SKY® CDG200D - 200°C (F.S.R. 1 ... 1000 Torr /mbar)SKY® CDG200D - 200°C - Excellent Performance for High
Temperature Applications

Los manómetros para temperaturas altas SKY CDG200D de INFICON
son la mejor opción para medir y controlar la presión totalmente y demanera precisa. Los indicadores CDG200D tienen una temperatura
controlada de 200 °C para conseguir un rendimiento superior enprocesos exigentes de semiconductores y de plasma. Están disponibles
para rangos de escala completa, desde 1 Torr hasta 1.000 Torr, contodos los tipos de bridas e interfaces de bus de campo habituales, yofrecen una señal de presión lineal independiente del tipo de gas deentre 0 y 10 V. Los manómetros de capacitancia de INFICON utilizan
un diafragma de cerámica de alúmina ultrapura resistente a lacorrosión. Las ventajas del sensor de cerámica son una mejor
estabilidad de la señal, una recuperación más rápida de la atmósfera,
un tiempo de calentamiento corto y una extraordinaria duración. Losindicadores del diafragma de la capacitancia de INFICON son sensoresde presión rentables y de alta calidad para aplicaciones de vacío, deplasma y de semiconductores exigentes.

VENTAJASnMenos coste de propiedad, tiempo de calentamiento un 50% más rápido y un consumo energético reducido yeficientenFácil integración, amplia variedad de escalas completas, bridas e interfaces, y estándar con dos puntos deajustenBotón sencillo o señal remota de puesta a cero y valor cero ajustablenPuerto de diagnóstico para un servicio y mantenimiento rápidosn

Dos años de garantía y mayor duración con un concepto de calentamiento y protección del indicador

1SKY® CDG200D - 200°C (F.S.R. 1 ... 1000 Torr / mbar) - SKY® CDG200D - 200°C Excellent Performance for High Temperature Applications

n

A largo plazo, no es necesario realizar recalibraciones debido a la excelente estabilidad y repetibilidad de laseñal, incluso en duras aplicaciones de plasmanCumplimiento y estándares: CE, EN, UL, SEMI y RoHS

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INFORMACIÓN DEL PEDIDO

3SKY® CDG200D - 200°C (F.S.R. 1 ... 1000 Torr / mbar) - SKY® CDG200D - 200°C Excellent Performance for High Temperature Applications

ESPECIFICACIONES
Tipo

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

% of reading

0.4

0.4

percent FS/°C

0.005

0.005

en duración% of reading / °C

0.02

0.02

Presión, máx.

kPa (absolute)

400260Resolución

percent FS

0.003

0.003

La lectura más baja

percent FS0.01

0.01

La lectura sugerida más baja

percent FS

0.05

0.05

La presión de control sugerida
más baja

percent FS

0.5

0.5Precisión (1)Efecto de temperaturaen ceroEfecto de temperatura

Temperatura
Funcionamiento (ambiente)°C

Funcionamiento (ambiente) (4) °C+10 … +50
+10 … +50

Horneado en la brida°C

≤200

≤200

Almacenamiento°C–40 … +65

–40 … +65

+21 … +30 V DC or ±15 V(±5%)+21 … +30 V DC or ±15 V(±5%)

Tensión de alimentación
Consumo de potencia
Durante el calentamientoW

≤25

≤25

En la temperatura deoperación

W

≤18

≤18

Señal de salida (analógica)

V (dc)

0 … +10

0 … +10

Tiempo de respuesta (2)

ms30

30

IP 40

IP 40

Grado de protección
Estándares
Conformidad CE

EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010& RoHS& RoHS

Certificación ETL

UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1

UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1

Cumplimiento SEMI

SEMI S2

SEMI S2

D-Sub, 15-pin, male

D-Sub, 15-pin, male

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

Conexión eléctrica
Punto de ajuste
Número de puntos de ajuste
Punto de ajuste

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ESPECIFICACIONES
Tipo

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

V (dc)≤30≤30

A (dc)≤0.5≤0.5

11Protocolo

RS232-C

RS232-C

Lecturapressure, status, ID

pressure, status, ID

Set

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

Materiales expuestos al vacío

Aluminum oxide ceramic(AI₂O₃), stainless steel (AISI
316L ⁽³⁾)

Aluminum oxide ceramic(AI₂O₃), stainless steel (AISI
316L ⁽³⁾)

Contacto de relé
Punto de ajusteContacto de relé
Punto de ajuste
Histéresis

percent FS

Puerto de diagnóstico

Volumen interno
I. volumen tubo 1/2''

