電気学会センサ・マイクロマシン準部門 主催

第 23 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
THE 23rd SENSOR SYMPOSIUM on Sensors, Micromachines, and Applied Systems
平成 18 年 10 月 5 日（木）～ 10 月 6 日（金） 高松市 サンポート高松
電気学会センサ・マイクロマシン準部門（E 部門）では、下記の通り第23 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムを開催いたします。本シンポ
ジウムは、広く関連学協会のご協力をいただき、従来の学会の枠を超えた各分野の研究者が集う、センサ・マイクロマシンをテーマとした学術集会です。
第23 回では、特に注目される 4 つの最新の話題 − ①ロボットと MEMS、②ディスプレイと MEMS、③エネルギーと MEMS、④防災とセンサ − に関する企画
セッションを設けたほか、海外・国内からの招待講演を予定しております。主・共催学協会会員はもとより会員以外の方も自由に参加できます。みなさまのご参加を心よりお待ちしております。（http://www2.iee.or.jp/~smas//）【会場】 サンポート高松 （香川県高松市サンポート 2-1、JR 高松駅より徒歩2 分、電話 087-825-5560） http://www.sunport.or.jp/【参加費】(会員は消費税不課税、非会員および懇親会参加費は消費税込)
予約参加申込み
当日（9 月 15 日まで)
主催・共催学協会会員
20,000 円
30,000 円
会員外
25,000 円
35,000 円
学生
4,000 円
4,000 円懇親会参加費5,000 円
5,000 円【共催】 電子情報通信学会、応用物理学会、電気化学会、センシング技術応用研究会、日本赤外線学会、イオン工学会、計測自動制御学会、日本生体医工学会、レーザー学会、精密工学会、日本機械学会、日本ロボット学会、
日本真空協会、次世代センサ協議会、システム制御情報学会、ニューセラミ
ックス懇話会、日本信頼性学会、電気学会関連技術委員会

参加費には、講演概要集（和文あるいは英文）とプロシーディングス及びCD-ROM（英文）代が含まれます。

【参加申込み方法】 参加ご希望の方は、ホームページ上で Web 登録を行っていただくか、ホームページ上の参加申込み書をダウンロードし、ＦＡＸにて事務局までお申込み下さい。予約参加申込みは、9 月 15 日（金）までに着信し、かつ同日までにお支払いが完了した場合に有効です。9 月 15 日以降のお申込みは当日会場での受付となります。なお、当日は現金とクレジットカードによるお支払いが可能です。
【懇親会】 当シンポジウムでは、参加者相互の交流を深めるため、開催日
初日に懇親会を開きます。ふるってご参加ください。参加費は 5,000 円です。
【予約参加申込みとお支払いの締切り】 平成 18 年 9 月 15 日（金）（１）クレジットカード（VISA, MASTER, DINERS, AMEX, JCB）
（２）銀行振込（振込先は参加申込み書をご参照ください。）【速報】新たな知見が得られ、緊急に速報として発表したい方を対象に、10件程度の速報を受付けます。A４サイズ１頁に発表題目、発表者氏名、所属、論文本文を印刷が可能な様式で記載して事務局まで郵送でお申込みください（和文・英文いずれも可）。速報申込み締切は平成 18 年 9 月 5 日(火)です。速報投稿料は\6,000 です(消費税は別途)。速報の体裁はホームページをご参照ください。速報は概要集に掲載されます。
【問合先】
第 23 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム事務局〒160-0023 東京都新宿区西新宿 3-6-5 トーカン新宿キャステール 603
電話 03-3346-8007 FAX 03-3346-8002 E-mail: SMAS@conferences.jp【スケジュール】

