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ACCURACY

THROUGHPUT

Finden Sie Ihre Positionierlösung
HOCHPRÄZISE BEWEGUNGSSYSTEMEW W W. P I . D E / L A S E R - M E S S EImmer die passende Lösung für Ihre Anwendung
Bewegungs- und Positioniersysteme von PI

In der Industrieautomation, zum Beispiel bei der Lasermaterialbearbeitung, in Optik und Photonikoder in der Mikroskopie – in zahlreichen Anwendungsbereichen sind Bewegungs- und Positioniersysteme entscheidend für erfolgreiches Arbeiten. Denn in all diesen Bereichen bewegen sich Werkstücke und Werkzeuge in Relation zueinander, werden Optiken und Proben zueinander ausgerichtet
oder Bauelemente und Glasfasern für Testzwecke oder dauerhaft miteinander verbunden. Dies zu
ermöglichen, mit teilweise bis in den Nanometerbereich gehender Präzision, mit der erforderlichen
Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit, dies ist das Spezialgebiet von PI.
Dafür bietet PI eine einzigartig breite und vielseitige Auswahl an Bewegungs- und Positioniersystemen: Von einzelnen Piezoaktoren mit einem Hub von wenigen Mikrometern über Piezomotor getriebene Positioniertische bis zu komplexen Gantrysystemen. Ergänzt um passende Sensor- und Controller-Technologie. Das Anwendungspotenzial der Produkte und Lösungenvon PI ist dabei so vielfältig wie das Produktangebot selbst – Faserpositioniersysteme für integrierte photonische Schaltkreise(PIC), Aufbauten für großflächige Laserbearbeitung, z.B. zum Bohren und Markieren von Leiterplatten (PCB), Hexapoden
für die Bewegungssimulation, um Bildstabilisatoren zu testen, hochdynamische Kippplattformen zur Strahlsteuerung in
optischen Aufbauten …
In dieser Broschüre haben wir Ihnen eine Auswahl an Lösungen für unterschiedliche Anwendungen zusammengestellt, die Sie teilweise auch auf unseren
Messeständen live und in Bewegung erleben können. Lassen Sie sichinspirieren und machen Sie sich Ihr eigenes Bild von den Möglichkeiten
der Bewegungs- und Positioniersysteme von PI – und lassen Sie uns
wissen, wie wir Sie unterstützen können.
Wir freuen uns auf Sie.
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INHALT
Automatisierte Mehrkanal-Faser-Array-Ausrichtung ......................................... 	4
Studie: Faserkopplung in zwei linearen Achsen
gesteuert mit ACS-Controller ............................................................................. 	5
Hochpräzises Laserschneiden von Wafern ......................................................... 	6
Industrielle Lasermaterialbearbeitung ................................................................ 	7
Großflächige Lasermaterialbearbeitung ............................................................. 	8
Hochdynamische Fokusverschiebung für Laserstrahlschweißen
und -schneiden ................................................................................................... 	9

V-731 HochpräzisionsKreuztisch

Taktiles und optisches Testen von elektronischen Bauteilen ........... 	
10
Industrielle optische Inspektion ....................................................... 	
11
Bewegungssimulation zur Qualifizierung von Gyroskopen ............. 	
12
Bewegungssimulation für den Test der Bildstabilisierung ............... 	
13
Schnelle Plattform für Spiegelverkippung ........................................ 	
14
Objektpositionierung in sechs Freiheitsgraden ................................ 	
15
Active Shims für langzeitstabile Positionierung ............................... 	
16
Nanopositionierung für die Mikroskopie .......................................... 	
17
Serviceleistungen von PI .................................................................. 	
18
Die PI Gruppe ................................................................................... 	19

H-900KSCO
Hexapod

3

BEWEGEN|

POSITIONIEREN

Automatisierte Mehrkanal-Faser-Array-Ausrichtung
Schnelles aktives Ausrichten – Gleichzeitiges Positionieren in 6 Freiheitsgraden –Kundenspezifischer Automatisierungsgrad

Der weltweite Appetit auf Daten wächst exponentiell, getrieben von unzähligen Anwendungen wie Mobile-Computing, IoT oderVideostreaming – um nur einige zu nennen. Die photonikbasierte Datenverarbeitung bietet erhebliche Vorteile insbesondere in
Bezug auf geringeren Energieverbrauch und schnellere Datenübertragung. Die preisgünstige Massenfertigung von integrierten
photonischen Schaltkreisen (PICs) erfordert eine präzise Positionierung und eine hohe Ausrichtgeschwindigkeit, wenn es um WaferProbing, Faser-Chip-Kopplung und Packaging geht. Der Aufbau für die mehrkanal automatisierte Faseranordnung, basierend auf
dem bewährten doppelseitigen F-712.HA2 Faserjustage-System und PIs mehrachsen Gantry System, ist ein Vorschlag für weitere
Workflow-Automatisierungen.
Bewegungssteuerung
Die modulare Hardware von PI und die EtherCAT®basierte Controller-Architektur von ACS ermöglichen es OEMs, leistungsstarke und zuverlässige
Automatisierungsbaugruppen von beliebiger
Komplexität zu konstruieren. Alternativ steht die
Engineered-Subsystems-Gruppe von PI bereit, um
kundenspezifische Automatisierungsbaugruppen
wie die hier gezeigte zu entwickeln, zu montieren
und zu versenden – ideal für OEMs, die sich lieber
auf ihre Wertschöpfung konzentrieren wollen.

F-712.HA2 doppelseitiges Faserjustage-SystemnH-811 Hexapod kombiniert mit demnP-616 NanoCube® Nanopositionierer für die parallel­
kinematische Bewegung in drei FreiheitsgradennIntegrierte Scanroutinen für die Ausrichtung der FaseroptiknFirmware-basierter Algorithmus fürdie Gradientensuche inbegriffennAutomatisches Ausrichten
mehrerer Fasern /Faser-Arrays in <0,5 s

Wichtigste Merkmale des Gantry-Systems für Pick-and-Place

F-712.PM1 optischer LeistungsmessernHohe mechanische StabilitätnHochdynamische Präzisionspositionierung in drei Achsen

Konvertierung des optischen Signals
in ein SpannungssignalnLinearmotoren oder bürstenlose Antriebe (optional mit Luftlager)n	Flexible Bauformen (Antriebssysteme, Lager, Encoder...) undSpezifikationen (Geschwindigkeit, Beschleunigung, Stellweg…)

n	

n	

Zusätzlicher Stromeingang
λ: von 400 nm bis 1550 nmn	Signalbandbreite: 20 kHzn	Präzises, logarithmisches Ausgangssignaln	

Weitere Anwendungen für die F-712 Systemfamilie und des Gantry-Konzepts:

4

SiP:
Waferprobing / Faser-an-Chip-Anbindung /Aufbau- und Verbindungstechnik

Lasermaterialbearbeitung:Laserbohren / Laserschweißen /Schablonenschnitt / Mikrobearbeitung

Optische Industrie:
Linsenausrichtung /Laser-Kavitäten-Tuning

Halbleitertechnik:
Wafer- und Maskeninspektion

W W W. P I . D E / L A S E R - M E S S EStudie: Faserkopplung in zwei
linearen Achsen gesteuert mit ACS-Controller
Hohe Dynamik – Flexibles Design – Hohe Produktivität

Die Optimierungstechnologie von PI verbessert die Wirtschaftlichkeit von so unterschiedlichen Produktionsprozessen wie WaferProbing; Aufbau- und Verbindungstechnik und Chip-Test in der Silizium Photonik bzw. der Herstellung von integrierten photonischen
Chips (PIC) und auch in der Fertigung von Lasern und anderen optischen Systemen. Die Kombination aus hoher Geschwindigkeit,
nanometergenauer Positionierung und Robustheit senkt die Kosten und erhöht die Gutausbeute erheblich. Dies wird jetzt ausgeweitet auf die flexible Kombination der industriellen Tische von PI und der Steuerungen von ACS. So können zusätzliche Herausforderungen bei Durchsatz und Ausbeute in der Fertigung von Photonik-Komponenten adressiert werden.

