摺動表面のトライボロジー特性向上を目的としたレーザプロセッシングによるマルチスケール・テクスチャリング技術に関する研究
東京理科大学 工学部第一部 機械工学科教授 佐々木信也（平成 21 年度一般研究開発助成 AF-2009215）
キーワード：トライボロジー，レーザ加工，表面テクスチャリング，DLC，省エネルギー
1.はじめに
環境問題への意識の高まりや製造業の国際競争力強化を背景に，輸送機械や産業機械等のさらなる熱効率ならびに信頼性の向上と高機能化および高付加価値化が求められている．トライボロジーは，これらの課題解決を担う基盤技術であると同時に，他の容易な追従を許さないコア・テクノロジーとして，より高度な技術的要求への対応が求められている．トライボロジー・システ
ムの開発に当たっては，コスト低減や性能向上はもとより，環境負荷の尐ない摺動材料，潤滑剤および製造プロセス等の採用が必須条件となっており，これらを同時に解決する手段として表面改質技術に寄せられる期待は大きい．そもそも，構造部材として材料に求められる性質と，外部との境界を成す材料表面に求められる性質とは必ずしも一致せず，場合によっては相反する特性が求められることもある．そこで，表面に必要とされる性質を内部とは独立に付与し，機能の役割分担による材料全体での高性能化を図る手段として，表面改質は実に理に適った材料創製技術であると言えよう．一方で，表面改質技術は多岐に渡り，また目的は同じであっても技術体系の異なる手法間での性能比較等はあまり行われていないのが実情で，日進月歩の最新技術を網羅するような技術の体系化は進んでいない．
表面テクスチャリングは，表面改質の中でももっともシンプルであり，かつ如何なる場合にも必須となる表面処理プロセスである．特に表面形状や表面粗さは，機械部品の表面仕上げを規定する機械設計の基本中の基本とも言えるパラメータであるが，トライボロジー特性との相関やその影響については，未だに油膜パラメータΛ
を，流体潤滑状態を判断する上での指標として論ずる程度に留まっている．ここに，学術的知見と実用技術との間の乖離があると言えよう．例えば，現場の機械設計者や技術者らは，豊富な経験を踏まえたノウハウをもとに，対象とする摺動表面の最適な表面形状や粗さを決定し製品を作り出している．しかしながら，トライボ理論に基づく合理的な設計手法では，そのような経験則に基づいて作られた表面の性能を超えることはもちろん，表面テクスチャの指針すら提示できないというのが実情である．表面テクスチャによって改善を期待する効果が，どのようなメカニズムに起因するものなのか？また，どのように改善したいのか？まずは，これらの点を明確にした上で，表面テクスチャリングを考えることが重要になる．
そこで本研究では，レーザ微細加工技術と DLC コーティング技術によって，摺動表面にマルチスケール・テクスチャを付与する加工技術の開発を行った．様々な形状のレーザ・サーフェス・テクスチャリング（LST）を施した摩擦表面を作製し，流体潤滑状態ならびに境界潤滑条件下における摩擦特性への影響を調べ，テクスチャリングによる摩擦低減効果を確認した．また，潤滑下での摺動特性を最適化するためのテクスチャ形状を設計するための CFD 解析を実施した．その結果，表面テクスチャリングの効果は，単に流体潤滑膜における動圧発生効果のみによるのではなく，境界潤滑状態における表面のなじみや，摩耗粒子の補足効果，さらには摩擦表面におけるトライボケミカル反応の促進によってもたらされることが明らかとなった．また，創製したミクロな表面テクスチャ構造を維持する上で，耐摩耗性に優れる DLC コーティングを施すことにより，耐久性を大幅に向上できることを明らかにした．
2.マルチスケール・テクスチャリングの概念
2.1 表面テクスチャリングの効果
摺動特性を考えた場合，表面テクスチャリングに期待される主な効果としては，
１）動圧の発生
２）摺動面への潤滑油の供給
３）異物の排出やトラップの 3 つが挙げられる．
もう尐し広く見ると，表面の濡れ性や流体抵抗の変化なども，テクスチャリングがもたらす効果として知られている．ただし，これらは定性的な一般論であって，定量的に予測ができるのは，流体潤滑下で発生する一部の動圧のみである．これが理論的な解明に限界をもたらす原因であるとともに，どうしてもテクスチャリングのデザインをノウハウに頼らざるを得ない状況を生み出している．しかしこれで済ましては，学術とエンジニアリングとの溝は埋まらない．

