Gebrauchsanleitung

inkl. EU-Konformitätserklärung

Gemini® MAG500, MAG504
Gemini® MAG550, MAG554
Cold Cathode Gauge

Gemini® MPG500, MPG504
Gemini® MPG550, MPG554
Cold Cathode Pirani Gauge
tina83d1-e(2024-07)

1

Inhalt
Produktidentifikation
Gültigkeit
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Funktion
Lieferumfang

4
5
6
7
7

1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und Gewährleistung

8
8
8
9
9

2 Technische Daten
2.1 Beziehung Messsignal – Druck
2.2 Gasartabhängigkeit MAG5xx
2.3 Gasartabhängigkeit MPG5xx

10
16
19
21

3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
3.2 Elektrischer Anschluss
3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig
3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig

24
24
29
30
31

4 Betrieb
4.1 Statusanzeige MAG50x
4.2 Statusanzeige MPG50x
4.3 MAG5xx in Betrieb nehmen
4.4 MPG5xx in Betrieb nehmen
4.5 Gasartabhängigkeit
4.6 Zündverzögerung
4.7 Verschmutzung
4.8 Schaltfunktionen SP1, SP2

32
32
33
34
34
35
36
37
38

5

Ausbau41

6 Instandhaltung, Instandsetzung
6.1 Messröhre abgleichen
6.2 Messröhre warten, Ersatzteile einbauen
6.2.1 Fehlerdiagnose an der Messkammer
6.2.2 Ionisationskammer und Zündhilfe ersetzen
6.2.3 Messkammer ersetzen
2

tina83d1-e

43
43
45
47
49
54
(2024-07)

6.3

Fehlerbehebung

56

7

Produkt zurücksenden

59

8

Produkt entsorgen

60

9

Optionen

61

10

Zubehör

61

11 Ersatzteile
11.1 Zündhilfe für MAG5xx und MPG5xx
11.2 Ionisationskammer für MAG5xx und MPG5xx
11.3 Messkammer kpl. (Ersatzsensor)
11.3.1 Messkammer kpl. für MAG5x0
11.3.2 Messkammer kpl. für MAG5x4
11.3.3 Messkammer kpl. für MPG5x0
11.3.4 Messkammer kpl. für MPG5x4

61
62
62
62
62
63
63
64

Literatur

65

ETL-Zertifikat

65

EU-Konformitätserklärung

66

UKCA-Konformitätserklärung

67

Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→  XY) verwendet, für Verweise auf weitere, im Literaturverzeichnis aufgelistete
Dokumente, das Symbol (→  [Z]).

tina83d1-e(2024-07)3

Produktidentifikation
Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes
erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein.

`

INFICON AG, LI-9496 Balzers
Model:
PN:
SN:

4

VDC

W

tina83d1-e(2024-07)

Gültigkeit
Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihen MAG5xx
und MPG5xx.

*) EtherCAT, PROFINET**) RS232/485

tina83d1-e(2024-07)5

Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer MxG50xMessröhre mit FCC-Stecker und Vakuumanschluss
DN 25 ISO-KF. Sie gelten sinngemäß auch für die anderen
Messröhren.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.

Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Gemini MAG500, MAG504, MAG550, MAG554
Die Cold Cathode Gauges Gemini MAG5xx erlauben die
Vakuummessung von Gasen im Druckbereich von
1×10-9 … 1×10-2 mbar.
Messröhren mit Messröhrenidentifikation können mit einem
INFICON Messgerät der VGC40x- / VGC50x-Serien betrieben
werden.

Gemini MPG500, MPG504, MPG550, MPG554
Die Cold Cathode Pirani Gauges Gemini MPG5xx erlauben die
Vakuummessung im Druckbereich von 1×10-9 … 1000 mbar.
Sie dürfen nicht für die Messung von leicht entzündbaren oderbrennbaren Gasen im Gemisch mit einem Oxidationsmittel (z. B:
Luftsauerstoff) innerhalb der Explosionsgrenzen verwendet
werden.
Messröhren mit Messröhrenidentifikation können mit einem
INFICON Messgerät der VGC40x- / VGC50x-Serien betrieben
werden.

6

tina83d1-e(2024-07)

Funktion
Gemini MAG500, MAG504, MAG550, MAG554
Eingesetzt wird ein Kaltkathoden-Ionisationsmesskreis (nachdem Prinzip des invertierten Magnetrons).
Das Messsignal ist über den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck abhängig.

Gemini MPG500, MPG504, MPG550, MPG554
Die Messröhre enthält zwei separate Messsysteme (PiraniMesssystem und Kaltkathoden-Messsystem nach dem Prinzip
des invertierten Magnetrons). Deren Signale sind so miteinander
verknüpft, dass ein Ausgangssignal zur Verfügung steht.
Das Messsignal ist über den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck abhängig.

Lieferumfang
1× Messröhre
1× Taststift (nur MPG-Messröhren)

tina83d1-e(2024-07)7

1

Sicherheit

1.1

Verwendete Symbole
GEFAHR
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art.

WARNUNG
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden.

Vorsicht
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten
kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen.
Aufdruck auf Typenschild: Aufforderung zur Konsultation
der Gebrauchsanleitung
Hinweis<…>1.2

Beschriftung

Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur
durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete
technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult worden sind.

8

tina83d1-e(2024-07)

1.3

Grundlegende Sicherheitsvermerke• Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die
Schutzmaßnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen der Prozessmedien
infolge Eigenerwärmung des Produkts (nur MPG5xx: PiraniHeizfaden 120 °C).
• Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmaßnahmen zulässig. Beachten Sie zudem die in diesem Dokument angegebenen
Sicherheitsvermerke.
• Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften undhalten Sie die Schutzmaßnahmen ein.
• Das Gerät darf nicht mit dem Internet verbunden werden.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer
weiter.

1.4

Verantwortung und Gewährleistung
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen• dieses Dokument missachten• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungenusw.) vornehmen• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber.

tina83d1-e(2024-07)9

Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder
Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B
Ionisationskammer, Zündhilfe, Pirani-Heizfaden (nur MPG5xx)),
fallen nicht unter die Gewährleistung.

