Galvanometer Optical Scanner

ガルバノ光学スキャナ● GVM-0930S ● GVM-0930L● GVM-2260● GVM-2280

https://ccj.citizen.co.jp/● GVM-1445S ● GVM-1445L● GVM-2510

ガルバノ光学スキャナ&ドライバ
Galvanometer Optical Scanner & Driver■特長● 高速応答、低イナーシャ、高トルク■ Special Features

Fast response/ Low inertia / High torqueHigh linearity and positioning accuracy● Superior temperature characteristics●● 高精度なリニアリティー、位置精度●● 優れた温度特性■用途● レーザマーカ■ Examples of application

Laser Marking
Laser Microscope● Image capturing● Laser drilling, trimming and cutting● Non-contact sensoring and measuring● High speed printing●● レーザ顕微鏡●● 光造形装置● トリミング、ドリリングなどのレーザ加工● 各種レーザ応用の形状認識検査、測定装置● 高速度プリンタ目

次Contents

Features・Examples of Application ................................................................................................. p.1.......................................................................................... p.2
Scanner Selection・Model Number...................................................................................................................................................... p.3...................................................................................................................................................... p.4
GVM-0930L...................................................................................................................................................... p.5
GVM-1445S...................................................................................................................................................... p.6
GVM-1445L...................................................................................................................................................... p.7
GVM-2260...................................................................................................................................................... p.8
GVM-2280...................................................................................................................................................... p.9
GVM-2510
GVM-2260/ GVM-2280/ GVM-2510 コネクタピン配列 Connector Pin Sequence ............................................................. p.10
GVM-0930/ GVM-1445 専用接続ケーブル Dedicated Connection Cable ................................................................................ p.10............................................................................................................. p.11
選定、型式
Mirror Selection・Model Number
ミラー
Mirrorミラー / 材質 / コーティング一覧、ミラー組立・反射率データ図面 Mirror Substrate / Coating / Mirror Assembly・Reﬂectance Data ... p.12
ミラー Assy 図面 Mirror Assembly Drawing ........................................................................................................................................ p.13
ミラー取付角度 Mirror Mounting Angle ............................................................................................................................................... p.14
GVD0/ GVD1/ GVD2 仕様、外形寸法 GVD0/ GVD1/ GVD2 External Layout Drawing・Speciﬁcations ............................ p.15
ドライバ
Driver
ドライバ型式
Model Number ...................................................................................................................................................... p.18
製品取り扱い上のご注意 Cautions for Handling Our Product ................................................................................................................ p.19
用語説明 Terms and Deﬁnitions ............................................................................................................................................................................ p.21

特長・用途
選定、型式
スキャナ
Scanner
GVM-0930S

1

Galvanometer Optical Scanner

スキャナ

Scanner■ スキャナ選定 Scanner Selection
型

式

Model

φ3

GVM-0930S●

GVM-0930L●

GVM-1445S

φ5

レーザ径 (mm)Laser Beam Diameter (mm)

φ 7.5

φ 10

φ 15

φ 20

φ 30

シャフト接着固定
Fixed to shaft by adhesive●

GVM-1445L*ミラー組立の取付方法

Method to Fix *Mirror Assembly●

GVM-2260●

GVM-2280

クランプによる固定
Fixed to shaft by clampe with screws●

GVM-2510●*ミラー組立：ミラーとミラーホルダーの組合せ*Mirror Assembly: combination of a galvano mirror and a mirror holder● 推奨 Recommended ○ 対応可能 Available■ スキャナ型式 Scanner Model Number

GVM -1445S - 0 0 1 0 M - ＊＊スキャナ種類Scanner Typeカスタム登録番号

Registered Custom Number

0930S 、0930L
1445S 、1445L
2260、2280、2510

無記号：標準ラインアップ品
No Number : Standard Product*It is only used for customized
products

ミラー有無

振れ角 ( 機械角 )Scanning Angle (Mechanical Angle)
0：±10°
1：±15°
2：±20°
C ：カスタムWith or Without Mirror

0 ：ミラー無し Without mirror
M：ミラー付き With mirror

Bumpers set for ±10°scanning
Bumpers set for ±15°scanning
Bumpers set for ±20°scanning
Bumpers set for customized angle

ケーブル出口に対するミラー角度
Mirror Angle Against Cable

0：0°(ミラー無しの場合も0 ) (It is also 0 when without mirror)

ケーブル長
Cable Length

0：コネクタ出力 (GVM-0930 、GVM-1445)
GVM-0930, GVM-1445/Connectors are placed on board
1：500mm2：1000mm
3：2000mm
4：3000mm
5：300mm
C ：カスタム Custom / Customized cable Iength

出力軸形状Form of the Top Shaft

0：ストレート軸 (GVM-2260、GVM-2280、GVM-2510 は全て0）Straight (GVM-2260, GVM-2280 and GVM-2510)
1：ミラーホルダ形状 (GVM-0930、GVM-1445）

With Mirror Holder (GVM-0930 S/L and GVM-1445 S/L are all 1)

C ：カスタム Customized Shaft2

1：＋45°
2：−45°
3：−90°
4：＋90°
5：＋180°6：−135°
7：＋135°
C ：カスタム＋45°to connector−45°to connector−90°to connector＋90°to connector＋180°to connector−135°to connector＋135°to connector

Customized connector( p.14をご参照ください。 please see page 14 for more details. )Galvanometer Optical Scanner
Scanner■ 図面はGM7ミラー組立との組み合わせによるものです。

This drawing indicates the combination with GM7 mirror assembly.

（Unit：mm）

Ａ

1

X 軸

6

25

17

3.7

Spot Center0

スポット中心φ165mRAD Ａ16

φ9.5 -0.02■ GVM-0930S

スキャナ

反射面
● 専用の接続ケーブルがあります。

3.8

Reﬂective Surface（p.10 をご参照ください。）
Dedicated connection cable is required.
( please see page10 for more details )反射面● 専用の接続ケーブルがあります。

（p.10 をご参照ください。）
Dedicated connection cable is required.
( please see page10 for more details )慣性モーメント
コイル抵抗
コイルインダクタンス
トルク定数
逆起電圧定数ピーク電流
最大コイル許容温度
重

Items

量

25

g・cm

0.012

Coil ResistanceΩ

2.5 ± 10%

Coil InductancemH

0.054 ± 10%

2Torque ConstantmN・m/ A

1.28 ± 10%

Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.0224 ± 10%

Peak CurrentA

9 (Maximum)

Maximum Coil Temperature℃

110

Weightg

15

オフセットドリフト

μ rad

8

%

0.1 (Maximum)Oﬀset Driftμ rad/ ℃

10 (Maximum)

Gain Driftppm/ ℃

50 (Maximum)

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

Output Signal (Common Mode)

μA

350

Output Signal (Diﬀerential Mode)μ A/ deg

11

mA

30

ゲインドリフト

入力信号

27

Rotor Inertia

Non-Linearity（±10°）

差動信号

（0.5）

± 20

Repeatability

同相信号

12.9

15

GVM-0930S

非直線性（± 10 °）

出力信号

7.35

deg mech.

Maximum Scan Angle

再現性

ステップ応答時間

Reﬂective Surface

単 位 Unit目

最大振れ角（機械角）

10.8

17

Spot Center■ 仕様 Speciﬁcations
項

(12)

1
スポット中心5.2

AB
PD COM
AGC RETURNAGC INSHIELDSHIELDSHIELD− MOTOR WINDING＋ MOTOR WINDING

φ16

機能 Function

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

（0.5）

5mRAD Ａ

16

0

Pin No.

(J.S.T.)

