電子版 令和 3 年 3 月号

※NMIRI : Nagoya Municipal Industrial Research Institute【設備紹介】

レーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置
環境試験室（恒温恒湿室）
分析機能付超高分解能走査電子顕微鏡
ガス吸着量測定装置【設備紹介】
レーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置

10010

本装置では、金属、セラミックス、樹脂粉体やエマ測定することが可能です。試料を分散媒に分散して測定する湿式測定では、広く利用されるフローセ
ルに加え、希少試料や分散媒として有機溶媒を用いる場合に使用するバッチセルを備えています。また、粉体のまま測定できる乾式測定ユニットも備え

8

頻度 , %

ルションなど様々な試料において、粒子径分布をー 超音波分散なし
ー 超音波分散 1 min
ー 超音波分散 2 min

80606404

通過分積算 , %Partica LA-960S2（（株）堀場製作所製）

202000.010

0.100

1.000

10.00

100.0粒子径 /µm

酸化チタン粉体の粒子径分布測定例ており、サンプルの性状や分析目的に適した測定方法を選択できます。ご興味がございましたらお気軽にお問合せください。
主な仕様
Mie 散乱理論
半導体レーザ（650 nm）、LED（405 nm）
フローセル
バッチセル
乾式測定

測定原理
光源
ユニット
測定範囲
0.01 – 3,000/µm
分散媒量180 – 280/mL

0.01 – 1,000

0.1 – 5,00015-

装置本体（Partica LA-960S2）(表面技術研究室 川瀬 聡）
TEL（052）654-9925

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環境試験室（恒温恒湿室）
環境試験室（恒温恒湿室）は温度・湿度の変化によって生ずる各種材料の形状変化や機械製品、電子･電気製品などの機能変化を調べるための部
屋タイプの試験機です。環境試験室では室内を一定の温湿度雰囲気にして行う試験や、プログラムによって温湿度を変化させる試験が実施可能です。当所には昭和60年に導入した同様の装置（月刊名工研No.807に掲載）がありますが、このたび新しい装置を導入いたしました。表１に主な仕様、図１に制御可能な温湿度の範囲を示します。
表1. 主な仕様
メーカー

日立グローバルライフソリューションズ（株）

型式

ER-105HHP-R

室内寸法 [mm]W3450×D2550×H2100

扉寸法 [mm]

W1400×H1800

温度制御範囲-30～＋80℃

湿度制御範囲10～95%RH ※詳細は図１

温度下降時間温度上昇時間+20℃から-30℃まで110分以内+20℃から+80℃まで70分以内

図 2. 環境試験室（恒温恒湿室）の外観写真
倍大型化しました（図 2 参照）。これらにより、依頼試験、受託研究等で従来以上の広いニーズに対応可能です。
環境試験室では様々な製品に対して温湿度試験ができます。以下に使用例を示します。
・ 機械部品に対し、夏場もしくは熱帯地方を模した高温多湿下での信頼性・耐久性試験
・ 自動車用部品に対し、温湿度変化による形状等への影響を確認するための高温と低温を繰り返すサイクル試験
・ 空調機器に対し、環境試験室の壁面に開いたφ150mmのケーブル孔を用いて屋内外を活用した状態での冷却性能評価試験
・ 電子機器に対し、冬場の環境下で環境試験室に備え付けの100Vの電源コンセントを使用した動作試験
・ 密封型の断熱製品を高温または低温環境下に置いて、熱電対とデータロガーを用いて温度保持能力を評価する試験
・ 被測定者がサーモグラフィを設置した試験室に入り、一定の温湿度環境下で人体表面の温度変化や発熱素材の性能を評価する試験

図 1. 温湿度制御範囲

上記以外にも様々な試験を実施することが可能ですので、環境試験室（恒温恒湿室）を利用し新しい環境試験室は従来と比べて温湿度制御
範 囲 が拡 大 し、 10℃ ～ 20 ℃ の低 温領 域お よ び
60℃～80℃の高温領域で湿度制御が可能となりました。また、扉幅が 880mm から 1400mm に約 1.7た温湿度試験についてご相談がありましたら、お気軽にお問い合わせください。
(計測技術研究室 間瀬 剛）
TEL(052)654-9946

