Capacitance Diaphragm Gauge
Edge™ CDG025D2

Gebrauchsanleitung
inkl. EU-Konformitätserklärung

tinb28d1-a(2019-03)

1

Produktidentifikation
Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes
erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein.

Gültigkeit
Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihe
Edge™ CDG025D2.
Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte angeführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und unterscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter(z. B. werkseitige Schaltpunkteinstellung).

2

tinb28d1-a(2019-03)

*)**)

tinb28d1-a

ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0
ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0(2019-03)3

Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit
Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF. Sie gelten sinngemäß auchfür die anderen Messröhren.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.

Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die Capacitance Diaphragm Gauges der CDG025D2-Serie sind
Vakuum-Messröhren und erlauben die Absolutdruck-Messung
von Gasen in unterschiedlichen Messbereichen (→  2). Siesind reinraumtauglich und besitzen einen doppelten Schutz
gegen Verschmutzung.
Die Messröhren gehören zu der Edge™ Familie und können mit
einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden.

Funktion
Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt.
Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digitale Elektronik in ein analoges, lineares Ausgangssignal umgewandelt.
Das Ausgangssignal ist unabhängig von der zu messenden Gasart.

MarkenEdge™ INFICON GmbH
VCR® Swagelok Marketing Co.

4

tinb28d1-a(2019-03)

Patente
EP 1070239 B1, 1040333 B1
US Patente 6528008, 6591687, 7107855, 7140085

Lieferumfang
1× Messröhre in Reinraumverpackung
1× Taststift
1× Kalibrierzertifikat
1× Gebrauchsanleitung deutsch
1× Gebrauchsanleitung englischtinb28d1-a(2019-03)

5

Inhalt

6

Produktidentifikation
Gültigkeit
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Funktion
MarkenPatenteLieferumfang

2
2
4
4
4
5
5

1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und Gewährleistung

8
8
8
9
9

2

10

Technische Daten

3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
3.2 Elektrischer Anschluss
3.2.1 Stecker D-Sub, 15-polig
3.2.2 Stecker EtherCAT

16
16
19
20
21

4 Betrieb
4.1 Anzeigen
4.2 Messröhre abgleichen
4.3 Schaltfunktionen
4.4 Werkseinstellungen laden (Factory Reset)
4.5 Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle)
4.6 EtherCAT-Betrieb

22
22
23
28
31
32
33

5

Ausbau34

6

Instandhaltung, Instandsetzung

36

7

Produkt zurücksenden

36

8

Produkt entsorgen

37

9

Zubehör

38

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Literatur

38

ETL-Zertifizierung

40

EU-Konformitätserklärung

41

Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→  XY) verwendet, für Verweise auf weitere, im Literaturverzeichnis aufgelistete, Dokumente das Symbol (→  [Z]).

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1

Sicherheit

1.1

Verwendete Symbole
GEFAHR
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art.

WARNUNG
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden.

Vorsicht
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten
kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen.
Hinweis<…>1.2

Beschriftung

Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur
durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete
technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult worden sind.

8

tinb28d1-a(2019-03)

1.3

Grundlegende Sicherheitsvermerke• Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die
Schutzmaßnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien.
• Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmaßnahmen zulässig.
Beachten Sie zudem die in diesem Dokument angegebenen
Sicherheitsvermerke.
• Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften undhalten Sie die Schutzmaßnahmen ein.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer
weiter.

1.4

Verantwortung und Gewährleistung
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen• dieses Dokument missachten• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungenusw.) vornehmen• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung.

