会社案内
Company Proﬁle

YGK株式会社 山梨技術工房
YGK CORPORATION先端産業から環境まで確かな「ものづくり」で次世代社会に貢献します。
Contribution to next generation by reliable manufacturing.

「ものづくり」
Reliablemanufacturing

創造技術Creation

Technology製造Manufacture● 弊社駐車場からの富士山写真

Mt.Fuji photo was taken from the parking lot in our company.

独自技術で新たな価値を創造し、お客様のご要望にお応え致します。
Satisfy customer demand by creating new value on own unique technology.

会社概要

Corporation proﬁle●社

名 ／ 株式会社 山梨技術工房●住所 ／ 〒400-0311 山梨県南アルプス市曲輪田595-2●設立 ／ 1994 年４月● 代表取締役 ／ 高石TEL.055-284-6866

FAX.055-284-6867修二● 資 本 金 ／ 2, 500万円● 業 務 内 容 ／ 半導体関連異物検査装置の設計〜販売
その他各種検査装置の設計〜販売
静電気関連／ 気中／液中パーティクル検査装置の設計〜販売● Company Name：YGK CORPORATION● Location：595-2, Kuruwada, Minami-Alps city, Yamanashi 400-0311, Japan● Telephone：TEL.055-284-6866 FAX.055-284-6867● Established：April 1994

● President：Shuji Takaishi● Capital：JP¥25,000,000.―● Products：Inspection system for semiconductor
Particle counter for airbome and liquid-bome

主要取引先（納入先）
国立極地研究所 ／ 福岡大学 ／ 山梨大学 ／ アルプス電気㈱ ／ T D K ㈱ ／ キヤノン㈱ ／ 信越化学工業㈱ ／住友電気工業㈱ ／ セイコーエプソン㈱ ／ トヨタ自動車㈱ ／ 三井化学㈱ ／ ローム㈱ ／ 富士電機㈱会社沿革

1994年4月
1997年
2003年
2007年
2009年
2010年
2011年
2012年
2013年
2014年
2015年
2016年
2017年
2019年

創立（旧櫛形町小笠原にて創業） Particle Counter 関連商品開発
新工場（現在所在地）完成・移転
基板異物検査装置開発
工場増築
ウェハエッジ検査装置開発
透明基板用高精度表裏分離検査装置開発
ロール TO ロール検査装置開発
新工場増築
小型ハンディーパーティクルカウンタ開発
やまなし産業大賞受賞
小型パーティクルスキャナ YPI-MN 開発
YPI-MX-DC（ SiC ／GaN ）開発
YPI-MX-DC 2軸型販売
特殊基板搬送システム販売
YPI-MX-DC レーザ高精度制御開発
新型ミニマル装置の開発販売

検査関連製品
Products for particle inspection

当社は長年にわたり、各産業や大学・研究所にパーティクル測定関連の装置を提供してまいりました。
近年は半導体業界向けのウェーハ表面パーティクル検査を中心に展開。シリコンウェーハだけでなく、先端化合物ウェーハで見られる透明や半透明ウェーハにも対応し、半導体、MEMS、センサーなど幅広い業界への納入実績があります。また環境関連では、大気汚染分析用の大気パーティクル分析装置の開発・販売を行っており、様々な業界で弊社パーティクル検査装置をご使用頂いております。
We have been offering inspection systems which are related with particle to an industrial field and a laboratory
over many years.
In recent years, we have been developing the wafer surface inspection system for compounded wafers suchas Silicon carbide, Gallium nitride, Lithium tantalate and Lithium niobate, and received a well reputation fromcustomers installed our products.

