Chapter 2

価値創造ストーリー

半導体製造装置事業の特徴

成長の原動力と強み

AIやIoTの普及に伴いデータ社会への移行が加速し、半導体が担

取り組むコンソーシアムとも協働を進め、グローバルレベルで研究

当社は、創業時より大切にしているステークホルダーとの信用・信動力として培ってきました。これらの原動力により創出される強み

う役割はますます重要になってきています。デジタル技術の活用が開発を展開していく必要があります。そしてこれらの活動を継続的

頼を礎に独自のビジネスモデルを展開するとともに、「業界のリーを当社の事業活動における優位性として最大限に生かすことでささらに拡がり、大量かつ多様な半導体の需要が高まるとともにさらかつ確実に実施するための強固な経営・財務基盤も不可欠です。

ディングカンパニーとして育んだ豊かな技術力」や、「確かな技術らなる成長を図り、中長期的な利益の拡大と継続的な企業価値のなる高性能化も求められています。大容量化、高速化、信頼性の向さらに、装置の安定稼動を支える付加価値の高い技術サービス

サービスに基づくお客さまからの絶対的な信頼」、また「環境変化に向上に努めていきます。

上に加え、低消費電力の実現など半導体の技術革新がより一層進の提供に向けて、近年ではAIの活用などデジタルトランスフォー

柔軟かつ迅速に対応できる社員とそのチャレンジ精神」を成長の原展していくことが予測され、それを支える半導体製造装置の重要性

メーション (DX) の推進も積極的におこなわれています。

もさらに高まっています。

業界のリーディングカンパニーとして育んだ豊かな技術力

これらに加えて、事業活動においては、部品・材料の供給、装置

このように半導体の技術革新が製造装置市場の成長を牽引するの組み立てや調整、通関・物流などに関わるさまざまなサプライ

中、半導体製造装置メーカーが事業を継続的に展開していくため

ヤーと、パートナーシップに基づくサステナブルなサプライチェーには、さまざまな領域の専門性を駆使し、最高の性能を備えた装置

代にわたる研究開発をおこなうとともに、最先端の技術の創出に

1ンの構築も欠かすことはできません。

を開発することが極めて重要です。そのためお客さまとの確固たる信頼関係に基づきニーズを早期に把握し、将来を見据えた複数世

原動力

また、高性能・低消費電力の半導体開発への貢献や製造装置の生産性向上、事業所におけるオペレーションの効率化など、環境負荷低減への対応も半導体製造装置メーカーに求められています。

成長の
原動力

●

お客さまとの共同開発や世界屈指のコンソーシアムとの協業により革新的かつ多様な技術を創出し、付加価値の高いnext-generation productsを早期に市場に投入●

強固な経営・財務基盤のもと、最先端技術の創出を目指した積極的な研究開発投資●DXの推進による製品開発の最適化や効率化

確かな技術サービスに基づくお客さまからの絶対的な信頼
原動力

2

●

お客さまの唯一無二の戦略的パートナーになるため、顧客満足度の向上と信頼関係の構築に尽力●

お客さまの高度化・多様化する技術ニーズに対し、長年の実績に基づく付加価値の高い技術サービスをタイムリーに提供●

AIやデジタル技術を活用した遠隔保守サービスや装置の稼動データを用いた予知保全など、高効率かつ高品質なサービスの提供

環境変化に柔軟かつ迅速に対応できる社員とそのチャレンジ精神原動力

3

中長期視点での研究開発と、それを支える強固な経営・財務基盤

半導体の技術革新が製造装置市場の成長を牽引

技術革新を実現する最高の性能を備えた装置の開発

エレクトロニクスやメカニクス、プロセス、
ソフトウエアなど
さまざまな領域の専門性「企業の成長は人。社員は価値創出の源泉」という考えのもと、社員のやる気を重視した経営を推進●●

創業時から大切にしてきた企業文化や価値観および社員一人ひとりの心構えを行動規範としてまとめた「 TEL Values」の実践●

社員のエンゲージメントに関する調査の実施による課題の把握と施策の実行

半導体の微細加工に必要な成膜、塗布・現像、Only one エッチング、洗浄という連続した 4つのキープ
ロセスに製品をもつ世界で唯一のメーカー

1 00%
半導体製造装置メーカーに求められる要件

成膜

強み

No.1 /
No.2

エッチング

洗浄

半導体の進化に必要なEUV※1 露光用の塗布・現像のシェアが 1 00%※1 EUV: Extreme Ultraviolet 。半導体業界では特定の波長

13.5nmを使用した露光技術の総称

付加価値の高い
技術サービスの提供

塗布・現像

当社の製品群は各セグメントで強いポジションにあり、いずれも市場シェア※2
1 位もしくは2 位を獲得

塗布・現像

1位

1位

2位

1位

拡散炉※3

バッチ
成膜※3

メタル
成膜※3

塗布・現像

※2 当社推定 (2022 年)

EUV露光

2位

1位

プラズマ ガスケミカル
エッチング エッチング

2位

2位

洗浄※3

ウェーハ
プローバ

※3 各セグメントにおける当社の製品群: 拡散炉は熱処理成膜、バッチ成膜はALD (Atomic Layer Deposition) とCVD (Chemical Vapor Deposition) 、メタル成膜は枚葉成膜、洗浄は枚葉洗浄とバッチ洗浄をそれぞれ含む

お客さまとの確固たる信頼関係

サステナブルな
サプライチェーンの構築

環境負荷低減への対応

No.1

世界最大の出荷実績を通じて培ったお客さ
まとの絶対的信頼関係のもと展開する技術
サービスとマーケティング

世界装置出荷台数 ( 累計 ) 業界最大の88,000 台 4
年間約 6,000 台ずつ増加
約※4 2023 年3 月31 日現在

No.1

特許保有件数が半導体製造装置業界においてグローバルNo. 1※5 2023 年3 月31 日現在。

LexisNexis®PatentSight®データに基づき作成

11

東京エレクトロン 統合報告書 2023※

21,645 件 5
※

A社
B社
C社
D社

東京エレクトロン 統合報告書 2023

12

Chapter 2
価値創造ストーリー

マテリアリティ (重要分野)特定したマテリアリティ

マテリアリティの特定

マテリ
アリティ

当社は毎年、社会における課題や事業環境を把握し、リスクと機会

マテリアリティとしての意義●を検討するとともにステークホルダーからのご意見やご要望の整
付加価値の高いnext-generation products の継続的な創出

