125VOL.

2024.Apr. Quarterly

Samco-Interview — 2
豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系
集積電子システム分野 准教授

関口 寛人 先生

À la carte — 4
京の台所を訪ねて16

リストランテ ストラーダ

Information — 5

第三研究開発棟新設を決定『RIE-10NR』販売累計500台を達成
東スイス応用科学大学との連携を開始、欧州市場の開拓を強化
Technical-Report — 6

プラズマ CVD 装置「PD-220シリーズ」の長期プロセス安定性の紹介『桜』の名所も数多く、「立本寺」の美に心躍る

日蓮宗の本山で、日蓮聖人の弟子・日像上人が1321年に開山。その後の何度かの移転後、現在の千本中立売に。多くの国の重要文化財指定を受け、毎月8日の「鬼子母尊神祭」に訪れる人は多い。桜の開花は、例年3月下旬〜 4月上旬で、山門を彩る大きな染井吉野が皆を出迎えてくれます。特に本堂前の枝垂桜が見事で、本堂周りの桜のアーチは人々の心を癒してくれます。
撮影 ⓒ 中田 昭Samco-Interview
豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系
集積電子システム分野 准教授

関口 寛人 先生
せきぐ

ちひろと今回の Interview は、豊橋技術科学大学を訪ね、関口寛人先生にマイクロLEDを用いた生体埋め込み型デバイス開発やフレキシブルマイクロLEDフィルム開発などのご研究についてお話を伺いました。
略歴 2005年 3月
上智大学 理工学部 電気・電子工学科 卒業
上智大学 大学院理工学研究科 電気・電子工学専攻 博士前期課程 修了
2007年 3月
2009年 4月－2010年 3月 日本学術振興会 特別研究員 DC2
2010年 3月
上智大学 大学院理工学研究科 電気・電子工学専攻 博士後期課程
修了：博士（工学）2010年 4月－2013年 3月 豊橋技術科学大学 大学院研究科 電気・電子情報工学系 助教
2013年 4月－2015年 3月 豊橋技術科学大学 大学院研究科 電気・電子情報工学系 講師
2015年 4月－現在
豊橋技術科学大学 大学院研究科 電気・電子情報工学系 准教授
2018年10月－2022年 3月 科学技術振興機構 戦略的創造研究推進事業 さきがけ研究者（兼任）

生体組織に刺入できる針型マイクロLEDデバイスや生体組織を覆うように取り付けることのできるフレキシブルなマイクロLEDフィルムの開発を進めています。
▶ 先生の現在のご研究についてご紹介ください。
私たちの身近にある電球、蛍光灯はすっかりLEDライトに変わり、LEDは私たちの生活を支える身近なものになりました。最近、「マイクロLED」と呼ばれる従来の LED の1/10
以 下の小さなLED の集 積 化 技 術が注目されており、高輝度・高精細なディスプレイ応用や安心安全の観点から自動車の照明や表示機、スマート繊維への応用、空間光通信（ LiFi）やプラスチックファイバーを用いた光伝送、水中での通信技術への応用、バイオアプリケーションといった幅広い分野への活用が期待されています。中でも私たちが注目しているのはオプトジェネティクス（光遺伝学）分野に用いるためのマイクロLED の開発です。
オプトジェネティクスとは、遺伝子の導入技術によって特定の神経細胞を光で選択的に操作できる技術のことです。近年は、生体に光を照射して神経細胞の活動を制御することが可能になっています。私たちの研究室では、マイクロLEDを集積させて生体の中に埋め込み、脳内に広がる特定部位や複数の神経活動を制御できる新しい光照射ツールの実現を目指しています。例えば、生体組織に刺入できる針型マイクロLEDデバイスや生体組織を覆うように取り付けることのできるフレキ
シブルなマイクロLEDフィルムの開発を進めています。

