AZシリーズ搭載

精密位置決めステージ

高精度・高剛性・高耐久性、世界が認める技術力の位置決めステージにAZ シリーズを組み合わせ、さらに使いやすく進化しました。

WEB サイトで 実力値公開
各ステージの出荷平均値や特殊検査データを神津精機の WEB サイトでご確認いただけます。
神津精機

検索

位置決めステージの種類
直線、上下、回転、揺動機構の 4 種類のステージをご用意しています。

自動 X ステージ

自動 Z ステージ

ステージは様々な利用用途にあわせて組み合わせることも可能です。
組み合わせた状態で出荷可能なので、精度が保証されます。

自動回転ステージ2

自動スイベルステージ

位置決めステージの特徴
試料（サンプル）や加工治具、顕微鏡などを決められた位置まで正確に動かすための機構です。
直線・回転・揺動機構を組み合わせることにより、検査装置や加工機など様々な用途に利用することができます。

高精度高剛性• 位置決め後の安定性が高い• バックラッシが少ない• 回転ステージの偏芯量が少ない• サブミクロンの位置決めが可能• 繰り返し動作時の再現性が高い• 径の大きなクロスローラを使用しているため、高剛性を実現• 外力による影響を受けにくい● 6 軸の剛性検査成績● 精度検査データの実力平均値【自動 X ステージ】

XA05A-R102
精密クロスローラガイド
仕様
平均値≦（μm/ ストローク）
累積リード誤差61.61≦（±μm）
繰返し位置決め精度0.30.06≦（μm)
ロストモーション
10.48≦（μm/ ストローク）
水平10.24
真直度≦（μm/ ストローク）
垂直10.30≦（μm）
バックラッシュ10.20型

XA05A-L202
精密リニアガイド仕様
平均値
154.20
0.5
0.07
10.50
1.00
330.90
10.20

式

上下方向
前 •
後 ×
左 ←
右 →
上 ↑
下 ↓

不要。タクトタイムの短縮に貢献。
●追従性データ0.08

送り量（μm）

ORGからCW方向

CCW-LMからCW方向

前左• 追従性が非常に高く正確な位置決めを行うため、リトライ がCW-LMからCCW方向

右後

たわみ量
4.3μm
4.7μm
32.7μm
32.5μm
29.6μm
29μm

残変位量
0.1μm
0.1μm
0.1μm
0.2μm
0.1μm
0.1μm

✽ 荷重は負荷点（θx 軸回転中心）に 2 kgf

0.06

0.04

長寿命

0.02

0050

100

150

200

250300測定ポイント350

400

450500測定環境：恒温恒湿室（23˚C±1˚C 50%RH2%）
測定機器：レーザー測長器（Agilent 製 5530A）
荷重：0kgf
測定内容：ドライバ分割 1/2 にてストローク内、任意の 3ヶ所に 500 ポイント
での測定

