SEM 用 TEM グリッドホルダー
およびSEM 用 STEM イメージングホルダー
ご参考例 EM-Tec TG4 ピンスタブベース TEM グリッドホルダー
枚の TEM グリッド用

41- (#12-000279)EM-Tec TG4 ピンスタブベース TEM グリッドホルダー(グリッド 4 枚用)
長いピンはステージからの距離を保ち不要な二次電子や X 線シグナルを低減させます。
2-TEM グリッドは、上部プレートと中央の真鍮のネジで固定されています。
スルーホールのサイズは 2.1 ㎜φで、上部と底部にホルダーからの電子や X 線散乱干渉を防ぐための60°の側面角度が付いています。
3-上部プレートを取り外すと、ピンセットで TEM グリッドの取付け、取外しが容易に行える溝付きのポジション番号が刻印されたポケットが付いています。

SEM での TEM サンプルのイメージング
TEM サンプルは非常に薄いため、バルクに由来する信号を示しません。 SEM での TEM サンプルイメージングにより、表面画像の改善と空間分解能の向上が可能になります。 これらは、薄膜、微細分散、介在物、低 Z 材料の SEM/EDX 研究にとって明らかな利点です。SEM や FESEM を使用して、TEM にサンプル導入をする前に、TEM サンプルや、FIB で作成したラメラを確認することもできます。
TEM サンプルのイメージング用に SEM 測定用 TEM グリッドホルダーと STEM イメージングホルダーの2 つの方法を用意いたしました。 ：• SEM 測定用 TEM グリッドホルダーは表面のイメージングと調査にお薦めです。
• STEM イメージングホルダーは SEM で STEM イメージングを行う変換プレートが組み込まれた特別なホルダーです。
EM-Tec TEM グリッドホルダーは表面イメージングと EDX 付 SEM のアプリケーションに適しています。
本グリッドホルダーを使用すると、SEM で TEM サンプルを調査できます。 テーブルトップ SEM、ラボグレード SEM、FESEM、オージェ、SIMS、光学顕微鏡での使用を目的としています。 TEM で測定する前に FIB 処理をしたサンプルを素早く確認することもできます。 真空グレードのアルミ材を精密加工し、作成されています。
TEM グリッドホルダーには次の 3 種類が用意されています。:•EM-Tec TG4 ピンスタブは、最大 4 つのグリッド用のピンスタブをベースとしたグリッドホルダーです。 TEM グリッドを取付け・取外しするための側面に溝のある機械加工されたポケットと刻印された取付位置番号が付いています。TEM グリッドは、上部プレートと中央の真鍮製ネジで固定されます。 スルーホールのサイズは 2.1 ㎜φで、上部と底部にホルダーからの電子や X線散乱干渉を防ぐための 60°の側面角度が付いています。 アルミ製と銅製を用意しています。 全体のサイズは 18 ㎜φx3.2 ㎜、長さ 15 ㎜の標準 3.2 ㎜ピンです。長めのピンによりステージアダプターからの距離が離れ、SEM ステージから発生する不要な二次電子および X 線信号が減少します。 日立製 M4 ネジ切および JEOL 製 12.2 ㎜および 25 ㎜スタブアダプターも利用可能です。

•EM-Tec PS11 ミニピンスタブホルダーは、1 個の TEM または FIB グリッド用です。 TEM グリッドのリムを棚の上に置きます。
空洞の中央には、グリッドメッシュに非接触な領域のディンプルがあります。 先端の細いピンセットで TEM グリッドを簡単に取付け・取外しが行えるように溝が付いています。 TEM グリッドは固定されていません。 このホルダーは、SEM で TEM グリッドを素早くチェックするためやカーボンエバポレーターの TEM グリッドホルダーとして使用されます。

•EM-Tec PS14 ミニピンスタブホルダーは、4 個の TEM または FIB グリッド用です。 TEM グリッドのリムを棚の上に置きます。
空洞の中央には、グリッドメッシュに非接触な領域のディンプルがあります。 先端の細いピンセットで TEM グリッドを簡単に取付け・取外しが行えるように溝が付いています。 TEM グリッドは固定されていません。 このホルダーは、SEM で最大 4 つのTEM グリッドを素早くチェックするためやカーボンエバポレーターの TEM グリッドホルダーとして使用されます。

以上 3 つの TEM グリッドホルダーはすべて標準の 3.2 ㎜ピン仕様の SEM でのみ使用できます。SEM スタブアダプターを使用する場合、他のタイプの SEM でも使用できます。

