SERVOPRO

MonoExact DF310E 微量酸素分析計
産業ガスアプリケーションに特化した次世代のデジタル酸素分析計
微量測定を可能とし、新機能を追加、操作性を刷新

特長• 従来のDF310Eの技術をアップグレードさせた進化型分析計• オプションのAquaXact水分センサーを接続することで微量水分の測定も可能• 耐酸性ガスセンサー（Stab-EL）を標準採用• 直感的なタッチパネル操作が可能• 5年保証のクーロメトリックセンサー
ガス中の酸素分子と反応し電気信号を出力
デジタル回路により演算• クーロメトリックセンサーの他に磁気ダンベル式センサーが選択可能• 豊富なインターフェース
アナログ出力：0-10V DC
4-20mA DC
通信方式：RS232
RS485(Modbus)
Ethernet(TCP/IP)

MonoExact DF310E
MonoExact DF310Eは、窒素、アルゴン、水素の製造装置、タンカーへの充填、特殊ガスの混合、半導体用ガス精製などの様々な産業ガスのアプリケーションにおける酸素の正確な測定を目的として作られました。

主なアプリケーション
Servomexの最新のセンサー/アナライザ機能と高度な新しいプラットフォームを組み合わせたMonoExact DF310Eは、操作が簡単で、幅広いシステムに導入できます。

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窒素製造プラント
アルゴン製造プラント
水素製造プラントタンカー充填設備
特殊ガスの混合半導体ガス
他

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PRODUCTDATA : MonoExact DF310E

MonoExact DF310E検出原理

MonoExact DF310Eの新機能オプションのマルチセンサー

クーロメトリック式微量酸素センサー

高感度なクーロメトリック式センサーに加え、幅広いレンジで酸素分析が可能な磁気ダンベルセンサー、微量水分測定に適したAl2O3静電容量式センサーが利用できます。

マルチセンサー構成
下記の4種類の構成より選択ください。

Case ①
微量酸素センサー

デジタル回路を採用した
クーロメトリック式微量酸素センサー

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センサー原理電解質溶液中に拡散されたサンプルガス中のO2分子は、検出電極（カソード）を通りOH-イオンを生成します。それぞれのO2分子が電子（4e-）の流れを生成し、その結果としてサンプルガス中に含まれる酸素分子の量に比例した電流が発生します。

Ch 1 : 微量酸素測定

Case ②％酸素センサー

13

MonoExact DFシリーズのクーロメトリック式センサーは、PPBからPPMレベルまで測定することができます。

％微量水分センサー

磁気ダンベルセンサーにより25％までの酸素濃度を測定可能

Case ③
微量酸素センサー

二次電極

Ch 1 : ％酸素測定

ppm

Ch 1 : 微量酸素測定
Ch 2 : 微量水分測定
微量酸素と微量水分が同時に分析可能

ppm

1.3V電圧

サンプルガス

微量水分センサー

Case ④％酸素センサー

アノード

カソード

Ch 1 : ％酸素測定
Ch 2 : 微量水分測定％酸素と微量水分が同時に分析可能

TECHNOLOGIESPRODUCTDATA : MonoExact DF310E
MonoExact DF310E微量酸素センサー

共通部仕様

センサー性能機械的仕様
寸法（奥行 x 高さ x 幅）（足、ハンドル部を含む）

センサータイプディスプレイ表示

測定レンジ

精度 （標準精度）
精度 （高精度）
応答速度
最小検出感度

分解能

非消耗型クーロメトリックセンサー（電解液補充型）
ppm O2・ 高精度：小数点以下3桁まで
・ 標準精度：小数点以下2桁まで
下記よりご発注時に選択ください。
・ 0～100 ppm （高精度）・ 0～100 ppm （標準精度）
・ 0～1,000 ppm （標準精度）
・ 0～10,000 ppm （標準精度）
フルスケールの0.05%または指示値の±3%の大きい方±10ppbまたは指示値の±3%の大きい方
約30秒以下（T90）
平衡状態になるまでの時間はアプリ
ケーションによる
3 ppb （高精度）50 ppb （標準精度）
0.005ppm：100 ppm レンジ（高精度）
0.01 ppm：100 ppm レンジ（標準精度）
0.1 ppm：1,000 ppm レンジ（標準精度）
1 ppm：10,000 ppm レンジ（標準精度）

サンプルガス温度
センサー温度
電気回路部温度
保管温度
センサー保証期間

0℃～45℃
0℃～45℃
0℃～45℃
0℃～45℃
メーカー出荷時より5年間
交換用のセンサーは9か月以上保管し部品の消費期限ないでください。電極が劣化し保証外となる可能性があります。
校正は適宜行い、センサー内部の電解推奨メンテナンス周期 液の液面が基準より下がった場合には、随時、専用の補充液を供給してください。
サンプルガス
300 ～ 700 ml/min (*)
流量2μ未満パーティクル
上記の流量はフロードリブン型(**)のフローシステムのみに適用されます。
備考(*)
プレッシャードリブン型(**)に関しては、サンプル圧力が14～56kPaの範囲にあるときに適用されます。
備考(**)
フロードリブン
外部で圧力、流量を上記の範囲内で一（標準フロースルー型）定にして分析計に導入してください。
プレッシャードリブン
圧力変動による影響を押さえます。
（バイパス型オプション）

