システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動Zステージ / テーブルサイズ 40×40, 50×50
Motorized Vertical Linear Stages / Table Size 40×40, 50×50

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage
X・XY
X・XY

ZA04A-W101

ZA05A-W101

回転Rotation※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

ZA04A-W101(0.5)

132430
40

X・XY
X・XY

制御装置
Control
Electronics(43)
CCW Limit Sensor
Home Position

5(20)

CCW

6

CW Limit Sensor□404-for M3 screws
Shaft length 3mmZA05A-W2C01(18)

(200)

(68)
5040244-M3 Depth 6mm
4-M2 Depth 4mm

裏面Back Side
244050(65)
(115)

付録
Appendix

Home Position

CCW

CW Limit Sensor
(24)

CW

30±1.5

CCW Limit Sensor□40

検査システムInspection
System

I.indd 6

φ4H8 Depth 4mm

4.5

裏面Back Side

1324304050
60.5

56±4CW

モーター
ドライバ
Motor
Driver

I-006(200)(103.5)

ドライバ
ボックス
DriverBox

アクセ
サリー
Accessories

30

CCW Limit Sensor

4H84-M3 Depth 5mm

モーター
ケーブル
MotorCable

Depth 4mm

10(93)

8-M2 Depth 5mm 4-M3 Depth 3.5mm

真空ステージVacuumStage

アプリ
ケーション
Application

裏面
Back SideZA05A-W101

アライメント
ステージ
XYθ

モーター
コントローラMotorController

3032

36±2.55CCW(50.5)
5040302413

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

4-for M3 screws

CW Limit Sensor

CW(0.5)

回転
Rotation(200)

40302413

自動精密ステージ
Motorized
Stage

Z
Z

4-M2 Depth 4mm
4-M2 Depth 3.5mm

3032

4-M3 Depth 4mm

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

ZA05A-W2C01

15

Z
Z

CONTACT

4-for M3 screws
Shaft length 2mm

低頭ネジ（付属品）での取り付けとなります。
Mounting by low head screw (attachment)

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:07

アルミ / クロスローラガイド / クサビ / 研削ネジ,ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Wedge / Ground Screw, Ball Screw

産業用
Industrial

型式
Model Number

ZA04A-W101

ZA05A-W101

ZA05A-W2C01

勝手違い型式
Mirror Model Number

ZA04A-W101-R

ZA05A-W101-R

ZA05A-W2C01-R

テーブル面
Table Size

40mm×40mm

案内方式
Guide Mechanism
移動範囲
Motion Range

50mm×50mm

手動精密
ステージ
ManualStage

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide±2.5mm

送り方式
Lead Mechanism±4mm±1.5mm1/2-クサビ, 研削ネジ, リード 0.5mm
1/2-Wedge, Ground Screw, Lead 0.5mm

フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※1Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)

ZZ

0.025μm
回転
Rotation

2.5mm/sec

繰返し位置決め精度
Repeatability≦±0.5μm（AVE. ±0.07μm）≦±0.5μm（AVE. ±0.06μm）≦±0.2μm（AVE. ±0.04μm）

ロストモーション
Lost Motion≦2μm（AVE. 0.53μm）≦2μm（AVE. 0.38μm）≦0.3μm（AVE. 0.16μm）

垂直度
Verticality≦4μm/5mm（AVE. 0.98μm/5mm）≦5μm/8mm（AVE. 1.51μm/8mm）≦5μm/3mm（AVE. 2.47μm/3mm）

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

24.5N（2.5kgf）
アルミ合金
Aluminum Alloy

外観Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing
0.23kgスイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage

39.2N（4kgf）

材質
Material

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

X・XY
X・XY

1/4-クサビ. ボールネジ, リード1.0mm
1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm

0.5μm/0.25μm

最高速度
Maximum Speed

自重Weight

実験用Experimental

X・XY
X・XY

0.42kgZZ

0.45kgT S 3 6 6 4 N 1 6 E 2（ 多 摩 川 精 機 : 定 格 電 流
基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
PK513PB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.35A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本） 0.75A/相，TS3664N16E2(Tamagawa Seiki: Phase Current
PK513PB(Oriental Motor: Phase Current 0.35A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)
0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)

モーター軸径Motor Shaft DiameterΦ4mm オプションハンドル：C type
Φ4mm Conformance option handle: C type

コネクタ
Connector

回転Rotation

Φ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle: A type

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

丸形20ピン（ヒロセ：RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

ステージ結線タイプ※2
Stage Wiring TypeV4

センサ基板型式
Sensor Model

F-113(LIMIT)

F-115(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-115R(HOME,LIMIT)
F-115(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-115R(HOME,LIMIT)

F-116(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME,LIMIT)
F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT)

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

ZA04A-W101-C

ZA05A-W101-C

ZA05A-W2C01-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ZA04A-W101-V

ZA05A-W101-V

ZA05A-W2C01-V

ステージの検査はハーフステップで行っております。
※1
Stage is inspected by half step setting.

V3アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
※2
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。 ※対応不可：ZA05A-W2C01
2 phase stepper motor is available. ※Not compatible:ZA05A-W2C01

制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

I.indd 7I-007

2022/07/29 20:07