译本操作说明书

LDS3000, LDS3000 AQ
质谱仪模块

560-300, 560-600

最低软件版本MS-Modul 3.16

jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON GmbH
Bonner Straße 498
50968 Köln，德国

INFICON目录

目录
1 关于本说明手册............................................................................................................................ 9
1.1 随附文件................................................................................................................................................... 9
1.2 警告提示................................................................................................................................................... 9
1.3 目标群体................................................................................................................................................. 10
1.4 术语定义................................................................................................................................................. 10
2 安全 ......................................................................................................................................... 12
2.1 按规定使用 ............................................................................................................................................. 12
2.2 用户的义务 ............................................................................................................................................. 13
2.3 对运营商的要求 ...................................................................................................................................... 13
2.4 危险 ........................................................................................................................................................ 13
3 供货范围，运输，存放 ................................................................................................................ 15
4 说明 ......................................................................................................................................... 16
4.1 功能 ........................................................................................................................................................ 16
4.2 仪器构造................................................................................................................................................. 17
4.2.1 整体设备 (LDS3000).................................................................................................................... 17
4.2.2 整体设备 (LDS3000 AQ) .............................................................................................................. 18
4.2.3 接线板 ......................................................................................................................................... 21
4.2.4 MSB-Box ..................................................................................................................................... 22
4.2.5 设备上的标志 .............................................................................................................................. 25
4.3 技术参数................................................................................................................................................. 25
4.4 出厂设置................................................................................................................................................. 27
5 安装 LDS3000 ........................................................................................................................... 30
5.1 使接口位置与装配情况相匹配 ................................................................................................................ 30
5.2 将质谱仪模块装配在测试设备中 ............................................................................................................. 31
5.3 选择接口 ULTRA、FINE 或 GROSS......................................................................................................... 32
5.4 建立组件间的连接 .................................................................................................................................. 33
5.5 建立电动连接.......................................................................................................................................... 34

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iii

目录

INFICON

6 安装 LDS3000 AQ（累积）.......................................................................................................... 35
6.1 使接口位置与装配情况相匹配 ................................................................................................................ 35
6.2 将质谱仪模块装配在测试设备中 ............................................................................................................. 36
6.3 选择部件并建立连接 ............................................................................................................................... 38
6.3.1 类型1........................................................................................................................................... 38
6.3.2 类型2........................................................................................................................................... 41
6.4 建立电动连接.......................................................................................................................................... 43
7 运行 LDS3000 ........................................................................................................................... 44
7.1 接通仪器................................................................................................................................................. 44
7.2 预设置 .................................................................................................................................................... 45
7.3 选择泄漏率的单位 .................................................................................................................................. 46
7.4 选择压力单位.......................................................................................................................................... 47
7.5 选择兼容模式.......................................................................................................................................... 47
7.6 选择运行模式.......................................................................................................................................... 49
7.7 选择气体种类（质量） ........................................................................................................................... 50
7.8 校准仪器................................................................................................................................................. 51
7.8.1 时间和一般预设置 ....................................................................................................................... 51
7.8.2 配置和启动内部校准.................................................................................................................... 53
7.8.3 配置和启动外部校准.................................................................................................................... 54
7.8.4 开始外部动态校准 ....................................................................................................................... 56
7.8.5 用嗅探器管 SL3000XL 进行外部校准........................................................................................... 58
7.8.6 检查校准...................................................................................................................................... 59
7.8.6.1

检查使用内部漏孔进行的校准 ............................................................................................ 59

7.8.6.2

检查使用外部漏孔进行的校准 ............................................................................................ 59

7.8.7 输入校准系数 .............................................................................................................................. 60
7.8.7.1

嗅探校准系数 ..................................................................................................................... 60

7.8.7.2

真空校准系数 ..................................................................................................................... 60

7.8.8 设置机械系数和嗅探系数 ............................................................................................................ 61

iv

7.8.8.1

手动设置机械系数和嗅探系数 ............................................................................................ 61

7.8.8.2

根据机器校准设置机械系数和嗅探系数.............................................................................. 62

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON目录

7.9 开始和停止测量 ...................................................................................................................................... 63
7.10 保存和载入参数 ...................................................................................................................................... 64
7.11 复制测量数据，删除测量数据 ................................................................................................................ 64
7.12 使用“ZERO”功能抑制气体背景信号.................................................................................................... 64
7.13 使用EcoBoost抑制减少的气体背景信号................................................................................................. 66
7.14 带信号过滤器的测量结果显示 ................................................................................................................ 68
7.15 控制前级真空泵气镇阀 ........................................................................................................................... 69
7.16 选择显示限制.......................................................................................................................................... 69
7.17 设置触发器值.......................................................................................................................................... 70
7.18 设置毛细管监控装置 ............................................................................................................................... 70
7.19 设置涡轮分子泵的转速 ........................................................................................................................... 71
7.20 选择阴极................................................................................................................................................. 72
7.21 XL Sniffer Adapter 的设置...................................................................................................................... 72
7.22 显示等效漏率.......................................................................................................................................... 75
7.22.1 计算等效系数 .............................................................................................................................. 75
7.22.2 调整等效系数和摩尔质量 ............................................................................................................ 76
7.23 重置设置................................................................................................................................................. 77
8 运行 LDS3000 AQ（累积）.......................................................................................................... 78
8.1 接通仪器................................................................................................................................................. 78
8.2 预设置 .................................................................................................................................................... 78
8.3 选择泄漏率的单位 .................................................................................................................................. 79
8.4 选择压力单位.......................................................................................................................................... 80
8.5 选择兼容模式.......................................................................................................................................... 80
8.6 通过辅助系统进行基本设置 .................................................................................................................... 83
8.7 确定峰值................................................................................................................................................. 84
8.8 备份漏孔的漏率 ...................................................................................................................................... 85
8.9 校准仪器................................................................................................................................................. 86
8.9.1 时间和一般预设置 ....................................................................................................................... 86
8.9.2 输入校准系数 .............................................................................................................................. 87

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)v

目录

INFICON

8.9.3 真空校准系数 .............................................................................................................................. 87
8.9.4 校准............................................................................................................................................. 88
8.10 开始及停止测量 (AQ模式2)..................................................................................................................... 90
8.11 执行 ZERO .............................................................................................................................................. 91
8.12 设置机械系数和嗅探系数........................................................................................................................ 92
8.12.1 手动设置机械系数和嗅探系数 ..................................................................................................... 92
8.13 进行测量................................................................................................................................................. 93
8.14 保存和载入参数 ...................................................................................................................................... 94
8.15 复制测量数据，删除测量数据 ................................................................................................................ 94
8.16 调整“AQ 零时因数”............................................................................................................................. 95
8.17 选择显示限制.......................................................................................................................................... 95
8.18 设置压力监控.......................................................................................................................................... 96
8.19 设置涡轮分子泵的转速 ........................................................................................................................... 96
8.20 选择阴极................................................................................................................................................. 97
8.21 重置设置................................................................................................................................................. 97
9 使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ） .................................................................................... 99
9.1 选择扩展模块的类型 ............................................................................................................................... 99
9.2 输入/输出模块 IO1000 的设置 ................................................................................................................ 99
9.2.1 一般接口设置 .............................................................................................................................. 99
9.2.2 分配输入端和输出端.................................................................................................................. 100
9.2.2.1

分配输入/输出模块的数字输入端 ..................................................................................... 108

9.2.2.2

分配输入/输出模块的数字输出端 ..................................................................................... 111

9.3 总线模块 BM1000 的设置 ..................................................................................................................... 113
10 警告信息和故障信息（LDS3000、LDS3000 AQ） ......................................................................... 114
10.1 借助 Status-LED 显示错误代码 ............................................................................................................ 122
10.2 显示作为故障的警告 ............................................................................................................................. 123
11 运行 CU1000（可选） .............................................................................................................. 124
11.1 触摸屏元件 ........................................................................................................................................... 124
11.1.1 测量显示的元素......................................................................................................................... 124

vi

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON目录

11.2 故障或警告显示元件 ............................................................................................................................. 127
11.3 设置和功能 ........................................................................................................................................... 128
11.3.1 触摸屏设置 ................................................................................................................................ 128
11.3.2 操作员类型和权限 ..................................................................................................................... 131
11.3.2.1 注销操作员 ....................................................................................................................... 133
11.3.3 重置设置.................................................................................................................................... 133
11.3.4 记录数据.................................................................................................................................... 133
11.3.5 调出信息.................................................................................................................................... 134
11.3.6 显示另一种气体的等效漏率 ....................................................................................................... 137
11.3.6.1 气体当量选择 ................................................................................................................... 138
11.3.6.2 设置气体列表 ................................................................................................................... 139
11.3.6.3 计算等效系数 ................................................................................................................... 140
11.3.6.4 调整等效系数和摩尔质量 ................................................................................................. 140
11.3.7 气体库 ....................................................................................................................................... 142
11.3.8 更新软件.................................................................................................................................... 151
11.3.8.1 更新操作单元的软件 ........................................................................................................ 151
11.3.8.2 检查和更新 MSB-Box 的软件版本 .................................................................................... 152
11.3.8.3 更新输入/输出模块的软件 ................................................................................................ 152
12 维护 ....................................................................................................................................... 154
12.1 寄送设备进行保养、维修或废弃处理.................................................................................................... 154
12.2 一般保养须知........................................................................................................................................ 154
12.3 更换涡轮分子泵的油池盒...................................................................................................................... 156
12.3.1 引言........................................................................................................................................... 156
12.3.2 向涡轮分子泵中灌氮.................................................................................................................. 156
12.3.3 取出旧的油池盒......................................................................................................................... 157
12.3.4 交换porex棒.............................................................................................................................. 160
12.3.5 嵌入新的油池盒......................................................................................................................... 161
12.3.6 确认保养工作 ............................................................................................................................ 163
12.4 LDS3000 AQ – 保养相关的部件 ............................................................................................................ 164
12.5 维护计划............................................................................................................................................... 165

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vii

目录

INFICON

13 停用 ....................................................................................................................................... 167
13.1 使检漏仪停止运转 ................................................................................................................................ 167
13.2 处理质谱仪模块 .................................................................................................................................... 167
13.3 将质谱仪模块送去保养、维修或废弃处理 ............................................................................................ 167
14 附录 ....................................................................................................................................... 168
14.1 CE声明.................................................................................................................................................. 168
14.2 安装声明............................................................................................................................................... 169
14.3 污染声明............................................................................................................................................... 170
14.4 中国 RoHS ............................................................................................................................................ 171
关键词目录.............................................................................................................................. 172

viii

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON关于本说明手册 | 1

1 关于本说明手册
本文档适用于扉页上所述的软件版本。
产品名称可能在本文档中出现，它们仅添加用于识别目的，并归相应的专利权所有人所有。
本操作说明对 LDS3000 质谱仪模块的安装和操作进行了说明。提供两种型号：• LDS3000• LDS3000 AQ（累积），也可以切换为所有其它运行模式。

1.1 随附文件
操作单元CU1000操作说明

jina54总线模块操作说明

jiqb10I/O模块操作说明

jiqc10XL Sniffer Adapter 操作说明书

jinxa54

接口协议jira541.2 警告提示危险导致死亡或重伤的直接危险

警告
可能造成死亡或重伤的危险情况

小心可能造成轻伤的危险情况

提示可能造成财产或环境损害的危险情况

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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1 | 关于本说明手册

INFICON

1.3 目标群体
本操作说明书适用于在密封测试技术和将检漏仪集成进检漏仪器具备经验的管理人员和
合格的技术人员。此外，仪器的安装和使用还要求具备电子接口的知识。

1.4 术语定义
手册中涉及氦气
本设备是一种氦气检漏仪。如果使用氮氢混合气取代氦气，以探测其中包含的氢气，则关于氦气的提示也适用于氢气。

累积泄漏检测是关于示踪气体在定义时间段内的富集。通过该测试可以在不使用真空腔室的情况下检定小漏率。可以使用氦气或氮氢混合气。
此手册中提到的“AQ”代指累积模式。仅供AQ规格的设备使用。

自动调整/批量调整
此功能可调整质谱仪，使之达到最大泄漏率显示。为确保使用离子探测器能探测到最大离子电流，控制计算器会在所选的质量范围内相应地对电压进行调整，从而实现离子加速。
每次校准都自动调整。

运行模式
检漏仪有两种运行模式，即“真空”和“吸枪”。使用“真空”运行模式时，示踪气体通常会流进测试对象中。测试对象中的压力小于环境压力。
使用“嗅探”运行模式时，示踪气体会从测试对象中流出，并通过一个吸枪被排出去。
测试对象中的压力大于环境压力。

FINE
FINE是指涡轮分子泵上进气压力在0.4毫巴以下的接口。此功能用于“吸枪”运行模
式。

氮氢混合气
氮氢混合气是氮和氢气体混合物的总称。

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INFICON关于本说明手册 | 1

GROSS
GROSS是指涡轮分子泵上灵敏度最低的接口。此接口允许较大的进气压力 (最大15毫
巴)。

内部氦基
检漏仪测量系统始终含有一定量的氦气残留。这会占据内部测量信号的比重 (基底信号)，它从一开始就叠加在泄漏显示上，从而干扰查漏。
为了隐藏这种基底信号，已在出厂设置中激活了内部“基底抑制”。

最小的可检测的泄漏率
最小的可检测的泄漏率即检漏仪在理想环境下能够检测到的最小泄漏率 (< 5x10-12毫巴
升/秒)。

ULTRA
ULTRA是指涡轮分子泵上在测量范围内进气压力小于0.4毫巴时灵敏度最高的接口 (可调
节)。

基底信号
氦或氢（作为水的成分）是空气的天然成分。
“真空”运行模式：每次查漏之前，容器内、检测室表面、导管上甚至检漏仪本身已存
在一定量的、设定的示踪气体。这种一定量的示踪气体会生成被称为“基底信号”的测
量信号。通过不断地将检测室抽真空，这种基底信号会持续降低。
“吸枪”运行模式：通过吸枪线持续将外部空气导入到检漏仪中。与此同时，空气中天然存在的氦或氢含量会生成稳定的基底信号。

前级压强涡轮分子泵和前级真空泵之间的前级真空中的压力。

ZERO
在测量过程中作为外部空气的天然成分 - 氦，例如在检测体表面上被弱结合，逐渐在检
漏仪测量系统中被泵吸。一个缓慢减少的测量信号生成。
如果需要隐藏这种基底信号或者也要隐藏现存的泄漏显示，可以使用ZERO功能。

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2 | 安全INFICON2 安全
2.1 按规定使用本设备是一种模块化的检漏仪，用于安装在工业密封性检测设备中。使设备能够进行测
量的示踪气体是氦和氢 (氦氢混合气)。
LDS3000 适用于超压和低压检测，除了可以在真空中进行检测之外还可以利用吸枪线进行本地检测。
LDS3000 AQ 拟定用于对外部测量室内富集的示踪气体进行测量，但也可以针对所有其它使用目的进行改造。
► 您只能按照这些操作说明在室内安装、操作和维护设备。
► 请遵守应用限制，参见“技术参数”。
错误使用► 请避免以下错误使用情况：• 在放射性环境中使用• 泵送侵蚀性、易燃性、爆炸性、腐蚀性、微生物性、反应性或毒性物质，造成危险。
• 用泵抽吸冷凝液体或蒸汽• 向仪器中吸入液体• 在出现禁止的高气体负载时运行• 在出现禁止的高前级压强时运行• 在环境温度过高时运行• 以禁止的高浇注率进行浇注• 将泵用于会有脉冲式负载和振动或周期性外力作用于泵的设备中。

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INFICON

安全 | 22.2 用户的义务• 阅读，遵守并遵守本手册以及所有者提供的工作说明中的信息。这尤其涉及安全和警告说明。
• 执行所有工作时，始终遵守完整的操作说明。
• 如果您有任何操作或维护方面的问题未在本操作说明中得到解答，请与INFICON服务部门联系。

2.3 对运营商的要求
以下提示供负责用户、员工或第三方安全和有效使用本产品的企业或相关责任方使用。

具备安全意识的工作• 只有在技术状况良好且没有损坏的情况下才能操作仪器。
• 只能按照规定并在具有安全和危险意识的情况下，遵从本操作说明书运行该仪器。
• 满足以下规定，并监督这些规定的遵守情况：– 按规定使用– 一般适用的安全和事故预防条例– 国际、国家和当地适用的标准和规则– 附加的有关仪器的规定和条例• 请您只使用原厂零件或制造商许可的零件。
• 请将本操作说明书放置在使用地以供随时取用。

人员资格• 请确保只由受过培训的人员使用和操作该设备。该人员必须接受过设备培训。
• 请确保授权人员在开始工作之前已阅读并理解了本说明书和所有随附文件。

2.4 危险
该设备的制造以最新的技术水平以及公认的安全技术规定为依据。尽管如此，使用不当时仍可能对使用者或第三方的身体和生命造成威胁，或使设备损坏及造成其它财产损失。

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2 | 安全INFICON

液体和化学物质造成危

液体和化学物质可能损坏本设备。

险• 请遵守应用限制，参见“技术参数”。
• 请不要用设备吸入任何液体。
• 请避免吸入高于爆炸下限的气体，比如氢气。有关市售气体混合物允许的成分，我们参照相应制造商的材料安全数据表。
• 只在爆炸危险区域以外的地方使用设备。

对于例如心脏起搏器等

质谱仪模块中有磁铁。磁场可能干扰植入物的功能。

植入物佩戴者的风险• 请始终与质谱仪模块保持10厘米以上的距离。
• 为了确保不进入最小距离范围，请避免拆开质谱仪模块包装或安装质谱仪模块。
• 另外要确保遵循心脏起搏器制造商指定的距离。

电能造成危险

以24伏以下电压运行该设备。仪器内部的电压明显更高。接触仪器内部的带电零部件存在生命危险。
• 进行所有安装和保养工作前，必须先将仪器与电源断开。确保不会在未经许可的情况下恢复供电。
• 开始进行泄漏测试前，将电动测试对象与电源断开。
仪器在高电压下可能发生损坏。
• 连接电源前，确保供电电压在24伏特 +/- 5 %的范围内。

动能如果涡轮分子泵中的旋转部件由于损坏而卡住，必须承受较大的离心力。如果无法实
施，质谱仪模块会折断，可能造成财产损失和人员伤害。
• 确保质谱仪模块的固定装置可承受 820 Nm 的制动力矩。

物体爆裂会造成受伤危

一旦连接的测试对象或与测试对象的连接件无法承受真空模式下的低压，则存在由于物险

体爆裂造成的受伤危险。
• 请采取适当的防护措施。

因测量室内爆造成危险将连接在LDS3000 AQ上的外部测量室用泵抽掉约60标准毫升/分钟。在正常测量时间 (2- 30 秒) 内不会产生危险低压。
如果测量室密封但不耐真空，若继续用泵抽吸，测量室可能会内爆。例如，1升的测量
室在抽吸大约10分钟后可能会发生内爆。
• 测量时间结束后请勿继续用泵抽吸测量室。
• 请采取适当防护措施！

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INFICON供货范围，运输，存放 | 3

3 供货范围，运输，存放
供货范围

产品

数量

质谱仪模块1)

1

用于24伏连接的插头1

压力传感器PSG500

1

自锁螺母

4

Output 插头

1

Gauges Exit 插头1进气模块（仅限 LDS3000 AQ 规格）

1

配有节流阀的适配器 DN162)（仅限 LDS3000 AQ 规格）

1

U盘及说明、3D图纸和视频11.)包括560-300 LDS3000或560-600 LDS3000 AQ (累积)。
2.)参见“选择部件并建立连接 [} 38]”。
►请在收到设备后检查供货范围的完整性。

运输提示
包装不当造成损坏
使用不适合的包装可能在运输过程中损坏设备。
► 只应在原包装中运输设备。
► 妥善保存原包装。

提示
由于未固定减振器造成财产损失► 用运输螺栓固定减振器，以避免因振动带来的损坏。
存放►请遵照技术参数存放设备，参见“技术参数 [} 25]”。

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4 | 说明

INFICON4 说明
4.1 功能目标设定质谱仪模块是测试气体氦和氢的指示器。设备集成在测试设备中，用于探测测试对象中
逸出的气体，指示泄漏情况。
设备既可用于真空检漏，也可用于嗅探检漏。嗅探模式下，有不同长度的嗅探器管可供使用。

AQ模式 (累积)为了能够在不使用真空腔室的情况下证明存在微小漏率，将AQ模式的设备连接到一个
外部测量室上。示踪气体在外部测量室内富集 (累积)。
将在压力作用下填充了氦气或氮氢混合气的测试对象置于测量室内或者在测量室内对其
施加压力。如果测试对象不密封，测量室内氦气或氮氢混合气的浓度将升高。对这一上升进行测量并得出漏率。

设备接口质谱仪模块是LDS3000和LDS3000 AQ密封性测试系统的一部分。加上一个总线模块或输入/输出模块以及一根数据线，质谱仪模块可在无额外INFICON配件的情况下在测试设备中运行。
MSB-Box通过电子接口向操作单元CU1000、输入/输出模块IO1000或总线模块BM1000
发送数据。

其它配件

此外，连同作为配件购买的XL Sniffer Adapter和嗅探器管SL3000XL，还可在检测极限
变差时，在与预测泄漏点距离较远时发现泄漏点 (在“High Flow”下运行)。

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INFICON说明 | 44.2 仪器构造
4.2.1 整体设备 (LDS3000)

插图 1: 质谱仪模块 LDS3000

1

接线板。测试设备、前级真空泵、压力传感器 PSG500、内部测试漏孔和嗅探
器管的接头，亦请参见“接线板 [} 21]”。

2

用于测量前级真空泵压力的压力传感器 PSG500

3

质谱仪模块的前置放大器

4带冷却单元的涡轮分子泵

5

MSB-Box。质谱仪模块的接口（参见“MSB-Box [} 22]”）6

涡轮分子泵变压器

7

用于将质谱仪模块装配在测试设备中的紧固元件

8含质谱仪模块特性参数的铭牌

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4 | 说明

INFICON

4.2.2 整体设备 (LDS3000 AQ)
在累积规格中，通过硬件和软件将质谱仪模块捆绑到特殊测量结构中。

1
2
3

4

6

5
7

插图 2: LDS3000 AQ (示意图)1 系统风扇
2 大气压测量室
3 待测试的测试对象
4 连接
5 测量气体流量 (≈ 50标准毫升/分钟)
6 LDS3000 AQ
7 增压泵

有关测量结构的详细信息请参见“选择部件并建立连接 [} 38]”。

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INFICON说明 | 4

1

5

4

3

2

插图 3: 质谱仪模块（累积规格）

1 用于测量进气压力的压力传感器PSG500
2 GROSS调节法兰，带连接软管到前级真空泵
3 连接到测量室的软管
4 进气模块
5 ULTRA连接盲法兰LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

19 / 174

4 | 说明

INFICON1
2
3

插图 4: 进气模块进气模块。既可以装配到测量室上也可以装配到质谱仪模块上。
1 进气模块过滤器。不提供过滤器清洁。用订购号211-090订购INFICON替换过滤器。另请参见“LDS3000 AQ – 保养相关的部件 [} 164]”。更换过滤器后进
行校准。
2 节流阀盖嵌件
3 标准节流阀客户的配件为了使测量结构完备，可以由客户提供缺少的零部件。
如果您想使用自有的前级真空泵，请确保干式前级真空泵在基础压力低于5毫巴的情况
下气体流量高于60标准毫升/分钟。所使用的前级真空泵应自带电源。
如果您想使用自有控制单元，那么辅助系统在进行测量设置和ZERO功能的校准和设置时应位于INFICON控制单元CU1000上。
另请参见“选择部件并建立连接 [} 38]”。

INFICON选配件

除测量室之外，所需零部件由INFICON提供。
• 控制单元CU1000 (包括进行重要设置所需的辅助系统)• I/O1000 (检漏仪和外部控制设备之间的设备接口)• BM1000 (质谱仪模块LDS3000的MSB Box和外部控制设备之间的设备接口)• 波纹软管，可在INFICON主页的“真空部件”下找到。
• ISO-KF连接 (例如，旋入式法兰)，可在INFICON主页的“真空部件”下找到。
• ISO-K定心环和密封件，可在INFICON主页的“真空部件”下找到。

20 / 174

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INFICON说明 | 4• 用于INFICON干式前级泵的INFICON 24伏特、10安培DIN导轨电源 (目录号
560-324)。
• INFICON干式前级泵 (目录编号560-630)。

ID 10 mm 软管的接口
消声器接口（可选）负极接口正极接口 (24 V)插图 5: INFICON干式前级泵

4.2.3 接线板插图 6: 接线板LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

21 / 174

4 | 说明

INFICON1ULTRA 接口

2

FINE/SNIFFER 接头3

GROSS/FOREPUMP 接头4.2.4 MSB-Box

插图 7: MSB-Box 接头

SNIFFER
嗅探器管的电动接头GAUGES，EXT
可选的外部压力测量点的接口 (0 -10 V/0 - 20 mA)，针对 INFICON 客服
插头分配1+24-V 输出端，最大 200 mA

2

P3服务压力测量点输入端，0 -10伏

3

接地

4

P3服务压力测定点输入端基准5

P3服务压力测定点的20毫安输入端

1 (另请参见MSB-Box图示)压力传感器PSG500、测试漏孔和前置放大器上干扰抑制器的接口 (预装配的三支电缆)2 (另请参见MSB-Box图示)涡轮分子泵转换器和涡轮分子泵风扇接口 (预装配的两支电缆)OUTPUT

