●MMCの事業活動紹介／1●ファインMEMS Pj情報／5●コラム随想／6●海外動向／7●賛助会員の活動紹介／8

MMCの事業活動

平成19年度事業計画概要
Ⅰ．事業計画の基本方針
当センターにおいては、マイクロマシン・MEMS
等のマイクロナノ分野に係る基盤技術の確立を図る
べく、関連する国・NEDO技術開発プロジェクトを積極的に推進するとともに、同時にこれらの基盤技術の普及・産業化を促進すべく、政策提言活動、産業交流・活性化事業、調査研究事業、標準化推進事
業、普及広報事業等のマイクロナノ分野の産業化のための環境整備活動にも積極的に取り組むものとし、もってわが国産業の発展に寄与し、国際社会へ貢献することを目指している。
平成19年度においては、昨年より３ヶ年計画で開発がスタートした「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト」（通称：ファインMEMSプロジェク
ト）の推進に継続的に取り組むとともに、19年３月に開発が終了した「MEMS用設計・解析支援システ
ム開発プロジェクト」（通称：MEMS-ONEプロジェ
クト）についてはサポート体制を構築し成果普及業
務に移行するものとする。また産業化のための環境整備活動については、昨年発足したMEMS協議会の政策提言活動や産業交流・活性化事業をはじめとして、調査研究事業、標準化推進事業、普及広報事業等も前年に引き続き積極的に推進する。

Ⅱ．主要事業の内容
１．国／NEDOプロジェクト関係事業
マイクロマシン・MEMSに係る基盤技術の確立を図るため、産学官の力を結集して、国・NEDO主導の研究開発プロジェクトを積極的に推進してきております。平成19年度においては、平成18年度より３ヶ年計画でスタートした「高集積・複合MEMS製造
技術開発プロジェクト」を強力に推進する。また、
平成19年３月で終了した国／NEDOプロジェクト「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェク
ト」の研究開発成果であるMemsONEの普及促進を積極的に推進する。
（１）高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト（NEDOプロジェクト）
H18ナショナルプロジェクトとしてスタートした本
プロジェクトに関し、開発３課題である ①MEMS／
ナノ機能の複合、②MEMS／半導体の一体形成、③MEMS／MEMSの高集積結合、に係わる知識情報の収集・整理・構築を行う高集積・複合MEMS知識データベースの整備を本年度も引き続き実施する。特に、Webベースのデータベースシステムにより、本プロジェクトに参画する研究者からの知識入力を容易にし、知識情報件数および内容の充実を図る。まwwwホームページ：http://www.mmc.or.jp/

た、昨年度に引き続きNEDOと連携した本プロジェ
クトの全体管理の支援を実行するとともに、本年度のマイクロマシン展などの機会に中間成果を積極的にアピールする場を設ける予定である。
（２）MemsONEの普及促進について
平成19年３月で終了した国／NEDOプロジェクト「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェク
ト」の研究開発成果であるMemsONEの普及を推進するために、MemsONEサポートセンターを設置する。
なお、MemsONEサポートセンターは、MEMS協議会
とも連携して普及促進を強力に推進する予定である。

２．MEMS協議会事業（政策提言、産業交流・活性化事業）
MEMS産業の一層の発展を支援するため、昨年４月より新たな特別事業委員会として設置された「MEMS協議会」は、MEMS関連企業を構成メンバー
として、政策提言事業や産業交流・活性化事業を推進し、我が国MEMS産業の国際競争力強化に貢献することを目指す。
（１）政策提言活動
MEMS協議会メンバーによるMEMS協議会推進委
員会での行政、関係機関との意見交換やMEMSフォーラム開催を通して、積極的なMEMSに関する政策提言活動を行う。
（２）産学連携活動
特定のテーマにつき、関心をもつ企業メンバーが集まり研究会活動を行う。また、多方面への応用が期待されている、基盤技術であるマイクロナノ先端技術の展開を促進するため、情報交換、共同研究調
査の発掘のための場としての「マイクロナノ先端技術交流会」を前年に引き続き開催する。なお、標準化事業委員会と連携して標準化活動も推進する。
（３）MEMS開発のためのインフラ整備①MEMSファンドリーネットワークシステムの拡充・強化②MemsONEの普及促進③各地の公的ファンドリー、地域クラスターとの連携強化④人材育成事業の推進（４）MEMS内外ビジネス交流活動①MEMSモールの開設②総合イベント マイクロナノ2007 開催
マイクロマシン／MEMS分野の産業交流を推進するため、今年も昨年開催に引き続きマイクロマシ
ン／MEMS展、MEMSフォーラム、国際マイクロマ
シン・ナノテクシンポジウム、国／NEDOプロジェ
クトの成果発表会を総合イベント「マイクロナノ
2007」として７月25日〜27日に東京ビッグサイトにて開催する。

