本記事は , 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 技術スタッフ表彰について紹介するものです .

文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム 令和 2 年度技術スタッフ表彰 技術支援貢献賞

電子顕微鏡群を用いた各種研究支援

受賞者 名古屋大学 微細構造解析プラットフォーム 樋口 公孝氏に聞く
最先端の研究設備とその利用・解析のノウハウを提供することにより，異分野融合を図り，イノベーションの創出に寄与することを目指した文部科学省ナノテ
クノロジープラットフォーム事業（NPJ）は，数々の利用成果を生み出してきた．その成果の多くは，装置を所有する研究室や機関が機器利用をユーザーに開放するだけでなく，技術スタッフが利用・解析を支援したことによってもたらされた．このため，NPJ は平成
26 年度（2014 年度）より技術スタッフ表彰を行なっている．毎年数件の表彰が，国際ナノテクノロジー
総合展・技術会議（nano tech）の折に行われている．
令和 2 年度の表彰は 2020 年 12 月 9 日に行われ，名古屋大学 微細構造解析プラットフォームの樋口 公孝（ひぐち きみたか）氏の「電子顕微鏡群を用いた各種研究支援」と題した活動に対して技術支援貢献賞が贈られた [1]．今回 Web 取材により，どのような支援が行われ，どのようなご苦労があったかなどについて，受賞者の樋口氏に伺った．

表彰式にて，表彰状とバッジを授与された樋口 公孝氏

形態別の統計データであり，技術代行が 32% と多い．こ１．名古屋大学の微細構造解析プラット
フォームの施設概要と支援の状況

れは，TEM（Transmission Electron Microscope：透過型

名古屋大学 微細構造解析プラットフォーム（PF）は「高イオンビーム，Scanning Electron Microscope：走査型電性能電子顕微鏡による反応科学・ナノ材料科学研究支援

子顕微鏡）による 3 次元観察など，装置操作への習熟が拠点」と称し，名古屋大学 未来材料・システム研究所 超求められる案件が多いためである．学内利用者は，学生

高圧電子顕微鏡施設で外部共用事業を行っている．反応の機器利用が多い．共同研究の件数割合は 23% で増加傾

科学超高圧走査透過電子頭微鏡をはじめとする最先端の向にあり，複数年にわたるリピーター利用になる場合が電子顕微鏡群を用いて，金属・セラミックス・有機薄膜

多い．

電子顕微鏡）での高分解能観察やガス中その場観察の他，
TEM 用の試料加工，FIB-SEM（Focused Ion Beam：集束などの結晶構造解析・元素分析・電子状態解析・微小電

令和 2 年度は，新型コロナウイルス感染症の影響を受

磁場解析を観察用試料の作製から支援している．本 PF でけ，3 月～ 5 月のコロナ禍初期は共用を停止した．その後，利用できる装置や受けられる支援の詳細については，PF

自治体や大学本部から示される方針に従いつつ，利用者のホームページ [2] や，PF を利用して生まれた成果を本の範囲を教職員から学生，そして学外へと徐々に広げてWeb マガジンで取り上げた過去の記事 [3][4][5][6] を参照

いった．共用再開にあたっては，感染対策環境の整備状されたい．

況を踏まえた運用ルールを都度作成し，施設長の指示の

図 1 に，本 PF の令和元年度の利用状況を示した．左側がユーザー別の装置利用日数で，大企業・中小企業合わ

下，ユーザーが混乱しないように 1 ～ 2 週間毎に更新してユーザーや関係者に周知した．

せて全体の 45%，他大学と学内他学部を合わせて 52%，

感染対策の環境整備としては消毒用アルコールの設置，

公的研究機関 3% と，幅広く利用されている．右側は利用

建屋玄関のオートロック機能を利用した入館者管理，マNanotechJapan Bulletin Vol. 14, No. 3, 2021

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令和 2 年度技術ｽﾀｯﾌ表彰（技術支援貢献賞）-1

図１

名古屋大学微細構造解析 PF の装置利用日数；（左）ユーザー別，（右）利用形態別

スクや手袋の調達，装置やドアノブ等の定期的な消毒，講習会（座学）のオンライン開催，実験室の換気，入室
人数の制限，利用者や利用日の制限などを行った．現在
まで PF 利用者や職員スタッフの感染例は報告されておらず，感染対策と設備共用は両立できていると考えている．
令和 2 年度の利用件数は，例年と比較すると約半減した．