理をおこない、CEOが参加するコーポレートオフィサーズ・ミーティ
ングにおける討議・承認や取締役会での報告を経てマテリアリティを特定しています。革新的な技術を追求して当社の専門性を生かし、将来を見据えた付加価値の高いnext-generation productsを継続的に創出する「製品競争力」や、お客さまとの絶対的な信頼関係

絶対的な信頼関係
唯一無二の戦略的パートナー

製品
競争力
●

製品
競争力

顧客
対応力

オペレーションにより、経営効率を継続的に追求する「生産性向上」にそれぞれ取り組むとともに、利益に基づく強い財務基盤のもとこれらを支えるガバナンス、コンプライアンス、リスクマネジメントおよ

●

生産性
向上
経営基盤

顧客
対応力

び人的資本など「経営基盤」の充実を図っていきます。

P. 29 研究開発力の強化

イムリーかつ継続的に創出し提供していくことは、当社の中長期的な成長において不可欠

P. 29 Shift Left
P. 29 コンソーシアム・アカデミアとの協業

最先端技術を備えたnext-generation

P. 30 新規製品 / 新機能の開発

固な経営・財務基盤が必要のもと唯一無二の戦略的パートナーとして「顧客対応力」の強化を図るとともに、デジタル技術を生かした業務効率化や品質を優先した

半導体の技術革新を実現する付加価値の高いnext-generation productsをタ

productsを開発し続けるためには、強経営効率向上の追求●

お客さまとの絶対的な信頼関係を構築
し当社が唯一無二の戦略的パートナー
として、お客さまとともに半導体の技術
革新を追求していくことが当社の成長において不可欠お客さまの価値創造に寄与する最適なソリューションの提案や付加価値の高い

マテリアリティの特定プロセス

Best Technical Serviceを迅 速か つ 的

課題の認識

確に提供することなどにより、当社の経営理念の 1 つである顧客満足度のさらなステークホルダーエンゲージメント

マテリアリティの特定

主な取り組み (本報告書掲載ページ)

SDGsへの取り組み●

P. 29 プロダクトマーケティング●

P. 30 知的財産マネジメント

事業環境● データ社会への急速な移行に伴う半導体および半導体製造装置市場のさらなる拡大● 地球環境保全の対応● 人権尊重の取り組み● コーポレートガバナンスのさらなる強化

お客さま● お客さまの価値創造に寄与する最適なソリューションの提供● 安全と品質を重視し、環境に配慮した製品とサービスの展開

社会における重要性と事業における重要性からマテリアリティを特定●

バリューチェーンと関連するマテリアリ
ティの整理

●

●

●

各マテリアリティにおける年度目標の設定と取り組むSDGsの明確化※2●

コーポレートオフィサーズ・ミーティング
における討議・承認や取締役会での報告

生産性
向上

●

お取引先さま● 当社との協働による製品やサービスのさらなる付加価値の向上やサステナブルなサプライチェーンの構築
社員● 夢と活力に満ち、組織と個人における相互信頼のもと多様な人材が存分に能力を発揮し活躍できる職場環境の創出
地域社会● 地域の活性化や環境保全の推進● 投資や納税などによる財務的な貢献
行政機関・各種団体● 産業や社会の課題解決や発展に貢献する
ソリューションの提供● 法令や条例、業界行動規範などに合致した事業活動の展開※1 P. 69 リスクマネジメント 参照※2 詳細は当社ウェブサイト「サステナビリティ年度目標と実績」参照: www.tel.co.jp/sustainability/goals-and-results/index.html

社会における重要性

当社におけるリスクと主な取り組み● 中期経営計画に基づく強固な財務基盤の構築のため、グループ全体で横断的・網羅的な以下の重要リスクを特定
市場変動、研究開発、地政学、調達・生産・供給、安全、品質、環境対応、法令・規制、知的財産、情報セキュリティ、人材など● これらのリスクに対する主な取り組みを検討の上、展開※1

株主・投資家さま● 事業活動により創出した利益の還元● 中長期的な成長の実現と企業価値の向上

あらゆる事業活動において、業務の効率化や品質優先のオペレーションを実践することで経営効率を追求し、中長期的な利益の拡大と企業価値の向上を図ることが重要提案活動
P. 37 多様化する半導体市場への展開●

P. 38 顧客満足向上の取り組み
P. 41 フィールドエンジニアのグローバル化と顧客対応力の強化
P. 41 付加価値の高いサービスの推進●P. 42 継続的な装置サポートの取り組み

P. 30 マテリアルズ・インフォマティクスの活用
P. 33 ワールドクラスの製造オペレーションなどにより、製品の企画・開発段階から保守までのあらゆる面において生産性の向上に取り組むとともに、適切な経営判断を迅速におこなうことが競争優位性を確立することにおいて不可欠

P. 41 付加価値の高いサービスの推進

東京エレクトロン 統合報告書 2023●●

P. 57 品質P. 58 業務効率化と新たな価値の創造

安全・環境への配慮などにより、製品ライフサイクルを通じてサステ
ナブルな生産消費形態を確保

生産性の向上を追求し継続的に経営効率を高め、サステナブルな経済成長に寄与
バリューチェーン全体における業
務効率化や品質マネジメントを推進し、サステナブルな生産消費形
態を確保

P. 44 人材
P. 47 人権●事業における重要性

経営基盤●

上記 3 つのマテリアリティを軸とした事業活動を、根底で支える強靭で健全な経営基盤の充実を図ることが不可欠
コーポレートガバナンスやリスクマネジ
メント、安全、品質、コンプライアンス、
また人権、人的資本に関する取り組みなどを推進し、サステナブルなオペレー
ションを展開することが重要