• 駆動をギヤからボールネジに変え、長寿命を実現した
ステージのラインアップ• オーバーホール対応を実施、長期間の使用が可能

用途例・使用例
用途、精度に応じた適切な組み合わせをご提案いたします。

X 線 CT 用高精度ユニット

表面計測システム

液晶パネル貼り合わせ用途

その他利用用途
・デジカメ、ムービー

・CCD カメラ組み立て

・LED プリンタ光学エンジン組み立て

・光ファイバー調芯・中小型液晶貼り合わせ・半導体製造装置

・各種光学分析機器

・カメラモジュールのアクティブアライメント

等

3

駆動モーターはハイブリッド制御システム
AZ シリーズ
高トルク

高応答低振動ハンチングレス

高効率

バッテリレスアブソリュートセンサ搭載
小型の機械式多回転アブソリュートセンサ＜ ABZO センサ＞を開発しました。
生産性の向上や、コスト削減に貢献できます。

ABZOセンサ

ハイブリッド制御システム
AZ シリーズ

AZ シリーズ搭載ステージの特徴

外部センサ不要

従来品に搭載されていたセンサが不要になります。

アブソリュートシステムのため、原点センサ、リミットセンサなどの外部センサが不要です。 外部センサが不要になるため、テーブル周りのセンサの配線が無くなります。

◇ 高速原点復帰◇高速原点復帰

外部センサを用いずに原点復帰が可能なため、センサ感度を気にせず高速で原点復帰がおこなえ、マシンサイクルの短縮につながります。

◇ コストダウン◇コストダウン

センサ費用や配線費用が削減でき、システムコストダウンが図れます。

◇ 省配線
◇省配線

省配線となり、装置設計の自由度がアップします。

◇外部センサ誤動作の影響を受けない◇ 外部センサ誤作動の影響をうけない

外部センサの誤動作や故障、断線といった心配がありません。

◇簡単な原点設定◇ 簡単な原点設定

ドライバ表面のスイッチを押すことで簡単に原点を設定でき、ABZO センサで原点位置を保存します。

バッテリレス

機械式センサのためバッテリが不要です。 位置情報は ABZO センサで機械的に管理されているため、電源を落としても、モーター／ドライバ間のケーブルを外しても、位置情報を保持できます。

◇ メンテナンスの削減◇メンテナンスの削減

バッテリの交換が必要がなく、メンテナンスの手間やコストを削減できます。

◇ 自由なドライバの設置◇自由なドライバの設置

バッテリ交換用のスペース確保も不要なため、ドライバの設置場所の制約がなく、制御盤等のレイアウト設計の自由度が上がります。

4◇ 海外輸送も安心◇海外輸送も安心

バッテリは自己放電するため、海外輸送といった長期間の装置搬送では注意が必要です。ABZO センサはバッテリ不要であり、位置情報の保持に期限はありません。 またバッテリを海外に輸出する際の各種規制等も考慮する必要がありません。

◇ モーター／ドライバ間のケーブルを外しても位置保持◇モーター／ドライバ間のケーブルを外しても位置保持
位置情報は ABZO センサ内で保持します。

上位システムに合わせて選べるドライバ

位置決め機能RS-485 通信付き パルス列入力
内蔵タイプ パルス列入力タイプ
タイプ

ネットワーク対応
多軸ドライバ◇位置決め機能内蔵タイプ◇ 位置決め機能内蔵タイプ

運転データをドライバに設定し、上位から運転データの選択、実行をするタイプです。上位との接続、制御は I/O、Modbus（RTU）、RS-485 通信、FA ネットワークのいずれかでおこなえます。
● I/O で制御する場合
CPU
電源

I/O

位置決めユニット不要● コンピュータまたはタッチパネルから制御する場合● シリアル通信で制御する場合
電源CPU
シリアル通信ユニット● FA ネットワークで制御する場合
CPU
電源

FA ネットワークユニット

ドライバ

FA ネットワーク

Modbus（RTU）

I/Oネットワーク
コンバータ
（別売）

Modbus（RTU）

RS-485モーターの運転に必要な情報をドライバに持たせるため、上位 PLC の負担が軽減します。
複数軸制御の場合のシステム構成がシンプルになります。 サポートソフト、もしくは RS-485
通信による設定となります。           FLEX（フレックス）とは、I/O 制御、Modbus（RTU）制御、ネットワークコンバータ経由での FA ネットワーク制御に対応した製品の総称です。

◇ RS-485◇
RS-485通信付き通信付きパルス列入力タイプ
パルス列入力タイプ

ドライバに対してパルスを入力することで運転を実行するタイプです。 お客さまがご用意する位置決めユニット（パルス発振器）からモーターの制御をおこないます。RS-485 経由でモニタすることができます。

◇ パルス列入力タイプ◇パルス列入力タイプ

ドライバに対してパルスを入力することで運転を実行するタイプです。 お客さまがご用意する位置決めユニット（パルス発振器）からモーターの制御をおこないます。

位置、速度

コンピュータまたはタッチパネルから制御する場合
電源CPU
シリアル通信ユニット

パルス列入力電源

CPU
I/O

位置決めユニット

位置決めユニット

位置、速度

パルス列入力Modbus（RTU）
モーターのステータス情報◇ ネットワーク対応 多軸ドライバ◇ネットワーク対応多軸ドライバ

SSCNET III/H、MECHATROLINK-III、EtherCATドライブプロファイルに対応した多軸ドライバです。
2 軸、3 軸、4 軸接続できるドライバをご用意しています。
上位システム
マスタ機器

ハイブリッド制御システム
AZシリーズ 多軸ドライバ DC電源入力●●●

自動Xステージ

自動Zステージ

自動回転ステージ

自動スイベルステージ

は三菱電気株式会社の登録商標または商標です。
は CC-Link 協会、は MECHATROLINK 協会の登録商標です。
は、ドイツのベッコフオートメーション株式会社がライセンスを供与した登録商標です。