電子版 令和 3 年 3 月号

分析機能付超高分解能走査電子顕微鏡(公財)JKAの２０２０年度公設試験研究所等にお本装置の測定例を以下に示します。

ける機械設備拡充補助事業により、分析機能付超高分解能走査電子顕微鏡（図1）を新規導入しまし・ 高分解能観察た。本装置は、細く絞った電子ビームで試料表面を走査し、試料から出てくる信号を検出することにより、ディスプレイ上に試料表面の拡大像を表示する装置です。光学顕微鏡をはるかに凌ぐ分解能（拡大倍率）を有し、数nm（ナノメートル）程度の構造まで観察が可能であるため、材料や半導体デバイス、医学、生物学など様々な分野で幅広く利用され・ EDS 分析（エネルギー分散型Ｘ線分析）ています。

・ EBSD 解析（電子線後方散乱回折）

図１ 分析機能付超高分解能走査電子顕微鏡

本装置の主な仕様を表１に示します。EDS検出器、EBSD検出器を備えているため、画像観察のみにとどまらず、元素分析、結晶方位解析なども行えます。また、本装置は、当所既存の装置と比べ、短時間で感度良く定性分析が可能なため、電子ビー
ムにより熱ダメージを受けやすい樹脂などの分析にも役立ちます。

当所では、これまでも走査電子顕微鏡を用い、異物解析、不良解析、めっきやコーティングの表

表１ 主な仕様

面・断面評価など中小企業の技術課題に取り組ん

電子銃

ZrO/Wショットキー

加速電圧0.01（電子ビーム減速機構有）～30 kV

できました。本装置の導入により、さらなる技術課

最大照射電流500 nA

倍率×75～×3,000,000

題への対応が期待されます。何かお困り事がござ

分解能

加速電圧15 kV ： 0.6 nm、加速電圧1 kV ： 0.7 nm

検出器

EDS： AztecLive Standard UltimMax40（Oxford社）

上方検出器、下方検出器、反射電子検出器
EBSD： AztecHKL Advanced C-Nano（Oxford社）

いましたら、 お気軽にお問合せください。
(表面技術研究室 浅野 成宏）
TEL(052)654-9887

電子版 令和 3 年 3 月号

ガス吸着量測定装置
工業研究所では、ガス吸着量測定装置（図1）を導入しました。
本装置は比表面積および細孔分布の測定に用いるものであり、活性炭やシリカゲルなど、各種材料の評価が可能です。

図 2 メタチタン酸粒子の吸着等温線

図1 装置の写真

図 3 BJH 法による細孔分布の解析例

本装置の仕様は以下の通りです。
【装置名】 多検体ガス吸着装置 Autosorb-iQ【メーカー】 アントンパール社
・対応相対圧 10-7以上・測定可能比表面積 5×10-4 m2/g以上
・セパレート型セルを用いるため、様々な形状のサンプルへの対応が可能

図 4 BET 法による比表面積の解析例

・2検体の同時測定が可能
図 2 に工業研究所で開発したコーティング用メタチタン酸粒子 1)の吸着等温線を示します。この測定結果をもとにして、細孔分布(図 3)や比表面積(図 4)などの解析ができます。
現在は、吸着ガスには窒素ガスと水蒸気を用い本装置は、活性炭やシリカゲルをはじめ、ゼオライトや吸着剤などの材料の評価にご活用いただけます。本装置による特性評価について興味がございましたらお気軽にお問合せください。
1)柘植ほか, 表面技術, 56, 118 (2005).ております。今後は、アルゴンガスの利用も可能と(環境・有機材料研究室 林 英樹）
TEL(052)654-9912

なる予定です。

（編集・発行）名古屋市工業研究所〒456-0058

名古屋市熱田区六番三丁目４番４１号

電話： 052-661-3161

FAX： 052-654-6788

UR L： https://www.nmiri.city.nagoya.jp

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