システム
製品SystemProducts
産業用
Industrial

手動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 50×50
Manual Swivel (Tilt) Stages / Table Size 50×50

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

ST05A-S3T-CL

ST05A-S3S-CL

ST05A-S3M-CL
回転Rotation（0.5）

ST05A-S3T-CL（9.25）

18 （1.75） Clamp Φ15（12）

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)（0.5）

5040308-M3 Depth 5mm305040Φ4 Depth 5mm

自動精密
ステージ
Motorized
Stage

FPP03-13（22.5）

X・XY
X・XYZZ（98）

ST05A-S3M-CL

回転Rotation

Rotation Center6850

Rotation Center18スイベル（ゴニオ）Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ

4-for M3 screws
Shaft Length 3mm

真空ステージ
VacuumStage

ST05A-S3S-CL

18

□40

4-for M3 screws
Shaft Length 3mm□40

FPP03-13

制御装置
Control
Electronics

ドライバ
ボックス
Driver
Box

50

アプリ
ケーション
Application

（12）

モーター
コントローラ
Motor
Controller（98）（22.5）

FPP03-13

モーター
ドライバ
Motor
Driver30

40

4 Depth 5mm
8-M3 Depth 5mm（12）Clamp Φ1530
4050（22.5）(9.25)

50

Rotation Center

モーター
ケーブル
Motor
Cable

18

付録
Appendix

4-for M3 screws
Shaft Length 3mm

検査システムInspection
SystemG-020

G.indd 20

CONTACT□40(1.75)

18アクセサリー
Accessories

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 17:31

アルミ / クロスローラガイド / 精密ポジショナーサイド押しシステム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Side-Mount Fine Pitch Positioner

産業用
Industrial

型式
Model Number

ST05A-S3T-CL

ST05A-S3M-CL

ST05A-S3S-CL ※1

勝手違い型式※2
Mirror Model Number

ST05A-S3T-R-CL

ST05A-S3M-R-CL

ST05A-S3S-RRR-CL

テーブル面
Table Size

50mm×50mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

回転範囲
Angular Range±3°ワークディスタンス
Work Distance

50mm±0.2mm

回転中心変位量Rotation Center Error

68mm±0.2mm
Φ0.05mm/±3°

最小読み取りMinimum Readout
回転角
Angular Motion

手動精密ステージ
ManualStage50mm±0.4mm
Φ0.1mm/±3°

粗動 0.0097°/目盛, 微動
Coarse 0.0097°/div, Fine

粗動 0.0097°/目盛, 微動 0.00048°/目盛（S3T）,
0.00048°/目盛 粗動 0.0074°/目盛, 微動 0.00037°/目盛 粗動 0.0074°/目盛, 微動 0.00037°/目盛（S3M）
Coarse0.00048°/div
0.0074°/div, Fine
0.00037°/div Coarse
0.0097°/div, Fine
0.00048°/div(S3T),
Coarse0.0074°/div, Fine
0.00037°/div(S3M)
0.31 arcsec/N・cm

0.92 arcsec/N・cm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

29.4N（3kgf）

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重Weight

0.21kg

駆動方式
Actuator

ZZ

0.42kg

精密ポジショナー FPP03-13（13mm）
Fine Pitch Positioner FPP03-13 (13mm)
ST05A-S3T-CL-C

ST05A-S3M-CL-C

ST05A-S3S-CL-C

ST05A-S3T-CL-V

ST05A-S3M-CL-V

ST05A-S3S-CL-V※3スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

X・XY
X・XY

Z
Z

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ST05A-S3S-CLは、ST05A-S3T-CLとST05A-S3M-CLの組み合わせです。
Combination of ST05A-S3T-CL and ST05A-S3M-CL form 2-axes swivel stage
model ST05A-S3S-CL.

回転Rotation

自動精密ステージ
Motorized
Stage

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

※2

X・XY
X・XY

－

モーメント剛性※3
Moment Load Stiffness※1

実験用
Experimental

スイベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single Swivel stage is measured in Roll Direction.

勝手違い、重ねの組勝手についてはG-004ページを参照して下さい。
Refer to page G-004 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい（マイクロメータヘッドはオーバーホール対象外となります）。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information (Micrometer is not included in the overhaul).

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-003ペー
ジを参照して下さい。グリス交換は本体のみとなります。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant change is not avairable for actuators on stages.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-003
ページを参照して下さい。グリス交換は本体のみとなります。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant change is not avairable for actuators on stages.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。
詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

G.indd 21

G-021

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