φ9.5 -0.02

SM10B-ZPDSS-TF

(12)
27

Ａ

Y 軸

■ コネクタピン配列
Connector Pin Assignment

15

5.8

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナの組合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能です。詳細はお問合わせください。
(一部、対応できない組合せもございます。）* The values of the speciﬁcation are based on the combination of Citizen Chiba Precision
Servo Driver and Mirror.
* All angles shown are in mechanical angles.
* We can provide the data including step response time by preferred combination of
the mirror size and the scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(Some combinations may not be available.)3

Galvanometer Optical Scanner
Scanner■ 図面はGM7ミラー組立との組み合わせによるものです。

This drawing indicates the combination with GM7 mirror assembly.

（Unit：mm）

Ａ

1

X 軸

6

25

17

3.7

Spot Center0

スポット中心φ165mRAD Ａ16

φ9.5 -0.02■ GVM-0930L

スキャナ

反射面

Reﬂective Surface● 専用の接続ケーブルがあります。

（p.10をご参照ください。)
Dedicated connection cable is required.
( please see page10 for more details )慣性モーメント
コイル抵抗
コイルインダクタンス
トルク定数
逆起電圧定数ピーク電流
最大コイル許容温度
重量（0.5 ）

1725

反射面● 専用の接続ケーブルがあります。

7.35

Reﬂective Surface

12.9（p.10をご参照ください。
Dedicated connection cable is required.
( please see page10 for more details )

Items

目

最大振れ角（機械角）

10.8

Spot Center■ 仕様 Speciﬁcations
項

(12)

1
スポット中心5.2

AB
PD COM
AGC RETURNAGC INSHIELDSHIELDSHIELD− MOTOR WINDING＋ MOTOR WINDING

（0.5）

φ16

機 能 Function

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

(12)

5mRAD Ａ

16

0

Pin No.

(J.S.T.)33.9

φ9.5 -0.02

SM10B-ZPDSS-TF

21.9

Ａ

Y 軸

■ コネクタピン配列
Connector Pin Assignment

3.8
5.8

Maximum Scan Angle
Rotor Inertia

21.9
33.9

単 位 Unit

GVM-0930L

deg mech.

± 20

g・cm

0.016

2

Coil ResistanceΩ

1.9 ± 10%

Coil InductancemH

0.052 ± 10%

Torque ConstantmN・m/ A

1.9 ± 10%Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.0338 ± 10%

Peak CurrentA

10 (Maximum)

Maximum Coil Temperature

°
C

110

Weightg

18

再現性

Repeatability

オフセットドリフト

μ rad

8

%

0.1 (Maximum)
10 (Maximum)

非直線性（± 10 °）Non-Linearity（± 10 °）Oﬀset Driftμ rad/ °C

ゲインドリフトGain DriftCppm/ °

50 (Maximum)

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

Output Signal (Common Mode)μA

Output Signal (Diﬀerential Mode)μ A/ deg

ステップ応答時間
出力信号
入力信号

同相信号
差動信号

mA

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナの組合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能です。詳細はお問合わせください。
(一部、対応できない組合せもございます。）

350
11
30

* The values of the speciﬁcation are based on the combination of Citizen Chiba Precision
Servo Driver and Mirror.
* All angles shown are in mechanical angles.
* We can provide the data including step response time by preferred combination of
the mirror size and the scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(Some combinations may not be available.)4

Galvanometer Optical Scanner
Scanner■ 図面はGM0ミラー組立との組み合わせによるものです。

This drawing indicates the combination with GM0 mirror assembly.

X 軸

Ａ（Unit：mm）

0.9

5mRAD Ａ

6.3

17

10

25

Spot Center

φ16

スポット中心

016

φ14 -0.05■ GVM-1445S

スキャナ

反射面
● 専用の接続ケーブルがあります。

0.5
7.15

Reﬂective Surface（p.10をご参照ください。)
Dedicated connection cable is required.
( please see page10 for more details )慣性モーメント
コイル抵抗
コイルインダクタンス
トルク定数
逆起電圧定数ピーク電流
最大コイル許容温度
重量（0.5 ）

0.9

17
25

反射面
● 専用の接続ケーブルがあります。

0.5
9.8

Reﬂective Surface（p.10をご参照ください。)
Dedicated connection cable is required.
( please see page10 for more details )

Items

目

最大振れ角（機械角）

(12)

φ16

Spot Center■ 仕様 Speciﬁcations
項

11

スポット中心8.2

AB
PD COM
AGC RETURNAGC INSHIELDSHIELDSHIELD− MOTOR WINDING＋ MOTOR WINDING

5mRAD Ａ

16

機 能 Function

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

（0.5）

0

Pin No.

(J.S.T.)

Ａ

(12)
32.2

φ14 -0.05

SM10B-ZPDSS-TF

10.8

Y 軸

■ コネクタピン配列
Connector Pin Assignment

20.2

Maximum Scan Angle
Rotor Inertia

15.8

20.2
32.2

単 位 Unit

GVM-1445S

deg mech.

± 20

g・cm

0.059

2

Coil ResistanceΩ

1.8 ± 10%

Coil InductancemH

0.057 ± 10%

Torque ConstantmN・m/ A

2.8 ± 10%Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.049 ± 10%

Peak CurrentA

12 (Maximum)

Maximum Coil Temperature

°C

110

Weight

g

28

μ rad

8

再現性

Repeatability

オフセットドリフト

非直線性（± 10 °）Non-Linearity（± 10 °）%

0.1 (Maximum)Oﬀset Driftμ rad/ °C

10 (Maximum)

ゲインドリフトGain Driftppm/ °C

50 (Maximum)

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

Output Signal (Common Mode)μA

Output Signal (Diﬀerential Mode)μ A/ deg

11

mA

30

ステップ応答時間
出力信号
入力信号

同相信号
差動信号

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナの組合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能です。詳細はお問合わせください。
(一部、対応できない組合せもございます。）

350* The values of the speciﬁcation are based on the combination of Citizen Chiba Precision
Servo Driver and Mirror.
* All angles shown are in mechanical angles.
* We can provide the data including step response time by preferred combination of
the mirror size and the scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(Some combinations may not be available.)5

Galvanometer Optical Scanner
Scanner■ 図面はGM1ミラー組立との組み合わせによるものです。

This drawing indicates the combination with GM1 mirror assembly.

X 軸

Ａ（Unit：mm）

1.5

5mRAD Ａ

14.5

25

17

9

Spot Center

φ16

スポット中心

016

φ14 -0.05■ GVM-1445L

スキャナ● 専用の接続ケーブルがあります。

0.5
9.75

反射面

Reﬂective Surface（p.10をご参照ください。)
Dedicated connection cable is required.
( please see page10 for more details )慣性モーメント
コイル抵抗
コイルインダクタンス
トルク定数
逆起電圧定数ピーク電流
最大コイル許容温度
重量（p.10をご参照ください。）
Dedicated connection cable is required.
( please see page10 for more details )Items
Maximum Scan Angle
Rotor Inertia

17

単 位 Unit

GVM-1445L

deg mech.

± 20

g・cm

0.095

2

Ω

1.6 ± 10%mH

0.1 ± 10%Torque ConstantmN・m/ A

5.04 ± 10%

Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.088 ± 10%

Peak CurrentA

12 (Maximum)

Maximum Coil Temperature

°C

110

Weightg

40

オフセットドリフト

μ rad

8

%

0.1 (Maximum)Oﬀset Driftμ rad/ °C

10 (Maximum)

Gain Driftppm/ °C

50 (Maximum)

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

Output Signal (Common Mode)

μA

350

Output Signal (Diﬀerential Mode)μ A/ deg

11

mA

30

ゲインドリフト

入力信号

43.8

Coil Inductance

Non-Linearity（± 10 °）

差動信号

22.6

31.8

Coil Resistance

Repeatability

同相信号

25

● 専用の接続ケーブルがあります。

非直線性（± 10 °）

出力信号

0.5
13.7

Reﬂective Surface

再現性

ステップ応答時間（0.5 ）

0.4

反射面

目

最大振れ角（機械角）

16.8

Spot Center■ 仕様 Speciﬁcations
項

(12)

1.5

スポット中心12.6

AB
PD COM
AGC RETURNAGC INSHIELDSHIELDSHIELD− MOTOR WINDING＋ MOTOR WINDING

5mRAD Ａ

16

機 能 Function

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

（0.5 ）

φ16(J.S.T.)0

Pin No.

