清浄度監視システム

Manifold

9110

6000 Series

7000 Series

9310

AEROTRAK +TM

モニタリングポイントの選定

モニタリングシステム概要

モニタリングポイントの選定は、重要作業箇所、汚染されやすい箇所、製造区
域の清浄度を代表する箇所などを考慮します。

日常的な製造区域のモニタリングポイントは、製品が環境に暴露される近傍（例

えば 30cm 以内）、人の介入や往来が多い、低い清浄度エリアの影響を受けて清浄度モニタリングシステムの種類

清浄度モニタリングは、個々の測定ポイントにパーティクルセンサを設置して測定する常時監視方式と、複数の測定ポイントを切替機（マニホールド）により１台のパーティクルカウンタで測定する流路切替

汚染源となりやすい、気流解析の結果からワーストポイントと考えられる箇所など、リスクアセスメントの結果や製造区域の清浄度区分の検証で得られた結果を参考に決定します。

●分散可能なシステム構成

方式がある。常時監視方式と流路切替方式を組み合わせて１台のＰＣ

FMS を構成する 3 つの要素 Monitor、Database、Client は同じ PC 上にある必要はなく、別々の PCにインストールすることができます。それぞれの構成要素は TCP / IP プロトコルを基盤とするネッ
トワーク上で相互に通信を行います。

（ソフトウェア）で管理することもできます。

環境モニタリングシステム図

真空チューブLAN ケーブル●Monitor（モニター )モニターはパーティクルカウンタや I/O 入出力モジュールと相互に対話してデータを収集する役割を担っています。モニターは独立した Windows のサービスプログラムとしてバックグラウンド上で実行されますので高い信頼性があります。

構成要素

信号線

●Buddy Monitor（バディモニター）

マニホールドClientバディモニターはシステムの安定性を高めたホットスタンバイシステムを構築します。バディモニ
ターはモニター PC を監視できる同一ネットワーク上に配置され通常は休止状態にあります。
PC の故障やネットワークの問題等でメインモニターが予期せず停止した場合にはバディモニターが1 ～ 2 分で起動を開始し、モニタリングが復元されます。
メインモニターが再起動されバディモニターが必要なくなると即座に閉じてホットスタンバイ状態に戻ります。FMS では復元までの 1 ～ 2 分間のデータはバディモニター起動後にリモートセンサー内のバッファから取り込まれます。

SQL. Mirror
Database

ユーザーネットワーク

Grade
C&D

ClientClient●Client（クライアント）

Monitor
Buddy
Monitor

SQL. Main
Database

クライアントは PC 画面上に表示される GUI アプリケーションです。クライアントではリアルタイム
情報や履歴データを確認したり、各種レポートを作成することができます。システム構成や各機器の設定もクライアント画面から行います。クライアントを閉じてもモニターはデータ収集を継続しますので、もしクライアントがフリーズしてもデータ収集が止まることはありません。クライアントはネットワーク上であればモニターとは別の PC にインストールすることもできます。

FMS Client PC●Main Databese（メインデータベース）

FMSローカルネットワーク
・アナログインプット Phoenix リモート I/O▶各種センサのアナログ信号入力
・デジタルイン▶接点など各種信号の入出力
・デジタルアウト

湿度
差圧

etc.

外部ポンプユニット
起動 / 停止

アラーム

温度

Aero Trak 6510

リアルタイム
浮遊菌測定
Bio Trak 9510-BD

温度

湿度

風速

Model 7510

etc.

清浄度区域の分類
CB●Mirror Databese（ミラーデータベース）

機械室 A

バスルーム

9310

混合室
原料倉庫

AS

PR
器材
保管室

製造室

PR

着衣室

手洗室

一般
保管室

低温室

マニホールドAS

着衣室

エレベーターホール

GradeB

滅菌室

グレード C（ISO8）クラス 100,000

秤量室
クリーン廊下

充填室

空調
機械室

前室

調整室

機械室

グレード B（ISO7）クラス 10,000

機械室 B

前室

GradeA

Grade
A＆B

グレード A（ISO5）クラス 100

機械室

model7510

FMS では標準のミラーリング機能を使用して 2 台の PC に PostgreSQL データベースを設定することができます。2 つの場所にあるメインデータベースとミラーデータベースには同時にデータが書き込まれます。一般的にミラーデータベースはシステム上の物理的に離れた位置に設置されます。

差圧

CO2濃度

医薬品製造施設の設置例

model6510

モニターによって収集されたデータはオープンソースの SQL データベース（PostgreSQL）に格納されます。これらの RDBMS は信頼性や可用性が高く世界中の企業内で幅広く採用されています。
データベースはネットワーク上に配置できますのでモニターと同じ PC にインストールする必要はありません。もし、データベースとモニター間の通信が途絶えたり、何らかの理由でデータベースが停止した場合には、再びデータベースとの通信が復帰するまでのデータは一時的にモニターにスプール（記憶）されます。

PoE HUB

Model 7510

手洗室

GradeC廊下

GradeD

横河電機製ペーパレスレコーダー SMARTDAC+ でのシステム構築

TSI 社の各種パーティクルセンサは、SMARTDAC+ とのデジタル通信（MODBUS/TCP）に対応しています。
対 応 モ デ ル GX20/GX10/GP20/GP10/GM10
必要オプション MC： 通信チャンネル
MT： 演算機能