③第13回国際マイクロマシンサミットヘの参加
イタリア（ベネティア）で４月25日〜29日に開催される第14回国際マイクロマシンサミットに参加して、マイクロマシン技術とその応用分野に関する世界の動向等幅広い課題について討議を行う。
④国際アフィリエートネットワークの構築⑤海外へのミッション派遣及び研究者との交流

５．普及広報事業
広報機関誌の発行、配布、展示会等を開催し、広くマイクロマシン／MEMSに関する普及、啓発を図る。又、国内外の大学、産業界、公的機関等におけるマイクロナノに関する情報並びに資料の収集を行い、センターで実施した調査資料等とともに整備し、センター資料室において閲覧・検索に供するとともにセンターのホームページを通じて内外に広く情報の提供を行う。
（１）ホームページを活用した情報発信・交流の強化センターのホームページを活用して、積極的に情報発信・交流活動を行う。また、賛助会員向けのコ
ンテンツの充実を図る。
（２）広報誌マイクロナノの発行
広報誌を定期的に発行し関係者に配布するとともに、センターホームページからの発信も行う。
（３）月例ニュースの発行
マイクロナノにかかわる研究動向、行政動向などの情報について、毎月定期的に「MMC／MIFニュース」として賛助会員・MEMS協議会メンバー等に提供する。
（４）ニュースレター MicroNano Express による情報等の提供
MicroNano メーリングリストを通じてマイクロナ
ノ関連の産学連携情報、イベント情報等を賛助会
員・MEMS協議会メンバー等に随時配信する。
（５）文献抄録データベースの拡充など資料室の整備
充実
技術文献・資料の抄録をまとめた情報誌「マイクロナノインデックス」を定期的に発行し、賛助会員、関連機関等に配信する。また、収集した技術文献・資料については、資料室に整備格納し、閲覧等に供する。
（６）マイクロマシン／MEMS展の開催
マイクロマシン／MEMS産業に係る先端的な製品、製造材料等を展示し、同時に最新の研究成果を発表する場として、第18回マイクロマシン／MEMS展を
総合イベント「マイクロナノ2007」の一環として開催する。なお、今回より会場の都合により開催場所
を「東京国際フォーラム」より「東京ビッグサイト」に変更して実施する。
開催時期は、平成19年７月25日（水）〜７月27日（金）を予定している。

３．調査研究事業
製造業のキーテクノロジーとなりつつあるマイクロマシン・MEMS技術について、技術及び産業動向を的確に把握し、ナノテクノロジーとの融合領域における新たな技術課題について調査研究する。
（１）BEANSプロジェクト調査研究の実施
H18年度に実施したMEMSフロンティアとしてのナノ・バイオ融合による未来デバイス技術に関する調査研究の成果であるBEANSプロジェクトの国プロ化を目指して「BEANSプロジェクト調査研究検討会」
を立ち上げ、プロジェクトのスキーム、体制、テーマ内容等について検討する。
（２）国内外技術動向調査
技術進歩が著しい内外のマイクロナノ分野の技術及び研究動向について、本年も定点観測を行いマイクロナノ技術の進展についての基本的かつ重要なデータベースとして整備拡充をつづける。
（３）産業動向調査
昨年度に実施した「MEMS関連市場の現状と日本の競争力分析に関する調査研究」に引き続き、本年度はMEMS協議会海外アフィリエートとの間でMEMS市場に関する意見交換を行い、昨年来の市場動向の現状と将来予測に関する調査を完成させる。
また、今後の技術の発展に係る様々な課題についても情報収集し、調査分析を行う。
（４）マイクロナノデータベースの充実
MMCホームページ上で、賛助会員向けに公開されている文献検索や調査レポート、研究拠点マップ、ミニ調
査レポートなどのデータベースの一層の充実をはかる。

４．標準化推進事業
マイクロマシン／MEMS技術分野において、国際的なイニシアチブを発揮しつつ標準化事業を進める。
（１）標準化調査研究
H18年度にMEMS国際競争力強化とそれを基盤とした国際展開に必要とされる国際標準化・規格化指針となる標準化ロードマップを策定した。H19年度は上記ロードマップに基づき基盤共通分野、デバイス分野について絞込みを行い規格案創出に結び付ける
べく詳細な調査研究を行う。
（２）国際規格提案のための基準認証研究開発
H18年度に開始したMEMSデバイス機構材料の寿命加速試験法ならびにその特性評価試験用校正試料に関する標準化研究開発では、規格案策定のための基
礎データの取得を主眼に継続して事業を実施する。
（３）薄膜材料疲労試験法規格案フォローアップ
H18年度にNP（New Work Item Proposal）提案した疲労試験に関し、国際標準化に向けフォローアップを実施する。
（４）海外規格調査検討
急速に高まっている韓国など海外のMEMS規格提案に対応し、日本としての対応検討を実施する（RF−MEMS関連や、接合、パッケージング関連）。
（５）薄膜材料引張試験法規格のJIS化
06年度IEC規格化された引張試験法・標準試験片のJIS化を検討する。

