各種ガスの高精度質量流量計測に

TF-5000/6000 シリーズ

マスフローメータ
概要
TF-5000/6000シリーズは気体用熱式質量流量計で、各種ガスの質量流量を圧力・温度などプロセス条件に依存せず、計測することができます。
最小フルスケール 5mL/min(nor)、最大フルスケール 500L/min(nor)、最高使用圧力 32MPa までをカバーするラインアップで幅広いアプリケーションに対応します。

特長❑ ワイドレンジ
5mL/min(nor) から 500L/min(nor)、最高使用圧力 32MPa までカバーする広い製品レンジで装置組み込みからプロセス制御まで幅広く対応します。
❑ 高精度
各種ガスの質量流量を±1.0％ F.S. の高精度で計測します。
❑ 高信頼性
熱理論に基づき長年培った流量計技術により信頼性と耐久性を保❑ 周辺機器

形式コード

TM3000 コンバータを完備、手軽にシステムを構成することができます。

動作原理
マスフローメータに流入したガスは、流量センサ部とバイパス部に分流されます。流量センサ部は金属の毛細管と毛細管を加熱する 2 本の抵抗線が巻かれており、その 2 本の抵抗線は電気回路の抵抗とブリッジ回路を構成しています。ブリッジ回路はガスが流れていない時には

形式コード
3TF-

内0- A B C -一般用

圧 力 5クラス 6形状

容

高圧用
1微小流量用

2小流量用

3中流量用
大流量用

4流量レンジ＊フルスケール

A BC

平衡状態にあり、ガスが流れると上流側抵抗線で加熱された熱が下流

P

Rcネジ側に移動し、ブリッジ回路の平衡がくずれて出力信号が得られます。

N

NPT(F)

熱の移動量はガスの質量流量と比熱で決まり、普通比熱は圧力によらS

スウェジロック

RVCR

O

VCO

ず、温度が大きく変化しなければ一定とみなすことができ、ブリッジ

接 続 規 格回路の出力信号により圧力、温度の影響を受けずに質量流量を計測できます。このブリッジ回路からの出力は、増幅回路を経て DC0 〜 5V

Fの信号として出力されます。

JIS10Kフランジ
0 4 1/4″
0 6 3/8″

接 続 口 径

0 8 1/2″
1 2 3/4″

圧力クラス，形状により制限があります。■標準仕様を参照して下さい。

証します。

1 6 1″※①流量レンジをmL/min(nor)の乗数単位で示します。
例 0～5mL/min(nor) 050（5×100）
0～500mL/min(nor) 501（50×101）
0～1L/min(nor) 102（10×102）
0～300L/min(nor) 304（30×104）②流量レンジにより形状・形式が変わります。
・フルスケールが0～20L/min(nor)まで
TF-5310/6310形
・フルスケールが20L/min(nor)を超え80L/min(nor)までTF-5320/6320形
・フルスケールが80L/min(nor)を超え300L/min(nor)までTF-5330/6330形
・フルスケールが300L/min(nor)を超え500L/min(nor)までTF-5340/6340形（N2ガス換算流量）

TG-F2278-J01
２版 2024 01 K
初版 2022 07 K

TF-5000/6000 シリーズ

マスフローメータ

標準仕様

測形式定対象

最小

0～5mL/min(nor)0～20（超）L/min(nor)0～80（超）L/min(nor)0～300（超）L/min(nor)最大

0～20L/min(nor)0～80L/min(nor)0～300L/min(nor)0～500L/min(nor)

流量範囲＊1

TF-5310

TF-5330

また、特殊ガスについては別途ご相談下さい。｝

DC0～5V（流量レンジ0～100％に対してリニア）

度±1.0％F.S.（at RT基準） RT: 調整時の周囲温度25℃±5℃

応答性

能

90％応答3秒以内

ガス

圧

力–0.03～0.98MPa

周囲およびガス温度

温圧

度影力

影

電接ガス

材

5～50℃

響スパン影響±0.1％F.S./℃ Max.

ゼロ点影響

±0.05％F.S./℃ Max.

