超絶縁計 SM7110, SM7120, SM7420
SUPER MEGOHM METER SM7110, SM7120, SM7420

耐 ノ イ ズ 性 能 300 倍
最 高 2×1019 Ω 表 示
最 小 0.1 fA 分 解 能
最 速 6.4ms 計 測
最 大 2000V 出 力

超 絶 縁 計SM7120

使

い

方

自

由

エレクトロメータ
ピコアンメータ
Ｉ
Ｒメータ

自

在
最大 1000V 出力

SM71104CH

微少電流測定SM74202

ノイズに強い高安定測定

OUTPUT
SM7120 : 2000 V 出力
SM7110 : 1000 V 出力
SM7420： 電圧出力無し

INPUT
トライアキシャル BNC

高電圧出力 LED
30V 以上出力時点灯(SM7110/SM7120)

高抵抗測定に不可欠な安定度を徹底追及

ばらつき1/60、耐ノイズ性能 300 倍
進化した２kV フローティング回路

10 pA 測定時の繰り返し精度 CV 値

6.0%
5.0%

ノイズ 0V
ノイズ混入 50V

5.26%

ノイズを注入した
悪条件下

4.0%

3.0%
2.0%

1.0%
0.0%

約 1/300 減少！

通常時の
ばらつき

約 1/60 に減少！
0.426%
DSM

0.016%

0.007%
SM

DSM

新しくなった SM フローティング回路とト
ライアキシャルコネクタの組合せにより電源ノイズや外来ノイズに対する安定度（繰り返し精度）が大きく向上しました。
通常の使用環境のばらつきは 0.007%（代表値）と従来機種に対し 1/60 に減少し、さらに 50V のバーストノイズを注入した条件下では 1/300※ にまで減少しています。
※ 従来機種 DSM-8104 との比較

SM

ノイズ環境下の繰り返し精度 [ 1V 印加、SLOW2 時 ]DSM：DSM-8104, SM：SM7120

GROUNDGUARD
INPUT
３重同軸の安全構造

16mm 大口径トライアキシャルコネクタ
電流入力端子に新しく採用された大口径トライアキ
シャルコネクタは、内部シールドを GUARD（COM)
ラインに、外部シールドを GROUND に接続した３重同軸構造になっています。ノイズに対する安定性と、高電圧検査時の安全性を両立します。

3

グラフィカル LCD

ダイレクト設定キー

3 〜 6 桁表示選択

高耐圧化が進む部品に対応

2000V / 2×1019Ω 測定※ SM7120EV など高電圧化に適合

形名

測定チャネル

SM7110１ch

最大出力電圧1000 V
近年の車載部品やウェアラブル機
SM7120１ch
2000 V器に代表される高効率化の要求
SM7420４ch----に、部品の高耐圧化や絶縁性能の向上は欠かせません。SM7120 は外部電源を使わずに 2000V の出力が可能なので、今後の検査要求の拡張にも安心してお使いいただけます。

※2×1019Ω ＝ 20,000P(peta)Ω

1600 個／分の量産に対応

最速 6.4 ms の高速検査
6.4 ms = 計測 4.1ms + コンタクトチェック 2.3ms
量産検査に不可欠なコンタクトチェックを含めた検査時間（TRIG 入力
から INDEX 出力まで）が 6.4 ms 、コンパレータ計測を含めても 7.0
ms の高速測定を実現しました。

プリチャージ機能による MLCC の高速検査※ SM7110
SM71202000V/ 1.8mA (SM7120 のみ）と 1000 V/ 10mA の大容量になり試料の充電時間を短くすることができます。
[ チャージ端子を標準装備 ] 最大 50mA/ 250V のプリチャージ機能がMLCC 量産検査の高スループットを実現します。

4

新素材評価に最適なユーティリティ

変換アダプタZ5010

測定電極
SM9001

半導体や新素材の評価[ 温湿度同時測定 ]
湿度
温度

温湿度要因

絶縁抵抗は温湿度の変化に敏感に反応するため、温湿度の同時管理が必要です。
素材要因

いいただけます。

抵抗（オプション温湿度センサ Z2011 使用時 温度 -40℃〜 80℃、湿度 20％〜 80％）
真の要因を掴む

放電

充電

測定

放電

電圧
電流

温度 ±0.5℃、湿度 ±5％ RH の高確度温湿度測定を搭載して、新素材の測定管理にお使[ シーケンス制御 ][D/A 出力 ]シーケンスモードでは、「放電」-「充電」-「測定」-「放電」の時間（最大 999.9s）を設定して、パソコンなど使わずに繰り返し測定が可能です。測定中の電流変動も D/A 出力か

DA 出力

ら記録計に保存できます。

※シーケンス制御は SM7110/SM7120 のみ使用可能

さらに精密な評価を行う時は、USB などの外部制御により半導体の耐圧試験や新素材の電シーケンス制御

圧依存性の確認などにお使いいただけます。

イレギュラーな入力をキャンセルする自動アベレージ[ 自動アベレージ ]SM シリーズの自動アベレージは電流の変動を監視しアベレージの最適化を自動で行う機能で、測定結果を見ながら設定変更する作業がありません。充電電流の過渡応答時や、接リセット中

