出典：計測標準と計量管理. 2024, 74(1), pp 21-29ーー
立法人技術センターーー

1
気

中にくわかにまれる気のことを量分と。

量分（ル分であれ（正には1 􀎼􀎼(175)

下、下のとに使われることが製分野では、このか重要な

プロ

量分の計測が 30 年がするにしたがって、れで、化

このは、日本をの管理がよりしがされた 15 年た。

中の高機

まりに化なをるがめれ、では分を(1)下とする様の製品に目量なとするルまですることは必量
れルの様の製品が販売されての分計を同すると、計測値が製品とに大生た()。このような合、(く本のく量て下のいては、30 年

使Sの分計に量のCでなるががあった。

分計測の合所(産と型C

では、産に量
国分計にの間い業(神いて2計測

量2 1 1を行うことがでるが、のは量がなかったため、のがでなかった。

.smd Page 1い)で開発された、
Sかと分のS

量量分計にと一標準とは、一定のみ、分の分を標準と量量中のする。とかさが(ル分)知である気Vol. 74, No. 1, 2024

10-分かになった。しかし、この量量型C製品の分リン品化された)を使うことで、量かになった。

され 2023 年に製2 1となるくのー株式会社)に技術移か計測がでは、ロも行S) を測定原理とする分の一次クされ、販された、キ分計にもする。

知の分量てがあることが明であることも明て、特に産業技術分

来かン分光法(C計が高製器であり、分計測が必要となる。1がいる。しかし、のようなグ比較をされていたになってすの国の使に、今分をれ、さかいた。
分計のにはのもと、分量分計の下と量いた量が行われているかをのをに対して 1しても、測定下分くのとなっている。ただし、で使量が国

ルは、で1ためにはの同われた。 の製器のを使分かの国でまでれており、必要とされこのようなも量いく分がわれている 。

ル分

計測としてる管理る

量

高集化の：が大量に使われるようになって分の一もの製類の高れているが、めい。となっている。

では、

くであれ2124/05/10 15:2

v4.00

量を計測す。このがるでのンのい。これは、気中に(SI)に分がを充してンにンにしてーブ、の使てしまう
分めてとの分をする

ン法となる。ている。

である。このは分量にあるの技術では、ののため、してとする法が一般をめに比べてとなるの量一次量測定(量では分発の測定にはの量量の測定には量計をした。

部にあるル石をることがでる構

をしを使うことにより、発生部量化を、発生を大気開に測定することがで
ル

下のり下量計は、 界気界に、下ルの量の測定)ルをいて気の気とる。

する
界を一定(ルのをること間のかかる量分発生し、に量分計分を測定でとする

ーサブルな法としては、SIる計測器を開発して、れをれる。しかし、計測法がの分野では、計測器よりも発生がではしている国は2 1 2を一次とするが高いため(あるいは SI にすいため)、校正の一次な：管法として計測器をのとこしない。

量2 1 1でべたように、には、発生産がしたかの分ののためした、めとがされた発生に管かれるす。

れてあり、法をンなるにれる。

22

計測標準と計量管理.smd Page 2と移する。

をルのにとめ部分した気が発生している。このり発生量

ルを、

こでは中を中の法があるが、ここでは管法とこの発生法の原理をが量を開発する必要がある。

分の発生法にはいく10-の測定)との値とを比較することで行われる。

発生をも発に気間分をの分計の校正は、で)にさせ、して、こけてれン

知の一定分部にあることなく、連ル式ををしは量測定(したように、発生量を発生

なっを量とにはのとを発生させるとなるが、法で分がに分にさせることで、のに大気中を使ったとなっている。

配管は、は、

ル)式

使いで発生させたがしル分を、したりすれている。の発生分が量の定する。産ル(分を中の中のの下計合することで、れたにの分の間に気になるため、では発したすには充なくなるにしていることにの)と分を発生させる。

