自動X・XYステージ / テーブルサイズ 100×100

システム
製品
SystemProducts

Motorized X, XY Linear Stages / Table Size 100×100

産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XYZ
Z

回転Rotation

XA10A-L101

YA10A-L101

XA10A-L201

YA10A-L201

XA10A-L101 /L201(77)

88.5(345.5)

10090
60
4080
1308-M4 Depth 8mm
4-M3 Depth 8mm

ZZ

CCW
CCW Limit Sensor

50(7)
8090

50

35

1009060
40(345.5)(25)(140.5)50(107)(57)

Depth 5mm760

φ5H8 Depth 5mm

55

制御装置
ControlElectronics(345.5)1009060
405H8(25)

モーターコントローラ
Motor
Controller

88.5

M4 Depth 13mm
8-M4 Depth 8mm
4-M3 Depth 8mm
裏面Back Side(77)

モーター
ドライバ
Motor
Driver

裏面
Back SideYA10A-L101 /L201

真空ステージ
Vacuum
Stage

アプリ
ケーション
Application

Depth 5mm

CW Limit Sensor

Home Position

50

8-for M4 screws
Shaft length 17.5mm

アライ
メント
ステージ
XYθ

ドライバ
ボックス
Driver
Box

7CW

(60)

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

60

(3)

回転
Rotation

φ5H8 Depth 5mm

M4 Depth 13mm

5H8(25)

X・XY
X・XY

90

4060
90100(125)

自動精密ステージ
Motorized
Stage

30

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)(60)

アクセサリーAccessories(7)

付録
Appendix(110)
50(53)

モーター
ケーブル
Motor
Cable

35509050

8-for M4 screws
Shaft length 17.5mm

検査システムInspection
SystemH-032

H.indd 32

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:13

アルミ / リニアガイド / 研削ネジ, ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Linear Guide / Ground Screw, Ball Screw

産業用
Industrial

型式
XA10A-L101
YA10A-L101
XA10A-L201
YA10A-L201
Model Number
勝手違い型式※1
XA10A-L101-R
YA10A-L101-RRR
XA10A-L201-R
YA10A-L201-RRR
Mirror Model Number
テーブル面
100mm×100mm
Table Size
案内方式
精密リニアガイド
Guide Mechanism
Linear Guide
移動範囲±50mm
Motion Range
送り方式
研削ネジ, リード 1.0mm
ボールネジ, リード 2.0mm
Lead Mechanism
Ground Screw, Lead 1.0mm
Ball Screw, Lead 2.0mm
フル/ハーフ ステップ2μm/1μm
4μm/2μm
Full/Half Step
分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.1μm
0.2μm
Micro Step (1/20 div)
最高速度
10mm/sec
20mm/sec
Maximum Speed
累積リード誤差≦20μm/100mm≦8μm/100mm≦20μm/100mm≦8μm/100mm
Accumulated Lead Error（AVE. 4.31μm/100mm）（AVE. 3.51μm/100mm）
繰返し位置決め精度≦±0.5μm（AVE. ±0.08μm）≦±0.5μm≦±0.5μm（AVE. ±0.08μm）≦±0.5μm
Repeatability
ロストモーション≦2μm（AVE. 0.99μm）≦2μm≦2μm（AVE. 1.15μm）≦2μm
Lost Motion
水平≦3μm/100mm≦3μm/100mm≦3μm/100mm≦3μm/100mm
Horizontal（AVE. 0.79μm/100mm）（AVE. 0.86μm/100mm）
真直度
Straightness
垂直≦2μm/100mm≦2μm/100mm≦2μm/100mm≦2μm/100mm
Vertical（AVE. 0.69μm/100mm）（AVE. 0.74μm/100mm）
バックラッシュ≦2μm（AVE. 0.36μm）≦2μm≦1μm（AVE. 0.13μm）≦1μm
Backlash
モーメント剛性0.05 arcsec/N・cm
0.05 arcsec/N・cm※30.10 arcsec/N・cm
0.10 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness（AVE. 0.01 arcsec/N・cm）（AVE. 0.01 arcsec/N・cm）
水平耐荷重
196N（20kgf）
156.8N（16kgf）
196N（20kgf）
156.8N（16kgf）
Load Capacity (Horizontal)
材質
アルミ合金
Material
Aluminum Alloy
外観
白色仕上げ
FinishClear-Matt Anodizing
自重
3.8kg
7.6kg
3.8kg
7.6kg
Weight
直交度－≦10μm/100mm－≦10μm/100mm
Perpendicularity
5相ステッピングモーター
C087Q-9215P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
5 Phase Stepper Motor
C087Q-9215P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)
モーター軸径
Φ8mm オプションハンドル：B type
Motor Shaft DiameterΦ8mm Conformance option handle: B type
コネクタ
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
Connector
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)
ステージ結線タイプ※4V3
Stage Wiring Type
センサ基板型式
F-104(LIMIT), F-105(HOME)
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
XA10A-L101-C
YA10A-L101-C
XA10A-L201-C
YA10A-L201-C
Clean Room Lubricant Model Number
真真空グリス仕様型式
XA10A-L101-V
YA10A-L101-V
XA10A-L201-V
YA10A-L201-V
Vacuum Lubricant Model Number※1※2

勝手違い、重ねの組勝手についてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※3

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027ページを参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

実験用Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
MotorizedStageX・XYX・XYZZ回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージXYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 33

H-033

2022/09/06 16:13