バルカー技術誌

2006年

夏号

No.11 Summer 2006

●ご 挨 拶 ………………………………………………………… 1
執行役員

PM（プロダクトマネージャー）担当
西田隆仁●技 術 論 文
FPD装置用新型ゲートシールの開発
The development of New Gate Seal for FPD Equipment …
日本バルカー工業株式会社
先端産業開発部辻和明●技 術 論 文
半導体装置用シール材の酸素透過率に関する調査 ………
日本バルカー工業株式会社
先端産業開発部吉田勉●シ ー ル 講 座
ノンアスベスト（非石綿製品）パッキンガスケットの現状と選定 ……………………………………………………
日本バルカー工業株式会社
海外事業部
市場開発グループ

http://www.valqua.co.jp

朝比奈

稔

岡田

勝志

ご挨拶
平素は、本誌をご愛読いただき、誠にありがとうございます。
弊社は、主に、ガスケット・パッキンなどのシール製品、ふっ素樹脂に代表される機能樹脂製品、
ベローズ、バルブといった真空製品を取り扱い、プラント・機器等の基幹産業及び半導体を中心とした先端産業に向けた研究開発を行っております。
特に環境問題については、全社をあげて対応を強化しており、なかでも石綿問題に関しては、90年
代より各種非石綿製品の開発を進め、すでに全製品についてノンアス獏製品（石綿代替製品）のライ
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ンアップを完成いたしました。これらノンアス獏製品のなかには、従来製品とは全く異なるコンセプ
トを持った新製品も含まれ、石綿代替製品としての実績を積み重ねつつあります。また、石綿製品は長期の実績に基づきユーザー各位の信頼を獲得してまいりましたが、ノンアス獏製品にあっては、実績に代わる信頼性評価技術の確立が不可欠であり、こうした評価技術領域についても、弊社は業界をSummer 2006

先導してきたとの自負を持っております。
こうした情況を踏まえ、弊社は先期末をもって全石綿製品の製造を停止し、全面的ノンアス獏化に先鞭をつける決意を固めるにいたりました。
また、国内産業の海外移転を受けて、弊社も生産部門の海外移管、海外販売拠点の充実に努めてまいりましたが、アライアンス、サテライト生産の一層の拡大と海外での現地技術要請に迅速に対応す

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ることを目的として、2004年、上海にシールとふっ素樹脂の研究技術機構を立ち上げその拡充に努めるとともに、中国の大学及び学協会との交流を進めています。
一方、国内におきましても、今年はじめ、東京都町田市にMRTセンターを開設し、ふっ素樹脂をはじめとする機能樹脂製品の研究開発を集約し、奈良県五條市にあるシール・エラストマー製品研究開発部門とともに、ユーザー各位の要望に対し、一層迅速な対応が取れるよう、体制を確立いたしました。
今後とも、弊社は、その保有する基盤技術の強化を図るとともに、さらに各種先端技術を組み合わせることで、新たな製品開発と市場開拓を進めてまいりたいと考えております。
また弊社は来年、創業80周年を迎え100年に至る節目の年となります。もう一度原点に戻り、私共の基本理念である「世界を舞台に常に新たなValue & Quality

企業価値の創造と経営品質の向上」

を社員一丸となりめざしていく所存です。
皆様方におかれては、忌憚ないご意見を頂戴できますよう、また弊社製品を変わらずご愛顧いただ
けますよう、よろしくお願い申し上げます。
執行役員

1

PM（プロダクトマネージャー）担当

西田 隆仁

技 術 論 文

FPD装置用新型ゲートシールの開発
The development of New Gate Seal for FPD Equipment
日本バルカー工業株式会社

先端産業開発部

チーフエンジニア

辻 和明

The request for elastomer seal has changed as the FPD size enlarges. As the competition intensifies in the
FPD market, the progress of throughput becomes a big problem. For the elastomer seal they are requesting

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a stable sealing ability more than before. Especially the improvement of the gate seal influences themaintenance period. This paper reports the concept, technical characteristics for the new developed gateseal that takes the place of the conventional o-ring seal.

FPD産業の動向

FPD（フラットパネル・ディスプレイ）は、非発光型である液晶（LCD）とプラズマディスプレイ（PDP）、
有機EL、発光ダイオード（LED）などの自発光型ディスプレイに大別される。

置の大型化や更なる製造技術の開発競争がますます激化すると予想される。

2.

FPD装置用ゲートシールに求められるもの

現在FPDの中でも最も大きな市場シェアを有する

トータルシールメーカーとして、当社はパネルデバ

LCDパネルデバイスは、当初PC用パネルが中心であっイスメーカーやパネル製造装置メーカーへ様々なシー

たが、液晶テレビ、携帯電話、デジタル家電などへのルを供給している。顧客の現状に応じたシール材料や搭載が一般的となってきた。取り分け近年では、地上形状の開発により、製造ラインのトータルランニング

波デジタル放送内容の充実化が進み、鮮明な画像をよ

コストを低減することに取り組んでいる。近年の装置

り大迫力で楽しみたいとの一般ユーザーの要望と相まの大型化は、ゲートバルブの大口径化につながり、こって、大型液晶テレビ需要が急激に拡大している。

れに使用されるゲートシールについても高機能化が求世界のTFT-LCD産業は2005年に520億USドル（前年

められている。

比20％増）となり、2006年には600億ドルに達する見込

今後のゲートシールにおいては、現場のメンテナンみである。市場が拡大すると同時に、需給状況によるススケジュールに応じたシール寿命の延長が必要不可

価格変動の激しいパネルデバイスにおいては、製造原欠であり、このためには、大型化によるシール面圧へ価低減が大きなテーマとなっている。よって、パネルの影響に配慮した最適シール設計が必要となる。

製造各社では、①大型パネル製造における量産効果を出すための大型基板化

誤ったシール設計を行うと、シール材の転動やパー
ティクルの異常発生等を招くことになり、著しく寿命を短くする。特に大口径化したゲートバルブは、高い②製造装置スループットの向上

位置精度でシールプレートを駆動させることが難しく③歩留の向上なる。装着箇所によって、シールへの面圧が変動し、が大きな課題である。

また装着箇所へのプレート接触タイミングのわずかな

今後は、低価格化による製品普及を目指し、製造装ずれが発生しやすくなる。このような状態で使用する

2

Summer 2006

1.

