PT5-02113

光電子分光装置
ＡＣ－２
取扱説明書〒174-8744 東京都板橋区小豆沢 2-7-6
ホームページ https://www.rikenkeiki.co.jp/

目次
１．製品の概要
1-1．はじめに
1-2．使用目的
1-3．危険・警告・注意・注記の定義
1-4．ＣＥマーキング仕様の確認方法…………………………１…………………………１…………………………１…………………………２…………………………３

２．安全上、大切なお知らせ
2-1． 警告事項
2-2． 注意事項…………………………４…………………………４…………………………７

３．製品の機能
3-1. 外形図
3-2. 各部の名称および働き
3-3. ブロックダイアグラム…………………………９…………………………９………………………１１………………………１３

４．使用方法
4-1. 据え付け上の取り扱い
4-2. ケーブルの接続
4-3. 配管………………………１５………………………１５………………………１５………………………１６

５．操作方法5-1. 確認事項
5-2. 電源入力
5-3. 電源投入
5-4. 測定………………………１７………………………１７………………………１７………………………１７………………………１８

６．保守点検6-1.日常の点検
6-2.消耗部品

………………………１９………………………１９………………………２０

７．異常な場合の処置
7-1.異常時の自己診断
7-2.異常時の対応
7-3.故障と思われる前に………………………２２………………………２２………………………２２………………………２３８．運転停止方法………………………２４

９．用語の定義………………………２５

１０．検知原理
10-1.光電子検出原理
10-2.光電的仕事関数の測定………………………２６………………………２６………………………２７

１１．製品仕様一覧
11-1.製品仕様一覧
11-2.構成リスト………………………２８………………………２８………………………３０

１.製品の概要
１－１．はじめにこの度は、光電子分光装置「AC-2」型をお買い上げいただきまして、誠にありがとうございます。
お買い求めの製品型番と本説明書を照合し、ご確認をお願いします。
本説明書には本製品を正しくご使用いただく為に必要な事項が記載されています。初めてご使用になる方はもちろん、過去にご使用いただいた方も、本説明書を良くお読みいただき、内容をご理解いただいた上で本製品をご使用いただきますようお願いいたします。
また、この取扱説明書は本製品を最終的にお使いになる方のお手元に確実に届き、必要なときに、すぐに取り出せるように保管するようお取り計らいください。
この取扱説明書は下のような構成になっております。必要に応じ、使い分けてお読みください。
説明書名
AC-2 取扱説明書
AC-2 for Windows 取扱説明書(仕事関数、イオン化ポテンシャル測定編)
AC-2 for Windows 取扱説明書(膜厚測定編)AC-2 消耗部品交換方法

内容
本取扱説明書です。AC-2 の始動方法、終了方法など本体の取扱に関する内容が記載されています。
専用 Windows ソフトのオペレーションマニュアルです。
本製品を用いて、仕事関数、イオン化ポテンシャルを測定する方法が記載されています。
専用 Windows ソフトのオペレーションマニュアルです。
本製品を用いて、膜厚を測定する方法が記載されています．
本製品の消耗部品の交換方法が記載されています。

ご注意・【１－２項】に記載された使用目的を守ってご使用ください。
・本説明書及び、上記の関連説明書に従わず、本製品を運転、保守した場合、あるいは、独自の改造や指定外の部品で修理した場合の製品の安全と品質は保証できません。また、これらによって発生した事故の責任は負いかねます。
・本説明書の全部または一部を無断で複写または転載する事を禁じます。
・製品改良の為に、本説明書の内容を予告なしに変更することがあります。

１－２．使用目的・清浄な実験室や精密工場等、固体表面の汚染の発生を極力少なくする様に設計された室内における、固体試料表面の常温、常圧の大気中における光電子放出特性の測定。
・紫外線を照射したときに起こる光電子放出のｴﾈﾙｷﾞｰしきい値の測定。（多くの場合、このｴﾈﾙｷﾞ
ｰしきい値は仕事関数やｲｵﾝ化ﾎﾟﾃﾝｼｬﾙと解釈される。）
・試料表面に形成された、膜厚が数～数百Å程度の酸化膜など皮膜の膜厚測定。

1 / 31

１－３．

危険

警告

注意 ＊注記の定義

危険
この表示は取扱いを誤った場合、｢人命、人体又は物に重大な被害を及ぼすことが想定される｣ということを意味します。

警告
この表示は取扱いを誤った場合｢身体又は物に重大な被害を及ぼすことが想定される｣ということを意味します。

注意
この表示は取扱いを誤った場合｢身体又は物に軽微な被害を及ぼすことが想定される｣ということを意味します。

＊ 注記
この表示は取扱い上のアドバイスを意味します。

2 / 31

１－４．ＣＥマーキング仕様の確認方法
CE マーキングに適合している仕様の場合、製品に CE マーキングが貼付されています。ご使用になる前に、お手元にある製品の仕様をご確認ください。なお、CE マーキング仕様をご使用になる場
合、巻末の自己宣言書（Declaration of Conformity）を参照してください。
製品の仕様は、製品に下図の通り貼付された銘板よりご確認いただけます。

1－4－１．ＬＣ１

CE マーキング

CE マーキング貼付箇所(LC1 ユニット)

1－4－2．DＣ１

CE マ ー キ ン

CE マーキング貼付箇所(DC1 ユニット)

3 / 31２．安全上､大切なお知らせ
２－１．警告事項

警告・通電したまま、本体のカバーを開けないでください。
・本体内部には高電圧部分があり、感電するおそれがあります。
・点灯中のランプからは紫外線が放射されていますので絶対に肉眼で見ないでくださ
い。目の痛みや視力障害の原因となります。
・紫外線を皮膚に直接あてないでください。皮膚の炎症をおこす原因となります。
・点灯中や点灯直後のランプは熱いので絶対に手や肌など触れないでください。
やけどの原因となります。
・異常な熱さ、煙、異常音、異臭使用中に万一異常が発生した場合は、すぐに使用を中止し、電源を切りｹｰﾌﾞﾙをコンセン
トから抜いてください。そのまま使用すると、感電や火災の原因になる恐れがあります。
・落下などによる衝撃
落下、衝突などで衝撃を与える行為はしないください。
本器は精密な電子部品で構成されているため、正常な動作や正しい測定ができなくなることがあります。
・温度・湿度の高い場所やほこりの多い場所での使用
・温度・湿度の高い場所やほこりの多い場所での保管、使用は行なわないでください。
機器の動作異常、感電、火災などの原因になる恐れがあります。使用温湿度範囲でご使用ください。
・低温場所から高温場所など温度差の大きい場所を移動させた場合は表面又は内部で結露する場合があります。このような状態で使用は故障の原因になります。
機器を移動させた場合、使用する場所で数時間放置して周囲温度になじませてから使用してください。
・劣化した部品を用いた使用・配管系統は定期的に点検を行い、適宜部品を交換してご使用ください。劣化した部品を用いていると配管の破損、破裂などの事故につながる恐れがあります。
・寿命を著しく過ぎたランプは、破裂する恐れがあります。

4 / 31

警告・使用する電源表示されている電源電圧以外で使用しないでください｡機器が破損したり、感電や火災の原因になります。
・アース（接地）端子の接続安全のため、電源ｹｰﾌﾞﾙはアース付コンセント（３Ｐ）に接続してください。
やむをえず付属の変換プラグを使用する場合は、アース端子を接地してください。
接地しないと感電する恐れがあります。
・電源ｹｰﾌﾞﾙの扱い
電源ｹｰﾌﾞﾙの上にものを載せたり、引っ張ったり、押しつけたり、折り曲げたり、加工したりしないでください。電源ｹｰﾌﾞﾙが傷み、感電や火災の原因になります。
・電源プラグの抜き差し
・電源ｹｰﾌﾞﾙをコンセントに差し込むとき、又は、抜くときは、必ず電源プラグを持って行なってください。ｹｰﾌﾞﾙを引っ張ると一部が断線し、火災の原因になります。
・電源プラグはほこりが付着していないことを確認し、根元までしっかり差し込んで下さい。又、接触不良になりやすいグラグラするコンセントは使用しないでください。火災の原因になります。
・電源ｹｰﾌﾞﾙをコンセントに差し込むときは、濡れた手で行なわないでください。感電する恐れがあります。
・タコ足配線は行なわない
同じコンセントに多数の電源プラグを接続するタコ足配線は行なわないでください。火災の原因になるとともに、電力使用量オーバーでブレーカーが落ち、他の機器にも影響を及ぼします。又、電力用電源のノイズを受けやすくなり、動作異常を起こす原因になります。
・内部への異物の混入
サンプル入口から測定物以外のものを入れないでください。また、風窓などから内部に金属類や燃えやすい異物などを混入させないでください。そのまま使用すると動作不良や感電、火災の原因になります。
・装置上にものを置く
花瓶、植木鉢など水の入った容器や虫ピン、クリップ等の小さな金属物を置かないでください。内部に入った場合、そのまま使用すると機器が破損したり、感電や火災の原因になります。

5 / 31

警告・ 理研計器より直接または書面による当製品のメンテナンスに関するトレーニングを受けた本装置の技術担当者以外は、メンテナンスドアの開閉、カバーの取外しを行ってはいけません。
・ サンプル挿入口を開く場合は、「PUSH」と記載された部分を指で軽く押してください。以下の行為はサンプル挿入口の破損につながります。
・サンプル挿入口の「PUSH」と記載された部分以外を押す。
・サンプル挿入口を手のひらで押す・サンプル挿入口に 400 N 以上の荷重を加える。
(サンプル挿入口は 5-6 N の荷重で開閉可能です。)
・サンプル挿入口が開かない場合は無理に開けない。
・ 高さ合わせを行わずに測定すると、サンプルと装置内部部品とが接触し、装置が故障する恐れがあります。
・ ハイトゲージは、横から押して引き出してください。以下の行為はハイトゲージの破損につながります。
・ハイトゲージの上、または下、斜めから 20 N 以上の荷重をかける。
・ハイトゲージの先端部（ピンの部分）を持って引っ張り出す。

6 / 31２－２.注意事項

注意・金属などの端面への接触
移動などで鉄板などの端面に触れる必要がある場合には、充分に注意してください。
・本機器近くでの､トランシーバの使用
本機器の近くや､ケーブルの近くで､トランシーバ等による電波を発射すると正確な測定が行なえない場合がありますから注意してください｡トランシーバ等を使用する場合は影響の出ないところでご使用ください｡
・電源投入の順序
本体の電源は操作用コンピュータのオペレーティングシステム（OS）が立ち上がってから投入してください。OS が立ち上がる前に電源を投入すると誤動作する場合があります。
・電源の再投入
電源を再投入するときは､電源を切った後に 5 分以上たってからにしてください｡５分以内に電源を投入すると正常に動作しない場合があります。
・不安定な場所での使用
傾いた所、振動のある所など、不安定な場所には置かないでください。正常な測定ができなくなることがあります。
・圧搾空気に関する注意
・圧搾空気は圧搾した大気をご使用ください。窒素と酸素を混合して作製された合成空気は使用できません。
・圧搾空気中に、次の物質が含まれると、検知器や乾燥空気発生装置を劣化させ、破損させる恐れがあります。
種類
溶剤

酸類
ガス類
油類

含まれてはいけない物質
アセトン、ベンゼン、フェノール、トルエン、トリクレン、キシレン、
クレゾール、シンナー、アニリン、クロロホルム、アルコール類、ジオキサン、テロラヒドロフラン、塩化メチレン、シクロヘキサノン、
四塩化炭素 等
硫酸、硝酸、塩酸、酢酸、乳酸、クロム酸、 等
塩素ガス、亜硫酸ガス、硫化水素、臭素、半導体製造ガス 等
リン酸エステル系作動油、燃料油、水溶性切削油（アルカリ性）、ケロシン 等

7 / 31

注意・規定以上の圧力で使用すると、乾燥空気発生装置を破損する恐れがあります。
・AC-2 設置場所と同じ環境にコンプレッサーを設置してください。
・圧搾空気配管より水などの液体を導入すると、装置が破損します。
・圧搾空気配管より窒素ガス、酸素ガス、不活性ガスなどの空気以外のガスを導入すると装置が破損する恐れがあります。
・圧搾空気の配管は、所定の径の SUS，テフロン、ポリウレタンのチューブをご使用ください。
・弊社が供給したチューブをご使用ください。
・本体の Drain から水を排出する恐れがあります。排出水は排水口やドレインポットへ排水するようにしてください。排出水が電気配線などにかかるとショートなどが発生する恐れがあります。

8 / 31

３．製品の機能
３－１．外形図①POWER/STANDBY ﾗﾝﾌﾟ②TROUBLE ﾗﾝﾌﾟ

③電源ｽｲｯﾁ

３－１－１．ＬＣ１⑩光ﾌｧｲﾊﾞｰ接続口⑪ﾗﾝﾌﾟ交換及び点検口④ﾌﾞﾚｰｶｰ⑤ﾋｭｰｽﾞ

⑥AC 電源入力⑧RS232C ｺﾈｸﾀ(PC 用)⑨光ﾓｼﾞｭｰﾙ(DC1 用)

9 / 31⑦AC 電源出力(DC1 用)

３－１－２．DC１①POWER／STANDBY ﾗﾝﾌﾟ②TROUBLE ﾗﾝﾌﾟ
③OPEN ﾗﾝﾌﾟ④ｻﾝﾌﾟﾙ
挿入口⑤ｻﾝﾌﾟﾙ台⑦ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞ⑥ｻﾝﾌﾟﾙ固定ｸﾘｯﾌﾟ⑧高さ調節ﾚﾊﾞｰ⑮検知器点検口⑨ﾋｭｰｽﾞ
⑭光ﾌｧｲﾊﾞｰ接続口⑬ﾄﾞﾚﾝ OUT

⑫圧搾空気 IN

⑩AC 電源入力⑪光ﾓｼﾞｭｰﾙ(LC1 用)⑰露点チェッカ⑯圧力ｹﾞｰｼﾞ⑱ﾐｽﾄｾﾊﾟﾚｰﾀ⑯圧力ｹﾞｰｼﾞ⑲ﾄﾞﾚﾝｺｯｸ⑳ﾏｲｸﾛﾐｽﾄｾﾊﾟﾚｰﾀ⑬ﾄﾞﾚﾝ OUT

10 / 31３－２．各部の名称および働き
３－２－１．ＬＣ１
・前面パネル①

POWER／STANDBY ランプ：測定時・・・・・・・・・・・・・ 緑色の連続点灯
待機時（暖機中）・・・・・・・・・②

TROUBLE ランプ

緑色の点滅：電源投入初期時／トラブル時・・・ 赤色の点滅（測定状態の時は消灯しています。
）③

電源スイッチ：ON（｜）、OFF(O)・背面パネル④

ブレーカー⑤

ヒューズ・・・2.5 AT×2 本⑥

AC 電源入力⑦

AC 電源出力（DC１用）⑧

RS-232C コネクタ（PC 用）⑨ 光モジュール（DC1 用）・右側面パネル⑩ 光ファイバー接続口
・上面パネル⑪ ﾗﾝﾌﾟ交換及び点検口

３－２－２．ＤＣ１
・前面パネル① POWER／STANDBY ランプ：測定時・・・・・・・・・・・ 緑色の連続点灯
待機時（暖機中）・・・・・・・緑色の点滅②

TROUBLE ランプ：電源投入初期時／トラブル時・・赤色の点滅（測定状態の時は消灯しています。
）③ OPEN ランプ：サンプル挿入口が開いている時、橙色の点滅④ サンプル挿入口⑤ サンプル台⑥ サンプル固定クリップ：サンプルを固定すると共に、サンプルをアースします。

