2015.APR.
Quarterly

VOL.89I nformation
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ナノ・マイクロビジネス展／ROBOTECH
出展のお知らせCS ManTech 出展のお知らせ
S amco-Interview

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情報通信研究機構 未来ICT研究所

研究所長

寶迫 巌 先生

À la carte 京の銘菓・老舗1 御菓子司 亀末廣

5T echnical-Report
LS-CVD技術を用いたSN-2/SiNx の成膜

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三船祭［車折神社〜大堰川（嵐山）］5月17日 ／ 撮影 ⓒ 中田 昭

Information

ナノ・マイクロビジネス展／ROBOTECH
出展のお知らせ
昨年度より春にパシフィコ横浜で開催されるようになりました『ナノ・マイクロビジネス展／ ROBOTECH』が4月22日から24日まで開催されます。MEMS（微小電気機械素子）、超精会期 2015年4月22日（水）〜 24日（金）会

場 パシフィコ横浜

ブースNo．C-2

密・微細加工、ナノテク、バイオと応用システム、ロボット技術を産業に結びつける国際見本市であり、近未来の生活・社会を支えるデバイス製造技術からアプリケーションまで先端技術・製品が一堂に集結いたします。
当社は、MEMS向け本格量産用高速シリコンディープエッ
チング装置『RIE-800iPBC』や3次元LSIプロセスへの応用で高く評価されているTEOS-SiO2 膜形成用プラズマCVD装置を最新の技術データとともに展示いたします。
本展示会は同時開催プログラムも充実しており、国内外の前回の様子

第一線で活躍する専門家による多彩なセミナーやシンポジウ
ムが連日予定されております。当社も最終日の24日に「シリ出展者プレゼンテーション

コン深掘り技術の最新動向」というテーマでプレゼンテーショ「シリコン深掘り技術の最新動向」サムコ株式会社

ンを行います。

日時：4月24日（金）14：00〜14：20

皆さまのご来場をお待ちしております。

CS ManTech
出展のお知らせ来る5月18日から21日まで、化合物半導体に関係す

場所：パシフィコ横浜 プレゼンテーションルーム

会期 2015年5月18日（月）〜 21日（木）会

場 Hyatt Regency Scottsdale, Arizona, USAブースNo．401
また、当社は本会議にて最新のSiC加工技術に関するる製造装置、材料関連メーカーや大学研究機関が一同研究成果を発表いたします。に会する国際会議CS ManTechが米国アリゾナ州スコッ“Optimizing the SiC Plasma Etching Process For

ツデールのハイアットリージェンシーで開催されます。

Manufacturing Power Devices”

当 社 は 化 合 物 半 導 体の材 料 加 工 装 置のトップメーカーとして本 会 議には毎 年 出 展しております。今 回はGaNパワーデバイスやSiCパワーデバイス向けの先端加工技術を中心に技術データを紹介いたします。

くるまざき

表紙写真 ● 車折神社の『三船祭』

おおい

京都の車折神社例祭の延長神事として、毎年5月の第3日曜日に嵐山の大堰川で行われる「三船祭」。昭和御大典を記念して昭和3年より始められた祭で、御祭神の清原頼業公が活躍された平安時代の船遊びを再現したものです。当時は平安京近郊として遊覧の地であった大堰川
げきすせん付近。多くの人々が管弦・舞楽の船遊びを楽しんだといいます。御座船・龍頭船・鷁首船を始めとする船上で、様々な伝統芸能が披露され、かりょうび ん

公募で選ばれた女性が御祭神と同族の「枕草子」で有名な「清少納言」に扮し、新緑の嵐山に華を添えます。
［写真は舞楽「迦陵頻」（極楽浄土
かりょうび ん がに住むという人面鳥身で美声を持つ霊鳥迦陵頻伽に由来している）の装束を纏った子供／ 2012年撮影］

samco NOW vol.89 / 2015. APR.

