IR-CA シリーズ・用途別

放射温度計（フィルム用、炉内物体用、半導体用）

PERFORMANCE SPECIFICATION

放射温度計・IR - CA シリーズの用途 別専用品で、ポリエステルフィルム用、ポリエチレンフィルム用、炉内物体用、半導体・シリコン用、ガリウム・ヒ素用の 5 機種があります。
それぞれの測定 対象物に適した検出素子、測定波長を使用しています。

■特長●デジタル温度表示、パラメータ設定機能を内蔵し、本体で操作ができる一体構造。
●高精度、高速応答、高信頼性。
●通信インターフェイス・RS-485（MODBUS）をオプションにて用意。

■構● IR-CA の遠隔監視、遠隔設定のリモート用に設定表示器を用意。
RS-485 通信により設定・表示ができる。

成■基本タイプ●データ収録ソフトを用意。
●設置環境にあわせて、保護ケース、水冷板などのアクセサリを用意。

温度4〜20mA DC
外部入出力（オプション）
RS-485/DI/DO/4〜20mA DC 入力■設定・表示部（背面）（コネクタ接続）IR-CA

電源24V DC

（端子接続）
直視ファインダ

直視ファインダ

設定キー

設定キー

■放射率遠隔設定タイプ●設定表示器 IR-GZA 組合せ表示器

表示器

IR-GZA
24V
P＋Pー

SIGNALOPTION＋＋ー

RS-485IR-GZAー

温度4〜20mA DC

端子板

RS-485
電源24V DCIR-CA□□□S□

警報出力2点EV1 EV2

MＯDE＋ −
接地 ＋ − ＋ −
出力電源
オプション出力
24VDC 4〜20mADC または入力

温度4〜20mA DC

HOLD
LOCK

SEL
ENT

100−240VAC
電源

放射率、時定数など設定

■機種一覧

用

I R-CAN □□□ポリエステル系高分子特有の吸収帯を利用することにより精度のよい測定ができます。

ポリエチレンフィルム用

I R-CAM □□□ポリエチレン系高分子に含まれる炭化水素の吸収帯を利用することによりフィルムの厚さ、着色剤の影響を受けずに正確な測定ができます。

炉内物体用

I R-CAR □□□□

燃焼炉内物体やバーナで直接加熱されている物体の温度測定に適した放射温度計で、燃焼ガスの影響を受けにくく正確な測定ができます。

半導体・シリコン用

I R-CAT □□□□

測定波長としてシリコンの不透明帯域を使用しているため、ウエハ裏面のヒータの影響を受けることなく、ウエハ温度を精度よく測定することができます。

半導体・ガリウム・ヒ素用I R-CAU □□□□

測定波長としてガリウム・ヒ素の不透明帯域を使用しているため、ウエハ温度を精度よく測定することができます。

途

ポリエステルフィルム用別

1PP-97-3

■形式一覧

■機種別仕様●シリコン用●ポリエステルフィルム用（可動焦点形、ファインダ付き、オプションでレーザ投光）（固定焦点形、レーザ投光付き）

測定径と測定距離
φ 37/1000mm
φ 15/400mm
φ 8/200mm

形 式
IR-CAN Ｇ□□
IR-CAN Ｈ□□
IR-CAN Ｊ□□

測100200径

形 式
IR-CAT 1 □□□IR-CAT 2 □□□●ガリウム・ヒ素用●ポリエチレンフィルム用（可動焦点形、ファインダ付き、オプションでレーザ投光）（固定焦点形、レーザ投光付き）

