半導体カーブトレーサ

CS-8000 シリーズ

■ 最大 5kV、最大 2000A でのハイパワーテスト■ 正確な微小電流測定( 分解能 250fA）■ 大画面 12.1 インチのタッチスクリーン■ 多彩な GATE 信号出力機能■ 充実した温度特性測定オプション■ プローバーでのハイパワーオンウェハテスト

半導体カーブトレーサの概要
機能と使いやすさの融合。進化をし続けるカーブトレーサ。
CS-8000 シリーズは、最大 5kV の高電圧ソース、2000A の大電流ソースを搭載し、パルス出力・ゲートパターン・微小電流測定機能を備えており、SiC、GaN 等、ワイドバンドギャップ半導体の設計評価を強力にサポートします。

⑦①②

④⑤③⑥

① X-Y 表示エリア
任意の電圧 / 電流パラメータをそれぞれ X 軸 Y 軸に設定でき、④コンフィグレーション設定エリア
デバイスの測定コンフィグレーションを設定します。電圧 /Vds-Id 特性、スレッショルド電圧、Vds-Vgs 飽和特性等、様々な 電流ユニットの選択や配線変更等をグラフィカルな表示でサ半導体特性カーブの表示が可能です。また、Y 軸に複数のパラ ポートします。
メータを設定できます。スケールは Log/Linear の切り替えが可能です。

⑤パラメータ設定エリア② Y-T 表示エリア

定の切替えなどをこのエリアで行います。

測定パラメータ・測定リミットの設定やマニュアル / 自動測測定印加波形をオシロスコープのように時間軸で表示します。パルス幅・測定ポイント・発振などの波形異常等をリア ⑥ USB 端子
ルタイムで確認できるので、正確な測定が行えたかの検証をUSB メモリに波形や設定を保存することができます。

容易に行えます。
全ての印加波形データは X-Y 表示のデータと同時に保存できる ⑦操作パネルので、測定結果の再検証を行うことができます。

正面パネルに配置した DRAIN/COLLECTOR・GATE/BASE・垂直軸・水平軸ロータリーノブやボタンによりマニュアル測定を簡単③測定データ表示エリアに行えます。

詳細な測定結果と測定条件、ステータスをテキスト形式で 中央に配置されたテンキーでは、パラメータの数値入力を行表示します。
X-Y 表示、Y-T 表示、測定データ表示の３つのエリアは表示のON/OFF やサイズの変更ができ、測定に応じて見やすくアレンジすることができます。
また、３つのエリアはリンクして表示されます。

うことができます。

半導体カーブトレーサの特長■用途に合わせた出力ソース■最小電流分解能 250fA

用途に合わせて測定に必要な電圧・電流ユニットを任意に選トライアキシャルの採用と測定系の最適化等により、機器内択できます。のリークやノイズを低減したため、リーク電流等の微小電流の安定した測定が可能です。

■ HV ユニット
2kV、5kV の高電圧ユニットです。DC/ パルス波が選択可能です。
定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。

メインユニット
最大電圧（最大電流）

CS-8200

CS-8500

2kV（20mA）

5kV（8mA）

波形

DC、パルス

極性

正/負

測定電流分解能250 fA■ MV ユニット ( 全メインユニット共通 )200V の中電圧ユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができます。DC、パルスの他、SIN、半波、全波波形が選択できます。

最大電圧（最大電流）
波形

200V（2A）
DC（200mA）、パルス（2A）■多彩な GATE 信号出力

SIN、半波、全波

GATE 信号をシーケンス出力し、印加することができます。

正 / 負 / 両極性

ホールドタイム可変範囲

極性
測定電流分解能

予備信号電圧範囲

250 fA

0.000[s]GATE 側-40[V] ～ +40[V]■ GATE ユニット ( 全メインユニット共通 )40V のユニットです。定電圧・定電流駆動測定の選択ができまa

す。DC、パルスの他、SIN が選択できます。

b

最大電圧（最大電流）c

40V（1A）

波形

DC、パルス、SIN

極性

正 / 負 / 両極性

測定電流分解能250 fA-15Vb■ HC ユニット
大電流モード搭載により、2000A までの大電流測定に対応できます。パルス幅、測定周期、測定範囲が可変できます。