Bestandteile der Studie:
PIMag® Linearmotortische vom Typ V-508

Diese Studie zeigt, wie PIs schnelle Faserausrichtung für
großflächige Anwendungen wie Pick-and-Place und das
Screening, die Montage und das Testen von photonischen
Strukturen, eingesetzt werden kann. Vom Wafer über Coupon
und Chip bis hin zum fertig konfektionierten photonischen
Bauteil. Schnelle Lokalisierung (erstes Licht), Area Scanssowie ein schnelles Einrasten (im Maximum) und Nachführen für eine ganze Serie von Photonik-Komponenten übereinen großen Bereich wird so möglich.

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F-712 optischer Leistungsmesser mit hoher
Bandbreite und großem Wellenlängenbereichn	ACS-Steuerung mit der Ausrichtungsfirmware
von PIn	

Dadurch eröffnen sich neue Möglichkeiten für hocheffiziente
Systemarchitekturen in großformatigen Produktionsprozessen. PIs einzigartiger Optimierungsalgorithmus ist Firmwarebasiert, ermöglicht die gleichzeitige Ausrichtung mehrerer
Eingänge, Ausgänge und Freiheitsgrade und kann den
Durchsatz im Vergleich zu herkömmlichen Ansätzen
um den Faktor 100 oder mehr verbessern.

Bewegungssteuerung
Die modularen V-508 PIMag® Lineartische von PI sind ideal für die
anspruchsvolle Fertigung und Prüfung von Photonik-Strukturen. PIs
schnelle Ausrichtungstechnologie der fünften Generation, kombiniert mit der modularen Steuerung mit offener Architektur von ACS,
lässt den flexiblen Aufbau hochentwickelter Systeme zu. Neben
außergewöhnlicher Leistung bieten diese auch moderne Sicherheitsvorkehrungen. Dies ermöglicht einen besonders schnellen
Durchsatz bei nahtloser Kompatibilität mit den heutigen photonischen Komponenten, die sich oft als Herausforderung für herkömmliche Technologien erweisen.

V-508 PIMag® Präzisions-Lineartisch
Stellwege von 80 mm bis 170 mm und
250 mmn	Hohe Geschwindigkeit bis zu 0,6 mm/sn	Beschleunigung bis zu 5 m/s²n	Kreuzrollenführungen für hohe Belastbarkeitn	

Kompakter Querschnitt: 80 mm × 25 mmn	

Weitere Anwendungen der V-508 Präzisionslineartische:
Halbleitertechnik:
Positioniertische für Wafer- und MaskenMesstechnik
Industrielle Automatisierung:
Präzisionspositionierung der Tische in vielen
Applikationen, z.B. in der Lasermaterialbearbeitung

BEWEGEN

5|

POSITIONIERENHochpräzises Laserschneiden von Wafern
Hohe Führungsgenauigkeit – Hohe Wiederholgenauigkeit – Hervorragende Geschwindigkeitskontrolle

Für die Herstellung von Chips und Mikrochips werden Wafer mit dem so genannten Wafer-Dicing-Verfahren in kleine quadratischeoder rechteckige „Chips” oder „Würfel” geschnitten. Typische Herausforderungen sind dabei: Den Schnitt genau zu positionieren
und die Materialverluste und die Verformungen der Komponenten zu minimieren. Gleichzeitig muss die maximal mögliche Bearbeitungsgeschwindigkeit erreicht werden. Da die Anforderungen ständig steigen, hat sich das Laserschneiden als bevorzugte
Schneidtechnologie etabliert. Dieser berührungslose Laserprozess ist flexibel und verhindert Abplatzungen an den Schneidkanten.
Dadurch werden Produktionsabfälle deutlich reduziert und somit die Produktionskosten gesenkt. Dementsprechend erfordern
Schneidprozesse mit Lasern auch Bewegungssysteme, die eine hohe Genauigkeit und Geradheit bei hohen Geschwindigkeiten
bieten.

Drehachse – Wafer-Ausrichtung und -KorrekturnLuftlager-RotationstischnDirektantriebsbewegung ohne

Wichtigste Merkmale der Bewegungslösung
ngenauigkeit

RastkräftenHohe Geradheit, Ebenheit und Wiederhol­nVermeidung von Rastkräften für eine
gleichmäßige GeschwindigkeitsregelungÜberragende Leistung bei Ablaufgenauigkeit, Ebenheit und TaumelnnSchleppketten-KabelmanagementnHohe Steifigkeit und BelastbarkeitnMesstechnik verfügbar für den Wafer-nReinraumkompatibel

Arbeitspunkt>> A-623 PIglide Rotations­tischmit LuftlagernLineare Verstärkerleistung mit PWM(Pulse Width Modulation)nBetrieb mit hoher EinschaltdauernAbsolutencoder für mehr Effizienz undSicherheit im Betrieb

BewegungssteuerungnScan-Achse

Hochleistungs-Motion-Controller mit EtherCAT® in einem 19-Zoll-n	

Rackeinschub mit integrierten Antrieben, Spannungsversorgungenund funktionaler Sicherheitn	>>A-814 PIglide Motion-Controllern

XY-Luftlagertisch
Hohe Geschwindigkeiten und Beschleuni­
gungenHervorragende geometrische Eigenschaftenn	Die NanoPWM™ Antriebstechnologie ermöglicht eine gleichmäßige

n	

Geschwindigkeit und Sub-Nanometer-Stillstand-Jittern	>> NanoPWM™ Antriebe

Auflösung bis 1 nm
Niedrige Bauhöhe für einen begrenzten
Bauraum
Reinraumkompatibeln	>> A-311 PIglide Planarscanner mit Luftlager

Weitere Branchen und Anwendungen, die von dieser Bewegungslösung profitieren:6Lasermaterialbearbeitung:Laserstrahlverdampfen

Halbleitertechnik:
Wafer-Ritzen und -Vereinzeln –Wafer-Inspektion – Fehlererkennung

Elektronikfertigung:
DCB (Direct Copper Bonded)
Leiterplatten-Ritzen

Medizintechnik:
DNA-Leuchtdichte­prüfung –Geräteherstellung

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Additive Fertigung:Zwei-­­Photonen-Polymerisation

Industrielle Lasermaterialbearbeitung
Kleine Geometrien – Hohe Dynamik – Schutz vor Schmutzpartikeln

Laseranlagen zur Herstellung winziger Geometrien im Mikrometerbereich erfordern Bewegungssysteme, die eine gleichbleibende,
genaue und dynamische Bearbeitung in mehreren Dimensionen ermöglichen. Da die Größe und Masse der bearbeiteten Werkstücke und produzierten Teile häufig eine Herausforderung darstellt und während der Fertigung Schmutzpartikel anfallen können,
müssen die verwendeten Systemkomponenten hochpräzise, steif und robust sein und eine zuverlässige Leistung bieten.