NO.11

FPD装置用新型ゲートシールの開発
The development of New Gate Seal for FPD Equipmentと溝内でのシールの転動が加速される。これまでゲー
トシールは、一般にO-ringが使用されていたが、今後
ますます大型化する装置への対応は、もはやO-ringの設計最適化では対応できなくなっている。
当社は、これまで培ってきたシール設計技術を基盤に、ゲート駆動部の大型化に対応した転動防止異型ゲートシールを開発した。異型シールは一般に装着性の悪化を招く危険性があるが、大口径化するゲートバル
ブへのシール装着時間の短縮を狙い、従来のO-ringと同等以上の装着性を実現している。

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Summer 2006
NO.11

3.

新FPDゲート用シール

図１ ゲートバルブ用新型異形シール

前述の問題点を克服し、かつ長期間に渡り安定した
シール特性を得ることを目的に、異型ゲートシールを（ｂ）溝開口部下部に位置するように、両サイドに開開発した。以下にそのデザインコンセプト、シールの口幅よりも広い突出部を設け、シール材の溝からの脱特徴を概説する。

落、転動を防止させる。

3．1 デザインコンセプト（ｃ）シールトップ部は、製品幅に対して小さなRを開発したゲートシール用異型シールの断面図を図１有する。これにより、低荷重でも十分なシール面圧をに示す。形状を検討する際のデザインコンセプトは以得ることができる。また装着時の押し込み力がシール

下の通りである。

TOP部のみに作用し、両サイド突出部の変形を妨げる（１）転動防止ことがないため、装着性の向上がはかれる。

溝形状に合わせた特殊デザインとすることで高い転（ｄ）シール底部は、溝開口幅よりも狭いシール幅と動防止効果を得る。

し、装着の際の位置きめを容易にさせる。また、両サ（２）装着性改善

イドの突起部をできるだけ上方に設けることで、前述形状の検討により脱落抵抗力を増加させることは比装着時の位置きめ時のシール材の傾きを防止する。

較的容易であるが、装着性が一般的に悪化させ、装着（ｅ）溝底面との接触部に平坦部を設け、装着時のシ治具の使用、装着における熟練度向上が必要である。

ールの挙動を安定させる。シール性向上、圧縮反力低装着性をO-ring同等程度まで向上させる。

減を目的に若干の凹みを設ける場合もある。

（３）対称形状
ゲートシールは、一般的に矩形状であるため、上下、
左右では転動方向が異なる。一方向への転動防止効果を高めても転動を完全に防止することはできない。対称断面を有することで、左右双方からの転動に対して

4.

シール設計

4．1 転動防止

耐性を有する。

本シールの最大の特徴である転動防止機能を実現す（４）脱落防止るために、シール設計は、主にFEA（Finite Element

脱落は、転動に伴い発生する場合が多く、転動を防

analysis、有限要素解析）を用いて実施した。転動解析

止することで脱落の危険性を回避する。

の一例を図２に示す。所定の圧縮荷重を与えた状態で、3．2 形状の特徴

スラスト方向（紙面水平方法）に接触プレートを移動（ａ）上記突出部の直上に溝開口幅に合わせた第２のさせたときの変形状態をシミュレーションした。この突起部を設ける。転動に起因するスラスト方向の負荷

結果、本開発シールは、シールトップ部の変形に留まが与えられた場合、溝開口部に接触し、転動を確実にり、溝底面との接触位置に要素の移動は確認されない。

防止する。また、装着時には、シール材の傾きを防止

プレートの変形を原点位置に戻すことで、初期状態にし、シールの装着性を大幅に向上させる。

戻る。一方、O-ringは、シール全体に回転が発生する。

3

技 術 論 文

図２ 転動解析結果

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この状態では、プレートを原点位置に戻しても、溝との摩擦により初期状態に戻ることはなく、歪みが残留

図３ 装着手順し、結果的にシールの転動の発生につながる。
なお、本解析は、転動優位性を調査するため過度に変形を与えている。実際には、わずかな変形が動作の繰り返しによって蓄積され、不具合となるまでの転動

Summer 2006

発生に至る。
4．2 装着性改善
開発シールの装着は、シール底部を溝内に挿入し、その後垂直方向に押し込むことで完了する。シール形
状の持つ転動防止効果によって、装着時の傾きが抑えられることから、O-ringで見られる装着時の転動も発生しない。
装着手順を図３に示す。垂直に押し込まれる過程で、

NO.11

厳密には、与えられる力の向きやシール左右の摩擦力の違いによって、シール材の傾きは発生する。このときにシールの肩部突起が、溝開口Ｒに接し、傾きの増大を抑える。これによって未装着部分が挿入されやす
くなる。

5.

図４ 試験状況一例

機能評価
表１ 試験試料および試験条件

5．1 評価環境項目条件

バルブ開口サイズ× （G5.5）

シール寸法（幅×高さ）

5.5mm×5.4mm

評価結果一覧を表２に示す。シール性、脱落性能等

シール材料

DS403

は、O-ringと同等であるが、転動防止性能、装着性に

操作圧力

0.5MPa

試験温度

100℃

本開発品の性能を確認するため、ゲートバルブ実機を使用し、表１に示す試験条件にて動作試験を行った。
図４に試験状況一例を示す。
5．2 評価結果

ついては、O-ringと比較して、大きな優位性を有する。
特に転動性能については、新型ゲートシールには全

4

FPD装置用新型ゲートシールの開発
The development of New Gate Seal for FPD Equipment

表２ シール評価試験結果

項目

表４ ロケーション毎の材料選定（参考）新型ゲートシール

O-ring材料

主なロケーション

転動特性

◎

△

DC156 ゲートバルブ、チャンバLIDなど

装着性

◎

○

DS403 ゲートシール、チャンバ繋ぎ部、除き窓、

シール特性

○

○

APCバルブ、Cut Offバルブなど

耐脱落性能

○

○

圧縮特性

○

○

パーティクル特性○○

表３ FPD材料のラインナップ

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Summer 2006

材料

DS403

DC156

一般FKM

Black FFKM A（参考）

材料種別

FFKM

FKM

FKM

FFKM

ゴム硬さ（A/S）

69

62

72

75

色調

黒

濃青色

黒

黒

含有金属（ppm）（1）

615

91

58400

553

0.02

0.31

1

0.05

0.7

0.5

1

1.2

一般特性

機能特性

耐プラズマ性（2）（耐ラジカル性）
固着力（3）

注（1）灰化後ICP/MSによる測定（2）一般FKMを１としたときの重量減少率の相対比較

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ガス種：O2+CF4（3）一般FKMを１としたときの固着力相対比較

く転動は確認されていない。一方、O-ring形状は、比当社では、FPD装置用シール材として、表３に示す

較的短期使用において転動が発生する。具体的な諸性

材料をラインナップしている。参考として、表４に各能に関する問い合わせは、ゲートバルブの機種や駆動

材料のロケーション毎の選定基準を示す。本材料は、形態、試験温度等の評価環境に影響するため、当社ま半導体製造装置でも十分使用可能なパフォーマンスをでご連絡いただきたい。

有し、かつFPD装置の大型化に対応できるよう大口径

6.

