取扱説明書
絶対圧真空計型式 : VGS-240

この取扱説明書は、本製品を安全に効果的に取り扱うために重要な事項が書かれています。本書をよくお読みになり、内容を理解された上で、実際にご使用くださいますようお願いいたします。
本書は大切に保管し、いつでも活用できるようにしてください。

はじめに
この度は、絶対圧真空計[型式:VGS-240]をお買い上げ頂きありが とうございます。
本書は、本器を安全･正確にお使い頂くために、各部の取扱いを 説明してあります。
ご使用前に必ずお読み下さい。

＜アフターサービス＞
お問い合わせ、ご相談は下記までお願い致します。
本社・工場 〒354-0041 埼玉県入間郡三芳町藤久保 1036 番地
Phone：049-258-1116 Fax：049-258-1117
大阪営業所 〒579-8013 大阪府東大阪市西石切町 3-4-13
Phone：072-981-7241 Fax：072-981-8831＜保証＞
本器は厳密な社内検査を経て出荷しておりますが、万一製造上点検･校正、修理の際は、お買い上げ頂いた販売店あるいは弊社まで送付をお願い致します。の 不備による故障、あるいは輸送中の事故等による故障の節は、お 買上頂いた販売店、または弊社営業までお申しつけ下さい。
なお、本製品の保証期間は納入日より 1 年となっております。

◇本製品を譲渡される場合は本書を必ず添付して下さい。
◇本書をお読みになったのちは大切に保管して下さい。

この間に明らかに納入者側の責任による故障の場合は、納入者側 の責任において修理いたします。ただし、次に該当する場合◇本書を紛失または損傷された場合は、弊社まで連絡下さい。

は、この保証の対象範囲から除外させ て頂きます。

◇ご使用に際しては本書をよくお読みの上ご使用下さい。

1) 需要者側の不適当な取扱い、ならびに使用による場合。
2) 故障の原因が納入品以外の事由による場合。
3) 納入者以外の改造、または修理による場合。
4) その他、天災･災害などで納入者側の責にあらざる場合。
ここでいう保証は、納入品単体の保証を意味するもので、納入品 の故障により誘発される損害はご容赦頂きます。

注意

＜運転時＞
(1) 仕様以上の圧力を加えないで下さい。測定誤差が生じるとと＜使用環境＞(1) 雨天の時、野外での使用はおやめ下さい。水分が侵入しますと故障の原因となります。
(2) 引火性のある気体 ( 可燃性ガス、揮発性ガス、発火点の高い石 油類 ) の雰囲気、ガス発生下では使用出来ません。
(3) 本器の近くにノイズ、サージの発生するものがあれば、次の処置を行って下さい。
①発生源から本器を遠ざけ、電磁波 ( 高周波 ) 等の影響を受けない所で測定して下さい。
②接地 ( アース ) を取り付けて下さい。
③発生源にはノイズ、サージ発生防止などの処置を立てて下さい。
(4) 周囲温度が 0 〜 50℃の範囲を越えたり、直射日光の当たるところ、湿気、塩分、金属粉、粉塵 ( ほこり ) の多いところ、水滴や油、薬品が掛かるところには設置しないで下さい。
(5) 本器に振動や衝撃が無いところで測定して下さい。

＜電源電圧＞(1) 指定の電源電圧範囲を越えて使用しないで下さい。範囲以上の電圧を印加すると、焼損する恐れがあります ( 電源 入力
は、定格を越えないよう電源変動を確認して下さい )。
(2) 本器の電源には、DC12 〜 24V を使用して下さい。あるいは付属の AC アダプタを使用して下さい。

もにセンサの故障の原因となります。
(2) 本器の受圧素子に SUS316L ステンレスを使用しています。
この材質が耐える気体をご使用下さい。
(3) センサ内に油分、水分、粉体、固形物が入る恐れのある時、および真空引き過程による結晶物推積などの混入防止のためトラップ、フィルタ等を取り付けて、常にセンサを保護して下さい。
(4) 本器は気体測定仕様です。水、油類 ( 液体 ) は測定出来ません。
(5) 本器は非防爆仕様です。引火性ガス、爆発性ガスには使用できません。

