メカニカルステージ ／ 手動ステージ
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自動ステージ
手動ステージ03【 精度、仕様表の見方 】
製品番¥42,000¥36,000¥52,000

XY 軸 2 方向40 ㎜× 40 ㎜
板クランプ
サイド
送りねじ P=0.5 ㎜

CMH-13RM（標準マイクロメータ）± 6.5 ㎜
0.5 ㎜
マイクロメータ式 0.01 ㎜
0.003 ㎜度 ●⓫X

0.01 ㎜
HG-VCR（V 溝とクロスローラ）
真直度（水平・垂直）0.001 ㎜
ヨーイング 15sec、ピッチング 25sec
ヨー 500N・㎝、ピッチ 500N・㎝、ロール 500N・㎝
ヨー剛性 0.08sec/N・㎝、ピッチ剛性 0.06sec/N・㎝、ロール剛性 0.06sec/N・㎝
0.030 ㎜
0.014 ㎜
0.010 ㎜
95.2N（9.7kgf）
0.4 ㎏

X
Yステージ 回転ステージ 傾斜ステージ

許 容 モ ー メ ン ト 荷 重 ●⓬モ ー メ ン ト 剛 性 ●⓭平行度 ●⓮運 動 の 平 行 度 ●
⓯XY
直交度 ●
⓰耐荷重 ●⓱質量 ●⓲主 要 材 質 ／ 表 面 処 理 ●⓳RoHS 指 令 対 応 状 況 ●⓴−MHS4-6.5FP（ファインピッチマイクロ）
±3㎜
0.1 ㎜
マイクロメータ式 0.002 ㎜
0.001 ㎜ステージ

精LD-4042-S8

ステージ

動LD-4042-S6
ハイグレード XY ステージ 40 × 40
（標準型）

ステージ用
アクセサリ

移LD-4042-S1号

製品
名価
格
移動
方向 ●
❶ス
テー
ジ面 ●
❷ク ラ ン プ 方 式 ●❸操 作 部 取 付 位 置 ●❹送り方式 ●❺移動量 ●❻移 動 量 ／ツマミ１回転 ●
❼目量 ●
❽感度 ●
❾移動ガ
イド ●
❿Z

ステンレス／黒色酸化クロム

傾斜回転
ステージ

❶移動方向

︑
ステージステージの移動方向です。

XZ
Y
Z

ステージ

❷ステージ面
ステージの移動部分の大きさです。

X
Y
Z

回転
ステージ

❸クランプ方式

X
Y
Z

クランプの種類を表示します。

フィックスステージ❹操作部取付位置操作部の取付位置を表示します。
❺送り方式
ステージを送る方式を表示します。
❻移動量ステージがどのくらい移動可能かを表示します。
❼移動量／ツマミ 1 回転
ステージを移動させるツマミを１回転した場合の移動量を表示します。
❽目量［中央精機 社内規格］
目盛りの最少範囲を目測により読取れる値を「目量」とし、表示します。
❾感度［中央精機 社内規格］
人が感覚的に操作できる最少単位の目安を「感度」とし表示します。
❿移動ガイド採用している案内方式を表示します。

ユニット製品総合カタログ 38号

261

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自動ステージ
手動ステージ⓫移動精度
移動精度は真直度（水平・垂直）、ヨーイング、ピッチングの項目で表示され、それぞれ以下のように定義されます。

ステージ用
アクセサリ

■真直度
［JIS B 6191-1993 準拠］

垂直方向の変位「直進運動する運動部品の運動の幾何学的直線からの狂いの大きさ。
」

真直度の最大差ステージ

基準位置から一方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置での変位長さと基準位置との差をその位置の測定値とします。

X
Y最大差を「真直度」とします。

X

基準位置と最終測定位置での測定点を結んだ幾何学的直線との
ステージ

移動距離→

真直度は、水平方向と垂直方向の２方向で示されます。

ステージ 回転ステージ 傾斜ステージ

Z

傾斜回転
ステージ

■ヨーイング・ピッチング［JIS B 6191-1993 準拠］

︑ステージ「直進運動すべき運動部品の運動中の姿勢の狂いの大きさ移動量基準長さであって、運動部品が直進運動するときに生じる角度の偏差。
」

XZ

基準位置から一方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置で基準位置に対して水平方向変位角の最大値を「ヨーイング」とします。

YZ

同様に、それぞれの位置で基準位置に対して垂直方向変位角の最大値を「ピッチング」とします。

ステージXYZ

回転ステージ

ヨーイングの変位（角度）X
Y
Z

ピッチングの変位（角度）ヨーイングの最大差

ピッチングの最大差

フィックス
ステージ
移動距離→262

ユニット製品総合カタログ 38号

移動距離→メカニカルステージ ／ 手動ステージ
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自動ステージ
手動ステージ⓬許容モーメント［JIS B 6201-1993 準拠］
ステージ同士またはステージ上に部品を組付する時に掛けても良いモーメント負荷を「許容モーメント」とします。
許容モーメントはモーメント負荷の方向により種類があり、ステージの種類により異なります。
（ヨー）、許容モーメント（ピッチ）、許容モーメント（ロール）の 3 種類、回転ステージは許容モーメント
X、X・Y、Z ステージは許容モーメント

ステージ用
アクセサリの 1 種類、傾斜ステージは許容モーメント（ヨー）、許容モーメント（ロール）の 2 種類を設定します。

⓭モーメント剛性［JIS B 6201-1993 準拠］
ステージ（sec）
を「モーメント剛性」とします。モーメント剛性はモーメント負荷の方向に1N・㎝当たりのモーメント負荷による手動ステージの変位角より種類があり、手動ステージの種類により異なります。X 軸、X・Y 軸、Z 軸ステージはヨー剛性、ピッチ剛性、ロール剛性の 3 種類を設定

