような貢献が加速されるために、全ての技術職員と一名の助教が加わった研究技術基盤センターが 2007 年に設立された。センターは以下の４技術部を通して、機械工作や、理化学計測、材料加工、情報管理のための様々な技術を提供している。

工作部
先導的な機械工作技術を提供しており、様々な工作機械（図 １）を用いて研究室の要求を満たす実験機器の提供が可能である。ま た、機械工作を行う教職員や学生への指導も行
っている。

評価部
X 線回折装置（図２）や電子ビーム蛍光Ｘ線元素分析装置のような評価・計測装置の提供を行う。ガラス工作品の提供も可能である。また、寒剤の供給を受け持っている。

プロセス部
ナノ・スピン実験施設共通部と協力し、スピントロニクス等半導体デバイス作製に係る技術相談に対応している。リソグラフィ技術提供（図３ 電子線描画装置 ＊ナノ・スピンの共同利用装置）やフォトマスクの受託加工、集束イオンビーム加工解析装置を主とした
各種受託分析、およびクリーンルームの運転管理を行っている。

情報技術部
やわらかい情報システムセンターと協力して、研究所内のネットワークを運営すると共に共通利用の情報機器の管理を行っている。加えて、本研究所で生まれた革新的な技術を世界に発信していく際に重要な、知的財産に関する情報の収集と管理に従事している。

図 1 NC フライス盤

図 2 X 線回折装置
03

図 3 電子線描画装置

工作部

機器リスト

2024 年 4 月現在

保有機械一覧
種類

型番

保有

能力 加工可能な大きさ、加工可能な穴の直

外来

台数

径等

利用

搭載可能なワークの大きさ
✕
✕
フライス盤

各

✕

✕

○

長尺端面加工：～円盤加工：～

ΦΦ

長尺端面加工：～旋盤

円盤加工：～

ΦΦ

長尺端面加工：～円盤加工：～

ΦΦ

長尺端面加工：～円盤加工：～
ボール盤

Φ

○

Φ

把握可能なドリル直径：～Φ

把握可能なドリル直径：～Φ

把握可能なドリル直径：～

Φ

ラジアル
ボール盤

シャー

切断可能

厚さ：～
幅

：～

○
○

○

ストローク長：～コンターマシンベンダー

ストローク長：～テーブル長：
ストローク：

04

◯

評価部
装置名
構造解析装置

機器リスト

汎用Ｘ線回折装置（RINT）

精密Ｘ線回折装置（SPL）

薄膜材料用Ｘ線回折装置（MRD2D）

高分解能走査型電子顕微鏡(STEM)

電子ビーム蛍光X線
元素分析装置(EPMA)
組成分析装置

Ｘ線励起蛍光Ｘ線
元素分析装置(XRF)
赤外分光光度計（FTIR）

光学測定装置

赤外可視分光器（MONO）
大気下光電子分光装置（PYS）
分光エリプソメータ（ELPS）

旧PCR

デジタルマイクロスコープ
加工装置

ダイシングソー（DICING）
ダイシングソープロセス室

2024 年 4 月現在

評価部 共通利用機器 一覧
主な性能
最大定格出力 2kW
測角範囲 -60～158度
自動測定処理システム
各種分析プログラム
最大定格出力 1.2kW
5軸制御の試料ステージ
高分解能美昇格散乱測定
高分解能インプレーン測定
最大定格出力 3kW
測角範囲 -40～170度
高温測定 室温～900℃5軸制御の試料ステージ
2Dアレイ検出器
二次電子像分解能 1.0nm
倍率 ～×800,000
冷陰極電界放出形電子銃
STEM機能有
検出器 EDX
対象物質：C- Pu
二次電子像分解能 1.2nm
倍率 ～×600,000
ZrO/W ｼｮｰﾄｴﾐｯｼｮﾝ電子銃
低真空モード (10- 300Pa)
蛍光Ｘ線測定検出器 WDX
真空またはHe雰囲気
対象物質：F- U
測定波数 400-5000 cm-1
検出器 DTGS
反射アタッチメント有波長範囲 200-2500nm
光子エネルギー
3.4～6.2eV
測定波長 250～800nm
最大試料サイズ φ100mm×2mm

主な用途
結晶構造解析・評価

36.2
結晶構造解析・評価
816.0
結晶構造解析・評価
1220.4

表面形状評価表面組成組成分析229.3

表面形状評価表面組成分析
結晶構造解析
表面組成分析
結晶構造解析

223.1

0.0

薄膜組成分析
0.0
光吸収・発光スペクトル測定
光電子収量分光
仕事関数測定エリプソパラメータ測定
光学定数解析
膜厚解析

0.0
18.5
0.0

光学顕微鏡

表面観察

0.0

ウェハー最大径6インチ

ウェハー切断加工

0.0

光導波路作製用
精密切断、溝切り加工

ウェハー切断加工

122.0

E棟
プロセス室

2022年利用時間 (h)評価部共通機器紹介動画
SEM・XRDを用いた外部利用者向けオンライン受託測定
https://youtu.be/qahWXnDWY9U

05

プロセス部
分類

機器リスト

装置名称

電子ビーム描画装置

ナノ・スピン電子描画システム
日本電子 JBX-9300SA

露光

スピンデバイス用リソグラフィ装置
ハイデルベルグ・インストルメンツ
DWL66+
スピンデバイス用リソグラフィ装置
ハイデルベルグ・インストルメンツ
DWL200
マスクアライナー
SUSS MJB4

微細加工

イオンビーム加工解析装置
カールツァイス NVision40

電界放出形走査電子顕微鏡
日立 SU8600

走査型電子顕微鏡日本電子 JSM7401-FT
評価・観察

接触段差計
Bruker DEKTAK XT-A

原子間力顕微鏡
SII nanocute

金属顕微鏡
OLYMPUS MX50
プラズマアッシャー
ヤマト科学 V-1000TS
前処理

プラズマアッシャー
ヤマト科学 PR-500
SEM用スパッタ装置
サンユー電子 SC-701AT

2024 年 4 月現在

プロセス部 所有機器一覧
主な性能
加速電圧：100kV
フィールド接合精度：±20nm
重ね合わせ精度：±20nm
最小線幅：12nm(スポットビームタイプ 最小ビーム径2nm)
ウェハサイズ：5mm角～8inchΦ
加速電圧：100kV
最小線幅：20nm
ウェハサイズ：5mm角～300mmΦ
最小描画線幅
HiResMode：300nm
L&S ModeⅡ：800nmライン/スペース
重ね合わせ描画精度：500nm
ウェハサイズ：5mm角～8inchΦ
マスクサイズ：2.5～6inch角
最小描画線幅：2µmライン/スペースウェハサイズ：3～6inchΦ
マスクサイズ：2.5～6inch角
基板サイズ：5mm角～4inch角マスクサイズ：2inch角～5inch角
紫外線露光照度：25mW/cm2
露光分解能：0.8µmライン/スペース(バキュームコンタクト時)
Gaイオンビーム最大加速電圧：30kV
電子ビーム最大加速電圧：30kV
Arイオンビーム最大加速電圧：1kV
堆積可能膜：Pt,C,SiO2二次イオン質量分析器(SIMS)
エネルギー分散型X線分光器(EDS)
走査透過型電子顕微鏡(STEM)機能
TEM試料作製用マニピュレータ
最大サンプルサイズ：4インチΦ
2次電子分解能
加速電圧15kV時：0.6nm
1kVリターディングモード時：0.7nm
倍率：×20～×2,000,000
加速電圧：0.5～30kV
照射可能電圧：0.1～30kV
半導体型反射電子検出器
最大試料サイズ：150mmΦ
2次電子分解能
加速電圧15kV：1.0nm保証
1kV GBモード：1.5nm保証
像種：2次電子像、反射電子像
2次電子+反射電子像、エネルギーフィルタ像
倍率：×25～1,000,000
自動倍率補正機能、倍率瞬時切替機能、
像回転補正機能付き
加速電圧：LM,SEMモード：0.5～30kV
GBモード：0.1～4kV
プローブ電流：10-13～2×10-9A
最高垂直分解能：0.1nm
測定距離：50µm～55mm
触針半径(標準)：12.5µm
ステージサイズ：直径150mm
変位検出方式：自己検知方式
最大スキャン領域：20µm四方
分解能：XY方向：0.2nm
Z方向：0.01nm
データタイプ：形状像(表面形状像)
対物レンズ：5×,10×,20×,
50×,250×
光学顕微鏡用デジタルカメラ付属
プラズマモード：DP、RIE
最大出力：1000W
導入ガス：O2
カーブトレーサーモード可
高周波出力：0～500W連続可変
導入ガス：O2
スパッタ方式：2極対向電極放電方式
ターゲット：Au, Pt
試料処理室：φ120mm×D120mm

06

主な用途

共通利用

レジスト等有機材料への極微〇
細パターン形成(委託のみ)

ナノスケールのパターン描画

ウェハへの直接描画
フォトマスク作製〇(委託のみ)〇

フォトマスク作製
ウェハへの直接描画

集積回路試作用フォトレジス
トパターン形成〇

収束イオンビームによる微細加工とSEM観察〇(FIB加工は委託のみ)

薄膜表面極微細構造解析〇

薄膜表面極微細構造解析〇

段差、垂直形状、表面粗さな
どの評価〇

表面微細構造、形状像測定
立体構造、表面粗さ解析〇

試料表面の評価観察〇

試料表面のアッシング、ク
リーニング

〇

試料表面のアッシング、ク
リーニング

〇

電子顕微鏡観察用金属コー
ティング〇

有資格リスト
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07

2024 年 4 月現在

TOEIC700 点以上達成者リスト
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08

2024 年 4 月現在

09

第一章

業務報告
研究基盤技術センターは4 部（工作部、評価部、プロセス部、 情報技術部）で構成されており、それぞれ特色のある
専門的な業務を担っています。

研究基盤技術センター 年間活動報告
対象期間：2023.4~2024.3

1，各役割分担会議関連
・教授会陪席(毎月 8 月は除く)…末永（工）、阿部健（工）・統括技術専門員会議(毎月)…末永（工）広報関連・基盤センターHP 管理…太田(情）・基盤センター利用マニュアル…丹野(評)・通研要覧、通研活動報告原稿等取り纏め…工作部
・2022 年度年次報告書作成…プロセス部、情報技術部

2，研究基盤技術センター ミーティング
毎月開催（8 月は除く） WEB 形式
・進行…末永（工）・議事録作成…太田（情）内容１)教授会報告…阿部健（工）２)総合技術部統括専門員会議報告…末永（工）３)出張報告研修報告…各部

４)各種（出張研修等）予定…各部
５)その他

3，基盤センター主催
4月

学内向け行事

2023 年度会議関連開催日程表

基盤センター利用説明会 開催（工作部・評価部）

・挨拶…佐藤先生（センター長）
・進行…阿部健（工）・案内作成、開催通知、参加者取り纏め等…阿部健（工）、関谷（工）・受講登録フォーム作成・管理…丹野（評）3月

研究基盤技術センター講演技術発表会

開催

・挨拶…佐藤先生（センター長）
・進行…末永（技術長）
・座長…前田（工）・案内作成、開催通知、参加者取り纏め等…阿部健（工）11…P19～27

4，社会貢献
9月

第一回半導体基礎講座

開催（プロセス部・評価部）…P28～29

・講師 運営…丹野（評）、阿部真（評）、森田（プ）、武者（プ）、小野（プ）

10 月

通研公開

開催

…P30

・連絡員…柳生（評）・来客対応…阿部健（工）、前田（工）、丹野（評）、小野（プ）、太田（情）3 月 第二回半導体基礎講座 開催（プロセス部・評価部）…P28～29
・講師 運営…丹野（評）、森田（プ）、武者（プ）、小野（プ）12工作部年間活動報告書
対象期間：2023.4～2024.3
工作部では 2023 年度の業務として、109 件の依頼工作を提供した。この中の約 11%は、研究所外からの要求に応じたものである。
コロナ禍で休止中だった教職員を対象とした外来利用を再開し、所内外合わせて 37 件の利用対応を行った。この際、従来は実地で行っていた工作部利用講習会を、動画を利用したオンライン受講に切り替
え、受講登録も web 上で行えるようシステムのアップデートを行った。また、初めて機械加工を行う方や希望者に対して職員による工作指導も行った。
下記に製作依頼を含めた業務及び実績を記す。

活動実績
名称

参考資料

製作依頼

図 1、2

外来利用

表1

具体的な成果VSM キャリブレーション用試料、EB 装置用ウエハ位置合わせ治具（図1）、ファラデーケージ、蛍光観察用テフロンチャンバー、ロボットディ
スプレイ用ディスプレイマウント、VR 触覚提示ロボット、真空装置部
品、実験水槽用ガイド（図 2） 他製作
計 109 件
末松研究室…1 件、石山・後藤研究室…4 件、石黒・加納研究室…3 件、吉信・宮本研究室(工学研究科)…27 件、CSIS…１件、茂田・杉本研究室（工学研究科）…１件
計 37 件

表1

研修・発表

行事

外来利用時間

第 2 章、
第 3 章掲
載

研修等参加…7 件
研究会等発表…2 件

第 1 章、
リンク先掲載

2023. 4 研究基盤技術センター利用説明会 開催担当
2023.10 通研公開 職場紹介、メダル配布→News 2023 年度通研一般公開 | 通研工作部 (tohoku.ac.jp)
2023.10 総合技術部 職場紹介記事 掲載→【職場紹介】電気通信研究所 研究基盤技術センター 工作部 | 新
着情報｜東北大学 事業支援機構 総合技術部 (tohoku.ac.jp)
2024. 3 研究基盤技術センター技術講演発表会 開催担当

13

役割分担
研究基盤技術センター利用説明会 (2023.4)
・参加者取り纏め、工作部説明資料作成…阿部・動画編集等…月本通研公開 (2023.10)
・来客対応、メダル配布…阿部、前田

研究基盤技術センター技術講演発表会 (2024.3)
・開催案内、取り纏め…阿部・司会進行…末永・座長…前田

工作部広報関連
・WEB ページ作成、管理…月本工作部外来利用関連
・利用講習会動画作成、管理…月本・外来利用対応、工作指導対応…月本

2023 年度製作品一例

図1

図2

EB 装置用ウエハ位置合わせ治具

14

実験水槽用ガイド評価部年間活動報告
対象期間：2023.1～2023.12
評価部では 2023 年の業務として、23 の研究室と 6 つの外部研究機関・企業が共通利用計測機器を利用した。共通利用計測機器の総使用時間は 2,117 時間になり、その内 67 時間が受託測定への対応時間になる。共通利用計測機器の使用時間を表 1 にまとめた。2 研究室での液体ヘリウム利用において技術的支援を行い、1,460 リットルの液体ヘリウムを供給した。また、事務部並びに安全衛生管理室と連携して研究所の安全維持に携わった。
この他の活動実績として、雑誌への特集記事の寄稿や、共著者として論文・学会発表、SEM・XRD
基礎講習会の主催、総合技術部研修やシンポジウムなどでの発表があげられる。

表1

共通利用計測機器の年間使用時間15プロセス部年間活動報告
対象期間：2023.4～2024.3【活動実績】
名称

参考資料

具体的な成果
電子線露光装置…計381件、フォトマスク作製…計31件
イオンビーム微細加工…計8件、受託分析…計13件

依頼対応

図1

研修・発表

第2章、
第３章掲載

基盤センター
行事

第1章掲載

参加…8件、発表・開催…2件

2023.10

図1

通研公開

業務紹介、マスク展示

イオンビーム微細加工(TEM薄片)例【半導体基礎講座】
評価部およびナノ・スピン実験施設と協力し、「半導体を基礎から学べる社会人のための半導体基礎講座」を計2回(23年9月、24年3月)開催した。計25名の参加者が座学、トランジスタ作製実習、評価分
析機器実習を通してトランジスタや半導体プロセスについて学び、特に実習について好評を博した。

図2

半導体基礎講座の講義(左)と実習(右)の様子【CMOSトランジスタ作製研修】
電子回路・測定・実験群の少人数型技術研修として、CMOSトランジスタ作製研修を主催した。トラン
ジスタ作製プロセス・評価について講習を行うと共に、他部局の技術職員と装置管理・安全衛生管理についての情報交換や知見共有を行った。

図3

CMOSトランジスタ作製(左)と電気特性評価(右)16【新装置導入報告】
プロセス部では2022年から2023年にかけて下記3台の装置を新規導入した。以下に各機種の特徴、機能を紹介する。
・電子線描画装置 JBX-8100FS（日本電子）
既存機器に比べて最小ビーム径、走査スピード等が向上し、さらに12段カセット自動搬送システム
により、一度に複数枚のサンプルの描画が可能となった。また、本装置は光学顕微鏡を有しており、レジストを感光させることなくサンプル上のパターンを確認して位置合わせ描画が可能である。

図4

電子線描画装置 JBX-8100FS 外観(左)とJBX-8100FSでの微細描画(右)・レーザー描画装置 DWL66+（ハイデルベルグ・インストルメンツ）
本装置の特徴はレーザー描画装置という機器類では最小の300nm線幅のフォトレジストパターンの形成が可能である点が挙げられる。基板は小片サイズから、8インチマスクサイズまで対応している。

図5

レーザー描画装置DWL66＋装置外観（左）と本体内部写真（右）・電界放出形走査電子顕微鏡 SU8600（日立ハイテク）
既存機器に比べて2次電子分解能が0.7nmに向上、照射可能電圧が0.1kVまで拡大し、より明瞭で幅広い観察が可能となった。今後は複数の検出器による高度な観察方法などを整備し、より利用を促進し
ていく。

図6

電界放出形走査電子顕微鏡 SU8600外観(左)とパターン評価観察例(右)17情報技術部年間活動報告
対象期間：2023.4～2024.3
情報技術部では 2023 年の業務として、通研における学術・研究の基盤となる情報ネットワーク及びサーバシステムの管理・運用および、イベント支援を行った。また、事務部と連携して研究所の知的財
産関連の業務に携わった。
具体的な取り組みは、以下の通りである。

