大阪大学・豊中キャンパス

基礎工G棟クリーンルーム(CR)
利用説明会
及び電子ビーム露光装置（ELS-G125）

電子ビーム露光装置（ELS7000）

共同利用説明会
2023年4月27日

エマージングサイエンスデザインR³センター
基礎工学研究科・未来研究推進センター

大阪大学・豊中キャンパス

学内バス
停留所

基礎工 G棟１階CR

ローソン

2

R³センター

未来センター

C-PairRecurrent Education, Reskilling, Retraining

基礎工G棟クリーンルーム(CR)を共同運営
2022年4月1日ー
エマージングサイエンスデザインR³センター 発足・装置を継承
2021 ELS-G125 課金制共同利用開始
2019 ELS-G125導入（工学研究科・藤原康文研究室と共同購入）
2008年12月1日
ナノサイエンスデザイン教育研究センター発足（初代センター長：伊藤正 基礎工学研究科教授）・装置を継承
2004-2009
文部科学省科学技術振興調整費
・新興分野人材育成（大学院修士課程相当、社会人再教育）「ナノ教育研究訓練プログラム」の推進のために、大型装置を導入
2002ナノサイエンスの新研究センター構想：豊中キャンパス（理学部・基礎工学部）2014年4月1日ー
基礎工学研究科附属未来研究推進センター発足：装置を継承
2009-2013
文部科学省特別経費「量子機能融合による未来材料創出事業」の推進のため、大型装置を導入
EB, FIB は、ナノサイエンスデザイン教育研
究センター内に設置

G棟 ２F

C-Pair セミナー室

D棟
(R3)

XRD

EBL(ELS7000)
EBL(ELS G-125)

G棟 １F

G棟CR
(R3)
(R3)
中島

(R3)

(R3)

(R3)

(R3)

FIB

(R3)

R3センター事務局
文理融合型研究棟
3階303号室

4

G棟クリーンルーム利用の前に !

・・・・・

5

G棟クリーンルーム利用の前に !

・・・・・・・・・・

6

G棟クリーンルーム利用の前に !
心得
利用者全員が良い研究ができるように、CRの環境維持にご協力をお願いします。
1. エアタイトドアの開閉
2. 服装
3. 実験・作業内容の制限
4. スリッパの整理
5. 自己責任6. 公私混同を避ける
7. お互いに挨拶

車いす専用出入口
図1. G棟1階実験室入口

開閉
図2. クリーンルーム前室入口

7

G棟クリーンルーム利用の前に !
前室内側

クリーンルーム前室入口(内側)エアタイトドア

利用者リスト(各研究室で作成する!!)

開状態
閉状態
入・退室時には、この状態にしてください。

酸素濃度計を設置しました。
点滅時は退室してください。
8

G棟クリーンルーム利用の前に !
前室
洗濯機：クリーンスーツ、シューズの専用

ガスボンベ

コンプレッサ (ELS-G125用)（洗濯は各自で行う）
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G棟クリーンルーム前室のボンベについて前室レギュレータの圧力を確認

2次圧：供給圧力は4ラインで異なるので、装置講習会時に要確認。

1次圧：充填圧力14.7MPa(@35ºC)

R3センター
フォトリソ用R3センター
電子線描画装置
ELS7000圧空用

ELS7000・ELS G125装置のパージとドラフト窒素ガン用・レギュレータのバルブ操作は行わないでください．
・ELS7000パージ用および圧空用ボンベの圧力を、 ELS7000利用者は確認してください。
( 1次圧が1MPa以下に気付いたら、浜屋研に連絡 )・R3センター管理のボンベの日常確認・操作は不要です．

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前室

G棟クリーンルーム利用の前に !
研究室専用棚

入室時はマスク、手袋、クリーンスーツ、シューズ、着用のこと。

クリーンスーツのロッカー
ナノ実習用

CR用シューズラック
ナノ実習用

マスク、手袋は研究室ごとに準備

クリーンスーツ、シューズ用コンテナコンテナも研究室ごとに準備。
新型コロナ対策のため、研究室名表記のこと。
スーツ・シューズの共有しないこと !
未来センターの保有数は31ページで。
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ロッカー、シューズラックの利用停止中。

空気清浄度
ISO規格：空気1m3中に存在する粒径0.1μｍ以上の粒子の数
米国規格：1立方フィート（約30cm四方）に存在する粒径0.5μm以上の粒子の数{{半導体工場
電子部品・光学G棟CR