2

Technische Daten
Weitere technische Daten für Messröhren mit serieller
Schnittstelle siehe jeweilige Kommunikationsanleitung
im Kapitel "Literatur",  65.
Messbereich (Luft, N2)MAG
MPG
Genauigkeit MAG (N2)
1×10-8 … 1×10-2 mbar
Genauigkeit MPG (N2)
1×10-8 … 100 mbar
100 … 1000 mbar
Wiederholbarkeit (N2)MAG, 1×10-8 … 1×10-2 mbar
MPG, 1×10-8 … 100 mbar
Gasartabhängigkeit
MAG
MPG

10

1×10-9 … 1×10-2 mbar
1×10-9 … 1000 mbar
30% des Messwertes
30% des Messwertes
50% des Messwertes
5% des Messwertes
5% des Messwertes→  19→  21

tina83d1-e(2024-07)

Spannungsbereich(Analogausgang)
Messbereich
3MAx-xxx-xxxN
3MAx-xxx-xxxQ
3MBx-xxx-xxxPBeziehung Messsignal-Druck
3MAx-xxx-xxxN
3MAx-xxx-xxxQ
3MBx-xxx-xxxP
Statussignal
Fehlersignal
3MAx-xxx-xxxN
3MAx-xxx-xxxQ
3MBx-xxx-xxxP

0 … +10.5 V

Ausgangsimpedanz

2 × 4.7 Ω, kurzschlussfest

Lastimpedanz
Sprungantwortzeit>1×10-6 mbar
1×10-6 … 1×10-8 mbar

≥10 kΩ, kurzschlussfest
druckabhängig
<100 ms≈1 s

Messröhrenidentifikation
3MAx-xxx-000N 1)
3MAx-xxx-000Q
3MBx-xxx-000P–
100 kΩ gegen Speisungserde
85 kΩ gegen Speisungserde

Statussignal (Digitalausgang)
FCC-Stecker
Belastbarkeit
Hochspannung ist EIN
Hochspannung ist AUS

1)

tina83d1-e+1.5 … +8.5 V (dc)
+0.667 … +10 V (dc)+1.397 … +8.6 V (dc)
1 V/Dekade, logarithmisch1.33 V/Dekade, logarithmisch
0.6 V/Dekade, logarithmisch
14.5 … 30 V (gezündet)<+0.5 V≤+0.3 V+9.5 … +10.5 V

100 mA (source)+14.5 … +30 V (dc) (abhängig
von Versorgungsspannung)
0 V (dc)

Für Betrieb mit VGC40x / VGC50x-Kontroller nicht geeignet.
(2024-07)

11

D-Sub-Stecker
Versorgungsspannung
Belastbarkeit
Hochspannung ist EIN
Hochspannung ist AUS≤30 V (dc)
100 mA (sink)
0 V (dc)
open

Hochspannungseinschaltung, low aktiv (Digitaleingang)
einschalten<2.5 V (dc)ausschalten>4.0 V (dc)
Hochspannungseinschaltung, high aktiv (Digitaleingang)
einschalten>11.0 V (dc)ausschalten< 5.0 V (dc)
Speisung

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV)
und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung(LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur
Messröhre ist abzusichern. 2)
Versorgungsspannung
an der Messröhre 3)
RippleLeistungsaufnahmeohne Feldbus-Schnittstelle
mit Feldbus-Schnittstelle
Sicherung vorzuschalten 2)

Klasse 2 / LPS+14.5 … +30 V (dc)
≤1 Vpp≤2 W≤2.5 W≤1 AT

Hochspannung in der Messkammer

2)
3)

12

INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
Die minimale Spannung des Speisegerätes muss proportional zur
Leitungslänge erhöht werden.
tina83d1-e(2024-07)

Zündspannung
Betriebsspannung
Strom in der Messkammer
3Mxx-x0x-xxxx
3Mxx-x1x-xxxx
Anschluss elektrisch
3Mxx-xxx-00xx
3Mxx-xxx-01xx 1)
Messkabelfür FCCfür D-Sub, 9-polig
Kabellänge (nur für FCC)
Erdkonzept
Vakuumanschluss –Signalerde
Speisungserde – Signalerde
Werkstoffe gegen Vakuum
Vakuumanschluss
Messkammer
Pirani-Heizfaden (MPG5xx)
Durchführung, MAG/MPG5x0
Isolation
Ring
Anode
Pin
Durchführung, MAG/MPG5x4
Anode
Ionisationskammer
3Mxx-0xx-xxxx
3Mxx-1xx-xxxx
Zündhilfe

tina83d1-e(2024-07)≤4.5 kV≤3.3 kV
Hochstrom
Niederstrom
FCC 68, 8-polig
D-Sub, 9-polig
8-polig, abgeschirmt
9-polig, abgeschirmt≤50 m (0.14 mm2/Ader)→ "Elektrischer Anschluss"über 10 kΩ verbunden(Potenzialdifferenz ≤16 V)
getrennt geführt; wir empfehlen differentielle Messung
Edelstahl (1.4435)
Edelstahl (1.4435)
W
Glas, Keramik (Al2O3)
Edelstahl (1.4435)
Molybdän
Ni-Legierung
Keramik beschichtet
Molybdän
Edelstahl (1.4301, 1.4016)
Titan
Edelstahl (1.4310)

13

Inneres Volumen
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
DN 40 CF-R
Maximaldruck (absolut)
Berstdruck (absolut)
Zulässige Temperaturen
Betrieb
Pirani-Heizfaden (MPG)
Ausheizen
Lagerung
Relative Feuchte, Jahresmittel
an 30 Tagen pro Jahr
1×10-8 … 1×10-2 mbar
1×10-7 … 1×10-2 mbar
Einbaulage
Verwendung
Verschmutzungsgrad
Schutzart
Gewicht
Ohne Feldbus-Schnittstelle
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F und CF-R
Mit Feldbus-Schnittstelle
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F und CF-R

4)

14

≈19.9 cm3
≈20.9 cm3
≈25.2 cm3
≈25.6 cm3

10 bar beschränkt auf inerte
Gase <55°C>13 bar+5 °C … +55 °C
120 °C≤150 °C 4)–40 °C … +70 °C≤70% (nicht kondensierend)≤95% (nicht kondensierend)
beliebignur in Innenräumen,
Höhe bis zu 6000 m NN2
IP 40≤280 g≤320 g≤570 g≤500 g≤530 g≤780 gOhne Elektronikeinheit.
tina83d1-e(2024-07)

60

Abmessungen MxG50x [mm]D-Sub9-polig

FCC 688-polig

ST

E 0 2
C
4
A 8 6

HV-ST
E 0 2
C
4
A 8 6

DIA

CAL

DIA

CAL

44

23

15

44

DN 40 CF-R

DN 40 ISO-KF

23

17

DN 25 ISO-KF

44

ADJ
HV-ST

44

79

ST
ADJ

DN 40 CF-F

Abmessungen MxG55x mit serieller Schnittstelle siehe jeweilige
Kommunikationsanleitung im Kapitel "Literatur",  65.

tina83d1-e(2024-07)

15

2.1

Beziehung Messsignal – Druck
Messbereich 1.5 … 8.5 V (3MAx-xxx-xxxN)
Druck p
1E+00