２．表彰の対象になった支援で用い た装置
第３章で今回受賞した研究支援内容を説明する前に，
ここでは受賞の対象になった支援で用いた２つの装置について説明しておく．

２．
１

図２

高速加工観察分析（FIB-SEM）装置 [3]FIB-SEM 装置 [3]

図 2 は，３．１節で紹介する研究支援例で用いた，高速 加 工 観 察 分 析 装 置（FIB-SEM：Focused Ion BeamScanning Electron Microscope）（日立ハイテクノロジー
ズ社製，MI-4000L）である [3]．ひとつの試料室に集束
イオンビームと電子線の 2 つの鏡筒をつけ，FIB 加工とSEM 観察の機能を兼ね備える．SEM 観察した表面から
FIB 加工で薄層を削り取り，新しく露出した表面を SEM
観察することを繰り返す連続切片観察（シリアルセクショ
ニング）により，多数の断面 SEM 画像から試料の 3 次元
（3D）構造像が構築できる．
この FIB-SEM 装置では，FIB 鏡筒と SEM 鏡筒が 90 度に直交していることで，FIB 研削面は常に SEM 光軸に垂直になり切削面の高低差によるコントラスト変化がなく，SEM 画像の像質が良い点が特徴である [7]．ただしその配置上，試料の角部しかシリアルセクショニング観察ができない．
検出器としては，二次電子検出器，反射電子検出器，NanotechJapan Bulletin Vol. 14, No. 3, 2021

EDS（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy： エ ネ ル
ギ ー 分 散 型 Ｘ 線 分 光 器 ），EBSD（Electron Back Scatter
Diffraction： 電 子 後 方 散 乱 回 折 法 ），STEM（Scanning
Transmission Electron Microscope：走査透過電子顕微鏡）が加えられ，元素マッピングや結晶構造解析なども行える．このため，例えば 3D 再構築画面は元素の種類を色付
け，区別して表示できる．

２．２[5][6]

反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡装置 [4]

図 3 は，３．２節と３．３節で紹介する研究支援例で用いた，反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡（日本電子社製，
JEM1000K RS）の全体構造写真である [4]．総重量 330t，
全高は 14m あり，地下 1 階～地上 2 階の専用建屋に設置されている．地下 1 階に高さ 3.7m の除振台，地上 1 階に高さ 3.6m の鏡筒部，最上部に 1,000kV の加速電子を文部科学省ﾅﾉﾃｸﾉﾛｼﾞｰﾌﾟﾗｯﾄﾌｫｰﾑ

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３．技術支援貢献賞を受賞した研究支援
例
３．１
[9]

支援例（1）：鉄鋼材料の FIB-SEM 立体観察 [8]

本支援例は名古屋大学工学研究科の足立 吉隆教授からの依頼で，鉄鋼材料中の “ 擬似パーライト組織 ” の 3 次元構造を明らかにすることが目的である．Fe-C 系の鉄鋼材
料では，パーライトと呼ばれる薄い層状のフェライト（主成分は炭素含有量の少ない鉄：Fe）とセメンタイト（主成分は鉄カーバイト：Fe3C）が共析変態によって生成される層状組織が，鉄鋼材の強度を高めている．層状パー
ライト組織と似ているが，フェライトとセメンタイトが点列状に存在する “ 擬似パーライト ” 組織があり，層状
図３

パーライトより優先的に塑性変形すると考えられている．

反応科学超高圧電子顕微鏡 [4]しかし，その立体的な組織形状は明らかになっていなかった．そこで，FIB-SEM によるシリアルセクショニング法で 3 次元組織観察に取り組んだ．