-2VHC ユニット

CS-205

CS-210CS-220最大電流（最大電圧）

500A
（50V）

1000A
（50V）

2000A
（50V）

波形パルス幅極性

パルス10µs 〜 1ms

500A レンジ以下
10µs 〜 1ms
1000A / 2000A
10µs 〜 500µs
正/負c

15Va～ 5.000[s]半導体カーブトレーサの特長■ヒステリシスの測定

CS-8000 はヒステリシスを持った SiC や GaN などのワイドバンドギャップ半導体の測定に便利な機能を備えています。
ダブルスイープ機能は UP スイープ・DOWN スイープを同時表示するためヒステリシスの観測が可能です。

■使い易さを追求したユーザインタフェース
12.1 インチのタッチスクリーンや正面パネルのボタン、ロータリーノブによって直感的な操作が行えます。また、画面上のオンスクリーンキーボードや正面パネルのテンキーにより設定値、リミット値など直接入力が可能です。USB マウス / キーボードでの操作も可能です。

タッチスクリーン UI
正面パネル

振幅・時間を調整し、任意のゲートパターン入力が可能です。
また、ゲートへの予備信号印加も可能です。
ヒステリシスを持ったデバイスを複数の条件で測定することが可能です。

■様々な測定条件に対応したコンフィグレーション■温度特性測定
実動作時に高温・低温環境で使用される DUT に対しては温度特性の評価が不可欠です。
CS-8000 はホットプレートやサーモストリーマとの組み合わせにより、温度特性測定が可能です。サーモストリーマを使用するには専用フィクスチャ及びアダプタが必要です。ソフト
ウェアにより自動測定も可能です。
ホットプレート

PA3020 / 3040 / 4030（非絶縁）外部温度センサーによる温度制御、
RS485による制御■最高温度： 300℃（PA3020、PA3040）
400℃（PA4030）■CE対応■付属品：コントローラー
温度センサー
RS485-USB変換器■ホットプレート部 寸法
PA3020 ：200×200（mm）消費電力800W
PA3040 ：200×400（mm）消費電力1500W
PA4030 ：300×200（mm）消費電力1500W

サーモストリーマと組み合わせで測定できるテストアダプタ
サーモストリーマ用テスト ･ フィクスチャ
測定用コンフィグレーションのグラフィック表示により容易

サーモストリーマ用アダプタと組み合わせることで市販のサーモストリーマを使用し測定することが可能です。に各種設定が可能です。
テスト・フィクスチャ CS-322 はコンフィグレーションに合わせ内部マトリックススイッチが自動的に切り替わるため、配【サイズ（mm）：約300W×200H×300D】【電源：ACアダプタ】

線の差し替えの必要がありません。また、従来必要だった HVユニットと HC ユニットの手動の接続切り替えが、コンフィグレーション設定により内部リレーで自動的に切り替わるため必要ありません。これらの機能により測定時の誤配線を防止

サーモストリーマ用アダプタ
サーモストリーマ用テスト･フィクスチャに取り付けて各種デバイスが測定できます。

します。

【耐熱：-50ºC 〜 200ºC】
型番CS-521

対応パッケージ
TO

備考
CS-501Aの耐熱対応

CS-522*

TO-263-3（D2PAK）

CS-503の耐熱対応

CS-523*TO-252-3

CS-504の耐熱対応※他のパッケージについてはお問い合わせください。

半導体カーブトレーサの特長■オンウェハテストの親和性向上
出力端子に耐ノイズ性の高いトライアキシャルを搭載し、プ外部インターロック端子ローバーとの接続が容易です。

－リミット機能－電圧・電流・電力、それぞれのリミッ
ト値を設定でき、DUT の損傷を防ぐことができます。
また、ハードウェアの過電流保護機能により、測定レンジの 1.4 倍の電流が流れると電流を遮断します。

■安全機構
―

インターロック機能―

フィクスチャのカバーに連動したインターロック機能を搭載しており、インターロック動作時には出力を停止し、感電等の危険を回避し安全に測定を行います。
プローバーや恒温槽等を使用する場合においても、外部インターロック端子と連動させることによって安全に測定することができます。
本体、フィクスチャの LED によりインターロックの状態を確認できます。

テスト・フィクチャ

メインユニット

組合せ構成
測定ターゲットの電圧と電流に合わせて HC ユニットやフィクスチャを選択できます。
構成例 2kV、2000A で使用する場合
メインユニット：CS-8200