響±0.1％F.S./0.1MPa Max. ＊2

源

DC±15V,質

管路：SUS316＋25mA,–5mA

シール：フッ素ゴム（標準）またはCR

Rc1/4, 3/8, 1/2
NPT1/4, 3/8, 1/2

ネジ接続
接TF-5340

気体全般｛ただし、腐食性ガス（塩素、酸、硫黄）を含まない。

流 量 出 力 信 号
精TF-5320

Rc3/8, 1/2, 3/4または1
NPT3/8, 1/2, 3/4または1

続
ガス用継手

OD1/4,

フランジ接続

3/8,1/2スウェジロック ＊3

OD3/8,1/2,3/4スウェジロック ＊3

JIS10K 15A～25A＊1：N2ガス換算流量です。N2ガス以外は形式選定例を参照しN2換算を行って下さい。
。
＊2：N2ガスにおける圧力影響です。1MPaを超える場合は使用圧力、ガス種によって影響の大きさが変動します（TF-63□0）＊3：VCR、VCOも承ります。

2TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-F2278-J01

TF-5000/6000 シリーズ

測TF-6310

TF-6320

TF-6330

式定対

象

最小

0～5mL/min(nor)0～20（超）L/min(nor)0～80（超）L/min(nor) 0～300（超）L/min(nor)最大

0～20L/min(nor)0～80L/min(nor)0～300L/min(nor)

気体全般｛ただし、腐食性ガス（塩素、酸、硫黄）を含まない。
また、特殊ガスについては別途ご相談下さい。｝

流 量 出 力 信 号
精度±1.0％F.S.（at RT基準） RT: 調整時の周囲温度25℃±5℃

答性能90％応答3秒以内

ガス

圧力–0.03～32MPa ＊4

周囲およびガス温度度

影力影

電接接ガス

材

0～500L/min(nor)DC0～5V（流量レンジ0～100％に対してリニア）

応圧

TF-6340形

流量範囲＊1

温マスフローメータ

5～50℃

響

スパン影響

±0.1％F.S./℃Max.

ゼロ点影響±0.05％F.S./℃Max.

響±0.1％F.S./0.1MPa Max. ＊2

源

DC±15V,質

管路：SUS316＋25mA,–5mA

シール：フッ素ゴム（標準）またはCR

ネジ接続

Rc1/4, NPT1/4

Rc1/4, 3/8,1/2
NPT1/4, 3/8, 1/2

ガス用継手

OD1/4, 3/8
スウェジロック ＊3

OD1/4, 3/8, 1/2
スウェジロック ＊3

Rc3/8, 1/2
NPT3/8, 1/2

続フランジ接続なOD1/4, 3/8, 1/2, 3/4
スウェジロック ＊3

OD3/8, 1/2, 3/4
スウェジロック ＊3

し＊4：使用圧力9.8MPaまでは、実圧力による流量校正を実施致します。9.8MPaを超える仕様については使用圧力に基づく耐圧試験と圧力換算による流量校正を実施致します。
ガスの状態によっては最大使用圧力が制限されます。別途ガス物性値をご確認の上、ご使用願います。（参考：CO2ガスは最大3MPaまで）

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TOKYO KEISO CO., LTD.

3

TF-5000/6000 シリーズ

マスフローメータ

外形寸法図

4TF-5310Rc 接続

SWL 接続JIS 10K FLANGE

TF-5320Rc 接続

SWL 接続VCR 接続TOKYO KEISO CO., LTD.

VCR 接続JIS 10K FLANGE

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TF-5000/6000 シリーズ

TF-5330/TF-5340
Rc 接続

SWL 接続VCR 接続

JIS 10K FLANGE

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マスフローメータ

TOKYO KEISO CO., LTD.

5マスフローメータ

TF-6310
SWL接続

TF-6310Rc接続

MASS FLOW METERMASS FLOW METER
TYPE

GAS
FLOW RATEPRESSURE
MFG.NO.

GASFLOW RATEPRESSURE
MFG.NO.