大きな変動時にリセット

触が不安定でばらつきが大きいなどの想定外の測定変動を自動で排除するため、安定した測定結果を得る事ができます。
（測定条件を一定にする回数指定のアベレージも可能です。）[ ５段階の測定スピード ]アベレージ計算中

AUTO アベレージイメージ

環境に応じて FAST,FAST2,MID,SLOW,SLOW2 のスピード切り替えがあり、内部積分
時間を ½PLC にした FAST2 など環境に合わせた設定が可能です。

豊富な電極バリエーションと設定の一括保存[ 電極プリセット ]電極や遮蔽箱は素材に合わせ多数取り揃えております。
抵抗率測定は使用する電極名の入力だけで電極定数が自動でセットされるため簡単に正確に検査を始めることができます。
[ パネルセーブ・ロード ]
電極名や、シーケンス制御の 60 秒設定など各種設定はパネルデータとして一括保存できるので、素材の切り替えはパネルデータの読み込みだけですばやく対応できます。
電極・遮蔽箱と SM7110/SM7120 の接続には、変換アダプタ Z5010 またはコネクタの変更が必要になります。

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量産ラインの実用性を徹底追及
ピコアンモード（外部電源）でも使える高機能コンタクトチェック[ 低容量コンタクトチェック ]外部機器

数 pF の低容量コンデンサや容量成分の小さな測定物でも判別可能なコンタクト
チェックを搭載しました。
SM（判定基準値 0.1 pF 〜 99.99 pF）[ ２band 選択 ]）））バッテリ生産ラインのように、多くの測定器が並ぶ現場で微少なチェック信号が混）））V 外部電源線しないように、コンタクトチェック周波数を選択できるようになっています。
この２つのコンタクトチェックは外部電源を使ったピコアンメータモードでも利用可能です。外部機器の影響による不要なリトライや過剰検出を防ぎ、タクト低下や歩留まりの悪化を防ぐ高機能コンタクトチェックです。
[CH 独立コンタクトチェック ]外部電源専用の SM7420 は、計測チャネルごとにチェック周波数とディレイ設定↑確実なエラー検出が変更できるため、ライン設計に合わせた細かい設定が可能です。

ライン構築もスピードアップ[ 外部インタフェース ]外部とのインタフェースには GP-IB,RS-232C,USB の３種類と、プログラマブル
コントローラと連携しやすい EXT I/O が標準装備されています。
[ 通信モニタ ][EXT IO テスト ]EXT I/O テスト

全てのインタフェースは、通信モニタと EXT I/O テスト機能で把握できるため、ライン構築時に必要なリアルタイムの動作状況を見ながら作業が可能です。

段取り変更に柔軟に対応[ ケーブル長補正 ]
無調整で測定ケーブルの入れ替えが可能で、ケーブル長を登録するだけの簡単設定です。（登録可能ケーブル長

0.5 m 〜 3.0 m)

一般的なエレクトロメータやピコアンメータに装備される静電容量方式のコンタク
トチェック機能は、ケーブル長が変わるとインピーダンスマッチングの再設定を行います。

SM シリーズは無調整で交換可能です。

[ ジグ容量オープン補正 ]簡単段取り

ジグの切り替え用にはオープン補正も完備しているため、SM シリーズは煩わしい調整が不要でライン構成の変更にも柔軟に対応します。

高速微少電流測定と大容量出力が MLCC 量産ラインに最適
電流

充電電流

理想状態

[ 入力インピーダンス１ kΩ]SM7120全ての電流レンジ・スピード設定で１kΩ の低入力インピーダンスになっているため、「セトリング時間」による遅延がありません。

吸収電流

レンジ切り替えによるスピードの低下がないため量産ラインに最適です。

充電時間
検査までを短縮[ 最大 50 mA /250 V、1.8 mA /2000 V の大容量出力、低ノイズ ]
MLCC のような容量性試料の絶縁抵抗測定には、検査スピードだけでなく電圧印加

漏洩電流時の充電時間も重要になり、この充電時間の短縮により検査タクトを短くすること
電圧印加時間

充電時間の短縮と検査タクトの短縮ができます。SM シリーズは大容量、低ノイズ電源を内蔵していますので、MLCCの更なる高性能化にも安心してお使いいただけます。

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素材や用途に合わせた豊富な電極ラインナップ
表面 / 体積抵抗測定用電極 SM9001
シート・フィルム・板状の生産品・素材・静電気防止床材を、そのままの形状で測定
試料を切らずに、そのまま測定● 規格準拠JIS C2170、IEC61340-2-3「静電気電荷蓄積を防止する固体平面材料の抵抗および抵抗率試験方法」●規格準拠の電極形状
対電極面

リング電極

内径：φ57 mm
外径：φ63 mm

100

100

電極部寸法：
100×100 mm

主電極
φ30.5 mm

本体電極
（SM9001 本体下面）

支持台一体型対電極（SM9001 付属品）

本体電極は規格に基づいた寸法の導電性ゴムを使用し、2.5kg の荷重により、試料や測定箇所に載せるだけで安定した測定が可能です。さらに 1000V までの測定電圧に対応し、高確度測定を実現します。