体ナノコラム結晶を用いた緑色や赤色 LEDの研究を行っていました。当時も窒化物半導体を用いた緑色や赤色 LED の高効率化が求められていたのですが、長波長化に伴って生じる結晶欠陥や内部電界が課題となっていました。研究室で注目していたナノコラムと呼ばれるナノ結晶は、結晶中に欠陥を生じにくく、内部電界も抑制できる可能性が示唆されており、このナノ結晶を利用した発光デバイスづくりが私の研究テーマでした。そのような研究に取り組んでいた博士課程学生
での最も大きな成果は、ナノ結晶の位置・形状を制御してRGB 三原色を同一基板上に集積する技術でした。あれから随分と経ちますが、国内外の多くの研究者の方々の論文に参照していただいていることを嬉しく思う
反面、独立した研究者として自分自身の研究テーマを立ち上げて価値ある研究をしなければならないという思いも感じています。昔から結晶成長メインの研究に取り組んできましたが、「どういうデバイスが作りたいのか。それは何の役に立つのか？」ということを岸野先生から強く言われていましたので、「将来の明確なビジョンを描きながら、使えるデバイスを作る」ということを今も強く意識しながら研究をしています。
2010年に現在所属する豊橋技術科学大学に移ってからは、若原昭浩先生（現：豊橋技術科学大学 理事・副学長）の下、希土類元素のユーロピウム（ Eu）を窒化物半導体に入れることで赤色 LEDを実現する研究を行いました。また、これまで別の材料系に使われていたMBE（ Molecular Beam Epitaxy：分子線エピタキシー）のガスラインや電装系を整備して、GaN 系の結晶成長ができるようにしました。マグネシウム（ Mg）を活用することでGaN 中の Eu が強く発光することを見い出し、LEDデバイスへと応用できることを示しました。さらに、学生時代に取り組んでいたナノ結晶にEuを入れてみたところ、薄膜よりも高濃度でも発光強度が落ちない可能性を示すことを見出しました。その一方で、GaN 系 LEDウエハーを加工して直径30 µm のマイクロLEDアレイを作製したり、ウエハー接合を利用してSiトランジスタとモノリシック集積の実現に貢献したり、ポリマー導波路とLEDアレイの融合や GaN 系トランジスタによる集積回路の検討などにも取り組むなど、30代半ばの頃は研究の間口を広げようと様々なことにチャレンジしていました。振り返れば自分自身の研究テーマを模索するために悩んだ時期でもありました。異なるテーマにチャレンジしていましたが、学生時代から実体はないけれど目に見▶ ご研究を始められたきっかけと、現在に至る経緯についてご紹介ください。
学 生 時 代は、上 智 大 学の岸 野 克巳先 生（現：上智大学 客員教授）の下、窒化物半導vol.125 / 2024. APR.

