Перевод оригинальной инструкции по эксплуатации

UL3000 Fab ULTRAГелиевый течеискатель с технологией датчиков ULTRATEST™.

550-260
iinb73ru1-11-(2403)
Начиная с версии ПО
1.64 (Управление устройством)Компания INFICON GmbH
Bonner Straße 498
50968 Köln, ГерманияINFICONСодержание

Содержание
1 О данном руководстве ................................................................................................................................ 8
1.1 Целевые группы ..................................................................................................................................... 8
1.2 Предостережения................................................................................................................................... 8
1.3 Определения терминов ......................................................................................................................... 9
2 Безопасность .............................................................................................................................................. 12
2.1 Применение по назначению ................................................................................................................ 12
2.2 Обязанности оператора....................................................................................................................... 14
2.3 Требования к оператору ...................................................................................................................... 14
2.4 Опасности ............................................................................................................................................. 15
3 Комплект поставки, транспортировка, хранение ................................................................................. 17
4 Описание...................................................................................................................................................... 21
4.1 Функция ................................................................................................................................................. 21
4.2 Режимы работы .................................................................................................................................... 21
4.2.1 Режим работы «Вакуум» .......................................................................................................... 21
4.2.2 Режим работы «Проверка щупом» .......................................................................................... 22
4.2.3 Режим работы «Автоматическое тестирование на наличие течи»....................................... 23
4.3 Конструкция прибора ........................................................................................................................... 24
4.3.1 Весь прибор ............................................................................................................................... 24
4.3.2 Блок управления ....................................................................................................................... 27
4.3.2.1

Кнопка START .................................................................................................................. 28

4.3.2.2

Кнопка STOP .................................................................................................................... 29

4.3.2.3Кнопка ZERO .................................................................................................................... 29

4.3.2.4Значение светодиодов кнопок ........................................................................................ 30

4.3.2.5Значение светодиода статуса......................................................................................... 31

4.3.2.6Конструктивное исполнение сенсорного экрана ........................................................... 32

4.3.3 Места вакуумного соединения................................................................................................. 35
4.3.3.1

Впускной фланец ............................................................................................................. 35

4.3.3.2

Выхлоп .............................................................................................................................. 35

4.3.3.3Гнездо подключения продувочного газа ........................................................................ 36

4.3.3.4Гнездо подключения системы продувки ........................................................................ 36

4.3.4 Подключения принадлежностей и управляющих сигналов................................................... 37
4.3.5 Обозначения на приборе.......................................................................................................... 38
4.4 Технические характеристики ............................................................................................................... 38
4.5 Заводские установки ............................................................................................................................ 40

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

iii

Содержание

INFICON5 Установка ..................................................................................................................................................... 45
5.1 Монтаж .................................................................................................................................................. 45
5.2 Подключение входящих в комплект поставки принадлежностей..................................................... 49
5.3 Закрепление держателя для детекторной линии SL3000 (дополнительные принадлежности).... 55
5.4 Подключение к сети питания............................................................................................................... 56
5.5 Проверка работоспособности прибора .............................................................................................. 57
6 Эксплуатация .............................................................................................................................................. 59
6.1 Включение............................................................................................................................................. 59
6.2 Основные настройки ............................................................................................................................ 60
6.2.1 Настройка языка интерфейса пользователя .......................................................................... 60
6.2.2 Настройка даты, времени и часового пояса ........................................................................... 60
6.2.3 Настройки профиля пользователя .......................................................................................... 61
6.2.3.1

Обзор групп прав доступа ............................................................................................... 61

6.2.3.2

Выбор, редактирование, создание профиля пользователя......................................... 61

6.2.3.3Изменение индивидуальных настроек........................................................................... 62

6.2.4 Отключение автоматического уведомления........................................................................... 63
6.2.5 Включение автоматического входа в систему........................................................................ 63
6.2.6 Представление экрана процесса измерения.......................................................................... 64
6.2.6.1

Изменение представления линейной диаграммы......................................................... 65

6.2.6.2

Изменение представления полосных индикаторов ...................................................... 66

6.2.6.3Изменение представления круговой диаграммы .......................................................... 67

6.2.6.4Изменение общих настроек индикации.......................................................................... 67

6.2.7 Индикация результатов режима работы «Автоматическое тестирование на наличие
течи» .......................................................................................................................................... 68
6.2.8 Изменение единиц измерения ................................................................................................. 69
6.2.9 Изменение аудионастроек ....................................................................................................... 69
6.2.10 Изменение настроек защиты ................................................................................................... 71
6.2.11 Настройка интервала технического обслуживания «Фильтр наконечника щупа» или«Воздушный фильтр» ............................................................................................................... 73
6.2.12 Запросы ТО, включение или отключение ............................................................................... 73
6.2.13 Запросы калибровки, включение и отключение ..................................................................... 74
6.2.14 Расширение или ограничение возможностей управления .................................................... 74
6.2.15 Списки избранного .................................................................................................................... 75
6.2.16 Включение/выключение уведомлений .................................................................................... 76
6.3 Настройки процессов измерения ........................................................................................................ 77
6.3.1 Выбор режима работы.............................................................................................................. 77iv

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONСодержание

6.3.2 Выбор газа ................................................................................................................................. 77
6.3.3 Настройка пороговых значений ............................................................................................... 77
6.3.4 Активация вакуумных диапазонов ........................................................................................... 78
6.3.5 Регулирование частоты вращения форвакуумного насоса................................................... 78
6.3.6 Настройка режима «Автоматическое тестирование на наличие течи»................................ 79
6.3.6.1

Учет фонового сигнала испытательной камеры ........................................................... 79

6.3.7 HYDRO•S ................................................................................................................................... 80
6.3.7.1

Настройка HYDRO•S........................................................................................................ 80

6.3.7.2

Использование HYDRO•S ............................................................................................... 80

6.3.8 Настроить машинный коэффициент ....................................................................................... 81
6.3.9 Настройка внешней проверочной утечки ................................................................................ 82
6.3.10 Изменение пределов давления ............................................................................................... 82
6.3.11 Настройка и использование функции ZERO........................................................................... 83
6.3.12 Продувка, промывка, регенерация .......................................................................................... 84
6.3.13 Изменение фильтра интенсивности утечки ............................................................................ 86
6.3.14 Изменение подавления фона .................................................................................................. 86
6.3.14.1 Определение фонового сигнала области впуска.......................................................... 88
6.3.15 Изменение настроек SL3000 (звуковые и световые сигналы) .............................................. 88
6.3.16 Изменение контроля давления детекторной линии ............................................................... 88
6.3.17 Калибровка ................................................................................................................................ 89
6.3.17.1 Внутренняя калибровка ................................................................................................... 90
6.3.17.2 Внешняя калибровка ....................................................................................................... 90
6.3.17.3 Калибровка с использованием гелия в окружающем воздухе (режим работы сощупом-детектором).......................................................................................................... 91
6.3.17.4 Проверка калибровки ...................................................................................................... 91
6.3.17.5 Измерение внутренней контрольной утечки.................................................................. 92
6.4 Измерение............................................................................................................................................. 93
6.5 Измерение концентрации гелия во внешней среде .......................................................................... 94
6.6 Данные измерения ............................................................................................................................... 94
6.6.1 Включение записи данных и настройка экспорта................................................................... 95
6.6.2 Отображение циклов измерения ............................................................................................. 95
6.6.3 Экспорт данных измерения по сети ........................................................................................ 97
6.6.4 База данных измерений: Информация ................................................................................... 98
6.7 Информация ......................................................................................................................................... 99
6.7.1 Вызов информации по текущему измеренному значению .................................................... 99
6.7.2 Вызов информации по текущим значениям калибровки ....................................................... 99
6.7.3 Вызов информации по подсоединенным принадлежностям................................................. 99
UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)v

Содержание

INFICON

6.7.4 Вызов информации о приборе ............................................................................................... 100
6.7.5 Вызов информации о конструктивных узлах ........................................................................ 100
6.7.6 Вызов информации по данным электропитания .................................................................. 100
6.7.7 Вызов данных для HYDRO•S ................................................................................................. 101
6.7.8 Вызов данных детекторной линии SL3000 ........................................................................... 101
6.8 Журналы ............................................................................................................................................. 101
6.8.1 Вызов журнала неисправностей и предупреждений............................................................ 101
6.8.2 Вызов протокола калибровки ................................................................................................. 101
6.8.3 Вызов протокола техобслуживания....................................................................................... 101
6.8.4 Вызов протокола результатов................................................................................................ 101
6.9 Настройки прибора............................................................................................................................. 102
6.9.1 Просмотр и адаптация отдельных параметров.................................................................... 102
6.9.2 Сохранение наборов параметров и управление ими .......................................................... 102
6.9.3 Экспорт и импорт наборов параметров ................................................................................ 103
6.10 Обновление ПО .................................................................................................................................. 104
6.10.1 Обновление ПО пользовательского интерфейса................................................................. 104
6.10.2 Обновление ПО основного прибора...................................................................................... 104
6.10.3 Обновление ПО в режиме эксперта ...................................................................................... 105
6.10.4 Активация дополнительной функции .................................................................................... 105
6.11 Использование внешнего монитора ................................................................................................. 106
6.11.1 Переключение на внутренний монитор................................................................................. 106
6.12 Просмотр диаграммы вакуума .......................................................................................................... 107
6.13 Сброс на заводские установки .......................................................................................................... 107
6.14 Выход из системы прибора ............................................................................................................... 108
6.15 Выключение прибора ......................................................................................................................... 108
7 Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях ................................................. 109
7.1 Перечень предупредительных сообщений и сообщений о неисправностях ................................ 110
8 Очистка и техническое обслуживание ................................................................................................. 134
8.1 Очистка корпуса ................................................................................................................................. 134
8.2 Замена фильтрующей прокладки в отделении для инструментов ................................................ 134
8.3 Замена фильтрующей прокладки на нижней стороне прибора ..................................................... 135
8.4 Замена фильтра детекторной линии SL200 .................................................................................... 137
8.5 Замена фильтра детекторной линии SL3000 .................................................................................. 139
8.6 Установка или замена газового баллона ......................................................................................... 141
8.7 Создание скриншотов ........................................................................................................................ 141

vi

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONСодержание

8.8 Обслуживание устройства или его сдача в ремонт ........................................................................ 142
8.9 План технического обслуживания..................................................................................................... 143
9 Вывод из эксплуатации .......................................................................................................................... 146
9.1 Утилизация прибора .......................................................................................................................... 146
9.2 Отправка устройства для выполнения технического обслуживания, ремонта или утилизации . 146
10 Принадлежности и интерфейсные элементы..................................................................................... 148
10.1 Принадлежности и запасные части .................................................................................................. 148
10.2 Модуль ввода-вывода........................................................................................................................ 153
10.2.1 Соединение прибора с модулем ввода-вывода ................................................................... 153
10.2.2 Конфигурирование аналоговых выходов .............................................................................. 153
10.2.3 Конфигурирование цифровых входов................................................................................... 155
10.2.4 Конфигурирование цифровых выходов ................................................................................ 157
10.2.5 Настройка журнала модуля ввода-вывода ........................................................................... 159
10.3 Шинный модуль .................................................................................................................................. 159
10.3.1 Установление соединения прибора с шинным модулем..................................................... 160
10.3.2 Настройка адреса шинного модуля....................................................................................... 160
10.4 Установите соединение между устройством и SMART-Spray ........................................................ 160
10.5 Сеть ..................................................................................................................................................... 161
10.5.1 Управление прибором контроля утечек через веб-браузер (LAN) ..................................... 161
10.5.1.1 Конфигурирование LAN-подключения прибора контроля утечек .............................. 161
10.5.1.2 Настройка LAN-подключения на компьютере или планшетном ПК........................... 162
10.5.1.3 Активация клиент-доступа ............................................................................................ 162
10.5.2 Управление прибором контроля утечек через веб-браузер (WLAN) .................................. 163
10.5.2.1 Конфигурирование WLAN-подключения прибора контроля утечек........................... 164
10.5.2.2 Настройка WLAN-подключения на компьютере или планшетном ПК ....................... 164
10.5.2.3 Активация клиент-доступа ............................................................................................ 165
11 Приложения ............................................................................................................................................... 166
11.1 Путь доступа к меню .......................................................................................................................... 166
11.1.1 Диагностика ............................................................................................................................. 166
11.1.2 Настройки ................................................................................................................................ 166
11.1.3 Информация ............................................................................................................................ 168
11.2 Сертификат соответствия ЕС ........................................................................................................... 169
11.3 Сертификат (TÜV Rheinland) ............................................................................................................. 170
11.4 RoHS.................................................................................................................................................... 171
Предметный указатель............................................................................................................................ 172

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

vii

1 | О данном руководстве

INFICON1 О данном руководстве
Настоящий документ действует в отношении версии ПО, указанной на титульном
листе.
В данном документе в определенных случаях упоминаются названия продуктов
исключительно в целях сопоставления. Данные продукты являются
собственностью соответствующего правообладателя.

1.1 Целевые группы
Данное руководство по эксплуатации предназначено для организации,эксплуатирующей прибор, и квалифицированного технического персонала,имеющего опыт работы с оборудованием для контроля утечек.

1.2 Предостережения
ОПАСНО
Непосредственно угрожающая опасность с последствиями в виделетального исхода или тяжких увечий

ОСТОРОЖНО
Опасная ситуация с последствиями в виде вероятного летального
исхода или тяжких увечий

ВНИМАНИЕ
Опасная ситуация с последствиями в виде незначительного вреда
здоровью

УКАЗАНИЕ
Опасная ситуация с последствиями в виде материального илиэкологического ущерба

8 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONО данном руководстве | 1

1.3 Определения терминов
Упоминание гелия в руководстве
Устройство является прибором контроля утечек на основе гелия. Если у васвместо гелия используется защитный газ и стоит задача обнаружить
содержащийся в нем водород, указания для гелия действуют также и дляводорода.

Автоматическое согласование/настройка массыЭта функция настраивает масс-спектрометр таким образом, чтобы достигалась
индикация максимальной интенсивности утечки. Чтобы ионный детектор
определял максимальный ионный ток, управляющий компьютер
соответствующим образом настраивает напряжение ионного ускорения впределах выбранного диапазона массы.
При каждой калибровке выполняется автоматическое согласование.

Режим работы
Течеискатель различает режимы работы «Вакуум» и «Sniff». В режиме работы
«Вакуум» проверочный газ, как правило, поступает в проверяемый объект.
Давление в проверяемом объекте ниже окружающего давления.
В режиме работы «Sniff» проверочный газ выходит из проверяемого объекта иотсасывается ручкой-детектором. Давление в проверяемом объекте вышеокружающего давления.

FINE
FINE обозначает подключение к турбомолекулярному насосу для впускного
давления до 0,4 мбар. Он также используется для режима работы «Sniff».

Защитный газЗащитный газ является собирательным термином для обозначения газовых
смесей из азота и водорода.

GROSS
GROSS обозначает подключение к турбомолекулярному насосу с наименьшей
чувствительностью. Он допускает высокое впускное давление (до 15 мбар).

Внутренний фоновый сигнал гелияВ измерительной системе прибора контроля утечек всегда содержится
некоторое количество остаточного гелия. Оно обуславливает часть сигнала
измерения (фоновый сигнал), который изначально перекрывает индикацию
утечек и мешает тем самым поиску течи.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

9 / 176

1 | О данном руководстве

INFICONЧтобы отключить этот фоновый сигнал, в заводских установках активировано
«подавление фона». При нажатии кнопки START определенный в данный
момент внутренний сигнал измерения оценивается как фоновый сигнал гелия ивычитается из сигнала измерения. Если течеискатель находится в режиме
ожидания или в режиме продувки менее 20 с., вычитается последнее
использовавшееся значение фонового сигнала гелия.

Минимально определяемая утечка
Минимально определяемая утечка, которую течеискатель может распознать приидеальных условиях (< 5 x 10–12 мбар л/с).

MASSIVEПосле выбора вакуумного диапазона MASSIVE грубые утечки могут бытьопределены, уже начиная с атмосферного давления.

ULTRAULTRA означает подключение к турбомолекулярному насосу для диапазона
измерений с максимальной чувствительностью при впускном давлении менее
0,4 мбар (с возможностью настройки).

Технология обнаружения ULTRATEST™
Высокочувствительный масс-спектрометр для атомных масс 2, 3 и 4.

Фоновый сигнал
Гелий или водород (как компонент воды) являются естественными составными
частями воздуха.
Режим работы «Вакуум»: перед каждым поиском утечки некоторое количество
настроенного проверочного газа уже имеется в контролируемом объеме, наповерхностях камеры для испытаний, подводящих линиях и даже в самом
приборе контроля утечек. Это определенное количество проверочного газагенерирует сигнал измерения, который называется фоновым сигналом. За счетпродолжающегося вакуумирования камеры для испытаний этот фоновый сигнал
непрерывно ослабевает.
Режим работы «Sniff»: по детекторной линии в прибор контроля утечек
непрерывно подается окружающий воздух. Присутствующее в воздухе
количество гелия или водорода генерирует при этом постоянный фоновый
сигнал.

Форвакуумное давление
Давление в форвакууме между турбомолекулярным насосом и форвакуумным
насосом.

10 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONО данном руководстве | 1

ZEROИмеется гелий, который во время измерения, как естественная составная часть
окружающего воздуха, присутствует в слабосвязанном виде, например наповерхности испытуемого образца, и постепенно закачивается в измерительную
систему прибора контроля утечек. Он генерирует медленно ослабевающий
сигнал измерения.
Если вы хотите отключить этот фоновый сигнал или также индикацию
имеющейся утечки, можно воспользоваться функцией ZERO.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

11 / 176

2 | Безопасность

INFICON2 Безопасность
2.1 Применение по назначению
Данный прибор представляет собой прибор для обнаружения и измерения
утечек в проверяемых объектах. Прибор предназначен для проверки
герметичности вакуумным способом и с использованием детекторной линии.
• Используйте устройство только по назначению, как описано в инструкции поэксплуатации, чтобы избежать опасностей вследствие его неправильного
применения.
• Соблюдайте ограничения по области применения — см. «Технические
характеристики».
НенадлежащееНе допускайте следующих случаев ненадлежащего использования.

использование

• Применение, выходящее за рамки технических спецификаций: см.
«Технические характеристики»• Превышение допустимых условий внешней среды для контрольных
течеискателей (проверочных утечек)• Применение в радиоактивных зонах
• Использование устройства в сухом помещении (относительная влажность
<30%) без консультации с INFICON• Изменение конструкции устройства путем дополнительных надставок,которые оказывают воздействие на стабильность. Исключением являются
комплектующие Inficon.
• Применение принадлежностей или запасных частей, которые не приводятсяв данном руководстве по эксплуатации
• Эксплуатация устройства в условиях загрязненного окружающего воздуха,где имеются электропроводящие частицы, такие как углеродные волокна,может привести к внутренним коротким замыканиям.
• Проверка сырых или влажных проверяемых объектов
• Перекачка агрессивных, легковоспламеняющихся, взрывоопасных,коррозионных, микробиологических, реакционных или токсичных веществ,создающих опасность
• Эксплуатация устройства без учета эргономических аспектов, таких какусталость
• Откачивание насосом способных к конденсации жидкостей или паров
• Откачивание газов, загрязненных примесями
• Размещение жидкостей на приборе контроля утечек или в держателе
гофрированного шланга
• Ударные нагрузки или вибрации

12 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONБезопасность | 2• Для использования в местах, где прибор и дисплей могут быть повреждены
падающими предметами.
• Перекачивание насосом водорода в концентрации, которая в сочетании скислородом может приводить к взрыву. Допустимые составы покупных
газовых смесей см. в паспортах безопасности соответствующих
производителей.
• Применение прибора во взрывоопасных атмосферах
• Проверка проводящих сетевое напряжение линий или объектов с помощью
детекторной линии
• Мгновенная продувка вакуумных систем
• Использование прибора в качестве транспортного средства для грузов илипассажиров
• Использование дополнительного держателя баллонов в качестве
транспортного средства для предметов или пассажиров
• Использование дополнительного держателя баллонов в качестве подножки
• Соединительные заготовки или испытуемые предметы без защиты отосколков, если они не подходят для вакуума
• Откачивание газов, содержащих галогены, например фтор или хлор, ввысокой концентрации или в течение длительного времени. Использование
хладагентов или SF6.
• Эксплуатация без газоотводных систем в плохо проветриваемых
помещениях в зависимости от вида использованных газов
• Указание: данный прибор не предназначен для применения в жилых
районах.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

13 / 176

2 | Безопасность

INFICON

2.2 Обязанности оператора
• Оператор обязан ознакомиться с информацией, приведенной в настоящем
руководстве по эксплуатации, а также в рабочих инструкциях, разработанных
собственником, учитывать ее и соблюдать указания. Это относится, вчастности, к указаниям по технике безопасности и предупреждениям.
• При выполнении любых работ всегда соблюдайте все указания изруководства по эксплуатации.
• Если у вас есть какие-либо вопросы по эксплуатации или техническому
обслуживанию, на которые нет ответов в данной инструкции поэксплуатации, обратитесь в сервисную службу INFICON.

2.3 Требования к оператору
Данные указания предназначены для эксплуатирующих организаций или техлиц, которые несут ответственность за безопасность и эффективное
использование продукта пользователями, сотрудниками или третьими лицами.

Работа с осознанием опасностей
• Эксплуатируйте прибор только в том случае, если он находится в идеальном
техническом состоянии и не имеет повреждений.
• Применяйте прибор только по назначению, с соблюдением техники
безопасности, осознанием рисков и с соблюдением данного руководства поэксплуатации.
• Выполните следующие предписания и проконтролируйте их соблюдение.
– Применение по назначению
– Общие предписания по технике безопасности и предупреждению
несчастных случаев
– Международные, национальные и местные нормы и директивы
– Дополнительные положения и предписания, касающиеся прибора
• Используйте только оригинальные детали или детали, разрешенные
производителем.
• Храните это руководство по эксплуатации на месте эксплуатации прибора.

Квалификация персонала• К работе с прибором допускайте только проинструктированный персонал.
Проинструктированный персонал должен пройти обучение по работе сприбором.
• Убедитесь, что уполномоченный персонал перед началом работы прочитал ипонял это руководство и все действующие наряду с ним документы.

14 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONБезопасность | 2

2.4 Опасности
Прибор сконструирован с учетом уровня развития техники и признанных правил
техники безопасности. Тем не менее при неправильном применении существует
опасность для жизни и здоровья пользователя или третьих лиц, а также
повреждения прибора и причинения другого материального ущерба.
Опасность дляПод рабочей поверхностью рядом с ручкой расположен динамик. Магнитное

носителей

поле динамика может нарушить работу имплантата.

имплантатов

• Если вы используете такие устройства, то соблюдайте безопасное

(например,кардиостимуляторо
в)расстояние не менее 10 см между магнитом динамика и имплантатом.
• Также соблюдайте инструкции по безопасности производителя имплантата.

Опасности,Существует смертельная опасность при прикосновении к токоведущим деталям

связанные свнутри прибора.

использованием

• Перед началом любых работ по монтажу и обслуживанию отключите прибор

электрическойот электропитания. Убедитесь, что подача электропитания не может бытьэнергии

возобновлена неуполномоченным персоналом.
Прибор содержит электрические детали, которые может повредить высокое
электрическое напряжение.
• Перед подключением к источнику электропитания убедитесь в том, чтонапряжение в электросети в месте эксплуатации прибора соответствует
разрешенному диапазону рабочего напряжения.
Разрешенный диапазон рабочего напряжения указан на приборе.

Опасность взрыва

Водород является горючим и взрывоопасным газом.
• Используйте только такие проверочные газы, концентрация водорода вкоторых не может привести ко взрыву в комбинации с кислородом.
Допустимые составы покупных газовых смесей см. в паспортах безопасности
соответствующих производителей.

Опасность из-заПри эксплуатации прибора в режиме «Вакуум» на впускном фланце возникает

подсасывающего

разрежение. Действующий на руки или на другие части тела подсасывающий

эффекта наэффект может привести к получению травм или к неконтролируемым движениям

впускном фланце

вследствие испуга.
• Обращайте особое внимание на эту опасность при использовании
дистанционного управления!
• Убедитесь в отсутствии посторонних предметов во впускном отверстии.
• Убирайте длинные волосы, например, под сетку для волос.
• Соедините впускной фланец с испытательной схемой или закройте егоглухим фланцем.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

15 / 176

2 | Безопасность

INFICONОпасность

Если подключенный проверяемый объект или соединения с проверяемым

травмирования вобъектом не выдерживают разрежения в режиме вакуума, существует опасность

связи стравмирования в связи с раскалыванием предметов.

раскалыванием

• Примите соответствующие защитные меры.

предметов

16 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONКомплект поставки, транспортировка, хранение | 3

3 Комплект поставки, транспортировка,хранение
Комплект поставки

Артикул

Кол-во

UL3000 Fab ULTRA

1Адаптер выпускного шланга, KF-фланец DN 25

1

Крюк1)

4Разгрузка от натяжения, сетевой провод2)

1Винты M6 x 125Предохранительная шайба S6

5Провод подключения к сети электропитания (экспортное

1исполнение)Центрирующее кольцо3) с фильтром (для применения в1случаях загрязнения пылью или грязью)ключ T25

1ключ T30

1Цифровая инструкция по эксплуатации, которую можно

1загрузить в формате PDF с сайта www.inficon.com
Инструкция по распаковке

1Сертификат испытания контрольного течеискателя

1Сертификат испытания прибора контроля утечек

1Держатель4) для гофрированного шланга

1Самонарезные винты

2Наклейка с указанием интенсивности утечки встроенного

1гелиевого течеискателя
2 ключа для открывания крышки инструмента под рукояткой.
► Проверьте комплектность поставки после получения изделия.
Пояснения

1) Для намотки сетевого провода или детекторной линии на прибор или надополнительный держатель баллонов. См. «Весь прибор [} 24]» и«Подключение входящих в комплект поставки принадлежностей [} 49]».
2) Для прокладки сетевого провода от прибора к полу (предотвращение
опасности спотыкания). См. «Подключение входящих в комплект поставки
принадлежностей [} 49]».
3) Описание установки на впускном фланце см. «Впускной фланец [} 35]».
4) Для фиксации гофрированного шланга между впускным фланцем прибораи испытательной камерой или проверяемым объектом. См. «Подключение
входящих в комплект поставки принадлежностей [} 49]».

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

17 / 176

3 | Комплект поставки, транспортировка, хранение

Транспортировка

INFICONПри транспортировке прибора соблюдайте нижеприведенные указания:ОСТОРОЖНО
Опасность травмирования вследствие неправильной
транспортировки газового баллона на мобильном приборе контроля
утечек
► При монтаже держателя баллонов на приборе контроля утечек соблюдайте
последовательность действий, описанную в отдельной инструкции помонтажу.
► Смонтируйте основание держателя баллона заподлицо с газовым баллоном.
► Чтобы не нарушить стабильность прибора контроля утечек, транспортируйте
только баллоны небольшого или среднего размера (макс. 10 л, макс. размер
баллона с защитным колпачком 98 см, 200 бар).
► Проверьте входящие в комплект стяжные ремни на наличие видимых
повреждений.
► Всегда закрепляйте баллон на держателе с помощью двух входящих вкомплект стяжных ремней.
► Перед каждой транспортировкой закрывайте вентиль газового баллона.
► Перед транспортировкой демонтируйте подсоединенный регулятор давления.
► При транспортировке защищайте вентиль газового баллона защитным
колпачком.
► Следите за тем, чтобы распылительный шланг никогда не находился внатянутом положении.
► При обращении с газовыми баллонами соблюдайте указания по технике
безопасности от их изготовителя.

ОСТОРОЖНО
Опасность травмирования вследствие удара электрическим током
► Перемещайте прибор только при отсоединенном сетевом проводе.
► Перед каждым использованием проверяйте сетевой кабель на повреждения.

18 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONКомплект поставки, транспортировка, хранение | 3ОСТОРОЖНО
Опасность травмирования вследствие падения или опрокидывания
прибораПри неправильной транспортировке распакованный прибор может упасть илиопрокинуться и привести к серьезным травмам.
► Передвижной течеискатель предназначен для транспортировки по ровной
поверхности. Он не предназначен для переноски или подъема с помощью
крана. Ручку следует использовать для перемещения прибора.
► Для кратковременного подъема прибора с одной стороны с целью
преодоления небольших препятствий беритесь за ручку прибора вдвоем. Этоможет потребоваться, например, чтобы транспортировать прибор через
кабель, не повреждая последний.
► Если вы используете для транспортировки средства напольного транспорта,например вилочный погрузчик, всегда надежно фиксируйте течеискатель дляпредотвращения его падения.

ВНИМАНИЕ
Опасность травмирования вследствие ограниченного
функционирования стояночных тормозовБез исправно функционирующих стояночных тормозов возможны
нежелательные движения прибора и получение травм.
► Чтобы убедиться в надлежащем функционировании стояночных тормозов,снимите с колес липкие ленты.

ВНИМАНИЕ
Опасность защемления конечностей
Имеется опасность наезда на ноги и их защемления.
► Держите ноги от роликов на определенном расстоянии.
► Не тяните за сам прибор.
► Перемещать прибор разрешается только за предусмотренную для этого ручку.
► Зафиксируйте прибор в месте использования посредством стопорения
передних опорных колес.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

19 / 176

3 | Комплект поставки, транспортировка, хранение

INFICONУКАЗАНИЕ
Опасность повреждения оборудования при транспортировке безтранспортировочной упаковки
Если безопасная транспортировка прибора путем его толкания невозможна,прибор следует защитить от повреждений посредством использования
оригинальной упаковки.
► Храните оригинальную упаковку для транспортировки.