測定径と測定距離
φ 37/1000mm
φ 15/400mm
φ 8/200mm

定

測100200形 式
IR-CAM Ｇ□□
IR-CAM Ｈ□□
IR-CAM Ｊ□□

定径形 式
IR-CAU 1 □□□IR-CAU 2 □□□●炉内物体用（可動焦点形、ファインダ付き、オプションでレーザ投光）

測100200定

径形 式
IR-CAR 1 □□□IR-CAR 2 □□□●ポリエステルフィルム用 IR-CAN □□□測 定 方 式：狭帯域放射温度計
検 出 素 子：焦電素子
測 定 波 長：8 μ m
測 定 範 囲：0 〜 300℃
精 度 定 格：200℃未満…± 2℃
200℃以上…測定値の± 1％（ただしε≒ 1.0、※基準動作条件において）再現性：1℃以内
安定性：温度ドリフト…0.15℃／℃
EMC 指令要求のテスト環境下において…測定範囲の ±15％分
解能：1℃
応答時間（95％）：1s
光
学系：レンズ集光、固定焦点方式
視 定 方 式：レーザ投光、ファインダなし
レ ン ズ 口 径：φ 15mm
消 費 電 力：最大 5VA※基準動作条件は 23℃± 5℃●ポリエチレンフィルム用 IR-CAM □□□《お願い》
ご発注の際は、上記の形式の他、測定範囲もご指定下さい。

□接続方法
Ｃ：コネクタ接続
Ｔ：端子接続□外部入出力（オプション）
Ｎ：なし
Ｓ：通信インターフェイス・
RS-485
５：アナログ入力
4 〜 20mA DC
Ｊ：接点入力（DI）
Ｋ：接点出力（DO）□視定方式
空欄：標準（機種により標準がファインダ付きまたはファインダなしのレーザ投光付きになります）
Ｌ：レーザ投光付き（標準がファインダ付きの場合、レーザ投 光付きにするとファインダなしになります）

測 定 方 式：狭帯域放射温度計
検 出 素 子：PbSe
測 定 波 長：3.43 μ m
測 定 範 囲：30 〜 300℃
精 度 定 格 精度定格：200℃未満…± 2℃
200℃以上…測定値の± 1％（ただしε≒ 1.0、※基準動作条件において）再現性：1℃以内
安
定性：温度ドリフト…0.15℃／℃
EMC 指令要求のテスト環境下において…測定範囲の ±10％分
解能：1℃
応答時間（95％）：1s
光学系：レンズ集光、固定焦点方式
視 定 方 式：レーザ投光、ファインダなし
レ ン ズ 口 径：φ 15mm
消 費 電 力：最大 10VA
※基準動作条件は 23℃± 5℃●測定径と測定距離の関係

形式：IR-CA □ G■オプション仕様
形式：IR-CA □ H

CAUTION

PP-97-3φ1510000φ15φ154000φ8φ152000600φ24

形式：IR-CA □ J400注）★印のオプションはどれか 1 つの選択になります。

LASER RADIATION

φ372000
φ27内容
オプション名通信インターフェイス★ RS-485 測定データの送信、各設定パラメータの送信および受信
入力信号…4 〜 20mA DC 放射率遠隔設定またはアナログ入力★
自動放射率演算を選択設定
1 点、ピークホールドリセットまたはサンプル
接点入力★
ホールド。ドライ接点またはオープンコレクタ
1 点、上限（下限）警報またはエラー信号。
接点出力★
フォトカプラ 30V DC、最大 50mA
半導体レーザ投光器内蔵。レーザ光は 1mW 以下
レーザ投光機能（645nm）、クラス 2、ファインダなしになります

DO NOT STARE INTO BEAM
Max. 10mW 645mm
CLASS 2 LASER PRODUCTPER IEC 825-1 (1998)

単位：mm

φ89

レーザ投光形ご使用にあたってのご注意●レーザビームをのぞきこんだり、人の顔に向けて照射しないでください。
●測定面が鏡面に近いもの（光沢のある金属など）を測定する場合には、反射による影響にもご注意ください。

