FINE series PURE ®

FCS®

Flow Control SystemPressureSeries新 次 元 へ向 かうな が れ（ 流 体 ）制 御 技 術 を 常 にリードします

供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けにくい応答性が0.5 秒以下と早い
マルチガス・マルチレンジ（MGMR）機能搭載
取り付け姿勢の影響を受けません（マウントポジションフリー）

流量自己診断機能を搭載

FCS ® は、近年半導体プロセスにおいて、重要視されているエッチレートや成膜レートの、安定性・再現性の確立を念頭に開発されました。
従来のマスフローコントローラ（以下MFC）とは、その基本動作原理から異なり、圧力を制御することによりMFCでは実現できない、高精度な流量制御を可能にします。
ガス供給系での、圧力変動（ハンチング）やクロストークなど､プロセスの不安定要素を克服し、限りなく安定した流量制御をお客様に提供致します。
また、最先端プロセスに相応しい高精度なスペックもFCS ® の魅力のひとつです。
最高のパフォーマンスをお約束致します。

1

● FCS 基本構造及 び 動作
コントロールバルブ

デジタル制御回路（ピエゾ駆動）

圧力センサ（絶対圧基準）温度センサ

供給圧力Ｐ０TP.

Ｐ1メッシュ

Ｐ2

制御流量

Ｐ₁≧約２×Ｐ₂

オリフィス下流圧力P 2が1kPa以下の場合
P1 ＝オリフィス

臨界圧力比2 kPa abs. →流量10 SCCMP ＝ 20 kPa abs. →流量 100 SCCM

P 1 ＝200 kPa abs. →流量1000 SCCM

1

● 流量自己診断機能 とは
圧力降下特性をメモリ

正常時（初期値）と比較

圧力降下特性

故障解析・トラブル原因の推察

初期値メモリ
FCS-P自体で制御流量を規定値にした後、コントロール弁を閉止し、圧力センサの出力-時間特性をCPUに記憶（初期基準特性メモリ:N 2ガスは、工場出荷時）

圧力センサ出力

流量自己診断診断結果異常時

初 期 値メモリ時に使用したガスを流し、流 量 診 断 開始信号によりFCS-P自体で制御流量を規定値に調整する。コントロー
ル弁を閉止し、このときの圧力センサの出力-時間特性と初期値メモリの特性を比較し、診断結果を算出する。

初期値メモリ特性
診断結果が異常であれば、アラーム（“診断結果異常”）を出力する。
Ex.つまりがあった際は、診断結果はプラスになります2

FINE series PURE ® FCS ® Pressure Series

FCSP7300
series● 応答時間で供給圧のモニターが可能！
● 応答性500 mm sec以下！
● マルチガス・マルチレンジ対応！

■ 一般仕様流量レンジ（N₂換算流量）
流量精度

10 SCCM〜4 SLM≦±1.0 % S.P.（設定信号:10〜100 %［差圧制御時10〜19.7 ％］）≦±0.1 % F.S.（設定信号:1〜10 %［差圧制御時4〜10 ％］）応答性（N₂）※≦0.5 sec

供給圧力（F.S.流量）250〜898.7 kPaG

下流側圧力≦200 Torr

使用可能周囲温度0〜50 ℃

通信方式

DeviceNet™、EtherCAT※設定値の±2 %まで0.5 sec以内（設定値 10〜100 %）注1. 流量（SCCM，SLM）
は0 ℃，101.3 kPa abs.（1 atm）に換算して校正しています。
注2. 対応可能レンジ・ご使用可能ガスは限られています。都度ご確認下さい。
注3. RS485をご要望時には別途ご確認下さい。

3

■ 応答性N2ガス/1,000 SCCM F.S. : 0 %⇒100 ％ 応答波形

N2ガス/1,000 SCCM F.S. : 0 %⇒10 ％ 応答波形

± 2.0 % of set point± 2.0 % of set point
INOUT
Response TimeIN

1 sec

OUT
Response Time

1 sec

実力値±50 msec以内
バラツキ（3 σ）
N2ガス/1,000 SCCM F.S. : 100 %⇒4 ％ 応答波形

1 sec
ResponseTimeIN± 0.2 % of Full Scale
OUT■ 流量レンジ（N 2 換算流量）● マルチガス・マルチレンジ対応（フルスケール流量ターンダウン 50 ％）● 流量レンジ（BIN）： 合計9種類 / フルスケール流量 10 SCCM〜4 SLM[N2換算]

