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製品例イメージ従来のSapio1700の能力を更に向上させ、装置1台で2台分の活躍を実現させたい。
そこで生まれたのがMega-Sapio1700（SGC-MS1700i型）です。
従来のSapio1700から「排気工程の短縮」「成膜工程の短縮」「ベント工程の短縮」「装置の安定稼働」
これら4つを実現する事で完成した「Mega-Sapio1700」。
制御系にはワイヤレスモニターを採用し高精度なプロセスコントロールを実現。
設置面積は従来のSapio1700と変わらず生産量2倍の量産機が誕生しました。

主な用途｜樹脂基板への反射防止膜形成

昭和真空 から驚愕 の量産機 が誕生︒

装置 -concept-製品例｜スマートフォン向けカメラレンズ

An astonishing mass production equipment was born from SHOWA SHINKU.
[Equipment -concept-]
We would like to further improve the capabilities of the conventional Sapio 1700 and realize the activityof two units with one unit.
The Mega-Sapio 1700 (SGC-MS1700i type) was born there.
The Mega-Sapio 1700 was completed by realizing the shortening of the exhaust process, the ﬁlm formation
process, the venting process, and the stable operation of the equipment from the conventional Sapio 1700.
A wireless monitor is used for the control system to realize highly accurate process control.
A mass-produced machine with the same installation area as the conventional Sapio 1700, but with double
the production volume, was born.
[Main Applications] Antireﬂection ﬁlm formation on resin substrate[Product Example] Camera lens for smartphones

主な特徴
Major Features

生産量２倍

コスト
メリット

Double production

Cost merit

生産タクト1/2

Production tact 1/2

Footprint Same as before

従来Sapio1700のMS（Mega-Sapio）化も可能

消費電力削減（省エネ効果）

Conventional Sapio 1700
can be converted to MS (Mega-Sapio)

Power consumption reduction (energy saving effect)

製品仕様

Product Speciﬁcations

排気工程

Exhaust process▶ ハイタクト仕様
排気、加熱系にて新機構を採用性能比較
対比項目 ※Sapio1700基準
Comparison item

Adopted a new mechanism for exhaust and heating system①Lens積載量
Lens load capacity

Film formation process▶ ハイレート蒸着仕様
ワイヤレスモニター、新型イオンソースを採用
High-rate vapor deposition speciﬁcations②生産タクト
Production tact

③生産量 ※①②

Wireless monitor, Adopted a new ion source

ベント工程

Performance Comparison

Sapio1700

Mega-Sapio 1700

11

10.48

12.08

12.08

◎

◎

*Sapio1700 standard

High tact speciﬁcations

成膜工程

Can be modiﬁed fromconventional equipment

レンズ単価あたりの生産コスト削減

Reduction of production cost per lens unit price

フットプリント従来と同等

従来装置
改造可能

Production volume *①②Bent process▶ 新型ベント機構を採用④面積生産性 ※37㎡
Area productivity *37㎡

Adopts a new vent mechanism⑤成膜再現性

装置の安定稼働 Stable operation of equipment▶ 稼働監視システムEPIoTを採用
Adopts operation monitoring system EPIoT

Film formation reproducibility⑥消費電力 ※生産量あたり10.62Power consumption（42kW×1.5h=64.7kW）（55kW×0.7h=39.6kW）*Per production volume

レイアウトイメージ

Layout image

マイスナートラップ冷凍機

ポンプユニット

Meissner trap freezer

Pumping unit

7,600㎜操作盤

Operation board

装置本体
Main body

据付面積

Installation area

装置本体
Main body

操作盤

Operation board

電子銃電源Electron gun power supply

ポンプユニット
Pumping unit

マイスナートラップ冷凍機Meissner trap freezer

電子銃電源Electron gun power supply

4,600㎜

W（㎜）

D（㎜）

H（㎜）

Weight（㎏）

2670

3200

3020

6700

625

2160

2385

650

570

760

1545

370

900

1491

1298

1200

780

710

1710

400

① ワイヤレスモニター

Wireless monitor② ブースト加熱機構

量産機

Boost heating mechanism

Mega-Sapio 1700

昭和真空独自のモニタリングシステムと細部までこだわり進化させた各種機構によりすべての生産工程がシームレスに安定稼働生産効率を追求して量産を実現した結果お客様の「省エネ」と「コストダウン」にも寄与いたします。

The mass production machine Mega-Sapio 1700 has a monitoring system
unique to Showa Shinku and various mechanisms that have been carefully
evolved to ensure seamless and stable operation of all production
processes.
As a result of pursuing production efﬁciency and achieving mass production,
we will also contribute to the "energy saving" and "cost reduction" of ourcustomers.

⑤ デュアルマイスナー

Dual Meissner⑥ 新ベント機構

New vent mechanism

③ ハイレート蒸着

High rate vapor deposition⑦ 最適化バッフル

Optimized bafﬂe④ 新型イオンソース⑧ 稼働監視システム EPIoT

New ion source

Operation monitoring system EPIoT〒252-0244
神奈川県相模原市中央区田名3062-10
https://www.showashinku.co.jp
装置｜ご相談窓口

TEL. 042 - 764 - 0370

●本資料に記載の製品仕様・外観は、改良のため予告なく変更する場合あります。
●本資料に記載の製品は外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略 物資等輸出規制品に該当する場 合があります。
従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。

Equipment consultation counter
HQ and Sagamihara Plant
3062-10 Tana, Chuo-ku, Sagamihara-city, Kanagawa 252-0244
JapanTEL:+81-42-764-0370●For the improvement of the product, please understand thatthe speciﬁcations are subject to change without prior notice.
●This product may be applicable to export control products
such as strategic raw materials which are regulated by theForeign

ExchangeandForeign

TradeControlLaw.

Accordingly when you bring out the applicable products
outside Japan, you should take a necessary action such as
application of an export permit to the Government of Japan.

11-16101-JEZ2207