【

取

扱

説

明

書

】

MFC 用デジタル積算表示付き電源

ＭＯＤＥＬ：ＳＰ－83３

このたびは弊社製品をお求めいただきまして、誠にありがとうございます。
この説明書をよくお読みになって、安全に正しくご使用ください。
!

注意
本製品及びこの取扱説明書は、電気技師、又は有資格者の方のみが取り扱いするように設計されたものです。

!

注意
ご使用の前に、お客様が希望した製品仕様と製品本体の定格ラベル仕様とが一致しているか
ご確認ください。

【 第２版 ２０１１．３．１０ 】
＠ＳＰ－８３３（２）ご使用に際しての注意事項とお願い
製品を安全にご使用いただくため、下記の注意事項と本書をご一読されますようお願い申し上げます。
！ ＜注意＞

製品仕様以外では使用しないでください。

！ ＜注意＞

お客様による製品の改造や変更は、本来の性能を発揮できないばかりか、不適合や事故の原因となります。改造や変更は行わないでください。

！ ＜注意＞

直射日光はさけ、定格をこえる温湿度の場所や結露の起きやすい場所では使用しないでください。

！ ＜注意＞

可燃性ガスや発火物のある場所では使用しないでください。

！ ＜注意＞

本体に激しい振動や衝撃を与えないでください。

！ ＜注意＞

本体に金属粉・ほこり・水などが入らないようにしてください。

！ ＜注意＞

配線時は必ず電源を切って作業してください。

！ ＜注意＞

本機に供給する電源は、仕様にあった定格のものを使用してください。

！ ＜注意＞

本機には電源スイッチがありませんので、電源印加後、直ちに動作状態となります。

！ ＜注意＞

通電中は、端子部に触れないでください。感電の恐れがあります。

目 次
１．付属品の確認と保証期間について・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

１

２．製品の概要・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

２

３．仕様

・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３～４

４．指示計（メータ）の取り付け方法・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

５５．端子台の接続方法・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

６～７

６．内部配線図・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
７．入力回路、出力回路の構成・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

９

８．フロント部の各名称とその機能・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１０～１２
９．設定メニュー・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１３～１４
１０．初期設定値と初期化・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１５
１１．各モードの内容と設定方法≪１．モード設定のキー操作方法≫ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１６≪２．モード内容と設定値≫ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１７～２２
モード１「MFC 流量値計測：最大表示値（スケーリングデータ）の設定」・・１７
モード２「MFC 流量値計測：小数点位置・最下位桁表示の設定」・・・・・・１８
モード３「MFC 流量値計測 ／MFC 積算値計測：ローカット率の設定」・・・１８
モード４「MFC 流量値計測 ／MFC 積算値計測：計測表示の設定」・・・・・１９
モード５「MFC 積算値計測：１時間当たりの最大積算値の設定」 ・・・・・１９
モード６「MFC 積算値計測：リセット時間、小数点位置、同期パルス出力の設定」 ・・・・・２０
モード７「ＯＵＴ１、２：警報出力の設定」・・・・・・・・・・・・・・・・２１～２２
１２．モードプロテクト機能 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２３
１３．表示オフセット値設定の呼び出しかたと変更のしかた ・・・・・・・・・・ ２４
１４．プリセット値設定の呼び出しかたと変更のしかた ・・・・・・・・・・・・ ２５
１５．アナログ入力の調整のしかた ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２６～２７
１６．外形寸法図 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２８
１７．ノイズ対策について ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２９
１８．トラブルシューティング ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３０

１．付属品の確認と保証期間について
付属品の確認について本機が届きましたら、下記のものが揃っているか確認してください。
（１）ＳＰ－８３３（お客様ご仕様どおりのもの） ・・・・・・・・・・・・・・１（２）ＳＰ－８３３取扱説明書 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１（３）取付金具 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・1（４）フランジナット ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・2（５）端子台カバー ３ピン用

・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１（６）端子台カバー １０ピン用（取付ネジ２本付）

・・・・・・・・・・・・・１（７）単位ラベル ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・１※（３）と（４）は出荷時、本体に組み込まれています。

上記で誤ったもの、または欠けているものがありましたら取扱店または弊社までご連絡ください。
（お客様のご都合により付属されていない場合もございます。）

保証期間と保証範囲について
１．保証期間納入品の保証期間は引渡し日より１年間とさせていただきます。
２．保証範囲上記保証期間中に弊社の責による故障が生じた場合は、当社工場内にて無償修理させていただきます。但し、下記にあげます事項に該当する場合は、この保証対象範囲から除外させていただきますのでご了承ください。
①

取扱説明書または仕様書等による契約以外の使用による故障②

弊社の了解なしにお客様による改造または修理による故障③

故障の原因が弊社責以外の事由による故障④

製品仕様条件をこえた保管・移送または使用による故障⑤

火災、水害、地震、落雷、その他天災地変による故障-1-２．製品の概要
本製品は１台でマスフローコントローラ（以後ＭＦＣと呼ぶ）を操作・使用できます。
本機はマスフロー用電源と設定器、表示器を一体化したものです。
本機とＭＦＣをＤ－ｓｕｂケーブルで接続するだけで電源供給や必要な信号のやり取りが行えます。
ＭＦＣ流量値、ＭＦＣ積算値、流量設定値を切り換えて表示することができます。
ＤＩＮサイズ４８×９６ｍｍサイズ内にＡＣフリー電源入力でマスフロー用の±１５Ｖ４００ｍＡ出力の電源を収納し、フロントパネルにはコマンド設定器やバルブ開閉スイッチ・表示器など使いやすいレイアウトを実現しました。

注記
本機のＶＯＲ(バルブ開閉スイッチ信号)出力は電圧印加方式です、接点端子ショート方式のＭＦＣでは使用できません。
フロントのＶＯＲスイッチにより、バルブオープン、またはクローズ信号が出力されます。
ＯＰＥＮ側でオープン信号＋１５Ｖ、ＣＬＯＳＥ側でクローズ信号－１５Ｖを出力します。

