SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbarSKY® CDG045D - 45°C - Unprecedented Full Scale Stability
INFICON SKY CDG045D 압력계는 매우 정확한 전체 압력 측정 및제어를 위한 최상의 선택입니다. CDG045D 게이지는 뛰어난 신호안정성과 반복성을 위해 45°C에서 제어된 온도입니다. 이 게이지는 모든일반 플랜지 유형과 필드버스 인터페이스를 사용하는50mTorr~1000Torr의 전체 규모 범위에 사용할 수 있으며, 가스 종류에상관 없이 선형 0~10V 압력 신호를 제공합니다. INFICON 용량형압력계는 부식 방지되는 초고순도의 알루미나 세라믹 격막을사용합니다. 세라믹 센서의 장점은 신호 안정성 향상, 대기에서 더빨라진 복구, 짧은 예열 시간 및 이례적인 수명입니다. INFICON CDG는까다로운 진공 응용 분야에 적합한 고품질의 경제적인 압력 센서입니다.

장점nCoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비n간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준n손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능n신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트n

2년 보증, 고급 가열 개념을 이용한 수명 연장 및 게이지 보호n열악한 플라즈마 응용 분야에서도 탁월한 신호 안정성과 반복성으로 인해 장기간 재교정 없음n준수 및 표준: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

1SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar - SKY® CDG045D - 45°C - Unprecedented Full
Scale Stability주문 정보2SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar - SKY® CDG045D - 45°C - Unprecedented Full
Scale Stability사양유형1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05Torr / mbar% of reading

0.15

0.15

0.15

percent FS/°C

0.00250.00250.005

스팬% of reading / °C

0.01

0.010.01최대 압력

kPa (absolute)

400

260

130

해상도

percent FS

0.003

0.003

0.003

최저 측정값

percent FS

0.01

0.01

0.01

권장 최저 측정값percent FS

0.05

0.05

0.05

최저 권장 제어 압력

percent FS

0.5

0.50.5정확성 (1)온도 영향제로온도 영향온도
작동(주변)°C+10 … +40

+10 … +40

+10 … +40플랜지에서 베이크 아웃°C

≤110

≤110

≤110

보관

°C

–20 … +65

–20 … +65

–20 … +65

+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)

공급 전압전력 소모량히팅 하는 동안W≤12≤12≤12작동 온도W≤8≤8≤8출력신호(아날로그)V (dc)

0 … +100 … +100 … +10응답 시간 (2)

ms30

30

130 / 30 ⁽³⁾

IP 40

IP 40

IP 40

보호 수준
표준
CE 준수

EN 61000‑6‑2/-6-3, EN EN 61000‑6‑2/-6-3, EN EN 61000‑6‑2/-6-3, EN
61010 & RoHS
61010 & RoHS
61010 & RoHSETL 인증

UL 61010‑1, CSA 22.2 UL 61010‑1, CSA 22.2 UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1
No.61010‑1
No.61010‑1SEMI 준수SEMI S2SEMI S2

SEMI S2

D-sub, 15 pole, male

D-sub, 15 pole, male

D-sub, 15 pole, male

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

V (dc)≤30≤30≤30A (dc)

≤0.5

≤0.5

≤0.5

전기 연결셋포인트
셋포인트 개수셋포인트릴레이 접점셋포인트릴레이 접점3

SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar - SKY® CDG045D - 45°C - Unprecedented Full
Scale Stability사양유형1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05Torr / mbar

111

RS232-C

RS232-C

RS232-C읽기pressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID설정set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset진공에 노출된 재료

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

셋포인트히스테리시스

percent FS진단 포트프로토콜내부 용적내부 볼륨 1/2" 튜브

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

내부 볼륨 DN 16 ISO KF

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

내부 볼륨 DN 16 CF-R

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

내부 볼륨 8 VCR®

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

무게무게 1/2" 튜브g

837

837

837

무게 DN 16 ISO KF

g

852

852

852

무게 DN 16 CF-R

g

875

875

875

Weight 4 VCR® female

g

877

877

877

Weight 4 VCR® male

g

861

861

861

무게 8 VCR®

g

897

897

897

Weight 8 VCR® female
longg

912

912

912

EtherCAT프로토콜 EtherCAT

protocol specialized for protocol specialized for protocol specialized for
EtherCAT
EtherCAT
EtherCAT통신 표준

ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
DeviceDeviceDeviceProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
Device Profile:
Device Profile:
Device Profile:
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge노드 주소4

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification

SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar - SKY® CDG045D - 45°C - Unprecedented Full
Scale Stability

Explicit Device
Identification사양유형1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05Torr / mbar물리적 레이어

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

디지털 기능 읽기pressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID디지털 기능 설정

set points, filter, zeroset points, filter, zeroset points, filter, zeroadjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset

사서함(CoE)SDO requests,responses andinformation

SDO requests,responses andinformation

SDO requests,
responses andinformation프로세스 데이터

Fixed PDO mapping
Fixed PDO mapping
Fixed PDO mappingand configurable PDO and configurable PDO and configurable PDO
mapping
mapping
mapping

EtherCAT 커넥터

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT케이블shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)

EtherCAT케이블 길이m (ft.)