発生させる高さ 6.7m の高電圧・加速管部から構成され

図 4 は，シリアルセクショニングまでの前処理手順をる．1,000kV と超高圧なので，0.15nm 以下の高分解能で，模式図で描いている．試料は円柱状の Fe-C 系共析鉄鋼で，1μm 以上の厚い試料でも観察できる．鏡筒部は高真空に保持されているが，ガス環境下での反応を観察できるよ

薬品で表面をエッチングしてから SEM 観察して，擬似パー

うに試料周辺のみガスを導入可能な独自の機構が設置さに，観察位置が試料片の辺付近になるように，周囲を研れている．“ 反応科学 TEM” 装置の最大の特徴は，ガス雰

磨ペーパーでの機械研磨しさらにダイヤモンド研磨機で囲気はじめ，加熱・冷却，電磁界，機械歪みなど外部環

鏡面研磨することで 2mm × 2mm × 2mm 程の直方体の境下の材料その場観察ができることで，全国から利用者

試料片に加工した．FIB 鏡筒と SEM 鏡筒が直交配置したがあり外部共用率は 95% と人気の装置となっている．

装置では，試料の角部でしか観察できないので，試料片本装置は透過電子が結像する像を観察する TEM 像に加ライト組織が存在する観察位置を決定した（図 4 左）．次え，細く絞った電子線を走査して試料を透過ないし散乱の角部から 10µm 程度までの観察面をきれいに面出しすることが肝要である．そのため FIB-SEM 装置に試料を組された電子によって構成される像を観察する STEM 像のみ込む前に，FIB 加工装置（FIB-SEM 装置とは別装置）で観察ができる．さらに，透過した電子線のエネルギーを

観察面を面出しした．当初は機械鏡面研磨で面出しも試

測 定 す る EELS（Electron Energy Loss Spectroscopy： 電

みたが，試料片角部の凹凸が取り切れずきれいな面出し子エネルギー損失分光）の機能もあり，元素分析や電子は困難であった．そこで FIB 加工装置を用いて面出し加状態の解析ができる．

工の試行錯誤を繰り返し，精度が高い観察面出しが初め

樋口氏は，PF の高度専門技術者として，上述した 2 つて可能になった．その後，FIB-SEM 装置に試料を移して，の装置含め装置全般にわたるオペレーションやメンテナ

シリアルセクショニングによる連続切片観察を行った．

ンス，実験系の相談・打合せ，装置操作の講習（対象者

模式図のピンクの矢印のようにイオンビームを照射し横は主に学生），ユーザーや技術補佐員への技術補助・助に走査するのを繰り返し，その度に青矢印方向から SEM

言，共同研究等に取り組んでいる．具体的には，TEM/観察を行った．図 4 右端の写真は FIB-SEM 装置で撮影しSTEM 観察，高分解能観察，EDS/EELS 分析，電子回折図

た SEM 写真で（シリアルセクショニング開始時点），左

形観察，ガス中その場観察，加熱・冷却観察，電子線ト

隣の FIB-SEM シリアルセクショニングの模式図とは，試モグラフィー，FIB での各種加工，イオンミリング法での料に対する FIB 加工と SEM 観察の方向が 90 度回転してTEM 試料加工や後処理，FIB-SEM での 3 次元観察などでいる．

ある．樋口氏は既に平成 29 年度の技術スタッフ表彰で，シリアルセクショニングでの FIB 加工条件は，Ga+ イオ「超高圧電子顕微鏡によるガス中その場観察の研究支援」