刺入型マイクロLED

神経電極プローブ

フレキシブルマイクロLEDフィルム

埋め込んで多感覚情報を同時に取得するこえる不思議な光というものに魅了されていたとにも成功しています。これらのデバイスをこともあり、可視光を使った新たなデバイス分融合・集積して、マルチモーダルな生体活動野を切り拓きたいという思いはありました。の操作・計測デバイスの創出を目指して研究そのような研究者として新たな可能性を模を進めています。
索していたタイミングで、今の研究につながる大きな出会いがありました。2017年頃、娘の▶ ご研究の今後の展望について幼稚園のイベントで、クラスの友達の父親がお聞かせください。
薬学部の大学教員であることが分かりました。
私たちの強みであるマイクロLEDプロセ
その時はどのような分野の研究者なのかといス技術を基盤として、多様な生体活動の操う簡単な自己紹介だけで終わったのですが、作や計測を可能にする生体埋め込みデバイ
それから半年後、その先生から突然、「神経ICPエッチング装置RIE-101iPHと関口先生
スの開発をさらに進めていきたいと考えてい科学研究に活用するLEDデバイスが作れまます。まだまだデバイス開発のフェーズではせんか」という相談のメールが届きました。普
自分自身にも学生にも問いかけるようにしていありますが、徐々に最先端の神経科学研究に通は断るべき話だと思うのですが、とにかく可ます。研究は意外と目の前のできることの中利用できるようになってきていますので、今後視光を使った違うテーマを探していた時期でから探しがちで、目先の学会発表に向けた研はより異分野間の連携を高めて、私たちの持あったことと、もしかしたら本学の設備を使え究などに偏りがちですが、そうではなく、最終つエレクトロニクス技術を用いることで未知ばできるかもしれないと思い、その相談を受け的に求められる達成目標を目指して、日々邁な領域の多い生命科学現象の発見に貢献ることにしました。これが新たな研究分野を切進することが大切だと思っています。
ができればと思っています。
り拓くための大きなきっかけになりました。これまでの研究とは大きく異なる分野であり、も▶ 休日はどのようにお過ごしでしょうか？
し前 後に1～2年ずれていれ休日は、家でゆっくり過ごすか、家族でショッば取り組むことはなかったと思条件を変えつつ再現性の高い処理がピングに出掛けることが多いです。ポッドキャ
いますので、新たな研究テーできるサムコさんの装置はデバイス製作にストなどの音声番組を聞くことが好きで、空いマを探していたタイミングだっ非常に役立っています。ている時間や移動中に、日本や世界の歴史たからこそ取り組んだのかなに関する番組や経済・経営、宗教や文化に関と思います。
▶ 弊社の装置をご使用いただいております
する情報番組など、リベラルアーツに関するそのような経緯で、現在は脳機能の仕組みが、ご感想をお聞かせください。
内容について学んでいます。異分野の研究にを知るための生体埋め込みツールの開発をも取り組んでいるだけに、幅広い知識・感覚をGaN 用 or 塩 素 系 ICP-RIE 装 置（ RIE進めています。これまで一般的に、脳の神経身に付けることが大切かなと思っています。ま101iPH）、RIE 装置2台（RIE-200NL、塩素活動の制御には薬や電気による刺激が行わた、ショッピングというよりも出掛けること自体系・フッ素系の各1台ずつ）、プラズマ CVD
れてきましたが、薬は次の刺激を与える時にが目的になっていて、いつもと違う風景や違装置2台（PD-220NL、PD-220N）があり、前の薬が抜ける必要がありますし、電気の場
うところを歩いていると、リラックスもできます
一部は共用設備という形で使用させていた合は刺激したい場所以外にも影響を与える課
し、心身ともにリフレッシュされて研究のアイだいております。LEDウエハーの加工に利題がありました。光の場合は特定の場所へのデアが浮かんだりもします。
用したり、シリコンや有機材料の加工に利用
ON/OFF が簡単にできるため、正確に刺激したり、絶縁膜や保護膜としてSiO2をウエする場所と脳活動の関係を調べることができ▶ 最後にサムコに対して、一言お願いします。
ハー上に堆積させたりしています。いずれのます。生命科学分野では、光で神経活動を制最近は半導体技術への注目度がますます装置も似た操作系のため学生でも使いやす御できる光遺伝学手法が広く使われ、多点で高くなっていますので、今後も世界中で幅広く、使い勝手の良い装置であると感じていま自在に神経細胞を光照射できるデバイスが求い分野の研究開発が求められていくと思います。私たちの研究の場合、繰り返し同じものめられており、このような用途に利用できるマす。サムコさんは大学の研究者が使いやすいを作ることが重要となりますので、条件を変イクロLEDデバイスの開発を進めています。
装置を開発され、いろいろな種類の装置をラえつつ再現性の高い処理ができるサムコさ
生体組織の深部にアプローチするため、生体インナップされているという印象を持っていまんの装置はデバイス製作に非常に役立ってに刺入できる細い針構造をもつ刺入型マイクす。大学では少量多品種な材料・デバイスのいます。
ロLEDデバイス・神経電極プローブの開発の開発を進めていくと思いますので、今後も細ほか、広範囲に分布する神経細胞に光照射▶
日頃のご研究において、心掛けておられるかい要求に応えていただきながら、再現性がするために組織に密着して貼り付けられるフことをお聞かせください。
高く比較的安価な装置を提供していただける
レキシブルなマイクロLEDフィルムの開発な『面白いことを探して、楽しく取り組んで、ことを期待しています。
ど、様々な形状のマイクロLEDデバイスの開楽しい時間を過ごす』ということを日頃から発を進めています。また、生体内に埋め込んお忙しいところ貴重なお時間をいただき、心掛けていて、学生にもそのように話していだマイクロLEDデバイスが生体活動に影響ありがとうございました。
ます。研究をする上で、テーマや課題の発を与えず、かつ安定して動作することも重要
見・把握はとても重要でなことから、耐久性の評価、駆動時におけるはありますが、その場し温度上昇評価や温度モニタリング技術の開のぎ のテーマなのか、発も合わせて進めています。加えて、生体活
サムコさんは大学の研究者が使いやすい装置を達成した時に小さな一動の制御だけでなく同時に神経活動を観察す開発され、いろいろな種類の装置をラインナップ
歩でも喜べるテーマにることも求められますので、最近は脳波計測されているという印象を持っています。
取り組もうとしているか、デバイスの開発を進めており、マウスの脳に2-3À la carte
中央市場で買い付けます。
個々の食材の特徴をフォーカスし、主役に16するか、脇役にするかを考えるそうです。例え̶̶
《 海外編3》「リストランテ ストラーダ」のオーナーシェフ、大塚智也
さんは、正統派のイタリア料理の伝統を受け継ぎながら新風を吹き込み、お客様の舌を満足させています。
多彩なイタリア料理について尋ねました。