УКАЗАНИЕ
Повреждение прибора контроля утечек средствами напольного
транспортаНа нижней стороне прибора находятся крепежные зажимы вентиляторов.
Средства напольного транспорта, например вилочные погрузчики, могут
повредить эти зажимы.
► При толкании прибора к месту размещения не за ручку рекомендуем
использовать оригинальный транспортировочный ящик.
► При задействовании средства напольной транспортировки безтранспортировочного ящика следите за тем, чтобы не были повреждены
зажимы на нижней стороне прибора (крепление напольных вентиляторов).
Перед подъемом вилы погрузчиков должны входить под прибор без контакта сним.
Хранение

Храните прибор с учетом его технических характеристик — см. «Технические
характеристики [} 38]».

20 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОписание | 44 Описание
4.1 Функция
Данный прибор представляет собой прибор для обнаружения и измерения
утечек в проверяемых объектах. Прибор предназначен для проверки
герметичности вакуумным способом и с использованием детекторной линии.
Прибор оснащен технологией обнаружения ULTRATESTTM.
• При вакуумном способе проверяемый объект вакуумируется, а затем
обдувается снаружи гелием или защитным газом. Для этого необходимо
установить вакуумное соединение между прибором и проверяемым
объектом.
• При использовании метода с использованием детекторной линии впроверяемом объекте избыточное давление создается гелием или защитным
газом. Затем проверяемый объект снаружи анализируется на предмет
герметичности с помощью детекторной линии.
Перед выполнением испытаний на герметичность сначала следует выполнить
калибровку прибора контроля утечек. См. также Внутренняя калибровка [} 90] иВнешняя калибровка [} 90].

4.2 Режимы работы
4.2.1 Режим работы «Вакуум»На верхней стороне прибора находится впускной фланец.
Для проведения проверки герметичности вакуумным способом впускной фланец
должен быть подсоединен к требуемому проверяемому объекту.
Если давление в проверяемом объекте меньше атмосферного давления, то вслучае утечки гелий, который напыляется на проверяемый объект, проникает в
него. В приборе контроля утечек затем обнаруживается наличие гелия спомощью масс-спектрометра.
HYDRO•SВ режиме работы «Вакуум» имеется возможность использования режима
HYDRO•S. С помощью режима HYDRO•S уменьшается время готовности кизмерению при использовании больших проверочных объектов.
Десорбция водяного пара в испытательной камере создает нежелательный
фоновый сигнал. Режим HYDRO•S отделяет и подавляет данный сигнал отсигнала гелия, следовательно, тест может начинаться раньше. После
переключения в данный режим необходима новая калибровка. В режиме
HYDRO•S имеется нижний предел обнаружения 1 x 10-10 мбар·л/с.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

21 / 176

4 | Описание

INFICONСм. также
2 Внешняя калибровка [} 90]

4.2.2 Режим работы «Проверка щупом»Для анализа проверяемых объектов под избыточным давлением с помощью
детекторного зонда можно подсоединять детекторную линию SL200 или SL3000.
SL200Вакуумный патрубок детекторной линии SL200 подсоединяется на верхней
стороне прибора к впускному фланцу.
Электрический разъем детекторной линии SL200 соединяется с разъемомACCESSORIES на обратной стороне прибора, см. Подключения
принадлежностей и управляющих сигналов [} 37]. При этом дополнительно
потребуется кабельный удлинитель для электроподключения, см.
Принадлежности и запасные части [} 148].

SL3000Детекторная линия SL3000 подсоединяется к предусмотренному подключениюна обратной стороне прибора, см. Подключения принадлежностей иуправляющих сигналов [} 37]. С помощью данного разъема выполняется иэлектрическое подключение, и подключение к вакуумной системе.
Поскольку не создается никакого соединения с впускным фланцем на верхней
стороне прибора, для переключения на режим работы «Проверка щупом» нетребуется снимать никаких компонентов вакуумной системы, которые ужеподсоединены к впускному фланцу.

Сравнение

SL200

SL3000< 5 x 10-8 мбар·л/с

< 2 x 10-7 мбар·л/с

25 сксм

160 сксм

Доступная длина

3,8 м

3 / 5 / 10 / 15 мОболочка кабеля

Нержавеющая сталь

Пластмасса

Индикатор «Годен/брак»ДаДаZERO через кнопкуДаДаНа впускном фланце и сС помощью отдельного

помощью электрического

гнезда на обратной

разъема

стороне прибора

—ДаПредел обнаружения
Расход газа,дистанционная
чувствительность

Подключение на приборе

Возможно
одновременное
подключение вакуумной
линии и детекторной
линии

22 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОписание | 4Дисплей с индикатором

—

Да

—

Да

—

Да

—

Да

измеряемых величин
Квитирование
неисправностей спомощью кнопок наручке-детекторе
Завершение режима
ожидания с помощью
кнопки на ручкедетекторе
Квитирование
калибровок с помощью
кнопок на ручкедетекторе

4.2.3 Режим работы «Автоматическое тестирование наналичие течи»В данном режиме проверки в герметично закрытых компонентах можно
проводить в автоматизированном процессе. Если используется дополнительная
испытательная камера TC1000, проверка запускается автоматически призакрывании крышки.
Результаты достигаются в течение кратчайшего времени. Внутренняя
проверочная утечка прибора контроля утечек применяется для динамичной
калибровки с целью корректировки требуемого испытательного цикла.
Интенсивности утечки в диапазоне 10-9 мбар обнаруживаются в течение 5 с.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

23 / 176

4 | Описание

INFICON4.3 Конструкция прибора
4.3.1 Весь прибор

Рис. 1: Вид спереди

24 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОписание | 4

Рис. 2: Вид спереди с открытой крышкой.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

25 / 176

4 | Описание

INFICONРис. 3: Вид сзади. На рисунке показаны принадлежности, входящие в комплект поставки ипредлагаемые в качестве опции.

26 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОписание | 4

4.3.2 Блок управления

Рис. 4: Блок управления (вид спереди)Блок управления состоит из расположенных на корпусе сенсорного экрана ипанели управления с кнопками Пуск, Стоп и ZERO (подавление фона).
См. также Конструктивное исполнение сенсорного экрана [} 32], см. также
Кнопка START [} 28].
Светодиодная подсветка кнопок панели управления меняет цвет в зависимостиот состояния прибора, см. также Значение светодиодов кнопок [} 30].

Блок управления имеет поворотный механизм.
Если у вас есть блок управления с интерфейсом HDMI, вы можете подключить
сенсорный монитор.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

27 / 176

4 | Описание

INFICON

1

2

3

4

Рис. 5: Блок управления (вид сзади)1

HDMI-порт
• Макс. длина провода для подключения к разъему HDMI сенсорного
монитора — 3 м. См. также «Использование внешнего монитора
[} 106]».

2/3

Интерфейсы USB 2.0• Для подключения USB-кабеля сенсорного монитора, макс. длина
кабеля 3 м.
• Для установки USB-накопителя с обновленной информацией см.
Обновление ПО [} 104].
• Для установки USB-накопителя с целью копирования данных
измерения см. Данные измерения [} 94].
• Для установки USB-адаптера сети WLAN для WLAN-соединения
см. Управление прибором контроля утечек через веб-браузер
(WLAN) [} 163].

4Интерфейс подключения сети Ethernet• Для подключения к локальной сети (LAN), макс. длина провода
30 м (экранир.)В качестве опции имеется дистанционное управление RC1000, см. также
Принадлежности и запасные части [} 148].
Дополнительно прибором можно управлять с помощью ноутбука илипланшетного ПК, см. также Управление прибором контроля утечек через веббраузер (WLAN) [} 163].

4.3.2.1 Кнопка START• Для запуска измерений.
• Возможность управления с сенсорного экрана или с панели управления.

28 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОписание | 4• При повторном нажатии кнопки START во время измерения отображается
максимальная интенсивность утечки (Qmax), которая возникла с момента
повторного нажатия кнопки START. См. также «Конструктивное исполнение
сенсорного экрана [} 32]».
• Если продолжать нажимать кнопку START на панели управления в ходеизмерения, обновляется индикация максимальной интенсивности утечки.
Функция

Сенсорный экран

ПускПанель управления
Кнопка ПускОтображение максимальной

Возможность

Снова нажмите кнопку

интенсивности утечки

управления сПуск.

сенсорного экрана
отсутствует

4.3.2.2 Кнопка STOP• Для остановки измерений.
• Возможность управления с сенсорного экрана или с панели управления.
• С помощью кнопки Стоп на панели управления можно останавливать нетолько процесс измерения, но и продувки.
Функция

Сенсорный экран

Панель управления

СтопКнопка СтопПродувка

Снова нажмите кнопку
Стоп и удерживайте еенажатой примерно 2 с.
(Условием является
настройка «Режим
продувки» «Ручной
режим», см. Активация
вакуумных диапазонов
[} 78].)

4.3.2.3 Кнопка ZERO• Описание отключения «Фонового сигнала» см. также Определения терминов
[} 9].
• Возможность управления с сенсорного экрана или с панели управления.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

29 / 176

4 | Описание

INFICON• С помощью кнопки ZERO можно включать и выключать отображение
индикации функции ZERO. Подробную информацию см. в Настройка ииспользование функции ZERO [} 83].
Функция

Сенсорный

Панель управления

экранПодавление фона, вкл.

Кнопка ZEROПодавление фона, выкл.

Снова нажмите кнопку ZERO иудерживайте ее нажатой
примерно 2 с.

Измеренные в данный момент значения интенсивности утечки анализируются вкачестве фонового сигнала. В зависимости от режима работы фоновый сигнал
остается выключенным до момента предела отображения соответствующего
вакуумного диапазона.
Пределы отображения в соответствии с заводскими установками:1×10-1 мбар·л/с в MASSIVE
1 ×10-7 мбар·л/с в GROSS
1×10-10 мбар·л/с в FINE
1×10-12 мбар·л/с в ULTRAЧтобы снова отключить функцию ZERO, удерживайте нажатой кнопку ZEROпримерно 2 с.
Функцию ZERO можно активировать лишь тогда, когда сигнал интенсивности
утечки стабильный и никакой утечки не определяется. См. также «Настройка ииспользование функции ZERO [} 83]».
См. также
2 Активация вакуумных диапазонов [} 78]

4.3.2.4 Значение светодиодов кнопок
Светодиод кнопки

Светодиод кнопки

START

STOP

Выкл.

Мигает красным

Отсутствует соединение ссветом

блоком управления

Светится прерывистым Светится
синим светом

Значение

Запуск

прерывистым синим
светом

Выкл.

Зеленый

Режим ожидания, продувка
завершена (продувочный
клапан открыт)30 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОписание | 4Светодиод кнопки

Светодиод кнопки

START

STOP

Выкл.

Сине-зеленый

Значение

Режим ожидания, откачка
завершена (продувочный
клапан закрыт)Светится прерывистым Выкл.

Откачивание насосом

зеленым светом
Выкл.

Мигает зеленым

Внутренняя калибровка

светом
Мигает зеленым

Выкл.

Внешняя калибровка

Зеленый

Выкл.

Измерение

Желтый

Выкл.

Измерение с неквитированным

светом

(предупреждение,предупреждением

возможно появление
сообщения онеисправности)Выкл.

Красный

Ошибка

Светодиод кнопки
ZERO
Выкл.

Режим измерения не включен

Выкл.

Функция ZERO блокирована

СинийФункция ZERO выкл., и HYDRO•S выкл.

Зеленый

Функция ZERO вкл.

Желтый

Функция ZERO выкл., и HYDRO•S вкл.

4.3.2.5 Значение светодиода статуса
Светодиодный индикатор состояния расположен с обратной стороны прибора
внутри панели для подключения принадлежностей и управляющих сигналов, см.
также Подключения принадлежностей и управляющих сигналов [} 37].
Светодиодный индикатор статуса

Значение

Мигает красным светом

Отсутствует соединение дляуправления прибором

Мигает синим светом

Запуск

Синий

StandbyМигает зеленым светом

Вакуумирование (откачка)Мигает зеленым светом

Калибровка

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

31 / 176

4 | Описание

INFICONСветодиодный индикатор статуса

Значение

Мигает зеленым светомПО запускается (непосредственно
после включения прибора)Мигает зеленым светом

Загрузчик ОС ожидает обновления ПО(после запуска обновления ПОосновного прибора)Зеленый

Измерение

Желтый

Измерение с неквитированным
предупреждением

Красный

Ошибка

4.3.2.6 Конструктивное исполнение сенсорного экрана
Индикатор прибора выполнен в виде сенсорного экрана.
Сенсорный экран отвечает на легкие прикосновения пальцев. Для активации
выбранной функции сильного нажатия не требуется.

На экране всегда отображаются символы для навигации.
В зависимости от контекста на экране можно увидеть другие символы иэлементы.
Допуск
Кнопка навигации
Настройки

Предыдущая страница

Измеряемая величина
интенсивности утечкиИмя пользователя

Следующая страница

WLAN

Макс.
интенсивности утечки

LANКнопка навигации
Эксплуатация

SupervisorИзмеряемая величина

Давление на впуске

ZERO
Вкл.
Пороговые значения

ZERO
Выкл.

Переключение:Линейная диаграмма
Полосный индикатор
Круговая диаграмма

ZEROДанные измерения

Кнопка навигации
Информация

32 / 176Громкость

записать
Газ

ULTRA

Кнопка навигации
Калибровка
Диагностика
Режим работы
HYDRO•SВакуум
Режим измерения

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONКнопки навигации

Описание | 4

Эти кнопки могут появляться в пяти различных цветах:• Серый: функция заблокирована
• Темно-синий: функцию можно активировать
• Светло-синий: функция активирована
• Красный: активна неисправность (кнопка навигации для диагностики)• Оранжевый: активно предупреждение (кнопка навигации для диагностики)Настройки
Эксплуатация
Информация
Диагностика
Таб. 1: Кнопки навигации

Функциональные
кнопкиЭти кнопки могут появляться в трех различных цветах:• Серый: функция заблокирована
• Светло-синий: функцию можно активировать
• Белый: функция активирована
Общие символы функций
Прерывание текущей функции
Вызов справки по текущей функции
Подтверждение ввода или выбора
Загрузить
Сохранить
Редактировать
Копировать
Удалить
WLAN
LANСтраница вперед
Страница назад
Таб. 2: Функциональные кнопки

Другие символы

Права доступа «User»Права доступа «Operator»Права доступа «Supervisor»

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

33 / 176

4 | Описание

INFICONПросмотр или настройка времени
См. также «Обзор групп прав доступа [} 61]».

34 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОписание | 4

4.3.3 Места вакуумного соединения
4.3.3.1 Впускной фланец
Впускной фланец находится сверху на приборе. В данном случае речь идет офланце DN 25 KF.
В случае выбора вакуумного режима проверки утечек к данному фланцу следует
подсоединять проверяемый объект или вакуумную камеру.
Если в ходе измерения невозможно исключить наличие пыли или грязи,необходимо использовать кольцо круглого сечения с фильтром — см. «Комплект
поставки, транспортировка, хранение [} 17]». В таком случае время откачивания
увеличивается.
Данное впускное гнездо можно использовать также для подключения
детекторной линии SL200 или тестовой камеры TC1000.

4.3.3.2 Выхлоп
ОСТОРОЖНО
Опасность отравления вредными для здоровья газамиВ зависимости от подсоединенной емкости и содержащихся в ней газов
образующиеся вредные для здоровья газы могут через газоотводную систему
прибора контроля утечек попадать в окружающий воздух.
► Следует пользоваться средствами индивидуальной защиты от вдыхания
вредных для здоровья газов.
► Не откачивайте токсичные, коррозийные или взрывоопасные газы, создающие
опасность.
► Подсоедините шланг для отвода ОГ. Шланг для отвода ОГ должен бытьпостоянно подключен к системе отвода ОГ и не должен перекрываться.

На обратной стороне прибора находится выхлоп. Выхлопная труба
представляет собой трубчатое присоединение с внутренней и наружной
резьбой. Подключение адаптера выпускного шланга также описывается вПодключение входящих в комплект поставки принадлежностей [} 49].

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

35 / 176

4 | Описание

INFICON

4.3.3.3 Гнездо подключения продувочного газаНа обратной стороне прибора расположено гнездо подключения продувочного
газа, см. Подключения принадлежностей и управляющих сигналов [} 37]. Онопредставляет собой быстроразъемное соединение для шлангов наружным
диаметром 8 мм.
Для прочистки используйте не содержащий гелия газ при атмосферном
давлении. Окружающий воздух может по причине продувки или заполнения
емкостей содержать большее количество гелия. В таких случаях через гнездо
подключения продувочного газа подсоединяйте трубопровод газоснабжения
(т. е. азот, свежий воздух и т. д.). Давление в этом газопроводе не должно
превышать атмосферное давление больше, чем на 100 мбар.

4.3.3.4 Гнездо подключения системы продувкиКак правило, проверяемые объекты после завершения проверки продуваются
окружающим воздухом. При необходимости проверяемые объекты могут
продуваться каким-либо другим газом (например, свежим воздухом, сухим
воздухом, азотом и т. д.) через гнездо подключения системы продувки. Давлениев гнезде подключения системы продувки не должно превышать атмосферное
давление больше, чем на 100 мбар.
В таких случаях к гнезду подключения системы продувки подключается
продувочный шланг, см. Подключения принадлежностей и управляющих
сигналов [} 37].

36 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОписание | 4

4.3.4 Подключения принадлежностей и управляющих
сигналов
SNIFFERСетевой выключательACCESSORIESРазъем для сетевого провода

LDРазъем для продувки

REMOTE CONTROL /ДИСТАНЦИОННОЕ УПРАВЛЕНИЕ

Гнездо подключения

RS232

продувочного газаРис. 6: Подключения принадлежностей и управляющих сигналов

SNIFFERДля подсоединения детекторной линии SL3000

ACCESSORIESЭлектрический разъем детекторной линии SL200 или испытательной
камеры TC1000

LDПодключение для шинного модуля BM1000 или модуля ввода/вывода
IO1000, макс. *) длина кабеля передачи данных INFICON 30 м

REMOTE CONTROL /Для подключения пульта дистанционного управления RC1000 через

ДИСТАНЦИОННОЕ

кабель макс.*), длина провода 28 м, или для прямого подключения

УПРАВЛЕНИЕ

радиопередатчика через адаптер. Пульт дистанционного управления невходит в стандартный комплект поставки прибора.

RS232

Подключение для принадлежностей и сервисных целей

Разъем для сетевогоДля электропитания прибора

кабеля
Разъем для продувкиДля подсоединения шлангов наружным диаметром 14 мм см. также
«Гнездо подключения системы продувки [} 36]»Гнездо подключенияДля подсоединения шлангов наружным диаметром 8 мм см. также «Гнездо

продувочного газаподключения продувочного газа [} 36]»*) Во избежание отображения неверных измеренных значений необходимо
соблюдать указанные максимальные значения длины кабелей.

УКАЗАНИЕ
Электроника прибора может быть повреждена.
► Подключайте только те приборы, которые предусмотрены длясоответствующих интерфейсов.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

37 / 176

4 | Описание

INFICONМеста подключений внешних приборов имеют защитное разделение цепей отсети питания и работают в диапазоне безопасного низкого напряжения.

4.3.5 Обозначения на приборе
Запрещается утилизировать прибор с бытовым мусором.

Под рабочей поверхностью рядом с ручкой расположен динамик.
Магнитное поле динамика может нарушить работу имплантата.
• Если вы используете такие устройства, то соблюдайте безопасное
расстояние не менее 10 см между магнитом динамика иимплантатом.
• Также соблюдайте инструкции по безопасности производителя
имплантата.

4.4 Технические характеристики
Механические характеристики
UL3000 Fab ULTRAРазмеры (Д x Ш x В)

1050 х 472 х 990 ммМасса132 кг

Впускной фланец

DN 25 KFЭкранДисплей

Цветной дисплей с емкостным
сенсорным экраном

Диагональ экрана

7 дюймов

Разрешение

800 x 480 пикселей

Количество цветов

16,7 М

Фоновая подсветка

Светодиод

Электрические данные
UL3000 Fab ULTRAРабочее напряжение

100..240 В ±10%, 50/60 ГцМакс. потребляемая мощность

1500 В·АТиповая потребляемая мощность

38 / 176— при откачивании насосом

1200 В·А— в режиме измерений

700 В·АМакс. токопотребление 110 В

13 A

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОписание | 4

UL3000 Fab ULTRA
Макс. токопотребление 230 В

6AСтойкость при коротких замыканиях

300 A(SCCR)
Главный предохранитель

Защитный выключатель 20 A,термопредохранитель

Класс защиты

EN 60529 IP20
UL 50E, тип 1Категория повышенного напряжения

IIЭлектронные интерфейсы

USB, Ethernet, HDMI, ДЕТЕКТОР,ПРИНАДЛЕЖНОСТИ, LD,ДИСТАНЦИОННОЕ УПРАВЛЕНИЕ,СЕРВИСНЫЙ РЕЖИМ

Физические данные
UL3000 Fab ULTRAМинимально определяемая утечка,5·10‑12 мбар·л/свакуумный режим
Время срабатывания, с фланцевой

<1сзаглушкой
Макс. давление при впуске (вакуумный Давление окружающей среды
диапазон MASSIVE)Скорость откачки гелия (область

4 л/свакуумирования ULTRA)Мощность всасывания воздуха

36 м3/чфорвакуумным насосом
Время до 1 мбар для объема 50 л

~ 49 с

Время запуска

< 3 мин.

Измеряемые массы

4

He, H2, масса 3 (например, H-D, 3He

или H3)Минимально определяемая утечка,< 5·10‑8 мбар·л/срежим щупаПоток газа по детекторной линии

25 станд. куб. см/минSL200Поток газа по детекторной линии

160 станд. куб. см/минSL3000Диапазон измерений

12 декады

Уровень звукового давления в режиме

< 70 dB (A) *)ожидания

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

39 / 176

4 | Описание

INFICON

UL3000 Fab ULTRAИонный источник

2 долговечных иридиевых катода,покрытых окисью иттрия*) А-скорректированный уровень звукового давления в месте выполнения работ
обслуживающим персоналом при любых допустимых сценариях использования
прибора никогда не превышает 70 дБ (A). Сертификат измерения уровня шумасоставлен согласно требованиям международного стандарта
DIN EN ISO 3744:2011.

Условия окружающей среды
UL3000 Fab ULTRA
Макс. высота над уровнем моря2000 м

Максимальная относительная

80 % при 30 °C, линейно

влажность воздуха

понижающаяся до 50 % при 40 °C

Температура хранения

0…+50 °CТемпература окружающей среды

+10…+40 °C

Степень загрязнения **)2**) Согласно DIN EN 61010-1: Только непроводящее загрязнение. Иногда
вследствие конденсации может возникать временная проводимость.

4.5 Заводские установки
Пороговое значение интенсивности

1 × 10‑9 мбар·л/сутечки 1Пороговое значение интенсивности

1 × 10‑8 мбар·л/сутечки 2Пороговое значение интенсивности

1 × 10‑7 мбар·л/сутечки 3Пороговое значение интенсивности

1 × 10‑6 мбар·л/сутечки 4Автоматическая промывка

Вкл.

Громкость

2Режим ZEROI•ZERO 2.0Запрос калибровки

Выкл.

TMP, продувка

Вкл. (может изменяться только
специалистами сервисной службы)Интерфейсная единица измерения

мбар•л/синтенсивности утечки в режиме вакуума

40 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОписание | 4Интерфейсная единица измерения

мбар•л/синтенсивности утечки интерфейса врежиме SniffИнтерфейсная единица измерения

мбардавленияМасса

4 (гелий)Журнал подключения IO1000 RS232

ASCIIАналоговый выход IO1000, канал 1Интенсивность утечки мантисса

Аналоговый выход IO1000, канал 2Интенсивность утечки, экспонент

Аналоговый выход IO1000,

0,5 В / декада

масштабирование
Цифровой выход, контакт 1 (IO1000)

Calibration request (инвертирующий)Цифровой выход, контакт 2 (IO1000)

Error or warning (инвертирующий)Цифровой выход, контакт 3 (IO1000)

Setpoint 1 (инвертирующий)Цифровой выход, контакт 4 (IO1000)

Setpoint 2 (инвертирующий)Цифровой выход, контакт 5 (IO1000)

MeasuringЦифровой выход, контакт 6 (IO1000)

ZERO activeЦифровой выход, контакт 7 (IO1000)

Ready for operationЦифровой выход, контакт 8 (IO1000)

Calibration activeЦифровой вход, контакт 1 (IO1000)

VENTЦифровой вход, контакт 2 (IO1000)

SniffЦифровой вход, контакт 3 (IO1000)

Start

Цифровой вход, контакт 4 (IO1000)

StopЦифровой вход, контакт 5 (IO1000)

ZEROЦифровой вход, контакт 6 (IO1000)

CALЦифровой вход, контакт 7 (IO1000)

ClearЦифровой вход, контакт 8 (IO1000)

PurgeЦифровой вход, контакт 9 (IO1000)

Start/StopЦифровой вход, контакт 10 (IO1000)

No functionМашинный коэффициент, вакуум, масса 2 1Машинный коэффициент, вакуум, масса 3 1Машинный коэффициент, вакуум, масса 4 1
Фильтр интенсивности утечки

I•CAL

Катод

Катод 1, автом. (может изменяться
только специалистами сервисной
службы)Нижний предел давления, капилляры

0,1 мбар

SL200 забиты

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

41 / 176

4 | Описание

INFICONВерхний предел давления, капилляры

1 мбар

SL200 поломаны
Аварийный звуковой сигнал

TRIGGERЗадержка аварийного звукового сигнала

60 сЗвуковой сигнал оповещения

Вкл.

Смещение области впуска, масса 2

1,3 × 10-10 AСмещение области впуска, масса 3

6,7 × 10-14 AСмещение области впуска, масса 4

3,3 × 10-15 AАналоговый выход IO1000, верхняя

-5экспонента
Единица давления (индикация)мбарЕдиница измерения интенсивности утечки мбар•л/св режиме вакуума (индикация)Единица измерения интенсивности утечки мбар•л/св режиме Sniff (индикация)Конфигурация аварийных светодиодов

Мигание

детекторной линии (только SL3000)Яркость светодиода детекторной линии

5(только SL3000)Зуммер детекторной линии (только

Звуковой сигнал при пороговом

SL3000)значении 1Режим работы

Вакуум

Тест усилителя в ходе калибровки

Вкл. (может изменяться только
специалистами сервисной службы)Контроль чередующихся диапазонов

Вкл. (может изменяться только

предусилителя

специалистами сервисной службы)Нижний предел давления, капилляры

80 мбар

SL3000 забиты
Верхний предел давления, капилляры

200 мбар

SL3000 поломаны
Предел давления MASSIVE -> GROSS

15,0 мбар

Предел давления GROSS -> FINE

2,0 мбар

Предел давления FINE -> ULTRA

0,3 мбар

Макс. время вакуумирования, грубая

600 сутечка
Макс. время вакуумирования, измерение

1800 с

Защита от грубой утечки, предел

1 × 10‑3 мбар·л/синтенсивности утечки

42 / 176Защита от грубой утечки

Выкл.

Защита от частиц

Выкл.
UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОписание | 4Подавление фонового сигнала

только внутренний

Задержка продувки

вручную

Прибор на подключении LDМодуль В/ВСообщения о техническом обслуживаниивсе активированы

Вакуумные диапазоныMASSIVE, GROSS, FINE и ULTRA(все включены)Адрес шинного модуля

126Внешняя проверочная утечка в режиме

1 × 10‑7 мбар·л/свакуума, водород
Внешняя проверочная утечка в режиме

1 × 10‑7 мбар·л/свакуума, масса 3Внешняя проверочная утечка в режиме

1 × 10‑7 мбар·л/свакуума, гелий
Внешняя проверочная утечка в режиме

1 × 10‑5 мбар·л/спроверки щупом, водород
Внешняя проверочная утечка в режиме

1 × 10‑5 мбар·л/спроверки щупом, масса 3Внешняя проверочная утечка в режиме

1 × 10‑5 мбар·л/спроверки щупом, гелий
Локальное управление

Деблокировать

Стиль часов

Аналог

Индикация фонового сигнала в режиме

Выкл.

ожидания
Поднять нижнюю границу интенсивности

0утечки
Минимальная громкость0

HYDRO•SДеактивировано

Указание к подключению шланга дляАктивировано

отвода ОГНастроенный интервал технического
обслуживания
Фильтр детекторного наконечника

1000 ч

Воздушный фильтр

2500 ч

Настроенный пользователь
Наименование

Supervisor

PIN

1111

Язык

Английский

Автоматическое тестирование наналичие течиUL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

43 / 176

4 | Описание

INFICONМин. время тестирования

5с

Макс. время тестирования

10 сНумерация деталей

включённый

Номер изделия

1Граница предупреждения для

5неудавшихся (подряд) операций
тестированияТип диаграммы

Линейная диаграмма

Линейная диаграмма
Масштабирование

Логарифмическое

Декады

4Автоматическое масштабирование

Вкл.

Нижняя граница диаграммы

1 × 10-12Ось времени

30 сПолосный индикатор
Масштабирование

Логарифмическое

Декады

4Автоматическое масштабирование

Вкл.

Нижняя граница диаграммы

1 × 10-12Круговая диаграмма
Декады

5Автоматическое масштабирование

Вкл.

Нижняя граница диаграммы

1 × 10-12Запись данных
Формат экспорта

CSV enАктивно

Выкл.

Экспорт метаданных

Вкл.

WLAN
Имя (SSID)UL SeriesСетевой ключINFICONULАктивация

Вкл.

