用途 Examples of applications

ROTARY AND TILT STAGE

θx／θy／θz・レーザ光軸調整 Laser optical axis adjustment

・精密平行面合わせ Precision parallel mating

・光学デバイス微小角調整 Small angle adjustment for optical devices

・キャビティ長調整 Cavity length adjustment

・レーザ加工用ミラーアライメント Mirror alignment for laser processing

・チルト調整 Tilt adjustment

ラインナップ LineupType

形状

Shape

For optical mirror tilting

回転、チルト（傾斜）、ゴニオなど

形状

Shape

PT2M40-800S

800秒（≒0.22°）（≒3.9mrad）

型番

Model No.

最大振れ角

Deﬂection anglePage

0.05秒（≒0.24μrad）
P36〜0.05秒（≒0.24μrad）

0.02秒（≒0.10μrad）

P38分解能掲載頁

Page

Rotation, tilt (inclination) and goniometry, etc.

Types with various rotation axes are available for various purposes.

光学ミラー用For optical mirror tilting

チルトタイプ
Tilt type

チルト

回転タイプ

ゴニオタイプRotary type

傾斜＋昇降タイプ

Goniometry typePT1T60-500S

Tilt type

Inclination + Lifting type

タイプ
Type

形状

Shape

Angular displacement

［秒］

圧電素子

内蔵変位センサ

Piezo-electricelement

Built-in displacement
sensor300秒（≒0.08°）（≒1.5mrad）

PT1G100-500S

500秒（≒0.14°）（≒2.4mrad）

タイプ
Type

掲載頁
Page0.02秒（≒0.10μrad）
P40
0.02秒
（≒0.10μrad）

型番

Model No.

最大振れ角

Deﬂection angle

分解能Resolution

PT3V80F-400S±400秒（≒±0.11°）（≒±1.9mrad）（Z）100μm0.02秒（≒0.10μrad）

PT3V100-800S±800秒（≒±0.22°）（≒±3.9mrad）（Z）300μm

0.04秒（≒0.10μrad）

掲載頁
Page

P41

大型ミラー注）形状は一例です。詳細は各掲載頁にてご確認ください。Each shape indicated above is an example. For details, please refer to respective page
35

ドライバ

傾斜＋昇降形状Shape

Inclination + Lifting type

Large mirror

34

PT1G100-300S

分解能

Resolution

Sensor output voltage

θxCompatible with large mirror

As the piezo element used as a driving source has a strong generative force,even a large and heavy mirror can be steadily and precisely positioned.
This may support irregular sizes. For details, please feel free to contact us.

センサ出力電圧［V］

最大振れ角

Deﬂection angle

0.2秒（≒1.0μrad）

PIEZO DRIVER駆動源として用いているピエゾ素子は高い発生力を持っているため重量のある大型ミラーも安定して高精度に位置決めできます。
規格外品にも対応しますのでご相談ください。

Goniometry type

型番

Model No.

P39

コントローラ大型ミラーにも対応

ゴニオ

PT1C60-1800S

1800秒（≒0.50°）（≒8.7mrad）

0.05秒（≒0.24μrad）

CONTROLLER

θy形状

Shape

800秒
（≒0.22°）（≒3.9mrad）

Page

IMPACT ACTUATOR

The sensor integrated in “Rotary and Tilt Stage” is a linear sensor thatmeasures the linear displacement. Therefore, the conversion factor toread the voltage signals output by the sensor as an angle [sec] is used.

Type

PT1C60-800S

Resolution

インパクト
アクチュエータ

Sensor outputタイプ

角度変位『回転、チルトステージ』に内蔵しているセンサは直線変位を測定するリニアセンサです。そのため、センサから出力される電圧信号を角度[秒]として読み取る換算係数にて対応します。

最大振れ角

Deﬂection angle

SIMPLE ACTUATOR

Rotary type

型番

Model No.

簡易型
アクチュエータ

回転センサ出力について500秒（≒0.14°）（≒2.4mrad）

超精密加工機用

掲載頁

STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY

分解能Resolution

OBJECTIVE LENS FOCUSING

Type500秒（≒0.14°）（≒2.4mrad）

掲載頁

対物レンズ
フォーカス用タイプ

色々な回転軸をもつタイプを揃え、目的に応じて選定できます。

PT1M36-500S

分解能Resolution

ROTARY AND TILT STAGE

特徴 Features

最大振れ角

Deﬂection angle

回転・チルトステージ

光学ミラー用

型番

Model No.

