広島工業大学紀要研究編
第 ₄₆ 巻（₂₀₁₂）81 – 84

論文

圧電素子を内部に組込む円環状超音波振動体の検討

Ⅱ――縦圧電素子による面内／面外たわみ振動の励振――

里信

純*・青野真也**・影山裕起***・堀内裕貴****・和泉真澄*・関口泰久*****（平成₂₃年₁₀月₂₈日受付）

Study on Ultrasonic Vibration Rings with Piezoelectric Elements Embedded Inside II—— Excitation of in-plane/out-of-plane flexural vibration using the piezoelectricelements for longitudinal vibration ——Jun SATONOBU, Shinya AONO, Hiroki KAGEYAMA, Hirotaka HORIUCHI,
Masumi IZUMI and Yasuhisa SEKIGUCHI(Received Oct. 28, 2011)

Abstract
In previous works, the authors have proposed a new method to excite the ultrasonic vibration in a
metal ring. The system composed of four pairs of piezoelectric elements for torsional vibration embedded in four arcuate metal blocks has designed via finite element analysis to operate with the out-of-planevibration mode and its traveling wave. This paper presents the method to excite in-plane/out-of-plane
flexural vibration mode in an annular vibration system using the piezoelectric elements for longitudinal
vibration. The system for 7th vibration mode, composed of 3-mm thick piezoelectric ceramics embedded
in four 140-mm diameter aluminum blocks, was analyzed theoretically.
Key Words: ultrasonic vibration, longitudinal vibration, piezoelectric element, traveling wave, metalring

₁ ．緒

本論文ではさらに，厚み方向に分極され縦振動する圧電言素子を用い，円環に面内／面外たわみ振動を励振する構成

円環状超音波振動体は，様々な音響・振動エネルギー応用で利用されており，特に空間的に縮退した ₂ つのたわみの実現性について，有限要素法解析を用いた理論的検討を行った結果を報告する。

振動モードを制御して励振される進行波を用いる応用例が₂ ．振動系の構成多く報告されている（₁）－（₇）。
筆者らは先に，様々な次数の振動モードを同一の振動系

円環に励振される振動モードは，面外振動／面内振動，で励振でき，共振周波数設計が容易かつ大振幅動作が可能

または図 ₁ に示すような（a）面外たわみ振動（軸方向変位な円環状振動体を実現する構成を提案し，周方向にせん断と回転を伴う振動），（b）面内たわみ振動，（c）ねじり振力を発生するねじり圧電素子を用いて，円環軸方向に変位動，（d）縦振動などに大別される。今回，対象としているを持つ振動（面外たわみ振動，ねじり振動）を励振する振のは，（a）の面外たわみ振動と（b）の面内たわみ振動で，（₈）

動系を有限要素法解析により理論的に検討した 。

これらを厚み振動する圧電素子を用いて励振する。図 ₂ は* 広島工業大学工学部知能機械工学科** 広島工業大学大学院工学研究科機械システム工学専攻*** 広島工業大学工学部知能機械工学科（現 ㈱ダイクレ）**** 広島工業大学工学部知能機械工学科（現***** 広島大学大学院工学研究科

─ 81 ─㈱日本製鋼所）

里信

図₁純・青野真也・影山裕起・堀内裕貴・和泉真澄・関口泰久

（a）

（b）

（c）

（d）
図₃円環の振動モード例 （a）面外たわみ振動，（b）面内たわみ振動，（c）ねじり振動，（d）縦振動

縦圧電素子を用いるシステム構成

mm，径方向厚さ ₂₀ mm，高さ ₂₀ mm とし，₂₀×₆×₃ mmの圧電素子₁₆枚を，厚さ ₀.₂ mm の電極板とともに ₄ つの円弧状のアルミニウム金属ブロックに組み込み，M₆ のステンレス製キャップボルトで固定する構成とした。以後，
位置 θ = ₀，-π /₂，π ，π /₂ に組み込んだ圧電素子の組をそれぞれ ₁ ， ₂ ， ₃ ， ₄ の番号で表し，駆動する圧電素子番号を P の添え字として表現することにする。例えば，位置θ = ₀の圧電素子に電圧を印加する状態は P₁，位置 θ = ₀，πの圧電素子に並列に電圧を印加する状態は P₁₃ の様に表すことにする。今回は ₇ 次の面内／面外たわみ振動モードを対象とし，有限要素法（ANSYS）を用いて理論的検討を行った。

₃ ．解析結果
図₂

₃.₁

圧電素子を内部に組込むシステム構成

面内振動の解析

まず，面内振動の自由振動モード解析を行い，設計した
基本的なシステム構成で，圧電素子の分極は励振する振動

円環状振動体に対象とする振動モードが存在するか確認しの種類によって異なるが，分極方向を互い違いにした最低た。さらに求まった共振周波数を駆動周波数として，圧電₄ 枚の圧電素子を ₁ 組として，それら ₄ 組を円上互いに π /₂素子に電圧を印加する強制振動解析を行い，励振される定の角度で配置し，その間を円弧状の金属ブロックで結合す在波振動の分布を確認した。図 ₄ に自由振動モードの計算ることで，全体として円環状振動体として構成している。

結果を示す。共振周波数は ₃₅₂₉₉ Hz であった。図 ₅ に ₁

圧電素子を挟む互いに隣り合った金属ブロックはキャップ組の圧電素子に対して P₁ の状態で駆動したときに励振されボルトで結合する。実機では，圧電素子の接合面には電圧る定在波振動分布の計算結果を示す。このグラフは，円環を印加するための電極板が組み込まれる。