-2-３．仕 様【 標準仕様 】
項
目
計測種類
計
測

計測方式
ローカット
表示器
表示切換

表
示
部

Ｍ
Ｆ
Ｃ
流
量
値
表
示
Ｍ
Ｆ
Ｃ
積
算
値
表
示

ＲＡランプ
ＴＯランプ
ＯＶランプ
ＯＵＴ１ランプ
ＯＵＴ２ランプ
計測精度
スケーリング方式
表示範囲
小数点表示
表示ｻﾝﾌﾟﾘﾝｸﾞ時間
最下位桁補正計測精度
スケーリング方式
表示範囲
小数点表示
オーバー表示表示オフセット

仕様
ＭＦＣ流量値（瞬時）／ＭＦＣ積算値（積算）
Ａ／Ｄ変換方式
分解能：約１／７０００（フルスケール入力に対して）
入力計測間隔：約２０ｍｓ
最大アナログ入力の０～２９％（任意設定可）
赤色ＬＥＤ５桁表示 文字高：８mm （ゼロブランキング方式）
ＭＦＣ流量値／ＭＦＣ積算値の表示を ▲ キーで切換え（"モード 4” で設定が必要）※ＤＩＳＰスイッチがＯＵＴ時
ＭＦＣ流量値を表示中“RA”ランプ（赤色）が点灯
ＭＦＣ積算値を表示中“TO”ランプ（赤色）が点灯
表示計測値がオーバー時“ＯＶ”ランプ（赤色）が点灯（右シフト表示中は点滅します）
警報出力ＯＵＴ１が出力中に点灯
警報出力ＯＵＴ２が出力中に点灯
アナログ入力に対して±０.３％（Ｆ．Ｓ．）±１digit（２３℃）
アナログ入力最大時のＭＦＣ流量値表示を任意に設定可（０．００１～９９９９）
０～９９９９（表示オーバー時は「９９９９」点滅、ＯＶランプ点灯）
最大表示値（モードＮＯ．１）にて設定。
表示を約０.５秒で平均化（固定）
“通常”
・
“０固定”
・
“０または５表示” より選択可
アナログ入力に対して±０.３％（Ｆ．Ｓ．）±１digit（２３℃）
モード設定によりアナログ入力最大値における、１時間あたりのＭＦＣ積算値を任意に設定
０～９９９９９
小数点以下を１～４桁の範囲で選択可
９９９９９表示以上になると自動で表示値が 1 桁右へシフト表示（以降右シフト表示）します。右シフト表示中、ＯＶランプ点滅。
プが表示オフセット値設定によりリセット後のＭＦＣ積算値を０～９９９９９の範囲で任意に設定可

ＭＦＣ流量信号ＤＣ ０－５Ｖ
Ｄ－ｓｕｂ 入力抵抗 ３３０ＫΩ
入 （ＭＦＣからの出力信号）
力 外部設定信号
ＤＣ ０－５Ｖ
端子台
入力抵抗 ３３０ＫΩ
信
外部からＶＯＲ操作可号 ＶＯＲ ＩＮ
端子台５番（＋１５Ｖ）－７番（ＶＯＲＩＮ）間ショートでＯＰＥＮ
端子台６番（－１５Ｖ）－７番（ＶＯＲＩＮ）間ショートでＣＬＯＳＥ
１０回転のメカダイアル 目盛りの最小値１／５０ １回転
メカダイアル
ロックレバー付き（回転・目盛りを固定）（ＣＭＤＳＥＴ）（ダイアルの目盛りは回転量の目安です）
コマンド設定ﾎﾟﾃﾝｼｮﾝ
ＭＦＣを任意の流量値に設定（ＣＭＤＳＥＴ）
操
ノブを引っ張りながら切換える３ポジション
作
ＣＯＮＴ ：（通常時）
ＶＯＲスイッチ部
ＯＰＥＮ ：ＶＯＲ出力へ＋１５Ｖを出力
ＣＬＯＳＥ：ＶＯＲ出力へ－１５Ｖを出力
コマンド切換ＥＸＴ：外部設定値信号が流量設定値表示となります。
スイッチ ＩＮＴ：ＣＭＤＳＥＴメカダイヤル（ＣＭＤ）の設定が流量設定値（ＣＯＭＭＡＮＤ）
表示となります。

-3-

表示切替スイッチ（ＤＩＳＰ）

ＳＥＴ：流量設定値（ＣＯＭＭＡＮＤに対する）の値を表示
ＯＵＴ：ＭＦＣ流量値、ＭＦＣ積算値を表示

操作設定スイッチ

ＭＯＤＥ、 、、▲ 、ＲＳＴの各キースイッチ
▼

操
作
部

Ｍ.Ｆ.Ｃ 電 源 定 格 ＤＣ±１５Ｖ４００ｍＡ出
ＤＣ０－５Ｖ ５ｍＡ Ｄ－ｓｕｂ
力 コマンドアウト
関 外部信号出力
ＤＣ０－５Ｖ 端子台係
ＶＯＲ ＯＰＥＮ
ＤＣ＋１５Ｖ
バルブ開閉出力
ＶＯＲ ＣＬＯＳＥ ＤＣ－１５Ｖ
端子台１１－１２（ＯＵＴ１）、１３－１２（ＯＵＴ２）より出力
警 出力端子（ＣＯＭ共通）報
比較方式
上限・下限 より選択可
・
比較・同期パルス（ＯＵＴ１：モードにて選択可）
同 出力モード
プリセット値設定
プリセット値設定モードにより任意に設定可
期
表示値とプリセット値との比較により、判定出力
出 出力判定ＮＰＮオープンコレクタ出力
２点
力 出力方式
最大定格：ＤＣ３０Ｖ ５０mA MAX
各モード設定値および積算計測値をＦＲＡＭに書き込み
データバックアップ（書き換え回数１０万回以内、約１０年間保持）
モードプロテクト
モードプロテクト設定による切換え選択機能「ＯＮ」で設定値が変更不可、「ＯＦＦ」で設定値が変更可
電源投入後３０分以上
そ ウォームアップの タイム
他 動作電源ＡＣ１００～２４０Ｖ ５０－６０Ｈｚ
消費電力
４０ＶＡ以下
使用温湿度範囲
０～５０℃ ３０～８０％ＲＨ（但し結露しないこと）
質量・外形寸法
約 400ｇ Ｗ９６×Ｈ４８×Ｄ１５６ｍｍ
本体色
黒色
ケース材質
ＡＢＳ