124(146)

TYPE

TOKYO KEISO CO.,LTD.
JAPANTOKYO KEISO CO.,LTD.
JAPAN

162-SWL

FLOW

162-Rc1/4

FLOW

124(146)

TF-5000/6000 シリーズ

4-M4深55426□3226□324-M4深5

1554

90

1590128

L

L
144
147

接続口径
1/4SWL
3/8SWLTF-6320
SWL接続

TF-6320Rc接続

MASS FLOW METERMASS FLOW METER

TYPE

TYPE

FLOW

2-SWL302-Rc

TOKYO KEISO CO.,LTD.
JAPANFLOW

30152(174)TOKYO KEISO CO.,LTD.
JAPAN152(174)GASFLOW RATEPRESSURE
MFG.NO.

GASFLOW RATEPRESSURE
MFG.NO.

2-M4深640□6040□60

2-M4深67070
130

接続口径
Rc1/4
Rc3/8
Rc1/2

6

TOKYO KEISO CO., LTD.

3030130L

接続口径
1/4SWL
3/8SWL
1/2SWL

L
181
184
188

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TF-5000/6000 シリーズ

マスフローメータ

TF-6330
SWL接続

TF-6330
Rc接続
MASS FLOW METERMASS FLOW METER

TYPE

TYPE

GAS
FLOW RATEPRESSURE
MFG.NO.

GASFLOW RATEPRESSURE
MFG.NO.

(194)

TOKYO KEISO CO.,LTD.
JAPAN(194)TOKYO KEISO CO.,LTD.
JAPAN

FLOW

2-Rc

FLOW

40402-SWL

1006048100196□80

2-M5深860□80

2-M5深848196
L

接続口径
Rc3/8
Rc1/2

接続口径
1/4SWL
3/8SWL
1/2SWL
3/4SWL

L
247
250
255
266

TF-6340
SWL接続

TF-6340Rc接続
MASS FLOW METERMASS FLOW METER

TYPE

TYPE

GAS
FLOW RATEPRESSURE
MFG.NO.

GASFLOW RATEPRESSURE
MFG.NO.

(194)

2-SWL

402-RcTOKYO KEISO CO.,LTD.
JAPAN

FLOW

140
236

接続口径
Rc3/8
Rc1/2

TG-F2278-J01

4860□802-M5深860□80

2-M5深840(194)TOKYO KEISO CO.,LTD.
JAPANFLOW

140236L

接続口径
3/8SWL
1/2SWL
3/4SWL

48L290295306

TOKYO KEISO CO., LTD.

7

TF-5000/6000 シリーズ

マスフローメータ

形式の選定例
流量レンジは N2 ガスを基準として流量を表しています。
N2 ガス以外のガスをはかる場合は、下表に示すコンバージョンファクタ（以下「CF」と記載）を用いて、N2 ガスの流量に換算してご希望の形式に入っているか確認して下さい。
単成分ガス（ガスが一種類だけ）の計算式
お客様の仕様ガス流量

形式選定流量=（N 2ガス換算）

CF

混合ガス（ガスが二種類以上）の計算式
混合ガスの場合は混合ガスの CF を求めてから、単成分ガスと同様に N2 換算を行います。
混合ガスのCF =1X1
X2
X6++…+
CF1
CF2CF6

X1 ：成分1の構成比率（VOL%/100）
X2 ：成分2の構成比率（VOL%/100）⋮X6 ：成分6の構成比率（VOL%/100）
CF1 ：成分1のCF
CF2 ：成分2のCF⋮
CF6 ：成分6のCF
形式選定流量=（N 2ガス換算）

