システム
製品SystemProducts
産業用
Industrial

実験用
Experimental

手動X・XYステージガイダンス
Understanding Manual X, XY Linear Stage

スペック表の見方
Understanding Specifications

手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

YM07A-S3-CL

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密
ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スペック表 Specifications
型式
Model Number

YM07A-S3-CL

勝手違い型式
Mirror Model Number

YM07A-S3-RRR-CL

テーブル面
Table Size

70mm×70mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

移動範囲
Motion Range

粗動 13mm, 微動 0.3mm
Coarse 13mm, Fine 0.3mm

真直度
Straightness≦2μm/13mm最小読み取りMinimum Readout

真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics② 型式①に対する逆勝手仕様の型式です。
Mirror symmetry of standard stage... see pages D-004~D-009 for various configurations andtheir specific model number extensions.
③ ステージテーブル面の大きさです。
Table size refers to the stage's valid mounting table size.
④ ステージの案内方式です。
Type of guide mechanism used on this stage.
⑤ 中立点を基準としてプラス、マイナスで表示します。精密ポジショナーの場合は、粗動と微動での移動範囲を表示します。
Stage travel range in the positive and negative directions from it's centered or neutral position.
Fine Pitch Positioner types will indicate total coarse and fine travel ranges respectively.
⑥ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-004ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-004.

粗動 10μm/目盛, 微動 0.5μm/目盛 ⑦ マイクロメータヘッド等で読み取ることのできる最小値です。
Coarse 10μm/div, Fine 0.5μm/div
Minimum readout is the smallest measurable value of motion.

モーメント剛性
Moment Load Stiffness

0.2 arcsec/N・cm⑧ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-006ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-006.

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

53.9N（5.5kgf）⑨ ステージ中央での搭載可能重量です。
Maximum load capacity is for a horizontally orientated stage with load centered on top-plate.

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy⑩ 主に使用されている材料を示します。
Material specification is for stage's main body components only.

外観Finish

白色仕上げ
Clear-Matte Anodizing

自重Weight

0.93kg直交度
Perpendicularity≦20μm/13mm

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メントステージ
XYθ

説明 Description① 型式の名称です。
Kohzu's significant alpha-numeric model numbers offer quick product insight.

駆動方式
Actuator⑪ 外観の色や表面処理を示します。
Surface finish type and color.
⑫ 製品の重量です。
Stage weight includes all components depicted in product photograph.
⑬ 2軸組合せステージの直交度を示します。
Perpendicularity (or orthogonality) between motion axes in a dual-axis XY stage assembly.

精密ポジショナー FPP03-13（13mm） ⑭ 使用されているアクチュエータの型式と移動量を示します。
Fine Pitch Positioner FPP03-13 (13mm)
Actuator model number and travel range.

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

YM07A-S3-CL-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

YM07A-S3-CL-V⑮ 型式①対するクリーングリス仕様の型式です。 ←C-003ページ
This is a model number with clean room lubricunt specification for model number ①. See pageC-003⑯ 型式①対する真空グリス仕様の型式です。 ←C-003ページ
This is a model number with vacuum lubricunt specification for model number ①. See pageC-003

モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
DriverBox
アプリ
ケーションApplication
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

D-002

D.indd 2

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 16:59

システム
製品
SystemProducts

案内方式
Guide Mechanism Type●クロスローラガイド Cross-Roller Guide
クロスローラガイドとは、90°のV溝を持つローラレースと円筒コロからなる案内方式です（図-１参照）。ローラレースの摺動面は焼入れ研磨仕上げにより平面度の精度が高く硬質に仕上げられています。円筒コロはこの2本のローラレースに挟まれた空間に互
図-1
Fig.1
い違いに配置されています。ステージが駆動する際には、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化（静止摩擦と動摩擦の差）が小さく、作動すべりが起こりにくくなっています。また、クロスローラガイドは、線接触で荷重を支えるため、ボールガイド機構よりも剛性が高くなっています。このクロスロー
ラガイドは、独自に設計された剛性が強く精度の高いものを使用し、ローラレースと円筒コロ間の予圧を精密に管理して高剛性を維持しています。
The cross-roller guide is a limited stroke linear and bending guide that consists of a roller race and rollers. The roller race
has 90 degree V-shape surface and it is harden and precisely polished. It is not only had a polished precise surface butalso precisely correct 90 degree. The cylindrical shaped rollers are inserted between two roller races and they are aligned
alternately. When the stage is moved, these rollers are rolling smoothly at the same time with the same tension because
the gap between roller race is correctly arranged and maintained for the same distance. There is no slipping, no stopping
due to the effective contact. As one of the feature, it has highly rigid more than ball guide because it has a longer contact
line.

産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
MotorizedStage
X・XY
X・XY

●ゴシックアーク Gothic Arc
ゴシックアークとは、擬円筒の摺動面とボールからなる案内方式です（図-２参照）。擬円筒の摺動面は、テーブルとベースに直接加工され、焼入れ研磨仕上げとなっています。
ボールは、摺動面の作る擬円筒の溝に挟まれて配置されています。擬円筒面とボールは、互いに４点で接触するため、作動すべりが起こりにくい構造になっています。また、予圧管理はボールの大きさで行なわれ、部品点数を少なくしています。
Gothic arc is guide mechanism that is consist from the pseudo-cylindrical sliding
surface and the ball (see fig-2). This sliding surface is processed into both of table
図-2and base of the stage, and finish in quench and grind. The ball is set between
Fig.2
groove of sliding surface. The sliding surface touch the ball in each 4 point, thenthis point contact mechanism not likely to bring up differential slip. And the size of ball is used for pressurizing control, it
bring decreasing of parts number.

Z
Z

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
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お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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