自動X・XYステージ / テーブルサイズ 160×124

システム
製品
SystemProducts

Motorized X, XY Linear Stages / Table Size 160×124

産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XYZ
Z

回転Rotation

XA16A-R101

YA16A-R101

XA16A-R202

YA16A-R202

XA16A-R101 /R202(308.5)スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

160
110
90
60
4030

自動精密ステージ
Motorized
Stage

4-M5 Depth 8mm
8-M4 Depth 8mm
回転Rotation

M5 Depth 8.5mm
8-M3 Depth 8mm

CCW

(10)

35(166.5)

90

φ5H8 Depth 5mm

7455H8Depth 5mm

(308.5)(148.5)

4-M5 Depth 8mm8-M4 Depth 8mm
8-M3 Depth 8mm

裏面Back Side

(10)
(15)

検査システムInspection
SystemCONTACT

(60)

(95)
35 35

付録
Appendix

H.indd 28

124
110
90
60
4030

M5 Depth 8.5mm

モーター
ケーブル
Motor
Cable

H-028

4-for M5 screws
Shaft length 7mm

160
110
90
60
4030

ドライバ
ボックス
DriverBox

アクセ
サリー
Accessories

裏面
Back Side(308.5)18

モーターコントローラ
Motor
Controller

モーター
ドライバ
Motor
DriverDepth 5mm

YA16A-R101 /R202

制御装置
Control
Electronics

アプリ
ケーション
Application

□110

(15)

真空ステージ
VacuumStage90

Home Position
CCW Limit Sensor(60)

アライメントステージ
XYθ

7

φ5H8 Depth 5mm

CWCW Limit Sensor
スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

5H8Z
Z(17.2)4530
406090110124

X・XY
X・XY

□110

4-for M5 screws
Shaft length 7mm

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:13

アルミ / クロスローラガイド / 研削ネジ, ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ground Screw, Ball Screw

産業用Industrial

型式
XA16A-R101
YA16A-R101
XA16A-R202
YA16A-R202
Model Number
勝手違い型式※1
XA16A-R101-R
YA16A-R101-RRR
XA16A-R202-R
YA16A-R202-RRR
Mirror Model Number
テーブル面160mm×124mm
Table Size
案内方式
精密クロスローラガイド
Guide Mechanism
Cross-Roller Guide
移動範囲
±30mm
Motion Range
送り方式
研削ネジ, リード 1.0mm
ボールネジ, リード 2.0mm
Lead Mechanism
Ground Screw, Lead 1.0mm
Ball Screw, Lead 2.0mm
フル/ハーフ ステップ2μm/1μm
4μm/2μm
Full/Half Step
分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.1μm
0.2μm
Micro Step (1/20 div)
最高速度
10mm/sec
20mm/sec
Maximum Speed
累積リード誤差≦10μm/60mm≦6μm/60mm≦10μm/60mm≦6μm/60mm
Accumulated Lead Error（AVE. 5.24μm/60mm）（AVE. 1.21μm/60mm）
繰返し位置決め精度≦±0.5μm（AVE. ±0.13μm）≦±0.5μm≦±0.2μm（AVE. ±0.03μm）≦±0.2μm
Repeatability
ロストモーション≦2μm（AVE. 0.89μm）≦2μm≦2μm（AVE. 0.63μm）≦2μm
Lost Motion
水平≦1μm/60mm≦1μm/60mm≦1μm/60mm≦1μm/60mm
Horizontal（AVE. 0.27μm/60mm）（AVE. 0.26μm/60mm）
真直度
Straightness
垂直≦2μm/60mm≦2μm/60mm≦2μm/60mm≦2μm/60mm
Vertical（AVE. 0.38μm/60mm）（AVE. 0.28μm/60mm）
バックラッシュ≦1μm（AVE. 0.21μm）≦1μm≦0.5μm（AVE. 0.1μm）≦0.5μmBacklash
モーメント剛性0.01 arcsec/N・cm
0.01 arcsec/N・cm※30.03 arcsec/N・cm
0.03 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness（AVE. 0.005 arcsec/N・cm）（AVE. 0.005 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
294N（30kgf）
254.8N（26kgf）
294N（30kgf）
254.8N（26kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
アルミ合金
Material
Aluminum Alloy
外観
白色仕上げ
FinishClear-Matt Anodizing
自重
3.6kg
7.2kg
3.6kg
7.2kg
Weight直交度－≦5μm/60mm－≦5μm/60mm
Perpendicularity
5相ステッピングモーター
C087Q-9215P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，
基本ステップ角 0.72°, リード線5本）5 Phase Stepper Motor
C087Q-9215P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)
モーター軸径
Φ8mm オプションハンドル：B type
Motor Shaft DiameterΦ8mm Conformance option handle: B type
コネクタ
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
Connector
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)
ステージ結線タイプ※4V3Stage Wiring Type
センサ基板型式
F-101(HOME,LIMIT)
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
XA16A-R101-C
YA16A-R101-C
XA16A-R202-C
YA16A-R202-C
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
XA16A-R101-V
YA16A-R101-V
XA16A-R202-V
YA16A-R202-V
Vacuum Lubricant Model Number※1※2

勝手違い、重ねの組勝手についてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※3

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027ページを参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

実験用Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージMotorizedStage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C ”が付きます。詳細についてはC-005ペー
ジを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
DriverBox
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 29H-029

2022/09/06 16:13