Pa

1E–01

torr

1E–05
1E–06

overrange

1E–04

underrange

mbar

1E–03

sensor error

1E–02

1E–07
1E–08
1E–09
1E–10
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0

Messsignal U [V]p = 10(U-c)
Gültig im Bereich

c
wobei

16

U = c + log10 p⇔

1×10-9 mbar < p < 1×10-2 mbar
7.5×10-10 Torr < p < 7.5 ×10-3 Torr
1×10-7 Pa < p < 1 Pa
mbar

Pa

Torr

10.5

8.5

10.625p Druck
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)

tina83d1-e(2024-07)

Messbereich 0.667 … 10 V (3MAx-xxx-xxxQ)
Druck p
1E+00

Pa

1E–01

mbar

underrange

1E–02

1E–04

torr

overrange

1E–03

1E–07
1E–08

sensor error

1E–05
1E–06

1E–09
1E–10
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5
0.667

Messsignal U [V]p = 10(U-c)/1.33
Gültig im Bereich

c
wobei

tina83d1-e

U = c + 1.33 log p⇔

1×10-9 mbar < p < 1×10-2 mbar
7.5×10-10 Torr < p < 7.5 ×10-3 Torr
1×10-7 Pa < p < 1 Pa
mbar

Pa

Torr

12.66

10

12.826p Druck
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)(2024-07)

17

Messbereich 1.397 … 8.6 V (3MBx-xxx-xxxP)
Druck p
Pa

1E+04

mbar
torr

1E+02

sensor error

overrange

1E–02

underrange

1E+00

1E–04

1E–06

1E–08
1E–09
0.0 0.5
1.217 1.397

2.5

3.5

p = 101.667U-d
Gültig im Bereich

c
d
wobei

18

p
U
c,d

4.5

5.5

6.5

Messsignal U [V]

7.5

8.5
8.6

9.5

10.5

U = c + 0.6 log p⇔

1×10-9 mbar < p < 1000 mbar
7.5×10-10 Torr < p < 750 Torr
1×10-7 Pa < p < 1×105 Pa
mbar

Pa

Torr

6.798
11.33

5.598
9.333

6.873
11.46

Druck
Messsignal
Konstante (abhängig von der Druckeinheit)

tina83d1-e(2024-07)

2.2

Gasartabhängigkeit MAG5xx
Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft)p [mbar]
4

Xe Kr

2

Luft
O2
CO
Ar N2 H2Ne He

10–3
8
6
4
2

10–4
8
6
4
2

10–5
8
6
4
2

10–6
8
6
4
2

10–7
10–7 24 6 10–6 2

4 6 10–5 2

4 6 10–4 2peff [mbar]

4 6 10–3 2

4 6 10–2

Anzeigebereich unter 10-5 mbar
Im Bereich unter 10-5 mbar ist die Anzeige linear. Für andere
Gase als Luft kann der Druck durch eine einfache Umrechnung
ermittelt werden:
peff = K × angezeigter Druck

tina83d1-e(2024-07)19

wobei:

GasartK

Luft (N2, O2, CO)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He

1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9

Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte.
Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen
zu tun. Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur
mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem
Quadrupol-Massenspektrometer.

20

tina83d1-e(2024-07)

2.3

Gasartabhängigkeit MPG5xx
Messbereich von 102 … 10-2 mbar (reiner Pirani-Betrieb)
Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft)p [mbar]

102

H2 He

8
6
4
2

Luft
N2
O2
CO

Ne

Anzeigenbereichüber 10-2 mbar

101
8
6
4

CO2
Ar
Freon 12
Kr

2

Xe

100
8
6
4
2

10–1
8
6
4
2

H2O-Dampf

10–2
10–3 2

tina83d1-e

4 6 810–2 2(2024-07)

4 6 810–1 2

4 6 8100 2

4 6 8101 2

4 6 8102

peff [mbar]

21

Messbereich von 10-6 … 0.1 mbar
Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft)p (mbar)

10–1
8
6
4
2

10–2

Anzeigenbereich
10-6 ... 10-1 mbar

8
6
4

Ar

2

10–3
8
6
4

Luft
N2
O2
CO

2

10–4
8
6
4

He

2

10–5
8
6
4
2

10–6
10–6 24 6 810–5 2

4 6 810–4 2

4 6 810–3 2

4 6 810–2 2

4 6 810–1

peff (mbar)

Messbereich unter 10-5 mbar
Im Bereich unter 10-5 mbar ist die Anzeige linear. Für andere
Gase als Luft kann der Druck durch eine einfache Umrechnung
ermittelt werden:
peff = K × angezeigter Druck22

tina83d1-e(2024-07)

wobei:

GasartK

Luft (N2, O2, CO)
Xe
Kr
Ar
H2
Ne
He

1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9

Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte.
Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen
zu tun. Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur
mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem
Quadrupol-Massenspektrometer.

tina83d1-e(2024-07)23

3

Einbau3.1

Vakuumanschluss
GEFAHR
Ausströmendes Prozessmedium
Starke mechanische, chemische oder thermische
Beanspruchung kann Lecks im Messsensor verursachen. Dies kann bei Überdruck im Vakuumsystem zu Gefahren durch ausströmende Prozessmedien führen.
• Starke mechanische, chemische oder thermische Beanspruchung und Überdruck im Vakuumsystem vermeiden.
• Durch geeignete Maßnahmen (z.B. Gaszufuhr
unterbrechen, Absaugung, Lecktest) sicherstellen, dass durch ausströmende Prozessmedien
keine Gefahren oder Schäden entstehen.

GEFAHRÜberdruck im Vakuumsystem >1 barÖffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.

24

tina83d1-e(2024-07)

GEFAHRÜberdruck im Vakuumsystem >2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtungen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.

GEFAHR
Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im
Störungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten
Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindungmuss den Anforderungen einer Schutzverbindungnach EN 61010 entsprechen:• CF-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.
• Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender
Spannring zu verwenden.

Vorsicht
Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

tina83d1-e(2024-07)

25

Vorsicht
Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen.
Die Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Vibrationen an
der Messröhre führen im Allgemeinen zu Abweichungen der
Messwerte.
Die Einbaulage ist frei wählbar. Zu bevorzugen ist eine waagrechte bis stehende Lage, damit Kondensate und Partikel nicht
in die Messkammer gelangen können.
Bei potenziell verschmutzenden Anwendungen und zum Schutz
des Messsystems vor Verschmutzung wird empfohlen, eine
Dichtung mit Zentrierring und Filter einzubauen (Optionen→  61).

