SRIMfit 入門( 半導体照射試験用 )SRIMfitを 半導体照射試験に利用される方向けの 入門コースです。
(目標)
主に以下の SRIMfit 関数の使い方を習得してください。
➢ 基本関数srE2Rng(), srRng2E(), srE2LETt(), srLETt2E()➢ 組合せ関数 srEnew(), srEold()

Update Log :2022.09/14 ver 1.00 初版
2020.11/04 ver 0.01 未完 srEnewの解説まで

2022/09/14 (v1.00)

SRIMfit入門 半導体照射試験用

1

SRIMfit 入門
目 次(１) SRIM と SRIMfit 、 E ⇔ Range 変換関数
(１a) srE2Rng( ) , srRng2E( ) を使ってみる(１b) srE2Rng( ) の 例題
(１c) srRng2E( ) の 例題

(２) SRIMfit 基本関数 の種類(２a) 基本関数 の 例題-1 MySRIMwb 内容表示(２b) 基本関数 の 例題-2(３) 便利な関数： srEnew( ) ⇔ srEold( )(３a) srE2Rng(), srRng2E() を使って srEnew(), srEold() を記述する(３b) srEnew(), srEold() 関数の引数について(３c) srEnewGas(), srEoldGas() 関数の引数について(３d) srEnew() , srEnewGas() の 例題
(３e) srEold() , srEoldGas() の 例題
(３ｆ) srEnew() , srEold() の 総合例題

(４) おわりに

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SRIMfit入門 半導体照射試験用2

srE2Rng() , srRng2E()(1) SRIM と SRIMfit 、 E ⇔ Range 変換関数

ご存知の様に SRIM-2013 コードの Ion Stopping and Range Tables は、
ビーム核種(例 Kr) と、標的材質(例 Si) 及び ビームのエネルギー( E ) を決めると、「その E に於ける、dE/dX（LET）, Range（飛程）などの値」を計算して出力してくれます。
つまり、変換関数 from E to Range : R = E2Rng( E ) ； 連続関数(理論式）
を内部に持っています。
一方、SRIMfit ユーザーマニアルで説明した様に、SRIMfit は、上記 SRIM-2013コードの出力表を読み込み、例えば E と Range の場合、「ある E に於ける Range を、離散的な出力表に従って、直線補間して求める」
変換関数 from E to Range : R = E2Rng( E ) ； 離散データ点から内挿補間版という愚直な機能しかありません。理論式は入っていません。
しかしながら、この単純な直線補間法を用いることで、
E2Rng() の逆関数 from Range to E : E = Rng2E( R ) = E2Rng -1( E ) ； 離散点から内挿補間版
も簡単に作ることができます。

E – Range の関数形は、単調増加関数なので、
直線補間がしやすいです。

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3

srE2Rng() , srRng2E()(１a) srE2Rng( ) , srRng2E( ) を使ってみる
SRIMfit 「ユーザーズマニアル：関数一覧表」 に、srE2Rng() と srRng2E() 関数の説明があります。
その関数へ渡す引数と、関数からの戻り値 の型 に注意して表を見て下さい。
SRIMfit Function List(1) 基本関数
≪変数・戻り値 型≫
IInteger
D Double
B Boolean
S String
V Variant型 Excelエラーも返す≪変数名 表記≫WS S SRIMoutput WorkSheet名
E, Eu D Beam Energy [MeV/u]
Et D Beam Energy [MeV]RD

Range [μm]V 型関数のエラー戻り値#NUM!
xlErrNum 2036
#N/A
xlErrNA 2042

引数の値が不適当
表範囲外、計算中エラー≪Private変数名 表記≫ WS操作関連で主要なのもClm*
WS内の行番号
Row*
WS内の列番号MySRwbNow
ユーザーが指定した WorkBook
関数が参照中の Current SheetMySRwsNow
pointer

