２０１９ 第２９回 ＲＣＪ信頼性シンポジウム（“EOS/ESD/EMCシンポジウム”、“電⼦デバイス・電⼦部品の信頼性シンポジウム”）
⽇時︓ 2019年11⽉27⽇（⽔）〜11⽉28⽇（⽊）
⽇時
項⽬
会場
午前

昼

午後 前半

午後 後半

開催場所︓⼤⽥区産業プラザ

11⽉27⽇（⽔）
11⽉28⽇（⽊）
EOS/ESD/EMC
電⼦デバイス・電⼦部品のEOS/ESD/EMC
シンポジウム
信頼性シンポジウム
ESD管理実践技術セミナー
シンポジウム
優秀論⽂等表彰式
信頼性セミナー４階コンベンションホール
４階コンベンションホール
Ａ会場
Ｂ会場
Ａ会場
Ｂ会場
(10:20〜11:45)(10:00〜12:00)(9:50〜11:50)（10:00〜12:00）「デバイス及びテスト」「静電気の基礎」「デバイス及びテスト」 2件「信頼性セミナー」
3件「静電気対策の⼿法と評価「招待講演」 1件-パワー半導体と⽅法」
最新 LSI の信頼性（11:45〜12:00）（12:00〜13:30）（11:50〜12:50）（12:00〜13:00）
優秀論⽂等表彰式
休憩
休憩
休憩（12:00〜13:15）
休憩（13:15〜14:50）（13:30〜15:00）（12:50〜14:30）（13:00〜17:30）「招待講演」 2件
静電気測定技術の解説「招待講演」 1件「信頼性セミナー」（実践付き）-1「セミナー」 1件-パワー半導体と最新LSIの信頼性（14:50〜15:20）（15:00〜15:15）（14:30〜14:40）
休憩
休憩
休憩
招待講演︓
（15:20〜17:00）（15:15〜16:45）（14:40〜16:20）「⼆次電池の異物管理につい「静電気対策」
静電気測定技術の解説「イミュニティ」 4 件
4件（実践付き）-2（16:20〜16:30） て （ 海 外 ⼯ 場 で の 特 異性）」 －⽇本の⼯程管理
休憩（16:30〜17:30） のコピーでは、品質・信頼性が安定しない︖︕－「招待講演」 1件

夜（17:15〜19:00）
情報交換会 (軽⾷・ドリンク付き)
4 階コンベンションホール ロビー（ホワイエ）

展⽰会（10:00〜17:00）（2階⼩展⽰ホール）
ESD関連装置の展⽰及びESD対策技術ワークショップ（10:00〜17:00）（2階⼩展⽰ホール）
ESD関連装置の展⽰及びESD対策技術ワークショップ

主催 ⼀般財団法⼈ ⽇本電⼦部品信頼性センター
協
賛 ⼀般社団法⼈ 電⼦情報技術産業協会 ⼀般社団法⼈ ⽇本電機⼯業会(順不同) ⼀般社団法⼈ ⽇本電気計測器⼯業会 ⼀般財団法⼈ ⽇本規格協会
⼀般社団法⼈ ⽇本電⼦回路⼯業会
⼀般財団法⼈ 光産業技術振興協会
⽇本信頼性学会 IDEMA JAPAN

⼀般社団法⼈ 電⼦情報通信学会
⼀般社団法⼈ 電気学会
⼀般財団法⼈ ⽇本科学技術連盟 静電気学会
公益社団法⼈ ⽇本磁気学会
⼀般社団法⼈ 情報通信ネットワーク産業協会
SPE ⽇本⽀部

シ ン ポ ジ ウ ム の概要
RCJ信頼性シンポジウムは、電⼦部品、電⼦デバイス、電⼦機器等の設計・開発技術者、信頼性技術者、⽣産技術者を対象に、信頼性及びESDという共通のテーマで論⽂発表・討論しあい、より進歩した信頼性向上技術、ESD障害対策技術等の分野での発展に寄与することを狙いとしています。本シンポジウムは、静電気関連問題を中⼼に扱う”EOS/ESD/EMCシンポジウム”、及び電⼦デバイス・電⼦部品の信頼性問題を中⼼に扱う”電⼦デバイス・電⼦部品の信頼性シンポジウム”からなっており、今年で29回⽬を迎えました。
EOS/ESD/EMC関係では、Dr. C. Duvvury⽒をはじめ、4名の海外招待者による招待講演、その他従来からのテーマである”デバイスのESD対策、システム・デバイス試験、イミュニティ”に関する各セッションがあり、幅広くESD現象と対策について討議できる場を提供しています。
電⼦デバイス関係では、残念ながら⼀般講演はありませんが、“パワー半導体と最新LSIの信頼性”を中⼼としたセミナーを開催します。
また、同会場２階の⼩展⽰場では、静電気（ESD）対策⽤資材、計測・評価試験装置及び故障解析技術サービス等をテーマとした“信頼性・ESD対策技術展⽰会”及びESD対策技術ワークショップを同時開催します。
⽇頃、この⽅⾯でご活躍の皆様の多数のご参加をお待ちしております。

