UL3000 Fab (ULTRA)이동식 헬륨 누설 탐지기ULTRATEST® 센서 기술발전과 경험의 만남항상 한 걸음 앞서가는 진보성 –차세대 누설 탐지기오랜 역사를 가진 INFICON누설 탐지기는 성능 및 취급의주요 장점용이성이라는 측면에서 I·CAL 소프트웨어 알고리즘을 빠른 배기 및 신속한 반응시간통해 10-9 ~ 10-12 mbar l/s범위 내에서 신속한 측정이가능하므로 시간을 절약덕분에 누설 검사의 수고를최소화시장 표준을 수립해 왔습니다.
UL3000 Fab 제품은 오늘날누설 테스트에 있어 최고 수준의속도 및 최적화된 사용자 친화성을제공합니다. UL3000 Fab 제품은반도체 제조 공정의 특화된 요구에맞게 특수 개발된 것으로반도체 및 디스플레이 도구는물론 하위 구성품까지를 포괄하는누설 탐지 기능을 수행합니다.

 향상된 지능형 기능을 탑재한

I·ZERO 2.0을 사용함으로써신속한 백그라운드 억제가가능함과 동시에 높은 측정감도를 유지함으로써 누설 검사의효율성 극대화 진공 및 스니퍼 누설 탐지에적용 가능 슬림한 디자인으로 다루기가용이해짐으로써 시간이 절약됨 견고한 이온 소스(3년 보증) 및역류 진공 시스템 덕분에 총소유
비용(TCO) 절감 사용하기 쉽고, 고해상도의 완전컬러 회전식 디스플레이가 적용된사용자 보조식 HMI 제공

UL3000 FAB ULTRA에 대한 부가적인 장점 HYDRO·S 소프트웨어가 수증기백그라운드를 제거하면서 민감한측정 영역에 빠르게 도달되기때문에 누설 검사가 더 빨리시작됨 공기 펌핑 속도가 빠르므로펌프 배기 시간도 빨라짐 유지보수가 불필요한 루트 러핑펌프 덕분에 TCO 절감손쉬운 작동, 측정 결과의 분석 및 저장 터치 디스플레이를 통해 직관적인 사용 안내 제공 최신형 메뉴 구조 회전식 고해상도 완전 컬러 디스플레이
 Wi-Fi 기반의 모바일 장치를 통한 리모컨 조작 데이터 저장 용량 USB 스틱을 통한 데이터 내보내기(접속 제어)사용 비용 및 유지보수 비용이 저렴다음과 같은 특성 덕분에 긴 사용 수명에 비해 유지보수가거의 필요하지 않음: 견고한 진공 시스템 견고한 이온 소스, 3년 보증 적용어떠한 사용 장소에도 손쉬운 접근이 가능 견고하게 집약된 디자인 덕분에 안정성과 이동성이 뛰어남 무게 중심이 낮게 되어 있어서 취급이 용이함 바퀴가 크므로 장애물도 쉽게 극복

ULTRATEST 센서 기술 180° 질량 분석기 모든 구성품이 스테인리스 스틸로 제작됨 3년 보증의 견고한 이온 소스 업계 최고 감도의 프리앰프일반적 적용 분야

