47mm ディスク用 PTFE ハウジング

標準仕様

品番

INLINE47-TE-T

接続口径

Rc 1/4

使用ディスクサイズ
設計圧力
設計温度
カバー

寸法

材質 *
品番

INLINE47-TE-T

全高52mm

直径75mmボトム

サポートプレート
ノブ付きボルトO- リングΦ 47 フィルターディスク

図面はこちら

0.2Mpa40℃

PTFE

取説はこちらPTFEPTFESUS304/ ナイロン
PTFE

* 継ぎ手、チューブ等は貴社にて用意ください

２インチカートリッジ用 PTFE ハウジング
標準仕様

品番

1ZMRA02-TE

接続口径

Rc1/4

適用フィルターサイズ
設計圧力
設計温度
カバー

寸法

品番

1ZMRA02-TE

全高 *

140mm

直径120mm*ノブ・エアベントプラグ部を除く

材質 *

ボトム

サポートプレート

ノブ付きナット / ボルト
O- リング

2 インチカートリッジ

図面はこちら

0.41Mpa
50℃

PTFE

取説はこちらPTFEなしSUS304/ ナイロン

パーフルオロエラストマー *** 継ぎ手、チューブ等は貴社にて用意ください** 原材料供給の観点から将来変更になる可能性があります

お問い合わせについて評価用サンプルのご提供、ハウジングテスト機の貸出実施中！

メールで問合せをご希望の場合
右記 2 次元バーコードを読取頂き、問い合わせフォームより問い合わせをお願いします。

http://go.3m.com/filter-inquiry

オンラインでの製品説明の実施や弊社での分析サポートを実施しておりますのでお気軽にお問い合わせください。

ご使用にあたっての注意事項

3M ™ Metal Ion Purifier（3M ™金属イオン除去フィルター）は、リソグラフィケミカル用溶剤や高純度樹脂でのご使用を想定しています。飲用水、飲食料、医薬品の用途には使用しないでください。

本製品の構成材料と化学的に適合しない用途には使用しないでください。硝酸などの強力な酸化剤は、特定の状況下で、イオン交換樹脂と反応する可能性があります。わずかなイオン交換樹脂の分解から激しい発熱反応（爆発）にいたるまでの事象が想定されています。

3M ™ Metal Ion Purifier（3M ™金属イオン除去フィルター）は、微細粒子除去用のろ過材として機能するように設計されていません。本フィルターは、意図された用途に適したメンブレンフィルターの上流側に設置する必要があります。

保証、有限補償、免責事項：該当する 3M 製品パッケージまたは製品文書（補償内容）に異なった記載がない限り、各 3M 製品は、製品出荷時において当該製品の仕様を満たしているものであることを保証します。3M は、商品適格性、特定目的適合性および取引上の取り扱い、習慣外、使用以外で生じたものを含むがそれに限定されない、上記以外のなんらの保証、条件設定を明示的、黙示的を問わず行わないものとします。3M 製品が上記保証に準拠していない場合は、3M の選択により、当該製品の交換または製品購入価格の返金のいずれかにてのみ対応させていただきます。
3M の保証責任範囲：上記に規定された補償を除き、また法律で禁止されている範囲を超える場合を除き、3M は、直接的、間接的、特別的、付随的、派生的を問わず、また保証、契約、過失または厳格責任を含む法理論にかかわらず、3M 製品から生じる、またはそれに関連して生じるいかなる損失または損害（利益または機会損失を含むが、それに限定されない）にも責任を負いません。

各種数値は参考値であり、保証値ではありません。仕様及び外観は、予告なく変更されることがありますのでご了承ください。本書に記載してある事項、技術上のデータ並びに推奨は、すべて当社の信頼している実験に基づいていますが、その正確性若しくは完全性について保証するものではありません。使用者は使用に先立って製品が自己の用途に適合するか否かを判断し、それに伴う危険と責任のすべてを負うものとします。売主及び製造者の義務は、不良であることが証明された製品を取り替えることに限定され、それ以外の責任は負いません。本書に記載されていない事項若しくは推奨は、売主及び製造者の役員が署名した契約書によらない限り、当社は責任を負いません。
3M は、3M 社の商標です。