（2019.11.8）
本内容は今後変更になる可能性があります。RCJ ホームページ（http://www.rcj.or.jp）で随時ご確認願います。

- 1 -第２９回 ＥＯＳ/ＥＳＤ/ＥＭＣシンポジウム プログラム
開催⽇︓ ２０１９年１１⽉２７⽇（⽔） １０︓２０〜１９︓００
会 場︓ ４階コンベンションホール（Ａ会場）（10:20~10:25） 「開会の挨拶」（⼀財）⽇本電⼦部品信頼性センター（10:25~10:30） 「今年度のEOS/ESD/EMCシンポジウムについて」

鈴⽊ 輝夫（(株) ソシオネクスト）

セッション名︓ 「デバイス及びテスト」 司会︓ ⼩⼭ 明（ソニーセミコンダクタソリューションズ(株)）（10:30~10:55） 29E-01 「CDM試験時における電圧波形の測定についての考察」
澤⽥真典*, ⼤沢隆⼆** （*阪和電⼦⼯業(株)、**株式会社精⼯技研）
近年、電⼦機器組⽴の⼯程において、CDMによる不具合が多く占めている。半導体のCDM試験規格には、
放電電流波形が規定されている。しかしながら、電圧波形については、確認する⼿法がない。今回、CDMの放電時の電圧波形の取得⽅法について検討を⾏ったので、報告する。

（10:55~11:20） 29E-02 「powered & unpowered conditionにおけるpowerclampのESD耐性」
⽯塚 裕康（シナプティクス・ジャパン合同会社）
System ESD test (IEC 61000-4-2) に お け る powerclamp 素 ⼦ 破 壊 の 解 析 を 進 め る う え で 、powerclamp素⼦単体のpowered & unpowered conditionにおけるESD耐性を評価した。
そ の 結 果 、 powered 及 び unpowered の condition 下 で 、 GGNMOS と Active clamp MOS(RCtriggered NMOS)では挙動が異なり、破壊耐性に差があるように⾒える。
実験データベースに、ストレス下におけるそれぞれの素⼦の挙動について議論する。

（11:20~11:45） 29E-03 「システムレベルESD試験時の2次放電電流波形測定に関して」
磯福 佐東⾄（東京電⼦交易(株)）システム・レベルESD試験規格、IEC 61000-4-2の改定案を提起するためにIndustry Councilより⽩書5の発⾏準備が進んでいる。この規格ではESDガンが放電シミュレータとして使⽤されている。しかし、ESDガンでトリガされた後に試験対象システム内部の浮動⾦属と電極等の間の微細ギャップ間で⽣じる2次放電が発⽣すると、ESDガンの放電によっては誤動作しない場合でも2次放電によって装置が誤動作する事がある。この2次放電による誤動作はその時の放電電流波形との関係が強いと考えられる。
ESDガンによってシステムに印加される放電電流波形を測定する事は⽐較的容易だが、2次放電によって⽣じる放電電流波形を測定する事は難しい。⽩書5では、⼀部のオシロスコープで2次放電によって⽣じる放電電流波形を検出する⽂献を紹介しているが、本論では、それを他のオシロスコープに対して適⽤する事が可能なのかどうかを調査して報告する。

第28回ＲＣＪ信頼性シンポジウム優秀論⽂賞等表彰式 （11:45~12:00）
挨拶
⽊村 忠正 （電気通信⼤学名誉教授 ＲＣＪ信頼性シンポジウム運営委員⻑）⽊村 忠正 （電気通信⼤学名誉教授 ＲＣＪ信頼性シンポジウム運営委員⻑）＜優秀論⽂賞＞「⼤規模電磁界解析を⽤いたEMC解析技術の開発」
松原 亮、 井⼝ 勝夫（パナソニック（株）コネクティッドソリューションズ社 イノベーションセンター）＜功労賞＞
成⽥ 幸輝（ルネサスエレクトロニクス(株)）、宮本 佳明（阪和電⼦⼯業(株)）＜奨励賞＞「光電界センサを⽤いたロボットの誤動作解析」
⼤津 孝佳、〇⽥代 治⼰、⽵内 誠⼈、漆畑 幸星、*⼤沢 隆⼆（沼津⼯業⾼等専⾨学校, *（株）精⼯技研）
休憩（12:00~13:15）- 2 -セッション名︓招待講演-1（13:15~13:50）

司会︓ 鈴⽊ 輝夫（(株) ソシオネクスト）
Invited ESDA 2018 EOS/ESD Symposium Best Paper「Device Failure from the Initial Current Step of a CDM Discharge」○
David Johnsson, Krzysztof Domanski, Harald Gossner(Intel Deutschland GmbH)CDM discharges exhibit a fast initial current step when the stray capacitance of the pogo
pin is charged. It is demonstrated that the high slew rate can damage sensitive gate
oxides. The miscorrelation of CDM and CC-TLP methodologies is addressed by applying
pulses with 20 ps rise time.