・ 研究所内の技術支援について

サーバ機器、ネットワーク機器のメンテナンス、監視

情報セキュリティインシデントへの対応



各研究室からのネットワーク使用に関する相談対応

情報システムのアカウント管理

通研 Web サイトの構築・更新



イベント・カンファレンスの動画コンテンツ作成と公開



イベントの運営支援



所外に持ち出すモバイル通信機器のセキュリティ対策チェック



計画停電時の予備電力によるシステム運用

東北大学で初となる研究所が免許人になるローカル 5G 実験試験局免許を取得

ローカル５G を用いた研究支援の実施



ローカル５G の共同研究を実施し、ローカル５G の電波特性などに関する調査を実施



２号館改築工事に伴うネットワークインフラの設計を実施

G-Suite の仕様改定に伴い研究室支援および対応を実施

研究室 Web、メールサーバに関する技術支援を実施



ローカル５G の共同研究を実施し、ローカル５G の電波特性などに関する調査を実施



先端的ハーモナイズドエージェントプラットフォームの研究開発の技術支援において、災害時のエージェント研究に対し、LPWA 通信を用いたメッセージ送信基盤に関する技術支援を実施

・ 研究所外の技術支援について

コアファシリティ事業に対して、メールサーバや検証サーバの構築・メンテナンス及び、大学の認証基盤変更に伴う技術支援を実施。また、旧 Web サーバの移行作業も実施。



生命科学研究科に対して、配信システムや eduroam 関連および、新棟のネットワーク新設に関する技術支援を実施



配置部局以外である AIMR、加齢研に対して、無線 LAN システムの技術支援を実施

青葉ユニバース内の半導体設計拠点のプロジェクトに関する技術支援を実施

この他の活動実績として、講習会の主催、総合技術部研修やシンポジウムなどでの発表があげられる。

18

研究基盤技術センター講演技術発表会

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通研研究基盤技術センター技術講演発表会のご案内
通研研究基盤技術センター長
佐藤茂雄

電気通信研究所

研究基盤技術センターでは、各利用研究室とセンターとの連携の強化、並びにセンター内での知見の共有などを目的として、｢研究基盤技術センター技術講演発表会｣を開催しております。今年度も研究基盤技術センターをご利用頂いている研究室の｢特別講演｣と、当センターの技術職員による｢技術発表｣の構成で、下記の通り開催いたします。

記
日時： 令和６年３月２５日（月） １５：００ ~ １６：４５形

式： オンライン開催 Zoom （URL は参加者に別途案内）※講演中の映像は記録のため録画させていただきますのでご了承ください。

対象 者： 教職員や学生はどなたでも聴講できます。

申込 先： 下記の Google フォームからお申し込みください。
https://forms.gle/7BQEKvuTktXyeeAt9

申込み締切： 令和６年３月２２日（金）プログラム（進行：末永保）
１５：００

開会

センター長挨拶

特別講演
１５：０５

「電子後方散乱回折法の応用」
鈴木 茂（マイクロシステム融合研究開発センター）

技術発表（座長：前田泰明）
１５：４５「EBSD の技術向上について」（動画発表）

１６：１５
１６：４５

阿部

真帆（評価部）

月本佳奈（工作部）「自作動画による安全教育と効果」

閉会＜担当＞
電気通信研究所 研究基盤技術センター 工作部
E-mail: kojyo_riec@grp.tohoku.ac.jp
内線:(91)5536

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第二章

研修 出張報告
技術職員は自らのスキルアップの為に、研修・講習会等に自主的・積極的に参加しています。これらの活動は月例のミーティングで報告することが原則となっています。

研修・出張報告一覧
対象期間：2023.4~2024.3
関谷佳奈(工作部)23.4 *森田伊織(プロセス部)24.2 *「令和 5 年度 CFC マネジメント研修（指名型）」「～あなたの悩みを解消！～緊急情報・警報広域周知システム
WAN-WAN 実演セミナー」

関谷佳奈(工作部)23.5 *「2022 年度東北大学自己啓発研修（通信教育履修コース）」

小野力摩(プロセス部)24.3 *「ハラスメント防止研修

職場のハラスメントの現状と対策」

末永保、阿部健人、前田泰明、関谷佳奈(工作部)23.7 *丸山由子(情報技術部)23.5 *「令和 5 年度加工・開発群全体会」「コアファシリティ統括センター（CFC）マネジメント研修」
阿部健人(工作部)23.7 *丸山由子(情報技術部)23.6 *「令和 5 年度 CFC マネジメント研修」「次世代ネットワークの革新と業務最適化、AI と著作権を踏まえた
部局広報研修会」

月本佳奈(工作部)23.12 *「2023 年度第 1 回片平 A チーム研修」

太田憲治(情報技術部)23. 9*「R5 年度 CFC マネジメント研修（L1 リーダー研修）」阿部健人(工作部)24.1 *「加工開発群

片平地区機械加工 C チーム研修」
太田憲治(情報技術部)23. 12*「大学 ICT 推進協議会（AXIES）」

前田泰明(工作部)24.2*「加工・開発群

B チーム研修」

柳生寛幸(評価部)23.7 *「東日本大震災の教訓を活かした実践的防災学へのアプローチ」
丹野健徳(評価部)23.7 *「CFC スキル開発センター

マネジメント研修（【L1】リーダー研修）」
武者倫正(プロセス部)23.7 *「令和 5 年度 CFC マネジメント研修」
森田伊織、武者倫正、小野力摩(プロセス部)23.10 *「仙台市危険物・高圧ガス事故防止連絡会」
小野力摩(プロセス部)23.10 *「メンタルケア講習会

コロナ禍における学生理解とその対応」

森田伊織(プロセス部)23.9 *「令和 5 年度 CFC マネジメント研修（自発型）」
小野力摩(プロセス部)23.11 *「安全教育技術セミナー「よくある理化学実験機器の解説と事故事例について」」
小野力摩(プロセス部)23.12 *「生成系 AI 研修

ChatGPT 業務活用と生成 AI で社会はどう変わるか」
小野力摩(プロセス部)24.1 *「メンタルヘルス研修

レジリエンス~ストレスを跳ね返す心を育

みましょう」

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「令和 5 年度 CFC マネジメント研修（指名型）」の受講報告
2023 年 5 月 29 日
工作部 関谷佳奈
名称：「令和 5 年度 CFC マネジメント研修」
期間：2023 年 4 月 1 日～30 日（1 ヵ月間）
場所：オンライン (株)Schoo の e-ラーニング
１、 目的
CFC スキル開発センターで今年度 4 月から実施するマネジメント研修((株)Schoo の e-ラーニング)に関して、職群代表から受講者として指名された為受講した。
２、 内容
下記のカリキュラムで構成されたステップアップ研修を受講。
・職場で活かすメンタルヘルス
・怒りをコントロールするための「アンガーマネジメント」入門
・ニューノーマル時代に必要とされる「問う力」とはカリキュラムを受講して、学んだことをレポートに記入し提出。（200～400 字）
レポートには、業務で活かせると思ったこと、この研修に対する意見・感想、自由視聴した授業でお勧めのものはありましたか、の３つの設問があった。
３、 感想
どれも職場で役立つと感じたが、一番印象に残ったのがアンガーマネジメントだった。怒りをコントロールすることで、仕事に対してだけでなく、その他にもプラスに働くので、実践していきたいと思った。
また、これらの授業はすべて録画されたものだったが、オンラインで参加した方のコメントを見ることが出来る機能があり、様々な意見や事例をみて、もし私がその立場ならどうするかなど考えたり、自分にはない考え方を知ることが出来たりと、知見を広めることが出来た。

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「2022 年度東北大学自己啓発研修（通信教育履修コース）」の受講報告
2023 年 6 月 26 日
工作部 関谷佳奈
名称：「2022 年度東北大学自己啓発研修（通信教育履修コース）」
期間：2022 年 6 月 1 日～2023 年 5 月 31 日（1 年間）
場所：オンライン（JMAM e ラーニングライブラリ）
1、 目的
事務職員及び技術職員に対し、通信教育を受講させることにより、自己啓発意識を刺激するとともに、職務遂行に役立つ教養及び知識等を修得させ、もって、大学職員としての資質の向上を図る。（実施要項から抜粋）
2、 内容
ライブラリの中から 1 コース選択し、受講コースの完了、事後テスト 60 点以上及びアンケートの回答をもって修了。今回は「グロービッシュ式らくらく英語」を選択し、修了した。
3、 感想
使用する場面ごとに授業が組まれており、大変わかりやすかった。主に単語を並べ替えて文を完成させる授業だったが、問題文の多くがビジネスに関係したものだったため、文法の復習や知らない単語を知る良い機会となった。期間内であれば他コースも受講可能だったため、TOEIC スコアアップのコースも受講した。アウトプットもしっかり行っていきたい。

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加工・開発群全体会参加報告
2023 年 7 月 31 日
工作部

末永保、阿部健人、前田泰明、関谷佳奈

名称：「令和 5 年度加工・開発群全体会」
期間：2023 年 7 月 10 日 13:30～
場所：オンライン開催（Google meet）
１、 目的
加工・開発群では「研究・教育に貢献する、唯一無二のものづくり」をモットーとし、機械加工、ガラス加工等の技術向上に努めながら本学の研究・教育活動を支援している。この全体会では、部局を超えた全学的な活動はもちろんのこと、総合技術部及び職群の活動を理解し、職員の相互理解を深めるとともに情報共有を図ることを目的とする。
２、内容
・令和 5 年度の体制について
体制、部局構成・令和 4 年度活動報告について
加工・開発群会議報告⻘葉山キャンパス地区・片平キャンパス地区機械加工グループ報告、ガラス加工
グループ報告核融合科学研究所技術交流 【NC 加工技術】報告・令和 5 年度グループ・チーム編成について
⻘葉山キャンパス地区・片平キャンパス地区機械加工グループ、ガラス加工グループ 令和 5 年度活動計画
・広報活動について・総合技術部について

伊東副部⻑

・意見交換
３、感想
他のチーム研修での様子など報告を通して知ることができ、昨年度から本格的に動き出したチーム研修への期待も高まった。全体会が開かれることで他グループや他チームのメンバーなどについても知ることができ、そうした点でも有益だった。

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令和 5 年度 CFC マネジメント研修の受講報告

令和 5 年 ７月
工作部

名称：令和５年度 CFC マネジメント研修

２３日

阿部健人

S1 ステップアップ研修

期間：令和５年 7 月 1 日～31 日（一ヶ月間）
場所：オンライン研修（Schoo）
1、 目的
職位や昇任等に合わせて CFC が指定した授業などを期間内に受講し、業務を行う上で一助となるスキルを養う。

２、内容
・職場で活かすメンタルヘルス（1 時間）
・怒りをコントロールするための「アンガーマネジメント」入門
１．価値観が多様な時代に学ぶ「アンガーマネジメント」のキホン
２．仕事でも家庭でも活かしたい怒りのコントロールのコツ
・ニューノーマル時代に必要とされる「問う力」とはレポート(業務に活かせると思ったこと、研修に対する意見・感想、自由視聴した授業について)
３、感想

どの単元においても自分で省みるべき項目が多く非常に有用だった「問う力」に関しては相手への質問だけではなく、自分への問いかけ（分析）はメンタルケ
アやアンガーマネジメントにも有効であると感じた。
動画教材を用いての受講だったため、疑問に思った点などを反復視聴するなどして授業への理解度をより深めることができた。

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「2023 年第 1 回片平 A チーム研修」参加報告書

報告日

2023 年

12 月 25 日

工作部

月本

佳奈

名称：2023 年第 1 回片平 A チーム研修「日常的に使っている工具・装置等の紹介」および「金研工場視察」
期間：2023 年 12 月 25 日 13:30～

場所：A10 金属材料研究所技術棟Ⅰ 1-202 号室（テクニカルセンター会議室）
1、研修概要「日常的に使っている工具・装置等の紹介」について片平機械加工グループチーム A メンバー
9 名による 1 人 5 分から 15 分程度の発表および質疑応答を行う。
金属材料研究所テクニカルセンター機器開発技術グループの業務場所を訪問し、保有設備や作業環境を視察する。

2、研修内容13:20~13:30

受付

13:30~13:35 グループリーダー挨拶
13:35~14:25 発表①～④
14:25~14:30 休憩
14:30~15:20 発表⑤～⑨
15:20~15:25 職群代表総評
15:25~15:30 休憩
15:30~16:30 金研工場見学
3、感想
発表では、私は溶接に関する工作部自作の便利装置を紹介した。他にも溶接での便利部品を紹介した方がおり、溶接用アイテム等の情報交換をすることが出来た。
他には刃物紹介や、旋盤用治具、機械保守アイテムや工作手法等様々な発表があり、大変参考になった。中でも旋盤に関しては、私自身経験値が少ない為課題が多いと感じており、おかげで旋盤に関しての知識がより深まった。研修を終えてすぐに旋盤の依頼があり、学んだことを活かしつつ加工することが出来た。
金研工場見学では、今後新棟移転も控えているため、機械配置や使用工具収納、家具類や運用方法等に注目し見学してきた。今後参考にしつつ新棟移転の際に生かしていきたい。
また、今回の研修で得た情報を、簡単にではあるが資料に纏め、工作部内でも共有した。
下記に作成した資料を添付したので、少しでも参考になれば幸いだ。

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「加工開発群 片平地区機械加工 C チーム研修」の受講報告
令和 6 年１月２９日
工作部 阿部健人
名称：「加工開発群 片平地区機械加工 C チーム研修」
期間：令和６年１月２４日 13：30～15：30
場所：オンライン(Google Meet)
１、 目的
共通の図面を課題としてチーム内の各部局毎でその製作工程と手順などを検討し、部局ごとの保有機械や工作技術の共有を行う。
２、 内容
13:30 ～ 13:35 佐々木グループリーダーからの挨拶
13:35 ～ 14:00 金研課題図面に関する発表、質疑応答
14:00 ～ 14:25 多元研課題図面①に関する発表、質疑応答
14:25 ～ 14:50 通研課題図面に関する発表、質疑応答
14:50 ～ 15:15 多元研課題図面②に関する発表、質疑応答
15:15 ～ 15:30 チーム内ミーティング
３、感想
普段加工しない複雑な形状の装置について検討するなど経験を積む機会となった。金研・多元研からは 5 軸加工機を使用した装置についての課題だったが、3 軸加工機と円テーブルを活用した加工方法を提案し、実際に 5 軸加工機導入前に行われた加工事例を紹介してもらいアドバイスを頂いた。
また、多元研からはロウ付け加工に関する図面も提示されたが、ロウ付け加工の依頼自体が少ないことから今後における課題にもなった。
今回の研修を通して各部局の保有工作機械や技術を共有することが出来、他部局との相互連携のきっかけになると感じた。

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「加工・開発群 B チーム研修」報告
報告日 2024 年 2 月 26 日
工作部 前田泰明

名称：「加工・開発群 B チーム研修」
期間：2024 年 2 月 1 日〜2 日（13:30〜17:00）
場所：電気通信研究所、多元物質科学研究所、金属材料研究所の各工場
１、 目的
それぞれの工場を見学して、日常的に使用している工具や治具、さらに設備や便利ツー
ルなどを紹介し今後の製作へとつなげていく。
２、 内容
それぞれの工場を見学しながら、製作に役立っている工具や治具などを紹介したり、その都度質問したりしながら、便利なツールの紹介を行った。日程は以下のとおりである。
2月1日
通研と多元研の工場見学
2月2日
金研の工場見学
３、感想
どのような機械が配置されているかという観点よりも、日々の業務の中で役立つものが紹介され、使ってみたいと思うものが多数あった。摺動面に吹きかける油なども固着しにくいものや、やすり等について使用してみたいものがあった。
また、外注業者についてもいくつか教えていただいたりしたので、そういった部分でも実際的な研修だったと感じている。
便利ツールに関しては今後の移転などの際にいくつか入れ替えがあるかと思うので、便利なものを活用していきたいと感じた。

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東北大学 MOOC「東日本大震災の教訓を活かした実践的防災学へのアプローチ」の受講報告
令和 5 年 7 月 31 日
評価部

柳生寛幸

名称：「東日本大震災の教訓を活かした実践的防災学へのアプローチ」
期間：令和 5 年 6 月 7 日～令和 6 年 3 月 29 日（この期間で 45 日以内）
場所：オンライン講座
１、 目的
グループウェアの掲示板に「東北大学 MOOC2023 年度開講講座のお知らせ」の通知があった。オンライン研修サイト gacco で東北大学大規模公開オンライン講座（東北大学
MOOC）が視聴可能という内容で、確認してみたところ、その中から業務に関連する本講座を見つけたので受講した。業務に支障がないように、プログラムの作成等の作業中に主に音だけ聞いて受講した。
２、内容〇実際の受講期間：1 日 1 時間程度視聴して 1 週間程度（7 月 19 日完了）
〇講座のカテゴリー：JMOOC カテゴリーⅢ（大学が提供する特別講義および公開講座相当の講座、企業等が提供する講座等）〇講座内容：
第 1 週：東日本大震災前の取組と被害実態—事前対策と事中対応（10 講座）
第 2 週：被災地での復旧と復興—人間・社会科学的な側面（10 講座）
第 3 週：地震・津波のメカニズムと履歴・将来予測—自然科学と防災への役割（10 講座）
第 4 週：実践的な防災学と国際防災戦略—次への備え（10 講座）
最終確認テスト
各講座ごとに確認テストがあり、最終確認テストと合計 60 点以上で修了認定
３、感想〇地震や津波の特性や防災対策について知ることができた。
〇容易に理解できる講座内容だったが、各テストは一度しか回答できないため、よく理解して回答する必要があった。
〇倍速視聴が可能（今回は 1.5 倍速で視聴）なので、早く視聴を終えることができた。
〇東北大学 MOOC の講座を修了すると、期間後にデジタル証明書であるオープンバッチ
が発行される。オープンバッチについて、講座を主催する東北大学オープンオンライン教
育開発推進センターの Web ページには、「オープンバッチとは、～国際技術標準規格のデジタル証明書です。～履歴書に付けたり、～様々なプラットフォームに載せてアピールできます」と説明がある（なので個人調書に書けるかもしれない）。
・総合技術部では視聴可能なオンライン講座に schoo がある。schoo と比較して gacco は業務に関連があって、内容の充実した講座が多いように感じた。ただし講座の種類が少な

