SPH-2410-Ⅱ

ロードロック式 通過型スパッタ装置
Load Lock Type Pass-Through Model Sputtering Equipment

二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタ装置
Sputtering system capable of forming two types of ﬁlms on both sides

SPH-2500T-Ⅱの生産能力が約1.5倍
Production capacity isabout 1.5 times
that of SPH-2500T-II

本装置は水晶振動子のベース電極成膜を目的として開発したロードロック式通過型スパッタリング装置です。仕込・取出室、スパッタ室の2室からなり、加熱から成膜、取出までを全自動で連動して行うことにより、「ベース電極成膜工程」のライン化が可能となり生産性の向上と省力化に貢献します。
This equipment is a load lock type pass-through type sputtering equipment developed for the purpose ofﬁlm formation of base electrode of quartz crystal. Consists of two chambers（a loading/unloading chamber
and a sputtering chamber）,and by performing fully automatic interlocking from heating to ﬁlm forming andtaking out, it becomes possible to make the line of "base electrode ﬁlm forming process" and improve
productivity and save labor.

ラック＆ピニオン方式採用
ラック＆ピニオン方式採用により搬送制御性が【特長】

1．外形：W1,100㎜×D2,500㎜×H1,205㎜（シグナルタワーは含みません）
2. 両面同時成膜によりハイタクトで稼働することが可能な装置です。

向上しています。
Rack and pinion system adopted
The rack and pinion system improves transport controllability.

3. SPH-2500T-Ⅱと比較し1ロット処理量を約1.5倍にしました。
4．
ラック＆ピニオン方式を採用し安定した搬送を実現しました。
[Features]【用途・応用例】
各種電子部品への電極用金属膜の形成

1. Outer dimensions: W1, 100 mm × D 2,500 mm × H 1, 205mm (Signal Tower not included)
2. This is a system that can operate with high tact time by simultaneous deposition on both sides.

[Applications]

3. Compared with the SPH-2500T-II, the processing volume of one lot has been increased by about 1.5 times.

Formation of metal ﬁlms for electrodes on various electronic

4. Adopted a rack and pinion system to achieve stable conveyance.

components

SPH-2410-Ⅱ

ロードロック式 通過型スパッタ装置
Load Lock Type Pass-Through Model Sputtering Equipment

二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタ装置
Sputtering system capable of forming two types of ﬁlms on both sides【操作性の向上】
警報発生時のトラブルシューティングを画面上に表示します。各トレイにレシピ設定が可能で10レイヤー／トレイまで成膜が可能です。
[Improved operability]
Displays troubleshooting on the screen when an alarm occurs.
Recipe can be set for each tray, and up to 10 layers / trays can be deposited.

装置構成

Outline

処理方式

ロードロック式

Processing Method

Load lock type Pass-Through model

通過型

排気ポンプ

油回転ポンプ＋クライオポンプ

Exhaust PumpRotary pump＋Cryo pump設置寸法

W1,100㎜×D3,965㎜×H1,280㎜

Installation Dimensions

W1,100㎜×D3,965㎜×H1,280㎜

装置重量約2,000kg

Equipment Weight

Aprrox.2,000kg

電源容量AC200〜220V（3φ）／ 35kVA（99A）

Power Supply Capacity

AC200〜220V(3φ) / 35kVA (99A)

カソード

5インチ×10インチ 2対Cathode5inch×10inch 2sets

基板トレイ

L350㎜×H222.5㎜

Substrate Tray

L350㎜×H222.5㎜

ご質問・詳細につきましては、営業部までお気軽にお問合せください。
お問合せ先【営業部】
本社・相模原工場〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名3062-10

TEL. 042-764-0370

成膜有効範囲L300㎜×H±80㎜(カソード中心から)Eﬀective Deposition range

L350㎜×H80㎜ (From the cathode center)

基板搬送方式

ラック＆ピニオン搬送

Tray Conveyance

Rack & Pinion

https://www.showashinku.co.jp/

ストッカー

10トレイ収納Stocker

Settable 10 trays

昭和真空

FAX. 042-764-0377

E-mail. sales-pamphlet@showashinku.co.jp

検索Inquiry [Sales Dept.]
HQ and Sagamihara Plant

性能3062-10 Tana, Chuo-ku, Sagamihara-city, Kanagawa 252-0244 Japan

Performance

TEL:+81-42-764-0370

膜厚分布

トレイ内

±2% ／ トレイ間

Uniformity

Inside trays ±2% / Between trays ±3%

サイクルタイム

4min／トレイ ※Ag:150nm(片面)成膜時

Cycle Time

4 min / tray * when forming ﬁlms by Ag: 150 nm (One side)

到達圧力

仕込・取出室Ultimate Pressure

スパッタ室

FAX：+81-42-764-0377±3%
本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。

1.0×10-3Pa以下This product may be applicable to export control products such as strategic raw materials

1.0×10-3Pa以下

which are regulated by the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law. Accordingly
when you bring out the applicable products outside Japan, you should take a necessary

LD/ULD chamber 1.0×10 Pa or less-3

action such as application of an export permit to the Government of Japan.

SP chamber 1.0×10 Pa or less-3

排気時間

仕込・取出室Pumping Time

LD/ULD chamber within 4min until 2.0×10-2Pa

2.0×10-2Pa迄

基板加熱温度

150℃以上を確認

Substrate HeatingTemperatureConﬁrmed to be above 150℃

4分以内
Web site

製品情報ページ

真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。

※本仕様・外観については、改良のため予告なく変更になることがあります。あらかじめご了承下さい。
* For the improvement of the product, please understand in advance that the speciﬁcations and external views are subject to change without prior notice.

https://www.showashinku.co.jp/product/13-15701-JEZ2112