Accelerator Laboratory, KEK

ＯＨＯ０６レクチャー

高周波電力源の考え方とその設計
福田茂樹

福田 OHO-06 高周波源ー11目次

Accelerator Laboratory, KEK

1. 始めに
2. ＩＬＣにおける高周波源の位置づけ
3. ＩＬＣ５００におけるＲＦ源の概略
•
•

ＴＥＳＬＡ
ＩＬＣ５００

１１56

4. 主ライナックのＲＦ源•••

クライストロン12413

モジュレータ
電力分配系

5. 主ライナック以外のＲＦ源
6. まとめ福田 OHO-06 高周波源ー1622

Accelerator Laboratory, KEK

始めに•

ＴＥＳＬＡとＩＬＣＴＥＳＬＡ ＤＥＳＹで進められたＬＣ計画でその基礎はＴＴＦに実現された。
現在、その基幹装置はTTF/FLUSHさらにEuro-XFEL装置につながる。

•ＩＴＲＰの技術選択で超電導技術が選ばれた。
（ＴＥＳＬＡの設計が選ばれたわけではないがＢＣＤとしてかなりの部分が採用されている）
ＢＣＤ：基本的概念設計
設計が固まっているわけではない。現在も変更を前提に検討が進んでいる。
ここでの講義の目的：考え方と設計法••

ＩＬＣ−ＲＦ源に対する講義
本講義は全体と主ライナックのクライストロン、電力分配系
電源に関しては一こま別に講義を行う（明日：明本）。
ＬＬＲＦに関しても一こま別に講義を行う(初日：松本）。
福田 OHO-06 高周波源ー1

3

ＩＬＣにおける高周波源の位置づけ

Accelerator Laboratory, KEK• ＮＣ−ＩＬＣにおける高周波源
JLC,NLCといったＸバンドを中心としたＬＣ計画では大電力ＲＦ源が重要な位置づけをしてていた。大電力クライストロン、エネルギーダブラー（ＳＬＥＤ−ＩＩなど）。ＷＧの放電限界に挑戦。短パルス超高電力。

• ＳＣ−ＩＬＣにおける高周波源
超電導ＬＣにおいては、High-Qの超電導空洞で高電界を達成するた
めにＲＦ源はchallengingではない。長パルス高電力。

• ＣＬＩＣなどによる高周波源
周波数がより高くなり、ＲＦ源は２ビーム加速器の一部になる。
福田 OHO-06 高周波源ー14

ＩＬＣ５００におけるＲＦ源の概略
Accelerator Laboratory, KEK• ＴＥＳＬＡとＩＬＣ５００
ＴＥＳＬＡ計画は1990年代から、ＬＣを超電導技術で行うことを念頭に開発が進められてきた。ここでＴＴＦ（Ｔｅｓｌａ Ｔｅｓｔ Ｆａｃｉｌｉｔｙ）が展開され、蓄積された技術が一番進んでいる。空洞、クライオモジュール等の原型、ＲＦシステムの基本が出来上がっている。
ＩＬＣはＩＴＲＰでＬＣの技術を超電導技術を用いて行うという決定以後の２００４年から国際的に共同設計チームが立ち上がった。
当面５００ＧｅＶ×５００ＧｅＶマシーンを考えることからＩＬＣ５００と称される。ＴＥＳＬＡの技術をＢＣＤとして考え、それからコスト、より先端的な技術を勘案しＡＣＤとして検討する。それが実用可能と判断された時はＢＣＤとして採用される。
• ＢＣＤとＡＣＤ
Basic Configuration Design 基本的概念設計
Alternative Configuration Design 相補的概念設計
福田 OHO-06 高周波源ー15

TESLAの紹介

ＢＣＤとしてのTESLA

Accelerator Laboratory, KEK•

超電導技術採用から来るＲＦ源への制約→超伝導空洞はHigh Qである。
→空洞へのFilling Timeが長い。
→現実的なＲＦ源の選択（ＣＷかパルスか）→RFとビームの時間構造

福田 OHO-06 高周波源ー16Ｔｅｓｌａの設計 (ＴＤＲ２００１)
Accelerator Laboratory, KEK

１ユニット当たりの空洞数

加速勾配
バンチ電荷
繰返し
バンチ数
バンチ幅
ビーム電流
入力電力
Ｆｉｌｌｉｎｇ Ｔｉｍｅ
バンチトレイン幅

23.4MV/m
5pps
2820
337ns
9.5mA
230kW
0.420ms
0.950ms(8 Cavities per Cryomodule)

