システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動回転ステージ / テーブルサイズ Φ198, Φ298
Motorized Rotation Stages / Table Size Φ198, Φ298

実験用Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

RA20A-WH01

RA30A-WH01

回転Rotation

受注生産 Build to Order

X・XY
X・XY

CCW Limit Sensor
Home Position
CW Limit Sensor
(6)

Z
Z

Depth 6mm

φ6H8 Depth 6mm

4-M8 Depth 14mm

4-for M6 Depth 12mm

200
CCW

110
55

8180
160
55
6H8199220(231.1)

自動精密
ステージ
Motorized
Stage

(99)

(11.1)

(298)

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

110

RA20A-WH01

160
180

30 11CW4-for M6 screws (M8 tapped hole)
Shaft length 10mm

Table matrix(0.5)

RA30A-WH01

1109060260250
10H84-M8 Depth 16mm

300CW

5017Depth 8mm

φ10H8 Depth 8mm
1280160250260

CCW

4-for M8 screws (M10 tapped hole)
Shaft length 17mm

Table matrix(22)

φ298150200
180160140110
9050(2)

(18)

(60)

0φ11ruTh

4-M4 Depth 8mm
8-M5 Depth 10mm
8-M6 Depth 10mm
4-M8 Depth 8mm

4-M8 Depth 16mm

90110140160180200

検査システムInspection
SystemJ.indd 144-M10 Depth 20mm

80

Home Position
CW Limit Sensor

アクセサリー
Accessories

J-014

150330CCW Limit Sensor

アプリ
ケーション
Application

付録Appendix

65299

ドライバ
ボックス
Driver
Box

モーター
ケーブル
Motor
Cable

8-M4 Depth 8mm
4-M5 Depth 10mm(390)

制御装置
Control
Electronics

モーター
ドライバ
Motor
Driver

Thru

60
90
110

受注生産 Build to Order(91)

真空ステージ
VacuumStage

モーター
コントローラ
Motor
Controller

φ70H84-for M6 Depth 12mm

110

100

アライ
メント
ステージ
XYθ

(2)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

3060

(3)

回転
Rotation

φ198

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com2022/08/31 14:45

アルミ / アンギュラベアリング / ウォーム＆ウォームホイール

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Angular Bearing / Worm and Worm Wheel

産業用
Industrial

型式
Model Number

RA20A-WH01

RA30A-WH01

テーブル面
Table Size

Φ198mmΦ298mm

案内方式
Guide Mechanism

アンギュラベアリング
Angular Bearing

回転範囲
Angular Range

±170°

送り方式
Lead Mechanism

ウォーム＆ウォームホイール 1/180
Worm & Worm Wheel 1/180

ウォーム＆ウォームホイール 1/360
Worm & Worm Wheel 1/360

0.004°/0.002°0.002°/0.001°0.0002°0.0001°

最高速度
Maximum Speed

20°/sec

10°/sec

累積誤差
Accumulated Lead Error≦0.006°/360°≦0.005°/360°

ロストモーション
Lost Motion≦0.004°≦0.0015°

フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step

分解能※1Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)

角度再現性
Angular Repeatability

手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

回転
Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)≦0.001°

ピッチ誤差
Pitch Error≦0.004°/2°≦0.002°/1°

バックラッシュBacklash≦0.001°

面振れSurface Runout≦20μm/360°

偏心Eccentricity≦10μm/360°
0.02 arcsec/N・cm

0.01 arcsec/N・cm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

784N（80kgf）: 水平, 98N（10kgf）: 垂直
784N (80kgf): horizontal, 98N (10kgf): vertical

980N（100kgf）: 水平, 147N（15kgf）: 垂直
980N (100kgf): horizontal, 147N (15kgf): vertical

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

ZZ

回転Rotation

11kg

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

40kg

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

C087Q-9215P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
C087Q-9215P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)

モーター軸径Motor Shaft DiameterΦ8mm オプションハンドル：B type
Φ8mm Conformance option handle: B typeコネクタConnector

丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

ステージ結線タイプ※2
Stage Wiring TypeV3
F-115(HOME,LIMIT)

F-116(HOME,LIMIT)

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

RA20A-WH01-C

RA30A-WH01-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

RA20A-WH01-V

RA30A-WH01-V
※2

アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
VacuumStage

センサ基板型式
Sensor Model

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

モーメント剛性
Moment Load Stiffness

自重Weight※1

実験用
Experimental

制御装置
Control
Electronics
モーターコントローラMotorController

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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