＜配線＞(1) 配線作業は、必ず電源を切った状態で行って下さい。
(2) 電源端子の接続で、電源端子と出力端子などを誤配線しないで下さい。間違えると破損したり類損する恐れがあります。
(3) レコーダ出力端子には、電源や容量負荷を直接接続しないで下さい。誤って印加すると内部回路が破壊します。
(4) 各種出力線と高圧線や動力線との並行配線や、同一の配線管の使用は避けて下さい。誘導による誤動作の原因や、ノイズが発生し正確なデータ入出力が出来ません。
(5) 改造は行わないで下さい。許可のない改造には責任を負いません。

アドバイス(1) 圧力ポートから針金やドライバー（棒状のもの）を差し込ま目次
1. 概要･････････････････････････････････････････････････1ないでください。
圧力素子が破損し正常に動作しなくなります。
(2) 本器は長期間にわたり安定していますが、定期的に校正し使用されることをお勧めします。

2. 仕様･････････････････････････････････････････････････2
2･1 納入品････････････････････････････････････････････2
2･2 オプション品･･････････････････････････････････････2
2･3 仕様表････････････････････････････････････････････3(3) 本器の取り付けは、急激な温度変化や振動の激しい場所へは避けて下さい。測定誤差の要因となります。
(4) 本器の保管では下記の場所を避けて下さい。
①直射日光の当たる場所。
②湿気の多い場所。
③振動の激しい場所。
④高温熱源のそば。
⑤ほこり、ごみ、塩分や腐食性ガスの充満する場所。

3. 寸法図･･･････････････････････････････････････････････4
3･1 外形寸法図････････････････････････････････････････4
3･2 指示表示部卓上スタンド寸法････････････････････････5
4. 設置 ･････････････････････････････････････････････････6
4･1 設置時の注意事項･･････････････････････････････････6
4･2 真空装置への取付･･････････････････････････････････6
4･3 機器パネルへの取付････････････････････････････････6
5. 操作パネル･接続コネクタ説明･･････････････････････････7
5･1 操作パネル説明図･･････････････････････････････････7
5･2 接続コネクタ説明図････････････････････････････････7
6. 計測･制御モード･･････････････････････････････････････8
6･1 状態移行･･････････････････････････････････････････8
6･2 計測方法･････････････････････････････････････････10

1. 概要
本製品は半導体センサを用いた絶対圧真空計です。
7. 設定モード･･････････････････････････････････････････11

センサと表示部は、標準 2m のセンサケーブルで接続しますの

7･1 計測レンジ設定･･･････････････････････････････････12で、センサを測定したい所へ持って行くことができ遠隔測定が7･2 移動平均 ( 応答速度 ) 設定･････････････････････････12

可能で す。

7･3 ヒステリシス設定･････････････････････････････････13

さらに、アナログ信号（DC4 〜 20mA）と上下限接点出力を装

7･4 SP1 設定･････････････････････････････････････････13

備しています。またステンレスセンサ（SUS316L）により耐食

7･5 SP2 設定･････････････････････････････････････････14

性 ガスの環境下で使用する事が可能です。

7･6 SP3 設定･････････････････････････････････････････14
7･7 SP4 設定･････････････････････････････････････････15
7･8 レコーダ出力スケーリング設定･････････････････････17
8. ゼロ点補正モード････････････････････････････････････18
9. 補正値クリアモード･･････････････････････････････････19
10. レコーダ出力･･･････････････････････････････････････20
11. 通信出力･･･････････････････････････････････････････22
12. 出力コネクタピン配列･･･････････････････････････････24
13. エラー表示･････････････････････････････････････････25
14. 校正･･･････････････････････････････････････････････25
卓上用スタンド取付状態

12. 仕様2･3 仕様表
仕項 目

2･1 納入品
名称数

量

表示器（パネル固定金具付き）

1台

センサ(NW16)

1台

センサケーブル（2m）

1本

卓上用スタンド

1個ＡＣアダプタ

1個

D-Subコネクタ（9Pin,15Pin）

各1 個

取扱説明書(本書)

