セパレートタイプ
リニヤスケール
ST46-EZA

ユーザーズマニュアル− 取扱説明書 −ご使用前に本書をよくお読みのうえ、
正しくお使いください。お読みになった後は、いつでも見られる所に必ず保管してください。

No. 99MBE078B3
2021 年 7 月 1 日 発行（1）*99MBE078B3*

 商品名および型番の対応
商品名
セパレートタイプ リニヤスケール

型番ST46-EZA

 本書に関するお願いとご注意
y 本書に記載の使用法に依らない使用により損害が発生した場合には、弊社は一切その責任を負いかねます。
y 本商品を貸与または譲渡するときは、本書を本商品に添付してください。
y 本書を紛失または損傷されたときは、すみやかにお求めの販売店、または弊社営業の窓口にご相談ください。
y 本商品の操作は、本書をよく読んで内容を理解してから行ってください。
y 特に、冒頭の「安全上のご注意」「取り扱い上のご注意」の内容を十分にご理解いただいてから本商品をお使いください。
y 本書の内容は 2021 年 7 月現在の情報に基づいています。
y 本書の内容の一部または全部を転載・複製することは固くお断りいたします。
y 本文中の会社名、団体名、商品名などは、各社、各団体の商標、または登録商標です。
©2019-2021 Mitutoyo Corporation. All rights reserved.

No. 99MBE078B

取扱説明書で使用されるマーク
本書で使用されているマークは大別すると 3 種類（注意喚起、行為の禁止・強制、参考情報・参照先）
です。また、マークには汎用的に使用されるものと特定の内容を示すものがあります。特定の内容を示す場合には、マーク内に具体的な内容を示す絵が描かれます。

 潜在的な危険性に対する注意喚起を示すマークや文字危険取り扱いを誤った場合、「死亡または重傷を負う危険が切迫して生じることが想定される」内容を示します。

警告取り扱いを誤った場合、「死亡または重傷を負う可能性が想定される」内容を
示します。

注意

取り扱いを誤った場合、「軽傷を負う可能性が想定される」内容を示します。

注記

取り扱いを誤った場合、「物的損害の発生が想定される」内容を示します。

感電の危険性があることを示します。

 行為の禁止および行為の強制を示すマークや文字行為の禁止の具体的な内容を示します。

行為の強制の具体的な内容を示します。

接地が必要であることを示します。

 参考情報や参照先を示すマークや文字
Tips

本文に記載されている操作方法や手順を特定の条件に適用する場合の参考情報などを示します。

本書または外部取扱説明書に、参照するべき情報がある場合は、参照先を示します。
例：○○の詳細は、「1.2 各部の名称と機能」（2 ページ）iNo. 99MBE078B

安全上のご注意
本商品の性能を十分に発揮するために、次のことを守ってご使用ください。

注記• ご使用の前に必ず本書をよくお読みください。
• 本商品を機械本体に取り付ける場合には、制御装置の電源がオフであることを確認してから行ってください。
• 各接続ケーブルのコネクターのねじ類は、シールドを確実に行うためしっかり締めてください。
• 接触不良を起こす恐れがありますので、コネクター部の接続端子には絶対に手を触れないでください。

取り扱い上のご注意 本商品の用途や取り扱いについて
z 本商品は測定器です。
本商品を測定以外の目的に使用しないでください。

z 本商品は工業用商品です。
本商品を工業用以外の用途で使用しないでください。

z 本商品は精密機器です。
本商品の取り扱いには十分ご注意ください。また、ご使用時に各部に衝撃を加えたり、無理な力をかけたりしないでください。

 設置環境z 振動に対して本商品を機械本体に取り付ける場合は、なるべく振動の少ない場所に設置してください。
振動の多い場所で長時間使用されますと、内部の精密部品に不具合が生じ、性能に影響を及ぼす場合があります。

z 衝撃・防塵・防水に対して本商品にワークなどが当たり強い衝撃が加わったり、切削油や切粉が直接スケール本体にかかるのを防止するために、スケール本体全体を覆うようなカバーを用意してください。

z 周囲温度および湿度に対して本商品の動作環境は、温度 0 ℃〜 40 ℃、湿度 20 % 〜 80 %RH ですが、急激に温度や湿度が変化する場所での使用は避けてください。

ii

No. 99MBE078B

電磁両立性について
本商品は、EMC 指令および英国電磁両立性規制に適合していますが、この要求を超える電磁妨害を受けた場合は保証外となり、適切な対策が必要となります。
本商品は工業用商品です。住宅環境での使用は意図しておりません。住宅環境で使用すると、他の機器に対して電磁妨害を発生する可能性があります。その場合には電磁妨害に対する適切な対策が必要となります。

輸出および非居住者への技術提供にあたってのご注意
本商品は、「外国為替および外国貿易法の輸出貿易管理令別表第 1 もしくは外国為替令別表に定める
16 の項」によるキャッチオール規制貨物・キャッチオール規制技術（プログラムを含む）です。
本商品の輸出および日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になる場合があります。
また、本商品に機能を追加するためにオプションの追加や改造を行った場合、「外国為替および外国貿易法の輸出貿易管理令別表第 1 もしくは外国為替令別表に定める 1 から 15 の項」によるリスト規
制貨物、リスト規制技術（プログラムを含む）に該当となることがあります。その場合の本商品の輸出および日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になります。事前に弊社にご相談ください。

欧州諸国などへの輸出に関するご注意
本商品を輸出される際は、英文の取扱説明書 ･ 適合宣言書（場合によっては輸出国公用語）が必要となる場合があります。
詳細につきましては弊社にご相談ください。

日本国内で本商品を廃棄する際のご注意
y 事業者として廃棄する場合は、廃棄物の処理および清掃に関する法律（廃棄物処理法）等の関連法令に従い、適正な廃棄処理をしてください。
y 個人として廃棄する場合は、各自治体の廃棄ルールに従ってください。

iii

No. 99MBE078B

分別処理を行っている欧州諸国で電気・電子機器の廃棄をする際のご注意商品または包装に記されたこのシンボルマークは、欧州諸国の規制である廃電気電子機器指令（WEEE 指令）に基づくもので、本商品を廃棄する時に一般家庭ゴミと一緒に捨てないようにするためのものです。
土壌に埋め立てする量を減らし環境への影響を低減するために、商品の再利用とリサイクルに
ご協力ください。
本商品の廃棄方法については、お求めの販売店、または弊社営業の窓口にご相談ください。

