システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動X・XYステージ / テーブルサイズ 100×100
Motorized X, XY Linear Stages / Table Size 100×100

実験用Experimental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

XA10A-R102

YA10A-R102

XA10A-R202

YA10A-R202

XA10A-R102 /R202

(230)

X・XY
X・XY

Z
Z

4-M4 Depth 8mm
4-M4 Depth 8mm
CCW

回転Rotation

Home Position
CW Limit Sensor

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

H-022

H.indd 22

30
10090
60
40(247.2)

φ5H8 Depth 5mm

305.5

5H8(17.2)

60
Depth 5mm

裏面Back Side(6)(130)

4-M4 Depth 8mm
4-M4 Depth 8mm
4-M3 Depth 8mm

4-for M4 screws
Shaft length 7mm

CONTACT(42)

付録
Appendix(130)

M4 Depth 8mm

(6)

モーター
ケーブル
Motor
Cable

□90(230)
100906040(72)
3030

モーター
ドライバ
Motor
Driver

裏面
Back Side

CCW Limit Sensor

YA10A-R102 / R202

モーター
コントローラ
Motor
Controller

アプリ
ケーション
Application

Depth 5mm

4-for M4 screws
Shaft length 7mm

制御装置
Control
Electronics

ドライバ
ボックス
Driver
Box

60(6)
(6)

アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
VacuumStage

5.5

φ5H8 Depth 5mm

CW

(42)

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

4-M3 Depth 8mm
M4 Depth 8mm(17.2)

406090100(117.2)

自動精密ステージ
Motorized
Stage

5H810090604030(130)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)□90

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:12

アルミ / クロスローラガイド / 研削ネジ, ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ground Screw, Ball Screw

産業用
Industrial

型式
XA10A-R102
YA10A-R102
XA10A-R202
YA10A-R202
Model Number
勝手違い型式※1
XA10A-R102-R
YA10A-R102-RRR
XA10A-R202-R
YA10A-R202-RRR
Mirror Model Number
テーブル面
100mm×100mm
Table Size
案内方式
精密クロスローラガイド
Guide Mechanism
Cross-Roller Guide
移動範囲±12.5mmMotion Range
送り方式
研削ネジ, リード 0.5mm
ボールネジ, リード 1.0mm
Lead Mechanism
Ground Screw, Lead 0.5mm
Ball Screw, Lead 1.0mm
フル/ハーフ ステップ0.5μm/0.25μm
1μm/0.5μm
Full/Half Step
分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.025μm
0.05μmMicro Step (1/20 div)
最高速度
2.5mm/sec
5mm/sec
Maximum Speed
累積リード誤差≦8μm/25mm≦5μm/25mm≦8μm/25mm≦5μm/25mm
Accumulated Lead Error（AVE. 1.01μm/25mm）（AVE. 1.82μm/25mm）
繰返し位置決め精度≦±0.3μm（AVE. ±0.06μm）≦±0.3μm≦±0.2μm（AVE. ±0.06μm）≦±0.2μm
Repeatability
ロストモーション≦1μm（AVE. 0.23μm）≦1μm≦0.5μm（AVE. 0.18μm）≦0.5μmLost Motion
水平≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm
Horizontal（AVE. 0.14μm/25mm）（AVE. 0.13μm/25mm）
真直度
Straightness
垂直≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm
Vertical（AVE. 0.15μm/25mm）（AVE. 0.17μm/25mm）
バックラッシュ≦0.5μm（AVE. 0.12μm）≦0.5μm
≦0.5μm（AVE. 0.1μm）≦0.5μmBacklash
モーメント剛性0.02 arcsec/N・cm
0.02 arcsec/N・cm※30.06 arcsec/N・cm
0.06 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness（AVE. 0.01 arcsec/N・cm）（AVE. 0.01 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
196N（20kgf）
176.4N（18kgf）
196N（20kgf）
176.4N（18kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
アルミ合金
Material
Aluminum Alloy
外観
白色仕上げ
FinishClear-Matt Anodizing
自重
1.55kg3.1kg
1.55kg3.1kg
Weight直交度－≦5μm/25mm－≦5μm/25mm
Perpendicularity
5相ステッピングモーター
PK544PMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，
基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
PK544PMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ※4Stage Wiring Type
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

※1

※2

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

Φ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle: A type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

アライメントステージ
XYθ真空ステージ
VacuumStage

V3F-101(HOME,LIMIT)XA10A-R102-C

YA10A-R102-C

XA10A-R202-C

YA10A-R202-C

XA10A-R102-V

YA10A-R102-V

XA10A-R202-V

YA10A-R202-V

勝手違い、重ねの組勝手についてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※3Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027ページを参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

制御装置
ControlElectronics
モーターコントローラ
MotorController

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 23H-023

2022/09/06 16:13