LAN
Метод

44 / 176

Выкл.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONУстановка | 5

5 Установка
5.1 Монтаж
ОПАСНО
Опасность удара электрическим токомПри перемещении течеискателя, которое приводит к напряжению сетевого
провода, может быть поврежден сетевой провод, подключенный с обоих концов,или вырвана настенная розетка.
Попадание влаги в устройство может привести к травмам вследствие поражения
электрическим током и материальному ущербу вследствие короткого замыкания.
► Перед каждым использованием проверяйте сетевой кабель на повреждения.
► Следите за тем, чтобы сетевой провод никогда не находился в натянутом
положении.
► При необходимости перемещения прибора отключайте сетевой провод изрозетки электросети в стене.
► Чтобы предотвратить непреднамеренное движение, зафиксируйте прибор вместе использования, заблокировав опорные колеса стояночным тормозом.
► Эксплуатируйте прибор только в сухих помещениях и только внутри зданий.
► Эксплуатируйте прибор вдали от источников жидкостей и влаги.
► Устанавливайте прибор таким образом, чтобы сетевой штекер при извлечениибыл всегда доступен.
► Не эксплуатируйте прибор в стоячей воде и не допускайте попадания на негокапель воды или иных жидкостей.

ОСТОРОЖНО
Опасность для здоровья из-за отводящих газов и паров
Отводящие газы и пары от насосов могут нанести вред здоровью персонала.
► Для выполнения работ в плохо вентилируемых помещениях прииспользовании опасных для здоровья газов подсоедините трубопровод дляотвода ОГ к соответствующему патрубку.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

45 / 176

5 | Установка

INFICONОСТОРОЖНО
Опасность возгорания вследствие перегрузки, короткого замыканияи перегрева
► Соблюдайте допустимые условия внешней среды.
► Следите за достаточной вентиляцией, особенно в области вентиляционных
отверстий. Оставляйте не менее 10 см свободного пространства спереди,сзади и сбоку от прибора.
► Не блокируйте впуск воздуха в ящике для принадлежностей.
► Держите прибор вдали от источников тепла.
► Следите за тем, чтобы сетевой выключатель и сетевой штекер были всегда
доступны.
► Немедленно отсоединяйте прибор от электросети при выходе дыма из него.

ОСТОРОЖНО
Прибор может опрокинуться при землетрясении
► Поэтому в тех местах, где существует опасность землетрясений, закрепляйте
прибор короткой цепью или стяжным ремнем (рассчитанным на усилие
1000 Н) через ручку прибора.

Рис. 7: Ручка прибора

ВНИМАНИЕ
Опасность травмирования вследствие неконтролируемого
скатывания/откатывания прибора
► Чтобы убедиться в надлежащем функционировании стояночных тормозов,снимите с колес липкие ленты.
► Чтобы не допустить неконтролируемого скатывания/откатывания прибора,фиксируйте его путем стопорения опорных колес стояночным тормозом.

46 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONУстановка | 5ВНИМАНИЕ
Опасность защемления конечностей
Имеется опасность наезда на ноги и их защемления. Возможно защемление итравмирование пальцев.
► Держите ноги и руки на безопасном расстоянии от роликов.
► Не отпускайте колесные тормоза пальцами, делайте это только ногой илиинструментом.
► Не тяните за сам прибор.
► Перемещать прибор разрешается только за предусмотренную для этого ручку.
► Зафиксируйте прибор в месте использования путем стопорения опорных
колес стояночным тормозом.

ВНИМАНИЕ
Опасность спотыкания о сетевой кабель или другие провода
► Для предотвращения спотыкания о свисающий под наклоном сетевой кабеле
полностью наматывайте его или используйте «разгрузку от натяжения
сетевого провода», чтобы прокладывать его на приборе непосредственно науровне пола. См. также «Подключение входящих в комплект поставки
принадлежностей [} 49]».
► Прокладывайте другие подключенные провода таким образом, чтобы
избежать риска споткнуться о них.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

47 / 176

5 | Установка

INFICONУКАЗАНИЕ
Доступ к операционной системе возможен через USB-интерфейс илисеть Ethernet.
Используемая в приборе контроля утечек операционная система Linuxавтоматически не обновляется, поэтому в системе безопасности могут
появиться слабые места. Через сеть Ethernet и USB-разъемы прибора контроля
утечек злоумышленники могут воспользоваться этими слабыми местами дляполучения доступа к системе.
► Убедитесь, что эти интерфейсы защищены от несанкционированного доступа,например с помощью замка USB-порта/Ethernet-порта.
► Чтобы не подвергать опасности корпоративную сеть предприятия, ни в коемслучае не подсоединяйте прибор контроля утечек напрямую к общественной
сети Интернет. Это касается как соединений сети WLAN, так и соединений
локальной сети Ethernet.
► Если все же потребуется дистанционный доступ к веб-интерфейсу прибора
контроля утечек, рекомендуется пользоваться зашифрованным соединением
Virtual-Private-Network (VPN). Однако безопасность VPN-соединений,предоставленных третьими лицами, также не может быть гарантирована.

Предотвращение погрешностей измерений вследствие утечек
источников гелия в окружении прибора
Рекомендуется регулярно проверять на расстоянии 10 метров вокруг приборавсе более крупные источники гелия на предмет более крупных утечек.
Используйте для этого детекторную линию.

Соблюдайте указания по транспортировке прибора — см. также «Комплект
поставки, транспортировка, хранение [} 17]».

Порядок действий

• Во избежание ложных результатов измерений обеспечьте помещение с какможно более постоянной комнатной температурой для прибора.
• Для обеспечения безупречной работы колес и тормозов снимите клейкую
ленту с колес.
• Во избежание блокировки отверстий для вытяжного воздуха, расположенныхна нижней стороне прибора, установите его ножками на твердую и ровную
поверхность.
• Чтобы легко добраться до сетевого выключателя на задней панели прибора,убедитесь, что за ним достаточно свободного места.
• Не подвергайте прибор воздействию прямых солнечных лучей.

48 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONУстановка | 5

5.2 Подключение входящих в комплект поставки
принадлежностей
Монтаж «крючков для сетевого провода и детекторной линии»Комплект поставки (количество): Крюк (4x), винты M6 x 12 (4x),предохранительные шайбы S6 (4x)Инструмент (входящий в комплект): ключ T30• Для установки сетевого провода и при необходимости детекторной линии наприборе установите крюк так, как показано на рисунке.
• Если на приборе закрепляется держатель баллонов, то устанавливайте крюкна этом держателе и фиксируйте винты с помощью входящих в комплект
гаек.

1

2

3

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

49 / 176

5 | Установка

INFICON1 Крюк

2 Винт M6 x 12

3 Предохранительная шайба S6

Рис. 8: Крюк на приборе или дополнительном держателе баллонов

50 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONУстановка | 5Установка «разгрузки от натяжения сетевого провода»Комплект поставки (количество): Разгрузка от натяжения (1x), Винт M6 x 12 (1x),Предохранительная шайба S6 (1x)Инструмент (входящий в комплект): ключ T30• Чтобы предотвратить опасность спотыкания, установите на приборе
разгрузку от натяжения сетевого провода. Вследствие этого сетевой провод
прокладывается от прибора к полу.
• Если на приборе закрепляется держатель баллонов, то разгрузку отнатяжения сетевого провода устанавливайте на этом держателе ификсируйте винт с помощью входящей в комплект гайки.

1

1 Винт M6 x 1223

2 Предохранительная шайба S6

3 Разгрузка от натяжения

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

51 / 176

5 | Установка

INFICONМонтаж «держателя гофрированного шланга»Комплект поставки (количество): держатель в комплекте (1x), винты M6 x 12 (3x),предохранительные шайбы S6 (3x), самонарезные винты (2x)Инструмент (входящий в комплект): Ключи Т25 и Т30
Для фиксации гофрированного шланга между впускным фланцем ииспытательной камерой или проверяемым объектом.

1

2

1
1
2

3
1 Держатель в сборе

3 Самонарезные винты

2 Винты M6 x 12,предохранительная шайба S6

52 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONУстановка | 5

Рис. 9: Держатель гофрированного шланга установлен.

ОСТОРОЖНО
Укорачивание (уменьшение длины) гофрированного шланга привакуумировании
Гофрированный шланг, который подсоединен к впуску, при вакуумировании
укорачивается.
► Поэтому монтируйте гофрированный шланг таким образом, чтобы приукорачивании он не нарушал устойчивость прибора и не мог разорваться.

Установка адаптера выпускного шланга на приборе
• Чтобы газы выходили через выпускной шланг DN 25, смонтируйте адаптер
выпускного шланга — KF-фланец DN 25 из комплекта поставки — ввыпускном отверстии с обратной стороны прибора.
• Используйте защитные перчатки, чтобы избежать порезов при установке
адаптера выпускного шланга.
• Для герметизации адаптера выпускного шланга используйте тефлоновую
ленту. Затяните адаптер, вращая его по часовой стрелке.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

53 / 176

5 | Установка

INFICON• Если у вас имеется выпускной шланг с наконечником (наружная резьба G ½
дюйма), то в качестве альтернативы этот шланговый наконечник можно
закрепить в выпускном отверстии, повернув его по часовой стрелке.

ОСТОРОЖНО
Опасность отравления вредными для здоровья газамиВ зависимости от подсоединенной емкости и содержащихся в ней газов
образующиеся вредные для здоровья газы могут через газоотводную систему
прибора контроля утечек попадать в окружающий воздух.
► Следует пользоваться средствами индивидуальной защиты от вдыхания
вредных для здоровья газов.
► Не откачивайте токсичные, коррозийные или взрывоопасные газы, создающие
опасность.
► Подсоедините шланг для отвода ОГ. Шланг для отвода ОГ должен бытьпостоянно подключен к системе отвода ОГ и не должен перекрываться.

54 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONУстановка | 5

5.3 Закрепление держателя для детекторной
линии SL3000 (дополнительные
принадлежности)ОСТОРОЖНО
Опасность травмирования детекторным наконечником
Визуальный контакт с детекторным наконечником может привести к серьезной
травме, например при спотыкании о протянутый кабель.
► Чтобы исключить вероятность травм, вызванных детекторным наконечником,разместите его в держателе, направив в сторону от оператора.
Для детекторного наконечника поставляется держатель. Держатель можно
устанавливать с обратной стороны прибора, см. также «Весь прибор [} 24]».
Комплект поставки (количество):Держатель (1x), винты M6 x 12 мм (2x), предохранительные шайбы S6 x 10 x 0,7
мм (2x)1Установите держатель в соответствии с изображением с помощью двухвинтов и предохранительных шайб с обратной стороны прибора.

2Закрепите детекторную линию в держателе, когда она не используется,так, чтобы она была направлена в сторону от оператора.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

55 / 176

5 | Установка

INFICON5.4 Подключение к сети питания
ОПАСНО
Опасность удара электрическим током
Неправильно заземленное или защищенное предохранителями оборудование вслучае неисправности может представлять угрозу для жизни. Запрещается
использовать прибор без подключенного защитного провода.
► Используйте только прилагаемые 3-жильные кабели сетевого питания.
► Замените дефектный сетевой кабель.
► В регионах с электропитанием 100—120 В с вилкой типа NEMA 5-15
(например, в Северной и Центральной Америке, Тайване и Японии) можно
использовать только входящий в комплект сетевой кабель «Hospital-Grade».
► Если кабель поврежден, его необходимо заменить на оригинальный кабель
«Hospital-Grade» (INFICON p/n 200000587).
► Убедитесь в том, что сетевые кабели «Hospital-Grade» маркированы той жесамой надписью и зеленой точкой, что и сетевая вилка NEMA 5-15.
► Убедитесь в том, что розетка прибора (розетка на выключателе питания)всегда легко доступна. См. также «Подключения принадлежностей иуправляющих сигналов [} 37]».
► При распознавании дефектов немедленно отсоединяйте прибор отэлектросети. Это также относится к случаям, когда из прибора начинает
выходить дым.

УКАЗАНИЕ
Материальный ущерб вследствие слишком высокого напряжения вэлектросетиПри слишком высоком напряжении в электросети возможно повреждение
устройства.
► Перед подключением устройства проверьте, соответствует ли напряжение
сети, указанное на устройстве, напряжению местной электросети.

56 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONУстановка | 5

5.5 Проверка работоспособности прибора
УКАЗАНИЕ
Возможно повреждение турбомолекулярного насоса
Работающий турбомолекулярный насос может получить повреждения
вследствие резких движений или попадания посторонних предметов.
► Избегайте резких движений или тряски прибора во время его эксплуатации и втечение не менее 2 мин после его отключения.
► Избегайте попадания посторонних предметов во впуск прибора.
Не допускайте включения прибора при температуре окружающего воздуха ниже10 °C.
ü Проверить заглушку DN 25 KF (если уже не установлена на впускном фланце).
ü Проверить гелиевый течеискатель (опция).
1Распакуйте прибор, проверьте комплект поставки и прибор на предмет
видимых повреждений.

2Проверьте, имеется ли на впускном отверстии глухой фланец. Впротивном случае установите фланцевую заглушку с кольцом круглого
сечения на впускном отверстии с верхней стороны прибора.

3Подключите прибор к сети электропитания.

4Включите прибор контроля утечек с помощью сетевого выключателя
(питания).
ð После включения прибора на сенсорном экране отображается
информация о скорости работы турбомолекулярного насоса,форвакуумном давлении, эмиссии и активном катоде. Процесс запуска
продолжается ок. 3 мин и завершается коротким звуковым сигналом.
Теперь прибор находится в режиме ожидания (рабочей готовности).

5Нажмите кнопку Пуск.
ð На впускном отверстии выполняется вакуумирование, и затем в режиме
измерения отображается измеренная интенсивность утечки.
При наличии подсоединенного проверяемого объекта можно начать
процесс проверки, подавая снаружи на объект гелий.

6При необходимости подавления возможных фоновых сигналов (фонового
сигнала гелия в проверяемом объекте) нажмите кнопку ZERO.
Для отмены подавления фона нажмите и удерживайте кнопку ZERO напанели управления в течение 2–3 с — см. «Кнопка ZERO [} 29]».

7Нажмите кнопку Стоп.
ð Прибор переходит в режим ожидания.
При нажатии кнопки Стоп на панели управления в течение нескольких
секунд продувается впускное отверстие прибора.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

57 / 176

5 | Установка

INFICON8При необходимости завершения проверки прибор можно отключить.

9При необходимости проверки внутренней калибровки для получения
лучших количественных результатов измерения подождите от 15 до
20 мин, пока прибор на прогреется.

10Для входа в меню калибровки нажмите кнопку

11Выберите «Внутренний».

12Нажмите кнопку.

.

ð Запускается внутренняя калибровка и продолжается около 30 с.
13Если потребуется проверить точность измерения прибора с помощью
опционального гелиевого течеискателя, снимите глухой фланец совпускного отверстия и подсоедините открытый гелиевый течеискатель квпускному отверстию.

14Нажмите кнопку Пуск.
ð Вакуумируется впускное отверстие, после чего измеряется иотображается интенсивность утечки проверяемого объекта.

15Для прерывания измерения нажмите кнопку Стоп.
ð Прибор контроля утечек переключается в режим ожидания (Standby).

16Нажмите и удерживайте кнопку Стоп на корпусе до тех пор, пока надисплее не появится сообщение STANDBY/VENTED.
ð Теперь впускное отверстие находится в продутом состоянии.

17Отсоедините гелиевый течеискатель от впускного отверстия и установите
обратно на него глухой фланец.

18

58 / 176Выключите прибор с помощью сетевого выключателя.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

6 Эксплуатация
6.1 Включение
УКАЗАНИЕ
Повреждение форвакуумного насоса из-за холодной температуры
окружающей среды
Если температура окружающей среды ниже 10 °C, то после включения надисплее появится предупреждение. Запуск устройства в любом случае возможен
путем подтверждения данного сообщения. Это может повредить форвакуумный
насос.
► Не эксплуатируйте устройство при температуре окружающей среды ниже 10°C.
► Для повторного включения прибора нажмите сетевой выключатель.
ð В момент поставки прибора после его включения отображается окноРежим ожидания.

Рис. 10: Окно Режим ожидания

Запуск измерения

Калибровка

Продувка

Продувка

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

59 / 176

6 | Эксплуатация

INFICONУКАЗАНИЕ
Возможный сбой вследствие долгого простоя
► Для обеспечения надлежащего функционирования прибора контроля утечек
(включая встроенные насосы) после 6-месячного простоя необходимо
включать устройство по меньшей мере один раз примерно на 15 мин.

Задержка оперативной готовности после длительного простоя
Если течеискатель с турбомолекулярным насосом SHIMADZU BT70 неэксплуатировался более одного года, при запуске может увеличиться
сопротивление подшипников турбомолекулярного насоса и значительно
повыситься его температура. О встроенном Турбомолекулярный насос см.
раздел “План технического обслуживания [} 143]“.
В этом случае течеискатель автоматически выполняет предварительную
подготовку турбомолекулярного насоса во время запуска после его включения.
Такое предварительное кондиционирование разгоняет турбомолекулярный
насос до максимальной скорости и снова замедляет его. Этот процесс
проводится 5 раз подряд и занимает в общей сложности около 20 минут.
После успешного завершения предварительной подготовки течеискатель снова
готов к использованию без каких-либо ограничений.

При запуске могут появляться определенные уведомления или указания дляпользователя. Их можно частично включить/выключить, см. также «Включение/выключение уведомлений [} 76]».

6.2 Основные настройки
Текущие настройки прибора можно сохранить в любой момент, чтобы
воспользоваться ими в дальнейшем, см. также Сохранение наборов параметрови управление ими [} 102].

6.2.1 Настройка языка интерфейса пользователя
Язык интерфейса можно настроить в пункте меню настроек пользователя, см.
Выбор, редактирование, создание профиля пользователя [} 61].

6.2.2 Настройка даты, времени и часового пояса
üПрава Supervisor
1
2

60 / 176> Настроить > Все > Дата и время
Настройте.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 63СохранитеИли нажмите на.
в верхней строке окна и выполните настройки.

6.2.3 Настройки профиля пользователя
6.2.3.1 Обзор групп прав доступа
Права доступа какого-либо пользователя зависят от его принадлежности копределенной группе.
UserУчастники группы

User могут

• выполнять измерения,• просматривать историю результатов измерений,• просматривать информацию о приборе,• просматривать протоколы неисправностей.
OperatorУчастники группы

Operator обладают всеми правами группы User.

Дополнительно участники могут
• создавать/редактировать/удалять пользователя (User),• экспортировать/удалять данные измерений,• редактировать настройки измерений.
SupervisorУчастники группы

Supervisor обладают всеми правами групп User и Operator.

Дополнительно участники могут
• создавать/редактировать/удалять оператора (Operator),• создавать/редактировать/удалять администратора (Supervisor),• выполнять обновление ПО,• редактировать дату/время.

6.2.3.2 Выбор, редактирование, создание профиля пользователя
üПрава Operator или Supervisor
1> Учетные записи пользователя > Управление учетными записями
пользователяð Созданные пользователи и присвоенные им права доступа
отображаются в виде списка.

2Пользователь имеет следующие возможности:Для создания нового профиля пользователя выберитев нижней

области окна.
Открывается окно Параметры пользователя.
В противном случае нажмите на созданном имени пользователя ивыберите из появившейся панели инструментов:UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

61 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON, чтобы загрузить профиль пользователя.
Открывается окно входа в систему.
, чтобы отредактировать профиль пользователя.
Открывается окно Параметры пользователя.
, чтобы удалить профиль пользователя.
Отображается сообщение с запросом.

3После выбора некоторых инструментов открывается окно Параметры
пользователя. Если отрывается данное окно, при необходимости введитеимя пользователя, отредактируйте или сохраните его.
MuellerНаименование

Mueller

PINГруппа

Пользователь

ЯзыкНемецкий

Параметры пользователя

4Если поле PIN не заполнено или требуется изменить его, введите ПИНкод из 4 цифр.

5Для присвоения пользователю требуемых прав доступа выберите группу.
С помощью

ивыберите одну из групп: User, Operator и Supervisor. См.

Обзор групп прав доступа [} 61].
6В поле «Язык» установите для пользователя с помощью

и

язык

интерфейса.
7Сохраните

.

6.2.3.3 Изменение индивидуальных настроек
Являясь пользователем с ограниченными правами (User), можно изменять языкинтерфейса и ПИН-код. В результате этого соответствующим образом
настраивается и определенный профиль пользователя. Доступ к полному
профилю пользователя не требуется.

62 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 61Нажмите на своем имени, которое высвечивается слева вверху надисплее.
ð Открывается окно Учетные записи пользователя.

2

При необходимости выберите кнопку Изменить свой PIN-код или Изменить
свой язык.

См. также
2 Выход из системы прибора [} 108]6.2.4 Отключение автоматического уведомления
Заводские установки
Логин: Supervisor
PIN: 1111
Язык: АнглийскийВ соответствии с заводскими установками после включения прибора
автоматически выполняется вход в систему с правами «Supervisor» иоткрывается экран процесса измерения. Данный предварительно настроенный
пользователь обладает еще и правами доступа группы «Supervisor». Безизменения данных настроек любой пользователь может пользоваться всеми
функциями прибора без ограничений.
Данный прибор можно настроить таким образом, чтобы после его включения
вместо автоматического входа в систему появлялось окно входа в систему.
С помощью данного окна в систему могут входить все пользователи, ужезарегистрированные в приборе, см. Выбор, редактирование, создание профиля
пользователя [} 61].
üПрава Supervisor
1> Учетные записи пользователя > Управление автоматической
регистрацией

2Деактивируйте в окне «Управление автоматическим входом в систему»опцию «Активно».

3ðСохраните

.

После перезапуска системы текущие настройки вступят в силу.

6.2.5 Включение автоматического входа в систему
Прибор можно настроить таким образом, чтобы пользователь после еговключения мог автоматически входить в систему без отображения окна входа всистему.
üПрава Supervisor

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

63 / 176

6 | Эксплуатация

INFICONü Учетная запись требуемого пользователя уже создана. См. Выбор,редактирование, создание профиля пользователя [} 61].
1

> Учетные записи пользователя > Управление автоматической
регистрацией

2Активируйте в окне «Управление автоматическим входом в систему»опцию «Активно».

3

В поле «Имя» введите имя пользователя. Обращайте внимание нанаписание строчных/прописных букв.

4Введите в поле PIN актуальный ПИН-код профиля пользователя.

5Сохраните

.

6.2.6 Представление экрана процесса измеренияДля переключения между различными представлениями диаграмм нажмите наэкране процесса измерения левую нижнюю иконку, см. Конструктивное
исполнение сенсорного экрана [} 32].
Имеется возможность выбора следующих вариантов представлений:• Линейная диаграмма
• Полосный индикатор
• Круговая диаграмма
Различные представления диаграмм можно дополнительно конфигурировать.
См. Изменение представления линейной диаграммы [} 65], Изменение
представления полосных индикаторов [} 66], Изменение представления
круговой диаграммы [} 67].
См. также
2 Изменение представления линейной диаграммы [} 65]
2 Изменение представления полосных индикаторов [} 66]
2 Изменение представления круговой диаграммы [} 67]

64 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

6.2.6.1 Изменение представления линейной диаграммы
Supervisor

ULTRA
Рис. 11: Представление в качестве линейной диаграммы

üПрава Operator или Supervisor
12> Вид > Линейная диаграмма
Выберите в поле «Масштабирование» между «Линейным» иЛогарифмическое.

3Выберите требуемое значение параметра «Декады».

4Чтобы динамически адаптировать верхнюю и нижнюю границу измеренийк интенсивности утечки, активируйте опцию Автоматическое
масштабирование.

5В поле Ось времени выберите продолжительность оси времени: 30, 60,
90, 120 или 240 с.

6Если опция Автоматическое масштабирование не активирована, выберитев поле Нижняя граница диаграммы требуемую декаду.

7Сохраните

.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

65 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON

6.2.6.2 Изменение представления полосных индикаторов

Рис. 12: Представление в качестве полосного индикатора

üПрава Operator или Supervisor
12> Вид > Полосный индикатор
Выберите в поле «Масштабирование» между «Линейным» иЛогарифмическое.

3Выберите требуемое значение параметра «Декады».

4Чтобы динамически адаптировать верхнюю и нижнюю границу измеренийк интенсивности утечки, активируйте опцию Автоматическое
масштабирование.

5Если опция Автоматическое масштабирование не активирована, выберитев поле Нижняя граница диаграммы требуемую декаду.

6

66 / 176Сохраните

.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

6.2.6.3 Изменение представления круговой диаграммы

Рис. 13: Представление круговой диаграммы

üПрава Operator или Supervisor
12> Вид > Круговая диаграмма
Если количество отображаемых декад в круговой диаграмме должно бытьфиксированным, выберите в Декады количество отображаемых декад.
Действительно только при деактивированном автоматическом
масштабировании.

3Если область индикации должна динамически подстраиваться подизмеряемую интенсивность утечки, активируйте автоматическое
масштабирование при помощи опции Автоматическое масштабирование.

4В поле Нижняя граница диаграммы выберите нужную нижнюю границу длякруговой диаграммы. Эта граница будет действовать даже приактивированной опции Автоматическое масштабирование.

5Сохраните

.

6.2.6.4 Изменение общих настроек индикации
üПрава Operator или Supervisor
12> Вид > Общие настройки индикации
Если очень низкая интенсивность утечки для случаев применения приборане представляет интереса и требуется повысить нижнюю границу
интенсивности утечки, выберите в поле выбора Поднять нижнюю границу
интенсивности утечки значение в диапазоне от 1 до 6 декад. Повышение
нижней границы интенсивности утечки может упростить анализ индикации
интенсивности утечки.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

67 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON3Если требуется отображение внутренней фоновой интенсивности утечки вокне режима ожидания Standby, активируйте или деактивируйте опцию
Индикация фонового сигнала в режиме ожидания.
ð Внутренний фоновый сигнал образуется остаточным газом, который ещене откачивался. В очень чистых системах фоновый сигнал находится вдиапазоне 1 x 10-11 мбар·л/с. При нормальных условиях величина
фонового сигнала составляет 1 x 10-10 мбар·л/с или 1 x 10-9 мбар·л/с.
Компьютерная обработка внутреннего фонового сигнала
рассматривается в Изменение подавления фона [} 86].

4Сохраните

.

6.2.7 Индикация результатов режима работы
«Автоматическое тестирование на наличие течи»Supervisor

1
2
3
4
5

6
7

1 «Пройдено» или «Не пройдено» в качестве результата последней
проверки под «Номером детали». Тест считается непройденным, когда
интенсивность утечки находится выше порогового значения.
2 Фактическое время проверки в диапазоне настроенных предельных
значений см. в Настройка режима «Автоматическое тестирование наналичие течи» [} 79].
3 Номер детали, присвоенный во время активированного процесса
«Нумерация деталей». Исходя из начального номера, отсчет номеров
деталей по возрастающей выполняется автоматически, см. Настройка
режима «Автоматическое тестирование на наличие течи» [} 79].
4 Отсчет непройденных проверок выполняется по возрастающей дограницы предупреждения. После пройденного теста выполняется сброс
счетчика непройденных тестов на 0, см. Настройка режима
«Автоматическое тестирование на наличие течи» [} 79].

68 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

5 Прерывание автоматического тестирования на наличие утечки: Когда
испытательная камера закрыта, после нажатия данной кнопки иподтверждения в следующем окне можно приостановить процесс
измерения. Испытательная камера остается в откачанном состоянии.
6 Результат измерения
7 Режим работы «Автоматическое тестирование на наличие течи», см.
Выбор режима работы [} 77].

6.2.8 Изменение единиц измеренияВ вакуумном режиме работы можно выбирать следующие единицы измерения:мм рт. ст.·л/с, атм.·куб.·см/с, Па·м3/с и мбар·л/с.
После переключения в режим работы «Проверка щупом» к указанным вышедополнительно можно выбирать следующие единицы измерения: oz/yr, g/a иppm.
Помимо этого, можно выбирать следующие единицы измерения давления: мбар,Па, атм. и мм рт. ст.
üПрава Operator или Supervisor
12> Настроить > Все > Настройки единицПри необходимости измените единицу измерения Единица измерения
интенсивности утечки в режиме вакуума, Единица измерения
интенсивности утечки в режиме проверки щупом и Единица давления.
ð В соответствии с заводскими установками опция Как индикация
активирована, следовательно, единицы измерения для интерфейсов
отображаются так же, как и единицы измерения прибора.

3Если потребуется настраивать единицы измерения для интерфейсов
независимо от прибора, деактивируйте опцию Как индикация.
ð На экране отображаются другие поля для настройки единиц измерениядля интерфейсов.

4Если вновь потребуется настроить использование выбранных единиц
измерения и для интерфейсов, активируйте опцию Как индикация.

5Сохраните

.

6.2.9 Изменение аудионастроек
Дополнительно к визуальной индикации результатов измерения можно
выполнять настройки громкости функции Звуковой сигнал оповещения, а также
звукового сигнала.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

69 / 176

6 | Эксплуатация

INFICONВНИМАНИЕ
Повреждение органов слуха из-за высокого уровня звукаНе допускайте превышения уровня звука прибора 85 дБ (A).
► Установите громкость макс. на значение «5».
► При установке громкости выше значения «5» используйте подходящие
защитные наушники.
üПрава Operator или Supervisor
12> Аудио
Чтобы изменить громкость как для звукового сигнала, так и для сигналов
уведомления, выберите требуемую «Громкость». Никогда не допускайте
выхода за нижнее предельное значение настройки громкости
«Минимальная громкость» в следующем поле.
ð Диапазон настройки: 0…15
ð Настроенную громкость можно прослушать, нажав экранную кнопку
«Тест».

