システム
製品SystemProducts
産業用
Industrial

手動X・XYステージ / テーブルサイズ 100×100
Manual X, XY Linear Stages / Table Size 100×100

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage
X・XY
X・XY

XM10F-S1

XM10F-S3-CL

Z
Z

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

YM10F-S1(26)10090
604030

自動精密ステージ
Motorized
Stage

YM10F-S3-CL

ClampΦ15

X・XY
X・XY

9-M4 Depth 6mm

10090
604030ClampΦ15（16.5）

XM10F-S1（16.5）

回転Rotation

YM10F-S1

22 22

8-M3 Depth 6mm

114-for M4 screws

YM10F-S3-CL(28)（16.5）

1009060
4030

ClampΦ159-M4 Depth 6mm

10090604030

ClampΦ15(7.5)

22 22(16.5)

XM10F-S3-CL□908-M3 Depth 6mm
9-M4 Depth 6mm
304060901008-M3 Depth 6mm

0550455104011.5（29.5）(117.5)Micrometer Head FPP03-13

Micrometer Head FPP03-13

452245404035353030

4-for M4 screws
Shaft Length 3mm□904-for M4 screws
Shaft Length 3mm

□90

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemD-026

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

20515

10040

100（117.5）501054540

10455(28)100(28)

10付録
Appendix□90

Shaft Length 3mm

モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable

Micrometer Head224-for M4 screws
Shaft Length 3mm

モーター
コントローラ
Motor
Controller

アプリ
ケーション
Application（137）

Micrometer Head

制御装置
Control
Electronics

ドライバ
ボックス
Driver
Box

(37)

（137）

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

真空ステージ
Vacuum
Stage

(26)

(26)

回転
Rotation

アライ
メント
ステージ
XYθ

30
406090100

8-M3 Depth 6mm

30406090100ZZ

30406090
100

9-M4 Depth 6mm

鉄 / クロスローラガイド / マイクロメータサイド押しシステム
製品SystemProducts

Steel Body / Cross-Roller Guide / Side-Mount Micrometer

産業用Industrial

型式
Model Number

XM10F-S1

YM10F-S1

XM10F-S3-CL

YM10F-S3-CL

勝手違い型式※1
Mirror Model Number

XM10F-S1-R

YM10F-S1-RRR

XM10F-S3-R-CL

YM10F-S3-RRR-CL

テーブル面
Table Size

100mm×100mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

移動範囲
Motion Range±12.5mm

粗動 13mm, 微動 0.3mm
Coarse 13mm, Fine 0.3mm

真直度
Straightness≦2μm/25mm

最小読み取りMinimum Readout

10μm/目盛
10μm/div≦1.5μm/13mm
粗動 10μm/目盛, 微動
Coarse 10μm/div, Fine

0.5μm/目盛
0.5μm/div

モーメント剛性※2
Moment Load Stiffness

0.04 arcsec/N・cm

0.08 arcsec/N・cm

0.04 arcsec/N・cm

0.08 arcsec/N・cm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

196N（20kgf）

176.4N（18kgf）

196N（20kgf）

176.4N（18kgf）

材質
Material

鉄Steel

外観
Finishニッケルメッキ仕上げ
Nickel Plating

自重Weight

1.6kg

3.2kg

1.6kg

3.2kg

直交度
Perpendicularity－≦20μm/25mm－≦20μm/13mm

駆動方式
Actuator

マイクロメータヘッド（25mm）
Micrometer (25mm)

精密ポジショナー FPP03-13（13mm）
Fine Pitch Positioner FPP03-13 (13mm)

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

XM10F-S1-C

YM10F-S1-C

XM10F-S3-CL-C

YM10F-S3-CL-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

XM10F-S1-V

YM10F-S1-V

XM10F-S3-CL-V

YM10F-S3-CL-V※1

勝手違い、重ねの組勝手についてはD-004ページを参照して下さい。
Refer to pageD-004 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.

※2

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

縦置きZ仕様 Vertical X linear stage customizing

縦置き用ブラケットを用いることで、XステージをZステージとして利用することが可能です。ただし、落下防止のためにステージをZ仕様にする必要があります（無償で対応致します）。Z仕様への改造についてはD-004ページの組勝手表も併せてご覧下さい。標準タイプの縦置きZステージについてはE-016ページをご覧下さい。
X linear stage can utilize as a vertical stage by the use of an option bracket. However, such X linear stage should customize Z-specification(service without charge). Refer to pageD-004 for further information. About the standard vertical X linear stage, refer to page E-016 for further information.
オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照
して下さい（マイクロメータヘッドはオーバーホール対象外となります）。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information (Micrometer is not included in the overhaul).
クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-003
ページを参照して下さい。S3-CL、S3-R-CL、S3-RRR-CLのグリス交換は、本体のみとなります。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant exchange is not available for actuators on stages
that include the S3 model.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-003ペー
ジを参照して下さい。S3-CL、S3-R-CL、S3-RRR-CLのグリス交換は、本体のみとなります。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant exchange is not available for actuators on stages
that include the S3 model.
お客様のご要望により製品の改造も承ります。
詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
DriverBox
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driverモーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

D-027