システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 130×130
Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table Size 130×130

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XYZ
Z

SA13A-RT01
SA13A-RM01

SA13A-RS01

回転Rotation

SA13A-RT01(17)30
406090110130(2)

アプリ
ケーション
Application(4)

5H8CCW120(11.1)□110

4-for M5 screw
Shaft length 6mm(9)5853(7)CW

SA13A-RS01(138.5)

裏面
Back Side

8-M3 Depth 8mm
8-M4 Depth 10mm
4-M5 Depth 10mm

Depth 5mm

7φ8H8 Depth 10mm
30406090
110130(23)モーターケーブルMotor
Cable

5H84-for M5 screw
Shaft length 6mm

φ5H8 Depth 5mm
45(291.5)(138.5)120

Rotation Center
CW

CCW

53

付録
Appendix

(9)

58

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemK.indd 24□110

4-for M5 screw
Shaft length 6mm

モーター
ドライバ
Motor
DriverK-024

Rotation Center

90

ドライバ
ボックス
DriverBox

SA13A-RM01

□110

モーター
コントローラ
Motor
Controller

CCW

φ5H8 Depth 5mm

90(138.5)

Rotation Center
CW

7(60)
(67)

(291.5)

制御装置
Control
Electronics(291.5)

130
110
9060
4030

真空ステージ
VacuumStage(23)

Depth 5mm(60)
(64)

(23)

アライ
メントステージ
XYθ

裏面Back Side

φ8H8 Depth 10mm

ZZ

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

SA13A-RM01

45

X・XY
X・XY

回転Rotation

SA13A-RT01

173

自動精密ステージ
Motorized
Stage

8-M3 Depth 8mm
8-M4 Depth 10mm
4-M5 Depth 10mm

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

(149)
130
110
90
60
4030

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:09

アルミ / クロスローラガイド / ウォーム＆ウォームホイール

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Worm and Worm Wheel
型式
Model Number
勝手違い型式※2
Mirror Model Number
テーブル面
Table Size
案内方式
Guide Mechanism
回転範囲
Angular Range
送り方式
Lead Mechanism
減速比
Reduction Ratio
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※3Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)
最高速度
Maximum Speed
ワークディスタンス
Work Distance
回転中心変位量Rotation Center Error
繰返し位置決め精度
Repeatability
ロストモーション
Lost Motion
バックラッシュBacklash
モーメント剛性※4
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重Weight
5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタConnector
ステージ結線タイプ※5Stage Wiring Type
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number
※1
※2

産業用
Industrial

SA13A-RT01

SA13A-RM01

SA13A-RS01 ※1

SA13A-RT01-R

SA13A-RM01-R

SA13A-RS01-RRR

実験用
Experimental

130mm×130mm
手動精密ステージ
ManualStage

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide
±10°

X・XY
X・XY

ウォーム＆ウォームホイール
Worm & Worm Wheel
288(RT01)
400(RM01)
0.0025°/0.00125°（RT01）,/0.0009°（RM01）
0.0018°0.000125°（RT01）,
0.00009°（RM01）

288

400

0.0025°/0.00125°0.0018°/0.0009°

0.000125°

0.00009°12.5°/sec

9°/sec

12.5°/sec（RT01）, 9°/sec（RM01）

120mm±0.5mm

173mm±0.5mm

120mm±1mm

Φ0.05mm/±10°≦±0.001°（AVE. ±0.0001°）

ZZ

回転Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

Φ0.1mm/±10°≦±0.001°（AVE. ±0.0001°）≦±0.001°≦0.005°（AVE. 0.0008°）≦0.002°（AVE. 0.0006°）≦0.005°(RT01)≦0.002°(RM01)≦0.001°（AVE. 0.0001°）≦0.001°（AVE. 0.0001°）≦0.001°0.02 arcsec/N・cm
（AVE. 0.009 arcsec/N・cm）

0.02 arcsec/N・cm
（AVE. 0.009 arcsec/N・cm）

0.06 arcsec/N・cm

98N（10kgf）

自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZ
Z

58.8N（6kgf）
アルミ合金
Aluminum Alloy
白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

4.9kg

5.3kg

回転Rotation

10.2kgスイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

C087Q-9215P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
C087Q-9215P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)
Φ8mm オプションハンドル：B type
Φ8mm Conformance option handle: B type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

アライ
メントステージ
XYθV3

真空ステージ
VacuumStage

F-101(HOME,LIMIT)
SA13A-RT01-C

SA13A-RM01-C

SA13A-RS01-C

SA13A-RT01-V

SA13A-RM01-V

SA13A-RS01-V

SA13A-RS01は、SA13A-RT01とSA13A-RM01の組み合わせです。
Combination of SA13A-RT01 and SA13A-RM01 form 2-axes swivel stage model
SA13A-RS01.
勝手違い、重ねの組勝手についてはK-005ページを参照して下さい。
Refer to page K-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.

※3

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※4

 イベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
スMoment Stiffness of single swivel stage is measured in Roll Direction.

※5ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

制御装置
ControlElectronics
モーターコントローラ
MotorController

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

K.indd 25K-025

2022/07/29 20:09