Stripe™ CDG045Dhs 0.01 ...1000Torr / mbar、新しい10mTorr
Stripe™ CDG045Dhs - 45°C - Smart Inside, Fast Outside

INFICON Stripe高速キャパシタンスダイアフラムゲージは、現在最も高速の高精度真空計です。2ms未満の反応時間、およびEtherCATフィールドバスインターフェースによって、完全に新しい分野の用途を切り開きます。実績のある、温度制御、耐食性、超高純度のセラミックセンサは、数年にわたる長期間の安定性と、最先端の零点安定性を実現します。ストライプには、INFICONで、計器を望ましくないプロセスの副産物から保護する特許を受けた独自のセンサシールドが同梱されています。INFICON Stripeは革新的な加熱技術を使用することで接触面を冷却し、独自の高速性能によって生産性を前例のない水準まで向上させる、この分野で最先端の真空計です。

Stripe CDG045Dhsは栄誉のある2014 R&D 100 Awardを受賞しました。

利点n高い生産性 – 応答時間が2分以上速い (FS > 50m Torr)n

柔軟な統合 – EtherCAT Fieldbusn

長寿命 – 実績のあるセラミックセンサーn

再較正が不要 – フルスケール範囲に基づいた安定性（90ppm/年）

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Stripe™ CDG045Dhs 0.01 ...1000Torr / mbar、 新しい10mTorr - Stripe™ CDG045Dhs 45°C - Smart Inside, Fast Outside

注文の情報2

Stripe™ CDG045Dhs 0.01 ...1000Torr / mbar、 新しい10mTorr - Stripe™ CDG045Dhs 45°C - Smart Inside, Fast Outside

仕様
タイプ

1000Torr / 1100mbar ...
0.05Torr / mbar

0.02 ... 0.01Torr / mbar

精度 (1)% of reading

0.15-精度% of reading-0.2

温度の影響ゼロ 1000 ...1 Torr/mbar

percent FS/°C-

ゼロ 0.5 ...0.05 Torr/mbar

percent FS/°C-

ゼロ 0.02 ...0.01 Torr

percent FS/°C

0.01

温度効果
ゼロ 1000 ...1 Torr/mbar

percent FS/°C

0.0025

ゼロ 0.5 ...0.05 Torr/mbar

percent FS/°C

0.005

ゼロ 0.02 ...0.01 Torr

percent FS/°C

-

温度の影響
計測スパン

% of reading / °C

0.01

温度効果
計測スパン

% of reading / °C

0.01

P max 1000Torr / mbarkPa (absolute)

400

400

P max 500 ...1Torr / mbarkPa (absolute)

260

260

P max 0.5 ...0.01Torr / mbarkPa (absolute)130130

分解能

percent FS

0.003

0.003

最小読み取り値

percent FS

0.010.01

推奨最小読み取り値

percent FS

0.050.05

推奨最小制御圧percent FS

推奨最小制御圧力percent FS

最高圧力0.50.5温度
使用温度 (周囲)°C

ベークアウト (フランジにおい °Cて)
保存°C

供給電圧

+10 … +40+10 … +40

≤110

≤110

–20 … +85

–20 … +85

+14 … +30 VDC or ±15 V(±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V
(±5%)

消費電力
暖気時

W

≤14

≤14運転時W≤9≤93Stripe™ CDG045Dhs 0.01 ...1000Torr / mbar、 新しい10mTorr - Stripe™ CDG045Dhs 45°C - Smart Inside, Fast Outside仕様タイプ

1000Torr / 1100mbar ...
0.05Torr / mbar

0.02 ... 0.01Torr / mbar

出力信号 (アナログ)

V (dc)

0 … +10

0 … +10

Measurement rate

kHz11応答時間 (2)ms

2 ... 20

2 ... 20Signal processing timems2

2IP 30

IP 30

保護クラス
標準
CE 適合

EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010& RoHS& RoHSETL 認証UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1

UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1

SEMI 準拠SEMI S2

SEMI S2

D-sub, 15 pole, male

D-sub, 15 pole, male

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

V (dc)≤30≤30A (dc)

≤0.5

≤0.5

11プロトコルUSBUSB

読み取りpressure, status, ID

pressure, status, ID

設定

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

接ガス材料

Aluminum oxide ceramic(AI₂O₃), stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Aluminum oxide ceramic(AI₂O₃), stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

電気接続
セットポイント
セットポイント数
セットポイント
リレー接点
セットポイント
リレー接点
セットポイント
ヒステリシス

percent FS

診断ポート

内部容積
内部容積 1/2 in. チューブ

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

内部容積 DN 16 ISO KF

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

内部容積 DN 16 CF-R

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

内部容積 8 VCR®

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

837

837

重量重量 1/2 in. チューブ

4g

Stripe™ CDG045Dhs 0.01 ...1000Torr / mbar、 新しい10mTorr - Stripe™ CDG045Dhs 45°C - Smart Inside, Fast Outside

仕様
タイプ

1000Torr / 1100mbar ...
0.05Torr / mbar

0.02 ... 0.01Torr / mbar

重量 DN 16 ISO KF

g852

852

重量 DN 16 CF-Rg

875

875

重量 8 VCR®

g

897

897

protocol specialized for
EtherCAT

protocol specialized for
EtherCAT

通信標準

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0
Common Device
ProfileETG.5003.2080 S (R)V1.3.0 Specific Device
Profile: Vacuum Gauge

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0
Common Device
ProfileETG.5003.2080 S (R)V1.3.0 Specific Device
Profile: Vacuum Gauge

ノードアドレス

Explicit Device Identification

Explicit Device Identification

物理層100BASE-Tx (IEEE 802.3)

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

pressure, status, ID

pressure, status, ID

デジタル機能設定

set points, filter, zero adjust,reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,reset, DC offset

メールボックス (CoE)SDO requests, responses
and information

SDO requests, responses
and information

プロセスデータ

Fixed PDO mapping andconfigurable PDO mapping

Fixed PDO mapping andconfigurable PDO mapping

EtherCAT コネクター

2 x RJ45, 8-pin (socket), INand OUT

2 x RJ45, 8-pin (socket), IN
and OUT

ケーブル

shielded Ethernet CAT5e or
highershielded Ethernet CAT5e orhigherm (ft.)≤100 (330)≤100 (330)ms2

2EtherCAT
プロトコル EtherCAT

デジタル機能読み取り

EtherCAT
ケーブル長
EtherCAT
Signal processing time(1) 2時間操作後の温度効果のない25 °C周囲動作温度での、非線形性、ヒステリシス、繰り返し精度。
(2) 10 ... 90パーセントのFS増加

5Stripe™ CDG045Dhs 0.01 ...1000Torr / mbar、 新しい10mTorr - Stripe™ CDG045Dhs 45°C - Smart Inside, Fast Outside

寸法

www.inficon.com

reachus@inficon.com

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