高圧ディフューザー（減圧器）
Model 7950 / Model 7955

AEROTRAK▶

®

▶

HIGH PRESSURE DIFFUSER
高圧ディフューザー
Model 7950 / 7955▶
Model 7950

対応ガス：クリーンドライエア（CDA）、窒素（N2）アルゴン（Ar）

Model 7955

AEROTRAK® 高圧ディフューザー Model 7950、Model 7955 と TSI 製パーティクルカウンタの併用で高圧縮ガスシステムの粒子物質汚染を測定できます。
パーティクルカウンタだけでは、高圧ガスをサンプリングすることはできません。
圧縮ガスシステムの清浄度評価には圧縮ガスの圧力を一般大気圧まで下げる高圧ディフューザーが必要です。

＞＞ 製品仕様

型式

計測器適用流量
圧力範囲
対応ガス

寸法（W×D×H）

重量

IN側接続口※1

OUT側接続口※2
材質

AEROTRAK 適合機種

7950

2.83L/min（0.1CFM）

7955

28.3L/min（1.0CFM）

30-120PSI（約0.2-0.8Mpa（G））

クリーンドライエア（CDA）、窒素（N₂）、アルゴン（Ar）

194×398×95 mm
3.4kg

194×483×152 mm

1/4-inch オスVCR面シール継手

1/4-inch チューブコネクタ
筐体：SUS304

Model 9001（CPC）

5.6kg

1/2-inch チューブコネクタ

VCRガスケット：ニッケル

Model 9110

※1 各機種ともIN側のクリーンチューブや金属配管に接続する継手が必要になります。見積の際は接続側の径を指示ください。（別売）※2 各機種ともOUT側のクリーンチューブに接続する継手が必要になります。径の大きさは接続する機種によって異なります。（別売）

圧縮空気の粒子測定（参考図）

製造設備へ

Filter

クリーンチューブ or 金属配管

ナノ粒子カウンタ

減圧器（Diﬀuser）

Model 9001

Model 7950
クリーンチューブ校校正期間：標準２週間▶ デモ機貸出・取説御案内サービス！

ご購入を検討頂いているお客様には、無償でのデモ機貸出・操作説明等 御対応致します!

▶ 校正周期：1年に一回以上を御推奨。
▶ 校正・修理・メンテナンス

技術サービスセンター：２拠点（奈良・東京）にて対応致します!

※本カタログに記載の仕様、デザイン、価格等は予告なく変更することがありますので、あらかじめご了承ください。

クリーンエンジニアリング事業部
https://www.nitta.co.jp
大 阪 本 社

〒556-0022 大阪市浪速区桜川4-4-26

東 京 支 店〒104-0061 東京都中央区銀座8-2-1

奈 良 工 場〒639-1085 奈良県大和郡山市池沢町172

TEL.06-6563-1235 FAX.06-6563-1265
TEL.03-6744-2740 FAX.03-6744-2741
TEL.0743-56-9400 FAX.0743-56-4403

2019.11.KY

ナノ粒子カウンタ

半導体・電子部品向けカウンタ
高圧ディフューザー（減圧器）

超微粒子測定モデル!!
粒径：10nm～

流量：2.83L/Min

ナノ粒子カウンタ（CPC/凝縮粒子）

WATER

半導体・電子部品向け 微粒子測定モデル!!
粒径：0.1μm～

流量：28.3L/Min

ポータブル型 気中パーティクルカウンタ

Model 9001

Model 9110
㘗䒭BASE▶ 最小検出：10 nm▶ 大流量：2.83L/Min（0.1CFM）

トリプルディテクタ搭載

3つのディテクタを搭載することで計測精度を改善しました。液適が流路に侵入すると粒子と判断し誤計測してしまうことがあります。吸引した粒子数は3台の検出器に等しく検出されることが望ましいですが、 1 台の検出器が他の 2 台と著しく異なる計測値だった場合、異なる1台は誤計測と自動的に判断します。

概 要※ ISO 21501-4、JIS B9921に準拠。
空気清浄度管理に最適です。
（ISO14644-1）

するために開発されました。特許取得済みの技術により、0.1CFM（2.83L/Min）の流量で10nmの粒径感度を提供します。

超低偽計数率（0.07個/CF未満）の性能はISOクラス１やクラス２の高い清浄度環境でも理想的な測定ができます。高圧ディフューザー（model 7950）と併用することで高圧ガス中のナノ粒子の測定も可能となります。