3При необходимости измените минимальный уровень громкости.
ð Значение «Минимальная громкость» — такой уровень громкости
звукового сигнала тревоги, который не выходит за нижнее предельное
значение. При выборе значения более 0 блокируется наименьшее
настроечное значение громкости после нажатия символа громкости наэкране процесса измерения. Таким образом препятствуется изменение
каким-либо несанкционированным лицом значения громкости нижеуровня окружающего шума.
ð Диапазон настройки: 0…15

4

При необходимости более точной регулировки звукового сигнала тревогии типа звукового уведомления выберите в настройках «Тип звуковой
сигнализации» одно из значений: Интенсивность утечки
пропорциональная, PINPOINT, SETPOINT, TRIGGER и «Выкл.».
ð Интенсивность утечки пропорциональная: частота звукового сигнала
пропорциональна относительно полосного индикатора или высоты
диаграммы. Диапазон частот составляет от 300 Гц до 3300 Гц.
ð PINPOINT: тон звукового сигнала меняет свою частоту в пределах
диапазона интенсивности утечки. Данный диапазон проходит от декады
ниже выбранного порогового значения до декады выше порогового
значения. Ниже данного диапазона интенсивности утечки сигнал
постоянно низкий, выше — постоянно высокий.
ð SETPOINT: высота звука пропорциональна интенсивности утечки. Звукподается, как только значение интенсивности утечки превысило
выбранное пороговое значение 1. См. также «Настройка пороговых
значений [} 77]».

70 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

ð TRIGGER: при превышении настроенного порогового значения 1выдается двойной звуковой сигнал. См. также «Настройка пороговых
значений [} 77]».
5Если в определенных случаях применения прибора на некоторое время
требуется приглушать сигнал после нажатия кнопки Пуск, выберите
значение «Задержка аварийного звукового сигнала». Пример: интервал
времени в ходе откачки системы испытательной камеры.
ð После нажатия кнопки Пуск активируется звуковой сигнал, как только
интенсивность утечки упадет ниже порогового значения 1 или истечет
период задержки срабатывания звукового сигнала. Данная настройка
касается только звуковых сигналов тревоги SETPOINT и TRIGGER.

6При необходимости подачи сигналов уведомления активируйте опцию
Звуковой сигнал оповещения.

7Сохраните

.

6.2.10 Изменение настроек защиты
Имеется возможность защиты прибора от загрязнения гелием при грубых
утечках и от проникновения в него посторонних частиц. Помимо этого, можно
изменить значение максимального времени вакуумирования.
üПрава Supervisor
12> Настроить > Измерение > ЗащитаПри необходимости включения функции защиты от грубых утечек
активируйте опцию Защита от грубой утечки и задайте под пунктом
Предел защиты от грубой утечки граничное значение отключения.
ð Прибор закрывает все впускные клапаны, как только измеренное
значение интенсивности утечки превысит заданное граничное значение
отключения. За счет этого ненужное большое количество гелия непоступит в масс-спектрометр. Это позволяет предотвратить загрязнение
прибора контроля утечек гелием. Гелий, который попадает впроверочный объект, может откачиваться с помощью наружного насоса.
При отсутствии наружного насоса рекомендуется перед продолжением
измерений продувать проверочный объект.

3Чтобы предотвратить засасывание посторонних частиц в прибор, следитеза тем, чтобы проверочные объекты очищались путем откачивания другим
параллельно работающим насосом. Дополнительно активируйте опцию
Защита от частиц.
ð Прибор контроля утечек запускает процесс откачки лишь после того, какдавление на впуске упадет ниже 1 мбар.

4Указание: Следующая настройка не применяется, если включен
вакуумный диапазон Massive. См. также Активация вакуумных диапазонов
[} 78]:UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

71 / 176

6 | Эксплуатация

INFICONдля изменения максимального времени вакуумирования при появлении
грубой утечки введите под пунктом Время вакуумирования, грубая утечка
требуемый интервал времени в секундах.
ð Путем данной настройки задается момент, когда активируется
предупредительное сообщение о грубой утечке. Заводская установка:600 с. Если давление на впуске в пределах данного интервала временине упадет ниже 100 мбар, активируется сообщение о неисправности.
Этот пункт меню особенно полезен при проведении серии испытанийпри постоянно одинаковых условиях.
После нажатия кнопки Пуск выполняется вакуумирование проверочного
объекта. Если в течение заданного здесь времени соответствующее
условие по давлению (p1 < 100 мбар) не достигается или значение
выходит за нижний допустимый предел, процесс откачивания
прерывается и на дисплее появляется предупредительное сообщение.
С одной стороны, выбираемое значение времени зависит от желаемого
времени реакции на сообщение о грубой утечке, а с другой стороны, отобъема проверочного объекта и эффективной скорости откачки.
Если процесс откачивания прерывать не следует, введите значение 0.
Это соответствует записи «бесконечно».
5Указание: Следующая настройка не применяется, если включен
вакуумный диапазон Massive. См. также Активация вакуумных диапазонов
[} 78]:
для изменения максимального времени вакуумирования до режима
измерения введите под пунктом Время вакуумирования, измерение
требуемый интервал времени в секундах.
Параметр Время вакуумирования, измерение представляет собой времядо достижения первого доступного диапазона измерений.
Заводская установка: 1800 с.
ð Если предусмотренные характеристики по давлению во время
вакуумирования не достигаются, то по истечении времени
вакуумирования отображается предупредительное сообщение. Дляинформации о характеристиках по давлению см. также следующие
возможности настройки:> «Настройка» > «Измерение» > «Пределы давления»и> «Настройки» > «Измерение» > «Вакуум» > «Вакуумные диапазоны»6

72 / 176Сохраните

.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

6.2.11 Настройка интервала технического обслуживания
«Фильтр наконечника щупа» или «Воздушный
фильтр»Чтобы подобрать интервал технического обслуживания под степень загрязненияна месте эксплуатации прибора, можно выбрать значение по умолчанию илизадать интервал технического обслуживания самостоятельно.
üПрава Supervisor
12> Настроить > Счетчик ТОНастройте.
ð Для «фильтра наконечника щупа» введите свое значение для часов илинажмите на расположенную рядом кнопку «по умолчанию» (1 000 часов).
ð Для «воздушного фильтра» введите свое значение для часов илинажмите на расположенную рядом кнопку «по умолчанию» (2 500 часов).

3Сохраните

.

После проведения технического обслуживания необходимо заново установить
нужный интервал для следующего технического обслуживания.

См. также
2 Замена фильтрующей прокладки в отделении для инструментов [} 134]
2 Замена фильтрующей прокладки на нижней стороне прибора [} 135]
2 Замена фильтра детекторной линии SL200 [} 137]
2 Замена фильтра детекторной линии SL3000 [} 139]

6.2.12 Запросы ТО, включение или отключение
Данная опция служит для включения или отключения предупреждений в случае
превышения срока проведения соответствующего ТО. Здесь же отображается идата проведения следующего ТО.
üПрава Supervisor
1> Настроить > Запросы ТОð В окне Активировать/деактивировать запросы ТО можно включать илиотключать запросы ТО для следующих конструктивных узлов:— Проверочная утечка
— TMP— Фильтр, детекторный наконечник
— Форвакуумный насос
— Фильтр выхлопа
— Воздушный фильтр

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

73 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON2Настройте.

3Сохраните

.

6.2.13 Запросы калибровки, включение и отключение
Когда деактивирована опция «Запрос калибровки» (заводская установка), запрос
калибровки появляется только в следующих случаях:• Режим работы «Автоматическое тестирование на наличие течи» былвключен, и было изменено время автоматического тестирования на наличиетечи.
• Была подключена детекторная линия SL3000 с новым серийным номером.
• Режим работы был изменен с помощью встроенного блока управления, а вновом режиме работы в течение последних 24 часов никакой калибровки нееще проводилось.

Если активирована опция «Запрос калибровки», другие запросы калибровки
появляются в следующих случаях:• Продолжительность работы прибора составляет более 30 минут, иотклонение температуры относительно последней калибровки составляет
более 5 К.
• В выбранном текущем режиме работы в течение последних 24 часов никакой
калибровки еще не проводилось.

üПрава Operator или Supervisor
12> Настроить > Измерение > ПрочееДля включения других запросов калибровки активируйте опцию Запрос
калибровки. Для отключения деактивируйте эту функцию.

3Сохраните

.

6.2.14 Расширение или ограничение возможностей
управления
Данным прибором можно пользоваться всегда через сенсорный экран. Кроме
этого, пользователь может изменить заводские установки, что позволит
дополнительно управлять прибором с помощью кнопок панели управления ипульта дистанционного управления.
üПрава Operator или Supervisor
1
2

74 / 176> Настроить > Измерение > ПрочееВ Локальное управление выберите в поле выбора нужные параметры:UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

ð Деблокировать.
Кнопки Пуск, Стоп и ZERO на панели управления и также кнопки наустройстве дистанционного управления деблокированы. Однако
управление с помощью сенсорного экрана может быть заблокировано,если пользователь не зарегистрирован в системе.
ð Деблокировка после входа в систему.
Кнопки Пуск, Стоп и ZERO на панели управления и также кнопки наустройстве дистанционного управления становятся доступны после
входа пользователя в систему прибора путем ввода действующего PINкода.
ð Заблокировано.
Прибором можно управлять только при помощи сенсорного дисплея.
Кнопки Пуск, Стоп и ZERO на панели управления заблокированы.
Нельзя будет пользоваться и кнопками на пульте дистанционного
управления.
3Сохраните

.

6.2.15 Списки избранного
Чтобы не тратить время на поиск часто используемых функций в меню, в окне«Избранное» можно настроить собственные кнопки меню.

Открытие списка избранного:► Нажмите на иконку со своими правами доступа,,а затем нажмите

кнопку «Избранное»или можно выбрать
►> Учетные записи пользователя > Фавориты

ðПоявится окно избранного с 9 кнопками. Зарезервированные кнопки можно
использовать для быстрого запуска нужных функций.

Создание списка избранного:1В окне избранного нажмите пустую кнопку.

2

Из появившегося списка выберите нужное название меню и подтвердите
выбор нажатием.

ð Или в окне «Избранное» нажмите
появившемся

, выделите пустой элемент и ввыберите из списка нужное название меню.

Изменение или удаление избранного:1В окне избранного нажмите.

ð Сразу после касания нужного элемента откроется окно «Управление».
ð Активируются иконка

идля удаления.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

75 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON2После нажатия на эту иконку

появляется список с названиями меню, изкоторого можно выбрать нужный элемент и сохранить его нажатием

.

6.2.16 Включение/выключение уведомлений
üПрава Supervisor
12> Настроить > Все > УведомленияПри необходимости измените настройку поля «Указание к подключению
шланга для отвода ОГ».
ð Опция активирована: Указание отображается (заводская настройка)ð Опция деактивирована: нет указания

3

При необходимости измените настройку поля «Указание дляпредстоящего ТО контрольного течеискателя».
ð Опция активирована: Указание отображается (заводская настройка)ð Опция деактивирована: нет указания

4При необходимости измените «Количество недель между указанием изапросом проведения ТО контрольного течеискателя»ð Диапазон настройки: 1–12 недель (заводская настройка: 4 недели)5

76 / 176Сохраните

.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

6.3 Настройки процессов измерения
6.3.1 Выбор режима работы
üПрава Operator или Supervisor
12> Режим работы
Выберите между «Vacuum», «Sniff/SL200», «Auto Leak Test» и «Sniff/
SL3000».

3Сохраните

.

6.3.2 Выбор газаОПАСНО
Опасность взрыва водорода
Водород в сочетании с кислородом может привести к взрыву. Допустимые
составы покупных газовых смесей см. в паспортах безопасности
соответствующих производителей.
► Следите за тем, чтобы доля водорода не превышала указанных
концентраций.
üПрава Supervisor
12> Настроить > Измерение > Масса
Выберите один из вариантов:«Водород», H2 (2 amu)«Гелий», 4He (4 amu)«Масса 3», 3He (3 amu)

3Сохраните

.

6.3.3 Настройка пороговых значений
Имеется возможность отдельной настройки интенсивности утечки для пороговых
значений 1, 2, 3 и 4.
При превышении пороговых значений:• Когда превышается пороговое значение 1 или 2, в окне измерения меняется
цвет линии измерения.
• Включается реле порогового значения цифрового выхода, см. также Модуль
ввода-вывода [} 153] или описание интерфейсов.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

77 / 176

6 | Эксплуатация

INFICONПороговое значение 1 определяет, помимо этого, порог срабатывания дляразличных сигналов, см. также Изменение аудионастроек [} 69]. Дополнительноон служит в качестве граничного значения для функции I•ZERO, см. Настройка ииспользование функции ZERO [} 83].
üПрава Operator или Supervisor
1> Пороговые значения

2Настройте.

3Сохраните

.

6.3.4 Активация вакуумных диапазонов
Вакуумные

Имеется возможность активации вакуумных диапазонов MASSIVE, GROSS, FINE

диапазоныи ULTRA для проведения измерений.
Все 4 диапазона могут активироваться одновременно. Если активируется
несколько диапазонов, они автоматически переключаются в зависимости отдавления на впуске. Таким образом можно выполнять измерения с разной
чувствительностью.
По меньшей мере необходимо активировать один диапазон.
üПрава Operator или Supervisor
1> Настроить > Измерение > Вакуум > Вакуумные диапазоны

2

Под пунктом Вакуумный диапазон активируйте требуемые вакуумные
диапазоны.

3Сохраните

.

6.3.5 Регулирование частоты вращения форвакуумного
насоса
üПрава Supervisor
12> Настроить > Измерение > Вакуум > Форвакуумный насосПри необходимости измените настройку поля «Режим форвакуумного
насоса».
ð «Автоматически» (заводская настройка)Частота вращения форвакуумного насоса по возможности понижается.
ð «Фиксированная»Форвакуумный насос работает с фиксированной частотой вращения.

78 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

6.3.6 Настройка режима «Автоматическое тестирование наналичие течи»Для начала обратите внимание на информацию, касающуюся режима работы
«Автоматическое тестирование на наличие течи», а также на указания поизмерению. См. также Режим работы «Автоматическое тестирование на наличие
течи» [} 23], Выбор режима работы [} 77], Измерение [} 93] и Индикация
результатов режима работы «Автоматическое тестирование на наличие течи»[} 68].
üПрава Operator или Supervisor
1> Настроить > Измерение > Вакуум > Автоматическое тестирование наналичие течиð Имеется возможность редактирования следующих настроек:— «Мин. время тестирования»— «Макс. время тестирования»— «Интенсивность утечки, пороговое значение 1»: для изменения
порогового значения 1. То же самое пороговое значение может бытьнастроено и в окне «Пороговые значения», см. Настройка пороговых
значений [} 77].
— Нумерация деталей: после активации данной функции каждому тесту
присваивается номер. Это облегчает воспроизведение результатов
проверки, см. Вызов протокола результатов [} 101].
— Номер изделия: для присвоения номера детали. При каждом
измерении, исходя из этого номера детали в качестве стартового
номера, выполняется отсчет по возрастающей.
— Граница предупреждения для неудавшихся (подряд) операций
тестирования: после достижения введенного числа отображается
предупредительное сообщение.

2Настройте.

3Сохраните

.

6.3.6.1 Учет фонового сигнала испытательной камеры
Если отображаются неожиданные результаты измерений, например несколько
неудавшихся последовательных тестов, рекомендуется провести «Эталонное
измерение». Такое измерение можно повторять регулярно через определенное
время.
ü Испытательная камера установлена, пустая и закрыта.
ü Режим работы «Автоматическое тестирование на наличие течи»ü Прибор находится в режиме ожидания.
1Нажмите

.

2Выберите «Эталонное измерение».

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

79 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON3Нажмите.

ð Камера полностью 3 раза откачивается и продувается.
ð После очистки измеряется актуальный фоновый сигнал гелия.
ð Новые значения измеренного фонового сигнала автоматически
сохраняются и вычитаются от результатов будущих измерений.

6.3.7 HYDRO•SЕсли в вакуумном режиме работы анализируются крупные проверочные
объекты, то с помощью функции HYDRO•S можно уменьшить время доготовности к измерению, см. также Режим работы «Вакуум» [} 21].

6.3.7.1 Настройка HYDRO•SДоступность функции HYDRO•S зависит, помимо описанной здесь базовой
установки, от прочих условий, например от выбранного режима работы ирабочего состояния, см. «Использование HYDRO•S [} 80]».

üПрава Supervisor
12> Настроить > Измерение > HYDRO•SВыберите один из вариантов:«Деактивировано» (заводская установка), если функция HYDRO•S неиспользуется и не требуется ручное переключение.
«Ручной режим», если требуется включать или выключать функцию
HYDRO•S при нажатиина экране процесса измерения. См. также

«Конструктивное исполнение сенсорного экрана [} 32]».
«Автоматический режим», если требуется постоянно использовать
функцию HYDRO•S.
3Сохраните

.

4После настройки функции HYDRO•S в «Ручной режим» или«Автоматический режим» проведите калибровку, см. Калибровка [} 89].

6.3.7.2 Использование HYDRO•SРучной режим
функции HYDRO•Sü Функция HYDRO•S установлена в «Ручной режим», см. Настройка HYDRO•S[} 80].
ü Выбран вид газа «Гелий» (масса 4), см. Выбор газа [} 77].
ü Режим работы «Вакуум» активирован.
ü Достигнут вакуумный диапазон ULTRA.
ü Прибор находится в режиме «Измерения».
ü Актуальная интенсивность утечки составляет более 3 x 10-10 мбар·л/с.

80 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

ü Функция ZERO отключена. После включения функции HYDRO•S можно вновь
использовать функцию ZERO. См. Настройка и использование функции ZERO[} 83].
► Включите или выключите функцию HYDRO•S нажатиемна экране

процесса измерения. Для отключения функции HYDRO•S всегда нажимайте
кнопку Stop.

Автоматическийü Функция HYDRO•S настроена на «Автоматический режим», см. Настройка

режим HYDRO•S

HYDRO•S [} 80].
ü Другие условия для вышеупомянутого управления в ручном режиме также
выполнены.
ü Течеискатель находится по меньшей мере 5 с. в текущем диапазоне
измерений.
► Функция HYDRO•S включается автоматически.
ð Функция HYDRO•S включается в одном цикле измерений (стоп/старт)только один раз.
ð Функцию HYDRO•S с помощью нажатия

можно всегда включать иотключать, даже когда активна автоматическая функция.
ð Ручное включение функции HYDRO•S деактивирует автоматическую
функцию до следующего цикла измерения (стоп/старт).

6.3.8 Настроить машинный коэффициент
Если измерение выполняется в режиме работы «Вакуум» при одновременном
использовании внешней насосной системы, измеренные значения
интенсивности утечки были бы слишком малы по сравнению со значениями
интенсивности утечки на основании внутренней калибровки.
Если имеется потребность это компенсировать, измеренные значения
интенсивности утечки можно умножить на подходящий машинный коэффициент,а результаты отобразить на экране. Этот коэффициент используется лишь ввакуумном режиме, а не в режиме щупа.
С учетом скорости откачки гелия прибора можно также определить машинный
коэффициент. Измерение интенсивности внешней проверочной утечки напроверочном объекте будет более точным при подключенном внешнем насосе
один раз и один раз без него. Разность результатов определяет машинный
коэффициент
Машинный коэффициент может быть также использован для корректировки
индикации интенсивности течи по отношению к воздушному эквиваленту.
Машинный коэффициент для данной корректировки составляет 0,37.
üПрава Operator или Supervisorü Режим работы «Вакуум» настроен.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

81 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON1> Настроить > Измерение > Контрольный течеискательð Отображается поле Машинный коэффициент, гелий.

2Настройте.

3Сохраните

.

6.3.9 Настройка внешней проверочной утечки
Чтобы использовать внешнюю проверочную утечку для калибровки, введите
значение интенсивности проверочной утечки.
üПрава Operator или Supervisor
12> Настроить > Измерение > Контрольный течеискатель
Перенесите с проверочной утечки или с сертификата напечатанное
значение и соответствующую единицу измерения.
Не меняйте комбинацию напечатанного значения и соответствующей
единицы измерения, даже если ваш прибор настроен на другие единицы
измерения!

3Сохраните

.

См. также
2 Внешняя калибровка [} 90]

6.3.10 Изменение пределов давления
Пределы давления для вакуумного режима.
С помощью данной функции настроенные заводом-изготовителем точки
переключения можно изменять в следующих вакуумных диапазонах: MASSIVE,GROSS, FINE и ULTRA. Это может потребоваться, если прибор будет откачивать
другие газы вместо воздуха, например, аргон. Причиной этого является
зависимость внутренних манометрических трубок Pirani от конкретного видагаза.
Это можно скорректировать изменением предварительно заданных точек
переключения. Сигнал зависящего от вида газа индикатора давления на впуске
(Pirani) после коррекции циклового программного управления прибора может
выдавать другие значения переключения.
üПрава Supervisor
1> Настроить > Измерение > Предельные значения давленияð Можно изменять настроенные пределы давления. Это относится к:
MASSIVE -> GROSSGROSS -> FINE
FINE -> ULTRA

2Чтобы восстановить заводские настройки для воздуха после изменения
нажатием кнопки, нажмите кнопку «Воздух Станд.».

82 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

ð Будут установлены все заводские установки для воздуха.
ð При необходимости предельные значения давления можно настраивать
отдельно. См. также «Заводские установки [} 40]».
3

Для настройки значений для аргона нажмите кнопку «Аргон Станд.».
ð В этом случае будут использоваться следующие настройки для воздуха,которые отличаются от заводских:MASSIVE -> GROSS: 4 мбарGROSS -> FINE: 1 мбарFINE -> ULTRA: 0,2 мбарð При необходимости предельные значения давления можно настраивать
отдельно.

4Сохраните

.

6.3.11 Настройка и использование функции ZEROЗачем нужна

Чтобы точнее определять небольшие течи следует использовать функцию

функция ZERO?

ZERO.
При проведении каждой проверки герметичности имеется «Фоновый сигнал» (см.
Определения терминов [} 9]), который мешает поиску или измерению течей.
• Чтобы отключить отображение фонового сигнала, активируйте функцию
ZERO.
• Функцию ZERO можно использовать также и для отключения индикации
текущей отображаемой течи, которая может мешать при выполнении
последующих поисков других, (в определенных случаях) более мелких
утечек.

Индикация текущей отображаемой течи отключается функцией
ZERO.
Путем выполнения функции ZERO отключается индикация не только фонового
сигнала, но и представление текущей течи.
► Чтобы этого избежать, активируйте функцию ZERO только в тех случаях,когда одновременно не выполняется измерение течи.

Активация илиФункция ZERO активирована заводскими настройками.

деактивация

üфункции ZEROПрава Supervisor
12> Настроить > Измерение > ZERO и фильтрПри необходимости измените режим Режим ZERO. Заводские настройки
«I•ZERO 2.0».
ð Доступен выбор между «I•ZERO 2.0», «ZERO» и «Выключено».
ð В случае выбора «Выключено» кнопка ZERO не работает.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

83 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON3ðСохраните

.

Если функция ZERO активирована, запустить ее можно нажатием кнопки
ZERO. См. также «Кнопка ZERO [} 29]».

Как можно включить Коротко нажмите на кнопку ZERO на панели управления или на сенсорном
функцию ZERO?

экранеКак можно

Удерживайте нажатой кнопку ZERO более 2 с. на панели управления или наотключить функцию

сенсорном экране

.

.

ZERO?
Режим работыПри использовании настройки «I•ZERO 2.0» после нажатия кнопки ZERO«Вакуум», действие

отображаемый фоновый сигнал отключается в зависимости от текущего

настройки ZEROсмещения. Как правило, предел отображения при этом выдается в несколько
этапов. Величина текущего предела отображения показывает размер утечек,которые могут быть измерены в данный момент. Во время измерения текущий
предел отображения должен находиться по меньшей мере на одну декаду нижеожидаемого измеренного значения.
При использовании настройки «ZERO» после нажатия кнопки ZERO текущее
значение интенсивности утечки устанавливается на нижний предел
отображения.

Режим работыПри нажатии кнопки ZERO текущее значение интенсивности утечки

«Вакуум»,устанавливается на нижний предел отображения.

«HYDRO•S»Указание: кнопку ZERO не следует нажимать при сильно падающем фоновом

включен, настройка

сигнале, так как в противном случае, в сравнении с изменением фонового

«I•ZERO 2.0» илисигнала, отображение небольшого сигнала интенсивности утечки может по«ZERO»

ошибке отключаться.

Режим работыПри нажатии кнопки ZERO текущее значение интенсивности утечки

«Sniff», настройка

устанавливается на нижний предел отображения.

«I•ZERO 2.0» или«ZERO»

6.3.12 Продувка, промывка, регенерация
ПродувкаВ режиме измерения эта функция используется для продувки впуска прибора исвязанного с ним проверяемого объекта после измерения. Без всасывающего
эффекта вакуума можно легко заменить проверяемый объект.
üПрава Operator или Supervisor
1
2

84 / 176> Настроить > Измерение > Вакуум > ПродувкаПри необходимости измените настройку поля «Задержка продувки».

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

ð «Немедленно«: В случае активации опции «Немедленно» процесс
продувки запускается при переключении в режим ожидания.
ð «Вручную»: Заводская настройка. Если активирована опция «Вручную»,продувка будет запускаться при длительном нажатии на кнопку Стоп илина кнопкув окне Standby. См. также «Включение [} 59]».

ð «Без продувки»3

При необходимости измените настройку поля «Бережная продувка».
ð Опция активирована: Впуск будет продуваться только очень медленно.
Это может быть полезно, чтобы избежать возникновения интенсивного
потока в проверяемом объекте, который при определенных
обстоятельствах мог бы приносить с собой посторонние частицы.
ð Опция деактивирована: Заводские настройки

4Продувка

Сохраните.

При активации функции промывки (при сухой подкачке) в режиме ожидания вфорвакуумный насос поступает небольшой поток газа. Функцию можно
использовать для удаления конденсата водяного пара из рабочей камеры
форвакуумного насоса или для уменьшения фонового сигнала гелия.

ОСТОРОЖНО
Опасность удушья при использовании азота или аргона в качестве
продувочного газаИспользование азота или аргона в качестве продувочного газа при высокой
концентрации в воздухе помещения может привести к удушью.
► Примите необходимые меры для предотвращения высокой концентрации этихгазов в закрытых помещениях.
► Подсоедините трубопровод для отвода ОГ.
► Убедитесь в том, что давление в газопроводе для подключения продувочного
газа не превышает 100 мбар изб. давл. выше атмосферного.

Форвакуумный насос продувается в течение 20 с автоматически припереключении в режим ожидания.
üПрава Operator или Supervisor
12> Настроить > Измерение > Вакуум > ПродувкаПри необходимости активируйте опцию «Автоматическая промывка».
ð Если автоматическая промывка выключена, в окне режима ожидания
нажатием

3Сохраните

можно включить или выключить промывку.
.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

85 / 176

6 | Эксплуатация

Регенерация

INFICONИногда внутрь прибора может попасть слишком много гелия, вследствие чегоизмерения станут неточными («заражение гелием»). Регенерация позволяет
пользователю выполнять автоматический цикл продувки в режиме START-STOPдля устранения подобного повышенного фонового сигнала гелия.
Активный процесс регенерации отображается на дисплее.
Регенерация автоматически деактивируется через 60 минут.
üПрава Operator или Supervisorü Вы не активировали в пункте «Режим продувки» (см. выше) настройку «Безпродувки».
►> Регенерацияð В открытом окне можно запустить регенерацию, остановить ее илидождаться автоматического отключения регенерации по истечении
60 минут.

6.3.13 Изменение фильтра интенсивности утечки
Параметр I•CAL задан предварительно. Параметр I•CAL следит за тем, чтобы
среднее время оптимально адаптировалось к соответствующему диапазону
интенсивности утечки.
Сокращение I•CAL означает интеллектуальный «Алгоритм расчета
интенсивности течи». Он обеспечивает усреднение сигналов за оптимальные
периоды времени на основании того или иного диапазона интенсивности течи. Ктому же параметр I•CAL устраняет пики помех, которые не связаны с сигналами
интенсивности течи и обеспечивает чрезвычайно короткое время реакции дажепри слабых сигналах интенсивности течи. Используемый алгоритм обеспечивает
превосходную чувствительность и время реакции.
Фильтр интенсивности утечки Фиксированный является, помимо всего,фильтром с фиксированной постоянной времени.
Порядок работы

üПрава Supervisor
12> Настроить > Измерение > ZERO и фильтрПод пунктом «Фильтр интенсивности утечки» выберите либо параметрI•CAL, либо параметр Фиксированный.

3Сохраните

.

6.3.14 Изменение подавления фонаПо умолчанию установлено внутреннее подавление фона.
Система измерения прибора контроля утечек и без соединения с испытательной
камерой также содержит всегда остаточное количество гелия и водорода. Этоприводит к образованию внутренней доли сигнала измерения, которая ужеприсутствует перед нажатием кнопки Пуск.

