*99MBA128B*
VMU-LB・L4B の場合

99MBA128B

1 対物レンズマウントを付属のレボルバレンチで取り外す
レボルバレンチ*1 VMU-LB・L4B のみ

3

本商品の性能を十分に発揮させ、長期にわたり良好な状態でご使用いただくために、ご使用の前には本書をよくお読みいただき、正しくご使用ください。
お読みになった後は、大切に保管してください。
本商品は工場から出荷される前に十分な検査を受け、機械的、光学的に性能が保証されていますが、異常や疑問点などがありましたら、弊社営業の窓口までご連絡ください。

六角レンチ
呼び 2GIF ユニット

六角レンチ
呼び 1.5*2 VMU-L4・L4B のみファイバー
光源

Tips

「3.3 カメラの取り付け」

3.3

本体の正面には、背面と同様に本体を装置に取り付けるための本体取り付け穴（ねじ穴 6 個、M4、ピッチ 0.7、深さ 6 mm）があります。本体の正面には上図のようにエンブレムプレートがはめられていますが、正面に装置を取り付ける場合は、エンブレムプレートを取り外して、背面にはめてください。

安全上のご注意

3.1
注記

対物レンズを取り付ける際は、対物レンズのローレット部（A）を持ち、落下させないように注意してください。落下させると、対物レンズの性能が低下する恐れがあります。

23 対物レンズのねじ部を対物レンズマウントにねじ込む

3.2

y 万一分解された場合には、保証期間内であっても性能を保証できません。また、故障が生じた場合には、有償扱いとなります。

ø10+0.1+0.05

取り付け可能なファイバーの寸法については、右図をご覧ください。

y 運搬時には本体を持ち、慎重に支えてください。また、可動部には触れないようにご注意ください。
y 転倒または落下した場合には性能が劣化します。

A

適合しないファイバー光源を使用する場合、性能は保証できません。
弊社営業の窓口までご相談ください。

1 ファイバースペーサーを取り外す

3 クランプねじを締め付ける

注記

2331

1 最高倍率の対物レンズに切り替えるTips

1 レーザーマウント固定ねじ（六角 M4×4 本）を緩める
2 レーザーマウントを回転して、中間像位置を調整する

4 レーザーマウント固定ねじを締め付ける

25.1

日常の保守

1x1x1x1x1064/532/355

532/266

1064/532/355

1064/532/355/266

49.5
ø45YAG レーザー発振 YAG レーザー発振 YAG レーザー発振 YAG レーザー発振機（基本波、第 2・ 機（第 2・4 高調波） 機（基本波、第 2・ 機（基本波、第 2・3・3 高調波）搭載可 搭載可3 高調波）搭載可 4 高調波）搭載可*13

適用対物レンズ（オプション）

開口絞り付きテレセントリック照明
1020 g1050 g1270 g*2

ø431300 g

100

VMU-L
1064

532

VMU-L4355

532

266

VMU-LB
1064

532

VMU-LB（コード No.378-513）

VMU-L4B3551064532355266

*1

10 以上

10 以上

10 以上

ø5010 以上

• 透過率は偏光が無い状態での設計値を参考として掲載しています。光学系に入射するレーザーは平行光とします。

6339693775603969543648

ビーム径上限値［TEM00］（マスクサイズ）（mm）

UV
20x

NIR/NUV/UV
50x

UV
80xNIR/NUV
100x

ø10（□ 7）

ø9.1（□ 6.5）

ø4.3（□ 3）

ø3.5（□ 2.5）

ø2.8（□ 2）*127*2

ø43

注記

5.2

偏光ユニット

本商品の性能を長期にわたって維持するために、専門技術者による定期点検をお勧めします。
ご購入の代理店か、弊社営業の窓口までご相談ください。

• VMU-L・L4 は偏光ユニットを取り付けると、鏡筒長が 15 mm 長くなります。この状態でレーザー加工を行うと、アナライザユニットが破損する恐れがあります。
• VMU-LB・L4B は、偏光ユニットを取り付けた状態でレーザー加工を行えます。

