報吉日2 0 1 5年 (平成2 7年)6J

9日

報告者 名古屋エ業大学 大学院工学研究科 准教授

関 偉大
1冊究概要

(和文)

(I)課題名(日本語)空気圧アクチュエータと電磁アクチュエータを併用した荷重制御裳置に対する制御系設計(2)研究者氏名
関偉大名古屋工業大学大学院エ学研究科准教授(3)研究概要(日本文)（本研究では、空気圧アクチュエータと電磁アクチュエータを併用した荷重制御袋置を対象として，目標荷重に高精度に追従するために，制御帯域の拡大を目指した制御系の設計を行う。供試装置では，動作周波数が異なる二つのアクチュエータを併用するため，その境界周波数近傍で干渉が発生し制御性能を劣化させる。
さらに，機構系の有する共振振動により制御帯域が制限される。これらの課題を解決するために，干渉と振動抑制の両立を実現するフィードバック補償器の設計を行い，その有効性を供試荷重制御袋置による実験で検証した。
(4)キーワード

空気圧アクチュエータ，電磁アクチュエータ，制御系設計，外乳抑制，干渉抑制(1)Research title︵Controller Design for Load Devices Combined Pneumatic Actuator with
Electromagnetic Actuator(2)Name ofresearcher with title of position
Kenta Seki, Associate Professor, Nagoya Institute of Technology(3)Summary
This study proposes a controller design approach to achieve the high accuracy
load controlin load devices with a pneumatic actuator and a voice coil motor.
In the targetload devices,the control performance is deteriorated by
disturbances due to the interference force between the actuators as well as

the frequency variation in the mechanicalresonance.In orderto solve theproblems, a robust controlleris designed by PQ method and H infinity control
framework againstthe disturbances to the system. Effectiveness ofthe
proposed approach has been verified by frequency analyses and experiments

using an actualload device.

(4) Research title
Pneumatic

actuator,

Electromagnetic

actuator,

Controller

design,Disturbance suppression,Interference suppression︵2・木研究の意義・特色
研磨装置では，研磨材を被加工物に押し当てることで加工を行う。そこでは，破屋エ物に対する高精度加エを実現するために目標荷重への高精度追従が要求される。本研究で対象とする荷重制御袋置では，持続的に荷重を保拝することに適した空気圧アクチュエータを主駆動源として利屈するが，応答性の高いボイスコイルモータ(VCM)を併用した2段アクチュエーションを採用し空気圧アクチュエータ単体では実現できない広い周波数範囲で高精度な荷重制御を達成する。しかしアクチュエータの併用は適切な制御器を設計しなければ，動作干渉を引き起こして制御精度を劣化させる場合がある。さらに，機構系の有する共振振動およびその周波数変動が，制御精度と共にシステムの安定性を劣化させる。本研究では，これらの制御課題を解決するための一つの制御系設計手法を提案し実験によりその有効性を確認している。

産業機器の高性能化や差別化を達成するためには，アクチュエータの協調動作による複雑な動作の実現や性能向上が一つの解決であると考えられる。アクチュエータの協調制御系に対する一般的な設計論が研究される一方で，制御系はその製品の制御目的やアクチュエータの性能，機器の構成により様々な制約条件を持つために一般論を適用できない場合も多い。本研究では，具体的な荷重制御袋置を題材として，そこで発生する問題に対する具体的な解決法と一つの制御系設計方法を提案している。本研究の制御系設計の考え方と具体的アプローチは，同様の形態を持つ様々な産業機器へ適用できると考えられる。
︵3. 実施した研究の具体的内容、結果(本文)

3.1供試装置のシステム構成
本研究で対象とした供試荷重制御袋置の模式図とシステム構成因む，図1，2にそれぞれ示す。制御対象は，空気圧アクチュエータとVCMが配置され，両者は鉛直方向に力を発生する。制御システムは，補償器演算を行うDigital Signal Processor(DSP)，空気圧ァクチュエータ，サーボバルブ，vcM，各アクチュエータのサーボアンプ，荷重値を検出するロードセルから構成される。図2 中，rは目標荷重値，れはサーボバルブへの制御大力，軋はVCM への制御大力，/はロードセルで検出される荷重値を示す。荷重値/はAD変換器を介してDSP内に取り速まれ，空気圧アクチュエータとVCMに対して設計された補償器により各制御大力が計算される。計算された制御大力は，DA変換されたアナログ信芳れ，""として，各サーボアシフを介してサーボバルブ及びVCMへ入力される。サーボバルブは制御大力に応じてバルブの開閉を行い，空気圧シリンダ内の圧力を変化させることで力を発生し 荷重値を制御する。一方，VCMは制御大力に応じた電磁力を発生させることで，荷重値を制御する。