開口付きステージ

タイプ

APERTURE SHAPE STAGE

レーザ光スキャニング、ミラーアライメント、面合わせなどに最適です。

“Rotary and Tilt Stage” is a series of stages that allows for ﬁne angle adjustment by means of piezo driving.
Although the maximum angular displacement is small, these stages have characteristics such as high-speed response andexcellent position reproducibility and they are optimal for laser beam scanning, mirror and plane alignment, etc.

標準直動ステージ

STANDARD LINEAR STAGE『回転・チルトステージ』は、ピエゾ駆動による微小な角度調整が行えるラインナップです。
最大角度変位量は小さいながら、高速応答性、高い位置再現性といった特性を備えており

ピエゾステージ

PT 回転・チルトステージ

PIEZO STAGE［ピエゾステージ “PIEZO STAGE” ］

FOR OPTICALMIRROR TILTING

ピエゾステージ“PIEZO STAGE” ROTARY AND TILT STAGEPIEZO STAGE

PT 光学ミラー用

For delivery time and prices, please refer to P6

P6

納期、価格についてはこちらを参照ください。

［ピエゾステージ］回転・チルトステージ

PT2M40-800S

PT2M(θx /θy)
PT1M36-500S

型番 Model No.

最大振れ角

Deﬂection angle

500秒（≒0.14°）（≒2.4mrad）

最大振れ角

分解能 Resolution

0.05秒（≒0.24μrad）

分解能 Resolution

Resonant frequency

at 7g

耐荷重 Load capacity

1N

at 0g

8000Hz共振周波数290秒/Nm

モーメント剛性 Moment stiffness

Resonant frequency

4100Hzモーメント剛性 Moment stiffness（θx/θy）±0.05秒（≒±0.24μrad）

330Hz

at 50g250Hz（θx）4200,（θy）4300秒/Nm

リニアリティ Linearity

0.2%

静電容量 Capacitance

1.4μF

静電容量 Capacitance

0.75μF/axis

本体質量 Weight100g

本体質量 Weight

アルミ（B）［ 表面処理：（B）黒アルマイト処理

300g

Surface treatment :（B）Black alumite］

Aluminum+Steel［ 表面処理：（B）
黒アルマイト処理／（N）
無電解ニッケルメッキ Surface treatment :（B）Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］

PT1M36-500S
PT1M36-500S-N

PT2M40-800S
PT2M40-800S-N

OBJECTIVE LENS FOCUSING■寸法図［Drawings］

2-Sensor Cables

7304-φ3.5 Holes

323642166040

Piezo Cable

456161829

4- R 8SIMPLE ACTUATOR

Cable Length 2m

簡易型
アクチュエータ

Sensor Cable
22

超精密加工機用

Cable Length 2m

STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY

362-Piezo Cables

対物レンズ
フォーカス用■寸法図［Drawings］

25

アルミ（B）+鋼（N）

本体材質（表面処理）Body material

AluminumROTARY AND TILT STAGE

0.2%

回転・チルトステージ

リニアリティ Linearity

本体材質（表面処理）Body material

APERTURE SHAPE STAGE

共振周波数（θx/θy）0.05秒（≒0.24μrad）

繰り返し位置決め精度 Repeatability

0.3N

at 0g（θx/θy）800秒（≒0.22°）（≒3.9mrad）

Deﬂection angle±0.05秒（≒±0.24μrad）

耐荷重 Load capacity

PT2M40-800S

開口付きステージ

繰り返し位置決め精度 Repeatability

STANDARD LINEAR STAGE

型番 Model No.

標準直動ステージ

PT1M(θx)

204-M3 Depth 4

164-M2 Depth 416168-M3 Depth 4

IMPACT ACTUATOR4045

インパクト
アクチュエータ16※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in ﬁgure by applying the voltage.

最大振れ角2000a単軸コントローラ

多軸コントローラ

ピエゾドライバ

NCS6000,7000

NCM6000,7000

PH103

単軸専用コントローラ。
コンパクトで低コスト。

Up to 3 axes can be controlled.

