LifeASSURE PTFEメンブレン
フィルターカートリッジ/カプセル FAシリーズ
TM

化学薬液用
PTFE 製メンブレンフィルター

疎水性 PTFE 膜とポリプロピレン部材で構成された、耐薬品性に優れた製品です。高い除粒子性能を持ち、低溶出なフィルターのため、高純度薬液（フォトレジスト、レジスト周辺材料、現像液やエッチング液など）のろ過にご使用いただけます。

製品の特長と利点
ろ材が PTFE 製メンブレン

特長●

高い除粒子性能●

接着剤や浸潤剤等は一切含まず、すべて熱溶着による組み立て
0.2 μ mPTFE 膜 1 枚を使用●●

※ テストによる一例で、結果を保証するものではありません。

用途●●

フォトレジスト

●

現像液

仕様

項形状

●

フォトレジスト原料
エッチング液		

目

●
●

利

0.208 μ m 粒子 2.3 × 1,010 個 /CC を 100% 除去※

 成部材となるポリプロピレン樹脂は、溶出性の少ないものを選んでおり、また構
熱溶着の際も、素材の熱酸化を最小にする条件下で行われているため、各種液体による総溶出物は極めて低レベル低圧損で高流量のろ過ができるので、少量バッチ非水系液体の循環ろ過に最適

酸・アルカリ洗浄薬液
電子薬液		

0.74m2/10 インチカートリッジ

フィルターメディア
一次、二次支持体

コア、外枠、エンドキャップ
O-リング

ガスケット
カプセル

カートリッジ長さ（公称）接続

最大許容差圧
推奨交換差圧
耐圧
滅菌条件●

カートリッジ

有効ろ過面積最高使用温度●

精密機械洗浄液

有機・無機化学薬液 等

LifeASSURE ™ PTFE メンブレンフィルターカートリッジ FA シリーズ

ろ過精度

材質

点

高い耐薬品性があり、強酸、強アルカリ、極性の高い有機溶剤などのろ過に最適

温度

圧力
正圧

逆圧

カプセル

0.2 μ mPTFE 製メンブレン

33 タイプ：1200m2

ポリプロピレン
ポリプロピレン

シリコーンゴム、フッ素ゴム、EPR、NBR、被覆フッ素ゴム――

ポリプロピレン（ポリプロピレン製エアベント・ドレンプラグ付）

222 O-リング（フィン付）、222 O-リング（フィン無し）、
ダブルオープンエンドフラットガスケット

1/4 インチオス NPT

シリコーンゴム、フッ素ゴム、EPR、NBR、ソフトPTFE
10 インチ、20 インチ、30 インチ

21℃

0.54MPa

38℃

85℃

0.48MPa

60℃

0.41MPa
―――

―

125mm
60℃

85℃

―

0.34MPa―

0.14 ～ 0.21MPa

液体：0.49MPa ＠ 25℃、気体：0.29MPa ＠ 25℃
0.19MPa ※オートクレーブ：121℃、20 分（5 サイクル）※ 偶発的な逆圧の場合のみ。
＊ 温度、濃度、エアレーション、その他の使用条件により、カートリッジ材料の適性は大きく変化します。使用前に実際の条件下でテストすることをおすすめします。

親水化処理PTFE 膜は疎水膜ですので、リン酸、硫酸など水溶性の液体は透過しません。そのため、ご使用前には親水化処理が必要です。
方法 ： IPA（イソプロピルアルコール）やエタノールの溶剤（またはろ過対象レジスト溶剤）などにフィルターカートリッジを浸して、ろ過孔径内に封入します。その後、純水フラッシングで親水化処理の IPA などを取り除きます。
純水フラッシングは毎分2 ～ 3リットル、最低でも100 分実施してください。

耐薬品性

FA シリーズは、幅広い耐薬品性を示します。下表は、酸／アルカリを含む各種溶液にカートリッジを4 時間浸漬した後、完全性試験で判定した結果です。各種薬液に耐えることがわかります。特に、フォトレジストの標準的な溶媒にも安心して用いることが可能です。
アセトン

