画像測定機

非接触3D計測システム

クイックビジョンWLI Proシリーズ

Catalog No.14001(8)座 標 寸 法 測 定 と 3 D 形 状 の 非 接 触 測 定 を 1 台 で 実 現！
白色 光 干 渉 計（ White Light Interferometer ）WLI 光 学ヘッドを搭 載した先進の高 精 度デュアルヘッド測定システム

高精度高分解能の非接触 2D・3D 測定

様々な測定表面に対応

画像測定機に白色光干渉計（WLI 光学ヘッド）を用いる

3DCAD モデルを用いたオンラインのプログラミングにことで、2D の座標・寸法測定から微細領域における表面解析や小径穴の深さ、基板の配線寸法などの高精度3D 測定に威力を発揮します。

加え、オフラインでの画像およびタッチプローブのプログラム生成ができ、クイックビジョン Pro 本体の稼働率向上によるリードタイムの短縮を図ることができます。

画像光学ヘッドWLI 光学ヘッド

金属樹脂

WLI 測定原理
白色光を、干渉対物レンズ内の参照ミラーと測定サンプルへの光束に二分割させます。

干渉対物レンズを Z 方向に走査すると、測定サンプルにピントが合っている箇所にのみ、白色の干渉縞が発生します。

この干渉縞強度のピーク位置を、CCD カメラの各ピクセル位置で検出することで、測定物の三次元形状を算出しています。

CCDカメラZ 軸スキャン

干渉縞

白色光
ビームスプリッタ

干渉対物レンズ
参照ミラー
ビームスプリッタ
測定物

WLI の光学系ヘッド

1

測定物

干渉縞と強度イメージ

2

PERFORMANCEAPPLICATION

進 化 し 続 け る 画 像 測 定 機 能 と 先 進 の W L I 光 学 ヘ ッド が半導体パッケージ基板

半導体パッケージ基板

表面解析

断面形状測定ムレスな自動測定が可能です。

半導体パッケージ基板

金属薄膜

測定ターゲットへの容易な狙いこみ

内径、深さ測定

表面解析、段差測定

BtoBコネクタ

BtoBコネクタ

大型ステージかつ高精度を誇る本体構造は、高精度化に有利な X 軸と Y 軸が互

断面形状測定座標位置、外径、高さ測定更に、安定した測定のために、エアー式オートレべリング除振台を標準装備して微細精密加工部品

3D 表面性状解析

断面形状測定表面解析、段差、断面形状測定

織り成 す 最 高 の パ フォ ー マ ン ス

一台二役による高効率測定の実現
座標・寸法測定は、実績のあるクイックビジョン Pro の画像測定機

能を、全て継承しています。

画像測定

座標、ピッチ、径、幅、角度など

画像測定に引き続き、段取り替えなしに3D 測定へ移行できます。

これらの連続測定は、クイックビジョン Pro の自動制御により、シー画像光学ヘッドと WLI 光学ヘッドのオフセット量は、高精度にキャリブレーション

3D測定

表面解析、断面寸法段差、輪郭照合などされています。

低倍率・広視野の画像光学ヘッドで位置決めを行えば、高倍率の WLI 光学ヘッドに切り換えても、ターゲット部位を見失わない効率的な測定が可能です。

ミツトヨの高精度化技術を結集させた先進のプラットフォーム
いに独立した固定ブリッジ・ステージ移動構造を採用しています。
います。

クイックビジョン WLI Proリーズ専用の設計により、卓越した除振性能を誇ります。
大判ワークの長寸法から微細形状まで、様々な測定において、高精度測定を実現します。

エアー式
オートレべリング除振台

34

SOFTWARE

QV3D 機能（オプション）
干渉縞画像から三次元形状データを合成し、形状の表示や点群データの外部出力を行います。

この点群データは、QVPAK によって、面の生成や高さ、内外径などの結果出力に利用できます。

また、3D データを形状・評価解析ソフトウェア（オプション）へ転送することで、形状測定や表面解析が可能となります。

アプリケーション

不確かな目視測定から、自動演算による正確な測定へ

水平断面抽出からの円測定

深さ測定イメージ

3Dデータ合成処理

断面抽出イメージシステム制御用メインソフトウェア

QV3D機能

QVPAK

段差

QVPAK
測定イメージ

高機能と汎用性を備えた画像測定機用ソフトウェア QVPAK に、干渉縞画像取得の機能を追加しています。

ZX（YZ）断面抽出からの輪郭形状解析
FORMTRACEPAK-AP（オプション）使用

QVPAK で作成する測定手順プログラムは、画像測定の座標・寸法や WLI 測定の3D データ合成、データ出力、3Dデータからの表面解析

FORMTRACEPAK-PRO（オプション）使用

形状・評価解析ソフトウェア（オプション）を自動制御し、高効率の測定システムをご提供いたします。

演算機能の一例

点測定

線測定

3D プロファイルスティッチング

1視野の測定では測定対象エリアをカバーできない場合、複数視野の三次元形状データを連結することができます。
3D プロファイルスティッチングは、高分解能を維持したままで広範囲の測定や解析を可能にします。