86 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6После активации «Подавления фона» внутренний фоновый сигнал, а также
выборочно и фоновый сигнал в области впуска вычитаются из отображаемой
интенсивности утечки. Это выполняется после нажатия кнопки Пускавтоматически.
üПрава Supervisor
12> Настроить > Измерение > ZERO и фильтр
Выберите в поле Подавление фона параметр Только внутренний, Зонавпуска и «Отключено».
ð Заводская установка Только внутренний. В ходе каждого измерения внутренняя доля сигнала измерения
прибора вычитается при нажатии кнопки Пуск. Следовательно,внутренний фоновый сигнал не влияет отрицательно на точность
результатов измерения.
В настоящее время при нажатии кнопки Пуск:Чтобы можно было задать новый внутренний фоновый сигнал, прибор
контроля утечек должен находиться не менее 20 секунд в режиме
«Ожидание», и в это время нельзя открывать продувочный илигазобалластный клапан. Если вы хотите убедиться в том, что вследующем режиме измерения используется актуальный внутренний
фоновый сигнал, нажмите Пуск, когда индикатор фонового сигнала врежиме ожидания изменит свой цвет со слабого (на сером фоне) нанормальный. Чтобы индикатор фонового сигнала отображался в режиме
ожидания, активируйте соответствующую функцию, см. Изменение
общих настроек индикации [} 67].
ð Зона впуска
Дополнительно к вычитанию внутреннего фонового сигнала в ходекаждого измерения при нажатии кнопки Пуск вычитается также ифоновый сигнал области впуска.
При необходимости включения данной функции убедитесь, что фоновый
сигнал области впуска определен, см. Определение фонового сигнала
области впуска [} 88]. Рекомендуется время от времени повторно
рассчитывать фоновый сигнал области впуска, так как в приборе
имеющийся фоновый сигнал в области впуска через определенное
время понижается вследствие разрежения.
ð Выключено
Подавление фона отсутствует.

3Сохраните

.

Высокие фоновые сигналы
Если фактический фоновый сигнал выше чем 1 × 10-8 мбар·л/с, он перестает
автоматически вычитаться. Высокий фоновый сигнал должен в таком случае
уменьшаться путем разрежения.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

87 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON

6.3.14.1 Определение фонового сигнала области впускаС помощью данной функции определяется значение внутреннего фонового
сигнала гелия.
Если в окне «Zero и фильтр» под пунктом подавления фона выбрано значение
«Область впуска», то это значение при нажатии Пуск вычитается из измеренного
сигнала. См. также «Изменение подавления фона [} 86]».
ü Впуск закрыт глухим фланцемü Режим работы «Вакуум»ü Прибор находится в состоянии Режим ожидания или «Измерение».
1Нажмите

.

2Выберите калибровку Фоновый сигнал на впуске.

3

Для запуска процесса автоматического определения фонового сигнала навпуске нажмите

.

6.3.15 Изменение настроек SL3000 (звуковые и световые
сигналы)Данный прибор дополнительно к индикации на сенсорном экране позволяет
настроить тип уведомления о результатах измерения. Эти настройки
активируются при пороговом значении 1.
üПрава Operator или Supervisor
1> Настроить > Измерение > Проверка с детекторной линией >Детекторная линия SL3000

2Выберите опцию Конфигурация аварийных светодиодов детекторной
линии.
ð Для выбора имеются следующие значения «Светлее», «Выкл.» или«Мигание».

3Выберите опцию Яркость светодиода детекторной линии.
ð Для выбора имеются следующие значения «Выкл.»/«1…6».

4

С помощью опции Зуммер детекторной линии настройте сигнал зуммера
детектора.
ð Для выбора имеются следующие значения «Выкл.» или Звуковой сигналпри пороговом значении 1.

5Сохраните

.

6.3.16 Изменение контроля давления детекторной линииВ режиме работы «Проверка щупом» (SL200 или SL3000) автоматически
активируется функция контроля давления. Сохраненные предельные значения
давления определяют максимальное и минимальное давление на входе. Если88 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6значение давления не находится в данном диапазоне, как правило, капилляры
засорены или сломаны. Сообщения о неисправности выдаются по следующему
правилу:«Давление на входе» > «Верхняя граница»: капилляры неисправны.
«Давление на входе» < «Нижняя граница»: поток газа через капилляры слишком
низкий (блокированные капилляры).
üПрава Supervisor
1> Настроить > Измерение > Проверка с детекторной линией >Капиллярный контрольð Следующие настройки можно изменять, информацию попредварительно настроенным значениям см. в Заводские установки
[} 40].
Нижний предел давления, капилляры SL200 забиты (нижняя граница)Верхний предел давления, капилляры SL200 поломаны (верхняя
граница)Нижний предел давления, капилляры SL3000 забиты (нижняя граница)Верхний предел давления, капилляры SL3000 поломаны (верхняя
граница)2Настройте.

3Сохраните

.

6.3.17 КалибровкаДля корректного измерения интенсивности утечки необходимо прибор контроля
утечек периодически точно регулировать посредством калибровки. При этомвыполняется автоматическая коррекция масс-спектрометра.
Калибровку можно проводить на основании проверочной утечки прибора илипосредством внешней проверочной утечки. Как правило, калибровку следует
проводить один раз в день или тогда, когда есть сомнения в точности измерения
прибора.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

89 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON► При использовании водорода или гелия-3 (3He) в качестве проверочного газавнутренняя калибровка невозможна. В этом случае применяйте внешнюю
проверочную утечку.
► Режимы работы «Вакуум» и «Проверка щупом» в случае внешней калибровки
должны калиброваться отдельно.
► Калибровку следует выполнять только при прогретом приборе. Калибровку
следует проводить не ранее чем через 20 минут после включения прибора.
► Для установок со значительным расстоянием до проверяемого объекта мырекомендуем использовать внешнюю контрольную утечку на месте
проверяемого объекта.
► При использовании внутренней контрольной утечки обратите внимание нанастройку машинного коэффициента, также см. Настроить машинный
коэффициент [} 81].

6.3.17.1 Внутренняя калибровка
üПрава пользователяü Прибор находится в состоянии Режим ожидания или «Измерение».
1Нажмите

2Выберите калибровку Внутренний.

3Нажмите

ð.

.

Прибор выполняет внутреннюю калибровку.

6.3.17.2 Внешняя калибровка
üПрава Operator или Supervisor
123Установите проверочную утечку на впуске прибора.
> Настроить > Измерение > Контрольный течеискатель
Установите интенсивность утечки используемой проверочной утечки, см.
также Настройка внешней проверочной утечки [} 82].

90 / 1764Переведите прибор в состояние Режим ожидания или «Измерение».

5Нажмите

6Выберите калибровку Внешний.

7Нажмите

8Следуйте указаниям на экране.

.

.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

6.3.17.3 Калибровка с использованием гелия в окружающем воздухе
(режим работы со щупом-детектором)В нижних слоях земной атмосферы воздух содержит ок. 5,2 ppm гелия
(объемная доля).
Доступный в этой концентрации гелий можно использовать для калибровки
течеискателя в режиме работы со щупом-детектором.

Описанный здесь способ калибровки не является точным!
► Для максимальной точности всегда используйте встроенный или внешний
откалиброванный контрольный течеискатель.
1Подсоедините детекторную линию и задайте следующие настройки длятечеискателя:- Режим работы: проверка щупом
- Масса: 4 (гелий)- Единица измерения интенсивности утечки: ppm- Внешний контрольный течеискатель: 5,2 ppm

2Выберите тип калибровки «внешний без измерения нулевой точки» изапустите процесс калибровки.

3Проверяйте щупом только обычный окружающий воздух, если на экране
течеискателя появляется требование подключения щупа-детектора квнешнему контрольному течеискателю. Убедитесь в том, что воздух впомещении не содержит дополнительного гелия, что возможно, например,в результате использования баллонов с гелием.

4Подтвердите измеренное значение нажатием

.

6.3.17.4 Проверка калибровки
Калибровку можно проверять даже без изменения калибровочного
коэффициента. Это позволит вам узнать, нужна ли повторная калибровка.
üПрава пользователяü Прибор находится в режиме «Ожидание» или «Измерение».
1Нажмите

.

2Выберите Proof.
ð Запускается проверка, и заново рассчитывается калибровочный
коэффициент.
ð При этом отображается новый рассчитанный калибровочный
коэффициент.
ð Если новый рассчитанный калибровочный коэффициент значительно
отличается от сохраненного калибровочного коэффициента, появится
запрос на проведение повторной калибровки.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

91 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON

6.3.17.5 Измерение внутренней контрольной утечки
üПрава пользователяü Прибор находится в режиме «Ожидание» или «Измерение».
1Нажмите

.

2Выберите «Измерение внутренней контрольной утечки».

3Нажмите.

ð Откроется контрольная утечка, измеренная интенсивность утечки будет
отображаться и сравниваться с заданным значением.
Соответствие результата измерения внутренней контрольной утечки заданному
значению внутренней контрольной утечки не позволяет сделать вывод обабсолютной точности всей системы измерения, если для калибровки прибора
контроля утечек использовалась внутренняя контрольная утечка. См. также
«Настроить машинный коэффициент [} 81]».

92 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

6.4 Измерениеü Впускной фланец на верхней стороне прибора подготовлен к предстоящему
измерению. Там, как правило, подключается ваш проверяемый объект илидетекторная линия SL200.
ü Детекторную линию SL3000 также можно подключать с обратной стороны
прибора (опция). В таком случае впускной фланец на верхней стороне
прибора должен закрываться глухим фланцем.
ü Данный прибор оборудован дополнительными возможностями управления
(опции):Модуль ввода-вывода, шинный модуль, дистанционное управление,соединение WLAN для подключения к ноутбуку или планшетному ПК. См.
также Принадлежности и запасные части [} 148] и Управление прибором
контроля утечек через веб-браузер (WLAN) [} 163].
1Включите прибор контроля утечек с помощью сетевого выключателя.

2Убедитесь, что установлен требуемый режим работы (см. Выбор режима
работы [} 77]).

3Убедитесь, что были выполнены правильные базовые установки инастройки для текущего процесса измерения. См. Основные настройки
[} 60] и Настройки процессов измерения [} 77].

4При проведении калибровки обращайте внимание на прогрев прибора неменее 20 минут. См. Калибровка [} 89].

5Запустите в режиме ожидания процесс измерения нажатием кнопки Пуск.
ð Если вы хотите убедиться, что в следующем режиме измерения будет
использоваться актуальный внутренний фоновый сигнал, обратите
внимание на указания в главе Изменение подавления фона [} 86].

6Отслеживайте результат измерения по выбору с помощью линейной,столбиковой или круговой диаграммы, см. Представление экрана
процесса измерения [} 64] и Конструктивное исполнение сенсорного
экрана [} 32].

7Чтобы при необходимости отобразить максимальную интенсивность
утечки (Qmax) в ходе измерения на экране процесса измерения, снова
нажмите кнопку Пуск. См. также Кнопка START [} 28] и Конструктивное
исполнение сенсорного экрана [} 32].

8Чтобы небольшую интенсивность утечки измерять точнее, принеобходимости нажмите кнопку ZERO, см. Настройка и использование
функции ZERO [} 83].

9Запишите при необходимости измеренные значения, см. Включение
записи данных и настройка экспорта [} 95] и Конструктивное исполнение
сенсорного экрана [} 32].

10Выключите прибор.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

93 / 176

6 | Эксплуатация

INFICONСм. также
2 Изменение общих настроек индикации [} 67]

6.5 Измерение концентрации гелия во внешней
средеЕстественная доля гелия в окружающем воздухе составляет около 5,2 ppm.
Окружающий воздух можно проверить на предмет повышенного содержания
гелия (заражение гелием), чтобы определить подходящий момент времени дляпоследующих измерений.
ü Режим работы «Вакуум» настроен.
ü В качестве газа выбран «Гелий» 4He. См. также «Выбор газа [} 77]».
ü К «гнезду подключения продувочного газа» не подключены длинные шланги.
Там в прибор попадает воздух, в котором измеряется концентрация гелия. См.
также «Подключения принадлежностей и управляющих сигналов [} 37]».
ü Прибор находится в режиме «Ожидание».
1Нажмите

.

2Выберите I•CHECK.

3Нажмите

4Следите за результатами измерения.

.

6.6 Данные измерения
Измеренные значения можно сохранять во внутренней базе данных. Сохранение
может происходить автоматически или нажатием кнопки «Запись данных
измерения» на экране измерения.
См. также «Включение записи данных и настройка экспорта [} 95]».
Отображаемые измеренные значения также можно экспортировать.
См. также «Отображение циклов измерения [} 95]».
Данные можно экспортировать на USB-накопитель или в сетевую папку, также
см. Экспорт данных измерения по сети [} 97].

94 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

6.6.1 Включение записи данных и настройка экспорта
УКАЗАНИЕ
Снижение срока службы памяти накопителя
Запись большого количества измеренных данных уменьшает срок службы
внутренней памяти накопителя.
► При необходимости деактивируйте функцию записи данных.
üПрава Operator или Supervisor
12> Настроить > Запись данных
Чтобы сразу после начала измерения запускался процесс записи данных,активируйте опцию Активно.
Указание: Данные записываются во время измерений, т.е. во время показа
экрана измерения. См. также «Отображение циклов измерения [} 95]».
ð В стандартных настройках данная опция деактивирована. Чтобы безактивации данной опции запускать или останавливать процесс записи
данных, нажмите на экране процесса измерения на

3.

В пункте Формат экспорта выберите CSV en, CSV de или JSON.
ð Стандартная настройка CSV en.
В формате CSV en в качестве разделителя столбцов используется
запятая.
В формате CSV de в качестве разделителя столбцов используется точкас запятой.
JSON представляет собой формат данных, не зависящий от языка.
ð Файлы экспорта получают название по умолчанию с соответствующей
меткой времени и расширением (например:icmeas20160720-082829.csv).

4Чтобы при экспорте данных измерения помимо самих данных
экспортировалась такая дополнительная информация, как серийный
номер прибора, активируйте опцию «Экспорт метаданных».
ð Указание: Если помимо данных измерений экспортируются другие
данные, при последующей обработке данных может потребоваться
дополнительная вычислительная мощность.

5Сохраните

.

6.6.2 Отображение циклов измерения
Циклом измерения мы называем период времени между нажатием кнопки
START и кнопки STOP. Вы можете просмотреть соответствующую информациюи дополнительно редактировать 2 поля со свободным текстом.
1> Данные измерения > Циклы измерения

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

95 / 176

6 | Эксплуатация

INFICONð Сохраненные циклы измерения отображаются вместе сидентификатором, временем начала и временем окончания.
2

Для просмотра подробных сведений о цикле измерения выделите нужный
элемент, коснувшись его, и нажмите.

ð Отображается вся информация, относящаяся к циклу измерения идиаграмме.

3

Для редактирования текста в полях «Свободный текст 1» (Произвольный
текст 1) и «Свободный текст 2» нажмите (Произвольный текст 2) нажмите.
ð Текст в полях «Свободный текст 1» и «Свободный текст 2» также можно
редактировать из окна «Циклы измерения». Для этого коснитесь
элемента, чтобы выделить его, и нажмите

4.

Чтобы изменить период времени, отображаемый на диаграмме вподробном виде, проведите по дисплею пальцем вправо или влево.
Изменение временной оси: нажмите, чтобы увеличить временной
диапазон наили уменьшить на. Ось значений всегда настраивается

автоматически.

5Для экспорта отображаемого цикла подключите USB-накопитель (вформате FAT32) к прибору контроля утечек и нажмите

96 / 176.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

6.6.3 Экспорт данных измерения по сетиПомимо доступа к графическому пользовательскому интерфейсу вы можете
целенаправленно открывать для просмотра данные измерения со своего
прибора контроля утечек.
С этой целью был реализован интерфейс передачи данных (интерфейс REST).
Этот интерфейс отвечает при запросах по порту 3000 за передачу
действительных параметров с данными в запрошенном формате.
ü Сетевое соединение между прибором контроля утечек с одной стороны икомпьютером или планшетным ПК с другой стороны было установлено.
Также см. Управление прибором контроля утечек через веб-браузер (LAN)[} 161] или Управление прибором контроля утечек через веб-браузер (WLAN)[} 163].
ü Данные измерения были записаны. См. также «Включение записи данных инастройка экспорта [} 95]».
► Выбранные данные измерения можно экспортировать двумя способами:ð Вы можете с удобством просматривать циклы измерения и затем нажать
. См. также «Отображение циклов измерения [} 95]».
После активациис компьютера или планшетного ПК предлагается

загрузить файл с соответствующими данными измерения.
ð Также запрос с нужными параметрами можно ввести в качестве URL встроку вашего браузера. При таком порядке действий вы не только
задаете нужный период времени (блок макс. 24 часа), но и можете
выбрать формат файла и объем данных (с метаданными или без них).
При доступе через LAN используйте IP-адрес, доступный путем выбора> «Прибор» > «Сеть».
При доступе через WLAN используйте URL, доступный путем выбора> «Настройка» > «Сеть» > «WLAN».
Пример 1:
http://192.168.11.124:3000/md?f=csv_en&c=4&d=mrВыдает измеренные значения и метаданные цикла измерения с ID 4 в формате
csv_en.
Пример 2:
http://ul.inficon.com:3000/md?dts=2018-11-05T23:00:00.000Z&dte=
2018-11-06T23:00:00.000Z&f=json&d=rВыдает измеренные значения между 2018-11-05T23:00:00.000Z и
2018-11-06T23:00:00.000Z в формате json.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

97 / 176

6 | Эксплуатация

INFICONПараметр Наименова Описание

ОпцииПример

ы

ние

c

Цикл

Запрос одного илиИдентификаторы

c=3измерения

нескольких циклов

циклов измерения.

c=3,5,8измерения по ID

Разделение запятойпри наличии
нескольких

dts

Start

Время начала

Дата в формате ISOвременного диапазона,и со временем UTC

dts=2018-08-02T17:15:12.000Z

из которого будут
экспортироваться
данные.
dteКонецВремя конца

Дата в формате ISOвременного диапазона,и со временем UTC

dte=2018-08-02T17:45:35.000Z

из которого будут
экспортироваться
данные.
fdФормат

ОбъемФормат данных для

json, csv_en, csv_def=jsonэкспорта

Стандарт:csv_enf=csv_enОбъем данных. С

mr: Метаданные и

d=mrметаданными или безизмеренные

d=r

них

значения
m: Только
метаданные
r: только
измеренные
значения
Стандарт:mr

6.6.4 База данных измерений: Информация
Максимальный размер базы данных примерно соответствует количеству
измеренных значений, созданных при постоянной записи в течение одного
месяца. Это соответствует размеру базы данных около 1,5 ГБ.
Если для записи данных требуется память, а максимальный размер базыданных (в измеренных значениях) превышен, более ранние данные удаляются
таким образом, чтобы освобождалось 5 % от указанной здесь емкости для новых
данных.
ü►98 / 176Права Supervisor> Данные измерения > Информация о базе данных

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

ð Отображаются следующие данные:«Текущий размер базы данных» в [байт]«Измеренные значения»: количество содержащихся в базе данных
измеренных значений
«Макс. размер базы данных»: количество измеренных значений,которые можно сохранить в базе данных
«Уровень заполнения»«Самый старый пакет данных»: метка времени самого старого
измеренного значения
«Самый последний пакет данных»: дата сохранения самого последнего
измеренного значения
См. также
2 Сброс на заводские установки [} 107]

6.7 Информация
6.7.1 Вызов информации по текущему измеренному
значению
►> Значения измерений > Интенсивность утечки и давлениеð Отображается интенсивность утечки и различные значения давления.

►> Значения измерений > Температураð Отображаются различные значения температуры.

►> Значения измерений > Время работыð Вызывается информация по текущей продолжительности работы.

6.7.2 Вызов информации по текущим значениям
калибровки
►> Калибровка

6.7.3 Вызов информации по подсоединенным
принадлежностям
►> Принадлежности > Модуль В/ВðЕсли подсоединен модуль ввода-вывода, отображается подробная
информация.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

99 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON►> Принадлежности > Шинный модуль

ðЕсли подключен шинный модуль, отображается подробная информация.

6.7.4 Вызов информации о приборе
Отображается различная информация о приборе: версия ПО и серийный номер,информация о сети и продолжительности работы в часах.
►> Устройство > Идентификация

►> Устройство > Сеть►> Устройство > Часы работы

►> Устройство > MSB

6.7.5 Вызов информации о конструктивных узлах
Отображаются различные измеренные значения и информация по следующим
конструктивным узлам: предусилитель, ионный источник, турбомолекулярный
насос (TMP), узел процессора MSB, форвакуумный насос и его преобразователь
частоты.

►> Узлы > Предусилитель

►> Узлы > Ионный источник

►> Узлы > TMP►> Узлы > Форвакуумный насос

6.7.6 Вызов информации по данным электропитания
Отображаются различные измеренные напряжения питания и электрические
мощности.

►> Энергия > Напряжение (1)ð В данном окне отображается первая часть информации по напряжению.

►100 / 176

> Энергия > Напряжение (2)UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

ð В данном окне отображается вторая часть информации по напряжению.

►> Энергия > Мощность

6.7.7 Вызов данных для HYDRO•SОтображаются внутренние параметры функции HYDRO•S.
►> HYDRO•S

6.7.8 Вызов данных детекторной линии SL3000►> Детекторная линия

6.8 Журналы
6.8.1 Вызов журнала неисправностей и предупреждений►> «Журналы» > «Неисправности и предупреждения»В случае создания более 20 записей самые первые соответствующие записи
удаляются.

6.8.2 Вызов протокола калибровкиЭти записи касаются, как правило, всего периода пользования прибором. Вслучае создания более 20 записей самые первые соответствующие записи
удаляются.
►> «Журналы» > «Калибровки»6.8.3 Вызов протокола техобслуживания►> «Журналы» > «Техобслуживание»В случае создания более 20 записей самые первые соответствующие записи
удаляются.

6.8.4 Вызов протокола результатовДля индикации результатов проверки в режимах работы «Автоматическое
тестирование на наличие течи» и «Вакуум» (Qmax).
В случае создания более 50 записей самые первые соответствующие записи
удаляются.
►> «Журналы» > «Протокол результатов»UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

101 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON6.9 Настройки прибора
6.9.1 Просмотр и адаптация отдельных параметров
Данный прибор позволяет быстро просмотреть текущие настройки и принеобходимости изменить их.
ü Пользователь обладает соответствующими правами для проведения
изменений.
1> Наборы параметров > Список параметровð Настройки прибора отображаются в виде перечня.

2

При необходимости измените отдельные параметры.

3Сохраните

.

► Для адаптации параметров в качестве варианта в перечне можно нажать наподзаголовок. Открывается отдельное окно настройки, в котором можно
изменять и сохранять параметры.
ð После изменения параметров в отдельном окне настроек нажатием наможно вернуться обратно в окно перечня настроек.

6.9.2 Сохранение наборов параметров и управление имиНабор параметров представляет собой группу параметров с соответствующими
настройками прибора. Наборы параметров можно сохранить в любой момент ввиде текстового файла. Параметры затем можно просмотреть в более
наглядной форме.
üПрава Supervisor
1> Наборы параметров > Управление наборами параметровð Созданные наборы параметров отображаются в виде перечня.
Если значения сохраненного набора параметров на 100 % совпадают стекущими настройками прибора, то такое состояние подтверждается
отображением зеленой точкой.

2Чтобы создать новый набор параметров, нажмите на.

ð В следующем окне можно ввести описание своего выбора. Префикс
parameter set и дата сохранения используются в качестве стандарта дляназвания файла. Сохранение выполняется с помощью

. Можно

сохранить до 10 наборов параметров.
3Чтобы открыть контекстное меню уже созданного набора параметров,нажмите на требуемый набор параметров и выберитедля отображения подробной информации по отдельным параметрам.
Параметры, которые отличаются от текущей настройки прибора,102 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6обозначаются оранжевой точкой.
Отсутствующая настройка обозначается красной точкой (например, после
обновления программного обеспечения). Рекомендуется после просмотра
отсутствующей настройки создать новый набор параметров и удалить
прежний.
Нажмите

, чтобы активировать набор параметров.

Нажмите

, чтобы удалить набор параметров.

6.9.3 Экспорт и импорт наборов параметров
Сохраненные наборы параметров из внутренней памяти можно перенести наподключенный USB-накопитель и затем с него обратно их импортировать.
üПрава Supervisor
1> Наборы параметров > Управление наборами параметров

2Чтобы экспортировать все наборы параметров на USB-накопитель
(отформатированный для системы FAT32), нажмите под перечнем на

3.

Чтобы импортировать все наборы параметров с USB-накопителя вприбор, нажмите под перечнем на.

ð В процессе импорта все файлы с наборами параметров на USBнакопителе скопируются в прибор, если не будет превышено число 10. Спомощью ПК перед копированием можно удалить лишние наборы
параметров с USB-накопителя.
ð Перед импортом не допускается изменения отдельных параметров
набора параметров на USB-накопителе. После изменения ихневозможно будет перенести в прибор.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

103 / 176

6 | Эксплуатация

INFICON

6.10 Обновление ПОДанный прибор имеет две различные версии ПО: одна версия предназначенадля пользовательского интерфейса, другая — для основного прибора. Каждый
имеет соответственно один независимый друг от друга номер версии.

6.10.1 Обновление ПО пользовательского интерфейса
Запись обновлений ПО выполняется с помощью USB-накопителя.

УКАЗАНИЕ
Потеря данных при обрыве связи
► Во время обновления ПО не выключайте прибор и не извлекайте USBнакопитель.
üПрава Supervisor
1Скопируйте файл в главный каталог USB-накопителя,отформатированного для системы FAT32.

2
3Вставьте USB-накопитель в USB-разъем прибора.
> Обновление > Обновление встроенного блока управленияð Сверху в окне отображается активированная версия ПОпользовательского интерфейса.
Если на USB-накопителе находятся одна или несколько версий ПО, то встроке отображается самая последняя найденная версия. Если этаверсия является более новой версией, чем установленная, фонотображается зеленым цветом, в противном случае — красным.

4ðЧтобы загрузить новую версию ПО, нажмите на кнопку «Обновление».
После обновления автоматически выполняется перезапуск встроенного
блока управления.

6.10.2 Обновление ПО основного прибора
Запись обновлений ПО выполняется с помощью USB-накопителя.

УКАЗАНИЕ
Потеря данных при обрыве связи
► Во время обновления ПО не выключайте прибор и не извлекайте USBнакопитель.
üПрава Supervisor
1Скопируйте файл в главный каталог USB-накопителя,отформатированного для системы FAT32.

104 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 623Вставьте USB-накопитель в USB-разъем прибора.
> Обновление > Обновление основного устройстваð Сверху в окне отображается активированная версия ПО основного
прибора.
Если на USB-накопителе находятся одна или несколько версий ПО, то встроке отображается самая последняя найденная версия. Если этаверсия является более новой версией, чем установленная, фонотображается зеленым цветом, в противном случае — красным.

4ðЧтобы загрузить новую версию ПО, нажмите на кнопку «Обновление».
После обновления автоматически выполняется перезапуск системы.

6.10.3 Обновление ПО в режиме эксперта
üПрава Supervisor
1> Обновление > Обновление работы устройства / базового устройства
> Экспертное обновление встроенного блока управленияð Уже доступные на приборе версии ПО отображаются в виде перечня.

2Отметьте при необходимости какую-либо версию и продолжите с этапа 5.
ð Возможен сброс на более раннюю версию ПО.

3Если в качестве варианта потребуется добавить новую версию ПО,вставьте отформатированный для системы FAT32 USB-накопитель сфайлом обновления в USB-разъем прибора.

4Чтобы загрузить новую версию ПО, нажмите

5Чтобы активировать новую версию, отметьте требуемый пункт перечня инажмите

ð.

.

После обновления автоматически выполняется перезапуск системы.

6.10.4 Активация дополнительной функции
Если для вашего прибора контроля утечек предусмотрена такая возможность,вы можете приобрести одну или несколько дополнительных функций иактивировать ее/их с помощью кода активации.
ü Вы заказали доступную дополнительную функцию у производителя, указав
серийный номер вашего прибора контроля утечек.
ü Вы получили код активации от производителя.
üðПрава Supervisor
1> Обновление > Разблокировать функцию

2Введите код активации в поле «Код активации».

3Сохраните

.

После успешной активации на экране отображается новая функция.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

105 / 176

6 | Эксплуатация

INFICONАктивация функции сохраняется и при сбросе на заводские настройки.

6.11 Использование внешнего монитора
Вместо внутреннего монитора можно использовать внешний сенсорный монитор
. Используется внутренний или внешний монитор.
ü Потребуется блок управления с разъемом HDMI, изображение см. «Блокуправления [} 27]».
ü Потребуется сенсорный монитор с разъемами HDMI и USB, а также
соответствующий блок питания. HDMI требуется для передачи изображения,USB — для передачи касания.
1Подсоедините HDMI-кабель и USB-кабель сенсорного монитора ксоединительной панели прибора контроля утечек, см. «Подключения
принадлежностей и управляющих сигналов [} 37]». Для надлежащего
функционирования убедитесь в том, что длина кабеля составляет макс.
3 м.

2
3

> Вид > Переключение монитора
Нажмите экранную кнопку «Внешний монитор».
ð Изображение отображается на внешнем мониторе.

Альтернативный порядок действий► В качестве альтернативы переключению индикации на мониторе перед
включением прибора можно подключить внешний монитор.
ð Затем после включения изображение отображается на внешнем
мониторе без необходимости изменения каких-либо настроек.

6.11.1 Переключение на внутренний монитор
УКАЗАНИЕ
Отсоединение внешнего монитора
► Если прибор включен, то прежде чем отключать соединения внешнего
монитора переключитесь на внутренний монитор в меню.
Переключиться на внутренний монитор при включенном приборе можно в любое
время.
1
2

106 / 176

> Вид > Переключение монитора
Нажмите экранную кнопку «Внутренний монитор».

