SA200DE

New
アライメントステージ

支社
東 部 支 社：〒108-8586 東京都港区高輪2-19-19
中 部 支 社：〒454-0004 名古屋市中川区西日置2-3-5
西 部 支 社：〒550-0013 大阪市西区新町3-11-3
東 北 支 社：〒982-0031 仙台市太白区泉崎2-22-22
北 関 東 支 社：〒360-0018 熊谷市中央1-143
南 関 東 支 社：〒243-0014 厚木市旭町1-8-6
浜 松 支 社：〒435-0028 浜松市南区飯田町335
豊 田 支 社：〒472-0005 知立市新池3-62
広 島 支 社：〒733-0003 広島市西区三篠町2-4-22
九 州 支 社：〒812-0016 福岡市博多区博多駅南4-19-1

Tel. 03-3448-5931 Fax. 03-3449-4589
Tel. 052-331-7261 Fax. 052-332-3783
Tel. 06-6532-6341 Fax. 06-6543-1797
Tel. 022-307-1415 Fax. 022-743-5341
Tel. 048-528-5851 Fax. 048-525-8911
Tel. 046-228-6011 Fax. 046-228-6068
Tel. 053-462-7111 Fax. 053-461-3041
Tel. 0566-82-6201 Fax. 0566-82-8181
Tel. 082-237-6101 Fax. 082-237-6102
Tel. 092-471-7971 Fax. 092-472-0079

海外部門
東京：〒108-8586 東京都港区高輪2-19-19

Tel. 03-3448-5850 Fax. 03-3447-7637

営業所
長 岡 営 業 所：Tel. 0258-33-0823
宇都宮営業所：Tel. 028-651-6633
日立 営 業 所：Tel. 029-275-1356
西東京営業所：Tel. 042-584-6051
松 本 営 業 所：Tel. 0263-27-1422

金 沢 営 業 所：Tel. 076-240-1115
滋 賀 営 業 所：Tel. 077-567-1655
明 石 営 業 所：Tel. 078-927-3720
熊 本 営 業 所：Tel. 096-387-7511

Fax. 0258-35-5036
Fax. 028-651-6744
Fax. 029-275-1422
Fax. 042-584-6052

Fax. 076-240-0059
Fax. 077-567-1701
Fax. 078-927-3850
Fax. 096-387-7550

Fax. 0263-27-0797

海外事務所
IKO INTERNATIONAL, INC.（米国）

IKO-THOMPSON（SHANGHAI）LTD.（中国）

ニュージャージー Tel. 1-(973)402-0254イリノイTel. 1-(630)766-6464
ミネソタ
Tel. 1-(952)892-8415
カリフォルニア Tel. 1-(562)941-1019
サンタクララ（シリコンバレー） Tel. 1-(408)492-0240
ジョージア
Tel. 1-(770)418-1904
テキサスTel. 1-(972)929-1515

上海
北京
広州
武漢
深圳
寧波
青島
瀋陽

Fax. 1-(973)402-0441
Fax. 1-(630)766-6869
Fax. 1-(952)892-1722
Fax. 1-(562)941-4027
Fax. 1-(408)492-0245
Fax. 1-(770)418-9403

Fax. 1-（972 ）915-0060

IKO THOMPSON BEARINGS CANADA, INC.(カナダ)
トロント

Tel. 1-(905)361-2872 Fax. 1-(905)361-6401

IKO THOMPSON BRAZIL SERVICE CO.,LTD.（ブラジル）
サンパウロTel. 55-(11) 2366-3033

IKO THOMPSON KOREA CO., LTD.（韓国）
ソウル

Tel. 82-2-6337-5851 Fax. 82-2-6337-5852

IKO THOMPSON ASIA CO.,LTD.（タイ）
バンコク

Tel. 66-(2)637-5115 Fax. 66-(2)637-5116

Tel. 86-21-3250-5525
Tel. 86-10-6515-7681
Tel. 86-20-8384-0797
Tel. 86-27-8556-1610
Tel. 86-(755)2265-0553
Tel. 86-(574)8718-9535
Tel. 86-(532)8670-2246
Tel. 86-(24)2334-2662

Fax. 86-21-3250-5526
Fax. 86-10-6515-7689
Fax. 86-20-8381-2863
Fax. 86-27-8556-1630
Fax. 86-(755)2298-0665
Fax. 86-(574)8718-9533
Fax. 86-(532)8670-2242
Fax. 86-(24)2334-2442

NIPPON THOMPSON EUROPE B.V.（欧州）オランダTel. 31-(10)462 68 68
ドイツ
デュッセルドルフ Tel. 49-(211)41 40 61
レーゲンスブルグ Tel. 49-(941)20 60 70
ノインキルヘン Tel. 49-(6821)99 98 60
イギリス
Tel. 44-(1908)566144
スペイン
Tel. 34-(949)26 33 90
フランス
Tel. 33-(1)48 16 57 39

