直結型油回転真空ポンプ
NEW DIGNITY シリーズ [ Λラムダ ]P65D,P100D,P135D,P165D 型

取扱説明書
SATO VAC INC.

■ この取扱説明書を最後までよくお読みのうえ、正しくお使いください。
■ お読みになったあとは、いつでも参照できるような場所に備えて、必要なときにお読みください。
■ この取扱説明書の製品は、改善のため外観または仕様を変更するこがあります。

MAMUAL CODE

Λ 065165-003

FEB. 2019

目

次

１．安全上のご注意・・・・・・・・・・・・・１

１－１．取り扱い全般

・・・・・・・・・・・・・１

１－２．使用環境、使用条件

・・・・・・・・・・・・・１

１－３．設置・・・・・・・・・・・・・２

１－４．運転・・・・・・・・・・・・・２

１－５．保守、点検、改造

・・・・・・・・・・・・・３

１－６．廃棄・・・・・・・・・・・・・３

２．概要と仕様（製品仕様）

・・・・・・・・・・・・・４

３．各部の名称と説明（外観図）

・・・・・・・・・・・・・５

４．着荷時の点検と保管方法・・・・・・・・・・・・・６

４－１．着荷時の点検・・・・・・・・・・・・・６

４－２．保管方法・・・・・・・・・・・・・６

５．設置と運転準備・・・・・・・・・・・・・７

５－１．設置場所と使用環境

・・・・・・・・・・・・・７

５－２．吸気側の配管・・・・・・・・・・・・・７

５－３．排気側の配管・・・・・・・・・・・・・８５－４．電源の接続・・・・・・・・・・・・・９
・・・・・・・・・・・・１０

６．運転
６－１．運転前の点検

・・・・・・・・・・・・１０

６－２．運転・・・・・・・・・・・・１０

６－３．停止・・・・・・・・・・・・１０

７．注意が必要な運転・・・・・・・・・・・・１１

７－１．寒冷時の起動・・・・・・・・・・・・１１７－２．長期間保管後の運転・・・・・・・・・・・・１１

７－３．水蒸気や水分、反応性、腐食性、・・・・・・・・・・・・１１

凝縮性、溶剤等のガスの排気
７－４．低真空領域（１００Pa）以上での排気・・・・・・・・・・・・１２７－５．酸素の排気・・・・・・・・・・・・１２

８．保守、交換部品、構造図

・・・・・・・・・・・・１３

８－１．オイル量と汚れ（劣化）の確認

・・・・・・・・・・・・１３８－２．オイル交換

・・・・・・・・・・・・１３８－３．フラッシング洗浄・・・・・・・・・・・・１4８－４．オイル交換時期の判定

・・・・・・・・・・・・１４

８－５．推奨オーバーホール時期、構造図、・・・・・・・・・・・・１５

消耗部品一覧
９．故障診断・・・・・・・・・・・・１６
・・・・・・・・・・・・１７

１０．修理返却される場合のお願い事項

・・・・・・・・・・・・１８

１１．アフターサービス

・・・・・・・・・・・・１８■標準保証条件■油回転真空ポンプ使用状況チェックシート■検査合格証／保証書

1. 安 全 上 の ご 注 意
真空ポンプの使い方を誤ると、火災や感電などの危険な状態になります。
設置、運転、操作、保守点検の前に、必ず本取扱説明書を熟読し、正しくお使いください。
また、機器の知識、取扱の保全、及び注意事項について習熟してからご使用ください。
この取扱説明書では、注意事項をとの２つの項目に区分しています。

取扱を誤った場合に、危険な状態を生じて、死亡または重傷を受ける可能性が想定される場合。
取扱を誤った場合に、危険な状態が起こりえて、中程度の障害や軽傷を受ける可能性が想定される場合。及び、物質障害のみ発生が予想される場合。
なお、に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結びつく可能性があります。いずれも重要な内容を記載しておりますので、必ず守ってください。
１－１ 取り扱い全般● 取扱説明書および注意事項の内容を熟知しない人は運転しないでください。作業開始前の点検や定期保守を必ず実施してください。
● ポンプの上に物を置かないでください。運転中ポンプは発熱しますので、火災等の恐れがあります。
● 真空ポンプ運搬時は重量を確認し、必ず電源を遮断してから、ポンプが冷えた状態で取っ手を持って運搬してください。その際、電動機側に比べポンプ側の重量が大きい為、傾きますので、ポンプ側に手を添えてください。衝撃を与えますと、故障の原因となります。
１－２ 使用環境、使用条件● 引火性物質や爆発性粉体、有機溶剤等のある場所には設置しないでください。電源等の動作で引火や爆発の恐れがあります。
● 雨や水がかかる場所への設置はしないでください。漏電、感電の恐れがあります。
● 燃えやすいものを近づけないでください。火災の恐れがあります。
以下の環境では使用しないでください。真空ポンプの耐久性の低下や故障の原因となります。
◎ 周囲温度が 10℃～４０℃以外の場所◎ 振動や塵埃が多い場所◎ 湿度が高く，結露する場所（７０％ＲＨ以下の事）◎ 換気の無い密閉容器や箱の中◎ 直射日光の当たる場所