Single-axis controller

Multiple-axis controller

Piezo DriverDeﬂection angle

外形寸法（長方形の場合は短辺を表記）

1500

Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong)

1000
500
00100

200

搭載負荷
300 Load［g］

・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage.
・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load.
36

PT1M36-500S-＊

a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor
無記名blankNmark N

静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作）
Capacitive Sensor (closed loop)

変位センサ無し（オープンループ動作）
No displacement sensor (open loop)

Controller dedicated to single
axis type. Compact and low cost.

P64〜

最大3軸まで接続可能。

内蔵変位センサ無しのオープンループ時に使用。

Used for open loop without
built-in displacement sensor.

P70〜37ドライバ

共 振 周波 数［Hz］

PT1M36-500S
PT2M40-800S

2500

PIEZO DRIVER

Resonant frequency

PT1M,PT2M■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］

コントローラ

3000■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］

CONTROLLER■共振周波数［Resonant frequency］

TILTING ／ ROTARY

PT1T60-500S

PT1C［回転 Rotary］
型番 Model No.

PT1C60-800S

PT1C60-1800S

最大振れ角

Deﬂection angle

500秒（≒0.14°）（≒2.4mrad）

最大振れ角

Deﬂection angle

800秒（≒0.22°）（≒3.9mrad）

1800秒（≒0.50°）（≒8.7mrad）

分解能 Resolution

0.02秒（≒0.10μrad）

分解能 Resolution

0.05秒（≒0.24μrad）

0.2秒（≒1.0μrad）±0.05秒（≒±0.24μrad）±0.2秒（≒±1.0μrad）

繰り返し位置決め精度 Repeatability

繰り返し位置決め精度 Repeatability±0.02秒（≒±0.10μrad）

耐荷重 Load capacity

10N

at 0g

Resonant frequency

at 100g

共振周波数

400秒/Nm

モーメント剛性 Moment stiffness

Resonant frequency

600Hz

モーメント剛性 Moment stiffness

at 0g

1800Hzat 100g

10N

10N

640Hz

240Hz

250Hz

160Hz

2500秒/Nm

2300秒/Nm

リニアリティ Linearity

0.2%

0.2%

静電容量 Capacitance

2.8μF

静電容量 Capacitance

2.8μF

3.4μF

本体質量 Weight300g

本体質量 Weight200g

300g

アルミ（B）

アルミ（B）

アルミ（B）

本体材質（表面処理）Body material

本体材質（表面処理）Body material

Aluminum［ 表面処理：（B）黒アルマイト処理

Surface treatment :（B）Black alumite］

Aluminum［ 表面処理：（B）
黒アルマイト処理

Surface treatment :（B）Black alumite］

PT1C60-800S
PT1C60-800S-N

Piezo Cable

PT1C60–1800S
PT1C60-1800S-N

4-φ4.5 Holes, C'bored Depth 15
4-M2 Depth 34-M3 Depth 4
φ40
φ16 (Clear Aperture)

40
32

40

70
Sensor Cable

Piezo Cable

60
4060

19.5Cable Length 2m

20

SIMPLE ACTUATOR

5029

Sensor Cable

簡易型
アクチュエータ

8-M2 Depth 330

Piezo Cable

304-M3 Depth 3

38

25
1650

60

29

4-φ4.5 Holes,
φ8C'boredDepth163-φ4.5 Holes,φ8 C'bored Depth 23

超精密加工機用

1625
324-M3 Depth 6

STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY

Cable Length 2m

2060

5Sensor Cable

50

Cable Length 2m

OBJECTIVE LENS FOCUSING■寸法図［Drawings］

対物レンズ
フォーカス用■寸法図［Drawings］
PT1T60-500S
PT1T60-500S-N

Aluminum

ROTARY AND TILT STAGE

0.2%

回転・チルトステージ

リニアリティ Linearity

APERTURE SHAPE STAGE

耐荷重 Load capacity

開口付きステージ

PT1T60-500S

STANDARD LINEAR STAGE

型番 Model No.

