Vol.２９ No.２，２０１０

108
センターニュース

分析機器解説シリーズ（108）◆カソードルミネッセンス分光装置 ……………………………………………… P1
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

森田博文

トピックス

◆最新の液中ナノ粒子解析装置
粒子径分布・ゼータ電位・分子量測定を１台に集約 ………… P5株式会社

◆お知らせ

堀場製作所

分析アプリケーションセンター

伊串達夫…………………………………………………………………………………………… P8

分析機器解説シリーズ（108）カソードルミネッセンス分光装置
1

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
は じ め に1

は じ め に2

森田博文

カソードルミネッセンスの原理

カソードルミネッセンス（CL；Cathodoluminescence）

電子顕微鏡の中または真空中で加速されて試料に照射さの歴史は比較的古く、古くから電子線を真空中で試料にあれる電子は、試料内部で散乱されて、エネルギーを連続 X

ごろにはカソードルミネッセンスとして研究が始まった。

形で失っていく。特性 X 線は原子の内殻電子が入射した電テレビのブラウン管もその応用のひとつであったが、最近子によって弾き飛ばされてその外側の電子が入ることで出2 カソードルミネッセンスの原理
てると光が放出されることが知られており、19世紀の中

3 カソードルミネッセンス装置の構造
線、特性X 線、二次電子、反射電子、オージェ電子などのは薄型テレビの普及でブラウン管も影が薄くなってきてい3 カソードルミネッセンス装置の構造てくるエネルギーに相当するが、CLでは外殻の電子の励
4 収 集 条 件る。替わってLED やレーザー素子の開発などでCLが使わ起によって発生する電子・正孔対が関与する。
（図1）

れるようになってきており、CL の技術そのものは電子顕

この電子・正孔対は比較的エネルギーが高いので、さ微鏡付属のひとつの分析装置として、半導体物性、光素
収 集 条 件

4らに多数の電子・正孔対を作る。その後に電子・正孔対GaNの応用例

今回中央分析センターに電顕付属用のカソードルミネッ（Photon）として放出することになる。このエネルギーはセンス分光装置としてGatan社製「MonoCL4」が導入さ数 eV 程度であり、紫外域から赤外域の光に相当し、CL の子、鉱物などの評価装置として広く普及している。

5 GaNの応用例れたので、この紹介も兼ねて解説する。

5は再結合をして、結果的に再結合のエネルギーをフォトン

6

CdZnTeの応用例

光として観測される。検出器や分光器のこの光を検出・分析するわけであるが、検出器や分光器の感度範囲の限界か

6

CdZnTeの応用例

7

薬剤へのCLの応用例

ら、CL 光の測定範囲は、大体200nm～1700nmの波長域

7 薬剤へのCLの応用例になる。
8ルビーへの応用例（）分析機器解説シリーズ（108）1は じ め に
図 1 電子線による励起の模式図2

照射電子線で励起された内殻電子と外殻電子の例。内殻電子への電子の遷移は特性 X 線を放出し、外殻電子での電子・正孔対の再結合のうち発光するものが CLとして検出される。

カソードルミネッセンスの原理

図 3 集光ミラーの構造の模式図
試料から出た光はパラボラミラーで平行光になる。

PMT で計測されたフォトンのCL 像を収集することができ

3

カソードルミネッセンス装置の構造て、分光器を通って特定の波長だけのCL 像になったもの
は「モノクロマティック像（monochromatic image）」、分

CL 装置は、大きく分けて、光を集光するミラーおよび光器を通らないで収集されたCL 像は「パンクロマティッ

その光を送るライトガイド、CL 光を分光する分光器、光ク像（panchromatic image）」と呼ばれている。モノクロ

4 収 集 条 件をフォトンカウントとして計測する光電子増倍管（PMT；Photomultiplier Tube）とに別れる。集光ミラーは、通常試料の上を覆うような位置に置かれ、CL 光を反射させてマティック像の波長域は、分光器のグレーティングの仕様と分光器に付随しているスリットの幅で決まるので、モノクロマティックCL 像収集時には確認しておかなければな