福田 OHO-06 高周波源ー17

Accelerator Laboratory, KEK

必要な電力• 1空洞当たり23.8M/ｍ、ビーム9.5ｍAとすると→23.8MV/ｍ・9.5mA=226kW• 36空洞を励振する必要がある。→0.226・36=8.14MW• サーキュレータ等WG系の損失を6％、右図フィードバック(FB)系のマージンを15％とする。
→8.14MW/(1-0.15)/(1-0.06)=10.2MW

福田 OHO-06 高周波源ー120%

8

TESLA パルス電源の仕様
Accelerator Laboratory

パルス電源は地上部のサービスステーションにまとめて配置される。

福田 OHO-06 高周波源ー19MA/04

TESLAシステム
Accelerator Laboratory

TESLA500
572 RF Unit
( 1 Modulator,1 Klystron,3 Cryomodules )福田 OHO-06 高周波源ー1TESLA800
606 RF Unit
( 2 Modulator,2 Klystron,3 Cryomodules )10

Accelerator Laboratory, KEK

ILC-500の全体系とＲＦシステム
0.65GHz X 10

DR RFe+ Source RF1.3GHz X38

e- Source RF
SHB&1.3GHz x 16(include 4 spare)

1.3GHz X 656

RTML RF
1.3GHz X (2+19)

福田 OHO-06 高周波源ー1

11

ILC-500におけるＲＦ源の総数
Accelerator Laboratory, KEK

福田 OHO-06 高周波源ー1

12Accelerator Laboratory, KEK

クライストロンILC-500における主ライナックのBCDに基づくRF源
10MW・2出力導波管、周波数1.3 GHz,
117kV, 1.5ms(RF), 5 Hz 繰返し

横置きクライストロン
モジュレータ半導体 SW, 1.7ms(voltage)
1:12 パルストランス、バウンサー回路付き

電力分配系

全数

トンネル

各々８空洞を持つ3台のクライオモ
ジュールに 10ＭＷを供給する
315 x 2=630 (5% overhead)
2トンネルを仮定
福田 OHO-06 高周波源ー113

BCD クライストロン & モジュレータAccelerator Laboratory, KEK

5.25m

１.72m

5.25m

1.22m

Photos courtesy S. Choraba, DESY

福田 OHO-06 高周波源ー11.2m

141.04m 1.55m

トンネルに関する案件→２トンネル案

Accelerator Laboratory, KEK

福田 OHO-06 高周波源ー115

Accelerator Laboratory, KEK

ILC-500における１ユニットの構造

VacuumPumps

Cavities1-8
Cryomodule 1~36 m

Cavities9-16

Cryomodule 2

Cavities17-24
Cryomodule 3

SC Quad(1)SC Corrector(2)Cavity BPM(1)Beam Tunnel

Cryo Resistive
Temp. Sensors

SupportTunnelCouplerw/
Racks

Racks
Tuner Motor&RF Power
Pickup (1)

Load
Racks

Klystron

CavityTuner
Motor (2)

Piezo
Tuner(2)Coupler
Pfwd
Prev

HOM
BPM
Ports (2)LLRF Vector
Sum

福田 OHO-06 高周波源ー1

Window Arc
Detect (2x3)VacuumPumps (2x3)
Circulators(8x3)
3-Stub
Tuners &motors (8x3)
Cryo Res.
Temp.Sensors
(4x3)

16

Accelerator Laboratory, KEK

ＩＬＣ−５００

ＲＦ源• 主ライナックに関してクライストロン：ＭＢＫ，ＫＥＫ案

モジュレータ→明本の講義
ＲＦ電力分配系

ＬＬＲＦ→松本の講義• その他のＲＦ源• 現在の状況→設計上の変更の可能性
福田 OHO-06 高周波源ー1

17Accelerator Laboratory, KEK

クライストロン• ＩＬＣ-500においては、長パルス(1.5ms）、大電力（10ＭＷ），高効率が要求される。
• 高効率を達成するために大電力で初めてＭＢＫ（マルチビームクライストロン）の導入を図った。
• 現在のところ完全に動いているものは無い。
• ＫＥＫではＭＢＫで動作電圧の低いものを考えている。（印加電圧50ｋＶで10ＭＷ）→36ビームクライストロン
福田 OHO-06 高周波源ー118

