単芯フェ ルール同芯度検査装置

MODEL

YGN-524SF柳下技研株式会社 長岡工場Yagi shi tagi ken Co. , Ltd.

Ferr ule eccentricity measuring syst em

装置概要

キャピラリ 、 ファ イバーアッ センブリ 品、 ハウジング品に対応

・ YGN-524SF はフェ ルールの内径、 同芯度を高精度に測定しますす。
・ 簡単な段取り 替えでフェ ルール・ ファイバーアッ センブリ 品や、小径・ 大径等の測定にも対応可能です。
・ 検査機能と して項目毎に任意の規格値を入力し、A ランク・ B ランク・ NG の 総合判定の表示を行います。

仕 様YGN-524SF測定対象品構成性能

測定内容

SC、 FC、 LC、 MU ( キャピラリ、 ファイバーアッ センブリ 品、 ハウジング品)光学系、 LED照明、 オート 回転機構、 ワーク設置部測定タクト 3sec.
測定分解能 0. 001mi cron測定再現性 3σ≦0. 1μｍ[キャピラリ ]外径基準に対する内径の同芯度測定内径測定 ( 内径のゴミ 、 バリ データカッ ト 機能搭載)○内径 最大内径 最小内径Lineup

半自動タイプYGN-524SF-HA

測定対象品

SC、 FC、 LC、 MU等※発注時にいずれかを選択して頂きます

供給方式

手動で治具へ供給※測定、 判別、 排出は自動で行います

性能

測定タクト

6sec.

測定分解能 0. 001mi cron測定内容

外径基準に対する内径の同芯度測定

全自動タイプYGN-524SF-FA

測定対象品

SC、 FC、 LC、 MU等※発注時にいずれかを選択して頂きます

供給方式

パーツフィ ーダへ供給 1000 個※供給、 測定、 判別、 排出を全自動で行います

性能

測定タクト

4sec.

測定分解能 0. 001mi cron測定内容

柳下技研株式会社 長岡工場YAGI SHI TAGI KEN CO., LTD.
〒940-1155 新潟県長岡市宮内町609-1Tel 0258-31-2366（ 代表）Fax 0258-89-6828http: //www. yagi shi tagi ken. j p/nagaoka@yagi shi tagi ken. j p

外径基準に対する内径の同芯度測定▼本資料に関するお問い合わせは▼窓口を担当している 日邦産業株式会社 へ連絡先Email: nippo9913@nip.co.jpPRI NTED I N JAPANFA / VG ピ ッ チ 測定装置

MODELYGN- 590- FAVG

FA / VG Measurement Machine

柳下技研株式会社 長岡工場Yagi shi t agi ken Co. , Lt d.

測定対象 Tar get

FAフ ァ イ バーア レ イ

Fiber ar ray

VG V 溝基板V groove

本装置は FA フ ァ イ バーア レ イ のコ ア ピ ッ チ や VG V 溝基板のピ ッ チ を レ ーザ

ヘテ ロ ダ イ ン 干渉計と弊社オ リ ジナルの画像処理によ り 高精度に測定し ま す。
This system uses our or iginal image processing techniques and a laser heterodyne to measure a Fiber array cor e pitchand V groove pit ch with a high precision.

装置構成/仕様名称 I tem

仕様 Specificat ion

レ ーザーヘテ ロ ダ イ ン 干渉計

X 軸ポディ ショ ン 検出 X-axis pitch direction

Laser Heter odyne

Y 軸ポディ ショ ン 検出 Y-axis pitch direction

顕微鏡

無限系光学対物レ ン ズ Infinit e opt ical system

Micr oscope

20 倍 VG 測定用 20 magnification for VG50 倍、 100 倍 FA 測定用 50 or 100 magnification for FA

CCD カ メ ラ

2456× 2058pixel

CCD Camera

ス テ ージ

X 軸 100mm ス ト ロ ーク X axis 100mm stroke

StageY 軸 4mm ス ト ロ ーク Y axis 4mm str okeフ ォ ーカ ス 軸 4mm ス ト ロ ーク Focus axis 4mm stroke