Tips

定期点検

6

VMU-L・L4 の場合、照明鏡筒部を回転すると、偏光観察時の照度が変化します。最適な位置でご使用ください。

3

困ったときは本商品の使用中にトラブルが発生したときは、以下に記載されている対処方法をお試しください。改善
されない場合は、ご購入の代理店か弊社営業の窓口までご連絡ください。

共通オプション

*3

VMU-L4B（コード No.378-514）
備考

ファイバ照明装置

378-700―

デジタルカメラ ImageX PRO 3000

00AAB008―

定倍観察用カメラマウント

378-087―

フォーカシングユニット（A）

378-705―

フォーカシングユニット（B）

378-706―

簡易スタンド

378-730―

X-Y ステージ

378-020―

マニュアルレボルバ（BF)

378-707―

マニュアルレボルバ（調心・同焦）

378-717―

電動レボルバ（BF、5 穴）

378-713―

偏光ユニット378-710

VMU-L・L4 のみ

偏光ユニット（B）

378-715

VMU-LB・L4B のみ

対物レンズ M/G Plan Apo シリーズ――

対物レンズ M/LCD Plan Apo NIR シリーズ――

対物レンズ M/LCD Plan Apo NUV シリーズ―

VMU-L・LB・L4B のみ

対物レンズ M Plan UV シリーズ―

VMU-L4・L4B のみ〒 213-8533 神奈川県川崎市高津区坂戸 1-20-1

47*3

コード No.

株式会社ミツトヨ

59.5

*1

*1
ø56

23.2
ø3

ø38
ø50
*1

49.5

6-M4×0.7 深さ 6（反対側同位置同数）

50

49.5

27

湿気が少なくカビが発生しにくい場所に保管してください。特に対物レンズなどの光学部品は、ケースに収めて保管してください。

43.5120

上表のマスクサイズを超えるレーザー加工はできません。

品名334727• フォーカシングユニット B を使用すると、フォーカシングユニットと本体の距離を短くできます。

4.3

注記

6-M4×0.7 深さ 6（反対側同位置同数）50• レーザーのパルス幅が短くなる場合、レーザー入力上限値はパルス幅の割合の平方根になります。
例：パルス幅が 2.5 ns のとき、VMU-LB の 1064 nm におけるレーザー入力上限値は 0.050（J/cm2）になります。
NIR/NUV
20x23.2
ø3ø3872

透過率（%）*1
ø56

レーザー入力上限値
0.095 0.075 0.025 0.080 0.015 0.099 0.075 0.025 0.110 0.080 0.035 0.015（J/cm2）
パルス幅（ns）*3*317.5■ 使用しないときの保管方法

59.5102.5• フォーカシングユニット A と簡易スタンドを併用すると、ステージ中央と本体の光軸が一致します。

43.5

レーザー入力上限値とビーム径上限値

ほこりや汚れは、シリコンクロスで軽く拭き取ってください。
表面が変色したり、塗料が剥がれたりする恐れがあるため、洗剤、溶剤および金属磨きなどは使用しないでください。

79.6

2/3 型以下 CCD カメラ（C マウント仕様）

適用カメラ

7.3

308.4

2747

106

M/LCD Plan Apo
M/LCD Plan Apo
M/LCD Plan Apo
M/LCD Plan Apo
NIR シリーズ
NIR/NUV シリーズ
NIR/NUV シリーズ
NIR/NUV シリーズ
M Plan UV シリーズ
M Plan UV シリーズ