2Samco-Interview

プロフィール
学歴 1988年
1993年
職歴 1993年

東京大学 教養学部 基礎科学科 卒業
東京大学 大学院 理学系研究科 相関理化学専攻 博士課程 修了
日本鋼管株式会社 入社

1995年

通信総合研究所 COE特別研究員

1996年

通信総合研究所（現 情報通信研究機構） 入所

2008年

情報通信研究機構 先端ICTデバイスグループ グループリーダー

2011年

情報通信研究機構 未来ICT研究所 副研究所長
超高周波ICT研究室 室長（兼務）2013 年 情報通信研究機構 未来ICT研究所

研究所長

ほ う さ こいわお

情報通信研究機構 未来ICT研究所
研究所長

寶迫 巌 先生

今回のSamco-Interviewは、情報通信研究機構を訪ね、未来ICT研究所 研究所長の寶迫巌先生に未来ICT研究所やご自身のテラヘルツ技術のご研究についてお話を伺いました。

▶ 未来ICT研究所についてご紹介ください。
未来 ICT（Information and Communications
Technology）研究所は神戸と小金井にあり、神戸がメインキャンパスになっています。研究所 の 下 に は 超 高 周 波 ICT、量 子 ICT、ナノICT、バイオ ICTという四つの研究室があります。さらにグリーン ICT、深紫外光 ICTという二つのデバイス先端開発センターがあり、これらもある種の研究室ですので全部で六つの研究グループがあると思っていただければいいかと思います。
超高周波 ICT 研究室はいわゆるテラヘルツ技術の研究室ですが、テラヘルツ技術にはアプローチの仕方が光からと電波からという二種類あります。一つは光をベースにしたテラヘルツ技術、もう一つは電子デバイスをベースにしたミリ波テラヘルツ技術を研究しています。
量子 I CT 研究室は量子暗号を開発して社会に役立てることを目標に研究を進めています。FIRST（最先端研究開発支援）
プログラム
やImPACT（革新的研究開発推進）
プログラ
ムなどの国の大きなプロジェクトにも参加しています。
ナノI CT 研究室は有機ナノI C T 基盤技術と超伝導ICT基盤技術の二つに分かれています。前者は有機デバイスを使って非線形光学による光の制御を研究しています。一般的なニオブ酸リチウム（LiNbO3）などの無機系の非線形光学材料よりも非線形光学定数の高い有機材料を用いて変調器などを作っていこうとしており、未来 I CT 研究所内ではありませんが情報通信研究機構内の光ネットワーク研究所と連携して高速の変調器の開発も行っています。後者は高品質のニオブ（Nb）膜を形成し、それをもとにSSPD（超伝導単一光子検出器）を作っています。ここで開発したSSPDは非常に高性能で、量子 I C T 研究室で量子samco NOW vol.89 / 2015. APR.

暗号を受けるデバイスとしても利用されており、所内での連携が進んでいます。
バイオ ICT 研究室もDNA やタンパク質などといった分子の研究グループと細胞の研究グループの二つに分かれています。分子の研究グループは分子をビルディングブロックに使って生物がどういうことを行っているかを調べた
上で、人間がそれをまねてどういうことができるのかという研究をしています。例えば人工の鼻を作る、つまりケミカルセンサーを作るといったようなことを目指しています。細胞の研
究グループは細胞内で相互作用しているさまざまな構造体の中にどういう情報が入り、どのように細胞が機能しているかということを解明し、さまざまな情報処理技術として実際に応用していくための研究開発を行っています。
グリーン I C T デバイス先端開発センターは酸化ガリウム（Ga2O3）というワイドギャップ半導体を用いたパワー半導体、高温や極端環境でも動くようなトランジスタデバイスやダイ
オ ードデ バ イス の 開 発 を 行 って い ま す。
Ga2O3 はバンドギャップが大きく、炭化シリコン（SiC）や窒化ガリウム（GaN）の次のパワー半導体素子として期待されています。内閣府の S I P（戦略的イノベーション創造プログラム）などに参加しており、実用化に近い研究を外部の企業と協力して進めています。
深紫外光 ICT デバイス先端開発センターは深紫外光 LED の開発を行っています。企業と組み、外部の資金を入れて深紫外光 LED の発光効率を上げるといったさまざまな効率化を図っています。深紫外光 LED は水銀ランプの置き換えで今後非常に大きな需要が発生すると考えられており、先ほどのグリーン ICT デバイス先端開発センターと同様にすぐに応用に結びつけるための研究開発を進めています。
全体を通して見ると、未来 I C T 研究所は次世代の研究開発のシーズをインキュベートし、それが大きくなれば一つのセンターや別の形として世に出していくという、インキュベーティブな研究を行っていると思っていただければいいと思います。
▶ 寶迫先生のご研究内容、テーマについてお聞かせください。
研究のテーマは「半導体デバイスを使ったテラヘルツの発生と検出」であり、特に発生に関しては量子カスケードレーザに取り組んでいます。
大学院でゲルマニウム（Ge）を使った遠赤外レーザの研究を始めました。遠赤外というのが今でいうテラヘルツ帯になります。現在もそのあたりの領域の研究をしているという状況です。
▶ テラヘルツ技術の身近な応用例があればお教えください。
テラヘルツ技術はまだまだ発展途上であり、それ程応用が広がっているわけではありません。我々の研究所ではテラヘルツ波の利用促進を目指して基盤的な技術開発から応用開発まで行っています。
何年か前には初期ルネッサンス期の絵画の非破壊検査をデモンストレーションとしてお見せしました。非破壊、非接触で絵画の下地構造を観測し、表面の顔料の材料を分析しました。このような応用に利用できるような装置として企業に委託してテラヘルツカメラを開発しています。
あと、テラヘルツTDS（時間領域分光法）という技術があります。それは赤外線やショー
トパルスレーザを使ってテラヘルツパルスを発生させるという技術ですが、高精度化、安定化を目指して光周波数コム※の技術に基づ いてテラヘルツTDSを再構築するという研究開発を行っています。最近、テラヘルツ

