１９９８ 第８回
ＲＣＪ信頼性シンポジウム予稿集

・招待講演、国際技術交流会
・電子デバイスの信頼性シンポジウム
・EOS/ESD/EMCシンポジウム
・出展社ガイド及び技術資料

１９９８年１１月
財団法人 日本電子部品信頼性センター

１９９８ 第８回 RCJ信頼性シンポジウム
全体プログラム
日時： 1998年11月11日（水）～13日（金）日 時項 目

１１月１１日（水）信頼性向上技術セミナー

会 場

４階コンベンションホール
Ａ会場
Ｂ会場

午 前

（10:00～11:30）（10:00～11:30）

開催場所：大田区産業プラザ

１１月１２日（木）１１月１３日（金）招待講演、国際技術交流 電子デバイスの信 EOS/ESD/EMC
会、優秀論文表彰式、頼性シンポジウム
シンポジウムEOS/ESD/EMCシンポジウ
ム
４階コンベンションホール
４階コンベンションホール
Ａ会場
Ａ会場
Ｂ会場
(10:00～12:00)（9:30～11:30）（10:00～11:30）

一般論文
４件

IEC/TC101(静電気)の活動状況-オタワ会議速報-（11:30～12:30）（11:30～13:00）（13:30～14:30）（12:30～14:30）（13:00～14:30）

国際技術交流会

一般論文
４件

一般論文
３件

（15:00～17:00）（15:00～17:00）（15:00～17:00）

EOS/ESD/EMCｼﾝﾎﾟｼﾞｳﾑ
(液晶デバイス製造における静電気問題)
一般論文 ４件

一般論文
４件

一般論文
４件

信頼性セミナーＥＳＤセミナー
招待講演（最近の信頼性問 （静電気の基礎及 (ＥＭＣに関する規格動向）
題-ﾌﾗｯｼｭﾒﾓﾘをび対策）中心として-）
昼（11:30～12:30）（11:30～12:30）（12:00～12:15）