ライトガイドの筒の中を平行光として進ませるために、パ5 GaNの応用例らない。PMTは目的の波長域に応じていくつも種類があるラボラの形状に加工されている。照射する電子線はミラーが、波長域では「紫外域～可視光域」と「赤外域」の大まに開けられた1mm 径ほどの穴を通って試料にあたるようかに別れる。また赤外域では、PMT ではなく、ダイオードになっている。ライトガイドを通った光は分光器に入り、
CdZnTeの応用例素子の検出器をつかうこともある。

6

分光器の中にあるグレーティングで波長ごとの光に分散さ

なお、CL では、光が比較的長く持続する試料が多く、れる。グレーティングと光の角度、グレーティングの種類

一般的にはCL 像の収集はSEM像収集に比べてかなり長いによって光の分散のされ方が変わるので、グレーティング時間の収集が必要になる場合が多い。またカウント数が少を連続的に動かしていけば、特定の波長のCL 光だけを計ない場合にCL 像をきれいにとるためにも長いスキャン時測することができる。このような構造の分光器をCzerny-間が必要になることがある。CL では1画像あたりの収集時Turner 分光器と呼んでいる。

間を10分もかけて収集することもあることに注意が必要

7

薬剤へのCLの応用例

ルビーへの応用例
8またライトガイドを通った光を分光器を通さずにPMTに入れてしまえば、PMTに入ってくる光のうちPMT で計測できるフォトンをカウントできる。走査型電子顕微鏡（SEM；ScanningElectron Microscope） で は、 こ の
9 太陽電池への応用

1 は じ め にである。

CL 像とは別に、グレーティングの位置を連続的に変化させていってPMT でフォトンをカウントしていけば CL のスペクトル収集を行うことができる。波長範囲とステップ／
2 カソードルミネッセンスの原理

時間を指定すれば自動で収集してくれるが、ここでも「モノクロマティック像」と同じように巣スリット幅とグレー10ジルコンの応用例

11

プラズモンの応用

ティングの仕様で決まる波長分解能があるので、必要な分3 カソードルミネッセンス装置の構造解能を満たして収集しているかどうかの確認が必要である。

4収 集 条 件

CL の大きなアプリケーションのひとつとして、GaN／12

まとめInGaNなどの半導体が上げられるが、これらのCL 光は比5 GaNの応用例像の空間分解能が比較的高いため較的発光が強くかつCLに、SEMの加速電圧を3～5kVぐらいで収集することが多い。CL 像の空間分解能は、電子・正孔対が再結合するま
図 2 分光器の構造の模式図
図の右側から分光器に入った光は M 字型の経路を反射していき、途中のグレーティングで波長ごとに分散されて特定の波長の光が検出器に入っていく。

（）での拡散長と照射電子の試料内での散乱の両方で決まって6 CdZnTeの応用例

くるが、加速電圧を比較的低くすることで、試料内での照7

薬剤へのCLの応用例

分析機器解説シリーズ（108）
射電子の散乱領域を押さえてCL 像の空間分解能をあげることができる。鉱物や他の半導体材料でも発光が十分であれば 3～5kV の加速電圧で空間分解能を上げるのが普通である。必要な電流は試料によって様々であり、発光しやすい素子や蛍光体などは100pA 程度でも十分光るが、発光しづらい試料や試料表面が光を吸収する薄膜に覆われているような場合は100nAぐらい必要な場合もある。発光強度、空間分解能、チャージアップ、電子ビームによる試料ダメージのバランスを考えて収集条件を決定していく。具
体的に加速電圧が1～5kV の場合のGaNのCL 像を図3に示す。低加速で高分解能のCL 像が得られている。

