製品仕様
電圧ソース
出力範囲
電流リミット (Cmpl)
入力変動 / 負荷変動
オーバーシュート
過渡応答時間リップル ・ ノイズ
温度係数
レンジ± 200.000mV± 2.00000V± 20.0000V± 200.000V± 21V/ ± 1.05A、 ± 210V/ ± 105 mA
最小値 レンジの 0.1%
レンジの 0.01%、 レンジの 0.01% + 100 μ V<0.1% typical ( フルスケールステップ , 抵抗負荷 ,10mA レンジ )<250 μ s (100% 負荷変化 )4mV rms(20Hz~ 1MHz) / 10mV pp(20Hz~ 1MHz)± (0.15 × 確度仕様 )/° C (0 ～ 18° C, 28 ～ 50° C)
分解能
確度
1µV
± (0.02%+600 μ V)
10µV
± (0.02%+600 μ V)
100µV
± (0.02%+2.4mV)
1mV± (0.02%+24mV)

電流ソース
出力範囲
電圧リミット (Cmpl)
入力変動 / 負荷変動
オーバーシュート
温度係数
レンジ± 1.00000 μ A± 10.0000 μ A± 100.000 μ A± 1.00000mA± 10.0000mA± 100.000mA± 1.00000A± 1.05A / ± 21V, ± 105 mA / ± 210V
最小値 レンジの 0.1%
レンジの 0.01%、 レンジの 0.01% + 100pA<0.1% typical (1mA ステップ , RL = 10k Ω , 20V レンジ )± (0.15 × 確度仕様 )/° C (0 ～ 18° C, 28 ～ 50° C)
分解能
確度
10pA
± (0.035%+600pA)
100pA± (0.033%+2nA)
1nA± (0.031%+20nA)
10nA± (0.034%+200nA)
100nA± (0.045%+2 μ A)
1μA
± (0.066%+20 μ A)
10 μ A± (0.27%+900 μ A)

ソース全般
出力セトリング時間※ 2
出力立上り時間 ( ± 30%)
対接地電圧
リモートセンシング
コンプライアンス確度
レンジ変更オーバーシュート※ 3
最小コンプライアンス値
コマンド処理時間※ 4
一般仕様
絶縁抵抗
動作環境
保存環境
電源
消費電力
付属品
寸法 ・ 質量100µs typical
300µs, 200V レンジ（100mA Cmpl.）
150µs, 20V レンジ（100mA Cmpl.）± 250VDC
補償電圧 ( 片側 ) 1V
基本仕様にレンジの 0.3% と読み取り値の± 0.02% を追加
100mV typical.
（近接レンジ間の変化︓200mV, 2V, 20V レンジ）
レンジの 0.1%
オートレンジ ON︓10ms、 オートレンジ OFF︓7ms

シャーシ – 端子間≧ 20MΩ (DC 500V)
シャーシ – AC 端子間≧ 30MΩ (DC 500V)
仕様条件︓使用温度範囲 +18° C ~ +28° C、 60 分のウォームアップ後
屋内使用、 高度︓ ≦ 2000m、 周囲温度︓ 0 ~ 40° C、 相対湿度︓≦ 80%
設置カテゴリ II、 汚染度 2
温度︓-20˚C ~ 70˚C 、 相対湿度︓< 80%
100-240VAC、 50 ~ 60Hz
80W
CD（ユーザ ・ マニュアル , クイックスタート ・ マニュアル）
テスト ・ リード GTL-207A x 1, ワニ口クリップ x 2, AC 電源コード
214 (W) x 86 (H) x 356.5 (D) mm、 約 4.8kg※１. Speed=Normal (1PLC) 時の仕様。 0.1PLC では , レンジの 0.005% をオフセット仕様に追加。
( 但し 200mV,1A レンジでは、 0.05% を追加）
0.01PLC では , レンジの 0.05% をオフセット仕様に追加。
( 但し 200mV,1A レンジでは、 0.5% を追加）
※２. コマンドが処理された後、 最終値の 0.1% 以内に達するまでの時間。 抵抗負荷。 10 μ A ～ 100mA レンジ。
※３. 100k Ωの完全な抵抗負荷時のオーバーシュート、 BW 10Hz ～ 1MHz、 20V/200V を除く※４. :SOURce:VOLTage|CURRent <nrf> コマンドを受信してから出力が変化し始めるまでに必要な最大時間※５. 電圧または電流測定︓オートレンジ オフ、 フィルタ オフ、 表示オフ、 トリガ ・ ディレイ = 0、 バイナリ読み取り形式※６. 純抵抗リード線使用。 1 μ A ・ 10 μ A レンジでは <65ms。
※７. 1000 ポイントのシーケンス動作より。 ソースは固定レンジ。
※８. それぞれ一つの high ・ low リミット値による Pass/Fail テストの実行※９. 測定を行う前にソースを再設定する時間を含みます※ 10. START OF TEST 信号の立下がりエッジから END OF TEST 信号の立下がりエッジまでの時間※ 11. :SOURce:VOLTage|CURRent、 :TRIGgered<nrf> のコマンド処理時間は含まれません

