PSG55x-Messgerät für den Bereich vonAtmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

Das Pirani-Standard-Messgerät PSG55x von INFICON arbeitet wie
seine Verwandten aus der PCG55x und PSG5xx-Serie mit derfortschrittlichsten digitalen Pirani-Technologie, die auf dem Markterhältlich ist. Der robuste Sensor mit seiner kompakten Größe undseinen vielseitigen Funktionsmerkmalen prädestiniert dieses Produkt fürMessungen im Nieder- bis Hochvakuumbereich.

VORTEILEnMit Wolfram (PCG550)- oder Nickelfilament (PCG552) oder mit vollbeschichtetem (PCG554) Keramiksensor
für hochkorrosive Anwendungen erhältlichnOptionales Display, Sollwerte und digitale SchnittstellennLatest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0

nLeicht auswechselbares Plug-and-Play-Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten - sorgt für hohe
Reproduzierbarkeit und niedrige Betriebskosten

nWählbares Ausgangssignal und verschiedene Steckerversionen zur leichten Integrationn

Gestaltungsfreiheit beim Werkzeugdesign durch Montage in beliebiger PositionnDiagnoseanschluss bei allen Versionen

nCompliance und Standards: CE, EN, UL, CSA, RoHS

1

PSG55x-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

BESTELLINFORMATIONEN

2

PSG55x-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

TECHNISCHE DATENTypPSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoatedMessbereichmbar

5×10⁻⁵ … 1000

5×10⁻⁵ … 1000

5×10⁻⁵ … 1000

Messbereich

Torr

3.8×10⁻⁵ … 750

3.8×10⁻⁵ … 750

3.8×10⁻⁵ … 750

Genauigkeit (N₂)
5×10⁻⁴ … 1×10⁻³ mbar

% of reading±50±50±50

1×10⁻³ … 100 mbar

% of reading±15±15±15

100 … 1000 mbar

% of reading±50±50±50

1×10⁻³ … 100 mbar

% of reading±2±2±2

Zulässiger Druckbar (absolute)≤5≤5≤5Druck, max.

bar (absolute)

1010

10

Wiederholbarkeit (N₂)

Zulässige Temperatur
Betrieb (Umgebung)°C+10 … +50+10 … +50+10 … +50

Lagerung°C-20 … +65

-20 … +65

-20 … +65

Ausheizen am Flansch

°C

≤80

≤80

≤80

Ausheizen am Flansch,langes Rohr°C

≤250

≤250

≤250

Versorgungsspannung

V (dc)+15 … +30+15 … +30+15 … +30

Leistungsaufnahme
Ohne Feldbus

W

≤2.5

≤2.5

≤2.5

DeviceNet™

W

≤3

≤3

≤3ProfibusW

≤3

≤3

≤3

Ausgangssignal analog 3PIx- V0xx-xxx0

0 … +100 … +100 … +10

Ausgangssignal analog 3PIx- V0xx-xxx1

0 … +8.5

0 … +8.5

0 … +8.5

Ausgangssignal analog 3PIx- V0xx-xxx2

0 … +5.529

0 … +5.529

0 … +5.529

Ausgangssignal analog 3PIx- V0xx-xxx3

0 … +8.875

0 … +8.875

0 … +8.875

Messbereich 3PIx-0xx-xxx0

V+0.61 … +10+0.61 … +10+0.61 … +10

Messbereich 3PIx-0xx-xxx1

V+1.2 … +8.5

+1.2 … +8.5

+1.2 … +8.5

Messbereich 3PIx-0xx-xxx2

V+0.375 … +5.529+0.375 … +5.529+0.375 … +5.529

Messbereich 3PIx-0xx-xxx3

V+1.57 … +8.875+1.57 … +8.875+1.57 … +8.875

Spannung vs. Druck

3PSG55x-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

TECHNISCHE DATENTypPSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoated3PIx-0xx-xxx0volts per decade1.286

1.286

1.286

3PIx-0xx-xxx1/-xxx2/-xxx3

volts per decade111

LastimpedanzkΩ>10>10>10222n.o., potential freen.o., potential freen.o., potential free

5×10⁻⁵ … 1000

5×10⁻⁵ … 1000

5×10⁻⁵ … 1000

% of threshold

1010

10

Kontaktbelastung,Halbleiterrelais

V (dc)

≤30

≤30

≤30

Kontaktbelastung,mechanische Relais

V (dc)

≤30

≤30

≤30

Kontaktbelastung,Halbleiterrelais

A (dc)

≤0.3

≤0.3

≤0.3

Kontaktbelastung,mechanische Relais

A (dc)

