赤外自由電子レーザーの現状，利用研究と展望

エネルギー回収型リニアックを用いた高平均出力赤外自由電子レーザーの開発
加藤龍好
高エネルギー加速器研究機構（KEK) 〒3050801 つくば市大穂 11
高エネルギー加速器研究機構は，NEDO プロジェクト「高輝度・高効率次世代レーザー技術開発」からの競争的■要
旨

資金を得て，エネルギー回収型リニアック試験加速器（コンパクト ERL）を用いた高平均出力な中赤外 FEL を開発中である。この FEL は高効率な産業用レーザーの開発に必要な加工データベースを構築するための光源として利用される予定である。

（KEK）は新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）

1. はじめにからの競争的資金3) を得て，赤外 FEL プロジェクトを開

近年，その軽量性や低コストにより，金属に代わる工業始 し た 。 こ の プ ロ ジ ェ ク ト の 目 的 は ， KEK に あ る用素材として樹脂材料の需要が増えている。樹脂材料はそEnergy Recovery Linac（ERL)4)の試験加速器であるコンの分子構造によって異なる機能を示すため，使用用途に応パクト ERL （ cERL )5,6)を用いて赤外 FEL （ cERLFEL ）じて様々な樹脂材料が利用される。しかし，その加工はを建設し，その FEL を産業用レーザーに必要な加工デー

CO2 レーザーのような波長固定のレーザーを用いた熱加タベースを構築するための光源として使用することであ工が一般的である。一方，中赤外波長領域は，物質固有のる。また，この FEL は将来の EUV リソグラフィ光源用振動吸収が急峻な吸収ピークとして表れる波長領域であの ERL ベース FEL7)のための実証機になることが期待さり，化学分析において分子構造特定などに利用されていれている。本稿では KEK で開発中の cERL FEL についる。この波長領域の吸収波長は分子内の振動モードに由来て報告する。

し，特異な吸収が存在することが知られている。様々な種類の樹脂材料の加工効率の向上を考えたとき，使用される樹脂材料ごとに異なる，この吸収特性を利用した非熱加工が理想的な加工手法と考えられる。しかしながら，各々の2. KEK における cERL の開発とその役割の変化

樹脂材料において，切断や溶着などの加工に最も適した波

KEK のコンパクト ERL は， ERL ベースの次世代光源長や必要なパワー密度，パルス幅などの情報はほとんど得の実現に必要な要素技術の開発とその性能実証を目的としられていない。これは中赤外波長領域で，波長制御が可能た超伝導加速器である。 ERL の詳細は次節で述べるが，な高出力の光源が存在しないことに起因している。

低エミッタンス・短バンチの電子ビームを高平均電流で利樹脂材料の高効率加工を目的とした加工用レーザープロ用することが可能な加速器である。 KEK では PF と PF セスのデータベースを構築とするためには，中赤外波長域AR に代わる将来光源として ERL をベースとした 5 GeVで動作する高平均出力の波長可変光源が必要となる。現状

ERL 光源計画8) （のちに 3 GeV に変更）を策定し，そのでこの要件を満たす高出力発振が可能なレーザー光源は自技術面・運用面での問題の解決と ERL 技術の実証のため

由電子レーザー（ Free-Electron Laser; FEL )1,2) のみであに cERL を 建 設 し た 。 cERL は 2013 年 か ら 運 転 を 開 始る。 FEL の波長は，電子のエネルギーとアンジュレータし，年間 1 か月から 4 か月の運転期間を確保しつつ，この磁場周期，磁場強度のみの関数となる。そのため，単一れまで運用を続けてきた。この間に加速器の Continuous波長で，かつ原理的な発振波長の制約がなく，ミリ波領域Wave （ CW ）運転に伴ういくつもの問題が顕在化し，そから X 線領域までの広い波長範囲でレーザー発振が可能の都度解決方法を模索しつつ開発を進めてきた。結果としな単色光源となる。また FEL では，アンジュレータ中でて，CW 運転時の平均ビーム電流は毎年 1 桁ずつ増加し，の電子と光の相互作用が増幅媒質の代わりとなるため，増2016年 3 月には周回ビーム電流0.9 mA でのエネルギー回幅媒質に由来する熱損失が存在せず，高出力な光の発生が収運転を達成した9)。
他方蓄積リング型光源では，ハイブリッド・マルチベン可能となる。
大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構

