NEW

4ワンショット3D形状測定機

最速 秒で3 次 元 形 状を測 定

VR-3000シリーズ

ワ ン ショット 3 D 測 定

最速4 秒で3D 測 定NEW

ワンショット3D形状測定機
VR-3000シリーズ

20.1μmの分解能で、人によってバラつかない測定

速く、正確な 3D 測定

ワンショットで、広範囲の形状・平面度・粗さがわかる“面”の 3D 測定

国家標準につながるＸＹＺトレーサビリティ体系

高精度 3D 測定

3従来の測定機との比較［従来の測定機］

事例：ボタン電池の凹み

3次元測定機点でしか測れない全体の情報を知ろうと思うと、ポイント数を増やす必要があ

線り、時間がかかります。

でしか測れない狙ったポイントを測定するのは難しく、測定ポイントの違いに より測 定 値 に ばら つ き が出ます。

輪郭形状測定機

点・線でしか測定できない

今までの測定機では、対象物全体の凹凸状況が把握できませんでした。そのため、感覚的な狙いで、ポイントを測るしかなく、測定値が安定しませんでした。

4

Ｘ 狙ったポイントが測れない
Ｘ 膨大な時間がかかる
Ｘ 人により測定結果がばらつく［ ワンショット3D形状測定機］

面の測定が可能一瞬で面全体の情報をスキャンします。狙ったポイントも自由に測定が可能。人による測定値のバラつきもありません。

最低点
最高点

面 でデータ化
ワンショット３Ｄ形状測定機 VR-3000 シリーズは一瞬で対象物全体の凹凸状況をスキャンします。
対象物の測りたいポイントを確実に捉えます。

◯ 最高点・最低点がわかる◯ 最速4秒でスキャン◯ 誰が測定しても結果は同じ

5

速く、正 確 な 3 D 測 定クリック
するだけ

6

最速4秒

誰でも速く、正確に測定最短４秒・分解能0.1μm・高い測定再現性

セッティングを気にせずさっと測定できるサンプルを、置いて押すだけ

従来の形状測定機では、サンプルの設置やステージの調整など、測定に時間がかかります。
ＶＲ-3000シリーズなら、サンプルをステージに置いたら、測定ボタンをクリックするだけ、最速4秒で完了。
セッティングを気にすることなく素早く測定できます。

面で測定するから正確、測り直しがいらない

最低点を狙って測れる

VR-3000シリーズは、一度の測定で面全体の3D情報を取得。
最も高い場所・最も低い場所など全体の形状がわかります。
狙った場所がわからず何度も測定しなおすといったことがありません。

従来の形状測定機では、測定に時間がかかっていました

1234

打痕測定 狙い通りの位置決めが難しい
サンプルの設置、針の選択、パラメータの選択など、さまざまな調整が必要でした。また狙ったポイントを測定できているかどうかわかりませんでした。

人による誤差が大きい

トレーニングが必要

測定の再現性が取れない7

“ 面 ”の 3 D 測 定

点や線 で は なく面で 測 定3次元測定機や輪郭形状測定機では、何箇所も測定しないと、面の形状がわかりません。

「点」で測定3次元測定機…

8「線」で測定輪郭形状測定機…

今までわからなかったことが わかる“面”を測定して、形状全体を解析

点や線での測定では…

従来

3次元測定機

例えば、最高点と最低点の差を知りたくてもどこを測っていいのかわかりません。

輪郭形状測定機

最も高い点・低い点が わからない
ポイントを狙って測 定できない

ワンショット3Ｄ測定なら

VR-3000シリーズ

最高点最低点

ワンショットで面全体を測定するから全体の形状・うねりがわかります。

最も高い点・低い点が一目でわかる
全 体の形 状が すぐにわ かる

一度スキャンすれば、どの場所でも自由に測定できる最高点や最低点など全て把握した状態で、狙ったポイントを自由に測定することができます。
取得した面全体のデータを、後日解析し直すことも可能です。

