HIGHLIGHT
ステークホルダーとの座談会「Green Fab※1

良い半導体工場とは」半導体メーカー、部品・装置メーカー、クリーンルームの設計・施工を担う建設企業と、半導体製造の一連のプロセスに上流・下流で携わるステークホルダーにご参加いただいて、「Green Fab 良い半導体工場とは」をテーマに議論をしていただきました。

（開催日：2007年6月27日）※1 Green Fab：総合的な観点で環境配慮を行う工場および製造工程上流から下流までの協業が必要

長すぎて、とぐろを巻いている場合などがそうです。これでは、

HIGHLIGHT

本間氏：工場や生産システムをつくる立場から問題提起をさせマイナス温度に保つために冷凍機ががんばっている横で、配管ていただきます。200ミリから300ミリウェーハへの切り替えがからどんどん熱を放出してしまっています。こうした点を含め、進むなかで、製造設備による電力使用量は高まる傾向にあり、今日のような場で直接話をして無駄を省くことが環境負荷の削いっそうの省エネルギー化が求められています。環境を考える減につながっていくと思います。と、総合的な視点で半導体工場の無駄をなくすことが重要にな

浦野氏：半導体プロセス全体の環境負荷を削減していくには、るわけですが、近年、個々の部品や装置の環境効率は飛躍的

上流から下流まで一貫した協力体制が必要だと思います。当に向上しており、今後の大きな飛躍は期待できないところまで社は真空ポンプから除害装置までの排気系システムを扱ってきていると感じています。従来はサプライチェーンの下流であいますが、最近では生産工程で様々なプロセスガスを流すよるコンポーネントメーカーや半導体製造装置メーカーが自己完うになっており、最終的に排気段階で無害化すればいいから、結的に省エネルギーなどの負荷低減開発を行ってきたわけで

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すが、今後は三者が連携し、情報交換をしながら複合的に進めス
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ダーとの座談会ていく必要があると思います。

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ザーの状況を知ることができません。しかし、稀に半導体メー良い半導体工場とは﹂

岩井田氏：ご提言のように、半導体、半導体製造装置、コンポー座談会にお招きした方々● NECエレクトロニクス株式会社

本間三智夫 氏● エルピーダメモリ株式会社

多田一洋 氏社は、半導体製造装置に使われる、空気圧関係のコンポーネン● ソニー株式会社

青山

純一 氏

トを生産しています。コンポーネントメーカーがエンドユーザー● エドワーズ株式会社

浦野智秋 氏である半導体メーカーと直接話をする機会は通常ほとんどな● エドワーズ株式会社

三木正晴 氏く、半導体製造装置メーカーを通して話を聞くしかエンドユー● SMC株式会社

岩井田克郎 氏後町智雄 氏

ネントの各メーカー三者が揃う有効性を強く感じています。当カーの工場に入ると、コンポーネントメーカーである我々が見● 大成建設株式会社● 大成建設株式会社

小林勉氏

ると気がつく無駄があると感じます。例えば、冷凍機の配管が私たちは半導体工場でこのような役割を担っています。

私たちはここで半導体の開発・製造を行っています。

NECエレクトロニクス

蜻温調器エルピーダメモリ

ソニー

クリーンルームの設計・施工

大成建設

半導体製造装置【クリーンルームとは】半導体を製造する上で、空気中の微細な塵や埃は大敵です。空気中の塵や埃が規定値内で管理され、同時に、温度、湿度なども管理された空間がクリーンルームです。

