九州シンクロトロン光研究センター
県有ビームライン利用報告書
課 題 番 号 ： 1204043S

Ｂ Ｌ 番 号 ： 09A（様式第 5 号）

ダイヤモンド等のワイドギャップ半導体単結晶のＸ線トポグラフィー測定
X-ray Topography Evaluation used by Synchrotron Light on Wide-gap
Semiconductors such as Diamond
嘉数誠・松永晃和・村上竜一・西村健吾

Makoto Kasu, Akikazu Matunaga, Ryuichi Murakami, Kengo Nishimura
佐賀大学大学院工学系研究科

Graduate School of Engineering, Saga University※１※２

先 端 創 生 利 用（ 長 期 タ イ プ 、長 期 ト ラ イ ア ル ユ ー ス ）課 題 は 、実 施 課 題 名 の 末 尾 に 期 を 表 す（ Ⅰ ）、（ Ⅱ ）、（ Ⅲ ） を 追 記 し て 下 さ い 。
利 用 情 報 の 開 示 が 必 要 な 課 題 は 、本 利 用 報 告 書 と は 別 に 利 用 年 度 終 了 後 二 年 以 内 に 研 究 成 果 公
開 ｛ 論 文 （ 査 読 付 ） の 発 表 又 は 研 究 セ ン タ ー の 研 究 成 果 公 報 で 公 表 ｝ が 必 要 で す 。 (ト ラ イ アルユースを除く)

１．概要（注：結論を含めて下さい）
β -Ga2O3 は バ ン ド ギ ャ ッ プ 4.8~4.9eV の ワ イ ド ギ ャ ッ プ 半 導 体 で あ り , 高 電 圧 デ バ イ
ス 用 の 新 し い 半 導 体 と し て 期 待 さ れ て い る 。 β -Ga2O3 は 格 子 定 数 (a=12.230, b=3.040,c=5.800 Å , β =103.7 °)の 単 斜 晶 系 で あ り , 最 近 よ う や く 融 液 成 長 法 に よ っ て バ ル ク 成
長 が 可 能 に な っ た 。 我 々 は シ ン ク ロ ト ロ ン 光 (白 色 光 )を 用 い た X 線 ト ポ グ ラ フ ィ ー 測 定を 行 い ,バ ル ク 結 晶 評 価 を 行 い 、 結 晶 成 長 生 成 、 欠 陥 形 成 の 機 構 を 悪 ら か に し 。
（ English ）β-Ga2O3 is one of wide-gap semiconductors with a bandgap of 4.8~4.9eV, and is expected as
high-efficient high-power device material.β-Ga2O3 has lattice constants of (a=12.230,b=3.040, c=5.800, β=103.7°) and can be grown by liquid crystal growth method. However, its
growth mechanism, defects are not clear. Therefore we performed its X-ray topographymeasurements, and investigated crystal growth mechanism and defect formation mechanism.

２．背景と目的
私はこれまで新しい電子材料の創製とそれを生かしたデバイス応用に関する研究を行ってきた。現
在は、シリコンカーバイド(SiC)、窒化ガリウム(GaN)、窒化アルミニウム(AlN)、ダイヤモンド,β-Ga2O3 等の広いバンドギャップをもつ新しい半導体の創製とそれを用いた高エネルギー効率のパワーデバイスの応用に関する研究を行っている。
環境・エネルギー問題は、今や不可避の深刻な社会問題である。エレクトロニクス、情報通信ネッ
トワーク、電力ネットワークのエネルギー効率は、システムのハードウェアーの大部分を占めるシリコン(Si)材料の固有の物性限界に到達している。それを打破するために、Si よりバンドギャップが広い SiC や GaN や、新しいワイドギャップ半導体であるβ-Ga2O3 を用いた高効率パワーデバイスの実用化に繋げ、エネルギー問題を根本的に解決することが最大の目標である。
β-Ga2O3は、GaNからの発光に対し透明であるため、GaN発光素子のバルク単結晶基板としての用途が期待されているばかりでなく、β-Ga2O3自体が、ワイドギャップ半導体であり、パワーデバイス材料として期待されている。
最近、ようやく、バルク単結晶が成長できるようになり、結晶構造や欠陥の種類、分布を測定する必要がある。

３．実験内容（試料、実験方法、解析方法の説明）
β型 Ga2O3 の測定試料は、EFG(edge-defined filmfed growth)法で[010]方向に引き上げ成長したバルク単結晶を成長方向[010]に平行に、（101）面が表面になるように切り出した（55mmx55mm の直角三角形状）ものである。X 線トポグラフィー測定は、九州シンクトロン光研究センターのビームライン
BL9A で行った。使用した X 線波長は 13.5keV（波長0.9185A）、回折面は(-402)であった。白色光で反射配置で測定を行った。表面からの X 線侵入深さは1.8um 程度と見積もられる。
図１ X 線トポグラフィー測定配置図
４．実験結果と考察
図１に X 線を[010]方向に入射して得られた X 線トポグラフィー写真を示す。(-402)回折のセクタ
ーA と(-402)回折のセクターB に分離された。セクターAは(101)面からの回折であり, セクターB は(-201)面からの回折だとわかった。 (101)結晶と(-201)結晶は a 面（100）に対し双晶の関係にあるが、[0-10]方向にバルク成長中、横方向 [102]に沿面成長する際に、何らかの理由で(101)結晶(-201)結晶との間で twinning（双晶化）が複数回起こったことを示している。
５．今後の課題
今後、twinning（双晶化）の原因、各セクターの結晶性を調べていく予定である。
６．参考文献1)

M.Higashiwaki,K.Sasaki,andS.Yamakoshi,Appl,Phy,Lett. 100,013504(2012).

図２ X 線トポグラフィー写真

７．論文発表・特許（注：本課題に関連するこれまでの代表的な成果）
松永晃和1, 村上竜一1, 西村健吾1, 飯塚 和幸3, 倉又 朗人3, 嘉数誠「β-Ga2O3 単結晶のシンクロトロン光を用いたX線トポグラフィー評価」、第 42 回結晶成長国内会議NCCG-42、2012 年 11 月 9~11 日、九州大学筑紫キャンパス, 10PS20。
８．キーワード（注：試料及び実験方法を特定する用語を２～３）
β型 Ga2O3、X 線トポグラフィー
９．研究成果公開について（注：※２に記載した研究成果の公開について①と②のうち該当しない方を消して下さい。また、論文（査読付）発表と研究センターへの報告、または研究成果公報への原稿提出時期を記入して下さい（2012 年度実施課題は 2014 年度末が期限となります。
）① 論文（査読付）発表の報告② 研究成果公報の原稿提出（報告時期：２０１５年３月）（提出時期：２０１５年３月）