Agilent
E4980Aプレシジョン
LCRメータ
20 Hz〜2 MHz

低周波インピーダンス測定の新たな基準

確度、速度、汎用性の最高の組み合わせインピーダンス測定の新たな基準
Agilent E4980AプレシジョンLCRメータ
は、最高の確度、速度、汎用性を兼ね備え、幅広いコンポーネント測定に対応しています。E4980Aは、高速測定と低／高インピーダンス両方のレンジで優れた性能を誇り、コンポーネントや材料の研究開発／製造テストに最適なツールです。

高速測定

正確な測定

E4980Aの優れた速度：● 5.6 ms（SHORT）2● 88 ms（MED）2● 220 ms
（LONG）2

低／高インピーダンス両方で超低雑音を実現し、インダクタ／コンデンサの特性を高い確度／再現性で評価。
● 0.05％の基本インピーダンス確度● 1/2/4 mのケーブル延長機能● オープン／ショート／ロード補正

高解像度LCDディスプレイ

鮮明で分かりやすい表示を実現す
る、フル7桁ディスプレイ／6種類の表示モード。

USBインタフェース（メモリ・デバイスのみ）

測定器ステート、データ・ログ、スクリーン・キャプチャのUSBメ
モリ・デバイスへの保存が簡単。

簡単で分かりやすい操作ソフトキー（Agilentの4284A LCRと同じインタフェース）、ワンタッチ・フロン
トパネル・キー、直観的なユーザ・インタフェースにより、簡単に測定可能。

LEDステータス・ライト

DCバイアス、DC電源、USBメモ
リのステータスの確認に便利。

DC電源

低雑音のDC電源ポートにより、測定の柔軟性が向上。追加のDC電源やマルチメータが不要。
● 0〜±10 V1

100 3V〜2 Vrms/20 Vrms1の可変テスト信号

デバイスのAC電圧特性を評価するための高信号レベルを提供。

DCバイアス

広いDC電圧バイアス・レンジの信号源を内蔵することにより、半導体ウェーハ、C、L、材料測定の正確なバイアス依存性を評価。
● 1.5 Vおよび2 V（標準）● 0〜±40 V1● 自動バイアス極性制御11. オプションE4980A-001が必要。
2. 1 MHzでの測定時間。補足情報。詳細については、
E4980Aのデータシート（カタログ番号5989-4435EN）
を参照してください。

2主な特長正確な測定汎用性

低／高インピーダンス両方で超低雑音を実現し、テストの品質が向上● 0.05％の基本インピーダンス確度● オープン／ショート／ロード補正● ケーブル延長機能（1/2/4 m）
高速測定1

高速測定によるスループットの向上、テスト・コストの削減● 5.6 ms
（SHORT）● 88 ms（MED）● 220 ms
（LONG）

20 Hz〜2 MHzのテスト周波数（全周波数で4桁の分解能）● 16個のインピーダンス・パラメータ● 100 mV〜2 Vrms、1 mA〜20 mAの可変テスト信号● 自動レベル制御● 201ポイントのリスト掃引●

オプションE4980A-001電源/DCバイアス拡張
●

●

●
●

0〜20 Vrms/100 mArmsのテスト信号
40 V DCバイアス（0.3 mVの分解能）
10 V DC電源内蔵
DC抵抗/DC電流/DC電圧測定機
能オプションE4980A-002バイアス電流
インタフェース／42841Aバイアス
電流源

DC電流バイアス：● 0.01 A〜20 A（42841A、42842Aと併用時）● 0.02 A〜40 A（42841A×2、42842B、42843Aと併用時）
LAN/USB/GPIBインタフェースを標準装備
小型軽量

小型で持ち運びが簡単● 370（幅）×105（高さ）×390（奥行）mm● 5.3 kg

柔軟なPC接続と高速転送● 10/100 Base-T LAN● USB（USBTMC）インタフェース● 信頼性の高い測定器の制御とテストの自動化を実現するGPIB

バイアス電流、ハンドラ、スキャナ・インタフェース（オプション）

以下の3つのインタフェース・オプションの中から2つを選択可能：● Agilent 42841Aバイアス電流源を接続するためのバイアス電流インタフェース（オプションE4980A-002）● ハ ン ド ラ ・ イ ン タ フ ェ ー ス（ オ プ シ ョ ンE4980A-201）● 128チャネル・スキャナ・インタフェース（オプションE4980A-301）

1. 1 MHzでの測定時間。補足情報。詳細については、E4980Aのデータシート（カタログ番号5989-4435EN）を参照してください。

3外部トリガ最高2 MHzまで正確で高速な測定
信頼性の高いデザイン／テストを実現する正確な測定
さまざまなインピーダンス測定

E4980A LCRメータは、あらゆるインピーダンス測定で最高の性能を発揮します。
今日の最新デバイスのテスト要件を満たすには、信頼できる測定性能が必要です。高速測定と優れた性能を低インピーダンスと高インピーダンスの両方で実現するのは、E4980Aだけです。損失係数の確度も優れています。

図1. 10％のインピーダンス測定の確度レンジ。
テスト信号1 Vrms、MEDモード、ケーブル0 m。

小さなESR／低インピーダンスの安定した測定

低消費電力の高速回路に対応するために、コンデンサの等価直列抵抗（ESR）はどんどん小さくなり、測定が困難になっています。E4980Aは、安定度の高い測定が可能です。

図2.

