クリーンルー ム 機 器
EIKOH Clean Room Equipment Catalog

ハ イク オリティな 無じ ん・無 菌 空 間 を 提 案しま す 。

Contents

クリーンルーム／クリーンルーム機器
近年、あらゆる分野において、科学技術は急速に進 歩を遂げ 、われわれの生 活も大 幅に変わりつつあります。
この過程において、大気中に浮遊するじんあい、バクテリアなどの微粒子を徹底的に除去した無じん無 菌の環 境を必 要とする領 域も非常に増えてきました。
クリーンルーム並びに関連機器は、これらの要求を満たすために生まれ、広く普及して参りました。
エイコーフィルター（株）においては、永年無じん、無菌化に対してHEPAフィルターからその応用製品の製作まで幅広く取組んで参りましたが、ここにクリーンルーム関連機器の代表的な機種と機材を御紹介します。

クリーンルーム

03 Clean Roomフィルターユニット

05 Filter Unit

■天井吹き出し用フィルターユニット
FU-30AD■外気処理用フィルターユニット
FU-5-OA■中間接続型フィルターユニット
U-NS-1801AA■サクションフィルターユニット
U-RUT-305305C■ファンフィルターユニット
NSF-07CHF
NSF-10CHF
NSF-13CHF
NSF-17CHF■高性能シロッコファンフィルターユニット
NSF-11
NSF-17■小型ファンフィルターユニット
NSF-01A
NSF-03A
NSF-05A

108

その他機器■室圧調整ダンパー
EPD-2020■排気用ガラリクリーンブース
Clean Booth

11■クリーンブース
ECB型■簡易クリーンブース
NBU-4-1515A-2
NBU-4-2020A-3
NBU-4-2525A-3

エアシャワー
Air Shower

13■エアシャワー
NAS-T81PSL2-E
NAS-T161PSL2-E

パスボックスPath Box14■パスボックス
NPB-555■エアシャワー付きパスボックス
NPB-868J

クリーンルーム機器

2Clean Room

クリーンルーム
コンタミネーションコントロールの行われている限られた部 屋であって、空 気 中における浮 遊 微 粒 子 、浮遊 微 生 物 及 び 分 子 状 汚 染 物 質が限 定された清 浄 度レベ ル 以 下に管 理され、また、その部 屋に供 給される材 料 、薬 品 、水などにつ いても要 求される清 浄 度が保 持され、必要に応じて、温 度 、湿 度 、圧 力などの環 境 条 件につ いても管 理 状 態にある部 屋 。

技術資料
清浄度クラスと上 限 濃 度
清浄度
クラス
（N）
ISOクラス1

上限濃度（個/m 3）〈参考〉FS209E

測定粒径
0.2μm

0.1μm
100.3μm

m単位

0.5μm

1μm5μmft単位

清浄度クラス

0.5μm（個/m3） （個/ft3）

2

ISOクラス2

100

24104

ISOクラス3

1000

237102358

ISOクラス410000

23701020

35283

ISOクラス5100000

23700

10200

3520

832

ISOクラス61000000

2370001020001

クラスM1.5／クラス1353

10

クラスM2.5／クラス10

3530

100

クラスM3.5／クラス100

35.3
2935200

8320

29335300

1000

クラスM4.5／クラス1000

ISOクラス7352000

83200

2930

353000

10000

クラスM5.5／クラス10000

ISOクラス83520000

83200029300

3530000

100000

クラスM6.5／クラス100000

35200000 8320000

293000ISOクラス9※1 ISO14644は、1.0m 当たりの粒径0.1μm以上の浮遊微粒指数を10のべき乗で表した指数Nで定義しており、清浄度はクラス1・クラス2・・・・・・・クラス9で表現されています。また、ISO規格なのでm単位となります。
3

