Gebrauchsanleitung
inkl. EU-Konformitätserklärung

Penning Gauge
PEG100tina14d1-a(2017-12)1

Produktidentifikation

Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen
Sie deshalb diese Angabe ein.

Gültigkeit

Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern
351-000(PEG100,
DN 25 ISO-KF)
351-002(PEG100,
DN 40 CF-F)
Sie finden die Artikelnummer (No:) auf dem Typenschild.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.
Alle Maßangaben in mm.
Abbildungshinweise z. B. (4/1) geben mit der ersten Ziffer die Abbildungsnummer
an und mit der zweiten Ziffer die Position in dieser Abbildung.

Bestimmungsgemäßer
Gebrauch

Das Penning Gauge PEG100 erlaubt die Vakuummessung von Gasen im Bereich-9-2
von 1×10 bis 1×10 mbar.

Beschreibung

Das Penning Gauge PEG100 ist ein aktiver kompakter Druckmessumformer, indem ein Penning-Messsystem sowie die dazugehörige Betriebselektronik untergebracht ist. Er eignet sich besonders zur Integration in Anlagen und bietet einen
Messbereich von 1×10-9 bis 1×10-2 mbar.
Der Anschluss an die Anlage erfolgt direkt über den Messflansch DN 25 KF bzw.
DN 40 KF.
Der elektrische Anschluss erfolgt über eine abgeschirmte 8-polige FCC 68 Steckverbindung.

Auspacken und Prüfen

Das PEG100 unmittelbar nach Empfang auspacken, auch wenn die Inbetriebnahme erst zu einem späteren Zeitpunkt erfolgt.
Transportverpackung auf äußere Schäden untersuchen.
Verpackungsmaterial vollständig entfernen.
Für eventuelle Schadensersatzforderungen den Transportbehälter und das Verpackungsmaterial aufbewahren.
Das PEG100 auf Vollständigkeit prüfen und einer sorgfältigen Sichtprüfung
unterziehen.
Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eine Schadensmeldung an
den Spediteur und den Versicherer zu leiten. Falls es notwendig ist, das beschädigte Teil zu ersetzen, bitte mit der Auftragsabteilung in Verbindung setzen.

2

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

Aufbau und Funktion

Ausgehend von der 24 V Versorgungsspannung erzeugt das PEG100 die zum Betrieb des integrierten Penning-Messsystems erforderliche Betriebsspannung. Das
PEG100 liefert ein logarithmisches Abbild des Vakuumdruckes als Spannungssignal 0.66 bis 10 V. Ferner kann die im PEG100 erzeugte Hochspannung übereine externe Steuerspannung oder über einen externen Kontakt ein- oder ausgeschaltet werden.
Beim Zünden der Gasentladung im Penning-Messsystem beträgt die Betriebsspannung 2.8 kV. Sie wird nach erfolgter Zündung auf 1.6 kV reduziert, um eine möglichst lange Betriebsdauer des Penning-Messsystems zu erreichen.
Ein Status-Ausgang signalisiert die zwei möglichen Zustände des Penning-Messsystems
1. nicht gezündet (inkl. HV-AUS) und
2. gezündet (und Druck >3×10-9 mbar).
Durch die spezielle Gestaltung der Elektroden im Messsystem wird ein verbessertes Zündverhalten im Hochvakuumbereich erreicht.

Lieferumfang

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga•

Penning Gauge•

Ersatz-Katodenblech aus Titan•

Ersatz-Keramikscheibe•

Gebrauchsanleitungen3

Inhalt
Produktidentifikation
Gültigkeit
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Beschreibung
Auspacken und Prüfen
Aufbau und Funktion
Lieferumfang

2
2
2
2
2
3
3

1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und Gewährleistung

5
5
5
5
5

2 Technische Daten

6

3 Installation
3.1 Montage
3.2 Elektrischer Anschluss
3.2.1 Spannungsversorgung
3.2.2 Hochspannungs-Einschaltung
3.2.3 Messsignalausgang
3.2.4 Statusausgang
3.2.5 Kodierung