カテゴリー

戻値型 関数名
引数名

関数の説明
戻値

型 引数の説明

戻値条件

理由など

WS検索(2) E <-> Range
V,D

V,D

srE2Rng
WS
E

S
D

WS名
Beam E [MeV/u] 検索値

WS検索 E -> Rng [μm] ; 飛程
#NUM!
E<0
#N/A
=0
E=0

srRng2E
WS
Rng

S
D

WS名
Range [μm] 検索値

WS検索 Rng ; 飛程 -> E [MeV/u]
#NUM!
Rng<0
#N/A
RngがWS範囲外 (>Rmax)
=0
Rng=0

E がWS範囲外 (>Emax)

先ず、空のセルに 数式 を書いてみます。
= srE2まで書くと 「関数名候補が表示」 されます。
srE2Rng を選択し Tab キーで確定します。

関数ヘルプを表示するには、
ｆｘ アイコンをクリック
してください。
この関数へ渡すべき引数 の説明が表示されます。

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srE2Rng() , srRng2E()(１b) srE2Rng( ) の 例題
「SRIMfit入門_半導体照射試験用.xlsm： ex01 シート」 に、srE2Rng() を用いた例題を示しました。

②

①a ①b

③

④

上図例の計算結果から、
ビーム = 84Kr で、コリメータ材質 = Al の場合、
ビームエネルギーが 70 MeV/u なら、コリメータの厚さは 1.452 mm 以上
ビームエネルギーが 95 MeV/u なら、コリメータの厚さは 2.400 mm 以上 必要という事がわかります。

【解説】

①

SRIMfit関数に渡す WS : WorkSheet名 を決めるために必要なパラメータ指定欄です。
ビーム核種を ①a に、ビームが照射される標的材質を ①b に、青字セルの部分に文字列で記入。

②

関数に渡す WS : WorkSheet名 (MySRIMwb.xlsxのシート名) を決めます。
WS名の命名基準は、”srim” & “ビーム核種名” & “_” & “材質名” となってます。
紫字 のセルには、これを自動生成するための 数式 が書いてあります。
数式を、そのセルの脇に記述しておきますので、ご参照ください。

③

関数に渡す E : ビームエネルギー [MeV/u] を指定します。
青字 のセルに、数値を記入します。

④

指定した WS名、ビームエネルギーの場合の、飛程 Range [µm] が表示されます。
緑字 のセルには、srE2Rng( ) 関数を呼び出す‘ = srE2Rng( WS, E ) ‘ という数式が書いてあります。

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srE2Rng() , srRng2E()(１c) srRng2E( ) の 例題
「 SRIMfit入門_半導体照射試験用.xlsm： ex02 シート」 に、srRng2E() を用いた例題を示しました。

①

②

③

上図例の計算結果から、
ビーム = 84Kr で、照射チップ材質 = Si の場合、不感層の厚さが 200 µm なら、加速器のビームエネルギーは 17.2 MeV/u 以上
不感層の厚さが 800 µm なら、加速器のビームエネルギーは 44.6 MeV/u 以上 が必要という事がわかります。

【解説】

①

WS 名 を決めるために必要なパラメータ指定欄です。
青字 のセルに、文字列を記入します。

②

関数に渡す Thk : 不感層の厚さ [µm] を指定します。
青字 のセルに、数値を記入します。

③

指定した WS名、厚さの場合の、ビームエネルギー [MeV/u] が表示されます。
緑字 のセルには、srRng2E( ) 関数を呼び出す‘ = srRng2E( WS, Thk ) ‘ という数式が書いてあります。

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基本関数

(２) SRIMfit 基本関数 の種類
SRIMfit 「ユーザーズマニアル」 で説明してあるように、SRIMfit のマクロ関数は、
MySRIMwb.xlsx にあるデータシートを読んで計算をしてその結果を返します。
SRIMfitの基本関数 ( 例：前述の srE2Rng( ) や srRng2E( ) ) は、
このデータシートに書いてある値を参照する関数 などです。
ここでは、データシートに書いてある事について説明します。

