１９９９ 第９回
ＲＣＪ信頼性シンポジウム予稿集

・招待講演、国際技術交流会
・電子デバイスの信頼性シンポジウム
・EOS/ESD/EMCシンポジウム
・出展社ガイド及び技術資料

１９９９年１１月
財団法人 日本電子部品信頼性センター

１９９９ 第９回 RCJ信頼性シンポジウム
全体プログラム
日時： 1999年11月10日（水）～12日（金）日時

１１月１０日（水）項目

信頼性向上技術セミナー

会場

４階コンベンションホール
Ａ会場

Ｂ会場

開催場所：大田区産業プラザ

１１月１１日（木）招待講演、国際技術交流会、優 電子デバイスの信秀論文表彰式、信頼性シンポジ 頼性シンポジウム
ウム
４階コンベンションホール
Ａ会場(10:00～12:00)
午前 （10:00～12:15） （10:00～12:00）
信頼性セミナー ＥＳＤセミナー
招待講演(最新VLSIの （IEC技術報告: ・強誘電体ﾒﾓﾘ技術の現状
故障物理） 静電気現象から と展望の電子ﾃﾞﾊﾞｲｽの ・Pbﾌﾘｰはんだ技術の現状保護）と展望（12:00～12:15）
昼 （12:15～13:30） （12:00～13:00）
優秀論文表彰式（12:15～13:30）
懇親会（於：１階大展示ﾎｰﾙ）（13:30～16:00）（13:00～16:30）（14:00～14:30）
午後
国際技術交流会
信頼性セミナー ＥＳＤセミナー
前半（15:00～17:00） （15:00～17:00）
Ａ会場
Ｂ会場
電子ﾃﾞﾊﾞｲｽの信 EOS/ESD/
頼性ｼﾝﾎﾟｼﾞｳﾑ EMCｼﾝﾎﾟｼﾞｳﾑ
一般論文 ４件 一般論文 ４件

午後
後半
展示会

（10:00～17:00）(１階大展示ﾎｰﾙ)

１１月１２日（金）（10:00～17:00）（１階大展示ホール）

EOS/ESD/EMC
シンポジウム４階コンベンションホール
Ａ会場

Ｂ会場

（9:30～11:30）
一般論文
４件（１0:00～11:30）
一般論文
３件（11:30～12:30）（11:30～12:30）（12:30～14:30）
一般論文４件（12:30～14:30）
一般論文４件（15:00～17:00）
一般論文４件（15:00～17:00）
一般論文
４件（10:00～16:30）（１階大展示ホール）