日本エアテック社HPより雲の上

クラス 1,000

郊外住宅地

400,000

海上

10,000事務所

1,000,000手術室

50,000

工場内

3,000,000

田園地帯

100,000

大都市街中

5,000,000

ホクト総研HPより

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G棟クリーンルーム利用の前に !
クリーンルーム内の装置配置状況などを、必ず確認する !!
ーー入り口

ンッELS-G125

エアシャワードト

作業

エアー ボンベ

トリ

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ーー

装置写真整理整頓

ン
ッELS-G125

ドト

作業

エアー ボンベトリ

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G棟クリーンルーム内のドトについてこれまでの運用方法から変更になったので注意 !!

クリーンルーム内ドラフトの運用についてドラフトを動作させると陰圧になってしまい、CR内に湿気や埃が流入するため、作業時のみ「給気と排気の両方をON」とし、利用しない時は両方OFFにする。
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G棟クリーンルーム内のガス配管
ELS7000チラー横のガス配管連結部

フォトリソ用（利用時に開）

ELS7000パージ用（常時開）

ELS7000圧空用（常時開）

ELS7000チラー( 水がメモリLとHの間にあることを確認)

ELS7000利用者 ・ELS7000圧空用バルブが開いていること．
・ELS7000パージ用バルブの開とレギュレータ圧力、・ELS7000チラーの水量を確認してください．

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G棟クリーンルーム内のガス配管
ドラフト右側ガス配管連結部

窒素ガン用（利用時に開）
最大0.3MPaまで昇圧可能

ELS-G125背面のガス配管連結部

パージ用（常時開）

圧空用（常時開）

操作不要
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G棟クリーンルームの清掃
清掃
1-1. 頻度
1-2. 担当
1-3. 清掃箇所と清掃方法

多田研&酒井研

浜屋研&その他(基礎工)のグルー

藤原研&その他(工)のグルー

理学部(新見グルー )1-4. 確認

具体的な清掃手順や清掃箇所は，次スライド参照。

当面、このグループの組み合わせですすめて、今後の使用割合をみて、グループ再編の可能性があります。
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G棟クリーンルームの清掃
G棟クリーンルーム清掃内容
1. 原則として毎週月曜日に清掃・洗濯を行う。
各自でこまめに洗濯をしてください。
2. クリーンルーム内A) 実験装置自体やその周辺は，スイッチの誤操作やケーブルを踏むなどのトラブルを避けるため，共通の掃除の範囲とせず，メンテナンスを担当している研究室で責任をもって掃除する（次スライド参照）。また，スピンコーターのホイル替えは，スピンコーターを使用している研究室で責任をもって行う。
B) まずは，ドライワイパーをモップに取り付けたもの，および掃除機を用いて，床のホコリを除く。
C) 次に，ドライワイパーを水で濡らしたものをモップに取り付けて床を拭く。
D) 最後に，ゴミ箱にたまっているゴミを捨てる。
3. 前室
A) ほうきで床の掃き掃除をする。
B) 粘着マットを交換する。
C) ゴミ箱にたまっているゴミを捨てる（CR内のゴミ袋へまとめる）。
4. 洗濯A) ウエアは液体洗剤を使って「洗濯・乾燥」
B) シューズはオゾンを使った「エアウォッシュ」
5. 放置物
所有者不明なもの、放置されているものは、設置されている「放置物箱」に入れ、「整理整頓された初期状態」を実現 !!

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G棟クリーンルームの清掃G棟クリーンルーム共通清掃範囲ーー

実験装置とその周辺（赤枠で表示）を共通清掃範囲から除く

ン
ッELS-G125

ドト作業

エアー ボンベトリ

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G棟クリーンルームへの入退室管理とト ブル対応
CR入室手続き，利用者登録
ELS7000利用のためのCR 利用者リストを若家先生がとりまとめて，ナノサイエンスラボラトリー長の竹田先生へ送ることとなった。
R3センター装置の利用登録については、24ページで。

装置故障等ト ブル時の対応
未来センター所有の装置

ELS7000

R3センターに設置の装置

フォトリソ

中島特任准教授へ連絡

ELS G-125

中島特任准教授へ連絡
舘林准教授へ連絡(工学研究科の利用者)

