MD1CMZ2CNT-1403001

テフロンダイアフラム型ドライ真空ポンプ型 式

MD1C・MZ2CNT
取扱説明書◼ この取扱説明書をよくお読みになり、正しくお使いください。特に「安全上のご注意」はご使用前に必ずお読みください。
◼ お読みになった後は、お使いになる方がいつでも見られるところに必ず保管してください。
（ご使用になるお客様へ必ずお渡しください。）

MANUAL CODE MD1CMZ2CNT1403001

MAR.2014

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目次
安全上の注意1. 着 荷 時 の 点 検
2. 据 付
3. 電 気 結 線
4. 装 置 と の 接 続 ・ 配 管
5. 運 転6. 停 止7. ガ ス バ ラ ス ト 弁
8. 保 守 ・ 点 検
9. 故 障 診 断
10. 仕 様11. 外 観 図
12. 修 理 返 却 さ れ る 場 合 の お 願 い 事 項
13. ア フ タ ー サ ー ビ ス
14. 標 準 保 証 条 件-1-・・・・ ２・・・・ ４・・・・ ４・・・・ ４・・・・ ５・・・・ ５・・・・ ５・・・・ ６・・・・ ６・・・・ ７・・・・ ７・・・・ ８・・・・ ９・・・・ ９・・・・１０MD1CMZ2CNT-1403001

安 全 上 の 注 意
真空ポンプの使い方を誤ると、火災や感電などの危険な状態になります。
据付・取りつけ、運転・操作、保守点検の前に、必ずこの安全上の注意および本取扱説明書を熟読し、正しくご使用下さい。
機器の知識、安全の情報、そして注意事項のすべてについて習熟してからご使用下さい。
この取扱説明書では、注意事項を「危険」、「注意」の２つに区分しています。
取扱を誤った場合に、危険な状態が起こりえて、死亡または重傷を受ける可能性

危 険 が想定される場合。
注

取扱いを誤った場合に、危険な状態が起こりえて、中程度の障害や軽傷を受ける

注 意 可能性が想定される場合。
なお

注 意に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結びつく可能性があります。

いずれも重要な内容を記載しておりますので、必ず守って下さい。
＊お読みになった後は、お使いになる方がいつでも見れるところに必ず保管して下さい。
（ご使用になるお客様へ必ずお渡し下さい。）

危

険全般⚫ 取扱説明書および注意名板の内容を熟知しない人は運転しないで下さい。
⚫ 作業開始前の点検や定期保守を必ず実施して下さい。
使用環境、使用条件⚫ 有機溶剤や爆発性粉体のある場所、腐食性、引火性ガス雰囲気中への設置はしないで下さい。発火や爆発のおそれがあります。
⚫ 雨や水がかかる場所への設置はしないで下さい。感電するおそれがあります。
⚫ 発火性や可燃性ガスの吸引の際は、発火、爆発の防止に十分注意して設置して下さい。
⚫ 真空ポンプには、燃えやすいものを近づけないでください。火災のおそれがあります。
据付⚫ 必ずアース工事を行ってください。感電の危険があります。また、1 台ごとに適切な漏電遮断器を設置することを推奨します。
⚫ 電気配線、配線工事は電気設備技術基準や電力会社の内線規定にしたがって安全確実に行って下さい。
⚫ 適切な電動機保護装置を設置して下さい。トラブル発生のとき、火災の危険があります。
⚫ 指定の電圧以外の電源を使用しないで下さい。火災の危険があります。
運転と操作⚫ 吸気口を手など身体で塞いで運転しないで下さい。うっ血するおそれがあります。
⚫ 排気口から排出されるガスを吸わないで下さい。人体に悪影響を与えます。
⚫ 排気口を締め切って運転しないで下さい。真空ポンプが破裂するおそれがあります。
⚫ コンプレッサーとして運転の運転は行わないで下さい。電動機が加熱し故障のおそれがあります。
⚫ 液体を直接吸引させないで下さい。ポンプに負荷がかかり電動機を焼損する恐れがあります。
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危険保守、点検⚫ 活性ガス（腐食性ガス）を吸引した真空ポンプには手を触れないで下さい。当社以外でのオーバーホールは絶対に行わないで下さい。吸引ガスの種類を明確にして当社にお渡し下さい。
⚫ 配管から取り外す場合は、活性ガス（腐食性ガス）を配管およびポンプ内部から取り除くために N2 ガスなどの不活性ガスでパージした状態で行って下さい。
⚫ 活性ガス（腐食性ガス）を吸引した真空ポンプは指定業者以外の人が廃棄処分を行わないで下さい。

