共同研究契約報告書
平成29年4月24日
平成29年6月2日付「高効率高分散回折格子の開発」
研究代表者：先端光学素子開発チーム・研究員・海老塚 昇
上記共同研究契約について、下記のとおり報告いたします。
所在地：埼玉県和光市広沢 2 番 1 号
名 称：国立研究開発法人理化学研究所
代表者：外部資金室長 大塚 健一 印記
１． 成果報告書（別紙のとおり）
２． 使用実績報告書（別紙のとおり）
以上

成

果

報

告

書

１．研究の実績(1)研究の実施日程
実
研究項目

4月

5月

6月

施

7月

8月

日

9月 10月 11月 12月

VB grating

SOQ (silicon on quartz)基板の試作

RFT grating

効率計算 金型試作・測定 レプリカ加工
レプリカ加工実験 効率測定・計算

Hybrid grism

程
1月

2月

3月

試作・Si 格子の酸化金型試作・測定
工具手配 効率計算

試験加工・試作（フライカット）

Si grism
LightSmithtransmission grating

効率測定

MOIRCS用効率計算依頼

試作・効率測定 試作・効率測定

VPH grating
回折格子測定装置

UV透過率測定
回転ステージ・測定アーム製作(2)研究の成果の説明
天体望遠鏡の大型化に伴って分光観測装置も巨大化してしまう。図 1 左のように透過型回折格子はコリメータや結像光学素子の近傍に置くことができ、図 1 右の反射型回折格子より、装置を小型化できるために、高分散の透過型回折格子の実用化が望まれている。TMT の第一期観測装置である可視光
広視野分光撮像装置 WFOS は当初、反射型エシェルタイプ回折格子を採用する計画であったが、装置全体が大型化して大幅なコストの上昇が懸念されている上に、コリメータやカメラレンズ用の口径が現在入手可能な φ440mm の硝材より大きくなってしまうことがわかった。そのために透過型エシェル
タイプ高分散回折格子の開発が検討されている。また、E-ELT や CFHT の後継望遠鏡の MSE（Maunakea
Spectroscopic Explorer）等にも、いくつかの可視光-近赤外線の高分散分光観測装置が提案されており、それらのためにサイズが 400×600 ~ 600×900 [mm]程度の透過型エシェルタイプ回折格子の開発が検討されている。
従来のノコギリ歯形状の表面刻線型（SR: surface relief）grating は、入射および出射する面の屈折率を利用して光束を折り曲げるために、回折角が大きくなるのに従って屈折率を大きくしなければならない。例えば、入射角および回折角が 45°の SR 回折格子の場合に格子の屈折率が 2.3 以上必要であるため、光学ガラスや樹脂等を利用できない。一方、屈折率が正弦波状に変調された Volume phase holographic

図 1 透過型（左）と（反射型右）回折格子の分光計のサイズ。

図 2 RFT grating の概念図。

図 3 RFT grating の回折効率。左：S 偏光、右：P 偏光。
n1 = n2 =1.54, Λ = 5 µm, t = 9 µm, θB = 45°。

