何故？有機ＥＬパネル会社は、ＪＯＬＥＤ社の塗布工法に追着けない理由を考える。
2019 年 7 月 19 日

株式会社 ワイ・ドライブ

現在、インクジェット塗付による有機ＥＬパネルの商品化・販売は、JOLED 社のみが実現できています。
蒸着型有機 EL パネルは 10 インチ以下、白色有機 EL＋カラーフィルターは 50 インチ以上の為、10～50 インチ
程度が商品化範囲だ。2020 年春には量産ラインでの生産と出荷が始まる。
多くの液晶パネル会社も 2010 年前後には同工法の開発競争に参加した。サムスン、ＬＧ、ＡＵＯ等。現在はこの他に、ＢＯＥ、ＴＣＬ、天馬 等も開発競争に参加している。多くの会社が実証用設備を導入済であるのもかかわらず、展示会にもＳＩＤにも展示せず、展示会に出してもアバタやスダレ様の画素欠陥が多数残ったままである。これらの会社の商品化可能なレベルの塗布型有機ＥＬパネルを見たことがありません。
この現状の問題・課題は、材料なのか、設備なのか、プロセスなのか、インクジェットヘッドなのか、企業の取組姿勢なのか、弊社独自の視点で「理由」を解説したいと思います。
なお、世界のインクジェット塗付型設備は、米国「カティーバ（Kateeva）社」：中国で多く採用されている、日本の「東京エレクトロン社」：韓国で採用されている、の２大勢力が席捲しています。アルバック社はインクジ
ェット装置の販売を止めています。また、ＪＯＬＥＤ社は独自技術による装置を持っています。
・蒸着型有機ＥＬは低分子型で、欧米の材料会社だけでなく日本の材料会社も多数参入している・塗布型有機ＥＬは高分子型で、住友化学とメルクが販売している。
都合、１５回程度のメルマガの中で、JOLED 社技術の解剖と解説に取組みたいと考えています。
以下、次回へ。
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ＣＤＴ
https://japan.cnet.com/article/20090319/
凸版ＣＤＴ
https://av.watch.impress.co.jp/docs/20040624/toppan.htm
ＣＤＴ エプソン
https://k-tai.watch.impress.co.jp/cda/article/news_toppage/9814.html
エプソン
https://www.itmedia.co.jp/lifestyle/articles/0405/18/news033.html
エプソン技術を公開
https://news.mynavi.jp/article/20090618-a058/
Litｒex120 IJ プリンター
https://www.uk-cpi.com/equipment/litrex-industrial-scale-inkjet-printer何故？有機ＥＬパネル会社は、ＪＯＬＥＤ社の塗布工法に追着けない理由を考える。
2019 年 7 月 25 日

２／１５回

株式会社 ワイ・ドライブ

インクジェットによる精密パターン塗布の課題はこの工法の初期（約２５年以上前から）から論じられている。
いわゆる「ヘッドのノズル毎の吐出量のバラツキが３０％もある」ことである。紙媒体への塗布ではほとんど問題にならないが、カラーフィルターをインクジェットで製作する場合など１００μｍ以下の画素すべてに同量のインクを塗布する必要がある。現在も、Ｑ－ＤＯＴカラーフィルターを含め実用化できたという報告はない。こ
の課題にいち早く解を出したのは、エプソン社である。エプソン社は２００９年この技術を公開した。
https://news.mynavi.jp/article/20090618-a058/
ノズル毎の吐出量バラツキを、マルチドロップ技術と複数ノズルを使用して平均化する考えである。この技術でバラツキが１％以下になったと報告している。なお、この時代ではノズルのインク量は１０，０００吐出でのインク重量から求めていたこともあり多ノズル間の校正には多大な計測時間を要した。ただ、複数ノズル（３ノズ
ル以上）を使用する為、必然的に高解像度性が失われ、８０ｐｐｉ程度（５５インチ４Ｋ）が限界と思われる。
この技術は東京エレクトロン社が採用している。また、この技術は、ノズル吐出の平均化には効果があるが、インクジェットヘッドの別の課題である「ノズル不吐出による画素欠陥や画素ムラ」には効果が期待できない。
米国「カティーバ（Kateeva）社」の技術の源流は、Litrex 社にあると考えている。Litrex 社がＣＤＴ社の子会
社からアルバック社に統合された時に米国 Litrex の人たちが Kateeva 社に移行したと思える。
https://ir.ulvac.co.jp/ja/PressRelease1/PressRelease-6428670850289683332/main/0/link/File168242659.pdf
Kateeva 社はノズル毎バラツキについて、RGB Smart Mixing 技術という誤差拡散・ディザの一種の様な方法を提案している。インクジェット印刷では以前から用いられている方法で、エプソン技術のような新規性は無いように思える。この方法も複数ノズルを使用した技術であり、必然的に高解像度性が失われる思われる。高解像度性が要求される有機 EL パネル等では使用するノズル数が少なく「ノズル不吐出による画素欠陥や画素ムラ」には効果が期待できないようだ。弊社には中国メーカーから「ノズル不吐出による画素欠陥や画素ムラ」改善に良い方法は無いかという問い合わせが多く来る。
ここ数年の JOLED 社報告を注視すると、ノズル毎吐出バラツキと「ノズル不吐出による画素欠陥や画素ムラ」
を大きく改善する独自技術を開発したと思える報告が散見される。
次回は、塗付の解像度と塗布方向、ヘッドの種類。
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プリンテッドエレクトロニクスで線幅数十μｍのＴＦＴを製作する場合など、吐出量バラツキは個々のＴＦＴの特性バラツキや不良に直結する。
Litｒex120 IJ プリンター
https://www.uk-cpi.com/equipment/litrex-industrial-scale-inkjet-printer・諸外国のｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ装置導入企業、いったい何が起きている？。３年・５年たっても製品が出てこない。何故？
有機ＥＬパネル会社は、ＪＯＬＥＤ社の塗布工法に追着けない理由を考える。
2019 年 7 月 31 日

３／１５回
株式会社 ワイ・ドライブ

２、この回は、諸外国各社のｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ工法実用化目論見と現状 ⇒ 各種報道資料から。
ｶﾃｨｰﾊﾞ(Kateeva)社の有機 EL ﾊﾟﾈﾙを封止する技術｢YieldJet Flex｣は、多くの有機 EL ﾊﾟﾈﾙ会社に採用されている。
この分野で独壇場と言って良い。http://kateeva.com/products/yieldjet-flex/
関連記事。https://eetimes.jp/ee/articles/1411/21/news071_2.html
ただ、この装置は UV 硬化ベタ膜をｼｬﾄﾙﾍｯﾄﾞで塗布する構成で、精密ﾊﾟﾀｰﾝ塗布向きではない。※．分析工房・服部氏のブログに韓国 UBI ﾘｻｰﾁ報告や、ｻﾑｽﾝ社・LG 社・中国企業の動向が掲載されているので引用させていただきます。2014～2016 年頃、諸外国各社は争ってｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ工法による有機 EL ﾊﾟﾈﾙ製造設備の導入に動いた。
http://multitask1.seesaa.net/article/442398634.html
ｻﾑｽﾝ・LG

ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄによる有機 EL ﾃﾚﾋﾞ開発を加速。これまでｶﾃｨｰﾊﾞ、東京ｴﾚｸﾄﾛﾝなどの機器やﾒﾙｸ、ﾃﾞｭﾎﾟﾝなどの材料ﾒｰｶｰと協力して、それぞれ A3 ﾗｲﾝと M2 ﾗｲﾝでｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ印刷工程の導入を準備してきた。
2019 年 1 月、ｻﾑｽﾝﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｰ Q－DOT ｶﾗｰﾌｨﾙﾀｰのｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗付を諦める。
http://multitask1.seesaa.net/article/463715306.html
2019 年 6 月 LG ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｰ、ｱｯﾌﾟﾙ向け OLED 設備でｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ自社装置を諦める。
https://www.bunsekik.com/%E6%9C%89%E6%A9%9Fel%E3%83%8B%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%82%B9/lg%E3%83%87%E3%82%A3%E3%82%B9%E3%83%97%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%81%AEapple%E5%90%91%E3%81%91%E3%81%AEoled%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%83%B3e6-1%E3%81%AE%E8%A9%A6%E9%A8%93%E7%A8%BC%E5%83%8D%E3%81%A7-%E8%A3%BD%
E9%80%A0%E8%A3%85%E7%BD%AE%E3%81%AE%E5%95%8F%E9%A1%8C%E3%81%8C%E6%B5%AE%E4%B8%8A/
2016 年 6 月 ・ BOE,TCL な ど 中 国 企 業

ｶ ﾃ ｨ ｰ ﾊ ﾞ 社 に 有 機 EL 製 造 設 備 100 億 円 を 出 資 。

http://multitask1.seesaa.net/article/438672987.html
TCL 社は色々な場面でｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗布型有機 EL ﾊﾟﾈﾙ製造の優位性を言っているが。2019 年 SID での中国ﾒｰｶｰ。
http://multitask1.seesaa.net/article/465790559.html
展示場を見て回った韓国内外のディスプレイの専門家は、中国が展示した主な新技術製品がかなり初期のバージョンと指摘した。韓国や日本を追撃するほどの技術水準ではないという評価が主だった。
ｶﾃｨｰﾊﾞ(Kateeva)社の｢YieldJet Flex｣技術や東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ装置の延長線上では、高解像度性が要求される有機 EL
パネル等では困難を極めている姿が見て取れる。JOLED 社技術と何が違うかを理解する時期にあると思える。
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http://www.y-drive.biz/InkDropWT201811.pdf

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・住友化学「高分子有機ＥＬ発光材料開発ＰＲＪ報告」ＮＥＤＯ資料を考察する。
有機ＥＬパネル会社は、ＪＯＬＥＤ社の塗布工法に追着けない理由を考える。
2019 年 8 月 5 日

４／１５
株式会社 ワイ・ドライブ

高分子有機 EL 材料によるｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗付型有機 EL ﾊﾟﾈﾙは、1993 年頃から英国・CDT 社で始まった。この開発 PRJには、ｴﾌﾟｿﾝ社の他に凸版･ﾌｨﾘｯﾌﾟｽ等が参画した。10 年経過しても成果が出ない中、ｴﾌﾟｿﾝ社も CDT から引き揚げ、次に東芝も引き揚げた。http://www.y-drive.biz/Tmd_elTv2007.pdf

最後は住友化学･ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ(旧松下電器)が残った。この住友化学･ﾊﾟﾅｿﾆｯｸは現在の JOLED 社に引き継がれている。CDT は 2007 年に住友化学に買収されている。JOLED 社の有機 EL ﾊﾟﾈﾙ工法は、「高分子有機 EL 発光材料開発 PRJ 報告」NEDO 資料に垣間見ることができる。
おおむね英国･CDT 社で行われていた工法と思われる。 http://www.y-drive.biz/Sumitomo_NEDO.pdf
資料中、ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ装置は、Litrex120 IJ ﾌﾟﾘﾝﾀｰが使用されているが、Litrex 社はｱﾙﾊﾞｯｸ社に吸収され、ｱﾙﾊﾞｯｸ社は現在、ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ装置を販売していない。参考までにｱﾙﾊﾞｯｸ社のﾅﾉﾒﾀﾙｲﾝｸ資料の最下段に、Litrex120 装置の後継の S-200 機があるので添付します
https://www.ulvac.co.jp/data/catalogue_dl/data/materials/nanometal.pdf
ｲﾝｯｸｼﾞｪｯﾄﾍｯﾄﾞ 1 個(KM256DPN)、印刷幅に対しｼｬﾄﾙ印刷、CCD ｶﾒﾗによる飛翔観測器を搭載している
ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗布課題は、今もｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗布装置導入企業の間で、この報告書の内容と同じようなことを課題として挙げている。吐出量ﾊﾞﾗﾂｷ、塗布ﾑﾗ、塗付欠陥、ｺｰﾋｰﾘﾝｸﾞ、画素欠陥などである。現在、多く出回ってるｶﾃｨｰﾊﾞ社、東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ社の装置と大きく異なるのは、ﾉｽﾞﾙ毎吐出量ﾊﾞﾗﾂｷの補正に「DPN(Drive per Nozzle)技術」を使用していることである。DPN 制御はﾍｯﾄﾞ駆動制御が複雑になり、また高解像度ﾍｯﾄﾞを製造しにくい為、あまり普及していない。DPN 技術では各ﾉｽﾞﾙ毎のｲﾝｸ液滴体積を高精度に計測し各ﾉｽﾞﾙ制御にﾌｨｰﾄﾞﾊﾞｯｸ補正する技術が不可欠である。ﾍｯﾄﾞ制御とｲﾝｸ体積計測がﾍﾟｱである。また、2008 年頃に英国･Xaar 社からﾉｽﾞﾙ近傍でｲﾝｸが循環するﾍｯﾄﾞが発表され、ﾉｽﾞﾙ不吐出を軽減する技術として定着しつつある。
ｲﾝｸ経路中に泡が発生してもｲﾝｸ循環で速やかに排出され、不吐出が大幅に軽減される改善効果が期待できる。この他、ｺｰﾋｰﾘﾝｸﾞを無くす技術や、多ｻｲｽﾞのﾊﾟﾈﾙに対し負荷なく印刷解像度・印刷精度を維持する装置構成、G6 ｻｲｽﾞを 30 秒程度で塗布完了する技術など。ここ数年の JOLED 社報告を注視すると、これらの改善技術の集大成として、ﾉｽﾞﾙ毎吐出ﾊﾞﾗﾂｷと「ﾉｽﾞﾙ不吐出による画素欠陥や画素ﾑﾗ」を大きく改善する独自技術を開発したと思える報告が散見される。
カティーバ社、東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ社の装置では塗布解像度と塗布方向ﾍｯﾄﾞの種類で、塗付型有機 EL のｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗付課
題が解決できるのでしょうか？。 次回、考えてみたいと思います
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・カティーバ社、東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ社の塗布方法で、高解像度塗布を考えるヘッド選択の行方？。塗布ムラ・塗布欠陥の低減には？が残る。
有機ＥＬパネル会社は、ＪＯＬＥＤ社の塗布工法に追着けない理由を考える。
2019 年 8 月 8 日

５／１５
株式会社 ワイ・ドライブ

カティーバ社、東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ社の塗布方法で、高解像度塗布を実現するヘッド選択はあるか。その場合の残る課題
は塗布ムラ・塗布欠陥の低減のみなのか。従来の２社の塗付解像度説明では、85ppi(50 ｲﾝﾁ 4k 程度)でした。
台湾 AUO 社に納品された東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ社の「Elius 1000」は高解像度塗布が可能と言っています。どのような方法
で高解像度塗布が可能か。①ヘッド移動方向と画素が直交する塗布方向とする ②ﾍｯﾄﾞ解像度を 600DPI にする等が考えられます。塗布ｲﾒｰｼﾞ解説を掲載します 。https://www.y-drive.biz/HEAD_Select1.pdf