22 / 174

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INFICON说明 | 4

气镇阀和三个阀门的接头插头分配1

阀门 2（气镇器），24 V，最大 1A

2

阀门 3（未使用、备用）3

阀门 4（未使用、备用）4

阀门 6（未使用、备用）5

接地

CONTROL UNIT，I/O/ANYBUS
I/O模块或总线模块或操作单元的接口。INFICON数据线的导线长度< 30米。为避免显示错误的测量值，要遵守指定的最长电缆长度。
“Control Unit”和“I/O Anybus”的接口功能相同。可选择连接：- 操作单元CU1000 + I/O模块IO1000- 操作单元CU1000 + 总线模块BM1000

服务INFICON服务用RS232接口

24VDC为质谱仪模块、操作单元、I/O模块和总线模块供电的24伏电源接口。导线长度 < 30
米。

状态
状态LED
状态LED和电源LED显示设备的运行状态。

电源LED/ 状态LED电源LED和状态LED显示设备的运行状态。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

23 / 174

4 | 说明

INFICON

电源LED

状态LED

含义

关闭

红色

设备未准备就绪

绿色蓝色涡轮分子泵起动

绿色

橙色

发射将接通

绿色

绿色

发射稳定

绿色

淡紫色

涡轮分子泵的转速不在正常范围内绿色状态LED的错误设备的不同活动代码绿色，慢速闪烁

电源电压 < 21.6 V

绿色，快速闪烁

电源电压 > 26.4 V

绿色，闪烁

关闭

软件更新

绿色

绿色，闪烁

软件更新

3 (另请参见MSB-Box图示)
前置放大器接口

ION SOURCE离子源接口24 / 174

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INFICON说明 | 44.2.5 设备上的标志危险
对于例如心脏起搏器等植入物佩戴者的风险质谱仪模块中的永久磁铁危害健康。心脏起搏器的功能可能会受影响。
► 请始终与质谱仪模块保持10厘米以上的距离。
► 为了确保不进入最小距离范围，请避免拆开质谱仪模块包装或安装质谱仪模块。
► 另外要确保遵循心脏起搏器制造商指定的距离。

不可将设备扔到生活垃圾中。

4.3 技术参数
机械参数
560-300，560-600
尺寸 (长 x 宽 x 高)

330 x 270 x 293 毫米(13 x 10.6 x 11.5英寸)

入口法兰

1 x DN25 KF
5 x DN16 KF

电气参数
560-300，560-600电流消耗

最大10安培

工作电压

24伏特

保护级

IEC/EN 60034-5 IP40+/-5%UL 50E 1型

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

25 / 174

4 | 说明

INFICON

物理参数
560-300，560-600
嗅探模式的响应时间

GROSS: < 5 s, FINE/ULTRA: < 1 s

最大进气压力0,2 mbar - 18 mbar

加速时间

< 150 s可探测到的气体

氦气，氢气

真空操作时可检测到的最小泄漏率< 5E-12 mbar l/s

嗅探器运行时可检测到的最小泄漏率< 1E-7 mbar l/s

可检测到的质量

4He, H2, 块 3 (比如 H-D, 3He 或 H3)离子源

2 longlife 铱丝, 氧化钇的涂布560-600 (AQ 模式)
氮氢混合气或氦气的最小的可检测的泄漏< 1 x 10-7毫巴·升/秒率测量范围

6个十进位数测试室内的压力

1 atm

泄漏率信号的时间常数

< 1秒

环境条件
560-300，560-600

26 / 174允许的环境温度（运行中）10 °C ... 45 °C

最大海拔高度

2000 m允许的最大磁场

7 mT

超过 40 °C 时的最大相对空气湿度50%

31 °C 至 40 °C 时的最大相对空气湿度80% ...50% (线性递减)最大空气湿度 31°C

80%

储存温度

-20 °C ... 60 °C

污染程度

2

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON说明 | 4

4.4 出厂设置
参数

出厂设置

AO指数上限1 x 10-5

运行模式

真空AQ Mode 1 1)

AQ 室容积

1 l 1)AQ 测量时间

10 s 1)

AQ 零时间因数

4 1)

总线模块地址

126

毛细管监控装置堵塞压力

0.4 mbar- 与 XL Sniffer Adapter (Low Flow)

0.2 mbar

毛细管监控装置断裂压力

2 mbar- 与 XL Sniffer Adapter (Low Flow)

0.6 mbar

毛细管监控装置堵塞压力
- 与 XL Sniffer Adapter (High Flow)150毫巴

毛细管监控装置断裂压力
- 与 XL Sniffer Adapter (High Flow)400毫巴

压力单位 (接口)

毫巴

排放

开

切换漏率过滤器

1 x 10-10

过滤器ZERO时间

5秒

过滤方式

I•CAL

气体比例H2 (M3、He)

100%
5% H2 (-, 100% He) 1)气镇关闭

I/O模块协议

ASCII

校准请求

接通

校准因素VAC/SNIF Mx

1.0(针对真空、嗅探和所有质量)阴极选择

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

Auto Cat1

27 / 174

4 | 说明

INFICON

参数

出厂设置

兼容模式

LDS3000
AQ 1)

配置模拟输出端1

漏率尾数

配置模拟输出端2

漏率指数

配置模拟输出端标度

0.5 V / 十进制

数字输出端配置

Pin 1：触发器1，已颠倒
Pin 2：触发器2，已颠倒
Pin 3：触发器3，已颠倒
Pin 4：触发器4，已颠倒
Pin 5：ReadyPin 6：Error，已颠倒Pin 7：CAL request，已颠倒
Pin 8：Open，已颠倒

数字输入端配置

Pin 1：Select dyn. / normal CAL
Pin 2：Sniff
Pin 3：Start/Stop，已颠倒
Pin 4：ZERO
Pin 5：External CAL
Pin 6：Internal CAL
Pin 7：Clear
Pin 8：ZERO更新
Pin 9：–
Pin 10：–28 / 174

SNIF漏率单位，(显示器和接口)

毫巴·升/秒VAC漏率单位，(显示器和接口)

毫巴·升/秒VAC漏率上限 (接口)1.0 x 10-1

VAC漏率下限 (接口)1.0 x 10-12

SNIF漏率上限 (接口)1.0 x 10-1

SNIF漏率下限 (接口)1.0 x 10-8风扇控制器风扇始终打开

待机的机械系数关闭机械系数 / 嗅探系数

1.0 (针对所有质量)LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON说明 | 4

参数

出厂设置

质量

4

I/O接口的模块

IO1000涡轮分子泵名义状态 (TMP)开

SNIF外部漏孔

9.9 x 10-2

VAC外部漏孔

9.9 x 10-2

内部漏孔

9.9 x 10-2

打开内部漏孔

关闭

吸枪线识别

接通

吸枪按钮ZERO

接通

语言

英语

涡轮分子泵转速 (TMP)

1500
1000 1)

触发器级别1 (2、3、4)

1 x 10-5 mbar l/s
5 x 10-5 (1 x 10-5) mbar l/s 1)

CAL的前置放大器测试

接通显示作为故障的警告 (1 - 8)

无输入

保养信息

关闭

开始时ZERO关闭

ZERO模式抑制所有

1) 处于 AQ 模式

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

29 / 174

5 | 安装 LDS3000

INFICON

5 安装 LDS3000
5.1 使接口位置与装配情况相匹配选择位置为测量装置选择一个尽量无氦的环境。为了通过设备进行可靠测量，空气中的氦气含量
必须小于百万分之10。
自然条件下，空气中含有百万分之5 (0.0005%) 的氦气。

安装MSB-Box
为了完美符合安装位置的场地情况，可转动和翻转MSB-Box。
MSB-Box位于两个导轨上，可从左至右将它推入外壳。必要时也可转动它，使标记位于
头部。
为了取出MSB-Box，必须松开锁紧圆盘。
如果要将 MSB-Box 从另一侧推入外壳，还必须用螺钉将锁紧圆盘固定在外壳的另一侧。存在相应的螺纹孔。

插图 8: 锁紧装置30 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

安装 LDS3000 | 5

5.2 将质谱仪模块装配在测试设备中质谱仪模块可装配在任何位置。

插图 9: 一个固定元件的构件

1

内六角螺栓M8 x 50

5

螺母M8 (自锁)

2

垫圈

6

机架

3

磁光轴承

7

弹簧橡胶

4

测试设备

8

MSB-Box导向装置您需要：- 自锁螺母M8- 开口扳手SW13- 内六角扳手SW6- 用于装配到测试设备中的孔

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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5 | 安装 LDS3000

INFICON

交付状态下，轴承通过内六角螺钉和运输螺母被固定在机架上。装配质谱仪模块时，使用随附的自锁螺母，而非运输螺母。

底座必须稳定。

警告质谱仪模块折断造成重伤如果质谱仪模块的固定不充分，涡轮分子泵的突然堵转可能会导致质谱仪模块脱落。后
果可能是最严重的伤害。
► 确保质谱仪模块的固定装置可承受820牛米的制动力矩。

1

钻直通孔：
– X 间距：283毫米
– Y间距：121.5毫米
– 板中的直通孔：直径9毫米– 固定螺栓：M8 x 50

2拆卸运输螺母。

3将质谱仪模块放在直通孔上，如上图中所述用固定元件旋紧

5.3 选择接口 ULTRA、FINE 或 GROSS
真空连接的运行模式和涡轮分子泵的转速确定了：• 可探测的最小漏率 (KnL)• 持续允许的入口压力 (Pmax)• 吸气能力 (S)以下说明适用于用氦气作为测试气体的情形。
为了达到可探测的最小泄漏率，必须满足以下条件：• 必须使 LDS3000 至少运行 20 分钟。
• 环境条件必须稳定 (温度、无振动/碰撞、干净的环境)• 在ZERO切断的情况下，待测件必须一直运行到背景信号稳定下来。之后才允许接通ZERO功能。

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LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

安装 LDS3000 | 5接头涡轮分子泵转速

ULTRA

FINE

GROSS

1000赫兹

1500赫兹

LDLR：

5 x 10-12毫巴升/秒

1 x 10-11毫巴升/秒

pmax：

0.2毫巴

0.2毫巴

短时间Pmax (< 3秒)：

0.2毫巴

0.4毫巴

S：

5升/秒

6升/秒

LDLR：

1 x 10-11毫巴升/秒

5 x 10-11毫巴升/秒

pmax：

0.9毫巴

0.4毫巴

短时间Pmax (< 3秒 )：

0.9毫巴

0.7毫巴

S：

1.8升/秒2.5升/秒

LDLR：

1 x 10-9毫巴升/秒

2 x 10-8毫巴升/秒

pmax：

18毫巴

15毫巴

S：

取决于前级真空泵

超出持续允许的入口压力会产生警告信息“涡轮分子泵过热” (TMP)。

提示压力冲击造成财产损失超出最大入口压力的压力冲击会损坏质谱仪模块。
- 不要超出最大入口压力。

1根据测试设备的真空物理情况确定真空连接的运行模式和涡轮分子泵的转速。

2

通过“ULTRA”、“FINE”或“GROSS”接口将质谱仪模块连接在测试设备的
真空系统上。

3设置涡轮分子泵转速，同时参考“设置涡轮分子泵的转速 [} 71]”。

5.4 建立组件间的连接1

将压力传感器 PSG500 连接在 GROSS/FOREPUMP 接头的其中一个上。

2将前级真空泵连接在第二个 GROSS/FOREPUMP 接头上。

3

嗅探模式下，将嗅探器管连接在 FINE/SNIFFER 接头的其中一个上。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

33 / 174

5 | 安装 LDS3000

INFICON4

如果存在，则将内部测试漏孔 560-323 连接在真空接头的第二个空余法兰（FINE
或 ULTRA）上。

如果使用了一个嗅探阀：为了使设备在通气阀打开时也无缺陷运行，不允许在接线板和通气阀以及通气阀和嗅探器管之间再连接其它导线。

5.5 建立电动连接电动连接全部来自MSB-Box，也止于MSB-Box。

提示
错误度量或错误连接电源造成财产损失错误度量或错误连接电源可能毁坏设备。
► 使用适当的电源：使用输出电压能电动安全分离的电源，输出端电压：24伏+/-5%，电流负载能力：最小10安► 为LDS3000的电源提供15安培的短路保护。
► 采用横截面足够大的供电电缆。
► 确保在紧急情况下或维护时可以关闭 LDS3000：
架设设备，使得您始终能够到电源插头，以便拔出。
或者，连接一个有标记且易于操作的断开装置。

1

将24伏特供电电缆安装到随附的插头上 (接头：+24 V 接 1+ 以及 GND 接 1-）。

2

将供电电缆连接在“24VDC”插座上。导线长度 < 30米。

3将操作单元连接在“Control Unit”插座上。INFICON数据线的电缆长度< 30m。

4将输入/输出模块或总线模块连接在“I/O”插座上。INFICON数据线的电缆长度< 30 m。

5

将压力传感器PSG500连接在“1”插座的电缆上，如果使用了测试漏孔560-323，也连接在该电缆上。有关插座1的信息请参见“MSB-Box [} 22]”。

34 / 1746

将嗅探器管连接在“Sniffer”插座上。

7将气镇阀连接在“Output”插座上。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

安装 LDS3000 AQ（累积） | 6

6 安装 LDS3000 AQ（累积）6.1 使接口位置与装配情况相匹配选择位置为测量装置选择一个尽量无氦的环境。为了通过设备进行可靠测量，空气中的氦气含量
必须小于百万分之10。
自然条件下，空气中含有百万分之5 (0.0005%) 的氦气。

安装MSB-Box
为了完美符合安装位置的场地情况，可转动和翻转MSB-Box。
MSB-Box位于两个导轨上，可从左至右将它推入外壳。必要时也可转动它，使标记位于
头部。
为了取出MSB-Box，必须松开锁紧圆盘。
如果要将 MSB-Box 从另一侧推入外壳，还必须用螺钉将锁紧圆盘固定在外壳的另一侧。存在相应的螺纹孔。

插图 10: 锁紧装置

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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6 | 安装 LDS3000 AQ（累积）INFICON6.2 将质谱仪模块装配在测试设备中质谱仪模块可装配在任何位置。

插图 11: 一个固定元件的构件

1

内六角螺栓M8 x 50

5

螺母M8 (自锁)

2

垫圈

6

机架

3

磁光轴承

7

弹簧橡胶

4

测试设备

8

MSB-Box导向装置您需要：- 自锁螺母M8- 开口扳手SW13- 内六角扳手SW6- 用于装配到测试设备中的孔

36 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

安装 LDS3000 AQ（累积） | 6

交付状态下，轴承通过内六角螺钉和运输螺母被固定在机架上。装配质谱仪模块时，使用随附的自锁螺母，而非运输螺母。

底座必须稳定。

警告质谱仪模块折断造成重伤如果质谱仪模块的固定不充分，涡轮分子泵的突然堵转可能会导致质谱仪模块脱落。后
果可能是最严重的伤害。
► 确保质谱仪模块的固定装置可承受820牛米的制动力矩。

1

钻直通孔：
– X 间距：283毫米
– Y间距：121.5毫米
– 板中的直通孔：直径9毫米– 固定螺栓：M8 x 50

2拆卸运输螺母。

3将质谱仪模块放在直通孔上，如上图中所述用固定元件旋紧

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6 | 安装 LDS3000 AQ（累积）INFICON6.3 选择部件并建立连接
6.3.1 类型1该结构适用于大多数用户以及较短的测量时间。

5

4

3

1

2

6
8

7

9
11
10

1

盲板

2

用于测量进气压力的压力传感器PSG500

3KF密封圈。ISO-K定心环和密封圈。不包括在内。您可以通过“真空组件”下的INFICON主页订购。

4

节流插件

5

带过滤器的ISO-KF定心环

6图示为带单个测量室的规格。不包括在内。

7节流法兰。也可以连接到质谱仪模块上，参见“类型2 [} 41]”。

8

KF波纹管。不包括在内。

9

GROSS调节法兰

10带独立电源的干式增压泵.不包括在内。您可以订购INFICON“隔膜泵LDS AQ”，订货号560-630，“DIN导轨电源24 V，10 A”，订货号560-324。

1124伏特电源。不包括在内。

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LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

安装 LDS3000 AQ（累积） | 6

ü 您拥有INFICON质谱仪模块 (累积)。
ü 您拥有自带电源的干式前级真空泵。
您可以在基础压力低于5毫巴的情况下使用气体流量超过60标准毫升/分钟的所有干式
真空泵。此说明手册为INFICON干式前级泵 (目录编号560-630) 的使用说明。
ü 您拥有一个自有测量室。
可从INFICON获得有关测量室的信息。
请注意，若在超出常规测量时间后仍继续用泵抽吸，如果测量室密封但不耐真空，其可能会发生内爆。另请参见“进行测量 [} 93]”。
ü 您拥有适用于结构类型1的相关部件。参见上述概览。

1

将压力传感器 PSG500 连接到 FINE 接口上。

2将节流法兰安装到测量室上。
确保节流插件指向腔室。
将带过滤器的ISO-KF定心环装入节流法兰和测量室之间。相关详细信息另请参见“LDS3000 AQ – 保养相关的部件 [} 164]”。

3

我们建议您使用KF波纹管，以便将质谱仪模块的FINE接口与节流法兰连接。

4

将GROSS节流法兰安装在质谱仪模块的GROSS/FOREPUMP端口上。

5

将GROSS节气门法兰软管的开口端连接到前级真空泵。

6

建立增压泵的电气连接。
使用 INFICON 前级泵（目录号 560-630）时，请按以下步骤操作：ð 请确定端子板的正极和负极端子是否已经由制造商连接了线缆。

+
插图 12: INFICON 干式前级泵上的连接板ð 如果已连接，则将正极和负极线缆与 24 V +/- 10 %，5 A 直流电源连接。
ð 如果未连接，则将配有 8 mm AWG 18 绝缘端头的正极和负极线缆的红色绝缘插入所属的接线端子，然后将线缆与 24 V +/- 10 %，5 A 直流电源连接。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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6 | 安装 LDS3000 AQ（累积）INFICON

前级泵的排气口应尽可能远离测量室。

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LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

安装 LDS3000 AQ（累积） | 6

6.3.2 类型2该类型适用于在自定义地点 (尤其是测试对象附近) 取出腔室内的样品。

3

1

4

2

5

9

8

7

6

10
12
11

1

盲板

2

用于测量进气压力的压力传感器PSG500

3不带过滤器的ISO-KF定心环

4

节流插件

5

图示为带单个测量室的规格。不包括在内。

6

过滤单元0.45 µm Pall

7

原装输送软管 (2毫米)8Festo适配器

9

节流法兰

10

GROSS调节法兰11带独立电源的干式增压泵.不包括在内。您可以订购INFICON“隔膜泵LDS AQ”，订货号560-630，“DIN导轨电源24 V，10 A”，订货号560-324。

1224伏特电源。不包括在内。

ü 您拥有INFICON质谱仪模块 (累积)。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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6 | 安装 LDS3000 AQ（累积）INFICONü 您拥有自带电源的干式前级真空泵。
您可以在基础压力低于5毫巴的情况下使用气体流量超过60标准毫升/分钟的所有干式
真空泵。此说明手册为INFICON干式前级泵 (目录编号560-630) 的使用说明。
ü 您拥有一个自有测量室。
可从INFICON获得有关测量室的信息。
请注意，若在超出常规测量时间后仍继续用泵抽吸，如果测量室密封但不耐真空，其可能会发生内爆。另请参见“进行测量 [} 93]”。
ü 您拥有适用于结构类型2的相关部件。参见上述概览。

1

将压力传感器 PSG500 连接到 FINE 接口上。

2将节流法兰安装到LDS FINE接口上。
确保节流插件指向LDS FINE接口。
将不带过滤器的ISO-KF定心环装入节流法兰和FINE接口之间。相关详细信息另
请参见“LDS3000 AQ – 保养相关的部件 [} 164]”。

3

将腔室与2毫米软管连接。视应用而定，将软管插入腔室后可能会有所帮助。软
管必须与过滤单元0.45 µm Pall连接直至腔室。

4建立软管与Festo适配器的连接。

5按需将2毫米软管插入测量室。可根据所需长度裁短软管。

6

将GROSS节流法兰安装在质谱仪模块的GROSS/FOREPUMP端口上。

7

将GROSS节气门法兰软管的开口端连接到前级真空泵。

8

建立增压泵的电气连接。
使用 INFICON 前级泵（目录号 560-630）时，请按以下步骤操作：ð 请确定端子板的正极和负极端子是否已经由制造商连接了线缆。

+
插图 13: INFICON 干式前级泵上的连接板ð 如果已连接，则将正极和负极线缆与 24 V +/- 10 %，5 A 直流电源连接。
ð 如果未连接，则将配有 8 mm AWG 18 绝缘端头的正极和负极线缆的红色绝缘插入所属的接线端子，然后将线缆与 24 V +/- 10 %，5 A 直流电源连接。

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LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

安装 LDS3000 AQ（累积） | 6

前级泵的排气口应尽可能远离测量室。

6.4 建立电动连接电动连接全部来自 MSB-Box，也止于 MSB-Box。

提示
错误度量或错误连接电源造成财产损失错误度量或错误连接电源可能毁坏仪器。
► 使用适当的电源：使用输出电压能电动安全分离的电源，输出端电压：24伏特+/-5%，电流负载能力：最小10安培► 为LDS3000 AQ的电源提供15安培的短路保护。
► 采用横截面足够大的供电电缆。

1

将24伏特供电电缆装配在随附的插头上 (接头：+24伏特至1+和接地至1-)。

2

将供电电缆连接到“24VDC”插座上。

3将控制单元连接到“Control Unit”插座上。

4

将 I/O 或总线模块连接到“I/O”插座上。

5将压力传感器 PSG500 的电缆连接到插座 1 上。有关插座 1 的信息请参见“MSB-Box [} 22]”。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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7 | 运行 LDS3000

INFICON7 运行 LDS3000
您可以通过以下配件运行质谱仪模块：• 控制单元 CU1000• 总线模块 BM1000• 输入/输出模块 IO1000

此外，连同作为配件购买的 XL Sniffer Adapter 和嗅探器管 SL3000XL，还可在检测极限变差时，在与预测泄漏点距离较远时发现泄漏点（在“High Flow”下运行）。
如果 LDS3000 AQ 设备未在 AQ 模式下运行，也可以使用该设备。
关于操作单元、模块和 XL Sniffer Adapter 的更多信息见以下文件：• 控制单元 CU1000 操作说明书• 输入/输出模块 IO1000 操作说明书• 总线模块 BM1000 操作说明书
• XL Sniffer Adapter 操作说明书
• Interface Protocols LDS3000
以下段落中列举的路径涉及到质谱仪模块与操作单元 CU1000 的操作。如果使用了总线
模块或输入/输出模块，则必须在所运用协议的范围内转化动作。
操作单元的路径陈述始终在主菜单中开始。

警告运行条件不适当造成生命危险和财产损失运行条件不适当存在生命危险。可能损坏设备。
► 避免突然改变设备位置。
► 避免外部振动和碰撞。

7.1 接通仪器1

接通前级真空泵。

2

建立质谱仪模块的电压供应。

ð44 / 174系统自动起动。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 7

ð

如果 XL Sniffer Adapter 和 CU1000 已相互连接，起动后会询问是否要设置为运行
模式“XL Sniffer Adapter”。此情况不适用于处于 AQ 模式的设备。

设备处于 AQ 模式时启动时间较长为了防止因背景信号值提高而对测量结果造假，接通后的加热时间约为 10 分钟。
在确定“峰值”和校准前等待至少 60 分钟。另请参见“进行测量 [} 93]”。

7.2 预设置
选择语言选择显示语言。出厂设置为英语。（SL3000XL 嗅探器管把手上的显示器以英语显示消息，而不是俄语和中文。）
德语, 英语, 法语, 意大利语, 西班牙语, 葡萄牙语, 俄语, 中文, 日语设置日期和时间

控制单元

设置 > 调整 > 操作单元 > 语言

LD协议

指令398

ASCII协议

*CONFig:LANG

设置日期
格式：DD.MM.YY

控制单元

设置 > 日期/时间 > 日期

LD协议

指令450

ASCII协议

*HOUR:DATE设置时间
格式：hh:mm

控制单元

设置 > 日期/时间 > 时间

LD协议

指令450

ASCII协议

*HOUR:TIMELDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

45 / 174

7 | 运行 LDS3000

INFICON7.3 选择泄漏率的单位
泄漏率单位
显示

选择真空或嗅探显示下的泄漏率单位0

毫巴·升/秒 (出厂设置)1

帕立方米/秒2

大气压立方厘米/秒

3

托升/秒

4

百万分之一气体浓度 (非VAC，非AQ)

5

克/年 (非VAC，非AQ)

6

盎司/年 (非VAC，非AQ)

7标准毫升/分钟8

立方英尺/年操作单元

显示 > 单位 (显示) > 泄漏率单位VAC (SNIF)LD协议

命令 396 (索引 0：真空，索引 1：吸枪)ASCII协议

指令*CONFig:UNIT:VACDisplay
指令*CONFig:UNIT:SNDisplay

接口泄漏率单位

46 / 174

选择真空或嗅探接口的泄漏率单位0

毫巴·升/秒 (出厂设置)1

帕立方米/秒2

大气压立方厘米/秒

3

托升/秒

4

百万分之一气体浓度 (非VAC)

5

克/年 (非VAC)

6盎司/年 (非VAC)

7

标准毫升/分钟8

立方英尺/年操作单元

设置 > 调整 > 接口 > 单位 (接口) > 泄漏率单位VAC (SNIF)LD协议

指令431 (真空)LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 7

指令432 (嗅探)ASCII协议

指令*CONFig:UNIT:LRVac
指令*CONFig:UNIT:LRSnif

7.4 选择压力单位
接口压力单位

选择接口的压力单位
0

mbar（出厂设置）

1

Pa

2

atm

3

Torr

控制单元

设置 > 调整 > 接口 > 单位（接口） > 压力单位LD协议

指令 430（真空/嗅探）ASCII协议

指令 *CONFig:UNIT:Pressure

7.5 选择兼容模式
如需在现有的泄漏检测设备LDS1000/LDS2010上加装LDS3000，请激活相应的兼容模式：• LDS1000的兼容模式或• LDS2010的兼容模式
切换为兼容模式时，所有参数将重置为出厂设置，设备会重启。按照出厂设置显示语言。更改语言请参见“预设置 [} 45]”。
如稍后需重新正常运行LDS3000，请事先将其参数保存在一个U盘上，参见“保存和载入参数 [} 64]”。切换为正常运行后，重新加载所保存的参数。
• LDS1000：兼容模式，用于为现有的检漏设备LDS1000加装至LDS3000。
• LDS2010：兼容模式，用于为现有的检漏设备LDS2010加装至LDS3000。
• LDS3000• XL Sniffer Adapter