清浄度クラスの上 限 濃 度（個/㎥）※JIS B9920より抜粋

3

気流方式例

厳しい基準をクリアした、安全で安心なクリーンルームの設計・施工を行います。
フィルター交換・測定作業についても実績多数ございます。

信頼のフィルター性能

確かなアドバイス〈コンサルタント〉

堅実な施工

クリーンルーム機器

4Filter Unit

天井吹き出し用フィルターユニット

FU-30AD

ファン付フィルターユニット

仕様例
型式

FU-30AD

処理風量

33/42m 3/min

捕集効率

0.3μm 99.97％以上

メインフィルター

HEPAフィルター

送風機

3相200V 0.55kW 50/60Hz

本体材質

鋼板焼付塗装/SUS304H.L

Filter Unit

天井吹出型フィルターユニット

U-NS-1701

フィルター用BOX

仕様例
型式

U-NS-1701WA

処理風量

17m 3/min

捕集効率

0.3μm粒子にて99.97％以上

メインフィルター

HEPAフィルター

外形寸法

700W×700L×450H

本体材質

鋼板製焼付塗装／SUS304

重量約40kg

天井吹き出し用フィルターユニット FU-30AD

WLH

天井吹出型フィルターユニット

5Filter Unit

中間接続型フィルターユニット
フィルター用BOX

仕様例
型式

U-NS-1801AA

処理風量15m 3/min

捕集効率

0.3μm粒子にて99.97％以上

メインフィルター

HEPAフィルター

外形寸法

1000W×600L×600H

本体材質

鋼板製焼付塗装／SUS304

重量約75kg

Filter Unit

サクションフィルターユニット
吸い込みフィルター用BOX
仕様例
型式

U-RUT-305305C

処理風量13m 3/min

捕集効率

0.7μm 90%、0.4μm 80%（粒径別平均捕集効率）

初期差圧120Pa（13m 3/min時フィルター）メインフィルター

中性能フィルター

構造

本体、ホッパー ： SUS304 t=1.5 架台 ： SUS304 t=2.0
酸洗い仕上げ、接合部コーキング
フィルター2次側 ： 内側全溶接、外側シリコンコーキング

H

W

L

中間接続型フィルターユニット

サクションフィルターユニット

クリーンルーム機器

6Filter Unit

外気処理用フィルターユニット

FU-5-OA

ファンフィルターユニット

仕様例
型式

FU-5-OA

処理風量

5m 3/min（50Hz） 7m 3/min（60Hz）

捕集効率0.7μm 90%、0.4μm 80%（粒径別平均捕集効率）

中性能フィルター

RD-305305C-90（305×305×292t）1枚プレフィルター

F-300×300×20t（ PS/400）1枚送風機

3相200V 0.1kW 50/60Hz

本体

鋼板製焼付塗装（塗装色：7.5Ｙ9/1）／SUS304 2Ｂ※写真はイメージとなります。

Filter Unit

高圧型フィルターユニット
フィルター用BOX

仕様例
型式

U-EHC-5601S-4

処理風量180m 3/min

捕集効率

0.3μm粒子にて99.97％以上

メインフィルター

HEPAフィルター

プレフィルター

中性能フィルター、不織布

耐圧

2kPa

外形寸法

1500W×1000L×1500H

本体材質

鋼板製焼付塗装／SUS304

重量約450kg

外気処理用フィルターユニット

LW

H

高圧型フィルターユニット

7

その他機器

室圧調整ダンパー
風量に合わせたラインナップがございます。
仕様例
型式

EPD-2020

処理風量6m 3/min

材質

鋼板製焼付塗装

その他機器

排気用ガラリ
風量に合わせたラインナップがございます。

仕様例
処理風量

10m 3/min

材質

鋼板製焼付塗装

室圧調整ダンパー

排気用ガラリクリーンルーム機器

8

Filter Unit

ファンフィルターユニット● 省エネ設計（ファンモーターに新開発DＣブラシレスモーターを採用することで従来のシロッコファンに比べ約半分の消費電力削減に成功）※当社比● 超軽量設計（外観構造・ファンモーターの見直しによって大幅な軽量化を実現）●フリー電源採用（設置場所の電源を気にしなくて良いAC100V〜240V 50/60Hz を採用）

●プレフィルター標準装備（粗塵を取り、HEPAフィルターの交換時期を延ばすと共にファンモーターの保護の為に樹脂成型サランネットを標準装備）● 風量調節可 能（風量調整つまみの操作によって最大から最小の範囲内で風量を自由に調整できます）