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9

2

Technische Daten
Messbereich
Genauigkeit 1)≥1 Torr/mbar (F.S.)
0.25 Torr/mbar (F.S.)
0.1 Torr/mbar (F.S.)
Temperatureinfluss auf Nullpunkt≥10 Torr/mbar (F.S.)
1 / 2 Torr/mbar (F.S.)
0.1 / 0.25 Torr/mbar (F.S.)
Temperatureinfluss auf Bereich≥1 Torr/mbar (F.S.)
0.1 / 0.25 Torr/mbar (F.S.)
AuflösungGasartabhängigkeit
Ausgangssignal analog(Messsignal)
Spannungsbereich
Messbereich
Beziehung Spannung-Druck
Ausgangsimpedanz

0.20% vom Messwert
0.25% vom Messwert
0.50% vom Messwert
0.0050% F.S./ °C
0.015% F.S./ °C
0.020% F.S./ °C
0.01% vom Messwert / °C
0.03% vom Messwert / °C
0.003% F.S.
keine

–5 … +10.24 V(begrenzt auf +10.24 V)
0 … +10 V
linear0 Ω (kurzschlussfest)

Lastimpedanz>10 kΩ

Ansprechzeit 2)≥0.25 Torr/mbar (F.S.)
0.1 Torr/mbar (F.S.)

30 ms
130 msIdentifikation der Messröhre

1)

2)

10

→ "Gültigkeit"

Widerstand 13.2 kΩ gegenSpeisungserde

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholgenauigkeit bei 23 °C ohne
Temperatureinfluss nach 2 h Betrieb.
Anstieg 10 … 90 % F.S.R.
tinb28d1-a(2019-03)

Remote Zero Adjust

Externer Schaltkontakt
ImpulsSchaltfunktion
Einstellbereich
Hysterese
Relaiskontaktgeschlossen
offen
Schaltzeit
Status-Relais
Relaiskontaktgeschlossen
offen
RS232C-SchnittstelleÜbertragungsrate
Datenformat

Digitaler Eingang für den
Nullpunktabgleich mit externem Schaltkontakt (→  24)
30 V (dc) / <5 mA (dc)
>1 s … <5 s
SP1, SP2
0 … +10 V
1% F.S.
30 V (dc) / ≤0.5 A (dc)potentialfrei (NO)bei tiefem Druck(LED leuchtet)
bei hohem Druck(LED aus)≤50 ms30 V (dc) / ≤0.5 A (dc)verbunden mit Speisungserde (Pin 5)
Messmodus
Warnungkeine Versorgungsspannung
Fehler9600 Baudbinär
8 Daten-Bits
ein Stop-Bit
kein Parity-Bit
kein Handshake→ "Elektrischer Anschluss"

Weitere Informationen zu der RS232C-Schnittstelle →  [5]Diagnostik-Port, Anschlusstinb28d1-a(2019-03)

Klinkenstecker 2.5 mm,
3-polig

11

EtherCAT-Schnittstelle
Spezifikation, Datenformat,
Kommunikationsprotokoll
3CB5-xxx-238x
3CB5-xxx-23Gx
Übertragungsrate
Knotenadresse
Schnittstelle physikalischEtherCAT-Anschluss
Kabel

Länge

→  [8], [9]→  [10], [11]100 Mbps
eindeutige Identifizierung
100Base-Tx (IEEE 802.3)
2×RJ45, 8-polig, Dose
Ein- und Ausgang
8-poliges, abgeschirmtes
Ethernet Patchkabel (Qualität CAT5e oder höher)≤100 mWeitere Informationen zur EtherCAT-Schnittstelle →  [6], [7].
Speisung

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungender geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) und
einer Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS)
der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzusichern 3).
Versorgungsspannung
an der Messröhre
RippleStromaufnahme
Leistungsaufnahme(speisespannungsabhängig)
3)

12

Klasse 2 / LPS+14 … +30 V (dc) oder
±15 V (±5%)≤1 Vpp<500 mA(max. Einschaltstrom)≤3 W

INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
tinb28d1-a(2019-03)

Sicherung (vorzuschalten)

3)