Bin サイズ

N₂流量レンジ

Bin1

10〜20 SCCM

10 SCCM、20 SCCM

Bin2

21〜40 SCCM

30 SCCM、40 SCCM

Bin3

41〜80 SCCM

43 SCCM、50 SCCM、65 SCCM、80 SCCM

Bin4

81〜160 SCCM

100 SCCM、110 SCCM、130 SCCM、160 SCCM

Bin5

161〜300 SCCM

200 SCCM、210 SCCM、260 SCCM、300 SCCM

Bin6

301〜600 SCCM

400 SCCM、450 SCCM、500 SCCM、600 SCCM

Bin7

601〜1000 SCCM

850 SCCM、1000 SCCM

Bin81001〜2000 SCCM

1300 SCCM、1600 SCCM、2000 SCCM

Bin9

2001〜4000 SCCM

2400 SCCM、3000 SCCM、4000 SCCM

4

FINE series PURE ® FCS ® Pressure Series

超小型FCS-P● 幅10.2 ㎜を実現し、ガス系の系統数の増加に対応！
● 流量精度±1.0 ％ S.P.（マルチガス・マルチレンジ）● 応答性500 mm sec以下！

■ 一般仕様流量レンジ（N₂換算流量）
標準タイプ
流量精度
低圧（B）
タイプ
応答性（N₂̲立上り特性）※
供給圧力（F.S.流量）10〜1300 SCCM≦±1.0 % S.P.（設定信号:10〜100 %［差圧制御時10〜19.7 ％］）≦±0.1 % F.S.（設定信号:1〜10 %［差圧制御時4〜10 ％］）≦±1.0 % S.P.（設定信号:20〜100 %［差圧制御時20〜45.1 ％］）≦±0.2 % F.S.（設定信号:2〜20 %［差圧制御時10〜20 ％］）≦0.5 sec

標準タイプ

250〜898.7 kPaG

低圧（B）
タイプ

50〜898.7 kPaG

下流側圧力≦200 Torr

使用可能周囲温度

0〜50 ℃

通信方式

DeviceNet™、EtherCAT※設定値の±2 % S.P.または±0.2 % F.S.のいずれか大きい方まで0.5 sec以内
注1. 流量（SCCM，SLM）
は0 ℃，101.3 kPa abs.（1 atm）に換算して校正しています。

5

■ サイズ比較
1.125 inch FCS®
［P7300series］
STATUS

FLOW

kPaa.

psia

FLOW%FLOW%SET

kPaa.

psia

DISPLAY
MODE

105 ±0.5151577±077 ±0..22（（92）
92..88）92 ±0.3

4x ∅4.4（貫通）92 ±0.3

4x ∅4.4（貫通）102102

FCS-1 FCS-2 FCS-3

ガス系搭載比較

AOV-1 AOV-2 AOV-3

小型FCS-Pは従来タイプの
1.125 inch FCS®に比べてLINE数が3倍■ 流量精度F1300 流量精度（S.P.%）

10 mm

29 mm
90 mm:3Line搭載

1.125 inch

FCS-1
FCS-2
FCS-3
FCS-4
FCS-5
FCS-6
FCS-7
FCS-8
FCS-928.52∅5（貫通）
貫通）
2xx ∅
5..55（AOV-1
AOV-2
AOV-3
AOV-4
AOV-5
AOV-6
AOV-7
AOV-8
AOV-9