月

10

A 会場

B 会場

C 会場

（第 1 小ホール ホール棟 4F）（第 2 小ホール ホール棟 5F）（国際会議場 タワー棟 6F）

10:00-12:00

オープニングセッション 招待講演 3 件 （第１小ホール ホール棟 4F）

12:00-13:10

昼食

13:10-15:10

セッション Ａ１
プロセス技術セッション Ｂ１
MEMS（アクチュエータ）展示場（第 61 会議室
ホール棟 6F）

セッション Ｃ１
バイオセンサ
技術展示

日（
木）

5

15:10-17:10

17:10-18:50

ポスターセッション （第 61 会議室 ホール棟 6F）
セッション Ａ２
企画セッション①
ロボットと MEMS

18:50-21:00

09:00-11:00

月

10

日（
金）

6

セッション Ａ３
プロセス技術と材料評価

セッション Ｂ３
物理センサ I

セッション Ｃ３
企画セッション②
ディスプレイと MEMS

休憩
セッション Ａ４
センサシステム12:30-13:40
13:40-15:00

セッション Ｃ２
化学センサ

懇親会

11:00-11:10
11:10-12:30

セッション Ｂ２
MEMS（マイクロチップ他)

12:00-18:50

セッション Ｂ４
物理センサ II

セッション Ｃ４
企画セッション③
エネルギーと MEMS

昼食
セッション Ａ５
ナノテクノロジーと新分野

セッション Ｂ５
物理センサ III

セッション Ｃ５
企画セッション④
防災とセンサ

15:00-15:15

休憩

15:15-16:30

クロージングセッション 招待講演 1 件 （第１小ホール ホール棟 4F）
五十嵐賞発表【講演発表プログラム】 裏面

技術展示
09:00-15:15

講演時間 招待講演 PL-1 と PL-4 45 分（質疑討論 10 分を含む） PL-2 と PL-3 30 分（質疑討論 5 分を含む）
一般講演 20 分（質疑討論 5 分を含む）、ただし C3-1 のみ 40 分（質疑討論 5 分を含む）

10 月 5 日（木）オープニングセッション
10:00－12:00 Ａ会場

セッション B2 MEMS(マイクロチップ他)
17:10－18:50 B 会場
座長 澤田廉士（九州大学）

座長 杉山 進（立命館大学）

B2-1

PL-1

（招待講演）MEMS and NANO: The Path to Manufacturing
Martin A. Schmidt （Massachusetts Institute of Technology）

タンパク質の吸着を抑制する超撥水性面を利用したマイクロバルブ
石塚勝敏、江副美佳、安田 隆（九州工業大学）

B2-2

PL-2

（招待講演）Current Status of MEMS Industry and Its Researchin Taiwan
Pin Chang (Industrial Technology Research Institute)

細胞溶液攪拌チャネル内におけるマイクロ流体旋回速度の解析
平原修三、鶴田知幸、松本佳宣、南谷晴之（慶應義塾大学）

B2-3

PL-3

（招待講演）Computer Aided Engineering Systems for Micro
Electro-Mechanical Systems - MEMS-ONE Hidetoshi Kotera (Kyoto University)

電気化学的三電極系の変則的使用によるオンチップ pH レギュレー
タとその応用
森本克也、戸谷真理子、福田淳二、鈴木博章（筑波大学）

B2-4

参照溶液が不要な吸光光度測定マイクロチップの作製と特性評価
野田俊彦、広久保 望、高尾英邦、澤田和明、
石田 誠（豊橋技術科学大学）、
奥 成博、松本浩一（堀場製作所）

B2-5

磁性微粒子を搬送子として用いたマイクロ化学分析デバイスの研究
長尾宣洋、式田光宏、高柳賢太郎、本多裕之、
大河内美奈、伊藤博史、佐藤一雄（名古屋大学）

セッション A1 プロセス技術
13:10－15:10 Ａ会場

座長 阪田知巳（ＮＴＴ）

A1-1

高密度貫通配線を有するガラス基板
江刺正喜、田中秀治、崔 成熏、伊藤 修（東北大学）、
藤本 諭（メムス・コア）

A1-2

面発光レーザ素子の低温直接接合に関する研究
今村鉄平、日暮栄治、須賀唯知（東京大学）、
澤田廉士（九州大学）

A1-3

セルフアセンブルと 2 段階転写を用いたサブミクロン粒子パターニング
尾崎貴志、菅野公二、土屋智由、田畑 修（京都大学）

A1-4

フォトリソグラフィーを用いたサブメゾスケールデバイス加工用超微細ダイヤモンド工具の開発
松下 孟、三木則尚（慶應義塾大学）

A1-5
A1-6

裏面傾斜露光を用いた３次元メッシュ微小電極
吉峯 圭、佐藤暢寛、庄子習一（早稲田大学）
Deep Wet Etching of Z Cut Quartz Wafer for MEMS
Applications
Jinxing Liang (Sakamoto Electric Mfg.),
Fusao Kohsaka and Toshitsugu Ueda (Waseda University)