ご 挨 拶
第９回RCJ信頼性シンポジウムが平成１１年１１月１０日（水）～１２日（金）の３日間、「電子デバイスの信頼性シンポジウム」、「EOS/ESD/EMCシンポジウム」を軸として国際技術交流会、信頼性向上技術セミナー及び展示会を含め東京都大田区産業プラザで開催致します。
電子デバイスの進展は目覚しく、高集積化・高機能化・超微細化が急速に進んでいますが、同時に一層の高信頼性も要求されています。一般に、機能や性能の向上と信頼性の向上とはトレードオフにありますが、電子デバイスでは、相反する要求を同時に満足させることが求められています。このような状況で、より高い信頼性を確保するためには、信頼性向上技術や故障解析技術の高度化が必要となります。また、高機能化・超微細化に伴い過電圧(EOS)や静電気放電(ESD)に対する耐性も確実に低下しており、歩留りや信頼性向上のためには、現象の理解とその対策が不可欠となっています。また高速化に伴いＬＳＩから発生する電磁波対策、外部から進入する電磁波に対する装置の誤動作対策などいわゆる電磁環境両立性（ＥＭＣ）も問題となっています。このような電子デバイス・電子装置を取巻く状況を鑑み、信頼性技術・故障解析技術の向上、EOS/ESD/EMC現象把握や対策技術向上のための研究・技術発表と討論の場を提供すること、またその中からIECやJISの新規格作成のためのテーマの発掘や資料の蓄積を図ることを目的として、本シンポジウムは企画され、平成３年度から開催されてきました。幸い多くの方々のご協力を得て、回を重ねる毎に内容が充実してきており、若い参加者も増加し、順調に発展して参りました。
本シンポジウムは、米国ＥＯＳ/ＥＳＤシンポジウムと欧州の電子デバイスの信頼性・故障解析シンポジウム（ＥＳＲＥＦ）との優秀論文の交換を行っており、優秀論文の講演・討論を通して国際技術交流を行っております。また、本シンポジウムで推薦され優秀論文は、いずれかのシンポジウムに招待論文として招待されます。なお、米国ＥＯＳ/ＥＳＤシンポジウムとは1994年以来、欧州ＥＳＲＥＦシンポジウムとは1996年から交流を進めております。
第９回RCJ信頼性シンポジウムは、第１日目の１０日に、ＥＳＤと信頼性に関するセミナーを行います。ＥＳＤセミナーでは、ＩＥＣ/ＴＣ１０１が発行した技術報告書「静電気現象からの電子デバイスの保護」に関し、国内委員会メンバーにより解説いたします。信頼性セミナーでは、微細化VLSIで従来にも増して重要となる酸化膜信頼性、配線信頼性を中心に、最新のフラッシュメモリ技術の信頼性を加えて、専門家により解説いたします。第２日目には、恒例の招待講演と優秀論文の表彰式及び国際技術交流会が行われます。招待講演では、現在話題となっております
強誘電体メモリ技術と鉛フリーはんだ技術について、現状と将来動向について講演があります。
優秀論文の表彰式では、昨年の第８回ＲＣＪ信頼性シンポジウムの２件の優秀論文の表彰を行います。国際技術交流会では、1999年米国EOS/ESDシンポジウム優秀論文の発表があります。
今回は、残念ながらＥＳＲＥＦの優秀論文の発表はありません。その後、鉛フリー技術関連をセッションテーマとして電子デバイスの信頼性シンポジウム及び液晶デバイスの静電気問題をセッションテーマとして「EOS/ESD/EMCシンポジウム」を並行して開催致します。
１２日には、「電子デバイスの信頼性シンポジウム」と「EOS/ESD/EMCシンポジウム」を並行して開催致します。「電子デバイスの信頼性シンポジウム」では、故障解析事例や電子デバイス・電子部品の信頼性の報告など、内容が豊富です。「EOS/ESD/EMCシンポジウム」では、半導体デバイスのＥＳＤ対策、ＥＭＣ問題、また最近の携帯機器に多用されているサージ防護素子の特性や規格の報告などがあります。
また、好評を頂いております「電子デバイス・装置の静電気対策・信頼性展示会」が、２４社のご協力により開催致します。本年は昨年と同様に出展会場を１F大展示場とし、展示スペースを広く取り余裕のある展示と致します。EOS/ESD/EMC対策用資材・評価装置、信頼性・故障解析装置やサービスに特化した展示会として、一層充実して展示を行います。同時に技術・製品紹介のワークショップも行います。ご質問、ご相談がありました遠慮なく出展社スタッフにお申し付け下さい。
以上のように、今年は参加者のお役に立つことを願い、多くの企画をいたしました。本シンポジウムは参加者の討論への積極的参加により支えられておりますので、皆様のご協力をお願い致します。
最後に、企画や会場を始め種々ご尽力頂いた運営委員会、実行委員会、論文審査委員会、関連TC国内委員会ならびに招待講演者、講師、発表者及び出展会社各位、さらに米国ESD協会、欧州ESREF委員会、協賛諸団体の方々に心からお礼申し上げます。
平成１１年１１月
ＲＣＪ信頼性シンポジウム運営委員会
委員長 後川 昭雄

１９９９ 第９回 RCJ信頼性シンポジウム予稿集
1999 9th RCJ Reliability Symposium目次

第９回 ＲＣＪ信頼性シンポジウム招待講演、国際技術交流会招待講演
司会 久保 陽一 （ＲＣＪ 専務理事）
平成１１年１１月１１日(木)(10:05～12:00)･･･ 石原 宏 （東京工業大学 フロンティア創造 ･･･････
強誘電体メモリ技術の現状と展望
共同研究センター）(11:00～12:00)･･･ 須賀 唯知 （東京大学 先端科学技術研究 ･･･････
Pbフリーはんだ技術の現状と展望センター）

17国際技術交流会
司会 塩野 登 （ＲＣＪ）
平成１１年１１月１１日(木)（14:00～14:30）
ESD-related Process Effects in
Mixed-voltage Sub-0.5mTechnologies･･･

Vikas Gupta, Ajith Amerasekera, Sridhar
Ramaswamy, Alwin Tso(Texas Instruments Inc.)･･････

