システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

手動X・XYステージ / テーブルサイズ 50×50
Manual X, XY Linear Stages / Table Size 50×50

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
ManualStageXM05A-C1

X・XY
X・XY

XM05A-C3-CL

Z
ZZ
Z

ClampΦ15(21.5)

（42）

□40

アプリ
ケーション
Application

XM05A-C3-CL

YM05A-C3-CL
50
403013

ClampΦ1550
403013（14.5）20504030
139-M3 Depth 6mm
4-M2 Depth 6mm

モーター
ケーブル
MotorCable

4-M2 Depth 6mm（34.5）（75.5）

20

Micrometer Head FPP03-13□4016.5

Micrometer Head FPP03-13

4-for M3 screws
Shaft Length 4mm4-for M3 screws
Shaft Length 4mm

アクセサリー
Accessories□40

検査システムInspection
SystemD-012

20

ClampΦ159-M3 Depth 6mm

モーター
ドライバ
Motor
Driver

付録Appendix□404-for M3 screws
Shaft Length 4mm（75.5）

ドライバ
ボックス
DriverBox

Micrometer Head

16.5

20
4-for M3 screws
Shaft Length 4mm（16.5）

モーター
コントローラ
Motor
Controller

4-M2 Depth 6mm

Micrometer Head

50403013制御装置
Control
Electronics

2050
4030
139-M3 Depth 6mm
4-M2 Depth 6mm

アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
VacuumStage（1.5） 20
ClampΦ159-M3 Depth 6mm

回転Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

50403013（16.5）

50403013（42）

X・XY
X・XY

YM05A-C1（16.5）

自動精密ステージ
Motorized
Stage

XM05A-C1（16.5）

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

YM05A-C3-CL

50403013回転
Rotation

YM05A-C1

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

アルミ / クロスローラガイド / マイクロメータセンター押しシステム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Center-Mount Micrometer

産業用
Industrial

型式
Model Number

XM05A-C1

YM05A-C1

XM05A-C3-CL

YM05A-C3-CL

勝手違い型式※1Mirror Model Number

XM05A-C1-R

YM05A-C1-RRR

XM05A-C3-R-CL

YM05A-C3-RRR-CL

テーブル面
Table Size

50mm×50mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

移動範囲
Motion Range±3.25mm

真直度
Straightness≦1μm/6.5mm

最小読み取りMinimum Readout

10μm/目盛
10μm/div

モーメント剛性※2
Moment Load Stiffness

0.31 arcsec/N・cm

粗動 13mm, 微動 0.3mm
Coarse 13mm, Fine 0.3mm≦2μm/13mm
粗動 10μm/目盛, 微動
Coarse 10μm/div, Fine
0.61 arcsec/N・cm

0.31 arcsec/N・cm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

39.2N（4kgf）

材質Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

0.5μm/目盛
0.5μm/div

0.44kg

0.3kg

0.6kg

直交度
Perpendicularity－≦20μm/6.5mm－≦20μm/13mm

精密ポジショナー FPP03-13（13mm）
Fine Pitch Positioner FPP03-13 (13mm)

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

XM05A-C1-C

YM05A-C1-C

XM05A-C3-CL-C

YM05A-C3-CL-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

XM05A-C1-V

YM05A-C1-V

XM05A-C3-CL-V

YM05A-C3-CL-V※1

勝手違い、重ねの組勝手についてはD-004ページを参照して下さい。
Refer to pageD-004 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.

※2

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

縦置きZ仕様 Vertical X linear stage customizing

縦置き用ブラケットを用いることで、XステージをZステージとして利用することが可能です。ただし、落下防止のためにステージをZ仕様にする必要があります（無償で対応致します）。Z仕様への改造についてはD-004ページの組勝手表も併せてご覧下さい。標準タイプの縦置きZステージについてはE-016ページをご覧下さい。
X linear stage can utilize as a vertical stage by the use of an option bracket. However, such X linear stage should customize Z-specification(service without charge). Refer to pageD-004 for further information. About the standard vertical X linear stage, refer to page E-016 for further information.
オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照
して下さい（マイクロメータヘッドはオーバーホール対象外となります）。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information (Micrometer is not included in the overhaul).
クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-003
ページを参照して下さい。C3-CL、C3-R-CL、C3-RRR-CLのグリス交換は、本体のみとなります。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant exchange is not available for actuators on stages
that include the C3 model.

X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

0.22kg

マイクロメータヘッド（6.5mm）
Micrometer (6.5mm)

手動精密ステージ
ManualStage

0.61 arcsec/N・cm

自重Weight

駆動方式
Actuator

実験用Experimental

 空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-003ペー
真ジを参照して下さい。C3-CL、C3-R-CL、C3-RRR-CLのグリス交換は、本体のみとなります。
Vacuum lubricant model has ”-V” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant exchange is not available for actuators on stages
that include the C3 model.
お客様のご要望により製品の改造も承ります。
詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密
ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jpD-013