CFor Chemicals

超音波流量計USF500N

Ultrasonic flow meter

DSP機能搭載で安定性・応答性・耐気泡性の向上。
2チャンネル採用で省スペース化を実現。
■ 脱着式ケーブルで配線作業が容易。
■ 高温流体対応可能。
（Max. 200℃，高温仕様 )■ マルチ通信。
（最多31台連結可能）■■

Faster and more stable flow measurement is available with the new feature of DSP. Anti-bubble capability enhanced as well.
The new driver unit is capable of accepting up to 2 input signals, resulting in small foot print and minimized volume.
■ Easy wiring since cables can be disconnected from the tranceducer.
■ A fluid temperature of ≦ 2000C is usable. ■ Up to 31 units connectable■■

注 意 本製品の接液部材質に対し、浸透性のある薬液のご使用における故障は補償しかねます。
CautionWe cannot be responsible for the failure caused by the use of the penetrating chemicals on the materials of the wetted part of this product.

型式 Model number selection
CH1

CH2 ※未使用の場合は無記入 No need to select models when CH2 is not necessary
特殊項目
For specialized item

口径標準/高温 流量単位 最大流量 標準SET
口径 標準/高温 流量単位 最大流量 標準SET CH1流体名 CH2流体名Connection size Std. / High temp.
Units
Units
CH1 fluids
CH2 fluids
Max. flow
Std. SET Connection size Std. / High temp.
Max. flowStd. SET

USF500N ------

CH2の流体名を記入
Add a fluid name for CH2

記入例 e.g. : 1CH : USF500N-G15HK-B20-H2SO4

2CH : USF500N-G08HK-A3000-G20HK-B50-H2SO4-H3PO4

CH1の流体名を記入
Add a fluid name for CH1

無記入 Blank
HKAB

Max.

検出器 Transducer unit
G08
G10
G15
G20
G25

無記入 Blank
FCH1

参照
Refer to CH1

GZ08
GZ10
GZ15
GZ20
GZ25

無記入 Blank 標準仕様 Standard spec.
フローコントロールバルブ FCV-Cとのセット仕様 Shipped with flow control valve (FCV-C)
FMax. 下記測定範囲の最大流量を記入 Max. flow rate selected from the available flow range below
mL/min ＊対応口径：G08/10、GZ08/10 Connection size: G08 / 10, GZ08 / 10AL/min
B
無記入 Blank 標準仕様 Standard spec.
HK
高温仕様 High-temperature spec.
流体温度 Fluid Temperature
検出器
測定範囲
接続口径
形状
Transducer unit
Measuring range
Connection size
Shape
標準 Std.
高温 High-temp.
G08
G10
G15
G20
G25
GZ08
GZ10
GZ15
GZ20
GZ25

0〜3L/min
0〜6L/min
0〜20L/min
0〜50L/min
0〜80L/min
0〜3L/min
0〜6L/min
0〜20L/min
0〜50L/min
0〜80L/min

Tube 1/4″(φ6.35×4.35)
Tube 3/8″(φ9.53×6.33)
Tube 1/2″(φ12.7×9.53)
Tube 3/4″(φ19.0×15.8)
Tube 1″(Φ25.4×Φ22.2)
Tube 1/4″(φ6.35×4.35)
Tube 3/8″(φ9.53×6.33)
Tube 1/2″(φ12.7×9.53)
Tube 3/4″(φ19.0×15.8)
Tube 1″(Φ25.4×Φ22.2)

Max. 180℃

Max. 90℃
Max. 200℃
Max. 90℃

Max. 180℃
Max. 200℃-※G25／GZ25はHK（高温仕様）のみ取り扱いとなります。また、フローコントロールバルブFCV-Cとのセットは未対応です。
＊ G25 / GZ25 is available on HK (high-temp version). Also, it is not usable with our flow control valve “FCV-C”.

2282023

標準型 Std. Shape

Z型 Z ShapeC型式 Model number Selection
流体 Fluid

USF500N-G08
USF500N-G10
USF500N-G15
USF500N-G20
USF500N-G25HK
純水, スラリー, 薬液(IPA, H₂O₂, H₂SO₄, H₃PO₄, HF, HCl, O₃, NH₃など) DI water, Slurry, Chemicals (IPA, H2O2, H2SO4, H3PO4, HF, HCl , O3, NH3, etc.)
0〜6L/min

0〜20L/min±1％ of R.D.