8
8
8
10
10
10
11
11

4 Bedienung
4.1 Betrieb
4.2 Messsystem Statuserkennung
4.3 Ausheizen

12
12
13
13

5 Wartung
5.1 Die Elektronikeinheit
5.2 Reinigen des Sensors
5.2.1 Abziehen der Elektronikeinheit
5.2.2 Zerlegen des Sensors
5.2.3 Reinigung der Einzelteile
5.2.4 Zusammenbau des Sensors
5.2.5 Montage der Elektronikeinheit

14
14
14
14
15
15
15
15

6 Fehlersuche

16

7 Verschleiß-, Originalteile

17

8 Zubehör

17

9 Produkt zurücksenden

18

10

18

Produkt entsorgen

Anhang
A: Ausgangsspannung vs. Druck
B: Anschlussbeispiele

19
19
20

EU-Konformitätserklärung

21

Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→  XY) verwendet.

4

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
Darstellung von Restgefahren

GEFAHR
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art.

WARNUNG
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden.

Vorsicht
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungenoder geringfügigen Sachschäden führen.

Hinweis

1.2 Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen
ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen undüber die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechendgeschult worden sind.

1.3 Grundlegende
Sicherheitsvermerke•

Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmaßnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen (→  6) und
Prozessmedien.

•

Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen Vorschriften undEinhaltung der Schutzmaßnahmen zulässig. Beachten Sie zudem die in diesem
Dokument angegebenen Sicherheitsvermerke.

•

Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen
Vorschriften und halten Sie die Schutzmaßnahmen ein.

Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter.

1.4 Verantwortung undGewährleistungtina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiberoder Drittpersonen• dieses Dokument missachten• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen usw.) vornehmen• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.

5

2 Technische Daten
Allgemeine Daten

Messbereich
Messunsicherheit im Bereich
Kennlinienabweichungmittlerer Temperaturkoeffizient der
Ausgangsspanne
Wiederholbarkeit
Messprinzip
Versorgungsspannung
Brummspannung
Leistungsaufnahme
Schutzart
Entflammbarkeit
Statusanzeigen
Betriebsanzeige (POWER)
Messbereitschaft (gezündet) READY

1×10-9 bis 1×10-2 mbar / Torr
-8
-4
1×10 bis 1×10 mbar
±30 % vom angezeigten Wert
<0.5 % / K vom angezeigten Wert
<4 % vom angezeigten Wert
Kaltkathode nach Penning
14.5 bis 36 V (dc); typ. 24 V (dc)
2 Vss
<2 W
IP 40
UL 94 - V 2
LED orange
LED grün

Messsystem

Messsystem
Vakuumanschluss
Ausheiztemperatur
Inneres Volumen
Medienberührende Werkstoffe

abnehmbar
DN 25 KF bzw. DN 40 CF
siehe Abschnitt 4.3
3
ca. 21 cm
Edelstahl; CrNi; AL2O3-Keramik;
NiFe; Ni; TitanÜberdruckfestigkeit der Zelle≤10 bar abs.
(die Grenzwerte der Flanschverbindungen sind zu beachten)
Betriebsspannung
1.6 kV (begrenzt auf <0.5 mA)
Zündspannung
2.8 kV (begrenzt auf < 0.5 mA)

Signalausgang

Signalausgang
Zulässiger LastwiderstandMesssignal
logarithmische Teilung
Statussignal ("nicht gezündet")

Steuereingänge

Eingangswiderstände
RE : ca. 10 kΩ
Hochspannungseinschaltung mit negativer
Logik an Pin 7:
Hochspannung EIN
bei U <2.5 V
Hochspannung AUS
bei U >4 V
oder
Hochspannungseinschaltung mit positiver
Logik an Pin 8:
Hochspannung EIN
bei U >12 V
Hochspannung AUS
bei U <7 V
(siehe hierzu auch Abb. 3 und Abschnitt 3.2.2)

Statusausgang

Messbereitschaft
Fehler (nicht gezündet, HV aus)

0 bis 10.6 V
Ra ≥ 10 kΩ
0.66 bis 10.0 V
1.333 V / Dekade
0.4 V

High-Pegel (13.5 bis 35 V,
max. 50 mA)
0V

Siehe hierzu auch Abschnitt 3.2.4.

