真空蒸着装置操作マニュアル
金蒸着編

第１版 2004.06.18

注意点
注意

DP (Diffusion Pump)使用前に冷却水を必ず流してください。

注意

蒸着は、蒸着室内の真空度を 10-3 Pa以下にして行うこと。

注意

RP (Rotary Pump)の停止は、 DP (Diffusion Pump)を十分冷却した後で行うこと。

注意

停止時は、蒸着室、 DP (Diffusion Pump)内を真空にしておくこと。

注意

停止時は、V5をOpenしておくこと。

禁止

DP (Diffusion Pump)内が大気圧の時に、DPスイッチをONにしないこと（オイルが酸化します）

1

装置の始動
冷却水を流します

主電源を ON にします

（下の写真程度）

液化窒素の注入
真空の引きを早くするため、装置左側面の注入口より、液化窒素を１リットル注入します

警告

注意

液化窒素の扱いには十分注意し、凍傷などの事
故を防ぐこと注入し始めは、液化窒素が内部で急激に気化して、注入口より吹き出すので、ゆっくり入れます2

装置の始動
全てのバルブをCloseしますRPスイッチを ON にします
（この時、「ポコポコ」という排気音が１０秒程度でなくなるはずです）

大気圧
真空
高真空

ＤＰ内排気
V2をOpenします

DPが十分加熱されるまで15～20分かかる
ので、その間に試料をセットします

RPの「ポコポコ」という排気音がなくなったら（通常30秒程度）、DPスイッチをONにします

大気圧
真空
高真空

3

蒸着室内リークV4バルブを右へ回して開きます注意

この際に一気に開くと内部に風が発生し、試料などを飛ばす可能性がありますので、少しづつ開きます

大気圧
真空
高真空

ベルジャ取り外し
V4バルブを一番右側へ倒すとベルジャが持ち上がりますベルジャをまっすぐ持ち上げ、左側の置き台に置きます注意

ベルジャを持ち上げる際には、電極などに当てない様、まっすぐに持ち上げます4蒸着室内試料セット
試料台に濾紙（55mm）を敷き、試料を置きます
その上に試料を置きます金ターゲットセット
タングステンバスケットの中に、金線10mmを丸めて入れます

金線10mm注意

金線は手で触らない様に注意します

タングステンバスケット5

ベルジャ装着
Ｏリングにゴミ、髪の毛などが付着していないか確認をし、ベルジャを被せます

注意

ベルジャを被せる際に、電極などに当てない様、まっすぐに被せます

蒸着室内粗引き
V4バルブを左へ回して閉じます注意

レバーの位置は、中央より左へ４５°倒れたところで十分です
これ以上、無理に回さないでください

6蒸着室内粗引き
V2をCloseした後、 V3をOpenします

大気圧
真空
高真空

蒸着室内粗引きVACUUM GAUGEスイッチをONにした際に、MAINVALVE READYが点灯するまで待ちます（通常、５～１０分で点灯します）
注意

VACUUM GAUGEスイッチは確認する時だけONにします

大気圧
真空
高真空

7

蒸着室内本引き
V3をCloseします
注意

V2をOpenします

V1をOpen します蒸着室内本引き
VACUUM GAUGEスイッチをON にして指針が振り切れないことを確認します
真空計が HighレンジからLowレンジに切り替
わり、真空度が10-3 Pa以下になるまで待ちます注意

指針が振り切れる場合は、
VACUUM GAUGEスイッチをOFFにして待ちます

大気圧
真空
高真空

8

シャッター設定
ベルジャ右下部のシャッターレバーを左に回して、試料上部にカバーをかぶせます注意

この操作は、タングステンバスケットを予熱して、金ターゲットを溶かす際に、最初に蒸発する表面の汚れ、油などが試料に蒸着されないようにするものですバスケット予熱

HEATER CONTROLつまみを、左へ回しきりにします。
HEATERパネル部のSELECTIONスイッチを2に設定し、電源をONにします9バスケット予熱
HEATER CONTROLつまみを、ゆっくり右へ廻し、１５Ａ程度電流を流します
タングステンバスケット部が赤熱し、金線が溶けた所で、HEATER CONTROLつまみを左へ戻します

注意

目の保護のために赤熱部を見つめない様にします

シャッター開放ベルジャ右下部のシャッターレバーを右に回して、試料上部のカバーを開放にします10試料台の回転MOTER DRIVE UNITのSPEEDつまみを左いっぱいに回しきります
電源スイッチをON、MOTORスイッチをON にして、SPEEDつまみをゆっくり右に回して、試料台を適当な速さで回転させます
注意

試料の回転は蒸着をムラなくおこなうためのものです
速すぎると試料が落ちます

蒸着
HEATER CONTROLつまみを、ゆっくり右へ廻し、３０Ａ程度電流を流します
１５秒程度待って、HEATER CONTROLつまみを左いっぱいへ戻します

禁止

絶対に赤熱部を直視しないこと

11

蒸着

タングステンバスケットの赤熱がなくなった所で、内部の金が全て蒸発しているのを確認します
残っている場合には、必要に応じて再度蒸着を行います

試料台の回転停止
MOTER DRIVE UNITのSPEEDつまみを左いっぱいに回しきります
MOTORスイッチをOFF、電源スイッチをOFF にします12HEATER電源OFFHEATERパネル部の電源をOFFにします

警告

この操作を忘れると電極に触れた際に感電する可能性があります

VACUUM GAUGEスイッチをOFF にします

試料の取り出しV1をClose します注意

タングステンバスケット
まが冷えるまで５分程度待ちます13試料の取り出し
V4バルブを右へ回して開きます注意

この際に一気に開くと内部に風が発生し、試料などを飛ばす可能性がありますので、少しづつ開きます

大気圧
真空
高真空

試料の取り出しV4バルブを一番右側へ倒すとベルジャが持ち上がりますベルジャをまっすぐ持ち上げ、左側の置き台に置きます
試料を取り出します
必要に応じて次の試料をセットして蒸着を繰り返します
警告

タングステンバスケットがまだ熱い場合があるので手を触れない様にします

14

装置の立ち下げ

ＤＰの停止
DPスイッチをOFFにします

注意

冷却水はDPスイッチをOFFにしてから15分間以上流す必要があります15ベルジャ清掃
ベルジャカバーを逆さまにして机の上に置きます
ベルジャを逆さまにしてベルジャカバーの中へ入れます
キムワイプにエタノールを浸して、ベルジャ内部に蒸着された金を拭き取ります
ベルジャ内部に残ったエタノールを乾いたキムワイプで拭き取り、５分程度そのままにして蒸発させます

ベルジャ装着Ｏリングにゴミ、髪の毛などが付着していないか確認をし、ベルジャを被せます

注意

ベルジャを被せる際に、電極などに当てない様、まっすぐに被せます

16蒸着室内粗引き
V4バルブを左へ回して閉じます注意

レバーの位置は、中央より左へ４５°倒れたところで十分です
これ以上、無理に回さないでください

蒸着室内粗引き
V2をClose した後、 V3をOpenします

３分程度、粗引きを行います17

装置の終了処理
V3バルブをCloseしますRPスイッチを OFF にします
V5バルブをOpen します

装置の終了処理
主電源を OFF にしますDPスイッチOFFから１５分間経過していることを確認して冷却水を止めます

注意

１５分間経過してしない場合には、必ず経過するまで待ちます18