SUPPORT

求 められ たことを、求 められ た かたちに。
Custom Design Services

信 頼のワンストップサービス Reliable One-stop service

1949 年 の 創 業 以 来、特 殊 バ ルブ専 門メーカーとして、真 空 装置 黎 明 期 から「真 空」に携 わってきた Hitz 日立

清 浄度クラス10,000（連邦規格 Fed.Std.209D）のクリーンルームを備えた東海工場を中心とした国内 3 拠点をはじめ、国外 初の生産・販売・サービス拠 点として稼 働している韓国ブイテックス・コリア（平澤市）、米国ブイテックス・アメリカ（サンノゼ市）、そして、提 携会社と連携した台湾・中国・シンガポールでのサポート体制まで。ブイテックスでは、地理的条件に左右されない、「技術相談」「新製品提案」「アフターサービス」の 3 つを軸とした真空バルブ、超精密・微細加工製品のワンストップサービスを提供しています。

造 船グル ープのブイテックス。私 たちの真 空 バ ルブ、超 精 密・微 細 加 工 製 品 のひとつひとつが、お 客さまとのコミュニケーションの成 果です。

Since the company ʼs founding in 1949, as specialized valve manufacturer, “Hitz ” Hitachi Zosen Groupʼs VTEX
has been involved in “ vacuum” since the dawn of vacuum equipment. Each of our precision vacuum valvesis the result of communication with our customers.

We operate production, sales and service in Tokai Factory where is possessing a clean room of cleanliness class 10,000（federal
Standard Fed.Std.209D）including three other domestic locations and our first foreign location in V TEX Korea（Hirasawa city）. We havealso support in V TEX America（San Jose）and in Taiwan, China and Singapore where are cooperating with our partner companies. We
offer one-stop service of vacuum valves, ultra-precision and microfabricated products based on our three concepts of “TechnicalConsultation”, “New Products Proposal” and “After-Sales Service” that are not affected by geographical conditions.

PRODUCT
韓 国 Korea

台 湾 Tai w an

V TE X KORE A Co.,Ltd [VKC]

中国 China

代理店

スリットバ ルブ（無 摺 動タイプ）Slit Valve（Not Sliding type）

メンテ ナンスサ ポート

V TE X Shanghai Co.,Ltd [V S C]Valve

アメリカ US A
V TE X America Inc. [VAI]日本 Japan
東京本社

大阪支社

東海工場

東 舞 鶴 工 場 ( グル ープ 生 産 拠 点 )Ultra-High Vacuum Valve 超高・高 真 空 用バ ルブ

シンプルな部品構成で、最小限のフットプリントを実現。標準的な 200mmウェハーからG8 ガラス基板、さらには規格外の大口径 仕様まで、フランジ部分でも任意の形状対応が可能です。

A minimum footprint is achieved with a simple component configuration. From the standard 200 mm wafer to the G8 glass substrate
as well as the non-standard large diameter specification, the flange part can also correspond with any shapes.

コントロールバ ルブ Control Valve
当社のコントローラは、圧力センサを2 台まで接続でき、圧力・ポジションの高速制御が可能。
ペンドロールバルブAPCタイプとの組み合わせでコンダクタンスゼロ制御を実現します。

Our control valves can connect maximum two pressure sensors and high-speed control of pressure and position. This also make itpossible of conductance zero control by combining with Penduroll Valve APC type.

【ペンドロールバルブAPCタイプ】APC Penduroll valve【フローコントロールバルブ】Flow control valve

ゲートバ ルブ（リンク式）Gate Valve（Link Type）
標 準 動 作 回 数は 10,000 回、優れた耐久性とメンテナンス性を 兼 ね備えています。さらに弁 体シール 部にＯリングを標 準 採 用するなど、コスト面にも配 慮しています。

It has excellent durability and maintainability that can endure the standard operations of 10,000 cycles.This also considering the costby using O-ring to the valve seal part.