1 AT (träge), automatischrückstellend (Polyfuse)
Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung geschützt.

Anschluss elektrisch
Messkabel

D-Sub 15-polig, Stifte
15-polig plus Abschirmung

Kabellänge
Versorgungsspannung 15 V

≤ 4 m (0.14 mm²/Leiter)≤ 7 m (0.25 mm²/Leiter)
Versorgungsspannung 24 V
≤20 m (0.14 mm²/Leiter)≤35 m (0.25 mm²/Leiter)
Versorgungsspannung 30 V
≤40 m (0.14 mm²/Leiter)≤70 m (0.25 mm²/Leiter)
Für längere Kabel sind größere Leiterquerschnitte erforderlich(RLeiter ≤1.0 Ω).
Erdkonzept→ "Elektrischer Anschluss"

Werkstoffe gegen Vakuum

Keramik (Al2O3 ≥99.5%),
Edelstahl AISI 316L
≤4.2 cm3

Inneres Volumen
Maximaldruck (absolut)≥200 Torr/mbar (F.S.)
1 … 100 Torr/mbar (F.S.)
0.1 / 0.25 Torr/mbar (F.S.)
Berstdruck (absolut)
Zulässige Temperatur
Lagerung
Betrieb
Ausheizen
Relative Feuchte

Verwendung
Schutzarttinb28d1-a(2019-03)

4 bar | 400 kPa
2.6 bar | 260 kPa
1.3 bar | 130 kPa
6 bar | 600 kPa–40 °C … +65 °C+5 °C … +50 °C≤110 °C am Flansch≤80% bei Temperaturen≤+31 °C abnehmend auf
50% bei +40 °C
nur in Innenräumen,
Höhe bis zu 2000 m NN
IP 40

13

Abmessungen [mm]Gewicht

14<650 gtinb28d1-a(2019-03)

Beziehung Messsignal analog – Druckp = (Uout / 10 V) × p (F.S.)
Umrechnung Torr ↔ PascalcBeispiel:Torrmbar 4)

Pa 4)

1.00

1013.25 / 760 =
1.3332…

101325 / 760 =
133.3224…

Messröhre mit 10 Torr F.S.
Messsignal Uout = 6 V
p = (6 V / 10 V) × 10 Torr
= 0.6 × 10 Torr = 6 Torr4)

tinb28d1-a

Quelle: NPL (National Physical Laboratory)
Guide to the Measurement of Pressure and Vacuum,ISBN 0904457x / 1998
(2019-03)15

3

EinbauWARNUNG
Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zerstören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge vermeiden.

3.1

Vakuumanschluss
GEFAHRÜberdruck im Vakuumsystem >1 barÖffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.

GEFAHRÜberdruck im Vakuumsystem >2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtungen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.

16

tinb28d1-a(2019-03)

GEFAHR
Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im
Störungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten
Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindungmuss den Anforderungen einer Schutzverbindungnach EN 61010 entsprechen:• CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser
Forderung.
• Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender
Spannring zu verwenden.
• Beim ½"-Rohr ist diese Anforderung durch geeignete Maßnahmen zu erfüllen.

Vorsicht
Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

Vorsicht
Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen undsauberes Werkzeug benutzen.

tinb28d1-a(2019-03)

17

Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Einbaulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel
nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechtebis stehende Einbaulage zu bevorzugen und eventuelleine Dichtung mit Zentrierring und Filter zu verwenden.
Für einen manuellen Abgleich der Messröhre imeingebauten Zustand ist die Zugänglichkeit zu den
Tastern mit einem Stift zu gewährleisten (→  23).
Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem anschließen.

Dichtung mit Zentrierring

Schutzkappe
Spannelement

Schutzkappe aufbewahren.

18

tinb28d1-a(2019-03)

3.2

Elektrischer Anschluss
Die Messröhre muss ordnungsgemäß an der Vakuumapparatur angeschlossen sein (→  16).

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungender geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) und
einer Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS)
der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzusichern 5).

