システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動回転ステージ / テーブルサイズ 70×70, 100×100
Motorized Rotation Stages / Table Size 70×70, 100×100

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XY

(107)

CW

Tapping hole for M5 screw
mount from back side.

(140)
(1)

(0.4) 29.1

(0.5)

φ4H8 Depth 5mm

裏面Back Side

低頭ネジ（付属品）での取り付けとなります。

(28)

Mounting by low head screw (attachment)

5φ4ThrDepth 5mm

6CCW

u

5H820

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

55908030CW90(139)100906040(22)100906040□90

RA10A-T02(200)4-for M4 screws
Shaft length 5.5mm
Tapping hole for M5 screw
mount from back side.

(0.4) 29.1(157)(0.5)

φ5H8 Depth 5mm

(28)

(1)

4-M4 Depth 6mm
4-M4 Depth 6mm
4-M3 Depth 4mm

アクセ
サリー
Accessories

裏面
Back Side

低頭ネジ（付属品）での取り付けとなります。

(1)

Mounting by low head screw (attachment)

検査システムInspection
SystemJ.indd 1055(200)

モーター
ケーブル
Motor
Cable

J-010

Depth 5mm

30CCW

u6055
4H8

裏面
Back Side

15

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

4-M4 Depth 5mm
4-M3 Depth 5mm

アプリケーションApplication

付録
Appendix40

低頭ネジ（付属品）での取り付けとなります。

4-for M4 screws
Shaft length 5.5mm

ドライバ
ボックス
DriverBox

モーター
ドライバ
Motor
DriverTapping hole for M4 screw
mount from back side.

(1)

モーター
コントローラ
Motor
Controller

3-for M3 screws
Shaft length 3.5mm

Mounting by low head screw (attachment)

真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics

1560

Thr

M4 Depth 6mm
φ4H8 Depth 4mm

(22)

70
60
40

0
φ355.5(0.3) 21.2 (0.5)
(22)

(109)

アライ
メント
ステージ
XYθ

706040スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

(200)

55

RA07A-T0230(76.5)
40304-M3 Depth 4mm
4-M3 Depth 4mm
φ17 Thru

404H840

回転Rotation

CCWCW

Depth 4mm60Z
Z

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

504030

自動精密ステージ
Motorized
Stage

RA10A-T02※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

RA05A-T01

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

X・XY
X・XY

RA07A-T02(1) (20) (1)

回転Rotation

RA05A-T01□60Z
Z

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/08/31 14:45

アルミ / クロスローラベアリング / タンジェントバー方式（ボールネジ）

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Bearing / Tangent-Bar(Ball Screw)
型式
Model Number
勝手違い型式
Mirror Model Number
テーブル面
Table Size
案内方式
Guide Mechanism
回転範囲
Angular Range
送り方式
Lead Mechanism
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※1
Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)
最高速度
Maximum Speed
累積誤差
Accumulated Lead Error
ロストモーション
Lost Motion
角度再現性
Angular Repeatability
ピッチ誤差
Pitch Error
バックラッシュBacklash
面振れSurface Runout
偏心Eccentricity
モーメント剛性
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観Finish
自重Weight
5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタConnector
ステージ結線タイプ※2
Stage Wiring Type
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number※1

産業用
Industrial

RA05A-T01

RA07A-T02

RA10A-T02

RA05A-T01-R

RA07A-T02-R

RA10A-T02-R

50mm×50mm

70mm×70mm

100mm×100mm

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage

クロスローラベアリング
Cross-Roller Bearing
±3°

±5°

X・XY
X・XY

タンジェントバー方式（ボールネジ）
Tangent-Bar System (Ball Screw)≈0.004°/0.002°≈0.001364°/0.000682°≈0.001°/0.0005°≈0.0002°≈0.0000682°≈0.00005°

40°/sec: Half 20kpps

13.64°/sec: Half 20kpps

10°/sec: Half 20kpps

ZZ

回転
Rotation－≦0.005°≦0.005°（AVE. 0.0018°）≦0.003°（AVE. 0.0005°）≦0.001°≦0.002°（AVE. 0.0001°）≦0.002°（AVE. 0.0001°）

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)－≦0.005°≦0.005°（AVE. 0.0015°）≦0.005°（AVE. 0.0003°）≦5μm/±3°≦5μm/±5°（AVE. 1.7μm/±5°）≦5μm/±5°（AVE. 1.88μm/±5°）≦5μm/±3°≦5μm/±5°（AVE. 0.99μm/±5°）≦5μm/±5°（AVE. 1.15μm/±5°）0.31 arcsec/N・cm

0.15 arcsec/N・cm（AVE. 0.02 arcsec/N・cm）

0.05 arcsec/N・cm（AVE. 0.01 arcsec/N・cm）

58.9N（6kgf）

78.5N（8kgf）

147N（15kgf）

自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

アルミ合金
Aluminum Alloy
白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing
0.5kg

回転Rotation

0.9kg

PK513PB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.35A/相，
基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
PK513PB(Oriental Motor: Phase Current 0.35A,
Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)
Φ4mm オプションハンドル：C type
Φ4mm Conformance option handle: C type※3スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

1.53kgPK523HPMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，
基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
PK523HPMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A,
Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)

アライ
メント
ステージ
XYθ

Φ5mm オプションハンドル：A type
Φ5mm Conformance option handle: A type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

V2

真空ステージ
Vacuum
Stage

V3

制御装置
Control
ElectronicsF-115(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-115R(HOME,LIMIT)
F-115(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-115R(HOME,LIMIT)
RA05A-T01-C

RA07A-T02-C

RA10A-T02-C

RA05A-T01-V

RA07A-T02-V

RA10A-T02-V

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※3

モーター
コントローラMotorController 力側軸端をカットしています。
出Cut off the edge of motor shaft's output side.

ドライバボックス
DriverBox

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
※2
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.
オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver

オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.

モーター
ケーブル
MotorCable

2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

J.indd 11J-011

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