控制单元

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

设置 > 调整 > 兼容性 > 兼容模式

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7 | 运行 LDS3000

INFICONLD协议

指令2594 (dez)ASCII协议

指令*CONFig:COMP

下表为LDS2010和LDS3000间的功能差异和共同点：
LDS2010

LDS3000

触发器输出端

无共同方面

有共同方面

其它输出端

有共同方面

有共同方面

触发器1 (嗅探器LED、继电器输出

嗅探器LED控制，操作单元上用于主 嗅探器LED控制，操作单元上用于主端、音频信号)

动式音箱的PWM音频输出端动式音箱的音频输出端Limit-Low/High (序列接口、显Limit Low影响所有输出，Limit

可针对接口协议、显示和模拟输出端示、模拟输出端)High仅影响显示单独调节气镇阀 (3种设置)OFF：切断泵模块的气镇阀。

0 = 关，

ON：接通泵模块的气镇阀，直至电 1 = 开，但在IO1000上可通过PLC输
网下一次被切断。

入进行控制当“CAL mode”不为3时 (菜单项2 = 开，但在IO1000上不可通过PLC26)，可通过数字输入端DynCAL控

输入进行控制。

制气镇阀。
F-ON：Fixed on实现气镇阀的持续
接通 (停电时仍有保障，独立于数字
输入端)。
控制模式

LOCAL，RS232，RS485

取消，所有控制位置同时可进行控制。

LDS1000兼容模式9.2

其它功能默认值和报错消息 (默认值会通过接口进行分配，触摸屏上出现原始消息- -> 原因：新硬件可能会导致出现
之前未曾出现过的错误)

待机时泄漏率的修正 (机械系数)可调节 (是/否)开始时ZERO可调节 (是/否)如LDS2010为V1.02及以上版本打开嗅探阀启动后在SNIF中

启动后在SNIF中涡轮分子泵的转速仅2个转速

通过串行接口可在750赫兹至1500赫
兹之间调整，通过操作单元则为
1000赫兹和1500赫兹

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LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 7

LDS2010

LDS3000

RS485地址是，因为可用总线否，因为不可用总线

接通/切断嗅探键

可选可选内部测试漏孔的默认值

1E-15毫巴升/秒

9.9E2毫巴升/秒

外部默认值VAC/SNIF模式测试漏孔

1E-7毫巴升/秒

9.9E2毫巴升/秒

内部测试漏孔的设置范围

10E-7

1E-9 ...9.9E-1毫巴升/秒机械系数调准手动

手动/自动机器/嗅探系数的数值范围机械系数：1E-3...9.9E+3

机械系数：1E-4...1E+5

嗅探系数：1E-3...9.9E+3

嗅探系数：1E-4...1E+4

压力：毛细管监控20

存在，可调节压力

模拟输出

固定特性曲线

校准请求

前置放大器温度变化5开尔文或30分 前置放大器温度变化5开尔文或30分

用于所有接口的压力/泄漏率单位

可任意配置

钟

钟，或者TMP转速发生了变化

是操作单元和其它部分分离

3级，通过设备操作单元上的PIN码

4级，通过操作单元或可选的钥匙开

或钥匙开关

关

固定安装

必要时可进行外部连接，参见“分配(VAC/SNIF)
用户权限

钥匙开关

输入/输出模块的数字输入端[} 108]” (钥匙开关)

7.6 选择运行模式
该设备有以下几种运行模式：• 真空模式• 嗅探运行• XL Sniffer Adapter (高流量嗅探模式，需要XL Sniffer Adapter)。
连接至XL Sniffer Adapter时，设备会自动切换至“XL Sniffer Adapter”运行模
式。

选择运行模式LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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7 | 运行 LDS3000

INFICON0

VAC (真空)

1

SNIF (嗅探)2

XL Sniffer Adapter运行模式 (仅显示)控制单元

真空或嗅探运行模式：
主菜单 > 功能 > VAC/SNIFXL Sniffer Adapter运行模式：
设置 > 调整 >配件 > XL Sniffer Adapter

LD协议

指令401

ASCII协议

指令*CONFig:MODE对于LDS3000 AQ，在运行模式下会显示文本“AQ”或数值“3”或“4”。
► 可以通过改变“兼容模式”来切换LDS3000 AQ的运行模式，参见“选择兼容模式[} 80]”。

7.7 选择气体种类（质量）机械系数、校准系数和嗅探系数取决于所设的质量，并保存在质谱仪模块中。
2H2 (氢气、氮氢混合气)

3

3氦气或氘化氢 (HD)，未处于AQ模式

44He (氦气) (出厂设置)控制单元

设置 > 质量

LD协议

含数值2 (3、4) 的指令506

ASCII协议

指令*CONFig:MASS 2 (3、4)

对于LDS3000 AQ，最好通过辅助系统更改气体类型，参见“通过辅助系统进行基本设
置 [} 83]”。

50 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 7

7.8 校准仪器
7.8.1 时间和一般预设置
提示运行温度过低造成校准错误
在温度较低的状态下校准设备时，可能出现错误的测量结果。
► 为获得最佳精确度，仪器应启动运行至少 20 分钟。
建议一次一级切换为所需运行模式并调整为所需气体。然后，您可无需重新校准便在运行模式和气体之间进行切换。
此外，适用于与 XL Sniffer Adapter 联合运行：
在每个班次中，设备只能在 LOW FLOW 和 HIGH FLOW 中校准一次。然后，您可无需
重新校准便在流量之间进行切换。
此外，在以下事件后也需进行校准：• 更换吸枪管
• 更换滤波器• 通过系统要求校准关闭前置放大器测试

校准时设备会测试安装的前置放大器。您可以关闭前置放大器测试。这样校准就会更
快，但可靠性会降低。
0

关闭

1

接通

操作单元

设置 > 调整 > MS模块 > 前置放大器 > 测试 > CAL的前置放大器测试

激活校准请求

LD协议

指令370

ASCII协议

指令*CONFig:AMPTest (ON、OFF)

如果校准请求激活，设备将在温度变化超过5摄氏度以及接通后30分钟请求校准。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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7 | 运行 LDS3000

INFICON

0

关闭

1

接通

操作单元

功能 > CAL > 设置 > CAL请求> 校准请求或设置 > 调整 > 通知 > CAL请求> 校准请求

校准警告Wrn650

LD协议

指令419

ASCII协议

*CONFig:CALREQ (ON、OFF)可允许或禁止警告信息Wrn650“不建议在前20分钟内进行校准”。
0关 (禁止)1开 (允许)

操作单元

功能 > CAL > 设置 > CAL请求> 校准警告W650
或设置 > 调整 > 通知 > CAL请求> 校准警告W650

校准特点

LD协议

指令429

ASCII协议

*CONFig:CALWarn ON (OFF)可在所有运行模式中对设备进行校准。分为内部和外部校准两种。
内部校准可借助选装的测试漏孔进行。外部校准需要单独的漏孔。
外部校准的优势在于，它可在类似于稍后测试的压力和测量时间的条件下进行。
内部- 使用内部漏孔- Autotune (质量调校)- 针对漏孔的稳态信号确定校准系数- 放大器测试
- 确定基底。必要时可在校准后调整机器或嗅探系数，参见“设置机械系数和嗅探系数 [} 61]”
- 未使用 XL Sniffer Adapter

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INFICON运行 LDS3000 | 7

外部- 真空运行：使用检测设备中的外部漏孔- 嗅探运行：使用外部漏孔- 考虑检测设备的特性（压力、部分电流比例）- 放大器测试
- Autotune（质量调准）- 在漏孔信号出现震荡后确定校准系数- 确定本底外部 - 动态

- 使用检测设备中的外部漏孔- 考虑检测设备的特性 (压力、部分电流比例、测量时间)- 与动态信号变化一致的测量时间- 放大器测试
- 在漏孔信号出现震荡前确定校准系数- 确定基底7.8.2 配置和启动内部校准用内部测试漏孔校准的前提条件是一次性输入测试漏孔的泄漏率。
测试漏孔泄漏率-内部定义校准时应使用的测试漏孔的泄漏率。未输入数值的情况下无法校准。
1E-9 ...9.9E-1 mbar l/s

控制单元设置 > 调整 > 运行模式 > 真空 > 内部漏孔 > 内部漏孔
或功能 > CAL > 设置 > 内部漏孔

LD协议

指令394

ASCII协议

指令 *CONFig:CALleak:INT打开/关闭

打开/关闭测试漏孔。在内部校准时会自动进行。如果已通过操作单元或接口打开漏测试漏孔孔，则不可执行内部校准。这种情况下，需要首先再次关闭漏孔。
0

关

1

开

控制单元

功能 > 阀门 > 打开内部测试漏孔

LD协议

指令12

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7 | 运行 LDS3000

INFICONASCII协议
►指令 *STATus:VALVE:TestLeak (ON, OFF)开始校准
操作单元：功能 > CAL > 内部
LD 协议：4，参数 0
ASCII 协议：*CAL:INT
IO1000：CAL 内部，参见“输入/输出模块 IO1000 的设置 [} 99]”

ð

校准将自动进行。

7.8.3 配置和启动外部校准用外部测试漏孔校准的前提条件是一次性输入测试漏孔和已打开的测试漏孔的泄漏率。
真空模式下，将测试漏孔装配在测试设备中或测试设备旁，在校准前将它打开。
嗅探模式下，用嗅探器管在始终打开的测试漏孔旁嗅探。
测试漏孔泄漏率- 外部真空定义校准时应使用的测试漏孔的泄漏率。未输入数值的情况下无法校准。
必须针对每种气体（质量）设置一个特定的泄漏率。
1E-9 ...9.9E-2 mbar l/s

控制单元设置 > 调整 > 运行模式 > 真空 > 外部测试漏孔> 质量 2 (3, 4) >外部漏孔 VAC H2 (M3, He)
或功能 > CAL > 设置 > 外部测试漏孔（所选单位的当前质量）测试漏孔泄漏率- 外部嗅探

LD协议

指令390

ASCII协议

指令 *CONFig:CALleak:EXTVac（所选单位的当前质量）定义校准时应使用的测试漏孔的泄漏率。未输入数值的情况下无法校准。
必须针对每种气体（质量）设置一个特定的泄漏率。
1E-9 ...9.9E-2 mbar l/s

控制单元设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 外部测试漏孔> 质量 2 (3, 4) >外部漏孔 SNIF H2 (M3, He)
或功能 > CAL > 设置 > 外部测试漏孔（所选单位的当前质量）54 / 174

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INFICON运行 LDS3000 | 7

LD协议

指令392

ASCII协议

指令 *CONFig:CALleak:EXTSniff（所选单位的当前质量）► LD 协议和 ASCII 协议：必须通过以下指令询问进程：指令 260 或 *STATus:CAL

1

打开外部测试漏孔，或握住测试漏孔旁的嗅探器管。

2

开始测量。

3

等待至泄漏率信号波动并稳定下来。

4

开始校准：
控制单元：功能 > CAL > 外部
LD 协议：4，参数 1
ASCII 协议：*CAL:EXT
IO1000：参见下图。
ð “关闭测试漏孔”请求

5

真空模式：关闭测试设备中的测试漏孔。
嗅探模式：移除测试漏孔的嗅探器管。
ð 泄漏率信号减弱。

6

确认稳定的背景信号测量值：控制单元：“OK”
LD 协议：11，参数 1
ASCII 协议：*CAL:CLOSEDIO1000 参见下图。

ð以下情形时，校准已结束：
控制单元：显示旧的和新的校准系数LD 协议：LD 指令 260 提供 0 (READY)ASCII 协议：指令 *STATus:CAL? 提供 IDLE
IO1000 参见下图。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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7 | 运行 LDS3000

INFICON插图 14: 用 IO1000 进行外部校准，比如嗅探器管 SL3000XL，PLC 输入端和输出端的描述：参见“分配输入端和输出端 [} 100]”

7.8.4 开始外部动态校准为考虑到检测设备的特殊时间和压力条件，可执行一次动态校准。在此校准模式下，不可执行 Autotune。打开外部漏孔和激活校准之间的时间可选择为与设备正常测量流程最匹配的时间。
前提条件：一次性输入漏孔泄漏率且漏孔已打开，参见“配置和启动外部校准[} 54]”。
LD 协议和 ASCII 协议：必须通过以下指令询问进程：指令 260 或 *STATus:CAL?

1

56 / 174打开外部测试漏孔，或握住测试漏孔旁的嗅探器管。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 7

2

开始测量。

3

等待至泄漏率信号与设备正常的测量流程最匹配的时间点。

4

开始校准：
控制单元：功能 > CAL > 动态LD 协议：4，参数 2
ASCII 协议：*CAL:DYN
IO1000 参见下图。
ð “关闭测试漏孔”请求

5

真空模式：关闭测试设备中的测试漏孔。
嗅探模式：移除测试漏孔的嗅探器管。
ð 泄漏率信号减弱。

6确认背景信号测量值：控制单元：“OK”
LD 协议：11，参数 1
ASCII 协议：*CAL:CLOSEDIO1000 参见下图。

ð以下情形时，校准已结束：
控制单元：显示旧的和新的校准系数LD 协议：LD 指令 260 提供 0 (READY)ASCII 协议：指令 *STATus:CAL? 提供 IDLE
IO1000 参见下图。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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7 | 运行 LDS3000

INFICON插图 15: 图 7 用 IO1000 进行外部动态校准，比如嗅探器管 SL3000XL，PLC 输入端和输出端的描
述：参见“分配输入端和输出端 [} 100]”

7.8.5 用嗅探器管 SL3000XL 进行外部校准
操作方法相当于嗅探模式下一次外部校准或外部动态校准。
必须单独校准Low Flow和High Flow。
为了确保针对 Low Flow 和 High Flow 用氢气或氦氢混合气进行理想的校准，测试漏孔
必须满足以下要求：– 100 % H2：LR > 1 x 10-4
- 氦氢混合气 (95/5)：LR > 2 x 10-3
为进行校准，我们建议使用我们目录编号为 12322 的测试漏孔。

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INFICON运行 LDS3000 | 7

7.8.6 检查校准如欲检查是否需要进行新的校准，您可检查现有的校准情况。

7.8.6.1 检查使用内部漏孔进行的校准此检查仅可通过设置“质量 4”进行。
开始检查：

►

控制单元：功能 > CAL > 检查内部LD 协议：4，参数 4
ASCII 协议：*CAL:PROOFINT
IO1000：CAL 内部检查，参见“输入/输出模块 IO1000 的设置 [} 99]”ð检查将自动进行。

7.8.6.2 检查使用外部漏孔进行的校准► LD 协议和 ASCII 协议：必须通过以下指令询问进程：指令 260 或 *STATus:CAL

1

打开外部测试漏孔，或握住测试漏孔旁的嗅探器管。

2等待至泄漏率信号波动并稳定下来。

3

开始检查：
控制单元：功能 > CAL > 检查外部。
LD 协议：4，参数 5
ASCII 协议：*CAL:PROOFEXT
IO1000 对比“配置和启动外部校准 [} 54]”中的图。
ð “关闭测试漏孔”请求

4

真空模式：关闭测试设备中的测试漏孔。
嗅探模式：移除测试漏孔的嗅探器管。
ð 泄漏率信号减弱。

5

确认稳定的背景信号测量值：控制单元：“OK”
LD 协议：11，参数 1
ASCII 协议：*CAL:CLOSEDIO1000 对比“配置和启动外部校准 [} 54]”中的图。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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7 | 运行 LDS3000

INFICONð

以下情形时，检查已结束：
控制单元：显示检查结果LD 协议：与其它步骤一样，必须询问进程ASCII 协议：与其它步骤一样，必须询问进程
IO1000 对比“配置和启动外部校准 [} 54]”中的图。

7.8.7 输入校准系数校准系数通常由对应的校准路径而定。因此通常不需要手动设定校准系数。
设定错误的校准系数必然会导致错误的泄漏率显示！

7.8.7.1 嗅探校准系数针对 Low Flow 和 High FLow 中的质量 2、3、4 输入校准系数。
下次校准时数值会被覆盖。
“High Flow”或 XL 设置只在“XL Sniffer Adapter”运行模式下可用。
Low Flow 的校准系数还适用于不在“XL Sniffer Adapter”运行模式中进行的嗅探应用。
校准系数会根据质量和“High Flow”以及“Low Flow”分别进行管理。
0.01 - 100

控制单元设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 校准系数> 质量 2 (3, 4, 2 XL, 3 XL,
4 XL) > 校准系数 SNIF H2 (M3, He, XL H2, XL M3, XL He)

LD协议

指令 519, 521

ASCII协议

指令 *FACtor:CALSniff 或针对当前质量的 *FACtor:CALSXL

7.8.7.2 真空校准系数同样适用于处于 AQ 模式的设备。
输入质量 2、3、4 的校准系数
下次校准时数值会被覆盖。
0.01 - 5000

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LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 7

控制单元设置 > 调整 > 运行模式 > 真空 > 校准系数> 质量 2 (3, 4) > 校准系
数 VAC H2 (M3, He)

LD协议

指令520

ASCII协议

指令 *FACtor:CALVac

7.8.8 设置机械系数和嗅探系数内部校准仅校准质谱仪模块上与测试设备分离的测量系统。如果测量系统在一次内部校
准后发动，但与另一个泵系统同步（根据部分电流原则），测量系统根据部分电流比例
确定泄漏率。借助真空模式下一个修改的机械系数和嗅探模式下的一个嗅探系数，测量
系统确定实际泄漏率。通过系数考虑测量系统有效吸气能力的情况，对比测试设备上测量系统的吸气能力。

7.8.8.1 手动设置机械系数和嗅探系数ü 内部校准质谱仪模块。

1

用测试设备测量外部测试漏孔。
ð 依照部分电流比例过小的情况，设备确定泄漏率。

2设置机械系数或嗅探系数，见下。
ð 设备显示实际泄漏率。

设置机械系数处于 AQ 模式的设备：仪器系数已预设为“1”。此设置不可更改。
修正真空模式下内部和外部校准间可能存在的偏差。
无选项时，内部测试漏孔的值应为 1.00。修改值时，会显示修改产生的泄漏率。这样
便简化了调准。
数值范围 1E-4...1E+5

控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 真空 > 机械系数> 质量 2 (3, 4) > 机械系
数 VAC H2 (M3, He)

LD协议

指令522

ASCII协议

指令 *FACtor:FACMachine

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

61 / 174

7 | 运行 LDS3000

设置嗅探系数INFICON

修正嗅探模式下内部和外部校准间可能存在的偏差数值范围 1E-4...1E+4

控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 嗅探系数> 质量 2 (3, 4) > 嗅探系
数 H2 (M3, He)

LD协议

指令523

ASCII协议

指令 *FACtor:FACSniff

7.8.8.2 根据机器校准设置机械系数和嗅探系数ü 内部测试漏孔已连接。
ü 将外部测试漏孔装配在测试设备中或测试设备上，并将其关闭。
ü 已输入内部和外部测试漏孔的泄漏率。
ü LD 协议和 ASCII 协议：必须通过以下指令询问进程：指令 260 或 *STATus:CAL

1

开始机器校准。
控制单元：功能 > CAL > 机器（嗅探器）LD 协议：4，参数 3
ASCII 协议：*CAL:FACtor_Machine，*CAL:FACtor_Snif
IO1000 参见“配置和启动外部校准 [} 54]”中的图ð 内部校准将自动进行。
ð 请求“打开测试漏孔”（外部测试漏孔）。

2

打开检漏仪和设备间的外部测试漏孔和阀门（如果存在）。

3确认波动和稳定的泄漏率信号。
控制单元：“OK”
LD 协议：11，参数 1
ASCII 协议：*CAL:ACKnowledge
IO1000 参见“配置和启动外部校准 [} 54]”中的图ð 请求“关闭测试漏孔”（外部测试漏孔）。

4

62 / 174

关闭外部测试漏孔。使存在的阀打开。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 75确认波动和稳定的泄漏率信号。
控制单元：“OK”
LD 协议：11，参数 1
ASCII 协议：*CAL:CLOSEDIO1000 参见“配置和启动外部校准 [} 54]”中的图ð

机械系数或嗅探系数已确定。

7.9 开始和停止测量在测量模式和待机模式间切换
START = 待机 --> 测量
STOP = 测量 --> 待机

控制单元

功能 > 启动/停止（Start/Stop）

LD协议

指令 1, 2ASCII协议

指令 *STArt, *STOp

测量过程中Standby 过程中可进行 ZERO。

不可进行 ZERO。

触发器输出端根据泄漏率和触发器阈接触发器输出端发出指令：超出泄漏率阈通。

值。

可进行嗅探。

不可进行嗅探。

激活数字输入端 CAL 时，开始一次外部校 激活数字输入端 CAL 时，开始一次内部校准。

准。

激活/禁用 Standby 时

真空模式下，可在修正 Standby 泄漏率时激活或禁用机械系数。嗅探模式下 Standby

的泄漏率修正时嗅探阀已关闭。因此，进行该设置时无需嗅探系数。
0

关（Standby 时不考虑机械系数。）

1

开（Standby 时考虑机械系数。）

控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 泄漏率修正 > Standby 时的机械系数

LD协议

指令524

ASCII协议

–LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

63 / 174

7 | 运行 LDS3000

INFICON

7.10 保存和载入参数
为了锁定和重新生成操作单元和质谱仪模块的参数，可使用 CU1000 上的一个 U 盘。
存储参数：►

“功能>数据>参数>保存>保存参数”

加载参数：ü 当前设置的兼容模式必须与参数文件中的兼容模式一致。另参见选择兼容模式[} 47]。
►“功能>数据>参数>加载>加载参数”

7.11 复制测量数据，删除测量数据可通过CU1000将测量数据存储在一个U盘上。
• “功能 > 数据 > 记录器 > 复制 > 复制文件”
可在CU1000上删除测量数据。
• “功能 > 数据 > 记录器 > 删除 > 删除文件”

7.12 使用“ZERO”功能抑制气体背景信号
使用ZERO 可以抑制不需要的氦背景信号。ZERO激活时，泄漏率的当前测量值被计为氦背景信号，从所有后续测量值中扣减。当设备中的背景信号减少时，通过ZERO抑制
的背景信号将自动调整。根据所设置的ZERO时间，背景信号值将自动调整，用过滤器设置I•CAL时除外，参见“带信号过滤器的测量结果显示 [} 68]”。
激活和禁用“ZERO”

激活和禁用“启动时ZERO”

64 / 174

激活/禁用ZERO
0

开

1

关闭

操作单元

功能 > ZERO > ZERO

LD协议

指令6

ASCII协议

指令*ZERO开始测量时，开始时Zero自动抑制氦背景信号。
0

开

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 71设置ZERO 模式

禁用嗅探器上的 ZERO
键

关闭

操作单元

设置 > ZERO/滤波器 > ZERO > 开始时ZERO

LD协议

指令409

ASCII协议

指令*CONFig:ZEROSTART确定被 ZERO 抑制的氦背景信号的强度（仅通过筛选“固定”和“2 级”）。
0

所有十进位

1

1 – 2 个十进位2

2 – 3 个十进位

3

2个十进位数4

3 – 4 个十进位

5氦背景信号的 19/20 被抑制操作单元

设置 > ZERO/Filter > ZERO > ZERO 模式

LD协议

指令410

ASCII协议

指令 *CONFig:DECADEZero

禁用 ZERO 键（ZERO 调准）防止测量无意受到影响。
0

开

1

关闭

操作单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 嗅探器 > 按键 > 嗅探器 ZERO 键

LD协议

指令412

ASCII协议

指令 *CONFig:BUTSniffer

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

65 / 174

7 | 运行 LDS3000

INFICON7.13 使用EcoBoost抑制减少的气体背景信号
以氦气作为测试气体的 EcoBoost 适用于真空操作模式下的 LDS3000，不适用于LDS3000 AQ。
使用氢气或成型气体作为测试气体的 EcoBoost 正处于早期开发阶段。要将气体类型从
氦气切换为氢气，请参阅“选择气体种类（质量） [} 50]”。因此该功能仍可能包含在
某些情况下不建议进行生产性使用的错误。INFICON明确保留在未来软件版本中更改或删除该功能的权利。
EcoBoost补充现有ZERO功能，另请参见“使用“ZERO”功能抑制气体背景信号[} 64]”。
EcoBoost经过优化可在背景信号因抽空而减少时检测泄漏。背景信号在测量过程中减
少得越强烈，该功能就越有用。为此将基于最后两秒的信号过程计算未来过程的预测，并在泄漏率计算中加以考虑。
方法ü 您已对EcoBoost进行了设置。
控制单元：设置 > EcoBoost > EcoBoost 设置”，“On”按钮
LD 协议：410 (数值 = 6)
ASCII协议：*CONFig:DECADEZero:ECOBOOSTü 您已将收藏夹窗口中的“收藏夹 1”或“收藏夹 2”按钮替换为“EcoBoost”。设置
相关，参见“触摸屏设置 [} 128]”，“分配收藏夹按钮”。完成此设置后，可在CU1000 测量显示屏中使用 EcoBoost 按钮进行操作。
否则，测量显示中将缺少此按钮，您必须使用菜单“功能 > ZERO > EcoBoost”，“打开”按钮。