低インピーダンス測定（100 kHzで1 mΩ）。

図3.

高インピーダンス測定（1 MHzで1 pF）。

業界最高の速度と確度の組み合わせ
高速測定による製造スループットの向上●●

5.6 ms/ポイント（1 MHz、SHORTモード）188 ms/ポイント（1 MHz、MEDモード）1
220 ms/ポイント（1 MHz、LONGモード）1

測定時間モード

テスト周波数●

アベレージ機能（256回まで）測定の再現性を高めることができます。

測定時間
図4.

測定時間1：標準モデルのE4980Aと4284A

1. 1 MHzでの測定時間。補足情報。詳細については、E4980Aのデータシート（カタログ番号5989-4435EN）を参照してください。

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極めて正確な高インピーダンス測定

チップ・コンデンサや半導体ウェーハのキャパシタンス値は、今ではfFレンジまで低下しています。このため、歩留まりやデザインの信頼性を高めるには、非常に安定した正確な高インピーダン
ス測定が必要です。Agilentのこれまでの業界標準のLCRメータ（4284A）を凌ぐE4980Aは、低キャパシタンス・デバイスの測定の安定性をさらに高めます。

アプリケーション・ニーズに対応する柔軟な測定機能
テストの信頼性／効率を高める高度な機能

図5.

図6.

リスト掃引モード。

図7.

DC抵抗測定。

図8.

DC電源を使った測定。

6種類の表示モードを選択可能。

40 V DCバイアス（オプション001）

DCバイアス電源（±40 Vdc/100 mA）の内蔵により、正確なDCバイアス対インピーダンスの評価が行えます。
6種類の便利な表示モード

測定ニーズに合わせて、6種類の表示モードの中から1つを選択します。
● ノーマル データ・オーバビューの表示● ラージ・ディスプレイ 判読しやすい表示● BIN番号 測定比較／デバイス分類のための表示● BINカウント 統計データの表示● リスト掃引 連続データの表示● ブ ラ ン ク ・ ペ ー ジ 最高速の表示（ディスプレイをオフにして、リフレッシュ時間を短縮）。
201ポイントのリスト掃引

周波数、測定範囲、入力信号条件をリスト・パラメータ（最大201ポイント）として設定できます。2つのパラメータを独立に選択して、さまざまな測定条件でテストすることができます。

DC電源（オプション001）

DC電源ポートが追加され、さまざまなDCアプリケーションを1台で処理することができます。例えば、3つのターミナ
ル・デバイスの測定が1台で可能になり、DUTの制御、バイアスの印加、デバイスの制御が同時に行えます。
40 A DC電流バイアス（E4980A-002とAgilent 42841Aを併用）

E4980A-002とAgilent 42841A外部DC電流源で、広い周波数レンジ（20 Hz〜2MHz）のDC電流バイアス評価システム（最大40 A DC）を構築でき、高確度、高効率のDC電流バイアス・インダクタン
ス測定が可能です。

E4980A電源/DCバイアス拡張（オプションE4980A-001）
20 Vrmsテスト信号（オプション001）

最大20 Vrms、100 mArmsの強力なACテスト信号を提供します。外部増幅器がなくても、ACレベルの依存性を評価できます。
DCパラメータ測定（オプション001）

インピーダンスに加えて、DC抵抗、DC電流、またはDC電圧も同時に測定できます。インダクタ測定の場合は、LsパラメータとRdcパラメータを同時に測定できます。キャパシタンスの評価に、漏れ電流測定を用いることができます。

図9. 42841Aバイアス電流源/42842Aバイア
ス電流テスト・フィクスチャを搭載したE4980ALCR。

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期待を上回る生産性
さまざまなテスト・フィクスチャのサポート

E4980Aは、30種類以上のフィクスチャをサポートし、材料からSMDコンポーネントまで、さまざまな評価ニーズに対応できます。また、内蔵の補正機能により、テスト・フィクスチャの影響を最小限に抑えることができます。
USBメモリのサポート

フロント・パネルのUSBメモリ・インタ
フェースを用いれば、ステート・ファ
イル、測定ログ・データ、表示イメージを外部USBメモリ・デバイス（記憶装置）に簡単に保存できます。

E4980A LCRはさまざまなテスト・フィクスチャをサポートしています。

図12.

