007

光学製品ガイド No.

Global Support, Global Solutions.

分岐 DOE
Diffractive Beam Splitter

第6版

回折現象を使いビームを多分岐、レーザ加工のスループットアップに貢献
Splitting beam using the diffraction phenomenon,contributing to the throughput-up of the laser processing.

集光レンズと組み合わせることで多点同時集光を実現
材質は、高出力レーザに対応可能な合成石英・ZnSe を使用
独自の設計技術により様々な分岐パターンに対応
Can realize simultaneous focusing on multiple spot by pairing with a focusing lens.
The material is synthetic quartz or ZnSe that can be used with high-power lasers.
It is possible to correspond to various split patterns by our original design technology.

ライン多点分岐Line multi-spot

レーザ光Laser beam

分岐 DOE

リング＋センタ−マトリックス分布
Ring + center-matrix distribution

Diffractive Beam Splitter

均一強度マトリックス分布
Uniform intensity matrix distribution

分岐 DOE 表面回折パターン
DOE beam splitter surface diffraction pattern

入射するレーザビームのモードに関係なく機能※シングルモード、マルチモードいずれも適用可能
集光レンズ
Focusing lens

入射するレーザビームの特性を維持
It can be used regardless of the mode of the incident laser beam.
*Can be used in conjunction with a multi-mode laser as well as with a single-mode.

The characteristics of the incident beam are maintained.

ビームの入射位置が任意で光軸調整が容易対応波長 Compatible Wavelengths
遠赤外（10.6μm）〜深紫外（ 266nm）
Far-Infrared (10.6μm) to Deep-Ultraviolet (266nm)

The beam incident position is arbitrary,Easy alignment.

※入射ビーム最小径に制限があります。
The incident beam minimum diameter is limited.

多点スポット Multi-spot
配置
Positioning

レンズの手前に配置

レンズの後に配置

Positioning in front of the focusing lensPositioning behind the focusing lens

分岐 DOE

分岐 DOE

f1 × tanș

Diffractive Beam Splitter

W1 × tanș

Diffractive Beam Splitter

分岐ピッチ大分岐ピッチ大Large spot pitchș

Large spot pitchș

W1集光レンズ

集光レンズ

Focusing Lens

Focusing Lens

焦点距離（f1）長Long focal length(f 1)

分岐 DOE

分岐 DOEf2 × tanș

Diffractive Beam Splitter

分岐ピッチ小分岐ピッチ小ș

W2 × tanș

Diffractive Beam Splitter

Small spot pitchș

Small spot pitch

W2
集光レンズ

集光レンズ

Focusing Lens

Focusing Lens

焦点距離（f2）短Short focal length(f 2)

ș：回折角

ș：回折角

Diffraction angle

Diffraction angle

・分岐ピッチは、組合わせる集光レンズの焦点距離によって変化 ・分岐ピッチは、集光レンズからの距離によって変化（分岐ピッチ ∝ 集光レンズ焦点距離）The spot pitch changes depending on the distance from the focusing lens.

The spot pitch changes depending on the focal length of the focusing lens to be combined.
The spot pitch The focal length of the focusing lens

テレセントリック性が必要な場合は、組み合わせる集光レンズと配置についてご相談ください。
If you need telecentricity, please contact us about the focusing lens to be combined and its positioning.

特性
Characteristic● 高精度な加工技術により、高いシグナル（スポット）強度均一性を実現
Realizes high uniform signal (spot) intensity with high-precision processing technology.

A pattern that does not use zero-order diffracted light is recommended toemphasize uniformity.

シグナル

■回折効率

SignalDiffraction efﬁciency

シグナル強度の和／全入射強度×100（％）
Sum of signal intensity / Total incident intensity × 100 (%)■強度均一性 （最大シグナル強度−シグナル平均強度）／シグナル平均強度×100（％）（最小シグナル強度−シグナル平均強度）／シグナル平均強度×100（％）
Intensity uniformity

強度Intensity※ 均一性重視には、0（ゼロ）次光を使わないパターンを推奨します。

(Max. signal intensity − Signal average intensity) / Signal average intensity × 100 (%)(Min. signal intensity − Signal average intensity) / Signal average intensity × 100 (%)■ノイズ強度
ノイズ

ノイズ

Noise

Noise

Noise intensity

最大ノイズ強度／シグナル平均強度×100（％）
Maximum noise intensity / Signal average intensity × 100 (%)※各スポットの集光特性は集光レンズの収差の影響を受けます。
※The focusing characteristics of each spot are affected by wavefront aberrations of combined
focusing optics.