●表面抵抗測定用点検治具
SM9002（オプション）で使用前点検
表面抵抗測定用点検治具 SM9002（オプション）を使用して、電極の動作確認が可能です。測定結果の信頼性向上につながります。
表面抵抗測定用点検治具
SM9002
表面抵抗測定用点検治具
SM9002 使用時●本体●オプション

表面／体積抵抗測定用電極 SM9001

表面抵抗測定用点検治具 SM9002（低抵抗検査面（500 kΩ）、高抵抗検査面（1 TΩ）、一体型）（低抵抗検査面（500 kΩ）、高抵抗検査面（1 TΩ）、一体型）￥190,000（税抜き）￥390,000（税抜き）※電極・遮蔽箱と SM7110/SM7120 の接続には、変換アダプタ Z5010 またはコネクタの変更が必要になります。

対電極す。この抵抗率はさらに体積抵抗率と表面抵抗率に分けられ、

主電極

絶縁材料の良否を判定する場合、抵抗率（固有抵抗）を用いま

電 極
ガード

●抵抗率の測定

前者は１㎤の立方体に相対する二面間の抵抗、後者は 1 ㎠の平面に相対する抵抗をもって表します。

体積抵抗測定超絶縁計 SM シリーズには、試料の素材や状態が変わっても簡
主電極

対電極

単に測定ができるよう数多くの電極を取り揃えております。

電 極
ガード

平板材料

ロール試料

表面抵抗測定抵抗率測定原理

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電極／遮蔽箱の選定マップ
チップコンデンサ用電極

SME-8360

液体試料用電極SME-8330

遮蔽箱

SME-8350

分銅電極

SME-8320

表面 / 体積抵抗測定用電極

SM9001

表面抵抗測定用電極

SME-8301

表面抵抗測定用電極

SME-8302

平板試料用電極SME-8310

平板試料用電極SME-8311

電極は

電極不要

です。

特殊材料
電子部品用材料
プリント基板セラミック基板
フィルムコンデンサ
セラミックコンデンサ
絶縁油
機械油
インプロピルアルコール
電線
ケーブル
ハーネス
塗料
床材
カーペット
IC用トレイ
布、紙
丸薬（粉体）
ダイナマイト
食品、医薬向け樹脂
電気製品
電子部品
その他

高絶縁の測定品質の監視
品質の検査
帯 電 防 止水 分 監 視法定安全性の確保

電極・遮蔽箱と SM7110/SM7120 の接続には、変換アダプタ Z5010 またはコネクタの変更が必要になります。

遮蔽箱 SME-8350
電子部品

カーペット

液体

ゴム加工品

チップコンデンサ用電極 SME-8360
チップコンデンサの絶縁抵抗測定 用電極。
治具は 0 mm から11 mm まで任意調整でき
各種チップコンデンサの測定が可能。
インターロック接続ケーブルで本体と接続すると、蓋が開放状態では測定電圧は「OFF」となります。

高絶縁抵抗の試料や、誘導性または容量性の
試 料 の 測 定時に試 料収 納 箱として用い電磁遮蔽を行います。
分 銅 電 極 SME-8320 と組み合わせ使 用時には、対電極またはガード電極ともなる電極があります。
コンデンサやトランス等の電子部品測定時にも外部からの雑音、漏洩電流などを防止して安定した測定が可能。

付属品 : ゴムシート

分銅電極 SME-8320
遮 蔽 箱 (SME-8350) と 組 み合 わ せ て使 用する平板試料用の電極。
カーペットなどの粗い面の試料でも、表面抵抗
及び体積抵抗の測定が簡単におこなえます。
主 電 極 は直 径 50 mm, ガード 電 極 は 内 径
70 mm, 外形 80 mmで両電極の同心円を構築する治具とバナナクリップ２個が付属します。

¥200,000（税抜き）¥30,000（税抜き）

遮蔽箱 (SME-8350)との組み合わせ

液体試料用の電極で、電極にはガードが施してあります。 ※ 検査成績表付属1019 Ω・cm (1,000V 時 ) まで 測定が 可能です。
総容量 : 25 mL
主電極・対電極間容量 : 約 45 pF
電極定数 : 約 500 cm
寸法 : φ 36 × 140 mm
両電極間間隔 : 1 mm
JIS C 2101 準拠
付属品 : 接続ケーブル（長さ各 60cm） 赤：0GA00029 、 黒：0GA00030¥100,000（税抜き）

表面抵抗測定用電極 SME-8301

平板試料用電極 SME-8311
平板試料の固有抵抗測定用電極。
試料のサイズは 40 mm 角から100 mm 角、厚さ 8 mm までの測定が可能。
主 電 極 は直 径19.6 mm, ガード 電 極 は 内 径
24.1 mm, 外形 28.8mmです。
外観及び使用方法は、SME-8310 と同じ。
寸法 : 215W × 78H × 165D mm リード長 : 75 cm¥180,000（税抜き）※SM7110,SM7120 接続オプション インターロック接続ケーブル DSM8104F

電極先端を試料に押し付けるだけで、簡単に表面抵抗を測定。
静電対策品関連試料の表面抵抗の測定に用います。1011 Ωまでの抵抗測定が可能。
寸法 : φ 60 × 50 mm, リード長 : 1 m¥100,000（税抜き）