P. 48 コンプライアンス
P. 50 サプライチェーンマネジメント
P. 51 環境
P. 56 安全P. 57 品質●P. 58 業務効率化と新たな価値の創造
P. 59 コーポレートガバナンス
P. 69 リスクマネジメント
P. 71 情報セキュリティ

13

最適なソリューションの提案や付加価値の高いサービスの提供により、お客さまのイノベーションの創出および価値創造に寄与

P. 30 新規製品 / 新機能の開発

Shift Leftの推進やデジタル技術の活用

特定した
マテリアリティ

環境に配慮した製品やサービスを提供することで、サステナブルな社会の構築に寄与P. 37 幅広い製品ラインアップを生かした

る向上に努めることが重要
社会における課題● 気候変動、人権問題、地政学上の対立、サプライチェーンマネジメント、サイバー
セキュリティ、物価高騰など

イノベーションの促進により革新的な技術を創出

●実効性の高いコーポレートガバナ
ンスの実践を軸に持続的な成長を実現する強固な経営基盤を構築
人権尊重の取り組みや環境への配慮により自社を含むサプライチェー
ンにおける価値創造を推進

東京エレクトロン 統合報告書 2023

14

Chapter 2
価値創造ストーリー

中期経営計画中期経営計画に関する主な取り組み

財務責任者メッセージ

当社は「最先端の技術と確かなサービスで、夢のある社会の発展

2023 年 3 月期にはさらなる成長を目指して「半導体の技術革新にに貢献します」という基本理念のもと、技術革新が速いエレクトロニ

貢献する夢と活力のある会社」という新たなビジョンを掲げるととも

クス産業の中で半導体製造装置のリーディングカンパニーとしてビに、中期経営計画を発表し、その達成に向けたさまざまな取り組み

ジネスを積極的に展開しています。60 周年を迎えるにあたり、を開始しています。

3 . 資本政策
当社は資本市場との対話を通じて、企業価値および資本効率の向上に継続的に取り組んでおります。また利益、キャッシュフ
ローの拡大により、株主還元を高めてまいります。具体的な内容

財務目標
中期経営計画においては将来の成長に向けて、ワールドクラスの川本 弘

財務目標 (達成時期: 2027 年3 月期)

営業利益率とROE (自己資本利益率) のさらなる向上を目指し

2027 年 3 月期をターゲットとした財務目標を設定しました。半導体の重要性がさらに高まり、半導体製造装置市場が今後も大きく成長
し続けることが予想される中、当社のマテリアリティとして定めた高

売上高

3 兆円以上

営業利益率

35%以上

常務執行役員ファイナンスユニットGM
当社が中長期的な利益の拡大と継続的な企業価値の向上を目指すにあたり、以下の成長戦略、財務戦略、い収益力に基づく強固な経営基盤のもと、製品競争力および顧客ROE

対応力の強化、また生産性の向上に努め、Best Products、Best

30%以上

資本政策、株主還元策を実践してまいります。

Technical Serviceを常に追求し、中長期的な利益の拡大と継続的

主な取り組み●資本コストや資本収益性を意識した最適な資本構成の実現●

キャッシュフロー拡大に基づく継続的かつ積極的な株主還元の実行
近年の高い利益成長の実績と将来に向けたさらなる成長への期待を背景に、当社の時価総額は高い伸びを示しており、2023 年 3 月末時点のPBR (株価純資産倍率) は 4.7 倍となりまに基づく優秀な人材の確保および育成、お客さまやお取引先

半導体市場の高い成長が期待される中、世界をリードする技

さまとの協業やその成果などから当社の企業価値が資本市場

術革新力を維持向上させることを目的に、中期経営計画期間でで評価された結果、純資産と比較して時価総額が大きく増加しある 2023 年 3 月期からの 5 年間では 1 兆円以上となる積極的なました。また当社は、2023 年 4 日 1 日付で普通株式 1 株を 3 株

分野でビジネスを展開

100,000 台以上となる出荷済装置のサポートに備え、遠隔保守

研究開発投資を継続してまいります。また、同時に研究開発強に株式分割いたしました。株式分割をおこない投資単位当た

将 来、お 客さまが 必 要とする高 付 加 価 値 のnext-generation

サービスおよび装置の稼動データやAIの活用による予知保全な化、生産能力の拡大､ 生産性向上に向けた設備投資を 5 年間累りの金額を引き下げることにより、より投資しやすい環境を整ど、高効率かつ高付加価値サービスの構築にも注力

計で4,000 億円以上おこなう予定です。

えました。

●

サプライチェーン全 体 に お ける地 球 環 境 の 保 全を目 指した

中期経営計画においては、売上高 3 兆円以上、営業利益率

4 . 株主還元策

2023 年 3 月期からの 5 年間で1 兆円以上の積極的な研究開発投資

E-COMPASSを展開。製品や事業所における環境への取り組みを35%以上、ROE30%以上を 2027 年 3 月期までに達成する中期を実施強化すべく2031 年3 月期までの中期環境目標とその達成に向けた財務目標を設定いたしました。前中期経営計画で達成した営業

ワールドクラスの中期財務目標を達成し、高水準の配当と機当社がこれまで出荷した業界最多となる約 88,000 台の装置をロードマップを策定し、さまざまな活動を実施。また 2050 年まで

利益率、資産効率をさらに高めキャッシュフローの拡大に努める

動的な自己株式の取得による株主還元を通して株主価値を高もとにパーツ販売やアップグレード改造、稼動率向上やお客さまの長期環境目標であるネットゼロの達成に向けて、温室効果ガス

ことで、持続的な成長を目指しROE向上など高い資本効率を追めていくことが、当社の基本的な考え方です。株主さまへの配当が生産するデバイスの歩留まり向上などの課題解決に努めるとの排出量実質ゼロを実現する取り組みを推進求します。そして強固な財務体質を維持しつつワールドクラスのにつきましては業績連動型を基本とし、親会社株主に帰属する利益の創出を目指していきます。

当期純利益に対する配当性向 50%を目処としております (ただともに、これらの高度なフィールドソリューションの提供を通じてし 1 株当たりの年間配当金は 50 円を下回らないこととし、2 期