Ａ

(12)
43.8

φ14 -0.05

SM10B-ZPDSS-TF

14.7

Y 軸

■ コネクタピン配列
Connector Pin Assignment

31.8

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナの組合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能です。詳細はお問合わせください。
(一部、対応できない組合せもございます。）* The values of the speciﬁcation are based on the combination of Citizen Chiba Precision
Servo Driver and Mirror.
* All angles shown are in mechanical angles.
* We can provide the data including step response time by preferred combination of
the mirror size and the scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(Some combinations may not be available.)6

Galvanometer Optical Scanner

スキャナ■ GVM-2260

Scanner（Unit：mm）
L：ケーブル長型式 1~5 より選択

Select cable length from options (page 2)①センサコネクタ

ケーブル長 L

Sensor Connector

Cable Length

φ30- 0.01

φ4 -0.02

180

φ22 -0.05

19.8

5.8

②モータコネクタ
Motor Connector

42

Made by J.S.T. Mfg. Co., Ltd.

Y 軸
10.7

反射面

24

スポット中心Reﬂective Surface

反射面

Reﬂective Surface

16.4

19.6

Spot Center

15.65
21.5

22.3

項

Items

慣性モーメント
コイル抵抗
コイルインダクタンス
トルク定数
逆起電圧定数ピーク電流
最大コイル許容温度量58

単 位 Unit

GVM-2260deg mech.

± 20

g・cm

0.52

Coil ResistanceΩ

1.1 ± 10%

Coil InductancemH

0.1 ± 10%目

最大振れ角（機械角）

34. 8

58

■ 仕様 Speciﬁcations

重Made by HIROSE ELECTRIC CO., LTD.

② VHR-3N (J.S.T.)

This drawing indicates the combination with GM2 mirror assembly.

X 軸

Spot Center① DF1B-10DS-2.5RC ( ヒロセ電機 )■ 図面はGM2ミラー組立との組み合わせによるものです。

■ ミラー + スキャナ Mirror + Scanner

スポット中心

(16)

58

Maximum Scan Angle
Rotor Inertia

2Torque ConstantmN・m/ A

8 ± 10%Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.14 ± 10%

Peak CurrentA

21.8 (Maximum)

Maximum Coil Temperature

°C

110

g

Weight再現性

Repeatability

オフセットドリフト

155

μ rad

8

%

0.1 (Maximum)
10 (Maximum)

非直線性（± 10 °）Non-Linearity（± 10 °）Oﬀset Driftμ rad/ °C

ゲインドリフトGain Driftppm/ °C

50 (Maximum)

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

Output Signal (Common Mode)

μA

350

Output Signal (Diﬀerential Mode)μ A/ deg

11

mA

30

ステップ応答時間
出力信号
入力信号

同相信号
差動信号

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナの組合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能です。詳細はお問合わせください。
(一部、対応できない組合せもございます。）* The values of the speciﬁcation are based on the combination of Citizen Chiba Precision
Servo Driver and Mirror.
* All angles shown are in mechanical angles.
* We can provide the data including step response time by preferred combination of
the mirror size and the scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(Some combinations may not be available.)7

Galvanometer Optical Scanner

スキャナ■ GVM-2280

Scanner（Unit：mm）
L：ケーブル長型式 1~5 より選択

Select cable length from options (page 2)①センサコネクタ

ケーブル長 L

Sensor Connector

Cable Length

φ30- 0.01

φ5 -0.0218

φ22 -0.05

19.8

5.8

0

②モータコネクタ
Motor Connector

42

Made by HIROSE ELECTRIC CO., LTD.

② VHR-3N (J.S.T.)

Made by J.S.T. Mfg. Co., Ltd.

This drawing indicates the combination with GM4 mirror assembly.

X 軸

Y 軸
15.1

スポット中心反射面

32

Spot Center

Reﬂective Surface

反射面

Reﬂective Surface

25.7

23.7

0.64

Spot Center① DF1B-10DS-2.5RC ( ヒロセ電機 )■ 図面はGM4ミラー組立との組み合わせによるものです。

■ ミラー + スキャナ Mirror + Scanner

スポット中心

(16)

58

26.3

17.85
25. 9

■ 仕様 Speciﬁcations項
慣性モーメント
コイル抵抗
コイルインダクタンス
トルク定数
逆起電圧定数ピーク電流
最大コイル許容温度
重

Items

目

最大振れ角（機械角）

量

42.8

58

Maximum Scan Angle
Rotor Inertia

58

単 位 Unit

GVM-2280

deg mech.

± 20

g・cm

1.2

2

Coil ResistanceΩ

1.2 ± 10%

Coil InductancemH

0.19 ± 10%

Torque ConstantmN・m/ A

15 ± 10%Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.25 ± 10%

Peak CurrentA

20 (Maximum)

Maximum Coil Temperature

°C

110

Weight

g

170

μ rad

8

再現性

Repeatability

オフセットドリフト

非直線性（± 10 °）Non-Linearity（± 10 °）%

0.1 (Maximum)Oﬀset Driftμ rad/ °C

10 (Maximum)

ゲインドリフトGain Driftppm/ °C

50 (Maximum)

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

Output Signal (Common Mode)

μA

350

Output Signal (Diﬀerential Mode)μ A/ deg

11

mA

30

ステップ応答時間
出力信号
入力信号

同相信号
差動信号

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナの組合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能です。詳細はお問合わせください。
(一部、対応できない組合せもございます。）* The values of the speciﬁcation are based on the combination of Citizen Chiba Precision
Servo Driver and Mirror.
* All angles shown are in mechanical angles.
* We can provide the data including step response time by preferred combination of
the mirror size and the scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(Some combinations may not be available.)8

Galvanometer Optical Scanner

スキャナ■ GVM-2510

Scanner（Unit：mm）
L：ケーブル長型式 1~5 より選択

Select cable length from options (page 2)①センサコネクタ

ケーブル長 L

Sensor Connector- 0.01

φ6 -0.02

18

φ30

Cable Length0

φ25.4 -0.05

19.8

7.2

②モータコネクタ
Motor Connector

49

Made by HIROSE ELECTRIC CO., LTD.

② VHR-3N (J.S.T.)

Made by J.S.T. Mfg. Co., Ltd.

This drawing indicates the combination with GM5 mirror assembly.

X 軸

Y 軸
21.5

スポット中心反射面

43

Spot Center

Reﬂective Surface

反射面

Reﬂective Surface

37.4

Spot Center

68■ 図面はGM5ミラー組立との組み合わせによるものです。

■ ミラー + スキャナ Mirror + Scanner

スポット中心① DF1B-10DS-2.5RC (ヒロセ電機)

(19)

33.2

22.45
33.7

■ 仕様

68

Speciﬁcation
項

Items

目

最大振れ角（機械角）
慣性モーメント
コイル抵抗
コイルインダクタンス
トルク定数
逆起電圧定数ピーク電流
最大コイル許容温度
重

55.2

68

量

Maximum Scan Angle
Rotor Inertia

単 位 Unit

GVM-2510

deg mech.

