Y-001-c

光学式非接触 小径内径測定器 IDM
MEASURING MACHINE FOR SMALL INTERNAL DIAMETER

IDM-30EX/100EX
誰でもすぐに高精度、高速測定

Highly accurate, high speed measurements for anyone, any time

ＥＸシステムで位置合わせが簡単。
リングゲ−ジ、ハサミゲ−ジの校正に最適です。
Easy alignment is possible with the EX system. Optimal for the calibration snap gauges and ring gauges.
外観図 IDM-30EX
Outward view (IDM-30EX)

IDM-100EX

構造の概略図

①XYテーブル

④対物レンズ⑦高さ（Z）位置決めハンドル⑩メインコンピュータ②Y微動マイクロ⑤サーチライト⑧高さ表示器⑪内蔵ディジタルスケール

XY Table

Y Fine adjustment③X微動マイクロ
X Fine adjustment

Objective lensSearch light⑥カメラCamera

Height (Z) positioning handle
Height indicator⑨タッチパネルモニタ

Block diagram of structure

Main computer

Built-in digital scale

Touch panel monitor

測定例［Examples of measurement］
IDMは内径を、高さ、厚さの任意の位置で測定出来ますIDM can measure internal diameter with any
position of height and thickness.
高さ設定範囲0〜24mm
The range of height setting range 0〜24mm

リングゲージの測定だけでなく穴のピッチ・直角度・テーパが測定できます。
角穴やスリットにも適用し，外径や外幅についても同様に測定が可能ですので内外径の同軸度など多様に対応します。
It can be used to measure not only ring gauges but also the pitch, squareness, taper, and others.
It is also applicable to square holes and slits, and can be used to measure external diameter and width, making it ideal for measuring the coaxial degree ofan inner/outer diameter and a variety of other measurements.

6Y-002-d

測定原理 ［Measurement principle］
IDMは被測定物壁面に反射させた光の測定子を使います。光の測定子はクロス像としてカメラから観察でき，被測定物の動きに追従します。
さらにその移動を検出するスケールによって，壁面間の距離（寸法）が分かる仕組みです。

計測機器

IDM uses the measuring head of the light reflected onto the wall surface of a workpieces
The measuring head of the light can be observed from a camera as a cross image, and follows the movement of the work pieces.
Furthermore, the system finds the distance (measurement) of the wall surface gap by the scale with which the movement is detected.
リングゲージ寸法測定例
Examples of ring gauge measurement

スケールゼロ位置
Scale zero position

スケール値
Scale value
光の測定子
Measuring head of the light
左壁のクロス像
Cross image ofleft side wall surface

被測定物移動Moving the workpieces

移動完了Movement Complete

内径寸法値[mm]Internal diameter value

右壁のクロス像
Cross image oflight side wall surface

高い繰り返し精度 ［High repeatabilty］
カメラに映るクロス像位置合わせは，手動で行う必要があり，僅かな位置決めのズレがそのまま測定誤差につながります。
そこで独自の画像認識処理を用いて，位置合わせ誤差をキャンセルできる仕組みを備えました（EXシステム）。
このEXシステムにより，σ=0.1μmという高い繰返し精度が 誰でも簡単 に 素早く 行えます。
The cross image alignment shown on the camera must be done manually, and a slight misalignment will result in a measurement error.
That is where we used our original image recognition processing, and prepared a system to cancel the alignment errors（EX system）.
Using this EX system, anyone can "easily" and "quickly" achieve the high repeatability of σ=0.1μm.
位置合せ誤差あり：操作ミス方向
Alignment error: Operation error direction

差は6.85µm
Dimensional error 6.85μm

EXシステム適用例
Application of EX system

EX ON

位置合せ誤差キャンセル
To cancel a alignment error

差は0.02µm
Dimensional error 0.02μm

こんなにズレていてもEXシステムを使うと．
．
．
Even if you are mistaken,
when you use EX · · ·.

EX ON

注1)上記例はオプション0.01µm仕様
The above example is optional 0.01 μm specification.

7

Y-003-e

グレ−ドアップした本体機能 ［Upgraded instrument function］●温度補正（ISO1準拠）
IDM温度、被測定物温度、線熱膨張係数を用いて、温度補正後（20度）の測定値に自動換算。熱膨張係数は複数登録可能。

●測定高さ
0.01mmディジタル分解能の高さ表示。
高さ値の自動保存，プリセット機能を装備。

Thermal Correction（ISO1 Compliant）
Automatically converts to the measured value after thermal correction(20degrees), using the IDM temperature，temperature of the work pieces, andlinear thermal expansion coefficient. Multiple thermal expansion coefficients
may be registered.