マイクロナノ2007案内
1．第18回マイクロマシン／MEMS展
7月25日（水）〜27日（金）於：東京ビッグサイト（西３&４ホール内）
2．第２回MEMSフォーラム
7月25日（水）於：東京ビッグサイト（西３&４ホール内）
3．第13回マイクロマシン・ナノテクシンポジウム
7月26日（木）於：東京ベイ有明ワシントンホテル：アイリス
4．国・NEDOプロジェクト成果発表会
7月27日（金）於：東京ビッグサイト（西３&４ホール内）
2

BEANS（第3世代MEMS）の実現を目指して
財団法人マイクロマシンセンター 専務理事

桂一

今後は、自動車、情報通信、安全・安心、環境、医療等の分野におけるニーズに対応し、超小型・高機能・高信頼性を有する第２世代の多機能MEMSデ
バイス（ファインMEMS）の創出が求められています。
このため、これらの第２世代のファインMEMSの開発を支援すべく、●MEMS／ナノテク機能の複合技
術、●MEMS／半導体の一体形成技術、●MEMS／
MEMSの高集積化技術などの製造技術についてのファインMEMS技術開発プロジェクトが平成18年度より３年計画で発足しました。これらのファイン
MEMSは今後５〜10年後の実用化が見込まれます。

＜産業のマメ：MEMS＞
MEMSは各種の最終製品に組み込まれ高付加価値化のキーデバイスとなっており、最近では産業のマメと言われています。開発・製品例としては、光通
信分野などで用いられる光スイッチ用ミラーデバイ
ス、原子間力顕微鏡に用いられるカンチレバー、また自動車用部品などに用いられる圧力センサ、加速度センサ、さらには無線通信機器などに用いられる
RF（Radio Frequency：高周波）MEMSスイッチなどがあります。
半導体チップは、多くの製品に使われる基幹デバイスであるため「産業のコメ」と言われますが、これに対してMEMSは「産業のマメ」と称されています。これは、体は小さいもののMEMSを組み込んだ製品に素晴らしい効用・機能を与える活力源となっていることに由来します。また、多くの種類のMEMSデバイスがあること、MEMSの応用製品が多岐にわたることもマメに類似しています。（マメには大豆、小豆、落花生、グリーンピースなどの多くの仲間があり、豆製品も納豆、味噌、豆腐、豆乳、あずき餡など多岐にわたる。
）＜新たなライフスタイルを創出する未来のマメ
BEANSへの期待＞
さらに、20年後の将来社会を展望すると、MEMS技術がさらに発展し、ナノテク材料技術やバイオ技術と融合して新たなライフスタイルを創出し革新的インパクトを与えることが出来るような夢のデバイス（MEMSフロンティア未来デバイス；第３世代
MEMS）が出現することが待望されます。このような未来デバイスの創出に向けた技術基盤の確立に、今から取り組んでいくことが重要であると考え、当センターでは平成18年度に（財）機械システム振興協会の委託を受け調査研究を実施しました。ここでは、このような未来デバイスをナノ・バイオと電気機
械を融合し自律動作するデバイス・システムBEANS（Bio Electro-mechanical Autonomous Nano Systems）と呼ぶことにして、BEANS基盤技術開発プロジェクトを提唱しました。現在、産業競争力懇談会（COCN）の支援も受け、平成20年度からの国・NEDOプロジ
ェクト化を関係方面に要望しています。

＜MEMSの発展の流れ＞
MEMS発展の流れを概観すると、現在は、MEMSの小型化の利点を生かして既存部品を置き換える、
単機能デバイスを中心としたいわゆる第１世代
MEMSが発展しており、圧力センサ、加速度センサ、
インクジェットプリンタヘッドなどの製品が大きな市場を形成しています。約4400億円と推定される国内市場の大半はこの第１世代MEMSによるものと思
われます。
産
業
高
度
化
︵
技
術
の
発
展
と
市
場
の
拡
大
︶

青柳

BEANS

Bio ＆ Electro-mechanical Autonomous Nano Systems
ナノ・ バイオと電 気 機 械を融 合 、 自律 分 散で機 能するデバイス・システム