画面表示例

2

A S： セキュリティ（Part11）

ソフトウェア「FMS」

FDA21CFR Part11 対応

多彩な環境測定器のデータ収集、保存、解析に対応

清浄度モニタリングシステム用ソフトウェア FMS は、Windows ベースのTSI 社標準ソフトウェアパッケージで､ TSI 社のパーティクル測定器や、風速、温湿度､差圧などの環境測定器のデータ収集、保存、解析を行えます｡

FMS は パ ー ソ ナ ル コ ン ピ ュ ー タ 上 の Windows 環 境 下 で 動 作 し、MDI（Multiple Document Interface）や Ethernet ネ ッ ト ワ ー キ ン グ な ど のWindows の優れた特徴を継承しています。FMS では Windows 標準の GUI（グラフィカルユーザーインターフェース）を使用していますので、キーボー
ドやマウス操作により簡単に操作でき､他の Windows ベースアプリケー

ションの使用経験があれば直ぐにお使いいただけます。本ソフトウェアは

21CFR Part11 対応しています。

表示画面

FMS には、多くのデータ表示画面があります。複数の画面を同時に表示可能でお好みに合わせた画面構成を設定できます。表示画面より各種の画面にマウスの動作で移動可能で、設定した画面構成は、FMS 終了後も次回起動時に復元されます。

マップ画面

マップ画面では、JPG 形式ファイルに対応し、測定ポイントの最新の測定値を表示することが可能です。マップが複数に及ぶ

場合も選択アイコンを設定し、容易にご希望のマップを呼び出すことができます。

グラフ画面

ステータス画面

ステータス画面では各測定ポイン

トの測定状況を表示します。各測
定ポイントの一覧に最新の数値
データと色により分類された状況を表示します。任意のポイントをクリックすることにより詳細なデータ画面を表示します。各測定ポイントをグループ化し、グルー
プ単位での表示もできます。

レポート作成測定データ、統計、監査履歴、警報履歴、イベント履歴など個別に選択してレポートに含めることができます。

CSV 形式のファイルを自動作成、保存することもできます。

アラーミング

選択した測定ポイントのリアルタ

浮遊微粒子、温度、湿度、差圧等の各測定データに対して、のグラフを表示できます。カラー

警報設定は統計的条件（N 回連続超過）での設定もできます。

イムデータ、あるいは保存データ

ペンに測定ポイントなどそれぞれ任意に割り当て、縦軸リニア、対数切替、最大最少値、補助線分割など任意に設定ができ、作成したグラフを画像として保存、印刷出力できます。

アクセス制御（1）システムへのアクセスはユーザ ID とパスワードで保護されます。

（2）ユーザグループごとに操作権限を設定し使用者により操作範囲を制限することができます。

（3）自動ログアウト時間（無アクセス時間 1 ～ 99 分で 1 分単位の設定可）を設定できます｡

データ保存

2 段階の管理限界値（警告値 / 警報値）の設定ができます。

ソフトウェアではアラーム内容ごとに画面上でのカラー表示（背景色と文字色）および音声出力の有無を設定できます。

測定値無し
OK
警告
警報
異常
確認待ち

アラームメール通知機能

機器の異常発生及び警報値を超過した場合に、同一ネットワークに接続されたメールサーバにより、予め設定された宛先へ E メールを送信することが
できます。

監査証跡

各種ユーザ操作を行った際に、変更することができない監査証跡（変更者、タイムスタンプ、変更内容）が自動的に記録されます。記録された監査証跡
はレポート作成機能から確認できます。

ネットワーキング

FMS により収集されたデータはデータベースに自動的に保存されます。デー

Ethernet（スター型）で構成される専用 LAN は、ネットワークスイッチを使

FMS もしくはパスワード保護された専用のデータベースエンジンを用いなけ

フトウェアを使用することにより、ネットワーク上にデータ閲覧用の PC をタベースに保存されたオリジナルデータファイルは、アクセス制御された
れば閲覧できないバイナリ形式で保存・暗号化されます｡