105 ±0.5
21.8 ±0.221.8 ±0.2

28.5

28.3 28.3

127127（113.（8）113.8）

44..33140140.6.6%SET

82.610.2 mm

28.5 mm

MSD
LSD
RATE
4 5 6 4 5 6GM7 P3P3G228 52 11 M 10 9ADDRESSNET MOD%FLOWDISPLAY
MODE（19.5）

ZERO
STATUS
MSD
LSD
RATE
4 5 6 4 5 6GM7 P
3P3G2
8 52 11 M 10 9ADDRESSNET MOD

82.62（19.5）

2/5(0.4) inch FCS®
［超小型FCS-P］

超小型ZERO

従来品

FCS®

３LINE

90 mm:9Line搭載

超小型FCS-P
９LINE

■ 応答性
F100、立ち上り時間、P0:0.27 MPaG、P2:200 Torr

F100、最小-最大流量の制御時間、P0:0.27 MPaG、P2:引き切り

流量精度仕様： ±0.5 ％ S.P.以内（設定信号：20〜100 ％）±0.1 ％ F.S.以内（設定信号：1〜20 ％）設定信号: 1 %、5 %、10 %、20 %、50 %、100 %6

FINE series PURE ® FCS ® Pressure Series

FCSP8000
2021年series

第18 回 “超”モノづくり部品大賞

機械・ロボット部品賞● レンジアビリティ 1000:1● 流量精度±1.0 ％ S.P.保証を実現！

■ 一般仕様流量レンジ（N₂換算流量）

流量精度

3.3 SCCM〜3.2 SLM［小流量レンジ:3.3〜160 SCCM≦±1.0 % S.P.（8 SCCM〜3.2 SLM）≦±0.1 % F.S.（3.3〜8 SCCM）

応答性（N₂̲立上り特性）※≦0.5 sec （≦2.0 sec 5 ％ F.S.以下）

応答性（N₂̲立下り特性）※≦1.0 sec（ 5〜100 ％ F.S.） ≦2.0 sec（ 5 ％ F.S.未満）

供給圧力（F.S.流量）250〜898.7 kPaG

下流側圧力≦400 Torr

使用可能周囲温度

0〜50 ℃

通信方式

DeviceNet™

※設定値の±2 % S.P.または±0.05 % F.S.のいずれか大きい方まで0.5 sec以内
注1. 流量（SCCM，SLM）
は0 ℃，101.3 kPa abs.（1 atm）に換算して校正しています。

7

大流量レンジ:160 SCCM〜3.2 SLM］

UPC Series

オートプレッシャーコントローラ
自動圧力制御器● 動作原理内蔵した圧力センサで圧力を一定に保ちます。

● アプリケーション● 電気信号で任意の圧力が設定可能です。
● マスフロコントローラ（以下MFC）の上流に接続すると、極めて安定な流量制御が可能です。
● 一つのラインにMFCが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のMFCに影響を与えることがあります。
この場合、UPC®シリーズを使用することにより他のMFCに与える影響を防止できます。
（下流圧制御タイプ）● UPCUS ®
（上流圧制御タイプ）は、MOｰCVDなどの液体ソースタンクの内圧を一定に保ち、気化量の安定性を向上します。

● ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能です。
● 高温タイプ（150 ℃、220 ℃）
・流量モニタ付モデルもラインアップ。

ソースタンクの圧力制御

ガス供給系の圧力制御〈品番表示例〉

UPC

アナログ入出力
下流側圧力制御ｰ 4J2C

面間：124 mm
配管高さ:12.7 mm

ｰ C150F.S.圧力レンジ：150 kPa abs

L

コントロールバルブCV値：0.0055■ 一般仕様型式

U P C ®（ D o w n s t r e a m p r e s s u r e c o n t r o l l e r ）圧力レンジ

F.S. 13.3 kPa abs. (100 Torr)

制御圧力範囲1 - 100 ％UPCUS ®（Upstream pressure controller）
F.S. 150/300/500 kPa abs.
1 - 100 ％ ※1

L type：0.0055 / M Type：0.011 / H Type：0.03

コントロールバルブCv値
調圧精度（オートゼロ実施後）

1 - 40 ％：±0.2 ％ F.S.
40 - 100 ％：±0.5 ％ S.P.

