システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動XYステージ / テーブルサイズ 160×160
Motorized XY Linear Stages / Table Size 160×160

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XYZ
Z

YA16F-L23101

YA16F-L23201

YA16F-L23301

回転Rotation

YA16F-L23101
CW

10-M5 Depth 10mm

140150#1 8-for M5 screw
Shaft length 21mm

裏面
Back Side(43)14014014043(263.5)(53)100200100

53

CW Limit sensor#2 8-for M6 screw (M8 tapped hole)
Shaft length 21mm

CCW

10-M5 Depth 10mm

φ15 Depth 15mm

#1 8-for M5 screw
Shaft length 21mm

裏面
Back SideCCW

CW

140

140(53) 100

200140

43(4)

(60)

(127)
6265(43)

YA16F-L23301(173)(596.5)160
140(263.5)

100

53

CW Limit sensor

(173)

CW

CCW Limit sensor

140
150

162(486.5)
160
140
100

Home Position#2 8-for M6 screw (M8 tapped hole)
Shaft length 21mm

(263.5)

10-M5 Depth 10mm

モーター
ケーブル
MotorCable#1 8-for M5 screw
Shaft length 21mm

裏面
Back Side

CCW

付録
Appendix(4) (60)(130)
65 65(43)オプションテーブル

Option Table

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
SystemCONTACT#1

表側からステージを取り付ける際はM5用貫通穴となります。
Through hole for M5 screw mount from upper side.

#2

裏側からステージを取り付ける際はM8タップ穴となります。
Tapping hole for M8 screw mount from back side.

140

140

6-for M5 screw
Shaft length 5mm

140437070OTX160-K
t = 11M8 Depth 11mm
4-M3 Depth 8mm
140

CW

CCW Limit sensor

φ15 Depth 15mm

160
110
90
60
40

CCW

モーター
ドライバ
Motor
Driver

140
150

162(596.5)

160
140
100

Home Position

アプリ
ケーション
Application

H.indd 38

φ15 Depth 15mm(4) (60)

(127)
62
65

CW(596.5)160
140(118)

(173)

ドライバ
ボックス
Driver
Box

H-038

53

CCW

CW

YA16F-L23201

制御装置
ControlElectronics
モーターコントローラMotorController

100

200

CCW Limit sensor(208.5)

真空ステージ
VacuumStage

100#2 8-for M6 screw (M8 tapped hole)
Shaft length 21mm

162(386.5)
160
140
100

CCWZ
Z

アライ
メント
ステージ
XYθ

CW Limit sensor(158.5)

X・XY
X・XY

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)(53)(263.5)Home Position

自動精密ステージ
Motorized
Stage

回転Rotation(596.5)160
140(68)

(173)

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

8-M4 Depth 11mm
4-M5 Depth 11mm

40
60
90
110
160

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2023/12/12 14:23

鉄 / リニアガイド / ボールネジシステム
製品
SystemProducts

Steel Body / Linear Guide / Ball Screw

産業用Industrial

型式
YA16F-L23101
YA16F-L23201
YA16F-L23301
Model Number
勝手違い型式※1
YA16F-L23101-RRR
YA16F-L23201-RRR
YA16F-L23301-RRR
Mirror Model Number
テーブル面
160mm×160mm
Table Size
案内方式
精密リニアガイド
Guide Mechanism
Linear Guide
移動範囲±50mm（上軸）, ±152mm（下軸）±100mm（上軸）, ±152mm（下軸）±152mm（上軸）, ±152mm（下軸）Motion Range±50mm (upper), ±152mm (lower)±100mm (upper), ±152mm (lower)±152mm (upper), ±152mm (lower)
送り方式ボールネジ, リード 5.0mm
Lead Mechanism
Ball Screw, Lead 5.0mm
フル/ハーフ ステップ
10μm/5μm
Full/Half Step
分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.5μm
Micro Step (1/20 div)
最高速度
50mm/sec
Maximum Speed
累積リード誤差≦15μm/100mm（上軸）, ≦20μm/304mm（下軸） ≦20μm/200mm（上軸）, ≦20μm/304mm（下軸） ≦20μm/304mm（上軸）, ≦20μm/304mm（下軸）
Accumulated Lead Error≦15μm/100mm (upper), ≦20μm/304mm (lower)≦20μm/200mm (upper), ≦20μm/304mm (lower)≦20μm/304mm (upper), ≦20μm/304mm (lower)
繰返し位置決め精度≦±0.5μm
Repeatability
ロストモーション≦5μm
Lost Motion水平≦4μm/100mm（上軸）, ≦5μm/304mm（下軸）≦5μm/200mm（上軸）, ≦5μm/304mm（下軸）≦5μm304mm（上軸）, ≦5μm/304mm（下軸）Horizontal≦4μm/100mm (upper), ≦5μm/304mm (lower)≦5μm/200mm (upper), ≦5μm/304mm (lower)≦5μm/304mm (upper), ≦5μm/304mm (lower)
真直度
Straightness
垂直≦2μm/100mm（上軸）, ≦5μm/304mm（下軸）≦5μm/200mm（上軸）, ≦5μm/304mm（下軸）≦5μm304mm（上軸）, ≦5μm/304mm（下軸）Vertical≦2μm/100mm (upper), ≦5μm/304mm (lower)≦5μm/200mm (upper), ≦5μm/304mm (lower)≦5μm/304mm (upper), ≦5μm/304mm (lower)バックラッシュ≦2μm
Backlash
モーメント剛性※30.04 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
274N（28kgf）
254N（26kgf）
205N（21kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
鉄（テーブル: アルミ合金）
Material
Steel (Table: Aluminum Alloy)
外観
黒色仕上げ
FinishMatt Black
自重29.7kg31.7kg36.4kgWeight直交度≦10μmPerpendicularity
5相ステッピングモーター
C087Q-9215P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
5 Phase Stepper Motor
C087Q-9215P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)
モーター軸径
Φ8mm オプションハンドル：B typeMotor Shaft DiameterΦ8mm Conformance option handle: B type
コネクタ
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
Connector
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)
ステージ結線タイプ※4V3Stage Wiring Type
原点復帰
原点復帰の際に、領域（データム）センサを利用しています。CW側常時遮光。
Returning direction
Returning direction is determined with zone sensor. CW side’s light is intercepted in all time.
センサ基板型式
F-104(LIMIT), F-105(HOME)
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
YA16F-L23101-C
YA16F-L23201-C
YA16F-L23301-C
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
YA16F-L23101-V
YA16F-L23201-V
YA16F-L23301-VVacuum Lubricant Model Number

実験用Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController※3

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-018～N-019ページを参照して下さい。
Refer to page N-018~N-019 for stage wiring connection information.

ドライバボックス
DriverBox

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アプリケーションApplication

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

※1※2

勝手違いについてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

XYでの組み付けをご希望の際は、営業部までお問い合わせ下さい。
About the XY assembly for these stages, contact us for further information.

モーター
ドライバ
Motor
Driver

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

モーター
ケーブル
MotorCable

オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 39H-039

2024/06/28 18:44