12345

図 5 GaN の断面方向のパンクロマティック CL 像
断面方向で CL 像を見ると成長の様子がはっきりとわかる。

は じ め に1

は じ め に

2

カソードルミネッセンスの原理

3

カソードルミネッセンス装置の構造

カソードルミネッセンスの原理

カソードルミネッセンス装置の構造

収 集 条 件図 3 加速電圧による CL 像の違い（試料GaN）GaNの応用例

実際にGaNの試料のCL 像を（図4）に示す。白く見えるところが発光している領域であり、黒い点はGaNの結晶

6 CdZnTeの応用例
欠陥に基づく発光の弱い箇所である。小さな黒い点の直径を測ると80nm 程度である。GaNでは100nm以下の空間分解能のCL 像が得られるので、この黒点の数を数えれば、欠陥の面密度を求めることができる。
7 薬剤へのCLの応用例

またGaNの断面のCL 像を見ると、GaNの成長の様子がはっきりとわかる。
（図5）4

図 6 GaN の断面方向のモノクロマティック CL 像

収 集 条 件れ、図6の例では、Ban Gap（357nm）、Dislocation欠陥由来（376nm）、Stacking Fault由来（386nm）のそれぞれの分布が異なり、GaN成長に関する重要な情報をCL像
5 GaNの応用例から得ることができる。

6CdZnTeの応用例

CdZnTeもCL でよく知られた材料であり、図7に示すよ
うにCL 像にはSEM像やEDX の元素マップでは見えにくい

7 薬剤へのCLの応用例特徴的な像が得られる。CL像の分解能は1μm 程度であ像（モノクロマルビーへの応用例
8さらに分光器を使って特定の波長のCLティックCL 像）をみると、波長から発光の由来が推測さ

91011128

ルビーへの応用例

9太陽電池への応用

10ジルコンの応用例

11

図 7 CdZnTe の CL 像
プラズモンの応用

12

ま太陽電池への応用

ジルコンの応用例

プラズモンの応用

ま

図 4 GaN のパンクロマティック CL 像とめ

スケールバーは 2 μ m。100nm 以下の黒点（欠陥）が明瞭に見える。

100 倍、500 倍、2000 倍のパンクロ像。CL 像でしか得られない特徴的なコントラストが見える。とめ（）5GaNの応用例

分析機器解説シリーズ（108）
るが他の分析方法では得られないコントラストが得られる
6 CdZnTeの応用例

ために、多くの材料の分析に使われている。

7薬剤へのCLの応用例

有機物質もCL では緑色の光を中心に発光することが知1 は じ め にられている。多くの場合は照射する電子線によるダメー
8 ルビーへの応用例
ジが大きく長時間のCL観察は難しいが、比較的短時間であったり加速電圧、電流を抑えてCL 観察を行えばある程度有用な情報を得られるケースもある。図8に示すのは
2 カソードルミネッセンスの原理

キャリアーに薬剤をまぶした状態をCLで観察した例であ9 太陽電池への応用る。この薬剤の光り方とキャリアーの光り方が異なるため

2カソードルミネッセンスの原理

83

ルビーへの応用例
カソードルミネッセンス装置の構造

9 太陽電池への応用
収 集 条 件
4近年、環境問題への関心の高まりから太陽電池もその中のひとつとして注目を浴びている。特にCIGS 系の太陽電

10 ジルコンの応用例
池はCLで数多く分析されていて、CIGSをCL 像で確認して成長過程や太陽電池としての変換効率との関係を探るた
5 GaNの応用例

めに使われている。

116112プラズモンの応用
CdZnTeの応用例
は
ま じとめ にめに、カソードルミネッセンス装置の構造
3 薬剤の分布状態を短時間で見ることができた例である。

薬剤へのCLの応用例

10ジルコンの応用例

72411

収 集 条 件プラズモンの応用

83ルビーへの応用例

94太陽電池への応用

512GaNの応用例
ま と め

6CdZnTeの応用例

7

図 8 有機物（薬剤）の CL 像の例

薬剤へのCLの応用例

キャリアーと薬剤とで CL の発光が異なるため、分布状況が CL 像で簡単に判別できた例。

カソードルミネッセンスの原理

カソードルミネッセンス装置の構造
図 10 CIGS の SEM 二次電子像と CL 像

CIGS の変換効率が 13.0％と 19.9％の CL 像が異なることがわかる。変換効率の高いほうは CIGS 結晶粒界での発光が弱くなっていないことがわかる。