1

１－３ 設置● 必ずアース工事を行ってください。また、1 台ごとに適切な漏電遮断器を設置してください。
● 電気配線，配線工事は電気設備技術基準や電力会社の内線規定に従い、1 台毎に適切な過負荷保護装置を設置してください。また、指定の電圧、周波数以外の電源を使用しないでください。破損や火災の恐れがあります。
● 不安定な場所や落下の恐れがある場所、水平でない場所には設置しな
いでください。
● 排気側の配管にはバルブは設置しないでください。真空ポンプ使用時にバルブが閉まっていた場合、排気配管やポンプ内が加圧状態になり、破損、破裂の恐れがあります。
● 排気配管は配管内やポンプケース内の圧力が最大で 1.3X105Pa（ゲージ圧 0.03MPa）以下となるように、配管や排ガス処理設備等のコンダクタンス（気体の流れ易さ）を大きくとるように考慮してください。コンダクタンスが十分でない場合、排気配管やポンプ内が加圧状態になり、破損、破裂の恐れがあります。排気配管の目安として、
真空ポンプの排気口径以上の配管にしてください。
● 真空ポンプの吸気口はクイックカップリング、排気口はねじ込みを用いていますが、これらの接続が不十分である場合には重大な事故が発生する恐れがあります。配管の接続に際しては、漏れ（リーク）やネ
ジの緩みがないよう十分注意して、確実に接続を行うと共に、定期的（1ヶ月毎程度）に接続の状態を点検してください。
● 装置内部等の閉塞した場所（外装パネルで覆われた架台内等）に設置する場合は、ポンプから発する熱が籠もります。放熱用のダクトやファンを設け、ポンプの周囲温度が 40℃以下になるようにしてください。
● クリーンルーム内に設置する場合、ポンプから多少のゴミが発生しま
すので、ご注意ください。またポンプ排気口からはオイルミストが排出されます。オイルミストトラップでは 100% の回収は出来ません
ので、配管でクリーンルーム外へ排気してください。
１－４運転● 吸気口を手など身体で塞いで運転しないでください。うっ血する恐れがあります。
● 排気口から排出されるガスを吸わないでください。人体に悪影響を与えます。
● 排気口を締め切って運転しないでください。
真空ポンプが破裂する恐れがあります。
● 加圧した気体を吸引しないでください。真空ポンプが破裂する恐れがあります。
● 指定回転と逆に回転（コンプレッサーとしての運転）させないでください。真空ポンプが破損する恐れがあります。
● 回転部には触れないでください。

2

● 電気配線部には触れないでください。
● 反応性、腐食性、毒性、爆発性、可燃性等の危険な特性を持つガスは吸引しないでください。真空ポンプの破損、爆発、人体への悪影響の恐れがあります。
● 煙が出ている、変な音や臭いがする等の異常がある場合は、直ちに電源を遮断し当社にご連絡ください。
● 異物、水蒸気、反応性ガス、腐食性ガスの吸引はしないでください。
故障の原因となります。
● 低真空領域（100Pa 以上）での連続運転はしないでください。故障の原因となります。
● 酸素分圧の高いガスは吸引しないでください。オイルの劣化や部品の錆が発生し易くなり、故障の原因となります。
● 運転中、及び運転停止後３０分程度は真空ポンプ本体、及び電動機付
近は高温になっておりますので、人体や可燃物を接触させたり、接近させないでください。
● インバータでの低速、高速運転はしないでください。故障の原因となります。（定格回転数での運転を推奨します。）
１－５ 保守、点検、改造● 活性ガス（腐食性ガス）を吸引した真空ポンプには手を触れないでください。
指定業者以外でのオーバーホールは絶対に行わないでください。吸引ガスの種類を明確にして指定業者にお渡しください。
● 配管から取り外す場合は，活性ガス（腐食性ガス）を配管、及びポンプ内部から取り除く為に、N2 ガス等の不活性ガスでパージした状態で行ってください。
● 活性ガス（腐食性ガス）を吸引した真空ポンプは指定業者以外の人が廃棄処分を行わないでください。
● 製品および付属品の改造は絶対にしないでください。
● 当社指定の部品以外は絶対に使用しないでください。
● 日常点検、オーバーホールは、必ず一次側電源を遮断し、真空ポンプ
が十分冷えてから実施してください。作業が終了するまでは、ポンプに電源を供給しないでください。
● 運転中に異常音や振動があったり、所定の特性が出ない場合は必ず運転を停止し、点検やオーバーホールを実施してください。
１－６ 廃棄● ポンプ本体、ポンプに使用したオイル、保守部品類は、各国、又は各自治体の指示に従い、産業廃棄物として処理してください。
● 反応性、腐食性、毒性、爆発性、可燃性等の危険な特性を持つガスを排気したポンプを廃棄する場合は、ポンプ内部の残留ガス、及び、オ
イルを完全に排出し、内部の洗浄を行ってください。ガスが残っていると様々な事故の原因となります。排出したオイルに関しても産業廃棄物として、適切に処理してください。ガスに関しては、ガス供給メー
カーから安全データーシート (MSDS) を入手して、ガスの特性を確認してください。

3

２. 概要と仕様
直結型油回転真空ポンプ P65D、P100D、P135D、P165D は窒素のような不活性のガスや、通常の大気の排気を主目的に開発された真空引き専用のポンプです。回転翼型の２段式ポンプ
で、低真空～中真空ポンプとして、また高・超高真空の粗引きポンプとして、あるいは油拡散
ポンプ、ターボ分子ポンプの等の補助ポンプとしてご使用いただけます。記載のないご使用方
法につきましては、当社にご相談ください。
製品仕様
型