自己診断機能搭載

Condensation Particle Counter（CPC）は、測定状態になるまでウォームアップを要します。
model 9001 は各部にセンサーを取り付け、装置内部の状態を監視しており、装置が異常状態のまま計測することを防止します。

鑐俱崧ꆀ2.83 L/min0.1CFM剑㣐〳庠慬䏝

57,000,000 ⦐ /28.3L1CFխ@ 鎘侧䴦㣟 10% ⟃♴Ⳕ簭巉⯔彁⩝鎘侧邌爙鎉铂⽃⡘鼅䫛庠㹀儗꟦٥㔐侧鏣㹀溪瑞彁

表示画面は A EROTRAK シリーズのパーティクルカウンタと同じ構成です。タッチパネル操作で、わかりやすいアイコンが特長の簡便性を追求した操作画面です。本体に 10,000 件分のデータを保存、USB メモリに CSV 形式でダウンロードできます。
付 属 の デ ー タダ ウン ロ ードソフト（TrakPro™
Light Secure）はデータ管理をサポートします。
連続監視用ソフト（FMS5）にも対応しています。

10 nm ։ 1 Ğ m磛䖇
10 nm 磛㶨‫ך‬庠㹀‫ד‬剑ꞿ 1m

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ユーザーインターフェース9001‫ُث‬٦‫ـ‬ꞿ鎘侧⸬桦鸐⥋㢩鿇陨㜠⳿⸂‫ر‬٦‫⥂ة‬㶷❛崧ꨵ彁傈劤铂٥薉铂٥⚥㕂铂٥‫ٓؿ‬ٝ‫أ‬铂٥‫خ؎س‬铂٥؎‫ٔة‬،铂٥‫؎لأ‬ٝ铂խ
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1 猱։ 99 儗꟦  1 ։ 9,999 㔐‫כ׋ת‬鸬竲ⰻ詿‫ه‬ٝ‫ف‬※ Model 9001にも付属㼄岀ꅾꆀꨵ彁ꨵ㖇 / ワ岚侧‫ٔذحغ‬٦⢪欽橆㞮䱖孡〡‫ٔةٕ؍ؿ‬ٝ‫ؚ‬鸐⥋؎ٝ‫ة‬٦‫ؑؿ‬٦‫أ‬‫ر‬٦‫⥂ة‬㶷‫ر‬٦‫⸂⳿ة‬➰㾩ㅷؔ‫ّءف‬ٝ

リモートセンサー型 気中パーティクルカウンタ

HeNe ٖ٦‫ؠ‬٦

246W218D569Hmm
13.0kg⼒㚖‫ب‬٦ٝ250 ⟝խٗ‫؛‬٦‫ّء‬ٝ999 ⟝10,000 ⟝傈➰٥儗꟦٥磛㶨侧٥堣㐻‫ذأ‬٦‫أة‬
AC100V ։ 240V
 40˫։ 70˫

※ Model 9001、9110もオプション可能ꨵ彁،‫ةفت‬ծ‫ػ‬٦‫ةٕ؍ؿآ‬ծ؎ٖٝ‫زح‬珏겲ծؐؓ٦‫ة‬٦‫ٕزن‬ծ‫؎ٖس‬ٝ‫ٕزن‬ծ‫ٕزن‬㔿㹀欽ꆃⰧծUSB ‫؛‬٦‫ٕـ‬ծ‫ر‬٦‫ؐتة‬ٝٗ٦‫زؿاس‬TrakPro Lite Secureխ˟ 21CFR Part.11 㼎䘔ծ《䪔铡僇剅ծ吤姻鏾僇剅ծ嗚叨䧭籐剅ծ‫ٖز‬٦‫؍ذٔؽ؟‬‫ٍٔؗ‬ٝ‫؛ؚ‬٦‫أ‬ծ‫؟‬ٝ‫ٔف‬ٝ‫ُثؚ‬٦‫ـ‬3 ծٌ‫ٔةص‬ٝ‫ؑؐزؿاؚ‬،FMS 5ծ넝㖇‫ُؿ؍ر‬٦‫ؠ‬٦Model 7950