セッション名︓招待講演-2（13:50~14:50）

司会︓ ⽯塚 裕康（シナプティクス・ジャパン）

Invited 「Electrical Overstress EOS: Design for Mitigation」

Charvaka Duvvury（ESD Consulting LLC and iT2 Technologies）
EOS has been a constant reliability problem often leading to damages during customer
applications. This talk will first review the white paper from the Industry Council in
describing EOS in terms that are understood by suppliers and customer. Then the talk will
present through examples and case studies situations that can cause EOS. As will be
reviewed in this talk, EOS mitigation can come from lessons learned during applications aswell as from avoiding IC ESD design styles that can lead to unnecessary EOS. The
presentation will provide design check lists to mitigate EOS damage and will also explain
communication methods to reduce EOS incidences.

休憩（14:50~15:20）

セッション名︓ 「静電気対策」 司会︓澤⽥ 真典 （阪和電⼦⼯業(株)）、藤原 秀⼆（オン・セミコンダクター）（15:20~15:45）

29E-04 「フラットパネルディスプレー製造中の純⽔スプレー洗浄における静電気障害の対策」

福岡 靖晃1，⽇⽐野 慎也1，⼤野 雄⽮1, 森 ⻯雄1，瀬川 ⼤司2，⼩林 義典2，宮地 計⼆2，清家 善之1（1愛知⼯業⼤学，2旭サナック㈱）液晶パネルを含むフラットパネルディスプレーの洗浄⼯程の⼀つに、純⽔を10MPa級の圧⼒で噴霧する洗浄⽅法が広く⽤いられている。この純⽔スプレー洗浄は⽐抵抗値の⾼い純⽔をスプレーするためデバイスが帯電し、静電気障害（ESD）を発⽣する問題がある。従来、この対策⽅法として純⽔に炭酸ガスやアンモニアを添加させて、純⽔の⽐抵抗値を下げて⾏っていたが、純⽔を改質してしまうと問題というコストの問題があった。
本報告ではノズルに負の電荷を印加と噴射させる⽔を加温させることで、89%の発⽣電荷量を減少させたので報告する。

（15:45~16:10）

29E-05 「静電気放電現象の⾒える化」
川辺 健⼀*、落 治*、徳永 英晃**、井上 ⻯也**(*株式会社オーケー社⿅児島,**パナソニック株式会社 インダストリアルソリューションズ社）
⽣産⼯程における放電現象やプリント基板上での放電現象の⾒える化を可能とする「放電可視カメラ」を開発した。本装置に関する性能評価結果と将来性について報告する。

（16:10~16:35）

29E-06 「除電による絶縁体の表⾯電位の推移について」
宮本 佳明（阪和電⼦⼯業(株)）近年機器組⽴の⾃動化により、静電誘導を受け帯電したデバイスがツールなどから放電し、破壊する現象が多くなっている。帯電した物質の表⾯電位推移については現状不透明の部分が多い。
今回は表⾯電位をリアルタイム、かつ複数点同時測定できる静電気可視化モニタを利⽤し、表⾯抵抗の異なった絶縁体に除電を⾏った時の広範囲の表⾯電位の推移、移動について実験し報告する。

（16:35~17:00）

29E-07 「ケーブルの静電気帯電に起因するESD破壊に関する検討」
今野 美砂 中島 健司 伊藤 剛
（宇宙航空研究開発機構、安全・信頼性推進部技術開発グループ）
ロケットや衛星の組み⽴て現場で使⽤されているケーブルのうち、特に⻑く、束ねられている本数も多い試験ケー
ブルは、移動や取扱時に意図せず⼤きく帯電してしまう場合がある。この試験ケーブルを宇宙機搭載機器に接続した際に⽣じるESD破壊の防⽌について、ケーブル取扱時の帯電防⽌や接続前の除電など、JAXA内で検討・試験評価を進めている対策について紹介する。

