「高エネルギー密度化に関わる真空中の放電制御技術」専門委員会
第九回委員会議事録
開催日：平成 13 年 3 月 22 日 13：30−17：00
会

場：名古屋大学 ベンチャービジネスラボラトリ 3F＜委員長＞湯本

会議室＜委員＞加藤（大久保代理），金丸，小沼，小林，佐々木，滝川，田中，鶴田，中村，藤井，細川，松井，森宮，山本（敬），渡辺＜幹事＞山本(修)，斉藤＜幹事補佐＞山納，（敬称省略）＜配布資料＞
VD-9-76

第八回委員会議事録（案）VD-9-77

H13 放電技術委員会・調査専門委員会の活動経過・予定一覧

VD-9-78

Ｂグループ（遮断器・ｱｰｸ）に関連した調査ﾊﾟﾗﾒｰﾀ/ﾃﾞｰﾀの種類

VD-9-79

Ｅグループ（加速器・高ｴﾈﾙｷﾞｰﾋﾞｰﾑ）に関連した調査ﾊﾟﾗﾒｰﾀ/ﾃﾞｰﾀの種類

VD-9-80

文献調査票 ”Secondary Electron Emission of Crystalline MgO”, J.B. Johnson, K.G.McKay,

VD-9-81

文献調査票 “Cleavage in High Vacuums of Alkali Halide Single Crystals – SecondaryPhys. Rev. Vol.91, No.3, pp.582-587 (1953) （湯本）Electron Emission”, N.Rey Whetten, J. Appl. Phys., Vol.35, No.11, pp.3279-3282 (1964)（湯本）
VD-9-82

文 献 調 査 票 “Fast, Accurate Secondary-Electron Yield Measurement at Low Primary
Energies”, V.E.Henrich, Rev. Scientific Instrument, Vol.44, No.4, pp.456-462 (1973) （湯本）VD-9-83

文献調査票 “Energy Distribution of Secondary Electrons from MgO Single Crystals”, N.ReyWhetten, A.B.Laponsky, Phys. Rev., Vol.107, No.6, pp.1521-1524 (1957) （湯本）VD-9-84

文献調査票 “Secondary Electron Emission Yields of some Ceramics”, P.H.Dawson, Vol.37,
No. , pp.3644 – 3645 (1966) （湯本）VD-9-85

文献調査票 “Secondary Emission from Polymers”, E.A. Burke, IEEE Trans. Nuclear
Science, Vol.NS-27, No.6, pp.1760-1764 (1980) （湯本）VD-9-86

文献調査票 “Properties of thin antimultipactor TiN and Cr2O3 coatings for Klystronwindows”, A.R.Nyaiesh, E.L.Garwin, F.K.King, R.E.Kirby, J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.A4,No.5, pp.2356-2363 (1986) （湯本）VD-9-87

文 献 調 査 票 “Breakdown of Alumina RF Windows”, Y.Saito, N.Matsuda, S.Anami,A.Kinbara, G.Horikoshi, J.Tanaka, IEEE Trans. Elect. Insul., Vol.24, No.6, pp.1029-1032,(1989) （湯本）VD-9-88

文献調査票 “Dielectric Materials for Use as Output Window in High-Power”, S.Michizono,
Y.Saito, S.Yamaguchi, S.Anami, N.Matsuda, A.Kinbara, IEEE Trans. Elect. Insul., Vol.28,No.4, pp.692-699, (1993) （湯本）VD-9-89

文献調査票「アルミナ高周波窓の耐電力特性」，道園，齊藤，水野，電気学会放電研究会資料，ED-95-35，pp.89-98 (1995) （湯本）VD-9-90

文献調査票 「アルミナへの各種処理と二次電子放出係数及びカソードルミネッセン
スの関係」，佐藤，道園，齊藤，小林，電気学会放電研究会資料，ED-98-202，pp.19-30(1998) （湯本）VD-9-91

文献調査票 “Secondary electron emission due to primary and backscattered electrons”,
K.Kanaya, H.Kawakatsu, J.Appl.Phys., pp.1727-1742 (1972) （湯本）VD-9-92

