プラズマインジケータ™
TM

取扱説明書

【構造・サイズ】

Plasma Indicator™
TM

１．主原料 検知部 / 無機酸化物
基材 / シリコン基板

Instruction Manual

２．サイズ 直径：200mm, 厚み：725μm,ノッチ形状：V ノッチ, 変色部厚み約 5μm【内容物】
１．ウエハ型（セラミックタイプ）８インチ シリコン基板
梱包：ウエハケース
２．本説明書【使用方法】
１．変色部を素手で触らないように本製品をケースから取り出し、プラズマ処理効果を確認したい場所に設置してください。変色部分は擦過に弱いため、変色部分が傷ついてしまうと正しく変色しない場合があります。

【安全に正しくお使いいただくために】●ご使用前に本取扱説明書をよく読み、内容をご理解の上でご使用ください。
●取扱説明書および包装容器は使い終わるまで保管してください。
※ 取扱説明書の内容は予告なく改訂されることがあります。
※ 本製品のご利用により、万一装置・製品等に損害・トラブル等が発生した場合、弊社は一切の責任を負いかねます
ので、あらかじめご了承ください。

２．インジケータを設置する際には、必要に応じて適宜固定してください。
３．変色部を触らないように本製品をプラズマ装置から取り出してください。変色部分は擦過に弱いため、傷つけないように目視確認・色差計での計測を実施してください。

【保管方法・使用期限】
１．本製品は直射日光を避け、高温多湿（温度 30℃以下推奨） にならない場所に、未開封もしくは密閉再包装した状態で保管してください。高温、高湿、直射日光によりインジ【特徴・動作原理】
１．本製品は種々のプラズマ処理により色相が変化するインケータが変色したり、目視で変化がなくても変色性能および耐久性が低下する恐れがあります。

ジケータです。プラズマ処理効果を確認したい部分にイン２．本製品を前項に記載した適正な状態で保管し、お手元にジケータを設置することで、電気的・光学的な計測装置を届いてから 1 年以内にご使用ください。開放状態で放置さ利用することなくプラズマ処理効果を確認することができれますと使用期限よりも前に変色性能および耐久性が低ます。

下する恐れがあります。

２．本製品の変色部に形成されている色素が種々のプラズマ

３．酸・アルカリ、酸化・還元剤やその他反応性の物質からはと反応することで、処理時間・出力に応じて変色の程度が隔離して保管してください。これら反応性物質によりインジ変わります。

ケータが変色したり、目視で変化がなくても変色性能およ【使用上の注意】●本製品の変色部分を切断、折曲など形状変形しないでください。性能および耐久性が低下する恐れがあります。
●加温温度 400℃以下でご使用ください。
●インジケータの変色の有無または程度は、お客様のプラズマ装置および同時に処理する品物によって異なります。

び耐久性が低下する恐れがあります。

【その他】●インジケータは有害物質を含んでいません。産業廃棄物として自治体のルールに従って廃棄してください。

【問合せ先】●真空下でも使用できる設計ですが、アウトガスが発生しないものではありません。
●本製品を使用されるにあたり､事前にプラズマ装置およびＰＩ事業部

同時に処理する品物への汚染（コンタミネーション）可能〒578-0901

性について十分検討の上､ご使用ください。

TEL: (072)873-5507

本製品には金属元素が含まれます。

大阪府東大阪市加納 7-18-47
FAX :(072)875-5527

営業時間(土・日・祝日・弊社休日を除く 9：00～12：00、●特殊条件下でのご使用の際には、予めご相談ください。

13：00～17：00 受付)●プラズマ処理後のインジケータは継時的に色が変化する

E-mail: sjk@craypas.co.jp

場合がありますので、記録として保管する用途には適してWEB ｻｲﾄ：https://plazmark.craypas.co.jp/

いません。必要に応じて色度/色差測定などの方法で変PLAZMARK およびＰｌａｓｍａ Ｉｎｄｉｃａｔｏｒは㈱サクラクレパスが日本をはじ色結果を記録ください。安定して測定できる経過時間は、

め主要各国で商標登録を行っています。

Ar の場合処理後 3 時間以内、その他のガスの場合処理
後 24 時間以内です。

2021.5 作成【CONTENTS】
1. PLAZMARK Wafer - Ceramic Type （８ inch,Si）
Packing : wafer case
2. Instruction Manual【FOR SAFETY USE】
● Read this Instruction Manual and understand thecontents before to use.
● Keep this Instruction Manual and Packages until
to finish test.
* The contents of the Instruction Manual may berevised at the maker’s option without anypreannouncement.
* IMPORTANT NOTICE: We are exempt from
responsibility for any damage or trouble on yourequipment or products caused by use of thisproduct.
【FEATURE & FUNCTION】
1. The product is an indicator card of which color
changes by various plasma treatments. Plasma
treatment effect can be observed visually without
any electronic or optical measuring device only
setting the card on the part(s) to be checked theplasma treatment effect.
2. The color changes accordingly to the time andpower of plasma treatment as the color stuffs,
formed on the color change part of the product,
react with various kinds of plasma.
【CAUSION IN USAGE】● Do not deform the color change part such as
cutting or bending.
The efficiency of color change and/or durabilitymay deteriorate.
● Use at lower than 400℃ as heat temperature.
● The efficiency of color change is different on yourplasma equipment or your product to be treated.
● This product is designed to be used in a vacuum.
However it is not free from out-gas.
● Inquire carefully into the possibility ofcontamination of your plasma equipment orobject to be treated before to use this product.
● Inquire to us when to use this product on an
extraordinary condition.

【COMPOSITION & FORM】
1. Main Raw Materials;
・Color materials / Inorganic Oxide
・Substrate / Silicon Wafer2. Size; Substrate / φ200mm×t 725μm
Color Change Part (CCP) / ｔ≒5μm【HOW TO USE】
1. Not touching the CCP with bare hands, take theindicator out of the case and set the indicator on
the part to be detected the plasma treatment
effect. It may not change color correctly when
CCP is damaged as CCP is sensitive to friction.
2. Use it within one year after the receipt. The color
change capability may deteriorate earlier thanthe life time if it is kept unsealed.
Fix the indicator if necessary when to set up.
3. Not touching the CCP, take the card out of theplasma equipment. Execute the measurementby visual check or color measurement
instrument not damaging the CCP which issensitive to friction.
【STORAGE & LIFE】
1. Store avoid direct sunlight, high temperature( Recommended 30 ℃ below ) and highhumidity without unsealing or with resealing.
2. Use it within one year after the receipt. The color
change capability may deteriorate earlier thanthe life time if it is kept unsealed.
3. Store separately from acids, alkalis, reducing
agents and other reactive substances. The
indicator may change color or its capability anddurability may deteriorate by such reactive
substances despite no visually change.
【OTHERS】● The indicator card or label does not include any
toxic substance. Dispose as industrial wastes
accordingly to self-government rules.
【INQUIRY TO】
Plasma Indicator Division〒578-0901 7-18 -47, Kano, Higashi-osaka,Osaka, Japan
TEL:+81-72-873-5507
FAX :+81-72-875-5527
E-mail: sjk@craypas.co.jp
URL：https://plazmark.craypas.co.jp/
PLAZMARK and Plasma Indicator are registered trademarks ofSAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION in Japan and othermajor countries.