優秀論文表彰式（12:15～13:15）

懇親会（於：１階大展示ﾎｰﾙ）
午 後（12:30～17:00）

前 半 信頼性セミナー（12:30～17:00）

ＥＳＤセミナー

午 後
後 半
展示会

（10:00～17:00）（10:00～17:00）（10:00～14:00）(１階大展示ﾎｰﾙ)（１階大展示ホール）（１階大展示ホール）

ご 挨 拶
第８回RCJ信頼性シンポジウムが平成１０年１１月１１日（水）～１３日（金）の３日間、「電子デバイスの信頼性シンポジウム」、「EOS/ESD/EMCシンポジウム」を軸として国際技術交流会、信頼性向上技術セミナー及び展示会を含め東京都大田区産業プラザで開催致します。
電子デバイスの進展は目覚しく、高集積化・高機能化・超微細化が急速に進んでいますが、同時に一層の高信頼性も要求されています。一般に、機能や性能の向上と信頼性の向上とはトレードオフにありますが、電子デバイスでは、相反する要求を同時に満足させることが求められています。このような状況で、より高い信頼性を確保するためには、信頼性向上技術や故障解析技術の高度化が必要となります。また、高機能化・超微細化に伴い過電圧(EOS)や静電気放電(ESD)に対する耐性も確実に低下しており、歩留りや信頼性向上のためには、現象の理解とその対策が不可欠となっています。また高速化に伴いＬＳＩから発生する電磁波対策、外部から進入する電磁波に対する装置の対策などいわゆる電磁環境両立性（ＥＭＣ）も問題となっています。このような電子デバイス・電子装置を取巻く状況を鑑み、信頼性技術・故障解析技術の向上、EOS/ESD/EMC現象把握や対策技術向上のための研究・技術発表と討論の場を提供すること、またその中からIECやJISの新規格作成のためのテーマの発掘や資料の蓄積を図ることを目的として、本シンポジウムは企画され、平成３年度から開催されてきました。幸い多くの方々のご協力を得て、回を重ねる毎に内容が充実してきており、若い参加者も増加し、順調に発展して参りました。
本シンポジウムは、米国ＥＯＳ/ＥＳＤシンポジウムと欧州の電子デバイスの信頼性・故障解析シンポジウム（ＥＳＲＥＦ）との優秀論文の交換を行っており、優秀論文の講演・討論を通して国際技術交流を行っております。また、本シンポジウムで推薦され優秀論文は、いずれかのシンポジウムに招待論文として招待されます。なお、米国ＥＯＳ/ＥＳＤシンポジウムとは1994年以来、欧州ＥＳＲＥＦシンポジウムとは1996年から交流を進めております。
第８回RCJ信頼性シンポジウムは、第１日目の１１日に、ＥＳＤと信頼性に関するセミナーを行います。従来より、ＥＳＤに関して、基礎から対策までの統一したセミナーのご要望があり、またＬＳＩ信頼性に関しては、最新技術の信頼性問題とその対策についての統一したセミナーのご要望がございました。今回のセミナーは、これらのご要望に答えようとするものです。第２日目には、恒例の招待講演と優秀論文の表彰式及び国際技術交流会が行われます。記念講演では、現在話題となっておりますＥＭＣに関する規格動向について、装置ＥＭＣと半導体ＥＭＣについて講演があります。優秀論文の表彰式では、昨年の第７回ＲＣＪ信頼性シンポジウムの２件の優秀論文の表彰を行います。国際技術交流会では、1998年米国EOS/ESDシンポジウム優秀論文、1997年欧州ESREF優秀論文(Best Student Paper)の発表があります。その後、液晶デバイスの静電気問題をセッションテーマとして、「EOS/ESD/EMCシンポジウム」を開催致します。
１３日には、「電子デバイスの信頼性シンポジウム」と「EOS/ESD/EMCシンポジウム」を並行して開催致します。「電子デバイスの信頼性シンポジウム」では、ユーザから見たＬＳＩの故障状況の報告や、最近問題となっています鉛フリーはんだの信頼性問題など、内容が豊富です。

「EOS/ESD/EMCシンポジウム」では、通常の論文発表の他にＩＥＣ/ＴＣ１０１（静電気）の活動状況報告があります。ＲＣＪは、平成８年よりＩＥＣ/ＴＣ１０１の審議団体を引き受け、活動しております。そこで、最近の活動状況の報告を行います。
また、好評を頂いております「電子デバイス・装置の静電気対策・信頼性展示会」が、２４社のご協力により開催致します。本年は昨年と同様に出展会場を１F大展示場とし、展示スペースを広く取り余裕のある展示と致します。EOS/ESD/EMC対策用資材・評価装置、信頼性・故障解析装置やサービスに特化した展示会として、一層充実して展示を行います。同時に技術・製品紹介のワークショップも行い、また相談コーナーも設けてありますので、遠慮なく出展社スタッフにご質問等をお申し付け下さい。
以上のように、今年は参加者のお役に立つことを願い、多くの企画をいたしました。本シンポジウムは参加者の討論への積極的参加により支えられておりますので、皆様のご協力をお願い致します。
最後に、企画や会場を始め種々ご尽力頂いた運営委員会、実行委員会、論文審査委員会、関連TC国内委員会ならびに招待講演者、講師、発表者及び出展会社各位、さらに米国ESD協会、欧州ESREF委員会、協賛諸団体の方々に心からお礼申し上げます。
平成１０年１１月
ＲＣＪ信頼性シンポジウム運営委員会
委 員 長
後 川昭 雄１９９８ 第８回 RCJ信頼性シンポジウム予稿集
1998 8th RCJ Reliability Symposium目次

第８回 ＲＣＪ信頼性シンポジウム招待講演、国際技術交流会招待講演
司会 久保 陽一 （ＲＣＪ 専務理事）
平成１０年１１月１２日(木）(10:05～12:00）
装置ＥＭＣの規格動向(11:00～12:00）
半導体ＥＭＣの規格動向･･･ 谷 由紀夫
（山武ハネウエル（株））･･･････

