性能規格表
項目

規格① 測量透鏡形狀

凹面透鏡, 凸面透鏡, 凹凸(彎月)透鏡, 平面, (球面, 非球面皆可)② 測量範圍 (MAX)

凸面最大50mm / 凹面最大30mm(包含凹凸彎月形透鏡)③ 測量範圍 (MIN)

９０μｍ④ 測量φ (可裝載的透鏡口徑範圍)

φ10 - 100mm (未滿φ10mm的, 使用專用夾具可測量)⑤ ΔH測量

最大約10mm⑥ 測量精度(準確性)以基準鋼球(原器) <±2um⑦ 測量精度(再現性)

測量25次當中的測量誤差(波動範圍) <±2um⑧ 設備尺寸(主機)W２９５ｘＤ５０５ｘＨ５０３（ｍｍ）⑨ 設備尺寸(控制盒)W２２０ｘD４８０ｘH５０８（ｍｍ）⑩ 位移計

KEYENCE 彩色共焦雷射位移計 CL-3000⑪ 重量

主機 約33kg + 控制盒 (約25kg) 共 約58kg⑫ 消耗電力

６A/６００W

探測只有一點的透鏡中心厚※選購配備: 基準鋼球 (1英吋或1/2英吋 附測量數據)製造商

ジーフロイデ株式会社
Itabashi Hilltop mansion203, 2-20-5 Itabashi Itabashi-ku,Tokyo 173-0004 Japan
TEL : +８１－３－６９０５－７５７５ FAX : +８１－３－６９０５－７５７６
URL：https://www.g-freude.co.jp
E-mail : info-ch@g-freude.co.jp

株式会社ナガタ本 社 ( 日本 ）永田（香港）
有限公司

永田五光国際貿易（上海）有限公司

Nagano Ken, 394-0025, Japan

鍾意恆勝中心 11楼4B室

華盛商務大厦 903室

TEL : +８１-266-22-4592(代)TEL : (852) 2614 7755

TEL : (86) 021-6360 1527FAX : +８１-266-24-0317

FAX : (852) 2614 7767

FAX : (86) 021-6360 1608

URL : https://www.nagata-ss.co.jp

E-mail : cn.info@nagata-ss.co.jp

E-mail : cn.info@nagata-ss.co.jp

2-4-15, Daieicho, Okaya Shi,

香港新界葵芳葵豐街2-16號

上海市黄浦区漢口路398号

E-mail : cn.info@nagata-ss.co.jp

川川企業有限公司
22046 新北市板橋區雙十路三段16號10樓
TEL : +886-2-2258-0038
FAX : +886-2-2258-9229
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E-mail : sales@kawakawa.com.tw

非接觸透鏡中心肉厚測量機

追求「極精」透鏡中心厚度測量1非接觸式自動測量──無需接觸透鏡

透鏡圖紙上有規定透鏡中心厚度要求, 但卻不容易正確的測量, 因此常用｢接觸式」
測量為主流。但「接觸式」測量精度是受機器機構影響, 也有「測量傷」的外觀問題。
想要以「非接觸式」正確的進行測量, 如果有自動化的選擇更理想──本儀器是希望解決、
針對這樣的業界渴望及要求而開發的。