⑦

ハイトゲージ：測定面の高さ調節の基準を与えます。

⑧

高さ調節レバー：測定面の高さを変えます。

11 / 31

・背面パネル⑨ ヒューズ・・・2.5 AT×2 本⑩ AC 電源入力⑪ 光モジュール（LC1 用）⑫ 圧搾空気 IN⑬ ドレン OUT
・左側面パネル⑭

光ファイバー接続口・上面パネル⑮検知器点検口・右側面パネル⑯ 圧力ゲージ⑰ 露点チェッカ
⑱ ﾐｽﾄｾﾊﾟﾚｰﾀ⑲ ﾄﾞﾚﾝｺｯｸ⑳ ﾏｲｸﾛﾐｽﾄｾﾊﾟﾚｰﾀ

12 / 31３－３．ブロックダイアグラム
３－３－１．電気系統図
乾燥空気
AC-2
LC1（光源部）
絞り

紫外線
ランプ
電源

レンズ

アッテネーター

紫外線ランプ

低エネルギー
分光器

電子計数装置

検知器
サンプル

ｅ
制御装置

光ファイバー
サンプル台

DC1（測定部）

Ｚステージ

Ｘステージドライバー

光量
測定
装置

Ｘステージ

制御装置

ｅ

表示操作装置

：電子
：紫外光
：配管

パーソナルコンピュータ：電気信号ライン

ＣＲＴディスプレイ

プリンタ

13 / 31

３－３－２．配管系統図

１次圧確認用圧力ｹﾞｰｼﾞ
0.5～0.6MPa

圧搾空気 IN
圧力：0.5～0.7 MPa
流量：5.5 NL/min 以上
配管：6×4 mm

ﾐｽﾄｾﾊﾟﾚｰﾀ

ﾚｷﾞｭﾚｰﾀﾏｲｸﾛ
ﾐｽﾄｾﾊﾟﾚｰﾀ

2 ﾎﾟｰﾄｿﾚﾉｲﾄﾞ
ﾊﾞﾙﾌﾞ

ﾒﾝﾌﾞﾚﾝｴｱﾄﾞﾗｲｱ

ﾄﾞﾚﾝ OUT

2 次圧確認用圧力ｹﾞｰｼﾞ
0.1～0.25MPa

ﾚｷﾞｭﾚｰﾀ

14 / 31

ﾃﾞｨﾃｸﾀﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
測定時
0.25 L/min
パージ時 2.0 L/min４．使用方法
４－１．据え付け上の取扱い①

運搬の際は、必ず二人以上で本体底部を支えるようにして持ち運びしてください。

②

本器は、十分な強度のある台の上に設置してください。

③

本器は、温湿度が安定した実験室等の室内でお使いください。特に、次のような場所への設置は避けてください。故障や事故の原因になります。
・室外や水滴の当たる場所。
・ほこりや湿気の多い場所。
・振動の多い場所。
・温度、湿度変化が激しい場所。日光、空調の風などが直射する場所。
・空気中に溶剤、酸、アルカリの蒸気、ガスなどの化学物質が多い場所。

④

本器は精密な電子部品で構成されているため、落としたり、ぶつけたりしないように安定で水平な場所に据え付けてください。

⑤

大容量の変圧器、モーターあるいは動力用電源等のノイズ、高電圧発生器によるノイズ源を避けてください。

⑥

電波障害による誤動作防止のため、トランシーバーや携帯電話等をご使用する場合は機器より１ m 以上離してご使用ください。

４－２．ケーブルの接続
次の順番で接続を行なってください。
①

付属の電源ケーブル（丸形コネクタ）で LC1 と DC1 を接続します。

②

付属の光ケーブルで LC1 と DC1 を接続します。

③ 付属の RS ケーブル（9 ピン）で LC1 とパソコンを接続します。
④

LC1 に付属の電源ケーブルを接続します。

注意・ケーブル接続は弊社指定のサービス員が行います。
・光モジュール(LC-1/DC-1)のキャップを外さないでください。

15 / 31４－３．配管①

配管材料は次のナイロンチューブを使用してください。
圧搾空気 IN 側：外径φ6 mm、内径φ4 mm、耐圧 0.7 MPa 以上
ドレン OUT 側：外径φ8 mm、内径φ5 mm、耐圧 0.3 MPa 以上② ﾁｭｰﾌﾞは垂直に切断され、断面が円である事および外側に傷が無い事を確認してください。
③ ﾁｭｰﾌﾞは奥まで確実に差込み、装着後、ﾁｭｰﾌﾞを引いて抜けない事を確認してください。
④ 圧搾空気 IN 側に、計装エアまたはｺﾝﾌﾟﾚｯｻ(圧力：0.5～0.9 MPa)を接続してください。
⑤

ドレン OUT 側の配管は必ず本体外部に排出してください。

注意
ドレン OUT からは水が出ます。本体または周辺機器が濡れないように必ず器外へ排出してください。この時、逆流を防ぐ為、配水が常に下へ流れる様に配管してください。

16 / 31

５．操作方法
５－１.確認事項
・配線：本体、パソコン等の接続は間違っていないか確認してください。
・配管：所定の事項（配管素材や圧力等）が間違っていないか確認してください。
光ファイバー

表示操作装置LC1(PC,プリンタ等のDC1
AC 電源ｹｰﾌﾞﾙ

取扱説明書参照)
RS-232C ｹｰﾌﾞﾙ

光ｹｰﾌﾞﾙ
ドレン OUT

AC 電源ｹｰﾌﾞﾙ(100-240 V IN)

配線、配管図

圧搾空気 IN(0.5～0.7 MPa)

５－２.電源入力
コンセントにスイッチがある場合は ON にしてください。又、以下の内容を理解した上で電源入力してください。
・本器（LC1）の背面パネルのブレーカーが OFF になっていることを確認してください。
・コンセントの電源電圧が本器に表示されている電源電圧と一致していることを確認してください。
LC1 の電源ｹｰﾌﾞﾙとパソコン（ディスプレイ、プリンタを含む）の電源ケーブルを、アース付きのコンセントに接続します。

警告
アース（接地）端子の接続

・ 安全のため、電源ｹｰﾌﾞﾙはアース付コンセント（3P）に接続してください。
・ やむをえず付属の変換プラグを使用する場合は、アース端子を接地してください。
・ 接地しないと感電する恐れがあります。

５－３.電源投入
次の順番で電源投入を行なってください。
①

パソコンの電源を入れます。

②

Windows が立ち上がった事を確認します。

③ 本器（LC1）背面パネルのブレーカーを ON にします。
④

LC1 表面パネルの電源スイッチを ON（｜側）にします。

17 / 31

注意
装置が誤動作する恐れがありますので、以下の行為は行なわないでください。
・ Windows が立ち上がる前に本体の電源を投入する。
・ 本体の TROUBLE ランプの点滅が消える前に、AC-2 for Windows を接続する。

５－４.測定測定は、AC-2 for Windows を用いて行います。詳細については AC-2 for Windows 取扱説明書『仕事関数、イオン化ポテンシャル測定編』または、『膜厚測定編』を参照してください。
尚、正しく測定をするために以下の点にご注意ください。
① ｻﾝﾌﾟﾙ汚染は極力避けるようにしてください。取扱いにはﾋﾟﾝｾｯﾄなどを用いてください。また、
ｻﾝﾌﾟﾙに吐く息などをかけない様に注意してください。（呼気中の水分などの吸着を避けるため。）② 埃は測定領域の面積に比べて非常に小さいので、多くの場合、測定値には影響しません。気になる場合は、ﾋﾟﾝｾｯﾄで摘み取るか、エアなどで吹き飛ばしてください。
③ 照射される紫外線の 90 %以上はｻﾝﾌﾟﾙ台中央の一辺が 4 mm の四角い領域に照射されます。従って、ここが測定領域となります。測定領域内の表面に 2 種類以上の材料が混在する場合、この両者より光電子が放出されます。また、測定領域の周辺にも微弱な紫外線が照射されます。
④ ｻﾝﾌﾟﾙ台の高さは必ず合わせてください。ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞにより測定面の±0.2 mm 以内に合わせることが可能です。照射光は測定面にたいして 30 °の角度で光ファイバー側から入射します。このため、高さが 0.2 mm ずれると照射位置が 0.35 mm ずれることになります。
⑤ ｻﾝﾌﾟﾙの形状は、厚さ 12 mm 以下で一辺が 20-50 mm の長方形の板、又は、粉体です。それ以外はｽﾃｰｼﾞに固定できないので、測定中にｽﾃｰｼﾞより落下する危険があります。
⑥ 測定領域と同程度またはそれ以下の大きさのｻﾝﾌﾟﾙを測定する場合は、注意が必要です。例えば、一辺 20 mm のｱﾙﾐﾆｳﾑ板上に一辺が 4 mm の正方形にﾊﾟﾀｰﾝﾆﾝｸﾞされた ITO からの光電子放出特性を測定する場合、非常に厳密に位置および高さを合わせたとしても、約 10 ％の紫外線はｱﾙﾐﾆｳﾑに照射されます。ｱﾙﾐﾆｳﾑは ITO の 50 倍以上の光電子を放出するので、この測定結果
はｱﾙﾐﾆｳﾑの光電子放出特性を示します。このような場合、光電子を放出しにくいﾃｰﾌﾟなどでﾏｽｸして測定することをお勧めします。
⑦ 光電子の計数率は 2000 cps 以下の領域で測定してください。補正の関係上、2000 cps 以上の計数は精度が著しく悪くなります。尚、光電子の計数率は光量で調節してください。

18 / 31

６．保守点検
本機器の性能を維持し、信頼性を向上する為に、定期的な保守、点検を実施してください。

６－１．日常の点検
６－１－１．表示灯の確認
POWER／STANDBY、TROUBLE、及び、OPEN ランプが正しく点灯している事を確認してください。
・POWER／STANDBY ランプ：測定時・・・・・・・・・・・・ 緑色の連続点灯
待機時（暖機中）・・・・・・・・

・TROUBLE ランプ

緑色の点滅：常時・・・・・・・・・・・・・ 消灯
トラブル時・・・・・・・・・・

赤色の点滅

動作確認時（電源投入直後）
・・・ 赤色の点滅
・OPEN ランプ

：サンプル挿入口が開いている時、橙色の点滅

６－１－２．サンプル室内の点検
通電前にサンプル挿入口をあけて、内部に汚れがないことを確認してください。汚れが確認された場合、次の方法で除去してください。
①粉体による汚染を掃除機などで吸い取ってください。
②ステージ上に、付いた汚れは溶剤などでふき取ってください。
③汚染の除去に溶剤など液体を使用した場合、サンプル挿入口を開けて数時間放置し、揮発分がサンプル室から放出されてからご使用ください。

注意
帯電した微粉末や揮発溶剤がｻﾝﾌﾟﾙ室内に放置されたまま測定を行なうと、検知器にダメージを与え、寿命を短くする場合があります。

6-1-3.圧力の確認
０次圧（供給圧力）を 0.5-0.7 MPa にして、乾燥空気発生装置の圧力ｹﾞｰｼﾞおよび露点ﾁｪｯｶを確認してください。
・1 次圧確認用圧力ｹﾞｰｼﾞ：0.5～0.6 MPa
・2 次圧確認用圧力ｹﾞｰｼﾞ：装置停止時／電源投入後 15 分以内 0.0 MPa
電源投入後 15 分以降 0.1～0.25 MPa
・露点ﾁｪｯｶ：色が緑の事。
尚、異常時は、供給圧力を再確認し、異常が無い場合は、AC-2 取扱説明書『消耗部品交換方法』
を参照して、空気配管系統の保守点検を行ってください。

19 / 31６－２．消耗部品
消耗部品の交換は、『AC-2 消耗部品交換方法』を参照してください。
＜定期交換部品の交換＞
推奨定期交換部品リスト
No.
1
2
3
4
5
6
7

名

称

検知器[電子計数センサ(LE-6110)]
ランプ(T5210E)
光ファイバー
オゾンフィルターAssy
マイクロミストセパレータ用エレメント(AFD20P-060AS)
エレメントアセンブリ(ミストセパレータ用:AFM30P-060AS)
チューブ(ドライエアユニット/ミストセパレータ
用)

点検
推奨周期

交換
推奨周期

数量
（個/台）

1 年
1 年
1 年
—

1 年
1 年
1 年
5 年

1
1
1
1

1 年

2 年

1

1 年

2 年

1

1 年

3-8 年

100 cm＊注記
上記の交換周期は目安であり、使用条件によって異なる場合があります。また、保証期間を表すものではありません。交換時期は定期点検の結果により変動することがあります。

６－２－１．検知器
AC-2 の検知器であるオープンカウンターは陽極が汚れると測定できなくなります。「検知器に異常が発生しました。」と表示された場合や、検知効率が落ちる、ノイズが高い、測定値がばらつ
くなど検知器の劣化現象が発生した場合には交換してください。交換時期は使用頻度により異なりますが、目安は 1 年です。
交換した古いセンサは、オーバーホールにより再生できます。センサのオーバーホールは理研
計器にご用命ください。

６－２－２．ランプ
ランプ切れ、または、点灯状態が不安定になったら交換してください。ランプの寿命は 1500 時間です。

20 / 31６－２－３．光ファイバー測定に使用する光量が得られなくなったら、交換してください。交換時期は、使用頻度、および、使用光量により異なりますが、目安は 1 年です。

６－２－４．配管系統の保守
使用頻度にもよりますが、ﾐｽﾄｾﾊﾟﾚｰﾀのｴﾚﾒﾝﾄは 2 年に 1 回、ﾒﾝﾌﾞﾚﾝﾓｼﾞｭｰﾙは 4 年を目安に交換してください。尚、配管系統は高圧がかかりますので、傷、クラック、ひび、その他の劣化が認められた場合はその部分を速やかに交換してください。

６－２－５．活性炭フィルター
活性炭フィルターは紫外線が生成するオゾンを吸着し、分解します。
オゾンの分解能力が落ちてきたら交換してください。

21 / 31

７.異常な場合の処置
７－１．異常時の自己診断
本機器は､起動時および運転時に各機能のチェックを行なう､自己診断機能を持っています｡異常が確認された場合は､通常の測定を行なうことができません｡原因を究明し適切な対応を行なってください｡
なお､本機器は以下の二つの方法で､異常をお知らせします｡

・AC-2 本体の動作：
本体の異常時には､TROUBLE ランプ(赤)が点灯します｡

・制御用 PC の動作：
ソフトウエアの異常時には､ディスプレイ画面にエラーメッセージが表示されます｡

注意
予期せぬ原因で本体、制御部が暴走した場合は、TROUBLE ランプの点灯やエラーメッセージを表示しない場合があります。

７-２．異常時の対応
運転を停止し、次項を参照して、異常の原因を取り除いてください。原因を取り除いた後、再動作させて異常現象が再現するかどうか確認してください。
もし、原因が不明で異常が再現する、または、連続して違う異常が起こる場合は、異常現象を記録して、理研計器にご連絡ください。
異常現象により身体および物に危害が加えられる可能性がある場合は、再現を確認せずに、速やかに理研計器にご連絡ください。
異常なデータが測定された場合は、必ず、データを保存してください。このデータは、多くの場合、異常の原因究明に役立ちます。

22 / 31７-３．故障と思われる前に症状考えられる原因
電源コードのプラグが差し込まれていない｡
コンセントに電源がきて
いない｡

対処方法
本体のスイッチを OFF にし､電源コードを正しいコ
ンセントに入れ､電源スイ
ッチを ON にしてください｡

ヒューズが切れた原因を確認後､問題なければ､ヒ
電源ヒューズが切れてい電源が入らない
ューズを交換してくださる｡
い｡
本体のスイッチを OFF に
LC1 背面のブレーカーが落 し ､ ブ レ ー カ ー を 上 げ た
後、電源スイッチを ON にちている。
してください｡
電源は入るが正常に サンプル挿入口の蓋が開 蓋を完全に閉めてくださ
起動しない
いている｡
い｡自動的に起動します｡
AC-2 for Windows はRS-232C ｹｰﾌﾞﾙの接続を、や立ち上がったが通信 RS-232C ｹｰﾌﾞﾙの接続不良。
り直す。
できない。
AC-2 for Windows は立ち上がったが通信 瞬間的な電磁ノイズによ 本体及び AC-2 for Windows
る通信異常。
を再起動する。
できない。
電源投入直後の数分
間 TROUBLE ﾗﾝﾌﾟ（赤） 動作確認を示す点滅。
が点滅する。
TROUBLE ﾗﾝﾌﾟ（赤）が 圧搾空気圧力が下がって
点滅する。
いる。
TROUBLE ﾗﾝﾌﾟ（赤）がﾗﾝﾌﾟが点灯していない。
点滅する。
検知器異常が表示さ検知器が故障した。
れる。
① 光ファイバーが劣化している。
光量調節装置の設定
不良が表示される。 ② ランプが異常になっている。

