システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動スイベル（ゴニオ）ステージ / テーブルサイズ 100×100
Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table Size 100×100

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XY

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

8-M4 Depth 6mm

裏面Back Side

5H8(19.5)

ZZ

Depth 5mm60
90100(102)

SA10A-R2M01

3°(4)410010(8)□904-for M4 screw
Shaft length 6mm

1010□90(8)

38(42)

10(42)

134

172(4)

10010

SA10A-R2S01

裏面
Back Side

8-M4 Depth 6mm

Depth 5mm

□90601072

10010(19.5)

5H84-for M4 screw
Shaft length 6mm

6090100

φ5H8 Depth 5mm(102)(221.5)

SA10A-R2L01

CCW
5°5°

134CW

Rotation CenterCWCCW

(5)

95

Rotation Center

1021038

1001010(42)10(84)

38

200(4)

39

104°

4°

12010

アクセ
サリー
Accessories

104-for M4 screw
Shaft length 6mm

モーター
ドライバ
Motor
Driver付録
Appendix

3°2(8)□904°(42)1038

4-for M4 screw
Shaft length 6mm

アプリ
ケーション
Application

モーター
ケーブル
Motor
Cable

(5)

95
3910(85)

ドライバ
ボックス
DriverBox

100Rotation CenterCCW
4°2010(42)

モーターコントローラ
Motor
Controller

CW

120(102)

制御装置
Control
Electronics

CCW
5°5°(221.5)

真空ステージ
VacuumStage

CW

1009060

アライメントステージ
XYθ

SA10A-R2B01
Rotation Center(19.5)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

φ5H8 Depth 5mm

60(221.5)
Rotation Center

回転
Rotation

7

10

X・XY
X・XY

SA10A-R2T01

38

自動精密ステージ
Motorized
Stage

SA10A-R2L01

SA10A-R2M01(17.2)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

SA10A-R2S01

SA10A-R2B01(117.7)
100
90
60

回転
Rotation

SA10A-R2T01

(0.5)

Z
Z

検査システムInspection
System

K-022

K.indd 22

CONTACTTEL+81-44-981-2131/FAX+81-44-981-2181
【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp
【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:09

アルミ / クロスローラガイド / ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ball Screw

産業用Industrial

型式
SA10A-R2T01
SA10A-R2M01
SA10A-R2B01
SA10A-R2S01 ※1
SA10A-R2L01 ※2
Model Number
勝手違い型式※3
SA10A-R2T01-R
SA10A-R2M01-R
SA10A-R2B01-R
SA10A-R2S01-R
SA10A-R2L01-R
Mirror Model Number
テーブル面
100mm×100mm
Table Size
案内方式
精密クロスローラガイド
Guide Mechanism
Cross-Roller Guide
回転範囲±5°（R2T01）, ±4°（R2M01）±4°（R2M01）, ±3°（R2B01）±5°±4°±3°
Angular Range
送り方式
ボールネジ, リード1.0mm
Lead Mechanism
Ball Screw, Lead 1.0mm
フル/ハーフ ステップ≈0.000566°/0.000283°(R2T01), ≈0.000412°/0.000206°(R2M01),≈0.000566°/0.000283° ≈0.000412°/0.000206° ≈0.000323°/0.0001615°
Full/Half Step
≈0.000412°/0.000206°(R2M01) ≈0.000323°/0.0001615°(R2B01)
分解能※4Resolution
マイクロステップ（1/20分割）≈0.0000283°(R2T01),≈0.0000206°(R2M01),≈0.0000283°≈0.00000206°≈0.00001615°
Micro Step (1/20 div)≈00.0000206°(R2M01) ≈0.00001615°(R2B01)
最高速度
5.66°/sec : Half
4.11°/sec : Half
3.23°/sec : Half
5.66°/sec（R2T01）,
4.11°/sec（R2M01）,
Maximum Speed
20kpps
20kpps
20kpps
4.11°/sec（R2M01）: Half 20kpps 3.23°/sec（R2B01）: Half 20kpps
ワークディスタンス
95mm±0.2mm
134mm±0.2mm
172mm±0.2mm
95mm±0.4mm
134mm±0.4mm
Work Distance
回転中心変位量
φ0.05mm/±5°
φ0.05mm/±4°
φ0.05mm/±3°
φ0.1mm/±4°
φ0.1mm/±3°
Rotation Center Error繰返し位置決め精度≦±0.001°≦±0.001°≦±0.001°≦±0.001°≦±0.001°
Repeatability
ロストモーション≦0.002°≦0.002°≦0.002°≦0.002°≦0.002°
Lost Motion
バックラッシュ≦0.002°≦0.002°≦0.002°≦0.002°≦0.002°
Backlash
モーメント剛性※50.02arcsec/N･cm
0.02arcsec/N･cm
0.02arcsec/N･cm
0.06arcsec/N･cm
0.06arcsec/N･cm
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
98N（10kgf）
78.4N（8kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
アルミ合金
Material
Aluminum Alloy
外観
白色仕上げ
FinishClear-Matt Anodizing
自重2.0kg
2.0kg
2.0kg
4.0kg
4.0kg
Weight
基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
5相ステッピングモーターPK544PMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，5 Phase Stepper Motor
PK544HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)
モーター軸径
Φ5mm オプションハンドル：A type
Motor Shaft DiameterΦ5mm Conformance option handle: A type
コネクタ
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
Connector
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)
ステージ結線タイプ※6V3
Stage Wiring Type
センサ基板型式
F-101(HOME,LIMIT)
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
SA10A-R2T01-C
SA10A-R2M01-C
SA10A-R2B01-C
SA10A-R2S01-C
SA10A-R2L01-C
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
SA10A-R2T01-V
SA10A-R2M01-V
SA10A-R2B01-V
SA10A-R2S01-V
SA10A-R2L01-V
Vacuum Lubricant Model Number
SA10A-R2S01は、SA10A-R2T01とSA10A-R2M01の組み合わせです。
Combination of SA10A-R2T01 and SA10A-R2M01 form 2-axes swivel stage
model SA10A-R2S01.
SA10A-R2L01は、SA10A-R2M01とSA10A-R2B01の組み合わせです。
※2
Combination of SA10A-R2M01 and SA10A-R2B01 form 2-axes swivel stage
model SA10A-R2L01.
勝手違い、重ねの組勝手についてはK-005ページを参照して下さい。
※3Refer to page K-005 for Information on Standard and Mirror Symmetry
Configuration.
※1

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.
ス
 イベルステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
※5
Moment Stiffness of single swivel stage is measured in Roll Direction.
ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
※6
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

制御装置
ControlElectronics

※4

モーター
コントローラMotorControllerオーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriverモーター
ケーブルMotorCable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

K.indd 23

K-023

2022/07/29 20:09