ド・アクロマート（ HMBA ）方式の考案により，広い安184 ● 放射光 May 2021 Vol.34 No.3
(C) 2021 The Japanese Society for Synchrotron Radiation Research特集 ■ 赤外自由電子レーザーの現状，利用研究と展望

定領域と現実的な六極磁場の強さの下で， 100 pm rad ク

1.3 GHz 常伝導バンチャー空洞，3 台の 2 セル超伝導入射ラスの低エミッタンスビームを実現できる新しいデザイン

器空洞18) （ Injector module ）からなり，電子銃で発生しの光 源開発 が飛 躍的に 進ん できた 。これ によ り， 従来た高品質な 500 keV の電子ビームを最大 6 MeV まで加速ERL 光源に期待されてきた多くの放射光科学での成果がする。周回部は一周約 90 m のレーストラック型で，東西新しいデザインの蓄積リング型光源で早期に実現できる可には電子ビームの軌道偏向とバンチ圧縮・伸長のための能性が高まり，短パルス性を除いて ERL 光源が持っていアーク部（First arc, Second arc），北直線部にはビーム合た 優 位 性 の 多 く が 失 わ れ る こ と に な っ た 。 KEK で も流部（Merger, Injection chicane），2 台の 9 セル超伝導主HMBA 方式の蓄積リング型光源の検討が進められた。そ加速空洞19)（Main-linac module），ダンプ用ビーム取り出の結果，改訂された KEK ロードマップでは 3 GeV ERL

し シ ケ イ ン （ Dump chicane ）， ビ ー ム ダ ン プ （ Beam

光源計画の代わりに 3 GeV 蓄積リング型高輝度光源計画dump）が配置される。南直線部は主にビーム利用のためを推進することになった10)。結果として cERL は ERL にの直線区間となっており，当初は周長補正シケインよる次期光源計画の R&D 機としての役割を一旦終え，新（Path-length control chicane）とレーザーコンプトン散乱

たに策定された KEK Project Implementation Plan (KEK

X 線の衝突点（ LCS interaction point）用チャンバーが設PIP）では， 2017年以降の ERL の開発は超伝導加速器の置されていた。入射器空洞により加速された電子ビームは産業利用や産業界への超伝導加速器技術の転用を目的とし合流部から周回部に入射され，主加速空洞により最大エネたプロジェクトとして位置付けられている11)。

ルギーまで加速されたのち，周回部を 1 周する。再度，

KEK ではこれまで超伝導加速器技術ならびに ERL 技

主加速空洞まで戻ってきた電子ビームは加速時とは180度術の利用展開として，レーザーコンプトン X 線源の開逆の RF 位相で減速される。このとき電子ビームのエネル

発12)や極短パルス電子ビームによる THz 波発生とその利ギーが回収され，次の電子ビームの加速に再利用される。

用に向けた研究開発13,14)，半導体リソグラフィ用光源とし入射部で加速された時のエネルギーまで減速された電子て の ERL ベ ー ス FEL の 設 計 研 究15) な ど が 行 わ れ て き

ビームは，取り出しシケインからダンプラインに導かれ，た。さらにロードマップの改訂以降は，民間企業16) の出ビームダンプに捨てられる。cERL には1.3 GHz の電子バ

資による委託研究を受けて，照射部ビームラインを新設

ンチ繰り返しで連続的に電子ビームを発生する CW 運転

し，核医学用 RI である 99mTc の原料となる 99Mo の製造モードと，1.3 GHz 繰り返しの電子バンチから形成される試験，アスファルトの改質・再生のための理化学実験など

100 ns 程度のマクロパルスを数 Hz の繰り返しで発生するの研究に取り組んでいる。 2018 年度 12 月には，産業技術

Burst 運転モードが存在する。CW 運転モードでは，電子総合研究所，東京理科大学，浜松ホトニクスと組んで応募ビームを減速してからビームダンプに捨てることで，放射した NEDO プロジェクト「高輝度・高効率次世代レーザー線の発生が大幅に低減される。Burst 運転モードは CW 運技術開発」に採択され，cERL の南直線部に 2 台のアンジ転前のビーム調整やビーム実験等に用いられるが，ビームュレータをインストールすることで，高平均出力な中赤外ダンプまで輸送しないで利用する場合は平均ビーム電流FEL を開発することになった。

