14/12/12

14:26㈱インテックス［超高輝度検査用照明装置］
UIH-1C, UIH-1H, UIH-2C, UIH-3C 型（第 6.2 版標準仕様書

平成２２年７月）

販売店
製造発売千葉県柏市中十余二 306-4
株式会社

インテックス

TEL 04-7137-5271

FAX 7137-5272

超高 輝 度 検 査 用 照 明 装 置

ＵＩＨシリーズ-1-

標 準仕 様 書

6.2 版

14/12/12

14:26㈱インテックス［超高輝度検査用照明装置］** UIH-1, UIH-1H, UIH-2, UIH-3 型

標準仕様書 **

本書は当社で開発した超高輝度検査用の照明装置、型名 ＵＩＨ (Ultra Intensity Halogen-light) シリーズの標準仕様書です。尚、改良等により本仕様の一部を変更する場合が有ります。
§１．目的と使用法
本器は目視検査用に使用する超高輝度の照明装置です。一般的に半導体ウエハーやマスクガラス、光学部品等の目視検査用で、表面の傷やゴミ、又は内部の異物や気泡等を発見するために、高輝度な光を当てることによりティンダル (TYNDALL)現象を誘発させ発見を誰でも容易に行うことが、出来るようにする為のものです。
本器を使用しての検査方法としては、半導体ウエハー等の不透明鏡面体で、①表面に斜めから本器の光を当て、表面に浮き上がった塵や傷等を目視する方法②斜めに当てた光を反射させ周辺の壁や天井に写し傷や "うねり" を検査する方法。そしてガラス等の透明材料にはす。

③垂直または斜めに光を当てることにより両表面と内部が同時に観測できまその他の方法として④室内に直接透過して浮遊する塵埃の検出や⑤化学実験等で透明容器内の混合物質の混ざり具合いや化学反応等の観測に用いられます。①の場合はマイクロスクラッチやヘイズ等の検出に有用、②では表面の傷は勿論の事内部の微小気泡(１μ以下)の検出に用いられています。
ＵＩＨ－１Ｈ型はシリーズでは異質な存在でポリッシュウエハーのヘイズ（曇り量）検査専用で、照射面に３条の検査マークが投影しこれらのコントラストで判断する方法です。
§２．本器の全体構成と特徴
全体構成としては、４形式共にランプハウスと電源部と二分割方式となっています。又スタンドは、ＵＩＨ－１，１Ｈ型のみ電源部に自立型構造とし、ＵＩＨ－２，３型は独立型のスタンドを使用しています。全形式とも照射径や高さ、角度が自由に設定調整できます。照射径と輝度は自乗に反比例の関係があります即ち径が倍になると明るさは４分の１に成りますので適合した機種を選択して下さい。
本器は当社で特に設計調整された特製高輝度ハロゲンランプを使用しています。これらのハロゲンランプはその使用に当たって、点灯及び消灯そして冷却方法には高度な技術が必要です。即ちランプに適した方法を怠るとランプ寿命を著しく短くします。従って電源部はランプの能力を十分に発揮するように設計されています。
レンズは本器用に特に設計された最新製法の大口径非球面レンズを使用、その明るさ（開口度Ｆ）も１Ｈ型を除き０.７８から０.９２に設定したため、輝度を上げる事に成功しました。１Ｈ型は他の明るさ重視の集光系レンズに比し結像を重視した開口度２と設定したため解像度の良い検査マークが映し出されます。また全機種とも設計照射径ではほぼ光の整った平行光線とし、検査能力を高める要因となっています。
その他排熱対策も万全を期し、特に２，３型はランプハウス内の発熱監視を行い、異常発熱時はランプを強制消灯させます。尚、外形図は別紙を参照してください。

超 高 輝 度 検 査用 照 明 装 置

Ｕ Ｉ Ｈ シ リー ズ-2-

標準仕様書

6.2 版

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14:26㈱インテックス§３．仕様
本器の仕様は次の通りです。 尚、（ ）内は１Ｈ型のみの仕様です。
名称

