アクチュエータの精度と測定方法

Accuracy of the Actuator and Measurement method【走り平行度 / Parallelism】
スライダタイプアクチュエータに適用 / Applicable for Slider type Actuator
定盤に固定したアクチュエータの可動テーブル上面にレーザ変位計を載せ、ストローク全域を移動させたときの値を測定し、その最大値を走り平行度としています。

Set the Laser indicator on top of the table of the Actuator which is secured on the surface plate, measure thedisplacement when moving entire travel range and take the maximum value as Parallelism.

KSSアクチュエータ製品の出荷検査で行う位置決め関連精度測定と、お客様のご要望に応じて行うオプションの測定（有料）について以下に記載いたします。

Laser indicator

We introduce the method to inspect the positioning related accuracy, and optional inspection（on demand）as below.
【絶対位置決め精度 / Absolute Positioning Accuracy】

Mirrorミラー

Reference
position

Movable Table
可動テーブル

Laser Interferometer

基準位置

レーザ干渉計Actual distancetraveled

実際に移動した距離【繰り返し位置決め精度 / Repeatability】

Mirrorミラー

Reference
position

Movable Table
可動テーブル

Laser Interferometer

基準位置

レーザ干渉計

任意の1点に同じ方向からの位置決めを5回繰り返し行
い、停止位置を測定し、読みの最大差の1/2に±を付けた値を「繰り返し位置決め精度」としています。

Repeatability is the difference between actual andideal position at the arbitrary one point from thesame direction. 5 times measurements should be
conducted at the same point from the same
direction. Half of maximum gap of measurementwith ± should be defined as Repeatability.

Max. error

Movable table
可動テーブルActuator

Surface plate

アクチュエータ

定盤※アクチュエータの支持側から見たイラストです。

Illustration is seen from the supportingside of the Actuator.

【真直度 / Straightness】
シリンダタイプアクチュエータ、Z-θアクチュエータに適用 / Applicable for Cylinder type Actuator, Z-θ Actuator
出力軸に同期して直動するレーザ変位計を用いて、原点位置を起点に出力軸をフルストローク（1往復）させ、原点位置と90°位相をずらした位置で2往復目の測定を行い、最大値を真直度としていますの最大差を測定します。1往復後、By using the Laser indicator which synchronized with output shaft, reciprocate the shaft from home position one
time and inspect the maximum value of difference. Do the same inspection by setting the Actuator at 90 degrees ofphase, take the maximum value for both measurement as Straightness.

最大差

Actuator【ロストモーション / Lost Motion】

Mirrorミラー

Movable Table
可動テーブル

Laser Interferometer
レーザ干渉計Target position
Target position
目標位置

S101

V10.3.1

目標位置
L1
I1

L2

I2

L5

I5

一つの位置について正方向に位置決めを行い、その位置を測定します。さらに同じ向きに移動させ、次に負方向へ同じ量の位置決め移動を行い、位置を測定します。さらに負方向へ同一量移動させ、再び正方向へ戻し位置を測定します。これらの一連の移動を5回行い、測定位置の平均値を求めます。この測定をステージの移動範囲のほぼ中央、両端の3カ所で行い、得られた最大値をロストモーションと定義します。

アクチュエータ

Laser indicator
レーザ変位計Output shaft
出力軸

Jig

治具

Lost motion is frankly the back and forth
positioning error at the arbitrary one point fromthe different direction. Averaged number of thedifference between forward and backward should
be obtained for 5 times measurements at thecenter and both end points. Maximum number
from the measurement above is defined as Lost
Motion.
V10.3.1

S102

Technical description
アクチュエータ技術解説

Technical description
アクチュエータ技術解説

Distance to move

（Theoretical value）
移動すべき距離（理論値）

レーザ変位計

基準位置から一定方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置で基準位置から実際に移動した距離と移動すべき距離との差を測定します。測定は有効ストロークのほぼ全域にわたり、機種別に規定する測定間隔で行い、 5回繰り返して測定します。それぞれの位置で求めた最大差の中で一番大きな値を「絶対位置決め精度」としています。

Absolute positioning accuracy is the difference
between actual and ideal position in one direction.
Measurement is done at several arbitrary points
within effective travel range, it should be repeated
5 times under the same points. Maximum
difference for each measurement is defined as
Absolute Positioning Accuracy.