@s¦ Servo amp
DSP>j Servo valve

曄巨・………・

Air

Rrgulam一而

Controllerfor
voice coil^otor

ルD/

1=J
D.A^j Servo amp VCM
Loaded]臆"（object¥¥¥¥¥¥

図1供試装置の模式図図2制御システムの構成
3.2 制御系設計と実験による評価
3.2.1 供試装置の制御課題
供試装置は，応答速度の異なる2つのアクチュエータを併用している。このような場
合，一般的にローパスフィルタ，ハイパスフィルタを付加して，各アクチュエータへの︵制御大力を整形して動作帯域の分離が行われる。しかしながら，このような単純な方法
では，動作分離周波数近傍のゲインと位相ずれによって動作干渉が発生する場合がある。
一方で，空気圧アクチュエータには空気の圧縮性に起因したばれ力により共振振動が発生する。さらに，この共振周波数は，動作環境や経年劣化により変動するため，変動に対するロバスト性を考慮した振動抑制補償器を設計する必要がある。本研究では，1)動作干渉を抑制する補償器設計，2)共振振動抑制とその周波数変動に対するロバスト制振桶償器設計，の2段階の設計手法を提案する。
3.2.2 制御系の設計
図3に，本研究で設計するフィードバック制御系の構成を示す。因由，C，はVCM (Pv)に対する補償器，c2は空気圧アクチュエータ(p)に対する補償器，coは拡大制御対象Go {=CPv+C2P")に対する補償器であり，ガは被加工物からの外乱を示す。本研究では，2つのアクチュエータの動作干渉を抑制するためにpQ法を適用した。pQ法は，2つのアクチュエータを併用した装置に対して，干渉抑制を考慮する際に設計の見通しが良く，アクチュエータ相互の出力関係を決める動作分離周波数を任意に決定できる利点を持つ。本制御対象では，設計指針として，動作分離周波数をio HZ，動作分離周波数におけるアクチュエータ間の位相差120deg以内を与えた。具体的な補償器構造には，C，は，制御大力の飽和を回避するためハイパスフィルタを適用しC2は，アクチュエータ間の位相差を小さくするため，位相進み補償器を適用した。

pQ法に基づいて干渉抑制を考慮した各補償器を含めた図3の点線部を拡大制御対象として，共振振動の抑制とその周波数変動に対するロバスト性能を具備する補償器Coを設計する。具体的には，Hの制御鹿論を適用して共振周波数変動に対するロバスト安定性を陽に考慮した。

++爪

Ⅱ

弗/-/v

山山人

口Q

口

" 。 引句*@+三︒

時

c2: Go小図3提案フイードバツク制御系の構成︵

3.2.3 制御系の設計結果と実験による評価
本研究で設計した制御茶の性能を評価する。図4は，制御系に加わる外部メから荷重値/までの感度特性であり，破線はPQ法を適用して干渉抑制を考慮した設計結果，実線はPQ法を適用せずに単純にローパスフィルタとハイパスフィルタで帯域分離した設計結果を示す。この結果より，干渉抑制を考慮することで，動作分離周波数ioHz近傍のゲインの増大を抑制しつつ，幅広い帯域でゲインを低減できている。すなわち，提案制御系では，制御系に加わる外乱の影響を抑制しつつ，高精度に目標値に追従できる。図5は，干渉抑制を考慮した制御系に対してHの制御理論に基づき共振周波数変動に対するロバスト性能を考慮して補償器Coを設計した結果の感度特性を示している。本制御対象は，約220Hzに固有振動数を有するが，振動抑制を考慮して補償器を設計することにより，図由実線に示すように，共振周波数近傍のゲインピークを抑制できている。さらに，共振周波数が215HZに変動したとしても同様にゲインピークを抑制できている。

