电容膜片真空计
CDG045D

操作手册
内 含 EU 符 合 性 声 明
其 它 语 言 见 www.inficon.com

tina51e1-h(2020-07)1产品标识
与 INFICON 公司联系时, 请告知产品名牌上的信息. 为便于参考,
请将该信息填入下面的空格中.

有效性
本文件适用于 CDG045D 系列产品.
标准产品的件号示于下面. OEM 产品有其它件号和不同参数设定值 (例如工厂的设点参数) 定义在相应的订货信息中.

2

tina51e1-h(2020-07)

开关功能

无
开关功能

接口

筛选器

无 (模拟)

标准
控制
插座

脚
脚

法兰
管
插头型
插座型
插座型
插座型,长管单位乇 (x 133 帕 ; x 1.3 毫巴)毫巴 (x 100 帕)

测量范围
(全量程)

(仅乇)
(仅毫巴)

tina51e1-h(2020-07)3

件号 (PN) 可从产品名牌上看到.
如图例中未另有注明, 本文插图中, 规管的电连接为 D-Sub 15-脚
连接件和真空连接为 DN 16 ISO-KF. 应用于其它规管的连接均类似.
我们保留不事先通知进行技术修改的权利.

用途
温度补偿型电容膜片真空计 CDG045D 系列用于各压强范围气体的绝对压强测量 (→  2).
真空计属于 SKY® Smart 传感器系列, 可连接 INFICON 真空计
控制器 (VGC 系列) 或其它适当的控制器运行.

工作原理
陶瓷膜片因压强变化而偏移. 偏移反应为电容量的变更, 由数字
电子学测量并转换成模拟线性输出讯号.
输出讯号与气体类型无关.
加热传感器至固定温度 45°C, 可补偿环境条件的变化和减少过程应用中过程产物和副产物的淀积, 从而达到很精确的压强测量.

商标
SKY®
VCR®

4

INFICON GmbH
Swagelok Marketing Co.

tina51e1-h(2020-07)专利号专利号
EP 1070239 B1, 1040333 B1
US 1070239
Patents 6528008,
6591687,
EP
B1, 1040333
B1 7107855, 7140085
US Patents 6528008, 6591687, 7107855, 7140085

交货范围
1× 真空计 CDG045D
1× 针杆
1× 校准测试报告1× 操作手册德文1× 操作手册英文

目录
产品标识
有效性
用途
工作原理
商标
专利号
交货范围

2
2
4
4
4
5
5

1 安全
1.1 使用符号
1.2 人员要求
1.3 一般安全规则
1.4 责任和保用

7
7
7
8
8

2

技术参数

9

(2020-07)5

tina51e1-h

3 安装
3.1 真空连接
3.2 电源连接
3.2.1 D-Sub, 9-脚连接件3.2.2 D-Sub, 15-脚连接件

15
15
18
19
20

4 运行
4.1 状态指示
4.2 真空计调零
4.2.1 <ZERO> 调整
4.3 开关功能
4.4 启用工厂设定值 (工厂复位)
4.5 诊断口 (RS232C 接口)

21
21
22
23
27
30
31

5

卸装

32

6

维护, 检修

34

7

返回产品

34

8

处置

35

9

附件

36

附加资料

36

ETL 证书

38

EU 符合性声明

39

本文内的相互参照, 使用符号 (→  XY), 参照 "附加资料" 中列出
的其它文件, 使用符号 (→  [Z]).

6tina51e1-h(2020-07)

1

安全

1.1

使用符号
危
险
DANGER有关防止任何伤害人身安全的信息.

WARNING警告有关防止损坏设备与环境的信息.

Caution注意
正确掌握或使用的信息. 无视可导致故障或设备损坏.

注意事项

1.2

人员要求
授权人员
Skilledpersonnel
本文中所述的全部工作必须由经过技术培训和有足够经验或由产品的最终用户授权的人员执行.

tina51e1-h(2020-07)71.3

一般安全规则
• 遵守适用的规程和对使用的过程介质采取必要的防护措施.
考虑与产品材料可能引起的反应.
• 遵守适用的规程和对全部要做的工作采取必要的防护措施,并遵守本文件中的安全规则.
• 在工作开始前, 检查任何真空元件是否已污染. 遵守相关的规程和对污染部件采取必要的防护措施.
将安全规则通知全部其它用户.