標準直動ステージ

PT1T［チルト Tilting ］

共振周波数

ピエゾステージ“PIEZO STAGE” ROTARY AND TILT STAGEPIEZO STAGE
STAGESPT チルト／回転For delivery time and prices, please refer to P6

P6

納期、価格についてはこちらを参照ください。

［ピエゾステージ］回転・チルトステージ

60
IMPACT ACTUATOR

インパクト
アクチュエータ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in ﬁgure by applying the voltage.

共 振 周波 数［Hz］

Resonant frequency

800
600
4002000100200300

400

搭載負荷
500 Load［g］

回転 PT1CPT1C60-800S
PT1C60-1800S

400

最大振れ角

300

単軸コントローラ

多軸コントローラ

ピエゾドライバ

NCS6000,7000

NCM6000,7000

PH103

単軸専用コントローラ。
コンパクトで低コスト。

Up to 3 axes can be controlled.

Single-axis controller

Multiple-axis controller

Piezo Driver

外形寸法（長方形の場合は短辺を表記）

Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong)

2001000a

Deﬂection angle

0100200300

400

搭載負荷
500 Load［g］

・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage.
・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load.
38

PT1T60-500S-＊

a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor
無記名blankN

mark N

静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作）
Capacitive Sensor (closed loop)

変位センサ無し（オープンループ動作）
No displacement sensor (open loop)

Controller dedicated to single
axis type. Compact and low cost.

P64〜

最大3軸まで接続可能。

内蔵変位センサ無しのオープンループ時に使用。

Used for open loop without
built-in displacement sensor.

P70〜39ドライバ

共 振 周波 数［Hz］

PT1T60-500S

1000

0500

PIEZO DRIVER

Resonant frequency

チルト PT1T■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］

コントローラ1200■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］

CONTROLLER■共振周波数［Resonant frequency］

GONIOMETRY ／INCLINATION + LIFTING

PT3V80F-400S

PT3V［ 傾斜＋昇降 Inclination+Lifting ］
型番 Model No.

最大振れ角Deﬂection angle

300秒（≒0.08°）（≒1.5mrad）

500秒（≒0.14°）（≒2.4mrad）

最大振れ角

分解能 Resolution

0.02秒（≒0.10μrad）

0.02秒（≒0.10μrad）

分解能 Resolution±0.02秒（≒±0.10μrad）±0.02秒（≒±0.10μrad）

20N

20N

260Hz

260Hz

繰り返し位置決め精度 Repeatability
耐荷重 Load capacity
at 0g
at 100g230Hzモーメント剛性 Moment stiffness（≒3.9mrad）（θx/θy）±800秒（≒0.22°）（Z）300μm（Z）2nm（Z）10nm（θx/θy）0.02秒（≒0.10μrad）