6

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

Abmessungen [mm], Gewicht

Abb. 1 Maßzeichnung

Umgebungsbedingungen

Gewicht

ca. 500 g

Lagertemperatur
Klimaklasse KWF
Betriebstemperatur
max. rel. Luftfeuchte (an 30 Tagen pro
Jahr, nicht kondensierend)–20 °C bis +70 °C
nach DIN 40040
10 °C bis 50 °C

1)
2)

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

-2

-9

-2

-7

70 %1) bzw. 95 %2)

nutzbarer Messbereich 10 bis 10 mbar
nutzbarer Messbereich 10 bis 10 mbar

7

3 Installation
3.1 Montage

Prüfen Sie bitte an Hand der technischen Daten, ob die Messröhre für Ihre Applikation geeignet ist.
Das Penning Gauge PEG100 sollte vorzugsweise mit dem Flansch nach unten
montiert werden. Eine geneigte Montage, maximal horizontal, ist möglich.
Nicht gestattet ist eine hängende Montage, da sich dann Kondensate im PEG100
sammeln können. Dadurch wird die Messung beeinflusst und eventuell der Sensor
beschädigt.
Das PEG100 besitzt einen Anschlussflansch DN 25 KF oder DN 40 CF. Der Anschlussflansch DN 25 KF wird mittels Zentrierring und Spannring an den Anschlussflansch der Apparatur angeschlossen.
Das Kathodenblech (7/5) dient gleichzeitig als Dampfsperre.

3.2 Elektrischer Anschluss

Die Einspeisung der Versorgungsspannung und des Hochspannungs-Schaltsignals sowie die Ausgabe des Messsignals als Spannungssignal erfolgt über die
8-polige FCC 68-Steckbuchse.

Abb. 2 Anschlussbuchse
Die Pin-Belegung ist in Abbildung 2 angegeben.
Pin

Belegung

Pin 1
Pin 2

Versorgung 14.5 V bis 36 V (dc)Versorgung 0 V; für Versorgungs- und Steuersignalmasse verwenden
Druckabhängiger, logarithmischer Signalausgang
Kodierung "PEG100" (100 kΩ)
Signalmasse (nur für Druckmesssignal verwenden)
Status (Messbereitschaft)
Hochspannung "EIN / AUS" (Steuereingang)
Low aktiv
Hochspannung "EIN / AUS" (Steuereingang)
High aktiv

Pin 3
Pin 4
Pin 5
Pin 6
Pin 7
Pin 8

Bezeichnung auf
derGeräterückseite+24 V (dc)
COMMONSIGN 0 - 10 V
IDENT
SIGN COMSTATUS
HV ON (L)HV ON (H)Die Signalmasse Pin 5 und die Versorgungsmasse Pin 2 sind intern verbunden.
Siehe hierzu auch das Funktionsschema in Abbildung 3.

8

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

Zwei Anschlussbeispiele sind im Anhang B dargestellt.

Abb. 3 Funktionsschema

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

9

3.2.1 Spannungsversorgung
GEFAHR
Das PEG100 darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen
werden, die den Anforderungen einer Funktionskleinspannung mit
sicherer Trennung (PELV) und VDE 0100 erfüllen.
Das PEG100 arbeitet in einem weiten Versorgungsspannungsbereich von 14.5 V
bis 36 V. Empfohlen wird eine Versorgungsspannung von 24 V (dc).
Die Spannungsversorgung ist an Pin 1 (+) und an Pin 2 (Versorgungsmasse) anzuschließen.

