システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

手動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 70×70
Manual Swivel (Tilt) Stages / Table Size 70×70

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

ST07A-S3T-CL

ST07A-S3S-CL

ST07A-S3M-CL
回転Rotation

ST07A-S3T-CL

70604030（12.5）

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密
ステージ
Motorized
Stage

Clamp Φ15

Φ5 Depth 7mm
706040308-M3 Depth 6mm
4-M4 Depth 5mm

X・XY
X・XY
（23.5）

FPP03-13

ZZ（115.5）

ST07A-S3M-CL
回転Rotation

Rotation Center70

Rotation Center

64-for M4 screws
Shaft Length 4mm

14□60

ST07A-S3S-CL

制御装置
Control
Electronics（12.5）

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application（12.5）

モーター
ドライバ
Motor
DriverΦ5 Depth 7mm
8-M3 Depth 6mm
4-M4 Depth 5mm

7060
4030

モーター
コントローラ
Motor
Controller

4-for M4 screws
Shaft Length 5mm

FPP03-13（23.5）

FPP03-13（115.5）

真空ステージ
Vacuum
Stage

□6026

アライ
メント
ステージ
XYθ

1426

696

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

Clamp Φ1530
406070（23.5）

70

Rotation Center

6モーター
ケーブル
Motor
Cable

2626

付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories□60

4-for M4 screws
Shaft Length 5mm

検査システムInspection
SystemG-028

G.indd 28

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 17:31

アルミ / クロスローラガイド / 精密ポジショナーサイド押しシステム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Side-Mount Fine Pitch Positioner

産業用Industrial

型式
Model Number

ST07A-S3T-CL

ST07A-S3M-CL

ST07A-S3S-CL

勝手違い型式※2
Mirror Model Number

ST07A-S3T-R-CL

ST07A-S3M-R-CL

ST07A-S3S-RRR-CL

テーブル面
Table Size

70mm×70mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

回転範囲Angular Range±3°

ワークディスタンス
Work Distance

70mm±0.2mm

回転中心変位量Rotation Center Error

96mm±0.2mm
Φ0.05mm/±3°※1

手動精密ステージ
ManualStage70mm±0.4mm
Φ0.1mm/±3°

最小読み取りMinimum Readout－

回転角
Angular Motion

粗動 0.0069°/目盛, 微動 0.00034°/目盛（S3T）
粗動 0.0069°/目盛, 微動 0.00034°/目盛 粗動 0.0053°/目盛, 微動 0.00026°/目盛 粗動 0.0053°/目盛, 微動 0.00026°/目盛（S3M）
Coarse 0.0069°/div, Fine 0.00034°/div Coarse 0.0053°/div, Fine 0.00026°/div Coarse 0.0069°/div, Fine 0.00034°/div(S3T)
Coarse 0.0053°/div, Fine 0.00026°/div(S3M)

モーメント剛性※3
Moment Load Stiffness

0.09 arcsec/N・cm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

49N（5kgf）

0.28 arcsec/N・cm
44.1N（4.5kgf）

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重
Weight0.52kg

駆動方式
Actuator

1.04kg

精密ポジショナー FPP03-13（13mm）
Fine Pitch Positioner FPP03-13 (13mm)
ST07A-S3T-CL-C

ST07A-S3M-CL-C

ST07A-S3S-CL-C

ST07A-S3T-CL-V

ST07A-S3M-CL-V

ST07A-S3S-CL-V※2※3ZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）Swivel(Tilt)

X・XY
X・XYZZ

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ST07A-S3S-CLは、ST07A-S3T-CLとST07A-S3M-CLの組み合わせです。
Combination of ST07A-S3T-CL and ST07A-S3M-CL form 2-axes swivel stage
model ST07A-S3S-CL.

X・XY
X・XY

自動精密ステージ
Motorized
Stage

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number※1

実験用Experimental

スイベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single Swivel stage is measured in Roll Direction.

勝手違い、重ねの組勝手についてはG-004ページを参照して下さい。
Refer to page G-004 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい（マイクロメータヘッドはオーバーホール対象外となります）。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information (Micrometer is not included in the overhaul).

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-003ペー
ジを参照して下さい。グリス交換は本体のみとなります。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant change is not avairable for actuators on stages.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-003
ページを参照して下さい。グリス交換は本体のみとなります。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant change is not avairable for actuators on stages.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。
詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

G.indd 29

G-029

2022/07/28 17:31