Leak test system for Hermetical Product小型電子部品専用気密検査装置
Electronic Components Leak Test System

フクダは計測器の販売と共に、お客様に安全かつ正確に測定していただくため、測定環境の保全・改善をご提案いたします。

MS series

In addition to sales of measurement devices, FUKUDA also offers advice
on test conditions integrity and improvement in order for customers to test ina more accurate and safer environment.

本社・工場
https://www.fukuda-jp.com/

総合カタログ〒176-0021 東京都練馬区貫井3-16-5
TEL.（03）3577-1111 FAX.（03）3577-1002

東北営業所〒989-0217

宮城県白石市大平森合字清水田39-1

TEL.（0224）24-2672

FAX.（0224）24-2673

東京営業所〒176-0021

東京都練馬区貫井3-16-5

TEL.（03）5848-7921

FAX.（03）3970-7218

厚木営業所〒243-0815

神奈川県厚木市妻田西1-15-12

TEL.（046）222-3166

FAX.（046）222-0144

静岡営業所〒421-0404

静岡県牧之原市静谷2543-1

TEL.（0548）27-3111

FAX.（0548）27-2228

中部営業所〒448-0857

愛知県刈谷市大手町2-29 INOビル2F

TEL.（0566）21-2266

FAX.（0566）21-2181

近畿営業所〒591-8008

大阪府堺市北区東浅香山町4-6 圭祐館103

TEL.（072）259-0016

FAX.（072）259-0033

広島営業所〒735-0006

広島県安芸郡府中町本町2-9-33-101

TEL.（082）286-0472

FAX.（082）286-0597

海外営業部〒176-0021

東京都練馬区貫井3-16-5

TEL.（03）5848-7621

FAX.（03）3970-7218

水晶デバイス、セラミック発振子、光デバイス、パワー半導体、
CAN デバイス、レーザーダイオード、MEMS 関連製品、
SAW フィルタ、小型リレー、コンデンサなど、気密性が求められる小型電子部品のリークテストシステムです。
全自動機、専用機、卓上タイプをラインアップしております。
■ ボンビング・グロス・ファインリークテスト■ グロスリークテスト■ ウルトラファインリークテスト

東北工場・東北分工場・静岡工場・新座事業所

https://www.fukuda-jp.com/en/

Product Line up

Head Office: 3-16-5, Nukui, Nerima-ku, Tokyo, 176-0021 Japan
TEL. (81) 3-5848-7621 FAX. (81) 3-3970-7218※ China:

NAGANO FUKUDA ( TIANJIN) INSTRUMENTS CO.,LTD. ( TIANJIN HEADQUARTERS)
No.7 Factory, Fenghua Industrial Park, No.80, 9th Street TEDA Tianjin, China
National Hot Line TEL. (86) 4000-1919-15 FAX. (86) 10-8758-2462
TEL. (86) 10-8758-2461 Japanese (EXT668) / English (EXT616)※ Korea:

KI SUNG TECHNOLOGY CO.,LTD. http://www.kisungtech.com
585-40, Gajwa-dong, Seo-gu, Incheon, Korea TEL. (82) 32-584-8464 FAX. (82) 32-584-8465※ Taiwan:

LI AN INDUSTRY MEASUREMENT CORP. http://www.lian.com.tw
6F., No.49, Jyunsian Rd., Cidu Dist., Keelung, City 20653, Taiwan, R.O.C. TEL. (886) 2-2456-6663 FAX. (886) 2-2455-2129※ India:

SYSCON INSTRUMENTS PRIVATE LTD. http://www.sysconinstruments.com
Plot No.66, Electronics City, Hosur Road, Bangalore-560 100, India TEL. (91) 80-2852-0772 FAX. (91) 80-2852-0775※ Thailand:

OVAL THAILAND LIMITED http://www.ovalthailand.com/
818/50 The Master Udomsuk, Sukhumvit 103, Bangna-Nua, Bangna, Bangkok Thailand 10260
TEL. (66) 2-130-7913-4 FAX. (66) 2-130-5615※ Singapore:

OVAL ASIA PACIFIC PTE. LTD. http://www.ovalasia.com.sg
16 Boon Lay Way, #01-49 Tradehub 21, Singapore 609965 TEL. (65) 6266-1178 FAX. (65) 6266-1163※ Malaysia:

OVAL ENGINEERING SDN BHD. https://www.oval.com.my/
25-1, Block D1, Jalan PJU 1/41, Dataran Prima, Taman Mayang Mas 47301 Petaling Jaya Selangor Darul Ehsan, Malaysia
TEL. (603) 7803-5578 FAX. (603) 7803-7957※ Indonesia:

PT. FUKUDA TECHNOLOGY http://fukuda-id.com
Komplek Cikarang Square Blok B-22 Cikarang-Bekasi 17750, Indonesia TEL. (62) 21-2909-4511 FAX. (62) 21-2909-4522※ Vietnam:

FUKUDA VIET NAM COMPANY LIMITED http://www.lian-vn.com/vietnam
22A Street No. 29, Quarter 2, Cat Lai Ward, Thu Duc City, HCM, Vietnam TEL. (84) 28-3771-0873 FAX. (84) 28-3771-0990※ USA:FUKUDA USA INC. http://www.fukuda-us.com
2721 Pioneer Drive, Bowling Green, KY 42101, USA Toll Free Line. 1-888-859-9898 TEL. (1) 270-745-7300 FAX. (1) 270-745-9959※ Mexico:

FUKUDA De Mexico
Av Aguascalientes Nte 622, Pulgas Pandas, 20138 Aguascalientes, Ags. Mexico TEL. (52) 1-449-996-0984 FAX. (52) 1-449-996-3981※ Germany:

ADZ NAGANO GmbH http://www.adz.deBergener Ring 43 D-01458 Ottendorf-Okrilla Germany TEL. (49) 35205-59-6930 FAX. (49) 35205-59-6959

Leak Test Systems for compact electronic parts requiring
airtightness such as crystal devices, ceramic oscillators,
optical devices, power semiconductor, CAN devices, laser
diodes, MEMS-related products, SAW filters, compact
relays, and capacitors.
The lineup includes fully-automatic, custom-made, andbench top machines.

http://www.fukuda-tj.com.cn※印の拠点は、当社ISO適用範囲外です。 ※Signifies ISO applications not met by Fukuda.

■ Bombing・Gross・Fine Leak Test
■ Gross Leak Test
■ Ultra Fine Leak Test

MSZ-6200

代 理 店 Contact

仕様は改良のため通知なく変更される場合があります。
Specifications may change without notice for product improvement.
Rev. Sep. 21 Printed Sep. 21 1KN Printed in Japan 10558-K-002-07

MSX-6200

MUH-0100

MS-512

電子部品や光デバイスなどのリーク検査

グロスリーク、ファインリークテストシステム

小リーク Small Leak

Leak testing for electronic parts and optical devices etc.

カプセル内のエアがワーク内に入る
ことにより、カプセル内が減圧され、差圧が発生する。
When the air in the capsule enters in
the test piece, the pressure in thecapsule decreases and differential
pressure is generated.

ワークに穴が開いていると、その部分からワーク内にエアが入り込む。
When the test piece has a hole,
the air enters in the test piecethrough the hole.

Gross Leak, Fine Leak Test System
密封された製品のリーク検査は、グロスリークテストとファイン
リークテストの 2 種類の検査をする必要があります。
グロスリークテストは差圧式エアリークテスト、ファインリーク
テストはヘリウムリークテスト（ボンビング法）による検査を行います。

大リーク Large Leak
バルブを開くと、カプセル内のエアがタンク側に移動し、減圧する。漏れ有ワークでは、カプセル内のエア量が多く減圧が小さいため、差圧が発生する。
With valve open, the air in the capsule moves tothe tank side and pressure decreases. As to thetest piece with leakage, the air amount in thecapsule is large and pressure decrease is small,so the differential pressures is generated.

Two types of tests are required in leak testing for sealed
products, a gross leak test and a ﬁne leak test.
The gross leak test is conducted by the differential-pressure
type air leak test method, while the ﬁne leak test is run withthe bombing method using a helium leak tester.

