令和5年6月8日16時～
MeetupChubu Vol.18 「インフォマティクス」
ナゴヤ イノベーターズガレージ ＋ zoom
文科省 マテリアル先端リサーチインフラ 事業説明

文科省マテリアル先端リサーチインフラ (ARIM)
事業のご紹介
＆中部地域で活動するARIM６機関（大学）からのご提案
自然科学研究機構 分子科学研究所
ARIM運営機構業務実施者 太田康仁
名古屋大学
ARIM運営機構業務実施者 大住克史

本日のレシピ
１．ARIM共用設備のご利用手順
２．豊田工業大学から
３．信州大学から

４．北陸先端科学技術大学院大学から
５．名古屋工業大学から６．分子科学研究所から
７．名古屋大学からのご提案文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

事業概要

国家戦略における位置づけ

マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）とは
文科省は、政府の「マテリアル革新力強化戦略」に基づきデータを基軸としたマテリアル研究開発のプラットフォームを整備いたしました。その一翼を担うのが「マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM：エーリム）です。

マテリアルDXプラットフォームの全体イメージ

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

設備共用事業を利用するメリット

企業の方メリット

・自社でラボを持つ必要がない
・自社にない設備で「試作」や「試験」が可能
・専門家（大学教授）の知恵を借りられる・設備利用だけなので、煩雑な「契約書業務」がない
・支援機関の「自主事業」（ARIM外）でも利用可能

大学の方すべて有償でのご利用となります

中小企業
R4年度 82 件

若手研究者
R4年度 1049 件

・自前で設備を買う必要がない
・最新・最先端の設備が利用可能
・技術スタッフとの連携で研究の幅が広がる
・異分野の専門家の知恵を借りられる・質の良いデータを提供することで研究者としてのプレゼンスが高まる文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

事業の役割

ナノプラのレガシー
H24～R03〇設備共用の推進（ナノテクノロジープラットフォームを継承）

・ナノ加工・デバイスプロセス（成膜、露光・描画、プラズマプロセス、エッチング、他）
・計測・分析（電子顕微鏡、表面分析、X線解析、他）
・物質・材料合成プロセス（合成、核磁気共鳴、分光、質量分析、クロマト、物性測定、他）技術による、産学のものづくり支援〇マテリアルデータの蓄積と利活用（ARIMでの新たな挑戦）
・設備利用から創出されたマテリアルデータの蓄積
・マテリアルデータの構造化
・データ利活用環境の構築・提供 ← 2023年秋 発進！
による、産学の「データ駆動型」マテリアル研究開発の支援

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

実施体制
国の定めた強化対象の内、7つの技術グループで活動中です

中部地域に6機関！

技術支援は、どのような技術でも受けられます。
ご安心ください文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

全国25の大学・研究所の叡智が集結！

ARIMを数値でみてみましょう

地図の機関の設備を利用できます

共用設備の検索、利用相談はコチラ！
https://nanonet.mext.go.jp/

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

利用者支援の体制

R4年度利用

2533件

共用設備と共用データの利用を支える専門技術スタッフ：500 名

大学・研究機関の研究者：80 名
ナノ加工・計測・物質合成のための利用可能な共用設備：1100 台

自動制御型パルスレーザﾞ蒸着
ナノマテリアル合成装置 (大阪大)

