VOL.38

発行所 （株）サムコインターナショナル研究所
わら や
京都市伏見区竹田藁屋町361(075)621-7841
発行者 辻 理編集者 外山 真鍋 山口 山本

2000.JAN.
Quarterly

編集・企画協力 アド・プロヴィジョン株式会社

サムコ・ケンブリッジ・ラボラトリー開設記念特集号

mÜçíç●表紙写真／京都、三十三間堂の通し矢。振り袖に袴、たすき掛けの新成人が、将来への新たな決意を込めて矢を放ちます。
（写真提供：（社）京都府観光連盟）

サムコ・ケンブリッジ・ラボラトリー開設記念特集

2000年、半導体技術の発展に向け日米欧の3極研究体制をスタート
西暦2 0 0 0 年という節目の年の幕開けにあたり、サムコの研究開発戦略について、海外の研究開発拠点からのメッセージを掲載します。サムコは、本年1 月より英国ケンブリッジ大学に研究拠点を設け、携帯電話や電子マネー用I Cなどへの利用が期待される強誘電体材料の成膜技術に関する共同研究を開始しました。そこで、今回は弊社社長の辻理および日米の研究拠点よりサムコの研究活動の展望を、また、ケンブリッジ大学のジェームス・スコット教授からは強誘電体薄膜材料の将来性についてお話しいただきました。

ス ケコ ンッ ブ
ト リ
教 ッ授 ジと 大サ 学
ム のコ ジ社 ェ長 ー辻 ム
理 ス
・Millennium（千年紀）を迎えて代表取締役社長

Information 2皆さま、新年おめでとうございます。
さて、弊社は昨年、設立2 0 周年の節目を迎えました。この間、皆さまのご支援により企業としても着実に成長を遂げることができ、多くの方々にお祝いいただきましたことを社員一同厚く御礼申し上げます。
これから始まる2000年代は、情報通信分野における技術革新がますます加速し、企業、社会基盤や組織のあり方を根底から変えていくことが予想されます。半導体・表示素子・電子部品産業はまさにその根幹をなす基盤技術であります。
薄膜技術で世界の産業科学に貢献する ことを企業理念とする我々にとりまして、次なる2 1 世紀は緊張感と夢のある世紀であるといえます。サムコは今後も薄膜技術をコアテクノロジーとして、市場を光エレクトロニクス、情報通信分野などに絞り込み、高い専門性とスピードを重視した事業展開を行いたいと考えております。
そして、このような新技術への展開を可能にする技術の発信源は、将来を見据えた研究開発にあります。弊社ではこの1 月より、京都本社、米国シリコンバレーに加えて、英国ケンブリッジ大学に新たな研究拠点を設け、日米欧の3 極体制による研究開発を開始しました。それぞれが専門性の高い技術開発を行いながら、その成果を有機的に結合して新たな価値を創造していち早く次世代製品に応 サムコ・ケンブリッジ・ラボラトリー用し、世界の技術者の方々に供給することが、21世紀におけるサムコの企業活動、すなわち、薄膜技術の発展を通じて社会に貢献するという我々の役割を実現するうえで重要であると考えております。
本社・研究開発センターでは従来からのシリコンや化合物半導体による薄膜製造技術をベー

辻

理スに、高速C V D 装置、高密度プラズマ装置、次世代半導体薄膜の形成に不可欠な液体ソースCVD（LS-CVD）装置などの独自性あふれる製品技術、さらには実装技術製品のシリーズ化などにも取り組んでまいります。また、米国シリコンバレーのオプトフィルムス研究所では、創設期よりダイヤモンド・D L C 薄膜などの炭素系材料による薄膜技術の研究を続けています。さらに、今般英国ケンブリッジ大学において、次世代半導体のホープとされる強誘電体薄膜形成の研究を推進してまいります。
半導体技術はますます高度化・高密度化する方向にありますが、同時に材料自身の革新を行うことにより新しい分野を切り拓きたいと考えております。半導体装置産業を単なる「ものづくり」としてとらえるのではなく、製造と情報（I T 技術）が一体化した知識創造産業として、ますます成長するものと期待しております。サムコは、今後も世界のマーケットと最先端技術に絶えず目を向け、2 1 世紀を視野に入れ、技術開発にいっそう力を注ぐとともに、これらに関連する製品情報をスピーディーに提供することで皆様のご要望にお応えできるよう努めていきたいと考えております。