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

I. volumen DN 16 ISO KF

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

I. volumen DN 16 CF-R

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

I. volumen 8 VCR®

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Peso
Peso tubo 1/2''g

837

837

Peso DN 16 ISO KF

g852

852

Peso DN 16 CF-R

g875

875

Peso 8 VCR®

g

897

897

protocol specialized for
EtherCAT

protocol specialized for
EtherCAT

Estándares de comunicación

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0
Common Device
ProfileETG.5003.2080 S (R)V1.3.0 Specific Device
Profile: Vacuum Gauge

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0
Common Device
ProfileETG.5003.2080 S (R)V1.3.0 Specific Device
Profile: Vacuum Gauge

Dirección de nodo

Explicit Device Identification

Explicit Device Identification

Capa física

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

pressure, status, ID

pressure, status, ID

set points, filter, zero adjust,reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,reset, DC offset

EtherCAT
Protocolo EtherCAT

Lectura de funciones digitales
Conjunto de funciones
digitales

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ESPECIFICACIONES
Tipo1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

Buzón (CoE)SDO requests, responses
and information

SDO requests, responses
and information

Datos de procesos

Fixed PDO mapping andconfigurable PDO mapping

Fixed PDO mapping andconfigurable PDO mapping

Conector EtherCAT

2 x RJ45, 8-pin (socket), INand OUT

2 x RJ45, 8-pin (socket), INand OUT

Cable

shielded Ethernet CAT5e or
highershielded Ethernet CAT5e or
higherm (ft.)≤100 (330)≤100 (330)ms22Protocolo

DeviceNet™, group 2 slave
only

DeviceNet™, group 2 slave
only

MAC ID

address 00 - 63 by switch or
network programmableaddress 00 - 63 by switch or
network programmablepressure, status, ID

pressure, status, ID

Funciones digitales
establecidas

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

Especificación

DeviceNet™ "Vacuum Gauge DeviceNet™ "Vacuum Gauge
Device Profile" (ODVA)
Device Profile" (ODVA)

EtherCAT
Longitud del cable
EtherCAT
Signal processing time
DeviceNet™

Funciones de lectura digital

Tipo de dispositivo''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge

polling only

polling only

Tensión de alimentación parael calibre en el conector D-sub+14 … +30 VDC or ±15 V /≤12 W+14 … +30 VDC or ±15 V /≤12 W

Tensión de alimentación parael transmisor DeviceNet en el
conector de tipo micro

24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)

Mensaje de esclavo I / OConector para DeviceNet™

microstyle, 5 pin, malemicrostyle, 5 pin, male

Conector para CDG (salidaanalógica, tensión dealimentación CDG, puntos deajuste)

D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, malekBaud

125, 250, 500 by switch ornetwork programmable

125, 250, 500 by switch or
network programmablem (ft.)

500 (1650)

500 (1650)

DeviceNet™
Velocidad de transmisión dedatos
DeviceNet™
Longitud de cable 125 kbps

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ESPECIFICACIONES
Tipo

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

Longitud de cable 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

250 (825)

Longitud de cable 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

100 (330)

Profibus DP
Velocidad de transmisión debaudios

kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

Profibus DP
Velocidad de transmisión debaudios

Mbaud

1.5 / 12

1.5 / 12

Profibus DP
Dirección

address 00 - 125 by switch or address 00 - 125 by switch or
network programmablenetwork programmable

Funciones de Lectura digitalpressure, status, ID

pressure, status, ID

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

Conector para Profibus DP

D-sub, 9 pin, female

D-sub, 9 pin, female

Conector para CDG (salidaanalógica, tensión dealimentación, puntos de ajuste)

D-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, male

Funciones digitales
Establecidas

4-20mA current loop (analog)
Signal range

mA

3.8 ... 20.2

3.8 ... 20.2

Measuring range (zero ...FS)mA

4.0 ... 20.0

4.0 ... 20.0

4-20mA current loop (analog)
Loaded impedance RLΩtypical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc)(5)(5)

Loaded impedance absoluteΩ

309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (5)(1) No linealidad, histéresis y repetibilidad a 25 °C detemperatura ambiente de funcionamiento sin efectos detemperatura tras 2 horas de funcionamiento.
(2) Aumento de 10 … 90 por ciento a escala completa(3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe(4) La temperaturas ambiente > 40°C puede aumentar latemperatura de superficie por encima de los niveles decumplimiento de SEMI S27SKY® CDG200D - 200°C (F.S.R. 1 ... 1000 Torr / mbar) - SKY® CDG200D - 200°C Excellent Performance for High Temperature Applications

309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (5)DIMENSIONES

www.inficon.com

reachus@inficon.com

Debido a nuestro programa continuo de mejoras en los productos, las especificaciones están sujetas a modificaciones sin previo aviso.
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