円測定

面測定

球測定

段付円筒 円筒測定 円錐測定

バッファ

角度

距離交点

交線

中点

中線充実の画像測定機能

円ツール

線ツール

オートトレースツール

パターンサーチツール

MSURF-I エムサーフ アイ
QVH1 Pro / QVH4 Pro や QVWLI Pro などで取得した3D 形状表面の点群データから、幾何要素の抽出、自由曲面および断面の評価、マスターデータとの比較照合が可能です。
※ MSURF-I の解析には別途 PC が必要です。

AI照明ツール（光量自動補正）

5マルチポイントAF

各種フィルタ

幾何偏差作図6

OPTIONOP TION SOF T WARE
FORMTRACEPAK-AP フォームトレースパック AP
形 状 評 価・解 析ソフト

輪郭照合機能報告書作成機能・設計データの作成：CAD データ変換、マスタワーク変換、関数指定、・測定結果、誤差線図、誤差展開図

テキストファイルの変換、非球面設計値作成

・設計値照合：法線方向照合、軸方向照合、ベストフィット照合・結果表示：結果一覧表示、誤差線図、誤差展開図、誤差座標値表示機能、解析結果表示

その他機能
・解析手順の記録 / 実行

微細形状解析
・解析項目：点測定、線測定、円測定、距離測定、交点測定、角度測定、原点設
定、軸回転・演算項目：最大値、最小値、平均値、標準偏差、面積向・外部出力機能

CSV 形式出力、テキスト出力、DXF/IGES 形式出力

・フェアリング処理

QV 対物レンズ・疑似粗さ解析機能

対物レンズ
QV-SL0.5x ※1 QV-HR1x
QV-SL1x QV-HR2.5x QV-SL2.5x QV-HR5x
QV-5x
QV-HR10x※1 QV-10x ※1 QV-25x ※1パーツ No.
02AKT199 02AKT250 02ALA150 02AKT300 02ALA170 02AWD010 02ALA420 02AKT650 02ALG010 02ALG020ーーーーー
PFF 対応対物レンズセット
02AKX895B
02AXA915B 02AKX900B 02AKX905B
02AKX910B
作動距離 [mm]
30.5
40.6
52.5
40.6
60.0
20.0
33.5
20.0
30.5
13.0
タレット1x12.54x9.4
6.27x4.7
2.49x1.86
1.24x0.93
0.62x0.47
0.25x0.18
タレット2x
6.27x4.7
3.13x2.35
1.24x0.93
0.62x0.47
0.31x0.23
0.12x0.09
視野 (H) mm x (V) mm※2
タレット6x
2.09x1.56
1.04x0.78
0.41x0.31
0.20x0.15
0.10x0.07
0.04x0.03
デジタル変倍12x 1.04x0.78
0.52x0.39
0.20x0.15
0.10x0.07
0.05x0.03
0.02x0.01・二次曲線あてはめ機能※ 1 対物レンズ QV-SL0.5x、QV-HR10x 、QV-10x、QV-25x を使用する場合は測定物によっては照明の明るさ不足など一部制限が発生する場合があります。
※ 2 視野は代表値であり、保証値ではございません。

WLI 干渉対物レンズ
対物レンズ

パーツ No.

干渉方式

モニタ倍率

作動距離（mm）

QV WLI A-5x
QV WLI A-10x
QV WLI A-25x
QV WLI A-50x

02ALY400
02ALT630
02ALT670
02AWB150

ミロー
ミロー
ミロー
ミロー視野※1（mm）

270x540x
1350x
2700x

0.64 x 0.48
0.32 x 0.24
0.13 x 0.10
0.064 x 0.048

13.2
12.6
4.72.4モニタ倍率は、24 型液晶モニタ（解像度 WUXGA ）の場合です。
※ 1：結像レンズ 2xを標準装備しています。視野およびモニタ倍率は代表値であり、保証値ではございません。

MCubeMap エムキューブマップ
3D 表 面性 状 解 析ソフトウェア
多彩なグラフィック技術により、解析したデータを鮮明にイメージ化します。
最新の ISO25178-2/JIS B 0681-2の表面性状パラメータ規格に対応し、Sa や Sqなどの高さ、関数、空間、複合、体積などのパラメータ解析が可能です。

