組成分析の基礎
ものづくり基礎講座（第50回技術セミナー）『金属の魅力をみなおそう第三弾 観察・分析編第二回』

東北大学金属材料研究所
正橋直哉
masahasi@imr.tohoku.ac.jp
2017. July 25 14:05~14:35

クリエイション・コア東大阪 南館3階 技術交流室A

発表内容『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

1. 組成分析とは何か
2. 組成分析を行う理由
3. 組成と金属の機能の関係
4. 組成分析のポイント
5. 主な組成分析手法
6. 組成分析の実例

組成分析とは『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

【定義】 物質の化学組成を決める方法自体で「成分分析」や「化学分析」とも称する。また物質の同定を「定性分析」、量の決定を「定性分析」と言う。
【手法】 試料の形状・サイズ・状態、知りたい元素の種類、試料中の他元素の種類、等により、採用する手法は異なる。
【手順】 (a) サンプリング･･･試料は物質の組成を代表すること(b) 測定･･･物理的、化学的、生物学的方法に大別できる。
(1) 化学的分析･･･滴定や質量分析(2) 物理的分析･･･スペクトロスコピー(3) 生物的分析･･･人体全般、血液、分泌液等を対象とする臨床化学

組成分析の必要性『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

製造現場

研究現場

品質管理

製品開発

クレーム処理プロセス開発・製品が均一かどうか確認したい
・製品の信頼性を検証したい
・製品不具合の原因を究明したい

依頼者の要望に対してどの実験が最善か・開発した製品を科学的に検証したい
・製造プロセスの最適化したい・競合製品を分析したい

分析・解析

なぜこの結果になったのか

組織・組成・状態・信頼度（誤差）はどの位か

形状等

結果から何が言えるのか

金属の機能を決める因子

組織『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

機能組成

機械的性質
粒径、粒形状、析出物
粒界、欠陥、双晶…..

成形法、成型温度

強度・延性・靱性・加工性
耐食性・弾性率・摺動性.....
機能的性質

加工率、雰囲気…..

組成、偏析、不純物
均一性…..

温度、湿度、応力
電場、磁場…..

電気伝導度・熱伝導度

製造条件

磁性・半導体・触媒.....

使用環境

Fe-Cr合金の脆化

500

475脆性

『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

σ脆性
17.9Cr
28.4Cr
34.9Cr
50.6Crビッカース硬度Hardness / Hv/ Hv

450
400
350
300
250
200
150
100
300

400

500

600

700

800

900

1000

温度
Temperature/℃

1100

1200

衝撃試験破面：溶体化材(a)、475℃時効材(b)Fe-Cr合金は二相分離による破壊（475脆性）やσ脆性がCr量に依存して起こる

アルミ合金の時効『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

120

ビッカース硬度 / Hv

4.5%Cu100804.0%Cu
603.0%Cu
2.0%Cu400.01

0.1

1.0

10

時効時間 / 時間

100

Al-4Cu合金の350℃時効における’ 相から 相への組織変化

Al-Cu合金のCu組成によってピーク硬度やピーク時間が異なる

チタン合金の相変態温度『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

Ti-Nb-Sn合金の変態点のSn組成依存性（上）とTi-16Nb-4.8Sn合金組織の温度変化（右）Ti-Nb-Sn合金のSn組成によって変態点が変わり、弾性率や超弾性機能が変わる組成分析のポイント『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

a) どのような組成分析手法があるかの、基本的な情報を知っておくこと。
b) 分析する試料は、対象とする物質を代表的する組成のものであること。
c) 測定値には必ずバラツキがあり、平均値だけでなく誤差に注意すること。
d) 手法によっては非平衡状態の測定のため、非定量であることを知ること。
どのような組成分析法があるのか？

測定試料は試料の代表的なものか？
ビタミンA多い

ビタミンC多い

測定値のバラツキはどの程度か？

試料は平衡状態を分析しているかサンプル内のバラツキ
亜鉛-アルミ合金『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

120170 mm

相対アルミ濃度11010090807060020406080100120140160180

試料採取場所インゴットの高さ / mm

インゴット下部ではアルミが少なく上部は多い：金属成分の比重と冷却速度の違いに起因【対策1】 インゴットに溶解鋳造する前の一次試料を圧延や鍛造加工で偏析を回避する。
【対策2】 分析サンプリングを輪切りではなく高さ方向に貫通させて行う。