100 nA が上限となる。 cERL の当初の加速器レイアウトを Fig. 1 に示す。
cERL の設計加速電圧は，電子銃500 kV，入射器空洞 33. cERL の構成

台で4.5 MV，主空洞 1 号機（ML1）15 MV ，主空洞 2 号

cERL は入射部と周回部により構成される。入射部は機（ ML2 ） 15 MV であり，設計時の入射エネルギーは 5500 kV 光 陰 極 DC 電 子 銃17) （ Photocathode DC gun ），MeV ，周回エネルギー 35 MeV であった。しかし，入射Fig. 1(Color online) Original layout of the cERL.

放射光 May 2021 Vol.34 No.3 ● 185

器空洞の不要なマイクロ波を取り除くための高次モード（ HOM ）カプラーの発熱によるヘリウム蒸発量の増加，

4. cERLFEL システムの概要

主加速空洞での Field Emission により放射される電子にKEK で開発する cERL FEL は樹脂材料の加工特性をよる放射線レベルの上昇，異なるエネルギーの電子ビーム調べるための中赤外光源として波長 10 ～ 20 mm をカバーを合流・分離するための合流部における入射電子ビームとする。我々はそのための FEL として，過去に ERL で稼

周回電子ビームの設計エネルギー比率 1  7 の制限によ

働実績のある共振器型 FEL2022)ではなく単一通過型 FELり ， 入 射 エ ネ ル ギ ー は 2.9 MeV に 周 回 エ ネ ル ギ ー は 20

（シングルパス FEL)23,24)を選択した。この理由は，1）プMeV（申請上は26 MeV）に抑えられてきた。これに加えロジェクトの期間が 2 年余りと短く，この間に共振器型て長期運転による主加速空洞の性能劣化がみられ，現在エFEL を組み込むために別途ビームラインを建設する時間

ネルギー回収運転が可能な主空洞の加速電圧は， ML1 が的な余裕がなかったこと，2）既存のビームラインにアン6 MV ， ML2 が 8.6 MV となっている。周回エネルギーはジュレータを組み込んで共振器型 FEL に改造する場合，運転開始当初の 20 MeV から 17.6 MeV に低下した。しかアンジュレータ前後に共振器ミラーを迂回するためのシケし 2019 年 6 月の運転では，冷凍機の圧力動作点を変えるインを設けなければならないが，十分なビーム調整用の電ことで，加速後のエネルギーを19.5 MeV まで増加させる磁石を新たに追加しないと，狭いアンジュレータ用真空ダことに成功した。また，合流部での入射電子ビームと周回クト内での電子ビーム損失による放射線量の増大により電子ビームの設計軌道を見直し，エネルギー比率 14.75

CW 運転が困難になると予想されること， 3）別途ビームまで安定にエネルギー回収運転ができることを確認していラインを建設する場合でも既存のビームラインを改造するる。エネルギー回収を前提としないビーム調整ではこの比場合でも，プロジェクト予算のなかに収まらないこと，率を超える入射ビームエネルギーでの運転も可能であり，

4）シングルパス FEL の形態をとることで cERLFEL が運用上 5 MeV （申請上は 7 MeV ）までの運転を行ってい

EUV リソグラフィ光源用の ERL ベース FEL の技術実証

る。cERL の設計パラメータと典型的な運転パラメータをとなること，などが挙げられる。
シングルパス FEL でレーザー発振を実現するためにTable 1 に示す。

は，一般に高いピーク電流と長尺のアンジュレータが必要となると言われている24)。cERL ではあまり高いピーク電
Table 1

Design and typical operational parameters of the cERL.
設計値

周回ビームエネルギー（MeV)
入射ビームエネルギー（MeV)
電子銃エネルギー（keV)
バンチ繰り返し（GHz)
最大平均電流（mA)
運転モード

Fig. 2

現状35.05.0

17.519.5
3.05.0500
1.3
10CW or Burst

500
←
1←

流が期待できないため，プラナー型アンジュレータを組み込んで FEL の出力飽和レベルに到達するためには少なくとも 7 ～ 8 m のアンジュレータが必要である。しかし，NEDO との契約に基づき我々が実現しなければならない

光出力は CW 運転時で 1 W レベルであるため，必ずしも飽和に到達させる必要はない。その点を考慮して cERLの南直線部に設置するアンジュレータは 3 m×2 台とした
（Fig. 2）。

(Color online) Layout of the cERL after modiˆcation for MIRFEL (upper) and enlarged drawing of the undulators installed in the south-straight section (lower).