表面抵抗測定用電極 SME-8302（極間 : 4 mm）¥80,000（税抜き）※SM7110,SM7120 接続オプション インターロック接続ケーブル DSM8104F

寸法 : 200W × 52H × 150D mm, リード長 : 85 cm

液体試料用電極 SME-8330

寸法 : 250W × 100H × 200D mm 、
リード長 : 80 cm

樹脂の成形品、ゴムの加工品等のように形状が曲面である場合や試料が小さい場合に使用できる表面抵抗測定用電極。
電極先端を試料に押し付けるだけで、簡単に表面抵抗の測定が可能。電極間隔は10 mmで1011 Ωまでの抵抗測定が可能。
寸法 : φ 40 × 115 mm, リード長 : 1 m¥80,000（税抜き）

平板試料用電極 SME-8310
平板試料の固有抵抗測定用電極。
試 料 の サ イ ズ は 最 大100 mm 角 , 厚 さ 8mm までの測定が可能。
主電極は直径 50 mm, ガード電極は内径 70mm, 外形 80 mmです。
インターロック接続ケーブルで本体と接続すると、蓋が開放状態では測定電圧は「OFF」となる安全設計です。
体積抵抗と表面抵抗の切換えはサイドスイッ
チでおこなえます。
寸法 : 215W × 78H × 165D mm リード長 : 75 cm¥150,000（税抜き）※SM7110,SM7120 接続オプション インターロック接続ケーブル DSM8104F¥5,000（税抜き）

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一般仕様
基本仕様
使用場所

屋内使用 , 汚染度 2, 高度 2000m まで

使用温湿度範囲

0℃〜40℃、80% rh 以下、結露しないこと

保存温湿度範囲-10℃〜50℃、80% rh 以下、結露しないこと

電源 / 最大定格電力

AC100 V 〜 240 V (50 Hz/60 Hz) : 45 VA

耐電圧

AC 4,000 V, 感度電流 10 mA[ 電源端子一括 ] ― [ 保護接地 , インタフェース , 測定端子 ] 間

適合規格

EMC：EN61326
安全性：EN61010

寸法 / 質量SM7110/SM7120
SM7420付属品

電源コード×1、取扱説明書×1、CDーR（通信コマンド取扱説明書、USBドライバ）
EXT I/O用オスコネクタ×1
SM7110/SM7120 :ショートプラグ×1: 330W×80H×450D mm, 5.9 kg: 330W×80H×450D mm, 6.5 kg