収 集 条 件10 ジルコンの応用例
GaNの応用例
像では、縞模様が見5鉱物のひとつであるジルコンのCLられることが多く、この縞模様の構造を調べることで、鉱11 プラズモンの応用物の年代や履歴に関する情報を得られる。この分野では、CL6像はその後の質量分析装置やEDX、WDXなどの元素分
CdZnTeの応用例

析を行うための位置決め画像として使われることが多く、

8ルビーへの応用例

ルビーもCL で強い発光が観察できる試料であり、特にまず像を収集して、次に行うより高倍・光精度の分析と め
12 CLまには不可欠な分析装置として使われている。

7

薬剤へのCLの応用例

8ルビーへの応用例

9太陽電池への応用

10

図 11 ジルコンのパンクロマティック CL 像
ジルコンの応用例

11プラズモンの応用

Cr3＋の分布によって693nmあたりに2つのピークが出る

9 太陽電池への応用ことが知られている。この2つの波長が近いため、CLのスペクトルを収集すると2つのピークのすそが重なり合ってしまう。このような場合はそれそれのピークをガウス関数として近似してピーク分離行えばピーク位置、強度、半10 ジルコンの応用例値幅のデータを定量的に得ることができる。
（図9）

11

プラズモンの応用

CL 像の縞の数や形で次の分析のための位置決めの情報が得られる。

12

まとめ

従来、金属はCLをしない材料とされてきたが、実際にはプラズモンの発光が若干ある。このプラズモンを使って12 ま と め新しい応用を模索している。プラズモンは、照射された電図 9 ルビーのピーク分離例
約 1.2nm しか離れていないピークをガウス関数で近似してピーク分離行っている。

（）

子線によって金属内に発生する自由電子の波のようなものであるが、電子顕微鏡でナノ粒子をたたくことでプラズモンの共鳴の様子を光として得ることができる。
図12はSi上の Auナノ粒子であり、長さが1μm弱ある。
この Auナノ粒子を電子線でたたくと、たたく場所によって

11

プラズモンの応用

12

ま分析機器解説シリーズ（108）／トピックスとめ

CLは電子線で光る材料であればどんなものでも分析対得られる光の波長と強度が異なり、波長ごとに強度のマッ象になり、半導体や発光素子の開発はもちろん、セラミッピングをとってみると波長と位置の関係がはっきりとわか

クス、鉱物、有機物質までも含む非常に応用範囲の広い分る。これはまだ始まったばかりの応用例であり、これから析装置である。しかも従来は除いていた金属材料に関しての新しいCLに分野として注目されているものである。

もナノテクノロジーの発達とともにプラズモンという新しい応用分野が開かれようとしている。歴史的には古いCLだが、これからの新しい材料や技術の革新のために光を使った分析装置としてますます必要とされていくものと確信している。

参考文献（1）C . E. Norman, Proc. BIAMS 2000, Solid State
Phenomena Vols 78-79, 19-25, (2000), Scitec PubLtd, eds. Tomokage and Sekiguchi.
（2）K. Fleischer, M. Toth, M. R. Phillips, J. Zou, G. Li. and S. J.
Chua,Appl. Phys. Lett. 1999, 74 (8) 1114
（3）Marchall, J.(1988) Cathodoluminescence of geologicalmaterials, Unwin Hyman (Boston), 1-146（4）S i m o n G a l l o w a y, H i g h S p a t i a l R e s o l u t i o n
Cathodoluminescence, 2002, Gatan Inc.