日米欧3極研究体制

本社・研究開発センター
オプトフィルムス研究所

サムコ・ケンブリッジ・ラボラトリー開設記念特集特別寄稿

強誘電体2000
ケンブリッジ大学 ジェームス・スコット教授

新 しいミレニアムの始まりに際し、強誘電体と強誘電体メモリーの将い材料に直接到達するでしょう。

来を考えることはたいへん意義深いこD R A M に関しては、2つの競とです。これは、今後1 0 年間に半導体争戦略があります。1 つは不活メーカーの事業戦略にとってなくては性な強誘電体キャパシタをもつならない部分を占めるようになるものだ

高密度DRAMによって、書き換からです。4 G ビット強誘電体メモリー

え回数を2 倍（さらに長く）伸の実現は単なる希望的観測でしょう

ばすというもの。もう１つはP Z T あるか？

いはSBTなどの低密度不揮発性FeRAM

これらのカードは主にガソリンスタ

そして、どのようにフによって高密度に伸ばすというものンドで用いられるようになるでしょ

ラッシュEEPROMのような成熟した技で、いずれも最終的にはU L S I 不揮発性う。読み取り機に入れたり電話照合す術との競争に打ち勝つのでしょうか？

FeRAMになります。関連の強誘電体デる必要もなく、30cm離れたところからバイスは1 9 9 4 年に日本のメーカーで開でも読み取ることができ、また安価でじめに、われわれは「強誘電体メ発され発売されました。一昨年にはデ生産することができます。ほかにも、モリー」という総称が、ほとんどジタル電話で800MHzから2.3GHzの間低密度（4〜1 6 K ビット）メモリーの用関連がないように思われがちな3 種類ので使われるガリウムヒ素M M I C に集積

途はさまざまなところで見つけられま

メモリーデバイスに適用されるというされる6000万個のBSTキャパシタが作す。トラックやタクシーにとって重要ことを認識しなければなりません。

られ、すでに大きなビジネスに成長しな高速道路の自動料金システムや駐車ています。

場のセキュリティーアクセス、日本のあるいは近い世紀に実現するのでしょうか？

は

まず1 種類目のデバイスはD R A M です。これはキャパシタがチップのほとに、2 種類目のデバイスは、強誘ノーベル賞を受賞した人々の写真の前でとして実用化されています。

Information 3・4次 電体材料自体がメモリーの要素で地下鉄の改札口などです。実際、スーんどを占めており、日本やアメリカにおける輝かしい革新的な研究にもかかあるというものです。強誘電体はR A M

より大容量を必要とするあらゆるメモ

わらず、キャパシタの表面積を広げるでの不活性キャパシタとして供給されリーのアプリケーションにとって、強ためのスタックやトレンチ、その他のるよりもむしろ＋P 分極あるいは−P 分

誘電体スマートカードは最も魅力のあ

幾何学的トリックの事実上の限界がす極としてそれぞれのセルのなかで1あるるものでしょう。有効な用途としてぐにやってきます。サブミクロントレ

いは０で記憶されます。そのメモリーは、手荷物のタグがあります。それはンチのアスペクト比について考えるとは漏電を防止するためにトランジスタ安価な上、空港で自動的に読み込まれまるで悪夢です。したがって、実質的で仕切られた強誘電体セルをもつ単純て分類され、目的地まで書き換えを必にシリコン酸化膜のキャパシタあるいなパスゲートトランジスタデザインで要としません。

はONOが、BSTのようなシリコン酸化す。この幾何学的配列では劣化につな物材料のほぼ100倍近い誘電率をもつ高がる読み込み作業を必要とし、セルは最 は、劣化をともなわない読み込み誘電率材料にすぐに置き換わることは切り替えられますが、その書き換えは作業が可能なもの。強誘電体ゲートを確実です。最初、Ta 2O 5がシリコン酸化常に＋P（1 ）である関連のセルの応答ともつF E T の中にメタルゲートを必然的膜に換わるものとして期待されましたアンプによって比べられます。低密度に含むものです。これは理想的なメモが、その誘電率は2 5 ですので、U L S I