測定仕様
項目

SM7110 / SM7120

SM7420

測定チャネル

１CH

４CH

測定項目

直流電流、直流電圧、温度、湿度

直流電流、温度、湿度

印加電圧

SM7110：0.1 V 〜 1000.0 V
SM7120：0.1 V 〜 2000.0 V----電流計

測定方式

被測定物への定電圧印加による電流測定方式

警告表示

電圧出力値

電流入力端子

トライアキシャル BNC コネクタ

トライアキシャル BNC コネクタ

電圧出力端子

バナナ端子

-----

COM 端子

-----

バナナ端子

チャージ電圧出力端子

バナナ端子

-----

GUARD 端子

バナナ端子

-----

インターロック入力端子

BNC端子

-----

対地間最大定格電圧

DC 2000 V

約 30V 以上で赤色 LED 点灯-----

電流計入力抵抗1 kΩ±10％表示更新速度

200 ms ± 5 ms（測定中描画更新 ON/OFF 可能）

表示ユニットモノクログラフィック LCD

確度保証条件

確度保証温湿度範囲

23℃ ±5℃、80%rh 以下

ウォームアップ時間

30 分以上

電源周波数範囲

50 Hz/60 Hz±2 Hz

温度係数

0 ～ 18℃、28 ～ 40℃では ±( 測定確度 ×1/10)/℃を加算

機能仕様
項目
測定値表示モード

SM7110 / SM7120

SM7420

表示 1：抵抗 / 電流 / 表面抵抗率 ΩRS / 体積抵抗率 ΩRV / 液体体積抵抗率 ΩRL から１項目選択○

表示 2：測定電圧（電圧モニタ）

×

表示方式

○

EXP（指数表示）または UNIT（単位表示）、有効桁数３桁〜６桁

電圧出力機能シンク / ソース（充電及び放電に対応）
出力 OFF 時選択 放電 / ハイインピーダンス（Hi-Z）

抵抗演算用電圧

V.MONI（電圧測定値）/ MES.V（電圧設定値）/ EXT.V（演算用電圧設定値）から選択

EXT.V のみ

ディレイ機能トリガ入力から測定開始までの時間設定

全 CH 共通

アベレージ機能

測定値の平均化（OFF / ON / AUTO)ON
2 〜 255
AUTO 測定値の変化量に応じて平均回数を自動的に変更

全 CH 共通

セルフキャリブレーション

設定時間

1 s 〜 600 s

ケーブル長補正機能

補正範囲

0.5 m 〜 3.0 m

治具容量
オープン補正機能

表示範囲
容量測定確度コンタクトチェック機能

高周波信号による静電容量測定方式
表示範囲
0.000 pF 〜 99.999 pF
測定周波数
300 kHz / 245 kHz※ 電源投入時は自動実行

0.00 pF 〜 99.99 pF±（ 20％ rdg. ± 0.1 pF

×

○
各 CH

）

各 CH

各 CH

コンパレータ機能

dgt. 値で判定（Hi,IN,Lo）○

シーケンスプログラム

放電、充電、測定、放電のパターンを順番に実行
測定：1 ms 〜 999.9 s 、測定以外： 0 ms 〜 999.9 s

×

その他の機能判定音設定機能、インターロック機能、リセット、セルフテスト○
インターロック無し

9確度仕様 確度保証期間 1年, 調整後確度保証期間 1年

電極の耐圧は 1000 V になりますのでご注意ください

電流測定確度
レンジ
20 pA

最大表示

分解能

19.9999 pA

0.1 fA

電流測定確度（±％ rdg. ± dgt. ）FAST / FAST2

MED

SLOW

SLOW2

－

－

2.0 ＋ 450

2.0 ＋ 30200 pA

199.999 pA

1 fA

－

1.0 ＋ 600

1.0 ＋ 45

1.0 ＋ 30

2 nA

1.99999 nA

10 fA

0.5 ＋ 600

0.5 ＋ 40

0.5 ＋ 30

0.5 ＋ 20

20 nA

19.9999 nA

100 fA

0.5 ＋ 30

0.5 ＋ 20

0.5 ＋ 15

0.5 ＋ 10200 nA

199.999 nA

1 pA

0.5 ＋ 30

0.5 ＋ 20

0.5 ＋ 15

0.5 ＋ 102μA

1.99999μA

10 pA

0.5 ＋ 30

0.5 ＋ 20

0.5 ＋ 15

0.5 ＋ 1020μA

19.9999μA

100 pA

0.5 ＋ 30

0.5 ＋ 20

0.5 ＋ 15

0.5 ＋ 10200μA

199.999μA

1 nA

0.5 ＋ 30

0.5 ＋ 20

0.5 ＋ 15

0.5 ＋ 102 mA

1.99999 mA

10 nA

0.5 ＋ 30－－－

抵抗表示範囲例

測定値には入力抵抗 1 kΩ（±10%）が含まれます

設定電圧による抵抗表示範囲例

レンジ

分解能

20 pA

0.1 fA

200 pA

1 fA

500E+6 Ω 〜 100E+12 Ω

50E+9 Ω 〜

2 nA

10 fA

50E+6 Ω 〜

5E+9 Ω 〜

0.1 V

10 V

5E+9 Ω 〜

1E+15 Ω100 V

500E+9 Ω 〜 100E+15 Ω

10E+12 Ω2000 V (SM7120 専用レンジ )1000 V

5E+12 Ω 〜

1E+18 Ω50E+12 Ω 〜

10E+18 Ω 100E+12 Ω 〜

20E+18 Ω

10E+15 Ω

500E+9 Ω 〜 100E+15 Ω

5E+12 Ω 〜

1E+18 Ω2E+18 Ω1E+15 Ω50E+9 Ω 〜

10E+15 Ω

500E+9 Ω 〜 100E+15 Ω

5E+9 Ω 〜

500E+6 Ω 〜 100E+12 Ω

10E+12 Ω 〜

1E+12 Ω 〜 200E+15 Ω

20 nA

100 fA

5E+6 Ω 〜

1E+12 Ω1E+15 Ω50E+9 Ω 〜

10E+15 Ω

100E+9 Ω 〜

20E+15 Ω

200 nA

1 pA

500E+3 Ω 〜

100E+9 Ω

50E+6 Ω 〜

10E+12 Ω

500E+6 Ω 〜 100E+12 Ω

5E+9 Ω 〜

1E+15 Ω10E+9 Ω 〜