(VPH) grating は 1 次回折光の S あるいは P 偏光に対して最大 100％の回折効率を達成可能であり、大きな角度分散を達成できるために、すばる望遠鏡をはじめ多くの天文学観測装置に搭載されている。しかし、VPH grating は S と P 偏光との回折効率の波長特性が異なるために、角度分散が大きくなると自然偏光や円偏光等に対して高い効率を達成できなくなってしまう上、高次の回折効率が低いためにエシェルタイプの回折格子として利用できない。
我々は TMT 戦略基礎開発経費等の支援を受けてエシェルタイプの透過型回折格子として Reflector
facet transmission (RFT) grating や Volume binary (VB) grating を開発している。また、RFT grating のプロ
トタイプとして MOIRCS 用に高屈折率プリズムと格子が鋭角なSR gratingを組み合わせたHybrid grismや LightSmith 社製の透過型回折格子を採用するグリズム（直視回折格子）、VB grating を採用する
nuMOIRCS 用のエシェルグリズム、液晶を用いた複屈折性 VPH grating、近-中間赤外線用のシリコンやゲルマニウムの Immersion grating 等を開発している。
1. RFT grating の開発
RFT grating は図 2 のようにノコギリ歯形状の格子の一方の面から入射した光束が、もう一方の面で反射して格子の裏面の平面から回折光が出射する新しい透過型回折格子である。屈折を利用する格子が階段形状の従来の SR 回折格子のと比べて、RFT 回折格子は格子の内部反射を利用するために、格子の屈折率が小さくても大きな回折角にも対応できる
WFOS は 5~8 次あるいは 8~13 次の高次の高分散回折格子とプリズムまたは低分散回折格子を組み合
わせて 2 次元検出器上にスペクトルを折り込むエシェル分光観測を行う。WFOS 用の透過型回折格子は入射角と回折角が 36~53°であり、WFOS 用の RTF 回折格子は、格子の屈折率が 1.54 の場合に、格子の頂角が 35~44°である。そこで、格子の屈折率が 1.54 の RFT grating について入射角および回折角が45°の場合に厳密結合波解析（RCWA）法を用いた数値計算（理研の岡本 隆之 専任研究員）によって回折効率を求めた結果、図 3 のように 4 次以上の高次回折光において 80%程度の回折効率を達成できることがわかった。この場合の格子の頂角は 38.3°である。
RFT grating の製作方法として、刃先を格子形状と同じ角度の単結晶ダイアモンドバイトを超精密加工装置に取り付けて無電解メッキのニッケル・リン合金のワークピースをシェーパー切削加工によって金型を製作する。その金型に離型材を塗布して紫外線硬化型等の樹脂を滴下した後に平行平面基板を置き、基板側から紫外線露光を行ない、金型を剥離することによって完成する。昨年度に理研の超精図 4 RFT grating のシェーパー切削加工（左）と格子の SEM 写真（右）。

図 5 ハイブリッド・グリムの概念図。

密加工装置にダイアモンド工具を取り付けて、シェーパー加工（カンナで削るような加工、図 4 左）によって金型の試作を 2 回行った（理研の細畠 拓也 研究員と竹田 真宏 氏）。1 回目の試作品は格子の頂点付近にカエシ（バリ）があり、レプリカ加工を行った結果、樹脂が金型から離型できなくなってしまった。2 回目の試作において、ほぼ理想的な格子形状（図 4 右）を形成できる加工プログラムを見出した。近日中にレプリカ加工実験用の金型の試作を行う予定である。
2. MOIRCS 用 Hybrid grism（中分散エシェル分光用）の開発
WFOS の RTF grating は格子の頂角が 35~44°と小さく、金型やレプリカ加工の工程において困難が予想された。そこで、MOIRCS の中分散グリズム用としての、格子の頂角が 60°程度のハイブリッド・グ
リズム用に表面刻線型（SR）回折格子を試作して、WFOS の RTF grating を製作する場合の問題点を明らかにすることになった。MOIRCS 用の中分散グリズムは図 5 左のような ZnSe プリズム
（n=2.45@1.65µm）にレプリカ（n=1.52@1.65µm）の SR grating を組合せたハイブリッド・グリズムである。当初の設計では、ハイブリッド・グリズムは格子間隔が 10.8µm、光束が出射する斜面の角度が
β=64.8°、格子の頂角が γ = 61.8°であった。一昨年度に理研の超精密加工装置を用いて、シェーパー切削
加工（カンナがけのような加工）によって 50×50 のレプリカ実験用の金型を試作した（細畠 拓也 研究員と竹田 真宏 氏）。昨年度に島津製作所に依頼してレプリカの加工実験を行った。
試作したハイブリッド・グリズムのレプリカ実験用金型（図 6 左上）とレプリカ 1 世代目（中央上）と 2 世代目（右上）の電子顕微鏡写真から、金型が忠実に転写されていることがわかる。また、金型とレプリカの回折光の波面を測定した結果、金型の回折光波面（反射、図 6 左下）が RMS: λ/8@633nm 程度であり、可視光用の反射型回折格子用としても実用的な値であった。またレプリカの回折光波面（透過）は 1 世代目が RMS: λ/8 程度（中央下）、2 世代目が RMS: λ/14 程度（右下）であった。MOIRCS 用のグリズムは使用波長が0.9µm以上なので1世代目と2世代目のレプリカともに仕様を充分満足する。
レプリカ試作品の回折効率は、ピークの実測値が 50%程度であった。RCWA を用いた数値計算によって効率の分光特性を調べたところ、ピーク効率が約 55%であり、波長帯域が短波長側にシフトしているために観測波長帯の回折効率が全体に低下していることがわかった。そこで、光束が出射する斜面の角度（β）や格子の頂角（γ）を変化させて効率の分光特性を調べた結果、図 5 右のような格子形状（β= 65.5 °, γ=56.0°）の場合に波長帯域と回折効率が最適であり、ピークの計算値が約 60%（実測値が 55%程度の見込み）であることがわかった。
今年度はMOIRCS ハイブリッド・グリズムの実機用（口径70×70）の透過型回折格子の製作を行う予定である。

