ユーザーズマニュアル
No. 99MBC137B4

ja

リニヤゲージLG100

・ゴムキャップや各シール部分に使用しているゴムなどの材質は、多様化するクーラントや薬品などに対して万能ではありません。これらが著しく劣化する場合には、お求めの販売店、または弊社営業・サービスの窓口にご相談ください。

*99MBC137B4*
ご使用前に本書をよくお読みのうえ、正しくお使いください。お読みになった後は、いつでも見られる所に必ず保管してください。
本商品はカウンターと組み合わせて使用します。カウンターのユーザーズマニュアルも併せてお読みください。

・正確な測定のために、電源投入後 10 分以上経ってから測定してください。
・本商品では、下死点（スピンドル突き出し状態）から0.2 mm の範囲の精度は保証していません。
ゼロセットおよびプリセット設定は、スピンドルを下死点 から0.2 mm 以上持ち上 げ た 位置で 行ってください。

0.2 mm

測定時の注意

安全に関するご注意

電磁両立性について商品のご使用に当たっては、記載の仕様・機能・使用上の注意に従ってご使用ください。それ以外でご使用になりますと、安全性を損なうおそれがあります。
本商品が万一故障した場合の損害防止処置（安全対策）を十分に行ってください。

本商品は、EMC 指令および英国電磁両立性規制に適合していますが、この要求を超える電磁妨害を受けた場合は保証外となり、適切な対策が必要となります。
本商品は工業用商品です。住宅環境での使用は意図しておりません。住宅環境で使用すると、他の機器に対して電磁妨害を発生する可能性があります。その場合には電磁妨害に対する適切な対策が必要となります。

輸出および非居住者への技術提供にあたってのご注意
・分解・改造をしないでください。保証対象外となります。
・落下による急激なショックなどの過度な力を加えないでください。
・スピンドルに対する横方向への荷重や、ねじれがかかるような使用は避けてください。
・高電圧機器の近くで使用しないでください。電子部品が破壊される場合があります。また、電気的ノイズの大きい場所での使用は避けてください。
・作動不良の原因となりますので、ステム部を必要以上に締めすぎないよう注意してください。
・測定ワークの材質、測定子の測定力、測定ワークに接触する衝撃などにより、測定子が測定ワークを傷つける可能性があります。測定による測定ワークへの傷や精度などの問題がないことを事前に確認してからご使用ください。
・本商品のケーブルを大電流の流れる他機器のケーブルと束ねて使用すると、誤動作の原因となります。動力線などからは離して配線してください。
・出力コネクタープラグ（カウンター接続部）は防水性保護構造になっていません。水や油が直接かかるような使用は避けてください。
・ケーブル・ゴムキャップに破損が見つかった場合は、故障の原因となりますので、使用しないでください。部品を交換するか、修理を依頼してください。

1

本商品は、
「外国為替及び外国貿易法の輸出貿易管理令別表第 1もしくは外国為替令別表に定める16 の項」によるキャッチオール規制貨物・キャッチオール規制技術（プログラムを含む）です。
本商品の輸出および日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になる場合があります。

日本国内で本商品を廃棄する際のご注意
・事業者として廃棄する場合は、廃棄物の処理および清掃に関する法律（廃棄物処理法）等の関連法令に従い、適正な廃棄処理をしてください。
・個人として廃棄する場合は、各自治体の廃棄ルールに従ってください。

分別処理を行っている欧州諸国で電気・電子機器の廃棄をする際のご注意
商品または包装に記されたこのシンボルマークは、欧州諸国の規制である廃電気電子機器指令（WEEE 指令）に基づくもので、本商品を廃棄する時に一般家庭ゴミと一緒に捨てないようにするためのものです。
土壌に埋め立てする量を減らし環境への影響を低減するために、商品の再利用とリサイクルにご協力ください。
本商品の廃棄方法については、お求めの販売店、または弊社営業・サービスの窓口にご相談ください。

2

1. 概要3. 各部の名称と寸法

本商品は、直線上の変位を差動方形波で出力する精密測定機器（リニヤゲージ）です。弊社リニヤゲージカウンターやプログラマブルロジックコントローラ（PLC）などに接続して、長さの測定を行います。

No.