Accelerator Laboratory, KEK

何故ＭＢＫか？
→パービアンスと効率の関係

パービアンスの定義

Symonの式

低パービアンスビームクライストロンほど高効率が期待できる。
福田 OHO-06 高周波源ー119

Accelerator Laboratory, KEK

ＭＢＫ• 効率を上げるためにパービアンスを低くする→電流が減るが電圧は高くなる(放電の可能性）• 放電しない程度の電圧に抑え、その代わりビーム数を増やす。
→電子銃の複雑化。
電子銃に起因する発振の誘起。
3次元的設計、軸対称から外れた部分の寄与（特に熱膨張に起因した部分）• 空洞の設計が複雑になる。
→モードの安定化。発振の防止。

Thales

CPIToshiba

現在各社で開発されているＭＢＫ福田 OHO-06 高周波源ー120

Accelerator Laboratory, KEK

クライストロンの比較

ＭＢＫの空洞とビームの相互作用
TH2108(Thales)
VKL8301(CPI)
E3736(東芝)

円筒空洞ですべてのビームと共通。７ビームがFM-TM010と結合。
入出力空洞は環状空洞で６ビームがTM010と結合。中間空洞は各ビーム独立に円筒空洞のTM010と結合する。
すべて環状空洞で６ビームがTM010と結合。第3空洞は高調波空洞。
福田 OHO-06 高周波源ー121

その他提案されているＡＣＤ案

Accelerator Laboratory, KEK

10 MW シートビーム
クライストロン (SBK)

5 MW Inductive Output
Tube (IOT)
低電圧
10 MW MBK

Parameters similar to10 MW MBKOutput

電圧 65 kV
電流 238A
より他ビームIOT
DriveSLAC

直接モジュレータと接続。パルストランスは不要。

Klystron

福田 OHO-06 高周波源ー1CPI

KEK22

Accelerator Laboratory, KEK

ＡＣＤとしてのL-帯 36 ビーム
クライストロン設計

KEKでは印加電圧50ｋＶを目安に10ＭＷ出力を目指す。
(パルストランス[2000万円相当]が省略できる）
いくつかの設計上のVersionがある。①ビームが環状に配列②６ビームを持つ電子銃が6台環状に配置。
福田 OHO-06 高周波源ー123

Accelerator Laboratory, KEK

設計例-36-ビームクライストロン全体と電子銃

入力空洞と出力空洞はすべてのビームで共通。中間空洞は６ビームごとにそれぞれの空洞を持つ。高調波空洞を持つ(高効率化および小型化）。6ビームごとに共通のフィラメントを有する。電子銃への高圧は気中で印加する。
福田 OHO-06 高周波源ー124

36ビームクライストロンの空洞設計

Accelerator Laboratory, KEK

ビームと空洞の相互作用
入力空洞と出力空洞は環状空洞であり、その形状におけるＴＭ310モードと結合する。モード安定化ポストを立てる。

中間空洞は各ビーム群ごとに独立の円筒空洞を持ちTM010モードと結合する。

高調波空洞を一つ持つ。

福田 OHO-06 高周波源ー125

ＫＥＫの戦略：１/6クライストロンを今年度内に製作する

Accelerator Laboratory, KEK• １/６部分を製作することによりこのアイデアの妥当性が確認できる。
50kV印加して2ＭＷ、効率60％以上が達成できるか？
• ACDへ正規に認知され、更にBCDへ昇格するためには急ぐ必要がある。

福田 OHO-06 高周波源ー126

アメリカが狙うＳＢＫ
Accelerator Laboratory, KEK

シートビームクライストロン

130 A 細長楕円形ビームが PCM 集束系に入射
鉛シールド
外部から磁気シールドで隔離

RF 空洞

3D 電子銃シミュレーショ
ンで40:1の圧縮比で 130 Aの細長楕円ビームを得る。

電子ビーム
30 周期構造
PCM 磁石空洞
福田 OHO-06 高周波源ー1

RFは3D PIC コード27Accelerator Laboratory, KEKモジュレータ• 本講義では詳しくは述べず、別講義に譲る。
• モジュレータのＢＣＤ→半導体SW(IGBT)等によるパルス切り出し電源。パルス内サグはバウンサー回路で補正。更にＲＦの振幅位相を揃えるのはＬＬＲＦのフィードバックによる。