用し容易に拡張することができます。また別途オプションのクライアントソ
増設することができます。

3

常時監視方式（ポンプ内蔵型） AEROTRAKTM+ model 6000 シリーズ
խ㘗䒭

6201-24010
試料流量
適合規格

適合規格

0.2/0.3/0.5/1.0 µm

խ㘗䒭6501-24100

խ磛䖇⼒ⴓ

0.5/1.0/5.0/10 µm

6301-24100
0.3/0.5/5.0/10 µm
6501-24250 0.5/5.0/10/25 µm
0.1 CFM（2.83L/min）
խ㘗䒭
խ磛䖇⼒ⴓ
խ㘗䒭
խ磛䖇⼒ⴓ
6301-26250
0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm 6501-25250 0.5/1.0/5.0/10/25 µm
6201-24010
0.2/0.3/0.5/1.0 µm
6501-24100 0.5/1.0/5.0/10 µmխӪ꫼갈‫ه‬ٝ‫ⰻف‬詿խӪ‫ه‬ٝ‫ف‬荈⹛⨡姺堣腉➰ֹ ˟ 1խӪ‫ؿحغ‬؋ًٌٔⰻ詿 ˟ 2
ISO21501-4, JIS B9921, CE
6301-24100
0.3/0.5/5.0/10 µm
6501-24250 0.5/5.0/10/25 µm
鑐俱崧ꆀ2.83 L/min0.1 CFM
6301-26250
0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm 6501-25250 0.5/1.0/5.0/10/25 µm
172,000,000 / णխ鎘侧䴦㣟 10 % ⟃♴剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝
խӪ꫼갈‫ه‬ٝ‫ⰻف‬詿խӪ‫ه‬ٝ‫ف‬荈⹛⨡姺堣腉➰ֹ ˟ 1խӪ‫ؿحغ‬؋ًٌٔⰻ詿 ˟ 2瘭⡤勞颵‫ذأ‬ٖٝ‫أ‬鑐俱崧ꆀ
2.83 L/min0.1 CFM⯔彁⼱㼪⡤ٖ٦‫ؠ‬
172,000,000 / णխ鎘侧䴦㣟 10 % ⟃♴剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝
114W66D142Hmm խ˟瑱饯鿇ꤐֻ㼄岀瘭⡤勞颵‫ذأ‬ٖٝ‫أ‬
1.05 kgꅾꆀ⯔彁⼱㼪⡤ٖ٦‫ؠ‬ꨵ彁
PoE 窌ꨵEthernet‫ כ׋ת‬DC12-24 V 30 W
114W66D142Hmm խ˟瑱饯鿇ꤐֻ㼄岀⢪欽橆㞮
10  40 ˫ / 20 ։ 95 %穠ꪪ‫הֹֿז‬
1.05 kg
ꅾꆀ
EthernetTCP/IPModbus RTU鸐⥋ꨵ彁
PoE 窌ꨵEthernet‫ כ׋ת‬DC12-24 V 30 W
ؔ‫ّءف‬ٝ : 4-20 mA ⳿⸂磛䖇 2 ch/ ‫ذأ‬٦‫ أة‬1 chխ 㘗䒭劣畭‫" ח‬A" 邌鎸⢪欽橆㞮
10  40 ˫ / 20 ։ 95 %穠ꪪ‫הֹֿז‬،ٓ٦‫⸂⳿ي‬搀ꨵ㖇䱸挿AC/DC 0 ։ 30 V, 2 A
EthernetTCP/IPModbus RTU
256,000 ‫ر‬٦‫ة‬劤⡤ⰻ‫ر‬٦‫⥂ة‬㶷鸐⥋ؔ‫ّءف‬ٝ : 4-20 mA ⳿⸂磛䖇 2 ch/ ‫ذأ‬٦‫ أة‬1 chխ 㘗䒭劣畭‫" ח‬A" 邌鎸垥彊➰㾩ㅷ《䪔铡僇剅ծ吤姻鏾僇剅ծ嗚叨䧭籐剅ծ‫ٖز‬٦‫؍ذٔؽ؟‬،ٓ٦‫⸂⳿ي‬搀ꨵ㖇䱸挿AC/DC 0 ։ 30 V, 2 A‫إ‬ٝ‫؟‬㔿㹀ꆃⰧծ瘝鸞ェ䒷‫ٗف‬٦‫ـ‬ծ‫ُث‬٦‫ـ‬ծLAN ‫؛‬٦‫ٕـ‬ծHUBծAC ꨵ彁،‫ةفت‬ծ⚺‫ّءفؔז‬ٝ
256,000‫ر‬٦‫ة‬劤⡤ⰻ‫ر‬٦‫⥂ة‬㶷
PCծUPSծ陨㜠ِ‫ زحص‬etc.
‫ػ‬٦‫ةٕ؍ؿآ‬ծٌ‫ٔةص‬ٝ‫ؑؐزؿاؚ‬،ծ垥彊➰㾩ㅷ《䪔铡僇剅ծ吤姻鏾僇剅ծ嗚叨䧭籐剅ծ‫ٖز‬٦‫؍ذٔؽ؟‬⚺‫ّءفؔז‬ٝ

試料流量

խ磛䖇⼒ⴓ

‫إ‬ٝ‫؟‬㔿㹀ꆃⰧծ瘝鸞ェ䒷‫ٗف‬٦‫ـ‬ծ‫ُث‬٦‫ـ‬ծLAN ‫؛‬٦‫ٕـ‬ծHUBծAC ꨵ彁،‫ةفت‬ծ‫ػ‬٦‫ةٕ؍ؿآ‬ծٌ‫ٔةص‬ٝ‫ؑؐزؿاؚ‬،ծPCծUPSծ陨㜠ِ‫ زحص‬etc.

1.0 CFM（28.3L/min）

6310

ISO21501-4, JIS B9921, CE

6510

խ㘗䒭
խ㘗䒭

0.3/0.5/0.7/1.0 µm

խ磛䖇⼒ⴓ

0.5/0.7/1.0/5.0 µm

խ磛䖇⼒ⴓ
6510-VHPVHP 罣䚍
0.5/0.7/1.0/5.0 µm
6310
0.3/0.5/0.7/1.0 µm
˟1Ӫ꫼갈‫ه‬ٝ‫ⰻف‬詿 Ӫ‫ه‬ٝ‫ف‬荈⹛⨡姺堣腉➰ֹ խӪ‫ؿحغ‬؋ًٌٔⰻ詿 ˟ 26510
0.5/0.7/1.0/5.0 µm
Ӫ
4 ch ،‫ؚٗش‬4-20 mAⰅ⸂畭㶨➰ֹ庛弪䏝ծ䗍䊴㖇瘝‫⸂Ⰵך‬