± 20

g・cm

5.6

2

Coil ResistanceΩ

1.0 ± 10%

Coil InductancemH

0.3 ± 10%Torque ConstantmN・m/ A

32 ± 10%Back EMF Voltage

mV/ deg/ sec

0.56 ± 10%

Peak CurrentA

18.4 (Maximum)

Maximum Coil Temperature

°C

110

Weight

g

220

再現性

Repeatability

オフセットドリフト

μ rad

8

%

0.1 (Maximum)
10 (Maximum)

非直線性（± 10 °）Non-Linearity（± 10 °）Oﬀset Driftμ rad/ °C

ゲインドリフトGain Driftppm/ °C

50 (Maximum)

Step Response Timeμ sec

下記注意書参照 / Please see caution below

Output Signal (Common Mode)

μA

350

Output Signal (Diﬀerential Mode)μ A/ deg

11

mA

30

ステップ応答時間
出力信号
入力信号

同相信号
差動信号

Input Signal※ 仕様の値は弊社のサーボドライバとミラーの組み合わせによるものです。
※ 表記の角度はすべて機械角です。
※ ご希望のミラーサイズとスキャナの組合わせで、ステップ応答時間等のデータ取りが可能です。詳細はお問合わせください。
(一部、対応できない組合せもございます。）* The values of the speciﬁcation are based on the combination of Citizen Chiba Precision
Servo Driver and Mirror.
* All angles shown are in mechanical angles.
* We can provide the data including step response time by preferred combination of
the mirror size and the scanner. Please contact our sales representatives for more details.
(Some combinations may not be available.)9

Galvanometer Optical Scanner

GVM-2260/ GVM-2280/ GVM-2510 コネクタピン配列 Connector Pin Sequence■センサコネクタ
Sensor Connector

DF1B-10DS-2.5RC
Pin No.

■モータコネクタ
Motor Connector( ヒロセ電機 )機 能 Function

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

Pin No.

A
B
PD COM
AGC RETURNAGC INNC
SHIELD
NC
NC
NC

VHR-3N ( JST )機 能 Function

1

フレームグラウンド2

ガルバノスキャナ −極3

ガルバノスキャナ ＋極Frame ground− Motor Winding＋ Motor Winding

GVM-0930/ GVM-1445 専用接続ケーブル Dedicated Connection Cable■ ケーブル型式 Cable Model Number

GC 0 0 - ＊＊ケーブル長

Cable Length
0：250mm
1：300mm2：500mm3：1000mm
4：3000mm
5：2000mm
C ：カスタム

カスタム登録番号

Registered Custom Number

無記号：標準ラインアップ品

No Number : Standard Product*Only used for customized products

コネクタ

Connector
Standard
0：標準
C ：カスタム Customized connector

Customized cable length■ ケーブル図 Cable Drawing
ZPDR-10V-S（Unit：mm）(日本圧着端子製造株式会社)( J.S.T. Mfg. Co., Ltd.)DF1B-10DS-2.5RC( ヒロセ電機 )( HIROSE ELECTRIC CO., LTD.)

スキャナ側

ドライバ側

To Scanner

To Driver

L

型式

Model

GC00
GC10
GC20

寸 法 Length L (mm)250

Pin No.

500
1000

GC50

2000

GC40

DF1B-10DS-2.5RC

300

GC30

■ コネクタピン配列
Connector Pin Sequence

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10

3000

10

(ヒロセ電機)機 能 Function

A
B
PD COM
AGC RETURNAGC INNC
SHIELDSHIELD− MOTOR WINDING＋ MOTOR WINDING

Galvanometer Optical Scannerミラー■ ミラー選定 Mirror Selection

Mirror

ミラー材質：シリコン Mirror Substrate：Si (Silicon)

ミラー型番
Mirror Model

GM0

GM1

GM2

GM4

GM5

GM6

GM7

レーザ径 (mm)Laser Beam Diameter (mm)

φ5

φ 7.5

φ 10

φ 15

φ 20

φ 30

φ3

GVM-0930S●

GVM-0930L●

GVM-1445S
対応スキャナScanner●

GVM-1445L●

GVM-2260●

GVM-2280●

GVM-2510●

接着固定
Fixed to shaft by adhesive

ホルダタイプ
Holder type

■

※

■

■

クランプ固定Clamped with screws

ミラー組立慣性モーメント (g･cm²)

■

■

■

■

X軸

0.012

0.072

0.35

1.1

5.7

35

0.0054Mirror Assembly
Inertia (g･cm²)

Y軸

0.016

0.098

0.45

1.9

7.8

50

0.0059● 推奨 Recommended

対応可能 Available■ ミラー型式※

GVM-1445Lとφ10ミラーの組み合わせは、接着固定となります。

If combining GVM-1445L with φ10 mirror, the mirror holder will be ﬁxed to theshaft by adhesive.

Mirror Model Number

G M 0 X 0 0 - ＊＊レーザビーム径 Laser Beam Diameter
0：φ5mm
1：φ7.5mm
2：φ10mm
3： ー
4：φ15mm
5：φ20mm
6：φ30mm
7：φ3mmC ：カスタム Customized mirror

カスタム登録番号

No Number: Standard Product*It is only used for customized products

コーティング種類

Coating

0：Au ( 金 ) コーティング(10.6μm 用 )1：Ag ( 銀 ) コーティング(1064nm & 532nm 用 )2：誘電体多層膜

ミラー形状

Mirror Shape

X：横長ミラーY ：縦長ミラー
C ：カスタムミラー材質

X or ﬁrst mirror(1064nm 用 )C ：カスタム

Y or second mirror

Customized mirror

Mirror Substrate

0：Si
1：ー
2：SiO 2
C ：カスタム

Registered Custom Number

無記号：標準ラインアップ品

Si Silicon-

SiO 2 Quartz ( 石英 )Customized substrate

11

Au (Gold) coating(10.6μm)

Ag (Silver) coating(1064nm or 532nm)

Dielectric multilayer coating(1064nm)
Customized coating

Galvanometer Optical Scannerミラー

Mirror■ ミラー材質・推奨コーティング Mirror Substrate / Recommended Coating
ミラー型番
Mirror model

レーザ径
Laser Beam Diameter

ミラー材質
Mirror Substrate

GM0

φ5

Si (Silicon)

銀

GM1

φ 7.5

Si (Silicon)

金／銀

Au (Gold) / Ag (Silver) Coating

GM2

φ 10

Si (Silicon)

金／銀

Au (Gold) / Ag (Silver) Coating

GM4

φ 15

GM5

φ 20

GM6

φ 30

GM7

φ3

SiO 2 ( 石英 Quartz)
Si (Silicon)

推奨コーティング
Recommended Coating

Ag (Silver) Coating

誘電（YAG1064nm 用） Dielectric Multilayer Coating (For YMG1064nm)
金／銀

SiO 2 ( 石英 Quartz)
Si (Silicon)

誘電（YAG1064nm 用） Dielectric Multilayer Coating (For YMG1064nm)
Au (Gold) Coating

金

SiO 2 ( 石英 Quartz)
Si (Silicon)

Au (Gold) / Ag (Silver) Coating

誘電（YAG1064nm 用） Dielectric Multilayer Coating (For YMG1064nm)
Au (Gold) Coating

金

SiO 2 ( 石英 Quartz)

誘電（YAG1064nm 用） Dielectric Multilayer Coating (For YMG1064nm)

SiO 2 ( 石英 Quartz)

銀

Ag (Silver) Coating■ レーザ仕様によりコーティングを使い分けます。
・金：主にCO₂ レーザ用（波長10.6μm）
・銀：主に可視光レーザ用（波長532nm、1064nmなど）
・誘電体多層膜：主にYAGレーザにて最高反射率用（波長1064nmなど）■ You can select coating depending on the wavelength of the laser beam.

※誘電体多層膜コーティングは、使用波長でコーティング層が異なります。

・Au (Gold) Coating：Mainly for CO₂ laser (wavelength 10.6μm)
・Ag (Silver) Coating : Mainly for visible ray laser (wavelength 532nm, 1064nm etc.)
・Dielectric Multilayer Coating：Mainly for maximum reﬂectance with YAG laser(wavelength 1064nm etc.)*The coating layer of the Dielectric Multilayer Coating diﬀers depending on the
wavelength used.