コーポレートガバナンス
半導体製造装置市場は今後も高い成長が見込まれ、当社が事業

15●

アフターマーケットにおける収益拡大を図る。また今後、累積を提供●

自社の企業価値の的確な把握と株価や時価総額の評価

当社が得意とする分野、蓄積された技術、経営ノウハウが生きる

productsをいち早く市場に投入するとともに最良の技術サービス●●

した。積極的な株主還元方針、高水準の成長投資、経営戦略

1 . 成長戦略

な企業価値の向上を目指していきます。

●

は以下のとおりです。

2 . 財務戦略の経営をより一層促進していきます。

連続で当期利益を生まなかった場合は、配当金の見直しを検討

当社は高い成長ポテンシャルをもつ半導体製造装置業界のトッ

します ) 。自己株式の取得については現状のキャッシュポジショ

を展開する拠点数も現在の 18 の国と地域における 83 拠点から近い

当社では、2022 年6 月よりガバナンスのさらなる強化と迅速な意

プランナーとして大きな成長を遂げてきました。今後もこれまでにンや中長期的な成長投資資金、株価水準、総還元額の状況など

将来には 100 拠点を超えると予想しています。このような状況にお思決定ならびに機動的な業務執行を図るため、コーポレートオフィ

獲得したキャッシュを次の成長投資に有効活用し、成長が期待さに鑑み、機動的に実施することとしております。なお、2023 年5いて、持続的な成長を果たしていくためには、それを支えるコーポサー制度を導入しています。執行側の最高位の職位としてグループれる分野でのさらなる事業拡大を追求することで、中長期的な企

月 1 1 日に株式の総数 1,000 万株 (上限) 、取得価額 1,200 億円

レートガバナンスの充実に取り組むことが重要であると考えていま

全体の経営と業務執行の責任を有するコーポレートオフィサーは、業価値を高めていきます。そして中期財務目標の具現化に向け(上限) の自己株式取得を決議し、取得を開始しております。

す。常に最適で実効性が高く監督機能を確実に果たす取締役会を取締役会に出席し業務執行に関する説明をおこなうことで取締役会て、これをサポートする以下の財務戦略を実行してまいります。

目指すとともに、強い執行体制を整備し業務執行を支えるオペレーの執行側への適切な監督につなげるとともに、取締役会での議論を●

事業拡大を見据えた運転資金の確保による経営の安定化

ティングリズムを確実に展開することで、グローバルベースでの攻め適切かつスピーディーに業務執行に生かします。

●

強固な財務体質の維持

財務戦略を実行するとともに、資本市場との対話を通じて、企業●

適切なキャッシュアロケーション、バランスシート・マネジメントの追求

価値・株主価値の向上に寄与してまいります。

東京エレクトロン 統合報告書 2023

引き続き、当社のビジョンの実現と財務目標の達成に向けた

東京エレクトロン 統合報告書 2023

16

Chapter 2
価値創造ストーリー

継続的な企業価値の向上に関する重要指標
中期経営計画において、財務およびサステナビリティに関する指標を「継続的な企業価値の向上に関する重要指標」として明確にしています。
対象分野
財務
研究開発

事業所
環境
物流
製品

指標
売上高: 3 兆円以上

2027 年3 月期

社員

ワーク・ライフ・
バランス
ダイバーシティ、
エクイティ＆インク
ルージョン (DE＆I)

2027 年3 月期●

ROE: 30%以上

2027 年3 月期

●

32.3%

●

5 年間で1 兆円以上の研究開発費の投入による付加価値の高いnext-generation productsの継続的な創出

2027 年3 月期●

研究開発投資 1,91 1 億円●

中期経営計画における研究開発戦略のさらなる検討および実装●

CO2 総排出量: 70%削減 (2019 年3 月期比)2031 年3 月期

●

76%削減

●

さらなる削減について目標の再設定を検討●

再生可能エネルギー使用比率: 1 00%

2031 年3 月期

●

91%

●
●

P. 15-16 中期経営計画に関する主な取り組み 参照

事業活動によるエネルギー使用量の見える化や省エネルギー化の推進
非化石証書購入の推進や再生可能エネルギーの継続的な供給の確保●

各事業所におけるエネルギー使用量 (原単位) : 前期比 1 %削減

毎期●

1 1 事業所中、6 事業所において達成●

事業活動によるエネルギー使用量の見える化と省エネルギー化の推進

各事業所における水使用量 (原単位) : 各基準期水準を維持

毎期●13 目標中、9 目標において達成●

水使用量削減に関するアクションの立案と実施●

モーダルシフトおよび共同配送のさらなる推進による物流全体 (自社配送分) のCO2 排出量: 30%※削減

2027 年3 月期●

1 1.4%削減●

モーダルシフトと共同配送の拡大やEV車の導入※ 目標達成のため再設定●

製品の木材梱包の使用比率を50%以下に削減 (半導体製造装置の梱包)

2024 年3 月期

●

79.7%

●

評価の推進と対象顧客への説明および展開●

ウェーハ 1 枚当たりのCO2 排出量: 30%削減 (201 9 年3 月期比)2031 年3 月期●

20.8%削減●

対象装置の排出量削減の計画を前倒し実行

エンゲージメント・サーベイのスコア: 継続的な改善 (前回比スコア上昇) 、もしくは各地域における他社平均
値を超えるスコアを達成

毎回

●

●

●

●

●

社員の定着率※ 日本: 99% 海外: 業界平均以上

コーポレートガバナンス

●

毎期

●

●
●

2016年3月期から2023年3月期にかけて全体のスコアは18ポ
イント (前回比6ポイント) 上昇
日本: 99%
海外: 業界平均以上 (96%)

●
●
●
●

サーベイ結果分析による現状の課題抽出
社員のエンゲージメント意識向上のために必要なアクションの立案と実行
全社共通施策として退職理由分析プロセスを導入
退職リスクの大きな会社においては、
個別分析と特定済み対象層に向けた取り組みを推進

世代別、職種別のキャリア自律※に関する実態調査の実施と有効な施策の検討
マネージャークラスのキャリア自律※の理解度向上のための施策を実施※ キャリア自律: 個人が自分自身のキャリアについて考え、主体的にキャリア開発をおこなうこと●一人ひとりが上長や周囲のサポートを実感し、自分の将来 (キャリアパス) をイメージしながらやりたいことにチャレンジすることで、会社の成長や社会のために価値創出できる環境を構築