9高精度3D測定

非接触

高精度測定

［測定原理］

光切断法
対象物にスリット光を当ててできる段差を三角測量で測定

投光レンズから照射された縞状の光は、対象物の表面で拡散反射します。反射した光を別の角度（受光レンズ）から観察すると、縞状であった光は対象物の凹凸形状に応じて折れ曲がって見えます。これを CMOS センサに結像させ、演算（三角測量法）を行なうことで、各点の高さ・位置を測定します。

10

世界初の測定アルゴリズム
安全、安心のトレーサビリティ対応

ワンショット3D
アルゴリズムCMOS
光源

ワンショットで高精度な測定を実現するTMTアルゴリズムと、デジタルマイクロスコープで培ったリアルフルカラー３D技術をフル活用。
ワンショットでトレーサブルな３Ｄ測定を実現した

受光レンズ

投光レンズ

世界初のアルゴリズムです。

TMTアルゴリズム
トリプル・テレセントリックレンズと、変位計で培った、複数の三角測距を駆使し、高速で高精度な３Ｄ測定を測定対象物実現する独自のアルゴリズムです。

リアルフルカラー3D技術
専用の「リアルカラー照明ユニット」（特許出願中）からd「 d 」の寸法から「高さ」を算出
対象物に凹凸があると、縞模様が照射されるR・G・Bフルカラー照明を、新採用の高精細CMOSセンサが捉えます。

折れ曲がって見えます。その曲が色ごとに別々に取得した画像を適切に合成してり量の寸法より高さを算出します。

カラー画像を生成することで、通常のカラーカメラ＋白色照明では得られない、色鮮やかで緻密な「リアルフルカラー画像」を実現しました。

Z

X-Y

XYZトレーサビリティ
対応

国家基準

国家基準

国立研究開発法人 産業技術総合研究所

国立研究開発法人 産業技術総合研究所

ＪＣＳＳ認定機関

ＪＣＳＳ認定機関

ゲージブロック

基準スケール

トレーサビリティ体系に基づいています。

段差測定器

座標測定装置測定機器として安心してお使いいただけます。

キャリブレーションブロック

キャリブレーションチャート

VR-3000

世界初のアルゴリズムで測定された計測結果は、国家標準につながる校正作業標準で検査成績書・校正証明書付きのキャリブレーションゲージを添付。
ゲージは、ＪＣＳＳ認定事業者の基準スケールにつながります。
どなたでも、現地で正確に校正をしていただくことが可能です。
(出張点検サービスも承っております。)

11高精度をささえるテクノロジー
業界初の光学・ハード技術

業界初

全エリア超低歪み

トリプル・テレセントリックレンズ

高精度な３D測定を実現するには、光を照射する投影レンズと、像を受光する受光レンズにおいて、レンズと対象物の距離が変わっても像の大きさが変わらないこと、像の歪が極めて小さいことが非常に重要です。
VR-3000 は、業界最大級の大判のCMOSに合わせて、投影レンズと受光レンズに、計３本の大口径テレセントリックレンズを贅沢に採用。
測定機やマイクロスコープで培った高度な光学設計により、対角30mmにわたる範囲でも高精度なワンショット３Ｄ測定を実現しています。

テレセントリックレンズが生み出す高精度物体を上から見ると一般的なレンズ

テレセントリックレンズ

高低差により大きさが変わらない
高低差がある形状測定には、高さが変わっても写る大きさの変わらないことが重要です。
テレセントリックレンズを採用し、±5mmの高さまで正確に測定が可能です。

通常のカメラレンズ周辺部に歪みを生じる

VR-3000シリーズ

視野内での歪みが少ない周辺部で歪みが少ない受光レンズ
対角30mmという広い範囲を、ワンショットで測定するには、視野全体で歪みの少ないテレセントリックレンズが欠かせません。
細部までシャープでクリア、より高精度な投影を実現します。

VR-3000シリーズ
均一・均等に照射光を均一・均等に照射する投影レンズ
テレセントリックレンズにより、測定範囲全体で対象物に均一な光を均一な間隔で照射します。
そのため、対象物をどこに置いても高精度に測定が可能です。

12

［ありのままの撮像］
高 精 細 C M O S センサ
業界最大級の大判高精細 CMOSを採用することで、1 画素サイズが大きくなり、低ノイズのデータ取得が可能。