2E+15 Ω

2μA

10 pA

50E+3 Ω 〜

10E+9 Ω5E+6 Ω 〜

1E+12 Ω50E+6 Ω 〜

10E+12 Ω

500E+6 Ω 〜 100E+12 Ω

1E+9 Ω 〜 200E+12 Ω

20μA

100 pA

5E+3 Ω 〜

1E+9 Ω

500E+3 Ω 〜

100E+9 Ω

5E+6 Ω 〜

1E+12 Ω50E+6 Ω 〜

10E+12 Ω

100E+6 Ω 〜

200μA

1 nA

1E+3 Ω 〜

100E+6 Ω

50E+3 Ω 〜

10E+9 Ω500E+3 Ω 〜

100E+9 Ω

5E+6 Ω 〜

1E+12 Ω10E+6 Ω 〜

2E+12 Ω

2 mA

10 nA

1E+3 Ω 〜

10E+6 Ω5E+3 Ω 〜

1E+9 Ω

50E+3 Ω 〜

10E+9 Ω500E+3 Ω 〜

100E+9 Ω

1E+6 Ω 〜

200E+9 Ω

温湿度測定確度

電流測定確度＋電圧測定確度

抵抗確度

抵抗値算出に電圧設定値を選択した場合、確度の保証はありません。

測定時間：INDEX 時間（コンタクトチェック ON 時）
測定速度設定20E+12 Ω

温湿度センサ Z2011 組合せ時

温度確度範囲

-40.00℃〜 80.00℃ ±0.5℃

湿度確度範囲20.0％ rh 〜 80.0％ rh ± ５％ rh

電源周波数（内部積分時間）PLC: Power Line Cycle

50Hz

60Hz

FAST

2 ms

6.4 ms

6.4 msFAST2

0.5PLC

16.0 ms

15.0 ms
23.0 ms

MED

１PLC

26.0 ms

SLOW

4PLC

112.0 ms

96.0 ms

SLOW2

13PLC

322.0 ms

322.0 ms

測定時間例
コンタクトチェック( 2.3 ms )コンパレータ測定( 0.2 ms )OFF

測定速度設定 ( 電源周波数）
FAST (50 Hz)

FAST2 (60 Hz)

INDEX

EOM

EOM(SM7420)

INDEX

EOM

OFF

4.1 ms

4.5 ms

5.4 ms12.7 ms

13.1 ms

EOM(SM7420)
14.0 msOFFON

4.1 ms

4.7 ms

5.6 ms12.7 ms

13.3 ms

14.2 msONOFF

6.4 ms

6.8 ms

7.7 ms15.0 ms

15.4 ms

16.3 msONON

6.4 ms

7.0 ms

7.9 ms15.0 ms

15.6 ms

16.5 ms

INDEX 時間
：コンタクトチェック時間 + ディレイ時間 + 測定時間
EOM 時間 ：INDEX ＋コンパレータ測定時間＋ 0.4 ms ※ 抵抗演算を電圧測定値から算出する場合は 1.0 ms 加算
EOM（SM7420） ：INDEX ＋コンパレータ測定時間＋ 1.3 ms

SM7110/SM7120 電圧仕様 SM7420 に電圧の発生及び測定機能はありません。
電圧測定確度レンジ

電圧発生確度 出力 OFF 時設定ー放電または Hi-Z
電圧測定確度（ ±%rdg. ±dgt.）

設定電圧範囲分解能

電圧発生確度START 信号から
（ ±%setting. ±％ f.s.） 電圧出力までの時間

最大表示

分解能

10 V

10.000 V

0.001 V

0.03 ＋ 2

0.1 V ～ 10.0 V

0.1 V

0.1 ＋ 0.05

0.1 ms max.

100 V

100.00 V

0.01 V

0.03 ＋ 2

10.1 V ～ 100.0 V

0.1 V

0.1 ＋ 0.05

0.1 ms max.
0.1 ms max.

1000 V

1000.0 V

0.1 V

0.03 ＋ 2

100.1 V ～ 1000.0 V

0.1 V

0.1 ＋ 0.05

2000 V※

2000.0 V

0.1 V

0.2 ＋ 21000.1 V ～ 2000.0 V※

0.1 V

0.2 ＋ 0.10

電圧発生
充電設定

電流リミッタ※ SM7120 専用レンジ

設定電圧範囲
0.1 V ～ 250.0 V

ON
250.1 V ～ 1000.0 V
1000.1 V ～ 2000.0 V※
0.1 V ～ 250.0 V
OFF
250.1 V ～ 1000.0 V
1000.1 V ～ 2000.0 V※

0.1 ms max.
※ SM7120 専用レンジ

設定値

トータル電流

50 mA

電流値
測定系

充電系

50 mA

5 mA

45 mA

10 mA

10 mA

5 mA

5 mA

5 mA

5 mA

5 mA

0 mA

10 mA

10 mA

5 mA

5 mA

5 mA

5 mA

5 mA

0 mA

1.8 mA

1.8 mA

1.8 mA

0 mA

50 mA

50 mA

50 mA

0 mA

10 mA

10 mA

10 mA

0 mA

5 mA

5 mA

5 mA

0 mA

10 mA

10 mA

10 mA

0 mA

5 mA

5 mA

5 mA

0 mA

1.8 mA

1.8 mA

1.8 mA

0 mA※ SM7120 専用レンジ

10

外部インタフェース
SM7110/SM7120

インターロック入力端子
D/A 出力端子

GP-IB

RS-232C
TEMP.SENSOR 端子

USB
EXT I/O

NPN/PNP 切替

EXT I/O インタフェース ( テスト機能付き）
プログラマブルコントローラのコモンの極SM7420

背面に外部電源との接続用 COM 端子（計測 GROUND)

性に合わせて、入力信号の極性を NPN タ
イプ（シンク出力対応）と PNP タイプ（ソース出力対応）から、リアパネルの切り替え
SW により選択できます。

NPN/PNP
切り換え SW

コネクタ
使用コネクタ（本体側）：D-SUB 37 ピン メス #4-40 インチネジ
適合コネクタ：DC-37P-ULR（半田型）、DCSP-JB37PR（圧接型）
日本航空電子工業社製