解析結果を自由にレイアウトした、グラフィカルなレポートを簡単に作成できます。

キャリブレーション関連
WLI 光 学ヘッド傾 斜 校 正 用 治 具

干渉縞調整治具

本製品を使用し、W L I 光学ヘッドの本製品を使用し、W L I 干渉対物レンズ焦点位置と干渉縞発生位置を一致させ本調整により、WLI 光学ヘッドの傾尚、校正用チャートと組み合わせて使用します。

るための調整を行います。

傾斜校正を行います。

斜誤差を補正し、高精度の測定が実現可能となります。

干渉縞調整治具

衝突検知ユニット

校正用チャートQVWLI に搭載する衝突防止センサです。
QV WLI A-25xおよびQV WLI A-50x に使用できます。衝突防止センサがステージまたはワークに接触し、Z軸移動を緊その他クイックビジョン用オプションソフトが使用可能です。
詳しくは、Catalog No.14028 クイックビジョンProシリーズ も併せて、ご覧ください。

豊富なデータ操作と解析機能
レべリング、非測定点処理、形状除去、負荷曲線、ピーク分布、ツイスト解析※、フラクタル解析、穴部 / 突起部の体積、性状の方向など急停止させることで、WLI干渉対物レンズの破損を防止します。

校正用チャート

QV 補正用チャート

撮像素子のピクセルサイズ補正や変倍装置 PPT の各光学系が持つ画面内の歪みを補正するための｢画面に使用します。

生ずるオートフォーカスのバラツキを低減する｢オー倍率時のオートフォーカス精度と光軸オフセット補正注）レンズによっては、機能の使用制限があります。
詳しくは、弊社営業へお問合せください

7内補正｣ と被写体のパターンやテクスチャの違いでトフォーカス補正｣を行うためのガラスチャートです。
注）レンズによっては、機能の使用制限があります。
詳しくは、弊社営業へお問合せください8外観寸法図LINE-UP

単位：mm

QVWLI HYPER 404 Pro

414

1781

1381

1200

1781

1381
400

700

1200

ø60

ø6050

WLI 繰り返し精度 [µm] ※2
スケール分解能 [µm]精度保証温度
精度保証環境最大測定物質量 [kg] ※3
観察装置

精度保証光学倍率

環境温度

温度変化

音圧レベル
撮像装置

画像

WLI

パワーターレット

※4

透過照明

照明装置
空気使用条件

垂直落射照明（画像）垂直落射照明（WLI）

プログラム制御リング照明
使用空気圧（0.8 + 2L / 1000）（1.5 + 2L / 1000）（1.5 + 3L / 1000）（2.0 + 4L / 1000）

2.5倍対物レンズ（QV-HR2.5x または QV-SL2.5x）＋ 中倍チューブレンズ
2σ≦0.08
0.01
20 ± 1 ℃
0.5℃ / 1H かつ 1℃ / 24 H
70 dB 以下
2535
B&W CMOS デジタルカメラ
CCD カメラプログラム制御パワーターレット 1x 、2x 、6x（、12x）系※5
白色 LED
白色 LED
ハロゲン白色 LED
0.4 MPa ※6※1 L は任意の測定長さ（単位： mm） ※2 当社検査方法による。 ※3 極端な偏荷重、集中荷重は除く。
※4 プログラム制御パワーターレット1x 、2x 、4x 、6x モデルは特注にて対応可能。また1x 、2x 、4x 、6x に加え、デジタル変倍機能による8x 、12x で計 6 段階の倍率変更が可能です。
※5（ ）はデジタル変倍。 ※6 空気源元圧は、0.45〜0.7 MPa が必要。

95050 86 50 86
86 50 86 50 146

1794
1572

290

70

1075
1426

ø60

123.5

16～17（ジグ取付面からガラス上面まで）

16～17（ジグ取付面からガラス上面まで）

290

680
1400

700

（12） 96（1.4 + 3L / 1000）

635

70

79.5

392.5

1075
1994

392.5

54.5

392.5

1075
1994

392.5

54.5

2815
700

697 × 758
2275

1794
222
1572

493 × 551
1205

315（WLI 可動範囲）（60）
400（画像測定範囲）（13）494（載物ガラスはめ込み部）
（30）
520
1200
315
WLI 可動範囲）（（コラム間の寸法）580（60）（画像測定範囲）
400（13）494（載物ガラスはめ込み部）（30）
520
580（コラム間の寸法）

