令和6年度 学生研修プログラムリスト
高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル
No.

1

2

横断技
術領域

計測

研修テーマ

TEMを用いた材料組
織と構造解析の基礎

研修先
機関名

東北大学

MEMSフォースセンサ
加工 とIoTモジュールの作 東北大学
製

ホスト氏名

今野 豊彦
早坂 浩二
金研ARIM事
業班事務局

戸津 健太郎
森山 雅昭

2024/4/1
研修期間

7月1日～8月30日（うち4日間）

7月1日～8月30日（うち5日間）

定員

3名

3名

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

高専4～5年、高専専攻
1日目 TEMについての基礎講義（オンライン開催）
本研修では、透過電子顕微鏡（TEM）の電子光学的原理ならびに電子線と試 科、学部1～4年、修士課
実習に用いる電顕試料はこちら
料との相互作用を理解したうえで回折と結像技術を習得し、材料の組織と構 程で準備いたします。（持ち込み
造解析までの概略を学ぶ。
初日はTEMについての基礎講義を行い、２日目にTEM装置を用いて電子線の ※TEM未経験者から初 たい試料がある場合、研修の 2日目 TEM実習① TEMの構造と原理、回折および結像発生から結像までの光学系のしくみを学習する。ここでTEMの構造から回折お 心者（明視野像を取得で 平等性から、アドバイスと技術
よび結像の原理について理解しつつ、電子線回折とTEM観察の実習を行った きる程度）の方を対象と 相談は行いますが、観察はのち、３日目には透過走査電子顕微鏡（STEM）による観察ならびにエネル
しています。X線回折や ARIM課題登録をしていただい 3日目 TEM実習② STEM法、EDSマッピング分析
ギー分散型X線分光（EDS）マッピング分析の実習を行う。最終日は実習で得 走査電顕の使用経験が たうえで、別途実施いたしま
たデータを用いて、材料組織の分析および構造解析の実習を行う。
あればよいですが、そう す。）
また研修機関内にFIBの見学を行います。
でなくても初日の講義を
4日目 解析方法の実習とまとめと装置見学（TEM, FIBなど）理解できれば十分です。

ピエゾ抵抗形のMEMSフォースセンサ（force sensor）の試作を通して、微細加工プロセスの基礎を習得します。さらに、IoTの入口として、試作したセンサをプ 高専4～5年、高専専攻
リント基板に実装し、WiFi無線モジュール、インターネットを介してスマートフォ 科、学部1～4年、修士課
ン等で測定値をモニタリングできるようにします。モジュールはFRISKの箱に入 程、博士課程
る大きさです。
微細加工プロセスとしては、フォトリソグラフィ、イオン注入、CVD、ウェットエッ ※どなたでも参加いただ
チング、スパッタリング、シリコンDeepRIE、ダイシング、ワイヤボンディングなど けます。
を行います。

1日目

イントロ、安全教育、フォトリソグラフィ、イオン注入、ランプ
アニール、施設見学

2日目

SiO2 TEOS-PECVD、フォトリソグラフィ、SiO2ウェットエッチ
ング、Alスパッタリング

3日目

フォトリソグラフィ、Alウェットエッチング、Alシンタリング、
フォトリソグラフィ

研修場所

実習：
〒980-8577
宮城県仙台市青葉区片平2-11
東北大学 金属材料研究所※初日の講義はオンライン〒980－0845
宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
東北大学西澤潤一記念研究センター

4日目 Si DeepRIE、ダイシング、ワイヤボンディング

5日目 プリント基板実装、マイコンプログラミング、評価、まとめ

3

計測

イオンミリングによる断
筑波大学
面観察入門

末益 崇
野木 広光

7月9日～8月10日（うち2日間）

2名

※月曜除く

4

パワー半導体デバイ
計測
スの電気特性評価

筑波大学

矢野 裕司
末益 崇

7月29日～7月31日
（3日間）
※応相談

午前：安全教育・研修の説明、イオンミリングの原理（講義）
高専4～5年、高専専攻
1日目〒305-8577
午後：装置の説明、イオンミリング断加工実習
本研修では、イオンミリングの原理を学ぶとともに、実習を通してSEM用試料 科、学部4年、修士課程、 試料持込可（事前に要相談）
茨城県つくば市天王台1-1-1の断面加工技術の基礎を習得する。また、加工した試料は卓上顕微鏡を用い 博士課程
研修の日程や内容は変更可能
筑波大学 プロジェクト研究棟
SEM観察を行い、SEM観察の基礎も併せて習得する。
です。
午前：装置の説明、加工試料のSEM観察
104室
2日目※未経験者歓迎
午後：観察結果のまとめ

本研修では、パワー半導体デバイスの電気特性について学ぶため、パワーデ
高専4～5年、高専専攻
3名 バイス特性評価装置を用い、市販のパッケージデバイスやチップ／ウエハ上科、学部4年、修士課程、
程度 の自作デバイスの電流－電圧特性や容量－電圧特性などの測定の実習を行
博士課程
い、パワー半導体デバイスの特性評価技術を習得する。

1日目

午前：安全教育および測定装置の概要説明
午後：デバイスの測定

2日目

午前：デバイスの測定
午後：デバイスの測定及び特性の解析

3日目

午前：測定・解析結果のまとめ
午後：ディスカッション〒305-8577
茨城県つくば市天王台1-1-1
筑波大学 総合研究棟B 0022室

備考： 開始時刻、終了時刻は応相談。

56シリコン深掘りエッチン
豊田工業大
加工 グで創るMEMSアク
佐々木 実
学
チュエータ

マイクロ流路デバイス
加工 の作製とデバイス内細 香川大学
胞培養

寺尾 京平

7月31日～ 8月2日
（3日間）
または
8月26日～ 8月30日
(うち3日間)

8月5日～8月7日
（3日間）

2名

2名

シリコン（Silicon On Insulator）基板の両面から、深掘りエッチングを施して、様々なMEMSデバイスを創ることができる。本研修では、ストローク10μｍ程度 高専4～5年、高専専攻の標準的な平面櫛歯型アクチュエータを製作し、動作実験を行う。製作では、 科、サスペンションや櫛歯の微細なパターン転写に注意が必要である。パターニン 学部4年、修士課程、博グ、シリコンエッチング、犠牲層エッチングを実習し、技術を習得する。実際の 士課程作業で重要なポイントを示す。加工時間がかかり待ち時間が多い部分は、予め用意を済ませたものを使って対応する。最終日に、製作したアクチュエータ ※未経験者歓迎の動作実験を行う。

細胞解析マイクロデバイスについての基礎技術を習得するため、PDMSデバイスの作製と、流路デバイス内での細胞株を使用した細胞培養について実習を行う。近年、生体内の環境をマイクロ流体デバイスで再現し、細胞の計測を行う研究やマイクロ流体デバイスを用いて有用なバイオサンプルを調製する研究 高専専攻科、学部3～4
が注目を集めている。本研修では、標準的なマイクロ流体デバイスの作製法と 年、修士課程してフォトリソグラフィーによる鋳型形成とPDMSによる型取りプロセス、作製したデバイスへのコーティング及び流体駆動実験、細胞培養の基本操作を行う。 ※未経験者歓迎
製作及び評価にはマスクレス露光装置、マスクアライナー、電子顕微鏡（FESEM）、蛍光顕微鏡等を用いる。本研修では、細胞を対象にした一般的なマイ
クロ流体デバイスの設計-作製-評価の一連の基礎技術を習得する。

1/9

1日目

事前講習（来校前の資料配布を含む）、安全教育、表面パ
ターニング、シリコン深掘りエッチング

感染症対策が重要となった場
合は、本学活動指針に合わせ加工の評価、裏面マスクパターニング、シリコン深掘りエッて頂きます。
2日目
チング
自身が試作したデバイスは、持ち帰ることができます。
3日目〒468-8511
愛知県名古屋市天白区久方212-1
豊田工業大学
マイクロメカトロニクス研究室および共同利用クリーンルーム

犠牲層エッチングと乾燥、特性評価とまとめ（研修後を含む）

1日目 安全講習、座学、設計、流体解析、フォトマスク作製

2日目 マイクロ流路鋳型作製・モールディング、形状評価

3日目 流路コーティング、細胞培養、細胞導入実験、まとめ〒761-0301
香川県高松市林町2217-16
FROM香川 メカトロ研究室
及び〒761-0396
香川県高松市林町2217-20
香川大学 創造工学部

革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル
No.