若家准教授、浜屋研スタッフへ連絡・事故，怪我の場合{

所属研究室，警備員室への緊急連絡
緊急連絡先については次スライド参照。
21

22

G棟クリーンルームで使用する化学薬品とガスボンベ

G棟クリーンルームに薬品を保管する研究室は，
1. R3センターの古川先生(furukawa.kana.insd@osaka-u.ac.jp)宛にその旨、事前に連絡してください。

2. 薬品には，研究室名を明記してください。
G棟クリーンルームにガスボンベを持ち込む研究室は，1. R3センターの中島先生(nakajima.yoshikata.insd@osaka-u.ac.jp)宛にその旨、事前に連絡してください。
2. ボンベには，研究室名を明記してください。

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R3センター所有の装置について
1. R3センター所有の備品を利用希望について別途利用規則があるので研究室責任者を通じて下記に問い合わせる。
（年度更新）
竹田精治 先生
内線：6996
メール ：takeda@insd.osaka-u.ac.jp
R3センター (事務局)
内線：6398
メール ：nano-program@insd.osaka-u.ac.jp

24ELS-G125、 ELS7000の利用にあたり夜間・休日の終夜運転の利用時には利用者の掲示をする。
事故発生時の連絡を最初に受ける中島先生、竹田先生に利用者が分かるようにしてほしい。

＊多田研

花村さんの例を示しています。
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ELS-G125 利用上の注意
R3センターへ利用申請を行い、管理者が行う免許皆伝試験(免許制)に合格した者のみが利用可.
ELS-G125 装置利用予約
専用のgoogle calendarへの予約は、管理者の舘林先生(吹田)、中島先生(豊中)によって登録⇒2023年度より、登録制を利用の研究室はその代表者が登録
(予定)
予約の仕方
1.登録したアカウントでログイン．
2.必要情報の入力

利用装置、所属、利用者、利用日時、内線番号を記入

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ELS-G125 利用上の注意
予約時の注意事項
ELS-G125は一度の使用上限時間は８時間以内 (平日9:00 〜 17:00)
予約した時間の使用が終了した後に、新たな予約ができることとする。
利用に関する詳細は、年度毎の利用者登録時にお渡しするELS-G125利用規則
細則に従う。 ＊夜間利用および利用時間についても、利用規則細則に従う。

R3センターの実習等期間には，利用制限あり。

装置利用について
１）遠隔操作 ステムを利用しているときがあり、無人の状態でバルブ開閉音やモニターが表示されることがあります。（故障ではありません）
２）企業からの利用者がある場合は、開始前にご相談いたします。
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ELS7000 利用上の注意
免許制 : 管理者が行う免許皆伝試験に合格した者のみが利用可.
ELS7000 装置利用予約
専用g-mailアド

スの予約カンダーへの登録

予約の仕方

1.登録したアカウントでログイン．
2.必要情報の入力

利用装置，所属，利用者，利用日時，内線番号を記入

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ELS7000 利用上の注意
予約時の注意事項
ELS7000は一度の使用時間は原則３時間以内 (平日9:00 〜 20:00)(急を要する場合、教員が残っている条件で浜屋先生が許可した時は、夜間・土日祝日の利用を可とする場合がある。)

R3センターの実習等期間には， R3センター所有装置の利用制限

29クリーンルームウェア配分状況
シューズウェア
L

2L

3L

4L

26

新見研

12111

酒井研

4

夛田研

1

浜屋研

2

1232
126.5

27282121111111

若家G

1

利用数

76413553

保有数76533553

残数000100001

2022年4月20日 現在
入り口部に設置されたボックス

新見研
夛田研
浜屋研

*未来センター予算で購入分
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ELS7000 2018(平成30)年度のメンテナンス・ト

ブル

1. 6月18日(月)： 大阪府北部地震による停電でポンプ停止。6月26日(火)から利用再開。
2. 9月6日(木) ：突然，エミッタが落ちた。その後復旧した。
3. 9月ごろ：ステージの移動中にエラーになることが時々あった。
4. 9月18-28日 エミッタ交換。V1 の動きが悪かったのでスイッチを交換。10月1日から利用再開。
5. 12月26日(水)：ステージ移動の不具合の修理(センサー交換)。
翌日より利用再開。
6. 3月20日(水)： UPS のバッテリー交換。午後から使用再開。
7. 3月25日(月)： 冷却水のチラーが故障。新品と交換。4月1日から利用再開。
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ELS7000 2019(令和元)年度のメンテナンス・ト