式

実 効 排 気 速度

到達圧力

L/min

圧

P100D

P135D

P165D

50Hz

65

100

135

165

60Hz

80

120

160

200

Pa

0.67

（ピラニ真空計）

電 動 機 出力電P65D

W
V (±5%)

定 格 電 流値

A

回転数

min

‒1

200

400

単

単

相

相

AC100V

AC100V

AC200V

50Hz

5.1

6.5

3.4

60Hz

4.5

5.9

3.0

50Hz

1430

1435

1420

60Hz

1720

1735

1720

使用油

SA-100M

SA-160M

油

量

L

1.5

1.8

質

量

Kg

20

20

外形寸法

mm

2.0
27

483×134×247 495×165×311

吸気口

28

520×165×311

NW25

排気口
騒音値

dB(A),1m

振幅μm(P-P)
標準型

オイルミストトラップ
インライン型G(PF)1/2

G(PF)1

58

60
20

TMN200-2

TMN200-4

OMT-D-100

CT-D-300

TMN200C-2N

TMN200C-4N

OMT-C-100

CT-C-300• AC100V 単相仕様は電源スイッチ、過負荷保護装置（手動復帰型）、電源コード（2.0m）、アー
ス付 3P プラグ、3P → 2P 変換プラグ付きです。
• AC200V 単相仕様は電源スイッチ、過負荷保護装置（手動復帰型）、電源コード（2.0m）付きです。

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３. 各部の名称と説明

134

(483)
17

179

35

268.5

排気傘(口)

G(PF)1/2

吸気口

NW25

給油口

過負荷保護装置
リセットボタン
電源スイッチ

取っ手

電動機

油面計
2 02
228
247

ハッチ
オイルドレン弁
Rp(PS)3/8
オイルキャップ付

42

42

107

205.5

170

ゴム脚

P65D 型
１６５

排気傘(口)
G(PF)1

２０

（４９５）
３５

１８０

２８０
吸気口

過負荷保護装置
リセットボタン

NW25 取っ手

給油口
Ｇ（ＰＦ）３/４

電源スイッチ

電動機

（３１１）

２２３

ハッチ

２５５

油面計

オイルドレン弁
Rp(PS)3/8
オイルキャップ付
５３

５３

９０

１９０

２１５

ゴム脚

P100D 型

１６５

排 気 傘（ 口 ）Ｇ（ＰＦ）１

２０

（５２０）
３５

２０５

２８０

給油口
Ｇ（ＰＦ）３/４

吸気口
ＮＷ２５ 取っ手

過負荷保護装置
リセットボ タ ン

電 源 ス イッチ

電動機

（３１１）

２２３

ハッチ

２５５

油面計

オ イ ルドレン 弁
Ｒｐ（ＰＳ）３/８
オ イ ル キャップ 付
５３

５３

１１５

１９０

ゴム脚

P135D・P165D 型

5２１５

４. 着荷時の点検と保管方法
４－１ 着荷時の点検
天地を確認の上、開梱してください。梱包を解かれましたら、まず次のことをご確認ください。
① 次の構成品が揃っていることを確認してください。
・直結型油回転真空ポンプ（ご注文の製品と一致しているか、貼付してあります銘板をご確認ください。）
・取扱説明書・ユーザー登録カード
・真空ポンプオイル※真空ポンプオイルはポンプ本体に封入しておりますが、別缶で付属の場合もありますのでご注意ください② 輸送中の損傷やオイル漏れはないか③ ボルト・ネジ類のゆるみはないか④ ご注文の付属品は、所定のものがついているか※もし不具合がございましたら、ご連絡ください。
４－２ 保管方法
真空ポンプを保管する場合は、以下に従ってください。
（１）新品、又はオーバーホール品のポンプの場合
・直射日光を避け、温度変化の少なく湿度の低い場所で保管して下さい。
・ポンプ内にゴミや異物が入らないように、吸・排気口は必ずフランジカバー等で塞いでください。
※オイルは封入したまま保管してください。
（２）使用済み品のポンプを保管する場合①ポンプ内のオイルを排出し、新しいオイルを給油してください。
②吸気口をバルブやブランクフランジで締切り、到達圧力状態（無負荷）にて 10 分程度運転してください。
③新品のポンプと同様に保管してください。