横断技
術領域

研修テーマ

研修先
機関名

ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

1日目

7

初心者のためのTEM
計測
観察、分析の基礎

東京大学

押川 浩之
木村 鮎美
寺西 亮佑
森田 真理
森山 和彦

7月29日～8月1日
（4日間）

2名

TEMの基礎（講義）TEMでどんなデータ（情報・信号）が得られるか？
TEM操作のための簡単なTEMの原理と構造
試料作製法

試料作製実習（～TEM基本操作実習）
2日目
分散法、負染色法、FIB法のいずれか
研修後、継続的にTEMを利用
高専4～5年、高専専攻する予定の人向けには、試料科、学部1～4年、修士課
持ち込みによる試料作製からTEM基本操作実習（試料交換～観察まで）
程
TEMについて基礎から応用まで習得するため、試料作製～TEM操作実習を行の対応も可能な範囲で要望に
電子線の発生い、TEM/STEM操作・観察・分析技術を習得する。
沿って実施します、具体的には 3日目 照射系軸合わせ※初心者（基礎から形態
採択後にご相談下さい。
結像系軸合わせ観察・分析基本操作を学初心者向けのため原子分解能びたい方）への対応は不可とします。
種々の観察・分析法
結晶方位合わせ/高分解能像観察法
4日目
制限視野電子回折法
STEM-EDS
備考：

参加者により1日目の開始時間、最終日の終了時間は考
慮します。

1日目

座学：TEMの基礎とクライオTEMについて
実習：ネガティブ染色とTEM基本操作

高専4～5年、高専専攻科、学部1～4年、修士課
程、博士課程8

クライオTEM法を中心
計測 とした液体試料のTEM 東京大学
観察

木村 鮎美

8月19日～8月21日
（3日間）

2名

含水試料（リポソーム等）の自動浸漬凍結装置（EM-GP）による氷包埋試料
研修の日程や内容は調整可能 2日目 実習：氷包埋試料作製とクライオTEM観察作製から、クライオトランスファーホルダー（Gatan 914）を利用したクライオTEMです。
（JEM-2100F）観察までを習得する。TEMの基本操作や、含水試料のその他の ※クライオTEM未経験者
試料の持込みは大歓迎です
試料作製・観察方法（ネガティブ染色法、液中観察）に関しても学び、それぞれ （今後クライオTEM観察
実習：氷包埋試料作製とクライオTEM観察（予めお知らせください）。
3日目の観察方法の違い・解釈の仕方を理解する。
を検討している方、クライ（あるいは液中観察
オTEMに興味のある方）
を対象としています。
備考：

9

計測 X線回折法の基礎

東京大学

SEM-EDSとNano-

10 計測 SIMSを用いた微小領 東京大学
域の元素分布評価

府川 和弘
飯盛 桂子

8月5日～8月7日（3日間）

竹内 美由紀7月1日～7月31日
福川 昌宏（うち3日間）近藤 尭之

MOS キャパシタの作

11 加工 製・評価とトランジスタ 広島大学の測定実習

黒木 伸一郎
山田 真司

7月22日～7月24日
（3日間）

2名

3名

SEM-EDSに関する説明
1日目
FE-SEM観察実習（基本操作の習得）
走査電子顕微鏡（SEM）及びエネルギー分散型X線分析（EDS）についての基
高専4～5年、高専専攻
礎知識と操作方法の習得、二次イオン質量分析装置（SIMS）の基礎知識、お科、学部1～4年、修士課
よびそれぞれの測定から得られる情報の解釈を目的とした研修です。
未経験者歓迎程SEM-EDS分析結果とSIMS分析結果の比較から、それぞれの分析手法の特徴
試料の持ち込みについては応相談 2日目 FE-SEM観察とEDS分析実習、測定データの解析（研修期間中の試料調製の実習はを理解して頂ければと思います。
※初心者（基礎から形態 行わない予定です）
装置は日本電子製のFE-SEM（JSM-7800F）でSEM観察、撮影、EDS分析（定観察・分析基本操作を学性、定量）の実習を行い、SIMS測定はCameca社製のNanoSIMS 50Lを使用予SIMS測定およびNanoSIMSについての説明
びたい方）
定です。
3日目 SIMS測定見学と測定データの解析
EDSとSIMSデータの比較とまとめ

3名〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
工学部9号館〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
東京大学大学院工学系研究科
総合研究機構（浅野キャンパス
工学部9号館・武田先端知ビル）

参加者のご希望に合わせ、日程・内容を変更する場合があります。

1日目 安全教育、X線回折法の講義、実習
高専4～5年、高専専攻
X線回折測定についての基礎知識を習得するため、X線回折測定に関する原 科、学部1～4年、修士課 試料持込可
理の講義を行います。また、粉末や薄膜試料でよく行われる測定方法の実習 程、博士課程
希望する測定方法がありました 2日目 実習等を行い、基礎的測定技術を習得することが目的です。
らご相談ください。
※未経験者歓迎
3日目 実習、まとめ

1日目

研修場所

〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
東京大学工学系研究科総合研
究機構 （工学部9号館331号
室）

SEM〒113-8656
東京都文京区弥生2-11-16
東京大学大学院工学系研究科
総合研究機構（工学部9号館）
SIMS〒113-8657
東京都文京区弥生1-1-1
東京大学農学部3号館

安全講習後、クリーンルームへ。洗浄・酸化膜形成・ﾚｼﾞｽﾄ
塗布・HF洗浄・SH洗浄・Alスパッタリング、PMA処理

シリコンウェーハ上にMOSキャパシタを作製しC-V特性等を測定して、不純クリーンルームにて作製電極のサイズ測定、膜厚測定。
2日目
物濃度やCFB、VFB、固定電荷を求める。安全講習受講後、クリーンルーム内
測定室にてインピーダンス・アナライザでC-V測定を行う。
高専4～5年、高専専攻にてMOSキャパシタの作製をおこなうことにより、ウェーハの洗浄、酸化膜の〒739-8527
科、学部4年、修士課程、形成、Alスパッタによる表電極の形成、レジスト塗布、PMA処理などを学習す
ノートパソコン持参（マウスも必
東広島市鏡山一丁目四番二号
博士課程る。作製した電極面積と膜厚の測定およびインピーダンス・アナライザによる須）をお願いします。
半導体パラメータ・アナライザを使って、トランジスタの各種 広島大学 半導体産業技術研
C-V特性の測定を行う。
究所
3日目 測定評価を行う。（遠方参加者には早めの終了に努めま※未経験者歓迎
また、ウェーハ上のFETトランジスタについて、半導体パラメータ・アナライザ
す。）
による測定・評価方法も学習する。

備考：

2/9

MOSキャパシタの不純物濃度、CFB、VFB、固定電荷の計
算は、講義内容に従って持ち帰って行う。クリーンルーム工事の日程によっては、予め作製したものを使用する場合も
あります。

No.

横断技
術領域

研修テーマ

研修先
機関名

ホスト氏名

日本原子力 吉越 章隆
研究開発機 津田 泰孝
12 計測 固体表面の軟X線光
電子分光分析の実習
構
千葉 大輔

研修期間

定員

7月1日～8月30日（うち3日間）

2名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

・実施日程の決定には、ホストとの事
前相談が必須となります。SPring-8
施設の運転期間などのスケジュール 1日目 午後から（午前：SPring-8手続き）：実習の概要説明、大型放射光施設見学、放射光および光電子分光に関する講義
や機器設備の状態により予定した研修ができない場合があることを、あら高専専攻科、学部3～4 かじめご了承ください。
・放射光を使った実習はマシンタイム
固体表面の軟X線光電子分光による分析の基礎を習得するために、SPring-8 年、修士課程、博士課程 のスケジュールに従います。スケの日本原子力研究開発機構の軟X線専用ビームライン（BL23SU）に常設・稼ジュール等の関係上、実験室光源で働の表面反応分析装置を用いた光電子分光実験（放射光軟X線または実験 ※経験や研究分野は問 の実習となる場合があります。
室X線源）を行う。内殻光電子分光スペクトルの測定を中心に行い、固体表面 いません。興味がある人 ・SPring-8実験ホール内での実習となるため、SPring-8の所定の手続き 2日目 光電子分光データ測定の実習の化学状態分析などの基礎の習得を目指す。
を歓迎します。
参考書：
実習の説明上、物理や （放射線業務）を行う、またルールに＊X線光電子分光法、髙桑雄二編著、講談社
化学の基礎（原子や分 従うことが必須となります。
・装置不具合などの思わぬ場合も想＊X線光電子分光法、日本表面科学会編、丸善株式会社
子、量子力学の初歩な 定されます。その場合は実習が実施
ど）が必要となります。
できないこともありますので、あらかじめご了承ください。
・コロナウイルス感染拡大などの対策も必要となりますので、各種の対
3日目 補足実験、まとめと質疑
応指示に従うことにあらかじめご了承とご協力をお願いいたします。

研修場所〒679-5148
兵庫県佐用郡佐用町1丁目1-1
大型放射光施設、放射光物性研究棟

量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル
No.