Xします。回転ステージはモーメント剛性を設定します。モーメント剛性の数値が小さいほど、モーメント負荷による自動ステージの変位が小さく、剛性に優れていることを示します。

ステージ

X
Y

X 軸、XY 軸、Z 軸ステージのモーメント剛性
ロール剛性
ヨー剛性

ステージ 回転ステージ 傾斜ステージ①モーメント剛性（ヨー剛性）

Z②モーメント剛性（ピッチ剛性）③モーメント剛性（ロール剛性）XY 軸ステージの場合は下軸が基準となります。

傾斜回転ステージ

ピッチ剛性

︑ステージ
X
Z
Y
Z
ステージ

回転ステージのモーメント剛性

X
Y
Z

回転ステージ
X
Y
Z

フィックス
ステージ

モーメント剛性⓮平行度［JIS B 6330-1980 準拠］「平面部分と平面部分のそれぞれの組合せにおいて、それらのうちの一方を基準とし、基準平面に平行な幾何学平面に対して、他方の平面部分が狂っているときの狂いの大きさ」
ステージの総移動量の中心位置でのテーブル面とベース面の平面部分の狂いを平行度とします。

ユニット製品総合カタログ 38号

263

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自動ステージ
手動ステージ⓯運動の平行度／運動の垂直度
運動部品の運動と互いに平行でなければならない機械部分の面、線又は他の運動部品の運動との並行からの狂いの大きさ。
基準平面上に固定したステージを基準位置から一方向へ一定間隔で位置決めを行い、各ポイントにおける基準平面と移動ステージ上面に固定した計測器との間を測定し、その最大差を運動の平行度とします。

ステージ用
アクセサリ

直角定規を基準平面上に配置して、ステージ面に固定した計測器との間を測定し、その最大差を運動の垂直度とします。

変位の最大差変位の最大差ステージ

X

移動距離→移動距離→

ステージ

X
Y

ステージ 回転ステージ 傾斜ステージZ

運動の平行度運動の垂直度

傾斜回転
ステージ︑
ステージ

⓰ XY 直交度［JIS B 7440-1987 準拠］

X
Z「直行する 2 軸間の直角度は、運動の真直基準となる幾何学的Y
Z

直線に直角な幾何学的直線に対し、他方の直線運動の狂いの大き

X 軸の軌道

ステージ

さ。
」

X
Y
Z

X 軸ステージ の 基 準 位 置と最 終 測定 位 置での真 直 度（ 水 平 ）の

90

回転
ステージ

幾何学的直線を基準軸とします。

XYZ

X 軸ステージ基準軸に対し、直角の幾何学的直線に対する Y 軸ステージの基準位置から最終測定位置までの水平誤差の最大値を

フィックス
ステージ

「XY 直交度」とします。
Y 軸の軌道⓱耐荷重
自動ステージに積載可能なステージ面に応じた等分荷重を「耐荷重」とします。

⓲質量
ステージ本体の質量を表示します。

⓳主要材質／表面処理
ステージに使用している主な材料の材質と、その外装（メッキ、塗装など）を表示します。

⓴RoHS 指令対応状況

RoHS 指令に適合した製品の場合に「264ユニット製品総合カタログ 38号」と記載します。

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自動ステージ
手動ステージ●心円度［JIS B 6191-1993,B 6194-1997 準拠］
円であるべき部分の幾何学的円からの狂いの大きさであって、平面内にある

面振れ

線は、その線上のすべての点が二つの同心円の間にあり、円の半径方向の間隔の差が最小となる場合のこの二つの同心円の半径方向の間隔の差でステージ用アクセサリ

心円度表す。
」
幾何学的円に対する、測定値の最大差を心円度としています。
●面振れ［JIS B 6191-1993 準拠］
一つの軸を中心として回転する端面が回転中にこの軸に直角な一平面からステージ外れる大きさ。
」

X

回転ステージのステージ上面のスラスト（垂直）方向の振れの最大値を「面振れ」とします。

ステージX
Y

ステージ 回転ステージ 傾斜ステージ

Z●回転中心精度［中央精機 社内規格］
ゴニオステージのステージ上面から理想回転中心までの位置を基準とし、ステージを位置決めした時の、理想回転中心に対する最大差を測定します。

理想回転中心回転中心精度

傾斜回転
ステージ

最大差を半径とした球の直径を「回転中心精度」とします。

︑
ステージ
X
Z
Y
Z

回転中心高さ

ステージ

X
Y
Z

回転ステージ
X
Y
Z

フィックス
ステージ

●送り精度
当社の手動ステージの多くは、主としてマイクロメータヘッドにより分解能の細かい送りをすることができ、また、移動するテーブルとマイクロメータヘッドのスピンドルとの間をスプリングローディングすることにより、再現性が良くバックラッシもほとんど無視できるほど最小になるように設計されています。したがって送り精度は、マイクロメータヘッド自身の送り精度、およびステージの移動による真直度に依存するところが非常に大きいといえます。
当社のステージのうち、移動ガイド（案内方式）
として V-CR 方式、HG-VCR 方式を採用したステージについては、精密位置決め用のほかに測長用にも使用できるということから、送り精度を考慮しています。これはマイクロメータヘッドの精度、ステージの真直度および両者の連結精度などの誤差要因を合わせて、次のようになります。

90 ㎜× 90 ㎜以下のステージに対して（1 ＋ 2L/10）. 以内
90 ㎜× 90 ㎜を超え 125 ㎜× 150 ㎜以下のステージに対して（1+L/10）. 以内
ただし、L は送り量（㎜）とする。

ユニット製品総合カタログ 38号

265