26

tina83d1-e(2024-07)

Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem anschließen.
Dichtung mit
Zentrierringoder

Schutzkappe
Spannelement

Dichtung mit
Zentriering und Filter

Schutzkappe aufbewahren.

tina83d1-e(2024-07)

27

Bei der Montage an CF-Flanschen kann es vorteilhaftsein, die Elektronikeinheit vorübergehend zu entfernen.

Innensechskant SW 2

Schutzkappe

Schutzkappe aufbewahren.

28

tina83d1-e(2024-07)

3.2

Elektrischer Anschluss
Die Messröhre muss ordnungsgemäß an der Vakuumapparatur angeschlossen sein (→  24).

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV)
und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung(LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur
Messröhre ist abzusichern. 5)
Erdschleifen, Potentialunterschiede oder EMV können
das Messsignal beeinflussen. Für beste Signalqualität
beachten Sie bitte die folgenden Einbauhinweise:• Kabel mit Geflechtsschirm und metallischem Steckergehäuse verwenden.
• Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutzerde verbinden.
• Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte
Signal- und Speisungserde).
• Potentialdifferenz zwischen Speisungserde undGehäuse ≤6 V (Überspannungsschutz).

5)

tina83d1-e

INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
(2024-07)29

3.2.1

Stecker FCC 68, 8-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen.
+–

High aktiv
Low aktiv
Signal

4.7
4.7
Ident

Elektrischer Anschluss
Pin 1 Speisung (14.5 … 30 V (dc))
Pin 2 Speisungserde GND
Pin 3 Signalausgang (Messsignal)
Pin 4 Messröhrenidentifikation
Pin 5 SignalerdePin 6 Statussignal
Pin 7*) Hochspannung ein/aus (Low aktiv)
Pin 8*) Hochspannung ein/aus (High aktiv)*)

30

Nur MAG. Bei der MPG sind Pin 7 und 8
nicht belegt.

HS ein

8
7
6
3
5
4
1
2

HS ein
+
–
+
–

1
8

FCC 688-polig

tina83d1-e(2024-07)

3.2.2

Stecker D-Sub, 9-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen.

Elektrischer Anschluss
Pin 1*) Hochspannung ein/aus (Low aktiv)
Pin 2 Speisungserde GND
Pin 3 Signalausgang (Messsignal)
Pin 4 Speisung (14.5 … 30 V (dc))
Pin 5 nicht belegt
Pin 6 nicht anschließen
Pin 7 SignalerdePin 8 nicht belegt
Pin 9 Statussignal*)

tina83d1-e

5

9

1

6

D-Sub
9-polig
Buchsenlötseitig

Nur MAG. Bei der MPG ist Pin 1 nicht
belegt.

(2024-07)31

4

Betrieb

4.1

Statusanzeige MAG50x
Versorgungsspannung
Fehler
ST
ADJ
HV-ST

Kalibrierwert

<ST>

E 0 2
C
4
A 8 6

DIA

CAL

LED
<HV-ST>

Hochspannung
KaltkathodeNur für
Werkseinstellung

Bedeutung

aus

aus

Keine Versorgungsspannung

leuchtetgrün

ausVersorgungsspannung = ok,
Kaltkathode aus

leuchtetgrünblinktgrün

Versorgungsspannung = ok,
Druck im Kaltkathodenbereich, Kaltkathode nicht gezündet

leuchtetgrün

leuchtet
grün

Kaltkathode gezündet

blinktrot

aus

EEPROM-Fehler

Fehlerbehebung →  57.
Statusanzeige MAG55x →  [2].

32

tina83d1-e(2024-07)

4.2

Statusanzeige MPG50x
Versorgungsspannung
Fehler
ST
ADJ
HV-ST

Kalibrierwert

<ST>

E 0 2
C
4
A 8 6

DIA

CAL

LED
<HV-ST>

Hochspannung
KaltkathodeNur für
Werkseinstellung

Bedeutung

aus

aus

Keine Versorgungsspannung

leuchtetgrün

ausVersorgungsspannung = ok,
Pirani aktiv, Kaltkathode aus

leuchtetgrünblinktgrün

Versorgungsspannung = ok,
Druck im Kaltkathodenbereich, Kaltkathode nicht gezündet

leuchtetgrün

leuchtet
grün

Kaltkathode gezündet

leuchtetrotaus

Messsystem-Fehler

blinktrot

aus

EEPROM-Fehler

Fehlerbehebung →  58.
Statusanzeige MPG55x →  [2].

tina83d1-e(2024-07)

33

4.3

MAG5xx in Betrieb nehmen
Vorsicht
Schalten Sie die Messröhre/Hochspannung nur bei
Drücken <10-2 mbar ein, um eine übermäßige Verschmutzung zu vermeiden.
Bei INFICON-Messgeräten mit mindestens zwei
Messröhrenanschlüssen kann die KaltkathodenMessröhre beispielsweise durch eine Pirani-Messröhre gesteuert werden.

MAG50x mit FCC-Stecker
Nach dem Anlegen der Speisespannung und dem Einschaltender Hochspannung über Pin 7 (low aktiv) oder Pin 8 (high aktiv)
steht am Signalausgang das Messsignal zur Verfügung.

MAG5xx mit D-Sub-Stecker
Nach dem Anlegen der Speisespannung und dem Einschaltender Hochspannung über Pin 1 (D-Sub 9-polig, low aktiv), oderüber Pin 8 (D-Sub HD 15-polig, low aktiv), steht am Signalausgang das Messsignal zur Verfügung.

4.4

MPG5xx in Betrieb nehmen
Nach dem Anlegen der Speisespannung steht am Signalausgang das Messsignal zur Verfügung (→  30).
Eine Stabilisierungszeit von ≈10 Minuten ist zu beachten. Daher
sollte die Messröhre, unabhängig vom anliegenden Druck, immer eingeschaltet bleiben.

34

tina83d1-e(2024-07)

Messprinzip, Messverhalten
Die Messröhre enthält zwei separate Messsysteme (PiraniMesssystem und Kaltkathoden-Messsystem nach dem Prinzip
des invertierten Magnetrons). Deren Signale sind so miteinander
verknüpft, dass ein Ausgangssignal zur Verfügung steht.
Es wird die für den jeweiligen Druckbereich optimale Messkonfiguration verwendet:
1000 mbar

10-3 mbar

Kaltkathode1×10-9 mbar

Pirani10-2 mbar• Der Pirani-Messkreis ist immer eingeschaltet• Der durch den Pirani-Messkreis gesteuerte KaltkathodenMesskreis wird erst bei Drücken p < 1×10-2 mbar aktiviert
Solange der Kaltkathoden-Messkreis nicht gezündet hat, gibt der
Signalausgang den reinen Pirani-Messwert wieder.