186 ● 放射光 May 2021 Vol.34 No.3

特集 ■ 赤外自由電子レーザーの現状，利用研究と展望

Fig. 3(Color online) Design of the undulator for MIRFEL (Left) and photograph of two undulators installed in thesouth-straight section of the cERL (Right).

また，cERL のビームエネルギーで波長10～20 mm の中赤外 FEL 発振を実現するためには真空封止アンジュレータに近い周期長が必要になる。我々が選択した周期長は24 mm であり，この周期長で高い K 値を得るためには可能な限り上下磁極間隔（Gap）は狭い方が望ましい。しかし Gap を狭くしすぎると CW 運転時のビーム損失が増大し，cERL 周辺の放射線レベルが増大する。この点を考慮して Gap は10 mm とした。このアンジュレータは Gap 固定のプラナー型アンジュレータであるが，下部磁石列をビーム軸方向にスライドさせることができ，上下磁石列の位 相 差 で 光 子 の エ ネ ル ギ ー を 変 え る Adjustable Phase
Undulator（APU)25,26)の機能を有している（Fig. 3）。アン

ジュレータの上下磁石列の位相が揃った時の K 値は1.4となる。アンジュレータの周期数は124で，両端に12 mm ず

Fig. 4

FEL wavelength covered by the cERLFEL.

つの端部がつき，全長は 3 m となる。 Gap 可変機構を排した構造はアンジュレータ製作のコストダウンと軽量化に件にマッチングさせるために用いられる。

大きく貢献した。アンジュレータ 1 台あたりの重量が 4トン台に抑えられたことで，これまで製作された 3 m 級アンジュレータと比較して搬入・設置に必要な機材がより簡易になっている。

5. cERLFEL で期待される光源性能
Fig. 4 は 電 子 ビ ー ム の エ ネ ル ギ ー が 17.5 MeV と 19.0

アンジュレータの 10 mm の磁極間には押出成形された

MeV のときの FEL 発振波長の範囲を示している。 K 値

アルミ真空ダクトが収まる。真空ダクトの開口は，横 50を1.4から0.6程度まで変化させることにより，波長10～20mm ，縦 7.8 mm の楕円型であり，真空ダクト内の電子mm をカバーできる。 Fig. 5 に示すのはシミュレーション

ビームの軌道調整のために 3 箇所にプロファイルモニにより得られたアンジュレータ軸に沿った光パルスエネル

ターがつく。 2 台のアンジュレータ間隔は 2.3 m であり，ギーの成長である。横軸 0～3 m が 1 台目のアンジュレー

そこに前段アンジュレータからの光をモニターするための

タ，横軸 5.3 ～ 8.3 m までが 2 台目のアンジュレータ位置

光取出しポート， 4 台の Q 電磁石，シケイン電磁石が設を示す。電子エネルギー 17.5 MeV ，バンチ当たり 60 pC置される。プラナー型アンジュレータは交互に極性の変化の電荷量で，電子バンチ形状としてガウス分布を仮定したする偏向磁石列とみなすことができ，個々の磁石の入り口

とき，1 台目のアンジュレータ入り口で理想的なビーム条と出口では電子ビームの蛇行角に比例したエッジ集束力が件 （ バ ン チ 長 1 ps FWHM ， 規 格 化 エ ミ ッ タ ン ス 3 mm働く。個々の磁石からの集束力は比較的小さいが，アンジが実現できたと仮定すると，
mrad，エネルギー分散0.1）ュレータ全体に渡って作用するため，cERL のような低い

2 台目のアンジュレータ出口では，波長 20 mm で約 0.1 mJ

エネルギーの電子ビームに対しては大きな集束効果をもたのパルスエネルギーが期待できる。 FEL 用にあらたに導らす。電子ビームが水平方向に振動するアンジュレータの入される 81.25 MHz 繰り返しの電子銃レーザーを用いて場合は，垂直方向にこの集束力が存在するため，垂直方向CW 運転したときの平均ビーム電流は 5 mA となり，平均のビームサイズを一定に保つことができる理想的なビーム