②
⑦

③

④

⑤

⑥a

⑥b

①
①

上図例のシート名は srim84Kr_Si = ( ビーム 84Kr , 標的物質 Si ) 用のものです。

値の説明

関連する SRIMfit関数名② ビーム と 標的物質 に 関連する情報 srInfoIonZ(), srInfoTrgDens(), etc.
③ ビーム の エネルギー: E に対する・・・ srMinE(), srMaxE(), etc.
LET値 （ｄE/dX） electric, nuclear srE2LETt(), srLETt2E(), srMaxLETt(), etc.
④
Range値 （飛程)srE2Rng(), srRng2E()⑤⑥a,b Straggling 値 ビーム方向、垂直方向 srE2StLng(), srE2StLtr(), srStLng2E(), etc.
srLETUNm(), srLETCnvF(), etc.
⑦ LET値表示 の 単位換算表※ それぞれの関数の使い方については、「ユーザーズマニアル」 SRIMfit の 関数一覧 (1), (2)を参照してください。

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基本関数

(２a) 基本関数 の 例題-1 MySRIMwb 内容表示
「SRIMfit入門_ _半導体照射試験用.xlsm： ex03 シート」 に、SRIMfit 基本関数 を用いた例題を示しました。

①

②

②a

③

②b

このシートは、SRIMfitが読み込んでいる MySRIMwb.xlsx の内容を表示します。(縮小図で見ずらくてすみません)【解説】① WS名を 青字 文字列で指定します。
ここだけを指定すると、シートのほぼ全ての内容が表示されます。

② 右端のグラフ ②a ②b : X,Y=Lin,Lin表示 の範囲を 青字 で指定。
SRIMfitが行っている“内挿補間”が、デコボコになっていないかを確認するのに便利です。

③ ビームエネルギーを 青字 で指定して、LET, Range, Straggling の値を表示させる。

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基本関数

(２b) 基本関数 の 例題-2
「SRIMfit入門_半導体照射試験用.xlsm： ex04 シート」 に、SRIMfit 基本関数 を用いた例題を示しました。

②a

①

③b
②b
③a

④a

④b
⑥b ⑥c

⑤

⑥a
① WS名を 青字 文字列で指定します。
② WS名 から、②a ビーム情報、 ②b 標的情報 を表示。
③ LET値の単位を ③a に 青字 で指定。 ③b に、他の単位系への変換係数を表示。
④ ビーム核種と標的材質が決まると、最大LET値 ④a は、一意に決まります。

 「これ重要」なので、覚えておいてくださいね！ ビームエネルギーには無関係です！
その最大LET値になるビームエネルギーを ④b に表示。
 つまり、このエネルギー以上ならば、最大LET値で照射可能という事です！

⑤ 次に、ビームエネルギーを 青字 で指定した場合の LET値を計算してみます。
⑥ LET_total ⑥a ＝ LET_electric ⑥b ＋ LET_nuclear ⑥c です。
半導体照射では、LET_total を用いることが多いそうです。

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srEnew(), srEold()(３) 便利な関数： srEnew( ) ⇔ srEold( )SRIMfit で、私が一番便利に使っている srEnew( ) 関数と、その逆関数 srEold() について説明します。
これらの関数は、SRIMfit の基本関数 srE2Rng( ) と、その逆関数 srRng2E( ) から成る組合せ関数です。

(３a) srE2Rng(), srRng2E() を使って srEnew(), srEold() を記述する
ビームのエネルギーが E1 の時、物質中での Rangeが R1 だったとします。

R1 = E2Rng( E1 )イメージが分かりやすいように、物質中の dE/dX (LET) 曲線： Bragg カーブも記載してあります

では、上図を２つに分けて「ある厚さ Thick を通過して」 と 「エネルギーが E2 に低下した時の Range は R2 」と考えてみます。

R2 = R1 - Thick
R2 = E2Rng( E2 )∴ E2 = E2Rng-1( R2 ) = Rng2E( R2 )図を２つに分けても、ビーム核種とターゲット物質は同じですから、同じ関数形 R = E2Rng( E ) で議論できます。
そして E2 は、逆関数 Rng2E( R2 ) で求められる事がわかります。
以上まとめると、次の様な２つの拡張関数を簡単につくれる事がわかります。