注

意全般
真空ポンプの運搬時は重量を確認し、安全な方法で運搬して下さい。
使用環境、使用条件⚫ 以下の環境では使用しないで下さい。故障の原因となります。
◎周囲温度が５℃～４０℃以外の場所 ◎振動や塵埃が多い場所◎湿度が高く、結露する場所◎密閉室や箱の中⚫ 異物、水蒸気および腐食性ガス、粘着性ガスを吸引しないでください。故障の原因となります。
⚫ クリーンルーム内には設置しないで下さい。真空ポンプからは多少のごみが発生します。
⚫ インバータでの低速、高速運転はしないで下さい。故障の原因となります。
据付⚫ 指定回転と逆に回転させないで下さい。真空ポンプが破損するおそれがあります。
⚫ 真空装置や配管は、リークに対する強度を十分に考慮して下さい。活性ガス（腐蝕性ガス）が漏れる危険があります。
運転と操作⚫ 運転中および運転停止後３０分程度は真空ポンプに触れないで下さい。使用状況によっては運転中、ポンプの表面が高温になり、やけどの原因になります。
⚫ 運転中にポンプ内部に固形異物が侵入しますと、故障の原因となります。異物が入らない状態で運転して下さい。
⚫ 水蒸気や凝縮性蒸気等を含んだガスを吸引しますと真空ポンプ内に水分などが溜まり、性能低下や故障の原因となります。そのような状態では使用しないで下さい。
⚫ 固形物を吸引されますと破損、故障の原因となります。粉体やポンプ内部で固形物となるガスを吸引しないで下さい。
保守点検、改造⚫ 製品および付属品の改造は絶対にしないで下さい。
⚫ 当社指定の部品以外は絶対に使用しないで下さい。
⚫ 日常点検を実施する前に必ず電源を遮断し、真空ポンプが冷めた状態でおこなって下さい。
⚫ 当ポンプ組み立てには、特殊な工具を必要とします。オーバーホールの際は当社に御申しつけ下さい。
⚫ 運転中に異常音や振動があったり、所定の特性がでない場合は必ず運転を停止し、点検やオーバーホールを実施して下さい。

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このたびはダイアフラム型真空ポンプ(MZ2CNT)をお買いあげいただきまして、まことにありがとうございました。
ご使用前にこの取扱説明書をよくお読みになり正しくお使い下さい。
お読みになった後は大切に保存して下さい。

１．着荷時の点検
天地を確認の上、開梱してください。梱包を解かれましたら、まず次のことをご確認下さい。
（１）ご注文の製品と一致しているか。（貼付してあります名板を御確認下さい。）（２）輸送中の損傷はないか。
（３）ボルト・ネジ類のゆるみはないか。
もし不具合がございましたら、ご連絡願います。

２． 据付（1）ポンプは出来る限り水平な場所に据付けて下さい。
（2） 塵埃および湿気の少ない所で風通しが良く、保守点検や取付け、取外しの容易な設置場所を選んで下さい。
（3） ポンプ使用可能温度範囲は、５℃～４０℃ですが、性能・寿命の面から１５℃～２５℃の範囲が最適です。特に周囲温度が高い場合、ベアリングなどの摺動部品の消耗が大きくなり、著しく寿命が短くなることがありますのでご注意下さい。

３．電気結線
電源を切ったことを確認してから、次のように結線して下さい。
（1） アース付きコンセントにプラグを差し込んで下さい。アース付きコンセントが無く、変換アダプターを使用する場合、アースは確実に行ってください。
（2）一台毎に適切な漏電遮断器を設置して下さい。
（3）電気配線、配線工事は電気設備技術基準や電力会社の内線規定に従って安全確実に行って下さい。
（4）指定の電圧以外の電源を使用しないで下さい。火災の危険があります。
（5）装置等に取り付ける場合、ヒューズ又はサーマル等の保護回路を設けて下さい。

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４．装置との接続・配管（1）ポンプの吸入側配管は、ポンプ吸入口径と同等もしくは、それ以上の配管径のものを使用して下さい。
（2）装置・配管、バルブの内壁は清浄にし、水分、スケール、塵埃などを除去後接続して下さい。
（3）吸気口に配管等接続する際、ポンプに重荷が加わらないように、ご配慮願います。
（4）運転中にポンプ内部に異物が侵入しますと故障の原因となります。異物が入らない状態で運転して下さい。

