東京エレクトロンについてサステナビリティの展開

製品競争力

顧客対応力

生産性向上

経営基盤

TEL FOR GOOD

データ集

生産性向上

25

生産性向上の推進

P.26

バリューチェーンにおける生産性の向上

P.27

SDGs への取り組み■

生産性の向上を推進し、継続的に経営効率を高め、産業や社会の発展に貢献し、サステナブルな経済成長に寄与■

多様化、技術向上およびイノベーションを通じた経済生産性の向上■

バリューチェーン全体における業務効率化や品質マネジメントを推進し、サステナブルな生産消費形態を確保■

環境上適正な化学物質や廃棄物の削減■

お取引先さまとのグローバル・パートナーシップの強化により、サプライチェーン全体における生産性の継続的な向上■

統合基幹業務システムの展開、各部門における業務システムの統合やデータベースの一元化などにより、業務の標準化や自動化を推進し、事業活動におけるバリューチェーンにより生産性を向上■

品質マネジメントの重要性を認識し、品質優先のオペレーションを実践することで全体最適を図り、経営効率を向上■

お取引先さまと協働でサプライチェーン全体における継続的な品質改善活動を実施し、生産性の向上を継続的に追求

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2022

東京エレクトロンについてサステナビリティの展開

製品競争力

生産性向上

顧客対応力

生産性向上の推進

経営基盤

TEL FOR GOOD

26

データ集

製造オペレーションにおいては、BOM＊1 から MES＊2 への連携システムによる生産の省力化や、生産パフォーマンスのデジタルツイン＊3 化などの取り組みを実施しています。

業務効率化

また、お客さまのご要望や市場変動に迅速に対応するため、生産に関わるすべての情報を一元＊1

東京エレクトロンでは、生産性と品質のさらなる向上を目指した新基幹システム (ERP ) の化した生産システムを構築し、製造実行システム (MES) や調達基幹システム (SCM)＊4 によ＊2導入を進めています。業務や国の垣根を越えて運用される本システムは、①新収益認識基準

る IT 基盤の整備と現場データの情報化を実現しました。これらのシステムで集約したさまざまへの対応、②変化に迅速に対応した経営判断、③大幅な業務効率の改善、④デジタルトランスなデータを各業務で活用することで、生産計画の適正化や効率化、お取引先さまとの情報連携強フォーメーション＊3 を見据えたグローバル統合情報の活用、⑤究極の働き方改革の実現、の 5化によるパーツ納期の見える化を図っています。また販売計画と生産・調達・在庫計画の連携強つの新たな価値の創出を目的としています。

化などにより、業務の生産性向上を総合的に推進しています。

2021 年度は、まず本社に本システムを導入するとともに、①新収益認識基準への対応を完了

加えて、多品種にわたる部品を取り扱う当社の製造・物流業務においては、自動倉庫の設置やしました。2022 年度以降は、本社導入の過程で得られた知見を最大限に活用し、国内製造拠点入庫ナビシステムの導入、部品検査の自動化などを推進することにより、省人化や効率化に取りおよび海外現地法人への導入を順次進めていきます。また、パートナー企業さまとの協力のもと、業務の改善や効率化、システムパフォーマンスをさらに強化するための機能開発などをおこない、グローバル統合システムを実現します。
新基幹システム概要
Sales
CRM
（営業）

投資情報

■ IT システム

Schedule（計画）フォー
引合い キャスト

Manufacturing Warehouse
Product
Supply Chain
Global Trade
Execution Management
Lifecycle
ManagementManagement
SystemSystem
Management
（調達）

（設計）
生産計画

生産準備

設計

受注（製造）

調達

製造（輸出）

（倉庫）

出荷

スタート
アップ

技術検収

■ 主要プロセス
ServiceCRM

組んでいます。
＊1 BOM: Bill Of Materials 。部品表。製品をつかさどる部品の一覧であり、階層構造を示すとともに、製品がどの部品で組み上がっているか、それぞれの部品の基本情報を含む＊2 MES: Manufacturing Execution System 。製造工程の把握や管理、作業者への指示や支援などをおこなうシステムのこと＊3 デジタルツイン :「デジタル空間上の双子」を意味し、現実の世界にある物理的な「モノ」から収集したさまざまなデータを、デジタル空間上にコピーし再現する技術のこと
製造実行システム (MES) や調達基幹システム (SCM): P.26 業務効率化参照＊4（フィールドサポート）

