システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

自動Zステージ / テーブルサイズ 100×100,160×124
Motorized Vertical Linear Stages / Table Size 100×100,160×124

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

ZA10A-X1T01

ZA16A-X101

回転Rotation

ZA10A-X1T01

ZA16A-X101

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

7380

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)(148.5)CW

8-M4 Depth 8mm

(3)

(25)

90
100(125)

4-for M4 screws
Shaft length 11mm

(10)(17.2)

5H85H8Depth 5mm

裏面Back Side

付録Appendix

□90

73030
φ5H8 Depth 5mmモーター
ケーブル
Motor
Cable

4-for M4 screws
Shaft length 11mm

607モーター
ドライバ
Motor
Driver160(378.5)
90124(141.2)

70

1590100(110)

60

アプリ
ケーション
Application□60

150±3025(120)170±5090100(103)□110

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

CW Limit Sensor

制御装置
ControlElectronics□40(385.5)□90

4-M5 Depth 8mm
8-M4 Depth 8mm
8-M3 Depth 8mm
M5 Depth 8.5mm□30Home Position

□100

□40

□60

4-M3 Depth 8mm
M4 Depth 13mm

真空ステージ
Vacuum
Stage

ドライバ
ボックス
DriverBoxCW

CCW Limit Sensor

アライメントステージ
XYθモーター
コントローラMotorController

CCW(165.5)

回転Rotation

CCW15ZZ

φ5H8 Depth 5mm

Depth 5mm

裏面Back Side

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemI-020

I.indd 20

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:07

アルミ / 縦置き / リニアガイド, クロスローラガイド / 研削ネジシステム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Vertical X / Linear Guide , Cross-Roller Guide / Ground Screw

産業用
Industrial

型式
Model Number

ZA10A-X1T01

ZA16A-X101

勝手違い型式
Mirror Model Number

ZA10A-X1T01-R

ZA16A-X101-R

テーブル面
Table Size

100mm×100mm

160mm×124mm

案内方式
Guide Mechanism

精密リニアガイド
Linear Guide

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

移動範囲
Motion Range

±50mm

±30mm

送り方式
Lead Mechanism

手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XY

研削ネジ, リード 1.0mm
Ground Screw, Lead 1.0mm

フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※1Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)

ZZ

2μm/1μm
0.1μm

最高速度
Maximum Speed

10mm/sec

繰返し位置決め精度
Repeatability≦±0.5μm

回転
Rotation

ロストモーション
Lost Motion

≦2μm

≦4μm

垂直度
Verticality≦10μm/100mm≦10μm/60mm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

98N（10kgf）

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重Weight

6.8kg

自動精密ステージ
Motorized
StageZZ

6.2kg

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

C087Q-9215P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
C087Q-9215P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)

モーター軸径Motor Shaft DiameterΦ8mm オプションハンドル：Ｂ type
Φ8mm Conformance option handle: B type

コネクタ
Connector

丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

ステージ結線タイプ※2Stage Wiring TypeV3

回転Rotation

F-104(LIMIT), F-105(HOME)

F-101(HOME,LIMIT)

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

ZA10A-X1T01-C

ZA16A-X101-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ZA10A-X1T01-V

ZA16A-X101-V

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

X・XY
X・XY

センサ基板型式
Sensor Model※1

実験用
Experimental※2

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メントステージ
XYθ真空ステージ
Vacuum
Stage

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
DriverBoxアプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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