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HEPA ‫ⰻةٕ؍ؿ‬詿

USBUSB ًٌٔ欽ծUSBPC 䱸竲欽؎٦‫؟‬٦‫زحط‬‫ه‬٦‫ز‬LANծModbus/TCPխ˟ ؎٦‫؟‬٦‫כزحط‬ծٌ‫ةص‬ٔٝ‫ؑؐزؿاؚ‬،ؔ‫ّءف‬ٝ‫رח‬٦‫ة‬꧊‫חֹה׷ׅ‬⢪欽կ

10,000 ⟝ ˟ 10,000 ⟝‫׾‬馄ִ‫ ה׷‬1 殢湡‫رך‬٦‫⵴׵ַة‬ꤐկUSB ًٌٔ٦ծUSB ‫ر‬٦‫ؐتة‬ٝٗ٦‫زؿاس‬TrakPro Lite Secureծ‫ٔف‬ٝ‫ز‬،ؐ‫ز‬瘝鸞ェ䒷‫ٗف‬٦‫ـ‬‫ُث‬٦‫ـ‬䱸 竲 欽ծ‫ػ‬٦‫ةٕ؍ؿآ‬ծ‫ٔذحغ‬٦‫ ؙحػ‬1 ⦐ծAC ،‫ةفت‬ꨵ彁‫؛‬٦‫ٕـ‬ծUSB ‫؛‬٦‫ٕـ‬ծ‫؟‬ٝ‫ٔف‬ٝ‫ُثؚ‬٦‫ـ‬3mծ‫ٔف‬ٝ‫ة‬欽秵ծ‫ر‬٦‫ؐتة‬ٝٗ٦‫زؿاس‬ TrakPro Lite Secure
˟ 21CFR Part.11 㼎䘔ծ《䪔铡僇剅CDծ吤姻鏾僇剅ծ嗚叨䧭籐剅ծ‫ٖز‬٦‫؍ذٔؽ؟‬‫ٍٔؗ‬ٝ‫؛ؚ‬٦‫أ‬ծٌ‫ٔةص‬ٝ‫ؑؐزؿاؚ‬،FMS5ծ‫ُث‬٦‫ـ‬ծ‫ٔف‬ٝ‫ة‬欽秵ծ‫ٍؗأةٕ؍ؿ‬ٝ‫ٗف‬٦‫ـ‬ծ괏鸞٥庛㹓䏝‫إ‬ٝ‫؟‬ծ庛弪䏝‫ٗف‬٦‫ـ‬ծ✮⪒‫ٔذحغ‬٦‫ؙحػ‬ծ‫ٔذحغ‬٦⯍ꨵ㐻ծ‫ؿ‬؋ٝ䱖孡欽‫ةٕ؍ؿ‬ծ䱖孡‫ֹ➰ةٕ؍ؿ‬㼔欽〴鮦ծ넝㖇‫ُؿ؍ر‬٦‫ؠ‬٦Model 7955

7110

100,000 ⦐ /28.3Lխ@ ず儗鸐麓䴦㣟 10% ⟃♴㼄岀

ꅾꆀ

ꨵ彁ꨵ㖇

⢪欽橆㞮

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䱸竲‫ُث‬٦‫ـ‬䖇

瘭⡤勞颵

垥彊➰㾩ㅷ

様々な環境測定器のデータ収集・保存・解析等、24Hモニタリングに最適です！！

100 ։ 240 VACխ 50-60Hz

膴滠〳腉ٔ‫ؔ؎يؐث‬ٝꨵ寑剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝

庠㹀儗꟦ワ劍䎃206W522D236Hmm

12.7kg‫ ٔذحغ‬4 ⦐鄲滠儗ծ11.1kg‫ٔذحغ‬搀‫׃‬

0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0 Ğ m8 磛䖇ず儗鎘庠⯔彁

清浄度モニタリングシステム
ソフトウェア 「FMS」 21CFR Part11対応 !!