かれが測定があるか(に大ンーブをたされることはな知の一定にの量であり、さで大量にしたとしても、たり、の分野でよく使の高い気の標準であるが、器に充る。すなわち、

量

かさは国とと同様のようにがとす必要がある。

われるるな

ー

する。これを気は量気
管のされ：24/05/10 15:2

v4.00

量報を使い量定法として、計測と標準量をめる法で、気量の測理ではもが高い法である。

(NIST)のに産が開発したのす。

真をー

中量分の量
所 ( T )、の国のされたい。この国の国比較によって、標準量量開発したと量分発生をいて、産240ので量年に 12た。の後にので校正サー

正 測定で6 5量をし、をである 。
をめてとなる。産が国のていた。
2007 年に比較((1ロの量：の)管法をいて中分がを量分の同をのする目催した。これは量、英国標準と理めての国で、な国

量に基いて行ったいてする。

はした式式
計は製品とも(大気でのル分14)

下とな

計は、をしなくて100(式)を測定(いわの計測器としては量いも測定がる。

は分たもされているンサーの社の製品のをしており、)てのンサーは、の測定

く比較で所(N L)、に計(として大量にの下の正リング

ン分光法(CSとは量をしに分計のなり、分.smd Pageに販さS)を測定原であることが明していることがわかる。これ

法人て感、2001 年分計が、高いては、文は下となっている。ここでがあることがわかった。一の計測器の分か量式(14にCかルミ化

100なった。

式と分野を中ログ記

量が高い製の製品の理とするるのになるといかにもれたキ対測定)でではないことがこのである。ここではれるかにをす。の化にもののされたい。

(A))

Vol. 74, No. 1, 202410-社

は分ととなった。ここでの下、が行われ比較)を界で界でした機関協会が予下)で行われたの校分計のの測定

使の国家計量あり、これには産し5300したのは産機関でも、れは 10かさ(95分の一次をしている。このは相対0 43分

量ログ記であるが、は 2007された。

分である。

分の製品で、も標準でされたことで、の一部にで、2 1 3かさのがっている。
量量計のを国の高く行うことが計の：いては、文量をのに所した。

が

分

は、産技術

同2 2量

国機関が機関の発生発生計

224/05/10 15:2v4.00

量：

量

計測

ーと標準と標準量量と(関法人が必要となり、した。これ

は

量

理型C

S

2：

量

2 3標準と量計⚕のか分計は中とも原理のく、

量はコン

ク

プの製品でも

量

分製

ラ

ンにみ

S

分計はンサーに比べてサ量にあり、価比べてかなり高理

すると、の高ー振してキにーがれたとこ

で、

：

測定

分明する。
ミラーで構部か波数とー光はでーーー光ー波のミラーをする。キに光ーー光をする

量
はもとはがし国⚑社のみが製原理のに来型のが大での使であった。光で行われるので、のなした。に)のする。キ数が一Sす。

)する計測器であった。しか型する独をと分の計測において、発売をかった。また、C10-計もわかるように、Cるし、この2量を計

S の測定原理を振器(キ月を要するため、産理された光数に対測定を)ーにとって大分計のSの(Aー量

ここでは CにCまでは分計となっていた。このは計

量分計にの理は国本社

国の理

計測標準と計量管理.smd Page 424/05/10 15:2v4.00量と、キ計測にラー間でのめーのー光はと対の光をして号が数関数ににー(ムはる。いま、キ波数におけるに分がン

ムをを < とすると、G(<ç) (è􎸒􎸒。すなわち、ç がGをもいてーさせ、長い光させている。
99 995なり、光

長 <è は 10はーーの数を定するので、とけかのをにと5の分がし、係を表している。

振器長が 50が ç である

合を数はに波数付è ) の関係がり

􎸒􎸒を使

è とèのる。CS では、高でることで高感合、è は33 􀎼􀎼 とーに測定で対するため、産ムのー光のることも高感化がっている。
計

産は 2009 年 かC型化のにいては、( AXA)ののはー

なのの事業化ーTa

aX にの型量2019 年月)ロ

この野ー
け、ンを目の中が低下するくなり感しくなり、分定の付でーー

して、中のでされたてン

ムを測定しての高さかル

ムにではなく.smd Page 5か定する技術を開発し型化による分低下のを量を分の一次のす。

型CS は、産のい て 評 価 さ れ、12において高い中量を分の一次中のラー：共振とーはすることがとの比較をかさ(aX、で中量分計(2016 年 12 月

は型CS

量

いては、いてはローーした。
製な月

分
関係

Vol. 74, No. 1, 202410-でaX)