2027年3月期

有給休暇取得率 日本: ①80%
②90%
海外: 前期実績と同等以上

日本: ①2027年3月期②2031 年3月期
海外: 毎期

女性管理職比率 日本: 5%
グローバル: 8%

2027年3月期

日本: 2.7%● グローバル: 5.7%●

サプライチェーンサステナビリティアセスメントの実施率 資材系: 調達額の85%以上
物流系: 通関関連業者 100%
人材系: 派遣会社および請負会社 (構内請負) 100%

毎期●

資材系: 調達額の85%以上を達成
物流系: 通関関連業者 100%を達成● 人材系: 派遣会社および請負会社 (構内請負) 1 00%を達成●

アセスメントを踏まえた課題の把握と是正に向けたアクションの確実な実施

サプライチェーンBCPアセスメントの実施率

毎期●

アセスメントを踏まえた課題の把握と是正に向けたアクションの確実な実施

資材系: 調達額の85%以上

TCIR※ 0.10 以下 (業界グローバル 1 位)

※ TCIR: Total Case Incident Rate。労働時間20 万時間当たりの人身事故発生率●

東京エレクトロン 統合報告書 2023

●

●

●

17

28.0%

今後の取り組み

営業利益率: 35%以上●

リスクマネジメント

2 兆2,090 億円●

サプライチェーン
マネジメント安全2023 年3 月期実績●●

※ 定年などによる退職は除く

キャリア

達成時期

●

●

エンゲージメント

四半期レビュー会議にて定期的に進捗状況やアクションプランの確認をおこない、各指標における責任者のもとさまざまな活動を展開しています。

常に最適で実効性の高い取締役会と攻めの経営執行体制を構築し、取締役会の実効性評価や機関投資家などからの意見を踏まえた課題に継続的に取り組むことで、中長期的な企業価値向上と持続的成長に向けた強固なガバナンスを実現
1. 実効性の高い取締役会を目指して● 監査役会設置会社: 社外取締役比率 1 / 3 (女性2 名) 、監査役を含めた自由闊達な議論● オフサイトミーティング: 中長期的な戦略・課題などの議論 (年2 回)● CEO報告: 取締役会でCEO自ら重要な業務執行状況を報告 (毎取締役会)● CEOミッション: 中期経営計画達成に向けたCEOミッションの共有● 代表取締役評価クローズドセッション: 代表取締役を除く取締役・監査役によるセッション (年1 回)
2. 業務執行を支えるオペレーティングリズム● コーポレートオフィサーズ・ミーティング: 執行側の最高意思決定機関 (月 1 回)
● CSS (Corporate Senior Staff) ミーティング: 全社業務執行のグローバル横串の連携 (年4 回)● 四半期レビュー会議: 中期経営計画の進捗をモニタリング (年4 回)
強固な経営基盤を支える実効性の高いリスクマネジメント体制の構築とさらなる改善●「Safety, Quality and Compliance. Our top priority. Itʼs our pride.」の標語を掲げ、リスクマネジメント
およびコンプライアンス遵守を強化
本社コンプライアンス専任部署やチーフ・コンプライアンス・オフィサー、リージョナル・コンプライアンス・
ヘッドを設置するとともに外部機関によるアセスメントの実施や教育を展開● 執行側の最高意思決定機関であるコーポレートオフィサーズ・ミーティング、および取締役会への報告(年2 回) を通じて監督・モニタリングを実施● 当社グループ全体において適切な対策を確実に実施するため、
リスクマネジメント委員会を中心に事業を遂行する上で想定されるリスク (2024 年3 月期は12 項目のリスク) を特定し、各社の活動に展開● 安全・コンプライアンス・リスクマネジメントに関する啓発活動を継続的に実施し、全役員・全社員一人ひとりの意識、および自律的かつ具体的な取り組みを人事評価に反映●●●

新入社員から入社3年目の社員を対象としたキャリア教育の強化
日本: 70.0%
海外: 65.6% (前期実績 73.1%)

●

●

●
●

全社での取得促進に関するアナウンスの実施
各社における取得促進プランの検討と実行候補者へのメンタリング実施によるモチベーションの向上
各社にてエグゼクティブ座談会を実施しDE＆I に関する理解を深め経営層からのサポートを得る● キャリア面談やキャリアセミナーの実施によるパイプライン (人材育成計画) の維持
・拡大 (日本)●●

2027 年3 月期●

資材系: 調達額の85%以上を達成●

TCIR 0.33

安全非常事態宣言に伴う特別措置活動● 重点管理をおこなう人身事故の発生要因の深掘り● 安全特別監査 (現場の作業実態を把握)●

前期からの取り組みを継続
安全規程の周知● 作業内容に応じた適切な安全教育の強化● 技術部門への装置安全設計に関わる情報のフィードバックを徹底●●

1 . 実効性の高い取締役会を目指して

監査役会設置会社として、社外取締役比率を従来の 1 / 3(1 2 名中4 名) から 1 / 2 (6 名中3 名) に向上● オフサイトミーティング: 2 回● 取締役会で原則毎回、CEOによる業務執行に関する重要事
●

●

項を説明

毎期

●
●

CEOミッション: 取締役会メンバーと共有

代表取締役評価に関するクローズドセッション: 2 回

2. 業務執行を支えるオペレーティングリズム

コーポレートオフィサーズ・ミーティング: 14 回
CSSミーティング: 4 回● 四半期レビュー会議: 4 回●●

リスクマネジメント活動のDX 化を推進グループでのリスク特定・評価の効率化をおこなうとともに、
リスクマネジメントPDCAを強化● リスクマネジメント委員会を全社リスクマネジメント活動のPDCAを推進する常設機関として位置づけ、事業を遂行する上で想定されるリスクについて年2 回のモニタリングを実施● グループ会社における生産リスクやコーポレートリスクなど該当するリスクに対する活動計画の立案と実施。また、体制強化に向けて、本社とグループ会社間のコミュニケーションを強化● 外部機関によるコンプライアンスリスク評価を実施の上、コン
プライアンスプログラムを改善し実行● 倫理・コンプライアンス・リスクマネジメント研修の継続実施