横断技
術領域

研修テーマ

研修先
機関名

ホスト氏名

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

1日目 実験概要説明、走査型電子顕微鏡(JSM-6510LA)実習
走査型電子顕微鏡、
原子間力顕微鏡及び坂入 正敏
13 計測 オージェ電子分光装置 北海道大学 鈴木 啓太
を用いた表面分析と表吉田 すずか面観察

7月1日～8月30日（うち3日間）走査型電子顕微鏡に関連する代表的な表面分析の手法であるエネルギー分
散型X線分光法及びオージェ電子分光法、表面観察の原子間力顕微鏡法の3 学部4年、修士課程、博つについて、基礎からの実習を行う。走査型電子顕微鏡(JSM-6510LA)、原子 士課程
1～2名
間力顕微鏡(SPA-400)、オージェ電子分光装置(JAMP-9500F)、またイオンミリングなどの試料前処理関連装置を用いて、試料加工、表面観察、表面分析に ※未経験者歓迎
関する技術を習得する。

試料持込歓迎。(固体試料に限原子間力顕微鏡(SPA-400)実習、オージェ電子分光装置
2日目
る。粉体も可。)(JAMP-9500F)実習、試料作製〒060-8628
北海道札幌市北区北13条西8丁目
北海道大学工学部フロンティア
応用科学研究棟1-03

3日目 オージェ電子分光装置(JAMP-9500F)実習、実習まとめ

1日目

松尾 保孝
電子ビームリソグラ
敬史
14 加工 フィを用いた金属/半 北海道大学 遠堂
石旭
導体微細構造の作製
中村 圭佑

電子ビーム(EB)描画・スパッタによる金属薄膜形成・ドライエッチングなどを用 高専専攻科、学部4年、いた微細構造作製を通じ、微細加工における基本的技術を習得する。また作 修士課程、博士課程
8月19日～8月21日
1～2名
製された金属/半導体微細構造について走査電子顕微鏡(SEM)を用いて観察（3日間）することで、試料評価(構造解析)の基本的技術を習得する。
※未経験者歓迎

微細加工実習(EB描画、スパッタ・リフトオフによる金属微細構造作製、ドライエッチングによる半導体微細構造作製) 〒001-0021
北海道札幌市北区北21条西10
作製したいデバイス構造があれ丁目ば相談を受け付けます。
微細加工実習(金属微細構造作製・半導体微細構造作製 北海道大学 創成科学研究棟
3日目の続き)、SEM観察
2日目

備考：

松尾 保孝
加工 原子層堆積装置等に
遠堂 敬史
15 + よる薄膜作製とFIB・ 北海道大学 中村 圭佑
計測 TEMによる構造解析
平井 直美
森 有子

原子層堆積装置（ALD）やスパッタ装置等を用いた薄膜作製技術の研修と、作
高専専攻科、学部4年、製した薄膜についての集束イオンビーム加工装置（FIB）・透過電子顕微鏡
8月21日～8月23日（STEM）を用いたナノ構造評価についての基礎的な実験を行う。また、それら 修士課程、博士課程
1～2名
（3日間）
を適用した先端研究内容についての講義学習を併せて行うことにより、薄膜作
製等の加工技術から透過電子顕微鏡による分析手法までの一連の基礎技術 ※未経験者歓迎の習得を行う。

微細加工プロセスに関する講義、微細加工実習(クリーンルーム講習、EB描画)

開始時間・終了時間等は参加者の都合に合わせて調整します。

オリエンテーションおよびALD、スパッタ装置等による加工
1日目 技術、FIB、STEMによる評価技術に関する講義、薄膜作製
実習

ALDによる薄膜作製を行いたい
デバイスがあれば、実習内で対応できるかの相談を受け付けま 2日目 薄膜作製 実習 および FIB 実習
す。

〒001-0021
北海道札幌市北区北21条西10丁目
北海道大学 創成科学研究棟

3日目 FIB実習、透過電子顕微鏡観察実習【研修内容】
二次元層状物質“グラフェン”を用いたグラフェンマイクロデバイスを作製する。
フォトリソグラフィや成膜プロセス，エッチングプロセス，電気伝導測定など微細加工プロセス技術の基礎・装置操作を習得する。

物質・材料
16 加工 グラフェンマイクロデバ
イスの作製
研究機構

渡辺 英一郎
大井 暁彦
津谷 大樹

7月1日～8月30日（うち４日間）2名【実験手順】
高専専攻科、学部3～4
単層・多層グラフェンは機械的剥離法によりSiO2/Si基板上に転写する。転写
年、修士課程、博士課程したグラフェンは、リソグラフィプロセスとエッチングプロセスにより任意の形状に加工する。その後、リソグラフィプロセス，成膜プロセス，リフトオフプロセス※未経験者歓迎により金属電極を形成し，作製したグラフェンデバイスの電気伝導測定を実施する。
【使用装置】
高速マスクレス露光装置，電子銃型蒸着装置，多目的ドライエッチング装置，
RTA装置，プローバーシステムなど

3/9

1日目

概要説明、安全教育、施設見学、および、グラフェン転写（機械的剥離法）・観察

2日目 グラフェンの加工

3日目 グラフェンへのコンタクト電極作製

4日目 アニール、電気伝導測定、および、まとめ

第１日目：〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1 材料信頼性実験棟１階 クリーンルーム
第２日目以降：〒305-0044 茨城県つくば市並木1-1 MANA棟5階 クリーン
ルーム

No.

横断技
術領域

研修テーマ

研修先
機関名

ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

1日目 安全教育、陽電子消滅分析法の基礎に関する講義
陽電子プローブマイク
産業技術総
満汐 孝治
17 計測 ロアナライザーを用いた極微欠陥・空隙評価 合研究所
技術

8月26日～8月28日
（3日間）

2名

※日程は応相談

陽電子寿命測定法は、電子の反粒子である陽電子を材料中に打ち込み、電子と対消滅するまでの時間を測定することで、材料中に含まれる微小な欠陥 高専専攻科、修士課程、（原子空孔）やナノ空隙の構造を評価する手法である。本研修では、陽電子寿 博士課程
試料の持込可（事前に要相命測定法と集束陽電子ビームを用いた局所空隙評価法（陽電子プローブマイ談）。
クロアナライザー）について基礎から応用まで習得するため、原理から応用ま ※未経験者歓迎で一通りの講義と当装置を用いた実習を行う。

〒305-8568
茨城つくば市梅園1-1-1
2日目 陽電子消滅分析法の応用に関する講義、施設見学、実習
産業技術総合研究所 中央事
業所 2群 2-4A棟
3日目 実習・データ解析、全体のまとめ

高専4～5年、高専専攻科、学部1～4年、修士課
程、博士課程近接場を利用したナノ 産業技術総
井藤 浩志
合研究所

18 計測 プローブFTIR

7月29日～8月2日
（5日間）

3名

走査プローブ顕微鏡（SPM）の歴史と原理を理解し、その測定技術を習得す※B4以上の方は、研究る。ナノプローブ技術を用いる近接場相互作用の利用により、顕微測定をナノテーマに関連する試料を分解能（条件が整えば原子分解能）に向上することが可能になる。そのために持込んで、各自の研究必要な要素技術である、ナノ探針、カンチレバーの動作、SPM変位検出の原テーマに関連する測定を理を理解し、基本測定技術の習得を行う。波長10μmの光では波長と同程度することが可能です。（測の顕微分析の分解能となるが、近接場光を利用することにより、ナノ分解能で定可能かどうかは要相
分子振動スペクトルを測定し、その分布を画像化できる。このような高分解能
談、持ち込みがない場合測定のためのプローブ制御技術や、10nm分解能のフーリエ赤外分光測定（分は、課題試料で実習を行
子振動、赤外吸収、官能基のマッピング等）の実習を行う。
う。）※高専・B1～B3の方は、異なるプログラムを用意
致します。