1･･･ 渡辺 毅（日本電気（株））･･･････

7･･･ J. Z. Chen, A. Amerasekera,and C. Duvvury
Texas Instruments Inc., Dallas,USA･･･････

13

国際技術交流会
司会 塩野 登 （ＲＣＪ）
平成１０年１１月１２日（木） （13:30～14:30）
１９９８年 米国ＥＯＳ/ＥＳＤシンポジウム

優秀論文

Design Methodology for Optimizing Gate
Driven ESD Protection Circuits in
Submicron CMOS Processes

１９９７年 欧州ＥＳＲＥＦ (European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis)
優秀論文(Best Student Paper)
APPLICATION OF TRANSMISSION LINE･･･ M. BRANDT, V. KROZER1, M. ･･･････
SCHULER, C. LIN A. SIMON, A.
PULSED (TLP) STRESS FOR THERMALVOGT, M. RODRIGUEZ,
AND RELIABILITY CHARACTERISATION OF
E. PARMEGGIANI2, J. GRAJAL3, J.
COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICESMIRANDA4, and H. L. HARTNAGEL(Inst. fuer Hochfrequenztechnik,Germany, 1: Technishe Universitat
Chemnitz, Germany 2: Universita
Degli Studi di Parma, Italy 3: Univ.
Polit. Madrid, ETSIT, Spain 4:
Universidad Computense de Madrid,Spain)

(i)

23

第８回 電子デバイスの信頼性シンポジウム
会 場： ４階コンベンションホール（Ａ会場）
１１月１３日（金）座長： 門田 靖 （（株）リコー）（ 9:30～10:00）
８Ｓ－１ Tiスパッタ時のH２O分圧制御によるAl合金 ･･･ 吉田 友幸、橋本 昭二、･･･････/（TiN、Ti）積層配線のエレクトロマイグレ
光嶋 康一、大脇 健史、ーション寿命の改善
多賀 康訓 (（株）豊田中央研究所）

31（10:00～10:30）
８Ｓ－２ スパッタ条件がＡｌ配線の信頼性に与える影響･･･････

39･･･････

45･･･････

51･･･････

55･･･････

61･･･････

67･･･････

73･･･････

79･･･････

87･･･ 近藤 雅昭（（社）電線総合技術センター）･･･････

93･･･ 渡辺 洋二 （スガ試験機（株））･･･････

99･･･ 札谷 正美、中野 真治、
熊田 進、高森 益教、西脇 徹（松下電子工業（株））（10:30～11:00）
８Ｓ－３ ユーザから見た「ＩＣにおける最近の故障 ･･･ 西村 英哲 （キャノン（株））
モードと解析技術」（11:00～11:30）
８Ｓ－４ 走査型静電容量顕微鏡による電子デバイ ･･･ 高崎 洋一＊、山本 琢磨＊＊スの断面解析
（*東芝ﾏｲｸﾛｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ（株）、**（株）ニコン)
休憩（11:30～12:30）
座長： 瀬戸屋 孝 （（株）東芝）（12:30～13:00）
８Ｓ－５ Ｃ－ＣＳＰの信頼性について･･･ 西村 隆、竹迫 義信、
和田 哲明、中野 克宏、
大森 弘治、松島 博（松下電子工業（株））（13:00～13:30）
８Ｓ－６ ＬＣＣ型ＣＣＤのリフロー半田耐熱性の検討 ･･･ 曽又 渉、池田 健二、
山本 佳司 （三洋電機（株））（13:30～14:00）
８Ｓ－７ 鉛フリーはんだ材料の宇宙用電子機器へ ･･･ 松田 純夫＊、松本 暁洋＊、の適用性
河内 秀晃＊＊、中井 宗明＊＊（*宇宙開発事業団、**松下テクノリサーチ）（14:00～14:30）
８Ｓ－８ ＰｂフリーソルダにおけるＣｕ電極食われ抑 ･･･ 高岡 英清、榧谷 孝行、制浜田 邦彦、徳田 有、
坂部 行雄 （（株）村田製作所）
休憩（14:30～15:00）
座長： 千野 健一 （住友金属鉱山（株))（15:00～15:30）
８Ｓ－９ ＷＤＭデバイスの構造及び信頼性評価･･･ 呉 玉英、高橋 光雄（（株）精工技研）（15:30～16:00）
８Ｓ－１０ 樹脂封止ＬＤ－ＰＤモジュールの信頼性･･･ 市川 二三夫、福田 光男、
山田 泰文、加藤 邦治、
佐藤 弘次 （ＮＴＴ 光エレ研）（16:00～16:30）
８Ｓ－１１ 難燃性・発煙性試験方法の開発動向および国際規格化動向（16:30～17:00）
８Ｓ－１２ 新開発のＳＯ２ガス腐食試験機について(ii)