≤1

≤1

≤1ms

≤30

≤30

≤30RS232C

RS232C

RS232C

3PIx-0xx-x0xx

FCC, 8-pin

FCC, 8-pin

FCC, 8-pin

3PIx-0xx-x1xx

D-Sub, 9-pin, male

D-Sub, 9-pin, male

D-Sub, 9-pin, male

3PIx-0xx-x2xx

D-Sub, 15-pin HD,
male

D-Sub, 15-pin HD,
male

D-Sub, 15-pin HD,
male

Schaltpunktrelais
Anzahl Schaltpunkte
Relaiskontakt
Schaltpunktrelais
Bereich (N₂)

mbar

Schaltpunktrelais
Hysterese
Schaltpunktrelais

Schaltpunktrelais

Schaltpunktrelais
Schaltzeit
Schnittstelle (digital)
Elektrischer Anschluss

3PIx-0xx-x4xx

D-Sub, 15-pin HD, with D-Sub, 15-pin HD, with D-Sub, 15-pin HD, withRS485, male
RS485, male
RS485, male

Kabellängem (ft.)≤100 (≤330)≤100 (≤330)≤100 (≤330)

RS232C-Betriebm (ft.)≤30 (≤100)≤30 (≤100)≤30 (≤100)

W, Ni, NiFe, glass,SnAg, stainless steel

Ni, NiFe, glass, SnAg,stainless steel

Al₂O₃, stainless steel

4.7

4.7

4.7

Werkstoffe gegen Vakuum
Inneres Volumen
DN 16 ISO-KF

4cm³

PSG55x-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

TECHNISCHE DATENTypPSG550 Tungsten

PSG552 NickelPSG554 ceramiccoated

DN 16 ISO-KF langes Rohr cm³14.5

14.5

14.5

DN 16 CF-F

cm³888

DN 16 CF-R langes Rohrcm³141414

DN 25 ISO-KF, 4 VCR

cm³

5.5

5.5

5.5

8 VCR

cm³77

7

1/8'' NPT, 7/16-20 UNF

cm³

5.2

5.2

5.2

Surface mount 29 mm/1,15 cm³Zoll

4.9

4.9

4.9

4 VCR 90°

7.9

7.9

7.9

Ohne Feldbus-Schnittstelle g

115 … 130

115 … 130

115 … 130

Mit Feldbus-Schnittstelle

230 … 250

230 … 250

230 … 250

IP 40

IP 40IP 40

cm³Gewicht

SchutzartgNormen
CE-Konformität

EN 61000-6-2/-6-3, EN EN 61000-6-2/-6-3, EN EN 61000-6-2/-6-3, EN61010
61010
61010

ETL-Zertifizierung

UL 61010-1, CSA 22.2 UL 61010-1, CSA 22.2 UL 61010-1, CSA 22.2
No.61010-1
No.61010-1
No.61010-1

DeviceNet™
Protokoll

DeviceNet™, group 2slave only

MAC ID

2 switches (address 00 2 switches (address 00 2 switches (address 00- 63) or network- 63) or network- 63) or network
programmableprogrammableprogrammable

Digitale Funktionen

read pressure, select read pressure, select read pressure, selectunits: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa,
micron, counts;
micron, counts;
micron, counts;monitor gauge status, monitor gauge status, monitor gauge status,
detailed alarm anddetailed alarm anddetailed alarm andwarning information,
warning information,
warning information,safe state allows
safe state allows
safe state allows
definition of behavior in definition of behavior in definition of behavior incase of error
case of error
case of error

Spezifikation

DeviceNet™ "Vacuum DeviceNet™ "Vacuum DeviceNet™ "VacuumGauge Device Profile" Gauge Device Profile" Gauge Device Profile"

Gerätetyp''CG'' for combination
gauge''CG'' for combination
gauge''CG'' for combination
gauge

polling only

polling only

polling only

I/O Slave-Messaging

5DeviceNet™, group 2
slave only

PSG55x-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

DeviceNet™, group 2
slave only

TECHNISCHE DATENTypPSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoatedAnschluss DeviceNet

Micro-Style, 5-pin,male

Micro-Style, 5-pin,male

Micro-Style, 5-pin,
maleDeviceNet™
UmschaltbareÜbertragungsratekBaud

125, 250, 500 or
125, 250, 500 or
125, 250, 500 or
network programmable network programmable network programmable

DeviceNet™
Kabellänge 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

500 (1650)

500 (1650)

Kabellänge 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

250 (825)

250 (825)

Kabellänge 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

100 (330)

100 (330)

V (dc)+15 … +30

+15 … +30

+15 … +30

≤3

≤3

≤3kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500

9.6 / 19.2 / 93.75 /187.5 / 500Mbaud

1.5 / 12

1.5 / 12

1.5 / 12

DeviceNet™
Versorgungsspannung
DeviceNet™ 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx
DeviceNet™
Leistungsaufnahme 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx

WProfibus DPÜbertragungsraten
Profibus DPÜbertragungsraten
Profibus DP
Adresse2 switches (address 00 2 switches (address 00 2 switches (address 00- 127) or network- 127) or network- 127) or network
programmableprogrammableprogrammable

Digitale Funktionen

read pressure, select read pressure, select read pressure, selectunits: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa,micron, counts ;micron, counts ;micron, counts ;monitor gauge status, monitor gauge status, monitor gauge status,
detailed alarm anddetailed alarm anddetailed alarm andwarning information,
warning information,
warning information,safe state allows
safe state allows
safe state allows
definition of behavior in definition of behavior in definition of behavior incase of error
case of error
case of error