超高圧電子顕微鏡（名古屋大）

大面積超高速電子ビーム描画装置 （京都大）

量子化学計算（分子研） ※イメージです

全国に配置された 15名の業務実施者が、大学、研究機関の中から、最適な設備をご紹介します。

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

共用設備
・具体的にどの装置を用いるか決まっている場合
・参考になる利用事例がある場合

利用手順

ARIMJapnホームページ
お問い合わせ
業務実施者が対応

まずはお問い合わせ・どの装置を用いたらよいかわからない場合
・やりたいことがわかっているような場合

実施機関窓口

①事前確認

②申請

③審査

④設備利用

⑤報告

⑥成果公開

まずは、実験・測定が可能かどうか、支援担当者にお問い合わせください。

実験・測定が可能と判断されましたら、申請書等を作成して、実施機関窓口にお申し込みください。

申請内容をもとに、本事業での適用の可否を審査します。

本事業での適用が可能と判断されましたら、手続きを行い、申請内容に基づき、施設を利用します。

利用後、利用者には「利用報告書」を提出していただきます。

利用者は成果が上がったものは、学会や論文、特許出願として公表していただきます。

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共用設備

利用相談

業務実施者からご利用者様へご相談内容について• 加工、計測、分析の条件や材料など、できるだけ、詳細をお伝えください。
• 利用したい装置が決まっている場合には上記の他に、システムの詳細、これまでの利用実績などお問い合わせいただいてもかまいません。
• 追加情報が必要な場合は、こちらからお尋ねいたします。

• 複数機関で対応可能な場合は、連絡先をお伝えし、利用者様にお選びいただきます。

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共用設備
協力研究
利用者と支援者が共同で実施する成果公開型研究。データの解析や学術的な議論を含めて共同で行います

技術代行
支援者が利用者に代行して設備を操作します。

R4年度利用

利用形態

2533件

機器利用利用者が自立して自ら機器を操作します。データの解析は利用者が独自に行います。

技術補助
支援者の補助で、利用者が機器を操作します。

技術相談支援担当者等と実験・測定について検討します※事前確認の際にどの形態で行いたいか、各機関の担当者とご相談ください。

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

共用設備

ご利用の条件

利用のポイント

利用料には2つのコース※すべて有償でのご利用となります

１．研究開発が目的（各機関の利用約款に従う）

２．ナノ加工、分析、合成によって得られた「マテリアルデータ」をARIMへ登録（選択制※）※「データ登録あり」 と 「データ登録なし」では、利用料に違いがあります。

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共用設備

利用のポイント

R4年度

申請19件 採択17件

利用料助成制度「試行的利用」のご案内
１．若手研究者（40歳以下）と中小・スタートアップ企業が対象
２．最大20万円（利用料と旅費）
３．随時受付中（予算がなくなり次第終了）

４． 「データ登録」は必須！

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

共用設備

利用のポイント審査があります

詳細はご利用機関の窓口へお問い合わせください
実施要領と申請書はコチラからダウンロードできます。

https://arim.ims.ac.jp/trial/文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

マテリアル強化技術の事例

おまけ・ 高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル （パワーエレクトロニクスデバイス、MEMSデバイス、セラミックデバイス、光や熱を自在に操る部材、IoTセンサ、アクチュエータ等）

・ 革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル （高出力大容量蓄電池、高性能太陽電池、エネルギー変換材料、エネル
ギー貯蔵・輸送材料、高性能モーター、熱電素子等）
・ 量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル （量子センサ、超電導マテリアル、ナノエレクトロニクスデバ
イス、ナノフォトニクスデバイス、スピントロニクスデバイス等）

・ マテリアルの高度循環のための技術 （資源代替技術、資源使用量低減技術、易循環型材料設計技術、副産物を含む未使用資源の有効利用技術、高度素材識別・分離・精製技術等）
・ 次世代バイオマテリアル・次世代高分子マテリアル （高強度・生分解性プラスチック、バイオアダプティブ材料、細胞・組織再生誘導材料、抗ウイルス材料・デバイス、自己修復材料、バイオセンサ・ウェアラブルデバイス等）
・ 次世代ナノスケールマテリアル （二次元薄膜、ナノカーボン、ナノ粒子、ナノワイヤ・ナノファイバー、ナノ多孔体等）
・ 極限機能を有するマテリアル （極限環境構造材料、超耐熱材料、軽量・高強度材料、超低摩擦・低摩耗材料、刺激応答材料等）
・ マルチマテリアル化技術 （異種材料接着・接合技術、溶接技術、３D積層技術、マルチマテリアル化の設計・評価・分析技術、コンポジット材料等）