小リーク（S-DET）及び大リーク（L-DET）発生差圧 [Pa]
Small Leak (S-DET) and Large Leak (L-DET) Resulting Differential Pressure [Pa]■ 小リーク（S-DET）及び大リーク（L-DET）と漏れ量（粘性流モデル） Small Leak (S-DET) and Large Leak(L-DET) to Leak Rate (Viscous ﬂow model)
300

例：2.0×1.6 の場合 Example of 2.0×1.6 Size

S-DET

L-DET（初期圧との差：ズレ係数が真値 0.38 の時）

250(Difference from initial pressure : at coefficient ofdeviation is truth value 0.38)

200

OK

150
100

NG

L-LEAKOK

S-LEAK

重複領域

Overlap Area

50
0
-50
1.0E-7OKNG
1.0E-6

1.0E-5

1.0E-4

1.0E-3

漏れ量 [Pa・m3/s]

Leak Rate [Pa・m3/s]

ファインリークの測定原理

リーク検出範囲と対応機種

Fine Leak Testing Principle

Detectable Leak Range and Model

リーク検出範囲により、以下の 3 機種をラインアップし、大リークから 10-15 Pa・m3/s (He) までのリークレート全領域をカバーしています。ボンビング・グロス・ファインリークテストシステムは、主に 2.5 × 2.0 以下の小型ワーク専用にヘリウムガス充填後の放置時間管理機能を有する装置として設計されています。
The FUKUDA lineup includes the following three models to suit the leak detection scope required. Together they cover the entire leak rate
range from gross leaks to ﬁne leaks of 10-15 Pa・m3/s (He). The Bombing Gross Fine Leak Test System has been designed exclusively forsmall test pieces (mainly 2.5 × 2.0 or under in size) with time-keeping functionality after bombing with Helium gas.

水没試験

MS/MSZ
seriesMSX

series

MUH
series

ボンビング(Helium Leak)

Ultra Fine Leak(Helium Filling)

Fine Leak(Air Leak or Submergence Test)●

グロスリーク
テストシステム
Gross Leak Test System●

ボンビング・グロス・ファイン
リークテストシステム
Bombing Gross Fine
Leak Test System●

ウルトラファイン
リークテストシステム
Ultra Fine Leak Test System

ウルトラ
ファインリーク

ファインリーク

Gross Leak

（フロリナート目視検査）

Submergence Test
(Fluorinate Visual Check)（He リーク）

グロスリーク（エアリーク又は水没試験）

10-4

10-5

10-6

10-7

10-8

10-9

● ヘリウムリーク測定

置（測定待ち）Dwell Time (Waiting for measurement)

Helium Leak Measurement

２分以内

1×10-6 〜10-9 Pa・m3/s (He)400〜500 kPa

リーク検出範囲 Detectable Leak Range [Pa・m3/ s (He)]

１時間充填 Filling Time: 1 hourWithin 2 min.

10-15

ヘリウムリークディテクタ
Helium Leak Detector

He Gas●●●●Gross Leak Testing Principle
小型電子部品のグロスリークテストは、小型カプセル内に SMDなどのワークを投入・加圧し、カプセル内圧がワークへ漏れ込むことによって発生する微小圧力降下を計測します。
また、ワーク内に瞬時に漏れ込む大リークについては、カプセル
内エアを大気圧状態の小型タンクに開放し、それにより生ずる差圧を計測することにより測定を行います。
Gross leak testing for compact electronic parts is conducted by thetest piece such as a SMD being sealed in a compact capsule, and theminute pressure drops caused by the internal pressure of the capsuleleaking into the test piece are measured. Testing of large leaks that
occur instantaneously due to leakage into the test piece is conductedby measurement of the differential pressure that occurs after the air
inside the capsule is discharged into a small tank.

※本資料では試験体をワークと標記しています（日本語のみ）note) Test piece in some cases are referred to as Work here. (Japanese only)

ワークに漏れがあると、ワーク内部にヘリウムガスが入り込む。

放置中もヘリウムガスが大気に放出されている。

Helium gas leaks into the test piece
when the test piece has a leak.

Helium gas is released into the atmosphere
during the waiting time as well.

ワークから漏れ出てくるヘリウムガスを検出する。
※10-9 より小さい漏れ（〜10-15 台）を測りたい場合は、ウルトラファインリーク
テストを行います。詳しくは、カタログ「MUH-0100」をご参照ください。

Helium gas leaking out from the test piece is detected.
*To test leaks smaller than 10-9 (~10-15 range), please use an ultra-fine leak test.
For more information, please refer to the “MUH-0100” catalog.
1.0E-04■ ヘリウム漏れ量と放置時間 Helium Leak Rate and Dwell Time

グロスリークの測定原理

1●放● ヘリウムガス浸漬（ボンビング）

Helium Gas Filling (Bombing)（He 充填）Bombing■ ファインリーク（ヘリウムリークテスト）の手順 Fine Leak (Helium Leak Test)■ 測定回路・検査工程 Test Circuit/ Test Procedure
カプセル
Capsule ワーク
Test
Piece