TDS のシステムが工場の検査ラインに入りつ我々は小金井にはクリーンルームを二つ持ってつあると聞いており、今後広がっていくのではいます。光関係のデバイスのフォトニックデバイないかと期待しております。

スラボと電子デバイスのミリ波研究棟ですが、隣身近な応用例ということではまだありませんにありますので一つの組織として先端 ICT デバイが、テラヘルツ波は電波としては非常に高周波であり、ミリ波の先にある技術ですので非常に大容量の無線伝送が可能だといわれております。このような無線技術の研究開発も行っています。テラヘルツ波を発生させ、非常に高速でデータを伝送するというデモンストレーションを光ネットワーク研究所などと協力して行っています。テラヘルツ波の周波数帯を使えるようにしていくためには、標準化という作業がどうしても必要です。私自身、I T U（国際電気通信連合）や IEEE802 委員会などでさまざまな活動をしているという状況です。

スラボと呼んでおり、私が責任者になっています。
私は大学から企業を経てこちらに来ましたが、その間ずっと半導体デバイスの研究を続けており、ドライエッチング装置やプラズマプロセスに関してのさまざまな装置を使わせてもらっています。

※超短光パルスレーザから出力される広帯域かつ櫛状のスペクトルを持つ光。

▶ 今後のご研究の展望についてお聞かせください。
先ほども申しましたが、テラヘルツ技術の利用としては、やはりセンシングやイメージングが非破壊検査に応用できるということであったり、さまざまなセンサーとして使われることだと思います。もう一つの大きな用途は情報通信、無線だと思っており、最近我々は無線にかなり力を入れています。情報通信研究機構は ICT の研究機関ですので、その使命というのがあると思って、テラヘルツ技術の無線応用の研究開発に取り組んでいます。無線伝送で100Gbpsという高速性の実現をターゲットとしており、それの応用展開を目指しています。テラヘルツ波は空気中の吸収などによってあまり飛ばないといわれていますが、飛ばないなら飛ばないなりの便利な使い方が最近出てきました。例えば瞬時に4Kとか8Kといった非常に大きな容量の動画を携帯端末に落とし込こむことができますので、電車の中や孤立した場所で楽しめるようになります。また、チップとチップの間を大容量で結ぶデータバスのような使い方であるとか、データセンター内の非常に多い有線の一部を高速の無線で置き換えるといったことがあります。モバイル系の無線の裏方ですが、今まではファイバーでつながっていたところを、次世代モバイルシステムにおいてセルサイズが小さくなった際に、そのセルにつなぐ距離は短くなりますが、接続の数は爆発的に増えます。このような接続を簡単に済ませるために、光ファイバー接続を大容量の無線で代替していく、そういったことを考えています。無線への応用の導入時期はそれぞれ異なると思いますが、10年以内くらいで一つ代表的な例が現実に導入されるのではないかと思っています。
▶ 小金井と神戸の研究所で弊社の装置をお使いいただいておりますが、ご感想をお聞かせください。