ⅰ．一般に考える塗布方向は、ﾍｯﾄﾞ移動が画素の長手方向に平行移動する場合です。この場合、ｲ
ﾝｸ着弾位置精度やﾒｶ精度(特に G8.5 等では)がゆるくて良い構成になります。RGB 毎に別のﾍｯﾄﾞになるので使用しないﾉｽﾞﾙができ、ﾉｽﾞﾙ利用効率が悪くなります。また、高解像度塗布が困難になります。 ⅱ．ﾍｯﾄﾞ移動を画素と直交する塗布方向とする。この場合、ﾊﾟﾈﾙｻｲｽﾞにかかわらずﾍｯﾄﾞのﾉｽﾞﾙ位置(印刷解像度)をﾊﾟﾈﾙｻｲｽﾞ毎に変更する必要が無い為、多くのﾉｽﾞﾙを用いた平均化が可能でありﾊﾟﾈﾙｻｲｽﾞの変更に比較的柔軟に対応できるが。インク着弾位置精度・メカ精度が絶対条で、塗布域全域にわたって数μｍ以下が要求される。従来用いていたと思われる、300dpi／400dpi ﾍｯﾄﾞを、600dpi／1200dpi に変更することによって、理論上の塗付解像度を 85ppi から 220ppi 程度まで拡大できると考えられるが。ﾍｯﾄﾞのｲﾝｸ着弾位置精度やｲﾝｸのﾚｶﾞ
ﾒﾝﾄ、ｻﾃﾗｲﾄ、塗布面とのﾉﾂﾞﾙ間ｷﾞｬｯﾌﾟ等、解決すべき課題も多い。600dpi/1200dpi ﾍｯﾄﾞ候補は、SG1024/SAMBA(循環型)、KM1024/KM1800 等と思われる。これらは、現状ﾍｯﾄﾞを用いた高解像度塗布への改善であり循環ﾍｯﾄﾞを用いても 20 ｲﾝﾁ 4K ﾊﾟﾈﾙ等の｢塗布ムラ｣｢塗布欠陥｣の改善を実現する訳ではない。
2013 年 IFA 展示でﾊﾟﾅｿﾆｯｸは｢塗布ムラ｣｢塗布欠陥｣を大幅に改善した 56 ｲﾝﾁ４K ﾊﾟﾈﾙを展示した。
IFA2013

ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ有機 EL【麻倉怜士 IFA 報告】ﾊﾟﾅｿﾆｯｸが明かした「有機 EL は印刷方式で、こう作る」

https://tech.nikkeibp.co.jp/dm/article/EVENT/20130916/303703/?ST=ndh_print
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ社と「諸外国のｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ装置導入企業と多くの塗布設備会社」との違いは、ヘッドの特性と塗布状態を把握する評価技術に沿ったプロセス改善力にありそうである。
次回、ヘッドの特質／塗布装置の特性／プロセス状態を把握する「評価装置」は塗布装置に付属している計測系では貧弱ではありませんか？。

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カタログやサンプル展示台を設けますので、設置希望を考えられる企業様はお知らせください・ヘッドの特質／塗布装置の特性／プロセス状態を把握する「評価装置」は塗布装置に付属している計測系では貧弱ではありませんか？

有機ＥＬパネル会社は、ＪＯＬＥＤ社の塗布工法に追着けない理由
2019 年 8 月 14 日

６／１５

株式会社 ワイ・ドライブ

ﾍｯﾄﾞのｲﾝｸ使用時の挙動と特質／塗布装置とﾍｯﾄﾞの間の挙動／塗布ﾌﾟﾛｾｽ状態を把握する「評価装置」は 10 年以
上前の考え方に基ずく塗布装置に付属している計測・評価系では貧弱ではありませんか？
弊社の海外代理店からの情報では、
米国某社のｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗布装置ではｲﾝｸ飛翔観測 Drop Watcher として jetXpertを使用している。欧州の Dantec Dynamics 57X40 FiberPDA(Phase Doppler Anemometry←位相ﾄﾞｯﾌﾟﾗｰ風速計)は計測が速く便利と多用されているが、ｶﾒﾗで視覚化計測していないのでｲﾝｸ滴形状と塗布結果の関連がわからない為、ﾌﾟﾛｾｽ改善には不向きである。jetXpert は多くのｺﾝｻﾙﾀﾝﾄが神様のように崇めているようですが、ﾍｯﾄﾞから比較的大きなｲﾝｸ滴が吐出しているか、ｲﾝｸ速度はどの程度か等、初歩的なｲﾝｸ滴の振る舞いが知れる程度で、ﾍｯﾄﾞのｲﾝｸ使用時の挙動と特質／塗布装置とﾍｯﾄﾞの間の挙動など、吐出量を正確に把握する・ｲﾝｸ滴の形状(ﾚｶﾞﾒﾝ
ﾄが起こす悪影響)と解像度・ｻﾃﾗｲﾄ/ﾐｽﾄ・ﾉｽﾞﾙ間吐出量ﾊﾞﾗﾂｷの把握・塗布ムラ・塗布欠陥・塗布の長期的安定性などの評価には貧弱すぎると考えます。上記の 2 製品共にﾌﾟﾘﾝﾃｯﾄﾞｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ向けには精度不足である。
弊社では業界最高性能のｲﾝｸ飛翔観測装置「Ink Drop Watcher」を開発し製品化している。演算処理後の計測画
素分解能は±0.02μm になり、3PL ｲﾝｸ滴体積を±1%以内で計測可能です。吐出から着弾距離間のｲﾝｸ滴形状を正確に把握でき、ﾚｶﾞﾒﾝﾄの悪影響や隔壁への乗揚げ、微小ｻﾃﾗｲﾄ、ﾉｽﾞﾙ間ｸﾛｽﾄｰｸ、ｲﾝｸの温度影響、大気圧変化の影 響 な ど ﾍ ｯ ﾄ ﾞ の 挙 動 と 特 質 を 把 握 し 使 い こ な す ﾉ ｳ ﾊ ｳ の 蓄 積 に 最 適 で す 。
https://www.y-drive.biz/InkDropWT201811.pdf
塗布後の塗布状態評価には（隔壁に乗揚げ・厚み傾き・ｺｰﾋｰﾘﾝｸﾞ厚み・塗布面の凹凸・表面粗さ）、画素ｻｲｽﾞが20~100μm 程度、膜厚が 100nm 程度、下地の凹凸が数 10nm 程度、など光学顕微鏡では計測困難な為、電子顕微鏡に頼っている場合が多いと思える。最新のﾚｰｻﾞ干渉顕微鏡では 3D 計測可能で膜厚分解能 10nm・長さ方向
分解能 0.2μm、計測視野 6ｘ300 ㎜を計測時間 2 分 等の計測も可能であり 1 日かかったいた仕事が 30 分程度になりプロセス改善に効果大である。https://www.y-drive.biz/FPD_Defect_main.pdf
JOLED は「2018 OLED ｺﾘｱ」ｾﾐﾅｰ 2018.03.08 ET News において。第 8 世代基板の規格で 300ppi 以上の解像度を実現するｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ印刷工程に基づく塗布課題を公表。1,乾燥後のｲﾝｸ平坦化 2,ｲﾝｸ分散

3,ｲﾝｸ乗り上げ･片寄

4,下層へのﾀﾞﾒｰｼﾞ 5,ｺｰﾋｰﾘﾝｸﾞ 6,下層の凹凸によるｲﾝｸ層厚ﾑﾗ これらが改善できていると思われる
https://www.y-drive.biz/JOLED_201803.pdf
ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗布ﾌﾟﾛｾｽ状態を把握する「評価装置」と評価技術に沿ったﾌﾟﾛｾｽ改善力が、諸外国のｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ装置導入
企業に求められているが、JOLED からはこれらの情報が洩れてこない。
⇒