3213.4

M/G Plan Apo シリーズ

観察用214.5■ 金属部分の清掃

6-M4×0.7 深さ 6（反対側同位置同数）

502794.5

Tips

308.4

49.5

13.6

倍率

機種名123.2
ø3ø38波長（nm）

使用波長（nm）
2*1
ø5679.6

3y 指紋や油汚れ：レンズペーパーまたはガーゼにごく少量のレンズクリーナーを含ませて拭き取ってください。

注記

95（同焦距離）*1

C マウント（同焦・調心、独立調整機構）

13.6

1y ほこり：レンズ刷毛、または柔らかい毛筆で払うか、ガーゼで軽く拭き取ってください。

• フォーカシングユニット B と電動レボルバは併用できません。

213.4

2727

VMU-L4（コード No.378-508）

レンズやフィルターなどの光学部品の清掃は、次の方法で注意深く行ってください。

• フォーカシングユニット B とマニュアルレボルバを併用する場合、レボルバを VMU アダプ
ターの反対側に取り付けてください。

*3*3

レーザーポート

7.2

2■ 光学部品の清掃

注記

10676

可視光

本商品は、特にほこりや汚れを嫌います。日常の清掃を心がけ、保管方法に注意してください。

VMU アダプター

59.5

308.4

本体に取り付けて、VMUアダプター固定ねじを締め付ける

10079.6

3 フォーカシングユニットを垂直方向（回転可能）

ø43308.4

り付け穴に取り付けて、フォーカシングユニット付属の固定ねじ（六角 M4×6本）を締め付ける

保守・点検

垂直方向

波長

注記

5378-514

43.5

13.6

1 C マウント固定ねじを緩める
2 カメラを C マウントごと回転して、傾きを調整する
3 C マウント固定ねじを締め付ける

フォーカシングユニット A および B
2 VMU アダプターを本体取観察像のピントを調整する

5 観察像の傾きを調整する

5378-513*2

ø43*1 レーザー発振機の使用波長から選択してください。

1
2 C マウントを回転することで上下に動かし、ピントを調整する
3 ピント調整ねじを締め付ける

4378-508

本体質量

ピント調整ねじ（六角 M3×3 本）を緩める

ける

378-507

落射照明光学系

ける

44 レボルバベースを照明鏡筒部にねじ込む
5 レボルバをレボルバベースに取り付ける
6 固定ねじを締め付けたあと、緩み防止ねじを元どおりに取り付

113 カメラを取り付けた C マウントを、定倍観察用カメラマウントに取り付

2

VMU-L4B

1x

レーザー加工用 *12込む

13

VMU-LB95（同焦距離）

1 緩み防止ねじ（六角 M4×3 本）を取り外す
2 緩み防止ねじの奥にある固定ねじ（六角 M4×3 本）を緩める
3 レボルバベースを取り外す

VMU-L4倍率マウント部

2 C マウントを定倍観察用カメラマウントから取り外して、カメラにねじ2 レボルバを照明鏡筒部に取り付ける

VMU-L

213.4

定倍観察用カメラマウントに取り付けて、レーザーポート固定ねじを締め付ける

27

基本仕様

マウント部

44

1 C マウントの付いた定倍観察用カメラマウントを本体のレーザーポート

4795（同焦距離）

53

213.4

ける

35

レーザー発振機を取り付けている場合は、レーザー発振機を取り外してから、定倍観察用カメラマウントを取り付けてください。

16-M4×0.7 深さ 6（反対側同位置同数）

50対物レンズを確実にねじ込む。

106

2

*1

カメラポート2偏光板をアナライザユニットに差し込む

4.454

試料の傾きを直す。

*243.5120

59.595（同焦距離）

3

ø45

27

1 対物レンズマウントをレボルバ付属のレボルバレンチで取り外す
2 照明鏡筒部固定ねじ（六角 M4×3 本）を緩める
3 中間鏡筒固定ねじ（六角 M4×3 本）を緩める
4 中間鏡筒を取り外す
5 照明鏡筒部を本体に取り付けて、照明鏡筒部固定ねじを締め付

ø38

明視野、正立像光学系

VMU-L・L4 の場合

7.1

観察像締め付ける

5専用の対物レンズを準備する。
カバーガラスなどは取り除く。

カメラ取り付け方向

4 照明鏡筒部をアナライザユニットに取り付けて、照明鏡筒部固定ねじを4開口絞りを調整する。

空気以外（カバーガラスなど）の媒質を通して観察していないか。

コード No.