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONЭксплуатация | 6

6.12 Просмотр диаграммы вакуумаДля быстрого просмотра функционирования и рабочего состояния системы
измерения откройте упрощенное представление схемы вакуума.
►> Диаграмма вакуума

3

2

1

4

V7
TL

p1

MS

V4c

5

10
V4b

V8

V3
V4a
V2b

V1a

6

V9

V1

V10

p4

V2a

p2

V5

8

9

7

Рис. 14: Основные компоненты диаграммы вакуума в приборах UL3000 Fab ULTRA

1 Впускной фланец

6 Форвакуумная точка измерения
давления

2 Точка измерения давления

7 Точка измерения давления дляна впуске
3 Внутренняя проверочная

контроля потока
8 Детекторная линия

утечка
4 Масс-спектрометр

9 Форвакуумный насос

5 Турбомолекулярный насос

10 V1…V10: электромагнитные клапаныдля управления потоками газов

6.13 Сброс на заводские установки
Данный прибор можно сбросить до состояния заводских установок.

Потеря настроек и данных измерений
После восстановления заводских установок в памяти прибора имеются только
заводские установки изготовителя. Программное обеспечение прибора после
восстановления заводских установок не сбрасывается.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

107 / 176

6 | Эксплуатация

INFICONüПрава Supervisor
12> Настроить > Все > Сбросить
Выберите нужное:ð Если вы хотите сбросить все настройки, нажмите кнопку «Сброс
параметров».
ð Если вы хотите удалить все записанные данные измерения и учетные
записи пользователей, нажмите кнопку «Удалить данные».
ð Чтобы сбросить прибор до заводского состояния, последовательно
нажмите обе кнопки.

6.14 Выход из системы прибора
1Нажмите на своем имени, которое высвечивается слева вверху надисплее, или выберите

> Учетные записи пользователя.

ð Открывается окно Учетные записи пользователя. См. также Изменение
индивидуальных настроек [} 62].
2Нажатием на кнопке «Выход из системы» можно выйти из системы
прибора.
ð Открывается окно входа в систему.

6.15 Выключение прибора
УКАЗАНИЕ
Возможно повреждение турбомолекулярного насоса.
Работающий турбомолекулярный насос может получить повреждения
вследствие резких движений или посторонних предметов.
► Избегайте резких движений или тряски прибора во время его эксплуатации и втечение не менее 2 мин после его отключения.
► Избегайте попадания посторонних предметов во впуск прибора.
Данный прибор можно выключить в любой момент с помощью сетевого
выключателя. Настроенные в приборе параметры остаются сохраненными.

108 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7

7 Предупредительные сообщения исообщения о неисправностяхВо время работы прибора на дисплее отображается информация, которая
помогает пользователю его эксплуатировать. Помимо измеряемых величин
отображаются текущие состояния прибора, указания по управлению, а также
предупреждения и сообщения об ошибках. Прибор оснащен разнообразными
функциями самодиагностики. Когда электроникой распознается неисправное
состояние прибора, на дисплее появляется соответствующее сообщение и принеобходимости прерывается работа прибора. Предупредительные сообщения исообщения об ошибках содержат номер, текст описания неисправности и часто
соответствующую измеряемую величину (например, измеренное напряжение).
Предупреждающие

Предупреждающие сообщения сигнализируют о состояниях прибора,сообщения

вызывающих ухудшение точности измерений. Работа прибора не прерывается.
Чтобы узнать подробности и способы устранения неисправности, нажмите на.

Чтобы закрыть предупредительное сообщение, после его прочтения нажмите
кнопку Clear.
Сообщения обНеисправности представляют собой события, которые требуют прерывания

ошибках

работы прибора.
Чтобы узнать подробности и способы устранения неисправности, нажмите на.

При устранении причины неисправности повторно введите прибор в действие
нажатием кнопки Clear.
Активные

Данный пункт меню отображается только при активных неисправностях илинеисправности ипредупреждениях:предупреждения

►Подтвержденные

Когда активное предупреждение подтверждается без устранения причины егопредупреждения

возникновения, оно отображается в разделе «Подтвержденные

> Ошибки и предупреждения

предупреждения».
►Ссылка на дисплее

> Подтвержденные предупреждения

Общие сведения о возможных неисправностях и предупреждениях приводятсяпод пунктом:►Особый случай

> Справка > Ошибки и предупреждения

Если питающее напряжение падает ниже разрешенного диапазона рабочего
напряжения, см. «Технические характеристики [} 38]», возможен отказ
внутреннего блока питания 24 В прибора контроля утечек, в то время какфорвакуумный насос будет продолжать работать. Это происходит очень редко.
1Если на включенном дисплее ничего не отображается и на приборе негорит ни один светодиод, выключите прибор с помощью сетевого
выключателя.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

109 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

2

INFICONПроверьте напряжение электросети с привлечением специалистаэлектрика.

3Если проблема сохраняется, обратитесь в службу поддержки.

7.1 Перечень предупредительных сообщений исообщений о неисправностях
типсообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
W102

W104

Превышение времени приЭСППЗУ на плате VI

связи с ЭСППЗУ нанеисправно илиплате VIотсутствуетБыл инициализированПри обновлении

один параметр ЭСППЗУ

программного
обеспечения былвведен новый
параметр

• Обратитесь в сервисную службу

• Подтвердите получение
предупреждения
• Убедитесь, что сообщение не появитсяпри повторном включении
• Убедитесь, что заводские установки
нового параметра соответствуют
данному случаю применения

ЭСППЗУ на плате VI
неисправно

• Подтвердите получение
предупреждения
• Проверьте, поступает ли сообщениепри каждом включении
• Обратитесь в сервисную службу

110 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
W106Было инициализированоПри обновлении

несколько параметров

программного

ЭСППЗУ

обеспечения быливведены новые
параметры

• Подтвердите получение
предупреждения
• Убедитесь, что сообщение не появитсяпри повторном включении
• Убедитесь, что заводские установки
новых параметров соответствуют
данному случаю применения

ЭСППЗУ на плате VI
заменено

• Подтвердите получение
предупреждения
• Убедитесь, что сообщение не появитсяпри повторном включении
• Убедитесь, что заводские установки
новых параметров соответствуют
данному случаю применения

ЭСППЗУ на плате VI
неисправно

• Подтвердите получение
предупреждения
• Проверьте, поступает ли сообщениепри каждом включении
• Обратитесь в сервисную службу

E107

E108

W109

Внутренняя ошибка связи

Внутренняя ошибка

IIC

связи IIC

Внутренняя ошибка связи

Внутренняя ошибка

IIC2связи IIC2Ошибка часов реального

Возможно, часывремени

реального времени

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службу

неисправны

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

111 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

типсообщение

Возможные

INFICONпоиск неисправностей

источники ошибок
W110Часы реального времени

Реальное время несброшены на ноль!

выставлено

Введите дату и время

• Введите правильную дату иправильное время
• Убедитесь, что сообщение не появитсяпри повторном включении

Перемычка для• Обратитесь в сервисную службу

аккумулятора на MSB
не вставлена
Аккумулятор на MSB• Обратитесь в сервисную службу

разряжен илинеисправен
Реальное время

• Обратитесь в сервисную службу

выставлено
неправильно
W111

Множество циклов записи

Через интерфейсы

• Удалите лишние попытки записи изв EEPROM за последние

поступило очень

вашей управляющей программы

6 минмного команд записи.
Со временем этоприведет ксокращению срока
службы EEPROM.

E112

Недопустимая настройка

Недействительное

DIP-переключателя

положение DIP-

• Обратитесь в сервисную службу

переключателя на
MSB

W113

MSB неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

Идентификатор прибора

Недействительное

• Обратитесь в сервисную службуне соответствует

положение DIP-

распознанному

переключателя нафорвакуумному насосу

MSB
Тип форвакуумного

• Обратитесь в сервисную службу

насоса не распознанили распознан
неправильно
MSB неисправен

112 / 176

• Обратитесь в сервисную службу

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
W122

Нет ответа от шинного

Связь с шинным

• Проверьте связь с шинным модулем

модуля

модулем нарушена

• Замените соединительный кабель дляшинного модуля

Шинный модуль

• Замените шинный модуль

неисправен
Неисправно

• Обратитесь в сервисную службу

подключение дляшинного модуля наприборе
W125Модуль ввода/вывода

Связь с модулем I/Oбольше не подключен

• Проверьте связь с шинным модулем
• Замените соединительный кабель кмодулю ввода/вывода

Модуль ввода-вывода • Замените модуль ввода/вывода
неисправен
Неисправно

• Обратитесь в сервисную службу

подключение длямодуля ввода-выводана приборе
W127

Неправильная версия

Начальный загрузчик

начального загрузчикане совместим с• Обратитесь в сервисную службу

приложением
E129ЭСППЗУ содержит данные Программноедля неправильного класса

обеспечение

приборов

основного прибора не• Обратитесь в сервисную службу

подходит дляЭСППЗУ
ЭСППЗУ не подходит

• Обратитесь в сервисную службудля данного класса
приборов
W130Детекторная линия неПрибор не может

• Проверьте соединение детекторной

подключена

запустить

линии с прибором (разъедините идетекторную линию

затем снова подключите)• Обратитесь в сервисную службу

Детекторная линия
неисправна

• По возможности используйте другую
детекторную линию
• Обратитесь в сервисную службу

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

113 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

типсообщение

Возможные

INFICONпоиск неисправностей

источники ошибок
W132

Детекторная линия типаНевозможно

• Замените детекторную линию на такой(XL) не разрешена

применять

тип, который бы поддерживался

детекторную линию

прибором

типа (XL) с данным
прибором
W151

Отсутствует связь сВыполнено

встроенным блоком

обновление

управления

программного
обеспечения или• Подтвердите получение
предупреждения
• Убедитесь, что сообщение не появитсяпри повторном включении

сброс параметра
Внутренняя проблема • Обратитесь в сервисную службу
связи между
основным прибором ивстроенным блоком
управления
W152

Отсутствует связь сВнутренняя проблема • Обратитесь в сервисную службу

пультом управления

связи между
основным прибором ипультом управления

W153

Программа встроенного

Существует более

• Обратитесь в сервисную службу дляблока управления

новая версия

получения актуальной версии

устарела

программы

программы встроенного блока

встроенного блока

управления

управления. Длябесперебойной
работы
рекомендуется
обновить программу
встроенного блока
управления.

114 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
E167

Запуск блокирован,К разъему

функция «Interlock»'ACCESSORIES' неактивирована

подключен

• Подключите аппаратный ключ кразъему ACCESSORIESаппаратный ключАппаратный ключ,подключенный к• Используйте другой аппаратный ключ,если это возможно

разъемуACCESSORIES,неисправен
Непреднамеренная

• Деактивируйте функцию «Interlock»активация функции
«Interlock»
W171

CU1000 не

СU1000 неподдерживается

предназначено для• Отсоедините CU1000 от данного
прибора

работы с данным
прибором
W201

Напряжение U24V_MSB

Неисправность

слишком низкое

сетевого блока 24 ВКороткое замыкание

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службуили перегрузка приподаче питания 24 В
W202

W203

Напряжение U24V_MSB

Неисправность

слишком высокое

сетевого блока 24 ВНапряжение клапана 24 ВНеисправностьза пределами диапазона

клапана
Короткое замыкание

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службуили перегрузка приподаче питания 24 Вна клапан
W206

Напряжение питания

Сбой в работе

встроенного блока

встроенного блока

управления 24 В зауправления

пределами диапазона

Короткое замыкание

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службуили перегрузка приподаче питания 24 Вво встроенный блокуправления

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

115 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

типсообщение

Возможные

INFICONпоиск неисправностей

источники ошибок
W207

W208

Внутреннее напряжение

Короткое замыкание

питания 12 В заили перегрузка припределами диапазона

подаче питания 12 ВНапряжение питания

Неисправность

вентилятора 24 В завентилятора

пределами диапазона

Короткое замыкание

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службуили перегрузка приподаче питания 24 Вна вентилятор
W209

Напряжение питания 24 ВКороткое замыкание

DIV1 за пределамиили перегрузка придиапазона

подаче питания 24 В

• Обратитесь в сервисную службу

на DIV1
W210Напряжение питания 24 ВКороткое замыкание

DIV2 за пределамиили перегрузка придиапазона

подаче питания 24 В

• Обратитесь в сервисную службу

на DIV2
W211Внутреннее напряжение

Короткое замыкание

питания 5 В за пределамиили перегрузка придиапазона

подаче внутреннего

• Обратитесь в сервисную службу

питания 5 В
W212Напряжение питания 5 ВДетекторная линиядля детекторной линии занеисправна

пределами диапазона

• По возможности используйте другую
детекторную линию
• Обратитесь в сервисную службу

Короткое замыкание

• Обратитесь в сервисную службуили перегрузка приподаче питания 5 В вдетекторную линию

116 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
W221

Внутреннее напряжение

Дистанционное

24V_RC за пределами

управление

диапазона

неисправно
Подключенный вразъем REMOTE• По возможности используйте другое
дистанционное управление

• По возможности используйте другой
кабель

CONTROL кабель
неисправен
Подключенные вразъем

• По возможности используйте другие
принадлежностиACCESSORIESпринадлежности
неисправны
Подключенный вразъем

• По возможности используйте другой
кабельACCESSORIESкабель неисправен
Короткое замыкание

• Обратитесь в сервисную службуили перегрузка приподаче питания
24 В_RC
W222

Внутреннее напряжение

Подключенный в

24V_IO за пределами

разъем LD модуль

диапазона

неисправен
Подключенный вразъем LD кабель

• По возможности используйте другой
модуль

• По возможности используйте другой
кабель

неисправен
Короткое замыкание

• Обратитесь в сервисную службуили перегрузка приподаче питания
24 В_IO
W223Внутреннее напряжение

Короткое замыкание

24V_TMP1 за пределамиили перегрузка придиапазона

подаче питания

• Обратитесь в сервисную службу

24 В_TMP1
W224

Внутреннее напряжение

Короткое замыкание

24V_PRESSURE (Пирани)или перегрузка приза пределами диапазона

подаче питания

• Обратитесь в сервисную службу

24 В_PRESSURE(Pirani)

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

117 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

типсообщение

Возможные

INFICONпоиск неисправностей

источники ошибок
W240

Напряжение +15В заКороткое замыкание в • Обратитесь в сервисную службу

пределами диапазона

предусилителе
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
W241

Напряжение -15В заКороткое замыкание в • Обратитесь в сервисную службу

пределами диапазона

предусилителе
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
E242

Напряжение +15 В или -15Короткое замыкание в • Обратитесь в сервисную службуВ замкнуто накоротко

предусилителе
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
W250

Внутреннее напряжение

Короткое замыкание в • Обратитесь в сервисную службу

REF5V за пределами

предусилителе

диапазона

Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
E252

Напряжение REF5V

Короткое замыкание в • Обратитесь в сервисную службу

замкнуто накоротко

предусилителе
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
W254

Ток клапана внеОдин или несколько

диапазона

опущенных клапанов

• Обратитесь в сервисную службуне подключен(ы) илинеисправен/неисправны
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
W255

Ток вентилятора внеВентилятор недиапазона

подключен
Вентилятор засорен

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службуили неисправен
W300

Напряжение на аноде

Короткое замыкание

слишком низкое

напряжения на аноде
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
W301

Напряжение на аноде

MSB неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

слишком высокое

118 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
W302

Напряжение подавителя

Короткое замыкание

слишком низкое

подавителя или• Обратитесь в сервисную службу

предусилителя
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
W303

Напряжение подавителя

MSB неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

Напряжение анод-катод

Короткое замыкание

• Обратитесь в сервисную службу

слишком низкое

между анодом ислишком высокое
W304

катодом
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
W305

Напряжение анод-катод

MSB неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

Напряжение на аноде

Заданное значение

• Выполните калибровку

недостоверное

напряжения на аноде

• Обратитесь в сервисную службу

слишком высокое
E306

находится запределами
допустимого
диапазона

W310

Катод 1 оборван

MSB неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

Катод неисправен

• Проверьте, включен ли другой катод
• Обратитесь в сервисную службу

Связь с катодом

• Обратитесь в сервисную службу

прервана
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
W311

Катод 2 оборван

Катод неисправен

• Проверьте, включен ли другой катод
• Обратитесь в сервисную службу

Связь с катодом

• Обратитесь в сервисную службу

прервана
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

119 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

типсообщение

Возможные

INFICONпоиск неисправностей

источники ошибок
E312

Катоды оборваныОба катода

• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
Связь с катодом

• Обратитесь в сервисную службу

прервана
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
E340

Эмиссионная ошибкаС устаревшим

• Обратитесь в сервисную службу

катодом давление
слишком высокое
W342

Катоды не подключеныОба катода

• Обратитесь в сервисную службу

неисправны впроцессе
самодиагностики
Штекер ионного

• Обратитесь в сервисную службу

источника неподключен
W350

Подавитель не подключен

Кабель подавителя не • Обратитесь в сервисную службу
подключен илинеисправен

E352

Предусилитель неПредусилитель

подключен

неисправен или• Обратитесь в сервисную службу

кабель не подключен
W358

Чередование диапазонов

Предусилитель

предусилителя

неисправен
Необычная форма

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службу

сигнала обинтенсивности утечки
W359

Предусилитель

Масс-спектрометр

переопределен

загрязнен

• Проверьте герметичность соединения
между течеискателем и проверочным
объектом
• Уменьшите загрязнения в окружающей
среде, в которой используется
устройство
• Используйте функцию «Регенерация» врежиме работы «Вакуум»Ионный источник или• Обратитесь в сервисную службу

предусилитель
неисправны

120 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
W360

Выходной сигнал

Ионный источник

предусилителя слишком

плохой

низкий

Масс-спектрометр

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службу

загрязнен
W361

Слишком высокое

Предусилитель

напряжение смещения

неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

предусилителя
W362

W374

Предусилитель, ошибка

Предусилитель

диапазона

неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

MSB неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

Фоновый сигнал в режиме

Масс-спектрометр

• Проверьте герметичность соединения

ожидания вне диапазона

загрязнен

между течеискателем и проверочным
объектом
• Уменьшите загрязнения в окружающей
среде, в которой используется
устройство
• Используйте функцию «Регенерация» врежиме работы «Вакуум»Ионный источник или• Обратитесь в сервисную службу

предусилитель
неисправны
W390

E400

Сопротивление усилителя

Предусилитель

• Обратитесь в сервисную службу

500 ГОм за пределами

неисправен

диапазона

MSB неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

Сообщение об ошибке

Необработанное

• Обратитесь в сервисную службу

TMP

сообщение об ошибке
от TMP

W401

Предупреждение TMPНеобработанное

• Обратитесь в сервисную службу

предупреждение от
TMP
E402

Отсутствует связь сКабель TMPпреобразователем

неисправен или нетурбонасоса

подключен
Преобразователь

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службу

TMP неисправен

E404

MSB неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

Энергопотребление TMPДавление в TMP• Обратитесь в сервисную службу

слишком высокое

слишком высокое

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

121 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

типсообщение

Возможные

INFICONпоиск неисправностей

источники ошибок
W405

Нет запуска TMPДавление впуска вовремя фазы разгона
слишком высокое

• Проверьте, работает ли форвакуумный
насос во время фазы разгона
• Проверьте, падает ли давление вовремя фазы разгона
• Обратитесь в сервисную службу

Повреждение

• Обратитесь в сервисную службу

подшипников TMP
W406

Недопустимый подтип

Подтип TMP не

TMPраспознан или• Обратитесь в сервисную службу

распознан
неправильно
E410Температура TMPСлишком высокая

• Выключите прибор и дайте ему остыть

слишком высокая

температура

• Уменьшите температуру окружающего

окружающей среды
Воздушный фильтр
загрязнен
Вентилятор засорен

воздуха для прибора
• Очистите вентиляционные щели илизамените фильтровальные пластины
• Обратитесь в сервисную службуили неисправен
W411

Высокая температура TMP Слишком высокая
температура

• Уменьшите температуру окружающего
воздуха для прибора

окружающей среды
Воздушный фильтр
загрязнен
Вентилятор засорен

• Очистите вентиляционные щели илизамените фильтровальные пластины
• Обратитесь в сервисную службуили неисправен
W421

E422

Напряжение TMP слишком Электропитание длянизкое

TMP недостаточноеНет запуска TMPДавление впуска вовремя фазы разгона
слишком высокое

• Обратитесь в сервисную службу

• Проверьте, работает ли форвакуумный
насос во время фазы разгона
• Проверьте, падает ли давление вовремя фазы разгона
• Обратитесь в сервисную службу

Повреждение

• Обратитесь в сервисную службу

подшипников TMP
E423

TMP рост давления

Прорыв воздуха в• Обратитесь в сервисную службу

TMP

122 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
W449

Требуется плавный пускTMP2 не был• Дождитесь завершения плавного пуска.

TMP2

активирован вДля этого нужно, чтобы TMP2течение длительного

поработал непрерывно в течение

времени или ненескольких минут. В это время вызапускался в течение

можете продолжать измерения сдлительного времени

пониженной скоростью откачки гелия,так как частота вращения TMP2увеличивается только плавно.
Плавный запуск завершен, еслисостояние TMP2 меняется на«Нормальное» в первый раз после
этого сообщения (см. информационную
страницу для TMP2).

E450Слишком высокая

Слишком высокая

температура

температура

преобразователя TMP2окружающей среды
Вентилятор засорен

• Уменьшите температуру окружающего
воздуха для прибора

• Обратитесь в сервисную службуили неисправен
Преобразователь

• Обратитесь в сервисную службу

TMP2 неисправен
E451

Температура

Слишком высокая

срабатывания

температура

предварительного

окружающей среды

предупреждения

Температура

форвакуумного насоса

окружающего воздуха

• Уменьшите температуру окружающего
воздуха для прибора

• Увеличьте температуру окружающего
воздуха для прибора

слишком низкая
Вентилятор засорен

• Обратитесь в сервисную службуили неисправен
Неисправен датчик

• Обратитесь в сервисную службу

температуры
форвакуумного
насоса

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

123 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

типсообщение

Возможные

INFICONпоиск неисправностей

источники ошибок
W452

Отсутствует связь сУправляющий кабель

форвакуумным насосом

форвакуумного

• Обратитесь в сервисную службу

насоса неисправенили не подключенНа форвакуумный

• Обратитесь в сервисную службу

насос не подается
электропитание
Преобразователь

• Обратитесь в сервисную службу

форвакуумного
насоса неисправен
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
E453

Ошибка форвакуумного

Необработанное

насоса

сообщение об ошибке

• Обратитесь в сервисную службуот форвакуумного
насоса
E454

Ошибка форвакуумного

Форвакуумный насос

насоса: Низкоев приборе контроля

напряжение

утечек имеет
слишком низкое

• Используйте поставляемый сетевой
кабель
• Подключение к сети должны проверить
электрики.

входное напряжение
Преобразователь

• Обратитесь в сервисную службу

форвакуумного
насоса неисправен
W455

W456

Частота вращенияУ форвакуумного

форвакуумного насоса

насоса отсутствует

слишком низкая

фаза разгона

Работа форвакуумного

Штекер на разъеме

насоса заблокирована

P1 частотного

• Обратитесь в сервисную службу

• Обратитесь в сервисную службу

преобразователя
форвакуумного
насоса неисправенили не вставлен
E457

Ошибка форвакуумного

Форвакуумный насос

насоса: Прерываниев приборе контроля

подачи токаутечек имеет
неверное входное
напряжение

• Используйте поставляемый сетевой
кабель
• Проверьте сетевой кабель на наличие
видимых повреждений
• Подключение к сети должны проверить
электрики.

124 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
W458

Форвакуумный насос неТемпература

запускается, потому что он окружающего воздуха
слишком холодный.

слишком низкая

• Увеличьте температуру окружающего
воздуха для прибора
• Если вы занесли детектор утечки сУдалить предупреждение

улицы в теплое помещение, подождитеи запустить насос на свойне менее часа, прежде чем включать

страх и риск.

прибор
Неисправен датчик

• Обратитесь в сервисную службу

температуры
форвакуумного
насоса
Преобразователь

• Обратитесь в сервисную службу

форвакуумного
насоса неисправен
W459

Форвакуумный насос

Подключение длязапускается слишком

отвода ОГ закрыто

долгоФорвакуумный насос

• Убедитесь в том, что шланг для отводаОГ правильно подключен
• Обратитесь в сервисную службу

неисправен
W460

Отсутствует связь сКабель TMP2преобразователем TMP2неисправен или не• Обратитесь в сервисную службу

подключен
Преобразователь

• Обратитесь в сервисную службу

TMP2 неисправен

E461

E462

MSB неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

Необработанное

Преобразователь

• Обратитесь в сервисную службу

сообщение об ошибке

TMP2 неисправен

TMP2

TMP2 неисправен

• Обратитесь в сервисную службу

Слишком высокая

Слишком высокая

• Уменьшите температуру окружающего

температура насоса TMP2температура

воздуха для прибора

окружающей среды
Вентилятор засорен

• Обратитесь в сервисную службуили неисправен
TMP2 неисправен

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)• Обратитесь в сервисную службу

125 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

типсообщение

Возможные

INFICONпоиск неисправностей

источники ошибок
E463

Ошибка температуры

Слишком высокая

форвакуумного насоса

температура

• Уменьшите температуру окружающего
воздуха для прибора

окружающей среды
Вентилятор засорен

• Обратитесь в сервисную службуили неисправен
Температура
окружающего воздуха

• Увеличьте температуру окружающего
воздуха для прибора

слишком низкая
Неисправен датчик

• Обратитесь в сервисную службу

температуры
форвакуумного
насоса
E464

Слишком высокое

Подключение длятокопотребление

отвода ОГ закрыто

форвакуумного насоса

Режим повышенной

• Убедитесь в том, что шланг для отводаОГ правильно подключен
• Обратитесь в сервисную службу

нагрузки
E465

Неправильное

Газовый поток внутрь

• Устраните избыточное давление внаправление потока вприбора вследствие

месте подключения для отвода ОГфорвакуумном насосе

избыточного
давления в месте
подключения дляотвода ОГ

E466

E467

Ошибка запуска

Подключение дляфорвакуумного насоса/отвода ОГ закрыто

слишком низкая частота

Форвакуумный насос

вращения

неисправен

Защита от перегрузки

Подключение дляфорвакуумного насоса

отвода ОГ закрыто
Форвакуумный насос

• Убедитесь в том, что шланг для отводаОГ правильно подключен
• Обратитесь в сервисную службу

• Убедитесь в том, что шланг для отводаОГ правильно подключен
• Обратитесь в сервисную службу

неисправен
W468

Необработанное

Необработанное

предупреждение

сообщение об ошибке

форвакуумного насосаот форвакуумного

• Обратитесь в сервисную службу

насоса
E500Датчик давления p1 неДатчик давления неподключен

подключен или• Обратитесь в сервисную службу

кабель неисправен
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны

126 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
E502

Датчик давления p2 неДатчик давления неподключен

подключен или• Обратитесь в сервисную службу

кабель неисправен
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
E504

Датчик давления p3 неДатчик давления неподключен

подключен или• Обратитесь в сервисную службу

кабель неисправен
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
E505

Датчик давления p4 неДатчик давления p4

подключенне вставлен в• Обратитесь в сервисную службу

плату VIПлата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
W509

Нет связи с датчиком

Датчик давления недавления р5подключен или• Обратитесь в сервисную службу

кабель неисправен
Плата VI или MSB• Обратитесь в сервисную службу

неисправны
E520

Давление слишком

Давление p2 слишком • Обратитесь в сервисную службу

высокое

высокое в течение
минимум 15 с.

E521Рост давления,Рост давления нанапряжение на аноде

датчике давления p2упалои падение

• Обратитесь в сервисную службу

напряжения на аноде
W522

Рост давления, токРост давления наэмиссии упалдатчике давления p2• Обратитесь в сервисную службуи падение токаэмиссии

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

127 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

типсообщение

Возможные

INFICONпоиск неисправностей

источники ошибок
W540

Слишком маленький поток

Фильтр загрязнен

через капилляры! В• Замените фильтр в детекторном
наконечнике

определенных условиях

Детекторный

течи невозможно

наконечник илиобнаружить

капилляр засорен

• Устраните засор детекторного
наконечника
• По возможности используйте другую
детекторную линию
• Обратитесь в сервисную службу

Предел давления для • Проверьте и при необходимости
засоренного

измените предел давления

капилляра
установлен слишком
высоко
W541

Явно слишком маленький

Фильтр загрязнен

поток через капилляры! В• Замените фильтр в детекторном
наконечнике

определенных условиях

Детекторный

течи невозможно

наконечник илиобнаружить

капилляр засорен

• Устраните засор детекторного
наконечника
• По возможности используйте другую
детекторную линию
• Обратитесь в сервисную службу

Предел давления для • Проверьте и при необходимости
засоренного

измените предел давления

капилляра
установлен слишком
высоко
W542

Слишком большой поток

Капилляр оборван

через капиллярыили негерметичен

• По возможности используйте другую
детекторную линию
• Обратитесь в сервисную службу

Предел давления для • Проверьте и при необходимости
засоренного

измените предел давления

капилляра
установлен слишком
низко

128 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
W559

Слишком высокая

Грубая утечка на• Проверьте герметичность соединения

интенсивность утечки! Вопроверочном объекте

между течеискателем и проверочным

избежание зараженияили в подключении кобъектом

было выполнено

проверочному

переключение прибора вобъекту

режим ожидания!

