画像測定機

超高精度CNC画像測定機

クイックビジョンウルトラ

Catalog No.14002(3)高 速 化 、高 精 度 化 により進 化 を 遂 げ た
究 極 のフラグシップ マシン
超高精度機を支えるテクノロジー

FEM 解析による最適構造設計

高精度機に適した本体構造

トラッキングオートフォーカス（ TAF ）FEM 解析を用 い た 最適構造設計 により、各構造体のリブの位置や重量配分を行っています。その結果、極めて剛性の高い本体構造を実現しています。

QV ULTRA に採用した固定ブリッジ
テーブル移動構造は、X 軸と Y 軸を完全に独立させた構造で、お互いの運動精度に影響されにくい特長を持っています。また X 軸、Y 軸のガイ測定物の高さ変化に合わせて、連続的にフォーカスする機能です。
表面のうねり・そり（Z 軸高さ方向）に自動追従するこドには、耐摩耗性に優れ、熱安定性の高いグラナイトを採用しています。

自己吸引型エアパッド

ボールねじフローティング機構

Y 軸に通常のエアパッドを使用した場合、適正な剛性を得るためステージの質量を大きくする必要があります。QV ULTRA でQV ULTRA では信頼性の高いボールネジを採用しています。

は、自己吸引型と呼ばれる特殊なエアパッドを使用し、圧縮空気によりエアパッドを浮かせると同時に、中央部に負圧による真空領域を設けることで吸着力を発生しています。これにより、Y 軸の高剛性化とステージの軽量化を同時に実現し、安真直度など運動性能に影響を及ぼす軸周りの振れについては、フローティング機構を設けることで、誤差を最小限に抑え且つ駆動速度の向上を図っています。
ボールスクリュ

定し た ス テ ー ジ 駆 動 を 可 能 にしました。

パルスジェネレータ
サーボモータフローティング機構
ガイドブロックとで、測定スルーZ軸自動追従プットの向上を実現し ま す。ま た、
手動測定 に お いても、面倒なピント合わせが減るこ 同焦点測定物の表面とで、測定作業者の 負担 が 軽減 されます。

同焦点注）変位の連続測定は行えません。
レーザ光源
半導体レーザ ピーク波長690 nm
レーザ安全性Class2（JIS C6802:2014, EN/IEC60825-1:2014+A11:2021）に準拠
対物レンズ同軸方式（ナイフエッジ法）
オートフォーカス方式
適用対物レンズ QV-HR1x QV-SL1x QV-HR2.5x QV-SL2.5x QV-5x
トラッキングレンジ※

6.3 mm 6.3 mm

1 mm

1 mm 0.25 mm（±3.15 mm） （±3.15 mm） （±0.5 mm） （±0.5 mm） （±0.125 mm）※ トラッキングオートフォーカスをおこなう際は、ワークとの衝突を防止するため、必ず上下限ソフトウェアリミットの設定をおこなって下さい。トラッキン
グレンジは、ワークの表面性状や反射率によって異なります。

ナット

ガイド面

圧縮空気

吸引

圧縮空気

高精度高分解能スケール
エアパッド

真空吸引領域ます。また材質として、熱膨張係数がほぼゼロの結晶化ガラスを使用しているため、温度変化によるスケールの伸縮を最小限に抑え、より信頼性の高いデータを提供します。

温度補正機能エアサーバー

本体内部に搭載した温度計ユニットにより、各軸の温度を読み取り本体の伸縮量を計算して補正を行います。これにより、19供給するエアの温度が、測定機の構造に影響を及ぼすのを避けるため、エアサーバーにより常に一定の温度に保たれたエアを供給します。

〜 23 ℃という広範囲での精度保証が可能となります。
また測定物の温度も2 本のセンサでリアルタイムに測定を行い、20 ℃時の寸法に換算した結果を出力します。

1

各軸の基準となる測長系には、当社が独自に開発した、最小表示量0.01 µm の高分解能リニアエンコーダシステムを搭載してい2

PERFORMANCESOFTWARE

高性能画像オートフォーカス

QVPAK

クイックビジョンの画像オートフォーカスは、機械加工面やプラスチック成形品など鏡面から粗面まで、あらゆる条件で高精度、高速に高さ測定が可能です。

クイックビジョンの画像データからXYZ の位置情報を検出し座標値、寸法値を即時に演算処理します。

演算機能の一例

IC パッケージ

点測定 線測定 円測定 面測定

パターンフォーカス

マルチポイントオートフォーカス

ストの得られにくい表面でも、光路内に配置されたパターンを投射してオートフォーカできます。1回のフォーカス動作で複数点の高さ情報が得られ、高効率に高さ測定や平スが可能です。