→パルストランスが必須である。パルス長が長いために３-４トンの重量を持つ巨大なパルストランスが必要である。コストも高い。

• モジュレータのＡＣＤ→アメリカを中心にしてマルクスジェネレータをＡＣＤとして精力的に進めている。これは直接負荷へ接続可能である。

福田 OHO-06 高周波源ー128

BCD 及び ACD モジュレータ
Accelerator Laboratory, KEK(120 kV, 130 A, 1.6 ms, 5 Hz)

ベースライン: パルストランス型
モジュレータ(バウンサー付き）

代替型: Marx Generator Modulator(~ 2 m Long)

動機:大きさ重量とコストを下げる、効率上昇、大きい絶縁油入りパルストランスを無くする。 2006年までにプロトタイプを試験する。
福田 OHO-06 高周波源ー129

Accelerator Laboratory, KEK

福田 OHO-06 高周波源ー130モジュレータ制御系
by C. Jensen

Accelerator Laboratory, KEK

Modulator

Core ResetPSPDS

ChargerPT

Klystron

Timing/Transducer, Klystron Utility
InterlockSolenoid
PS

Driver Amp
Monitor

Modulator/PT/Kly HV/Solenoid Interlock
IP PS
Klystron High Power RF
WG/Cavity Interlock
LLRF/Cavity Tuner

Signal

福田 OHO-06 高周波源ー131

電力分配系
Accelerator Laboratory, KEK•••

1本のクライストロンから3台のクライオモジュールに設置される8台ずつの超電導空洞に要求される性能に合わせて電力を供給する。
要求されるもの機能：
各空洞に最適な電力を供給する。場合によっては空洞のＱextがばらつく場合もあるが、出来るだけ最適な電力を与えたい。
各空洞に必要な位相関係を合わせたい。
パルスの立ち上がり、立下りで生ずる反射波に対する影響を最小にしたい。
導波管の途中での放電に対してクライストロンの保護が十分である。
価格的に安価である。
必要と思われる導波管コンポーネント：サーキュレータ(反射からの保護)、移相器又は３スタブチューナ(位相の調整)、方向性結合器(モニター)、電力分割器(必要な電力の供給)、フレキシブル導波管(膨張その他のストレスに対応)、アークセンサー(放電の検出)、電力可変器又は可変機構(空洞等のばらつきの吸収)。
福田 OHO-06 高周波源ー132

Accelerator Laboratory, KEK

ＴＴＦにおける電力分配系

ＴＴＦベースラインの導波管系は汎用のハイブリッド、サーキュレータと３スタブチューナ(移相器として）から主に成り立っている。
ハイブリッドは線形電力分配方式(LPD=Linear Power Distribution)である。

福田 OHO-06 高周波源ー133

Accelerator Laboratory, KEK

よりコンパクトな設計が求められる(各空洞は 350 kW, 1.5 msec パルス 、繰返し5 Hz)
Two of ~ 16,000 Feeds

福田 OHO-06 高周波源ー134

Accelerator Laboratory, KEK

ILC-500で現在ＢＣＤとなっている
RF 分配

横置きクライストロン。
２出力導波管から３本の導波管へ分ける。

８台ごとにプリセットされてクライオモジュールに事前にセットされる。

長い直線部(トンネルの貫通部)があり、溶接等が必要である。

ハイブリッド、アイソレータ
３-スタブチューナがコンパクトに配置される。
福田 OHO-06 高周波源ー135

Accelerator Laboratory, KEK

１ユニット当たりの導波管コンポーネントの数

コンポーネント数/ユニット

導波管サイズ

参考ソース

Ｈベンド

27WR650ＭＥＧＡ

方向性結合器5WR650ＭＥＧＡ

Ｅベンド

15WR650

ＭＥＧＡ

Ｅベンド(アークセンサー付き）

2WR650ＭＥＧＡ

フレキシブル導波管(長）

2WR650X18"

ＥＴＣ

フレキシブル導波管(短）24WR650X6"

