生産性向上の推進

生産性向上

業務効率化
東京エレクトロン（TEL）では、生産性向上や品質向上に向けた業務改革の一環として、開発や製造部門のみならず、営業部門や管理部門など、TEL グループを包括したバリューチェーン全体のシステム統合やデータ連携に挑んでいます。新たな統合基幹システム導入に向けたプロジェクトでは、個別に稼動していた各部門の業務システムの統合に加え、社内に分散していたデータを集約し、一元管理を可能とすることを主な目的としています。集約したデータを各業務において自在に活用することで、経営判断に必要なデータの迅速な収集をはじめ、生産計画の適正化や効率化、パーツ納期の見える化、また販売計画と生産・調達・在庫計画の連携強化などを実現します。2023 年度の全面稼動を目指し、既存の製造ラインに支障をきたすことのないよう、システム導入を進めています。このシステムはさまざまな従業員の業務に関わることから、TEL ではプロジェクトメンバーを含む全従業員とシステム移行のメリットや進捗状況をタイムリーに共有し、社内の協力体制を構築しながら、その実現を目指しています。
統合基幹業務システムの全体
新規システムSales CRM（営業）

中期目標

投資情報

経営効率向上の継続的な追求
東京エレクトロンでは、各部門における業務システムの統合やデータベースの一元化などにより、グループ全体での業務の標準化や効率化、自動化を推進し、バリューチェーン全体における生産性の向上に取り組んでいます。また、品質マネジメントの重要性を認識し、さまざまな教育プログラムを展開することで従業員一人ひとりの生産性に関する意識と能力を高めるとともに、お取引先さまとも協働でサプライチェーンにおける継続的な品質改善活動を実施しています。業務効率化や品質優先のオペレーションを実践することで、経営効率の向上を継続的に追求し企業価値を高めていくことに努めていきます。

流業務」「販売業務」な
どの基幹となる業務を統合し、効率化、情報売上の一元化を図るためのシステム

ERP *1

＊2

技術検収

生産準備
投資情報
設計

業の「会計業務」「人事業務」「生産業務」「物ワランティ（ 販売、在庫、会計、生産管理 ）生産計画

PLM：Product Lifecycle Management。製

スタートアップ
受注

調達＊1

ERP：Enterprise Resource Planning 。 企保守・サービス

引合いフォーキャスト

主要プロセスService CRM（フィールドサポート）

製造品ライフサイクル管理。一つの製品について、一 元 的 に 把 握 し、出荷全体最適を目指して各段階や工程を統合的・PLM*2（製品サイクル）横断的に管理する手法

ソフトウエア開発の取り組み
主な活動

SDGs への取り組み■ 生産性の向上を推進し、継続的に経営効率を高め、産業や社会の発展に貢献し、サステナブルな経済成長に寄与■ バリューチェーン全体における業務効率化や品質マネジメント生産性向上の推進

ソフトウエア開発の取り組み

品質バリューチェーン
マネジメントにおける品質の向上を推進し、サステナブルな生産消費形態を確保■品質マネジメント
品質方針、マネジメント体制■バリューチェーンにおける品質の向上
バリューチェーンにおける品質の向上、意識と能力向上、開発・設計段階の取り組み、問題発生時における対応、安全法規制対応、お取引先さまとの取り組み

効率化や品質の向上に取り組んでいます。基盤ソフトウエアを共通化することで、各種の装置ごとに重複した機能の開発工数削減が可能となり、制御のリアルタイム性＊ 3 の保証や、新しい要求や技術への対応の強化につなげています。さらに、オブジェクト指向＊ 4のコンセプトなどを取り込み、次世代装置の開発に向けた新しい基盤ソフトウエ
アのより効率的な開発に取り組んでいます。

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2020

リアルタイム性：作業を完了するまでの時間に制約がある性質のこと＊4
オブジェクト指向: ソ
フトウエア工学理論の一つています。国内外の担当者間で情報や各種ツールを共有するとともに、TEL グループ 全体における DX スキル向上を目的にデータ分析に関するスキルマップを作成するなど、さまざまな教育プランの拡充を進めています。
働きがいも経済成長もつくる責任
つかう責任