ビームエネルギー E が、
物質 厚さ Thick を
通過 「後」 のエネルギー Enew を求める

ビームエネルギー E が、
物質 厚さ Thick を
通過 「前」 のエネルギー Eold を求める

WS : Work Sheet Name

Enew = srEnew( WS, E1, Thick ) {Eold = srEold( WS, E1, Thick ) {R1 = srE2Rng( WS, E1 ) ;R1 = srE2Rng( WS, E1 ) ;R2 = R1 - Thick ;R2 = R1 ＋ Thick ;if ( R2 <= 0 ) return( 0 ) ;E2 = srRng2E( WS, R2 ) ;E2 = srRng2E( WS, R2 ) ;return( E2 ) ; }return( E2 ) ; }※ SRIMfit マクロ定義の中では、実際にこのように記述してあります。
※ 以上、まわりくどい説明でしたが、これは Range の定義式と、定積分の区間和則から明らかです。
𝐸1

R1 = න
0

𝐸2
𝐸1
𝑑𝐸
𝑑𝐸
𝑑𝐸
=න
+න
= 𝑅2 + 𝑇ℎ𝑖𝑐𝑘(𝑑𝐸/𝑑𝑥)(𝑑𝐸/𝑑𝑥)(𝑑𝐸/𝑑𝑥)0𝐸2

但し、ここで言う Range は「投影飛程：projected range」で、ビーム入射方向に沿って計った飛程です。
重イオンビームの場合、物質中のイオン経路は殆ど曲がらないので、イオンが実際に動いた距離である「経路長」と、「投影飛程」はほぼ等しくなります。 ダメな例は、物質中の電子飛程など。 Ref) 現代工学社 放射線計測の理論と演習 上巻§4.7.3

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10srEnew(), srEold()(３b) srEnew(), srEold() 関数の引数について
SRIMfit 「ユーザーズマニアル：関数一覧表(2a) 組合せ関数」 に、
固体用： srEnew() と srEold() 関数の説明があります。 以下に転記します。
≪変数名 表記≫
WS1,WS2 S 比較するWS名
Eu D Beam Energy [MeV/u]
Et D Beam Energy [MeV]
dEu D Beam Energy Loss [MeV/u]
dEt D Beam Energy Loss [MeV]
Tum,Tmm D Thickness [μm] | [mm]
Pa D Gas Pressure [Pa]dgC D Gas Temperature [degC]≪_eq_関数で、戻値が err: #N/A になる場合≫
case-1) Eu10 > Emax
表範囲外
case-2) Eu11 < 0
Eu20 や Th2 が不定になる為
case-3) Et11 > Et20
Bm1の通過後Eが、Bm2 通過前の全E より大きい
case-5) dEt1 > Et20
Bm1のdEt が、Bm2 通過前の全E より大きい
case-8)
WS1 の Rng( E ) 表の範囲外
case-9)WS2 の Rng( E ) 表の範囲外
case-11)dEpeak search error
case-12) dEu2max < dEu1 解なし
case-14)dE2ixE search error

カテゴリー

戻値型 関数名
引数名

関数の説明
戻値

型 引数の説明

戻値条件

理由など

組合せ関数(2) equivalent E <-> Rng 計算
V,D

srEnew
WS
Eu10
Th1

S
D
D

通過前

関数の
引数
戻値

●

WS名
Bm 通過前 E [MeV/u]
Trg 厚 [μm]Trg厚 Th[μm] 通過後の Beam E [MeV/u] ; Enew
#NUM! Eu10<=0
Th1<0も許可#N/A -Th >Rmax=0
Eu10=0 | Th1>=Rng(Eu10)=Eu10 Th1=0=srEold(Eu11,Th1) Th1<0
Eold 計算と同等（等価計算式）

通過後

Eold Thick Enew
MeV/u μm MeV/u
WS1 Eu10
Th1
Eu11
引数 引数
引数
戻値

srEnew(WS,Eu10,Th1) {R10= srE2Rng(WS,Eu10)
if((R11= R10 - Th1)<=0) return( 0 )E11u= srRng2E(WS,R11)
return( E11u )}組合せ関数の説明では、参考の為、<等価計算式> を C言語 like に示しました。
VBA エディタで、それぞれの関数スクリプトをご覧になるとわかるように、
この等価計算式と同様な処理＋エラーハンドリング が記述されています。
V,D

srEold
WS
Eu11
Th1

●
S
D
D
通過前

WS名
Bm 通過後 E [MeV/u]
Trg 厚 [μm]通過後Eold Thick Enew
MeV/u μm MeV/u
WS1 Eu10
Th1
Eu11
引数 戻値
引数
引数