Wichtigste Merkmale der LineartischenLaserpositionierungBezugskante zur Unterstützung bei der Kali­brierung
in der MaschinenSynchron-ServomotornAnschluss für Spülluft zur Erzeugung von ÜberdrucknHochbelastbare KugelumlaufführungennSeitendichtung und feste Abdeckung zumnHaltebremse

Schutz gegen PartikelnDirekter Betrieb mit 110/240 Volt ACRobuste industrielle IP65-Stecker für flexiblen

>> L-417 Hochlast-LineartischnKabelabgangnEinfacher Zugang zum SchmiersystemnVerschiedene Encoder-Varianten einschließlich
absolut messender Taster, die Auflösungen
im Nanobereich bietennVerschiedene Breiten fürunterschiedliche Lasten und
zur Reduzierung von
Auskragung

BewegungssteuerungnnWerkstückpositionierung CS SPiiPlus EtherCAT® Netzwerk Motion Controller und Antriebs­
A
module für die optimale Synchronisierung der Achsen und Lasersteuerung as Laser-Steuerungsmodul (LCM) kann eine Laserquelle synchronD
zur Bewegung steuern und ist in der Lage, sich mit Laserquellen wie
z.B. DPSS-Laser, CO2-Laser, Excimer- oder Femtosekunden-Laser zu
verbinden. Es eignet sich auch für positionsbasierte Trigger-Anwendungen bei Test- und Inspektionsaufgaben

Linearmotoren mit eisenlosem magnetischem
Direktantriebn	n

Hochbelastbare Kugelumlaufführungenn

XY-Konfiguration ohne Adapterplatten

XY-Schleppketten-Kabelmanagement>> V-417 Hochlast-Linearmotortisch>> Laser-Steuerungsmodul

Weitere Branchen und Anwendungen, die von dieser Bewegungslösung profitieren:
Lasermaterialbearbeitung:
Bohren – Schweißen

Automobilindustrie:
Fascia-Bearbeitung – Oberflächenstrukturierung –Additive Fertigung – Test und Inspektion

Elektronikfertigung:Leiterplatten-Bohren – Inspektion –Komponentenpositionierung

Medizintechnik:
Hermetisches Nahtschweißen – Gewebetechnik –Inspektion – Messtechnik

BEWEGEN|

POSITIONIEREN

7

Großflächige Lasermaterialbearbeitung
Hohe Präzision – Hoher Durchsatz – Simultane Ansteuerung

PI bietet eine fortschrittliche Lösung, die das Bildfeld eines Galvanometer-Scanners erweitert und gleichzeitig Auflösung und Spotgröße des Lasers beibehält. Die Lösung kombiniert hochpräzise Bewegungssysteme von PI, leistungsstarke Motion Controller undAntriebsmodule von ACS und führende Scanner-Technologie von SCANLAB. Das XL SCAN-Verfahren ermöglicht eine gleichzeitige
und koordinierte Steuerung des Scanners, der Positioniersysteme und des Lasers. Die Steuerungssoftware von XL SCAN teilt die
gewünschte Mustertrajektorie automatisch in einen Pfad für den Scanner, einen Pfad für das XY-Positioniersystem und die Ansteuerung des Lasers auf. Der Scanner übernimmt hochfrequente Bewegungen über kurze Stellwege. Die Positioniertische vergrößern
entsprechend ihrer langen Stellwege den Arbeitsbereich. XL SCAN verbessert dadurch deutlich Durchsatz und Präzision bei Anwendungen wie dem Bohren großer Leiterplatten und der großflächigen Lasermarkierung. Die verkürzten Prozesszeiten führen außerdem
zu einer höheren Produktivität und niedrigeren Produktionskosten.

Vorteile der XL SCAN
Automatisierungslösung
nErweiterte BearbeitungsflächenHöherer Durchsatz

LaserstrahlsteuerungnSchnelles und präzises
Scansystem von SCANLAB
mit einem XY-GalvanometerScanner

Verbesserte Bearbeitungsgenauigkeit
bis in den Mikrometerbereichn	>> excelliSCAN Scan-Kopf

Hochdynamische Prozesse ohne TischVibrationenn	Automatische Lasersteuerung,z.B. Spot Distance Control (SDC)n	

Mehrere Scan-Köpfe und Werkstückbewegungssysteme möglichn	Bewegungssteuerung

Werkstückpositionierung

Eine von SCANLAB und ACS Motion Control gemeinsam entwickelte
Motion-Control-Lösung integriert digitale Scannertechnologie übereine EtherCAT®-basierte industrielle Vernetzungn>> SPiiPlus EtherCAT® Motion-Controller + universelles Antriebsmodul>> V-731 Hochpräzisions-Kreuztischnn ynchronisation des Scanner Controllers und des ACS EtherCAT®
S
Motion Controllers über die >> SLEC SL2-100 EtherCAT®-Schnittstelle teuerungskonzept, das die synchrone Steuerung der Positioniertische,
S
des Scanners und des Lasers während der Bearbeitung koordiniertnn>> SSPiiPlusSPC + >> syncAXIS control Software

Weitere Anwendungen und Industrien, die von der XL SCAN Lösung profitieren:
Lasermaterialbearbeitung:Mikrobohren – Glasschneiden –Beschriften8

 Y-Linearmotor-Tische oder PlanarscannerX
für hervorragende geometrische Eigenschaften und hohe Geschwindigkeitenn	

Elektronikfertigung:
PCB-Bohren – PCB-Nutzentrennung –Display-Schneiden

Automobilindustrie:
Oberflächenstrukturierung

Medizintechnik:
Profilbearbeitung

W W W. P I . D E / L A S E R - M E S S E

 ptionaler Granitunterbau zur
O
Optimierung der Systemgenauigkeit
 lternative Gantry-Anordnung mit
Astationärem Werkstück und beweglichem
Scansystem

Hochdynamische Fokusverschiebung
für Laserstrahlschweißen und -schneiden
Hohe Prozessgeschwindigkeit und hohe Qualität durch kontrollierte Energieverteilung

Bei unterschiedlichen industriellen Anwendungen sind Laser heute im Einsatz, um Fertigungsverfahren zu optimieren und eine hohe
Qualität der Werkstücke zu gewährleisten. Auch Laserbearbeitungsprozesse selbst können durch hochfrequente Schwingungen desLaserstrahls in der XY-Ebene deutlich verbessert werden. Steigende Anforderungen in der Industrie verlangen aber nicht nur eineschnelle Bewegung in der Ebene, sondern auch eine schnelle aktive vertikale Verschiebung der Strahlenergie im Werkstück, um z.B.
beim Laserstrahlschneiden von dicken Blechen die nutzbare Vorschubgeschwindigkeit zu steigern oder beim Laserstrahlschweißen
eine bessere Schweißnahtqualität und Prozessstabilität zu ermöglichen. Im Rahmen des PISTOL3-Projekts entwickelte PI in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IOF, dem Fraunhofer IWS und den Industriepartnern Kjellberg Finsterwalde, Heliatek und Optics
Balzers ein piezobasiertes hochdynamisches Z-Achsen-Fokussiermodul. Damit ist es möglich, herkömmliche Verfahren ohne Strahlmanipulation und auch klassische 2D-Strahlmanipulationen durch eine hoch­dynamische Bewegung in Richtung der Strahlachse
bzw. Z-Achse zu erweitern und dadurch die Bearbeitungsgeschwindigkeit zu erhöhen und die Bearbeitungsqualität zu verbessern.