5

種類と価格●位置決めステージ◇自動 X ステージ
品名
XA05A-R102-AZ01
XA05A-R202-AZ01
XA05A-L202-AZ01
XA07A-R103-AZ01
XA07A-R202-AZ01
XA07A-L202-AZ01◇自動 Z ステージ
品名
ZA05A-W101-AZ01
ZA07A-W2C02-AZ01
ZA07A-V1F01-AZ01◇自動回転ステージ
品名
RA05A-W02-AZ01
RA07A-W02-AZ01
RA07A-T02-AZ01

定価191,600 円
191,600 円
243,400 円
207,000 円
207,000 円
259,800 円

定価
224,600 円
309,400 円
321,100 円

定価248,100 円
279,900 円
290,400 円◇自動スイベルステージ
品名
SA05B-RT02-AZ01
SA05B-RM02-AZ01
SA05B-RB02-AZ01
SA05B-RS02-AZ01
SA05B-RL02-AZ01
SA05A-R2T01-AZ01
SA05A-R2M01-AZ01
SA05A-R2B01-AZ01
SA05A-R2G01-AZ01
SA05A-R2S01-AZ01
SA05A-R2L01-AZ01
SA05A-R2BG01-AZ016

定価230,400 円
230,400 円
230,400 円

460.800 円

460,800 円
236,300 円
236,300 円
236,300 円
236,300 円
472,600 円
472,600 円
472,600 円

品名
SA07A-RT02-AZ01
SA07A-RM02-AZ01
SA07A-RB02-AZ01
SA07A-RS02-AZ01
SA07A-RL02-AZ01
SA07A-R2T01-AZ01
SA07A-R2M01-AZ01
SA07A-R2B01-AZ01
SA07A-R2S01-AZ01
SA07A-R2L01-AZ01

定価231,700 円
231,700 円
231,700 円
433,400 円
433,400 円
236,300 円
236,300 円
236,300 円
472,600 円
472,600 円

● ドライバ●ドライバ● ◇位置決め機能内蔵タイプ◇位置決め機能内蔵タイプ
電源入力
DC24/48V

品名
AZD-KD◇多軸ドライバ◇ 多軸ドライバ

定価42,900 円

電源入力

品名
軸数
AZD2A- □2軸
AZD3A- □DC24/48V
3軸
AZD4A- □4軸●●□にはネットワークの種類を表すす記号が入ります。
□ にはネットワークの種類を表す記号が入りま◇ RS-485◇
RS-485通信付きパルス列入力タイプ
通信付きパルス列入力タイプ
電源入力
DC24/48V

品名
AZD-KX◇ パルス列入力タイプ◇パルス列入力タイプ
電源入力
DC24/48V

品名
AZD-K

定価
42,900 円

定価
88,000 円
116,000 円
140,800 円

SSCNET Ⅲ /H 対応：KS3
MECHATROLINK- Ⅲ対応：KM3
EtherCAT ドライブプロファイル対応 ：KED

定価37,400 円●●接続ケーブルセット／可動接続ケーブルセット
接続ケーブルセット／可動接続ケーブルセット

ケーブルが屈曲される場合には、可動接続ケーブルをお使いください。
モーターから出ているモーターケーブルは、ドライバに直接接続できません。ドライバに接続する場合は、接続ケーブルをお使いください。

◇ モーター／エンコーダ用◇モーター／エンコーダ用
種類

長さL（m）
品名
CC005VZ □ F20.5CC010VZ □ F21CC015VZ □ F21.5CC020VZ □ F22CC025VZ □ F22.5接続
CC030VZ □ F23ケーブル
CC040VZ □ F24セット
CC050VZ □ F25CC070VZ □ F27CC100VZ □ F210CC150VZ □ F215CC200VZ □ F220●●□にはネットワークの種類を表す記号が入ります。
□にはモーター型式の種類を表す記号が入ります。

定価
3,300 円
3,300 円
3,800 円
4,400 円
4,900 円
5,500 円
8,500 円
9,600 円
11,900 円
15,500 円
21,400 円
27,200 円