-4-

4．指示計（メータ）の取り付け方法
メータの取り付けかた
１．

パネルカットへ、前面より本機を挿入してください。
パネルカット寸法
+0.8

45 -0

+0.5

92 -0

図１

（単位：mm）
２．

フランジナット×2

背面より取付金具でしっかり押さえ、
フランジナット（２箇所）で締め付けてください。
（ 締付トルク ０．６－０．７Ｎ/ｍ ）

図２

取付金具

・板厚１.０mm－４.０mm のパネルに取り付けができます。

（単位：mm）-5-５．端子台及びコネクタの接続方法＜端子台図＞

図３

Ｎｏ.
①
②
③

機
Ｄ－ＳＵＢ １５ピン
取付金具
フランジナット(M4)能ＭＦＣと接続。
（ＨＥＸ－ＮＵＴ Ｍ２.６）
パネルへ取付時に本体を固定します。
取付金具を固定します。
アースへ接地します。

④

⑤

ＡＣ
ＡＣ
Ｎ．Ｃ
ＯＰＥＮ
ＣＬＯＳＥ
ＶＯＲ ＩＮＥＸＴＣＯＭＭＡＮＤ IN
ＥＸＴ ＳＩＧ ＯＵＴＣＯＭＭＡＮＤ ＣＯＭＭＯＮＯＵＴＰＵＴ ＣＯＭＭＯＮ
ＯＵＴ１ ＯＵＴＰＵＴＯＵＴＰＵＴ ＣＯＭＭＯＮ
ＯＵＴ２ ＯＵＴＰＵＴ

ＡＣ１００－２４０Ｖ (50-60Hz) を接続します。
ＡＣ１００－２４０Ｖ (50-60Hz) を接続します。
バルブ開閉（開）を外部から操作する端子です。
バルブ開閉（閉）を外部から操作する端子です。
バルブ開閉を外部から操作して信号を入力します。
外部からコマンド設定信号を入力します。
外部へＭＦＣからの流量信号を出力します。
ＣＯＭＭＡＮＤ 及び ＯＵＴＰＵＴ の ＣＯＭＭＯＮ
を接続します。
警報ＯＵＴ１・同期パルス出力（コレクタ）
警報ＯＵＴ１、ＯＵＴ２ ＣＯＭＭＯＮ（エミッタ）
警報ＯＵＴ２出力（コレクタ）-6-

＜Ｄ－Ｓｕｂ １５Ｐｉｎ＞

図４（リア面から見た図）

Pin No.

機

１＋１５ＶＤＣ

２

ＮＣ

３

ＮＣ

４

ＮＣ

５

０－５Ｖ

６

ＣＯＭＭＡＮＤ

７ＶＯＲ

８ＳＩＧＮＡＬ

９

ＥＸＴ

１０

０－５ＶＳＩＧＮＡＬ

１１

ＮＣ

１２

Ｐ．Ｓ．ＣＯＭＭＯＮ

１３＋１５ＶＤＣＰＯＷＥＲ ＯＵＴＰＵＴ

１４－１５ＶＤＣＰＯＷＥＲ ＯＵＴＰＵＴ

１５

ＮＣ

能

ＰＯＷＥＲ ＯＵＴＰＵＴ

ＣＯＭＭＡＮＤ ＯＵＴＣＯＭＭＯＮＩＮＰＵＴ ＣＯＭＭＯＮＶＡＬＶＥＣＯＭＭＯＮ
ＩＮＰＵＴ

（

-7-

1
2
3

POWER

CPU

DISP

-8+5V

-15V

+15V

COM1

F.GND

1 2 3 4 5 6 7 8 9+5V REFOUTPUT COM2

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15

D-Sub （15P）

６．内部配線図
図５

７．入力回路、出力回路の構成

１．信号入力（ＭＦＣ流量信号・外部設定信号）

図６２．ＣＭＤＳＥＴ出力（0-5V 電圧出力）

図７３．警報出力（ＮＰＮオープンコレクタ出力）

図８

-9-

８．フロント部の各名称とその機能
図９①ＲＡランプ（赤色）計

測時：ＭＦＣ流量値を表示中に点灯します。

設

定時：消灯します。

②ＴＯランプ（赤色）計

測時：ＭＦＣ積算値を表示中に点灯します。

設

定時：消灯します。

③、④警報出力ランプ（赤色）計

測時：警報出力（ＯＵＴ１、ＯＵＴ２）が出力中に点灯します。

設

定時：プリセット値設定中、各々の設定表示の際に点灯します。

⑤ＯＶ表示ランプ（赤色）ＭＦＣ流量値・積算値・流量設定値がオーバーした場合、点灯します。
ＭＦＣ積算値が右シフト表示の場合、点滅します。
⑥表示器
計

測

時：計測値を表示します。

設

定時：モード設定中は、モード№と現在の設定値を表示します。
：プリセット値設定中は、現在の設定値を表示します。
：表示オフセット値設定時は、現在の設定値を表示します。
：モードプロテクト設定時は、｢Ｌ－ｏＦＦ｣および｢Ｌ－ｏｎ｣と表示します。
：アナログ入力調整モード設定時は、現在のｂｉｔ値を表示します。
- 10 -