レーザー出力は最大10 W 程度と予想される。当面は放射条件が存在する。Q 電磁石は，前段アンジュレータを通過線申請の手続き上，最大電流が 1 mA に制限されるため，した電子ビームを後段アンジュレータの理想的なビーム条電子ビームを間引いたバーストモードでの運転となる。こ放射光 May 2021 Vol.34 No.3 ● 187

の cERLFEL に必要とされる電子ビームとアンジュレー光の成長がつながっていないのは，この FEL の大きな特タのパラメータを Table 2 に示す。

徴である。 FEL では電子ビームがアンジュレータ磁場内Fig. 5 の中で， 1 台目と 2 台目のアンジュレータ内でのを 1 周期進むたびに光は 1 波長分だけ電子を追い越してゆく。これはスリッページと呼ばれる現象で，アンジュレータ全体では 1 波長×周期数分のスリッページ長が生じる。 XFEL のように電子バンチ長に比べて光の波長が短い場合には，このスリッページ長が問題になることはない。しかし中赤外の光の波長は X 線に比べて桁違いに長いため，このスリッページ長の影響が無視できなくなる。
このアンジュレータ 1 台あたりのスリッページ長は波長20 mm のとき約 2.5 mm となる。しかし，圧縮後の電子バンチ長は 1 ps （＝ 0.3 mm ）程度となるため，増幅された光は常に電子バンチを追い越していく。この FEL では追い越してゆく光との相互作用により電子バンチ内に形成されるマイクロバンチが成長し，光パルスの後半が増幅される Short Pulse FEL となっている。特に 2 台のアンジュレータ間では，前段アンジュレータで発生した光は電子バFig. 5Evolution of FEL pulse energy along the undulator axis forthe wavelength of 20 mm.

ンチを追い越して前方に移動し，後段アンジュレータではシード光としての役割を果たさない。後段アンジュレータ
では前段アンジュレータでの FEL 相互作用により電子バンチ内に形成されたマイクロバンチから次の光パルスがあRequired Parameters of cERL-FEL.

Table 2

ビームエネルギー
平均ビーム電流
バンチ電荷
バンチ長（FWHM)
規格化エミッタンス
エネルギー分散
ビーム繰り返し
アンジュレータ型
磁石素材
最大 K 値
アンジュレータ周期×周期数
ユニット数

FEL 波長
平均 FEL 出力（5 mA 時)

Fig. 6

17.5, 19.0 MeV
5 mA（現時点では 1 mA)
60 pC
0.51 ps
3 mm mrad0.1
81.25 MHz
Planar (APU)
NdFeB
1.424 mm×1242
1020 mm
＜10 Wらたに成長してくる。この FEL で発生する光パルスは全体としてスリッページ長と同程度の長さとなるが，先頭部分と後方部分では光強度が桁違いとなるため，ほぼ電子バンチ長と同程度の長さの短パルス光とみなすことができる。
Fig. 6 に示すのはシミュレーションにより得られた 1 台

目のアンジュレータ出口と出口から400 mm 下流側での光の空間プロファイルである。 FEL 増幅は電子ビームの電流密度に依存するため，電流密度の高いビーム軸上では増幅度合いが高く，ビーム軸から外れた位置では増幅度合いが低い。結果的にアンジュレータ磁場中で FEL 相互作用により増幅され続ける光は常に電子ビームと同じサイズに保たれる（Fig. 6 左）。これを光ガイディングと呼ぶ。アンジュレータ磁場がなくなり増幅が止まると光ガイディング

Spatial proˆles of FEL light at the ˆrst undulator exit (left) and at 400 mm downstream from the ˆrst undulator(right).

188 ● 放射光 May 2021 Vol.34 No.3

特集 ■ 赤外自由電子レーザーの現状，利用研究と展望

効果がなくなり，光は回折効果により空間的に広がり始め

本育律，本田洋介，宮島司，島田美帆，中村典雄，帯名る（Fig. 6 右）。水平方向に電子ビームが振動するプラナー

崇，高井良太，原田健太郎，高木宏之，満田史織，東直，型アンジュレータの場合は垂直方向の電子ビームサイズが山本将博，福田将史，田中オリガ，阿達正浩，野上隆史，

水平方向の電子ビームサイズよりも小さいため，垂直方向

内山隆司，江口柊，塩屋達郎，下ヶ橋秀典，多田野幹人，の光の発散角がより大きくなる。我々はこの空間広がりを上田明，長橋進也，濁川和幸，三浦孝子， Qiu Feng ，荒利用して，ビーム軸上に挿入された穴あきの横撥ねミラー