Erdschleifen, Potentialunterschiede oder EMV können
das Messsignal beeinflussen. Für beste Signalqualität
beachten Sie bitte die folgenden Einbauhinweise:• Kabel mit Geflechtsschirm und metallischem Steckergehäuse verwenden.
• Den Kabelschirm nur einseitig flächenhaft über das
Steckergehäuse mit der Erde verbinden. Das andere
Schirmende offen lassen.
• Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutzerde verbinden.
• Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte
Signal- und Speisungserde).
• Potentialdifferenz zwischen Speisungserde undGehäuse ≤18 V (Überspannungsschutz).

5)

tinb28d1-a

INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
(2019-03)19

3.2.1

Stecker D-Sub, 15-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen (Kabellänge und -querschnitt →  13).

Pin 1,4
Pin 2

Relais SP1, Schließer
Signalausgang (Messsignal)oder Schwellwerte SP1/2
Pin 3
StatusPin 5
Speisungserde
Pin 6
Speisung (-15 V)
Pin 7, 11 Speisung (+14 … +30 V oder +15 V)
Pin 8, 9 Relais SP2, Schließer
Pin 10
Messröhrenidentifikationoder Remote Zero Adjust
Pin 12SignalerdePin 13
RS232, TxD
Pin 14
RS232, RxD
Pin 15
Gehäusecase
Steckergehäuse
20

9

1

15

8

D-Sub,
15-polig
Buchsenlötseitig

tinb28d1-a(2019-03)

3.2.2

Stecker EtherCAT
EtherCAT ist eine Kommunikationsschnittstelle. Die
Versorgung erfolgt über das Sensor Kabel.
Falls keine EtherCAT Kabel vorhanden sind, Kabel gemäß
folgendem Schema herstellen. EtherCAT Kabel anschließen.
FCC68, 8-polig, lötseitig
Pin 1
TD+
Sendedaten +Pin 2
TDSendedaten Pin 3
RD+
Empfangsdaten +Empfangsdaten Pin 6
RDPin 4, 5, 7 und 8: n.c.

tinb28d1-a(2019-03)21

4

Betrieb
Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb. Bei Verwendung mit
einem INFICON-Messgerät der VGC40x-Serie den Messbereich
eingeben (→  [1], [2], [3]).
Aufwärmzeit• bei allgemeinen Druckmessungen (innerhalb
der Spezifikationen)• bei Präzisionsmessungen und Nullpunktabgleich>¼ Stunde>2 Stunden

Bei schnellen Downstream-Druckregelungen empfehlen
wir das Signalfilter der Messröhre auf "Schnell" (fast) zu
stellen.
Die Filtereinstellung kann über die RS232C-Schnittstelle, über den Diagnostik-Port (→  [5]) oder überEtherCAT (→  [6], [7]) erfolgen.

4.1

Anzeigen

LED

Zustand

Bedeutung<STATUS>ausleuchtet grün
blinkt grün
kurzes Aufblinken
leuchtet rot
leuchtet grün
blinkt grün
ausKeine Versorgungsspannung
Messmodus

<SP1>

22

Warnung, außerhalb Messbereich
Fehlerp ≤ Schaltpunkt 1
Schaltpunkt 1 einstellenp > Schaltpunkt 1
tinb28d1-a(2019-03)

<SP2>

leuchtet grün
blinkt grünausp ≤ Schaltpunkt 2Schaltpunkt 2 einstellenp > Schaltpunkt 2

EtherCAT LEDs →  [6], [7]4.2

Messröhre abgleichen
Die Messröhre ist ab Werk in vertikal stehender Lage abgeglichen (→ "Calibration Test Report").
Wir empfehlen den Nullpunkt bei der Erstinbetriebnahme einzustellen.
Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunktverschiebung führen und periodisch eine Nullpunkteinstellung
erfordern.
Nullpunkteinstellung bei den gleichen, konstanten Umgebungsbedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei
denen die Messröhre normalerweise verwendet wird.
Das Ausgangssignal ist von der Einbaulage abhängig. DieÄnderung von vertikal stehender zu waagrechter Einbaulage
beträgt:
F.S.