1

将真空室抽空至所选LDS3000接口的最大入口压力。

2

打开LDS3000的阀门。

3

等待3秒钟，然后EcoBoost按如下方式激活。
控制单元：通过理想方式设置的收藏夹按钮，见上文。
LD协议：6 (数值 = 1)
ASCII协议：*ZERO (：ON)
PLC输入端：输入端带有已占用功能“ZERO”或将“ZERO脉冲”设置为“激活”。另请参见“分配输入/输出模块的数字输入端 [} 108]”。
现场总线：通过现场总线上的循环数据执行正常的ZERO (使用ZeroMode 0) 的操
作 (即命令字低字节中的位2和位3必须为0)66 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 7

ð 有关EcoBoost行为的更多说明：为了在设置 EcoBoost 时激活此功能，背景信号必须在此期间均匀减少，并且
EcoBoost 的状态消息必须报告“稳定”。
控制单元：EcoBoost状态显示显示“稳定”。另请参见“触摸屏元件[} 124]”。
LD协议：493
ASCII协议：*STATus：STABLE？
PLC输出端：使用占用功能“ZERO稳定”评估输出端，另见“分配输入/输出
模块的数字输出端 [} 111]”。
ð 如果 EcoBoost的状态消息未转到“稳定”并且无法激活此功能，请在表面稳定时使用 LDS3000 的标准 ZERO 功能，另请参阅“使用“ZERO”功能抑制气
体背景信号 [} 64]”。
控制单元：状态显示显示“不稳定”。另请参见“触摸屏元件 [} 124]”。

LD协议：493
ASCII协议：*STATus：STABLE？
PLC输出端：使用占用功能“ZERO稳定”评估输出端。另请参见“分配输入/输出模块的数字输出端 [} 111]”。
ð 激活后泄漏率会分别根据泵速和测量室的容积降低10到100个系数。

4ð用氦气对泄漏/测试对象进行进气冲击。
如果您的标称泄漏率是所示背景信号的十倍，则会显示您的泄漏。较小的泄漏也
同样会被发现。

3
EcoBoost 的泄漏率

离子电流

2

4

插图 16: 测量曲线示例 (EcoBoost)

1 操作步骤1，参见上文“过程”文本：抽出真空室 (无图示)LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

67 / 174

7 | 运行 LDS3000

INFICON

2 操作步骤2：打开阀门
3 操作步骤3：激活EcoBoost
4 操作步骤4：用氦气对测试对象进行进气冲击已知行为：• 如果地面几乎稳定，则抑制力仅为 10 倍。在这种情况下，使用LDS3000的标准
ZERO功能。另请参见“使用“ZERO”功能抑制气体背景信号 [} 64]”。
• 当 EcoBoost 在没有消息“稳定”的情况下被激活时，设备使用来自最后 2 秒信号
的背景预测。这可能会导致误报和无法检测到泄漏。
• 如果激活EcoBoost后抽吸能力下降太多，则表明存在泄漏。不要在所用前泵的最终压力附近使用EcoBoost。
• 激活EcoBoost 后，不要关闭测量室可能使用的附加泵。否则将显示泄漏。

7.14 带信号过滤器的测量结果显示
选择信号过滤器

使用信号滤波器时，泄漏率的显示会受侧面陡度和噪声性能影响。
- 对于“真空”运行模式，通常选择信号滤波器 I•CAL。
- 对于“嗅探”运行模式，通常选择信号滤波器 I-Filter 。
- 如果信号滤波器应复制旧设备的时间特性，那么选择“固定”或“2 级”滤波器。
I CAL

根据泄漏率范围，按优化的时间间隔获取泄漏率平均值。所使用
的算法提供绝佳的灵敏度和反应时间。因此十分推荐使用此设置。

固定

以 0.2 秒的固定时间获取泄漏率平均值。

2级过滤器与 LDS1000 和 LDS2000 兼容。取平均值的时间根据过滤
器的转换泄漏率变换。

I过滤器

嗅探模式的优化过滤器。
（XLSniffer Adapter Set 时为默认）

I-Filter 侧面抑制

与 I-Filter 相似，但有额外的侧面抑制。热起动期间，侧面抑制会修正测量值的变化。

68 / 174控制单元

设置 > ZERO/Filter > 滤波器 > 滤波器种类

LD协议

指令402

ASCII协议

指令 *CONFig:FILTERLDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 7设置过滤器转换泄漏率

取平均值持续时间的泄漏率基底（单位为 mbarl/s）。该值以下取平均值的持续时间为 10.24 s。该值以上取平均值的持续时间为 160ms。设置仅适用于“2 级”过滤器。
1E-11 ...9.9E-3

设置

控制单元

设置 > ZERO/Filter > 滤波器设置 > 2 级

LD协议

指令403

ASCII协议

指令 *CONFig:LRFilter

泄漏率信号为负时，补偿值的升级间隔（I•CAL 过滤器时除外）。

过滤器 ZERO 时间分辨率 0.1 s（50 = 5.0 s）

控制单元

设置 > ZERO/Filter > 滤波器设置 > ZERO 时间

LD协议

指令411

ASCII协议

指令 *CONFig:ZEROTIME

7.15 控制前级真空泵气镇阀质谱仪模块可通过“Output”接头控制前级真空泵的一个电动 24V 气镇阀。
控制气镇阀通过数字输出端控制气镇阀。
0

关闭

1

接通

2

持续开

控制单元

功能 > 阀门 > 气镇

LD协议

指令228

ASCII协议

–7.16 选择显示限制
显示限制

降低和提高显示极限：如果您的应用不受极小的泄漏率影响，提高显示下限会使泄漏率的显示评估更轻松。
- 15 个十进位，针对 VAC

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

69 / 174

7 | 运行 LDS3000

INFICON- 11 个十进位，针对 SNIF
- 至 8 个十进制，针对 AQ 模式
如果由于设置不当而导致可用范围小于一个十进位，上限会移动至可看见一个十进位的位置。
提示：在操作单元中，在两个设定参数间进行调整时会显示当前的显示限制。通过 LD协议，使用指令 399 可读取当前显示限制。

控制单元

显示 > 显示界限

LD协议

指令397

ASCII协议

指令：*CONFig:DISPL_LIM:HIGH
指令：*CONFig:DISPL_LIM:LOW

7.17 设置触发器值质谱仪模块有四个独立的触发器值。如果测得的泄漏率超出了设定的触发值，则会激
活 IO1000 相应的数字输出端。
此外，操作单元上也会突出显示触发器 1 的超出情况。
在 AQ 模式下，建议测量时间的计算与触发值 1 有关。
1/2/3/4

控制单元

设置 > 触发器 > 触发器 1 (2, 3, 4) > 触发器水平

LD协议

指令385

ASCII协议

指令 *CONFig:TRIGger1 (2, 3, 4)

7.18 设置毛细管监控装置
毛细管堵塞压力值

为了探测出 25/300-sccm 毛细管的堵塞，设置一个最小的压力值。低于该值时，系统发出警告信息 540。严重低出时，发出报错消息 541。
1E-3 ...18 mbar

70 / 174控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 毛细管 > 堵塞 > 毛细管堵塞压力

LD协议

指令452

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 7

ASCII协议

指令 *CONFig:PRESSLow

毛细管中断为了探测出 25/300-sccm 毛细管的中断，设置一个最大的压力值。超出该值时，系统压力值发出警告信息 542。
1E-3 ...18 mbar识别一个错误的嗅探器
管控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 毛细管 > 中断 > 毛细管中断压力

LD协议

指令453

ASCII协议

指令 *CONFig:PRESSHigh

自动识别一个错误的嗅探器管。使用未被自动识别出的嗅探器管时，应禁用该功能。
0

开

1

关闭

控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 嗅探器 > 消息 > 嗅探器管识别

LD协议

指令529

ASCII协议

–7.19 设置涡轮分子泵的转速在某些应用中，降低涡轮分子泵的转速可能会对提高设备的灵敏度大有裨益。这样可降
低 GROSS、FINE和ULTRA 接口上允许的最大进气压力。更改转速后，必须重新进行校
准！

对于AQ模式下的设备，参见“设置涡轮分子泵的转速 [} 96]”。

涡轮分子泵的转速。单位为 Hz
1000
1500

操作单元

设置 > 调整 > 质谱仪模块 > 涡轮分子泵 (TMP) > 设置 > 涡轮分子泵转速 (TMP)

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

71 / 174

7 | 运行 LDS3000

INFICON

LD协议

501

ASCII协议

*CONFig:SPEEDTMP

7.20 选择阴极选择一个阴极

质谱仪含有两个阴极。设备的出厂设置为阴极 1。如果该阴极受损，仪器会自动切换至另一个阴极。
通过此设置，可选择一个特定的阴极。
0

CAT1

1

CAT2

2

Auto Cat1（自动切换为阴极 2，出厂设置）3

Auto Cat2（自动切换为阴极 1）

4

OFF

控制单元

设置 > 调整 > 质谱仪模块 > 离子源 > 阴极选择

LD协议

530

ASCII协议

*CONFig:CAThode *STATus:CAThode7.21 XL Sniffer Adapter 的设置
与 XL Sniffer Adapter 联合运行时，必须- 使用 SL3000XL 嗅探器管，- 选择“XL Sniffer Adapter”运行模式，参见“选择运行模式 [} 49]”。
嗅探器右键的功能

激活或禁用 SL3000XL 嗅探器管的右键（在 Low Flow 和 High Flow 间切换）。禁用该键防止无意影响测量。

Search 功能

控制单元设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 嗅探器 > 按键 > 嗅探器流量键

LD协议

指令415

ASCII协议

指令 *CONFig:HFButton

激活 Search 功能后，一旦切换为 High Flow，报警功能就会自动连接至触发器 2。
• 关闭 Search 功能后：超出触发器 1 后报警。

72 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 7• 已开启 Search 功能且以 Low Flow 模式运行时：超出触发器 1 后报警。
• 已开启 Search 功能且以 High Flow 模式运行时：超出触发器 2 后报警。
0

关闭

1

开

控制单元

设置 > 触发器 > Search

LD协议

指令380

ASCII协议

指令 *CONFig:SEARch

在 SL3000XL 中，泄漏率显示条、背景亮度的切换、蜂鸣器和探尖亮度的切换会受所用的触发器影响。
嗅探器 LED：设置用于照明待检查点的 LED 的亮度。该设置与无 LED 报警配置的测量过程有关，见

亮度下。
从“0”（关）至“6”（最大）嗅探器 LED：报警配置控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 嗅探器 > Led > 嗅探器 Led 亮度

LD协议

指令414

ASCII协议

指令 *CONFig:BRIGHTness

超出触发值 1 时，嗅探器上 LED 的特征。
关闭

无反应

闪烁

LED 闪烁

更亮

LED 以最大亮度发光。

控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 嗅探器 > Led > 嗅探器 Led 报警配
置嗅探器蜂鸣器：报警配
置

LD协议

指令413

ASCII协议

指令 *CONFig:LIGHTAlarm

超出触发值时，嗅探器上蜂鸣器的特征。
关闭

无反应

触发器

声音信号/振动警报LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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7 | 运行 LDS3000

INFICON控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 嗅探器 > 蜂鸣器 > 嗅探器蜂鸣器

LD协议

指令417

ASCII协议

指令 *CONFig:BEEP氢气份额

用氦氢混合气嗅探时，使用氢气。通过此说明考虑氢气份额。这样，所显示的泄漏率

的显示

提高相应的系数。对于气体 (M3, He)，同样可以设置气体份额。
0 ...100%控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 气体份额 > 质量 2 > 气体比例 H2

LD协议

指令416

ASCII协议

指令 *CONFig:PERcent

Auto Standby 时间间定义以分钟为单位的持续时间，直到 Standby 被激活。如果设备在 High Flow 下工

隔作，嗅探器管的滤波器会更快被污染。为了进行保护，Auto Standby 切换为 Low
Flow。移动嗅探器管时，自动重新接通之前所选的流量。
从“0”（关）至“60”（最大）控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > Auto Standby > Auto Standby 时
间间隔

LD协议

指令480

ASCII协议

指令 *CONFig:STANDBYDel

XL 毛细管压力值堵塞为了探测出 XL 毛细管（High FLow，3000 sccm）的堵塞，设置一个最小的压力值。

(High Flow)

低于该值时，系统发出警告信息 550。严重低出时，发出报错消息 551。
100 ...300 mbar

控制单元设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 毛细管 > 堵塞 XL > 毛细管堵塞 XL
压力

LD协议

指令455

ASCII协议

指令 *CONFig:PRESSXLLow

XL 毛细管压力值中断为了探测出 XL 毛细管（High FLow，3000 sccm）的中断，设置一个最大的压力值。

(High Flow)

超出该值时，系统发出警告信息 552。
200 ...600 mbar

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INFICON运行 LDS3000 | 7

控制单元设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 毛细管 > 堵塞 XL > 毛细管中断 XL
压力

选择流量

LD协议

指令456

ASCII协议

指令 *CONFig:PRESSXLHigh

选择 Low Flow 或 High Flow。注释：也可用嗅探器右键进行选择，或在操作单元的
其中一个收藏夹按键上进行。
小 (Low Flow)
大 (High Flow)

控制单元设置 > 调整 > 运行模式 > 流量 > 流量控制或功能 > 流量 > 流量控制

LD协议

指令229

ASCII协议

指令 *CONFig:Highflow

7.22 显示等效漏率范围- 等效率规格仅针对吸枪运行。
- 在使用CU1000操作单元时，请阅读等效率显示的其他选项，参见“显示另一种气体的等效漏率 [} 137]”。
使用氦气或氢气示踪气体进行测量时，如果希望显示另一种气体的漏率，则请使用所用
示踪气体的校正系数。
计算等效系数，参见“计算等效系数 [} 75]”。
对设备进行必要的调整，参见“调整等效系数和摩尔质量 [} 76]”。

7.22.1 计算等效系数等效系数并非通过设备软件计算得出。请根据下列公式计算等效系数：示踪气体的动态粘度 (氦气或氢气)等效气体的动态粘度

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7 | 运行 LDS3000

INFICON

测试对象中测试气体的绝对压力，单位为 bar
测试对象中等效气体的绝对压力，单位为 bar

示例现在要检查一个空调系统是否泄漏。
为此，首先为系统填充2 bar (绝对) 氦气，然后检查是否泄漏。稍后为系统填充
R134a。工作压力为15 bar (绝对)。
氦气的动态粘度为19.62 µPa*s。
R134a的动态粘度为11.49 µPa*s。
为了在氦气密封性检测过程中显示R134a等效漏率，必须输入以下等效系数：

7.22.2 调整等效系数和摩尔质量ü 等效系数已知。另参见“计算等效系数 [} 75]”。
ü 使用的示踪气体已确定 (氢气或氦气，质量2、3或4)。
ü 您想要在显示屏上显示的等效气体的摩尔质量已知。

1

控制单元：设置 > 设定 > 运行方式 > 等效率

2“气体系数”按钮ð (LD协议：指令469)3根据您的示踪气体选择“质量2”、“质量3”或“质量4”。
ð 当示踪气体是氦气时，“氦气等效气体系数”窗口自动打开。

4请调整等效气体系数。

5

控制单元：设置 > 设定 > 运行方式 > 等效率

6“摩尔质量”按钮ð (LD协议：指令“470”)7

请像上文一样根据您的示踪气体选择“质量2”、“质量3”或“质量4”。
ð 当示踪气体是氦气时，“氦气等效气体摩尔质量”窗口自动打开。

8ð请设置您的摩尔质量。
如果等效系数不等于1或摩尔质量并非出厂设置，则等效系数会同时显示在校准结
果和测量屏幕上。

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LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 | 7

7.23 重置设置质谱仪模块可将质谱仪模块的设置重置为出厂设置。
0载入出厂设置10

重置兼容模式LDS1000的设置

11

重置兼容模式LDS2010的设置

12

重置XL Sniffer Adapter模式的设置

控制单元

功能 > 数据 > 参数> 重置 > 控制单元设置
功能 > 数据 > 参数> 重置 > MSB 设置
功能 > 数据 > 参数> 重置 > 权限参数LD协议

指令1161ASCII协议

指令*RST:FACTORY
指令*RST:SL3000

对于操作单元：根据当前设定的模式，会自动选中重置该模式设置所用数值。
对于LD或ASCII协议：通过重置特定模式设置将会自动激活该模式，另见“选择兼容模式 [} 47]”。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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8 | 运行 LDS3000 AQ（累积）INFICON8 运行 LDS3000 AQ（累积）8.1 接通仪器1

接通前级真空泵。

2

建立质谱仪模块的电压供应。

ð系统自动起动。

ð如果 XL Sniffer Adapter 和 CU1000 已相互连接，起动后会询问是否要设置为运行
模式“XL Sniffer Adapter”。此情况不适用于处于 AQ 模式的设备。

设备处于 AQ 模式时启动时间较长为了防止因背景信号值提高而对测量结果造假，接通后的加热时间约为 10 分钟。
在确定“峰值”和校准前等待至少 60 分钟。另请参见“进行测量 [} 93]”。

8.2 预设置
选择语言选择显示语言。出厂设置为英语。（SL3000XL 嗅探器管把手上的显示器以英语显示消息，而不是俄语和中文。）
德语, 英语, 法语, 意大利语, 西班牙语, 葡萄牙语, 俄语, 中文, 日语设置日期和时间

控制单元

设置 > 调整 > 操作单元 > 语言

LD协议

指令398

ASCII协议

*CONFig:LANG

设置日期
格式：DD.MM.YY

控制单元

设置 > 日期/时间 > 日期

LD协议

指令450

ASCII协议

*HOUR:DATE设置时间
格式：hh:mm

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INFICON运行 LDS3000 AQ（累积） | 8

控制单元设置 > 日期/时间 > 时间

LD协议

指令450

ASCII协议

*HOUR:TIME

8.3 选择泄漏率的单位
泄漏率单位
显示

选择真空或嗅探显示下的泄漏率单位0

毫巴·升/秒 (出厂设置)1

帕立方米/秒2

大气压立方厘米/秒

3

托升/秒

4

百万分之一气体浓度 (非VAC，非AQ)

5

克/年 (非VAC，非AQ)

6

盎司/年 (非VAC，非AQ)

7标准毫升/分钟8

立方英尺/年操作单元

显示 > 单位 (显示) > 泄漏率单位VAC (SNIF)LD协议

命令 396 (索引 0：真空，索引 1：吸枪)ASCII协议

指令*CONFig:UNIT:VACDisplay
指令*CONFig:UNIT:SNDisplay

接口泄漏率单位

选择真空或嗅探接口的泄漏率单位0

毫巴·升/秒 (出厂设置)1

帕立方米/秒2

大气压立方厘米/秒

3

托升/秒

4

百万分之一气体浓度 (非VAC)

5

克/年 (非VAC)

6盎司/年 (非VAC)

7

标准毫升/分钟LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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8 | 运行 LDS3000 AQ（累积）8INFICON

立方英尺/年操作单元

设置 > 调整 > 接口 > 单位 (接口) > 泄漏率单位VAC (SNIF)LD协议

指令431 (真空)指令432 (嗅探)ASCII协议

指令*CONFig:UNIT:LRVac
指令*CONFig:UNIT:LRSnif

8.4 选择压力单位
接口压力单位

选择接口的压力单位
0

mbar（出厂设置）

1

Pa

2

atm

3

Torr

控制单元

设置 > 调整 > 接口 > 单位（接口） > 压力单位LD协议

指令 430（真空/嗅探）ASCII协议

指令 *CONFig:UNIT:Pressure

8.5 选择兼容模式
作为LDS3000 AQ使用者，请在下列选项之间选择• AQ Mode 1或• AQ Mode 2
切换为兼容模式时，所有参数将重置为出厂设置，设备会重启。按照出厂设置显示语言。更改语言请参见“预设置 [} 78]”。
如果您目前要将LDS3000切换到其他模式并且稍后恢复到之前所设置的模式的话，请
将您的参数保存在U盘中，参见“保存和载入参数 [} 94]”。在恢复到之前所设置的
模式之后，您可以再次读取已备份的参数。

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LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 AQ（累积） | 8• AQ Mode 1：该模式仅在AQ设备上可用。在AQ设备上预设了此模式。可以切换为
其它模式。
选择此模式会导致无休止的连续测量。因此，测量周期的结果必须手动调整。为了
获得稳定的测量结果，您必须至少等到测量时间结束。有关测量时间的设置，参见“通过辅助系统进行基本设置 [} 83]”。有关测量运行，参见“进行测量[} 93]”。
• AQ Mode 2：该模式仅在AQ设备上可用。可以切换为其它模式。
选择该模式会导致在设定的测量时间结束后，AQ测量会停止。直到下次手动开始
其他测量周期为止，始终可以读取该循环的测量结果。有关测量时间的设置，参见“通过辅助系统进行基本设置 [} 83]”。有关测量运行，参见“进行测量[} 93]”。
• LDS1000：兼容模式，用于为现有的检漏设备LDS1000加装至LDS3000。
• LDS2010：兼容模式，用于为现有的检漏设备LDS2010加装至LDS3000。
• LDS3000• XL Sniffer Adapter

控制单元设置 > 调整 > 兼容性 > 兼容模式

LD协议

指令2594 (dez)ASCII协议

指令*CONFig:COMP

下表为LDS2010和LDS3000间的功能差异和共同点：
LDS2010

LDS3000

触发器输出端

无共同方面

有共同方面

其它输出端

有共同方面

有共同方面

触发器1 (嗅探器LED、继电器输出

嗅探器LED控制，操作单元上用于主 嗅探器LED控制，操作单元上用于主端、音频信号)

动式音箱的PWM音频输出端动式音箱的音频输出端Limit-Low/High (序列接口、显Limit Low影响所有输出，Limit

可针对接口协议、显示和模拟输出端示、模拟输出端)High仅影响显示单独调节

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8 | 运行 LDS3000 AQ（累积）气镇阀 (3种设置)INFICON

LDS2010

LDS3000

OFF：切断泵模块的气镇阀。

0 = 关，

ON：接通泵模块的气镇阀，直至电 1 = 开，但在IO1000上可通过PLC输
网下一次被切断。

入进行控制当“CAL mode”不为3时 (菜单项2 = 开，但在IO1000上不可通过PLC26)，可通过数字输入端DynCAL控

输入进行控制。

制气镇阀。
F-ON：Fixed on实现气镇阀的持续
接通 (停电时仍有保障，独立于数字
输入端)。
控制模式

LOCAL，RS232，RS485

取消，所有控制位置同时可进行控制。

LDS1000兼容模式9.2

其它功能默认值和报错消息 (默认值会通过接口进行分配，触摸屏上出现原始消息- -> 原因：新硬件可能会导致出现
之前未曾出现过的错误)

待机时泄漏率的修正 (机械系数)可调节 (是/否)开始时ZERO可调节 (是/否)如LDS2010为V1.02及以上版本打开嗅探阀启动后在SNIF中

启动后在SNIF中涡轮分子泵的转速仅2个转速

通过串行接口可在750赫兹至1500赫
兹之间调整，通过操作单元则为
1000赫兹和1500赫兹

RS485地址是，因为可用总线否，因为不可用总线

接通/切断嗅探键

可选可选内部测试漏孔的默认值

1E-15毫巴升/秒

9.9E2毫巴升/秒

外部默认值VAC/SNIF模式测试漏孔

1E-7毫巴升/秒

9.9E2毫巴升/秒

内部测试漏孔的设置范围

10E-7

1E-9 ...9.9E-1毫巴升/秒机械系数调准手动

手动/自动机器/嗅探系数的数值范围机械系数：1E-3...9.9E+3

机械系数：1E-4...1E+5

嗅探系数：1E-3...9.9E+3

嗅探系数：1E-4...1E+4

压力：毛细管监控20模拟输出

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存在，可调节压力
固定特性曲线

可任意配置

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INFICON运行 LDS3000 AQ（累积） | 8

LDS2010
校准请求

LDS3000

前置放大器温度变化5开尔文或30分 前置放大器温度变化5开尔文或30分

用于所有接口的压力/泄漏率单位钟钟，或者TMP转速发生了变化

是操作单元和其它部分分离

3级，通过设备操作单元上的PIN码

4级，通过操作单元或可选的钥匙开

或钥匙开关

关

固定安装

必要时可进行外部连接，参见“分配(VAC/SNIF)
用户权限

钥匙开关

输入/输出模块的数字输入端[} 108]” (钥匙开关)

8.6 通过辅助系统进行基本设置
建议在进行重要设置和调整时使用AQ辅助系统。以下说明涉及有利于LDS3000 AQ使用
的CU1000。
如果与默认设置有偏差或者想要了解接口协议指令的详细信息，请查阅现有手册的其它章节。

AQ辅助系统
调用AQ辅助系统时，在CU1000的显示屏上按下
主菜单 > 功能 > 辅助系统
还可以在下方的显示屏上按下单词“辅助系统”。
在窗口中输入依次想要调用的项。
1. 室容积
(净容积)必要时可以在“主菜单 > 设置 > 调整 > 运行模式 > AQ > 容积单位”下选择容积单
位。
(LD协议：1763指令
ASCII协议：*CONFig:AQ:VOLume)
2. 触发器水平1(LD/ASCII协议：参见“设置触发器值 [} 70]”)

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8 | 运行 LDS3000 AQ（累积）INFICON3. 质量(在氦气或氮氢混合气之间选择)(LD/ASCII协议：参见“选择气体种类（质量） [} 50]”
4. 气体比例(例如氮氢混合气中氢气的份额)(LD/ASCII协议：参见“XL Sniffer Adapter 的设置 [} 72]”中氢气份额的显示
5. 测量时间
(可任意设置，显示的建议取决于所设置的参数。)(LD协议：1765指令
ASCII协议：*CONFig:AQ:TIME)

当设置为兼容模式“AQ Mode 1”时，会导致无休止的连续测量。必须从正在连续测量中手动读取测量周期或测量结果。为了获得稳定的测量结果，您至少必须等到测量时间结束。