3.2.2 HochspannungsEinschaltung

Die Hochspannung kann wahlweise an Pin 7 über negative Logik oder an Pin 8über positive Logik eingeschaltet werden.
Als Bezugsmasse ist jeweils Pin 2 zu benutzen.
Pin 7 schaltet die Hochspannung ein, wenn•ein Kontakt zu Pin 2 hergestellt wird oder•eine Spannung von weniger als 2.5 V gegen Pin 2 anliegt.

Pin 7 schaltet die Hochspannung aus, wenn•keine Verbindung zu Pin 2 besteht (Eingang offen) oder•eine Spannung von mehr als 4 V gegen Pin 2 anliegt.

Pin 8 schaltet die Hochspannung ein, wenn•ein Kontakt zu Pin 1 (Versorgungsspannung) hergestellt wird oder•eine Spannung von mehr als 12 V gegen Pin 2 anliegt.

Pin 8 schaltet die Hochspannung aus, wenn•keine Verbindung zu Pin 1 besteht (Eingang offen) oder•eine Spannung von weniger als 7 V gegen Pin 2 anliegt.

Der Betrieb des PEG100 im Druckbereich oberhalb von 10-2 mbar führt zu erhöhter
Verschmutzung und somit verkürzter Lebensdauer. Deshalb sollte die Hochspannung bei einem Druck im Bereich zwischen 10-2 mbar und 10-3 mbar ein bzw. ausgeschaltet werden.
Die Hochspannung kann auch direkt vom Ausgangssignal des Pirani Standard
Gauge mit Schaltpunkt (z. B. PSG500-S) ein bzw. ausgeschaltet werden. Dadurch-3
wird das PEG100 automatisch bei einem Druck von ca. 5×10 mbar ein- bzw.
ausgeschaltet.

3.2.3 Messsignalausgang

10

Das PEG100 liefert ein definiertes Messsignal von 0.66 V bis 10 V, welches an
Pin 3 bezogen auf Signalmasse Pin 5 anliegt. Siehe hierzu auch Tabelle 1 imAnhang A.
Die Tabelle 1 verdeutlicht den Zusammenhang zwischen Spannung am Messsignalausgang und dem Druck.
Das Messsignal des PEG100 ist gasartabhängig. Die in Tabelle 1 genannten
Werte gelten für Stickstoff und Luft. Für andere Gasarten sind entsprechende
Korrekturfaktoren notwendig und auf Anfrage erhältlich.

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

3.2.4 Statusausgang

Die Messbereitschaft wird über den Statusausgang gemeldet.
Zustand

Statussignal Pin 6 (gegen Pin 2)

Hochspannung AUS
Hochspannung EIN(noch nicht gezündet)
Hochspannung EIN-9bei p < 3×10 mbar
Hochspannung EIN-9bei p > 3×10 mbar

0V
0V
0V
High (13,5 - 32 V abhängig vonder Versorgungsspannung)(max. 50 mA)

Bei Druckunterschreitung p < 3×10-9 mbar bleibt das Statussignal auf HIGH-Pegel.

3.2.5 Kodierungtina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

Zur Identifikation der angeschlossenen Messröhre und des Druckbereiches ist das
PEG100 mit einem Kodierwiderstand (R = 100 kΩ) zwischen Pin 4 und Pin 2 ausgestattet, der bei Anschluss an Betriebsgeräte bzw. Steuereinrichtungen ausgewertet werden kann.

11

4 Bedienun
B
ng
GEFAH
HR
Im PEG100 wird eine am Sens
sor berührunggsungefährliche Hochspannun
ng erzeugt. In jedem Fall mu
uss bei Arbeiteen am PEG1000 (auchbeim
m Abnehmen vom Anschlus
ssflansch) gruundsätzlich diee Versorgun
ngsspannung abgeschaltet werden,w
um F
Folgeschäden bei Berühren
derr Hochspannung zu vermeid
den.