HR10A-10P-10P（ヒロセ）

出力ケーブル

ケーブル長＝2 m

ステム・LG100-110
・LG100-0510
・LG100-0110

0.614.895.6

ご使用になる前に、以下のものが入っていることを確認してください。

取扱説明書（本書）
No.99MBC137B

75.7

ҍ

ø86・LG100-125 （ねじ高さ）
ø14.7・LG100-0525
0.620
ҋ
9・LG100-0125(10.86)

Ҍ

1

WEEE説明書

1保証書

1ҍ

҉
҈

30
ø15 -0.011

M14x0.5

Ҋ

12.3

61.7
40.7
37.1
34

1
測定範囲 10 mmタイプ用
いずれか
1
測定範囲 25 mm、50 mmタイプ用

1446.9（スラストステム取り付け用ねじ）

0-0.009114.7

測定子交換用キースパナ（パーツNo.210187）

҉҈

6.9

M9.5x0.530.7

測定子交換用キースパナ（パーツNo.538610）

仕様

ҊҌ

43

2. 開梱と同梱物の確認

リニヤゲージҋ（スラストステム取り付け用ねじ）8.646.5 2293.6

標準 1 軸タイプ

・リニヤゲージカウンタEHシリーズと接続するには、変換プラグ（オプション）が必要です。
・上記以外のカウンターとの接続については、 「7.2. オプション」

数量

61.540.536.534

標準 2 軸タイプ

Tips

品名

単位：mm

ø14.7（ねじ高さ）

7.3

1出力コネクター

7.3

EH-101P

必要
パーツNo.21HZA195

原点読み込み機能付き

ゴムキャップストローク
10.6 以上

EH-102P

必要
パーツNo.21HZA196

測定子取り付けねじ=M2.5× 0.45

202

スピンドル

20

原点読み込み機能付き連結可能（8台）
DINレール対応

不要

EH-102Z仕様

超硬球 ø3

ストローク
26 以上

EJ-102N

変換プラグ（オプション）

測定子

17.3

接続できる
カウンター 接続数の型番

仕様／備考

43

1.1. 接続できるカウンター҈҉ҊҋҌҍ

名称

13.8

61.740.737.134ҋ

重要
リニヤゲージは、測定方向に平行になるように取り付けてください。
傾いて取り付いていると測定誤差の原因となります。

4.1. すり割り形状による固定2056.1

43・LG100-150（ねじ高さ）
0.620・LG100-0550
ø14.79(10.86)

すり割りによる固定では、ステム外周を包み込むように取り付けて固定します。
リニヤゲージ取り付け穴

174Ҍ

M14x0.50
ø15 -0.011

Ҋ
҉
҈

142

割ブッシュ使用治具

取り付け穴の寸法は、下記を参考にしてください。
13.88.6

ねじ

すり割り付き治具

7.3

ストローク
51.5 以上（スラストステム取り付け用ねじ）

ねじ

6 29.6ҍ

4. 取り付け方法

測定範囲

取り付け穴の寸法

10 mmタイプ

ø8 mm（+0.020/+0.005）

25 mm、50 mmタイプ

ø15 mm（+0.024/+0.006）

4.2. スラストステム（オプション）による固定

リニヤゲージを取り付けるときは、ステム部を装置・治具に固定します。
すり割り形状の装置・治具に固定する方法と、スラストステム（オプション）を使用して固定する方法があります。

リニヤゲージにスラストステムを取り付け、締め付けナットでベース（装置・治具）に固定します。

オプションのスラストステムは、 専用スパナ（パ ーツ No. ：02ADB683または 02ADB693）でステムを固定しながら取り付けてください。専用スパナを使わずにスラストステムを取り付けると、本体とステムの間に無理な力が加わり、リニヤゲージ破損の原因になります。
スラストステムについては、 「7.2. オプション」

下記の固定方法は、リニヤゲージの破損や作動不良の原因となります。絶対にしないでください。
・ステム以外を固定する・ステムが変形するほど強く締め付ける・ステムを止めねじで直接押さえる