入力信号 入力形式

フォトカプラ絶縁 無電圧接点入力（電流シンク出力対応）（負論理）
入力 ON 電圧
1 V 以下入力 OFF 電圧 OPEN（遮断電流 100 μA 以下）
出力信号 出力形式
フォトカプラ絶縁 npn オープンドレイン出力（無極性）
最大負荷電圧30V
最大出力電流50 mA/ch
残留電圧
0.5 V（10 mA）、1.0 V（50 mA）
内蔵
出力電圧
シンク出力対応：+5.0 V ±10%絶縁電源
ソース出力対応：-5.0 V ±10%最大出力電流100 mA
外部電源入力無し
絶縁保護接地電位および測定回路からフローティング
絶縁定格
対地間電圧 DC 50 V、AC 33 V rms、AC46.7 V peak 以下

タイミングチャート（電圧出力、外部トリガ測定）

インタフェースファンクション
SH1,AH1,T6,L4,SR1,RL1,PP0,DC1,DT1,C0

アドレス

0 ～ 30RS-232C インタフェース
コネクタ

D-sub 9 ピンコネクタ オス＃ 4-40 インチネジ
全二重，調歩同期方式，ストップビット 1（固定），デー

通信方式

タ長 8（固定），パリティなし ,

通信速度
(bps)

フロー制御なし
4800 / 9600 / 19200 / 38400 / 115200

USB デバイス
コネクタ
電気的仕様

シリーズ B レセプタクル
USB2.0(Full-speed)
CDC クラス（COM モード）
HID クラス（USB キーボードモード）

電圧出力

出力インピーダンス

t3

t8

出力電圧

t5

t4

入力端子

t7
t11

t10

t9
コンタクト
チェック

ディレイ

EOM

インターロック動作

測定

コンタクトチェックディレイ

BNC 端子DC 0 V〜2 V：電流レンジのF.S.で2.0V（SM7420は出力chを選択）
1 kΩ

インターロック入力 (SM7110/SM7120)

t6※ SM7110/SM7120

INDEX

IEEE-488.2 準拠

方式

出力端子

VON

TRIG

GP-IB インタフェース

D/A 出力t2

STOP

USB, RS-232C, GP-IB の送受信内容をパネルでモニタ可能です。

クラス

t1

START

通信モニタ

機能有効時動作

t12
ON

OFF

t13
t1：0.1 ms 以上、t2：0.1 ms 以上、t7：0.1 ms 以上 t3,t6: ディレイ
t4（t5）：電圧出力（停止）時間 0.1 ms 以内、t8：トリガ受付可能 0 s 以上
t9：INDEX,EOM 遅延時間、t10：INDEX 時間、t11：START セットアップ時間 4ms 以上
t12：TRIG セットアップ時間 表示 ON（40 ms 以上） 表示 OFF（1 ms 以上）
t13：EOM 時間

BNC 端子（EXT I/O 端子と並列）
設定有効時、Lo 入力または端子間ショートでインターロック解除
測定電圧の出力停止、測定停止
キー、通信による測定不可

TEMP.SENSOR 端子
入力可能センサ

温湿度センサCOM 端子（SM7420)
入力端子

バナナ端子

Z2011

11

製品名： 超絶縁計 SM7110
		
超絶縁計 SM7120
		
超絶縁計 SM7420
形名（発注コード）
SM7110

測定チャネル
１ch

最大出力電圧1000 VSM7120１ch

2000 VSM7420

４ch

-----

備考

価格
￥520,000（税抜き）￥750,000（税抜き）

微少電流測定専用¥800,000（税抜き）

測定用プローブは本体に付属しておりません。 測定用途に応じてオプションのプローブをご購入ください。

オプション
プローブ
ピン形リード（赤）L2230
PIN TYPE LEAD(RED)
ケーブル長 1 m

ピン形リード（黒）L2231
PIN TYPE LEAD(BLACK)
ケーブル長 1 m

￥60,000（税抜き）￥30,000（税抜き）

クリップ形リード（赤）L2232
CLIP TYPE LEAD(RED)
ケーブル長 1 m

クリップ形リード（黒）L2233
CLIP TYPE LEAD(BLACK)
ケーブル長 1 m

￥40,000（税抜き）￥5,000（税抜き）

片側開放リード（赤）L2234
OPEN LEAD(RED)
ケーブル長 3 m

片側開放リード（黒）L2235
OPEN LEAD(BLACK)
ケーブル長 3 m

￥30,000（税抜き）￥5,000（税抜き）

抵抗箱 SR-2

温湿度センサ Z2011
HUMIDITY SENSOR
ケーブル長 1.5 m￥20,000（税抜き）

インタフェース通信関係
RS-232C ケーブル 9637

RS-232C ケーブル 9638

9 ピン─ 9 ピン / クロス
ケーブル長 1.8 m

9 ピン─ 25 ピン / クロス
ケーブル長 1.8 m

ケーブル長 2 m

￥1,500（税抜き）￥1,800（税抜き）￥28,000（税抜き）

GP-IB 接続ケーブル 9151-02

超絶縁計用の校正抵抗箱
確実にガードが取れる構造を採用
最高使用電圧 : DC1,000 V
抵抗 : 10 〜10,000 MΩ (24 点構成 )変換アダプタ Z5010 が必要です。