6

５ 設置と運転準備
５－１ 設置場所と使用環境
本ポンプはベースにゴム脚を備えてありますので、そのまま据え置きできます。床やフレー
ムに固定する場合は弊社にご相談ください。
以下の点に注意して設置してください。
・ ポンプ使用可能温度範囲は、１０℃～４０℃ですが、性能・寿命の面から１０℃～３０℃の範囲が最適です。
・ 屋外や水滴のかかる場所、極度に湿度の高い場所（湿度 70% 以上は不適）は避けてください。
・ しっかりとした床で水平な場所に取り付けてください。
・ 塵埃の少ない所で、保守点検（オイルの量や汚れの確認など）や取付け、取外しの容易な設置場所を選んでください。
・ 爆発性、可燃性等の火災や爆発の恐れのあるガスや酸性、アルカリ性等の有害なガスのある場
所は避けてください。
・ 装置内部等の閉塞した場所（外装パネルで覆われた架台内等）に設置する場合は、ポンプから発する熱が籠もります。放熱用のダクトやファンを設け、ポンプの周囲温度が 40℃以下になるようにしてください。
・ クリーンルーム内に設置する場合、ポンプから多少のゴミが発生しますので、ご注意ください。
またポンプ排気口からはオイルミストが排出されます。オイルミストトラップでは 100% の回収は出来ませんので、配管でクリーンルーム外へ排気してください。
５－２ 吸気側の配管（配管系統図例参照）
本ポンプの吸気口は NW25 クイックカップリングフランジとなっています。NW25 クランプ及び NW25 センターリングを用い、以下の点に注意して配管してください。（クランプ類は別途ご用命ください。）
・ 配管部品や容器は大気圧に対して最低 1 気圧（0.1MPa）の負圧に耐えるものをご使用ください。
・ 配管の形状はコンダクタンスを十分考慮して、ポンプ吸気口径と同等、もしくはそれ以上の配管径のもので、出来るだけ短くしてください。
・ ポンプに大きな荷重がかからないようにしてください。
（配管荷重はブラケット等で支持してください。
）
・ 装置、配管、バルブの内壁は清浄にし、水分や異物、塵埃などを除去後接続してください。
・ 装置、配管は漏れが生じないようにしてください。配管材料としては、ステンレス鋼管やフレ
キシブルチューブ、真空用ゴムホース等が適しています。
・ 容器を排気する場合、運転終了後に容器の真空状態を保つ為に、ポンプと排気対象物の間に遮断バルブを介して接続してください。
・ 運転中にポンプ内部に固形異物が侵入する恐れのある場合や水蒸気等の凝縮性のある気体、溶剤等を吸引する場合には、吸気配管にトラップ等を設け、ポンプが吸引しないようにしてください。
・ 運転終了後の排気対象物への油逆流防止の為、遮断バルブとポンプの間にリークバルブを設け、配管内を大気や不活性ガスでパージしてください。
当社では各種アダプターやフレキシブルチューブ等の配管部品も用意しております。別途ご用命ください。

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５－３ 排気側の配管（配管系統図例参照）
本ポンプの排気口は管用平行ネジ（Ｇ）になっています。排気口からはオイルミストや排気したガスが排出されますので、オイルミストトラップやダクト、必要なガス処理設備に以下の点に注意して接続してください。
・ 配管材料としては、ステンレス鋼管やフレキシブルチューブが適しています。塩ビのスパイラ
ルチューブ等でも十分ですが、反応性や腐食性等のあるガスの場合は危険ですので使用しな
いでください。
・ ポンプに大きな荷重がかからないようにしてください。
・ 配管の形状はコンダクタンスを十分考慮して、配管内やポンプ内圧力が最大で 0.13MPa（ゲージ圧 0.3kg/cm2）を越えないように、ポンプ排気口径と同等、もしくはそれ以上の配管径のものを使用してください。排気側が加圧されますと、ポンプの性能が低下し、ポンプや配管の破損の危険もあります。
・ クリーンルーム内に設置する場合、排気口からはオイルミストや排気したガスが排出されます。
オイルミストトラップでは 100% の回収は出来ませんので、配管でクリーンルーム外へ排気してください。
※オイルミストトラップを使用する場合の注意
・ オイルミストトラップのエレメントが目詰まりしますと排気の抵抗になり、ポンプの性能低下や故障の原因になりますので、早めのエレメント交換を心がけてください。
エレメントが飽和状態になりますと、ミストが回収しきれなくなり、オイルミストトラップ
から白煙が出るようになりますので、交換の目安にしてください。
・ オイルミストトラップ TMN シリーズをお使いの場合、回収されたオイルは、ポンプ停止時にポンプに戻りますが、オイルは徐々に減りますので、定期的に確認して下さい。TMN 以外のオイルミストトラップで回収されたオイルには、吸引したガスや水分が含まれていますので、ポンプに戻さずに破棄してください。減った分のオイルは新油を給油してください。
・ 水蒸気（水分）や凝縮性のあるガスを排気しますと、オイルミストトラップ部分で液化し、ポンプ内部に戻ってオイルに混入し、オイルを劣化させる場合があります。

ガス導入弁（リークバルブ）

ダクト等へ

被排気系
主排気弁

油回転真空ポンプ
配管系統図例8

５－ 4 電源の接続
以下の点に注意し、電動機の仕様に従って電源を接続してください。
・ 配線作業は必ず一次側電源を切ってから行ってください。また、作業が終了するまでは、ポンプに電源を供給しないでください。
・ 必ずアース工事を行ってください。また、1 台ごとに適切な漏電遮断器を設置してください。
・ 電気配線，配線工事は電気設備技術基準や電力会社の内線規定に従い、1 台毎に適切な過負荷保護装置を設置してください。また、指定の電圧、周波数以外の電源を使用しないでください。破損や火災の恐れがあります。
・ 運転を始める前に１～２秒電源を入れ、必ず回転方向の確認を行ってください。回転方向はポンプ油面計側から見て右回りです。（ポンプ上面に指示してあります。）① AC100V 単相仕様
標準でスイッチ、過負荷保護装置、電源コード、プラグ（アース付３P）まで配線してあります。電源スイッチが OFF になっている事を確認してからプラグを AC100V 電源に接続してください。
② AC200V 単相仕様
標準でスイッチ、過負荷保護装置、電源コードまで配線してあります。配線に端末は圧着端子等を使用してください。電源スイッチが OFF になっている事を確認してから AC200V 電
源に接続してください。