パートナーシップで目標を達成しよう

スマート装置の実現
IoT や AI などの革新的な技術を用いたものづくりが展開される中、お客さまスマート化実現のステップ

においては可視化されたデータの活用による生産性の向上や、品質の安定性を見える化
デジタル化高めるスマート工場＊ 5 の構築が進んでいます。このような状況において、TEL

では自動化による工数削減など装置の製造現場で必要とされるソフトウエアやシステムの開発を進め、専門の開発部門や製造部門、ビジネスユニットが連携し、「簡単操作」や「トラブル要因・解決策の提示」、「結果を予知した自律稼動」など、スマート装置としてのさまざまな機能の開発に取り組んでいます。

27＊3

また、TEL ではデジタルトランスフォーメーション（DX）開発を推進していくために、グローバルな活動を展開し■ 生産性向上の推進
業務効率化■ ソフトウエア開発の取り組み
製品開発の効率化とグローバル展開、スマート装置の実現

製品開発の効率化とグローバル展開
東京エレクトロン（TEL）では 1995 年より、自社で開発した基盤ソフトウエアを半導体製造装置に搭載し、業務のデータを集め・つなげる

対 策
自律化

＊5
スマート工場： デジタ
ルデータ活用により業務プロセスの改革、品質・生産性の向上を継続発展的に実現する工場

データ解析
分析・予測

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 202028

Higher productivity
生産性向上

マネジメント体制■取り組み事例
東京エレクトロン九州ソフト技術部では、お客さまからのご要求に応じた塗布・現像装置の制御ソフトウエアの開発

TEL では、高品質で安定した製品を提供するため、代表取締役社長を責任者とした品質保証体制を構築しています。

や設計、テストやリリース後の保守などをおこなっています。また、開発プロセスやその環境の改善、人材育成などを品質マネジメントシステム規格である ISO9001 認証を推進し、すべての製造会社において ISO9001: 2015 の移行を完継続的に進め、競争力のあるソフトウエア開発に取り組んでいます。

了しています。

長年にわたるソフトウエアの改修によりプログラムが複雑化したことで、新たな設計変更時に、欠陥が混入するリスクを懸念して、ソフトウエアの構成や構造の見直し、再設計をおこないました。このことにより、複雑化を解消しメンテナンス性を向上することで、お客さまのニーズに対し迅速な対応が可能となりました。
また、PDCA 活動により開発プロセスの改善に長年取り組んできましたが、業務における過去からの習慣や思い込みによる業務品質の低下、改善施策に関する情報共有の欠如が確認され、「凡事徹底」の重要性を再認識しました。そこで、開発プロセスでの各工程の定義や手順、施策の学び直しに取り組んだ結果、不適合による後追い作業を減らすことができました。
これまで量産設計業務におけるお客さまの仕様に応じた装置出荷において、制御ソフトウエアの動作に必要な数十万個にわたるパラメータの設定は、熟練技術者の経験に依存していました。この属人化された業務を改善すべく、ま」を開発しました。2019 年
た、より迅速に正確なパラメータを作成するために自動生成ツール「HCube（ハイキューブ）

ISO9001 認証取得状況
会社名

事業所名

東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ

取得年月日

藤井事業所 / 穂坂事業所

1 994 年 9 月

東北事業所

1 994 年 12月

東京エレクトロン九州

合志事業所

1997 年 3 月

TEL Magnetic Solutions−

2009 年 11 月

Tokyo Electron Korea

Balan Factory

20 1 1 年 9月

東京エレクトロン宮城

大和事業所

201 2 年 9月

Chaska Office

20 13 年 3 月

Billerica Office＊1

20 14 年 5 月−

2018 年 5 月

TEL Manufacturing and Engineering of America
Tokyo Electron（Kunshan）＊1

Billerica Officeは2020
年 5 月に移転

4 月から、この HCube を運用することにより、装置の新規設計や出荷後の改造における約 5 割の設計工数削減や、人的ミスに起因する不適合の低減などの成果が得られ、第三者機関による監査においても特筆すべき良い活動として評価されました。
進捗：設計工数（ 1台当たり 2019年11月時点 ）
（ h）

