Edge™ CDG100D2 - 100°C (F.S.R. 1 … 1000 Torr /mbar)
Edge™ CDG100D2 - 100°C - Hot Inside, Small Outside

INFICON Edgeキャパシタンスダイアフラムゲージは高精度の真空計で、過酷な製造環境でも使用できるよう設計されています。実績のある、温度制御、耐食性、超高純度のセラミックセンサは、数年にわたる長期間の安定性と、最先端の零点安定性を実現します。エッジには、INFICONで、計器を望ましくないプロセスの副産物から保護する特許を受けた独自のセンサシールドが付いています。最新の電子機器は、すべてのアプリケーションに広範囲にわたって構成可能な信号条件付けと、オプションのEtherCATフィールドバスインターフェースが付いています。革新的な加熱コンセプトによって、タッチ面の冷却を可能にし、貴重なツールスペースを節約します。INFICON
Edgeは、この種の中で最も小さい真空計です。

利点nコンパクトで、貴重なツールスペースを節約

n

統合が容易、EtherCAT、多様なフルスケールとフランジ、標準で2セットポイントn

簡単なワンプッシュボタン、またはリモートゼロ点機能、ゼロ点オフセット調整n

すばやいサービスとメンテナンスができる診断ポートn

2年保証、進化した加熱コンセプトとゲージ保護で長寿命

n

優れた信号の安定性と再現性で、過酷なプラズマ作業においても長期の校正が不要

n

CE、EN、UL、SEMI、RoHSに準拠、基準に適合

1

Edge™ CDG100D2 - 100°C (F.S.R. 1 … 1000 Torr / mbar) - Edge™ CDG100D2 - 100°C Hot Inside, Small Outside

注文の情報2

Edge™ CDG100D2 - 100°C (F.S.R. 1 … 1000 Torr / mbar) - Edge™ CDG100D2 - 100°C Hot Inside, Small Outside

仕様タイプ1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

% of reading

0.150.15

percent FS/°C

0.00250.0025

スパン% of reading / °C

0.020.02

最大圧力kPa (absolute)

400

260

分解能

percent FS

0.003

0.003

最小読み取り値

percent FS

0.010.01

推奨最小読み取り値

percent FS

0.05

0.05

推奨最小制御圧力percent FS

0.5

センサー

°C

100

100

使用温度 (周囲) (5)°C+10 … +50

+10 … +50

≤110

≤110

–20 … +65

–40 … +65

+14 … +30 VDC or ±15 V(±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V(±5%)

精度 (1)
温度効果
ゼロ点
温度効果

温度

ベークアウト (フランジにおい °Cて)
保存°C

供給電圧
消費電力
暖気時

W

≤20

≤20運転時W≤14≤14

出力信号 (アナログ)

V (dc)

0 … +100 … +10

応答時間 (2)ms3030

IP 40

IP 40

保護クラス
標準
CE 適合
ETL 認証SEMI 準拠 (5)EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010& RoHS& RoHSUL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1
SEMI S2

SEMI 準拠
電気接続

UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1

SEMI S2
D-sub, 15 pole, male

D-sub, 15 pole, male

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

セットポイント
セットポイント数
セットポイント

3Edge™ CDG100D2 - 100°C (F.S.R. 1 … 1000 Torr / mbar) - Edge™ CDG100D2 - 100°C Hot Inside, Small Outside

仕様タイプ1000 ... 500 Torr / mbar200 ... 1 Torr / mbar

V (dc)≤30≤30A (dc)

≤0.5

≤0.5

11

プロトコル

RS232-C

RS232-C

読み取り

pressure, status, ID

pressure, status, ID

設定

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

接ガス材料

Aluminum oxide ceramic(AI₂O₃), stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Aluminum oxide ceramic(AI₂O₃), stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

リレー接点
セットポイント
リレー接点
セットポイント
ヒステリシス

percent FS

診断ポート

内部容積
内部容積 1/2 in. チューブ

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

内部容積 DN 16 ISO KF

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

内部容積 DN 16 CF-R

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

内部容積 8 VCR®

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

重量重量 1/2 in. チューブ

g

837

837

重量 DN 16 ISO KF

g

852

852

重量 DN 16 CF-R

g

875

875

重量 8 VCR®

g

897

897

protocol specialized for
EtherCAT

protocol specialized for
EtherCAT

通信標準

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0
Common Device
ProfileETG.5003.2080 S (R)V1.3.0 Specific Device
Profile: Vacuum Gauge

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0
Common Device
ProfileETG.5003.2080 S (R)V1.3.0 Specific Device
Profile: Vacuum Gauge

ノードアドレス

Explicit Device Identification

Explicit Device Identification

物理層100BASE-Tx (IEEE 802.3)

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

pressure, status, ID

pressure, status, ID

set points, filter, zero adjust,reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,reset, DC offset

EtherCAT
プロトコル EtherCAT

デジタル機能読み取りデジタル機能設定

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Edge™ CDG100D2 - 100°C (F.S.R. 1 … 1000 Torr / mbar) - Edge™ CDG100D2 - 100°C Hot Inside, Small Outside

仕様タイプ1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

プロセスデータ

Fixed PDO mapping andconfigurable PDO mapping

Fixed PDO mapping andconfigurable PDO mapping

メールボックス (CoE)SDO requests, responses
and information

SDO requests, responses
and information

EtherCAT コネクター

2 x RJ45, 8-pin (socket), INand OUT

2 x RJ45, 8-pin (socket), IN
and OUT

ケーブル

shielded Ethernet CAT5e or
highershielded Ethernet CAT5e or
higherD-sub, 15 pin, male

D-sub, 15 pin, male

Kbps

100000100000ケーブル長m (ft.)≤100 (330)≤100 (330)

推奨最小制御圧percent FS

CDG 用コネクタ (アナログ出力、供給電圧、セットポイント)EtherCAT
データレートEtherCAT（1）非リニア、ヒステリシス、再現性@25°Cの周囲動作温度、2時間の運転後に周囲動作温度は影響しない。
(2) 10 … 90パーセントのFS増加(3)圧力制御タイプのみ(4) 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe(5)環境温度が40°Cを超えると、表面温度がSEMI S2コン
プライアンスレベルを超える場合がある

5Edge™ CDG100D2 - 100°C (F.S.R. 1 … 1000 Torr / mbar) - Edge™ CDG100D2 - 100°C Hot Inside, Small Outside

0.5

寸法

www.inficon.com

reachus@inficon.com

製品向上のプログラムを続行するため、仕様は通知なく変更されます。
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