2020 年度

事業報告書

自令和２年（2020）

１月

１日

至

令和２年（2020）12 月 31 日

茨城県つくば市千現二丁目１番６

一般社団法人ミニマルファブ推進機構

-1-

目次
令和元年(2020)度事業報告書
１．事業活動の概況---------------------------------------3
１－１概況---------------------------------------------３
１－２商標、ブランド保全事-----------------------------3
１－３装置認定管理、運営事業---------------------------3
１－４研究・試作支援事業-------------------------------４
１－５拡販支援事業-------------------------------------４
１－６補助事業-----------------------------------------５
１－７強化施策-----------------------------------------６
１－８研究会-------------------------------------------７
１－９内外関連機関との交流及び協力と普及啓発-----------７
２．運営組織の状況--------------------------------------７
２－１組織構成----------------------------------------７
２－２役員に関する事項--------------------------------８３．業務運営の状況--------------------------------------８３－１運営委員に関する事項----------------------------８３－２総会開催状況に関する事項------------------------９３－３運営員会開催状況に関する事項------------------１０３－４職員の状況------------------------------------１０
３－５会員の状況------------------------------------１１３－６資金の借入その他の資金調達--------------------１１３－７主たる事務所の所在地--------------------------１１-2-

１． 事業活動の概況
１－１概況
当機構は平成 29 年(2017)2 月 3 日の設立から令和 2 年(2021)2 月で 4 年を迎える。
同時に平成 29 年(2019)5 月から国立研究開発法人産業技術総合研究所（以下産総研）のベンチャーとしての認定を受けて以来、約３年半が経過し、来年度 2022 年 3 月には産総研ベンチャーとしての数々の優遇処置が得られる 5 年の期限を迎えることになる。
今年度はファブシステム研究会を主体にして、ミニマルファブ等に係る技術研究開発を初め、会員企業のサポイン事業(戦略的基盤技術高度化事業)の支援、ならびに産総研との共同研究推進、標準化推進や規格認証によるミニマルブランド維持を推進しするとともに内外関連機関との交流と普及啓発を通じて、業界を挙げてミニマル普及のための活動に取り組んだ。
2019 年 12 月から NEDO プロ補助事業の採択を受け、2020 年度も引き続きミニマルフ
ァブの完成度向上に注力してきた。
一方、令和元年に続き令和２年の会員企業でのミニマルファブ事業展開では、コロナ禍の苦しい事業運営を強いられながらミニマル装置の販売が思うように伸びなかった。ただ、ミニマルユーザ対応での多岐にわたる試作や中身の充実など順調に積み上げてきておりミニマルファブの有用性は確実に浸透している。さらにコロナ禍で半導体製造などサプライチェーンの脆弱性も露見され強靭化施策としてミニマルファブの果たす新たな役割も見えてきた。

１－2 商標、ブランド保全事業（１）技術情報（ノウハウ）使用許諾
今年度も本件に関して継続して産総研からの兼業者(1 名)によるご指導をいただいた。
（２）ミニマル正規事業者の資格認証
累積で５社であるが、今年度ミニマル正規事業者として資格認証の実績は無かった。
（４）商標権使用許諾契約書
ミニマルファブ関連装置･部品･材料ならびにメンテナンスサービス等に係る事業について正規事業者と非独占的使用許諾を行うとともに最終顧客販売に伴うロイヤリティ契約を締結するもので、今年度の実績は無かった。

１－３装置認定管理、運営事業
1-4 項の事業推進に必須な以下の項目を推進した。
（１） ミニマル装置認証
今年度はミニマル装置（改良機種含む）は無かった。
（２）ミニマル共通ユニットの管理
ミニマル共通ユニットとしてミニマルブランド管理上重要な①ミニマル筐体②ウェハ入-3-

出力インタフェース（ＰＬＡＤ）③装置コントローラ（μＦＩＸコントローラ）について開発供給・サービス企業を含め、現状の課題や対応方法などについて令和元年に引き続き検討してきたが、今年度はＰＬＡＤの情報一元管理についてその方式や運用方法など管理体制の組織化に取り組んだ。具体的には情報一元管理のシステム開発と管理業務委託契約を締結し 2020 年 10 月から一部業務開始した。必要に応じて情報セキュリティを担保しながら会員企業へ展開し PLAD の保守メンテ、改善、信頼性向上に活用していく。