セッション C1 バイオセンサ
13:10－15:10 C 会場

DMD を用いたマイクロアレイ作成測定システム
佐藤直也、林 有毅、内田秀和（埼玉大学）

C1-2

SPR センシング技術を用いたラベルフリーDNA 分子の検出に関する研究
奥野大樹、西岡彩美、細木真保、大平文和、橋口 原（香川大学）

C1-3

フィルタレス蛍光検出センサによる二本鎖ＤＮＡの定量分析
丸山結城、澤田和明、高尾英邦、石田 誠（豊橋技術科学大学）

C1-4

超高感度・オンサイト計測を目的とした SERS 増強サイトを有する
マイクロリアクタの開発
黒岡克仁、三木則尚（慶應義塾大学）

C1-5

白金黒幕電極のナノフィルタリングを利用したマイクロ流体酵素センサ
篠原和行、平田鉄宗、安田 隆（九州工業大学）

C1-6

MEMS プロセスを応用した、試料容量秤量センサ・ヘモグロビン濃度計測センサ
田邊力也（日本光電工業）、
秦 誠一、下河辺 明（東京工業大学）

セッション A2 企画① ロボットと MEMS
17:10－18:50 Ａ会場
座長 石原秀則（香川大学）
A2-1
A2-2
A2-3

A2-4

A2-5

重力影響下の移動ロボットの姿勢制御
石原秀則、三宅 徹（香川大学）
移動ロボットのための動的再編成機能を有するセンサ融合システム
小林 太、小島史男（神戸大学）
ロボットシステムとその利用者との相対距離に注目した人間の状
態推定
平田泰久、竹田貴博、
村木亜沙美、小菅一弘（東北大学）
Quasi-Living Actuator toward Biorobotic Systems Poweredby Muscle Cells
Keisuke Morishima, Yoshitake Akiyama, Yoko Hori andYuji Furukawa (Tokyo University of Agriculture and Technology)
パートナーロボット用慣性力センサシステムの開発
野々村 裕、藤吉基弘（豊田中央研究所）、杉原久義（トヨタ自動車）

セッション B1 MEMS(アクチュエータ)13:10－15:10 B 会場
座長 宮島博志（オリンパス）
B1-1

パラレルナノイメージングのための光干渉型 SPM マルチプロー
ブの研究 児山浩崇、大平文和、橋口 原、細木真保（香川大学）

B1-2

光センシング用 MEMS 型ミラー駆動デバイスの研究
井上大輔、大平文和、細木真保、
石丸伊知郎、橋口 原（香川大学）

B1-3

B1-4

低電圧・ 小型化を 可能に す る 接触抵抗安定構造の 有接点
RF-MEMS スイッチ増田貴弘、積 知範、宮地孝明、佐藤文彦（オムロン）

座長 澤田和明（豊橋技術科学大学）

C1-1

セッション C2 化学センサ
17:10－18:50 C 会場

座長 勝部昭明（埼玉大学）

C2-1

Fabrication of a Hydrogen Gas Sensor Composed ofCarbon Nanotubes and Catalytic Palladium Using
Dielectrophoresis
樋高慎一郎、山根真司、今坂公宣、末廣純也（九州大学）