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６ 運転
6 －１ 運転前の点検
ポンプの運転を始める前に次のことを確認してください。
・ オイルの量と汚れを点検してください。不足、汚れ等がある場合はオイル交換、または給油してください。
（８－１項を参照してください。）
・ 吸・排気の配管が正しく行われているか確認してください。特に排気側の閉塞やオイルミスト
トラップの汚れに注意してください。
・ 電気結線に間違いがないか、再度確認してください。特に電動機の仕様に注意してください。
・ 使用環境を確認してください。特に周囲温度に注意してください。本ポンプの使用可能周囲温
度は１０℃～４０℃ですが、１０℃未満ではオイルの粘度が高く、過負荷となり、ポンプが起動しない場合があります。（７－１項を参照してください。）
6 － 2 運転電源スイッチを ”ON”にしてください。ポンプが起動しましたら、次のことを確認してください。
異常がありましたら後述の「故障診断」を参照してください。
・ 必ず回転方向の確認を行ってください。回転方向はポンプ油面計側から見て右回りです。（ポンプ上面に矢印で指示してあります。）逆回転の場合は吸気口からオイルが噴出します。
・ ポンプの回転に異常のないこと（到達圧力不良、過熱、異常音、異常振動など）を確認してください。
※ポンプ排気口に取り付けてあるキャップは必ず外してください。
※ポンプを運転しますと、油温の上昇に伴う体積の膨張や、ポンプ本体へのオイルの供給等の影響で油面が若干変動しますが異常ではありません。油面を正しく管理する為には、停止時に給油し、運転開始後油温が安定したところで再度確認してください。
※運転開始直後は油温が低く、粘度が高い為、油の循環、油膜が安定せず、運転音が大きく、到達圧力が悪くなる場合がありますが、異常ではありません。数分間運転しますと油温が上昇し、運転音が安定します。とくに寒冷時には吸気口を大気開放状態で起動し、10 秒程度運転後に締切状態（無負荷）にして暖気運転を１０分以上行ってください。

6 － 3 停止
電源スイッチを”OFF ”にしてください。
※本ポンプは逆流防止構造ではない為、吸気側を減圧状態で保持した場合、オイルが徐々にポンプ本体や吸気配管側に吸引され、装置等を油で汚染してしまいます。また、ポンプ本体内部がオイルで充満しますと、過負荷によりポンプが起動しない場合があります。（後述の「故障診断」を参照してください。）従ってポンプ停止時には必ず吸気側をリークしてください。

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7 注意が必要な運転
7 －１ 寒冷時の起動
ポンプ周囲温度が低い（１０℃未満）場合、油の粘度が高くなり、ポンプが起動しない（サーマルトリップ）事があります。以下の手順に従って起動させてください。
① 吸気口を開放状態で、ポンプ電源の“ON”/“OFF”を数回くり返し、ポンプを少しづつ回転させてください。油温が徐々に上がり、通常運転が可能になります。
② 全く回転しない場合は、カップリングカバー（構造図参照）を外し、吸気口を開放状態で、冷却ファンをポンプ回転方向に手で数周回してから電源を供給してください。電源を供給す
る際は、回転部に接触しないように注意してください。
③ ご使用になる前に吸気口を大気開放状態で起動し、10 秒程度運転後に締切状態（無負荷）にして暖気運転を１０分以上してください。
又は、油温が１０℃以上になるまでポンプ全体を暖めてから起動してください。
7 － 2 長期間保管後の運転長期間（約３ヶ月）ポンプを停止（保管）しますと、部品表面に付着した油が落ちている場
合があります。このままポンプを起動させますと摺動部が無潤滑状態になり、ポンプが破損する可能性がありますので、以下の手順に従って起動させてください。
① カップリングカバー（構造図参照）を外し、冷却ファンをポンプ回転方向に手で数周回しながら、吸気口から 100 ｍｌ程度、数回に分けて給油してください。
② 吸気口を開放状態で、ポンプ電源の“ON”/“OFF”を数回くり返した後、運転を開始してください。
7 － 3 水蒸気（水分）、反応性、腐食性、凝縮性（溶剤等）のガスの排気
水蒸気や水分（配管内壁面やワークの表面に付着した水分）等の凝縮性ガス、反応性、腐食性のガスは真空ポンプで排気しますと、ポンプ内部で凝縮して液体になり、オイルに混入して、オイルの劣化、及びポンプの性能低下、錆付き、故障の原因となりますので、以下の対処をしてください。
・ 吸気配管にトラップ等を設けて除去する。
・ オイルクリーナーを取り付ける。（水分のみの場合）・ 頻繁にオイル交換を行う。
※ 注意点
・ 排気口の直上に長く垂直な配管を行わないでください。配管内で凝縮し、凝縮物がポンプ内部に落下します。また、凝縮物が配管内に堆積して配管内のコンダクタンスが低下し、排気側圧力が上昇する場合がありますので、定期的に点検して、堆積物を除去してください。
・ オイルミストトラップは凝縮物によって目詰まりを起こし易く、排気側圧力が上昇する原因になります。また、水分等はエレメントの抵抗によって液化し、ポンプや配管の腐食、破損の原因となります。使用する場合はエレメントや配管の点検、交換、清掃を頻繁に行って下さい。