図 12 プラズモンの応用例
Si 上の Au ナノ粒子。592nm、640nm、730nm の各波長と強度が、Au ナノ粒子を電子ビームでたたく位置によって変わっていることがわかる。

（5）E J R Vesseur, R de Waele, M Kuttge, and A Polman.
Nano Lett., 2007, 7 (9), 2843-2846

トピックス

最新の液中ナノ粒子解析装置
粒子径分布・ゼータ電位・分子量測定を1台に集約
株式会社

1．は じ め に
原子・分子レベルで物質を制御することにより新たな機能

堀場製作所

分析アプリケーションセンター

伊串達夫

2．�
測定原理
���
■2-1 粒子径測定を発現させるナノテクノロジーの研究開発は、食品、化粧品、粒子径測定は、光子相関法を原理としている。光子相関法にライフサイエンス分野にまで身近に浸透しつつある。こうしたよる測定原理を図1に示す。ブラウン運動している粒子にレーナノメートルレベルでの制御や評価には、粒子の大きさやそのザ光を照射し、粒子からの散乱光を光電子倍増管で検出する。

分散安定性の評価が不可欠である。
本稿では、最新の装置（㈱堀場製作所

ナノ粒子解析装置 nano partica

SZ-100）を例にナノ粒子のキャラクタリゼーションを正確かつ簡単に評価する方法と測定事例を概説する。

図 1 光子相関法による粒子径分布原理図（）トピックス
大きな粒子ほど遅く、小さな粒子ほど速くブラウン運動をしているので、粒子からの散乱光は、この動きの速さに応じた自己相関関数が得られる。この自己相関関数から粒子の拡散係数分

3．�����
特　　　徴
最新の装置例としてnano partica の装置外観を図3に、光学布を求め、拡散係数からストークス・アインシュタインの式よ系レイアウトを図4に示す。nano particaは、卓上で1台3役り粒子径分布を算出する［1，2］。

で粒子径や分子量とゼータ電位を簡単にかつ高感度・高精度■2-2 ゼータ電位測定（電気泳動法）分析することができるように工夫されている。

溶液中に分散している粒子は、極性媒質と接するとその表面■ 3-1 粒子径測定 測定範囲：0.3nm～8μmは帯電する。生成した界面電荷と反対符号場方向へ電荷量と比シングルナノからミクロンオーダまで測定するために、最速例した速度で移動する。図2のように移動している粒子に光を40ns高速サンプリングとフィボナッチ数列サンプリング自己照射すると移動速度に応じて、周波数が変化した散乱光が観察

相関器の開発により、高精度でワイドなダイナミックレンジ測される。この散乱光の周波数変化量を測定することで、粒子電定ができるようになっている。また図4に示すように高感度の［3］気移度速度を求め、電荷からゼータ電位を算出する。

PMT 検出器を用いて低信号（低濃度、シングルナノ粒子）試料は光ノイズの低い90度で、高濃度試料は試料表面の散乱光が測定できる173度で検出する独自の光学系により、ppbオーダから数十％までの幅広い濃度を12μLからの試料容量で測定を可能にしている。

■ 3-2 ゼータ電位測定 測定範囲：-200～200mV
電気浸透流の影響が少なく、セル取り扱いが容易で測定後試料回収が行いやすい新ディスポーザブル電気泳動セルにより、わずか100μLの試料量で再現性の良い測定を実現している。
図 2 電気泳動法によるゼータ電位測定原理図■ 3-3 シンプルで簡単な操作
複雑な測定パラメータ入力を簡単にするために、①測定の種■2-3 分子量類（粒子径・ゼータ電位・分子量）を選び、ナビゲーションに試料濃度を変化させたときの90度方向の散乱光強度変化かしたがって溶媒や試料情報を入力する。②試料が入ったセルをらDebyeプロットにより試料の重量平均分子量と第二ビリアルセット後、測定開始のボタンを押す。だけの操作で完了する。

37係数を求める。1×10 ～2×10 の分子量を測定することがで［1，2］きる。

こうした明瞭かつシンプルな操作で、測定経験がなくても簡単に最適条件������������
で�����������の測定を実現している。

■ 3-4 測定精度・性能保証
粒子径測定、ゼータ電位ともに絶対測定法のため、原理上装置の校正は不要である。装置のバリデーションは、HORIBAで認定した標準試料を用いて、精度および再現性����を���確認�している。特に粒子径精度と再現性については、ISO13321：1996、JIS Z 8826：2005に準拠し、精度はキュムラント平均径±2％以内、再現性測定は、±2％����������
未満��������
を実施している。