電圧測定
レンジ
± 200.000mV± 2.00000V± 20.0000V± 200.000V
入力抵抗
温度係数

分解能
確度
1µV
± (0.012%+300 μ V)
10µV
± (0.012%+300 μ V)
100µV
± (0.015%+1.5mV)
1mV± (0.015%+10mV)>10 GΩ± (0.15 × 確度仕様 )/° C (0 ～ 18° C, 28 ～ 50° C)

電流測定
レンジ
± 1.00000 μ A± 10.0000 μ A± 100.000 μ A± 1.00000mA± 10.0000mA± 100.000mA± 1.00000A
負担電圧
温度係数

分解能
確度
10pA
± (0.029%+300pA)
100pA± (0.027%+700pA)
1nA± (0.025%+6nA)
10nA± (0.027%+60nA)
100nA± (0.035%+600nA)
1μA± (0.055%+6 μ A)
10 μ A± (0.22%+570 μ A)
< 1mV
± (0.1 × 確度仕様 )/° C (0 ～ 18° C, 28 ～ 50° C)

抵抗測定※ 1レンジ
分解能
<2.00000 Ω--2.00000 Ω
10 μΩ
20.0000 Ω
100 μΩ
200.000 Ω
1m Ω
2.00000k Ω
10m Ω20.0000k Ω
100m Ω200.000k Ω
1Ω2.00000M Ω
10 Ω
20.0000M Ω
100 Ω
200.000M Ω1k Ω>200.000M Ω--温度係数
ソース I モードマニュアル抵抗測定
ソース V モードマニュアル抵抗測定
6 線式抵抗測定
ガード出力抵抗システム仕様負荷インピーダンス
ディファレンシャルモード電圧
コモンモード電圧
コモンモード ・ アイソレーション
オーバーレンジ
入出力とセンス端子間の電圧降下 (Max.)
Sense リード抵抗 (Max.)
Sense 入力抵抗
ガード ・ オフセット電圧
ソース出力モード
ソース メモリ ・ リスト
メモリ ・ バッファバックアップ
リモートインタフェース、 プログラミング
デジタル I/O コネクタ

2023.5.31 JGSM2305K (TTCWEB)

通常 20,000pF 台まで安定250 V Pk
250V DC>10GΩ, <1000pF
レンジの 105%（ソース及びメジャー）
5V
1MΩ>100G Ω
<150µV, typical
固定 DC レベル , メモリ ・ リスト ( 機能混在可 , 階段状スイープ ( リニア、 ログ )最大 100 ポイント
5,000 rdg. (5 1/2 桁 )、（タイムスタンプ付の場合 2,500)
リチウム電池によるバックアップ (3 年以上 ) 初期電池を除く
USB/LAN/RS-232C、 IEEE-488.2 (SCPI)
アクティブロー入力、 +5V@ 300mA 供給、 トリガ入力１、 TTL/ リレードライブ４

システム測定速度※ 5 Reading レート (rdg./ 秒 )[ シーケンス動作時、 60Hz 時 (50Hz 時 ) ※ 7]
ソース ・ メジャー
ソース ・ メモリ ※ 8
Pass/Fail テスト ※ 8 ※ 9

スピードNPLC/ トリガ

メジャー動作ソース ・ メジャー動作

FastMed.
Norm.