Measurement Height
Displays the height of the 0.01mm digital resolution.
Equipped with automatic height value saving and preset function.

●演算
平均値及び繰返し（σ）
値を自動演算表示（測定完了毎）。測定ミスなどにおけるメモリバックスペース機能（Undo）も装備。
Calculation
The average value and repeat(σ) value are automatically calculated anddisplayed(each time measurement is completed). Equipped with memory
back space function (Undo) for measurement mistakes.

●テーブル保存とCSV出力
測定値、測定時刻や測定物温度などをメインコンピュータのテーブルに自動保存（測定完了毎）。
付属キーボードでテーブル備考欄にコメント入力可能。CSVファイルでUSBメモリに出力可能。
Table Saving and CSV Output
Value, time and object of temperature will be automatically saved to a tablein the main computer(each time measurement is compelted).
Comments can be input in the remarks column of the table using theattached keyboard.Can be output to USB memory using the CSV file.

●タッチパネル（拡大鏡機能付き）
測定画面を見ながら素早い直観的な操作が可能。手袋をした状態でも操作可能な抵抗膜方式。
拡大鏡機能によるマニュアル操作のサポート。
Touch Panel (With Magnifying Glass Function)
Quick and intuitive operation is made possible while looking at themeasurement screen.
A resistive system, possible to operate while wearing gloves.
Manual operation is supported by the magnifying glass function.

●比較測定
マスターを登録して、測定値をユーザー側で補正することが可能。
Comparison Measurement
Measurement value can be corrected on the user side by registering amaster.

●サーチライト
IDMの測定ポイントを赤いスポット光で照射。小さな穴や複数の穴が並んでいる場合などの測定がスム−ズに。光量が従来比の4倍でより見やすく。
Search Light
A red spot light illuminates the measurement point of IDM.
Measurements of small holes and multiple holes are smooth, so the amountof light is bright 4times than usual type making it easier to see.

標準付属品 ［Standard accessories］

ワークセットプレート
Work set plate

載物補助台

マスタリングゲ−ジ
Master ring gauge

小さいワ−クの測定に使用します。
Auxiliary
Support table can be used to small workpieces measurement.

オプション ［Options］

挟みゲ−ジ載物台

専用架台

温度センサユニット

チルティングテ−ブル

測定ポイントが真直な被測定物向けに効果があります。IDM30/100用があります。

アルミベースの専用架台です。
IDM30/100用があります。

温度補正機能がさらに便利に。IDMと被測定物の温度をIDMコンピュータに取り込めます。

載物台を測定方向に傾斜できる機構を取り付けたものです。傾斜範囲は±2°であり、傾いた被測定物の測定に威力を発揮します。

Snap gauge table
This ensures measurement of workpieces inwhich the measuring point is straight.
This table is dedicated for IDM30/100.

8System table
This is an aluminum system table dedicatedfor IDM30/100.

Temperature sensor unit
The temperature compensation function has
been added with another function.
The temperatures of IDM and the workpieces
can be captured and put into the computer.

Tilting table
The Tilting table can be sloped ±2° in themeasuring direction. It is effective to measure
the work inclined within ±2°.

Y-004-c

IDM-30EX/100EX仕様 ［Specifications］
型

IDM-30EX

式 Model構成

主Main

要Instrument, System controller, Touch panel monitor, Light source

最小表示値mm

総合精度μm±（0.4+L/150） L:測定長 mm

繰返し精度μm

0.1 （操作誤差±2μmの時、標準偏差σ）

Minimum reading
Overrall accuracy
Repeatability

0.0001（0.1μm） オプション 0.01μm可0.0001(0.1μm) option 0.01μｍ
L=measuring length mmStandard deviation σ at an operation error of ±2μm

システムの消費電力

System power consumption

MAX 3A 100V〜240V 50/60Hz

測定範囲

mm

0.1〜30被測定物の大きさmm

φ70×50（H）

測定しうる最小限度mm

内径 0.1

測定しうる最大限度mm

Measuring range

Work pieces size

Measurable min. limits

Measurable max. limits

内径と厚さの関係

内径 300.1〜100
φ170×50（H）

Bore dia.0.1

Bore dia.30

Thickness 49

測定高さ設定範囲mm

キャリッジ粗動範囲mm

キャリッジ微動範囲mm

載物台の大きさmm

載物台最大積載量kg

Area of fine carriage shift
Table size

Maximum carrying weight of table

載物台回転範囲
Table swivel angle

外形寸法mm

重量kg

Dimensions
Weight

光源

Light source

演算

目盛範囲 0〜24（最小目盛 0.01）、デジマチックインジケータ使用（電池2万時間、連続使用）
Range 0〜24(minimum unit length 0.01), digimatic indicator

