Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich vonAtmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

1Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bisUltrahochvakuum

Das invertierte Magnetron Vakuummessgerät Gemini™ von INFICON
ist das neue Arbeitspferd für alle Vakuummessapplikationen. Während
Gemini MPG50x zwei Sensorsysteme zu einem kompakten Gerät fürdie Messung im Bereich von Atmophäre bis 1x10– 9 mbar vereinigt, ist
Gemini™ MAG50x eine reine Kaltkatode (ohne Pirani), welche den
Messbereich von 1x10-2 mbar bis runter zu 1x10 – 9 mbar abdeckt.
Das patentierte Design zur Reduktion des magnetischen Streufeldes
eröffnet neue Einsatzbereiche in kritischen Vakuum-Applikationen. Der
einzigartige austauschbare 2-Kammer-Sensor macht eine regelmässige
Reinigung überflüssig und reduziert dadurch die Wartung des Gerätes.
Gemini™ wird dadruch zum robustesten und wirtschaftlichsten
Vakuum-Messgerät seiner Art.
Die Gemini™ Kaltkathode (MAG) und die Gemini™ Pirani-Kaltkathoden
Kombi-Variante (MPG) sind aktive Messgeräte mit integrierter digitalerElektronikeinheit zur ultimativen hochflexiblen Systemintegration. DieKaltkathoden-Pirani Kombivariante (MPG) sorgt für nahtlose
Messübergänge, Zuverlässigkeit und Flexibilität in Applikationen mit
erweitertem Vakuumdruckbereich.
MAG und MPG Gemini™ sind nun auch mit EtherCAT Feldbus undintegrierten Schaltpunkten erhältlich als MAG55x und MPG55x.
Für korrosive Applikationen empfehlen wir die Keramik beschichtete
Version MxG5x4. Bei dieser sind Durchführung und Pirani-Element imSensorkopf, zur Erlangung einer verbesserten Korrosionsbeständigkeit,vollständig Keramik beschichtet.
Die Gemini™ Kaltkatoden und Kombinationssensoren kommen mit
vollintegrierter digitaler Elektronik und bieten so die ultimative Flexibilität
bei der Systemintegration.
Beide, Kaltkatode und die Kaltkatoden-Pirani
Kombinationssensoroption bieten nahtlosen Übergang,Zuverlässigkeit, und Flexibilität in allen Weitbereichs-Applikationen.

VORTEILEn

Lange Lebensdauer in rauen EinsatzumgebungennGeringes magnetisches Streufeld

2Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

nZuverlässige und schnelle ZündungnSchnellste Wartung - austauschbarer Einsatz

nKompakte Baugröße - einfache Integrationn

Korrosionsbeständige Durchführung & Sensor Elementn

Wählbarer Messstromn

2 Relais-Schaltpunkte (MxG55x)n

EtherCAT und RS232/ RS485 digitale Schnittstellen

3Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

BESTELLINFORMATIONEN

4

Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

TECHNISCHE DATENTypMesssystem

MAG5xx

MPG5xxCold cathode ionization
measurement system(according to the inverted
magnetron principle)

Pirani and cold cathodeionization measurement
system (according to theinverted magnetron principle)

Messbereich (air, N2)

Torr(7.6×10⁻¹⁰ … 7.6×10⁻³)(7.6×10⁻¹⁰ … 760)

Messbereich (air, N2)

mbar

1×10⁻⁹ … 1×10⁻²

1×10⁻⁹ … 1000

Genauigkeit (N2)
1×10-8 … 1×10-2 mbar

% of reading30-

1×10-2 … 100 mbar

% of reading-30

100 … 1000 mbar

% of reading-50

1×10-8 … 1×10-2 mbar

% of reading

5-

1×10-8 … 100 mbar

% of reading-5anyany

10 (limited to inert gases<55°C)

10 (limited to inert gases<55°C)

Wiederholbarkeit (N2)Montagerichtung
Zulässiger Druckbar (absolute)