当设置为兼容模式“AQ Mode 2”时，在所设置的测量时间结束后，AQ测量会停止。直到下次手动开始其他测量周期为止，始终可以读取该循环的测量结果。有关兼容模式设置，参见“选择兼容模式 [} 80]”。

您还可以在以下位置上进行设置：“主菜单 > 设置 > 调整 > 运行模式 > AQ”“主菜单 > 设置 > 质量”

8.7 确定峰值为了使测量结果尽可能准确，始终应在校准前确定当前“峰值” (最高值)。此过程结束时，旧的阳极电压的值将被新的阳极电压的值替换。
调准利用空气与氦气或空气与氢气的混合气。仅利用氮气是无法进行调准的。
显示的以下说明涉及有利于LDS3000 AQ使用的CU1000。
ü 为了防止因背景信号值提高而对测量结果造假，您至少需要等待60分钟的加热时间。

1

主菜单 > 功能 > CAL > 峰值。

2

按“OK”确认。
ð 弹出“CAL峰值”窗口。

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INFICON运行 LDS3000 AQ（累积） | 8

3从腔室中取出漏孔。

4如已设置为兼容模式“AQ Mode 1”，请等待直到基底信号稳定然后再按“OK”开始调校。另见“选择兼容模式 [} 80]”。
ð (LD协议：4，参数7 (峰值调节AQ)
ASCII协议：*CAL:PEAK)
IO1000：“Peakfind”输入端ð (LD和ASCII协议：紧接着必须通过指令260 (状态校准)或 *STATus:CAL询问进程)5ð如已设置为兼容模式“AQ Mode 2”，直接按“OK”开始调校。
调准后显示旧的和新的阳极电压。

8.8 备份漏孔的漏率
一次性输入所使用漏孔的参数。必须针对每种气体 (质量)设置一个特定的泄漏率。
范围：1E-9 ...9.9E-2毫巴 l / s

漏孔漏率的最小值为了能够进行稳定校准，建议将所使用漏孔的漏率设为最小值。
在AQ辅助系统建议的测量时间内，漏率不应超过以下值：- 使用氮氢混合气时不应超过所选设定值 (触发器1)- 使用氦气时不应超过所选设定值1/5 (触发器1)
如果所使用漏孔的漏率过小，会在校准开始和结束时发出错误消息。

以下说明涉及有利于LDS3000 AQ使用的CU1000。
ü 您输入漏率时所需的单位已设置。如果您系统中显示的漏率单位与漏孔上的单位说明
有偏差，您至少应暂时将单位调整为漏孔上规定的单位。另见“选择泄漏率的单位[} 46]”。

1

主菜单 > 功能 > CAL > 设置 > 外部漏孔

2输入所需气体及相应的漏率。
(LD协议：390指令
ASCII协议：*CONFig:CALleak:EXTVac)

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8 | 运行 LDS3000 AQ（累积）INFICON

8.9 校准仪器
8.9.1 时间和一般预设置
提示运行温度过低造成校准错误
在温度较低的状态下校准设备时，可能出现错误的测量结果。
► 为获得最佳精确度，仪器应启动运行至少 60 分钟。
建议一次一级切换为所需运行模式并调整为所需气体。然后，您可无需重新校准便在运行模式和气体之间进行切换。
此外，还需在系统发出校准指令后进行校准。

关闭前置放大器测试

校准时设备会测试安装的前置放大器。您可以关闭前置放大器测试。这样校准就会更
快，但可靠性会降低。
0

关闭

1

接通

操作单元

设置 > 调整 > MS模块 > 前置放大器 > 测试 > CAL的前置放大器测试

激活校准请求

LD协议

指令370

ASCII协议

指令*CONFig:AMPTest (ON、OFF)

如果校准请求激活，设备将在温度变化超过5摄氏度以及接通后30分钟请求校准。
0

关闭

1

接通

操作单元

功能 > CAL > 设置 > CAL请求> 校准请求或设置 > 调整 > 通知 > CAL请求> 校准请求

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INFICON运行 LDS3000 AQ（累积） | 8

校准警告Wrn650

LD协议

指令419

ASCII协议

*CONFig:CALREQ (ON、OFF)可允许或禁止警告信息Wrn650“不建议在前20分钟内进行校准”。
0关 (禁止)1开 (允许)

操作单元

功能 > CAL > 设置 > CAL请求> 校准警告W650
或设置 > 调整 > 通知 > CAL请求> 校准警告W650

LD协议

指令429

ASCII协议

*CONFig:CALWarn ON (OFF)另请参见
2 设置机械系数和嗅探系数 [} 92]

8.9.2 输入校准系数校准系数通常由对应的校准路径而定。因此通常不需要手动设定校准系数。
设定错误的校准系数必然会导致错误的泄漏率显示！

8.9.3 真空校准系数同样适用于处于 AQ 模式的设备。
输入质量 2、3、4 的校准系数
下次校准时数值会被覆盖。
0.01 - 5000

控制单元设置 > 调整 > 运行模式 > 真空 > 校准系数> 质量 2 (3, 4) > 校准系
数 VAC H2 (M3, He)

LD协议

指令520

ASCII协议

指令 *FACtor:CALVacLDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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8 | 运行 LDS3000 AQ（累积）INFICON

8.9.4 校准还请注意校准的一般说明，参见“校准仪器 [} 51]”。

所有工作步骤的前提条件• 已有外部漏孔。
• 漏孔漏率已输入，另见“备份漏孔的漏率 [} 85]”。
• 为了防止因背景信号值提高而对测量结果造假，您至少需要等待60分钟的加热时间。
• 当前“峰值”已确定，另见“确定峰值 [} 84]”。

控制单元 CU1000
1

将打开的漏孔放入测量室，然后将测量室关闭。

2

主菜单 > 功能 > CAL > 外部
ð 显示漏孔漏率以及是否开始校准的询问。

3

如需开始校准过程，请通过“OK”进行确认。

4

请遵循屏幕上的提示进行操作。

LD或ASCII协议，IO1000
1

将打开的漏孔放入测量室，然后将测量室关闭。

2仅适用于已设置的“AQ Mode 1”：为了获得稳定的漏率信号，请您至少等待至所设置AQ测量时间结束。

3

开始校准LD协议：指令4，参数1
ASCII协议：*CAL:EXT
IO1000：“外部CAL”输入端，另见下图ð 使用氦气时，继续进行最后一个操作步骤 (第8步)。

4在使用氮氢混合气 (氢气) 的情况下进行背景信号确定时，须紧接着询问进程：LD协议：指令260 (状态校准)
ASCII协议：*STATus:CAL

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INFICON运行 LDS3000 AQ（累积） | 8

ð 请等待，直至达到以下状态：LD协议：指令260状态75“WAIT_ZERO_AQ”
ASCII协议：*STATus:CAL?切换为“CLOSE”
IO1000：“CAL稳定”输出端，另见下图

5

从测量室中取出漏孔并将测量室关闭。

6为了获得稳定的漏率信号，请您至少等待至所设置AQ测量时间结束。

7

开始背景信号测量。
LD协议：指令11，参数1 (继续校准)ASCII协议：*CAL:CLOSEDIO1000：“外部CAL”输入端，另见下图

8

接着询问进程：
LD协议：指令260 (状态校准)
ASCII协议：*STATus:CALð 请等待，直至达到以下状态：LD协议：指令260 状态0“READY”
ASCII协议：*STATus:CAL?切换为“IDLE”
IO1000：“CAL激活”输出端，另见下图ð 校准结束。
ð 在故障情况下：LD协议：指令260状态51...59 (故障状态)ASCII协议：*STATus:CAL?切换为“FAIL”
IO1000：“故障或警告”输出

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8 | 运行 LDS3000 AQ（累积）INFICON插图 17: 在AQ模式设备上利用IO1000进行外部校准。PLC输入和输出端说明参见“分配输入端和输出端 [} 100]”。

8.10 开始及停止测量 (AQ模式2)
仅适用于“AQ Mode 2”。另见“选择兼容模式 [} 80]”。

如要在CU1000待机窗口中使用操作测量周期的开始或停止按钮，请将收藏夹窗口中的按钮“收藏夹1”或“收藏夹2”替换为“启动/停止”。否则启动/停止按钮不会出现在
待机窗口中，您必须通过路径菜单“功能 > 启动/停止”进行操作。
有关设置，参见“触摸屏设置 [} 128]”，“分配收藏夹按钮”。

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INFICON运行 LDS3000 AQ（累积） | 8

在测量模式和待机模式间切换
START = 待机 --> 测量
STOP = 测量 --> 待机

控制单元

功能 > 启动/停止

LD协议

指令1、2

ASCII协议

指令*STArt、*STOp另请参见
2 进行测量 [} 93]

8.11 执行 ZERO在LDS3000 AQ启动并选择氮氢混合气作为气体种类之后，真空系统中存有的氢气首先确保在显示屏上能够看见一条上升的曲线 (AQ Mode 1)。此显示可能被误认为发生泄漏的显示。
为了将易被认错的氢气轨迹排除，请在设备启动后等待约30分钟再进行测量。
为了将剩余偏差排除，在此之后请执行ZERO AQ。ZERO AQ不用于抑制测量信号。
ü 将氢气 (氮氢混合气) 作为质量输入。
如果未输入氢气 (氮氢混合气)，可以在“主菜单 > 设置 > 质量“或者在下方测量窗口
显示屏中通过“辅助”进行设置。
ü 测量室内既没有检测样本，也没有漏孔。

1

主菜单 > 功能 > ZERO AQ

2

请遵循屏幕上的提示进行操作。
ð LD协议和ASCII协议：在移除检测样本或漏孔后首先等待至测量时间结束 (AQ
Mode 1)。
ð LD协议：指令6，参数1；ASCII协议：*ZERO:ONð IO1000：输入ZERO

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8 | 运行 LDS3000 AQ（累积）INFICON8.12 设置机械系数和嗅探系数内部校准仅校准质谱仪模块上与测试设备分离的测量系统。如果测量系统在一次内部校
准后发动，但与另一个泵系统同步（根据部分电流原则），测量系统根据部分电流比例
确定泄漏率。借助真空模式下一个修改的机械系数和嗅探模式下的一个嗅探系数，测量
系统确定实际泄漏率。通过系数考虑测量系统有效吸气能力的情况，对比测试设备上测量系统的吸气能力。

8.12.1 手动设置机械系数和嗅探系数ü 内部校准质谱仪模块。

1

用测试设备测量外部测试漏孔。
ð 依照部分电流比例过小的情况，设备确定泄漏率。

2设置机械系数或嗅探系数，见下。
ð 设备显示实际泄漏率。

设置机械系数处于 AQ 模式的设备：仪器系数已预设为“1”。此设置不可更改。
修正真空模式下内部和外部校准间可能存在的偏差。
无选项时，内部测试漏孔的值应为 1.00。修改值时，会显示修改产生的泄漏率。这样
便简化了调准。
数值范围 1E-4...1E+5

控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > 真空 > 机械系数> 质量 2 (3, 4) > 机械系
数 VAC H2 (M3, He)

设置嗅探系数

LD协议

指令522

ASCII协议

指令 *FACtor:FACMachine

修正嗅探模式下内部和外部校准间可能存在的偏差数值范围 1E-4...1E+4

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INFICON运行 LDS3000 AQ（累积） | 8

控制单元设置 > 调整 > 运行模式 > 嗅探 > 嗅探系数> 质量 2 (3, 4) > 嗅探系
数 H2 (M3, He)

LD协议

指令523

ASCII协议

指令 *FACtor:FACSniff

8.13 进行测量警告
因测量室内爆造成危险将连接在LDS3000 AQ上的外部测量室用泵抽掉约60标准毫升/分钟。在正常测量时间 (2- 30 秒) 内不会产生危险低压。
如果测量室密封但不耐真空，若继续用泵抽吸，测量室可能会内爆。例如，1升的测量
室在抽吸大约10分钟后可能会发生内爆。
► 测量时间结束后请勿继续用泵抽吸测量室。
► 请采取适当防护措施！

ü 设备已开启。
ü 已设置为“AQ Mode 1”或“AQ Mode 2”兼容模式 (可在CU1000的“兼容性”窗口查看，并使用“OK”确认)。
ü 仅兼容模式“AQ Mode 2”：为了在CU1000待机窗口中使用操作测量周期的开始或停止按钮，您已将收藏夹窗口中的按钮“收藏夹1”或“收藏夹2”替换为“启动/停止”。否则启动/停止按钮不会出现在待机窗口中，您必须通过路径菜单“功能 > 启
动/停止”进行操作。设置相关，参见“触摸屏设置 [} 128]”，“分配收藏夹按钮”。
ü 峰值已确定，参见“确定峰值 [} 84]”。
ü 校准已执行，参见“校准 [} 88]”。
ü AQ ZERO已确定，参见“执行 ZERO [} 91]”。

1

如果利用氮氢混合气进行测量，请确保设备至少已运转了半个小时。这段时间对于进行稳定测量是必要的。
ð 如果利用氦气进行测量，这段等待时间约为 10 分钟。

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8 | 运行 LDS3000 AQ（累积）INFICON2

将测试对象放入测量室，然后将测量室关闭。不应将测试对象置于测量室内可能存在泄露的位置。
ð 将在压力作用下填充了氦气或氮氢混合气的测试对象置于测量室内或者在测量
室内对其施加压力。

3如已设置为兼容模式“AQ Mode 1”，请等待直至所设置的测量时间结束。
“AQ Mode 1”时不会用到启动/停止按钮。
ð 计算并显示漏率。由于测量会无休止的进行，因此测量周期的结果必须手动调整。
ð 如果测试对象不密封，将会在安装显示屏上显示上升漏率。

4如已设置为兼容模式“AQ Mode 2”，请点击CU1000的“待机”窗口中的“开始”按钮。
ð 在测量窗口中，您可以跟踪当前测量、等待测量周期结束或按“停止”。显示
剩余测量时间。
ð 测量周期结束后会显示最后一次测量的结果。
ð 根据结果是否超过或低于设定值，“密封”以绿色背景色显示，“泄露”以红
色背景色显示。

5将测试对象从测量室内取出，然后进行第 2 个操作步骤继续测量。

8.14 保存和载入参数
为了锁定和重新生成操作单元和质谱仪模块的参数，可使用 CU1000 上的一个 U 盘。
存储参数：►

“功能>数据>参数>保存>保存参数”

加载参数：ü 当前设置的兼容模式必须与参数文件中的兼容模式一致。另参见选择兼容模式[} 47]。
►“功能>数据>参数>加载>加载参数”

8.15 复制测量数据，删除测量数据可通过CU1000将测量数据存储在一个U盘上。
• “功能 > 数据 > 记录器 > 复制 > 复制文件”

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LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 LDS3000 AQ（累积） | 8

可在CU1000上删除测量数据。
• “功能 > 数据 > 记录器 > 删除 > 删除文件”

8.16 调整“AQ 零时因数”
仅适用于“AQ Mode 1”。另见“选择兼容模式 [} 80]”。
为了避免在利用氮氢混合气进行测量时出现明显的负漏率，会在一定时间 (AQ零时因数x 测量时间)后将漏率显示恢复为0。
在以下菜单下可以设置AQ零时因数：
主菜单 > 设置 > 调整 > 运行模式 > AQ > 测量时间默认值为 4，并且可以更改为 1 - 10 之间的整数。
(LD协议：1767指令
ASCII协议：*CONFig:AQ:ZEROTime)8.17 选择显示限制
显示限制

降低和提高显示极限：如果您的应用不受极小的泄漏率影响，提高显示下限会使泄漏率的显示评估更轻松。
- 15 个十进位，针对 VAC- 11 个十进位，针对 SNIF
- 至 8 个十进制，针对 AQ 模式
如果由于设置不当而导致可用范围小于一个十进位，上限会移动至可看见一个十进位的位置。
提示：在操作单元中，在两个设定参数间进行调整时会显示当前的显示限制。通过 LD协议，使用指令 399 可读取当前显示限制。

控制单元

显示 > 显示界限

LD协议

指令397

ASCII协议

指令：*CONFig:DISPL_LIM:HIGH
指令：*CONFig:DISPL_LIM:LOW

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

95 / 174

8 | 运行 LDS3000 AQ（累积）INFICON

8.18 设置压力监控
最小压力AQ模式

为了检测节气门的堵塞，要设置最小的压力数值。低于该值时，系统发出警告信息556。严重低出时，发出报错消息 557。
5E-2 ...0.45毫巴

控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > AQ > 压力限值 > 最小压力 > 最小压力AQ
模式

最大压力AQ模式

LD协议

指令532

ASCII协议

命令*CONFig:PRESSACCULow

如要探测损坏或缺失的节气门，要设置最大的压力数值。超出该值时，系统发出警告
信息 520。
0.5 ...1毫巴

控制单元

设置 > 调整 > 运行模式 > AQ > 压力限值 > 最大压力 > 最大压力AQ
模式

LD协议

指令533

ASCII协议

命令*CONFig:PRESSACCUHigh

8.19 设置涡轮分子泵的转速涡轮分子泵转速

在使用氢气/氮氢混合气进行测量时，可以合理地将LDS3000 AQ的涡轮分子泵设置为
1250赫兹。
如果波动的环境条件 (例如空气湿度) 比1250赫兹运行条件下氢气/氮氢混合气的较低信
号强度 (更高的校准因数) 对信号质量有更大影响，就属于这种情况。
更改转速后，必须重新进行校准！
涡轮分子泵的转速。单位为 Hz
1000
1250

控制单元

设置 > 调整 > 质谱仪模块 > 涡轮分子泵 (TMP) > 设置 > 涡轮分子泵转速 (TMP)96 / 174

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INFICON运行 LDS3000 AQ（累积） | 8

LD协议

501

ASCII协议

*CONFig:SPEEDTMP

8.20 选择阴极选择一个阴极

质谱仪含有两个阴极。设备的出厂设置为阴极 1。如果该阴极受损，仪器会自动切换至另一个阴极。
通过此设置，可选择一个特定的阴极。
0

CAT1

1

CAT2

2

Auto Cat1（自动切换为阴极 2，出厂设置）3

Auto Cat2（自动切换为阴极 1）

4

OFF

控制单元

设置 > 调整 > 质谱仪模块 > 离子源 > 阴极选择

LD协议

530

ASCII协议

*CONFig:CAThode *STATus:CAThode8.21 重置设置质谱仪模块可将质谱仪模块的设置重置为出厂设置。
0载入出厂设置10

重置兼容模式LDS1000的设置

11

重置兼容模式LDS2010的设置

12

重置XL Sniffer Adapter模式的设置

14

重置LDS3000 AQ的设置

控制单元

功能 > 数据 > 参数> 重置 > 控制单元设置
功能 > 数据 > 参数> 重置 > MSB 设置
功能 > 数据 > 参数> 重置 > 权限参数LD协议

指令1161ASCII协议

指令*RST:FACTORY

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8 | 运行 LDS3000 AQ（累积）INFICON

指令*RST:SL3000

对于操作单元：根据当前设定的模式，会自动选中重置该模式设置所用数值。
对于LD或ASCII协议：通过重置特定模式设置将会自动激活该模式，另见“选择兼容模式 [} 80]”。

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INFICON

使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ） | 9

9 使用扩展模块（LDS3000、LDS3000
AQ）
9.1 选择扩展模块的类型
选择扩展模块

选择连接在输入/输出接口上模块的类型
输入/输出模块总线模块控制单元

设置 > 调整 > 接口 > 设备选择 > 输入/输出接口的模块
或设置 > 调整 > 配件 > 设备选择> 输入/输出接口的模块

LD协议

–

ASCII协议

–9.2 输入/输出模块 IO1000 的设置
9.2.1 一般接口设置
设置接口协议

设置连接在输入/输出接口上模块的协议。该设置可通过 IO1000 上的 DIP 开关覆盖。
LD
ASCII
二进制
LDS1000控制单元设置 > 调整 > 接口 > 协议 > 输入/输出模块协议

LD协议

2593

ASCII协议

*CONFig:RS232

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9 | 使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ）

INFICON

9.2.2 分配输入端和输出端
分配I/O模块的模拟输出端可为I/O模块IO1000的模拟输出端分配不同的测量值显示。
可用的功能：见下表

操作单元设置 > 调整 > 接口 > I/O模块 > 模拟输出端> 配置模拟输出端1/2

LD协议

指令222，223，224

ASCII协议

指令*CONFig:RECorder:LINK1
指令*CONFig:RECorder:LINK2
指令*CONFig:RECorder:SCALE
指令*CONFig:RECorder:UPPEREXP

可定义输出端电压的极限值。
最小1 x 10-13至1 x 10-1毫巴·升/秒

VAC：

最大1 x 10-12至1 x 10-1毫巴·升/秒
最小1 x 10-9至1 x 10-1毫巴·升/秒

SNIF：

最大1 x 10-8至1 x 10-1毫巴·升/秒操作单元

设置 > 调整 > 接口 > 泄漏率极限LD协议

指令226 (Vac)
指令227 (Snif)

ASCII协议

指令*CONFig:LIMITS:VAC
指令*CONFig:LIMITS:SNIF

模拟输出端的功能和分配：关闭模拟输出端已关闭
（输出电压= 0 V）。

压力p1 / 压力p2

1 -10V； 0.5V/十倍频；
1 V = 1 x 10-3 mbar

漏率尾数

1 -10 V；线性；单位为选定的单位仅当其它模拟输出端分配“漏率指数”时才有意义。

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INFICON

漏率指数

使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ） | 9

1 -10 V；0.5 V /十年；只在其它模拟输出端分配“漏率尾阶梯函数；数”或“漏率尾数滞后”时才有意

1 V = 1 x 10-12；单位为选定的单位
线性漏率

义。

x至10 V；线性；单位为选定的单位

上限 (= 10 V) 通过“指数上限”参数设置。下限值永远为0 (漏率)，与0 V输出电压一致。上限值的指数可在整个十进位中设定，如1 x 10-4毫巴·升/秒。
设置 > 调整 > 接口 > I/O模块 > 模拟标度> AO指数上限。
如果已选择对应的输出功能，那么该设置对两个模拟输出端都适用。视所选漏率单位而定，会产生一个其他的绝对限值。
所选范围会因为适用于所有接口的限值而额外受到压缩，见上图。

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9 | 使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ）

漏率对数

INFICONx至10 V；对数；单位为选定的单位

上限 (= 10 V) 和缩放比例 (V/十进制) 通过“指数上限值”和“泄漏率缩放”参数设置。示例：
上限设为1 x 10-5 mbarl/s (=10 V)。标度设为5 V/十进制。下限为1 x 10-7mbarl/s (=0 V)。使用对数输出功能时，既要设定上升程度 (单位：伏/十进位数) 也要设定上限值 (10伏值)。从而生成最小的显示数值。以下上升程度可
选：0.5, 1, 2, 2.5, 3, 5, 10 V/decade 设置的梯度值越高，可显示范围越小。当可显示多个十进位，即设定 ＜ 10
V/十进位时，对数设置最有效。两个模拟输出端的上限值一样。以下两图显示了具有不同上限设置的 1 V/十倍频
程和 5 V/十倍频程的示例。视所选漏率单位而定，会产生一个其他的绝对限值。所选范围会因为适用于所有接口的限值而额外受到压缩，见上图。
关于接口可通过LD协议针对测试的指令221确定输出电压。

漏率尾数滞后

0.7 -10 V；线性；仅当其它模拟输出端分配“漏率指数”

单位为选定的单位时才有意义。尾数在0.7至1.0之间重叠
可避免两个十进制之间的恒定跳跃。
0.7 V对应的漏率为0.7 x 10-x。9.9 V对应的漏率为9.9 x 10-x。

压力p1 (1 V/十进位)/1 -10 V；1 V /十年；

压力p2 (1 V/十进位)

2.5 V = 1 x 10-3 mbar；
8.5 V = 1000 mbar

漏率对数滞后/特殊功能。请仅在INFICON建

漏率指数对数议下使用。

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INFICON

使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ） | 9

插图 18: 模拟输出端电压泄漏率对数 1 V/十进位插图 19: 模拟输出端电压泄漏率对数 5 V/十进位LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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9 | 使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ）

故障情况下的输出电压

配置（兼容INFICON出现故障时，模拟输出端上为以下电压：
兼容模式

电压

LDS1000

0V

LDS2010

10伏

LDS3000

10.237伏对于 LDS2010 向 LDS3000 设置的转移，可使用下表。

LDS2010）设置模拟输出 LDS2010 功能

LDS3000

LDS2010菜 通道

泄漏率标度

功能

上限
(10 V = ...)

单项 22
1

1

泄漏率尾数，单位为选定的单位。

漏率尾数

不相关

不相关

泄漏率指数（阶梯函数），单位为选定的单 漏率指数

不相关

不相关

1 -10伏1

2

位。1 -10 V，0.5 V/十进位，1 V=1E-12
2

1泄漏率对数，单位为选定的单位。

漏率对数

0.5 V/十进位 1E6 [选定的单位]

1 -10 V，0.5 V/十进位，1 V=1E-122

2

压力 p1 对数，单位为选定的单位。

压力p1

不相关

不相关

漏率尾数

不相关

不相关

泄漏率指数（阶梯函数），单位为 mbar l/s 泄漏率指数 不相关不相关

1 -10 V, 0.5 V/十进位，1 V=1E-3mbar
31

泄漏率尾数，单位为 mbar l/s
1 -10伏3

4

2

1

1 -10 V，-1 V/十进位，0 V = 1E0 mbar l/s

颠倒

漏率对数

漏率对数

1 V/十进位

1.00E+00

压力 p1 对数，单位为 mbar

p1 1 V/十不相关不相关

1 V/十进位，2.5 -8.5 V，

进位泄漏率尾数，单位为选定的单位。

泄漏率尾数 不相关

不相关

1 -10 V 上升，0.7 -10 V 下降

滞后

0 -10 V，1 V/十进位，0 V = 1E-10 mbar l/s
42

2.5 V = 1E-3 mbar，
5.5 V = 1E0 mbar
5

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1

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INFICON设置

使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ） | 9

模拟输出 LDS2010 功能LDS2010菜 通道

LDS3000

泄漏率标度

功能

上限
(10 V = ...)