- 3 -17:15〜19:00

情報交換会 (軽⾷・ドリンク付き)︓シンポジウム参加者は⾃由にご参加下さい。
会場︓ 4階コンベンションホール ロビー（ホワイエ）

開催⽇︓ ２０１９年１１⽉２８⽇（⽊）

9︓5０〜１７︓３０

会 場︓ ４階コンベンションホール（A会場）
セッション名︓（9:50~10:15）「デバイス及びテスト」 司会︓ 徳永 英晃(パナソニック(株))29E-08 「ホールド電圧可変技術を⽤いた⻑パルス対応の低リークESD電源保護回路」
成⽥ 幸輝, 奥島 基嗣 （ルネサスエレクトロニクス(株)）実装/テスト⼯程でのICのESD破壊防⽌だけでなく、システムへ実施される様々な電気的擾乱試験(システムレベルESD/Surge試験等)に対して、ICの耐性を向上させることが、オンチップESD保護回路の新たな付加価値になると予想される。
オンチップESD保護としてよく⽤いられるRCトリガ保護回路は、その時定数の⻑さに制約があるため、システムレ
ベルSurge試験のような⻑パルス(数⼗us)には動作できない。そのため、⻑パルス対応可能なオンチップESD保護として、パルス幅に関わらず、所定電圧で動作するスタティックトリガ回路を、RCトリガ回路と組み合わせた複合型保護回路が提案されている。
Surgeパルスはその⻑いパルス幅に応じた⼤きなエネルギーを持ち、それはBig-MOSの⾼いホールド電圧における放電能⼒を低下させる。従来のスタティックトリガ回路は、トリガ動作後のホールド電圧がトリガ電圧に追従するため、トリガ電圧が⾼い場合、⻑パルスの放電能⼒は低下する。トリガ電圧を下げることで放電能⼒は向上するが、すると今度はトリガ回路のリーク電流が増⼤する、という課題を 抱える。
本発表では、ホールド電圧をトリガ電圧から独⽴して可変する回路技術によって、トリガ回路のリーク電流増加
無しに、⾼い⻑パルス放電能⼒を確保可能な複合型ESD保護回路について報告する。

（10:15~10:40） 29E-09 「ウェーハ 及び ベアダイ状態におけるCDM測定」
鈴⽊ 輝夫*, ⼤久保 和哉*, ⾕⼝ 博樹*, 澤⽥ 真典**, 奥村 浩⾏**,
新家 ⼀男** (* 株式会社ソシオネクスト, ** 阪和電⼦⼯業株式会社)
パッケージ組み⽴てを依頼したASSY HOUSEにて、静電気破壊が発⽣する場合がある。
ウェーハやベアダイ状態にてHBM測定できる測定器は既に存在するが、ウェーハやベアダイ状態にてCDM測定することが出来れば、破壊の原因がESD設計が悪いからか、ASSY HOUSEの静電気管理が悪いからかを早期に判別できる。今回、ANSI/ESDA/JEDEC JS-002に準拠したWafer CDM試験装置を新規に装置メーカーと協⼒して開発した。
CMOSプロセスで作成した製品をベアダイとウェーハを⽤いて測定し、期待した耐圧を得ることが出来たので報告する。

休憩（10:40~10:50）
セッション名︓招待講演-3 司会︓ 奥島 基嗣 （ルネサスエレクトロニクス(株)）（10:50~11:50） Invited 「Electronic Design Automation Solutions for ESD and Latch-up」
Michael Khazhinsky（Silicon Labs）
The verification of ESD and latch-up protection in modern integrated circuits is a difficult
challenge due to increasing design and process complexity, higher-pin counts and theoverall computational difficulties in dealing with large data sets. Consequently, a fully
automated ESD and latch-up rule checking approach analyzing both geometrical andelectrical information is highly desired. This presentation will give an overview of existing
ESD and latch-up EDA solutions across industry, including both commercial and in-house
EDA tools and flows for automated ESD and latch-up checks and will discuss directions for
future EDA tool development and standardization.

休憩（11:50~12:50）
セッション名︓招待講演-4

司会︓ 若井 伸之（東芝デバイス&ストレージ（株））（12:50~13:40） Invited 「Industry Council update」
Charvaka Duvvury（ESD Consulting LLC and iT2 Technologies）
The Industry Council on ESD Target Levels, established during 2006, is a leading bodyin offering recommendations for safe ESD targets compatible with high speed circuit
applications, system level ESD design and understanding EOS. This update will review
the latest Council activities that are in progress. These include studies on transient AMR,a new more detailed study on recommendations for realistic system level ESD testing
practices, and a new document under preparation to review recommendations for revised
CDM targets for ultra-high-speed applications in 7 and 5 nm technologies.

