CX シリーズ セルノックス抵抗センサー
特長

セルノックスは負の温度係数をもった薄膜抵抗センサーです。広い温度領域にわたって単一極性の温度応答特性を持ち、放射線の影響も受けにくいという特長があります。
セルノックスのセンサー素子は非常に小さいので、実装される形状に合わせた多彩なパッケージが用意されています。また、セルノックスは厳しい温度サイクルや放射線に対して高い耐久性を持っていることが実証されています。さらに、セルノックスは従来のバルク状素子とは違って応力の影響を受けにくいため、熱伝導の良いパッケージに簡単に組み込むことができるので、温度応答速度が速いという特長があります。

■ 磁場による誤差が小さい■ 100mK ～ 420K の温度範囲（モデルによる）■ 低温領域で高感度■ 広範な温度範囲で優れた感度■ 温度応答性が速い *1.5ms ＠ 4.2K
50ms ＠ 77K* ベアチップセンサー、液中■ 様々な測定ニーズに対応した広範なセンサーラインナップ

CX-1010- ゲルマニウム抵抗センサーの代替として最適なセンサー
CX-1010 は 100mK までの 低 温測定の為に設計された初めての CernoxTM センサーで、ゲルマニウム抵抗センサーの代替として最適です。ゲルマニウム抵抗センサーとは異なり、室温まで計測できる利点があります。加えて、SD パッケー
ジもある為、様々な方法で取り付けが可能です。

CX-BRCX-SD■ 優れた温度安定性■ 多彩なパッケージ

SD パッケージ- 丈夫で、多目的なパッケージ

SD パッケージは、センサーが直接サファイア基盤に取り付けられています。ハーメチックシールで、少量の半田で取り付けられたコバールリード線が付いており、丈夫で、汎用性の高い温度センサーです。リード線を伝わって来る熱がチップをバイパスするように設計され、500 K で数千時間でも耐えられ、（モデルによって異なる）ほとんどの超高真空のアプリケーションでの互換性が提供されます。インジウム半田で、センサーのキャリブレーションをシフトさせることなく試料に取り付けることができます。
必要に応じて、SD パッケージはコバールのリード線なしでも利用可能です。

CX シリーズ セルノックス抵抗センサーの抵抗温度特性と感度
1010 75CX-1010 CX-1030

CX-1050 CX-1070

CX-1080

10CX-1010 CX-1030

10 63102101CX-1050
CX-1070

10 4CX-1080

無次元感度

10CX-1010 CX-1030

CX-1050 CX-1070

10 54

感度（Ω/K）

抵抗（Ω）

1010 310 2

CX-1080

110 1
10 0

10 -1

60.1

110温度（K）

100500

10 -20.1

110温度（K）

1005000.1
0.1

1

10温度（K）

100500CX シリーズ セルノックス抵抗センサー仕様

使用温度範囲

標準カーブ

： なし

Cernox ™
Cernox ™ HT

推奨駆動電圧 1： 20μV（0.1 K ～ 0.5 K）
63μV（0.5 K ～ 1 K）
10 mV 以下（ 1.2 K ～）温度応答時間（ティピカル値）：
BC, BR, BG: 1.5 ms@4.2 K, 50ms@77
K, 135 ms @273 K
SD: 15 ms @4.2 K, 0.25 s@77
K, 0.8 s @273 K
AA: 0.4 s @ 4.2 K, 2 s @ 77 K,  1.0 s @ 273 K  
放射線下での使用 ：使用可。
磁場中での使用 ：低 温 環 境 でも磁 場 中 で の使 用が 可 能。 磁 気 抵 抗 は30K 以 上では無 視できる。
磁場到来方向の影響は少な
い。
再現性 2