1.4

责任和保用
INFICON 将不再承担任何责任和保用, 如用户或第三方:• 无视本文件中的信息• 不适当的方式使用产品
• 对产品进行任何干预 (修改, 变更等)• 使用未列入产品文件中的附件.
最终用户对使用的过程介质承担全部责任.
由于污染引起的真空计故障不包含在保修范围内.

8

tina51e1-h(2020-07)

2

技术参数
有关带 DeviceNet, Profibus, EtherCAT 或 Profinet 接口
的真空计详细技术参数 →  [6], [7], [8], [9] 和 [10].
测量范围→ "有效性"

精度 1)

0.15% 读值零点温度效应
0.05 … 0.5 全量程
1 … 1100 全量程

0.0050% 全量程/°C
0.0025% 全量程/°C

分辨率

0.01%读值/°C
0.003% 全量程

与气体类型的关系无满量程温度效应

输出讯号模拟
(测量讯号)
测量范围

0 … +10 伏电压范围–5 … +10.24 伏(限于 +10.24 伏)电压与压强的关系线性输出阻抗0 Ω (短路保护)负载阻抗>10 kΩ

响应时间 2)≥0.25 乇/毫巴 (全量程)
0.05 / 0.1 乇/毫巴 (全量程)30 毫秒130 毫秒规管标识电阻 R 标识
电压

13.2 kΩ 参考至电源公共端
≤5 伏

1)

运行 2 小时后在校准范围内, 在 25 °C 环境工作温度下非线性, 滞后, 重复性无温度效应.

2)

增大 10 … 90 % 全量程范围.

tina51e1-h(2020-07)

9

遥控调零

用外开关触点调零的数字输入
(→  23)

外开关触点
脉冲

开关功能
设定范围

30 伏 (直流) / <5 毫安 (直流)
>1 秒 … <5 秒
SP1, SP2
0 … 99% 全量程 (0 … 9.9 伏)滞后

1% 全量程继电器触点

30 伏 (直流) / ≤0.5 安 (直流)
浮点 (常开)闭合p ≤ pSP (LED 亮, 持续)开启p ≥ pSP (LED 灭)开关时间≤50 毫秒

状态继电器
继电器触点

伏 (直流) / ≤0.5 安 (直流)连接至电源公共 (脚 5)

闭合

测量模式
警告

开启

无电源电压
预热
误差

RS232C 接口
传输率
数据格式

9600 波特
二进制
8 数据位
一个停止位
无奇偶位
无信号交换
→ "电源连接"有关 RS232C 接口的详细信息 →  [5].
诊断口10

插口连接件, 2.5 毫米, 3-脚
tina51e1-h(2020-07)

电源

DANGER危险
与真空计连接的电源, 仪器或控制设备必须符合极低压保护接地(PELV) 和有限电源 (LPS), 2 级的要求.
规管的连接必须通过保险丝 3).
电源电压
规管
纹波

2 级 / LPS
+14 … +30 伏 (直流) 或±15 伏 (±5%)≤1 Vpp功耗无 fieldbus
加热过程中
工作温度下

≤12 瓦
≤8 瓦

有 fieldbus
加热过程中
工作温度下

≤13.5 瓦≤9.5 瓦连接保险丝 3)

1.25 AT电源电压的极性变更和过载时, 规管受保护.
电连接件
3CC1-xxx-0xxx
3CC1-xxx-2xxx

9-脚 D-sub, 插头型
15-脚 D-sub, 插头型传感器电缆用于
3CC1-xxx-0xxx
3CC1-xxx-2xxx

9-芯,带屏蔽
15-芯,带屏蔽

3)

tina51e1-h

INFICON 控制器满足此要求.
(2020-07)11传感器电缆
电缆长度电源电压 15 伏

15-芯,带屏蔽
≤ 8 米 (0.14 毫米²/导线)≤15 米 (0.25 毫米²/导线)电源电压 24 伏≤43 米 (0.14 毫米²/导线)≤75 米 (0.25 毫米²/导线)电源电压 30 伏≤88 米 (0.14 毫米²/导线)≤135 米 (0.25 毫米²/导线)较长的电缆,要求使用较大截面的导线 (R 电缆 ≤1.0 Ω).
接地概念→ "电源连接"暴露于真空的材料