リアルカラー照明ユニット
R・G・B の３色から成る色再現性の高い照明光源。ミキシング光学系と光ファイバーを組み合わせることで、カラー合成時の色ムラを低減。

［ 防 振 台 不 要 ］
高 い 耐 振 動 設 計
防振台不要を目指し、強度解析により高剛性ボディを実現。
筐体強度解析図

専用設計の防振ゴム
従来比 4 倍以上の防振効果がある防振材を採用。低周波から高周波まで幅広い領域の振動を吸収し、安定した条件で高倍率の撮影が可能です。

13

解析機能

あらゆる解析をこの一台で形状、粗さから体積、2次元測定まで［ 高 さ・幅・角 度・R を 測 る ］プ ロ ファイ ル 測 定面のデータを用いて、狙った箇所を自由に測定することができます。12項目の測定を自由に行なえます。

［ 段 差 ／ 平 面 度を測る］
平均段差測定1ショット 78万点のデータを用いて、面と面の段差を測定できます。
面内のデータを使用して、平面度の測定も可能です。

［ 体 積 ／ 面 積 ／ X Y ／ 個 数 を調 べる］
体 積・表 面 積 測 定
高さデータを用いて、対象物の体積や面積、指定高さのＸＹ径を測定することができます。
個数のカウントも同時に実行できます。

14

2 次元測定から3次元測定まで幅広く対応

形状測定機／粗さ計

三次元測定機

投影機

測定顕微鏡

うねり、線粗さ（2001ＪＩＳ）、面粗さ（ISO25178）［ 線 の 粗 さを 測 定 す る ］
線粗さ測定
RaやRzなどの代表的なパラメーターを測定できるようになっています。
狙ったポイントを測定でき、接触式では難しい円周状をなぞるような測定も可能です。

［ 面 の 粗 さを 測 定 す る ］
面粗さ測定
ISO25178に則った面粗さの測定が可能です。
多数のポイント数で測定するため、より安定した測定結果が得られます。

［ 形 状 の 違 い を 数 値 化 で きる ］
平面計測
2点間の距離から直線間の距離、円心間の距離までさまざまな平面の計測に対応します。
画面で見ながら、特定の点の高さも測定可能です。

15

新機能

複数サンプ ルの“違い”を早く、正確に解析
NEW

マルチファイル解析機能

サンプルA

サンプルB

サンプルC

サンプルD

複数のファイルを一度に開き、断面・体積・面積・平面度・粗さ測定などを行なえます。評価サンプルが多数あっても、一瞬で同一条件での解析を実行。製造条件の異なる試作品や摩耗による形状の変化などが、どこにどんな違いがあるかを一目で見ることができます。測定作業が大幅に削減するだけでなく、測定条件のズレによる評価ミスを防ぎます。

位置合わせ・
画像処理・計測内容の統一

一括
高さ表示設定一括グラフ表示設定

16

複数のファイルを一括解析「Auto Arrange」

形状の“違い”が瞬時にわかる「3D一覧表示機能」

Auto Arrangeを使えば、一度の操作で3D形状も並べて表示でき、すべてのデータが一括処理されます。

より視覚的に複数サンプル間の比較ができます。

繰り返し同じ作業をすることによる並べた状態を画像として保存もできるため、時間のロス、設定ミスなどがなくなります。

関係者への説明もスムーズに行なえます。

解析業務を効率化する、細やかなサポート機能

■ 従来
測定

測定

解析

解析

測定

解析

連続してデータ取りだけを行なえる、■ 連続測定モード
測定

測定

効率的にデータ収集を行なう「連続測定モード」
連続測定モードを搭載。

測定

一括解析

他の画面に一切移らずに測定作業ができるので作業工数を削減効率的に業務を進められます。

誰が使っても高い再現性を実現「位置決めサポート＆高精度マッチング」
基準となるマスター画像が常に半透明で表示されます。
この付近にサンプルを置いてクリックするだけで、自動的に位置決めが完了します。
また、微妙な位置ズレを高精度なパターンマッチングにより自動的に補正し、正確な測定を実施します。