∆U / 90°

1000 Torr/mbar
100 Torr/mbar
10 Torr/mbar
1 Torr/mbar
0.1 Torr/mbar≈2 mV≈10 mV≈50 mV≈300 mV≈1.8 V

Wird die Messröhre mit einem Messgerät betrieben,muss die Nullpunkteinstellung für das ganze System am
Messgerät erfolgen: Zuerst die Messröhre abgleichen
und anschließend das Messgerät.

tinb28d1-a(2019-03)23

4.2.1<ZERO> Adjust
Der Nullpunktabgleich kann erfolgen über• den Taster <ZERO> an der Messröhre,• den Diagnostik-Port (→  [5]),• die EtherCAT-Schnittstelle (→  [6], [7]),• den digitalen Input "Remote Zero" kurz am Pin 10 die
Versorgungsspannung anlegen (Impuls →  11),• die RS232C-Schnittstelle (→  [5]),• ein INFICON-Messgerät (VGC-Serie).
Bei Atmosphärendruck ist der Nullpunktabgleich verriegelt, um Fehlbedienungen zu verhindern.

 Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entsprechend der nachfolgenden Tabelle:
F.S.
1100
1000
500
200
100
50
20
10
5
2
1
0.5
0.25
0.1

mbar
Torr
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar

Empfohlener Enddruck
bei Nullpunkteinstellung–<5×10-2 Torr
<2.5×10-2 Torr
<10-2 Torr
<5×10-3 Torr
<2.5×10-3 Torr
<10-3 Torr
<5×10-4 Torr
<2.5×10-4 Torr
<10-4 Torr
<5×10-5 Torr
<2.5×10-5 Torr
<10-5 Torr
<5×10-6 Torr

<7×100 hPa<7×100 hPa<3×100 hPa<1×10-0 hPa<7×10-1 hPa<3×10-1 hPa<1×10-1 hPa<7×10-2 hPa<3×10-2 hPa<1×10-2 hPa<7×10-3 hPa<3×10-3 hPa<1×10-3 hPa<7×10-4 hPa<7×10-2 mbar–
<3×10-2 mbar
<1×10-2 mbar
<7×10-3 mbar
<3×10-3 mbar
<1×10-3 mbar
<7×10-4 mbar
<3×10-4 mbar
<1×10-4 mbar
<7×10-5 mbar
<3×10-5 mbar
<1×10-5 mbar
<7×10-6 mbar

Wird die Nullpunkteinstellung bei zu hohem Enddruck
durchgeführt (>25% von F.S.), kann Zero nicht erreicht
werden und die LED <STATUS> blinkt grün. In diesem
Fall erst die Werkseinstellungen aktivieren und dann den
Nullpunkt erneut abgleichen (→  31).

24

tinb28d1-a(2019-03)

 Die Messröhre bei konstanten Umgebungsbedingungenmind. 2 Stunden betreiben (bis Messwert stabil ist).

 Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz
drücken. Der Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch. Die
LED <STATUS> blinkt, bis der Abgleich (Dauer ≤8 s) abgeschlossen ist.

Nach dem Nullpunkt-Abgleich kehrt die Messröhre automatisch in den Messmodus zurück.
Die LED <STATUS> blinkt grün,• wenn die Messröhre bei Enddruck ein negatives Ausgangssignal (< -20 mV) zeigt, oder
• wenn der Nullpunkt-Abgleich fehlgeschlagen ist.