Erläuterrungen zu Abb
b. 6:
1 LED
D "POWER" (oorange)2 LED
D "READY" (grrün)

Abb.
A
6 Vordera
ansicht PEG100

4.1 Betrieb
B

24
4 V Versorgun
ng in das PEG
G100 einspeisen. Die orangee LED "POWE
ER" (6/1)
leeuchtet auf.
ÜberÜ
den Einga
ang Hochspannnung "EIN / AUS"A
die Hochhspannung einnschalten.
SieheS
Abschnittt 3.2.2.
NachN
erfolgter Zündung der Röhre, bei ein
nem Druck >3×
×10-9 mbar leu
uchtet dannzu
usätzlich die ggrüne Leuchtd
diode READY (6/2) auf.
Das
D Messsyste
em ist jetzt bettriebsbereit.

Keine
K
LED leeuchtet•Betriebsspa
annung fehlt.

 Messsignal 0 V

Nur
N orange L
LED (6/1) leu
uchtet•annung liegt an.
a
Betriebsspa•

Hochspannnung nicht aktiviert.

 Messsignal 0 V

GrüneGLED (66/2) leuchtett,orangeo
LED (6/1) leuchte
et.

•annung liegt an.
a
Betriebsspa•

Hochspannnung ist aktivie
ert.

•

Gasentladu
ung ist gezünd
det.

•Druck ist grrößer als 3×10
0-9 mbar Messsignal 0.66 V

12

tina144d1-a(2017-12)

PEG100.g
ga

4.2 Messsystem
Statuserkennung

Beim Penning-Messverfahren lässt sich ausschließlich im Messbetrieb auf die
störungsfreie Funktion - d.h. bestehende Gasentladung - schließen.
Die störungsfreie Funktion (LED "READY" (6/2) leuchtet; Statusausgang HIGH) ist
dadurch gekennzeichnet, dass ab einem Druck von ca. 3×10-9 mbar bis zur Mess-2
bereichsgrenze von 1×10 mbar ein druckabhängiges Messsignal vorhanden ist.
Bei Unterschreitung von 3×10-9 mbar bleibt dieser Status ebenfalls erhalten.
Wenn die LED „READY“ (6/2) nicht leuchtet, Statusausgang 0 V:

4.3 Ausheizen

Ursache 1:

Bei Einschalten der Hochspannung ist der Druck p <3×10-9 mbar.

Ursache 2:

Keine Zündung der Gasentladung trotz Betriebsspannung ein, Hochspannung ein, und einem Druck zwischen ca. 3×10-9 mbar und-2
1×10 mbar.

WARNUNG
Vor dem Ausheizen der Messzelle muss die Elektronikeinheit unbedingt von der Messzelle abgezogen werden. Die Elektronikeinheit
kann bei Temperaturen von mehr als 70 °C zerstört werden.
Voraussetzung für die Ausheizbarkeit ist die Verwendung einer Ultradichtscheibe (beim PEG100, DN 25 KF) oder eines Kupferdichtrings(beim PEG100, DN 40 KF) als Flanschdichtung.
Die PEG100 ist mit Messzellen in Ganzmetallausführung ausgestattet, so dassdurch Polymerdichtungen verursachte Gasabgabe nicht auftritt.
Die Gasabgabe der Metalloberflächen kann nach Abziehen der Elektronik (siehe
Abschnitt 5.2.1) durch Ausheizen der Messzelle reduziert werden, wodurch im
Druckbereich unterhalb 1×10-6 mbar die Anzeigegenauigkeit verbessert wird.
Bei überwiegendem Einsatz im UHV-Bereich (< 10-8 mbar) wird empfohlen, das
Kathodenblech zu entfernen. Dadurch werden die gasabgebenden Oberflächen
reduziert.
Die Vorgehensweise beim Abziehen der Elektronikeinheit wird unter Punkt 5.2(Reinigen des Sensors) erläutert.
Zulässige Ausheiztemperaturen:
Messzelle PEG100 (DN 25 KF)
Messzelle PEG100 (DN 40 CF)

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

150 °C (mit Ultradichtscheibe)
350 °C13

5 Wartung

GEFAHRGEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der
Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf
Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen
erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug
benutzen.