カスタマーコールセンター

フィルター製品事業部

http://www.3mcompany.jp/filter/

Please Recycle. Printed in Japan.
© 3M 2022. All Rights Reserved.
CUN-E21-D(0722)

製品のお問い合わせはナビダイヤルで0570-011-211

9:00～17:00 ／月～金（土日祝年末年始は除く）

3M™ Metal Ion Purifier
3M™ 金属イオン除去フィルター仕様（10インチカートリッジ）
バインダー樹脂​

3M 金属イオン除去フィルター

イオン交換容量（推奨流量時 90% 効率）*

品番リスト

薬液中の金属イオンを 50ppt 以下レベル ※ 1 まで低減し、リソグラフィプロセスで使用される PGMEA などの溶剤や、47mm ディスク

BARC などの高純度ポリマー溶液からワンパスでも効果的に金属イオンを低減します。
※ 1：社内評価による：金属除去性能項目参照

PGMEA などの高純度溶媒やBARC などの薬液等、半導体向け材料の金属除去用途お客様の様々なメリットを実現します
MIP シリーズ

MIP 断面図写真

APP

一般的なメンブレンタイプのフィルターカートリッジ

メンブレンタイプのイオン交換膜フィルターと比較し数倍のイオン交換容量を持つ● 安定した金属除去性能を発揮

接触時間が少なくなる

Na, Ca, K などのアルカリ金属、またはアルカリ土類金属を捕捉し易い傾向があります。

キレート樹脂キレート効果によって Fe, Cr, Znなどの重金属を捕捉し易い傾向があります。

※金属イオンの補足傾向はお客様溶液の組成や液中の各金属イオンの含有比によってに大きく左右されます。上記傾向はあくまで参考情報として頂き、実液でのご評価を推奨いたします。

サイズラインナップ

量産スケール用● 10 インチカートリッジタイプ

スクリーニング用★
● Φ 47mm ディスクタイプ- コネクター形状 : 222- エンドキャップ形状：フラットエンドキャップ※試験には専用の PTFE 製ハウジングが必要です。
★ディスクは厚みがカートリッジと違うため、効果確認スクリーニング用サンプルとなります。

キャップ

スケールアップ評価及び少量ろ過用● 2 インチカートリッジタイプ- コネクター形状 : 222- エンドキャップ形状：フラットエンドキャップ

量産スケール用● 20 インチカートリッジタイプ- コネクター形状 : 222- エンドキャップ形状
：フィン

約2倍

ろ材部 : 細孔ブロック

約5倍

コネクター
O リング

品番

MIRE-0020FK-APPD
MIRE-0100FK-APPD

MIRE-0200HK-APPD

定量限界

調整原液

Na1001082<100<100K402481<40<4010640<10965<10Co201696

10725

10NiCuZn

1012501088420Pb<10APP700ml/min

47mm ディスクは 1 箱 3 枚単位での販売になります。
2 インチ、10 インチ、20 インチは 1 箱 1 本単位での販売になります。

<10<10<1020

社内試験 自社評価 金属イオン添加 PGMEA ろ過試験

（弊社技術報告書 SCEA18-019 抜粋）● サンプル溶液：各金属約 1ppb 添加した PGMEA● フィルター： APPD、SCPD 2インチカートリッジ● 金属イオン濃度分析：Agilent 8900
● ろ過試験イメージ（流量 700ml/min, 500ml 後サンプリング）<10<10<20<20<10<10<10<101836

104432<1010

金属溶出について（社内評価）
本評価条件においてMIP 10” カートリッジ12 時間事前浸漬なしで超純水を流量 2 L/min にて 6 L 通液フラッシング処理することで、2 次側通液中の 22 元素 * の合計金属含有量は 50 ppt 以下に到達する。

