2016 VOL.26

特別講演

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写真位置�
削 除 し ない

金型表面処理の技術動向と今後の展望
金型表面処理の技術動向と今後の展望�

でください�

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土屋
*
土屋�能成
能成

Y. Tsuchiya
１．まえがきされ１），1970 年に日本の市場に出る２）のと同じ年に TRD

� 加工技術は自動車部品の開発とともに進歩し，それを潤（ 溶 融 塩 浸 漬 法 ： Thermo-reactive Deposition and

滑技術や金型材料，表面処理技術が支えてきた．表面処理

Diffusion），いわゆる TD 処理，による VC が繊維機械部品のうち硬質被膜はトライボ特性に優れるが，実用上２，３に適用されている３）．さらに PVD（物理的蒸着法：Physicalの留意点がある．ここでは成形加工技術と金型表面処理のVapor Deposition）では，1972 年に発表された ARE（活発展を概観するとともに新たな加工技術に対応するため

性化反応蒸着法：Activated Reactive Evaporation）によるの硬質被膜の課題を示し，今後に向けた研究開発の動向を

TiC が切削工具用途に向けた研究の第一歩，と考えられて紹介する．

いる４）．現在硬質被膜の主流である 3 つの技術がほぼ同じ時期に実用化研究段階に入っていたことになる．少し遅れ

２．塑性加工技術の進展と潤滑技術，表面処理技術の関連て 1986 年に CVD と PVD の長所を併せ持ったプラズマ� 近年金型に施される表面処理の主流はチタンやバナジ

TiN，TiCN が実用化され，PVD ではイオンプレーティン

ウムの炭化物や窒化物といった硬質物質を数ミクロンメ

グによる TiN，TiCN が，TRD では，高温塩浴法の VC，ーターの厚さに被覆するいわゆる硬質被膜処理である．特（V，Nb）C および高温流動層炉法の VC といった被膜がに冷間鍛造やプレス成形の金型ではその適用が多い．高強実用化された．その後耐酸化性や耐凝着性に優れるといわ度な被加工材を高精度に成形するとともに金型の補修やれる CrN や TiAlN が市場に流通し，耐アルミニウム溶損

交換頻度を少なくして生産性を上げる手段として必須の性に優れた TiAlSiCNO といった多元素ナノコンポジット

技術になっている．

膜も開発された６）．並行して，被膜自体が低摩擦特性を示す

CVD が実用化された５）．
当初，
CVD では高温 CVD の TiC，

� 硬質被膜が金型に適用されるのは 1960 年代から 1970

DLC（Diamond-like Carbon）が金型にも適用されるよう年代にさかのぼる．1960 年に CVD（化学的蒸着法：になる．実用化にあたっては被膜の改良とともに，事前にChemical Vapor Deposition）による TiC がドイツで報告

母材に窒化処理を施して被膜界面を強化したり，多層や

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表1

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日本の冷間鍛造技術とプロセストライボジーの推移
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* 岐阜大学次世代金型技術研究センター

特任教授- 10 -

石川の表 7）の一部に追記�2016 VOL.26

３．金型に適用される表面処理の種類とトライ
ボ特性

傾斜組成で成膜して密着性を向上させる工夫も行われてきた．
� このような硬質被膜の発展は塑性加工技術が発展する金型に用いられる表面処理には，熱間成形型やダイカスための要請に基づくところが大きい．表 1 に石川による冷ト金型など熱負荷の高い金型に適用される窒化処理や金間鍛造技術の推移のまとめ７）の一部とプロセストライボ

型の補修に使われる肉盛溶接や溶射，大型のプレス型に採

ロジー（加工における摩擦・摩耗・潤滑に関する学問領域）用される硬質クロムメッキがあるが，小型のプレス型や鍛の進展８，９）を 10 年ごとにまとめて示す．これによれば冷造型には硬質被膜が欠かせない．ひと口に硬質被膜といっ