31105±5φ70φ170210約100°注6）

約±3°

420
（幅）
×390
（奥行）
×600
（高さ）注5）

810
（幅）
×450
（奥行）
×745
（高さ）注5）100（See note 6.）420Width x 390Depth x 600Heigth (See note 5.)

810Width x 450Depth x 745Heigth (See note 5.)48（see note 5.）

140(see note 5.)

約48 注5）

温度補正演算Temperature correction calculation

Softwarefunction

LED light source(100W)illumination unit, Optical fiber light guide, Search light(Red LED)

平均、繰返し（σ）

Average, repeat (σ)

IDM温度、被測定物温度、被測定物膨張係数により測定結果を補正。
（温度はオプションの温度センサユニットからも取込み可）
The measurement result is corrected according to the IDM temperature, the workpiece temperature,and the expansion coefficient of the workpiece. (The temperatures can also be captured from an optional temperature sensor unit.)

高さプリセット機能

設定値からの相対高さ表示

The height relative to the set value is displayed.

Height preset function

多言語

日本語、英語選択可能

Japanese and English can be switched.

Multilingualization

測定データメモリ、
CSV出力

Measurement data memory, CSV output

操作

約140 注5）

LED光源（１００W）照明装置と光ファイバーライトガイド（寿命3万時間）、サーチLEDランプ（赤色LED）

Calculation

ソフトウェア機能

Thickness 49

Rz 5μm以下 注4）(See note 4.)

Measuring surface roughness

Area of carriage shift

厚さは内径の10倍まで 注3）

厚さ 49 注2）(See note 2.)

Bore dia.100

Half angle 2.5°
(Taper 1/10)

測定面の表面粗さ

Instrument

Slit width 0.1

内径 100

半角2.5°
以下（1/10テーパ）

Measuring surface slope

Measuring height range

Thickness 0.5

Thickness is 10 times max of bore dia(See note 3.)

測定面の傾き体

スリット 0.1

厚さ 0.5 注1）(See note 1.)

厚さ 49 注2）(See note 2.)

Bore dia v.s.thickness

本

計測機器

Components

IDM-100EX

本体、メインコントローラ、タッチパネルモニタ、光源装置

測定時間、測定値などを内部テーブルに保存、CSV出力可能

Measurement times, measured values, etc. can be stored in the internal table and outputted as CSV format.

Operation

演算動作時間タッチパネルモニタ（10.4型）注7）、キーボード、マウス
Touch panel monitor (10.4-inch Note 1）; keyboard; mouse

0.5秒以内Operation time

ワークセットプレート、載物補助台、キーボード、マウス
標準付属品 マスターリングゲージ、

0.5 seconds or lessStandard accessories Master ring gauge; work set plate; auxiliary stage; keyboard; mouseオプション
Option適合規格

Compatible
standards

温度センサユニット、架台、チルティングテーブル、はさみゲージ用テーブル、大型タッチパネルモニタ、フットスイッチ、ハンドスイッチ、プリンタ、USBハブ、
クレンメル
Temperature sensor unit, table, tilting table, snap gauge table, large touch panel monitor, foot switch, hand switch or printer, USB hab,clamps

CE規格（海外向けモデルのみ）:
EMI: EN61326-1:2013（Class A）, EN55011:2009+A1:2010（Group1,ClassA）
EMS: EN61326-1:2013（Basic requirements）
LVD: EN61010-1:2010

注1）面取り部分を除く直線部分。
注2）厚さ24mmまでは任意の位置の測定が可能で、厚さ49mmでは中央部の測定が可能です。
注3）仕様を超えると厚さ方向で測定可能な範囲が狭くなります。
注4）粗さ曲線のピッチ、反射率が影響します。
注5）LED照明装置［78（幅）×200（奥行）×144（高さ）、約1.8kg］を含みません。
注6）多点温度センサユニットを用いた場合は回転角度±3度となります。
注7）タッチサウンドはありません

CE standards (applicable only to models for overseas)
EMI: EN61326-1:2013 (Class A), EN55011:2009+A1:2010 (Group 1, Class A)
EMS: EN61326-1:2013 (Basic requirements)
LVD: EN61010-1:2010

Note 1) The straight area excluding chamfers.
Note 2) Capable of measuring at a desired height up to 24mm of bore length and only at The middle
section at a bore length of 49mm.
Note 3) When this specification is exceeded, the measurable range in the thickness direction is reduced.
Note 4) It depends on the pitch and reflectance of the roughness curve.
Note 5) The LED illumination unit [78 (W) x 200 (D) x 144 (H), approx. 1.8 kg] is not included.
Note 6) When the multipoint temperature sensor unit is used, the rotation angle is ±3 degrees.
Note 7) There is no touch sound.

