導体抵抗評価システム
AMR−U

CAT.NO.08524-V2110

はんだ接合部やコネクタ接続部の微小抵抗値を連続して測定。
接続部分の信頼性を効率よく評価。
エスペックの「導体抵抗評価システム」は、低温･高温の温度サイクル環境下において、はんだ接合部やコネクタ接続部の導体部分の微小抵抗値を連続測定します。
コンピュータによる自動計測、データ収録およびデータ処理のシステム化を実現し、接続信頼性評価をより正確に効率よく行えます。

1

電子機器市場の信頼性評価におけるエスペック計測製品
TDDB評価試験 ウェハー評価

TDDB評価試験 ウェハー評価
半導体パラメトリック試験

AMM-TDDB-W

AMM-TDDB-W
AMM-W

封し材料／サブストレート基板／絶縁材料／はんだ材料／多層基板

絶縁抵抗評価試験

半導体パラメトリック試験 AMM-C
バーンイン試験
RBC RBS RBM MBI

絶縁抵抗評価試験（エレクトロケミカルマイグレーション）（エレクトロケミカルマイグレーション）

AMI

導体抵抗評価試験（接合信頼性試験） AMRAMITDDB評価試験 パッケージ評価
AMM-TDDB-C AMIバーンイン試験
RBC RBS RBM MBI
エレクトロマイグレーション評価試験 AEM
逆バイアス試験（パワーデバイス）
HTRB HTGB H3TRB AMI
パワーサイクル試験（パワーデバイス） RBS-PST
導体抵抗評価試験（接合信頼性試験）

PCメーカー／携帯電話メーカー／車載メーカー／通信機器メーカー

絶縁抵抗評価試験（エレクトロケミカルマイグレーション）

AMI

導体抵抗評価試験（接合信頼性試験）AMR

AMR

コンデンサ／インダクタ／抵抗／センサー

導体抵抗評価試験（接合信頼性試験） AMR
漏れ電流測定評価試験
コンデンサ温度特性評価試験
インダクタ評価試験
センサーバーンイン

AMI
AMQ
AEM
RBS

2AMR

導体抵抗評価システム

半導体パッケージや電子部品の接合部に発生する微小なクラックを正確に捉え、自動測定とチャンバー連動により試験スケジュール管理の効率性を向上
主な特長● はんだクラックの進行の変化

●

●

●

正常な状態

クラック発生完全破断●●

独自のマルチスキャン方式と国際標準対応の計測器を搭載。
直流電流計測と交流電流計測の 2タイプ。
絶対値判定 方 法･変化率判定 方 法の 2種の故障判定が可能。
パソコンでリアルタイム測定。測定中においても、データ編集･閲覧が可能。
冷熱衝撃装置との連動により試験効率を大幅に向上。

評価対象●

プリント基板●半導体のアンダーフィル

主な用途

冷熱衝撃装置との設置例「電子機器の変化と接合信頼性評価」●

プリント基板スルーホール導体評価●

はんだ接続性評価●

BGA、CSPはんだ接続性評価●

コネクタ接触抵抗評価●

FPC耐久性評価●

スイッチ、リレーなど各種接触抵抗評価●

異種金属の接合部評価●

https://youtu.be/U7_BDtz4j0w
※音声あり

3

●

導電性接着剤、異方性導電膜（ACF）
接合性評価
各種接続材料の接続性評価

Performance
国際標準にトレーサブルな計測器を採用することにより高精度の測定を実現
電流計測方式による2機種ラインアップ●●

直流電流計測（DC印加仕様）
抵抗測定範囲 : 1mΩ〜100MΩ
交流電流計測（AC印加仕様）
抵抗測定範囲 : 1mΩ〜3kΩ

信頼性の追求国際標準にトレーサブルな計測器･微小抵抗計を搭載し、測定データへの信頼性を追及しました。ご要望に応じ精度を維持するための校正サービスもご提供いたします。
（ISO/IEC 17025適合）

1×10 −3 から1×108 Ωの広範囲測定を実現
4 端子測定方法により、ケーブル先端で1×10 − 3 〜1×10 8 Ω（DC 印加仕様）、1×10 − 3 〜3×10 3 Ω（AC 印加 仕様）の広範囲な導 体 抵抗値を高精度に測定します。