液体名

判定（ ○：適合、△：要検討 ）アセトニトリル○

硝酸（50％）

○

トルエン

○

イソプロピルアルコール（IPA）
エチルアルコール○塩酸（38％）○

過酸化水素水（30%）

○

キシレン

△

蟻酸（90％）○

クロロホルム○酢酸（50％）

○

酢酸エチル

○

四塩化炭素

○

ジメチルホルムアミド（DMF）○

液体名

判定（ ○：適合、△：要検討 ）水酸化ナトリウム（50％）
フッ化水素酸（50％）
n- ブタノール

tert ｰブタノール

ホルムアルデヒド
水（90℃）

メチルアルコールメチルイソブチルケトン（MIBK）
メチレンクロライド
硫酸（93％）※ 液体の温度、濃度が記述されていないものに関しては、20℃、未希釈の液体でのデータです。実際のろ過では使用条件が異なりますので、使用前に実際の条件下でテストを行ってください。

外形図

カートリッジカプセル

エンドキャップO -リングインナーコア外枠

フィルターメディア（二層）

一次、二次支持体

拡大写真

PTFE 0.2 μ mろ材（5000 倍）

○

○○○○

○

○

○

○○○○

流量表

カートリッジ
60

10μm

0.2

30

12μm

圧力損失（kPa）

40圧力損失（kPa）

500.

0.1

2010010203040
10インチカートリッジ1本当たりの流量（L/min）＜水、25℃＞

0.01

カプセル
300

310010.50.4m2μ圧力損失（kPa）

0.2

50

10100
1000
10インチカートリッジ1本当たりの流量（L/min）＜空気、20℃＞＜ライン圧力：10kPa以下＞

2μm

圧力損失（kPa）

200

10.

00.3
0.2

10151020 30
1/4 インチネジタイプカプセルでの流量（L/min）＜純水、25℃＞※PTFE製メディアは疎水性のため、水溶液等をろ過する場合は、あらかじめエタノールなどの低表面張力液でぬらしておく必要があります。

0.1

151020 30 40 50
100
1/4 インチネジタイプカプセルでの流量（NL/min）＜空気、25℃＞

注文ガイド表O-リングタイプ

形状-70003 222 O -リング、フィン付
70025 222 O -リング、フィン無し▼

注文例

222 O -リング
（フィン付）

注文コード01 10インチ
02 20インチ
03 30インチ▼

形状-70006 ダブルオープンエンド
フラットガスケット

注文例

注文コードカプセル

ガスケットタイプ

シリコーンゴム
フッ素ゴム
EPR
ソフトPTFE

2 標準平型（5021）
0 標準凸型薄手（5001）
1 特製凸型厚手（5011）

20インチ

シリコーンゴム

標準凸型薄手（5001）

02A

001 10インチ
02 20インチ
03 30インチ-

70006-02A0-020FA
形状

70126

1/4 インチオス NPT

-

注文例

▼

1/4 インチオス NPT

70126

注文コード

A
B
C
T5

有効ろ過面積33

1200cm2 または 1100cm2

1200cm2 または 1100cm2

70126-33-020FA

330.2μm

-020

▼

-

▼

-

▼

ガスケット材質▼70006020 0.2μm

FA

カートリッジ長さ（公称）A01▼

ダブルオープンエンド
フラットガスケット▼-

シリコーンゴム70003-01A-020FA

フラットガスケットタイプ

A シリコーンゴム
B フッ素ゴム
C EPR
K 被覆フッ素ゴム

ろ過精度

10インチ

-

70003

O -リング材質

カートリッジ長さ（公称）

FA-

ろ過精度
020 0.2μm

FA

▼▼

-

0.2μm

020

FA

フィルターグレード
020FA0.2μm

▼

-

0.2μm

020FA

各種数値は参考値であり、保証値ではありません。
仕様及び外観は、予告なく変更されることがありますのでご了承ください。
本書に記載してある事項、技術上のデータ並びに推奨は、すべて当社の信頼している実験に基づいていますが、その正確性若しくは完全性について保証するものではありません。使用者は使用に先立って製品が自己の用途に適合するか否かを判断し、それに伴う危険と責任のすべてを負うものとします。売主及び製造者の義務は、不良であることが証明された製品を取り替えることに限定され、それ以外の責任は負いません。
本書に記載されていない事項若しくは推奨は、売主及び製造者の役員が署名した契約書によらない限り、当社は責任を負いません。

３Ｍ、LifeASSUREは、３Ｍ社の商標です。

カスタマーコールセンター

フィルター製品事業部

製品のお問い合わせはナビダイヤルで0570-011-211

http://www.3mcompany.jp/filter/
Please Recycle. Printed in Japan.
© 3M 2017. All Rights Reserved.

CUN-E06-G (121 7)

8:45～17:15 ／月～金（土日祝年末年始は除く）
全国どこからでも市内料金でご利用いただけます