総 合 イ ベ ント「 マ イ ク ロ ナ ノ２００９」
第15回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム「 集積化・融合化の進むMEMS／ナノデバイス

同 時 開 催プロ グラム−MEMS World−

主催：（財）マイクロマシンセンター MEMS協議会（独）産業技術総合研究所 先進製造プロセス製造研究部門 上席研究員
司会：

前田龍太郎

（財）マイクロマシンセンター 理事長

野間口 有
米村猛

オープニング
10:30−10:35 開催挨拶
10:35−10:40 来賓挨拶
基調講演

プログラム

産業化のブレ ークスル ー」〜研究開発拠点の集約化とMEMSアプリケ ーション〜

経済産業省 製造産業局 産業機械課長

最先端研究所へのMEMS研究開発の集約化

10:40−11:10 フランスにおけるMEMS Leti／MINATECのR＆Dモデルとビジョン
11:10−11:40 マイクロ・ナノへ向かう統合システム技術

CEA-LETI, MINATEC Silicon Heterogenous Integration Dept. Andre Rouzaud

Head of Fraunhofer ENAS（Research Institution for Electronic Nano Systems）Prof. Thomas Gessner
特MEMS Industry Group Managing Director, Karen Lightman
米国におけるMEMSの動きと新技術
設 11:40−12:10 世界におけるMEMSの成長機会；MIGの展望
MEMSが拓く新しい世界（アプリケーション）
会 セッション１（独）産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ネットワークMEMS研究 グループ長 伊藤 寿浩
場 13:10−13:40 安全・安心のためのアニマルウォッチセンサの開発
Ａ 13:40−14:10 シリコン光変調器の実現技術
Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems, Thilo Sandner

7/29
（水）

14:10−14:40 安全・安心・健康を目指したウェアラブルエレクトロニクス
14:40−15:10 苛酷環境対応ワイヤレスMEMSセンサー：エネルギーと発電への応用
セッション２
開発現場のニーズに応える最新プロセス・材料技術動向

東京理科大学・総合科学技術経営研究科 教授 NPO ウェアラブル環境情報ネット推進機構理事長
UC Berkeley, BSAC Department of Mechanical Engineering, Prof. and Chair

15:20−15:45 SOIはMEMSにおける制約を打破できるか？ ウエハベンダーからの提案
15:45−16:10 Chip to Wafer接合の最新技術と今後の展望
16:10−16:35 MEMS向けハーメチック実装設計；現状と今後の展望

板生清Albert P. Pisano

Okmetic Oyj Senior Vice President, Research, Markku Tilli
EVGroup Director of Technology, Technology Div., Sunil Wickramanayaka
SAES Getters S.p.A. Business Manager, Getter for MEMS, Marco Moraja

クロージング
16:35−16:45 閉会挨拶

（財）マイクロマシンセンター

開会の挨拶
MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待
電子デバイス実装の展開と今後の動向

印刷所（財）マイクロマシンセンター 専務理事

青柳 桂一

立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構 教授
大阪大学大学院 工学研究科 マテリアル生産科学専攻 教授

杉山進
藤本 公三

パナソニック電工㈱ 微細プロセス開発センター センター長

ウェハレベルパッケージングによる機能集積MEMSの創出

オリンパス㈱研究開発センター 精密技術開発本部 MEMS開発部長

異種材料多層MEMS集積化技術開発

15:10−15:30 In-Line WLP（Wafer Level Package）技術を用いた低コストRF-MEMSバリアブルキャパシタの開発
15:30−15:50 非線形リソグラフィを用いた立体基板上へのパターニング技術㈱東芝 生産技術センター 実装技術研究センター
大阪大学大学院 工学研究科マテリアル生産科学専攻 助教

久保 雅男
太田亮

小畑進
西山 宏昭

日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム
特共催：（財）マイクロマシンセンター MEMS協議会
設 主催：IVAMマイクロテクノロジーネットワーク
会 【開 催 時 間】10：30−14：15
場 【プログラム】
ドイツNRW（ノルトライン・ヴェストファーレン）州に拠点を置く「IVAMマイクロテクノロジーネットワーク」の主催により、ヨーロッパを中心としたIVAM会員企業の技術・製品をご紹介するとともＡに、IVAM会員企業と日本の企業とのビジネスマッチングの機会を提供いたします。
BEANSプロジェクトセミナー
主催：（独）新エネルギー・産業技術総合開発機構／技術研究組合BEANS研究所
13:10−13:15 主催者挨拶
7/30
13:15−13:25 プロジェクトリーダー挨拶（木）特 13:25−13:55 MEMSの展望とBEANSプロジェクトへの期待
設 13:55−14:25
会 14:35−14:55
場 14:55−15:15
Ｂ 15:15−15:35

司会：技術研究組合BEANS研究所 副所長 竹井（独）新エネルギー・産業技術総合研究機構 理事 上原
技術研究組合BEANS研究所 所長（BEANSプロジェクトリーダー） 遊佐
東北大学 教授
日経マイクロデバイス 副編集長

MEMS市場・技術最新動向

裕明
厚江刺 正喜三宅 常之

東京大学 教授（BEANSプロジェクト サブプロジェクトリーダー） 藤田 博之
東京大学 准教授（Life BEANSセンター長） 竹内 昌治

BEANSプロジェクトの構想と意義
ハイドロゲルビーズで包む、埋め込む、組み立てる

有機ナノ構造体の創製 −有機半導体の飛躍的な性能向上を目指して−
15:35−15:55 ナノギャップを埋める超臨界製膜技術
15:55−16:15 超低損傷・中性粒子ビームエッチング技術
16:15−16:35 マイクロ・ナノ加工技術の宇宙用赤外センサへの応用
16:35−16:55 Macro-BEANSのメーター級大面積高機能デバイス実現化戦略
16:55−17:00 閉会挨拶

