メカニカルステージシステム

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顕微鏡用自動化製品 オートフォーカス顕微鏡
自動ステージ

オートフォーカスの原理説明 Description of autofocus principle

顕微鏡用
自動化製品
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
顕微鏡用
ステージ

X
Y

ユニット

フォーカシング

顕微鏡

オートフォーカス

オートフォーカス方式の説明 Description of the autofocus system
当社のオートフォーカス顕微鏡は、主に、ラインセンサ部、AF パターン部、駆動部、コントローラ部、鏡筒部で構成されています。
AF パターン照射光学系を用いてオートフォーカスに利用する AF パターンを試料に投射します。試料に投射された AF パターンを光路差プ
リズムで 2 光路に分けます。2 つの像（AF パターン）をラインセンサで受光します。光路差プリズムからの距離が長い像の信号を Ach 信号、短い像の信号を Bch 信号とよびます。Ach と Bch の信号が等しくなる位置が焦点となるようにラインセンサ等の検出系が作られています。
ラインセンサで得られた Ach、Bch 信号を AF コントローラがコントラスト検出等の信号処理を高速で行い、2 つの信号が最も近似する位置へ駆動部を最適移動させピントを合わせます。
Our auto-focus microscopes are mainly composed of a line sensor unit, AF pattern unit, driving unit, controller unit, andlens barrel unit.
An AF pattern, which is used for autofocus, is projected on the sample by using the AF pattern irradiation optical system.
The AF pattern projected on the sample is split into two optical paths at the optical path diﬀerence prism. Light from twoimages (AF patterns) are received with line sensors. The image signal that is far from the optical path diﬀerence prism iscalled Ach signal, and the image signal that is near the prism is called the Bch signal. The detection system, including theline sensors, is designed to focus where the Ach and Bch signals are the same. The AF controller performs high-speed
signal processing, such as contrast detection, for the Ach and Bch signals obtained from the line sensors, so that the drive
unit optimally moves to focus where both signals approximate to focus.