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く、一部有料の講座もある。また gacco にはオープンバッチが発行される講座が一部存在
する。
修了証

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CFC スキル開発センター マネジメント研修「【L1】リーダー研修」の受講報告
２０２３年７月３１日
評価部
名称：CFC スキル開発センター

マネジメント研修「【L1】リーダー研修」

期間：２０２３年７月１日(土)

～

丹野健徳

７月３１日(月)場所：オンライン研修サービス「Schoo」
１、 目的
CFC スキル開発センターが主催するマネジメント研修について、受講指名いただき参加した。受講する研修内容については、受講者が選択するのではなく、スキル開発センターから指定された研修を受講する形式である。
２、内容「Schoo」というオンライン研修サービスを利用して「【L1】リーダー研修」という複数の講義がセットになった研修を受講した。各講義は約 120 分ごと 4 講演で、合計 4 時間の研修だった。受講した講義内容の詳細は以下の通り。
・テレワーク下でのラインケア-メンタルヘルスマネジメント 講師：井上・アンガーマネジメントを活用したコミュニケーション術

講師：澤

洋市朗
円

３、感想
テレワークについて、テレワークは現在も 2 週間に 1 回の頻度で実施しているので、参考になった。評価部では、お互いの業務管理やオンラインでのコミュニケーション不足が課題と感じており、今年度から Google のチャットツールでのコミュニケーションの場を整備した。研修でもオンラインコミュニケーションのコツとして、チャット上でのちょっとした工夫（柔らかい文章やスタンプ活用）によって感情情報の伝達を促進することが紹介されていた。チャットツールでのスタンプ活用などは今も実施しているので、今後も継続していきたい。
アンガーマネジメントについて、昨年度も CFC から指名を受けてアンガーマネジメン
トの研修を受講したが、今回も受講することで復習となった。怒る機会、怒られる機会はあまりない方が個人的にはいいと思うが、学生を相手に注意をしなければならない場面はあるため、感情的に怒らないようにするために活用できればと思う。

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「令和 5 年度 CFC マネジメント研修」の受講報告
令和 5 年 7 月 23 日
プロセス部

武者

倫正

名称：令和 5 年度 CFC マネジメント研修
期間：令和 5 年 7 月 1 日～31 日（1 か月間）
場所：schoo(オンライン研修)
１、 目的
職位や昇任等に合わせて CFC が指定した授業などを期間内に受講し、業務や職位に応じたスキルを養う事を目的とする。
２、内容・オンライン授業「職場で活かすメンタルヘルス」
・オンライン授業「怒りをコントロールするための「アンガーマネジメント」入門」(計 2
回)・オンライン授業「ニューノーマル時代に必要とされる「問う力」とは」
３、感想
授業内容としては主に指導者側、管理者側の立場になった際に直面する問題への対処法
紹介であった。現在、自身は業務組織内では管理者の立場には就いていないが、主に学生への利用指導などで指導者側、管理者側の立場で業務にあたることが多いため、そういった場面で活用したい内容であった。
「職場で活かすメンタルヘルス」、「アンガーマネジメント入門」共に、感情や精神的な部分という抽象的な部分に対して、具体的な対処手法(案)が示されていたところに有用性
を感じた。

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仙台市危険物・高圧ガス事故防止連絡会 報告
報告日：2023 年 10 月 30 日
プロセス部

小野 力摩

名称：仙台市危険物・高圧ガス事故防止連絡会
期間：2023 年 10 月 24 日(火)（1 日間）
場所：宮城野区文化センター パトナホール
１、 目的
危険物等を取り扱うことがあるため、事故事例やその対策等を学ぶことを目的に本連絡会に参加した。
２、 内容
13:30～13:35 主催者挨拶

仙台市消防局長 結城 由夫

13:35～13:40

関連団体の紹介

13:40～14:05

事故防止に関する事例紹介等

危険物関係

14:05～14:30

事故防止に関する事例紹介等

高圧ガス・液化石油ガス関係

14:30～14:40

事故防止に関する事例紹介等 手続きのデジタル化

14:40～14:50

休憩

14:50～16:20「静電気火災の事例と予防対策」
消防庁 消防研究センター 大規模火災研究室・室長

田村 裕之

３、 感想
・ ここ数年の危険物、および高圧ガス、液化石油ガスの事故件数や事故事例紹介、併せて事故防止対策の具体例などが報告されていた。危険物、高圧ガス、液化石油ガスでどのような事故(爆発、火災、漏洩など)が起こりやすいか、その要因になるものは何か(人的要因、物的要因)を学ぶことができた。
・ 火災の要因として静電気は多いと感じていたが、火災全体の 1%にも満たないことがわかった。ただ、危険物施設を取り上げると約 15%でトップとなり、これは静電気のエネルギーが危険物の着火エネルギーを越える場合が多いためであることがわかった。併せて、放電の種類や事故事例、対策などを学ぶことができた。

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メンタルケア講演会 報告
報告日：2023 年 10 月 30 日
プロセス部

小野 力摩

名称：メンタルケア講習会「コロナ禍における学生理解とその対応」
期間：2023 年 10 月 10 日(火)（1 日間）
場所：オンラインセミナー(東北大学教育 FD プログラム)
１、 目的
技術相談等で学生と関わることもあるため、現在の学生の特徴やどのように関わればよいかを学ぶことを目的に本講習会に参加した。
２、 内容
13:20～13:56 講演「コロナ禍における学生理解とその対応」
学生相談室・特別支援センター

中岡千幸 先生

13:56～14:00 質疑応答
３、 感想・ 現在の学生(若者)の特徴を様々な観点から学ぶことができた。わからないことへの耐性が低い、傷つく、失敗することを嫌うという特徴が、調べれば答えが見つけられる時代と、答えがないものに取り組む研究との齟齬があるのかと思った。
・ コロナ禍による影響は人それぞれで、順応できた人もいれば適応に戸惑い対人関係に影響が出ている人もおり十人十色であることが分かった。一律な対応ではなく、学生一人一人を見て個々に応じた対応が必要であると感じた。

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CFC マネジメント研修自発型の受講報告
令和 5 年 11 月 27 日
プロセス部 森田 伊織

名称：schoo
期間：令和 5 年 9 月 1 日-9 月 30 日（1 カ月）
場所：web ラーニング形式
１、 目的
職務遂行能力や技術研鑽の向上について停滞感を覚えていた為、これは何かしら変えねばと思い、受講を申し込んだ。
２、 内容
1 か月間で下記の授業を受講した。
1.英語のプロたちに学ぶ、ゼロから確かな英語力を身に付ける方法
2.秒で伝わるパワポ術(第 1,2,8 回を受講）
3.脳神経科学者がすすめる才能の引き出し方
4.実況解説「デザイン思考」(第 1,2,3 回を受講）
受講後は下記の内容のレポートを提出した。
1. 受講した授業名 ※複数記述可
2. 学んだこと
3. 業務で活かせると思ったこと
4. この研修に対する意見・感想
３、感想「英語が出来ない人はメンタルブロックがかかっている」という一語が特に気になった。これ以降、もう何も気にせず外国人といまだに無理のある英語力で接しているが、どうやら自分が伝えるべきことを伝えようとする執念？が身についたと思う。
秒で伝わるパワポ術は箇条書き（ストーリー）の重要さを学び、才能の引き出し方では「好奇心」を持って様々なことに触れることを学び、デザイン思考では課題解決のためのサイクルを学ぶことが出来た。
知識を学んだあとは己自身が思考することが大事に思うので、現在は業務に限らず日々様々な思考を重ねているところである。

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安全教育技術セミナー「よくある理化学実験機器の解説と事故事例について」 報告
報告日：2023 年 11 月 27 日
プロセス部

小野 力摩

名称：安全教育技術セミナー「よくある理化学実験機器の解説と事故事例について」
環境保全センター 環境・安全推進センター 主催、ヤマト科学株式会社 共催
期間：2023 年 11 月 2 日(木)（1 日間）
場所：多元物質科学研究所

南総合研究棟 2

1 階 大会議室

１、 目的
ヤマト科学の実験装置をいくつか扱っていること、および実験装置で起こりえる事故とそれを防ぐ方法を学ぶために本セミナーに参加した。
２、 内容
10:30～11:55 よくある理化学実験機器の解説と事故事例について

講演

乾燥機、電気炉、純水製造装置、高圧蒸気滅菌器
11:55～12:00

質疑応答、フェイルセーフオーブン等実機展示

３、 感想・ オーブンや高温炉、純水装置の種類や選び方を学ぶことができた。また、設計について伺うこともでき、そこからどのような使い方をしていけないか(例えば、オーブンの底面にものを置いてはいけないなど)を学ぶことができた。
・ 事故事例のトップ 3 である発煙/火災/爆発、水漏れ、漏電/感電について、事故事例と予防策を学ぶことができた。他装置や施設に影響して 1 億円規模の損害が出る恐れもあるので、点検や取扱説明書を読んでおくことが大切であることがわかった。

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「生成系 AI 研修」 報告
報告日：2023 年 12 月 25 日
プロセス部 小野 力摩
名称：生成系 AI 研修「ChatGPT 業務活用と生成 AI で社会はどう変わるか」
東北大学 業務の DX 推進プロジェクト・チーム 主催
期間：2023 年 12 月 6 日(水)（1 日間）
場所：オンラインセミナー
１、目的
ChatGPT や AI など、昨今話題であるがどのようなものなのかわからないことが多い。業務等への活かし方などの使い方を学ぶために本研修に参加した。
２、内容
14:00〜14:05 講演者紹介
14:05〜15:45 講演「ChatGPT 業務活用と生成 AI で社会はどう変わるか」株式会社 MAKOTO Prime

代表取締役 竹井 智宏

15:45〜16:00 質疑応答
３、感想・ ChatGPT の使い方を、実際の画面で説明いただいた。併せて、ChatGPT の向き不向
きや入力するワードをどのように工夫すればよいかを学ぶことができた。
・ AI は何ができるかわからない、だから使わないではなく、「まずは使ってみる」ということが大切であると学んだ。ChatGPT の使用で仕事効率が 37%、質が 20%アップ
することが MIT 論文で証明されているくらいであるならば、使わない手はないと感じた。
・ AI に頼ってしまっていいものか、という疑問もあったが、これについては「トレーニングなら自力でやった方がよいが、業務なら活用しないのはもったいない」という説明があった。AI に案を出してもらい、人間がそれをブラッシュアップする、という使い方がよいのだと思った。

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「メンタルヘルス研修」 報告
報告日：2024 年 1 月 29 日
プロセス部 小野 力摩

名称：メンタルヘルス研修「レジリエンス〜ストレスを跳ね返す心を育みましょう」
コアファシリティ統括センター スキル開発センター 主催
期間：2024 年 1 月 25 日(木)（1 日間）
場所：オンラインセミナー
１、目的
対人関係、多くの情報に惑わされるなど、現代社会ではストレスは避けられないものと思われる。そのため、ストレスへの対処法を学ぶことを目的に本研修に参加した。
２、内容
13:30〜13:35 開会のあいさつ、講師紹介
13:35〜14:45 講演「レジリエンス〜ストレスを跳ね返す心を育みましょう」
国立大学法人 大阪大学大学院工学研究科 講師 根岸和政
14:45〜15:55 質疑応答
15:55〜15:00 閉会の挨拶
３、感想
・ 「自分の強みは自分と他人、社会のために活かす力、自分の弱みは人に助けてもらって感謝するためにある」という言葉が印象的であった。強みと弱み全てを含めて自分は自分でよいと思うことが大切であることを感じた。
・ ダメ出しではなく、「いいね」もしくは「こうなるといいね」とするのがよいと学べた。その他にも、物事を多面的にとらえて悪い表現をよい表現に捉えなおすなど、物事の捉え方を変えることがストレスへの対応に必要であると感じた。

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「WAN-WAN 実演セミナー」の受講報告
令和 6 年 2 月 26 日
プロセス部

森田伊織

名称：「～あなたの悩みを解消！～緊急情報・警報広域周知システム WAN-WAN 実演セミ
ナー」（講習名称等）
期間：令和 6 年 2 月 2 日
場所：東北大学

工学研究科・工学部

主催：岩手大学

技術部理工学系技術部、東北大学総合技術部

関係機関：大阪大学
子科学研究所

大学院理学研究科技術部、熊本大学

技術推進部、鳥取大学

講師：岩手大学

サイエンスキャンパスホール

千葉寿

安全・保守管理群

技術部、自然科学研究機構分

技術部

技術室長

１、 目的（一部開催概要から引用）
WAN-WAN（Wireless Alarm Network for Wide Area Notification）は岩手大学と分子研が共同開発した新しい警報システムであり、様々な実験装置などのセンサ信号や接点出力など電気的信号を直接読み取り、さらに市販されているスマートスピーカーと連携することで、遠隔地にいる責任者らに電話やメール、パトライトの起動などで素早くトラブルの発生を通知するものである。
すでに全国の大学で試験的な利用を開始しており、大学間の事務を通じて有体物譲渡制度(MTA)を利用し、有償譲渡することができます。国立大学等には部品代として、1 台
5,500 円（税込）で譲渡できるとのことであった。
私としては、主たる就業場所である CR、実験装置、施設において、多種多様なトラブルの対処を行っているので、これは導入したら非常に高い効果が得られるのではないかと思い本セミナーを受講した次第である。
２、内容
配布資料を元にシステムの説明と、運用風景の動画が流されたり、他には実演も行われた。システムそのものは①基本モジュール②センサモジュール（これは各機関で自作が必要）③ALEXA の 3 つで構成されており、それぞれの役割について説明があった。外部出
力が無いような機器でも構成可能だった。
＊主な導入例
水漏れ対策
海水くみ上げポンプの動作監視
火災報知器
緊急ボタン
パーティクルセンサー
ガス検知器

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NMR のクエンチ（液体ヘリウムの蒸発、窒息の恐れあり）
２、 感想と検討【感想】
・装置に接続する必要が無いので、まず EB 装置で導入したいと思う。
・特許を取得しているとのことであったが、どの範囲で特許を取得しているのか質問す
ればよかったと反省した。
・肝心の検出器は各々自作してもらうとのことであった。大学らしくて良いと思った。
（でないとほぼ業者になってしまうので）・何かしらの変化を検出さえ出来れば成立すると思われる。そう考えると、使途は相当な量になると思い、夢のある取り組みだなと思った。
・難しく考えず、五感で例えてしまえばなんにでも応用できそう【検討事項】① 実験装置のエラー停止を担当者に伝えるシステム→パトライトの色で検出可能② ドラフトチャンバー、薬品庫の漏水警報→漏水センサで可能③ クリーンルーム各エリアの扉開放アラーム（差圧異常の警報が出る）→画像認識などでいけるか？
④ 既設の警報システムとの棲み分けをどうするか？
以上

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「ハラスメント防止研修」 報告
報告日：2024 年 3 月 25 日
プロセス部 小野 力摩

名称：ハラスメント防止研修「職場のハラスメントの現状と対策」
期間：2024 年 3 月 4 日(月)（1 日間）
場所：オンラインセミナー
１、目的
学生含め、多くの方と関わる中で意図せずにハラスメントを働いてしまうことがない
ように、何がハラスメントになるかを改めて学ぶことを目的に本研修に参加した。
２、内容
13:30〜13:35 開会あいさつ、講師紹介
13:35〜14:35 講演「職場のハラスメントの現状と対策」
東北大学産業医、医学系研究科産業医学分野教授
14:35〜14:50 質疑応答
14:50〜14:55 閉会あいさつ
３、感想・ セクハラやマタハラと異なり、パワハラについては具体的にどのようなことが該当するのか自分の中ではっきりとしていないことがわかった。具体的な定義がされており、かつそれを研修中に明示していただいたので、改めて資料を見直して学びなおしたいと思う。
・ ハラスメント防止のためにコミュニケーションが大切とよく言われるが、具体的にどのようなコミュニケーションを取るようにすればよいのかについて示されることは少ないと感じた。今回の研修中に出てきた、「悪いところの指摘だけではなくいいところも伝える」というのがこのコミュニケーションに該当するのかな、と思ったので意識したいと思う。

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第三章

成果報告
業務上の成果をまとめました。論文掲載
や謝辞掲載、技術研究会での発表等、その形式には幾つかあります。
成果発表の場でもある、研究会や技術発表会への参加も積極的に行っています。

発表・成果報告一覧
対象期間：2023.4～2024.3

発表〇太田憲治(情報技術部)23.6
情報群研修

次世代ネットワークの革新と業務最適化、AI と著作権を踏まえた部局広報 研修会「次世代通信規格対決：ローカル 5G と Wi-Fi 最新規格の比較検証」〇月本佳奈(工作部) 23.11 *令和 5 年度総合技術部研修