11

7 － 4 低真空領域 (100Pa 以上 ) での排気ポンプを低真空領域（１００Pa 以上）で連続運転する場合や、大気圧からの排気を頻繁に行う場合は、多量のオイルミストが排出され、オイルが著しく減少し、オイルミストトラップのエレメントの寿命が短くなります。油面の点検を頻繁に実施し、不足の場合は給油してください。オイルが不足しますと故障の原因となります。
※ 吸気圧力 1000Pa 以上の場合、負荷が大きい為、到達圧力近辺での運転に比べ、ポンプ油温、
電流値が上昇します。定常運転時に比べ、油温＋１０℃前後、電流値１．５～２倍（定格電流値近傍）になりますが、異常ではありません。
7 － 5 酸素の排気
通常の大気より酸素濃度の高いガスを排気する場合、鉱物系のオイルは可燃性であり、排気の過程で酸化されて劣化が著しくなります。通常の大気より酸素濃度の高いガス（２１％以上）
や純酸素の排気には使用しないでください。

12

8 保守、交換部品、構造図
8 －１ オイル量と汚れ（劣化）の確認
開梱時、ポンプ内にオイルが封入されておりますので、油面計で油量が適正であるか、必ず確認してください。オイルが不足した状態で運転しますと故障の原因となります。また、ポンプを運転しますと、オイルミストとして外部に排出されて徐々に減り、吸引ガスによって劣化や酸化していきます（減る早さや劣化の度合いは、使用状況によって異なります）ので、定期的に点検する必要があります。不足している場合は補充、劣化・汚れの場合はオイル交換を行ってください。油面は MAX と MIN の間で管理してください。オイルは当社指定の真空ポンプオイルを使用してください。
※ ポンプを運転しますと、油温の上昇に伴う体積の膨張や、ポンプ内部へのオイルの供給等の影響で油面が若干変動しますが異常ではありません。油面を正しく管理する為には、停止時に給油し、運転開始後油温が安定したところで再度確認してください。
※ 反応性、腐食性等のあるガスを吸引する場合や、低真空での連続運転をする場合は、オイルが著しく劣化する場合があります。オイルの種類を変更することで改善出来る場合がありますので、当社にご相談ください。

MAX

この範囲内で油面を管理してください。

油面上限

MIN

油面下限

適正油面位置8 － 2 オイル交換
・排油① ポンプを停止し、ポンプの温度が下がった状態で作業を行ってください。
② 配管している場合は配管を取り外し、ポンプ単体の状態にしてください。ポンプと排気対象物の間に遮断バルブがある場合はバルブを閉じてください。
③ 使用済みオイルを入れる容器（２L 以上）を用意してください。
④ ドレンバルブを開け、用意した容器にオイルを出してください。
※ ポンプ吸気口を大気開放状態で５秒程度運転してから作業を行いますと、ポンプ本体内のオイルも抜け、より多くのオイルを排出出来ます。
※ ドレンバルブからオイルを抜いた後ハッチを外しますと、ドレンしきれずにケース内に残ったオイルも排出出来ます。

13

・給油
① 給油栓を開けてください。
② オイルドレン弁が閉まっている事を確認してください。
③ 給油口から当社指定の真空ポンプオイルを規定量（油面計で管理）まで入れてください。
④ 給油栓をしっかりと閉めてください。
※ こぼしたオイルは拭取ってください。滑ったり、油漏れと間違う可能性があります。
当社指定真空ポンプオイル
真空ポンプ型式
P65D
P100D・P135D・P165D

メーカー

真空ポンプオイル型式

佐藤真空SA-100M

MORESCO

MR-100佐藤真空

SA-160M

MORESCO

MR-2008 － 3 フラッシング洗浄
オイルの汚れが酷く、一度のオイル交換ではポンプの性能が回復しない場合は、吸気口締め切り状態で５分程度運転を行ってから、８－２項の手順で排油し、新油を給油してください。この時排出されたオイルの汚れが酷い場合は、再度フラッシング洗浄を行うか、ポンプケース部
ハッチを外しポンプケース底部に溜まった汚れ（堆積物）を掻き出してください。
8 － 4 オイル交換時期の判定
・到達圧力による判定
ポンプ吸気口での到達圧力が正常時と比較して高くなったらオイル交換を行ってください。
装置等に組み込んでいる場合は、オイルが正常な状態で圧力を測定し、毎回同じ箇所で測定して比較してください。
・オイルの汚れによる判定
油面計からオイルの色を確認し、新油の色（無色～淡黄色）と比較する事で劣化の度合いを判定します。オイルの色が茶色や黒みを帯びてきたら交換を行ってください。
・オイル交換時期の目安
通常、正常な乾燥空気を排気し、吸気圧力を１００Pa 以下に保って連続運転を行う場合は、目安として６ヶ月に１度（約４０００時間毎）のオイル交換が必要です。ポンプの運転を頻繁に止める場合でも最長で１年です。