ば主役にする食材は焼いて本来の味を生かし、脇役の食材はソースに仕立てたりします。
昼時によくオーダーされるのは、￥4,000のランチコースと、￥6,000のシェフおまかせコース（以下も価格表示は税込）。前者のコース内容は、前菜盛り合わせをはじめ、お好きなパスタ、メイン料 理（肉あるいはげた株式会社ストラーダに入社魚）、自家製パン、ドルチェ、食後のお飲みし、料理長を経て、2018年に同物。後者では、アミューズ（小前菜）に始ま店を後継して代表取締役に就任り、その日の “スープ、魚料理、パスタ、肉しました。

料理 ”、ドルチェ盛り合わせも味わえます。

「イタリア 料 理 は“ マンマ のディナーで最も選ばれているのは￥8,500味 ”と言われており、家庭料理にの Bコースです。始まりのひとくち、ファース近いと思います。地方性があり、 ト前菜、セカンド前菜、本日の魚料理、本日
北ではチーズやバターを使い、のパスタ、メイン料理（肉料理）、ドルチェ盛

南ではフレッシュトマトを多用する

り合わせ、自家製パン、食後のお飲み物を傾向があります。どのようなイタ堪能することができます。

リア料理をイメージされているか京都を代表するメインストリートである烏は、お客様によってさまざまでしょう」

名物は完熟フルーツトマトの冷製カッペリーニ（季節限定）。旬のフルーツトマトを活かし、丸通りと御池通りが交差する一帯は、閑静な受け継いだのは、正統派のイタリア料理。

オフィス街となっています。市営地下鉄の烏以前からの要素を取り入れながら、少しずつまた大塚さんはJ.S.A. 認定ソムリエであ丸線と東西線の乗換駅となる烏丸御池駅も現代風に変えて自分らしさを出しています。

り、イタリア産はもちろん、さまざまな国のワあり、ここを起点に御池通りを東へ進むと、 「コース料理の8割は、分かりやすい料理でインを取り揃えており、料理とワインのペアリシンプルで美味しい一品になっています。

ングも楽しめます。

風が吹くたびにイタリア国旗がはためくシッ

安心して召し上がっていただき、2割はちょっクな石壁の建物が見えてきます。これが「リと驚きを感じていただけるようにしています」

ストランテ ストラーダ」。店内は広々としておと説明。新旧のお客様が通う人気店である本場のリストランテを訪ねました。「私がイタり、各種パーティーなども開催できます（約ため、事前の来店予約がお勧めです。

リアに行った20年前に比べて、あまり味はこの2月に海外研修を行い、全スタッフが30名に対応可能）。最大8名用の個室も完

こだわりは、イタリア製のパスタマシーン変わっていませんでした。変える必要がない備。ピアノも置かれ、秋にはピアノとバイオリによる自家製の生パスタです。
「今のところ、料理もあるのだと感じます。どのリストランテンのコンサートなども開かれるそうです。