保証
本商品は、厳重な品質管理のもとで製造されていますが、お客様の正常な使用状態において、万一お買い上げの日から 1 年以内に故障した場合には、無償で修理させていただきます。お求めの販売店、または弊社営業の窓口にご相談ください。
次のような場合には、保証期間内でも有償修理となります。
y 使用による通常の損耗によって生じた故障および損傷
y メンテナンス上、修理上や取り扱い上の誤り、および不当な改造による故障および損傷
y お買い上げ後の移動、落下や輸送による故障および損傷
y 火災、塩害、ガス害、異常電圧、雷サージおよび天災地変などによる故障および損傷
y ミツトヨによって指定または許可されているハードウェアやソフトウェア以外のハードウェアやソフトウェアと組み合わせて使用したことによる故障および損傷
y 高度に危険な活動に使用したことによる故障および損傷
本保証は日本国内において適切に設置され、本書に記載される指示に従って操作されている場合にのみ有効です。
本保証に規定される場合を除き、適用される法によって許される最大の範囲で、あらゆる性質の、すべての明示的・黙示的な条件、表明および保証（商品性に関する保証、特定の目的への適合性の保証、
非侵害の保証または取引過程、使用または取引実務から生じる保証を含みますが、これらに限定されません）は、排除されます。
お客様は、お客様が意図された結果を実現するために本商品を選択したことによって生ずるすべての結果についての全責任を引き受けるものとします。

iv

No. 99MBE078B

免責
ミツトヨ、その関連会社およびそのサプライヤーは、いかなる場合においても、収益の損失、利益の損失、もしくはデータの損失、または本商品の使用もしくは使用不能によって生じた特別損害、直接
損害、間接損害、派生的損害、付随的損害、または懲罰的損害について、原因および責任理論の如何にかかわらず、たとえミツトヨ、その関連会社またはそのサプライヤーが当該損害の可能性について通知を受けていた場合であっても、責任を負いません。
前記にもかかわらず、ミツトヨが、お客様による本商品の使用によって生じた損害または損失に対して責任があると判断された場合でも、いかなる場合においても、ミツトヨ、その関連会社およびそのサプライヤーのお客様に対する責任は、契約に基づくと、（過失を含む）不法行為とを問わず、本商品に対してお客様が支払った金額を超えないものとします。
国、州、または管轄地によっては、派生的損害または付随的損害に対する責任の排除または制限を認めていない場合があります。そのような国、州、または管轄地におけるミツトヨの責任は、法に認められる最大の範囲内で排除または制限されるものとします。

v

No. 99MBE078B

本書について 本書の位置付け、ドキュメントマップ
本書の他に、ソフトウェア関連のマニュアルがあります。

z リニヤスケール関連
ST46-EZA
セパレートタイプ リニヤスケール
ユーザーズマニュアル（本書）z ソフトウェア関連
ST46-EZA
セパレートタイプ リニヤスケール
アプリケーションプログラム
ユーザーズマニュアル

 本書の対象読者と目的
z 対象読者
ST46-EZA セパレートタイプ リニヤスケールをはじめてご使用になる方を対象にしています。
図面を読んで指示を理解できることを前提とします。

z 目的
本書は、ST46-EZA セパレートタイプ リニヤスケールをご理解いただくことを目的としています。

vi

No. 99MBE078B

目次
取扱説明書で使用されるマーク ……………………………………………………………… i
安全上のご注意 ………………………………………………………………………………… ii
取り扱い上のご注意 …………………………………………………………………………… ii
電磁両立性について …………………………………………………………………………… iii
輸出および非居住者への技術提供にあたってのご注意 …………………………………… iii
欧州諸国などへの輸出に関するご注意 ……………………………………………………… iii
日本国内で本商品を廃棄する際のご注意 …………………………………………………… iii
分別処理を行っている欧州諸国で電気・電子機器の廃棄をする際のご注意 …………… iv
保証 ……………………………………………………………………………………………… iv
免責 ……………………………………………………………………………………………… v
本書について …………………………………………………………………………………… vi
目次 ………………………………………………………………………………………………vii
1

概要 ………………………………………………………………………………………… 1
1.1

特長 …………………………………………………………………………………… 1

1.2

システムの構成および各部の名称 ………………………………………………… 1
1.2.1

1.3
2

主な作業の流れ ……………………………………………………………………… 4取り付けの準備 …………………………………………………………………………… 5
2.1

機種の確認 …………………………………………………………………………… 5

2.2

スケール取り付け面の設計 ………………………………………………………… 8

2.3
3コネクターシェルの各部名称 ……………………………………………………………… 3

2.2.1

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースなし）のスケール取り付け …………… 82.2.2

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースあり）のスケール取り付け …………… 92.2.3

有効測定長 100 mm 〜 3000 mm のスケール取り付け …………………………………10

検出ヘッドブラケットの設計 ……………………………………………………… 11

機械本体への取り付け ……………………………………………………………………13
3.1

梱包内容の確認 ………………………………………………………………………13

3.2

スケールの取り付け …………………………………………………………………14

3.3

検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け …………………………………17

3.4

フィードバックケーブルの接続 ……………………………………………………19

3.5

検出ヘッドの信号調整 ………………………………………………………………20vii

No. 99MBE078B

3.6

4

3.6.1

ケーブル処理 …………………………………………………………………………………23

3.6.2

取り付けおよび調整状態の確認 ……………………………………………………………23

3.6.3

保護カバーの取り付け ………………………………………………………………………24

仕様 …………………………………………………………………………………………25
4.1

仕様一覧 ………………………………………………………………………………25

4.2

出力回路と信号波形 …………………………………………………………………25

4.3

5ケーブルの処理と取り付け状態の確認 ……………………………………………23

4.2.1

主信号形態：B タイプ、C タイプ …………………………………………………………25

4.2.2

主信号形態：C タイプ ………………………………………………………………………26

ピンアサイン …………………………………………………………………………27
4.3.1

主信号形態：B タイプ ………………………………………………………………………27

4.3.2

主信号形態：C タイプ ………………………………………………………………………28

4.4

フィードバックケーブルの製作 …………………………………………………28

4.5

アラーム機能 …………………………………………………………………………30
4.5.1

検出内容 ………………………………………………………………………………………30

4.5.2

アラームの解除 ………………………………………………………………………………31

4.6

ディレクションの変更 ………………………………………………………………32

4.7

外観・取り付け寸法図 ………………………………………………………………33
4.7.1

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースなし） ……………………………………33

4.7.2

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースあり） ……………………………………35

4.7.3

有効測定長 100 mm 〜 3000 mm …………………………………………………………37

トラブルシューティング …………………………………………………………………39

営業・サービスの窓口 …………………………………………………………………… App-1

viii

No. 99MBE078B

1 概要

1

概要

本章では、本商品の特長、各部の名称と機能、本商品を使用するうえでの主な作業の流れについて説
明します。

1.1

特長

光電式のセパレートタイプリニヤスケールは、ガラススケールの格子目盛を元に発光素子と受光素子によって光量変化を検出し、変化量を出力します。
半導体製造での露光装置、ワイヤーボンディング、ステージをはじめ、さまざまな機器の移動量を正確に捉えることができます。
本商品は、押しボタンによる信号自動調整機能（EZA 機能）を搭載しています。検出ヘッドの取り付
け時には、コネクターシェルに搭載されたセットアップインジケーターで信号強度を確認できるため、
オシロスコープを使った調整が必要ありません。また、PC と接続することによって、専用のアプリケー
ションプログラムで信号強度を確認したりパラメーターを設定したりできます。さらに、コネクター
シェル内に I/F 回路を搭載しているため、省スペース設計が可能です。

1.2

システムの構成および各部の名称

本商品の構成および各部の名称を以下に示します。

出力コネクター
（付属品）

制御装置

ST46-EZA（メインスケールおよび検出ユニット） フィードバックケーブルおよび制御装置（お客様手配）1

No. 99MBE078B

1 概要

①
③

④

②
⑦

⑥

⑧

⑤
⑩

⑨
No.