Trg厚 Th[μm] 通過前の Beam E [MeV/u] ; Eold
#NUM! Eu11<=0 | Th1<0 不許可#N/A E1>=Emax=Eu11 Th1=0=srRng2E(Th1) Th1=0 & E11=0
srEold(WS,Eu11,Th1) {R11= srE2Rng(WS,Eu11)
R10= R11 + Th1
Eu10= srRng2E(WS,R10)
return( Eu10 )}標的のある厚さを 《通過後》 のエネルギー値 《 Enew 》
逆に標的のある厚さを 《通過前》 のエネルギー値 《 Eold 》を計算する関数です。 後述の様にGas標的版 (温度、気圧を指定) もあります。

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11

srEnew(), srEold()(３c) srEnewGas(), srEoldGas() 関数の引数について
SRIMfit 「ユーザーズマニアル：関数一覧表(2b) 組合せ関数 Gas用」 に、
気体用： srEnewGas() と srEoldGas() 関数の説明があります。 以下に転記します。
≪変数名 表記≫Tmm D Thickness [mm]
Pa D Gas Pressure [Pa]dgC D Gas Temperature [degC]
その他は _eq_() 関数と同じ。

≪_eq_関数で、戻値が err: #N/A になる場合≫#NUM! WS<>Gas
WSがGasTrgでない
その他は _eq_() 関数と同じ。

Gas用関数の場合、厚さ Th は [mm] 単位で指定 します。
更に、それぞれの気体の 気温 [degC] と 気圧 [Pa] も指定 してください。
それ以外は、Gas 用でない関数と、計算方法・結果は同じです。
組合せ関数(2) equivalent E <-> Rng 計算
V,DsrEn e wGas
WS
Eu10
Tmm1
Pa1
dgC1

S
D
D
D
D

● GasTrg厚 Th[mm] 通過後の Beam E [MeV/u] ; Enew

WS(Gas)名Bm 通過前 E [MeV/u]
GasTrg 厚 [mm]GasTrg 気圧 [Pa]GasTrg 気温 [℃]#NUM! WS<>Gas
WSがGasTrgでない#NUM! Eu10<=0
Th1<0も許可#N/A -Th >Rmax=0
Eu10=0 | Th1>=Rng(Eu10)=Eu10 Th1=0=srEold(Eu11,Th1) Th1<0
Eold 計算と同等（等価計算式）

通過前

関数の

引数
戻値

V,D

通過後

Eold
Thick
MeV/u
mm
WS1 Eu10 Tmm1
引数 引数
引数

srEoldGas
WS
Eu11
Tmm1
Pa1
dgC1

S
D
D
D
D

Pa
Pa1
引数

Enew
MeV/u
Eu11
戻値

℃
dgC1
引数

● GasTrg厚 Th[mm] 通過前の Beam E [MeV/u] ; Eold
WS(Gas)名#NUM! WS<>Gas
WSがGasTrgでない
Bm 通過後 E [MeV/u]#NUM! Eu11<=0 | Th1<0 不許可
GasTrg 厚 [mm]#N/A E1>=Emax
GasTrg 気圧 [Pa]=Eu11 Th1=0
GasTrg 気温 [℃]=srRng2E(Th1*srThkStd(Pa1,dgC1)) Th1=0 & E11=0

通過前

Eold
MeV/u
WS1 Eu10
引数 戻値

2022/09/14 (v1.00)

srEnewGas(WS,Eu10,Tmm1,Pa1,dgC1) {Th1= Tmm1 * 1000 * srThkStd(WS,Pa,dgC)
R10= srE2Rng(WS,Eu10)
if((R11= R10 - Th1)<=0) return( 0 )E11u= srRng2E(WS,R11)
return( E11u )
}