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

豊田工業大学機関概要

クリーンルームと協力研究室の装置群により、高度なデバイス機能の発現を可能とする技術を提供しています。

“名古屋市”にあります‼

一連の設備が充実
シリコン系（3～4インチ対応）素子の微細加工と関連プロセス設備群を中心に、一連の設備を完備しています。また、電子線描画や酸化・拡散炉など、微細加工に必要な標準設備を揃え、一連の試作を施設内で実施可能です。
常駐技術職員
企業実務経験のある技術職員が管理し、高度な技術指導や委託加工に対応可能。
学内研究者による協力体制
Ⅲ-Ⅴ族、カーボン、磁気材料などナノ構造の加工・計測評価の設備群を提供。

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

豊田工業大学

機関概要

Siと機能材料をHybrid化した微細構造素子や形成技術で実績
磁性細線化合物
10 µm

MEMS

0.5mm

R24

カーボン単層膜60mm

金型に微細加工Si
石英曲面に微細加工
光応用3D
加工の一部のみ、測定のみ の案件にも対応します文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

豊田工業大学

利用のポイント平面だけでなく、立体の金型や電気部品の微細加工が可能

4μmピッチパターン付き凹面金型

4μmピッチL/S
溝付きSi凸レンズ

1mm
圧延ロールから転写された
w2μm抗菌パターン

Φ2mm円柱ピン上の微細パターン

Siチップ
壁面配線

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

豊田工業大学

利用のポイント立体に100万個の微細構造を同時形成（従来より100倍以上速い加工）
紫外線マスクレジスト①SOシートTM上のレジスト膜に露光100mm②変形させて貼り付け＆現像③めっきで硬質材料に500μm

ドット30mm, ピッチ50mm

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

豊田工業大学

利用のポイント

技術代行での試作

プレス転写など評価

微細金型試作

試作に満足したら、技能研修の受講、が可能です文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

豊田工業大学
電子線描画装置CABL-AP50S/RD

描画最小径10nm
つなぎ合わせ精度50nm/最大1000μm
グラデーション歪補正可能⇒ナノ立体加工に応用

新装置
三次元形状測定機VR-6200

計測精度（xy:0.5μm, z:0.4μm）
サイズmm立体上の数μm微細構造評価が可能
連結測定で最大300x150xh69mmまで計測可能
全周測定により断面形状を非破壊計測可能
バリ計測可能文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

豊田工業大学

問い合わせ先豊田工業大学担当窓口

研究支援部 研究協力G

電子メール

arim_office＠toyota-ti.ac.jp

電話
所在地
URL

052-809-1723〒468-8511

名古屋市天白区久方二丁目12番地1

https://arim.toyota-ti.ac.jp/

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

信州大学

概要
ナノスケールマテリアルをめざして、設備を利用した分析支援や合成支援を実施します。

共用設備では、新規導入の高分解能
三次元X線顕微鏡など、特徴的な設備があります。
合成支援では、有機合成支援も実施しています。
https://www.shinshu-u.ac.jp/institution/rism/arim/
詳細は信州大学ARIMホームページをご覧ください。

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

信州大学

オージェ電子顕微鏡（Auger）
高エネルギー分解能で化学状態分析できるオージェです。

利用のポイント：特徴的な設備

飛行時間型質量分析装置（TOF-SIMS）
微量分析に加え表面分析もできます。有機材料の分析例も多い。

ナノインデンター
nmオーダーの押し込み試験で試料表面の機械特性を解析します。

料金は、ホームページhttps://www.shinshu-u.ac.jp/institution/rism/arim/price/をごらんください。
データを提供いただける場合は利用料金が割引になります。技術代行の場合は操作料が課金されます。