強誘電体メモリーはすでにこのデザイリーであり、＋P と−P にゲート電極がチップ技術はこのような中間的な材料ンから製造され、S B T やP Z T を使って異なるソースゲートをモニタリングすを飛び越え、B S T のような誘電率の高日本でも「スマート」デビットカードることで簡単に読み込むことができま

パーマーケットのバーコードリーダー

後に、3 種類目の強誘電体メモリーす。また、本質的に疲労をともなわ部に蓄電するものは極めて望ましくあず、書き換えなしでライフタイムを持りません。しかし、すべてのU L S I に関続させることが可能です。この分野にする国際的なシリコンの論理のレベル

おいて、強誘電体スマートカードは商が5 . 0 V からすぐに3 . 3 V に、数年の内に業ベースで実用化されつつあります。

は1 . 1 V に、そしてゆくゆくは0 . 5 V に下同様のスモール（1 6 K ビット）強誘電がるであろう、ということはすでに広体メモリーも最初は500pFキャパシタとく知られています。強誘電体メモリーして簡単にシリコン8 ビットマイクロコは、現在でも1 . 0 V で充分に作動します

ントローラの中に集積されています。

ので、数年の内にフラッシュEEPROM

これらのメモリーは、洗濯機、乾燥は時代遅れの「高電圧」デバイスとな機、食器洗浄機、トースター、ミキり、FeRAMは勝負に勝つこととなるでサーなどの家庭電化製品で使われるよしょう。

うになるでしょう。F e R A M が2 M ビッ
トに達すると、EEPROMにかわってデムコにとってこのことは何を意

ジタルカメラに導入され、6 4 M ビット

サ 味するのでしょうか？

では、例えばヘッドフォンステレオな強誘電体、高誘電率膜が急速に成長しどのオーディオメモリーに取ってかわている分野であることを意味していまるでしょう。

す。それは「流行を追いかけている」

れらは、実現が強く望まれる

こ 1Gビット不揮発性FeRAMの登場

それはということではなく、長期成長とますます重要性を増している基本的な理由の前であるにもかかわらず、年間市場を持つからです。というのは、これま規模が1 兆円であることを意味します。

でに概説してきたように少なくとも強この方向で進めば前途有望です。

誘電体メモリーには3 種類あり、幅広い

Max Plank Instituteは、昨年Gビット種類の材料とプリカーサー（特にメタFeRAMにとっては充分に小さいナノスルアルコキサイド）、同様に幅広い種ケール（75×75×25nm）強誘電体セル類の成膜装置を供給することが必要との製造とスイッチングについて報告しされます。これらの膜はスパッタリンました。彼らは1 G ビット強誘電体メモ

グ、パルスレーザー、ゾルゲルスピン

リーがリソグラフィーとイオンミリンオンやその他さまざまな方法で形成さグなしで作られることを提案する強誘れることが可能ですが、実際の商業生電体上のナノ電極セルフアセンブリー産ではステップカバレージにすぐれたについて報告しました。

C V D 法が疑いなく必要とされるでしょフラッシュEEPROMとの競合についてはどうでしょうか？

う。プリカーサーが必然的にともなうフラッシュ技

ものは、低不揮発性と高粘着性です。

術は充分に成熟してすでに最大限に利

このため性能のすぐれたC V D 装置が必用され、5.0Vでは立派に作動しますが、要とされるでしょう。すなわち、サム必然的に電子のトンネリングをともな

コのような革新的な装置メーカーにうため、1 . 0 V で作動するように作ることって、市場は巨大化することでしょとは非常に困難です。1 . 0 V で豊富なトう。われわれは、このような分野でサンネリングを可能にするような、充分ムコとともに仕事を始めることに大きに薄くてピンホールのない膜を量産すな意義を感じています。