6510-VHP
0.5/0.7/1.0/5.0 µm
28.3L/min
VHP
1.0 罣䚍CFM
˟1Ӫ꫼갈‫ه‬ٝ‫ⰻف‬詿Ӫ‫ه‬ٝ‫ف‬荈⹛⨡姺堣腉➰ֹխӪ‫ؿحغ‬؋ًٌٔⰻ詿 ˟ 2
29,000,000/ ण鎘侧䴦㣟 10 % ⟃♴剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝
Ӫ 4 ch ،‫ؚٗش‬4-20 mAⰅ⸂畭㶨➰ֹ庛弪䏝ծ䗍䊴㖇瘝‫⸂Ⰵך‬瘭⡤勞颵‫ذأ‬ٖٝ‫أ‬鑐俱崧ꆀ
28.3L/min1.0 CFM⯔彁⼱㼪⡤ٖ٦‫ؠ‬
29,000,000/ ण鎘侧䴦㣟 10 % ⟃♴剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝
254W155D267Hmm խ˟瑱饯鿇ꤐֻ㼄岀瘭⡤勞颵‫ذأ‬ٖٝ‫أ‬
6.5 kgꅾꆀ⯔彁⼱㼪⡤ٖ٦‫ؠ‬ꨵ彁
DC24 V 3 A
254W155D267Hmm խ˟瑱饯鿇ꤐֻ㼄岀⢪欽橆㞮
10  40 ˫ / 20 ։ 95 %穠ꪪ‫הֹֿז‬
6.5 kgꅾꆀ
EthernetTCP/IPModbus RTU
鸐⥋
ꨵ彁
DC24
V 3⳿⸂磛䖇A
4-20 mA
2ch/ ‫ذأ‬٦‫ أة‬1chխ
⢪欽橆㞮
10

40
˫
/
20
։
95
،ٓ٦‫⸂⳿ي‬搀ꨵ㖇䱸挿DC60 V/2%A穠ꪪ‫הֹֿז‬
ծAC125 V/0.5 A鑐俱崧ꆀ،‫⸂Ⰵؚٗش‬鸐⥋劤⡤ⰻ‫ر‬٦‫⥂ة‬㶷،ٓ٦‫⸂⳿ي‬垥彊➰㾩ㅷ،‫⸂Ⰵؚٗش‬Ethernet
TCP/IPModbus RTU
4 ch
4-20 mA ⳿⸂磛䖇 2ch/ ‫ذأ‬٦‫ أة‬1chխ
3,000 ‫ر‬٦‫ة‬搀ꨵ㖇䱸挿DC60 V/2 AծAC125 V/0.5 A《䪔铡僇剅ծ吤姻鏾僇剅ծ嗚叨䧭籐剅ծ‫ٖز‬٦‫؍ذٔؽ؟‬4瘝鸞ェ䒷‫ٗف‬٦‫ـ‬ch‫ֹ➰فحٍؗ‬ծ‫ُث‬٦‫ـ‬䱸竲欽؎ٖٝ‫زح‬ծ‫ُث‬٦‫ـ‬3,000‫ر‬٦‫ة‬AC ꨵ彁،‫ةفت‬ծ
LAN ‫؛‬٦‫ٕـ‬ծHUBծ‫ػ‬٦‫ةٕ؍ؿآ‬ծ劤⡤ⰻ‫ر‬٦‫⥂ة‬㶷⚺‫ّءفؔז‬ٝ《䪔铡僇剅ծ吤姻鏾僇剅ծ嗚叨䧭籐剅ծ‫ٖز‬٦‫؍ذٔؽ؟‬ٌ‫ٔةص‬ٝ‫ؑؐزؿاؚ‬،ծPC etc.
垥彊➰㾩ㅷ瘝鸞ェ䒷‫ٗف‬٦‫ـ‬‫ֹ➰فحٍؗ‬ծ‫ُث‬٦‫ـ‬䱸竲欽؎ٖٝ‫زح‬ծ‫ُث‬٦‫ـ‬※1 ポンプ自動停止機能：測定中にキャップ等で吸引口を塞ぐと自動的にポンプの電源が OFF になります。
AC ꨵ彁،‫ةفت‬ծLAN ‫؛‬٦‫ٕـ‬ծHUBծ‫ػ‬٦‫ةٕ؍ؿآ‬ծ
吸引口を開放後、自動的に測定を開始します。
⚺‫ّءفؔז‬ٝPC etc.
ٌ‫ٔةص‬ٝ‫ؑؐزؿاؚ‬،ծ
※2 バッファメモリ：パーティクルセンサとPC（ソフトウェア）間の通信が遮断すると通信異常を検知しますが、パーティクル

センサの電源が入っている場合、パーティクルセンサはデータ収集を継続します。通信異常中に本体に蓄積されたデータは通信復旧後に PC（ソフトウェア）へ順次出力します。

4

խ㘗䒭

խ磛䖇⼒ⴓ

7201-22003
խ㘗䒭
7201-24010

0.2/0.3 µm
խ磛䖇⼒ⴓ µm
0.2/0.3/0.5/1.0

7301-24050
7301-22005
7301-24100

0.3/0.5/1.0/5.0 µm
0.3/0.5 µm
0.3/0.5/5.0/10µm

7201-22003
0.2/0.3 µm
7301-22005
0.3/0.5
シリーズ
AEROTRAK + model 7000
7201-24010 0.2/0.3/0.5/1.0 µm
TM

試料流量
適合規格

0.1 CFM（2.83L/min）鑐俱崧ꆀ剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝
ISO21501-4, JIS B9921,
CE鑐俱崧ꆀ剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝

鑐俱崧ꆀ剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝

˟2
7301-24050 0.3/0.5/1.0/5.0µmӪ‫ؿحغ‬؋ًٌٔⰻ詿
7301-24100
0.3/0.5/5.0/10
խ㘗䒭 0.1CFMխ磛䖇⼒ⴓµm
2.83L/min

˟2

適合規格

1.0 CFM（28.3L/min）խ磛䖇⼒ⴓ

0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm
0.5/5.0խ磛䖇⼒ⴓ
µm

7501-24100
7501-25250
7501-24250

0.5/1.0/5.0/10 µmµm
0.5/1.0/5.0/10/25
0.5/5.0/10/25 µm

7301-26250
7501-24100
7501-22050
7501-24250

7501-25250
խ㘗䒭Ӫ‫ؿحغ‬؋ًٌٔⰻ詿
7201-22003 णխ
0.2/0.3µm 10% ⟃♴ 7301-26250
172,000,000/
鎘侧䴦㣟
2.83L/min
0.1CFM
7201-24010 0.2/0.3/0.5/1.0 µm
7501-22050

172,000,000/鎘侧䴦㣟
7301-22005 णխ
0.3/0.5µm 10% ⟃♴ 7501-24100

0.3/0.5/1.0/5.0/10/25µm
0.5/1.0/5.0/10µm
0.5/5.0µm
0.5/5.0/10/25 µm

0.5/1.0/5.0/10/25
խ磛䖇⼒ⴓ µm

0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm
0.5/5.0 µm
0.5/1.0/5.0/10 µm

7301-24050

0.3/0.5/1.0/5.0 µm

7501-24250

0.5/5.0/10/25 µm

7301-24100

0.3/0.5/5.0/10 µm

7501-25250

0.5/1.0/5.0/10/25 µm

խ㘗䒭

խ磛䖇⼒ⴓ

Ӫ‫ؿحغ‬؋ًٌٔⰻ詿˟ 2

2.83L/min0.1CFM

172,000,000/ णխ鎘侧䴦㣟 10% ⟃♴

խ㘗䒭

試料流量

խ㘗䒭

7301-26250
խ㘗䒭
7501-22050

7310-22005
խ㘗䒭
7310-24050

0.3/0.5 µm
խ磛䖇⼒ⴓ µm
0.3/0.5/1.0/5.0

7510-22050+
խ㘗䒭
VHP罣䚍
7510-22050V

剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝

0.3/0.5 µm
7510-22050
7510-24100
0.3/0.5/5.0/10 µm+
VHP罣䚍
0.3/0.5/1.0/5.0 µm 7510-24250
7510-22050V
˟27510-24100
Ӫ‫ؿحغ‬؋ًٌٔⰻ詿
7310-24100
0.3/0.5/5.0/10 µm
7510-24250
28.3 L/min1.0CFM˟2Ӫ‫ؿحغ‬؋ًٌٔⰻ詿խ㘗䒭 णխ鎘侧䴦㣟
խ磛䖇⼒ⴓ
խ㘗䒭
17,200,000/
10 % ⟃♴剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝

+17,200,000/
10 %µm⟃♴
VHP罣䚍
7310-24050णխ鎘侧䴦㣟
0.3/0.5/1.0/5.0
7510-22050V

ISO21501-4, JIS B9921, CE
鑐俱崧ꆀ

鑐俱崧ꆀ

7310-22005
7310-24100
7310-24050

խ磛䖇⼒ⴓ

28.3
L/min1.0CFM µm
7310-22005
0.3/0.5

7510-22050

7510-24100

0.5/5.0 µm
խ磛䖇⼒ⴓ
0.5/5.0µm

0.5/5.0 µm
0.5/1.0/5.0/10µm
0.5/5.0 µm µm
0.5/5.0/10/25
0.5/1.0/5.0/10 µm
0.5/5.0/10/25 µmխ磛䖇⼒ⴓ

0.5/5.0 µm

0.5/5.0 µm
0.5/1.0/5.0/10 µm

㼄岀ꨵ彁

7310-24100
0.3/0.5/5.0/10 µm
7510-24250‫ذأ‬ٖٝ‫أ‬Ӫ‫ؿحغ‬؋ًٌٔⰻ詿˟ 2⼱㼪⡤ٖ٦‫ؠ‬
28.3 L/min1.0CFM‫ذأ‬ٖٝ‫أ‬114
W61
D74
Hmmխ˟瑱饯鿇ꤐֻ
17,200,000/ णխ鎘侧䴦㣟 10 % ⟃♴⼱㼪⡤ٖ٦‫ؠ‬
0.59
kg
114窌ꨵ
W61
D74‫כ׋ת‬
HmmDC12-24խ˟瑱饯鿇ꤐֻ
PoE
Ethernet
V 30 W

ꨵ彁
鸐⥋
⢪欽橆㞮
瘭⡤勞颵

10
 40˫ /: 4-20
20 ։mA95%⳿⸂磛䖇穠ꪪ‫הֹֿז‬‫ذأ‬ٖٝ‫أ‬ؔ‫ّءف‬ٝ
2 ch/ ‫ذأ‬٦‫ أة‬1 chխ 㘗䒭劣畭‫" ח‬A" 邌鎸

瘭⡤勞颵

⯔彁
鑐俱崧ꆀ
瘭⡤勞颵
㼄岀
剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝
⯔彁
ꅾꆀ
ꅾꆀ
⢪欽橆㞮