①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩

名称
メインスケール（有効測定長 100 mm 〜 3000 mm）
スケール押さえばね
メインスケール（有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースなし））
メインスケール（有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースあり））
検出ユニット
検出ヘッド
ヘッドケーブルコネクターシェル
出力コネクター
ギャップスペーサー

2

No. 99MBE078B

1 概要

1.2.1

コネクターシェルの各部名称

③
①
④

②

⑤

⑥

No.

名称

①
②
③
④
⑤
⑥

CAL ランプ
ディレクションスイッチ／ USB コネクター（PC 接続）
セットアップボタン A（スイッチの通し穴 ø1.5）
PZ ランプセットアップインジケーター
セットアップボタン B（スイッチの通し穴 ø1.5）

Tips• CAL ランプでは、以下の状態を確認できます。
状態

表示色

点灯／点滅

正常動作中または電源オフ

なし

消灯

取り付け位置調整モード／エラー発生時

赤色点滅（2 秒間隔）

オートチューニングモード

赤色

点滅（0.5 秒間隔）

オートチューニング中

赤色

点灯• PZ ランプは、原点検出時に緑色で点灯します。

3

No. 99MBE078B

1 概要

1.3

主な作業の流れ

本商品を使用するために行う作業として、事前準備と機械本体への取り付け作業の流れを下図に示します。

 事前準備機種の確認「2.1 機種の確認」（5 ページ）

スケール取り付け面の設計「2.2 スケール取り付け面の設計」（8 ページ）

検出ヘッドブラケットの設計「2.3 検出ヘッドブラケットの設計」（11 ページ） 機械本体への取り付け作業
梱包内容の確認

スケールの取り付け「3.1 梱包内容の確認」（13 ページ）

「3.2 スケールの取り付け」（14 ページ）

検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け「3.3 検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け」（17 ページ）

フィードバックケーブルの接続「3.4 フィードバックケーブルの接続」（19 ページ）

検出ヘッドの信号調整「3.5 検出ヘッドの信号調整」（20 ページ）

ケーブルの処理と取り付け状態の確認「3.6 ケーブルの処理と取り付け状態の確認」（23 ページ）

4

No. 99MBE078B

2 取り付けの準備

2取り付けの準備

この章では、本商品を機械本体に取り付けるための事前準備について説明します。

2.1

機種の確認

ST46-EZA は、主信号出力形態、有効測定長、原点位置／スケール形状、分解能／最小エッジ間隔、ディレクション、アラーム出力形態、ヘッドケーブル長、特殊符号により型番を選択します。
ご購入のスケールユニットが、目的の仕様に対応した機種であることを確認してください。

ST46-EZA □−□□□□□−□□□□□
主信号出力形態

特殊符号

有効測定長

ヘッドケーブル長

原点位置／
スケール形状アラーム出力形態
ディレクション

分解能／
最小エッジ間隔 主信号出力形態
記号

内容

B

二相方形波＋外部リセット入力

C

二相方形波＋二相正弦波

 有効測定長
記号

有効測定長（mm）

記号

有効測定長（mm）

0010

10

0500

500

0025

25

0600

600

0050

50

0700

700

0075

75

0800

800

0080

80

0900

900

0100

100

1000

1000

0150

150

1100

1100

0200

200

1200

1200

0250

250

1300

1300

0300

300

1400

1400

0350

350

1500

1500

0400

400

1600

1600

0450

450

1700

1700

5

No. 99MBE078B

2 取り付けの準備
記号

有効測定長（mm）

記号

有効測定長（mm）

1800

1800

2500

2500

2000

2000

2600

2600

2200

2200

2800

2800

2400

2400

3000

3000

 原点位置・スケール形状
記号

スケール形状（有効測定長）

原点位置（有効測定長）

A

ガラススケール単体：厚さ 4.8 mm ×幅 22 mm（100 mm 〜
3000 mm）

50 mm ピッチ

B

ガラススケール単体：厚さ 2.8 mm ×幅 8 mm（10 mm 〜 80mm）

中央 1 点C

アルミベース付きガラススケール：厚さ 5.1 mm ×幅 23 mm（10 中央 1 点
mm 〜 80 mm）

Z

特殊形状

特殊位置指定 分解能・最小エッジ間隔
記号
A

分解能
0.05μm最小エッジ間隔

最大応答速度

100 ns

450 mm/s

B

200 ns

225 mm/s

C

400 ns

112 mm/s

800 ns56 mm/s

DE

0.1 μm

100 ns

900 mm/s

F

200 ns

450 mm/s

G

400 ns

225 mm/s

H

800 ns

112 mm/s

100 ns2600 mm/s

K

200 ns2250 mm/s

L

400 ns1125 mm/s

M

800 ns562 mm/s

100 ns2600 mm/s

P

200 ns2600 mm/s

Q

400 ns2250 mm/s

800 ns1125 mm/s

JN

0.5 μm

1 μm

R
S

5 μm

100 ns2600 mm/s

T

200 ns2600 mm/s

U

400 ns2600 mm/s

V

800 ns2600 mm/s

6No. 99MBE078B

2 取り付けの準備

 ディレクション
記号

内容

1

正：PA 進相2

逆：PB 進相 アラーム出力形態
記号

内容

S

アラーム信号H

ハイインピーダンス ヘッドケーブル長
記号

長さ

A

1 m（標準）

B

0.5 m

C

2m

Z

特殊長さ指定（最大長：2.5 m）

 特殊符号記号

内容なし

標準選択仕様Z

特別仕様

7

No. 99MBE078B

2 取り付けの準備

2.2

スケール取り付け面の設計
メインスケール背面より外乱光が入ると誤動作の原因になります。下図のように外乱光が入らないよう、メインスケール取り付け部を設計してください。
外乱光メインスケール

検出ヘッド

2.2.1

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースなし）のスケー
ル取り付け

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースなし）のメインスケールは接着剤で固定して取り付けます。
「4.7.1 有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースなし）」（33 ページ）を参考に、メインスケー
ル取り付け部は下図のように設計してください。
スケール取り付け基準面
接着剤塗布部