Zulässige Temperatur
Betrieb (Umgebung)°C+5 ... +55

Betrieb(Umgebungstemperatur)°C

Ausheizen am Flansch (1)

°C

<150

<150Lagerung°C-40 ... +70-40 ... +70

Filament temperatur

°C

-120

1×10-7 … 1×10-2 mbar%

<95 (non-condensing)<95 (non-condensing)

1×10-8 … 1×10-2 mbar%<70 (non-condensing)<70 (non-condensing)+14.5 ... +30+14.5 ... +30<1<1<2<2+5 ... +55

Rel. Luftfeuchtigkeit über30Tage pro Jahr

Betriebsspannung
Am Messgerät (2)V (dc)

Betriebsspannung
Restwelligkeit

V (p-p)Betriebsspannung
Leistungsaufnahme

5W

Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

TECHNISCHE DATENTypMAG5xx

MPG5xx<1<1

Betriebsspannung
Absicherung externATSpannungsbereich
Analoger Ausgang

VMesswert analog

V0 ... +10.50 ... +10.5

Fehlersignal
AusgangsimpedanzΩ2x10Fehlersignal
Last-ImpedanzkΩ>10 (short circuit-proof)

Sprungantwort
p > 1 x 10-6 mbar

ms
<100

Sprungantwort
p=1x10-6...1x10-8 mbars~1

Messgerät IdentifikationkΩ

85

3MAx-00x-0x0N

V-

3MBx-00x-0x0P

V+1.398 ... +8.598

3MAx-00x-0x0Q

V-

3MAx-xxx-xxxN

V+1.5 ... +8.5

3MBx-xxx-xxxP

V-

3MAx-xxx-xxxQ

V+0.667 ... +10

Messbereich

Status (Pin 6)
Kaltkathode gezündet

V-nur Piranimodus

V0 (low)Kombinierter Pirani /Kaltkathoden Modus 3)

V+15 ... +30 (high)BetriebsspannungkV<3.3Hoher Betriebsstrom

µA

<500

Volt versus Druck
3MAx-00x-0x0N

volts per decade-3MBx-00x-0x0P

volts per decade

0.6 (logarithmic)

3MAx-00x-0x0Q

volts per decade-6Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

TECHNISCHE DATENTypMAG5xx

3MAx-xxx-xxxN

volts per decade

1 (logarithmic)

3MBx-xxx-xxxP

volts per decade-3MAx-xxx-xxxQ

volts per decade1.33 (logaritmic)

Niedriger BetriebsstromµA

MPG5xx<100Gewicht
DN 25 ISO-KF

g<280

DN 40 ISO-KFg<320

DN 40 CF-F & CF-R

g

<570

Fehlersignal
Fehlersignal

V
09.5 ... +10.5

3MAx-xxx-xxxN

V<+0.53MA-xxx-xxxQ

V

<+0.3

3MBx-xxx-xxxP

V-

Output impedanceΩ
2 x 4.7 (short circuit-proof)

Standards
CE Konformität
EMC (EN 61000-6-2, EN61000-6-3), EN 61010-1 &RoHS
Load impedancekΩ>10 (short circuit-proof)

Wartungnone

Sprungantwortzeit(druckabhängig)
p > 1 x 10-6 mbar

ms<100Sprungantwortzeit(druckabhängig)
p = 1x10-6...1x10-8 mbar

s~1Messgerät Identifikation (FCCconnector gauges)
3MAx-0xx-000N

7kΩ

Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum-TECHNISCHE DATENTypMAG5xx

3MAx-0xx-000QkΩ

100

3MBx-0xx-000PkΩ

-mA

100

High Voltage is ON

V (dc)+14.5 ... +30 (depending on
supply voltage)

High Voltage is OFF

V (dc)

0MPG5xx

Status Signal, digital output(FCC connector)
Current rating
Status Signal, digital output(FCC connector)

