超高輝度検査用照明装置
ＵＬＴＲＡ ＩＮＴＥＮＳＩＴＹ ＨＡＬＯＧＥＮ－ＬＩＧＨＴ
ＵＩＨ－１Ｃ，１Ｈ，２Ｃ，３Ｃ取扱説明書（第6版 2014.4）

製造番号第号

製造年月

年

書
明
説
扱
取置
装
明
照用
査
検度
輝高超版
６．
５
第ＵＩＨ－１Ｃ取説最新版.jtd 14/12/12- 1 -月超高輝度検査用照明装置
取扱説明書
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輝
高超総項目

次目頁

§１

目的と全体構成§２

本器の特徴

・・・・・・・・・

３・・・・・・・・・・・

３

§３仕様

・・・・・・・・・・・・・・

３§４

本器の組立法・・・・・・・・・・

4-1

１ (Ｈ )型 の 組 立

4-24-3版
６．
５
第§５ＵＩＨ－１Ｃ取説最新版

・・・・・・・・

４２型の組立・・・・・・・・・・

４３型の組立・・・・・・・・・・

４本器の基本操作・・・・・・・・・

５5-1

１ (Ｈ )型 の 操 作・・・・・・・・

５5-2

２，３型の操作・・・・・・・・

５5-3

ピント調整と輝度・・・・・・・

５・・・・・・・・・・

５§６

使用例と応用§７

寿命と輝度について§８

使用上の注意§９・・・・・・・

６・・・・・・・・・・

６

予備品等

・・・・・・・・・・・・

６

外形図

・・・・・・・・・・・・

７.jtd 14/12/12
製造発売元

４

〒 277-0873 千 葉 県 柏 市 中 十 余 二 306-4
株式会社

インテックス

TEL 04-7137-5271代- 2 -FAX 7137-5272

超高輝度検査用照明装置取扱説明書
超 高 輝 度 検 査 用 の 照 明 装 置 、 型 名 Ｕ Ｉ Ｈ (Ultra Intensity Halogen-light)
シリーズをお買い求め下さいまして誠にありがとうございます。
本器の性能を充分に発揮させるために本書を充分に御読みください。
§１．目的と全体構成
本器は目視検査用に使用する超高輝度の照明装置です。ＵＩＨ－１，２，３型は一般的に半導体ウエハーやマスクガラス、光学部品等の目視検査用で、表面の傷やゴミ、又は内部の異物や気泡等を発見するために、高輝度な光を当てることによりティンダル(TYNDALL) 象 を 誘 発 さ せ 発 見 を 容 易 に 行 う も の で す 。
１Ｈ型はシリーズでは異質でポリッシュウエハーのヘイズ（曇り量）検査用で、照射面に３条の検査マークが投影される方法です。
全体構成としては、４形式共にランプハウスと電源部と二分割方式となっています。又スタンドは、１（Ｈ）型のみ電源部に自立型とし、２，３型は独立型のスタンドを使用しています。全形式とも照射径や高さ、角度が自由に調整できます。
§２．本器の特徴
本器は当社で特に設計調整された特製高輝度ハロゲンランプを使用しています。これらのハロゲンランプはその使用に当たって、点灯及び消灯そして冷却方法には高度な技術が必要です。即ちランプに適した方法を怠るとランプ寿命を著しく短くします。従って電源部はランプの能力を十分に発揮するように設計されています。
レンズは本器用に特に設計された最新製法の大口径非球面レンズを使用、その明るさも書
明説
扱
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第ＵＩＨ－１Ｃ取説最新版

１Ｈ型を除き０．７１から０．９２に設定したため、輝度を上げる事に成功しました。１Ｈ型は他の明るさ重視の集光系レンズに比し結像を重視した明るさにと設定しました。従って解像度の良い検査マークが映し出されます。また全機種とも設計照射径ではほぼ平行光線とし、検査能力を高めています。
その他排熱対策も万全を期し、特に２，３型はランプハウス内の発熱監視を行い、異常発熱時はランプを強制消灯させます。また、尚、外形図は別紙を参照してください。

.jtd 14/12/12§３．仕様
本器の仕様は次の通りです。 尚、（ ）内は１Ｈ型のみの仕様です。
名称超 高 輝 度 検 査 用 照 明 装 置 ［ Ultra Intensity Halogen-light］