ProfinetCommunication protocol
Data rate

protocol specalized for protocol specalized for protocol specalized forProfinet
Profinet
Profinet
100 Mbps

100 Mbps

100 Mbps

Physical layer

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

Digital functions readpressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID

Digital functions set

set points, filter, zeroset points, filter, zeroset points, filter, zeroadjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset

Profinet connector

2 x RJ45, 8-pin
2 x RJ45, 8-pin2 x RJ45, 8-pin(socket), input & output (socket), input & output (socket), input & output

Profinet Cable

Special Ethernet Patch Special Ethernet Patch Special Ethernet Patch
Cable or Crossover
Cable or Crossover
Cable or Crossover
Cable, shielded
Cable, shielded
Cable, shielded(CAT5e quality or(CAT5e quality or(CAT5e quality orhigher)
higher)higher)

Cable lenght<100 m (330 ft)<100 m (330 ft)<100 m (330 ft)

DeviceNet™, group 2
slave only

DeviceNet™, group 2
slave only

DeviceNet™, group 2
slave only디바이스넷프로토콜5SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar - SKY® CDG045D - 45°C - Unprecedented Full
Scale Stability사양유형1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05Torr / mbar

MAC ID

address 00 - 63 byswitch or network
programmableaddress 00 - 63 byswitch or network
programmableaddress 00 - 63 byswitch or network
programmable디지털 기능 읽기pressure, status, ID

pressure, status, IDpressure, status, ID디지털 기능 설정

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,DC offset

사양DeviceNet™ "Vacuum DeviceNet™ "Vacuum DeviceNet™ "Vacuum
Gauge Device Profile" Gauge Device Profile" Gauge Device Profile"(ODVA)(ODVA)(ODVA)

장치 유형''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge

polling only

polling only

polling only

D-sub 커넥터에서 게이지공급 전압+14 … +30 VDC or±15 V / ≤12 W+14 … +30 VDC or±15 V / ≤12 W+14 … +30 VDC or±15 V / ≤12 W

마이크로스타일 커넥터에서디바이스넷 트랜시버 공급전압

24 V nom / <2 W (11… 25 V)

24 V nom / <2 W (11… 25 V)

24 V nom / <2 W (11… 25 V)디바이스넷 커넥터microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male

CDG 커넥터(아날로그 출력,공급 전압 CDG, 셋포인트)D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, malekBaud

125, 250, 500 by
switch or network
programmable

125, 250, 500 by
switch or network
programmable

125, 250, 500 by
switch or network
programmable케이블 길이 125kbps

m (ft.)

500 (1650)

500 (1650)

500 (1650)

케이블 길이 250kbps

m (ft.)

250 (825)

250 (825)

250 (825)케이블 길이 500kbps

m (ft.)

100 (330)

100 (330)

100 (330)kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

Mbaud

1.5 / 12

1.5 / 12

1.5 / 12주소address 00 - 125 byswitch or network
programmableaddress 00 - 125 byswitch or network
programmableaddress 00 - 125 byswitch or network
programmable디지털 기능 읽기pressure, status, IDpressure, status, ID

pressure, status, ID

I/O 슬레이브 메시징디바이스넷데이터 속도디바이스넷Profibus DP전송 속도Profibus DP전송 속도Profibus DP6SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar - SKY® CDG045D - 45°C - Unprecedented Full
Scale Stability사양유형1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.05Torr / mbar디지털 기능 설정

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

Profibus DP 커넥터

D-sub, 9 pin, female

D-sub, 9 pin, female

D-sub, 9 pin, female

CDG 커넥터(아날로그 출력,공급 전압, 셋포인트)D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, male

4-20mA current loop (analog)
Signal range

mA

3.8 ... 20.2

3.8 ... 20.2

3.8 ... 20.2

Measuring range (zero...FS)mA

4.0 ... 20.0

4.0 ... 20.0

4.0 ... 20.0

Loaded impedance RLΩtypical 500Ω ±1%
24±3 V (dc) (5)typical 500Ω ±1%
24±3 V (dc) (5)typical 500Ω ±1%
24±3 V (dc) (5)Loaded impedance
absoluteΩ

309 ... 657 Ω at 24 V(dc) (5)309 ... 657 Ω at 24 V(dc) (5)309 ... 657 Ω at 24 V(dc) (5)4-20mA current loop (analog)(1) 2시간 작동 후 온도 효과 없이 25°C 주변 작동 온도에서비선형성, 이력현상, 반복성.
(2) 10 … 90% FS 증가(3) 압력 제어 유형 전용(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

7SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar - SKY® CDG045D - 45°C - Unprecedented Full
Scale Stability크기

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