C2-2

カーボンナノチューブマイクロガスセンサの作製と NO2 検知特性
橋新 剛、玉置 純（立命館大学）

C2-3

レーザアブレーション法を用いた Pt/In2O3/SiC/Ni ヘテロ構造 NO2
ガスセンサ
高 巍、長谷川有貴、勝部昭明（埼玉大学）

C2-4

高分子感湿膜を用いた静電容量型湿度センサの特性改善
福本洋祐、釜谷厚希、鈴木文章、藤田孝之、前中一介、
高山洋一郎（兵庫県立大学）

C2-5

携帯型エチレンガスセンサ用感応膜の検討
篠原 歩、金 鎮浩、白鳥世明（慶應義塾大学）、
寺内靖裕、川辺哲也、中野信夫（理研計器）

ポスターセッション
15:10－17:10 ポスター会場（ポスターは会期中継続掲示）
Po-01 ポリイミドの熱収縮を用いた３次元マイクロ機構の自動組み立てプ
ロセスの開発山田秀謙、鈴木健司、三浦宏文、高信英明(工学院大学)
Po-03 SOI 基板表面マイクロマシンプロセスによるバイレイヤーカンチレ
バー構造の反り量制御の検討
寒川雅之、野田 実、黄 裕銘、山下 馨、金島 岳、
奥山雅則（大阪大学）、
野間春生（国際電気通信基礎技術研究所）

マルチバンド RFIC 実現のための集積化 RF-MEMS 技術
桑原 啓、佐藤昇男、
石井 仁（NTT マイクロシステムインテグレーション研究所）、
町田克之（NTT アドバンステクノロジ）、
山口 陽、上原一浩（NTT 未来ねっと研究所）

Po-04 界面活性剤を利用したプラズマ表面改質法と微小流路チップへの応用
松本真寛、西澤松彦、安部 隆（東北大学）

B1-5

螺旋バネ構造をもつ二段階駆動 RF-MEMS スイッチの開発
野本典樹、鈴木健一郎（立命館大学）

Po-05 微細構造上の金電極表面でのエレクトロウェッティング
横幕浩臣、佐藤 航、鈴木博章（筑波大学）

B1-6

昆虫規範型壁面付着ロボットの研究
藤垣吉章、相澤知成、鈴木健司、
高信英明、三浦宏文（工学院大学）

Po-06 ユビキタス・マイクロセンサ実現に向けた高性能受動素子の自己集積化技術
高尾英邦、須藤 稔、木綱俊輔、野田俊彦、
澤田和明、石田 誠（豊橋技術科学大学）

Po-07 Effect of Angled Exposure Light for Three-Dimensional
Lithography
Singh Vijay Kumar, Sasaki Minoru
and Hane Kazuhiro (Tohoku University)
Po-08 Fabrication and Characterization of Smooth Si Mold for Hot
Embossing Process
Phuc Hong Pham, Dzung Viet Dao,
Susumu Sugiyama (Ritsumeikan University),
Satoshi Amaya and Ryoji Kitada (TOWA)
Po-09 圧電材料の高精度・高分解能マルチスケール解析
浅井光輝、高野直樹（立命館大学）
Po-10 Fabrication of Micropump Using Pb(Zr,Ti)O3
M. Ide, R. Sakamoto, K. Tanaka,
S. Sugiyama (Ritsumeikan University)
and N. Wada (Shinyei Electric Works)
Po-11 触覚ディスプレイ用高出力高変位アクチュエータの開発
佐々木 光、式田光宏、佐藤一雄（名古屋大学）
Po-12 液滴の表面張力を利用したマイクロモータの研究
梶原 周、鈴木健司、三浦宏文、高信英明（工学院大学）
Po-13 Wearable Eye Movement Detection System Using
Dye-Sensitized Photovoltaic Devices
重岡 武、三木則尚（慶應義塾大学）
Po-14 光ファイバエンコーダ付き回転型櫛歯アクチュエータの研究
長尾信哉、大平文和、細木真保、橋口 原（香川大学）
Po-15 バルクシリコンウエハを用いた MEMS ミラーの作製方法
飯塚亜紀子、金丸昌敏、加藤幸男、堀野正也（日立製作所）、
伊藤康博、岡田亮二（日立金属）
Po-16 弾性表面波モータの３次元弾性論による摩擦駆動のモデル化
重松隆史、黒澤 実（東京工業大学）
Po-17 低電圧駆動圧電型焦点可変ミラー
土屋芳城、田中克彦、石井 明、杉山 進（立命館大学）、
田中史記、前田重雄、長島賢治（船井電機）
Po-18 高速スイッチング動作を持つ MEMS RF スイッチの開発
奥村洋一、瀧田裕樹、鈴木健一郎（立命館大学）
Po-19 メタルヒンジで折り曲げたデバイスウェハによる三角測量型光距離センサ
佐々木 実、遠藤 怜、
藤島正幸、羽根一博（東北大学）
Po-20 バブル方式の薄型駆動機構による触覚表示デバイスの開発
今村 翼、式田光宏、佐藤一雄（名古屋大学）
Po-21 高機能触覚ディスプレイのための変位増幅機構をもつ大変位
MEMS の開発
大澤一樹、三木則尚（慶應義塾大学）
Po-22 MEMS Probe Array for LSI Testing Transferred onto LTCC
Substrate by Au-Sn Eutectic Bonding
崔 成熏、田中秀治、藤本 諭、江刺正喜（東北大学）
Po-23 Rotational Brownian Motion of Silicon Nanoneedle:
Towards Nanoactuators Fueled by Brownian Motion
Ersin Altintas, Hiroyuki Fujita (The University of Tokyo)
and Karl F. Bohringer (University of Washington)
Po-24 ディスク型 MEMS 振動子の質量センサ応用に関する検討
昆野舜夫、池原 毅、Jian Lu、
前田龍太郎（産業技術総合研究所）、
三原孝士（オリンパス）

