システム
製品SystemProducts
産業用
Industrial

自動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 50×50
Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table Size 50×50

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

SA05B-RT02

Z
Z

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

φ4H8 Depth 5mm
4-M3 Depth 4mm
4-M3 Depth 3.5mm

15100□404-for M3 screws
Shaft length 3mm□40（90.5）

Depth 4mm

304.5（90.5）（155.5）

15SA05B-RL02
Rotation Center

Rotation Center
CCW

CW

CCW
（4）

CW

K-010

K.indd 1018201018（45）10（6）

検査システムInspectionSystem10（6）アクセサリー
Accessories

01818110（46）（15）□4005040304-for M3 screws
Shaft length 3mm φ4H8 Depth 4mm

30405068

付録
Appendix

φ4H8 Depth 5mm
4-M3 Depth 4mm
4-M3 Depth 3.5mm

（3）

モーター
ケーブル
Motor
Cable

104H8（10.5）

モーター
ドライバ
Motor
Driver40

裏面
Back Side

50

アプリ
ケーション
Application

CCW

4-for M3 screws
Shaft length 3mm

（151）

ドライバ
ボックス
DriverBox

104-for M3 screws
Shaft length 3mm

SA05B-RS02

制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller

CW

210（4）

1886

CCW1□40Rotation Center（4）（3）CW

100SA05B-RB02

Rotation CenterCCW

10

φ4H8 Depth 4mm

30SA05B-RM02

68CW

4.5（6）（90.5）（151）

Rotation Center50

真空ステージ
VacuumStage

Depth 4mm18（10.5）

4H8（28）304050

回転
Rotation

アライ
メントステージ
XYθ

裏面Back Side

（6）

ZZ

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

（200）

18

X・XY
X・XY

SA05B-RL02※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

SA05B-RT02（7）

自動精密ステージ
Motorized
Stage

SA05B-RS02（65.5）（15）
504030スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

SA05B-RB02（0.5）

回転Rotation

SA05B-RM02

CONTACTTEL+81-44-981-2131/FAX+81-44-981-2181
【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp
【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:09

真鍮 / クロスローラガイド / ウォーム＆ウォームホイール

システム
製品
SystemProducts

Brass Body / Cross-Roller Guide / Worm and Worm Wheel

産業用
Industrial

型式
SA05B-RT02
SA05B-RM02
SA05B-RB02
SA05B-RS02 ※１
SA05B-RL02 ※2
Model Number
勝手違い型式※3
SA05B-RT02-R
SA05B-RM02-R
SA05B-RB02-R
SA05B-RS02-RRR
SA05B-RL02-RRR
Mirror Model Number
テーブル面
50mm×50mm
Table Size
案内方式
精密クロスローラガイド
Guide Mechanism
Cross-Roller Guide
回転範囲±10°（RM02）,±10°±8°±10°
Angular Range（RB02）±8°
送り方式
ウォーム＆ウォームホイール
Lead Mechanism
Worm & Worm Wheel
減速比
232(RT02)
300(RM02)
232
300
372
Reduction Ratio
300(RM02)
372(RB02)
フル/ハーフ ステップ
0.00156°/0.00078°（RT02）, 0.0012°/0.0006°（RM02）,
0.00156°/0.00078°
0.0012°/0.0006°
0.00096°/0.00048°
Full/Half Step
0.0012°/0.0006°（RM02） 0.00096°/0.00048°（RB02）
分解能※4Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.000078°（RT02）,
0.00006°（RM02）,
0.000078°
0.00006°
0.000048°
Micro Step (1/20 div)
（RM02）（RB02）
0.00006°
0.000048°
最高速度
7.75°/sec（RT02）,
6°/sec（RM02）,
7.75°
/sec
6°/sec
4.8°/sec
Maximum Speed
6°/sec（RM02）/sec（RB02）
4.8°
ワークディスタンス
50mm±0.2mm
68mm±0.2mm
86mm±0.2mm
50mm±0.4mm
68mm±0.4mm
Work Distance
回転中心変位量
Φ0.05mm/±10°
Φ0.05mm/±8°
Φ0.1mm/±10°
Φ0.1mm/±8°
Rotation Center Error繰返し位置決め精度≦±0.001°（AVE. ±0.0001°） ≦±0.001°（AVE. ±0.0001°） ≦±0.001°（AVE. ±0.0001°）≦±0.001°≦±0.001°
Repeatability
ロストモーション≦0.003°（AVE. 0.0016°） ≦0.003°（AVE. 0.0011°） ≦0.003°（AVE. 0.0009°）≦0.003°≦0.003°
Lost Motion
バックラッシュ≦0.001°（AVE. 0.0002°） ≦0.001°（AVE. 0.0001°） ≦0.001°（AVE. 0.0001°）≦0.001°≦0.001°
Backlash
モーメント剛性0.31 arcsec/N・cm
0.31 arcsec/N・cm
0.31 arcsec/N・cm
※50.92 arcsec/N・cm
0.92 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness（AVE. 0.205 arcsec/N・cm） （AVE. 0.19 arcsec/N・cm） （AVE. 0.195 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
29.4N（3kgf）
19.6N（2kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
真鍮
MaterialBrass
外観
白色梨地仕上げFinishChromium Matte Plating
自重0.6kg
1.2kg
Weight5相ステッピングモーター
PK525HPMB（オリエンタルモーター: 定格電流0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
5 Phase Stepper Motor
PK525HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)
モーター軸径
Φ5mm オプションハンドル：A type
Motor Shaft DiameterΦ5mm Conformance option handle: A type
コネクタ
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
Connector20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)
ステージ結線タイプ※6V3
Stage Wiring Type
センサ基板型式
F-116(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-116R(HOME,LIMIT)
Sensor Model
F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-116R(HOME,LIMIT)
クリーングリス仕様型式
SA05B-RT02-C
SA05B-RM02-C
SA05B-RB02-C
SA05B-RS02-C
SA05B-RL02-C
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
SA05B-RT02-V
SA05B-RM02-V
SA05B-RB02-V
SA05B-RS02-V
SA05B-RL02-V
Vacuum Lubricant Model Number
SA05B-RS02は、SA05B-RT02とSA05B-RM02の組み合わせです。
Combination of SA05B-RT02 and SA05B-RM02 form 2-axes swivel stage model
SA05B-RS02.
SA05B-RL02は、SA05B-RM02とSA05B-RB02の組み合わせです。
※2
Combination of SA05B-RM02 and SA05B-RB02 form 2-axes swivel stage
model SA05B-RL02.
勝手違い、重ねの組勝手についてはK-005ページを参照して下さい。
※3
Refer to page K-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.
※1

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronicsステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.
ス イベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
※5
Moment Stiffness of single swivel stage is measured in Roll Direction.
ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
※6
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.
※4

モーターコントローラ
MotorController
ドライバボックス
DriverBox

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

K.indd 11K-011

2022/07/29 20:09