■ コーティング・反射率データ (入射角 45°) *1 Coating-Reﬂectance Data (Incident Angle 45°) *1
表2 (Table2)

Ag (銀) コーティング Ag (silver) coating

100

100

95

95

Reﬂectance (%)

Reﬂectance (%)

表1 (Table1)

90

85

80
350

表3 (Table3)

450

550

650

750

850

Wavelength (nm)

950

1050

90

80
2510

1150

誘電体多層膜 *2 Dielectric Multilayer Coating *2*1

80

Reﬂectance (%)

Au (Gold) coating

85

100

60

20

950

1000

1050

Wavelength (nm)

1100

1150

1200

12

5010

7510

Wavelength (nm)

10010

12510

反射率データのグラフは、仕様を保証するものではありません。
シミュレーションの結果であり、実測値とは異なる場合がございます。

*1

Reﬂectance values in the line graph are simulated result andare not guaranteed. Please note that values may diﬀer from the actual data.

*2

誘電体多層膜は、任意の波長帯域に合わせて、高反射率を得られるように設計が可能です。表3はカタログ標準品のデータとなります。
波長帯域のカスタマイズをご希望される場合は、営業担当者まで
お問い合わせ下さい。

*2

Dielectric multilayer coating will be able to have high reﬂectance values
by matching appropriate wavelength. Table3 is a data with our standard
wavelength. Please contact the sales representative for customization with
diﬀerent wavelengths.

40

0
900

Au (金 ) コーティング

Galvanometer Optical Scanner

ミラー*GM0はp.5 / GM1はp.6 / GM7はp.3 またはp.4をご参照ください。

■ ミラー組立図面 Mirror Assembly Drawing

X軸

レーザ径 φ 10
Laser Beam
Diameter φ10

Y軸
14.7

ネジ締結
Screw
Clamping

反射面
Reﬂective Surface

10.7

Ａ

ネジ締結
Screw
Clamping

28

24

3mRAD Ａ Ａ

GM4

φ4深サ5.5
Depth

6.5

GM5

17.54

32

スポット中心Spot Center

2.2

X軸
21.5

反射面
Reﬂective
Surface

反射面
Reﬂective
Surface

43

29.4

Ａ

3

GM6

スポット中心Spot Center

3

22.15

X軸

レーザ径 φ 30
Laser Beam
Diameter φ30

スポット中心Spot Center

32.9

32.5

反射面
Reﬂective
Surface

ネジ締結
Screw
Clamping

68

3mRAD Ａ

反射面
Reﬂective
Surface

64

4.5

Ａ

φ6深サ6.9
Depth

7.9

44

55.4

Ａ

スポット中心Spot Center

27.65

4.5

13

22

27.7

ネジ締結
Screw
Clamping

7.9

Y軸
36.5

3mRAD Ａφ6深サ6.9
Depth

●

7.9

φ6深サ6.9Depth

φ6深サ6.9
Depth

37.4

Ａ

47

3mRAD Ａ

ネジ締結
Screw
Clamping

18.7

ネジ締結
Screw
Clamping

スポット中心Spot Center

26

Y軸
25.5

3mRAD Ａ

6.5

14.7

レーザ径 φ 20
Laser Beam
Diameter φ20

反射面
Reﬂective
Surface

0.81

Ａ

φ5深サ5.5
Depth

6.5

3mRAD Ａ

25.7

12.85

Ａ

36

ネジ締結
反射面
Screw
Clamping
Reﬂective Surface

15.1

3mRAD Ａ

2.2

スポット中心Spot Center

22

Y軸
19.1

ネジ締結
Screw
Clamping●

1.5

スポット中心Spot Center

15.35

X軸

レーザ径 φ 15
Laser Beam
Diameter φ15

φ5深サ5.5
Depth

●

6.5

16.4

19.6

φ4深サ5.5
Depth

1.5

反射面
Reﬂective
Surface8.2

9.8

3mRAD Ａ

11.85

GM2

*Please see page 5 for GM0 / page 6 for GM1 / page 3 or 4 for GM7

23.7

●

Mirror

7.9

43.4

スポット中心Spot Center

Galvanometer Optical Scannerミラー

Mirror Mounting Angle

GVM-0930 ／ GVM-1445

0: 0 ° 5: +180 °GVM-2260 ／ GVM-2280 ／ GVM-2510
0: 0 ° 5: +180 °コネクタ Connector

反射面 Reﬂective Surface

ケーブル Cable

反射面 Reﬂective Surface

ミラー角度型式：5

ミラー角度型式：5Mirror Angle No : 5( +180°)Mirror Angle No : 5( +180°)0°

反射面 Reﬂective Surface0°

反射面 Reﬂective Surface

ミラー角度型式：0ミラー角度型式：0Mirror Angle No : 0( 0°)

Mirror Angle No : 0( 0°)

1: +45 ° 6: -135°

1: +45 ° 6: -135°

反射面 Reﬂective Surface

ミラー角度型式：6＋45°Mirror Angle No : 6( -135°)

反射面 Reﬂective Surface

反射面 Reﬂective Surface

ミラー角度型式：1

反射面 Reﬂective Surface

ミラー角度型式：6Mirror Angle No : 6( -135°)+45°■ ミラー取付角度

Mirrorミラー角度型式：1

Mirror Angle No : 1( +45°)

Mirror Angle No : 1( +45°)

2: -45° 7: +135 °2: -45° 7: +135 °反射面 Reﬂective Surface

ミラー角度型式：7- 45°

Mirror Angle No : 7( +135°)°Mirror Angle No : 7( +135°)- 45

反射面 Reﬂective Surface

ミラー角度型式：7

反射面 Reﬂective Surface

反射面 Reﬂective Surface

ミラー角度型式：2

ミラー角度型式：2

Mirror Angle No : 2( -45°)

Mirror Angle No : 2( -45°)

3: -90° 4: +90 °0°

反射面 Reﬂective Surface0°ミラー角度型式：4-9

反射面 Reﬂective Surface-9

3: -90° 4: +90 °

ミラー角度型式：4Mirror Angle No : 4( +90°)

Mirror Angle No : 4( +90°)

反射面 Reﬂective Surface0°
反射面 Reﬂective Surface

ミラー角度型式：3

ミラー角度型式：3Mirror Angle No : 3( -90°)

Mirror Angle No : 3( -90°)※上記ミラーは各レーザ径にて±10°機械角で設計されています。±10°を超える角度での使用を希望される場合は、弊社営業部までお問合わせください。

* All mirrors above are designed with mechanical angle ±10°for each laser diameter. If you would like to use it at an angle more than ± 10 °, please contact our sales representatives for details.

GVM -1445S - 0 0 1 0 M - ＊＊スキャナ種類 Scanner Type

0930S 、0930L
1445S 、1445L
2260、2280、2510

カスタム登録番号 Registered Custom Number
無記号：標準ラインアップ品
No Number : Standard Product*It is used for customized products only.

