TOKYO ELECTRON LIMITEDANNUAL REPORT 07

環境・健康・安全に対する取り組み

東京エレクトロンは、人々の健康と安全を最優先し、地球環境の保全に配慮することを事業活動を行う企業としての重要な

1. 装置使用時における省エネルギー化への取り組み使命と考えています。

造・使用されるものであることから、装置からクリーンルーム全体まで含めた多角的な省エネルギーへのアプローチを進めてい基本ポリシー

ます。具体的には次の5つがあります。

東京エレクトロンの製品の多くは、クリーンルーム内で製

東京エレクトロンでは、当社の継続的な成長と社会の持続的な発展のために、環境・健康・安全に対する取り組みを最重要経営課題の一つと位置付けています。
当社が携わるあらゆる分野で環境負荷を低減することに、また、当社やお客さまの施設内における安全性について絶対の信頼を確保することに積極的に取り組んでいます。
こうした取り組み姿勢を明確にするため、1998年に「環境に

1. 装置本体のエネルギー使用量低減
2. 周辺機器のエネルギー使用量低減
3. 装置の省エネルギー運用
4. クリーンルームのエネルギー使用量削減
5. クリーンルームの省エネルギーマネジメント（計画運転、適正運用など）「安全・健康に関する基本理念/方関する基本理念/方針」および針」を制定いたしました。このうち前者は、2006年5月、グルー

なお、半導体業界の世界標準として「SEMI S23半導体製造プの方向性や考え方をさらに明確にするために、見直しを行い、改定しました。
今回の改定では、当社グループ製品に関する環境装置で使用されるエネルギー、ユーティリティー、および材料の保全のためのガイド」が制定されており、当社の製品群もこ対応ロードマップを明確にして製品開発を進め、設計・製造・使用時で検証していくことや、環境報告書等を通じてステークホのガイドラインに基づき各装置のエネルギー使用量を把握しています。

ルダーの皆さまに公表することを明確にしました。

2. 装置に含有される規制化学物質への取り組み

EHSマネジメント
東京エレクトロンでは、1997年より主に製造系の各事業所を中心にISO14001に基づく環境管理システムを構築し、認証を取得しています。

環境会計の導入
東京エレクトロンは、企業活動のうち環境保全に関わるコストを定量的に把握し、企業活動の指針として活用するために「環境会計制度」を導入しています。2007年3月期の結果については、2007年9月に発行予定の「東京エレクトロン環境・社会報告書2007」をご覧ください。

製品における環境負荷低減への取り組み先取りした環境配慮設計に向けて当社の改訂された環境理念・方針でより明確に謳われている
ように、環境配慮設計の促進は極めて重要なものであると考え

近年、部品や材料に含まれる化学物質の環境や生態系への影響懸念により、自動車や電気製品等への使用規制の動きが世界各国で活発になってきています。2006 年7 月発効の欧州
RoHS*1規制に対しては、当社製品の半導体製造装置はLargescale Stationary Industrial Toolに該当するため、適用除外と判断し、声明書を用意しました。
また、2007年3月発行の中国
2
遺漏なく適合を達成しています。
東京エ版RoHS* に対しては、レクトロングループでは規制を先取りし、製造部門の代表者で構成される化学物質対策チームを結成し、必要な情報を共有しています。
また、取引先にも積極的にご協力いただき、含有物質の調査と非含有代替品への変更を推進しています。
2007年3月
期はRoHS指定6物質の製品からの全廃スケジュールを策定しました。
*1 Restriction of the use of certain Hazardous Substances in Electrical andElectronic Equipment*2 中国版RoHSは俗称、正式名称は「中国電子情報製品汚染制御管理弁法」というています。特に装置の省エネルギー化の促進や、規制含有化学物質の削減・代替化を、優先的に取り組むべき課題と位置付けています。

