ここにロゴを挿入

ＡＦＭプレゼン資料
sugita2018/6/19

1

概要



２４ビット精度の、圧倒的な分解能を誇ります。
スキルを必要とせず、何方でも簡単に測定可能です。
ハンディタイプから、カセット付きの全自動機までの実績が有り、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高額なＡＦＭ装置と同等の機能を有します。光
学顕微鏡と同等の使い勝手を実現しています。

2018/6/19

2

機能と特長

一般的なピエゾ素子を使用せずＡＦＭ本体部に電磁スキャナーを内蔵しており外乱に大変強くなっています。（国際特許取得済み）
ピエゾでは、非線形クリープ（時間的に変化）で、再現性が取れず、蒲鉾型の測定データになり、吸湿性や熱膨張が有り、素子の交換も必要です。
またスキャン角度の変更や、ハード的な傾斜補正もできません。測定前のキャリブレーション作業も必要ですが、電磁スキャナーを使用する事により、全ての問題を解決いたします。
２４時間の全自動運転でも、長期に渡り交換部品が有りません（プローブ除く）

カンチレバーの交換は数秒で可能です。交換後のキャリブレーションは、自動で行う為、調整を全く必要といたしません。プロー
ブを付けて宅配便の混載で、送る事ができます。到着後の調整も無し。

2018/6/19

3

機能と特長 ２方向の小型デジタルカメラを本体に内蔵することにより、上方（同軸上）、側面（高さ）の観察が測定中リアルタイムで可能です。

2018/6/19

4

機能と特長 走査ヘッドは２種類有り、高精度タイプと、広域スキャンタイプからなり、ソフトウエアは共通で、ヘッドの交換時間も数秒で、完了いたします。
測定したい、精度により容易に交換可能です。
2018/6/19

5

仕様
広域スキャン

高精度スキャン

最大スキャンレンジ

110 µm25 µm

最大 Z-レンジ

22 µm

5 µm

分解能 Z方向0.0013 nm

0.0002675 nm

分解能 XY方向

0.0065 nm

0.001475 nm

XY-リニアリティエラー<0.6%<0.7%(ｔｙｐ. ３５０ ｐm)(ｔｙｐ. ８０ ｐm)(ｔｙｐ. ９０ ｐm)(ｔｙｐ. ３０ ｐm)

走査ヘッドタイプ

Z 測定ノイズレベル(RMS, ダイナミックモード)
2018/6/19

6超小型ハンディＡＦＭ
 どこにでも、手軽に持ち運び可能。
 オープンＡＦＭと 、同等の機能。
 オプションで、手動、自動ステージの追加可能。
 奥行、幅は僅か１５cm。

2018/6/19

7カーボンナノチューブプローブ
 カーボンナノチューブプローブ

耐摩耗性に優れダイヤとほぼ同じ硬度を持ち交換頻度も飛躍的に伸びます。

注）エスアイアイ・ナノテクノロ ジー社製AFMで測定

2018/6/19

無断転載禁止8

カーボンナノチューブプローブ
 傾斜のきつい面の測定が得意で、微小ピンホールの測定も可能になります。

2018/6/19

9測定モード1
 スタティックフォース
 ダイナミックフォース
 フェイズコントラスト
 フォースモジュレーション
 マグネティックフォース
 スプレッディングレジスタンス ケルビンプローブフォース
 任意モード：ユーザー信号で全てのモードが使用可能で最高５点の測定チャンネル。
2018/6/19

10測定モード2 走査エリアとデータ点数

幅と高さは個別に最高 2048×2048点。
 走査モード 順方向と逆方向走査
フレームＵＰ、ＤＯＷＮ, 又は連続。
 走査画像回転 は0 - 360°（スキャン角度）任意。
 サンプルの傾斜補正は、ハードウェアのXY傾斜補正が可能。
2018/6/19
11

２４ビット画像

2018/6/19

12

ＭＦＭモード 磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）
 Magnetic Force Microscopyとは、プローブ顕微鏡の一種であり、表面の微小磁区を測定する事ができる測定法で、カンチレバーに磁性材料を蒸着した物を使います。
 試料表面付近では原子間力の影響が大きく走査プローブ顕微鏡の中でも難しい測定になります。
2018/6/19

13

ＭＦＭモード 測定例ここで示される寸法は、サンプルは、１０GB３．５インチハードディスクで、６００nmのトラック距離による媒体の平面と７０nmのビット長で磁気を帯た４２ＫのＴＰＩ、３６３ＫのＢＰＩと一致します。

2018/6/1914

Spreading Resistanceモード
 広がり抵抗顕微鏡 （ＳＳＲＭ）

Scanning Spread Resistance Microscope
試料に電圧を印加し、導電性プローブを通して流れる電流を対数アンプによって計測し、抵抗分布を得ます。
電圧が探針直下に集中するため、探針直下でのドーパント濃度が支配的な電流（広がり抵抗）を検出することが可能です。
接触抵抗を減らすため、カンチレバーに高い針圧をかけて測定します。これによりキャリア濃度に合致した抵抗値が得られます。
2018/6/1915

Spreading Resistanceモード
 測定例

2018/6/1916

アプリケーション 測定例
シリコンウエハー

Gallium nitride

10x10µm image, z-range: 38.8nm.