100V

240V

フリー電源に対応

NSF-07CHF

仕様例

NSF-10CHF

NSF-13CHF

NSF-17CHF※1 ULPAフィルターへ交換が可能です（但し、記録の仕様とは異なります。） ※2 ステンレス仕様も対応が可能です

型式

NSF-07CHF

NSF-10CHF

NSF-13CHF

NSF-17CHF

処理風量（最小/最大）約3.5/7m 3/min

約5.0/10m 3/min

約6.0/12m 3/min

約11.0/17m 3/min

捕集効率

0.3μm粒子にて（99.99％以上）

メインフィルター

HEPAフィルター ※1

プレフィルター

樹脂成型サランネット

本体寸法（mm）

500W×500D×160H

電源

610W×610D×160H

760W×610D×173H

消費電力（最小/最大）

約15/75W

約25/105W

約25/120W

約50/150W

質量約9kg

約11.5kg

約14.5kg

約22kg

構造

本体 ： 銅板製焼付塗装仕上 ※2

塗装色

ホワイトグレー色※下メンテ仕様もございます。お問い合わせください。

ファンフィルターユニット

NSF-07CHF

NSF-10CHF

91220W×610D×173H

電圧・周波数フリー AC100V〜240V・50/60Hz

NSF-13CHF

NSF-17CHF

Filter Unit

高性能シロッコファンフィルターユニット●610×610mmの吹き出し面より最大17m 3/minの大風量●差圧計がオプションで取付けが可能●クリーンブースに設置後にHEPAフィルターの交換が下部より可能●ステンレス仕様も対応可能

仕様例※ ステンレス仕様も対応が可能です

型式

NSF-11

NSF-17

処理風量

約11m 3/min

約17m 3/min

0.3μm粒子にて（99.97％以上）

捕集効率
HEPA寸法（mm）

610W×610D×52H

本体寸法（mm）
電源

200V

電源使用

610W×610D×68H

700W×700D×320H
AC200V・3φ・50/60Hz

消費電力

約160/180W

約250/280W

質量約35kg

約38kg

構造

本体 ： 銅板製焼付塗装仕上 ※塗装色

アイボリー色（22-85B半ツヤ）

Filter Unit

小型ファンフィルターユニット●アース付きコンセントで購入してからすぐに使用が可能●ON/OFFスイッチが付いて3〜9kgと軽量のため卓上ベンチなどに最適●パチン錠を外すだけでHEPAフィルターの交換が簡単●吹き出し面を横向きにして水平層流も可能
仕様例