KEYENCE位移計

測量原理與測量方法

編碼器

位移計

由XY載台
掃瞄檢出頂點

編碼器位移量位移計測量値

WD（上）

塊規

鏡片
中心厚T=T0（既知）位移計測量値

WD（下）

測量範圍

由非接觸方式測量透鏡中心厚藉由配置在儀器背部的兩支LM導軌，幫助位移計順暢滑動，再搭配位移計

測量範圍

編碼器位移量

不需要考慮「折射率」和「曲率半徑」，

定義──鏡片中心厚度的測量值，實現對應更寬泛的中心厚度測量範圍。

鏡片中心厚度 = 塊規厚度 ± 編碼器位移量 ± 位移計測量值

2自動檢出最高 ( 低 ) 點與高速掃描測量

中心厚自動掃描設定的任意測量範圍檢出最高(低)點。
透過自動掃描, 不需要找透鏡中心和輸入透鏡材料的「折射率」以及「曲率半徑」

自由設定測量範圍

XY STAGE自動掃描

透鏡最高 ( 低 ) 點的檢出方式

線掃描方式

位移計Z軸測量範圍 = WD±1.3mm。

透過STAGE線性掃描測量的數據, 經軟體的高速演算處理後,透過XY STAGE掃描, 計算測量範圍內所有中心厚度, 再自動檢

再以3D分析處理。

出其最大(最小)值。

高速掃描

WD (15ｍｍ）
中心厚＋1.3mm
STAGE

3凹面測量的斷面示意圖

測量點顯示 3D 圖 ── 以視覺確認

是否真的確實測量到了面頂點?僅有量測數據難以判斷…本儀器每
次量測皆會輸出顯示3D圖, 透過視覺, 再提升測量的可信度。

3D 圖立體顯示
可同時顯示正反雙面。滾動功能可旋轉3D圖以及顯示頂點的座標。

23

追求「極精」透鏡中心厚度測量

1

非接觸式自動測量──無需接觸透鏡

透鏡圖紙上有規定透鏡中心厚度要求, 但卻不容易正確的測量, 因此常用｢接觸式」
測量為主流。但「接觸式」測量精度是受機器機構影響, 也有「測量傷」的外觀問題。
想要以「非接觸式」正確的進行測量, 如果有自動化的選擇更理想──本儀器是希望解決、針對這樣的業界渴望及要求而開發的。

KEYENCE位移計

測量原理與測量方法

編碼器

位移計

由XY載台
掃瞄檢出頂點

編碼器位移量位移計測量値

WD（上）

塊規

鏡片
中心厚T=T0（既知）位移計測量値

WD（下）

測量範圍

由非接觸方式測量透鏡中心厚藉由配置在儀器背部的兩支LM導軌，幫助位移計順暢滑動，再搭配位移計

測量範圍

編碼器位移量

不需要考慮「折射率」和「曲率半徑」，定義──鏡片中心厚度

的測量值，實現對應更寬泛的中心厚度測量範圍。

鏡片中心厚度 = 塊規厚度 ± 編碼器位移量 ± 位移計測量值

2自動檢出最高 ( 低 ) 點與高速掃描測量

中心厚自動掃描設定的任意測量範圍檢出最高(低)點。
透過自動掃描, 不需要找透鏡中心和輸入透鏡材料的「折射率」以及「曲率半徑」

自由設定測量範圍

XY STAGE自動掃描

透鏡最高 ( 低 ) 點的檢出方式

線掃描方式

位移計Z軸測量範圍 = WD±1.3mm。

透過STAGE線性掃描測量的數據, 經軟體的高速演算處理後,透過XY STAGE掃描, 計算測量範圍內所有中心厚度, 再自動檢

再以3D分析處理。

出其最大(最小)值。

高速掃描WD (15ｍｍ）
中心厚＋1.3mm
STAGE3

凹面測量的斷面示意圖測量點顯示 3D 圖 ── 以視覺確認

是否真的確實測量到了面頂點?僅有量測數據難以判斷…本儀器每
次量測皆會輸出顯示3D圖, 透過視覺, 再提升測量的可信度。

3D 圖立體顯示
可同時顯示正反雙面。滾動功能可旋轉3D圖以及顯示頂
點的座標。

23

追求「正確的測量精度」

1

對比測量 儀器內置標準塊規增加儀器校正的頻率可以提升測量的正確性。本儀器裝有陶瓷標準塊規，採用先自動校正後測量的程序。因為是「反射式」
測量, 不受折射率的影響。

驗證正確性
WD

測量基準鋼球的原理
測量儀都需要叫做Master/基準的「原器」, 但是非接觸測量並沒有原器。
原因是測量中心厚度沒有嚴格的標準測量方法。因此透過測量超高精度鋼球直徑來確保中心厚度測量的正確性。

測定値

對比驗證 : 測量鋼球WD下圖是「基準鋼球」及它的證書和使用本設備測量的數據
*「基準鋼球」用於作為軸承鋼球的製造基準

基準鋼球 : 1/2 英吋 =12.70000mm

全新測量標準 ── 給予透鏡新的可能性

2

綠線長=鋼球直徑

CT-gauge: 平均值 12.7001mm ( 測量誤差 +0.1μ)

正確的測量鏡片中心厚度的機械機構

測量透鏡常用Yatoi(專用治具), 但每次測量都製造專用治具會花費費用和時間。
本設備具有不須使用專用治具, 可直接夾持透鏡的機構。要以反射式準確地測量中心厚度, 測量光和被測透鏡之間的垂直度是非常重要的。

樣品透鏡夾持機構
透鏡夾持機構是POM材的V形夾具，可夾持φ10～100mm的任何直徑。並且會自動檢出鏡
片頂點，因此不需要固定中心。

以3D圖檢視水平使用平行平面板調整樣品夾持面的水平度。

可夾持φ10～100mm。
* 未滿φ10mm的鏡片需要準備專用夾具。

傾斜水平調整前4

傾斜水平調整後5

追求「正確的測量精度」

1

對比測量 儀器內置標準塊規增加儀器校正的頻率可以提升測量的正確性。本儀器裝有陶瓷標準塊規，採用先自動校正後測量的程序。因為是「反射式」
測量, 不受折射率的影響。

驗證正確性
WD

測量基準鋼球的原理
測量儀都需要叫做Master/基準的「原器」, 但是非接觸測量並沒有原器。
原因是測量中心厚度沒有嚴格的標準測量方法。因此透過測量超高精度鋼球直徑來確保中心厚度測量的正確性。