1部

試験成績書

1部

2･2 オプション品
名称形式

φ15-NW16変換継手

ALN-15-16A

NW16メスネジ継手

ALF-1/4U-16A

様測定圧力表示 5桁7seg LED赤色表示
表示可能範囲Hi レンジ
0.00〜24.00 kPa
Low レンジ 0.00〜145.00 kPa

計測保証範囲Hi レンジ
0.10〜20.00
Low レンジ 0.1〜133.3

直線性±0.25% FS±1dig

再現性

±0.1%

温度特性

±0.03% FS/℃kPa
kPa

FS±1dig

耐過負荷310kPa

表示周期

100ms

記録計出力

4〜20mA DC（フルスケール値設定可能）

通信出力

RS-232C

接点出力

4点出力 (設定動作設定可能60V2A)

センサ方式

ピエゾ抵抗式半導体センサ

ケーブル

標準ケーブル（2m）付属ＬＡＮケーブル延長可能 (20m以内）

圧力媒体

ステンレス(SUS306/SUS316L）が耐える気体

使用周囲温度 0〜50℃
圧力ポート

NW16（SUS）

電源

DC 12 〜 24V
AC100〜240V（ACアダプタ使用時）

重量表示器 250g ，センサBOX 230g

寸法

表示器

96W×96H×34D（mm）

センサBOX 40W×40H×100D（mm）

注1：校正ガスはN２使用の場合です。

233. 寸法図

3･2 卓上スタンド寸法

3･1 外形寸法図(1) 指示表示器（１０５．５）
９６ＳＰ２ＳＰ３

１７．６ＳＰ４88（ パネルカット寸法□90 ）ＳＰ１１５９６ｋＰａ

ＵＰＤＯＷＮＭＯＤＥ

ＰＯＷＥＲ
ＶＧＳ­２４０ＶＡＣＵＵＭ ＧＡＵＧＥＳＡＴＯ ＶＡＣ

１１．８単位（mm)単位（mm)(2) センサ
４０２６７２４０※指示表示部 実装図

ＳＡＴＯ ＶＡＣ ＩＮＣ．

ＳＯ­２４０単位（mm)454. 設置

5. 操作パネル･接続コネクタ説明

4･1 設置時の注意事項

5･1 操作パネル説明図(1) 屋外での直接設置は出来ません。

接点出力表示(2) 振動･衝撃の激しい所や塵埃･湿気の多い場所でのご使用
圧力表示はできる限り避けて下さい。
ＳＰ１(3) 周囲温度が急変する場所や直射日光の当たる場所･炉等

ＳＰ２ＳＰ３ＳＰ４ｋＰａの放射熱を受ける場所への設置は避けて下さい。
(4) 腐食性ガス･可燃性ガス･揮発性ガス･発火点の高い石油類などのガス発生状況下でのご使用は避けて下さい。

ＵＰ(5) 強い高周波を発生する機器、および強い動力源からはで設定アップキー

きる限り離して設置して下さい。

ＤＯＷＮ

ＭＯＤＥ

ＰＯＷＥＲ
ＶＧＳ­２４０

ＶＡＣＵＵＭ ＧＡＵＧＥ

起動キー

ＳＡＴＯ ＶＡＣ(6) 平滑な場所に取付、本体に無理な力が加わらないようにして下さい。
設定ダウンキー4･2 真空装置への取り付け(1) センサ形状と合致した継手をご使用して下さい。

設定モードキー

5･2 接続コネクタ説明図(2) 本器の電源は DC 専用となっています。

D-Sub 15pin
レコーダ出力・接点出力・DC電源接続

必ず DC12 〜 24V の範囲でご使用して下さい。
もしくは AC アダプタ (AC100 〜 240V) を使用して下さい。
(3) レコーダ出力をご使用される場合の接続配線は 12．出力コネクタ（D-Sub 15Pin）ピン配列を参照願います。通信
出力をご使用される場合の接続配線は 12．RS-232-C コネクタ（D-sub 9Pin）ピン配列を参照願います。
(4) 本器には機械式電源スイッチを備えておりません。
必要な場合は、外部に別途準備して下さい。
4･3 機器パネルへの取付(1) パネル取付金具を使用して取付て下さい。