Fig.1 Condition of tribo-elements on Stribeck curveー 211 ー

Fig.1 に示したような一般的なストライベック曲線で考えれば，トライボ要素表面のほとんどは，流体潤滑以外の潤滑状態での摺動が余儀なくされることを認識すべきである．すなわち，乾燥摩擦や混合潤滑を含む広義での境界潤滑状態においてこそ，表面テクスチャリング効果の発現が期待されるのであり，効果発現のメカニズムを明らかにすることによって，テクスチャ表面の設計指針を確立し，表面改質の一つとして技術の体系化を図っていく必要がある．
このような中， “なじみ”という切り口から表面テクスチャリングの効果を解明しようとする試みは，まさに学術的なアプローチから合理的に現実解を導くための方策として，その展開が期待されるものと言える．“なじみ”に着目することの重要な点は，最初に創製したテクスチャが摩擦のプロセスを経る過程で変化すること，そして安定状態に至ったテクスチャこそが，改善効果をもたらすメカニズムを担うということを明確に認識することにある．ある摺動条件下において安定状態に至ったテクスチャこ
そが “なじんだ表面”であり，このときのテクスチャとは，単なる物理的な形状を意味するのではなく，化学組成やその表面近傍における空間分布の状態を包括したものを意味することになる．
2.2 マルチスケール・テクスチャリング
実際のトライボロジー要素は，運転状況によって潤滑状態が変化するとともに，なじみ後に続く安定状態にあってもその表面は変化を免れない．特に境界潤滑状態においてテクスチャリング効果を発現させるためには，予め初期のテクスチャが変化することを織り込んだ表面設計が必要とされる．トライボロー挙動は，表面の極微小な領域での特性によっても支配されるため，テクスチ
ャリング表面の設計に当たっては，表面の形状及び組成の空間分布をナノ・マイクロからマクロレベルまでの連続したスケールで扱うことも重要な視点である．このように，それぞれのスケールレベルで支配的となるトライボロジー現象を階層的に捉え，それぞれに対応したテクスチャを統合することによってトータル性能の向上を図るというものが，筆者らの提案したマルチスケール・テクスチ
ャリングの概念である1)．
テクスチャリングの単位スケールとその創製方法をFig.2にまとめた．近年の加工プロセスや材料創製技術の進歩によって，SAM（自己組織化膜）やナノコンポジットといったナノスケールの表面制御から，ナノインプリントやLIGA（フォトリソグラフィー）プロセスのようなサブミクロンスケールの表面構造創製プロセス，そしてレーザや電子・イオンビームなどによるミクロンレベルの高エネ
ルギー加工プロセス，そしてサンドブラストや化学エッチング，精密機械加工といった低コスト・高効率プロセスを比較的容易に組み合わせて用いることも可能となっている2)．対象とするトライボ要素に合わせ，これに適したマルチスケール・テクスチャを設計し，具現化していくことが求められている．
本研究の目的は，レーザ微細加工技術を用い，数10ミクロンレベルでの表面テクスチャ構造を摺動表面に創製することにより，このようなメゾスケールのテクスチャが摺動特性に及ぼす影響を明らかにすることにある．

Fig.2 Surface treatment processes for multi-scaletexturing
3.実験方法
3.1 レーザ微細加工による表面テクスチャの創製
グリーン光 YVO4 パルスレーザー（波長 532nm，
7W@30kHz）を光源とし，ガルバノヘッドによりレーザビームを 50×50mm の範囲でスキャン可能なレーザ微細加工装置を開発し，これを用いて表面テクスチャを摺動サンプル表面に施した．最小加工穴径は約 10μm であるため，これよりも大きなディンプルやライン等からなる様々なパターンを作製し，摺動評価試験に供試した．
3.2 摺動材料
本研究では，環境負荷の少ない潤滑システムの実現を目指し，摺動材料には窒化ケイ素および DLC コーティング膜を選定した．窒化ケイ素は，水潤滑下において超低摩擦を示すことが知られており，また，DLC コーティングは添加剤フリー潤滑油でも摺動特性が優れることが知られているが，トライボ要素への実用化に際しては，高荷重・低摩擦速度領域での摺動特性の改善が必須となっている．
Table 1 に窒化ケイ素ディスクに施したディンプ
ルパターンの詳細を示す．シンプルの直径およびディンプル間のピッチを変えて 12 種類の表面テクスチャを作製した．ディンプルの深さは 20μm とした．
表面に占めるディンプルの面積割合は 2～14%であった．
Table 1 Dimple patterns on Si3N4 disk specimen by LSTー 212 ーFig.3 に窒化ケイ素加工表面の SEM 写真を示す．なお，窒化ケイ素の場合は，レーザ光を窒化ケイ素表面に直接照射してディンプルを作製し，レーザ照射
痕周囲のデブリ等の除去処理は行わず，そのまま摺動試験に用いた 3)．