Vorläufige technische Daten des Prototyps
Vorteile des hochdynamischen Z-Achsen-FokussiermodulsnAntriebsfrequenz bis zu 2 kHz

Schnellere Prozessgeschwindigkeit durch kontrolliertenEin Hub von 28 μm realisiert eine mittlerenVerschiebung der Fokusebene um 15 mm
bei entsprechendem Optik-Setting

Energieverteilung im WerkstücknBeeinflussung der Schmelzbaddynamik durchhochdynamische Oszillation der FokuslagennVielseitige Einsatzmöglichkeiten durch
variables Modul- und Optik-DesignKompakte Bauform zur einfachen Integration
in bestehende Laser­bearbeitungsköpfenHohe Zuverlässigkeit durch
verschleißfreie Führung und
Aktorik sowie prozessrelevantes
TemperaturmanagementnHohe Wirtschaftlichkeit durch
Prozessoptimierung bei geringem
Implementierungsaufwand

Fokussiermodul im
Einsatz beim hochdynamischen Laserschneiden
mit 3 kW Laserleistung

Eigenschaften des Z-Achsen-Fokussiermoduls
Piezobasierte asphärische Membranverformung
zur Vermeidung von Abbildungsfehlernn	Elliptisches Spiegelsubstrat zur Ausschöpfung
maximaler Strahlaperturenn	Dielektrische Beschichtung für hohes Reflexionsvermögenn	

Messedemonstrator
inkl. Fokussiermodul

Verwendung von >> PICA Thru© Ringaktorenn	Weitere Anwendungen des Fokussiermoduls:
Laserstrahlschweißen

Laserstrahlbohren

Laserstrahlschneiden

Laserstrahlstrukturieren

BEWEGENGEFÖRDERT VOM|

Das PISTOL3-Projekt ist Bestand­teil desFörderprogramms „Zwanzig20-Partnerschaft für Innovation“, das vom Bundes­
ministerium für Bildung und Forschung(BMBF) gefördert wird.

POSITIONIEREN

9

Taktiles und optisches Testen
von elektronischen Bauteilen
Hohe Wiederholgenauigkeit – Kraftregelung – Verschiedene Winkel

Elektronische Bauteile werden immer kleiner, komplexer, arbeiten in unterschiedlichen Umgebungen und umfassen mehrere Artenvon Komponenten, die taktile, optische und elektronische Prüfverfahren erfordern. Die Lage dieser Bauteile in der Endmontage
erfordert eine präzise Positionierung des Prüfwerkzeugs in mehreren Freiheitsgraden. PI bietet leistungsfähige, flexible Bewegungssysteme für verschiedene Testmethoden, die unter Beibehaltung von Kapazität und Durchsatz in die Produktionslinien der Kunden
integriert werden können.
Positionierung von TestvorrichtungenWichtigste Merkmale der Bewegungssysteme von PInzur Entwicklung modernster LösungennnIndustrielle Bewegungssteuerung bietet koordinierte Bewegungen aller Achsen für maximalen
Durchsatz
Einfache Anbindung von Sensoren und Testgeräten
von Drittanbietern über flexible EtherCAT® SchnittstellennKann als Subsystem unter den meisten SPS und
Automatisierungssteuerungen arbeiten

Linearmotor oder Voice-Coil-Aktor mit
KugelumlaufspindelEinzigartige Bandbreite an BewegungstechnologiennIntegriertes KabelmanagementnHaltebremse oder GegengewichtnDirektmessender Linearencoder>> M-511 Hochpräzisions-LineartischSensorpositionierung in verschiedenen
WinkelnnParallelkinematischer HexapodnSechs FreiheitsgradenFrei definierbarer Drehpunkt>> H-811 6-Achsen-Miniatur-Hexapod
Kraftregelung des Mess-SensorsnPIMag® Voice-Coil-Linearaktornn raftsensor mit 1 mN
K
AuflösungGewichtskraftkompensation>> V-275 PIMag®
Voice-Coil-Linearaktor

Werkstückpositionierung

Bewegungssteuerung
Die SPiiPlus EtherCAT® basierte Bewegungssteuerungsplattform von ACS arbeitet als unabhängige Maschinensteuerungoder als Subsystem unter den meisten SPS und AutomatisierungssteuerungennMotion-Controller >> SPiiPlusESnUniverseller Antriebsregler >> NPMpmnLinearmotoren für hohe Geschwindigkeit
und BeschleunigungnAbsolutencoder mit 1 nm Auflösungn

XY-Schleppketten-Kabelmanagement>> V-551 Präzisions-Lineartisch
mit magnetischen Direktantrieben

Weitere Branchen und Anwendungsgebiete:

10

Elektronikfertigung:Fingerabdruck- und Drucksensorprüfung – Ausrichtung der Kameraobjektive – Haptische Prüfungen

Medizintechnik:
Oberflächenprofilierung von sphärischen
und asphärischen Linsen – Nadelprüfung

Halbleitertechnik:
Röntgen- und Computer­tomographie­untersuchungAutomobilindustrie:
Prüfung von Neigungs-, Geschwindigkeits- und Be­­schleu­nigungs­sensoren –Objektivausrichtung – Ein­spritz­düsen­prüfung – Haptikprüfung für Autoschlüssel

W W W. P I . D E / L A S E R - M E S S E

Lasermaterialbearbeitung:
Hermetisches Nahtschweißen –OberflächenstrukturierungIndustrielle optische Inspektion
Flexible Konfiguration – Schnelles Einschwingen – Nanometerauflösung

Die optische Inspektion ist ein wesentliches Verfahren in der industriellen Qualitätssicherung. Optische Inspektionssysteme, die im
industriellen Umfeld eingesetzt werden, sollen zuverlässig und wiederholbar für sichere Messergebnisse sorgen und hohe Durchsatzraten ermöglichen. Dies gilt auch für die Bewegung des Werkstücks, der Probe bzw. des Prüflings und für die Positionierung
der abbildenden Optik. Dabei müssen die eingesetzten Positioniersysteme flexibel sein, um die Probe über unterschiedliche Stellwege in der Ebene zu verschieben und die optischen Komponenten in der Vertikalen zu bewegen.
Positionierung der abbildenden Optik
Hohe Scangeschwindigkeit und schnelles
Einschwingen durch magnetischen
Tauchspulenantrieb