お客様の混合ガスの流量
混合ガスのCF

代表的なガスの CF
流体名
窒素
空気
アルゴン
一酸化炭素
二酸化炭素※bヘリウム
水素
ネオン
アンモニア
一酸化窒素

分子式
N2
AIRAr
COCO 2
HeH2NeNH 3NO

CF
1.000
1.001
1.2※a0.998
0.745
1.404
1.007
1.403
0.769
0.976

流体名
二酸化窒素
亜酸化窒素
酸素
メタン
エチレン
エタン
プロピレン
プロパンnブタン

分子式
NO 2
N 2OO2CH 4
C2 H4
C2 H 6C3 H 6C3 H 8n-C4 H10

CF0.740
0.714
0.984
0.782
0.623
0.505
0.407
0.351
0.266

※a：ArはN 2 換算は1.2ですが、CFによるガスの補正時はCF=1.4となります。
※b：二酸化炭素は最高で、3MPa 30℃以上でのご使用が限界です（TF-6300シリーズ）。
例）流体名

ヘリウム、流量N 2ガス換算流量=25L/min（nor）、圧力0.1MPa、温度20℃、継手1/4"SWLのとき25L/min（nor）
1.404（CF）=

17.8

17.8L/min（nor）となり、TF-5310-253-S04となります。

8TOKYO KEISO CO., LTD.

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TF-5000/6000 シリーズ

マスフローメータ

ご使用上の注意●マスフローメータの流量信号は 0 〜 100% です。ゼロ点の最小桁のふらつきが気になるようでしたら、変換器側でローカットを設定して下さい。専用コンバータ TM3000 は標準 2% 以下カットオフとなっております。
●マスフローメータは流れ方向と逆側から流体が流れると、マイナスの信号が出力されます。
逆流が発生する場合、逆止弁を流量計の下流側に設置することをお勧めします。
●マスフローメータの流量出力特性はフルスケール流量時に 5.000［V］で調整されていますが、オーバースケールをした場合の流量出力は、最初はリニアに立ち上がりますが徐々に低下していきます。
そのため、流量定格内でのご使用をお願いいたします。
●ゼロ点の調整は完全にガスを止めてから行なって下さい。詳細は取扱説明書を参照願います。
●センサ細管は SUS316TP ですので、SUS316 を腐食させるガスは流さないで下さい。

設置上の注意●センサ細管内径は φ0.3 のため、埃、塵などが混入すると非常に詰まり易くなっています。流量計取付前に配管内のフラッシングを行いゴミ、水分等を完全に除去して下さい。
●液化され易いガス（アンモニア、DME など）は流量計の上流側にフィルターの設置をお勧めします。
●電気ノイズを避けるために配線はシールド線を使用し、他の電力、動力線との併設は避けて下さい。
●本体に流れ方向を示す矢印があります。測定気体が矢印方向に流れるように配管して下さい。
● TF-6300 シリーズ（高圧用）は、確実に水平になるように設置して下さい。
● TF-6300 シリーズは高圧で使用しますので、配管や流量計本体が冷やされることがあります。
このような場合は配管や流量計本体を保温材やテープヒータ等で施工し、ガスの液化を防止して下さい。
● TF-5300 シリーズ、TF-6300 シリーズともに流量計の上流側、下流側に直管部を必要としません。

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TF-5000/6000 シリーズ

マスフローメータ

アプリケーション例● DC0 〜 5V 信号で直接コントロール●流量表示、積算などを行う場合などを行う場合
SC-TF
専用ケーブルDC0～5V
流量信号

SC-FM3
専用ケーブルコントロール
ループへ

TM3000 CONVERTORMASS FLOW METERTYPEGASFLOW RATEPRESSURE
MFG.NO.
TOKYO KEISO CO.,LTD.
JAPANMASS FLOW METER

市販
電源TYPEGASFLOW RATE

スケール
パルス出力

PRESSURE
MFG.NO.
TOKYO KEISO CO.,LTD.
JAPANマスフローメータ

TM3000シリーズ
コンバータ
AC100V ユニット

マスフローメータ

AC100V

アナログ出力（DC0～5VまたはDC4～20mA）

上・下限警報周辺機器● TM3000 コンバータ＊詳細は TM3000 カタログ
参照下さい
●専用ケーブル
ケーブル名称

接続対象
DC 0～5V出力
市販電源

SC-TF

TF検出器～

SC-FM3

TF検出器～TM3000コンバータ

10

標準長

最大長2m

100m

2m

100m

TG-F2278-J01