この店の生パスタより美味しの料理も美味しく仕上がって同店の源をさかのぼると、京都で本場のい生パスタを食べたことがあいました。引き継がれているイタリア料理を広めたパイオニアであり、老りません」と笑顔を見せます。のは、ずっと作られ愛されて舗イタリアン「フクムラ」の福村賢一シェフ

食材の吟味に余念がなく、きたものです。時代が流れにたどりつきます。「本格的な生 麵で作っ鷹峯地区にある有名な農園ても本物は、変わらず美味しておられ、こんなパスタがあるのかと驚きまの京野菜をはじめ、日本全国い。優れたものは伝統としてした」というシェフの大塚さん。大学時代にの有機野菜、そしてイタリア残り、それを守り、また次世なまめん「フクムラ」でアルバイトとして働き、卒業とから選び抜いた食材を仕入れ代に伝えていかなければなら同時に入店。その後、福村シェフが立ち上ています。魚 介 類は京 都 市ないと思っています」

リストランテ ストラーダ
京都市中京区御池柳馬場北東角
TEL 075-241-0800
URL https://www.strada-kyoto.com
営業時間 ランチ 11:30～15:00（ラストオーダー14:00）
ディナー 17:30～22:00（ラストオーダー20:30）
定 休 日 月曜日、火曜日
京都市営地下鉄「烏丸御池」
駅より徒歩5分
完熟フルーツトマトの冷製カッペリーニ

vol.125 / 2024. APR.

4

Information

第三研究開発棟新設を決定
当社は中期経営計画において重点課題と位置付けるクラスターツールシステムの拡販のための研究開発機能をさらに充実させるため、本社（京都市伏見区）周辺に「第三研究開発棟」を新設し、2024年12月から運営を開始することを決定しました。
化合物半導体の市場の広がりに伴い生産が本格化するSiC パワーデバイス、GaN パワー/RFデバイス、GaAs VCSEL、MEMS、高周波フィルターなどの分野で高度化するニーズに応えるため、最先端の設備を用意します。クリーンルームには最新の生産用装置や、走査電子顕微鏡 (SEM)、膜厚計などの計測機器を設置刷新し、効率的かつスピーディな研究開発を進めます。合わせて、計画的に増員を行い、顧客・マーケットのニーズに即応した開発体制で、当社の研究開発の中核拠点とする予定です。
■第三研究開発棟概要
所 在 地

京都市伏見区竹田田中宮町93番（現研究開発センター隣接）

建設計画

2024年5月着工、2024年12月完成（予定）

建物概要
施設構成

地上2階建て、鉄骨造。延床面積：約850平方メートル
研究開発棟（1階：研究施設、2階：事務所）

第三研究開発棟完成イメージ『RIE-10NR』販売累計500台を達成
研究開発用 CCP(Capacitively Coupled Plasma: 容量結合プラズマ ) 型
RIE 装置『 RIE-10NR』が累計販売台数500台を達成しました。この度、500台目の RIE-10NRをご導入いただいた理化学研究所 量子電子デバイス研究チームの山本倫久チームリーダーを訪ね、当社代表取締役社長の川邊が謝意を伝え、記念品を進呈しました。
RIE-10NRは、1995年12月に販売を開始して以来、国内外の大学、研究機関、企業に選ばれ続け、この度500台目の販売に至りました。シンプルでコンパクトな装置コンセプトはそのままに、安全性や使いやすさなどの面で改善を重ね、研究
理化学研究所 山本チームリーダー（右から2人目）

