MEMS事業者連携委員会の発足について
マイクロマシンセンターでは、6月13日にオンライン講演会 「我が国MEMS産業／技術の今後の展望について ～MEMS事業者連携委員会発足のガイダンスを兼ねて ～」 を開催いたしましたが、100名を超える方々にご聴講いただき、盛況裡に終えることができました。ご参加いただきました皆様には改めて御礼を申し上げます。

講演会では、 「MEMS事業者連携委員会発足のガイダンス」 を行いましたが、その説明資料を次ページ以降に掲載します。この新委員会はファウンドリも含むMEMSデバイスメーカーや受託加工、材料、装置などの関連事業者の方々が、その競争力強化のために、MEMS産業の抱える課題や政策提言などを話し合える場にするために設置する組織です。そのため、当センターの賛助会員に限らず、広くご参加いただけるような委員会とする予定です。詳細については、資料をご覧ください。

MEMS事業者連携委員会
発足ガイダンス資料

2023年6月13日

一般財団法人マイクロマシンセンター
専務理事 長谷川英一（MEMS協議会事務局長）

マイクロマシンセンター 活動の歩み
2023年6月1991…→

2000

…→

2005

…→

マイクロマシン技術研究開発
プロジェクト 1991-2000

2010

2011

2012

2013

2014

2015

2016

2018

2019

2020

2021

2022

2023

2024

→2024

→

学習型スマートセンシングシステム開発 LbSS 2016-21

異分野融合型次世代デバイス（BEANS)
製造技術開発プロジェクト 2008-12

エネルギー・環境新技術
先導研究 2015-16
革新認識システムIRIS 高効率MEH

高集積複合MEMS （ファインMEMS)
製造技術開発プロジェクト
2006-08

2017

AI融合高精度物体認識システム AIRs 2017-18

量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究
HS-ULPAC
2019-23

発電電力のロードマップ

IoT社会実現のための革新的センシング技術開発 2019-24

インフラ状態モニタリング用センサシステム 2014-18
道路インフラ RIMS
ライフラインコア UCoMS
AlN-M EM S振動発電セン サデバイ ス

医療機関、 地域冷暖房設備他

Ｓｉ

鹿威し セン シ ン グ方式

ウェ ハレ ベル集積化プ ロ セス

Ｓｉセン サ端末の開発

5カ ウン タ

MEMS用設計・解析支援システム（MemsONE)
開発プロジェクト 2004-06

データ 送信のパルス

高耐久性超小型セン サ端末

00

ペッ ト ボト ル
キャ ッ プ サイ ズ

時刻

呼吸域 呼吸域
Tim e

無線中継機

ネッ ト ワーク シ ステ ムの開発

モ ニタ リ ン グシ
ステ ムの開発と 実証シ ステ ム
構築・ 実験
ク ラ ウド

無線親機

回線

データ 収集装置

構造的に複雑な環境下で通信の信頼性確保

2014-18
社会課題対応センサー
システム先導研究20132014-18

チップスケール
原子時計ULPAC

SIP次世代精密家畜個体管理システム開発 2014-16
2015-18

MEMSプロジェクト 2003-05
グリーンセンサ・ネットワークシステム
技術開発プロジェクト 2011-14

1991

…→

2000

…→

・財団法人マイクロマシンセンター（MMC）の設立 1992.1

2005

…→

2010

2011

2012

2013

2014

2015

国際標準化 Smart Sensing
Interface 2016-18

2016

2017

2018

2019

・MEMS協議会（MIF)の発足 ・マイクロナノオープンイノベーション ・NMEMS技術研究機構設立 ・SSN（スマートセンシング&ネットセンター（MNOIC)の設立 2011.4
2011.72006.4ワーク）研究会キックオフ 2015.10

経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末
SNIF
2019-21

非侵襲連続超高感度血中成分計
測デバイス BaMBI
2019-23
環境調和型MEMS技術の研究開発に関する戦略策定 EfriM 2020

2020

2021

2022

2023

・SSN研究会WG活動
WG1 SSI標準化
WG2 MEH振動発電デバイス
WG3 ULPAC/HS-ULPAC原子時計
WG4～6 国家PJ化目指し活動中
WG7 SNIF経皮ガスセンサ
WG8 BaMBI赤外血中センサ
WG9 EfriM環境調和型MEMS
WG10 感情センシング

・MMC 一般財団法人化 2011.4

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2023年度 マイクロマシンセンターの委員会構成
評議員会
理事会