1日目

カンチレバーの動作と変位検出方法を理解し、原子間力顕
2日目 微鏡（AFM）の基本測定技術を習得する。また、FE-SEMを 〒305-8568
茨城県つくば市梅園1-1-1
利用したEBD探針の作成実習を行う。
産業技術総合研究所 中央事
業所２群 本館D棟
3日目 形状測定（課題試料、または、持込み試料の観察）

8月7日～8月9日
（3日間）

3名

※実習は必ず行うが、一部の説明などでオンラインを併用することがある。

4日目 分光測定（課題試料、または、持込み試料の観察）

5日目 分光測定とまとめ（課題試料、または、持込み試料）

1日目

産業技術総
服部 峰之
19 計測 固体NMR計測・解析技
術
合研究所

全体説明と安全教育等。走査型トンネル顕微鏡をテーマにして、原子分解能を得るための走査技術の実習を行う。

講義：NMRの基本原理、固体NMRから得られる情報、施設
見学

固体NMRは、固体物質における局所構造を原子レベルで調べることのできる
高専専攻科、学部4年、有用な手法です。講義では、固体NMRの基本原理・理論をわかりやすく解説
修士課程、博士課程
し、固体NMRを用いることにより固体物質や材料についてどのような知見が得
試料持込または送付可（事前にられるかを理解します。測定実習では、固体NMR装置を用いて固体試料から2日目 実習：固体NMR測定の基本※化学系、生化学系、物 相談の上判断します。）
得られるシグナルを観測し、講義をした固体NMRの基本原理・理論をより深く
理系もしくはそれに関連理解します。同時に、講義では触れることの無い実際の測定手順とその際にした専攻に限る。
注意すべきことを理解します。

〒305-8565
茨城県つくば市東1-1-1
中央事業所5群※相談により“オンライン”“実地研修”の併用で行うことが可能です。

3日目 施設の見学、実習：固体高分解能NMRの測定

1日目

20 計測 レーザー時間分解分
光

産業技術総 細貝 拓也
松﨑 弘幸
合研究所

7月29日～8月1日
（4日間）
※応相談

時間分解分光法についてのイントロ・安全教育・施設見学、ナノ秒時間分解蛍光測定の説明、実習

高専4～5年、高専専攻
ポンプ・プローブ分光法や時間分解発光スペクトル、発光寿命など、超短パル 科、学部3～4年、修士課
ピコ秒時間分解蛍光測定およびナノ秒過渡吸収測定の説
スレーザーを用いた時間分解分光法は原子や分子、材料（例えば光触媒や発 程、博士課程
2日目
計測したい試料の持込みを可明、実習
光材料）の光反応機構や反応速度定数を調べる強力な手法である。本研究で能とする。この際に計測方法に※現在の研究に時間分解
2～3名 は、時間分解分光について基礎から応用まで習得するため、ナノ秒とピコ秒の関する相談も事前に受け付け
時間分解蛍光寿命測定の説明、実習、また時間分解過渡吸収測定の説明、 分光技術が役に立つと思われる者に問わず、未経験者 る。
フェムト秒過渡吸収測定の説明、実習 （オンライン併用可
実習、データ解析等を行い、パルスレーザーの使い方と同時に時間分解分光 や初心者などのレーザー技
3日目
能）法の基礎的概念と測定技術を習得する。
術や分光技術に興味を持つ〒305-8568
茨城県つくば市梅園1-1-1
産業技術総合研究所 中央事
業所2群10棟

者も歓迎する。

4日目 データ解析、全体のまとめ等 （オンライン併用可能）

1日目 概要説明、作業安全講習、SOIの薄膜化(酸化・エッチング)

電子線描画技術によ

小笹 健仁

木塚 優子
21 加工 る単一電子トランジス 産業技術総
大塚 照久
合研究所
タ製作と評価相浦 義弘

8月5日～8月9日（5日間）

量子効果を応用した基本素子の一つである単一電子トランジスタ(SET)製作
を通して、研究開発現場で用いられている電子線描画技術を中心とする微細加工を体験するプログラムです。シリコンナノアイランドを持つSETをナノアイラ
ンドやゲート電極のパターンの設計から描画、観察、エッチング、測定用電極 高専専攻科、学部3～4の形成迄の工程を途中に電子顕微鏡による観察などを行いながら体験しても 年、修士課程
らいます。出来上がったSETは、1.9K迄冷やせるクライオスタットを用いてクー
5名2班に分けてグループで取り組
ロン振動等の測定を行います。電子線描画における散乱電子による近接効果 ※未経験者歓迎
程度
んでもらいます。
の影響やエッチングによるパターンの’鈍り’などを考慮して目的の形状にいか ※単に電子線描画等のに近付けるかを体感してもらいます。
微細加工技術を体験した実習を行う共用施設内に設置されている機器(https://www.tiaい方も可kyoyo.jp/object.php?f=1)であれば希望が有れば見学や実習への取り入れも検討させて頂きます。
本実習は研究開発用クリーンルームを使用します。

2日目 CAD作業、電子線描画、電子顕微鏡観察

3日目 エッチング、フォトリソグラフィ、顕微鏡観察

4日目 真空蒸着、リフトオフ、電子顕微鏡観察、室温・冷却測定

5日目 測定結果確認、データまとめ、発表練習・ディスカッション

4/9〒305-8568
茨城県つくば市梅園１－１－１
産業技術総合研究所
つくば中央第２事業所 ２－１２棟
エレクトロニクス・製造領域 ナ
ノプロセシング施設

No.

横断技
術領域

研修テーマ

研修先
機関名

ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など研修スケジュール

特記事項

1日目

22 加工

電子ビームリソグラ
フィ

東京工業大
宮本 恭幸
学

7月24日～7月26日
（３日間）

2名

研修場所

電子線リソグラフィについての講義、電子ビーム描画装置の基本操作及びレジスト塗布・現像等の露光プロセス実習

講義や実習を通して電子ビームリソグラフィの基礎を習得します。実習では
電子ビーム描画装置（JEOL 8100FS）を操作し多層レジストへの重ね合わせ露 高専専攻科、学部4年、 電子ビーム露光を行いたいパ
光を行います。最後に露光結果をSEM観察し電子ビーム露光の特性を理解し 修士課程、博士課程
ターン等があれば歓迎します。
電子ビーム露光実習（重ね合わせ露光及び受講者の希望ていただけるようなプログラムです。
内容については事前にご相談く 2日目 する露光）
また、受講者の研究テーマに沿った電子ビーム露光も可能です。ご希望の ※未経験者・初心者向け ださい。
微細加工構造を露光して、その結果について議論したいと思います。

〒152-8552
東京都目黒区大岡山2-12-1
東京工業大学 未来産業技術研究所 南9号館

3日目 SEMによる露光評価実習、まとめ

23 計測 放射光X線回折入門

量子科学技
術研究開発 大和田 謙二
機構

8月1日～8月31日（うち3日間）※大型放射光施設
特例区域指定時期に開催

2名

放射光X線回折実験を行う際に必要となる基礎を習得します。研修は講義と実習で構成されます。講義では、X線回折の基礎から最先端のコヒーレントX
線回折イメージングまで「回折」に関係する話題を概観します。実習では、実験室のX線回折装置を利用して、講義で習得した回折現象について実際に体験し、X線回折を習得します。前半の締めくくりとして放射光施設の見学を行いま 高専4～5年、学部4年、修士課程、博士課程
す。後半の解析実習はコヒーレントX線回折イメージング装置の設置される
ビームラインで行います。ここではコヒーレントX線回折イメージングで得られた
典型的なデータを解析し、位相回復計算の基礎を習得します。希望者には、 ※未経験者歓迎
ARIM事業でご自身が得たデータの解析についてコンサルティングを行います。
尚、本研修は粉末構造解析や単結晶構造解析について実習を行うものではありません。また、実際の放射光を用いた研修ではありません。