形であり，摺動方向は底辺から頂点への方向，摺動方向の幅は 200µm とした．面積率は 8.3%である．Table 4に面積率（凹部の面積/加工面の全面積）を変えた，各テクスチャパターンのパラメータを示す．テクスチャの基本パターンは三角形である．パターン 16~21 は断面が矩形，パターン 22~27 は断面が深さにグラデーションを施したものである．
Table 2 Texture patterns on DLC disk by LST
Pattern1Geometry
Sliding direction(a) Optical micrograph of dimple pattern

Width/Diameter[µm]
Area ratio[%]
Depth[µm](b) 3-D images of confocal laser scanning microscopy

234Triangle

EllipseEllipseBase toTopLong
side

Shortside

380

380

450

150

1313

1313

10

101010Triangle
Top toBasePattern

5678

Geometry

CircleDimpleTriangle

Triangle

Sliding direction--

Top toBase

Base toTop

Width/Diameter
[µm]

300

40800

800

Area ratio[%]13131414

Depth[µm]1010--

Table 3 Triangle patterns with each aspect ratio(c) SEM micrograph of dimple
Fig.3 Dimple pattern on Si3N4 disk specimen
DLC コーティングの場合には，コーティング後にレーザ加工を施すと，照射ダメージにより DLC 膜の剥離が起こり易くなることが判った．そこで，ディスク基板の軸受鋼に LST により Table2 に示す各種パターンを加工し，加工痕周辺のデブリ等をラッピング処理により除去した
後，UBMS（アンバランスドマグネトロンスパッタリング）法により，DLC コーティングを施した．DLC コーティング膜の厚さは，約 2μm であった．
Table 2 に作製した各テクスチャのパラメータを示す．
テクスチャの基本パターンは三角形，楕円，円を用い，全てのパターンにおいて面積率を約 8%に揃えた．
Fig.4 に示すように，DLC コーティングの場合には，断面形状に矩形のものと深さにグラディエーションを施したものの 2 通りの形状を採用した．パターン 7，8 は摺動方向に深さのグラデーションを施したものである．Fig.5 にDLC コーティングディスクの一例として，パターン 8 の光学顕微鏡写真を示す．三角形の凹形状は，常に摺動方向に対して同じ角度となるよう円周上に並べられている．Table 3 にアスペクト比（H/W）を変えた，各テクスチャパターンのパラメータを示す．テクスチャの形は三角

Pattern

9101112

Aspect ratio

0.033

0.038

0.046

0.061

Area ratio[%]

8.3

8.3

8.3

8.3

Depth[µm]

6.5

7.6

9.2

12.1

Pattern

131415

Aspect ratio

0.097

0.122

0.174

Area ratio[%]

8.3

8.3

8.3

Depth[µm]

19.4

24.3

34.8

Table 4 Triangle patterns with each area ration
Pattern161718192021

Area ratio[%]

3.3

4.35.88.3

10.3

16.8

Aspect ratio

0.033

0.033

0.033

0.033

0.033

0.033

Pattern222324252627

Area ratio[%]

3.3

4.2

5.8

7.9

10.3

16.1

ー 213 ー(a)Rectangle(b) Inclination

Fig. 4 Schematic of cross sectional structure3.実験結果
3.1 水潤滑下における窒化ケイ素の摺動特性
Fig.7 にテクスチャを施した窒化ケイ素の水潤滑下での摩擦特性の一例を示す 5)．研磨面オリジナルに比べ，軸受特性数の小さい領域（低速・高荷重域）において摩擦低減効果が確認された．また，ディンプル形状は，直径 30μm でピッチが 150μm の面積率9%の表面の方が，潤滑性向上効果が大きいことも判った．尚，効果が見られた潤滑領域は，境界潤滑から混合潤滑の領域で顕著であったことから，テクスチャリングの効果は，単に流体潤滑膜における動圧発生効果のみによるのではなく，境界潤滑状態における摩擦低減効果が発揮されたものと推察された．

