システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

実験用
Experimental

自動Zステージガイダンス
Understanding Motorized Vertical Linear Stage

スペック表の見方
Understanding Specifications

手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

ZA07A-W2C02

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スペック表 Specifications

説明 Description

型式
Model Number

ZA07A-W2C02① 型式の名称です。
Kohzu's significant alpha-numeric model numbers offer quick product insight.

勝手違い型式
Mirror Model Number

ZA07A-W2C02-R② 型式①に対する逆勝手仕様の型式です。
Mirror symmetry of standard stage.

テーブル面Table Size

70mm×70mm

案内方式Guide Mechanism

精度クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

移動範囲
Motion Range±2.5mm

送り方式
Lead Mechanism
分解能Resolution③ ステージテーブル面の大きさです。
Table size refers to the stage's valid mounting table size.
④ ステージの案内方式です。
Type of guide mechanism used on this stage.
⑤ 中心点を基準としてプラス、マイナスで表示します。
Stage travel range in the positive and negative directions from it's centered or neutral position.

1/4-クサビ. ボールネジ, リード1.0mm ⑥ ステージの送り方式です。
1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm
Feeding Mechanism.

フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step

0.25μm/0.125μm

マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)

0.0125μm⑦ マイクロステップ分割数の違いによる、ステージの各分解能です。
Variation of the stage resolution which is defined by microstep division.

最高速度
Maximum Speed

1.25mm/sec⑧ ステージが動作できる最高速度（ハーフステップ、10kpps時）です。
Maximum Speed of standard stage (half step, 10kpps).

繰返し位置決め精度
Repeatability≦±0.5μm⑨ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-002ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-002.

ロストモーション
Lost Motion≦0.3μm⑩ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-003ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-003.

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

垂直度
Verticality≦5μm/5mm⑪ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-004ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-004.

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

49N（5kgf）⑫ ステージ中央での搭載可能重量です。
Maximum load capacity is for a horizontally orientated stage with load centered on top-plate.

アライ
メント
ステージ
XYθ

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy⑬ 主に使用されている材料を示します。
Material specification is for stage's main body components only.

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matte Anodizing

真空ステージ
VacuumStage

自重Weight

1.15kg

制御装置
ControlElectronics

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

PK544PMB（オリエンタルモーター:
定格電流 0.75A/相，
基本ステップ角0.36°, リード線5本）
PK544PMB(Oriental Motor: Phase
Current 0.75A, Basic Step Angle0.36°, 5-Leads)

モーター
コントローラMotorController

モーター軸径Motor Shaft Diameter

ドライバ
ボックス
DriverBox
アプリ
ケーションApplication
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable

コネクタ
Connector⑭ 外観の色や表面処理を示します。
Surface finish type and color.
⑮ 製品の重量です。
Stage weight includes all components depicted in product photograph.

⑯ 使用されているモーターの型式及び仕様を示します。
Motor type and specification.

Φ5mm オプションハンドル：A type
⑰ モーターの軸径と適合オプションハンドルを示します。
Φ5mm Conformance option handle: A type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC） ⑱ ステージに使用されているコネクタの形状とピン数です。
（詳細は、N-014ページ）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)
Connector type of standard stage. See page N-014.

ステージ結線タイプ
Stage Wiring TypeV3

センサ基板型式
Sensor Model

F-116(HOME,LIMIT) 勝手違い:
F-116R(HOME,LIMIT)
F-116(HOME,LIMIT), Mirror Model:
F-116R(HOME,LIMIT)

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

ZA07A-W2C02-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ZA07A-W2C02-R-V⑲ ステージの結線形式です。 ←N-018ページ～
Wiring type is connection of stage. N-018 page～⑳ ステージに使用するセンサーの型式です
Sensor model for the stage.
� 型式①対するクリーングリス仕様の型式です。 ←C-003ページ
This is a model number with clean room lubricunt specification for model number ①. See pageC-003
� 型式①対する真空グリス仕様の型式です。 ←C-003ページ
This is a model number with vacuum lubricunt specification for model number ①. See page
C-003

付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemI-002

I.indd 2

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

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製品
SystemProducts
産業用
Industrial

案内方式
Guide Mechanism Type

実験用
Experimental●クロスローラガイド Cross-Roller Guide

手動精密ステージManualStage

クロスローラガイドとは、90°のV溝を持つローラレースと円筒コロからなる案内方式です。ローラレースの摺動面は、焼入れ研磨仕上げにより平面度の精度が高く硬質に仕上げられています。円筒コロはこの2本のローラレースに挟まれた空間に互い違いに配置されています。ステージが駆動する際には、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化（静止摩擦と動摩擦の差）が小さく、作動すべりが起こりにくくなっています。また、クロスローラガイドは、線接触で荷重を支えるため、ボールガイド機構よりも剛性が高くなっています。このクロスローラガイドは、独自に設計された剛性が強く精度の高いものを使用し、ローラレースと円筒コロ間の予圧を精密に管理して高剛性を維持しています。

X・XY
X・XY

ZZ

In cross roller guides, quench hardened and precision ground bearing surfaces move upon loose hardened steel cylinders(rollers) with rotation axes oriented in alternating 90 degree angles. Having rollers arranged in an alternating cross patternallows preloading and operation at any angle. The roller bearings are held apart from one another by a bearing cage, which
prevents adjacent rollers from touching. Since cross-roller bearing have little difference between static and dynamic friction
they minimize start-to-stop slip-motion typical of other bearing types. The line contact of roller bearings along with precise
roller-to-race gap management provide larger load bearing surfaces, higher preloads and meet very tight runout andstiffness specifications.

