中真空計用のPCG55x ATM

INFICONピラニキャパシタンスダイアフラムゲー
ジ（PCG55x）は、特許取得のINFICONセラミック製キャパシタンス
ダイアフラムセンサ技術とピラニゲージの利点をひとつに統合した製品です。
10 mbarから大気圧までの計測範囲で、このキャパシタンスダイアフラ
ム技術はガス種に依存しない高精度で信頼のできる圧力計測を実現します。また、PCG55xには、要求された用途に適した製品構成を可能にする、様々な機能も備わっています。

利点n

10 mbar以下のガス種非依存性 – あらゆる混合ガスに安全なベントを行いますn

大気圧で高い精度と再現性 – 信頼できる大気圧検知n

さまざまな方向で取り付け可能 ; ツール設計における開発の自由度が向上

n

腐食が起こりやすいアプリケーションに対し、タングステン（PCG550）、ニッケル（PCG552）フィラメン
トまたは完全セラミックコーティング（PCG554）センサーユニットが選択可能

nLatest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0

n交換が容易なプラグアンドプレイセンサーエレメントとオンボード較正データ – 高い再現性と所有コス
ト減を保証

n

選択可能な出力信号により統合が容易n

オプションの大気圧スイッチ、ディスプレイとデジタルインターフェースn

CE、EN、UL、CSA、RoHSに準拠、基準に適合

1

中真空計用のPCG55x ATM

注文の情報2

中真空計用のPCG55x ATM

仕様
タイプ

PCG550 Tungsten

PCG552 Nickel

PCG554 ceramiccoated測定範囲

mbar

5×10⁻⁵ … 1500

5×10⁻⁵ … 1500

5×10⁻⁵ … 1500

測定範囲

Torr

3.8×10⁻⁵ … 1125

3.8×10⁻⁵ … 1125

3.8×10⁻⁵ … 1125

5×10⁻⁴ ～ 1×10⁻³ mbar (N₂) % of reading±50±50±50

1×10⁻³ ～ 100 mbar (N₂)

% of reading±15±15±15100 ～ 950 mbar

% of reading±5±5±5950 ～ 1050 mbar

% of reading±2.5±2.5±2.5

1×10⁻³ ～ 1100 mbar (N₂)

% of reading±2±2±2

許容圧力bar (absolute)≤5≤5≤5最大圧力bar (absolute)

101010精度

再現性

許容温度
使用温度 (周囲)°C+10 … +50

+10 … +50

+10 … +50

保存°C

-20 … +65

-20 … +65

-20 … +65

ベークアウト (フランジにおいて)°C

≤80

≤80

≤80

ベークアウト (フランジにおいて) ロングチューブ°C

≤250
≤250

≤250

+15 … +30

+15 … +30

+15 … +30

ベークアウト ロングチュー °C
ブ使用時
供給電圧V (dc)

消費電力
フィールドバス無し

W

≤2.5

≤2.5

≤2.5DeviceNet™

W≤3≤3≤3ProfibusW≤3≤3≤3EtherCATW

≤4.5

≤4.5

≤4.5

出力信号 アナログ 3PCx0xx-xxx0V

0 … +10.23

0 … +10.23

0 … +10.23

アナログ出力信号 3PCx-0xx- Vxxx1

0 … +8.68

0 … +8.68

0 … +8.68

アナログ出力信号 3PCx-0xx- V
xxx2

0 … +5.659

0 … +5.659

0 … +5.659

アナログ出力信号 3PCx-0xx- Vxxx3

0 … +9.05

0 … +9.05

0 … +9.05+0.61 … +10.23+0.61 … +10.23+0.61 … +10.23

測定レンジ 3PCx-0xx-xxx03V

中真空計用のPCG55x ATM

仕様
タイプ

PCG550 TungstenPCG552 Nickel

PCG554 ceramiccoated+1.2 … +8.68

測定レンジ 3PCx-0xx-xxx1V+1.2 … +8.68+1.2 … +8.68

測定レンジ 3PCx-0xx-xxx2

V+0.375 … +5.659+0.375 … +5.659

測定範囲 3PCx-0xx-xxx2

V

測定レンジ 3PCx-0xx-xxx3

V+0.375 … +5.659+1.57 … +9.05+1.57 … +9.05+1.57 … +9.05

電圧と圧力の関係
3PCx-0xx-xxx0

volts per decade

1.286

1.286

1.286

3PCx-0xx-xxx1 / -xxx2 / xxx3

volts per decade111

負荷インピーダンスkΩ>10>10>10222n.o., potential freen.o., potential freen.o., potential free

5×10⁻⁵ … 1000

5×10⁻⁵ … 1000

5×10⁻⁵ … 1000

101010接点定格 ソリッドステート V (dc)
リレー

≤30

≤30

≤30

接点定格メカニカルリレー V (dc)

≤30

≤30

≤30

接点定格 ソリッドステート A (dc)
リレー

≤0.3

≤0.3

≤0.3

接点定格メカニカルリレー A (dc)