2 兆 4,000 億円（2015 年）

第 3 世代：BEANS−新たなライフスタイル創出−

・Micro と Nano-Bio との融合
・自律分散システムとキーデバイス

グリーンデバイス： 環境・エネルギー
ホワイトデバイス： 健康・医療ブルーデバイス： 快適生活空間

1 兆 1,700 億円（2010 年）

第 2 世代

黎第 1 世代現状

明期

・MEMS ／ナノテク機能の複合技術
・MEMS ／半導体の一体形成技術
・MEMS ／ MEMS の高集積化技術

ファイン MEMS
多機能デバイスの創出（高機能・小型化・信頼性）

4,400 億円
（2005 年）

・３次元マイクロ加工を中心に
日本発 MEMS がインハウス、
ファンドリーの両輪で発展

単機能デバイス−既存部品の置き換え（既存部品の小型化の進展）

２００５

２０１０

２０１５

２０２０

２０２５

MEMS産業・技術ロードマップ◆国内のMEMS市場は2000年以降急速に立ち上がり、2005年4,400億円に達し、2010年には1兆1,700億円、2015年には2兆4,000億円に達すると予測される*◆さらに大きな発展を狙うには既に大きな市場である自動車、
情報通信に加え、医療福祉・バイオ、
環境・エネルギー分野への展開が重要
MEMS市場の推移予測（中間値）*

億円
25000
20000
15000
10000
5000
0

2005年度

2010年度

2015年度億円

農林水産関連分野
航空宇宙関連分野
都市環境整備関連分野
環境関連分野エネルギー関連分野
バイオテクノロジー関連分野
医療福祉関連分野
製造技術関連分野
精密機器関連分野
アミューズメント関連分野
民生用電子機器・電気機器関連分野
情報通信機器関連分野
自動車関連分野

BEANSにより拡大が期待される市場*

1600

農林水産関連分野

1400

航空宇宙関連分野

1200
都市環境整備関連分野

1000
800

環境関連分野600

エネルギー関連分野

400

バイオテクノロジー関連分野

2000

医療福祉関連分野
2005年度

2010年度

2015年度*（財）マイクロマシンセンター市場動向調査より

MEMS市場推移

3

MemsONE（成果版）の普及について
In One）され、日本語で対応できることが何よりの特徴で、初心者にとっては使い易いものとなっています（図参照）。
機能としては、解析・設計の標準的ソフトの他、最終構造からマスクやプロセスを設計するというユニー
クな「逆問題」ソフトやデバイス開発時に課題の多い
接合・パッケージの評価ソフト、MEMS分野で最新技術動向の焦点となっているナノインプリント解析、回路との一体解析や、1700件を越す豊富な知識データベース、プロセスラインで取得したデータを含め約170
件の材料特性データベースが揃っています。

「MEMS用設計・解析支援システム開発」プロジェ
クト（新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO
技術開発機構）委託事業）は平成16〜18年度（３ヶ年）の開発事業が完了しました。得られたMEMS用設計・解析ソフトの成果版（β版）を６月初から頒布開始致します。
昨年11月末日から無償で配布してきた評価版（α版）は２月末時点で約400件（ライセンスベース）の利用者があり、その70％の方々から、機能、価格、サポート等についてのコメントや期待が寄せられました。これらの声を参考にして改良を加え、プロジ
ェクト開発課題全部を搭載したβ版をリリースする予定です。企業における商品開発・設計に、また大学での研究、教材等への活用を期待しています。

２．普及に向けた活動
MemsONEソフトの普及に向け昨年度から実施している広宣活動として、電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、第９回関西
設計・製造ソリューション展、マイクロマシン展、及び同時開催の成果発表会、更にはNanotech2007展示会において大々的にアッピールしてきました。
このような広報活動の成果もあって、MemsONEク
ラブ会員の登録数は約800名にまで拡大しました。
MemsONEクラブ会員はMemsONEの潜在的ユーザとして位置付けられるので、今後も情報公開・サービスを重点的に行っていく所存です。

１．プロジェクトの狙いとシステムの特徴
本プロジェクトは、最先端の習熟したMEMS研究者・技術者に利用されるのみならず、初心者や経験の乏しい他分野の研究者・技術者であっても、MEMSに関する高度な知見やデータをストレスなく利用することが可能なシステムの開発を目指してきました。
これによりMEMS産業の裾野拡大を図ることを狙いにしています。
本システムMemsONEは、ソフト開発企業３社が其々得意の分野を分担、MEMSデバイス事業を手掛けている５社がその経験と実績で仕様付けや評価に参画、13大学の教官が最先端の知識と知恵を提供、１研究機関が長年に亘り蓄積した計測技術を提供する
ことにより開発されました。
MEMSの設計に必要な解析機能は一通り搭載（Allフレームワークソフト

３．β版の頒布日程
・頒布案内：４月からホームページ、メディア等を通してβ版頒布の案内を開始します。
・頒布価格：１万円／ライセンス程度とします。
・使用環境：詳細はホームページに掲載します。