1日目 イントロダクション、安全教育、講義「放射光X線回折」

午前：X線回折実験
2日目 午後前半：放射光施設見学
午後後半：解析実習（ビームラインにて）〒679-5148
兵庫県佐用郡佐用町光都1-11 大型放射光施設SPring-8

3日目 解析実習（ビームラインにて）

1日目 高温高圧合成についてのイントロダクション・安全教育

24

計測
高温高圧法による新
+
規物質合成
合成

量子科学技
術研究開発 齋藤 寛之
機構

7月16日～8月30日（うち5日間）2名

2日目 マルチアンビルプレスを使用した高温高圧合成の実習
新規物質合成のための強力な手法の一つである数百度・数万気圧領域での 高専4～5年、高専専攻
高温高圧処理を希望する試料
高温高圧合成について基礎から応用まで修得するため、キュービックマルチ 科、学部1～4年、修士課の持ち込みは、技術面およびアンビル装置を使用した高温高圧合成実習を行い、高温高圧発生と合成され 程、博士課程
安全面で問題の無い範囲で3日目 マルチアンビルプレスを使用した高温高圧合成の実習
た試料の分析技術の習得を目指す。実習では、実験のためのセルパーツ作
可。持ち込みを希望する際は事製、キュービックマルチアンビル装置を用いた高温高圧実験、および、常温常 ※未経験者、および、他
前に担当者と打ち合わせを行っ圧下に回収された試料について粉末X線回折測定、走査電子顕微鏡、熱分析 分野からのご参加を歓迎てください。
します。
装置を用いた評価などを行う。
微小部X線回折装置、走査型電子顕微鏡、熱分析装置を4日目使用した合成試料の分析〒679-5148
兵庫県佐用郡佐用町光都1-11 大型放射光施設SPring-8

5日目 データの解析、レポートの作成と放射光施設の見学

マテリアルの高度循環のための技術
No.

横断技
術領域

研修テーマ

研修先
機関名

ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

1日目

FIBによる試料作製と25 計測 TEMによる観察・分析 物質・材料
研究機構
の研修

上杉 文彦

8月20日～8月23日
（4日間）

1名

集束イオンビーム加工装置(FIB)と透過型電子顕微鏡(TEM)の基礎を学び、FIBによる試料作製とTEM操作(HRTEM、STEM-EDSなど)を研修する。

高専4～5年、高専専攻 自身の試料持ち込みは不可と科、学部1～4年、修士課 しますが、研究テーマに関する
程、博士課程TEM利用の相談は歓迎します。

研修場所

FIBとTEMの基礎講義、安全ガイダンス、オリエンテーショ
ン、FIB実習

2日目 FIBの実習

3日目 TEM実習〒305-0047
茨城県つくば市千現１－２－１
物質・材料研究機構 精密計測
実験棟

4日目 TEM実習

1日目

26 合成 細胞実験・イメージン
グ基礎講習

物質・材料
研究機構

李 香蘭
竹村 太郎

8月21日～8月23日
（3日間）

2名

高専4～5年、高専専攻
培養細胞の基本的な取り扱い方法や、共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡を科、学部1～4年、修士課
用いた蛍光免疫染色による細胞イメージング、液中原子間力顕微鏡を用いた
程、博士課程細胞のAFM観察を実体験して、基礎的な技術を学ぶ。関連する基本知識の座学も行なう。
※未経験者も歓迎

顕微鏡観察法、細胞免疫染色法（座学）。細胞免疫染色
2日目
（実技）。

3日目

5/9

培養細胞の基本知識、安全教育（座学）。細胞観察、細胞固定（実技）。

液中原子間力顕微鏡観察、共焦点レーザー走査型蛍光顕
微鏡観察（実技）。

〒305-0047
茨城県つくば市千現1-2-1
物質・材料研究機構 材料信頼
性実験棟

No.

横断技
術領域

研修テーマ

研修先
機関名

ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

1日目

計測
物質・材料
27 + 動物細胞の電子顕微
鏡観察
研究機構
合成

鴻田 一絵
服部 晋也

8月28日～8月30日
（3日間）

1名

高専4～5年、高専専攻
培養細胞を透過型電子顕微鏡で観察できる試料に調製する工程を実習形式
科、学部1～4年、修士課で学ぶとともに細胞培養の基礎、光学顕微鏡を用いた細胞観察についても実程、博士課程習する。待ち時間が多い工程の一部は、予め用意したサンプルを使用して対応する。
※未経験者歓迎2日目

研修場所

電子顕微鏡の基礎（座学）、細胞培養実習1（培養細胞の播種、計数法、細胞試料の包埋 ※オンライン対応可

細胞培養実習2（光学顕微鏡観察、卓上電顕観察）、TEMの実習1（切片作製） ※オンライン対応可〒305-0047
茨城県つくば市千現1-2-1
物質・材料研究機構※オンライン研修対応可

3日目 TEMの実習2（TEM観察）とまとめ ※オンライン対応可

1日目 溶液と固体のNMRの基礎
電気通信大
桑原 大介
28 計測 溶液・固体NMRの理論と実習
学

8月26日～8月28日
（3日間）

2名

溶液と固体のNMRの基礎から応用までを習得するため、溶液・固体NMRの基 高専4～5年、高専専攻
礎原理の講義を行う。特に普段何気なく使用しているNMRのパルス系列が働 科、学部１～4年、修士課
く原理についても詳しく解説する。さらに2次元NMRについても化学シフトの相 程、博士課程
関等がスペクトル上に出現する基礎原理について解説する。実習としては基本的な1次元と2次元のNMR測定に加えて、標準サンプルや持ち込みのサンプ ※未経験者歓迎、初心
ル等を使った固体NMR測定の実習も行う。
者向け

2日目

〒182-8585
2次元NMRの基礎、基本的な1次元・2次元のNMR測定の実 東京都調布市調布ヶ丘1-5-1
習電気通信大学 東6号館115室

3日目 固体NMRの実習

分子科学研 江原 正博
29 合成 分子系の量子化学計
算と機械学習の実習 究所
白男川 貴史

走査プローブ顕微鏡を湊 丈俊
30 合成 用いたナノレベル物性 分子科学研究所
解析

7月29日～7月31日（3日間）

9月5日～9月6日
（2日間）

4名

2名

量子化学計算および機械学習を実習し、その方法等を習得する。量子化学計
算では、構造最適化、振動解析、吸収・発光スペクトル、溶媒効果などの量子 学部1～4年、修士課程
化学計算を実習する。機械学習では、ニューラルネットワークモデルに基づく
画像分類、線形モデルに基づく分子物性の記述子の解析、非線形モデルと分 ※分子研としての受け入子の物理的表現に基づく分子物性計算の量子機械学習などに関するPython れ承認が必要
プログラミングの実習を行う。詳細は「夏の体験入学」のWebサイトを参照して ※分子研のＨＰ上から申下さい。指定のWeb申込期間中に分子研宛にも必ず参加希望申込みをして下 し込みが必要
さい。

1日目 オリエンテーション

走査プローブ顕微鏡を用いたナノレベルでの、物性解析（構造解析、機械特性
高専4～5年、高専専攻
解析、電気伝導解析、仕事関数解析などの中から興味のある物を指定）を学
科、学部1～4年、修士課
ぶ。原理を学ぶ講義、実際の装置を用いた実習、測定技術、データ解析技術
程、博士課程の方法を学ぶ。

1日目 走査プローブ顕微鏡の原理と基礎的な使い方を学ぶ

2日目 量子化学計算演習・機械学習演習〒444-8585
愛知県岡崎市明大寺町 字西
郷中38
自然科学研究機構 計算科学
研究センター

3日目 演習のまとめ・グループ内での発表

2日目 各試料の物性解析〒444-8585
愛知県岡崎市明大寺町字西郷
中38
自然科学研究機構 分子科学研究所 実験棟208号室

研修内容に関する座学（量子力学、第一原理計算、実験手
1日目 法に関する講義を行う）
実験準備
第一原理計算とX線光
名古屋工業
宮崎 秀俊
31 合成 電子分光測定を組みわせた材料の電子構 大学
造の観察

8月5日～8月7日
もしくは8月26日～8月28日
（3日間）

3名

典型的な元素であるシリコン、銅、金は電気の流れやすさが大きく異なる。この理由は何に由来するのか、そもそも理論計算で電気の流れやすさは予想で 高専専攻科、修士課程、
きるのか、電子構造の観点から検討する。研修では第一原理計算による理論 博士課程的な電子構造を調べるとともに、X線光電子分光測定を行い実験的な電子構造を調べることにより、これらの結果を比較・検討し、量子力学を用いた材料 ※未経験者歓迎
研究の基礎を学習する。

第一原理計算による電子構造の予測
2日目
X線光電子分光測定による電子構造の観察

3日目〒466-8555
愛知県名古屋市昭和区御器所町
名古屋工業大学1号館、22号

計算結果および実験結果の解析
研修結果のまとめ、発表

次世代バイオマテリアル
No.