1を締め付ける

123.2
ø3272

*1
ø56

開口絞りを絞りすぎていないか。

機種名

3 アナライザユニットを本体にはめて、アナライザ固定ねじ（六角 M4×3 本）

3*1仕様

光学系

3部を取り外す
中間鏡筒固定ねじ（六角 M3×3 本）を緩めて外し、中間鏡筒を取り外す
照明鏡筒部を本体に取り付けて、照明鏡筒部固定ねじを締め付けるA

1

2 「4.1 レボルバ」の手順 1 に従って中間鏡筒を取り外す

42

7

2

1 偏光板をアナライザユニットから抜き取る

1 対物レンズマウントを付属のレボルバレンチで取り外す
2 照明鏡筒部固定ねじ（六角 M3×3 本）を緩めて外し、照明鏡筒照明輝度を上げる。

116.5

VMU-LB・L4B の場合

VMU-L・L4 の場合

VMU-LB・L4B の場合照明の明るさは十分か。

VMU-L（コード No.378-507）

59

B2 アナライザユニットをスロットに差し込む

A汚れた部分を清掃する。

193

1

カバーリングを、スロット（A）が現れるまで回転するレンズや試料が汚れていないか。

194

B

■

汚れた部分を清掃する。

像が片ぼけしている、 試料が傾いていないか。
あるいは像が流れる 対物レンズのねじ込みは確実か。

A

アナライザユニットの取り付けレンズや試料が汚れていないか。

各部の寸法

17.5

め付ける

開口絞りを調整する。

101.5

3 落射照明ユニットを本体に取り付けて、落射照明ユニット固定ねじを締

2開口絞りを絞りすぎていないか。

79.6

コントラストや解像力など、像の質が悪い

7.4

対策

17.5

1（B）に合わせて取り付けて、偏光ユニット付属の固定ねじ（六角 M3×1 本）を締め付ける• 照明鏡筒部（A）はハーフミラー（B）を内蔵しています。
作業の際は、ハーフミラーに傷が付かないようにご注意ください。

4

戻す

33

1

チェックポイント

視野内に障害物または暗い部分がある

2 ポラライザユニットの突起部（A）を、落射照明ユニットの切り欠き部• 中間鏡筒を取り外さなくてもレボルバの取り付けは可能です。ただし、中間鏡筒を取り付けた状態でレーザー加工を行うと、対物レンズが破損する恐れがありますのでご注意ください。

113.6

現象

1

1 中間鏡筒を取り外す

3

2

3 リリースピンの取り付け位置を変更して、レーザー発振機を元の位置に13 カメラポート固定ねじとカメラポート調心ねじを締め付ける

3y 電動レボルバ（BF、5 穴）：コード No.378-713

リリースピンの取り付け位置を変更して、レーザー発振機の取り付け方向を変えられます（90° 間隔で取り付け可能）。
ただし、偏光特性があるレーザーを使用している場合、レーザー透過率が上下することがありますので、ご注意ください。

レーザー発振機のマスク位置と本商品の中間像位置が、ピント方向にずれている場合

2 カメラポートを水平方向に動かして、観察中心を調整する

1 落射照明ユニット固定ねじ（六角 M3×2 本）を緩めて、落射照明ユニッy マニュアルレボルバ（調心・同焦）：コード No.378-717

A

2 レーザー発振機の固定ねじを締め付ける「■ピントの調整」の手順に従って調整したあと、M4×3 本）を緩める

A

1ポートのリリースピン（A）の位置を合わせて、レーザー発振機をレーザーポートに取り付ける

2y マニュアルレボルバ：コード No.378-707（六角 M4×2 本）を緩めて外し、VMU アダプターを取り外す

1 レーザー発振機のセーフティーインターロック解除ボタンとレーザー例として、対物レンズを複数使用する場合の手順を説明します。

再度観察中心とピントを確認する（必要に応じて本手順を繰り返す）

B「7.2 レーザー• 本商品にレーザー発振機を取り付けて高速・高加減速装置に搭載する場合は、レーザー発振機の重量によっては、レーザー発振機をレーザーマウント部だけでなく、お客様の装置でもサポートするようにご配慮ください。お困りの際は、弊社営業の窓口までご連絡ください。