振れ角 ( 機械角 ) Mechanical Angle

0：±10°
1：±15°
2：±20°
C ：カスタム

Bumpers set for ±10°scanning
Bumpers set for ±15°scanning
Bumpers set for ±20°scanning
Bumpers set for customized angle

ミラー有無 With or Without Mirror

0 ：ミラー無し without mirror
M：ミラー付き with mirror

ケーブル長 Cable Length

0：コネクタ出力 (GVM-0930 、GVM-1445)

ケーブル出口に対するミラー角度 Mirror Angle Against Cable

GVM-0930, GVM-1445 / Connectors are placed on board
4：3000mm
5：300mm
C ：カスタム Customized cable Iength

0：0°( ミラー無しの場合も 0 ）1：500mm2：1000mm
3：2000mm

出力軸形状 Form of the Top Shaft

0：ストレート軸 ( GVM-2260、GVM-2280、GVM-2510 は全て0 ）Straight ( GVM-2260, GVM-2280 and GVM-2510 )1：ミラーホルダ形状 ( GVM-0930 S/L および GVM-1445S/Lは全て1 ）With Mirror holder ( GVM-0930 S/L and GVM-1445 S/L are all 1)

C ：カスタム Customized Shaft

14

without mirror or aligned with connector＋45°to connector-45°to connector-90°to connector＋90°to connector＋180°to connector-135°to connector＋135°to connector
Customized angle to connector

1：＋45°
2：-45°
3：-90°
4：＋90°
5：＋180°
6：-135°
7：＋135°
C ：カスタムGalvanometer Optical Scanner

ドライバ■ GVD0

Driver■ 外形寸法図 Outline Drawing

58

3（Unit：mm）

4

4

2×φ3

4

78

（6.5 ）

86
78

2×φ3.5

（6）

26

5

5

4

■ Speciﬁcations■ ドライバ仕様型
電源

指令信号入力モニター出力機

GVD0 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊

式
電

源

電

圧

Model

± 15V 又は ± 24V

Power

GVD0 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊Power Voltage± 15V or ± 24V

Max. Operating Current

2.5A RMS

最大動作電流2.5A RMS

ピ ー ク 電 流*

10A

電圧範囲 ( 差動 )± 3V ／± 5V ／± 10V

入力インピーダンス

20k Ω ( 差動入力時 )Command Voltage(Diﬀerential)
Signal Input Input Impedance

20k Ω (At diﬀerential input)

Monitor Output Position Output± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

Peak Current*

位

置

出

力

± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

入

力

信

号

サーボ ON

Input Signal

出

力

信

号

レディー

Output Signal

ドライバ過熱

能
保

護

機

能

オーバーポジション

Protection

0 〜＋ 50 ℃

寸法

93 x 57.5 x 31 mm

重量

約 60g ( ヒートシンク含む )P 制御と PI 制御の違いについて

ガルバノスキャナサーボドライバ GVD シリーズには P 制御と PI 制御があります。
使用される用途に応じて下記を参考に選択してください。

Servo ON
Ready
Over positioning
Over current
Sensor error

センサ異常
使 用 温 度 範 囲± 3V ／± 5V ／± 10V

Over heating

Function

過電流

10A

Ambient Temperature Range

0℃ to ＋ 50 ℃

Dimension

93 x 57.5 x 31 mm

Weight60g (with heat sink)

Our Galvanometer Optical Scanner (GVD) have two options in control systems:
P Contorl and PI Control Systems.

Please read the following description of the systems and select one according to your application.

・P 制御

P Control :・PI 制御PI Control :指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーに比例した信号を出力します。
時間積分しないためサーボクローズドループ帯域が高くなります。
従ってスキャナは高速に応答し、速やかに整定します。
歪みやフリクションが生じた場合、指令に対して位置誤差が発生します。

This control will output the signal proportional to the error which is obtained by comparing
position feedback and command signal. The scanner responds fast and stabilizes position quickly
because servo closed loop band becomes high by not integrate the time. In case of distortion or
friction, a position error may occur against the command.

指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーを時間積分し出力します。
このため歪みやフリクションに関係なく定常状態 ( 非常に小さい位置誤差の状態 ) を保つことができます。
この積分によって非常に高い位置再現性が得られます。
整定時間の高速性を重視する場合は P 制御を、位置再現性を重視する場合は PI 制御
を選択してください。

This control will output the time-integrated signal of the error which is obtained by comparing
position feedback and command signal. Therefore, it is possible to maintain a stationary state(a state with extremely small position error) regardless of distortion or friction. This integration
provides very high position repeatability.
Please select P Control if considering for the high speed stabilization time, or PI Control for highposition repeatability.

*Peek current may have limit, depends on Galvo type and power supply voltage.

*ピーク電流は使用するスキャナ及び電源電圧等により電流値が制限される場合があります。

15

Galvanometer Optical Scanner

ドライバ■ GVD1

Driver■ 外形寸法図 Outline Drawing

3.8

66.5

3

（Unit：mm）

101.6
97.2

43.8

6

29.6

26

12.3

12.3

4.7

21.6

3.8

94

■ Speciﬁcations■ ドライバ仕様型
電源

指令信号入力モニター出力機

GVD1 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊

式
電

源

電

圧

Model

± 15V 又は ± 24V

Power

GVD1 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊Power Voltage± 15V or ±24V

Max. Operating Current

5.0A RMS

最大動作電流5.0A RMS

ピ ー ク 電 流*

11.5A

電圧範囲 ( 差動 )± 3V ／± 5V ／± 10V

入力インピーダンス

20k Ω ( 差動入力時 )Command Voltage(Diﬀerential)
Signal Input Input Impedance

20k Ω (At diﬀerential input)

Monitor Output Position Output± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

Peak Current*

11.5A± 3V ／± 5V ／± 10V

位

置

出

力

± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

入

力

信

号

サーボ OFF

Input Signal

Servo OFF

出

力

信

号

位置、速度、電流、位置偏差、
アラーム、90% 負荷警告

Output Signal

Position / Speed / Current / Position error
Alarm / 90% Load Warning

ドライバ過熱、オーバーポジション

能
保

護

機

能

Over heating / Over positioning

Function

過電流、センサ異常Over current / Sensor error
Protection

電源電圧低下

90% Load Warning

90％ 負荷警告使 用 温 度 範 囲Power Source Voltage Reduction
Alarm

アラーム

0 〜＋ 50 ℃

Ambient Temperature Range

寸法101.6 x 66.5 x 30.8 mm

Dimension

重量

約 90g ( ヒートシンク込み )WeightP 制御と PI 制御の違いについて

0℃ to ＋ 50 ℃
101.6 x 66.5 x 30.8 mm
90g (with heat sink)

Our Galvanometer Optical Scanner (GVD) have two options in control systems:
P Contorl and PI Control Systems.

ガルバノスキャナサーボドライバ GVD シリーズには P 制御と PI 制御があります。
使用される用途に応じて下記を参考に選択してください。

Please read the following description of the systems and select one according to your application.

・P 制御

P Control :・PI 制御PI Control :指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーに比例した信号を出力します。
時間積分しないためサーボクローズドループ帯域が高くなります。
従ってスキャナは高速に応答し、速やかに整定します。
歪みやフリクションが生じた場合、指令に対して位置誤差が発生します。

This control will output the signal proportional to the error which is obtained by comparing
position feedback and command signal. The scanner responds fast and stabilizes position quickly
because servo closed loop band becomes high by not integrate the time. In case of distortion or
friction, a position error may occur against the command.

指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーを時間積分し出力します。
このため歪みやフリクションに関係なく定常状態 ( 非常に小さい位置誤差の状態 ) を保つことができます。
この積分によって非常に高い位置再現性が得られます。
整定時間の高速性を重視する場合は P 制御を、位置再現性を重視する場合は PI 制御
を選択してください。

This control will output the time-integrated signal of the error which is obtained by comparing
position feedback and command signal. Therefore, it is possible to maintain a stationary state(a state with extremely small position error) regardless of distortion or friction. This integration
provides very high position repeatability.
Please select P Control if considering for the high speed stabilization time, or PI Control for highposition repeatability.

*Peek current may have limit, depends on Galvo type and power supply voltage.