4.5

Gasartabhängigkeit
Das Messsignal ist gasartabhängig. Der Messwert gilt für
trockene Luft, O2, CO und N2. Für andere Gase ist er umzurechnen:• (MAG5xx →  19)• (MPG5xx →  21).
Wird die Messröhre mit einem INFICON-Messgerät betrieben,
kann für diese Fälle ein Kalibrierfaktor zur Korrektur des angezeigten Messwerts eingegeben werden (→  des entsprechenden Messgeräts).

tina83d1-e(2024-07)

35

4.6

Zündverzögerung
Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eine Zündverzögerung. Sie nimmt bei tieferen Drücken zu und beträgt fürsaubere, entgaste Messröhren typischerweise bei:
1×10-5 … 1×10-2 mbar
1×10-7 … 1×10-5 mbar
5×10-9 … 1×10-7 mbar
<5×10-9 mbar

< 1
<20
< 2
<20

SekundeSekunden
MinutenMinuten

Die Zündung ist ein statistischer Prozess, der bereits durch geringe Ablagerungen auf den inneren Oberflächen stark beeinflusst werden kann.

Nur MPG5xx
Solange der Kaltkathoden-Messkreis nicht gezündet hat, gibt der
Signalausgang den reinen Pirani-Messwert wieder. Der Statusausgang (= 0 V) signalisiert reinen Pirani-Betrieb.
Falls die Hochspannung bei einem Druck p < 3×10-9
eingeschaltet wird, kann die Messröhre nicht erkennen,
ob das Kaltkathodensystem gezündet hat.
Halten Sie die angeflanschte Messröhre unabhängig
vom Druckbereich ständig in Betrieb. Dadurch ist die
Zündverzögerung des Kaltkathoden-Messkreises vernachlässigbar (<1 Sekunde) und thermische Stabilisierungseffekte sind minimiert.

36

tina83d1-e(2024-07)

4.7

Verschmutzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder
Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B
Ionisationskammer, Zündhilfe, Pirani-Heizfaden (MPG5xx)),
fallen nicht unter die Gewährleistung.
Die Verschmutzung der Messröhre ist abhängig von der Art derProzessmedien, eventuell vorhandenen oder neu entstehenden
Verunreinigungen und deren Partialdruck. Dauernder Betrieb im
Bereich 10-4 mbar … 10-2 mbar kann zu starker Verschmutzung
und zu kurzen Standzeiten führen.
Eine Verschmutzung der Messröhre führt im Allgemeinen zu
Abweichungen der Messwerte:• Nur MPG5xx: Im Bereich der hohen Drücke(1×10-3 mbar … 0.1 mbar) ergibt sich eine zu hohe Druckanzeige (Verschmutzung des Piranielements). Neuabgleich desPirani-Messsystems →  43.
• Im Bereich der tiefen Drücke (p < 1×10-3 mbar) ergibt sich imAllgemeinen eine zu tiefe Druckanzeige (Verschmutzung desKaltkathodensystems). Bei starker Verschmutzung treten
auch Instabilitäten auf (Ablösen von Schichten in der Messkammer). Bei Verschmutzung durch isolierende Schichten ist
sogar ein völliges Verlöschen der Gasentladung möglich.
Das Maß der Verschmutzung kann in begrenztem Rahmen
beeinflusst werden:• Durch geometrische Schutzmaßnahmen (z. B. Abschirmbleche, Krümmer) für sich in gerader Linie ausbreitende
Teilchen.
• Durch gezielte Wahl der Messröhren-Flanschposition aneinem Ort, wo der Partialdruck der Verunreinigung minimal
ist.
Bei Dämpfen, die sich im Plasma (z. B. des Kaltkathoden-Messsystems) abscheiden, ist besondere Vorsicht geboten. Notfalls
die Messröhre während der Anwesenheit der Dämpfe abschalten oder durch ein Ventil abschotten.

tina83d1-e(2024-07)

37

4.8

Schaltfunktionen SP1, SP2
Die zwei Schaltpunkte sind in folgenden Druckbereichen einstellbar:• MAG55x: 1×10-9 … 1×10-2 mbar
• MPG55x: 1×10-9 … 1000 mbar
Für jeden Schaltpunkt steht ein Relais zur Verfügung.
Das Schaltverhalten, die Hysterese und der Schwellwert desjeweiligen Schaltpunktes können über die Feldbus-Schnittstelle
programmiert werden (siehe jeweilige Kommunikationsanleitung
im Kapitel "Literatur",  65).

Schaltverhalten und Hysterese
Low Trip Point (ab Werk)
Ist der Druck im Vakuumsystem niedriger als der eingestellte
Schwellwert, leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>)
und das entsprechende Relais ist geschlossen.
Messsignal(Druck p)

ert
Messw

Schaltpunkt

Hysterese(10% des Schwellwertes)
Schwellwert

Zeit t
Aus

Ein

Aus

Die Schaltpunkte SP1 und SP2 sind ab Werk an der unteren
Messbereichsgrenze eingestellt, sodass sie nicht schalten.

38

tina83d1-e(2024-07)

High Trip Point
Ist der Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte
Schwellwert, leuchtet das jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>)
und das entsprechende Relais ist geschlossen.
Messsignal(Druck p)

Schwellwert

Schaltpunkt

Hysterese(10% des Schwellwertes)

Messw
e rt
Zeit tAus

tina83d1-e(2024-07)

Ein

Aus

39

High & Low Trip Point
Dem jeweiligen Schaltpunkt ist gleichzeitig ein High Trip Point
und ein Low Trip Point zugeordnet. Ist beim High Trip Point der
Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte Schwellwert,
leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>) und das entsprechende Relais ist geschlossen. Ist beim Low Trip Point der
Druck niedriger als der eingestellte Schwellwert, leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>) und das entsprechende Relais
ist geschlossen.
Messsignal(Druck p)

Schwellwert
Hysterese(10% des Schwellwertes)

Schaltpunkt

High Trip Point

Hysterese(10% des Schwellwertes)
Schwellwert

Schaltpunkt
Low Trip Point

Zeit t
Aus

40

Ein

Aus

Ein

Aus

tina83d1-e(2024-07)

5

AusbauGEFAHR
Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

Vorsicht
Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

Vorsicht
Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen.

 Vakuumsystem belüften.
tina83d1-e(2024-07)

41

 Messröhre außer Betrieb setzen und Messkabel
ausziehen.

 Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutzkappe aufsetzen.

Bei der Demontage von CF-Flanschen kann es
vorteilhaft sein, die Elektronikeinheit vorübergehend zu entfernen (→  28).