測定流量精度 (出荷校正時）※ 測定流量範囲の10％以下：±0.1％ of F.S. ※ ≦10% of the flow ranges: ±0.1% of F.S.

「純水20℃（室温25℃）、流量安定状態で校正された瞬時流量精度」となります。

Measuring flow accuracy (Ensured at Factory)

Instantaneous flow accuracy is ensured with stable DI water of 200C (ambient temperature of 250C)

計測チャンネル数 Available number of measurement channel

2チャンネル Channel 2

データ更新周期 Measurement updated cycle

10ｍs

0.78MPa(G)0.49MPa(G)

-90℃
180℃

200℃

0〜80℃（検出器 Transducer unit）/ 0〜50℃（変換器 Driver unit）結露なきこと No dewing

入力信号(デジタル入力)
Input signals(Digital input)●TTLまたは無電圧接点入力 TTL level or No-volt contact input●入力ポート2系統 1系統につき1種類の入力のみリセット可能 2-port. 1 reset type per port
●各CHの積算値リセット入力 及び ゼロ点調整入力より選択
Selectable between input for resetting totalized flow value and resetting zero-point in each channel

デジタル出力(NPNオープンコレクタ) Digital output (NPN open collector) アナログ出力 Analog output

超音波伝搬時間差方式 Measuring propagation time difference between sending

接点 Contact0.36MPa(G)

常温破壊圧力に200℃(180℃)の破壊圧力低下係数を掛け合わせた規格値です。
ご使用の際は規格値の1/2〜1/5以下で運用いただくことを推奨致します。
The above are specified values calculated from multiplying burst pressure at ambient temperature by reduction factor of burst pressure at 200°C (180°C).
It is recommended to operate with 1/2 to 1/5 of the specified values or lower.

計測方式 Measuring method出力信号 Output signals

変換器 Driver unit

使用環境温度 Ambient operating temperature

1.03MPa(G)USF500N

標準 Std.
最高流体温度Max. operating fluid
高温 High-temperaturetemperature

0.2MPa(G)(60℃〜200℃)

0.2MPa（G）
0.98MPa(G)

200℃(180℃)

0.5MPa(G) ※60℃以下≦ 600C

0.5MPa（G）

最高使用圧力 90℃以下 ≦ 900C
Max. operating pressure 90〜200℃(or 90〜180℃)

計測出力 4-20mA
Output 4-20 mA●分解能: 12bit（約1/4000 ステップ）Number of step: 12bit (Approx. 1/4000)●最大負荷抵抗: 600Ω Max load resistance: 600 Ω●出力ポート: 2系統 1系統につき1種類の出力のみ設定可能 Output port: 2 ports. 1 output selectable per port.
各CHの瞬時流量値、積算値より選択 Selectable between instantaneous flow value and totalized flow value in each channel●瞬時流量範囲: 上記 測定流量範囲同じ Instantaneous flow range: Same as above flow range●積算流量範囲: 上限設定（20mA）
は任意に設定可能 Totalized Flow range: Arbitrary setting can be made up to upper limit (20 mA)
G08 / G10：〜32.000L (設定ステップ 0.001L Setting STP 0.001 L)
G15 / G20 / G25HK：〜320.00L (設定ステップ 0.01L Setting STP 0.01 L)

出力定格 Rated Output

V VoL=1.3 V）＊VoL＝ローレベル出力電圧 VoL =low-level output voltage●印加電圧: Max．35V（VoL＝1.3V）Impressed voltage: Max. 35 （●シンク電流: Max．100mA Sink current: Max. 100 mA●出力ポート: 2系統 1系統につき1種類の出力を設定可能（アクティブ LOW）
Output port: 2 ports. One output type is selectable per port (Active LOW)
●各CHの瞬時周波数出力, 積算パルス出力, 比較出力4種類, エラー出力より選択
Selectable between frequency output of instantaneous flow, totalized pulse output, 4 types of alarm output, and Fail output in each channel.