分析データの取り扱い『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

真度：真の値（X）からの離れ具合、精度：繰り返し測定による値の分布（標準偏差）

誤差と分散『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

誤差 ：測定値 xと真の値 Xとの差、相対誤差：  X
測定をN回繰り返し、x1, x2, x3･･･,xNの値を得たとする。Nを限りなく大きくした時、横軸に測定値を縦軸にその値が現れた回数をプロットすると下図の曲線になる。
標準偏差 ：  N (x  X) / Ni 12i分散 

平均値Xの±には68.26%の確率で正しいの±2には95.44%の確率で正しいの±3には99.74%の確率で正しい

金属の分析手順

『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

燃焼-赤外線吸収法
試料を燃焼して含有炭素や硫黄を酸化物とし、赤外線吸収量の検量線から換算して、炭素や硫黄量を求める方法

高周波誘導結合プラズマ発光分光分析（ICP-OES）
粉酸等に溶解プラズマに試料を注入して発光中の分光スペクトル線を分析

高周波誘導結合プラズマ質量分析（ICP-MS）
プラズマをイオン源に、発生イオンを質量分析(MS) で検出

金属試料

原子吸光分析法（AAS）
蒸気化した元素に特定波長の光を透過して励起状態とした時の吸光度から分析

蛍光X線分析
塊

X線照射時に発生する蛍光X線のエネルギーと強度を分析

不活性ガス搬送融解法
Hはアルゴン気流中で融解し発生しH2を検出

湿式分析『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

湿式分析では試料を溶液化する必要があり、溶液化に使用する代表的な溶液を示す
a) 複数元素が混在する場合は溶液試薬の種類と濃度の最適化が必要
b) アルカリ金属やアルカリ土類金属は水との反応に注意が必要
酸化分解力が大きい
ほとんどの金属を分解

Hよりイオン化傾向の大きな金属を分解

高温ほど酸化力大ガラスを侵食

HNO3

HCl

H2SO4

HF

HNO3

Ag, Co, Cu, Mn, Ni,Pb, Bi, Te, V. Ti

HClAu, Pd, Pd, Pt, Sn, Bi, Al, Be, Cr, Fe, Mg,Fe, Ge, V
Mn, Sn, Ti, Zn, Co

H2SO4
HF

NaOH

H2O2Sn, Zn, Mn
Pb, Mo, Zr, Hf, Ti, W, Mo, Zr, Hf, Ti, W,Sb, Si
Sb

NaOH
H2O2

両性金属 強酸化力を溶解
酸化物分析

Ti, ZrTi, ZrAl, ZnCu, Au, Pt, PdGe

WO3

「金属分析の基礎」より改編

機器分析『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

機器分析とは構成成分の示す物理的性質（電磁波、電気、分離、熱）を測定し、成分の同定や定量を行う化学分析法の総称で、比較的複雑な機構をもつ機器を用いて分析が行う。
1.新元素の発見
2.有機化合物の合成

化学反応による迅速で容易に微機器分析

元素の分離法量までの測定値の登場

3.官能基による反応
長所(a) 選択制が良く、化学分析では得られない知見が得られる。

短所(a) 標準物質が必要。
(b) 分析値の有効桁数が少ない。

(b) 迅速である。

(c) 機器が高価である。

(c) 操作が容易で個人差が少ない。

(d) 機器の保守が面倒。

(d) 分析感度が良く、試料量が少ない。
(e) 分析の自動化または連続化が可能。
http://www.cc.u-ryukyu.ac.jp/~tanahara/kikisiryo/kikigaiyou.pdf

金属の主な組成分析法『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

バルク分析Electron Probe Micro Analyzer (EPMA)

電子線照射発生の特性X線

ｱﾄﾑﾌﾟﾛｰﾌﾞ電界ｲｵﾝ顕微鏡

Atom Probe Field Ion Microscopy (APFIM)

電解蒸発イオンのTOF分析

電子ｴﾈﾙｷﾞｰ損失分光法

Electron Energy-Loss Spectroscopy (EELS)

非弾性散乱電子の分光分析

ｴﾈﾙｷﾞｰ分散X線分光法

Energy Dispersive X-ray Spectrometry (EDS, EDX)

電子線照射発生の特性X線X線光電子分光法

X-ray Photoelectron Photoemission Spectroscopy (XPS)

最表面の元素組成

オージェ電子分光法

Auger Electron Spectroscopy (AES)

Li以上の元素の分析

二次イオン質量分析法

Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS)

最高感度で不純物分析

質量分析

Mass Spectrometry (MS)

イオンの質量/電荷比を測定

発生ｶﾞｽ分析

Evolved Gas Analysis

加熱発生気体の定性・定量

Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectroscopy (ICP-AES)