2

PERFORMANCE SPECIFICATION●炉内物体用●半導体・ガリウム・ヒ素用

IR-CAR □□□□IR-CAU □□□□

測 定 方 式：狭帯域放射温度計
検 出 素 子：Si測 定 波 長：0.6 〜 0.9 μ m
測 定 範 囲：400 〜 800℃（距離係数 100）
500 〜 1000℃（距離係数 200）
（ただしε≒ 1.0、※基準動作条件において）
精 度 定 格：600℃未満…± 3℃
600℃以上…測定値の± 0.5％
再現性：0.5℃以内
安定性：温度ドリフト… 700℃未満…0.1℃／℃
700℃以上…測定値の 0.015％／℃
EMC 指令要求のテスト環境下において…測定範囲の ±10％分
解能 分解能：0.5℃
応答時間（95％）：0.04s
光学
系：レンズ集光、可動焦点方式
視 定 方 式：直視ファインダ
レ ン ズ 口 径：φ 20mm
消 費 電 力：最大 10VA

測 定 方 式：狭帯域放射温度計
検 出 素 子：PbSe
測 定 波 長：3.8 μ m
測 定 範 囲：350 〜 1100℃（距離係数 100）
450 〜 1300℃（距離係数 200）
500 〜 1500℃（距離係数 200）
精 度 定 格：1000℃未満…± 5℃
1000℃以上…測定値の± 0.5％
再現性：1℃以内
安定性：温度ドリフト…1000℃未満…0.2℃／℃
1000℃以上…測定値の 0.02％／℃（ただしε≒ 1.0、※基準動作条件において）

EMC 指令要求のテスト環境下において…測定範囲の ±10％分
解能：1℃
応答時間（95％）：0.02s
光学
系：レンズ集光、可動焦点方式
視 定 方 式：直視ファインダ
レ ン ズ 口 径：φ 20mm
消 費 電 力：最大 10VA

※基準動作条件は 23℃± 5℃※基準動作条件は 23℃± 5℃●測定径と測定距離の関係●測定径と測定距離の関係
測定距離：0.5 ｍ〜∞
測定径＝

測定距離
距離係数

●半導体・シリコン用

測定距離：0.5 ｍ〜∞

距離係数と測定距離による測定径の目安

測定距離（mm）
距離係数 500 1000
φ10100φ5200
φ2.5 φ5

測定径＝2000
φ20φ10示 温度表示部…LCD4 桁、パラメータ部…LCD4 桁
表示単位…℃
放 射 率 補 正 放射率設定値…1.999 〜 0.050
信 号 変 調 DELAY…一次遅れ（時定数 0.0 〜 99.9s、0.1s ステップ または0.00 〜 9.99s、0.01s ステップ 任意設定）
時定数 0 ＝ REALPEAK…最高値のトレース（減衰率 0.1 〜 10.0℃ /s、0.1s ステップ 任意設定）
演 算 機 能 ゼロ・スパン調整、自動放射率演算、出力補正
アナログ出力 4 〜 20mA DC アイソレート出力
負荷抵抗…500 Ω以下
精度定格…出力範囲の± 0.2%
分解能…出力範囲の 0.04％
スケーリング…測定温度範囲内で任意に設定可能
模擬出力…アナログ出力の 0 〜 100% の範囲内で任意に設定可能
設 定 キ ー オペレータモード…放射率、信号変調、警報などの設定
エンジニアリングモード…
表示単位、出力スケーリング、ゼロ・スパン、自動放射率
演算の基準温度入力、出力補正などの設定
オプション機能の設定
自 己 診 断 機器温度異常、パラメータエラー
使用温度範囲 0 〜 50℃
電源 24V DC（許容電圧変動範囲 ･･･22 〜 28V）
推奨電源ユニットIR-ZFEP（S8VS-01524 オムロン社製）
または設定表示器 IR-GZA
接 続 方 法 端子接続またはコネクタ接続
ケ ー ス 材 質 アルミ製
質量 約 1.3kg●測定径と測定距離の関係