Fax. 49-(211)42 76 93
Fax. 49-(941)20 60 719
Fax. 49-(6821)99 98 626
Fax. 34-(949)26 31 13
Fax. 33-(1)48 16 57 46

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https://www.me-iko.com/
mecha-tool/index.php

https://vsr.ikont.co.jp/

https://www.ikont.co.jp/● 製品の外観・仕様などは、改良のため予告なしに変更することがあります。● 本製品を輸出する際は、仕向国及び用途・需要者を確認いただき、客観要件に該当する場合は、輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。
● 本カタログは正確を期して制作しておりますが、誤字・脱字等に起因する損害には責任を負いかねます。● 無断転載、転用を禁止します。

CAT-3750

Printed in Japan © 2022.08（AK）

SA200DE
X軸追加、θ軸トルクアップ

THE NEW

SA200DE

アライメントステージSAの構造
直動案内部に小形直動案内機器のIKOリニアウェイ、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。
θテーブル
クロスローラベアリング可動子マグネット

メカストッパ
固定子コイル

Xテーブル

可動子マグネット
固定子コイル

リニアウェイメカストッパ

リニアエンコーダ用ヘッド

SA200DEの特長■ XYθ軸の組合せが自由に

直 線 位 置 決め用 の Xテーブ ルである、S A 2 0 0 D E / Xを標準設定として新規追加しました。回転位置決め用である
SA200DE/Sと組み合わせることによって、XYθ軸の3方向に可動する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築することができます。

■ 薄形、コンパクトベアリングを採用。ボールねじ駆動のステージと比較して、X軸30

極めて低い断面高さを実現しています。

XYθ軸90

コアレスリニアモータとIKOリニアウェイL、IKOクロスローラ

Y軸30

θ軸30

SA200DE/XYS

X軸を標準設定，θ軸のトルクUPを実現
1

θ軸（SA200DE/S）のモータ設計を見直し、トルクUPを実現。
従来品と比較して、省電力化、タクトタイム短縮を実現しました。
＜条件＞
SA200DE θ軸
搭載質量：10kg
運転速度：80deg/ｓ

140120100
8042 %の削減
74.4

6040200

備考

128.6

従来品

新製品

同消費電力条件での1サイクル時間
0.25
1サイクル時間[s]200サイズをアップデート

同サイクル条件での消費電力

消費電力[Wh]

アライメントステージSAシリーズの■ 省電力、高タクト

0.2

0.227%の削減
0.145

0.15
0.1
0.050

従来品

新製品

本結果は理論計算値です。
実際の運転時の値とは異なる場合がありますのでご了承ください。

2SA

配列例

200

12DE/

153XYS

4R

546■ 仕様・性能
形式と大きさSA200DE/1X

400（250）N( )8.0（6.0）N・m(6)定格推力・定格トルク(2)70N

2.0N・m30.0（20.0）kg( )21.2（17.1）kg(6)

20mm

280 度

6有効ストローク長さ・動作角度

形式

分解能
最高速度(3)

形式記号
SA…DE：アライメントステージ SA

0.1µm

0.5µm

0.25 秒
14400pulse/ 度

270mm/s

800mm/s

270 度 /s繰返し位置決め精度( )
4

可動部質量

23

可動部慣性モーメント大きさ

総質量( )
5記号

テーブルの大きさ [mm]200□200、φ200

分解能
記号

分解能の値

10.1µm

50.5µm

使用周囲温度・湿度± 0.5µm± 0.5 秒

3.4kg

ーー

0.013kg・m²

7.2kg

6.0kg

0 〜 40℃・20 〜 80％ RH（結露しないこと）

注 (1) 最大推力・トルクの持続時間は最大 1 秒です。
(2) 周囲温度 20℃、金属製の相手部材に取り付けた場合です。
(3) 表示の速度を超える場合については、IKO にお問い合わせください。
(4) 製品本体の温度が一定の場合です。
(5) コードの質量は含んでいません。
(6) （ ）内の値は ADVA-R5ML ドライバと組み合わせた場合です