文献調査票 “Secondary electron emission from insulators”, K.Kanaya, S.Ono, F.Ushigaki,J.Appl.Phys., Vol.11, pp.2425-2437 (1978) （湯本）＜議事＞
1. VD-9-76 について（湯本）議事録案が承認された．
2. VD-9-77 について（湯本）平成 13 年 10 月 25,26 日に「真空放電，液体放電，一般」の研究会が名古屋にて開催されることが報告された．申込み締切は７月 5 日ごろ，原稿締切は 9 月 25 日ごろの予定．日韓放電・高電圧合同ｼﾝﾎﾟｼﾞｳﾑ（宮崎）が 11 月 1,2 日に開催されることが報告された．
3. VD-9-78（松井）VD-9-79（渡辺）についてＢｸﾞﾙｰﾌﾟ（遮断器・ｱｰｸ），Ｅｸﾞﾙｰﾌﾟ（加速器・高ｴﾈﾙｷﾞｰﾋﾞｰﾑ）に関して調査すべきｷｰﾜｰﾄﾞ・ﾊﾟ
ﾗﾒｰﾀ・ﾃﾞｰﾀが挙げられた．報告書は，各ｸﾞﾙｰﾌﾟでｵｰﾊﾞﾗｯﾌﾟする調査項目を重点的に調査し，設計に役立つことを前提としたﾃﾞｰﾀ集とすることが必要である．次回委員会で調査項目の各ｸﾞﾙｰﾌﾟ間の摺り合わせと最終的な調査項目の絞り込みを行う．
＜文献調査＞(1) VD-9-80（湯本）
結晶酸化ﾏｸﾞﾈｼｳﾑの二次電子放出係数の測定装置と測定結果を紹介した論文である．電子ﾋﾞｰﾑは 1 秒当たり 60 回で 20µs のﾊﾟﾙｽ照射，ﾋｰﾀにより試料の温度を変えてﾃﾞｰﾀを測定している．試料温度を上昇させることにより二次電子放出係数の最大値が減少する理由は，二次電子が放出される過程で試料内の原子に散乱されることが原因と考えられる．帯電の影響に関する記述は無し．
(2) VD-9-81（湯本）ｱﾙｶﾘﾊﾗｲﾄﾞ結晶の二次電子放出係数の測定装置と測定結果を紹介した論文である．真空中においてｱﾙｶﾘﾊﾗｲﾄﾞ試料を劈開させることで，不純物の付着していない試料の二次電子を測定できる．
ｸﾞﾘｯﾄﾞに電圧を印加することで二次電子のｴﾈﾙｷﾞｰ分布を測定している．反射電子の総量は，二次電子の総量に対して 1〜3%の割合である．
(3) VD-9-82（湯本）
三角波を用いて試料電圧を掃引させることにより，二次電子放出係数を自動測定する実験装置を紹介した論文である．
(4) VD-9-83（湯本）
酸化ﾏｸﾞﾈｼｳﾑの二次電子放出係数と二次電子のｴﾈﾙｷﾞｰ分布の測定結果を紹介した論文である．
照射電流は nA，µsec ｵｰﾀﾞｰで照射したときのﾃﾞｰﾀである．測定装置は VD-9-81 と同様の装置を使用している．
(5) VD-9-84（湯本）セラミックの二次電子放出係数の測定結果について述べた論文である．測定装置は，VD-9-81と同様の装置を使用している．ﾊﾟﾙｽ照射の電子ﾋﾞｰﾑ照射である．
(6) VD-9-85（湯本）
幾つかの引用論文からポリマーの二次電子放出係数をまとめた論文である．ロシアの論文から幾つかを引用している．
(7) VD-9-86（湯本）TiN ｺｰﾃｨﾝｸﾞされたｱﾙﾐﾅと Cr ｺｰﾃｨﾝｸﾞされたｱﾙﾐﾅの二次電子放出係数の測定結果を紹介した論文である．測定装置は，VD-9-83 と同様の装置を使用している．TiN ｺｰﾃｨﾝｸﾞｱﾙﾐﾅが大気に曝されたとき，二次電子放出係数がどのようになるかを調べたﾃﾞｰﾀである．
(8) VD-9-87（湯本，齊藤）SEM を利用して 100pA，1ms のﾊﾟﾙｽ電子ﾋﾞｰﾑを照射して，TiN ｺｰﾃｨﾝｸﾞされたｱﾙﾐﾅの二次電子放出係数を調べた論文である．
(9) VD-9-88（湯本，齊藤）VD-9-87 の測定装置を用いて，各種ｱﾙﾐﾅ，ｻﾌｧｲｱ，窒化ｱﾙﾐの二次電子放出係数を調べた論文である．窒化ｱﾙﾐが共有結合で，ｱﾙﾐﾅやｻﾌｧｲｱはｲｵﾝ結合であることが絶縁耐力や誘電正接に影響を及ぼすと考えられるが，それらが二次電子放出係数に影響を及ぼしているかは不明である．
(10) VD-9-89（湯本，齊藤）VD-9-87 の測定装置を用いて，TiN ｺｰﾃｨﾝｸﾞの膜厚を変えたときのｱﾙﾐﾅの二次電子放出係数を測定した論文である．膜厚 0nm のところで接線を引いたときの X 切片が TiN 内部の電子の平均自由行程と見なせる．
(11) VD-9-90（湯本，齊藤）VD-9-87 の測定装置を用いて，各種ｱﾙﾐﾅの 1500℃ｱﾆｰﾙ前後の二次電子放出係数を測定した論文である．ｱﾙﾐﾅ純度とｱﾆｰﾙ前後の二次電子放出係数の変化から，ｱﾙﾐﾅにｱﾆｰﾙを施すことにより純度の低いｱﾙﾐﾅほど二次電子放出係数が大きくなることを明らかにしている．
VD-9-91，VD-9-92 は次回に持ち越し．
次回委員会 5 月 15 日（火），場所：日本交通協会（東京）