瞬時周波数出力（瞬時流量） ●出力可能周波数: 10〜3000Hz（F.S.周波数は500〜3000Hzの範囲で任意設定可能）
Instant frequency output
Frequency range: 10 - 3000Hz (selectable between500 and 3000Hz for F.S.)(Instantaneous flowrate)●出力可能流量: χ〜F.S.流量 ※χ＝F.S.流量によってオフセット Available range (flow rate based): χ - F.S ※χ is determined based on F.S. value
積算パルス出力（積算流量）
Integrating pulse output(Integrated flowrate)●パルス流量設定: 1パルスあたりの積算流量を任意で設定可能 Flow rate setup per pulse: Value selectable for totalized flow per pulse
G08 / G10: 設定範囲 0.001〜32.000L（設定ステップ 0.001L）G08 / G10: Setup range 0.001 - 32.000 L (Setting STP: 0.001L)
G15 / G20 / G25HK: 設定範囲 0.01〜320.00L（設定ステップ 0.01L）G15 / G20 / G25HK: Setup range 0.01 - 320.00 L (Setting STP: 0.01L)●パルス幅設定 :1〜800ms（設定ステップ 1ms）Pulse width setup: 1 - 800 ms (Setting STP: 1 ms)

比較出力 Comparative output●出力設定: 瞬時流量、積算流量と上限出力、下限出力より選択
OUTPUT: Selectable between instantaneous flow rate and totalized flow volume with upper or lower limit●比較値設定: 瞬時流量 L/min・積算流量 L Trip-point setup: Instantaneous flow L/min・Totalized flow L
G08 / G10：設定範囲 0〜32.000（設定ステップ 0.001）G08 / G10: Setup range: 0 - 32.000 (Setting STP: 0.001)
G15 / G20 / G25HK：設定範囲 0〜320.00（設定ステップ 0.01）G15 / G20 / G25HK: Setup range: 0 - 320.00 (Setting STP: 0.01)

エラー出力 Error output●計測エラー時に出力ON Activated when measurement failure occurs

通信機能 Communicating function
電源電圧 Power source voltage
消費電流 Current consumption
検出器
Transducer unit

0〜80L/min

標準 Std. 0.01L/min

チューブエンド Tube end 1/4″(φ6.35×4.35) チューブエンド Tube end 3/8″(φ9.53×6.33) チューブエンド Tube end 1/2″(φ12.7×9.53) チューブエンド Tube end 3/4″(φ19.0×15.8) チューブエンド Tube end 1″(Φ25.4×Φ22.2)

接続口径 Connection size破壊圧力
burst pressure

0〜50L/min

標準 Std. 0.001L/min

最小流量 Minimum flow rate

RS-485 (Modbus-RTU) 最多変換器31台連結可能 Up to 31 units connectable
通信速度 Communication speed：9600,19200, 38400, 57600bps
DC24V±10%

通常時 Regular time : 170mA以下（突入電流:約9A／0.5ms以下）≦ 170 mA (Inrush current: Approx. 9A / 0.5 ms below)

接液部材質 Wetted Material

NEW PFA

ケーブル長 Cable length

標準ケーブル (PVC被覆)：3m, ETFEケーブル（ETFE被覆）：3m Standard cable (Shielded with PVC), ETFE cable (Shielded with ETFE)※本製品は、出荷時に各入出力やシリアル通信機能の校正とパラメータ設定を行っております。標準設定以外のパラメータ設定をご希望の場合は、ご注文時にご指定ください。
＊ This product is calibrated for each of the I/O and serial communication capability at Factory. In case that you require setting(s) other than the default, specify when ordering.

各機能 Function デジタル入力１ Digital input 1 デジタル入力２ Digital input 2 アナログ出力1 Analog output 1 アナログ出力2 Analog output 2 デジタル出力１ Digital output 1 デジタル出力２ Digital output 2標準設定
Default setting

CH1ゼロ点調整
CH1 Zero point adjustment

超音波流量計0〜3L/min

測定流量範囲 Measuring flow ranges

薬液・純水用性能 PerformanceCH2ゼロ点調整
CH2 Zero point adjustment

CH1瞬時流量CH1 Inst. flow rate

CH2瞬時流量CH2 Inst. flow rate

CH1瞬時周波数出力
CH1 Inst. frequency output

CH2瞬時周波数出力
CH2 Inst. frequency output

標準設定やパラメータ設定ソフトウェア等の詳細につきましては、当社へお問い合わせください。Contact us if you have questions on the default settings and software that allows you to set this product.