ンビームを 30kV で加速し，1 次元的に走査する 1 ステッにて若手技術奨励賞を受賞し [5]，今回はその後の PF 利

プで 20nm 厚を切削（～ 10 秒），300 回の繰り返しで加用者へのさらなる研究支援で技術支援貢献賞を受賞した．

工深さは 20nm × 300step = 6µm となる．SEM による観察は，得られるコントラストや分解能を比較して検討を

次章で３つの研究支援例について詳しく紹介する．

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令和 2 年度技術ｽﾀｯﾌ表彰（技術支援貢献賞）-3

図4

シリアルセクショニングまでの前処理手順（模式図）と，試料片の SEM 写真（右）重ねた結果，電子線の加速電圧を 20kV とした．観察範苦労した．

囲は 15 × 15µm，撮像画素数は 2000 × 2000pixel で，撮像時間は約 2 分 /step であった．FIB 加工と SEM 観察

理ソフトを利用してコントラストの調整，縦方向ノイズの 1 ステップに要する時間は約 2 分で，300 ステップで（カーテニング）除去，ラベリング等の画像処理を行ったは 600 分（10 時間）を要するが，夕方までに設定して結果である．画像処理はユーザー研究室が主に担当し，おけばシリアルセクショニングは自動化されているので，PF 側の樋口氏は画像処理するに十分な元 SEM 画像の取翌朝にはシリアルセクショニング撮影は完了している．

得に注力し，両者の強みがマッチした共同研究となった．

図 5 の②～⑤は，①の SEM 画像を元にして，画像処

図 5 左上の①は，300 枚のシリアルセクショニングのラベリング後の最終の画像処理⑤では，カーテニングが内の 100 枚目の SEM 像で，薄いグレーのフェライトに，大幅に軽減し，フェライト（黄緑）とセメンタイト（茶色）

濃いグレーのセメンタイトが点在している．フェライトが精度よく二値化できている．複数本の茶色線が並列しとセメンタイトは組成が似ている（主成分は Fe で，C 量た部分が層状パーライト組織であり，層状パーライト組が違う）ので，SEM 像でのコントラスト差が小さい．こ織の間に点列状の “ 擬似パーライト ” 組織が混在しているのコントラストを上げるために検出器の感度を上げ過ぎ様子が分かる．

ると，図 5 ① SEM 写真の上方から下方へ向かう縦筋模様

図 6 は，300 枚のシリアルセクショニングの内，連続の “ カーテニング ” が目立ってくる．カーテニングは試料する約 200 枚の SEM 写真を画像処理後に積層すること

表面（FIB 面）に凹凸があると発生するので，表面を如何で立体再構築した擬似パーライト組織で，白黒の表面はに平滑にするかという面出し条件（FIB 加工による前処理）

100 枚目の SEM 画像，色付けしてあるのはセメンタイトが極めて重要となる．カーテニングをできるだけ抑止し，を抽出して立体再構築した部分である．赤・緑・黄・水

かつ十分なコントラストで鮮明な SEM 画像とすることに色・紫の色付けは，セメンタイトの棒状あるいは一部が

図5

シリアルセクショニング 100 枚目の SEM 画像①に対する画像処理②～⑤

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令和 2 年度技術ｽﾀｯﾌ表彰（技術支援貢献賞）-4

図6

200 枚の連続 SEM 画像から得た擬似パーライト組織中セメンタイトの 3 次元立体再構築像

裂けた板状の個々の部分を区別するもので，組成の違い

で 1sccm，4.6Pa の条件に制御してリモートプラズマユではない．擬似パーライト組織では，セメンタイトがフェニットに導入され，試料から 5cm 離れた赤色矢印で示し

ライト中に細かく，かつ複雑に存在している．今回の支た Discharge point で 2.45GHz のマイクロ波 20W を印加援により，擬似パーライト組織を 3 次元構造として鮮明

して，プラズマを生成する．Discharge point の左右にあに捉えることに初めて成功した．

る黒線は試料ホルダー外周の O リングで，発生した酸素プラズマは試料ホルダーの中空中心部を通ってガス雰囲

３．
２ 支援例（2）：プラズマ照射 TEM その場観察の実現 [10][11]