差圧センサ
Differential Pressure Sensor
マスタ

カプセル
CapsuleMaster

タンク
Tank

タンク
Tank

小型のワークは、ボンビングによるワーク内のヘリウムガスの侵入量が微量となり、微小なリークであっても短時間でヘリウムガスが抜け、測定に支障をきたします。この現象を回避するために、ボンビング後にワークを大気中に放置できる時間を制限する必要があります。
ボンビング時間・圧力・放置時間と漏れ量の関係は、JIS 及び MIL 等の規格で適応基準が記載されています。
・JIS Z 2331: 2006 ヘリウム漏れ試験方法
・MIL-STD-883H TEST METHOD STANDARD MICROCIRCUITS. METHOD 1014.13 SEAL

For small test pieces, as the amount of Helium gas entering the test piecethrough bombing becomes minute, Helium gas is able to escape over a shortperiod of time even for small leaks, and so can hinder the measurement process.
To avoid this phenomenon, it is necessary to limit the length of time the test
piece is left exposed to air after the bombing process. The applicable criteria
regarding the relationship between the leak rate and the bombing time, pressure,and the time the test piece is left exposed to air are regulated by Japanese Industrial
Standards (JIS) as well as Military Speciﬁcations and Standards (MIL) etc.
・JIS Z 2331: 2006 Method for helium leak testing・MIL-STD-883H TEST METHOD STANDARD MICROCIRCUITS. METHOD 1014.13 SEAL

グロスリークGross Leak

1.0E-05

重複領域

He gas leak rate R [Pa・m3/s (He)]

測定内容
Measurement Contents

Fine leak measurement is conducted by a test piece being charged with Helium gas (the bombing process), and a Helium leak test being
performed using a vacuum chamber. FUKUDA s unique technology enables high-speed leak testing.

He 気体の漏れ R [Pa・m3/s（He）]

シリーズ
Series

ファインリーク測定では、ボンビング工程でワークにヘリウムガスを浸漬（充填）させ、その後、真空チャンバに入れヘリウムリー
クテストを行います。フクダ独自の技術により、高速で漏れを検査することができます。

Overlap Area

1.0E-06

1.0E-07

大リーク検出 Large Leak Detection

特許●

PAT. No. 4409098 リークテストシステム及びリークテスト方法●

PAT. No. 5204678 ボンビングチャンバ●

PAT. No. 5271096 ワーク搬送の動作

Leak test systems and leak test methods
Bombing chamber

1.0E-08

1.0E-10

Test piece conveyance operation

ファインリーク
Fine Leak

Example of
5.0×3.2/ 7.0×5.0
Size

Example of
1.2×1.0/ 1.6×1.2
Size

1.0E-09

放置限界時間 3 分
Dwell time limit : 3 min.

1.0E-11

1.0E-13

5.0×3.2 または
7.0×5.0 の場合

1.2×1.0 または
1.6×1.2 の場合

放置限界時間165 分
Dwell time limit : 165 min.

1.0E-12

小リーク検出 Small Leak Detection

2.0mm30.08mm3

1

10

100

1000

10000

放 置 時 間（s）

100000 1000000

The time the work is left in the air (s)2

仕様/型式

検査対象サイズと対応機種
Application Sizes and Module Capability

全自動装置

Speciﬁcations / Model

卓上式グロスリークテストシステム

Full-automatic Leak Test System

グ ロ ス Gross

ボンビング・グロス・ファイン Bombing Gross Fine

Bench top Gross Leak Test System

デバイス開発時の試験、量産ライン投入前の事前実験、抜き取り検査などの少量検査向けに開発された気密検査装置です。
This airtight testing system is designed for use in small volume tests such as of devices under development, in preliminary experiments
before introduction to mass production lines, and in sampling tests.

