No.CD-29-03

半導体製造プロセス
セレクションガイド

ISO 14001認証 ISO 9001認証
JQA-EM2414
JQA-0656

最先端の半導体製造プロセスでお役に立ちます
前工程

インゴット引き上げ

Si溶融温度測定

インゴット切断・ウエハの研磨

ウエハ温度測定
放射温度計

IR-CZシリーズ

IR-CAシリーズ

デジタル指示調節計

回転するウエハ温度測定
ファイバ式放射温度計

放射温度計

インゴット引き上げ時の各種制御

ウエハ酸化

IR-FAシリーズ

サイリスタレギュレータ

JM/JWシリーズ

DB600シリーズ

レーザマーキングの過熱監視
ファイバ式放射温度計

IR-FAシリーズ

0101010101

完2

成

マーキング

最終検査

繰返し

フォトレジスト塗布

ウエハ裏面にパターンを形成

エッチング

酸化・拡散・CVD・イオン注入

エッチング液中濃度の維持や汚濁監視
赤外線多成分計

IMシリーズ

平坦化（CMP）
防爆形

後工程

ウエハ検査
パッケージング

ダイジング
3ウエハ温度測定・試験研究・低温温度測定
ウエハ温度測定

低温温度測定放射温度計

高速形・小形放射温度計

IR-CAT

IR-BAシリーズ（シリコン用）IR-CAU（ガリウム・ヒ素用）

コンパクトで設置スペースを取らず、装置組込みに対応した放射温度計です。
測定波長にシリコンやガリウム・ヒ素の不透明帯域を使用し、ウエハ温度を再現性よく測定できます。

小形放射温度計IR-BZシリーズ
ズ

放射温度計

IR-CZシリーズ

検出部と本体部を分離して検出部を小形化し、高温環境での使用が可能です。

極低温工業用白金・コバルト測温抵抗体
連続測定での安定性・耐久性を高めた2色放射温度計です。
金属-炭素共晶点を用いた目盛校正で高温域を高精度測定。
3500℃まで測定可能な機種を用意しております。

試験・研究
赤外線ゴールドイメージ炉

R800-6
白 金・コバ ルト希 薄 合金を採用し、極低温領域（4K）から常温まで1本のセンサで精密測定できます。

ハイエンド赤外線サーモグラフィ

A6700SC

赤外線ランプにより高速加熱・高速冷却で熱処理を行います。
抵抗炉と比較して温度の立ち上がりが早く、処理枚数を飛躍的に延ばすことが可能です。

A6700SCは、冷却形センサを使用し1〜5μmまたは3〜5μmを計測する感度と応答速度に優れた赤外線サーモグラフィです。
サファイアガラスなどの窓材を透過し装置内の計測が可能です。

製造・販売：アドバンス理工株式会社（チノーグループ）

製造：FLIR Systems, Inc.

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ヒータ制御・各種センサ
ヒータ制御

各種センサ

デジタル指示調節計

赤外線多成分計

DB600シリーズ

IMシリーズ

指示精度±0.1％、制御周期0.1秒のデジタル指示調節計です。
48×48mmサイズのDB630、48×96mmサイズのDB650、96×96mmサイズのDB670が用意されています。

防爆形サイリスタレギュレータ

JM/JWシリーズ
赤外線の吸収を利用した水分・有機分・濃度・塗工厚さなどをリアルタイムで測定できます。
●最大10波長まで使用し、同時に4成分まで測定可能。
●高速・高感度測定、マルチ演算。

JMシリーズ

JWシリーズ

小形・軽量、高密度計装が可能なサイリスタレギュレータをラインアップ。単相、三相のほかヒータ特性に合わせて機種選択ができます。

紫外・可視分光成分計

IRMS6499●JMシリーズ（単相）：コンパクトで本体に設定表示器を搭載●JWシリーズ（三相）：6アーム制御、設定通信ユニットによるきめ細やかな制御を実現

統合パッケージソフト

TRAMS
トラムス

ランチャ画面
トレンド画面パラメータ設定画面

弊社の記録計、調節計、指示計へのパラメータ設定や計測したデータの集録、データ解析を行うソフトウエアです。

紫外領域から可視領域の波長を連続分光し、スペクトル解析により、4成分を同時にリアルタイム計測できます。
さまざまな液体の成分濃度測定、濁度測定などが行えます。

●最大100点のデータを集録・監視●Excel シートを利用した帳票出力●最大4成分を1台で計測。
●連続分光方式で、比率演算、重回帰演算などさまざまな解析が可能。

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クリーン環境を提供
クリーンルーム
長時間にわたり安定した高精度温度制御を行うクリーンルーム、恒温恒湿槽を各種提供いたします。
●プレハブパネル式、ダウンフロー式、クロスフロー式
コンベンショナルなど各種に対応。周辺機器も各種用意。
●クリーンオーブン、クリーンブース、クリーンベンチ、クリーンドラフトなど多彩に対応可能。

製造・販売：三基計装株式会社（チノーグループ）

ジルコニア酸素計

壁取付形温湿度計監視機能付き無線ロガー

ＭＧシリーズHN-EKシリーズ

MD8000シリーズ

Ｅメール通報

送信器
受信器

パソコン

接続接点

酸素濃度測定や酸欠管理に壁取付け形の酸素計です。
●高精度で優れた再現性●警報出力やアナログ出力を標準装備●携帯形酸素計（MB1000）を用意

製造現場や保管庫、一般オフィスまで幅広いシーンに対応する薄形設計の温湿度計です。

送信器（最大360台）の測定データを無線で送信し、受 信 器（ 最 大 6 台 ）を介してパソコンで集 録・監 視します。

●高精度センサを搭載
湿度±2％rh（5〜90％の時）、温度±0.3℃●トレーサビリティ証明書を発行可能●温度、湿度、電圧集録仕様を用意●広域エリアの集中監視を手軽に実施