自動調整＆パターンマッチング

後工程でも使いやすいデータ出力に対応「Excelデータ出力／CAD出力」
解析内容は、見た目そのままにExcel出力が可能。
測定値ごとに並べ替えたり、ピポットを組んで集計するなど、より詳細な検討がスムーズに進められます。
また、CADデータとしてはSTEP、ASCIIに加えてSTL形式の出力にも対応。
幅広いデータ活用が可能となります。

Excel

CAD

17

新機能

面形状の差分を視覚化・数値化
NEW

形状比較計測機能

良品と不良品、CADデータと試作品などの形状比較が、簡単にできるようになりました。
2つのデータの同じ箇所に差がどの程度あるのか、面形状全体から測定をすることができます。

18

複雑な設定不要「自動位置合わせ機能」

形状の違いが目に見えてわかる「“差分”カラー表示機能」

3次元での位置合わせも、自動で精度高く2つの形状を重ね合わせて、基準よりも高いところを赤く、フィッテングを行ないます。

低いところを青く表現します。

傾きや基準面、高さのズレなど、さまざまな要素を視覚的に違いが把握できるようになりました。

加味して、微調整が簡単に行なえます。

※データ比較機能にはVR-H2P、CAD比較にはVR-H2CAが必要です。

立体形状の検査が 、1クリックでNEWOK/NG判定機能

測定値に対して公差設定に基づいたOK/NG判定ができるようになりました。
検査機としての使い勝手が大きく向上し、これまで以上にさまざまなシーンで利用いただけるようになりました。

簡単操作で検査設定が完了「プログラミングレス設定」

測定結果の管理業務を効率化「統計解析機能」

シンプルな操作で検査設定を完了。

測定結果は自動的にデータベースに保存され、特別なトレーニングは不要です。

トレンドグラフやヒストグラムが自動生成されます。

また、一度登録した検査設定ファイルをまた、関係者に提出するレポートも自動作成できるため、他の機体で使うことも可能です。

検査後の各種業務にかける時間が最小限で済みます。

19

広範囲連結広い範囲での形状、うねりがわかる
画像連結機能100mm［最大］

高速電動XYステージが、自動で動いて広範囲を測定

広い範囲を高速連結200mm［ 最 大 ］

連結でもバラつかない測定

A AFAF F

20

傾き補正

A F モ ード部 分 撮り直し

ワーク荷重によるステージ傾斜を

XY連結時に、オートフォーカスを万が一、測定を失敗した箇所があれば、センシング技術により、正確に補正。

しながら測定画像を取得します。

そこだけを再度測定できます。

拡大観察機能測定だけでなく、拡大観察にも対応
マイクロスコープ機能

高精細画像撮影

900 万画素［900万画素相当３CMOSカメラ搭載］

3 CMOS カメラ搭載
各 画 素 で R・G・B の デ ー タを12倍～最大160倍での拡大観察が可能です。

取 得しているので、色再現性に観察画像は、撮影ボタンを押すだけで、優れた鮮明な観察ができます。

高精細な900万画素相当で撮影・保存できます。

8bit（256階調）
従来方式

問題点

光学の限界を超える観察

16bit
1回のシャッターで得られる階調■ 取得できる明るさの幅が狭く、範囲を超えた明るさはハレーションとなる。
■ 階調が粗いため、微細なコントラストが表現できない。

（65536階調）
HDR機能

効果

従来の256倍の階調［16bit HDR機能搭載］
進化した高性能エンジンにより、従来8bit階調■ 取得できる明るさの幅が広いため、ハレーションがおきない。

だった観察データを、R・G・B各画素16bit階調で■ 細かな階調データで微細なコントラストを表現できる。

取得。今までとらえることができなかった対象物の状態を忠実に再現することができます。

深度合成機能も搭載
勾配の大きなサンプルや、倍率を高くした際に、被写界深度が足りなくなった場合は、テレセントリックレンズと深度合成機能により、全面に位置ズレなく、従来

