半導体材料ガス検知器

XPS-7

取扱説明書
● この取扱説明書は、必要なときにすぐ取り出して読めるよう、できるだけ身近に大切に保管してください。
● この取扱説明書をよく読んで理解してから正しくご使用ください。

取扱説明書No.
XP S- 7T（09）目次

1

はじめに………………………………………………………………… 1

2

包装内容物の説明……………………………………………………… 2

3センサユニット………………………………………………………… 2

4

各部の名称と説明……………………………………………………… 3

5

使用方法………………………………………………………………… 6５−１

乾電池のセット……………………………………………………６５−２

センサユニットのセット…………………………………………７５−３

電源投入……………………………………………………………８５−４検知…………………………………………………………………８５−５検知終了……………………………………………………………８6ロガー機能……………………………………………………………… 97フィルタの交換方法……………………………………………………10

8日常点検および定期点検………………………………………………119

故障とお考えになる前に………………………………………………11

10 消耗品とオプション品…………………………………………………11
11 保証書と登録カード……………………………………………………1212 仕様………………………………………………………………………13

1

●保管時における環境・処置方法について、下記の事項を必ずお守りください。
警告：高温・多湿の場所に長く放置しないでください。性能を損なう恐れがあります。
注意： 急激な温度・湿度の変化は避けてください。性能を損なう恐れがあります。
注意： 本器を長期間使用しない場合は、電池を取り出した状態で保管してください。

２

包装内容物の説明

包装箱を開けると、下記のものが入っています。使用前に必ずすべてが揃っているか確認してください。
□ガス検知器本体……………… １□ショルダーベルト…………… １□ガス導入管…………………… １□取扱説明書…………………… １

３□フィルタ……………………… ２□単３形アルカリ乾電池……… ４□検査成績書…………………… １□登録カードおよび保証書…… １

センサユニット
型式

対象ガス

XDS －7NH
NH3
XDS －7SH
SiH4
XDS －7DC SiH2Cl2
XDS －7AH AsH3
XDS －7PH
PH3
XDS －7BH B2H6
XDS －7SE H2Se
XDS －7GH GeH4
XDS －7CL
Cl2
XDS －7CFClF3
XDS －7HC
HCl
XDS －7HF
HF
XDS －7HB
HBr
XDS －7NONO
XDS －7HS
H2S
XDS －7COCO
XDS －7DS Si2H6
XDS －7F2
F2
XDS －7OZ
O3F．S

アンモニア
シラン
ジクロルシラン
アルシン
ホスフィン
ジボラン
セレン化水素
ゲルマン
塩素
三フッ化塩素
塩化水素
フッ化水素
臭化水素
一酸化窒素
硫化水素
一酸化炭素
ジシラン
フッ素
オゾン