通過後

Thick
mm
Th1
引数

Pa
Pa1
引数

℃
dgC1
引数

Enew
MeV/u
Eu11
引数

srEoldGas(WS,Eu10,Tmm1,Pa1,dgC1) {Th1= Tmm1 * 1000 * srThkStd(WS,Pa,dgC)
R11= srE2Rng(WS,Eu11)
R10= R11 + Th1
Eu10= srRng2E(WS,R10)
return( Eu10 )}SRIMfit入門 半導体照射試験用

12srEnew(), srEold()(３d) srEnew() , srEnewGas() の 例題
「SRIMfit入門_半導体照射試験用.xlsm： ex05 シート」 に、srEnew() , srEnewGas() を用いた例題を示しました。

①a

④a

①b

④b

④c

④d

③

②

⑤

⑥

① ビーム核種 と ビームが通過する材質名 を ①a に指定し、 それぞれのWS名 ①b を用意しておきます。
② ビームが通過する 空気の 気温 と 気圧 を入力。
③ 真空中でのビームエネルギー (加速器からのエネルギー) を入力。
④ 各ビーム通過物の 厚さ を ④a ～ ④d に入力。
⑤ 各通過物を “通過後” の ビームエネルギーを、
srEnew() と srEnewGas() 関数を用いて計算し、結果を表示しています。
通過物が固体の場合は srEnew() を、気体の場合は srEnewGas() を使います。
表下側に、各セル中に記述した式を書いてありますので、よく見て下さい。
Ebm → E1 → E2 → E3 → E4 の順でエネルギーの変化を計算しています。 簡単でしょう？！
通過する材質によって、WS名の参照値 ①b を変えている事にも注意して下さい。
最後の E4 が、空気層２(Lair2) 通過後 つまり、照射試料表面位置でのエネルギーになります。

⑥ 試料表面での LET値を、 srE2LETt() を用いて算出しています。
では、“手動”で Edeg板の厚さ ④c をいじってみて下さい。
Edeg板の厚さ ④c vs 試料表面LET値 ⑥0.0 μm
→ 10.12 = これが Edeg無し の 最小LET値 です。
1220.0 μm→ 40.79 = Kr vs Si材の maxLET=41 Bragg Peak 近傍です。
1235.0 μm→ 19.05 = Bragg Peak を超えて、LETが減少する領域です。
1250.0 μm→ #N/A = 計算エラー E4= 0.0 となり、ビームが試料手前で停止しています。
2022/09/14 (v1.00)

SRIMfit入門 半導体照射試験用

13

srEnew(), srEold()(３e) srEold() , srEoldGas() の 例題
「SRIMfit入門_半導体照射試験用.xlsm： ex06 シート」 に、srEold() , srEoldGas() を用いた例題を示しました。

①a

③a

①b

③b

③c

③d

④b

③e

④a
④c
②

⑥

⑤

①,② ビーム核種、材質名 を ①a に、空気の気圧、気温を ② に指定。WS名 ①b が用意されます。
③ 各ビーム通過物の 厚さ を ③a ～ ③e に入力。
④ 試料表面での LET値 を ④a に指定。指定値は、最大LET値 ④b 以下である事。
srLETt2E() 関数を用いて、そのLET値になるビームエネルギー E1 ④c が計算されます。
⑤, ⑥ 各通過物を “通過前” の ビームエネルギーを、
srEold() と srEoldGas() 関数を用いて計算し、結果を表示しています。
最後の E6 が、真空膜 通過前 つまり、加速器からのビームエネルギー Ebm ⑥ になります。
では、“手動”で LET指定 ④a をいじってみて下さい。
LET指定 ④a
10.0
40.0
41.0

2022/09/14 (v1.00)

vs 真空中 Ebm ⑥→ 72.70 MeV/u LET値指定が小さいと、Ebmは高くなります。
→ 25.40 MeV/u maxLET近傍(少し手前)にするには、このエネルギーで可能です。
→ #N/A= 計算エラー maxLET = 40.998 なので、このビームと照射試料では、このLET値を指定できません。