外周部の径方向の振動変位分布をプロットしたもので，振今回検討した振動系の基本構成を図 ₃ に示す。圧電素子

幅は最大値で規格化し，位相は最初の位置を基準にした相は厚み方向に分極された直方体のもの₁₆枚を，励振する面対位相でプロットしている。さらに図 ₆ は，図 ₅ の結果の外／面内振動に応じて組み込む方向を π /₂ 入れ替える。円環中心に対して対称の位置には，分極方向を逆転させた圧電素子を配置し，同相電圧で駆動することで，奇数次の振動モードの定在波を励振する。さらに π /₂ 位置のずれた ₂組の圧電素子を時間的位相差 ±π /₂ で駆動すれば進行波となる。提案する構成では，駆動周波数を変えれば，次数および共振周波数の異なる振動モードを選択的に励振することも可能と考えられる。
設計した円環状振動体は，全体の外径 ₁₄₀ mm，内径 ₁₀₀
─ 82 ─

図₄面内振動の自由振動モード計算例

圧電素子を内部に組込む円環状超音波振動体の検討

Ⅱ位相の正負を考慮した振幅分布を次数解析した結果であと位相の計算結果である。計算は，P₁₃，P₂₄ の状態でそれる。これらの結果から対象とする ₇ 次の振動モードが大きぞれ励振される定在波が同振幅となるような駆動周波数をく励振されていることが確認できる。

設定し，さらに励振される振動の位相差が +π /₂または -π /₂

図 ₇ は進行波を励振した時の円環外周部の振動変位分布になる様に ₂ つの駆動電圧位相差を調整した。理想的には，振幅は位置によらず一定，位相差は直線的に変化し，駆動電圧の位相を π 変化させると，位相変化の傾きの正負が逆転する。図 ₆ の計算結果が示すように，対象とする次数以外も若干結合しているため，進行波の変位分布にも若干の凹凸があり，位相差も完全な直線的変化ではない。しかし定在波の場合は，図 ₅ に示すように位相が ₀ か π の離散的な値をとり，変位分布が正弦波を整流したようになることを考えると，図 ₇ の計算結果は多くの進行波の励振を示唆するものといえる。

図₅定在波分布の計算結果

₃.₂

面外振動の解析

同様な解析を面外振動についても行った。図 ₈ に自由振動モードの計算結果を示す。共振周波数は ₃₂₇₅₄ Hz であっ

図₆定在波分布の次数解析結果
図₈

面外振動の自由振動モード計算例（a）
図₉定在波分布の計算結果（b）
図 ₇ 進行波励振時の変位分布計算結果（a）時計回り，（b）反時計回り

図₁₀
─ 83 ─

定在波分布の次数解析結果

里信純・青野真也・影山裕起・堀内裕貴・和泉真澄・関口泰久

様，円環状振動体に面外たわみ振動の定在波，進行波を励振できること，および圧電素子を配置する向きを直交する方向に変えることで，面内振動の励振にも対応できることを確認した。今後，さらに実験的検討を行い超音波モータなどへの応用を検討する。

文献（₁）T. Sashida and T. Kenjo, An Introduction to UltrasonicMotors, Clarendon Press（₁₉₉₃）.

（a）（₂）S. Ueha and Y. Tomikawa, Ultrasonic Motors: Theor yand Applications, Oxford Science Publications（₁₉₉₃）.
（₃）里信純ほか，円環の進行波を用いた超音波洗浄器の試作（₁），日本音響学会秋季研究発表会，₁-P-₁₇，pp.
.
₈₉₃ – ₈₉₄（₁₉₈₈）（₄）里信純ほか，ボルト締めランジュバン型振動子を駆動源とする高トルク進行波型超音波モータ，日本機械学会論文集（C 編），₆₇，₆₅₇，pp. ₁₂₃₅ – ₁₂₄₀（₂₀₀₁）.
（₅）J. Satonobu et. al., Traveling Wave Ultrasonic Motor
Using A Flexural Composite Transducer, Japan Journal（b）of Applied Physics, Par t ₁, Vol. ₄₂, No. ₅B, pp. ₃₀₀₇ –図₁₁ 進行波励振時の変位分布計算結果（a）時計回り，（b）反時計回り

₃₀₁₁（₂₀₀₃）.
（₆）T. Yamazaki et. al., Trial Construction of a Noncontact
Ultrasonic Motor with an Ultrasonically Levitated Rotor,

た。定在波分布，次数解析，進行波の励振についての結果

Japan Journal of Applied Physics, Part ₁, Vol. ₃₅, No. ₅B,を図 ₉ ，図₁₀，図₁₁にそれぞれ示す。変位分布は，円環外pp. ₃₂₈₆ – ₃₂₈₈（₁₉₉₆）.

周部の垂直方向変位である。面内振動の場合と同様に対象（₇）J. Satonobu and J. R. Friend, Traveling Wave Excitationとする振動モードとその進行波の励振が確認できる。

₄ ．結in a Flexural Vibration Ring by Using a Torsional-FlexuralComposite Transducer, IEEE Transactions on Ultrasonics,

言Ferroelectrics and Frequency Control, Vol. ₄₈, No. ₄, pp.
₁₀₅₄ – ₁₀₅₉（₂₀₀₁）.

厚み方向に分極された直方体の縦圧電素子を用いて面内／面外たわみ振動を励振する円環状超音波振動体の構成（₈）里信純ほか，圧電素子を内部に組込む円環状超音波振を提案し，有限要素法解析を用いて実現性の理論的検討を動体の検討，広島工業大学紀要行った。先に報告したねじり圧電素子を用いる構成と同₃₆（₂₀₁₀）.

─ 84 ─研究編，₄₅，pp. ₃₃ –