202２年度

事業報告書

自 令和４年（202２）

１月

１日

至 令和４年（202２）12 月 31 日

茨城県つくば市千現二丁目１番６

一般社団法人ミニマルファブ推進機構-1-目次令和４年(202２)度事業報告書
１．事業活動の概況---------------------------------------3
１－１概況---------------------------------------------３
１－２商標、ブランド保全事-----------------------------3
１－３装置認定管理、運営事業---------------------------3
１－４研究・試作支援事業-------------------------------４
１－５拡販支援事業-------------------------------------５
１－６補助事業-----------------------------------------５
１－７強化施策-----------------------------------------６
１－８研究会-------------------------------------------６
１－９内外関連機関との交流及び協力と普及啓発-----------７
２．運営組織の状況--------------------------------------７
２－１組織構成----------------------------------------７
２－２役員に関する事項--------------------------------７
３．業務運営の状況--------------------------------------８３－１運営委員に関する事項----------------------------８３－２総会開催状況に関する事項------------------------９３－３運営員会開催状況に関する事項--------------------9３－４職員の状況-------------------------------------１0
３－５会員の状況-------------------------------------１0３－６資金の借入その他の資金調達---------------------１0３－７主たる事務所の所在地---------------------------１0-2-１． 事業活動の概況
１－１概況
当機構は平成 29 年(2017)2 月 3 日の設立から令和 3 年(2021)2 月で５年を迎えた。
同時に平成 29 年(2017)5 月から国立研究開発法人産業技術総合研究所（以下産総研）の技術移転ベンチャーとしての認定を受けて以来、約５年半が経過し、今年度 2022 年 3 月には産総研ベンチャーとしての数々の優遇処置が得られる 5 年の期限を経過した。諸般の状況を踏まえ前述の優遇制度は受けられないながらも、さらに引き続き 5 年間の産総研ベンチャーの称号使用の許諾を受けて継続して活動を推進した。
202２年度も、2020 年度来続いている新型コロナの影響によりこの３年間でのミニマルファブの普及展開活動にも大きな制約を受けた結果、苦しい事業運営を強いられながらミニマル普及活動を行わざるを得なかった。しかし、幸いにも 2019 年 12 月からスタート
した NEDO プロ補助・助成事業の 2021 年度の中間評価では 2022 年度の 1 年間延長継続が認められてミニマルファブの完成度向上に注力できたことは大きな推進力とすることができた。
一方、2022 年度も 2021 年度に引き続き半導体不足の問題、TSMC の日本拠点進出など半導体に纏わる話題が飛び交う中で、ミニマルファブも一日も早く出番の来ることを願った年でもあった。また 3 年振りでセミコンジャパン 2022 にリアル出展して多品種少量生産での試作開発・生産はもとよりパッケージング技術、半導体人材育成など新たな課題にもミニマルファブの果たす役割の重要性を再認識できた年度であった。

１－2 商標、ブランド保全事業（１）技術情報（ノウハウ）使用許諾
今年度も本件に関して継続して産総研からの兼業者(1 名)によるご指導をいただいた。
（２）ミニマル正規事業者の資格認証
今年度ミニマル正規事業者として資格認証の実績は無かった。
（４）商標権使用許諾契約書
ミニマルファブ関連装置･部品･材料ならびにメンテナンスサービス等に係る事業について正規事業者と非独占的使用許諾を行うとともに最終顧客販売に伴うロイヤリティ契約を締結するもので、今年度の実績は無かった。

１－３装置認定管理、運営事業
1-4 項の事業推進に必須な以下の項目を推進した。
（１） ミニマル装置認証
今年度は、ミニマル装置（改良機種含む）の認証が１件あった。

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（２）ミニマル共通ユニットの管理
ミニマル共通ユニットとしてミニマルブランド管理上重要な①ミニマル筐体②ウェハ入出力インタフェース（ＰＬＡＤ）③装置コントローラ（μＦＩＸコントローラ）について開発供給・サービス企業での情報一元管理の取組として②に関してシステム開発と管理業務委託契約を締結（2020 年 10 月～）し今年度も引き続き推進した。