Wichtigste Merkmale der Positionierlösungn	nFlexible KonfigurationnHohe Wiederholgenauigkeit und NanometerpräzisionnHochauflösende PositionssensorennVermessen über Auto-Fokus AlgorithmennFokussieren auf unterschiedliche Brenn­ebenennFlexible Anpassung an die ge­forderten

Einstellbare Gewichtskraftkompensation
für flexible Objektivmassenn	

Hochauflösende, direktmessende
Positions­sensorenn	Flexible Auslegung von Antriebskraft
und Abmessungen durch PIMag® VoiceCoil-Motorenn	Leistungsmerkmale durch PIMag® MotorennEinfache Integration in die Automatisierungs­um­gebung durch industrielle
EtherCAT® Schnittstelle

Bewegungssteuerung
Optionale industrielle EtherCAT®
Schnittstellen	Probenpositionierung
Hohe Scangeschwindigkeiten durch Linear­motorenn	Digitale Steuerung mit optimierten
Regelalgorithmen für konstante Scan­ge­schwindigkeit, hohe Wiederholgenauig­keit und schnelles Einschwingenn	Serielle Achskombinationen für flexibel konfigurierbare
Stellwege auf der Probenebene oder integrierte Kreuztischefür platzsparendes Designn	

Hochauflösende, direktmessende Positionssensoren

Schnelle Sensorsignalverarbeitung
für gleichzeitig hohe Geschwindigkeiten
bei hoher Auflösung

n	

n	

Flexible Auslegung von Antriebskraft und Abmessungendurch PIMag® Linearmotorenn	Optionale analoge Eingänge für externe
Steuersignale>> V-508 PIMag® Präzisions-Lineartischn	

Weitere Anwendungen für die Positionierlösung:
Biotechnologie

Lasermaterial­
bearbeitung

Elektronikfertigung

Flat-Panel
Herstellung

Mikrostrukturtechnik

11
Halbleitertechnik

BEWEGEN

Mikroskopie|

POSITIONIERENBewegungssimulation
zur Qualifizierung von Gyroskopen
Mehrere Freiheitsgrade – Hochdynamisches Abfahren vordefinierter Trajektorien

Kreiselinstrumente bzw. Gyroskope können eine Drehbewegung oder Drehbeschleunigung des äußeren Bezugssystems in Relation
zur rotierenden Masse erkennen und messen. Eingebaut in Theodoliten werden sie z.B. für präzise Vermessungen in der Geodäsie,im Bergbau oder in der Geologie verwendet. Aufgrund ihrer Eigenschaften werden Gyroskope auch zur aktiven Lageregelung in
Luft- und Raumfahrt und in der Schifffahrt eingesetzt. Die Raumstation ISS nutzt den Kreiselkompass zur Positionsbestimmung im
Weltraum. Auch viele Smartphones haben einen eingebauten Kreiselkompass zur Navigation und Ortung. Um Kreiselkompasse zu
qualifizieren, müssen die realen Bedingungen wie etwa die Schiffsbewegungen simuliert werden. Für diese Testverfahren gibt es
ISO-Normen, die die Bewegungsprofile und Leistungsanforderungen genau beschreiben. Die Kombination aus Erreichen einer
Zielposition mit einer bestimmten Präzision und den translatorischen und rotatorischen Bewegungen (Roll, Pitch, Yaw) ist eineherausfordernde Aufgabe, die spezifisch ausgelegte Hexapoden übernehmen können.

Hauptmerkmale der HexapodennDrei Linearachsen, drei RotationsachsennHohe Steifigkeit

Image:
Vorteile
derShutterstock
Hexapoden für die Bewegungs­
simulationnHervorragendes dynamischesnMehrere FreiheitsgradenFrei definierbarer DrehpunktnPräzises Abfahren vordefinierter TrajektoriennBewegungsfrequenzen bis zu 50 Hz*nCIPA-Zertifizierung*

Verhalten, schnelles
EinschwingennSehr gute Wiederhol­genauigkeitnKabelmanagement
an der Bewegungsplattform nicht erforderlich

>> Das Bild zeigt den Hexapod H-900KSCO* abhängig von verwendetem Hexapod

BewegungssteuerungnEinfache Kommandierung der Zielposition in kartesischen Koordinaten

nKoordinatentransformation für Parallelkinematiken erfolgt über den Controllern

Das Bezugssystem (Work, Tool) kann schnell und einfach geändert werdennDefinieren von Sinuskurven und/oder beliebige Trajektorien
Unterstützung von Motorbremsen und absolut messende Sensoren mit BiSS-Schnittstellen	nAnalogeingang verfügbar
Einfache Integration in Automatisierungsprozesse durch industrielle EtherCAT® Schnittstellen	>> C-887.53x Hexapod Motion Controller mit EtherCAT®

Weitere Anwendungen, die von der Bewegungssimulation mit Hexpoden profitieren:
Schiffs- und Meerestechnik:
Kreiselkompass­prüfung nach ISO 20672,
ISO 8728 und ISO 16328

12

Qualitätssicherung:
Prüfung der Bildstabilisierungssysteme von Kameras –Prüfung von gyroskopischen Sensoren

Automobilindustrie:
Prüfung der Vibrationsfestig­keit – Prüfung
von Kameras für Fahrassistenzsysteme

W W W. P I . D E / L A S E R - M E S S E

Bewegungssimulation
für den Test der Bildstabilisierung
Hohe Wiederholgenauigkeit – Hohe Dynamik – Hohe Bahngenauigkeit

Scharfe Bilder trotz schlechter Lichtverhältnisse aufnehmen, Schnappschüsse ohne Bewegungsunschärfe einfangen, Verkehrszeichen
oder Straßenmarkierungen erkennen oder Gefahren für Personen identifizieren – das alles ist heute mit Hilfe moderner Kameras
möglich. Doch wie gut ist die Bild- und Videoqualität einer Kamera oder eines Smartphones? Endanwender, Hersteller, Unternehmen
aus den Bereichen Luft- und Raumfahrt, Medizin- und Sicherheitstechnik oder auch der Automatisierungstechnik – sie alle stellenhohe Anforderungen an die Leistungsfähigkeit und suchen Antworten auf diese Fragen. Unternehmen, die sich mit diesen Fragenbeschäftigen sind auf Prüfgeräte angewiesen, die zuverlässige und vergleichbare Testergebnisse garantieren. Um beispielsweise
die Bildstabilisierungssysteme von Kameras zu testen, müssen die Frequenzen und Achsbewegungen realitätstreu simuliert werdenund bei jedem Test identisch sein.