ＥＴＣ

直管

1

WR650X66m

ＥＴＣ

ハイブリッドロード

22WR650

ＡＦＴ（Ｇｅｒｍａｎｙ）

ハイブリッド調整ノブ付き

22

WR650

ＫＥＫ−ＲＦＴ

Ｕリンク

50

WR650

ＩＢＦＭ（Ｇｅｒｍａｎｙ）

シャントＴ（Ｅ−Ｐｌａｎｅ）

1WR650

ＭＥＧＡ

シリーズＴ（Ｈ−Ｐｌａｎｅ）

1WR650ＭＥＧＡ

４００ＫＷサーキュレータ（ＤＣ付き）

24

WR650

Ｆｅｒｒｉｔｅ（Ｒｕｓｓｉａ）

サーキュレータロード

24

WR650

Ｆｅｒｒｉｔｅ（Ｒｕｓｓｉａ）

３-スタブ チューナ

24

WR650

ＭＥＧＡ

福田 OHO-06 高周波源ー136

Accelerator Laboratory, KEK

•

••

•

これで電力分配系は仕事が終わりか？

問題点(１)
空洞のばらつき等による電力分配の可変機構をハイブリッドのノブでやっているが、位相の変化、アイソレーションなどの変化が出てしまう。
→SLACのＮantistaによる円偏波を利用したAdjustable Tap-off
問題点(２)
サーキュレータの値段が高いので出来れば省略したい。このときに空洞で反射されたマイクロ波がハイブリッドを通してとなりの空洞に変化を与える可能性がある。
→TTF型LDPでは無くTREE型PDSとハイブリッドのIsolationの組合問題点(３)
３-スタブチューナは移相器として使用できるが、同時にＱextも変化させてしまうので、位相とＱのチューンの機能が混同してしまう。
→ＷＧのａ寸法を変える新しい移相器、(別のＱチューナの導入：Ｅ−Ｈチューナなど）
問題点(４)
現在はＷＲ650導波管にガス加圧をして使用することを考えているが、導波管内での放電を考慮するとＷＲ770を併用するという案もある。
→Ｎ2ガスか乾燥窒素を使用したい。ＷＲ650では５ＭＷが放電限界に近い。クライストロン出力をＷＲ770にするか？ＫＥＫ型ＭＢＫ等で３出力導波管ポート(ＷＲ650）のするか？
福田 OHO-06 高周波源ー137

問題１

モード回転を利用した可変なTap-Offs

Accelerator Laboratory, KEK

load
41

位相差

rotatable
jointsmoderotatorRotatable section withcentral elliptical region,
matched for bothpolarizations of circular
TE11 mode with differing
phase lengths.

α福田 OHO-06 高周波源ー123feed

2
α38C. Nantista

Accelerator Laboratory, KEK

可変なTap−offを用いたPDS• 空洞のペアごとに電力可変なシステム• サーキュレータが不要• 3 dB ハイブリッドにより両者が駆動 (空洞間が nl +/90 度間隔が必要 – TDR/BCDよりも 7 mm だけ長い)
loads
flexible waveguidecavity couplers

diagnostic
directional
couplers

1.326 mthree-stubtuners

beam direction

3-dB hybrids

福田 OHO-06 高周波源ー139C. Nantista

問題２に対してｰｰｰｰｰより単純なシステム(サーキュレータはＰＤＳ全体の１/４のコストを占める)