OEM 関連商品

静電気除去ブロアー
表面抵抗器
静電気測定器ノンパターンウェーハ・ガラス基板表面検査装置
Non-patterned wafer／glass surface inspection system

ウェーハ表面パーティクルスキャナ

YPI-MX-DC

Wafer surface particle scanner YPI-MX-DC

355nmレーザ搭載、次世代デバイス用SiC/GaNウェーハ対応モデル。
透明系次世代ウェーハの表裏面分離技術をさらに進化させ、高感度にSiCウェーハ表面のパーティクルやスクラッチを検出します。半導体製造ラインのプロセスモニターや洗浄工程の確認に最適な装置です。SiCバルク基板で0.1μmの検出能力があります。
Particle inspection for Silicon carbide and Gallium nitride
wafer of next generation power device.
The YPI-MX-DC is able to detect particle and scratch withhigh sensitive on Silicon carbide wafer surface by enhanced
surface separation technology. Max sensitivity is 0.1µm
on Silicon carbide bulk wafer. Application is for a processmonitor and wafer cleaning on semiconductor filed.

ウェーハ表面パーティクルスキャナ

YPI-MN

Wafer Surface Particle Scanner YPI-MN

マニュアル搬送・卓上タイプのウェーハ表面異物検査装置です。
洗浄装置の横や、研究施設でウェーハや基板のパーティクル測定に最適です。
ウェーハやガラス基板など、様々な形状・材質のパーティクル測定に対応致します。
Particle inspection for various materials of wafer and square shapesubstrate within 200mm.
YPI-MN can be suitable setting for laboratory and small space bydesktop style.

ウェーハ表面パーティクルスキャナ

YPI-MX-θ／XY

Wafer Particle Scanner YPI-MX-θ／XY

半導体製造やウェーハ製造の量産ライン用ウェーハ表面異物検査装置です。
シリコンウェーハだけでなく、化合物半導体ウェーハで使用される透明や半透明基板、裏面梨地の粗面研磨品基板の表面パーティクルの測定も対応可能です。
Particle inspection for mass-production of semiconductor
and wafer manufacturing. Not only handle opaque wafers
but also transparent and translucent wafers with surface
separation technology.
The YPI-MX-θ prepares various options such as double
arm robot system and multi-ports system as the autoloading.

ペリクルパーティクルスキャナ

YPI-MX-PPellicle Surface Particle Scanner YPI-MX-P

マスク基板を保護するペリクルフィルムのパーティクルを測定する装置です。ペリクルフィルムを高感度に測定でき、ケースに入れたまま搬送可能なモデルなど多彩な搬送に対応可能です。
Application is for a pellicle film inspection. The
handling system of the YPI-MX-P can load apellicle case, it can measure the pellicle filmwith high sensitivity taking off a lid of pelliclecase.

装置組込気中パーティクルカウンタ

YPI-03U

In-situ Particle Counter YPI-03U

装置組込型の気中パーティクルカウンタです。
小型軽量で、0.3μmのパーティクルから測定可能です。
Application is for particle counter by in-situ of processequipment. Max sensitivity is 0.3µm.

各種検査装置と搬送システム
Various Inspection System and Load/unload Transfer Systemサーマルヘッド用プローバ

ウェーハ画像処理異物外観検査装置 YPI-WF

Prober for Thermal Printer Head

Optical Inspection System for Wafer YPI-WF

高精度位置決め技術を用いた、自動搬送対応サーマルヘッド用のプローバです。各種アライメントマークに対応でき、高精度なプロービングが可能です。

ノンパターンウェーハ基板表面を画像処理で外観検査する装置です。従来の目視検査を自動検査にする事が可能です。

Application is for prober system of a thermal printerhead. Can apply various TEG marks, and can beaccurate probing with enhanced positioning technology.

Application is for non-patterned wafer inspection
system by image processing.
Can be able to alter human inspection to automatedinspection system.

特殊基板搬送システム
Load/unload Transfer System for Special Substrate

特殊基板のローダ・アンローダ搬送システムです。お客様のご要望に沿ったシステムを提案。様々な基板の搬送に対応致します。
Application is for a transfer system of special substrate. Can propose transfer system matching customer
applications.

YGK株式会社 山梨技術工房〒400-0311

山梨県南アルプス市曲輪田595-2

YGK CORPORATION
TEL.055-284-6866

https://www.ygkcop.com

FAX.055-284-6867