システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

手動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 50×50
Manual Swivel (Tilt) Stages / Table Size 50×50

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

ST05A-S1T

ST05A-S1B

ST05A-S1S

ST05A-S1M

ST05A-S1L

回転
Rotation

ST05A-S1T

X・XY
X・XY

Z
Z

（0.5）

504030（12）Clamp Φ15

Φ4 Depth 5mm
8-M3 Depth 5mm

504030

自動精密ステージ
Motorized
Stage（0.5）

Micrometer Head(18.5)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)（81）
回転Rotation

ST05A-S1M

ST05A-S1B
Rotation CenterRotation Centerアプリ
ケーション
Application（12）304050

869.25

ST05A-S1L

6850

Rotation Center

18□404-for M3 screws
Shaft Length 3mm□40

検査システムInspection
SystemG.indd 181818
Clamp Φ15

18.5

Rotation Center

アクセ
サリー
Accessories

G-018

9.25

18

9.25

Φ4 Depth 5mm

18

付録
Appendix

4-for M3 screws
Shaft Length 3mm

8-M3 Depth 5mm

モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable

□40
Micrometer Head

18

ドライバ
ボックス
DriverBox

ST05A-S1S

4-for M3 screws
Shaft Length 3mm

18

モーター
コントローラ
Motor
Controller□40（81）

制御装置
Control
Electronics

4-for M3 screws
Shaft Length 3mm

18.5

真空ステージ
VacuumStage□4050
4030

アライ
メント
ステージXYθ（12）

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

68

50

Rotation Center

CONTACT

4-for M3 screws
Shaft Length 3mm

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 17:31

アルミ / クロスローラガイド / マイクロメータサイド押しシステム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Side-Mount Micrometer

産業用
Industrial

型式
Model Number

ST05A-S1T

ST05A-S1M

ST05A-S1B

ST05A-S1S

勝手違い型式※3Mirror Model Number

ST05A-S1T-R

ST05A-S1M-R

ST05A-S1B-R

ST05A-S1S-RRR

テーブル面
Table Size

50mm×50mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

回転範囲
Angular Range±3°

ワークディスタンス
Work Distance

50mm±0.2mm

回転中心変位量Rotation Center Error

68mm±0.2mm

86mm±0.2mm

Φ0.05mm/±3°

ST05A-S1L※2

ST05A-S1L-RRR

50mm±0.4mm

68mm±0.4mm

0.0097°/目盛
0.0097°/div

0.0074°/目盛
0.0074°/div

0.006°/目盛
0.006°/div

0.31 arcsec/N・cm

0.0097°/目盛（S1T）
0.0074°/目盛（S1M）
0.0097°/div (S1T)
0.0074°/div (S1M)

29.4N（3kgf）

材質
Material

アルミ合金Aluminum Alloy

外観Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

ZZ

ZZ

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

ST05A-S1T-C

ST05A-S1M-C

ST05A-S1B-C

ST05A-S1S-C

ST05A-S1L-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ST05A-S1T-V

ST05A-S1M-V

ST05A-S1B-V

ST05A-S1S-V

ST05A-S1L-V

ST05A-S1Lは、ST05A-S1MとST05A-S1Bの組み合わせです。
Combination of ST05A-S1M and ST05A-S1B form 2-axes swivel stage model
ST05A-S1L.

※3※4スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

X・XY
X・XY

0.42kg
マイクロメータヘッド（13mm）
Micrometer (13mm)

ST05A-S1Sは、ST05A-S1TとST05A-S1Mの組み合わせです。
Combination of ST05A-S1T and ST05A-S1M form 2-axes swivel stage model
ST05A-S1S.

回転Rotation

自動精密ステージ
Motorized
Stage

0.21kg

駆動方式
Actuator

0.0074°/目盛（S1M）
0.006°/目盛（S1B）
0.0074°/div (S1M)
0.006°/div (S1B)

0.92 arcsec/N・cm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

自重Weight

※2

X・XY
X・XY

－モーメント剛性※4
Moment Load Stiffness※1

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStageΦ0.1mm/±3°

最小読み取りMinimum Readout
回転角Angular Motion※1

勝手違い、重ねの組勝手についてはG-004ページを参照して下さい。
Refer to page G-004 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.
スイベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single Swivel stage is measured in Roll Direction.

 ーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参オ
照して下さい（マイクロメータヘッドはオーバーホール対象外となります）。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information (Micrometer is not included in the overhaul).

 空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-003ペー
真ジを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-003 forfurther information.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-003
ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-003 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。
詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

G.indd 19G-019

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