ＶＲ-3000シリーズ

基板 12×ピントを合わせることが可能です。

21

アプリケーション

輸送・金属

台形ネジ（ネジ山の角度）

金属保持部材（3D-CADデータとの比較）

22

金属延性破面（表面積／断面積）

ギア（形状）

ブレーキパッド（平面度）

工具刃先（形状）23

アプリケーション

電機・電子

ハンディーターミナル（フレームの反り）

ハンディーターミナル設置台（形状）7インチタブレット（ケースのうねり）

24

ウェブワッシャー（高低差）

基板（外観、全体うねり、メッキ部うねり）

コネクタピン（ピン高さ）IC（リードの浮き）

BGA（高さのばらつき）

金属部品（うねり、2次元寸法）25

アプリケーション

化学・樹脂NG品

ゴムハンドル（NG品の解析）

26

比較（良品とNG品）

比較計測機能光学部品（樹脂成型品のヒケ）

樹脂ケース（溝の平均深さ）

振動板（形状と歪み）

ファン（基準からの高さ）

比較（CADとNG品）

3D-CAD比較計測機能その他

ウェザーストリップ（線粗さ、面粗さ）

ガラス

繊維コンソール（ボタンの高さ）

元データ

シボ（全体のシボの深さ）

繊維凹み（繊維をガラスで抑えて測定）

うねり除去後

元データ

うねり除去後SOFC(固定酸化物形燃料電池)（ 体積）27

選べるラインナップ

電動XYステージを搭載したハイエンドモデル

VR-3200
XY軸電動
Z軸電動
カラ―画像
広視野／高倍率カメラ

カラー観察・高倍率観察ができる
スタンダードモデル

VR-3100
XY軸手動
Z軸電動
カラ―画像
広視野／高倍率カメラ

測定の基本性能を備えた
シンプルモデルVR-3050

28Z軸手動広視野カメラオプション

100mm 高さスペーサ OP-87708

チルトステージ OP-87709

測定部と台座部の間に、高さ100mmのスペーサを挿入することで、ステージに設置することで、対象物を触ることなく、自由なアングル最大で188mmの対象物まで対応が可能。また、スペースを利用してで観察・測定が可能です。表面も対象物が滑らないよう、工夫がして“加熱ステージ”や“特殊治具”をセッティングすることもできます。

あります。

100mm

188mm

画像連結用手動スライダー OP-87717
より広い視野範囲を測定したい際に、連結モジュール（オプション）と使用することで、最大270mmの範囲まで測定することが可能です。

270mm※VR-S200装着時は最大高さ170mmとなります。

電動XYステージ VR-S200

大型サンプルステージ

連結モジュール(オプション）を利用する際、よりスピーディかつ正確お客様の要望にあわせて、各種大型・特殊ステージをご提案いたしに画像連結をすることができます。

ます。

29

システム構成図／外形寸法図

VR-3200

VR-3100

VR-3000

ヘッド
コントローラヘッド

型式
電動XYステージ
XYθステージ
画像連結用手動スライダー
100mm高さスペーサ
チルトステージ
キャリブレーションブロック

観察アプリケーション
解析アプリケーション
NEW 連結モジュール
NEW 比較計測モジュール
NEW ３D-CAD比較計測モジュール
NEWNEW

制御用PC

コントローラ

VR-3050

VR-S200
OP-87715
OP-87717
OP-87708
OP-87709
OP-87710
VR-H2VVR-H2A
VR-H2J
VR-H2P
VR-H2CAモニタ（オプション）

VR-3200

VR-3000
VR-3100

VR-3050

標準搭載
××
オプション
標準搭載
標準搭載

オプション
標準搭載
オプション
オプション
標準搭載
標準搭載

オプション
オプション
オプション
オプション
オプション
標準搭載

必須
必須
オプション
オプション
オプション

ヘッド VR-3200

必須
必須
オプション
オプション
オプション

必須
必須
オプション
オプション
オプション

電動XYステージ VR-S200
34270
290

147

6496200179
225

109.5
376

14.1

165

73.5

165

310
109.5

330

115.5
428

328.4

ヘッド VR-3100

48

ヘッド VR-3050
70

290

コントローラ VR-3000
70344
290

147

344
147

496

496

228
14.1
171
91

150
10914.1
150

150
428

310

48

310

428

48

343

97

224

125

328

328.4
182
414

117
26344

228.5
(77)
35
35

30

R180

3580

25.3
８×M6
深さ1084195

単位（mm）

仕様■ VRヘッド・コントローラ
コントローラ

型式VR-3000

ヘッドVR-3200
広視野モード１５型モニタ上倍率

VR-3100
高倍率モード

広視野モード

広視野モード12× 25× 38× 50× 40× 80× 120× 160× 12× 25× 38× 50× 40× 80× 120× 160× 12× 25× 38× 50×