陶瓷 (Al2O3 ≥99.5%),
不锈钢 AISI 316L

内容积≤4.2 厘米 3容许压强 (绝对)200 / 500 / 1000 / 1100 全量程
1 / 2 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 全量程
0.05 / 0.1 / 0.25 / 0.5 全量程

4巴
2.6 巴
1.3 巴

| 400 仟帕| 260 仟帕| 130 仟帕爆裂压强 (绝对)6巴| 600 仟帕

允许温度
贮存
运行
烘烤

12

–40°C … +65°C+10°C … +40°C≤110°C 在法兰处相对湿度≤80% 温度 ≤+31°C,
在 +40°C 时减至 50%

使用仅室内, 海拔高至 2000 米 NN

保护等级

IP 40

tina51e1-h(2020-07)

尺寸 [毫米]

外径

插座型

插座型
长
插座型
插头型
重量

tina51e1-h(2020-07)

837 … 897 克13模拟测量讯号与压强的关系Pressure压强 p
1.1×F.S.
×全量程
1.0×F.S.
×全量程×全量程
0.9×F.S.
×全量程
0.8×F.S.
×全量程
0.7×F.S.
×全量程
0.6×F.S.
×全量程
0.5×F.S.
0.4×F.S.
×全量程
0.3×F.S.
×全量程×全量程
0.2×F.S.
×全量程
0.1×F.S.
0.0×F.S.
×全量程

0

1

2

3

4

5

6

7

8

Measuring
signal Uout [V]
伏
测量讯号

9

10

p = (Uout / 10 伏) × p (全量程)转换 乇 ↔ 帕

c
例:

乇

毫巴 4)

帕 4)

1.00

1013.25 / 760 =
1.3332…

101325 / 760 =
133.3224…

真空计全量程为 10 乇.
测量讯号 Uout = 6 伏
p = (6 伏 / 10 伏) × 10 乇
= 0.6 × 10 乇= 6 乇

4)14

源自: NPL (国家物理实验室)压强和真空测量指南, ISBN 0904457x /1998
tina51e1-h(2020-07)

3

安装
WARNING警告
易碎元件
陶瓷传感器可因碰撞而损坏.
切勿跌落产品和防止冲击或碰撞.

3.1

真空连接
危险
DANGER
真空系统中过压 >1 巴当真空系统中处于压力状态时, 打开夹环可导致松脱的部件或泄放的过程气体伤害人身安全.
当真空系统处于压力下时, 切勿打开任何夹环. 使用
适合于过压的夹环类型.

危险
DANGER
真空系统中过压 >2.5 巴用橡胶密封件 (如 O-圈) 的 KF 法兰连接件不能经受此压力. 从而过程介质可能泄漏, 伤害人身健康.
使用带有外对中环的 O-圈.

tina51e1-h(2020-07)

15

危险
DANGER保护接地
未正确接地的产品在事故情况下是十分危险的.
将规管连接到接地的真空室上. 连接必须符合规程EN 61010 中规定的保护要求:• CF 和 VCR 法兰满足这个要求.
• 带有 KF 法兰的规管, 采用导电的金属夹环.
• 带有 ½" 管的规管, 采取适当的措施满足这个要求.

意t io nC注a u
真空元件污染和损坏影响真空元件的功能.
取拿真空元件时, 采取适当的确保清洁与防止损坏的措施.

意t io nC注a u对污染敏感的区域
用裸手接触产品或部件将增大退吸率.
在这个区域工作时, 始终戴上清洁的无纤维手套和
使用清洁的工具.

安装规管使它无震动发生. 规管可任意方位安装. 为防止
凝聚物和微粒进入测量室, 最好选取水平至直立的位置,
并使用带对中环和过滤件的密封圈. 如规管安装后需调整,要确保安装后可插入针杆调整按钮 (→  22).

16

tina51e1-h(2020-07)

取下保护盖, 将规管连接在真空系统上.

Seal 带对中环的密封件with centering ring

Protective
保护盖 lidClamp夹环将保护盖收藏好.

tina51e1-h(2020-07)

17

3.2

电源连接
确保真空连接已妥善完成 (→  15).

