SFE-B03-Ⅱ

ロードロック式周波数調整装置
Lord Lock Type Ion Beam Frequency Adjustment Equipment

周波数調整装置のグローバルスタンダード
Global standard for frequency adjustment equipment

処理室 Processing Chamber【概要】

本装置は水晶デバイスの周波数調整を行う事を目的とした装置です。省スペース、高精度、高生産性を実現したスタンダードモデルです。
[General Outline]
This device is intended to adjust the frequency of the crystal device. It is a standard
model that achieves space saving, high precision, and high productivity.

【性能】

・タクトタイム：0.4sec/pc以下【特長】※18MHz以上のワーク、1列24個以上の場合

1．省スペース・高精度・低価格・タクトタイム0.4s/pcs以下を実現しました。

・調整精度：±1.5ppm以下（※SMD3.2×2.5

・処理数：最大24列（p4.0）×32列

24MHz

H1,000ppm/s

L50ppm/sの場合）

2．新型イオンソース（ビーム幅：100㎜）搭載で、標準24〜32個同時処理が可能となり・生産量：10,000pcs /時間 以上ました。
3．高精度・高安定・高再現性の搬送機構の採用により、1.2×1.0以下の微小ワークも、安定して生産できます。
4．FLモード（負荷容量自動演算モード）を搭載しています。
5．イオンソース本体・コンタクト機構のメンテナンス性が大幅に向上しました。

[Performance]
・Tact time: 0.4 sec or less/pc※ For work of 18 MHz or more, 24 pcs or more/column
・Adjustment accuracy: ± 1.5 ppm or less・Processing number: Up to 24 columns (p4.0)×32 columns
・Production volume: 10,000pcs or more / hour

6．2室ロードロック方式を採用することで処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。
[Features]
1.Compact・High precision・Low Price・Tact Time：less than 0.4s/pcs（※SMD 3.2×2.5 24MHｚ H1,000ppm/s L50ppm/s）
2.Equipped with a new ion source (beam width: 100㎜), from 24 to 32 works can be made at the same time(standard).
3.The micro work (less than 1.2×1.0 size) is produced stably by highly precise Transfer mechanism with high【オプション】
・マガジン搬送・オーバードライブ機能付き
LD/ULD（三生電子株式会社製）
・小型ワークコンタクト調整システム「サーチロイド」

repeatability.
4.An automatic calculation mode of the load capacity is equipped with.

[Options]

5.The maintainability of ion source body and contact mechanism has been greatly improved.

・LD/ULD with magazine transfer and overdrive function

6.By adopting the load lock type 2 chambers, the processing chamber is always kept in vacuum, so the tact time does
not depend on the time of vacuum exhaust and open to the atmosphere.

(manufactured by SANSEI DENSHI CO., LTD.)
・Small work contact adjustment system：“SEARCHROID”

SFE-B03-Ⅱ

ロードロック式周波数調整装置
Lord Lock Type Ion Beam Frequency Adjustment Equipment

周波数調整装置のグローバルスタンダード
Global standard for frequency adjustment equipment

新機能紹介

用途・応用例 Applications

New Functions

対象製品｜水晶振動子／水晶発振器（3225、2520、2016、1612、1210、1008）、音叉振動子（3215、2012、1610、1210）[Products] XTAL/OSC (3225,2520,2016,1612,1210,1008), Tuning fork oscillator (3215, 2012,1610,1210)

ロータリーソレノイド機構

搬送キャリアメンテナンス

Rotary Solenoid Mechanism

Transfer carrier

Maintenanceトレー

カーボン製／両端で使用可能です（片方削れたら、もう片方で使用可能）

回転駆動を直進運動へ変換しています。

Tray

コネクタ

Ion source

Made of carbon / Both ends canbe used (If one is scraped, theother can be used)

The rotationaldrive is converted
to straight motion.

イオンガン本体

Connector

キャリア
Carrier

水冷Water cooling

180度以内で回転することにより、シャッター開閉に必要なストロークを決定しています。

▶容易なメンテナンス

The stroke required for opening
and closing the shutter isdetermined by rotating within
180 degrees.

メッシュ構造Mesh structure

100㎜ビームイオンガンに対応した大型トレーを採用。搬送キャリアにはメッシュ状の穴を開けて強度と高精度化に対応。

シャッターの開閉運動を安定的に、かつ高精度で制御します。
消耗品の部品の高寿命化にも貢献します。

The tray supports beam width 100㎜ of ion source.
Mesh structure of the transfer carrier improved
strength and accuracy.

The opening and shutting operation of the shutter is controlled stably
exactly. The durability of consumption parts improved.

基準ベアリング、キャリア押え機構

Reference bearing, Carrier holding mechanism

ご質問・詳細につきましては、営業部までお気軽にお問合せください。
お問合せ先【営業部】

キャリア押さえ機構

本社・相模原工場

Carrier holding mechanism〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名3062-10

基準ベアリング
Reference bearing

基準ベアリングによる高精度搬送、門型構造のコンタクト昇降機能により1210サイズの小型ワークにも対応。
High-precision transport using reference bearings and a portal-type contact elevating function support 1210 size small workpieces.

TEL. 042-764-0370
FAX. 042-764-0377

E-mail. sales-pamphlet@showashinku.co.jp

https://www.showashinku.co.jp/
昭和真空

概略仕様Speciﬁcations

処理方式

Processing Method

排気ポンプ
設置寸法

Exhaust Pump
Installation Dimensions

装置重量

Equipment Weight

電源容量Power Supply Capacity

真空槽サイズ
装置構成

Device Conﬁguration

搬送系

Transfer System

イオンソース
計測器
周調工程

Vacuum Chamber

Ion Source

Measuring Instrument

Frequency Adjust Process

Pull out from the connector
Simple disassembly structure⇒Maintenance is easy

コネクタから引き抜く簡易着脱機構

検索

Inquiry [Sales Dept.]

ロードロック式

HQ and Sagamihara Plant

Load lock type3062-10 Tana, Chuo-ku, Sagamihara-city, Kanagawa 252-0244 Japan

RP＋TMP

TEL:+81-42-764-0370

FAX：+81-42-764-0377

W1,200㎜×D1,300㎜×H1,800㎜
1,000kg
AC200V（3φ）/10.3kVA（30A）
処理室：W475㎜×D500㎜×H220㎜

Processing chamber:W475㎜×D500㎜×H220㎜

2室（仕込室、処理室）インターバック式

本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。
This product may be applicable to export control products such as strategic raw materials

2 chambers (preparation chamber, processing chamber) Inter-back typewhich are regulated by the Foreign Exchange and Foreign Trade Control Law. Accordingly

1軸 Ｘ方向のみaction such as application of an export permit to the Government of Japan.

when you bring out the applicable products outside Japan, you should take a necessary

1 axis type (X-axis)

100㎜ビーム矩形型

Width 100㎜

1式 → 24ビーム（4㎜ピッチ）

1pcs → 24 beams(4㎜ pitch)

ネットワークアナライザー/周波数カウンター4台（6素子/1台）
Network analyzer / Frequency counter 4units (6works/1unit)

1〜4段階（H，M，L，LL）

1step〜4 steps(H,M,L,LL)※本仕様・外観については、改良のため予告なく変更になることがあります。あらかじめご了承下さい。
* For the improvement of the product, please understand in advance that the speciﬁcations and external views are subject to change without prior notice.

Web site

製品情報ページ

真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。

https://www.showashinku.co.jp/product/16-15501-JEZ2112