2段目

100ppm

12ppm

25ppm

25ppm

2.5ppm

5ppm

25ppm

2.5ppm5ppm

250ppb

25ppb

50ppb

1ppm

0.15ppm

0.3ppm500ppb50ppb

100ppb250ppb

25ppb

50ppb

1ppm

0.1ppm

0.2ppm5ppm

0.25ppm

0.5ppm1ppm

0.05ppm

0.1ppm25ppm

2.5ppm

5ppm

10ppm

1.5ppm

3ppm

10ppm

1.5ppm3ppm

100ppm

12ppm

25ppm

50ppm

5ppm

10ppm

250ppm

12.5ppm

25ppm

25ppm

2.5ppm5ppm

5ppm

0.5ppm1ppm

1ppm

0.05ppm

0.1ppm

表以外のガスについてはお問い合わせください。
2

警報設定値
1段目

４

各部の名称と説明

本体部④⑤⑥③②①⑦⑬⑪⑩⑫⑧⑨

番号①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫

名
称は た ら きPOWER ランプ
電源投入時の暖気運転中は緑点滅し、その後緑点灯します。
TROUBLE ランプ トラブル時に黄色点滅します。
検知ガス濃度がガス警報設定値を超えた場合に赤点滅します。
ALARM ランプ
液晶画面
ガス濃度等を表示します。
操作部カバー
キースイッチを操作する際、軽く手前に引いて開けます。
ブザー穴
吸引口
ガスの吸引口です。
ここに導入管を接続します。
外径φ６排気口
ガスの排気口です。
外径φ６アダプタ接続コネクタ AC100V/DC6V専用アダプタ（オプション）を接続します。
電池蓋
電池を入れる際、パチン錠を持ち上げて外します。
センサユニットをセットする際、パチン錠を持ち上げて開けます。
センサ蓋
センサ窓
この窓から搭載センサユニットの確認ができます。
電源OFF時操作部カバーを開けるとLEDが赤点灯していまLEDす。
このLEDは電池を入れると点灯します。
また電池残量が少⑬（電池挿入確認用）なくなると明るくなります。

3キースイッチ①②③⑤⑦④⑥

番号名
称は た ら き① POWER スイッチ 長押しにて電源を入切します。
警 報 設 定 確 認 ス 警報設定値確認用のスイッチです。押すごとに１段目警②報設定値→２段目警報設定値→ガス濃度と変わります。
イッチ③ ブザー停止スイッチ④ ゼロ調整スイッチ 長押しで自動的にゼロ点を調整することができます。
ログデータ収集の際、コミュニケーションアダプタ⑤ CN ジャック｢CA-7｣（オプション）のプラグを接続します。
⑥ 特殊スイッチ
ロガー機能を使用する際に使用します。
⑦ UP、
DOWNスイッチ ロガー機能を使用する際、開始時刻の設定等に使用します。

表示部（液晶画面）●流量低下
流量低下時に点灯します。

●ガス濃度警報
検知ガス濃度がガス警報設定値を超えた場合に点灯します。

●センサトラブル
センサ異常時に点灯します。

●サンプリング流量
通常時：回転／異常時：停止●ガス濃度バーグラフ
フルスケールの５％で１目盛り。バーが右端まで延びるとフルスケールとなります。

●ガス濃度単位付でガス濃度を表示します。

●電池残量表示
電池の残量を示します。

●ログ表示
ロガー機能が働いている時に点灯します。

4

満 量・・・残量無し（点滅）導入管 AS.
●フィルタケース●ホースアダプタ
本体部の吸引口に接続します。

フィルタエレメント（ＦＥ－１１２）が内蔵されています。

●検知棒
ガスの吸引口です。

●ガス導入管長さ約１ｍです。

メモ

導入管の着脱方法●装着方法
導入管先端のホースアダプタを吸引口継手に差し込むとロック爪で固定され、外周がシールされます。
装着後、ホースアダプタを引いて抜けないことを確認してください。
●取り外し方法
継手の開放リングを押しながらホースアダプタを引き抜きます。
開放リング

ホースアダプタ

装着図

取り外し図

5５

使用方法

使用前には必ず日常点検（P11参照）を行ってください。点検を行わずに使用
すると、正常な検知ができない場合があり、漏洩検査等にお役に立てない場合があります。

注意： 本器の電源投入は必ず清浄空気中にて行ってください。ガス雰囲気中で行うと、正常な検知ができません。また、性能を損なう恐れもあります。

5－1

乾電池のセット①電池蓋のパチン錠を持ち上げて、手前に引き電池蓋を取り外します。
②付属の単三乾電池４本を電池 BOX の＋ , －の向きに合わせて正しくセットします。
③電池蓋を元通りに取付けます。

●電池 BOX●電池蓋パチン錠を持ち上げて外します。

警告： 電池は４本同時に新しいものに交換してください。

また、交換時は同一メーカで同一型式としてください。

（電池残量について）
注意： 下記の場合、必ず電池交換をしてください。

① 電源 ON 時、電池残量表示［□］（P －4表示部参照）が点滅した場合。
② 電源 ON 操作をしても起動しない場合。
③ 電源 OFF 時、電池挿入確認用 LED（P3－⑬参照）の赤点灯が非常に高輝度になった場合。
（①の場合に高輝度になります）

6

5－2

センサユニットのセット①センサ蓋のパチン錠を持ち上げて、手前に引きセンサ蓋を開けます。
②センサユニットをセンサ取付口とコネクタの位置に注意して押し込みます。
③センサユニットが確実にセットできたら、センサ蓋を元通りに取付けます。