- 4 -セッション名︓ セミナー-１

司会︓ 磯福 佐東⾄（東京電⼦交易(株)）「基板ﾓｼﾞｭｰﾙﾚﾍﾞﾙの静電気対策”委員会の2018年度活動結果と2019年度の活動⽅針」（13:40~14:30） Invited
福⽥ 保裕（ESD コンサルタント）
2017年度に発⾜した、RCJ“基板ﾓｼﾞｭｰﾙﾚﾍﾞﾙの静電気対策”委員会は、2017年度に世の中における基板ﾓｼﾞｭｰﾙﾚﾍﾞﾙの静電気現象の概要に関する⽂献調査、2018年度に電源OFF状態の取り扱いにおける基板
ﾓｼﾞｭｰﾙﾚﾍﾞﾙの静電気現象分析、対策整理を⽬的として活動、研究調査報告書にまとめた。さらに2019年度
は電源ON状態における基板ﾓｼﾞｭｰﾙﾚﾍﾞﾙの静電気現象分析、対策を公開⽂献を前提にた研究調査を⽬標とし、今回はその活動の⼀端を報告する。

休憩（14:30~14:40）
セッション名︓「イミュニティ」 司会︓本⽥ 昌實（(株) インパルス物理研究所）、⼤津 孝佳（沼津⼯業⾼等専⾨学校）（14:40~15:05） 29E-10 「⼈体からの放電電流と電磁波ノイズの検討」
早⽥ 裕（プローブテック）
⼈体からの放電を約3年間に渡り計測している。その放電波形は、季節変動による変化が観察され、さらにインパルス状の波形から緩やかな放電を⽰す波形まで各種の波形が観察されている。今回の報告では、このような⼈体からの放電電流から発⽣する電磁波ノイズを観察し、放電源である⼈体放電電流との関係を検討した。インパ
ルス状の放電波形からは、周期の短い電磁波放射が発⽣し、ピーク電圧は⾼くなり、⽴ち上がりの緩やかな放電
波形からは、周期の⻑い波形が観察され、ピーク電圧は低くなる傾向があった。

（15:05~15:30） 29E-11 「光電界センサーを⽤いたロボットの誤動作に関する研究」

⼤津 孝佳1，○永尾 優磨1，漆畑 幸星1，⽥代 治⼰1，⼤沢 隆⼆2（沼津⼯業⾼等専⾨学校1， ㈱精⼯技研2）

電⼦機器の静電気耐⼒の低下とともに、電磁環境の影響が懸念される。光電界センサーは、⾮接触での近傍電界測定が可能であり、光ファイバケーブルを⽤いることで測定対象の系に与える影響は少ない。また、周波数特性が平坦であるためオシロスコープにより本来の波形を測定することが可能である。
そこで、⾼⼊⼒インピーダンスの特性を活かし、回路への影響なく信号波形を観察できることから、光電界センサ
ーを⽤いたロボットの誤動作解析を⾏った。

（15:30~15:55） 29E-12 「狭ギャップ状態のESDで発⽣する過渡電磁界による回路誤動作について」
本⽥ 昌實（(株) インパルス物理研究所）
狭ギャップ状態の ESD によって発⽣する過渡電磁界の電⼦回路に対する誤動作（EMI）作⽤を、波源（放電発⽣部）、空間伝搬、受信（回路侵⼊）の各相における諸⽀配要因について実験的に解析したので報告する。

（15:55~16:20） 29E-13 「超⾼感度紫外線カメラを⽤いた静電気放電現象の観察」
⼤津 孝佳1, 永尾 優磨1, ﾊﾞｯﾄﾄﾙｶﾞﾀﾞﾜｰﾌｰ1, 平沢 朋幹1, 佐藤 ⿓之介1,
⻑⾕川 孝美2, ⼤沢 隆⼆3（沼津⼯業⾼等専⾨学校1，㈱ブルービジョン2, ㈱精⼯技研3）Society5.0を担う情報機器に⽤いられる電⼦デバイスは半導体素⼦の⾼集積化，⾼速化，低電圧化に伴って益々静電吸引（ESA），静電気放電（ESD），静電気放電に基づく電磁障害（EMI）に対し脆弱となり、これらの電⼦デバイスの製造，組⽴，実装⼯程における製品の歩留まりや，破壊や誤動作等の信頼性に関わる問題が⼤きな課題となっている．特に、電⼦機器の静電気耐⼒の低下とともに、低エネルギー放電現象の観察は、原因発⾒と対策技術の効果の確認の上で重要である。そこで、超⾼感度紫外線カメラを⽤いて、静電気放電現象の観察を⾏った。

休憩（16:20~16:30）
セッション名︓招待講演-5 司会︓ ⼩沢 忠史（(株)メガチップス）（16:30~17:30） Invited 「ESD Simulation and Modeling」
Eugene R. Worley（Silicon Crossing, LLC）
Typically, ESD clamp circuits are designed with very limited analysis. Standard cells are
employed along with connectivity, bus size, and path resistance analysis in constructing an“on chip” protection network. As a consequence, these networks employ overkill which can
not be tolerated for high performance circuits such as high speed SERDES and LNAʼs.
Custom tailoring a protection circuit to an I/O requires detailed simulation models including
tester models, high current models, and failure models. This talk will examine ESD
simulation models including those needed for SEED.