ユーザ・フレンドリーインターフェース

デバイス構造作成

マスク作成

データコンバータ

自動格子作成プロセスレシピプラグイン機能

解析条件設定解析結果表示機構解析シミュレータ

プロセス解析ツール

機能拡張ソフト

力学解析

異方性
ウェットエッチング

プロセス逆問題解析

ドライエッチング

接合実装解析

マルチプロセス

回路集積化 MEMS

電磁界解析
圧電解析
伝熱解析・熱変形解析
雰囲気流体影響解析

データベースインターフェース

知識 DB

材料・プロセスDB

熱ナノインプリント解析

解析機能
モジュール群

光ナノインプリント解析

上記連成解析

外部プラグインソフト

精度向上のための材料・プロセス物性
データベース

プラグイン DB4

ファインMEMS Pj 情報

ファインMEMSプロジェクトのスタートと知識データベースの整備
度に完成したMEMS-ONE解析・設計支援システムの知識データベースに収納されていますが、「ファインMEMS知識データベース」はそれに加え、ナノ機能との融合、半導体との一体化およびMEMS間の結合な
どの高集積・複合MEMSに係わる知識を目指しており、収録件数及び質について高いものが要求されます。その重要性を痛感され本プロジェクトのプロジェ
クトリーダである東京大学下山勲教授が、自らその具体的な取組み方法などについて陣頭指揮を執られています。本プロジェクトに参画する事業者からだけではなく、国内の本プロジェクトの開発課題に造詣の深い５つの大学研究室に専ら本件に係わる知識の研究開発を委託、さらに国際会議情報、特許情報など
MMCの研究員が収集するなど、充実した内容になるべく挑戦しております。また、図２に示すように本
プロジェクトに参画する研究者間の意見交換などコラ
ボレーションが可能なようにWebベースのMedia Wiki
システムを導入し、より質の向上を図っています。
H20年度末に本プロジェクトは完了しますが、それ以降はわが国に広く公開する予定ですのでご期待ください。

平成18年度より経済産業省／NEDO委託・助成事
業として高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェ
クトがスタートしました。このプロジェクトは情報
通信、医療・バイオ、自動車など多様な分野における電子機器・部品の小型化・高性能化に大きく寄与
す る キ ー デ バ イ ス で あ る MEMS（ Micro Electro
Mechanical Systems：微小電気機械システム）の製造技術を、ナノ機能との融合、半導体との一体化およびMEMS間の結合など、図１に示すような開発課題に挑戦しブレークスルーすることにより、新たなステージとしての小型・省電力・高性能・高信頼性の実現を目指しています。この新たなステージでのMEMSを愛称としてファインMEMSと名付けました。
マイクロマシンセンターは開発課題の一つである「ファインMEMS知識データベースの整備」を受託いたしました。プロジェクトの中で培われた製造技術に係わる情報を集約し、国内のMEMSに係わる研究者、技術者が広くその情報を活用し、わが国の製造技術の活性化や裾野拡大を図ることを狙いとしています。MEMSの基本的な知識情報については、H18年
MEMS／ナノ機能の複合