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オプション傈劤铂٥薉铂٥⚥㕂铂٥‫ٓؿ‬ٝ‫أ‬铂٥‫خ؎س‬铂٥؎‫ٔة‬،铂٥‫؎لأ‬ٝ铂խⰋ 7 ַ㕂铂‫ח‬㼎䘔⟣䠐鏣㹀Model 7110
㘗䒭IP ،‫أٖس‬⟣䠐鏣㹀〳

SUS316L

ؔ‫ّءف‬ٝ

データダウンロードソフト付属
TrakPro-Lite Secure搀ꨵ㖇 A 䱸挿 1AC/DC 0-60V A

瘭⡤勞颵

➰㾩ㅷ

標準附属ソフト

Modbus TCP ‫ כ׋ת‬USB

庛䏝 15˫։ 35˫⥂鏾劍꟦▶ ISOクラス：1～レベルの検証に！

 0.07 ⦐ / 28.3 LCFM

⹛⡲橆㞮

⥂盖橆㞮

▶ クリーンルームのISO清浄度クラス検証に！

⽃⡘鏣㹀Windows CE 䵧鯹խ5.7 ؎ٝ‫ث‬14.5cmVGA ‫ؙٔأثحة‬٦ٝ饯⹛‫ה‬鏣㹀‫ؙحٗ׾‬،ؐ‫׷ׅز‬ٖ‫أػךٕك‬ٙ٦‫⥂س‬隊庠㹀勴⟝涫ꐮ

▶ 半導体・エレクトロニクス製造工場の環境管理に！

⼱㼪⡤ٖ٦‫ؠ‬٦‫؍ذُٔؗإ‬ꅾꆀ※ ISO 21501-4、JIS B9921に準拠。
空気清浄度管理に最適です。
（ISO14644-1）

馄秪宏խ‫כ׋ת‬խDI ؐؓ٦‫ة‬٦

TrakPro Lite Secure垥彊➰㾩ծFMS 5 ‫ؑؐزؿا‬،ؔ‫ّءف‬ٝ㼄岀

28.3 L/min1CFM

5.7 ؎ٝ‫ث‬巉兪ؕٓ٦‫ٕطػثحة‬50 10 nm‫ؑؐزؿا‬،

Unit ID

100,000 ⦐ /28.3 Lխ@ ず儗鸐麓䴦㣟 10 % ⟃♴歗꬗た凝縮粒子カウンタ（CPC）です。特に清浄度の高い重要な製造プロセス環境を測定磛䖇‫ٍث‬ٝ‫ⴓ⼒ٕط‬剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝⯔彁

AEROTRAK：Model 9001は、ウォーターベースで大流量、超低偽計数レベルを実現し㘗䒭

0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0 Ğ m8 磛䖇ず儗鎘庠鑐俱崧ꆀ▶ 低偽計数：0.07個未満/28.3L▶ 凝縮液超純水またはDIウォーター9110

磛䖇‫ٍث‬ٝ‫ⴓ⼒ٕط‬ؔ‫ّءف‬ٝ

28.3L/min1CFM
HeNe ٖ٦‫ؠ‬٦

127W456D134Hmm
5.23 kg

100 ։ 240 VACꨵ彁،‫ⵃةفت‬欽

庛䏝 10˫։ 40˫ծ弪䏝 20 ։ 95%穠ꪪ‫הֹֿז‬؎٦‫؟‬٦‫زحط‬Modbus RS-485Modbus

2,000 ⟝搀ꨵ㖇 A 䱸挿 1AC/DC 0-60V 1A˟ぐ磛䖇‫⤘ך‬侧殯䌢⦼٥堣㐻朐䡾殯䌢

1 猱։ 24 儗꟦㢩䖇5/8 ؎ٝ‫ث‬խⰻ䖇1/2 ؎ٝ‫ث‬‫ذأ‬ٖٝ‫أ‬AC ،‫ةفت‬ꨵ彁‫؛‬٦‫ٕـ‬ծ《䪔铡僇剅ծ吤姻鏾僇剅ծ嗚叨䧭籐剅ծ‫ٖز‬٦‫؍ذٔؽ؟‬㢩鿇溪瑞彁‫ه‬ٝ‫ف‬ծ瘝鸞ェ䒷‫ٗف‬٦‫ـ‬ծ‫ُث‬٦‫ـ‬ծLAN ‫؛‬٦‫ٕـ‬ծ‫ػ‬٦‫ةٕ؍ؿآ‬ծHUBծ‫؝اػ‬ٝծٌ‫ٔةص‬ٝ‫ؚؑؐ‬،FMS 5