0.01/ 内部
0.1/ 内部
1/ 内部

内部メモリへ2081(2030)
510(433)
59(49)

内部メモリへ1551(1515)
470(405)
58(48)‫ە‬ᐃ᱁ࠊព໶ࡣᨵၿࡢࡓࡵண࿌࡞ࡃኚ᭦ࡍࡿࡇ࡜ࡀ࠶ࡾࡲࡍࠋ
‫࡟ࢢࣟࢱ࢝ࡢࡇە‬ᥖ㍕ࡋࡓ〇ရ෗┿ࡣ᧜ᙳୖ࠾ࡼࡧ༳ๅୖࡢ᮲௳࡟ࡼࡾࠊᐇ㝿ࡢⰍ࡜␗࡞ࡿሙྜࡀ࠶ࡾࡲࡍࠋ
‫ە‬ㅖ஦᝟࡟ࡼࡾ౯᱁ኚ᭦ࡲࡓࡣ⏕⏘୰Ṇ࡜࡞ࡿሙྜࡀ࠶ࡾࡲࡍࠋ‫ە‬ᘢ♫〇ရࡢྲྀࡾᢅ࠸࡟ࡣࠊ༑ศ࡞▱㆑ࡀᚲせ࡜࡞ࡾࡲࡍࠋ୍⯡ᐙᗞ࣭ᾘ㈝⪅ྥࡅࡢ〇ရ࡛ࡣ࠶ࡾࡲࡏࢇࠋ

詳しくはテスト電流確度 Normal確度 Enhanced--I ソース確度 +V メジャー確度--I ソース確度 +V メジャー確度
100mA± (0.1%+0.003 Ω )± (0.07%+0.001 Ω )10mA± (0.08%+0.03 Ω )± (0.05%+0.01 Ω )1mA± (0.07%+0.3 Ω )± (0.05%+0.1 Ω )100 μ A± (0.06%+3 Ω )± (0.04%+1 Ω )10 μ A± (0.07%+30 Ω )± (0.05%+10 Ω )
5μA± (0.11%+300 Ω )± (0.05%+100 Ω )0.5 μ A± (0.11%+1k Ω )± (0.05%+500 Ω )100nA± (0.66%+10k Ω )± (0.35%+5k Ω )--I ソース確度 +V メジャー確度± (0.15 × 確度仕様 )/° C (0 ～ 18° C, 28 ～ 50° C)
不確実性 = I ソース確度 +V メジャー確度 (4-wire )不確実性 = V ソース確度 +I メジャー確度 (4-wire )アクティブ抵抗ガードとガードセンスを使用。
最大ガード出力電流 : 50mA (1A レンジを除く )。
測定確度は負荷に依存します。
<0.1Ω（抵抗モードにて）

内部メモリへ902(900)
389(343)
56(47)

内部メモリへ165(162)133(126)
44(38)

DC ソースメジャーユニット

特長
最大出力 ±210V/±1.05A/22W
４つのシーケンス出力内蔵（リニア/ログ階段、カスタム、SRC-MEM）● 過電圧(OVP)/過温度(OTP) 保護機能
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●

測定基本確度0.012％（5½桁分解能時）
サンプリング・スピード可変SDM(ソース・ディレイ・メジャー)サイクル機能
リミットテスト
５つの演算機能内蔵
4.3インチ液晶ディスプレイ、数値キー入力
リアルタイムクロック内蔵
リモートインタフェース（RS-232C、USBTMC、LAN）

Source Measure Unit

A

1.

液晶ディスプレイ2.

USBポート(Host)

3.

数値キー

4.

電源スイッチ(スタンバイキー)

5.

方向キー

6.

ファンクションキー

7.

入出力端子

8.

ファンクションキー

9.

メイン電源スイッチ

10.

GPIBポート(オプション)

11.

排気ファン

12.

LANポート13.

USBポート(Device)

14.

入出力端子

15.

RS-232Cポート

16.

デジタルI/Oポート

17.

AC電源ソケット

製品概要

GSM-20H10 は、 高精度の定電圧源 / 定電流源と、 高分解能の電圧 / 電流測定機能を備えたソースメジャーユニット (SMU) です。 最大印可は ±210V の電圧、 ±1.05A の電流が可能です。 最小印可分解能の 10pA ・ 1μV と、 1pA ・ 100nV の測定分解能で精密な電源及び電圧 / 電流 / 抵抗計として使用することができます。 また、 SMU は印加と測定の機能が統合されていますので、 制御された値の電流を出力しながら印加された DUT の電圧を測定する等の連携動作が個々の機器を組み合わせて使用する場合よりも容易に可能となります。