100V

電源使用

※ ステンレス仕様も対応が可能です型式

NSF-01A

NSF-03A

NSF-05A

処理風量

約0.8m 3/min

約3.0m 3/min

約5.0m 3/min

0.3μm粒子にて（99.97％以上）

集塵効率

HEPA寸法（mm） 203W×203D×68H

305W×305D×68H

610W×315D×68H

本体寸法（mm） 275W×235D×135H 380W×340D×170H 645W×380D×170H
AC100V・50/60Hz

電源
消費電力

約15W

約40W

約40W

質量約3kg

約6kg

約9kg

構造

本体 ： 銅板製焼付塗装仕上 ※塗装色

アイボリー色（22-85B半ツヤ）

アース付き
コンセント

パチン錠

高性能シロッコファンフィルターユニット

小型ファンフィルターユニット

クリーンルーム機器

10Clean Booth

クリーンブース

ECB型

クリーンルーム内でとくに高い清浄度を局所的に要求する場合に用いられます。
据付が容易であり、任意の場所への移動ができるユニット式の垂直層流型清浄室です。

仕様例
型式

ブレーカー
送風機クリーンブース ECB
クラス10,000
1.7ｍＷ×2.0ｍL床置型

エコルター
差圧計

吹出口
拡散P・G

クリーンブース ECB
クラス10,000
外気導入天吊型
エコルター

エコルター

吹出口

ブレーカー

エコルター

送風機
差圧計
差圧計

11ECB-110

清浄度

クラス1000

外形寸法

5200×1800×3400

構造

SUS304 H.L

風量110m 3/min

照明

20W 防水型

電源

3相200V 50Hz

Clean Booth

簡易クリーンブース

NBU-4-1515A-2
NBU-4-2020A-3
NBU-4-2525A-3

フレームにアルミを使用することで、全体を軽量化。
そのため、大規模な設置工事の必要がなく、60分程度で簡単に組み立てることが出来ます。

仕様例
型式

NBUNBUNBU4-1515A-2 4-2020A-3 4-2525A-3

清浄度
処理風量

約5㎥/min

約10㎥/min

約15㎥/min

集塵効率

0.3μm
99.97％以上

0.3μm99.97％
以上

0.3μm
99.97％以上

構造
電源質量

簡易クリーンブース NBU-4-1515A-2

クラス10000

簡易クリーンブース NBU-4-2020A-3

フレーム

アルミ（アルマイト処理）周囲

透明ビニールカーテン

FFU

鋼板製焼付塗装仕上げ

AC100V 1φ 50/60Hz
約27kg

約49kg

約68kg

簡易クリーンブース NBU-4-2525A-3

クリーンルーム機器

12Air Shower

NAS-T81PSL2-E
NAS-T161PSL2-E

エアシャワー

その他、仕様についてもラインナップがございます。

仕様例
型式

NAS-T81PSL2-E

NAS-T161PSL2-E

ジェット風量7.8m /min以上

15.6m 3/min以上

3

ジェット風速23ｍ/sec以上

集塵効率

0.3μm粒子にて99.97％以上

フィルタ

プレフィルタ

不織布フィルタ

メインフィルタ

HEPAフィルタ

動作

インターロックあり
本体

構造

パンカー数

ドア

鋼板製焼付塗装仕上
アルミカマチ扉
前室・CR側：手動窓

透明ガラス ３t床SUS304
8個（φ30）

照明灯操作（タッチパネル）
電源
質量16個（φ30）

16W×1灯エアジェット切り替え（自動・手動）
照明スイッチエアジェットタイマー（0〜60秒）
AC200V・3φ・50/60Hz
約230kg

約330kg※扉仕様、床有無、その他カタログ記載の仕様については別途お問い合わせください。

NAS-T81PSL2-E

13

NAS-T161PSL2-E

Path Box

パスボックス

NPB-555

その他、大きさに合わせた仕様でラインナップがございます。
仕様例
型式

NPB-555
本体構造

鋼板製焼付塗装仕上げ

内面床 SUS304HL
窓

透明ガラス

扉ロック

機械式インターロック

扉ヒンジ

コーナーヒンジ

質量約50kg

Path Box

エアシャワー付きパスボックス

NPB-868J

クリーンルームへの物の出

仕様例

入に塵あい発生源である人

型式

NPB-868Jの 動きを避け て 、物 のみをジェット風量3.9m 3/min

切離するために使用します。

ジェット風速23m/sec以上

集塵効率0.3μm 99.97％以上
プレフィルタフィルタ

不織布

メインフィルタ HEPAフィルタ

構造
パンカー数

本体

鋼板製焼付塗装仕上げ

窓

透明ガラス

床

SUS304パンチング板
4個(φ30)照明

16W 1灯

電源

AC200V・3φ・50/60Hz

質量約200kg

エアシャワー付きパスボックス NPB-868J

100

エアジェットノズル

150

800

窓

600

150

プレフィルタ

ドア

1750

操作盤

1000

ジェットエアファン
プレフィルタ

1050

35

800

35

HEPAフィルタ

クリーンルーム機器

14

営業品目
1

圧縮空気用除菌フィルター〈エイコー式空気除菌装置ーディスク型、シリンダー型〉

2

スチームフィルター
〈スチーム中の鉄錆、微粒子除去〉

3

ベントフィルター〈タンク内空気の無菌化用エアフィルター〉

4

エコルター
〈高、中性能ユニット型除じん、除菌用エアフィルター〉

5

液体フィルター〈除菌用、微粒子除去用〉

6

クリーンルーム〈プレハブ型クリーンルーム〉

7

クリーンブース〈組立移動可能、垂直層流型清浄室〉

8

エアシャワー〈無菌室、クリーンルームの出入管理用〉

9E-Mail〈無菌室、クリーンルームの物品出入管理用〉

WEB SITE

パスボックス

10

フィルターユニット〈HEPA組込吹出口・外気処理〉

11

ファンフィルターユニット〈送風機内蔵型HEPA吹出口〉

12

その他クリーンルーム関連機器、機材、測定器

info@eikoh-filter.com
http://eikoh-filter.com/
本 社〒174-0054
東京都板橋区宮本町47-2
TEL 03-5914-5101
FAX 03-5914-5109
大阪営業所〒531-0072 大阪市北区豊崎6-8-6
TEL 06-6940-6861
FAX 06-6940-6863

13

上記に関連する無菌無じん空調工事の設計施工

14

ドイツ／ウルトラフィルター社カートリッジフィルター15

アメリカ／メイズナー社
2023.03.0.SPS