図 6 ハイブリッド・グリズムの金型（左）とレプリカ 1 世代目（中央）と 2 世代目（右）レプリカ（右）の格子の透過型電子顕微鏡写真（上段）と回折光の波面（下段）。 左下：PV: 0.79λ, RMS: 0.12λ（反射）、中央下：PV: 0.76λ, RMS: 0.12λ（透過）、右下：0.48λ, RMS: 0.07λ（透過）。

図 7 VB 回折格子（左）と VB グリズム（中央）の概念図および、MOIRCS のエシェル・グリズム用の
VB grating の回折効率（右）。n1=1.33, n2=1.6, n3=1.6, Λ= 5.1 µm, L&S = 4.6:0.5 [µm], t = 16 µm, θ0=28.4°.

3. Volume Binary grating（MOIRCS 高分散エシェルグリズム用）の開発。
ULTIMATE Subaru の第一期観測装置として、既存の MOIRCS を改造して分光性能を向上させる
nuMOIRCS が予定されている。ULTIMATE Subaru は、すばる望遠鏡に新しい Ground layer adaptive optics(GLAO)によって限界等級と空間分解能を向上させるとともに、分光器の波長分解能も向上させることができる。nuMOIRCS に搭載されるエシェル・グリズムは 3~6 次回折光のスペクトルを、垂直分散光学素子としての直視プリズムと組み合わせて、検出器上に折り込むことによって、0.8~1.8µm の広い波
長範囲を同時に高分散分光観測ができるようになり、その性能向上の鍵となる。
我々は RCWA 法を用いた数値計算の結果から、図 7 左のように格子側面における全反射を利用する
高アスペクト比の Volume binary (VB) grating によって、高い回折効率を達成できることを見出し、開発することになった。nuMOIRCS 用の VB グリズムは図 7 中央のように、2 個のプリズムで回折格子を挟む構造であり、VPH グリズムと同様に高屈折率プリズム（ZnSe：n=2.45@1.65µm）と回折格子の界面における臨界角の制限が緩やかであるために、高分散グリズム用として最適である。図 7 右はnuMOIRCS のエシェル・グリズム用の VB grating の回折効率である。
VB grating は図 8 左に示すような工程によって高アスペクト比のシリコンの回折格子を加工し、シリコン全体を酸化して石英の回折格子を得る。さらに格子の溝に高屈折率の樹脂を充填することによって VB grating が完成する。一昨年度に豊田工業大学・ナノテクノロジープラットフォーム（ナノテクPF）との共同研究において、酸化膜除去の行程まで行い、図 8 右のように、それぞれ幅 0.44µm と 0.8µmの壁面が極めて滑らかな格子が得られている。しかし、シリコンの高アスペクト格子を酸化させたとこ

図 8 高アスペクト比の VB grating の製作方法（左）と試作した高アスペクト比のシリコン VB 回折格子（酸化膜除去まで、格子周期 Λ= 5.1µm、右上：高さ t=10µm、幅 s = 0.44µm。右下：t=20µm、s= 0.80µm）。