Vorteile der Hexapoden für die Bewegungssimulation

Hauptmerkmale der HexapodennDrei Linearachsen, drei Rotationsachsenn	nHohe Steifigkeitn	nHervorragendes dynamisches Verhalten,

Mehrere Freiheitsgrade
Frei definierbarer Drehpunkt (Pivotpunkt)entsprechend der Position der Bildstabilisierungskomponente in der Kamera

schnelles EinschwingennSehr gute Wiederholgenauigkeitn	nKabelmanagement an der Bewegungs­n	plattform nicht benötigtn	

Präzises Abfahren vordefinierter Trajektorien
Bewegungsfrequenzen bis zu 50 Hz*
CIPA-Zertifizierung*>> Das Bild zeigt den Hexapod H-840* abhängig von verwendetem Hexapod

Bewegungssteuerung

CIPA-Zertifizierung

Positionseingabe in kartesischen Koordinatenn	nKoordinatentransformation erfolgt über den ControllernDas Bezugssystem (Work, Tool) kann schnell und einfach geändert
werdennDefinieren von Sinuskurven und/oder beliebige TrajektoriennUnterstützung von Motorbremsen und absolut messende Sensoren
mit BiSS-SchnittstellenAnalogeingang verfügbar

nEinfache Integration in Automatisierungsprozesse durch industrielle

Der Interessensverband der japanischen Foto­­
industrie, Camera & Imaging Products Association (CIPA), setzt Standards für Bewegungssysteme
für den Einsatz in Prüfeinrichtungen zur Bildstabilisierung. Hexapoden von PI erfüllen als einzige
Sechs-Achsen-Positioniersysteme die CIPA-Norm
für die Simulation des Kamerazitterns beim Fotografieren.

EtherCAT® Schnittstelle>> C-887 Hexapod Motion Controller mit EtherCAT®

Weitere Anwendungen, die von der Bewegungssimulation mit Hexpoden profitieren:
Kamerahersteller

Automobil­
industrie

Luft- undRaumfahrt

Sicherheitstechnik

Maschinelle
Bilderkennung

Medizintechnik

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POSITIONIEREN

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Schnelle Plattform für Spiegelverkippung
Kurze Einschwingzeit – Hohe dynamische Linearität – Parallelkinematisches Design

In zahllosen optischen Aufbauten kommt dynamisch verstellbaren Spiegeln eine hohe Bedeutung zu. Beispiele sind Bildverarbeitung/-stabilisierung, optische Filter und Schalter, optische Fallen, Tuning von Lasern und viele mehr. Die S-355 Tip/Tilt Kippplattform ist
dank ihres parallelkinematischen Mehrachsdesigns und der wartungs-, reibungs- und verschleißfreien Festkörpergelenkführungenvielseitig einsetzbar. Sie ermöglicht schnelle, hochdynamische Bewegungen mit hoher Präzision auszuführen.

E-727.xF Digitaler Mehrkanal-Piezocontroller
mit EtherCAT® Feldbusschnittstelle

Hauptmerkmale der S-335 KippplattformnnKippwinkel bis ± 17,5 mrad ➔ hohe optische Ablenkwinkel
bis 70 mrad (4°)

nnParallelkinematisches Design: Zwei orthogonale Drehachsenn

20 kHz Abtastrate für die Regelung

mit einem gemeinsamen Drehpunktn

100 kHz Abtastrate zur SensorauslesungHohe Resonanzfrequenzen zwischen 2 kHz (unbelastet)n	

ID-Chip-Erkennung für automatischen
Abgleich des Controllers auf die Piezo­
mechanik (schnelle Inbetriebnahme
und Austauschbarkeit von System­
komponenten).

und 0,7 kHz (belastet mit 1 Zoll Spiegel) für dynamische
Bewegung und schnelles Einschwingenn

Gleichzeitige Ansteuerung von bis zu
3 AchsenIntegrierte Dehnungssensoren fürhohe Linearität

Lichteinkopplung in FasermatrixnHochpräzise Strahlführung zur Einkopplung von Laserlicht in einzelne Glasfasern
zur Erzeugung von Punktgrafiken mit
höchsten Anforderungen an Präzision
und Geschwindigkeit

Anwendungsspektrum für Tip/Tilt Plattform:

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Optische Industrie:
Pointing-Anwendungen mit höchsten Ansprüchen
an Linearität und Punkt-zu-Punkt-Genauigkeit /optische Falle / Bildstabilisierung

Halbleitertechnik:
Strahlsteuerung bei der Wafer- undMaskeninspektion, Lithographie

Mikroskopie:
Mehrfarbenanwendungen

SiP / Photonik:
Ausrichtungs- und Montageprozesse

W W W. P I . D E / L A S E R - M E S S E

Objektpositionierung in sechs Freiheitsgraden
Parallelkinematisches Design – Stellwege bis 500 µm / 1.5° – NanometerpräzisionObjektbewegungen in allen sechs Freiheitsgraden durchzuführen, ist in vielen Anwendungen nötig. Beispielsweise bei der Justage vonLinsen in komplexen optischen Systemen (z.B.: Smartphonekameras) oder bei der Positionierung von optischen Fasern an Siliziumphotonikbauteile oder an integrierte photonische Schaltkreise. Neue Anwendungen des „Aktiven Alignments” stellen höhere Anforderungen an die Positioniergenauigkeit. Schrumpfende Toleranzen beschränken sich nicht auf die drei Raumrichtungen, die Winkelgenauigkeit gerät in den Fokus und so werden z.B. Winkelscans erforderlich. Der kompakte, parallelkinematische NanoCube® P-616KLTS
bedient alle sechs Freiheitsgrade und eröffnet viele neue Möglichkeiten für die Montage und Justage von anspruchsvollen Aufbauten.
Linsenpositionierung in sechs Freiheitsgraden
Hauptmerkmale des P-616KLTS NanoCubes®
n500 µm Stellweg in X, Y und ZnKippwinkel bis 1.5° in θX, θY, θZ

nFrei definierbarer PivotpunktnVoll parallelkinematischernDie Anforderungen an Kamerasysteme in
Smartphones steigen beständig. Neben höherer Auflösung erwarten die Nutzer einen echten
optischen Zoom, randscharfe und verzeichnungsfreie Bilder, Bildstabilisierung u.v.m. Um
diese Anforderungen zu erfüllen, müssen dieeinzelnen Elemente eines Objektivs hochpräzise entlang der optischen Achse und zueinander
ausgerichtet sein. Mit dem neuen P-616KLTS
NanoCube® mit sechs Freiheitsgraden werden
völlig neue Alignment Strategien möglich, um
diese Anforderungen zu erfüllen.

AufbauE-712 Digitaler PiezocontrollernModularer digitaler Controller für mehrachsige Piezo-Nanopositioniersysteme

Anwendungsspektrum für Tip/Tilt Plattform:
Optische Industrie:
Präzisionspositionierung von optischen
Aufbauten in sechs Freiheitsgraden
SiP / Photonik:
Faserpositionierung / Waferprobing /Chiptest / Aufbau- und Verbindungstechnik

BEWEGEN

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POSITIONIEREN

Active Shims für langzeitstabile Positionierung
Nanometergenau – Hoch belastbar – LangzeitstabilÄndert sich innerhalb von Präzisionsmaschinen oder in komplexen Testaufbauten der Abstand zwischen zwei Komponenten oder
Subsystemen, müssen diese häufig nachjustiert werden. Die piezobasierten „Unterlegscheiben“ PIRest Active Shims bieten hierfür
eine einfache Lösung. Einmal in der Maschine eingebaut, lässt sich mit ihrer Hilfe, ohne jede weitere Montagearbeit, der Abstandzwischen zwei Bauteilen oder Maschinenteilen beliebig oft nanometergenau nachjustieren. Die PIRest Aktoren sind dabei hochbelastbar und langzeitstabil. Insbesondere bei schwer zugänglichen Stellen (in Vakuumkammern oder tief im Innern von Maschinen),hilft dies, die Installationszeit hochpräziser Maschinen und optischer Aufbauten zu verkürzen und Ausfallzeiten zu verringern.
Werden Active Shims bereits in der Konstruktion vorgesehen, so hilft dies schon bei der ersten Justage Zeit und Kosten zu sparen.