動画で紹介
オートフォーカス顕微鏡

194
ユニット製品総合カタログ41号 中央精機株式会社

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メカニカルステージシステム

オートフォーカス顕微鏡

顕微鏡用自動化製品
自動ステージ

オートフォーカス顕微鏡機種選定についてオートフォーカス顕微鏡の機種を選定するために下記内容をお知らせください。

1

試料

顕微鏡用
自動化製品

1

ウェハ、ガラス、フイルム、紙等

手動ステージC マウント、F マウント、その他
エリアカメラ素子（撮像面）サイズ

ステージ用
アクセサリ

メーカー名、型式2

カメラ
C マウント、M42 マウント、F マウント、その他
ラインカメラ素子（撮像面）長さ
顕微鏡用
ステージ

XY

メーカー名、型式52

メーカ名

ニコン、オリンパス、ミツトヨ、渋谷光学、その他

使用倍率

2.5 ×、5 ×、10 ×、20 ×、50 ×、100 ×、その他

レボルバ

手動、自動、不要（対物 1 本）

対物スライダ2 ポート、4 ポート、6 ポート、不要（対物 1 本）レボルバ or 対物スライダ

オートフォーカス顕微鏡各機種の概略仕様
機種

概略仕様

AF-IZ タイプ

対物 1 本タイプ、C マウント、明視野観察、オプション追加で偏光観察対応可能

AF-WF タイプ

対物レンズ 1 本 or レボルバ or スライダ対応可能、C マウント or F マウント、明視野観察、オプション追加で偏光・暗視野・微分干渉も対応可能

AF-WM タイプ

対物 1 本タイプ、C マウント or F マウント対応可能、微分干渉観察、明視野観察、偏光観察

AF-77VB タイプ

対物 1 本 or レボルバ or スライダ対応可能、C マウント、明視野観察、オプション追加で偏光・暗視野・微分干渉も対応可能

AF-UNB、UN タイプ

ニコン、オリンパス等の既存顕微鏡搭載時に使用

AF-VW タイプ

レーザリペア対応、C マウント、明視野観察

AF-BD タイプ

明視野・暗視野観察対応、明視野・暗視野照明同時点灯可能、レボルバ対応、C マウント

3

オートフォーカス顕微鏡オプション対応について

観察照明部：絞り取付
偏光ユニット追加（偏光観察）
偏光ユニット＋ DIC プリズム追加（微分干渉観察）

動画で紹介
オートフォーカス顕微鏡

195
ユニット製品総合カタログ41号 中央精機株式会社

オートフォーカス

対物レンズ

顕微鏡

4

明視野観察、暗視野観察、偏光観察、微分干渉観察、その他

フォーカシング

観察方法

ユニット

3

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顕微鏡用自動化製品 オートフォーカス顕微鏡
自動ステージ

オートフォーカス顕微鏡

顕微鏡用
自動化製品
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
顕微鏡用
ステージ

X
Yユニット

フォーカシング

顕微鏡

オートフォーカス▲ AF-IZ（AF-IZ S2-N60WP）▲ AF-77VB（AF-77VBZ S2-N60WP）

特 長 Sales Point
従来の駆動部と異なり対物レンズのみ上下動させ、駆動部と鏡筒を一体化することで省スペースを実現しました。
（AF-IZ）
オンラインの加工・測定機に組み込み可能なコンパクトサイズです。
（株）ニコン製対物レンズ CF/IC シリーズ、CFI60 シリーズ、オリンパス（株）製対物レンズ UIS2 シリーズ、および（株）ミツトヨ製対物レンズに対応します。
ガラスやプラスチックなどの透明体表面へもオートフォーカス可能です。
窪みや穴のある表面にも対応します。
マクロからミクロまで幅の広い倍率に対応可能です。
センサ部（1 ライン、2 ライン）、パターン移動装置の有無等、用途により選択可能です。
観察方法に合わせ、可視タイプ、赤外（IR）タイプと AF パターンが選択可能です。
AF-77VB はレボルバ（電動も可能）を利用することで、2 ポート以上の対物レンズでオートフォーカスが可能です。
製品

製
対カ物

駆動番
品
レメ号

AF-IZ（AF-IZ S2-N60WP）

名ン
ズ
ラ型
式
最小分解能
移 動量ブ
ル
方式

オートフォーカス顕微鏡（AF-IZ タイプ）
ニコン、オリンパス、ミツトヨ
C マウントカメラ（素子サイズ 2/3 インチ以下）
AF-361ZA
0.078 μm
標準 4㎜（10㎜まで設定可能）
センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各 3m 標準
ラインセンサ方式

合 焦 条 件（参 考 値）

サーチタイム0.3 秒（サーチ範囲± 250 μｍ（対物レンズ 20 ×））

AF

精製

品

部

ケ
合ー焦製
対カ物

駆動番

焦点深度の 1/4号

AF-77VB（AF-77VBZ S2-N60WP）

名ン
ズ
ラ型
式
最小分解能
移 動量ブル方式

オートフォーカス顕微鏡（レボルバ対応タイプ）
ニコン、オリンパス、ミツトヨ
C マウントカメラ（素子サイズ 2/3 インチ以下）
AF-61ZA
0.078 μm
標準 4㎜（10㎜まで設定可能）
センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各 3m 標準
ラインセンサ方式

合 焦 条 件（参 考 値）

サーチタイム0.3 秒（サーチ範囲± 250 μm（対物レンズ 20 ×））

A

精ケ
合品
レメ度部
ー焦F度

焦点深度の 1/4

※ケーブル長15mまで実績あり※AF 精度、サーチタイムは試料の条件等により異なります。
※対物レンズ、カメラはご支給ください。

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オートフォーカス顕微鏡

196
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オートフォーカス顕微鏡

メカニカルステージシステム

顕微鏡用自動化製品
自動ステージ

オートフォーカス顕微鏡

顕微鏡用
自動化製品

ラインセンサカメラ
Line sensor camera

手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
顕微鏡用
ステージ

X
Y

照明範囲φ28
Lighting area φ28ンズに対応します。
ガラスやプラスチックなどの透明体表面へもオートフォーカス可能です。
窪みや穴のある表面にも対応します。
マクロからミクロまで幅の広い倍率に対応可能です。
カメラマウントを変更することで C マウント、F マウントに対応可能です。
多様な観察が可能（明視野、偏光、微分干渉観察）。
AF-WM は振動にも強く装置組込みに最適。
※撮像範囲は、対物レンズや試料の条件により異なります。
製品