１－４研究・試作支援事業（１）産総研との共同研究契約締結と成果共同研究テーマ「ミニマルファブ技術の普及に向けた装置開発研究」に関して 2020 年度も継続推進し、以下の成果を得た。またこの成果は 2020 年第 81 回応用物理学会秋季学術講演会（＠オンライン）で一部報告済み。
① ミニマルファブの MEMS 及び 3D 構造製造技術への適用可能性② ミニマルμプラズマエッチングプロセスにおける動作圧力についての考察③ 局所クリーン化のための微粒子に関する基礎実験 Ⅱ④ 表面形状処理のためのミニマルレーザ水素アニール装置の開発⑤ ミニマルファブを用いた TiN ゲート SOI-CMOS の Vth 制御⑥ ミニマルファブで作成したオペアンプ回路 (Ⅱ)⑦ 室温プラズマ CVD による SiCxNyOz 膜の酸素組成の解析⑧ ミニマル AlN 反応性スパッタ装置の成膜特性⑨ ミニマルイオン注入装置の開発 (III)⑩ ミニマルファブを用いた 2 層 Al 配線プロセスの開発（３）⑪ ハーフインチサイズのマルチチップパッケージ⑫ ハーフインチサイズのマルチチップパッケージにおけるチップ間レーザビア接続⑬ ミニマルコータを用いた厚膜レジストの塗布プロセスの検討⑭ 微粒子を減らすためのチェンバー圧力制御⑮ ミニマルファブを活用したダイヤモンド SBD の試作と評価(II)（２）共同試作（ファブトライアル）、ミニマルオペレーショントレーニング（MOAP）
共同試作及びファブトライアルを２企業と２件の実施と、MOAP として 2 企業から 3 件実施した。

１－５拡販支援事業（１）SEMICON Japan 2020Virtual 出展
例年出展参加しているセミコンジャパンは 2020 年度はコロナ禍の影響でヴァーチャル展示会となった。初の試みであったが産総研との共催で令和 2 年 12 月 11 日～17 日の7 日間の開催でＷｅｂブースへはミニマル装置の写真、ポスター展示、PＲ動画など展示-4-

した。展示パネルで約 4,100 件、動画約 220 件と出店効果は期待したほどではなかった。

１－6 補助事業
1-6-１ NEDO 補助事業
（１）2019 年 10 月採択 NEDO プロ
・事業名称：戦略的省エネルギー技術革新プログラム(テーマ設定型事業者連携スキーム)「多品種少量生産に適した半導体デバイス製造ファブの実現」
・実施期間：2019/12～2022/3（当初予定した 2023 年度は再提案予定）
・NEDO プロ推進体制(株)共和電業、浜松ホトニクス(株)、横河ソリューションサービス(株)、誠南工業(株)、(株)デザインネットワーク、(一社)ミニマルファブ推進機構（含む共同開発企業 13 社）
2019 年度戦略的省エネルギー技術開発プログラム（NEDO）のテーマ設定型事業連携スキームとして「多品種少量生産に適した半導体デバイス製造ファブの実現」プロジェクトが令和元(2019)年 11 月 24 日に採択決定され、同年 12 月 3 日に交付決定された（事業期間は３年間）。当機構は「実用ファクトリシステム構築,ミニマルプロセス安定化開発」のテーマで傘下会員企業１3 社と共同でテーマで取り組中である。また当機構は連携スキームの中で参画企業の事務局役を担い、進捗確認のために 2020 年度は事務局として NEDO プロ全体推進会議を 2 回開催した。

（２）2020 年 8 月新規採択 NEDO 補助・助成事業（R2/8/12）
・計画名称：「デバイス製造に関するダイナミックエンジニアリングチェーンの構築」
・提案企業：㈱ロジック・リサーチ・連携企業：産総研、金沢大（ほか加賀電子(株)、(株)ピーエムティ、横河ソリューション
サービスなどミニマル関連会員企業）
経産省補正予算（R2/4 月 30 日国会承認）の提案事業「サプライチェーン強靱化に資する技術開発・実証」として NEDO 補助事業として採択されて。本 NEDO 補助事
業の推進により、当初から構想していたミニマルストアーとしてのベーシックなプラットフォームを構築することにより、ミニマルユーザの拡大、ひいては少量多品種での製造に関してサプライチェーンの強靭化を図ることが狙い。当機構は提案企業の支援のほかミニマルコミュニティでの連携を後押しする。

1-6-２サポイン事業
会員企業のサポイン事業(戦略的基盤技術高度化事業)を推進した。
以下は当機構が事業管理機関や研究実施機関として参画した。
2020 年度は以下のミニマル関連を推進中である。
（１）事業計画名：「ミニマルレーザ水素アニール装置と原子レベルアンチエイリアス(AAA)技術の研究開発」 2018 年 6 月 29 日（採択）（ａ）事業管理機関：（一社）ミニマルファブ推進機構（ｂ）計画実施時間：2020 年 4 月～2021 年 3 月 29 日（完了見込み）（ｃ）法認定事業者：坂口電熱（株）-5-