シンガポール Singapore【角型】Square/Rectangular【丸型】Round

メンテ ナンスサ ポート

特殊仕様バルブ、超精密・微細加工製品 Specific Specification Valve, Ultra-Precision and Microfabricated Products
オールメタルバルブ、FCV 高速シャッターバルブ、超高真空バルブなどの特殊仕様バルブ、超真空チャンバー、粒子線加速器、電子滅菌装置などの超精密・微細加工製品まで、産学官への幅広い納入実績があります。

We offer specific specification valves such as all metal valves, FCV（Fast Closing Valve）and ultra-vacuum valves and ultra-precisionand microfabricated products such as ultra-vacuum chamber, particle beam accelerator and we have a wide variety of delivery
record to the industry, academia and government.

V TEX Corporationwww.vtex.co.jp〒140-0013 東京都品川区南大井 6-21-12 大森プライムビル 5F
Tel：03-3765-4161 Fax：03-3765-4168

Head Office

6-21-12, Minamioi, Shinagawa-ku, Tokyo 140-0013, Japan
Tel：+81-3-3765-4161 Fax：+81-3-3765-4168

東海工場〒312-0003 茨城県ひたちなか市足崎 1263
Tel：029-285-0601 Fax：029-285-6776

Tokai Factory

1263 Tarazaki, Hitachinaka-shi, Ibaraki 312-0003, Japan
Tel：+81-29-285-0601 Fax：+81-29-285-6776

大阪支社〒541-0048 大阪府大阪市中央区瓦町 4-5-9 井門瓦町ビル 8F
Tel：06-6228-7150 Fax：06-6228-7153

Osaka Branch

4-5-9, Kawaramachi, Chuo-ku, Osaka 541-0048, Japan
Tel：+81-6-6228-7150 Fax：+81-6-6228-7153

東舞鶴工場〒625-0020 京都府舞鶴市字小倉 222-4
Tel：0773-65-4415 Fax：0773-65-4420

Higashi Maizuru Factory 222-4 Ogura, Maizuru-shi, Kyoto 625-0020 JAPAN
Tel：+81-773-65-4415 Fax：+81-773-65-4420

ブイテックスコリア株式会社

52, Oseongsandan 1-ro, Oseong-myeon, Pyeongtaek-si,Gyeonggi-do, 17818 Korea
Tel：+82-31-686-5381

V TEX KOREA Co.,Ltd

ブイテックスアメリカ株式会社

2880 Zanker Road #231, San Jose CA 95134 U.S.A.
Tel：+1-408-432-7277

V TEX America Inc.

2880 Zanker Road #231, San Jose CA 95134 U.S.A.
Tel：+1-408-432-7277

上海ブイテックス貿易株式会社

Room 1013,2201 Yan An West Road, Shanghai China 200336
Tel：+86-(0)21-6295-0800

V TEX Shanghai Co.,Ltd

Room 1013,2201 Yan An West Road, Shanghai China 200336
Tel：+86-(0)21-6295-0800

本社

52, Oseongsandan 1-ro, Oseong-myeon, Pyeongtaek-si,
Gyeonggi-do, 17818 Korea
Tel：+82-31-686-5381

プロセス装置 採 用 例 Example of installing process equipment❶ペンドロールバルブ・フローコントロールバルブ：真空ポンプ-チャンバー間のゲートバルブ、圧力制御可能なAPCタイプが使用されることもあります。
❷スリットバルブ・ゲートバルブ：ワーク（ウェハーやガラス基板etc）の出入り口として大気チャンバー間、チャンバー-チャンバー間の仕切りとして使用されます。
❶ Penduroll valve, Flow control valve: The gate valve between the vacuum pumpchambers and APC type which can control the pressure can be used.

❷ Slit valve・Gate valve：is used as a doorway of work（wafer or glass substrate etc.）

between the atmosphere and chamber or the partition between the two chambers.

