イノベーションサイエンス株式会社
代表取締役 渡邉 泰章

英国 HIDEN ANALYTICAL社の紹介

会社設立及び沿革
2016/07 会社設立（資本金200万円）及び溝ノ口に事務所を開設
2018/03 資本金500万円に増資
2018/12 かながわサイエンスパークに移転。ガス分析用デモルーム開設
2020/02 資本金700万円に増資
HIDEN ANALYTICAL社製品の販売、サポートは、現在20年間、取り扱い中

業務内容の紹介•HIDEN ANALYTICAL社日本総代理店としてのﾌﾟﾗｽﾞﾏｲｵﾝｴﾈﾙｷﾞｰｱﾅﾗｲｻﾞ付質量分
析計(QMS)、SIMS、その他の販売、及びサポート、付随する国内製品も販売•

上記製品の取扱説明、据付調整、修理サポート、共同研究及びカスタマイズ•

その他、半導体・電気・金属・触媒・エネルギー・自動車・化学・医薬品業界及び大学・研究所向け真空装置、周辺機器、真空コンポーネントの販売・カスタマーズ
サポートQuadrupole Mass Spectrometers for Advanced Science

客先• 東京大学、九州大学、東京工業大学他（SIMS,触媒,プラズマ分析他）• 大阪大学、名城大学、千葉工業大学他（大気圧プラズマ分析他）• 名古屋大学、京都大学、東北大学他（プラズマ分析他）• 早稲田大学、北海道大学、静岡大学他（プラズマ分析，触媒他）• 産業技術総合研究所、NIMS（SIMS､燃料電池､水素脆化ガス分析他）• 日本原子力研究開発機構（反応炉ガス分析他）、NIMS他（SIMS)• JAXA、高エネルギー加速器研究機構他（プラズマ分析、SIMS)• 自動車メーカー３社他（大気圧ガス分析）• 石油化学メーカー他 （大気圧ガス分析、昇温脱離ガス分析）• 半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、ガス製造メーカー、カメラメーカー、プリンターメーカー、医薬品メーカー、化学素材メー
カー多数
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Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced Science

国外客先
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BNFL (Nuclear)
AWE (Nuclear)
Motorola (Semiconductor)
Seagate (Semiconductor)
Samsung (Semiconductor)
BAE (Aerospace)
Rolls Royce (Automotive)
NASA (Aerospace)
Los Alamos National LabsOSRAM
UKAEA (Fusion Energy)

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所属学会、展示会出展の紹介• 光学薄膜研究会
・ JASIS 9月（幕張メッセ）• 応用物理学会
・セミコンジャパン 12月• ﾌﾟﾗｽﾞﾏ材料科学153委員会（東京ビッグサイト）（日本学術振興会）
・応用物理学会併設展示会• ﾏｲｸﾛﾋﾞｰﾑ141委員会
3月、9月（日本学術振興会）
・触媒学会併設展示会• 日本表面真空学会• 表面技術協会
3月、9月• 触媒学会・表面真空学会併設展示会• 原子衝突学会
11月• 日本放射光学会
・表面技術協会併設展示会• 電気化学会
・日本磁気学会• 日本エネルギー学会他

・日本国内での国際学会他

英国 HIDEN ANALYTICAL社について
創立：1983年
社員数：80名
本社：Warrington, United Kingdom
会社形態：オーナー会社
支店：アメリカ ミシガン州、ドイツ
代理店：日本を含め32か国

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Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced Science

Hiden Analytical 社製品は60ヵ国以上の世界中の国と地域で使用されております

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Hiden Analytical 社 質量分析計及び製品• ガス分析（大気圧、液中等）• 表面分析（SIMS)• 昇温脱離ガス分析• プラズマ分析• 終点検出用SIMS• 真空中の残留ガス分析• ラングミュアプローブ
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Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced Science

プラズマ分析
•大気圧プラズマ分析装置•

プラズマエッチ、スパッター中のプラズマ分析•

正負ｲｵﾝｴﾈﾙｷﾞｰ、中性粒子、ラジカル分析•

HiPIMS、アークプラズマ中等でのプラズマアフ
ターグロー、立ち上がりの時間分解測定•

ラングミュアプローブ（プラズマ解析）

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Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced Science

EQP Features• Sub PPM detection of plasma ions, neutrals and radicals.
• Ion Energy Analysis, ±100eV and ±1000eV energy range versions areavailable.
• Positive and Negative Ion Analysis.
• Neutral and Radical Species Detection.
• Electron attachment ionisation mode for the study of electronegative radicals• Mass range options: 50, 300, 510, 1000, 2500 or 5000 m/z• For afterglow, pulsed plasma, and laser ablation, a standard TTL
signal gating input is included for time resolved studies.

Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced ScienceApplications
EQP Systems are offered with a range of standard plasma
sampling options to provide a non invasive sampling interface
for a broad range of plasma applications including:• ECR- Electron Cyclotron Resonance• HIPIMS• Magnetron Discharge• Helicon Source• DC Glow Discharge Plasma• Pulsed Plasma & Laser Ablation• Parallel Plate - RF Plasma• ICP- Inductively Coupled Plasma

Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced Science

EQP System SchematicQuadrupole Mass Spectrometers for Advanced Science

Typical Operating Configuration

Mass Spectrometer
Typically 3 x 10-4 PaPlasma
Typically 1PaSamplingOrifice 100 µm60 L･min-1 TurboPump

Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced ScienceIonisation Source• Fully software controllable electron energy (0-150 eV) andthermionic emission (0.2-2000 µA).

• Electron Impact, Appearance Potential, Soft Ionisation
modes allow for powerful characterisation of the neutral
and radical species from the plasma.
Plasma off
SEM : c/s

1000

100

101

5

9.16667

13.3333

17.5

21.6667

25.833330

9.16667

13.3333

17.5

21.6667

25.8333

30

Plasma on

SEM : c/s

1000

100

1015

Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced ScienceSummary• High performance probe for mass and energy analysis of ions,radicals and neutrals from a plasma.
• A large number of options are available in order to sample from avariety of plasma types.
• The EQP sees use worldwide in a variety of plasma applications.
500000

SEM c/s

40000030000020000010000000

510Ion Energy eV

1520

Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced Science

真空ガス分析
• プロセスガスのモニタリング及び分圧測定• 反応性スパッタプロセスコントロール• 真空コーティング中のプロセスモニタリング

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大気圧ガス分析• 大気圧反応ガス表面分析• 大気圧プラズマ研究• 半透過膜使用のガス分析

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Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced Science表面分析• UHV 自動昇温脱離ガス分析• SIMS（二次イオン質量分析計）
システム及びコンポーネント販売• End Point Detection, (Ion Milling Probes)• セシウムイオンソース、イオンソース• SIMSイメージングソフトウェア• SIMSは、様々なFIB、XPS等メーカーとのコラボレーションの実績がございます。
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Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced ScienceSIMS

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Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced Science

Compact SIMS System Schematic
外観図
Compact SIMS
SIMS
Ion source
sample holder（手動回転式）

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Hiden SIMS Workstation••••

3D imaging
Depth profiling
Static SIMS
SNMS••••MAXIM SIMS/SNMS
Oxygen Ion Gun
Cs Ion Gun
Electron charge
compensation gun
O2 gas jet
Loadlock degas heater
Large area near sample
cryotrap
UHV – bakeable
Large sample holder
Normal incidencecamera•••••••••••
Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced ScienceSingle phase 2500 W
No compressed air
Air cooled
Remote backing pumpoption
All dry pumps

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SNMS – Magnetic Storage Materials
SNMS Depth Profile of Hard Disk Platter
100NiCrCoFeCu

Concentration / atomic %

CrNi

10

concentration / atom %

100

Al10C

10.1

1012345depth / µm6789Near Surface Detail of Hard Disk Platter
100

Cr90

0.1
100200Depth / nm

300

SNMS depth profile ofNiCr/Cu/NiFe disk headlayer structure,primary ions 5 keV Ar
from IG20 ion gun

400

NiCo

80
concentration / atom%

0Al70

C60
50
40
30
20
100020Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced Science

40

60

80

100120depth / nm

140

160

180200www.HidenAnalytical.com

10Focused Ion Beam - SIMS

2 µm

27Al image showing concentration atgrain boundary of LaSrCuFe oxide.

Sample: Richard Chater, Imperial CollegeInstrument: Zeiss Neon Hiden EQS

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Quadrupole Mass Spectrometers for Advanced Scienceアプリケーション
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触媒反応ガス分析
薬品及び芳香製品
燃料電池ﾘﾁｳﾑｲｵﾝ電池の研究
自動車排気ガスモニタリング
半導体(MEMS等)製造過程の研究
新材料開発
航空宇宙製品の分析
宇宙研究
原子力発電用材料分析
炉内ガス分析
太陽光発電素子の分析
大気圧プラズマ製品の開発
ﾌﾟﾗｽﾞﾏｺｰﾃｨﾝｸﾞ(切削工具等)の研究
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弊社独自の強み、競合他社との違い・多くの販売実績があるので、よりよい使い方の相談、例えばどのような実験構成にするか、置き方や向き、設備によりデータが変わることもあるので、周辺機器のセットアップの相談も場合によっては、対応可能
・HIDEN ANALYTICAL社の製品は、拡張性のある装置なので、アプリケーションによっては、必要な部分だけを買い足すか、交換だけで対応も可能、さらに日本国内で最適な装置を組み合わせての販売提案も可能
・古い装置のユーザーには、新規装置の買い替えを提案し、お手持ちの予算により、部分的な部材の交換、または、最新OSに対応したソフトウェアの提案など安価に対応も可能
・HIDEN ANALYTICAL社に修理品をすべて送るのではなく、故障した部分だけを調達し、社内で修理することも可能。できるだけ国内でできることを積極的に取り入れ、納期短縮及び、修理価格の抑制を行い、お客様にご満足いただけるサービス体制を整備

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ご清聴ありがとうございました。

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