FINE series PURE

高温バルブ series

FWBRｰ71ｰ9.52
FWBRｰ71ｰ6.35

専用ヒーティングユニット

高温バルブ seriesラインナップ
500℃
300℃

200℃

FWBR 71 6.35＃A

FPR NHD 71 6.35 PA＃A

P4150℃

100℃

FPR ND 71 6.35 PA、PIFPR UDDF 71 6.35 PA、PI＃A

FPR 71 6.35 PA、PI＃A

FPR 71 6.35 HT＃A

0℃
-10℃

10.25

0.3

­10〜 ＋300℃­10〜 ＋200℃­10〜 ＋150℃­10〜 ＋100℃

FWBR 71 9.52＃A

FPR NHD 71 9.52 PA＃A

P4
FPR ND 71 9.52 PA、PIFPR UDDF 71 9.52 PA、PI＃A

FPR 71 9.52 PA、PI＃A

FPR 71 9.52 HT＃A

0.40.60.8 Cv値
（20℃）

2

MEGA® M

オールメタル エアオペレーションバルブ
高温バルブ
MEGA ‑M LA は、高温下 300℃（条件によります）まで対応可能なオールメタルバルブです。
また、専用のヒーターと組み合わせる事で、高温プロセスや排気系での堆積物付着防止に大きく貢献致します。

標準接続は1/8" ファインロック

アクチュエータはオールメタルであり環境温度300℃で使用可能●300℃対応可能●300℃時で耐久性20万回以上●オプションで耐久性100万回も対応可能（Cv値0.1）

良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 1.38cc）
メタルシートの採用により接ガス部はすべてメタルとなりました。

接ガス部は全て標準でUP処理されています。

3

仕様

呼び径

最高使用圧力使用温度範囲

Cv値（20℃窒素ガス時） ※

作動圧力

接続継手

6.35
9. 5 2 、1 2 . 7

1 MPa−10〜 +300 ℃

0.25
0.70.39〜0.59 MPa

UJR、UPG
W‒seal●実績リーク量
外部リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下，
弁座リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下
弁座リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下●検査時リーク量 外部リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下，※：ボディ形状によっては異なる物もあります。

材質

部品名

材質

部品名

材質

ボディ
ダイヤフラムSUS316L Wメルト材
ニッケル−コバルト合金

ステム・ボンネット
アクチュエータ

SUS316
SUS316

寸法図

各図面はフジキンCADデータサービスよりダウンロードできます。https://www.fujikin.co.jp/cad̲s/

HEX.10
呼び径φ3.2Lh

H

DAB

C

FWB(R)‑71‑6.35#A

1

57

14.3 69.5

52

181826

FWB(R)‑71‑9.52#A

176.2 11.1 94.3

6220.2 20.235FWB(R)‑71‑6.35‑2#A

270.6 14.3 69.552181826FWB(R)‑71‑9.52‑2#A283

12.7 94.3

62

20.2 20.235FWB(R)‑71‑6.35‑LJO#B

157

14.3 74.552181826FWB(R)‑71‑6.35‑2‑LJO#B

270.6 14.3 74.552181826h（H）

品番

図2LCA

L

（単 位： m m ）

参照図
No.

20φDh

図１

●全てHeリークチェック済です。
●優れた耐久性 20万回以上（300℃下実験値）

B■ダイレクトダイヤフラムタイプ
高温・高耐久 エアオペレーションバルブ

FPR‑NHD‑71‑★★‑PA#A※下記寸法は呼び径6.35のものです。

200℃
耐久性3000万回以上
シート材： PFA（PFA樹脂）
PI（ポリイミド樹脂）も対応可能仕様

呼び径

最高使用圧力使用温度範囲

Cv値（20℃窒素ガス時）※

作動圧力

操作圧接続ポート

接続継手

6.35
9.52

1 MPa

−10〜 ＋200 ℃

0.4
0.60.45〜0.6 MPa

M5×0.8

UJR、
UPGⓇ
F900、
自動溶接継手●実績リーク量
外部リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下，
弁座リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下 ●全てHeリークチェック済です。
弁座リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下 ●優れた耐久性 3000万回以上（200℃下実験値）●検査時リーク量 外部リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下，※: ボディ形状によっては異なる物もあります。