Accelerator Laboratory, KEK

ベースライン

サーキュレータが不要なＰＤＳ例

福田 OHO-06 高周波源ー140

Accelerator Laboratory, KEK

XFEL Prototype Distribution
Systems
TTF-Like

Tree-Like福田 OHO-06 高周波源ー141

問題３Accelerator Laboratory, KEK

3スタブチューナを移相器に変更

10.75

0.25
05-0.25

4-0.5-0.75

Qt Q

Im s110.5

32-0.75-0.5-0.25 0 0.25 0.5 0.751 1
Re s110204060

j 2180100

福田 OHO-06 高周波源ー142V. Katalev, S Choroba

アルミ導波管の溶接つなぎの試験
Accelerator Laboratory, KEK

Copper hollow
conductorSwagelock fitting and copper pipe

福田 OHO-06 高周波源ー143

テストスタンドの様子
Accelerator Laboratory

KlystronHigh Power Circulator

Pulse Transformer Tank
RF Window
IGBT Sw Cabinet

Variable Shorted WG

High power Water LoadCoupler Insertion Points
RF waveform
measured in 060428

福田 OHO-06 高周波源ー144

Accelerator Laboratory, KEK

その他の 1.3GHz RF 源

電子源 RF: 1.3GHz 10MW システム
陽電子源 RF: 1.3GHz 10MW システム

常電導部分はRF系は同じではない。RF源の集積度がたかい。
超電導 RF は MLと同じ。

RTML RF: ２ + 19 1.3GHz 10MW システム
（リング→ＭＬ）
バンチ圧縮等に使用される。移送と振幅の安定度の要求が非常に厳しい。
ビームローディングをビームトレイン間で保障するためにクライストロンの位相と振幅を替える必要がある。（速い）主ライナックにおけるより、より大きい平均電力がRF負荷に行く。
福田 OHO-06 高周波源ー145
位相と振幅のトラランスは厳しい
位相ジッター < 0.1°

電子源 BCD
laser

Accelerator Laboratory, KEK(A. Brachmann)

Positron-style roomtemperatureaccelerating section E=70-100 MeV

sub-harmonicbunchers + solenoids

standard ILC
SCRF modules

diagnostics
section-LasernGu|------------------ SC e Injector Linac ----------------------||---- RT Pre-Accelerator----|SHB Buncher
12 MeV / mTune-up dump(one spare per 9 klystrons)
Diagnostics(diagnostics section)|---- Spin Rotation& transfer to DR --|-Matching-|

21 CM (w QD) Æ ~ 5.5 GeV
E, ∆E diagnostics
Tune-up dump
(diagnostics section)

LasernGu

71 MeV
120 keV

12 MeV
Klystron 10 MW

12 tubes

Spare Klystron 10 MW

4 tubes

福田 OHO-06 高周波源ー146

Accelerator Laboratory, KEK

Table 1: ILC Positron Linac Systems, layout
LocationTAPATAPB
KAS TAPPPAKAS PPA
PBSTR
PBSTR
PBSTR

Energy Range
MeV
1-125
1-125
1-125
125-400
125-400
400-1135
1135-2605
2605-5000

Structure

Klystrons2x1.27 m SW, RT+3x4.3 m TW, RT
2x1.27 m SW, RT+3x4.3 m TW, RT
2x1.27 m SW, RT+3x4.3 m TW, RT
8x4.3 m TW, RT
8x4.3 m TW, RT
4xCM1, SC
6xCM2, SC
12xCM3, SC

5x10 MW5x10 MW5x10 MW8x10 MW8x10 MW
1x10MW
2x10 MW4x10 MW福田 OHO-06 高周波源ー147

陽電子入射器 RF システム
Accelerator Laboratory, KEK

X2X3

モジュレータとクライストロンの集積度は高いÆLayout Study and WG Configuration

福田 OHO-06 高周波源ー148

Accelerator Laboratory, KEK

ダンピングリングのRF源

周波数が主ライナックの1.3GHｚの半分の650MHｚになった。
→実際のRF源はまだ存在しないがKEKBの500MHｚと同様なので問題が無いと思われる。
DRではRF源が1台故障しても運転が止まらないように、RF源を大きめに設定する。少なくとも1台故障しても電力増強で補えるようにする。
RF源に必要な電力：フィードバックマージン＝10-20％
サーキュレータ等WG系の損失＝６％→(109kW×4)/（１−0.2)/(1-0.6)=580kW→(109kW×4×8)/7/（１−0.2)/(1-0.6)=662kW(1台故障） 800ｋWあれば
福田 OHO-06 高周波源ー1十分49

Accelerator Laboratory, KEK

DRのRF源の現在案

福田 OHO-06 高周波源ー150

Accelerator Laboratory, KEK

設計は固まったか？

• 2006年VancouverでのGDEミーティングで第一次コスト算出の結果、設計の見直しが必須であることが分かった。
• どうすればコストが下がるか？
トンネルの数、DRの数の場所、RF源の当初の数の見直し、設計自身の見直し。
• 将来に向けてADCの真剣な対応が必要となる。
福田 OHO-06 高周波源ー151

Accelerator Laboratory, KEK

まだまだ設計は固まらない• 本講義を参考に是非若い方の参加を希望します。
• 一緒にILC-500 のRF源の設計に携わりましょう。

ご清聴感謝します。
福田 OHO-06 高周波源ー152