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

信州大学

電子プローブマイクロアナライザ（FE-EPMA） （R3年度導入）
高速組成分析に加え、軟X線検出器で化学分析もできるEPMAです。

利用のポイント：新規導入設備

高分解能三次元X線顕微鏡（R4年度導入）
X線CTスキャンですが、分解能が0.5μｍです。
非破壊材料解析に用います。

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

信州大学

利用のポイント：合成支援
有機合成支援（必要な有機材料を合成して提供）
分子研とともに、以前の事業から継続して、独自の合成ノウハウで材料合成の部分を支援しています。

ナノスケールマテリアル合成支援
カーボン系材料などのノウハウを生かし、新規材料の合成をめざす研究を支援します。

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

信州大学

お問い合わせ先

信州大学
窓口担当 信州大学 先鋭材料研究所 基盤分析・高度解析部門
HP
https://www.shinshu-u.ac.jp/institution/rism/arim/

E-Mailm_infra※アドレスの末尾に「@shinshu-u.ac.jp」を補完してください

住所TEL〒380-8553 長野市若里４－１７－１
信州大学 長野（工学）キャンパス
026－269－5670（ARIM事務担当 倉田）文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

北陸先端科学技術大学院大学

概要本学の技術スタッフがあなたの研究をサポートします。

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

北陸先端科学技術大学院大学
核磁気共鳴スペクトル測定装置（NMR）群800MHz, 500MHz,400MHz

質量分析器（MS）群

FT-ICR MS new
MALDI-TOF/TOF MS
GC MS
超高速LC-ESI MS new

装置と料金体系
光電子分光装置群

顕微鏡群

XPS, PYS, IPES

TEM, SEM, AFM,SAM+ GFIS，クリーンルーム，工作室

本学の技術スタッフがあなたの研究をサポートします。

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

北陸先端科学技術大学院大学

最新機器紹介国内大学で初めて導入された最新型のフーリエ変換イオンサイクロトロン共鳴
質量分析計共用開始

2023.6.20(火) 13:00-15:00
本学でセミナー及び装置見学会
参加者募集中！
セミナーのみのオンライン聴講可能
お申し込みはこちらから→

Bruker Daltonics製

scimaX

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

北陸先端科学技術大学院大学

お問い合わせ先北陸先端科学技術大学院大学担当

国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学
ナノマテリアルテクノロジーセンター

E-Mailarim@ml.jaist.ac.jp

住所TEL〒923-1292 石川県能美市旭台1-1
0761-51-1570
本学の技術スタッフがあなた（機関代表：高村由起子）の研究をサポートします。

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋工業大学

技術領域利用のポイント

マテリアルの高度循環のための技術

教員による研究支援を受けられます※技術代行（依頼測定）で受け付けています

どんな測定が向いているかなど、研究相談も行っています
先ずは、受託試験相談フォームでご相談ください。
https://kiki.web.nitech.ac.jp/inquiry/

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋工業大学

メスバウアー分光装置

UV/VIS/NIR分光光度計

特型表面ナノ構造形成装置

プラズマ・ガス凝縮
クラスター堆積装置

分析装置 18台、合成装置 6台

主な共用設備

高精度ガス/蒸気吸着量測定装置

電子スピン共鳴装置

真空蒸着装置
原子分解能
分析電子顕微鏡文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋工業大学

主な共用設備教員による研究支援と、共用設備の連携をご覧ください●エネルギー変換マテリアル分野－白金代替触媒などエネルギーデバイス関連技術－磁性材料、白金フリ ー燃料
電池触媒、次世代電池材料
等のマテリアルデータを担当
共用設備：高周波薄膜透磁率計、高機能分光光度計等

