自動X・XYステージ / テーブルサイズ 100×100

システム
製品
SystemProducts

Motorized X, XY Linear Stages / Table Size 100×100

産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

XA10F-R102

YA10F-R102

XA10F-R202

YA10F-R202

XA10F-R102 /R202

(230)

X・XY
X・XY

Z
Z

4-M4 Depth 8mm
4-M4 Depth 8mm

4-M3 Depth 8mm
M4 Depth 6mm
CCW

回転Rotation

60

裏面
Back Side

(6)

30(6)

□90

4-for M4 screws
Shaft length 7mm

YA10F-R102 / R202
(230)
(130)

60
Depth 5mm

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
SystemH-026H.indd 26(247.2)

(6)

(130)

裏面
Back Side

4-for M4 screws
Shaft length 7mm

CONTACT(42)

付録
Appendix4-M4 Depth 8mm
4-M4 Depth 8mm
4-M3 Depth 8mm

(6)

モーター
ケーブル
Motor
Cable

φ5H8 Depth 5mm

M4 Depth 6mm

(72)
3030

モーター
ドライバ
Motor
Driver100906040

ドライバ
ボックス
DriverBox

5H8モーター
コントローラ
Motor
Controller

5.5

30

100
906040(17.2)

制御装置
Control
Electronics

アプリ
ケーション
Application

Depth 5mm

CCW Limit Sensor

(42)

アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
VacuumStage

5.5

φ5H8 Depth 5mm

CWHome Position
CW Limit Sensor
スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)(17.2)

406090100(117.2)

自動精密ステージ
Motorized
Stage

5H810090604030(130)

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)□90

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:13

鉄 / クロスローラガイド / 研削ネジ, ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Steel Body / Cross-Roller Guide / Ground Screw, Ball Screw
型式
Model Number
勝手違い型式※1
Mirror Model Number
テーブル面
Table Size
案内方式
Guide Mechanism
移動範囲
Motion Range

産業用
Industrial

XA10F-R102

YA10F-R102

XA10F-R202

YA10F-R202

XA10F-R102-R

YA10F-R102-RRR

XA10F-R202-R

YA10F-R202-RRR

送り方式
Lead Mechanism

実験用Experimental

100mm×100mm
手動精密ステージ
ManualStage

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide±12.5mm
研削ネジ, リード 0.5mm
Ground Screw, Lead 0.5mm

X・XY
X・XY

ボールネジ, リード 1.0mm
Ball Screw, Lead 1.0mm

フル/ハーフ ステップ0.5μm/0.25μm
1μm/0.5μm
Full/Half Step
分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.025μm
0.05μmMicro Step (1/20 div)
最高速度
2.5mm/sec
5mm/sec
Maximum Speed
累積リード誤差≦8μm/25mm≦5μm/25mm≦8μm/25mm≦5μm/25mm
Accumulated Lead Error（AVE. 1.15μm/25mm）（AVE. 1.28μm/25mm）
繰返し位置決め精度≦±0.3μm（AVE. ±0.04μm）≦±0.3μm≦±0.2μm（AVE. ±0.05μm）≦±0.2μm
Repeatability
ロストモーション≦1μm（AVE. 0.2μm）≦1μm≦0.5μm（AVE. 0.17μm）≦0.5μmLost Motion
水平≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm
Horizontal（AVE. 0.13μm/25mm）（AVE. 0.14μm/25mm）
真直度
Straightness
垂直≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm≦0.5μm/25mm
Vertical（AVE. 0.12μm/25mm）（AVE. 0.16μm/25mm）
バックラッシュ≦0.5μm（AVE. 0.13μm）≦0.5μm
≦0.5μm（AVE. 0.1μm）≦0.5μmBacklash
モーメント剛性0.01 arcsec/N・cm
0.01 arcsec/N・cm※30.03 arcsec/N・cm
0.03 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness（AVE. 0.005 arcsec/N・cm）（AVE. 0.004 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
196N（20kgf）
166.6N（17kgf）
196N（20kgf）
166.6N（17kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
鉄
Material
Steel
外観
ニッケルメッキ仕上げ
FinishNickel Plating
自重2.75kg5.5kg
2.75kg5.5kg
Weight直交度－≦5μm/25mm－≦5μm/25mm
Perpendicularity
5相ステッピングモーターPK544PMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
5 Phase Stepper Motor
PK544PMB(Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)
モーター軸径
Φ5mm オプションハンドル：A type
Motor Shaft DiameterΦ5mm Conformance option handle: A type
コネクタ
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
Connector
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)
ステージ結線タイプ※4V3
Stage Wiring Type
センサ基板型式
F-101(HOME,LIMIT)
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
XA10F-R102-C
YA10F-R102-C
XA10F-R202-C
YA10F-R202-C
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
XA10F-R102-V
YA10F-R102-V
XA10F-R202-V
YA10F-R202-V
Vacuum Lubricant Model Number※1※2

勝手違い、重ねの組勝手についてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※3

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027ページを参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

ZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
MotorizedStageX・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーターコントローラ
MotorController

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 27

H-027

2022/09/06 16:13