寸法 : 270W × 90H × 195D mm¥220,000（税抜き） ※検査成績表付属

変換アダプタ Z5010 の価格・仕様はお問い合わせください。

0201 サイズ ※ 対応 SMD 試料用電極 SM9060
中空保持構造で、ジグの表面抵抗を無視できる極小チップ専用電極 ※ EIA SIZE:008004
操作性

測定性能

0201サイズを簡単チャック

中空保持で正確に測定
×

誘導溝で極小チップも簡単に固定、専用のワイヤープローブで確実に試料を保持します。
電極と超絶縁計の接続にはコネクタの変更が必要になる場合がありますのでご注意ください。

×

検査中はステージが下がり、ジグの
表面抵抗が無視できるようになるた
め、試料だけを正確に測定します。

MLCC 専用漏れ電流検査システム
超絶縁計 SM7420（４CH）/ SM7810（８CH）
電源ユニット SM7860

MLCC 検査で最大スループットを提供
MLCC 漏れ電流検査システムの特徴
４ch 微少電流専用超絶縁計 SM7420 と外部電源の組合せや、漏れ電流検査専用に開発された８ch 超絶縁計
SM7810 と３２ch 出力の電源ユニット SM7860 を組み合わせた高速検査システムです。
自動機への搭載に最適で、最高速の MLCC の漏れ電流検査ラインを構築できます。

● 超絶縁計 SM7810 で 8ch 同時測定、最速 6.8msの業界最高速の MLCC の漏れ電流検査ラインを実現し、自動機のタクトタイムを低減して、MLCC の
大量生産ラインのコスト削減に寄与します。
● 電源ユニット SM7860 は最大印加電圧や機能に応じて選択することで、充放電を含む各種の検査ラ
インに対応できます。
８CH 漏れ電流検査システム■ SM7810 仕様■ SM7860 仕様

チ ャ ネ ル 数 8ch
測 定 方 式 被測定対象に電圧を印加して電流を測定
印 加 電 圧 外部電源から供給（背面の電圧入力端子）
電 流 計入力抵 抗 1 kΩ
外部インタフェース GP-IB, RS-232C, EXT I/O（GP-IB アドレス設定を除いて、（条件設定、操作） 条件設定・操作はすべて外部インタフェースより実行）
測定値表示モード 抵抗／電流
測 定 速 度 FAST, MED, SLOW, SLOW2
測 定 範 囲 電流：1 pA 〜 1 mA、抵抗：1×102 Ω 〜 1×1015 Ω
レ ン ジ 切 替 え HOLD / AUTO
トリガ ディレ イ 0ms 〜 9999ms（分解能 1ms）
平均化方法：移動平均、
平 均 化 機 能OFF / ON（1 〜 255）/ AUTO
測 定 電 圧 設 定 0.1V 〜 1000.0V（分解能 0.1V）
測定値と基準値を比較
測 定 値 比 較・
判定：HI,IN,LO
判 定 機 能判定基準設定範囲：-9.9999E30 〜 9.9999E30
コンタクトチェック機能／治具容量オープン補正機能／機
能
治具抵抗オープン補正機能

入 出 力 端 子

電圧出力端子（背面）：丸型特殊コネクタ（8ch 対応）
GP-IB, RS-232C, EXT I/O

外部インタフェース（GP-IB アドレス設定を除いて、条件設定・操作はすべて外部インタ（条件設定、操作）
フェースより実行）

対
機

制

応

機

種 超絶縁計 SM7810
能 電圧出力動 作 方 式 シンク／ソース、充電および放電に対応
発 生 制 御 EXT I/O の OUTPUT 信号が ON 時に出力
出力 ON/OFF チャネルごとに設定可能
電 圧 異 常 モニタ電圧が設定した範囲外の時にアラームを発生、
ア ラ ー ム 設定可能範囲：±2 〜 ±19%（分解能 1%）
制限方法：各チャネル独立で制限
電 流 制 限電流制限方向：双方向で電流制限可能
電 圧 モ ニ タ 各系統の出力電圧を測定して表示
約事

項

電圧印加対象：積層セラミックコンデンサ
充電チャネル数：8ch 以内 / 系統
動作条件：充電間隔の制約あり

詳細な仕様は単品カタログ「超絶縁計 SM7810/ 電源ユニット SM7860」をご覧ください。

お問い合わせは ...

本社 〒386-1192 長野県上田市小泉81

製品に関するお問い合わせはこちら
本社 カスタマーサポート

0120-72-0560（9:00 〜12:00, 13:00 〜17:00, 土・日・祝日を除く）

0268-28-0560
詳しい情報はWEBで検索

info@hioki.co.jp
HIOKI■本カタログの記載内容は 2018 年 10 月 1 日現在のものです。 ■本カタログ記載の仕様、価格等はお断りなく改正・改訂することがあります。 ■本カタログで使用している会社名および製品名は、各社の登録商標もしくは商標です。
校正書類について 校正書類は別途ご発注をお願いします。海外へ持ち出しされる場合は注意事項があります。詳しくは弊社 HP をご確認ください。
SM7110J10-8XB
販売店の皆様へ ご注文・修理・校正のご用命は本社受注センターまで。 TEL 0268-28-1688 FAX は弊社営業拠点と共有で受信できますので、担当営業拠点宛にお願いします。