ス テ ム を 固 定 す る と き の 締 め 付 け ト ル ク は 約 0.4 〜0.5 N・mを目安としてください。

重要
リニヤゲージ本体の M9.5× 0.5 ねじ部とM14 × 0.5 ねじ部はスラストステム取り付け用です。このねじ部は、スラストステムの取り付け以外の目的には使用しないでください。

56■ 寸法仕様
・LG100-110 ・LG100-0510 ・LG100-0110
スラストステム

単位：mm
専用スパナ

02ADB681

02ADB683（オプション）(13.3)（オプション）5L

14.5

4(45.9)120
ø9.5 -0.015

リニヤゲージ

M9.5x0.5
9.5

1 リニヤゲージにスラストステムを取り付ける
1. リニヤゲージのステムの根本にあるスパナ掛け（2か所にある溝）に、オプションの専用スパナを差し込む
2. スラストステムをスピンドルに挿入し、専用スパナでリニヤゲージをしっかり固定しながら、スラストステムをレンチなどで回して固定する

締め付けナット

スラストステム／
締め付けナット

02ADB682

専用スパナ

六角部対辺寸法（オプション）溝（2か所）
ステム

Ｌ：ベースの厚さ、6 mm〜10.5 mmの厚さで設計してください。

・LG100-125 ・LG100-0525 ・LG100-0125
・LG100-150 ・LG100-0550
レンチなど

スラストステム

02ADN371

専用スパナ

02ADB693

り付ける
1. スラストステムを取り付けたリニヤゲージを、ベース（装置・治具）の挿入口に差し込む
2. スピンドル側から締め付けナットを取り付け、スラストステムの六角ボル
ト部をレンチでしっかり固定しながら、締め付けナットをレンチで回して固定する
レンチなど(24.2)

0
ø18 -0.018

215 L

2 スラストステムを取り付けたリニヤゲージを、ベース（装置・治具）に取（オプション）

18.5

スラストステム25 mmストロークの場合 =（84.1）
50 mmストロークの場合 =（124.9） 4.5（オプション）

締め付けナット

M18x1

02ADB692（オプション）スラストステム／締め付けナット
六角部対辺寸法

Ｌ：ベースの厚さ、6 mm〜10.5 mm の厚さで設計してください。

■ ケーブルの固定装置・治具に取り付けたリニヤゲージが移動する際にケーブルが繰り返し曲げられる場合は、ケーブルの曲げが「R100 mm以上」になるようにケーブルを固定してください。

・ケーブルはリニヤゲージに負荷が掛からないように治具等に固定してください。
・ケーブルの曲げ R の許容範囲を超えて使用しないでください。断線などの原因になる可能性があります。曲げ R は保証値ではありません。

ベース
締め付けナット

785.1. 出力コネクターと信号レベル
HR10A-10P-10P（ヒロセ電機）
TTLラインドライバ（AM26LS31 相当）

・出力コネクター：・信号レベル：・ピンアサイン：ケーブル曲げR100 mm以上

1固定位置

293A8457106

A方向から見た図

ピンNo.

信号名

可動部

・ケーブルが動かない場合
ケーブル曲げR ＝ 50 mm以上

ケーブル曲げR50 mm以上

ピンNo.

信号名
N.C1PA72PA8PZ3N.C

9+5V4PB10GND

5PB

シェルFG

6N.C

・リニヤゲージへの供給電源
電源電圧：DC5 V（4.8 V〜5.2 V）、リプル電圧：0.2 Vpp以下、最大消費電流：80 mA（推奨回路接続時）・対応レセプタクルとジャック
レセプタクル： HR10A-10R-10S（ヒロセ電機）
ジャック：HR10A-10J-10S（ヒロセ電機）■ 推奨回路LG100 出力回路

入力回路
PA, PB
33pF
ȍPA, PB

5. 出力信号+5V

リニヤゲージより出力される信号について説明します。
PZ

26LS32+5VNȍȍ

Nȍ

相当品

Nȍ
GND

・他の機器類の動力線をリニヤゲージのケーブルに近付けて使用すると、誤動作の原因となります。動力線から離して配線してください。
・ノイズにより誤動作するおそれがありますので、ノイズが少ない安定した供給電源を使用してください。
・弊社以外のカウンターなどと接続する場合は、リニヤゲー
ジへの電源投入後 0.5 秒以上経過してからカウンターをリセットしてください。

