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ステージ付きＡＦＭ
sugitasugita2008/9/18

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概要
 SEMに変わる測定方式で、測定ワークにダメージを与えず、正確な3次元測定が可能になりました。
大型ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価なＡＦＭ装置と同等の機能を有します。
 測定ワークの材質に関係無く、導体から絶縁体迄、コーティング無しで、ナノレベルの測定が直ぐに可能です。
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機能と特長 一般的なピエゾ素子を使用せずＡＦＭ本体部に走査ステージを内蔵することにより外乱、に大変強くなっています。
カンチレバーの交換はクイックリリースメカニズムにより、初めての方でも短時間にて可能です。交換後のキャリブレーションは、本体が自動で行う為、調整を全く必要といたしません。

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機能と特長 ２方向の小型カメラを本体に内蔵することにより、上方、側面の観察がリアルタイムで可能です。

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機能と特長 走査ヘッドは２種類有り、高精度タイプと、広域スキャンタイプからなり、ソフトウエアは共通で、ヘッドの交換時間も数秒で、完了いたします。
測定したい、精度により容易に交換可能です。
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5カーボンナノチューブプローブ
 カーボンナノチューブプローブ

を含む、全てのカンチレーバーでオートアプローチが可能となっております。

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6カーボンナノチューブプローブ
 ご希望により、カンチレバーの長さ、幅の指定製作が可能です。

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仕様
広域スキャン

高精度スキャン

最大スキャンレンジ

110 µm

10 µm

最大 Z-レンジ22 µm

1.8 µm

分解能 Z方向0.34 nm0.027 nm

分解能 XY方向

1.7nm

0.15nm

XY-リニアリティエラー

<0.6%

<0.6%

走査ヘッドタイプ

Z 測定ノイズレベル(RMS, ダイナミックモード)
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0.3 nm(max. 0.54 nm)

0.04 nm(max. 0.07 nm)8

測定モード1
 スタティックフォース
 ダイナミックフォース
 フェイズコントラスト
 フォースモジュレーション
 マグネティックフォース
 スプレッディングレジスタンス
 モード; ユーザー信号が全てのモードで使用可能モードによって最高５点の測定
チャンネル
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9測定モード2 走査エリアとデータ点数

幅と高さは個別に最高 2048×2048点
 走査モード 順方向と逆方向走査
フレームＵＰ、ＤＯＷＮ, 又は連続
 走査画像回転 0 - 360°
 サンプルの傾斜補正
ハードウェアのXY傾斜補正
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10ＭＦＭモード 磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）
 Magnetic Force Microscopyとは、プローブ顕微鏡の一種であり、表面の微小磁区を測定する事ができる測定法で、カンチレバーに磁性材料を蒸着した物を使います。
 試料表面付近では原子間力の影響が大きく走査プローブ顕微鏡の中でも難しい測定になります。
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ＭＦＭモード 測定例ここで示される寸法は、サンプルは、１０GB３．５インチハードディスクで、６００nmのトラック距離による媒体の平面と７０nmのビット長で磁気を帯た４２ＫのＴＰＩ、３６３ＫのＢＰＩと一致します。

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12Spreading Resistanceモード
 広がり抵抗顕微鏡 （ＳＳＲＭ）

Scanning Spread Resistance Microscope
試料に電圧を印加し、導電性プローブを通して流れる電流を対数アンプによって計測し、抵抗分布を得ます。
電圧が探針直下に集中するため、探針直下でのドーパント濃度が支配的な電流（広がり抵抗）を検出することが可能です。
接触抵抗を減らすため、カンチレバーに高い針圧をかけて測定します。これによりキャリア濃度に合致した抵抗値が得られます。
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Spreading Resistanceモード
 参考図

半導体ドーパント濃度分布の評価
測定レンジが不足するような広い範囲の電気抵抗の違いを捉えることが可能です。

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courtesy of EHT Zürich

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Spreading Resistanceモード
 測定例

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アプリケーション 測定例シリコンウエハー

10x10µm image, z-range: 38.8nm

University, EKM, Experimentalphysik 6.

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カーボンナノチューブ

Scan size 500 × 500 nm; Z-range: 6 nm

Alexandru Darabont at the University

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アプリケーション
 測定例
ソーラセルレイヤー

Scan range 90µm x 90µm; Z range 7.6µm

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リソグラフィー

5x5µm image, z-range: 200nm
National Taiwan Ocean University

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アプリケーション
 測定例
ナノグリッド（金薄膜上の樹脂）

500x500nm image; z-range 27nm
Laboratory for Micro- and Nanotechnology

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光配線格子

10x10µm image, z-range: 500nm

18アプリケーション
 測定例
量子ドット

1x1µm image, z-range: 3nm

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ストロンチューム薄膜

2µm x 2µm; z-range 2.5nm

19アプリケーション
 測定例
光学レンズ表面ニュートンミラー1x1µm image, z-range: 0.8nm

2µm x 2µm; Z range 7nm

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アプリケーション
 測定例
Ｂｉｏチップ50x50µm image, z-range: 150nm

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ステント面

20x20um image, z-range 2.3um

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アプリケーション 測定例
タングステンカーバイトボール

10x10µm image, z-range: 30nm

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ステンレスインデット

80x80µm image, z-range: 6µm

22アプリケーション
 測定例
炭化ケイ素薄膜

5x5µm image, z-range: 110nm

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金フィルム粗さ

40x40µm image, z-range: 200nm

23アプリケーション
測定例
パットのプローブ痕

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ＩＣパターン24Report レポート作成
標準の各種解析ツールの他、視覚的に魅力的な、専門のレポートの作成のためにソフトウェアをオプションとして準備しております。
測定ソフトウエアの中に組み込まれ、測定分析を含んで、テキストコメント、ロゴ、タイムスタンプとイメージを作成し報告します。
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語句解説
ＴＰＩ
磁気記録メディアや光学記録メディアにおいて、記録トラックの密度を表す単位。 ... 例えば 135
tpi といえば (これは 3.5 インチ・フロッピー・ディスクの記録密度)、1 インチあたり 135 本の記録トラックがあるという意味になります。
ＢＰＩ
磁気テープ記憶装置の記録密度をあらわす単位。テープの長さ1インチあたりに何ビットの情報を記録できるかを表します。
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有難うございました。
 現在３台のデモ機を用意しております。

お気軽にサンプルテスト申しつけ下さい。
超アスペクト比のカーボンナノチューブプローブも、取り扱ております。（特注も可能です）
また、ＡＦＭと顕微鏡、厚さ計、など含めた複合装置も、製作しております。
姉妹機を含めワールドワイドで、毎年１００台以上の確かな納入実績が有ります。
貴重なお時間有難うございました。
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連絡先
http://www.softworks.co.jp/

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