D-Sub 9pin
RS-232C通信表示器が薄いため取付時の落下には十分ご注意願います。

67

センサケーブルACアダプタ接続

6. 計測･制御モード
6･1 状態移行(6) 下図に状態移行図を示します。

(1) 本器に電源を投入することでスタンバイモードになります。( スタンバイモード中は計測･制御を行いません )(2) 操作パネルの POWER キーを押すと計測･制御モードとなり計測･制御を開始します。
(3) 計測･制御モード中に MODE キーを押すと設定モードへ移行し、各種設定が可能になります。
MODE キーを順次押すことで設定項目が切り替わり、最終的には計測･制御モードへ復帰します。設定モード中は△ , ▽ キーで数値を変更します。
(4) 計測･制御モード中に▽＋MODE キーを押すとゼロ点補正モードへ移行します。
(5) スタンバイモード中に MODE＋POWER キーを押すと補正値クリアモードへ移行します。

897. 設定モード
6･2 計測方法

設定モードフロー図(1) 計測器本体を真空装置に取り付けます。その際はセンサ形状と合致した NW16 継手をご使用して下さい。
計測・制御モード(2) 電源を接続し POWER キーを押して下さい。
計測･制御を開始します。但し、本器安定のため約 10 分

MODE キーで移行暖気運転させてからご使用下さい。

計測レンジ設定

SP3 設定(3) 測定終了後は POWER キーを押して終了します。
MODE キーで移行
移動平均設定MODE キーで移行ヒステリシス設定
MODE キーで移行
SP1 設定MODE キーで移行
SP2 設定MODE キーで移行

1011

MODE キーで移行
SP4 設定MODE キーで移行
レコーダ出力スケーリング設定
MODE キーで移行
計測・制御モード

7･1 計測レンジ設定

7･3 ヒステリシス設定

初期値は［RNG-L］

初期値は［HIS--］［RNG-L］は Lo レンジ（0.10 〜 133.30kPa）を選択［HIS--］選択でヒステリシス機能未使用［RNG-H］は Hi レンジ（0.10 〜 20.00kPa）を選択［HIS-Y］選択でヒステリシス機能使用選択［HIS-10 〜 100］の設定値は dig を示す

7･2 移動平均 ( 応答速度 ) 設定
圧力変動が激しい場合等に、平均化時間を長くすることで7･4 SP1 設定

表示値が安定します。

初期値は［SP1--］

初期値は［AVG--］［SP--1］選択で SP1 機能未使用［AVG--］選択で移動平均機能未使用［SP1-L］選択（初期値は 0.10kPa）で設定値以下で ON［AVG-Y］選択で移動平均機能の使用選択［SP1-H］選択（初期値は 133.32kPa）で設定値以上で ON［AVG-1 〜 9］選択で移動平均秒数設定

1213

7･5 SP2 設定

7･7 SP4 設定

SP1 設定SP3 設定レコーダ出力スケーリング設定

SP3 設定初期値は［SP4--］

初期値は［SP--2］［SP4--］選択で SP-4 未使用［SP2--］選択で SP2 機能未使用［SP4-G］選択で SP1/SP2 の設定値間で ON［SP2-L］選択（初期値は 0.10kPa）で設定値以下で ON

但し、SP1/SP2 が未使用の場合無効（SP4 未使用同等）［SP2-H］選択（初期値は 133.32kPa）で設定値以上で ON［SP4-L］選択（初期値は 0.10kPa）設定値以下 ON［SP4-H］選択（初期値は 133.32kPa）設定値以上 ON

7･6 SP3 設定
SP2 設定SP4 設定初期値は［SP3--］［SP3--］選択で SP3 未使用［SP3-G］選択で SP1/SP2 の設定値間で ON
但し SP1/SP2 が未使用の場合無効（SP3 未使用同等）［SP3-L］選択（初期値は 0.10kPa）設定値以下 ON［SP3-H］選択（初期値は 133.32kPa）設定値以上 ON1415※SP1 〜 SP4（セットポイント）の動作例

7･8 レコーダ出力スケーリング設定

初期値は［SCL--］［SCL--］選択でスケーリング設定未使用※ヒステリシス動作設定時のリレー動作例

フルスケール値は計測レンジ設定で選択された値を適応（初期値は測定上限値）

16178. ゼロ点補正モード

9. 補正値クリアモード(1) 計測･制御モード中に▽＋ MODE キーを押すと、ゼロ点(1) スタンバインモード中に MODE＋POWER キーを押すと、補正モードへ移行します。