*22 元素 : Li, Na, Mg, Al, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, As, Ag, Cd, Sn, Ba, W, Pb
10" SCPD

100,000

12時間浸漬ありSCP

10,00010246Flashing Throughput (L)SCP

812時間浸漬ありAPP

1,000

10050 ppt

012時間浸漬なしAPP

10,0001,000

10010" APPD

100,00012時間浸漬なしSCP

101620 インチ 222 コネクター（フィン）FEP 被覆フッ素ゴム O-ring

単位：ppt分析金属Fe1210 インチ 222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴム O-ring

SCP
700ml/min

950

8流量（lpm）

52 インチ 222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴム O-ring

金属除去性能（社内評価）

10仕様

447mm ディスク

価格、納期等につきましては、弊社営業担当へお問い合わせください。
2 インチ、10 インチカートリッジの O-ring について原材料供給の困難になったため、パーフルオロエラストマーから FEP 被覆フッ素ゴムに変更いたしましたCa

4320 インチ 222 コネクター（フィン）FEP 被覆フッ素ゴム O-ring

APP

MIR-DA47-APPD

Total Metal (ppt)

APP（キレートタイプ）

SCP（イオン交換タイプ）* イオン交換容量は計算値です。

2流量（gpm）

MIRE-0200HK-SCPD

20 インチカートリッジ（新製品）681

1010 インチ 222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴム O-ring

SCP

100460meq

35APP
SCP

MIRE-0100FK-SCPD

APP

Al

52 インチ 222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴム O-ring

10 インチカートリッジ

934

70

MIRE-0020FK-SCPD

SCP

1010SCP

APP

Cr

ろ材ラインナップ 多くの溶液に対応できるように２種類のタイプをラインナップいたしました

キレート樹脂47mm ディスク

2 インチカートリッジ

10 インチカートリッジ

105

MIR-DA47-SCPD

APP

Total Metal (ppt)

厚みがあり、接触時間が多くなる
イオン交換容量も大きくなる

3.5 L/min

15SCP

47mm ディスクLi●

強酸性陽イオン交換樹脂

タイプ

性能評価事例（参考データ）

金属溶出が少ない※ 2：社内評価による：金属溶出について項目参照

サイズ

20 インチカートリッジ（新製品）●

独自の製造方法によりイオン交換樹脂と比較して金属溶出を低減 ※ 2● 前処理時間の短縮と作業の簡易化を実現

60℃

450meq

2 インチカートリッジ

SCP

200.28MPa

推奨流量（粘度 1cP の時）

ブロック状のろ材にしたデプスフィルターカートリッジです。

イオン交換容量が大きい

FEP 被覆フッ素ゴム

最大許容差圧またはキレート樹脂と、ポリエチレン支持体を強固なろ材がデプス構造（厚みのある構造）のため溶液とろ材との長い接触時間を実現

超高分子量ポリエチレン​

強酸性陽イオン交換樹脂

最高使用温度

3M 特殊粉体成型テクノロジーを用いて強酸性陽イオン交換樹脂、流量表（ 水, 10インチカートリッジ）

APP

高密度ポリエチレン​

樹脂

より厳しい金属低減要求に貢献するために開発をいたしました。

●

SCPO リング​（3M ™ Metal Ion Purifier：略称 MIP）は、昨今の電子業界での高い金属除去性能

目

樹脂パーツ

TM

主要用途

項

圧力損失（psid）

薬液中の金属イオンを50ppt 以下レベル※ 1 まで低減

圧力損失（kPa）

金属除去の最先端デプスフィルター1050 ppt

0246Flashing Throughput (L)APP810

3M Metal Ion Purifier（3M 金属イオン除去フィルター）事前浸漬と通液フラッシングの関係
TMTM（弊社技術報告書 SCED19-016 抜粋）● 超純水通液流量：2 L/min● 金属含有量分析：ICP-MS（Agilent 7500）● 補足：グレーアウトした領域は Na 以外の各 金 属 単 体では 定 量 限 界 以 下であったため参考値とする。