C p 2M g を は じ め と す る あ ら ゆ る 前 駆 体 ガ ス を 高 感 度 で 測 定

Composer Elite™
2種混合ガス濃度モニター

プロセスにとって2種混合ガスの組成が重要な場合
Composer Elite 2 種 混 合ガス 濃 度モニターは、窒 素中のCp2Mg や、その 他の 低 蒸 気 圧物質を含む 2 種 混合ガスの成分を測定するための、シンプルで信頼性の高い手段です。
Composer Elite は前駆体ガスとキャリアガスとの濃度比を正確に測定することにより、プロセスの変動を効果的に抑制し、前駆体ガスを効率的に使用できます。半導体および、関連産業用の先進測定装置へ経験豊富な INFICON が開発した
Composer Elite は、さまざまな 2 種混合ガスの濃度比を測定します。動作圧力範囲が広く (200 ～ 1000 Torr)、高感度のこの装置は、MOCVD（有機金属気相成長法）をはじめとする半導体分野の研究開発や生産環境のみならず、他の多くの産業プロセスにとっても不可欠なツールとなっています。

前例のない感度、信頼性、精度
当社独自の共振周波数測定技術は、H2 中の TMIn（トリメチルインジウム）含 有比 0.00011% に相当する、0.1 Hz 未満の周波数分解能を実現しました。これは、TOF（Time OfFlight）法と比べて約 10 倍の分解能です。共振周波数測定
法は、200 Torr 程度の低い圧力でも動作可能であるため、低圧プロセスにも適しています。
Composer Elite は、精密な測 定によるプロセスの再 現 性が要求される用途でも、工場初期設 定を使 用して動作させWindows® ベースの専用ソフトウェアを使用すれば、Composer Elite のパラメーター設定、測定値のグラフ化、PCへのデータの保存が可能になります。

ドーパント前駆体ガスCp 2 mGを測定
Composer Elite は、LED 製 造プロセスで 使 用されるド ーパ ント 前 駆 体 ガ スの Cp2Mg（ ビ ス［ シ ク ロ ペ ン タジ エ ニル］ マグ ネシ ウム ） の正 確 な モ ニタリング を 可 能しま す。
Composer Elite は、LED や HB-LED の製造で使用される他のすべての前駆体ガスをモニターする機能と組み合わせることにより、精度の向上と、低価格での製品提供を目指す製造業者の大幅なランニングコスト削減を実現します。

ることが できます。最 大 限 の 精 度 が 必 要とされる場 合も、Composer Elite は、トランスデューサーのチャンバーを純粋なキャリアガスでパージしてゼロリファレンスボタンを押すだけで、簡単に校正できます。

混合ガスをモニターして原料物質の使用を効率化
Composer Elite は、2 種混合ガス中の音速を測定することにより、ガスの組成を高い精度でモニターします。バブラー内の前駆体ガスの量が減少すると、キャリアガスに取り込まれる前 駆体ガスが 変 化し、Composer Elite はその 濃 度 変化を測定します。これにより、オペレーター、またはシステ

主な特長■■前駆体ガス／キャリアガスの濃度比を正確に測定要に応じて調節し、濃 度を補正することが可能になります。

膜成長中における前駆体ガスとドーパントの供給の安定性をリアルタイムで確認使用し、コストを抑えながらツールの生産効率を最適化でき■

Cp2Mg や他の低蒸気圧物質に対する高い感度■

原料物質の効率使用■

ムのコンピューターは、バブラーを通過するガスの流量を必

1台のコントロールユニットで最大 5 センサーまでモニターが可能

Composer Elite を使用すれば、高価な原料物質を効率的にます。

コントロールシステムとの統合が容易
Composer Elite は、RS-232 と DeviceNet Client 通信の両方を標準機能として備えているため、デジタル通信を使用して反応装置のコントロールシステムと容易に統合できます。

2

キャリアガスの流れの安定性をモニター

ガスラインが完全にパージされたことを確認

この計測器は、プロセス中、あるいはプロセス間でのキャリComposer Elite は、ガスラインが完全にパージされたことアガスの流量の安定性を確認するために使用できます。トラ
4,163.95

を確認し、プロセス後のガスラインのパージ状態も確認可能。

4,164.00

ンスデューサーは本質的に安定しているため、信頼性が高く、4,163.90高い再現性を期待できます。

高い信頼性

4,163.85

Composer Elite の音響トランスデューサーは非常に信頼性
周波数（Hz）

4,163.80が高く、可動部品を含んでいません。そのため定期メンテナンスが不要です。また、音響セルの両端には独自設計の二重

4,163.75封止部があり、プロセスガスが環境中に漏れ出さないように4,163.70なっています。

4,163.65

4,163.65
020

4080

60

120

100時間（時）ワールドワイドサポート
インフィコンは世界各地に営業所を有しており、お客様は世112時間で±0.05 Hzの安定性
112 時間で ±0.05 Hz。H2 中の TMIn 濃度換算で 1 ppm 未満に相当。