14

標準的なオイルの交換時期
主な用途、装置

交換時間の目安
2000 時間以内

研究・実験用高真空装置

ガス放出が少なく、大気・真空の繰り返し

小型高真空蒸着装置

頻度が低いもの

生産用真空装置

1000 時間以内

ガス放出の比較的少ないもの

真空蒸留装置各種高真空炉

ガス放出がやや多く、拡散ポンプやメカニカ

菅球排気装置500 時間以内

ルブースターポンプを併用するもの

大型蒸着装置
高真空乾燥
真空含浸

ガス放出の多いもの

真空成型

250 時間以内

真空包装
真空脱気
低真空乾燥
真空蒸発

125 時間以内

ガス放出の非常に多いもの

調湿装置
液汁を含む真空包装

8 － 5 推奨オーバーホール時期、消耗部品
通常、正常な乾燥空気や不活性ガスを排気し、吸気圧力を１００Pa 以下に保って連続運転を行う場合は、目安として２年、又は 10000 時間に１度のオーバーホールが必要です。

構造図
23

1

9

2

3

10 11
22

15
13

21
14
12
4

15

7 18 5816

17

6 19 68 18 20 6

8 18

17

17

P65D 型 消耗部品一覧
オーバーホール毎交換

その他の消耗部品

番号

部品名

型式・寸法

個数

材質

番号

1

O リング

S30

1

フッ素ゴム

16

2

O リング

S20

2

フッ素ゴム

17

3

O リング

S14

1

フッ素ゴム

18

ベアリング

4

O リング

S48

1

フッ素ゴム

19

5

O リング

G55

1

フッ素ゴム

6

O リング

S63

3

7

オイルシールSD14255

8

オイルシールSD153079

部品名

型式・寸法 個 数

6802

材質

4

SUJ

第１ベーン

2

PEEK

20

第２ベーン

2

PEEK

フッ素ゴム

21

給油ポンプベーン

2

PEEK

1

フッ素ゴム

22

油面計

1

アクリル

3

フッ素ゴム

23

カップリングゴム

1

NBR

ポンプケースパッキン

1

NBR

10

油面計パッキン①

1

NBR

11

油面計パッキン②

1

NBR

12

ハッチパッキン

1

NBR

13

排気弁

2

SUS

14

ベーンスプリング

4

SUS

15

排気弁スプリング

2

SUS

L050-S

P100D・P135D・P165D 型 消耗部品一覧
オーバーホール毎交換

その他の消耗部品

番号

部品名

型式・寸法

個数

材質

番号

部品名

型式・寸法 個 数

材質

1

O リング

S30

1

フッ素ゴム

16

カラー

12.15.12

1

SUS

2

O リング

S24

2

フッ素ゴム

17

カラー

17.20.8

3

SUS

3

O リング

S14

1

フッ素ゴム

18

ベアリング

6803

4

SUJ

4

O リング

S53

1

フッ素ゴム

19

第１ベーン

2

PEEK

5

O リング

G55

1

フッ素ゴム

20

第２ベーン

2

PEEK

6

O リング

S75

3

フッ素ゴム

21

給油ポンプベーン

2

PEEK

7

オイルシールSD15307

1

フッ素ゴム

22

油面計

1

アクリル

8

オイルシールSD20357

3

フッ素ゴム

23

カップリングゴム

1

NBR

9

ポンプケースパッキン

1

NBR

10

油面計パッキン①

1

NBR

11

油面計パッキン②

1

NBR

12

ハッチパッキン

1

NBR

13

14

15

排気弁

ベーンスプリング

排気弁スプリング

P100D

2

P135D

3

P165D

3

P100D

4

P135D

5

P165D

5

P100D

2

P135D

3

P165D

3

L070-S

SUS

SUS

SUS

16

9 故障診断

異常の状態
ポンプが正常に作動しない
・起動しない・サーマルトリップ
・モーターがうなる
・回転が不規則推定原因○電動機入力結線の誤り
入力電圧不良○周囲温度が高い、又は低い○電動機、スイッチ等の電源部品の破損○オイル量の不足○オイル及びポンプ内の汚れが著しい○入力電圧（定格に対し ±5%）確認
結線の確認○周囲温度が１０〜４０℃の環境で使用する、暖気運転をする○交換○油面計で確認、給油○オイル交換、フラッシング洗浄
又はオーバーホール○交換○周囲温度が高い、又は低い○周囲温度が１０〜４０℃の環境で使用する、暖気運転をする○油面計で確認、給油○オイル交換、フラッシング洗浄
又はオーバーホール○指定の真空ポンプオイルに交換○入力電圧（定格に対し ±5%）確認○電源周波数の確認○フィルターの洗浄、交換○オーバーホール○オイルの種類が違う○入力電圧不足（回転数の低下）○電源周波数が違う○吸気口フィルターの詰まり○オイルシール、O リングの破損や劣化、部品の破損、摺動部の焼き付きやカジリや摩耗、軸受や排気弁の破損○吸気側配管のリーク○排気側圧力が高い（オイルミストトラップの目詰まり）○配管や装置のリークを確認○配管の点検、堆積物等がある
場合は洗浄（エレメントの交換）