運営委員会

運営政策小委員会（臨時設置・特命事項）

調査研究事業委員会

MEMS協議会

標準化事業委員会（MEMS協議会推進委員会）
調査研究活動全体とりまとめ

MEMS協議会活動全体とりまとめ（MEMS懇話会を含む）

標準化活動全体とりまとめ

国内外技術動向調査委員会

産業交流委員会

IEC/TC47/SC47F国内委員会

国内、国外の技術動向の調査活動①MEMS協議会活動方針検討②MEMS懇話会活動検討③産業交流・活性化④SSN研究会活動⑤展示会、各種交流会等の運営⑥海外交流・調査等企画⑦普及広報活動

MEMS分野国際標準化における審議活動

国際交流委員会

フレキシブルMEMSデバイス信頼性
国際標準化委員会

産業動向調査委員会
産業動向の調査活動①国際交流活動②国際ﾏｲｸﾛﾏｼﾝｻﾐｯﾄ事務局活動③国際シンポジウム運営

連携

圧電MEMSデバイス信頼性
国際標準化委員会
圧電MEMSデバイス寿命試験に関する国際標準化原案の作成

フレキシブルMEMSデバイス多方向折り曲げ試験に関する国際標準化原案の作成

MEMS事業者連携委員会① MEMS事業者の連携② MEMS講習会の運営③ TIA-MEMS活動④ MNOIC活動⑤ ﾌｧﾝﾄﾞﾘｰﾈｯﾄﾜｰｸ活動
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MEMS協議会 MEMS事業者連携委員会の発足について背景• MEMSが本格化する2000年代には、我が国でも多くの企業がMEMSやファウンドリに参入してくるとともに、マイクロマシンセンターでも、MEMS ONE、ファインMEMS、BEANS など、MEMS自体の設計・製造技術に係る研究開発プロジェクトを続け、我が国MEMS産業は一気に発展したところ。
• しかし、その後、自動車やモバイル機器に大量にMEMSセンサやアクチュエータが使われてコモディティ化してくるにつれ、プレイヤーも淘汰されたり、製品も変容したりして、その顔触れも大きく変化してきている。仏Yole社のMEMS世界トップ30の中でも、日本企業は2015年には10社が入っていたが、2021年には3社となっている。
• このような中、経済産業省は今後、半導体・デジタル産業戦略の中にMEMSを加えていくという方向を示してきており、MEMS協議会としても、我が国MEMS産業界の実態を、IDMのみならず、ファウンドリや装置・材料なども含めて、もう一度把握し直した上で、その課題や政策提言などを検討していかなければならない時期に来ている。

活動内容（案）• まずは、我が国MEMS事業者の実態を再度把握し直すための調査を行い、関連企業や研究機関をディレクトリのような形でまとめる。これは産業動向調査委員会との連携により行い、その後は、MEMS事業者連携委員会において、随時、追加・見直し等を行う。
• その後は、委員会において、MEMS事業者の抱える課題等を分析し、競争力を高めていくための方策の検討を行い、政策提言などにつなげる。
• 併せて、これまで、ファウンドリサービス産業委員会が担当してきた、ファウンドリ事業者（MNOICを含む）と関係事業者間の情報交流と、MEMS講習会やTIA-MEMS活動に関連するMEMS人材育成などを継続する。
3

MEMS事業者連携委員会の体制（案）• MEMS事業者について、IDM、（MEMS組込み）センサ・電子部品メーカー、ファウンドリ、受託加工・分析、製造装置、材料、ソフトウェア、商社、大学・公的研究機関というようなカテゴリー全体から協力委員を募集する。それらの協力委員からは、参加費等の徴収はしないが、アンケートやディレクトリへの掲載についてご協力をいただきたい。協力委員には完成した産業動向調査報告書（ディレクトリを含む）を配布する。
• その協力委員のうち、主要な企業・機関から10名程度を委員として選定し、委員が決まった段階で委員長も選任する。その後は、常に協力委員にも諮りつつ、年2～3回程度の委員会やセミナー・講習会の開催などにより、活動を行っていく。

2023年4－6月

7－9月

10－12月

1－3月

10-11月

6/13

第1回委員会
第2回委員会・委員会の構成（協力委員と・委員会活動の委員）等の決定
産業動向調査への協力 総括と今後・産業動向調査の進捗報告
・報告書・ディレ及びディレクトリ作成の検討
1/31-2/22 クトリの説明
・政策提言、人材育成活動、MEMS展
MEMS展等の検討