AMR

多チャネル連続測定により作業効率の大幅な向上
標 準 装 備の 40chより40ch単位で 最大280chまで増設可能です。試験の目的や接続するチャンバーの台数などに合わせて選定いただけます。
BGA実装基板

4Utility
使いやすさを追及した多機能ラックにより作業性を向上
簡単接続

無停電電源
システム管理用パソコン
起動スイッチ

中継ユニット・左右側面に設置可能

キーボードテーブル・未使用時には収納可能

中継ユニットを設置することで、計測ケーブルの接続を容易にしました。中継ユニットは設置環境に合わせて、ラック前面や左右側面に設置可能です。

耐熱･耐ノイズに優れたケーブルテフロン製のフラットケーブルを採用。優れた耐熱耐ノイズ性で高精度に微小抵抗を測定します。また、ケーブル先端には試料への接続を容易に行える工夫がされています。

中継ユニット収納部

地球環境問題に配慮
収納スペース

機器を構成する電子基板や部品は、地球環境負荷低減に配慮した設計を行っております。

また、欧州向けの製品には、RoHS指令の適合とCEマーキングを実施致します。
システムラック

校正サービスエスペックでは、環境試験器を含めた評価システムの校正にお応えいたします。

中継ユニット計測ケーブル 接続部（チャンバー別売）5

Utility
各種環境試験器と計測システムの連動による試験の簡略化
環境試験器との連動
最大 3台までの環境試験器と接続して試験が可能です。環境試験器と連動することで、温度のモニタリングや試験のタイムスケジュールの管理、アラーム警報の検知などが行えます。

温度のリアルタイムモニタ
環境試験器テストエリアの温度のモニタリ
ングと記録を行います。記録はAMRの測定と同時に行い、統計処理ソフトにより抵抗値データと同期表示も可能です。

異常検知による安全設計
試験中に環境試験器または計測システムにトラブルが発生した場合、試験を中断します。復帰後は中断状態から継続して試験を再開します。

LAN対応ソフトによる試験データの遠隔処理が可能（オプション）
試験状況の確認やデータ処理を、遠く離れた事務所などから行えます。また、ご利用人数に合わせたソフトのライセンス取得も出来ますので、複数のPCでモニタリングを行うことが可能です。

冷熱衝撃装置との設置例

項目

冷熱衝撃装置（TSAシリーズ）と連動した場合

温度モニタ

計測器の測定タイミング毎に温度データを取り込み、csvファイルなどに記録

サイクルカウント

チャンバーのサイクルカウント情報を取り込み、各チャネルの故障発生サイクル数を記録

試験の開始

AMRで試験を開始し、チャンバーの試験準備完了を待って試験を自動的に開始

試験の中断

AMRで試験を中断することにより、高温さらし後に自動的にチャンバーとAMRを中断

試験の再開

中断状態から続きのサイクルをそのままの状態で自動再開。測定データに中断履歴を記録

試験の終了

試験終了条件を満たした場合に、試験を自動的に終了

ワーク温度モニタ

最大 16chまでチャンバー内（任意）の温度を測定し、測定タイミング毎にcsvファイルに記録

チャンバーアラーム
検出

チャンバーまたは計測器で異常が発生した場合、試験を自動的に中断

データ処理

サイクル数を軸に取得した温度データと抵抗値データを照合

ネットワークLAN 対応ソフト（オプション）

データ

LAN 接続Windows®

AMR
通信

冷熱衝撃装置冷熱衝撃装置冷熱衝撃装置6Evaluation
試験の目的に合わせて直流電流、交流電流いずれかの印加方式を選択可能
AMR-UD（定電流）

AMR-UA（交流電流）

はんだ接合性評価〇〇※1

BGA、CSP等はんだボール接合信頼性評価〇△※1

導電性接着剤･異方性導電膜接合信頼性〇〇※1コンデンサー（表面実装/基板内蔵）
接合信頼性

×

△※２

評価項目

直流電流計測（DC印加仕様）
直流電流を印加して微小電圧を測定します。最 大 100MΩまでの 抵 抗を測定し、高抵抗の試料の評価が可能です。
半導体関連のデイジーチェインの評価などに適しています。