4.2.2

<ZERO> Adjust mit Rampenfunktion
Mit der Rampe kann der Nullpunkt bei einem bekannten Referenzdruck eingestellt werden, welcher im Messbereich der
Messröhre liegt.

tinb28d1-a(2019-03)25

Weiterhin kann mit der Rampe ein Offset der Kennlinie eingestellt werden, um• einen Offset vom Messsystem auszugleichen, oder
• einen leicht positiven Nullpunkt für einen 0 … 10 V AD-Wandler zu erzeugen.
Der Offset sollte nicht größer als 2% vom F.S. (+200 mV) sein.
Bei größerem positivem Offset wird die obere Messbereichsgrenze überschritten.
Der Nullpunktabgleich mit Rampenfunktion kannerfolgen über• den Taster <ZERO> an der Messröhre,• den Diagnostik-Port (→  [5]),• die EtherCAT-Schnittstelle (→  [6], [7]),• die RS232C-Schnittstelle (→  [5]).
Empfohlenes Vorgehen Offset-Einstellung bei Messsystemen: → Hinweis  23.

 Die Messröhre bei konstanten Umgebungsbedingungenmind. 2 Stunden betreiben (bis Messwert stabil ist).

 Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) drücken
und halten. Die LED <STATUS> beginnt zu blinken. Nach
5 s wird der Zero-Adjust Wert ab dem aktuellen Ausgabewert kontinuierlich (Rampe) geändert, bis Taster losgelassen wird oder die Einstellgrenze (max. 25% F.S.) erreicht
ist. Die Signalausgabe am Signalausgang erfolgt dabei um
ca. 1 s verzögert.

26

tinb28d1-a(2019-03)

 Taster <ZERO> erneut drücken:
Feineinstellung
innerhalb 0...3 s:

Zero-Adjust Wert ändert um eine
Einheit (Taster ca. 1 mal pro Sekunde drücken)

Richtungswechsel
innerhalb 3...5 s:

Zero-Adjust Einstellung ändert ihre
Richtung (Blinkfrequenz der LED<STATUS> ändert kurz)

Wird der Taster <ZERO> länger als 5 s nicht mehr gedrückt, kehrt die Messröhre in den Messmodus zurück.
Die LED <STATUS> blinkt grün, wenn die Messröhre ein negatives Ausgangssignal (< -20 mV) zeigt.

tinb28d1-a(2019-03)

27

4.3

Schaltfunktionen
Die beiden Schaltfunktionen können auf einen beliebigen Druckim ganzen Messbereich der Messröhre eingestellt werden(→  15).
Die aktuellen Schwellwerte• stehen nach dem Drücken des Tasters <SP> am D-SubStecker an Stelle des Drucksignales zur Verfügung (→  20)
und können mit Hilfe eines Voltmeters gemessen werden,oder• können über EtherCAT, Diagnostik-Port und über die
RS232C-Schnittstelle gelesen und geschrieben werden,
Ist der Druck niedriger als der Schwellwert, leuchtet die entsprechende LED (<SP1> oder <SP2>) und das entsprechende
Relais (→  20) ist aktiviert.

4.3.1

Einstellen der Schwellwerte
Die Schwellwerte können eingestellt werden über• die Taster an der Messröhre,• den Diagnostik-Port (→  [5]),• die EtherCAT-Schnittstelle (→  [6], [7]).
• die RS232C-Schnittstelle (→  [5]).

28tinb28d1-a(2019-03)

GEFAHR
Fehlfunktion
Falls mit dem Signalausgang Prozesse gesteuert
werden, ist zu beachten, dass das Drücken desTasters <SP> das Messsignal unterbricht und stattdessen den entsprechenden Schwellwert auf den
Ausgang gibt. Dies kann zu Fehlfunktionen führen.
Taster <SP> nur drücken, wenn gewährleistet ist,
dass keine Fehlfunktion ausgelöst wird.

Schwellwert <SP1> einstellen Taster <SP> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) drücken. Die
Messröhre wechselt in den Schaltfunktionsmodus und gibt
am Messsignalausgang während 10 s den aktuellen
Schwellwert aus (LED <SP1> blinkt).

tinb28d1-a(2019-03)29

 Zum Verändern des Schwellwertes Taster <ZERO>drücken und halten. Der Schwellwert wird ab dem aktuellen
Wert kontinuierlich (Rampe) geändert, bis Taster losgelassen wird oder die Einstellgrenze erreicht ist.