数分後に消灯する場合は、故障ではありません。
圧搾空気を確認し、本体を再起動してください。
①本体を再起動する。
②ﾗﾝﾌﾟを交換する。
検知器交換① 光ファイバー交換② ランプ交換

23 / 31

備考８．運転停止方法① 表示操作部（ﾊﾟｰｿﾅﾙｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰ）で測定ﾌｫｰﾑが開いている場合、これを閉じてください。
② 本器（LC1）の表面パネルの電源スイッチを ON（｜側）から OFF（０側）に切り替えてから、LC1 の背面パネルのブレーカーを OFF にしてください。
③ 圧搾空気の元栓を締めてください。または、ｺﾝﾌﾟﾚｯｻを停止させてください。
④ ﾐｽﾄｾﾊﾟﾚｰﾀに水がたまっている場合は、ﾄﾞﾚﾝｺｯｸを右へ回して、排出してください。排出後には、必ず、ﾄﾞﾚﾝｺｯｸを閉めてください。
⑤ Windows を終了し、パソコン、ディスプレイ、プリンタの電源を OFF にしてください。

＊注記
本器の電源が OFF のままでも、AC-2 for Windows を起動して、既に測定されたデータを見る事ができます。

24 / 31

９．用語の定義
傾き
照射光のｴﾈﾙｷﾞｰと光電子収率とのｸﾞﾗﾌの傾き。光電子放出の目安となる。
光電子放出しきい値
光電子放出が始まるｴﾈﾙｷﾞｰしきい値
仕事関数
固体表面より１ 個の電子を取り出すのに必要なｴﾈﾙｷﾞｰ。
ｲｵﾝ化ﾎﾟﾃﾝｼｬﾙ
分子のｲｵﾝ化に必要な最低のｴﾈﾙｷﾞｰ。半導体の荷電子帯最上端のｴﾈﾙｷﾞｰ。
照射光のｴﾈﾙｷﾞｰ
照射光の１ﾌｫﾄﾝ当りのｴﾈﾙｷﾞｰ。照射光の波長より次式によって求められる。
ｴﾈﾙｷﾞｰ[eV]=1240/波長[nm]照射光光量
単位時間当りの照射光の全ｴﾈﾙｷﾞｰ。ﾌｫﾄﾀﾞｲｵｰﾄﾞの出力電流より求める。光量[nW]＝単位時間当りの照射光量子数×ｴﾈﾙｷﾞｰ[eV]÷0.625
光電子ｽﾍﾟｸﾄﾙ測定では、5.90 eVの光量である。
光量補正
仕事関数、ｲｵﾝ化ﾎﾟﾃﾝｼｬﾙの測定において、ｴﾈﾙｷﾞｰ毎の照射光量に差が有るのでこれを補正する事。光電子放出数が照射光量に比例すると仮定して、次式により補正する。
補正後の計数値＝補正前の計数値÷照射光フォトン数×5.90 eV の照射光フォトン数

25 / 31１０．検知原理
１０－１．光電子検出原理
AC-2 は、大気中で光電子を計数する事ができるオープンカウンターを用いています。図１０－１－１にオープンカウンターの原理図を示します。
サンプルは検出器の直下に置かれており、アースされています。検知器は二重に重なった金属
管とその中心に通された金属線より構成されています。この金属管の一部は網になっていて、それぞれ、プレッサグリッド及びクエンチンググリッドと呼ばれています。そして初期状態では、それぞれ、80 V と 100 V の電圧が印加されています。金属線は、アノードと呼ばれ、約 2900 Vの電圧が印加されています。
紫外線の照射などにより、サンプル表面から放出された電子は、空気分子との衝突を繰り返しながら、サプレッサグリッドに向かって移動します。次に、その過程で、酸素分子に付着し、これをキャリアとして、検出器内へと入射し、アノード近傍へと運ばれます。そして、陽極近傍の強電界により加速され、酸素分子から離れます。陽極にさらに近づいて加速された電子は衝突により空気分子をイオン化して増倍します。この現象を電子なだれと呼びます。電子なだれにより、増倍された電子は陽極に集められ、外部回路に電気パルスを生じさせます。このパルスを電気回路で捕らえて電子を計数します。
さて、検出器内へと入射した電子により引き起こされた電子なだれは、多くの陽イオンも生じさせます。この陽イオンは、質量が大きい為、電子よりゆっくりと、試料表面へ向けて移動しま
すが、そのままでは、次の電子による電子なだれの発生を不安定にしたり、試料に衝突したりし
ます。

検知器
A

e

Ｇq

VGq

Ｇs

VGs

VA

電子計数回路

ﾌﾟﾘｱﾝﾌﾟ VS

S
ｽﾃｰｼﾞ

11-1-1 ｵｰﾌﾟﾝｶｳﾝﾀｰ構成図
ｵｰﾌﾟﾝｶｳﾝﾀｰ構成
図 10-1-1
Ｇs：ｻﾌﾟﾚｯｻｸﾞﾘｯﾄﾞ Ｇq：ｸｴﾝﾁﾝｸﾞｸﾞﾘｯﾄﾞ
S：ｻﾝﾌﾟﾙ

26 / 31

A：ｱﾉｰﾄﾞe：電子そこで、電気回路は、信号パルスを捕らえて計数すると同時に、クエンチンググリッドとサプ
レッサグリッドの電圧を３ msec 間だけ、それぞれ 400 V と－30 V にします。これにより、クエ
ンチンググリッドと陽極との電位差が小さくなり、電子なだれの発生を停止します。その間に、陽イオンは両グリッドにより中和されて消滅します。またサプレッサグリッドは陽イオンが試料に衝突することを防ぐと共に、消滅するまでの間、電子が検出器内へ入射することを防ぎます。

１０－２．光電的仕事関数の測定
AC-2 は、図１０－２－１に示すように、紫外線ランプ、光量調節装置、分光器、オープンカウ
ンター、制御装置、Ｘ－Z ステージ及びパーソナルコンピューターから構成されています。
重水素
ランプ

分光器

パーソナル

制 御装置
ｵｰﾌﾟ
ﾝｶｳﾝ
ﾀｰ

ｅ

光ファイバー

コンピューター
サンプル

：紫外線

サンプル台

ｅ ：電子

Ｘ－Z ステージ

図 10-2-1 ＡＣ－２の構成図
ＡＣ－２の構成図
図１１－２－１
紫外線放出用光源には、重水素ランプを用い、ランプから出た波長 200～364 nm の光を分光器で任意の波長に分光し、サンプル表面に照射します。この光子１個のエネルギーＥは、Ｅ＝ｈｃ／λ（ｈ：プランク定数，ｃ：光速，λ：波長）から換算すると 6.2～3.4ｅＶです。この照射光をエネルギーの低い方から高い方へ掃引していくと、あるエネルギー値から光電効果による電子放出が始まります。このエネルギーを光電的仕事関数と呼びます。光電的仕事関数は、試料が金属の場合は仕事関数、半導体の場合はイオン
光電子収率の平方根

化ポテンシャルとして取り扱われます。
図１０－２－２の様に、照射光のエネルギーを横軸に、光電子収率の実測値の 0.5 乗（平方根）を縦軸にとると、試料が金属の場
合、直線が得られます。そして、最小二乗法で得られた外挿直線とグランドレベルとの

20
10
0
3.4
5.0
紫外線のエネルギー

交点から光電的仕事関数がもとめられます。
また、外挿直線の傾きは、表面汚染や酸化膜厚などの指標となります。

30

6.2

図１１－２－２
紫外線のエネルギー
図 10-2-2 紫外線ｴﾈﾙｷﾞｰと電子の関係と電子の関係

27 / 31

１１．製品仕様一覧
11-1.製品仕様
11-1-1.本体仕様
項目
型

標準仕様

式

測定原理
光電子測定エネル
ギー走査範囲光量測定エネルギ
ー走査範囲
繰り返し精度（標準偏差）
測定時間
紫外線ランプ
紫外線
スポットサイズ分光器

AC-2
低エネルギー電子計数法
3.4-6.2 eV（364～200 nm）
3.4-6.2 eV（364～200 nm）
仕事関数 0.02 eV
対数計数率 0.03logCPS（at 2.7logCPS）
仕事関数測定に要する標準的な時間：約 5 分（10 sec／1 エネルギー）
D2 ランプDeuterium Lamp
2～4 mm 角

サンプル台

グレーティング式モノクロメーター
50 mm×50 mmMax 厚さ 10 mmMax
サンプル台中央１点測定
115 mm×130 mm ステンレス製

ステージ

Ｚ軸（手動）：10 mm

サンプル

使用温湿度範囲
電源

15～35 ℃(急変なきこと)、60 ％RH 以下(結露なきこと)
AC100-240 V

50/60 Hz 5 A(MAX)

外形寸法

AC-2LC1（光源部）：約 600(W)×450(D)×310(H) mm
AC-2DC1（測定部）：約 600(W)×450(D)×360(H) mm

質AC-2 LC1（光源部）：約 40 kg
AC-2 DC1（測定部）：約 50 kg

量28 / 3111-1-2.表示部（パーソナルコンピュータ）仕様
項目

標準仕様

ディスプレイ

大きさ：17 inch 以上
解像度：1024×768 以上
パ ー ソ ナ ル コ ン ピ デスクトップ
ュータプロセッサ：Pentium 200 MHz 以上
メモリ：64 MB 以上
ハードディスク：100 MB 以上の空き
RS-232C ポート付(D-SUB 9 ピン)
CD-ROM または DVD-ROM ドライブ
マウス
プリンター
カラー、インクジェット方式
OS※

Windows

11-1-3.ソフトウエア機能仕様※
機能
仕事関数測定膜厚測定機能自動光量調節機能
自動装置立上機能
カットアンドペースト機能

内容
光電子スペクトルを測定し、仕事関数またはイオン化ポテ
ンシャルを決定できます。
検量線を作成し、これに基づき、計数率より膜厚を計算します。
目的の光量を入力すれば、照射光量を自動的に調節します。
装置のイニシャルおよび検知器の陽極電圧を自動的に設定します。
測定されたデータをカットアンドペーストにより他のアプ
リケーションソフトウエアで利用できます。

※ソフトウエアの表記は、OS が日本語版の場合、表記は日本語になります。その他の国の場合、表記は英語になります。

29 / 3111-2.構成リスト
11-2-1.標準構成品
品名
測定部
光源部

型式
AC-2DC1AC-2LC1

数量11

備考
本体仕様参照本体仕様参照11-2-2.標準付属品
品名
ディスプレイパーソナルコンピュータ
プリンタ
オペレーションシステム
LC1 用電源ケーブル
DC1 用電源ケーブル
変換プラグ
通信ケーブル(PC-LC1 間)
光ケーブル(LC1-DC1 間)検知器
光ファイバ―
紫外線ランプ
基準サンプル
基準サンプルホルダ・カバー
ピンセット
システムソフト(CD-ROM)
取扱説明書
保証書

型式

2594 0587 60
2594 0666 40
2594 0710 90
2594 0143 60
2594 0144 30
LE-61109161 9028 20(1x2 L=730)
2594 0213 20(重水素ランプ)
9161 4361 20
9161 9069 60
0800 0304 90

30 / 31

数量
１
１
１
１
１
１
１
１
１
１
１
１
１
１
１
１
１
１

備考
表示部仕様参照
表示部仕様参照
表示部仕様参照
表示部仕様参照

本体仕様参照本体仕様参照11-2-3.特別付属品
品名
サンプル台
粉体トレー
コンプレッサー
フェルミ準位測定装置

部品番号・型式
9161 4458 80
9161 4584 00
1650 3580 40
9161 16

数量
1
1
1
1

備考
SUS 製
凹 1mm
C3-AIR ※FAC-2※圧搾空気の供給条件は、圧力：0.5～0.7 MPa 流量 5.5 NL/min 以上です。配管には、外径φ6 mm、
内径φ4 mm、耐圧 0.9 MPa 以上のナイロンチューブを使用してください。

11-2-4.別売品（保守部品等）
品名
検知器
光ファイバー(1×2 L=730)
光ファイバー(1×2 L=1485)
重水素ランプ
オゾンフィルター用活性炭
ミスセパレータ用エレメント
マイクロミストセパレータ用エレメント
メンブレンモジュール
露点チェッカー
チューブ

型式
LE-61109061 9028 20
9061 9109 50
9161 9237 109161 4565 90
0800 0100 20
0800 0101 00
0800 0102 70
0800 0552 00
1836 9644 60

31 / 31

数量
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1

備考

ホルダー付き3 枚入り

シリカゲル(φ6×φ4)

ＡＣ－２ for Windows－仕事関数、ｲｵﾝ化ﾎﾟﾃﾝｼｬﾙ測定編－

目次

１.
概要
…………………………………
２.
注意…………………………………
３.
本書の使い方 …………………………
４.
測定の流れ ……………………………
５.
装置の準備 ……………………………
６.
ｼｽﾃﾑの準備 ……………………………
７.
光電子ｽﾍﾟｸﾄﾙの測定 …………………
８.
光量補正係数の測定 …………………
９.
仕事関数、ｲｵﾝ化ﾎﾟﾃﾝｼｬﾙの決定 ……
１０. ｸﾞﾗﾌの比較 ……………………………
１１. 光量補正係数の表示 …………………
１２. 印刷 ……………………………………
１３. 終了 ……………………………………
１４. その他の機能 …………………………

1
1
1
2
3
3
4
12
14
18
19
20
21
22

１．概要
本書には、AC-2 を用いてｻﾝﾌﾟﾙの光電子放出しきい値を測定して、仕事関数やｲｵﾝ化ﾎﾟﾃﾝｼｬﾙを求める方法が記載されています。

２．注意
本書は以下の事を前提として記載されています。
①AC-2 本体及びﾊﾟｰｿﾅﾙｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰは、正しく設置され、設定されている。
②AC-2 for Windows は、正しくｲﾝｽﾄｰﾙされている。
③使用者は、Windows の操作方法を把握している。
④使用者は、仕事関数、ｲｵﾝ化ﾎﾟﾃﾝｼｬﾙの意味や、光電子放出との関係を把握している。
本書に先立ち、光電子分光装置 AC-2 取扱説明書および Windows の取扱説明書をお読みください。

３． 本書の使い方
AC-2 を初めてご使用になる方は、基準試料とﾋﾟﾝｾｯﾄをご用意いただき、本書に従って測定してください。その際に必要な設定条件などは、例）を参考にしてください。
すでにご使用になっている方は、＊注記を参考にして、測定をしてください。
本書を良くお読みいただき、正しく測定するようにしてください。

1 / 26

４．測定の流れ（番号は本書の章番号）

5.装置の準備
圧搾空気供給，ﾊﾟｿｺﾝ電源投入，OS 立上，AC-2 電源投入，暖機(約 30 分)

6.ｼｽﾃﾑの準備
AC-2 for Windows 立上，接続（約 10 分）

7.光電子ｽﾍﾟｸﾄﾙの測定
測定ﾌｫｰﾑ，測定条件設定，ｻﾝﾌﾟﾙ設置，測定，ｻﾝﾌﾟﾙ取出

8.光量補正係数の測定
測定ﾌｫｰﾑ，測定条件設定，測定

9.仕事関数、ｲｵﾝ化ﾎﾟﾃﾝｼｬﾙの決定
ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰﾌｫｰﾑ，光量補正，表示，光電子放出しきい値