売上 ワランティ

ポストセールス

ERP（ 販売、在庫、会計）

デジタルトランスフォーメーション (DX) による生産性向上
当社は、DX の推進により、製品競争力の強化のみならず、製品の企画段階から保守までのさまざまな業務プロセスにおける資本効率の向上を目指しています。
DX 活動のイメージ
DXインフラストラクチャーを用いて企業価値創造に寄与するアプリケーションを開発＊1 ERP: Enterprise Resource Planning 。企業の「会計業務」「人事業務」「生産業務」「物流業務」「販売業務」などの基幹となる業務を統合し、効率化、情報の一元化を図るためのシステム

Product Life Cycle＊2 新収益認識基準: 2021 年 4 月から上場企業などで適用となった、財務諸表上の売上算出ルールを定める「収益認識に関する会計基準」の新基準＊3 デジタルトランスフォーメーション :P.18 デジタルトランスフォーメーション (DX) による製品競争力の強化参照
P.26 デジタルトランスフォーメーション (DX) による生産性向上参照

生産性向上の取り組み

企画

設計

試作

利益

D 生涯価値の延長時間取り組んでいます。
コスト

具体的には「Safety First＊」のスローガンのもと、事業に関わるすべての人々の安全と労働環境

境法規制の準拠、ソフトウエア開発の効率化やスマート化などの活動を全社で展開しています。
＊ Safety First: 事業に関わるすべての人々の安全を第一に考えた当社スローガン

改造

B 市場投入の加速

当社は半導体およびフラットパネルディスプレイ製造装置のメーカーとして、バリューネジメント体制の構築とバリューチェーン全体での品質向上を追求しています。さらに安全・環サポート

A 利益率向上アプリ
ケーション

チェーン全体のオペレーションにおいて、安全・品質を重視しながら、生産性の継続的な向上にの改善に努めるとともに、お客さまの真のニーズを理解し、世界 No.1 の品質を目指して、品質マ量産

DX
インフラストラクチャー

C 開発コスト低減

データ利活用

スキル・文化・データ利活用プラットフォームのDXインフラストラクチャー構築

スキル向上

意識・文化の醸成

環境構築(ガバナンス・データ基盤)

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2022

東京エレクトロンについてサステナビリティの展開

製品競争力

顧客対応力

DX 活動においては 13 項目のリスク＊に対し、リスク低減策の策定・実行、管理状況のモニタリング、各部門へのリスク管理活動の支援・推進などをおこない、リスクマネジメントの PDCAを実施しています。
迅速なリスク検知と意思決定を、データおよびデジタル技術活用の観点からもおこなうことを目的に、本社の統括組織と連携しながらグループ全体でリアルタイムにリスクの項目や低減策、実施の状況をモニタリングすることにより、適時適切なリスク管理を可能とするシステムのまた、DX を推進する上で必要な人材を明確にし、各々必要となるスキルの育成計画を立て育成に取り組んでいます。さらには、全社員が最低限の DX の知識を身につけられるような人材育

データサイエンス

情報処理、人工知能、統計学などの情報科学系の知識を理解して、扱うことができる力

データ
データサイエンスを当社の企業価値創造に意味のある形にし、エンジニアリング 目的に応じて実装、運用できるようにする力
ビジネス企画

課題とその背景を整理して、解決策を導き、ビジネスにつなげる力 ( 稼ぐ力 )データサイエンスを当社のビジネスに生かすそのための人材を計画的に育成していく

当社は今後も DX の推進に注力し、デジタル技術の活用により開発スピードの加速や生産性・品質の向上、業務の効率化、働き方改革など、あらゆる面において生産性の向上に取り組んでいきます。
＊