平均

出荷装置

300

出荷後 改造後送り（目標50％）

品質マネジメント推進に取り組んでいきます。

200
15050％削減（目標45％）

10050％削減

500

バリューチェーンにおける品質の向上
東京エレクトロン（TEL）は、すべての業務プロセスにおける継続的な改善が、製品・サービスの品質や生産性の向上に寄与すると考えています。お客さまのニーズを把握し、社内外の連携を強化しながら、バリューチェーン全体の20％削減

250

バリューチェーンにおける品質の向上

変化なし

品質と生産性の向上（目標40％）（目標75％）

新規設計 新規設計（自動）大規模改造 大規模改造（自動） 中規模改造 中規模改造（自動） 小規模改造

小規模改造（自動）マーケティング＆セールス

開発

設計

調達

製造

販売

スタートアップ

保守・サービス

バリューチェーン

品質マネジメント
品質方針
東京エレクトロン（TEL）では、全社統一の品質方針を定め、展開しています。
1. 「品質優先 」
品質の安定は顧客満足のみならず、期 待 通りの生産計画を達成し、メンテナンス負荷を低減する基盤であり、一時的なコスト増よりも優先します。

2. フロントローディングと自工程保証
最先端の技術に基づき開発設計段階から品質をつくり込み、すべての業務プロセスにおいて、自らの工程品質を完結することで、高品質の製品を提供し続けます。

3. 品質と信頼品質に問題が生じた場合には、製造・販売・サービス部門が一丸となって、事実に基づき本質的な原因究明に全力で取り組み、速やかな解決に努めます。

4. 継続的改善活動
お客さまの満足・信頼につながる活動に対して、品質目標や指標を設定し、PDCA サイクルを回しながら、継続的改善を実施していきます。

5. ステークホルダーとのコミュニケーション
製品品質に関わる必要な情報をタイムリーに発信するとともに、ステークホルダーの期待に適切に対応していきます。

意識と能力向上TEL では、さまざまな教育プログラムを実施することにより、従業員一人ひとりの品質に対する意識の向上に努めています。新入社員を対象とした基礎的な品質教育や、TEL グループ全従業員に対する「PDCA 教育」などのプログラムをグローバルに展開しています。
「PDCA 教育」においては、Plan（計画）、Do（実行）、Check（評価）、Act（改善）の 4 つのプロセスによる継続＊2

QC 検定資格保有者数

2,400名（2019 年度）

的な改善の必要性を学びます。2019 年度で、本プログラムの受講率は 84％となりました。
また、重要問題の解決手法を修得する、独自の教育プログラム「TEL6-Step」を、品質管理と密接に関わる開発者、設計者、品質管理担当者、サービス担当者を対象に実施しています。このプログラムは、品質管理における一般的なトラを TEL の問題解決プロセスに置き換え、変更しています。問題の本質を徹底ブル分析手法である「8D 問題解決手法 ＊2」

8D 問 題 解 決 手 法： 品
質改善のための問題解決を 8 つのプロセスでおこなう手法＊3
QC 検定： 一般財団法人日本規格協会・一般
財団法人日本科学技術連盟が主催する品質管理検定。資格保有者数は全国で累計 58 万名を超えている（2019年 9 月時点）的に掘り下げ、技術的要因や根本原因を究明することにより、問題を早期に解決し、また再発防止策を講じる能力を養成します。2019 年度で、本プログラムの受講者数は約 5,800 名となりました。また、品質管理リーダーを対象とする集合研修を開催し、演習形式で品質問題の解決について学ぶ機会を提供し、開発・製造現場における業務改善能力のさらなる強化を図っています。
」品質管理検定）を広め、基本的なスキルの習得をなお、従業員が自発的に品質改善に取り組めるよう、「QC 検定＊3（奨励しています。QC 検定の資格保有者は、2011 年度から年々増加し、2019 年度では約 2,400 名となりました。