種類

長さ可動接続ケーブルセットL（m）
0.511.522.53457101520

品名CC005VZ □ R2
CC010VZ □ R2
CC015VZ □ R2
CC020VZ □ R2
CC025VZ □ R2
CC030VZ □ R2
CC040VZ □ R2
CC050VZ □ R2
CC070VZ □ R2
CC100VZ □ R2
CC150VZ □ R2
CC200VZ □ R2

定価7,400 円
7,400 円
8,000 円
8,700 円
9,200 円
9,700 円
11,100 円
12,400 円
15,800 円
20,700 円
29,200 円
37,500 円

2：AZM15、AZM24、AZM26
なし：AZM46●●多軸ドライバ専用接続ケーブルセット／可動接続ケーブルセット
多軸ドライバ専用接続ケーブルセット / 可動接続ケーブルセット

ケーブルが屈曲される場合には、可動接続ケーブルをお使いください。
モーターから出ているモーターケーブルは、ドライバに直接接続できません。ドライバに接続する場合は、接続ケーブルをお使いください。

◇ モーター／エンコーダ用◇モーター／エンコーダ用
種類

長さL（m）
品名
CC005VZ □ FA
0.5CC010VZ □ FA
1CC015VZ □ FA
1.5CC020VZ □ FA
2CC025VZ □ FA
2.5CC030VZ □ FA
3接続ケーブル
CC040VZ □ FA
4CC050VZ □ FA
5CC070VZ □ FA
7CC100VZ □ FA
10CC150VZ □ FA
15CC200VZ □ FA
20●●□にはネットワークの種類を表す記号が入ります。にはモーター型式の種類を表す記号が入ります。

定価
6,200 円
6,200 円
6,700 円
7,000 円
7,500 円
8,000 円
8,800 円
9,600 円
11,900 円
15,500 円
21,400 円
27,200 円

種類

可動接続
ケーブル

長さL（m）
0.5
1
1.5
22.53457101520

品名CC005VZ □ RA
CC010VZ □ RA
CC015VZ □ RA
CC020VZ □ RA
CC025VZ □ RA
CC030VZ □ RA
CC040VZ □ RA
CC050VZ □ RA
CC070VZ □ RA
CC100VZ □ RA
CC150VZ □ RA
CC200VZ □ RA

定価
7,400 円
7,400 円
8,000 円
8,700 円
9,200 円
9,700 円
11,100 円
12,400 円
15,800 円
20,700 円
29,200 円
37,500 円

2：AZM15、AZM24、AZM26
なし：AZM46
ご注意●多軸ドライバ専用のケーブルは、接続ケーブルのみご用意しています。AZ シリーズの中継ケーブルはお使いになれません。

ドライバとケーブルは AZ シリーズと共通です。
下記内容については AZ シリーズの製品カタロ
グをご覧ください。

ハイブリッド制御システム

AZシリーズ

バッテリレス アブソリュートセンサ搭載

ハイブリッド制御システム アルファステップ■一般仕様■ドライバ仕様■ RS-485 通信仕様
■外形図
■接続と運転■オプション（中継ケーブルセット）7

自動 Xステージ
案内方式：精密クロスローラガイド、精密リニアガイド
送り方式：研削ネジ、ボールネジ

● 仕様
●仕様

型 式
テーブルサイズ
案内方式
移動範囲
送り方式

分解能

基本ステップ角（1,000p/r 設定時）

基本ステップ角（10,000p/r設定時）

最高速度
累積リード誤差繰返し位置決め精度
ロストモーション
水平真直度
垂直バックラッシュ
モーメント荷重
水平耐荷重
材質
外観
自重
搭載モーターXA05A-R102-AZ01