【 SMU は一般的な DC 電源より高速動作】 ( 当社比 )電圧立上り時間
GSM-20H10

当社汎用 DC 電源 A

300μsec (at 200V レンジ )50msec

電圧 ・ 電流出力にはリミット値 ( コンプライアンス値 ) を設定することができますので過電圧や過電流によるデバイスの損傷を防ぐことができます。

■ 動作モード

電源機能と計測機能により、 個々の動作 ・ 組み合わせ動作が可能です。
電圧発生 / 電流測定 (VS/IM)、 電圧発生 / 電圧測定 (VS/VM)、
電流発生 / 電圧測定 (IS/VM)、 電流発生 / 電流測定 (IS/IM)、
抵抗測定 (IS/VM、 VS/IM)

B
最大 22W の４象限動作が可能です。①と③象限ではソース ( 電流の供給 ) 動作として、②と④象限ではシンク ( 電流の吸い込み )として動作とします。 微小電流の一定値で充電や放電を行いながら、 その端子間電圧を測定する様な動作も本器一台で可能となります。
【２つの出力範囲】●±21V まで、 ±1.05A●±210V まで、 ±105mA【最小印加分解能】
10pA, 1μV

電流発生
レンジ
1μA
10 μ A
100 μ A
1mA
10mA
100mA
1A

電圧発生
レンジ
200mV
2V
20V
200V

出力
~ 1.00000 μ A~ 10.0000 μ A~ 100.000 μ A~ 1.00000mA~ 10.0000mA~ 100.000mA~ 1.00000A

出力~ 200.000mV~ 2.00000V~ 20.0000V~ 200.000V

C
基本となる DC 出力に加え、 出力値を変化させるシーケンス機能を搭載しています。 シーケンス機能は、 一定のステップで電圧 / 電流を変化させたい時などに使用できる大変便利な機能です。 シーケンス機能には４つのモードがあり、 最大 2500 のシーケンスポイントの設定が可能です。

パラメータ例（階段スイープの場合）
Start 値（開始）
Stop 値（停止）Step 値（階段幅）※ステップの時間は、 「 ソースディレイ ＋ NPLC 」の時間となります

Stop

Stop
Start
Bias

Bias

Start

Start

Stop

Bias

シーケンス動作で得られた測定値は、 PC での取得や前面のポートに挿入した USB メモリへ出力(Export) することも可能です。

D

ソースメジャー機能

本器はソース動作やメジャー動作に加えて、 一連のソース ・ メジャー動作を行うことができます。 それぞれ個々の機器で行っていた場合に比べその連動性の調整等を行う手間が省ける為テストシステム全体の簡素化や使いやすさの向上につながります。 また、 遅延時間を動作内に含む 「ソース・ディレイ・メジャー」
サイクルは、 印可後の安定した状態での測定を可能にします。
ソース出力

メジャー開始

トリガ

トリガ
レイテンシ

ソース ・ ディレイ

メジャー

メジャー終了ソース ・ ディレイ ・ メジャー
ソース出力後、 DUT 初期の応答状態が不安定な場合があります。 ソース出力
後にメーターが測定を開始する場合、 ディレイ時間を設定して不安定な期間を過ぎた後に測定を開始し、 安定した測定結果を得ることができます。 印加後に負荷の応答を待って測定する場合などに有効に機能します。

E
測定された値に対してリミット値 ( 上限値と下限値 ) を設定し、Pass/Fail 判定可能なリミットテスト機能を備えています。

F

サンプリング・スピード (NPLC)

DMM ライクなスピード設定
測定の際のサンプリング ・ スピードは0.01PLC~10PLC の選択が可能です。 AC 電源周波数が 50Hzの 場 合、 1PLC は 20msec、2PLC は 40msec となります。

リミットテストは、全部で 11 のタイプのテストが可能で複数のリミット値に対する判定を行うことができます。
また、 シーケンス機能の SRC-MEM( ソースメモリ ) と組み合わせることで、 複数条件 ( ソースモード、 リミット値、 リミット判定により条件分岐 ) でのテストも可能になります。

G

結果を３つに分ける例

SRC-MEM 組み合わせ①±1V 以内 ( リミットテスト２)②±2V 以内 ( リミットテスト 3)③それ以上 ( リミットテスト 4)

条件①
↓Fail
条件②
条件④
↓
↓
条件③
条件⑤

リモートインタフェース

リモート通信用インタフェースは、 USB(TMC) ・ LAN ・ RS-232C を全モデルに搭載しています。 また DIGITAL I/O からは、 リミットテストの結果を信号出力することも可能です。