ポスター発表「自作動画による安全教育と効果」〇丹野健徳、柳生寛幸(評価部) 23.11 *令和 5 年度総合技術部研修

ポスター発表「IoT 機器を用いた遠隔での設備監視」〇柳生寛幸、丹野健徳(評価部) 23.11 *令和 5 年度総合技術部研修

ポスター発表「Google Apps Script を用いた業務の効率化」〇阿部真帆、丹野健徳(評価部) 23.11 *令和 5 年度総合技術部研修

ポスター発表「EBSD 未経験者からの卒業」〇森田伊織(プロセス部) 23.11 *令和 5 年度総合技術部研修

ポスター発表「ナノ・スピン実験施設の共用設備を用いた受託加工および支援業務」〇丹野健徳(評価部) 23.12 *日本鉄鋼協会ミニシンポジウム

口頭発表「粉末 X 線回折測定の基礎」〇阿部真帆(評価部) 24.3

※発表資料は P21～22参照

2023 年度研究基盤技術センター技術講演発表会 動画発表
「EBSD の技術向上について」〇月本佳奈(工作部) 24.3

※報告書掲載発表資料は P23～27参照

2023 年度研究基盤技術センター技術講演発表会 口頭発表
「自作動画による安全教育と効果」*:発表資料あり

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「次世代ネットワークの革新と業務最適化、AI と著作権を踏まえた部局広報」研修会の発表および受講報告
2023 年 6 月 26 日
情報部

丸山 由子
太田 憲治

名称：「次世代ネットワークの革新と業務最適化、AI と著作権を踏まえた部局広報」研修
会
期間：2022 年 6 月 23 日(金) 15:30~17:15
場所：対面 （川内講義棟 A105）
1、 目的
この研修会は、情報・ネットワーク群のスキル向上を図るために企画しました。次世

代ネットワークの革新と業務最適化、AI と著作権といった専門的なテーマがますます重要性を増しています。本研修会では、参加者が最新の知識や技術を獲得し、自身の業務に活かすことを目指します。
2、 内容
プログラム：
・次世代通信規格対決：ローカル 5G と Wi-Fi 最新規格の比較検証
電気通信研究所

太田憲治

・GAS による業務改善事例：工学部における業務最適化
工学部

原谷 奈津子、安斎 あいり（連名：船水 和義、佐々木 真人、門脇 正徒、河内 海奈、耿 錚、真野 健介)
・AI と著作権～生成される創作物の取扱い～

農学研究科

一條

肇

・情報ネットワーク群の展望と挑戦：新たな時代の組織の在り方
歯学研究科

河内

英智

各発表は約 10 分程度で、その後は 10 分程度の質疑応答
3、 感想
研修会は、GAS やネットワークスキルの向上、部局広報の質の向上、組織に関する内容であった。個人の成長だけでなく、組織全体の能力向上や目標を再認識することができた。特に、最新のネットワーク技術や業務最適化等最新技術だけではなく、AI と著作権を部局広報活動で利用する際の法的リスクの回避手法や適切な情報発信を行う
ための手法および、今後の情報群の組織に関するディスカッションもでき大変貴重な機会となった。

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「令和 5 年度総合技術部研修」参加報告書

報告日 2023 年 11 月 27 日
工作部 月本 佳奈
名称：令和 5 年度総合技術部研修
期間：2023 年 11 月 17 日

場所：電気通信研究所 ナノ・スピン総合研究棟(E 04)4 階
カンファレンスルーム（ハイブリッド口頭）、A401（対面ポスター）
1、研修概要総合技術部職員に対し、「技術発表(ポスター発表)」の成果発表の場において、専門分野での交流による技術の向上・研鑽はもとより、さらには、専門分野の垣根を越えた交流・意見交
換も積極的に行い、他分野間の情報共有を通して相互理解を一層深めることにより、全学支援
組織の技術職員としての資質向上を目的とする。また、「CFC 派遣型研修」参加報告を通して、コアファシリティ統括センターの活動についての理解・認知を深める。（実施要項から抜
粋）

2、研修内容13:15 ~ 13:30 受付
13:30 ~ 13:40 開会式(総合技術部 部長挨拶)
13:40 ~ 15:40 技術発表会(ポスター発表)
15:40 ~ 15:50 CFC 派遣型研修の主旨説明(CFC)
15:50 ~ 16:20 CFC 派遣型研修報告(加工・開発群)
16:20 ~ 16:50 CFC 派遣型研修報告(電子回路・測定・実験群)
16:50 ~ 17:00 優秀発表賞授与式(総合技術部 部長)
17:00 ~ 17:10 閉会式(総合技術部 副部長挨拶)
3、感想
聴講とポスター発表で参加した。発表では、「自作動画による安全教育と効果」と題して、外来利用のコロナ対策として自作した講習動画について、動画を制作したことにより実現できた安全対策やその効果、制作方法等について紹介した。
2 時間の間ほぼ途切れることなく、様々な分野の方が見に来てくださり、同じようにコ
ロナ対策で動画作成をされた方や、これから作ってみたいという方々から嬉しい感想や改善点等をお聞きすることが出来た。
頂いた質問・ご意見・ トータルで制作するのにどれくらいかかったか？
・ アンケート等の結果などはあるか？
・ 確認テストはないのか？
・ 動画化によって引き起こされた怪我や事故等はこれまであったか？ 等

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頂いたご感想・ このような無料の編集ソフトがあるのは知らなかった
・ 利用者に対しても効果がある上に、職員にも恩恵があって良い取り組みだと思った
・ 若い方は動画の方が慣れているので、取り組みについて参考にしたい・ ナレーションや使用レンズにもこだわっていてすごい 等
様々なご感想やご意見をいただくことが出来、非常に有意義な発表となった。今後の運用に関しても、怪我や事故等のないよう工夫し、アンケート等で利用者のニーズに答えていきたいと思う。
また、今年は主業務が忙しく、なかなか手を付けられないでいるが、Google Apps Script(通称 GAS)を活用した機械利用予約システムも制作したいと考えている。外来利用をさらに利用しやすくし、機械工作により興味をもっていただけるよう励んでいきたい。

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自作動画による安全教育と効果
関谷 佳奈
東北大学 電気通信研究所 研究基盤技術センター 工作部

１．はじめに東北大学 電気通信研究所 研究基盤技術センター工作部では、主に所内の研究室からの依頼に沿った実験装置、器具の設計、製作を、技術職員 4 名で行っているが、もうひとつ重要な業務として、学生等
に対する工作指導がある。特に自分で機械を使用して工作したいという学生のために、安全に重きを置いた手引きを行なう。年間 240 時間程度の実績があり、私自身も既に延べ 60 時間の指導に携わっている。
学生が工作機械を利用するには、毎年 4 月に実地で開催される利用講習会の受講が必須だが、2020 年にコロナウイルスが流行し、感染防止対策の為利用講習会を休止、貸出についても停止せざるを得なかった。
本報告では、2020 年 4 月頃から 2023 年 3 月までの休止期間を活用し、再開に向けた対策として制作した自作の講習動画について、動画を制作したことにより実現できた安全対策やその効果、制作方法、使用した機材やソフト等について紹介する。
２．これまでの講習会
コロナウイルス流行前は前述のとおり、毎年 4 月に実地で講習会を開催していた。研究室ごとに日程調整し受講日時を決め、
職員 1 名が複数名に対し、貸出可能な機械について 1 機ずつ説明を行っていた。
講習会は多い時で年間 11 回講習会を行っていた。1 回当たりの所要時間は約 2 時間。その間、担当職員
は主業務をストップしなければならず、電話や来客対応等は残りの 3 名で行うため、他職員の主業務の進みも遅くなってしまう。
講習会は通年行っているが、基盤センターの利用講習会が 4 月に開催されることもあり、なるべく同時期の第一四半期中に受講するよう求めていた。場合によっては受講後すぐに利用しない方もおり、いざ利用する際には忘れている場合も多々あった。
また、実際に材料を加工しながら説明するため、職員は機械にも学生にも細心の注意を払う必要があった。保護メガネを着用したうえでの説明ではあるが、大人数の場合、見る場所によっては見えづらく、キリコや切削油が飛んでくる危険な立ち位置に立ってしまう学生も多い。工作機械について初見の学生がほとんどであり、怪我無く遂行するためには、厳重な注意が必要だった。
説明内容に関しても、初めてでも分かりやすく伝える必要があるが、その時々で説明する人により、説明不足や分かりにくい表現（専門用語多用等）があったり、言葉のニュアンス等で受け取り方に違いが表れたりする場合があった。
３．対策後
当初は感染防止対策の一環として始まった動画制作だったが、結果的に安全対策や業務改善につながった。主な改善点を箇条書きで下記に記す。
安全面では…
・ 何度も視聴ができ、使用したい機械のみの復習も出来る。指導側からも再視聴するよう呼びかけることで怪我防止に・ 誰でも見てほしい角度で見てもらえる。本来であれば危険な立ち位置でも、怪我の心配がない（例
えばキリコが出てくる様子等）。
・ 予め見てもらうことで機械の挙動や加工後の様子等の予備知識が付き、さらに怪我防止に。
・ 動画にすることで統一した説明をすることが出来、説明不足の解消になった。台本作りから始めているため丁寧な説明が可能。
業務面では…
・ 日程調整や準備の手間が省け、業務負担軽減につながり、主業務により専念できるようになった。

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・ これまで紙で管理していた名簿を、受講登録フォームを活用しドライブで管理、スプレッドシー
トを名簿とすることで受講確認がスムーズになった。
その他には…
・ 研究室単位ではなく、個人での受講により、利用したい人がより利用しやすい環境に。
・ 後から利用する必要が出てきた場合、動画の方が気軽に受講しやすく、通年を通して新規利用者に対応できるようになった。
４．制作手順４.１ 構成、台本作成
既存の利用マニュアルに沿って構成することで、詳しい映像を見ながら、利用マニュアルを見てより深く理解してもらえるよう工夫した。台本も、たたき台から部内で何度も検討することで、専門用語の多用や分かりにくい表現をなくすことが出来た。
台本作成を行いながら、説明に合う構図（どの位置からどのような映像を撮影するか）を事前に検討することで、スムーズに撮影することが出来た。完成するものは全く別物ではあるが、基本的な流れや考え方は工作業務と似ていて非常に面白かった。
４.２ 撮影・ナレーション録音
撮影機材は CANON Kiss X9（一眼レフ）を使用した。こちらは主業務である機械工作での完成品を、より鮮明に撮影・記録するために以前購入したものだ。動画 1 では、付属レンズ EF-S 18-55 を使用、
動画 2 では、ダブルズームキット付属レンズ EF-S 55-250 を使用した。使い分けの理由としては、物理的な近距離では撮りにくいフライス、旋盤の撮影の際、望遠レンズで安全な位置から怪我無く近距離を撮影する為だ。また、背景も望遠レンズの方がぼやけるため、映したいところだけくっきり映すことが出来る。
ナレーション録音は、普段から会議等で使用しているヘッドセットと、Windows に初めから導入されているボイスレコーダーで録音した。
４.３ 編集作業
使用ソフトは AviUtl ver1.10。基本無料で使用できる。編集作業の大まかなイメージは、動画、画像、音声等の素材を並べ、繋げて、一本の動画にする、という感じだ。非常に単純な作業であり、必要最低限の使い方さえ覚えてしまえば、クオリティに関わらず誰でも動画制作が出来る。図 1 は実際の編集画面である。
詳しい説明はポスターに記す。
現在では、Microsoft のビデオソフ
トが大幅アップデートされ、そちら
図 1 編集画面も大変使いやすくなっている。
５．終わりに元々所有している物を活かし、費用をかけることなく業務改善が出来たことは、非常に良い経験となった。今後は、Google Apps Script(通称ＧＡＳ)を活用した機械利用予約システムを構築し、より気軽に機械利用が出来るようにしたいと考えている。ＧＡＳに関する知識は全くないが、持ち前のチャレン
ジ精神で来年度の運用開始を目指しているが、主業務をこなしながらの挑戦になるので、ゆっくりじっ
くり構築していきたいと思う。
ポスター発表では、ポスター展示はもちろんのこと、実際に制作した動画の視聴、使用した一眼レフの使い方、編集ソフトの使い方についても説明可能なので、興味のある方はぜひ立ち寄っていただけれ
ばと思う。

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令和 5 年度東北大学総合技術部技術職員研修の発表報告
２０２３年１１月２７日
評価部

丹野健徳、柳生寛幸

名称：令和 5 年度東北大学総合技術部技術職員研修「IoT 機器を用いた遠隔での設備監視」：〇丹野健徳、柳生寛幸「Google Apps Script を用いた業務の効率化」：〇柳生寛幸、丹野健徳
期間：２０２３年１１月１7 日(金)場所：電気通信研究所

ナノ・スピン実験施設

１、 目的
ヘリウムガス回収設備の日常点検・緊急時対応のために、IoT による遠隔監視を導入している。IoT を用いれば、災害時に二次災害の危険性なく自宅から実験設備の安全確認を行えるようになる。また、キャンパス内の 3 カ所に点在するヘリウムガス回収設備の点検業務の負担を軽減できる。
2022 年 3 月に発生した福島県沖地震では、地震の翌朝に遠隔監視のために導入した
Web カメラによってヘリウムガスバッグの破損を遠隔から見つけることができた。しかし、Web カメラではヘリウムガスバッグの異常を発見するのに時間がかかった。そのため、より簡単に異常を発見できるように、ヘリウムガスバッグの充填率を測定する距離センサーを導入した。さらに、測定結果を視覚的に確認できるように、Web ページにグラフとして表示させるアプリを開発した。
距離センサーなどのハードウェアは丹野が、Web ページにグラフを表示されるソフトウ
ェアは柳生がそれぞれ分担して開発をおこなった。それらの成果について、丹野と柳生それぞれが総合技術部技術職員研修においてポスター発表を行った。それに加えて、柳生は業務効率化のために開発したアプリについても発表を行った。
２、内容
2 件の発表内容については、要旨とポスターを参照。
３、感想
2 件の発表だったため片方に訪れた方をもう一方に案内したこともあり、多くの方に訪れていただけた。これらの技術を応用して、研究室の温度や酸素濃度、実験設備の計器、実験動物の監視が可能かなどの質問があった。安価での実現が可能であり、様々な分野での応用ができるため、発表について好評いただけて、優秀発表賞を受賞できた。

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IoT 機器を用いた遠隔での設備監視－ Raspberry Pi を用いたヘリウムガスバッグの監視 －〇丹野 健徳、柳生 寛幸
東北大学 電気通信研究所 研究基盤技術センター 評価部
１．はじめにモノのインターネット（IoT, Internet of Things）の導入・活用が様々な分野で進んでいる。様々なモノにセンサーや通信機器を取り付けて、遠隔地のデータを利用者が移動することなく収集し活用できる。
大学や研究機関でも、実験設備の遠隔監視等に利用されている[1, 2]。
電気通信研究所でも、ヘリウムガス回収設備の日常点検・緊急時対応に IoT による遠隔監視を導入しており、2022 年 3 月 16 日に発生した福島県沖地震災害によるヘリウムガスバッグの破損を発見できた[3]。
本発表では、より確実にガスバッグの異常を発見できるように導入した距離センサーについて報告する。
２．IoT 機器の構成
当研究所では、人手不足解消と災害時の安全確認のために IoT 機器による遠隔での設備監視を導入している。これまでに、ネットワークカメラによるヘリウムガスバッグの監視、Raspberry Pi 4B と USB カメラの組み合わせによるヘリウムガス回収設備の計器監視を導入した[3]。さらに、Raspberry Pi Zero2Wと距離センサーを組み合わせたヘリウムガスバッグの充填率の監視を新しく導入した。各 IoT 機器の構成および監視状況を図 1 に示す。
Raspberry Pi Zero2W と距離センサーの構成は図 2 に示す。距離センサーとしては ToF（Time of Fly, 飛行時間）方式の距離センサーを用いており、プローブとして超音波を用いる HC-SR04 と Class1 のレーザーを用いる VL53L1X の 2 種類を使用した。
Raspberry Pi Zero2W
Raspberry Pi4B

USB
HC-SR04
VL53L1X

Raspberry Pi Zero2W

図 2 Raspberry Pi と距離センサー

図 1 各 IoT 機器の構成と監視状況

３．測定結果の保存と表示
Raspberry Pi 上で動作する Python でプログラムを記述してセンサーからデータを取得した。1 分毎にプログラムを実施するように cron を用いて設定しており、データは csv 形式で Raspberry Pi 内に保存される。また、測定と同時に測定値を GET 送信して、Google ドライブ内のスプレッドシートにも同じデータが保存されるようにした。
測定したヘリウムガスバッグの充填率は、一目で確認できるように Google Apps Script を用いてグラ
フとして表示させた。グラフ化の詳細については当センターの柳生の発表を参照して頂きたい。

参考文献
[1]

上田雄也ほか, 回収ヘリウムガスの遠隔監視システムについて~運用開始から 2 年間の報告~, 九州大学 低温センターだより, 2017, No.11, p.30-33.

[2]

浅田瑞枝ほか, ヘリウム純度計監視システムの紹介, 令和 3 年度核融合科学研究所技術研究会, 2022, p.109-111.

[3]

丹野健徳ほか, IoT を用いた実験設備の遠隔監視, 令和 4 年度東北地区国立大学法人等技術職員研修技術, 2023.