29

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2020

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 202030

Higher productivity
生産性向上

開発・設計段階の取り組み

お取引先さまとの取り組み
品質の高い製品を迅速に市場へ提供するためには、お取引先さまとの強いパートナーシップに基づく継続的な品質

Shift Left（フロントローディング）と自工程保証の推進
製品の品質向上のためには、上流工程で不適合を生じさせないようにするとともに、各工程における品質管理を徹底し、不適合品を後工程に流さないようにすることが重要です。この観点から、TEL では、Shift Left と自工程保証＊1

FMEA: Failure Modeand Effects Analysis。

を推進しています。Shift Left においては、早い段階で製品品質の完成度を上げるために、製品設計の初期段階から、故障モード影響解析。
リスクを予め把握し、を徹底することで、不適合の発生・流出の抑制に努めています。また、自工程保証としてリスク抽出と対策（FMEA＊1 ）手法ンを使用した検証などをおこなっています。これらの利益

は、各工程における徹底した審査や、シミュレーショ

市場調査・企画開発・設計る際にも STQA を使用し、製品品質やコスト、情報セキュリティ体制、また企業の社会的責任分野における人権、倫理、安全、環境などの取り組みについて、セルフアセスメント形式でチェックをおこないます。リスクが確認された場合は、善をおこなうお取引先さまを訪問し、現場で不適合箇所を確認します。TEL の品質についての考え方を確認させていただいた上で、る STQA-L 会議を開催し、取引先情報の共有や課題解決をおこなっています。
「統計的手法を使った工程改善活動（SPC＊1 ）」に注力しています。お客さまの製造現場においては常に、また、TEL では

時間
コスト

装置間における品質ばらつきの抑制や正確なプロセス再現性、また高い生産性が求められています。これらのご要望に応えるべく、特定の重要部品を扱うお取引先さまに対して SPC の重要性についてご理解いただき、ともに実践すること開発コストの低減減の実現に努めています。

により、パーツ品質のばらつきを抑制し、良品製作工程の維持、改善に取り組んでいます。

利益問題発生時における対応
2といった安全規格への適合とともに、より高いレベ
TEL では各製品に適した独自の設計ルールを定め、ISO や EN＊市場調査・企画開発・設計生産・販売
サービス・保守
ルの安全性を追求しています。装置メーカーとしての安全に配慮した製品づくりの体制や、装置の設計・製造上の不適合、また作業中に発生した事故などに対応する体制を整えています。
によって、各事業部の安全や品質の関係者、および責任者ならびにトッ
事故発生時は、事故報告システム「 TIRS ＊ 3」
プマネジメントを含めた経営層に情報が配信され、直ちに事故調査をおこなった上で原因の特定と再発防止策の立案をします。
また、装置の重要不適合や品質の情報については、独自システム「QA-BOX」
により TEL グループの品質部門全体■ 取り組み事例＊2

EN：European Norm。
EC 指令（ニューアプローチ指令）には明記されていない技術基準の部分を補完すべく制定された EU の統一規格＊3

TIRS：TEL Incident Report System＊4で共有します。事故調査の結果から得られる対策を、問題が発生した装置のみならず、該当する他のお客さまの装置にも速やかに反映し、また現行の設計基準の改訂もおこないます。一例として、ケーブルの入れ違いによる事故にお＊4

QA-BOX： TEL グル ープ内の重要品質情報の製造工程において、納入された部品の不備・不良などの不適合が生じた場合には、部品交換による作業や原因の調査、また工程遅延による生産計画変更などさまざまな工数やコストが発生します。

不適合件数（通期）（件）600565500

425400

東京エレクトロン宮城の品質保証部では、部品の不適合件数が多いお取引先さまに限定して品質改善活動をおこなっていましたが、全体における不適合の割合やその原因を確認する中で、すべ

47 1

300
200
1000

2017年度

2018 年度

2019 年度てのお取引先さまに対して、その活動をおこなう必要性を認識し共有・横展開ツールました。そのため 2018 年度からは、供給された部品に不適合が生じたすべてのお取引先さまに向けて独自の「品質いては、ケーブル差込口の位置や形状を検証する他、人的ミスを誘発する要因の分析や、より分かりやすい手順書の＊5報告書」を発行し、お取引先さまの品質レベルや、月間の不適合件数などを記載することで、部品不適合の削減や品作成などをおこない、再発防止に努めています。