EM-Tec ST1 STEM イメージングホルダーの容量、サイズおよび互換性
パーツ番号

品名

取付可能なグリッド数

寸法 w/o

グリッド固定SEM ステージ型式

12-000279

EM-Tec TG4

4 x 3.05 TEM grid

Ø18x3.2mm

クランプ

標準 3.2mm ピン

12-002279

EM-Tec TG4C

4 x 3.05 TEM grid

Ø18x3.2mm

クランプ

標準 3.2mm ピン

12-000379

EM-Tec TG4H

4 x 3.05 TEM grid

Ø18x27mm

クランプ

M4 ネジ切12-000579

EM-Tec TG4J

4 x 3.05 TEM grid

Ø18x22mm

クランプ

JEOL Ø12.2mm

12-005279

EM-Tec TG4J2

4 x 3.05 TEM gridØ25x22mm

クランプ

JEOL Ø25mm

10-002211

EM-Tec PS11

1 x 3.05 TEM gridØ12.7x3.2mmなし

標準 3.2mm ピン

10-002214

EM-Tec PS14

4 x 3.05 TEM gridØ12.7x3.2mmなし

標準 3.2mm ピン

EM-Tec ST1 STEM イメージングホルダー

EM-Tec ST1 STEM イメージングホルダー

コバルト ナノ粒子単分子層分散イメージ

The EM-Tec ST1 STEM イメージングホルダーは、SEM または FESEM を用いて TEM サンプルの STEM イメージングを容易に得られるようにします。 このホルダーは Everhart-Thornley SE 検出器を SEM チェンバー内で使用します。
TEN グリッドは STEM イメージングホルダーに取付け、ホルダーは電子ビームの直下に配置されます。（通常、SEM ステー
ジの中央に位置します。） TEM サンプルは電子ビームでスキャンされ、STEM イメージはプラチナ変換プレートに当たる透過電子を二次電子に変換することによって形成されます。 STEM イメージ情報を保持する二次電子は SEM 内の SE 検出器によって収集されます。 良い STEM イメージングを得るために、高い加速電圧（25～30ｋV）と薄いサンプルを使用して透過電子信号を増加させることをお勧めします。 STEM イメージングホルダーにはポールピースとグリッドの間に配置される黒色の導電性プラスチック製の電子吸収スリーブが付いています。このスリーブは、サンプル表面から放出される二次電子と後方散乱電子を吸収します。 真空グレードのアルミ、真鍮製 TEM グリッドホルダー、プラチナ電子変換プレート、導電性プラスチックスリーブで構成されています。 プラチナは二次電子発生効率が高く安定性と耐食性が高いため透過電子の変換プレートに使用されています。 ST1 STEM イメージングホルダーは、交換された透過電子からの真実のシグナルを反映した高コントラストの STEM イメージングを提供します。

EM-Tec ST1 STEM イメージングホルダーの容量、サイズおよび互換性
パーツ番号

品名

取付可能なグリッド数

ピン寸法 w/o

グリッド固定SEM ステージ型式

12-000280

ST11 x 3.05 TEM グリッド

19x15x29.5/37.5mm*

クランプ

標準 3.2mm ピン

12-000380

ST1

1 x 3.05 TEM グリッド

19x15x29.5/37.5mm*

クランプ

M4 ネジ切*) EM-Tec ST1 STEM イメージングホルダーの高さは 29.5mm です。 電子吸収スリーブを使用すると高さは 37，5 ㎜に増加します。

EM-Tec ST1 STEM イメージングホルダーによる STEM 測定は、低コストで SEM に STEM 機能を追加するコスト効率の高い方法です。
STEM イメージングホルダーの画像品質は、専用の STEM 検出器に匹敵します。 STEM イメージの制限要因はサンプルの暑さと SEMの加速電圧です。

EM-Tec TG4 TEM グリッドホルダー
Ø18x3.2mm（ピンを除く）, アルミ製

パーツ番号

数量

価格

12-000279

1個￥25,300

グリッド 4 枚 トッププレートネジ固定
ピンEM-Tec TG4C TEM グリッドホルダー グリッド 4 枚 トッププレートネジ固定
Ø18x3.2mm（ピンを除く）, 銅製

パーツ番号

数量

価格

12-002279

1個￥42,100

ピンEM-Tec TG4H TEM グリッドホルダー グリッド 4 枚 トッププレートネジ固定
Ø18x27 mm, アルミ製

パーツ番号
12-000379

数量

M4 ネジ切価格

each￥31,700

EM-Tec TG4J TEM グリッドホルダー グリッド 4 枚 トッププレートネジ固定 Ø18x22mm
アルミ製 JEOL Ø12.2mm スタブアダプター付き

パーツ番号

数量

価格

12-000579

1個￥31,700

EM-Tec TG4J2 TEM グリッドホルダー グリッド 4 枚 トッププレートネジ固定 Ø18x22mm
アルミ製 JEOL Ø25mm スタブアダプター付き

パーツ番号

数量価格

12-005279

1個￥31,700

EM-Tec PS11 ミニピンスタブ グリッドホルダー グリッド 1 枚用
Ø12.7x3.2mm（ピンを除く）、 pin 固定なし

パーツ番号

数量

価格

10-002211

1個￥6,500EM-Tec PS14 ミニピンスタブ グリッドホルダー グリッド 4 枚Ø12.7x3.2mm（ピンを除く）、 ピン 固定なし

パーツ番号

数量

価格

10-002214

1個￥8,100EM-Tec ST1 STEM イメージングホルダー
TEM/FIB グリッド用

パーツ番号

数量

価格

12-000280

1個￥293,700

ピンEM-Tec ST1 STEM イメージングホルダー
TEM/FIB グリッド用

パーツ番号
12-000380

数量

価格

1個

￥293,700

M4 ネジ切〒124-0012 東京都葛飾区立石 3-15-4
TEL：03-6379-4105 www.elminet.co.jp
Grid holder 2020A