⯔彁
،ٓ٦‫⸂⳿ي‬鸐⥋㼄岀劤⡤ⰻ‫ر‬٦‫⥂ة‬㶷،ٓ٦‫⸂⳿ي‬ꅾꆀ垥彊➰㾩ㅷ劤⡤ⰻ‫ر‬٦‫⥂ة‬㶷ꨵ彁⚺‫ّءفؔז‬ٝ
垥彊➰㾩ㅷ
⢪欽橆㞮
鸐⥋

0.5/5.0/10/25 µm

0.59
10
kg
40˫ / 20 ։ 95%穠ꪪ‫הֹֿז‬
PoE 窌ꨵ‫ כ׋ת‬RTU
DC12-24 V 30 W
Ethernet
Ethernet
TCP/IPModbus

Ethernet
TCP/IPModbus⼱㼪⡤ٖ٦‫ؠ‬AC/DC
0 ։ 30 V,RTU
2 A
搀ꨵ㖇䱸挿

ؔ‫ّءف‬ٝ:
4-20
mA
2 ch/ ‫ذأ‬٦‫ أة‬1 chխ 㘗䒭劣畭‫" ח‬A" 邌鎸
114W
61
D
74⳿⸂磛䖇Hmmխ˟瑱饯鿇ꤐֻ
256,000‫ر‬٦‫ة‬AC/DC 0 ։ 30 V, 2 A搀ꨵ㖇䱸挿
0.59 kg《䪔铡僇剅ծ吤姻鏾僇剅ծ嗚叨䧭籐剅ծ‫ٖز‬٦‫؍ذٔؽ؟‬256,000‫ر‬٦‫ة‬PoE 窌ꨵ
Ethernet‫ כ׋ת‬DC12-24 V 30 W
LAN ‫؛‬٦‫ٕـ‬ծHUBծ‫ه‬ٝ‫زحصِف‬ծ‫إ‬ٝ‫؟‬㔿㹀ꆃⰧծ瘝鸞ェ䒷‫ٗف‬٦‫ـ‬ծ‫ُث‬٦‫ـ‬ծACխ‫ػ‬٦‫ةٕ؍ؿآ‬ծٌ‫ٔةص‬ٝ‫ؑؐزؿاؚ‬،ծ
PCծUPSծ陨㜠ِ‫زحص‬《䪔铡僇剅ծ吤姻鏾僇剅ծ嗚叨䧭籐剅ծ‫ٖز‬٦‫؍ذٔؽ؟‬10 ꨵ彁،‫ةفت‬ծ 40˫ / 20 ։
95%穠ꪪ‫הֹֿז‬etc.
LAN ‫؛‬٦‫ٕـ‬ծHUBծ‫ه‬ٝ‫زحصِف‬ծ‫إ‬ٝ‫؟‬㔿㹀ꆃⰧծ瘝鸞ェ䒷‫ٗف‬٦‫ـ‬ծ‫ُث‬٦‫ـ‬ծ
EthernetTCP/IPModbus RTU

ACꨵ彁،‫ةفت‬ծ
PCծUPSծ陨㜠ِ‫زحص‬⚺‫ّءفؔז‬ٝؔ‫ّءف‬ٝ: 4-20խ‫ػ‬٦‫ةٕ؍ؿآ‬ծٌ‫ٔةص‬ٝ‫ؑؐزؿاؚ‬،ծmA⳿⸂磛䖇 2 ch/ ‫ذأ‬٦‫ أة‬1 chխ 㘗䒭劣畭‫ח‬"A" 邌鎸
※2
バッファメモリ：パーティクルセンサとPC（ソフトウェア）間の通信が遮断すると通信異常を検知しますが、パーティクル
etc.
センサの電源が入っている場合、パーティクルセンサはデータ収集を継続します。通信異常中に本体に蓄積されたデータは،ٓ٦‫⸂⳿ي‬搀ꨵ㖇䱸挿AC/DC 0 ։ 30 V, 2 A
通信復旧後に PC（ソフトウェア）へ順次出力します。
劤⡤ⰻ‫ر‬٦‫⥂ة‬㶷

通信障害

256,000 ‫ر‬٦‫ة‬垥彊➰㾩ㅷ《䪔铡僇剅ծ吤姻鏾僇剅ծ嗚叨䧭籐剅ծ‫ٖز‬٦‫؍ذٔؽ؟‬⚺‫ّءفؔז‬ٝAC ꨵ彁،‫ةفت‬ծխ‫ػ‬٦‫ةٕ؍ؿآ‬ծٌ‫ٔةص‬ٝ‫ؑؐزؿاؚ‬،ծPCծUPSծ陨㜠ِ‫زحص‬etc.

‫ه‬ٝ‫زحصِف‬ծ‫إ‬ٝ‫؟‬㔿㹀ꆃⰧծ瘝鸞ェ䒷‫ٗف‬٦‫ـ‬ծ‫ُث‬٦‫ـ‬ծLAN ‫؛‬٦‫ٕـ‬ծHUBծ
通信障害中の蓄積データ出力

データ収集継続※電源OFF時にはデータ収集されません

通信復旧

5

常時監視方式

オプション（Optional Parts）●ポンプユニット①ポンプユニット（4 センサ接続用）

model 7310 / 7510 用②センサ収納ポンプユニット
電源： AC100V, 4A
寸法： 250（W）×390（D）×265（H）mm
重量： 約12kg

電源： 3Φ200V, 400W
寸法：500（W）×390（D）×1000（H）mm
重量：約65kg●ポンプユニット model 7201 / 7301 / 7501 用①ポンプユニット（６センサ接続用）
電源： AC100V, 4A
寸法： 200（W）×300（D）×220（H）mm
重量： 約10kg②センサ収納ポンプユニット