横断技
術領域

研修テーマ

研修先
機関名

ホスト氏名

研修期間

定員

7月2日～8月23日（うち3日間）32 合成

理工系のたのしい英語プレゼン術公立千歳科 オラフ カート
学技術大学 ハウス

※参加学生とホスト
教員が相談して決
定する

5名

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

日本の学生向けの英語教育はますます向上しており、従来の読解やリスニン
英語の指示で電子顕微鏡用のサンプル作製。（自主学習
1日目
グのような受動的なスキルよりも、実用的な英語コミュニケーションスキルに焦時間15:00〜17:00）
点を当てる傾向が強まっています。高度なセミナーで教えられるスキルには、
プレゼンテーションや英語でのディスカッションが含まれています。しかし、海外へ留学したときや、国内で留学生を受け入れたとき、実験や機器の使用中
高専4～5年、高専専攻
参考教科書：Olaf Karthausら,に研究室での英語コミュニケーション能力を向上させる必要もあります。このプ
科、学部1～4年、修士課
電子顕微鏡の英語の説明。
“オラフ教授式 理工系のたのしログラムでは、まず学生は安全な研究環境で働くための注意を英語で受ける
程、博士課程
2日目 英語の指示で自分でサンプルを撮影する。結果のディスい英語プレゼン術77”, 講談社,
機会があり、バイオマテリアルを使用して実験を行い、電子顕微鏡で材料を観カッション。（自主学習時間15:00〜17:00）
ISBN 978-4065196090, 2640円
察することができます。すべては完全な英語の指導のもとで行われます。選ば※英語が苦手な人歓迎れた応募者は、千歳に来る前に使用される専門用語や文章が記載された説明書を受け取り、研修プログラムに備えることができます。１日目には使用されるバイオマテリアルが説明され、サンプルが準備されます。2日目にはSEM
イメージングが行われ、3日目には学生が実施機関の担当の前で成果を発表
3日目 発表の書類（pptファイル）作成。英語の発表。
する時間が与えられます。

6/9

研修場所

〒066-8655
北海道千歳市美々758番地65
公立千歳科学技術大学 研究棟・実験棟・大学院棟

No.

横断技
術領域

研修テーマ

研修先
機関名

ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

顕微赤外分光法(または顕微ラマン分光法)についての講義、測定ガイダンス、実習
1日目
持込試料の測定（ない場合はこちらで用意したものを測定）
8月1日～8月30日（うち2日間）はじめての顕微ラマン

木村-須田 廣※参加学生とホスト
33 計測 分光法・顕微赤外分光 公立千歳科
学技術大学 美法3名

教員希望者と相談の上，日程を決める。

顕微ラマン分光法や顕微赤外分光法は，比較的手軽に微小な試料を分析できる手法として極めて有効であるが，美しいデータを再現性よく得るのは難しい。本プログラムでは，はじめて顕微ラマン分光法や顕微赤外分光法に挑戦する学生に対してもわかりやすく，試料調整法なども含めて技術指導する。

高専4～5年、高専専攻 試料持込可（ただし，事前に十科、学部2～4年、修士課 分に打ち合わせしたものに限程、博士課程る。）

顕微ラマン分光法(または顕微赤外分光法)についての講義、測定ガイダンス、実習
2日目
持込試料の測定（ない場合はこちらで用意したものを測定）

備考：

マイクロ流体デバイス
雄矢
34 加工 の作製とバイオMEMS 早稲田大学 森本
藤田 理紗
内細胞培養

7月1日～8月30日（うち3日間）〒066-8655
北海道千歳市美々758番地65
公立千歳科学技術大学 研究棟・実験棟・大学院棟

本研修では、バイオMEMSに関連してマイクロ流体デバイスの作製とデバイス
内での細胞培養を学ぶ。マイクロ流体デバイスの作製では、既存の型を使用 高専4～5年、高専専攻
したPDMS転写モールディングとプラズマ処理による接合を行い、デバイスを 科、学部1～4年、修士課
研修の日程は調整可能です。
2～3名 作製する。さらにそのデバイスを用いて基本的な流体実験を行う。並行して、 程、博士課程
市販のマイクロチップを使用して細胞培養操作を経験し、共焦点レーザー走査※初心者向け型顕微鏡で3次元培養によるスフェロイドの形成を観察する。一連の研修を通 ※未経験者歓迎
して、バイオMEMSへの理解を深めることを目指す。

顕微ラマン分光法ならびに顕微赤外分光法に関する技術習得を目的としているが，研修者の希望でどちらか一方にすることも可能である。その場合，２日目は終日持込試料の測定となる。

安全講習、座学
1日目 マイクロ流路デバイスの作製(鋳型へのPDMSの型取り)
オンチップ三次元細胞培養

2日目 マイクロ流路の作製(プラズマ接合)、流体実験

3日目〒162-0041
東京都新宿区早稲田鶴巻町
513 早稲田大学研究開発センター(121号館)

培養した細胞の共焦点レーザー走査型顕微鏡による観察
研修のまとめ1日目 電子顕微鏡の講義と施設見学
超高圧電子顕微鏡を
35 計測 用いた触媒反応その場観察

7月16日～8月23日（うち3日間）名古屋大学 山本 剛久※ただし8月13日～
16日は除く名古屋大学の反応科学超高圧電子顕微鏡(JEM-1000K RS)は、触媒反応や金属の酸化・還元実験などガス反応環境実験が可能な世界で唯一の超高圧
2名
電子顕微鏡である。この装置を用い触媒微粒子のその場反応の観察を行い 修士課程、博士課程
程度
高分解能観察やEELSによる元素分析技術など、電子顕微鏡によるその場観察技術を習得する。

持ち込み試料は要相談

2日目 実技〒464-8603
愛知県 名古屋市 千種区 不老町
名古屋大学 超高圧電子顕微
鏡施設

3日目 午前：実技、 午後：まとめ

フォトリソグラフィ技術
丸山 央峰
名古屋大学
36 加工 を利用したマイクロ流
加藤 剛志
体チップ作製とその応用

7月30日～8月2日
（4日間）

4名

本技術講習では，マイクロ流体チップの作製方法およびマイクロ流体チップを用いた実験手法の基礎的な技術を習得できます。
具体的には，以下の項目を学習します。
１．マイクロ流体チップの研究開発の歴史，作製技術，および応用例
２．フォトリソグラフィの加工プロセスの基礎知識
３．CADを使用してマイクロ流路の設計データを作成する方法
４．マスクレス露光装置を使用してマイクロ流路のモールドを作製する方法
５．ポリジメチルシロキサン（PDMS）へのモールド転写によるマイクロ流体チップの作製方法６．プラズマ表面活性化装置を用いたマイクロ流体チップとガラス基板の接合方法
７．顕微鏡観察およびマイクロポンプによる流体制御を用いたマイクロ流体
チップでの実験方法

学部3～4年、修士課程、博士課程※初心者を対象とした講習です．未経験者も大丈夫ですので，微細加工やマイクロ流体チップを用いた実験に興味がある
最終日には，自分で作製したマイクロ流路チップを使用して流体制御実験を行方を歓迎します．
います。この実験によって，マイクロ流体チップの応用について体験することができます。
以上のように，CADを使用したマイクロ流路の設計データ作成から，マスクレ
ス露光装置を使用したマイクロ流路のモールド作製，プラズマによる表面活性化を用いたPDMS製マイクロ流路とガラス基板の接合，とマイクロ流体チップの作製に必要となる基礎的な技術について実習し，最終日には試作したマイクロ流体チップを使用した実験手順について実習を行います。