Hauptmerkmale der PIRest AktorennNanometer-Auflösung, Mikrometer-AuslenkungnKeine permanente Spannung erforderlich, um die
Position zu haltennLangzeitstabilität der PositionnBelastbarkeit bis zu 4000 N je AktornFlexible Formen und AbmessungennKombinierbar mit klassischen Piezoaktoren fürstatische Fehlerkorrektur in dynamischen Prozessen

E-135 PIRest-TreiberelektroniknnnAnsteuerung von bis zu 6 PIRest Active Shims

Demonstration von langzeitstabiler
Positionierung mittels PIRest Aktoren
Reversible JustageID-Chip-Erkennung für automatische
Konfiguration von Betriebsparameternn	Eigenständige Anpassung
von Betriebsparametern an die
Umgebungsbedingungenn

Unterschiedliche SchrittweitennErmöglicht Ausdehnung und Kontraktion
Langzeitstabile Position ohne permanente
Spannungn	Anwendungsspektrum für PIRest Aktoren:

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Halbleitertechnik:
Justage von Maschinenteilen oder optischer Komponenten in Waferscannern /Waferprobern

Beamline (z.B.: Synchroton):Langzeitstabile Ausrichtung vonkomplexen Versuchsaufbauten

Maschinenbau:
Ausrichten von Maschinenbett, Motoren,
Achsen und weiteren Maschinenelementen

Optische Industrie:Langzeitstabile Präzisionsausrichtung
von Einzellinsen im System

W W W. P I . D E / L A S E R - M E S S E

Nanopositionierung für die Mikroskopie
Schnell – Kompakt – Nanometergenau

Die präzise Positionierung ist das Schlüsselelement in allen Arten der Mikroskopie. Für hochauflösende Mikroskopie müssen sowohl
Proben als auch abbildende Elemente hochpräzise und mit hoher Wiederholgenauigkeit positioniert werden. Die Anforderungenreichen von der Z-Fokus-Positionierung des Objektivs bis hin zur Grob- und Feinpositionierung der Probe in X-, Y- und Z-Richtung
sowie oft in θX, θY und manchmal sogar in θZ. PI begegnet diesen Anforderungen mit einem breiten Produktportfolio für inverse
Mikroskopsysteme aller großen Hersteller.

Probentische für die Grob- und FeinpositionierungnnGroße Auswahl an Feinpositioniertischen zur Positionie-

U-780 PILine Kreuztischsystem mit Controller und Joystickrung von Proben (Probenhalter) im Nanometerbereich– Hochauflösender Piezolinearantrieb– Positionierung mit (Sub-)Nanometer-Genauigkeit
in einer (Z) Richtung oder in vielen Freiheitsgraden;
abhängig vom Model und den Anforderungen®

– Selbsthemmung in Ruhe, rauscharm– Höchste Stabilität durch geringe thermische Last
und Schmiermittelfreiheit– Hohe Flexibilität an Stellbereichen und Geschwindigkeiten

	– Großer Dynamikbereich von 10 µm/s bis 120 mm/s
– Stellweg bis 135 mm × 85 mm– Kompatibel mit einer Vielzahl von Probenhaltern

Nanometergenau fokussieren undscannen von Z-Stapeln: PIFOC® ObjektivscannerMit einer breiten Palette von PIFOC®-Objektivscannern bietet PI
die Möglichkeit, genau das Experiment oder die Probenanalyse
durchzuführen, die Sie durchführen möchten.

n	

Die neuesten Entwicklungen umfassen den PIFOC® P-725.1CDE2
mit verbesserten Einschwingzeiten.

n	Anwendungen für Probenpositioniertische:

Weitere Anwendungen für den PIFOC®-Scanner:

Mikroskopie:
Superresolution-Mikroskopie
3-D-Oberflächeninspektion
Digitalisierung von Objektträgern
SEM/AFM

Elektronikfertigung:Screening
Autofokussysteme
Oberflächenanalyse
Messtechnik

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POSITIONIEREN

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Serviceleistungen von PI
Support-Dienstleistungen – Extended Warranty – PI Express

PI hilft seinen Kunden vom ersten Beratungsgespräch bis zur Auslieferung des PI Systems. Darüber hinaus unterstützt die PI Service­abteilung in jeder Hinsicht die optimale Nutzung eines Positioniersystems von PI. In Europa, USA, Asien und in China stehen vierglobale Servicezentren mit ihren Vor-Ort-Spezialisten bereit, um Kunden mit einem globalen Serviceteam bei allen Technologien
und Applikationen zu betreuen. Zusätzlich zum bestehenden Standardservice bietet PI weitere Serviceangebote. Diese werden unten
beschrieben und können individuell an die Anforderungen des Kunden angepasst werden.
Standard
SupportExtendedWarranty

ExtendedWarranty
PLUS

PI Express

PI Express
PLUS(Ersatzteile und Arbeitszeit
bei Herstellungsfehlern)

ü

ü

ü

ü

ü

Zugang zum PI Service-Support-Desk

Regionaler
Supportfür 2 Jahre

Regionaler
Support für
bis zu 5 Jahren
ZRZ <12 Ar­b eits­stunden

Regionaler
Supportfür 3 Jahre

ZRZ <12 Arbeitsstunden

Regionaler
Support für
bis zu 5 Jahren

Regionaler
Support für
bis zu 5 Jahrenüü

Optional

Optionalü

Optional

Optional

ü

ü

ü

ü

24 Monate Gewährleistung(ZRZ = Zielreaktionszeit)
Standard­arbeitszeit 8:00 –16:00

ZRZ <12 Arbeitsstunden

ZRZ <4 Arbeitsstunden

ZRZ <4 Arbeitsstunden

Erweiterte Gewährleistung(Ersatzteile und Arbeitszeit
bei Herstellungsfehlern –1, 2 oder 3 zusätzliche Jahre)

Erweiterte Gewährleistung PLUS
(Erweiterte Gewährleistung plus
Deckung für Ersatzteile, die aufgrund
von normalem Verschleiß ausfallen.*)Erweiterte Support-Stunden

Zugriff auf das globale Support-Team
von PI für kurzfristig geplante
Support-Dienstleistungenaußerhalb der Geschäftszeiten