以下の場合、観察中心とピントを確認します。

■ ポラライザユニットの取り付け

本商品には、以下のレボルバを取り付けることができます。

1 VMU アダプター固定ねじ■ 観察中心とピントの確認

1 カメラポート固定ねじ（六角 M3×3 本）とカメラポート調心ねじ（六角レボルバ

4.2• 本商品で使用可能なレーザーの波長および入力上限値についての詳細は、入力上限値とビーム径上限値」

VMU-LB・L4B の場合

トを本体から取り外す

注記

3■ 観察中心の調整• 偏光特性があるレーザーを搭載している場合、照明鏡筒部を回転するとレーザー透過率が不安定になることがあります。

オプションの取り付け

4.1

レーザー発振機の詳細は、 「レーザー発振機のマニュアル」• レーザー発振機を取り外す際は、レーザー発振機の電源を必ず切ってください。

1

Date of publication: December 1, 20174

3 カメラポートを任意の位置に回転する

5 調整が必要な場合は、 「■観察中心の調整」と3• 照明鏡筒部（A）はハーフミラー（B）を内蔵しています。
作業の際は、ハーフミラーに傷が付かないようにご注意ください。

本商品には本書と保証書のほか、次の付属品が同梱されています。開梱の際は、付属品などの欠品がないか、または輸送中に破損していないかどうかをご確認ください。

• レーザー発振機を取り付ける前に、レーザー発振機のマニュアルの警告事項等を必ずお読みください。

注記

24 最低倍率の対物レンズに切り替えて、観察中心とピントを確認する

2■ ファイバー光源の取り付け方向を変更する場合

付属品の確認

レーザー発振機の取り付け

3 装置の Z 軸を移動してピントを合わせる

故障の原因になるため、過度の力で締めないでください。

注記

4で取り付け可能）

2 装置の X 軸と Y 軸を移動して、試料の任意の位置をモニターの中心に合わせる

3 開口絞りノブを締め付ける

本商品は、コンパクトかつ軽量なカメラ観察専用顕微鏡です。同時に、YAG レーザーを取り付けて、微細加工（半導体回路のカッティング・トリミング、薄膜の除去・加工、液晶カラーフィルターのリペアなど）にも対応できます。

3.5

1y レボルバに対物レンズを複数取り付けて使用する場合

開口絞りを絞りすぎると、解像力が低下するのでご注意ください。

注記

1取り外す

y マスク付きのレーザー発振機を搭載する場合

1 開口絞りノブを少し緩める

概要

2

12

2 開口絞りノブを水平方向に動かして、開口絞りを調整する

1

1 カメラポート回転ねじ（六角 M3×3 本）を緩めて外し、カメラポートを76

本商品の輸出及び日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になる場合があります。

70° を超えてカメラポートを回転する場合

4 カメラポート回転ねじを締め付ける

開口絞りは照明系の開口数を調整するためのものです。像の解像力、コントラスト、および焦点深度に関係します。一般的に、絞りを対物レンズの開口数の 80% 程度に絞ると適度なコントラストで良好な像が得られます。

本商品は、「外国為替及び外国貿易法の輸出貿易管理令別表第 1 若しくは外国為替令別表に定める 16の項」によるキャッチオール規制貨物・キャッチオール規制技術（プログラムを含む）です。