MEMS／MEMSの高集積化
異種材料多層集積

ナノ機能デバイス

ナノ・バイオ材料

ビルドアップ多層集積

バイオMEMS接合
光MEMS

低ストレスダイシング

RF-MEMS
ナノ材料
修飾接点

セラミック
（インターフェイス機能）

知識データベースの整備

MEMS／半導体の一体形成
プロセス統合モノリシック

知識データの収集・体系化
MEMS-ONE
との連携

横方向配線
縦方向配線

一般公開

共有コラボレーション環境の実現

図１

ファインMEMSの４つの開発カテゴリー
研究開発の概要

高集積・複合MEMSの開発者のためのデータベースの整備として、
知識情報および学会等の新規技術情報の収集・体系化を行う。

（１）知識データの収集、整理・ 各受託事業者が本事業の研究開発を通じて得られた知識情報
・ 国内外学会などの主要な新規技術情報に関して収集、体系的に整理

ファインMEMS
知識データベース（２）全研究項目の知識データを網羅
補完が必要と思われる項目（助成関連）について、大学へ再委託し知識情報を収集

研究開発メンバー（３）共有コラボレーション環境の実現

連携

MemsONE

DB入力にWikiシステムを用いて、本事業の研究者の共有コラボレーション環境を実現（４）MEMS-ONEとの連携研究開発メンバー

MEMS-ONEの分類体系をベースに新たな分類体系を連携構築（５）一般公開
国内の高集積・複合MEMSに関する研究開発の活性化に向け一般に公開

ウェブブラウザ、Wikiによる自由記述、閲覧自由に「記事」を書き加えていくコラボレーションツール

図２（委託事業：財団法人マイクロマシンセンター）

高集積・複合MEMS知識データベースの整備

5コラム随想MEMSフロンティア未来デバイス グリーンデバイス
三木慶應義塾大学理工学部機械工学科 専任講師

則尚（２）オンサイト環境浄化

H18年度より「高集積・複合MEMS製造技術プロジ
ェクト」が推進され、MEMS分野のますますの発展が期待されます。一方で、ナノテクノロジー、バイオテ
クノロジーといった新分野において画期的な成果が多数生まれています。MEMS技術とこれらナノ・バイオを融合させることにより、MEMS分野に不連続なイノ
ベーションを生み出すことができないか、と始められた調査研究が、H18年度に（財）機械システム振興協会から（財）マイクロマシンセンターに委託された「MEMSフロンティアとしてのナノ・バイオ融合による未来デバイス技術に関する調査研究」です。この調査研究がターゲットとする未来デバイスは、「MEMSをベースにナノ・バイオ材料を融合させたデバイス
で、２０年後の社会をターゲットに新しいライフスタ
イルを創出し革新的インパクトを与えるデバイス」と定義されます。未来デバイスは、図１に示すように、
トップダウンプロセスである微細加工と、ボトムアッ
ププロセスであるナノ・バイオプロセスを融合したプ
ロセスインテグレーションを基盤技術として実現され、20年後の社会における重点課題であろう「環境・エネルギー」、「健康・医療」、「安全・安心」の３つの領域で活躍します。本調査研究は、この３つの領域に関する未来デバイスをそれぞれ、「グリーンデバイス」、「ホワイトデバイス」、「ブルーデバイス」と称し、「プロセスインテグレーション」とあわせ4つのワーキン
ググループ（WG）を構成し、遂行されました。今回のコラム随想では、グリーンデバイスについて、グリーンデバイスWGの委員長を務めさせていただきました三木がご紹介したいと思います。
グリーンデバイスWGでは、表１に示す委員構成で、20年後の社会に、環境・エネルギー分野でインパクトを与えるグリーンデバイスについて調査研究をおこなってきました。20年後のグリーンデバイスはどうあるべきか（ニーズ）、現在のMEMS技術にナノ・バイオを付加することで20年後には何が可能か（シーズ）、両方のアプローチをとりながら、議論を進めてきました。その成果として、次の３つのグリーンデバイスを提案します。いずれにおいてもMEMSの特徴である「局所・オンサイト」が生かされ、ナノ・バイオにより高性能化、高機能化されています。

自動車や湯沸かし器から排出される二酸化炭素や、家庭から出る排水など、一度排出されてしまえば極低濃度になり回収浄化困難なものを、排出源において高濃度のままオンサイトに浄化します。汚染物質を分離するナノポーラスフィルタや、有害物質を浄化する微生物利用などのバイオ技術応用が期待されます。

（３）超高感度環境物質検出デバイス
極微量の環境物質を、高感度かつオンサイトに検出します。計測システムも小型化され、分散して配置されセンサネットワークのノードを形成します。例えば、金や銀などのナノ構造を利用したSERS（Surface
Enhanced Raman Scattering：表面増強ラマン分光法）が期待されています。
20年後のデバイス、ということで若干具体性に欠けるやもしれません。今後の研究の進展とともに、デバ
イスイメージがより鮮明に確立されていくかと思います。グリーンデバイスに限らずMEMSフロンティア未来デバイスは、MEMS技術を基盤としつつも、もはやMEMSとは言えません。そこで新たな呼称としてBEANS（Bio Electromechanical Autonomous Nano
Systems）が提案されました。BEANSが世間に浸透する日も近いのではないかと確信しています。
MEMS フロンティア未来デバイス技術の全体像
20年後の社会をターゲットに革新的インパクトを与える
未来デバイスの実現に係わる基盤技術の提唱