メインスケール
G：マシンガイド

8

No. 99MBE078B

2 取り付けの準備

Tips
メンテナンスなどで、有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースなし）のメインスケールを再度取り付ける可能性がある場合は、下図のようなスケールブラケットにメインスケールを貼り付け、ボルトで固定するようにしてください。

2.2.2

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースあり）のスケー
ル取り付け

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースあり）のメインスケールはボルトで固定して取り付けます。
「4.7.2 有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースあり）」（35 ページ）を参考に、メインスケー
ル取り付け部は下図のように設計してください。

G：マシンガイド

9

No. 99MBE078B

2 取り付けの準備

2.2.3

有効測定長 100 mm 〜 3000 mm のスケール取り付け

有効測定長 100 mm 〜 3000 mm のメインスケールは、スケール押さえばねで固定して取り付けます。
「4.7.3 有効測定長 100 mm 〜 3000 mm」（37 ページ）を参考に、スケール押さえばね A とスケー
ル押さえばね B のボルトを締めるための作業スペースを確保してください。

スケール押さえばね B

スケール押さえばね B

スケール押さえばね A

10

No. 99MBE078B

2 取り付けの準備

2.3

検出ヘッドブラケットの設計• 下図を参考に、検出ヘッドブラケットを設計してください。検出ヘッドの位置調整（モアレ／ギャッ
プ）ができる形状とします。また、検出ヘッド固定ねじ穴は、検出ヘッドの位置調整を容易にするため、長穴にすることを推奨します。
ヘッドブラケット 2（参考値（ボルト長さ＝ブラケット厚さ t+3 mm）

）

）

考値

（参

t

ギャップ方向
モアレ方向
）

考値

（参

ヘッドブラケット 1（参考値）

スケール取り付け面と検出器取り付け面の平行度（ボルト長さ＝ブラケット厚さ t+3 mm）• 検出ヘッドの取り付け面とスケール取り付け面の平行度が 0.05 mm 以内になるように設計してください。
• 機械装置の最大移動範囲内におけるギャップ方向の変動は、200 mm あたり 0.01 mm 以下にして
ください。

11

No. 99MBE078B

2 取り付けの準備

MEMO

12

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け

3

機械本体への取り付け

この章では、本商品を機械本体に取り付ける手順、方法、注意事項について説明します。

3.1

梱包内容の確認

取り付け作業を開始する前に、次の部品がそろっていることを確認してください。
なお、購入されたスケールが指定の内容でない場合や不明点などがある場合には、お求めの販売店、または弊社営業の窓口にご相談ください。
名称

数量メインスケール

1

検出ユニット1

備考
スケールの仕様と有効測定長を確認してください。
有効測定長 100 mm 〜 3000 mm のスケールに付スケール押さえばね

属します。個数は 「4.7.3 有効測定長 100 mm〜 3000 mm」（37 ページ）で確認してください。
出力コネクター1

ギャップスペーサー

1

シリアル番号シール

1

有効測定長 10 mm 〜 80 mm のスケールに付属します。

ユーザーズマニュアル

1

本書

精度表

1

保証書

1
• 検出ヘッドを取り付けるため、以下の部品を用意してください。
部品名

個数

六角穴付きボルト（M2.5 ×（ブラケット
厚さ＋ 3 mm）以内）

2個• 有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースあり）のスケールを取り付ける場合、以下の部品を用意してください。
部品名

個数

六角穴付きボルト（M3 ×（下穴深さ +3.8 2 個mm）以内）
平座金（呼び径 3）2個

ばね座金（呼び径 3）2個• 有効測定長 100 mm 〜 3000 mm のスケールを取り付ける場合、以下の部品を用意してください。
部品名

個数

六角穴付きボルト（M4 ×下穴寸法以内） スケール押さえばね数× 2 個
平座金（呼び径 4）

スケール押さえばね数× 2 個

ばね座金（呼び径 4）

スケール押さえばね数× 2 個

13

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け

3.2

スケールの取り付け
注記

メインスケールはガラス製です。傷や破損に十分注意して取り扱ってください。
• メインスケールに汚れ・埃などが付着していると、誤動作や精度劣化の原因となります。アルコー
ルなどを浸した柔らかい布、またはクリーニングペーパーで汚れや埃を十分に拭き取っておいてください。機械装置のスケール取り付け面も、同様にアルコールなどで十分に清掃しておいてください。
• 有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースなし）のメインスケールの接着には弾性タイプの接着剤を使用してください。信越シリコーン社製 KE441T を推奨します。

Tips• メインスケールは、取り付ける部材とともに十分に温度慣らしをしたうえで固定してください。本商品は 20°C で精度保証をしています。温度慣らしの目安は、メインスケールおよびスケールを取り付ける部材ともに
20 °C で約 8 時間以上です。温度慣らし後、取り付け作業を実施してください。
• 温度慣らしを含めた温度環境が不十分な場合、所定の指示精度を得られないことがあります。

1 スケール取り付け面が下図のとおりにできていることを、てこ式インジケーターまたは電気マイクロメーターで確認する• 機械装置の運動軸に対するメインスケール取り付け面の平行度を確認してください。
• 平行度が不十分な場合は、機械装置を再調整してください。

14

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け

2 スケール保護テープを剥がす
メインスケール

スケール保護テープを剥がす

3 メインスケールを取り付ける• メインスケールは、目盛表面側（斜めから光を当てると虹色に見える面）に検出ヘッドが配置されるように取り付けます。
• ミツトヨロゴがあるスケールでは、検出ヘッド側から見てロゴが正しい向きとなる配置がメイン
スケールの正しい取り付け方向です。

メインスケール
Mitutoyo ロゴが見える方向
検出ヘッド• 有効測定長 10 mm 〜 80 mm のメインスケールでは、設置機械のスケール取り付け部付近にシリ
アル番号シールを貼付してください。

 スケール押さえばねによる取り付け
1 スケール押さえばね A でメインスケール中央を仮固定する

スケール押さえばね B

スケール押さえばね B

スケール押さえばね A

15

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け

2 スケール押さえばね B でメインスケールを仮固定する
スケール押さえばね B は、メインスケール中央に近いものから順に仮固定します。

3 1 時間〜 2 時間、温度慣らしをする
4 メインスケール中央から両端に向かって、順にスケール押さえばねのボルトを本締めする
スケール押さえばねのボルトの推奨締め付けトルクは、1.5 N･m です。