アクセサリケーブル

HC ユニット：CS-220

HV 標準ケーブルセット：CS-021

テスト・フィクスチャ

：CS-322HV/HC

HC 標準ケーブルセット：CS-022

アクセサリ■ CS-520 パッチパネル

アダプタ装着例■アダプタ CS-500 シリーズ
テスト・フィクスチャに装着して使用します。

耐熱TOソケットTSSOP 14用

200℃、350A（500μs）

CS-508ソケット底面コネクタ部

SMDタイプ用アダプタ

CS-501A

CS-502CS-503CS-504CS-505

CS-506

CS-507TO

AXIAL

TO-263-3/ D2PAK

TO-252-3

TO-263-7

TO-252-5

SC-70-3/ SOT-323-3 SC-59A/ SOT-23-3L SC-62/ SOT-89

CS-509CS-510

■ケーブル
形式

品名

用途

CS-025

HV ケーブル (L=1.0m)

HV(2kV)、HV(5kV) のフォース、センス用ケーブルです

CS-026

トライアキシャルケーブル (L=1.0m)

MV、ゲート、エミッタのフォース、センスと GNDU 用ケーブルです

CS-027

コントロールインタフェースケーブル (L=1.0m)

ユニット制御用ケーブルです

CS-028

インターロック／センスケーブル (L=1.0m)

本ケーブルは、インターロック用とＨＣセンス用にそれぞれ必要となります

CS-027
コントロールインタフェースケーブル

CS-025

HV ケーブル

CS-028
インターロック／センスケーブル

CS-026
トライアキシャルケーブル

仕様
メインユニット

モデル名

CS-8020

CS-8200

CS-8500（TBD）

2kV（20mA）

5kV（8mA）

HV ユニット
最大ピーク電圧（最大電流）
測定電圧レンジ（フルスケール）
測定電流レンジ−50V 〜 2kV

50V 〜 5kV

20mA 〜 50 μ A

20mA 〜 50 μ A

最小測定電流分解能
波形

250fA

250fA

DC・パルスDC・パルスMV ユニット
最大ピーク電圧（最大電流）

200V（2A）

測定電圧レンジ（フルスケール）

200mV 〜 200V

測定電流レンジ

2A 〜 5nA

最小測定電流分解能

250fA

波形

DC・パルスGATE ユニット
最大ピーク電圧（最大電流）

40V（1A）

測定電圧レンジ（フルスケール）

1V 〜 50V

測定電流レンジ

1A 〜 5nA

最小測定電流分解能

250fA

波形

DC・パルス・SIN（50Hz）

標準付属品

HC ユニット

電源ケーブル、コントロールインタフェース終端器、取扱説明書 /CD

モデル名

最大ピーク電流（最大電圧）

CS-205

CS-210CS-220500A（50V）

1000A（50V）2000A（50V）

波形

パルス

パルス幅

10us 〜 1ms

500A レンジ以下 10µs 〜 1ms

極性1000A/2000A

10µs 〜 500µs

正/負※ HC ユニットをご使用の場合は、別途センスケーブルが必要となります。
テスト・フィクスチャ

モデル名

CS-320（近日発売予定）
電源ケーブル、標準リードセット (CS-005

標準付属品

CS-322
1 式 7 本組 ) 、取扱説明書−HV/HC ケーブル (2 本 )※テスト・フィクスチャを接続する場合は、別途ケーブルが必要となります。

■ケーブルセット

テスト・フィクスチャや HC ユニットへの接続時に使用します。

ケーブルセット セット内容

型番

品名CS-026

トライアキシャルケーブル (L=1.0m)

CS-027

コントロールインタフェースケーブル (L=1.0m) １本

CS-028

インターロック／センスケーブル (L=1.0m) １本

CS-025

HV ケーブル (L=1.0m) ２本

CS-021

CS-026

トライアキシャルケーブル (L=1.0m)

HV 標準ケーブルセット (CS-322 用推奨セット )CS-027

コントロールインタフェースケーブル (L=1.0m) １本

CS-028

インターロック／センスケーブル (L=1.0m) １本

CS-022

CS-027

コントロールインタフェースケーブル (L=1.0m) １本

HC 標準ケーブルセット (HC ユニット用推奨セット )CS-028

インターロック／センスケーブル (L=1.0m) １本

CS-020MV 標準ケーブルセット(CS-320 用推奨セット )