 Taster <ZERO> erneut drücken:
Feineinstellung
innerhalb 0...3 s:
Richtungswechsel
innerhalb 3...5 s:

Zero-Adjust Wert ändert um eine
EinheitZero-Adjust Einstellung ändert ihre
Richtung (Blinkfrequenz der LED<STATUS> ändert kurz)

Wird der Taster <ZERO> länger als 5 s nicht mehr gedrückt, kehrt die Messröhre in den Messmodus zurück.
Der obere Schwellwert liegt automatisch um 1% F.S.
höher (Hysterese).

30

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Schwellwert <SP2> einstellen
Taster <SP> zweimal betätigen (LED <SP2> blinkt). Der Einstellvorgang entspricht demjenigen von Schwellwert <SP1>.

4.4

Werkseinstellungen laden (Factory Reset)
Sämtliche vom Anwender gesetzten/veränderten Parameter(z. B. Nullpunkt, Filter) werden auf die Standardwerte (Werkseinstellungen) zurückgesetzt.
Das Laden der Standardwerte kann nicht rückgängig
gemacht werden.
Werkseinstellungen laden:

 Messröhre außer Betrieb setzen.
 Während der Inbetriebnahme der Messröhre den Taster<ZERO> ≥5 s gedrückt halten.

tinb28d1-a(2019-03)

31

4.5

Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle)Über den Diagnostik-Port <DIAG> können parallel der Messwert
und alle Statusinformationen ausgelesen, sowie alle Einstellfunktionen vorgenommen werden (→  [5]).

32tinb28d1-a(2019-03)

4.6

EtherCAT-Betrieb
Vorsicht
Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die Messröhre gleichzeitig über die
EtherCAT-Schnittstelle und der RS232-Schnittstelle oder dem Diagnostik-Port zu betreiben, führt zu
fehlerhaften Daten und Störungen der Datenübertragung.
Ein gleichzeitiger Betrieb der Messröhre mit der
EtherCAT-Schnittstelle und der RS232-Schnittstelle oder dem Diagnostik-Port ist nicht zulässig.
Der Betrieb der Messröhre mit EtherCAT erfordert bei der übergeordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre
spezifischen Stammdatei (ESI-Datei). Diese Datei kann vonunserer Website heruntergeladen werden (www.inficon.com).

Spezifische Gerätedresse ändern (ab Werk 00hex)
Während der Initialisierung liest die Gerätefirmware die am
Gerät eingestellte Adresse. Diese Adresse wird als spezifische
Geräteidentifikation an den Master übertragen.
Die Spezifische Gerätedresse wird inhexadezimaler Form (00 … FFFhex) mit
den Schaltern <x100>, <x10> und <x1>
eingestellt.
Beispiel: Geräteadresse = 0xDDD (dec 3549):
0x100 * 0xD (dec 3328) + 0x10 * 0xD (dec 208) + 0x1 * 0xD(dec 13)

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33

Status-LED
LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung desRöhrenzustandes und des aktuellen EtherCAT-Status (→  [6],
[7]).

5

AusbauWARNUNG
Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zerstören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge vermeiden.

GEFAHR
Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

34

tinb28d1-a(2019-03)

Vorsicht
Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

Vorsicht
Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder Teilen davon mit
bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen.

 Vakuumsystem belüften.
 Messröhre außer Betrieb setzen.
 Arretierungsschrauben lösen und Mess- und EtherCATKabel ausziehen.

 Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutzdeckel aufsetzen.

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6Instandhaltung, Instandsetzung
Bei sauberen Betriebsbedingungen ist das Produkt wartungsfrei.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung
zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung.
Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen(→  24).
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten
selber ausführen.