●センサ●センサ取付口●コネクタ●センサ蓋パチン錠を持ち上げて開けます。

注意： ●センサユニットが十分にはまっていない状態で使用すると気密不良を生じ正常なガス検知ができません。必ず最後まではめ込んでください。
●センサユニットは専用通電台（別売）で通電してください。無通電状態のセンサユニットでは正常なガス検知ができません。また、電源投入時センサトラブルを発する場合があります。尚、本器にセットされている場合は電源を OFF にしてもセンサユニットは通電されています。
（但し、電池残量がある場合）●センサユニットの定期交換時（工場からの輸送）は、本器または専用通電台（別売）に装着して十分通電した後、電源投入して使用してください。
●本器の対応センサユニットは XDS －7です。CDS －7、COS －7、CHS －7等のセンサユニットは使用できません。

7

5－3

電源投入

① POWER スイッチ長押しでブザーが鳴動、POWER ランプ緑点滅し自己診断中（約３０秒）となります。
②自己診断終了後オートゼロ調整が行われ、POWER ランプが緑点灯に変わり測定可能となります。

注意： ●電源投入は清浄雰囲気で行い、暖機運転中はガスを吸引させないでください。正しくゼロ調整されず、正常なガス検知ができません。
●電源断後、電源を再投入する場合は１秒以上時間をおいてから電源投入してください。

5－4

検知

検知しようとするところに検知棒を近づけます。ガスを検知するとガス濃度が表示され、ガス濃度がガス警報設定値を超えると ALARM ランプ、ブザーが動作します。

注意： 水等の液体を吸引させないでください。故障の原因となります。

5－5

検知終了

検知が終了したら、ガス濃度表示が「０」になるまで清浄空気を吸引させた後、POWER スイッチを長押しして電源 OFF にします。

注意： 吸着性ガスを検知対象とする場合は、検知終了後、次回のガス検知に備えて新しいフィルタエレメントに交換するようにしてください。汚れたフィルタエレメントのまま使用すると正しくガス検知できません。

8６

ロガー機能

本体に測定データを最大22時間分記録することができます。記録したデータは別売オプション（10．消耗品とオプション品参照）を使ってパソコンに取り込むことが出来ます。

メモ●ログ開始後10秒毎のガス濃度の最大値を記録します。
●ログデータは本体に上書き保存されるため、古いログデータは消去されます。
●電源を OFF にするとロガー機能は終了します。
●日付設定はありません。
●ログデータのパソコンへの取り込み方法は別冊 ｢XPS −7用ログデータ収集
ソフトウェア XPS7L 取扱説明書 ｣ を参照してください。

①通常状態で DOWN スイッチ（▼）を１回押すと液晶画面右下に ｢LOG｣ と表示され、ログ開始時刻の入力画面になります。

②特殊スイッチを押すと時刻の入力桁が点滅しますの
で、UP、DOWN スイッチ（▲▼）でログ開始時刻を入力します。

（例）ログ開始時刻が ｢ 午後１時20分 ｣ の場合は左画面のように入力します。

③時刻入力後の画面で ZERO スイッチを長押しすると、液晶画面左下に ｢MNT1｣ と表示されログの記録が開始されます。

④ログの記録を終了するには、液晶画面右下に ｢LOG｣が表示されている画面で、ブザー停止スイッチ（Ｂ）を押すと ｢MNT1｣ の表示が消えて終了できます。

99

メモ7

●通常状態で UP スイッチ（▲）または DOWN スイッチ（▼）を数回押すと、液晶画面右下が下記のような表示となりますが、工場出荷時の調整値ですのでお客様では使用いたしません。

フィルタの交換方法①フィルタ押えを検知棒ごと回してフィルタケースから外します。
②フィルタケース内のＯリングとフィルタをピンセット等で取り出します。
③フィルタケースに新しいフィルタを挿入してからＯリングを入れます。
④元通りにフィルタケースを組み立てます。
●フィルタケース
●フィルタ
●Ｏリング
●フィルタ押え回して取り外す。