動的可搬質量＜ X（Y）軸＞

X 軸または XY 軸のエンコーダ分解能を指定します。
④で S：θ軸のみを選択する場合は、分解能は無記号としてください。

5軸構成
記号軸構成

X

X 軸のみ

S

θ軸のみ

XY

XY の 2 軸構成

XS

Xθの 2 軸構成

XYS

XYθの 3 軸構成

表面処理
記号

表面処理

無記号

無電解ニッケルめっき

R

黒色クロム皮膜処理

表面処理はテーブルとベッドの表面に施します。

610.1

10

加速度 m/s

2SA200DE/S（200V）

10SA200DE/S（100V）

10.10.01
1100

10外周の加速度 m/s 2100

θ軸の動的可般質量は鋼の立方体として計算した値です。
また加速度はステージ外周部の値として換算しています。

■ 取付け

SA200DEを固定するための一般的な締付トルクを下表に示します。振動や衝撃がなく高い精度が必要なときは、表の値よりも小さなトルクで締め付け、ねじの緩み止めのために接着剤を併用することを推奨します。
単位 N·m

仕様番号

めねじ部材

記号

仕様番号

4

仕様番号 4

仕様番号は 4 のみとなります

3SA200DE/X（100V）

0.01
1

備考

＜θ軸＞
SA200DE/X（200V）

10

動的可搬質量 kg

4SA200DE/S

6

最大可搬質量1

SA200DE/5X

最大推力・最大トルク( )1

動的可搬質量 kg■ 呼び番号

ねじの呼び鋼M6 × 1

13.3

M5 × 0.8

7.9

アルミニウム合金
ねじインサート
鋼の数値の約 60%鋼の数値の約 80%

4■ センサ仕様■ システム構成

SA200DE
X軸のセンサのタイミングチャート−

アライメントステージSAには専用ドライバとしてADVAとMR-J4の2シリーズが用意されており、使用するドライバによって、システム構成が異なります。

X軸＋

ADVAはパルス列仕様と高速ネットワークEtherCAT仕様の2種類を用意しており、MR-J4は高速ネットワークSSCNETⅢ/H仕様のみとなります。下表にADVAの呼び番号配列、テーブルと適用するMR-J4の呼び番号を示します。各ドライバの詳細仕様については、IKOメカトロシリーズ総合カタログのドライバ仕様の項をご参照ください。
ADVAの呼び番号

ADVA –01NL

①形式
●②●

EC /③●

SA200DE-S2④●② 電源電圧●④ 適用アライメントステージ形式●

01NL

単相 / 三相 200V

SA200DE-X

SA200DE/X

R5ML

単相 100V

SA200DE-S2

SA200DE/S③ 指令方式●

010＋方向リミット

ON

有効ストローク長さ（20）ON−方向リミット
メカストッパ5

パルス列指令EC

EtherCAT

SA200DEと適用するMR-J4の呼び番号

原点前

4ON

単位 mm

原点

無記号

テーブルの呼び番号

ドライバの呼び番号

SA200DE/X

MR-J4-10B-RJ/SA200DE-X

SA200DE/S

MR-J4-10B-RJ/SA200DE-S2●セットアップソフトウェア

5

アライメントステージSAを動作させるためには、ドライバパラメータの初期設定が必要です。ドライバのパラメータ設定は、セットアップソフトウェアにて行います。また、ゲイン調整や運転状況の確認に利用できます。

SA200DE
θ軸のセンサのタイミングチャート

ccw

θ軸

ドライバ本体には、セットアップソフトウェア、パソコン接続ケーブルが添付されておりません。これらは複数台のドライバで共用することが可能ですが、cw最低1組は必要となります。お客様の条件に合わせて別途ご注文、またはご用意ください。

ドライバADVAを使用したSA200DEのシステム構成❼セットアップソフトウェア
●

❷ドライバ
●
❻●

ACSERVO

ADV Series

パソコン

⓫●

●
❽ON

単位 度点

原4

ON

2

有効動作
角（280）

ON4

5W

CC

❾
●

トミス

カパット

名称

❸●

モータ中継コード（3m）（1）

TAE20V3-AM03❹●

エンコーダ中継コード（2m）（1）

TAE20V4-EC02❺●

センサ中継コード（2）TAE10V8-LC□□❻●

パソコン接続ケーブル

USB mini Bケーブル
お客様でご用意ください。

❼●

セットアップソフトウェア❽●

I/Oコネクタ

❾
●

電源コード

❿
●

上位装置

⓫●

I/Oコネクタ接続ケーブル❹●ッリCW❺●

トッミリメ●❸●

呼び番号

ProDriveNext㈱日立産機システムのwebサイトよりダウンロードしてください。
TAE20R5-CN（3）
お客様でご用意ください。

❶アライメントステージ●
SA200DE
4

備考

前点原❿上位装置●
PLC、スイッチ、センサなど

No.