気セルに吹出し，試料表面に横方向から照射されてグラ本支援例は，名古屋大学工学研究科の堀 勝教授，近藤

樋口氏は試料ホルダーの設計に必要な情報（真空漏れ

博基准教授との共同研究である．炭素の 2 次元層状物質

防止条件，O リングやグリース，プラズマ照射位置，電であるグラフェンは，次世代の電子デバイス材料として気的絶縁条件など）を提供し，試料ホルダーやリモー

注目されており，層数によって光学・電子物性が変化す

トプラズマユニットの製作は外部メーカーに依頼した．

ることから層数の制御が重要な課題である．層数制御方TEM 鏡筒の外側部分に関しても，最適な周辺機器の配置法として酸素プラズマによるエッチングが期待されておや配管の引き回し等を追求し何度も検討を繰り返した．

フェンをエッチングする．また，図 7 左上の分光器にて酸素プラズマの発光スペクトルをモニターできる．

り，今回 TEM その場観察によって，酸素プラズマによる

図 8 は，リモート酸素プラズマ照射したグラフェンのグラフェンの layer-by-layer エッチング機構を解明するこTEM 像で，左から 0 分，30 分，60 分経過した結果であとを目指した．樋口氏の技術支援貢献は，①プラズマ照る．写真の中央部がグラフェンで，時間の経過とともに射 TEM 観察用の試料ホルダーの開発支援と，② TEM 観

色が薄くなり，右端の真空部分（グラフェンがなく電子

察と EELS でのデータ取得である．

が素通りしている部分）にコントラストが近づいている．

図 7 は，TEM 内プラズマ照射試料ホルダーを含む実験

これは，時間と共にグラフェンを透過する電子の量が増系の模式図である．図 7 右側の薄黄色部は，２．２節で説えていることを示しており，酸素プラズマ照射によるエッ

明した反応科学超高圧電子顕微鏡の鏡筒内部で高真空にチングでグラフェンの層数が減ったことを意味している．

保たれ，1,000kV で加速された電子ビームが上方から試

また，プラズマ照射時間の増加に伴い，グラフェンの右料に照射され，試料を透過した電子ビームは下方にある縁がわずかに後退し，写真右下に見えるエッジが右側にカメラ（図にはない）に到達し TEM 像が取得される．グ

突き出ていた部分も左方向に後退し消滅している．これ

ラフェン試料は，単結晶グラファイトから剥離したもの

は，グラフェン層の面内方向エッチングと，層に垂直方を粉砕し，Cu シートメッシュ上に載せ，試料ホルダー先向のエッチングで層数が減少することが同時進行してい端部に取り付けた．試料ホルダーの持ち手部分（図 7 左側）ることを示している．なお，写真の左上の暗い部分は，にはリモートプラズマユニットが一体化されており，ググラフェンが厚くなっているところである．

レーで示したガス雰囲気セルで囲われた試料ホルダー先

エッチングによる層数減少については，TEM 観察と並端部に酸素プラズマが吹出す配置となっている．酸素ガ

行して行った EELS 分析によっても，より定量的に測定評ス（O2）は，図 7 左上から MFC（Mass Flow Controller）

価した [11]．図 9 がその結果で，プラズマ照射時間とエッNanotechJapan Bulletin Vol. 14, No. 3, 2021

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令和 2 年度技術ｽﾀｯﾌ表彰（技術支援貢献賞）-5

図7

図8

図9

TEM 内プラズマ照射試料ホルダー含む実験系模式図

プラズマ照射中のグラフェン TEM 像：（左）0 分，（中）30 分，（右）60 分

EELS 結果から求めたプラズマ照射時間（横軸）とエッチング層数（縦軸）の関係

チング層数の関係をプロットしている．プラズマ照射の労した．

約 15 分毎にグラフェンが 1 層ずつエッチングされ，60分で 4 層がエッチングされたことを示している．
TEM 観察および EELS 観察をプラズマ照射しながら 1
時間以上にわたって同じ試料位置に対して安定して行う