Dichtung mit Zentrierring

Schutzkappe
Spannelement42

tina83d1-e(2024-07)

6

Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzungoder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B Ionisationskammer, Zündhilfe, Pirani-Heizfaden (MPG5xx)), fallen nicht unter die Gewährleistung.
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten
selber ausführen.

6.1

Messröhre abgleichen
MAG5xxDie Messröhre ist ab Werk abgeglichen und wartungsfrei. Bei
Defekten• nur die Ionisationskammer und die Zündhilfe, oder
• die Messkammer kpl. (Ersatzsensor) ersetzen.

MPG5xx
Der für den tiefen Druckbereich (<1×10-3 mbar) dominante Kaltkathoden-Messkreis ist werksseitig fest abgeglichen. Der HVAbgleich des Pirani-Messkreises erfolgt automatisch während
des Betriebs bei Drücken <1×10-5 mbar. Der neue Nullpunktwert
wird alle 15 Minuten stromausfallsicher gespeichert. Beim Abgleichen wird der Druckbereich zwischen etwa 10-2 mbar und
102 mbar kaum beeinflusst.
Langzeitbetrieb, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme Temperaturen, Alterung oder Verschmutzung können im Pirani-Messkreis zu einer Nullpunktverschiebung führen
und periodisch einen manuellen Abgleich erfordern oder eine
Reinigung notwendig machen.
Ein manueller HV-Abgleich ist erforderlich (→ , ), wenn die
Messröhre Drücke <10-2 mbar nicht mehr ausgibt.
tina83d1-e(2024-07)43

Den Abgleich bei den gleichen, konstanten Umgebungsbedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei der die
Messröhre normalerweise verwendet wird.
Der Abgleich kann erfolgen über• den <ADJ> Taster an der Messröhre,• den Diagnostik Port (→  [1]),• die RS232C/485C-Schnittstelle (→  [1]),• die Feldbus-Schnittstelle (→  [2], [3]).

 Eventuell eingesetzte Dichtung mit Zentrierring und Filter
auf Verschmutzung prüfen und nötigenfalls ersetzen(→ "Ausbau").

 Messröhre in Betrieb nehmen und mindestens 10 Minuten
bei Atmosphärendruck betreiben.

 Für den ATM-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift (max.
ø1.1 mm) kurz drücken, oder …

ATM
HV… den Abgleich über den Diagnostik Port oder über dieserielle Schnittstelle durchführen.
Der Pirani-Sensor gleicht auf 1000 mbar ab (Dauer ≈5 s).

44

tina83d1-e(2024-07)

Wird am Messsignalausgang der Druck 1000 mbar
ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich. Andernfalls den Abgleich wiederholen.

 Vakuumsystem auf p <10 mbar evakuieren, anschließend-5mind. 2 Minuten warten.

 Für den HV-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift kurz
drücken (Dauer des Abgleichs ≈5 s).

Wird am Messsignalausgang ein Druck <1×10-5 mbar
ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich. Andernfalls den Abgleich wiederholen.

6.2

Messröhre warten, Ersatzteile einbauen
Bei starker Verschmutzung oder Defekt (z. B. PiraniHeizfadenbruch (MPG5xx)) die komplette Messkammer
austauschen (Ersatzteile →  61).

GEFAHR
Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

tina83d1-e(2024-07)45

Vorsicht
Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

Vorsicht
Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen.

GEFAHR
Reinigungsmittel
Reinigungsmittel können zu Gesundheits- und Umweltschäden führen.
Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen bezüglich deren Handhabung und Entsorgung einhalten. Mögliche Reaktionen mit den Produktwerkstoffen (→  13) berücksichtigen.

Voraussetzung
Messröhre ausgebaut.

46

tina83d1-e(2024-07)

6.2.1

Fehlerdiagnose an der Messkammer
Wird die Ursache einer Störung in der Messkammer selber vermutet, lässt sich mit einem Ohmmeter zumindest eine grobe
Diagnose durchführen.

Benötigtes Werkzeug / Material• Innensechskantschlüssel SW 2
• Zange für Sicherungsring• Ohmmeter

5
4
3

2
1

 Gewindestift (4) lösen und die komplette Messkammer (3)aus der Elektronikeinheit (5) entfernen.

 Sicherungsring (1) und Ionisationskammer (2) aus der
Messkammer (3) entfernen.

tina83d1-e(2024-07)47

 Ionisations- und Messkammer auf Verschmutzung prüfen:• Nur Ionisationskammer verschmutzt: Ionisationskammer
ersetzten (→  49)• Messkammer stark verschmutzt: Komplette Messkammer ersetzten (→  54).

 An den Kontaktstiften der Messkammer mittels Ohmmeter
folgende Messungen durchführen.
MessungzwischenStiftenMöglicheUrsache1+4

39.5 … 40.5 Ω(bei 20 °C)

Werte außerhalb des Bereiches

Unterbruch PiraniFilament

1+21000 … 1100 Ω(bei 20 °C)

Werte außerhalb des Bereiches

Unterbruch Pirani
Temperaturfühler

5 + Messkammer∞<<∞

Verschmutzung,Kurzschluss Kaltkathode

2

3

1

4

5
Messkammer

Diese Fehler erfordern den Austausch der kompletten
Messkammer (→  54).

 Wir empfehlen einen Lecktest durchzuführen (Leckrate<1×10-9 mbar l/s).

48

tina83d1-e(2024-07)

6.2.2

Ionisationskammer und Zündhilfe ersetzen
Voraussetzung
Fehlerdiagnose an der Messkammer durchgeführt (→  47).

 Bei Verschmutzung die Zündhilfe mit dem Demontagewerkzeug entfernen (Zubehör →  61).

 Ein Scotch-Brite in das Montagewerkzeug einführen …

tina83d1-e(2024-07)

49

… und Anode vorsichtig blank reiben.

Anode nicht verbiegen.

 Ein Scotch-Brite in das Montagewerkzeug einführen …

50

tina83d1-e(2024-07)

… und die Innenwandungen der Messkammer vorsichtig
blank reiben.

Anode nicht verbiegen.

 Wir empfehlen die Innenwandungen der Messkammer bis
zur Nut des Sicherungsringes mit einem Poliertuch blankzu reiben.
• Dichtfläche nur konzentrisch bearbeiten• Anode nicht verbiegen Messkammer mit Industriealkohol spülen und trocknen
lassen.

tina83d1-e(2024-07)

51

 Neue Zündhilfe mit der flachen Seite nach oben in das
Montagewerkzeug einlegen …

… und vorsichtig bis zum mechanischen Anschlag auf die
Anode schieben.

52

tina83d1-e(2024-07)

 Partikel in der Messkammer mit trockenem Stickstoff

ausblasen (und dabei die Messkammer mit dem Flanschnach unten halten).