形式

Ｕ Ｉ Ｈ － １ (Ｈ )ラ ン プ 定 格

１５Ｖ

ＵＩＨ－２

１５０Ｗ

１００Ｖ

３００Ｗ

ＵＩＨ－３
１００Ｖ

６５０Ｗ

最高輝度寿命

５０時間以上

７５時間以上

７５時間以上半 輝 度 寿 命

８００時間以上

１０００時間以上

１８００時間以上

反５ ０ mm径 放 物 線 型 ダ イ ク ロ ッ ク ミ ラ ー射

鏡径

設計照射径と距離

４ ０ mmφ で １ ８ ０ mm

設計照射径輝度

上 記 中 央 で ６ ０ 万 lux（ ５ 万 lux）

５ ０ 万 lux時 照 射 径

７ ０ mmφ で ２ ０ ０ mm

約 ４ ５ mmφ

１ ０ ０ mmφ で ２ ７ ０ mm

同 ４ ０ 万 lux

約 ６ ０ mmφ

- 3 -

同 １ ０ ０ mm径

同 ３ ０ 万 lux

約 ８ ０ mmφ

倍径時距離, 輝度

３ ６ ０ mm,１ ５ 万 lux

輝度偏差と可変幅

最高輝度偏差は上限１０％、下限２０％で可変幅は１０：１以上

レン

ズ

φ＝３８

４ ０ ０ mm,１ ０ 万 lux

Ｆ ＝ ０ .９ ２（Ｆ＝２）

５ ６ ０ mm,７ ､５ 万 lux

φ =７ ０ Ｆ =０ .７ ８電源

方式

トランス式

調光

方式

ＳＣＲ位相制御

ＳＣＲ制御で５０／６０Ｈｚ自動切り替え

ス

タン

ド自立型

独立型

冷却

方法

電圧

表

示点灯

方式

強制空冷式
メーター指示

冷却自動スイッチなし

消 灯 後 一 定 温 度 (約40℃)迄 下 が る と 自 動 停 止

合７Ｋｇ

重視

１段

異 常 加 熱 (2型約100℃ 3型約130℃)に よ り 強 制 消 灯

計

監なし
なし

外熱ダイヤルにて設定
ﾊﾛｹﾞﾝﾗﾝﾌﾟに 適 し た ｽﾛｰｱｯﾌﾟ,ｽﾛｰﾀﾞｳﾝ方 式

防熱フィルター発セミトランス式

量９Ｋｇ

形

１３Ｋｇ

７ページ参照§４．本器の組立法
本シリーズは別図に示す通り三者各様に形態が異なっています。各型について図面を参考に説明します。
4-1

１（Ｈ）型の組立

１（Ｈ）型では電源部をスタンド兼用となっています。まず

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電源部の上部のフランジに長い方のシャフトを入れ、底とフランジのネジ計３点を止めます。次に、ランプハウスの底板に任意の位置で短いシャフトをねじ込みクランパーで固定します。この時、ランプハウスの重力バランスと作業性を考慮して組み立てます。シャフ
トの他端の穴にドライバー等をさし堅く止めましょう。コネクターは電源プラグが電源に接続されていないことを確認し取り付けて終わります。

尚、１（Ｈ）型に限り最大輝度

調 整 ト リ マ ー が つ い て い ま す 。 そ の 方 法 は 光 量 調 整 ノ ブ "INTENSITY" を "MAXIMUM" に して ラ ン プ ス イ ッ チ を "LAMP ON" に し た 状 態 で 、 裏 面 の "SUB-INTE" で 最 大 電 圧 １ ５ Ｖ を
越 え な い 範 囲 で セ ッ ト し ま す 。 出 荷 時 に は ５ ０ Hzで １ ２ Vに 調 節 し て あ り ま す 。

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4-2

２型の組立

２型はスタンド、電源部、ランプハウスの３分割になっています。

まずスタンドの穴３カ所の１点に重力バランスと作業性を考慮してシャフトを立てます。
ランプハウスは１（Ｈ）型と同様に底板にシャフトをねじ込み、クランパーでスタンドシャフトに固定します。電源部をスタンド上か周囲に配置しコネクターを取り付けて終了です。
4-3