シールの製作が可能である。

FPD装置用エラストマー材料の選定

DC156は、FKMでありながら、当社独自の配合技術により耐プラズマ性を大きく向上させ、次世代を見越した高いパフォーマンスを有する材料である。また、

FPD装置は、今後ますます大型化、微細化が進むとシール材の固着も抑え、溝からのシールの脱落の危険予測され、それに伴う耐プラズマ性の向上、パーティ性を低減させている。FKM代替シール材料として高い

クル低減など、シール材料に対する要求レベルも高く

コストパフォーマンスを有する。

なると考えられる。特にゲートバルブ用シールなど駆DS403は、FFKM系材料であり、一般FKMに比べ卓動部のシールは、固定部よりもメンテナンスサイクル

越した耐プラズマ、耐クラック性を有する一方、配合が短く、また大型化するほどメンテナンス時間を要す

技術により低コスト化を実現させた材料である。従来ることから、シール材の長寿命化が必要となる。

のFFKMから大幅にランニングコストを低減できる。

5

技 術 論 文

7.

おわりに

FPD装置用ゲートシールとして、転動を確実に防止し、かつ装着性の優れる異型シールの開発を行った。
ゲートバルブ実機による作動試験では、その性能効果が実証され、これまでのO-ringでは実現できなかった
長寿命化が期待できる。しかしながら、実機プロセス
環境によりシールの寿命は大きく左右されるため、シールの最終可否判断は、実機による動作試験が不可欠である。同シールは、一部のデバイスメーカーで既に評価が行われており、良好な結果を得ている。
今後も当社の有するシール設計技術を基盤に、独創

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誌

的な技術で高機能シールの開発を行っていきたい。
〈参考文献〉（1）半導体産業新聞，2005．
（2）三重県生活部勤労室．FPD産業の動向，2005広報．
（2）村松ほか．あり溝用シール，特許公開2003-14126

Summer 2006号広報．
（3）辻ほか．動的用途シールのデザイン選定指針，社
内報No.0408209，2005．
（4）土岐ほか．Developing product[DS403]，社内報
HPEPG-MT104-S4-05，2005．
（5）土岐ほか．製品紹介〜DC156，社内報HPEPGTM106-005-2，2005．

NO.11

6

半導体装置用シール材の
酸素透過率に関する調査

半導体装置用シール材の
酸素透過率に関する調査
日本バルカー工業株式会社

先端産業開発部吉田 勉
In recently, the process lying of the oxygen molecule becomes a problem in the semiconductor

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誌

manufacturing. The oxygen penetration of elastomer O-ring is an especially big issue along with it.
The result of investigating the oxygen penetration of the elastomer O-ring is shown in this paper.

Summer 2006

1.

はじめに

半導体デバイスの微細化・高集積化に伴い、ゲート
絶縁膜の薄膜化が進められてきた。近年では、その高性能化も限界に達しつつ、原子層レベルでの膜厚制御が必要とされている。このレベルまで薄膜化が進められると、雰囲気中の酸素がシリコン基板との界面まで透過し、酸化シリコンが形成されるために均一な膜がNO.11形成されないという問題が起きる。

て、高温時の酸素透過率について調査した。以下に、
その調査結果をまとめて報告する。

2.

実験

2．1 実験装置
図１にOリングの酸素透過試験装置の概略図を示す。
一般的な真空排気系であるが、B-Aゲージ、メタルバ

これを解決するにあたって最も重要なことは、如何ルブを取り付けた2.4Lのチャンバを、主バルブを介しに雰囲気中の残留酸素を減らすかということである。

てターボ分子ポンプにて排気する。チャンバは、放出

その際に問題になるのが、チャンバの密封に使用されガスの影響を小さくするため、到達真空が得られるまているエラストマーOリングの酸素透過である。高分で予め200℃にて1week程度ベーキングしておく。

子材料は金属材料とは異なり、表面層からのガス放出

試験試料は、AS568-214のOリングを使用し、メタルのみならず、内部における拡散吸収の寄与を大きく受バルブに取り付けられたSUSフランジに装着する。更ける。この拡散吸収がいわゆるガス透過であるが、こに、試験試料の外周側にもOリングを装着し、試験試

れにより、高分子材料のガス透過は、金属材料と比較

料との間の空間に酸素を充満させて、酸素透過率を測して大きく増加することになる。

定する。また、バックグランド測定時には、その空間

エラストマーのガス透過率は、原料ゴムの構造によを真空引きし、測定系の放出ガスおよび試験試料以外

るものだけでなく、ガス種、温度、架橋密度、充填剤からのリーク量を測定する。SUSフランジは、所定温等により大きく変わる。一般的に、半導体製造装置で度に加熱出来るようにヒータを取り付ける。

使用されるふっ素ゴム（FKM）やパーフロロエラスト

2．2 実験方法

マー（FFKM）は、シリコンゴム等の他のエラストマ

測定はビルドアップ法にて行う。主バルブ、メタルーに対してガス透過率は小さくなっているが、100〜バルブを開、V3を閉状態とし、SUSフランジ（試験試

200℃ぐらいの高温で使用されることが多く、やはりガ料）が所定温度になるまで十分に加熱する。その後、

ス透過の問題は無視出来なくなる。

V1、V2を開状態として酸素を供給し、十分な拡散吸収

ここでは、現在使用されているFKMやFFKMについ7が得られるように、その状態で3時間保持する。その後、

技 術 論 文（a）実測データ

図１ 酸素透過試験装置

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主バルブを閉状態として、15分間のチャンバ内圧力変化を、B-Aゲージにて測定する。
上記測定で得られた結果には、チャンバ等の放出ガスおよびその他のシール部位からのリークも含まれる

Summer 2006

ため、その量をバックグランドとして測定する。基本
的な測定方法は上記と同様であるが、V1、V2を閉、（b）酸素透過による圧力上昇

V3を開状態として、試験試料外周側も真空引きする。
これにより、試験試料のガス透過は無視出来るほど小図２ FFKM 1 150℃測定結果

さくなるため、測定系の放出ガスおよび試験試料以外
からのリークが測定出来ることになる。
2．3 実験条件

Q = V ・ ΔP / Δt

主に、半導体用途で使用される4種類のFKM系材料と5種類のFFKM系材料にて測定を行う。また、SUSフ
ランジ（試験試料）温度を、100℃、150℃、200℃とし

NO.11
また、その酸素透過量Qを用いて、次式の計算によって酸素透過係数Pを求める。

て、すべての試料とすべての温度の組み合わせにて測
定を行う。

3.