7/9

1日目

午前：マイクロ流体チップに関する講義，安全教育
午後：CADを使用したマイクロ流路パターンの作製

2日目

午前：フォトリソグラフィの前処理工程の実習
午後：マスクレス露光装置を用いたモールド作製の実習

午前：マスクレス露光における露光条件出しの実習
3日目 午後：PDMSへのマイクロ流路パターンの転写およびプラズマ表面処理を用いた接合の実習

4日目

午前：マイクロ流路の観察および実験方法の実習
午後：マイクロ流体チップを用いた応用実験，まとめ

講義，安全教育，CADを用いたフォトマスクデータ作成については，Zoom等のオンライン会議システムを用いて現地・オンラインのハイブリッドで対応可能です．
備考： 施設見学，マイクロ流体チップ作製の各工程，マイクロ流体
チップを用いた実験については，Webカメラ等で作業の様子を中継することで現地・オンラインのハイブリッドで対応可能です．

〒464-8603
愛知県名古屋市千種区不老町
名古屋大学 東山キャンパス
先端技術共同研究施設，EI総合館※オンライン併用可能

No.

横断技
術領域

研修テーマ

研修先
機関名

ホスト氏名

ナノ量子センサーを用いたバイオ計測の基
37 合成 礎技術習得 (細胞染 名古屋大学 馬場 嘉信
色・共焦点蛍光イメー
ジング・量子細胞計測)

研修期間

7月29日～8月2日
（5日間）

定員

2名

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

1日目

ナノ量子センサーについての基礎講義、研究室見学、使用する細胞の準備 (@東山キャンパス)2日目

ナノ量子センサーの物性評価と当該材料の細胞内導入、細胞毒性に関する評価 (@東山キャンパス)研修場所〒464-8603
名古屋市千種区不老町
名古屋大学 東山キャンパス
細胞毒性に関する評価の続きと第4日目の試料準備 (@東 理学部共用館
山キャンパス)
3日目
共焦点蛍光イメージングに基づく細胞観察 (@鶴舞キャンパ 〒466-8550
ス)
名古屋市昭和区鶴舞町65番地
名古屋大学 鶴舞キャンパス
医系研究棟3号館
ODMR顕微鏡を用いた量子細胞計測技術の体験
4日目(@鶴舞キャンパス)ナノ量子センサーを用いたバイオ計測の基本技術を習得する。細胞内への取り込みを促すためのナノ量子センサーの表面に関する評価、ナノ量子セン
サーによる細胞染色および共焦点蛍光イメージング実験などの実習を行い、 高専4～5年、修士課程
ナノバイオ研究の基礎知識と実験操作を学ぶ。さらに、発展的な実験として、細胞内に導入したナノ量子センサーを用いた量子細胞計測技術を体験する。

5日目 まとめ (@東山キャンパス) + 予備日

1日目 安全講習、電子線リソグラフィー実習
計測 半導体基板上への金 北陸先端科
38 + 属ナノパターンの形成 学技術大学 赤堀 誠志
合成 とその評価
院大学

8月21日～8月23日
（3日間）

3名

半導体製造技術の基礎を習得するために、クリーンルーム施設・電子線リソグ 高専4～5年、高専専攻
ラフィー(EBL)装置・真空蒸着装置等を使用して、半導体基板上へ金属ナノパ 科、学部1～4年
ターンを形成する実習を行う。さらにナノ材料評価技術の基礎を習得するために、エネルギー分散型エックス線分光(EDX)装置および電子線後方散乱回折 ※応募者多数の場合(EBSD)装置付き走査型電子顕微鏡(FE-SEM)を使用して、形成した金属ナノ は、高専専攻科およびパターンを評価する実習を行う。
B3・B4を優先する。

2日目 真空蒸着実習、施設見学、リフトオフ実習〒923-1292
石川県能美市旭台1-1
北陸先端科学技術大学院大学
ナノマテリアルテクノロジーセン
ター

3日目 走査型電子顕微鏡実習、まとめ

固体核磁気共鳴39 計測 （NMR）による材料分
析の基礎

北陸先端科
学技術大学 後藤 和馬
院大学

7月17日～7月19日
（3日間）

5名

研修期間

定員

固体の核磁気共鳴（NMR）は有機化合物の構造決定に標準的に用いられる溶
1日目 講義（固体NMRの原理と基本）、装置見学
液NMRほど普及はしていないが、固体をそのまま測定するという特徴から、溶液に溶解しない材料や溶解より構造変化する材料の測定、解析が可能であ
高専4～5年、高専専攻る。非晶質物質の解析も可能であることから、多くの有機、無機固体物質の分科、学部1～4年、修士課 測定試料持ち込みを希望する
析に活用されている。本研修では固体NMRによる有機・無機材料分析を行う
程
場合にはあらかじめご相談くだ13
1
13
ために必要な基本的原理と測定方法を学んだ上で、実際に固体NMR装置をさい。
2日目 安全教育、実習（有機固体についての C MAS、 H- C
使用した測定実習を行う。基本的技術であるマジック角回転（MAS）や交差分
CPMAS測定）※溶液NMRに関する基 （測定可能なもの、不可能なも極（CP）を用いた有機固体中の13C核の測定を実施する。さらに13C以外の分礎知識もしくは測定経験 のがあります）
析として、29Si NMRを用いたゼオライト化合物中のSi/Al比の決定を行うほがあることが望ましい
か、7Li NMRによるリチウムイオン電池正極（リチウム金属酸化物）および負極
実習 （ゼオライト化合物のSi/Al比決定、リチウムイオン電（炭素材料）中のリチウムの状態観測を行い、多核NMRの基本技術を習得す
3日目
池電極中のLiの分析）る。

〒923-1292
石川県能美市旭台1-1
北陸先端科学技術大学院大学
ナノマテリアルテクノジーセン
ター

次世代ナノスケールマテリアル
No.

横断技
術領域

研修テーマ

ナノスケールマテリア
40 合成 ルの合成

研修先
機関名

信州大学

ホスト氏名

橋本 佳男

8月28日～8月30日
（3日間）

3名

研修概要

対象学年など優れた機械的、電気的、化学的特性を示すナノスケールマテリアルをその場で作ります。さらに、できたものをラマン散乱や電子顕微鏡、表面分析などの手段で分析します。カーボン材料では、カーボンナノチューブとダイヤモンドの高専専攻科、学部4年、ごく薄い膜などを作ります。作るのに使う装置は、つつ状の炉にガスを流すだ
修士課程、博士課程
けのものや、メタンガスを入れて電子レンジのように電磁波を与えるだけの簡単なものです。高温高圧としなくてもダイヤモンドが生成する、最先端の合成※未経験者歓迎。参加
装置です。また、化合物の層状材料も最近注目されていますが、代表的な層
者の技術レベルに合わ状の化合物である遷移金属の硫化物を作製します。原料の金属を炉の中でせて指導します。
反応させて薄い膜を作ります。どの合成も、スイッチをポンと押して装置が自動合成してくれることを待っているのではなく、反応が見える状態で合成や処理を行い、材料合成やその分析の基礎技術を習得していただきます。

特記事項

研修スケジュール

1日目

8月5日～8月8日（4日間）

講義、施設見学、カーボンナノチューブ合成、層状材料合成超高温処理、ダイヤモンド薄膜合成、ラマン分析、表面分
2日目析

〒380-8553
長野県長野市若里4-17-1
信州大学 長野（工学）キャン
パス 国際科学イノベーションセンター（E2棟）

3日目 ラマン分析、電子顕微鏡観察、表面分析、まとめ

1日目

収差補正電子顕微鏡
九州大学 超による高分解能観察、41 計測 微細構造解析法の基 顕微解析研 村上 恭和
究センター
礎

研修場所

施設見学（超顕微解析研究センター）
電子顕微鏡の原理から最新の分析電子顕微鏡法まで（講義）
電子顕微鏡の操作原理（講義）

参加者が観察を希望する試料
透過電子顕微鏡をある程度利用した経験があり、更に高分解能観察等を目があれば対応も可能です。
電子回折、元素分析法の基礎（講義）〒819-0395
指している中級者を対象に、収差補正電子顕微鏡を使いこなすために必要な参加者の研究テーマに関する 2日目 電顕の簡単な操作： 照射系軸合せ、結像系軸合せ、非点
高専専攻科、修士課程、福岡県福岡市西区元岡744
2～3名 装置の基礎知識と操作法、電子回折や元素分析の各手法について学んで頂相談にも応じます。
補正（実習）
博士課程
九州大学超顕微解析研究セン
きます。
初日の午前の講義は、九州大
ター CE21棟
講義、実習（200kV の収差補正電子顕微鏡を使用）、演習を行う。
学超顕微センターの基礎講座と3日目
電顕の操作：ロンチグラム調整、原子分解能像観察（実習）同時開催の予定です。

4日目

8/9

電顕の操作；原子分解能像観察
先生との談話、まとめ

No.

