エアマイクロセンサシリーズ

エアマイクロセンサ

www.metrol.co.jp/gap-sensor/

DPA-SR1 / LR1

1点設定形
ショートレンジ／ロングレンジ■ 1〜100μm 検出距離 ショートレンジ形

DPA-SR1

切粉による、ワークと治具のスキマを、±0.5μm〜の繰返し精度で安定検出。

■ 80〜350μm 検出距離 ロングレンジ形

DPA-LR1

表面の粗いワークや、大型ワークと治具のスキマを、±5μm〜の繰返し精度で安定検出。

※写真は、オプション プロテクトチューブ装着時

■仕様
形式
検出距離

DPA-SR1（ショートレンジ）

DPA-LR1（ロングレンジ）

1〜100μm（推奨エアノズル使用時）

80〜350μm（推奨エアノズル使用時）

信号点

マスターセットボタンにて設定可※マスタ値は電源を落としても、保存されています。

繰返し精度±0.5μm：検出距離 1〜60μm±1μm：検出距離 80〜150μm±1μm±3μm：検出距離 150〜250μm±5μm：検出距離 250〜350μm：検出距離 60〜100μm

定格圧力変化 ±1％以内の時

定格圧力変化 ±1％以内の時

チューブ長 1.5m ／推奨エアノズル使用時

チューブ長 1.5m ／推奨エアノズル使用時

0.8 秒（チューブ長 1.5m ／エアを供給開始から出力まで）応答時間
電気的応答速度

80ms

保護構造

IP67
0.15〜0.2MPa

使用圧
使用配管径

外径φ6× 内径φ4 チューブ

使用流体

乾燥空気（5μm フィルタ使用）

消費空気流量9ℓ/min（max）

24ℓ/min（max）
0℃〜60℃（結露ないこと）

使用温度範囲標準長さ 3m 耐油性 4 芯φ5 AWG30 相当

コード (P7-5 参照 )電源電圧

DC24V±10％ 消費電流 50mA 以下

出力仕様

フォト MOS 出力（無電圧のフローティング出力）DC30V（max）100mA（max）
オープン価格価格±0.5μm 繰返し精度■電気回路

切粉による10μmの浮き上りを安定検出

橙 DC24V±10％
緑

主回路

黄NO

フォトMOS出力
DC 30V（max）100mA（max）加工をストップします
PC用精密部品
治具

エアマイクロセンサ
ショートレンジ形±0.5μm 繰返し精度

DPA-SR1

黒 0V10μｍ

判別可

エアエア

2-2

No.10-2

切粉

DPA-SR1／ LR1

エアマイクロセンサシリーズ
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1点設定形 エアマイクロセンサ■外形寸法図

DPA-SR1：検出距離 1〜100μm
DPA-LR1：検出距離 80〜350μm

単位：mm

空圧アラームLED

マスターセットボタン
OK/NG判定LED

95

分解能設定ボタン

ワーククランプ治具

46

ワーク／マスター

ショートレンジ形専用

DPA-SR1付属品

コード81436

リーケージユニット

Rc１/８

Rc１/８

エアノズル接続口

11.7

4-M4 深620

C0.1〜0.2（糸面取り）+0.0202313

推奨エアノズル形状
φ1.5

エア取入口3512.525705空圧回路センサ

φ4 以上センサ

エア■オプション形式名
標準形式名

製品の使用前の注意事項

コード長DPA-SR1
DPA-LR1

無記入 : 3m

コード保護
無記入 : 無し
P2：プロテクトチューブ 2m・精密レギュレータ
・エアフィルタ・チューブ
詳細はP2-9をご参照ください。

コード保護用 プロテクトチューブ
寸法：外径φ9《取扱上の注意》

9機械側

1）柔軟性がないので、曲げたり引っぱったときに、コード口部やスイッチ本体に過大な力、重さがかからないよう途中をクランプしてください。

φ11スイッチ側

φ9最小曲げ半径：25mm

φ10▲記入例) DPA-SR1-P2

以下の部品は付属されておりませんのでお客様にてご用意いただく必要があります。

2）数本まとめてクランプしたとき、スイッチ取付口に無理な力、重さがかからないようにしてください。

83）コードに対する防水性はありません。

スイッチ側はねじ込固定、機械側端末は金具付

No.10-22-3エアマイクロセンサシリーズ

エアマイクロセンサ

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DPA-SR2 / LR2

2点設定形
ショートレンジ／ロングレンジ■ +NG判定、OK判定、－NG判定の3点を出力上限と下限のマスタ値をセットすることで、+NG判定、OK判定、－NG判定の三段階に判定し、表示と出力を行います。
－NG判定（境界を含まず）
0

