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3.3. Si ၮ᧼ߦ CVD ෘ⤑ᚑ㐳ߦࠃࠅ૞ ⵾ ߒ ߚ 3C-SiC(001) ࠛ ࡇ ጀ ࠍ ⒳ ⚿᥏ߣߒߚᚑ㐳
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