東京エレクトロン▼ソレノイドバルブ▲除害装置

空気圧機器、温度調節機器（温調器）

SMC【温調器とは】半導体製造装置の内部を冷却するための装置が、温調器です。

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▲ポンプ

除害装置、ポンプ

エドワーズ【除害装置とは】半導体の製造過程で利用するさまざまなガスを安全に処理するための装置が除害装置です。

装置毎に配管をするわけですから、クリーンルームの用力室の気がしています。いろいろなガスを分別せずに混ぜると固体中が配管や信号系ケーブルなどでジャングルのように混沌とし化し易くなり、真空ポンプが停止する原因にもなります。こた状態になっています。環境負荷の削減という面でも、装置のれを防ぐために、窒素ガスの注入量が増え、除害装置に新た性能向上という面でも、情報公開が必要だと思います。

な課題が発生し、結果として環境負荷が増えます。生産工程

小林氏：全く同じように思います。クリーンルームを設計する時から改善し、ガスの種類や流量を絞れば、こうした問題は少に、冷却水にしても、空調負荷や排気にしても、実際の稼働状況なくなると思います。

がわからないため、与えられた条件で稼働率を予測して、設計TEL小宮山：私は東京エレクトロングループのクリーンルームしています。実態を把握できればもっと省エネルギー化に貢献を管理していますが、確かに半導体製造装置のプロセス技術できると思います。例えば、冷却には水を使う方法と空気を使者は、プロセスを良くするためにガス流量を増やす傾向にあう方法とがありますが、空気だとエネルギー使用量が水の5〜ります。ご指摘のように、排気系にその負荷がかかっているか6倍はかかります。しかし、本当に空気を使って冷却しなければもしれません。

いけないのか、水でできないのか、あるいは空気を使うにして多田氏：ガスを増やすことで処理時にどのような問題があるか、も、クリーンルームの空気を使用する必要があるのか、情報がデザインレビューのチェックリストに入れて確認するなど、わか入ってこないので判断ができません。こうした課題が少しずつりやすくプロセス開発者に示してはどうでしょう。

解決されていけば、トータルの環境負荷削減にかなり貢献できるのではないかと思います。

半導体メーカーは情報開示してほしい

岩井田氏：情報は確かに必要です。コンポーネントメーカーは、浦野氏：以前から感じていたのですが、日本の半導体メーカー

プロセス全体の流れがわからず、仕様書をもらってその通りには情報開示に積極的ではない、と思います。新たに工場を建設つくることに留まっています。ところが、実態は仕様書と違うこする場合、どのメーカーのどのコンポーネントを入れるかといっともあります。マイナス30度の温調器が必要と言われてつくった情報が全く公開されません。装置が納入された後から個別たものの、エンドユーザーの工場に納入したら、その仕様は必要無かったこともありました。マイナス20度の温調器が高級車のエンジンとすれば、マイナス30度の機器は、ゼロ戦のエンジンに匹敵するぐらい大変なことなので、できるだけこうした無駄はなくしていけると良いと思います。
小林氏：今後も、化学汚染物質の低減などフィルターへの負荷が少ないクリーンルームや、空調システムの省エネルギー化技術などを提供していきたいと思っていますが、我々の世界だけで考えることには限界があります。今日のような機会に情報交換させていただければ、もっとアイデアや技術を提供できるのではないかと思います。
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HIGHLIGHTと排気系システムが「ごみ箱」のように見られているような

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ＮＥＣエレクトロニクス株式会社

エルピーダメモリ株式会社

ソニー株式会社

エドワーズ株式会社

本間多田

青山

浦野三智夫 氏

一洋 氏

純一 氏

智秋 氏

環境負荷削減には組織の壁を破る必要がある

工場設備を総合的にマネジメントする人がいない

本間氏：工場の環境負荷削減にあたり、制約となるのが業務

TEL金子：工場では排気などの面でかなりの無駄があると思の「バカの壁」ともいうべきものです。それぞれの組織や部署、います。半導体製造装置のエネルギー使用量にしても、仕様書個人が自らに制約条件を課してしまって、ほかのことを考えなの 6 割程度で間に合うこともあります。半導体製造装置メーいのが現状です。こうした制約を排除することのなかに、改善カー側でも、半導体メーカーに言われた通りにつくるのでなく、の答えがあるかもしれません。