13･･･････

23

知野 泰弘、和田 裕助 （(株)東芝）･･･････

31

安藤 壽浩、柴田 将充、岡田 誠一、
鱠谷 佳和 （(株)村田製作所）･･･････

37

白石 恒二 （ソニー(株)）･･･････

43

第９回 電子デバイスの信頼性シンポジウム
会場： ４階コンベンションホール（Ａ会場）
平成１１年１１月１１日(木)座長 穴山 汎（元ＲＣＪ）（15:00～15:30）
９Ｓ-０１ Pbフリー外装めっきの信頼性･･･ 松下 浩一、松島 博、中野 真治、
熊田 進、坂口 茂樹 （松下電子工業(株)）（15:30～16:00）
９Ｓ-０２ 電気化学測定法によるＳｎ-Ａｇ ･･･
はんだの酸化特性解析とその考察（16:00～16:30）
９Ｓ-０３ Ｓｎウィスカに対する熱衝撃スト ･･･
レスの影響（16:00～16:30）
９Ｓ-０４ ＢＧＡパッケージ温度サイクル評 ･･･
価における寿命モデルの検討(i)平成１１年１１月１２日(金)座長 門田 靖 （（株）リコー）（9:30～10:00）
９Ｓ-０５ 非接触型ＩＣカードの信頼性・耐久性試験法の検討（10:00～10:30）
９Ｓ-０６ ロジック混載フラッシュＥＥＰＲＯＭにおける加速評価検討（10:30～11:00）
９Ｓ-０７ Charge-Coupled Deviceの耐光性検討（11:00～11:30）
９Ｓ-０８ GaAs MESFET電極のAuマイグ
レーション･･･ 下山 展弘、伴 弘司、竹田 忠雄（日本電信電話(株)）･･･････

49･･･ 柴尾 和博1、杉山 滋基1、和田 哲明1、･･･････
西村 始修2、小谷 秀人2、倉田 勝一2（1：松下電子工業(株)、2：松下電器産業（株））

57･･･ 池田 健二、 曽又 渉、山本 佳司（三洋電機(株)）･･･････63･･･ 斉藤 淳二、小林 章三、山内 康之、
大村 宗司、新田 敦、小松 嘉英、
大川 春夫 （富士通カンタムデバイス(株)）･･･････

69･･･････

75･･･････

83･･･････

87･･･････

93･･･････

101･･･････

109･･･････

115･･･････

123･･･････

131

座長 中野 真治 （松下電子工業（株））（12:30～13:00）
９Ｓ-０９ コントロール回路内蔵ＤＭＯＳ･･･ 門田 靖、寺山 正伸 （(株)リコー）の故障解析（13:00～13:30）
９Ｓ-１０ ＩＤＤＡ（Active Vdd Supply･･･ 村上 民枝1、栗原 美智男2、林 博文2、Current）- EMS(Emission Micro
岩本 美宏2、相川 稔2、堤 勝利3
Scope)手法を用いたＬＳＩの故障（1：東芝ﾏｲｸﾛｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ(株)、2：（株）東芝
解析
ｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｰ社、3：東芝情報ｼｽﾃﾑ（株））（13:30～14:00）
９Ｓ-１１ トランジスタリードの不具合調査 ･･･ 岩井 泰之1、青木 司郎1、松田 純夫1、田村 高志1、大友 洋光2、萩原 洋介3、菊池茂樹4 （1:宇宙開発事業団、2:菱栄ﾃｸﾆｶ(株)、3:ｴｲ･ｲｰ･ｴｽ(株)、4:沖ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ(株)）（14:00～14:30）
９Ｓ-１２ 光コリメータの構造、特性及び ･･･ 呉 玉英、高橋 光雄 （(株)精工技研）
信頼性
座長 千野 健一 （ＲＣＪ）（15:00～15:30）
９Ｓ-１３ 電子部品の材料起因故障とそ ･･･ 川中 龍介の改善（摂南大学 工学部 電気工学科）（15:30～16:00）
９Ｓ-１４ バルク供給における積層セラミッ ･･･
宇都宮 勇、鎌田 信雄
クコンデンサの信頼性について（(株)村田製作所）（16:00～16:30）
９Ｓ-１５ 試験データ収集・伝送システム ･･･ 神谷 眞好1、池田 弘明2、篠原 茂信2を用いた複数部品の振動測定（1:浜松工業技術ｾﾝﾀｰ､2:静岡大学工学部）（16:30～17:00）
９Ｓ-１６ 腐食試験の最新の技術動向･･･ 渡辺 博1、 渡辺 洋二2（1:元東芝（株）、2:スガ試験機(株)）第９回 ＥＯＳ/ＥＳＤ/ＥＭＣシンポジウム
会場： ４階コンベンションホール（Ｂ会場）
平成１１年１１月１１日(木)座長 藤江 明雄（(株)カイジョー）（15:00～15:30）
９Ｅ-０１ 先端電子デバイスのための･･･ 鈴木 功一 （日本電気(株)）HBM、MM放電計測技術(ii)