单项 22
5

2

泄漏率指数，单位为选定的单位。

漏率指数

不相关

不相关

漏率对数

1 V/十进位

1E-2 mbar l/s

p1 1 V/十

不相关

不相关

漏率对数

1 V/十进位

1E-2 mbar l/s

p2 1 V/十

不相关

不相关

不相关

不相关

不相关

不相关

漏率对数

2 V/十进位

1E+2 mbar l/s

漏率对数

特殊 1

1E+1 mbar l/s

漏率对数

2 V/十进位

1E+1 mbar l/s

漏率对数

特殊 1

1E+0 mbar l/s

漏率对数

2 V/十进位

1E0 mbar l/s

漏率对数

特殊 1

1E-1 mbar l/s

1 -10 V，0.5 V/十进位，0 V=1E-14
61泄漏率对数，单位为 Pa·m³/s
0 -10 V，1 V/十进位，0 V = 1E-12 Pa·m³/s = 1E-12 mbar l/s

62

压力 p1 对数，单位为 Pa

1 V/十进位，2.5 -8.5 V，2.5 V = 1E-3 mbar 进位
81泄漏率对数，单位为 Pa·m³/s
0 -10 V，1 V/十进位，0 V = 1E-12 Pa·m³/s = 1E-12 mbar l/s

82

压力 p2 对数，单位为 Pa

1 V/十进位，2.5 -8.5 V，2.5 V = 1E-3 mbar 进位
91

压力 p1 对数，单位为 Pa

p1 1 V/十1 V/十进位，2.5 -8.5 V，2.5 V = 1E-3 mbar 进位
92

压力 p2 对数，单位为 Pa

p2 1 V/十1 V/十进位，2.5 -8.5 V，2.5 V = 1E-3 mbar 进位
101泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -8 V，2 V/十进位，0 V = 1E-3 mbar l/s

102泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -10 V，3 V/十进位，0 V = 1E-3 mbar l/s

111泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -8 V，2 V/十进位，0 V = 1E-4 mbar l/s

112泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -10 V，3 V/十进位，0 V = 1E-4 mbar l/s

121泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -8 V，2 V/十进位，0 V = 1E-5 mbar l/s

122泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -10 V，3 V/十进位，0 V = 1E-5 mbar l/s

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9 | 使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ）

设置

INFICON模拟输出 LDS2010 功能

LDS3000

LDS2010菜 通道

泄漏率标度

功能

上限
(10 V = ...)

单项 22
13

1

泄漏率对数，单位为 mbar l/s

漏率对数

2 V/十进位

1E-1 mbar l/s

漏率对数

特殊 1

1E-2 mbar l/s

漏率对数

2 V/十进位

1E-2 mbar l/s

漏率对数

特殊 1

1E-3 mbar l/s

漏率对数

2 V/十进位

1E-3 mbar l/s

漏率对数

特殊 1

1E-4 mbar l/s

漏率对数

2 V/十进位

1E-4 mbar l/s

漏率对数

特殊 1

1E-5 mbar l/s

漏率对数

2 V/十进位

1E-5 mbar l/s

漏率对数

特殊 1

1E-6 mbar l/s

漏率对数

2 V/十进位

1E-6 mbar l/s

漏率对数

特殊 1

1E-7 mbar l/s

线性漏率

不相关

1E1 mbar l/s

0 -8 V，2 V/十进位，0 V = 1E-6 mbar l/s
132泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -10 V，3 V/十进位，0 V = 1E-6 mbar l/s

141泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -8 V，2 V/十进位，0 V = 1E-7 mbar l/s

142泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -10 V，3 V/十进位，0 V = 1E-7 mbar l/s

151泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -8 V，2 V/十进位，0 V = 1E-8 mbar l/s

152泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -10 V，3 V/十进位，0 V = 1E-8 mbar l/s

161泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -8 V，2 V/十进位，0 V = 1E-9 mbar l/s

162泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -10 V，3 V/十进位，0 V = 1E-9 mbar l/s

171泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -8 V，2 V/十进位，0 V = 1E-10 mbar l/s

172泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -10 V，3 V/十进位，0 V = 1E-10 mbar l/s

181泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -8 V，2 V/十进位，0 V = 1E-11 mbar l/s

182泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -10 V，3 V/十进位，0 V = 1E-11 mbar l/s

201

线性泄漏率，单位为 mbar l/s
0 -10 V，1 V = 1 mbar l/s

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LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON设置

使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ） | 9

模拟输出 LDS2010 功能LDS2010菜 通道

LDS3000

泄漏率标度

功能

上限
(10 V = ...)

单项 22
20

2

泄漏率对数，单位为 mbar l/s

漏率对数

1 V/十进位

1E7 mbar l/s

线性漏率

不相关

1E0 mbar l/s

漏率对数

1 V/十进位

1E6 mbar l/s

线性漏率

不相关

1E-1 mbar l/s

漏率对数

1 V/十进位

1E5 mbar l/s

线性漏率

不相关

1E-2 mbar l/s

漏率对数

1 V/十进位

1E4 mbar l/s

线性漏率

不相关

1E-3 mbar l/s

漏率对数

1 V/十进位

1E3 mbar l/s

线性漏率

不相关

1E-4 mbar l/s

漏率对数

1 V/十进位

1E2 mbar l/s

线性漏率

不相关

1E-5 mbar l/s

漏率对数

1 V/十进位

1E1 mbar l/s

0 -4 V，1 V/十进位，0 V = 1E-3 mbar l/s
211

线性泄漏率，单位为 mbar l/s
0 -10 V，1 V = 1E-1 mbar l/s

212泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -4 V，1 V/十进位，0 V = 1E-4 mbar l/s

221

线性泄漏率，单位为 mbar l/s
0 -10 V，1 V = 1E-2 mbar l/s

222泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -4 V，1 V/十进位，0 V = 1E-5 mbar l/s

231

线性泄漏率，单位为 mbar l/s
0 -10 V，1 V = 1E-3 mbar l/s

23

2泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -4 V，1 V/十进位，0 V = 1E-6 mbar l/s

241

线性泄漏率，单位为 mbar l/s
0 -10 V，1 V = 1E-4 mbar l/s

242泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -4 V，1 V/十进位，0 V = 1E-7 mbar l/s

251

线性泄漏率，单位为 mbar l/s
0 -10 V，1 V = 1E-5 mbar l/s

25

2泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -4 V，1 V/十进位，0 V = 1E-8 mbar l/s

261

线性泄漏率，单位为 mbar l/s
0 -10 V，1 V = 1E-6 mbar l/s

26

2泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -4 V，1 V/十进位，0 V = 1E-9 mbar l/s

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

107 / 174

9 | 使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ）

设置

INFICON模拟输出 LDS2010 功能

LDS3000

LDS2010菜 通道

泄漏率标度

功能

上限
(10 V = ...)

单项 22
27

1

线性泄漏率，单位为 mbar l/s

线性漏率

不相关

1E-6 mbar l/s

漏率对数

1 V/十进位

1E0 mbar l/s

线性漏率

不相关

1E-7 mbar l/s

漏率对数

1 V/十进位

1E-1 mbar l/s

线性漏率

不相关

1E-8 mbar l/s

漏率对数

1 V/十进位

1E-1 mbar l/s

线性漏率

不相关

1E-9 mbar l/s

漏率对数

1 V/十进位

1E-1 mbar l/s

0 -10 V，1 V = 1E-7 mbar l/s
27

2泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -4 V，1 V/十进位，0 V = 1E-10 mbar l/s

281

线性泄漏率，单位为 mbar l/s
0 -10 V，1 V = 1E-8 mbar l/s

282泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -4 V，1 V/十进位，0 V = 1E-11 mbar l/s

291

线性泄漏率，单位为 mbar l/s
0 -10 V，1 V = 1E-9 mbar l/s

292泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -4 V，1 V/十进位，0 V = 1E-11 mbar l/s

301

线性泄漏率，单位为 mbar l/s
0 -10 V，1 V = 1E-10 mbar l/s

30

2泄漏率对数，单位为 mbar l/s
0 -4 V，1 V/十进位，0 V = 1E-11 mbar l/s读取模拟- 对于模拟输入端，无法配置功能。

输入端- 它留用于未来的应用。
- 通过LD指令220可读取模拟输入端的电压值。

9.2.2.1 分配输入/输出模块的数字输入端I/O模块的数字输入端PLC-IN 1至10可以随意被可用的功能占用。
– 活动信号：通常为24 V– 非活动信号：通常为0 V。
作为活动信号，可使用输入/输出模块的24V输出端。
可颠倒每种功能。
可用的功能：见下表

108 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ） | 9

操作单元设置 > 调整 > 接口 > I/O模块 > 数字输入端> 数字配置输入端配置

LD协议

指令438

ASCII协议

*CONFig:PLCINLINK:1 (2至10)钥匙开关通过三个PLC输入端可将一个外部钥匙开关连接在最多三个开关输出端上。用钥匙开关
可选择操作单元用户的权限等级。
按键1 - Operator
按键2 - Supervisor
按键3 - Integrator合适钥匙开关的示例：Hopt+Schuler，444-05号
数字输入端的功能和分配：

功能

齿面/

说明

状态：
无功能

–

无功能

CAL dynam.

非活动 → 活动：开始外部动态校准。

活动 → 非活动：

采用基底值，完成校准。

非活动 → 活动：

开始外部校准。

活动 → 非活动：

采用基底值，完成校准。

CAL intern

非活动 → 活动：

开始内部校准。

SNIF/VAC

非活动 → 活动：激活嗅探模式。

活动 → 非活动：激活真空模式。

Start

非活动 → 活动：

切换为测量。(可进行ZERO，所有触发器输出端根据漏率接通。)

Stop

非活动 → 活动：切换为待机。(不可进行ZERO，所有触发器输出端返回“超出漏CAL extern

率阈值”。)
ZERO

非活动 → 活动：

接通ZERO。

活动 → 非活动：

切断ZERO。

ZERO Puls

非活动 → 活动：

接通或切断ZERO。

删除

非活动 → 活动：删除警告或故障信息或取消校准。

气镇非活动 → 活动：打开气镇阀。

活动 → 非活动：如果未持续打开，则关闭气镇阀。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

109 / 174

9 | 使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ）

功能

齿面/

INFICON说明状态：选择动态/正常非活动 → 活动：

激活数字输入端“CAL”时的外部校准模式：

活动 → 非活动：

外部动态校准 (无Autotune，考虑通过数字输入端确定的测量时间和泵循环时间)外部常规校准 (有Autotune，不考虑设备特定的测量时间和泵循环时间)Start / Stop

非活动 → 活动：

切换为测量。(可进行ZERO，所有触发器输出端根据漏率接通。)

切换为待机。(不可进行ZERO，所有触发器输出端返回活动 → 非活动：“Fail”。)

按键1

活动：用户“Operator”

按键2

活动：

用户“Supervisor”

按键3

活动：

用户“Integrator”

CAL

非活动 → 活动：

在待机时开始一次内部校准。
在Meas时开始一次外部校准。

ZERO更新非活动 → 活动：

更新或接通ZERO活动 → 非活动：无功能

非活动 → 活动：打开内部测试漏孔

活动 → 非活动：关闭内部测试漏孔

非活动 → 活动：内部测试漏孔关闭时将其打开，或打开时将其关闭

非活动 → 活动：将SL3000XL的流量切换为3000 sccm (XL适配器)活动 → 非活动：将SL3000XL的流量切换为300 sccm (XL适配器)CAL机器

非活动 → 活动：确定机械系数或嗅探系数

CAL内部测试

非活动 → 活动：

用内部测试漏孔检查校准

CAL外部测试

非活动 → 活动：用外部漏孔检查校准测试漏孔打开

测试漏孔打开至
Puls
流量Start / Stop Puls 非活动 → 活动：在测量模式和待机间切换

质量2/质量4

非活动 → 活动：激活质量4活动 → 非活动：激活质量2110 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ） | 9

功能

齿面/

说明

状态：
Peakfind

非活动 → 活动：开始进行峰值确定（仅 AQ）

9.2.2.2 分配输入/输出模块的数字输出端I/O模块的数字输出PLC-OUT 1 ...8可以随意被可用的功能占用。
可颠倒每种功能。
可用的功能：见下表

操作单元设置 > 调整 > 接口 > I/O模块 > 数字输出端> 数字配置输出端配置

LD协议

指令263

ASCII协议

*CONFig:PLCOUTLINK:1 (2 ...8)
数字输出端的功能和分配：

功能

状态：

说明

开启

已打开：

始终打开

触发器1

已关闭：

超出触发器1泄漏率阈值已打开：

低于触发器1泄漏率阈值已关闭：

超出触发器2泄漏率阈值已打开：

低于触发器2泄漏率阈值已关闭：

超出触发器3泄漏率阈值已打开：

低于触发器3泄漏率阈值已关闭：

超出触发器4泄漏率阈值已打开：

低于触发器4泄漏率阈值已关闭：发射接通，校准过程非活动，无错误已打开：发射切断或校准过程活动或出错

已关闭：

警告

已打开：

无警告

已关闭：

故障

已打开：

无错误

触发器2

触发器3

触发器4

就绪

警告

故障

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

111 / 174

9 | 使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ）

INFICON

功能

状态：

说明

CAL激活

已关闭：

校准设备。

已打开：

不校准设备。

已关闭：

且无外部校准：校准请求（温度变化 5 °C 或接通后 30 分钟或转速设定发生变

CAL请求

化）

启动

ZERO激活

发射开

测量

已关闭：

和外部校准或“CAL 测试”：“打开或关闭外部校准泄漏”请求

已打开：

无请求

已关闭：

启动

已打开：

未启动

已关闭：

ZERO接通已打开：ZERO切断

已关闭：

发射接通

已打开：

发射切断

已关闭：

测量 (可进行ZERO，所有触发器输出端根据泄漏率接通。)
待机或发射已切断 (不可进行 ZERO，所有触发器输出端返回“超出泄漏率阈

待机

已打开：

值”。）

已关闭：

待机 (不可进行ZERO，所有触发器输出端返回“超出泄漏率阈值”。)
测量 (可进行ZERO，所有触发器输出端根据泄漏率接通。)

已打开：

SNIF

故障或警告

气镇

112 / 174

已关闭：

SNIF

已打开：

VAC

已关闭：

故障或警告

已打开：

无故障或警告

已关闭：

气镇已激活

已打开：

气镇未激活

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

使用扩展模块（LDS3000、LDS3000 AQ） | 9

功能

状态：

说明

测试漏孔开

已关闭：

测试漏孔已激活已打开：测试漏孔未激活已关闭：“打开或关闭外部校准漏孔”请求 (参见配置和启动外部校准 [} 54]”)CAL稳定

信号不稳定或校准未激活
已打开：
阴极2

ZERO稳定已关闭：阴极2已激活已打开：阴极1已激活已关闭：

EcoBoost通报稳定已打开：

EcoBoost通报不稳定另请参见“使用EcoBoost抑制减少的气体背景信号 [} 66]”。

9.3 总线模块 BM1000 的设置总线模块地址

设置总线模块的地址。（Profibus 时为节点地址，DeviceNet 时为 MACID）
0 ...255

控制单元

设置 > 调整 > 接口 > 总线模块 > 地址

LD协议

326

ASCII协议

–LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

113 / 174

10 | 警告信息和故障信息（LDS3000、LDS3000 AQ）

INFICON

10 警告信息和故障信息（LDS3000、
LDS3000 AQ）
设备配备了大量的自诊断功能。
故障信息

故障是指设备无法自行排除，会使运行强制中断的事件。报错消息由一个编号和一段描
述性文本构成。
当您排除了错误原因后，请通过重启按键使设备重新运行。

警告信息

警告信息提醒那些可能使测量精度下降的设备状态。设备运行不会中断。
通过OK键或吸枪手柄上的右键确认知晓警告信息。
下表显示了所有警告和报错消息。其中指出了故障的潜在原因以及排除故障的指示。
请注意，标注了星号的工作只能由INFICON授权的服务人员进行。

警告

LDS3000

错误编号

(Wrn)

错误显示

LDS1000 二进位或协议错误 (Err)

极限值

原因

ASCII
协议
兼容模式
LDS1000/
LDS20101xx系统错误 (RAM、ROM、EEPROM、时钟……)
Wrn102

EEPROM MSB-Box超时 (参 84

43IF-Board的EEPROM或MSB损坏

数数量)
Wrn104

一个EEPROM参数被初始化 8443软件升级或EEPROM损坏后

Wrn106

EEPROM参数被初始化8443软件升级或EEPROM损坏后

Wrn110

未设定时间

16

16

时钟的跳线未插入，电池已空，时钟故障

Wrn122总线模块未回答99

99

与总线模块的连接中断

Wrn123

BM1000不支持INFICON配9999

已连接的BM1000现场总线类型不置
Wrn125114 / 174

未连接I/O模块

支持所选的INFICON配置。
99

99

与I/O模块的连接中断

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

警告信息和故障信息（LDS3000、LDS3000 AQ） | 10

警告

LDS3000

错误编号

(Wrn)

错误显示

LDS1000 二进位或协议错误 (Err)

极限值

原因

ASCII
协议
兼容模式
LDS1000/
LDS2010

Wrn127

错误的Bootloader版本

99

99

Bootloader与应用不兼容

Err129错误设备 (EEPROM)

99

99

EEPROM不含可兼容数据

Err130没有连接吸枪

9999

电气方面未连接嗅探器管。
亦请参见“设置毛细管监控装置[} 70]”。

Wrn132

不支持SL3000

99

99

使用XL Sniffer Adapter时仅可使用
SL3000XL

Wrn150

未连接压力传感器262

146

压力传感器P2没有连接或损坏。
IF-Board或MSB损坏。

Wrn153

CU1000软件的版本已过时

99

99

建议更新CU1000软件

Wrn156

AQ模式ID错误

99

99

AQ模式ID错误

2xx运行压力错误
Wrn201

U24_MSB过低

24

120

21.6伏

24V电源

Wrn202

U24_MSB过高

24

120

26.4伏

24V电源

Wrn203

电压24V_PWR12在范围之

24

120

20伏

阀门1 (校准漏孔) 或阀门2 (气镇) 短

30伏

路

20伏

阀门3或阀门4短路

外 (TL_valve/GB_valve)
Wrn204

电压24V_PWR34在范围之

24

120

外

30伏

(valve 3/4)
Wrn205

电压24V_PWR56在范围之

24

120

外 (Sniff_valve/valve6)
Wrn221

内部电压24V_RC超出允许内部电压24V_IO超出允许阀门5 (嗅探) 或阀门6短路

30伏
24

120

范围
Wrn222

20伏20伏操作单元输出端24V短路

30伏
24

范围

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

120

20伏

IO输出端24V短路

30伏

115 / 174

10 | 警告信息和故障信息（LDS3000、LDS3000 AQ）

INFICON

警告

LDS3000

错误编号

(Wrn)

错误显示

LDS1000 二进位或协议错误 (Err)

极限值

原因

20伏

涡轮分子泵 (TMP) 24V短路

ASCII
协议
兼容模式
LDS1000/
LDS2010

Wrn223

内部电压24V_TMP超出允

24

120

许范围
Wrn224

内部电压24V_1 (Pirani) 超

30伏
24

120

出允许范围

20伏

24V短路

30伏

压力传感器PSG500 (1、2、3)，吸枪线Wrn240+15V电压超出允许范围

24

120

+15V太小，IF-Board或MSB损坏Wrn241-15V电压超出允许范围

24

120

-15V太小，前置放大器短路，IFBoard或MSB损坏Err242

电压+15V或-15V短路

24

120

+ 15V或-15V太小，前置放大器短路，IF-Board或MSB损坏Wrn250

Err252

电压REF5伏超出允许范围电压REF5伏短路

24

24

120

4.5伏

+15V或5V太小，前置放大器短路，

5.5伏

IF板或MSB损坏

120+15V或REF5V太小，前置放大器短路，IF-Board或MSB损坏

3xx探测系统 (前置放大器偏移、前置放大器测试、发射、阴级测试)
Wrn300

Wrn301阳极电压过低阳极电压过高

41

40

132

131

7V < 额定

阴极电压短路，质谱仪中压力过值大，IF-Board或离子源损坏

7V ＞ 额定

MSB损坏

值
Wrn302抑制极电压过低

39

130

297伏

抑制器短路，IF-Board或MSB损坏Wrn303抑制极电压过高

38

129

363伏

MSB损坏

Wrn304阳极 - 阴极电压过低

36

127

40伏

阳极 - 阴极短路，IF-Board或MSB
损坏

Wrn305116 / 174阳极 - 阴极电压过高

35

126

140伏

MSB损坏

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

警告信息和故障信息（LDS3000、LDS3000 AQ） | 10

警告

LDS3000

错误编号

(Wrn)

错误显示

LDS1000 二进位或协议错误 (Err)

极限值

原因

ASCII
协议
兼容模式
LDS1000/
LDS2010Err306

阳极电压有误

36

127

与规定值有 阳极电压与规定值不一致，或规定
40 V的偏差 值在允许的设置范围外。

Wrn310

阴极1损坏

45

136

阴极损坏，至阴极导线断裂，IFBoard或MSB损坏Wrn311

阴极2损坏

46

137

阴极损坏，至阴极导线断裂，IFBoard或MSB损坏Err312

阴极损坏

47

138

阴极损坏，至阴极导线断裂，IFBoard或MSB损坏Wrn332系统被氦气污染

62

146

漏率过于不良 (例如低于 – 0.15 * 触发器 1)。可以设置警告的反应时间。参见“调整“AQ 零时因数”[} 95]”

Wrn334

漏率突然上升62

146

Err340

发射错误

44

135

粗漏
< 额定值的 发射事先稳定，可能压力高，15秒
90%

后通报

＞ 额定值
的110%
Wrn342

没有连接阴极

47

138

在接通后自检过程中，两个阴极有缺陷或插头未插入

Wrn350没有连接抑制极39

130

接通后自检时，不插入抑制器电缆
或电缆损坏

Wrn352

没有连接前置放大器

3360

前置放大器损坏，未接上电缆Err358

前置放大器在两个范围内摇 31

123

信号波动太剧烈 (见指令1120)

摆Wrn359

前置放大器过调制

前置放大器损坏
31

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

123

信号过大，前置放大器受损

117 / 174

10 | 警告信息和故障信息（LDS3000、LDS3000 AQ）

INFICON

警告

LDS3000

错误编号

(Wrn)

错误显示

LDS1000 二进位或协议错误 (Err)

极限值

原因

500 GΩ时离子源不佳或质谱仪受污染

ASCII
协议
兼容模式
LDS1000/
LDS2010

Wrn360

前置放大器输出过低31

123＜-70 mV
Wrn361

前置放大器偏移量过高

31

123

500 GΩ时

前置放大器损坏

＞+/-50 mV，
15 GΩ时 ＞+/-10 mV，
470 MΩ时＜+/-10 mV，
13 MΩ时
＜+/-9 mV
Wrn362

前置放大器的范围错误

31

123

Wrn390500吉在范围之外31123

前置放大器或MSB-Box损坏
450吉欧

前置放大器损坏，抑制器故障，IF-550吉欧Board或MSB损坏

4xx涡轮分子泵故障 (TMP) (以及温度)
Err400涡轮分子泵的错误编号

49

15

49

15

与涡轮分子泵无通信 (TMP) 49

15

(TMP)
Wrn401

涡轮分子泵的警告编号
(TMP)

Err402涡轮分子泵电缆 (TMP)，涡轮分子泵损坏 (TMP)，IF-Board或MSB损坏

118 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

警告信息和故障信息（LDS3000、LDS3000 AQ） | 10

警告

LDS3000

错误编号

(Wrn)

错误显示

LDS1000 二进位或协议错误 (Err)

极限值

原因

ASCII
协议
兼容模式
LDS1000/
LDS2010Err403涡轮分子泵转速过低 (TMP) 53

142< 额定值的 压力过高，涡轮分子泵损坏 (TMP)95%

Err404涡轮分子泵电力消耗过高

49

2

3安培

Err405涡轮分子泵没有加速

60

61

5分钟

压力过高，涡轮分子泵存在缺陷(TMP)

Err410

TMP温度过高

49

2

冷却装置失灵，检查MSB模块的应
用条件

Wrn411

涡轮分子泵温度高492

冷却装置失灵，检查MSB模块的应
用条件

Err420涡轮分子泵电压过高 (TMP) 49

Wrn421

涡轮分子泵电压过低2

电源受损，涡轮分子泵损坏 (TMP)质谱仪模块的24伏电源电路截面过
小，输出端24伏电源过小 (I < 10安)，电源受损，涡轮分子泵受损(TMP)

Err422涡轮分子泵没有加速 (TMP) 49

2

8分钟

涡轮分子泵前级压强过高 (TMP)，
VV泵最终压力过高，高真空系统不
密封，未关闭溢流阀，涡轮分子泵轴承受损 (TMP)，涡轮分子泵有误(TMP)

Err423涡轮分子泵压力上升

49

2

58

144

空气渗入，溢流阀受损或度量有误5xx压力错误和流量错误Wrn500没有连接压力传感器

0.5伏压力传感器PSG500 P1未连接，IFBoard或MSB损坏Wrn502

没有连接XL吸枪适配器

58

144

XL吸枪适配器未连接或损坏，IFBoard或MSB损坏。

Wrn520压力过高73

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

148

18毫巴

压力p1过高119 / 174

10 | 警告信息和故障信息（LDS3000、LDS3000 AQ）

INFICON

警告

LDS3000

错误编号

(Wrn)