無機元素を定量分析

原子吸光分析法

Atomic Absorption Spectrometry (AAS)

無機元素を定量分析

ICP質量分析法

Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS)

高感度無機元素分析

Glow Discharge Mass Spectrometry (GDMS)

標準試料不要、半定量

X-Ray Fluorescence Spectrometry (XRF)

迅速に定性・定量分析

電子線ﾏｲｸﾛｱﾅﾗｲｻﾞｰ

表面分析

有機分析

無機分析
ICP発光分光分析法

ｸﾞﾛｰ放電質量分析法
蛍光X線分析法

『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

検出限界

検出できる原子の個数 個/cm3

各分析法の検出限界

分析ビームサイズ

Evans Analytical Group HPより

表面だけを微細に調べたいとか、全体を広く調べたいとかの目的とする試料分析によって、最適な分析手法を選択することが分析の第一歩表面分析の深さ方向領域
AFM
SPM
最表面
表面TOF
AES
SIMS

XPS

『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

TXRF

SEM

GDMS

EDS

SIMS

TEM
XRD
STEM

XRF

3 nm
10 nm

薄膜
100 nm表面層1000 nm

白矢印は深さ方向分析がでバルク基板きる手法の分析可能距離>2000nm

1 nm = 0.001 mm = 0.00001 mm = 0.000001 cm = 0.0000001 m
原子の大きさは約0.3 nmなので、「最表面」はだいたい3原子層厚さで、「表面」はだいたい30原子層の厚さに相当する

電子を試料に入射『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

入射電子
（電子銃から）
反射電子

熱電子銃

反射電子
陽極

オージェ電子オージェ電子
特性Ｘ線

電子線

二次電子 二次電子

特性Ｘ線
電解放出
電子銃

二次電子の脱出深さ
吸収電子

電子線

先端を尖らせた
第一陽極
第二陽極
金属（電子を引張りだす） （電子を加速する）

電子銃から電子を高熱や高電界により空間に放出し、電界により加速すると共に、電子レンズによりビーム状に収束させる① 電子線を照射すると試料を進む入射電子は、試料の原子核や電子と相互作用し、進行方向が変化したり、試料から二次電子や特性X線を放出する。
② 入射電子を一次電子、一次電子からエネルギーを得て原子から出る電子を二次電子、一次電子が試料内で進行方向を変え試料から出るものを反射電子と呼ぶ。

微量元素添加による延性化『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

無添加

B添加

Mater. Trans. JIM 31(1990)443_448

ボロンを0.1%添加するだけで粒界破壊が抑制され、全く延びなかった試料が30%以上伸び、室温で中間焼鈍なしに90%以上圧延できる。

ボロンを添加すると何が変わるの？

第2回 組成分析』
APFIMによる粒界偏析定量化 2017 July『金属の魅力をみなおそう25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

ボロンを添加したNi3AlのFIM像(a)と、マトリックス(b)および粒界(c)のマススペクトル

粒界に存在するボロン量はマトリックスの6.8~12.1倍であることが判り、ボロンの粒界偏析が粒界破壊を抑制していると推論できるインプラント材の骨伝導性『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

Pull out strength / MPa300

兎大腿骨埋込後のレントゲン写真

引き抜き試験

250

TiNbSnTi6Al4V
TiO2/TiNbSn

200
150
100
50036Duration after surgery / week

動物実験から、開発したTiNbSn合金の表面にどうして骨との密着が強くなるの？

TiO2をつけると引抜強度が著しく増加し、骨との密着性に優れていることが判る。

EDXによる元素分布

骨組織 O『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

骨組織 HAADF像

骨組織 Ti

骨組織 P

骨組織 Ca

組成分析のまとめ『金属の魅力をみなおそう 第2回 組成分析』
2017 July 25 14:05~14:35 東北大学金属材料研究所 正橋直哉

◎ 組成分析の考え方① どの組成を知りたいかを明確にする。
研究の要点を整理する。
② そのためにはどの手法が良いか検討する。
用いる手法の原理と得手・不得手を理解すること。
③ その手法に適した試料を準備する。
恣意的にサンプリングしていないか？保管中の表面汚染や形状変化はないか？
④ 実験結果が得られたら、知りたかったことかどうかを確認する。
バラツキは共用できるか？この実験手法だけでよかったのか？
◎ 絶対にやってはいけないこと① 意味のない実験「とりあえずやってみる」は時として大きな痛手となる。
② 一つの手法にこだわりすぎる物事の本質を見失う可能性がある。