10.ｸﾞﾗﾌの比較

11.光量補正係数の表示

12.印刷

13.終了
AC-2 for Windows 終了，AC-2 停止，圧搾空気停止，ﾄﾞﾚﾝ排出，ﾊﾟｿｺﾝ停止

2 / 26

５．装置の準備
AC-2 で測定する準備を行ないます。
①圧搾空気（0.5－0.7 Mpa）を供給してください。ﾎﾟﾝﾌﾟで供給する場合は、この電源を ON にしてください。工場配管より供給する場合は供給元を開いてください。
②ﾊﾟｿｺﾝの電源ｽｲｯﾁを入れ、Windows を立ち上げてください。
③Windows が立ち上がった事を確認してください。
④本器（LC1）背面ﾊﾟﾈﾙのﾌﾞﾚｰｶｰを ON にしてください。
⑤LC1 表面ﾊﾟﾈﾙの電源ｽｲｯﾁを ON（｜側）にしてください。
⑥電源 ON と共に暖機が開始されます。暖機が終了後（約 30 分後）POWER/STANDBY ﾗﾝﾌﾟは緑色の連続点灯になります。

＊注記
過去に測定したﾃﾞｰﾀの確認の為に、③の後すぐに”６．ｼｽﾃﾑの準備”以後に進んでもかまいません。（測定は本体の暖機と接続とが終了してから行なってください。
）

６．ｼｽﾃﾑの準備
ﾊﾟｿｺﾝと AC-2 for Windows の準備を行ないます。

6-1.ｼｽﾃﾑの準備①AC-2 for Windows を立ち上げてください。例）ｽﾀｰﾄﾎﾞﾀﾝのﾌﾟﾛｸﾞﾗﾑより立ち上げる。
②主ﾌｫｰﾑ、および、ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰﾌｫｰﾑが開きます。

測定(M)AC-2 Desk Top

ステータスウインドウ

3 / 266-2.接続①測定(M)－接続(N)を実行します。
②接続が開始されます。接続とは、本体との通信の確立、光量調節装置の初期化、および、検知器電圧設定のことです。ｽﾃｰﾀｽｳｲﾝﾄﾞｳに現在行われているｽﾃｰﾀｽが表示されます。
③約 10 分後に接続が終了し、陽極電圧の設定と装置準備完了を示すﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されますのでそれぞれの OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

注意
OS の仕様により、接続または測定中に、AC-2 for Windows または、その他のｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝｿﾌﾄ
による処理を行なうと、本体との通信ができなくなる場合があります。接続、測定など本体と通信する処理を行なっている最中には、ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰに他の処理をさせないでください。

７．光電子ｽﾍﾟｸﾄﾙの測定
7-1.ﾃﾞｰﾀﾌｫﾙﾀﾞの作成および仕事関数計ﾌｫｰﾑの起動①AC-2 DeskTop のｱｲｺﾝをｸﾘｯｸしてｱｸﾃｨﾌﾞにします。
②ﾌｧｲﾙ(F)－ﾌｫﾙﾀﾞの作成(W)を実行します。
③ﾌｫﾙﾀﾞの名称を入力します。例）test④作成されたﾌｫﾙﾀﾞがｱｸﾃｨﾌﾞである事を確認します。
⑤測定(M)－仕事関数計(W)を選択すると仕事関数計ﾌｫｰﾑが開きます。

＊注記
測定ﾃﾞｰﾀなどのﾌｫﾙﾀﾞがｱｸﾃｨﾌﾞの時は、測定ﾌｫｰﾑは起動できません。

＊注記
他の測定ﾌｫｰﾑが立ちあがっているときは、予め、閉じてから仕事関数計ﾌｫｰﾑを開いてください。

4 / 26

7-2.仕事関数計ﾌｫｰﾑの説明
⑥
④

①

③

②
⑤
⑦

①ｸﾞﾗﾌ
測定されたﾃﾞｰﾀをｸﾞﾗﾌに描画します。
②ﾃﾞｰﾀﾃｰﾌﾞﾙ測定されたﾃﾞｰﾀを表にします。
③ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄ
測定に必要な条件を入力する事ができます。文字または数字は各項目の右側のﾎﾞｯｸｽをｸﾘｯｸした
後、ｷｰﾎﾞｰﾄﾞより入力してください。選択は各項目の右側のﾎﾞｯｸｽをｸﾘｯｸすると▼ﾎﾞﾀﾝが表示されます。これをｸﾘｯｸすると選択肢が表示されますので、この中から選択してください。
④ﾛｹｰｼｮﾝｳｲﾝﾄﾞｳ
測定ﾃﾞｰﾀをﾌｧｲﾙする場所を示します。
⑤光量補正計数ｳｲﾝﾄﾞｳ
光量補正に使用する、光量補正計数を表示します。
⑥ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
測定やﾌｫｰﾑの切り替えなどを行ないます。
⑦ﾀｽｸﾊﾞｰ
現在の状態を示したり、ﾌｫｰﾑの切り替えを行なったりします。

＊注記
ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄのﾃﾞﾌｫﾙﾄは、最後に測定されたデータと同じ条件です。

5 / 26

7-3.測定条件設定
ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄより測定条件を入力します。
①ｻﾝﾌﾟﾙ名を入力します。ここで入力した名前はﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰにおけるﾃﾞｰﾀの名前になります。
ｻﾝﾌﾟﾙ名の右のﾎﾞｯｸｽをｸﾘｯｸし、文字を入力し Enter を押します。既に入力されたｻﾝﾌﾟﾙ名を書きなおすときは、ｸﾘｯｸした後、ｽﾍﾟｰｽｷｰを押してから入力すると、便利です。例）ﾃｽﾄ②測定ﾃﾞｰﾀを収納する”場所”を決めます。この”場所”はﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽ内におけるﾃﾞｰﾀの位置を示します。ﾛｹｰｼｮﾝｳｲﾝﾄﾞｳをｸﾘｯｸすると、場所（ﾌｫﾙﾀﾞ）を表示します。これから測定するﾃﾞｰ
ﾀを置くﾌｫﾙﾀﾞを選択してください。例）test③測定開始ｴﾈﾙｷﾞｰを入力します。例）開始のﾘｽﾄﾎﾞｯｸｽを開き、4.20 eV を選択。
④測定終了ｴﾈﾙｷﾞｰを入力します。例）終了のﾘｽﾄﾎﾞｯｸｽを開き、6.20 eV を選択。

＊注記
測定ｴﾈﾙｷﾞｰが 6.25-6.80 の範囲は光量補正ができません。

⑤ｴﾈﾙｷﾞｰ間隔を入力します。例）ｽﾃｯﾌﾟのﾘｽﾄﾎﾞｯｸｽを開き、0.10 eV を選択。

＊注記
予備測定を行なう場合は、ｽﾃｯﾌﾟの間隔を広げると早く終わります。
⑥計数時間を設定します。例）10⑦光量を設定します。先ず、設定光量を入力してください。設定光量は光量（最大値）と光量（最小値）の間に設定してください。例）10⑧ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-光量設定(L)を選択してください。光量測定のﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されます
ので、はい(Y)をｸﾘｯｸして、光量の自動調節を開始してください。調節が終了すると、測定値は設定値とほぼ同じになります。光量設定が終了すると設定終了を示すﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが開きますので OK をｸﾘｯｸしてください。尚、ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄの背景色は設定値の±5 %で緑、±5～20 %で黄、±20 %以上で赤くなります。

＊注記
・ 適正な光量は試料によって異なります。光電子ｽﾍﾟｸﾄﾙの予備測定を行ない、適当な傾きが得られる様にしてください。
・ 設定光量が光量の最小値または最大値に近い場合、設定値の±5 %以内に設定する事ができない場合があります。この場合、光量測定失敗のﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されます。

6 / 26

注意
光量測定中にｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋を開けると、急にｽﾃｰｼﾞが動いて怪我をしたり、光量に異常が発生したりします。

⑨べき乗を入力してください。べき乗はﾃﾞｰﾀがｸﾞﾗﾌに表示される際の縦軸のべき数です。１以下の小数を入力します。例）0.5⑩備考 1 に、物質名など、測定ｻﾝﾌﾟﾙの情報を入力してください。
⑪光量補正係数を選択してください。光量補正係数ｳｲﾝﾄﾞｳの中から使用する光量補正係数ﾌｧｲﾙを選び、ﾀﾞﾌﾞﾙｸﾘｯｸした選択します。光量補正を後から行なう場合はｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄの光量補正係
数名を右ｸﾘｯｸして削除してください。 例）光量補正条件の削除

7 / 26

7-4.ｻﾝﾌﾟﾙの設置①ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-ｻﾝﾌﾟﾙ(S)を実行してください。
②ｻﾝﾌﾟﾙ台の移動を確認するﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されるので、はい(Y)をｸﾘｯｸしてください。
③ｽﾃｰｼﾞの動作音が消えた事を確認してください。
④ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋の Push と表示された付近を押し、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。

⑤ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋が開きます。OPEN ﾗﾝﾌﾟが赤く点滅する事を確認してください。

警告
OPEN ﾗﾝﾌﾟが赤く点滅しない場合は、ｲﾝﾀｰﾛｯｸが故障している可能性があります。この場合、ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋が開いていてもｽﾃｰｼﾞが移動する可能性があります。

⑥ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の左手前にのせます。
ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞ

サンプル

探針

高さ調節レバー⑦ｽﾃｰｼﾞの高さを調節します。ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の左手前の方に置いてください。次に、ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞを引き出し、ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台との間に挟み込む様にします。そして、ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞの探針の先端がｻﾝﾌﾟﾙの測定部の高さと一致するまで、ｽﾃｰｼﾞの高さ調節ﾚﾊﾞｰを回転させてください。

警告
ｻﾝﾌﾟﾙの高さがﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞの探針より上にあると、ｻﾝﾌﾟﾙが検知器などに衝突し、装置またはｻﾝﾌﾟﾙを破損する場合があります。高さは必ず調節してください。

8 / 26

⑧ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の中央にｸﾘｯﾌﾟで固定してください。
サンプル

クリップ

⑨ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋を閉め、Push と書かれたの付近を押して、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。
⑩ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口が閉じている事を確認して、画面の OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

7-5.測定①ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-測定(M)を選択すると、光電子ｽﾍﾟｸﾄﾙの測定が開始されます。
②測定が開始されると、ｸﾞﾗﾌやﾃﾞｰﾀが表示され、各ｴﾈﾙｷﾞｰ毎の計数値が、ﾌﾟﾛｯﾄされます。ｸﾞﾗ
ﾌの横軸は照射光のｴﾈﾙｷﾞｰで単位は eV です。縦軸は計数率のべき乗で単位は[cps^n]です。この n はべき乗です。縦軸の上限は自動的に約 2000^n になります。
③ﾊﾞｯｸｸﾞﾗﾝﾄﾞの測定後、光電子数が照射光のｴﾈﾙｷﾞｰﾎﾟｲﾝﾄ毎に順次、測定されます。

測定中の例

測定終了時の例

9 / 26④測定が終了すると終了を知らせるﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが開きますので OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

注意
OS の仕様により、接続または測定中に、AC-2 for Windows または、その他のｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝｿﾌﾄ
による処理を行なうと、本体との通信ができなくなる場合があります。接続、測定など本体と通信する処理を行なっている最中には、ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰに他の処理をさせないでください。

＊注記
測定(M)-測定中断(G)で測定を中断できます。
⑤光量が少ない場合や、測定ｴﾈﾙｷﾞｰ範囲が適当でない場合はこれらを調節して再度測定してください。

ｽﾃｯﾌﾟ 0.05 eV の測定例

ｴﾈﾙｷﾞｰ範囲不良の測定例

光量不足の測定例

光量過多の測定例

10 / 26

7-6.ｻﾝﾌﾟﾙの取出し①ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-ｻﾝﾌﾟﾙ(S)を選択してください。
②ﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されて、ｽﾃｰｼﾞの動作音が消えた事を確認してください。
③ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋の Push と表示された付近を押し、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。
④ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋が開きます。
⑤ｻﾝﾌﾟﾙを取出します。
⑥ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋を、Push と表示された付近を押して閉め、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。
⑦ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口が閉じている事を確認して、画面の OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

7-7.陽極電圧、光量装置の初期化
接続後、24 時間以上の長時間にわたり測定を続ける場合や温度、気圧の変動を伴う場合は、陽極電圧の再設定および光量装置の初期化を行ってください。
陽極電圧の再設定は測定(M)－陽極電圧設定(V)を実行すると自動的に行われます。約 5 分後に終了し、ﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが開きますので、OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。
光量装置の初期化は測定－光量装置の初期化(I) を実行すると自動的に行われます。約 5 分後に終了し、ﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが開きますので、OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

7-8.測定ﾌｫｰﾑの終了
測定ﾌｫｰﾑがｱｸﾃｨﾌﾞの状態で、ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(X)により測定ﾌｫｰﾑを終了してください。

11 / 26

８．光量補正係数の測定
8-1.光量補正係数ﾌｫｰﾑの起動①ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰで入力するﾌｫﾙﾀﾞをｸﾘｯｸしてｱｸﾃｨﾌﾞにしてください。
②測定(M)－光量補正係数(L)を選択すると仕事関数計ﾌｫｰﾑが開きます。

注意
他の測定ﾌｫｰﾑが立ちあがっているときは、予め、閉じてから光量補正計数ﾌｫｰﾑを開いてください。

8-2.光量補正係数ﾌｫｰﾑの説明
④

③

②

①

⑤

① ﾃﾞｰﾀﾃｰﾌﾞﾙ測定されたﾃﾞｰﾀを表にします。（測定開始前は空欄です。）② ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄ
測定に必要な条件を入力する事ができます。(入力方法は仕事関数計と同じです。)③ ﾛｹｰｼｮﾝｳｲﾝﾄﾞｳ
測定ﾃﾞｰﾀをﾌｧｲﾙする場所を示します。
④ ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
測定やﾌｫｰﾑの切り替えなどを行ないます。
⑤ ﾀｽｸﾊﾞｰ
現在の状態を示したり、ﾌｫｰﾑの切り替えを行なったりします。

12 / 26

8-3.測定条件設定
ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄより測定条件を入力します。
① ｻﾝﾌﾟﾙ名を入力します。ここで入力した名前はﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰにおけるﾃﾞｰﾀの名前になります。
ｻﾝﾌﾟﾙ名の右のﾎﾞｯｸｽをｸﾘｯｸし、文字を入力し Enter を押します。既に入力されたｻﾝﾌﾟﾙ名を書きなおすときは、ｸﾘｯｸした後、ｽﾍﾟｰｽｷｰを押してから入力すると、便利です。例）ﾃｽﾄ② ﾌｧｲﾙを置く”場所”を決めます。この”場所”はﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽ内におけるﾃﾞｰﾀの位置を示します。ﾛｹｰｼｮﾝｳｲﾝﾄﾞｳをｸﾘｯｸすると、場所（ﾌｫﾙﾀﾞ）を表示します。これから測定するﾃﾞｰﾀを置くﾌｫﾙﾀﾞを選択してください。例）test③ 測定開始ｴﾈﾙｷﾞｰを入力します。例）開始のﾘｽﾄﾎﾞｯｸｽを開き、4.20 eV を選択。
④ 測定終了ｴﾈﾙｷﾞｰを入力します。例）終了のﾘｽﾄﾎﾞｯｸｽを開き、6.20 eV を選択。
⑤ ｴﾈﾙｷﾞｰ間隔を入力します。例）ｽﾃｯﾌﾟのﾘｽﾄﾎﾞｯｸｽを開き、0.10 eV を選択。

＊注記
予備測定を行なう場合は、ｽﾃｯﾌﾟの間隔を広げると早く終わります。
⑥ 光量を設定します。例）10⑦ 改めて光量を設定する場合は設定光量を入力し、ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-光量を選択してください。
⑧ 備考 1 に、測定の条件などの情報を入力できます。