+5V

470pF
+5V

GND

GND

470pF
GND

GND

重要
信号の生成には、必ずラインドライバ IC や差動増幅回路を利用してください。差動増幅を行わないとノイズの影響を受けやすくなります。

9105.2. 出力信号チャート
本商品の出力信号には次の 2 つの出力パターンがあります。受信回路の設計時には、エラー検出が行われるようにしてください。
■ 正常出力（スピンドル押し込み時にA 相進相）
PA

VOH

重要

VOL

・エラー時の出力は、計数データには使用できません。受信回路側でエラー状態を検出してください。
・5 MHz（方形波の周波数で 1.25 MHz）以上の計数が可能な ICで設計することを推奨します。
・本リニヤゲージにおいて、リニヤゲージ内の原点位置を検出させる場合は､ できるだけ繰り返し性良く原点検出をするために、以下の点にご注意ください。
– 原点検出は、必ず同一方向で行ってください。
（双方向から原点検出すると、Xz分だけヒステリシスになります。）– 原点検出時の速度は 300 mm/s以下にし、行き戻りがないように通過させてください。

PAPB
PB
TrVOHPZ¨;]¨;];]*1 出力条件（速度）を満たしていても、振動等による僅かな速度変動やノイズの影響でエラーが出力される場合があります。また、停止状態でエラーが出力される場合は故障の可能性があります。
*2 リニヤゲージの応答速度については、 「7. 仕様」*3 スピンドルの位置に計数パルスが追いつくまでの時間を指します。

VOL

VOH=2.5 V（最小）VOL=0.5 V（最大）・出力条件：スピンドル移動速度 ≦ リニヤゲージの応答速度 *1*2
・Tr：出力パルスエッジ間隔（正常出力）（下表参照）
・出力遅れ時間 *3 ：最大1 μs
・ΔXz： 原点位置繰り返し精度（エッジ再現性）ı ≦0.5 μm

6. 保守
6.1. 測定子の交換（300 mm/s以下の一定速度で同一方向の原点通過による）・Xz： 原点信号パルス幅= 約40〜60 μm（参考）■ エラー出力測定子を交換する際は、必ず、付属の測定子交換用キースパナを使用して、スピンドルを固定してください。スピンドルを通してセンサ内部に力が加わると、センサの破損や作動不良の原因となるおそれがあります。

エラー発生時は、PA、PA、PB、PB が同相で出力されます。
PAPA
PB
PB
Te・出力条件： 下記条件にてリニヤゲージはエラー状態となり、上図の特殊パターンで出力します。
スピンドル移動速度 ＞ リニヤゲージの応答速度 *1*2
・Te：出力パルスエッジ間隔（エラー出力）（下表参照）
各条件での最小エッジ間隔
分解能
1 μm
0.5 μm
0.1 μmTr（正常時）Te（エラー時）

500 ns
500 ns

250 ns11

付属 の 測定子交換用キースパナをス
ピンドル先端のスパナ掛けにかけ（右図参照）、スピンドル が 回らな いように固定し、測定子を傷つけないように柔らかい布を介してペンチなどではさんで取り外してください。
取り付けは、取り外しと逆の順序で取スパナ掛け

測定子測定子交換用キースパナり付けてください。

重要・測定子の取り付け後は、測定子が緩んでいないことを確認してください。
・測定子を変更した場合は、外観寸法、測定力の変化、測定方向に制限 が 生じる場合 があります。 また、 測定精度 に 測定子 の 器差（例：フラット測定子に変更した場合は、直角度等）が累積されます。

126 （測定範囲 10 mmタイプの場合のみ）測定子をスピンドル先端に元ど6.2. ゴムキャップの交換おり取り付ける
測定子の取り付けについては、 「6.1. 測定子の交換」
ゴムキャップが破損すると故障の原因となります。破損前の予防的な交換を推奨します。