面度測定が可能です。

電子半導体部品に広く用いられるガラス表面やフィルム表面、鏡面加工などのコントラ球測定 段付円筒 円筒測定 円錐測定 バッファ

角度

距離交点

交線

中点中線

マルチポイントオートフォーカスは複数のフォーカス位置やサイズ、角度を任意に設定

高機能照明ユニット
垂直落射照明・クイックビジョンでは透過・垂直落射・プログラム制御リング照明の全光源に LED 光源を採用しています。

・照明の一定性を高レベルで達成しており、複数の QV 間でのパートプログラム互換性に優れています。

・LED 光源は応答性に優れているため、測定スループットが向上します。

・ハロゲン光源と比べて長寿命なため光量変動が少なく、光量変化によるエラー発生をプログラム制御リング照明最小限に抑えます。

載物ガラス

垂直落射照明透過照明

プログラム制御リング照明 透過照明

プログラム制御リング照明（PRL）〜80°の範囲で2つの曲面ミラーの位置を変更する事により、リング照明の照射角度を30°任意に設定が可能で、傾斜面や微細段差のエッジ強調に効果をもたらします。

QV-HR2.5x 使用時

クイックビジョンのプログラム制御パワータレットは倍率再現性に優れており高精度測定に適しています。標準仕様は、1x 、2x 、6x の 3 段階の倍率変更が可能※です。0.5倍から25倍までの幅広い対物レンズとの組み合わせにより測定対象物に合わせて最適な光学系を選択できます。
対物レンズは本体導入後でも追加購入可能です。
※：特注仕様にて、1x、2x、4x、6x の 4 段階に変更することも可能です。

タレット1x 視野2.49×1.86 mm

輪郭照合機能3DCAD モデルを利用して QVPAK のパートプログラム生成が行えます。

・設計データの作成：CAD データ変換、マスタワーク変換、関数指定、テキストファイルの変換、非球面設計値作成
・設計値照合：法線方向照合、軸方向照合、ベストフィット照合・結果表示：結果一覧表示、誤差線図、誤差展開図、誤差座標値表示機能、解析結果表示

最新バージョンでは QV システムと同期させて実際のワークを見ながらティーチングするオンラインモードと、本体と接続されていないパソコンでもパートプログラムの生成が出来るオフラインモードの両方をサポートしました。

報告書作成機能・測定結果、誤差線図、誤差展開図

その他機能・解析手順の記録 / 実行・外部出力機能
CSV 形式出力、テキスト出力、DXF/IGES 形式出力
・フェアリング処理
・二次曲線あてはめ機能
・疑似粗さ解析機能

オフラインティーチングモード

タレット2x 視野1.24×0.93 mm

NEWプログラム制御パワータレットの 6x にデジタル変倍の12x が加わり、4段階の倍率変更がオンラインティーチングモード可能になります。
さらに、特注仕様のタレット1x、2x、4x、6x 仕様では、デジタル変倍は 8x と12x が加わり、計 6 段階の倍率変更が可能です。

タレット6x 視野0.41×0.31 mm

3

QV3DCAD QV3DCAD

形 状 評 価・解 析ソフト

・解析項目： 点測定、線測定、円測定、距離測定、交点測定、角度測定、原点設定、軸回転・演算項目： 最大値、最小値、平均値、標準偏差、面積向

バリエーションの高い照明設定が可能です。

デジタル変倍機能

FORMTRACEPAK-AP フォームトレースパック AP

微細形状解析

さらに PRL 照明は前後左右それぞれ独立して光量の設定が可能で、測定箇所に合わせたプログラム制御パワータレット

OPTION SOFTWARE

デジタル変倍12x 視野0.20×0.15 mm

4LINE-UP

PFF（Points From Focus）機能
PFF（Points From Focus）はクイックビジョンシリーズの画像コントラストを用いて非接触三次元形状測定が可能なアプリケーションです。

弊社検査方法によりZ 方向繰返し精度を保証していますので高精度な形状測定が行えます。

PFFの原理

QV光学系

スキャン

画像の連続取得

コントラスト

QV3D機能（オプション）による三次元形状データの合成

PFFの測定性能
PFF は弊社検査方法により Z 方向
繰返し精度を保証します。

モールド品のパーテーションライン

ICパッケージBGA仕様
名称

QV ULTRA

符号本体部

QV-U404P1L-E

寸法・質量測定範囲（X × Y × Z）[mm]
外観寸法（幅 × 奥行 × 高さ）（専用設置台を含む）[mm]
積載ガラス（幅 × 奥行）[mm]
本体質量（専用設置台を含む）[kg]
画像測定精度 [µm] ※1