F.S.150 kPa abs.【1 - 40 ％：±0.2 ％ F.S.、40 - 100 ％：±0.5 ％ S.P.】
F.S.300/500 kPa abs.【1 - 20 ％：±0.1 ％ F.S.、20 - 100 ％：±0.5 ％ S.P.】

最大圧力

200 kPaG

1 MPaG

使用可能周囲温度
圧力設定／出力信号

0〜50 ℃（精度保証温度範囲：15 - 35 ℃） ※2
アナログ：0.1-10 VDC/0-10 VDC（供給電源電圧：±15 VDC）デジタル：DeviceNetTM

アナログ：0.05 - 5 VDC/0 - 5 VDC（供給電源電圧：±15 VDC）
デジタル：DeviceNetTM※1： 制御範囲： UPCUS ®の制御範囲は条件により変わります。
フジキンにお問い合わせください。
※2：オプションにより50 ℃仕様も対応可能です。別途お問い合わせください。

8FINE series PURE ® FCS ® Pressure Series

高温対応

FCS &FALVS
2015 年

2011年

第 6 回 モノづくり連携大賞

第12 回 “超”モノづくり部品大賞

奨励賞

特別賞

高温対応FCS ®

高温対応UPCUS ®

タンクで発生した蒸気を高温対応FCS で流量制御

バブリング供給に使用 / タンク内圧力を精密に制御

高温対応UPCUS®

高温対応FCS®
キャリアガス

チャンバ

パージガス

原料ガスの濃度は、以下のパラメータで決定される

気化した材料①液体ソースタンク内 圧力②液体ソースタンク内 温度③キャリアガス流量【液体ソースタンク】

チャンバ

MFC

タンク気相は「キャリアガス」と「材料ガス」の混合【液体ソースタンク】

FALVS ®
FALVS ®（Fujikin Advance Liquid Vaporize System）とは、液体材料を気化し、気体流量を高温対応FCS ® で精密に制御する機器です。
● 気化部で100%気化気化した材料を高温FCS ®で流量制御・材料の再液化・固化（析出）防止
・パーティクルフリー

液体気化部● キャリアガスレスを実現

・コストカット／環境負荷低減● 高精度流量制御

・プロセス信頼性の向上
・コンパクト

FALVS
パージガス

圧送ガス

高温加熱部分

液体材料【材料タンク】

9高温対応FCS®

気体プロセスチャンバ

FFMS

Flow Measurment System● プロセストラブルの未然防止！
● 流量制御機器の再現性確認！

IGS
2005年

内閣総理大臣表彰
第 1回 モノづくり日本大賞

優秀賞● 小型化！
● 施工性、メンテナンス性向上！

10FINE series PURE ® FCS ® Pressure Series

品番体系■ FCSP7302**FCS P7302 D W2 L - T5- 4CW2 - F300 / N2 - B5 D⑦⑧① シリーズ表示①②③ 制御条件⑤ 精度保証温度範囲⑦ フルスケール流量⑨ Bin No.

② 通信仕様W2：ワイドレンジ
200 Torr

無し：15〜35 ℃
T5 ：15〜50 ℃

F300：300 SCCM
F4L: 4 SLM④ LCD表示器POセンサー⑥ 継手型式面間又はシールピッチ

⑧ ガス名

なし：有り
L ：無し

4CW2：1.125、Wseal
シールピッチ92 mm
4CC2：1.125、Cseal
シールピッチ92 mm

化学式（大文字）

B1：10-20 SCCM
B2：21-40 SCCM
B3：41-80 SCCM
B4：81- 160 SCCM
B5：161- 300 SCCM
B6：301- 600 SCCM
B7：601-1000 SCCM
B8：1001- 2000 SCCM
B9：2001- 4000 SCCM
（N2 換算流量）

D：DeviceNet TM
E: EtherCAT③④⑤⑥⑨**:**:**には数字が入ります。

DE

FCS P7302 E W2- 4TW1 - F20 B / N2 - B1 E①②③⑤⑥⑦⑧① シリーズ表示③ 制御条件⑤ フルスケール流量⑦ ガス名⑧ Bin No.