Fig.5 Schematic of LST pattern(No. 8) on DLC disk
3.3 摺動試験
摩擦試験機の概略を Fig.6 に示す．本摩擦試験機は，．本摩擦試験機は，モーター側の軸に固定されたリング試験片の端面を，潤滑油で満たしたカップ内のディスク試験片に押し付け，荷重制御機構により一定荷重をかける構造となっている．
カップを静圧軸受で支えることで，カップ固定台から伸びた梁により摩擦係数測定用ロードセルを押す力の高精度測定が可能である．摩擦試験における荷重は 100，200，500N とし，回転速度は 30，50，70，200，500rpm とした．リング試験片には，窒化ケイ素を用いた，ディスク試験片には，テクスチャを施した窒化ケイ素と DLC コーティングを用いた．潤滑油は，窒化ケイ素の場合には水を，DLC コーティングの場合には無極性無添加潤滑油としてスクアランを用いた．試験中の潤滑油の温度は，K 熱電対を用いて測定した．
φ18φφ14Ringsample

Fig.7 Effect of laser surface texturing on friction
behavior of Si3N4 under lubrication with water
摩擦面の SEM 観察および SEM-EDX 分析を行ったと
ころ，Fig.8 に示すように，窒化ケイ素ディスク摩擦面のディンプルには，摩擦時間の経過とともに摩耗排出物によって埋まり，ディンプル形状が消滅している様子が確認された．また，ディンプルを埋めている物質は，窒化ケイ素と水との反応により形成されたと考えられるシリコン酸化物もしくは水和物であることが判った．

Disksample

φ25

Fig.8 SEM-EDX spectrum of textured surface after
sliding test ;(a) Sliding surface around dimple,(b) Sediment in dimpleFig. 6 Schematic of sliding test apparatus

以上より，表面テクスチャの効果は，表面のなじみや，摩耗粒子の補足効果，さらには摩擦表面におけるトライボケミカル反応によってもたらされるもー 214 ー3.2 表面テクスチャを施した DLC 膜の摺動特性
摩擦試験後の DLC テクスチャ表面の SEM 写真を
Fig.9 に示す．摩擦面には，相手摺動材料の窒化ケイ素移着物が見られたが，DLC 膜の剥離等の損傷は観察されなかった．また，ディンプルが摩耗粉で埋まるような様子も見られなかった 6)．

各表面テクスチャパターンにおける遷移軸受数をまとめたものを Fig.11 に示す．棒グラフは三角形状のテクスチャの遷移軸受数を示し，三角形状のテクスチャは摺動方向，断面形状に関わらず，40×10-5以下のほぼ同じ数値を示した．テクスチャのない表
面の遷移軸受数が約 90×10-5 であるので，これよりも低い値を示した表面テクスチャは，流体潤滑領域の拡大効果があると判断でできる．また，Fig.11 に示したプロットは，円や楕円形状の遷移軸受数を縦軸の W/D でまとめたものである．この図より，摺動方向に長い形状のものほど遷移軸受数が低く，流体潤滑領域の拡大に効果のあることが確認された．

Non texture
Gradation[Bese to top]
Gradation[Top to base]

32Rectangle[Top to base]Rectangle[Bese to top]

W/Dのと考えられる 4)．特に，ディンプル形状を施した摩擦表面では，ディンプル内で負圧よるキャビテーションの発生が予測されることから，キャビテーションの生成・消滅に起因するソノケミストリーによる化学反応促進効果が表面テクスチャ効果に関与している可能性も考えられる．

1

Circle or ellipse

Fig.9 SEM-image of sliding surface of LST-DLC

Friction coefficient

100−5

Bearing characteristic number of transition ×10Fig.11 Effect of LST pattern on transition oflubrication range

0.215100.1
Aspect ratio
Area ratio[Rectangle]

Non textured
Pattern 17
Pattern 275

Area ratio

0.150

Aspect ratio

パターン 17 と 27 について，テクスチャ無しの DLC膜と摺動特性を比較した結果を Fig.10 に示す．潤
滑油には無極性基油のスクワランを用いた．一連の実験においては，DLC 膜にテクスチャを施したすべてのパターンにおいて同様の傾向，すなわち，境界潤滑領域と混合潤滑領域において摩擦係数が低減し，流体潤滑領域が拡大することが確認された．このような潤滑性向上効果を定量的に評価するため，ストライベック線図において，境界・混合潤滑と流体潤滑領域における摩擦データをそれぞれ線形に近似し，2 直線の交点の軸受特性数を混合潤滑から流体潤滑へ遷移する軸受特性数を遷移軸受数と定義した．

Area ratio[Gradation]