危险
DANGER
与真空计连接的电源, 仪器或控制设备必须符合极低压 (PELV) 和有限电源 (LPS), 2 级保护接地的要求.
规管的连接必须通过保险丝 5).

接地环路, 电位差, 或 EMC 问题可影响测量讯号. 为优化
讯号质量, 请务必遵守下列注意事项:• 采用全金属编织网屏蔽电缆. 连接件必须有金属外壳.
• 通过连接件外壳仅连接电缆屏蔽的一端接地. 确保直接连接件外壳的整个周围至电缆屏蔽. 屏蔽的另一端切勿接地.
• 在电源上, 直接将电源公共连接保护接地.
• 采用差分测量输入 (讯号公共与电源公共通导分离).
• 电源公共与机壳之间的电位差 ≤18 伏 (过电压保护).

5)

18

INFICON 控制器满足此要求.
tina51e1-h(2020-07)

3.2.1D-sub, 9-脚连接件如无传感器电缆, 按下图做一根 (电缆长度和导线截面 →  12).

遥控调零
标识

伏
伏

纳法

伏

伏

外壳
电连接

脚 1
脚 2
脚 3
脚 4
脚 5
脚 6
脚 7
脚 8
脚 9
外壳

tina51e1-h

讯号输出 (测量讯号)
未用
未用
电源 (+14…+30 伏或+15 伏)
电源 (-15 伏)未用规管标识或遥控调零
讯号公共
电源公共
连接件外壳

(2020-07)

脚,
插座型
钎焊侧

19

3.2.2D-sub, 15-脚连接件如无传感器电缆, 按下图做一根 (电缆长度和导线截面 →  12).
状态

遥控调零
标识

伏
伏

纳法

伏

伏

外壳
电连接

脚 1,4 继电器 SP1,常闭触点脚2讯号输出 (测量讯号)
或阈值 SP1/2
脚3
状态
脚5
电源公共
脚6
电源 (-15 伏)
脚 7,11 电源 (+14…+30 伏或+15 伏)
脚 8,9 继电器 SP2,常闭触点
脚 10 规管标识或遥控调零讯号公共
脚 12 讯号公共
脚 13 RS232, TxD
脚 14 RS232, RxD
脚 15 机壳 (机架地)外壳 连接件外壳

20

脚,
插座型
钎焊侧

tina51e1-h(2020-07)

4

运行
将真空计投入运行. 如使用 INFICON 控制器 (VGC4 系列), 定义测量范围 (→  [1], [2], [3], [4]).
预热时间至少 ½ 小时; 如要求精确的压强测量预热时间至少需要
2 小时.
如将真空计用于快速下游压强控制, 建议将它的讯号筛选器设定于 "快".
可通过 RS232C 接口或诊断口设定筛选器 (→  [5] ).

4.1

状态指示

DIAG
I/O

ST

S

P2

AT
US

1

SP

LED

LED 状态

含义

<STATUS>

灭

无电源电压

亮持续绿色

测量模式

闪烁绿色
短闪烁
长闪烁

警告, 超过/不足量程
预热

亮持续红色

误差

亮持续绿色

p ≤ 设点 1

闪烁绿色等待设点 1 输入灭p > 设点 1亮持续绿色

p ≤ 设点 2

闪烁绿色等待设点 2 输入灭p > 设点 2

<SP1>

<SP2>

tina51e1-h

SP ZERO(2020-07)

21

4.2

规管调零
规管在工厂按 "直立" 的方位校准 (→ "校准测试报告").
当规管首次工作时, 建议执行零点调整.
由于长期工作或污染, 可发生零点漂移, 必须调整零点.
为调整零点, 将规管工作在相同的室温条件下和与常规使用时
同样的安装方位.
输出讯号 (测量的讯号) 与安装方位有关. 垂直与水平安装方位之间的讯号差别为:
全量程∆U / 90°

1000 乇/毫巴

≈2 毫伏

100 乇/毫巴

≈10 毫伏10 乇/毫巴

≈50 毫伏1 乇/毫巴≈300 毫伏

0.1 乇/毫巴

≈1.8 伏如规管通过控制器运行, 必须在控制器上调整整个测量系统的零点: 首先, 调整规管的零点, 接着调整控制器的零点.