実験結果

3．1 測定結果概要
図２に測定結果の一例を示す。
（a）が実際に得られた

P = Q ・ d / { A ・ ( P1 - P2 ) }d ：Oリング線径
A：Oリングセンター周長×圧縮後Oリング高さ（25%圧縮）P1：高圧側圧力 （Oリング外周側圧力）P2：低圧側圧力 （Oリング内周側圧力）結果であるが、この値からバックグランドの値を差し引くことによって、（b）に示す酸素透過による圧力上
昇カーブが得られる。

ただし、上式はあくまで近似計算で、圧縮されたO
リングの断面特性を厳密に表現したものではない。

3．2 酸素透過係数3．1で得られたそれぞれの試験試料の圧力上昇カー
ブに対して、その傾きΔP/Δtにチャンバ容積Vを掛けることによって酸素透過量Qが求まる。

上式により求めたそれぞれの試料のそれぞれの温度での酸素透過係数を、図３、４にまとめた。
どの試料においても、温度の上昇に伴い透過が大きくなることがわかる。また、FKM、FFKMそれぞれに

8

半導体装置用シール材の
酸素透過率に関する調査

図３ FKMの酸素透過係数

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Summer 2006
NO.11

ついて、最も透過の大きいものと最も透過の小さいものでは、2倍程度の差がある。また、FKMの最も透過の大きいものとFFKMの最も小さいものがほぼ同等の透過で、FKMの最も透過の小さいものとFFKMの最も大きいものでは、1桁近い差になることがわかる。

4.

まとめ

半導体製造装置で使用されているエラストマーOリが得られた。
（1）温度上昇に伴い、透過は大きくなる。
（2）同じFKM系の材料、同じFFKM系の材料でも、最大で2倍程度の透過の差がある。
（3）FKMとFFKMの透過を比較した場合、FKMの方が透過は小さく、最大で1桁近い差になる。

おわりに半導体製造装置の高機能化により、Oリングをはじめとするシール材に対する高機能化・高性能化の要求もますます大きくなってきている。酸素透過だけでな
く、耐プラズマ性、低発塵性、耐熱性、非粘着性等についても、更なる改善が必要である。
今後、これらの課題を解決するために、エラストマ
ー材料には留まらず、広い視点でのシール製品の開発を行っていきたいと考えている。当社の開発するシー
ル製品・シール技術が、半導体製造を通して社会発展に寄与出来るよう、今後も一層努力する所存である。

9

6.

参考文献

1）中村邦夫， 各種ゴムのヘリウムガス透過係数について ，バルカーレビュー，第20巻No.2

ングについて、その酸素透過係数を測定し、次の結果

5.

図４ FFKMの酸素透過係数

シ ー ル 講 座

ノンアスベストパッキンガスケットの現状と選定
日本バルカー工業株式会社
海外事業部
市場開発グループ

1.

はじめに

朝比奈 稔
岡田 勝志

一方、シール材の石綿代替は、ガスケットでは、うず巻き形ガスケットやメタルジャケット形ガスケットなど、金属材料と複合されたセミメタルガスケットで、既に、石綿製品は生産されなくなっており、石綿から石綿による健康障害は、長期の期間を経てあらわれるの代替が必要なガスケットとして主として残るのは、ため、特に毒性の強い青石綿（クロシドライト）、茶石

ジョイントシートを中心としたソフトガスケットとな

綿（アモサイト）などが大量に使用された約30年前のっている。またグランドパッキンにおいては、原料と影響がではじめている。日本国内においては、1995年4なる長繊維石綿が入手困難となっており、国内におけ

月に青石綿、茶石綿の使用が法律上禁止されたが、実る主要パッキンメーカーでの生産は2005年までに停止

質的には、青石綿、茶石綿は、80年代には多くの企業されている。

で使用されることが少なくなり、以降、主に使用され本報では、ノンアスベストシール材への移行に際している石綿は、白石綿（クリソタイル）となっている。

て、ソフトガスケットおよびグランドパッキンの仕様

石綿に関する法規制は、2004年10月に、労働安全衛生法施行令が改正され、1．石綿セメント円筒、2．
押出成形セメント板、3．住宅屋根用化粧スレート、4．
繊維強化セメント板、5．窯業系サイディング、6．ク
ラッチフェーシング、7．クラッチライニング、8．ブについて述べ選定のポイントについて解説する。

2.

ノンアスベストソフトガスケット

レーキパッド、9．ブレーキライニング、10．接着剤

ソフトガスケットの代表である石綿ジョイントシーの10品目について、石綿製品の輸入・製造・譲渡・提トガスケットは、石綿繊維とゴムバインダー、無機充

供・使用が禁止されている。

填材からなるシートガスケットであり、最も汎用性のこれにより、日本での石綿使用の95％が規制された

高いガスケットとして、各種分野で多用されてきた。

が、代替が困難とされた、シール製品やクロスなどは、これを代替するノンアスベストシートガスケットは、

現時点では、規制対象からはずれている。

各社より多種開発上市されているが、石綿ジョイント

また、2005年7月には、石綿障害予防規則が施行され、シートが、その高い耐熱性、耐薬品性により、非常に建物の解体をはじめとする石綿に関する取扱いについ広い範囲で使用されてきたために、単一製品で完全にて、規定されると同時に、より計画的な代替化が努力

代替できるシートガスケットはなく、条件によって使い分ける、あるいは、ガスケットのタイプを変えて義務とされている。
さらに、厚生労働省は、本稿作成中の2006年1月に、（たとえばうず巻き形ガスケットに置き換えるなど）代

シール材において一部除外条件は設けるものの、2006

替する必要がある。以下に各々のノンアスベストソフ

年度中に基本的に石綿の使用を禁止する法改正を行う

トガスケットについて述べる。

ことを発表した。

2．1 各種ノンアスベストソフトガスケットの特徴

また、2008年までには、全面規制へ向けた除外条件の見直しも行われると思われる。

2．1．1 ノンアスベストジョイントシート
石綿繊維を用いた石綿ジョイントシート

10

Summer 2006

昨今の石綿健康障害に関する報道に見られるように、

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NO.11

（Compressed Asbestos Fiber：以下CAFという）に対

一方、CFSの繊維としては、一般的にはフィブリル

して、石綿以外の繊維（代表的なものはアラミド繊維）化した有機繊維の芳香族ポリアミド繊維（アラミド繊を使用したジョイントシート

が非石綿ジョイントシ

維）が使用されるケースが多く、その他に無機繊維とート（Compressed Fiber Sheet：以下CFSという）でして、人工鉱物繊維（ロックウール）やカーボン繊維