Fernunterstützung & Vor-Ort-Support**
mit der höchsten Priorität
Ersatzteillagerung(Dedizierte Lagerung von Ersatzteilen/
Systemen zur Minimierung
ungeplanter Ausfallzeiten)üStandard Support
Bereits heute steht dieser Service allen Kunden zur Verfügung. Jede Support-Anfrage, egal ob innerhalb oder außerhalb der Gewährleistungsfrist, wird in der Reihenfolge ihres Eingangs bearbeitet. Die Fernunterstützung von PI ist kostenlos und die Kunden profitieren während der Gewährleistungsfrist von einer Zielreaktionszeit von 12 Arbeitsstunden ab dem ersten Kundenkontakt.
Extended Warranty
Die erweiterte Gewährleistung von PI liefert einen Rundumschutz für Kunden mit der Möglichkeit, die Gewährleistungsfrist auf bis zu
fünf Jahre zu verlängern. Die erweiterte Gewährleistung kann Kostenschutz vor versteckten Mängeln, kürzere Reaktionszeiten auf
Supportanfragen sowie einen priorisierten Service für Reparaturen und Fehleranalysen bieten.
PI Express
PI Express ist die Support-Dienstleistung mit der höchsten Prioritätsstufe. Wenn ein Produktausfall beim Kunden auftritt, bietet
PI eine Express-Fernunterstützung bzw. eine Express-Vor-Ort-Unterstützung wenn nötig und kann auch ein dediziertes Ersatzsystem ausliefern, damit der Betrieb beim Kunden so schnell wie möglich weitergeführt werden kann.
>> Mehr Infos über die Serviceleistungen von PI unter www.pi.de/service*	Ein normaler Verschleißausfall ist definiert als ein Schaden, der durch den normalen Gebrauch verursacht wurde. Verschleißausfälle, die ausgeschlossen sind aufgrund
von nicht gewöhnlichem Gebrauch können z.B. sein, wenn das System einer Strahlung ausgesetzt war; flüssige oder abrasive Partikel von Dritten in die Mechanik gelangtsind; die Anwendung oder der Betrieb über die angegebene Kapazität des Systems hinausgeht (Ausrichtung, Belastung, Stellwegsgrenzen, Umgebung); oder wenn ein
Benutzerfehler oder eine externe Kraft angewendet wurde, die den Ausfall verursacht hat. Maximal 2 Ansprüche über die Laufzeit von 3 Jahren.

18** Alle Vor-Ort-Dienstleistungen werden je nach Kundenstandort im Voraus berechnet.

W W W. P I . D E / L A S E R - M E S S E

Die PI Gruppe
Starker Partner für Industrie und ForschungPhysik Instrumente (PI) nimmt seit vielen Jahren eine Spitzenstellung
auf dem Markt für präzise Positioniertechnik ein. Die technologische
Vielfalt der PI Gruppe ist weltweit einzigartig. Alle Kerntechnologien
entwickelt, fertigt und qualifiziert PI selbst. PI ist dadurch von den
am Markt verfügbaren Komponenten unabhängig, um seinen Kunden
die fortschrittlichsten Lösungen anzubieten.
Die hohe Fertigungstiefe ermöglicht dabei eine vollständige Prozesskontrolle, um flexibel auf die Marktentwicklungen und neue Anforderungen zu reagieren.
Moderne Organisationsformen wie z. B. das fraktale Produktionsmodell garantieren eine effiziente Fertigung für Losgröße-1, Kleinserien und auch OEM-Produkte in hohen Stückzahlen. Durch dieÜbernahme der Mehrheitsanteile an ACS Motion Control, einem
weltweit führenden Entwickler und Hersteller modularer Motion
Controller für mehrachsige Antriebssysteme, kann PI außerdem
Lösungen aus einer Hand anbieten, um den steigenden Anforderungen der Industrie an Präzision und Durchsatz gerecht zu werden.

Kerntechnologienn igene Herstellung von PiezokomponentenEund -aktorenn agnetische Direktantriebe: Voice-CoilM
und Linearmotoren von PInLuftlager, Magnet- und Festkörperführungenn U mfangreiches Angebot an Piezomotor-TechnologiennNanometrologie-Sensorenn S echsachsige, parallelkinematische Positionier-systeme (Hexapoden)n M otion-Control-TechnologienSoftwareDabei steht für PI an erster Stelle, ein zuverlässiger und hochqualifizierter Partner der Kunden zu sein.

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POSITIONIEREN|POSITIONIEREN

Gesellschaften

ACS Motion Control

PI Niederlassungen

DEUTSCHLAND

ISRAELUSA (Ost) & KANADA

USA (West) & MEXIKO

Physik Instrumente (PI)GmbH & Co. KG
Auf der Römerstraße 176228 Karlsruhe
Tel. +49 721 4846-0
Fax +49 721 4846-1019
info@pi.de
www.pi.de

ACS Motion Control Ltd.
Ramat Gabriel Industrial Park
1 Hataasia St.
Migdal HaEmek, 2307037
POB 984
Tel. +972-4-6546440
Fax +972-4-6546443
info@acsmotioncontrol.com
www.acsmotioncontrol.com

PI (Physik Instrumente) L.P.
Auburn, MA 01501
www.pi-usa.us

PI (Physik Instrumente) L.P.
Irvine, CA 92620
www.pi-usa.us

USA (San Francisco Bay Area)

UK & IRLAND

PI (Physik Instrumente) L.P.
Sausalito, CA 94965
www.pi-usa.us

PI (Physik Instrumente) Ltd.
Cranfield, Bedford
www.physikinstrumente.co.uk

ITALIEN		

NIEDERLANDE

Physik Instrumente (PI) S. r. l.
Bressowww.pionline.it

PI Benelux B.V.
Sint-Oedenrode
www.pi.ws/benelux

FRANKREICHSPANIENPI France SAS
Aix-en-Provence
www.pi.ws

Micos Iberia S.L.
Vilanova i la Geltrú
www.pimicos.es

PI miCos GmbH
Freiburger Straße 30
79427 EschbachTel. +49 7634 5057-0
Fax +49 7634 5057-99
info@pimicos.dewww.pi.de
PI Ceramic GmbH
Lindenstraße
07589 Lederhose
Tel. +49 36604 882-0
Fax +49 36604 882-4109
info@piceramic.de
www.piceramic.de

JAPAN
PI Japan Co., Ltd.
Tokio
www.pi-japan.jp

PI Japan Co., Ltd.
Osaka
www.pi-japan.jp

CHINA© Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
Alle Texte, Graphiken, Daten und deren Darstellung unterliegen dem
Schutz des Urheberrechts und anderer Schutzgesetze. Kopie, Veränderung, Weiterverbreitung sind ohne schriftliche Genehmigung von PI
nicht zulässig.
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Shanghaiwww.pi-china.cn

Physik Instrumente(PI Shanghai) Co., Ltd.
Beijing
www.pi-china.cn

SÜDOSTASIENTAIWAN

PI (Physik Instrumente)
Singapore LLP
Singapurwww.pi-singapore.sg
Für ID / MY / PH / SG / TH / VNM

Physik Instrumente (PI)Taiwan Ltd.
Taipeiwww.pi-taiwan.com.tw

KOREA

Mit PI verbinden:

PI Korea Ltd.
Seoul
www.pikorea.co.kr

W W W. P I . D E / L A S E R - M E S S E

BRO71D LASER Exhibits 06/2019 0.5. Änderungen vorbehalten. © Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG 2019

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