（ｄ）研究等実施機関：東北大学、（国研）産総技術総合研究所（２）事業計画名；「配線方法で機能が変わる「マスター回路」とミニルファブを組合せた、多品種適量半導体の短納期・低コスト製造を実現する、新しい半導体技術の開発」
2018 年 6 月 29 日（採択）（ａ）事業管理機関：（一財）九州産業技術センター（ｂ）計画実施時間：2020 年 4 月～2021 年 3 月２９日（完了見込み）（ｃ）法認定事業者：（株）ロジックリサーチ（ｄ）研究等実施機関：（国研）産総技術総合研究所 九州センター
当機構はアドバイザーとして参画（３）研究開発計画名：「液体原料ガスを用いたミニマルファブ用プラズマ援用多結晶シリコン気相成長装置の開発」2019 年採択（ａ）事業管理機関：公益財団法人 みやぎ産業振興機構（ｂ）計画実施時間：2020 年 4 月～2021 年 3 月２９日（ｃ）法認定事業者：株式会社コーテック（d）研究等実施機関：東北大学（４）研究開発計画名：「狭空間反応制御によるポリシリコン製造用ミニマル熱ＣＶＤ装置の開発と多品種少量製造プロセス確率」2020 年採択（a）事業管理機関：一般財団法人大阪科学技術センター（ｂ）計画実施時間：2020 年 4 月～2021 年 3 月２９日（ｃ）法認定事業者：株式会社ナバテック

１－7 強化施策（１）TF の設置
当機構は産総研ベンチャー（2017 年４月～2022 年 3 月）として種々の優遇により産総研つくばセンターに居を構え運営している。しかしこの優遇処置も 5 年間であり、2022年３月末で期限切れとなるためにその対応策を事前に検討してきた。ミニマルビジネスの今後の検討課題を含めて以下体制を作って検討した。
＜中心となる検討課題＞（ａ）機構 2022 年問題（産総研 VB 期限:2022/3）の先行検討：機構保有資産の取扱い（ｂ）産総研(つくば、臨海、九州）、横河ミニマルアプリケーションラボ連携方法（ｃ）機構、ファブシステム研究会の役割について（ｄ）ミニマルビジネス展開の施策、今後について（ｅ）ビジネス WG（海外展開含め）活動展開＋ビジネスロードマップ策定について（ｆ）その他検討経過で出された新たな課題ほか＜検討体制＞機構（代表理事直下）の TF 体制として会員のメンバーから有識者＋テーマによって適宜メンバーを選出した。
＜結果＞
施策提案は運営委員会等で議論し方向付を行った。当初設置期間を 2019 年 4 月～-6-2019 年 12 月目途としたが、情勢の変化、残課題等もあり 2020 年度も継続審議した。
検討の中間報告として 2020 年 2 月運営委員会に報告した。

１－8 研究会
ファブシステム研究会活動として今年度も継続推進した。研究会会員は当機構会員としてミニマルコミュニティを形成している重要な位置付け。研究会活動を通して会員の必要情報の共有化、活動活性化を行いミニマルファブビジネスの拡充展開に供与する。2020 年
度はコロナ禍で春の研究会総会は中止、秋の研究会臨時総会はオンライン開催で実施した。
オンライン開催は会員企業の取組内容に関して技術ジャンル毎にセッションを設けて関係企業が自由に参画できるような工夫を凝らした。2020 年度はコロナ禍の影響もあってミニマル関連での技術情報交換の場が殆ど持てなかったこともあって結果は好評であり、オンライでの技術情報、ビジネス情報の交換会の有効性も確認できた年度でした。
また特にミニマルパッケージング技術関連で先行開発を担う産総研の九州センターが母体となって進めている「ミニマル３DIC ファブ開発研究会」との連携も継続的に行った。

１－９ 内外関連機関との交流及び協力と普及啓発
産総研との共同研究を推進する中で、会員企業以外からのモデルルーム見学・視察を受け入れ、特にミニマルユーザ層の拡大を中心に広く普及啓発を実施した。
２０20 年度（2020 年 1 月～12 月）の見学・視察受け入れ実績は 33 件あった。

２．運営組織の状況
２－１組織構成-7-

２－２役員に関する事項
役員

氏名

所 属 (現 役 職 )