ある。
（写真1）

などが使用される。

CAFは、主として、石綿繊維とゴムバインダーで構

CFSはその取扱性や加工性でCAFに近いものであ成され、一般に石綿繊維は重量比で65〜80%、バイン

り、CAF代替の最初の候補製品になるが、CFSに使用

ダーのゴムは10〜20%、その他の成分としては、ゴムされるノンアスベスト繊維は石綿のように繊維径が細薬品と少量の充填材となっている。

くないこと、ゴムとの濡れ性に劣ることなどから、一方、CFSは有機繊維・無機繊維・充填材とゴムバ

CAFにおける石綿のように多量に配合することは困難

インダーで構成されたもので、各社の製品によって多であり、上述のように、10％前後にとどまる。そのた少の違いはあるが、有機繊維が重量比で5〜15%、充填

め、CAFでは、構成材料のほとんどが石綿であるため

材は10〜60%、バインダーのゴムは10〜20%、その他に、ゴム成分が熱硬化しても、その影響は小さいのに

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ゴム薬品となっている。繊維として、無機繊維（カー対して、CFSでは充填材の配合量が多くなり、ゴム成

ボン繊維やロックウールなど）が配合されるものもあ

分の熱硬化がシート自体の硬化となり、CFSの硬化割

る。
（図1）

れなどを発生させる原因となっており、耐熱温度を低Summer 2006

このように、CAFの組成の大部分は、石綿であって、くしている。

石綿自体の耐熱性、柔軟性、弾性及び耐薬品性を活用

また、CFSに多く使用されるアラミド繊維は加水分したガスケットである。ゴムはバインダーとして用い解を起こすため、高温蒸気での使用には注意が必要でられ、かつては、天然ゴム（NR）が用いられていたが、ある。

近年では、耐油性、耐薬品性を向上させる目的もあり、このため、CFSの高温条件での使用に対しては、初スチレンブタジエンゴム（SBR）、クロロプレンゴム

期の締め付け力を高くする、あるいは厚さを限定する（CR）などの合成ゴムが使用されてきた。ゴム自身のなど、使用方法に注意する必要がある。

耐熱温度は、多少異なるが120℃程度までである。 ゴ

2．1．2 改良型ノンアスベストシートガスケット

NO.11

ム薬品としては、

主に黒鉛などの無加硫剤、加硫促進

機成分とPTFEから剤、加硫助剤、老なり、CFSの硬化劣化防止剤、カーボ化の主要因であるゴ

ンブラック、充填

ムをまったく含んで剤などが、使用さいない新しいタイプれる。また、着色のノンアスベストシ
ートガスケットであのために顔料を用
写真1 ノンアスベストジョイントシート いることもある。

写真2 ブラックハイパーガスケットる。その使用材料か
ら、熱がかかっても硬化することがなく柔軟であり、また経時変化もほとんどないため、ノンアスベストジョイントシートの適用が困難であった高温領域でも、使用可能であり（耐熱300℃max.）、
かつ優れた耐薬品性も有するガスケットである。
耐熱性、耐薬品性の面でCAFのほとんどの領域を代替しうるガスケットである。
図1 ジョイントシートの材料構成図11

なお、ゴムバインダーを使用して

シ ー ル 講 座

いないことにより、CFSに比べて取り扱い性に劣る部

しくは併用して、クッション材とし、接液部をPTFE分があったが、改良により、現在では旧石綿製品を上で被覆したPTFE被覆ガスケット（フッ素樹脂包みガ

回る柔軟性を有する。

スケット）もある。PTFE被覆材のフローを抑制する

2．1．3 膨張黒鉛シートガスケット

ため、ジョイントシートとPTFE被覆材の間にフェル

膨張黒鉛シートの特性を生かし、耐熱性、耐薬品性

トシートを装着したものは、高温・高圧用として使用に優れるシール材である。応力緩和が非常に小さく、される。

長寿命である。ステンレス鋼薄板（t0.05mm）の両面

2．1．5 その他のガスケット
石綿ジョイントシーに、膨張黒鉛シートを貼り合わせた金属薄板入り膨張トの代替品として、黒黒鉛シートが一般的である。
このガスケットは、膨張黒鉛の空気中で酸化が始ま

鉛にゴムバインダーをる400℃までは、非常に安定しており、またゴムバイン配合したシートも各社

ダーなどを含有しないために、CAFのほとんどの使用より開発上市されてい温度領域に対して対応が可能である。

る。その耐熱温度につ

一方で、表面が非常にやわらかく、脆いため、取扱いては、各社表現は異性に難があり、高温で使用した場合にフランジ表面になるものの、200℃程
度がうたわれている。

固着することもあり、施工性は良くない。
また、より低い締付力でのフランジ接触面とのなじ

写真3 ノナスーパー

ただし、ゴムを含有しているため、非石綿ジ

鉛シートの両面にふっ素樹脂シートを貼り合わせたガョイントシートと同様に、100℃を超える領域では、ゴスケットもある。これらは、250℃以下では、フランジ

ムの硬化が生じるため、締め付け力など一部使用上の面への固着も少なく、電気絶縁性があるため、異種フ制限を設ける必要がある。
また、ソフトガスケットではないが、機能上石綿ジ