九州大学 教授（Life BEANS九州センター長） 安達千波矢東京大学 准教授（3D BEANSセンター長） 杉山 正和
東北大学 教授 寒川 誠二
立命館大学 教授（BEANSプロジェクト サブプロジェクトリーダー） 木股 雅章
産業技術総合研究所 ネットワークMEMS研究グループ長（Macro BEANSセンター長） 伊藤 寿浩（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一

マイクロナノ2009 MEMS協議会（ MIF ）フォーラム ― MEMS産業の発展と裾野拡大に向けて：MEMS協議会からの情報発信 ―主催：（財）マイクロマシンセンター MEMS協議会（財）マイクロマシンセンター MEMS協議会 事務局次長 片白 雅浩
司会：
オープニング
10:30−10:35 開会挨拶
MEMS協議会 副会長
オムロン㈱執行役員常務 技術本部長 今仲 行一
10:35−10:50 Introductory Talk：MEMS産業発展に今何が求められているか −協議会活動の役割とその活動−（財）マイクロマシンセンター専務理事 MEMS協議会事務局長 青柳 桂一セッション１
拡大するMEMWS産業をデータで見る！
10:50−11:10 国際会議に見るMEMS技術の動向と将来展望
早稲田大学理工学術院電子光システム学科ナノ理工学専攻 教授 庄子 習一
11:10−11:30 様々な業種が参入するMEMSプレーヤー（MEMS分野の産業動向調査報告）（財）マイクロマシンセンター 産業交流部長 阿出川俊一
11:30−11:50 MEMS国際標準化最新動向 −高まる重要性とビジネス活用−
国際標準化工学研究所代表
帝京大学理工学部情報科学科 教授 大和田邦樹
11:50−12:10 このように使う：MEMS材料評価の国際標準規格
熊本大学大学院 自然科学研究科マテリアル工学専攻教授 高島 和希
特 セッション２
国際競争に勝つ研究開発・製造インフラの充実
設
13:05−13:25 ナノテクアリーナを活用するMEMS版「知と経験の集積拠点」構想（財）マイクロマシンセンター MEMS協議会 事務局次長 片白 雅浩会
13:25−13:45 MEMSファンドリーネットワークシステムの拡充
MEMS協議会ファンドリーサービス産業委員会 委員長
場
オムロン㈱エレクトロコンポーネンツカンパニー マイクロデバイス事業部MEMS開発部長 佐藤 文彦−標準プロセスへの取り組み−
7/31 Ａ
13:45−14:05 MEMSの設計・製造工程における課題の検証ツール MemsONE（財）マイクロマシンセンター 普及促進部 担当部長 水津 美晴（金）
14:05−14:25 リリースされたMEMS分野の百科事典 MEMSPedia（財）マイクロマシンセンター MEMSシステム開発センター長 小池 智之
14:25−14:45 マイクロナノ量産技術と応用デバイス製造に関する新事業開拓イノベーション人材育成（独）産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 高橋 正春
14:45−15:15 韓国におけるMEMS産業化にむけたR＆D状況
Korea Institute of Industral Technology（KITECH）, Senior Researcher, Sung Ho Lee, Ph.D
セッション３MEMS産業・研究開発拠点の形成への期待
15:15−15:35 東北地域におけるMEMS関連産業の取組み「TOHOKUものづくりコリドー」統括コーディネータ／MEMSパークコンソーシアム事務局長 竹井裕（財）北九州産業学術推進機構 産学連携センター長 宮下永
15:35−15:55 微細加工技術に関する九州地域の取組み
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 教授 服部正15:55−16:15 転写によるマイクロ・ナノ製造拠点 ―環境エネルギー分野への展開―
クロージング
16:15−16:20 閉会挨拶

平成二十一
年七月
十七日印
刷

専務理事 青柳 桂一

MEMS実装・パッケ ージングフォーラム
主催：（財）マイクロマシンセンター MEMS協議会／溶接学会 マイクロ接合研究会
特 13:00−13:10
設 13:10−13:50
会 13:50−14:30
場 14:30−14:50
Ｂ 14:50−15:10

平 マ
成 イ
二 ク
十 ロ
一 ナ
年 ノ七 第月 六
二 十
十 八
一 号
日発行

（財）マイクロマシンセンター専務理事 MEMS協議会事務局長

青柳 桂一

ファインMEMSプロジェクト成果発表会
特設 主催：（独）新エネルギー・産業技術総合開発機構会 平成20年度に終了した「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト（ファインMEMSプロジェクト）」（平成18年度〜平成20年度）の全研究開発成果として、４つの開発カテゴリー（MEMS／ナノ機能
場 の複合、MEMS／半導体の一体形成、MEMS／MEMSの高集積化、知識データベースの整備）と、ファインMEMSシステム化設計プラットフォームの開発の成果をご紹介いたします。
Ｂ ※プログラムは現在調整中

発 行
財団法人 マイクロマシンセンター

技術研究組合BEANS研究所

発行人 青柳 桂一〒１０１-００２６ 東京都千代田区神田佐久間河岸６７ MBR９９ビル６階
TEL.０３-５８３５-１８７０ FAX.０３-５８３５-１８７３
wwwホームページ：http://www.mmc.or.jp/

発行人 青柳 桂一〒１０１-００２６ 東京都千代田区神田佐久間河岸６７ MBR９９ビル６階
TEL.０３-５８３５-１８７０ FAX.０３-５８３５-１８７３
wwwホームページ：http://www.beanspj.org/lab/
無断転載を禁じます。

タ
カラ
印
刷
紙
工株
式会社