３．３ 支援例（3）：酸化セリウムナノ粒子の触媒反応の TEM 内観察 [12][13]にはサンプル位置のドリフト補正の他，観察中にグラフェ

本支援例は，名古屋大学未来材料・システム研究所のン試料にダメージを与えない条件の探索が必要で，TEM

小澤 正邦教授との共同研究である．酸素貯蔵能を有する

画像や EELS 信号の強度とのバランスをとることに大変苦セリア（酸化セリウム：CeO2）は自動車用ガソリンエン

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令和 2 年度技術ｽﾀｯﾌ表彰（技術支援貢献賞）-6

ジン排気浄化用の三元触媒（3 種類の有害ガス CO，HC，周辺の環境（炭素領域の厚さ他）に依存することも解明

NOX を無害化する触媒）の助触媒や，ディーゼルエン

された [12]．これらの観察結果は，CeO2 触媒の酸素供給

ジン排気のすす燃焼触媒として利用されている．今回，能に関する情報を提供するので，ガソリンエンジンの三CeO2 ナノ粒子を低圧（10-3 ～ 10-1Pa）酸素雰囲気下での元触媒の助触媒の理解を進めることにもつながる．

加熱実験により TEM その場観察して，炭素質（すす）燃

本実験では，特に低ガス圧の安定調整に苦労した．ガ焼に対する触媒性や形態安定性の評価を行った．本実験

ス圧は流量計と３つのバルブで制御するが，低圧での制には２．２節で説明した反応科学超高圧電子顕微鏡を用い御は自動ガス圧制御では不十分で，操作者によるマニュて，加熱機構を有する TEM 試料ホルダーと，酸素ガスをアル制御になる．バルブのマニュアル制御では，目標の試料室へ導入制御する機構を使用した．なお，自動車のガス圧からオーバーシュートしないように，かつ長時間

排気ガス中の NO の浄化触媒として，ZrO2 粉末表面上のにわたって安定したガス圧を維持すべく，適宜調整する

Rh 微粒子が触媒反応を起こす様子を TEM 観察した記事必要があり，経験知がないと調整は難しい．また，加熱が，本 Web マガジンで別報告されている [6]．

すると試料ホルダーの熱膨張等により TEM 観察の位置

図 10 は，CeO2 ナノ粒子上の炭素燃焼その場観察 TEMが変化してしまう．観察位置が変化しないように，常に像（加速電圧 1,000kV）で，左側が加熱前，右側が 5 分

ドリフト補正して試料の同じ場所を観察するようにした．

間の加熱（400℃）後である．左の TEM 写真で濃い部分

また，温度制御には加熱ヒーターの電流をマニュアルでが CeO2 ナノ粒子で，六角形や四角形に見える多面体の調整する必要があるが，電流値の変更が試料温度に反映

粒径は 20nm 弱のものが多い．CeO2 ナノ粒子の表面に炭するには時間差があり，さらにガス圧が変動すると温度素（C）を付着させており，炭素（C）のコントラストはも変化するため，温度維持のために常に電流値を少し先

CeO2 ナノ粒子よりは薄い（この分解能では C 原子は分解を見越して調整する必要もあった．以上のようにガス圧・できない）．左側の TEM 写真で右上隅のコントラストが観察位置・温度という互いにかかわり合う要素を一定時さらに薄い部分は，サンプルがなく電子が素通り透過し間安定して維持することに苦労した．

ている真空部分である．試料室に低圧の酸素ガスを導入
し，ガスの分圧が 10-3 ～ 10-1Pa の範囲で安定した後に，試料ホルダーに組み込んだヒーターで試料を加熱した．

４．機器利用者への装置操作マニュアル
整備と操作実技講習

図 10 の右側の TEM 像は，5 分間の加熱後のもので，
点線矢印で示す炭素（C）の領域厚みが減少している様子が観察された．また，4 本の点線矢印のうち左側の 2 本

今回の樋口氏への技術支援貢献賞は，研究支援だけでの矢印に挟まれた箇所に，コントラストが炭素（C）よりなく装置操作の講習や，講習で使用するマニュアルの整

薄い部分があり，これは炭素（C）が燃焼して空洞ができ

備も，受賞対象になっている．

たと考えられる．このように低圧酸素ガス環境下で CeO2
ナノ粒子表面上の炭素（C）が加熱によって減少することは，CeO2 ナノ粒子表面上の触媒燃焼反応が発生している