データ集

27

品質方針

1. 「品質優先」
品質の安定は顧客満足のみならず、期待通りの生産計画を達成し、メンテナンス負荷を低減する基盤であり、一時的なコスト増よりも優先します。

2. フロントローディングと自工程保証おいて、自らの工程品質を完結することで、高品質の製品を提供し続けます。

3. 品質と信頼
き本質的な原因究明に全力で取り組み、速やかな解決に努めます。

DX エンジニア育成計画

ビジネス
企画

TEL FOR GOOD

品質に問題が生じた場合には、製造・販売・サービス部門が一丸となって、事実に基づ成も並行して実施しています。

データ
エンジニアリング

経営基盤

最先端の技術に基づき開発設計段階から品質をつくり込み、すべての業務プロセスに構築を進めています。

データサイエンス

生産性向上

13 項目のリスク : P.37 リスクに対する取り組み参照

4. 継続的改善活動
お客さまの満足・信頼につながる活動に対して、品質目標や指標を設定し、PDCA サイクルを回しながら、継続的改善を実施していきます。

5. ステークホルダーとのコミュニケーション
製品品質に関わる必要な情報をタイムリーに発信するとともに、ステークホルダーの期待に適切に対応していきます。
当社は、品質に関わるリスクマネジメントや開発・設計審査を開発段階から厳密におこなうとともに、シミュレーションを用いて顧客運用の検証を徹底するなど、自工程保証＊1 に努めています。加えて、重要部品のトレーサビリティシステムを構築し、情報環境の強化にも取り組んでいます。
具体的には、過去のトラブルや、製造組み立て時の調整値、お取引先さまからの重要部品の検査情報などを One Platform＊2 で参照できるようにすることで、リスクマネジメント (FMEA＊3)を強化し、各種不適合事案の未然防止につなげています。
これらの自工程保証と未然防止を徹底することにより、従業員がより付加価値の高い業務に注

バリューチェーンにおける生産性の向上
品質についての考え方
東京エレクトロンでは、品質についての考え方として、「東京エレクトロングループは、提供する製品およびサービスが高い品質であることを目指します。それは開発に始まり製造・据付・保力する時間を創出するとともに、Shift Left＊4 ( フロントローディング ) の取り組みを推進しています。
＊1自工程保証 : P.28 自工程保証の徹底と Shift Left の推進参照＊2 One Platform: トレーサビリティを効果的かつ効率的に実現できるように、複数の異なるシステムをシームレスな情報源として容易に参照できるようにすること。
P.26 業務効率化参照＊3 FMEA: Failure Mode and Effects Analysis 。故障モード影響解析。リスクを予め把握し、予防・軽減していく手法＊4 Shift Left:
P.16 参照
P.28 自工程保証の徹底と Shift Left の推進参照

守すべての工程を含む、また営業活動の顧客対応業務も品質とみなします。わたしたちは、お客さまの成功を支える高品質の製品とサービスおよび革新的なソリューションを提供し続けます」と定義し、品質方針を次のように定め、その実践に努めています。
TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2022

東京エレクトロンについて

サステナビリティの展開

製品競争力

顧客対応力

マネジメント体制

生産性向上

経営基盤

TEL FOR GOOD

データ集

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この作業の適正化と効率化を図るため、当社はお客さまからの情報収集、国内製造拠点間での当社は、高品質な製品を安定して提供するため、CEO を責任者とした品質保証体制を構築し、協議、お取引先さまからのヒアリングなどを実施し、自動化も含めた業務フローの見直しやシス運用しています。当社グループ内のすべての製造会社が、品質マネジメントシステムの最新規格テムの改善などを進めています。Shift Left の考えに基づくこれらの活動を継続的に実施するこである ISO 9001 の認証を取得している他、各製造会社において定期的な内部監査や第三者機関とにより、さらなる生産性の向上に取り組んでいます。