第８回 ＥＯＳ/ＥＳＤ/ＥＭＣシンポジウム プログラム
会 場： ４階コンベンションホール（Ｂ会場）
１１月１２日（木）座長：藤江 明雄 （(株)カイジョー）（15:00～15:30）
８E－１ 液晶ディスプレイ基板の帯電と静電破壊･･･ 保坂 靖夫＊、原田 望＊＊･･･････ 105（*群馬工業高等専門学校、**（株）東芝液晶開発センター）（15:30～16:00）
８E－２ ＬＣＤ製造工程におけるＥＳＤ不良とその対策 ･･･ 秋元 丈美･･･････ 111
事例（アルプス電気(株)）（16:00～16:30）
８E－３ 光照射除電装置の除電特性･･･ 稲葉 仁 （高砂熱学工業（株）） ･･･････ 119（16:30～17:00）
８E－４ 常圧ＣＶＤ装置における粉末生成物のＥＳＤ ･･･ 木戸 滋 （キャノン販売（株）） ･･･････ 125
着火爆発の防止１１月１３日（金）座長： 大日方 浩二（ソニー (株)）（13:00～13:30）
８E－５ 0.18μｍゲート CMOSテクノロジーを用いた ･･･ 鈴木 輝夫、岡野 義明、半導体デバイスのESD保護素子の最適化検
御手洗 伸、伊藤 誠吾、討門馬 秀夫 （富士通VLSI（株））（13:30～14:00）
８E－６ 半導体デバイスにおけるＥＳＤ放電電流/電 ･･･ 福田 保裕、星野 綾子
圧波形と破壊現象（沖電気工業（株））（14:00～14:30）
８E－７ 人体モデルにおけるＥＳＤ破壊事例と破壊メ ･･･ 新林 幸司、馬場 文雄、カニズムの検討
菅生 靖久 （富士通VLSI（株））
休憩 （14:30～15:00）
座長： 村上 俊郎 （原田産業（株））（15:00～15:30）
８E－８ 人体の静電気対策（その３）･･･ 内田 秀樹、黒崎 博史（住友スリーエム（株））（15:30～16:00）
８E－９ 静電気シールドバッグの評価試験と国際規格 ･･･ 沼口 敏一、内田 秀樹、について
黒崎 博史（住友スリーエム(株)）（16:00～16:30）
８E－１０ 磁界プローブ法によるＬＳＩのＥＭＩ評価･･･ 和深 裕（日本電気（株））（16:30～17:00)
８E－１１ 衝突ESDによる過渡電磁界について･･･ 本田 昌實（(株)インパルス物理研究所）(iii)･･･････ 135･･･････ 143･･･････ 149･･･････ 157･･･････ 165･･･････ 173･･･････ 179