４．１

装置の操作マニュアル整備

ことを示している．燃焼速度が，多面体ナノ粒子上の位

名古屋大学の微細構造解析 PF では，現時点で装置の操置や時間の経過とともに変化することや，CeO2 ナノ粒子

作マニュアルを 14 点整備しており，内 12 点は樋口氏が図 10

CeO2 ナノ粒子上の炭素燃焼その場観察 TEM 像：（左）加熱前，（右）5 分加熱後

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主に作成した．図 11 および図 12 は作成した操作マニュ④講習の効率や効果の向上 ⇒ 業務効率向上

アルの例である．図 11 は TEM 用試料作製におけるイオ⑤ユーザーの不安低減 ⇒ ユーザーのリピート率向上

ンミリングによる加工の全体の流れ，図 12 は FIB-SEM

等の効果を狙っている．したがって，内容は正しく，か装置用の試料ホルダーの準備に関するマニュアルの一部

つ分かりやすいことを重視している．読むユーザーのレを抜粋した．

ベルは様々であるため，初心者でも間違いなく伝わるよ

操作マニュアルを整備することで，う写真や模式図を意識的に多く使用している．こうした①操作ミスの防止による故障の回避 ⇒ 装置稼働率向マニュアルにより，PF が所有する装置が幅広いユーザー

上，修理対応の手間と費用の削減に有効利用されることを期待している．最近は留学生で②データ取得速度の向上 ⇒ 実験効率向上

日本語が苦手なユーザーも増えてきているため，英語版③取得データの質向上 ⇒ ユーザーの満足度向上も整備しつつある．

図 11

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整備した操作マニュアルの例：TEM 用試料加工

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図 12

４．
２

整備した操作マニュアルの例：FIB-SEM 装置用試料準備

上述の操作マニュアルを用いている．マニュアルの内容

装置操作の実技講習

は一般的なものなので，適宜そのユーザーにあった使用

令和２年度は 14 種の装置について合計 50 回，71 人

方法を伝えるようにしている．最近の学生は受け身の人に実技講習を実施した．1 回あたりの受講者は，1 人～もいるので，利用の際の気持ちのハードルが下がるよう

2 人である．受講者は学生が殆どで，民間の企業の技術に対応している．多人数にまとめて教えるのが業務効率者は少ない．各ユーザーで経験・目的・試料・難易度等，やマシンタイムの観点からは良いが，コロナ禍での密防すべて条件が異なるので，事前の打ち合わせで受講者の止のため少人数で実施せざるを得ず，日程調整やマシン

希望をできる限り把握するようにしている．講習には，タイムの確保には例年以上に苦労した．

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令和 2 年度技術ｽﾀｯﾌ表彰（技術支援貢献賞）-9

[6] “ ガス環境下における自動車触媒ナノ粒子のオペラン

５．共用施設による研究支援として の今後の抱負とユーザーへの期待

ド TEM 観察～触媒開発に大きく貢献する研究開発

最後に樋口氏に，今後の抱負を伺った．
「一期一会の気テム研究所 武藤俊介氏，名古屋大学微細構造解析プ

持ちを大切にしたいと思っている．自分にとっては共用

ラットフォーム 荒井重勇氏に聞く ”，NanotechJapan装置を用いた各種実験や相談は日常であるが，ユーザー

Bulletin Vol. 13, No. 2 (2020)；https://www.nanonet.