５．運転（1）電気結線に間違いがないかを再度確認してください。特に電圧に注意して下さい。
（2）ポンプは大気開放で始動して下さい。吸気側が真空状態での始動を行うと電動機に負荷がかかり、サーマルスイッチが作動する場合があります。サーマルスイッチを再投入する際は、電源を切り、吸気側を大気開放状態にし、５秒以上待ってから行って下さい。
（3）始動後にポンプの回転に異常のないこと（異常音、異常振動など）を確認して下さい。
（4） 水蒸気や凝縮性蒸気等を含んだガスを吸引しますと真空ポンプ内に水分などがたまり、性能低下や故障の原因となります。そのような状態では使用しないで下さい。
（5）固形物を吸引されますと破損、故障の原因となります。粉体やポンプ内部で固形物となるガスを吸引しないで下さい。
（6）ポンプが温まっていないときは、電流値が大きく、性能が若干悪くなります。10 分程度の暖気運転をして下さい。
（7）特に、気温の低い時は真空ポンプを暖気運転させてからご使用下さい。

６．停止（1）吸引ガスの種類によっては、ポンプ内部で圧縮され凝縮物となります。このままポンプを停止放置しますとバルブ等に固着し回転不良、真空不良の原因となります。凝縮物を除去する為、吸気口を大気開放状態で１、２分程度運転を行い、ポンプ内部を掃除してから停止して下さい。
（2）長時間の停止の場合は、ポンプ内部の凝縮物を除去した後、吸気口から水蒸気や凝縮性ガスが入ってこない状態かつ真空状態にして 1 時間以上運転し、吸気口および排気口を密閉状態で保管願います。

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７．ガスバラスト弁
本機は運転中ポンプヘッド内に吸引ガスの凝縮が生じ、水分等が溜まる場合があります。これにより、ポンプ性能が妨げられ到達圧力に達しない場合があり、またダイアフラムも著しく劣化します。到達圧力に達しない場合はガスバラスト弁を開けて下さい。空気がポンプヘッド内に入り、溜まった水分を排出することが出来ます。
本機の保護の為にも、ガスバラスト弁を定期的に操作することをお勧めします。
※ 通常運転時は閉め切り、排出時は開放にして下さい。
※ 開放状態では到達圧力には達しません。
※ 開放状態での連続運転は避けて下さい。ポンプに負荷がかかり寿命が短くなります。

８．保守・点検
真空ポンプの使用状況に応じて、定期的に次の点検を行って下さい。
（１）吸、排気口部の点検
吸引ガスによっては、反応生成物が吸、排気口につまることがあります。そのまま運転を続けますと排気性能の低下や故障の原因となります。定期的に点検および洗浄を行なって下さい。
（２）異常音・異常振動のチェック運転中に異常な騷音・振動がある場合には、オーバーホールが必要です。
（３）オーバーホール期間
一般排気（空気又は不活性ガスのみ）における運転の場合、3000 時間をめやすにオーバーホールを実施して下さい。
※使用条件によりオーバーホール期間は異なります。性能劣化および騒音・振動が増大した場合、それ以前にオーバーホールを実施するようにして下さい。
（４）その他の注意事項
・ 活性ガス（腐蝕性ガス）を吸引した真空ポンプには手を触れないで下さい。当社以外でのオーバーホールは絶対に行わないで下さい。吸引ガスの種類を明確にして当社にお渡し下さい。
・ 配管から取り外す場合は、活性ガス（腐蝕性ガス）を配管およびポンプ内部から取り除くためにＮ２ガスなどの不活性ガスでパージした状態でおこなって下さい。
・ 活性ガス（腐食性ガス）を吸引した真空ポンプは指定業者に廃棄処理を依頼して下さい。
・ 製品および付属品の改造および当社指定以外の部品は絶対に使用しないで下さい。故障した
場合、保証することができません。
・ 日常点検を実施する前に必ず電源を遮断し、真空ポンプが冷えた状態でおこなって下さい。