Anschluss Profibus DP

D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 9-pin, female

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6

RS485CÜbertragungsratenkBaud

RS485C

6PSG55x-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

TECHNISCHE DATENTypPSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoatedAdresse

2 switches (address 00 2 switches (address 00 2 switches (address 00- 255)- 255)
- 255)

Digitale Funktionen

read pressure, select read pressure, select read pressure, selectunits: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa, units: Torr, mbar, Pa,micron, counts ;micron, counts ;micron, counts ;monitor gauge status, monitor gauge status, monitor gauge status,
detailed alarm anddetailed alarm anddetailed alarm andwarning information,
warning information,
warning information,safe state allows
safe state allows
safe state allows
definition of behavior in definition of behavior in definition of behavior incase of error
case of error
case of error

Anschluss RS485

D-Sub, 15-pin HD,
male

D-Sub, 15-pin HD,
male

D-Sub, 15-pin HD,
male

EtherCAT
Protokoll EtherCAT

protocol specialized for protocol specialized for protocol specialized for
EtherCAT
EtherCATEtherCAT

Kommunikationsstandards

ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)ETG.5003.1 S (R)V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
V1.1.0 Common
DeviceDeviceDeviceProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080 ProfileETG.5003.2080
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
S (R) V1.3.0 Specific
Device Profile:
Device Profile:
Device Profile:
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge
Vacuum Gauge

Knotenpunktadresse

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification

Explicit Device
Identification

Physikalische Schicht

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

100BASE-Tx (IEEE802.3)

EtherCAT-Stecker

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

2 x RJ45, 8-pin(socket), IN and OUT

Kabel

shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher

shielded Ethernet
CAT5e or higher

Prozessdaten

Fixed PDO mapping
Fixed PDO mapping
Fixed PDO mappingand configurable PDO and configurable PDO and configurable PDO
mappingmapping
mapping

Mailbox (CoE)SDO requests,
responses andinformation

SDO requests,
responses andinformation

SDO requests,
responses andinformation≤100 (330)≤100 (330)≤100 (330)

EtherCAT
Kabellänge

7m (ft.)PSG55x-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

ERSATZTEILE
PSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoatedPSG550 Ersatzsensor, 1/8" NPT

355-930--

PSG550 Ersatzsensor, 29x29mm

355-934--

PSG550 Ersatzsensor, 4-VCR

355-932--

PSG550 Ersatzsensor, 4-VCR/90°

355-935--

PSG550 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF

355-933--

PSG550 Ersatzsensor, 8-VCR

355-931--

PSG550 Ersatzsensor, DN 16 CF-F

355-927--

PSG550 Ersatzsensor, DN 16 CF-R, lang355-928--

PSG550 Ersatzsensor, DN 16 ISO-KF

355-925--

PSG550 Ersatzsensor, DN 25 ISO-KF

355-929--

PSG550 Ersatzsensor, DN16 ISO-KF, lang355-926--

PSG552 Ersatzsensor, 1/8" NPT-355-941-

PSG552 Ersatzsensor, 29 x 29mm

-355-945-

PSG552 Ersatzsensor, 4-VCR-355-943-

PSG552 Ersatzsensor, 4-VCR/90°-355-946-

PSG552 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF-355-944-

PSG552 Ersatzsensor, 8-VCR-355-942-

PSG552 Ersatzsensor, DN 16 CF-F-355-938-

PSG552 Ersatzsensor, DN 16 CF-R, lang-355-939-

PSG552 Ersatzsensor, DN 16 ISO-KF-355-936-

PSG552 Ersatzsensor, DN 25 ISO-KF-355-940-

PSG552 Ersatzsensor, DN16 ISO-KF, lang-355-937-

PSG554 Ersatzsensor, 1/8" NPT--355-952

PSG554 Ersatzsensor, 29x29mm--355-956

PSG554 Ersatzsensor, 4-VCR--355-954

PSG554 Ersatzsensor, 4-VCR/90°--355-957

PSG554 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF--355-955

PSG554 Ersatzsensor, 8-VCR--355-953

PSG554 Ersatzsensor, DN 16 CF-F--355-949

PSG554 Ersatzsensor, DN 16 CF-R, lang--355-950

PSG554 Ersatzsensor, DN 16 ISO-KF--355-947

PSG554 Ersatzsensor, DN 16 ISO-KF, lang--355-948

PSG554 Ersatzsensor, DN 25 ISO-KF--355-951

8

PSG55x-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

ZUBEHÖR
PSG550 Tungsten

PSG552 Nickel

PSG554 ceramiccoatedDiagnosekabel 1.9m (P3)

303-333

303-333

303-333

Spannring DN 10-16 ISO-KF

211-001

211-001

211-001

Zentrierring mit Feinfilter DN 16 KF

211-097

211-097

211-097

ABMESSUNGEN

www.inficon.com

reachus@inficon.com

Aufgrund laufender Produktverbesserungen können sich Spezifikationen ohne vorherige Bekanntmachung ändern.
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