による中立かつ公正な監査を実施し、品質マネジメントシステムの維持や改善につなげていま■ 取り組み事例

東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ ( 東北 ) では、統計学に基づく実験計画法＊

す。

を用いた重要部品の品質指標を設定し、お取引先さまとともに品質活動のレベルアップを進め

ISO 9001 認証取得状況
会社名

事業所名

取得年月ています。
実験計画法で設定した最良な品質指標を目標として定め、重要部品の製作工程における検査

藤井事業所 / 穂坂事業所

1994 年 9 月東北事業所

1994 年 12 月

東京エレクトロン九州

合志事業所

1997 年 3 月

今後はお取引先さまの品質に関するデータ取得から判定までの処理について自動化を促進し、TEL Magnetic Solutions―

2009 年 1 1 月

リアルタイムに品質の状態を検知することで、重要部品の製作工程のさらなる改善に取り組ん

東京エレクトロン宮城

大和事業所

2012 年 9 月

Tokyo Electron Korea

Balan Plant

201 1 年 9 月

TEL Manufacturing and Engineering of America

Chaska Office2013 年 3 月

Tokyo Electron (Kunshan)―2018 年 5 月

東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ

値や調整値などのばらつきが生じる条件を PCS 活動で厳密に管理し、製作工程の正確性と安定化を図っています。

でいきます。
＊ 実験計画法 : 効率の良い実験方法を設計し、結果を適切に解析することを目的とする統計学の応用分野

自工程保証の徹底と Shift Left の推進
製品の品質向上のためには、上流工程で不適合を生じさせないようにするとともに、各工程における品質管理を徹底し、不適合が生じた場合においても不適合品を後工程に流さないように工程改善活動することが重要です。この観点から、当社では自工程保証に重点を置いた活動を推進していま

お客さまの製造現場では、装置間における品質のばらつきの抑制、正確なプロセスの再現性、す。特に、製品設計の初期段階からのリスク抽出と対策 (FMEA) を確実に実施し、各工程におけ高い生産性が求められています。こうしたお客さまのニーズに合致する製品を提供するため、当る徹底した審査や、シミュレーションを使用した検証などを実施することで、さらなる品質の向＊社が注力するのが統計的手法を使った工程改善活動 (PCS ) です。

上を目指しています。

各種重要部品 ( ウェーハに直接接触する部品や、機械的、熱的、電気的または電磁気的エネル

この自工程保証活動を通じて、各工程の精度向上や手戻りによる対応コスト＊1 の低減に取りギーをウェーハに伝達する部品など、装置のプロセスに直接的な影響を与える部品 ) の情報を組むことで、上流工程における付加価値の高い技術および製品の創出を可能にするとともに、管理図化してばらつきの分析をおこない、製造工程の変化を速やかに検知し、対応します。こうした PCS 活動を、特定の重要部品を扱うお取引先さまとともに取り組むことで、部品品質のばShift Left＊2 の推進にもつなげています。
さらに当社は、Product Lifecycle Management (PLM) を推進し、自工程保証で徹底管理さらつきの抑制や良品製作工程の維持・改善に努め、お客さまの期待を上回る製品の提供へとつなれた製品企画から開発、設計、製造、サービスまでの全工程を包括的に管理し分析することで、製げています。

品の早期リリースや業務の効率化、品質の向上やコストの削減に努めています。

また、新たな重要部品を扱う製作工程は、常に見直しや改善を必要としますが、当社の装置は数万にも上る数の部品で構成されており、その中から特定の部品を選択して定期的に集計・分析＊1 手戻りによる対応コスト : 不適合が生じた際に工程をさかのぼってやり直すためのコスト＊2
Shift Left: P.16 参照をおこなう作業には、多くの工数を必要とします。
＊ PCS: Process Control System

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2022

東京エレクトロンについて

サステナビリティの展開

製品競争力

顧客対応力

再発防止・未然予防のための対応

生産性向上

経営基盤

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データ集

TEL FOR GOOD

お取引先さまとの取り組み＊1

当社は、各製品に適した独自の設計ルールを定め、ISO や EN といった安全規格への適合を品質の高い製品を迅速に市場へ提供するために進め、より高いレベルの安全性を追求しています。同時に、安全に配慮した製品づくりのためのは、お取引先さまとの強いパートナーシップに基体制、および装置の設計・製造上の不適合や、作業中に発生した事故などに対応するための体制づく継続的な品質の向上が欠かせません。当社を整えています。

