システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

自動ステージ共通ガイダンス
Common Features of Kohzu Motorized Stages

自動ステージ基本システム構成
Motorized Stage Basic System
自動ステージを駆動させるには、ドライバ内蔵のモーターコン
トローラか5相ステッピングモータードライバが必要となります。
駆動方法の詳細についてはN-001ページからの制御装置をご覧下さい。
＊下記のシステム以外にも、Motionnetを利用して最大32軸のステージを接続できるシステムがあります（ARIES/LYNX N-006ページ）

In order to drive the motorized stage, motor controller
including drivers or 5-phase stepper motor driver isnecessary.
About the detail of drive system, please refer “motorcontrollers” from page N-001 .
＊Without following system, the other system is able toconnect maximum 32 axes stages with using Motionnet(ARIES/LYNX N-006 page).
モーターケーブル
Motor Cable

回転Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密
ステージ
Motorized
Stage

モーターコントローラをご利用の場合
In case of using
motor controller

PC

ドライバ内蔵
モーターコントローラ
Motor Controller
including Drivers

通信ケーブルCommunication
Cable
RS-232C/USB

回転Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspectionSystem

C-004

C.indd 4

モーター駆動精密ステージ
Motorized
Standard Stage→ N-004 Page

N-004ページ

X・XY
X・XYZZ

N-014ページ→ N-014Page

モータードライバをご利用の場合
In case of usingmotor driver

PC

モーション
コントロールボード

Motion Control
Board

パルス
ケーブル
PulseCable

５相ステッピングモータ
ードライバ
5-Phase Stepper
Motor Driver

モーター駆動精密ステージ
Motorized
Standard Stage→ N-012 Page

N-012ページ
センサ線
Sensor Cable

オプション
Optionモーター交換 Motor Exchange●モーター交換についてご要望に応じて、標準モーターからご指定のモーターに変更することが可能です。
＊交換モーターの仕様によってはカタログスペックを満たせない事もあります。
＊ステッピングモーター以外への交換の場合は、標準モーターでの精度検査のみ行います。

●Motor ChangeStandard motor can be changed to customer specified
motor by request.
＊Depends on the exchanged motor’s specification, thatof specification way not be achieved the catalogspecification.
＊If customer specified motor is not stepping motor, that ofinspection will be done by using standard motor only.

●交換費用①同形モーター交換費：標準モーターと同等の取り付けサイズ及び軸径のステッピングモーターの場合。
②異形モーター交換費：標準モーターと取り付けサイズ又は軸径が異なる場合。
＊交換費用にはモーター費用は含まれておりませんので、お客様のご支給以外の場合は別途モーター費用が加算されます。
＊異型モーター交換費は、モーター部円盤（ORG）ありの機種においては、モーター部円盤（ORG）無しの想定となっております。必要な場合は別途追加費用が加算されます。
（ORG機能は本体部のNORGをORGとして使用します）＊モーター変更費は、モーターの形状により別途費用が発生することがあります。必ずご検討モーターの型式をご連絡願います。

●Change Price①Same size motor change price:In case of same size
motor’s mounting and shaft diameter as standard motor’s.
②Different size motor change price:In case of different size
motor’s mounting or shaft diameter from standard motor’s.
＊Change price does not include the motor price. Thus
additional motor price would be charged without suppliedmotor.
＊Different motor price estimated with no motor’s disc
(Home Position Sensor) type, in case of product with disc
(Home position sensor) type. If it is necessary, additional
cost would be charged.
(In this case, Proximity home position sensor equipped withmotorized stage will be performed as home position sensor.)＊Depending on the motor’s type, motor price will bechanged. Please inform us the motor model.

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 16:28

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Industrial

グリス交換 Lubricant Change

ご要望に応じてステージのグリスをクリーン対応グリス、または真空対応グリスに変更いたします。
＊グリス以外の部品、表面処理、組み立て環境は標準と同じです＊オプショングリス交換は、クリーン環境、真空環境でのご使用を保障するものではありません。
●クリーングリス：LG2（日本精工株式会社）〔ネジやベアリングの回転時にも発塵量を少なく保つ効果があります。〕●真空対応グリス：S-3230（株式会社MORESCO）〔真空環境を汚染しにくい、飽和蒸気圧の低いグリスです。
コンタミを気にしない場合や、ロータリポンプで引くHe置換の場合などに利用可能です。放出ガスや真空中でのモーター耐久性において、よりクリーンで高真空に適した専用ラインナップも取り揃えております。詳しくはM-002ページをご参照下さい。〕＊標準グリスと粘性が異なるため、標準品とは感触が異なることがあります。
＊お客様ご指定のグリスも対応可能です。
（グリス代は別途費用となります）●グリス交換箇所
1．
案内部：ボールレースと円筒コロ摺動面、リニアガイド、クロスローラーベアリング
2．
送り機構部：研削ネジ、ボールネジ、ウォーム＆ウォームホ
イル、クサビ部、ラック＆ピニオン部。
3．
ベアリング部＊モーター内部のグリスについては交換出来ません。
＊リニアガイド、ボールネジについては社内簡易洗浄でのグリス交換となります。
＊リニアガイド及びボールネジのメーカー戻しグリス交換は別途費用になります。