Po-34 ダイオードブリッジ型差動容量検出回路の高周波化
松尾高博、Joanna Pawlat、植田敏嗣（早稲田大学）、
梁 金星（坂本電機製作所）
Po-35 熱電対センサの電流検出による新しい測定方法の提案
李 承燮、木村光照（東北学院大学）
Po-36 歯車回転検出用途 InSb 薄膜半導体磁気抵抗素子用樹脂パッケー
ジの最適設計
岡本 敦、後藤広将、吉田一男、柴崎一郎（旭化成）、西村和浩(旭化成電子)
Po-37 位相シフト法を用いた磁気センサシステムの開発
市川正明、村山嘉延、尾股定夫（日本大学）
Po-38 大気圧中におけるカンチレバー振動式質量センサの感度最適化
池原 毅、Lu Jian、昆野舜夫（産業技術総合研究所）、
三原孝士（オリンパス）
Po-39 表面弾性波応用超高感度ひずみセンサの研究
三井望聖、佐野広滋、早坂淳一、桑野博喜、長澤純人（東北大学）
Po-40 位相シフト法を用いた腫瘍診断用光計測システムの開発
中津川康義、村山嘉延、尾股定夫（日本大学）
Po-41 着香評価技術の開発
釘宮雄一、小林義和、陳 栄剛、内藤悦伸、池崎秀和、谷口 晃（インテリジェントセンサーテクノロジー）、都甲 潔（九州大学）
Po-42 Influence of Polymeric Chain Length on Sensing Propertiesof PEG-lipid Sensing Films Coated over QCMs for Odor
Sensors
Bartosz Wyszynski (Technical Universityof Szczecin), Pakpum Somboon,
Takamichi Nakamoto (Tokyo Institute of Technology)
Po-43 微小流路内に修飾された SAM パターンの電気浸透流速度による評価
三枝宏樹、菅 泰雄、三木則尚（慶應義塾大学）
Po-44 Photonic Bandgap Fiber for a Sensing Device
Joanna Pawlat, Takahiro Matsuo, Toshitsugu Ueda
(Waseda University) and Tadashi Sugiyama (Yokogawa Electric)
Po-45 高スループット薬剤スクリーニングデバイスの基礎検討
坂田利弥、宮原裕二（物質・材料研究機構）
Po-46 コレステロール添加リポソームのマイクロ波・ミリ波帯誘電分散を用いたバイオセンシング
野田 実、島内寿徳、奥山雅則、
久保井亮一（大阪大学）、鈴木大介（キーコム）
Po-47 複素正弦波変調撮像に基づく２次元速度検出システム
魏 大比、Paul Masurel、栗原 徹、安藤 繁（東京大学）
Po-49 時間相関イメージセンサを用いた位相スタンプ型レンジファインダ
来海 暁（大阪電気通信大学）、安藤 繁（東京大学）
Po-50 Principle and Experiment for Motion-blur Free Imaging
SystemPaul Masurel, Dabi Wei, Toru Kurihara
and Shigeru Ando (The University of Tokyo)
Po-51 LIBS による微粒子の粒径・成分同時計測
若松宗明、池沢 聡、植田敏嗣（早稲田大学）
Po-52 微小液滴吐出技術を利用した LIBS 較正法に関する研究
池沢 聡、若松宗明、植田敏嗣（早稲田大学）
Po-53 Fabrication of Micro/Nano Interfaces Composed of Carbon
Nanotubes and Bacteria by Simultaneous Dielectrophoresis
in Water
大坪明央、今坂公宣、末廣純也（九州大学）