間鍛造技術の発展は自動車部品の適用拡大ニーズによるても多種多様で，処理方法や被覆物質によって特性が異な

ところが大きい．冷間鍛造の対象部品からその技術の変遷

る．利用者が金型に表面処理を採用する場合，各表面処理を見ると，オートバイや家電品，カメラ部品といった小さメーカーの商品名で比較，検討することが多いと思われるな部品の製造から歯車やスプライン箇所を持った軸物部が，本来は処理方法や被膜の物質名までさかのぼって検討品といった複雑形状で高い精度が要求される部品に拡大することが望ましい．

してきている．このような部品の加工を実現するために捨

硬質被膜のトライボ特性として耐摩耗性や耐焼付き性て軸や側方押出という工法が開発されるとともに，高精度に優れることがあげられる．この理由として被膜がな部品成形のために，熱間鍛造が冷間鍛造に置き換わった

Ti,V,Cr といった遷移金属の炭化物や窒化物であるため硬り温間鍛造が施行されたりするようになる．必然的に金型さが 2,000HV から 5,000HV と非常に高いこと，及びこれに負荷される力が過大になることへの対応として金型材らが化学的に安定な物質であるためにアルミニウムや鋼料も進歩し，冷間ダイス鋼から高速度工具鋼，超硬合金へなど他の金属と反応しにくく凝着しにくいことがあげらと高強度化することになる．70 年代後半からの硬質被膜れる．耐焼付き性に優れる一例を図１１０）に示す．この図の実用化もこの動きに呼応して工法開発に貢献すること

はしごき型摩擦試験で潤滑油の摩擦係数に及ぼす各種添になる．90 年代以降工法の開発はさらに進み，閉塞鍛造

加剤の影響を調べたもので，冷間ダイス鋼（SKD11）とバや分流鍛造，背圧形状制御といった技術が開発されることナジウム炭化物（VC）被覆を比較している．SKD11 の場になる．経済情勢に対応するための低コスト化や環境に配合は添加剤によって摩擦が高くなる場合や安定して小さ慮した生産方式への変化もこの時代の特徴である．この時く維持されるものまでその効果はさまざまである．摩擦が代の生産技術のキーワードはネットシェイプ成形，高精度

低く維持される添加剤はいわゆる極圧添加剤で，その成分

成形，グローバルな低コスト生産になる．この時期，金型と材料をダイスの金属成分の反応によって保護膜が形成

材料・表面処理の進展では，超微粒子超硬合金の開発やされる効果が出ているものと考えられる．一方，VC 被覆

PVD の改良，被膜種類の増加があげられる．

の場合は添加剤の有無や種類によらず，低い摩擦係数で安� このような加工技術の進展は，潤滑剤の改良，開発と金定している．添加剤のない基油においても低い摩擦が維持

型材料，表面処理の改良，開発によるところが大きい．いされるのは VC 自体に凝着しにくい特性があるためで，添わゆるボンデ処理，リン酸塩の化成処理被膜，が第 2 次世