XA05A-R202-AZ01
50mm×50mm
精密クロスローラガイド±7.5mmXA05A-L202-AZ01
精密リニアガイド±25mm

XA07A-R202-AZ01
70mm×70mm
精密クロスローラガイド±10mm

XA07A-L202-AZ01
精密リニアガイド±35mm

研削ネジ、
リード 0.5mm

ボールネジ、
リード 1.0mm

研削ネジ、
リード 0.5mm

ボールネジ、
リード 1.0mm

0.5μm

1μm

0.5μm

1μm

0.05μm0.1μm0.05μm0.1μm

2.5mm/sec
10mm/sec
2.5mm/sec
10mm/sec≦ 6μm/15mm≦ 5μm/15mm≦ 15μm/50mm≦ 10μm/20mm≦ 5μm/20mm≦ 15μm/70mm≦ ±0.3μm≦ ±0.2μm≦ ±0.5μm≦ ±0.3μm≦ ±0.2μm≦ ±0.5μm≦ 1μm≦ 0.5μm≦ 1μm≦ 1μm≦ 0.5μm≦ 1μm≦ 1μm/15mm≦ 3μm/50mm≦ 0.5μm/20mm≦ 3μm/70mm≦ 1μm/15mm≦ 3μm/50mm≦ 1μm/20mm≦ 3μm/70mm≦ 1μm≦ 0.2μm≦ 1μm≦ 1μm≦ 0.2μm≦ 1μm0.31 arcsec/N·cm
0.26 arcsec/N·cm
0.10 arcsec/N·cm
0.26 arcsec/N·cm
49N（5kgf）
98N（10kgf）
68.6N（7kgf）
アルミ合金
白色仕上げ
0.44kg0.78kg0.96kg0.63kg1.16kg
AZM24AKAZM46AKAZM24AK●クリーン、 真空グリスへ変更可能です。 交換費が発生しますので、 詳細はお問い合わせください。

● クリーン、真空グリスへ交換可能です。 交換費が発生しますので、詳細はお問い合わせください。

8

XA07A-R103-AZ01

自動 Z ステージ
案内方式：精密クロスローラガイド、 四面フラットローラガイド
送り方式：研削ネジ、 ボールネジ

●●仕様
仕様

型 式
テーブルサイズ
案内方式
移動範囲送り方式分解能

基本ステップ角（1,000p/r 設定時）

ZA05A-W101-AZ01
ZA07A-W2C02-AZ01
50mm×50mm
精密クロスローラガイド±4mm±2.5mm

1/2- クサビ、研削ネジ、
リード 0.5mm

基本ステップ角（10,000p/r設定時）

最高速度
繰返し位置決め精度
ロストモーション
垂直度
水平耐荷重
材質
外観
自重
搭載モーターZA07A-V1F01-AZ01

1/4- クサビ、ボールネジ、
リード 1.0mm

0.25μm

四面フラットローラガイド±10mm
1/2- ベルト、研削ネジ、
リード 0.5mm

0.25μm

0.025μm

0.025μm

2.5mm/sec

2.5mm/sec≦ ±0.5μm≦ 0.3μm≦ 5μm/5mm≦ 2μm≦ 6μm/8mm
39.2N（4kgf）≦ 2μm≦ 6μm/20mm
117.6N（12kgf）

アルミ合金
白色仕上げ
1.28kg0.46kg
AZM15AK

1.97kg

自動回転ステージ
案内方式：アンギュラベアリング、クロスローラベアリング
送り方式：ウォーム & ウォームホイール、タンジェントバー方式

●●仕様
仕様

型 式
テーブルサイズ
案内方式
回転範囲
送り方式

分解能

RA05A-W02-AZ01
RA07A-W02-AZ01
Φ 49mm
Φ 68mmアンギュラベアリング
360˚
ウォーム & ウォームホイール

基本ステップ角（1,000p/r 設定時）

基本ステップ角（10,000p/r設定時）

最高速度
累積誤差
ロストモーション
角度再現性
ピッチ誤差
バックラッシュ面振れ
偏心モーメント荷重
水平耐荷重
材質
外観
自重
搭載モーター≦ 0.02˚/360˚≦ 0.009˚≦ 0.005˚≦ 0.015˚/4˚

1/90

RA07A-T02-AZ01
70mm×70mm
クロスローラベアリング±5˚
タンジェントバー方式（ボールネジ）

0.004˚≈ 0.001364˚

0.0004˚≈ 0.0001364˚

20˚/sec≦ 0.015˚/360˚≦ 0.006˚≦ 0.003˚≦ 0.01˚/4˚≦ 0.001˚≦ 20μm/360˚≦ 5μm/360˚
0.82 arcsec/N·cm
0.51 arcsec/N·cm
39.2N（4kgf）
58.8N（6kgf）
アルミ合金
白色仕上げ
0.7kg
1.32kg
AZM26AKAZM46AK

13.64˚/sec−≦ 0.005˚≦ 0.002˚−≦ 0.005˚≦ 5μm/±5˚≦ 5μm/±5˚
0.15 arcsec/N·cm
78.4N（8kgf）