（15:30～16:00）
９Ｅ-０２ ＴＦＴ・ＬＣＤ製造工程における静 ･･･
電気不良問題とその制御（16:00～16:30）
９Ｅ-０３ 洗浄工程における帯電現象とその対策（16:00～16:30）
９Ｅ-０４ チャージプレートモニター（ＣＰＭ）の新応用 － 純水の帯電電位の測定と新知見－

笠間 泰彦1、仲野 陽2、高村 章三2、
蛇口 広行2、小野 昭一2(1:(株)フロンテック、2:アルプス電気(株))･･･････

141･･･ 鈴木 政典、和泉 貴晴、鈴木 国夫、
杉田 章夫 （(株)テクノ菱和）･･･････

149･･･ 藤江 明雄、森 堅次(（株）カイジョー)･･･････

153･･･････

159･･･････

165･･･････

171･･･････

181･･･････

189･･･････

195･･･････

203･･･････

205･･･････

211･･･････

215･･･････

221

平成１１年１１月１２日(金)座長 大日方 浩二 （ソニー（株））（10:00～10:30）
９Ｅ-０５ 半導体デバイスのウエハレベル ･･･ 横井 健一、渡辺 毅（日本電気(株)）ＥＳＤ試験と考察（10:30～11:00）
９Ｅ-０６ 薄膜エピタキシャル基板を用い ･･･ 鈴木 輝夫1、伊藤 誠吾1、門馬 秀夫2
た半導体デバイスのESD特性（1:富士通ＶＬＳＩ(株)、2:富士通（株））（11:00～11:30）
９Ｅ-０７ 先端電子デバイスのための･･･ 鈴木 功一 （日本電気(株)）CDM放電計測技術
座長 渡辺 毅 （日本電気（株））（12:30～13:00）
９Ｅ-０８ ＩＳＭ関連機器におけるＥＭＣ問 ･･･ 井尻 和夫 （京都府中小企業総合センター）
題の技術的課題（13:00～13:30）
９Ｅ-０９ ＣＭＯＳ ＬＳＩにおけるＥＭＳ評 ･･･ 渡辺 尚数1、馬場 克巳1、浜砂 寿行1、
価方法について
和田 哲明1、辨野 宏2、米田 貴史2、
松本 政彦2 （1：松下電子工業(株)、2：松下電器産業（株））（13:30～14:00）
９Ｅ-１０ 飛行中のＥＳＤ事象とその解析 ･･･ 本田 昌實（（株）インパルス物理研究所）（14:00～14:30）
９Ｅ-１１ 静電気対策用床材の温湿度依 ･･･ 黒崎 博史 1，内田 秀樹 1，沼口 敏一 1、存性について
山本 克美２，殿谷 保雄２ （1:住友スリーエム(株)）、2:東京都立産業技術研究所）
座長 佐藤 秀隆（ＮＴＴ）（15:00～15:30）
９Ｅ-１２ ＥＳＤ防護部品の静電気保護性 ･･･ 福田 保裕1、柄沢 武2、鳴神長昭３ （1:沖電能評価
気工業（株）、2: 沖ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ(株)、3:ＲＣＪ）（15:30～16:00）
９Ｅ-１３ ＥＳＤ吸収保護用ダイオードの規 ･･･ 林 清一（日本電気（株））
格・特性と応用例（16:00～16:30）
９Ｅ-１４ シリコン系サージ防護素子の技 ･･･ 岡 律夫1、井上 征1、佐藤 浩太郎2
術及びIEC規格の動向（1:新電元工業(株)、2:(株)秋田新電元）（16:30～17:00）
９Ｅ-１５ 電話及び信号回線に使用する ･･･ 西沢 滋 （（株）白山製作所）
保安器のＩＥＣ規格について

(iii)