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９．故障診断
現象

推定原因処

置

(1) 配管系からのもれ(2) 溶剤・水蒸気の吸引

真空度不良

異常音

回転不能

(1) 配管系を調べる(2) しばらく、真空状態で運転してみる。真空圧力が回復しなければオーバーホールが必要(3) 機器部品からの漏れ(3) オーバーホールにより修理、又は交換(4) ダイアフラムの汚染、損傷(4) オーバーホールにより洗浄、又は交換(5) バルブの汚染、損傷(5) オーバーホールにより洗浄、又は交換(6) ポンプの汚れ、汚染(6) オーバーホールにより修理(7) ガスバラスト弁が開いている(7) ガスバラスト弁を閉める(1) 異物の吸引(1) オーバーホールが必要(2) 駆動系の異常(2) 可能であれば修理(3) ダイアフラム、バルブ等の異常(3) オーバーホールにより交換(1) 結線間違い(1) 結線を確認する(2) 異物の吸引(2) オーバーホールが必要(3) 電動機の欠陥(3) 電動機の交換(4) 機器部品の破損(4) オーバーホールが必要(5) 真空容器が大容量で、なおかつ(5) ポンプ吸引側をガス抜きする
真空状態でポンプと接続されてい必要であればバルブで真空容器る場合と遮断する

１０．仕様
型式
排気速度
到達圧力
電動機出力
電源仕様
寸法
吸気口径
重量

L/min
Pa
Wmm
mmkg

MD1C
20
≦2X10280

MZ2CＮＴ
33.0≦7X102180

AC100-120V 単相AC100-120V 単相

W143XD316XH223

W243XD243XH198

1071011.1-7-

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１１．外観図MD1C

MZ2CNT-8-

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１２．修理される場合のお願い事項
真空ポンプの修理またはオーバーホールを弊社にご依頼される場合は、使用されました環境条件および吸引ガスを明示して下さい。明示いただけない場合は、修理サービスできかねますのでご協力をお願い致します。

１３．アフターサービス
製品の不具合、部品の補充、取扱い上ご不明の点があり、お困りのときは製品購入店または営業所へご相談願います。

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１４．標準保証条件
当社は、お引渡しに際しまして、厳密なる品質管理を行い、これに合格した製品を納入致します。従って、欠陥がないことを保証いたします。またさらに、お引渡し後１ｹ年間、そのような欠陥がないことを保証し、万一、保証期間中に欠陥が発見されました場合、当社はその欠陥部品の手直しか、修理又は取替えを無償で致します。
ただし、上記の保証はこのような製品の取扱説明書及びその他の取扱い指示に従って、正規に使用された場合にのみ適用するものとし、さらに以下の故障には、適用を除外させていただきます。
(1)買主の不適当な取扱い、使用、保管に起因する故障(2)当社以外の手による修理、改造に起因する故障(3)火災、水害、地震、落雷、その他不可抗力に起因する故障(4)弊社技術員によって、本商品の使用条件に合わない為発生した故障と判断された場合(例)・腐食性ガスの吸引・凝縮製ガスの吸引・反応生成物の付着、堆積・固形異物の混入など

なお、本保証条件に基づく当社の補償責任の範囲は、欠陥部品の手直し、修理又は取替え(補償処理)のみに限定するものとし、二次的に発生する損失の補償はいたしません。また、補償処置の総額はその製品の契約価格内とし、補償処置にもかかわらず保証期間はお引渡し後 1 ｹ年間に限ります。また、性能に影響のない、ささいな契約仕様条件からの逸脱は、本保証条件に基づく欠陥とはみなさないものといたします。
本保証条件は、ダイアフラムを含むゴム部品等あらゆる自然損耗する部品ならびに消耗部品には適用いたしません。また、本保証条件を適用する旨を明示しない製品ならびに海外で使用される製品にも適用いたしません。

□標準使用条件

吸引ガスの種類
吸引ガスの温度
周 囲 温 度周 囲 湿 度

乾燥空気及び不活性ガス
０℃～４０℃
５℃～４０℃
７０％以下-10-MD1CMZ2CNT-1403001

検査合格証／保証書
品名

テフロンダイアフラム型ドライ真空ポンプ

型 式

MD1C・MZ2CNT

製造番号
製造年月日
検査員

テフロンダイアフラム型ドライ真空ポンプをご愛顧いただき、ありがとうございます。弊社製品のアフターサービス、修理、消耗品等のご購入は購入業者、又は下記の弊社営業にご相談下さい。

佐藤真空株式会社
本社／工場〒354-0041

埼玉県入間郡三芳町藤久保 1036

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大阪営業所〒579-8013

FAX 049-258-1117

大阪府東大阪市西石切町 3-4-13

TEL 072-981-7241

FAX 072-981-8831

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