図 3 ナノ粒子解析装置 nano partica SZ-100 シリーズ外観

4．���������
アプリケーション例■ 4-1 散乱光基準粒子径分布
粒子径測定範囲が広いため、多重ピークが測定されたときの測定結果の解釈には、注意が必要である。動的光散乱は散乱光を基準とした粒子径分布を測定する。すなわち、表示される粒子径分布は、体積や個数ではなく、各粒子径の散乱光強度頻度分布を表している。ナノの領域になると、Rayleigh散乱領域になり、散乱光強度は粒子径の6乗、体積の2乗に比例する［4］。したがって、2種類の粒子を等体積で混合した場合、たとえば粒子径が10倍異なる粒子が混在していると、それぞれの粒子径散乱光の信号強度比が1：100となり、大きい粒子の粒子径分布を実質測定する�����������������
こと���������������になる。混合試料測定例として2
図 4 nano partica SZ-100（）光学系レイアウト図

種類の単一粒子径ポリスチレンラテックス粒子（PSL）（20nmトピックスと100nm）を質量比1：1で混合した試料の測定結果を図5に32.9（mV）と規格を満たしている。ゼータ電位の測定は、試示す。このように散乱光基準の粒子径分布を測定するので、粒料と試料室との温度差による対流やセル壁に試料が吸着する子径の大きな粒子ほどより敏感に測定される。などで、試料をセルに入れてから安定するまでに時間がかかる■ 4-2 シングルナノ粒子径測定例

ことがあるので注意が必要である［5］。

光学系の改良でシングルナノ粒子が簡単に測定できるようになっている。シングルナノ粒子測定例として、図6にグルコー■ 4-4 粒子径と等電点測定例
コロイダルシリカの粒子径測定と等電点測定例を図9、10にスを図7にビタミンB-1の粒子径測定結果を示す。ぞれぞれ

結果を示す。等電点はpHコントローラにて自動的にpHを変化0.6nmと0.4nmの粒子径が観察されている。

させて測定を行うことができる。

■ 4-3 ゼータ電位標準試料■ 4-5 標準分子量測定例

標準電気泳動度試料NIST SRM1980 α-FeOOHのゼータ電分子量測定のバリデーションには標準ポリマー（TSK 標準ポ位の精度����������������������������
測定��������������������������
例を図8に示す。NIST SRM1980の電気泳動度

リスチレン：東ソー）を使用する。図11に分子量 96,400と規格は2.53±0.12μm・cm／V・sである。測定の結果、電1,000のポリスチレンポリマーのベンゼン溶液をDebyeプロッ

気泳動度は2.53（μm・cm／V・s）、ゼータ電位に換算するとトした結果を示す。

図5 2
 0nm と 100nm の PSL 体積比 1：1 の散乱光基準の測定結果
測定試料：Thermo Scientific 製ポリスチレンラテックス：21nm と 97nm
質量比 1：1 混合試料
測定条件：測定温度：25℃、分散媒：超純水、分布表示基準：散乱光基準、濃度：0.1mg/mL

図 7 ビタミン B1 の粒子径測定結果
測定試料：Vitamin B1 分子量 337.27、試料濃度：300mg/mL
測定条件：温調設定：25℃、分散媒：水、分散媒屈折率：1.333、粘度：1.68、分布表示基準：体積基準

図 9-1

コロイダルシリカ粒子径分布測定結果

図 6 グルコース粒子径測定結果
測定試料：グルコース 純度 99.9％ 分子量 180.2、試料濃度：300mg/mL
測定条件：温調設定：25℃、分散媒：水、分散媒屈折率：1.333、粘度：1.81、分布表示基準：体積基準