Предел защиты от• Проверьте и при необходимости

грубой утечки

измените предел защиты от грубой

установлен слишком

утечки

низкоВремя задержки

W580• Проверьте и при необходимости

звукового сигнала

измените время задержки звукового

слишком маленькое

сигнала

Превышено максимальное Грубая утечка на• Проверьте герметичность соединения

«время вакуумирования»проверочном объекте

между течеискателем и проверочным

до 100 мбарили в подключении кобъектом

проверочному
объекту
Заданное значение

• По возможности используйте другой
объект для тестирования
• Проверьте и при необходимости

максимального

измените максимальное время

времени

вакуумирования для грубой утечки

вакуумирования длягрубой утечки
слишком низкое
W581

Превышено максимальное Грубая утечка на• Проверьте герметичность соединения

«время вакуумирования»проверочном объекте

между течеискателем и проверочнымдо режима измеренийили в подключении кобъектом

проверочному
объекту
Заданное значение

• По возможности используйте другой
объект для тестирования
• Проверьте и при необходимости

времени

измените время вакуумирования довакуумирования доизмерения

измерения слишком
низкое

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

129 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

типсообщение

Возможные

INFICONпоиск неисправностей

источники ошибок
W618

Интенсивность утечки

'Постоянная времени

• Снова выполните процедуру

I•BOOST понизилась

I•BOOST' дляопределения 'постоянной времени

быстрее, чем ожидалось

подключенной

I•BOOST'.

(сообщение 5 с)вакуумной системыеще не определена,или что-тоизменилось вподключенной
вакуумной системе
после определения
'постоянной времени
I•BOOST'

W619

Интенсивность утечки

'Постоянная времени

• Снова выполните процедуру

I•BOOST понизилась

I•BOOST' дляопределения 'постоянной времени

быстрее, чем ожидалось

подключенной

I•BOOST'.

(сообщение 30 с)вакуумной системыеще не определена,или что-тоизменилось вподключенной
вакуумной системе
после определения
'постоянной времени
I•BOOST'

W625

Интенсивность внутренней Параметр EEPROM
проверочной утечки неустановлена

130 / 176был сброшен

• Введите правильное значение
интенсивности внутренней
проверочной утечки

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
W630

Запрос калибровки

Изменился режим

• Выполните калибровку

работы или масса
HYDRO•S включена

• Выполните калибровку

(если функция
доступна)Автоматическое

• Выполните калибровку

тестирование наналичие утечки
активировано, ивремя тестирования
изменилось
Подключена новая

• Выполните калибровку

детекторная линия
SL3000 (еслифункция доступна)Время работы свыше

• Выполните калибровку

30 минут и изменение
температуры на
5 градусов поКельвину после
последней
калибровки
Время работы свыше

• Выполните калибровку

30 минут и отсутствие
калибровки в течение
24 часов
W640

Автоматическое

Пороговое значение

тестирование на наличие

интенсивности

измените пороговое значение длятечи: слишком много

утечки 1 не подходит

интенсивности утечки 1последовательных тестовдля проверочного

было выполнено неудачно

объекта
Испытательная
камера негерметична

W670• Проверьте и при необходимости

• По возможности используйте другую
испытательную камеру

Ошибка калибровки (токВ процессе

эмиссии упал)калибровки нарушена

• Проверьте, появляется ли повторно
сообщение при выполнении новой

эмиссия

калибровки
• Обратитесь в сервисную службу

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

131 / 176

7 | Предупредительные сообщения и сообщения о неисправностях

типсообщение

Возможные

INFICONпоиск неисправностей

источники ошибок
W700Слишком низкая

Температура

температура

окружающего воздуха

предусилителя

слишком низкая
Неисправен датчик

• Увеличьте температуру окружающего
воздуха для прибора

• Обратитесь в сервисную службу

температуры
W702

Слишком высокая

Слишком высокая

температура

температура

предусилителя

окружающей среды
Воздушный фильтр
загрязнен
Вентилятор засорен

• Уменьшите температуру окружающего
воздуха для прибора

• Очистите вентиляционные щели илизамените фильтровальные пластины
• Обратитесь в сервисную службуили неисправен
E709

Температура MSB

Температура

слишком низкая

окружающего воздуха

• Увеличьте температуру окружающего
воздуха для прибора

слишком низкая
Неисправен датчик

• Обратитесь в сервисную службу

температуры
W710

Температура MSB

Слишком высокая

слишком высокая

температура

• Уменьшите температуру окружающего
воздуха для прибора

окружающей среды
Воздушный фильтр
загрязнен
Вентилятор засорен

• Очистите вентиляционные щели илизамените фильтровальные пластины
• Обратитесь в сервисную службуили неисправен
E711

Превышена макс.

Слишком высокая

температура MSB

температура

• Уменьшите температуру окружающего
воздуха для прибора

окружающей среды
Воздушный фильтр
загрязнен
Вентилятор засорен

• Очистите вентиляционные щели илизамените фильтровальные пластины
• Обратитесь в сервисную службуили неисправен
W901

Техническое

Превышен интервал

обслуживание:техобслуживания дляподшипники/смазочные

подшипников/материалы TMPсмазочных

• Обратитесь в сервисную службу

материалов TMP

132 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONтипПредупредительные сообщения и сообщения о неисправностях | 7сообщение

Возможные

поиск неисправностей

источники ошибок
W903

Техническое

Превышен интервал

обслуживание: Сроктехобслуживания дляслужбы контрольного

проверочной утечки

• Обратитесь в сервисную службу

течеискателя истек
W904

Техническое

Превышен интервал

обслуживание: Фильтр

техобслуживания длядетекторного наконечника

фильтра

• Обратитесь в сервисную службу

детекторного
наконечника
W910

Техническое

Превышен интервал

обслуживание:техобслуживания дляФорвакуумный насос

форвакуумного

• Обратитесь в сервисную службу

насоса
W920Техническое

Превышен интервал

обслуживание: Фильтр

техобслуживания длявыхлопа

фильтра системы

• Обратитесь в сервисную службу

выпуска ОГ
W925Техническое

Превышен интервал

• Обратитесь в сервисную службу

обслуживание: Воздушный техобслуживания дляфильтр

воздушного фильтра

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

133 / 176

8 | Очистка и техническое обслуживание

INFICON8 Очистка и техническое обслуживаниеВсе описанные здесь работы по очистке и техническому обслуживанию
разрешается проводить только без открывания прибора!

ОПАСНО
Опасность для жизни вследствие поражения электрическим током
Внутренние детали прибора находятся под высоким напряжением. Поэтому
контакт с деталями, которые находятся под электрическим напряжением, опасендля жизни.
► Перед началом любых работ по очистке и техническому обслуживанию
отключайте прибор от сети электропитания. Убедитесь в том, что подача
электропитания не может быть возобновлена неуполномоченным персоналом.
► Запрещено открывать прибор!

8.1 Очистка корпуса
Корпус прибора протирайте влажной мягкой тряпкой.
Для увлажнения используйте только воду. Избегайте применения чистящих
средств, спирта, смазки и масла.

8.2 Замена фильтрующей прокладки вотделении для инструментов
Фильтрующая прокладка вотделении для инструментов
Необходимый инструмент

НетВ зависимости от места использования прибора фильтрующая прокладка вотделении для инструментов может загрязняться. Регулярно проверяйте
фильтрующую прокладку в отделении и заменяйте ее в случае сильного
загрязнения.
ü Имеется новая фильтрующая прокладка.
1Убедитесь в том, что прибор выключен от сети питания путем вынимания
сетевого штекера.

2Откройте отделение для инструмента входящим в комплект ключом.

3Снимите пластмассовую решетку. Она закреплена только фиксирующими
выступами.

134 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОчистка и техническое обслуживание | 84Выньте использованный воздушный фильтр из пластмассовой решетки ивставьте новый.

5Установите обратно пластмассовую решетку с новым воздушным
фильтром.

8.3 Замена фильтрующей прокладки на нижней
стороне прибора
Фильтрующая прокладка нижней
стороны прибора
Необходимый инструмент

Отвертка

Регулярно проверяйте фильтрующую прокладку в отделении и заменяйте ее вслучае сильного загрязнения.
ü Имеется новая фильтрующая прокладка.
1Убедитесь в том, что прибор выключен от сети питания путем вынимания
сетевого штекера.

2

Для доступа к фильтрующей прокладке отсоедините на передней стороне
прибора снизу винт с накатанной головкой.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

135 / 176

8 | Очистка и техническое обслуживание

3

INFICONВыньте панель с фильтрующей прокладкой. Держите панель поднаклоном, чтобы легче ее вынуть.

4Отсоедините винты, фиксирующие фильтрующую прокладку на панели.

5Замените фильтрующую прокладку.

6Прикрутите новую фильтрующую прокладку, установите обратно панель изатяните винт с накатанной головкой.

136 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОчистка и техническое обслуживание | 8

8.4 Замена фильтра детекторной линии SL200Устройство
детекторного
наконечника

Рис. 15: Детекторный наконечник

1 Капиллярный фильтр
(пластмасса; стандарт)4 Винты с крестообразным
шлицем

2 Войлочные диски

5 Металлокерамический фильтр

3 Капиллярный фильтр (металл с

6 Прокладка

уплотнением; опция)Засорение детекторного наконечника может возникать по следующим причинам:Капиллярный фильтр засорен -> Заменить войлочные диски или капиллярные
фильтры
Металлокерамический фильтр засорен -> Проверить или заменить
металлокерамический фильтр
Засорились капилляры в детекторном наконечнике -> Заменить детекторный
наконечник
Детекторный наконечник поврежден -> Заменить детекторный наконечник
Детекторная линия повреждена/засорилась -> Заменить SL200.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

137 / 176

8 | Очистка и техническое обслуживание

Замена войлочных

• Выключите прибор контроля утечек или отсоедините детекторную линию отдисков иликапиллярных

INFICONприбора.
• При помощи пинцета извлеките загрязненные войлочные диски и замените

фильтрових новыми.
или• Открутите капиллярный фильтр и замените его на новый. При наличии
металлической конструкции не забудьте установить уплотнение!

Проверка или1замена

Выключите прибор контроля утечек или отсоедините детекторную линиюот прибора.

металлокерамического фильтра

2Выкрутите оба винта с крестообразным шлицем.

3Извлеките металлокерамический фильтр вместе с уплотнением.

4Выполните визуальный контроль фильтра на наличие загрязнений.
ð Если загрязнения отсутствуют или незначительны, продолжайте
использовать металлокерамический фильтр вместе с уплотнением.

Рис. 16: На металлокерамическом фильтре небольшие загрязненияð При наличии серьезных загрязнений замените металлокерамический
фильтр вместе с уплотнением.

Рис. 17: На металлокерамическом фильтре сильные загрязнения

5ðУстановите на место и затяните детекторный наконечник.
Детекторная линия снова готова к работе.

Если у вас включена индикация запроса технического обслуживания ,установите интервал ТО на нужный новый период времени. См. также Запросы
ТО, включение или отключение [} 73] и Настройка интервала технического
обслуживания «Фильтр наконечника щупа» или «Воздушный фильтр» [} 73].

138 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОчистка и техническое обслуживание | 8

8.5 Замена фильтра детекторной линии SL3000Замена патронов

Пластмассовый капиллярный фильтр, металлический капиллярный фильтр икапиллярного

водозащитный наконечник снабжены фильтрующими патронами.

фильтра и патроновПод металлическим капиллярным фильтром и водозащитным наконечником

водозащитного

находится конусное уплотнение.

наконечникаВ пластмассовом капиллярном фильтре такое уплотнение встроено.

Таб. 3: Капиллярный фильтр

1 Конец детекторной линии

4 Пластмассовый капиллярный
фильтр

2 Конусное уплотнение

5 Водозащитный наконечник

3 Металлический капиллярный
фильтр

Капиллярный фильтр и водозащитный наконечник навинчены на конец
детекторной линии. Патроны вставлены в фильтры и находятся перед
небольшой металлической сеткой, которая также вставлена в фильтр.
Замена патронов выполняется следующим образом:1Выключите прибор контроля утечек.

2Отвинтите капиллярный фильтр или водозащитный наконечник. Следитеза тем, чтобы не выпало конусное уплотнение.

3Выдавите старые фильтровальные подушки и металлическую сетку сзади.

Рис. 18: Выдавите патроны из капиллярного фильтра

4Утилизируйте старые патроны и очистите металлическую сетку.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

139 / 176

8 | Очистка и техническое обслуживание

5

INFICONВставьте металлическую сетку и затем два новых патрона спереди вфильтр. Следите за тем, чтобы сетка и патроны не перевернулись.

6Включите прибор контроля утечек.

7Закройте пальцем детекторный наконечник. У водозащитного наконечника
потребуется дополнительно закрыть отверстие сбоку. После этого выдолжны почувствовать разрежение. Если вы его не чувствуете, значит,имеет место негерметичность, и необходимо проверить резьбовое
соединение. Также могло выпасть конусное уплотнение.

8Если у вас включена индикация запроса технического обслуживания ,установите интервал ТО на нужный новый период времени. См. также
Запросы ТО, включение или отключение [} 73] и Настройка интервала
технического обслуживания «Фильтр наконечника щупа» или «Воздушный
фильтр» [} 73].

Замена

Металлокерамический фильтр находится в ручке-детекторе. Замена патронов

металлокерамическ

выполняется следующим образом:ого фильтра ручкидетектора

1Выключите прибор контроля утечек.

2Выкрутите два винта с крестообразным шлицем, удерживающие
детекторный наконечник.

3Снимите металлокерамический фильтр вместе с кольцом круглого
сечения.

Рис. 19: Металлокерамический фильтр в ручке-детекторе

4Проверьте фильтр на наличие видимых загрязнений.

5Вставьте новый металлокерамический фильтр с уплотнительным кольцом
круглого сечения в основание наконечника фильтра.

6Установите на место и затяните детекторный наконечник.

7Включите прибор контроля утечек.

8Закройте пальцем детекторный наконечник. Вы должны ощущать
разрежение. Если вы его не чувствуете, значит, имеет место
негерметичность, и необходимо проверить детекторный наконечник.

140 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОчистка и техническое обслуживание | 89При необходимости измените интервал технического обслуживания нанужное значение. См. также «Настройка интервала технического
обслуживания «Фильтр наконечника щупа» или «Воздушный фильтр»[} 73]».

8.6 Установка или замена газового баллонаПри использовании держателя баллона (опция) соблюдайте нижеприведенные
указания:ОСТОРОЖНО
Риск травмирования из-за неправильного крепления газового
баллона на мобильном приборе контроля утечек
► При монтаже держателя баллонов на приборе контроля утечек соблюдайте
последовательность действий, описанную в отдельной инструкции помонтажу.
► Смонтируйте основание держателя баллона заподлицо с газовым баллоном.
► Чтобы не нарушить стабильность прибора контроля утечек, транспортируйте
только баллоны небольшого или среднего размера (макс. 10 л, макс. размер
баллона с защитным колпачком 98 см, 200 бар).
► Проверьте входящие в комплект стяжные ремни на наличие видимых
повреждений.
► Всегда закрепляйте баллон на держателе с помощью двух входящих вкомплект стяжных ремней.
► Следите за тем, чтобы распылительный шланг никогда не находился внатянутом положении.
► При обращении с газовыми баллонами соблюдайте указания по технике
безопасности от их изготовителя.

8.7 Создание скриншотов
Текущее содержание экрана прибора можно сохранять в графическом файле.
Такой файл может потребоваться, например, в рамках общения соспециалистами сервисного отдела.
1Создайте на USB-накопителе (отформатирован как FAT 32) папку сназванием Screenshots.

2Чтобы сделать скриншот, подключите USB-накопитель в один из разъемов
USB прибора контроля утечек, см. также обратную сторону Блокуправления [} 27].
ð Скриншот будет сделан автоматически и будет сохранен в папку на
USB-накопителе. При этом сохраняется дата и время.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

141 / 176

8 | Очистка и техническое обслуживание

3

INFICONЧтобы сделать еще один скриншот, извлеките USB-накопитель из разъема
USB и вновь установите его в разъем USB прибора контроля утечек.
ð Сохраненный ранее скриншот не перезаписывается при создании нового
скриншота.

8.8 Обслуживание устройства или его сдача времонт
ОСТОРОЖНО
Опасность, вызванная вредными для здоровья веществами
Загрязненные приборы могут представлять опасность для здоровья. Заявлениео загрязнении предназначено для защиты всех лиц, контактирующих сприбором.
► Полностью заполните заявление о загрязнении.
Работы по техническому обслуживанию прибора должны проводиться только
специалистами завода-изготовителя. Мы рекомендуем проводить техническое
обслуживание прибора через каждые 4 000 часов или ежегодно.
Прибор можно отправить в компанию INFICON для его технического
обслуживания или ремонта. Подробную информацию см. в Отправка устройствадля выполнения технического обслуживания, ремонта или утилизации [} 146].

142 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОчистка и техническое обслуживание | 8

8.9 План технического обслуживания
УзелТехническое

Часы/годы работы

Уровен Номер

обслуживание

1500

4000

8000

1/4

1

2

X

X

X

X

II

X3

X3

X

X3

III

запасной
16000 24000 ьсервис части
3
4
аВакуумная система
Форвакуумны

Проверитьй насос

производительность

NeoDryПри необходимости
заменить насос

200009420R

Устройства до Замена резервуара для
3/2024 г.

X3II200003801

III

200003800

эксплуатационных средвключительно Замена подшипника и(шильдик):Замена резервуара для
TMP Pfeiffer

200009420

X2

200003800R

эксплуатационных средSF80 *)
Устройства

Проверка

начиная спроизводительности,4/2024если требуется:(шильдик):Возврат TMP для

TMPпрофилактическогоSHIMADZUремонта

BT70Замена TMP

X3

III

X

III

Возврат TMP для

200012580
200012580R

ремонта
Клапанный

Очистить клапаны

X3

X

X

X

III

Заменить уплотнения

X3

X

X

X

III

X3

X

X3

III

X1

X1

X1

II

блок
200010545

клапана
Разборка и чистка
клапанного блока
Поточный

Заменить фильтр

X3трубопровод /200000683
200001095трубопровод
дляпродувочного
газаЭлектрооборудование
Модули

Продувка шасси

вентилятора

вентилятора и TMP

X3

X1

X1

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

X1

X1

II

143 / 176

8 | Очистка и техническое обслуживание

Узел

INFICONТехническое

Часы/годы работы

обслуживание

1500

4000

8000

1/4

1

2

X3

X1

X1

Проверка и приУровен Номер
запасной
16000 24000 ьсервис части
3
4
а
X1

X1

I

200007656

I

200001116

необходимости замена
комплекта воздушных
фильтров
Подузлы и принадлежности
Детекторная

Заменить фильтр

линия SL3000

X3 — выполнять через каждые 1000 чв режиме SniffКонтрольный

Повторная калибровка/X2 — выполнять в зависимости оттечеискатель

замена

даты завершения срока службы

20003500
III

14030

Условные

*) Если турбомолекулярный насос необходимо будет заменить в течеискателе,обозначения впостроенном к концу марта 2024 года, то снова будет установлен

плане проведения

турбомолекулярный насос Pfeiffer SplitFlow 80.

ТОI Клиент или специалист с более высоким уровнем подготовки
II Клиент, прошедший инструктаж, или специалист с более высоким уровнем
подготовки
III Специалист сервисной службы INFICON
X Проведение ТО по наработке или по истечении временного интервала
X1 ТО по наработке, не по истечению временного интервала
X2 ТО по истечению временного интервала, не по наработке
X3 В зависимости от условий внешней среды, условий эксплуатации, степени
загрязнения и процесса использованияДля форвакуумного насоса Kashiyama NeoDryПри перекачке чистых газов, таких как сухой воздух и инертные газы,рекомендуемый интервал профилактического ТО составляет три года.
При перекачке конденсируемых газов, таких как водяной пар и смешанные сгазом растворители, а также агрессивных или едких газов может потребоваться
сократить рекомендуемый интервал профилактического ТО до одного года.
Данная рекомендация приводится в целях обеспечения технических
характеристик насоса, заявленных производителем, в течение всего срока
эксплуатации прибора. Невыполнение технического обслуживания обычно неприводит к внезапному отказу насоса. Вследствие износа с течением времени
снижается напор.
Пока напор, генерируемый насосом, подходит для его применения на стороне
заказчика, интервал замены может определяться по усмотрению заказчика.

144 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONОчистка и техническое обслуживание | 8Указание для устройств с I•RISE
Устройства со встроенной функцией I•RISE не требуют дополнительного
технического обслуживания, если они используются в чистой среде.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

145 / 176

9 | Вывод из эксплуатации

INFICON9 Вывод из эксплуатации
9.1 Утилизация прибора
Эксплуатирующая организация может утилизировать прибор или отправить егопроизводителю. Прибор состоит из материалов, которые пригодны дляповторного использования. Во избежание мусора и для защиты окружающей
среды вам следует воспользоваться этой возможностью.
При утилизации следует соблюдать местные требования по защите окружающей
среды и технике безопасности.
Запрещается утилизировать прибор вместе с бытовым мусором.

9.2 Отправка устройства для выполнения
технического обслуживания, ремонта илиутилизации
ОСТОРОЖНО
Опасность, вызванная вредными для здоровья веществами
Загрязненные приборы могут представлять опасность для здоровья. Заявлениео загрязнении предназначено для защиты всех лиц, контактирующих сприбором. Устройства, отправленные без указания номера возврата изаполненного добровольного экологического сертификата, будут возвращены
фирмой-производителем отправителю.
► Полностью заполните заявление о загрязнении.
1Перед возвратом свяжитесь с изготовителем и перешлите заполненный
добровольный экологический сертификат.
ð В ответ вы получите номер возврата и адрес для отправки.

2

Для возврата используйте оригинальную упаковку.

3Перед отправкой устройства прикрепите к внешней стороне упаковки
копию заполненного добровольного экологического сертификата.

Описание добровольного экологического сертификата см. ниже.

146 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICON

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

Вывод из эксплуатации | 9

147 / 176

10 | Принадлежности и интерфейсные элементы

INFICON10 Принадлежности и интерфейсные
элементы
10.1 Принадлежности и запасные части
Приведенные ниже детали можно заказывать дополнительно.
Шинный модуль
BM1000 PROFIBUS

560-315

BM1000 PROFINET IO

560-316

BM1000 DeviceNet

560-317

BM1000 EtherNet/IP

560-318

Модуль В/ВМодуль IO1000

560-310Кабель передачи данных, 0,5 м

560-334

Кабель передачи данных, 5 м560-335

Кабель передачи данных, 10 м

560-340Детекторная линия SL200Детекторная линия SL200, длиной 3,8 м (для подключения к

14005

приборам UL3000 Fab дополнительно требуется
удлинительный кабель)Кабельный удлинитель для электроподключения SL200

551-205Детекторная линия SL200 и удлинительный кабель для

551-210электроподключения (комплект)Детекторная линия SL3000Провод SL3000-3 длиной 3 м

525-001Провод SL3000-5 длиной 5 м

525-002Провод SL3000-10 длиной 10 м

525-003Провод SL3000-15 длиной 15 м

525-004Держатель для детекторной линии SL3000

551-203Детекторная

525-015линия для системной интеграции (применение

робототехники)Детекторные наконечники для прибора SL3000

148 / 176Детекторный наконечник ST312 дл. 120 мм, жесткий

12213

Детекторный наконечник FT312 длиной 120 мм, гибкий

12214

Детекторный наконечник ST200 дл. 200 мм, жесткий

12218

Детекторный наконечник FT250 длиной 250 мм, гибкий

12266

Детекторный наконечник ST385 дл. 385 мм, жесткий

12215

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПринадлежности и интерфейсные элементы | 10Детекторный наконечник FT385 длиной 385 мм, гибкий

12216

Детекторный наконечник FT600 длиной 600 мм, гибкий

12209

Детекторный наконечник, жесткий, 500 мм, 45° (ST 500)

12272

Прочие принадлежности для прибора SL3000Фильтровальный войлок стандартного фильтра SL3xx, 50 шт. 200001116
Капиллярный фильтр в металлическом исполнении (1 шт.)12217

Стандартный фильтр для SL 300, комплект из 5 шт.

20003501(капиллярный фильтр, пластмасса)Внутренний фильтр для SL3xx, комплект из 5 шт.

20003500(металлокерамический фильтр с кольцом круглого сечения)Водозащитный наконечник (1 шт.)122 46

Держатель SL3000

551-203Дистанционное управление RC1000
Дистанционное управление RC1000WL, беспроводное

551-015Кабельное дистанционное управление RC1000C

551-010Удлинительный провод дистанционного управления

14022

Испытательная камера TC1000
Испытательная камера TC1000

551-005Кабельный удлинитель для электроподключения

551-205испытательной камеры TC1000
Прочее
Держатель гелиевого баллона

551-201Распылительный пистолет испытательного газа со шлангом

16555

SMART-Spray c 2-мя баллонами гелия HeliCan по 50 мл,

551-050аккумулятором, зарядным кабелем, ремешком на руку, BTDongle, кабель-переходник для BT-DongleДетекторная линия SL200Благодаря применению детекторной линии прибор контроля утечек можно легко
переоборудовать в течеискатель, работающий методом щупа. Длина
детекторной линии составляет 3,8 м.
Для работы этой детекторной линии дополнительно потребуется кабельный
удлинитель для электроподключения.
Описание монтажа крючков для намотки сетевого провода или детекторной
линии см. «Подключение входящих в комплект поставки принадлежностей
[} 49]».

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

149 / 176

10 | Принадлежности и интерфейсные элементы

INFICONДетекторная линия SL3000Детекторная линия SL3000 подключается с обратной стороны прибора контроля
утечек, поэтому вакуумный узел на впускном фланце сверху прибора контроля
утечек при переключении в режим работы «Sniff» снимать не требуется.
Детекторная линия предлагается длиной 3, 5, 10 или 15 м.
Описание монтажа крючков для намотки сетевого провода или детекторной
линии см. «Подключение входящих в комплект поставки принадлежностей
[} 49]».

Держатель гелиевого баллона
Держатель гелиевого баллона позволяет перемещать запас гелия вместе сраспылительным пистолетом и прибором контроля утечек. В держатель
устанавливаются баллоны среднего размера (макс. 10 л, 200 бар), которые невлияют на устойчивость прибора.
Монтажная инструкция поставляется как отдельный документ с держателем длябаллонов.

Дистанционное управление RC1000C и RC1000WLС помощью пульта дистанционного управления RC1000C можно управлять
прибором контроля утечек на расстоянии через кабель длиной до 28 м.
С помощью беспроводного пульта дистанционного управления RC1000WL
прибором контроля утечек можно управлять с расстояния до 100 м.
С помощью пульта дистанционного управления доступны функции START,STOP/VENT (STOP/продувка), ZERO (фоновый сигнал). На дисплее
дистанционного управления отображается измеренная интенсивность утечки ввиде столбикового графика, числового значения или диаграммы (см.
Техническое руководство RC1000).
Измеренные значения сохраняются во внутренней памяти пульта RC1000 напериод записи до 24 ч. Данные можно переносить на USB-накопитель.
Можно задать внутреннее пороговое значение для предупреждения припревышении пороговых значений. Предупреждение осуществляется оптическина дисплее и звуковым сигналом через внутренний динамик илиподсоединенные наушники.
Пульты дистанционного управления размещаются в прочных, удобных дляработы корпусах. Магниты на нижней поверхности позволяют размещение нагоризонтальных и вертикальных металлических поверхностях.

150 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПринадлежности и интерфейсные элементы | 10

Рис. 20: Беспроводное дистанционное управление RC1000WL

Рис. 21: Крепление передатчика липучкой на свободном месте.

Поиск беспроводного пульта дистанционного управления сприбора контроля утечекПри использовании беспроводного пульта ДУ RC1000WL с прибора контроля
утечек можно активировать звуковые сигналы этого пульта ДУ.
1
2> Настроить > Принадлежности > RC1000В поле Запрос передачи сигнала системы поискового вызова выберите
настройку «Вкл.».
ð Пульт дистанционного управления передает звуковые сигналы.

3

Для отключения сигналов после нахождения пульта дистанционного
управления выберите в поле «Запрос передачи сигнала системы
поискового вызова» настройку «Выкл.».

Испытательная камера TC1000
Данная испытательная камера позволяет вместе с прибором контроля утечек
создавать полноценное рабочее место, где можно проверять герметично
закрытые детали. Можно проводить проверки просто, быстро и точно всоответствии со стандартом MIL-STD 883. Проверки запускаются автоматически
сразу после закрывания крышки камеры. Параметры проверки, например, время

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

151 / 176

10 | Принадлежности и интерфейсные элементы

INFICONизмерения и остаточные утечки, могут задаваться в меню «Автоматическое
тестирование на наличие течи». Процесс проверки выполняется автоматически,а результаты отображаются красным или зеленым светодиодами,расположенными на испытательной камере. Для работы этой испытательной
камеры дополнительно потребуется кабельный удлинитель дляэлектроподключения.

152 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПринадлежности и интерфейсные элементы | 10

10.2 Модуль ввода-вывода
10.2.1 Соединение прибора с модулем ввода-вывода
üПрава Supervisor
1Подключите модуль ввода-вывода INFICON с помощью кабеля передачи
данных к LD-гнезду на обратной стороне прибора, см. Подключения
принадлежностей и управляющих сигналов [} 37].

2

> Настроить > Принадлежности > Выбор устройства

3Выберите «Модуль ввода-вывода».

4Сохраните

.

10.2.2 Конфигурирование аналоговых выходов
üПрава Supervisor
1> Настроить > Принадлежности > Модуль В/В > Конфигурация
аналоговых выходов

2Установите режим Аналоговый выход 1.
ð Для выбора имеются опции: «Выкл.», «Давление p1», «Давление p2»,
Интенсивность утечки мантисса, «Интенсивность утечки, экспонента»,«Интенсивность утечки, линейная», «Интенсивность утечки,логарифмическая», Интенсивность утечки, мантисса (гист.), «Через
интерфейс».

3Установите режим Аналоговый выход 2.
ð Для выбора имеются опции: «Выкл.», «Давление p1», «Давление p2»,
Интенсивность утечки мантисса, «Интенсивность утечки, экспонента»,«Интенсивность утечки, линейная», «Интенсивность утечки,логарифмическая», Интенсивность утечки, мантисса (гист.), «Через
интерфейс».