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Google Apps Script を用いた業務の効率化－ ヘリウムガスバッグ監視データ可視化 Web アプリの開発 －〇柳生 寛幸 a)、丹野 健徳 a)
a)

東北大学

電気通信研究所 研究基盤技術センター

評価部

１．はじめに実験装置類の状態監視は研究継続性の面から重要な業務であるが、技術職員は多様な業務に対応する必要があるため、何度も現地に赴いて装置類の状態を確認することは時間上難しいうえに効率的な働き方ではない。遠隔で装置の状態を記録し、簡単に状態確認できる仕組みがあれば、効率的に状態監視を行うことができ、余った時間で多様な業務に対応することができる。
本発表では、ヘリウムガスバッグの監視システム（詳細については丹野の発表を参照）で取得した高さデータを可視化する Web アプリにより、業務の効率化につながる成果を得たことを報告する。
２．Google Apps Script（GAS）について
Google Apps Script（GAS）は Google 社が提供するアプリケーション開発プラットフォームで、簡単にスクリプト（簡易的なプログラム）を作成することができる。クラウド上で動作するためコンピュータ
上に開発環境を構築する手間は不要で、インターネット環境があればどこからでも利用することができる。また、Google サービス（Google ドライブ、Gmail、スプレッドシート等）との連携が簡単で、JavaScriptをベースにした言語を用いているので HTML や様々な JavaScript ライブラリも利用可能である。通常、
Web アプリを公開する場合はサーバ構築が必要であるが、GAS ではユーザがサーバを用意する必要はなく、簡単に Web アプリを公開することができる。
GAS は無料版と有料版があり、有料版では実行回数やトリガー数等の各種上限が緩和される。東北大学では Google Workspace を導入しており、有料版で利用可能である。
３．Chart.js について
Chart.js は JavaScript でグラフを描写するためのチャートライブラリで、商用・私用を問わず無償で使用することができる。JavaScript のチャートライブラリは他にも Google Charts など数多く存在するが、国内での利用情報が多く、細かく設定することが可能な Chart.js を使用した。バージョンは最新（投稿時点では 4.4.0）ではなく、安定性が高いと思われる旧バージョンの最終版である 3.9.1 を使用した。
４．可視化 Web アプリの開発
４.１ Web アプリの仕様
ヘリウムガスバッグの高さ（ガスバッグの充填率に比例）の測定データを記録したスプレッドシートを読み込んで Web 上に表示するスクリプトを作成した。公開した URL にアクセスすると測定データが時系列グラフで表示される。グラフの表示は画面ボタンで変更可能である。また単純移動平均（ローパスフィルタの一種）を算出してデータを大まかな推移で確認することもできる。表示例を図 1 に示す。
４.２ 可視化データの変動推移可視化した変動推移を確認すると、ヘリウム使用装置を通常稼働している際は緩やかに高さが上昇し、本格稼働時は大きく上昇する傾向があることがわかった。また、170 cm 程度の高さに達すると、ヘリウム回収ライン（回収したヘリウムを極低温科学センターまで送り返す機構）が稼働して最低位置の 50 cm 程度まで
約 6 分で一気に萎む。不使用時はほぼ変わらない（1 週間で 3 cm 程度低下）。よって、これらの傾向と異なる推移を示した場合（緩やかに低くなる等）は、故障発生を即座に疑うことができる。

４.３ 可視化による効果
測定データを可視化することで、高さの変動推移を簡単に検証することができるようになった。カメラによるヘリウムガスバッグの遠隔監視[1]では、遠方の監視カメラで目視するため即座に判定することが難しかった。そのため異常発生を確認するまでに時間がかかっていたが、可視化により異常発生を簡
単に即座に確認できるようになり、業務の効率化につながる成果を得ることができた。

67

図 1

Web アプリの表示画面

５．本発表以外における GAS を用いた業務効率化の実現例
現行のフレックスタイム勤務表は、開くのに時間がかかり、画面操作が必要で手間のかかる場面があるため、勤務表のスプレッドシート上にスクリプトを作成して業務効率化を図った。勤務表を開くと自動的に今月のシートを表示するスクリプトを作成した。これにより、長くかかるファイル読み込み完了を待ってからシートを移動するまでの手間を省くことができた。また、残業発生までの時間（「（参考）7:45 との差分 or 休日勤務」の合計値）を、勤務表を開いたときに表示するスクリプトを作成した。これ
により、いちいち画面を右下にスクロールして確認する手間を省くことができた。
フレックスタイム勤務の場合、始業終業休憩フォームで打刻を行うが、入力者側が始業・終業時刻を確認するには勤務表を開く以外にないので、自動的に勤務表の打刻記録を参照して Google Chat のスペースに記録を残すスクリプトを作成した。これにより、打刻時間を確認するため勤務表を開く必要がなくなった。また、勤務表データに不具合が起きて過去の打刻記録が必要になったときに、正確な打刻時
刻をすぐ参照することができるので、時刻確認の手間を省くことができた。
Web スクレイピングを行ってサイトの更新を確認したいという要望があったので、定期的に更新確認を行って更新があればメール通知するスクリプトを作成した。これにより、サイトの更新を手動で確認する手間を省くことができた。
これらのスクリプトは、Google sites で作成した個人 Web ページに公開している[2]。
参考文献
[1]

丹野健徳ほか, IOT を用いた実験設備の遠隔監視, 令和 4 年度東北地区国立大学法人等技術職員研修技術, 2023.

[2]「まとめの部屋」（公開範囲：東北大学 Google アカウント限定）,
https://sites.google.com/tohoku.ac.jp/ftc-kozin/home68

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https://sites.google.com/tohoku.ac.jp/ftc-kozin/home令和 5 年度東北⼤学総合技術部技術職員研修の発表報告
2023 年 12 ⽉ 25 ⽇
評価部

阿部真帆

名称：令和 5 年度東北⼤学総合技術部技術職員研修「EBSD 未経験者からの卒業」 〇阿部真帆、丹野健徳、千葉雅樹（多元研）
期間：2023 年 11 ⽉ 17 ⽇(⾦)
場所：電気通信研究所

ナノ・スピン実験施設

１、 ⽬的
2020 年度よりマイクロシステム融合研究センター教授の鈴⽊茂先⽣に結晶⽅位解析と電⼦後⽅散乱回折（EBSD）についての勉強会を開催していただき、EBSD の原理や操作⽅法を学んだことで、現在は学⽣の指導（阿部）、依頼分析（阿部）、データ解析（丹野）までできるようになった。そのため、勉強会の記録を残すことと他の技術職員の参考になるのではないかと思い、総合技術部技術職員研修においてポスター発表を⾏った。
２、内容
装置担当である阿部が化学系の分析を学んできたため、物理系の分析である結晶⽅位解
析について、理解が難しいこと、操作⽅法やサンプルの前処理の情報がなく操作に困難を感じていた。そのため、EBSD は操作⽅法等が分かる鈴⽊茂研究室（当時は多元物質科学研究所）の学⽣が使⽤するのみであった。
EBSD 勉強会では EBSD の原理の解説と鈴⽊先⽣がお持ちのサンプルで EBSD の演習をさせていただくことで操作や学⽣の指導に⾃信がついた。データ解析についても勉強会でアドバイスをいただき、複数ある EBSD の解析⽅法から適切な解析を選択できるようになり、利⽤者に解析⽅法の指導や依頼測定のデータの説明を⾏っている。特に今年度は依頼
測定結果がプレスリリースとなり、3 年かけて未経験者から研究に貢献するまでとなった。発表の詳細については要旨とポスターを参照いただきたい。
３、感想発表を⾏い、分析群に関わらず新しい装置を担当することになった職員がポスターに関⼼があった印象だった。いただいた感想は以下の通り。
・新しく装置を任されたが、分からないことばかりで技術習得の参考となった。
・未経験者からプレスリリースとなるレベルの共同研究者となったことに驚いた。
・定年退職した教員との関係が興味深かった。

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定性 ・ 定量分析
定性 ・ 定量分析
定性 ・ 定量分析
結晶方位を測定する？？

IPF

電子ビーム
スクリーン

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KAM

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[001]

サンプル 70°傾斜[011]

令和 5 年度東北大学総合技術部技術職員研修 技術発表会の報告
令和 5 年 11 月 27 日
プロセス部 森田 伊織

名称：「令和 5 年度東北大学総合技術部技術職員研修 技術発表会」
期間：令和 5 年 11 月 17 日
場所：東北大学電気通信研究所ナノ・スピン実験施設
１、 目的（実施要項より引用）「技術発表（ポスター発表）」の成果発表の場において、専門分
総合技術部職員に対し、野での交流による技術の向上・研鑽はもとより、さらには、専門分野の垣根を越えた交
流・意見交換も積極的に行い、他分野間の情報共有を通して相互理解を一層深めることにより、全学支援組織の技術職員としての資質向上を目的とする。また、「 派遣型研修」参加報告を通して、コアファシリティ統括センターの活動についての理解・認知を深める。
２、 ポスター発表の内容
タイトル：ナノ・スピン実験施設の共用設備を用いた受託加工および支援業務
1． はじめに（発表の背景）
2． フォトリソグラフィ技術の概要
3． 電子線リソグラフィ技術
4． フォトマスク受託加工
5． 技術相談対応
6． 最後に（謝辞）３、感想ポスター発表は 2 時間の枠があったが、全ての時間を自分の発表に費やし、やり切った感を得た。業務を受託でやっている事について紹介したかったので、この点をこれまでの成果を含めより強調して紹介した。丁寧にできたと思うが、まだ何か発表そのもののイン
パクトが足りないのかなと感じた。今回、受賞を狙って選ばれなかったので、来年も発表する所存である（大体何が足りないかは自分で分析済）。

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ナノ・スピン実験施設の共用設備を用いた受託加工および支援業務－ フォトリソグラフィ技術の提供 －〇森田 伊織電気通信研究所

研究基盤技術センター

プロセス部（電子回路・測定・実験群

半導体チーム）１．はじめに配属先の電気通信研究所附属ナノ・スピン実験施設は、多くの実験装置をテクニカルサポートセンタ
ーに登録し、共同利用に供している。私はその中でも回路や素子の作製に欠かすことのできないフォト
リソグラフィ技術に習熟しており、これまでに多種多様な技術相談を受けてきたが、その都度対応することで研究に貢献してきた。
本稿では、フォトリソグラフィ技術を用いた受託加工業務と技術支援業務について紹介する。
２．フォトリソグラフィ技術の概要
フォトリソグラフィ技術はフォトレジスト（紫外線感光材）を材料に塗布し、フォトマスク（パターンの原版）を用いるか、またはパターンを直接材料に描画してフォトレジストを反応させ、現像工程を経て不要なフォトレジストを除去してレジストパターンを形成する技術である。レジストパターン形成
後はエッチングまたは成膜を行い、最後にレジストパターンを除去して構造を作製する。

図 1 フォトリソグラフィ技術の概略図

３．電子線リソグラフィ技術
最小直径を数 nm まで細く絞ることが可能な電子線を材料に照射して極微細領域のレジストパターン
加工を行う技術を電子線リソグラフィ技術と呼ぶ。
ナノ・スピン実験施設では日本電子製の電子線描画装置を用いて最小線幅 10nm 相当のレジストパターンの形成が可能である。
図 2 は相談者から依頼されて受託加工対応した三角形三量体のナノ構造を作製するために作成したレジストパターンの SEM 像である。三角形同士の間隔を 20nm として作製し、パターンの描画領域は 2mm□である。 依頼者が作りたい構造に対して、これまでに得た知見と技術を用いて最適な条件を選定しながら対応している。

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図 2 三角形三量体レジストパターン

４．フォトマスク受託加工
パターンの原版となるフォトマスクの作製を受託対応している。工程は、①CAD 作成②材料となるク
ロムマスクへのフォトレジスト塗布③フォトマスク
へのレジストパターン描画④レジストパターン現像⑤不要なクロム膜のエッチング⑥エッチング後のレジスト除去である。
図 3 は、ナノ・スピン実験施設内の研究室から依頼されて作成した人工神経細胞回路作製用のフォトマ
スクパターンである。原版であるので、異物や欠陥などは材料にも転写されてしまうため、そのような不良が無い作製技術が求められる。また、各工程や装置は
マスクメーカーなどとは異なり、自動化されてはいな
いので、大半の部分は手作業で作製している。

５．技術相談対応
学内外問わず技術相談をいただく機会がある。大半は学内からの相談であるが、年に数件ほど学外の方からも相談をいただく機会がある。相談内容は、回路や素子の作製を検討している段階での装置と使用条件の選定の相談や、実際に作製に着手しているが上手くいかないときの対処方法の相談などが挙げられる。
相談の中にはこれまで以上の加工精度や技術的な難易度を求められることもあったが、こうした依頼や相談の際には一度きりの対応で終わらせず、どこまでが対応可能な範囲であるかを依頼者と相談や調整を図りながら対応してきた。
現状は相談件数が多いとその分一つ一つのアウト
プットが遅くなる課題がある。より高い技術と知見が得られれば、アウトプットのスパンを短縮できるのではないかと考えている。

図 3 フォトマスクの外観と人工神経細胞回路作
製用のフォトマスクパターン

図 4 技術指導の風景

６．最後に
本稿で述べた技術支援業務で論文での謝辞への掲載や共著者にしていただく機会もあった。また、本学のプレスリリースの中で私が作製の一部に関わっていたものもある。
学内ではフォトリソグラフィ技術の受託対応は基本的にはナノ・スピン実験施設以外では対応していないので、機会があれば有効に活用していただきたい。
知っている範囲にはなってしまうが、相談者の利便性なども考慮してナノ・スピン実験施設の利用に限らず他の施設を紹介することもあるが、最も利便性が高いのは一つの施設で作製工程を完結出来ることにあると思うので、フォトリソグラフィ技術に限らず、今後も様々な加工技術を身に着けていきたいと考えている。
謝辞
研究・開発を通じて私に技術相談をもち掛けていただき、私に技術向上の機会を与えていただいたす
べての皆様に改めてお礼申し上げます。今後ともよろしくお願いいたします。

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日本鉄鋼協会ミニシンポジウムの発表報告
２０２３年１１月２７日
評価部

丹野健徳

名称：日本鉄鋼協会ミニシンポジウム「鉄鋼業に貢献する先端的な分析関連技術」
期間：2023 年 12 月 25 日 10:30～15:00
場所：東北大学産学連携先端材料研究開発センター（MaSC）
１、 目的
多元物質科学研究所の打越先生から、日本鉄鋼協会のミニシンポジウムのご案内があり、「鉄鋼業に貢献する先端的な分析関連技術」として自身の担当している技術の紹介
や、自分で考案した工夫などについての講演依頼があり、発表を行った。
これまで培った X 線回折についての知見や装置を利用した解析方法、研究基盤技術セン
ター評価部の共用設備の周知、また初心者向けの X 線講習会の実施について発表した。
２、内容
日本鉄鋼協会ミニシンポジウム「鉄鋼業に貢献する先端的な分析関連技術」のプログラ
ムは以下のとおりである。また、発表内容については別資料を参照のこと。
・丹野健徳（東北大学電気通信研究所）「粉末 X 線回折測定の基礎」
・千葉雅樹（東北大学多元物質科学研究所）「XRD・EBSD を利用した応力・ひずみ・すべり系の解析」
・鈴木茂（東北大学マイクロシステム融合研究開発センター）「電子分光法による鉄合金中の元素の化学状態」
・打越雅仁（東北大学多元物質科学研究所）「UV-vis-NIR 用フローセルの開発とその応用」
・篠田弘造（東北大学国際放射光イノベーション・スマート研究センター）「錯体構造、溶液中と結晶中における違いを見極める」
３、感想
参加者が学生時代の指導教員をはじめとした XRD を専門とした先生が参加しており、発表はかなり緊張した。初心者向けの講習会について発表して、初心者の失敗例について紹介した際には、先生方から共感と学生などへの操作方法などの教育の重要性、技術職員がそれを担えることの意義について改めて気づかされた発表となった。

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日本鉄鋼協会ミニシンポジウム「鉄鋼業に貢献する先端的な分析関連技術」
鉄鋼材料の特性は多種多様な分析技術をもって明らかにされる。分析技術の発展は日進月歩であり、常に最先端の技術に関する情報を得ることは重要である。本シンポジウムでは、各種分析法の最先端技術を紹介し、具体的な応用方法、課題を議論し、日々複雑化する鉄鋼材料のより本
質的な物性を取得するための指針を提案する。
主催： 日本鉄鋼協会 材料の組織と特性部会
鉄鋼関連の物質の多角的解析と制御 自主フォーラム
日時：2023年12月25日(月)10:30~
場所 東北大学産学連携先端材料研究開発センター
980-8577 宮城県仙台市青葉区片平2-1-1
プログラム
10:25

開会挨拶

10:30-11:00 丹野健徳 東北大学電気通信研究所
粉末X線回折測定の基礎
11:00-11:30 千葉雅樹 東北大学多元物質科学研究所
XRD EBSDを利用した応力・ひずみ・すべり系の解析
11:30-12:00 鈴木茂 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
電子分光法による鉄合金中の元素の化学状態
12:00-13:00

休憩

13:00-13:30 打越雅仁 東北大学多元物質科学研究所
UV-vis-NIR用フローセルの開発とその応用
13:30-14:00 篠田弘造 東北大学国際放射光イノベーション・スマート研究センター
錯体構造、溶液中と結晶中における違いを見極める
14:00-15:00 総合討論
15:00

閉会挨拶

連絡先
鉄鋼関連の物質の多角的解析と制御 自主フォーラム会計担当
東北大学多元物質科学研究所 打越雅仁

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2.3 ヨᩱ䛾‽ഛ䞉ㄪᩚ ~䝩䝹䝎䞊䜈䛾඘ሸ~• ᖹ⁥䛻඘ሸ䠄㞟୰ἲ䛾ሙྜ䠅䟿• 䝢䞊䜽఩⨨䛜䛪䜜䜛䛺䛹䛾ㄗᕪ䛜Ⓨ⏕• 䛺䜛䜉䛟ᐦ䛻඘ሸ䟿• 䛣䛾௚䛾඘ሸ᪉ἲ䛺䛹䛿䚸䛂⢊ᮎX⥺ᅇᢡ䛾ᐇ㝿䛃䛷⤂௓䛥䜜䛶䛔䜎䛩䚹• ヨᩱ䛜ᑡ䛺䛔᫬• 䝞䜲䞁䝎䞊䠄䝁䝻䝆䜸䞁ᾮ䜔䝉䝯䝎䜲䞁䛺䛹䠅䜢ሬ䜚ヨᩱ䜢᣺䜚䛛䛡䜛• ᥹Ⓨᛶ᭷ᶵ⁐๣䛸ΰྜ䛧䛶ሬ䜛䠄䝇䝭䜰䜰䝬䜴䞁䝖ἲ䠅• Si↓཯ᑕᯈ䛾౑⏝• ங㖊䛾ởᰁ䛻ὀព䛜ᚲせ䛷䛩䚹౑⏝ᚋ䛾ங㖊䛿䛝䜜䛔䛻䛧䜎䛧䜗䛖䟿• SiO2⢊ᮎ䠄~100 ȝm⛬ᗘ䠅䜢⢊○䛩䜛䛣䛸䛷ங㖊䜢◊☻䞉Ὑί䛧䜎䛩䚹
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http://www.crl.nitech.ac.jp/~ida/education/ChemicalAnalysis/430c
ondition.pdf