MS-512 ❶ - ❷MS-522 ❶ - ❷MS-511 ❶ - ❷アンプユニット MS-511E
Amp Unit

1 ch タイプ

2 ch タイプ

1 ch TypeMSZ-6200
特許●

MS-6086

MSX-6110

PAT. No. 4409098 リークテストシステム及びリークテスト方法
Leak test systems and leak test methods■ 検査対象サイズ（mm）
Test Piece Size

少量検査用

1.2 × 1.0
1.6 × 1.2
2.0 × 1.6
2.5 × 2.0
3.2 × 2.5●

PAT. No. 5204678 ボンビングチャンバ

MSZ-6200-

Bombing chamber●

PAT. No. 5271096 ワーク搬送の動作

Test piece conveyance operation

MSX-6110▲ 特注 custom-made▲ 特注 custom-made

●

●

●

▲ 特注 custom-made

●

●

●

-

-

●

-

MSX-6200●●▲ 特注 custom-made

For Small Volume Testing

アンプユニット
Amp Unit
MS-511E

ボンビング・グロス・ファイン Bombing Gross Fine
MS-512FL-510: 1 × 10-4 Pa・m3/s

大きいワーク（φ 18.5 ×長さ 30 mm まで）

検 査 対 象 サ イ ズ

FL-513: 1 × 10-5 Pa・m3/s

5.0 × 3.2 mm

FL-515: 5 × 10-6 Pa・m3/s

2.5 × 2.0、 3.2 × 2.5（mm）

源

電

圧

外

形

寸

法

W300 × D505 × H367 mm ※W384 × D505 × H367 mm ※

量

20 kg

30 kg

搬

■ 検査対象サイズ：φ 44 × 31 mm 以下
Test Piece Size

AC100 V ±10％

PAT. No. 5970618 カプセル蓄積法 The Capsule-Accumulation Method■ 検査対象サイズ：2.5 × 2.0 〜 1.2 × 1.0、φ12 〜 3.2 × 2.5 (mm)Test Piece Size
※グロスリークセンサの種類により対象サイズが異なります。
* The applicable testing size varies depending on the gross leak sensor model.

専用機（参考例） Custom-made Machine-Reference Example
お客様のご要望・仕様に合わせたリークテスト装置・治具を製作いたします。パレット搬送、マガジン搬送の対応も可能です。
お気軽にご相談ください。
We manufacture leak test devices and jigs to suit individual customer requirements and speciﬁcations. Our devices can also include palletand magazine conveyance. Please do not hesitate to contact FUKUDA to talk about how we can meet your needs.

空圧50/ 60 Hz
W380 × D385 × H348 mm ※30 kg
手動①ワーク投入 ②測定位置にカプセルをセット③測定後のカプセル引出し ④ワーク取出し

手動①ワーク投入 ②ワーク取出し

送MSX-0101
Within φ 44 × 31 mm

MS-511※ MS-511 のみ

8 グループ（最大 8 種類） ※切替用カプセルはオプションです。

電質

MUH-0100

MS-522

最小可検リーク量※テスト圧 200 kPa の時
グ ル ー プ 設 定●

Manual Loading Type

MSX-6200

MS-6086-

ウルトラファイン Ultra Fine

特許

手動タイプ

2 ch Type空圧源 0.6 MPa 以上
クリーンで変動しないドライエアをご使用ください。
推奨条件：JIS B 8392-1：2012 による 圧縮空気の清浄等級 1, 3, 1

源

Min. Detectable Leak Rate
*Under test pressureof 200 kPa
Target Test Size

FL-510: 1 × 10-4 Pa・m3/s

Large test pieces (up to φ18.5 × length 30 mm) *MS-511 only

FL-513: 1 × 10-5 Pa・m3/s

5.0 × 3.2 mm

Group Setting

8 group ( Max. 8 Total )FL-515: 5 × 10-6 Pa・m3/s
100 VAC ±10％Power Source
External Dimensions

2.5 × 2.0, 3.2 × 2.5 (mm)
*Changeover capsule is optional.

50/ 60 Hz

W300 × D505 × H367 mm note

W384 × D505 × H367 mm note

20 kg

30 kg

Mass

30 kg
Manual(1) Load test piece(2) Set the capsule at the measurement position(3) Retrieve capsule after measurement(4) Retrieve test piece

Manual(1) Load test piece (2) Retrieve test pieceTransporting

W380 × D385 × H348 mm note

Pneumatic Pressure Source 0.6 MPa or above.
Please supply clean, stable, and dry air.
Recommended conditions according to ISO 8573-1 : 2010. Compressed air purity classes 1, 3, 1

Pneumatic Pressure
Source※突起物なし■型式

Model❶ 圧力レンジ
記号

圧力範囲

V

0 〜 -80 kPaM3note) Excluding extruded sections.