制御 PC

Windows7

測定分解能 Resolut ion

0.001micr on

測定再現性 Repeatability

3sigma 0.1micr on

FA 測定 FA Measurement

Pitch Error

XY コ ア ピ ッ チ 距離XY core pitch

X Difference X コ ア ピ ッ チ 距離

X core pitch

Y Difference Y コ ア ピ ッ チ 距離Y core pitch

DiameterCore diameter

コ ア の直径ピ ッ チ は設計値から の Error 値を 表示

VG 測定 VG Measurement

Pitch Error

XY 距離

XY distance

X Difference

X 距離-1ch を 測定基準と する

X distanceSingleX Difference

X 距離-隣の ch を 測定基準と するSingle X distanceY Difference

Y 距離

Y distance

Angle

V 溝角度

Angle

Core Depth

基板上面から 仮想円上面ま での高さ Distance from core top to board top

Groove Width

V 溝幅

V WidthGroove Depth

V 溝高さ

V depthピ ッ チ は設計値から の Error 値を 表示

柳下技研株式会社 長岡工場YAGI SHI TAGI KEN CO., LTD.
〒940- 1155 新潟県長岡市宮内町609- 1Tel 0258- 31- 2366（ 代表）Fax 0258- 89- 6828ht t p: / / www. i magepr ocessi ng- yagi shi t a. com/nagaoka@yagi shi t agi ken. j p▼本資料に関するお問い合わせは▼窓口を担当している 日邦産業株式会社 へ連絡先Email: nippo9913@nip.co.jpPRI NTED I N JAPAN微小寸法測定装置シリ ーズMODEL;ImageMeasuring Machine

YGN-MEASURESERIES

装 置 概 要特殊なエッジ検出プログラムを搭載した画像処理と、多彩なシステム構成により、「ハイレンジ」＆「高精度」な測定を実現致しました。

【 大型ステージ 汎用マシーン】・ 可視光汎用光学系・ 電動XYステージ st .500mm・ XYスケール最小表示桁0.1µm【 汎用マシーン】・ 可視光汎用光学系・ 電動XYステージst.100mm・ XYスケール最小表示桁 0.1µm0.08µmライン測定時 3 ≦0.01µm・ 画像処理再現性【 UV顕微鏡 ※開発中】・ 特殊 I 線光学系・ 電動XYステージst.100mm・ XYスケール最小表示桁 0.1µm・ 画像処理再現性0.045µmライン測定時 3 ≦0.005µm【 手動機】・ 可視光汎用光学系・ 手動XYステージ

st.100mm

柳下技研 独自のアルゴリズム汎用光学系機器の構成において、 Gap幅0.14µｍ〜0.08µｍの画像計測結果とSEMで相関が取れるアルゴリ ズムを開発。 現在、 UV 光学系の構成にて、 0.05µm以下の画像処理を開発中。
再現性： 3 ≦0.01µｍ表示倍率： 約10500倍光学倍率： 375倍（ 可視光）CCD画素： 752x492画素

髪の毛(80μｍ)の約1/1000の太さの幅を観察して画像計測します。

Ex.
磁気ヘッ ド サンプル

オートライト処理

オートフォーカス処理焦点走査コント ラスト 検出式焦点軸の制御と映像信号の処理で実施

ステップ2検出コ
ントラ 待機位置
スト→

0.14μｍ〜0.08μｍ

映像信号から輝度を検出し、 光源の光量をPCにより 制御し、 一定の明るさ で計測を行います。 システムによって下限輝度と 上限輝度を設定し て限度を超えた場合、 オート ライト を停止する機能もあり ます。

検出レベル

明ステップ1検出

暗不足：太い移動方向 →

適正

過剰：細い【アプリケーション事例 Applicat ion case 】■磁気ヘッド■自動車部品■液晶前工程■半導体後工程■加工用品■アライメント■レンズ

Ｇａｐ幅測定、異物検出インジェクションノズル表裏位置計測 角度付貫通穴（楕円形状）の計測複数本のL（幅）＆S（間隔）の計測塗布面ヌレ性計測 LFとLSIの接着剤塗布量の比率を計測表面形状計測パターン幅、高さ計測、穴径、ピッチ測定ドリル刃先 形状計測 開き角度、幅、長さ、端面ズレ量液晶ガラスALマークアライメント、LEDチップチップ基準アライメント小型レンズD-cut面計測・整列、ボールレンズ外径計測等

柳下技研株式会社 長岡工場〒９４０−１１５５ 新潟県長岡市宮内町６０９−１Tel ０２５８−３１−２３６６（代表）Fax０２５８−８９ー６８２８http://www.yagishitagiken.jp/nagaoka@yagishitagiken.jp▼本資料に関するお問い合わせは▼窓口を担当している 日邦産業株式会社 へ連絡先Email: nippo9913@nip.co.jpPRI NTED I N JAPAN▼本資料に関するお問い合わせは▼窓口を担当している 日邦産業株式会社 へ迅速にご対応致します！！
連絡先Email: nippo9913@nip.co.jp