小ロット・ハイサイクルで回せる
スパッタリング装 置

SPP-155TC

製品例イメージ

小ロット・ハイサイクルで回せる
スパッタリング装置

SPP-155TC
装置コンセプト

製品の品質や歩留まりを上げたい生産現場に適しているのは、小ロット・ハイサイクルで稼働できる装置ではないか。
そう考えて開発したのがSPP-155TCです。
小ロットで動かせることで、ロット不良発時の損失を最小限にできます。
ハイサイクルで回せることで、成型したてのワークをすぐに処理できるため、水分が吸着する時間を短縮することが可能です。
そして、スパッタリング装置は、蒸着とは違いバッチ毎に材料補給の手間がかかりません。生産数も品質も妥協したくない。
そんな現場で使う装置の正解を目指しました。

主な用途｜装飾膜のコーティング
製品例｜自動車内装部品・自動車ヘッドランプリフレクター

SPP-155TC[Equipment Concept]
Sputtering equipment that can operate in small lots and high cycles
For production sites pursuing improve product quality and yield, equipment that can operate insmall lots and high cycles is undoubtedly the most suitable. SPP-155TC is a machine developed
based on this consideration. Being able to produce in small lots can minimize losses when a lot
defect occurs. By operating in a high cycle, the newly molded work can be processed
immediately, so it is possible to shorten the time to absorb moisture. With high frequency
operation, newly formed workpieces can be processed immediately, thereby shortening the timeto absorb moisture. Therefore, unlike the depositing machine, there is no need for the sputtering
equipment to replenish materials for each batch. We aim to provide ideal equipment for
production sites that do not want to compromise on output and quality.
[Main Applications] Decorative Film Coating[Product Example] Automotive interior parts / Automotive headlamp reﬂectorSPP-155TC
主な特徴
真空槽サイズVacuum chamber size

対応ワークサイズ

Corresponding work size

対応ワーク材質

Corresponding work material

プロセスガス
Process gas

Major Features□850mm×H1,800mm□850×H1800mm

Φ600mm×H1,200mm

Φ600mm × H1200mm

PC, PET, PP, PEなど

PC, PET, PP, PE, etc.

O2→前処理用、後処理用
Ar→スパッタ用、HMDSO→前処理用、重合用
O2 → For pretreatment, for posttreatment
Ar → for sputtering
HMDSO → For pretreatment, for polymerization

排気時間

2.0×10-2Paまで3分以内

サイクルタイム

4分／1サイクル（参考値）

Exhaust time

Cycle time

自動運転範囲Autonomous operating range

reach 2.0 x 10-2 Pa within 3 minutes

4 minutes / cycle (reference value)①真空排気→②前処理（O2プラズマ）→③スパッタ（金属）→④重合（SiOx）→⑤後処理（親水化等）→⑥ベント
Vacuum exhaust → ②Pretreatment(O2plasma) → ③Sputtering(Metal) →④Polymerization(SiOx) → ⑤Posttreatment(Hydrophilization,etc.) → ⑥Vent

製品仕様表装置名称

Equipment Name

型式

Model Number

据付寸法

Product speciﬁcations

カルーセル型高速スパッタ重合装置

High Speed Sputtering / Polymerization Equipment

SPP-155TC

SPP-155TC

W4,000mm×D4,000mm×H2,700mm

Installation dimensions

W4,000mm x D4,000mm x H2,700mm

主排気

ターボ分子ポンプ×2 ＋ クライオポンプ×1

Main pumping

粗引きRough pumping

カソード
Cathodeスパッタ材料

Sputtering material

スパッタ電源Turbo molecular pump x 2 + Cryo pump x 1

油回転ポンプ×1＋メカニカルブースターポンプ×1

Oil rotary pump x 1 + Mechanical booster pump x 1

6×55インチマグネトロンカソード

6 x 55 inch magnetron cathode

Al、SUSなど

Al, SUS, etc.

80kW DC電源×1式（20kW電源×4台直列）

Sputter power supply

80kW DC power supply x 1 set (20kW power supply x 4 units in series)

重合機構

バー電極（前処理、重合、後処理用）

Polymerized mechanism

重合電源

Polymerized power supply

Bar electrode (for pretreatment, polymerization, posttreatment)

10kW MF電源

10kW MF power supply

レイアウト例

Layout Example

3,600mm3,000mm3,600mm2,600mmギャラリー

Gallery

真空槽内部

Inside the vacuum chamber

ターゲット（6×55インチ）
Target (6 x 55 inches)

治具ポール

Jig pole

重合電極

Polymerized electrode

真空槽扉＆内部

Vacuum chamber door & inside

成膜中の様子State during sputtering〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名3062-10
https://www.showashinku.co.jp【装置】
ご相談窓口｜TEL. 042 - 764 - 0370
●本資料に記載の製品仕様・外観は、改良のため予告なく変更する場合あります。
●本資料に記載の製品は外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。

Equipment consultation counter
HQ and Sagamihara Plant
3062-10 Tana, Chuo-ku, Sagamihara-city, Kanagawa 252-0244 Japan
TEL:+81-42-764-0370●For the improvement of the product, please understand that the speciﬁcations
are subject to change without prior notice.
●This product may be applicable to export control products such as strategic raw
materials which are regulated by the Foreign Exchange and Foreign Trade
Control Law. Accordingly when you bring out the applicable products outside
Japan, you should take a necessary action such as application of an export
permit to the Government of Japan.

13-15201-JEZ2107