 Neue Ionisationskammer (2) bis zum mechanischen An-

schlag in die Messkammer (3) schieben und Sicherungsring (1) montieren (Ersatzteile →  61).

 Wir empfehlen einen Lecktest (Leckrate <1×10 mbar l/s)
-9durchzuführen.

 Messkammer kpl. (3) vorsichtig bis zum mechanischen Anschlag in die Elektronikeinheit (5) schieben …

Pins gerade
ausgerichtet.

tina83d1-e(2024-07)

53

5
4
3

… und mit dem Gewindestift (4) arretieren.

6.2.3

Messkammer ersetzen
Voraussetzung
Fehlerdiagnose an der Messkammer durchgeführt (→  47).

 Am <CAL> Schalter der Elektronikeinheit (5) den Kalibrierwert des Ersatzsensors einstellen.

ST

E 0 2
C
4
A 8 6

8

54

ADJ
HV-ST
E 0 2
C
4
A 8 6

5

DIA

CAL

Kalibrierwert
Ersatzsensor(Messkammer kpl.)

tina83d1-e(2024-07)

 Messkammer kpl. vorsichtig bis zum mechanischen Anschlag in die Elektronikeinheit (5) schieben.
Pins gerade ausgerichtet.

543

 Messkammer (3) mit dem Gewindestift (4) arretieren.
 MPG5xx Messröhre: Manuellen ATM- und HV-Abgleich
des Pirani-Messkreises durchführen (→  44).

Ein Abgleich der MAG5xx-Messröhre ist nicht erforderlich.

tina83d1-e(2024-07)

55

6.3

Fehlerbehebung
Ist ein Fehler aufgetreten, empfehlen wir, die Versorgungsspannung auszuschalten und nach 5 s wieder
einzuschalten.

56

tina83d1-e(2024-07)

tina83d1-e(2024-07)

57

leuchtetgrün
leuchtetgrün

leuchtetgrünblinktrotleuchtetgrün

Spannung am Signalausgang
0.15 V

Spannung am Signalausgang
1.2 V (3MAx-xxx-xxxN)
0.4 V (3MAx-xxx-xxxQ)

Spannung am Signalausgang
dauernd< 0.3 V (3MAx-xxx-xxxN)< 0.5 V (3MAx-xxx-xxxQ).

Signal dauernd bei ca. 5×10-4
mbar.

aus

LED
<ST>

Messsignal instabil.

Keine Spannung am Signalausgang.

Störung

14.5 …
30 V

Messkammer stark verschmutzt.

EEPROM-Fehler.

0

ausleuchtet
grün

Gasentladung hat nicht
gezündet.

Messkammer kpl. ersetzen (→  54).

Messröhre austauschen.

Messröhre ausschalten
und nach 5 s wieder einschalten.

Warten, bis Gasentladung
zündet (≈5 Minuten bei
einem Druck von
10-9 mbar).

Auf <1×10-2 mbar abpumpen und Röhre via"HV ein" aus- und wieder
einschalten.

Überdruck in Messkammer.

0

Hochspannung einschalten (→  30).

Keine Hochspannung inder Messkammer.

0

Ionisationskammer oder
Messkammer kpl. ersetzen (→  49, 54).

Speisung einschalten.

Behebung

Messröhre verschmutzt.

Speisung fehlt.

Mögliche Ursache

00

Statussignal

blinktgrün

ausleuchtet
grün

aus

LED
<HV-ST>

58

tina83d1-e(2024-07)

leuchtetgrün
leuchtetrotSpannung am Signalausgang
dauernd > 5.6 V.

Spannung am Signalausgang
dauernd > 9.5 V.

Signal dauernd bei ca. 5×10-4
mbar.

leuchtetgrün

Spannung am Signalausgang
geht nicht <4.82 V.

leuchtetgrünblinktrotleuchtet
grün

aus

LED
<ST>

Messsignal instabil.

Keine Spannung am Signalausgang.

Störungleuchtet
grün

aus

aus

aus

blinktgrün

leuchtet
grün

aus

LED
<HV-ST>

14.5 …
30 V

0

0

0

0

0

0

Statussignal

Warten, bis Gasentladung
zündet (≈5 Minuten bei
einem Druck von
10-9 mbar).

Ionisationskammer oder
Messkammer kpl. ersetzen (→  49, 54).

Speisung einschalten.

Behebung

Messkammer stark verschmutzt.

EEPROM-Fehler.

Pirani defekt.

Messkammer kpl. ersetzen (→  54).

Messröhre austauschen.

Messröhre ausschalten
und nach 5 s wieder einschalten.

Messkammer kpl. ersetzen (→  54).

Pirani Nullpunktverschie- Manuellen HV-Abgleichbung.
durchführen (→  45).

Gasentladung hat nicht
gezündet.

Messröhre verschmutzt.

Speisung fehlt.

Mögliche Ursache

7

Produkt zurücksenden
WARNUNG
Versand kontaminierter Produkte
Kontaminierte Produkte (z. B. radioaktiver, toxischer, ätzender oder mikrobiologischer Art) können
Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei
von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung *) beilegen.
*)

Formular unter www.inficon.com

Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte
werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.

tina83d1-e(2024-07)59

8

Produkt entsorgen
GEFAHR
Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmeneinhalten.

WARNUNG
Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Umweltschäden verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäß den örtlichen
Vorschriften entsorgen.

Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in folgende Kategorien zu unterteilen:• Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch, usw.) müssen entsprechend den länderspezifischen
Vorschriften dekontaminiert, entsprechend ihrer Materialartgetrennt und entsorgt werden.
• Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen
und der Wiederverwertung zuzuführen.