ナノ粒子合成高周波薄膜透磁率計●ナノ構造磁性分野－高性能磁気記録媒体、磁石材料等のエネルギー変換材料－
57Fe メスバウアースペクトルの例

マルチフェロイック物質などの磁性材
料のマテリアルデータを担当
共用設備：メスバウアー分光測定装置、高感度SQUID磁化測定装置等

ＪR チケット

一万円札

Counts

使い捨てカイロ（使用前）
使い捨てカイロ（使用後）クレジットカード
磁気ストライプ

メスバウアー分光-10 -50510Velocity (mm/s)●ナノカーボン系エネルギー材料合成分野－ナノカーボン系電極材料などの革新的電池材料－
ナノカーボン系エネルギー材料の合成と評価のマテリアルデータを担当
共用設備：ナノカーボン室温合成装
置、原子分解能分析電子顕微鏡等

Li-C複合材

研究支援体
制●生体分子合成分野－次世代バイオ・高分子マテリアルの合成技術－
生体分子、錯体など機能性高分子、高度循環型高分子電極材
料等のマテリアルデータを担当
共用設備：単結晶X線構造解析
装置、電子スピン共鳴装置等

単結晶X線構造解析装置●表面・界面物性分野－エネルギーハーベスティング関連技術－
熱電変換材料、SiC半導体デバイス等のマテリアルデータを担当
共用装置：TOF-SIMS、XPS等

Li

TOF-SIMS装置
ナノカーボン室温合成装置

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋工業大学

新規導入設備のご紹介
磁気特性測定システム（MPMS3）

利用のポイント

2023年4月1日より共用開始➢ DC測定に加え、VSMとAC測定が可能です
・主な分析対象
磁性ナノ粒子、セラミックス磁性体、超伝統体、マルチフェロイック材料、等

・従来の装置に比べて短時間で測定できます!

磁性ナノ粒子

超伝導体

マルチフェロイック材料

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋工業大学

新規導入設備のご紹介

利用のポイント

2023年4月1日より共用開始➢ 低温でメスバウアー分光の測定が可能です

メスバウアー分光用無振動型冷凍機

・装置性能および仕様
測定可能原子核：57Fe，119Sn
温度範囲：5 ～ 300 K
制御装置

無冷媒
クライオ
スタット
放射線源

窓

試料ガンマ線振動装置

検出器

メスバウアー分光装置（既存設備）

・分析対象
状態：Fe または Sn を適量含む固体試料（要相談）
試料サイズ：固体粉末，単結晶，薄膜（要相談）
・磁気特性測定システムの連携によりデータの付加価値が高まりました!

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋工業大学

お問い合わせ先

名古屋工業大学

窓口担当 産学官金連携機構 設備共用部門
E-Mailkiki@adm.nitech.ac.jp
技術セミナーなども開催してます。
https://sanren.web.nitech.ac.jp/

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分子科学研究所
支援実績

元素戦略

物質変換

概要

CO2還元などを目指した技術支援

高機能磁性材料、電池正極電解質材料、水素製造触媒、貴金属削減のための新規触媒、金属担持ナノチューブ、希少資源フリー電池、有機エレクトロニクス材料、マルチフェロイック物質、ラジカル化合物、ナノ粒子、昆虫

3次元光学プロファイラーシステム

オペランド 走査プローブ
顕微鏡 （AFM）

電子スピン共鳴（ESR）

核磁気共鳴（NMR）溶液

支援組織
・極端紫外光施設・機器センター・装置開発室（計測・分析技術）
・計算科学研究センター（量子化学計算）

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元素戦略
2023年度

公開シンポジウム

分子研研究会・所長招聘会議

6月15日（木）【ハイブリッド開催】

公開シンポジウム「次世代型元素戦略を考える」
日時

2023年06月15日(木) 13:10 より 16:50 まで

場

所

分子科学研究所（明大寺地区）
研究棟201号室（ハイブリッド開催）

主催

日本学術会議 化学委員会・化学企画分科会
大学共同利用機関法人 自然科学研究機構 分子科学研究所
公益社団法人 日本化学会 戦略企画委員会

詳細・お申込みはコチラ

https://www.ims.ac.jp/research/seminar/2023/03/28_5839.html※現地参加受付8日（木）まで、オンライン参加は12日（月）まで。