≤1

≤1

≤1

≤30

≤30

≤30

RS232C

RS232C

RS232C

3PCx-0xx-x0xx

FCC, 8-pin

FCC, 8-pin

FCC, 8-pin

3PCx-0xx-x1xx

D-Sub, 9-pin, male

D-Sub, 9-pin, male

D-Sub, 9-pin, male

3PCx-0xx-x2xx

D-Sub, 15-pin HD,male

D-Sub, 15-pin HD,male

D-Sub, 15-pin HD,male

セットポイントリレー
セットポイント数
リレー接点
セットポイントリレー
レンジ (N₂)

mbar

セットポイントリレー
ヒステリシス% of threshold

セットポイントリレー

セットポイントリレー

セットポイントリレー
切替え時間

ms

インターフェース (デジタル)
電気接続

3PCx-0xx-x4xx
ケーブル長

4D-Sub, 15-pin HD, with D-Sub, 15-pin HD, with D-Sub, 15-pin HD, withRS485, male
RS485, male
RS485, malem (ft.)

中真空計用のPCG55x ATM≤100 (≤330)≤100 (≤330)≤100 (≤330)

仕様
タイプ
RS232C 操作

m (ft.)

接ガス材料

PCG550 Tungsten

PCG552 Nickel

PCG554 ceramiccoated≤30 (≤100)≤30 (≤100)≤30 (≤100)

W, Ni, NiFe, Al₂O₃,SnAg, stainless steel,glass

Ni, NiFe, Al₂O₃, SnAg,stainless steel, glass

Al₂O₃, stainless steel

内部容積
DN 16 ISO-KF

cm³

4.7

4.7

4.7

DN 16 ISO-KF ロング
チューブ

cm³14.5

14.5

14.5

DN 16 CF-F

cm³888

DN 16 CF-R ロングチュー
ブ

cm³141414

DN 25 ISO-KF、4 VCR

cm³

5.5

5.5

5.5

8 VCR

cm³7771/8 in. NPT、7/16-20 UNF

cm³

5.2

5.2

5.2

表面実装 29 mm/1.15 inch

cm³

4.9

4.9

4.9

4 VCR 90°

cm³

7.9

7.9

7.9

フィールドバスインター
フェース無しg

115 … 130

115 … 130

115 … 130

フィールドバスインター
フェース付きg230 … 250

230 … 250

230 … 250

IP 40

IP 40

IP 40

重量保護クラス
標準
CE 適合

EN 61000-6-2/-6-3, EN61010

EN 61000-6-2/-6-3, EN61010

ETL 認証UL 61010-1, CSA 22.2
No.61010-1

UL 61010-1, CSA 22.2
No.61010-1

規格
CE 適合

EN 61000-6-2/-6-3, EN61010

ETL 認証UL 61010-1, CSA 22.2
No.61010-1

DeviceNet™
プロトコル

DeviceNet™, group 2
slave only

MAC ID

2 switches (address 00 2 switches (address 00 2 switches (address 00- 63) or network- 63) or network- 63) or network
programmableprogrammableprogrammable

5

中真空計用のPCG55x ATMDeviceNet™, group 2slave only

DeviceNet™, group 2slave only

仕様
タイプ

PCG550 Tungsten

PCG552 Nickel

PCG554 ceramiccoatedデジタル機能read pressure, select read pressure, select read pressure, selectunits: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa,
micron, counts;
micron, counts;
micron, counts;monitor gauge status, monitor gauge status, monitor gauge status,
detailed alarm anddetailed alarm anddetailed alarm andwarning information,
warning information,
warning information,safe state allows
safe state allows
safe state allows
definition of behavior in definition of behavior in definition of behavior incase of error
case of error
case of error

仕様

DeviceNet™ "Vacuum DeviceNet™ "Vacuum DeviceNet™ "Vacuum
Gauge Device Profile" Gauge Device Profile" Gauge Device Profile"

デバイスタイプ''CG'' for combination
gauge

I/O スレーブメッセージングpolling only

DeviceNet 用コネクター

Micro-Style, 5-pin,
male''CG'' for combination
gauge''CG'' for combination
gauge
polling only

I/O スレーブメッセージ

polling only

DeviceNet 用コネクタ

Micro-Style, 5-pin,male

Micro-Style, 5-pin,
male

DeviceNet™
データレートスイッチkBaud

125, 250, 500 or
125, 250, 500 or
125, 250, 500 or
network programmable network programmable network programmable

DeviceNet™
ケーブル長さ 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

500 (1650)

500 (1650)

ケーブル長さ 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

250 (825)

250 (825)

ケーブル長さ 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

100 (330)

100 (330)

DeviceNet™ 3PI6- / 3PI7- / V (dc)
3PI8-0xx-xxxx 用供給電圧+15 … +30

+15 … +30

+15 … +30

≤3

≤3

≤3kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

Mbaud

1.5 / 12

1.5 / 12

1.5 / 12

DeviceNet™

DeviceNet™
消費電力 3PI6- / 3PI7- /3PI8-0xx-xxxx

W

Profibus DP
ボーレート
Profibus DP
ボーレート
Profibus DP

6中真空計用のPCG55x ATM

仕様
タイプ

PCG550 Tungsten

PCG552 Nickel

PCG554 ceramiccoatedアドレス

2 switches (address 00 2 switches (address 00 2 switches (address 00- 127) or network- 127) or network- 127) or network
programmableprogrammableprogrammable