製
対カ物

駆動番品
レメ号AF-WF（AF-WF S2-N60WP）

名
ン
ズ
ラ型
式
最小分解能
移 動量ブ
ル
方式

オートフォーカス顕微鏡（広視野タイプ）
ニコン、オリンパス、ミツトヨ
C マウントカメラ（1 インチ以下）、F マウントカメラ（φ 28㎜、1.1 インチ相当）
AF-61ZA
0.078 μm
標準 4㎜（10㎜まで設定可能）
センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各 3m 標準
ラインセンサ方式

合 焦 条 件（参 考 値）

サーチタイム0.3 秒（サーチ範囲± 250 μm（対物レンズ 20 ×））

A

F

精製

品

部

ケ合ー
焦製
対カ物

駆動番

焦点深度の 1/4号

AF-WM（AF-WM S2-N60WP）

名
ン
ズ
ラ型式
最小分解能移 動量ブル方式

オートフォーカス顕微鏡（微分干渉対応）
ニコン、オリンパス、ミツトヨ
C マウントカメラ（1 インチ以下）、F マウントカメラ（φ 28㎜、1.1 インチ相当）
AF-461ZA
0.078 μm
標準 4㎜（10㎜まで設定可能）
センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各 3m 標準
ラインセンサ方式

合 焦 条 件（参 考 値）

サーチタイム0.3 秒（サーチ範囲± 250 μm（対物レンズ 20 ×））

A

精ケ
合品
レメ

度部
ー焦F

度

焦点深度の 1/4

※ケーブル長15mまで実績あり※AF 精度、サーチタイムは試料の条件等により異なります。
※対物レンズ、カメラはご支給ください。

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オートフォーカス顕微鏡

197
ユニット製品総合カタログ41号 中央精機株式会社

オートフォーカス

最大φ 28㎜、1.1 型相当のカメラ撮像面まで対応可能な広視野対応のオートフォーカス顕微鏡です。
（株）ニコン製対物レンズ CF/IC シリーズ、CFI60 シリーズ、オリンパス（株）製対物レンズ UIS2 シリーズ、および（株）ミツトヨ製対物レ顕微鏡

特 長 Sales Point

フォーカシング▲ AF-WM（AF-WM S2-N60WP）

ユニット▲ AF-WF（AF-WF S2-N60WP）

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顕微鏡用自動化製品 オートフォーカス顕微鏡
自動ステージ

オートフォーカス顕微鏡

顕微鏡用
自動化製品
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
顕微鏡用
ステージ

X
Y

ユニット

フォーカシング

顕微鏡

オートフォーカス▲ AF-UNB▲ AF-UN

特 長 Sales Point
投光管を組み合わせレボルバ（電動も可能）を利用することで、2 ポート以上の対物レンズでオートフォーカスが可能です。
オンラインの加工・測定機に組み込み可能なコンパクトサイズです。
（株）ニコン製対物レンズ CF/IC シリーズ、CFI60 シリーズ、オリンパス（株）製対物レンズ UIS2 シリーズ、および（株）ミツトヨ製対物レンズに対応します。
ガラスやプラスチックなどの透明体表面へもオートフォーカス可能です。
窪みや穴のある表面にも対応します。
市販の顕微鏡に簡単に組み込み、オートフォーカス化できます。
明暗視野、微分干渉観察等のすべての観察に対応可能です。
製品

製
対カ物

駆動番品
レメ号

AF-UNB

名ンズ
ラ型
式
最小分解能
移 動量ブ
ル
方式

オートフォーカス顕微鏡（ボックスタイプ）
ニコン、オリンパス、ミツトヨ
C マウントカメラ（素子サイズ 2/3 インチ以下）
AF-61ZA
0.078 μm
標準 4㎜（10㎜まで設定可能）
センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各 3m 標準
ラインセンサ方式