測定値

對比驗證 : 測量鋼球WD下圖是「基準鋼球」及它的證書和使用本設備測量的數據
*「基準鋼球」用於作為軸承鋼球的製造基準

基準鋼球 : 1/2 英吋 =12.70000mm

全新測量標準 ── 給予透鏡新的可能性

2

綠線長=鋼球直徑

CT-gauge: 平均值 12.7001mm ( 測量誤差 +0.1μ)

正確的測量鏡片中心厚度的機械機構

測量透鏡常用Yatoi(專用治具), 但每次測量都製造專用治具會花費費用和時間。
本設備具有不須使用專用治具, 可直接夾持透鏡的機構。要以反射式準確地測量中心厚度, 測量光和被測透鏡之間的垂直度是非常重要的。

樣品透鏡夾持機構
透鏡夾持機構是POM材的V形夾具，可夾持φ10～100mm的任何直徑。並且會自動檢出鏡
片頂點，因此不需要固定中心。

以3D圖檢視水平使用平行平面板調整樣品夾持面的水平度。

可夾持φ10～100mm。
* 未滿φ10mm的鏡片需要準備專用夾具。

傾斜水平調整前4

傾斜水平調整後5

「拓展可能性」其他測量與功能

1「接觸式」與「非接觸式」測量數據比較小口徑透鏡測量功能

測量案例與數據比較① 雙凹透鏡小口徑用鏡片測量
如顯微鏡用的小口徑鏡片, 對中心厚的誤差要求是更加嚴格。本裝置使用專用治具可以測量。

CT-gauge 測量條件

右圖為φ3mm半球形透鏡的測量數據。
搭載專用治具參考圖

大口徑專用測量儀 訂製版

高速中心厚度測量儀 現正開發中

半導體曝光機用透鏡的中心厚度達到100mm程度,對應「速度優先於精度」，「希望測量外徑」等業界的用戶需求,預計2021年內完成開發。

然而玻璃硝材的成本較高, 因此高精度非接觸式中心
厚度測量儀是不可或缺的。

2平行平面板樣品鏡片: CT＝2.03ｍｍ

非接觸式（CT gauge） : CT＝2.03１ｍｍ

頂點

樣品載台

以往沒有「非接觸式」測量ΔH的方法, 一般使用深度儀的「接觸式」測量。CT-gauge挑戰這項難題,
實現ΔH 的「非接觸式」測量。

接觸式測量

接觸式測量數據

② 凹凸(彎月)透鏡

非接觸式ΔH 測量功能
ΔH測量功能3・形狀 : 雙凹透鏡φ40mm
・測量範圍 : 3mm x 3mm方形掃描・掃描間隔 : 0.3mm
・測量點數 : 121點
・測量時間 : 15秒

φ3mm半球形透鏡測量

ＷＤ

Ｓａｇ値
（⊿Ｈ）
XY 掃描

XY STAGE

ＷＤZ變位
（⊿Ｚ）

CT-gauge 測量條件・形狀 : 凹凸(彎月)透鏡φ57mm
・測量範圍 : 4mm x 4mm方形掃描・掃描間隔 : 0.4mm
・測量點數 : 121點
・測量時間 : 17秒

接觸式測量

操作簡易而匠心的軟體

接觸式測量數據

: CT＝４.0５ｍｍ

非接觸式（CT gauge） : CT＝４.0５０ｍｍ

被測樣品調芯功能
測量小口徑而小曲率的鏡片時，依據掃描起點位置
的不同，可能會產生反射光無法正確返回的情形。
CT-gauge具有位置微調功能, 可使用STAGE調整位置誤差。

防止碰撞功能根據被測樣品的反射率等因素, 位移計可能會異常接
近或碰撞被測樣品。為防止此情形, 測量前輸入被測樣品的高度(厚度)資料, 防止發生碰撞。

測量(檢査)報告
可以生成生產管理所需要的精度公差OK/NG判定報告。

6③ ΔH測量

CT-gauge 測量條件・形狀 : 凹凸(彎月)透鏡φ27.8mm
・測量範圍 : 3mm x 3mm方形掃描・掃描間隔 : 0.3mm
・測量點數 : 121點
・測量時間 : 14秒