ることはおそらく不可能でしょう。内サムコ・ケンブリッジ・ラボラトリー開設記念特集

独創性と信頼性のさらなる追求を目指して
本社技術開発本部研究開発センター長

半導体業界の中心技術である薄膜技術へのニーズは多岐にわたりますので、独自性のある魅力的な製品を常に市場に送り出してユーザーの皆様にご満足いただくには、絞り込まれた市場に対して独自性のある製品開発を行うことが重要です。そのため、本社・研究開発センターでは、情報通信分野、オプトエレクトロニクス、マイクロマシン、強誘電体素子、実装分野などをターゲットとした新しい装置の開発と従来装置のさらなる完成度の向上に専念し、独創的で信頼性のある製品を開発していきたいと思います。
弊社独自開発のトルネードICP を採用した誘導結合型高密度プラズマエッチング装置は他社にない特色（高プラズマ制御性など）をもち、とりわけ化合物半導体分野、磁気記憶装置分野の立田 利明

ユーザー様にご高評をいただいてまいりました。今年度はさらに弊社独自開発によるプロセス技術によって、より高度なマイクロマシンプロセスやその他シリコンプロセス分野などへの対応にも力を入れたいと思います。また、高密度プラズマエッチング技術を基本に開発を行ってきた高密度プラズマC V D 装置も近々製品化の運びとなりました。実装分野においては、低温プラズマを利用したバッチ型乾式洗浄装置に続いて、よりコストパフォーマンスに優れた連続洗浄装置の開発を進め、ハード、ソフトの両面でご満足いただ
ける製品のご提供を通じてこれからの市場ニーズに応えていきます。
今後も常に新たな薄膜技術の研鑽につとめるため、米国オプトフィルムス研究所、英国ケンブリッジ研究所との連携を強化し、成膜技術の発展に貢献できることを願っています。

新ミレニアムのハイテク研究開発の動向を考える
オプトフィルムス研究所

Information 5

半導体企業にも新ミレニアムの業界動向に対する洞察が求められます。生体技術や医療科学などの新分野の発達による今後の影響を考慮することが必要です。
情報化にともなって超高速小型回路の処理能力/速度の向上に対するニーズは今後も加速的に高まり、現在のシリコン回路の限界克服は半導体業界の新しいチャレンジとなるでしょう。1 9 6 5
年の ムーアの法則 以来、I C のトランジスター数と動作速度はいずれも約2年ごとに倍増し、同単価で速度が2 倍の回路が2 年毎に実現されてきました。一方でムーアの法則の危機も指摘され、新技術の開発が課題となっています。
コンピュータ技術のさらなる発展のためには、GaAsやSiGeなどの化合物半導体の問題点を克服する新素材とその製造方法の開発などの難題に、半導体業所長

テッド・ワイデバン界全体が対応していかなければなりません。
人間の脳に匹敵する処理速度／容量を持つ低価格パソコンが2 0 2 0 年までに出現するとも言われていますが、そのためにはハード／ソフトをも含むコンピュータ技術の発達が必要です。またミニチュアコンピュータを体内移植し人間の脳に情報を送り込むことも議論されており、人体実験に付随する倫理問題への取り組みも必要となるでしょう。
コンピュータ技術も「t h e L a w o f
Accelerating Returns」の支配下にあり、技術進歩の時間的間隔はねずみ算的に短くなるというRay Kurzweilの推論によれば、今後のコンピュータ関連技術は極めて急速かつ無限に進化します。このような変化への対応は、サムコのようなハイテク企業が得意とするところと任じております。