8-4.測定①ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-測定(G)を選択して測定を開始してください。
②測定が開始すると、ﾃﾞｰﾀﾃｰﾌﾞﾙに各ｴﾈﾙｷﾞｰの光量補正係数が表示されます。
③測定が終了すると終了を知らせるﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが開きますので OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。
④ﾃﾞｰﾀの保存を確認するﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが開きますので、はい(Y)ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸし、保存してください。

注意
OS の仕様により、接続または測定中に、AC-2 for Windows または、その他のｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝｿﾌﾄ
による処理を行なうと、本体との通信ができなくなる場合があります。接続、測定など本体と通信する処理を行なっている最中には、ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰに他の処理をさせないでください。

8-5.測定ﾌｫｰﾑの終了
測定ﾌｫｰﾑがｱｸﾃｨﾌﾞの状態で、ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(X)により測定ﾌｫｰﾑを終了してください。

13 / 26

９．仕事関数、ｲｵﾝ化ﾎﾟﾃﾝｼｬﾙの決定
ﾀｽｸﾊﾞｰの「Data Manager」ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰﾌｫｰﾑを表示してください。

9-1.ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰﾌｫｰﾑの説明① ﾂﾘｰ
ﾌｫﾙﾀﾞをﾂﾘｰ状に表示します。
② ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰ
ﾃﾞｰﾀまたはﾌｫﾙﾀﾞを表示します。
③ ﾘｽﾄﾃｰﾌﾞﾙ
ﾃﾞｰﾀの概略を表示します。
④ ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
印刷やﾃﾞｰﾀの削除、ﾌｫﾙﾀﾞの作成、移動、名前の変更、などを行ないます。
⑤ ﾀｽｸﾊﾞｰ
現在選択されているﾌｫﾙﾀﾞやﾃﾞｰﾀの名前を示したり、ﾌｫｰﾑの切り替えを行なったりします。
⑥ ﾌｫﾙﾀﾞ測定ﾃﾞｰﾀの収納場所です。
⑦ ｸｴﾘｰﾌｫﾙﾀﾞ
検索結果です。
⑧ ﾃﾞｰﾀ
測定ﾃﾞｰﾀです。

14 / 26

9-2.光量補正①先ず、補正したい光電子ｽﾍﾟｸﾄﾙﾃﾞｰﾀのあるﾌｫﾙﾀﾞ［例）ﾕｰｻﾞｰ名］を開きます。

＊注記
左側に＋が表示されたﾌｫﾙﾀﾞはさらに下の階層を持っています。＋をｸﾘｯｸすると、下層のﾌｫﾙﾀﾞを表示することができます。この時＋は－になります。－をｸﾘｯｸすると、下層のﾌｫﾙﾀﾞを非表示にする事ができます。

②補正したい光量補正係数ﾃﾞｰﾀ［例）ﾃｽﾄ］をｸﾘｯｸして選択し、右ｸﾘｯｸしてﾎﾟｯﾌﾟｱｯﾌﾟﾒﾆｭｰのｺﾋﾟｰ(C)を実行します。
③補正したい仕事関数ﾃﾞｰﾀ［例）ﾃｽﾄ］を選択し、右ｸﾘｯｸしてﾎﾟｯﾌﾟｱｯﾌﾟﾒﾆｭｰの貼りつけ(P)を実行します。補正が行なわれるとﾘｽﾄﾃｰﾌﾞﾙの光量補正係数名は補正に使用された光量補正ﾃﾞｰﾀ
名［例）ﾃｽﾄ］を表示します。

＊注記
光量補正をやめる場合は、光量補正係数名を右ｸﾘｯｸし、光量補正ﾃﾞｰﾀの除外を実行してください。

注意
仕事関数ﾃﾞｰﾀと関連づけられた光量補正係数ﾃﾞｰﾀを削除すると、ﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽが異常を起こす
場合があります。この場合は、ﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽのﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟとの交換が必要となる場合があります。

15 / 26

9-3.ｸﾞﾗﾌの表示
解析したいﾃﾞｰﾀ［例）ﾃｽﾄ］を選択してﾌｧｲﾙ(F)－開く(O)を実行して、ｼﾝｸﾞﾙｸﾞﾗﾌﾌｫｰﾑを開きます。

① ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
ﾃﾞｰﾀのｺﾋﾟｰなどを行ないます。
② ｸﾞﾗﾌﾎﾞｯｸｽ
測定ﾃﾞｰﾀをｸﾞﾗﾌとして表示します。
③ ﾎﾟｯﾌﾟｱｯﾌﾟﾒﾆｭｰ
ｸﾞﾗﾌのしきい値を求める為に、ｸﾞﾗﾝﾄﾞﾚﾍﾞﾙや回帰直線を引く時に用います。
ﾏｳｽﾎﾟｲﾝﾀｰがｸﾞﾗﾌ上に有るときに、右ｸﾘｯｸすると表示されます。
④ ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄ
ｸﾞﾗﾌの描画条件を入力する事ができます。
⑤ ﾃﾞｰﾀﾃｰﾌﾞﾙ
測定ﾃﾞｰﾀをﾃｰﾌﾞﾙとして表示します。
⑥ ﾀｽｸﾊﾞｰ
ｸﾞﾗﾌﾎﾞｯｸｽ上のﾏｳｽﾎﾟｲﾝﾀｰの座標を表示したり、ﾌｫｰﾑの切り替えを行なったりします。

16 / 26

9-4.光電子放出しきい値の決定測定されたｽﾍﾟｸﾄﾙの光電子放出しきい値を決定します。この値は通常、仕事関数やｲｵﾝ化ﾎﾟﾃﾝｼ
ｬﾙと解釈されます。
①ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄの Data ﾀﾌﾞをｸﾘｯｸし、べき乗を 0.5 にする事により、Y 軸をｲｰﾙﾄﾞの平方根にします。

注意べき乗は、材料により異なります。論文などによりご確認ください。一般的には、試料が金属の場合 0.5 乗、半導体の場合、0.3 乗（1/3 乗）と言われています。有機物の場合、0.5 乗を用いる場合が多いと言えます。
②ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄの Disp ﾀﾌﾞをｸﾘｯｸし、ｸﾞﾗﾌの表示状態を、適宜、調節します。
数字などは、入力するﾎﾞｯｸｽをｸﾘｯｸした後、ｷｰﾎﾞｰﾄﾞから入力してください。
ﾁｪｯｸﾎﾞｯｸｽはﾁｪｯｸすると On、ﾁｪｯｸを外すと Off になります。
例）X 軸最小値 [eV]：4.20、X 軸最大値 [eV]：6.20、X 軸目盛間隔 [eV]：0.10、Y 軸最小値
[CPS^0.5]：0.0、Y 軸最大値 [CPS^0.5]：40.0、Y 軸目盛間隔 [CPS^0.5]：4.5、背景色：ﾃﾞﾌｫﾙﾄ、表示部色：ﾃﾞﾌｫﾙﾄ、X 軸目盛：On、Y 軸目盛：On、目盛色：ﾃﾞﾌｫﾙﾄ、ｸﾞﾘｯﾄﾞ表示：Off、
ﾄﾞｯﾄ形状：ﾃﾞﾌｫﾙﾄ、ﾄﾞｯﾄｻｲｽﾞ：30、ﾄﾞｯﾄ色：ﾃﾞﾌｫﾙﾄ、ﾗｲﾝ表示：Off、ﾗｲﾝ形状：ﾃﾞﾌｫﾙﾄ、ﾗｲﾝ
色：ﾃﾞﾌｫﾙﾄ、選択ﾄﾞｯﾄ：On、選択ﾄﾞｯﾄ形状：ﾃﾞﾌｫﾙﾄ、選択ﾄﾞｯﾄｻｲｽﾞ：35、選択ﾄﾞｯﾄ色：ﾃﾞﾌｫ
ﾙﾄ。
③ｸﾞﾗﾌの平坦な部分に見当を付け、ｸﾘｯｸ ｱﾝﾄﾞ ﾄﾞﾗｯｸﾞで範囲を選択します。選択後、右ｸﾘｯｸして、ｸﾞﾗﾝﾄﾞﾚﾍﾞﾙを選択します。
④回帰直線の範囲に見当を付け、ｸﾘｯｸ ｱﾝﾄﾞ ﾄﾞﾗｯｸﾞで選択します。選択後、右ｸﾘｯｸして、回帰直線を選択します。
⑤ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄの Data に仕事関数、傾きが表示されます。
⑥編集(E)-ｺﾋﾟｰ(C)により、ｸﾞﾗﾌ、ﾃﾞｰﾀをｸﾘｯﾌﾟﾎﾞｰﾄﾞにｺﾋﾟｰして、Windows の他のｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝで利用することができます。あらかじめ、ｺﾋﾟｰしたい方の表示の上でｸﾘｯｸしてから編集(E)-ｺﾋﾟｰ(C)を実行してください。
⑦ﾌｫｰﾑを閉じる場合は、ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(X)を実行してください。

注意ｼﾝｸﾞﾙおよびﾏﾙﾁｸﾞﾗﾌﾌｫｰﾑは 5 枚以上表示できません。

17 / 26１０．ｸﾞﾗﾌの比較
ﾏﾙﾁｸﾞﾗﾌﾌｫｰﾑ上で、5 本までのｸﾞﾗﾌを同時に表示して、比較できます。比較するｸﾞﾗﾌは同じﾌｫﾙﾀﾞにある必要があります。

10-1.ﾏﾙﾁｸﾞﾗﾌﾌｫｰﾑの開き方①ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰﾌｫｰﾑのﾂﾘｰ（①）で開きたいｸﾞﾗﾌのあるﾌｫｰﾑを開き、ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰ（②）にﾏﾙﾁｸﾞﾗﾌ表示したいﾃﾞｰﾀを表示させます。

②①② 開きたいｸﾞﾗﾌを、Ctrl ｷｰを押したままｸﾘｯｸして選択します。
③ 右ｸﾘｯｸしてﾎﾟｯﾌﾟｱｯﾌﾟﾒﾆｭｰを開き、「開く」を選択します。
④ ﾏﾙﾁｸﾞﾗﾌﾌｫｰﾑが開きます。
⑤ ﾌｫｰﾑを閉じる場合は、ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(X)を実行してください。

18 / 26

10-2.ﾏﾙﾁｸﾞﾗﾌﾌｫｰﾑの説明①ｻﾝﾌﾟﾙ名で選択されているﾃﾞｰﾀのｸﾞﾗﾌ以外は、Disp ﾀﾌﾞの非選択透過率で指定された率で薄く表示されます。
②ｻﾝﾌﾟﾙ名で選択されているﾃﾞｰﾀはﾃｰﾌﾞﾙに表示されます。
③違うﾃﾞｰﾀを選択する場合は、ｻﾝﾌﾟﾙ名をｸﾘｯｸしてください。次に、ﾎﾞﾀﾝが表示されますので、これをｸﾘｯｸすると、その他のﾃﾞｰﾀ名が表示されますので、選択してください。

１１．光量補正計数の表示①表示したい光量補正計数ﾃﾞｰﾀ［例）ﾃｽﾄ］を選択してﾌｧｲﾙ(F)－開く(O)を実行して、ﾌｫｰﾑを開きます。
②編集(E)-ｺﾋﾟｰ(C)により、ﾃﾞｰﾀをｸﾘｯﾌﾟﾎﾞｰﾄﾞに貼り付けて、Windows の他のｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝで利用することができます。
③ﾌｫｰﾑを閉じる場合は、ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(X)を実行してください。

19 / 26

１２．印刷①印刷したいﾃﾞｰﾀ［例］ﾃｽﾄ］を選択してﾌｧｲﾙ(F)－印刷(P)を実行します。
②印刷設定画面が表示されますので確認して OK をｸﾘｯｸしてください。
③Print Preview ﾌｫｰﾑが表示されます。

④表示するｸﾞﾗﾌを確認した後、印刷(P)－印刷(G)を実行してください。

注意・ｼﾝｸﾞﾙｸﾞﾗﾌﾌｫｰﾑから直接印刷すると、直前に変更された条件が反映されない場合があります。
・ﾃﾞｰﾀは OS で通常使うﾌﾟﾘﾝﾀに指定されたﾌﾟﾘﾝﾀでﾌﾟﾘﾝﾄｱｳﾄされます。
・印刷の条件は OS で設定してください。

20 / 26

１３．終了①ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(X)を繰り返し、子ﾌｫｰﾑ（ﾒﾆｭｰ、測定、ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰなど）を全て閉じてくだ
さい。
②ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(X)でﾒｲﾝﾌｫｰﾑを閉じてください。
③本器（LC1）の表面ﾊﾟﾈﾙの電源ｽｲｯﾁを ON（｜側）から OFF（０側）に切り替えてから、LC1 の
背面ﾊﾟﾈﾙのﾌﾞﾚｰｶｰを OFF にしてください。
④圧搾空気の元栓を締めてください。または、ｺﾝﾌﾟﾚｯｻを停止させてください。
⑤ﾐｽﾄｾﾊﾟﾚｰﾀに水がたまっている場合は、ﾄﾞﾚﾝｺｯｸを右へ回して、排出してください。排出後には、必ず、ﾄﾞﾚﾝｺｯｸを閉めてください。
⑥Windows を終了し、ﾊﾟｿｺﾝ、ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ、ﾌﾟﾘﾝﾀを停止してください。

ﾄﾞﾚﾝｺｯｸ

21 / 26

１４.その他の機能
14-1.ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰ
AC-2 for Windows を立ち上げると表示されます。

1 2 3

4

14-1-1.ﾌｧｲﾙ① 開く：測定ﾃﾞｰﾀを開きます。
② ﾌｫﾙﾀﾞの作成：ﾌｫﾙﾀﾞの下に新しいﾌｫﾙﾀﾞを作成します。
③ ﾃﾞｰﾀの保存：測定ﾃﾞｰﾀの一部を CSV 形式で保存します。
④ ﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽ-ｲﾝﾎﾟｰﾄ：ﾌｫﾙﾀﾞの下にﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽをｲﾝﾎﾟｰﾄします。

注意AC-2 for Windows よりｴｸｽﾎﾟｰﾄされたﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽ以外の物をｲﾝﾎﾟｰﾄすると、ﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽが破壊される危険性があります。

⑤ ﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽ-ｴｸｽﾎﾟｰﾄ：測定ﾃﾞｰﾀまたはﾌｫﾙﾀﾞをﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽとしてｴｸｽﾎﾟｰﾄします。
⑥ ﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽ-修復と最適化：ﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽの修復と最適化を行います。
⑦ 印刷：ﾃﾞｰﾀを印刷します。
⑧ 削除：ﾃﾞｰﾀまたはﾌｫﾙﾀﾞを削除します。
⑨ 名前の変更：測定ﾃﾞｰﾀまたはﾌｫﾙﾀﾞの名前を変更します。
⑩ 閉じる：ﾌｫｰﾑを閉じます。
14-1-2.編集① 元に戻す：移動したﾌｫﾙﾀﾞまたはﾃﾞｰﾀを元の位置へ戻します。
② 切り取り：ﾃﾞｰﾀまたはﾌｫﾙﾀﾞを切り取ります。
③ ｺﾋﾟｰ：ﾃﾞｰﾀまたはﾌｫﾙﾀﾞをｺﾋﾟｰします。また、光量補正係数ﾃﾞｰﾀを指定します。
④ 貼り付け：ﾌｫﾙﾀﾞの下に、切り取りまたはｺﾋﾟｰしたﾃﾞｰﾀ等を貼り付けます。または、仕事関数
ﾃﾞｰﾀをｺﾋﾟｰで指定された光量補正係数で補正します。
⑤ 全て選択：ﾌｫﾙﾀﾞ内の全てのﾌｫﾙﾀﾞおよびﾃﾞｰﾀをｱｸﾃｨﾌﾞにします。