- 5 -ESD管理実践技術セミナー－ESD対策の基礎と測定技術の実演ー
開催⽇︓

２０１９年１１⽉２7⽇(⽔) １０︓００〜１６︓４５

会

４階コンベンションホール（B会場）

場︓

システムの電⼦化の進展により、歩留まりと信頼性向上のため、モジュール品や電⼦装置の組⽴ラインの ESD 管理が益々重要となっています。また、⾃動組⽴装置の普及により、従来の⼈体の帯電管理に加え、⾃動装置内のデバイ
ス帯電・放電管理も重要になってきています。このような背景から、ESD 管理の基礎と実践に焦点を当てたセミナーを計画しました。本セミナーでは、その基礎となる、作業現場での各種測定⽅法を、実技を交えて解説します。
常⽇頃から静電対策を実践されている ESD 管理技術者や作業者の⽅々に役⽴つセミナーです。この機会をぜひご聴講下さい。

2019 年 11 ⽉ 27 ⽇（⽔）
時間

内容

講師

（10:00~11:00）「静電気の基礎」

鈴⽊ 輝夫（春⽇電機（株））(11:00~12:00)「静電気対策の⼿法と評価⽅法」

⾼橋 忠（RCJ）（12:00~13:30）

昼⾷休憩
静電気測定技術の解説（実践付き）-1（13:30~15:00）－対策資材の測定⽅法と測定データの解釈ー（イオナイザ、⾐服、履物、⼿袋/指サック、⼯具類、⼈体電位 等）（15:00~15:15）

休憩
静電気測定技術の解説（実践付き）-2（15:15~16:45）－対策資材の測定⽅法と測定データの解釈ー（イオナイザ、⾐服、履物、⼿袋/指サック、⼯具類、⼈体電位 等）注）︓ プログラムが変更になる場合があります。
・教材（当⽇配布します）︓ 「パワーポイント資料」- 6 -⾼橋 忠（RCJ）

鈴⽊ 輝夫（春⽇電機（株））

信頼性セミナー︓ 「パワー半導体と最新LSIの信頼性」
開催⽇︓ ２０１９年１１⽉２８⽇(⽊) １０︓００〜１7︓３０
会 場︓

４階コンベンションホール（B会場）

司会︓ ⼤⽇⽅ 浩⼆ （ソニーセミコンダクタソリューションズ（株））
⽊村 忠正（故障物理委員会委員⻑
電気通信⼤学）(10:00~10:15) 「故障物理委員会活動状況」「ワイドギャップパワー半導体の故障物理と信頼 ⽊村 忠正（故障物理委員会委員⻑
電気通信⼤学）
性評価－主に GaN パワーデバイス」「SiCパワーMOSFETの信頼性(11:15~12:00)
塩野 登 （RCJ）
ｰ SiC-MOS界⾯特性劣化を中⼼に－」(10:15~11:15)(12:00~13:00) 昼⾷休憩
司会︓ ⽊村 忠正（故障物理委員会委員⻑、電気通信⼤学）
招待講演︓(13:00~14:00)「⼆次電池の異物管理について（海外⼯場での和⽥ 哲明
特異性）」 －⽇本の⼯程管理のコピーでは、品 （元パナソニックエナジー社）
質・信頼性が安定しない︖︕－(14:00~14:15) 休憩
司会︓ ⽊村 忠正（故障物理委員会委員⻑、電気通信⼤学）(14:15~15:00) 「ニューロモーフィックデバイスの現状と信頼性」(15:00~15:45) 「最新のNBTI劣化現象とモデル」