位置 Position※ 回折角のバラツキは原理上極めて小さく、ピッチの精度は、組み合わせる集光レンズの性能に大きく依存します。
In principle, the error of the diffraction angle is extremely small, and the accuracy of the spot pitch largely depends on the performance of the focusing lens to be combined.

● 高回折効率タイプも対応可能
High diffraction efficiency type is also available.

分岐 DOE

Diffractive Beam Splitter

DOE 段差形状
Step shape

強度均一性重視

回折効率重視Prioritize intensity uniformity

Prioritize diffraction efficiency

2段階

多段階

2-step

多点スポットパターン例
Multi-spot pattern example

Multi-step● 独自の設計技術により、様々な分岐パターンに対応可能
It is possible to correspond to various spots patterns by our original design technology.

4 × 1分岐8 × 1分岐

3 × 2分岐

4 × 2分岐 千鳥

8 × 8分岐

4 x 1 spots

8 x 1 spots

3 x 2 spots

4 x 2 staggered spots

8 x 8 spots

2

仕様※ 反射防止（AR）コート付きSpecification

仕様番号
Spec. No.

DBS Z1-4X1-919
DBS Z1-7X1-394
DBS Z1-8X1-197
DBS Z1-8X1-394
DBS Z1-7X7-394
DBS Z1-50X1-500
DBS Z9-7X1-346
DBS Z9-7X7-346
DBS Q1-2X1-2480
DBS Q1-4X1-2660
DBS Q1-2X2-1230
DBS Q1-6X1-82
DBS Q1-6X1-500
DBS Q1-6X1-1000
DBS Q1-6X1-2448
DBS Q1-6X6-315
DBS Q1-6X6-1000
DBS QH-4X1-1583
DBS Q2-2X1-270
DBS Q2-2X1-286
DBS Q2-4X1-212
DBS Q2-4X1-1330
DBS Q2-4X1-5000
DBS Q2-2X2-207
DBS Q2-7X1-20
DBS Q2-8X1-270
DBS Q2-26X1-361
DBS Q2-7X7-20
DBS Q3-4X1-250
DBS Q3-4X1-888
DBS Q3-4X1-1230
DBS Q3-6X1-200
DBS Q3-10X1-50
DBS Q4-4X1-665

With anti-reflection(AR) coating

波長（nm）
Wavelength

10600

9300

1064

633

532

355

266

分岐数
Number of pots

1ピッチ＊（μm） 回折効率（%） 強度均一性（%）ノイズ強度（%）

4×1
7×1
8×1
8×1
7×7
50 × 1
7×1
7×7
2×1
4×1
2×2
6×1
6×1
6×1
6×1
6×6
6×6
4×1
2×1
2×1
4×1
4×1
4×1
2×2
7×1
8×1
26 × 1
7×7
4×1
4×1
4×1
6×1
10 × 1
4×1

Pitch

Diffraction efficiency

Intensity uniformity

Noise intensity

919
394
197
394
394500346346
2480
2660
1230
82500
1000
2448
315
1000
1583
270
286
212
13305000
207
20270
361
20
250
888
1230
200
50
665

85
68
68
69
76
83
7476
81
56
56
75
78
78
72
77
75
56
71
81
56
56
57
537457
6176
55
56
5978
64
56±4±1±1±1±3±1±1±3±1±1±1±1±2±2±1±3±2±1±1±1±1±1±1±1±1±2±2±3±1±1±2±1±1±1<6<4<5<5<5<3<4<5< 12<4<6<3<5<5<3<5<7<4<3< 12<5<4<4<4<5<2< 10<4<2<4<7<5<4<4＊1 組み合わせ集光レンズ焦点距離：f100mm寸法（mm）
材質
MaterialZnSe

石英
QuartzDimension

外径 øD 厚み T
DiameterThickness

38.1
50.8
50.8
50.8
50.8
50.8
50.8
50.8
25505050252550
2550503015305050255050
2550
2550
50
80
2550

3.00
5.08
5.08
5.08
5.08
5.08
5.08
5.08
5555
5
5555
555555555555558
55

カスタマイズ対応いたしますので、別途お問い合わせください。

Combination focusing lens focal length.

Please contact us for customization.

スキャニングシステムとの組み合わせによる高速同時多点穴あけ

多点スクライブ加工

High speed simultaneous multi-spot drilling in combination with a scanning system

Multi-spot scribe processing

分岐 DOE を回転させることで加工
ピッチ調整可能ガルバノスキャナ
Galvano scanner

分岐 DOE

Diffractive Beam Splitter

The processing pitch canbe adjusted by rotating theDiffractive Beam Splitter.