16

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け

3.3

検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け
注記

取り付け作業中にコネクターシェルのピン部などに直接触れないように注意してください。静電気によって電子部品が破損することがあります。取り付け作業では静電気対策を十分に行ってください。
検出ヘッドを取り付けて使用する際には、装着するブラケットに加え、機械本体を電気的に確実に接地した状態にしてください。接地せずに使用した場合、外部ノイズの影響を受ける場合があります。
また、ブラケットの材質などで接地が難しい場合は、ヘッドケーブルのシールド部をアースバーなど
で確実に接地して使用してください。
アースバーなど
シールド線（網線）
ケーブルのビニール被覆を一部カット

ヘッドケーブル例）アースバー使用図

1 検出ヘッドの検出面に貼られている保護テープ（青色）を剥がす

保護テープ
検出ヘッド裏面

17

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け

2 検出ヘッドを検出ヘッドブラケットに取り付ける• 下図のようにギャップスペーサーを使用して、検出ヘッドとメインスケールの間の距離（ギャップ）
を 1.8 ± 0.1 mm に調整してください。

ピッチ方向
ギャップスペーサー

M2.5

ギャップ方向ラテラル方向ロール方向
検出ヘッド切り欠き部• ラテラル方向に対する検出ヘッドの位置は、検出ヘッド切り欠き部（左右）と目盛（半透明部）が合う位置になります。

3 検出ヘッドとメインスケールの平行度を、てこ式インジケーターまたは電気マイクロメーターで確認する
検出ヘッドとメインスケールの平行度を 0.05 mm 以下にしてください。

4 検出ヘッドを固定する• 検出ヘッド固定ねじの推奨締め付けトルクは 0.4 N･m 〜 0.6 N･m です。
• 検出ヘッドを固定した後、検出ヘッドのガラス面とメインスケールの間の距離（ギャップ）が 1.8± 0.1 mm であることをギャップスペーサーで確認してください。

18

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け

3.4

フィードバックケーブルの接続• フィードバックケーブルによって制御装置にスケールユニットを接続する前には、制御装置の電源を必ずオフにしてください。
• フィードバックケーブルは、お客様の手配になります。 「4.4 フィードバックケーブルの製作」（28 ページ）を参照して、機種に対応したケーブルを準備してください。

1 検出ユニットのコネクターシェルと制御装置をフィードバックケーブルで接続する
2 制御装置の電源をオンにする»

コネクターシェルのランプが点灯／点滅
ここでは、コネクターシェルのランプの状態は無視し、ジ）で示す信号調整を必ず実施してください。

「3.5 検出ヘッドの信号調整」（20 ペー

Tips
検出ヘッドの取り付け状態が正規に近い場合、電源をオンにするとセットアップインジケーターの中央の LED（青色）が点灯します。

セットアップインジケーター

19

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け

3.5

検出ヘッドの信号調整

メインスケール、検出ヘッドを取り付け、フィードバックケーブルを接続した後、コネクターシェル
で信号調整を行います。

1 コネクターシェルのセットアップボタン A またはセットアップボタン B を、ø1.0 〜 ø1.4（六角棒レンチ呼び 1.3（六角穴付き止メネジ M2.5 用））の細い棒で押す»

CAL ランプが赤色で点滅（2 秒間隔）し、検出ヘッドの取り付け位置調整モードに移行①セットアップボタン A
スイッチの通し穴径 ø1.5

①セットアップボタン B
スイッチの通し穴径 ø1.5

2 セットアップインジケーターでの信号強度判定が「OK」となるように、検出ヘッドのモアレ方向を調整する

ギャップ方向（ギャップは 1.8 ± 0.1 mm で固定）

検出ヘッドモアレ方向

20

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け
ランプのつき方
状態 1

状態 3

状態 4

状態 5

状態 6

状態 8

状態 9

NG

赤

左-赤
右-黄

NG

NG

黄

左-黄
右-青

NG

OK

青

左-青
右-黄

NG

NG

黄

左-黄
右-赤

信号大

状態 7

信号強度判定

信号小

状態 2

色

NG

NG

赤

Tips
セットアップインジケーターの表示が青色で点灯しない場合は、検出ヘッドのギャップ方向を調整してください。

3 再度、セットアップボタン A またはセットアップボタン B を押す»

CAL ランプの表示が赤色点滅から赤色点灯に変わり、オートチューニングモードに移行

4 検出ヘッドまたはメインスケールを、測長方向に 5 mm/s 〜 50 mm/s の速度で 15 mm 以上移動する»

CAL ランプが消灯し、オートチューニングが終了• 検出ヘッドまたはメインスケールは、一方向に移動してください。オートチューニング中に逆方向に移動すると、CAL エラーになります。
• CAL エラーとなった場合には、信号調整の作業を最初からやり直してください。なお、その際に電源をオフにする必要はありません。

21

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け

5 有効測定長の全長で、セットアップインジケーターでの信号強度判定が「OK」であることを確認する
Tips
スケール移動距離が短い場合、CAL エラーが発生することがあります。スケール移動距離が 15 mm 以下の装置で使用する場合は、弊社営業までご連絡ください。

22

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け

3.6

ケーブルの処理と取り付け状態の確認

3.6.1

ケーブル処理信号調整を終えた後、フィードバックケーブルを固定してください。

1 ケーブルのねじれや曲がりに注意し、ケーブルを配置する
注記
フィードバックケーブルは、電気的なノイズ源となる他のケーブル類と束ねたり、大電流をオン／オフするリレーの近くに配置すると、ノイズにより誤作動することがあります。

2 フィードバックケーブルをケーブルクランプなどで固定する
機械装置の稼働時に検出ヘッドに力が加わらないように、検出ヘッドとともに移動する近傍の部材にフィードバックケーブルをクランプしてください。

コネクターシェルは、必ず機械本体にねじで固定してください。

3.6.2

取り付けおよび調整状態の確認

フィードバックケーブルの固定を終えた後、メインスケールおよび検出ヘッドの取り付けおよび調整
状態を再確認します。

Tips
検出ヘッドがメインスケールまたは機械装置の部品と接触・干渉しないことを確認しながら、作業を進めてください。

1 各部のねじ類、クランプなどに締め忘れがないことを確認する
2 制御装置の電源をオフにし、5 秒〜 10 秒程度待って再度オンにする
Tips
制御装置の電源をオフにすることで、調整作業中に生じたアラームを解除します。

3 機械装置の移動範囲全域で、コネクターシェルのセットアップインジケーターでの表示が青色で点灯していることを確認する
Tips
セットアップインジケーターの表示が赤色や黄色で点灯する場合、メインスケールの汚れ、モアレ／ギャップなどを再確認してください。

23

No. 99MBE078B

3 機械本体への取り付け

3.6.3

保護カバーの取り付け

メインスケールおよび検出ヘッドの取り付けおよび調整状態の再確認を終えた後、保護カバーを取り付けます。
• 保護カバーが機械装置の一部やスケールユニットのケーブルなどに接触しないようにしてください。
• 機械装置の移動範囲全域で、上記の問題がないことを確認してください。