Actuator
アクチュエータ

Actuator
アクチュエータ

アクチュエータ技術解説 Technical Description of the Actuator products

Actuator
アクチュエータ

Actuator
アクチュエータ【軸先端振れ / Runout of shaft travel end】

アクチュエータの許容モーメントについて

Z-θアクチュエータに適用 / Applicable for Z-θ Actuator
出力軸をフルストロークさせた位置でθ方向に回転させ、軸先端の振れ（変位幅）を軸先端振れと360°の範囲を測定します。
しています。

Rotate the Shaft at the position which the shaft moved entirely toward the end of travel, theamount of deflection measured by Laser indicator is defined as Runout of shaft travel end.
Measurement is done for 360 degrees.

Actuator

アクチュエータ

Laser indicator
レーザ変位計Output shaft
出力軸Permissible Moment for the Actuator【スライダタイプアクチュエータの許容モーメントについて / Permissible Moment of Slider type Actuator】
スライダタイプアクチュエータに作用するモーメントはMp（ピッチング）、My（ヨーイング）、Mr（ローリング）の3
方向あり、製品シリーズごとに許容モーメントを設定しています。
以下の計算式を参考にお客様のご使用条件で負荷モーメントの計算をおこない、許容モーメントを超えないことを確認してください。許容モーメントを超えてのご使用は、動作不良、破損の恐れがありますのでご注意ください。

Momentum Load which is applicable for Slider type Actuator is defined in three（3）directions; Mp（pitching）
My（yawing）and Mr（Rolling）. KSS is setting the Permissible Moment for each series of the Slider type
Actuator.
Please apply calculation formula below to calculate the value of Moment of Load under operating condition,
make sure not to exceed the value of Permissible Moment shown in the table below. Please note that using
the Actuator by exceeding the maximum value in each limit may cause the risk of malfunction or breakage ofthe product.

LX

治具

LY
G

G

【有料検査について / About optional inspection items with charge】
走り平行度、真直度、軸先端振れは、有料対応となる測定項目です。
測定データは検査成績表に実測値を記載して、製品に同梱されます。

Parallelism, Straightness, and Runout of Shaft travel end are inspection items that will be charged.
Inspection data is packing together in the product with the actual measurement value on the inspection
certificate.

【出荷検査について / About shipping inspection】
位置決め関連精度は出荷検査で実施し、規格値を満たした製品に対し以下の検査合格証（下図）を発行し、製品と同梱します。実測値をご希望の場合、有料にて検査成績表を発行いたします。

Positioning-related accuracy is executed as shipping inspection, and the Certificate of Inspection shown below
is issued for the product that meets the inspection standard. The Certificate of Inspection is shipped with the
product.
If you require the actual measured value, we will issue the Inspection Report with charge.

Formula for Mp（Pitchng）
Mp（ピッチング）計算式
Mp=m･g･LX

Formula for My（Yawing）
My（ヨーイング）計算式
My=m･g･LX

Formula for Mr（Rolling）
Mr（ローリング）計算式
Mr=m･g･LY

表 S-1 : スライダタイプアクチュエータ許容モーメント

Table S-1 : Permissible Moment for Slider type Actuator
Actuator series

アクチュエータシリーズ

Flex Actuator

フレックスアクチュエータCompact Actuator NEMA 6 size
□14コンパクトアクチュエータ
MoBo Actuator

ムーボアクチュエータ

S103

V10.3.1

Pitchng

Unit（単位）：Nm
YawingRolling

ピッチング
（MP）

ヨーイング
（My）

ローリング
（Mr）

0.10

0.09

0.23

0.14

0.12

0.22

0.16

0.10

0.20

V10.3.1

S104

Technical description
アクチュエータ技術解説

Technical description
アクチュエータ技術解説

Jig

m：ワークの質量（kg）
Work mass（kg）
g：重力加速度9.807（m/sec2）
Gravity acceleration 9.807（m/sec2）
LX：X軸方向張り出し距離（m）
Amount of overhang in
X-axis direction（m）
LY：Y軸方向張り出し距離（m）
Amount of overhang in
Y-axis direction（m）
G：ワーク重心位置
Work center of gravity position

Actuator
アクチュエータ

Actuator
アクチュエータ

ボールねじスプライン（BSSP）へのモーメント荷重について
Moment Load to the Ball Screw with Ball Spline（BSSP）

アクチュエータの組付け方法と注意点

Assembling method and precautions for the Actuator

BSSP及びBSSPを搭載したZ-θアクチュエータ、リニアアクチュエータはラジアル荷重、モーメント荷重を受けることができませんのでご注意ください。
BSSPはボールねじとボールスプラインが同一線上にあるためラジアル、モーメント荷重が偏荷重としてボールねじに作用し早期摩耗や循環部の破損を招きます。
Please be careful that Radial or Momentum Load cannot be applied to those products such as BSSP, Z- θ
Actuator or Linear Actuator.
Radial or Momentum Load may affect to Ball Screwʼs function due to its structure as BSSP, which is Ball
Screw and Ball Spline lying on the same axial line. It may cause earlier damage or breakage of therecirculation parts.