にとっては悩んで悩みぬいた上で藁にもすがる思いで足go.jp/magazine/content/files/mag_pdf/Exellent_pdf/

を運んでくれているのかもしれない．私自身は，個々のMajorResults2020-1.pdf

手法～，トヨタ自動車株式会社 田中展望氏，日本電子株式会社 樋口哲夫氏，名古屋大学未来材料・シス

ユーザーの研究の背景や試料情報など詳しくないが，別[7] 原徹，“FIB-SEM シリアルセクショニングによる材料組の視点からの支援や助言ができる場面もあるので，親身織の三次元観察 ”，顕微鏡，Vol.49, No.1, pp.53~58にユーザーの声に耳を澄まし，可能性を広げるお手伝い(2014)；https://www.jstage.jst.go.jp/article/ができればと思っている．
」

kenbikyo/49/1/49_53/_pdf

PF ユーザーへは，「ユーザー，特に学生さんには是非[8] 樋口公孝，中村裕太，足立吉隆，“FIB-SEM による疑似

積極的に声をかけてきてほしい．装置の使い方の練習でパーライト組織の３D 観察 ”，日本顕微鏡学会第 61

も実験系の相談でも，そこに割く私自身のリソースは制回シンポジウム（2018 年 11 月）

限しないと決めている．なるべくこちらから声をかけて，[9] Kimitaka Higuchi, Yuta Nakamura, Yoshitaka

ユーザーの状況を理解しようと努めてはいるが，おそら

Adachi, "3D observation of degenerate pearlite

く取りこぼしている案件も多いと思う．すべてはコミュ

structure by FIB-SEM", Microscopy, Vol.67, Issue

ニケーションから始まると思うので，まずは何でも相談

suppl_2, November, Page i37 (2018)；https://doi.
org/10.1093/jmicro/dfy101

して欲しい．
」と樋口氏は語った．

[10] 杉浦 啓嗣，近藤博基 , 樋口 公孝 , 荒井 重勇 , 堤 孝
嘉 , 石川 健治 , 堀 勝 , “ リモート酸素プラズマ照射によるグラフェンの layer-by-layer エッチング過程

参考文献のその場透過電子顕微鏡観察 ”，第 66 回応用物理学[1] ナノテクノロジープラットフォーム技術スタッフ表彰
令和 2 年度 技術支援貢献賞

樋口公孝（微細構造解析 PF: 名古屋大学）；https://www.nanonet.go.jp/ntj/

春季 )；https://confit.atlas.jp/guide/event-img/
jsap2019s/10p-M103-6/public/pdf?type=in[11] Hirotsugu Sugiura, Hiroki Kondo, Kimitaka Higuchi,

award/[2] 名古屋大学 未来材料・システム研究所 超高圧電子顕微鏡施設

会春季学術講演会 講演予稿集，10p-M103-6 (2019

ナノテクノロジープラットフォーム実施

Shigeo Arai, Ryo Hamaji, Takayoshi Tsutsumi,
Kenji Ishikawa, Masaru Hori, "Reaction science of機関；https://nanoplat.nagoya-microscopy.jp/

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者 名古屋大学 微細構造解析プラットフォーム 中尾

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surface with carbon contamination by environmental

名古屋大学 微細構造解析プラットフォーム 荒井重TEM: a model for soot combustion", Japanese Journal

勇氏に聞く “, NanotechJapan Bulletin Vol. 10, No. 2

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for_technical_staff_2017-1.pdf[5] 平成 29 年度技術スタッフ表彰 若手技術奨励賞“超[13] “CeO2 系ナノ粒子の作製，複合組織及びその場観察 ”，

高圧電子顕微鏡によるガス中その場観察の研究支援，

名古屋大学

受賞者 名古屋大学 微細構造解析プラットフォーム 樋(2020)

電子光学研究の歩み No31, pp.41-42

口公孝氏に聞く “，NanotechJapan Bulletin Vol. 11,
No. 4 (2018)；https://www.nanonet.go.jp/magazine/

図はすべて樋口氏から提供された．

content/files/mag_pdf/Staff_Aw_pdf/Award_for_（尾島 正啓）technical_staff_2018-4.pdf

NanotechJapan Bulletin Vol. 14, No. 3, 2021

文部科学省ﾅﾉﾃｸﾉﾛｼﾞｰﾌﾟﾗｯﾄﾌｫｰﾑ

令和 2 年度技術ｽﾀｯﾌ表彰（技術支援貢献賞）-10