24

No. 99MBE078B

4 仕様

4

仕様

4.1

仕様一覧
項目

仕様

検出方式

光学式反射形リニアエンコーダー

メインスケール格子ピッチ

20 µm

出力信号形態

B タイプ：二相方形波、原点信号パルス、外部リセット入力
C タイプ：二相方形波、原点信号パルス、二相正弦波

有効測定長10 mm 〜 3000 mm

指示精度（20 °C）

有効測定長 10 mm 〜 300 mm：± 1 μm
有効測定長 350 mm 〜 500 mm：± 2 μm
有効測定長 600 mm 〜 1000 mm：± 3 μm
有効測定長 1100 mm 〜 3000 mm：± 3 μm/m

線膨張係数

≈ 8 × 10–6/K

最大応答速度

2.6 m/s（正弦波振幅 –3 dB にて）

スケール原点あり（50 mm ピッチ、有効測定長 10 mm 〜 80 mm は中央 1 点）

供給電源電圧DC 5 V ± 5 %

最大消費電流250 mA

使用温度範囲

0 °C 〜 40 °C

保存温度範囲–20 °C 〜 60 °C

使用・保存湿度範囲

20 %RH 〜 80 %RH（ただし結露なきこと）

アラーム表示機能

スケールユニットのアラームをコネクターシェルの LED で表示

CE マーキング／
UKCA マーキング

EMC 指令／電磁両立性規制：EN 61326-1
Immunity test requirement：Clause6.2 Table 2
Emission limit：Class B
RoHS 指令／電気電子機器における特定有害物質の制限規制：EN IEC 63000

4.2

出力回路と信号波形

4.2.1

主信号形態：B タイプ、C タイプ

 出力回路方形波出力信号（PA 相、PB 相）、原点信号、アラーム信号の出力回路は下図のとおりです。

差動ラインドライバー
AM26C31 相当

25

No. 99MBE078B

4 仕様

 信号波形
方形波出力信号（PA 相、PB 相）および原点信号の波形は下図のとおりです。

VOH=2.5 V（最小）VOL=0.5 V（最大）td：エッジ間隔、分解能

Z 相パルス幅0.8 ± 0.4 mm

Tips
上図は、コネクターシェルのディレクションスイッチが「正」の状態で、検出ヘッドが以下のように移動した際の波形です。ディレクションスイッチの状態により出力 PA、PB の位相関係（計数方向）が切り替わります。
検出ヘッド移動方向

スケールトラック

原点マーク

4.2.2

主信号形態：C タイプ

 出力回路正弦波出力信号（A 相、B 相）および基準信号の出力回路は下図のとおりです。
A 相 , B 相（正弦波）出力回路

A相,B相

基準信号（Vref）出力回路

26

No. 99MBE078B

4 仕様

 信号波形
正弦波出力信号（A 相、B 相）の波形は下図のとおりです。

VDC

A相
出力信号ピッチ 20 μm

VDC

B相
位相差 90°（Typ）

Vpp=2v VDC=V ref.
（VCC/2 ≓ 2.5 V）

4.3

ピンアサイン

4.3.1

主信号形態：B タイプ
1

9

8

15

ピン No.

信号名

ピン No.

信号名

1、2

0V（GND）

9

ALM（アラーム）

3、4+5 V（Vcc）

10

PA（主信号パルス _ 正相）

5

リセット入力 AL（アノード） 11

PA（主信号パルス _ 逆相）

6

リセット入力 AL（カソード） 12

PB（主信号パルス _ 正相）

7

N.C.

13

PB（主信号パルス _ 逆相）

8

PZ（原点信号パルス _ 正相） 14

PZ（原点信号パルス _ 逆相）

15

F.G

Tips
適合コネクター（付属品）は、HDAB-15S です。

27

No. 99MBE078B

4 仕様

4.3.2

主信号形態：C タイプ
1

9

8

15

ピン No.

信号名

ピン No.

信号名

1、2

0V（GND）

9

ALM（アラーム）

3、4+5 V（Vcc）

10

PA（主信号パルス _ 正相）

5

A 相（正弦波）

11

PA（主信号パルス _ 逆相）

6

B 相（正弦波）

12

PB（主信号パルス _ 正相）

7

Vref（≒ Vcc/2）

13

PB（主信号パルス _ 逆相）

8

PZ（原点信号パルス _ 正相） 14

PZ（原点信号パルス _ 逆相）

15

F.G

Tips
適合コネクター（付属品）は、HDAB-15S です。

4.4

フィードバックケーブルの製作
フィードバックケーブルには、以下の条件を満たすものを使用してください。
• 網線シールドケーブルを使用してください。
• シールド（FG）は、付属コネクターの金属ケースへクランプしてください。困難な場合はピン番
号 15 へ接続してください。
• コネクターシェル側での電源電圧が 4.75 V 以上となるようにケーブルインピーダンスおよび長さを設定してください。
Vsp −（Rc ÷ 2）× L × 2 × 0.25 ≧ 4.75 V
Vsp：制御装置からの供給電源電圧（Volts）
Rc：ケーブルの電源・グランド線インピーダンス（Ω/m）
L：ケーブルの長さ（m）
0.25：スケールユニットの最大消費電流（A）

28

No. 99MBE078B

4 仕様
正弦波出力信号を使用する場合は、出力信号ケーブルを下図のように接続してください。
検出ユニットコネクターシェル側

フィードバックケーブル

A相

5

B相

6

Vref

7

制御装置側

方形波出力信号を使用する場合は、出力信号ケーブルを下図のように接続してください。
検出ユニットコネクターシェル側
PA
A相

PA
PB

B相

PB
PZ

Z相

PZ

制御装置側
フィードバックケーブル
R1
R2
11
R1

R1

R1

R1

12
R2
13

ラインドライバー
AM26C31: TI

+5V

8
R2
14
4.7 kΩ

ALM

+5V

10

1.8 kΩ

9

4.7 kΩ
+5V

+5V

3

R1
R1=560 Ω
R2=110 Ω

ラインレシーバー
AM26C32: TI（相当品可）

4
1
2
15

シールド

• A 相／ B 相（PA、PA、PB、PB）に対する断線検出機能が制御装置にある場合は、ALM 出力を接続する必要はありません。この場合は、アラーム出力形態が H（ハイインピーダンス）仕様のスケー
ルユニットを使用してください。
• 断線検出機能が制御装置にない、または A 相／ B 相出力をハイインピーダンス状態にすることがシステム上問題になる場合は、ALM 出力を接続してください。この場合、アラーム出力形態が S（アラーム信号）仕様のスケールユニットを使用してください。

29

No. 99MBE078B

4 仕様

4.5

アラーム機能

4.5.1

検出内容

アラームが検出されると、コネクターシェルの CAL ランプが 2 秒間隔で点灯／消灯を繰り返します。
また、CAL ランプが点灯している間は、セットアップインジケーターの表示ランプによって、エラー
内容が以下のように示されます。