SRIMfit入門 半導体照射試験用

14

srEnew(), srEold()(３ｆ) srEnew() , srEold() の 総合例題
「SRIMfit入門_半導体照射試験用.xlsm： ex07 シート」 に、本コースのまとめとなる例題 を示しました。

①c

①a

④

①d
②b

②a

①b
③a

③b

⑤

① 照射環境パラメータを ①a～①d に記入。
② 上流拘束：真空中のビームエネルギーを ②a に、下流側高速：表面LET値を ②b に記入。
③ 上流～Edeg入口までの計算が ③a 、下流～Edeg出口までが ③b です。
Edeg入口でのエネルギー E02 を、”Edeg材質中” での Range R02 に変換、出口では E12 と R12 です。

④ 求めるべき Edegの厚さは、上記 R02 と R12 の Rangeの差 です。

つまり、Tal = R02 – R12 です。 (3a)項の説明を見直してください。

⑤ 求まった Tal を用いて、再度上流から srEnew() 計算をして検算を行っています。
表面LET(検算) が、 ②b で指定した 表面LET値 と同じ値になっている事を確認して下さい。
では、LET指定 ②b の値をいじってみて下さい。
LET指定 ②b
15.0
40.0
10.0

2022/09/14 (v1.00)

vs Edeg板厚さ Tal ④→
742.4 μm
→ 1206.0 μm maxLET近傍(ギリギリ手前)にするには、この厚さです。
→-33.1 μm 厚さがマイナス値 になるのは、「Edeg使用不可」です。
E真空中を上げる or ビーム通過物を薄くする 必要があります。

SRIMfit入門 半導体照射試験用

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(４) おわりに本コースは以上で終わりです。 SRIMfitが、半導体照射試験用の計算ツールとして便利な事を理解して頂けたでしょうか。 SRIM2013は業界標準コードですが、この計算結果を用いてExcelマクロ関数化したことにより、より便利な計算ツールとなりました。特に、Enew() Eold（）は便利で、これが欲しかったので、私はSRIMfitを作りました。
掲載してある例題：パーツを利用して、自分なりの「照射試験用チェックシート」を構築して頂けると幸甚です。 その時に、「計算式を間違えない様に！」指定してくださいね。 このコースで紹介した例題をよく見直し、自分で理解してから改造してみてください。

(注意)
SRIMfitは、ビーム調整用の「単なる計算ツール」 「目安」 である事を忘れずに！
実際のビーム調整や半導体試験では、この計算通りになるとは限りません。
その理由は沢山あります。
（実験的誤差）➢ ビーム通過物の 「厚さ」 と 「密度」 の測定誤差。 照射物、通過物の設置精度。
➢ 加速器からの真空中エネルギーの測定誤差➢ 当チーム担当のエネルギー検出器の較正誤差

・・・ etc ・・・（計算誤差）➢ SRIM2013計算において標的が化合物の場合、その元素組成比や、密度、混合の不均一性などによって誤差が生じます。 また、「Bragg補正項」の指定方法が、私も良く理解していません。

➢ SRIMfit に入力する MySRIMwb の内挿補間に於ける計算誤差。

・・・ etc ・・・（物理誤差）➢ そもそも SRIM2013の「理論計算」にも、ビーム核種、標的核種によって 数％ の誤差があります。
ref) http://www.srim.org/SRIM/History/HISTORY.htm Historical Review：Theories for Stopping & Ranges of Heavy Ions ；Stopping powers in 2003 (the date of this chapter) can now be calculated with an average accuracy of
about 5% overall, 6% for heavy ions and better than 2% for high velocity light ions.

➢ またビームの Range Straggling効果により、Range は幅を持った量です。つまりLET値にも幅が生じます。
SRIM計算結果の“値”は、幅を持った分布の”中心値”である事に注意して下さい。

これら諸々の誤差を十分考慮の上で、「安全方向に考えたLET値調整」 をするように心掛けて下さい。
理研仁科・産業チーム：あ吉田

2022/09/14 (v1.00)

SRIMfit入門 半導体照射試験用

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