PMF2000シリーズ
マスエアーフローセンサ〒273-0864 千葉県船橋市北本町1-17-25ベンチャープラザ船橋222

Tel:047-489-5939 https://all-device.com/ Email:info@all-device.com

概要

PMF2000は、最新の微細加工技術を駆使したポシファの第3世代サーマルフローダイを搭載しています。
このセンサは、一対のサーモパイルを用いて、マスフローによる温度勾配の変化を検出し、優れた信号対雑音比と繰り返し性を実現します。
センサーダイの熱絶縁構造は「ソリッドステート」であるため、競合技術で用いられる表面空洞や脆弱な膜は必要なく、センサは目詰まりや圧力衝撃に強くなっています。
PMF2000シリーズには、アナログ出力のPMF2000VとデジタルI²C出力のPMF2000Dがあります。
対応最大流量は200sccmから10SLMまでです。 センサ
は0～50℃の温度範囲で温度補償されており、リニアライズ出力により、最大限の柔軟性と使いやすさを提供します。

•用途

堅牢で費用対効果の高いパッケージで比類のない性能を実現•

目詰まりや圧力衝撃に強い「ソリッドステート」セヱシングコア（表面空洞や脆弱な膜がない）•

酸素濃縮装置•高精度（読み取り率4％ typ.）•ネブライザー•

高速応答(5ms typ.)•

CPAP装置•

リニア出力と温度補償•

リークディテクション•

ゼロドリフトを最小限に抑えた長期安定性•

分光器•マスフローコントローラ•

燃料電池制御•環境モニタリング

特長

最大定格
•

動作温度範囲: -25 to 85 °C•

校正温度範囲: 0 to 50 °C•

保管温度範囲: -40 to 90 °C•

湿度: 0 to 100% RH, 結露なきこと•

耐衝撃性: 100 g ピーク (5 回落下、 3 軸)•

動作圧力: 25 psi

Datasheet_PMF2000_MassairFlow_revB_C5 | oCt 2021 | PaGe 1 oF 5

PMF2000シリーズ
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仕様
テスト条件: Vin=10±0.01VDC, Ta=25°C. 相対湿度: 40%<RH<60%
仕様

MIN

PMF2101MAX

単位0200

sccm¹

PMF2102

01000

sccm

PMF2103

02000

sccm

PMF2104

03000

sccm

PMF2105

04000

sccm

PMF2108010

SLM¹

出力電圧 (V)2

TYP

1 to 50.95

ゼロ電圧 (V)156

ゼロドリフト

2.
3.
4.

1.05

VDC
Count356

Count

0.2

% F.S.

Per year

繰り返し性

0.1

% F.S.

精度31%F.S.

0 to 25% F.S.

4%Reading

25 to 100% F.S.

解像度 (D)

14Bit

応答時間45mSec

供給電圧 (V)

61016Vdc

10V recommended

供給電圧(D)
電流4.7510211626Vdc
mA

10V recommended

接ガス面材質1.

VDC

256 to 16124

出力カウント(D)Nullカウント (D)1条件

シリコンカーバイト、エポキシ、PPE+PE、FR4、静電シールとしてシリコーン

sccm, SLM: standard cubic centimeter per minute, and standard liter per minute. 標準条件:0℃、1気圧。ただし、PMF2108Vは20℃、1気圧を標準条件とする。
Vはアナログ版PMF2000、DはデジタルI2C版PMF2000を指します。
校正された全流量範囲および温度範囲における、公称値からの出力の最大偏差。誤差には、オフセット、フルスケールスパン、直線性、流量ヒステリシス、再現性、補正温度範囲における温度効果が含まれます。
反応速度は立ち上がり10～90％となり、内部空気圧により影響されることもあります。

Datasheet_PMF2000_MassairFlow_revB_C5 | oCt 2021 | PaGe 1 oF 5

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出力電圧
For PMF2000V
フローレートの計算 = [(出力電圧 - 1 V) / 4 V] x フルスケールでのフローレート
例）PMF2101Vのフルスケールフローレートは 200 sccm。 出力電圧が 3 Vの場合、 フローレートは: [(3 V - 1 V)/4V x 200 sccm] =100 sccm

For PMF2000D
フローレートの計算 = [(カウント - 256) / 15868] x フルスケールでのフローレート例）PMF2101Dのフルスケールレートは200 sccm。 デジタル出力が10000を示す時、フローレートは: [(10000 - 256)/15868 x 200 sccm] = 122.81 sccm
*I²C 通信のアプリケーションノートについてはお問合せ下さい。

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パッケージ寸法PMF2000V

単位: mmPMF2000D

Pin#Description

1NULL

2

VDD

3

GND

4

SDA

5

SCL

センサCADモデルについては、お問合せ下さい。

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注文情報
型番仕様

PMF2101V

200 sccm, 1 to 5 V, Linear

PMF2102V

1000 sccm, 1 to 5 V, Linear

PMF2103V

2000 sccm, 1 to 5 V, Linear

PMF2104V

3000 sccm, 1 to 5 V, Linear

PMF2105V

4000 sccm, 1 to 5V, Linear

PMF2108V

10 SLM, 1 to 5 V, Linear

I²C デジタル出力モデルは、上記の型番に”V"の代わりに”D"を指定してご注文下さい。ご注文は販売店までお願いします。

カスタマイズ・オプション

このデータシートに記載されている標準品がお客様のニーズを完全に満たさない場合、他のオプションについてご相談させていただきますので、ご連絡ください。お客様のアプリケーションとセンサーの要件を理解することで、最適なソリューションが見つかります。

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