Tips
複数のエラーが発生している場合、セットアップインジケーターの該当するランプがすべて点灯します。

表示

エラー名

原因

オーバーレンジエラー *1

入力正弦波信号の波形の大きさが大きすぎるか、小さすぎます。

オーバースピードエラー

移動速度が最大応答速度を超えました。

内部処理異常ハードウェアエラー（部品故障、通信エラー）

キャリブレーションエラー

信号調整時のエラー・LED の劣化
LED 電流エラー

・センサーの過電流・検出ヘッドの取り付け位置の調整不足*1 CAL ランプの消灯時は、オーバーレンジに関するアラーム検出内容は示しません。

30

No. 99MBE078B

4 仕様

Tips
• 入力正弦波信号の波形の大きさが大きすぎたり、小さすぎたりして異常領域であった場合、オーバーレンジ
エラーになります。
• 入力正弦波信号の波形の大きさが大きかったり小さかったりして注意領域であった場合には、アラームにはなりませんが、分割精度が低下します。
注意領域にあるときのランプのつき方
黄

注意領域

4.5.2

色

アラームの解除 電源の再投入
1 アラームとなった原因を解消する
2 制御装置の電源をオフにし、10 秒以上待って再度電源をオンにする アラームリセット信号
1 アラームとなった原因を解消する
2 アラームリセット信号（パルス幅 10 ms 以上）を入力する

31

No. 99MBE078B

4 仕様• アラームリセット信号によるアラームの解除は、主信号出力形態が B（二相方形波＋外部リセット
入力）の場合のみ可能です。
• アラームリセット入力回路は、電流が 3 mA 〜 10 mA になるように接続してください。
• 本商品内部に抵抗（1.2 kΩ）を内蔵していますので、リセット入力 AL（アノード）、リセット入力
AL（カソード）間に 5 V 〜 12 V を与えることでアラームを解除できます。
フォトカプラの場合+V

TLP521

1.2 kΩ

リセット入力 AL（アノード）
リセット入力 AL（カソード）

リレーの場合+V

5
6–V

リセット入力

入力信号 5 番ピン
5 〜 12 V
10 ms 以上

• 12 V 以上を与える場合には、外部に抵抗を追加してください。

4.6

ディレクションの変更

1 制御装置の電源をオフにする
2 ゴムキャップを外す
3 コネクターシェルのスライドスイッチを切り替える
コネクターシェル

スイッチ状態

ディレクション

正正弦波と同位相逆

正弦波と逆位相スライドスイッチ

USB ポート32

No. 99MBE078B

4 仕様

4.7

外観・取り付け寸法図

4.7.1

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースなし）

 取り付け寸法図33

No. 99MBE078B

4 仕様

 取り付け寸法表
コード番号

有効測定長 L1（mm）

型番

スケール全長 L2（mm）

579-665-12

ST46EZAB-10B

1030

579-666-12

ST46EZAB-25B

25

45

579-667-12

ST46EZAB-50B

5070

579-668-12

ST46EZAB-75B

75

90

579-669-12

ST46EZAB-80B

80

100

579-665-22

ST46EZAC-10B

1030

579-666-22

ST46EZAC-25B

25

45

579-667-22

ST46EZAC-50B

50

70

579-668-22

ST46EZAC-75B

75

90

579-669-22

ST46EZAC-80B

80

100

34

No. 99MBE078B

4 仕様

4.7.2

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（アルミベースあり）

 取り付け寸法図35No. 99MBE078B

4 仕様

 取り付け寸法表
コード番号

型番

有効測定長 L1 スケール全長（mm）
L2（mm）

L3（mm）

L4（mm）

579-665-13

ST46EZAB-10C

10

30

15

7.5

579-666-13

ST46EZAB-25C

25

45

25

10

579-667-13

ST46EZAB-50C

50

70

40

15

579-668-13

ST46EZAB-75C

75

90

60

15

579-669-13

ST46EZAB-80C

80

100

70

15

579-665-23

ST46EZAC-10C

10

30

15

7.5

579-666-23

ST46EZAC-25C

25

45

25

10

579-667-23

ST46EZAC-50C

50

70

40

15

579-668-23

ST46EZAC-75C

75

90

60

15

579-669-23

ST46EZAC-80C

80

100

70

15

36

No. 99MBE078B

4 仕様

4.7.3

有効測定長 100 mm 〜 3000 mm

 取り付け寸法図37No. 99MBE078B

4 仕様

 取り付け寸法表
コード番号

型番

有効測定長 スケール
L1（mm） 全長 L2
（mm）

スケール
スケール
スケール
固定ピッチ 押さえばね 押さえばね
L3（mm） A（個）
B（個）

（※ 1）

（※ 2）

579-670- □ 1 ST46EZA ◇ -100A

100

140

50

1

2

579-671- □ 1 ST46EZA ◇ -150A

150

190

75

1

2

579-672- □ 1 ST46EZA ◇ -200A

200

240

100

1

2

579-673- □ 1 ST46EZA ◇ -250A

250

290

60

1

4

579-674- □ 1 ST46EZA ◇ -300A

300

340

75

1

4

579-675- □ 1 ST46EZA ◇ -350A

350

390

85

1

4

579-676- □ 1 ST46EZA ◇ -400A

400

440

100

1

4

579-677- □ 1 ST46EZA ◇ -450A

450

490

75

1

6

579-678- □ 1 ST46EZA ◇ -500A

500

540

80

1

6

579-679- □ 1 ST46EZA ◇ -600A

600

640

100

1

6

579-680- □ 1 ST46EZA ◇ -700A

700

740

85

1

8

579-681- □ 1 ST46EZA ◇ -800A

800

840

100

1

8

579-682- □ 1 ST46EZA ◇ -900A

900

940

90

1

10

579-683- □ 1 ST46EZA ◇ -1000A 1000

1040

100

1

10

579-684- □ 1 ST46EZA ◇ -1100A 1100

1140

90

1

12

579-685- □ 1 ST46EZA ◇ -1200A 1200

1240

100

1

12

579-686- □ 1 ST46EZA ◇ -1300A 1300

1340

130

1

10

579-687- □ 1 ST46EZA ◇ -1400A 1400

1440

100

1

14

579-688- □ 1 ST46EZA ◇ -1500A 1500

1540

125

1

12

579-689- □ 1 ST46EZA ◇ -1600A 1600

1640

100

1

16

579-690- □ 1 ST46EZA ◇ -1700A 1700

1740

120

1

14

579-691- □ 1 ST46EZA ◇ -1800A 1800

1840

100

1

18

579-692- □ 1 ST46EZA ◇ -2000A 2000

2040

100

1

20

579-693- □ 1 ST46EZA ◇ -2200A 2200

2240

100

1

22

579-694- □ 1 ST46EZA ◇ -2400A 2400

2440

100

1

24

579-695- □ 1 ST46EZA ◇ -2500A 2500

2540

95

1

26

579-696- □ 1 ST46EZA ◇ -2600A 2600

2640

100

1

26

579-697- □ 1 ST46EZA ◇ -2800A 2800

2840

100

1

28

579-698- □ 1 ST46EZA ◇ -3000A 3000

3040

100

1

30

※ 1：コード No. の□印は、以下を示します。
1：二相方形波＋外部リセット入力
2：二相正弦波＋二相方形波※ 2：型番の◇印は、以下を示します。
B：二相方形波＋外部リセット入力
C：二相正弦波＋二相方形波