デジタル機能read pressure, select read pressure, select read pressure, selectunits: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa,
micron, counts ;micron, counts ;micron, counts ;monitor gauge status, monitor gauge status, monitor gauge status,
detailed alarm anddetailed alarm anddetailed alarm andwarning information,
warning information,
warning information,safe state allows
safe state allows
safe state allows
definition of behavior in definition of behavior in definition of behavior incase of error
case of error
case of error

Profibus DP 用コネクター

D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 9-pin, female

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

RS485C
ボーレート

kBaud

RS485Cアドレス

2 switches (address 00 2 switches (address 00 2 switches (address 00- 255)
- 255)- 255)

デジタル機能read pressure, select read pressure, select read pressure, selectunits: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa,
micron, counts ;micron, counts ;micron, counts ;monitor gauge status, monitor gauge status, monitor gauge status,
detailed alarm anddetailed alarm anddetailed alarm andwarning information,
warning information,
warning information,safe state allows
safe state allows
safe state allows
definition of behavior in definition of behavior in definition of behavior incase of error
case of error
case of error

RS485 用コネクタ

D-Sub, 15-pin HD,
male

D-Sub, 15-pin HD,
male

D-Sub, 15-pin HD,
male

EtherCAT
プロトコル EtherCAT

protocol specialized for protocol specialized for protocol specialized for
EtherCAT
EtherCAT
EtherCAT

通信標準

ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
DeviceDeviceDeviceProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
Device Profile:
Device Profile:
Device Profile:
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge

ノードアドレス

7

中真空計用のPCG55x ATM

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification

仕様タイプPCG550 Tungsten

PCG552 Nickel

PCG554 ceramiccoated

物理層

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

EtherCAT コネクター

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

ケーブル

shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher

プロセスデータ

Fixed PDO mapping
Fixed PDO mapping
Fixed PDO mappingand configurable PDO and configurable PDO and configurable PDO
mapping
mapping
mapping

メールボックス (CoE)SDO requests,responses andinformation

SDO requests,responses andinformation

SDO requests,responses andinformation≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)

EtherCAT
ケーブル長8m (ft.)

中真空計用のPCG55x ATM

スペア部品PCG550 Tungsten

PCG552 Nickel

PCG554 ceramiccoatedPCG550 Spare Sensor, 1/8" NPT

357-930--

PCG550 Spare Sensor, 29x29mm

357-934--

PCG550 Spare Sensor, 4-VCR

357-932--

PCG550 Spare Sensor, 4-VCR / 90°357-935--

PCG550 Spare Sensor, 7/16-20 UNF

357-933--

PCG550 Spare Sensor, 8-VCR

357-931--

PCG550 Spare Sensor, DN16CF-F

357-927--

PCG550 Spare Sensor, DN16CF-R, long

357-928--

PCG550 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long

357-926--

PCG550 Spare Sensor, DN25ISO-KF

357-929--

PCG552 Spare Sensor, 1/8" NPT-357-941-

PCG552 Spare Sensor, 29x29mm-357-945-

PCG552 Spare Sensor, 4-VCR-357-943-

PCG552 Spare Sensor, 4-VCR / 90°-357-946-

PCG552 Spare Sensor, 7/16-20 UNF-357-944-

PCG552 Spare Sensor, 8-VCR-357-942-

PCG552 Spare Sensor, DN16CF-F-

357-938-

PCG552 Spare Sensor, DN16CF-R, long

-357-939-

PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF-357-936-

PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long-357-937-

PCG554 Spare Sensor, 1/8" NPT--357-952

PCG554 Spare Sensor, 29x29mm--357-956

PCG554 Spare Sensor, 4-VCR--357-954

PCG554 Spare Sensor, 4-VCR / 90°--357-957

PCG554 Spare Sensor, 7/16-20 UNF--357-955

PCG554 Spare Sensor, 8-VCR--357-953

PCG554 Spare Sensor, DN16CF-F--357-949

PCG554 Spare Sensor, DN16CF-R, long--357-950

PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF--357-947

PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long--357-948

PCG554 Spare Sensor, DN25ISO-KF--357-951

Replacement sensor/PCG550 DN16KF

357-925--9中真空計用のPCG55x ATM

アクセサリPCG550 Tungsten

PCG552 Nickel

PCG554 ceramiccoatedCentering ring with fine filter DN 16 KF

211-097

211-097

211-097

Clamping ring DN 10-16 ISO-KF

211-001

211-001

211-001

Communication adapter(2m)forPC RS232

303-333

303-333

303-333

寸法www.inficon.com

reachus@inficon.com

製品向上のプログラムを続行するため、仕様は通知なく変更されます。
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