22

tina51e1-h(2020-07)

4.2.1<ZERO> 调整调整零点可通过:• 规管上的 <ZERO> 按钮,• 诊断口 (→  [5]),• 数字输入 "遥控调零" (短暂地将电源电压加至脚 10(15-脚) 或至脚 7 (9-脚)), 脉冲 →  10,• RS232C 接口 (→  [5]),• INFICON 真空计控制器 (VGC 系列).
在规管的加热过程中和/或在大气压强下, 为防止出现误差,调零功能是被锁住的.

 将规管抽空至如下表的压强:
全量程
1100
1000
500
200
100
50
20
10
5
2
1
0.5
0.25
0.1
0.05

毫巴
乇
乇/毫巴
乇/毫巴
乇/毫巴
乇/毫巴
乇/毫巴
乇/毫巴
乇/毫巴
乇/毫巴
乇/毫巴
乇/毫巴
乇/毫巴
乇/毫巴
乇/毫巴

推荐用于调零的最终压强
–<5×10-2 乇<2.5×10-2 乇<10-2 乇<5×10-3 乇<2.5×10-3 乇<10-3 乇<5×10-4 乇<2.5×10-4 乇<10-4 乇<5×10-5 乇<2.5×10-5 乇<10-5 乇<5×10-6 乇<2.5×10-6 乇<6.65×100 帕<6.65×100 帕<3.33×100 帕<1.33×10-0 帕<6.65×10-1 帕<3.33×10-1 帕<1.33×10-1 帕<6.65×10-2 帕<3.33×10-2 帕<1.33×10-2 帕<6.65×10-3 帕<3.33×10-3 帕<1.33×10-3 帕<6.65×10-4 帕<3.33×10-4 帕<6.65×10-2 毫巴–<3.33×10-2 毫巴<1.33×10-2 毫巴<6.65×10-3 毫巴<3.33×10-3 毫巴<1.33×10-3 毫巴<6.65×10-4 毫巴<3.33×10-4 毫巴<1.33×10-4 毫巴<6.65×10-5 毫巴<3.33×10-5 毫巴<1.33×10-5 毫巴<6.65×10-6 毫巴<3.33×10-6 毫巴如规管的最终压强过高无法调零 (>25% 全量程), 零点调整
未能实现, 则指示灯 <STATUS> 绿色闪. 如遇到这种情况,启用工厂设定值重新调零 (→  30).

 运行规管至少 ¼ 小时 (直到讯号稳定).
tina51e1-h(2020-07)23

 用针杆 (最大 ø1.1 毫米) 短暂地按下 <ZERO> 按钮. 零点
调整将自动运行. <STATUS> 指示灯闪 (持续时间 ≤8 秒)
直到调整完成.

短暂地按下按钮
Press
the button briefly
max.ø1.1
ø1.1毫米mm
最大零点调整后, 规管自动回到测量模式.
<STATUS> 指示灯绿色闪, 如:• 当最终压强达到时, 讯号输出是负值 (< -20 毫伏)• 零点调整失败.

4.2.2

带斜坡功能的 <ZERO> 调整
斜坡功能允许在规管测量范围内的一个已知参考压强下调整零点.
它还允许调整特性曲线的偏移量, 以:• 补偿测量系统的偏移量或• 为 0 … 10 伏 AD 变换器获得稍正的零点值.
偏移量不应超过全量程 (+200 毫伏) 的 2%. 较高的正偏移量将
超过测量范围的上限.

24

tina51e1-h(2020-07)用斜坡功能调零, 可通过:• 规管上的 <ZERO> 按钮,• 诊断口 (→  [5]),• RS232C 接口 (→  [5]).
调整测量系统偏移量的推荐顺序: → 参见  22.