错误显示

LDS1000 二进位或协议错误 (Err)极限值

原因< 额定值-

压力p1过高，1.4秒后通报

ASCII
协议
兼容模式
LDS1000/
LDS2010

Wrn521

压力上升，阳极电压崩溃

73

148

20V
Wrn522

压力上升，发射崩溃

73

148< 额定值的 发射事先稳定，压力p1过高，5秒
90%

后通报

＞ 额定值
的110%
Wrn540压力过低，吸枪堵塞63

62

吸枪流量警 吸枪堵塞，嗅探阀损坏，过滤器堵
告参数

Err541

吸枪卡住 (p1)

62

146

塞
吸枪堵塞，嗅探阀损坏 (压力小于所设警告值的一半)，过滤器堵塞

Wrn542

吸枪断裂

64

147

吸枪断裂

Wrn550压力过低，XL Sniffer堵塞63

62

清洁或更换吸枪线的High Flow毛细管。
更换污染的滤波器。

Wrn552XL Sniffer断裂

64

147

更换吸枪线的High Flow毛细管。

Wrn554

XL sniffer P2过小63

62

Low Flow时SL3000XL上的压力过低。

Wrn556

节流阀损耗

63

62

压力过低 (p1)Err557

节流阀堵塞

62

146

压力过低 (p1)6xx校准故障
Wrn600校准因素过低

81

153

0.01

错误设置了校准漏孔或机械系数

Wrn601

校准系数过高

81

153

10000

错误设置了校准漏孔或机械系数，部分电流系数过大

Wrn602120 / 174

校准系数低于上次校准

81

153

< 旧值的

校准漏孔，机械系数或部分电流系

50%

数已改变

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON

警告信息和故障信息（LDS3000、LDS3000 AQ） | 10

警告

LDS3000

错误编号

(Wrn)

错误显示

LDS1000 二进位或协议错误 (Err)

极限值

原因

＞ 旧值的

校准漏孔，机械系数或部分电流系

200%

数已改变

ASCII
协议
兼容模式
LDS1000/
LDS2010

Wrn603

Wrn604

校准系数高于上次校准81

内部校准不可能，缺少漏孔 81

153

153

漏孔无法运行漏孔损坏或信号太小。

控制
Wrn605

校准时的差异过小

78

151

Wrn610机械系数过低81

153

1.00E-04

机械系数调准错误

Wrn611

机械系数过高81

153

1.00E+04

机械系数调准错误，部分电流系数
太大Wrn612机械系数低于上次

81

153

< 旧值的

部分电流系数已改变

50%
Wrn613

机械系数高于上次

81

153

＞ 旧值的

部分电流系数已改变

200%
Wrn625

未设置内部漏孔99

99

内部漏孔的漏率仍为出厂设置

Wrn626

外部未设置漏孔99

99

漏孔的漏率仍为出厂设置

Wrn630

校准请求

99

99

此外，自上次校准后改变速度设定
或将前置放大器温度改变5摄氏度

Wrn650不建议在前20分钟内进行

0

0

校准

不建议在检漏仪启动 (热运转阶段)
后的前20分钟内进行校准。
警告信息可以关闭：– LD协议：指令429– ASCII：*CONFig:CALWarn(ON，OFF)Wrn670

校准时出错

81

153

由于校准时出现问题，因此您必须重新校准。

Wrn671

未找到峰值

81

153

查找峰值期间信号波动剧烈。校准中断。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

121 / 174

10 | 警告信息和故障信息（LDS3000、LDS3000 AQ）

INFICON

警告

LDS3000

错误编号

(Wrn)

错误显示

LDS1000 二进位或协议错误 (Err)

极限值

原因

ASCII
协议
兼容模式
LDS1000/
LDS2010

Wrn680识别到校准偏差00

校准检查结果表明，您需要重新进
行校准。

7xx温度错误 (前置放大器、电子设备)
Wrn700

前置放大器温度过低

33

60

2°C

温度过低

Wrn702

前置放大器温度过高

32

124

60°C

温度过高

Err709MSB温度过低

55

99

-21°C

温度过低或温度传感器损坏

Wrn710MSB温度过高

54

44

55°C

温度过高

Err711

超出最高MSB温度

54

44

65°C

温度过高

4年

需要保养涡轮分子泵 (TMP)

8xx未使用9xx维护信息 (如TMP)
Wrn901

涡轮分子泵保养99

99

Wrn910隔膜泵的保养

99

99

隔膜泵要求8000小时保养

10.1 借助 Status-LED 显示错误代码
MSB-Box 中的一个错误或一个警告会被操作单元显示为错误代码，也会通过 StatusLED 显示为闪码。
闪码以一个较长的白色信号开始。接着是错误编号或警告编号。错误编号显示为红色信号，警告编号显示为橙色信号（橙色信号有较强的绿色失真）：-> 启动闪烁代码：白色的长信号• 百位：0 -9 红色信号表示错误或 0 -9 橙色信号表示警告• 断开：蓝色信号• 十位：0 -9 红色信号表示错误或 0 -9 橙色信号表示警告• 断开：蓝色信号• 个位：0 -9 红色信号表示错误或 0 -9 橙色信号表示警告

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INFICON

警告信息和故障信息（LDS3000、LDS3000 AQ） | 10

闪码会周期性重复。
示例：压力过高。
-> 错误代码 = 警告 520-> Status-LED 的闪烁代码：白色（长），5 次橙色，蓝色，2 次橙色，蓝色

10.2 显示作为故障的警告
可将最多8个任意警告信息升级为故障信息。
不同于警告，故障会导致设备运行中断。通过将警告信息升级为故障信息可避免操作员
忽视该警告，然后继续使用设备。

将选出的警告升级为故障ü 您拥有INFICON控制单元CU1000。

1“设置 > 调整 > 通知 > 警告 -> 故障”

2

在“显示作为故障的警告”窗口中进行设置。
ð 从数字1 – 8中选择所需的“列表条目编号”。
ð 从下列警告编号概览中选择待成为故障信息的编号。如果长按待选择的数字，编号将以10为单位递增。
ð 如需更改已升级为故障的警告，请在同一个“列表条目编号”下输入所需的新警告编号。
ð 在窗口下部显示相关警告文本，以便概览。

3

按“OK”确认。
ð 或者在不保存的情况下通过按键“X”退出窗口。

撤销从警告到故障的升级
1“设置 > 调整 > 通知 > 警告 -> 故障”

2

在“显示作为故障的警告”窗口中进行设置。
ð 从数字1 – 8中选择所使用的“列表条目编号”及已分配的警告编号。
ð 在所显示的警告编号概览中设置100以下的数值。由此显示“无条目”。

3

按“OK”确认。

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11 | 运行 CU1000（可选）INFICON11 运行 CU1000（可选）
11.1 触摸屏元件
11.1.1 测量显示的元素插图 20: 测量显示

1

键盘锁

2

通信状态

3

数据记录

4

操作员

5

ZERO

6

信息

7

示踪气体

8

运行模式

9

带有峰值保持功能的漏率

10 漏率和峰值保持功能的示意图

11 时间轴

12 前级压强

13 按键“收藏夹2”

14 按键“收藏夹1”

15 菜单

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INFICON运行 CU1000（可选） | 11

16 数值轴

17 度量单位

18 等效泄漏率显示1 - 键盘锁
长按键盘锁符号可锁定或解锁操作单元。

2 - 通信状态的符号• 已连接符号：设备与质谱仪模块通信。
• 已断开符号：设备不与质谱仪模块通信。
建立通信：

1

重置操作单元 (Reset)。

2检查质谱仪模块状态。

3检查电缆连接3 - 数据记录符号
记录测量。

4 - Ser
登录的操作员通过一个缩写显示。
显示

含义

Ope

Operator

Sup

Supervisor

Int

集成工程师

Ser

服务

有关更多信息，请参阅“操作员类型和权限 [} 131]“.

5 - Zero
基底抑制激活。

6 - 注意符号
当前活跃的警告信息保存在设备中。
当前活跃的警告信息可通过菜单“信息 > 进程 > 激活的警告”显示。

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11 | 运行 CU1000（可选）INFICON

7- 示踪气体
所设测试气体和单位为百分比的测试气体浓度。
显示

含义

He

氦气 (4He)

H2

氢气

M3

例如H-D，3He或H3

8 - 运行模式
设定的操作模式
显示

运行模式

VAC

真空

SNIF

嗅探

LOW FLOW

LOW FLOW中的XL Sniffer Adapter

HIGH FLOWHIGH FLOW中的XL Sniffer Adapter

待机

待机时 HIGH FLOW 中的 XL Sniffer
Adapter

9 - 漏率
漏率的当前测量值。

10 - 图表
漏率Q(t) 的图形表示。

11- 时间轴
漏率Q(t) 的时间轴。

12 - 前级真空压力（并非在 XL Sniffer Adapter 运行模式中）前级真空压力p1。

13 - 按键“收藏夹2”
在此按键上可以存储首选参数，另请参阅“触摸屏设置 [} 128]“.在“测量显示的元素[} 124]”中的图示中，例如，按键“收藏2”被赋予功能“测量值显示”。

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INFICON运行 CU1000（可选） | 11

14 - 按键“收藏夹1”
在此按键上可以存储首选参数，另请参阅“触摸屏设置 [} 128]“.在“测量显示的元素[} 124]”中的图示中，例如，按键“收藏1”被赋予功能“音量”。

15 - 菜单的符号
操作单元的所有功能和参数均通过“菜单”键实现。
菜单的完整显示包含在与 LDS3000 一并供应的 U 盘中。

16 - 数值轴
漏率Q(t) 的数值轴。

17 - 度量单位
数值轴的度量单位。

18 - 等效泄漏率显示
所用测试气体的校正系数。

11.2 故障或警告显示元件

警告编号：500显示
消息未连接压力传感器

详情（值 = 4.23E-2）
其他故障或警告

501

502

用于显示
其他活跃的
故障或
警告
（如果有）

详细显示
其他活跃的
故障或

信息关于

警告

上述显示的

（如果有）

故障消息的

用于确认
所有消息

原因或补救措施

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11 | 运行 CU1000（可选）INFICON

可能的故障和警告概述也请在 LDS3000（质谱仪模块）的操作说明书，“警告和故障
消息”一章中查阅。

11.3 设置和功能下面说明了操作单元的设置和功能。质谱仪模块的操作说明书中列出了通过操作单元设置的质谱仪模块 LDS3000 的设置和功能。

11.3.1 触摸屏设置出现以下情形时，触摸屏显示的参数为灰色：• 用户不得更改数值，另请参见“操作员类型和权限 [} 131]”。
• 质谱仪模块LDS3000的软件版本较老，不支持该参数。
Q(t) 轴标度

线性或对数
线性
对数

操作单元

显示 > Q(t) 轴 > 线性或对数对数显示时的十进制数
1
2
3
4

操作单元

显示 > Q(t) 轴 > 十进制

自动标度关：您可以更改图示，方法是按在坐标轴的交点上，然后用手指沿走向触摸所需轴并放开或者按住所需坐标轴的末端并沿着轴的交点方向拂过，然后放开。
开：图示会根据泄漏率自动调整。

操作单元
时间轴标度

128 / 174

显示 > Q(t) 轴 > 自动标度时间轴标度LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 CU1000（可选） | 11

15秒

240秒

30秒

480秒

60秒

960秒

120秒

操作单元
显示单元

测量值显示

显示 > 时间轴 > 时间轴标度

压力单位
毫巴

atm

帕

托

操作单元

显示 > 单位 (显示) > 压力单位

图形显示方式
曲线
条状图

操作单元

显示 > 测量显示 > 测量值显示方式

测量值的数字表示
关闭
开

操作单元
显示亮度

显示 > 测量显示 > 数值显示显示亮度
20 -100%

操作单元
触摸屏上的触发器显示

显示 > 亮度 > 显示亮度

选择触摸屏中显示的触发器 (泄漏率阈值)。
1
2
3
4

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11 | 运行 CU1000（可选）INFICON操作单元
占用收藏夹键

设置 > 触发器 > 触发器选择通过收藏夹键可直接进入单个功能。这样，有“Supervisor”或更高权限的用户可占
用收藏夹键。
收藏夹1：中间按钮 (参见“测量显示的元素 [} 124]“中的图)。
收藏夹2：右键收藏夹3：主菜单右下键。
音量

流量切换

显示设置

检查CAL

Start/Stop启动/停止(AQ时增加：AQ辅助

测量值显示

气体等效

ZERO （对于 AQ 而不是ZERO: ZERO- - - (= 无功能)AQ, 用 EcoBoost 代替 ZERO: EcoBoost)
CAL

操作单元
触摸屏上显示警告信息

设置 > 收藏夹 > 收藏夹1 (2、3)

可以允许或禁止触摸屏上显示的警告信息。
关闭
开

操作单元
显示校准提示设置 > 调整 > 操作单元 > 消息 > 显示警告可通过下列内容禁止或允许校准提示：• 所使用漏孔的泄漏率• 校准不应在接通电源后的最初 20 分钟内进行
关 (禁止)
开 (允许)

操作单元
显示校准请求设置 > 调整 > 操作单元 > 消息 > 显示校准提示

可以允许或禁止校准请求显示。
有关校准请求及类似功能的允许或禁止，参见“校准请求”。

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INFICON运行 CU1000（可选） | 11

关 (禁止)
开 (允许)

操作单元设置音频报警设置 > 调整 > 操作单元 > 消息 > 显示校准请求

声音信号的输出取决于泄漏率--- (无声音)均衡：声学信号的频率跟柱状图显示或曲线高度成比例。频率范围在300 Hz至3300
Hz之间。
设定点：音调高度与漏率成比例。当漏率超出选择的触发器时，会发出声音。
定点：声音信号的音调在漏率窗口中改变其频率。有效半径：一个十进制数比所选的触发器阈值大一个十进制数。在余量以下时，音调持续低；余量以上时，音调持续高。
触发器：超出所选的触发器阈值时，发出两次声音信号。

操作单元设置 > 调整 > 操作单元 > 音频 > 音频报警类型

警告或报错消息时的特征：当触摸屏显示一个警告或一处故障时，始终同时发出两次声
音信号。
触摸屏自切断为了节约能源，触摸屏可在无任何操作的特定时间间隔后自切断。
30秒

10分钟

1分钟

30分钟

2分钟

1小时

5分钟

∞ (=从不)操作单元设置 > 调整 > 操作单元 > 能量 > 显示关闭

11.3.2 操作员类型和权限有四种权限不同的操作员类型。工厂交货时由 Integrator 登录。
额外的操作员可登录。下表说明了各个操作员类型注册新操作员类型的方法。
操作员消息

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11 | 运行 CU1000（可选）INFICON

Viewer

操作员

监管员

集成工程师

-

操作员

监管员

集成工程师

Viewer操作员监管员

Viewer操作员
Viewer对于“Integrator”、“Supervisor”和“Operator”类型，必须在登录时分配一个四
位数 PIN 码 (0000 -9999)。工厂交货时分配给所有操作员的均为“0000”。
如果某操作员 PIN 码为“0000”，则启动系统时始终由此操作员登录（无 PIN 码请
求）。
如果已连接输入/输出模块，除 PIN 码外还可采用钥匙开关。钥匙开关通过三个数字输
入端连接在输入/输出模块上（见 LDS3000 操作说明书）。
下表为各类操作员的权限。
功能

Viewer

操作员

监管员

集成工程师

修改参数

-

x

x

x

更改报错消息的 -

x

x

x

显示
调出出厂设置---x登记保养进程---x

只有 INFICON 服务人员才能进入“Service”菜单。
加载参数

可从 U 盘中载入控制单元 CU1000 和质谱仪模块保存/确定的参数。
控制单元

存储参数

可将操作单元 CU1000 和质谱仪模块的参数写入一个 U 盘。
控制单元显示报错消息功能 > 数据 > 参数 > 载入

功能 > 数据 > 参数 > 保存

可为每类操作员设置不同种类的故障信息。Integrator 始终获取完整的信息。
编号：消息编号
文本：简介
信息：扩展通知信息• 仅编号• 编号和文本• 编号、文本和信息

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INFICON运行 CU1000（可选） | 11

控制单元功能 > 数据 > 参数 > Viewer 故障信息
(Operator, Supervisor)

显示和修改参数列表

以按字母顺序排列的列表显示参数，包括名称和实际值。每个列表条目都是一个按钮，通过操作按钮调出参数设置对话框。
控制单元

列表 > 参数列表或：功能 > 数据 > 参数 > 列表

显示参数修改权限的列

以按字母顺序排列的列表显示参数，包括名称和当前修改权限。每个列表条目都是一

表个按钮，通过操作按钮修改权限。可根据操作员的等级进行修改。
控制单元

功能 > 数据 > 参数 > 参数范围

11.3.2.1 注销操作员
注销时，操作员激活权限等级“Viewer”。“权限 > Viewer”

11.3.3 重置设置质谱仪模块可将质谱仪模块的设置重置为出厂设置。
控制单元

权限

可将修改参数的权限重置为工厂设置。
控制单元

控制单元

功能 > 数据 > 参数 > 重置 > MSB 设置

功能 > 数据 > 参数 > 重置 > 参数权限

可将控制单元的设置重置为工厂设置。
控制单元

功能 > 数据 > 参数 > 重置 > 操作单元设置

11.3.4 记录数据数据被保存为TXT文件。每个TXT文件中须包含以下信息：• 创建日期• 软件版本• 序列号• 开始时间
• 时间戳 (测量说明与开始时间存在的偏差，单位为秒)• 文件名

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11 | 运行 CU1000（可选）INFICON• 时间戳 (与开始时间存在的偏差，单位为秒)• 泄漏率 (单位为选定的显示单位)• 压力p1 (单位为选定的显示单位)• 设备状态
接通/切断

接通或切断数据记录
• 关闭
•开
控制单元

存储间隔

功能 > 数据 > 记录器 > 设置 > 数据记录数据记录的时间间隔• 100毫秒、200毫秒、500毫秒、1秒、2秒、5秒
控制单元

保存位置

功能 > 数据 > 记录器 > 设置 > 存储器间隔

可将数据保存在操作单元中或一个U盘上。操作单元中的存储空间限制于24小时测量
记录。每过一个小时文件会被关闭，并在下一个文件中开始记录。
• U盘• 控制单元控制单元

复制数据功能 > 数据 > 记录器 > 设置 > 保存位置您可以从操作单元内部存储器中将数据复制到U盘上。
控制单元

删除数据

功能 > 数据 > 记录器 > 复制 > 复制文件

删除操作单元内部存储器中的数据
控制单元

功能 > 数据 > 记录器 > 删除 > 删除文件

11.3.5 调出信息可通过信息菜单调出仪器的不同信息和状态。
测量值• 前置放大器• Environment• 涡轮分子泵温度• Electroni• 涡轮分子泵能源和运行小时134 / 174

• Energy values：消耗值信息LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 CU1000（可选） | 11

• Operation hours：运行小时显示• Supply voltages：内部供给电压的信息• Power supply：部件供给电压的信息进程• 故障，故障进程/警告进程
• 校准，校准进程• TMP 故障，TMP 进程• 警告，激活的警告• 保养，保养进程控制单元

• Version control unit：软件版本信息• Memory：可用存储器的信息• Settings：操作单元的设置。
• Serial Port wired：通信接口的信息• Data Exchange：质谱仪模块和操作单元间数据交换的信息质谱仪模块

• MSB (1)：软件版本信息• MSB (2)：运行参数的信息• TMP controller (1)：涡轮分子泵的信息• TMP controller (2)：涡轮分子泵的信息，接上• Ion source：所用离子源的信息• Preamplifier：前置放大器的信息• Preamplifier test：前置放大器测试的信息

接口• I/O module (1)：软件版本信息，输入和输出端• I/O module (2)：数字输入端的可视化信息LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

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11 | 运行 CU1000（可选）INFICON2
1

3

插图 21: I/O module (2)：数字输入端的可视化信息

136 / 1741

输入端信号的状态

3

功能状态(激活或禁用)

2

配置的功能 (INV = 功能已颠倒)LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 CU1000（可选） | 11

• I/O module (3)：数字输出端的可视化信息12
3

插图 22: 数字输出端的可视化信息

1

配置的功能 (INV = 功能已颠倒)

3

功能状态(激活或禁用)2

输出端信号的状态• Bus module (1)：总线模块信息• Bus module (2)：总线模块信息，延续

11.3.6 显示另一种气体的等效漏率范围等效率规格仅针对吸枪运行。
使用氦气或氢气示踪气体进行测量时，如果希望显示另一种气体的漏率，则请使用所用
示踪气体的校正系数。

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11 | 运行 CU1000（可选）INFICON12
插图 23: 测量界面上显示等效漏率并设有收藏夹键

1 显示气体名称和等效系数2 收藏夹键，用于根据设备快速设置“气体等效选择”，参见“触摸屏设置[} 128]”，“分配收藏夹按钮”。

有两种操作方式可供选择：• 如需便捷设置修正系数，请使用“气体当量选择 [} 138]”。在那里可以从自定义的
列表中选择修正系数，参见“设置气体列表 [} 139]”，或者再次切换至示踪气体。
• 或者可以计算和设置修正系数。关于计算请参见“计算等效系数 [} 140]”。关于在
设备上进行设置请参见“调整等效系数和摩尔质量 [} 140]”。

11.3.6.1 气体当量选择1

控制单元：设置 > 调整 > 运行模式 > 当量泄漏率 > 气体当量”。

2

您可以在窗口“气体当量选择”中对不同情况作出反应：ð 如果已经存储了所需的气体当量 (编号1至4)，请选择所需的气体当量编号，然后按压“OK”确认。然后该气体当量的气体名称和等效系数将显示在测量窗口
的左上角。您可以进行测量。
ð 如果未存储所需的气体当量，必须对其进行调整，参见“设置气体列表[} 139]”。

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INFICON运行 CU1000（可选） | 11

ð 如果您在4个气体当量中未找到合适的条目，也不想更改这些气体当量，您可以选择计算修正系数。在窗口“气体当量选择”中选择条目“自定义”，然后
设置修正系数，参见“调整等效系数和摩尔质量 [} 140]”。
ð 如果您希望将测量窗口中的气体当量显示重新切换至测量气体的测量值，请选择“关闭”，然后按压“OK”确认。

选项“关闭”和“气体当量编号1至4”会覆盖参数，参见“调整等效系数和摩尔质量[} 140]”。
选择选项“自定义”时必须设置参数，参见“调整等效系数和摩尔质量 [} 140]”。

11.3.6.2 设置气体列表您可以预定义最多4个等效气体并为其命名。接着可以在气体等效选择中选择等效气体，参见“气体当量选择 [} 138]”。

1

控制单元：设置 > 调整 > 运行模式 > 等效泄漏率 > 设置气体列表2

请从编号1至4中选择一个编号。
ð 针对每个已存储的气体会显示参数集。针对空条目会显示“无输入”。

3请点击按钮“编辑”。
ð 如果您希望从已存储的气体库中检测其中一种气体，请点击所需的条目。另见
“气体库 [} 142]”。
ð 如果未存储所需的气体，请滚动至气体库底部并选择“自定义气体”。然后在窗口“等价气体名称”中输入所选的名称，然后确认您的选择。接着输入等效气体的摩尔质量和粘滞系数。对于气体库中没有的任何气体，均可联系
INFICON。

4

在以下窗口中提供可通过助手调出的客户专用信息，首先“等价气体绝对压力”。
ð 相当于测试对象中等效气体的绝对压力 (单位为bar)。

5“测量质量”窗口。
ð 涉及示踪气体的质量 (氦气、质量3或氢气)

6“测量气体含量百分比”窗口。
ð 涉及示踪气体的气体比例 (单位为%)，例如氦氢混合气 (95/5) 占5%。

7

“测量气体绝对压力”窗口。
ð 相当于测试对象中示踪气体的绝对压力 (单位为bar)。

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11 | 运行 CU1000（可选）INFICON

示例现在要检查一个空调系统是否泄漏。为此，首先为系统填充2 bar (绝对压力) 纯氦气，然后检查是否泄漏。稍后为系统填充R134a。工作压力为15 bar (绝对)。
由此得出上述参数的以下数值：等价气体绝对压力= 15.0
测量质量 = 4
测量气体含量百分比 = 100.0测量气体绝对压力 = 2.0

11.3.6.3 计算等效系数等效系数并非通过设备软件计算得出。请根据下列公式计算等效系数：示踪气体的动态粘度 (氦气或氢气)等效气体的动态粘度
测试对象中测试气体的绝对压力，单位为 bar
测试对象中等效气体的绝对压力，单位：bar

示例现在要检查一个空调系统是否泄漏。
为此，首先为系统填充2 bar (绝对) 氦气，然后检查是否泄漏。稍后为系统填充
R134a。工作压力为15 bar (绝对)。
氦气的动态粘度为19.62 µPa*s。
R134a的动态粘度为11.49 µPa*s。
为了在氦气密封性检测过程中显示R134a等效漏率，必须输入以下等效系数：

11.3.6.4 调整等效系数和摩尔质量ü 等效系数已知。另参见“计算等效系数 [} 140]”。
ü 使用的示踪气体已确定 (氢气或氦气，质量2、3或4)。

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INFICON运行 CU1000（可选） | 11

ü 您想要在显示屏上显示的等效气体的摩尔质量已知。

1

控制单元：设置 > 设定 > 运行方式 > 等效率

2“气体系数”按钮ð (LD协议：指令469)3根据您的示踪气体选择“质量2”、“质量3”或“质量4”。
ð 当示踪气体是氦气时，“氦气等效气体系数”窗口自动打开。