次回、JOLED 社が「2018 OLED ｺﾘｱ」ｾﾐﾅｰで公開したﾌﾟﾛｾｽ改善項目を模索してみる。

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JOLED 社が「2018 OLED ｺﾘｱ」ｾﾐﾅｰで報告した塗布ﾌﾟﾛｾｽ改善項目。既にﾍｯﾄﾞや塗布設備に起因する塗布ﾑﾗは解決
済で、ﾊﾟﾈﾙの見え方を改善する段階にある。

有機 EL ﾊﾟﾈﾙ会社は、JOLED 社の塗布工法に追着けない
７／１５
2019 年 8 月 20 日株式会社 ワイ・ドライブ

JOLED が「2018 OLED ｺﾘｱ」ｾﾐﾅｰにて。第 8 世代基板規格で 300ppi 以上の解像度を実現するｲﾝｸｼﾞｪｯﾄに基づく塗布課題項目を公表。この報告から推察すると、KaTeeVa 社や東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ社が「塗布ﾑﾗ・ﾌﾘｰ技術」を訴求している段階でﾁｬﾝﾋﾟｵﾝ試作でも良品が取れていない現状であるが、JOLED 社は既にﾍｯﾄﾞや塗布設備に起因する塗布ﾑﾗは改善できていて、1,乾燥後のｲﾝｸ平坦化 2,ｲﾝｸ分散 3,ｲﾝｸ乗り上げ･片寄 4,下層へのﾀﾞﾒｰｼﾞ

5,ｺｰﾋｰﾘﾝｸﾞ 6,下層の凹凸によるｲﾝｸ層厚ﾑﾗ 6,ﾍｯﾄﾞ吐出安定化状態の長期維持 8,G8 基板における課題等に移行していることがわかる。https://www.y-drive.biz/JOLED_201803.pdf
JOLED が「2018 OLED ｺﾘｱ」ｾﾐﾅｰで報告した内容に関する弊社の見解をまとめてみました。
https://www.y-drive.biz/JOLED_IJ_method1.pdf①諸外国のｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ装置導入企業は、塗布ムラ課題を言うが、JOLED は 2013 年には解決しているようである。

②ﾍｯﾄﾞ・装置に依存する塗布ﾑﾗ課題が改善されると、ﾊﾟﾈﾙ構造に起因する塗布ﾑﾗが課題になる③よく知られている「塗布ムラ」要因も、KateeVa 社・東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ社ともに改善できていないようである④KateeVa 社は迅速なノズル不吐出検出が、「塗布ﾑﾗ改善」の近道と思っている節がある。

⑤JOLED 社はノズル不吐出が長期的に起きにくい改善を行ってきたようである。
⑥JOLED 社の情報は洩れてこないが、ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄによる有機 EL ﾊﾟﾈﾙ製作の関連会社報告を精査すると、概要が浮かび上がってくる。⇒ⅰ．DPN 仕様ヘッドを使用している ⅱ．１パス塗布である ⅲ．塗布の長期安定取組み
報告から循環ヘッド使用と思える ⅳ．ﾍｯﾄﾞに関連する課題である、吐出から着弾距離間のｲﾝｸ滴形状を正確に把握でき、ﾚｶﾞﾒﾝﾄの悪影響や隔壁への乗揚げ、微小ｻﾃﾗｲﾄ、ﾉｽﾞﾙ間ｸﾛｽﾄｰｸ、ｲﾝｸの温度影響、大気圧変化の影響な
どﾍｯﾄﾞの挙動と特質を把握する手段を構築している⑦ﾍｯﾄﾞと画素間の塗布方向など、パネルサイズに依存しない工法を確立している
はたして、市販されているﾍｯﾄﾞで JOLED 社と同じことが出来るのでしょうか？
DPN ﾍｯﾄﾞ：KM256DPN、SX-3

ｸﾛｽﾄｰｸ僅少ﾍｯﾄﾞ：KM256DPN 駆動波形調整可能ﾍｯﾄﾞ：ﾏﾙﾁﾄﾞﾛｯﾌﾟ、VersaDrop

着弾位置精度の高いﾍｯﾄﾞ：？？

吐出速度の速いﾍｯﾄﾞ： ？？

循環ヘッド：Xaar、Dimatix、東芝ﾃｯｸ、SII、京ｾﾗ、ﾘｺｰ 等

耐溶剤性ﾍｯﾄﾞ： Xaar、Dimatix、？？

KateeVa 社・東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ社は、現有の延長技術を模索し、高解像度・循環ヘッドを検討する様だが？。塗布結果
をユーザ会社が評価・検討し、ﾌﾟﾛｾｽ改善可能な評価技術を提供できる？。JOLED（ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ）社は、装置メーカに依存しない、塗布結果の迅速な３D 光学欠陥計測技術を内製化している⇒

次回、ＤＰＮヘッドにおける「高解像度塗布」「パネルサイズ変更の考え方」とヘッド傾き

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DPN ヘッド循環ヘッド構成は高価である。だけど、画素欠陥・塗布ムラ欠陥が解決できず、ずっと不良パネルを作り続ける設備を選択するか。

有機 EL ﾊﾟﾈﾙ会社は、JOLED 社の塗布工法に追着けない
８／１５
2019 年 8 月 26 日

株式会社 ワイ・ドライブ

中国・ＴＣＬ社は「2018 OLED ｺﾘｱ」ｾﾐﾅｰ 2018.03.08 ET News において、現在、KaTeeVa 社設備を導入し塗布型
有機 EL ﾊﾟﾈﾙの試作を行ってる状況、この中で塗布ﾑﾗ・ﾌﾘｰ技術の重要性を訴求していた。2019 年 SID ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲｳ
ｨｰｸ展示会で BOE、天馬、ﾁｬｲﾅｽﾀ―等の主要な中国のﾊﾟﾈﾙﾒｰｶが（すべてが KaTeeVa 社設備を使用している）塗布
型有機ＥL ﾊﾟﾈﾙの試作機を展示していたのは既報の通りである。また、展示場を見て回った韓国内外のﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲの専門家が、中国が展示した主な新技術製品がかなり初期のﾊﾞｰｼﾞｮﾝと指摘し、韓国や日本を追撃するほどの技術水準ではないという評価が主だった。と言うのも既報の通りである。
はたして、JOLED 社を追いかけ JOLED 社と同等の品質を実現する業務を「設備会社に求めるか？」「パネル会社のﾉｳﾊｳとして人的資源・開発費等を投入し蓄積するか？」。DPN ﾍｯﾄﾞ・循環ﾍｯﾄﾞ構成は高価である。だけど、画素欠陥・塗布ムラ欠陥が解決できず、ずっと不良ﾊﾟﾈﾙを作り続ける設備を選択するか。諸外国のｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ装置導入企業と既納入設備会社との駆け引き、あるいは自前技術を模索するかの判断が、ｲﾝｸ会社・他の設備会社が注目しているところと思える。
DPN ﾍｯﾄﾞにおける「高解像度塗布」「パネルｻｲｽﾞ変更の考え方」とﾍｯﾄﾞ傾きを纏めてみました。
https://www.y-drive.biz/Head_Resol2.pdf

DPN ﾍｯﾄﾞはﾍｯﾄﾞを斜め使いすることによって塗付解像度を大きく上げることが可能です。ﾍｯﾄﾞが50dpi/90dpi でも 300dpi 程度まで簡単に上げれます。40inFullHD 画素ﾄﾞｯﾄﾋﾟｯﾁ≒55ppi⇒462μm
20inFullHD 画素ﾄﾞｯﾄﾋﾟｯﾁ≒110ppi⇒230μｍ、10inFullHD 画素ﾄﾞｯﾄﾋﾟｯﾁ≒220ppi ⇒115μm、20in4ｋ画素ﾄﾞｯﾄﾋﾟ
ｯﾁ≒220ppi⇒115μｍ、7inFullHD 画素ﾄﾞｯﾄﾋﾟｯﾁ≒330ppi⇒77μｍなど対応可能です。また、1 個のﾉｽﾞﾙで 1 色/画素が可能で高解像度化塗布も容易です。また、ヘッド移動方向を画素と直交する塗布方法によってﾉｽﾞﾙ全体を有効に利用でき吐出しないﾉｽﾞﾙを減らせ結果的に不吐出ﾉｽﾞﾙ低減にも効果的です。
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次回、パナソニック・ソニーは、コア技術は自前主義である。そして JOLED 技術は漏れてこない。
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追伸：2019 年 9 月からｵｰﾌﾟﾝﾗﾎﾞを開設します※四条畷市に移転に合わせて行います

