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6㸬ཧ⪃ᩥ⊩1) H. Katayama et al.: IEEE Trans. Plasma. Sci., 37, 897 (2009).
2) D. R. Grymonpre et al.: IEEE Trans. Ind. Appl., 40. 60 (2004).
3) T. Iijima et al.: Proc. 17th World Ozone Congress, IV.2.7, pp.1-11 (2005).
4) Y. Matsui et al.: Plasma Sources Sci. Technol., 20, 034015 (2011).
5) J. Pawlat et al.: Acta Physica Slovace, 55, No. 5, pp. 479-485 (2005).

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