無駄をなくすための研究をしていく必要があると思います。

後町氏：組織の壁を破る必要がある、というご意見に全く同感

青山氏：工場をつくる時、電力容量がどのぐらい必要かなど、実です。建築業界にも建築と土木の壁があったり、空調担当と構は誰もわかっていないという現実があります。冷却水、ファシリ造担当の壁があったりします。昔はもう少し、他部署の業務にティ、電気と担当者が別々なので、データを寄せ集め、建設を担対しても意見を言う人が多かったかと思いますが、最近は業当する部門が経験や勘に基づき決めているのが現状です。総合務範囲が明確になりすぎているのかもしれません。今後は当的なマネジメントを誰もできないのです。一方、電力産業や製鉄社の立場からも、半導体製造装置メーカーに対して「冷却水は産業の一部で、使用装置の効率をリアルタイムで把握し、高効率本当に25度で良いのですか」など踏み込んで提言していきたを長期に亘って維持する取り組みが進んでいます。半導体製造

いと思います。

業においても、このようにウェーハの完成度の面だけでなく、半TEL井深：組織や人の壁というのは確かにあると思います。全

導体製造装置の効率向上の面からの取り組みが待たれます。

体最適、という考えで組織の連携モデルをつくることが必要

浦野氏：生産工程の省エネルギー化を考えた時、エネルギー使だと思います。

用量の少ないポンプや温調器を採用して個別のコンポーネント

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エドワーズ株式会社

SMC株式会社

三木岩井田

正晴 氏

克郎 氏

大成建設株式会社

大成建設株式会社

後町小林智雄 氏

勉氏

HIGHLIGHTにより省エネルギー化しようとするだけではなく、プロセスの開発段階から排気系やバルブ、冷却系などを考慮して設計・構成をすれば、無駄なガスの使用も抑えられ、省エネルギー化が11進むのではないかと思います。
三木氏：ポンプメーカーとしても、ポンプの配置やそれらの配管ス
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ダーとの座談会

方法を工夫するだけで省エネルギーになるとのアイデアがあります。工場を建設するときに最初の段階から省エネルギー化の施策を考えておけば効率的だと思い、10年前から提案しているのですが、なかなか取り入れてもらえません。

TEL金子：確かに現状では、はじめから全体最適を追求しているというより、部分最適の組み合わせで省エネルギー化や環境配慮を進めていると思います。例えば、個別のコンポーネントの性能さえ良くなっていればエネルギー使用量が減らせTEL井深：LCAは「両刃の剣」だと思っています。どんな半導体る、という具合です。半導体メーカーのなかで総合的な工場メーカーでも LCAの手法でエネルギーを把握できることになマネジメントを行う必要があると同時に、半導体製造装置りますから、提唱した我々が先行の利を活用しないと、競合他メーカーも半導体メーカーに切り込んでいけるような強さを社に塩を送ることになる、という側面もあります。情報の共有化

持っていないと、コンポーネントメーカーにきちんとしたメッと企業競争とのバランスについての判断が重要です。

セージを発信できないと思いました。その上でファシリティ全体とどう整合性をとっていくか。

※2 LCA（ライフサイクルアセスメント）：生産から回収再利用までの過程で環境に対する影響度を評価する手法

省エネルギー化に LCA（ライフサイクルアセスメ

上流・下流で話し合う場をどうつくるかント）※2を活用しよう

本間氏：最近いろいろな改善プロジェクトに参加していますが、青山氏：そこで役に立つのがLCAだと思います。例えば、あるその経験を通して一つわかったことがあります。
半導体のサプラ除害装置を付けたらプロセス全体でCO2排出量がどのぐらいイチェーンには多段階の階層がありますが、階層を大きく飛び減らせるかなど、改善の効果が総合的にわかります。新しい越えた協業はあまり必要ないということです。
通常、隣り合う2階ラインの方が総合的な対策は取りやすいので、モデルをつく層が集まればかなりのことが改善できます。ただし、現状に対しり、例えば建築業者が建屋を建てるだけでなく、こういう省エ疑問を投げかけてくれるようなコンサルタントは不可欠です。
小