は、2000 年度より独自のアセスメントシステム＊2

事故発生時は、事故報告システム「TIRS 」によって、各事業部の安全・品質の関係者や責任「Supplier Total Quality Assessment (STQA) 」を者、トップマネジメントを含めた経営層に情報が配信され、直ちに事故調査をおこなった上で原実施し、当社が目指す品質についてお取引先さま因の特定と再発防止策を立案します。に十分にご理解いただけるよう努めています。

装置の重要不適合や品質の情報については、当社の運用規程に準じて当社独自のシステムで＊3

部品外観不良率（％）

40382220

当社は、お取引先さまと新規の取引を開始する0ある「QA-BOX 」を運用し、品質部門全体で共有します。事故調査の結果から得られた対策につ際においても STQA を使用し、製品品質やコスいては、問題が発生した装置のみならず他のお客さまの装置にも速やかに反映するとともに、究ト、情報セキュリティ体制、企業の社会的責任分明した根本原因から現行の設計基準やプロセスフローを見直すことで重要不適合の恒久的な再野における人権、倫理、安全、環境などの取り組みについて、セルフアセスメント形式でチェック発防止に努めています。

をおこないます。このチェックにおいてリスクが確認された場合には、お取引先さまを訪問し、実施前

実施後事故調査の対象となった部門では、品質部門長とともに QA-BOX 定例会にて他の装置への波現場で不適合箇所を確認しています。お取引先さまには、当社の品質や関連する重要事項につい及性や共通性を検証し、課題とその対策を共有することで、類似不適合の未然予防に向けたさまての考え方を共有させていただいた上で、改善策の立案と実行をお願いするとともに、それらすざまなアプローチを検討しています。また QA-BOX 定例会で決定された共通方針を速やかに当べてが完了するまで継続的なサポートを提供しています。なお、重要部品を扱うお取引先さまや社のグループ全体へ展開し、対象となる装置に反映することで、装置に起因する不適合事例の低品質に関する問題が確認されたお取引先さまにおいては、3 年ごとに監査を実施しています。
また、STQA を運用する国内各製造拠点のリーダーと定期的に会議を開催し、お取引先さまに減につなげています。
事故情報

情報共有

関する情報の共有や課題の解決に向けた検討をおこなっています。

業務と情報の流れ■ 取り組み事例

東京エレクトロングループ

東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ品質保証部門では、部品不適合の兆候を早経営層
事故報告システム(TIRS)

消防署
警察署
お客さま対応窓口

お客さま報告・現場復旧

恒久対策

サービス
部門

品質不具合報告システム(Q-VICS＊4)
各事業部
安全部門
品証部門

期に発見できるよう、受け入れ検査工程の強化に取り組んでいます。受け入れ検査時に発見され関連部門
原因調査と再発防止
原因調査と特定FCN＊5の発行

波及性の確認グループ間共有対策の決定

設計基準への反映
基準書改定
改定の周知

実施計画の立案(QA-BOX)

る不適合は、傷や打痕による部品外観の不良が全体の約 4 割を占めています。お取引先さまとともに原因の究明をおこない、適切な包装材を選定するなど、部品外観の改善と強化に取り組んだ結果、2021 年度は出荷台数が増加したにもかかわらず、目標値 130ppm (100 万件当たりの不適合品 130 件 ) を達成しました。今後も、お取引先さまとの連携を強化し、継続的な改善活動に取り組んでいきます。

＊1 EN: European Norm 。EC 指令 ( ニューアプローチ指令 ) には明記されていない技術基準の部分を補完すべく制定された EU の統一規格＊2 TIRS: TEL Incident Report System＊3 QA-BOX: 当社内の重要品質情報の共有・横展開ツール＊4 Q-VICS: Quality Valuable Information Chain System＊5 FCN: Field Change Notice 。一般的なリコールを指す

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2022