一1一一

毛 早 め
一1一

力
一

石一

田/

50
31

' Convention*!
nominal: 226 Hz---freq. variation : 21^ Hz
lo。lo*

Frequency 'H。

，，、
図5 Hの制御理;おを適用した感度特，陸図6，7，8は，目標荷重値を一定(10N)にした状態で，・外乳ガとしてステップ外乱を加えた時の荷重応答結果である。図6の実線は干渉抑制を考慮していない制御系での荷重応答，破線は干渉抑制を考慮した制御系での荷重応答波形である。この結果より，干渉抑制を考慮することで，外乳に対して速やかに零に収束して高精度な荷重追従制御が実現できている。図7の破線は，共振周波数が変動した時の荷重厄答波形であり，共振周波数が微小変化しただけでも残留振動が発生していることがわかる。一方で，図8はHの制御理論を用いて共振周波数変動を考慮して補償器を設計した時の荷重心答波形である。この結果から，共振周波数が変動した時において残留振動は発生せず，変動前と同様の荷重応答が得られており，変動に対してロバストな制御系が設計できていることがわかる。
O'。"'

憶O卍タ/。v，。; 。"，。。い，・，"・ァサ︐

ま毒 ヨ︵'.7げだ・Ⅱ自@轟卜れヰニヘスⅡハハハ珪珪4ニっ︒

・毎ioions ioi lo ・@s

Time はl0.2 10.2s 10.3 10.35

図いテツプ外き」に対する荷重応答"lo@002

nominal: 226 Hz- @ -1req. variation : 215 H
10.04
10.0
Ⅲ・㏄
10.1

田唾1"1

図7共振周波数変動日きのステップ外き」に対する荷重厄答

lo
10.

'Ⅰゲ"。

loⅠ・
サⅠ

一ハw・

ft5口@@@@@@・く9.99 lo lo.0110.02 1O03 I0.O1IttCtt 1Oj06 IO.O7 tO.OK 10.09
Ttnw^

図8提案制御系におけるステップ外乳に対する荷重応答4本研究を実施したグループに属するおもな研究者の氏名・役職名
関偉大・名古屋エ業大学・准教授
5. 研究実施時期
20 13年(平成2 5年) 3月から20 15年(平成2 7年) 2戸まで
6・本研究に関連して発表した主な論文等
Ⅲ篠原悠作，聖人，岩崎誠，LPモデルを用いた周波数推定による荷重制御袋置

の外乳抑圧制御，平成25年電気関係学会東海支部連台大会，No.B2-5, 2013/9[2] 篠原悠作，関偉大，岩崎誠，干渉と周波数変動を考慮した2 段アクチュエ一夕
制御来設計，電気学会産業計測制御/メヵトロニクス制御研究会，IIc-i4-65,
MEC-14-53, pp.55-60, 2014/3[3] 廣田純一，篠原悠作，関偉大，岩崎誠，荷重制御袋置に対する圧カセンサと圧電素子を併用した外乳抑圧制御茶の設計，平成26年電気関係学会東海支部連台大会，

一No.Cl-5, 2014/9[4] Y.Shinohara, K.Sek，M.Iwasaki, Robust Vibration Suppression Controlfor
esonant requency Variations in Dual-Stage Actuator-Driven Load Devices, Pでoc.

ofthe 8th IEEE International Conference on Mechatronics, pp.628・633, 2015/3︵[5] 篠原悠作，関偉大，岩崎誠，砂田寛，高橋 昌樹，荷重制御袋置に対する共振周波数変動を考慮した2段アクチュエータのロバスト制御，日本機械学会論文集，

一Vol.81, No.824,10pages(l4-0035l), 2015/4

7 内外における関連研究の状況
2つのアクチュエータを併用した制御来設計手法については，ハードディスクドライブのへッド位置決め機構を対象として海外の大学および研究機関より様々な手法が提案されている。これらは，VCMと圧電アクチュエ一夕を制御対象とした位置決め制御系設計手法である。このように，比較的動作周波数が低く大型の産業機器から小型で動作周波数の高い情報機器に至るまで，複数のアクチュエータ，もしくはセンサを併用することによって既存の制御性能を打破する取り組みが盛んに行われている。その中で，本研究は具体的なアプリケーションを対象とした一つの制御系設計事例を示すことができ，その考え方は様々な製品へ適用できると考えられる。
（

8・今後の発展に対する希望
複雑化する機器や求められる性能が高度化する中，統一的な制御系設計手法を確立するだけでなく，今後は，具体的な設計事例で生まれた考え方を応用し，製品年に最適な制御系をカスタマイズすることが必要であると考えられる。本研究では，空気圧アクチュエータとVCMを併用した制御系設計手法の一例を示したが，その他にも過大な外力が作用した時の制御大力飽和を回避する手法や，異なる性質を有するアクチュエータを併用した際の設計手法を確立するなど，様々な応用展開が必要である。