●クサビ型クロスローラガイド Wedge Type Cross Roller Guides
クサビ型クロスローラガイドとは、一組のクロスローラガイドは水平面に、もう一組は正接が1/4になるように（約14°）傾けて配置してあります（図-１参照）。片側からクサビを押し込むと、中心軸上に固定されたテーブルが上下動します。傾いたクロス
ローラガイドが水平方向成分の力を支えるため、テーブル上面のモーメント剛性が強化されています（ガイドを垂直に配置した1/2タイプもあります）。

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage

図-1
Fig.1

X・XY
X・XY

ZZ

回転
Rotation

One set of wedge type cross roller guides are mounted on the horizontal plane
and the other set of guides are tilted so that tangent is 1/4 (approximately 14degree) (see Fig. 1). If the wedge is pushed in from one side, the table fixed to the central axis moves vertically. Since thetilted cross roller guide supports the horizontal component of force, the moment load rigidity on the table top face isreinforced(1/2 type is available, which of guide is set vertically).

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ

●四面フラットローラーガイド Tetrahedral Flat Roller
四面フラットローラとは、移動柱の四方向に円筒コロを配置し、その外側を四枚のガイド板で構成する案内方式です。移動柱、ガイド板は焼き入れ研磨仕上げにより平面、直角の精度が高く、硬質に仕上げられています。クロスローラガイドと比べ円筒コロの長さ、数が多く接触面積が多い為、剛性が高く、姿勢安定性に優れた構造です。
Tetrahedral Flat Roller is guide mechanism, put the ground bearing on to four-way of transfer post, and set the four guideplate on the outside of bearing. The transfer post and guide plate are finished highly flatness, squareness and toughend
by quench ground method. Compare with cross roller guide, longer than length and more quantity of the ground bearing,then bearing area is large. It is superior in terms of stiffness and angular stability as bearing contact area is large that's
why longer and more quantity of the ground bearing than cross-roller guide.

真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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実験用
Experimental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージXYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

自動Zステージガイダンス
Understanding Motorized Vertical Linear Stage

送り方式
Lead Mechanism●研削ネジ、ボールネジ Ground screw, Ball screw
研 削 ネ ジ ：研削ネジは、高い精度で研削加工された雄ネジとそれを受けるメネジから構成されています。雄ネジとメネジは、お互いに広い面積にわたり接触するため摩擦が大きくなりますが、モーターの励磁オフによるステージ上面の落下を防ぎます。また、一回転あたりの送り量を細かくでき分解能を高めることができます。
Ground screw : The ground screw is ground at high precision and is held in place by a female screw. Since the groundscrew and female screw are in contact each other over a wide area, the friction is high.It preserves thedrop of stage's upper table by motor current off. In addition, it reduce the lead length per rotation, and theresolution will increase.
ボールネジ：ボールネジは、ネジ軸とナットの間にボールを挟み込んだ構造をしています。ネジを回転させると、ボールがネジ軸とナットの間を転がりながら移動し、再びもとの場所に戻るように設計されています。ボールの転がりを利用するため、摩擦が小さく高い伝達効率が得られ、静摩擦と動摩擦の差が小さくスティックスリップが起こりにくくなります。
Ball screw : The ball screw consists of a screw spindle, a nut, and a ball between them. When the screw is rotated, theball rolls and moves between the ball screw spindle and the nut, and then returns to its original position.
Since a ball is rolled, the friction is low, a high transmission efficiency is obtained, the difference between
static friction and dynamic friction is small, and stick-slip does not easily occur.

●送りネジ+減速機構（クサビ、ベルト式、ウォーム＆ウォームホイール）
Feed Screw + Deceleration Mechanism (Wedge, Belt Drive, Worm & Worm Wheel)
減速機構によりモータートルクを増幅させ、上下動へと伝達します。
The deceleration mechanism increases the motor torque, and it convert the up-and-down motion.
・分解能
ステージの分解能は、以下の計算から求められます。

（ΔX =）p・Δθ
360n・m

ΔX：分解能 (mm)Δθ：モーターの基本ステップ角 (°)

p：送りネジのリード(mm)n：減速比（クサビ、ベルト式、ウォーム＆ウォームホイール）
m：マイクロステップの分割数

・Resolution
Resolution of standard stage is calculated based on thefollowing formula.