観察測定範囲横（H）：mm

24.0 12.0 8.0

6.0

7.6

3.8

2.5

1.9 24.0 12.0 8.0

6.0

7.6

3.8

2.5

1.9 24.0 12.0 8.0

6.0

縦（V）
：mm

18.0 9.0

4.5

5.7

2.9

1.9

1.4 18.0 9.0

4.5

5.7

2.9

1.9

1.4 18.0 9.0

4.5

6.0

ズーム

6.0

6.0

1～4倍

測定可能高さ※１10mm（±5mm)

1mm（±0.5mm）

表示分解能※２10mm（±5mm)

1mm(±0.5mm)

0.1μm
高さ測定

繰り返し精度(σ)※310mm(±5mm)
0.5μm

0.5μm

幅測定

1μm

0.5μm

1μm

高さ測定

測定精度※30.5μm

1μm

±2μm

±5μm

±3μm

幅測定

±5μm

±2μm

±5μm

全自動(XY自動制御+オートフォーカス)測定連結機能※4
XYストローク

手動(XY、Z)

自動調整、自動テンプレート解析－

184 x 88mm（電動）70mm（200mm※5）（手動）※6

Zストローク90mm（電動）90mm（電動）88mm（手動）

回転機構

±180°
（試料回転ステージ）±90°（θステージ）

－

チルト機構

±30°
以上

±30°
以上

－

ステージ

作動距離

75mm

撮像素子

1型400万画素モノクロCMOS

投光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ x 2

受光レンズ

ダブルテレセントリックレンズ
観察用光源

照明系

ＬＥＤリング照明（赤,緑,青）

測定用光源

LEDリング照明（白）

白色LED

画像サイズ

1024×768pix, 2048×1536pix

データ処理部

弊社指定専用PC (OSはWindows7)※7
電源電圧

電源
耐環境性

AC100～240V±10% 50/60Hz

消費電力

150VA

使用周囲温度

15～30℃

使用周囲湿度

35～80%（ただし結露なきこと）コントローラ

質量VR-3050
高倍率モード3.8kg

ヘッド※828.0kg

22.5kg20.6kg※１ 焦点位置を中心に 低倍側±5mm、高倍側±0.5mmの範囲 ※２ 高さ測定の分解能 ※３ 当社規定の標準ゲージを使用し、当社規定の測定モードにて測定した場合の値（周囲温度２３±１℃）※4 連結モジュール（VR-H2J）が必要 ※5 画像連結用手動スライダー（OP-87717）使用時 ※6 VR-3050はXYθステージ（OP-87715）が必要 ※７ Windows7 Professional および Ultimate※8 測定部単体 10.8kg■ 電動XYステージ VR-S200
移動速度10mm/sec（max）

移動量

184×88mm

ステージサイズ上面215×165mm（回転プレートφ140mm）

質量6.5kg※VR-3100、VR-3050にオプション装着可■ ソフトウェア部
eプレビューソフトウェア

測定モードを自動的に変えながらプレビュー画像を表示するソフトウェア

3次元計測ソフトウェア

測定した3D上で簡易的なプロファイル計測をおこなうためのソフトウェア

平面計測ソフトウェア

観察画像や静止画像の寸法計測をおこなうためのソフトウェア

スケール表示ソフトウェア

観察画像や静止画像にスケールを表示させるソフトウェア

コメント機能ソフトウェア

観察画像や静止画像にコメントを表示させるソフトウェア

HDR機能ソフトウェア

16bitでデータを取得し、画像の見栄えを最適化するソフトウェア

フォーカスガイドソフトウェア

ピント合わせや測定時の位置合わせをおこないやすくするためのソフトウェア

直販体制ならではの、お客様サポート
当社は販売店や代理店を介さないメーカー直販体制です。
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浦和営業所〒330-0063 さいたま市浦和区高砂 2-2-3
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