【スライダタイプアクチュエータ取付け基準面 / Datum clamp face of Slider type Actuator】
スライダタイプアクチュエータを装置へ取付ける際にご使用ください。
可動テーブルとの平行度を保証するものではありませんのでご注意ください。

Use the Datum clamp face when assembling the Slider type Actuator to the device.
Note that Datum clamp face does not guarantee parallelism with the movable table.
・コンパクトアクチュエータ（CAS）・Flexアクチュエータ（FAS）・Compact Actuator（CAS）

・Flex Actuator（FAS）

Captive typeの負荷取付け例 / Captive type Load applying example【推奨例 / Recommended example】
Technical description
アクチュエータ技術解説

Technical description
アクチュエータ技術解説

Load

Load

負荷

負荷

Datum

Datum

基準面

基準面

・水平姿勢でのご使用時、イラスト左のような負荷の取付けは絶対に行わないでください。
・水平姿勢でのご使用は、【推奨例】のように外部の案内機構でラジアル負荷を受ける構造としてください。
・Do not apply load as illustration shown above left.
・In horizontal position, configure as illustration shown above right as recommended example to apply radial load by

Guide rail.

Z-θアクチュエータの負荷取付け例 / Z-θ Actuator Load applying example【図S-3 / Fig.S-3】※アクチュエータの支持側からみたイラストです。

※アクチュエータの支持側からみたイラストです。

Illustration is seen from the supporting side of
the Actuator.

Illustration is seen from the supporting side of
the Actuator.

・MoBo アクチュエータ（MAS）【図S-2 / Fig.S-2】

Load

・MoBo Actuator（MAS）

負荷※参考例としてベルトドライブタイプをイラストに使用しております。ダイレクトドライ
ブタイプ、ハイブリッドドライブタイプも同様の取付け姿勢にしてください。
※Illustration above is used Belt-Drive type as example. Please refer to theexample and use the same posture for Direct-Drive type and Hybrid-Drive type.

Datum
基準面

Datum
基準面

センサ左出しの場合

センサ右出しの場合

Sensor is in the left position.

Sensor is in the right position.

図S-2のように垂直姿勢
・Z-θアクチュエータはラジアル荷重を受けることができません。
でご使用ください。
・図S-3のような負荷取付けは絶対に行わないでください。
ラジアル荷重が直接ボールねじに作用し、循環部品の損傷を招きます。
・Radial load cannot be applied on Z- θ Actuator. Please use it in vertical position, as

Load
負荷

S105

V10.3.1

illustrated in Fig.S-2 .
・Do not apply load as Fig.S-3. Radial load will directly apply to Ball Screw and may

damage recirculation part of Ball Screw.

※アクチュエータの軸端側からみたイラストです。

Illustration is seen from the shaft end of theActuator.
V10.3.1

S106

Captive type取付け例 / Captive type Assembling example

KSSのリニアアクチュエータは軽量、コンパクト化に特化した専用設計を採用しているため、お客様装置への組付け方【図S-4 / Fig.S-4】

法、使用においてご注意いただく点があります。アクチュエータタイプごとに組付け方法と注意点が異なりますので、以下を参考に正しく設置してご使用ください。

【図S-5 / Fig.S-5】

Actuator
アクチュエータ

Actuator
アクチュエータ【リニアアクチュエータ / Linear Actuator】

Load
負荷

Customer should be careful with assembling and using KSS Actuator due to its compactness and lightweighted design. There are differences of assembling method and precautions depending on each type ofActuator, so please refer to instruction below to assemble and use them properly.
【図S-6 / Fig.S-6】

External type取付け例 / External type Assembling example

Load
負荷

Bearing
軸受

External type Linear Actuator
Externalタイプ

Linear Guide rail

Load
負荷

・Radial load cannot be applied on Captive type Linear Actuator. Please use Captive type Actuator

案内機構

・External typeは回り止め機構がありません。ご使用の際はお客様で外部に回り止め機構を取付ける必要があります。
・軸端は、必ず軸受で支持してください。
・External type does not have anti-rotating device. External anti-rotating device, such as Linear Guide rail, shouldin vertical position, as illustrated in Fig.S-4 above.
・In horizontal position, configure as Fig.S-5 as to apply radial load by Guide rail.
・Do not apply load as Fig.S-6. Radial load will directly apply to Ball Screw and may damage
recirculation part of Ball Screw.