0 〜 300 kPa
0 〜 200 kPa❷ 測定ユニット搭載テスタ型式

FL-510FL-513FL-515❶ Pressure Range

記号搭載テスタ型式

0FL-510V

5FL-515M

3

FL-513

Number Pressure Range
0 〜 -80 kPa
0 〜 300 kPa
0 〜 200 kPa❷ Measuring Unit
Air Leak Test Unit
FL-510FL-513

Number

Air Leak Test Unit

0FL-5103FL-513

5

FL-515

FL-5154

グロスリークテストシステム

ボンビング・グロス・ファインリークテストシステム

Gross Leak Test System

グロスリーク判別を全自動で行うグロスリークテストの全自動装置です。

ボンビング（ヘリウム浸漬）、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行う全自動装置です。

This gross leak test system is fully automatic, including fully-automatic gross leak determination.
装置動作はこちら⇦ 装置動作はこちら
Click here for the operation
Click here forthe operation
video of thevideoof the device.
device.

⇦MSZ-6200

This fully-automatic system conducts leak testing while controlling the bombing (Helium charge), gross leak test, and ﬁne leak test conditions.

1.6 × 1.2 〜 3.2 × 2.5 (mm)

最小可検漏れ量

グロスリーク：2 × 10-7 Pa・m3/s（等価標準リーク）

処

12 ch

理

能

力

MSX-6110
最小可検漏れ量

0.5 s/ 個

電源電圧・消費電力

AC100 V ±10% 単相 50/60 Hz 1.5 kVA ※この他の電源・電圧仕様については、ご相談ください。

処

外

法

W1000 × D1000 × H1800 mm（シグナルタワー除く）

電源電圧・消費電力

送

OK・NG BOX バラ落とし（特殊仕様にてパレット搬入・搬出、段積みなど対応可）

外源

空圧源 0.5 MPa 以上
クリーンで変動しないドライエアをご使用ください。
推奨条件：JIS B 8392-1：2012 による 圧縮空気の清浄等級 1, 3, 1

搬

形

寸

搬
空
オ

圧
プ

シ

ョ

ン

HEPA フィルタの取付を推奨します。

Min. detectable leak rate

Gross leak : 2 × 10-7 Pa・m3/s (Equivalent standard leak)

Process Capacity

12 ch

Power Source/
Applied Current

100 VAC ±10％ Single-phase 50/60 Hz 1.5 kVA*Please consult us regarding other power/voltage speciﬁcations.

External Dimensions

W1000 × D1000 × H1800 mm (Signal tower excluded)

Transporting

OK/ NG Separate Drop Box(Corresponds to pallet transport stacking according to special speciﬁcations)

Pneumatic Pressure
SourcePlease supply clean, stable, and dry air.
Pneumatic Pressure Source 0.5 MPa or above.
Recommended conditions according to ISO 8573-1 : 2010. Compressed air purity classes 1, 3, 1

OptionWe recommend ﬁtting a HEPA ﬁlter.

0.5 s/partMS-6086

1.6 × 1.2 〜 2.5 × 2.0 (mm)

最小可検漏れ量

グロスリーク：2 × 10-7 Pa・m3/s（等価標準リーク）

処

8 ch

理

能

力

AC100 V ±10% 単相 50/60 Hz 1.5 kVA ※この他の電源・電圧仕様については、ご相談ください。

外法W1020 × D985 × H1450 mm（シグナルタワー除く）

送

OK・NG BOX バラ落とし（特殊仕様にてパレット搬入・搬出、段積みなど対応可）

源

空圧源 0.5 MPa 以上
クリーンで変動しないドライエアをご使用ください。
推奨条件：JIS B 8392-1：2012 による 圧縮空気の清浄等級 1, 3, 1

形

寸

空

圧

Min. detectable leak rate

Gross leak : 2 × 10-7 Pa・m3/s (Equivalent standard leak)

Process Capacity

8 ch

Power Source/
Applied Current

100 VAC ±10％ Single-phase 50/60 Hz 1.5 kVA*Please consult us regarding other power/voltage speciﬁcations.

External Dimensions

W1020 × D985 × H1450 mm (Signal tower excluded)

Transporting

OK/ NG Separate Drop Box(Corresponds to pallet transport stacking according to special speciﬁcations)

Pneumatic Pressure
SourcePneumatic Pressure Source 0.5 MPa or above.
Please supply clean, stable, and dry air.
Recommended conditions according to ISO 8573-1 : 2010. Compressed air purity classes 1, 3, 1