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「2023 年度研究基盤技術センター技術講演発表会」参加報告書

報告日 2024 年 4 月 22 日
工作部 月本 佳奈
名称：2023 年度研究基盤技術センター技術講演発表会
期間：2024 年 3 月 25 日

15:00~

場所：Zoom（オンライン）
1、研修概要研究基盤技術センターでは、各利用研究室とセンターとの連携の強化、並びに、センター内での知見の共有などを目的として、「研究基盤技術センター技術講演発表会」を開催している。今年度も研究基盤技術センターをご利用頂いている研究室の「特別講演」と、当センターの技術職員による「技術発表」の構成で開催。（実施要項から抜粋）

2、研修内容15:00 ~ 開会 センター長挨拶
15:05 ~ 特別講演 「電子後方散乱回折法の応用」
マイクロシステム融合研究開発センター 鈴木茂
15:45 ~ 技術発表 「EBSD の技術向上について」（動画発表）
研究基盤技術センター 評価部 阿部真帆
16:15 ~ 技術発表 「自作動画による安全教育と効果」
研究基盤技術センター 工作部 月本佳奈
16:45 ~ 閉会
3、感想
聴講と発表で参加した。発表では、「自作動画による安全教育と効果」と題して、外来利用のコロナ対策として自作した利用講習会用動画について、動画を制作したことにより実現できた安全対策やその効果、制作方法等について紹介した。この内容は、令和 5 年度総合
技術部研修でも発表しており、その内容をさらにアップデートして発表した。
発表中は 34 名の方に聞いていただき、何件か質問等頂いた。
頂いた質問・ご意見・ 他に紹介した無料のソフトではなく、AviUtl を使用した理由は？
・ 動画を視聴したいが、どこで見れるか？（閉会後メールでのご質問）
・ 動画を作る際は協力していただきたい 等
令和 5 年度総合技術部研修でご意見のあったアンケート等にもチャレンジし、制作した動画の効果をより感じることが出来た。動画運用 2 年目は WEB ページ等もさらにアップデートしたいと考えているので、主業務をこなしつつ有言実行できるよう努めたい。

※発表資料はP参照

80

発表・成果報告一覧
対象期間：2023.4～2024.3

主催・講師等
丹野健徳、阿部真帆(評価部) 23.5
「SEM・XRD 基礎講習会」主催
丹野健徳(評価部) 23.10 *「令和 5 年度

粉末 X 線回折講習会」講師

丹野健徳(評価部) 23.1 *「令和 5 年度 薄膜 X 線回折講習会」講師*:発表資料あり

81

SEM・XRD 基礎講習会の開催報告
2023 年 7 月 31 日
評価部

丹野健徳、阿部真帆

名称：「SEM・XRD 基礎講習会」
期間：2023 年 5 月 15 日～31 日（各 1.5 時間）
場所：電気通信研究所

研究基盤技術センター評価部

L107（SEM）、L208（XRD）

１、 目的
研究所の内外から評価部の SEM・XRD の新規利用者を増やすことや、研究所内で評価部を利用していない研究室にも SEM・XRD で何ができるのかを知ってもらうことを目的として本講習会を開催した。
特に、本年度から新たに配属された学生や教職員を対象にして、SEM・XRD に興味がある方や今後の利用を検討している方に向けて開催した。
２、内容
SEM は実際に操作した方が原理を理解できるため、操作の体験をメインとした。半導体
基礎講座用のテキストで SEM の原理や構造を説明した後に、受講者のサンプルもしくは
半導体基礎講座用のサンプルを使い、受講者が試料の観察と EDX による元素分析を行った。講習会を実施した回数は 3 回、参加者は 4 名となった。
XRD は何ができるかといった応用例を知ってもらうには、基本的な原理を理解しないと難しいため、原理の説明をメインとした。本講習会用に作成したテキストを使用した座学の後に、シリコンなどの標準サンプルで装置担当者が装置のデモンストレーションを行った。また、XRD の使用経験がある受講者の場合は、受講者のサンプルを用いて、装置担当者が模擬的に測定を実施した。講習会を実施した回数は 3 回、参加者は 4 名となった。
講習会全体で受講した研究室は所内 3、所外 1、受講者は 7（両方を受講した者もいるた
め受講者の延べ人数は 8 名）となった。
３、感想
昨年度の 10 月開催に続き、本年度も実施した。昨年度は講習会の参加上限を 3 名としたため、開催回数が多くなり負担となった。そこで参加上限を 5 名としたが、各講習会での参加人数は最大 2 名で上限を下回り、回数も昨年度より減少した。新規学生の具体的な研究が開始される前だったことが、参加人数の減少の原因と考えるので、10 月にもう一度開催予定である。
昨年度と同様に、受講者アンケートでは講習会におおむね満足いただけ、今後利用した
いとの回答があった。また、既に新規で継続的に装置を利用していただいている例もあり、開催目的である新規利用者の増加に資する結果であった。
最後にアンケート結果を示す。

82

1. 受講者の身分と受講内容、アンケート回答者について
学生

教職員

受講者合計

SEM のみXRD のみ

受講

受講

両方受講

受講者

4

3

7

3

3

1

アンケート回

4

3

7

3

3

1

答者
2. 受講した理由（複数回答可）
装置を使用する予定があるため

6装置を使用する予定はないが、装置に興味があったため

1

研究室で受講を勧められたため

1

3. 講習会の内容について
満足

ほぼ満足

どちらともい

やや不満

不満

えない
SEM

3

XRD

4

1

4. 講習会の時間（1.5~2 時間）について
短い

適切

SEM

4

XRD

4

適切

5. 装置の原理は理解できましたか
理解できた

どちらかといえどちらともいえどちらかといえば理解できなかば理解できたない

理解できなかったった

どちらかといえどちらともいえどちらかといえば理解できなかば理解できたない

理解できなかった

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1

XRD

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1

6. 装置の操作方法は理解できましたか
理解できた
SEM

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1

83

XRD

1

2

1

7. 今度装置を使用してみたいですか
使用してみたいサポートがあれば依頼分析であれ

使用する予定は使用してみたいば利用したい

ない

SEM

2

2

XRD

1

3

8. 良かった点、改善すべき点があれば記入してください
SEM

本当に装置に関する知識０の状態で講習会に参加させていただいたが、どのような初歩的な質問でも丁寧に回答いただき、装置への理解が深まった。使
用したことのない装置の利用に若干の不安・抵抗があったが、この講習会に参加し、装置への理解と装置担当者の方と交流させていただいたことで、装置利用への不安や抵抗が減ったように思える。
操作がシンプルで大変使いやすいと思います。調整がとても簡単でした。

XRD

最初に装置の使用履歴やこれまでの研究歴について聞かれたので、受講者によってどの程度のレベルから話すかを考慮していただける点が良かったと思う。私は本当に０からだったため、０から１０まですべて説明していただいた。どの質問にも丁寧に回答いただきありがたかった。また、説明に合わせて装置の部品を実際に見せていただきより理解が深まった。SEM 講習会と同様に、装置利用に対する心配や不安が減ったため、参加して良かったと思う。
限られた時間の中で大変丁寧にご教授頂きありがとうございました。
懇切丁寧にご説明いただいたため，操作方法までの理解までには至りません
でしたが，ご支援の下利用する方向で研究を進めて参りたいと思います。
原理から XRD の種々の分析手法の特徴など、とても分かりやすく説明してくださりよかったです。実サンプルの測定はまだできていませんが、色々な事例を見せていただいたことで具体的なイメージがわきました。

84

粉末 X 線回折講習会の発表報告
２０２３年１１月２７日
評価部

名称：「令和 5 年度

丹野健徳

粉末 X 線回折講習会」

期間：2023 年 10 月 26 日 15:00～16:30（1.5 時間）
場所：大学連携研究設備ネットワーク https://www.eqnet-portal.jp/eq-study
１、 目的
全国の大学法人と自然科学研究機構分子科学研究所が連携する事業である「大学連携研
究設備ネットワーク」からの依頼を受けて、粉末 X 線回折講習会の講師を行った。
本講習を通して、これまで培った X 線回折についての知見や装置を利用した解析方法を広めて社会貢献を行うとともに、研究基盤技術センター評価部の共用設備の周知と提供可
能な技術について広く発信できる。
２、内容
粉末 X 線回折装置の使用者および今後使用する予定のある方を対象に、初級から中級程度の内容で講習会を実施した。原理等の説明は最小限にとどめ、実際の試料準備や測定における注意点、ちょっとしたコツ、データの扱いかたを紹介した。本講習会のレジュメは
以下の通りである。
1.Ｘ線回折とは
2.データベース・便利なソフトの紹介
3.試料準備の注意点
4.装置設定の注意点
5.データ解析の注意点
また、本講習会の資料は、以下の Web ページのアーカイブ資料で閲覧可能であり、講習会の動画についても今年度末にアップロード予定である。
https://www.eqnet-portal.jp/eq-study/documents
３、感想アンケート結果もレポートとして Web ページに掲載されており、満足度として 100%の方から「おおむね満足した」以上の評価をいただいた。難易度は、中級までの内容とした
め、40％の方が「やや難しかった」「難しかった」の評価だったが、94％の方から「業務に役に立つ」「大変役に立つ」という評価だったので、好評いただけたと感じている。

85

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α = β = γ = 90º• ኱Ꮫ䞉◊✲ᶵ㛵䛾ᅗ᭩㤋䛺䛹䛷㜀ぴ䛷䛝䜛ሙྜ䛜䛒䜛
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• CIF䝣䜯䜲䝹䜢䝎䜴䞁䝻䞊䝗ྍ⬟• ↓ᩱ䛷฼⏝䛷䛝䜛䠄฼⏝⪅Ⓩ㘓ᚲ㡲䠅• https://crystdb.nims.go.jp/• AMCSD• American Mineralogist Crystal Structure
Database• CIF䝣䜯䜲䝹䜢䝎䜴䞁䝻䞊䝗ྍ⬟• ↓ᩱ䛷฼⏝䛷䛝䜛• http://rruff.geo.arizona.edu/AMS/amcsd.php• ᅜ㝿⤖ᬗᏛ㐃ྜ䠄IUC䡎䠅䛻䜘䜛Ꮫ఍ㄅ• ICSD䛺䛹䛻䛺䛔ሙྜ䛿ㄽᩥ᳨⣴䜒ᡭ

• F. Izumi and K. Momma, Solid State Phenom., 130 , 15–20 (2007).

• XRF䜔SEM-EDX, EPMA䛷⤌ᡂศᯒ䛧䛶䜏䜛• ୕ᙉ⥺䠄ᙉᗘ䛾㧗䛔3䛴䛾ᅇᢡ⥺䠅䛾఩⨨䛛䜙᳨⣴䛧䛶䜏䜛䠄䝝䝘䝽䝹䝖ἲ䠅• 䝕䞊䝍䛾ಙ㢗ᛶ䠄QM䠅䛻ὀព䟿• VESTA䠖⤖ᬗᵓ㐀䞉㟁Ꮚ≧ែ䛾୕ḟඖྍど໬• 䠆䠄㧗ಙ㢗ᛶ䠅, i䠄ᣦᩘ௜䛡䛾䜏୰ಙ㢗ᛶ䠅, C䠄༢⤖ᬗᅇᢡ䛺䛹䛛䜙ィ⟬䠅,O or 䛂 䠄䝤䝷䞁䜽䠅䛃䠄పಙ㢗ᛶ䠅, H䠄௬ㄝ䞉௬ᐃ䠅, R䠄䝸䞊䝖䝧䝹䝖ἲ䛷ィ⟬䠅• 䛂Deleted or Rejected䛃䛾グ㏙䛜䛒䜜䜀ཧ↷䛧䛺䛔ಙ㢗ᛶ䛜ప䛔䝕䞊䝍䛿๐㝖䛥䜜䜛䛜䚸䝕䝕䞊䝍䝧䞊䝇䛛䜙䛿㝖እ䛥䜜䛺䛔䟿• 䛂Additional Patterns䠖See PDF ##-##-####䛃䜔䛂To Replace PDF ##-##-####䛃ಙ㢗ᛶ䛜㧗䛔䝕䞊䝍䛜௚䛻䛒䜛䛾䛷䛭䛱䜙䜢ཧ↷䛩䜛• 䝕䞊䝍䛾

• ATOM Works• Acta Crystallographicaa≠b≠c
α = β = γ = 90ºṇ᪉ᬗtetragonal
P, I

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trigonal(rhombohedral)a≠b≠c
α = γ = 90ºβ ≠ 90º• ICDDཎᏊᗙᶆ• K. Momma and F. Izumi, J. Appl. Crystallogr. , 44 , 1272–1276 (2011).
• RIETAN-FP䛸VESTA䛿௨ୗ䛾䝃䜲䝖䛛䜙䝎䜴䞁䝻䞊䝗ྍ⬟
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No.61 Pbca (a, b, c)→Pcab (b, a, -c),Additional
Igor䛷ㄞ䜏㎸䜣䛷 ᐃ䝕䞊䝍ẚ㍑
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薄膜 X 線回折講習会の発表報告
２０２４年１月２９日
評価部

名称：「令和 5 年度

丹野健徳

薄膜 X 線回折講習会」

期間：2024 年 1 月 25 日 15:00～16:30（1.5 時間）
場所：大学連携研究設備ネットワーク https://www.eqnet-portal.jp/eq-study
１、 目的
全国の大学法人と自然科学研究機構分子科学研究所が連携する事業である「大学連携研
究設備ネットワーク」からの依頼を受けて、粉末 X 線回折講習会の講師を行った。
本講習を通して、これまで培った X 線回折についての知見や装置を利用した解析方法を広めて社会貢献を行うとともに、研究基盤技術センター評価部の共用設備の周知と提供可
能な技術について広く発信できる。
２、内容
バルク表面の反応層（酸化膜層やメッキ層）や半導体材料などの基板上成膜されたエピ
タキシャル層などの薄膜を対象とした測定方法は薄膜 X 線回折法と呼ばれる。特に表面敏感な測定が可能な In-plane XRD、エピタキシャル層の分析が可能な逆格子マッピング法、結晶/非結晶を問わずに膜厚分析ができる X 線反射率法、結晶方位解析が可能な極点図測定法について測定事例を交えながら紹介した。本講習会のレジュメは以下の通りである。
1.Ｘ線回折の原理
2.薄膜 X 線回折の装置について
3.薄膜 X 線回折の分類
4.薄膜 X 線回折の測定方法
5.測定例の紹介（In-plane XRD, RSM, XRR, Pole Figure）
また、本講習会の資料は、以下の Web ページのアーカイブ資料で閲覧可能であり、講習会の動画についても今年度末にアップロード予定である。
https://www.eqnet-portal.jp/eq-study/documents
３、感想
全国の大学をはじめ、高専、研究機関、企業からも参加申込みがあった。アンケートは集計中だが、満足度として 100%の方から「おおむね満足した」以上の評価をいただいた。薄膜 XRD は専門性が高いため、難易度は、「やや難しかった」が多い結果となった。

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1.5
1.0

50
0.5
0
-0.10

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0.0
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0.0
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600
400
200
0
66

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93

68

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74

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Out-of-Plane XRD䛷䛾㓄⨨䜢౛䛻

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6

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4

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6

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5

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0.8

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2

2

2

0.4

1
0.2

1

0.0
33.8

0
34.0

34.2

34.4
Ȧ / degree

34.6

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1

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Ȥ / degree

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0

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69.13

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69.15

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113

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Si䛺䛹䛾ሙྜ䛿~0.2deg⛬ᗘ䚹

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10

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10

Intensity / count34.07

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4

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3

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10

0

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20

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80

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6

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5

10

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4

Intensity / count

10

3

10

Si 002

Si 006
Si 004
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2

10

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0

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2ș / degree
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-10

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1094

Out-of-Plane and In-Plane XRD
IP Mn3Pt 400䕰 䕰 OP Mn3Pt 004

IP Mn3Pt 200䕰䕰 OP Mn3Pt 002

8000

7

10

6

10

5

10

6000

4

10

3

10

4000

2

10
2000

1

10

0

10

0
10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

ᐃ

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㍈࿘䜚䛻ᦂື䠄Rocking䠅䛧䛶䝇䜻䝱䞁䛩䜛䚹

Log10 Intensity / count (Out-of-Plane XRD)

Intensity / count (In-Plane XRD)䝻䝑䜻䞁䜾䜹䞊䝤䠄RC, Rocking Curve䠅

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10000• ከ⤖ᬗⷧ⭷䛾㓄ྥ䜔༢⤖ᬗ䛾⤖ᬗᛶ䜢ホ౯䛩䜛䛣䛸䛜䛷䛝䜛䚹60

2ș / degreeྠ୍ヨᩱ䛻䛚䛡䜛Out-of-Plane XRD䛸In-Plane XRD䛾• ≉䛻༢⤖ᬗ䜔䜶䝢䝍䜻䝅䝱䝹⤖ᬗ䛾ሙྜ䛿䚸2ș/Ȧ䝇䜻䝱䞁䛾ሙྜ䛷䜒䝻䝑䜻䞁䜾䜹䞊䝤 ᐃ䛸࿧䜆䛣䛸䜒䛒䜛䚹ᐃ౛䚹

MgOᇶᯈୖ䛻Mn3Pt䜢䜶䝢䝍䜻䝅䝱䝹ᡂ㛗䛥䛫䛯ヨᩱ䜢 ᐃ䚹
In-Plane XRD䛷䛿MgOᇶᯈ䛛䜙䛾ᅇᢡ䝢䞊䜽ᙉᗘ䛜పῶ䛥䜜䜛䚹䝻䝑䜻䞁䜾䜹䞊䝤䠄RC, Rocking Curve䠅Si substrate