※1 計測時の電流印可が他の測定配線と共通の場合、正しく測定できません。
※2 コンデンサーの容量によっては、測定できない場合があります。

交流電流計測（AC印加仕様）

BGA、CSP はんだボール接合信頼性評価事例（デイジーチェイン評価の場合）●測定信号が複数のチャネル間に重なっている場合交流電 流を流して抵 抗値を算出します。
熱起電力の影響を受ける事なく、測定が行えます。異種金属間の接触抵抗の測定に適しています。

直流計測計測（DC 印加仕様）
1ch

6ch

2ch

3ch

9ch

7ch

5ch

4ch

■評価対象
●8ch
●

測定するチャネル間の信号が重ならない（チャネル間が独立している）場合
直流計測計測（DC 印加仕様）
交流計測計測（AC 印加仕様）
ICチップ

はんだチップ

1ch

2ch

4ch

プリント基板半導体のアンダーフィル

■主な用途
●

プリント基板スルーホール導体評価●

はんだ接続性評価●

BGA、CSP はんだ接続性評価●

コネクタ接触抵抗評価●

FPC 耐久性評価●

スイッチ、リレーなど各種接触抵抗評価●

チップコンデンサ接合信頼性評価●

異種金属の接合部評価●

導電性接着剤、異方性導電膜（ACF）接合性評価●

各種接続材料の接続性評価

3ch※BGA、CSPの評価用のデイジーチェインの設計パターンによって、対応できる機種が異なりますのでご注意ください。

評価項目

7

直流電流計測方式 交流電流計測方式（AMR-U-D）（AMR-U-A）

鉛フリーはんだ接合性評価◎◎

BGA、CSP はんだボール接合信頼性評価◎○

コネクタなどコンタクト部接触抵抗評価○◎

スイッチ、リレーなど各種接触抵抗評価△◎

導電性接着剤、異方性導電膜接合性評価◎◎

Evaluation
接合部の導体抵抗の微小な変化をより正確に捉える2 種の故障判定
絶対値による故障判定
任意の測定間隔で測定される測定データに対して設定された絶対値で判定を行い、接合部のオープンを確実に検出できます。
チャンバーと連動した場合、高温･低温それぞれ独立して絶対値を設定でき、試料の周囲温度に合わせた判定が可能です。
また、故障と判定されたチャネルの測定を終了することができます。
（故障判定後に測定を継続する設定も可能）

変化率による故障判定
BGA（Ball Grid Array）やCSP（ChipSize Package）などの微小な抵抗の変化を捉える判定方法です。指定された基準測定データに対して、高温時･低温時の測定データを比較換算した変化率で判定を行います。

絶対値判定

上限絶対値

下限絶対値
・測定されたデータに対して絶対値で判定を行います。

■ 絶対値設定

終了判定値として認識上限値（Ω）

下限値（Ω）

変化率判定

試験規格対応IPC-9701で規定された初期値からの20%の変化率判定が可能です。

高温変化率
低温変化率

・測定されたデータに対して変化率で判定を行います。

■ 変化率設定
高温側

変化率の基準値として認識上限値（Ω）
下限値（Ω）

上限値（Ω）

低温側

下限値（Ω）
判定待ち時間 安定時間

安定時間 判定待ち時間8ソフトウェアの紹介● メイン画面●

試験状況をモニタリング●抵抗値、槽内温度、異常発生チャネルなどが、リアルタイム表記。

●

データ処理ソフトへの自動リンク●

試験制御（開始、停止、中断、再開などの操作）※画面は「AMR—280—UD」の例を表示しています。

● 試験設定● 試験条件の登録使用するモジュールの選択、データファイル
名･連 動するチャンバーの設 定、テキスト
データ出力、コメント記入などを行い、試験をするチャネルの選択、試験条件の指定をします。

試験時間、測定時間、各種リミット値などを試験条件ファイルとして保存。試料または試験内容に合わせて複数の条件を登録できます。

● グラフ表示● カーソル機能● ワイブル解析（オプション）

グラフ表示状態で表示チャネルの選択、表示設定、カーソル表示などグラフを多彩にアレンジできます。
グラフをクリップボードにコピーし、他のソフトに取り込むことができます。