⑩ 機能

② 通信仕様W2：ワイドレンジ
200 Torr以下

F20：20 SCCM
FIL: 1 SLM

化学式（大文字）E④ 継手型式面間又はシールピッチ⑥ 圧力レンジ

4TW1：10 mm、OneWseal
シールピッチ77 mm

なし：標準タイプ
B ：低圧タイプ

B1：10-20 SCCM
B2：21-40 SCCM
B3：41-80 SCCM
B4：81- 160 SCCM
B5：161- 300 SCCM
B6：301- 600 SCCM
B7：601-1000 SCCM
（N2 換算流量）

E: EtherCAT■ FCSP8502

FCS P8502 D W4 ①②③④⑤⑥③ 制御条件

⑤ 継手型式面間又はシールピッチ⑦ ガス名② 通信仕様W4：ワイドレンジ
400 Torr

4CC2：1.125、Cseal
シールピッチ92 mm

化学式（大文字）④ 精度保証温度範囲⑥ フルスケール流量⑧ 機能無し：15〜50 ℃

F3200：3200 SCCM
F160: 160 SCCM

TM**⑨**:**には数字が入ります。

4CC2 - F3200 / N2 - D① シリーズ表示
D：DeviceNet
E: EtherCAT

11④⑩⑩ 機能**:**:**には数字が入ります。

DE⑦**⑧外観寸法
接続：UJR Type

接続：Wseal /Cseal TypeDHCCDA

AB

EGIE

J

UJR タイプ
ACDEHIJ

124

141.5

67.8

39252568106/124

128

70.5

28.1

2518-ABC

DE

G

P7000（WR）

79.8

93

141.5

67.8

3930

UPC®

79.8

93

128

70.53930

型式

A

B

C

DE

G

P7000/P8000

92

105

127

82.6

28.5

21.8

UPC® /UPCUS®

92

105

128

70.5

28.5

21.8

型式

P7000（WR）
UPC®

1.5Wseal® タイプ
型式

1.125Wseal® タイプ

1.125Cseal タイプ
型式

P8000

AB

C

DE

G

92

105

127

83

28.5

21.8

12

FINE series PURE ® FCS ® Pressure Series

FCS -Thermal シリーズ
■ 製品ラインアップ
シリー ズ

流量制御機器

PI機能搭載モデル

・圧力センサ内蔵
・急激な圧力変動による影響を極限まで軽減特長（Pressure Insensitive）
・MGMR機能・耐食ハステロイセンサ搭載

デ ジ タ ル スタン ダ ードモデル

MGMRモデル・MGMR（ガス種、大流量モデル

・流量精度：±1.0 ％ F.S.

フルスケール流量の・全流量域：応答性1 sec以内変更可能）機能
・耐食ハステロイセンサ搭載
・流量精度：±1.0 ％ S.P.

高温用モデル・最大流量1000 SLM

・50〜80 ℃（1000 SLMはガス種限定）（80 ℃を超える温度でご使用の場合は、・流量精度：±1.0 ％ F.S.

・24V駆動モデル

お問い合わせ下さい）

・応答速度：3 sec以内

・特殊仕様対応・流量精度：±1.0 ％ S.P.

シリー ズ 名FCS-T1000MP

FCS-T1000Z

FCS-T1000F

FCS-T1200F
FCS-T1500F

FCS-T1000M（Z）F-HT
FCS-T1200MF-HT流 量レンジ（ N 2 換 算 ）10 SCCM - 50 SLM

10 SCCM - 50 SLM

10 SCCM - 50 SLM

51 - 1000 SLM

10 SCCM - 200 SLM

メタル

メタル

シール部材質ア ナロ グ

ラバー

メタル

ラバー

メタル

メタル

流量精度

±1.0 ％ S.P.（25-100 ％）±0.25 ％ F.S.（2-25 ％）±1.0 ％ S.P.（25-100 ％）±0.25 ％ F.S.（2-25 ％）±1.0 ％ F.S.

