MPG40x ATM bis Ultra-Hoch Vakuum Sensor

Die invertierten Magnetron-Pirani-Messgeräte MPG400 und MPG401
von INFICON, messen im Bereich von 5 x 10-9 mbar bis Atmosphäre(3.8 x 10-9 Torr bis Atmosphäre). Die Kombination zweier Technologien
in einer kompakten Einheit mit einem analogen, logarithmischen
Ausgangssignal verringert die Installationskomplexität bei derIntegration in die Anlage.

LEISTUNGEN

Kombinationsmessröhre – invertiertes Magnetron & PiraniWeiter Messbereich von 5 x 10-9 mbar bis Atmosphäre

Kein Heizfaden AusbrennenHervorragende Zündeigenschaften

Einfach zu reinigenFPM oder metallgedichtete Durchführung

LED-Anzeige für Hochspannung ein

Analoges logarithmisches Ausgangssignal

BESTELLINFORMATIONEN

1

MPG40x ATM bis Ultra-Hoch Vakuum Sensor

Typ

MPG400 FPM sealed

Magnetische Abschirmung

MPG401 metal-sealed
351-023

MPG400 FPM gedichtet, DN 25 ISO-KF

351-010

MPG400 FPM gedichtet, DN 40 CF-F

351-012MPG400 FPM gedichtet, DN 40 ISO-KF

351-011

MPG401 Metall gedichtet, DN 25 ISO-KF

351-020

MPG401 Metall gedichtet, DN 40 CF-F

351-022

MPG401 Metall gedichtet, DN 40 ISO-KF

351-021TECHNISCHE DATEN
TypMPG400 FPM sealed

MPG401 metal-sealed

Messbereich (Luft, NೣTorr

[೜೚… 760[೜೚… 760

Messbereich (Luft, Nೣmbar

[೜೚… 1000[೜೚… 1000% of reading

ปs

ปs

% of reading

ปs

ปs

anyanyื OLPLWHGWRLQHUWJDVHVื OLPLWHGWRLQHUWJDVHVGenauigkeit (Nೣ[೜೙… 100 mbar
Wiederholbarkeit
[೜೙… 100 mbar
Einbaulage
Zulässiger Druckbar (absolute)

Zulässige Temperatur
Betrieb (Umgebung)°C+5 … +55+5 … +55

Lagerung°C–40 … +65

–40 … +65

Ausheizen (1)

°C

150

150

Heizfadentemperatur (Pirani)

°C

120

120

Versorgungsspannung
An der Messröhre

V (dc)+15 … +30+15 … +30

Bei Versorgungseinheit mit
max. Kabellänge (2)V (dc)+16 … +30

+16 … +30

RippleV (p-p)ืื

LeistungsaufnahmeWืื

Sicherung vorzuschalten

AT

ื

ื

SpannungsbereichV

0 … +10.5

0 … +10.5

Messbereich

V+1.82 … +8.6

+1.82 … +8.6

Versorgungsspannung

Ausgangssignal (Messsignal)

2

MPG40x ATM bis Ultra-Hoch Vakuum Sensor

TECHNISCHE DATEN
TypMPG400 FPM sealed

MPG401 metal-sealed

logarithmic, 0.6 volts per
decadelogarithmic, 0.6 volts perdecade

V

<0.5

<0.5

Pirani-Sensor, Heizfadenbruch V>9.5>9.5

Ausgangsimpedanz

വ

2 x 102 x 10

Minimale LastimpedanzNവ10, short-circuit proof

10, short-circuit proofS!೜೗mbar

ms<10<10S ೜೙mbar

msป

ป

85, referenced to supply
common85, referenced to supply
commonSpannung vs. DruckFehlersignal
Keine SpeisungAnsprechzeit

Identifikation Messröhre
Status
Nur Pirani-ModusV

0 (low)0 (low)

Kombinierter
Pirani-/Kaltkatodenmodus

V

15 … 30 (high)

15 … 30 (high)LED greenhigh voltage onhigh voltage on

StatusLED
Elektrischer Anschluss

FCC 68 appliance connector, FCC 68 appliance connector,
8 poles, female
8 poles, female

Sensorkabel

8 poles plus shielding

8 poles plus shielding

Kabellängemื [PP²)ื [PP²)

BetriebsspannungkVื

ื

BetriebsstromµAืื

Werkstoffe gegen Vakuum
Inneres Volumen

stainless steel, AlೣO೤FPM75, stainless steel, AlೣO೤Ag, Cu,Mo, Ni, Au, W
Sn, Mo, Ni, Au, W
cm³

ป

ป

DN 25 ISO-KFg

ป

ป

DN 40 ISO-KFg

ป

ป

DN 40 CF-Fg

ป

ป

IP 40

IP 40Gewicht

Schutzart
NormenCE-Konformität

3

MPG40x ATM bis Ultra-Hoch Vakuum Sensor

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61000-6-2, EN 61000-6-3,EN 61010-1
EN 61010-1

1) Without electronics and magnetic shielding.
2) The minimum voltage of the supply unit must be
increased proportionally to the length of the sensor cable.

ERSATZTEILE
MPG400 FPM sealed

MPG401 metal-sealed

MPG400 Reparatursatz

351-998-

MPG400 Wartungssatz

351-999-

MPG401 Reparatursatz-351-996

MPG401 Wartungssatz-351-997

MPG40x Montagewerkzeug für Zündhilfe

351-994351-994

MxG40x/50x Zündhilfesatz(10 Stk)

351-995351-995

MPG400 FPM sealed

MPG401 metal-sealed

351-023351-023

ZUBEHÖR
Magnetische Abschirmung

4

MPG40x ATM bis Ultra-Hoch Vakuum Sensor

ABMESSUNGEN

www.inficon.com

reachus@inficon.com

Aufgrund laufender Produktverbesserungen können sich Spezifikationen ohne vorherige Bekanntmachung ändern.
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