オイルの噴出し（吸気口） ○逆回転○オーバーホール○オイル量が多すぎる
オイルの噴出し（排気口）○オイルの種類が違う
オイルミストの量が○部品の破損、摺動部の摩耗多い○吸気側配管のリーク
オイルの消費が早い○低真空領域での運転○油面計で確認、調整○指定の真空ポンプオイルに交換○オーバーホール○配管や装置のリークを確認○運転条件の見直し

オイル漏れ

17

策

○カップリングゴムの破損○オイル量の不足○オイル及びポンプ内の汚れが著しい

到達圧力不良対○オイルシールの破損、劣化○交換、又はオーバーホール

10 修理返却される場合のお願い事項
直結型油回転真空ポンプの修理またはオーバーホールを弊社にご依頼される場合は、以下の点にご注意ください。
・ 吸気口、排気口、給油口は必ずフタをしてお引渡し下さいますようお願い致します。
・ 使用されました環境、条件を明示して下さい。明示いただけない場合は、修理サービスできかねますのでご協力をお願い致します。

1 1 アフターサービス
安全に効率よくご使用いただくために、定期的に点検を行うことをおすすめします。
保証期間（１年）後の調査及び修理は全て有償とさせていただきます。また、保証期間内であっても、保証範囲外の理由による故障の修理、及び故障原因の調査については有償でお引き受けいたします。
修理を依頼する場合は、「使用状況チェックシート」をコピーして必要事項を記入し、修理依頼品に添付してください。但し、当社が使用を禁止しているガスや人体に悪影響があるガスを吸引していると思われる場合には、修理を辞退する事もあるのでご了承ください。
補修用性能部品の最低保有期間は、製造打ち切り後７年です。
製品の不具合、部品の補充、取扱い上ご不明の点があり、お困りのときは製品購入店または当社にご相談ください。

18

標準保証条件
ご検収後（お引渡し完了後）の製品に対する保証につきましては、次の通りです。

保証期間
保証期間は、当社出荷後 1 年間

保証範囲
メーカー責任の範囲内、すなわち当社の設計、工作等構造上の問題に起因する不具合の場合は、修理または取替えを無償で致します。なお無償修理又は取替えの範囲は原則として当社納入製品部分に限り、製品の搬出、据付費用などの付帯事項、及び二次的に発生した損失の補償は含
みません。

使用条件
正常な使用条件で保証期間内に事故が発生した場合には無償修理いたします。
正常な使用条件は以下の通りです。
・ 運転雰囲気温度及び湿度

温度１０～４０℃ 湿度７５％以下

・ 吸引ガスの種類と温度

乾燥空気または不活性ガス 温度１０～４０℃

・ 取扱説明書に従った運転

免責事項
保証期間内であっても下記のいずれかに該当する場合は、適用を除外させていただきます。
・ 取扱説明書及び製作仕様書の使用条件に基づかない不適当な取扱い、及び使用を行った場合。
・ 当社製作以外の部品を製作加工または購入し、交換または改造した場合。
・ 天災地変その他不可抗力による故障及び損傷の場合。
・ 外部要因に基づく不具合又は不良。
・ 保守、点検を怠った場合、推奨オーバーホール時期を越える使用での消耗部品の不具合、及びこれらに起因する不具合。
・ 弊社技術員によって、製品の使用条件に合わないため発生した故障と判断された場合。
特にプロセス上避けがたい要因により、機能及び性能の低下または不具合を生じた場合。

その他
保証は日本国内においてのみ、及び保証条件適用内で有効です。

油回転真空ポンプ使用状況チェックシート
佐藤真空株式会社

行

本社/工場

発行日
年
月
ご 捺 印 欄〒354-0041 埼玉県入間郡三芳町藤久保1036
TEL. 049-258-1116 FAX. 049-258-1117

日

大阪営業所
〒579-8013 大阪府東大阪市西石切町3-4-13
TEL. 072-981-7241 FAX. 072-981-8831

お客様名
ご担 当 者 名
TEL

FAX
年

ご購 入 年 月日

月日

ご購 入 元

機種名

製造番号

付 属 部 品（オイルミストトラップ等）

1 .ご依 頼 内 容□

修理依頼
注1：分解点検後でないと正確な修理価格は算出できません)
注2：分解点検には費用が発生します。
（修理せず返品若しくは処分の場合）□

不具合調査依頼□

その他

2.故障状況
□異常音・振動がする□

到達圧力不足□動作不良(運転不能・サーマルトリップ)

□

その他

月

日

3 .ご使 用 の 環 境(1)

使用目的(装置名)

(2)

使用期間

(3)

使用圧力

(4)

吸引ガスの種類

(5)

設置場所

(6)

周囲温度

年

月

日〜

年

□ 24Hr連続運転 □ 間欠運転

Pa
人体への影響□ 有害 □ 無害℃

4.その他連絡事項等
5 . 販 売 店 様 ご記 入 欄
販売店名

ご担当者名

TEL

FAX

※本用紙は修理作業者の安全のため、上記項目をご記入の上、ポンプに添付願います。
※本用紙が添付されていない場合、点検修理をお受けできない場合がありますのでご了承願います。

検査合格証/保証書
品

名

型

式

直結型油回転真空ポンプ

製造番号
機

番

製 造 年 月日検査員
油回転真空ポンプをご愛顧いただき、ありがとうございます。
弊社製品のアフターサービス、修理、消耗品等のご購入は購入業者、又は下記の弊社営業にご相談ください。