스트라이프 CDG100Dhs 0.1 ... 1,000 Torr/mbar
Stripe™ CDG100Dhs - 100°C - Smart Inside, Fast Outside

INFICON Stripe 고속 용량식 격막 진공계는 시중에서 판매되는 제품중에서 가장 빠르고 매우 정확한 진공 측정 기기입니다. 2 ms 미만의응답 시간을 EtherCAT 필드버스 인터페이스와 결합한 이 기기는적용개소의 새로운 장을 열고 있습니다. 입증된 온도 제어식 부식 방지초고순도 세라믹 센서는 최첨단 제로 안정성과 함께 수년 간 월등한 범위안정성을 제공합니다. Stripe는 원하지 않는 공정 부산물로부터 게이지를보호하는 INFICON의 특허 받은 고유 센서 실드와 함께 제공됩니다.
INFICON Stripe는 터치 표면을 냉각하고 고유한 속도 기능을 제공하는혁신적인 가열 개념을 사용하여 전례 없는 생산성 증가를 가능하게함으로써 이러한 종류에서 가장 발전된 진공 기기입니다.

장점n높은 생산성 – 2ms 미만의 응답 시간n유연한 통합 - EtherCAT 필드버스n긴 수명 - 입증된 세라믹 센서n재보정 필요 없음 – 연간 90ppm의 전체 범위 안정성1스트라이프 CDG100Dhs 0.1 ... 1,000 Torr/mbar - Stripe™ CDG100Dhs - 100°C - Smart
Inside, Fast Outside주문 정보2스트라이프 CDG100Dhs 0.1 ... 1,000 Torr/mbar - Stripe™ CDG100Dhs - 100°C - Smart
Inside, Fast Outside사양유형정확성 (1)1000 ... 500 Torr /mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

% of reading

0.2

0.2

0.4

percent FS/°C

0.00250.00250.005

온도 영향제로온도 영향구간% of reading / °C

0.02

스팬

% of reading / °C0.02

최대 압력kPa (absolute)

400

260

130

해상도

percent FS

0.003

0.0030.003

최저 측정값

percent FS

0.01

0.010.01권장 최저 측정값

percent FS0.05

최저 권장 제어 압력

percent FS

0.5

0.5

0.5

0.02

0.05

온도
작동(주변)°C+10 … +50

+10 … +50

+10 … +50플랜지에서 베이크 아웃°C

≤110

≤110

≤110

보관

°C

–20 … +85

–20 … +85

–20 … +85

+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)

공급 전압전력 소모량히팅 하는 동안W

≤16

≤16

≤16작동 온도W

≤11

≤11

≤11

출력신호(아날로그)V (dc)

0 … +100 … +10

0 … +10

Measurement rate

kHz111응답 시간 (2)ms

2 ... 20

2 ... 20

2 ... 20Signal processing time

ms222IP 30

IP 30IP 30보호 수준표준
CE 준수EN 61000‑6‑2/-6-3, EN EN 61000‑6‑2/-6-3, EN EN 61000‑6‑2/-6-3, EN
61010 & RoHS
61010 & RoHS
61010 & RoHSETL 인증

UL 61010‑1, CSA 22.2 UL 61010‑1, CSA 22.2 UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1
No.61010‑1
No.61010‑1

SEMI 준수전기 연결

SEMI S2

SEMI S2

SEMI S2

D-sub, 15 pole, male

D-sub, 15 pole, male

D-sub, 15 pole, male2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)셋포인트셋포인트 개수3스트라이프 CDG100Dhs 0.1 ... 1,000 Torr/mbar - Stripe™ CDG100Dhs - 100°C - Smart
Inside, Fast Outside사양유형1000 ... 500 Torr /mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

V (dc)≤30≤30≤30A (dc)

≤0.5

≤0.5

≤0.5

111USB

USBUSB읽기pressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID설정

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,
DC offset

set points, filter, zeroadjust, factory reset,DC offset

진공에 노출된 재료

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Aluminum oxide
ceramic (AI₂O₃),
stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

셋포인트릴레이 접점셋포인트릴레이 접점셋포인트
히스테리시스

percent FS진단 포트프로토콜내부 용적내부 볼륨 1/2" 튜브

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

내부 볼륨 DN 16 ISO KF

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

내부 볼륨 DN 16 CF-R

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

내부 볼륨 8 VCR®

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

무게무게 1/2" 튜브g

837

837

837

무게 DN 16 ISO KF

g

852

852

852

무게 DN 16 CF-R

g

875

875

875

무게 8 VCR®

g

897

897

897

EtherCAT프로토콜 EtherCAT

protocol specialized for protocol specialized for protocol specialized for
EtherCAT
EtherCAT
EtherCAT통신 표준

ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
DeviceDeviceDevice
ProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
Device Profile:
Device Profile:
Device Profile:
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge

4스트라이프 CDG100Dhs 0.1 ... 1,000 Torr/mbar - Stripe™ CDG100Dhs - 100°C - Smart
Inside, Fast Outside사양유형1000 ... 500 Torr /mbar

200 ... 1 Torr / mbar

0.5 ... 0.1 Torr / mbar

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification물리적 레이어

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

디지털 기능 읽기pressure, status, ID

pressure, status, ID

pressure, status, ID디지털 기능 설정

set points, filter, zeroset points, filter, zeroset points, filter, zeroadjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset adjust, reset, DC offset노드 주소

사서함(CoE)

SDO requests,responses andinformation

SDO requests,responses andinformation

SDO requests,responses andinformation프로세스 데이터

Fixed PDO mapping
Fixed PDO mapping
Fixed PDO mappingand configurable PDO and configurable PDO and configurable PDO
mapping
mapping
mappingEtherCAT 커넥터

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT케이블shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higherm (ft.)≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)Signal processing timems222

최저 권장값

percent FS

EtherCAT케이블 길이
EtherCAT0.05(1) 2시간 작동 후 온도 영향 없이 25°C 주변 작동 온도에서비선형성, 이력현상, 반복성.
(2) 10 … 90% FS 증가5스트라이프 CDG100Dhs 0.1 ... 1,000 Torr/mbar - Stripe™ CDG100Dhs - 100°C - Smart
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