ランジ間での絶縁機能も果たすので、膨張黒鉛ガスケ
ットの使用範囲を広げるものである。

ョイントシートの代替品となりうるガスケットで、う補強の金属については、薄板（t0.05mm）だけでな

ず巻形ガスケット本体の外周部に、メタルリングに代く、鋼板に突起を設けたタイプや金属波板が挿入されえて金属帯のみを巻き回したガスケット（ノナスーパ

たタイプも取り扱い性向上のために検討され始めていーる。

ケットに比べて、低締付力で良好なシール性を示し、

2．1．4

No.8590TN）がある。石綿ジョイントシートガス

ふっ素樹脂製品（PTFEガスケット、充填材

非石綿ジョイントシートガスケットの使用できなかっ

入りPTFEガスケット、延伸PTFEシートガスケット、た、高温、蒸気ラインにも信頼性が高く、うず巻形ガ

非石綿PTFE被覆ガスケット）

スケットに高締付力を負荷した場合などに懸念される

耐薬品性に優れたふっ素樹脂（以下PTFE）を用いたPTFE製ガスケットである。
PTFEシートを打抜き加工したガスケットは、コー

Summer 2006

みを良くし、シール性能を向上させるために、膨張黒

バ
ル
カ
ー
技
術
誌

内径側への異常変形（菊形変形）を抑制している。その最高使用温度は450℃、使用圧力レーティングはジョ
イントシートが多く使用される、JIS10Kを標準とする。

ルドフロー（クリープ）を起こしやすいため、原則として、溝形フランジでの使用をお願いしている。
また、PTFEの弱点であるクリープ特性を改善する
ため、無機質の充填材を配合し、特殊製法により成形した充填材入りPTFEガスケットがある。（バルカロン
ガスケット）
さらに、PTFEからなる連続多孔質構造のシートを加工した延伸PTFEシートガスケットがある。非常に高い柔軟性を持つことから、グラスライニングなど締付力の十分とれない箇所で使用される。
複合タイプのガスケットとして、中芯材にジョイン
トシート、フェルトシート、波形金属板などを単独も

12

NO.11

2．2 ソフトガスケットの選定

表1 選定対象ガスケット

品番
6500
6502

製品概要

ノンアスジョイントシート

非石綿ジョイントシート

GE200
GF300

ブラックハイパー

改良型ノンアスベストシート

7020
VF-35E

バルカロン
バルカホイル

充填材入りPTFE
膨張黒鉛シート

8590TN

ノナスーパー

外輪空巻きうず巻形ガスケット

6503

バ
ル
カ
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技
術
誌

製品名

対象流体：水、海水、温水、熱水、水蒸気、過熱蒸気、等
図2 水系流体でのソフトガスケットの選定基準

Summer 2006

対象流体 空気、窒素ガス、不活性ガス、等
図5 ガス系流体｡での使用基準

NO.11
対象流体：原油、揮発油、ナフサ、灯油、軽油、重油、LPG、アルコール、フルフラール、エチレングリコール、エチレン、
プロピレン、B-B留分、ブタジエン、等
図3 油系流体でのソフトガスケット選定基準

対象流体：可燃性ガス、支燃性ガス、不燃性ガス、毒性ガス、等
H2、都市ガス、LNG、CO、等
図6 ガス系流体Ⅱでの使用基準

対象流体：一般的な溶剤、芳香族炭化水素（B．T．X等）、ケト
ン類、アミン類、エーテル類、鉱酸、有機酸、混酸、酸性溶液
等の酸類、アルカリ類、等
図4 溶剤、腐食性流体での使用基準13

対象流体：LPG、液化エチレン、LNG、液体酸素、液体空気、
液体窒素、DME、等
図7 低温流体での使用基準

シ ー ル 講 座

表1に対象となるソフトガスケットの一覧、図2から面、上述したように施工性が良くないなどの問題点が図7に各流体別のソフトガスケットレーティングを示し

ある。

た。

このように、ノンアスベスト製品の使用にあたって

このように、石綿製品からの代替においては、従来、は、石綿ジョイントシートと異なる使用方法や注意事

石綿ジョイントシートが使用されていた領域に対して、項があり、従来の施工方法や取り扱い方を変えて、ご複数のノンアスベスト製品から条件に応じて、選定す使用いただく必要がある。

る必要があり、また、選定に当たっては、各製品の使3.

用範囲のほか、使用上の注意点や取扱性を考慮する必要がある。
たとえば、ノンアスベストジョイントシートの高温

グランドパッキンでの使用においては、2−1−1項で解説したように、使バルブメーカーや一部の産業では、早くから脱石綿用上の注意（表2）が必要であるし、膨張黒鉛製のソフ化に向けた取り組みがされていたが、昨年、石綿が引

トガスケットでは、広範囲の条件使用が可能である半き起こす疾病が社会問題となり、ここにきて今まで消極的であった産業も含め、一気に脱石綿化への動きが

表2 ジョイントシート使用上の注意事項

加速している。

※ 6500、6502、6503、GE200を100℃以上で使用する

現在、バルブ用非石綿（ノンアス®）グランドパッキ

場合は下記注意事項をお守りください。

ンは、炭素繊維、膨張黒鉛、PTFEを主材にしたノン①ガスケット厚さを1.5mm以下とする。

アス®グランドパッキンが使われている。
ここでは、その中でも主流となる膨張黒鉛を主材としたノンアス®グランドパッキンを中心に、その紹介と、③締付面圧を30MPa以上とする。

石綿グランドパッキンとノンアス®グランドパッキンの④配管応力の負荷がかかりにくいところに使用する。
⑤ガスケット形状はリング形（FR）を使用する。

諸特性の比較試験結果を記す。

表3 バルブ用ノンアス®グランドパッキン推奨組合せ

用途
手動弁

ANSI Class4500

アダプターパッキン
No.VFC-25

2500

No.VFC-25（ON-OFF弁）

自動弁（CONTROL弁）

最高使用温度注）

No.VF-10650℃（400℃）

No.VF-20

No.VFC-25

No.VF-20LF

650℃（400℃）

No.VFC-25
No.6399L

No.VF-20L
No.VF-20L

400℃
350℃

1500

No.VFC-25
No.6399L

No.VFT-22
No.VFT-22

300℃
300℃

600

−

No.VFT-22

300℃

2500

手動弁
（ON-OFF弁）

メインパッキンNo.VF-10W注）最高使用温度の括弧内は大気中や強酸化剤等の酸化雰囲気下における温度限界
表4 グランドパッキン構成材料一覧

品番

基材

備考
特殊潤滑処理、外被金属線無し

VFC-25

膨張黒鉛、炭素繊維、インコネル線

6399L

炭素繊維、PTFE

潤滑油処理

VF-10
VF-10W

膨張黒鉛テープ
膨張黒鉛テープ、金属線リング成形品のみ
リング成形品のみ

VF-20

膨張黒鉛、インコネル線

外被金属線無し

VF-20L
VF-20LF

膨張黒鉛、インコネル線
膨張黒鉛、インコネル線

潤滑油処理、外被金属線無し
特殊潤滑処理、外被金属線無し

VFT-22

膨張黒鉛、PTFEフィルム、有機繊維

黒鉛露出無しリング成形品のみ

14

Summer 2006

②ガスケットペーストをガスケット接面に塗布する（GE200は内径断面のみ）
。

バ
ル
カ
ー
技
術
誌

NO.11

3．1 バルブ用グランドパッキン石綿代替品の選定
3．1．1 推奨製品と構成概略
弊社石綿グランドパッキン（および組合せ品）の代
替ノンアス®品は、品番の置換えではなく、用途別の選ーティング