ネルギー型ラインのモデルがある、と総合的に提案していっさな改善でも、プロジェクトをつくれば効果があると思います。てもいいでしょう。もちろん既存のラインでも LCAによってTEL井深：10年ほど前に、PFCガス※3についてサプライヤー省エネルギー化が可能です。当社でも工場をリニューアルしとの個別のフォーラムを実施しましたが、このような企業とのた際に、電力使用量をかなり削減しましたが、比較的短期間オープンフォーラム的なものや業界団体によるフォーラムなで投資回収できる予定です。

どが有効だと思います。
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工場とは﹂

東京エレクトロン株式会社
先端プロセス開発センター

東京エレクトロン株式会社
開発企画室

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

小宮山

山中金子

井深星

清崇己

正記

成仁

丈治

本間氏：情報の秘匿性と技術移転は、分けて考えた方が良い切り離せないようにするのです。半導体製造装置に求めらと思います。JEITA※4やSEMIなど、比較的オープンな場で行れる機能には、必要な順に①先端製造プロセス技術の導入、うものと、コンソーシアムのような限られた範囲で行うものと②運用における生産性、③環境保全、省エネルギー化などので分けた方が良いでしょう。

自主貢献、と考えています。優先順位が低くなりがちな環境

青山氏：個々の企業で活動しても効果は薄いでしょう。JEITAや省エネルギー化機能を隠れた形できちんと盛り込んでいの中で行っていくのが適切だと思います。コンポーネントメーくことが狙いです。

カーも個別に動くのでなく、JEITAとしての活動のほうが参「見えない化」には大きなヒントがあると思います。
TEL金子：

加しやすいでしょう。環境については世界のどの半導体メー環境や省エネルギー化機能をはずすと装置自体が稼働しなカーも取り組んでいかなければならないという意識を持ってくなる、という発想がいいですね。

いますから、環境という切り口から情報発信し、装置・コン

多田氏：今後、新興国で半導体製造装置の販売量が増えるとポーネントメーカーとともに積極的に進めていきたいですね。

思いますが、その際にはコスト削減のため、優先順位の低い※3 PFCガス（Perfluorocarbonガス）：半導体の製造工程で利用する代替フロン・ガスの一つ。温室効果ガス。

環境機能をはずしてほしいと求められる可能性が高い。世界全体の環境負荷低減を念頭に置いて、環境性能を製造プロ※4 JEITA（ Japan Electronics and Information Technology：社団法人電子情報技術産業協会
Industries Association）

セス技術や生産性向上に埋め込んで、分離できない形で提供

装置の環境性能を「見えない化」
しよう

利益を追求していけば環境負荷も減る

多田氏：私は、装置の環境性能を「見えない化」することを提青山氏：ここで原点に立ち返って、そもそも良い半導体工場案したいと思います。環境性能を半導体製造装置の性能ととは何かを考えてみたいのですが、一番参考になるのは、日一体化させ、この機能を外すと装置が止まってしまうなど、本のFPD工場の事例だと思います。周囲との調和という面でするのが良いと思います。

も、地元への雇用創出や税金の還元という面でも優れており、製品が省エネルギー化に貢献するため、生産工場と結びついて企業イメージの向上に役立っています。
三木氏：一般的に、良い工場とは、投入するものを最小限に抑え、排出を少なく、価値を最大化して利益につなげられる工場だと思います。これは、Green Fabと矛盾しないはずです。
岩井田氏：利益に結びつけるという点に同感です。当社のユーザーには零細な町工場も多く、環境には関心を持っていないお客様もいます。そういう場合は、年間の電気代がどのぐらい削減になって得をするかという切り口で省エネルギー製品を勧めるのが一番効果的だと感じます。結果的に、環境負荷低減にも結びつきます。
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を社会にもっとアピールしていかないといけないと思います。とのように考えるのが間違いであり、環境に取り組むことは小林氏：例えば、東京都が 2007 年 6 月に、2020 年までに利潤にもつながります。少ない材料でできるだけ多くの製品2000年比でCO2排出量を25％削減する「カーボンマイナス東をつくれば、利益に結びつくということで、誰もが自明であ