ISO14001取得会社・事業所
会社名
東京エレクトロンAT（株）/東京エレクトロンFE（株）
東京エレクトロン東北（株）
東京エレクトロン九州（株）
東京エレクトロンAT（株）東京エレクトロンデバイス
（株）

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事業所名

認証取得年月日

認証番号

相模事業所

1997年12月10日

1110-1997-AE-KOB-RvA

東北事業所
熊本/合志/大津/佐賀事業所
山梨事業所（藤井/穂坂地区）
宮城事業所
横浜事業所

1998年 2月19日
1998年 3月26日
1998年 5月15日
2005年 3月 1日
2004年 7月14日

1118-1998-AE-KOB-RvA
1120-1998-AE-KOB-RvA
1124-1998-AE-KOB-RvA
01245-2005-AE-KOB-RvA
EC04J0144

ANNUAL REPORT 07

健康・安全への取り組み

TOKYO ELECTRON LIMITED

東京エレクトロンでは、社員やお客さまの安全と健康優先、わる全ての皆さまとできる限り情報を共有し、コミュニケーションによってフィードバックを得る相互作用が不可欠と考え装置の安全性に配慮した設計など、企業活動のあらゆる側面で「健康と安全」を推進しています。
「東京エレクトロングループのているからです。
その一つの例が地域への社会貢献です。
「社会に対し、常に規

安全 /健康に関する基本理念/方針」の中には、各種業務の遂行において安全や健康に対する配慮を常に念頭において行動する律を守り、協力的でありたい」「社会の健全な発展のために協調することが我々の義務である」という考えに基づき、行政や地域責務が従業員に課せられていることが明示されています。
前年度の経営層向けの安全研修に続いて、2007年3月期は、社会との信頼関係を築きながら、国内はもちろん、海外においても様々な社会貢献活動を展開しています。

中間管理職向けの管理者安全研修を行いました。
受講対象者は各部の部長、課長、グループリーダーなどで、事例実習のディスカッションの時間を含んだ内容となっています。また、現場作業リーダー向けのTRM（チーム・リソース・マネジメント）といより詳しい活動内容については、「東京エレクトロン環境・社会報告書2007」（2007年9月発行予定）をご覧ください。

http://www.tel.com/jpn/environment/ehsreport.htm

う教育手法も導入しました。この教育では、普段何気なく行っているコミュニケーションやチームワークが実は非常に重要で難しいものであることに気付いてもらうこと等を目的としています。

ステークホルダーとのコミュニケーション
東京エレクトロングループは、ステークホルダーの皆さまとのコミュニケーションを積極的に推進しています。それは、環境・健康・安全への取り組みを進めるためには、事業活動に関TOPICS
熱処理成膜装置での窒素ガス使用量削減
熱処理成膜装置では、ローディングエリア（ウェーハを反応炉に入れる前のウェーハの積載エリア）でウェーハ上に自然酸化膜が生成しないよう、窒素を注入して酸素濃度を低くしています。
従来の装置では、窒素の流量は一定でしたが、熱ローディングエリアの酸素濃処理成膜装置TELINDY®では、度を常時測定しながら制御することにより、窒素の流量をウェーハ加工の各段階で適正化しました。これにより、従来装置と比較して窒素の使用量を約60%削減できました。

東京エレクトロン九州（株）にて涵養植樹を実施
東京エレクトロン九州では、前年度に続き、2007年3月に阿蘇の俵山で水源涵養林の植樹を行いました。
この植樹活動は5年計画（植樹を3年、手入れを2年）で実施しており、今回今回も多くの社員・家族が参加しました。
植樹で2回目です。の後はバーベキューを行い、子供たちにもっと環境について知ってもらおうと簡単なクイズラリーも実施しました。

熱処理成膜装置での窒素ガス使用量削減

窒素（窒素流量を適正化）

反応炉
植林の実施模様

ガス供給
ボックス

TELINDY®

酸素
濃度計

ローディングエリア（酸素濃度を常時測定）

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