精度保証温度最大測定物質量 [kg] ※3
撮像素子
照明装置

精度保証光学倍率
環境温度※2温度変化

透過照明
垂直落射照明プログラム制御リング照明

観察装置※4
トラッキングオートフォーカス装置
使用空気圧
空気使用条件
必要空気流量温度補正機能自動温度補正※1 L は任意の測定長さ（単位： mm）※2 環境温度によって保証精度が異なる。
※3 極端な偏荷重、集中荷重は除く。
※4 プログラム制御パワータレット1x 、2x 、4x 、6x モデルは特注にて対応可能。また1x 、2x 、4x 、6x に加え、デジタル変倍機能による8x 、12x で計 6 段階の倍率変更が可能です。
※5（ ）はデジタル変倍。
※6 空気源元圧は、0.5〜0.9 MPa が必要。

外観寸法

単位：mm
46.542.5

対物レンズ
QV-SL0.5x ※1 QV-HR1x
QV-SL1x QV-HR2.5x QV-SL2.5x QV-HR5x
QV-5x
QV-HR10x※1 QV-10x ※1 QV-25x ※1パーツ No.
02AKT199 02AKT250 02ALA150 02AKT300 02ALA170 02AWD010 02ALA420 02AKT650 02ALG010 02ALG020ーーーーー
PFF 対応対物レンズセット
02AKX895B
02AXA915B 02AKX900B 02AKX905B
02AKX910B
作動距離 [mm]
30.5
40.6
52.5
40.6
60.0
20.0
33.5
20.030.5
13.0
タレット1x12.54x9.4
6.27x4.7
2.49x1.86
1.24x0.930.62x0.47
0.25x0.18
タレット2x6.27x4.7
3.13x2.35
1.24x0.93
0.62x0.47
0.31x0.23
0.12x0.09
視野 (H) mm x (V) mm※2
タレット6x2.09x1.56
1.04x0.78
0.41x0.31
0.20x0.15
0.10x0.07
0.04x0.03
デジタル変倍12x 1.04x0.78
0.52x0.39
0.20x0.15
0.10x0.07
0.05x0.03
0.02x0.01と被写体のパターンやテクスチャの違いで生ずるオート注）レンズによっては、機能の使用制限があります。

を行うためのガラスチャートです。

詳しくは、弊社営業へお問合せください

フォーカスのバラツキを低減する｢オートフォーカス補正｣
注）レンズによっては、機能の使用制限があります。
詳しくは、弊社営業へお問合せください

88276
111
50 88 50 90

11.5 24-M6 深さ127.5 治具固定用308
50 104700

200 200 200
243 325 325 279
1172200
3312750

コラム

コラム

測定範囲

104

PPT の各倍率時のオートフォーカス精度と光軸オフセット補正に使用します。

1910

光学系が持つ画面内の歪を補正するための｢画面内補正｣

889

QV 補正用チャート

111
90 50

12450 1031200

撮像素子のピクセルサイズ補正や変倍装置

11.57.548※ 1 対物レンズ QV-SL0.5x、QV-HR10x 、QV-10x、QV-25x を使用する場合は測定物によっては照明の明るさ不足など一部制限が発生する場合があります。
※ 2 視野は代表値であり、保証値ではございません。

校正用チャート○0.4 MPa ※6300 L / min（ANR）

200
850
1736555124
103 50

QV 対物レンズ̶46.542.5

OPTION

スケール分解能 [µm]400×400×200
1172×1736×1910
493×5512150①（0.35 + 1.3 L / 1000）/ ②（0.35 + 1.8 L / 1000）①（0.5 + 2 L / 1000）/ ②（0.5 + 2.5 L / 1000）①（1.5 + 2 L / 1000）/ ②（1.5 + 3.5 L / 1000）
5倍対物レンズ（QV-HR5x または QV-5x）＋ 中倍チューブレンズ
0.01①20±2 ℃ / ②19〜24 ℃
0.5 ℃ / 1 H かつ 1 ℃ / 24 H
40
B&W CMOS デジタルカメラ
白色 LED
白色 LED
白色 LED
プログラム制御パワータレット 1x 、2x 、6x（、12x）系※5