未来社会の重点分野

健康・医療

環境・エネルギー

生涯はつらつ生活
テーラーメイド・予防医療

完全循環型社会光エネルギーの有効活用

ホワイトデバイス

グリーンデバイス

・MEMS体内エージェント

・ナノ構造応用太陽電池
構造応用太陽電池

・大面積壁紙デバイス
大面積壁紙（センシング・ディスプレイ内蔵シー
スプレイ内蔵内蔵シート）（体内滞在型診断治療マシン）

・五感集積
五感集積デバイス

・４次元ハイブリッドデバイス
・MEMS健康シート（ワンチップ分析装置（ワンチップ分析装置）
分析装置）

・超高感度環境物質センサ
超高感度環境物質（体に貼って健康状態をモニタ）

・携帯通訳（生体になじむ・成長するデバイス）

プロセスインテグレーション

（触覚
（触覚，
触覚，
嗅覚 味覚センシング
嗅覚，
味覚
・再現）
再現

・マイクロ化学分析
化学分析（携帯（携帯オンデマン
携帯オンデマンド通訳）
ド通訳
通訳）

革新的未来デバイスを創出するためのプロセスインテグレーション
ナノ構造・大面積・界面制御

レーション
・ナノマニュピ
用タンパク質利・ゲノム応用新創生
材料・未来

MEMSフロンティア未来デバイス
表１

三木 則尚
宮崎 康次
安達千波矢
下山
勲
石田 敬雄
古田 一吉
古賀 章浩
三宅
亮
最所 祐二
高野 仁路
安達 淳治
福本
宏
塚田 修大

6

ブルーデバイス（体内モニタリングマシン）

・体内マイクロドクター・オンサイトCO
CO2固定デバイス
固定

図１

光・熱・振動・バイオ等の未利用環境エネルギーを有効に利用し、エネルギー供給します。例えばセンサ
ーネットワークなどの分散されたセンサデバイスに、
オンサイトで電源供給することができます。また体内
埋め込み医療デバイスの電池交換が不要となり、患者のQOL向上につながります。３次元ナノピラー構造による超高効率な有機太陽電池、ナノコンポジット、ナノポーラス構造による超高効率熱電変換素子、また環境から取得したエネルギーを必要になるまで蓄えておく高性能蓄電デバイスなどの開発が期待されます。

スーパーリアリティの実現

・超分散型
エネルギー吸収吸収デバイスエネルギー吸収デバイス

・マイクロ
ナ・ナノカー ノマシニング
ボ・自己組 ン／ナノ半導体利織化
用・マクスウェ
ルの悪魔
デバイス（１）エネルギー・ハーベスティング

快適・安心・安全
コミュニケーション

グリーンWG委員

慶應義塾大学理工学部
九州工業大学生命体工学研究科
九州大学未来化学創造センター
東京大学大学院情報理工学研究科
独立行政法人産業技術研究所
セイコーインスツル株式会社
株式会社東芝株式会社日立製作所
松下電工株式会社
松下電工株式会社（財）マイクロマシンセンター
三菱電機株式会社
株式会社日立製作所

海外動向

中国におけるマイクロ・ナノシステム分野の研究動向調査
1月10日〜13日に中国海南省三亜市において、ASME（米国機械学会）、CMES（中国機械学会）共催による国際会議Micro Nano China 2007（International
Conference on Integration and Commercialization of Microand Nanosystems in Sanya, China）に参加し中国におけるマイクロ・ナノシステム分野の研究動向調査を行いました。この学会は2001年よりASME Nanotechnology
Instituteが開催しているNanosystemsのインテグレーシ
ョンに関する学会でこれまでは米国内で開催されていたが、今回中国機械学会、及びMANCEFとの共催で初めて米国外の中国海南省三亜市で開催されました。中国でのMEMS関連の研究開発が盛んになっており、米国で活躍する中国出身のMEMS研究者が中心となり、両国の機械学会が共催したのが中国開催の背景と考えられます。
今回はMEMS協議会海外アフィリエートのMANCEFからの要請で、日本におけるMEMS技術開発、産業化推進の状況について招待講演し、加えて以下の目的で参加しました。
・近年研究開発が盛んとなり、将来日本のMEMS
産業へも影響を及ぼすと思われる中国の研究開
発、産業化の動向を調査する
・中国と米国の研究協力の状況について調査する
会議は近年リゾートとしても注目されている海南
島の最南端に位置する三亜市で開催され、108件の口頭発表、260件のポスター発表が行われました。セッションの内容、参加国分析は表１、表２の通りです。

質・量とも充実しているとの認識を、中国・台湾・韓国等アジア諸国に与えることができた。
・中国の研究動向の全容を把握できた・MEMS関連研究動向
・MEMS関連研究グループ総数：140
研究者：3,000名
・中心的MEMS研究グループ：50
研究者：1,452名
・華北地域：清 華 大 学 、 北 京 大 学 、 C A S 、
CETC13所
・華東地域：SIMIT、上海交通大学
・東北地域：大連理工大学、ハルピン工業大学
・その他地域：重慶大学、西安交通大学、中国
科技大学
・2006年〜2020年の研究開発長期戦略においてマイクロナノは重点分野である・産業化動向・北京、瀋陽、太原、杭州、無錫、重慶等で企
業化開始
・産業化支援を目的とする組織設立等の動きはない
・米中の研究協力
・NSFが中心となり米中の研究協力を推進
・北京に事務所開設（2006年５月）
・NSF U.S.-Chinaプログラムへの投資状況
・約150のプロジェクトを推進中
・投資額15MUS$（共同研究先の投資は含まず）
中国は米国在住の中国人研究者との連携を強め、
マイクロナノ分野でも今後一気に研究の高度化、産業化が進展する可能性があり、今後も継続的に調査していく必要があります。