OK判定（境界を含む）+NG判定（境界を含まず）
距離－LIMIT値+LIMIT値※写真は、オプション プロテクトチューブ装着時

■仕様
形式
検出距離

DPA-SR2（ショートレンジ）

DPA-LR2（ロングレンジ）

1～100μm（推奨エアノズル使用時）

80～350μm（推奨エアノズル使用時）

信号点+LIMITセットボタン、－LIMITセットボタン+LIMITセット入力、－LIMITセット入力によりセット※マスタ値は電源を落としても、保存されています。

繰返し精度±0.5μm：検出距離 1～60μm±1μm：検出距離 80～150μm±1μm±3μm：検出距離 150～250μm±5μm：検出距離 250～350μm：検出距離 60～100μm

定格圧力変化 ±1％以内の時

定格圧力変化 ±1％以内の時

チューブ長 1.5m ／推奨エアノズル使用時

チューブ長 1.5m ／推奨エアノズル使用時

0.8 秒（チューブ長 1.5m ／エアを供給開始から出力まで）

応答時間10ms

電気的応答速度
保護構造

IP67

使用圧

0.15～0.2MPa

使用配管径

外径φ6× 内径φ4 チューブ

使用流体

乾燥空気（5μm フィルタ使用）

消費空気流量24ℓ/min（max）

9ℓ/min（max）
0℃～60℃（結露ないこと）

使用温度範囲標準長さ 3m 耐油性 16 芯φ5.5 AWG28 相当

コード (P7-5 参照 )DC24V±10％ 消費電流 100mA 以下

電源電圧
入力仕様

フォトカプラ入力 DC24V±10％

出力仕様

フォトカプラ出力 ( 無電圧のフローティング出力 )DC24V±10％(max) 15mA(max)

残電圧 1.5V 以下（15mA 時）

オープン価格価格■電気回路
赤＋２４Ｖ±１０％

緑若葉＋ＬＩＭＩＴセット入力＋ＬＩＭＩＴセット０Ｖ

桃紫－ＬＩＭＩＴセット入力－ＬＩＭＩＴセット０Ｖ

主白灰ＳＴＯＰ入力
ＳＴＯＰ０Ｖ回

黄薄青＋ＮＧ判定（コレクタ）＋ＮＧ判定（エミッタ）

路茶
薄茶

ＯＫ判定（コレクタ）
ＯＫ判定（エミッタ）

青空－ＮＧ判定（コレクタ）－ＮＧ判定（エミッタ）

橙薄橙

アラーム（コレクタ）
アラーム（エミッタ）

黒０Ｖ

６．
８ｋΩ
６．
８ｋΩ
６．
８ｋΩ

2-4

No.10-2◎内径判別用 ジェットとマスタの製作を希望される場合は、当社営業までお問い合わせください。
DPA-SR2
LR2ジェット
マスタ
ジェット
マスタ

エアDPA-SR2 ／ LR2

エアマイクロセンサシリーズ
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2点設定形 エアマイクロセンサ■外形寸法図単位：mm

DPA-SR2：検出距離 1～100μm
DPA-LR2：検出距離 80～350μm＋ＬＩＭＩＴセットボタン＋ＮＧ ＬＥＤ

空圧アラームLED
ＳＭＯＯＴＨＩＮＧボタン

9546

ワーク／マスター
ワーククランプ治具－ＮＧ ＬＥＤ
ショートレンジ形専用－ＬＩＭＩＴセットボタン

DPA-SR2付属品

コード81436

リーケージユニット

推奨エアノズル形状
φ1.5

4-M4 深62311.7

13

C0.1～0.2（糸面取り）

+0.02
0

Rc１/８
エア取入口

20

Rc１/８

エアノズル接続口

12.53525705

空圧回路センサ

φ4 以上

センサ

エア■オプション形式名
標準形式名

コード長

DPA-SR2
DPA-LR2

無記入 : 3m製品の使用前の注意事項

コード保護

以下の部品は付属されておりませんのでお客様にてご用意いただく必要があります。

無記入 : 無し
P2：プロテクトチューブ 2m・精密レギュレータ・エアフィルタ・チューブ《取扱上の注意》

最小曲げ半径：25mm
機械側1）柔軟性がないので、曲げたり引っぱったときに、コード口部やスイッチ本体に過大な力、重さがかからないよう途中をクランプしてください。
2）数本まとめてクランプしたとき、スイッチ取付口に無理な力、重さがかからないようにしてください。