9Y-005-d

IDM-30/100
低コスト、位置合せマニュアルタイプ
A low cost, manual type alignment

IDM-30/100仕様 ［Specifications］
型

IDM-30式 Model構成Components

主Main

要

Instrument, System controller, Counter, Touch panel monitor, Light source

最小表示値

mm

総合精度μm±（0.4+L/150） L:測定長 mm

繰返し精度μm

0.2 （操作誤差±2μmの時、標準偏差σ）

Minimum reading
Overrall accuracy
Repeatability

0.0001（0.1μm）

0.0001(0.1μm) option 0.01μｍ
L=measuring length mmStandard deviation σ at an operation error of ±2μm

システムの消費電力

System power consumption

mm0.1〜300.1〜100

被測定物の大きさmm

φ70×50（H）

φ170×50（H）

測定しうる最小限度mm

測定しうる最大限度mm

Work pieces size

Measurable min. limits

Measurable max. limits

体Instrument

MAX 3A 100V〜240V 50/60Hz

測定範囲

Measuring range

本IDM-100

本体、メインコントローラ、カウンタ、タッチパネルモニタ、光源装置

内径 0.1

内径 30

Thickness 49

測定面の傾き内径 100厚さは内径の10倍まで 注3）

厚さ 49 注2）(See note 2.)

Bore dia.100

Thickness 49

Half angle 2.5°
(Taper 1/10)

測定面の表面粗さ

Measuring surface roughness

操作

Slit width 0.1

半角2.5°以下（1/10テーパ）

Measuring surface slope

Measuring height range

Thickness 0.5

Thickness is 10 times max of bore dia(See note 3.)

Bore dia v.s.thickness

測定高さ設定範囲

スリット 0.1

厚さ 0.5 注1）(See note 1.)

厚さ 49 注2）(See note 2.)

Bore dia.30

内径と厚さの関係

Bore dia.0.1

mm

Rz 5μm以下 注4）(See note 4.)
目盛範囲 0〜24（最小目盛 0.01）、
デジマチックインジケータ使用（電池2万時間、連続使用）
Range 0〜24(minimum unit length 0.01), digimatic indicator

キャリッジ粗動範囲、キャリッジ微動範囲、載物台の大きさ、載物台最大積載量、載物台回転範囲、外形寸法 注6）、重量、光源はＥＸと同様

Area of Carriage shift, Area of fine carriage shift, Table,size, Maximum carrying weight of table, Table swivel angle, Dimensions (See note 6), Weight, Light source are the same as EX.

Operation

ワークセットプレート、載物補助台
標準付属品 マスターリングゲージ、カウンタ、タッチパネルモニタ（10.4型）注5）

Counter, Touch panel monitor (10.4-inch Note 5）

Standard accessories Master ring gauge; work set plate; auxiliary stage

オプション
Option

架台、チルティングテーブル、はさみゲージ用テーブル、大型タッチパネルモニタ、プリンタ、
クレンメル
Table, tilting table, snap gauge table, large touch panel monitor, printer, clamps

注1）面取り部分を除く直線部分。
注2）厚さ24mmまでは任意の位置の測定が可能で、厚さ49mmでは中央部の測定が可能です。
注3）仕様を超えると厚さ方向で測定可能な範囲が狭くなります。
注4）粗さ曲線のピッチ、反射率が影響します。
注5）タッチサウンドはありません。
注6）高さが異なります。 IDM-30：525 IDM-100：670

10Note 1) The straight area excluding chamfers.
Note 2) Capable of measuring at a desired height up to 24mm of bore length and only at The middle
section at a bore length of 49mm.
Note 3) When this specification is exceeded, the measurable range in the thickness direction is reduced.
Note 4) It depends on the pitch and reflectance of the roughness curve.
Note 5) There is no touch sound.
Note 6) The hight is different. IDM-30：525 IDM-100：670

Y-006-c

IDM-30HR EX/100HR EX
分解能を更に極めた高精度測定器

計測機器

A high accuracy measuring instrument with further improved resolution.