be set up when usage.
・Please support journal end by Bearing.
【Z-θアクチュエータ組付け時の注意点 / Precautions for assembling Z-θ Actuator 】

Non-Captive type取付け例 / Non-Captive type Assembling example
Anti-detaching device for shaft
抜け止め装置Z-θアクチュエータをご使用いただく際、お客様装置への取付け箇所により有効ストロークに変更が生じる場合があります。
以下を参考にお客様の使用に適した取付けを選択してください。

When using Z- θ Actuator, movable range may vary depending on the area to be assembled on your unit.
Please refer to instruction below to select the best mounting method.
Non-Captive type Linear Actuator
Non-Captiveタイプ

Z-θアクチュエータ取付け例 / Z-θ Actuator Assembling example

リニアアクチュエータ

Mechanical Stopper
メカストッパLinear Guide rail
案内機構

・Non-Captive typeは回り止め機構を内蔵しておりません。ご使用の際はお客様で外部に回り止め機構を設置してください。
また外部の回り止め機構でラジアル荷重を受けるようにしてください。
・アクチュエータの抜け止め装置をメカストッパとして使用しないでください。
抜け止め装置はねじ軸の抜け止め防止のみを目的としているため、過大な力が加わると、アクチュエータが破損する恐れがあります。
ご使用の際はお客様で外部にメカストッパ機構を設置してください。
・Non-Captive type does not have anti-rotating device. External anti-rotating device, such as Linear Guide rail

should be set up when usage. In addition, Radial load should be applied on External anti-rotating device.
・Do not use anti-detaching device for shaft as mechanical stopper for linear movement. It may damage theActuator by excessive force input. Anti-detaching device is for the shaft not to slip out from the Motor. Please set
up mechanical stopper outside body like shown in figure above.

【Bottom mount / 底面取付け】【Side mount / 側面取付け】

お客様で準備されるモータプレートの厚み分ストロークが減少しますのでご注意ください。

有効ストロークを犠牲にしない場合は側面取付を推奨します。

Motor plate

モータプレート

S107

V10.3.1

Side mounting is
recommended if you do
not want to sacrifice theeffective travel.

Please be aware oflosing travel length dueto the thickness of theMotor mounting plate.
Motor plate

モータプレートV10.3.1

S108

Technical description
アクチュエータ技術解説

Technical description
アクチュエータ技術解説

リニアアクチュエータ

・Captive typeはラジアル荷重を受けることができません。
図S-4のように垂直姿勢でご使用ください。
・水平姿勢でのご使用は、
図S-5のように外部の案内機構でラジアル荷重を受ける構成としてください。
図S-6のような負荷取付けは絶対に行わないでください。ラジアル荷重が・水平姿勢でのご使用時、直接ボールねじに作用し、循環部品の損傷を招きます。

Actuator
アクチュエータ

Actuator
アクチュエータ

リニアアクチュエータの許容軸方向荷重

モ−タアタッチメント【Externalタイプ許容軸方向荷重 / Load limit in Vertical Position for External type】【Flexアクチュエータ / Flex Actuator】

Load limit in Vertical Position for Linear Actuator

Motor-Attatchment

リニアアクチュエータExternalタイプは、軸受（固定側サポート）を必要としないため軸方向荷重が直接モータ内部にかかる設計となっています。そのため許容できる軸方向荷重はボールねじの基本動定格荷重（Ca）ではなく、モータ仕様に依存し、シリーズごとに許容できる軸方向荷重が異なります。以下にシリーズごとの許容軸方向荷重を記載しま
すので、選定・使用の目安としてください。
許容軸方向荷重を越えての使用をご検討の場合、KSSまでお問い合わせください。

External type Actuator does not require Bearing at fixed side support, therefore the Axial Load will be applied
to the inside the Motor directly. So permissible Axial Load is not the same as its Basic Dynamic Load Rating（Ca）of the Ball Screw. It relys on the Motor specifications and may vary depending on each series of Linear
Actuator selection. Please use the list below to support your choice for appropriate External Linear Actuator.
If you are looking for any Actuators exceeding permissible Axial Load, please contact KSS.

フレックスアクチュエータシリーズにKSS指定のモータ型式以外を搭載するには、モータメーカ各社の取付け寸法と出力シャフト長さに合わせたアタッチメントが必要となります。
以下に各モータメーカに合わせたアタッチメントの図面を掲載します。

In order to assemble a Motor other than KSS specified in the Flex Actuator series, it is necessary to have anattachment that matches the mounting dimensions and output shaft length of each Motor manufacturer.
The drawings of the Motor attachment which matches each Motor manufacturer are shown below.