Po-25 交流信号を重畳した pn 接合ダイオード温度センサ
高嶋徳明、木村光照（東北学院大学）
Po-26 熱型輻射検出器の作製と評価
李 永芳、小野崇人、江刺正喜（東北大学）
Po-27 薄膜ピラニ型真空センサの温度補償
米倉 洋、木村光照（東北学院大学）
Po-28 位相シフト法を用いた共振型センサの感度要因に関する基礎的研究
野尻朗正、村山嘉延、尾股定夫（日本大学）
Po-29 ナノスケールピエゾ抵抗素子を用いた外部応力低減構造超小型 3
軸加速度センサの開発
酒井麻光、Dzung Viet Dao、杉山 進（立命館大学）
Po-31 セルブリッジシステムによる非線形触覚素子の結合
星 貴之、篠田裕之（東京大学）
Po-32 ナノ流体センサまわりの局所熱伝達に関する研究
高橋厚史、樋口 琢、伊藤洋平、
生田竜也、永山邦仁（九州大学）
Po-33 Sensitivity of Micro Cantilever Mass Sensor Transduced by
PZT Thin Film
Jian Lu, Tsuyoshi Ikehara,
Mitsuo Konno, Ryutaro Maeda (AIST)
and Takashi Mihara (Olympus)

10 月 6 日（金）セッション A3 プロセス技術と材料評価
09:00－11:00 A 会場
座長 土屋智由（京都大学）
A3-1

スプレーコーティングを用いた FET 増幅型静電容量センサの作製
松井裕一、牧平憲治、青柳誠司（関西大学）、徳永博司（M.T.C）、
佐々木 実、羽根一博（東北大学）

A3-2

コラーゲンを用いた高保水マイクロ TAS 材料の研究
石田雅俊、三木則尚（慶應義塾大学）

A3-3

グルコースセンサにおけるパイロポリマーのセンサ電極応用
山本賢作、横川隆司、青木慎吾、中 圭介、白石晴樹、
小西 聡（立命館大学）

A3-4

静電駆動型ナノ引張試験デバイスによるカーボンナノワイヤの機
木内万里夫、磯野吉正（立命館大学）、
械・電気特性評価
松井真二、中松健一郎（兵庫県立大学）

A3-5

環境温度の変化に伴うミクロンスケールシリコン薄膜の破壊挙動の遷移 中尾茂樹、安藤妙子、式田光宏、佐藤一雄（名古屋大学）

A3-6

LSI 配線プロセスで作製した表面 MEMS 構造体の耐湿性検討
花岡裕子、藤森 司、福田 宏（日立製作所）

セッション A4 センサシステム
11:10－12:30 A 会場

B5-3

ZnO 単結晶を用いたショットキーダイオード型紫外線センサ
遠藤治之、長谷川辰雄、大嶋江利子、
目黒和幸（岩手県工業技術センター）、
羽根一博（東北大学）、
杉渕真世、高橋広祐(岩手情報システム)、後藤俊介（ライトム）、柏葉安兵衛（岩手大学）