補正値クリアモードへ移行します。
(2) 本モードを実行すると以下の項目がクリアされます。

‑2(2) 圧力が 1.0×10 ［Pa］以下にしてから実行して下さい。
また、5 分間程状態を維持した後に行って下さい。

* 移動平均設定値

注意* ヒステリシス設定値

これを怠り補正すると正しい圧力を示さなくなります。

* SP1 〜 SP4 設定値* レコーダ出力スケーリング設定値(3) ゼロ点補正モードは下図の様なフローになります。

* ゼロ点補正値(3) 補正値クリアモードは、下図の様なフローになります。

181910. レコーダ出力
測定圧力に対し、リニアに 4 〜 20mA のアナログ電流を出力し(2) 測定レンジが Hi レンジ選択の場合ます。
(1）測定レンジが LO レンジ選択の場合
仕様

No.

項 目

1レコーダ出力保証範囲

0.00〜133.32 kPa

2レコーダ出力電流4.000〜20.000 mA

3

計測エラー時の出力電流2.000 mA

4

フルスケール設定可能範囲

10.00〜133.32 kPa

5フルスケール初期設定値

133.32 kPa

2021

仕様

No.

項 目

1レコーダ出力保証範囲

0.00〜20.00 kPa

2レコーダ出力電流4.000〜20.000 mA

3

計測エラー時の出力電流2.000 mA

4

フルスケール設定可能範囲

1.00〜20.00 kPa

5

フルスケール初期設定値

20.00 kPa

11. 通信出力（1）通信出力仕様
項 目(3) 計測・制御モード時の通信出力内容
仕様

文字位置

内容

文字

インターフェイス

RS-232-C

1

通信速度

9600bps2*,

電文開始シンボル

キャラクタ長8bit

3C

動作モード(常に一定)

パリティなし4,

区切り

ストップビット

1bit

5A

SP1 ON時にA , OFF時は空白

フロー制御なし

6B

SP2 ON時にB , OFF時は空白

7C

SP3 ON時にC , OFF時は空白

8D

SP4 ON時にD , OFF時は空白

9,（2) 通信出力項目
サンプリング（0.1sec）毎に CSV 形式で測定データを出力区切り区切りします。

10〜15

圧力値 kPa単位時は 000.00〜145.00（PC 設定は、PC 付属のマニュアルを参照して下さい。）

16〜20

単位

テキストファイルの出力例＊, C , A , 133.32, .kPa

kPa単位時は ̲.kPa

21CR

改行コード(0dH)

22

LF

復帰コード(0aH)（4）計測・制御モード 以外の通信出力内容
文字位置

文字

内容

圧力値

1

セットポイント動作

2*,

電文開始シンボル

動作モード

3S

動作モード(常に一定)

4CR

改行コード(0dH)

5

LF

復帰コード(0aH)

データ開始のシンボル

22

23

区切り

13. エラー表示

12. 出力コネクタピン配列

指示表示部 7seg LED でエラー状態を表します。
出力コネクタ (D-Sub15Pin オス )RS-232-C コネクタ (D-Sub9Pin オス )

Pin番号

Pin番号

仕様

①センサケーブル抜け、断線時：

仕様

1

DC電源(-):GND

1N.C.

2

レコーダ出力(-):GND

2

RS-232-C̲RxD

3セットポイント̲4(SP̲4)

3

RS-232-C̲TxD

4セットポイント̲3(SP̲3)

4

N.C.

5セットポイント̲2(SP̲2)

5GND

6セットポイント̲1(SP̲1)

6N.C.

7

N.C.

7

RS-232-C̲RTS

8

DC電源(+):12〜24V

8RS-232-C̲CTS

9

レコーダ出力(+):4〜20mA

9N.C.

10セットポイント̲4(SP̲4)

11セットポイント̲3(SP̲3)

12セットポイント̲2(SP̲2)

13セットポイント̲1(SP̲1)

本器は窒素 (Ｎ２) ガスにおいて当社基準器により校正されます。

14N.C.

ご使用後一年を目安とした定期校正をお勧め致します。

15N.C.

対処方法：センサケーブル挿入、センサケーブル交換② Hi レンジオーバー時：

対処方法：Lo レンジへの切り換え

14. 校正2425