FX-103SH/103S
Gen 10.5 Plate FPD Lithography Systems forHigh-definition Panel Production

第10.5世代プレートサイズ対応
高精細大型パネルの生産に最適な FPD 露光装置

By incorporating techniques from both the FX-67S2, which is ideal for theproduction of small-and-medium-sized high-definition panels, and theFX-86SH2, which excels in the production of TV panels, theFX-103SH/103S is optimized for manufacturing large-sized high-definition
panels and achieves a shorter takt time than our conventional Gen 10lithography system. The FX-103SH achieves a high resolution of 2.2 μm.

中小型高精細パネルの生産に適した FX-67S2と、テレビ用パネルの生産に適した FX-86SH2の技術を融合し、高精細大型パネルの生産に対応。従来の当社第10世代装置に比べて、高タクトタイムを達成しました。FX-103SH
では、2.2 µm の高解像度も実現しています。

特長
マルチレンズシステムを搭載

Key Features
Multi-lens System
Short Takt Time
Incorporating the renewed exposure sequence and calibration sequence of theconventional model, the FX-103SH/103S realizes faster and higher accuracy
exposure.
High Resolution
The FX-103SH enables a high resolution of 2.2 μm (L/S) and a wide depth of focus.
High Overlay Accuracy
The new position measuring system achieves a high overlay accuracy of ±0.5 μm.
High Throughput
The FX-103SH/103S achieves a throughput of 480 plates per hour for 65-inch
panels, and 322 plates per hour for 75-inch panels.

高タクトタイム
従来機の露光シーケンス、キャリブレーションシーケンスを刷新。さらに高速かつ高精度な露光を実現。
高解像度
FX-103SH では、2.2 µm（L/S）の高解像度と広い実用焦点深度を同時に達成。
高い重ね合わせ精度
新設計の位置計測システムで、±0.5 µm の高い重ね合わせ精度を実現。
高スループット
65インチパネルで毎時480枚を、75インチパネルで毎時322枚をそれぞれ達成。

Performance
Resolution (L/S)
Projection magnification
Overlay
Plate size

解像度（L/S）
投影倍率
重ね合わせ精度
プレートサイズTakt time

タクトタイムWARNING

FX-103SH
2.2 µm (g+h+i-line)

FX-103S
3.0 µm (g+h+i-line）

1:1≦ ±0.5 µm
2,940 mm × 3,370 mm
60 s/plate
Conditions: 2,940 mm × 3,370 mm, 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2

TO ENSURE CORRECT USAGE, READ THE CORRESPONDING MANUALS CAREFULLY BEFORE USING YOUR EQUIPMENT.

All of the products in this brochure are under export restriction. The export of these products is controlled by Japanese Foreign Exchange and Foreign Trade andInternational export control regime. They shall not be exported without authorization from the appropriate government authorities.
Performance and equipment are subject to change without any notice or obligation on the part ofthe manufacturer. Products and brand names are trademarks or registered trademarks of theirrespective companies. July 2024
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2, Singal-ro 124beon-gil, Giheung-gu, Yongin-si, Gyeonggi-do, 16968 Korea
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11-12F, Tower 5, Crystal Plaza No. 36, Ping Jia Qiao Road, Pudong New District,
Shanghai 200126, China
Tel: +86-21-5899-0266

レーザ光ビームをのぞきこまないこと
Max. 1 mW CW He-Ne 633 nm
クラス2

安全に関するご注意

ご 注 意レーザ製品■ご使用の前に「使用説明書」をよくお読みの上、正しくお使いください。

本カタログに掲載した製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。

・このカタログは2024年7月現在のものです。仕様と製品は、製造者側がなんら債務を被ることなく予告なしに変更されます。
・このカタログに掲載の会社名および商品名は各社の商標または登録商標です。

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2024-2025

FX-88S

FX-6ASGen 6 Plate FPD Lithography System withthe Highest Level of Resolution

第6世代プレートサイズ対応
高解像度を実現した FPD 露光装置

The FX-6AS produces leading edge small-and-medium-sizedhigh-definition panels from Gen 6 plates. The newly-developed
projection lens enables the highest level of resolution of 1.0 μm
using a phase shift mask, improved productivity and high overlayaccuracy.

第6世代 プ レ ー ト に よ る 最先端高精細中小型 パ ネ ル の 生産 に 対応。
新開発の投影レンズを搭載し、位相シフトマスク使用時1.0 µm という最高水準の高解像度と生産性向上、高い重ね合わせ精度を同時に実現しました。

Key Features

特長Multi-lens System

マルチレンズシステムを搭載

High Resolution

高解像度

The FX-6AS enables large volume production of panels with a high resolutionof 1.0 μm (L/S) using a phase shift mask, while ensuring CD uniformity over theentire surface of Gen 6 plates.

第6世代プレート全面において高い線幅均一性を確保しつつ、位相シフトマスク使用時で1.0 µm(L/S) の量産を実現。

高い重ね合わせ精度

High Overlay Accuracy

Gen 8 Plate FPD Lithography System
Delivering a High Resolution of 1.5 μm
The FX-88S incorporates optimized technologies from theFX-68SH/68S, which is ideal for high-definition small-andmedium-sized panel production, and the FX-103SH/103S, which
excels in the production of large TV panels. Achieving high overlay
accuracy and productivity in addition to high resolution, theFX-88S supports the production of various types of panels.

第8世代プレートサイズ対応
1.5 µm の高解像度を達成した FPD 露光装置
高精細な中小型パネルの生産に適した FX-68SH/68S と、大型テレビ用パネルの生産に適した FX-103SH/103S で培った技術を応用して最適化。高解像度に加え、高い重ね合わせ精度と生産性を実現し、多様なパネルの生産に幅広く対応します。

The FX-88S features the multi-lens system consisting of multiple projectionlenses. This design enables a wide exposure field and excellent resolution.