繰返し精度0.05μm、厚み0.1 mmまで測定可能。ワッシャ−などの薄いワーク測定に最適。
It can measure up to a repeatability accuracy of 0.05µm, and thickness of 0.1mm.
Perfect for measurement of thin objects such as washers.

IDM-30HR EX/100HR EX仕様 ［Specifications］型

IDM-30HR EX式 Model

構成

Components

Main

要

Instrument, System controller, Touch panel monitor, Light source

最小表示値mm

総合精度μm±（0.4+L/150） L:測定長 mm

繰返し精度μm

0.05 （操作誤差±1μmの時、標準偏差σ）

Minimum reading

主Overrall accuracy
Repeatability

0.00001（0.01μm）
L=measuring length mmStandard deviation σ at an operation error of ±1μm

システムの消費電力

System power consumption

MAX 3A 100V〜240V 50/60Hz

測定範囲

mm

0.1〜30被測定物の大きさmm

φ70×36（H）

測定しうる最小限度mm

内径 0.1

測定しうる最大限度mm

Measuring range

Work pieces size

Measurable min. limits

Measurable max. limits

内径と厚さの関係

内径 30

0.1〜100

Bore dia.0.1

Bore dia.30

Thickness 34

測定高さ設定範囲mm

キャリッジ粗動範囲mm

キャリッジ微動範囲mm

載物台の大きさmm

載物台最大積載量kg

Area of fine carriage shift
Table size

Maximum carrying weight of table

載物台回転範囲
Table swivel angle

外形寸法mm

重量kg

Dimensions
Weight光源

Light source

Thickness 34

Rz 3.2μm以下 注4）(See note 4.)

Measuring surface roughness

Area of carriage shift

厚さは内径の3倍まで 注3）

厚さ 34 注2）(See note 2.)

Bore dia.100

Half angle 10.5°(Taper 1/3)

測定面の表面粗さ

Instrument

Slit width 0.1

内径 100

半角10.5°以下（1/3テーパ）

Measuring surface slope

Measuring height range

Thickness 0.1

Thickness is 3 times max of bore dia(See note 3.)

測定面の傾き体φ170×36（H）
スリット 0.1

厚さ 0.1 注1）(See note 1.)

厚さ 34 注2）(See note 2.)

Bore dia v.s.thickness

本IDM-100HR EX

本体、メインコントローラ、タッチパネルモニタ、光源装置

目盛範囲 0〜17（最小目盛 0.01）、デジマチックインジケータ使用（電池2万時間）
Range 0〜17(minimum unit length 0.01), digimatic indicator

31

103
±5

φ70

φ170210約100°注6）

約±3°

420
（幅）
×510
（奥行）
×600
（高さ）注5）

810
（幅）
×555
（奥行）
×700
（高さ）注5）100（See note 6.）420Width x 510Depth x 600Heigth (See note 5.)

810Width x 555Depth x 700Heigth (See note 5.)48（see note 5.）

140(see note 5.)

約48 注5）約140 注5）LED光源（１００W）照明装置と光ファイバーライトガイド（寿命3万時間）注1）面取り部分を除く直線部分。
注2）厚さ17mmまでは任意の位置の測定が可能で、厚さ34mmでは中央部の測定が可能です。
注3）仕様を超えると厚さ方向で測定可能な範囲が狭くなります。
注4）粗さ曲線のピッチ、反射率が影響します。
注5）LED照明装置［78（幅）×200（奥行）×144（高さ）、約1.8kg］を含みません。
注6）多点温度センサユニットを用いた場合は、測定高さ0〜14mm、回転角度±3度となります。
※標準付属品とオプションはＥＸと同じ

LED light source(100W)illumination unit, Optical fiber light guide

Note 1) The straight area excluding chamfers.
Note 2) Capable of measuring at a desired height up to 17mm of bore length and only at The middle
section at a bore length of 34mm.
Note 3) When this specification is exceeded, the measurable range in the thickness direction is reduced.
Note 4) It depends on the pitch and reflectance of the roughness curve.
Note 5) The LED illumination unit [78 (W) x 200 (D) x 144 (H), approx. 1.8 kg] is not included.
Note 6) When the multipoint temperature sensor unit is used, Height of measurement 0〜14mm, therotation angle is ±3 degrees.
*Standard accessories and option are the same as EX.

11