当社が中長期的にグローバルNo.1 となるために、取締役会の監督機能および執行側の経営・執行機能のさらなる強化に向けて、以下の各事項に継続的に取り組むとともに、定期的に進捗をレビューすることで、その実効性をさらに高めていく● 中長期戦略や成長課題に沿ったアジェンダの計画的な設定と長期目線に立った議論の充実を図る● 執行側の最高意思決定機関であるコーポレートオフィサーズ・ミーティングの実効性をさらに高める● 取締役会の審議状況の分析や審議ポイントのさらなる明確化を図るとともに、取締役会やオフサイトミーティング以外の場での社外役員に対する情報提供機会の拡充を進める

●

●

毎期

グループ全社における実効性の高いリスクマネジメントPDCA態勢の確立、および事業遂行において想定される重要なリスクの早期発見と対策の確実な実行● 重大インシデント未然防止のための企業倫理・文化の継続的醸成とコンプライアンス態勢の確立● 教育研修の計画的な実行とさらなる改善● マネージャーを対象とした研修を重視し展開●

東京エレクトロン 統合報告書 2023

18

Chapter 2
価値創造ストーリー

半導体製造装置事業の展望
2022 年は社会のデジタルシフトの加速に伴い、ロジック / ファ
ウンドリにおける最先端の半導体に加え、車載や産業向け半導体などさまざまな分野における投資が活発におこなわれ、半導体の

半導体市場

■

1兆 米ドル以上 (2030 )(兆米ドル)

年

1 .0

DRAM

■

3Dシステムインテグレーション

DRAMにおいては 2 次元 (2D) の微細化をさらに進めるためのウェーハボンディング技術を用いた 3Dインテグレーションでは技術のみならず、高アスペクト比のキャパシタとコンタクトを形成す

NANDに加え、画素と信号処理回路を別々のウェーハで製造してボる技術の必要性も高まると考えられます。これらの技術には当社のンディングする積層型CMOSイメージセンサーの量産適用なども進

市場規模は5,740 億米ドルとなり、これに伴い半導体前工程におけ

0.8る製造装置市場は約 1,000 億米ドルとなりました。今後もデータ社

0.6

成膜、エッチング、洗浄装置が多く採用されていますが、さらなる高められています。またロジック回路に高容量メモリなどを 3D実装会への移行や脱炭素化に向けた半導体の技術革新の重要性から

0.4

密度化を実現するために、新たな製品やソリューションを継続的にし、デバイスの高速化や低消費電力化、高機能化を実現する 3Dシ

半導体市場はより一層拡大していくと見込まれ、2030 年には 1 兆

0.2

提供していきます。今後は 2Dの微細化が進むとともに、3D構造を

ステムインテグレーションの開発もおこなわれています。これらは、米ドルを超え現在の2 倍程度に成長することが予想されています。

0.0

採用した 3D DRAMへ移行していくと予想されます。3D DRAMにウェーハ同士で貼り合わせる場合と、動作実証済みのKGD※ 6 を貼

おいては、NANDの 2Dから3Dへの移行と同じように、リソグラフィ

り合わせる場合があります。当社は前工程で培った技術と経験を生による 2Dの微細化に代わり、縦方向への積層化がスケーリングを

かし、ウェーハボンディング装置やレーザエッジトリミング装置の提5,740 億米ドル (2022年)

1990

2000

2010

2020

2030 (年)Source: WSTS (1990-2022) / IBS, June 2023 (2023-2030)

半導体デバイステクノロジーの進化と事業機会
半導体市場や半導体製造装置市場のさらなる成長を支えるのトの低減や低消費電力化、高速化への要請が今後も高まることが牽引します。このため、特に、成膜やエッチングのプロセスにおけ供により、最先端デバイスやシステムレベルでの性能進化に貢献しは、半導体デバイスにおける技術革新です。ロジック / ファウンド

予想されます。当社は、幅広い製品ラインアップを生かし、競争優る重要性が増すことが見込まれます。

ます。

リ、NAND、DRAMの各アプリケーションにおいては、さらなる微位性の高いデバイス製造に貢献します。

※6 KGD: Known Good Die。信頼性も含めて品質保証されている半導体チップ

細化、高積層化によるトランジスタもしくはビット当たりの製造コス

お客さまとの協働による複数世代にわたる開発

半導体デバイスと当社の製品ラインアップ
ロジック

DRAM

NAND

微細化の技術的な難易度が増す中、最先端のメモリおよびロジッ

3Dシステムインテグレーション

ビジネス機会の獲得に努めています。

N+1 からN+4 の開発が同時に進められています。半導体製造装置

4 世代先までの開発と評価

メーカーとしてこのような開発・評価を半導体メーカーと継続する
ウェーハボンディング /デボンディング

熱処理成膜

ためには、高い技術開発力とエンジニアリングにおけるリソース、
そして強い財務基盤が求められます。
お客さまである半導体メーカーと当社はそれぞれの役割を担いながら長期の技術ロードマップを共創し、4 世代先までの技術の開ウェーハプローバ

※

ALD

枚葉成膜

塗布・現像

※ Atomic Layer Deposition■ ロジック

ガスケミカル
エッチング

プラズマ
エッチング

/ ファウンドリ

■

枚葉洗浄

NAND

使用しているウェーハを用いて評価をおこなうことで、装置性能お要性がますます増大しています。今後、さらなる微細化の実現に向け※ 1 リソグラフィ技術の量産への適用が進むと見込まれて高NA EUV工を実現するエッチング、高生産性の犠牲膜除去、3D構造におけ

2023 年には東京エレクトロン テクノロジーソリューションズのます。また、この高NA EUVによる微細化のみならず、さまざまな新る原子レベルの成膜技術などが必要となります。また容量の増加と穂坂事業所において、成膜およびガスケミカルエッチング装置の開規技術や構造が導入されていきます。トランジスタ構造においてともにデータ転送速度の高速化も求められており、その実現のた発やコーポレート開発をおこなう新開発棟を竣工しました。2025