ろ、格子がうねってしまった。その理由として酸化処理の約 1400K から常温の 300K に戻す際に、線膨張係数が異なるために基板のシリコンが格子の石英より大きく収縮したためであると考えられる。
シリコンを酸化して全体が石英の VB grating を開発するために、豊田工大・ナノテク PF においてSOQ（Silicon on Quartz）基板の開発を行なった。SOQ 基板は、まず石英基板とシリコン基板を洗浄して酸素プラズマを照射した後に、純水に浸漬して乾燥し、プラズマ照射面同士を接合して 200℃程度で加熱すると石英とシリコンが強固に接合する。さらにシリコン側を厚さ 20µm 程度まで研磨する工程
によって SOQ 基板が完成する。昨年度に 6 枚の SOQ 基板を製作して、VB grating の試作を行った。現時点においてマスク露光の密着方法やサイクル・エッチングの工程の SOQ 基板の下部電界を調整する
等によって、エッチング深さと格子の幅が均質になる条件を探っている。
4. LightSmith Technologies 社製の透過型回折格子（1 回折光用）
MOIRCS は多天体分光機能を有し、焦点面上に置かれるスリットマスクには、光軸から離れた位置にもスリットが切られるために、分散光学素子に入射する光束が傾く。MOIRCS の高分散グリズムとして搭載されている VPH 回折格子は、ピーク効率が高いものの、帯域幅が狭く、斜め入射光束に対してピーク波長が変化してしまうために、中心から離れたスリット位置のスペクトルが観測波長帯域の端の効率が著しく低下してしまうという欠点がある。
LightSmith Technologies 社製の透過型回折格子は、カタログによると、ピーク回折効率が 94%以上である上に帯域幅が VPH 回折格子の数倍広い。我々は 1,398 本/mm の透過型回折格子（800nm 用）を購入して分光回折効率を測定した結果、図 9 のように仕様値（800±20nm において、回折効率 94%以上）を満足することを確認した。また、J ハンド用（1,100-1,400nm, 819 本/mm）と H バンド用（1,500-1800nm,
614 本/mm）の透過型回折格子の回折効率の数値計算を LightSmith Technologies 社製に依頼した結果、いずれも現存の VPH グリズムより帯域幅が広くなることを確認した。そこで MOIRCS 用に、まずは H
バンドのグリズムを開発することになった（児玉 東北大教授の科研費基盤 A）。
5. VPH grating の開発
従来の VPH grating は前述のように S と P 偏光の回折効率特性が異なるために、角度分散が大きくなると自然偏光等に対して高い効率を達成できない。Birefringence VPH (B-VPH) grating は、ホログラム記
録材料として液晶等の光学異方性媒質と等方生媒質、あるいは 2 種類の光学異方性媒質を組み合わせ、
任意のブラッグ角において光学異方性媒質と等方生媒質の屈折率を調整して S 偏光と P 偏光の１次回
折光の回折効率特性を一致させることによって、自然偏光や円偏光に対しても高い回折効率を達成できるようになる。
一昨年度まで我々は可視光硬化型樹脂と UV 硬化型液晶等を混合して記録材料とした B-VPH gratingの試作を行ってきた。しかし、前節のように LightSmith Technologies 社製の透過型回折格子の性能が従来の VPH grating を凌駕することが分かったので、昨年度は B-VPH grating の開発を休止した。ただし、

図 9 LightSmith Technologies 社製の透過型回折格子の透過率のカタログ値（左）実測値（左）。1398.6
本/mm, 入射角：34°。

図 10 フライカットによるシリコンリズムの試作（左）、MIMIZUKU 用グリズム（中央）格子の光学顕微鏡グ写真（右）。
LightSmith 社製の透過型回折格子は、中分散用（入射角 30°以下）では高い回折効率を達成できず、現時点において、波長 700nm 以下については製造が困難である。そのため、WFOS 用の低分散回折格子やクロスディスパーザ等については、大面積の加工が容易な VPH grating が使用される。
現在では日本ペイント製のホログラム記録材料が入手できないために、可視光硬化型樹脂と高屈折率の紫外線硬化型樹脂を混合した記録材料の開発を行なっている。現時点において、この記録材料にはVPH grating の干渉露光工程において露光量が多くなると白濁するという欠点がある。また、回折効率が想定より低い。白濁の原因として、樹脂の結晶化が考えられる。一方、効率が低いのは可視光レーザの干渉露光中の明暗格子において、可視光硬化型樹脂のモノマーの重合によって生ずる 2 種類の樹脂のモノマーの濃度勾配を緩和するためのモノマーの拡散が少なく、樹脂の分離が十分でないために、屈折率の変調量が小さいことが考えられる。今後は専門家に意見を求め、結晶化の対策や屈折率変調量の向上を目指す。
また、昨年度に WFOS の設計チームからクロスディスパーザとして使用される VPH grating の紫外線透過率について問い合わせがあり、手持ちの日本ペイント製ホログラム記録材料と重クロム酸ゼラ
チンの VPH grating、および石英基板を用いて可視光硬化型樹脂と紫外線硬化型樹脂の VPH grating を試作して、これらの分光透過率データを彼らに提供した。