0.94kg
AZM24AK

真空グリスへ変更可能です。 交換費が発生しますので、詳細はお問い合わせください。
●●クリーン、クリーン、真空グリスへ交換可能です。
交換費が発生しますので、詳細はお問い合わせください。

9自動スイベルステージ
案内方式：精密クロスローラガイド
送り方式：ウォーム & ウォームホイール

● 仕様
●仕様

◇◇テーブルサイズ
50 ㎜×50 ㎜
テーブルサイズ
50mm×50mm
型 式
テーブルサイズ
案内方式

SA05B-RT02-AZ01

回転範囲

SA05B-RM02-AZ01±10˚±8˚

送り方式

ウォーム & ウォームホイール

減速比
分解能

基本ステップ角（1,000p/r 設定時）
基本ステップ角（10,000p/r 設定時）

最高速度
繰返し位置決め精度
ワークディスタンス
回転中心変位量
ロストモーション
バックラッシュモーメント荷重
水平耐荷重
材質
外観
自重
搭載モーター※1※2

SA05B-RB02-AZ01
50mm×50mm
精密クロスローラガイド

232

300

3720.00155˚

0.0012˚

0.00097˚

0.000155˚

0.00012˚

0.000097˚

7.76˚/sec

6˚/sec4.8˚/sec

50mm±0.2mm
68mm±0.2mm
Φ 0.05mm/±10˚

0.31 arcsec/N·cm
29.4N（3kgf）

0.62kg≦ ±0.001˚
86mm±0.2mm
Φ 0.05mm/±8˚≦ 0.003˚≦ ≦0.001˚±10˚（RM）±8˚（RB）

232（RT）
300（RM）
0.00155˚（RT）
0.0012˚（RM）
0.000155˚（RT）
0.00012˚（RM）
7.76˚/sec（RT）
6˚/sec（RM）

300（RM）
372（RB）
0.0012˚（RM）
0.00097˚（RB）
0.00012˚（RM）
0.000097˚（RB）
6˚/sec（RM）
4.8˚/sec（RB）

50mm±0.4mm
Φ 0.1mm/±10˚

68mm±0.4mm
Φ 0.1mm/±8˚0.92 arcsec/N·cm19.6N（2kgf）

1.24kg

AZM26AK

SA05B-RL02-AZ01 は、SA05B-RM02-AZ01 と SA05B-RB02-AZ01 の組み合わせです。

SA07A-RT02-AZ01

回転範囲

SA07A-RM02-AZ01

±10˚

減速比

分解能

基本ステップ角（1,000p/r 設定時）

基本ステップ角（10,000p/r 設定時）

最高速度
繰返し位置決め精度
ワークディスタンス
回転中心変位量
ロストモーション
バックラッシュモーメント荷重
水平耐荷重
材質
外観
自重
搭載モーター

SA07A-RB02-AZ01
70mm×70mm
精密クロスローラガイド
±8˚

送り方式

ウォーム & ウォームホイール
235

300

3750.00153˚

0.0012˚

0.00096˚

0.000153˚

0.00012˚

0.000096˚

7.66˚/sec

6˚/sec4.8˚/sec

70mm±0.2mm
96mm±0.2mm
Φ 0.05mm/±10˚

0.09 arcsec/N·cm
49N（5kgf）

1.06kg≦ ±0.001˚
122mm±0.2mm
Φ 0.05mm/±8˚≦ 0.003˚≦ 0.001˚

アルミ合金
白色仕上げ
AZM46AKSA07A-RS02-AZ01 は、SA07A-RT02-AZ01 と SA07A-RM02-AZ01 の組み合わせです。

SA07A-RL02-AZ01 は、SA07A-RM02-AZ01 と SA07A-RB02-AZ01 の組み合わせです。

●クリーン、真空グリスへ変更可能です。 交換費が発生しますので、詳細はお問い合わせください。
● クリーン、真空グリスへ交換可能です。
交換費が発生しますので、詳細はお問い合わせください。