ウルトラファインリークテストシステム

1.0 s/partThis Helium leak testing system features the highest level of sensitivity in the industry. With this system, leak rate measurement is possible
down to 4 × 10-15 Pa・m3/s (He). This system measures very small leaks by ﬁne leak testing (Vacuum Chamber Method) and ultra-ﬁne leaktesting (the Capsule-Accumulation Method).
φ44 × 31 mm 以下 Within φ 44 × 31 mm

MUH-0100理

能力

ファインリーク：1 × 10-10 Pa・m3/s（He）
ウルトラファインリーク ：4 × 10-15 Pa・m3/s（He）

1 ch

寸

力

法
送

圧
プ

源

シ

ョ

ン

Minimum detectableleak rate

カプセルサイズΦ 16 × 10 を使用した場合※詳しくはカタログ「MUH-0100」をご参照ください。

W1800 × D1150 × H1800 mm（シグナルタワー除く）
OK・NG BOX バラ落とし（特殊仕様にてパレット搬入・搬出、段積みなど対応可）

クリーンで変動しないドライエアをご使用ください。
空圧源 0.5 MPa 以上
推奨条件：JIS B 8392-1：2012 による 圧縮空気の清浄等級 1, 3, 1

HEPA フィルタの取付を推奨します。

Gross leak : 2 × 10-7Pa・m3/s (Equivalent standard leak)Fine leak : 1 × 10-9Pa・m3/s (He)
1.2 s/part (Bombing 60 min)
1.0 s/part (Bombing 40 min)Power Source/
Applied Current

200 VAC ±10％ Three-phase 50/60 Hz 4 kVA*Please consult us regarding other power/voltage speciﬁcations.

External Dimensions

W1800 × D1150 × H1800 mm (Signal tower excluded)

Transporting

OK/ NG Separate Drop Box (Corresponds to pallet transport stacking according to special speciﬁcations)

Pneumatic Pressure
SourcePneumatic Pressure Source 0.5 MPa or above.
Please supply clean, stable, and dry air.
Recommended conditions according to ISO 8573-1 : 2010. Compressed air purity classes 1, 3, 1

OptionWe recommend ﬁtting a HEPA ﬁlter.

MSX-6200
処

理

能

力

2.0 × 1.6 〜 3.2 × 2.5 (mm)

12 ch

外

W1600 × D1000 × H1800 mm（シグナルタワー除く）

形

寸

送

空
オ

法

圧
プ

源

シ

ョ

ン

Minimum detectableleak rate

OK・NG BOX バラ落とし（特殊仕様にてパレット搬入・搬出、段積みなど対応可）

クリーンで変動しないドライエアをご使用ください。
空圧源 0.5 MPa 以上
推奨条件：JIS B 8392-1：2012 による 圧縮空気の清浄等級 1, 3, 1

HEPA フィルタの取付を推奨します。

Gross leak : 2 × 10-7Pa・m3/s (Equivalent standard leak)Fine leak : 1 × 10-9Pa・m3/s (He)Process Capacity

12 ch

Power Source/
Applied Current

200 VAC ±10％ Three-phase 50/60 Hz 4 kVA*Please consult us regarding other power/voltage speciﬁcations.

External Dimensions

W1600 × D1000 × H1800 mm (Signal tower excluded)

Transporting

OK/ NG Separate Drop Box (Corresponds to pallet transport stacking according to special speciﬁcations)

Pneumatic Pressure
SourcePneumatic Pressure Source 0.5 MPa or above.
Please supply clean, stable, and dry air.
Recommended conditions according to ISO 8573-1 : 2010. Compressed air purity classes 1, 3, 1

OptionWe recommend ﬁtting a HEPA ﬁlter.

0.8 s/part (Bombing 60 min)This leak test system is designed for small volume tests such as of devices under development and sampling tests.
This system can control bombing conditions (Helium charge), gross leak tests, and ﬁne leak tests.