３型の組立

３型も２型と同様にスタンド、電源部、ランプハウスに分かれています。スタンドの組立は２型と同様にバランスと作業性を考慮してシャフトを立てます。
３型のランプハウスは他形式と異なり特に大型ですので、重量バランスには充分注意して下さい。組立はランプハウスの底板の台形金具の穴にシャフトを通し、ネジ４点で固定してクランパーでスタンドシャフトに取り付けます。電源部はスタンド上か周囲に配置しコネクターを接続して終わります。

- 4 -§５．本器の基本操作
本器の操作は１（Ｈ）型と、２，３型は点灯方式の違いにより異なります。全品とも当該外形図の照射距離と径になるようにピントを合せてください。
5-1

１（Ｈ）型の操作

電 源 部 中 央 の ノ ブ "INTENSITY" は 電 源 ス イ ッ チ 兼 用 で "POWER OFF" よ り 右 に 回 す と カ チ ン と 音 が し て 表 示 灯 が つ き 、 ラ ン プ は 予 熱 さ れ て 暗 く つ き ます 。 次 に 光 量 切 替 ス イ ッ チ を "STANDING BY" か ら "LAMP ON" に す る と "INTENSITY" ノ ブで 光 量 調 整 が 行 え ま す 。 消 灯 時 は 光 量 切 替 ス イ ッ チ を "STANDING BY" に し 、 冷 却 効 果 を 上げ る た め ２ ， ３ 分 後 に "POWER OFF" し て 下 さ い 。
5-2

２，３型の操作

２，３型の操作は極簡単で、作業者は電源スイッチを入れトリガ ー ス イ ッ チ を 押 す の み と な り ま す 。 ま ず 、 電 源 ス イ ッ チ "POWER" を 入 れ る と ネ オ ン ラ ン
プ が 赤 く 光 り ま す 。 次 に ト リ ガ ー ス イ ッ チ "LAMP ON/OFF" を 押 す と "MONITOR" ラ ン プ が緑色につき、同時にランプハウスのランプがつきます。この状態でランプハウス内が異常
加 熱 し た 場 合 は 、 "MONITOR" を 赤 色 に 変 え て ラ ン プ を 強 制 消 灯 さ せ 、 あ る 程 度 冷 却 し た 時
点 で 赤 ラ ン プ が 消 え 再 点 灯 可 能 と な り ま す 。 ま た 、 必 要 に 応 じ て 電 圧 調 整 器 "INTENSITY"
を 回 し ま す 。 ＊ 電 源 電 圧 Ａ Ｃ １ ０ ０ Ｖ に て 、 ツ マ ミ の 位 置 が ９ .５ 前 後 で 最 高 輝 度 で す 。
消 灯 に は "LAMP ON/OFF" ボ タ ン を 再 度 押 す と ラ ン プ が 消 え ま す 。 消 灯 時 ま た は 点 灯 時 に電源を切りますと、一定温度までに冷却されるまでファンが回り続けます。冷却が進みファ ン が 自 動 的 に 止 ま る ま で "MONITOR" は 赤 色 の 点 滅 と な り ま す 。
5-3

ピント調整と輝度

本項目は前型共通です。ピント調整はランプハウスの先端のピントリングを回して合わせます。ワークの位置を定め光を照射すると丸い光が出ます。
その輪郭がはっきり出るようにリングを回します。１Ｈ型は特にピント合せが重要ですから注意を要します。尚、照射径はピントリングと照射距離で決まり、輝度は照射径とラン

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プ電圧で異なります。即ちランプ電圧が一定の場合の輝度は照射距離の自乗（面積）に反比例します。従って輝度を優先するなら小径にセットすることが得策です。
§６．使用例と応用
本器は目視検査用に使用する超高輝度の照明装置です。一般的に半導体ウエハーやマスクガラス等の目視検査では、表面の傷やゴミ、又は内部の異物や気泡等を発見するために非常に高度な熟練を要します。これらの検査は高輝度な光を当てることによりティンダル(TYNDALL)現 象 を 誘 発 し 、 誰 に で も 簡 単 に 行 え る よ う に な り ま す 。