カーソル機能によりグラフ画面で測定データと測定チャネルNo.の確認が即座に行えます。

データ処理ソフト（統計処理機能付き）により試験データのワイブル解析が可能です。
また、正規確率プロットや対数確率プロットも行えます。

（試験条件登録で保存したファイルから選択）

この例は冷熱衝撃装置の温度と抵抗値グラフを同時に表示させています。

9システム構成図

無停電電源

RS-232C
RS-232C

システムコントローラ
チャンバーモニタ
パラレルI/O

微小抵抗計

RS-485
中継ユニット

テストサンプル

抵抗測定用スキャナユニット

キャビネットラック

システムコントローラ部●●

システムコントローラ
システム管理用パソコンと液晶モニタ。
計測、データ処理、試験器制御を行います。
無停電電源
システムコントローラーのバックアップ用電源。
停電時、自動的に中断処理を行い、復電後中断時点から再開できる状態にします。
（自動復帰しません）

環境試験器(別売)

計測ユニット部
抵抗測定用スキャナユニット
標準40チャネル。
（最大280チャネルまで増設可能）

●

●

●

●

微小抵抗測定用計測器
4端子測定法により微小抵抗を高精度に測定。
チャンバーモニタ
システムコントローラから環境試験器の温度制御、モニタおよびアラームの管理を行います。
中継ユニット計測ケーブルを中継するためのユニット。

10

仕様
型式

AMR−＊＊−UD

測定電流

DC印加仕様AMR−＊＊−UA
AC印加仕様チャネル構成40 〜280ch／ラック

チャネル制御10チャネル単位

制御OS ※1Windows OS

測定速度

40チャネル

測定機能

抵抗測定範囲12秒以内（100 ｍΩ）

1×10 －３～ 1×10８Ω
1m〜 100MΩ

1×10 －３～ 3×10３Ω
1m〜 3kΩ

10 ｍΩ計測時、真値の±1％以内
100 ｍΩ計測時、真値の± 0.５％以内

抵抗測定誤差 ※ 2

10mΩ、100mΩ、1Ω、10Ω、100Ω、1kΩ、10kΩ、100kΩ、1MΩ、10MΩ、100MΩ
および Auto

測定レンジ

3mΩ、30mΩ、300mΩ、3Ω、30Ω、300Ω、3kΩ および Auto

計測ケーブル

耐熱計測ケーブル
被覆材量：テフロン ※３
中継ユニットから先端まで：1.5m

中継ケーブル

非耐熱計測ケーブル（スキャナユニットと中継ユニット間）

中継ユニット40チャネル毎に1台

外寸法

W530×H1750×D940 mm

電源設備

AC100V

1φ10A※1 Windows OSバージョンの変更により、AMR制御ソフトの動作環境が変更される場合があります。OSバージョンが必要な場合お問い合わせください。
※2 標準システム（計測ケーブル1.5m）の構成下でのケーブル先端精度となります。

※3 AMRの計測ケーブルは、テフロン材で上限温度は200℃ですが、試料と接続させるはんだ材料の上限温度に試験温度は依存します。

型式
AMR −

付属品
−U
D： 直流電流計測（DC印加仕様）
A： 交流電流計測（AC印加仕様）
チャネル数040 ： 40チャネル
080 ： 80チャネル
120 ：120チャネル
160 ：160チャネル
200 ：200チャネル
240 ：240チャネル
280 ：280チャネル

11●

計測ケーブル●

通信ケーブル（RS-485）●

セットアップCD●

ユーザーズマニュアル（1式）

オプション
耐熱計測ケーブル

ワーク温度モニタ機能

非常停止スイッチ

標準で付属されている耐熱計測ケーブルと同等品。
・1.5m
・2.5m
・3.5m
※ご要望により製品ご購入時に、1m毎延長します。

チャンバー内の試料表面温度を測定し、測定データと同期記録が可能。
・8点チャネル
・16点チャネル

機器の運転を緊急停止するスイッチ。

LAN対応ソフト
LANで接続されたPCにより、試験の稼動状況の確認やデータ処理が可能です。
※複数ライセンス取得には別途費用がかかります。

電源電圧・AC120V ±10% 単相 8.3A
・AC220V ±10% 単相 4.5A
・AC240V ±10% 単相 4.2A
※ダウントランス（単相、複巻品）を使用。

