SFE-X2012

インライン式周波数調整装置
In-line Type Ion Beam Frequency Adjustment Equipment

世界最高レベルのタクトタイムを実現
Achieving the world's highest level of tact time

【概要】

本装置は水晶デバイスの周波数調整を行う事を目的とした装置です。3室インライン式の採用により、世界最高レベルのタクトタイムを実現しております。
[General Outline]
This equipment is intended to adjust the frequency ofthe crystal device. Adoption of the In-line type of threechambers achieves the world's highest level of tacttime.

【性能】

・タクトタイム：0.3sec/pc以下※18MHz以上のワーク、1列24個以上の場合・調整精度：±1.5ppm以下
・処理数：最大24列（p4.0）×32列
・生産量：12,000pcs/時間以上【特長】

1．3室インライン式の採用処理室と取出室を別にし、イオンソースもH／Lを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。
2．多源同時処理[Performance]
・Tact time：0.3sec/pc or less * for the work of 18 MHzor more, 24pcs or more/column
・Adjustment accuracy：±1.5 ppm or less・Processing number: Up to 24 columns(p4.0)×32
columns
・Production Volume: 12,000pcs or more/hour

SFE-B03に搭載したIGF-201型100㎜ビームのイオンソースを2基搭載しています。
1台あたり最大24個、計48個同時処理が可能です。
3．微小ワークに対応した高精度な機構
SFE-B03で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機構を本装置にも採用しております。今までインラインでは困難であった小型ワーク（1.2×1.0以下）の周波数調整も、安定して量産できます。
[Features]
1. Employing In-line type of three chambers
By separating the processing chamber and the take-out chamber and equipping with an ion source for both H and L,【オプション】
・マガジン搬送・オーバードライブ機能付
きLD/ULD（三生電子株式会社製）
・三生電子株式会社のインラインシステ
ムと連結可能・小 型 ワークコンタクト調 整 システム
「サーチロイド」

eﬃcient operation with less idle time has become possible.
2. Multi-source simultaneous processing
SFE-X2012 is equipped with two IGF-201 ion sources of 100㎜ ion beam (same as the ion source installed on SFE-B03).
Each unit can process a maximum of 24 workpieces, and a total of 48 workpieces can be processed at the same time.
3. High-precision mechanism for small workpieces
This device also uses the highly accurate, highly stable, and highly reproducible transport mechanism that has been
proven in SFE-B03. Frequency adjustment of small workpieces (1.2×1.0 or less), which was diﬃcult with in-line device
until now, can be stably mass-produced.

[Opsions]
・LD/ULD with magazine transfer and overdrive
function (manufactured by SANSEI DENSHI CO., LTD.)・Can be connected to in-line system of SANSEI DENSHI
CO., LTD.
・Small work contact adjustment system：“SEARCHROID”

SFE-X2012

インライン式周波数調整装置
In-line Type Ion Beam Frequency Adjustment Equipment

世界最高レベルのタクトタイムを実現
Achieving the world's highest level of tact time

用途・応用例

Applications

対象製品｜水晶振動子／水晶発振器（3225、2520、2016、1612、1210、1008）、音叉振動子（3215、2012、1610、1210）[Products] XTAL/OSC (3225,2520,2016,1612,1210,1008), Tuning fork oscillator (3215,2012,1610,1210)

概略仕様

Speciﬁcations

処理方式

インライン式

Processing Method

In-line type

内部写真
Internal photos

排気ポンプ

RP＋MBP＋TMP

Exhaust Pump

RP＋MBP＋TMP

設置寸法

W3,000㎜×D2,100㎜×H2,000㎜

Installation Dimensions

W3,000㎜×D2,100㎜×H2,000㎜

装置重量2,150kg

Equipment Weight

2,150kg

電源容量AC200V（3φ）/ 18kVA（54A）

Power Supply Capacity

AC200V（3φ）/ 18kVA（54A）

真空槽サイズ

処理室：W1,100㎜×D500㎜×H200㎜

Vacuum Chamber

Processing Chamber:W1,100㎜×D500㎜×H200㎜装置構成

3室（仕込室、処理室、取出室）※オプションでLD、ULDとドッキングが可能

Equipment Composition

3 Chambers (preparation chamber, processing chamber, take-out chamber), In-line type* Can be docked with LD and ULD as an option

搬送系

SFE-B03型と同じくＸ軸搬送をH/Lに各々採用

Transfer System

Both H and L use the same X-axis transmission as SFE-B03

ご質問・詳細につきましては、営業部までお気軽にお問合せください。
お問合せ先【営業部】
本社・相模原工場〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名3062-10

TEL. 042-764-0370
FAX. 042-764-0377

E-mail. sales-pamphlet@showashinku.co.jp

https://www.showashinku.co.jp/
昭和真空

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Inquiry [Sales Dept.]

イオンソースIon Source

100㎜ビーム矩形型 ×2式⇒最大48個同時処理
100 ㎜ Beam Rectangular Type × 2 sets

HQ and Sagamihara Plant
3062-10 Tana, Chuo-ku, Sagamihara-city, Kanagawa 252-0244 Japan
TEL:+81-42-764-0370

FAX：+81-42-764-0377⇒ Processing maximum 48 pieces at a time
本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略計測器

ネットワークアナライザー 8台

Measuring Instrument

Network Analyzer 8 units

物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
This product may be applicable to export control products such as strategic raw materials

パソコン

Windows PC×2台

PC

Windows PC×2 units

周調工程

2段階(H,LL)

Frequency Adjust Process

2 steps (H & LL)

which are regulated by the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law. Accordingly
when you bring out the applicable products outside Japan, you should take a necessary
action such as application of an export permit to the Government of Japan.

Web site

製品情報ページ

真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。

※本仕様・外観については、改良のため予告なく変更になることがあります。あらかじめご了承下さい。
* For the improvement of the product, please understand in advance that the speciﬁcations and external views are subject to change without prior notice.

https://www.showashinku.co.jp/product/16-15601-JEZ2112