Summer 2006

温度限界は不活性雰囲気下では650℃、大気中や強酸化剤がある
場合は400℃
図8 手動弁用グランドパッキンのレーティング

温度限界は不活性雰囲気下では650℃、大気中や強酸化剤がある
場合は400℃
図9 手動弁・自動弁用（低トルク品）グランドパッキンのレーティング

3．2 バルブ用グランドランドパッキンの構造

3．3．2 バルブ用ノンアス®グランドパッキンの標準

代表的な石綿グランドパッキンとノンアス グランド®

パッキンの構造構造を一覧に示す。
（表5）

NO.11

3．1．2 バルブ用ノンアス®グランドパッキン選定レ
以下に各用途に対するレーティング表を示す。

定が主体となる。

バ
ル
カ
ー
技
術
誌

表1に各用途に対する推奨製品を、表2に各製品の主な構成材料を記載する。

3．3 バルブ用ノンアス® グランドパッキンの装着について3．3．1 バルブ用ノンアス®グランドパッキンの推奨
リング数
バルブ用ノンアス®グランドパッキンの主流である膨

締付け面圧
バルブ用ノンアス®グランドパッキンは、石綿グラン
ドパッキンと比較して標準締付け面圧に大きな差異はないが、膨張黒鉛系の場合は素材が特性上、締付け面
圧が不十分な場合には内部流体に対する耐圧性能が確保できないため、状況により吹き抜けなどの不具合が懸念される。

張黒鉛系の製品は、石綿グランドパッキンと比較して特にClass 1500以上の条件下で使用する場合には、シール性能が優れている反面、軸抵抗が非常に大きく

確実に締め付けを行う様、安全管理を徹底する事が重なる傾向がある。

要となる。

バルブの作動性能への影響を軽減するためには、装着リング数の削減が最も効果的である。
以下に圧力クラス別の推奨リング数と組合せ例を示
す。
（表6）

15

以下にノンアス®グランドパッキンの組合せ−圧力ク
ラス別の標準締付け面圧を示す。
（表7）

シ ー ル 講 座

表5 代表的なグランドパッキンの構造一覧

分類

品番

断面概略図

構造概略

使用範囲

黒鉛・潤滑剤

石綿、黒鉛、耐熱充填剤からなる中
石綿

1271

芯をステンレス線入り石綿糸で袋網

圧力：ANSI Class 1500

（参考）し、黒鉛と潤滑油で処理したグラン
ドパッキン

温度：500℃

炭素繊維およびインコネル線で補強

圧力：ANSI Class 4500

した膨張黒鉛ヤーンを編組したグラ
ンドパッキン（組合せ使用のこと）
温度：650℃（400℃）

PTFEで処理した炭素繊維を編組し、さらに黒鉛、PTFE、潤滑油で

圧力：ANSI Class 1500
温度：350℃（VF-20Lと組合せ時）

SUS線
石綿糸
特殊潤滑処理

ノンアス

®

膨張黒鉛
アダプター
パッキン

VFC-25（リング成形
のみ）

インコネル線
炭素繊維補強 膨張黒鉛

ノンアス

®

炭素繊維
アダプター

6399L

パッキン

PTFE、
微粒黒鉛、
潤滑油

処理したグランドパッキン

300℃（VFT-22と組合せ時）

PTFE処理炭素繊維

VF-10W

膨張黒鉛テープと金属網を巻回し、（リング成形
金網

のみ）

圧縮成型したグランドパッキン

圧力：ANSI Class 4500
（組合せ使用のこと）
温度：650℃（400℃）

膨張黒鉛

膨張黒鉛テープを巻回し、圧縮成型したグランドパッキン

Summer 2006

VF-10
（リング成形のみ）

圧力：ANSI Class 2500
（組合せ使用のこと）
温度：650℃（400℃）

膨張黒鉛

VF-20
ノンアス®
膨張黒鉛

インコネル線

インコネル線補強の膨張黒鉛ヤーンを編組したグランドパッキン

圧力：ANSI Class 2500
（組合せ使用のこと）
温度：650℃（400℃）

膨張黒鉛

NO.11

潤滑油処理

メイン
パッキン

「VF-20」を潤滑油で処理したグラ
ンドパッキン

VF-20L
インコネル線

圧力：ANSI Class 2500
（組合せ使用のこと）
温度：650℃（400℃）

膨張黒鉛
特殊潤滑処理「VF-20」を特殊潤滑処理したグラ

VF-20LF

ンドパッキンインコネル線

圧力：ANSI Class 2500
（組合せ使用のこと）
温度：650℃（400℃）

膨張黒鉛

VFT-22
補強有機繊維

バ
ル
カ
ー
技
術
誌

PTFEフィルムで被覆した膨張黒鉛

圧力：ANSI Class 600

ヤーンを編組したグランドパッキン

温度：300℃

膨張黒鉛
PTFEフィルム

使用範囲の括弧内温度は大気中や強酸化剤等の酸化雰囲気下における最高使用温度

16表6 ノンアス®グランドパッキンの推奨リング数と組合せ例

ANSI Class

バ
ル
カ
ー
技
術
誌

Summer 2006
NO.11

最低必要

組合せ図（例）

リング数

4500

7

2500

6

1500

6

900

5

600

5

300

5

150

4

大気側

流体側

大気側

流体側

大気側

流体側

大気側

流体側

大気側

流体側

：アダプターパッキン：メインパッキン

注）Class 900以上でランタンリングを使用する場合、ランタンリングに接するパッキンをアダプターパッキンにすること

表7 ノンアス®グランドパッキンの組合せ−圧力クラス別標準締付面圧

標準締付面圧（MPa）
区分

パッキン組合せ

最高使用温度Class600

VFC-25+VF-10W
手動弁
VFC-25+VF-10（ON-OFF弁）
VFC-25+VF-20
VFC-25+VF-20LF

650℃（400℃）
650℃（400℃）

24.5
24.5

650℃（400℃）
650℃（400℃）

29.4
19.6

34.3

39.2

400℃

19.6

34.3

39.2

VFC-25+VF-20L

手動弁
6399L+VF-20L（ON-OFF弁）
VFC-25+VFT-22
自動弁
6399L+VFT-22（CONTROL弁）
VFT-221271（参考）