低温側リミット
0.10 K 3
0.10 K 3

高温側リミット
325 K
420 K

3 型番に依存する（例：CX-1030 の場合 0.3K）

校正後の確度 4-5

自己発熱: 10 W@300K,（ティピカル値）
10 -7W@4.2 K,
10 -13 W @ 0.3 K（型式に依存する）（推奨駆動電圧使用時）

磁場による誤差 7 ⊿ T/T（%）

1.4 K
4.2 K
10 K
20 K
30 K
50 K
77 K
300 K
400 K

センサーの確度 5（ティピカル）± 5 mK± 5 mK± 6 mK± 9 mK± 10 mK± 13 mK± 16 mK± 40 mK± 65 mK

長期安定性 6± 3 mK
± 3 mK± 6 mK± 12 mK± 18 mK± 30 mK± 46 mK± 180 mK
—

温度（K）
24.2
10203077300

セルノックス 1050
2.5 T
8T
14 T
1.3
3.1
3.90.1-0.15-0.85
0.04-0.4-1.1
0.04
0.02
-0.16
0.01
0.04
0.06
0.002
0.022
0.062
0.003
0.004
0.004

19 T
5-0.8
-1.5-0.2
0.11
0.110.006

7 2 K 以上の温度領域において特に磁場による影響が少なくなる

4 ベアチップの校正ができるのはリード線を取り付けた後です。リード線が不要な場合は除去してください。再びリード線をボンディングするスペースはあります。
5 ［（校正の不確かさ）2 +（再現性）2］0.5
6 長期安定性の値は 200 回のサーマルショックの結果です（305 K ～ 77 K ）： ± 3 mK @ 4.2 K

1 低温（T < 1 K）での推奨値はレイクショアで校正に使用している 370 型 AC ブリッジの値をもとにしている
2 再現性（短期再現性）の値は 305 K から 4.2 K のサーマルショックの結果です

温度応答データ（ティピカル）
温度（K）
4.2
10203077.35
300400（HT）
420（HT）

抵抗 8（Ω）
277.32
187.11138.79115.3870.83730.392——

CX-1010dR/dT（Ω /K） （T/R）・（dR/dT）-32.209-0.49-8.063-0.43-3.057-0.44-1.819-0.47-0.510-0.56-0.065
-0.65
—
—
—
—

抵抗（Ω）
574.20331.67225.19179.12101.1641.42034.77933.839

CX-1030
dR/dT（Ω /K） （T/R）・（dR/dT）-97.344-0.71-19.042-0.57-6.258-0.56-3.453-0.58-0.820-0.63-0.088-0.64-0.050-0.57-0.045
-0.55

温度（K）
4.2
10203077.35
300400（HT）
420（HT）

抵抗 8（Ω）
5979.4
1927.2938.93629.90248.6666.44151.81549.819

CX-1070
dR/dT（Ω /K） （T/R）・（dR/dT）-2225.3-1.56-214.11-1.11-46.553-0.99-20.613-0.98-3.150-0.98-0.201-0.91-0.106-0.81-0.094
-0.80

抵抗（Ω）
—
—
6157.53319.7836.52
129.3991.46386.550

CX-1080
dR/dT（Ω /K） （T/R）・（dR/dT）————-480.08-1.56-165.61-1.50-15.398-1.42-0.545-1.26-0.261-1.14-0.231
-1.12

抵抗（Ω）
3507.21313.5692.81482.88205.6759.46746.78245.030

CX-1050dR/dT（Ω /K） （T/R）・（dR/dT）-1120.8-1.34-128.58-0.98-30.871-0.89-14.373-0.89-2.412-0.91-0.173-0.87-0.093-0.79-0.089-0.77

8 セルノックスセンサーには標準温度カーブが規定されておらず、また、非常に幅広い値を取り得るので、本表にはティピカルな抵抗値を掲載しています。

7

CX シリーズ セルノックス抵抗センサー
校正値からの偏差（ティピカル）Δ T（mK）

温度シフト（mK）

中性子及びガンマ線の影響

偏差（Δ T/T）（％）

磁場による影響

磁束密度（Tesla）

CX-1050 型で見られた磁場による影響。温度範囲は2.03K から 286K。

温度（K）
温度（K）

200 回のサーマルショック（305K から 77K）を与えた後に見られた偏差。センサーは CX-1030 型（Δ T = 1mK @ 4.2 K, 10 mK @ 100 K）