270Hz

230Hz

（θx）390秒/Nm,（θy）320秒/Nm,（Z）1.0μm/N（θx）420秒/Nm,（θy）330秒/Nm,（Z）2.0μm/N

リニアリティ Linearity

0.2%

0.2%

静電容量 Capacitance

2.8μF/axis6.8μF/axis

at 0g

リニアリティ Linearity

0.2%

0.2%

静電容量 Capacitance

4.8μF

4.8μF

本体質量 Weight700g

700g

アルミ（B）+鋼（N）

アルミ（B）+鋼（N）［ 表面処理：（B）黒アルマイト処理／（N）
無電解ニッケルメッキ

Surface treatment :（B）Black alumite /（N）Electroless nickel plating ］

at 100g230Hzモーメント剛性 Moment stiffness

Aluminum+Steel

本体質量 Weight

1200g

1000g

本体材質 Body material

鋼（N）

アルミ（W）+鋼（N）［ 表面処理：（W）
白アルマイト処理／（N）無電解ニッケルメッキ

Surface treatment :（W）White alumite /（N）Electroless nickel plating ］

SteelAluminum+Steel

881003626361650687080

3-Sensor Cables

3-Piezo Cables

16Piezo Cable

Z2

Cable Length 2m

Z1Z1
1625

Cable Length 2m

7088901625

SIMPLE ACTUATOR

Cable Length 2mSensor Cable

Z380

Cable Length 2m4-φ4.5 Holes,
φ8 C'bored
Depth 24
8-M4 Depth 64-M3 Depth 6

Sensor Cable
Piezo Cable

Z2

31

IMPACT ACTUATOR

インパクト
アクチュエータ

32

31

32

100

簡易型
アクチュエータ

4-φ4.5 Holes,
φ8 C'bored
Depth 24
8-M4 Depth 64-M3 Depth 6Z3Rotation
Center100

Rotation
Center50

2630

90705032

4-φ4.5Holes, φ8 C'bored Depth 25
3-Pivot Points
8-M4 Depth 4
9-M3 Depth 4

超精密加工機用

90

100

PT3V100-800S
PT3V100-800S-N

STAGE FOR ULTRAPRECISION MACHINERY

3090705032

4-φ4.5Holes,φ8 C'bored Depth 25
3-Pivot Point
9-M3 Depth 43-Sensor Cables

100

PT3V80F–400S
PT3V80F–400S-N

68

PT1G100-500S
PT1G100-500S-N

100

PT1G100-300S
PT1G100-300S-N

OBJECTIVE LENS FOCUSING■寸法図［Drawings］

対物レンズ
フォーカス用■寸法図［Drawings］

190Hz

ROTARY AND TILT STAGE

10N

回転・チルトステージ±0.04秒（≒±0.19μrad）

10N

Resonant frequency

68.7秒/Nm（θx/θy）0.04秒（≒0.19μrad）±0.02秒（≒±0.10μrad）

共振周波数

240Hz

Aluminum+Steel（≒1.9mrad）（θx/θy）±400秒（≒0.11°）（Z）100μm

耐荷重 Load capacity

28.6秒/Nm

本体材質（表面処理）Body material

PT3V100-800S

繰り返し位置決め精度 Repeatability

3-Piezo Cables

Resonant frequency

傾斜 Inclination
昇降 Lifting
傾斜 Inclination
昇降 Lifting

Deﬂection angle

PT3V80F-400S

開口付きステージ

PT1G100-500S

APERTURE SHAPE STAGE

PT1G100-300S

STANDARD LINEAR STAGE

型番 Model No.

標準直動ステージ

PT1G［ゴニオ Goniometry ］

共振周波数

ピエゾステージ“PIEZO STAGE” ROTARY AND TILT STAGEPIEZO STAGE
STAGESPT ゴニオ／傾斜+昇降For delivery time and prices, please refer to P6

P6

納期、価格についてはこちらを参照ください。

［ピエゾステージ］回転・チルトステージ※移動面は電圧印加により図中の矢印方向に移動します。※The stage moves in the direction of the arrow in ﬁgure by applying the voltage.

共 振 周波 数［Hz］

Resonant frequency

200

10003000200

400600800

搭載負荷1000 Load［g］

傾斜＋昇降 PT3V
PT3V80F-400S
PT3V100-800S

最大振れ角

200a

単軸コントローラ

多軸コントローラ

ピエゾドライバ

NCS6000,7000

NCM6000,7000

PH103

単軸専用コントローラ。
コンパクトで低コスト。

Up to 3 axes can be controlled.

Single-axis controller

Multiple-axis controller

Piezo DriverDeﬂection angle

外形寸法（長方形の場合は短辺を表記）

Outside dimension (Indicates narrow side in case of oblong)

10000200

400

600800搭載負荷1000 Load［g］・ステージへの搭載荷重による共振周波数の変化を表したグラフです。 ・This chart indicates the changes in resonant frequency depending on the load on the stage.
・搭載物の形状や重心位置、またはモーメント荷重によって異なる場合があります。 ・This may vary depending on sample, center of gravity, and moment load.
40PT1G100-300S-＊

a=内蔵変位センサ Built-in displacement sensor
無記名blankNmark N

静電容量式変位センサ内蔵（クローズドループ動作）
Capacitive Sensor (closed loop)

変位センサ無し（オープンループ動作）
No displacement sensor (open loop)

Controller dedicated to single
axis type. Compact and low cost.

P64〜最大3軸まで接続可能。

内蔵変位センサ無しのオープンループ時に使用。

Used for open loop without
built-in displacement sensor.

P70〜41

ドライバ

共 振 周波 数［Hz］

PT1G100-300S
PT1G100-500SPIEZO DRIVER

Resonant frequency

ゴニオ PT1G■コントローラ／ドライバ［Controller / Piezo driver］

コントローラ300■内蔵変位センサ選択［Selection of built-in displacement sensor］

CONTROLLER■共振周波数［Resonant frequency］