±1.0 ％ F.S.（T1200）±2.0 ％ F.S.（T1500）±1.0 ％ S.P.（25-100 ％）（T1000MZF）±0.25 ％ F.S.（2-25 ％）（T1000MZF）±1.0 ％ F.S.（2-100 ％）（T1000MF、T1200MF）

応答性≦1 sec≦1 sec≦1 sec≦3 sec≦1 sec（10 SCCM - 50 SLM）
≦3 sec（51 - 150 SLM）

PI機能

PI

MGMR機能MGMR

MGMR±15V駆動 0-5 VDC±15V駆動 0-5 VDC±15V駆動 0-5 VDC±15V駆動 0-5 VDC±15V駆動 0-5 VDC＋24V駆動（0 ‒ 5 VDC）

＋24V駆動 0-5 VDC＋24V駆動 0-5 VDC＋24V駆動 0-5 VDC

ラバーのみ＋24V駆動 0-5 VDC

T1000のみ＋24V駆動（4‒ 20 mA）＋24V駆動 4-20 mA＋24V駆動 4-20 mA＋24V駆動 4-20 mA

ラバーのみ＋24V駆動 4-20 mA

T1000のみ±15V駆動（0 ‒ 5 VDC）

RS485

MRMG

※1接続継手

RS485

RS485

RS485

RS485

DeviceNetTM

DeviceNetTM

DeviceNetTMDeviceNetTM

EtherCAT®

EtherCAT®

EtherCAT®

EtherCAT®

EtherCAT®

EtherCAT®

CC-Link

CC-Link

1/4 UJR

3/8 UJR（T1200）
1/2 UJR（T1500）

1/4 UJR（T1000M）
3/8 UJR（T1200MF）
1/4 F900（T1000M）
3/8 F900（T1200MF）
1.5 Wseal®
1.125 Wseal®
1.125 Cseal

デ ジタル

通信方式

※2

ラバー

DeviceNet※3

PROFIBUS

PROFIBUS

CC‒Link

CC-LinkTM

ユニオンガスケット式（UJR Type）

1/4 UJR

メタルのみ

1/4 UJRRS485

2圧縮リング方式（F900 Type）−

1/4 F900

1/4 F900

3/8 F900（T1200）
1/2 F900（T1500）

集 積 タイプ（ I G S ® Type）

1.5 Wseal®
1.125 Wseal®
1.125 Cseal

1.5 Wseal®
1.125 Wseal®
1.125 Cseal

1.5 Wseal®
1.125 Wseal®
1.125 Cseal

−表面処理

EP

EP

RoHS対応

RoHS

RoHS

RoHS

マスフローメータ

マスフローメータ

マ スフロ ーメー タ

メタルのみ
オプション

メタルのみ
オプション

EP

EP

DeviceNetTM

メタルのみ
オプション

EP

RoHS
マスフローメータ

オプション

RoHS
マスフローメータ※1：MR仕様：ご指定のフルスケール流量の1/3までの流量変更が可能。MG仕様：4種類までのガステーブル（ガス種：流量）の登録が可能。

注1：外部リーク：メタルシール：1×10※2：アナログインターフェース：D-sub9ピン。ただし、TM39は、HRS製 HR10A-7R-6P UPC®,UPCUS®は、ハーフピッチ 20P。

注2：その他条件でご使用の場合、別途お問い合わせください。

※3：デジタルインターフェース：RS485通信の場合、FCS-T1000シリーズはRJ11コネクタ。ただし、FCS-T2000シリーズはRJ45コネクタ。

注3：DeviceNet は、Open DeviceNet Vendor Association,Inc.の登録商品です。

−11

T1000MF
のみ

T1000のみ

Pa・m /Sec He、ラバーシール：1×10 Pa・m /Sec He
3-73TM

注4：PROFIBUSは、プロフィバス協会の登録商標です。
注5：EtherCAT®は、ドイツBeckhoﬀ Automation GmbHによりライセンスされた特許取得済み技術であり登録商品です。
注6：CC-LinkはCC-Link協会の登録商品です。

13

MEMO

14

CAT: No.712-01-N