開発用 CCP-RIE 装置のデファクトスタンダード機として国内外で活躍しています。

東スイス応用科学大学との連携を開始、欧州市場の開拓を強化
海外販売の拡大のため、東スイス応用科学大学（Ost Schweizer Fachhochschule:OST）との連携を開始し、欧州市場の開拓を強化します。
当社はCCP 型 RIE 装置『 RIE-10NR』と卓上型 UVオゾンクリーナー『 UV-2』
をOST のマイクロテクノロジー・フォトニクス研究所（ Institute for Microtechnologyand Photonics:IMP）に設置し、オープンラボとして欧州中の大学や企業の研究者にご利用いただきます。欧州は先端の化合物半導体の研究が盛んで、多数の研究所や大学が存在します。今回の OSTとの連携をきっかけに、欧州で当社およびsamco-ucp 社の装置の販売を強化してまいります。
左：OST IMPクリーンルームの責任者 Dr. Marco Cucinelli
右：samco-ucp 社 新 CEO Vinzenz Gangl

読者アンケートのお願い
サムコナウへのご意見・ご感想をぜひお聞かせください。
今後の誌面の改善に役立てさせていただきます。

vol.125 / 2024. APR.

アンケートはこちらから5Technical-Report

プラズマCVD装置「PD-220シリーズ」の長期プロセス安定性の紹介

サムコ株式会社 プロセス開発2部▪ はじめに▪ 長期プロセス安定性データ（反応室大気開放メンテナンスなし）

当社はプラズマ CVD のプロセス技術開発と製品供給にお図1にプラズマ CVD 装置『PD-2202LC』によるSiN 成膜

いて45年の実績を誇り、業界をリードしてきた。近年は、化合の長期プロセス安定性を示す。 6インチウエハーでデバイス

物半導体や電子部品の分野で生産用プラズマ CVD 装置の生産用装置のプロセス確認用のテストウエハーでの成膜レー導入が増えている。本稿では、当社プラズマ CVD 装置であトおよび膜厚均一性を計測している。半年間に渡り、均一性るPD-220シリーズの反応室の長期プロセス安定性データを±2% 以下を維持し、成膜レート約20 nm/minと非常に安定紹介する。

した結果が得られた。

▪ 装置紹介▪ おわりにPD-220シリーズは、研究から生産用途、SiH4ガスや液体プラズマ CVD 装置 PD-220シリーズの『 PD-2202LC』に原料 TEOSを用いた成膜、13.56 MHzと400 kHz の二周よるSiN 成膜の長期プロセス安定性の結果を紹介した。反応

波重畳、27、40、60 MHz の周波数を用いた成膜など豊富室を大気開放する部材交換やワイピングを含むメンテナンス回なオプションを有する。反応室はプラズマ閉じ込め機構や電数の低減は、装置ダウンタイムの低減だけでなく、メンテナンス極間隔の調整により安定したプラズマ生成が可能で、ドライク時間や手間の削減、反応室内部の水分管理など様々な面でリーニングのみで長期間安定して使用できる。今回の長期プ有効と考えられる。PD-220シリーズが化合物半導体およびロセス安定性のデータは、真空カセット室と2つの反応室を備電子部品分野での生産装置として広く受け入れられ、当社のえた生産用装置『 PD-2202LC』による13.56 MHz の SiN生産機市場のプレゼンス拡大に貢献することを確信している。

成膜結果である。

14.0

成膜レート

20.0

12.010.0

15.0

8.010.06.04.05.00.0

6"均一性
01020304050607080

6" Uniformity［±%］Deposition Rate［nm/min］

25.0

2.0901001101200.0130

測定回数(回)図1. プラズマCVD装置「PD-2202LC」の反応室1によるSiN成膜の長期プロセス安定性
ドライクリーニングおよびプレコーティング後のテストウエハーへの成膜測定結果。半年間で計130回測定（ 1〜3日に一度の頻度で測定）。膜厚が積算20μmに達するとドライクリーニングを実施し、積算20μmまでにデバイスへの成膜回数は約80～90回となり1～3日かかる。
PD-2202LC の2反応室のうち反応室1のみ使用。

vol.125
サムコ株式会社〒612-8443 京都市伏見区竹田藁屋町36

TEL 075-621-7841

E-mail koho@samco.co.jp

2024年 4月発行
バックナンバーも、こちらからご覧いただけます。

写真1. 2反応室プラズマCVD装置『PD-2202LC』