EUX / EUY, MPE
EUXY, MPE
EUZ, MPE

画像

QV-U404T1L-E

156.5

PFFの測定例※PFF機能を使用される場合は、QV3DPAKおよびPFF対応対物レンズをお求めください（詳細はお問い合わせください）。

QV-U404P1L-E

400553649

ワーク：クラウンギア

QV-5+PT2

92.548

精度保証
光学倍率

QV ULTRA
2σ≦0.7 µm

33.560.5400495521

588（コラム間の寸法）

測定範囲

60.5

138-ø733.5 ガラスレベル調整用

コラム

ガラス面
治具取付面

5〜7

コラム

13200

Z方向繰返し精度

56座標測定機

画像測定機

形状測定機

光学機器

精密センサ

試験・計測機器

スケールユニット

測定工具、測定基準器、計測システム

仙台営業所
郡山営業所
宇都宮営業所
水戸営業所
伊勢崎営業所
さいたま営業所
新潟営業所
川崎営業所
東京営業所
厚木営業所

仙台市若林区卸町東1-7-30〒984-0002 電話 (022)231-6881 ファクス(022)231-6884
仙台市若林区卸町東1-7-30（※1） 〒984-0002 電話 (024)931-4331 ファクス(022)231-6884
宇都宮市平松本町796-1〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス(028)660-6248
水戸市元吉田町260-3〒310-0836 電話 (029)303-5371 ファクス(029)303-5372
伊勢崎市宮子町3463-13〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613
さいたま市北区宮原町3-429-1〒331-0812 電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434
新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610
川崎市高津区坂戸1-20-1（※1）
〒213-8533 電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610厚木市中町2-6-10 東武太朋ビル2F〒243-0018 電話 (046)259-6400 ファクス(046)259-6404
富士駐在所
電話 (0545)55-1677
諏訪営業所
諏訪市中洲582-2〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830
上田駐在所
電話 (0268)26-4531
浜松営業所
浜松市東区和田町587-1〒435-0016 電話 (053)464-1451 ファクス(053)464-1683
安城営業所
安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
中部オートモーティブ営業所 安城市住吉町5-19-5〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761
名古屋営業所
名古屋市昭和区鶴舞4-14-26〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921
金沢営業所
金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田〒920-0057 電話 (076)222-1160 ファクス(076)222-1161
大阪営業所
大阪市住之江区南港北1-4-34〒559-0034 電話 (06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817
神戸営業所
神戸市西区丸塚1-25-15〒651-2143 電話 (078)924-4560 ファクス (078)924-4562
京滋営業所
草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F〒525-0032 電話 (077)569-4171 ファクス(077)569-4172
岡山営業所
岡山市北区田中134-107〒700-0951 電話 (086)242-5625 ファクス(086)242-5653
広島営業所
東広島市八本松東2-15-20〒739-0142 電話 (082)427-1161 ファクス(082)427-1163
福岡営業所
福岡市博多区博多駅南4-16-37〒812-0016 電話 (092)411-2911 ファクス(092)473-1470
センシング営業課 川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)813-8236 ファクス(044)822-8140
地震機器課
川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044)455-5021 ファクス(044)822-8140（※1）営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。

お求めは当店で̶

弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合があります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。
あらかじめご了承ください。
●仕様、価格、デザイン(外観)ならびにサービス内容などは、予告なしに変更することがあります。
●本カタログに掲載されている仕様は 2023年 5 月現在のものです。

M3 Solution Center …商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。
宇都宮市下栗町 2200
〒321-0923 電話 (028) 656-1607 ファクス (028) 656-9624
UTSUNOMIYA
川崎市高津区坂戸 1-20-1〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610
TOKYO
諏訪市中洲 582-2〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830
SUWA
安城市住吉町 5-19-5〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761
ANJO
大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817
OSAKA
呉市広古新開 6-8-20〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163
HIROSHIMA
計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。詳細は弊社営業所にご連絡ください。
〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000
ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸 1-20-1
キャリブレーションセンタ…商品の検査・校正・保守・修理をお受けしています。
宇都宮市下栗町2200〒321-0923 電話 (028) 656-1432
宇都宮
川崎川崎市高津区坂戸1-20-1〒213-8533 電話 (044) 813-8214
広島呉市郷原町一ノ松光山10626番62 〒737-0161 電話 (0823) 70-3820

ファクス (028) 656-8443
ファクス (044) 813-8223
ファクス (0823) 70-3833

カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問合せ、ご相談をお受けしています。
電話 (0570) 073214
ファクス (044) 813-1691

最寄りの営業所をご確認いただけます。

https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/japan/#sale

川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533
https://www.mitutoyo.co.jp

2305(3)B-(CH)NE144