第6世代プレートで4スキャンを可能とするとともに、照明システムの最適化による照度向上で高スループット ( 毎時85プレート ) を実現。

安定した露光性能

Stable Exposure Performance

中の安定した露光性能を実現。

高解像度High Resolution
By incorporating the i-line projection lens, which was used by the FX-68SH/68S
and is capable of high-volume, high-resolution production of panels, the FX88S enables a resolution of 1.5 μm (L/S) in Gen 8 plates. The extremely accurate
focus correction system achieves excellent line-width uniformity over the entire
surface of Gen 8 plates.

FX-68SH/68S で高解像での量産実績のある、i線の投影レンズを搭載。
第8世代プレートに対し、1.5 µm（L/S）の高解像度露光を実現するとともに、高精度フォーカス補正システムにより、第8世代プレート全面で優れた線幅均一性を達成。

高い重ね合わせ精度

High Overlay Accuracy
Utilization of the large stage control technique of the FX-103SH/103S and ahigh-resolution projection lens enables a high overlay accuracy of ±0.4 μm.

高解像投影レンズと FX-103SH/103S に搭載した大型ステージ制御技術の採用により、±0.4 µm の高い重ね合わせ精度を実現。

High Throughput

高スループットThe entire surface of a Gen 8 plate can be exposed in 4 scans. The stage drive
speed is improved by at least 30% compared with conventional models, resulting
in a significantly shortened takt time.

4スキャンで、第8世代プレート全面の露光が可能。従来機種と比較して、Flexibly Supports Volume Production of Diverse Panels
The FX-88S is deal for high volume production of panels for high value-added
premium displays, including those of smart devices, high-end monitors and largescale televisions.

従来機で実績のあるさまざまなキャリブレーション機能を適用し、稼働The FX-6AS employs a variety of calibration functions from the previous model,
providing stable exposure performance during operation.

FX-68SH/68S

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載。広い露光領域を確保すると同時に、高解像度を達成。

高スループット

High Throughput

マルチレンズシステムを搭載

Multi-lens System

開発投影レンズとの組み合わせにより、高い重ね合わせ精度を実現。

The FX-6AS provides high throughput of 85 plates per hour due to increased
illuminance resulting from optimization of the illumination system, while
enabling 4-scan on a Gen 6 plate.

特長Key Features

実績のある高精度な計測と位置制御性能を継承しつつ、収差を抑えた新High overlay accuracy is realized by using a new projection lens with reduced
aberration in combination with highly accurate measurement and positioncontrol performance.

第6世代プレートサイズ対応
高精細中小型パネルの生産に最適な FPD 露光装置

Gen 6 Plate FPD Lithography System for
Small-and-medium-sized High-definition PanelProduction

第6世代 プ レ ー ト に よ る 最先端高精細中小型 パ ネ ル の 生産 に 対応。
スキャナー方式により、生産性向上と高解像度、高い重ね合わせ精度を

The FX-68SH/68S produces leading edge small-and-medium-sized highdefinition panels from Gen 6 plates. The scanner method enables improved
productivity, excellent resolution and high overlay accuracy. The FX-68SH
also achieves high productivity and a high resolution of 1.2 μm*1.

同時に実現しました。FX-68SH では、高い生産性と1.2 µm*1の高解像度も実現しています。

特長Key Features

マルチレンズシステムを搭載

Multi-lens System

高解像度High Resolution

1FX-68SH では、第6世代プレートで1.2 µm*（L/S）の高解像度での量ステージの駆動速度を30% 以上改善し、タクトタイムを大幅に向上。

The FX-68SH enables the high volume production of panels with a highresolution of 1.2 μm*1 (L/S) in Gen 6 plates.

多様なパネルの量産にフレキシブルに対応High Overlay Accuracy

高い重ね合わせ精度

The new interferometer system realizes high overlay accuracy.

新設計の干渉計システムで、より高い重ね合わせ精度を実現。

High Throughput

高スループット

With the new projection lens and stage, the FX-68SH/68S achieves a highthroughput of 85 plates per hour by enabling 4-scan on a Gen 6 plate.

新開発の投影レンズとステージにより、第6世代プレートで4スキャンをスマートデバイスやハイエンドモニター、大型テレビなどの、高付加価値なプレミアムディスプレイ向けパネルの量産に最適。

産を実現。

可能とし、高スループット（毎時85プレート）を実現。

Improved Exposure Performance

Performance
Resolution (L/S)

解像度（L/S）

Projection magnification

投影倍率

1.5 μm (i-line)
1:1

Overlay

重ね合わせ精度≦ ±0.40 µm

Plate size

プレートサイズ2,200 mm × 2,500 mm

Takt time

タクトタイム47 s/plate
Conditions: 2,200 mm × 2,500 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ/cm2

露光性能の向上The FX-68SH/68S employs a variety of calibration functions developed utilizing
our unique technology and provides enhanced exposure performance stability.

独自技術により開発したさまざまなキャリブレーション機能を適用し、総合的により安定した露光性能を実現。

Performance
Resolution (L/S)
Projection magnification
Overlay
Plate size

解像度（L/S）
投影倍率
重ね合わせ精度
プレートサイズTakt time

タクトタイムFX-6AS
1.0 μm*1 (i-line)

FX-68SH
1.2 μm*1 (i-line)
1:1

FX-68S1.5 μm (i-line)≦ ±0.23 µm≦ ±0.27 µm
1,500 mm × 1,850 mm
42 s/plate
Conditions: 1,500 mm × 1,850 mm, 4 scans, i-line, 30 mJ/cm2*1 When using a phase shift mask

*1 位相シフトマスク使用時