データ処理ソフト（統計処理機能付）

耐熱カラーケーブル

標準の統計処理ソフトにワイブル解析機
能が追加されます。
※複数ライセンス取得には別途費用がかかります。

チャネル毎にカラーを変えたケーブル。
・1.5m※ご要望により製品ご購入時に、1m毎延長します。

延長用非耐熱ケーブル
中継ユニットと耐熱計測ケーブルの間の計測ケーブルを3m延長します。
※初期出荷時の状態からケーブル長が変更された場合、初期設定の補正値が変わるため、再度データ補正が必要です。

12

計測システムの紹介

エレクトロケミカルマイグレーション評価システム

AMI

高速通信及びエネルギーの効率化から材料や電子部品の耐絶縁信頼性がより重要になってきています。
AMI は、さまざまな環境因子の下で信頼性評価を実現する為に欠かせない装置です。
■評価対象●

プリント基板全般

●

絶縁材料

●

半導体材料

半導体パラメトリック評価システム

AMM

複数素子が高機能化のために、一つのパッケージに集約されています。
各素子の特性を評価する事で全体の機能保証をする事が必要不可欠です。
AMM は、素子の特性や寿命予測をする為に欠かせない装置です。
■評価対象●半導体トランジスター●Low-k 材料●High-k 材料

エレクトロマイグレーション評価システム

AEM

高集積化に伴い、半導体素子内の配線はより伝導率の高い材料が使われ、より高温（350℃）下での加速寿命評価が必要です。
AEM は、先端配線評価やフリップチップ用 BUMP Ball 評価に欠かせない装置です。
■評価対象●

半導体配線パターン●

はんだバンプ

コンデンサ温度特性評価システム

AMQ

IOT･5（6）G 通信に欠かせない、コンデンサー･インダクタは、様々な温度環境下で使用されております。
AMQ は、幅広い温度環境下での周波数や電圧による特性を取得する為に欠かせない装置です。
■評価対象

13

●

MLCCコンデンサー●

アルミ電解コンデンサー●

インダクタ 等

環境試験器の紹介

冷熱衝撃装置TSAシリーズ

温度復帰時間と温度上昇、下降時間の短縮、消費電力量の低減

や操作設定が簡単に行えるタッチパネル計装の採用など、より一層使いやすく、また地球環境にもやさしい製品です。
型式

温度範囲

内法（mm）TSA−73ES
TSA−73EH
TSA−103ES

W410×H460×D370
W410×H460×D370

高温器：＋ 60 〜＋200℃
低温器：−70 〜 0℃

W650×H460×D370

TSA−203ES

W650×H460×D670

TSA−43EL

W240×H460×D370

TSA−73EL
TSA−203EL

W410×H460×D370
高温器：（外囲温度＋50）〜＋200℃
W650×H460×D370
低温器：−65〜 0℃
W650×H460×D670

TSA−303EL

W970×H460×D670

TSA−103EL

冷熱衝撃装置TSDMIL-STD-883をはじめ、JIS C 0025、JASO-D001など国内外の試験規格に対応した 2ゾーンの冷熱衝撃装置。優れた温度分布性能で試料へ均一な温度ストレスを与えます。

またSTT機能により、試料の温度をモニタし試料温度が設定値に到達してから、さらし時間のカウントを開始、または即時次ステップに移行するなど、正確な試験が可能。

＋150℃⇔− 60℃の復帰時間も15 分と短く、試験時間を短縮します。研究･開発から検査･生産分野まで幅広いフィールドでご使用いただけます。
型式

温度範囲

内法（mm）

高温器： ＋ 60〜＋ 205℃
TSD−101−W
低温器： − 77〜 0℃

W710×H345×D410

急速温度変化チャンバー

TCC

試料への急速温度変化を実現し、JEDEC規格からスクリーニングまで幅広い用途に対応します。優れた温度変化率を備え、試料への均一な温度ストレスを与えます。

また、試料温度 15℃／分の試料温度制御方式と、温度サイクル試験や冷熱衝撃試験が行える空気温度制御の2つの制御方式を採用しています。
型式
TCC−151W

温度範囲

内法（mm）−70 〜＋180℃

W800×H500×D400

14https://www.espec.co.jp/

本社

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