E4980A LCRは、コンピュータとWebブラウザを使ってLANから制御可能USB記憶装置の使用例。

PCとの接続GPIB/LAN/USBコントロール・インタフ
ェースが標準装備され、さまざまな方法で本器を制御できます。LANを使用
すると、コンピュータとWebブラウザを使って制御できます。
スキャナ／ハンドラ・インタフェース・オプション

E4980Aには、ハンドラ・システムに統合するために光アイソレートされた9BINハンドラ（オプション201）とコンポーネント・スキャナに便利な128チャネルのスキャナ・インタフェース（オプション301）が用意されています。どちらのインタフェースも、他のLCR機器（4284A/88A/87Aなど）に標準で対応し、システムに簡単に統合できます。また
マルチ補正機能を使用すると、オープン／ショート／ロード補正を行い、各スキャナ・チャネルで個別にスキャン測定が行えます。このため、チャネル間の測定値のばらつきが最小限に抑えられ、システム全体の測定確度が向上します。

エントリ・モデル（オプションE4980A-005）
測定速度が重要でないお客様のために、エントリ・モデルをご用意しています。
エントリ・モデルは、同じレベルの確度を備えていますが、測定速度は標準モデルの1/2〜1/5です。

テスト時間モード

テスト周波数

図11.

図10.

測定時間
図13. 測定速度の比較：標準モデルのE4980A とエントリ・モデルのE4980A-005 と4284A

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4284A/4279A LCRユーザにさらに大きな価値をもたらすE4980A！
テスト効率の向上

移行を容易にする高い互換性

Agilent 4284AプレシジョンLCRメータと4279A 1 MHz C-Vメータは共に、インピーダンス測定の業界標準機器として長い間使用されてきました。

E4980Aのほとんどすべての機能が、4284Aや4279Aと互換性があり、E4980Aへの移行が簡単に行えます。詳細な移行情報については、以下のWebサイトで提供 さ れ て い る Technical Overview
E4980Aは、これらの測定器よりも、さ 『Migrating from an Agilent 4284A to anAgilent E4980A Precision LCR Meter』おらに高速／高確度の測定が行え、さらによび『Migrating from an Agilent 4279A to
高度な機能を兼ね備え、測定効率が向上するだけでなく、作業も容易になります。 an Agilent E4980A Precision LCR Meter』
を参照してください。
www.agilent.co.jp/find/E4980A

主な仕様と機能の互換性
E4980AプレシジョンLCR

4284AプレシジョンLCR

4279A C-Vメータ

周波数20 Hz〜2 MHz

20 Hz〜1 MHz

1 MHz

テスト信号レベル0〜2 Vrms/0〜20 mArms
0〜20 Vrms/0〜100 mArms1

0〜2 Vrms/0〜20 mArms
0〜20 Vrms/0〜200 mArms2

20 mVrms、50 mVrms、
100 mVrms、200 mVrms、
500 mVrms、1 Vrms

自動レベル制御（ALC）

ありあり

なし

DCバイアス機能

1.5 V、2 V（内蔵）±40 V1

1.5 V、2 V（内蔵）±40 V2±38（内蔵）V
外部バイアス入力

DC電源±10 V1

なし

なし

プログラマブル・リスト掃引

201ポイント

10ポイント51ポイント

リモート制御GPIB、LAN、USB

GPIB

GPIB

Webブラウザ制御

あり

なし

なし

制御コマンド

4284Aと互換

4284A固有4279A固有基本確度

0.1％（SHORT）
0.05％（MED/LONG）

0.1％（SHORT）
0.05％（MED/LONG）

0.1％（SHORT）

パラメータ

Cp-D/Q/G/Rp、Cs-D/Q/Rs、
Lp-D/Q/G/Rp、Ls-D/Q/Rs、
R-X、Z-0d/0r、G-B、Y-0d/0r、
Lp-Rdc1、Ls-Rdc1、Vdc-ldc1

Cp-D/Q/G/Rp、Cs-D/Q/Rs、
Lp-D/Q/G/Rp、Ls-D/Q/Rs、R-X、Z-0d/0r、G-B、Y-0d/0r

C-D/Q/ESR/G

測定時間モード（SHORT/MED）

標準モデル
330 ms/380 ms（20 Hz）
100 ms/180 ms（100 Hz）
20 ms/110 ms（1 kHz）
7.7 ms/92 ms（10 kHz）
5.7 ms/89 ms（100 kHz）
5.6 ms/88 ms（1 MHz）
5.6 ms/88 ms（2 MHz）

1500 ms/1500 ms（20 Hz）
270 ms/400 ms（100 Hz）
40 ms/190 ms（1 kHz）
30 ms/180 ms（10 kHz）
30 ms/180 ms（100 kHz）
30 ms/180 ms（1 MHz）