Status signal, digital output (Dsub connector)
Supply voltage

V (dc)<30

High voltage ONV (dc)0

Status signal, digital output (Dsub connector)
Current ratingmA

100 (sink)Status signal, digital output (Dsub connector)
High voltage OFF

open

Elektrische Verbindung
3Mxx-00x-000x

FCC68, 8-pin, female

3Mxx-00x-010x

D-sub, 9-pin, male

3Mxx-0xx-000x

FCC68, 8-pin, female

3Mxx-0xx-010x

D-sub, 9-pin, male

3Mxx-0xx-04xx

D-Sub HD, 15-pin, male (forRS232/485 version)3Mxx-xxx-x2Gx

D-Sub HD, 15-pin, male (forEtherCAT Version)

Sensorkabel
3Mxx-00x-000x

8-pin, shielded

3Mxx-0xx-000x

8-pin, shielded

3Mxx-0xx-010x

9-pin, shielded

8Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

TECHNISCHE DATENTypMAG5xx

MPG5xx3Mxx-0xx-04xx
15-pin, shielded (forRS232/485 version)
3Mxx-xxx-x2Gx

15-pin, shielded (forEtherCAT version)

Kabellänge
50 m Kabelm< 50 (8x0.14 mm²)

75 m Kabelm< 75 (8x0.25 mm²)

100 m Kabelm< 100 (8x0.34 mm²)

300 m Kabelm< 300 (8x1.00 mm²)

FCC connector cablem<50 (0.14 mm²/ conductor)

High voltage (in the measuringchamber)
Ignition voltage

kV

<4.5

Betriebsspannung

kV

<3.3

High current

µA

<380

Low current

µA

<130

Current (in the measuringchamber)

Setpoint relays (MxG55x)
Range (N2)mbar bar

5x10₋₅ ... 1500

Setpoint relays (MxG55x)
Relay contact

normally open (NO), potential
free

Setpoint relays (MxG55x)
Hysteresis% of threshold

10

Setpoint relays (MxG55x)Contact rating of mechanicalrelays

V/A<30/ <1

ms<30

Setpoint relays (MxG55x)
Switching time
Materialien, gasberührend
3Mx0-00x-0x0x

9Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

W, Ni alloy, AI₂O₃, glass,stainless steels

TECHNISCHE DATENTypMAG5xx

3Mx3-00x-0x0x

MPG5xxNi alloy, AI₂O₃, stainlesssteels

3Mx0-xxx-xxxx

Ni alloy, Mo, AI₂O₃, glass,stainless steels

3Mx3-xxx-xxxx

Mo, AI₂O₃, stainless steels

3Mx0-11x-xxxx

Ni alloy, Mo, Al₂O₃, glass, Ti,stainless steels

3Mx3-11x-xxxx

Mo, Al₂O₃, Ti, stainless steels

Internes Volumen

22.8

DN 25 ISO-KF

cm³~19.9

DN 40 ISO-KF

cm³~20.9

DN 40 CF-F

cm³~25.2

DN 40 CF-R

cm³~25.6

cm³

22.8

22.8

Gewicht (MxG50x)
DN 25 ISO-KF

g<280

DN 40 ISO-KF

g

<320

DN 40 CF-F & CF-R

g

<570

DN 25 ISO-KF

g

<500

DN 40 ISO-KF

g

<320

DN 40 CF-F & CF-R

g

<780

Weight (MxG55x)

Schutzgrad

IP 40

CE conformity
EMC

2014/30/EU, EN 61000-6-2,EN 61000-6-3, EN 61326-1

RoHS

2011/65/EU

SafetyEN 61010-1

RS232C / 485C (MxG50x)
Baud rates

kBaud

9.6/ 19.2/ 38.4/ 57.6

RS232C / 485C (MxG50x)
Address

102 switches (address 00 - 255)

Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

IP 40

TECHNISCHE DATENTypMAG5xx

Digital functions

Read pressure, select Units:Torr, mbar, Pa, micron,counts. Monitor gauge Status,
detailed Alarm and warning
Information, safe state allows
Definition of behaviour incase of error.