スイッチ側φ9

寸法：外径φ9φ11

コード保護用 プロテクトチューブ

φ10▲

詳細はP2-9をご参照ください。

記入例) DPA-SR2-P2

983）コードに対する防水性はありません。

スイッチ側はねじ込固定、機械側端末は金具付

No.10-22-5

エアマイクロセンサシリーズ

エアマイクロセンサ

DPA-PLR2B
新製品

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3点設定形
ロングレンジ・あらかじめセットしたマスタ値と現在値の比較判定を行います。
・マスタ値は#1、#2、#3の３点で設定でき、表示と出力を行います。
0
マスタ＃1

判定＃１
OK
判定＃2
OK

マスタ＃２

判定＃3
OK

マスタ＃３

※写真は、オプション プロテクトチューブ装着時

距離■仕様
DPA-PLR2B

使用圧0.15-0.20MPa

検出距離80〜350μm（推奨エアノズル使用時）

使用配管径

外形φ6/ 内径φ4 チューブ

信号点

マスタ #1 セット入力、マスタ #2 セット入力、マスタ #3 セット入力によりセット

使用気体

乾燥空気 (5µm フィルター使用 )消費空気流量24ℓ/min（max）

繰返し精度±1μm：検出距離 80〜150μm

使用温度範囲

0〜60℃( 結露なきこと )±3μm：検出距離 150〜250μm±5μm：検出距離 250〜350μm

コード (P7-5 参照 ) 標準長 3m
電源電圧

DC24V±10％定格圧力変化 ±1％以内の時

消費電流100mA 以下

入力仕様

フォトカプラ入力

出力仕様

フォトカプラ出力 ( 無電圧のフローティング出力 )形式

チューブ長 1.5m ／推奨エアノズル使用時
応答時間0.8 秒( チューブ長 1.5m/ エアを供給開始から出力まで )電気的応答速度10ms

保護構造

IP67

DC24V±10%

DC24V±10% 20mA(max)
残電圧 1.5V 以下 (15mA 時 )
価格

■電気回路

オープン価格■3点信号の設定例
赤＋２４Ｖ±１０％

桃紫マスタ#1セット入力
マスタ#1セット０Ｖ

判定1

マスタ#2セット入力
緑
若葉 マスタ#2セット０Ｖ

判定2

主白灰ＳＴＯＰ入力
ＳＴＯＰ０Ｖ

判定3

回

青空

判定＃１
（コレクタ）
判定＃１（エミッタ）路

黄薄青

判定＃2（コレクタ）
判定＃2（エミッタ）

６．
８ｋΩ
６．
８ｋΩ
６．
８ｋΩ

判定＃3（コレクタ）
茶
薄茶 判定＃3（エミッタ）

2-6

耐油性 16 芯φ5.5 AWG28 相当

No.10-2

橙薄橙アラーム（コレクタ）
アラーム（エミッタ）

黒０Ｖ

３点の判定信号を出力できるので、様々な用途に応用できます
・減速信号(判定1)、測定信号（判定2）、ストップ信号（判定3）として使い分ける・番手が違う3種類の砥石を使い分けるDPA-PLR2B

エアマイクロセンサシリーズ
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3点設定形 エアマイクロセンサ■外形寸法図