Technical description
アクチュエータ技術解説

Technical description
アクチュエータ技術解説

表 S-7 : Externalタイプ許容軸方向荷重

Table S-7 : Load limit in Vertical Position for the External type
Actuator series

アクチュエータシリーズ

Motor size

Load limit in Vertical Position

モータサイズ

許容軸方向荷重（垂直）（N）□20 / NEMA08

43□28 / NEMA11

150

Motor attachment

モータアタッチメント

DMBR□35 / NEMA14

230□42 / NEMA17

2TMB□42 / NEMA17300□24 / NEMA10

230

TMB
□42 / NEMA17300

表 S-8 : モータアタッチメント一覧

Table S-8 : Motor-Attachment list
Motor manufacturer
モータメーカMotor Type

Motor Size

Acceptable Motor

NEMA 10□25

HG-AK0＊＊＊

NEMA 10□25

SGMMV-A＊＊

2 Phase Stepping Motor
2相ステッピングモータ

NEMA 11□28

PKP2＊＊

5 Phase Stepping Motor
5相ステッピングモータ

NEMA 11□28

PKP5＊＊

α Step Motorα ステップモータ

NEMA 11□28

ARM2＊＊
AZM2＊＊

2 Phase Stepping Motor
2相ステッピングモータ

NEMA 11□28

TS3641N1＊E2

5 Phase Stepping Motor
5相ステッピングモータ

NEMA 10□24

TS3664N1＊E2

NEMA 11□28

TS3641N61S02

NEMA 11□28

TSM11＊＊

モータ種類

Mitsubishi
三菱電機□20 / NEMA08

230
MB

MMBR

□24 / NEMA10

Yasukawa

AC Servo Motor
ACサーボモータ安川電機□42 / NEMA17300□28 / NEMA11

150□20 / NEMA08

230□42 / NEMA17300

Oriental Motor

オリエンタルモーター

SiMB

Tamagawa
多摩川精機

Sanmei
三明

Moons
Moons

S109

V10.3.1

Stepping Servo Motor

ステッピングサーボモータ

モータサイズ

適用モータ型式

V10.3.1

S110

安川電機 SGMMV-A＊＊ / Yasukawa SGMMV-A＊＊

Actuator
アクチュエータ

潤滑剤の補給と給脂方法について

Lubricant and Greasing method
A

6

0.010

45°

A

.5
C1
4-

（3）

4.9

Greasing is required for any KSS Actuators. Maintenance cycle will be depending on your usage and working
condition, however in general we recommend that you check the Grease condition in every 3 months, and if
required please apply re-Greasing. Please refer to diagram below for how to re-Grease for each Actuator type.

φ20H7 0

φ6

20

25

PCD28

●スライダタイプ / Slider type
（FAS, CAS, MAS）

2-M2.5 through2-M2.5 通し

12

4-φ3.5-φ6 depth 4.9 spot facing
2-φ3.5-φ6 深4.9ざくり

KSSのアクチュエータはグリースメンテナンスが必要です。メンテナンスサイクルはお客様の使用環境、稼働頻度により異なりますが、おおよそ3ヶ月に1度、グリースの状況を確認いただき、必要に応じて再給脂を行ってください。アクチュ
エータタイプごとの再給脂方法は以下を参考にしてください。

3+0.021

Actuator
アクチュエータ

三菱電機 HG-AK0＊＊ / Mitsubishi HG-AK0＊＊25●Non-Captiveタイプ / Non-Captive typeCover

カバー（※1）

Apply grease
グリース塗布Moons TSM11＊＊ / Moons TSM11＊＊

5

0.010

※1）FASのみ/ For only FAS
先にカバーを取り外し、軸を露出させてから給脂を行ってください。

A
28

C1

2.5

0.010

Remove the cover first and expose theshaft before applying the Grease.