（付録）
出展社ガイド及び技術資料
出展社
株式会社 アイテス
アキレス 株式会社株式会社 いけうち
エア･ブラウン 株式会社

出展予定機材
･･･
･･･
･･･
･･･

ＮＴＴアドバンステクノロジ 株 ･･･
式会社
大坪電気 株式会社･･･

沖エンジニアリング株式会社
春日電機 株式会社･･･

菊水電子工業 株式会社･･･

株式会社 クニコー･･･

シシド静電気 株式会社
シムコジャパン 株式会社

･･･
･･･

ショーワ 株式会社
スガ試験機 株式会社
住友スリーエム 株式会社

･･･
･･･
･･･

瀧原産業 株式会社･･･

タバイエスペック 株式会社･･･

東京電子交易 株式会社･･･

株式会社 東陽テクニカ
トレック・ジャパン 株式会社

･･･
･･･

原田産業 株式会社･･･

阪和電子工業 株式会社･･･

ヒューグルエレクトロニクス
株式会社
ミドリ安全 株式会社･･･

（財）日本電子部品信頼性センター

･･･

･･･
･･･

半導体・電子部品及び液晶パネルに関する解析事例･･･････
静電気対策用品/ＳＴポリ･･･････
ﾄﾞﾗｲﾌｫｸﾞ加湿ﾕﾆｯﾄ、AKIT（ｱｷｯﾄ）－C･･･････
電磁式小型振動加振器、衝撃用波形計測装置、環境デ ･･･････
ータレコーダーBTABERT、BSIMPro、BERTLink、SIGMAPro、･･･････
RelPｒo +、1/f Noise Parameter Extraction System､Gracier
ZVM1002,SE-900,ZVI-5000,PFC-20,AB-250,SE-5000,ZVI ･･･････-8000,AFC-2,Model
268,SE-4000,SCPB-100～
800,IS-48,Model 282
内容のパネル表示、パソコンでの内容紹介及びカタログ ･･･････
配布
ﾅﾉｸｰﾛﾝﾒｰﾀ、低電位測定器、静電モニター、送風型除電 ･･･････
器､ノズル型除電器、他
部分放電試験器 KPD1050、･･･････
静電気放電ｼﾐｭﾚｰﾀ KES4020
ﾓﾝﾛｰｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ静電気測定器(表面電位計､静電界計､表 ･･･････
面抵抗率/抵抗計､帯電板電位測定器､ﾅﾉｸｰﾛﾝﾒｰﾀ 等)
静電気除去装置、静電気測定器･･･････
静電気除去装置、静電気対策用接地用品､静電気測定･･･････器 他
静電気対策用手袋､ｴﾌﾟﾛﾝ､腕ｶﾊﾞｰ､静電気除去ｽﾌﾟﾚｰ･･･････
ガス腐食試験機･･･････
静電気導電性ﾏｯﾄ､ﾘｽﾄｽﾄﾗｯﾌﾟ､静電気対策用計測機､エ ･･･････
アーﾌﾞﾛｱ 等
Static Decay Meter 406D 、 ﾎ ﾟ ｰ ﾀ ﾌ ﾞ ﾙ 型 電 位 計 M212 ､ ･･･････
ACL 300他､静電防止材「ｽﾀﾃｨｻｲﾄﾞ」
恒温恒湿器、イオンマイグレーション評価システム･･･････(ﾊﾟﾈﾙ展示）
TLP試験装置：ﾓﾃﾞﾙ4002、･･･････
全自動CDMﾃｽﾀ:ﾓﾃﾞﾙCDM-500EM
ESD/CDMｼﾐｭﾚｰﾀ：ﾓﾃﾞﾙEcdm-100E
ウエハレベルＥＳＤテスタ･･･････
表面電位計、各種EOS/ESD製品､高圧電源､吸引式小型帯 ･･･････
電量測定装置、静電気ﾓﾆﾀﾘﾝｸﾞｼｽﾃﾑ､ｲｵﾝﾊﾞﾗﾝｽﾌｨｰﾄﾞﾊﾞｯｸ
ｾﾝｻ
静電気対策機器、ｲｵﾅｲｻﾞｰ、人体帯電ﾓﾆﾀﾘﾝｸﾞ装置、･･･････
NOVX、 他
ｳｴﾊｰ対応ESD試験器､･･･････
ﾌｧﾝｸｼｮﾝﾃｽﾀｰ
ｲｵﾅｲｻﾞｰ（AC、DC、ﾊﾟﾙｽDC、軟X線照射）、静電気測定 ･･･････器
静電靴ﾁｪｯｶ､静電靴､ESD拡散性床材､CR用手袋､ｸﾘｰﾝﾜ ･･･････
ｲﾊﾟｰ 他
品質認証業務、信頼性試験受託業務等のパネル及び出 ･･･････
版物 等

(iv)

227
231
233
235
239

243

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301
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309
313
317