超高輝度検査用照明装置 ［Ultra Intensity Halogen-light］

形式

ＵＩＨ－１(Ｈ)ラ ン プ 定 格

１５Ｖ

ＵＩＨ－２

１５０Ｗ

１００Ｖ

ＵＩＨ－３

３００Ｗ

１００Ｖ

６５０Ｗ

最高輝度寿命

５０時間以上

７５時間以上

７５時間以上半 輝 度 寿 命

８００時間以上

１０００時間以上

１８００時間以上

反５０㎜径放物線型ダイクロックミラー

射鏡径

設計照射径と距離φ４０㎜で１８０㎜

設計照射径輝度

上記中央で６０万 lux（５万 lux）

同１００㎜径φ７０㎜で２００㎜

φ１００㎜で２７０㎜

同４０万 lux

同３０万 lux

50 万 lux 時照射径

約 φ４５㎜

約 φ６０㎜

約 φ８０㎜

倍径時距離, 輝度

３６０㎜,１５万 lux

４００㎜,１０万 lux

５６０㎜,７､５万 lux

輝度偏差と可変幅

最高輝度偏差は上限１０％、下限２０％で可変幅は１０：１以上

レンズ

φ＝３８

Ｆ＝０.９２（Ｆ＝２）

φ=７０ Ｆ=０.７８

電源

方式

トランス式

セミトランス式

調光方式

ＳＣＲ位相制御

ＳＣＲ制御で５０／６０Ｈｚ自動切り替え

ス

タン

ド自立型

独立型

冷却

方法

電圧

表

示点灯

方式

強制空冷式
メーター指示

ダイヤルにて設定
ﾊﾛｹﾞﾝﾗﾝﾌﾟに適したｽﾛｰｱｯﾌﾟ,ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ方式

防熱フィルターなし

１段なし

異常加熱(2 型約 100 ℃ 3 型約 130 ℃)にて強制消灯

冷却自動スイッチなし

消灯後一定温度(約 40 ℃)迄下がると自動停止

合

７Ｋｇ

発熱計

外監

重視量

９Ｋｇ

形

１３Ｋｇ

４ページ参照§４．寿命と輝度について仕様上の寿命は最高輝度寿命と参考までに半輝度寿命をも記してあります。従って電源電圧により大幅に変動することを意味します。また、輝度は照射面積に反比例しますので寿命を主体に考えるならば、なるべく照射面積を少なくして上がった輝度をランプ電圧で下げると有利になります。要はランプ電圧を下げ必要以上に輝度を上げないことです。
販売店
製造発売 千葉県柏市中十余二 306-4
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インテックス

TEL 04-7137-5271

FAX 7137-5272

超高 輝 度 検 査 用 照 明 装 置ＵＩＨシリーズ-3-

標 準仕 様 書

6.2 版

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14:26㈱インテックス

９５□

１ ３５

Ｕ Ｉ Ｈ－ １外 型図

ラ ン プハ ウ ス

９０

ク ラ ンパ ー１００３００ピ ン トリ ン グ

１８０

支柱

電源部

１１０

最高 輝度 設 定
電 源 プ ラグ

電 源表 示Φ４０ス タ ンバ イ ス イ ッ チ

電 圧 指 示 計 輝 度調 整 兼電 源 スイ ッ チ

１ ３５９５□ＵＩ Ｈ－ ２外型 図

ラ ン プ ハウ ス
クラ ン パ ー

９０

１００
ピ ント リ ング

２０ ０

４３０

支柱

モ ニタ ー ラ ン プ

電 源部

電 源 ス イ ッチ

電 源 プラ グ
Φ７ ０４０

スタンド
２５０×１８０
輝 度 調整 ノ ブ

ト リ ガ ー スイ ッ チ
１５４□

ＵＩ Ｈ－ ３ 外型 図

２４５ラン プ ハ ウス

ク ラン パーロ ッ ク リン グ支柱

モ ニ タ ース イ ッチ

４０

輝度 調 整 ノ ブ

２７０

４３０

６４

ピ ント リ ン グ

電 源 ス イッ チ

トリガースイッチ

スタンド

電源部
電源 プ ラ グΦ１００

２５０×１８０

超 高 輝 度 検 査用 照 明 装 置

Ｕ Ｉ Ｈ シ リー ズ-4-

標準仕様書

6.2 版