図 8 NIST SRM1980

ゼータ電位測定結果

測定試料：α-FeOOH NIST SRM1980 Mobility＝2.53±0.12μm・cm/V・s、pH2.5、試料濃度0.050mg/mL
測定条件：温調設定：25℃、分散媒：水、分散媒屈折率：1.333

図 9-2 コロイダルシリカ SEM 像

測定試料：Ludox SilicaR TM-50 水溶液、試料濃度：20mg/ml
測定条件：設定温度：25℃、分散媒：水、分散媒屈折率：1.333、分布表示基準：散乱光基準
測定結果：平均粒子直径、40.4（nm）（）トピックス

図 10 コロイダルシリカ

等電点測定結果

測定試料：Ludox Silica TM-50 with 0.01mol/L KCl、試料濃度：0.1mg/mL
測定結果結果：等電点 pH4.0

図 11 T SK 標準分子量ポリスチレンのベンゼン溶液の Debye
プロット結果測定結果：分子量 96,400 試料：分子量 95,000、第二ビリアル係数
5.7 ×10-4、分子量 1000 の試料：分子量 860、第二ビリアル係数 4.0 ×10-4

参考文献5．�
終わり
��に�
従来測定が困難であったシングルナノ粒子の粒子径やゼータ電位測定がナノ粒子解析装置nanopartica SZ-100で、セルに試料を入れて装置にセットするだけの簡単な操作で測定が可能になっている。従来ナノ粒子の粒子径のみならず、凝集や分散の安定性の研究開発や実用化の促進に寄与することを期待する。

［1］Renlinag Xu : Paritcle Characterization : Light Scattering
Methods(2000), Kluwer Academic Publishers［2］坂下 寛文：「粒系解析（動的光散乱）法の基礎」分析センター
ニュース、Vol. 28、No. 4（106号）（2009年）．
［3］北原文雄、古澤邦夫、尾崎正孝、大島広行：ゼータ電位 微粒
子界面の物理化学（1995）、サイエンスティスト社［4］高橋幹二：エアロゾル学の基礎（2003）、森北出版［5］ゼータ電位利用集 基礎／測定／解釈・濃厚／非水系・分散安定等（2008）、情報機構

お 知 ら せ１）新設装置
以下の装置が平成21年度に導入されました。
・超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡（日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰｽﾞ製 SU8000）
・低真空分析走査電子顕微鏡（日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰｽﾞ製 SU6600、EDX/WDX/EBSD/CL 付属）
・イオンミリング装置（日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰｽﾞ製 E-3500）
・フラットミリング装置（日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰｽﾞ製 IM-3000）
・カーボンコーティング装置（ｻﾝﾕｰ電子製 SC-701C）
・顕微レーザーラマン分光装置（堀場製作所製 LabRAM ARAMIS）
・大型サンプル対応プローブ顕微鏡（日本ビーコ製 Dimension Icon）
・環境制御機能搭載プローブ顕微鏡（アジレント製 Agilent5500）２）既 存装置のバージョンアップ等は以下の通りです。使いやすくなっています。
・島津製作所製SEM（SS550）のPC → Windows XPに変更
・ICPMS（Agilent7500c） → オートサンプラーを追加
・日本分光製FT/IR-700 のPC → Windows XPに変更
・日本分光製FT/IR-620→ デ ータベースの追加（繊維・無機化合物・ヒュンメル高分子・メルク/サドラー試薬）
データベース追加の特典として期間限定（6月中旬まで）でサドラーデータベース22万件を利用できます。
・日本電子製SEM（JSM6701F） → 反射電子検出器を追加
・エリオニクス製SEM（ERA8900） → ｴﾈﾙｷﾞｰ分散型X線分
析装置を追加・リガク製XRD（MultiFlex） → 粉末Ｘ線解析ｿﾌﾄｳｪｱを導入

九州大学中央分析センターニュース
九州大学中央分析センター（筑紫地区）〒816-8580 福岡県春日市春日公園6丁目1番地
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