分岐 DOE

Diffractive Beam Splitter

集光レンズ
Focusing lens

Fșレンズ
F-theta lens

Fșレンズ
F-theta lens

分岐 DOE

Diffractive Beam Splitter

分岐ピッチ
Spot pitch

加工ピッチ
Processing pitch

スキャン方向Scan direction※ スポット位置精度は、Fș レンズの仕様や光学配置に依存します。
位置精度重視には、Fș レンズの後への配置を推奨します。

Spot position accuracy depends on the specifications of the F-theta lens and the optical arrangement.
If spot position accuracy prioritize, positioning behind the F-theta lens is recommended.

3ビームシェイピング Beam shaping特性● 独自の設計技術をもとに、マトリクス分布により様々なスポット強度パターンを形成

Characteristic

Based on our original design technology, various spot intensity patterns are formed by matrix distribution.

● 高回折効率タイプ（多段階）も対応可能
High diffraction efficiency type is also available.

スポットパターン例
Spot pattern example

7 × 7分岐均一強度
シングルモードスポット

21分岐中心高強度
シングルモードスポット

3 × 3分岐均一強度
シングルモードスポット

17分岐中心高強度
シングルモードスポット

7 x 7 Uniform strength
single-mode spots

21 Central high-strength
single-mode spots3 x 3 Uniform strength
single-mode spots

17 Central high-strength
single-mode spots

7 × 7分岐均一強度
マルチモードスポット

21分岐中心高強度
マルチモードスポット

3 × 3分岐均一強度
マルチモードスポット

17分岐中心高強度
マルチモードスポット

7 x 7 Uniform strength
multi-mode spots

21 Central high-strength
multi-mode spots

3 x 3 Uniform strength
multi-mode spots

17 Central high-strength
multi-mode spots

ファイバレーザシステムでの使用例● レーザ溶接におけるスパッタ低減や表面荒れを改善

Example of use in a fiber laser system

Reduces spatter and improves surface roughness in laser welding.

分岐 DOE

像面

Diffractive Beam Splitter

Image Surface

ファイバレーザ
Fiber Laserコリメートレンズ

集光レンズ

Collimating Lens

Focusing Lens

※ シングルモード、マルチモードいずれのファイバレーザへも適用可能です。
Applicable to both single-mode and multi-mode fiber lasers.

仕様※ 反射防止（AR）コート付き

Specification

With anti-reflection(AR) coating

波長（nm）

仕様番号
Spec. No.

Wavelength

DBM Q1-4F-200

分岐パターン
Spot pattern

1
ピッチ＊（μm） 回折効率（%） 強度均一性（%）ノイズ強度（%） 材質

Diffraction efficiency

Intensity uniformity

Noise intensity

DiameterThickness

4分岐十字均一強度

4 Spots cross uniform strength

20080±7< 125053 × 3 均一強度

50580850

53 x 3 Uniform strength spots

10092±1<2DBM Q1-4X4F-320

4 x 4 Uniform strength spots

4 × 4 均一強度

32066±1<2DBM Q1-21P-200
DBM Q1-7X7F-40-SDimension

外径 øD 厚み TPitch

DBM Q1-3X3F-100

1070
21分岐（5×5角無）中心高強度（1064） 21 Spots(5 x 5 without coner) central high-strength
7 × 7 均一強度

Material

寸法（mm）

石英

20093±1<37 x 7 Uniform strength spots

4076±3<4305

7 × 7 均一強度±3<4505±3<4505DBM Q1-7X7F-40

7 x 7 Uniform strength spots

4076

DBM Q1-7X7F-334

7 x 7 Uniform strength spots

7 × 7 均一強度33471＊1 組み合わせ集光レンズ焦点距離：f100mm

Quartz

カスタマイズ対応いたしますので、別途お問い合わせください。

Combination focusing lens focal length.

Please contact us for customization.

● ZnSeダストを吸い込まないこと。 Do not inhale ZnSe dust.

● 火中に廃棄しないこと。Do not dispose by incineration.

● 酸、アルカリに浸さないこと。Do not dip in acids or alkalis.

● レンズは酸やアルカリとは区別して保管してください。 Please store away from acids and alkalis.

● ZnSeを用いた光学部品には毒物に指定されているZnSeが含まれますので、廃棄の際は都道府県指定の産業廃棄物処理業者に処理を委託してください。

警告

Disposal should be in compliance with all applicable laws and regulations.

R5（2021.11）Ⅵ 1204 SN