1. 各数値は目安であり、保証値ではありません。詳細な寸法が必要な際は、IKOにお問い合わせください。
2. 各センサの詳細仕様についてはIKOメカトロシリーズ総合カタログのセンサ仕様の項をご参照ください。

注(1)
( 2)
( 3)

特殊なコード長さについてはIKOにお問い合わせください。
センサ中継コード長さは、呼び番号末尾の□□にて3～10mまで1m単位で指定します。
I/OコネクタTAE20R5-CNは、スリーエムジャパン㈱製10150-3000PE（コネクタ）と10350-52F0-008（カバー）の組合せです。

6

■ システム構成■ 製品寸法■SA200DE/X

ドライバADVA…ECを使用したSA200DEのシステム構成

パソコン

⓫上位装置
（EtherCAT対応機器）●
PLC、スイッチ、センサなど

ET2ET1❾●⓬●●❽⓫上位装置●PLC、スイッチ、センサなど

❺
●
❹●
❿●

●
❸●
❶アライメントステージ●
SA200DE

注( )
(2)
(3)

モータ中継コード（3m）（ 1）

TAE20V3-AM03❹●

エンコーダ中継コード
（2m）
（1）

TAE20V4-EC02❺●

センサ中継コード（2）TAE10V8-LC□□

パソコン接続ケーブル

USB mini Bケーブル
お客様でご用意ください。

❻●❼●

セットアップソフトウェア❽●

I/Oコネクタ❾●Ethernetケーブル

❿●

電源コード

⓫
●

上位装置

⓬●

I/Oコネクタ接続ケーブル

ProDriveNext㈱日立産機システムのwebサイトよりダウンロードしてください。

−コード長さ(1400）

X軸

4-M6深8( 1 )＋4-M6深8( 1 )エンコーダ□にはXYのどちらかが入ります。

モータ

TAE20V5-CN（3）

お客様でご用意ください。

リミット

特殊なコード長さについてはIKOにお問い合わせください。
センサ中継コード長さは、呼び番号末尾の□□にて3～10mまで1m単位で指定します。
I/OコネクタTAE20V5-CNは、スリーエムジャパン㈱製10120-3000PE（コネクタ）と10320-52F0-008（カバー）の組合せです。

コード長さ:(250）

120
160

40
20200

4.5301❸●120

ADV Series

呼び番号40●❻

名称160182
200

R

ACSERVONo.

209❼セットアップソフトウェア
●

❷ドライバ
●

ドライバMR-J4-10Bを使用したSA200DEのシステム構成（SSCNETⅢ/H対応）

パソコン

❽
●

❿上位装置
●
DC24V電源SSCNETⅢ/H対応
モーションコントローラ
位置決めユニット

⓫●
❺●
●
❾
●

単相または三相AC200V（50/60Hz）

注(1)
(2)
(3)
(4)

❹
●

呼び番号

❸
●

モータ中継コード
（3m）
（ 1）

❹
●

エンコーダ中継コード
（2m）
（1）

TAE20V6-EC02❺●

センサ中継コード（ ）TAE10V8-LC□□❻●

パソコン接続ケーブル（3m）

MR-J3USBCBL3M❼●

セットアップソフトウェア

SW1DNC-MRC2-J❽●

入出力接続用コネクタ

❾●

電源コード

TAE20V3-AM032❿●

上位装置（4）⓫●SSCNETⅢ/H接続ケーブル

MR-CCN1（）
3■SA200DE/S

エンコーダ

お客様でご用意ください。

❶アライメントステージ●
SA200DE特殊なコード長さについてはIKOにお問い合わせください。
センサ中継コード長さは、呼び番号末尾の□□にて3～10mまで1m単位で指定します。
入出力接続用コネクタMR-CCN1は、スリーエムジャパン㈱製10120-3000PE（コネクタ）と10320-52F0-008（カバー）の組合せです。
上位装置は三菱電機㈱製SSCNETⅢ/H対応のモーションコントローラ、位置決めユニット、DC24V電源となります。

136ccw

θ軸

32cw

コード長さ:(250）
モータ

❸
●

コード長さ:(1400）

40

●
❻名称

S00リミット∅2∅56

8-M5深10( 1 )∅140(等分配置)

4-M6用穴

220

●
❷ドライバ

No.

160

❼セットアップソフトウェア●

4-M6用穴

9182

160

20730

52008

■ 製品寸法■SA200DE/XY■SA200DE/XYS
4-M6深8( 1 )

200
136

4-M6深8( 1)3200＋X軸

308-M5深10( 1)∅140(等分配置)＋Y軸120160200402012040920−

220

∅2

∅56深−−

182
200＋
X軸
160

θ軸ccw
cw

Y軸＋4.5182

91204030
4.5303060903030−

182

94-M6用穴

4-M6用穴■SA200DE/XS
200136ccw

θ軸

32cw

00

∅2

∅56深22030

8-M5深10( 1 )∅140(等分配置)

＋X軸

182

994.5306030−40120

4-M6用穴10