電源： AC100V, 2A
寸法： 250（W）×390（D）×265（H）mm
重量：約12kg③ポンプボックス

電源：AC100V, 4A
寸法：200（W）×300（D）×220（H）mm
重量：約8kg③ポンプボックス
電源： AC100V, 1A
寸法：160（W）×260（D）×200（H）mm
重量： 約5kg●等速吸引プローブ（チューブ延長用） model 7310 / 7510 用①等速吸引プローブ②等速吸引プローブ③等速吸引プローブ④等速吸引プローブ

材質：SUS304

材質：SUS304

材質：SUS304

材質 : SUS304

用途：センサ収納ポンプユニット
無菌充填装置安全キャビネット

用途：無菌充填装置
安全キャビネット（壁面固定型）（卓上スタンド）（パイプ型）

スタンド高さ：320mm

高さをご指定ください

用途：無菌充填装置

φ8

安全キャビネット

溶接（SUS 配管型）
高さをご指定ください●等速吸引プローブ（チューブ延長用） model 7201 / 7301 / 7501 / 6201 / 6301 / 6501 用①等速吸引プローブ②等速吸引プローブ③等速吸引プローブ④等速吸引プローブ

材質 : SUS304

材質 : SUS304
スタンド高さ : 1300mm

材質 : SUS304

材質 : SUS304

用途：センサ収納ポンプユニット
無菌充填装置安全キャビネット

用途：無菌充填装置
安全キャビネット（床置スタンド）（壁面固定型）（パイプ型）

高さをご指定ください●等速吸引プローブ（センサ直結）
model 7310/7510 用

model 7201/7301/7501/
6201/6301/6501 用

材質 : SUS304

材質 : SUS304
AEROTRAK

Remote Partcle Counter

AEROTRAK

StatusFlow
SampleRemote Partcle Counter

StatusFlow
Sample●警報ユニット （測定ポイント数で盤サイズは異なります）
卓上型

寸法：290（W）×250（D）×583（H）mm
状態出力：

6

異

常

正

常

警

報

壁掛けタイプ青赤緑

N P

運転スイッチ
外部入出力：
一括警報出力運転指令入力（SUS 配管型）
高さをご指定ください●センサ収納ボックス
model 7000 シリーズ用
材質 : SUS304
用途 : 除染対策
センサ保護用

壁掛けタイプ （シグナルタワー付き）

運転操作スイッチ

状態出力：

異

常

正

常

警

報

N P
GL
PB SS

青
赤
緑

流路切替方式 （マニホールド）
Client PC / Monitor

Main
Database

サンプリングプローブを
CR 各所に設置
チューブ

Client PC / Monitor

社内用
ネットワークイーサネット（UTP CAT5)

Client PC / Monitor

マニホールドブロア

HUB

パーティクルカウンタ

センサーユニット▶ パーティクルカウンタ１台で複数のポイントを順次切り替えながら測定します。
▶ １システム最大 32 ポイントを測定できます。
▶ チューブは各 50 ｍまで伸長できます。

▶ 全ポイントを常時吸引させることでチューブ内に粒子沈着することを抑制しています。

㘗䒭

9110-01

9310-02磛䖇⼒ⴓ

0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0 µm

㼄岀206W522D236Hmm

ꨵ彁ꨵ㖇

AC100 ։ 240 V 50-60 Hz
AC100 ։ 240 V 50-60 Hz
9110-01
9310-02庛䏝 10 ։ 35 ˫ծ弪䏝
20 ։ 95 %穠ꪪ‫הֹֿז‬ 庛䏝 10 ։ 35 ˫ծ弪䏝
20 ։ 95 %穠ꪪ‫הֹֿז‬
0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0 µm
0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10 µm

鑐俱崧ꆀ28.3 L/ min1.0 CFM
対象パーティクルカウンタ
˟100,000 ⦐ /28.3 L3,500,000 ⦐ / ण剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝
ꅾꆀ