は、3 次元 (3D) 型のFinFET※ 3、

めには周辺回路の性能向上が必要となりますが、メモリセル形成時) へ移行していくことが予想されます。配線技術においてに熱工程を用いることにより生じる性能やスケーリングにおける制は、Cuに代わる新規材料や、面積を有効活用しながら電源配線の約が問題となっています。これを解決するために、メモリセルと周抵抗を低減させる裏面配線の開発が進められています。当社の前辺回路を別々のウェーハで製造してボンディングする 3Dインテグ

工程向け装置やウェーハボンディング装置は、このような技術革新

レーション技術の量産化に向けた開発がおこなわれています。当の実現に貢献します。

社は、これらの技術要求に応えるべく、エッチング装置やALD装置、※1 高NA EUV: 次世代EUVを指し、NA (Numerical Aperture。開口数) を上げることによりウェーハボンディング装置のさらなる高性能化に努めています。

CFET

解像できる線幅を短くする露光技術※2 FinFET: Fin Field Effect Transistor。Fin (ヒレ) 状の3 次元構造のプロセス技術※3 GAA NS: Gate All Around Nanosheet。FinFETの次世代技術※5 アスペクト比: ウェーハ上に形成されたパターンの深さと幅の比

N+3
N+4

開発体制のさらなる強化数が増加します。これに伴い、高アスペクト比※5 の深い穴や溝の加(GAA NS

N+2

よびプロセスパフォーマンスを早期に実証しています。このような

3D NANDの積層化がさらに進み、今後 300 層、500 層と積層

※4

デモ評価 (当社)
デモ評価 (お客さま)量産

N+1発と評価を協働で実施しています。お客さまが製造工程で実際にパターニングが複雑化し、ユニットプロセス間の相互最適化の必※ 2 からさらに新しい構造

取り組みにより、高い付加価値をもつ製品を確実に創出し、新たなク / ファウンドリにおいては、量産世代であるN世代の評価に加え、当社では 4 世代先までの最先端技術の開発と評価を同時に進め

京エレクトロン九州において塗布・現像および洗浄装置の開発を担るため、開発体制のさらなる強化に努めています。

東京エレクトロン
テクノロジーソリューションズ
穂坂事業所 新開発棟
(2023 年7 月竣工)

東京エレクトロン宮城(2025 年春竣工予定)

年には東京エレクトロン宮城においてエッチング装置の開発を、東新開発棟

う新開発棟の稼動も計画しています。
持続的な成長を確実に実現していくために、今後も積極的な研究開発・設備投資を継続的におこなっていきます。

東京エレクトロン九州(2025 年夏竣工予定)

新開発棟※4 CFET: Complementary Field Effect Transistor。新構造のトランジスタ

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東京エレクトロン 統合報告書 2023

東京エレクトロン 統合報告書 2023

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Chapter 2
価値創造ストーリー

価値創造モデル
当社は保有する資本を最大限に生かし、研究開発、調達・製造、販売、据付・保守サービスの事業活動におけるバリューチェーンの展開を通じて、産業や社会の課題解決と発展に貢献する新たな価値を継続的に提供していきます。

INPUT (OUTCOME (投入資本) 2023 年3 月期

財務資本

財務資本

15,995 億円
自己資本比率 68.7%
総資産23,115 億円

売上高

純資産

成長の原動力業界のリーディングカンパニーとして育んだ 豊かな技術力
確かな技術サービスに基づく お客さまからの絶対的な信頼

製造資本
製造拠点 合計9 (国内6、海外3)

環境変化に柔軟かつ迅速に対応できる 社員とそのチャレンジ精神研究開発投資14 (国内7、海外7)
1,911 億円

88,000据付・保守サービス

研究開発

装置の安定稼動を支援
する、付加価値の高いサービスを迅速かつ的確に提供

研究開発力を継続的に強化し、革新的な独自技術をタイムリーに
創出

製品
競争力

従業員数
エンジニア比率

17,204 名
67.6%

継続的な成長お客さま

知的資本
革新的で付加価値の高い独自技術

1 位または2 位の製品ラインアップ

市場シェア

21,645 件

特許保有件数

人的資本

生産性
向上

定着率※

お客さまの唯一無二の戦略的パートナー
として、最適なソリュー
ションを提案

調達・製造
持続可能なサプライチェーンのもと、高品
質な製品をより効率的に製造価値創出の源泉である社員の成長意欲の向上とチャレンジ精神の発揮
エンゲージメントの高い社員によるステークホルダーとの信頼関係の構築
女性管理職比率※5.7% (グローバル)※ 高度専門職を含む

100%

サプライチェーンサステナビリティアセスメント改善率

30.5%(2022 年3 月期比)

事業活動を展開する地域における雇用機会の創出と国・地方自治体への納税エネルギー使用量
水使用量

21

東京エレクトロン 統合報告書 2023

TEL FOR GOOD※プログラム数

106,637 kL
1,495 千ｍ3

● 人材育成や雇用機会

地域社会

194 件

の創出、環境保全、納税 などを通じた 地 域
社会の活性化や持続的な発展※ TEL FOR GOOD: 当社の社会貢献活動を表すブランドネーム

OUTPUT

自然資本

半導体製造装置

自然資本と個人における相互信頼のもと存分に能力を発揮できる職場環境の創出

社会関係資本
顧客満足度調査「大変満足」
・「満足」回答割合※

社会関係資本● 夢と活力に満ち、組織社員

TEL UNIVERSITYによる人材開発

地域社会における事業活動の基盤● 当社との協働による取り扱い製品やサービスの付加価値の向上

96.2% (グローバル)※ ご回答いただいたすべてのお客さまのスコア平均値を設問ごとに算出

お取引先さまとの強固なパートナーシップの高いサプライチェー
ンにおける事業展開※ 離職率のデータを用いて算出

経営基盤

販売

生産性の向上 (稼動率や歩留まり) や環境負荷の低減

● サステナブルで競争力

お取引先さま顧客
対応力● 半導体の製造における半導体微細加工のキープロセスにおけるソリューション

グローバルに活躍できる人材

長年の実績に基づくお客さまとの信頼関係と企業価値の向上● お客さまの価値創造や

高効率かつ高品質なサービス

お客さまのご要望や技術動向

人的資本

0.33

装置の納期と据付スケジュールの遵守

半導体製造プロセスにおける幅広い知見と技術力蓄積された装置関連データ

た利益の還元● 中長期的な成長の実現

台 (年間出荷台数 約6,000 台)