A
（3）

2

+0.018

φ18H7 0

φ6

19

20

25

φ22H7 0

φ6

20

23

28

+0.021

4-

C1

.5

4-

（2.5）

2-M2.5 through2-M2.5 通し

5
A

.5

23

グリース塗布

多摩川精機 TS3664N1＊E2 / Tamagawa TS3664N1＊E2

3.4
124-M2.5 through4-M2.5 通し

2-φ3-φ5 depth 3.4 spot facing
2-φ3-φ5 深3.4ざぐり

Apply grease 【図S-9 / Fig.S-9】

12
19
25

【図S-10 / Fig.S-10】

Apply grease
グリース塗布

多摩川精機 TS3641N＊E2, 三明 TS3641N61S02 / Tamagawa TS3641N＊E2, Sanmei TS3641N61S02

A

10

0.010

●Z-θアクチュータ/ Z-θ Actuator【図S-11 / Fig.S-11】

A
28

C1

.5

（8） 2

4-

23

4.9

12

4-M2.5 through4-M2.5通しグリース塗布

+0.021
φ22H7 0

φ6

20

23

28

Apply grease

4-φ3-φ5 depth 4.9 spot-facing
4-φ3-φ5深さ4.9ざぐり【図S-12 / Fig.S-12】

Apply grease
グリース塗布

S111

V10.3.1

The Ball Nut is located on the output-shaft side.
Move the shaft in the direction shown by theillustration and then apply the Grease.
スプラインとボールねじ両方に給脂を行うため、以下の手順で給脂を行ってください。

●Captiveタイプ / Captive type

グリース塗布
4-φ3-φ5 depth 3.4 spot facing
4-φ3-φ5 深3.4 ざぐり

ねじナットが出力軸側に配置されていますので、イラストが示す方向に軸を突出させて給脂を行ってください。

Please follow the procedure below to lubricate both the Ball
Spline and the Ball Screw.
・ スプラインへの給脂 / Applying the Grease for Ball Spline
図S-9が示す方向に軸を突出させて給脂を行ってください。
Move the Shaft in the direction shown by the illustrationand then apply the Grease（Fig.S-9）.
・ ボールねじへの給脂 /Applying the Grease for Ball Screw
図S-10が示す方向へ軸を突出させて給脂を行ってください。
Move the Shaft in the direction shown by the illustrationand then apply the Grease（Fig.S-10）.
スプラインとボールねじ両方に給脂を行うため、以下の手順で給脂を行ってください。

Please follow the procedure below to lubricate both the Ball
Spline and the Ball Screw.
・ スプラインへの給脂 / Applying the Grease for Ball Spline
図S-11が示す方向に軸を突出させて給脂を行ってください。
Move the Shaft in the direction shown by the illustrationand then apply the Grease（Fig.S-11）.
・ ボールねじへの給脂 /Applying the Grease for Ball Screw
図S-12が示す方向へ軸を突出させて給脂を行ってください。
Move the Shaft in the direction shown by the illustrationand then apply the Grease（Fig.S-12）.

V10.3.1

S112

Technical description
アクチュエータ技術解説

Apply grease

Oriental Motor
PKP2＊＊、PKP5＊＊、ARM2＊＊、AZM2＊＊ATechnical description
アクチュエータ技術解説

オリエンタルモーター
PKP2＊＊、PKP5＊＊、ARM2＊＊、AZM2＊＊ /●グリースの点検
ボールねじのねじ軸上に残存しているグリースに変色（黒や茶褐色の汚れ）が生じたらグリースアップの時期であると考えてください。
●古いグリースの拭き取り方法
専用シート（キムワイフﾟなど）でねじ軸に付着している汚れたグリースを拭き取ります。
注）；ウエスなどは糸くずが発生し、ボールねじに付着しますので使用しないでください。
注）；異物などが付着している可能性もありますので、丁寧に拭き取ります。
ナットを移動させ、ナット内に残存しているグリースもできるだけ拭き取ります。ナット両端の入り口付近に付着しているグリースも拭き取ります。
●新しいグリースの塗布方法
ねじ軸全体にグリースを塗布します。
注）；専用のブラシやハケを使用するか、ゴム手袋を着用して直接ねじ軸に塗布してください。
注）；ナットを移動させ、まだ塗布できていないねじ軸の部分にもグリースを塗布します。
ナットをねじ軸全域に亘り移動させ、グリースがねじ軸全体に均等に塗布されるようにします。
可能であればナットを何回か往復させ、簡単な慣らし運転を行います。

●注意事項
ボールねじに直接触れる場合は、必ずゴム手袋を着用し、錆の発生を防止してください。
グリースアップの際にボールねじに打痕などを付けないように注意してください。
ゴミなどの異物をボールねじに付着させないようにしてください。
異なるグリースを塗布しないように注意してください。

その他の技術情報

Other technical information【自重落下 / Free fall】

Z-θアクチュエータに自重落下防止機能は備わっていません。したがって電源オフ時の自重落下が許されない環境下でお使いの場合は、お客自身でアクチュエータ外部に自重落下を防止する機能を設置していただく必要があります。
または、ベルトドライブタイブ型アクチュエータを選択し、搭載モータを電磁ブレーキ付モータへ変更するとアクチュ
エータの自重落下防止が可能となります。