 INFICON 누설 탐지기는 주요한 모든 반도체제조시설에서 일상적으로 사용됩니다.
 다양한 공정 도구:에치(Etch), CVD, PVD, 퍼니스, 임플란트,MOCVD, 솔라, FPD 등 도구의 무결성을 신속하게 확인 및 도구 유지보수이후 교정해야 할 누설을 정확히 진단 서브 팹에서 진공 라인 및 펌프 가스 캐비닛 및 복합 가스 공급 라인 팹 설비 및 가스 저감 설비장비에 액세서리를 바로 장착 가능 누설 탐지기에 헬륨 보틀 홀더 사용 가능 장비에 진공 호스 홀더 사용 가능 잠금식 칸에 액세서리 사용 가능대형 누설도 손쉽게 검출더 이상 시스템이 배기될 때까지 기다리지 않아도되기 때문에 큰 누설도 훨씬 빠르게 탐지될 수있습니다. 적용 기능: MASSIVE 누설 탐지 모드(특수 펌핑/밸브 블록기능)누설 탐지 전문 솔루션
INFICON은 세계적 수준의 측정 및 센서 기술을 제공하며 고도로 전문화된 산업의 어려운 진공공정을 위한 프로세스 관리 역량을 제공합니다. 가스 누설 탐지용 INFICON 제품은 특히냉각 및 공조 기술, 반도체 제조, 자동차 생산에 사용됩니다.
INFICON은 귀사가 종사하는 산업의 과제를 이해하는 전문가로서 귀사와 함께 귀사의 니즈에맞는 솔루션을 찾아드립니다. INFICON은 전 세계 여러 지사에서 근무하는 전문가를 통해최고의 서비스와 최대의 지원을 보장합니다. 미국과 유럽에 우수한 제조 설비가 있으며중국, 덴마크, 프랑스, 독일, 일본, 한국, 리히텐슈타인, 싱가포르, 스위스, 대만, 영국, 미국에서지사를 운영하고 있습니다.

UL3000 FAB (ULTRA) 이동식 헬륨 누설 탐지기사양헬륨에 대한 최소 탐지 누설률(진공 방식)헬륨에 대한 최소 탐지 누설률(스니퍼 모드)최대 입구 입력(MASSIVE 모드)배기 중 펌핑 속도헬륨 펌핑 속도(고감도 모드 ULTRA)반응 시간작동 준비 시간검출 가능 질량(ULTRATEST 센서 기술)이온 소스테스트 포트조절식 트리거인터페이스
공급 전압
소비 전력
치수(L x W x H)중량허용 가능한 주변 온도의 범위(작동되는 동안)추가적인 특성

UL3000 FabUL3000 Fab ULTRA<5 x 10-12 mbar l/s<5 x 10-8 mbar l/s
1000 mbar>32 m³/h>36 m³/h
4 l/s<1 s<3 min2, 3, 4(H2, 3He, He)이리듐/산화이트륨 코팅 필라멘트 2개
DN 25 KF
4
2 x USB, 이더넷/LAN
100 ~ 240 V 50/60 Hz (AC)일반 700 VA, 최대 1500 VA
1050 x 472 x 987 mm(42 x 21 x 34인치)118 kg132 kg10 ~ 40°C
HYDRO S, 별도의–스니퍼 라인 SL3000 포트주문 정보제품UL3000 Fab 100 ~ 230 V 50/60 Hz
UL3000 Fab ULTRA 100 ~ 230 V 50/60 Hz(HYDRO·S, 별도의 스니퍼 라인 SL3000 포트)액세서리RC1000 리모컨, 유선, 4 m 코일 케이블 포함
RC1000WL 리모컨, 무선, 무선 송신기 포함스니퍼 라인 SL200, 전기 연장 케이블 포함, 4 m 길이스니퍼 라인 SL3000, 이는 UL3000 Fab ULTRA 전용임, 내장형 디스플레이 있음
3 m 길이
5 m 길이
10 m 길이SL3000용 브래킷
I/O1000 모듈(입력/출력 모듈)
BM1000 Profibus 모듈BM1000 PROFINET I/O 모듈
BM1000 Device Net 모듈BM1000 Ethernet/IP데이터 케이블(I/O1000/BM1000 ~ UL3000 Fab ULTRA)
0.5 m
2m
5m
10 m
테스트 챔버 TC1000헬륨 보틀 홀더진공 호스 홀더카테고리 번호
550-200
550-260

551-010551-015551-210525-001525-002525-003551-203560-310560-315560-316560-317560-318560-334560-332560-335
560-340551-005551-201551-202cTÜVus 인증됨,미국 및 캐나다 국가 표준에부합됨을 보장w ww. i nfi c on. c om

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