京10年プロジェクト」を発表し、排出量取引構想も打ち出してると考えるようにする必要があります。

います。半導体業界にはどのような影響があると考えますか。

TEL星：必ずしも環境や省エネルギー化を目的にしていなくて

多田氏：半導体の省エネルギー化への貢献を社会に理解しても、ほかの改善の結果、環境負荷低減になる場合もあります。

やJI（共同実施）
もらえれば、CDM（クリーン開発メカニズム）

コストダウンのために装置の小型化を追求したら、結果的にのような形で、半導体工場は「半導体による貢献」という観点省エネルギー化になったのもその一例です。厳しいコストダで排出権がもらえるはずです。家電製品など、製品の環境負ウンを何度も乗り越えてきた経験を生かして、技術開発に取荷削減分の少なくとも半分は半導体の貢献によるものですかり組んでいきたいと思っています。

ら、排出権も半分ぐらいはほしいですね。

TEL井深：本日は半導体をつくることにかかわる省エネルギー

半導体は社会全体の省エネルギー化に貢献している化を議論してきましたが、半導体を使うことによる省エネル

青山氏：先ほど良い工場の例としてあげた日本の FPD工場のギー効果の大きさを社会に知ってもらうことも極めて重要だと事例を半導体工場に置き換えて考えてみると、半導体工場で思います。サプライチェーンの中にいる我々自身も、最終消費は具体的な商品イメージが沸かないという問題があります。半者に半導体の効用を訴えることを視野に入れたビジネス戦略

導体は市販の製品に組み込まれて省エネルギー化などに大きを考えていかなければいけないと思います。

く貢献していますが、液晶テレビのようにイメージとして把握本日はいろいろな議論ができてたいへん有意義でした。またするのが困難です。ですから、半導体がどう役立っているのかこのような機会を設けていきたいと思います。

座談会を受けて当社グループの環境･社会報告書での座談会は、初回（2004年）
は当社グループ内の環境安全担当者、2回目（2005年）は当社グループの営業・開発・設計担当者、3回目（2006年）はお客様をお招きして行ってきました。今回は、お客様であるソニー様、エルピーダメモリ様、NECエレクトロニクス様と、コンポーネントメーカーであるエドワーズ様およびSMC様、さらにクリーンルームの設計・製造を行う大成建設様をお招きし、座談会を開催しました。複数のお客様やお取引先様、当社グループの開発、EHS関係者でクリーンルーム全体の省エネルギー化について情報交換を行うことができ、大変貴重な機会となりました。
今回の座談会では、サプライチェーン全体での環境負荷低減の必要性が再度認識され、定期的にこのような情報交換の会議の開催についてご提言いただいたことは大変意義深いことだと考えます。また、当社グループならびにお取引先様製品の環境負荷低減をより積極的、具体的に行っていくためには、それをビジネスの一環として明確に位置付け、関連各位と一体となって進めていくことが重要であることも再認識いたしました。
今後もこのように様々な方のご意見をお伺いして、当社グループ製品の環境配慮設計を進めるために、どのようなアプローチで進めるのかを検討していきたいと考えています。
東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター センター長

金子正記

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2007

HIGHLIGHT

青山氏：おっしゃる通りで、そもそも環境と利益は矛盾するこ

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ホル
ダーとの座談会﹁ＧｒｅｅｎＦａｂ
良い半導体工場とは﹂