横断技
術領域

研修テーマ

研修先
機関名

ナノカーボンの可溶化
42 合成 と分光分析およびナノ 九州大学
構造解析の実習

ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

3名

カーボンナノチューブとグラフェンの可溶化と構造解析の基礎を習得する。
種々の可溶化剤を用いて分散したナノカーボン溶液について、紫外可視近赤
外吸収分光、顕微ラマン分光、そして近赤外蛍光分光装置などのスペクトル測定法から、ナノ構造とスペクトルの相関を観測する。また、走査型電子顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡によるナノカーボンの構造解析技術を習得する。

特記事項

研修スケジュール

研修場所

1日目 ナノカーボンの構造と分光化学的性質について講義

7月1日～8月30日（うち平日の連続した3日間）

藤ヶ谷 剛彦KIM CHAERIN
白木 智丈※但し8/13〜16日
田中 直樹
を除く、希望者との日程調整による

対象学年など高専4～5年、高専専攻科、学部1～4年、修士課
試料持ち込み可能ですので事程、博士課程
前にご相談ください。

2日目 ナノカーボンの可溶化実験とスペクトル測定※未経験者歓迎〒819-0395
福岡県福岡市西区元岡744番
地
九州大学伊都キャンパスW3615

3日目 顕微鏡によるナノ構造解析

マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル
No.

横断技
術領域

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

1日目

計測
山形大学
43 + 高分子レオロジーの基
礎とフィルム加工加工

SUKUMARAN 7月1日～7月19日
Sathish K.
（うち3日間）5名

学部4年、修士課程、博 1日目は、高分子レオロジーの高分子のレオロジーについて基礎から応用までを習得するため、回転型レオ 士課程
基礎の座学 ２時間程度あり。
メーターを使用して高分子の溶融粘度の特性を理解し、その測定法を習得し粘弾性を計測してみたい試料ます。さらに、押出装置を用いて、高分子のフィルムの加工について基礎を学 ※分野専攻は不問（初心 等あれば相談に応じます。
び、加工性とレオロジーとの関係について理解を深めます。
者向け）
お気軽にお問い合わせくださ※未経験者歓迎い。

高分子レオロジーの基礎（座学）、レオメーターの基礎１（座学と装置利用）〒992-8510
レオメーターの基礎２（高分子などのせん断粘度測定（装置 山形県米沢市城南４－３－１６
2日目 利用））、レオメーターの基礎３（高分子などの動的粘弾性 山形大学／工学部／グリーン
マテリアル成形加工研究セン
測定（装置利用））ター
3日目

押出装置による高分子フィルムの作製（成形条件などによる成形安定性の理解（装置利用））

1日目 午前 SEM/FIBに関する講義

FIB-SEM によるサブミ
44 計測 クロン試料加工と分析 京都大学
の基礎

根本 隆

8月5日～8月7日
（3日間）

3名

高専専攻科、学部4年、走査電子顕微鏡(SEM)と集束イオンビーム加工装置(FIB)によるサブミクロン
修士課程、博士課程
オーダーの試料の基礎的な加工法、観察法、及び SEM-EDS法などによる局所分析法を習得する。講義と実機による実習を実施する。
※未経験者歓迎

研修場所

午後 実習

試料持込可。あらかじめご相談 2日目 午前 SEM-EDS法に関する講義 午後 実習下さい。
開始時間、終了時間は参加者の都合に合わせて調整いたし 3日目 午前 SEM-EBSD法に関する講義 午後 実習ます。
備考：〒611-0011
京都府 宇治市 五ケ庄
京都大学 化学研究所 32. 超
高分解能分光型電子顕微鏡棟

３日目の研修内容は参加者の希望により透過型電子顕微
鏡(TEM)観察の講義と実習に変更することができます。

1日目 講義、グレイスケール露光

マスクレス露光を用い45 加工 た３次元構造体の作 京都大学
製

江崎 裕子
高橋 英樹
諫早 明
岸村 眞治

7月29日～8月2日
または8月26日～8月30日（うち３日間）2名

高専4～5年、高専専攻
関連セミナーを計画中（研修期
グレイスケール露光によりSiウエハ上にレジストの3次元構造体を作製した科、修士課程、博士課程間前）。研修参加者には受講し 2日目 エッチング、離型剤処理
後、ドライエッチングによりSiモールドを作製する。熱インプリントによりモールていただきます。
ドの形状をプラスチックプレートに転写する。各工程後に、ウエハプロファイラ※グレイスケール露光、
作製デバイス、習得技術、等、等により寸法、形状を計測し、プロセスデータの抽出をおこなう。
熱インプリントに興味のご希望があれば検討させてい 3日目 熱インプリント、接合、評価（装置都合により内容が一部変更になる場合がありますので、予めご了解下さある学生。未経験者、初
ただきます。
い）
心者も可能。
備考：

I質量分析計（MALDI河合 壯
奈良先端科
SpiralTOFMSおよび
清水 洋
合成
学技術大学
LC/
MS（ESI46
西川 嘉子
TOFMS））を用いた測 院大学
山垣 美恵子定およびデータ解析

8月26日～8月28日
（3日間）

2名

高専専攻科、学部4年、質量分析について基礎から応用まで取得するため、基礎理解のための概要
修士課程、博士課程講習を行った後、実習で使用するMALDIおよびESIに特化した各論の講習を行う。
試料持込可だが、持込希望が※大学等における理工実習としてMALDI質量分析計を使用した材料系で頻繁に測定されるポリマーある場合は事前に打合せを行系学科（卒研開始の学測定を行い、そのデータ解析手法の一種であるKMD解析を行う。
う。
生）並びに大学院専攻の
また、LC/MS（ESI）質量分析計を使用して身近なサンプルをHPLCで分離しつ
学生（未経験者、初心者
つMSで測定を行い、データ解析を行う。
向け）〒606-8501
京都市左京区吉田本町
京都大学吉田キャンパス内 ナ
ノテクノロジーハブ拠点施設（総合研究6号館、等）

安全教育、施設利用説明は事前にオンライン（1時間）で実施

1日目 質量分析の概要等講義

2日目 MALDI-SpiralTOFMSを使用して測定、データ解析〒630-0192
奈良県生駒市高山町8916-5
奈良先端科学技術大学院大学
ﾏﾃﾘｱﾙ研究ﾌﾟﾗｯﾄﾌｫｰﾑｾﾝﾀｰ
物質創成科学領域棟

3日目 ESI-TOFMSを使用して測定、データ解析
クライオ電子顕微鏡法についてのイントロ・安全教育・施設
1日目 見学、クライオ電子顕微鏡法概要、いくつかの画像解析法
紹介

クライオ電子顕微鏡法
47 計測 による生体高分子試 大阪大学
料観察

光岡 薫
高木 空

8月28日～8月30日
（3日間）

2名

クライオ電子顕微鏡を用いると、急速凍結と組み合わせて、水溶液中にある生体高分子試料などを観察することができる。そこで、まず講義により、生体高修士課程、博士課程
分子などのクライオ電子顕微鏡観察の基礎を紹介する。そして、実際の装置を用いて、急速凍結とクライオ電子顕微鏡観察の実習を行う。

電子顕微鏡観察には原則としてこちらで準備した試料を用いますが、すでに観察したい試料 2日目 クライオ電子顕微鏡法についての実習がある場合、事前に連絡ください。

3日目 透過電子顕微鏡法についての実習、データ解析概説

9/9〒567-0047
茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学 超高圧電子顕微鏡センター