サムコさんの装置は多数入っていますので個別については特に申しませんが、ドライエッチング装置は非常に使い勝手がいいと感じています。エッチングレートがかなり安定しているという印象を持っていて、プラズマの発光によるエンドポイントの検出機能ももちろんオプションで付いているかと思いますが、それを用いなくても時間の管理でかなりターゲットに近い形状を得られるという印象を持っています。特に超伝導の研究でのNbの高精度エッチングでは非常に役立っています。
CVD装置やアッシング装置も便利に使わせてもらっています。我々の研究所はあまりお金がないものですから、当初中古の装置をもらってきたりもしましたが、そういった装置であっても丁寧にサポートしてくださり、非常に感謝しております。
生産現場向けの大型装置を改造して使うこともありますが、サムコさんには小型装置のラインナップがあり、我々のような研究所にとっては使いやすいと思っています。
▶ 休日などはどのようにお過ごしでしょうか？
冬は日帰りでスキーに行くことが多いです。
ちょっとした広さの庭がありますので、夏はそこでの作業が増えてきます。塀に葡萄のデラウエ
アの苗を植えたらすごく育ち、何とか食べられる状況にしようと思って頑張っています。種無し葡萄にするためには蕾から花が咲き始めた時期にジベレリンで処理しなければいけませんが、例年その時期に出張が入ってタイミングを逃します。そのため、まだ一回も種無し葡萄になったことがありませんが、すごくたくさんできます。とても食べ切れる量ではありませんので、そのまま付いたままで鳥が食べているという状況です。
それも楽しみの一つです。
▶ 最後にサムコに対して一言お願いします。
最先端の技術を使わせていただき、また装置のさまざまなサポートをしていただいており、非常に満足しています。我々の規模ですと大きな装置は要りませんので、これからも研究開発用の小型で使い勝手のよい装置をラインナップに入れていただけるとありがたいです。これからもどうぞよろしくお願いします。
お忙しいところ貴重なお時間を頂き、誠にありがとうございました。

3-4À la carte

1
昔ながらの老舗の佇まいで歴史ある姉小路通でも一際目を引く御菓子司「亀末廣」。その暖簾を潜り、代表銘菓「京のよすが」をはじめ京の風雅の心に彩られた京菓子へのこだわり、先代から守り継ぐ商いの教えなどをお訊きしました。
風雅の心が映える銘菓「京のよすが」
京菓子ならではの風雅な彩りと姿形で「亀末廣」の代表銘菓として名高いのが「京のよすが」です。四畳半の和室に見立てた秋田杉の箱に趣向を凝らして極上の干菓子や有平糖、落雁、半生菓子を詰め合わせたもので、季節の煌めきを凝縮した一幅の名画のようです。ご贔屓のお客様のご期待にお応えするために、素材も極上のものを選りすぐって京のよすがお客様の心と向き合う商いを大切に歴史を刻む店構えを今日に受け継ぎ、風格に満ちた佇まいで通りを行き交う人々の心を捉える御菓子司「亀末廣」。初代亀屋源助が京の地で創業したのは江戸時代の文化元（1804）年でした。以来、極みの京菓子を求めて吟味を重ね、やがて御所から御用達を拝命し、徳川家の宿館であった二条城にも銘菓を納めるようになります。大きく掲げられた看板の額に配された木型も和菓子の老舗の趣を際立たせています。特別注文の場合、木型師が新たに専用の木型を作る用いています。小豆は丹波の大納言小豆、お砂糖は和三盆といった具合です。
「京のよすが」の他にも「亀末廣」では数多くの伝統の銘菓を愛でることができます。たとえば、戦 時 下の京 都で「和 菓 子 特 殊 銘 柄ち くり18品」に選出された「竹裡」もその一つです。
上質の新丹波栗が入手できる秋季に限定販売される逸品で、心待ちにされている常連のお客様も多数おられるとか。
「これからも季節の味わいを大切に、京の風雅を守り継ぎ、昔ながらの店構えも継承できればと願っています」。その言葉に御菓子司の老舗ならではの深き想いを垣間見た気がしました。のですが、その多くは一度使えば用済みとなるために、これを転用したそうです。麗ら大納言

かな春光に映える「寿恵飛呂」と染め上げら厳選された大納言
小豆と和三盆を使い、シンプ ル な がら素 材 の 美 味しさが際立つ。
※12月〜3月の期間限定販売

すえひろれた暖簾にも往時の風情を感じます。
「亀末廣」には先代から守り継ぐ家訓があります。
「売って喜ぶよりも、買って喜んでいただく」というものです。
「一人ひとりのお客様との出会いと心のふれあいを大切にして来ました。お電話やファックスでご注文があれば、当店からお送りするということはしていますが、あくまでも店頭での販売が原則です。