4他社製
ファイバー光源■ 開口絞りの調整

輸出および非居住者への技術提供にあたってのご注意

GIF ユニットのフィルターガラスが、ほこりや指紋などで汚れていないことを確認してください。汚れている場合は、レンズペーパーやガーゼにごく少量のレンズクリーナーを含ませて、軽く拭き取ってください。

27

y 火災、塩害、ガス害、異常電圧、あるいは天災地変等による故障および損傷

Tips

1

1

27

y お買い上げ後の移動、落下、あるいは輸送による故障および損傷

3

ミツトヨ製
ファイバー光源2 ファイバー光源をファイバーポートに差し込む

y 取り扱い上の誤り、あるいは不当な改造や修理による故障および損傷

GIF ユニットを差し込んだ状態でピント位置を調整しています。ピントがずれる恐れがあるため、UV 対物レンズを使用する場合は、必ず GIF ユニットを差し込んでください。

注記

70°

2

2 カメラポート回転ねじの取り付け位置を変えて、仮締めする（60° 間隔（他社製ファイバー光源を使用する場合のみ）

以下の場合には、保証期間内でも有償修理となります。

UV 対物レンズ使用時に、解像力を上げたい場合は、GIF に切り替えてください。

106

本商品は厳重な品質管理のもとで製造されていますが、お客様の正常な使用状態において、万一お買い上げの日から 1 年以内に故障した場合には、無償で修理させていただきます。お求めの代理店あるいは弊社営業の窓口までご連絡ください。

GIF ユニットは、GIF（グリーンフィルター）と平行平面板で構成されています。

1 付属の GIF ユニットをカメラポート部のスロットに差し込む

3 カメラポート回転ねじを締め付ける

ファイバー端面位置（ファイバー有効径ø5 以上）

y 本商品を高速・高加減速装置に搭載する場合は、弊社営業の窓口までご相談ください。

保証

GIF ユニットの取り付け（VMU-L4・L4B のみ）

3

y 直射日光、ごみやほこり、高温多湿を避け、なるべく振動の少ない場所でご使用ください。

注記

3.4

2 カメラポートを任意の位置に回転する

ø14+0.1+0.05

弊社製のファイバー光源（ø10）は、ファイバーポートにそのまま取り付けられます。他社製のファイバー光源（ø14）を使用する場合は、ファイバーポートのファイバースペーサー（A）を取り外します。

3

3 C マウント固定ねじを締め付ける• カメラポート回転ねじを外すときは、カメラポートを手で支えて、カメラポートが落下しないようにご注意ください。落下すると、カメラポートが破損する恐れがあります。

1 カメラポート回転ねじ（六角 M3×3 本）を緩める

12 19
10 (2)y 組み立て時や操作時に各部に衝撃を加えたり、無理な力がかかったりしないように十分ご注意ください。

2 カメラを C マウントごと回転して、傾きを調整する

70° 以内でカメラポートを回転する場合■ ファイバー光源の取り付け

2176

取り扱い上のご注意

ファイバー光源の取り付け376• 本商品を分解、改造しないでください。本商品の性能を損ない、感電、怪我および故障の原因となります。

54

1 C マウント固定ねじ（六角 M4×3 本）を緩める• カメラの重量と取り付け方向によっては、耐荷重が不足し光学性能が低下する恐れがあります。カメラの重量を C マウント部以外でも支えられるように補助固定具を追加してください。

25■ 観察像の傾きの調整

4■ カメラポートの取り付け方向を変更する場合（VMU-LB・L4B のみ）

3A

3 C マウント調整枠を回転することで上下に動かして、ピントを調整する

20.5• 加工物から反射、散乱するレーザーも危険です。レーザー発振時には、加工状態を直接肉眼で見ないでください。また、適切なシールドを加工部の周りに設置してください。