4高温バルブ■ダイレクトダイヤフラムタイプ
高温 エアオペレーションバルブ

FPR‑ND‑71‑★★‑PA※下記寸法は呼び径6.35のものです。

150℃
耐久性400万回以上(φ6.35)
シート材：PFA（PFA樹脂）PI（ポリイミド樹脂）も対応可能

仕様

呼び径
6. 3 59. 5 2

最高使用圧力使用温度範囲

1 MPa−10〜 ＋150 ℃

Cv値 ※（20℃窒素ガス時）
0 .30.65

作動圧力

操作圧接続ポート

接続継手

0.4〜0.6 MPa

M5×0.8UJR、UPGⓇ
F900、自動溶接継手●実績リーク量
外部リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下，
弁座リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下 ●全てHeリークチェック済です。
弁座リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下●検査時リーク量 外部リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下，●優れた耐久性 400万回以上（φ6.35）（150℃下実験値）、200万回以上（φ9.52）（150℃下実験値）※: ボディ形状によっては異なる物もあります。

■ダイレクトダイヤフラムタイプ
高温 エアオペレーションバルブ

FPR‑UDDF‑71‑★★‑NL‑PA#A※下記寸法は呼び径6.35のものです。

150℃
耐久性200万回以上
シート材：PFA（PFA樹脂）
PI（ポリイミド樹脂）
も対応可能

仕様

呼び径6. 3 5
9. 5 2最高使用圧力使用温度範囲

1 MPa−10〜 ＋150 ℃

Cv値 ※（20℃窒素ガス時）
0 .2 50.6

作動圧力

操作圧接続ポート

接続継手

0.34〜0.49 MPa

Rc1/8

UJR、UPGⓇ
F900、自動溶接継手●実績リーク量
外部リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下，
弁座リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下 ●全てHeリークチェック済です。
弁座リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下 ●優れた耐久性 200万回以上（150℃下実験値）●検査時リーク量 外部リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下，※: ボディ形状によっては異なる物もあります。

5

■シリンダー型ベローズタイプ
高温 エアオペレーションバルブ

FPR‑71‑★★‑PA#A※下記寸法は呼び径6.35のものです。

150℃対応品
シート材： PFA（PFA樹脂）
PI（ポリイミド樹脂）
も対応可能

仕様

呼び径

最高使用圧力使用温度範囲

Cv値 ※（20℃窒素ガス時）

作動圧力

操作圧接続ポート

接続継手

6.35
9.52
12.7

1 MPa

−10〜 ＋150 ℃

0 .3
0 .8
0 .8

0.34〜0.69 MPa

Rc1/8

UJR、F900
自動溶接継手●実績リーク量
外部リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下，
弁座リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下 ●全てHeリークチェック済です。
弁座リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下●検査時リーク量 外部リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下，※: ボディ形状によっては異なる物もあります。 ※: 呼び径12.7の接続継手はF900自動溶接継手のみです。

■シリンダー型ベローズタイプ
高温 エアオペレーションバルブ

FPR‑71‑★★‑HT#A※下記寸法は呼び径6.35のものです。

100℃対応品
シート材： PCTFE仕様

呼び径

最高使用圧力使用温度範囲

Cv値 ※（20℃窒素ガス時）

作動圧力

操作圧接続ポート

接続継手

6.35
9.52
12.7

1 MPa

−10〜 ＋100 ℃

0 .3
0 .8
0 .8

0.39 MPa

Rc1/8

UJR、F900
自動溶接継手●実績リーク量
外部リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下，
弁座リーク：5×10−12 Pa・m3／sec以下
弁座リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下●検査時リーク量 外部リーク：5×10−10 Pa・m3／sec以下，※: ボディ形状によっては異なる物もあります。
※: 呼び径12.7の接続継手はF900自動溶接継手のみです。

●全てHeリークチェック済です。

6専用ヒーティングユニット

1 特殊加熱機構により安定した温度が得られます。
バルブボディを直接加熱・継手部を間接的に加熱制御することにより自然対流式高温槽のような状態となり、接ガス部では設定温度に近い温度分布が得られます。
300℃設定⇒±3％以内（実績値）

2 メンテナンス時の着脱が容易

2分割されたヒーターケースは、つまみねじにより固定されているため、簡単に取付け、取外しが可能です。又、ラインヒーターや断熱材を外すことなくバルブの着脱が可能です。

3 ラインヒーティングの問題を解消

従来、ラインヒーターでは配管、バルブを共に同じヒーターにて加熱していましたが、本ユニットではナットを含むバルブ全体の一括加熱により熱容量の違いによる制御の不安定、二重巻きによる過熱異常が解消できます。