⑦ＶＯＲスイッチ（Ｖａｌｖｅ

Ｏｖｅｒｒｉｄｅスイッチ）

ＣＯＮＴ（中央）：ＭＦＣへのＶＯＲ信号がフローティングになります。このとき外部ＶＯＲ信号が有効となります。
ＯＰＥＮ（左側）：ＭＦＣへのＶＯＲ信号が＋１５Ｖとなり、強制バルブオープンとなります。
外部ＶＯＲ信号は無効となります。
ＣＬＯＳＥ（右側）：ＭＦＣへのＶＯＲ信号が－１５Ｖとなり、強制バルブクローズとなります。
外部ＶＯＲ信号は無効となります。
⑧ＭＯＤＥキー（ MODEと表記）

計

測時：MODE を押しながら▼電源投入時：MODE を押しながら電源をＯＮすることにより、テストモードに切換わります。
（テストモードから抜ける時は電源をＯＦＦにします。）
を２秒以上押すとモード設定を呼び出します。

：MODE のみ２秒以上押すとプリセット値を呼び出します。
：MODE を押しながら呼び出します。
設

定▲ を２秒以上押すと表示オフセット値設定を時：モード№(表示器Ａ)の切換えを行ないます。
（1→2→3・・・７→１→２→３

カウントアップ）：プリセット値設定時はＯＵＴ１，２の切換えを行ないます。
：アナログ入力調整モード設定時は、｢Ａ～ｄ｣の切換えをおこないます。

計

測

（

▼

⑨シフトキーと表記）

時：モード設定を呼び出す時に使用します。（MODE と同時押し２秒以上ＯＮ）：モードプロテクト機能を呼び出す時、または変更する時に使用します。
（２秒以上ＯＮ → 現在のモードプロテクト状態が表示 → そのまま８秒
以上ＯＮ → モードプロテクト状態が変更 Ｌ－ｏＦＦ ⇔ Ｌ－ｏｎ）

設

定時：各設定（モード設定、プリセット値設定、表示オフセット値設定）時に設定桁（点滅表示の位置）を右桁へ移動します。

⑩アップキー（

電源投入時：

計

測

▲

と表記）

▲

を押しながら電源をＯＮすることにより、アナログ入力調整モードに切換わります。
（アナログ入力調整モードから抜ける時は電源ＯＦＦにします。）

時：表示オフセット値設定を呼び出す時に使用します。
（ MODE と同時押し２秒以上ＯＮ）：ＭＦＣ流量値計測／ＭＦＣ積算値計測の表示切換えを行います。
（ "モード４" での設定が必要です）

設

定時：各設定（モード設定、プリセット値設定、表示オフセット値設定）時に設定桁（点滅表示の桁）の数値を変更します。
：アナログ入力調整モード設定時、▲ を押している間、登録ｂｉｔ値を確認できます。(この時、最下位桁に小数点を付加します)- 11 -

⑪リセットキー

（ ＲＳＴ

と表記）

電源投入時：ＲＳＴ を押しながら電源を投入することにより、初期化をおこないます。
計

測

時：ＭＦＣ積算値を“０”（表示オフセット値が設定されている場合はその設定値）
にします。

設

定

時：各設定（モード設定、プリセット値設定、表示オフセット値設定）時に設定値の登録を行い、計測表示に戻します。
：アナログ入力調整モード設定時は、｢Ａ～ｄ｣のｂｉｔ値を登録します。

⑫ＣＯＭＭＡＮＤ切替スイッチ
ＥＸＴ側時：外部設定信号を流量設定値とします。
ＩＮＴ側時：ＣＭＤＳＥＴメカダイヤル（ＣＭＤ）の設定を流量設定値とします。
⑬ＤＩＳＰ切替スイッチ
ＳＥＴ側時：流量設定値を表示します。
ＯＵＴ側時：ＭＦＣ流量値、ＭＦＣ積算値を表示します。
⑭ＣＭＤＳＥＴダイヤル
コマンド設定ポテンションメータで１０回転機能により細かく設定信号を調節できます。

- 12 -

９．設定メニュー≪テストモード≫

電源OFF
テストモードを押しながら
電源ON- 13 -

≪設定メニュー≫

電源OFFを押しながら
電源ON

初期化＜アナログ入力調整モード＞

電源ONを押しながら電源ＯＮ

計測表示

A. F
b. F
C. F
d. F

F
F
F
F

F
F
F
F

F
F
F
F
※

で各調整値を登録

電源ＯＦＦ＜モードプロテクト機能＞
を２秒以上ONで呼び出し／そのまま８秒以上ＯＮで設定変更
L _ o F F
L _ o n＜表示オフセット値設定＞
を押しながら

を２秒以上ONで呼び出し

0 0 0 0 0

＜プリセット値設定＞
を２秒以上ONで呼び出し
9 9 9 9 9
9 9 9 9 9

＜モード設定＞を押しながら
1. 1
2.
3.
4.
5. 3.
6. 0
7. 0

を２秒以上ONで呼び出し
0 0. 0
0
0 0
0
6 0 3
0 0 0
0 0 0

- 14 -

１０．初期設定値と初期化
事前にお客様から設定をお伺いしている場合はその設定に合わせていますが、通常（工場出荷時）は下記（表１・表２・表３）の初期設定値となっています。
各モードの設定値
モード
初期設定値
№
Ａ
Ｂ
Ｃ Ｄ
１． １
０ ０．
２．
０
３．
０
４．
５． ３． ６ ０
６． ０
０ ０
７． ０
０ ０
プリセット設定値
プリセット
Ａ
値
ＯＵＴ１
９
ＯＵＴ２
９