合 焦 条 件（参 考 値）

サーチタイム0.3 秒（サーチ範囲± 250 μm（対物レンズ 20 ×））

AF

精製品

部ケ合ー焦製対カ物

駆動番

焦点深度の 1/4号

AF-UN

名ンズ
ラ型
式
最小分解能移 動量ブル方式

オートフォーカス顕微鏡（AF-UN タイプ）
ニコン、オリンパス、ミツトヨ
C マウントカメラ（素子サイズ 2/3 インチ以下）
AF-61ZA
0.078 μm
標準 4㎜（10㎜まで設定可能）
センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各 3m 標準
ラインセンサ方式

合 焦 条 件（参 考 値）

サーチタイム0.3 秒（サーチ範囲± 250 μm（対物レンズ 20 ×））

A

精ケ
合品
レメ

度部
ー焦F度

焦点深度の 1/4

※ケーブル長15mまで実績あり※AF 精度、サーチタイムは試料の条件等により異なります。
※対物レンズ、カメラはご支給ください。

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オートフォーカス顕微鏡

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オートフォーカス顕微鏡

顕微鏡用自動化製品
自動ステージ

オートフォーカス顕微鏡

顕微鏡用
自動化製品
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
顕微鏡用
ステージ

X
Y

AF-BD

レーザー 3 波長（355/532/1064nm）に対応したレーザリペア対投光管使用時のように明視野観察、暗視野観察の切替え不要。

応オートフォーカス顕微鏡です。

明・暗視野用照明同時点灯可能。

対物スライダを搭載することにより 2 ポート以上の対物レンズが暗視野用リング照明内蔵のため、投光管を使用せずコンパクト。

使用可能でレーザーによる微細加工やカメラ観察が可能です。

ガラスやプラスチックなどの透明体表面へもオートフォーカス可

窪みや穴のある表面にも対応します。

能です。

マクロからミクロまで幅の広い倍率に対応可能です。

窪みや穴のある表面にも対応します。

ガラスやプラスチックなどの透明体表面へもオートフォーカス可AF-77VB 鏡筒部を AF-WF 鏡筒（広視野タイプ）に変更することに能です。

より最大φ 28mm、1.1 型相当のカメラ撮像面まで対応可能。

製

品

製
対カ物

駆動

ケ合番
品
レメ部
ー焦合 焦 条 件
（参 考 値）
A
対

F
物 ス

製

品

製
対カ物

駆動

AF-VW

名ン
ズ
ラ型
式
最小分解能
移 動量ブ
ル
方式

オートフォーカス顕微鏡（レーザーリペア対応）
ミツトヨ、渋谷光学
C マウントカメラ（素子サイズ 2/3 インチ以下）
AF-61ZA
0.078 μm
標準 4㎜（10㎜まで設定可能）
センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各 3m 標準ラインセンサ方式

サーチタイム0.3 秒（サーチ範囲± 250 μm（対物レンズ 20 ×））

精ラ イ番

ダ度部焦点深度の 1/4
2 ポートタイプ、4 ポートタイプ、6 ポートタイプ

号

選択

AF-BD

名ンズ
ラ型
式
最小分解能
移 動量ブル方式

オートフォーカス顕微鏡（明・暗視野対応）
ニコン明暗視野用（BD シリーズ）
C マウントカメラ（素子サイズ 2/3 インチ以下）
AF-61ZA
0.078 μm
標準 4㎜（10㎜まで設定可能）
センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各 3m 標準
ラインセンサ方式

サーチタイム0.3 秒（サーチ範囲± 250 μm（対物レンズ 20 ×））

AF
精度
暗 視 野 用 リ ン グ 照 明

焦点深度の 1/4
ライトガイド長さ 1m、2m、3m、4m から選択

ケ合品
レ
メ号

部
ー焦合 焦 条 件
（参 考 値）※ケーブル長15mまで実績あり※AF 精度、サーチタイムは試料の条件等により異なります。
※対物レンズ、カメラはご支給ください。