60

tina83d1-e(2024-07)

9

Optionen
Bestellnummer
Dichtung mit Zentrierring und Feinfilter,
DN 25 ISO-KF (Edelstahl)

10211-098

Baffle (optisch dicht) mit Zentrierring undDichtung, DN 25 ISO-KF

211-113

Baffle, DN 25 ISO-KF, DN 40 ISO-KF,
DN 40 CF-x

353-512Zubehör
Bestellnummer
Montage- / Demontagewerkzeug für Zündhilfe

11351-550

Ersatzteile
Bestellen Sie Ersatzteile immer mit:
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Ersatzteilliste

tina83d1-e(2024-07)

61

11.1

Zündhilfe für MAG5xx und MPG5xx
Bestellnummer
Zündhilfe (10 Stück)

11.2

351-995

Ionisationskammer für MAG5xx und MPG5xx
Bestellnummer
351-555

Ionisationskammer Edelstahl
Ionisationskammer Titan

11.3

351-556

Messkammer kpl. (Ersatzsensor)
Messkammer

Ionisationskammer
Sicherungsring

11.3.1 Messkammer kpl. für MAG5x0

MAG5x0

Ionisationskammer aus Edelstahl

62

Bestellnummer

3MA0-006-xxxx

DN 25 ISO-KF

351-500

3MA0-007-xxxx

DN 40 ISO-KF

351-512

3MA0-008-xxxx

DN 40 CF-R

351-536

3MA0-00Q-xxxx

DN 40 CF-F

351-524

tina83d1-e(2024-07)

MAG5x0

Ionisationskammer aus Titan
DN 25 ISO-KF
3MA0-116-xxxx

Bestellnummer
351-502

3MA0-117-xxxx

DN 40 ISO-KF

351-514

3MA0-118-xxxx

DN 40 CF-R

351-538

3MA0-11Q-xxxx

DN 40 CF-F

351-526

11.3.2 Messkammer kpl. für MAG5x4

MAG5x4

Ionisationskammer aus Edelstahl,
Al2O3 beschichtet

Bestellnummer

3MA3-006-xxxx

DN 25 ISO-KF

351-501

3MA3-007-xxxx

DN 40 ISO-KF

351-513

3MA3-008-xxxx

DN 40 CF-R

351-537

3MA3-00Q-xxxx

DN 40 CF-F

351-525
Bestellnummer

3MA3-116-xxxx
3MA3-117-xxxx

DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF

351-503351-515

3MA3-118-xxxx

DN 40 CF-R

351-539

3MA3-11Q-xxxx

DN 40 CF-F

351-527MAG5x4

Ionisationskammer aus Titan,
Al2O3 beschichtet

11.3.3 Messkammer kpl. für MPG5x0

MPG5x0

Ionisationskammer aus Edelstahl

tina83d1-eBestellnummer

3MB0-006-xxxx

DN 25 ISO-KF

351-506

3MB0-007-xxxx

DN 40 ISO-KF

351-518

3MB0-008-xxxx

DN 40 CF-R

351-542

3MB0-00Q-xxxx

DN 40 CF-F

351-530(2024-07)

63

MPG5x0

Ionisationskammer aus Titan
DN 25 ISO-KF
3MB0-116-xxxx

Bestellnummer
351-508

3MB0-117-xxxx

DN 40 ISO-KF

351-520

3MB0-118-xxxx

DN 40 CF-R

351-544

3MB0-11Q-xxxx

DN 40 CF-F

351-532

11.3.4 Messkammer kpl. für MPG5x4

MPG5x4

Ionisationskammer aus Edelstahl,
Al2O3 beschichtet
3MB3-006-xxxx

DN 25 ISO-KF

351-507

3MB3-007-xxxx

DN 40 ISO-KF

351-519

3MB3-008-xxxx

DN 40 CF-R

351-543

3MB3-00Q-xxxx

DN 40 CF-F

351-531

Ionisationskammer aus Titan,
Al2O3 beschichtet

Bestellnummer

3MB3-116-xxxx
3MB3-117-xxxx

DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF

351-509351-521

3MB3-118-xxxx

DN 40 CF-R

351-545

3MB3-11Q-xxxx

DN 40 CF-F

351-533

MPG5x464

Bestellnummer

tina83d1-e(2024-07)

Literatur [1]Kommunikationsanleitung
RS232C / RS485C
MAG500, MAG504, MPG500, MPG504
tira83e1 (nur englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [2]Kommunikationsanleitung
EtherCAT
MAG550, MAG554, MPG550, MPG554
tirb38e1 (nur englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [3]Kommunikationsanleitung
PROFINET
MAG550, MAG554, MPG550, MPG554
tirb78e1 (nur englisch)
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

ETL-Zertifikat
RECOGNIZEDCOMPONENTETL LISTED

3103457• are certified to the CAN/CSA Standard
C22.2 No. 61010-1-12

The products MAG500, MAG504, MAG550,
MAG554, MPG500, MPG504, MPG550 and
MPG554 with FCC and D-sub connector• conform to the UL Standard UL 61010-1

tina83d1-e(2024-07)

65

EU-Konformitätserklärung
Hersteller:

INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

Die alleinige Verantwortung für die Ausstellung dieser Konformitätserklärung trägt der Hersteller.
Produkte:

Gemini™ MAG500, MAG504, MAG550, MAG554
Gemini™ MPG500, MPG504, MPG550, MPG554

Die oben genannten Produkte der Erklärung erfüllen folgende Harmonisierungsvorschriften der Union:• 2014/30/EU, Abl. L 96/79, 29.3.2014(EMV-Richtlinie; Richtlinie über die elektromagnetische Verträglichkeit)• 2011/65/EU, Abl. L 174/88, 1.7.2011(RoHS-Richtlinie; Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung
bestimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten)Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen:• EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit)• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung)• EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019(Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess- u. Steuereinrichtungen)• EN 61326-1:2013; Gruppe 1, Klasse B(EMV-Anforderungen für elektrische Mess- u. Steuereinrichtungen)
Unterzeichnet für und im
Namen von:66

INFICON AG, Alte Landstraße 6,
LI-9496 Balzers

Balzers, 2024-07-27

Balzers, 2024-07-27

William Opie
Managing Director

Denis Hari
Product Manager

tina83d1-e(2024-07)

UKCA-Konformitätserklärung
Hersteller:

INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

Die alleinige Verantwortung für die Ausstellung dieser Konformitätserklärung trägt der Hersteller.
Produkte:

Gemini™ MAG500, MAG504, MAG550, MAG554
Gemini™ MPG500, MPG504, MPG550, MPG554

Die oben genannten Produkte der Erklärung erfüllen die relevanten
britischen Rechtsinstrumente:• S.I. 2016/1091, 11.2016(Verordnung über die elektromagnetische Verträglichkeit 2016)• S.I. 2012/3032, 12.2012(Verordnung zur Beschränkung der Verwendung bestimmter
gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten 2012)
Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen:• EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit)• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung)• EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019(Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess- u. Steuereinrichtungen)• EN 61326-1:2013; Gruppe 1, Klasse B(EMV-Anforderungen für elektrische Mess- u. Steuereinrichtungen)
Unterzeichnet für und im
Namen von:INFICON AG, Alte Landstraße 6,
LI-9496 Balzers

Balzers, 2024-07-27

Balzers, 2024-07-27

William Opie
Managing Director

Denis Hari
Product Manager

tina83d1-e(2024-07)

67

Original: Deutsch tina83d1-e (2024-07)

LI–9496 Balzers
LiechtensteinTel +423 / 388 3111
reachus@inficon.com
www.inficon.com