EPIoT

予兆保全用エッジコンピューティングシステム
Edge computing system for predictive maintenance

設備の監視、解析によりエラーを予測し安定稼働へ繋げますPredict errors by monitoring and analyzing equipment, leading to stable operation【システム構成（通信例）】 System conﬁguration (communication example)

装置PLCやセンサーから各種ビット信号やデータを収集
Collect various bit signals and data from the equipment PLC and sensors

EPIoT
イオンソースPLC

装置PLC

Ion source PLC

Equipment PLC

ロス解析

Loss analysis

アラーム・パレート
Alarm・Pareto

処置履歴 など

LANLAN

Treatment …etc.

解析結果をPCへ出力（FTP通信）
Output analysis results to PC (FTP communication)【概要】

EPIoT（エピオット）は、装置へ接続する事で様々な観点から装置の状態監視及び解析を行い、装置の安定稼働を促進するユニットです。
標準仕様で「監視」、「解析」、「警報」、「履歴管理」の4つの機能を持っておりますが、管理する項目はユーザー様のご希望に合わせてカスタマイズ可能です。
[Overview]
By being connected to EPIoT, it is a unit that monitors and analyzes the state of the equipment from various pointsof view and promotes stable operation of the equipment.
The standard speciﬁcations have four functions, "monitoring", "analysis", "alarm", and "history management", andthe items to be managed can be customized according to the user's wishes.

【特長】①装置から各ユニットの稼働データを収集・管理が可能！
②豊富な監視・解析機能により予兆保全が可能！
③解析結果をCSV・txtデータで保存＆出力が可能！
④ユーザー様のご希望に合わせて監視項目のカスタマイズが可能！
[Features]【用途】

装置稼働状況の可視化及び安定稼働の実現にEPIoTは貢献いたします。

①It is possible to collect and manage the operation data ofeach unit from the equipment!
②Premonition maintenance is possible with abundantmonitoring and analysis functions!
③Analysis results can be saved and output as CSV / txt data!

[Use]
EPIoT will contribute to the visualization of equipment operation status and the realization of stable operation.

④It is possible to customize the monitoring items according
to the user's wishes!

EPIoT

予兆保全用エッジコンピューティングシステム
Edge computing system for predictive maintenance

設備の監視、解析によりエラーを予測し安定稼働へ繋げますPredict errors by monitoring and analyzing equipment, leading to stable operation※下記は弊社光学薄膜用蒸着装置SGC-S1700iの例となります。

監視項目一覧

*The following is an example: our optical ﬁlm vacuum coater SGC-S1700i.

List of monitoring items

ソースRF 入射電力

モニターヒーター

ソースRF

モニターヒーター過昇温

Source RF Incident power

Monitor heater

反射電力

Source RF Reﬂected power

ニュートラライザーRF 入射電力

Neutralizer RF Incident power

電圧

ビーム電源

電流

Ion Source

Beam power supply current

加速電源

電圧

加速電源

電流

エミッション電源

電流

ヒーターHeater

キーパー電源電流

脱ガス過昇温Degas overheating

DP油温

DP Oil temperature

ポリコールドPoly cold

メインバルブ開閉

APC
MFC IS O2
ガス導入

Gas Introduction

Slow rough valve open and close

フォアバルブ開閉

ベントバルブ開閉

MFC IS Ar
MFC̲NEU/PS̲Ar

Fore valve open and close

Vent valve open and close

The time it takes to △△ is increasing

脱ガス

ラフバルブ開閉

Air Cylinder△△にかかる時間が増えています

DegassingMain valve open and close

エアシリンダThe rise of ×× seems to be delayed

基板加熱過昇温

Keeper power supply current

スローラフバルブ開閉

××の立ち上がりが遅れ気味です

Substrate heating middle stage

Substrate heating overheating

Keeper power supply voltage

Rough valve open and close

The output of 〇〇 has decreased

基板加熱中段Substrate heating lower stage

Emission power supply current

電圧○○の出力が下がってきました

基板加熱下段Emission power supply voltage

キーパー電源EPIoT monitors the operating status of the equipment andmakes various announcements according to the status.

基板加熱上段Acceleration power supply current

電圧

ハロゲンヒーター

Substrate heating upper stage

Acceleration power supply voltage

エミッション電源

状態に応じて様々なアナウンスを出します。

Halogen heater overheating

Beam power supply voltage

イオンソースEPIoTが装置の稼働状態を監視しハロゲンヒーター過昇温

Neutralizer RF Reﬂected power

ビーム電源

Conceptual of usage

Monitor heater overheating

Halogen heater

ニュートラライザーRF 反射電力

用途イメージ

回転速度

Rotational speed

ドーム回転速度

Dome rotation speed

スローベントバルブ開閉

ご質問・詳細につきましては、営業部までお気軽にお問合せください。
お問合せ先【営業部】
本社・相模原工場〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名3062-10

TEL. 042-764-0370
FAX. 042-764-0377

E-mail. sales-pamphlet@showashinku.co.jp

https://www.showashinku.co.jp/
昭和真空検索Slow vent valve open and close

蒸発源シャッター開閉

Evaporation source shutter open and close

補正板昇降

Inquiry [Sales Dept.]
HQ and Sagamihara Plant
3062-10 Tana, Chuo-ku, Sagamihara-city, Kanagawa 252-0244 Japan
TEL:+81-42-764-0370

FAX：+81-42-764-0377

Correction plate up and down

構成

本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略
Composition

構成

Composition

物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国

タッチパネル、シーケンサー、24V電源、LANケーブル、etc.
Touch panel, Sequencer, 24V Power supply, LAN cable, etc.

外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
This product may be applicable to export control products such as strategic raw materials

対応言語

日本語、英語、中国語（簡体字、繁体字）対応機種

弊社SGC、SECシリーズ（2011年以降モデル）

Supported Language

Compatible Models

寸法
Size

装置重量Device WeightJapanese, English, Chinese (Simpliﬁed, Traditional)

which are regulated by the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law. Accordingly
when you bring out the applicable products outside Japan, you should take a necessary
action such as application of an export permit to the Government of Japan.

Our SGC, SEC series (models after 2011)

約W:450㎜×D:250㎜×H:400㎜

About W:450㎜×D:250㎜×H:400㎜

約20kg

About 20kg

Web site

製品情報ページ

真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。

※本仕様・外観については、改良のため予告なく変更になることがあります。あらかじめご了承下さい。
* For the improvement of the product, please understand in advance that the speciﬁcations and external views are subject to change without prior notice.

https://www.showashinku.co.jp/product/52-16001-JEZ2206