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と光空洞共振器反射鏡（誘電体多層鏡）の表

波長範囲で反射率が高く且つ耐久の高い反面が瞬時に破損すると判断して、反射鏡の反射鏡開発が急務であった。高レベル発振で耐射率を蓄積光の減衰率から測定した結果、反久性の高い反射鏡として、２００３年３月、金蒸

射率は次第に減少していることが明らかになっ

着金属鏡を発注したが入手に３～４ヶ月を要た。反射鏡を取り出して見ると、図４に示すようするので、比較的入手が容易な金蒸着ガラスに、上流と下流鏡面に剥離したような無数の痘

鏡で発振テストを試みたが、図５に示すように、痕が認められた。反射鏡を交換して、低いレベ

高レベル発振では金蒸着面に孔があき、破損

ルの発振動作でも、パルス毎の不安定は依然の原因は熱的か電界強度によるものかは不明

として存在していた。

であった。

図４ 高レベル発振で破損した反射鏡の誘電体多層膜。

図５ 破損した金蒸着面（中央左側）、０.５ｍ
ｍ径の出射孔（中央）線形加速器の高度化により、電子ビームの又、金蒸着反射鏡は短波長の反射率が低

安定性は次第に向上して行ったが、不安定性

いこともあり、銀蒸着金属鏡も対象に再検討すは一向に改善されなかった。機械的振動に要ることになった。真空中では金より銀の反射率因があると推定し、光空洞共振器に半導体レが高いが、空気中では銀が酸化するために、ーザーを導入し、冷却系を稼働させて反射鏡

金の反射率が銀より高いということが定説であ間の干渉パタンを観測した。その結果、光空った。真空中で銀蒸着をした金属鏡に、真空洞共振器架台は剛性不足で固有振動は約８中でコーテングできる特殊技術を持っているメ

Ｈｚと低く、振幅は約±２μｍであった。これはーカーで銀蒸着金属鏡を製作することになっＦＥＬ発振の不安定の主な要因になっていた。

た。反射鏡の反射率は１～５μｍの波長範囲

架台の剛性を強化した結果、固有振動数は約で９９.３％以上、曲率半径は４０００ｍｍ、出射

３０Ｈｚに上昇し、振幅は±０．１μｍ以下に減孔は０．３ｍｍ径に設定し、６７１８ｍｍの共振器

少し、低レベルＦＥＬ発振の安定性は大幅に改長に対して焦点がクロスオーバーになるように善された。

設計した。一方、２０００年度に学術フロンティア推進事業により実験棟が増築され、レーザ

４．短波長 FEL の進展
誘電体多層膜鏡は耐久性に難があり、広いー照射実験室（９室）が設けられた。又、各レーザー照射実験室にはレーザービームライン

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