SAF-X1201

インライン式高真空アニール装置
In-line type high vacuum annealing equipment

インラインで水晶振動子の熱処理が可能な高真空アニール装置
High-vacuum annealing equipment for in-line heat treatment of crystal units.

【特長】

1．本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のために熱処理を行うインライン式真空熱処理装置です。
2．仕込室、処理室、冷却室の3室からなり、トレイ仕込後、アニールから冷却まで全自動で行います。
また、LD/ULDを接続することでライン化が可能になり、生産性の向上と省力化に貢献します。
3．W220mm×D140mmトレイで約440秒(＝約7分20秒)/枚のタクトタイムを実現しました。
4．
アニール工程のフルオートメーション化により、歩留向上に貢献します。

【用途・応用例】
・水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去
・SMDパッケージに内在するアウトガスの放出・電極膜の安定化のために熱処理を行う装置[Features][Applications]

1. This in-line vacuum heat treatment system is mainly used for heat treatment to remove internal stress strain generated during

・Removal of internal stress strain

processing of quartz crystal to stabilize electrode ﬁlms.
2. The system consists of three chambers: a Loading chamber, a processing chamber, and a cooling chamber, and is fully
automated from annealing to cooling after tray stocking. The system can be connected to LD/ULD to form a line, which
contributes to improved productivity and labor savings.
3. Tact time of approx. 440 seconds (=7 min.20 sec.)/sheet is achieved with W220mm × D140mm trays.
4. Full automation of annealing process contributes to yield improvement.

generated during processing ofcrystal units.
・Release outgases contained in SMD
packages.
・Heat treatment to stabilize theelectrode ﬁlm.

SAF-X1201

インライン式高真空アニール装置
In-line type high vacuum annealing equipment

インラインで水晶振動子の熱処理が可能な高真空アニール装置
High-vacuum annealing equipment for in-line heat treatment of crystal units.

装置構成

処理室内部12段ヒーター

Outline12-stage heater inside processing chamber

処理方式

インライン式通過型

Processing Method

In-line type Pass-Through model

排気ポンプ

油回転ポンプ＋ターボ分子ポンプ＋メカニカルブースターポンプ

Exhaust Pump

Rotary pump＋Turbo molecular pump +Mechanical booster pump設置寸法

W3,210㎜×D1,500㎜×H2,282㎜

Installation Dimensions

W3,210mm × D1,500mm × H2,282mm

装置重量約4,000kg

Equipment Weight

Approx. 4,000 kg

電源容量

3相 AC200 / 24 kVA（69 A）

Power Supply Capacity

AC200 / 24 kVA (69 A)

所要空圧

供給圧：0.5〜0.7 MPa
設定圧：0.5 MPa

Required air pressure※本仕様・外観については、改良のため予告なく変更になることがあります。
あらかじめご了承ください。
* For the improvement of the product, please understandin advance that the speciﬁcations and external views
are subject to change without prior notice.

Supply pressure: 0.5〜0.7 MPa
Setting pressure: 0.5 MPa

所要水量Required water volume

入圧：0.4 MPa以下 差圧：0.2 MPa以上
水温：20〜25℃（但し、結露なきこと）
流量：約1.20m3/h（20L/min）

ご質問・詳細につきましては、営業部までお気軽にお問合せください。

Input pressure：0.4 MPa or less

お問合せ先【営業部】

Diﬀerential pressure: 0.2 MPa or higher
Water temperature: 20 ‒ 25 °C (with no condensation)
Flow rate: approx. 1.20 m3/h (20 L/min)

本社・相模原工場〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名3062-10TEL. 042-764-0370

所要ガス
N2ガス（ベント用）

供給圧：0.2 MPa以上
設定圧：0.1〜0.15 MPa

Required gas

Supply pressure: 0.2 MPa or higher

N2 gas (for venting)Set pressure: 0.1 to 0.15 MPa

FAX. 042-764-0377

E-mail. sales-pamphlet@showashinku.co.jp

https://www.showashinku.co.jp/
昭和真空性

能検索

Performance

トレイ温度
Tray temperature

Inquiry [Sales Dept.]

270℃±7.5℃※アニール室に80min滞在時の後半60min間の温度変動
60 min at 270°
C±7.5°C

HQ and Sagamihara Plant
3062-10 Tana, Chuo-ku, Sagamihara-city, Kanagawa 252-0244 Japan
TEL:+81-42-764-0370

FAX：+81-42-764-0377*Temperature ﬂuctuation during the last 60 minutes of an 80-minutestay in the annealing chamber.

本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国

タクトタイム

約440秒 ／ トレイ

Tact Time

Approx. 440 seconds / tray

外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
This product may be applicable to export control products such as strategic raw materials
which are regulated by the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law. Accordingly
when you bring out the applicable products outside Japan, you should take a necessary

到達圧力（アニール室）

9.9×10-4 Pa以下Reaching Pressure (annealing chamber)

9.9×10 Pa or less

排気時間（アニール室）

1.2×10-2 Pa迄

Exhaust Time (annealing chamber)Approx. 15 minutes up to 1.2×10 Pa

action such as application of an export permit to the Government of Japan.

-4

約15分

Web site-2

製品情報ページ

真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やス処理数

加熱棚12段 ／ トレイ12枚収容可能

Number of processing

12 Heating shelves / 12-sheet Tray capacity

パッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。

https://www.showashinku.co.jp/product/17-16301-JEZ2301