22 / 26

⑥ 検索：ﾃﾞｰﾀを検索します。検索条件を入力し、検索開始ﾎﾞｯｸｽをｸﾘｯｸしてください。ﾎﾞｯｸｽに表示されるﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸすると検索が始まります。検索結果は、ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰに表示されます
14-1-3.表示

検索後、結果表示される。

検索条件
検索ﾎﾞﾀﾝ
① ｽﾃｰﾀｽﾊﾞｰ：ｽﾃｰﾀｽﾊﾞｰの表示／非表示を切り替えます。
② 最新の情報に更新：最新の情報に更新します。
14-1-4.ｳｲﾝﾄﾞｳ① 重ねて表示② 上下に並べて表示③ 左右に並べて表示④ ｳｲﾝﾄﾞｳ：現在、開いているﾌｫｰﾑを示します。

14-2.ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰで表示したいﾃﾞｰﾀをｱｸﾃｨﾌﾞにし、ﾌｧｲﾙ(F)-開く(O)を実行するか、表示したいﾃﾞｰﾀのｱｲｺﾝをﾀﾞﾌﾞﾙｸﾘｯｸすると表示されます。

1 2 3

6

4

5

14-2-1.ﾌｧｲﾙ① 印刷：印刷できます。

注意
ｸﾞﾗﾌ条件を変えてからﾌｫｰﾑを終了せずに印刷すると、変更が反映されない場合があります。一旦、閉じてから印刷してください。

14-2-2.編集① ｺﾋﾟｰ：ｸﾘｯﾌﾟﾎﾞｰﾄﾞにｸﾞﾗﾌ、ﾃｰﾌﾞﾙ、ｽﾃｰﾀｽをｺﾋﾟｰします。

23 / 26

14-2-3.表示① ｸﾞﾗﾌ：ｸﾞﾗﾌの表示/非表示を切り替えます。
14-2-4.Data ﾀﾌﾞ① べき乗：縦軸のべき乗を変更できます。
② WF ﾗｲﾝ表示：回帰直線の表示/非表示を切り替えます。
③ GL ﾗｲﾝ表示：ｸﾞﾗﾝﾄﾞﾗｲﾝの表示/非表示を切り替えます。
④ GL ﾗｲﾝ差分表示：ｸﾞﾗﾝﾄﾞﾚﾍﾞﾙの計算方法を切り替えます。
（通常はチェックしません。
）

チェック無しチェック有り⑤ 備考：備考を入力できます。
14-2-5.Disp.ﾀﾌﾞ① X 軸：最小値、最大値、間隔。
② Y 軸：最小値、最大値、間隔。
③ 背景色④ 表示部色⑤ X 軸／Y 軸目盛：目盛の表示／非表示⑥ 目盛色⑦ ｸﾞﾘｯﾄﾞ：ｸﾞﾘｯﾄﾞの表示／非表示⑧ ﾄﾞｯﾄ：形状、ｻｲｽﾞ、色。
⑨ ﾗｲﾝ：回帰直線の表示、形状、色。
⑩ 選択ﾄﾞｯﾄ：ｸﾞﾗﾝﾄﾞﾚﾍﾞﾙ、回帰直線を選択した時のﾄﾞｯﾄの表示、形状、ｻｲｽﾞ、色。

24 / 26

14-2-6.ﾎﾟｯﾌﾟｱｯﾌﾟﾒﾆｭｰ

① ﾃﾞｰﾀのｸﾘｱ
ｸﾞﾗﾝﾄﾞﾚﾍﾞﾙおよび回帰直線をｸﾘｱします。
② 差分処理回帰直線と測定ﾃﾞｰﾀとの差分を新しいﾃﾞｰﾀﾌｧｲﾙとして作成します。
差分ﾃﾞｰﾀのｻﾝﾌﾟﾙ名は、（元のｻﾝﾌﾟﾙ名）_Dif となります。
差分

差分処理前

差分処理後

14-3.印刷ﾌｫｰﾑ
ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰで印刷したいﾃﾞｰﾀをｱｸﾃｨﾌﾞにして、印刷を選択すると表示します。

114-3-1.印刷① 印刷設定：印刷設定を確認できます。尚、プリンタなどの設定は、OS から行ってください。
② 印刷：印刷を開始します。

25 / 26

14-4.主ﾌｫｰﾑ
他のﾌｫｰﾑを全て閉じると表示されます。

1

14-４-1.表示① ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰ：ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰを表示します。
② ﾌｫﾝﾄ：表示のﾌｫﾝﾄを変えることができます。

注意
不用意にﾌｫﾝﾄを変えると、ｴﾗｰが発生する恐れがあります。

14-5.ﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽのﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟ
定期的に ac2.mdb ﾌｧｲﾙのﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟを取る事をお勧めします。
ac2.mdb ﾌｧｲﾙは AC-2 の測定ﾃﾞｰﾀが収納された、ﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽです。
初期状態では、ｃドライブの program
Files の AC2 for Windows にあります。

26 / 26

ＡＣ－２ for Windows－膜厚測定編－

目次

１．概要…………………………………
２．注意…………………………………
３．本書の使い方 …………………………
４．測定の流れ ……………………………
５．装置の準備 ……………………………
６．ｼｽﾃﾑの準備 ……………………………
７．検量線ﾃﾞｰﾀの測定 ……………………
８．検量線の作成 …………………………
９．膜厚の測定 ……………………………
１０．ﾃﾞｰﾀの表示 ……………………………
１１．印刷 ……………………………………
１２．終了 ……………………………………

1
1
1
2
3
4
5
10
13
19
23
24

１．概要
本書には、AC-2 を用いて標準ｻﾝﾌﾟﾙから放出された光電子を計数して、膜厚を求める方法が記載されています。

２．注意
本書は以下の事を前提として記載されています。
①AC-2 本体及びﾊﾟｰｿﾅﾙｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰは、正しく設置され、設定されている。
②AC-2 for Windows は、正しくｲﾝｽﾄｰﾙされている。
③使用者は、Windows の操作方法を把握している。
④使用者は、光電子の意味や、膜厚、汚染度との関係を把握している。
本書に先立ち、光電子分光装置 AC-2 取扱説明書、AC-2 for Windows 取扱説明書（仕事関数、ｲｵﾝ化ﾎﾟﾃﾝｼｬﾙ測定編）および Windows の取扱説明書をお読みください。

３． 本書の使い方
AC-2 を初めてご使用になる方は、基準試料（膜厚の異なる物が 3 種類以上必要です。）と、ﾋﾟﾝｾｯﾄをご用意いただき、本書に従って測定してください。その際に必要な設定条件などは、例）を参考にしてください。
すでにご使用になっている方は、＊注記を参考にして、測定をしてください。
本書を良くお読みいただき、正しく測定するようにしてください。

1 / 24

４．測定の流れ（番号は本書の章番号）5.測定の準備

圧搾空気供給、ﾊﾟｿｺﾝ電源投入、OS 立上、AC-2 電源投入、暖機（約 30 分）

6.ｼｽﾃﾑの準備
AC-2 for Windows 立上、接続（約 10 分）

7.検量線ﾃﾞｰﾀの測定
測定ﾌｫｰﾑ、測定条件設定、ｻﾝﾌﾟﾙ設置、測定、ｻﾝﾌﾟﾙ取出

8.検量線の作成
ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰ、検量線、検量線ｸﾞﾗﾌﾌｫｰﾑ、検量線作成

9.膜厚の測定
測定ﾌｫｰﾑ、校正、測定条件設定、ｻﾝﾌﾟﾙ設置、測定、ｻﾝﾌﾟﾙ取出

10.ﾃﾞｰﾀの表示
膜厚、検量線、検量線ﾃﾞｰﾀ

11.印刷

12.終了
AC-2 for Windows 終了、AC-2 停止、圧搾空気停止、ﾄﾞﾚﾝ排出、ﾊﾟｿｺﾝ停止

2 / 24

５．装置の準備
AC-2 で測定する準備を行ないます。
①圧搾空気（0.5－0.7 Mpa）を供給してください。ﾎﾟﾝﾌﾟで供給する場合は、この電源を ON にしてください。工場配管より供給する場合は供給元を開いてください。
②ﾊﾟｿｺﾝの電源ｽｲｯﾁを入れ、Windows を立ち上げてください。
③Windows が立ち上がった事を確認してください。
④本器（LC1）背面ﾊﾟﾈﾙのﾌﾞﾚｰｶｰを ON にしてください。
⑤LC1 表面ﾊﾟﾈﾙの電源ｽｲｯﾁを ON（｜側）にしてください。
⑥電源 ON と共に暖機が開始されます。暖機が終了後（約 30 分後）POWER/STANDBY ﾗﾝﾌﾟは緑色の連続点灯になります。

＊注記
過去に測定したﾃﾞｰﾀの確認の為に、③の後すぐに”６．ｼｽﾃﾑの準備”以後に進んでもかまいません。（測定は暖機終了後に行なってください。）

3 / 24

６．ｼｽﾃﾑの準備
ﾊﾟｿｺﾝと AC-2 for Windows の準備を行ないます。

6-1.ｼｽﾃﾑの準備① AC-2 for Windows を立ち上げてください。例）ｽﾀｰﾄｷｰのﾌﾟﾛｸﾞﾗﾑより立ち上げる。
② 主ﾌｫｰﾑ、および、ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰﾌｫｰﾑが開きます。

6-2.ﾃﾞｰﾀﾌｫﾙﾀﾞの作成① AC-2 DeskTop のｱｲｺﾝをｸﾘｯｸしてｱｸﾃｨﾌﾞにします。
② ﾌｧｲﾙ(F)－ﾌｫﾙﾀﾞの作成(W)を実行します。
③ ﾌｫﾙﾀﾞの名称を入力します。例）test

6-3.接続① 測定(M)－接続(N)を実行します。
② 接続が開始されます。接続とは、本体との通信の確立、光量調節装置の初期化、および、検知器電圧設定のことです。ｽﾃｰﾀｽﾊﾞｰを表示すると、ｽﾃｰﾀｽｳｲﾝﾄﾞｳに現在行われているｽﾃｰﾀ
ｽが表示されます。
③ 約 10 分後に接続が終了し、接続終了を示すﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されます。

注意
OS の仕様により、接続または測定中に、AC-2 for Windous または、その他のｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝｿ
ﾌﾄによる処理を行なうと、本体との通信ができなくなる場合があります。接続、測定など
本体と通信する処理を行っている最中には、ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰに他の処理をさせない様にする事をお勧めします。

4 / 24

７．検量線ﾃﾞｰﾀ測定
検量線ﾃﾞｰﾀは検量線を作成する元になるﾃﾞｰﾀです。膜厚が分かっている基準ｻﾝﾌﾟﾙが最低２個必要です。
測定(M)－検量線ﾃﾞｰﾀ(D)を実行すると検量線ﾃﾞｰﾀ測定ﾌｫｰﾑが開きます。

注意
他の測定ﾌｫｰﾑが立ち上がっているときは、予め、閉じてから検量線ﾃﾞｰﾀ測定ﾌｫｰﾑを開いてください。

7-1.検量線ﾃﾞｰﾀ測定ﾌｫｰﾑの説明
④
③

①

②

⑤

① ﾃﾞｰﾀﾃｰﾌﾞﾙ測定されたﾃﾞｰﾀを表にします。
② ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄ
測定に必要な条件を入力する事ができます。
③ ﾛｹｰｼｮﾝｳｲﾝﾄﾞｳ
測定ﾃﾞｰﾀをﾌｧｲﾙする場所を示します。
④ ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
測定やｻﾝﾌﾟﾙの出し入れ、光量の調節、ﾌｫｰﾑの切り替え等を行います。
⑤ ﾀｽｸﾊﾞｰ
現在の状態を示したり、ﾌｫｰﾑの切り替えを行なったりします。

5 / 24

7-2.測定条件設定
ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄより測定条件を入力します。
① ｻﾝﾌﾟﾙ名を入力します。ここで入力した名前はﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰにおけるﾃﾞｰﾀの名前になります。ｻﾝ
ﾌﾟﾙ名の右のﾎﾞｯｸｽをｸﾘｯｸし、文字を入力し Enter を押します。既に入力されたｻﾝﾌﾟﾙ名を書きなおすときは、ｸﾘｯｸした後、ｽﾍﾟｰｽｷｰを押してから入力すると、便利です。例）ﾃｽﾄ 1，ﾃｽﾄ 2，ﾃｽ
ﾄ 3 など② ﾌｧｲﾙを置く”場所”を決めます。この”場所”はﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽ内におけるﾃﾞｰﾀの位置を示します。
ﾛｹｰｼｮﾝｳｲﾝﾄﾞｳをｸﾘｯｸすると、場所（ﾌｫﾙﾀﾞ）を表示します。これから測定するﾃﾞｰﾀを置くﾌｫﾙﾀﾞを選択してください。例）ﾕｰｻﾞｰ名③ 測定回数を入力します。例）20④ 計数時間を設定します。例）10⑤ 基準ｻﾝﾌﾟﾙの膜厚を入力します。
⑥ 測定ｴﾈﾙｷﾞｰを入力します。例）5.9⑦ 光量を設定します。先ず、設定光量を入力してください。設定光量は光量（最大値）と光量（最小値）の間に設定してください。例）10⑧ ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-光量設定(L)を選択してください。
光量の自動調節を開始します。調節が終了すると、測定値は設定値とほぼ同じになります。尚、背景色は設定値の±5 %で緑、±5-20 %で黄、±20 %以上で赤くなります。

＊注記
適正な光量は試料によって異なります。光電子ｽﾍﾟｸﾄﾙの予備測定を行い、適当な傾きが得られる様にしてください。
⑨基準ｻﾝﾌﾟﾙの膜厚をｵﾝｸﾞｽﾄﾛｰﾑ（A）単位で入力してください。

＊注記
汚染度を測定する場合は、汚染度合いを示す適当な数値を入力してください。

⑩備考 1 に、ﾛｯﾄﾅﾝﾊﾞｰなど、測定ｻﾝﾌﾟﾙの情報を入力してください。

6 / 24

7-3.基準ｻﾝﾌﾟﾙの設置①ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-ｻﾝﾌﾟﾙ(S)を実行してください。
②ｻﾝﾌﾟﾙ台の移動を確認するﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されるので、はい(Y)をｸﾘｯｸしてください。
③ｽﾃｰｼﾞの動作音が消えた事を確認してください。
④ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋の Push と表示された付近を押し、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。

⑤ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋が開きます。OPEN ﾗﾝﾌﾟが赤く点滅する事を確認してください。

警告
OPEN ﾗﾝﾌﾟが赤く点滅しない場合は、ｲﾝﾀｰﾛｯｸが故障している可能性があります。この場合、ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋が開いていてもｽﾃｰｼﾞが移動する可能性があります。

⑥ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の左手前にのせます。
ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞ

サンプル

探針

高さ調節レバー⑦ｽﾃｰｼﾞの高さを調節します。ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の左手前の方に置いてください。次に、ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞを引き出し、ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台との間に挟み込む様にします。そして、ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞの探針の先端がｻﾝﾌﾟﾙの測定部の高さと一致するまで、ｽﾃｰｼﾞの高さ調節ﾚﾊﾞｰを回転させてください。

7 / 24⑧ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の中央にｸﾘｯﾌﾟで固定してください。
サンプル

クリップ

⑨ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋を閉め、Push と書かれた付近を押して、ｶﾁｯという音がしたら手を放してくだ
さい。
⑩ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口が閉じている事を確認して、画面の OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

7-4.測定①ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-測定(G)を選択すると、検量線ﾃﾞｰﾀの測定が開始されます。
②測定が開始されると、ﾃﾞｰﾀが表示されます。
③測定が終了すると終了を知らせるﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが開きますので OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

注意
OS の仕様により、接続または測定中に、AC-2 for Windous または、その他のｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝｿ
ﾌﾄによる処理を行なうと、本体との通信ができなくなる場合があります。接続、測定など
本体と通信する処理を行っている最中には、ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰに他の処理をさせない様にする事をお勧めします。