Satellite peaks(Thickness fringes,
Pendellosung fringes)

Si85Ge15• ᩓ஘䝧䜽䝖䝹䛾᪉ྥ䛜ྠ䛨䛷᱁Ꮚ㠃㛫㝸䛜␗䛺䜛᱁Ꮚ㠃䛾ᅇᢡ䛜 ᐃ䛥䜜䜛䚹

Si004
Ge004

Out-of-Plane䛸In-Plane䛸䛷䛿䚸Mn3Pt䛾䝢䞊䜽఩⨨䛜␗䛺䜛䚹ヨᩱ䛾ᆶ┤᪉ྥ䛸Ỉᖹ᪉ྥ䛸䛷䚸䜶䝢䝍䜻䝅䝱䝹ᡂ㛗䛥䛫䛯䛣䛸䛷᱁Ꮚᐃᩘ䛜␗䛺䜛䠄ṍ䜣䛷䛔䜛䠅䛣䛸䜢཯ᫎ䚹ᐃ

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43

㏫᱁Ꮚ䝬䝑䝢䞁䜾䠄RSM, Reciprocal Space Mapping 䠅㏫᱁Ꮚ䝬䝑䝢䞁䜾䠄RSM, Reciprocal Space Mapping 䠅Si substrate / SiGe 50 nm / Si 20 nm䜶䝢䝍䜻䝅䝱䝹ᡂ㛗

224
SiGe
Si

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㏫᱁Ꮚ఩⨨

SiGe

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Si

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0.5

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0.3
0.2
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6

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12
14
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22

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10

ᐦᗘ

10

Reflectivity

10
10
10
10
10
10

཯ᑕἲ䛰䛡䛷䛿ヨᩱ䛾⾲ഃ䠄໭༙⌫䠅䛾᝟ሗ䛾䜏䛻䛺䜛䠄୙᏶඲ᴟⅬᅗ䠅䚹⭷ཌ-1

Measurement Data
Fitted Data

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96

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011

受賞報告一覧
対象期間：2023.4～2024.3

令和 5 年度総合技術部研修

優秀発表賞

題目「IoT 機器を用いた遠隔での設備監視」〇丹野健徳、柳生寛幸(評価部)23.11

97

共著・謝辞掲載論文一覧
対象期間：2023.4～2024.3＜査読付論文 共著＞
Anh Igarashi, Maho Abe, Shigeki Kuroiwa, Keishi Ohashi, and Hirohito Yamada,“Enhancement of Refractive Index Sensitivity Using Small Footprint S-Shaped Double-Spiral Resonators
for Biosensing”, Sensors, 2023, 23, 6177.
https://doi.org/10.3390/s23136177
Hiromasa Niinomi*, Kazuhiro Gotoh, Naoki Takano, Miho Tagawa, Iori Morita, Akiko Onuma, Hiroshi Y.
Yoshikawa, Ryuzo Kawamura, Tomoya Oshikiri, and Masaru Nakagawa,”Mie-Resonant Nanophotonic-Enhancement of Asymmetry in Sodium Chlorate Chiral Crystallization”*責任著者：東北大学多元物質科学研究所 助教 新家寛正
掲載誌：TheJournalof Physical Chemistry Letters

https://doi.org/10.1021/acs.jpclett.3c03303＜査読付論文 謝辞＞
深見研究室（評価部：丹野）https://doi.org/10.1038/s41563-023-01620-2
プレスリリース：http://www.tohoku.ac.jp/japanese/2023/08/press20230804-02-spin.html
深見研究室（プロセス部：森田、小野、武者）https://doi.org/10.1038/s44306-023-00003-2
プレスリリース：
https://www.tohoku.ac.jp/japanese/newimg/pressimg/tohokuuniv-press20240111_01web_stt.pdf
大塚研究室（全体）https://doi.org/10.35848/1882-0786/ace415
https://doi.org/10.1063/5.0167212
https://doi.org/10.1103/PhysRevApplied.20.014035
プレスリリース：
http://www.tohoku.ac.jp/japanese/newimg/pressimg/tohokuuniv-press20230718_01web_graphite.pdf
東北工業大学柴田研究室（全体、プロセス部小野）https://doi.org/10.1038/s41467-023-43343-7
プレスリリース：
https://www.tohoku.ac.jp/japanese/newimg/pressimg/tohokuuniv-press20231201_02web_colloidal.pdf

98石山研究室（全体）https://doi.org/10.1063/5.0161296
プレスリリース：
https://www.riec.tohoku.ac.jp/wp-content/uploads/2023/10/press_taichigoto_231010a.pdf
https://doi.org/10.1016/j.optmat.2023.114530
プレスリリース：
https://www.tohoku.ac.jp/japanese/newimg/pressimg/tohokuuniv-press20231116_01web_laser.pdf
https://doi.org/10.1103/PhysRevApplied.21.014061
プレスリリース：
https://www.tohoku.ac.jp/japanese/newimg/pressimg/tohokuuniv-press20240131_01web_spin.pdf
尾辻研究室（全体）https://doi.org/10.1515/nanoph-2023-0256
プレスリリース：
https://www.tohoku.ac.jp/japanese/newimg/pressimg/tohokuuniv-press20231124_02_transistor.pdf
平野研究室（工作部阿部）https://doi.org/10.1016/j.bpj.2023.08.019
平野研究室（評価部丹野）
https://doi.org/10.1021/acsanm.3c04080

99

第四章

技術報告
年度内ということに拘らず、長年をかけて培っていく技術の進歩を技術職員の視点から報告します。
今回は評価部、プロセス部からの報告になります。

Google Workspace を用いた DX による業務効率化～共通利用装置の予約システム構築と展開～
電気通信研究所

研究基盤技術センター 評価部
丹野 健徳

1． はじめに研究基盤技術センター評価部では、走査電子顕微鏡や X 線回折装置などの実験装置の共通利用を提供している。共通利用装置の予約は、評価部の管理室前に設置した紙媒体の予約簿に直接記入するか、電話などで担当者に連絡することで行っていた。ところが、新型コロナウイルス感染症の広がりを受けて、大学施設への立ち入りや実験などに様々な制限が生じることとなった。当センターにおいても、利用者の入構制限や担当者のテレワークによる不在などで装置の利用予約が滞るといった影響を受けた。
紙媒体の利用記録簿は、利用者が装置の予約や予約できる時間の確認などのために来所する必要があったり、管理者が電話対応する必要があったりと、利用者にも管理者にも少なからず不便さがあり、以前からオンライン化が課題だった。コロナ禍を受けて、円滑な共通利用の提供を行いうと同時に、利用者と管理者との間での接触を最低限に減らすために、装置利用予約のオンライン化が必要となった。
そこで、東北大メールに紐づいて利用できる Google Workspace の機能である Google アプリ（ドライブ、フォーム、ドキュメント、スプレッドシート、サイト、カレンダー、メールなど）と、これらのアプリと簡単に連携して操作ができる Google Apps Script（以下 GAS と表記）[1, 2]というプログラミン
グ言語を用いて、オンラインでの装置利用予約システムを構築したので、これについて報告する[3, 4]。

2． 装置利用予約システムの概要
装置利用予約システムの構築にあたり、最初に利用予約に必要な動作を想定することから始めた。次に、それぞれの動作について GAS で構築していき、最後に全ての GAS が連動するように装置利用予約システムを構築した。今回のシステムで想定した動作は以下の通りである。
1. フォームに入力した内容をスプレッドシートに保存
2. 入力内容を GAS に読込み、装置毎にプログラムを分岐
3. カレンダーの空きを確認して、スプレッドシートの内容をカレンダーに反映して予約完了
4. 予約完了時、または予定が重複した予約失敗時のそれぞれで通知メールを送信
5. 予約内容の控えを管理者と利用者が所属する研究室の責任者にそれぞれ送信
それぞれの動作は、図１に示したフロー図に従って処理される。それぞれの GAS の動作や内容については、以降の項目で説明していく。

3． 装置利用予約システムの構築
3.1 フォームとスプレッドシート
フォームに入力した内容は、フォームに関連付けられたスプレッドシートに内容が記録されていく。
さらに、そのスプレッドシートに拡張機能から GAS を記述することで、スプレッドシート内の記録内容を GAS のプログラムの引数として利用できる。
装置毎にプログラムを分岐させる関係上、装置名の表記揺れがあると分岐が動かないことが予想された。そのためプルダウンから装置名を選択させることで、入力時の表記揺れをなくして分岐条件の引数として利用しやすくした。また、所属研究室の入力もプルダウンとしている。利用申請を受けた研究室のみを選択肢とすることで、利用申請していない他研究室の利用制限、利用者の管理、研究室の責任者への連絡などを容易にするためである。

101

図1
表1

装置利用予約システムのフロー

スプレッドシートの入力内容と行列番号

スプレッドシートの記録内容

行列番号

GAS 上での使用用途

タイムスタンプ
メールアドレス
利用者名
所属研究室
利用装置
利用予定日
開始時間
終了時間

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フォームの入力時間
メールの送信先
ドキュメントで置換
控えメールの送信先装置毎にプログラムの分岐カレンダーでの重複の確認と予定の作成

フォームには 7 つの入力項目があり、フォーム入力の時間（タイムスタンプ）を含めて 8 項目がスプ
レッドシートに記録される。スプレッドシートの記録内容を 1 行 8 列の行列として取り扱い、values として GAS 上で宣言することで、行列内に保存された各列の記録内容を values[0][i]として利用できる。
スプレッドシートの記録内容と行列番号、GAS 上での主な使用用途について表 1 にまとめる。

3.2 利用装置毎のプログラム分岐
プログラムの分岐には、if 文と else if 文が利用される。今回作成した GAS の場合では、装置毎にプログラムを分岐させるので、入力された values[0][4]の内容が if 文内の特定の文字列と一致すれば、予約作成プログラムに進む。一致しない場合は、次の else if 文に進み、他の装置の予約作成プログラムに進むように構築した。この方法以外でもより単純な分岐方法が考えられる。しかし、装置利用予約システ
ムを構築当時は、各 GAS を分割して作成していったため、少々煩雑かつ迂遠になってしまっている。
利用者がフォームから入力した際に、装置名を間違えた場合や、表記揺れがある場合は、プログラムの分岐が上手くいかなくなる。そのため、前述の通り利用装置の入力はプルダウンメニューから行うこととした。
3.3 予約内容をカレンダーに反映
予約内容をカレンダーに反映する前段階の準備として、自身の東北大メールの Google カレンダーア
プリに、各装置に対応するカレンダーを個別に作成しておく必要がある。次に、作成した各カレンダー

102

の『設定と共有』から、カレンダーID を確認する必要がある。GAS 上でカレンダーID を宣言すること
で、GAS からカレンダーにアクセスして予定の作成・変更などの操作が可能となる。また、他の管理者にカレンダーを共有したり、ホームページに埋め込んだりすることで、装置の予約状況を一目で管理できるようになった。
カレンダーに予定を作成するには、予定の開始日時と終了日時を設定する必要がある。今回作成した
GAS の場合では、スプレッドシートに記録された values[0][5], values[0][6], values[0][7]が、それぞれ利用予定日、開始時間、終了時間にあたる。日時の変数は通常の変数とは参照の仕方が異なるため、new
Date で新たに生成する。また、生成された日付の変数は標準では 00 時 00 分 00 秒となっているので、setHours などを用いて hh 時や mm 分を入力していき、開始日時と終了日時についてそれぞれ YYYY 年
MM 月 DD 日 hh 時 mm 分という内容を設定する。
次に、設定した開始日時と終了日時との間でカレンダーに予定の重複がないかを確認して、重複がな
ければ利用予約の内容をカレンダーに予定として作成する。重複の確認には、getEvents を用いて開始日時から終了日時までの予定を取得して、それがゼロの場合は重複がないことになる。予定の作成が出来たならば、‘予約完了’とスプレッドシートのセルに入力して、後で確認が取れるようにした。また、予定の重複があった場合は、‘予約失敗’と入力するように構築した。これらの入力項目は、次項の予約完了時と予約失敗時のメール送信の分岐とし使用する。最後に GAS コードの一例を示す。
const startDate = new Date(values[0][5]); //values[0][5]を「利用開始日」として定義
const startTime = new Date(values[0][6]); //values[0][6]を「開始時間」として定義
startDate.setHours(startTime.getHours()); //「利用開始日」の時を設定
startDate.setMinutes(startTime.getMinutes()); //「利用開始日」の分を設定して、「開始日時」の設定完了
const endDate = new Date(values[0][5]); //values[0][5]を「利用終了日」として定義
const endTime = new Date(values[0][7]); // values[0][7]を「終了時間」として定義
endDate.setHours(endTime.getHours()); //「利用終了日」の時を設定
endDate.setMinutes(endTime.getMinutes()); //「利用終了日」の分を設定して、「終了日時」の設定完了
if (Calendar.getEvents(startDate, endDate) == 0){ //「開始日時」から「終了日時」の予定がない場合
Calendar.createEvent(title, startDate, endDate); //“title”という予定を作成
sheet.getRange(lastRow,9).setValue('予約完了'); //確認や後の分岐のためにログを入力}

3.4 予約完了時、予約失敗時の通知メール送信
GAS にはメール送信の方法として、MailApp.sendEmail と GmailApp.sendEmail という 2 種類のアプリ
ケーションがあり、GmailApp.sendEmail の方が送信元の設定などの詳細な設定が可能である。例えば、
GmailApp.sendEmail のオプション欄である{ }内に、bcc を追記することで、予約内容の控えメールを自身のアドレスなどに送る設定が出来る。さらに、送信元のメールアドレスは、デフォルトでは自身の東北大メールアドレスとなるが、オプション欄に noReply:true を追加することで、noreply@tohoku.ac.jp
が送信元となる。加えて、Gmail アプリの設定からエイリアス機能でグループメールなどを追加すれば、追加したメールアドレスを送信元に設定できる。以下にプログラムの例文を示す。
GmailApp.sendEmail(user@tohoku.ac.jp, Title, Body, {bcc:'admin@tohoku.ac.jp', noReply:true});
GmailApp.sendEmail(user@tohoku.ac.jp, Title, Body, {from:'admin@grp.tohoku.ac.jp', name:'EAC'});
予約完了時と予約失敗時のプログラムの分岐は、3.3 でスプレッドシートのセルに入力した'予約完了'と'予約失敗'を if 文 else if 文の条件とすることで分岐させた。また、メール本文の内容は、ドキュメント
で定型文を用意しておき、その中の一部をスプレッドシートの記録内容に置換した。GAS の本文中に直接メール本文を記入することも可能だが、メール本文の変更をしやすくするためにドキュメントを利用した。カレンダーの場合と同様にドキュメントを GAS で操作・利用する場合も、ドキュメント ID を確

103

認して GAS 上で ID を宣言する必要がある。図 2 に Google ドキュメントによるメール本文と送信されたメール文を示す。ドキュメント内で｛ ｝で囲まれた部分が置換されていることがわかる。

図2

Google ドキュメントによるメール文と実際の送信メール

4． 装置利用予約システムの運用
装置利用予約システムの運用を行うために、Google サイトにカレンダーとフォームを埋め込んで公開した。Google サイトを用いることで、カレンダーとフォームの埋め込みが簡便に出来る。それに加えて、学外の一般者には Google サイトが表示されず、東北大メールアドレスをもった教職員と学生のみが閲覧できるように設定できる。図 3 に実際に運用している装置利用予約システムの画像を示す。

図3

実際に運用している装置利用予約システムの Google サイト

104

当初は利用申請を受けた研究室のみが Google サイトの閲覧やフォームからの予約が可能になることを検討したが、共有化の設定やプログラムが煩雑になるため実装はしなかった。その代わり、所属研究室の入力欄を、利用申請を受けた研究室のみ表示させるプルダウンメニューとすることで、利用申請がない研究室が利用予約を出来ないようにしている。さらに、所属研究室ごとに各研究室の利用責任者のメールアドレスをスプレッドシートの別シートに纏めておき、所属研究室を入力することで研究室の利用責任者を CC に追加してメール送信し、学生が装置を利用することを研究室側でも把握できるようにした。

5． これまでの成果と展開装置利用予約システムを作成するまでの私のプログラミングの経験について触れておく。これまで C
言語を用いた簡単なプログラミング実習を学生時代に受講したことがある。加えて、測定結果の解析にキャラクターユーザーインターフェースのソフトを利用している。プログラミングの入門的な知識を多少有しているが、本格的なプログラミングは行ったことはなかった。装置利用予約システムの構築にあたり、GAS のホームページ [1]や参考文献[2]をもとに行った。本格的なプログラミングの経験がなくても、各 Google アプリを連携させることで、はじめからプログラミングを行うよりも簡単にシステムを構築できた。
装置利用予約システムは、2020 年 6 月の運用開始から 2024 年 3 月までに、1200 件を超える利用予約を受け付けてきた。これまでに装置利用予約システムについて東北地区技術職員研修[3]や総合技術研究会 2021 東北大学[4]において発表を行い、少なくない反響があった。例えば、他部局の技術職員からプ
ログラムを知りたいといった問い合わせもあり、プログラム提供を行った。装置利用予約の簡便化・効率化だけでなく、他部局への広がりや、GAS のプログラミングの習得など多くの成果が得られた。
2024 年 4 月からは、コアファシリティ統括センター（CFC）
が運用する設備統合管理システム（SHARE）[5]に装置利用予約の役割は移行した。しかし、装置利用予約システムの役割が完全になくなったわけではない。これまでのシステムを発展させて、SHARE での予約内容を Google カレンダーに反映させるプ
ログラムを構築しており今後も運用が続く。
Google アプリや GAS は、講習会などの出席者の管理や実験データの抽出にも応用でき、プログラマ
でなくても作業の自動化などの業務改善に利用することができる。装置利用予約システムを通して GASを学んだことで、アンケートや講習会の申込みといった簡単なものから、講習会の申込に対する返信メールの自動送信、業務報告メールの下書き作成の自動化、装置の利用があった場合や逆に一定期間の利用がなかった場合のメンテナンス作業のリマインド、IoT 機器からのデータ取得など様々な物事に展開しており、GAS を利用して業務の効率化につながっている。

参考文献
[1]

Google Apps Script, https://developers.google.com/apps-script[2]

高橋宣成,『詳解!Google Apps Script 完全入門』, 秀和システム, (2018).