10±10˚

SA05B-RS02-AZ01 は、SA05B-RT02-AZ01 と SA05B-RM02-AZ01 の組み合わせです。

型 式
テーブルサイズ案内方式※2

SA05B-RL02-AZ01 ※ 2真鍮
白色梨地仕上げ

70 ㎜×70 ㎜◇◇テーブルサイズ
テーブルサイズ
70mm×70mm※1

SA05B-RS02-AZ01 ※ 1

SA07A-RS02-AZ01 ※ 1

SA07A-RL02-AZ01 ※ 2±10˚±10˚（RM）±8˚（RB）

235（RT）
300（RM）

300（RM）
375（RB）

0.00153˚（RT）
0.0012˚（RM）

0.0012˚（RM）
0.00096˚（RB）

0.000153˚（RT）
0.00012˚（RM）

0.00012˚（RM）
0.000096˚（RB）

70mm±0.4mm
Φ 0.1mm/±10˚

96mm±0.4mm
Φ 0.1mm/±8˚

7.66˚/sec（RT）
6˚/sec（RM）

6˚/sec（RM）
4.8˚/sec（RB）

0.28 arcsec/N·cm
39.2N（4kgf）

2.12kg自動スイベルステージ
案内方式：精密クロスローラガイド
送り方式：ボールネジ●●仕様
仕様◇◇テーブルサイズ
50 ㎜×50 ㎜
テーブルサイズ
50mm×50mm型

式

テーブルサイズ
案内方式
回転範囲

SA05A-R2T01-AZ01

SA05A-R2M01-AZ01

SA05A-R2B01-AZ01

±5˚

±4.5˚

±3.5˚

≈0.001063˚≈0.000797˚≈0.000637˚≈0.0001063˚≈0.0000797˚≈0.0000637˚≈0.0000531˚

21.3˚/sec

15.9˚/sec

12.7˚/sec

10.6˚/sec

50mm±0.2mm

68mm±0.2mm

86mm±0.2mm
Φ0.05mm/±3.5˚

送り方式
分解能

基本ステップ角（1,000p/r 設定時）

基本ステップ角（10,000p/r設定時）

最高速度
繰返し位置決め精度ワークディスタンス
回転中心変位量
ロストモーション
バックラッシュモーメント荷重
水平耐荷重
材質
外観
自重
搭載モーター※1※2※3Φ 0.05mm/±5˚

Φ 0.05mm/±4.5˚50mm×50mm
精密クロスローラガイド±5˚（R2T）±3˚±4.5˚（R2M）

SA05A-R2BG01-AZ01 ※3±4.5˚（R2M）±3.5˚（R2B）±3.5˚（R2B）±3˚（R2G）

0.41 arcsec/N·cm≈0.0001063˚（R2T）≈0.0000797˚（R2M）≈0.0000637˚（R2B）≈0.0000797˚（R2M）≈0.0000637˚（R2B）≈0.0000531˚（R2G）
21.3˚/sec（R2T）
15.9˚/sec（R2M）≦ ±0.003˚
104mm±0.2mm50mm±0.4mm
Φ 0.05mm/±3˚Φ 0.1mm/±4.5˚≦ 0.003˚≦ 0.003˚
29.4N（3kgf）
アルミ合金
白色仕上げ

0.3kg

15.9˚/sec（R2M）
12.7˚/sec（R2B）

12.7˚/sec（R2B）
10.6˚/sec（R2G）

68mm±0.4mm
Φ 0.1mm/±3.5˚

86mm±0.4mm
Φ 0.1mm/±3˚

1.20 arcsec/N·cm

0.6kg

AZM15AKSA05A-R2S01-AZ01 は、SA05A-R2T01-AZ01 と SA05A-R2M01-AZ01 の組み合わせです。

SA05A-R2L01-AZ01 は、SA05A-R2M01-AZ01 と SA05A-R2B01-AZ01 の組み合わせです。
SA05A-R2BG01-AZ01 は、SA05A-R2B01-AZ01 と SA05A-R2G01-AZ01 の組み合わせです。

型式

テーブルサイズ
案内方式
回転範囲

SA07A-R2T01-AZ01

SA07A-R2M01-AZ01±5˚±4.5˚

送り方式
分解能

基本ステップ角（1,000p/r 設定時）

基本ステップ角（10,000p/r設定時）

最高速度
繰返し位置決め精度
ワークディスタンス
回転中心変位量
ロストモーション
バックラッシュモーメント荷重
水平耐荷重
材質
外観
自重搭載モーター※2

SA05A-R2L01-AZ01 ※2

ボールネジ、リード 1.0mm≈0.001063˚（R2T） ≈0.000797˚（R2M） ≈0.000637˚（R2B）≈0.000531˚≈0.000797˚（R2M） ≈0.000637˚（R2B） ≈0.000531˚（R2G）◇ テーブルサイズ◇テーブルサイズ
70 ㎜×70 ㎜
70mm×70mm※1