6. 近-中間赤外線グリズムの開発
近-中間赤外線用 Immersion grating のプロトタイプとして、2015 年度より TAO 望遠鏡の MIMIZUKU
近-中間赤外線（2~5.3µm）用のシリコン grism の開発を行っている。数回の試験加工を経て、昨年度に超精密加工装置にダイアモンド工具を取り付けて、図 10 のようにシリコンのグリズム（24×24×t2.8, 頂角 4.2°, ）をフライカット加工（回転工具による加工）によって試作を行った。しかし、図 10 右のように格子面が粗面になってしまい、効率が数%程度であった。今年度はゲルマニウムのグリズムも、フライカット加工によって、試作を行う予定である。

審査付原著論文
・ N. Ebizuka, T. Okamoto, M. Takeda, T. Hosobata, Y. Yamagata, M. Sasaki, M. Uomoto, T. Shimatsu, S.
Sato, N. Hashimoto, I. Tanaka, T. Hattori, S. Ozaki, W. Aoki, “Novel gratings for next-generation
instruments of astronomical observations,” Proc. SPIE 10233, 0M1-0M8, 2017.
集録論文
1) N. Ebizuka, T. Okamoto, M. Takeda, T. Hosobata, Y. Yamagata, M. Sasaki, M. Uomoto, T. Shimatsu, S.
Sato, N. Hashimoto, I. Tanaka, T. Hattori, S. Ozaki, W. Aoki, “Transmission gratings and immersion
gratings for instruments of Subaru Telescope and TMT,” Proc. The 9th International Conf. on Leading Edge
Manufacturing in 21st Century (LEM21), C18 (USB-165), 2017.

2) N. Ebizuka, T. Okamoto, M. Takeda, T. Hosobata, Y. Yamagata, M. Sasaki, M. Uomoto, T. Shimatsu, S.
Sato, N. Hashimoto, I. Tanaka, T. Hattori, S. Ozaki, W. Aoki, “Novel gratings for astronomical instruments,”
Proc. Workshop on dispersing elements for astronomy: New trends and possibility, 45-46, 2017.

3) N. Ebizuka, T. Okamoto, M. Takeda, T. Hosobata, Y. Yamagata, M. Sasaki, I. Tanaka, T. Hattori, S. Ozaki,
W. Aoki, “Novel gratings of high dispersion and high efficiency,” Proc. EOS Topical Meeting on Diffractive
Optics 2017 (DO2017), 57-58 (USB), 2017.
4) 海老塚 昇, 岡本 隆之, 竹田 真宏, 細畠 拓也, 山形 豊, 佐々木 実, 魚本 幸, 島津 武仁, 佐藤慎也, 橋本 信幸, 田中 壱, 服部 堯, 尾崎 忍夫, 青木 和光, “次世代天文学観測装置用の新し
い高分散回折格子 III”, 第 42 回光学シンポジウム講演予稿集, 27-30, 2017.
国際会議発表1) N. Ebizuka, T. Okamoto, M. Takeda, T. Hosobata, Y. Yamagata, M. Sasaki, M. Uomoto, T. Shimatsu, S.
Sato, N. Hashimoto, I. Tanaka, T. Hattori, S. Ozaki, W. Aoki, “Current Status of Novel Gratings for Next
Generation Astronomical Instruments V,” Subaru Users' Meeting FY2017, 2018 年 1 月 17-19 日, 国立
天文台（三鷹市）, ポスター発表