Tips
ゴムキャップについては、 「7.2. オプション」

本商品の汚れは、糸くずが出ない柔らかい布（不織布など）で軽く拭き取ってください。洗剤、シンナーやベンジンなどの有機溶剤は使用しないでください。

7. 仕様

1 （測定範囲 10 mmタイプの場合のみ）スピンドルの先端から測定子を取り外す
測定子の取り外しについては、 「6.1. 測定子の交換」
スピンドル

6.3. お手入れについて

測定子

7.1. 本体仕様■共通仕様
繰り返し精度：2ı（20 °C）
狭範囲精度（20 °C）

2 ゴムキャップを取り外し、ゴムキャップ取り付け溝（ステムとスピンドル先端に1か所ずつ）に付着したゴミや油汚れをアルコールなどで取り除く
ゴムキャップ取り付け溝

ゴムキャップ

0.5 μm原点信号（Z 相）繰り返し（300 mm/s以下の一定速度で同一方向の原
精度：ı（20 °C）
点通過による）
位置検出方式
測定子

3 ゴムキャップの内径が大きい側を先にしてスピンドルに差し込む

4 ゴムキャップ取り付け溝に少量のシリコン系接着剤を塗布する

スピンドルに接着剤が付着しないように十分注意してください。破
損や作動不良の原因となります。
ゴムキャップ取り付け溝

はみ出した接着剤は拭き取ってください。

13

株式会社 ミツトヨ〒213-8533 神奈川県川崎市高津区坂戸 1-20-1

光電式透過型リニアエンコーダ
超硬球 ø3 mm（取り付けねじ：M2.5× 0.45）（パーツNo.901312）

軸受方式

リニアボールベアリング

保護等級

IP67G*1 相当（ゲージヘッド部のみ）

出力信号形態

90°位相差、差動方形波（RS-422A 相当）

供給電源電圧DC5 V(4.8 V〜5.2 V)、
リプル電圧:0.2 Vpp以下

最大消費電流80 mA（推奨回路接続時）

出力コネクター

使用プラグ：HR10A-10P-10P（ヒロセ）、適応レセプタクル：HR10A-10R-10S（ヒロセ）

出力ケーブル

長さ2 m（本体から直出し）、
シース材質：ポリウレタン

ゴムキャップ材質

HNBR（水素ニトリルゴム）

使用温度（湿度）範囲

0〜50 °C（20〜80 %RH、ただし、結露しないこと）

保存温度（湿度）範囲−10〜60 °C（20〜80 %RH、ただし、結露しないこと）

CE マーキング／
UKCA マーキング

EMC指令／電磁両立性規制：
EN IEC 61326-1
Immunity test requirement：Clause 6.2 Table 2
Emission limit：Class A
RoHS 指令／電気電子機器における特定有害物質の制限規制：EN IEC 63000

5 ゴムキャップを伸ばし、両端をゴムキャップ取り付け溝にひっかける
ゴムキャップがねじれないように取り付ける

0.3 μm
0.5 μm（任意 20 μmの範囲）

14

*1 IP67Gは油・水に浸漬させての使用や、すべての油に対する保護を保証するものではありません。
保護等級：IP67 の詳細は IEC60529、JIS C0920を参照してください。
IP6X=異物に対する保護：内部に異物が侵入しない
IPX7=水に対する保護：規定の圧力および時間で一時的に水中に沈めたとき、有害な影響を生じる量の水は浸入しない
IPXXG=油に対する保護：いかなる方向からの油滴・油まつも内部に侵入しない

コードNo.

542-193542-194542-195

型番

LG100-125

LG100-0525

LG100-0125

1 μm

0.5 μm

分解能
指示精度（20 °C）
L= 任意測定長（mm）
測定力

コードNo.