※注意
電磁ブレーキ付モータを選択出来るのはベルトドライブ型アクチュエータのみです。
ダイレクトドライブ型とハイブリッド型アクチュエータは電磁ブレーキ付きモータを選択することは出来ません。
参考までにZ-θアクチュエータの自重落下荷重を以下表に記載致します。

Z-θ Actuator does not equip with anti-free fall device.
If free falling is not allowed when use, external anti-free fall device should be set up.
Or choose the Belt Drive type and customize the Motor equipped with Magnetic brake, the Actuator can hold theShaft even when it powers off.
※Please note;

The Motor equipped with Magnetic brake can only be chosen for Belt Drive type Actuator.
It is not available with either Direct-Drive type or Hybrid Drive type Actuator.
For your reference, below table shows the free fall weight for each type of the Actuator.

表 S-13 : Z-θアクチュエータの自重落下荷重● Grease maintenance.
If any discoloration（black, brown）are identified in the Grease remaining in the Screw Shaft, please consider

Modelthat is the appropriate timing for re-Greasing.
● How to wipe off old Grease.

Wipe off old Grease by wiping sheet which is specially designed for wiping oil or Grease.
Note）Do not use the waste clothes which may attract fiber or clothes remaining onto the surface of the Shaft.
Note）Wipe off any debris or foreign particles carefully, they may be attached on the surface of the Shaft.
Move the Ball Nut and wipe off all the remaining Grease as much as possible. Wipe the remaining Greaseattached on close to the both edge of the Ball Nut.
● How to apply new Grease.

Apply Grease entirely throughout the Shaft.
Note）Use designated brush, or apply new Grease directly onto the Shaft surface with rubber gloves.
Note）Move the Ball Nut and apply Grease to make sure that the Grease is applied entirely throughout thesurface.
Move the Ball Nut throughout the Shaft to apply Grease entirely on the Shaft.
Run the Ball Nut back and forth several times and perform running-in operation.
● Periodic Inspection.

Re-Grease is recommended once every 2~3 months.
If severe discoloration of Grease identified, it is recommended to re-Greasing in a shorter period.
● Precautions.

Please wear rubber gloves when handling the Ball Screw to avoid getting rust.
Please be careful of handling the Ball Screw not to make dents or scars when applying Grease.
Avoid collecting foreign particles onto the Ball Screw.
Do not apply different grease from the time of shipping.

S113

V10.3.1【自重落下例 / Example of free falling】

Table S-13 : Free-fall load of Z-θActuator
種類

Motor Framesize
モータサイズ

Lead

リード

Free-falling
load

10mm

2N

ダイレクトドライブ型

NEMA17
（□42）

10mm

5N

Hybrid-Drive type

NEMA10/11（□25/28）10mm

3N

NEMA10
（□25）

4mm

18N

NEMA11
（□28）

10mm

17N

NEMA14
（□35）

10mm

16N

ハイブリッドドライブ型

Belt-Drive type

ベルトドライブ型※注意

電源off / Power off

自重落下荷重NEMA11（□28）

Direct-Drive type

電源on / Power on

数値は保証値ではありません。
参考値としてお考えください。

※Caution

Values are not guaranteed number.
Please take them as reference value.

Work load
ワーク

Work load
ワーク

モータの保持力により位置を保持できる。

The Shaft can be heldby its retention force ofthe Motor.

電源offによりモータ保持
力が無くなり、出力軸が落下。

The Shaft will free fall
once the Actuator
turned off, by the loss ofretention force from theMotor.

V10.3.1

S114

Technical description
アクチュエータ技術解説

Technical description
アクチュエータ技術解説●定期点検
アクチュエータの稼働条件にもよりますが、目安として2〜3ヶ月に一度はグリースアップを行ってください。
特に汚れが激しい場合は、上記よりも短い期間でのグリースアップをお勧めします。

Actuator
アクチュエータ

Actuator
アクチュエータ【給脂における注意事項 / Precautions for Grease maintenance】

【Belt-Driveアクチュエータの発塵量データ / Particle emission of Belt-Drive Actuator】

Actuator
アクチュエータ

V-Z-θアクチュエータをご使用いただく際、原点復帰の順序についてご注意いただく必要があります。
原点復帰の順序として、
θ軸→Z軸の順番で原点復帰を行うことを推奨します。
順番が逆になると、
一旦原点出しを終えたZ軸の位置がずれてしまうためです。

Z-θアクチュエータはクリーンルームでの使用に対応した設計ではありません。

In order to apply home positioning, we recommend that θ-axis should be the first, then followed by Z axis. If Z-axis
home positioning is first, then zero position may move after θ-axis home positioning.
The reason is shown below diagram.