この学会での発表内容、及び参加者との情報交換から以下の成果を得ることができました。
・口頭発表、及び参加者との情報交換により、日本のMEMS産業化への取り組みは産官学連携により全体
China
TaiwanUSA＆Canada
EuropeJapan
Korea
Australia
India
Singapore
China/USA
China/Europe
China /Japan

口頭発表
108
45
8
33
8
4
3
2
0
0
3
1
1

産業化
14
1

基調講演
10
2
1
4
2

7
4
1

ポスター
260
189
6
28
8
5
6
1
8
1
6
1
1

エネルギー伝熱1251
41

プロセス製造
15
7
0
6
1
1

マイクロ／ナノ流体 マイクロ／ナノ力学
6
6
2
1
1
2
2
1
1

計測制御
14
13

1

1

1

1

2
1

1
1

表１
全体
China
TaiwanUSA＆Canada
EuropeJapan
Korea
Australia
India
Singapore
China/USA
China/Europe
China /Japan

MEMS／NEMS
31
14
5
8
1

口頭発表分析：セッション別と国別件数

Systems
35
24
7
1
1
1
1

Devices
67
52
5
3
1
1
1
2

プロセス製造83
62

マイクロ／ナノ流体
23
13

8

8
1
1
3

6
2

1

3

1

1

1

4

2

1
1

表２

ポスター発表分析：セッション別と国別件数

7マイクロ／ナノ力学
21
16
1
2

エネルギー伝熱
31
22

平 マ
成 イ
十 ク
九 ロ
年 ナ
四 ノ
月 第
二 五
十 十
七 九
日 号
発
行

賛助会員の活動紹介

株式会社数理システム

平
成
十
九
年
四
月
二
十
三
日
印
刷

会社案内
弊社は発足以来20有余年一貫して科学技術系のプログラム開発、とりわけ半導体関連のシミュ
レーションを中心とした物理設計ツールの開発を精力的に進めてまいりました。例えば、プロセ
ス・デバイスシミュレータ、回路シミュレータの開発、及びそれらを利用したパラメータ最適化設
計、ばらつき設計などです。MEMSの分野には、昨今、その可能性に大変興味を抱き、今まで培った知識、技術を利用、展開する形で、積極的に新しいツールを開発しているところです。現
在、LSIと同一基板上に作成される回路集積化
MEMSに対応して、MEMS機構形状とLSI形状を同時に生成できる３次元プロセスシミュレータ、
あるいは、機構解析と電子回路解析を同時に行
う回路集積化MEMSシミュレータの開発を終えつつあります。また、MEMS関連ツールの委託開発やコンサルティングも行っております。自社開発の最適化パッケージ、データマイニングパッ
ケージあるいは統計解析ツールなどもありますので、あわせて、幅広い問題解決にご利用いただ
けるものと思います。

関連開発製品

常務取締役

科学技術部長

水田

千益

タ
カ
ラ
印
刷
紙
工
株
式
会
社

ミラーデバイス作成プロセスの生成例

回路集積化MEMSシミュレータ
MEMS機構素子の動作とそれを駆動あるいは制御する電子回路の動作を同時に無撞着に計算します。使いやすいGUIで複雑な櫛歯アクチュエー
タも簡単に作成できます。（MemsONEプロジェ
クトの成果です。
）

ParadiseWorld-2
MEMS・LSI一体型の三次元プロセス（形状）シミ
ュレータ。容量、抵抗、デバイスシミュレータがオプションでつきます。マスク（GDS-II）とプロセ
スレシピとから、連続シミュレーションにより、世界に類を見ない速度と精度で二次元及び三次元の滑らかな形状を生成します。

櫛歯アクチュエータのGUIによる作成例（実際はこれに駆動電子回路をつけて解析します。）

その他製品

マイクロミラー形状作成例

MEMSプロセス逆問題解析ツール
所望のMEMS形状を入力すれば、それを生成する
ためのプロセス及びマスクを逆方向に生成します。
（MemsONEプロジェクトの成果です。
）

発

行

印
刷
所

LiCRSIM 超高速大規模線形シミュレータ
Thyme SPICEネットリスト圧縮ツール
NUOPT 最適化パッケージ
Visual Mining Studio データマイニングパッケージ
Text Mining Studio テキストマイニングパッケージ
S-PLUS 統計解析パッケージ
詳しくは弊社HomePage（http://www.msi.co.jp）をご覧下さい。

財団法人マイクロマシンセンター
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TEL.03 - 5835-1870 FAX.03 - 5835-1873
wwwホームページ：http://www.mmc.or.jp/

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