自動Xステージ / テーブルサイズ 200×218

システム
製品
SystemProducts

Motorized X Linear Stages / Table Size 200×218

産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZXA20F-L2401

XA20F-L2501

回転Rotation

受注生産 Build to Order

XA20F-L2401
15

4-M5 Depth 10mm259

1010-M6 Depth 12mm200(243)

10CW
200
150
100

218

220

自動精密ステージ
Motorized
Stage(804)

260(1)

23

CCW

(85)

(60)

Option Table

真空ステージ
Vacuum
Stage

100200(85)15

ドライバボックス
DriverBox

CCW(904)

4-M5 Depth 10mm10309
10-M6 Depth 12mm200(243)

10CW
200
150100#216-for M8 screws (M10 tapped hole)
Shaft length 13mm(0.7)
80(60)

50100

100200CW Limit Sensor
100100

8-M4 Depth 8mm
8-M5 Depth 10mm
8-M6 Depth 12mm

4-M6 Depth 12mm
8585

218
200
180
160
14011090
6059

OTX200-K

裏面Back Side

アクセ
サリー
Accessories

170200付録
Appendix

φ20 Depth 17mm

4-for M6 screw #1
Shaft length 13mm

#1

検査システムInspection
SystemH.indd 40

5012.5Home Position

CCW Limit Sensor(15)

Option Table

Option Table(5)

13(60)(24)

オプションテーブル

モーター
ケーブル
MotorCable

H-040

59218

220

100

4-for M6 screw #1Shaft length 13mm

310(1)

23100

φ20 Depth 17mm

受注生産 Build to Order

XA20F-L2501

制御装置
ControlElectronics

モーター
ドライバ
MotorDriver100

裏面
Back Sideアライ
メント
ステージ
XYθ

アプリ
ケーション
Application(60)

CW Limit Sensor

170200#2
12-for M8 screws (M10 tapped hole)
Shaft length 13mm

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

Home Position

CCW Limit Sensor(15)

回転Rotation

モーター
コントローラMotorController

(0.7)
80

13(5)

ZZ

(24)

X・XY
X・XY

12.5

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

CONTACT

表側からステージを取り付ける際はM6用貫通穴となります。
Through hole for M6 screw mount from upper side.

裏側からステージを取り付ける際はM10タップ穴となります。
#2
Tapping hole for M10 screw mount from back side.

6-for M6 screws
Shaft length 8mm
M10 Depth 15mm
t = 156090110140160
180200TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:13

鉄 / リニアガイド / ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Steel Body / Linear Guide / Ball Screw
型式
Model Number
勝手違い型式※1
Mirror Model Number
テーブル面
Table Size
案内方式
Guide Mechanism
移動範囲Motion Range
送り方式
Lead Mechanism
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step
分解能※2
Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)
最高速度
Maximum Speed
累積リード誤差
Accumulated Lead Error
繰返し位置決め精度
Repeatability
ロストモーション
Lost Motion
水平Horizontal
真直度
Straightness
垂直Vertical
バックラッシュBacklash
モーメント剛性※3
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重
Weight5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ※4Stage Wiring Type
原点復帰
Returning direction
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number
※1

※2

産業用
Industrial

XA20F-L2401

XA20F-L2501

XA20F-L2401-R

XA20F-L2501-R

実験用
Experimental

200mm×218mm
手動精密ステージ
ManualStage

精密リニアガイド
Linear Guide±200mm±250mm

X・XY
X・XY

ボールネジ, リード 5.0mm
Ball Screw, Lead 5.0mm
10μm/5μm

Z
Z

0.5μm
50mm/sec≦30μm/400mm

回転Rotation≦40μm/500mm≦±0.5μm

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)≦10μm≦6μm/400mm≦8μm/500mm≦6μm/400mm≦8μm/500mm

自動精密ステージ
Motorized
Stage

≦2μm

X・XY
X・XY

0.003arcsec/N･cm（ロール剛性）
980N（100kgf）

ZZ

鉄（テーブル: アルミ合金）
Steel (Table: Aluminum Alloy)
黒色仕上げ
Matt Black
39.5kg

回転Rotation

44kg

C087Q-9215P（オリエンタルモーター当社専用型式: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
C087Q-9215P (Oriental Motor (KOHZU exclusive): Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads)
Φ8mm オプションハンドル：B type
Φ8mm Conformance option handle: B type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12RA-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12RA-20PC)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メントステージ
XYθV3
原点復帰の際に、領域（データム）センサを利用しています。CW側常時遮光。
Returning direction is determined with zone sensor. CW side’s light is intercepted in all time.

真空ステージ
VacuumStage

F-104(LIMIT), F-105(HOME)XA20F-L2401-C

XA20F-L2501-C

XA20F-L2401-V

XA20F-L2501-V

勝手違いについてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※3

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027ページを参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005
ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

2相ステッピングモーター仕様も承ります。
2 phase stepper motor is available.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ペー
ジを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.
モーター交換の詳細についてはC-004ページを参照して下さい。
Page C-004 for further information about motor change.

制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application

XYでの組み付けをご希望の際は、営業部までお問い合わせ下さい。
About the XY assembly for these stages, contact us for further information.

モーター
ドライバ
Motor
Driver

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.
お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 41

H-041

2022/09/06 16:13