 运行规管至少 1 小时(直到讯号稳定).
 用针杆 (最大 ø1.1 毫米) 按下 <ZERO> 按钮, 并保持按下状态. <STATUS>指示灯开始闪. 5 秒钟后, 零点调整值, 从
当前的输出值开始, 保持连续改变 (斜坡) 直到按钮被释放或直到达到设定限值 (最大 25% 全量程). 相应的输出讯号延迟
约 1 秒.

tina51e1-h(2020-07)25

保持按钮按下
Keep the button depressedmax.ø1.1
ø1.1毫米mm
最大 再次按下 <ZERO> 按钮:细调
在 0...3 秒内:

零点调整值改变一个单元(按 <ZERO> 按钮间隔时间 1 秒)

改变方向
在 3...5 秒内:

零点调整值改变它的方向(<STATUS>指示灯闪烁频率短暂变化)如释放 <ZERO> 按钮大于 5 秒, 规管回到测量模式.
如讯号输出为负值 (< -20 毫伏), <STATUS> 绿色指示灯闪.

26

tina51e1-h(2020-07)

4.3

开关功能
两个开关功能可设定于整个测量范围内的任何压强 (→  14).
当前的设点设定值
• 可通过诊断口读/写,• 是 D-Sub 连接件上的输出而不是测量讯号 (→  20), 按下<SP> 按钮后可用电压表测量, 或• 可通过 RS232C 接口读/写.
如压强低于设点值, 相应的指示灯 (<SP1> 或 <SP2>) 持续亮和
相应的继电器 (→  20) 动作.
Measurement
signal (pressure p)
测量讯号(压强 p)

设点
Setpoint

nt value
reme
asu
e
M

滞后
Hysteresis(1% 全量程)
F.S.)
Threshold阈值valueOff

tina51e1-h(2020-07)

On

Off

Time
时间 t

27

4.3.1

调整设点设点可调整, 通过:• 规管上的按钮,• 诊断口 (→  [5]),• RS232C 接口 (→  [5]).

危险
DANGER
故障
如过程由通过讯号输出控制, 记住: 按下 <SP> 按钮时测量讯号被抑制而输出的是相应的阈值. 这可引起故障.
仅当您确认不会引起故障时, 才按下 <SP> 按钮.

调整设点 <1> 用针杆 (最大 ø1.1 毫米) 按下 <SP> 按钮. 规管变换至开关
功能模式和当测量值输出约 10 秒时, 输出当前的阈值下限(指示灯 <1> 闪).

28

tina51e1-h(2020-07)

按下按钮
Press the button
max.ø1.1
ø1.1毫米mm
最大 为更改阈值, 按下 <ZERO> 按钮并保持按下状态. 阈值保持更改从当前值 (斜坡) 直至按钮被释放或直至达到设定范围的限值.

保持按钮按下Keepthe button depressedmax.ø1.1
ø1.1毫米mm
最大tina51e1-h(2020-07)29

 再次按下 <ZERO> 按钮:细调
在 0...3 秒内:

零点调整值改变一个单元改变方向
在 3...5 秒内:

零点调整值改变它的方向(<STATUS>指示灯闪烁频率短暂变化)如释放 <ZERO> 按钮大于 5 秒, 规管回到测量模式.
阈值上限自动设定于下限以上 1%全量程 (滞后).

调整设点 <2>
按 <SP> 按钮两次 (指示灯 <2> 闪). 调整顺序与设点 <1> 相同.

4.4

启用工厂设定值 (工厂复位)
全部用户定义的参数 (如零点, 筛选值) 被恢复至它们的默认值.
加载默认参数是不可逆的.
加载默认参数: 规管退出运行.
 当规管投入运行 (电源 ON) 时, 保持 <ZERO> 按钮按下至少
5 秒.

30

tina51e1-h(2020-07)

4.5

诊断口 (RS232C 接口)诊断口 <DIAG> 允许输出压强读值和全部状态信息和同时键入全部设定值 (→  [5]).
“附 件“→ "Accessories"

tina51e1-h(2020-07)

31

5

卸装
WARNING警告
易碎元件
陶瓷传感器可因碰撞而损坏.
切勿跌落产品和防止冲击或碰撞.

危险
DANGER
污染的部件
污染的部件对健康和环境有害.
开始工作前查找是否任何部件被污染. 当取拿污染的部件时, 遵守相关的规定和采取必要的预防措施.

意t io nC注a u
真空元件污染和损坏影响真空元件的功能.
取拿真空元件时, 采取适当的确保清洁与防止损坏的措施.

意t io nC注a u对污染敏感的区域
用裸手接触产品或部件将增大退吸率.
在这个区域工作时, 始终戴上清洁的无纤维手套和
使用清洁的工具.