表１
設定メモ欄
Ｅ
０
０
０
３
０
０

Ｂ
－
－
－

Ｃ

Ｄ
－

－
－

－

モード内容
Ｅ
ＭＦＣ流量値計測：最大表示値（スケーリングデータ）の設定－ ＭＦＣ流量値計測：最下位桁表示の設定
ＭＦＣ流量値計測 ／ＭＦＣ積算値計測：ローカット率の設定
ＭＦＣ流量値計測 ／ＭＦＣ積算値計測：計測表示の設定
ＭＦＣ積算値計測：1 時間当たりの最大積算値（ｽｹｰﾘﾝｸﾞﾃﾞｰﾀ）の設定
ＭＦＣ積算値計測：リセット時間、小数点位置、同期パルス出力の設定
ＯＵＴ１，ＯＵＴ２：警報出力の設定
表２

初期設定値
Ｂ Ｃ Ｄ
９ ９ ９
９ ９ ９

表示オフセット設定値
初期設定値
表示オフセットＡ Ｂ Ｃ Ｄ
ＭＦＣ積算値表示値 ０ ０ ０ ０

Ｅ
９
９

Ａ

設定メモ欄
Ｂ Ｃ Ｄ

Ａ

設定メモ欄
Ｂ Ｃ Ｄ

Ｅ

表３
Ｅ
０

Ｅ

〔初期化〕
ＲＳＴ を押しながら電源を投入することにより初期化を行うことができます。
初期化後、各設定値は表１・表２・表３のとおりの設定値となり、積算保持データおよび
モードプロテクト機能もクリアされます。
※アナログ入力調整モード、アナログ出力調整モードの設定データは初期化されません。
！ ＜注意＞※初期化を行うと現在の設定値がすべて初期設定値となりますので、初期化をおこなう
場合は予め現在の設定値の記録を残してから実行してください。
※正常な動作から急に表示や機能に異常が発生した場合などは、上記の方法で初期化をおこない、希望の設定値にあわせ直してください。

- 15 -

１１．各モードの内容と設定方法≪１．モード設定のキー操作方法≫
各モードを設定する時は、下記のとおりの操作を行ってください。

▼

MODE ＋

▲

MODE

ＲＳＴ

Ｅ
０．

操作内容
MODE を押しながらを２秒以上押します。
▼

表示部
Ａ Ｂ Ｃ Ｄ
１．１ ０ ０▼

操作キー

表示器Ａに "１．" が表示され、モード№１が呼び出されます。
Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ 点滅表示の位置（桁）を変更します。
１．１→０→０→０． １度押すごとに１つずつ右へ移動していきます。
└－－←－－┘Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ 点滅表示している数値を変更します。
１．１ １ ０ ０． １度押すごとに数値が１ずつ上がります。
↑（０→１→・・・→９→０→１・・・）
０→９※設定桁によっては“９”まで無いものもあります。
Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ モード No.を変更します。
２．１ ０
MODE を押すごとにモード No.が１ずつ上がり
↑
ます。
１～７
（１→２→・・・→７→１→２・・・）
モードは全部で“７”まであります。
“７”まで上がると“１”に戻ります。
設定値を登録します。各設定が終了しましたら、
ＲＳＴ にて登録してください。
登録終了後、計測表示へ戻ります。

！ ＜注意＞※このモード設定を行う時は、モードプロテクト機能をＯＦＦにしてください。
ＯＮの状態のままですと設定値の変更はできません。
モードプロテクト機能については、｢１２．モードプロテクト機能｣を参照してください。

- 16 -

≪２．モード内容と設定値≫
モード No． ＭＦＣ流量値計測：最大表示値（スケーリングデータ）の設定

１

Ａ
Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ
１． １ ０ ０．０
最大表示値の設定
０．００１～９９９９（小数点位置も設定可）※上記設定を｢００００｣にしないでください。
アナログ最大入力の時に表示させたい値を設定してください。
アナログ最小入力時の「０」表示との２点間を直線で結んだ勾配で、表示します。
！ ＜注意＞※ＭＦＣ流量値はこの小数点の位置で表示されます。
〔例〕最大入力時、ＭＦＣ流量値表示に｢１．２３４｣と表示させたい場合は以下の設定となります。
４桁数値と小数点
モード１

Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ
１．１．２ ３ ４

- 17 -

モード No． ＭＦＣ流量値計測：最下位桁表示の設定

２

Ａ
Ｂ Ｃ Ｄ
２．
０

Ｅ
最下位桁表示０：通常表示
１：０固定
２：０または５を表示【最下位桁表示】
表示の最下位桁（右端の桁）の表示方法を設定します。
０：通常表示・・・表示サンプリング時間に同期して計測値を表示します。
１：０固定・・・・常に０を表示します。
２：０または５・・計測値が０～４の時は０、５～９の時は５を表示します。
！ ＜注意＞※最下位桁にチラツキがある場合などに使用してください。

モード No． ＭＦＣ流量値計測／ＭＦＣ積算値計測：ローカット率の設定

３

Ａ
Ｂ
３．

Ｃ

Ｄ Ｅ
０ ０
ローカット率（％）
０～２９％（００はローカット機能の停止）【ローカット率】
最大入力信号の何％以下については計測させたくない場合の割合（％）を設定します。最大入力信号に対して設定された割合（％）以下の入力では、
ＭＦＣ流量値／ＭＦＣ積算値計測はしません。
〔例〕流量設定値（０～５Ｖ）、ローカット率を１０％と設定しますと
０．５Ｖ以下の入力に対して計測しません。