7

Produkt zurücksenden
WARNUNG
Versand kontaminierter Produkte
Kontaminierte Produkte (z. B. radioaktiver, toxischer, ätzender oder mikrobiologischer Art) können
Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei
von Schadstoffen sein. Versandvorschriften derbeteiligten Länder und Transportunternehmenbeachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung *)beilegen.
*)

Formular unter www.inficon.com

Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte
werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.

36

tinb28d1-a(2019-03)

8

Produkt entsorgen
GEFAHR
Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmeneinhalten.

WARNUNG
Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Umweltschäden verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäß den örtlichen
Vorschriften entsorgen.

Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in folgende Kategorien zu unterteilen:• Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch, usw.) müssen entsprechend den länderspezifischen
Vorschriften dekontaminiert, entsprechend ihrer Materialartgetrennt und entsorgt werden.
• Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen
und der Wiederverwertung zuzuführen.

tinb28d1-a(2019-03)37

9

Zubehör
Bestellnummer
Kommunikationsadapter (2 m)

6)

303-333

Literatur [1]Gebrauchsanleitung
Vacuum Gauge Controller VGC032
tinb02d1 (deutsch)
tinb02e1 (englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [2]Gebrauchsanleitung
Einkanal-Messgerät VGC401
tinb01d1 (deutsch)
tinb01e1 (englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [3]Gebrauchsanleitung
Zwei- & Dreikanal Mess- und Steuergerät VGC402,
VGC403
tinb07d1 (deutsch)
tinb07e1 (englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

6)38

Die Diagnose-Software (Windows NT, XP) kann von unserer
Website herunter geladen werden.
tinb28d1-a(2019-03)

 [4]

Gebrauchsanleitung
Ein-, Zwei- & Dreikanal Mess- und Steuergeräte
VGC501, VGC502, VGC503
tina96d1 (deutsch)
tina96e1 (englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [5]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
Schnittstelle RS232C
tira49d1 (deutsch)tira49e1 (englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [6]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
EtherCAT CDGxxxDxx (ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0)
tira68e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [7]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
EtherCAT CDGxxxDxx (ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0)
tirb45e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [8]ETG.5003.1 S (R) V1.0.0: Semiconductor Device profile– Part 1: Common Device Profile (CDP) [9]ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0: Semiconductor Device
profile – Part 2080: Specific Device Profile (SDP):
Vacuum Pressure Gauge [10] ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Semiconductor Device profile– Part 1: Common Device Profile (CDP) [11] ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Semiconductor Device

profile – Part 2080: Specific Device Profile (SDP):
Vacuum Pressure Gauge

tinb28d1-a(2019-03)

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ETL-Zertifizierung
ETL LISTED
The product Edge CDG025D2• conforms to the UL Standard
UL 61010-1

310345740• is certified to the CSA Standard
CSA C22.2 # 61010-1

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EU-Konformitätserklärung
Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt
die Konformität zur EMV-Richtlinie 2014/30/EU und zur RoHSRichtlinie 2011/65/EU.

Produkte

Capacitance Diaphragm Gauge
Edge CDG025D2
NormenHarmonisierte und internationale/nationale Normen sowie
Spezifikationen:• EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit)• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung)• EN 61010-1:2010 (Sicherheitsbestimmungen für elektrische Messund Steuereinrichtungen)• EN 61326-1:2013; Gruppe 1, Klasse B (EMV-Anforderungen fürelektrische Mess- und Steuereinrichtungen)

Hersteller / Unterschriften
INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers
20. Juli 201620. Juli 2016

Dr. Bernhard Andreaus
Director Product Evolution

Michael Wildi
Product Manager

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Notizen42

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Notizentinb28d1-a(2019-03)

43

Original: Deutscht i nb28d1- a

LI–9496 Balzers
LiechtensteinTel +423 / 388 3111
Fax +423 / 388 3700
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