⽯丸 ⼤輔（ソニーセミコンダクタソリューションズ（株））
⼤⽇⽅ 浩⼆（ソニーセミコンダクタソリューションズ（株））(15:45~16:00) 休憩
司会︓ ⼤⽇⽅ 浩⼆ （ソニーセミコンダクタソリューションズ（株））
桐⼭ 賢（ルネサスエレクトロニクス（株））(16:00~16:45) ｢パッケージ信頼性の最近の話題」(16:45~17:30)「ワイブルベイズ統計モデリングにおける故障物理横川 慎⼆ （電気通信⼤学）
情報の応⽤」（注︓ テーマ名等プログラムが変更される場合があります）
・教材（当⽇配布します）︓ 「パワーポイント資料」＜要旨＞
現在半導体分野でのホットな話題は、新材料を用いたパワー半導体や車載用や IoT 向けの半導体信頼性保証方法です。信頼性保証方法は、従来の多数試料を用いたストレス試験による保証から、故障物理に基づく保証方法に変化してきています。即ち、半導体の故障モード毎に使用環境や使用ストレスを考慮し、故障率を評価し、設計に反映させる方法です。故障物理に基づく方法では、半導体の故障モードと故障メカニズムの理解が基本になります。このような背景から、RCJ 故障物理委員会では、対象として次世代パワー半導体と最新 LSI を取り上げ、これらの技術の故障モードと故障メカニズムについて、調査研究をしています。本セミナーは、これらの調査活動

成果を中心に報告するものです。
本セミナーでは、現在LSI信頼性の分野で問題となっているホットな話題を取り上げています。また、招待講演として、二次電気の信頼性向上に重要な「二次電池の異物管理」についての講演もあります。常日頃より、半導体デバイス信頼性に携わっている方は勿論、半導体ユーザの方々のご参加をお勧めします。
- 7 -信頼性・ESD 対策技術展示会（無料）（静電気障害対策技術及び ESD 故障解析技術を扱う専⾨の展⽰会）
静電気の影響を受けやすい電⼦デバイス・部品、電⼦機器などを扱う信頼性技術者、設計技術者、品質技術者の⽅々を対象に、より進歩した静電気障害対策技術 、静電気測定技術、故障解析技術を扱う専⾨の展⽰会です。この分野の専⾨メーカが展⽰しますので、最新の技術情報収集のためにも是⾮お⽴ち寄り下さい。

期⽇︓ 2019 年 11 ⽉ 27 ⽇（⽔）〜11 ⽉ 28 ⽇（⽊）︓ 10:00〜17:00
会場︓ ⼤⽥区産業プラザ（東京 蒲⽥）、2 階⼩展⽰場
主催︓ NPO 法⼈ ESD 協会、（⼀財）⽇本電⼦部品信頼性センター
同時開催︓ ESD 対策技術ワークショップ（無料）
同会場内特設会場にて（プログラムの詳細︓RCJ ウエブ（http://rcj.or.jp/exhibition）参照）

出展社名
株式会社いけうち〒108-0022 東京都港区海岸3-9-15 LOOP-X 14階
TEL：03-6400-1973 E-mail：dryfog@kirinoikeuchi.co.jp
URL：http://dryfog.kirinoikeuchi.co.jp

株式会社ウエストワン〒105-0001東京都港区虎ノ門5-13-1虎ノ門 40MTビル7階
TEL：03-4530-9885, E-mail:info@west-1.co.jp
URL: http://www.westone.jp

OKIエンジニアリング〒179-0084 東京都練馬区氷川台3-20-16
TEL：03-5920-2366, E-mail:oeg-dsales-g@oki.com
URL: http://www.oeg.co.jp

春⽇電機株式会社〒212-0032 神奈川県川崎市幸区新川崎２番４号
TEL: 044-580-3511, E-mail: info@ekasuga.co.jp
URL: http://www.ekasuga.co.jp

クレハエクストロン株式会社〒143-0016 東京都大田区大森北1-23-1 NETビル5階
TEL：03-3764-2511,
E-mail: daisuke-satoh@kureha-extron.co.jp
URL : http://www.kreha-extron.co.jp

シシド静電気株式会社〒145-0065 東京都大田区東雪谷1-3-3
TEL：03-3727-0161
E-mail: info@shishido-esd.co.jp
URL：http://www.shishido-esd.co.jp

テク･トライアングル〒299-4111 千葉県茂原市萱場776-58
TEL: 0475-36-7037
E-mail: suzuki.tech-triangle@chiba.email.ne.jp
URL: http://www.tech-triangle.jp

DESCO JAPAN株式会社〒289-1115千葉県八街市八街ほ661-1
Tel: 043-309-4470、E-Mail：Yuta.Takahashi@Desco.com
URL: http://www.descoasia.co.jp/

東京電⼦交易株式会社〒190-0023 東京都立川市柴崎町5-16-30
TEL: 042-548-8011, E-mail: sadohara@tet.co.jp
URL: http://www.tet.co.jp

トレック・ジャパン株式会社〒102-0073東京都千代田区九段北3-2-5九段北325ビル7F
TEL: 03-6261-4680, E-mail: sales@trekj.com
URL： http://www.trekj.com

阪和電⼦⼯業株式会社〒649-6272 和歌山県和歌山市大垣内689-3
TEL: 073-477-4435, E-mail: y-yata@hanwa-ei.co.jp
URL: http://www.hanwa-ei.co.jp