4请调整等效气体系数。针对127的示例 (参见“计算等效系数 [} 140]”)：5

控制单元：设置 > 设定 > 运行方式 > 等效率

6“摩尔质量”按钮ð (LD协议：指令“470”)7

请像上文一样根据您的示踪气体选择“质量2”、“质量3”或“质量4”。
ð 当示踪气体是氦气时，“氦气等效气体摩尔质量”窗口自动打开。

8ð请设置您的摩尔质量。针对102的示例：

如果等效系数不等于1或摩尔质量并非出厂设置，则等效系数会同时显示在校准结
果和测量屏幕上。

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11 | 运行 CU1000（可选）INFICON插图 24: 左上侧：摩尔质量 (102) 和等效系数 (127) 显示

11.3.7 气体库该设备的操作软件包含大约100种可能与制冷行业相关的气体列表。
该列表永久性地存储在操作单元的闪存中，可以对其进行更新。用户可以在预定义等效气体时访问该列表，参见“设置气体列表 [} 139]”。然后用户可以从预定义的气体中
选择气体等效，参见“气体当量选择 [} 138]”。
设备库含有以下出厂时已定义的内容：气体名称 (最多8位字 其他名称

分子质量 (amu)氦气粘滞系数符)氢气或质量3粘滞系
数

R11

CFCl3

137.4

0.515

1.15

R12

CF2Cl2

120.9

0.591

1.319

R12B1

CF2ClBr

165.4

0.523

1.167

卤化烃1211
R13

CF3Cl

104.5

0.857

1.913

R13B1

CF3Br

149

0.852

1.902

80

0.857

1.913

卤化烃1301R14

142 / 174

CF4

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INFICON运行 CU1000（可选） | 11

气体名称 (最多8位字 其他名称

分子质量 (amu)氦气粘滞系数符)氢气或质量3粘滞系
数

R21

CHFCl2

102.9

0.535

1.194

R22

CHF2Cl

86.5

0.632

1.411

R23

CHF3

70

0.704

1.571

R32

CH2F2

52

0.632

1.411

R41

CH3F

34

0.551

1.23

R50

CH4

16

0.556

1.241

甲烷
R113

C2F3Cl3

187.4

0.484

1.08

R114

C2F4Cl2

170.9

0.545

1.217

R115

C2F5Cl

154.5

0.627

1.4

R116

C2F6

138

0.709

1.583

R123

C2HF3Cl2

152.9

0.54

1.205

R124

C2HF4Cl

136.5

0.581

1.297

R125

C2HF5

120

0.653

1.458

R134a

C2H2F4

102

0.591

1.319

R141b

C2H3FCl2

117

0.464

1.036

R142b

C2H3F2Cl

100.5

0.494

1.103

R143a

C2H3F3

84

0.561

1.252

R152a

C2H4F2

66.1

0.515

1.15

R170

C2H6

30.1

0.479

1.069

乙烷
R218

C3F8

188

0.627

1.4

R227ea

C3HF7

170

0.627

1.4

R236faC3H2F6

152

0.55

1.228

R245faC3H3F5

134

0.52

1.161

R290

C3H8

44.1

0.433

0.967

166.1

0.561

1.252

丙烷
R356

C4H5F5

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

143 / 174

11 | 运行 CU1000（可选）气体名称 (最多8位字 其他名称

INFICON

分子质量 (amu)氦气粘滞系数符)R400氢气或质量3粘滞系
数

50% R12

141.6

0.571

1.275

94.4

0.607

1.355

92.8

0.612

1.366

101

0.602

1.344

101.6

0.647

1.444

94.7

0.642

1.433

92

0.642

1.433

103.3

0.647

1.444

97.6

0.607

1.355

50% R114的混合气
体
R401A

53% R22
13% R152a
34% R124的混合气
体

R401B

61% R22
11% R152a
28% R124的混合气
体

R401C

33% R22
15% R152a
52% R124的混合气
体

R402A

38% R22
60% R125
2% R290的混合气体

R402B

60% R22
38% R125
2% R290的混合气体

R403A

75% R22
20% R218
5% R290的混合气体

R403B

56% R22
39% R218
5% R290的混合气体

R404A

44% R125
52% R143a
4% R134a的混合气
体

144 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 CU1000（可选） | 11

气体名称 (最多8位字 其他名称

分子质量 (amu)氦气粘滞系数符)
R405A

氢气或质量3粘滞系
数

45% R22

111.9

0.622

1.388

89.9

0.566

1.263

90.1

0.637

1.422

102.9

0.647

1.444

86.2

0.627

1.4

91

0.612

1.366

83.8

0.622

1.388

82.1

0.67

1.496

7% R152a
5.5% 142b
42.5% RC318的混合
气体
R406A

55% R22
4% R600a
41% R142b的混合气
体

R407A

20% R32
40% R125
40% R134a的混合气
体

R407B

10% R32
70% R125
20% R134a的混合气
体

R407C

10% R32
70% R125
20% R134a的混合气
体

R407D

23% R32
25% R125
52% R134a的混合气
体

R407E

25% R32
15% R125
60% R134a的混合气
体

R407F

40% R134a
30% R125
30% R32的混合气体

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

145 / 174

11 | 运行 CU1000（可选）气体名称 (最多8位字 其他名称

INFICON

分子质量 (amu)氦气粘滞系数符)
R408A

氢气或质量3粘滞系
数

7% R125

87

0.602

1.344

97.4

0.607

1.355

96.7

0.612

1.366

72.6

0.673

1.502

75.6

0.673

1.502

82.4

0.617

1.377

83.1

0.62

1.388

83.4

0.627

1.4

46% R143a
47% R22的混合气体
R409A

60% R22
25% R124
15% R142b的混合气
体

R409B

65% R22
25% R124
10% R142b的混合气
体

R410A

50% R32
50% R125的混合气
体

R410B

45% R32
55% R125的混合气
体

R411A

1.5% R1270
87.5% R22
11% R152a的混合气
体

R411B

3% R1270
94% R22
3% R152a的混合气
体

R411C

3% R1270
95.5% R22
1.5% R152a的混合气体146 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 CU1000（可选） | 11

气体名称 (最多8位字 其他名称

分子质量 (amu)氦气粘滞系数符)
R412A

氢气或质量3粘滞系
数

70% R22

92.2

0.602

1.344

104

0.581

1.297

96.9

0.586

1.308

81.7

0.622

1.388

111.9

0.576

1.286

106.7

0.61

1.362

112.2

0.622

1.388

5% R218
25% R142b的混合气
体
R413A

9% R218
88% R134a
3% R600的混合气体

R414A

51% R22
28.5% R124
4% R600a
16.5% R142的混合
气体

R415A

82% R22
18% R152a的混合气
体

R416A

59% R134a
39.5% R124
1.5% R600的混合气
体

R417A

50% R134a
46% R125
4% R600a的混合气
体

R422D

65.1% R125
31.5% R134a
3.4% R600a的混合气体

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

147 / 174

11 | 运行 CU1000（可选）气体名称 (最多8位字 其他名称

INFICON

分子质量 (amu)氦气粘滞系数符)
R438A

氢气或质量3粘滞系
数

45% R125

104.9

0.617

1.377

49.6

0.398

0.888

81.8

0.629

1.404

99.3

0.625

1.395

87.2

0.622

1.388

109

0.592

1.321

44.2% R134a
8.5% R32
1.7% R600
0.6% R601a的混合
气体
R441A

54.8% R290
36.1% R600
6% R600a
3.1% R170的混合气
体

R442A

31% R32
31% R125
30% R134a
5% R227ea
3% R152a的混合气
体

R448A

26% R32
26% R125
21% R134a
20% R1234yf
7% R1234ze的混合
气体

R449A

25.7% R134
25.3% R1234yf
24.7% R125
24.3% R32的混合气
体

R450A

58% R1234ze
42% R134a的混合气
体

148 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 CU1000（可选） | 11

气体名称 (最多8位字 其他名称

分子质量 (amu)氦气粘滞系数符)
R452A

氢气或质量3粘滞系
数

59% R125

103.5

0.612

1.366

72.9

0.639

1.426

90.8

0.62

1.384

99.3

0.581

1.297

93.1

0.627

1.4

111.6

0.647

1.444

87.3

0.709

1.583

79.3

0.678

1.513

103.5

0.612

1.366

93.7

0.561

1.252

98.9

0.612

1.366

30% R1234yf
11% R32的混合气体
R452B

67% R32
26% R1234yf
7% R125的混合气体

R454C

22% R32
78% R1234yf的混合
气体

R500

74% R12
26% R152a的混合气体

R501

75% R22
25% R12的混合气体

R502

49% R22
51% R115的混合气
体R503

40% R23
60% R13的混合气体

R504

48% R32
52% R115的混合气体R505

78% R12
22% R31的混合气体

R506

55% R31
45% R114的混合气
体R507

50% R125
50% R143a的混合气
体

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

149 / 174

11 | 运行 CU1000（可选）气体名称 (最多8位字 其他名称

INFICON

分子质量 (amu)氦气粘滞系数符)
R508A

氢气或质量3粘滞系
数

39% R23

100.1

0.729

1.627

95.4

0.729

1.627

108.7

0.582

1.299

58.1

0.377

0.842

58.1

0.377

0.842

72.2

0.341

0.761

72.2

0.336

0.75

72.2

0.337

0.752

70.1

0.337

0.752

61% R116的混合气
体
R508B

46% R23
54% R116的混合气
体

R513A

44% R134a
56% R1234yf的混合
气体

R600

C4H10
丁烷

R600a

C4H10
异丁烷

R601

C5H12
戊烷

R601a

C5H12
异戊烷

R601b

C5H12
新戊烷

R601c

C5H12
环戊烷

R1233zd

C3H2ClF3

130.5

0.558

1.246

R1234yf

C3H2F4

114

0.624

1.393

R1234ze

C3H2F4

114

0.619

1.382

R1243zf

C3H3F3

96

0.6

1.339

Ar

氩气

40

1.127

2.516

CO2

R744

44

0.744

1.661

H2

氢气

2

0.448

1

H2O

R718

18

0.459

1.025

He

氦气

4

1

2.232

150 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 CU1000（可选） | 11

气体名称 (最多8位字 其他名称

分子质量 (amu)氦气粘滞系数符)氢气或质量3粘滞系
数HT135

Galden HT135

610

1

2.232

Kr

氪

84

1.275

2.846

N2

氮气

28

0.892

1.991

Ne

氖

20.2

1.586

3.54

NH3

R717

17

0.505

1.127

O2

氧气

32

1.03

2.299

146.1

0.765

1.708

SF6
Xe

氙

131.3

1.153

2.574

ZT130

Galden ZT130

497

1

2.232

表格 1: 气体库V3.24

11.3.8 更新软件借助 U 盘复制 INFICON 所提供的软件更新。仪器的更新功能可在“功能 > 数据 > 更新”下找到。
在满足以下条件的情况下，可进行更新，• 如果 U 盘上具有一个或者多个更新，但需要参照设备型号的最高更新版本（操作单元、MSB-Box、输入/输出模块），• 如果由此可进行无故障连接，并拥有更新功能。
更新菜单中相应的按键，如“操作单元”、“MSB-Box”和“输入/输出模块”处于激
活状态，并可单独对其进行操作。

提示连接中断
由于连接中断所导致的数据丢失► 在软件更新期间，不得关闭仪器，也不得拔下 U 盘。
►

在完成软件更新之后，关闭仪器并重新启动。

11.3.8.1 更新操作单元的软件该软件包含在两个文件名相同但文件扩展名不同的文件中 (“.exe”和“.key”)。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

151 / 174

11 | 运行 CU1000（可选）INFICON1

将文件复制到一个U盘的主目录中。

2

请将该U盘与仪器的USB接口进行连接。

3

请选择：“功能 > 数据 > 更新 > 操作单元”。
ð 在软件更新期间，不得关闭仪器，也不得拔下U盘。

4检查版本信息。

5请选择“启动”(Start) 按键，开始进行更新。在软件更新期间，不得关闭仪器，也不得拔下U盘。

6按照触摸屏上的提示进行操作，并等待更新结束。

11.3.8.2 检查和更新 MSB-Box 的软件版本
最新软件可从 Inficon 支持部门获取。
自2.11版起，系统软件中已考虑了XL Sniffer Adapter Set 功能。

1

将文件扩展名为“.bin”的文件复制到一个U盘的主目录中。

2

请将该U盘与仪器的USB接口进行连接。

3

请选择：“功能 > 数据 > 更新 > MSB”。
ð 会显示关于当前软件版本、新软件和 Bootloader 的信息。

4检查版本信息。
ð 请选择“启动”(Start) 按键，开始进行更新。
ð 在软件更新期间，不得关闭设备，也不得拔下U盘！在软件更新期间，不得关闭仪器，也不得拔下U盘。

5按照触摸屏上的提示进行操作，并等待更新结束。

6如果系统出现了 104 或者 106 警告，请通过“C”进行确认。

11.3.8.3 更新输入/输出模块的软件如果质谱仪模块的软件版本为“MS-Modul 1.02”及以上，I/O模块的软件可由操作单
元开始更新。

1

将文件扩展名为“.bin”的文件复制到U盘的主目录中。

2

请将该U盘与设备的USB接口进行连接。

3

请选择：“功能 > 数据 > 更新 > I/O模块”
ð 会显示新软件的版本、当前软件和当前Bootloader的信息。

152 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON运行 CU1000（可选） | 114

检查版本信息。

5请选择“启动”(Start) 按键，开始进行更新。
ð 在软件更新期间，不得关闭设备，也不得拔下U盘。

6按照触摸屏上的提示进行操作，并等待更新结束。
ð 在触摸屏上选择了“启动”(Start) 按键之后，会显示以下提示：• 连接并启动IO1000。
• 激活引导模式 (启动并关闭DIP S2.3各一次)。
• 如果状态LED闪烁绿光，则按下“OK”。

插图 25: I/O模块上的DIP开关LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

153 / 174

12 | 维护INFICON12 维护质谱仪模块是用于工业领域的一种密封性测试仪。所用的部件和组件很大程度上只需要
极少的保养。
质谱仪模块的保养局限在更换涡轮分子泵的油池盒以及检查涡轮分子泵的风扇。
我们建议与INFICON或INFICON的授权服务伙伴签订保养合同。

12.1 寄送设备进行保养、维修或废弃处理警告
危害健康被污染的设备可能危害INFICON员工的健康。
► 完整填写污染声明。
► 将污染声明固定在包装外侧。
►

寄回前请与制造商联系，并请邮寄一份填写完毕的污染声明。
ð 您随后会收到寄回编号和寄回地址。

污染声明是法律规定，有利于保护我们的员工。如寄送设备时不含填写好的污染声明，
INFICON将把设备寄回发货人。参见“污染声明 [} 170]”。

12.2 一般保养须知质谱仪模块的保养工作分为三个服务等级：• 服务等级I：未接受过技术培训的客户• 服务等级II：接受过技术培训和INFICON训练的客户• 服务等级III：INFICON服务人员危险电击造成生命危险
设备内部具有高电压。接触带电的零件时存在生命危险。
► 进行所有保养工作前，将设备从电源断开。

154 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON维护 | 12提示
污染造成财产损失
质谱仪模块是一种精密测量仪。较少的污染即可能损坏设备。
► 进行所有保养工作时，注意清洁的环境，使用清洁的工具。

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

155 / 174

12 | 维护INFICON12.3 更换涡轮分子泵的油池盒
12.3.1 引言
油池盒备件套装，供货范围：配有小型O形圈的油池盒 (1P/N：200003801

个)、
Porex棒 (8个)、用于A型*)密封盖的O形圈 (1个)、
用于B型*)密封盖的O形圈 (1个)用于A*)型的正孔扳手

P/N：551-200

3 mm内六角扳手，可作为3 Nm扭矩扳手用于安装，用于
B型*)
M5螺纹螺钉，可作为辅助工具用于B型*)*) 关于A型和B型的区别请见以下插图“向涡轮分子泵中灌氮 [} 156]”。

涡轮分子泵充满了润滑滚珠轴承的资源。最迟必须每4年更换一次油池盒。泵处于极端负荷，或工序不清洁时，必须以更短的时间间隔更换油池盒。
只有在涡轮分子泵已注满时，才能拧松油池盒的密封盖。
►

请按照下一章节中的顺序执行工作步骤。

12.3.2 向涡轮分子泵中灌氮
1停止运行质谱仪模块，参见“停用 [} 167]”。

2

等待涡轮分子泵停止 (至少1分钟)。

3

断开MSB-Box的24V电源。

4如有可能，使涡轮分子泵冷却。

5拆卸涡轮分子泵。

6

慢慢打开通风螺钉。
ð 涡轮分子泵在大气压下被注满。

156 / 174

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

INFICON维护 | 121
2

插图 26: 配有不同盖子的SplitFlow 80涡轮分子泵

1 针对A型的通风螺钉2

针对B型的通风螺钉12.3.3 取出旧的油池盒
警告有毒物质造成中毒危险
油池盒和涡轮分子泵的零件可能被抽吸的介质中的有毒物质污染。
► 采取适当的安全预防措施。
► 执行保养工作前，清除污染零件上的污垢。
► 按照现行规定处理旧油池盒。

提示
通过松开螺钉损坏涡轮分子泵
要取下油池盒，只需拧下盖子即可。不要松开盖子下面的螺丝！否则，泵将受到无法修
复的损坏。

A型
ü 用于A型的密封盖，见“向涡轮分子泵中灌氮 [} 156]”中的SplitFlow 80涡轮分子泵插图。
ü 正孔扳手，P/N：551-200ü 两个螺丝刀

LDS3000(AQ)-MSM-操作说明书-jiqa54zh1-14-(2403)

157 / 174

12 | 维护INFICONü 质谱仪和涡轮分子泵已注满。

1

用正孔扳手拧下盖子 (1)。

2

用两个螺丝刀取出油池盒 (2)。不要拧松螺丝！

1
2

1 密封盖

2 油池盒

B型
ü 用于B型的密封盖，见“向涡轮分子泵中灌氮 [} 156]”中的SplitFlow 80涡轮分子泵插图。
ü 3 mm内六角扳手ü 两个螺丝刀ü 质谱仪和涡轮分子泵已注满。

158 / 1741

撕下贴好的保修封条。

2

用内六角扳手拧下密封盖的3个螺钉 (M4)。

3将螺纹螺钉 (M5) 旋转几圈后拧入中间空出的铝盖螺纹孔中。

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INFICON维护 | 124

使用螺钉抬起密封盖。

5借助两个螺丝刀将O形圈和油池盒取出。
ð 不要刮伤密封面！
ð 为了不损坏涡轮分子泵，不允许松开油池盒周围的其他螺钉。

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159 / 174

12 | 维护INFICON

12.3.4 交换porex棒提示
清洁液造成财产损失清洁液可能损坏设备。
► 不要使用清洁液。
► 使用干净无毛的抹布。
ü 镊子
ü Porex棒

1

用镊子拔出旧的8件Porex棒 (1)。

2

用清洁无毛的抹布去除涡轮分子泵和密封盖上的污物。

3

用镊子插入新的8个Porex棒 (1)。

1插图 27: 图示为A型，B型与之类似

1 Porex棒

160 / 174

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INFICON维护 | 1212.3.5 嵌入新的油池盒
提示错误装配O型密封圈造成财产损失错误装配的O型密封圈可能造成不密封。设备将出现功能故障和损坏。
► 小心地插入盖子的O形圈。

1

2

3

4

插图 28: 图示为A型

1 密封盖

2 带O形圈的油池盒

3 盖子的O形圈

4 通风螺钉

A型
ü 正孔扳手ü 新的O形圈用于盖帽ü 新油池盒
ü 用足够的工作材料将新的油池盒注满。不要注入额外的工作材料。

1

检查新油池盒 (2) 的失效日期。

2

不要将新油池盒 (2) 推到全高，而只是将其推入泵中直至油池盒O形圈。

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12 | 维护INFICONð 通过拧入密封盖 (1) 正确定位新的油池盒。

3从盖子上取下旧的O形圈 (3)。

4为盖子插入新的O形圈 (3)。

5

用正孔扳手拧紧封盖 (1)，不费吹灰之力。
ð 为防止螺纹倾斜，戴上盖子 (1) 并逆时针慢慢转动，直到盖子的螺纹端和泵相
互配合为止。一旦达到这个目的，盖子会稍微向后退入泵中。该位置允许更好地啮合螺纹。

6

以13 Nm +/-10%的扭矩拧紧密封盖。

7

用手拧紧通风螺钉 (4)。

8

安装涡轮分子泵。

9

开始运行质谱仪模块。

B型
ü 3 mm内六角扳手，可作为3 Nm扭矩扳手用于安装ü 新的O形圈用于盖帽ü 新油池盒
ü 用足够的工作材料将新的油池盒注满。不要注入额外的工作材料。

1

检查新的油池盒的使用期限。

2

不要将新油池盒推到全高，而只是将其推入泵中直至油池盒O形圈。
ð 通过拧入密封盖正确定位新的油池盒。

162 / 1743

嵌入密封盖的新O形密封圈。

4

借助螺纹螺钉 (M5) 再次装上密封盖。

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INFICON维护 | 125用内六角扳手以3 Nm的扭矩拧入密封盖的3个螺钉 (M4)。

6

用力拧紧通风螺钉。

7

安装涡轮分子泵。

8

开始运行质谱仪模块。

12.3.6 确认保养工作ü 操作单元已安装ü 权限 = Integrator►

确认操作单元中的保养工作：“权限 > Integrator > 保养 > 保养工作”

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12 | 维护INFICON12.4 LDS3000 AQ – 保养相关的部件
1
6
2
7
3
4
8
5

插图 29: AQ节流阀

名称

数量

订货号

1

211-0591

211-090

3 节流插件LDS AQ (备件)1

200009029

4 节流法兰LDS AQ (完整)1200009030

5 过滤单元0.45 µm Pall。

4200009847

1200008464

7 阀门LDS AQ的备用过滤器 (图中位置编号6)

10200009701

8 GROSS节流法兰 - 1.02毫米。

1

200008532

1 不带过滤器的ISO-KF定心环。
仅在根据类型2 (带过滤单元0.45 µm Pall，图中
位置编号5) 进行连接时使用。参见“类型2[} 41]”。
2 带过滤器的ISO-KF定心环。
仅在根据类型1 (不安装过滤单元0.45 µm Pall，图中位置编号5) 进行连接时使用。参见“类型1[} 38]”。

仅在根据类型2进行连接时使用。参见“类型2[} 41]”。
6 阀门LDS AQ。
仅在连接第二个腔室时用于切换。

可用于两个类型。参见“类型1 [} 38]”和“类型
2 [} 41]”。

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INFICON维护 | 1212.5 维护计划如未执行保养计划中的保养工作，质谱仪模块的保修将失效。
保养计划的图例：• I客户或更高等级• II接受指导的客户或更高等级• III INFICON维修技师• X保养作业根据运行小时或时长• X1保养根据运行小时，而非时长• X2保养根据时长，而非运行小时• X3取决于环境影响、使用条件、脏污情况和应用过程
保养工作

运行小时

24

持续时间
涡轮分子泵

4000

8000

16000

24000

36000

1/2 年

1年

2年

3年

4年

更换工作液储液罐（备件号

X3

服务水平

I和II

200003801）
修订：更换轴承并更换工作

X2

III

液储罐（备件号 200003800
或 200003800R）

配件

清洁风扇，检查功能

X3

I和II

清洁嗅探阀

X

III

校准内部测试漏孔

X2

III

内部校准

执行内部校准

X1

I

外部校准

执行外部校准X1

I质谱仪模块查漏

在MS模块上执行氦气查漏XAQ过滤器*) 阀门/ 检查状态。必要时进行更换

X3

节流阀

X3

预防性更换

III
I

X

I

- 阀门过滤器
- ISO KF过滤环- 0.45 µm Pall

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12 | 维护INFICON*) 仅适用于LDS3000 AQ：环境影响或运行条件以及脏污情况和应用过程类型不适当，可能将所使用的AQ过滤器
的建议保养周期降低至少于8000小时或1年。根据结构类型使用不同的AQ过滤器，参见“LDS3000 AQ – 保养相关的部件 [} 164]”。
因过滤器堵塞造成的流量/压力降低可能导致警告或故障信息。在这种情况下需要提前
更换过滤器。

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INFICON

停用 | 1313 停用
13.1 使检漏仪停止运转
1

切断检漏仪的电源。

2等待至涡轮分子泵不再运行。

13.2 处理质谱仪模块
可由运营商对设备进行废弃处理，或将其寄至 INFICON。
该设备由可重复使用的材料制成。为了避免产生废物并保护环境，应利用这种方法。
►

处理时遵守各国的环保和安全法规。

13.3 将质谱仪模块送去保养、维修或废弃处理警告
有害健康的物质可造成危险被污染的设备会损害健康。污染声明用于保护所有接触此设备的人员。
► 请完整填写污染声明。

1

寄回前请与制造商联系，并请邮寄一份填写完毕的污染声明。
ð 您随后会收到寄回编号和寄回地址。

2

寄回时请使用原包装。

3在邮寄设备前，请附上一个填好的污染声明的样本。参见污染声明 [} 170]。

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14 | 附录INFICON14 附录
14.1 CE声明

168 / 174

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INFICON

附录 | 1414.2 安装声明

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14 | 附录INFICON14.3 污染声明

170 / 174

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INFICON

附录 | 1414.4 中国 RoHS

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171 / 174关键词目录

INFICON

关键词目录
符号

Z

等效漏率

75, 137

等效系数

75, 137

基底信号

11

基底抑制

11

技术参数

25

寄送

167

术语定义

10

污染声明

167

作为故障的警告123

ZERO功能64

A
AQ
AQ安装 - 类型1

38

AQ安装 - 类型241

CU1000启动/停止按钮

93, 130测量时长以及兼容模式

84

建议结构的图片

19

进行测量，单个步骤

93

累积定义

10

累积目标设定16

启动/停止选项91

设置AQ模式180

设置AQ模式280

通过辅助系统进行基本设置

83推荐累积结构

38, 41

校准88

执行 ZERO

91

AQ兼容模式81, 84, 95

E
EcoBoost

172 / 174

66, 113

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