Connector for RS232 & RS485D-Sub HD, 15-pin, male

EtherCAT® (MxG55x)
ProtocolEtherCAT?????

Communication standard
ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 ⁴⁾
ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0⁵⁾
Node address

Explicit Device Identification

Physical layer

100Base-Tx (IEEE 802.3)

Digital functions

Read pressure, select Units:Torr, mbar, Pa, micron,Counts. Monitor gauge
Status, detailed Alarm andwarning Information, safe
state allows Definition ofbehaviour in case of error.

EtherCAT connector

2 x RJ45, 8-pin (socket),
Input & output

EtherCAT cableSpecial Ethernet Patch cableor crossover cable, shielded(CAT5e Quality or higher)

EtherCAT® (MxG55x)
Cable lenght

11m (ft.)<100 (330)

Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

MPG5xx

1) Ohne Elektronik.
2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss
proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht
werden.
3) Kaltkathodenzündung.

12Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis
Ultrahochvakuum

ERSATZTEILE
MAG5xx

MPG5xxErsatz Ionisationskammer SS351-555

351-555

Ersatz Ionisationskammer TI

351-556351-556

MAG500 Ersatzsensor, 25KF, SS

351-500-

MAG500 Ersatzsensor, 25KF, TI

351-502-

MAG500 Ersatzsensor, 40CF-F, SS

351-524-

MAG500 Ersatzsensor, 40CF-F, TI

351-526-

MAG500 Ersatzsensor, 40CF-R, SS

351-536-

MAG500 Ersatzsensor, 40CF-R, TI

351-538-

MAG500 Ersatzsensor, 40KF, SS

351-512-MAG500 Ersatzsensor, 40KF, TI

351-514-MAG504 Ersatzsensor, 25KF, SS

351-501-MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI

351-503-MAG504 Ersatzsensor, 40CF-F, SS

351-525-

MAG504 Ersatzsensor, 40CF-F, TI

351-527-

MAG504 Ersatzsensor, 40CF-R, SS351-537-MAG504 Ersatzsensor, 40CF-R, TI

351-539-MAG504 Ersatzsensor, 40KF, SS

351-513-MAG504 Ersatzsensor, 40KF, TI

351-515-

MPG500 Ersatzsensor, 25KF, SS-351-506

MPG500 Ersatzsensor, 25KF, TI-351-508

MPG500 Ersatzsensor, 40CF-F, SS-351-530

MPG500 Ersatzsensor, 40CF-F, TI-351-532

MPG500 Ersatzsensor, 40CF-R, SS-351-542

MPG500 Ersatzsensor, 40CF-R, TI-351-544

MPG500 Ersatzsensor, 40KF, SS-351-518

MPG500 Ersatzsensor, 40KF, TI-351-520

MPG504 Ersatzsensor, 25KF, SS-351-507

MPG504 Ersatzsensor, 25KF, TI-351-509

MPG504 Ersatzsensor, 40CF-F, SS-351-531

MPG504 Ersatzsensor, 40CF-F, TI-351-533

MPG504 Ersatzsensor, 40CF-R, SS-351-543

MPG504 Ersatzsensor, 40CF-R, TI-351-545

MPG504 Ersatzsensor, 40KF, SS-351-519

MPG504 Ersatzsensor, 40KF, TI-351-521

MxG40x/50x Zündhilfesatz(10 Stk)

351-995351-995

13Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bisUltrahochvakuum

ZUBEHÖR
MAG5xx

MPG5xxBaffle zu BPG400

353-512353-512

MxG50x Werkzeuge für Zündhilfe

351-550

351-550

Zentrierring mit Baffle DN 25 KF

211-113211-113

Zentrierring mit Feinfilter DN25KF

211-098

211-098

ABMESSUNGEN

www.inficon.com

reachus@inficon.com

Aufgrund laufender Produktverbesserungen können sich Spezifikationen ohne vorherige Bekanntmachung ändern.
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09.08.2016=> Accuracy
MPG at 1x102 ...10mbar
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