Image size 11x11 µm, Z-range 3 nm

2018/6/19University, EKM, Experimentalphysik 617アプリケーション
 測定例
ナノファイバー

10x10µm image, z-range: 500nm

2018/6/19

LCD panel

700µm x 700µm; Z range 2µm

18アプリケーション
 測定例
ナノグリッド（金薄膜上の樹脂）

500x500nm image; z-range 27nm
Laboratory for Micro- and Nanotechnology

2018/6/19

PTFE膜

100x100µm image, z-range: 5µm

19アプリケーション
 測定例
量子ドット

1x1µm image, z-range: 3nm

2018/6/19

ストロンチューム薄膜

2µm x 2µm; z-range 2.5nm

20アプリケーション 測定例

2018/6/19

光学レンズ表面人毛

1x1µm image, z-range: 0.8nm

40µm x 40µm scan range; 3µm

21アプリケーション
 測定例
Ｂｉｏチップ50x50µm image, z-range: 150nm

2018/6/19

蝶の羽根

20x20um image, z-range 2.3um

22

アプリケーション
 測定例
機能性繊維コーティング

5µm x 5µm; z-range 19nm

2018/6/19

ポリシュセラミック

90µm x 90µm; z-range 3µm

23アプリケーション
 測定例
炭化ケイ素薄膜

5x5µm image, z-range: 110nm

2018/6/19

金フィルム粗さ

40x40µm image, z-range: 200nm

24アプリケーション
 測定例
印刷後インクの状態

20x20µm image, z-range 1.8µm

2018/6/19

重合ガラス

5x5µm image, z-range: 16nm

25

アプリケーション
 測定例
樹脂ラップ

2018/6/19

80x80µm image, z-range: 380nm

紙（ティシュ）30x30µm image, z-range: 4µm26

アプリケーション
 測定例
ボールペンチップ2018/6/19

２０x１６µm image, z-range: ５０nm

Pentacene Film on TiO2

７．７x７．７µm image, z-range: ５５ｎm

27

アプリケーション
 測定例
金の上のジオバクター

2018/6/19

２０x１６µm image, z-range: ５０nm

ナノインデント28

アプリケーション
 測定例
バルブフィット

2018/6/19

80x80µm image, z-range: 1.2µm

インプラント80x80µm image, z-range: 200nm

29アプリケーション
 測定例
ポリマーブレンド

Image dimensions: 15 µm x 15 µm

2018/6/19

樹脂グリッド10x10µm image, z-range: 500nm

30アプリケーション
 測定例
共重合体

2018/6/19

1x1µm image, z-range: 8nm

ＭＦＭモードでのＳＵＳ

Scan size: 80 µm x 80 µm

31

アプリケーション
 測定例
ステント

2018/6/19

20x20µm image, z-range: 2.3µm

チタン陽極処理

80x80µm image, z-range: 2µmm

32

アプリケーション
 測定例
フッ化マグネシウム被覆

2018/6/19

20x20µm image, z-range: 2.3µm

EFM Al-gold microstructure

Scan size: 8 µm x 8 µm、z-range:90 nm

33

アプリケーション
測定例
パットのプローブ痕

2018/6/19

ＩＣパターン34

Report レポート作成
測定データのＣＳＶの出力に対応しており表計算ソフトでも解析可能です。
スクリプトも、多数用意されており、任意の出力形態が選べます。測定ソフトウエアの中に組み込む事も可能です。
また、標準の各種解析ツールの他、視覚的に魅力的な、専門のレポートの作成のためのソフトウェアをオプションとして準備しております。
2018/6/19

35

有難うございました。
 現在３台のデモ機を用意しております。

お気軽にサンプルテスト申しつけ下さい。
少量であれば、御相談後、無償で受付も可能です。
超高アスペクト比のカーボンナノチューブプローブも、取り扱ております。またＡＦＭとズーム顕微鏡、微分干渉、非接触型厚さ計、異物検査、線幅測定、外観検査など含めた同一ステージ上での複合装置やカセットタイプの全自動ＡＦＭ測定装置の実績もございます。
１５００台以上の実績が有り安心して、使っていただけます（注）同タイプのスキャナー含む
2018/6/19

貴重なお時間有難うございました。

36

連絡先
http://www.softworks.co.jp/2018/6/19

37

語句解説
ＴＰＩ
磁気記録メディアや光学記録メディアにおいて、記録トラックの密度を表す単位。 ... 例えば 135
tpi といえば (これは 3.5 インチ・フロッピー・ディスクの記録密度)、1 インチあたり 135 本の記録トラックがあるという意味になります。
ＢＰＩ
磁気テープ記憶装置の記録密度をあらわす単位。テープの長さ1インチあたりに何ビットの情報を記録できるかを表します。
2018/6/19

38