4 軽量かつ高耐久性

ケーシング構造によりシンプルかつ軽量化を実現。
ヒーター単独での耐熱性は350℃以上です。

5 低コスト

ヒーター施工の手間を省きます。
テープヒーター並びにシースヒーターの困難な作業をなくし、安全で確実な施工が行えることでコスト低減に貢献します。

着脱用
固定ねじ
加熱部Ｌ
ＳＵＳ製

7

ナット部を含む加熱機構

耐熱リード（ポリイミド製）

加熱部Ｒ
ＳＵＳ製

性能
接ガス部において、設定温度に対し299℃〜305℃にて安定（実験値）

No.6

No.5

No.3

No.1

No.2

No.2 No.4 No.7

No.4

No.7

No.1

UHTｰWBｰ6.35測温データ（ガスパージなし）
温度（℃）

No.7: バルブインナ ー 温度幅

No.3: ナット表面

350±3％以内（実績値）

300

No.2: ダイヤフラム IN側

250

No.6: アクチュエータ

200

No.4: ダイヤフラム OUT側

No.1: 制御ポイント

No.5: ヒーターケース表面

No.1
No.2
No.3
No.4
No.5
No.6
No.7
No.8

150

No.2：ダイヤフラムIN側
No.4：ダイヤフラムOUT側
No.7：バルブインナー
No.3：ナット表面
No.1：制御ポイント

10050

300℃
299℃
305℃
307℃
300℃

2:1:57

1:57:27

1:52:57

1:48:27

1:43:57

1:39:27

1:34:57

1:30:27

1:25:57

1:21:27

1:16:57

1:12:27

1:7:58

1:3:280:58:58

0:54:28

0:49:59

0:45:29

0:40:59

0:36:29

0:31:59

0:27:29

0:22:59

0:18:29

0:13:59

0:9:290:4:59

0:0:290（Time）

8

専用ヒーティングユニット
基本仕様
6.35ヒーター

9.52ヒーター

UHT‑WB‑6.35#A

UHT‑WB‑9.52#A

適用バルブ

ＦＷＢＲ‑71‑6.35#A

ＦＷＢＲ‑71‑9.52#A

最高使用温度

350℃（ヒーターのみ）

350℃（ヒーターのみ）

電気容量

ＡＣ100Ｖ・150Ｗ

ＡＣ100Ｖ・190Ｗ

消費電力：140Ｗ（300℃時）

消費電力：170Ｗ（300℃時）

定格抵抗値66.7Ω（±10％）52.6Ω（±10％）ヒーター線材質

カンタル線

カンタル線

電源リード材質

テフロンリード（ＵＬ規格品）

テフロンリード（ＵＬ規格品）（リード長0.5ｍ）

端末部未処理端末部未処理中継リード材質

ＳＴＭ500

ＳＴＭ500（リード長0.5ｍ）

被覆部ポリイミド（ＵＬ規格品）

被覆部ポリイミド（ＵＬ規格品）

中継コネクター

ＷＡＧＯコネクター

ＷＡＧＯコネクター（ＵＬ規格品）（ＵＬ規格品）

ヒーター

セラミックヒーター

セラミックヒーター

ケーシング

ＳＵＳ304

ＳＵＳ304

熱電対固定金具

標準装備（φ1.6専用）

標準装備（φ1.6専用）

オプション設定

オプション設定（制御用・警報用）（制御用・警報用）

UJR‑6.35MS‑L33‑AW‐SUJR‑9.52MS‑L37‑AW‑S（継手はめす使用）（継手はめす使用）

熱電対使用接続スリーブ※1※2※1： φ1.6、長さ150mm以上の物をご使用下さい。 ※ 2： 右記品番以外仕様の際は、オプションとなります。他社製含む。

関連製品
下記についても製作可能です。
●200Ｖ仕様●ブロックバルブヒーター
その他については別途ご相談下さい。

9OPTION
熱電対
熱電対: Kシースタイプ（標準シース：SUS316）
シース外径
φ1.6
シース長200mm

リード部
テフロンリード標準（耐熱180℃）

型式

TCS

K

B

K種

シース径
B：φ1.6

2
リード長
1：1m
3：3m

シース長2：200mm

注記：
標準品番（推奨）は上記、赤文字部になります。シース径φ1.6、シース長200ｍｍ。
標準品番同等であれば他メーカー品使用可能です。
リード長についてはご希望の長さを明記願います。
その他については別途弊社にご相談下さい。

熱電対取り付け方法

ヒーターケース
Φ１．
６熱電対
オプション設定

付属スタッド又はＭ5ねじにて固定

熱電対固定金具
標準装備

付属固定金具にて熱電対を挟み込み固定します。

10

CAT: No.700-05-H