MSX-0101
最小可検漏れ量処理

能力

1.2 × 1.0 〜 2.5 × 2.0, φ12 〜 3.2 × 2.5 (mm)グロスリーク ：2 × 10-7 Pa・m3/s（等価標準リーク）
ファインリーク ：1 × 10-9 Pa・m3/s（He）※

1 ch

AC100 V ±10% 単相 50/60 Hz 1 kVA

外W760 × D770 × H1200 mm

外W1000 × D950 × H1200 mm

空

圧

源

Minimum detectableleak rate形

寸法※この他の電源・電圧仕様については、ご相談ください。

空圧源 0.35 〜 0.6 MPa
クリーンで変動しないドライエアをご使用ください。
推奨条件：JIS B 8392-1：2012 による 圧縮空気の清浄等級 1, 3, 1

空

：1 × 10-10 Pa・m3/s (He)Fine leak
Ultra Fine leak ：4 × 10-15 Pa・m3/s (He)Minimum detectableleak rate

Gross leak：2 × 10-7 Pa・m3/s (Equivalent standard leak)Fine leak ：1 × 10-9 Pa・m3/s (He) noteThis is the value when aΦ 16x10 mm capsule is used.

Bombing・Gross・Fine Leak Test System

デバイス開発時の試験、抜き取り検査等の少量検査用に開発されたリークテストシステムです。
ボンビング（ヘリウム浸漬）、グロスリークテスト、ファインリークテストの条件を管理しながらリークテストを行います。

電源電圧・消費電力

法

圧源

クリーンで変動しないドライエアをご使用ください。
空圧源 0.5 MPa 以上
推奨条件：JIS B 8392-1：2012 による 圧縮空気の清浄等級 1, 3, 1

Process Capacity

1 ch

Process Capacity

1 ch

Power Source/
Applied Current

100 VAC ± 10％ Single-phase 50/60 Hz 0.8 kVA*Please consult us regarding other power/voltage speciﬁcations.

Power Source/
Applied Current

100 VAC ± 10％ Single-phase 50/60 Hz 1 kVA*Please consult us regarding other power/voltage speciﬁcations.

External Dimensions

W760 × D770 × H1200 mm

External Dimensions

W1000 × D950 × H1200 mm

Pneumatic Pressure
SourceSupply at 0.35MPa or above to 0.6 MPa or below.
Please supply clean, stable, and dry air.
Recommended conditions according to ISO 8573-1 : 2010. Compressed air purity classes 1, 3, 1

Pneumatic Pressure
SourcePneumatic Pressure Source 0.5 MPa or above.
Please supply clean, stable, and dry air.
Recommended conditions according to ISO 8573-1 : 2010. Compressed air purity classes 1, 3, 1

*Please reter to " MUH-0100 ".

装置動作はこちら

Click here for the operation
video of the device.

0.8 s/ 個（ボンビング 60 min）

AC200 V ±10％ 三相 50/60 Hz 4 kVA ※この他の電源・電圧仕様については、ご相談ください。

AC100 V ±10% 単相 50/60 Hz 0.8 kVA ※この他の電源・電圧仕様については、ご相談ください。

寸⇦

グロスリーク ：2 × 10-7 Pa・m3/s（等価標準リーク）
ファインリーク ：1 × 10-9 Pa・m3/s（He）

電源電圧・消費電力
搬⇨

ご相談ください。
AC200 V ±10％ 三相 50/60 Hz 4 kVA ※この他の電源・電圧仕様については、

電源電圧・消費電力
形

装置動作はこちら

Click here for the operation
video of the device.

グロスリーク
ファインリーク ：1 × 10-9 Pa・m3/s（He）
8 ch
1.2 s/ 個（ボンビング 60 min）
1.0 s/ 個（ボンビング 40 min）

8 ch

Process Capacity

1.2 × 1.0 〜 2.0 × 1.6 (mm)：2 × 10-7 Pa・m3/s（等価標準リーク）

ボンビング・グロス・ファインリークテストシステム

業界最高感度を誇るヘリウムリークテストシステムです。 最小 4 × 10-15 Pa・m3/s（He）の漏れ量の測定が可能です。
ファインリークテスト（真空チャンバ法）、ウルトラファインリークテスト（カプセル蓄積法）により、微小な漏れを測定します。

処

オ

能

形

空

Ultra Fine Leak Test System

最小可検漏れ量理

最小可検漏れ量

1.0 s/ 個

電源電圧・消費電力
搬

Bombing・Gross・Fine Leak Test System※一般環境における最小可検漏れ量、1 × 10 -9Pa・m3/s ですが、製品としての分解能は 1 × 10 -12 Pa・m3/s ですnote) The minimum detectable leak rate in a general environment is 1 × 10 -9Pa・m3/s, but the resolution as a product 1 × 10 -12 Pa・m3/s

56