PMF6000シリーズ
マスエアーフローセンサ〒273-0864 千葉県船橋市北本町1-17-25ベンチャープラザ船橋222

Tel:047-489-5939 https://all-device.com/ Email:info@all-device.com

概要

PMF6000は、独自のフローボディとリストリクタエレメントの設計を希望するお客様によるバイパスアセンブリに使用するために特別に開発されました。ポシファの線形化された工場校正を利用することで、お客様は製造工程での追加修正を最小限に抑え、カスタムバイパス設計に固有のマスター校正カーブを作成することができます。コンパクトなパッケージは、内部のフローダイを保護し、マニホールドマウントのための標準化されたパッケージを提供します。
PMF6000は、ポシファの第3世代サーマルフローダイを搭載し、最新の技術革新の恩恵を受けています。このセンサは、一対のサーモパイルを用いて、質量流による温度勾配の変化を検出し、優れた信号対雑音比と再現性を実現します。センサーダイの熱絶縁構造は「ソリッドステート」であるため、競合技術で用いられる表面空洞や脆弱な膜が不要であり、目詰まりや圧力衝撃に強いセンサとなっています。
PMF6000シリーズには、アナログ出力のPMF6000V とデジタルI²C 出力の PMF6000Dがあります。

用途特長
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•
•

堅牢で費用対効果の高いパッケージで比類のない性能を実現
目詰まりや圧力衝撃に強い「ソリッドステーo 」エアシングコア（表面空洞や脆弱な膜がない）
高精度（読み取り率4％ typ.）
高速応答(5ms typ.)
リニア出力と温度補償
ゼロドリフトを最小限に抑えた長期安定性

最大定格

•

酸素濃縮装置

•ネブライザー•

動作温度範囲: -25 to 85 °C•

CPAP装置•校正温度範囲: 0 to 50 °C•

リークディテクション•

保管温度範囲: -40 to 90 °C

•分光学

•

湿度: 0 to 100% RH, 結露なきこと•マスフローコントローラ•

動作圧力: 25 psi•

燃料電池制御•環境モニタリング

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仕様
テスト条件: Vin=10±0.01VDC, Ta=25°C. 相対湿度: 40%<RH<60%
仕様

MIN

TYP

01000

sccm1

PMF6106

06000

sccm

1 to 5ゼロ電圧 (V)

0.95

Nullカウント (D)1156

ゼロドリフト

条件

VDC
1.05

256 to 16124

出力カウント(D)VDCCount356

Count

0.2

% F.S.

Per year

繰り返し性0.1% F.S.

精度31%

F.S.

0 to 25% F.S.

4%Reading

25 to 100% F.S.

解像度 (D)

14Bit

応答時間45mSec

供給電圧 (V)6

供給電圧((D)電流
接ガス面材質4.

単位

PMF6102

出力電圧(V)21.
2.
3.

MAX

1016Vdc

4.75

16Vdc

2223mA

10V recommended forbest performance

シリコンカーバイト、エポキシ、PPS、FR4、静電シールとしてシリコーン

SLM: standard liter per minute. 標準的な条件: 0 °C と1 気圧。
Vはアナログ版PMF6000、DはデジタルI2C版PMF6000を指します。
校正された全流量範囲および温度範囲における、公称値からの出力の最大偏差。誤差には、オフセット、フルスケールスパン、直線性、流量ヒステリシス、再現性、補正温度範囲における温度効果が含まれます。
反応速度は立ち上がり10～90％となり、内部空気圧により影響されることもあります。

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出力電圧For PMF6000V
フローレートの計算 = [(出力電圧 - 1 V) / 4 V] x フルスケールでのフローレート
例）PMF6102Vのフルスケールフローレートは000 sccm。 出力電圧が 3 Vの場合、フローレー
トは: [(3 V - 1 V)/4V x 1000 sccm] =500 sccm

For PMF6000D*
フローレートの計算 = [(カウント - 256) / 15868] x フルスケールでのフローレート
例）PMF6102Dのフルスケールレートは1000 sccm。 デジタル出力が10000を示す時、フローレートは︓[(10000 - 256)/15868 x 1000 sccm] = 614 sccm

*I²C 通信のアプリケーションノートについてはお問合せ下さい。

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パッケージ寸法
PMF6000V
Pin#Description

1OUT

2

VDD

3

GND注）ポストを受けるマニホールドの位置決め穴は、直径3.2～3.3mm、深さ3.3mm以上のものを使用すること。
センサのCADモデルについては、お問い合わせください。

PMF6000D

Pin#

Description

1

NULL

2

VDD

3

GND

4SDA

5

SCL

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注文情報
型番仕様

PMF6102V

1000 sccm, 1 to 5 V, Linear

PMF6106V

6000 sccm, 1 to 5 V, Linear

I²Cデジタル出力は、上記品番に "V "の代わりに "D "を指定してご注文ください。
ご注文は販売店までお願いします。

カスタマイズ・オプション

このデータシートに記載されている標準品がお客様のニーズを完全に満たさない場合、他のオプションについてご相談させていただきますので、ご連絡ください。お客様のアプリケーションとセンサーの要件を理解することで、最適なソリューションが見つかります。

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