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オートフォーカス顕微鏡199
ユニット製品総合カタログ41号 中央精機株式会社

オートフォーカス

AF-VW

顕微鏡

特 長 Sales Point

フォーカシング▲ AF-BD（AF-77VBS2-N60BDWP）

ユニット▲ AF-VW（AF-VW S2-MWP-2PS）

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顕微鏡用自動化製品 オートフォーカス顕微鏡
自動ステージ

オートフォーカス顕微鏡

顕微鏡用
自動化製品
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ

AF-UNB

顕微鏡用
ステージ

MSS series

X
Y

AF-261ZA

ユニット

フォーカシング

顕微鏡

オートフォーカス▲ AF-RF-N60LP

特 長 Sales Point
市販顕微鏡をオートフォーカス化できます。
中央精機独自の薄型差込式駆動部により微動輪部分を改造せずに高速追従駆動が可能です。
当社自動 XY ステージ（MSS シリーズ）と AF 駆動部（Z 軸）との組み合わせにより XYZ オートシステムの構築が可能です。
ガラスやプラスチックなどの透明体表面へもオートフォーカス可能です。
製品

製
対象

駆動番号

AF-RF

名
微鏡型
式
最小分解能
移動 量ブ
ル
方式

オートフォーカス顕微鏡（顕微鏡組込みタイプ）
ニコン、オリンパス
AF-261ZA
0.039 μｍ2㎜
センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各 3m 標準
ラインセンサ方式

合 焦 条 件（参 考 値）

サーチタイム0.3 秒（サーチ範囲± 250 μｍ（対物レンズ 20 ×））

A

精ケ
合品
顕部ー焦F度

焦点深度の 1/4

※ケーブル長15mまで実績あり※AF 精度、サーチタイムは試料の条件等により異なります。
※対物レンズ、カメラはご支給ください。

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オートフォーカス顕微鏡200ユニット製品総合カタログ41号 中央精機株式会社

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オートフォーカス顕微鏡

メカニカルステージシステム

顕微鏡用自動化製品
自動ステージ

オートフォーカス顕微鏡用対物スライダ

顕微鏡用
自動化製品

特 長 Sales Point
対物レンズは必要な倍率に切替え可能な高再現性を実現した 1 方向スライド式対物スライ

手動ステージ

ダです。
対物スライダは、対物レンズを 2 本〜 6 本搭載可能な 3 機種を準備。
対物レンズの切替えをスライド式にすることで高い位置再現性を実現。

ステージ用
アクセサリ

レーザリペア装置、自動検査装置などに搭載が可能。

顕微鏡用ステージX
Y

ユニットフォーカシング

顕微鏡

オートフォーカス▲ AF-OLS-02-MS

対物スライダ
製番号

方イ
リ ート間
距
速し精名
向ドド数
離度
度2㎜（ボールねじ）
2使用モータ（5 相 ス テ ッ ピ ン グ モ ー タ ）PK523HPB 相当

製
移移送ポポ
移繰品
品
動動
りねーート動り
返ガ
じAF-OLS-02-MS

AF-OLS-04-MS

AF-OLS-06-MS

対物スライダ
1 方向
V 溝とクロスローラ
4㎜（ボールねじ）
442㎜

38㎜ /s

640㎜ /s± 1 μm
PK543NBW 相当

AF-OLS 用コントローラドライバ
製品

番号

QT-BDL1(K)AC

入 力 電 源（AC ア ダ プ タ ）AC90 〜 240V

外質制制
通形

御御信50/60Hz寸法W165㎜× D142㎜×Ｈ 60㎜（突起部含まず）

軸機
機量数
能能1.6kg
1 軸（ドライバ内蔵）
通信（RS-232C）
によるリモート
RS-232C▲ AF-OLS-02-MS▲ AF-OLS-04-MS▲ AF-OLS-06-MS

動画で紹介
オートフォーカス顕微鏡

201
ユニット製品総合カタログ41号 中央精機株式会社