000.10501000−5Bearing characteristic number of transition ×100.05

Fig.12 Effect of aspect and area ratio on transition oflubrication range

Fig.10

テクスチャ断面のアスペクト比，面積率を変化させた場合の摺動特性への影響を Fig.12 に示す．アスペクト比が減少するにつれ，遷移軸受数は低下する傾向があることが分かった．アスペクト比 0.03～0.04
では遷移軸受数が 40×10-5 以下となり，流体潤滑領域の拡大に効果があることが確認された．また，面積率が増加するにつれ，遷移軸受数は低下する傾向

012101010−5Bearing characteristic number×10Effect of LST on friction behavior of DLC

ー 215 ーがあることが分かった．断面が矩形のものは面積率4.3%以上，深さにグラデーションを施したものは面積率 7.9%以上で遷移軸受数が 40×10-5 以下となり，流体潤滑領域の拡大に効果があることが確認された．
４．まとめ
レーザ微細加工法を用いて，窒化ケイ素およびDLC コーティングの摩擦表面に各種テクスチャを施し，摺動特性改善効果を調べた結果，以下の知見を得た．
(1) 窒化ケイ素にディンプル加工を施すことにより，水潤滑下における境界・混合潤滑領域における摩擦特性が大幅に改善されることを確認した．
(2) 窒化ケイ素の摺動特性は，本実験で作製したパターンの中では，ディンプルの直径 30μm でピッチが 150μm の場合にもっとも改善効果が見られた．
(3) 窒化ケイ素同士の水潤滑の場合，すべてのパターンで摺動特性の改善は見られたものの，トライボケミカル反応によるシリコン酸化物もしくは水和物がディンプルを埋めることにより，表面テクスチャが消失することが確認された．
(4) 耐摩耗性に優れる DLC コーティングを LST に適用した結果，膜の剥離は観察されず，摩耗による表面テクスチャ消滅も抑制されることが確認された．
(5) スクアラン潤滑した LST-DLC 膜の摺動試験では，全てのテクスチャパターンにおいて，境界潤滑領域・混合潤滑領域での摩擦低減効果が見られた．また，流体潤滑領域の拡大には，三角形状ならびに摺動方向に長い楕円形状が効果的であることが判った．
(6) テクスチャを形成するディンプルのアスペクト比の小さいものほど，また凹部の占める面積率が大きいものほど，混合潤滑から流体潤滑への潤滑状態の変化を表す遷移軸受数は低下する傾向を示し，流体潤滑領域の拡大に効果的であることが判った．

５．おわりに表面テクスチャリングによって摩擦特性を改善する試みは古くよりあるが，ナノ・マイクロサイズのパターンをミリサイズパターンと融合し，実用部品サイズに適用・評価する研究は行われていない．その原因の一つに，材料加工，流体解析，トライボロジーおよび機械要素設計等の多岐に渡る専門家の連携不足が挙げられる．地球環境問題を背景に機械システムの摩擦損失低減が喫緊の課題となっている現状を踏まえ，表面テクスチャリングに関する知見を蓄積することにより，設計指針の体系化に積極的に取り組む必要がある．
謝辞
本研究は，（財）天田金属加工機械技術振興財団からの研究助成（AF-2009215）の交付により推進されたものです．ここに深く謝意を表します．
参考文献
1) 佐々木信也：“トライボロジー特性改善のための表面テクスチャリング”，潤滑経済，542, (2010)
2-7.
2) H.Ogawa, S.Sasaki,
A.Korenaga, K.Miyake,
M.Nakano:” Effect of surface texture size on
tribological property of slideway”, 224, 9 (2010)
885-890.
3) H.Yamakiri, S.Sasaki, K.Kurita, E.Kasashima:”
Effects of laser surface texturing on friction behaviorof silicon nitride under lubriaction with water”,
Tribology International, 44 (2010) 579 – 584.
4) K.Yamaguchi, R.Tsuboi, S.Sasaki:” Effects ofgeometrical product specification on tribologicalproperties of steel under boundary lubrication”, Proc.
of the 4th International Conference on Manufacturing
Machine Design and Tribology, (2011) 131-132.
5) S.Sasaki:” Laser surface texturing of silicon nitride
under lubrication with water”, Proc. of ECOTRIB(2011) 289-291
6) S.Sasaki:” Effect of Laser surface texturing on DLC
under lubrication with water”, Proc. of the 4thInternational Conference on Manufacturing Machine
Design and Tribology, (2011) 100-101.

ー 216 ー