*ピーク電流は使用するスキャナ及び電源電圧等により電流値が制限される場合があります。

16

Galvanometer Optical Scanner

ドライバ■ GVD2

Driver■ 外形寸法図 Outline Drawing（Unit：mm）

3.2

2 ×φ3.2

58.6

9

48.6

2.7

2.9

54
48.2

2.9

26.6

6.2

2×φ3.2■ Speciﬁcations■ ドライバ仕様型
源

指令信号入力モニター出力機

GVD2 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊

式
電

電

21.6

6.2

2.7

源

電

圧

Model

± 15V 又は ± 24V

Power

GVD2 - ＊＊＊＊＊＊ - ＊＊Power Voltage± 15V or ±24V

Max. Operating Current

2.5A RMS

最大動作電流2.5A RMS

ピ ー ク 電 流*

10A

電圧範囲 ( 差動 )± 3V ／± 5V ／± 10V

入力インピーダンス

20k Ω ( 差動入力時 )Command Voltage(Diﬀerential)
Signal Input Input Impedance

20k Ω (At diﬀerential input)

Monitor Output Position Output± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

Peak Current*

10A± 3V ／± 5V ／± 10V

位

置

出

力

± 1.5V ／± 2.5V ／± 5V

入

力

信

号

サーボ OFF

Input Signal

Servo OFF

出

力

信

号

位置、速度、電流、レディー、
位置偏差

Output Signal

Position, Speed, Current, Ready,
Position error

能ドライバ過熱保護機能Function

オーバーポジション

Over heating
Protection

過電流0 〜＋ 50 ℃

Over current
Sensor error

センサ異常
使 用 温 度 範 囲Over positioning

Ambient Temperature Range

寸法58.6 x 54 x 31.6 mm

Dimension

重量約 55g ( ヒートシンク込み )WeightP 制御と PI 制御の違いについて

0 ℃ to ＋ 50 ℃
58.6 x 54 x 31.6 mm
55g (with heat sink)

Our Galvanometer Optical Scanner (GVD) have two options in control systems:
P Contorl and PI Control Systems.

ガルバノスキャナサーボドライバ GVD シリーズには P 制御と PI 制御があります。
使用される用途に応じて下記を参考に選択してください。

Please read the following description of the systems and select one according to your application.

・P 制御

P Control :・PI 制御PI Control :指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーに比例した信号を出力します。
時間積分しないためサーボクローズドループ帯域が高くなります。
従ってスキャナは高速に応答し、速やかに整定します。
歪みやフリクションが生じた場合、指令に対して位置誤差が発生します。

This control will output the signal proportional to the error which is obtained by comparing
position feedback and command signal. The scanner responds fast and stabilizes position quickly
because servo closed loop band becomes high by not integrate the time. In case of distortion or
friction, a position error may occur against the command.

指令信号と位置フィードバック信号を比較しエラーを時間積分し出力します。
このため歪みやフリクションに関係なく定常状態 ( 非常に小さい位置誤差の状態 ) を保つことができます。
この積分によって非常に高い位置再現性が得られます。
整定時間の高速性を重視する場合は P 制御を、位置再現性を重視する場合は PI 制御
を選択してください。

This control will output the time-integrated signal of the error which is obtained by comparing
position feedback and command signal. Therefore, it is possible to maintain a stationary state(a state with extremely small position error) regardless of distortion or friction. This integration
provides very high position repeatability.
Please select P Control if considering for the high speed stabilization time, or PI Control for highposition repeatability.

*Peek current may have limit, depends on Galvo type and power supply voltage.

*ピーク電流は使用するスキャナ及び電源電圧等により電流値が制限される場合があります。

17

Galvanometer Optical Scanner

ドライバ

Driver■ ドライバ型式 Driver Model Number

GVD0 /1/2- 0 0 0 0 0 0 - ＊＊電源電圧
Power Voltage

カスタム登録番号
Registered Custom Number

0：±15V
1：±24V

無記号：標準ラインアップ品
No Number : Standard Product*It is only used for customized products

ミラーサイズ

制御方式
Control System

Mirror size

0：φ3mm1：φ5 mm2：φ7.5mm
3：φ10mm
4： ー
5：φ15mm
6：φ20 mm
7：φ30 mm
C ：カスタム Customized size

0：P 制御 P Control
1：PI 制御 PI Control

指令電圧Command Voltage

0：±10V
1：±3V
2：±5V
C ：カスタム Customized voltage

スキャナ種類Scanner Type

振れ角 ( 機械角 )Mechanical Angle
0：±10 °
1：±5°
2：±7.5 °3：±12.5 °4：±15 °
5：±20 °
C ：カスタム0：0930S
1：0930L
2：1445S
3：1445L
4：22605：22806：2510Bumpers set for ±10 °scanning
Bumpers set for ±5°scanning
Bumpers set for ±7.5 °scanning
Bumpers set for ±12.5 °scanning
Bumpers set for ±15 °scanning
Bumpers set for ±20 °scanning
Bumpers set for customized angle

18

製品取り扱い上のご注意
スキャナ、ドライバ、及び付属製品は、精密加工製品であり、製品取り扱い上の注意など、ここに記載した事項は全て正しく理解され、取り扱われることを前提としております。

ご使用にあたり、製品知識の習熟と安全に対する確認を頂いてからご使用をお願い致します。
安全上、最小限の注意内容は下記のとおりです。

【開梱時の注意】● 製品受領後、外観に異常が無いか、ご注文通りの製品であるかをご確認ください。

【取り扱い上の注意】

1. 電源投入前に、必ず配線の確認をしてください。誤配線は異常動作および故障の原因となります。
2. モータケーブルまたはリード線を持って、引っ張ったり、根元から折り曲げたりしないでください。
故障の原因になります。

3. 小型精密機器のため、やむを得ず接着等で強度を確保している部位が多くあります。接合部に衝撃やストレスをかけないよう、取り扱いに注意してください。
故障やけがの原因になります。
4. 軸への衝撃や、ラジアル荷重を加えないでください。故障、動作不良の原因になります。
5. 配線処理作業は、静電気対策を取った環境で行ってください。

6. 腐食性ガス・有害なガスなどを発生する物質が存在する環境下での使用、及び保管は行わないでください。また、
ホコリ、水滴または油が製品内部に入らないようにしてください。

7. 発煙、異常発熱、異臭、異常音、異常振動などが発生した場合、直ちに運転を停止し、電源をお切りください。
8. ドライバ、その他オプション品の取り付けは外形図の規格に沿ったネジをご使用ください。特にドライバ固定用のネジが長すぎると基板を傷つけ、誤動作、ショート、火災の原因になります。

9. モータおよびその付属品の寿命は、負荷条件・動作モード・使用環境によって大きく異なりますので
実機動作確認を十分に行ってください。

【保証範囲】

1. 納入後1年以内にお客様の取扱方法に誤りがなく故障した場合、弊社への持ち込み、又は貨物での発送に限って無償保証と致します。修理には多少の日数を要しますので、ご了承ください。

2. 製品がお客様の取扱ミスにより故障した場合、又はいかなる故障でも納入後1年間を経過したものにつきましては、有償修理とさせて頂きます。その際も前記同様、弊社への持ち込み又は貨物での発送に限って対応させて頂きます。

修理には多少の日数を要するため、重要なシステムに導入される場合は、予備品のご購入をご検討頂きますようお願い申し上げます。

3. 弊社へ発送される際、クッション材を十分に入れて、できるだけ製品に外部の振動等が伝わらないように梱包してください。
【その他の注意】

1. 不具合などがございましたら、分解などはせずにそのままの状態を保ち、ご一報の上ご返送ください。製品は弊社へご返送いただくか、お持ち込みいただいた場合のみ調査・修理いたします。

2. カタログに記載の内容は、予告なく変更する場合がございます。ご了承ください。

Cautions for Handling Our Products

19

Cautions for Handling Our Products
Our Scanners, drivers, and accessories are precision-machined products and it is assumed that all thecautions and warnings listed below are correctly understood and handled.

Please do not install, operate, maintain or inspect the product until you have a full knowledge on the product, safety
information and cautions.
The minimum cautions required for your safety are as follow.

【Caution When Unpacking】

When you received the product, please check the package for damage and if it is the product you ordered.

●【Cautions for Handling】
1.

2.
3.
4.

5.

Be sure to check the wiring before turning on the power.
Failure to follow this caution may result in mechanical damage and/or operation error.

The cables or lead wires should not be damaged, stressed excessively, loaded heavily, or pinched.
Failure to follow this causion may result in malfuncition and/or the products would not operate correctly.