- 18 -

モード No．ＭＦＣ流量値計測／ＭＦＣ積算値計測：計測表示の設定

４Ａ
Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ
４．
０
計測表示
０：ＭＦＣ流量値／ＭＦＣ積算値表示切換え
１：ＭＦＣ流量値表示固定
２：ＭＦＣ積算値表示固定【計測表示】
０：ＭＦＣ流量値／ＭＦＣ積算値表示切換え
ＭＦＣ流量値→ＭＦＣ積算値→ＭＦＣ流量値・・・と表示切換えします。
（ ▲ を押すごとに表示を切換え）
１：ＭＦＣ流量値表示固定
ＭＦＣ流量値を表示します。ＭＦＣ積算値への表示切換えはできません。
２：ＭＦＣ積算値表示固定
ＭＦＣ積算値を表示します。ＭＦＣ流量値への表示切換えはできません。

モード No． ＭＦＣ積算値計測：１時間当りの最大積算値（スケーリングデータ）の設定

５Ａ
Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ５． ３．６ ０ ３
ＥＸＰ値（１０ｎ）

ｎ＝０～５

スケーリングデータ
０．０１～９．９９（小数点位置固定）（０．００は設定しないでください）
１時間当たりの最大積算値を入力します。設定方法はＢ～Ｄに３桁の整数を入力し、 “Ｅ” にＥＸＰ値（１０の乗数）を入力します。
設定可能範囲は、｢０．０１～９９９０００｣となります。
〔例〕

１時間当たりの積算値が｢１０００｣となる場合

１０００＝１．００×１０３となりますので、設定は以下の入力となります。
↑
↑
ＢＣＤ
Ｅ
Ａ
Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ５． １．０ ０ ３- 19 -

モード No． ＭＦＣ積算値計測：リセット時間、小数点位置、同期パルス出力の設定

６

Ａ
Ｂ
６． ０

Ｃ
０

Ｄ
０

Ｅ
０
小数点位置
０：
０
１：
０．０
２：
０．００
３： ０．０００
４： ０．００００
リセット時間０：２秒でリセット
１：即リセット（ＯＮエッジ）
同期パルス出力幅設定
０： １０ｍＳ
１：１００ｍＳ
２：
１秒
同期パルス出力桁
０：１桁目
１：２桁目
２：３桁目
３：４桁目
４：５桁目

【同期パルス出力桁】
どの桁の表示が変化した時パルスを出力させるかを設定します。
※ 同期パルスはＯＵＴ１より出力されます。
同期パルスをご使用の際にはモード７．Ｂで同期パルスを選択ください。
【同期パルス出力幅】
出力するパルス幅の設定をします。
【リセット時間】
前面リセットキーが動作するまでの時間を設定します。
０：２秒
リセットキーを２秒以上押した後、計測をリセット（表示オフセット値に戻す）します。
１：即
リセットキーが押されたときに、計測をリセット（表示オフセット値に戻す）します。
！ ＜注意＞※ＭＦＣ積算値はリセットしますが、ＭＦＣ流量値はリセットされません。
※計測中、リセットキーが押されている間（ＯＮ状態）はＭＦＣ積算値計測
に対し、入力禁止状態となります。
ＭＦＣ流量値計測は、入力禁止状態ではありません。
【小数点位置】
積算計測で小数点以下何桁表示するかを設定します。
- 20 -

モード No． ＯＵＴ１、２：警報出力の設定

７

Ａ
Ｂ
７． ０

Ｃ
０

Ｄ
０

Ｅ
０
ＯＵＴ２：上下限選択
０：上限
１：下限
ＯＵＴ２：出力選択
０：機能停止１：ＭＦＣ流量値
２：ＭＦＣ積算値
ＯＵＴ１：上下限選択
０：上限
１：下限
ＯＵＴ１：出力選択
０：機能停止１：ＭＦＣ流量値
２：ＭＦＣ積算値
３：同期パルス

警報出力は内部計測値とプリセット値を比較し、その結果により判定出力します。
プリセット値設定は「１４．プリセット値設定の呼び出しかたと変更のしかた」
を参照してください。
【出力選択】
どの表示に対して警報出力するか選択します。
０：機能停止警報出力は出力されません。
１：ＭＦＣ流量値
ＭＦＣ流量値とプリセット値を比較します。
２：ＭＦＣ積算値
ＭＦＣ積算値とプリセット値を比較します
３：同期パルス（ＯＵＴ１のみ）
同期パルス出力として機能します。
（モード６を設定してください）※ 出荷時設定は機能停止になっています。
警報出力をお使いになる時は用途に合わせた設定に変更してください。
【上下限選択】
出力の条件を設定します。
０：上限「表示値 ≧ プリセット値」で出力します。
１：下限「表示値 ≦ プリセット値」で出力します。
- 21 -

【警報出力タイミングチャート参考図】
図１０- 22 -

１２．モードプロテクト機能
モードプロテクト機能をＯＮにするとモード設定時に変更できない状態にします。

▲ のキー入力を無効にし、設定値を出荷時、モードプロテクト機能はＯＦＦになっています。
モードプロテクトの呼び出し、および設定方法は、計測時に下記のキー操作でおこなってください。
≪モードプロテクトのキー操作方法≫
表示部
Ａ

Ｂ

Ｃ

Ｌ

－

ｏ

Ｄ

操作内容
Ｅ

計測表示の状態で２秒以上押します。
現在のモードプロテクト状態が表示されます。
〔出荷時はＬ－ｏＦＦとなっています〕

Ｆ Ｆ↑（モードプロテクト状態：現在）
そのまま続けて８秒押し続けますとＡ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ
モードプロテクト状態が変更されます。
Ｌ － ｏ ｎ※ＯＦＦの時はＯＮに、ＯＮの時はＯＦＦ↑に変更となります。
（モードプロテクト状態：変更）
▼

▼

▼

▼

操作キー

を押すのを止めると計測表示に戻り
ます。

！＜注意＞
※プリセット値設定、表示オフセット値設定は、モードプロテクト機能に関係無く、設定値を変更できます。
※初期化しますと、モードプロテクト機能はＯＦＦとなります。