DPA-PLR2B

単位：mm

ALARM ＬＥＤ4695

ワーク／マスター
ワーククランプ治具

STATUS ＬＥＤ

エアノズル接続口

Rc１/８
エア取入口

20836

14

コード

4-M4 深6Rc１/８2311.7推奨エアノズル形状

513

φ1.5

C0.1〜0.2（糸面取り）

+0.02
012.5

352570

空圧回路

φ4 以上

センサ

センサ

エア■オプション形式名
製品の使用前の注意事項

標準形式名

コード長

DPA-PLR2B

無記入 : 3m

コード保護
無記入 : 無し
P2：プロテクトチューブ 2m

以下の部品は付属されておりませんのでお客様にてご用意いただく必要があります。
・精密レギュレータ
・エアフィルタ・チューブ《取扱上の注意》最小曲げ半径：25mm
機械側1）柔軟性がないので、曲げたり引っぱったときに、コード口部やスイッチ本体に過大な力、重さがかからないよう途中をクランプしてください。
2）数本まとめてクランプしたとき、スイッチ取付口に無理な力、重さがかからないようにしてください。

スイッチ側

φ9寸法：外径φ9φ11

コード保護用 プロテクトチューブ

φ10▲

詳細はP2-9をご参照ください。

記入例) DPA-PLR2B

983）コードに対する防水性はありません。

スイッチ側はねじ込固定、機械側端末は金具付

No.10-22-7

テクニカルガイド エア関係
■エアマイクロセンサ
圧力（背圧）変化で距離を検知し、制御系に電気信号を出力するセンサです。

■エアマイクロセンサ検出回路
エアマイクロセンサは、検出エアノズルに検出ギャップを与え、DPAマスタセットボタンを押すことで、圧力値を記録します。
センサ

検出ギャップによる差圧を、内部圧力センサで検知します。

センサ

エア■繰返し精度20℃で検出ギャップにより圧力が加減した時のスイッチ、およびセンサの出力動作点の繰返し再現性を示します。
※カタログ記載の繰返し精度を含む仕様は、推奨エアノズル１個に、エアマイクロセンサ１台 を使用した時の値です。
推奨エアノズルと径が異なる場合や、検出エアノズル複数個に対して、エアマイクロセンサ１台を使用する場合は、繰返し精度が低下しますので、実機にてご確認ください。

■設定用マスタ
信号点を正しく設定するためには設定用マスタが必要となります。
マスタの面粗度が悪い場合や、着座面からマスタが浮いている状態で信号点を設定した場合、設定値にバラツキが生じることがありますので、面粗度がよいマスタで、着座面にしっかり密着させて設定してください。

正常なマスタ設定
マスタ（ワーク）

マスタ
マスタの面粗度がよく着座面にしっかり密着しているバラツキが生じるマスタ設定

エアノズル

マスタ

着座面マスタの面粗度が悪い

マスタ
着座面からマスタが浮いている状態で設定している

エア配管

2-8

No.10-2

テクニカルガイド エア関係
■配管図

エアフィルタ（５μｍメッシュ）
推奨エアフィルタ AF20-02 (SMC)
エアマイクロセンサ

エアノズル

エアチューブ（推奨径 φ６×φ４）
精密レギュレータ
設定圧 : ０．
１5〜0.20ＭＰａ に調整してください。
推奨レギュレータ IR2000 (SMC)
RP1000(CKD)《エア配管時の注意》
使用圧を0.15〜0.2MPaに調整後、配管を接続してください。

■精密レギュレータ（減圧弁）
・使用するエア機器の仕様に合わせて、コンプレッサから供給されるエアを適切な圧力に調整します。
エアマイクロセンサのエア供給側に必ず「精密レギュレータ（±0.5％級）」を設け、圧力変動を抑える必要が有ります。

■エアフィルタ
・ゴミや水分が、レギュレータやエアマイクロセンサに混入して発生する動作不良などのトラブルを防止します。
・水分分離率（除去率）は30〜90％程度であるため、ドライエアの使用が望まれます。
・フィルタの下端にはドレン排出弁があり、これを定期的に開いて排出する必要があります。

■配管時の注意事項■推奨エアノズル形状

・センサ本体を設置する際は、ノズルより上の位値に設置して+0.02
φ1.5 0C0.1〜0.2（糸面取り）ください（クーラントの逆流防止）
・エアの配管チューブは距離が短いほど、応答速度が速くなります。

5・本体から検出ノズルまでの配管には、空気の漏れや抵抗になる機器、継手を使用しないてください。
・本器に0.3MPa以上のエアを供給すると、センサが破損する恐れがあります。

φ4 以上

使用圧を0.15〜0.2MPaの範囲に調整してから、配管を接続面取り不可してください。

No.10-2

2-9