Since they are small precision products, there are many parts where strength is secured by adhesion.
Please handle with care such as do not apply impact or stress to the joints of the gear and encoder.
Failure to follow this caution may result in injury and/or malfunction.

Please do not apply impact or radial load to the shaft. Failure to follow this caution may result in malfunction.

Please process in an anti-static environment.

Failure to follow this caution, such as screws are too long and/or ﬁxing torque excessive, may result in amalfunction for mechanical parts inside may be deformed or destroyed.

6.

7. Please do not use or store the product in an environment subject to corrosive gas or any otherhazardous gas. Also, please keep dust, water or oil out of the product.

8. If smoke, abnormal heat generation, strange odor, abnormal noise, abnormal vibration, etc. occur,

please stop operating immediately and turn oﬀ the power.

9. When mounting the driver and other optional items, please use screws that conform to the speciﬁcations in theoutline drawing. Especially, if the screw for ﬁxing the driver is too long, it may damage the board, causing malfunction,short circuit, or ﬁre.

10. Since the life of the motor and its accessories varies greatly depending on the load conditions, operating mode, andoperating environment, please check the operation of the actual machine thoroughly.

【Product Warranty】
1.

Duration of our product warranty is one year from the date of delivery. If the customer discovered a defect in material
and workmanship within this period, we will repair the product for free of charge.

2.

For the defect caused by “misuse” or “mishandling” by any party, or the defect caused later than one year from the dateof delivery, the customer is responsible for repairing charges. We will repair the product only if the customer carried it inor sent it back to our company address by customerʼs expense.

3.

Please note that it would take several days to repair.

Please note that since it would take several days to repair, please consider to purchase spare parts if installing
our product into an important system.

We are not liable to the damages caused while in transit. Please pack the product with suﬃcient cushioning
materials to prevent external vibration.

【Other】
1.

If you got any problem with our product, please do not disassemble it and keep it as it is. Then please contact
our sales representatives and follow the instructions.

2.

Information listed above is subject to change without notice.
For further information, please contact our sales representatives or our authorized distributors.

20

Galvanometer Optical Scanner●Terms and Deﬁnitions

非直線性 ( 図 1)

理想走査角度からの誤差の比率。
各指令間の角度を測定して直線近似し、近似値のフルスケール値を分母とし、近似値からの誤差のピーク値を分子とし計算します。

●( 図 1)(Figure 1)

走査角度Scan angle

用語説明

Non-Linearity (Figure 1)

Δθ1This is a ratio of error against ideal scan angle. Measure the angle between
each command and ﬁnd the linear approximation at ﬁrst. Then calculate nonlinearity by setting approximation of full-scale value as the denominator anddiﬀerence of peak value from approximation as the numerator.

位置指令
Positional commandΔθ2┃Δθ1┃＋┃Δθ2┃

θFS

Non-Linearity●

×100 (%)

オフセットドリフト ( 図 2)

温度によるオフセットの変化量。
振れ角 0°に固定し、周囲温度を 10 〜 50℃ で変化させた時の位置変化量を測定し算出します。

●

ゲインドリフト ( 図 3)

温度によるゲインの変化量。
最大走査角 ±n°にて周囲温度を 10 〜 50℃で変化させた時の位置変化量を測定し算出します。

●

温度ドリフト ( 図 4)●

Oﬀset drift (Figure 2)●

Gain drift (Figure 3)●

Thermal drift (Figure 4)●

Step response time

オフセットドリフトとゲインドリフトを合わせた最大位置変化量。

ステップ応答時間 ( 図 5)

位置指令信号を入れ、スキャナの動作開始から最終位置に整定するまでの
時間。

走査角度
Scan angle( 図 2)(Figure 2)

This is an amount of gain (positional scale) which changes by ambient
temperature. Measure the amount of positional change by changing ambient
temperature from 10℃ to 50℃ at maximum scan angle ± n°.
This is the maximum amount of positional change which is the sum of oﬀset
drift and gain drift.
(Figure 5)

This is the time measured from the input of position command signal to startscanning until the mirror is stabilized to the ﬁnal position.

* In this catalogue, response time is determined as when the mirror is settled within±0.01° diﬀerence in width by scanning angle ±0.1° in ﬁnal position.

※カタログ値は振れ角 ±0.1°、整定幅 ±0.01° に収まるまでの応答時間と規定します。

＋n ( °)( 図 3)(Figure 3)

位置指令
Positionalcommand

位置指令
Positional command−n ( °)

オフセットドリフト

ゲインドリフトOﬀset drift

Gain drift( 図 5)(Figure 5)＋n ( °)

走査角度
Scan angle( 図 4)(Figure 4)

走査角度Scan angle●

This is an amount of oﬀset (position) which changes by ambient temperature.
Fix the scan angle to 0°then calculate the amount of positional change bychanging ambient temperature from 10℃ to 50℃.

走査角度
Scan angle

非直線性＝

位置指令
PositionalcommandθFS

位置指令信号 ( 振れ角 ±0.1°)
Positional command signal (scan angle ±0.1°)

整定幅 (±0.01°)
Settling width (±0.01°)

位置信号
Positional signal−n ( °)

応答時間
Response time

温度ドリフト ( オフセットドリフト＋ゲインドリフト )ステップ応答時間

Step response time

Thermal drift (Oﬀset drift + Gain drift)

21

時間
Time

Memo

22

■ 製品ラインアップ
Product Lineup

コアレス DC モータ
Coreless DC Motors

ブラシレスモータ

Brushless Motors

AC サーボモータ
AC Servomotors

リニアアクチュエータ

Linear Actuators

ガルバノ光学スキャナ

Galvanometer Optical Scanners

ギヤヘッド

Gearheads

エンコーダ・タコメータ

Encoders/ Tachometer
Generators■ 事例集
Application for Solution● 詳しい事例集は、下記のアドレスよりご覧いただけます。

Please visit our website for more details.

https://ccj.citizen.co.jp/case■ 半導体関連： 露光装置、ウェーハ欠陥検査装置、ターボ分子ポンプ、ウェーハダイシングマシン

半導体工場向け搬送システム■ 医療・臨床： 義歯加工機、電動ファン付マスク、OCT、レンズエッジャー、超音波診断装置、ガン治療機

オートクレーブ対応医療機器、パワーアシストスーツ： ネイルアート用ハンドピース■ 計測・分析：LiDAR、電子顕微鏡、共焦点顕微鏡、鉄道軌道測定装置、表面粗さ計■ FA： レーザマーカ、ロボット用モータ、加工用スピンドル、光ディスク関連■ 美容■ Semiconductor Equipment:

Lithography Machines / Wafer Inspection Systems / Turbo Molecular Pumps / Wafer Dicing Machines
Conveyance System for Semiconductor Factories■ Medical and Clinical Equipment:
Denture Processing Machines / Down Flow Masks for Virus Protection / OCT / Lens Edgers / Ultrasonic Diagnostic Systems
Cancer Treatments / Autoclavable Medical Equipment / Robotic Exoskeletons■ Beauty and Cosmetic Equipment:
Handpieces for Nail Art■ Measuring and Analyzing Equipment:
LiDAR / Electron Microscopes / Confocal Microscopes / Railway Track Measuring Devices / Surface Roughness Testers■ Factory Automation and Robots:
Laser Marking Machines / Motors for Robots / Grinding Machines / Optical Disk Equipment※ 記載の製品内容は予告なく変更することがあります。ご不明な点がありましたらご連絡ください。
Technical data and products are subject to change without prior notice. For further information,please contact our sales representatives or our authorized agents.

〒276-0047
千葉県八千代市吉橋1811-3
TEL.047(458)7935 FAX.047(458)7962

お問い合せ (web): https://ccj.citizen.co.jp/contact/form

1811-3, Yoshihashi, Yachiyo-City, Chiba 276-0047, Japan
Telephone : +81-47-458-7935 / Facsimile : +81-47-458-7962
Contact (web): https://ccj.citizen.co.jp/en/contact/form

2023.8