12 C マウントをカメラに取り付ける

注記

25 C マウントを元の位置にはめて、C マウント固定ねじを締め付ける

1 C マウント固定ねじ（六角 M4×3 本）を緩めて、C マウントを取り外す

1

対物レンズのキャップを取り外す

12 C マウント調整枠固定ねじ（六角 M3×2 本）を緩める
4 C マウント調整枠固定ねじを締め付ける■ カメラの取り付け

カメラの取り付け方向を 360° 任意の方向に変更できます。

1 対物レンズのケースを取り外す• レーザー発振時は、必ずレーザー用の保護めがねを着用してください。また、カメラポート部のカメラ取り付け座から本体内部を絶対に覗かないでください。

カメラの取り付け

120.5

対応波長については、 「7.2 レーザー入力上限値とビーム径上限値」」• レーザー光線が直接目に入ると、失明の恐れがあります。レーザー光線は絶対に直接見ないでください。近赤外（1064 nm）、近紫外（355 nm）および紫外（266 nm）のレーザーは目に見えないのでご注意ください。

警告

VMU-L・L4 の場合4 C マウント固定ねじを締め付ける• 本商品が対応している波長のレーザー発振機以外は使用しないでください。

41 C マウント固定ねじ（六角 M4×3 本）を緩めて、C マウントを取り外す

3 カメラを取り付けた C マウントを元の位置にはめる

対物レンズの取り付け

320.5

ご使用の前に、以下の事項をよくお読みの上、正しくお使いください。

4

24 照明鏡筒部固定ねじを締め付ける
本体取り付け穴

55 C マウントを元の位置にはめて、C マウント固定ねじを締め付ける

13 ピンをピン穴にはめる

54 ピント調整ねじを締め付ける

3の位置が合うように、照明鏡筒部を任意の位置に回転する

対物レンズ
例：○○の詳細は、3 C マウント調整枠を回転することで上下に動かして、ピントを調整する

2 照明鏡筒部の上面部に付いているピンと本体底部のピン穴（45° 間隔）

レーザー発振機

22 ピント調整ねじ（六角 M4×4 本）を緩める

1 照明鏡筒部固定ねじ（六角 M4×3 本）を緩める

エンブレムプレート

本書または外部マニュアルに、参照するべき情報がある場合は、参照先を示します。

1 C マウント固定ねじ（六角 M4×3 本）を緩めて、C マウントを取り外す

VMU-L・L4 の場合

背面図

1

VMU-LB・L4B の場合

20.5

本文に記載されている操作方法や手順を特定の条件に適用する場合の参考情報などを示します。

1

117.5

Tips

■ ピントの調整

360

取り扱いを誤った場合、「物的損害の発生が想定される」内容を示します。

26 中間鏡筒、照明鏡筒部、対物レンズマウントを元どおりに取り付ける

GIF ユニット

注記

3 C マウント固定ねじを締め付ける

5 ピンをピン穴にはめる

正面図

カメラ

3

位置が合うように、中間鏡筒を任意の位置に回転する■ 各機器の取り付け位置

取り扱いを誤った場合、「死亡または重傷を負う可能性が想定される」内容を示します。

2 C マウントを水平方向に動かして、観察中心を調整する

4中間鏡筒固定ねじ（六角 M3×3 本）を緩めて外す

4 中間鏡筒の上面部に付いているピンと本体底部のピン穴（45° 間隔）のセットアップ

例：VMU-L4B

5

外す

3

本商品は装置やスタンドに固定して、対物レンズ、カメラおよびレーザー発振機などを取り付けて使用します。

本書で使用されているマーク

2 照明鏡筒部固定ねじ（六角 M3×3 本）を緩めて外し、照明鏡筒部を取り

116.5

ユーザーズマニュアル

六角レンチ
呼び 2.5 *1

*22
1

213.5

VMU-L / VMU-LB / VMU-L4 / VMU-L4B*1

1 C マウント固定ねじ（六角 M4×3 本）を緩める

94.5

ビデオマイクロスコープユニット
VMU シリーズ

警告

VMU-L・L4 の場合*34*1 中間像位置*2 対物レンズ座*3*3 物体面
Printed in Japan