5.1 Die Elektronikeinheit

Die Elektronikeinheit im PEG100 ist wartungsfrei.

5.2 Reinigen des Sensors
GEFAHRIm PEG100 wird eine am Sensor berührungsungefährliche Hochspannung erzeugt. In jedem Fall muss bei Arbeiten am PEG100 (auchbeim Abnehmen vom Anschlussflansch) grundsätzlich die Versorgungsspannung abgeschaltet werden, um Folgeschäden bei Berühren
der Hochspannung zu vermeiden.

5.2.1 Abziehen der
Elektronikeinheit

Zum Abziehen der Elektronikeinheit und des Magnetsystems (7/1) müssen die
beiden Kreuzschlitz-Schrauben, die durch zwei Löcher in der Rückwand desPEG100 zugänglich sind, etwa 1.5 Umdrehungen gelockert werden.
Danach kann die Elektronikeinheit und das Magnetsystem (7/1) vom Sensorgehäuse abgezogen werden.

Das Magnetsystem (7/1) kann beim Abziehen herunterfallen.

14

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

5.2.2 Zerle
egen des Sensors
S

Der Sennsor besteht aus
a dem Vakuumgehäuse, ddem Anodenring (7/4) mit Zündhilfe(7/2) un d dem Kathod
denblech (7/5)). Siehe Abbilddung 7.
Vorgeheensweise zur Demontage:
1) Das Kathodenblec
ch (7/5) mit einer Pinzette aaus dem Sensor herausziehhen.
(
mit einer Zange aus deem Gehäuse herausziehen,h, dabei2) Den Anodenring (7/4)
die Z
Zange leicht hinh und her drrehen.
3) Die K
Keramikscheibe (7/3) von derd Stromdurcchführung abneehmen.

Erläuteru
ungen zu Abb.. 7:
1 Magnnetsystem
2 Zündhilfe
mikscheibe
3 Keram
4 Anodenring
5 Kathoodenblech
6 Sensorgehäuse miit
sch
Flans

Abb. 7 Sensoransichht

5.2.3 Rein
nigung der Einzelteilee
Die Dichtfläächen des Vakuumflanschees dürfen nicht beschädigt werden.
w
Der Inneenraum des Gehäuses
G
kann bei starker V
Verschmutzun
ng mit Stahlwo
olle o.ä.
gereinig
gt werden, ans
schließend mitt Alkohol nachhreinigen und mit ölfreier Pressluft
oder Sti ckstoff ausbla
asen. Durch daas Ausblasen werden eventtuell vorhandeeneFlitterteiilchen aus demm Gehäuse en
ntfernt.
Das Katthodenblech (7/5) sollte, we
enn möglich, ggegen ein neues ausgetausccht
werden,, ebenso der AnodenringA(7/4) mit der Zü ndhilfe (7/2) undu die Keram
mikSchutzsscheibe, die diie Stromdurchführung vor V
Verschmutzungg schützt.

5.2.4 Zusa
ammenbau
u des
Sens
sors

Der Zussammenbau des Sensors errfolgt sinngem
mäß in umgeke
ehrter Reihenffolge
wie die Demontage unter Punkt 5.2
2.2.
A(7/4) muss unbbedingt darauff geachtet werrden,
Beim Ei nsetzen des Anodenrings
e beiden Flüge
el der Zündhilffe (7/2) 1 mm Abstand von der Gehäusew
wanddass diehaben uund der Anodeenring auf der Keramikscheiibe (7/3) auflie
egt.
Das Katthodenblech (7/5) darf beimm Einschieben in das Gehäu
use die Flügel derZündhilffe (7/2) nicht verbiegen,v
dah
her langsam uund vorsichtig einschieben.