- 23 -

１３．表示オフセット値設定の呼び出しかたと変更のしかた
ＭＦＣ積算値計測をリセットした際の表示値を設定します。例えば、表示オフセット値を"０１０００"と設定した場合、リセットされた表示は "１０００" となり、計測は "１０００"
から行います。
計測を "０" から行いたいときは、表示オフセット値を "０００００" と設定します。
設定範囲は、０～９９９９９となっています。
設定は、下記の手順に沿って実施してください。
≪表示オフセット値設定のキー操作方法≫※お客様より特に指定のない場合、初期設定値は "０００００" となっています。
操作キー

表示部

操作内容

Ａ

Ｂ

Ｃ

Ｄ

Ｅ

MODE を押しながら

０

０

０

０

０

"ＴＯ" ランプが点灯して、表示オフセット値設定となります。

Ａ

Ｂ

Ｃ

Ｄ

Ｅ

▼

MODE ＋ ▲０→０→０→０→０└－－－←－－－┘Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ
▲
０

１

０

０ ０

▲ を２秒以上押しますと点滅表示の位置（桁）を変更します。
１度押すごとに１つずつ右へ移動していきます。

点滅表示している数値を変更します。
１度押すごとに数値が１ずつ上がっていきます。
（０→１→・・・→９→０→・・・）
設定値を登録します。設定が終了しましたら、
RST にて登録してください。

RST

登録終了後、計測表示へ戻ります。
≪ 登録終了後 ≫
Ａ
RST

Ｂ

Ｃ

Ｄ

Ｅ

表示オフセット値登録終了後、RST を押すと

１

０

０

０

設定された表示オフセット値が表示されます。
計測はこの値より開始します。

！ ＜注意＞※モードプロテクトは機能しません。 （「１２．モードプロテクト機能」参照）※小数点位置は「モード６．」で設定したものに連動して表示されます。

- 24 -

１４．プリセット値設定の呼び出しかたと変更のしかた
警報出力（ＯＵＴ１，ＯＵＴ２）のプリセット値（設定値）を設定します。
設定範囲は、０～９９９９９となっています。
設定は、下記の手順に沿って実施してください。
≪プリセット値設定のキー操作方法≫

MODE

表示部

操作内容

OUT1 OUT2MODE を２秒以上押します。
ＯＵＴ１ランプが点灯して、ＯＵＴ１のプリセット
値設定となります。

●
Ａ Ｂ
９ ９

▼

OUT1

▼

OUT2

●
○
Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ
９ ０ ９ 9. ９
OUT1

▲

OUT2

●
○
Ａ Ｂ Ｃ Ｄ Ｅ
９→９→９→9.→９└－－－←－－－┘
OUT1

▲

○
Ｃ Ｄ Ｅ
９ 9. ９

○
Ａ Ｂ
９ ９

OUT2

●
Ｃ Ｄ Ｅ
９ 9. ９点滅表示の位置（桁）を変更します。
１度押すごとに１つずつ右へ移動していきます。

点滅表示している数値を変更します。
１度押すごとに数値が１ずつ上がっていきます。
（０→１→・・・→９→０→・・・）

ＯＵＴ２ランプが点灯して、ＯＵＴ２のプリセット
値設定となります。
上記と同様にと ▲ で希望の設定値に合わせてください。
▼

操作キー

設定値を登録します。各設定が終了しましたら、
RST

RST にて登録してください。
登録終了後、計測表示へ戻ります。

！ ＜注意＞※ 警報出力をＭＦＣ流量値、ＭＦＣ積算値のどちらで使用するかの選択は"モード７" でおこなってください。
※

小数点設定については、ＭＦＣ流量値計測は "モード１""モード６"で設定した位置に連動して表示されます。

※モードプロテクトは機能しません。

ＭＦＣ積算値積算計測は（「１２．モードプロテクト機能」参照）- 25 -

１５．アナログ入力の調整のしかた！ ＜注意＞※お客様の仕様に合わせて調整しておりますが、アナログ入力電圧の表示を調整される場合は、下記の手順に従って変更してください。
▲

を押しながら電源を投入すると、アナログ入力調整モードになります。

操作キー
Ａ
▲

表示部
Ｂ Ｃ Ｄ

Ａ．Ｘ

Ｘ

Ｘ

操作内容
Ｅ
▲ を押しながら電源投入するとＭＦＣ入力
最小設定になり、｢A.XXXX｣が表示されます。

Ｘ（Ｘは０～Ｆの１６進数）｢Ａ．～d．共通｣
Ａ Ｂ Ｃ Ｄ登録されたｂｉｔ値を確認する場合は、▲ を押している間、表示します。

Ｅ

▲
Ａ．Ｘ

Ｘ

Ｘ

Ｘ.

登録 bit 値を表示の時、Ｅの小数点点灯
▲

Ａ

Ｂ

Ｃ

Ｄ

Ａ．０

１

２ ３．
（現 bit 値）（Ａ～ｄ各々で機能します）※登録されているｂｉｔ値を表示している時は最下位桁の小数点が点灯します。

Ｅ▲を押すと現在登録されているＭＦＣ流量信号
最小設定値（bit 値）を表示します。
アナログ最小入力を入力しながらRST を押すとその時点での入力値（bit 値）

RST

をＭＦＣ流量信号
Ａ
MODE

▲

Ｂ

Ｃ

Ｄ

Ｅ

ｂ．Ｘ

Ｘ

Ｘ

Ｘ

Ａ

Ｂ

Ｃ

Ｄ

Ｅ

ｂ．Ｘ

Ｘ

Ｘ Ｘ.
（現 bit 値）

最小値として登録します。

MODE を押すとＭＦＣ流量信号 最大値設定になり、｢ｂ.XXＸX｣が表示されます。
▲を押すと現在登録されているＭＦＣ流量信号
最大設定値（bit 値）を表示します。
アナログ最大入力を入力しながら