１－４研究・試作支援事業（１）産総研との共同研究契約締結と成果
共同研究テーマ「ミニマルファブ技術の普及に向けた装置開発研究」に関して 2022 年
度も継続推進し、以下の成果を得た。またこの成果は 2022 年 3 月応用物理学会春季学術講演会、2022 年 9 月応用物理学会秋季学術講演会で一部報告済み。
① ミニマルファブ SOI NMOS の線形領域の抵抗異常原因究明と対策② ミニマルファブで作成したコンタクト抵抗の評価③ ミニマル液体ドーパント・プロセスを用いた nMOSFET のシート抵抗のばらつき評価④ ミニマルファブを活用したダイヤモンド SBD の試作と評価(V)⑤ Bosch Process におけるガス置換インターバル時間効果の研究⑥ ミニマルファブを用いた 2 軸ピエゾ抵抗型加速度センサの開発⑦ ミニマルウエハの個片化技術⑧ ミニマルファブによる 3 次元積層チップ製造の検討⑨ ミニマルファブによるシリコン貫通電極のプロセス開発⑩ ミニマル TSV めっき装置を用いた TSV 埋め込みめっきのプロセス開発⑪ ミニマルレーザ加熱装置の温度補正 (II)⑫ ウェハ裏面洗浄を可能にするスピンドロップレッド洗浄技術の開発⑬ ミニマル水プラズマアッシングを用いた多層配線プロセスの検討⑭ ミニマルファブ装置の自動化処理におけるエラー解析⑮ ウェハ裏面洗浄を可能にするスピンドロップレット洗浄技術の開発(Ⅱ)⑯ ミニマルファブ における CV 特性モニタリングによる製造工程管理⑰ ミニマル表面異物測定器の測定誤差要因⑱ ミニマル AlN 反応性スパッタ装置の成膜特性 (3)⑲ ミニマルシリコン CVD における三塩化ホウ素によるホウ素ドーピング⑳ ミニマル液体ドーパント・プロセスを用いた nMOSFET のシート抵抗のばらつき評価２㉒ トリシランを用いたミニマルファブ向けポリシリコンゲート電極の CVD 成膜に関する検討㉓ ミニマルファブ多層配線プロセスの Al 配線寸法改善の検討（２）試作 15 件、ミニマルオペレーショントレーニング（MOAP）3 件、合計 18 件実施した。

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１－５拡販支援事業（１）セミコンジャパン 2022 出展
2020 年度からコロナ禍の影響で出展を取り止めていたが、今年度は産総研と共催で会員企業 24 社の後援を得て、「個別チップニーズに即応する」をキャッチフレーズに、21 小間に新規開発ミニマル装置ほかミニマル生産システム装置群合計約 15 台の展示と同時にこれまでミニマルファブで製作したデバイスアプリケーションの実デバイス展示とポスター展示を行った。特に今年度は著名な 3 名の Youtuber のトークショーも新たに企画して 1,000 名を超える来客者を得て盛り上げることができた。

１－6 補助事業
1-6-１ NEDO 補助事業
（１）2019 年 10 月採択 NEDO プロ (テーマ設定型事業者連携スキーム)（ａ）事業名称：戦略的省エネルギー技術革新プログラム「多品種少量生産に適した半導体デバイス製造ファブの実現」（ｂ）実施期間：2019/12～2022/3 中間評価結果 2023/3 まで延長継続（ｃ）NEDO プロ推進体制(株)共和電業、浜松ホトニクス(株)、横河ソリューションサービス(株)、誠南工業(株)、(株)デザインネットワーク、(一社)ミニマルファブ推進機構（含む共同開発企業）
2019 年度戦略的省エネルギー技術開発プログラム（NEDO）のテーマ設定型事業連携スキームとして「多品種少量生産に適した半導体デバイス製造ファブの実現」プ
ロジェクトが令和元(2019)年 11 月 24 日に採択決定され、同年 12 月 3 日に交付決定された（事業期間は３年間）。当機構は「実用ファクトリシステム構築,ミニマルプロセス安定化開発」のテーマで傘下会員企業１3 社と共同でスタートし、当機構は連携スキームの中で参画企業の事務局役を担った。2021 年度成果の中間評価審査を受査し 2022 年度の 1 年間延長継続が認められて引き続き同テーマの目標達成に向けて継続実施した。

（２）2021 年 12 月新規採択 NEDO 補助・助成事業（ａ） 計画名称：「5G 無線通信技術を使った半導体製造工場の⽣産と品質管理⼿法の開発」（ｂ）実施期間：2021 年 12 月～2024 年 3 月（ｃ）提案企業：㈱ロジック・リサーチ（ｄ）連携企業：産総研、情報通信研究機構（NICT）-5-