5.2.5 Monntage derElekktronikeinh
heitVorgeheensweise:
1) Maggnetsystem au
uf den Sensor aufsetzen.
2) Elekktronikeinheit überüdas Magnetsystem undd den Sensor aufschieben, wennnötig
g leicht drehenn, bis die richtige Orientieruung Elektronik / Sensor gefu
undenist. BBei richtig aufg
geschobener ElektronikE
ist ddas schwarze Magnetgehäu
use
vollsständig in das Gehäuse dess PEG100 einggetaucht.
3) Kreuuzschlitzschra
auben in der Rückwand
Rder Messröhre wieder anziehenn.

tina14d1-a(2017-12)

PEG
G100.ga15

6 Fehlersuche
Störung16

Mögliche Ursache

Beseitigung

Keine LED leuchtet.

Betriebsspannung fehlt.

LED "POWER" (6/1)
leuchtet; LED "READY"(6/2) leuchtet nicht.

Hochspannung nicht aktiviert.
-9
Druck < ca. 3×10 mbar.
Zündung der Gasentladung
nicht erfolgt.
Messsystem nicht korrekt mit
der Elektronik verbunden(z. B. nach Wartung).
Anodenring fehlt (z. B. nach
Wartung).

Das Messsignal ist immer größer als 10 V, obwohl der Druck wesentlich kleiner als 10-2 mbar
ist.

Kurzschluss in der Messzelle.

Messzelle reinigen.
Siehe hierzu auch
Abschnitt 5.2.

Verschmutzung innerhalb der
Messzelle.

Messzelletauschen.

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

7 Verschleiß-, Originalteile
Bestellen Sie Ersatzteile immer mit:•

allen Angaben gemäß Typenschild•

Beschreibung und Bestellnummer gemäß Ersatzteilliste
Bestellnummer

Ersatzeilsatz bestehend aus:
Katodenblech aus Titan (5 Stück)
Keramikscheibe (5 Stück)
Einstell-Lehre

351-490

Anode komplett mit Zündblech

351-499

Sensor (DN 25 KF),
komplett mit Magnetsystem (PEG050)

399-510

8 Zubehör
Bestellnummer
Anschlussleitung mit 2 FCC 68-Steckern, abgeschirmt

Pirani Standard Gauge

Für Überdruck und
Ausheizbetrieb:

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

PSG500-S (DN 16 ISO-KF)
PSG500-S (DN 16 CF-R)

3m
5m
10 m
15 m
20 m
30 m

398-500
398-501398-502398-503398-504398-505350-080
350-082

Spannring DN 20 / 25 KF

211-002

Zentrierring DN 25 KF (Al)211-061

Bestellnummer
Ultradichtscheiben (3 Stück)

211-168

Spannring für Ultradichtscheiben

211-00917

9 Produkt zurücksenden

WARNUNGWARNUNG: Versand kontaminierter Produkte
Kontaminierte Produkte (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologischusw.) können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von Schadstoffen
sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beilegen(Formular unter www.inficon.com).
Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.

10 Produkt entsorgen

GEFAHRGEFAHR: Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle
Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

WARNUNGWARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten,
Betriebsmittel usw.) können Umweltschäden verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäß den örtlichen Vorschriften entsorgen.

Unterteilen der Bauteile

18

Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in folgende Kategorien zu unterteilen:

Kontaminierte Bauteile

Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch usw.) müssen
entsprechend den länderspezifischen Vorschriften dekontaminiert, entsprechend
ihrer Materialart getrennt und entsorgt werden.

Nicht kontaminierte Bauteile

Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen und der Wiederverwertung zuzuführen.