RST

RST を押すとその時点での入力値（bit 値）
をＭＦＣ流量信号 最大値として登録します。

- 26 -

Ａ
MODE

Ｂ

Ｃ

Ｄ

Ｅ

C．Ｘ

Ｘ

Ｘ

Ｘ

Ａ

Ｂ

Ｃ

Ｄ

Ｅ

C．Ｘ

Ｘ

Ｘ Ｘ.
（現 bit 値）

MODE を押すと外部設定信号 最小値設定になり、｢Ｃ.XXＸX｣が表示されます。

▲▲ を押すと現在登録されている外部設定信号の最小設定値（bit 値）を表示します。
アナログ最大入力を入力しながらRST を押すとその時点での入力値（bit 値）

RSTを外部設定信号の最小値として登録します。
Ａ
MODE

Ｂ

Ｃ

Ｄ

Ｅ

ｄ．Ｘ

Ｘ

Ｘ

Ｘ

Ａ

Ｂ

Ｃ

Ｄ

Ｅ

ｄ．Ｘ

Ｘ

Ｘ Ｘ.
（現 bit 値）▲

MODE を押すと外部設定信号 最大値設定になり、｢d.XXＸX｣が表示されます。

▲ を押すと現在登録されている外部設定信号の最大設定値（bit 値）を表示します。
アナログ最大入力を入力しながらRST を押すとその時点での入力値（bit 値）

RSTを外部設定信号の最大値として登録します。
Ａ
MODE

Ｂ

Ｃ

Ｄ

Ｅ

Ａ．Ｘ

Ｘ

Ｘ

Ｘ

電源ＯＦＦ

登録終了後、電源ＯＦＦにしてください。
Ａ

電源ＯＮ

MODE を押すとＭＦＣＭＦＣ流量信号 最小値
設定に戻り、｢A.XXXX｣が表示されます。

Ｂ
計

Ｃ
測

Ｄ
表

Ｅ
示

再度電源ＯＮしますと、計測表示に戻ります。

- 27 -

１６．外形寸法図
外形寸法図

図１１

（単位：ｍｍ）

パネルカット寸法と取り付け間隔

図１２（単位：ｍｍ）- 28 -

１７．ノイズ対策について
ノイズ対策には万全を期しておりますが、万一ノイズの影響が出た場合は次の項にご注意ください。
ノイズ等の影響で表示が消えたり、誤った表示が出た場合は初期化（Ｐ.１５参照）をおこなってください。但し、初期化をする前には必ず設定値をメモしてからおこなってください。
正常に戻りましたら下記の対策をおこない、改めて再設定をおこなってください。
（１） 信号線、Ｄ―Ｓｕｂコードにはシールド線付コードを使用し、ノイズの発生源からできる
け離して配線してください。
（２）信号線、Ｄ－Ｓｕｂコードをできるだけ短くし、動力線やインバータなどのノイズの発生源をさけて極力ノイズを拾わない経路に配管して布設してください。
（３）電源ラインよりノイズの影響を受ける場合、ノイズ源から離し、配線を極力短くしたり
ＥＭＩフィルタ等の処置を施してください。
（４）信号線、Ｄ－Ｓｕｂ配線方法
電力線、動力線が信号線、Ｄ－Ｓｕｂコードの近くを通るときは、サージやノイズによる影響をなくため、信号線、Ｄ－Ｓｕｂコードは単独配管するか、もしくは５０ｃｍ以上離してください。
（５）外部要因によるノイズ発生を止める。
メータの取り付けられた制御盤内やその周辺に強力なノイズの発生すると思われる電磁接触器・温度調節器・電磁弁・リレー等の有接点開閉によるサージノイズが影響した場合、
図１３のようにスパークキラーを入れて対策
ください。

図１３

（６）特に大きなノイズエリアでご使用の場合や不明な点がありましたら取扱店、または弊社までご相談ください。

- 29 -

１８．トラブルシューティング
万一異常が発生した場合は、下記のとおり点検を行ってください。
Ｎｏ．

現

象

点

検

方

法

１

表示器が点灯しな
いブランクのまま→後部の端子への接続は正しい位置に配線され、ネジは確実に締まっているか？

２

ＬＥＤ点灯異常スイッチ動作異常
警報出力異常→テストモードによりチェック（Ｐ.１３参照）

３"０"表示のまま→ＤＩＳＰスイッチの設定は正しいか？
→ＣＯＭＭＡＮＤ切換スイッチの位置は？
→モード設定は正しいか？
↓

４

ＯＶランプ点灯
のまま

対 策

と

処 置

→端子台の接続方法を参照しながら正しい接続を行う。
（Ｐ.７～９参照）↓
それでも直らない場合は、弊社での修理が必要です。
取扱店または弊社へご連絡ください。
→１度、初期化を行って下さい。
（Ｐ.１５参照）↓
初期化で直らない場合や、何度も発生する場合は取扱店または弊社へご連絡ください。
→各スイッチが適正な位置にあるか確認してください。

→スケーリングデータが小さい。または
ローカットがかかっている。

→入力信号の接続を再確認する。
→入力信号は正常か？
テストモードによりＭＦＣ入力↓
アナログ入力テストをする。
↓（Ｐ.１３参照）↓↓↓→ＭＦＣからの出力信号は →取扱説明書を確認または弊社にご相談ください。
正常か？
↓↓
それでも直らない場合は取扱店→ＭＦＣの出力信号形態とまたは弊社へご連絡ください。
メータの入力方式が合っているか？
→スケーリングデータの設定値を→スケーリングデータの
変更する。
設定間違い
モード１（Ｐ．１７）参照（ＭＦＣ流量値計測）↓
モード６（Ｐ．２０）参照→表示の有効範囲をこえている（ＭＦＣ積算値計測） モード７（Ｐ．２１）参照↓→（Ｐ．２９）のノイズ対策の→ノイズの影響項を参照しください。
↓
それでも直らない場合は取扱店
または弊社へご連絡ください。

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