ＩｏＴ
集録・監視パッケージシステム

CISAS/V4

リアルデータ
メール通報

スマートホン、タブレット端末で現場の状況を確認できます

弊社の記録計、ロガー、調節計および市販のPLCに接続した各種装置、設備などのデータをパソコンで集録・監視するパッケージソフトです。

ゲートウエイCISAS/V4（ネットワーククライアント）

CISAS/V4で集録したデータは複数のパソコンから確認できます。

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グラフィックレコーダ

KR3000
最大48点までの計測データを高速100ms、高精度±0.1％で記録する
ペーパレス記録計です。

アプリケーション
シリコン単結晶引上げ装置温度測定
引上げ機

設定表示器
IR-GZA

放射温度計
IR-CA
温度センサ

■ポイント
Si単結晶

引上げ

●シリコン液面温度を2素子波長にて高精度測定

Si融液液面温度測定

ヒータ●ヒータ温度を光ファイバを使用し、小径、省スペヒータ温度測定

ース測定が可能Si融液
回転

ファイバ式放射温度計
IR-FA

るつぼ
温度センサ

シリコンウエハのエッチング液成分測定
エッチング液テクスチャー加工
R（0〜255）
G（0〜255）
B（0〜255）
可視RGB｝

Si基板

設定表示器
液体セル
洗浄液

可視・赤外ハイブリッド形多成分計
IRMD
■ポイント
●赤外線と可視光を1台で同時測定
ファイバ・赤外線で水分、成分測定

測定セル内部
窓ガラス

・可視光で濁度、透明度、色濃度測定

バイパスライン受光

投光

エッチング液回収工程

プラズマCVD装置温度測定

ガス入口

電極

ガス出口

プラズマ

電極表面温度測定■ポイント●ヒータ温度を非接触で計測

Ｓｉウエハ

電極

ガラス越しでの温度測定が可能

ヒータ

放射温度計
IR-CA
設定表示器
IR-GZA
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校正試験（温度・湿度）/フィールド点検・校正サービス
校正試験（温度・湿度）
トレーサブルな温度・湿度計測や、センサの精度維持管理にセンサ1本から承ります。
チノーは、計量法校正事業者登録制度に基づく登録事業者です。また、併せてISO/IEC17025に基づくMRA対応認定事業者でもあります。MRA対応認定事業者の発行する校正証明書はIAJapanが加盟している国際試験所認定協力機構（ILC）およびアジア太平洋試験所認定協力機構（APLAC）の相互承認協定（MRA）を通じて海外に受け入れられます。

0024
JCSS 0024

株式会社チノー標準技術部は、国際MRA対応認定事業者です。
0024は当社標準技術部の認定番号です。

これらのセンサを校正します。
●熱電対●測温抵抗体●放射温度計●標準白金測温抵抗体●標準放射温度計●ガラス製温度計●電子式湿度計●露点計

フィールド点検・校正サービス
校正対象機器校正範囲
一般校正−270℃ 〜 1760℃

JCSS校正−270℃ 〜 1760℃

一般校正−100℃ 〜 1300℃ （比較校正法）

JCSS校正

0℃ 〜 250℃ （比較校正法）

JCSS校正−40℃ 〜 100℃ （比較校正法）

指示計単体

ループ校正
（温度センサと指示計器の組合せ）（恒温槽装備の温度センサと指示計器の組合せ）

温度：10℃ 〜 40℃
湿度計

一般校正
湿度：20％rh 〜 80％rh（比較校正法）＊ 各校正対象機器の温度および湿度範囲は実際の入力種類および対象機器により範囲が異なります。
＊ JCSS校正の温度範囲は実際の入力種類および対象機器により異なります。

安全に関するご注意●本製品は、一般工業計器として設計・製造したものです。●本製品の設置・接続・使用に際し、取扱説明書をよくお読みの上、正しくご使用ください。
●記載内容は性能改善等により、お断りなく変更することがございますのでご了承ください。●このカタログの記載内容は2019年4月現在のものです。

東日本支店 〒173-8632 東京都板橋区熊野町32-8
名古屋支店 〒450-0001 愛知県名古屋市中村区那古野1-47-1（名古屋国際センタービル）☎03（3956）
2205（代） FAX 03（3956）
2477
☎052
（581）
7595
（代） FAX 052（561）2683
東京 ☎03（3956）
2401 大宮☎048
（643）
4641
（581）
7595 富山☎076
（441）
2096
札幌 ☎011（757）
9141 千葉☎043（224）
8371 名 古 屋 ☎052
岡 ☎054（255）
6136
仙台 ☎022（227）0581 横浜☎045（440）
3171 静新潟 ☎025
（243）
2191 立川☎042
（521）
3081
高崎 ☎0274（42）6611 厚木☎046（295）
9100 （販売店）
水戸 ☎029（224）9151
本社 〒173-8632 東京都板橋区熊野町32-8☎03（3956）
2111（大代） FAX 03（3956）
8927

URL : https://www.chino.co. jp/

大阪支店 〒564-0063 大阪府吹田市江坂町1-23-101（大同生命江坂ビル）☎06（6385）
7031（代） FAX 06（6386）
7202
大阪 ☎06（6385）
7031 広島☎082
（261）
4231
大津 ☎077（526）
2781 福岡☎092
（481）
1951
姫路 ☎079（288）7580 北 九 州☎093
（531）
2081
岡山 ☎086
（473）
7400

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Cat.No. CD-29-03 Apr. '19-01 Printed in Japan ◯