界中どこでも現地での技術サポートやサービスを受けることができます。

Composer Eliteの測定原理
Composer Elite は、音響センサーとセます。計 測器は、動 作 範囲 全 体で付 加クの最 大 振幅と正確な周波 数を容易にンサーコントロールユニットという 2 つされる音響周波数を掃引し、音の伝播時決定できます。の主要コンポーネントから成っています。に最も高い Q（最良共振感度）を持つ共音速はガスの組成によって変化するとい振周波数を追跡することにより、共振周う原理に基づき、音波の速度を測定する波数を決定します。共振周波数が特定さことにより、センサーの音響チャンバーれたら、Composer Elite はあらかじめ内部の 2 種 混合ガスの組 成を測定しま設定された周波数ステップシーケンスをす。音速は、固定配置の音響共振チャン適用し、得られた周波数対振幅のデータバー（特許出願中）内でガスの基本共振を毎秒 1 回モデルのローレンツ型線形の周波数を測定することにより、決定されピークにフィットさせることにより、ピー電源ライン

AC
アダプタ（オプション）

Composer Elite は、2 種混合ガスの共振周波数を純粋なキャリアガスで測定した共振周波数と比較し、濃度を計算します。正しい前駆体ガス濃度は、この測定器独自の共振チャンバーの音響特性により自動的に、かつ正確に導き出されます。

DeviceNet

24V (DC)
RS232

P

キャリアガス

MFC

センサー
コントロールユニット
センサーの接続ケーブル

MFC

バブラー

希釈フロー

音響センサー

背圧
コントローラー

1 台のコントロールユニットで最大 5 センサーをモニター

反応装置

Composer Elite は、1 つのセンサーコン
トロールユニットで最大 5 センサーをモニターできる機能を備えています。そのため、ツールに接続する必要のあるセンサーコン
トロールユニットの数を最小限に抑え、システムを簡素化できます。

トランスデューサーは希釈フローの下流または上流に配置可能

3

仕様
性能
動作圧力範囲：200～1,000 Torr（9.3～133.3 kPa）

オーバーシュート時最大許容圧力：～1,520 Torr（202.7 kPa）

最大トランスデューサー圧力：

6,200 Torr（826.6 kPa）（絶対圧力）。圧力が6,200 Torrを超えるとトランスデューサーのダイアフラムが破損するおそれがあります。

ガス流量範囲：～2,000 sccm

温度範囲：～65°C（音響センサー）。温度制御は加熱のみで、強制冷却なし。

温度制御誤差：設定に対し±0.01°C以下

周波数測定誤差：

最大0.0045%

感度：

H2中のTMIn濃度換算で0.00011%

再現性：

3 x 10-6モル未満のTMInに相当

構造
センサー本体およびパイプ：

316Lステンレス鋼

仕切りのダイアフラム：

Inconel® X-750

継手仕様：

VCR-4フィッティング

リークレート：< 1.013 x 10-8 Pa・m3/s (< 1 x 10-9 std. cc/s He)

測定周期：

1 Hz

セル容量：

8.9 cc

電源：
電力要件：
オプション：

24 V（DC）、240 W
オプションとして、汎用AC入力を備えた24 V（DC）、240 WのAC電源アダプタをインフィコンからお求め頂けます。

ソフトウェア専用ソフトウェア：

グラフ作成、データ保存、およびComposer Eliteの操作のためのWindowsベースのソフトウェア

オプション
ラックマウントキット：

1台のComposer Eliteセンサーコントロールユニットを標準の19インチラックに設置するためのシングルユニットのラック拡張キット
1.69 in.
[43.0 mm]

4.14 in.
[105.2 mm]

10.00 in.
[254.0 mm]

4.88 in.
[123.9 mm]

3.29 in.
[83.6 mm]5.23 in.
[132.8 mm]

6.89 in.
[175.0 mm]

3.06 in.
[77.7 mm]
1.57 in.
[39.8 mm]
8.39 in.
[213.1 mm]

2.90 in.
[73.7 mm]2.71 in.
[68.7 mm]

7.30 in.
[185.4 mm]®

www.inf icon.com

reachus@in f ico n .co m

Composer EliteはINFICON GmbHの商標です。その他の商標はいずれもそれぞれの所有者の所有物です。
インフィコンの継続的製品改善プログラムにより、仕様は通告なしに変更される場合があります。
©2013 INFICON

1.37 in.
[34.7 mm]