B5-4

電流モード検出による誘電ボロメータ赤外アレイセンサの新駆動方式
野田 実、奥山雅則（大阪大学）、井上幸二、
村上修一、宇野真由美（大阪府立産業技術総合研究所）

座長 渡辺哲也（横河電機）

A4-1

二次元電磁波動通信のための近接コネクタ

A4-2

Y-cut 水晶振動子を用いたガスセンサに関する研究
齋藤敦史、金 秀瑛、野村 徹（芝浦工業大学）

A4-3

多層 MEMS 構造体の実時間三次元形状・振動パターン解析システムの開発－白色光干渉による層間分離とヘテロダイン振動分布
計測－
佐藤世智、栗原 徹、安藤 繁（東京大学）

A4-4

超音波による血管内用硬さ測定カテーテルセンサの開発
春田峰雪、村山嘉延、尾股定夫（日本大学）

牧野泰才、山平尚史、篠田裕之（東京大学）

セッション A5 ナノテクノロジーと新分野
13:40－15:00 A 会場
座長 安達 洋（室蘭工業大学）
A5-1

コムドライブアクチュエータを用いた段差計測デバイス
鈴木勝順、綾野賢治郎、橋口 原（香川大学）

A5-2

AFM 機能を備えた 4 端子プローブの開発
高橋将史、綾野賢治郎、橋口 原（香川大学）、横川隆司（立命館大学）、藤田博之（東京大学）

A5-3

パラレル・ナノライティングシステム用独立駆動マルチプローブア
レイの開発
渡辺直希、磯野吉正（立命館大学)、
垣永貴光（日本科学技術振興機構)、
長村俊彦、佐々木 徹（ユニソク）

A5-4

EB レジスト援用プローブナノライティング技術の確立とナノデバイ
スへの応用
小野田将大、田中文悟、磯野吉正（立命館大学）

セッション B3 物理センサ I
09:00－11:00 B 会場

座長 内川義則（東京電機大学）

B3-1

Fabrication and Characterization of 3-DOF Soft Tactile
Sensor Utilizing Micro Force Moment Sensor
Dzung Viet Dao、高島勇希、王 強、杉山 進（立命館大学）

B3-2

近接触覚素子による大面積触覚センサ
千種大雅、牧野泰才、篠田裕之（東京大学）

B3-3

極細スリーブ型光ファイバー式圧力センサー
福田雅彦、嶋田勝斗、高橋幸郎（埼玉大学）

B3-4

血管把持アクチュエータを用いた拍動検出型血栓センサ
峯田 貴、野村聡志、木田のぞみ、牧野英司、菅原 卓、
藤 哲（弘前大学）、柴田隆行（豊橋技術科学大学）

B3-5

セッション C3 企画②ディスプレイと MEMS
09:00－11:00 C 会場
座長 三村秀典（静岡大学）
C3-1

DMD（TM）３０年の歩みと最新動向
大原一浩（日本テキサス・インスツルメンツ）

C3-2

フィールドエミッションディスプレイの TFT 制御による低電圧駆動と安定化
長尾昌善、安室千晃、坂村祐一、金丸正剛、
伊藤順司（産業技術総合研究所）
High Resolution CNT-FED and Improvement in
Field-Emission Characteristics
Hiroyuki Kurachi, Sashiro Uemura, Junko Yotani,
Takeshi Nagasako, Hiromu Yamada, Tomotaka Ezaki,
Tsuyoshi Maesoba, Takehiro Nakao, Masaaki Ito,
Akira Sakurai, Hideo Shimoda (Noritake),
Yahachi Saito and Hisanori Shinohara (Nagoya University)

C3-3

C3-4

C3-5

ナノインプリント法により形成された微細化構造を有する高速液晶素子
菊池 宏、佐藤弘人、藤掛英夫、
光松利修、滝沢國治（成蹊大学）、
中松健一郎、松井真二（兵庫県立大学）
Electron-beam-pumped Light Sources Using Graphite
Nanoneedle Field-emitters and Si Electron-transparent
Films
Hidenori Mimura, Kazufumi Shiozawa,
Yoichiro Neo, Morihiro Okada (Shizuoka University),
Masafumi Takahashi and Gen Hashiguchi (Kagawa University）