プの開発をににいため、はなす事業である。

ー計とプロのブ(Taとし化技術のの波した。に開 した。Taにおいて、産分計の光ンを目された

振開発機構を 機に、2016 年に本来を開合、がプの10にSのの関波数付開発したプロされた。
量のした。

1 3

2 5振器長がではた 。これによって化のはにし、をリり合でが発生する。このにルを波数になる。中くなる

波数でリング

分Sによる光ン

ク間が大波数の特定がかさが大型化しているので号の振するため、波数と数合はないと、振振での測定がのと、測定のにではなく、リングののが る。

合のに波数を高のキなり、測定で化をにもなる。また、C化か

比50ー光をキの振器の長さに分な計測法である。

くな波数同の低下が合のみ測定がれ è と è とし、光分光法とした

分波数とキ波数間れのミラーを使ったーーの􎸒􎸒、長さ 50

Sはに分うされるため、いが、5長をの一波数は合とする

知の型化のくすると、しない定することがでミラーを振ミ

量

振器長をGののる。キ)が合に比べてに数E)にもーのためにががない

分S

S の光

行中の AXA の月波数とが一する

ン

測定かれる。Cー光をリング

合のリング

すると、れている。キ型Cされている。

Cでの(A器で、コープ計ーいたにすにした。産量EX)で開発中のれムとによるン(Lしン

合、ある計は、するのが分かる。このした

けを目ー光は、ミさせていく。こののミラー後定数はリング

標準、をロとーのミラーかので、号のれたを繰り返しながによって、次第に間、ー

2524/05/10 15:2v4.00

量

計測

ーと標準量
による産でのーサブルなリ

計

同みをめた

評価がされて、一次をとのする

次測定でめれる

要S量分計

C製品化したC

Sの中の量分を、12ので高産業界の界の型C、SI器のをーサ

しながにも対、する、S を国産でした。
3 255

測定することがで10：量

標準する

価量の95)である。

は一次と独かさの型CS量分計の測定値に定している。一次とので一していることがわかる。

かが産と神期な独2 3でしたれた型Cて国のS間をするため、産で開発さコンでも代分計の技術は、 同を13 のように、ており、クロー株式会社)と移(阿部)された。

3量3 1

リー、機分が、品、、をで長期も高い C

S分測定の開発が国のれているが、化にった量めー製しかなく、国であることと、量でのCSな量はをした、型サSな構となっフをすれすることがでるな

する

11、、所にて量

測定

1220

サンプル

AN（Aル分Cする

くー部法150() 􀃗􀃗 80( ) 􀃗􀃗 200( )なを100

240 AC 1 4 A aはSれ、高いた機関な計で式を12、る。

) 􀃗􀃗 300( ) 􀃗􀃗 165( )にしー部は分150(

大量を法

中業でなく、また、量では、分計は、の価が高がとなり、も大いことか、製しく、くの製業か分計の国産化とが開発し、ンサー部に関わる納期分計としてのサの高い技術により、Cー部はすることがで)にに代するため、これまでに製品化されていた C

同特ル

12、次まりる。このーで100ルムなフ技術を必要とする製品では、製量なロす。

化にもする。また、産：計と、をにまたはており、ンサー部と計業(神4も兼ク

量量（分計としては、これまでにないた。

2 6の20ルのをク様を、れた分測定(な型化をく要、されていた。
今回、産計の技術を2610-が新たに開発した化すべく、産型Cと神S

量分

クロー

11：()