測定径＝

距離係数

距離係数と測定距離による測定径の目安

測定距離（mm）
距離係数 500 1000
φ10100φ5200
φ2.5 φ52000
φ20φ10表※基準動作条件は 23℃± 5℃

測定距離

距離係数

測定距離（mm）
距離係数 500 1000
φ10100φ5200
φ2.5 φ5■共通仕様

IR-CAT □□□□

測 定 方 式：狭帯域放射温度計
検 出 素 子：Si測 定 波 長：0.6 〜 0.96 μ m
測 定 範 囲：400 〜 800℃（距離係数 100）
500 〜 1000℃（距離係数 200）
600 〜 1200℃（距離係数 200）
（ただしε≒ 1.0、※基準動作条件において）
精 度 定 格：600℃未満…± 3℃
600℃以上…測定値の± 0.5％
再現性：0.5℃以内
安定性：温度ドリフト… 700℃未満…0.1℃／℃
700℃以上…測定値の 0.015％／℃
EMC 指令要求のテスト環境下において…測定範囲の ±10％分
解能：0.5℃
応答時間（95％）：0.04s
光学系：レンズ集光、可動焦点方式
視 定 方 式：直視ファインダ
レ ン ズ 口 径：φ 20mm
消 費 電 力：最大 10VA

測定距離：0.5 ｍ〜∞

測定距離

距離係数と測定距離による測定径の目安

2000
φ20
φ103PP-97-3

PERFORMANCE SPECIFICATION■外形寸法
IR-CAN
IR-CAM

66140■データ収録ソフト・IR-VXC1 □（別売品）

66105105（端子接続） （コネクタ接続）

測定温度データの収録を行います。

5

●一般仕様

1/4-20UNC深430

4-M4深4458030

動作環境

70140（20）6666

能OSWindows2000/XP/Vista/7/10

ハードディスク

空き容量：約 20MB 以上メモリ256MB 以上

ドライブ

CD-ROMドライブ

インターフェイス

RS-232C ポート 1 基

ディスプレイへの測定データデジタル表示およびトレンド表示
データ保存・再生（CSV 形式）
および印刷
接続台数：最大 3 台

105

105

φ40機

80

5

●機器構成
1/4-20UNC深4

データ収録ソフト
IR-VXC1 □（端子接続） （コネクタ接続）

30

4-M4深45IR-CAR
IR-CAT
IR-CAU

言語判別
Ｊ：日本語版
Ｅ：英語版

IR-CA とパソコンを組合せ、本ソフトにより

580

φ30

1065
10070

（）
は参考寸法

ライン
コンバータ
RS-485

RS-232C

IR-CA□□□S□■設定表示器 IR-GZA（別売品）
IR-CA の遠隔監視・設定や直流電源の供給を行います。

■アクセサリ（別売品）
IR-CA 用の保護ケース、エアパージフード、シーリングウィンドウ、水冷フランジ、水冷板、接続ケーブル、接写レンズなどアクセサリを豊富に用意しております。
※設定表示器、アクセサリの詳細につきましては PS シート No.PP-98
をご覧ください。

※本PSシートに記載されている会社名、製品名などは各社の商標または登録商標です。

URL : https://www.chino.co.jp/〒173-8632 東京都板橋区熊野町32-8
03-3956-2111

PP-97-3

営業所：

札 幌
仙 台
新 潟
宇都宮
水 戸
高 崎

大 宮
千 葉
東 京
立 川
神奈川
静 岡

安全に関するご注意
福 岡
北九州

富 山
名古屋
大 阪
大 津
岡 山
広 島

※記載製品は、一般工業計器として設計・製造したものです。
※本製品の設置・接続・使用に際し、取扱説明書をよくお読みの上、正しくご使用下さい。
※記載内容は性能改善等により、お断りなく変更することがございますのでご了承下さい。
※本PSシートの記載内容は2022年7月現在のものです。

4

発行 2022.7

PDF
初版 2003.7