FCN: Field Change
Notice。一般的なリコ質意識の醸成に取り組んでいただいています。

また、「QA-BOX」を通じて、関係各部門がールを指す

東京エレクトロングループ

連携して事故に関する課題や対応策などを

＊6

経営層

SEMI S2: P.25 注釈 3 参照

重大事故
消防署
警察署

ンメントをおこない、さまざまなアプローチから事故の再発防止に取り組んでいます。
「QA-BOX」に蓄積された事故に関するデいかを監視し、工程改しています。この STQA は TEL グループ共通のシステムであり、各製造会社の中から選ばれたリーダーが定期的に集ま製品生涯価値の延長

製品市場投入の加速推進し、製品企画・開発・設計・製造・サービスまで情報共有するとともに、適切な人材のアサイる対象の特性の平均値が異常値を示していな改善策の立案と実行をお願いするとともに、それらのすべてが完了するまで継続的なサポートを提供します。なお、重サービス・保守

利益率の向上（PLM）」の展開にも力を入れています。PLM を展開・早期リリースや業務効率化、また品質向上やコスト削（STQA）」を実施し、目指す品質についてお取引先さまに十分にご理解いただけるよう努めています。新規取引を開始す

SPC：Statistical process control。統 計 的
プロセス制御 / 管理す

要部品を扱うお取引先さまや品質に関する問題が確認されたお取引先さまにおいては、3 年ごとに現場での監査を実施

推進活動とともに、「Product Lifecycle Management

全工程を包括的に管理、分析することにより、製品の生産・販売

予 防・ 軽 減 し て い くの向上が欠かせません。TEL では、2000 年度より独自のアセスメントシステム「Supplier Total Quality Assessment＊1

事故報告システム( TIRS )お客さま対応窓口

お客さま

品質不具合報告システム(Q-VICS)

報告・現場復旧ータを活用し、傾向を累積的に分析して装置ごとの問題と発生頻度について可視化する
恒久対策

す。トラブルの再発予防や波及防止に努め、関連部門 原因調査と再発防止
原因調査と特定FCN＊5 の発行
各事業部
安全部門
品証部門

ことにより、即効性の高い対策を講じていま＊7

サービス部門

事故情報：

波及性の確認グループ間共有（QA-BOX）

対策の決定

設計基準への反映
基準書改訂
改訂の周知

EMC 指令: P. 25 注釈 5 参照2019 年度は 108 社のお取引先さまに向けて報告書を発行し、その結果、不適合件数は 17 % 減少＊2 しました。お取引先さまからは「品質報告書を指針に品質に関する課題が明確になり、自社の部品供給力全体の強化に役立った」と＊2

2017 年度に対し 2019年度実績の評価をいただいています。報告書の発行により、不適合発生件数の減少という具体的な成果を得ることに加え、定性的なデータに基づく品質改善活動についてお取引先さまと共有することで、コミュニケーションのさらなる活性化を図っています。
今後、お取引先さまからの報告書に関するご要望に応えながら内容の充実化に努め、部品品質向上の取り組みをさらに加速させていきます。
品質報告書

実施計画の立案

情報共有：

業務と情報の流れ：装置に起因する事故数の低減につなげていより高品質な製品提供ます。

TELのPDCA

お取引先さまのPDCA

東京エレクトロングループ

安全法規制対応

経営層

TEL では、装置の安全性に関する法規制やガイドラインの最新動向を常に確認し、準拠する体制を整えています。
重大事故

消防署
警察署

高品質な部品

国際的な安全規格や SEMI S2 ＊6 などの安全に関する要求に対しては、第三者検査機関による出荷装置の確認を実施
システム
事故報告
( TIRS )関連部門 原因調査と再発防止(Q-VICS)
お客さま
欧州認証機関の適合証明書を取得しています。
しています。また、機械指令ならびに EMC 指令＊ 7 の対応として、原因調査と特定お客さま対応窓口

FCN＊4 の発行

報告・現場復旧

31

各事業部
安全部門
品証部門

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2020

波及性の確認グループ間共有（QA-BOX）

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 202032