使用素材等
内部雰囲気

センサーの材質

ベアチップ（BC）、（BG）、（BR）≤ 3.0 mg

質量BR: なし
BG: 2 本の金ワイヤ
直径 44 AWG
長さ 25 mm
BC: 2 本の銅ワイヤ
直径 42 AWG
長さ 25 mm

リード線

なし

感温素子はセラミックオキシナイトライド。パッドは金。サブストレートはサファイアで裏面は金、白金、モリブデンでメッキされている。
（このチップはすべてのモデルに搭載されている）

ハーメチック
セラミックパッケージ（SD）≈ 40 mg

2 本の金メッキされた
銅線真空

アルミナボディーの中にサファイア基板上の素子が取り付けられている。ふたはアルミナ。ふたとボディーのメッキはモリブデン、マンガン、ニッケル、金。ハー
メチックシールは金スズ半田。リード線の取り付けに使う半田は 60/40 すず鉛。

銅キャニスターパッケージ（AA）≈ 390 mg

色分けされたポリイミド被覆のついたリン青銅ワイヤー 4 本。折り曲げ防止管付き。

ヘリウム 40.38 in［0.965mm］

0.08 in ± 0.001 in［0.203mm ± 0.025mm］

0.030 in
［0.462mm］

公差± 0.002 in［± 0.051mm］ただし特に記載なき場合金メッキした円筒形の銅製カンの内側にセンサーチップが取り付けられている。

公差± 0.005in［± 0.127mm］ただし特に記載なき場合

AA パッケージ
ワイヤーはセンサーのプラス側とマイナス側で色分けされています。
（この図はエポキシシール側から見たものです）

8

公差± 0.005in［± 0.127mm］ただし特に記載なき場合

CX シリーズ セルノックス抵抗センサー

オーダーインフォメーション
未校正センサーの場合	����� 左側の列から型名を選択する（例：CX-1050-SD-HT）
校正センサーの場合	��������� 型名に校正範囲コードを指定する（例：CX-1050-SD-HT-1.4L）※ -HT は、高温対応型（High Temperature）
セルノックス
RTD

校正範囲コード
数値の部分は低温側の校正リミットを表す
英文字は高温側の校正リミットを表す。
例：L=325K、M=420K

型名

未校正

0.1L

CX-1010-AA, -BC, -BO, -CD,-ET, -LR, -MT■■

CX-1010-BG-HT, -BR-HT■

CX-1010-CO-HT, -CU-HT,
SD-HT

■

CX-1030-AA, -BC, -BO, -CD,-ET, -LR, -MT■

CX-1030-BG-HT, -BR-HT■

CX-1030-CO-HT, -CU-HT,-SD-HT■

CX-1050-AA, -BC, -BO, -CD,-ET, -LR, -MT■

CX-1050-BG-HT, -BR-HT■

CX-1050-CO-HT, -CU-HT,-SD-HT■

CX-1070-AA, -BC, -BO, -CD,-ET, -LR, -MT■

CX-1070-BG-HT, -BR-HT■

CX-1070-CO-HT, -CU-HT,-SD-HT■

CX-1080-AA, -BC, -BO, -CD,-ET, -LR, -MT■

CX-1080-BG-HT, -BR-HT■

CX-1080-CO-HT, -CU-HT,-SD-HT

■

ADD-P
SN-CO-C1
SN-CO-C10

■

0.1M

0.3L

0.3M

1.4L

1.4M

4L

4M

20L

20M

■■■■■■■■■■

■

■

■

■

■

■

■

■

■

SD パッケージのリード線を白金のスポット溶接にするオプション
CO タイプ取り付け治具 1 個
CO タイプ取り付け治具 10 個

注：センサーの性能保証期間は納入検収をもって終了致します。

9