カタログやサンプル展示台を設けますので、設置希望を考えられる企業様はお知らせください

ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ IFA 2013 有機 EL【麻倉怜士 IFA 報告】パナソニックが明かした「有機 EL は印刷方式で、こう作る」
https://tech.nikkeibp.co.jp/dm/article/EVENT/20130916/303703/
https://tech.nikkeibp.co.jp/dm/article/EVENT/20130916/303703/?ST=ndh_print
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸ 湾曲 有機 EL
https://tech.nikkeibp.co.jp/dm/article/EVENT/20140114/327200/

そして、パナソニック・ソニーは元来、コア技術は自前主義である。そして JOLED 技術は漏れてこない
有機 EL ﾊﾟﾈﾙ会社は、JOLED 社の塗布工法に追着けない
９／１５
2019 年 10 月 1 日株式会社 ワイ・ドライブ

１、弊社は、9 月 5 日に移転完了しました。新住所は「〒575-0021 大阪府四條畷市南野１丁目 14 番 16 号」
TEL072-812-2061 FAX072-812-2062※．旧住所の TEL/FAX は暫らくの間、新住所に転送されます

https://www.y-drive.biz/newOffice.html
カタログやサンプル展示台を設けますので、設置希望を考えられる企業様はお知らせください
２、パナソニック・ソニーは元来、コア技術は自前主義である。そして JOLED 技術は漏れてこない。
光ディスクのビジネスは、音楽 CD から始まり、多くの国の多くの企業がこの分野に参画しました。メディ
アの規格だけでも、音楽 CD、CD-ROM、CD-R、CD－RW と多彩にな、CD ドライブもメディアに合わせて各種生産されました。ところが DVD の時代になると日本企業による規格・技術の囲い込みが始まり、諸外国の企業は日本企
業と技術提携・合弁会社などの選択を迫られ、メディアもドライブも日本色が強くなります。更に、BD の時代になると残ったのはパナソニックとソニーだけで、まさに両社によるコア技術の自前主義によって規格・技術の囲い込みが成功したのです。（DVD 規格まで参画した企業は、光ディスクは成功事例だと言っていますが。なお HDD
や SSD は別の企業群による囲い込みが進んでいますが。）もう一つ、別の事例があります。
青色半導体ﾚｰｻﾞ開発競争はどう動いたか。ﾌﾞﾙｰﾚｲ光ﾃﾞｨｽｸに必須であった青色ﾚｰｻﾞの開発競争。青色 LED は日亜化学の中村氏が初めて実用化レベルの LED を開発したことで有名です。基礎技術は豊田合成・名古屋大学の赤崎氏・天野氏によります。その頃、ソニーやパナソニックは青色発光をどのように開発していたか。ソニーは ZnSe
系青緑発光をパナソニックは SHG を持っていたが、実用化で GAN 系半導体に負けました。日亜化学はカラーCRTの蛍光体をソニーやパナソニックに供給していて、ソニーもパナソニックも株主でした。更に赤崎氏はパナソニックに所属していた時期があり GAN 系半導体で青色発光を研究していました。豊田合成・赤崎氏の存在や複雑な株主関係のなかで、日亜化学は青色レーザー技術の独占が困難になったのです。翻って、塗付型有機 EL パネル
技術を見てみると、成功したのは JOLED のみで、製造装置も材料メーカーも JOLED に囲い込みしている。ソニー
もパナソニックも同じグループ内にいる。製造の考え方はコア技術の自前主義・垂直統合である。現状では青色レーザーの様な複雑な背景も無く、JOLED を切り崩せる企業群は存在しないように思える。更に若い技術者が開発に携わっているようで、過去の技術流出の様な定年後の技術者によるノウハウの流出や、塗付型有機 EL パネ
ル開発を止めた企業からの技術売却も無いようである。つまり JOLED 技術は漏れてこないのである。有機 EL パ
ネル製造会社から商品化可能な塗布型有機 EL パネルを製造できるの製造設備を要求されている設備メーカーは困難を極めている姿が良く解かる。
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次回、インク吐出現象の、クロストーク・サテライト・レガメント・ミスト
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高精度塗布を阻害する、インク吐出のレガメント・サテライト・ミスト・クロストーク
有機 EL パネル会社は、JOLED 社の塗布工法に追着けない2019 年 10 月 23 日

１０／１５
株式会社 ワイ・ドライブ

ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄによる高精度塗布を阻害する、ｲﾝｸ吐出のﾚｶﾞﾒﾝﾄ・ｻﾃﾗｲﾄ・ﾐｽﾄ・ｸﾛｽﾄｰｸ。
ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄﾍｯﾄﾞが持つ吐出のし易さは、粘度・表面ｴﾈﾙｷﾞｰ・表面張力・静的接触角・動的接触角・後退接触角・前進接触角・滑落角等の理論付けの他に、吐出特性として視覚化しやすい「ｲﾝｸ吐出のﾚｶﾞﾒﾝﾄ・ｻﾃﾗｲﾄ・ﾐｽﾄ
・ｸﾛｽﾄｰｸ」があります。ｲﾝｸの着弾位置精度を上げる為にﾍｯﾄﾞと被印刷面の距離「ヘッドギャップ」を 0.3 ㎜程度に設定してる場合、インク吐出の「レガメント(ligament)：吐出後のインク先端から後方に延びるシッポ状のインク滴」が先端のインク滴に吸収される前に先端が着弾してしまい、後方に伸びたインク滴が後追いで横たわり、隔壁などに乗り上げる場合がおきます。インク特性・ノズルの加工精度・駆動波形・ヘッド構造等に影響を受ける項目です。着弾位置精度の高いヘッドであればﾍｯﾄﾞｷﾞｬｯﾌﾟ 0.8～1 ㎜も可能で、吐出速度等も含め塗布条件の選択の幅が広がります。サテライトは、レガメント部分がインク先端の球体に吸収されず、小さい球体として孤立して先端のインク球体の後方に残る、更に、このサテライトがより微少になったミスト（約１μｍ程度以下のインク滴。このサイズになると空気中に漂い落下してこない）。サテライトもミストも先端の主液滴と異なる軌道を取る場合があり、着弾位置の制御が困難である。多くの場合目的以外の場所に着弾し、他色と混色し印刷塗布結果に混乱をもたらす。
クロストークは多ノズルヘッド構造では避けて通れない現象である。Ｎ番目のノズルが吐出した時に、隣接したＮ－１番目とＮ＋１番目のノズルから微量のインク滴が吐出する現象を言う。ｳｫｰﾙﾍﾞﾝﾄ構造ﾍｯﾄﾞは原理的に隣接ﾉｽﾞﾙと共通ﾎﾟﾝﾌﾟ室壁が構成される為ｸﾛｽﾄｰｸは避けられない。隣接ﾎﾟﾝﾌﾟ室を使用しない等の工夫が必要である。
ﾙｰﾌｼｭｰﾄは 1 枚の薄板上に PZT を配置する構成でﾉｽﾞﾙ毎にﾎﾟﾝﾌﾟ室は独立するが、１枚の薄板上のＮ番目のＰＺＴの上下動によって隣接するノズルのＰＺＴ近傍も薄板が引っ張られ、微小な振動が起こる。ポンプ室を小さくし
ＰＺＴの上下動を僅少にするなどで隣接ノズルへの影響を微少にするなどの工夫が必要である。
シュミューレーション技術などの向上で、インクジェットヘッドでの「ｲﾝｸ吐出のﾚｶﾞﾒﾝﾄ・ｻﾃﾗｲﾄ・ﾐｽﾄ・ｸﾛｽﾄｰｸ」などの要因解析が進み、ヘッド構造の改善が進んでいる。また、ＭＥＭＳ工法等の加工技術の進歩によって、ポンプ室は小さく・１０００個に及ぶポンプ室の形状・体積の均一性は大幅に向上している。結果的に、インク滴の１滴化（レガメント・サテライト・クロストークの僅少化が進んでいる）や着弾位置精度の高精度化が進んでいる。ただ、これらは吐出周期の高速化には寄与しているが、吐出速度の高速化には寄与していない。
また、４００ＰＰｉを目標にできる着弾位置精度や吐出速度、吐出の安定化、不吐出低減 など、ＪＯＬＥＤ社が使用しているヘッド構成・プロセス構成を超えられていない。
ﾚｶﾞﾒﾝﾄ・ｻﾃﾗｲﾄ・ﾐｽﾄ・ｸﾛｽﾄｰｸの状態図
https://www.y-drive.biz/ligament_1.pdf
プリンテッドエレクトロニクス用途を目的として、総合的に見て、これらをバランス良く改善できているインクジェットヘッドは、まだ市販されていない。
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次回、撥水膜の不思議・耐溶剤性、減圧乾燥
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インク溜まりを防ぐ撥水膜、有機溶剤を可能にする耐溶剤性、塗膜乾燥過程を制御する減圧乾燥
有機 EL パネル会社は、JOLED 社の塗布工法に追着けない