ブル

1. 8月13日(月)～8月15日(水)：夏季一斉休業のため使用禁止。
2. 8月19日(月)～8月30日(金)：エミッタ交換のため使用禁止。試料交換のためのロッドが曲がっていたのでこの機会に交換した。
3. 9月6日(金)～9月10日(火) ：計画されていた停電のため，使用禁止。

4. 11月22日(金)～11月26日(火) ：計画されていた停電のため，使用禁止。
5. 12月28日(土)～1月5日(日) ：年末年始休暇のため，使用禁止。
6. 2月27日(木)～2月28日(金)：クリーンルームのガス配管等工事のため，使用禁止。
7. 3月9日(月)～3月10日(火)：新露光機の搬入・設置のため，使用禁止。
8. 3月23日(月)：ガスを新しい系統からの供給に切替え。
9. 4月-6月：新EBリソ（ナノセンター保有）の搬送棒が変形．交換．
10. 6月10~11日でイオンポン1, 2の値が上昇．エアコンの故障，室温の上昇が原因．同時にエミッション電流が85µA=>78µAに減少．
7月13日の段階で，75µA±5µAでふらつく．

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ELS7000 2020(令和2)年度のメンテナンス・ト

ブル

1. 8月12日(月)～8月16日(日)：夏季一斉休業のため使用禁止。
2. 9月4日(金)～9月8日(火) ：計画されていた停電のため，使用禁止。
3. 9月7日(月)～9月11日(金)：イオンポンプの出力不調。
4. 10月5日(月)～10月23日(金)：エミッタ交換のため使用禁止。試料台ボールネジの交換。イオンポンプ3の交換。ロータリーポンプの交換。ファンユニット交換。
5. 10月27日(金)～10月30日(火) ：計画されていた停電のため，使用禁止。
6. 11月14日(月)～11月15日(火) ：電子銃の真空異常により停止。UPS交換が近かったためそのまま立ち下げ。
7. 11月16日(水)～11月17日(木) ：UPS交換のため停止
8. 12月29日(火)～1月3日(日) ：年末年始休暇のため，使用禁止。

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ELS7000 2021(令和3)年度のメンテナンス・ト

ブル

1. 4月5日 USBを認識しない．PC再起動時にフリーズ．強制終了後，正常に起動
2. 6月8日 カセットにロッドを接続した際に，金属の異物を挟んで，がりがりとした感触．ロッドの接続時の不良のためと思われる．ネジ穴が潰れかけている．=> 修理
3. 8月23日 使用後に電流値が減少している．Beam currentを700程度まで下げてもピコアンメータの値が3.0 nAでない．Iemなどガンパラメータに異常はなし．
4. 9月17-10月電子銃交換後に頻繁に電子銃が落ちる．Ich，Vexなどを変更
後，落ちるのは止まったが，Iemの減少が続く．50µA以下に．Ich,Vexが普段よりも大きな値で調整が行われていた．今後の対応についてエリオニクスと協議し，書面で受領した．
5. 12月14日電流値のふらつき，像が見えなくなるなどの事象が発生 ．ブ
ランキングの調整などを行い像が見えたが，短時間の間に再度発生．再度調整後は安定．
6. 2月14日，3月16日，電流値が描画後に変化．メモリー読み込みで改善．
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ELS7000 2022(令和4)年度のメンテナンス・ト

ブル

1. 4月4日 USBを認識しない．PC再起動．1ヶ所読み込みエラー．それ以外は正常に起動．
2. 4月26日 電流値がふらつく．メモリー読み込みでも数時間後に不安定に．
フィラメント電流を下げて安定化を図る．

3. 5月10，11日 エリオニクスエンジニアが来て，光軸調整などを行い，フィラメント電流を下げて，電流値の安定化を図る．
4. 5月12日 高さ調整中にカセットセンサのブザーが鳴る．5-10分後に停止．ハイトセンサーが反応しづらい．

5. 2023年 1月11日X,Yステージのエラー”8888”が表示される．
レーザー測長計のレーザーヘッドの経年劣化による強度減衰が原因の可能性．受光器感度による調整を試みるが改善されず．
6. 2023年 2月13日チラーヘッドが異音。とりあえず代替機をかりて、年度明けに新規購入。
7. 2023年2月21日ロータリーポンプの異音が更に大きくなる。
ドライポンプへの交換を手配．

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ELS7000 2023(令和5)年度のメンテナンス・ト

ブル

1. 4月13日 ペルチェ式の新規チラーに変更．
2. 4月21日 エミッション電流が100µAから90µAに減少．描画には異常なし．

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