10 ms（1 MHz、リスト・モード、バイアスON）

エントリ・モデル
1040 ms/1150 ms（20 Hz）
240 ms/380 ms（100 Hz）
37 ms/200 ms（1 kHz）
25 ms/180 ms（10 kHz）
23 ms/180 ms（100 kHz）
23 ms/180 ms（1 MHz）
23 ms/180 ms（2 MHz）
記憶装置

内部/USBメモリ

内部／メモリ・カード

内部

ケーブル長

0、1、2、4 m

0、1、23、43 m

0、1、2 mキャビネット寸法（mm）

370（幅）×105（高さ）×390（奥行）mm

426（幅）×177（高さ）×498（奥行）mm

426（幅）×177（高さ）×498（奥行）mm

質量5.3 kg

15 kg

15 kg

1. オプションE4980A-001が必要。
2. オプション4284A-001が必要。
3. オプション4284A-006が必要。

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アジレント・テクノロジー株 式 会 社

オーダ情報

本 社〒192-8510 東 京 都八 王子 市 高 倉 町 9-1
プレシジョンLCRメータ、20 Hz〜2MHz（最高の確度と速度）
E4980A-005 エントリ・モデル・プレシジョン
LCRメータ、20 Hz〜2 MHz（同じ確度、低速）
E4980A

計測お客様窓口
受付時間 9:00-19:00（土・日・祭日を除く）

FAX 、E-mail 、Web は 24 時間受け付けています。

電源/DCバイアス拡張オプション
E4980A-001 電源／DCバイアス拡張

その他のオプション
ハードコピー・ユーザーズ・
E4980A-ABAインタフェース・オプション

E4980A-ABJ

ハードコピー・ユーザーズ・
ガイドの追加（日本語版）

TEL ■■ 0120-421-345(042-656-7832)
FAX ■■ 0120-421-678(042-656-7840)

E4980A-1A7
E4980A-1CM1

ISO 17025準拠の校正の追加

Emailガイドの追加（英語版）

E4980A-710 インタフェースなし
E4980A-002 バイアス電流インタフェース

ラック・マウント・キットの追加

E4980A-201 ハンドラ・インタフェースcontact_japan@agilent.com

電子計測ホームページ

www.agilent.co.jp/find/tm

E4980A-301 スキャナ・インタフェース● 記載事項は変更になる場合があります。

電源/DCバイアス関連のオプション（標準とオプションの2種類を用意しています）

ご発注の際はご確認ください。

機能

E4980A標準モデル

E4980A-001電源/DCバイアス拡張

ACテスト信号0〜2 Vrms、20 mArms

0〜20 Vrms、100 mArms

DCバイアス

1.5 V、2V0〜±40 V、±100 mA

DC電源−あり（0〜±10 V）

DC抵抗/DC電流/DC電圧測定−あり

自動バイアス極性制御−あり

Copyright 2006
アジレント・テクノロジー株式会社

インタフェース関連のオプション（以下の4つのオプションの中から2つを選択可能）2
オプション

E4980A-710
インタフェースなし

E4980A-002
バイアス電流インタフェース

機能

ブランク・パネル 42841Aバイアス電流源の制御 ハンドラ・システムへの接続

Webリソース
その他の製品情報／カタログについては、E4980AのWebサイトをご覧ください。
www.agilent.co.jp/find/E4980A
LCRメータwww.agilent.co.jp/find/LCRmeters
インピーダンス・アナライザ
www.agilent.co.jp/find/impedance

E4980A-201
ハンドラ・インタフェース

E4980A-301
スキャナ・インタフェース
スキャナ・システム
への接続

Agilent Openwww.agilent.co.jp/find/open
Agilentは、テスト・システムの接続とプログラミングのプロセスを簡素化することにより、電子製品の設計、検証、製造に携わるエンジニアを支援します。Agilentの広範囲のシステム対応
測定器、オープン・インダストリ・ソフトウェ
ア、PC標準I/O、ワールドワイドのサポートは、テスト・システムの開発を加速します。

電子計測UPDATE

www.agilent.co.jp/find/agilentdirect
測定器ソリューションを迅速に選択して、使用できます。

1. 輸送用ハンドルは標準オプションに含まれています。
2. 2種類のインタフェース・オプションを選択して、必ずリア・パネルの2つのインタフェース・スロットを埋めてください（E4980A002/201/301/710）。ただし、GPIBインタフェースだけが必要な場合は、ブランク・パネ
ルを2つ（E4980A-710インタフェースなし「ブランク・パネル」×2）を選択することができます。

Agilent Direct
www.agilent.co.jp/find/agilentdirect
測定器ソリューションを迅速に選択して、使用できます。

March 6, 2006

5989-4235JAJP
0000-00DEP