1-6-２ Go-Tech 事業（旧サポイン事業）
会員企業のサポイン事業(戦略的基盤技術高度化事業)を推進した。202２年度でのミニマ
ル関係サポインとして以下を推進した。

（１）計画名：「インフラ検査向高精度磁気センサの多品種少量生産に向けたミニマル装置開発と基盤プロセス確立」2021 年採択（ａ）事業管理機関：一般財団法人金属系材料研究開発センター（ｂ）計画実施時間：2022 年 4 月～2023 年 3 月（ｃ）法認定事業者：東京電子(株)（ｄ）研究等実施機関：東京大学、東北大学、産総研（２）計画名称：半導体デバイスの高度化、高性能化ではデバイス特性を左右する
極薄膜堆積技術対応としてミニマル装置の原子層レベルの極薄膜堆積技術・装置開発（ALD)
2022 年採択（ａ）事業管理機関：みやぎ産業振興機構（ｂ）計画実施期間：2022 年 9 月～2023 年 3 月（ｃ）法認定事業者：(株)和泉テック（ｄ）研究等実施機関：東北大学

１－7 強化施策（１） ミニマル標準化推進体制の強化
2022 年度 TF 活動での提言を受け標準化体制に関して新たな強化策を提案した。すなわち、ミニマルファブの普及に伴い関連する技術や関連企業数の増加につれて広く意
見の吸い上げ、標準規格の起案、審議ルール、規格バージョン管理、適用など透明性をもった運用体制の組織化が必要となっている。これに対応して 2022 年度はミニマル標
準化規格関連の運用に関して本機構会員の合意形成を得るための更なる組織化体制と運用規則(ルール)を定めた。2023 年度はこの組織と運用規則に基づき活動を推進する。
（２） ミニマルウェハ供給体制の強化施策
NEDO 助成事業でのウェハ開発を進めるとともに、複数社供給体制構築を推進した。
また、従来からミニマルウェハ事業を推進してきた会員企業から他会員企業への事業継承をスムーズに行うため、装置移管業務など橋渡し業務を推進した。

１－8 研究会
ファブシステム研究会活動として今年度も継続推進した。研究会会員は当機構会員としてミニマルコミュニティを形成している重要な位置付け。研究会活動を通して会員の必要情報の共有化、活動活性化を行いミニマルファブビジネスの拡充展開に供与する。また、特にミニマルパッケージング技術関連で先行開発を担う産総研の九州センターが母体となって進めている「ミニマル３DIC ファブ開発研究会」のオープン会議等にも参加しながら情報交換を行いながら継続的に連携した。
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１－９ 内外関連機関との交流及び協力と普及啓発
産総研との共同研究を推進する中で、会員企業以外からのモデルルーム見学・視察を受け入れ、特にミニマルユーザ層の拡大を中心に広く普及啓発を実施した。
２０2２年度（202２年 1 月～12 月）で 31 件の見学・視察受け入れた。

２．運営組織の状況
２－１組織構成

２－２役員に関する事項
役員

氏名

代表理事

齋藤昇三

専務理事

久保内講一

理事

南洋一

理事

永井

監事

所 属 (現 役 職 )

就任時期

任期

2021 年 9 月

2023 年 3 月
定時社員総会まで

2021 年 3 月

2023 年 3 月
定時社員総会まで

2021 年 3 月

2023 年 3 月
定時社員総会まで

横河ソリューションサービス
株式会社(半導体サービスセンター長)2022 年 3 月

2023 年 3 月
定時社員総会まで

横河ソリューション
サービス株式会社（エグゼプティブアドバイザー）

2021 年 3 月

2023 年 3 月
定時社員総会まで

株式会社デバイス＆システ
ム・プラットフォーム開発センター(代表取締役会長兼社長)((㈱)東芝 嘱託)
一般社団法人ミニマルファブ推進機構（専務理事）
リソテックジャパン株式会社（代表取締役）亨

西村一知-7-３．業務運営の状況
３－１運営委員に関する事項
当機構は当面理事会非設置型の組織としているため、当機構の事業運営に関する諸事を審議する代表理事の諮問機関として運営委員会を設置した。202２年度の運営委員メンバーは、役員５名を含む 2２名で構成するとともに、運営委員規則に則り代表理事が必要と認め参加要請したファブシステム研究会の代表を委嘱している産総研/原史朗首席研究員とした。
前述運営委員会のほか、代表理事、理事、監事で役員定例会として定期的（１回／１、2 ヶ月程度 2021 年度は 10 回）な情報交換と機構が抱える課題・問題点など検討して運営委員会での議題設定、方向付け等の検討を実施した。
（以下委員氏名は順不同：令和元(2022)年１２月 31 日時点役職）
地 位