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分子科学研究所

利用のポイント

リーズナブルな利用料
大学・公的機関の研究者の方、※技術代行は受け付けていません
無料ですのでデータ登録は必須無料 でご利用いただけます！
こちらに記載の設備をご利用できます（42台）

https://arim.ims.ac.jp/howtouse/list/

企業の方、 有料となります
料金表はコチラhttps://arim.ims.ac.jp/wp-content/uploads/pricelist_2022_1217.pdf

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分子科学研究所未経験者でも機器利用が可能

利用のポイント

施設利用

愛知学院大学

機器の操作は基本的には自身で行っているのですが、トラブルやわからない事があると頻繁に技術職員さん
小川 法子 氏を内線で呼んでおります。皆さんとても親切で、細かな所まで教えてくださるので、こちらもきちんと操作
患者さんの役に立つ製剤の基礎研究を覚える事ができますし、解析ソフトも使えるように～大学にない装置が気軽に使える機器共用～なりました。

教員が研究をサポート

協力研究石川県警察本部科学捜査研究所

有機合成を行うにはノウハウが必要ですし、危険も伴うため、なかなか我々の研究に取り入れることができませんでした。分子科学研究所の支援を受け、自身では合成できなかった化合物の合成経路や合成手法を教えていただき、それによって研究は加速し、論文発表も可能となりました。

村上貴哉 氏

危険ドラッグの鑑定法開発を目指して文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

分子科学研究所

新規導入設備のご紹介

利用のポイント

2023年4月1日より共用開始

SQUID（超伝導量子干渉素子）型磁化測定システム
Quantum Design社製 MPMS-3の導入により、高感度磁化測定が可能となりました。
DC測定に加え、AC測定、超低磁場、電気抵抗測定、高温測定（315～1000 K）が利用可能です。
従来の装置に比べて短時間で目的の温度、磁場に到達が可能であり環境負荷低減も実現できます。
Quantum Design社製 MPMS-3

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

分子触媒・有機化合物・金属錯体設計

有機合成DXのご紹介 自動および手動によるバッチ型反応実験、ならびに、AIやDFT計算によるデータ解析を行い、有機合成分野のデジタル化を支援します。

自動スクリーニング装置

主な支援内

AIワークステーション（GPU: NVIDIA RTX A6000）

ガウシアン用ワークステーション・反応実験に用いる有機低分子化合物の合成支援
・自動スクリーニング装置によるバッチ型反応実験の実施支援
・手動実験による自動実験の検証支援
・有機合成反応のデータ構造化支援
・有機低分子および有機合成反応のDFT計算支援

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

分子科学研究所

お問い合わせ先分子科学研究所
窓口担当

E-Mail分子科学研究所

nano-office

機器センターマテリアル事務室※アドレスの末尾に「@ims.ac.jp」を補完してください

住所TEL〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中380564-55-7337

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名古屋大学
ハブスポーク

概要

政府の重要戦略「革新的マテリアル開発」重要技術領域

横断分野
計測・分析 分野

加工・デバイス
プロセス分野物質・材料合成プロセス 分野【計測・分析 分野（略称：計測）】
最先端の電子顕微鏡、放射光、強磁場 NMR 等を利用した微細な構造解析【加工・デバイスプロセス分野（略称：加工）】
金属、半導体、セラミックス等へのマイクロ・ナノレベルの微細な構造の作り込み、デバイス作成【物質・材料合成プロセス 分野（略称：合成）】(i) 有機合成 , (ii) 無機合成, , (iii)生体関連物質操作, (iv) 素子作製, (v) 構造評価, (vi) 状態評価, , (vii)機能性評価文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋大学

概要

次世代バイオマテリアル
生物学

合成技術

ハブ機関
評価技術

物理

加工技術

（加工）
材料学

合成

化学

計測
システム化された
98 台の装置

生体適合性

バイオアダプティブ材料
バイオアダプティブ材料の領域
MPCポリマーDDG
DDS PMEA
人工骨
再生医療材料
蛍光微粒子
抗ウィルス材料
生分解性材料
現状のバイオ材料