2) N. Ebizuka, T. Okamoto, M. Takeda, T. Hosobata, Y. Yamagata, M. Sasaki, M. Uomoto, T. Shimatsu, S.
Sato, N. Hashimoto, I. Tanaka, T. Hattori, S. Ozaki, W. Aoki, “Novel diffraction gratings for astronomical
instruments,” WFIRST-Subaru Synergistic Observation Workshop, 2017 年 12 月 18-21 日, 国立天文台（三鷹市）, ポスター発表
3) N. Ebizuka, T. Okamoto, M. Takeda, T. Hosobata, Y. Yamagata, M. Sasaki, M. Uomoto, T. Shimatsu, S.
Sato, N. Hashimoto, I. Tanaka, T. Hattori, S. Ozaki, W. Aoki, “Transmission gratings and immersion
gratings for instruments of Subaru Telescope and TMT,” The 9th International Conf. on Leading Edge
Manufacturing in 21st Century (LEM21), 2017 年 11 月 14-17 日, 広島国際会議場（広島市）, 口頭発表4) N. Ebizuka, T. Okamoto, M. Takeda, T. Hosobata, Y. Yamagata, M. Sasaki, M. Uomoto, T. Shimatsu, S.
Sato, N. Hashimoto, I. Tanaka, T. Hattori, S. Ozaki, W. Aoki, “Novel gratings for astronomical instruments,”
Workshop on dispersing elements for astronomy: New trends and possibility, 2017 年 10 月 9-11 日, ミラノ水族館（イタリア・ミラノ）, ポスター発表
5) N. Ebizuka, T. Okamoto, M. Takeda, T. Hosobata, Y. Yamagata, M. Sasaki, I. Tanaka, T. Hattori, S. Ozaki,
W. Aoki, “Novel gratings of high dispersion and high efficiency,” Proc. EOS Topical Meeting on Diffractive
Optics 2017 (DO2017), 2017 年 9 月 4-7 日, Karelia house レストラン（フィンランド・ヨエンスー）,
口頭発表6) N. Ebizuka, T. Okamoto, M. Takeda, T. Hosobata, Y. Yamagata, M. Sasaki, M. Uomoto, T. Shimatsu, S.
Sato, N. Hashimoto, I. Tanaka, T. Hattori, S. Ozaki, W. Aoki, “Novel gratings for next-generation
instruments of astronomical observations,” Holography: Advances and Modern Trends (SPIE), 2017 年 4
月 24-27 日, Clarion Congress Hotel（チェコ・プラハ）, 口頭発表
国内会議発表1) 海老塚 昇, 岡本 隆之, 竹田 真宏, 細畠 拓也, 山形 豊, 佐々木 実, 魚本 幸, 島津 武仁, 田辺
綾乃, 橋本 信幸, 尾崎 忍夫, 青木 和光, “8.2m すばる望遠鏡および次世代 30m 望遠鏡: TMT 用の新しい高分散回折格子 4,” 理研シンポジウム：第 4 回 光量子工学研究, 2017 年 11 月 29, 30
日, 中小企業活性化センター（アエル, 仙台市）, ポスター発表

2) 海老塚 昇, 岡本 隆之, 竹田 真宏, 細畠 拓也, 山形 豊, 佐々木 実, 魚本 幸, 島津 武仁, 佐藤慎也, 橋本 信幸, 田中 壱, 服部 堯, 尾崎 忍夫, 青木 和光, “次世代天文学観測装置用の新し
い回折格子 V”, 第 7 回 可視赤外線観測装置技術ワークショップ, 2017 年 11 月 16, 17 日, 京都
大学（京都市）, 口頭およびポスター発表
3) 海老塚 昇, 岡本 隆之, 竹田 真宏, 細畠 拓也, 山形 豊, 佐々木 実, 魚本 幸, 島津 武仁, 田辺
綾乃, 橋本 信幸, 尾崎 忍夫, 青木 和光, “次世代観測装置用の新しい回折格子 III”, 2017 年度

光学赤外線天文連絡会シンポジウム「国際協力で実現させる 2020 年代の光学赤外線天文学」,
2017 年 7 月 24-26 日, 国立天文台 (三鷹市) ,ポスター発表
4) 海老塚 昇, 岡本 隆之, 竹田 真宏, 細畠 拓也, 山形 豊, 佐々木 実, 魚本 幸, 島津 武仁, 佐藤慎也, 橋本 信幸, 田中 壱, 服部 堯, 尾崎 忍夫, 青木 和光, “次世代天文学観測装置用の新し
い高分散回折格子 III”, 第 42 回光学シンポジウム, 2017 年 6 月 22, 23 日, 東大生産研（東京都目黒区）,口頭発表
特 許・ 海老塚 昇、岡本 隆之、細畠 拓也、山形 豊、尾崎 忍夫、“透過型回折格子、光導波路、ならびに透過型回折格子の使用方法および設計方法”、 PTC/JP2017/13798 (2017)