川大，梅森健成，許斐太郎，加古永治，中西功太，本間輝により FEL 光を取り出す。他方，電子ビームはミラー上也 ， 小 島 裕 二 ， 河 田 洋 （ KEK ）， 羽 島 良 一 ， 川 瀬 啓 悟の直径 8 mm 穴を通過することで下流側に輸送される。こ（ QST ）， 坂 本 文 人 （ 秋 田 高 専 ）， Nora Peak Norvellの光取り出しミラーは 1 台目のアンジュレータの下流側（SLAC）諸氏の協力によるところが大きい。

約 0.6 m の位置と 2 台目のアンジュレータの下流側約 1.1

参考文献

m の位置に設置されており，計算上では波長 20 mm の光に対して各々 FEL 放射の72と95を取り出すことができる。この光取り出し系の採用により，cERL のビームライン改造を最小限に留めたうえで，常に 2 台のアンジュレータからの光を同時にモニター・利用できるという利点がある。穴あきミラーによりビームラインに対して 90 度方向に撥ねられた FEL 光は KRS 5 窓を通して大気中に取り出され，光学定盤上に構築された光測定システムによ1)
2)
3)
4)
5)
6)
7)
8)

りその特性を評価される。
9)6. まとめKEK は NEDO プロジェクトの予算を得て cERL を用

10 )

いた高平均出力の中赤外 FEL を開発中である。本稿執筆時は cERLFEL のビーム試験中であり，ここで具体的な結果をお見せすることはできないが，要求される光強度はほぼ達成されつつある。 2021年 5 月中旬の NEDO への最11 )12)13)

終報告以降，このプロジェクトの成果を公開していく予定である。この cERLFEL は高繰り返しで動作する高ゲイン・ シ ン グル パス FEL の 最初 の 試験 機 であ り ， EUV 

14)
15)

FEL を実現するうえで解決すべき多くの技術課題を実証することができる。また，この FEL を光源として，加工用レーザープロセスのデータベースを構築することは，今後も増々その需要が拡大すると考えられる樹脂材料の加工において，高効率加工に必要な産業用のレーザー光源開発のための指針となり，直接的に加工時の電力消費を低減させて省エネルギー化に貢献するだけでなく，間接的には多様な樹脂材料の利用機会を増大させることで社会全体の省エネルギー化を押しすすめ，低炭素社会の実現に貢献すると考えられる。

16)
17)
18)
19)
20)
21)
22)

謝辞
本発表は， NEDO プロジェクト「高輝度・高効率次世代レ ーザー 技術 開発」 の成 果に基 づいた もの であ る。
cERL は KEK 加速器研究施設内の各研究系を跨いだ横断的な組織である超伝導加速器利用推進チームによって運転・維持・管理されている。特にこの NEDO プロジェク

23)
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25)
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トで 2 年余りという短期間に FEL の建設から中赤外光の発生・評価まで実現できたのは，阪井寛志，土屋公央，谷放射光 May 2021 Vol.34 No.3 ● 189著者紹介加藤龍好
高エネルギー加速器研究機構 教授
E-mail: ryukou.kato＠kek.jp
専門加速器物理，自由電子レーザー［略歴］
1993 年，東北大学大学院理学研究科博士課程修了，博士（理学）。
1993年1995 年，日本原子力研究所東海研究所，研究員。
1995 年2000 年，大阪大学産業科学研究所，助手。
2000年，同助教授。2007年，同准教授。
2015年より現職。

Development of ERL-based high-average power
infrared free-electron laser
Ryukou KATO
Abstract

High Energy Accelerator Research Organization (KEK) 11 Oho, Tsukuba City, 3050801

The High Energy Accelerator Research Organization is developing a high-average power mid-infrared FEL using an energy recovery linac test accelerator (compact ERL) with competitive funding from the NEDO project ``Development of high-brightness, high-e‹ciency next-generation
laser technology''. The FEL will be used as a light source to build the processing database necessary for the development of highly e‹cient industrial lasers.

190 ● 放射光 May 2021 Vol.34 No.3