自己修復材料

スマートセル
バイオマス
バイオプラスチック

バイオセンサバイオ以外の支援も充実！

加工

バイオチップ
検査用材料

機能性

北陸先端科学技術
大学院大学
（合成）

公立千歳
科学技術大学（合成）文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋大学
横断分野

計測・分析
【装置数 8】

加工・デバイス
プロセス【装置数 60】

物質・材料合成プロセス【装置数 30】

支援内容

先端電子顕微鏡群による観察・解析・試料作製

薄膜形成・リソグラフィー・
プラズマエッチング技術による加工・評価

ナノバイオ分子・材料評価、キラリティー評価、高分子薄膜構造評価

概要装置の例・反応科学超高圧電子顕微鏡
・電子分光走査透過電子顕微鏡
・高速加工観察分析装置（FIB-SEM）等
・スパッタリング装置
・X線光電子分光装置
・フェムト秒レーザー加工
分析装置 等・超解像顕微鏡・X 線 CT・蛍光ダブルモーダル
in vivo イメージングシステム
・質量分析装置（ESI, MALDI-TOF）等

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋大学 利用のポイント（合成）
小動物用 In vivo
光イメージングとマイクロ CT の複合機
・光イメージングとCTを一度に測定。
自動重ね合わせが可能。
・平均 13mGy の低線量CTスキャンが可能。
・同時にマウス 2 匹のCTスキャンが可能。

・生物発光、蛍光、チェレンコフ光の超高感度測定、3D 解析が可能。

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋大学 利用のポイント（加工）【加工】
生体電気刺激用 Pt 電極の電極表面へのポーラス構造の導入【利用装置：フェムト秒レーザー加工装置】＜概 要＞
生体への電気刺激に用いる Pt 電極の性能向上を目的に、電極表面にポーラス構造を導入して実効的な表面積の増大を試みた。

＜成 果＞
フェムト秒レーザー加工装置により、レーザーパルスを Pt 電極表面へ繰り返し照射を行った。
ポーラス部分は設計通り多数個の微細穴が形成された。
また、スポットを深さ方向に移動しながら加工することで、深さ100 mmを超える高アスペクト比の微細穴の形成に成功した。

フェムト秒レーザー加工装置

図１ Pt 電極表面の SEM 像
15 µmピッチでの微細穴加工（全面加工）に成功

図２ 電極断面の SEM 像
深さ100 µmを超えた微細穴の形成に成功文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋大学 利用のポイント（計測）
地下１階
地上３階の建物に設置

反応科学超高圧電子顕微鏡 (JEM-1000K RS)
メラニン顆粒（黒髪の元）・HOYU（株）今井 健仁（医）博士
・T. Imai et al. Microscopy 2016

地上高約 10 m

キューティクル組織

本体
約 30 t毛髪細胞

SEMと比較して約10倍大きい
SEM

重量 約 300 t 除震台

毛髪メラニンの 3D 構築像

毛髪の断面像1000 kV 超高圧電子顕微鏡

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋大学 利用のポイント（計測）FIB-SEM 高速加工観察分析装置 MI-4000L
試料を削りながらSEMによる試料の連続断面観察が可能

・試料断面観察・リアルタイム SEM・STEM観察
・リアルタイム 3D-EDS
・リアルタイム 3D-EBSD
・Ar/Xe イオンビームシステム
・試料サイズ 4 mm× 4 mm× 2 mm

・金属系材料観察に最適
・生物試料の立体観察
ばね材の三次元構築像（EBSD像）
材料中の結晶の違いを立体的に表示文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ

名古屋大学

お問い合わせ先

名古屋大学
・E-Mail：arim-support@nanobio.nagoya-u.ac.jp
・問合せフォーム：https://nls.mirai.nagoya-u.ac.jp/nextgenbiomater/contact/・住 所：〒464-8603 名古屋市千種区不老町