（付録）出展社ガイド及び技術資料
出展社

取扱製品及び業務内容･･･････

185

アキレス株式会社･･･ 半導体/LCDに関する「分析・解析・信頼性評価」の受託ｻｰﾋﾞｽ･･･ 静電気対策用品/ＳＴポリ･･･････

189

株式会社 いけうち･･･ ﾄﾞﾗｲﾌｫｸﾞ加湿ﾕﾆｯﾄ、AKIT（ｱｷｯﾄ）－C･･･････

193

エア･ブラウン 株式会社･･･ 電磁式小型振動加振器、衝撃計測記録解析装･･･････

195･･･････

199･･･････

203･･･ ＩＣ・部品・コネクタ・基板等の特性評価・故障解 ･･･････
析及び材料の分析・試験サービス･･･ 電荷量測定器、表面電位測定器、高密度除電 ･･･････
システム、除電器 他･･･ 静電気測定器（表面電位計、電界計、エレクト ･･･････
ロメータ 等）･･･ 静電気除去装置、静電気測定器（表面電位測 ･･･････定器、電荷減衰器）･･･ 静電気除去装置、静電気対策用接地用品､静 ･･･････
電気測定器 他･･･ 静電気対策用手袋､ｴﾌﾟﾛﾝ､腕ｶﾊﾞｰ､静電気除 ･･･････
去ｽﾌﾟﾚｰ･･･ ガス腐食試験機･･･････

207

株式会社 アイテス

置、遠心定加速度試験装置

ＮＴＴアドバンステクノロジ 株式会社 ･･･ ＢＴＡ社ＣＡＤツール： BTABERT、BSIMPro、
BERTLink、SIGMAPro、RelPｒo +、1/f NoiseParameter Extraction System･･･ 静電気除電機器、イオナイザー 等
大坪電気 株式会社
沖エンジニアリング株式会社
春日電機 株式会社株式会社 クニコー
シシド静電気 株式会社
シムコジャパン 株式会社
ショーワ 株式会社

スガ試験機 株式会社

211
215
219
223
227
231

･･･････

235･･･････

239･･･････

243･･･････

245･･･････

249
251

原田産業 株式会社･･･ 表面電位計､各種EOS/ESD製品､高圧電源､吸引 ･･･････
式小型帯電量測定装置､静電気ﾓﾆﾀﾘﾝｸﾞｼｽﾃﾑ
･･････････ 磁界ﾌﾟﾛｰﾌﾞ評価設備･･････････ 静電気対策機器、計測器 他

257

阪和電子工業 株式会社･･･ CDM試験器（自動測定）､ﾌｧﾝｸｼｮﾝﾃｽﾀｰ･･･････

261

ヒューグルエレクトロニクス
株式会社･･･ 除電装置、測定器･･･････

265

ミドリ安全 株式会社･･･ 静電靴ﾁｪｯｶ､静電靴､ESD拡散性床材､CR用 ･･･････
手袋､ｸﾘｰﾝﾜｲﾊﾟｰ 他･･･ 品質認証業務、信頼性試験受託サービス 等 ･･･････

269

住友スリーエム 株式会社
瀧原産業 株式会社
タバイエスペック 株式会社
東京電子交易 株式会社株式会社 東陽テクニカ
トレック・ジャパン 株式会社
日本電気真空硝子株式会社（財）日本電子部品信頼性センター･･･ 静電気導電性ﾏｯﾄ､ﾘｽﾄｽﾄﾗｯﾌﾟ､静電気対策用計測機､ｴｱｰﾌﾞﾛｱ 等･･･ Static Decay Meter 406D、ﾎﾟｰﾀﾌﾞﾙ型電位計
M212､ACL300他､静電防止材「ｽﾀﾃｨｻｲﾄﾞ」･･･ 恒温恒湿器、イオンマイグレーション評価シス
テム･･･ 全自動ESD&ﾗｯﾁｱｯﾌﾟﾃｽﾀ : ﾓﾃﾞﾙ7000､全自動CDMﾃｽﾀ: ﾓﾃﾞﾙ500EM･･･ ウエハレベルＥＳＤテスタ

(iv)

255

273