のれん

15〜暖簾の味〜〔4〕幕末の京都といえば、まず思い浮かぶのが「新選組」です。今回
みぶ とんしょきょうとつるやかくじゅあん

は新選組誕生の地、壬生屯所旧跡にある「京都鶴屋鶴壽庵」さんを訪ね、新選組とのゆかりをうかがうとともに壬生の地にちなんだお菓子を味わいました。

壬生の郷（みぶのさと）

京都鶴屋鶴壽庵さんは、4 0 0 年続く壬生の旧家「八木家」の1 5 代目のご後慶応元年（1 8 6 5 年）夏子です。また、屯所を訪れた観光客に人気があるのが「屯所餅」で主人が創業された和菓子のお店です。現在では市街化が著しく、まっまで屯所として使われましす。このお菓子は、その名のとおり屯所にちなんだお菓子で、かつたく田畑が見られなくなったこの地ですが、かつては洛中に近接した農たが、その間には、新選組てはこの地で栽培されていた壬生菜が入った歯ごたえのある餅で粒村であり、有名な「壬生狂言」の季節になると一面に菜の花が咲き誇っ三大内部抗争の一つである芹澤鴨暗殺の舞台ともあんを包んだものです。
壬生の地に根づく伝統を守り、昔ていたそうです。
幕末の文久3年（1863年）春、14代なり、奥座敷の鴨居には刀傷が残っています。

をしのばせるお菓子を作り続ける京都鶴屋鶴壽庵さん。心を込めて作ら将軍家茂の上洛にあたりその警護のために上洛した浪士隊は、壬生村に京都鶴屋鶴壽庵さんでは材料と手作りにこだわっているため、お店でれるお菓子の中に農村の風景や幕末のロマンを見出すことができました。

宿所を求めましたが、間もなく江戸に呼び戻されることになりました。

使われる粒あんにはすべて厳選された丹波大納言小豆が用いられ、職人■京都鶴屋鶴壽庵

しかし、その中で八木家を宿所としていた芹澤鴨、近藤勇、土方歳三、さんが手で練って作られているそうです。この粒あんを用いた代表商品

沖田総司ら1 3 名は浪士隊から別れて京に残り、同年3 月1 6 日、八木家右門が「壬生の郷」です。上下を村雨で挟んだ粒あんの中に菜の花に見たて柱に「松平肥後守御領新選組宿」という新しい表札を掲げ、ここに新選た鶏卵素麺が入った竿菓子で、洗練された品のよさの中にものどかな田組が誕生しました。八木家は、その園風景を彷彿させる趣きのあるお菓みぶさと

京都市中京区坊城通四条南入西側
TEL 075(841)0751
N
坊城通

むらさめ

壬生
川通

阪急大宮駅
四条通
京福四条大宮駅
綾小路通

京都鶴屋鶴壽庵

大宮
通

新撰組
壬生屯所跡
仏光寺通
壬生寺

ミレニアム・コラム
ミレニアム・コラム

2000年とケンブリッジ
2 0 世紀が終わりに近づいて、次の21世紀が始まるのは2000年からなのか2001年からなのかが問題になった
時、イギリスのグリニッジ天文台では21世紀が始まるのは2001年からだという見解を示し、結果として多くの国がこれに同意しました。
1675年、ロンドン東部に設立された王立グリニッジ天文台は、1 9 世紀にその所在地が経緯ゼロ度に定められ、世界標準時の基準となったこと

A・la・carte 6

先着20名にお菓子プレゼントで有名です。しかし、その後、観測施設はケンブリッジに移され、1 9 9 8 年1 0月に閉鎖されました。万有引力の法則を発見したアイザック・ニュートンをはじめ、多くの科学者や研究者とゆかりの深い 学問の街 ケンブリッジ
は、現在でいうグローバルスタンダードの先駆けにあたるグリニッジ天文台がその323年におよぶ観測の歴史に幕を下ろした地でもあるのです。
一方、ロンドンの旧グリニッジ天文ケンブリッジ大学内のカレッジの一つであるクレアカレッジ。中世以来の伝統を持つケンブリッジ大学は、教会（写真左の背の高い建物）を中心として、いくつものカレッジから構成されています。

台跡は観光地として現在も残り、2 1 世紀体験博覧会会場「ミレニアムドーム」が建設されて、2 0 0 0 年の到来を祝うイベントの舞台となりました。

今回、「京の和菓子」でご紹介した「壬生の郷」を先着20名のサムコナウ読者の皆様にプレゼントします。
ご応募はFAXあるいはe-mailでお願い致します。なお、当選は商品の発送をもってかえさせていただきます。
応募先：（株）サムコインターナショナル研究所 営業部 営業企画室 山口
FAX：（075）621-0936 e-mail：koho@samco.co.jp