氏 名

所属先及び役職

委員

速水 利泰

SPP テクノロジーズ株式会社 代表取締役社長

委員

片桐 俊郎

株式会社片桐エンジニアリング 代表取締役

委員

仲西 明史

ジェイテクトサーモシステム株式会社 常務取締役（事業部門・開発部門統括）

委員

蜂谷 真弓

坂口電熱株式会社 代表取締役社長

委員

内藤 義之

株式会社三明 代表取締役会長

委員

山口 利之

サンヨー株式会社 成形加工事業部長

委員

亀井 龍一郎誠南工業株式会社 代表取締役社長

委員

平井 伸治

TOOL 株式会社 取締役 EDA 製品事業部長

委員

佐藤 明人

株式会社デザインネットワーク 代表取締役

委員

京谷 忠幸

株式会社ピーエムティー 代表取締役

委員

田辺 誠治

フジ・インバック株式会社 代表取締役

委員

野口 聡

株式会社フジキン 社長室兼カーボンニュートラル推進室 執行役員

委員

市川 大造

不二越機械工業株式会社 代表取締役

委員

河野 武志

株式会社堀場エステック 取締役

委員

大西 康弘

株式会社米倉製作所 代表取締役社長

委員

土屋 忠明

株式会社ロジックリサーチ 代表取締役社長

委員

原谷 和徳

株式会社ワイドテクノ 取締役-8-

３－２総会開催状況に関する事項
開催年月日
及び場所

令和４年(202２)
3 月 23 日
１ （定時総会）

出席数

社員総数 20 員
事前の書面決議
書提出７員

オンライン開催

議決
結果

議案

第 1 号議案
第 2 号議案
第 3 号議案
第 4 号議案
第 5 号議案
第 6 号議案

定款変更の件（案）理事１名選任の件（案） 第 １ ～ 6 号
2021 年度事業報告
議案につい2021 年度決算報告て満場一致
2022 年度事業計画(案) で可決
2022 年度予算計画（案）

３－３運営員会開催状況に関する事項
開催年月日及び場所

第 10 回
令和 4 年(2022)
１ ２月 17 日

出席数

議題

委員 13 人
参加要請 1 人
傍聴 3２人１．運営委員の交代と新運営委員のご挨拶
２．機構定款変更に関して
３．機構理事選任について
４．TF 会議提案の新標準化体制（組織化）に関して
５．リスクアセスメント状況報告（横河 SS 永井輸
出 WG とりまとめ）
６．ミニマル関連事業について（NEDO・サポイン事業ほか）
７．最近のミニマル関連動向と今後に関して
８．ミニマルシンポジウム開催結果、ビジネス最新動向など
９．その他報告事項
１０．企業活動報告 (株)ロジック・リサーチ
NEDO 取組状況

委員 10 人
参加要請 1 人
傍聴 31 人

１．退会に伴う運営委員の変更について
２．機構標準化体制（運用ルール化）に関して
３．ミニマルウェハ加工事業継承の件
４．ミニマル関連事業について（NEDO・R4 年度
Go-Tech 採択事業）
５．次期機構の会員組織構成、体制の見直し方向について
６．最近のミニマル関連動向、次期プロジェクトメーキングの検討状況について
７．その他報告事項
８．企業活動報告 横河ソリューションサービス(株)への展開について」

オンライン開催

第 11 回
令和４年(2022)9 月 2
２ 日
オンライン開催-9-３－４職員の状況
R３年度末

当期増加

当期減少

当期末

５

1

0

6 人（専務理事含）

人数

３－５会員の状況
前年度末
会員数

本年度
増加会員数

本年度
減少会員数

本年度末現在
会員数

151

45152
（研究会情報会員 6 企業含み）

３－６資金の借入その他の資金調達
当期中において資金の借り入れ等は行わなかった。

3－７主たる事務所の所在地
施設

住所

本社

茨城県つくば市千現二丁目１番６

事務所

茨城県つくば市梅園一丁目１番１号

研究施設モデルルーム：茨城県つくば市梅園一丁目１番１号

以上- 10 -