１１／１５

2019 年 11 月 6 日株式会社 ワイ・ドライブ

・膜乾燥過程を制御する減圧乾燥
塗布型有機 EL ﾊﾟﾈﾙの場合、塗付された有機 EL 発光体はおおよそ 30 秒程度で乾燥工程に入る必要があると
KaTeeVa 社は言っている。JOLED 社でもこの乾燥工程への制限は当然あると思われる。現在のところ JOLED
社はｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗布上の課題を８項目程度上げている。この中で塗布後の平坦化課題を言っているが、この課題の改善方法については言及していない。一般にｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗布ではｺｰﾋｰｽﾃｨﾝ(ﾘﾝｸﾞ)現象は避けて通れない。減圧乾燥について真空(減圧)乾燥機ﾒｰｶｰがその原理・効果を解説している。
佐藤真空株式会社 https://www.satovac.co.jp/seminar/dryness.html
ｲﾝｸｼﾞｪﾄ塗布後の乾燥時間の大幅な短縮の他に、隔壁に囲まれた微細範囲内の乾燥過程を制御可能であり、塗付の平坦化に効果があると思われる。JOLED 社は減圧乾燥等の解析の中で塗布の平坦化機構の最適化を導き出したと思われる。この塗布の平坦化機構は他社が未適用と思われる。
・インク溜まりを防ぐ撥水膜
ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄﾍｯﾄﾞﾉｽﾞﾙ面の撥水膜は、ﾉｽﾞﾙ面へのｲﾝｸ溜まり低減に効果がある。ｲﾝｸ吐出の切れを改善する。
多くのﾍｯﾄﾞﾒｰかから撥水膜の製作に関する特許が出されている。 Google 検索 ⇒ ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ 撥水膜
ﾉｽﾞﾙﾌﾟﾚｰﾄの表面には、高密着性で高い撥水性を有する撥水膜が求められる。この課題のために、ﾉｽﾞﾙﾌﾟﾚｰﾄの撥
水膜は、SiO2 などの≡Si−OH 基を有する下地密着膜を成膜し、その上に、ﾌｯ素系ｼﾗﾝｶｯﾌﾟﾘﾝｸﾞ結合の撥水ｺｰﾄ剤を成膜することが一般的に行われている。フッ素系撥水膜を CVD やﾒｯｷなどで製作する方法もある。ﾉｽﾞﾙ面ﾜｲﾋﾟﾝｸﾞを考慮した撥水膜の摩耗耐久性などから工法が選択されるが、ﾉｽﾞﾙ穴加工と一緒に論ずる必要がある。
フッ素系撥水膜生成の保有技術の有無が問われる。なお家電製品にはフッ素膜が多用されている。
・有機溶剤を可能にする耐溶剤性
ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄﾍｯﾄﾞの部材はｴﾎﾟｷｼ系接着剤で接合される場合が多い。接合部厚みが薄いので内部に浸み込まないと思われることによる。ｴﾎﾟｷｼ樹脂は産業用溶剤の多くに耐性が低く、ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄﾍｯﾄﾞの耐薬品性を上げるには何らかのｺｰﾃｨﾝｸﾞ膜が必要である。
アズワン有機溶剤耐性表
ｲﾝｸ溶媒の選択には①安価

https://axel.as-1.co.jp/contents/ks/cr_list②危険の少ない③扱いやすい④溶けやすい⑤沸点⑥表面ｴﾈﾙｷﾞｰ

等の他に、ⅰ塗布工程を安定化させ易い ⅱ特定の樹脂ｲﾝｸを溶かす ⅲ極性溶媒 がある。耐薬品性を得る為にﾊﾟﾘﾚﾝ
ｺｰﾃｨﾝｸﾞが用いられる場合が多い。ﾍｯﾄﾞの構造とｺｰﾃｨﾝｸﾞの順序が鍵である。将来的には、耐薬品構造ﾍｯﾄﾞの構築が望まれる。有機 EL 発光体に適したﾍｯﾄﾞとして、はたして JOLED はどの構造を採用しているのか。塗布ﾌﾟﾛｾｽと密接に関連すると思われる。
⇒

次回、バックプレーン構造、隔壁構成、
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JOLED 能美工場生産ライン完成式
https://www.hokkoku.co.jp/subpage/K20191029302.htm

