システム
製品SystemProducts
産業用
Industrial

超高精度アライメントステージ

RSTアライナー

Ultra high precision

RSTAlignment Stage

実験用
Experimental

Aligner

高い追従性

0.1μm±20nmを実現

Fine followability Achieved 0.1μm±20nm

手動精密ステージ
ManualStage●スケール等のフィードバックを掛けずにサブミクロンでのステップを綺麗に刻みます。
Clearly steps in submicron without
any feedbacks on scale, etc.

X・XY
X・XY

ZZ

回転Rotation

測定機器：Renishow XL-80 測定環境：室温 23℃ 湿度 40%
Measurement device : Renishaw XL-80
Measurement condition : Room temperature 23˚C Humidity 40%
0.1μmピッチの10ステップで0.1秒ピッチの11ステップで1往復（1目盛=0.1μm）1往復（1目盛=0.1秒）
1 turn by 10 points measurement at 0.1um step
1 turn by 11 points measurement at(1scale = 0.1μm)
0.1 arcsec step (1scale = 0.1sec)

参考データ Reference data
スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage

X軸（X axes）

Y軸（Y axes）

θ軸（θ axes）

X・XY
X・XY

ZZ

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
DriverBox
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
MotorCable※上記グラフはサーボモーター搭載機で測定したデータです。
Above graphs show the measured data of the stage with servo motors.

バランスの取れた正三角形配置
Good balanced arrangement on equilateral triangle
RST Aligner最大の特徴である駆動ユニットの配置。この軸配置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にします。制御に必要な計算式は無償提供いたします。
The biggest feature of RST aligner stage is thearrangement of drive units. This axis arrangements
enable high-precision micro drives which areessential for fine alignment. The formula for thecontrol is provided by free.

専用設計の駆動ユニット
Specially designed drive unit
RST Aligner用に専用設計した駆動ユニット。モンブランシリーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、感度良く追従します。
Drive unit are designed specifically for RST aligner.
Integrates the best of the technology cultivated inour standard stages. Even with high resolution
settings, it has fine followability with good sensitivity.

付録
Appendix

検査システムInspection
SystemA.indd 10

X 方向X direction

Y 方向
Y direction

θ方向θ direction

左記のQRを読み取って頂くと動画を見ることが出来ます。
You can see the movie of the stage motions from the left QR code.

仕様
Specification
型 式
Model
サイズ
Size
透過穴
Thru hole
耐荷重
Load Capacity

RSTA-005
φ400mm
φ230mm60kg

材 質Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外 観
Finish白色アルマイト
Clear-Matt Anodizing

モータ型式
Motor model

PK523HPMB-H50S (オリエンタルモーター)
PK523HPMB-H50S (Oriental Motor)

分解能
X : 20nm Y : 約11.55nm θ: 約0.01366秒（マイクロステップ1/4時）
Resolution
X : 20nm Y : 11.55nm θ: 0.01366sec (microstep1/4)
ストローク
XY : ±3mm θ: 2°Stroke※サーボモーター搭載も可能です。
モーター型式：HG-KR053（三菱電機）
Servo motors could be mounted.
Motor Model : HG-KR053 (Mitsubishi Electric)

アクセ
サリー
Accessories

A-010

駆動イメージ
Driving image

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/08/23 11:07

システム
製品SystemProducts

大口径透過穴Large diameter Through hole

Drive

isax
iveax

Dris

寸法図Dimension

Fre

産業用
Industrialeaxiseaxis

Fre

実験用
Experimental

構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、大口径の透過穴を設けることが可能です。
Because a bearing which restricts the through hole size is
not used due to its structure, it is possible to provide alarge diameter through hole.

手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

テーブルサイズ自在Free Table sizeZZ

駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、形状を自由に設計できます。
By unitizing the drive unit, table size and shape can be
freely designed according to the mounting workpiece.

Z機構の追加可能
Additional Z vertical translation
貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加のご提案も可能です。
It is also possible to add Z vertical translation required forbonding applications, etc.

Drive axis
Free axis

ストローク変更、高耐荷重仕様、外観色の変更
仕様等、お気軽にご相談ください。
Please feel free to contact us about any modifications.
For example, stroke change, high load capacity, external
color change, etc.

Thru hole

システム構成（System configuration）
コントローラ（PLC等）
Controller(PLC etc.)

画像処理装置Image processing device

カメラ
Cameraカメラ
Camera

モータードライバー
Motor driver

用途例（Application examples）
ウェハ接合装置

露光装置

Wafer bonding equipment

Exposure equipment

各種基板の通電検査装置

サブミクロンの各種アライメント

Inspection equipment for various substrates

Submicron Various alignments

信頼を生む測定技術（Trusted measurement technology）
神津精機では世の中のニーズに応える為に、製品の高精度化を進めてきました。
そこで不可欠であったのは「測定技術」の向上です。
当社では、高精度な測定器を各種取り揃え、経験豊かな測定担当者が綿密な精度検査を実施しています。
In order to meet the needs of the world, Kohzu has beenpromoting the high precision products. Then, what wasindispensable for us is the improvement of measurement
technology. Kohzu has a variety of high-precision
measurement devices, and experienced measurement
staffs conduct thorough precision inspections.

主な測定器 Main measurement devices◦レーザー測長機（分解能1nm）：直線方向の位置決め精度
Laser interferometer (Resolution 1nm) for positioning accuracy
measurement in linear direction◦ロータリーエンコーダ（分解能0.00005°）：回転方向の位置決め精度

Rotary encoder (Resolution 0.00005 deg) for positioning accuracy
measurement in rotation direction◦オートコリメータ（分解能0.001秒）：姿勢変化、あおり方向の位置決め精度

自動精密
ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriverAutocollimator (Resolution 0.001 arcsec) for angle error andpositioning accuracy measurements in tilt direction

モーターケーブル
MotorCable

Electric micrometer (Resolution 0.01um) for straightness and flatness
measurements in linear direction

付録Appendix◦電気マイクロメータ（分解能0.01μm）：走りの真直性

弊社ホームページ（https://www.kohzu.co.jp/technology/actualvalue/）では、過去に行った特殊測定の実績をご紹介しております。ご用途に応じた精度測定も可能ですので、ご相談ください。
Kohzu website (www.kohzuprecision.com/technology/actualvalue/) shows our actual measurement data of a variety ofspecial measurements. Please feel free to contact us for any accuracy measurements for your applications.
お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

A.indd 11

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

Z
Z

その他、カスタム対応
Custom modifications

Thru hole

回転
Rotation

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemA-011

2022/08/23 11:07