セッション C4 企画③エネルギーと MEMS
11:10－12:30 C 会場
座長 鈴木雄二（東京大学）
C4-1
C4-2

静的たわみを持つダイアフラムの上での分極相補による超音波センサの高感度化
清水信樹、山下 馨、奥山雅則（大阪大学）

ポーラスチャンネルへの触媒担持と過酸化水素マイクロスラスタ
高橋厚史、生田竜也、壇 洋一郎、永山邦仁、岸田昌浩（九州大学）
Direct Wafer Bonding and Cavity-Through DRIE for
MEMS-Based Turbo Machinery
Piljoong Kang, Shuji Tanaka
and Masayoshi Esashi (Tohoku University)
マイクロ振動型エレクトレット発電器の効率評価
堤野 匠、鈴木雄二、笠木伸英（東京大学）、
坂根好彦（旭硝子）

シングルポートSAW共振子を利用したワイヤレス振動センサの開発 C4-3
早坂淳一、田中一美、三浦 融、
戸叶祐一（NEC トーキン）、桑野博喜（東北大学）
C4-4 体内飲み込み型医療デバイス用胃酸利用マイクロ発電池に関するセッション B4 物理センサ II
研究神保 光、三木則尚（慶應義塾大学）
11:10－12:30 B 会場
座長 船橋博文（豊田中央研究所）
セッション C5 企画④防災とセンサ
B4-1 Optimization PZT Diaphragm Pump to Enhance Circular
13:40－15:00 C 会場
座長 岡田敬一（清水建設）
Flow and Application to Convective Gyroscope
B3-6

Van Thanh Dau, Dzung Viet Dao,
Susumu Sugiyama (Ritsumeikan University),
Tatsuo Shiozawa and Hideo Kumagai (Tamagawa Seiki)
B4-2

B4-3

B4-4

C5-1

LiNbO3 音叉型振動子を用いた小型２軸ジャイロ
石川 寛、高橋勇治、勝木隆史、中澤文彦(富士通研究所)、
山地隆行、谷内雅紀、花澤敏夫（富士通メディアデバイス）

BOTDR 方式光ファイバセンシング技術を使用した道路斜面や河川堤防の変状モニタリングシステムの構築
藤橋一彦、佐藤嘉夫（エヌ・ティ・ティ・インフラネット）、
加藤俊二（土木研究所）、許士裕恭（国土交通省）

C5-2

有限要素法によるコリオリ力を加味した流体解析とそのガスレート
ジャイロへの応用
龍井良明、荒木英之、高瀬 誠、
前中一介、藤田孝之、高山洋一郎（兵庫県立大学）

自己診断材料を用いた RC 構造物の損傷検知手法に関する検討
稲田 裕（清水建設）、稲田泰夫（大崎総合研究所）、
奥原芳樹（ファインセラミックセンター）C5-3

ヘルスモニタリング用デジタルセンサネットワークの同期システムに関する研究下山典久、三田 彰（慶應義塾大学）

櫛歯型垂直変位電極を応用した SOI 静電容量型 3 軸加速度センサ
濱口裕之、菅野公二、土屋智由、田畑 修（京都大学）

C5-4

地震後の建物健全性判定のための変位記憶型センサシステム
岡田敬一、白石理人（清水建設）

セッション B5 物理センサ III
13:40－15:00 B 会場

座長 廣田正樹（日産自動車）

クロージングセッション
15:15－16:30 Ａ会場

B5-1

Sn ドープ InSb ホール素子の 1/f ノイズ特性と微弱磁界計測への応用
山田哲史、外賀寛崇、岡本 敦、後藤広将、
柴崎一郎（旭化成）、西村和浩（旭化成電子）

PL-4

B5-2

単電子トランジスターを用いた磁気共鳴力顕微鏡用プローブ
宋 碩昊、小野崇人、江刺正喜（東北大学）

五十嵐賞受賞者発表

座長 今仲行一（オムロン)（招待講演）讃岐うどん用小麦品種「さぬきの夢 2000」の育成
多田伸司（香川県農業試験場）