御菓子司「亀末廣」
京都市中京区姉小路通烏丸東入ル
TEL 075-221-5110
営業時間 8：30〜18：00 ※年末のみ要予約
定 休 日 日曜・祝祭日

百貨店やネットなどでの販売はしておりません。お客様の嬉しげに輝く表情が私どもの何よりの幸せです」と、7代 当 主である父 君 の下で商いを手伝う吉田
かな女さんはたおやかに微笑みます。

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5

Technical-Report

LS-CVD 技術を用いた SN-2/SiNx の成膜【サムコ（株）開発部】■はじめにな いSiNx 膜 が 形 成できていることが わ かる。また、図3にPD-

当社では以前より安全性や取扱いの面で負担の大きいSiH4ガ

220NLでAl配線上に成膜した後の断面SEM像を、表1に段差被スに代わる液体原料を用いたプラズマCVD（LS-CVD）による開発覆性の評価結果をそれぞれ示す。Al配線上部に対して少なくともを実施してきた。また、SiO2 の液体原料としてTEOSがよく知られ40%以上の被覆がなされており、良好な結果が得られている。次ているが、当社はSiNx 成膜の液体原料に関しても探索を行ってきに、図4にPD-220NLでのN2 流 量 による膜 応 力 の 制 御を示 す。

た。ここでは新規に検討した液体原料であるSN-2（当社呼称）にN2 流量を大きくすることで引張側にほぼ直線的に変化している。

よるSiNx 成膜について述べる。

SiH4でも同様の傾向は見られるため、応力制御性に関しても問題無いことがわかる。その他パッシベーション性や絶縁性の評価に■SN-2について

ついては、デバイスサンプルでの評価を実施しており、良好な結果が得られつつある。

SN-2は25℃で420hPaの蒸気圧を持つ液体であり、可燃性ではあるが自然発火性はない。ガス供給のため40℃での配管加熱■おわりにが必要であり、従来のTEOS供給系がほぼそのまま利用可能である。また排気ガスの除害は乾式吸着タイプでの運用が可能であ

アノードカップリングプラズマCVDでのSN-2/SiNx 成膜についる。SiNx を成膜するためのガスとしては、基本的にはSN-2とN2 のて紹介し、SiH4/SiNxと同等の膜質が得られることを示した。さら

みでよいが、さらにNH3 を添加することで屈折率調整が容易になに当社では、もう一つの方式であるカソードカップリングプラズマ

り、屈折率均一性が良化する傾向がある。

CVDにおいてもSN-2/SiNx の開発を行っている。こちらの方式では成膜にイオン衝撃を積極的に利用することで緻密な膜質が得■アノードカップリングプラズマCVD（Model:PD-220NL）での成膜られやすい。また室温から400℃までの成膜が可能で、膜応力に

図1にPD-220NLの外観を示す。装置本体横にSN-2供給系を関しては低応力から1GPaを超える応力の制御が可能である。現設置し、本体と配管接続する構造となっている。このPD-220NL

在は光導波路，MEMS，有機デバイス保護膜等の用途の開拓をを用いてSN-2/SiNx を成膜した際のFTIR評価結果を図2に示す。

図っている。今後も継続して用途開発と装置販売を進めていく。

参考のためSiH4/SiNx の結果を併せて示す。SiH4/SiNxと遜色のSiH4
SN-2

SN-2/SiNx

Intensity (a.u.)

308nm ②Si-H
N-H

Al

N-H

4400

3400

2400

1400400

Wavenumber(cm-1)

図 2 各 SiNx 膜のFTIR 評価
200

SiO2
図 3 Al 配線上へのSN-2/SiNx 成膜後の断面Tensile

図 1 PD-220NL 外観

Stress (MPa)100＜装置本体＞0-100

図4
N2 流量による
SN-2/SiNx
膜応力の制御-200-300

Compressive
0100

200300N2 (sccm)

samco NOW vol.89
サムコ株式会社2015年 4月発行

〒612-8443 京都市伏見区竹田藁屋町36

TEL 075-621-7841 FAX 075-621-0936 E-mail koho@samco.co.jp

364nm ④252nm ③Si-N＜SN-2 供給ユニット＞

611nm ①

http://www.samco.co.jp/

評価位置

段差被覆性 (%)

①（上部）

100

②（上側面）

50③（下側面）

41

④（底面）

60

表 1 段差被覆性