ガイダンス委員会発足準備ガイダン
ス聴講者からのご質問などに対応

アンケート・ディレクトリ案送付
9月

第1回産業動向調査委員会
調査テーマ「我が国MEMS事業者の動向に関する調査」

12月

第2回産業動向調査委員会

MEMS事業者へのアンケート等の検討

3月

第3回産業動向調
査委員会

追加調査・ヒアリング等の実施

・産業動向調査の中間報告
・TIAセミナー

報告書（ディレクトリを含む）の取りまとめ

2～3月
報
告書
完成

4

（参考） 半導体・デジタル産業戦略（改定案、2023.5.30発表）からのＭＥＭＳ戦略部分抜粋

7

（参考）

日本のMEMSプレイヤーの概況

700

日本のMEMSプレイヤー（世界Top30 内）の生産額推移 M$ （出所：Yole社）
600

500

400

300

200

1000
2013

2014

2015

2016

2017

2018

2019

2020

TDK(Invensense-15)

キャノン

パナソニック

AKM

村田製作所

アルプスアルパイン

エプソン

デンソー

オムロン

ソニー

SiTimeローム

太陽誘電

世界のMEMS Top30社の中の日本企業の状況（Yole社）
2015
2017
2019
2020
30社中の日本企業数
10社
11社
9社
7社
30社売上額の中のシェア
20%
21%
18%
15%

2021
3社
10%

2021

注）30社の外に日本企業は多数存在するため、日本全体のシェアではない

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（参考）

MEMS市場の動向（３）WSTS半導体市場予測（世界製品別）（１）日系センサメーカーの世界出荷実績

出額数（億個）出荷額（億円）（単位：百万ドル, (対前年比)）・ 我が国センサメーカーの全世界向け出荷数は、2016年の約250億個規模の数量から、2021年では約353億個と5年間で約100億個増加（40％増）
・ 売上高は、2016年の1兆7,525億円から2021年では1兆9,292億円と約1,700億円増加（10％増）

回答社数 22社

MEMSｾﾝｻ・ﾓｼﾞｭｰﾙ出荷数（百万個）

MEMSｾﾝｻ・ﾓｼﾞｭｰﾙ出荷額（億円）（２）日系センサメーカーのMEMSｾﾝｻ・ﾓｼﾞｭｰﾙ世界出荷実績

19社

17社

18社

17社

半導体製品

2020

2021

2022

2023

2024

半導体全体

440,389(6.8%)

555,893(26.2%)

574.084(3.3%)

515,095(-10.3%)

575,997(11.8%)

ディスクリート

23,804(-0.3%)

30,337(27.4%)

33,993(12.0%)

35,904(5.6%)

38,192(6.4%)

オプトエレク
トロニクス

40,397(-2.8%)

43,404(7.4%)

43,908(1.2%)

45,949
(4.6%)

45.881(-0.1%)

センサ&アクチュエータ

14,962(10.7%)

19,149(28.0%)

21,782(13.7%)

20,410(-6.3%)

21,575(5.7%)

IC361,226(8.4%)

463,002(28.2%)

474,402(2.5%)

412,832(-13.0%)470,349(13.9%)

予測• 世界半導体市場規模は、2021年の5,558億ドルから22
年は、5,740億ドルと前年比3.3%増となったが、世界的なインフレや地政学的リスクなどで消費や投資が伸び悩んだためとされる• うちセンサ&アクチュエータ (≒MEMS） は、 2021年の191億ドルから、22年は218億ドルに増加（13.7%増）• センサ&アクチュエータは2022年で半導体全体のわずか 3.8% を占めるに過ぎないが、別にYole予測ではMEMSは当面年率 9% 程度で伸びるとされており、今後、半導体内でのウェイトを増していくことが期待される• なお、日本が強いCMOSイメージセンサはオプトエレク
トロニクスの方に含まれている

17社

・ MEMSセンサ・ﾓｼﾞｭｰﾙ出荷額（（１）のセンサ出荷額の内数）は、2016年の1,382億円から、2021年では1,638億円と5年間で256億円増加（18％増）(1)、(2)JEITA センサ・グローバル状況調査2017～2021年を基にMMC作成(3)出典：WSTS2023年春季半導体市場予測について、 WSTS日本協議会、2023年6月6日

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