そしてＡＵＯ社。塗布型有機ＥＬ製造への取組みは成功しているか？
有機 EL パネル会社は、JOLED 社の塗布工法に追着けない2019 年 11 月 25 日

１２／１５
株式会社 ワイ・ドライブ

AUO 社は塗布型有機 EL パネルで、Samsung、LG、BOE、TCL、Tianma などより先行する？
AUO 社は Touch Taiwan 2019 で 4K 解像度と 120Hz の超高ﾘﾌﾚｯｼｭﾚｰﾄ、
255ppi ｻﾌﾞﾋﾟｸｾﾙ解像度の 17.3 ｲﾝﾁ 4KOLED
ﾊﾟﾈﾙの発売を発表した。塗布機は東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ製と思われる。
http://m.ja.led-diode.com/news/auo-inkjet-printing-17-3-inch-4k-oled-screen-28292712.html
なお、このパネルを見た人の感想では、画素欠陥などがあり商品としての発売はまだ先のようです。
なお、過去に AUO 社は 2014 年の SID で塗布型有機 EL パネルを発表している。1920×1080 のﾌﾙ HD の 65 型有機 EL ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｰ。輝度は 200cd/m2。なお、この時の塗布機は東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ製ではない。
http://deep2black.blog7.fc2.com/blog-entry-1128.html
AUO 社は 2019 年 3 月 JOLED の技術を導入して、東京ｴﾚｸﾄﾛﾝの塗布機を導入
https://www.bunsekik.com/%E6%9C%89%E6%A9%9Fel%E3%83%8B%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%82%B9/%E9%81%8E%E5%8E%B
B%E3%81%AE%E3%83%8B%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%82%B9/%E5%8F%B0%E6%B9%BE%E3%81%AEauo-joled%E3%82%A4%E3%83%
B3%E3%82%AF%E3%82%B8%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%E5%8D%B0%E5%88%B7%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%
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第 4.5 世代（4.5G＝730×920mm）ｶﾞﾗｽ基板に対応した塗布機で、AUO 社内に既設の 3.5G ﾗｲﾝに設置、まずは IJ
ﾌﾟﾛｾｽによる有機 EL ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｰの試作・評価などに活用するもようだ
AUO 社の取組みが JOLED のｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ印刷技術をどの程度採用したか不明であるが、JOLED 社の既報で、生産設備は Panasonic 社と SCREEN 社の担当と発表されているので、塗付・乾燥工程等の塗布がﾊﾟﾈﾙ品質に関連する部分以外と思われる。塗布・乾燥工程や塗布管理手法が JOLED と異なる場合、JOLED と同じ製造品質にならないと証明されたように思える。
本メルマガの「その７」で書いた、⑥JOLED 社の情報は洩れてこないが、ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄによる有機 EL ﾊﾟﾈﾙ製作の関連会社報告を精査すると。⇒ⅰ．DPN 仕様ﾍｯﾄﾞを使用している ⅱ．１ﾊﾟｽ塗布である ⅲ．塗布の長期安定取組み報告から循環ﾍｯﾄﾞ使用と思える ⅳ．ﾍｯﾄﾞに関連する課題である、吐出から着弾距離間のｲﾝｸ滴形状を正確に把握でき、ﾚｶﾞﾒﾝﾄの悪影響や隔壁への乗揚げ、微小ｻﾃﾗｲﾄ、ﾉｽﾞﾙ間ｸﾛｽﾄｰｸ、ｲﾝｸの温度影響、大気圧変化の影
響などﾍｯﾄﾞの挙動と特質を把握する手段を持っている等が、AUO 及び Samsung、LG、BOE、TCL、Tianma
等との塗布有機 EL 製造の根本的な違いと思える。
既存の設備ﾒｰｶｰが従来技術の改良型を捨て、JOLED 技術を探索し、新規のｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗付機とﾌﾟﾛｾｽ開発を目的としユーザ企業との新規ｸﾞﾙｰﾌﾟを構築する取り組みを開始したところが、JOLED に次ぐ 2 番手ｸﾞﾙｰﾌﾟになり得ると考えられる。鍵は「新規ﾍｯﾄﾞ開発」と「乾燥工程を含む新規ﾌﾟﾛｾｽ開発」である。この２件が必須である。
⇒

次回、バックプレーン構造、隔壁構成、
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Epson 社 2004 年塗布型有機 EL 発表から KaTeeVa や東京ｴﾚｸﾄﾛﾝの設備技術は 15 年の経過？で塗布型有機 EL
製造プロセスを進化させたか？

有機 EL ﾊﾟﾈﾙ会社は、JOLED 社の塗布工法に追着けない2019 年 12 月 20 日

１３／１５

株式会社 ワイ・ドライブ

2007 年当時のﾌﾟﾛｾｽ工法設備に固執し、それを導入している Samsung・LG・BoE・TCL・Tianma。2007 年から継続進化させている Panasonic・JOLED その差は歴然である。
Epson 社はｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗布型有機 EL ﾊﾟﾈﾙ製造ﾋﾞｼﾞﾈｽを 2010 年頃に撤退している。なお 2004 年から 2010 年頃にかけて技術･製造工法･ﾌﾟﾛｾｽを公表している。高分子有機 EL 材料によるｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗付型有機 EL は 1993 年頃から英国・CDT が始めたことはﾒﾙﾏｶﾞ 4 で書いた。開発当時 CDT は CDT-Litrex ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ設備会社を設立し工法開発に取組んだ。この開発に Epson やﾌｨﾘｯﾌﾟｽ等が参画した。Litrex は後にｱﾙﾊﾞｯｸ社に吸収され、米国の Litrex
技術者は CDT ﾌﾟﾛｾｽ技術を引き継ぎ KaTeeVa に流れた。
Epson は CDT 工法・ﾌﾟﾛｾｽを踏襲していると思われる。
2006 年当時の Epson 資料によると⇒ https://www.y-drive.biz/Epson_OLED_pdf.pdf
簡単に記述すると。ｲﾝｸのﾊﾟﾀｰﾆﾝｸﾞには画素毎にｲﾝｸ溜まり隔壁(ﾊﾟﾝｸ)を数 µm の厚みで形成する。ﾊﾟﾝｸ材料はﾎﾟﾘｲﾐﾄﾞ等の感光性有機材料で，ﾌｫﾄﾌﾟﾛｾｽで形成する。高精度ﾊﾟﾀｰﾆﾝｸﾞの為に，ﾊﾟﾝｸ内は親水性，ﾊﾟﾝｸ上は撥水性にする。電極 ITO(画素内)と PI ﾊﾟﾝｸの PEDOT/PSS に対する接触角は 20°、ﾊﾟﾝｸ上部は接触角は 100°位。液滴の白己
ﾊﾟﾀｰﾆﾝｸﾞにより着弾誤差が補正される。Epson による誤差検討によると。ﾍｯﾄﾞ吐出ｲﾝｸはﾍｯﾄﾞ固有のﾊﾞﾗﾂｷやｲﾝｸの特性で飛行曲がりがある。基板とﾍｯﾄﾞのｷﾞｬｯﾌﾟが 0.3mm の場合，ｲﾝｸの着弾精度は約± 10µm。ｲﾝｸ速度ﾊﾞﾗﾂｷによる着弾誤差は±1.2µm。X-Y ﾃｰﾌﾞﾙの機械誤差は±10µm。飛行曲がりによる誤差は±5µm。分散で求めた全着弾
誤差値は±11.2µm となるが、40 ｲﾝﾁ 4k の 110ppi における隔壁寸法などを考えた位置裕度は±5μm 以下である。
4K の 820 万画素では 1 万以上の画素欠陥が、不吐出を考えると数万以上の画素欠陥になりそう。またﾊﾟﾈﾙ全体
を均一に乾燥させるには，その制御方法が重要である。真空乾燥でｲﾝｸは乾燥時に溶液のｴｯｼﾞが基板にﾋﾟﾝ止めされ，ｺｰﾋｰｽﾃｨﾝを防ぐことが可能である。吐出量制御は Epson 独自の MSDT(Multi Size Dot Technology)で、ｲﾝｸを必要な量だけ吐出することが出来る。、KaTeeVa には Epson の MSDT 相当の技術は無く、誤差拡散(ﾃﾞｨｻﾞ処理の一種)相当と思われる。なお、東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ・Epson と KaTeeVa は 2007 年 CDT が住友化学傘下になる前の CDT ﾌﾟ
ﾛｾｽを踏襲していると思われる。これら 2 社の設備でｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ塗布型有機 EL ﾊﾟﾈﾙを実証検証しいる Samsung、
LG、BOE、TCL、Tianma は 2007 年当時の CDT ﾌﾟﾛｾｽ技術から進化したのか？。AUO(⇒ｱﾙﾊﾞｯｸがｲﾝｸｼﾞｪｯﾄ装
置から撤退後の技術者が参画)を含め、2007 年以降の実証・検証ﾗｲﾝの無い東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ・Epson と KaTeeVa は技術停滞が顕著と思える。JOLED＋Panasonic は住友化学と共に 2007 年から 2019 年の期間、実証設備を稼働させ、東京ｴﾚｸﾄﾛﾝ・Epson と KaTeeVa を超える、ｲﾝｸｼﾞｪｯﾄﾍｯﾄﾞ技術・ｲﾝｸ化技術・塗布制御技術・減圧乾燥技術・
ﾒｶ設備精度・隔壁構成など、安定なﾌﾟﾛｾｽ技術を習得したと思われる。
さて、ﾊﾞｯｸﾌﾟﾚｰﾝ構造ですが。JOLED は Sony のﾄｯﾌﾟｴﾐｯｼｮﾝ構成で光取出し効率が高い。TFT は Sony が長年開発してきた酸化物半導体、高速応答や基材のﾌｨﾙﾑ化にも対応できる。隔壁構成はﾊﾟﾝｸ内は親水性，ﾊﾟﾝｸ上は撥水性を長年研究してきた某社と思われる。親水状態は酸素ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理，撥水状態は CF4 ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理を踏襲しているか、ﾊﾟﾝｸ材料にﾎﾟﾘｲﾐﾄﾞ系感光性有機材料を用いているか、ﾌｯ素系ﾎﾟﾘﾏｰを用いているか不明である。またﾊﾟﾈﾙ全
体を均一に乾燥させる減圧乾燥工法など多くのﾌﾟﾛｾｽ進化が 2007～ 2019 年の期間で積上げられたと思われる。
⇒