安全第一のオペレーション TCIR

複数の領域における高い専門性とそれらを統合して製品化する能力

AIやナレッジマネジメントにより製造資本● 事業活動により創出しビ ジョン の 実 現 と 基 本 理 念 の 実 践

研究開発拠点 合計

株主・
投資家さま

影響

最先端技術を備えた高品質、高信頼性の製品

生産能力の増強と生産の平準化

知的資本

ステークホルダー

22,090 億円
営業利益率
28.0%
当期純利益
4,715 億円
ROE
32.3%
年間配当総額 2,679 億円 (配当性向56.6%)
累計出荷台数 約

新工場建屋や設備など製造に関する設備投資

製造オペレーションにおける長年培ったノウハウや実績

IMPACT

創出価値) 2023 年3 月期

フィールドソリューション

自社のCO2 排出量76%削減(2019 年3 月期比、再生可能エネルギーの使用によるCO2 排出量 132 千t 削減)
自社以外のCO2 排出量 (ウェーハ 1 枚当たり)

20.8%削減(2019 年3 月期比)廃棄物リサイクル率

98.5%● 法令や条例、業界行動

行政機関・
各種団体

規範などに遵守した事
業活動の展開● 当社との協働による産業や社会の課題解決や発展への取り組み

東京エレクトロン 統合報告書 2023

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Chapter 2
価値創造ストーリー

ステークホルダーエンゲージメント
ステークホルダーとのエンゲージメントの機会を積極的に設け相互コミュニケーションを推進することにより、当社への要請や期待を的確に把握し事業活動を展開しています。社会における役割と責任を確実に果たしていくことで、当社を取り巻くすべてのステークホルダーとの確固たる信頼関係の構築に努めています。

ステークホルダーとの関係性●●

ステークホルダーとの関係性

株主・投資家さまは、当社に資本を提供するとともに、建設的な対話や株主総会での議決権の行使を通して、株主・投資家さま視点でのご意見やご要望、当社への期待を明示
当社は、経営ビジョンや成長シナリオを共有するとともに、株主・投資家さまからいただいたご意見やご要望を経営に生かし、企業価値の向上を図る

株

事業活動により創出した利益の還元●

中長期的な成長の実現と企業価値の向上

資決算説明会 / 中期経営計画説明会 /IR Day● IRカンファレンス / IRロードショー※ /個別 IR 取材

お客
さま

●

●

お客さまは、当社が提供する半導体製造装置を購入するとともに、
それら装置のメンテナンスなどに必要なサービスを利用
当社は製品やサービスおよびソリューションの提供のみならず、お客さまと複数世代にわたる技術ロードマップを共創し、共同で技術
開発を実施

●

ステークホルダーへの提供価値
●

主

・

投

ま
家さ

株主総会

●

ステークホルダーへの提供価値

●

技術交流会

●

共同開発

●

最先端技術を備えたBest Products●

顧客満足度調査●

付加価値の高いBest Technical Service●

安全と品質を重視し、環境に配慮した製品やサービス●

多様なアプリケーションニーズに応えるソリューション

※ IRロードショー : 株主・投資家さまを直接訪問するIR活動

ステークホルダーとの関係性

当社は事業を展開する国や地域において、法令や条例、業界行動規範などを遵守した事業活動をおこなうとともに、社会の要請を的確に捉え、課題解決や
発展に貢献

●

●
●

●

●

政府・行政機関との連携
国際的なイニシアティブ
やNGOなどとの協働●

業界団体における活動●●

STQA※監査法令や条例、業界行動規範などを遵守した事業活動

地域社会は地場産業の発展や人材の育成などを図り、地域社会としての価値向上に努める
当社は事業を展開する地域において雇用機会の創出や環境保全の取り組み、納税などにより、地域社会の発展に貢献

ステークホルダーへの提供価値●

人材育成と雇用機会●

地域における環境保全の推進●

納税による財務的な貢献

23 東京エレクトロン 統合報告書 2023●

お取引先さまは、当社の事業運営において必要な資材や人材、また通関やロジスティクスなどの役務を提供
当社は、お取引先さまが提供する資材や役務などを購入するとともに、それらの開発や改善および品質向上に協働して取り組む。また
労働、環境、安全衛生、倫理などに配慮したサステナブルなサプラ
イチェーンを構築

ステークホルダーへの提供価値

産業や社会の課題解決や発展に貢献するソリューション

ステークホルダーとの関係性●

サステナビリティ
アセスメント●Assessment●●

TEL パートナーズデイ /TEL E-COMPASS Day

ステークホルダーとの関係性※ STQA: Supplier Total Quality

ステークホルダーへの提供価値●

生産動向説明会

お 取 引 先さま●

行政機関・各種団体は、法令や条例、業界行動規範などの遵守を企業に求めるとともに、企業と連携し産業全体および国や地域レベルでの発展を目指す

行政機関・各種団体●

TEL FOR GOOD (社会貢献活動)●

事業所見学会

●

環境報告会

●
●

●

●

当社との協働による製品やサービスのさらなる付加価値の向上●

半導体製造装置市場における事業機会●

サプライチェーン全体における健全性の維持や競争力の強化

社員集会
グローバル・エンゲージメント・
サーベイ
研修やワークショップ

ステークホルダーとの関係性
●

●

地
域
社会

社員は、個々の能力を生かし、また教育機会の活用などにより成長を図ることで、企業価値の向上に寄与
当社では社員のやる気を重視した経営のもと、エンゲージメントの向上を推進

ステークホルダーへの提供価値

社員●

夢と活力に満ち、組織と個人における相互信頼のもと存分に能力を発揮できる職場環境●

キャリア形成やスキルアップの機会●

公正な人事評価と成果に見合った報酬
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