株式会社ブルービジョン〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜1-13-12
クリンゲルンベルグビル3F
TEL: 045-471-4595, E-mail: sales@bluevision.jp
URL: http://www.bluevision.jp

ミドリ安全株式会社〒150-8455 東京都渋谷区広尾5丁目4番3号
TEL: 03-3442-8244, FAX: 03-3444-4508
URL: http://www.midori-esd.jp★詳細は別途案内状をご覧下さい。（RCJ ホームページ（http://www.rcj.or.jp）にも掲載しています）。

- 8 -＜参加要領＞
テキスト

場所、
定員

RCJ信頼性シンポジウム発表論文集（電子デバイス・電子部品の信頼性シンポジ
ウム、EOS/ESD/EMCシンポジウム）

A、B
会場

参加区分（開催日）① 11月27日､11月28日:（2日間）② 11月27日:（1日間）③ 11月28日:（1日間）（注：両方のシンポジウム、各種セミナーの聴講可能）

参加費（消費税を含む）（円）RCJ会員、ESDC
協賛団体会員
非会員
大田区民

２５,０００３２,０００

１７,０００２２,０００

１７,０００２２,０００200名

申 込 先 ： 〒111-0043 東京都台東区駒形2-5-6 カミナガビル3F TEL：03-5830-7601、FAX：03-5830-7602（一財）日本電子部品信頼性センター 総務部
E-mail： sato@rcj.or.jp
申込締切： 11月20日（水）
申込方法：

振込銀行
口座名：

「参加申込書」を上記あて送付すると共に、「参加費」を現金書留又は銀行振込でご送金下さい。銀行振込の手数料は、申込者負担です。銀行振込の場合は、振込内容（振込予定日（分かる場合：貴社の都合に合わせて結構です）、金額、振込人名義）を参加申込書に明記して下さい。
なお、請求書及び領収書の発行を致しますので、必要な場合はその旨申込書にご記入下さい。
参加申込者には、参加券を送付致します。シンポジウム発表論文集やセミナーテキストは当日配
布します。
三菱UFJ銀行、日本橋中央支店、普通預金口座 0084373
名義：（一財）日本電子部品信頼性センター
きりとり線

・FAXの場合は切り取らずこの用紙のままご送付下さい。

参加申込書
区分欄に上記表の①、②、③の参加区分を必ず記入して下さい。
会 社 名
所 在 地
〒

*受理番号

区分

ＴＥＬ
氏 名

会員又は否に○印を付けて下さい
RCJ賛助会員
協賛団体会員ESDC資格保有者
大田区民

否

所 属 ・ E-mail所属：
E-mail：所属：
E-mail：所属：
E-mail：所属：
E-mail：

ご記入して下さい。
●支払方法
現金書留／銀行振込●振込予定日
月日 ●振込金額●振込人名義円*受理番号欄には、記入しないで下さい- 9 -備考（請求書、領収書の要否（該当箇所に○を付けて下さい））
請求書
要
不要
領収書
要
不要

◆会場ご案内

会場： 大田区産業プラザ： ４階コンベンションホール、２階小展示場〒144-0035 東京都大田区南蒲田１－２０－２０
交通： 京浜急行線・空港線/京急蒲田駅より徒歩約２分(品川・横浜・羽田空港よりの所要時間各約１０数分)
ＪＲ京浜東北線/蒲田駅より徒歩約１２分◆宿泊施設のご案内
遠方からお越しの方で宿泊が必要な場合下記のホテルに直接連絡してご利用下さい。
（１） グランパークホテル パネックス東京
ＴＥＬ： ０３－５７０３－１１１１〒144-0052 東京都大田区蒲田5-9-19（２） 東横イン 蒲田東口
ＴＥＬ： ０３－３７３６－１０４５〒144-0052 東京都大田区蒲田5-18-4（３） 相鉄フレッサイン東京蒲田 ＴＥＬ： ０３－５７１４－０３０３〒144-0052 東京都大田区蒲田5-19-12
注）（１）、（２）、（３）とも、ＪＲ蒲田駅東口徒歩２～３分程度（４） アパホテル京急蒲田駅前 ＴＥＬ： ０３－５７１３－３９３９〒144-0052 東京都大田区蒲田4-18-24（５） 東急ステイ蒲田 ＴＥＬ： ０３－５７１４－１０９０〒144-0052 東京都大田区蒲田4-23-1（６） チサンイン蒲田 ＴＥＬ： ０３－６７１５－７３１１〒144-0052 東京都大田区蒲田4-23-13
注）（４）、（５）、（６）とも、京急蒲田西口徒歩２～３分程度- 10 -