システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動Zステージ / テーブルサイズ 100×100
Motorized Vertical Linear Stages / Table Size 100×100

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

ZA10A-X102

ZA10F-X102

回転Rotation

ZA10A-X102
ZA10F-X102

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

85
回転Rotation

(130)

CCW

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

CW

アライ
メント
ステージ
XYθ

□90

□100

□60

1440

モーター
コントローラ
Motor
Controller□40

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

140

制御装置
Control
Electronics

90±12.5

真空ステージ
Vacuum
Stage

(270)

4-M4 Depth 8mm
4-M4 Depth 8mm
4-M3 Depth 8mm
M4 Depth 8mm

90100(106)

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application(6)(17.2)

60

4-for M4 screws
Shaft length 10mm

7Depth 5mm
5H8

φ5H8 Depth 5mm

90100(117.2)

30

モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable

裏面
Back Side

付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemI-018

I.indd 18

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:07

アルミ, 鉄 / 縦置き / クロスローラガイド / 研削ネジ

システム
製品
SystemProductsAluminum, Steel Body / Vertical X / Cross-Roller Guide / Ground Screw

産業用Industrial

型式
Model Number

ZA10A-X102

ZA10F-X102

勝手違い型式
Mirror Model Number

ZA10A-X102-R

ZA10F-X102-R

テーブル面
Table Size

100mm×100mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

移動範囲
Motion Range±12.5mm

送り方式
Lead Mechanism

研削ネジ, リード 0.5mm
Ground Screw, Lead 0.5mm

フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※1Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)

手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZ
Z

0.5μm/0.25μm
0.025μm

最高速度
Maximum Speed

2.5mm/sec繰返し位置決め精度
Repeatability≦±0.3μm

ロストモーション
Lost Motion

≦2μm

垂直度
Verticality≦10μm/25mm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

98N（10kgf）

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

鉄Steel

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

ニッケルメッキ仕上げ
Nickel Plating

自重
Weight2.95kg4.15kg

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

PK544PMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)

モーター軸径Motor Shaft DiameterΦ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle:A type

コネクタ
Connector

丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

ステージ結線タイプ※2
Stage Wiring TypeV3

センサ基板型式
Sensor Model

F-101(HOME,LIMIT)ZA10A-X102-C

ZA10F-X102-C

ZA10A-X102-V

ZA10F-X102-V
※2

X・XY
X・XY

Z
Z

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

自動精密ステージ
Motorized
Stage

回転Rotation

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number※1

実験用Experimental

アライメントステージXYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

I.indd 19I-019

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