32

tina51e1-h(2020-07)

 将真空系统放空.
 将真空计退出运行.
 拧松锁紧螺丝, 卸下传感器电缆.
 将规管从真空系统上卸下, 盖上保护盖.

tina51e1-h(2020-07)33

6

维护, 检修在清洁的工作条件下, 本产品无需维护.
由于污染造成的规管损坏不包含在保修范围内.
建议定期检查零点 (→  23).
如最终用户或第三方对产品执行过任何检修工作, INFICON 将
不再承担任何保修的责任.

7

返回产品
WARNING
警告
发送污染的产品
污染的产品 (如放射性, 毒性, 腐蚀性或生物危害性)
可损害健康和环境.
返回 INFICON 的产品应无危害性物质. 符合全部
有关国家和公司的发运规程, 并附有完整的污染
申报表 *).
*)

申报表可从 www.inficon.com 下载.

无明确 "无危害性物质" 申报的产品. 全部去污染费用由客户承担.
未附有完整污染申报表的产品将退回发送方, 全部费用由发送方
承担.

34

tina51e1-h(2020-07)

8

处置
DANGER危险
污染的部件
污染的部件对健康和环境有害.
开始工作前查找是否任何部件被污染. 当取拿污染的部件时, 遵守相关的规定和采取必要的预防措施.

警告
WARNING损害环境的物质产品或部件 (机械和电气元件, 工作液体等) 可损害环境.
按照当地相关的规程处置这些物质.

元件分类
产品拆卸后, 按下列标准将它的元件分类:• 污染的元件
污染的元件 (放射性, 毒性, 腐蚀性或生物危害性等) 必须按照相
关的国家规定进行去污染, 按照它们的材料分类和处置.
• 其它元件
这些元件必须按它们的材料分类和回收.

tina51e1-h(2020-07)

35

9

附件
订购号
通讯适配件 (2 米) 6)

303-333

附加资料
 [1]

操作手册
真空计控制器 VGC032
tinb02e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

 [2]

操作手册
单通道控制器 VGC401
tinb01e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

 [3]

操作手册
双和三通道测量和控制单元 VGC402, VGC403
tinb07e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

 [4]

操作手册
单, 双和三通道测量和控制单元
VGC501, VGC502, VGC503
tina96e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

 [5]

通讯协议
RS232C 接口tira49e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein6)36诊断软件 (Windows NT, XP) 可从我们的网页上下载.
tina51e1-h(2020-07)

 [6]

通讯协议
DeviceNet™ CDG045D
tira51e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

 [7]

通讯协议
Profibus CDG045D
tira54e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

 [8]

通讯协议
EtherCAT CDG045D (ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0)
tira68e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

 [9]

通讯协议
EtherCAT CDG045D (ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0)
tirb45e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [10] 通讯协议Profinet CDG045D
tirb62e1
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

tina51e1-h(2020-07)

37

ETL 证书
RECOGNIZEDCOMPONENTETL 证明产品产品 CDG045D• 符合 UL 标准 UL 61010-1

310345738• 按 CAN/CSA 标准 C22.2 No. 61010-1-12
认证

tina51e1-h(2020-07)

EU 符合性声明
我们, INFICON, 声明下述设备符合有关电磁兼容性规程
2014/30/EU 和在电气和电子学设备中限制使用某些危害性物质规
程 2011/65/EU 中的条款.

产品电容膜片真空计
CDG045D
标准
符合国际/国家标准和技术规范:•EN 61000-6-2:2005 (EMC: 一般抗干扰标准)•EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMC: 一般排放标准)•EN 61010-1:2010 (用于测量,控制和实验室的电气设备的安全要求)•

EN 61326:2013; 第 1 组, B 级 (用于测量,控制和实验室的电气设备
的 EMC 要求)

制造商 /签署
INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

tina51e1-h2017 年 1 月 3 日

2017 年 1 月 3 日

Dr. Bernhard Andreaus
产品发展部主任

Alex Nef
产品经理(2020-07)

39

Original: English tina51e1-h (2020-07)

LI–9496 Balzers
LiechtensteinTel +423 / 388 3111
Fax +423 / 388 3700
reachus@inficon.com
www.inficon.com