Z-θ Actuator is not designed for using in clean room facility or environment.
Below graph shows the measurement result of dust particle of Belt-Drive Actuator for your example.
Please refer to the result below when using our Z-θ Actuator in such facility.
測定条件 / Measurement Condition

推奨原点復帰順序原点復帰順序 Z軸→θ軸の場合

Recommended procedure of home positioning

In case of home positioning for Z axis →θaxis＊推奨しない原点復帰方法 /Not recommended way
for home positioning
Ball Screw NutBall Screw Nut

ボールねじナット

Z axis（Linear）

θ axis sensor-dog
θ軸センサドグθ axis sensor
θ軸センサ：BDVZ06-G10050N02（ベルトドライブ型）：115時間：Z軸 200mm/sec（カタログ最高スペック）
θ軸 1080°/sec（カタログ最高スペック）
・動作パターン：スパイラル駆動
：無負荷
・可搬重量

：BDVZ06-G10050N02（Belt-Drive type）
・Sample・Running period ：115 hours
・Speed：Z axis 200mm/sec（Highest spec in Catalogue）
θ axis 1080°/sec（Highest spec in Catalogue）
・Operating pattern ：Spiral moving（Z & θ）
・Load
：No loading①

Z axis（Linear）②

θ axis（Rotary）

θ axis（Rotary）

Z axis sensor
Z 軸センサZ axis sensor-dog
Z 軸センサドグ

θ軸原点復帰を実行し、θ軸の原点が取れている状態。
この状態のまま、Z 軸原点を実行しても、
θ軸（ボールスプライン）は直動案内のみの役割を果たすため、回転方向の位置ずれは発生しません。

θ-axis home positioning has been done in zero

position. In this situation, Z-axis home positioning
should be applied. θ-axis will never movebecause Ball Spline Nut only plays a role of guidefor linear motion.

100,000

Z 軸（直動）①

θ軸（回転）⢏ᚄูⓎሻ㔞 Particle emission（per size）

Technical description
アクチュエータ技術解説

Technical description
アクチュエータ技術解説

Z 軸（直動）ボールスプラインナット

・ワーク
・移動時間
・速度

ボールねじナット②
Ball Spline Nut

参考のため、弊社で実施した発塵量の測定結果を記載します。
クリーンルームでのご使用は、以下の測定結果を参考にお客様で判断して頂ければと思います。

θ軸（回転）

θ axis sensor
θ軸センサ

Ball Spline Nut

ボールスプラインナット
θ axis sensor-dog
θ軸センサドグ

Z axis sensor
Z 軸センサZ axis sensor-dog
Z 軸センサドグಶᩘ [1CF䞉10min] Log Number of particles

Actuator
アクチュエータ【原点復帰 / Home positioning】

10,0001,000

0.10um100

Z-axis home positioning has been done in zero
position. In this situation, if θ-axis home
positioning is applied. BPPS shaft（Ball Screw
with Ball Spline）will move up or down with rotary
movement at the same time of CW/CCW home
positioning.

0.5μm のパーティクル

0.20um
0.30umZ 軸原点復帰を初めに実行し、Z 軸原点が取れている状態。この状態でθ軸原点復帰を実行すると。出力軸が回転しながら上下します。
（θ軸の原点復帰方向の設定が CW/CCW により
上下どちらかに動いてしまいます）

0.5μm particles

0.15um

0.50um10
0

5

10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 75 80 85 90 95 100 105 110 115⤒㐣᫬㛫[h] Duration（hours）※測定方法：FED209D規格に準拠※上記表の値は保証値ではありません。
ひとつの目安としてお考えください。

※Measurement Method : Followed with FED209D

Standard.
※Above values are not guaranteed values.
Please take them as one of the reference data.

【アクチュエータの製品保証 / Warranty of Actuator products】
製品の保証期間は、出荷日より1年とさせていただきます。万が一、保証期間内において弊社責任による不具合が発生した場合、製品の交換または修理を無償で対応させていただきます。
保証期間以降に発生した不具合や故障につきましては、有償にて対応させていただきます。

Product warranty is 1 year from the date of shipment. If any defects or malfunctions originated by KSS
responsibility, product will be replaced or repaired without any charge.
Any defects or malfunctions occurred after warranty period, we will required support with charge.
S115

V10.3.1

V10.3.1

S116