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

AnhangA:

tina14d1-a

Ausgangsspannung vs.
Druck(2017-12)

PEG100.ga(U = 0.4 V; "nicht gezündet")
U (Out) Druck[V][mbar]U Out)[V]

Druck[mbar]U (Out) Druck[V][mbar]U (Out)[V]

Druck[mbar]

0,667

1,00E-09

3,4

1,12E-07

6

1,00E-05

8,6

8,91E-04

0,8

1,26E-09

3,5

1,33E-07

6,1

1,19E-05

8,7

1,06E-03

1

1,78E-09

3,6

1,59E-07

6,2

1,41E-05

8,8

1,26E-03

1,1

2,11E-09

3,7

1,88E-07

6,3

1,68E-05

8,9

1,50E-03

1,2

2,51E-09

3,8

2,24E-07

6,4

2,00E-05

9

1,78E-03

1,3

2,99E-09

3,9

2,66E-07

6,5

2,37E-05

9,1

2,11E-03

1,4

3,55E-09

4

3,16E-07

6,6

2,82E-05

9,2

2,51E-03

1,5

4,22E-09

4,1

3,76E-07

6,7

3,35E-05

9,3

2,99E-03

1,6

5,01E-09

4,2

4,47E-07

6,8

3,98E-05

9,4

3,55E-03

1,7

5,96E-09

4,3

5,31E-07

6,9

4,73E-05

9,5

4,22E-03

1,8

7,08E-09

4,4

6,31E-07

7

5,62E-05

9,6

5,01E-03

1,9

8,41E-09

4,5

7,50E-07

7,1

6,68E-05

9,7

5,96E-03

2

1,00E-08

4,6

8,91E-07

7,2

7,94E-05

9,8

7,08E-03

2,1

1,19E-08

4,7

1,06E-06

7,3

9,44E-05

9,9

8,41E-03

2,2

1,41E-08

4,8

1,26E-06

7,4

1,12E-04

10

1,00E-02

2,3

1,68E-08

4,9

1,50E-06

7,5

1,33E-04

2,4

2,00E-08

5

1,78E-06

7,6

1,59E-04

2,5

2,37E-08

5,1

2,11E-06

7,7

1,88E-04

2,6

2,82E-08

5,2

2,51E-06

7,8

2,24E-04

2,7

3,35E-08

5,3

2,99E-06

7,9

2,66E-04

2,8

3,98E-08

5,4

3,55E-06

8

3,16E-04

2,9

4,73E-08

5,5

4,22E-06

8,1

3,76E-04

3

5,62E-08

5,6

5,01E-06

8,2

4,47E-04

3,1

6,68E-08

5,7

5,96E-06

8,3

5,31E-04

3,2

7,94E-08

5,8

7,08E-06

8,4

6,31E-04

3,3

9,44E-08

5,9

8,41E-06

8,5

7,50E-04

19

B:

Anschlussbeispiele

Anschlussbeispiel PEG100: HV-Schaltung über externen Schalter / Kontakt

Anschlussbeispiel PEG100: Automatische HV-Schaltung über Pirani Standard Gauge mit Schaltkontakt

20

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

EU-Konformitätserklärung
Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt die Konformität zu
folgender Richtlinie:••

Produkt

2014/30/EU, Abl. L 96/79, 29.3.2014.
(EMV-Richtlinie; Richtlinie über die elektromagnetische Verträglichkeit)

2011/65/EU, Abl. L 174/88, 1.7.2011.
(RoHS-Richtlinie; Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe in
Elektro- und Elektronikgeräten)Penning Gauge
PEG100Artikelnummern

351-000
351-002

NormenHarmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen:•

EN 61000-6-2:2005•

EN 61000-6-3:2007 + A1:2011•

EN 61010-1:2010•

Hersteller / Unterschriftentina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga(EMV Störfestigkeit)(EMV Störaussendung)(Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess- und Steuereinrichtungen)

EN 61326-1:2013; Gruppe 1, Klasse B(EMV-Anforderungen für elektrische Mess- und

Steuereinrichtungen)

INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers
6. Dezember 2017

6. Dezember

Dr. Bernhard Andreaus
Director Product Evolution

Markus Truniger
Product Manager

21

Notizen22

tina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

Notizentina14d1-a(2017-12)

PEG100.ga

23Original: Deutsch tina14d1-a (2017-12)t i na14d1- a

LI–9496 Balzers
LiechtensteinTel +423 / 388 3111
Fax +423 / 388 3700
reachus@inficon.com
www.inficon.com