4Установите режим Аналоговый выход, масштабирование.
ð Для выбора имеются опции: «0,5 В/декада», «1 В/декада», «2 В/декада»,«2,5 В/декада», «3 В/декада», «5 В/декада», «10 В/декада».

5Установите режим Экспонента верхнего предела.

6Сохраните

.

Настройки «Аналоговый выход, масштабирование» и «Верхняя предельная
экспонента» действительны для обоих аналоговых выходов в зависимости отвыбранной функции, см. представленную ниже таблицу.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

153 / 176

10 | Принадлежности и интерфейсные элементы

INFICONФункции и распределение аналоговых выходов:Выкл.

Аналоговые выходы
отключены
(Выходное напряжение =0 В).

Давление p1/давление

1... 10 В; 0,5 В/декада;p2

логарифмическое
1 В = 1 x 10-3 мбарИнтенсивность утечки

1... 10 В; линейная; вИмеет смысл только в том случае, если другой

мантисса

выбранной единице

аналоговый выход занят «Экспонентой
интенсивности утечки».

Интенсивность утечки,1... 10 В; 0,5 В/декада;Имеет смысл только в том случае, если другой

экспонент

Ступенчатая функция;аналоговый выход занят Интенсивность утечки
мантисса или Интенсивность утечки, мантисса

1 В = 1 x 10-12; ввыбранной единице

(гист.).

Интенсивность утечки

0... 10 В; линейная;Верхняя граница (= 10 В) настраивается слинейн.

в выбранное единице

помощью параметра Экспонента верхнего

измерения

предела в полном диапазоне декад. Нижнее
значение всегда 0 (интенсивность утечки), чтосоответствует 0 В выходного напряжения.
Эта настройка действительна для обоих
аналоговых выходов, если выбрана
соответствующая функция выбора. В зависимостиот выбранной единицы измерения интенсивности
утечки образуется разная абсолютная граница.
Для выбранного диапазона можно дополнительно
определить границы, действующие для всехинтерфейсов.

154 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПринадлежности и интерфейсные элементы | 10Интенсивность утечки

0... 10 В;Верхняя граница (= 10 В) и масштабирование (В/лог.

логарифмическая;декады) задаются с помощью параметрав выбранное единице

Экспонента верхнего предела и Аналоговый

измерения

выход, масштабирование.
Пример:верхний предел настроен на 1 x 10-5 мбар л/с (=10 В). Масштабирование настроено на 5 В/декада.
Следовательно, нижний предел находится назначении 1 x 10-7 мбар·л/с (= 0 В). Прииспользовании логарифмической выходной
функции настраиваются как подъем в В/декада,так и верхнее предельное значение (значение
10 В). Таким образом получается минимальное
отображаемое значение. Можно выбрать
следующие значения подъема: 0,5, 1, 2, 2,5, 3, 5,
10 В/декада Чем выше настроенное значение
подъема, тем меньше отображаемый диапазон.
Верхнее предельное значение одинаково дляобоих аналоговых выходов. В зависимости отвыбранной единицы измерения интенсивности
утечки образуется разная абсолютная граница.

Через интерфейс

Напряжение на выходе можно устанавливать командой журнала LD 221 длятестов.

Интенсивность утечки,0,7... 10 В; линейная;Имеет смысл только в том случае, если другой

мантисса (гист.)в выбранное единице

аналоговый выход занят опцией «Интенсивность

измерения

утечки, экспонента». Благодаря наложению
мантиссы в диапазоне от 0,7 до 1,0предотвращаются постоянные скачки между
двумя декадами. 0,7 В соответствует
интенсивности утечки 0,7 x 10-x. 9,9 Всоответствует интенсивности утечки 9,9 x 10-x.

10.2.3 Конфигурирование цифровых входовЭти входы применяются для эксплуатации прибора с программируемым
контроллером (ПЛК).
Цифровым входам PLC-IN 1... 10 модуля I/O могут быть назначены любые
доступные функции.
— активный сигнал: типичный, 24 В
— неактивный сигнал: обычно 0 В.
В качестве активного сигнала можно использовать выход 24 В модуля I/O.
Каждую функцию можно инвертировать.
üПрава Supervisor

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

155 / 176

10 | Принадлежности и интерфейсные элементы

1

INFICON> Настроить > Принадлежности > Модуль В/В > Конфигурация
цифровых входов

2Выберите требуемый режим Цифровой вход.
ð Доступны входы PLC_IN 1…10.

3Выберите требуемую функцию, см. представленную ниже таблицу.

4Выберите требуемый режим.
ð Для выбора имеется режим «Стандартный» или Инвер..
К режиму Инвер.: в следующей таблице представленное в колонке
«Переход» в виде стрелки направление перехода должно быть вобратном направлении.

5Сохраните

.

Функция

Переход

Описание

VENT

неактивен →продувка впуска (только в режиме ожидания)активен:CALнеактивен →запустить калибровку.

активен:принять значение для фонового сигнала и завершить

активен →калибровку.

неактивен:No function—Вход не работает. Рекомендуемая настройка длянеиспользуемых входов.

Clearнеактивен →удалить предостережение или ошибку или прервать калибровку.

активен:Sniffнеактивен →активировать режим «Проверка щупом».

активен:активировать режим «Вакуум».

активен →неактивен:Purgeнеактивен →Включение промывки (только в режиме ожидания)активен:Выключение промывки (только в режиме ожидания)активен →неактивен:Startнеактивен →перейти в режим измерения.

активен:Start/Stopнеактивен →перейти в режим измерения.

активен:переключиться в режим ожидания.

активен →неактивен:Stopнеактивен →переключиться в режим ожидания.

активен:156 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПринадлежности и интерфейсные элементы | 10Функция

Переход

Описание

ZEROнеактивен →Включить режим ZERO.

активен:Выключить режим ZERO.

активен →неактивен:10.2.4 Конфигурирование цифровых выходов
Цифровым выходам PLC-OUT 1... 8 модуля I/O могут быть назначены любые
доступные функции.
üПрава Supervisor
1> Настроить > Принадлежности > Модуль В/В > Конфигурация
цифровых выходов

2Выберите требуемый «Цифровой выход».
ð Доступны выходы PLC-OUT 1…8.

3Выберите требуемую «Функцию», см. представленную ниже таблицу.

4Выберите требуемый «Режим».
ð Для выбора имеется режим «Стандартный» или Инвер..
К режиму Инвер.: в представленной таблице описание состояния
«Открыто» необходимо заменить описанием состояния «Закрыто».

5Сохраните

.

Функция

Состояние:ОписаниеOff (open)открыто:всегда открыт

Ready for operationзакрыто:Эмиссия включена, процесс калибровки
неактивен, нет ошибки

открыто:Эмиссия выключена или процесс
калибровки активен или ошибка

Emission on

Error

Error or warning

Run-upCalibration requestзакрыто:Эмиссия включена

открыто:Эмиссия выключена

закрыто:Ошибка

открыто:Нет ошибки

закрыто:Ошибка или предостережение

открыто:Нет ошибки или предостережения

закрыто:Запуск

открыто:Нет запуска

закрыто:нет внешней калибровки, требуется
калибровка

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

157 / 176

10 | Принадлежности и интерфейсные элементы

Функция

INFICONСостояние:Описание
Если внешняя калибровка или проверка
CAL: запрос «Открыть или закрыть
внешнюю калибровочную утечку»Calibration active

Calibration stableоткрыто:нет запроса: калибровка не требуется

закрыто:устройство калибруется.

открыто:устройство не калибруется.

закрыто:калибровка с проверочной утечкой
завершена

открыто:Сигнал не стабилен или калибровка неактивна

Cathode 2

Measuringзакрыто:Катод 2 активен

открыто:Катод 1 активен

закрыто:измерение (режим ZERO возможен, всевыходы порогового значения
переключаются в зависимости отинтенсивности утечки).

открыто:режим ожидания или эмиссия выключены
(режим ZERO невозможен, все выходы
порогового значения возвращают
«Значение интенсивности утечки
превышено»).

Openоткрыто:всегда открыт

Sniffзакрыто:активен режим работы «Проверка щупом»открыто:активен режим работы «Вакуум»закрыто:измеренная интенсивность утечки

Setpoint 1

превышает пороговое значение 1открыто:измеренная интенсивность утечки
выходит за нижнее пороговое значение 1

Setpoint 2закрыто:измеренная интенсивность утечки
превышает пороговое значение 2открыто:измеренная интенсивность утечки
выходит за нижнее пороговое значение 2

Setpoint 3закрыто:измеренная интенсивность утечки
превышает пороговое значение 3открыто:измеренная интенсивность утечки
выходит за нижнее пороговое значение 3

Setpoint 4закрыто:измеренная интенсивность утечки
превышает пороговое значение 4открыто:измеренная интенсивность утечки
выходит за нижнее пороговое значение 4

158 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПринадлежности и интерфейсные элементы | 10Функция

Состояние:Описание

Purgeзакрыто:Продувочный клапан открыт

открыто:Продувочный клапан закрыт

закрыто:Внутренний вентиляционный клапан

Ventоткрыт
открыто:Внутренний вентиляционный клапан
закрыт

Standby or evacuateзакрыто:состояние, режим ожидания иливакуумирование, активирован

открыто:состояние, режим ожидания иливакуумирование не активированы,например при измерении

Status calibrationзакрыто:клапан проверочной утечки открыт

leak valveоткрыто:клапан проверочной утечки закрыт

Warningзакрыто:Предостережение

открыто:нет предупреждения

закрыто:режим ZERO включен

открыто:режим ZERO отключен

ZERO active

10.2.5 Настройка журнала модуля ввода-выводаДля переключения между журналом ASCII и LD.
üПрава Supervisor
1> Настроить > Принадлежности > Модуль В/В > Протокол модуля I/O

2Настройте.

3Сохраните

.

10.3 Шинный модуль
На USB-накопителе, поставляемом вместе с прибором и шинным модулем
BM1000, находятся дополнительные файлы к разделу «Шинный модуль». Срединих имеется GSD-файл для PROFIBUS, находящийся в папке ..\Manuals\Interface
Description.
Информацию о различных шинных модулях INFICON также см. вПринадлежности и запасные части [} 148].

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

159 / 176

10 | Принадлежности и интерфейсные элементы

INFICON

10.3.1 Установление соединения прибора с шинным
модулем
Чтобы установить соединение между прибором контроля утечек и шинным
модулем, выполните следующие действия:1Выключите прибор контроля утечек.

2Подключите шинный модуль INFICON с помощью кабеля передачи
данных к LD-гнезду прибора, см. Подключения принадлежностей иуправляющих сигналов [} 37].

3
4Включите прибор контроля утечек.
> Настроить > Принадлежности > Выбор устройства

5Выберите в качестве прибора «Шинный модуль».

6Подтвердите нажатием

.

10.3.2 Настройка адреса шинного модуляВы можете настроить заданное значение для адреса полевой шины. Для
PROFIBUS® речь идет об адресе узла. Для DeviceNet речь идет о MAC ID.
Для Profinet и EtherNet/IP эта настройка не имеет значения.
1> Настроить > Принадлежности > Шинный модуль

2Введите нужный адрес в поле «Адрес шинного модуля».

3Подтвердите нажатием

ð.

Настроенное значение начинает действовать только после перезапуска
прибора контроля утечек. Для этого отключите электропитание и включитеего заново.

10.4 Установите соединение между устройствоми SMART-SprayüПрава Supervisorü На вашем течеискателе установлены версии программного обеспечения
V1.42 (базовое устройство) и V1.64 (Управление устройством) или выше.
ü У вас есть функциональный гелиевый распылитель SMART-Spray.
ü У них есть отдельный BT-Dongle (беспроводной передатчик) и кабель-адаптер
для BT-Dongle.
1Подключите BT-Dongle с помощью кабеля-переходника к интерфейсу
REMOTE на задней панели течеискателя, см. раздел "Подключения
принадлежностей и управляющих сигналов [} 37]".

2

160 / 176

> Настроить > Принадлежности > Выбор устройства

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПринадлежности и интерфейсные элементы | 103Выберите "SMART-Spray" для подключения REMOTE.

4Сохраните

.

См. также отдельную инструкцию по эксплуатации гелиевого распылителя
«SMART-Spray».

10.5 Сеть
10.5.1 Управление прибором контроля утечек через веббраузер (LAN)УКАЗАНИЕ
Доступ к операционной системе возможен через USB-интерфейс илисеть Ethernet.
Используемая в течеискателе ОС Linux автоматически не обновляется, поэтому
могут появляться слабые места в системе безопасности. Через сеть Ethernet иинтерфейс USB злоумышленники могут воспользоваться этими слабыми
местами для получения доступа к системе.
► Убедитесь, что эти интерфейсы защищены от несанкционированного доступа,например с помощью замка USB-порта/Ethernet-порта.
► Чтобы не подвергать опасности корпоративную сеть предприятия, некогда неподсоединяйте течеискатель напрямую к общественной сети Интернет. Этокасается как соединений сети WLAN, так и соединений локальной сетиEthernet.
► Если все же потребуется дистанционный доступ к веб-интерфейсу
течеискателя, рекомендуется пользоваться закодированным соединением
Virtual-Private-Network (VPN). Однако безопасность VPN-соединений,предоставленных третьими лицами, также не может быть гарантирована.

10.5.1.1 Конфигурирование LAN-подключения прибора контроля
утечек
üПрава Supervisor
1> Настроить > Сеть > Настройки LAN
ð Также вместо этого на панели меню можно нажать

2.

Выберите в поле «Метод» свои настройки LAN:
ð Выкл.: Даже при подключенном сетевом кабеле (разъем RJ45) сетевое
соединение не устанавливается.
ð DHCP: Прибор контроля утечек автоматически получает IP-адрес отсети, в которую он был добавлен.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

161 / 176

10 | Принадлежности и интерфейсные элементы

INFICONð Статический: IP-адрес, а также маску сети и шлюз необходимо
настраивать вручную, чтобы прибор контроля утечек стал доступен в
сети. При необходимости свяжитесь с системным администратором.
3Сохраните

.

10.5.1.2 Настройка LAN-подключения на компьютере или планшетном
ПК
LAN-подключение — Быстрый старт
Если уже были выполнены один раз указанные здесь рабочие операции, вследующий раз достаточно на других устройствах лишь ввода IP-адреса.
ü ПК и прибор контроля утечек подключены к одной и той же сети.
ü В конфигурации прибора контроля утечек заложена настройка LAN, также см.
Конфигурирование LAN-подключения прибора контроля утечек [} 161].
ü Вы записали IP-адрес прибора контроля утечек. Его можно найти в приборе
контроля утечек в разделе «Диагностика > Информация > Прибор > Сеть».
ü В настройках браузера активирована опция JavaScript. Рекомендуется
пользоваться последними версиями браузеров Chrome™, Firefox® или
Safari®.
► Чтобы получить доступ к прибору контроля утечек из веб-браузера
компьютера или планшетного ПК, введите IP-адрес прибора контроля утечек
следующим образом:http://<IP-адрес>ðОткрывается текущий активный пользовательский интерфейс прибора
контроля утечек.

ðНа компьютере или планшетном ПК доступны те же функции управления
прибором контроля утечек, что и на сенсорном экране.

10.5.1.3 Активация клиент-доступа
üПрава Supervisor
12> Настроить > Сеть > Доступ клиента
Чтобы разрешить управлять прибором контроля утечек с компьютера илипланшетного ПК, активируйте опцию “Клиент-доступ“.
ð Если опция “Клиент-доступ“ не активирована, прибором контроля утечек
нельзя будет управлять с компьютера или планшетного ПК. В таком
случае нельзя будет изменять настройки.

3

162 / 176Сохраните

.

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПринадлежности и интерфейсные элементы | 10Отображение всех подключенных клиентовü Установлено сетевое соединение между прибором контроля утечек и однимили несколькими компьютерами или планшетами, см. «Настройка LANподключения на компьютере или планшетном ПК [} 162]».
►> Настройка > Сеть > Подключенные клиенты

10.5.2 Управление прибором контроля утечек через веббраузер (WLAN)
УКАЗАНИЕ
Доступ к операционной системе возможен через USB-интерфейс илисеть Ethernet.
Используемая в течеискателе ОС Linux автоматически не обновляется, поэтому
могут появляться слабые места в системе безопасности. Через сеть Ethernet иинтерфейс USB злоумышленники могут воспользоваться этими слабыми
местами для получения доступа к системе.
► Убедитесь, что эти интерфейсы защищены от несанкционированного доступа,например с помощью замка USB-порта/Ethernet-порта.
► Чтобы не подвергать опасности корпоративную сеть предприятия, некогда неподсоединяйте течеискатель напрямую к общественной сети Интернет. Этокасается как соединений сети WLAN, так и соединений локальной сетиEthernet.
► Если все же потребуется дистанционный доступ к веб-интерфейсу
течеискателя, рекомендуется пользоваться закодированным соединением
Virtual-Private-Network-Verbindung (VPN). Однако безопасность VPNсоединений, предоставленных третьими лицами, также не может бытьгарантирована.

Чтобы по сети WLAN получить доступ к пользовательскому интерфейсу прибора,необходимо с обратной стороны блока управления подсоединить USB-адаптер
WLAN с поддержкой технологии точки доступа беспроводной сети WLAN.
Минимальные требования к USB-адаптеру WLAN:• Интерфейс: USB 2.0• USB-разъем: тип A• Набор микросхем: RTL819x или аналогичный
• Поддержка для: режима технологии Access Point Client

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

163 / 176

10 | Принадлежности и интерфейсные элементы

INFICON

USB-адаптером сети WLAN, который отвечает этим требованиям ипротестирован с прибором контроля утечек, является устройство EDIMAX
EW-7612UAn V2.
Соединение сети WLAN может быть чувствительно в помехам. Устойчивость
сигнала зависит от дальности действия, экранирующих стен, работы прочих
сетей WLAN, создающих помехи радиопередатчиков вблизи прибора, и других
факторов.

10.5.2.1 Конфигурирование WLAN-подключения прибора контроля
утечек
üПрава Supervisor
1> Настроить > Сеть > Настройки WLANð Также вместо этого на панели меню можно нажать

2.

Чтобы прибор смог поддерживать WLAN-соединение, активируйте опцию
Активация WLAN.

3В поле «Имя WLAN (SSID)» введите название беспроводной сети, а вполе «WLAN Сетевой ключ» — нужный ключ Сетевой ключ.
ð По умолчанию в полях WLAN Name (SSID) и WLAN Сетевой ключзаписано следующее: «UL Series» или «INFICONUL». Ключ Сетевой
ключ должен состоять как минимум из 8 символов.
Сетевой ключ не отображается в виде понятного текста, все символы
заменены звездочками. Если вам не нравится такой вид отображения,при помощи символаза полем ввода можно изменить видотображения.
4ðСохраните

.

USB-адаптер, поддерживающий работу в сети WLAN, автоматически
запускается в качестве точки доступа сразу после подсоединения. Чтобы
сконфигурировать WLAN-подключение прибора контроля утечек,подключения USB-адаптера не требуется.

10.5.2.2 Настройка WLAN-подключения на компьютере илипланшетном ПК
WLAN-подключение. Быстрый старт
Если уже были выполнены один раз указанные здесь рабочие операции, вследующий раз достаточно на других устройствах лишь ввода адреса URL.
ü Поддерживающий работу в сети WLAN USB-адаптер с технологией точки
доступа WLAN подключен к USB-разъему прибора контроля утечек, см. Блокуправления [} 27].

164 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПринадлежности и интерфейсные элементы | 10

ü В конфигурации прибора контроля утечек активирована опция Активно, см.
Конфигурирование WLAN-подключения прибора контроля утечек [} 164].
ü WLAN-подключение распознается клиентом автоматически.
ü На старых приборах при необходимости следует настроить опцию WPA2 вкачестве системы шифрования.
ü В настройках браузера активирована опция JavaScript. Рекомендуется
пользоваться последними версиями браузеров Chrome™, Firefox® или
Safari®.
1Проверьте настройки сети WLAN компьютера или планшетного ПК, имеетли прибор контроля утечек подключение к сети WLAN.

2Если прибор контроля утечек не подключен к сети WLAN, выберите режим
беспроводной сети WLAN прибора контроля утечек и при необходимости
введите пароль Сетевой ключ, см. Конфигурирование WLAN-подключения
прибора контроля утечек [} 164].

3Для доступа к прибору контроля утечек через браузер компьютера/планшета используйте следующий URL:
ul.inficon.comðОткрывается текущий активный пользовательский интерфейс прибора
контроля утечек.

ðНа компьютере или планшетном ПК доступны те же функции дляуправления прибором контроля утечек, что и на сенсорном экране.

10.5.2.3 Активация клиент-доступа
üПрава Supervisor
12> Настроить > Сеть > Доступ клиента
Чтобы разрешить управлять прибором контроля утечек с компьютера илипланшетного ПК, активируйте опцию “Клиент-доступ“.
ð Если опция “Клиент-доступ“ не активирована, прибором контроля утечек
нельзя будет управлять с компьютера или планшетного ПК. В таком
случае нельзя будет изменять настройки.

3Сохраните

.

Отображение всех подключенных клиентовü Установлено сетевое соединение между прибором контроля утечек и однимили несколькими компьютерами или планшетами, см. «Настройка WLANподключения на компьютере или планшетном ПК [} 164]».
►> Настройка > Сеть > Подключенные клиенты

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

165 / 176

11 | Приложения

INFICON11 Приложения
11.1 Путь доступа к менюНажатием навигационной кнопки можно вернуться обратно в индикацию
измерений, независимо от того, находился ли пользователь ранее в каком-либоменю или подменю.

11.1.1 Диагностика
1> Подтвержденные предупрежденияð Отображается только тогда, когда активно.

2> Ошибки и предупрежденияð Отображается только тогда, когда активно.

3> Данные измерения > Запись данных

4> Данные измерения > Информация о базе данных

5> Данные измерения > Циклы измерения

6> Данные измерения > Экспорт результатов измерения

7> Обновление > Обновление встроенного блока управления

8> Обновление > Обновление встроенного блока управления >Экспертное обновление встроенного блока управления

9> Обновление > Обновление основного устройства

10> Обновление > Обновление основного устройства > Экспертное
обновление основного устройства

11> Диаграмма вакуума

12> Журналы > Журнал результатов

13> Журналы > Журнал ТО

14> Журналы > Ошибки и предупреждения

15> Журналы > Журнал калибровки

16> Регенерация

11.1.2 Настройки

166 / 1761

> Вид > Общие настройки индикации

2> Вид > Полосный индикатор

3> Вид > Круговая диаграмма

4> Вид > Линейная диаграмма

5> Вид > Переключение монитора

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПриложения | 116

> Аудио

7> Учетные записи пользователя > Выход из системы

8> Учетные записи пользователя > Управление автоматической
регистрацией

9> Учетные записи пользователя > Управление учетными записями
пользователя

10> Учетные записи пользователя > Изменить свой PIN-код11> Учетные записи пользователя > Изменить свой язык12

> Учетные записи пользователя > Фавориты

13> Режим работы

14> Настроить > Все > Уведомления

15> Настроить > Все > Дата и время

16> Настроить > Все > Настройки единиц

17> Настроить > Все > Сбросить

18> Настроить > Запись данных

19> Настроить > Измерение > Предельные значения давления

20> Настроить > Измерение > HYDRO•S

21> Настроить > Измерение > Масса

22> Настроить > Измерение > Контрольный течеискатель

23> Настроить > Измерение > Проверка с детекторной линией >Капиллярный контроль

24> Настроить > Измерение > Проверка с детекторной линией >Детекторная линия SL3000

25> Настроить > Измерение > Защита

26> Настроить > Измерение > Прочее

27> Настроить > Измерение > Вакуум > Вакуумные диапазоны

28> Настроить > Измерение > Вакуум > Автоматическое тестирование наналичие течи29

> Настроить > Измерение > Вакуум > Продувка

30> Настроить > Измерение > Вакуум > Продувка

31> Настроить > Измерение > ZERO и фильтр

32> Настроить > Сеть > Доступ клиента

33> Настроить > Сеть > Настройки LAN

34> Настроить > Сеть > Связанные клиенты

35> Настроить > Сеть > Настройки WLAN

36

> Настроить > Запросы ТО37> Настроить > Счетчик ТО

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

167 / 176

11 | Приложения

INFICON38> Настроить > Принадлежности > Шинный модуль

39> Настроить > Принадлежности > Выбор устройства

40> Настроить > Принадлежности > Модуль В/В > Протокол модуля I/O

41> Настроить > Принадлежности > Модуль В/В > Конфигурация
аналоговых выходов

42> Настроить > Принадлежности > Модуль В/В > Конфигурация
цифровых выходов

43> Настроить > Принадлежности > Модуль В/В > Конфигурация
цифровых входов

44> Настроить > Принадлежности > RC1000

45> Наборы параметров > Список параметров

46> Наборы параметров > Управление наборами параметров

47> Пороговые значения

11.1.3 Информация

168 / 1761

> Узлы > Ионный источник

2> Узлы > TMP

3> Узлы > Форвакуумный насос

4> Узлы > Предусилитель

5> Энергия > Мощность

6> Энергия > Напряжение (1)7> Энергия > Напряжение (2)8> Устройство > Часы работы

9> Устройство > MSB

10> Устройство > Сеть11

> Устройство > Идентификация

12> Справка > Ошибки и предупреждения

13> HYDRO•S

14> Калибровка

15> Значения измерений > Время работы

16> Значения измерений > Интенсивность утечки и давление

17> Значения измерений > Температура

18> Детекторная линия

19> Принадлежности > Шинный модуль

20> Принадлежности > Модуль В/В

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПриложения | 1111.2 Сертификат соответствия ЕС

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

169 / 176

11 | Приложения

INFICON11.3 Сертификат (TÜV Rheinland)

170 / 176

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПриложения | 11

11.4 RoHS

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

171 / 176Предметный указатель

INFICONПредметный указатель
Символы
Автоматический вход в систему
Включение

63Выключение

63Автоматическое тестирование на наличие течиВыбор режима работы

77Индикация результата

68Настройки

79Режим работы (определение)23Активация

105Активация дополнительной функции

105Браузер

163Вакуумные диапазоны
FINE

82

GROSS

82

MASSIVE

82

ULTRA

82

активировать для измерений

78Изменение пределов давления

82Включение

59Возможности управления

74Восстановление заводских установок

107Время вакуумирования, грубая утечка

72Время вакуумирования, измерения

72Выбор газа77Выбор режима продувки

85Выбор режима работы

77Выключение

108Выхлоп

35, 53Данные измерения
Формат экспорта

95экспорт по сети97Держатель для гелиевых баллонов

150Детекторная линия
Замена фильтра

137

Контроль давления

88Детекторная линия SL200

149Детекторная линия SL3000

150Диаграмма вакуума

107, 166Дистанционное управление RC1000

150

Допуски

61Заводские настройки

40

172 / 176Запрос калибровки

74Запросы ТО73Заявление о загрязнении

146Изменение аудионастроек

69Изменение громкости

69Изменение единиц измерения

69Изменение индивидуальных настроек

62Измерение нулевой точки

91Интервал технического обслуживания
Воздушный фильтр

73Фильтр наконечника щупа73Испытательная камера TC1000

151

Калибровка
Внешняя калибровка

90Внутренняя калибровка

90Исходное положение

89

с гелием в окружающем воздухе

91Кольцо круглого сечения с фильтром

35Машинный коэффициент

81Набор параметров
загрузить

103удалить

103Настройка внешней проверочной утечки

82Настройка пороговых значений

77Настройка языка

62Определения терминов

9Откачивание аргона
Пределы давления между вакуумными
диапазонами
Отображение значений температуры

82
99Отображение интенсивности утечки и давления
99Отображение максимальной интенсивности
утечки

29Отображение продолжительности работы

99Отображение фоновой интенсивности утечки

68Очистка

134Параметры пользователя
загрузить

62редактировать

62создать

61удалить

62

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

INFICONПредметный указатель

Переключение монитора

106Пересылка

142, 146

План технического обслуживания
Подавление фона

143

L
LAN
Активация клиент-доступа

10, 86, 87Подключение детекторной линии SL200

22, 35Подключение детекторной линии SL3000

22162, 165Конфигурирование прибора контроля утечек
161Настройки компьютера или планшетного ПКПоиск дистанционного управления (поисковый
вызов)

161

162

151

Поиск пульта ДУ RC1000 WL (поисковый вызов)
Права

151

O

61

Operator

165

P

61

Применение
Компьютер, планшетный ПКПроверка калибровки

91Проверка контрольной утечки

92

Proof

91

Программное обеспечение
Обновление основного прибора

104Обновление пользовательского интерфейса

Q
Qmax

29

104
Продувка

84Регенерация

86Режим работы «Sniff»

22, 77

Режим работы «Автоматическое тестирование наналичие течи»Режим работы «Вакуум»S
SMART-Spray
Supervisor

149, 160
61, 63

77
21, 77

Сенсорный монитор

28Сенсорный экран

32Символы

32Создание скриншота

141Технические характеристики

38Техническое обслуживание

134Уведомления

76Фоновый сигнал

10Функциональное описание

21Шинный модуль

160

U
User

61

W
WLAN
Активация клиент-доступа

163
162, 165Конфигурирование прибора контроля утечек
164Настройки компьютера или планшетного ПК
164

Z

H

ZERO

HYDRO•Sнастроить

80Определение

21применение

80

93Заводские настройки

83Кнопка

30

I
I/O-Modul

153

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)

173 / 176Предметный указатель

174 / 176

INFICON

UL3000-Fab-ULTRA-инструкция-по-эксплуатации-iinb73ru1-11-(2403)