計測標準と計量管理.smd Page

24/05/10 15:2v4.00

量

計測ーと標準量が低いと測定も低下する。 来の C分計では、キ12：(ルまで構

S

量が開発した期

なの長さを 5も、高い測定をする技術をたことで、および15 にークとした製の C

S

量分計に対しは長で分下、重さはでン

型、 量化を法により、キくしなが量必要とし分計のとなっていた。産ク)

Sの長さを 30ており、これが C
要計て、

C

S のサ

1 3下と、大なおける型

量化を使いを大すとおり、し、測定ににさせた。

製CS：C
高さ13：(3 3Sのに高部構ー光をれている。
が150

220

行

300600

重さ515のーかする。

ーーフにした後、キのーー光のが繰り

クーでが一定のの長さに分をまでするすることがでいた測定では、波長分比ー光ーでー光の式をーー光のの間にフォCり付けー返され、量がにする

ミラー間でことで、のかをの高のされており、ルフクかす。キンプをフォS1 にをするためのされ、キの220分計)

ミラーがーー

165

量量CはSすることが知するー間を測定する

15：と量計る。
がキ3価れている。波長分中のする一次量分測定にの(グラフ)を16、40 000辺までのとの比較18 にす。10広いでCしており、とまた、を 50辺かS の測定
定

でなの評価として、1 000ークとしたをいて、産およびで量製CS

1 と20 には一次にがされた。

中の化させた1 、量合の、分量ン分計との比較す。

1 ：Vol. 74, No. 1, 2024

10-.smd Page

224/05/10 15:2v4.00

量計測

ーと標準

量：

50

1 ：一標準と標準ととと価(501,000)

CS

製C S
量 分計

1 000
6326 5217 29037 4267 663

15 4229 790

52 4306 9

1 000

16：一計

50(1)

1 ：と(1)

20：と(2)(2)

2 2でのCS

すとおり、量をにがは、キのを製式に比べるとが、型化をのサンプルいるとにおいて、Cしていることがの分の分分計は、 の測定

いにすぐれた躍量S では、 にされた。これしたことで、キ間をにくし、にしていることが寄してれる。

3 5
18：一2810-

標準とと(3)化したCとして、 量

分校正

Sのとムを構に必要な対した。 21 およ計測標準と計量管理.smd Page

24/05/10 15:2v4.00

量び

22 にすとおり、生をし、産サブルなCの新計測
式をのいた

Sをと標準

産ととー

してはこれまでにないSC

Cでの定期校正で一次測定において、日本国することで、の国家ると測定器を、高いとがでるようになった。

Eもていくな

測定をな大をで型化がンサー部のみを分とと品Sの量、要の中ににS式と来たことで、であり、測定対っていく計

みようなのてをC大しSのにある。

するこ産が開発した C

でも類をCないしてもS型サS を国産でにより、型化技術を活し、 界のC分計Cした

量ーサブルなS は、器としてもと機するを評価測定器とれた量分計であることがされた。これにより、量分管理が製するな、次をうことが品に来れ化の一C

S の開発と製品化のれた新たな技術を活に関わるまなででのさまるよう、けて今後もCりし、、S のさでいく所

ESで分、品なる化と発ににある。
(⚑) I

代いである。

また、今回の量Sした。SI

産業分野での日本の21：計めていく予定にある。また、C分発器としている。

ーサブルな校正を量

量する一次分のにー田真一)aa) AAaCaaaS)

ン

a22：

量

C

S は開発、生産、 フ

また、、も、に、ン

ン

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しており、

量

分で対ー後、いリング対れのでるもしたちで、今後、辺)のC

S の技術をに発量分か低(測定をさせるか70大していくを)-

C Ta a aaaaaaa 52(a N IA aAaa)

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中量

計量ーサリ

Aa2-3(S後aa⚖) 阿 部化した10)59(INa aaにおいてている。
3 6aaまで、すべて日本国

計のAaa)
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Vol. 74, No. 1, 2024

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