７本７本

仕様
品名

メインユニットHCユニットテスト フィクスチャ

ケーブルセット

ケーブル

パネル
ワニ口

測定ケーブル

型番価格（税別）

CS-8020

2,480,000円

200V、
2ACS-8200

3,980,000円

2kV、20mA

CS-8500

5,980,000円

5kV、8mA

HC500

CS-2052,800,000円

500A（50V）

HC1k

CS-2105,000,000円

1000A（50V）

HC2k

CS-2209,000,000円

2000A（50V）

テスト・フィクスチャ MV

CS-320

近日発売

200V / 2A

テスト・フィクスチャ HV / HC

CS-3221,800,000円

5kV / 2000A

MV標準ケーブルセット

CS-02089,000円

CS-320用 推奨ケーブルセット

HV標準ケーブルセット

CS-021

219,000円

CS-322用 推奨ケーブルセット

HC標準ケーブルセット

CS-022

19,000円

HCユニット用 推奨ケーブルセット

HVケーブル

CS-02565,000円

HV(2kV),HV(5kV)のフォース、
センス用

トライアキシャルケーブル

CS-026

10,000円

MV、
ゲート・エミッタのフォース、
センス用

コントロールインタフェースケーブル

CS-02710,000円

ユニット制御用インターロック/センスケーブル

CS-0289,000円インターロック、HCセンス用

CS-32x用パッチパネル

CS-52098,000円

CS-5xxアダプタ用パッチパネル

小型ワニ口赤10個セット

CS-00114,800円

小型ワニ口クリップ 赤10個組み

小型ワニ口黒10個セット

CS-00214,800円

小型ワニ口クリップ 黒10個組み

高圧ワイヤ赤5本セット

CS-00316,000円

高電圧ワイヤ(赤色)5本セット

ワイヤ黒5本セット

CS-00416,000円

標準ワイヤ(黒色)5本セット

標準リードセット

CS-00550,000円

標準添付リードセット

CS-00625,000円

20cm 2本セット

CS-00725,000円

30cm 2本セット

テスト・アダプタ

CS-5009,800円

ブランクアダプタ

TOタイプテスト・アダプタ

CS-501A

69,800円

TO-220、
TO247

AXIALタイプアダプタ

CS-50269,800円

アキシャル タイプ

TO-263-3(D2PAK)タイプアダプタ

CS-50369,800円

TO-263-3 / D2PAK

TO-252-3タイプアダプタ

CS-50469,800円

TO252-3用

TO-263-7タイプアダプタ

CS-50569,800円

TO263-7用

TO-252-5タイプアダプタ

CS-50669,800円

TO252-5用SC-70-3(SOT-323-3)タイプアダプタ

CS-50769,800円

SC-70-3、SOT-323-3用

SMDチップタイプアダプタ

CS-508248,000円

SMD用 2端子（拡張板金別途必要）

SC-59Aタイプアダプタ

CS-50969,800円

SC-59A/SOT-23-3用

SC-62タイプアダプタ

CS-51069,800円

SC-62/SOT-89用

測定器用台車MT-600L

220,000円

最大荷重：100kg

半導体カーブトレーサ

High Current用ケーブル

テスト・アダプタ

その他

備考※ご注文時に#1、2、4、5ピンの接続をご指定ください。

※ 製品を廃棄する場合には、地方自治体の条例・規則に従って廃棄してください。 ●製品改良等により、外観および性能の一部を予告なく変更することがあります。
●ここに記載しました内容は、2021年1月現在のものです。
※ 社名、商品名等は各社の商標または登録商標です。
●お問い合せは、下記当社営業部および営業所または取次店へお問い合わせください。 ●価格は変更の可能性があります。ご注文の際にはご確認を頂けますようお願い申し上げます。

技術的なお問い合わせ フリーダイヤル：●ご相談／お問い合せは

0120-102-389 E-mail : info-tme@iwatsu.co.jp

受付時間 土日祝日を除く営業日の 9:00 ～ 12:00/13:00 ～ 17:00

URL: https://www.iti.iwatsu.co.jp■第二営業部 計測営業担当 〒168-8501 東京都杉並区久我山1-7-41
TEL 03-5370-5474 FAX 03-5370-5492■第二営業部 アカウント営業担当 〒168-8501 東京都杉並区久我山1-7-41
TEL 03-5370-5474 FAX 03-5370-5492■第二営業部 国際営業担当 〒168-8501 東京都杉並区久我山1-7-41
TEL 03-5370-5483 FAX 03-5370-5492■西日本支店 計測営業担当 〒550-0005 大阪府大阪市西区西本町2-3-6山岡ビル1F TEL 06-6535-9200 FAX 06-6535-9215

C.S(OK)202101
8201-5270-0