加剤由来の保護膜の効果を VC が代替しているといえる．

界大戦終了後加工分野に広まったのを契機にして，冷間鍛�

造で製造される製品が急増した．油剤においては極圧添加

�剤の適用で耐焼付き性能が向上して高強度材やステンレ�

ス材料の部品成形が進んだ．しかし 90 年代以降は環境保�

全や循環可能型社会の実現を目指して化成被膜処理に対�

してはスラッジレスや代替品の開発が指向されるように�

なる．油剤に関しては極圧添加剤のない製品開発や油剤の�

使用量を減らしたりまったく使用しない技術開発が進ん�だ．このような流れの中で金型への硬質被覆処理は，潤滑�

剤が受け持っていた摩擦低減や耐摩耗性，耐焼付き性の効�

果を分担して世の中のニーズに対応する重要な役割を担�ってきた．さらに被加工材料では高張力鋼板や合金鋼とい�

った高強度材料の採用が増え，炭素繊維強化複合材料や各

�種クラッド材で構成される製品が増えて，成形精度や面品�

質の確保のために新しい技術開発が求められている．今後

�も，生産のグローバル化にともなう地球規模の経済情勢の�

変動に対応しつつ，「いいものを効率的に安く生産して供�

給する」というものづくりの基本を維持するためにプロセ���
図１ 摩擦係数に及ぼす添加剤の効果 10）
図１�
�

ストライボロジーの重要性が増加するものと思われる．

�- 11 -

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面を反映した鏡面になっている．ほかのパンチでは焼付き

� また，金型材質によって摩擦係数に及ぼす潤滑剤の粘度
１１）が，SKD11 では低粘度油の場

によってカップ内面にスジ状痕やむしれ傷が形成されて合摩擦係数が高くなるのに対してセラミックスや超硬合いるのと好対照である．このように優れた耐焼付き性能を

金では粘度の影響がほとんど認められない．低粘度油にお持つ被覆材によって滑らかな金型の表面性状を転写させ

いて潤滑膜が切れて相手材料とダイスが直接接触してもることができるので高品位な表面を製品に作り込むこと

凝着しにくいために摩擦係数が上昇しないといえる．これができる．

らの構成物質は炭化物や窒化物，酸化物であり，硬質被膜

� このような優れた特性を実際の金型で引き出すためにの影響度合いが異なると同類である．硬質被膜でも同様の効果が期待でき，潤滑気を付けなければならない点がある．一つは金型の表面粗

油の低粘度化や油膜の切れやすい強加工においてこの効さで，一つは母材硬さである．耐焼付き性は金型の表面粗果が発揮されるだろう．さらにセラミックや硬質被膜系のさに影響されて粗面の場合には耐焼付き性が劣化する．図

型材質は断面減少率の大きい強加工において摩擦係数の３に引抜き時の摩擦係数に及ぼすダイス表面粗さの影響増加が抑えられ，広い加工範囲で効果を発揮する

１２）

を示す１４）．表面が滑らかな時には引抜距離に対して安定．

� 硬質被膜の優れた耐焼付き性が凝着を防いで高品位なした低い摩擦係数が維持されるが，表面粗さの増加ととも．これは S10C のに摩擦係数が引抜き距離に対して漸増するようになり，さ焼鈍材を無潤滑で後方穿孔押出ししてカップを成形した時らに引抜き途中で急増するように変化し，また急増の変化

１３）

製品表面を形成する例を図２に示すのパンチランド部とカップ内面を観察したものである．VC

が短距離で生じるようになる．表面粗さの影響は硬質膜ほ

パンチには焼付きは認められず，カップ内面もパンチの表�

ど強く表れるので被覆する場合は事前の表面粗さをなる�

べく小さく，ラップ仕上げ程度までに調整することが望ま�

しい．板成形のかじり発生においても同様の影響が示され�ている１５）．

�� 硬質被膜の優れた特性を発揮させるためのもう一つの

�

留意点は母材硬さを確保することである．平板引抜き試験

�

で型かじり発生までの摺動回数を比較した研究 １６）では，

�

TiC においても VC においても母材硬さが低いほど早く型

�

かじりが生じた．硬質膜をバックアップする母材強度の重�

要性が示されているといえる．近年，板成形にしろ鍛造加�

工にしろ，高強度材料の成形が増加して金型に負荷される

�

面圧が高くなる傾向にある．面圧に堪える母材硬さに調整�

することが望まれる．

�� 母材硬さに関する注意点では繰返し表面処理をおこなう

�図２ 後方穿孔加工後のパンチランドの焼付きと製品カッ13）
図２�
後方穿孔加工後のパンチランドの焼付きと�
プ内面性状のパンチ材質による違い

場合の被膜直下の母材軟化の問題がある１７）．CVD や TD

製品カップ内面性状のパンチ材質による違い�

るので，特に繰り返し処理を行う場合に層直下の母材中処理で TiC や VC を成膜すると母材中の炭素を一部使用す�

炭素が減少して硬度低下を起こすようになる．もともと�

固溶炭素量の少ない高速度工具鋼や熱間ダイス鋼で起こりや�

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14）
図３
図３�見かけの摩擦係数に及ぼす工具表面粗さの影響
見かけの摩擦係数に及ぼす工具表面粗さの影響�

図４� ��� 処理３回後の表面硬さ分布（文献 ��）に追記）�
図４ TiC 処理３回後の表面硬さ分布（文献 17）に追記）- 12 -

2016 VOL.26

熱間鍛造金型やダイカスト金型など高温材料を対象とすい現象であるが，冷間ダイス鋼においてもこれを改良し
１７）．図４に CVD で TiC を３する金型向けの被膜には，耐酸化性に優れ，高温強度が高回被覆処理した後の母材硬さ分布に及ぼす鋼種の影響をいことが望まれるが，従来の炭化物や窒化物では不十分でた工具鋼が開発されている示す．母材硬さの高い 8%Cr 鋼や 10%Cr 鋼の表面近傍にある．さらに，母材の熱軟化を防ぐような高い断熱特性をおける硬さ低下の割合が大きくなっている．実際の硬さ値持つ被膜はない．被膜が高い断熱性を持てば加工に伴う母を推定して併記してみるとこれらは SKD11 並みであるが材の熱軟化を防止できるので潤滑剤による金型冷却の必改良鋼（S-MAGIC）では硬さ値でも高いことがわかる．

要性が低下し，被加工材の温度低下が小さくなって高い変表面処理を踏まえた型材開発の好例である．

形能を維持した成形が可能になる．生産量で 90%近くを� 一方，処理技術としては従来，成膜処理後に別途熱処理

占める２０）にもかかわらず熱間成形金型の寿命は冷間成形をおこなって内部の炭素を表面に拡散して炭素濃度を回金型の十分の一以下である．これを改善できる母材や表面復することが行われているが，母材低下を起こさないよう処理が求められている．

１８）

な表面処理方法の開発

�も行われている．

� 硬質被膜の特性を発揮させるには金型形状に対する配５．最近の被膜開発の動向と今後の期待

慮も必要になる．図５は六角トリミングパンチの寿命改善� ���� 低摩擦特性被膜�

事例１９）である．トリミングの切り刃形状のまま被覆した表面被膜に期待される低摩擦の意味をふたつに区別し場合寿命向上効果は全く認められないが，刃先に R をつて考えてみたい．一つは言葉通り境界潤滑状態の尺度であけたり，小さく面取りを行うと寿命が改善している．これるμ＝0.1 より小さい摩擦状態と，この数値以上であっては切り刃形状のままであると先端に小さなバリが残っても例えばμ=0.2 とか 0.3 ですべり距離や試験回数によらおりそれを包む形で被覆されるので，トリミング加工の初ず摩擦が安定して推移する場合である．摩擦が安定してい期にバリごと被膜が折損して脱落するために寿命が改善

ることは潤滑剤が消失しても焼付きが小さく抑えられ，摺しないといわれている．Ｒ加工や面取りでバリを除いた場

動界面がそれほど損傷していないことの表れで，表面被膜合には初期損傷が起きなくなるために寿命改善効果が得が機能していることを意味している．従来の被膜は潤滑剤られたわけである．分割型の合わせ面のエッジにおいてもと併用すればこのような値を示すが，無潤滑では焼付かな

Ｒ加工を施して段差の影響を軽減するといった工夫が必

いものの高い摩擦を示していた．近年無潤滑状態でも比較要である．このような点に注意することで本来の硬質被膜

的小さな摩擦係数を示す被膜が開発されつつあるので 2，の特性を発揮させることができる．

3 の事例を紹介しておきたい．
a)塩素の低摩擦効果���

図６に示すのは TiN 被膜における塩素（Cl）の低摩擦�効果である２１）．プラズマ CVD 法で成膜した TiN には原�

料ガス成分の塩素が固溶する．この塩素量によって摩擦係�

数が異なり，2.3at.%Cl まではμ＝0.5 から 0.6 といった

�高い摩擦係数であるが，4.9at%Cl ではおよそ 0.15 まで低�

下する．これは塩化物が酸化を防いでいることによると考�
図５ 六角トリミングパンチの切り刃仕上げ方法と寿命
図５�
六角トリミングパンチの切り刃仕上げ方法と寿命えられている．塩素が腐食に対して悪影響を示さない程度に固溶していると低摩擦化に貢献するようである．�

の関係 19）
の関係�

�

�

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�

�

４．塑性加工における表面処理の位置づけと課題�

これまで見てきたように硬質被膜は，高精度で高品位な�く貢献し，レアメタルに代表される資源問題や地球環境問

摩擦係数

�

題を解決する有力なツールである．一方で課題も存在する．

�

一つは硬質膜自体に低摩擦特性を持つものが少ないこと，

�

一つは高温での使用に耐える特性を持った硬質膜が少な�いこと，さらに一層の高精度被覆に対応できていない，の�

3 点を指摘しておきたい．低摩擦特性については DLC が現�

在の最右翼に位置づけられるが，いろいろな種類の DLC

�

表面をもつ部品生産に必須であり，金型の寿命改善に大きがあって標準規格がないために比較しづらい現状にある．

- 13 -

��

すべり距離／ m21）
図６
図６�摩擦係数の変化に及ぼす塩素組成の影響
摩擦係数の変化に及ぼす塩素組成の影響�2016 VOL.26

同様の効果はあらかじめ成膜した TiN に Cl をイオン注

図９に示すように室温の試験ではバナジウム組成によら．図 7 に示すよず摩擦係数はおよそ 0.7 で推移する．500℃においては

うに，注入量が多いほど低摩擦で，安定した値で推移して0.16%V のときに摩擦係数の平均は 0.9 で変動も 1.1 からいる．同じハロゲン元素であるフッ素では効果がなく，0.4 と最も大きくなった．0.22%V ではμ＝0.5±0.1 と変動

Cl 特有の現象である．ここでは Cl の触媒作用によってが小さくなった．さらに V 量が増加するとすべり距離にTiN が酸化物に変化した効果だと説明されている．Cl に対して変化が大きくなる．試験温度 700℃では，0.28%V

よる低摩擦化のメカニズム解明を含めて今後の進展を期のとき摩擦係数は 0.2±0.05 と，すべての試験条件で最も入した研究においても認められている

２２）

小さく，安定した．バナジウム酸化物の形成と溶融が影響

待したい．
b)バナジウム酸化物の生成による摩擦低減

していると説明されている．

� 高張力鋼板を 30 万回冷間プレス成形したあとの TD 処理

���� 耐熱性の向上

による VC 被膜表面を透過電子顕微鏡で観察した研究 ２３）

硬質被膜の耐熱性の改良も進んでいる．図１０に示す２５）で，図 8 に示すように，被加工材の鉄酸化物の凝着層の下のは（TiAl)N 系の膜に Cr や Si などを加えて耐酸化性を向にバナジウムの酸化物層が検出された．高い金型寿命の原上させた例で，800℃までは酸化増量がなく，1,200℃にお因はバナジウム酸化物の摩擦低減効果であるとしている．

いてさえ 0.03%の増加に過ぎない特性が示されている．

この分析結果をもとに被膜成分が Al，Cr，V，N で膜厚

さらに別の高温試験では ２ ６ ），図１１に示すように15µm の被覆材が開発された．これをハイテン材の曲げ絞

TiAlN 膜では 900℃以上で酸化増量が大きくなる一方，型に適用したところ高い寿命向上効果が得られている．こAlCrN 膜では 700℃付近から徐々に熱解離に伴う重量減の結果は，膜厚が 15µm と通常の硬質膜の厚さが数 µm で少を起こしてしまう．これに対して各種元素を配合した

あるのに対してかなり厚いことと，表面の仕上げ形状を突TiCrAlN 被膜は 1,100℃付近まで重量変化はほとんど認起がないように工夫するといったことの相乗効果である

められていない．

と思われる．

この開発技術から新しい被膜が市販されて実用金型において効果を上げている２７）．図１２は高温のピンオンデ

� 同様のバナジウム酸化物による摩擦低減効果の例がまとめて解説され

２４）

スク試験の結果とこれを被覆した実用成形型における実，CrAlVN 被膜の高温摩擦試験における摩擦係数に及ぼす V 組成の影響について紹介されている．

証試験結果を示す．100 キロハイテンのプレス成形で従来

�

の硬質被覆材に比べて 1.6 倍から 15.7 倍の寿命向上効果

�が得られている．
���� 多元素被膜，多層膜への期待�
�

これまで見てきたように最近の PVD や PCVD 系の被膜

�では多くの元素から構成される多元素膜がいろいろと開�

発されている．例えば，これまでの窒化チタン（TiN）の�

ように 2 元素からなる被膜の適用が多かったが，さらにア�

ルミニウムやシリコン，ボロンなどを添加して 7 元素から�なる被膜も生み出されている６）．これによって耐熱性や耐�

酸化性が向上してダイカスト金型への適用が進んでいる�ようである．
�

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摩擦係数

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22）
図７
TiN 膜の摩擦係数に及ぼす
図７����
膜の摩擦係数に及ぼすCl�� イオン注入条件の影響
イオン注入条件の影響�

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図８�
冷間プレス金型の寿命及びハイテン材成形後の図８ 冷間プレス金型の寿命及びハイテン材成形後の
２３）23）��� 被膜断面
��� 観察結果
�
TRD 被膜断面
TEM 観察結果

すべり距離／ m

図９�
高温摩擦試験の摩擦係数変化に及ぼすCrAlVN������ 被被図９
高温摩擦試験の摩擦係数変化に及ぼす24）
覆中 � 覆中組成の影響�
V 組成の影響- 14 -

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酸化膜を活用することで摩擦を下げたり，耐熱性を上げ

�て耐摩耗性を向上させた被膜が今後実用金型へ広まるこ�とを期待したい．��� ���� 表面・界面の制御�

酸化重量変化／ %��

耐剥離性の向上や厚膜化を狙い，単位厚さがナノレベル

�

である多層膜や成分組成を徐々に変化させた傾斜組成膜

�によって被膜内部の残留応力を制御する研究もある．さら�に被膜直下の母材を強化するために事前に窒化処理を実�

施したり２８），浸炭同時成膜１８）を行う開発も行われてい�

る．図１３は窒化と PVD の組合せでスクラッチ試験の臨

温度／℃

�
図１０ 1,200℃までの乾燥空気中における酸化重量増加
図１０� �����℃までの乾燥空気中における酸化重量�
曲線に及ぼす被膜組成の影響 25）
� � � 増加曲線に及ぼす被膜組成の影響�

界荷重が上昇することを示している．PVD の方法によらず事前窒化の効果が現れている．

�

積極的に表面形状パターンを設計して使用目的に応じた

�

摩擦状態を得ようとする研究もある．表面形状パターンの�

金型への適用は造りこみの費用対効果やパターンの耐久

酸化重量変化／ %一方で，処理方法の工夫で滑らかな表面性状を得たり，

�

性の点で実用化には時間がかかると思われるが，機械摺動�

部品やマイクロ成形工具では実例が出て来ている２９）．図�

１４に摩擦係数に及ぼすディンプルパターン形状の影響

�

を示す．

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温度／℃
温度／℃

図１１ 高Ａｌ含有窒化物硬質薄膜の高温特性 26）
図１１� 高Ａｌ含有窒化物硬質薄膜の高温特性�

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臨界荷重 （N）

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図１３� 臨界荷重に及ぼす複合硬化処理の効果
図１３ 臨界荷重に及ぼす複合硬化処理の効果 28）（DLC 膜厚：１μm，基材：SKH51，ラジカル窒化条件�
（DLC 膜厚：1 μ m，基材：SKH51，ラジカル窒
５００℃×２ｈｒ）
化条件 500℃× 2hr）

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（ａ）高温摺動試験による各種金型用被膜の耐摩耗性�
（a ）高温摺動試験による各種金型用被膜の耐摩耗性
�
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�

（ b ）ハイテン材の曲げ型による寿命評価の一例（ｂ）ハイテン材の曲げ型による寿命評価の一例�
27）
図１２
図１２�高耐久性ハイテンプレス成形金型用表面処理
高耐久性ハイテンプレス成形金型用表面処理�

図１４
摩擦係数に及ぼすディンプルパターン形状の影響 29）
図１４摩擦係数に及ぼすディンプルパターン形状の影響- 15 -

2016 VOL.26

2）平原民雄他：塑性と加工，19‐204（1978），82‐87．

６．おわりに硬質被膜は耐摩耗性や耐焼付き性に優れることから金3）新井透：塑性と加工，19‐204（1978），88‐93．

型の寿命向上に欠かせないものになっている．加えて硬質

4）安岡学：精密工学会誌，66‐4（2000），527‐530．

被膜を導入することで，強加工が可能になることによる工

5）河田一喜：塑性と加工，45‐518（2004），153‐629．

程短縮や昨今の高強度材料やいわゆる難加工材の成形が6）河田一喜：塑性と加工，50‐582（2009），625‐629．

可能になる．さらに潤滑剤の使用量を減らしたり，低粘度7）石川孝司：塑性と加工，52‐600（2011），50‐54．

化したり，極圧添加剤を含まない潤滑油に切り替えること

8）土屋能成：塑性と加工，52‐600（2011），31‐35．

も可能になってきている．課題として挙げた低摩擦被膜や

9）土屋能成：塑性と加工，56‐650（2015），1‐2．

耐熱被膜もそのニーズに応える形で開発が進み徐々に実10）河合望他：機論 C，52－479 (1986)，2022-2028.

用化されていくことであろう．また硬質被膜と母材との境

11）後藤善弘他：昭 61 塑加春講論 (1986) 107-110.

界面の解消技術が進み密着性が向上して剥離しにくい被12）後藤善弘他：昭 60 塑加春講論 (1985) 369-372.

膜が開発されていくものと思われる．現在潤滑剤が担って13）Tohru Arai et al. : Metal Transfer and Galling in
Metallic Systems (1986), 197, AIME.

いる低摩擦，耐摩耗，耐焼付きなどの特性は硬質被膜で代14）土屋能成他：塑性と加工，34-393(1993)，1184-1189．

替可能になるかもしれない．
新たな動きとしては，今後電気自動車用の電池部品やロ15）須藤忠三他：塑性と加工，17-190（1976），867-874．

ボット，コミュータビークル用部品など機能的，高精度で16）白鳥正美：塑性と加工，50-582 (2009)，610-614．

多様な製品が増加する一方，航空機用の繊維強化複合材料

17）久保田邦親：日立金属技報，21（2005）45-52．

製の部品に代表される軽量化部材の加工が増えると思わ

18）青井芳史他：メカニカルサーフェステック，013

れる．これに対応するために微細加工用金型や高精度製品

� （2013-4）21-23．

に向けた一層の高精度成膜が求められるであろう．被膜厚19） 新井透，第 59 回塑性加工講習会テキスト,(1992)，

さの制御技術や付き回り性，切り刃など金型のエッジやつ52．
20）経済産業省大臣官房調査統計グループ：政府統計平なぎ加工部の均一成膜技術の改良・開発が望まれる．
また高温成形金型においては耐熱性のほかに優れた断成 24 年―2012―鉄鋼・非鉄金属・金属製品統計年報(平成 24 年)

熱性を持った被膜が要望される．現状は，母材を熱負荷か21）Kazuki Kawata et al.：Thin Solid Films, 407(2002),

ら保護して熱軟化に伴う強度低下を防ぐために潤滑剤を38-44.

大量に噴射して金型の冷却を行っている．断熱被膜が開発されることで冷却用潤滑剤の使用量が減り，潤滑剤の噴射

22）三尾淳他：東京都立産業技術研究所研究報告，6（2003）に伴う急速冷却による金型の大割れや熱振幅の繰り返し

23）本多史明他：日立金属技報 31(2015),40-47．

に伴う疲労クラックの抑制が期待される．これまで硬質被24）Robert Franz et al. : Surface & Coatings Technology,
228(2013),1-13.

膜は被膜を必要とする周辺技術の要望によって育てられてきた．今後もいろいろなニーズによって表面処理が発展

25）山本兼司他：神戸製鋼技報，59-1（2009）18-24．

し，この発展によって周辺技術も成長するという好循環が26）山本兼司：高温学会誌，33-2（2007）84-89．

続くことを願ってやまない．

27）久本他：SOKEIZAI，52-12（2011）39-43．

なお本稿は解説記事

３０）をベースにしている。重複をご28）近藤恭二：ぎふ技術革新センター運営協議会ミニワーキンググループ事業「金型寿命向上ＷＧ」公開講演会

容赦下さい．

資料，（2014/7/2）．
29）波形秀樹他：粉体および粉末冶金，53-2 (2006),

参考文献

� 192-196.

1）Ruppert, W.：Metalloberfläche，14‐7（1960），193‐

30）土屋能成：素形材，57-8（2016）2-8.

198．

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