●検知棒

10

8

日常点検および定期点検
日常点検
ガス導入管の確認
ガス導入管のチューブに損傷がないですか？損傷がある場合は、新しいものと交換してください。
フィルタの確認・フィルタケース内のフィルタが汚れて変色している場合は、交換を行ってください。

定期点検
機器の精度を維持するために、１年に１回以上はお買い上げ店または弊社に点検調整（定期点検）をお申し付けください。
センサユニットは６ヶ月交換となります。

メモ9

本体部のお手入れの際は、柔らかい、水で浸した布等で拭いてください。

故障とお考えになる前に症

原因処
置参照ページ電池の極性が逆正しく入れ直す
P6
POWERスイッチを電池の寿命新しい電池に交換する
長 押ししても電 源
センサユニットがセットが入らない
センサユニットをセットする
P7
されていない
流量低下異常となる フィルタの目詰まり
新しいフィルタに交換する
P10
センサユニットが十分通 センサユニットを十分通
P7電されていなかった電してからセットする。
センサ異常となる
新しいセンサユニットとP7
センサユニットの寿命交換する10状

消耗品とオプション品品

名型式

備
考
対応ガス種については弊社までお問い
センサユニット
XDS －7□
合わせください。
フィルタ（10枚セット）
FE －112AC100V で使用するための専用アダ
AC100V/DC6V専用アダプタ
プタです。
センサユニットを同時に６個通電する通電台
EC －7ことが出来ます。
ログデータ収集ソフトウェア
XPS7L
ログデータをパソコンに取り込む際にコミュニケーションアダプタ
CA －7必要です。
シリアルクロスケーブル KRS-L09-2K
11保証書と登録カード

包装箱の中に、保証書と登録カードが入っています。ご購入時には販売店にて、お買上げ店名、お買上げ年月日を記入することになっておりますので、ご確認をお願い申し上げます。また、登録カードは、お客様と弊社とのパイプ役として活用させていただきますので、ご面倒でも必ずご返送ください。

保守点検のお願い⑴お買い上げいただきましたガス検知器は、精密機器です。精度を維持し、安全を確保して頂くためには、皆様方にお願いする日常点検のほかに、１年に１回以上は、お買い上げ店または弊社に点検・調整定期点検をお申し付けください。なお、日常点検について不明な点は、弊社までお問い合わせください。また、定期点検は定期点検契約により実施させて頂きます。
⑵機器の修理につきましては、お買い上げ店または直接弊社までご連絡ください。
（送料は、お客様負担とさせていただきます。）

保証について保証期間中に、取扱説明書に沿った正常なご使用状態で万一故障した場合には、保証書の記載内容に基づいて修理いたします。詳しくは保証書をご覧ください。

12検 知 対 象 ガ ス 半導体材料ガス
検 知 原 理 定電位電解式
ガ ス 採 気 方 式 ポンプ吸引方式
測 定 範 囲 仕様による
濃 度 表 示 方 式 液晶表示
指 示 精 度 ※ 1 FS ±10％以内
応 答 時 間 ※1 60秒以 内（60％応答）
単３形アルカリ乾電池４本、または DC ６Ｖ（AC100Ｖ ／ DC電源
６Ｖ専用アダプタによる）電池使用時間 ※2 連続１２時間以上（アルカリ乾電池にて無警報時、20℃の場合）
使 用 温 度 範 囲 ０〜40℃
外 形 寸 法 62（Ｗ）×15 0（Ｈ）×12 8（Ｄ）mm（突起部除く）
質量 約1.3kg
認 証 な ど CE（EMC指令、2014/30/EU ）※3 ※4※１
※２※３※４

同一測定条件下による。
環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合があります。
ACアダプター、ログデータ収集ソフトウェア（オプション品）はCEマーキングは適用外となります。（P11参照）
EC-7は海外仕様のみCEマーキングの適用品となります。

13

●この取扱説明書を紛失された場合万一この取扱説明書を紛失された場合は、弊社までご連絡ください。
有償にて送付いたします。

●本取扱説明書の記載内容は、改良等のため予告なく変更する場合があります。
代理店・販売店

この取扱説明書は、再生紙を使用しています。
XPS-7T（09）●●.●●