8 / 24

7-5.ｻﾝﾌﾟﾙの取出し① ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-ｻﾝﾌﾟﾙ(S)を選択してください。
② ﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されて、ｽﾃｰｼﾞの動作音が消えた事を確認してください。
③ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋の Push と表示された付近を押し、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。
④ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋が開きます。
⑤ ｻﾝﾌﾟﾙを取出します。
⑥ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋を、Push と表示された付近を押して閉め、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。
⑦ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口が閉じている事を確認して、画面の OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

7-6.次の基準ｻﾝﾌﾟﾙの測定
検量線の作成には膜厚の違うｻﾝﾌﾟﾙの測定ﾃﾞｰﾀが複数個必要です。先ず、7-2～7-5 の操作を、光量を変えながら、繰り返して、膜厚の一番薄い基準ｻﾝﾌﾟﾙの計数率が 2000 CPS 程度になる光量を見つけてください。次に、この光量で別の基準ｻﾝﾌﾟﾙを測定し、一つの検量線に使用しようとする基準ｻﾝﾌﾟﾙが同じ光量で測定できる光量を見つけてください。
この光量で基準ｻﾝﾌﾟﾙを測定してください。検量線は光量が同じﾃﾞｰﾀの組で作成してください。
また、これらの一組の検量線ﾃﾞｰﾀは必ず同じﾌｫﾙﾀﾞに保管してください。

7-7.測定ﾌｫｰﾑの終了
測定ﾌｫｰﾑがｱｸﾃｨﾌﾞの状態で、ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(C)により測定ﾌｫｰﾑを終了してください。

9 / 24

８．検量線作成
７で測定した検量線ﾃﾞｰﾀを使用して検量線を作成します。先ず、表示(V)－ﾒﾆｭｰ(M)でﾒﾆｭｰﾌｫｰﾑ
を表示し、「ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰ」ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

8-1.ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰﾌｫｰﾑの説明
④
⑥
⑦

②

⑧

①
③

⑤

①ﾂﾘｰ
ﾌｫﾙﾀﾞをﾂﾘｰ状に表示します。
②ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰ
ﾃﾞｰﾀまたはﾌｫﾙﾀﾞを表示します。
③ﾘｽﾄﾃｰﾌﾞﾙ
ﾃﾞｰﾀの概略を表示します。
④ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
印刷やﾃﾞｰﾀの削除、ﾌｫﾙﾀﾞの作成、移動、名前の変更、などを行ないます。
⑤ﾀｽｸﾊﾞｰ
現在選択されているﾌｫﾙﾀﾞやﾃﾞｰﾀの名前を示したり、ﾌｫｰﾑの切り替えを行なったりします。
⑥検量線ﾃﾞｰﾀ
⑦検量線⑧膜厚･計数率ﾃﾞｰﾀ

10 / 24

8-2.検量線の作成① 検量線を収納するﾌｫﾙﾀﾞをｸﾘｯｸしてください。
② 測定(M)－検量線を実行し、新しい検量線を作成してください。
③ 新しい検量線の上でｸﾘｯｸして名前を変更します。例）検量線１④ すでに測定した検量線ﾃﾞｰﾀのﾌｫﾙﾀﾞ［例］ﾃｽﾄ 1、ﾃｽﾄ 2、ﾃｽﾄ 3］を、Ctrl を押しながらｸﾘｯｸ
して選択します。そして、右ｸﾘｯｸして、ﾎﾟｯﾌﾟｱｯﾌﾟﾒﾆｭｰのｺﾋﾟｰを実行します。
⑤ ①で作成した検量線ﾌｫﾙﾀﾞに貼り付けます。
⑥ この検量線をﾀﾞﾌﾞﾙｸﾘｯｸして検量線ｸﾞﾗﾌﾌｫｰﾑに開きます。

8-3.検量線ｸﾞﾗﾌﾌｫｰﾑの説明
④

①

③

②
⑤

①ｸﾞﾗﾌ
測定されたﾃﾞｰﾀをｸﾞﾗﾌに描画します。
②ﾃﾞｰﾀﾃｰﾌﾞﾙ測定されたﾃﾞｰﾀを表にします。
③ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄ
検量線作成に必要な条件を入力する事ができます。
④ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
測定やﾌｫｰﾑの切り替えなどを行ないます。
⑤ﾀｽｸﾊﾞｰ
ﾌｫｰﾑの切り替えなどを行ないます。

11 / 24

8-4.検量線の作成① ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄの Disp ﾀﾌﾞにより、ｸﾞﾗﾌの軸の最大、最小値、間隔などを整えて、ｸﾞﾗﾌを見やすくします。
② 検量線を作成する範囲をｸﾘｯｸｱﾝﾄﾞﾄﾞﾗｯｸﾞして選択します。
③ 右ｸﾘｯｸしてﾎﾟｯﾌﾟｱｯﾌﾟﾒﾆｭｰを開き、”検量線”を選択します。
④ ｸﾞﾗﾌ上に回帰直線が表示されて、検量線が作成されます。

12 / 24９．膜厚の測定
測定(M)－膜厚･計数率計(C)を実行すると膜厚･計数率測定ﾌｫｰﾑが開きます。

注意
他の測定ﾌｫｰﾑが立ち上がっているときは、予め、閉じてから膜厚･計数率測定ﾌｫｰﾑを開いてください。

9-1.膜厚･計数率測定ﾌｫｰﾑの説明
③
④

②

①

⑤
⑥
①ﾃﾞｰﾀﾃｰﾌﾞﾙ測定されたﾃﾞｰﾀを表にします。
②ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄ
測定に必要な条件を入力する事ができます。
③ﾛｹｰｼｮﾝｳｲﾝﾄﾞｳ
測定ﾃﾞｰﾀをﾌｧｲﾙする場所を示します。
④検量線ｳｲﾝﾄﾞｳ
光量補正に使用する、光量補正計数を表示します。
⑤ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
測定やﾌｫｰﾑの切替などを行ないます。
⑥ﾀｽｸﾊﾞｰ
現在の状態を示したり、ﾌｫｰﾑの切り替えを行なったりします。

13 / 24

9-2.校正
検知器の検知効率は、温度、湿度、気圧により変動します。この為、検量線の校正が必要になります。校正は 1 点校正です。多点校正はできません。校正には、校正ｻﾝﾌﾟﾙが必要となります。
尚、ﾌｫｰﾑ起動時には検量線校正量は 0 となり、そのまま、校正を行なわないで、膜厚測定をした
場合、検量線校正量を 0 として計数率を膜厚に換算します。

9-2-1.校正条件設定① これから使用する検量線を検量線ｳｲﾝﾄﾞｳの中から探し、ﾀﾞﾌﾞﾙｸﾘｯｸします。
② 検量線名を確認します。
③ 校正膜厚（校正ｻﾝﾌﾟﾙの膜厚）をｵﾝｸﾞｽﾄﾛｰﾑ（A）単位で入力します。
④ 校正回数を入力します。例）5⑤ 計数時間を設定します。例）10⑥ 測定ｴﾈﾙｷﾞｰを入力します。測定ｴﾈﾙｷﾞｰは検量線の測定ｴﾈﾙｷﾞｰと同じ値を入力してください。
例）5.9⑦ 測定ｴﾈﾙｷﾞｰを変更すると、自動的に光量測定装置が調整されます。
⑧ 光量を設定します。先ず、設定光量を入力してください。設定光量は光量（最大値）と光量（最小値）の間に設定してください。例）10⑨ ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-光量設定(L)を選択してください。光量の自動調節を開始します。調節が終了すると、測定値は設定値とほぼ同じになります。尚、背景色は設定値の±5 %で緑、±5～20 %で黄、±20 %以上で赤くなります。

9-2-2.校正ｻﾝﾌﾟﾙの設置① ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-ｻﾝﾌﾟﾙ(S)を実行してください。
② ｻﾝﾌﾟﾙ台の移動を確認するﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されるので、はい(Y)をｸﾘｯｸしてください。
③ ｽﾃｰｼﾞの動作音が消えた事を確認してください。
④ ｻﾝﾌﾟﾙの交換を指示するﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されていることを確認し、ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋のPush と表示された付近を押し、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。
⑤ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋が開きます。
⑥ ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の左手前にのせます。
⑦ ｽﾃｰｼﾞの高さを調節します。ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の左手前の方に置いてください。次に、ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞを引き出し、ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台との間に挟み込む様にします。そして、ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞの探針の先端がｻﾝﾌﾟﾙの測定部の高さと一致するまで、ｽﾃｰｼﾞの高さ調節ﾚﾊﾞｰを回転させてください。

警告
ｻﾝﾌﾟﾙの高さがﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞの探針より上にあると、ｻﾝﾌﾟﾙが検知器などに衝突し、装置またはｻﾝﾌﾟﾙを破損する場合があります。高さは必ず調節してください。

14 / 24

⑧ ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の中央にｸﾘｯﾌﾟで固定してください。
⑨ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋を、Push と表示された付近を押して閉め、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。
⑩ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口が閉じている事を確認して、画面の OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

9-2-3.校正① 測定(M)－校正(A)を実行してください。
② 校正を開始すると、測定ｳｲﾝﾄﾞｳ上に計数値が、ﾌﾟﾛｯﾄされます。
③ 校正が終了すると、ﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽに校正結果が表示されます。校正をする場合は OK、しない
場合は、ｷｬﾝｾﾙﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

④ ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄの検量線校正量に検量線校正量が表示されます。

注意
OS の仕様により、接続または測定中に、AC-2 for Windows または、その他のｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝｿ
ﾌﾄによる処理を行なうと、本体との通信ができなくなる場合があります。接続、測定など
本体と通信する処理を行っている最中には、ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰに他の処理をさせない様にする事をお勧めします。

9-2-4.校正ｻﾝﾌﾟﾙの取出し① ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-ｻﾝﾌﾟﾙ(S)を選択してください。
② ﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されて、ｽﾃｰｼﾞの動作音が消えた事を確認してください。
③ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋の Push と表示された付近を押し、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。
④ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋が開きます。
⑤ ｻﾝﾌﾟﾙを取出します。
⑥ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋を、Push と表示された付近を押して閉め、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。
⑦ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口が閉じている事を確認して、画面の OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

15 / 24

9-3.測定条件設定
ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄより測定条件を入力します。
① ｻﾝﾌﾟﾙ名を入力します。ここで入力した名前はﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰにおけるﾃﾞｰﾀの名前になります。
ｻﾝﾌﾟﾙ名の右のﾎﾞｯｸｽをｸﾘｯｸし、文字を入力し Enter を押します。既に入力されたｻﾝﾌﾟﾙ名を書きなおすときは、ｸﾘｯｸした後、ｽﾍﾟｰｽｷｰを押してから入力すると、便利です。例）ﾃｽﾄ 1，ﾃｽﾄ
2，ﾃｽﾄ 3 など
② ﾌｧｲﾙを置く”場所”を決めます。この”場所”はﾃﾞｰﾀﾍﾞｰｽ内におけるﾃﾞｰﾀの位置を示します。
ﾛｹｰｼｮﾝｳｲﾝﾄﾞｳをｸﾘｯｸすると、場所（ﾌｫﾙﾀﾞ）を表示します。これから測定するﾃﾞｰﾀを置くﾌｫﾙﾀﾞを選択してください。例）test③ 測定回数を入力します。例）20④ 計数時間を設定します。例）10⑤ 光量は校正したときと同じ値にしてください。検量線ﾃﾞｰﾀ（検量線）、校正、膜厚測定はそれぞれ、同じ光量で行ないます。
⑥ 備考１に、ﾛｯﾄﾅﾝﾊﾞｰなど、測定ｻﾝﾌﾟﾙの情報を入力してください。

9-4.ｻﾝﾌﾟﾙの設置① ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-ｻﾝﾌﾟﾙ(S)を実行してください。
② ｻﾝﾌﾟﾙ台の移動を確認するﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されるので、はい(Y)をｸﾘｯｸしてください。
③ ｽﾃｰｼﾞの動作音が消えた事を確認してください。
④ ｻﾝﾌﾟﾙの交換を指示するﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されていることを確認し、ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋のPush と表示された付近を押し、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。
⑤ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋が開きます。
⑥ ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の左手前にのせます。
⑦ ｽﾃｰｼﾞの高さを調節します。ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の左手前の方に置いてください。次に、ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞを引き出し、ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台との間に挟み込む様にします。そして、ﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞの探針の先端がｻﾝﾌﾟﾙの測定部の高さと一致するまで、ｽﾃｰｼﾞの高さ調節ﾚﾊﾞｰを回転させてください。

警告
ｻﾝﾌﾟﾙの高さがﾊｲﾄｹﾞｰｼﾞの探針より上にあると、ｻﾝﾌﾟﾙが検知器などに衝突し、装置またはｻﾝﾌﾟﾙを破損する場合があります。高さは必ず調節してください。

⑧ ｻﾝﾌﾟﾙをｻﾝﾌﾟﾙ台の中央にｸﾘｯﾌﾟで固定してください。
⑨ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋を、Push と表示された付近を押して閉め、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。
⑩ ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口が閉じている事を確認して、画面の OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

16 / 24

9-5.測定① ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-測定(M)を選択すると、計数率および膜厚の測定が開始されます。
② 測定が開始されると、ﾃﾞｰﾀが表示されます。
③ 測定が終了すると終了を知らせるﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが開きますので OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

警告
OS の仕様により、接続または測定中に、AC-2 for Windows または、その他のｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝｿ
ﾌﾄによる処理を行なうと、本体との通信ができなくなる場合があります。接続、測定など
本体と通信する処理を行っている最中には、ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰに他の処理をさせない様にする事をお勧めします。

9-6.ｻﾝﾌﾟﾙの取出し①

ﾒﾆｭｰﾊﾞｰの測定(M)-ｻﾝﾌﾟﾙ(S)を選択してください。

②

ﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが表示されて、ｽﾃｰｼﾞの動作音が消えた事を確認してください。

③

ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋の Push と表示された付近を押し、ｶﾁｯという音がしたら手を放してください。

④

ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋が開きます。

⑤

ｻﾝﾌﾟﾙを取出します。

⑥

ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口の蓋を、Push と表示された付近を押して閉め、ｶﾁｯという音がしたら手を放して
ください。

⑦

ｻﾝﾌﾟﾙ挿入口が閉じている事を確認して、画面の OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

9-7.次ｻﾝﾌﾟﾙの測定同じ条件で測定する場合は、ｻﾝﾌﾟﾙ名を書き換えて、ｻﾝﾌﾟﾙを入れ替えて測定（9-4～9-6 の操作）をしてください。
検量線を変える場合は、再度、校正および条件設定を行なってください。

17 / 24

9-8.陽極電圧、光量装置の初期化
装置立ち上げ後、長時間にわたり測定を続ける場合や温度、気圧の変動を伴う場合は、陽極電圧の再設定および光量装置の初期化を行ってください。
陽極電圧の再設定は測定(M)－陽極電圧設定(V)を実行すると自動的に行われます。約 5 分後に終了し、ﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが開きますので、OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。
光量装置の初期化は測定－光量装置の初期化(I) を実行すると自動的に行われます。約 5 分後に終了し、ﾒｯｾｰｼﾞﾎﾞｯｸｽが開きますので、OK ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてください。

9-9.測定ﾌｫｰﾑの終了
測定ﾌｫｰﾑがｱｸﾃｨﾌﾞの状態で、ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(C)により測定ﾌｫｰﾑを終了してください。

18 / 24

１０．ﾃﾞｰﾀの表示
ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰで表示したいﾃﾞｰﾀを開き、表示します。ﾀｽｸﾊﾞｰの「Data Manager」ﾎﾞﾀﾝをｸﾘｯｸしてﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰﾌｫｰﾑを表示してください。