SA05A-R2S01-AZ01 ※1

SA05A-R2G01-AZ01

SA07A-R2B01-AZ01

SA07A-R2S01-AZ01 ※1

SA07A-R2L01-AZ01 ※2±4˚±5˚（R2T）±4.5˚（R2M）±4.5˚（R2M）±4˚（R2B）

70mm×70mm
精密クロスローラガイド

ボールネジ、リード 1.0mm≈ 0.000756˚≈ 0.000563˚≈ 0.000448˚≈ 0.0000756˚≈ 0.0000563˚≈ 0.0000448˚

11.3˚/sec

8.4˚/sec

6.7˚/sec

70mm±0.2mm
Φ 0.05mm/±5˚

96mm±0.2mm
Φ 0.05mm/±4.5˚

0.06 arcsec/N·cm
49N（5kgf）

0.66kg≦ ±0.001˚
122mm±0.2mm
Φ 0.05mm/±4˚≦ 0.003˚≦ 0.003˚≈ 0.000756˚（R2T） ≈ 0.000563˚（R2M）≈ 0.000563˚（R2M） ≈ 0.000448˚（R2B）≈ 0.0000756˚（R2T）≈ 0.0000563˚（R2M）≈ 0.0000563˚（R2M）≈ 0.0000448˚（R2B）
11.3˚/sec（R2T）
8.4˚/sec（R2M）

8.4˚/sec（R2M）
6.7˚/sec（R2B）

70mm±0.4mm
Φ 0.1mm/±4.5˚

96mm±0.4mm
Φ 0.1mm/±4˚

アルミ合金
白色仕上げ

0.35 arcsec/N·cm
42.1N（4.3kgf）

1.32kg

AZM24AKSA07A-R2S01-AZ01 は、SA07A-R2T01-AZ01 と SA07A-R2M01-AZ01 の組み合わせです。

SA07A-R2L01-AZ01 は、SA07A-R2M01-AZ01 と SA07A-R2B01-AZ01 の組み合わせです。

●クリーン、 真空グリスへ変更可能です。 交換費が発生しますので、 詳細はお問い合わせください。

● クリーン、真空グリスへ交換可能です。 交換費が発生しますので、詳細はお問い合わせください。

11

外形図
●自動 X ステージ

XA05A-R102-AZ01

12

13

14

●自動 Z ステージ

15

16

●自動回転ステージ

17

18

●自動スイベルステージ

19

20

21

22

23

24

25

26

27

28

29

30

31

32

33

34

35

安全に関するご注意●ご使用の際は、取扱説明書を良くお読みのうえ正しくお使いください。
●このカタログに掲載している商品は産業用および機器組み込み用です。その他の用途には使用しないでください。

●このカタログに掲載している商品の性能および仕様は、改良のため予告なく変更することがありますので、ご了承ください｡●このカタログに掲載している全商品の価格には消費税等は含まれておりません。
●商品について詳しくお知りになりたい方は、お近くの営業所までお問い合わせください。
●はオリエンタルモーター株式会社の登録商標です。

2022 2020
年 10 年9月 制作

このカタログの記載内容は、2022 年 10 月現在のものです。
このカタログの記載内容は、2020年9月現在のものです。

製造元

販売元

https://www.orimvexta.co.jp/
課 TEL
（03）
5825-1179

上田営業所 TEL
（0268）
27-6230

鶴 岡 営 業 所 TEL
24-8232（0235）

伊那営業所 TEL
（0265）
78-3116

仙台営業所 TEL
（022）
227-2821

浜松営業所 TEL
（053）
415-8400

郡山営業所 TEL
（024）
927-5022

名古屋営業所 TEL（052）
223-2614

高崎営業所 TEL
（027）395-4426

京都営業所 TEL
（075）
601-3369

つくば営業所 TEL（029）
856-5120

関西営業所 TEL
（06）
6330-6627

大宮営業所 TEL
（048）
662-7081

大阪営業所 TEL
（06）
6864-1000

立川営業所 TEL
（042）
540-8262

高松営業所 TEL
（087）
821-5232

横浜営業所 TEL
（045）
982-0041

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473-1577

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