真空の区分と圧力範囲
Vacuum category and pressure range
低真空
中真空
高真空
超高真空
極高真空

区分
Low Vacuum
Medium Vacuum
High Vacuum
Ultra-High Vacuum
Extreme-High Vacuum

圧力範囲（Pa）
100kPa～100Pa
100Pa～0.1Pa
0.1Pa～10ｰ5 Pa
10ｰ5 Pa～10ｰ8 Pa≦10ｰ8 Pa

Stage lubricants can be changed for clean-room andvacuum applications.
＊Except lubricant, using parts and surface treatment andmanufacturing environment is same as standardcondition.
＊Clean room environment or vacuum environment cannotbe guaranteed by option lubricant change.
●Clean room lubricant: LG2 from NSK LTD.
(Clean room lubricant aids in the reduction of particulate
output when stage’s screw and bearing rotating.)●Vacuum lubricant: S-3230 from MORESCO corporation.
(Vacuum oil is low in par ticle emissions, and Low
saturated vapor pressure. The oil is available, when you
don’t care the contamination or the case of Helium
displacement by rotary pump suction. More clean andhigh vacuum stages are lined up. Refer to page M-002
for more information.)＊V iscosity is different from standard lubricant, thenfeeling can be different.
＊Customer’s specified lubricant can be applied (lubricant
cost will be added separately).
●Affected parts
1. Guide: ball race, sliding surface of ball bearing, linear
guide, crossed roller bearing.
2. Feeding mechanism: ground screw, ball screw, worm
and worm wheel, wedge, rack and pinion
3. Bearing＊Inside of motor grease can not be changed.
＊About the linear guide or ball screw, grease change will
be done after simplified cleaning in kohzu.

〔Torr〕〔atm〕〔kgf/㎠〕〔psi〕〔Pa〕
1Torr＝1㎜Hg 1
1.31579×10ｰ3 1.35951×10ｰ3 1.9337×10ｰ2 1.33322×102
1atm
760
11.03323
1.4695×10 1.01325×105
1kgf/㎠
7.3556×102 9.6784×10ｰ1 1
1.4223×10 9.80665×104
1psi
5.1715×10 6.8046×10ｰ2 7.0307×10ｰ2 1
6.8948×103
1Pa（＝1N/㎡）7.5006×10ｰ3 9.8692×10ｰ6 1.01972×10ｰ5 1.4503×10ｰ4 1

取付方法
Stage Installation

X・XY
X・XY

ZZ

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

回転Rotation

アライ
メントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
DriverBox

ステージを他のステージや定盤に組み付ける際には、ステージにモーターコントローラかモータードライバを接続した上で、ネジの取り付け穴が見えるまでテーブル面を移動させて下さい。また、ステージの取り付け穴位置を合わせるために、各種スペーサをご用意してありますのでご利用下さい（O-006
ページをご参照下さい）。
＊ステージによっては、コントローラの駆動だけでは取付穴が出ない場合があります。モーター軸を直接手で回しテーブル面を移動させると、リミットを超えてセンサを破壊する等、深刻な障害を起こす恐れがあります。取付穴が利用できるようになった時点で移動を止め、注意して作業を行って下さい。
When you mount the stage onto other stage or a bread board, you need to connect the stage to a motor controller or a motordriver, then move the stage’s table until appear the mounting hole for the screw. If that of mounting hole position does notmatch your favor, would you check the translation spacer in various size (see page O-006).
＊Depend on the stage, the mounting hole does not appear only using motor driving. In that case, move the stage with motorshaft rotating by manual, but there is possibility of heavy damage like sensor destruction caused by limit over moving.
When the mounting hole is able to use by manual moving, please note to operate carefully by manual.

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

C.indd 5

手動精密
ステージ
ManualStage

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

単位換算表
conversion chart

圧力範囲（Torr）
760～1 Torr
1～10ｰ3 Torr
10ｰ3 Torr～10ｰ7 Torr
10ｰ7 Torr～10ｰ10 Torr
＜10ｰ10 Torr

実験用
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モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
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SystemC-005

2022/07/28 16:28