接觸式測量

歸零

: Sag＝０．
５１７ｍｍ

非接觸式
（CT gauge） : Sag＝０．
５１６ｍｍ

7

「拓展可能性」其他測量與功能

1「接觸式」與「非接觸式」測量數據比較小口徑透鏡測量功能

測量案例與數據比較① 雙凹透鏡

小口徑用鏡片測量
如顯微鏡用的小口徑鏡片, 對中心厚的誤差要求
是更加嚴格。本裝置使用專用治具可以測量。

CT-gauge 測量條件

右圖為φ3mm半球形透鏡的測量數據。
搭載專用治具參考圖大口徑專用測量儀 訂製版

高速中心厚度測量儀 現正開發中

半導體曝光機用透鏡的中心厚度達到100mm程度,

對應「速度優先於精度」，「希望測量外徑」等業界的用戶需求,預計2021年內完成開發。

然而玻璃硝材的成本較高, 因此高精度非接觸式中心厚度測量儀是不可或缺的。

2平行平面板樣品鏡片: CT＝2.03ｍｍ

非接觸式（CT gauge） : CT＝2.03１ｍｍ

頂点

樣品載台以往沒有「非接觸式」測量ΔH的方法, 一般使用深度儀的「接觸式」測量。CT-gauge挑戰這項難題,
實現ΔH 的「非接觸式」測量。

接觸式測量

接觸式測量數據

② 凹凸(彎月)透鏡

非接觸式ΔH 測量功能
ΔH測量功能3・形狀 : 雙凹透鏡φ40mm・測量範圍 : 3mm x 3mm方形掃描・掃描間隔 : 0.3mm・測量點數 : 121點
・測量時間 : 15秒

φ3mm半球形透鏡測量

ＷＤＳａｇ値（⊿Ｈ）
XY 掃描

XY STAGEＷＤZ變位（⊿Ｚ）

CT-gauge 測量條件・形狀 : 凹凸(彎月)透鏡φ57mm
・測量範圍 : 4mm x 4mm方形掃描・掃描間隔 : 0.4mm
・測量點數 : 121點
・測量時間 : 17秒

接觸式測量

操作簡易而匠心的軟體

接觸式測量數據

: CT＝４.0５ｍｍ

非接觸式（CT gauge） : CT＝４.0５０ｍｍ

被測樣品調芯功能
測量小口徑而小曲率的鏡片時，依據掃描起點位置
的不同，可能會產生反射光無法正確返回的情形。
CT-gauge具有位置微調功能, 可使用STAGE調整位置誤差。

防止碰撞功能根據被測樣品的反射率等因素, 位移計可能會異常接近或碰撞被測樣品。為防止此情形, 測量前輸入被測樣品的高度(厚度)資料, 防止發生碰撞。

測量(檢査)報告
可以生成生產管理所需要的精度公差OK/NG判定報告。

6③ ΔH測量

CT-gauge 測量條件・形狀 : 凹凸(彎月)透鏡φ27.8mm
・測量範圍 : 3mm x 3mm方形掃描・掃描間隔 : 0.3mm
・測量點數 : 121點
・測量時間 : 14秒

接觸式測量

歸零

: Sag＝０．
５１７ｍｍ

非接觸式
（CT gauge） : Sag＝０．
５１６ｍｍ

7性能規格表項目

規格① 測量透鏡形狀

凹面透鏡, 凸面透鏡, 凹凸(彎月)透鏡, 平面, (球面, 非球面皆可)② 測量範圍 (MAX)

凸面最大50mm / 凹面最大30mm(包含凹凸彎月形透鏡)③ 測量範圍 (MIN)

９０μｍ④ 測量φ (可裝載的透鏡口徑範圍)

φ10 - 100mm (未滿φ10mm的, 使用專用夾具可測量)⑤ ΔH測量

最大約10mm⑥ 測量精度(準確性)以基準鋼球(原器) <±2um⑦ 測量精度(再現性)

測量25次當中的測量誤差(波動範圍) <±2um⑧ 設備尺寸(主機)W２９５ｘＤ５０５ｘＨ５０３（ｍｍ）⑨ 設備尺寸(控制盒)W２２０ｘD４８０ｘH５０８（ｍｍ）⑩ 位移計

KEYENCE 彩色共焦雷射位移計 CL-3000⑪ 重量

主機 約33kg + 控制盒 (約25kg) 共 約58kg⑫ 消耗電力６A/６００W

探測只有一點的透鏡中心厚※選購配備: 基準鋼球 (1英吋或1/2英吋 附測量數據)製造商

ジーフロイデ株式会社
Itabashi Hilltop mansion203, 2-20-5 Itabashi Itabashi-ku,
Tokyo 173-0004 Japan
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株式会社ナガタ
本 社 ( 日本 ）永田（香港）
有限公司

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Nagano Ken, 394-0025, Japan

鍾意恆勝中心 11楼4B室

華盛商務大厦 903室

TEL : +８１-266-22-4592(代)TEL : (852) 2614 7755

TEL : (86) 021-6360 1527

FAX : +８１-266-24-0317

FAX : (852) 2614 7767

FAX : (86) 021-6360 1608

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E-mail : cn.info@nagata-ss.co.jp

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22046 新北市板橋區雙十路三段16號10樓
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非接觸透鏡中心肉厚測量機