ポンプドリブン（内蔵ポンプオプション）

内蔵ポンプによるサンプリング

・ ラックマウント型
・ ラックマウント型
・ ベンチマウント型
重量
電気的仕様
電圧出力（標準）・ 出力レンジ
通常測定フォルト時
・ 最小負荷・ アイソレート電圧（対アース）mA出力（オプション）

236 x 193 x 205 mm（19”ラック取付ブラケットを含まず）
236 x 266 x 483 mm（19”ラック取付ブラケット付き）
240 x 193 x 205 mm
5㎏未満

0 ～ 10 V DC
フォルト時の出力はオプションとなりますのでご発注時に選択ください。
100 kΩ
250 V (DCまたは AC)

・ 出力レンジ
通常測定時
フォルト時
・ 最大負荷・ アイソレート電圧（対アース）

4～20 mA DC
0 mA, 2 mA ユーザー設定可能
1 kΩ

インターフェース信号リレー

30 V (DCまたは AC) / 1A
注：リレー出力は無電圧信号

信号/電圧/mA/RS485出力
ターミナルは下記に適応
・ フレキシブルコンダクタ
・ ソリッドコンダクタ
供給電源
ヒューズ
最大消費電力周囲環境
・ 設置場所・ 周囲温度（動作時）
・ 周囲温度（保管時）・ 周囲圧力許容値
・ 周囲湿度許容値
・ 使用場所の海抜・ 保護等級

500 V (DCまたは AC)

0.5 to 1.5 mm2 (20 ～ 16 AWG)
0.5 to 1.0 mm2 (20 ～ 18 AWG)
100～240 VAC(±10%), 50 ～ 60 Hz
T3.15 AH / 250V. サイズ 20 x 5 mm
40 VA
屋内使用のみ可5 ～ 45℃
0 ～ 50℃
101.3 kPa ± 10% (1.013 bar ± 10%)10 ～ 90% RH、結露の無いこと-500 m ～ 2000 m
IP20

PRODUCTDATA : MonoExact DF310E
磁気ダンベル式 ％酸素用センサー （オプション） AquaXact微量水分センサー （オプション）
センサー性能センサータイプ
ディスプレイ表示
測定レンジ
アナログ出力レンジ
分解能
繰り返し性
精度
ゼロドリフト
スパンドリフト
出力のばらつきセンサー性能センサータイプ
測定レンジ
精度
繰り返し性

磁気ダンベル式センサー% O2
0～25%
最小設定幅：0.5%O2以上で設定可能
0.1% O2
0.1% O2± 0.1% O2± 0.05% O2／週
± 0.1% O2／週
± 0.05% O2

応答速度 （T90）応答速度 （T90）

10秒 （流量 200ml/minまたはサンプル圧
力 68.9kPaGの場合）

推奨校正周期低スパン：2週間毎
高スパン：1ヶ月毎

サンプルガス温度
サンプルガス圧力
サンプル流量
保管時の温度
センサー外形校正方法

流量特性

Al2O3薄膜、静電容量型-100℃dp～+20℃dp±3℃dp±0.5℃dp
約15分（48時間の安定後に-39.4℃dpから62.2℃dpまで上げた場合）-10℃～+70℃
0～700kPaG (100psig)
2～15 l/min-40℃～+80℃
100μ焼結ステンレスにより保護
米国メーカーによるNIST/NPLトレーサブルな多点校正

センサーチップは工場出荷時に校正済です
ので、現場校正は不要です。

フロードリブン± 0.1% O2 （サンプル流量を100ml/minから250ml/minに変化させた場合）（一般用）
プレッシャードリブン± 0.1% O2 （サンプル入口圧を14kPaから（圧力変動のある場合に55kPaに変化させた場合）有効）
温度変化によるゼロ点
10℃毎に± 0.1% O2
変動
温度変化によるスパン 10℃毎に± 0.1% O2または 指示値の1% O2
変動の大きい方
圧力の影響
周囲圧力の変化に比例して指示が変動
サンプルガス
100 ～ 250 ml/min (*)
流量
露点温度
周囲温度より5℃以下
2μ未満
パーティクル5 ～ 45℃
温度
上記の流量はフロードリブン型フローシステ
ムのみに適用されます。
備考(*)
プレッシャードリブン型に関しては、サンプル圧力が14～56kPaの範囲にあるときに適用されます。

MonoExact DF310とトランスミッター間の標準ケーブル長は5m、10m、100mの3種類
オプションとして最長200m迄
可能

画面上で酸素濃度と水分濃度が同時に確認可能

本カタログは2017年12月現在の内容であり、予告なく変更されることがあります。
本分析計は93/42 EEC医療機器指令に記述される様な人命に係る使用や医療用途にはご使用できません。

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