㘗䒭
⢪欽橆㞮

磛䖇⼒ⴓ10% ⟃♴
˟鎘侧䴦㣟
鑐俱崧ꆀ

剑㣐磛㶨⦐侧慬䏝˟

㼄岀

ꅾꆀ

ꨵ彁ꨵ㖇

⢪欽橆㞮

˟鎘侧䴦㣟 10% ⟃♴11.1 kg

0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10 µm

28.3 L/ min1.0 CFM820,000 ⦐ /28.3 L29,000,000 ⦐ / ण

230W232D241Hmm
5.6kg

28.3 L/ min1.0 CFM28.3 L/ min1.0 CFM206W522D236Hmm

230W232D241Hmm

AC100 ։ 240 V 50-60 Hz

AC100 ։ 240 V 50-60 Hz

100,000 ⦐ /28.3 L3,500,000 ⦐ / ण11.1 kg

820,000 ⦐ /28.3 L29,000,000 ⦐ / ण5.6kg

庛䏝 10 ։ 35 ˫ծ弪䏝 20 ։ 95 %穠ꪪ‫הֹֿז‬ 庛䏝 10 ։ 35 ˫ծ弪䏝 20 ։ 95 %穠ꪪ‫הֹֿז‬

センサーユニット

排気フィルタユニット㘗䒭‫ثح؎أةؙٖإ‬鏣縧㜥䨽‫ُث‬٦‫ـ‬ꞿ剑㣐庠㹀挿侧

崧騟ⴖ剏㐻

SSU-32-5000C

‫ثحظ‬Ⰵ٥ⴖ

SSU-32-5001C

‫ثحظ‬Ⰵ٥ⴖ٥荈⹛♧菙㹓

50 mⰋ庠㹀挿♧䖒‫ثح؎أةؙٖإ‬ꨵ彁ꨵ㖇

3 ď‫ثحظ‬200 V,Ⰵ٥ⴖ
3 kVA‫ُث‬٦‫ـ‬ꞿ瘭⡤勞颵

50mⰋ庠㹀挿♧䖒
ꏇ匢醡

崧騟ⴖ剏㐻

‫مصو‬٦ٕ‫س‬㘗䒭 : M32-01剑㣐庠㹀挿侧➰㾩㼄岀ꅾꆀ‫ثحظ‬Ⰵ٥ⴖ

‫ثحظ‬Ⰵ٥ⴖ٥荈⹛

SSU-32-5000CCR

SSU-32-5001CCR‫ؙٔ‬٦ٕٝ٦‫ي‬‫مصو‬٦ٕ‫س‬㘗䒭 : M32-01

700W750D850Hmm

鏣縧㜥䨽
⢪欽橆㞮

SSU-32-5001CCR

32 ‫؎ه‬ٝ‫ز‬

㼄岀

㘗䒭
ꅾꆀ

SSU-32-5000CCR

SSU-32-5000C
秈 150kg

SSU-32-5001C

‫ثحظ‬Ⰵ٥ⴖ٥荈⹛

庛䏝 0 ։ 40 ˫ծ弪䏝♧菙㹓0 ։ 90 %穠ꪪ‫הֹֿז‬‫ثحظ‬Ⰵ٥ⴖ

‫ثحظ‬Ⰵ٥ⴖ٥荈⹛‫ؙٔ‬٦ٕٝ٦‫ي‬32‫؎ه‬ٝ‫ز‬‫ٗـ‬،ⰻ詿ծ‫ةأٍؗ‬٦‫ػحزأ‬٦➰ֹծAC100V ‫؝‬ٝ‫إ‬ٝ‫ ز‬x ծٖ‫زحؿٕك‬㔿㹀屚Ⱗ
700W750D850Hmm
秈 150kg7

流路切替方式 （マニホールド）

オプション（Optional Parts）●等速吸引プローブ

サンプリングスタンド

サンプリングスタンド
14φ

スタンド高さ調節可 :1000 ～ 1500mm

1/8”
10.6φ

1/2”
21.7φ

ネジ止め

材質 : SUS304

80～585

スタンド高さ固定 : 1100mm

材質 : SUS304

用途 : 高温炉内・耐薬品性
120

φ8

溶接

180

全周
コーキング

φ12

ネジ止め

卓上型

青
赤
緑

（運転操作スイッチ付き）

寸法 : 290（W）×250（D）×583
（H）
mm
状態出力：

異
警
正

常
報

寸法 : 290（W）×250（D）×583
（H）mm
状態出力：

N P

常

異
警
正

清浄度クラスISO 14644-1:2015
ISO14644-1
清浄度クラスの上限濃度

Fed.Std-209E

Class 1溶接

（個 / ㎥）

サンプリングチューブ

壁掛けタイプ

青
赤
緑

φ12

φ11.9

N P

運転スイッチ
外部入出力：

報

一括警報出力運転指令入力N P

常0.2 μm上限濃度（個 /m3）

0.3 μm

0.5 μm

1 μm

5 μm

10

Class 2
Class 3

Class 1

100

24

10

1,000

237

102

35

Class 4

Class 10

10,000

2,370

1,020

352

83

Class 5Class 100

100,000

23,700

10,2003,520

832

1,000,000

237,000

102,000

Class 6Class 1,000

Class 7

Class 10,000

Class 8Class 100,000

Class 9
最大許容粒子数 ( 個 /m3 )非作業時※1

EU-GMP（欧州薬局方）、 グレード
0.5μm 以上
PIC/S GMP
A
B
C
D

2

φ15.7

常

0.1 μm

4-M6 ボトルナット

φ21.7

R90

●警報ユニット （測定ポイント数で盤サイズは異なります）
卓上型

材質 : SUS304

120

溶接

1000～1500

材質 : SUS304

等速吸引プローブ（SUS 配管型）

等速吸引プローブ （壁面固定型）（可変式）

0.5μm 以上

5.0μm 以上

20
29
2,900
29,0003,520
352,000
3,520,000

20
2,900
29,000

－※2

293
2,930

3,520,000

832,000

29,30035,200,000

8,320,000

293,000

－※2

空中微生物

表面付着微生物

浮遊菌

落下菌※4

コンタクトプレート

＜1

＜1

＜1

手袋
（CFU/m3） （直径 90mmCFU/4h） (CFU/φ55mm) （CFU/5 指）※1 非作業時の値は、作業終了後、一般に 15 ～ 20 分後に達成されるべき値である。
※2 この区域の許容微粒子数は、作業形態により異なる。
※3 許容基準は平均値評価とする。
※4 個々のプレートの暴露時間は 4 時間未満でもよい。

クリーンエンジニアリング事業部

8,320
83,200

微生物汚染の推奨リミット※3

作業時

5.0μm 以上

3,520
3,520
352,000
3,520,000

35,200352,000

10
100
200

5
50
100

5
25
50

＜1

5

－
－

※表示価格に消費税は含まれておりません。
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2019.09.KY

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