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本器の使用例としては、半導体ウエハー等の不透明鏡面体で、①表面に斜めから光を当てて反射光を目から外して検査する方法②表面に斜めに光を当て、その反射光を白壁や白天井に映し出す方法、そしてガラス等の透明体では③斜めに当てた光を透過させると両表面と内部の検査が同時に行えます。尚②は特殊な検査法で壁に専用スクリーンを使用し、検体との間に専用レンズを入れることによって、より効果が上げられます。
これらは勿論一般的な使用例ですが、各社独自の方法で検査を行っているのが現状で、それら自体をノウハウとしているのが実態です。いろいろ工夫することをお奨めします。
１ Ｈ 型 は シ リ ー ズ で は 異 質 で ポ リ ッ シ ュ ウ エ ハ ー の ヘ イ ズ (曇 り )量 検 査 用 で す 。 Ｊ Ｉ Ｓ －Ｈ０６１４の鏡面検査法ではランプのヒラメントを投影する方法をとっていますが、１Ｈ型ではヒラメントの代わりに３条のマークが投影されます。このマークの明暗差によりヘイズを確認します。即ち完全鏡面ではマークが見えず不完全なほど良く見えることにななります。

- 5 -またマークは周辺との明暗差が非常に大でヘイズ検査が容易で且つマーク以外の周辺は高輝度光にて照射されてますので同時に表面検査も行えます。
§７．寿命と輝度について仕様上の寿命は最高輝度寿命と参考までに半輝度寿命をも記してあり、従って電源電圧により大幅に変動することを意味します。また、輝度は照射面積に反比例しますので寿命を主体に考えるならば、なるべく照射面積を少なくして上がった輝度をランプ電圧で下げると有利になります。寿命を持たせるにはランプ電圧を下げ必要以上に輝度を上げないようにして下さい。
§８．使用上の注意事項
本項では使用上の注意事項を述べますので、充分御理解の上末永く御使用下さい。
１）ランプは寿命品です。長時間使用にはランプ電圧を下げ、集中的に使用することが得策でしょう。予備品の用意も忘れずに！！
１）ランプハウスの発熱には万全を期していますが、特に３型は６５０Ｗもの発熱がありますので、小規模の暗室等では室温の上昇があります。充分な冷房が必要でしょう。
３）ランプハウスの周辺は長時間使用により多少の発熱が予想されます。ピントリングやケースに触れる時は充分御注意下さい。
４）ランプの点灯中は強いショックを与えないで下さい。当然ながら移動厳守です。
５ ） ２ ， ３ 型 に 限 り 、 ラ ン プ 消 灯 後 "MONITOR"ラ ン プ が 表 示 し て い る 間 は 電 源 プ ラ グ を 絶対に抜かないで下さい。安全温度まで下がると自動的に電源が切れます。
６）ランプハウスの外蓋を開けた状態での点灯は、冷却効果を妨げ機器の破損につなが書明説扱取置装明
照用査検度輝高超版
６．
５
第ＵＩＨ－１Ｃ取説最新版

りますので、絶対に行わないで下さい。
７）ランプハウスと電源部は、組合わせて調整していますので組み合わせを替えると仕様を満たさなくなります。
§９．予備品等予備品としてランプとヒューズを用意してあります。
ランプはダイクロックミラー形ハロゲンランプで代価は次の通りです。
ＵＩＨ－１（Ｈ）型用.jtd 14/12/12

１５Ｖ

１５０Ｗ

１箱１０個入50,000円

ＵＩＨ－２型用

１００Ｖ

３００Ｗ

１箱１０個入72,000円

ＵＩＨ－３型用

１００Ｖ

６５０Ｗ

５個一式

78,000円

ヒューズは、ミゼット型（５φ×２０）で１（Ｈ）型，２型は５アンペア、３型は８アンペアを使用しています。予備ヒューズは各型とも５本組で、郵送料込み５００円です。
＊ 価 格 は 、 2014年 4月 現 在 の も の で す 。

販売店
製 造 発 売 元 千 葉 県 柏 市 中 十 余 二 306-4
株式会社

インテックス

TEL 04-7137-5271

FAX 7137-5272- 6 -ＵＩＨ－１Ｃ取説最新版.jtd 14/12/12

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