（ΔX =）p・Δθ
360n・m

ΔX：Resolution (mm)Δθ：Basic step angle of motor (°)

p：Feed screw lead (mm)n：R eduction ratio (Wedge, Belt Drive, Worm & WormWheel)
m：Division number of micro-step

最高速度Maximum Speed最高速度は、高速域でのモーターとドライバのトルク特性に依存しますが、弊社ではドライバをハーフステップに設定し、10kppsで動作させたときの速度として定義しています。10kpps以外の場合は、各仕様欄へ記載してあります。
Maximum speed depends on motor torque characteristics in higher speed area. However, we calculate maximum speed at
10kpps with motor in half-step mode. Except of 10kpps, the value is fill in each specification.

●ステージの落下について About the table drop
送り方式にボールネジを利用した自動Zステージは、モーターの励磁をオフにするとステージ上面が落下する可能性があります。
オプション対応として、そのような場合の落下を防ぐための電磁ブレーキを装着することが可能です。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
The motorized vertical stage which of lead mechanism is ball screw, there is possibility to drop the stage table whenmotor's current is turned off. As an option extra, electromagnetic brake is possible to equip. Contact us for furtherinformation.

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勝手違い（逆勝手）Reverse Stage (Mirror Model)

実験用Experimental

ご要望に応じてコネクタとセンサを左右反転して取り付ける、逆勝手仕様に対応いたします。
※ZA10A-W202はコネクタ部のみの逆勝手仕様となります。
Upon request, we can supply reverse arrangement specifications in which the connector and the sensor are mounted inreverse.
※ZA10A-W202, only connector part is mounted in reverse.

33

ザグリ穴の首下寸法を、「Shaft Length ** mm」と表記します（右図、左）。
ザグリ穴が無く直接ネジを取り付ける場合はこの

4-for M3 screws

表記がなく、板厚が首下寸法となります（右図、右）。

Shaft Lentgh 3mm

4-for M3 screws

The length of counterbore’s shaft for mounting is described “Shaft Length ** mm” (Top figure, left) in catalog drawing.
If counterbore does not exist on mounting part, depth size of base will be shaft length size (Top figure, right).

自動精密ステージ
Motorized
Stage

回転Rotation

センサ基板型式
Sensor Type

モーター/定格電流値
Motor / Phase Current

基本ステップ角
Basic Step Angle

コネクタ形状Connector TypeZA04A-W101

V4F-113

PX513PB/0.35A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA04A-W101-R

V4F-113

PX513PB/0.35A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA05A-W101

V3F-115

PK513PB/0.35A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA05A-W101-R

V3F-115R

PK513PB/0.35A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA05A-W2C01

V3F-116

TS3664N16E2/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA05A-W2C01-R

V3F-116R

TS3664N16E2/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA07A-W2C02

V3F-116

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA07A-W2C02-R

V3F-116R

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA07A-V1F01

V3F-115

C090P-9015P/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA07A-V201

V3F-115PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA10A-W202

V3F-115R

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA10A-W202-R

V3F-115R

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA10A-W2C02

V3F-116

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA10A-W2C02-R

V3F-116R

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA10A-32F01

V3F-101

PK525HPMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA10A-32F01-R

V3F-101

PK525HPMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA16A-32F01

V3F-101

C090P-9015P/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA16A-W2C01

V3F-101

C090P-9015P/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA16A-W2C01-R

V3F-101

C090P-9015P/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA05A-X102

V3F-116

PK523HPMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA05A-X102-R

V3F-116R

PK523HPMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round
丸形20ピン, 20 Pin RoundZA07A-X103

V3F-116

PK544PMB/0.75A

0.36°

ZA07A-X103-R

V3F-116R

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA07F-X103

V3F-116

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA07F-X103-R

V3F-116R

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round
丸形20ピン, 20 Pin RoundZA10A-X102

V3F-101

PK544PMB/0.75A

0.36°

ZA10A-X102-R

V3F-101

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA10F-X102

V3

F-101

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA10F-X102-R

V3

F-101

PK544PMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA10A-X1T01

V3F-104/F-105

C087Q-9215P/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA10A-X1T01-R

V3

F-104/F-105

C087Q-9215P/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA16A-X101

V3F-101

C087Q-9215P/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundZA16A-X101-R

V3F-101

C087Q-9215P/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin Round「勝手違い型式」によりセンサ基板型式の異なる機種は、赤字表記となっております。
Red colored character means different Sensor Type caused by mirror model.
出力側軸端をカットしています※
Cut off the edge of motor shaft's output side.

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スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

ZZ

自動Zステージ
Motorized Vertical Stage
結線タイプ
Wiring Type

回転Rotation

X・XY
X・XY

ステージ結線表
Stage Wiring List
型式
Model Number

X・XY
X・XY

Z
Z

ザグリ穴の首下寸法について About the shaft length of counterbore
カタログ図面ではステージ取り付けの際に用いる

手動精密
ステージ
Manual
Stage

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
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ケーション
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モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
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