現在主流のクラスター型チャンバーを例にすると、右図にある部分に使用されます。

The right drawing is an example where it is used on our main product, cluster shapechamber.

CONTACT DETAIL SAPPLICATION INDUSTRIES & TOOL（ EQUIPMENT ）TOOL（ EQUIPMENT ）グローブボックス

ALD

Glove box

真空炉

＊確 認仕 様 詳 細に関しては弊 社ホームページをご 覧 頂くか、担当者にご確 認ください。

Vacuum furnace

開 口 部サイズ、圧 力、使 用 流 体、温 度、そして各 部 品 の 材 質 変 更など。

When you send us a new inquiry, please specify the dimensions, temperature, fluid that related to the material selection and the port
size and sealing capability that related to the actuator type. If it is an exhaust system gate valves, please also specify the type andinstallation posture of valve. Please let us know if you need other options such as heater, cooling unit or special material usages and wewill send you our proposal to meet your requirements.

私 たち の 仕 事 は 聞くことからはじまりま す 。ご 希 望 の 納 期と予算 に
見 合 った 新 生 産 装 置 の 開 発 か ら 既 存 装 置 の 改 良 改 善 ま で 、ま ず は

ロール to
ロール装置

ご 希望の 仕 様 詳 細をお 聞 か せください。
Port size, pressure, fluid, temperature, material change of each part etc. our work
begins w ith l is tening. The development of f r om new pr oduc tion equipment
commensurate with the desired delivery date and budget to improvement of existing
equipment,First of all, please tell us the specification details of your choice.

ミニマムリー クレ ートの 卓 越した シール 性 か ら、様 々な 分 野 の 生 産 装 置 に 活 用 さ れ て い るブイテックスの 真 空 バ ルブ 。
進 化 の 速 度、多 様 性 に 対 応 する 信 頼 の 技 術 が、お 客 さ まの「実 現し た い」を可 能 にしま す。

真空蒸着
Vacuum evaporation＊Please see our website about the specification details or ask one of our staff.

仕 様 Specification details

Roll-to-Rollapparatus

INDUSTRIES

スペース
チャンバ

The excellent salability of from the minimum leak rate,
VTEX vacuum valve which is utilized in production equipment in various fields.
The technology of trust corresponding to the speed of evolution, diversity,
We will make it possible for customers to realize.

新 規でご 相 談 頂く場 合 の 必 須 項目は、駆 動タイプに関 わる開口部サイズ 及び 弁 体 の 締 切 能 力、温 度、材 質 選 定に関 わる使 用流 体、そして面 間 指 定。排 気 系ゲートバ ルブで はタイプ 指 定 及び 取 付 姿 勢などが加 わります。さらに、ヒータや冷 却ユ ニット、特 殊 材 使 用などのオプションが必 要かをヒアリングし、ご要 望に添った提 案をさせて頂きます。

Space chamber

開口サイズ

締切能力（ドア・正圧・逆圧）

使用温度

Port size

Closing capacity

Operating temperature

使用流体

寸法制限

オプションの有無

Fluid used

Dimension limit

Optional request

溶解炉
Melting furnace

バルブ仕様以外のご要望もお聞かせください。

Please tell us your request other than valve specifications.

エッチング
Etching

アッシング

Semi
Conductor

LCD

SolarCell

OLED

半導体

液晶ディスプレイ

太陽電池

有機発光ダイオード

放射光施設
Synchrotron
radiation facility

Quarz crystal
deviceHDD

Metallurgy

発光ダイオード

水晶デバイスハードディスクドライブ冶金Medical

Research&Development

Physics&ChemistrySpace

医療研究・開発

理化学

宇宙SEMスパッタリング
Sputtering

ドライ洗浄
Dry cleaning

PVD
CVD

エピタキシャル
成膜
Epitaxial film
formation

コスト
Cost

リードタイム台数

Lead time

Quantity

アフターサービス
After service

AshingLED

品質管理
Quality contorol

イオン注入

アニール

Ion implantation

Annealing