就任時期

任期

代表理事

小林直人

早稲田大学
（ 参与・名誉教授）

2019 年 3 月

2021 年 3 月
定時社員総会まで

専務理事

久保内講一

一般社団法人ミニマルファブ推進機構（専務理事）

2019 年 3 月

2021 年 3 月
定時社員総会まで

2019 年 3 月

2021 年 3 月
定時社員総会まで

2019 年 3 月

2021 年 3 月
定時社員総会まで

理事

監事

南洋一

西村一知

リソテックジャパン株式会社（代表取締役）
横河ソリューションサービス株式会社（エグゼプティブアドバイザー）

３．業務運営の状況
３－１運営委員に関する事項
当機構は当面理事会非設置型の組織としているため、当機構の事業運営に関する諸事を審議する代表理事の諮問機関として運営委員会を設置した。2020 年度の運営委員メンバーは、役員 4 名を含む 22 名で構成するとともに、運営委員規則に則り代表理事が必要と認め参加要請したファブシステム研究会の代表を委嘱している産総研/原史朗首席研究員とした。
前述運営委員会のほか、代表理事、理事、監事で役員定例会として定期的（１回／１、2 ヶ月程度 2020 年度は 10 回）な情報交換と機構が抱える課題・問題点など検討して運営委員会での議題設定、方向付け等の検討を実施した。
（以下委員氏名は順不同：令和元(2020)年１２月 31 日時点役職）
地 位氏 名所属先及び役職

委員

速水 利泰

SPP テクノロジーズ株式会社 代表取締役社長

委員

片桐 俊郎

株式会社片桐エンジニアリング 代表取締役

委員

長嶋 靖

光洋サーモシステム株式会社 常務取締役

委員

蜂谷 真弓

坂口電熱株式会社 代表取締役社長

委員

内藤 義之

株式会社三明 代表取締役会長-8-委員山口 利之

サンヨー株式会社 成形加工事業部長

委員

亀井 龍一郎誠南工業株式会社 代表取締役社長

委員

平井 伸治

TOOL 株式会社 取締役 EDA 製品事業部長

委員

佐藤 明人

株式会社デザインネットワーク 代表取締役

委員

京谷 忠幸

株式会社ピーエムティー 代表取締役

委員

田辺 誠治

フジ・インバック株式会社

委員

野島 新也

株式会社フジキン 代表取締役社長兼 COO

委員

市川 大造

不二越機械工業株式会社 取締役

委員

河野 武志

株式会社堀場エステック 取締役

委員

大西 康弘

株式会社米倉製作所 代表取締役社長

委員

土屋 忠明

株式会社ロジックリサーチ

委員

井川 一成

株式会社システック井上 取締役執行役員

委員

原谷 和徳

株式会社ワイドテクノ 取締役

代表取締役

代表取締役社長

３－２総会開催状況に関する事項開催年月日及び場所

令和 2 年(2020)3 月 12 日
１ （定時総会）
書面開催

出席数

事前の書面決
議書提出
社員総数 20
員議案
第 1 号議案
う改選
第 1 号議案
う改選の件
第 3 号議案
報告
第 4 号議案
計画(案)
第 5 号議案
計画(案)

-9-議決
結果

役員任期終了に伴役員任期終了に伴平成 30 年度決算
平成 31 年度事業
平成 31 年度予算

第１～5 号議案について満場一致で可決

３－３運営員会開催状況に関する事項
開催年月日及び場所

１

第6回
令和 2 年(2020)２月 12 日エッサム神田ホール 1号館

第７回
令和２年(20２０)8 月
２ 26 日

出席数

委員 10 人
参加要請 1 人
傍聴 24 人委員 14 人
参加要請 1 人
傍聴 32 人オンライン開催

議題

１．推進組織に関して（正会員退会と運営委員の変更）
２．TF の中間報告と審議
３．NEDO プロ採択と実施計画、推進状況
４．知財関連事項等に関する報告及び確認事項
５．ミニマルを取り巻く環境、動向
６．ミニマル関連デファクトスタンダードの概況
7．ミニマル関連 NEDO 国際研究開発／コファンド事業推進について
８．その他報告事項
1．運営委員の交代について
・新運営委員のご挨拶
2．会員の状況
3．機構本社住所（定款上）の変更に関して
4．安全輸出管理規定制定に関して
5．機構所有ミニマル装置の取り扱いに関して
6．輸出 WG 活動報告
7．ミニマル関連事業について
8．最近のミニマル関連動向
9．その他報告事項

３－４職員の状況

人数

H29 年度末

当期増加

当期減少

当期末

4

2０6 人（専務理事含）- 10 -

３－５会員の状況
前年度末
会員数

本年度
増加会員数

本年度
減少会員数

本年度末現在会員数

158912155（研究会情報会員 7 企業含み）

３－６資金の借入その他の資金調達
当期中において資金の借り入れ等は行わなかった。

3－７主たる事務所の所在地
施設住所本社茨城県つくば市千現二丁目１番６

事務所

茨城県つくば市梅園一丁目１番１号

研究施設

モデルルーム：茨城県つくば市梅園一丁目１番１号

以上- 11 -