12-M6 深さ1070（ジグ固定用タップ）12-M6 深さ12290
680（7.5） 79 1400
50290
201

（ジグ固定用タップ）

7050
201
2815

79.5

50 79 （7.5）

12-M6 深さ10（ジグ固定用タップ）12-M6 深さ12（7.5） 79

50

201

50

201

50 79 （7.5）（ジグ固定用タップ）

コラム

コラム

コラム

コラム

（62.5）（13.5）（32.5）（62.5）（13.5）（32.5）

515（WLI可動範囲）
601.5（画像測定範囲）
698（載物ガラスはめ込み部）
725
515
WLI可動範囲）（（コラム間の寸法）790
601.5（画像測定範囲）
698（載物ガラスはめ込み部）
725
790（コラム間の寸法）（61）（13.5）（32.5）（61）（13.5）（32.5）

7 33.5

ストリーム※2（オプション）

1400 × 1994 × 1794

123.5

コラム

39

※1

EUX / EUY, MPE
EUXY, MPE
EUZ, MPE
E1X, E1Y
E2XY

1118 × 1426 × 1781

ø60

227.5

(39)
650（画像測定範囲/WLI可動範囲）
39854
(39)
650（画像測定範囲/WLI可動範囲）
854
33.5 （52）
7 33.5728
33.5 （52）728

画像測定精度 [µm]

（60）
（13）
（30）

（12） 96

画像

515 × 650 × 220

コラム50

本体質量（専用設置台を含む）[kg]

315 × 400 × 240

131.5

積載ガラス（幅 × 奥行）[mm]

600 × 650 × 220

92 （7）

1200

26

外観寸法（幅 × 奥行 × 高さ）（専用設置台を含む）[mm]

400 × 400 × 240

502542635

画像・WLI 共通測定範囲（X 軸 × Y 軸 × Z 軸）[mm]ø60222

測定範囲（X × Y × Z）[mm]

145.586
86 50

コラム

（26）

寸法・質量

QVWLI HYPER 606 Pro

92 （7）

50

コラム

50 121.5（26）

本体部

QVWLI HYPER 606 Pro
QVW-H606P1L-E

1118（60）（13）（30）

131.5 50165
5017516550175
50 121.5

符号

QVWLI HYPER 404 Pro
QVW-H404P1L-E（7827） 928626

名称

10751426（18）ø6086 50

18（12）

5050 146（12）24-M6 深さ12145.5仕様

2542（7） 92（ジグ固定用タップ）

QVWLI HYPER 606 Pro

ø60227.5

145.551 400（画像測定範囲 /WLI可動範囲） 101
画像測定範囲552/WLI
51 400（18101（可動範囲）
載物ガラスはめ込み部）（18）
552（載物ガラスはめ込み部）
588
588

400

24-M6 深さ12（ジグ固定用タップ）

QVWLI HYPER 404 Pro

ø60827
1118

700

414

145.5

16～17（ジグ取付面からガラス上面まで）
18～19
35
16～17（ジグ取付面からガラス上面まで）

18～193510

座標測定機

画像測定機

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試験・計測機器

スケールユニット

測定工具、測定基準器、計測システム

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川崎営業所
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仙台市若林区卸町東1-7-30（※1） 〒984-0002 電話 (024)931-4331 ファクス(022)231-6884
宇都宮市平松本町796-1〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス(028)660-6248
水戸市元吉田町260-3〒310-0836 電話 (029)303-5371 ファクス(029)303-5372
伊勢崎市宮子町3463-13〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613
さいたま市北区宮原町3-429-1〒331-0812 電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434
新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610
川崎市高津区坂戸1-20-1（※1）
〒213-8533 電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610
厚木市中町2-6-10 東武太朋ビル2F〒243-0018 電話 (046)259-6400 ファクス(046)259-6404
富士駐在所
電話 (0545)55-1677
諏訪営業所
諏訪市中洲582-2〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830
上田駐在所
電話 (0268)26-4531
浜松営業所
浜松市東区和田町587-1〒435-0016 電話 (053)464-1451 ファクス(053)464-1683
安城営業所
安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
中部オートモーティブ営業所 安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
名古屋営業所
名古屋市昭和区鶴舞4-14-26〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921
金沢営業所
金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田〒920-0057 電話 (076)222-1160 ファクス(076)222-1161
大阪営業所
大阪市住之江区南港北1-4-34〒559-0034 電話 (06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817
神戸営業所
神戸市西区丸塚1-25-15〒651-2143 電話 (078)924-4560 ファクス (078)924-4562
京滋営業所
草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F〒525-0032 電話 (077)569-4171 ファクス(077)569-4172
岡山営業所
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福岡営業所
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