2023229

CFor Chemicals

構造図 Structural drawing
変換器 Driver unit

CN1

Ultrasonic flow meter7115

精密マイナスドライバー(刃先サイズ：2.0×0.4)

Precision flat-head screwdriver(Tool edge: 2.0×0.4)

9

配線 Wiring

精密マイナスドライバー(刃先サイズ：2.5×0.4)

CN290

CN2Precision flat-head screwdriver(Tool edge: 2.5×0.4)

15

配線 Wiring

コネクタ：DINKLE 製 Connector: Made by DINKLE

26CN1

UL規格(AWG) UL standard(AWG)No.

型番 Model number selection

CN1

ESC250V-10P

単線 Solid：28〜20CN20134-4106

撚線 Twisted：28〜14端子接続 Terminal connection
CN1

12

CN2

出力信号(アナログ出力1) Output signals(Analog output 1)
4-20mA13出力信号(デジタル出力1) Output signals(Digital output 1)

3 F.G.

4出力信号(デジタル出力2) Output signals(Digital output 2)

45

COM

56入力信号(デジタル入力2) Input signals(Digital input 2)

8910

検出器 Transducer unit

出力信号(アナログ出力2) Output signals(Analog output 2)
4-20mA

L4×Φ4.5■ Z型 Z type32■ 標準型 Std. typeRS-4856 GND

入力信号(デジタル入力1) Input signals(Digital input 1)

7

電源 Power source
DC24V

2AL
B
φ6.5

B

白 White黒 Black

白 White
4×Φ4.5C

IPコード : X7相当

403
φ6.5

A

黒 Black

規格寸法 Standard dimensions

230

規格 Std.

AB

CD

L

USF500N-G08/G08HK

13880

104.5

185

94.6

USF500N-G10/G10HK

145

80

124.5

225

101.6

USF500N-G15/G15HK

178

110

124.5

225

134.6

USF500N-G20/G20HK

184

110

124.5

225

140.6

USF500N-G25HK

192

110

131.5

233

148.2

2023

4032

24.5

D324.5

IP Cord: X7 equivalent

C
薬液・純水用ケーブル Cable
標準タイプ(PVC被覆) Standard type(Shielded with PVC)

(20)

マーカー : 白 Marker: White

被覆 : 黒 Shielded: Black

マーカー : 黒 Marker: Black

被覆 : 黒 Shielded: Black

超音波流量計3000(100)

マーカー : 白 Marker: WhiteETFEタイプ(ETFE被覆) - オプション対応 ETFE type(Shielded with ETFE) - Option correspondence.

USF500N

3000

マーカー : 黒 Marker: Black

被覆 : 白 Shielded: White

マーカー : 黒 Marker: Black

被覆 : 黒 Shielded: Black

取付姿勢 Installation attitude
a（○）

b（○）

c（×）

d（△）

e（×）

f（○）

g（○）

h（×）

i（×）

j（◯）

注意Note検出器は付属の固定ブラケットで安定した構造物へネジ固定してください。
取付姿勢は、a,b,f,g,jをお勧めします。
d は測定上問題ありませんが、液溜りが発生します。配管内から流体除去するパージ作業において、流体が抜けにくい為、ご注意下さい。
c,e,h,iは、気泡溜まりが考えられますので、避けて下さい。
気泡は計測の妨げになりますので、気泡が入らぬよう注意して下さい。
常に満水状態でご使用下さい。

Always fix Transducer unit on stable place with the brackets and screws that come with it.
Installation orientations of "a", "b", "f", "g", "j" are recommended.
Installation position "d" allows you to measure flow, but this causes fluid to stay in the path, resulting in a factthat you may have a difficulty in removing fluid from pipes by purging AIR.
Do NOT use installation positions of "c", "e", "h" , "i" due to bubbles that stay in the path.
Please avoid entry of air bubbles, because air bubbles interfere with flow measurement.
The flowmeter must be filled fully with fluid at all times.

2023

231