350℃
300℃
300℃
300℃

24.5

500℃

29.4

Class
900

Class
1500

Class
2500

39.2
39.2

Class
4500
58.8

39.2

19.6
24.5

34.3
34.3

24.5

34.3
34.3

39.2

標準締付面圧は一括締付の推奨値。使用条件、許容漏洩量によっては異なる場合あり
注）最高使用温度は、不活性雰囲気下で650℃、大気中や強酸化剤がある場合は400℃まで

3．4 バルブ用グランドパッキンの特性比較一覧
バルブ用ノンアス グランドパッキンは、その組合せ®

によってパッキンとしての各種性能が異なる。

17

以下に、主なバルブ用ノンアス®グランドパッキンと石綿グランドパッキンについて、主要6項目の特性比較一覧を示す。
（表8）

シ ー ル 講 座

表8 バルブ用グランドパッキンの特性比較一覧

圧力クラス
最高使用温度Class 4500
650℃（400℃）

Class2500
650℃（400℃）

アダプター

VFC-25

メイン

VF-10W

VF-10

VF-20

VF-20L

VF-20LF

圧縮特性

◎

◎

◎

◎

◎

シール特性
摺動特性

◎
△

◎
△

◎
○

◎
◎

◎
○

応力緩和特性
動的耐久性

◎
△

◎
△

◎
△

◎
○

◎
○

固着

△

△

○

◎

◎

パッキン

VFC-25

用途

手動弁

圧力クラス

Class1500
350℃
6399L

手動弁・自動弁

300℃
VFC-25Class600

Class1500

300℃
6399L

300℃
−

500℃
−
1271（参考）△

VF-20L○◎○

VFT-22
◎

シール特性

◎

◎

◎

◎

○

摺動特性
応力緩和特性

◎
△

○
◎

○
△

◎
○

○
△

動的耐久性
固着

◎
◎

○
◎

◎
◎

○
◎

○
◎

VFT-22用途

手動弁・自動弁注）最高使用温度は、不活性雰囲気下で650℃、大気中や強酸化剤がある場合は400℃まで4.

れてきた石綿製品と、その寿命を対比できる評価方法

おわりに

4．1 ソフトガスケットについて
石綿ジョイントシートは、広範囲に使われると同時の確立が望まれるところである。
これら、様々な課題や使用上の制約事項はあるが、石綿の健康障害拡大を防ぐためにも、早期の代替が必要であり、使用者のご理解とご協力をお願いしたい。
4．2 グランドパッキンについてにその取り扱い方法もきわめて容易で、締め付け力に

弊社バルブ用ノンアス®グランドパッキンの中でも主ついても非常に幅広い許容域を有していた。まさにに水・蒸気ラインに使用される膨張黒鉛系製品を中心「万能ガスケット」といえる。

に説明させていただいた。

これに対し、代替する非石綿ソフトガスケットは、使用条件や使用方法で限定的にならざるを得ない。
また、従来多用されてきた石綿製品の寿命は、経験則に基づき設定されたもので、ガスケットの正確な寿

バ
ル
カ
ー
技
術
誌

Summer 2006

最高使用温度
アダプター
パッキン
メイン
圧縮特性

特性値については、石綿グランドパッキンとノンア
ス®グランドパッキンを多角的に比較するために概略一覧のみとしたが、大まかな特長を掴んでいただけたものと考える。

命を把握し、設定しているものではない。しかしなが今後、実際の適用に当たっては、各条件毎に吟味す

ら、その石綿製品に代わる非石綿製品は、近年その使る必要性はあるものの、本記事が、機械装置の設計や用例も徐々に増加しているものの、石綿製品に対比で保全に関わる方にとって、いくらかでも参考になればきるような長期の使用実績は少なく、これまで使用さ幸いである。

18

NO.11

改良品のご紹介
ブラックハイパー

VALQUA No.
GF300は高温下でも硬化しない耐熱性・耐薬品性に優れたシートガスケットです。しかし、圧縮破壊強度が低く、柔軟性が乏しいため取扱性に問題が残っていました。
この改良品はGF300の優れた特性をそのままに、圧縮破壊強度を従来品の約2.5倍、柔軟性を10倍以上にも向上させることに成功しました。
改良品GF300はより幅広い用
途にご使用頂ける製品となりま
した。

GF300
GF300

VALQUA TECHNOLOGY NEWS日本バルカー工業㈱先端産業開発部
シール技術グループ
研究部

夏号

No.11
Summer 2006

発行日・・・2006年07月28日

樹脂製品開発部
各事業所 営業所

編集発行・・日本バルカー工業株式会社〒163-0406
東京都新宿区西新宿二丁目１番１号
新宿三井ビルディング６階日本バルカー工業株式会社
本社
先端産業開発部
シール技術グループ
研
究部
樹脂製品開発部

蕁（03）5352-3421
蕁（042）
798-6771
蕁（0747）26-3914蕁（0747）26-3910
蕁（042）
798-6781

FAX（03）
5352-3436
FAX（042）
798-1041
FAX（0747）
26-3920
FAX（0747）
26-3920FAX（042）
798-1043

東 京 事 業 所
仙 台 営 業 所
日 立 営 業 所
福 島 営 業 所
岡 山 営 業 所
北九州営業所
宇 部 駐 在 所
九 州 営 業 所
甲 府 駐 在 所

蕁（03）3560-0701
蕁（002）
264-5514
蕁（0294）22-2317
蕁（0240）34-2471蕁（086）
460-1181
蕁（093）
521-4181
蕁（0836）31-2727
蕁（096）
364-3511
蕁（055）
242-0018

FAX（03）3560-0727
FAX（022）
265-0266
FAX（0294）
24-6519
FAX（0240）
34-2473FAX（086）
460-1182
FAX（093）
531-4755
FAX（0836）
32-0771FAX（096）
364-3570
FAX（055）
242-0018

TEL:03-5325-3422
FAX:03-5325-3437
制作・・・・㈱帆風

大 阪 営 業 所
名古屋営業所
豊 田 営 業 所
四日市営業所京 滋 営 業 所
松 山 営 業 所
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長 崎 営 業 所
大 分 駐 在 所

蕁（06）6443-5221
蕁（052）
671-6251
蕁（0566）77-7011
蕁（059）
353-6951
蕁（077）
581-3201
蕁（089）
974-3331
蕁（0827）81-0230
蕁（095）
861-2545
蕁（097）
555-9586

FAX（06）
6448-1019
FAX（052）
682-7264
FAX（0566）
77-7002
FAX（059）
353-6950
FAX（077）
514-3346
FAX（089）
972-3567
FAX（0827）
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