システム製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動Xステージ / テーブルサイズ 50×50,70×70
Motorized X Linear Stages / Table Size 50×50, 70×70

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage
X・XY
X・XY

XA07A-L202※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

XA05A-L202

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
（121)

自動精密
ステージ
Motorized
Stage（201.5）（30.5）

50
4030(200)
4-M3 Depth 6mm
4-M3 Depth 6mm

真空ステージ
VacuumStage制御装置
ControlElectronics□4035.5（6）(241.5)(131)7060
4030(40.5)

30406070(89.5)

φ4H8 Depth 4mm(200)
4-M4 Depth 8mm
4-M3 Depth 6mm

（6）

75.5

CWHome Position

40
裏面
Back Side

CW Limit Sensor
(40)

(28)

CCW Limit Sensor

4.5

4-M3 Depth 6mm
M4 Depth 8mm
CCW

（6）

アクセ
サリー
Accessories

Depth 4mm

(19.5)

アプリ
ケーション
Application

付録
Appendix15(40)
4-for M3 screws
Shaft length 6mm

ドライバ
ボックス
Driver
Box

モーター
ケーブル
Motor
Cable

裏面
Back Side

XA07A-L202

モーター
コントローラ
Motor
Controller

モーター
ドライバ
Motor
Driver

4.5

CW Limit Sensor(28)

アライメントステージ
XYθ

3055.5CW

CCW Limit Sensor Home Position（6）

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

M4 Depth 8mm
CCW回転Rotation

Depth 4mm

4H8Z
Z3040（19.5）
50（69.5）

X・XY
X・XY

φ4H8 Depth 4mm

20回転
Rotation

XA05A-L202

4H8Z
Z

4-for M4 screws
Shaft length 12.5mm□6045.5

検査システムInspection
SystemH-030

H.indd 30

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:13

アルミ / リニアガイド / ボールネジ

システム
製品SystemProducts

Aluminum Body / Linear Guide / Ball Screw

産業用Industrial

型式
Model Number

XA05A-L202

XA07A-L202

勝手違い型式※1Mirror Model Number

XA05A-L202-R

XA07A-L202-R

テーブル面
Table Size

50mm×50mm

70mm×70mm

案内方式
Guide Mechanism

手動精密ステージ
ManualStage

精密リニアガイド
Linear Guide

移動範囲
Motion Range

±25mm

±35mm

送り方式
Lead Mechanism

X・XY
X・XY

ボールネジ, リード 1.0mm
Ball Screw, Lead 1.0mm

フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※2
Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)

1μm/0.5μm

ZZ

0.05μm

最高速度
Maximum Speed

5mm/sec

累積リード誤差
Accumulated Lead Error≦8μm/50mm（AVE. 2.24μm/50mm）≦8μm/70mm（AVE. 2.31μm/70mm）

繰返し位置決め精度
Repeatability≦±0.5μm（AVE. ±0.05μm）≦±0.5μm（AVE. ±0.06μm）

ロストモーション
Lost Motion
真直度
Straightness

実験用
Experimental≦1μm（AVE. 0.4μm）≦1μm（AVE. 0.41μm）

水平Horizontal≦3μm/50mm（AVE. 0.98μm/50mm）≦3μm/70mm（AVE. 1.18μm/70mm）

垂直Vertical≦3μm/50mm（AVE. 0.7μm/50mm）≦3μm/70mm（AVE. 0.73μm/70mm）

バックラッシュBacklash≦0.5μm（AVE. 0.13μm）≦1μm（AVE. 0.16μm）

モーメント剛性※3
Moment Load Stiffness

0.2 arcsec/N・cm（AVE. 0.11 arcsec/N・cm）

0.18 arcsec/N・cm（AVE. 0.09 arcsec/N・cm）

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

49N（5kgf）

68.6N（7kgf）

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重Weight

0.75kg

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

回転
Rotation

1.15kg直交度
Perpendicularity－

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

PK523HPMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
PK523HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)

モーター軸径Motor Shaft DiameterΦ5mm 適合オプションハンドル：A type（参照ページO-008）
Φ5mm Conformance option handle: A type (Refer to page O-008)

コネクタ
Connector

丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

ステージ結線タイプ※4Stage Wiring TypeV3

センサ基板型式
Sensor Model

F-107(LIMIT), F-108(HOME)
XA05A-L202-C

XA07A-L202-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

XA05A-L202-V

XA07A-L202-V

勝手違いについてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for information on Mirror Symmetry Configuration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
※2
Stage is inspected by half step setting.
オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.
クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005
ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ペー
ジを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

アライメントステージXYθ真空ステージVacuumStage

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number※1

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

制御装置
ControlElectronics
モーターコントローラ
MotorController

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.
ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027ページを参照して下さい。
※4
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.
※3

ドライバボックス
DriverBox

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アプリ
ケーション
Application

XYでの組み付けをご希望の際は、営業部までお問い合わせ下さい。
About the XY assembly for these stages, contact us for further information.

モーター
ドライバ
MotorDriver

2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

モーターケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 31

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