次回、JOLED 社と協業する会社、Panasonic・Sony・住友化学・Screen の他は何所かを想像する？
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JOLED 社と協業する会社、Panasonic・Sony・住友化学・Screen の他はどの会社かを想像する？
有機 EL ﾊﾟﾈﾙ会社は、JOLED 社の塗布工法に追着けない2020 年 1 月 8 日

１４／１５

株式会社 ワイ・ドライブ

１、展示会出展のお知らせ
コンバーティングテクノロジー総合展／ＪＦＬＥＸ２０２０に出展します。
日時：２０２０年１月２９日（水）～３１日（金）場

所：東京ビックサイト 西３・４ホール

出展小間：４Ｗ－Ｇ３３

西４ホール

２、JOLED 社と協業する会社、Panasonic・Sony・住友化学・Screen の他はどの会社かを想像する？
JOLED 社 1000 億円調達報道で名前の挙がった会社は、Panasonic・Sony・住友化学・デンソー・豊田商事
・SCREEN ﾎｰﾙﾃﾞｨﾝｸﾞｽ・NISSHA 等が出資済みで、候補と思われる会社は、ニコン・キャノン・富士フィルム・AGC・米コーニング等の名前が報道された。出資済みの会社は、どの分野の協業になるかなど報道の通りである。
発光材料は住友化学であるが、インクジェットに最適化するインク化は Panasonic と思われる。また、Panasonic
は装置もデバイスもプロセスも全て開発してきましたと言われているので、減圧乾燥工程も含まれると思われる。
SCREEN 社はコーター機の会社である、PI 膜・LLO 等を製作すると思われる。有機 EL パネルを構成するうえ
で重要な部材である「隔壁」「バリヤフィルム」等は、どこの会社から調達するのか？。JOLED の特許調査をすると「ルミフロン」という製品名がある。AGC 社のフッ素系樹脂である。隔壁・バンク材に使用していると思
われる、発光層の平坦化や均一化に重要な部材である。AGC 社はガラス基材等も供給していると思われる。水
蒸気を遮断するバリヤフィルム、NEDO の「有機 EL 材料の評価基盤技術開発」報告を見ると富士フィルムが米
Vitex Systems を買収し、10-6ｇ/m2・d と極めて高い超バリヤフィルムを開発とある。通常のバリヤフィルム
が 10-4ｇ/m2・d 程度であることを考えると高い性能である。富士フィルムは JOLED にこの部材を供給しているのであろうか？。その他 JOLED の特許調査では数社の部材の名前が挙がっている。ただ、JOLED 社以外にも供給している為、様子見の様である。
JOLED 社製造法特許の例 ⇒ https://www.y-drive.biz/DEVICE_Product_JOLED.pdf
有機 EL 材料評価技術報告 H29 ⇒ https://www.y-drive.biz/OLED_Mate_EVAL_H29.pdf
ここで重要なのは、JOLED の協業先以外の会社が、SCREEN 社のコーター機・PI 膜 LLO 等、AGC 社のフッ素系隔壁・バンク、富士フィルムのバリヤフィルム、Panasonic のインク化技術・プロセス技術等を追いかけることが出来るか？、新たな枠組みを構築する企業グループが発足するかである。塗布型有機 EL パネル製造を目論む会社が主導して塗布型有機 EL ラインを構築し自ら実証する気概の中で、新たな枠組みの企業グループを構築できれば、5～7 年ぐらいの期間で実現できるかもしれない。
⇒

その１～その１４の記事の総集編です.
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有識者の WEB に掲載された「有機 EL の印刷方式による量産が JOLED により始まる！」。 そして、本メルマガの総集編・その１～その１５
有機 EL ﾊﾟﾈﾙ会社は、JOLED 社の塗布工法に追着けない2020 年 1 月 20 日

１５／１５

株式会社 ワイ・ドライブ

１、展示会出展のお知らせ
コンバーティングテクノロジー総合展／ＪＦＬＥＸ２０２０に出展します。
日時：２０２０年１月２９日（水）～３１日（金）場

所：東京ビックサイト 西３・４ホール

出展小間：４Ｗ－Ｇ３３

西４ホール

２、何故？有機ＥＬパネル会社は JOLED 社の塗布工法に追いつけない理由を考える。 その１～その１５ 総集編をまとめた資料を下記の URL に載せました。メルマガを初期から読んでいない方々は、参考にしてください。 ⇒ https://www.y-drive.biz/JOLED_OMNIBUS.pdf
３、JOLED 社の塗布型有機 EL ﾊﾟﾈﾙ量産開始のﾆｭｰｽに合わせて、少数且つ高価であるが顧客が購入し製品評価が可能になったことで、諸外国の有機 EL ﾊﾟﾈﾙﾒｰｶｰを刺激しています。昨年夏頃まで WEB 記事では「斜め目線の評論記事」で、その技術的・事業的成功を危惧し批評的なコラムが多かったです。また、「過去に経験した方々の OB が所属する組織・団体では、 難しいけど出来るの？やめた方がいいんじゃない・失敗するよ？」という意見のブログ記事が多かったことを考えると、技術を良く評価している有識者の WEB 記事が賑わいを増してきたように思います。
hakaselife 氏の WEB に掲載された「有機 EL の印刷方式による量産が JOLED により始まる！」
https://qualityoflife.link/2419.html

この WEB 記事の中には関連記事として、①JOLED の印刷方式有機 ELの戦略と勝算は？歩留まりは上がる？②有機 EL は蒸着方式か印刷（インクジェット）方式で作られている！ ③
有機 EL の印刷方式の製造装置はどこが作っている？JOLED？ ④有機 EL を印刷方式で作る時の発光材料は？
住友化学が強い？ ⑤「有機 EL の発光材料とは？出光が強い？今後はどうなる？ ⑥フレキシブル有機 EL のTFT とポリイミドなどの基板材料⑦有機 EL 基板用ポリイミドフィルムのメーカーとその特徴は？ ⑧有機 EL
テレビ・スマホや発光材料・TFT などのまとめ
示！

⑩その他

⑨SID2019 で印刷方式有機 EL を JOLED と CSOT と Tianma が展など、興味深い見解が掲載されています。

小寺信良氏が見た革新製品の舞台裏（8）：国産有機 EL の夢をのせて、これから始まる JOLED の旅路
https://monoist.atmarkit.co.jp/mn/articles/1804/17/news009.html

インクジェット技術コンサルティングは、株式会社
https://www.y-drive.biz/consulting.html

ワイ・ドライブへ。