プラズマインジケータ™

Plasma Indicator™
TMTM

取扱説明書

【構造・サイズ】

Instruction Manual

１．主原料 検知部 / 有機色素、バインダー
基材 / シリコン基板
２．サイズ 直径：300mm, 厚み：725μm,ノッチ形状：V ノッチ, 変色部厚み約 30μm

【内容物】
１．ウエハ型メタルフリータイプ
φ300mm（12 インチ）シリコン基板
梱包：クラムシェル型ウエハケース
２．本説明書【安全に正しくお使いいただくために】●ご使用前に本取扱説明書をよく読み、内容をご理解の上でご使用下さい。
●取扱説明書および包装容器は使い終わるまで保管して下さい。
※ 取扱説明書の内容は予告なく改訂されることがあります。
※ 本製品のご利用により、万一装置・製品等に損害・トラブル等が発生した場合、弊社は一切の責任を負いかねます
ので、あらかじめご了承下さい。

【特徴・動作原理】
１．本製品は種々のプラズマ処理により色相が変化するインジケータです。プラズマ処理効果を確認したい部分にイン【使用方法】
１．変色部を素手で触らないように本製品をケースから取り出し、プラズマ処理効果を確認したい場所に設置して下さい。変色部分は擦過に弱いため、変色部分が傷ついてしまうと正しく変色しない場合があります。
２．インジケータを設置する際には、必要に応じて適宜固定して下さい。
３．変色部を触らないように本製品をプラズマ装置から取り出して下さい。変色部分は擦過に弱いため、傷つけないように目視確認・色差計での計測を実施して下さい。

【保管方法・使用期限】
１．本製品は直射日光を避け、高温多湿（温度 30℃以下推奨） にならない場所に、未開封も しくは密閉再包装した状態で保管して下さい。高温、高湿、直射日光によりインジケータが変色したり、目視で変化がなくても変色性能および耐久性が低下する恐れがあります。

ジケータを設置することで、電気的・光学的な計測装置を２．本製品を前項に記載した適正な状態で保管し、お手元に利用することなくプラズマ処理効果を確認することができ届いてから 1 年以内にご使用ください。開放状態で放置さます。

れますと使用期限よりも前に変色性能および耐久性が低２．本製品の変色部に形成されている色素が種々のプラズマと反応することで、処理時間・出力に応じて変色の程度が変わります。

下する恐れがあります。
３．酸・アルカリ、酸化・還元剤やその他反応性の物質からは隔離して保管して下さい。これら反応性物質によりインジケータが変色したり、目視で変化がなくても変色性能および【使用上の注意】●本製品の変色部分を切断、折曲など形状変形しないで下さい。性能および耐久性が低下する恐れがあります。
●加温温度 200℃以下でご使用下さい。
●インジケータの変色の有無または程度は、お客様のプラズマ装置および同時に処理する品物によって異なります。
●真空下でも使用できる設計ですが、アウトガスが発生しな耐久性が低下する恐れがあります。

【その他】●インジケータは有害物質を含んでいません。産業廃棄物として自治体のルールに従って廃棄して下さい。

【問合せ先】

いものではありません。
●本製品を使用されるにあたり､事前にプラズマ装置および同時に処理する品物への汚染（コンタミネーション）可能性について十分検討の上､ご使用下さい。
●特殊条件下でのご使用の際には、予めご相談下さい。
●プラズマ処理後のインジケータは継時的に色が変化する場合がありますので、必要に応じて色度/色差測定などの方法で変色結果を記録下さい。

ＰＩ事業部〒578-0901

大阪府東大阪市加納 7-18-47

TEL: (072)873-5507

FAX :(072)875-5527

営業時間(土・日・祝日・弊社休日を除く 9：00～12：00、13：00～17：00 受付)
E-mail: sjk@craypas.co.jp
WEB ｻｲﾄ：https://plazmark.craypas.co.jp/
PLAZMARK およびＰｌａｓｍａ Ｉｎｄｉｃａｔｏｒは㈱サクラクレパスが日本をはじめ主要各国で商標登録を行っています。
2021.7 作成【CONTENTS】
1. PLAZMARK Wafer – Metal Free Type φ300mm（12 inch）,SiPacking : Clamshell Style wafer case
2. Instruction Manual【FOR SAFETY USE】
● Read this Instruction Manual and understand thecontents before to use.
● Keep this Instruction Manual and Packages until
to finish test.
* The contents of the Instruction Manual may berevised at the maker’s option without anypreannouncement.
* IMPORTANT NOTICE: We are exempt from
responsibility for any damage or trouble on yourequipment or products caused by use of thisproduct.
【FEATURE & FUNCTION】
1. The product is an indicator card of which color
changes by various plasma treatments. Plasmatreatment effect can be observed visually without
any electronic or optical measuring device only
setting the card on the part(s) to be checked theplasma treatment effect.
2. The color changes accordingly to the time andpower of plasma treatment as the color stuffs,
formed on the color change part of the product,
react with various kinds of plasma.
【CAUSION IN USAGE】● Do not deform the color change part such as
cutting or bending.
The efficiency of color change and/or durability
may deteriorate.
● Use at lower than 200℃ as heat temperature.
● The efficiency of color change is different on yourplasma equipment or your product to be treated.
● This product is designed to be used in a vacuum.
However it is not free from out-gas.
● Inquire carefully into the possibility ofcontamination of your plasma equipment orobject to be treated before to use this product.
● Inquire to us when to use this product on an
extraordinary condition.

【COMPOSITION & FORM】
1. Main Raw Materials;
・Color materials/Organic Color Stuffs, Polymers
・Substrate / Silicon Wafer
2. Size; Substrate / φ300mm×t 725μm
Color Change Part (CCP) / ｔ≒30μm【HOW TO USE】
1. Not touching the CCP with bare hands, take theindicator out of the case and set the indicator on
the part to be detected the plasma treatment
effect. It may not change color correctly when
CCP is damaged as CCP is sensitive to friction.
2. Fix the indicator if necessary when to set up.
3. Not touching the CCP, take the card out of theplasma equipment. Execute the measurementby visual check or color measurement
instrument not damaging the CCP which issensitive to friction.
【STORAGE & LIFE】
1. Store avoid direct sunlight, high temperature( Recommended 30 ℃ below ) and highhumidity without unsealing or with resealing.
2. Use it within one year after the receipt. The color
change capability may deteriorate earlier thanthe life time if it is kept unsealed.
3. Store separately from acids, alkalis, reducing
agents and other reactive substances. The
indicator may change color or its capability anddurability may deteriorate by such reactive
substances despite no visually change.
【OTHERS】● The indicator does not include any toxic
substance. Dispose as industrial wastes
accordingly to self-government rules.
【INQUIRY TO】
Plasma Indicator Division〒578-0901 7-18 -47, Kano, Higashi-osaka,Osaka, Japan
TEL:+81-72-873-5507
FAX :+81-72-875-5527
E-mail: sjk@craypas.co.jp
URL：https://plazmark.craypas.co.jp/
PLAZMARK and Plasma Indicator are registered trademarks ofSAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION in Japan and othermajor countries.