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No. 99MBE078B

5 トラブルシューティング

5

トラブルシューティング

この章では、初期電源投入時のトラブルや動作中に発生したアラームの原因確認の方法について説明します。
トラブル発生ANO

トラブル解消

YES

終了

制御装置
断線アラーム非表示

NO

制御装置の設定およびコネクターシェルの設定（最小分解能、最小エッジ間隔、
ディレクションなど）を確認

YES

コネクターシェル
CALランプが2秒間隔で点滅

フィードバックケーブルの結線は正しい（シールド線を含む）

NO

NO

フィードバックケーブルの
手直し

YES

A

YES

フィードバックケーブルのシールド線がアースバーに接地されている

NO

YES

YES

A

YES

検出ヘッドとメインスケールとの取り付け
位置関係は正しいヘッドケーブルの導通は問題ない

手直し

NO

NO

ヘッドケーブルの交換（弊社サービ
スセンタまたは最寄りの営業所へご連絡ください）

A

再取り付け

A

弊社サービスセンタまたは
最寄りの営業所へご連絡ください39

No. 99MBE078B

5 トラブルシューティング

MEMO

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No. 99MBE078B

営業・サービスの窓口
2021 年 1 月現在
仙台市若林区卸町東 1-7-30〒 984-0002

電話：(022) 231-6881

ファクス：(022) 231-6884

郡山営業所

仙台市若林区卸町東 1-7-30（※）
電話：(024) 931-4331〒 984-0002
ファクス：(022) 231-6884

宇都宮営業所宇都宮市平松本町 796-1〒 321-0932

仙台営業所

電話：(028) 660-6240

ファクス：(028) 660-6248

つくば営業所宇都宮市平松本町 796-1（※）
電話：(029) 839-9139〒 321-0932
ファクス：(028) 660-6248

新潟営業所

新潟市中央区新和 1-6-10
リファーレ新和 1 階 B 号室

〒 950-0972

電話：(025) 281-4360

ファクス：(025) 281-4367

伊勢崎市宮子町 3463-13〒 372-0801

電話：(0270) 21-5471

ファクス：(0270) 21-5613

さいたま市北区宮原町 3-429-1〒 331-0812

電話：(048) 667-1431

ファクス：(048) 667-1434

川崎市高津区坂戸 1-20-1〒 213-8533

電話：(044) 813-1611

ファクス：(044) 813-1610

東京営業所

川崎市高津区坂戸 1-20-1（※）
電話：(03) 3452-0481〒 213-8533
ファクス：(044) 813-1610

厚木営業所

厚木市岡田 1-7-1
ヴェルドミール SUZUKI 105 号室〒 243-0021

電話：(046) 226-1020

ファクス：(046) 229-5450

伊勢崎営業所
さいたま営業所
川崎営業所

八王子駐在所
富士駐在所

電話：(042) 620-5380
電話：(0545) 55-1677

諏訪営業所

諏訪市中洲 582-2〒 392-0015

電話：(0266) 53-6414

ファクス：(0266) 58-1830

上田駐在所

電話：(0268) 26-4531

浜松営業所

浜松市東区和田町 587-1〒 435-0016

電話：(053) 464-1451

ファクス：(053) 464-1683

安城市住吉町 5-19-5〒 446-0072

電話：(0566) 98-7070

ファクス：(0566) 98-6761

安城市住吉町 5-19-5〒 446-0072

電話：(0566) 98-7070

ファクス：(0566) 98-6761

名古屋市昭和区鶴舞 4-14-26〒 466-0064

電話：(052) 741-0382

ファクス：(052) 733-0921

名古屋市昭和区鶴舞 4-14-26（※）
電話：(052) 741-0382〒 466-0064
ファクス：(052) 733-0921

安城営業所
中部オートモーティブ営業所
名古屋営業所
岐阜営業所※営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。

App-1

金沢市桜田町 1-26

金沢営業所

ドマーニ桜田〒 920-0057

電話：(076) 222-1160

ファクス：(076) 222-1161

大阪営業所

大阪市住之江区南港北 1-4-34〒 559-0034

電話：(06) 6613-8801

ファクス：(06) 6613-8817

神戸営業所

大阪市住之江区南港北 1-4-34（※） 〒 559-0034
電話：(078) 924-4560
ファクス：(06) 6613-8817

京滋営業所

草津市大路 2-13-27

岡山営業所
広島営業所
福岡営業所
センシング営業課
地震機器課

辻第 3 ビル 1F 〒 525-0032

電話：(077) 569-4171

ファクス：(077) 569-4172

岡山市北区田中 134-107〒 700-0951

電話：(086) 242-5625

ファクス：(086) 242-5653

東広島市八本松東 2-15-20〒 739-0142

電話：(082) 427-1161

ファクス：(082) 427-1163

福岡市博多区博多駅南 4-16-37〒 812-0016

電話：(092) 411-2911

ファクス：(092) 473-1470

川崎市高津区坂戸 1-20-1
電話：(044) 813-8236
川崎市高津区坂戸 1-20-1
電話：(044) 455-5021〒 213-8533
ファクス：(044) 822-8140〒 213-8533
ファクス：(044) 455-5019※営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。
 商品の故障および操作方法に関してのご相談・お問い合わせカスタマーサポートセンタ

電話：(0570) 073214

y 受付時間：弊社営業日 8:30 〜 12:00 13:00 〜 17:30
y お願い： 測定機器商品（形状測定機、硬さ試験機、座標計測機器、画像測定機、光学機器ほか）に関するお問い合わせの場合は、該当商品のコード番号、シリアル番号をお手元にご用意ください。

App-2

改訂履歴
発行年月日
2019 年 3 月 1 日
2021 年 1 月 1 日
2021 年 7 月 1 日

版数
改訂 1 版
改訂 2 版
改訂 3 版

改訂内容
全面改訂し発行
欧州整合規格変更に伴う対応ほか
UKCA（UK Conformity Assessed）マー
キングの適用による追加及び変更ほか

No. 99MBE078B

株式会社 ミツトヨ
神奈川県川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒 213-8533
ホームページ : https://www.mitutoyo.co.jp

Printed in Japan
No. 99MBE078B