542-190542-191542-192

型番LG100-110

LG100-0510

LG100-0110

1 μm

0.5 μm10 mm

測定範囲
指示精度（20 °C）
L= 任意測定長（mm）
測定力

1.4 N以下

横姿勢

1.3 N以下

逆姿勢

1.2 N以下

最小エッジ間隔
出力信号ピッチ
原点信号（Z 相）位置

1,500 mm/s

4.3 N以下
4.0 N以下

250 ns（4 MHz）
2 μm

0.4 μm

ø8
約 260 g質量1,500 mm/s

最小エッジ間隔

500 ns（2 MHz）

出力信号ピッチ

4 μm

原点信号（Z相）位置2 μm

0.4 μm

測定子先端（下死点）から約5 mm
ø15
約300 g質量測定子交換用キースパナ：No.210187
取扱説明書（本書）：99MBC137B

コードNo.

542-196542-197

型番

LG100-150

LG100-0550

取扱説明書（本書）：99MBC137B

50 mm

測定範囲1 μm

分解能
指示精度（20 °C）
L= 任意測定長（mm）

測定子交換用キースパナ：No.538610
測定力

0.5 μm
1.5 + L / 50 μm

縦姿勢

5.7 N以下

横姿勢

5.3 N以下
4.9 N以下

逆姿勢

1,500 mm/s

最大応答速度
最小エッジ間隔

500 ns（2 MHz）

250 ns（4 MHz）

出力信号ピッチ

4 μm

2 μm

原点信号（Z 相）位置

測定子先端（下死点）から約5 mm
ø15

ステム径

約400 g質量
標準付属品15400 mm/s
250 ns（4 MHz）

ステム径

標準付属品

測定子先端（下死点）から約 3 mm

ステム径

標準付属品

4.6 N以下

横姿勢

400 mm/s

500 ns（2 MHz）
4 μm

0.1 μm
0.8 + L /50 μm

1.5 + L / 50 μm

縦姿勢

最大応答速度

縦姿勢最大応答速度0.1 μm
0.8 + L /50 μm

1.5 + L / 50 μm

逆姿勢

■個別仕様

分解能25 mm

測定範囲

測定子交換用キースパナ：No.210187
取扱説明書（本書）：99MBC137B

16

7.2. オプション
品名

パーツNo.

ゴムキャップ（測定範囲 10 mmタイプ用）

21HAA331

ゴムキャップ（測定範囲 25 mmタイプ用）

21HZA176

ゴムキャップ（測定範囲 50 mmタイプ用）

21HZA184

スラストステムセット（測定範囲10 mmタイプ用*1）

02ADB680

スラストステム（単品）

02ADB681

締め付けナット（単品）

02ADB682

専用スパナ（測定範囲 10 mmタイプ、スラストステム取り 02ADB683
付け用）
スラストステムセット（測定範囲25 mm、50 mmタイプ用*1） 02ADN370
スラストステム（単品）

02ADN371

締め付けナット（単品）

02ADB692

専用スパナ（測定範囲 25 mm、50 mmタイプ、スラストス 02ADB693テム取り付け用）
延長ケーブル（5 m）*2

21HZA197

延長ケーブル（10 m）*2

21HZA198

延長ケーブル（20 m）*221HZA199

21HZA195
変換プラグ（差動方形波カウンター用）
対象接続カウンター*3 ：EH-101P（542-075）、EH-102P（542-071）、EG-101P（542015）、EB-11P（542-092-2）、EV-16P（542-063）
変換プラグ（原点マーク付きカウンター用）
対象接続カウンター*3 ：EH-102Z（542-073）、EG-101Z（542-017）、
EB-11Z（542-094-2）、EV-16Z（542-064）

21HZA196

エアリフタ（測定範囲10 mmタイプ用）

02ADE230

エアリフタ（測定範囲25 mmタイプ用）

02ADE250

エアリフタ（測定範囲 50 mmタイプ用）

02ADE270*1 スラストステムセットは、スラストステムと締め付けナットの組み合わせ商品です。締め付けるときは、専用スパナが別途必要になります。
*2 最大接続数は 3 本、最大延長長さは20 mになります。
*3 その他の旧カウンターへの接続については、弊社営業・サービスの窓口にお問い合わせください。

Tips
交換可能な測定子（オプション）については、弊社リニヤゲージカタロ
グをご覧いただくか、お求めの販売店または弊社営業・サービスの窓口にご連絡ください。

1718

Printed in Japan
2024 年1月1日 発行(1)