[3]

丹野健徳, 令和 2 年度東北地区国立大学法人等技術職員研修 技術発表会, (2020).

[4]

丹野健徳, 総合技術研究会 2021 東北大学 報告誌, pp199-200, (2021).

[5]

設備統合管理システム（SHARE）, https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/

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106

FIB を用いた SiC 試料の TEM 薄片作成
電気通信研究所

研究基盤技術センター

プロセス部
武者 倫正

1． はじめに
透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope, TEM)は高電圧で加速した電子線を試料に照射し、試料を透過した電子を用いて微小領域の観察を行う手法であり、結晶構造や格子欠陥、結晶方位など材料の構造観察に有効な手法である。TEM 観察には電子線を透過させるため、厚さ 100nm 以下の薄片試料を作製する必要があり、その作製法の一つとして集束イオンビーム(Focused Ion Beam, FIB)による微細加工が用いられている。今回は研究室よりシリコンカーバイド(SiC)の結晶構造観察の依頼を受けた際の FIB 装置による TEM 薄片作製について報告する。

2． FIB による TEM 薄片作製概要
FIB 装置ではイオン化した原子に加速電圧を付与し、細く絞ったビームにして試料に照射することで、主に観察・加工・成膜の 3 つの機能を発揮することができる。これら 3 つの機能を複合的に活用することで、FIB による TEM 観察用薄片の作製が可能となる[1]。
・観察…イオンビームを試料に走査させ、試料から発生した二次電子や二次イオンを検出することでSIM(Scanning Ion Microscopy)像を観察することができる。走査電子顕微鏡像(Scanning Electron Microscopy,SEM)よりも分解能は劣るが、極表面の形態情報、元素、結晶方位による二次電子放出率の違いをコント
ラストとして観察することが可能である。
・加工…加速電圧を付与したイオンを試料表面に衝突させ、試料表面の原子を弾き飛ばす(スパッタリン
グ)ことで、試料を微細加工することができる。集束させたビームで指向性を持って加工するため、特定領域をサブ µm 単位で指定して加工できる利点があるが、数百 µm~mm 単位以上の広域加工は不得手である。
・成膜…試料表面に反応性ガスを導入し、イオンビームによりエネルギーを与えて反応させることで、特定の領域に局所的に材料を成膜(デポジション)することができる。ビーム照射箇所をコントロールすることにより、直線、円形など任意形状の成膜が可能で、導電性材料としては W や Pt, 絶縁物としては
SiO2 などが用いられている。
TEM 試料の作製手法には FIB 加工の他に、化学研磨、電解研磨、イオンスライス法、イオンミリング法などがあるが、FIB 加工がそれらと比較して最も優れている点として、ピンポイント加工・サンプリ
ングが可能であるという点が挙げられる。上記に挙げたその他手法はバルク状の試料を薄片化する手法
であり、µm 単位で試料の特定部位を狙って薄片化・観察することはできない。一方 FIB では細く絞ったビームにより µm~サブ µm 単位での観察・加工が可能なため、試料中の特定部位の TEM 観察が必要な場合に最も有効な試料作製法となる。反面、高加速電圧を付与したイオンを試料に照射するため、試料表面にダメージを与えてしまうという欠点があり、これが試料を極薄片化する際の障害になることがある[2]。FIB の試料へのダメージによる具体的な問題発生状況は 4 節で述べる。

3． 試料作製手順
SiC TEM 薄片の作製にはプロセス部管理の FIB-SEM 装置(Curl Zeiss 製 NVision40)を用いた。表 1 に装置の基本性能を示す。本装置は FIB,SEM のダブルビーム方式であり、FIB の代わりに SEM を使用して加工箇所の観察・特定を行うことで FIB による試料へのダメージを最小限にすることが可能である。
またチャンバー内にピックアップ用マイクロプローブ(Kleindiek 製 Nanocontroller NC40)を備えており、
チャンバー内での直接サンプリングが可能となっている。

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表1

FIB-SEM 装置(Curl Zeiss 製 NVision40)の基本性能

Ga liquid-metal(Ga+)
0.1~30kV(SEM)
加速電圧1~30kV(FIB)
検出信号
InLens,SE2,BSE
1.1nm at 20kV(SEM)
分解能
4nm at 30kV(FIB)
30x~900kx (SEM)
倍率475x~500kx (FIB)
デポジション材料
C, Pt, Insulator(SiO2)
今回の SiC 薄片試料作製にはマイクロピックアップ法(またはリフトアウト法)と呼ばれる手法を用いた[3,4]。マイクロピックアップ法の各段階の実施の様子を図 1 に示し、以下に各段階の加工詳細を述べる。
① 試料表面のピックアップ箇所に、ピックアップする大きさに応じた厚さ 1.5µm 程度の保護デポを形成する。これは後ほど側面からの薄片化加工の際に試料が削られないよう保護するためのものである。
今回は SiC 表面への付着の良さおよび成膜時間の短さから、デポ材料に C を用いた。
② ピックアップ箇所の上下を長方形に切削する。
③ ピックアップ箇所の左右 1 辺を長方形に切削する。
④ ピックアップ用マニピュレータを試料に接近させ、デポを用いて薄片とマニピュレータを接着する。
接着後、薄片の左右残り 1 辺と底辺を切断し、薄片を試料全体から切り離す。
⑤ ピックアップした薄片を TEM 観察用グリッドに貼り付ける。グリッドの側面に薄片の 1 辺を近接させ、薄片とグリッド間にデポを形成して固定する。
今回は④薄片-マニピュレータ間の接着および⑤TEM グリッド-薄片間の接着にはデポ材料として Ptを用いた。Pt は C より形成に時間がかかるが、脆性破壊が起こりにくいためピックアップ中および試料作製後に衝撃等によりデポが破損し、薄片を紛失するリスクを低減することができる。
⑥ 薄片をグリッドに固定後、薄片-マニピュレータ間のデポを切断し、マニピュレータを切り離す。
⑦ 試料側面(画像上下方向)から段階的な加工を行い、薄片化していく。
⑧ 試料厚が 100nm 付近まで薄くなったら、段階的に加速電圧を引き下げ、低加速電圧による仕上げ加工を行う。今回の加工では試料形状に問題が生じたため、当初加工は加速電圧 30kV で行い、試料厚130nm 程度から 10kV、更に 5kV と段階的に下げて仕上げ加工を行った。この試料形状の問題は 4 節
で詳しく述べる。
イオン源

図 1 マイクロピックアップ法による TEM 試料作製の様子

1084． 試料作製時の問題点
今回の SiC 薄片作製においては主に以下 2 点の問題が発生した。これまで Si 基板や金属薄膜の薄片化でも起こっていた共通の問題もあれば、新しく発生した SiC 特有と思われる問題もあった。以下に各問題の状況と対処を述べる。
4.1. 薄片の湾曲
薄片厚を約 130~140nm まで加工したところで、試料が加工方向に湾曲するという問題が発生した(図2)。通常、Si 基板や金属材料などでは 100nm を切る程度まで薄片化しても、試料が削れて消失するまで
このような問題は発生しなかったため、今回 SiC の薄片化にて初めて見られた現象であった。原因ははっきりとは判明していないが、SiC は形成時に 1,000℃以上の高温下で反応させるため、形成時の熱応力が残留しており、薄片化されて強度が低下した際にそれが表れた可能性や、試料が硬く弾性が低いため、イオン衝突による運動エネルギーを逃がすことができず変形してしまった可能性などが考えられた。

図2

加工後に湾曲した SiC 薄片の SEM 像(左図:約 5,000 倍, 右図:約 6,000 倍, SE2 信号)

図 2 に示したように、FIB を当てるのと同じ方向に曲がりが生じていたため、対策としてイオン衝突のエネルギーを低減することを考えた。通常、Si 基板などの材料では試料厚 100nm 程度から低加速加工を行うが、今回は衝突エネルギーの低減のため、試料に曲がりが生じる 130nm 付近から 10kV、更に110nm 付近から 5kV と、通常より早い段階で低加速電圧に切り替えて加工を実施した。また通常は観察領域を確保するために図 2 のように薄片長さを 10µm 以上確保していたが、先端部分にかかる曲げモー
メントを小さくするため試料長さを 5~6µm に限定した。以上 2 点の対策を施すことにより、少量の曲がりは発生したが、TEM 本体の試料傾斜範囲内で問題なく観察できる程度に収めた薄片を作製することに成功した(図 3)。

図 3 試料湾曲対策を施した SiC 薄片 SEM 像(約 5,000 倍, SE2 信号)109

しかしこれら対策を施しても、試料厚 100nm 以下になると急激に試料が曲がり始めるという問題が解決できなかったため、100nm 以下の薄片化は FIB ではなくイオンミリング装置を用いて加工することにした。イオンミリングによる加工は次節 4.2.の問題解決にも寄与しているため、加工の詳細は次節にて述べる。
4.2. ダメージ層の除去
2 節で述べた通り、FIB では照射イオンの打ち込みやミキシング、イオン衝突によるエネルギー集中での試料温度上昇などが原因で、ビームを当てた試料表面にダメージが生じる。ダメージ層ではアモルファス層の形成や結晶欠陥の形成などが発生し結晶格子観察が不可能となってしまうため、ダメージの低減、もしくはダメージ層の除去が必要となる。
ダメージ層の厚さは材料およびビームの加速電圧によって変化し、Si 基板であれば 30kV の加工で試料表面から 20~23nm、10kV で 11~12nm、5kV で 7~8nm となる事が判明している[2]。マイクロピックア
ップ法では薄片の両面から加工を行うのでダメージ層が両面から発生し、この層が電子線の透過、回折を妨げるため、中央部分に非ダメージ層が残っていたとしても TEM 像の観察に支障をきたしてしまうことになる。今回は高分解能観察のため最終的な理想試料厚を 60~70nm と設定したが、この場合最終的に 5kV の FIB で加工したとしても、両面合計で 14~16nm、試料厚に対し約 20%以上がダメージ層となってしまう(図 4)。
また 10kV, 5kV では 30kV に比べてフォーカスの集束および信号量に限界があるため、観察像質の悪化、加工箇所の指定および終点試料厚の確認が困難になるという問題もあり(図 5)、前節 4.1.の湾曲の問題も重なって、試料厚 100nm 以下時の適切なダメージ層除去の障害となった。

図4

FIB による TEM 薄片へのダメージ層形成(5kV 仕上げ加工)

図 5 同観察条件における加速電圧別 SIM 像(5,000 倍, SE2 信号)
実際に試料を作製して TEM 観察してみたところ、FIB のみで 5kV 仕上げを行った試料では適切な回折像が得られず、結晶格子の様子を観察することが出来なかった(図 6[a])。SiC は Si より硬度が高く、ダメージ層が薄くなることを想定していたが、それでも観察した像では十分な解像度および電子線回折が得られておらず、ダメージ層が観察の障害になっていることが示唆された。
低加速電圧における SIM 像・ビーム集束の悪化、および 4.1.節の試料湾曲の問題により、FIB による
100nm 以下でのダメージ層の除去が困難であったため、100nm 以下の膜厚では FIB ではなくイオンミリング法を用いることとした。イオンミリング法は数百 V~数 kV で加速したイオン(主に Ar+が用いられ110る)を広域に照射し試料を加工する手法である。FIB と比べて低加速電圧で加工できるため、試料表面のダメージ層を少なくすることが出来、一般に Si 基板に対して Ar+イオン、加速電圧 1kV で加工した場合はダメージ層が約 2nm になる事が判明している[2]。また 4.1.節の試料湾曲の問題に対しても、FIB の
5kV より低加速・低エネルギーでの加工のため試料を曲げにくいことが期待されたため、最後の仕上げ加工にはイオンミリング法を用い、これらの問題を解決することを試みた。
イオンミリング加工は東北大学 金属材料研究所 分析電顕室[5]所有のイオンミリング装置(Gatan
製 PIPSⅡ)を用いて、Ar+イオン、加速電圧 1kV にて行った。加工時は 5 分の加工と TEM による確認を
5～6 回繰り返し、試料の過剰ミリング・破損に十分に注意した。
イオンミリング加工後 SiC 薄片の TEM 観察像を図 6[b]に示した。図 6[a]と異なり、原子配列に対応した輝点配列が明瞭に観察できる格子像が観察でき、目的の結晶構造を確認することができた。TEM 観
察方向と直行しているため、ダメージ層が何 nm まで低減できたか実際に測定することはできなかったが、イオンミリングにより高解像度の観察が十分可能な程度(数 nm 以下)までダメージ層を低減できた
ことが示唆された。

図6

イオンミリング加工前の SiC 薄片 TEM 像[a]と加工後の SiC 薄片 TEM 像[b](加速電圧 200kV, [a]:300,000 倍、[b]:600,000 倍)

5． おわりに
今回は SiC の TEM 薄片作製について報告した。SiC はこれまで多く作製していた Si 基板上薄膜や金属材料の TEM 試料と比べて非常に硬いため、試料が破損しにくく薄片化した際の問題が少ない、すな
わち試料作製の難度はあまり高くないと当初は想定していた。しかし実際に薄片化してみると湾曲など想定外の問題が発生し、硬度による加工時間の長時間化と相まってこれまで経験した中で最も難度の高
い TEM 試料作製となった。TEM 薄片では材料を 100nm 以下という他では考えられない領域まで薄くするが、この領域になると材料が通常の状態では見られないような挙動を示すことがあるという事を実体
験として学んだので、今後はより多くの材料の薄片加工を経験し、各材料の特徴を把握することが大切だと考えている。
謝辞
今回の SiC 薄片試料作製では、イオンミリング加工および TEM 観察に東北大学 金属材料研究所 分
析電顕室所有の装置(Gatan 製 PIPSⅡ, 日本電子製 JEM-2100plus)を利用させて頂きました。またイオン
ミリング加工、および TEM 観察に際しては同室技術職員の伊藤俊氏に多くの有用な助言を頂きました。
ここに御礼申し上げます。

111

参考文献
[1]

平坂雅男, 朝倉健太郎, 『FIB・イオンミリング技法 Q&A』, アグネ承風社, (2002).

[2]

佐々木宏和, 加藤[3]

武者倫正, 2019 年度[4]

今野充, 日本印刷学会誌, 49, 6, 401-405(2012).

[5]

金研分析電顕室, https://aem-www.imr.tohoku.ac.jp/

丈晴, 松田竹善, 平山分子化学研究所司, 顕微鏡, Vol.46, No.3, (2011).

機器・分析技術研究会, (2019).

112

編集後記
～研究基盤技術センター年次報告書発刊にあたって～
第 6 号となる 2023 年度の研究基盤技術センターの年次報告書を作成することとなりました。日々の業務をはじめ、技術職員の様々な活動に関する取り組みについて紹介することが出来たら幸いです。
本書ではこれまでの構成を見直し、序章として各部の役割や保有する技術、機械設備等の紹介を行っています。第１章でははじめにセンターが主体となって開催した行事をはじめとした活動報告、次にセンター各部の 1 年間の業務報告について紹介しています。第 2 章では研修や研究会、セミナー等の参加
報告が、第３章では共著・謝辞掲載論文、研修・講演会等での業務に関する発表報告、受賞や資格の取得など、業務に関する成果がまとめられています。第４章では技術報告として評価部とプロセス部から業務上の長期的な取り組みや新しい試みについて報告していただきました。
昨年度はコロナ禍で中止していた当工作部の外来利用が再開され、それに伴い利用講習会のオンライン受講を新たに始めました。これまで実地で行っていた講習を動画視聴で行えるようにする試みだったが受講者からは概ね好評で、利便性や業務の効率を向上することが出来ました。こちらについては第１章の講演技術発表会や第３章の資料でも触れておりますのでご覧ください。
また、各部で外部から受託利用や技術支援に関する取り組みも展開されており、工作部でも今年度から部局の垣根を越えた依頼の受け入れについて検討が始まりました。今後より一層多様化していくであろうニーズに向けて技術の研鑽に励みたいと思います。
最後になりますが、今号の発刊にあたり編集作業でご支援ご協力をいただきました皆様に、この場を借りて感謝を申し上げます。
研究基盤技術センター 工作部 阿部健人

研究基盤技術センター年次報告書 2023（第６号）

2024 年 9 月 1 日発行

発行：東北大学電気通信研究所

研究基盤技術センター

編集：東北大学電気通信研究所

研究基盤技術センター

阿部健人、月本佳奈、丹野健徳、武者倫正、太田憲治
連絡先：〒 980-8577 宮城県仙台市青葉区片平二丁目１－１

HP：https://www.ftc.riec.tohoku.ac.jp/

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研究基盤技術センター

各部問い合わせ先研究基盤技術センター
Web：http://www.ftc.riec.tohoku.ac.jp/

工作部
E-mail：kojyo_riec@grp.tohoku.ac.jp

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Web(学内)：http://www.eac.riec.tohoku.ac.jp
Web(学外)：https://portal.cfc.tohoku.ac.jp/
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/
YouTube：https://youtu.be/qahWXnDWY9U

プロセス部
E-mail：riyou@nanospin.riec.tohoku.ac.jp

Web(学内)：https://www.process.ftc.riec.tohoku.ac.jp/
Web(学外)：https://portal.cfc.tohoku.ac.jp/
https://share.cfc.tohoku.ac.jp/share/

情報技術部
E-mail：riec-ﬁr@grp.tohoku.ac.jp

Web：http://www.ﬁr.riec.tohoku.ac.jp/

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