10-1.ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰﾌｫｰﾑの説明
④
⑥
⑦

②

⑧

①
③

⑤
①ﾂﾘｰ
ﾌｫﾙﾀﾞをﾂﾘｰ状に表示します。
②ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰ
ﾃﾞｰﾀまたはﾌｫﾙﾀﾞを表示します。
③ﾘｽﾄﾃｰﾌﾞﾙ
ﾃﾞｰﾀの概略を表示します。
④ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
印刷やﾃﾞｰﾀの削除、ﾌｫﾙﾀﾞの作成、移動、名前の変更、などを行います。
⑤ﾀｽｸﾊﾞｰ
現在選択されているﾌｫﾙﾀﾞやﾃﾞｰﾀの名前を示したり、ﾌｫｰﾑの切り替えを行なったりします。
⑥検量線ﾃﾞｰﾀ
⑦検量線⑧膜厚･計数率ﾃﾞｰﾀ

19 / 24

10-2.ﾃﾞｰﾀ表示① ﾂﾘｰで表示したいﾃﾞｰﾀの入ったﾌｫｰﾑ［例）ﾃｽﾄ］を開いてください。次にﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰでﾃﾞｰﾀを選び、［例）ﾃｽﾄ 1，ﾃｽﾄ 2，ﾃｽﾄ 3 など］ﾌｧｲﾙ(F)－開く(O)を実行し、ﾃﾞｰﾀﾌｫｰﾑを開きます。
② ﾃｰﾌﾞﾙが表示されます。
③ 編集(E)－ｺﾋﾟｰ(C)により、ﾃﾞｰﾀをｸﾘｯﾌﾟﾎﾞｰﾄﾞに貼り付けて、Windows の他のｱﾌﾟﾘｹｰｼｮﾝで利用することができます。
④ ｱｸﾃｨﾌﾞの状態で、ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(C)を実行すると、ﾌｫｰﾑを閉じることができます。

10-3.膜厚③②①④① ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
ﾃﾞｰﾀのｺﾋﾟｰなどを行ないます。
② ﾃﾞｰﾀﾃｰﾌﾞﾙ
測定ﾃﾞｰﾀをﾃｰﾌﾞﾙとして表示します。
③ ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄ
ｸﾞﾗﾌの描画条件を入力する事ができます。
④ ﾀｽｸﾊﾞｰ
ｸﾞﾗﾌﾎﾞｯｸｽ上のﾏｳｽﾎﾟｲﾝﾀｰの座標を表示したり、ﾌｫｰﾑの切り替えを行なったりします。

20 / 24

10-4.検量線
①

②

③

④

⑤
⑥

① ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
ﾃﾞｰﾀのｺﾋﾟｰなどを行ないます。
② ｸﾞﾗﾌﾎﾞｯｸｽ
検量線ﾃﾞｰﾀをｸﾞﾗﾌとして表示します。ｸﾞﾗﾌの縦軸は膜厚(Thickness)、横軸は計数率の対数値(LogCR)です。
③ ﾎﾟｯﾌﾟｱｯﾌﾟﾒﾆｭｰ
検量線の回帰直線を引く時に用います。
ﾏｳｽﾎﾟｲﾝﾀｰがｸﾞﾗﾌ上に有るときに、右ｸﾘｯｸすると表示されます。
④

ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄ
ｸﾞﾗﾌの描画条件を入力する事ができます。

⑤

ﾃﾞｰﾀﾃｰﾌﾞﾙ
測定ﾃﾞｰﾀをﾃｰﾌﾞﾙとして表示します。

⑥

ﾀｽｸﾊﾞｰ
ｸﾞﾗﾌﾎﾞｯｸｽ上のﾏｳｽﾎﾟｲﾝﾀｰの座標を表示したり、ﾌｫｰﾑの切り替えを行なったりします。

21 / 24

10-5.検量線ﾃﾞｰﾀ

①

②

③

④
① ﾒﾆｭｰﾊﾞｰ
ﾃﾞｰﾀのｺﾋﾟｰなどを行ないます。
② ﾃﾞｰﾀﾃｰﾌﾞﾙ
測定ﾃﾞｰﾀをﾃｰﾌﾞﾙとして表示します。
③ ｺﾝﾄﾛｰﾙﾘｽﾄ
ｸﾞﾗﾌの描画条件を入力する事ができます。
④ ﾀｽｸﾊﾞｰ
ｸﾞﾗﾌﾎﾞｯｸｽ上のﾏｳｽﾎﾟｲﾝﾀｰの座標を表示したり、ﾌｫｰﾑの切り替えを行なったりします。

22 / 24

１１．印刷① ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰで印刷したいﾃﾞｰﾀ［例）ﾃｽﾄ］を選択してﾌｧｲﾙ(F)－印刷(P)を実行します。
② 印刷設定画面が表示されますので部数を設定後、OK をｸﾘｯｸしてください。
③ Print Preview ﾌｫｰﾑが表示されます。

④ 表示するｸﾞﾗﾌを確認した後、印刷(P)－印刷(G)を実行してください。

注意・ ﾃﾞｰﾀﾌｫｰﾑから直接印刷すると、直前に変更された条件が反映されない場合があります。
・ ﾃﾞｰﾀは OS で通常使うﾌﾟﾘﾝﾀに指定されたﾌﾟﾘﾝﾀでﾌﾟﾘﾝﾄｱｳﾄされます。

23 / 24

１２．終了① ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(X)を繰り返し、子ﾌｫｰﾑ（ﾒﾆｭｰ、測定、ﾃﾞｰﾀﾏﾈｰｼﾞｬｰなど）を全て閉じます。
② ﾌｧｲﾙ(F)－閉じる(X)でﾒｲﾝﾌｫｰﾑを閉じます。
③ LC1 の表面ﾊﾟﾈﾙの電源ｽｲｯﾁを OFF（０側）に切り替えてから、背面ﾊﾟﾈﾙのﾌﾞﾚｰｶｰを OFF にしてください。
④ 圧搾空気をﾎﾟﾝﾌﾟで供給している場合は、この電源を OFF にしてください。工場配管より供給している場合は供給元を遮断してください。
⑤ ﾐｽﾄｾﾊﾟﾚｰﾀに水がたまっている場合は、ﾄﾞﾚﾝｺｯｸを右へ回して、排出してください。排出後には、必ず、ﾄﾞﾚﾝｺｯｸを閉めてください。
⑥ Windows を終了し、ﾊﾟｿｺﾝ、ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ、ﾌﾟﾘﾝﾀを停止してください。

ﾄﾞﾚﾝｺｯｸ

24 / 24

ＡＣ－２－消耗部品交換方法－

目次

１．概要
…………………………………
２．注意…………………………………
３．本書の使い方 …………………………
４．検知器の交換方法 ……………………
５．ランプの交換方法 ……………………
６．光ファイバーの交換方法 ……………
７．空気配管系統の保守点検 ……………
８．オゾンフィルターの交換 ……………

1
1
1
2
5
7
9
10

付録

１． ミストセパレータ：AFM30 シリーズ（SMC 株式会社）
２． マイクロミストセパレータ：AFD20 シリーズ（SMC 株式会社）
３． メンブレンエアドライア：IDG5H-02-S（SMC 株式会社）
４． 圧力計：AR20 シリーズ（SMC 株式会社）

１．概要
本書には、AC-2 の消耗部品（検知器、ランプ、光ファイバー、空気配管系統のフィルタエレメ
ント、オゾンフィルター）の保守、交換方法が記載されています。

２．注意
本書は以下の事を前提として記載されています。
①AC-2 本体及びﾊﾟｰｿﾅﾙｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰは、正しく設置され、設定されている。
②AC-2 for Windows は、正しくｲﾝｽﾄｰﾙされている。
③使用者は、Windows の操作方法を把握している。

注意
・ 保守作業は、必ず、DC1 ユニット背面のブレーカーを OFF にして、1 時間以上たってから行ってください。ランプやその他の部分が高温になっており、やけどの危険性があります。
・ 乾燥空気発生器に供給されている圧搾空気を遮断し、ドレンコックを、一旦、あけて、圧力をぬいてから、作業を行ってください。
・ 作業時は、保護面、厚手の長袖シャツ、手袋などの保護具を着けてください。
・ 検知器の電子入射窓には触らないでください。
・ ランプの取付け方向や極性を守ってください。
・ ランプには強い衝撃を与えないでください。破損により、破裂する恐れがあります。
・ ランプには素手でさわらないでください。ガラスの表面に汚れがついたままで点灯すると、汚れの焼きつきにより、ガラスの強度が低下する恐れがあります。
・ 光ファイバーの端面には触らないでください。

３．本書の使い方
AC-2 の消耗部品（検知器、ランプ、光ファイバー、空気配管系統のフィルタエレメント、オ
ゾンフィルター）を保守、交換する際に、お読みください。

1 / 10４．検知器の交換方法
4-1.交換時期
AC－2 の検知器であるオープンカウンターは陽極が汚れると測定できなくなります。
「検知器に異常が発生しました。」と表示された場合や、検知効率が落ちる、ノイズが高い、測定値がばらつ
くなど検知器の劣化現象が発生した場合には交換してください。交換時期は使用頻度により異なりますが、目安は 1 年です。
交換した古いセンサは、オーバーホールにより再生できます。センサのオーバーホールは理研
計器にご用命ください。
4-2.形状、注意
ロック

検知器

コネクタ部

電子入射窓
接触厳禁

注意
・ 保守作業は、必ず、DC1 ユニット背面のブレーカーを OFF にしてから行ってください。感電の危険性があります。
・ 作業時は、厚手の長袖シャツ、手袋などの保護具を着けてください。
・ 検知器の電子入射窓には触らないでください。

2 / 104-3.交換方法
4-3-1.古い検知器の取り外し① 検知器のカバー、袋、保管箱を用意します。

検知器カバー

袋

保管箱（開いたところ）保管箱（閉じたところ）② AC-2DC1 ユニットの検知器点検口を開けます。
③ ケーブル類を取り外します。
④ ロックを解除します。
⑤ 検知器を上に引き上げるようにして取り外します。

ロック

本体に取付けられたケーブルとロックを検知器外された検知器

3 / 10検知器取外し後の本体

⑥ 検知器先端部にカバーをつけます。

カバー装着前の検知器先端部カバー装着後の検知器先端部⑦ 検知器を袋に入れ、保管箱に入れます。
4-3-2.新しい検知器の取り付け① 新しい検知器を保管箱および袋から出してください。
（箱および袋は捨てないで保管してください。）② 新しい検知器のカバーを外してください。
③ 検知器を AC-2DC1 ユニットに取り付けます。
④ ロックします。
⑤ ケーブルを取り付けます。

4 / 10５．ランプの交換方法
5-1.交換時期
ランプ切れ、または、点灯状態が不安定になったら交換してください。寿命は 1500 時間です。
5-2.形状紫外線放射部

コネクタ

D2 ランプ注意・ 保守作業は、必ず、DC1 ユニット背面のブレーカーを OFF にして、1 時間以上たってから行ってください。ランプやその他の部分が高温になっており、やけどの危険性があります。
・ ランプの取付け方向や極性を守ってください。
・ ランプには強い衝撃を与えないでください。破損により、破裂する恐れがあります。
・ ランプを取り扱う時は、保護面、厚手の長袖シャツ、手袋などの保護具を着けてください。
・ ランプには素手でさわならないでください。ガラスの表面に汚れがついたままで点灯すると、汚れの焼きつきにより、ガラスの強度が低下する恐れがあります。
・ ランプを点灯する時は、必ず、ランプハウスにカバーを取付け、さらに、ランプ点検口を閉じてください。
・ ランプの点灯確認などのために、通電中にランプ点検口を開けるときは、必ず、紫外線保護面、厚手の長袖シャツ、手袋などの保護具などを着けて紫外線を浴びないようにしてください。また、この時、ランプハウスには、触れないようにしてください。

5 / 105-3.D2 ランプの交換① ランプ点検口を開けてください。
② ランプハウスのロックを取り外し、取っ手を持ってカバーを引き上げ、取り外します。

ロック

コネクタ

ガイドネジ

取っ手

③ コネクタを取り外します。
④ ドライバーを用いて 3 箇所のガイドネジを 3 回転ずつまわして緩めてください。
⑤ ランプをねじって、古い D2 ランプを取り外します。
⑥ 新しいランプを取り出します。
⑦ 新しいランプを取り付け、ガイドネジをしめます。
⑧ コネクタを取り付けます。

6 / 10６．光ファイバーの交換方法
6-1.交換時期測定に使用する光量が得られなくなったら、交換してください。交換時期は、使用頻度、および、使用光量により異なりますが、目安は 1 年です。
6-2.形状
ガイドピン

先端部

DC1 側アタッチメント(接触厳禁)
ガイドホールLC1 側アタッチメント
光ファイバー

ガイド溝
ガイドピンLC1 光ファイバー接続口

DC1 光ファイバー接続口

注意
・ 保守作業は、必ず、DC1 ユニット背面のブレーカーを OFF にしてから行ってください。
・ 取付け、取外しの時は、厚手の長袖シャツ、手袋などの保護具を着けてください。
・ 光ファイバーの端面には触らないでください。

7 / 106-3.交換手順
6-3-1.古いファイバーの取り外し① AC-2DC1 ユニットと AC－2LC1 ユニットの間隔を約 25 cm あけてください。
② AC-2DC1 ユニットの光ファイバー接続口のカバーを取り、キャップネジを外し、ファイバーを抜き取ってください。
キャップネジカバー③ AC-2LC1 ユニットの光ファイバー接続口のカバーを取り、キャップネジを外し、ファイバーを抜き取ってください。
キャップネジカバー

6-3-2.新しいファイバーの取り付け① 光ファイバーの AC-2DC ユニット側の保護キャップを取り外してください。
② AC-2DC1 ユニットの光ファイバー接続口に差込み、キャップネジを取り付けてください。この時、ガイドピンがガイド溝に入るようにしてください。
③ 光ファイバーの AC-2LC1 ユニット側の保護キャップを取り外してください。
④ AC-2LC1 ユニットの光ファイバー接続口に、ガイドピンとガイド穴を合わせて取り付けて、キャップネジで固定してください。

8 / 10７．空気配管系統の保守点検
7-1.保守時期
ミストセパレータ、および、マイクロミストセパレータ内のフィルタエレメントは、使用頻度にもよりますが、2 年、または、圧力降下 0.1 MPa に達した場合保守作業を行ってください。メン
プレンエアドライアは、除湿機能が失われ、露点チェッカが使用中も青色にならなくなったら交換してください。
7-2.配管系統の説明
AC-2DC1 ユニットの右側側面に位置し、ユニット背面より供給された圧搾空気を乾燥させて検知器に供給します。
a

b
a

a

b

c

a
f

AC-2DC1 ユニット右側面
a:二次圧確認用圧力計
ストセパレータ

b:露点チェッカ

ed

側面蓋をあけたところ
c:ミストセパレータ

d:ドレンコックe:マイクロミ

f:メンブレンエアドライア

注意・ 保守作業は、必ず、DC1 ユニット背面のブレーカーを OFF にしてから行ってください。
・ 乾燥空気発生器に供給されている圧搾空気を遮断し、ﾄﾞﾚﾝｺｯｸをあけて、圧力をぬいてから、作業を行ってください。
・ 作業中は、保護面、厚手の長袖シャツ、手袋などの保護具を着けてください。

7-3.配管系統の保守それぞれ付録の取扱説明書をご参照ください。
① ミストセパレータ：AFM30 シリーズ（SMC 株式会社）② マイクロミストセパレータ：AFD20 シリーズ（SMC 株式会社）③ メンブレンエアドライア：IDG5H-02-S（SMC 株式会社）④ 圧力計：AR20 シリーズ（SMC 株式会社）

9 / 10８．オゾンフィルターの交換
8-1.オゾンフィルターの説明/交換時期
オゾンフィルターにはランプから放射される紫外線により生成されるオゾンをかい離分解する活性炭が入っています。使用環境によっては、活性炭に埃などが付着し、詰まることがありますので、この場合は、オゾンフィルターを交換してください。また、5 年を目安にオゾンフィルターを交換してください。
固定ネジ

オゾンフィルター

カバー

活性炭

フォルダー

8-2.交換方法
古いフィルターを AC-2 本体から取り外し、新しいオゾンフィルターを AC-2 本体に取り付けます。

10 / 10