文部科学省

PHOTON BEAM
P L AT F O R M

先端研究基盤共用促進事業

光ビームプラットフォーム
シンポジウム2020
主催： 光ビームプラットフォーム
協賛： 日本放射光学会、日本化学会、SPring-8利用推進協議会

日時： 2020年2月26日（水） 13:00 ～ 17:40
会場： 御茶ノ水ソラシティカンファレンスセンター Hall EAST
（東京都千代田区神田駿河台4丁目6番地）

SAGA-LSJASRI/SPring-8

阪大レーザー研
兵庫県立大ニュースバル

立命館大SR

AichiSR

東京理科大
FEL-TUSKEK-PF

プログラム
12：30

開場 受付開始

13:00

開会
開会のご挨拶

KEK 物構研 小杉 信博

13:10～14:00 【招待講演】
計測データ解析に対する機械学習の応用と期待(株)コベルコ科研 計算科学センター 世木 隆
14:00～【一般講演】
KEK 物構研 木村 正雄

14:00～14:30

Ｘ線吸収分光の標準化状況の総合報告

14:30～15:00

施設連携利用による戦略的利用（株）大林組 人見 尚

15:00～15:30

施設横断合同研修会の実施報告

あいち SR 須田 耕平

15:30～16:15 【ポスター発表／技術相談会】（ポスタータイトルは次ページに掲載）

16:20～17:40 【パネルディスカッション】「先端研究施設の共用における課題と将来への期待」－ Sustainable な仕組み作りへ －モデレータ： KEK 名誉教授 野村 昌治
パネリスト：

北海道大学グローバルファシリティセンター 副センター長 佐々木 隆太
総合科学研究機構（CROSS）中性子科学センター 研究開発部長 鈴木 淳市
ナノテクノロジープラットフォームセンター 運営室長 吉原 邦夫
あいちシンクロトロン光センター コーディネーター 上原 康
高輝度光科学研究センター 産業利用推進室 室長 廣沢 一郎
九州シンクロトロン光研究センター 所長 妹尾 与志木

17：45～19：30 技術交流会 （会費制：4,000 円） 会場はTerrace Room

ポスター発表【施設報告】
P-01

Photon Factory 施設報告・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

P-02

九州シンクロトロン光研究センター（SAGA-LS）施設のご紹介

P-03

産業利用 I、II、III ビームラインの機器整備状況

P-04

ニュースバルの分光分析用ビームライン

P-05

光学材料データベースシステム

・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

大阪大学レーザー研

P-06

立命館大学 SR センターの現状・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

立命館大 SR センター

P-07

あいちシンクロトロン光センターの現状と施設連携促進に向けた取り組み

あいち SR

P-08

東京理科大学赤外自由電子レーザー研究センター

東京理科大

・・・・・

・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

KEK-PF
九州 SR
JASRI/SPring-08
兵庫県立大ニュースバル

【ラウンドロビン実験・共用状況・講習会等の報告】
P-09

硬 X 線 XAFS ビームラインでのラウンドロビン実験の状況 ・・・・・・・・

KEK 君島堅一ら

P-10

九州シンクロトロン光研究センター（SAGA-LS）測定事例のご紹介 ・・・・

九州 SR

P-11

HAXPES ラウンドロビン実験の実施状況

JASRI 安野聡ら

P-12

SPring-8 実験データ転送システム BENTEN を活用した BL14B2 XAFS 標準試料データベースの構築

・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・JASRI 大渕博宣ら

P-13

SPring-8 における研修会・講習会の実施状況

P-14

ニュースバルにおける EUV リソグラフィー研究 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

兵庫県立大 原田哲男ら

P-15

パルスレーザーを用いた時間分解分光計測

大阪大学レーザー研

P-16

軟 X 線 XAFS ラウンドロビン実験の取組み状況

P-17

あいちシンクロトロン光センター共用利用成果。施設連携利用成果

P-18

・・・・
血清アミロイド A のアミロイド凝集の抑制とレーザー照射による解離 ・・・山口理科大学 佐伯政俊ら・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・

JASRI 佐藤眞直

立命館大 家路豊成ら
あいち SRO-01

計測データ解析に対する機械学習の応用と期待
世木
(1 )

隆

(株)コベルコ科研

計算科学センター

はじめに

現在、実験や解析に機械学習を応用し大量データを高効率で解析する計測インフォマティクスが注目され、様々な試験・実験等へ適用する試みが始まっている。材料領域においては数値、ス
ペクトルや組織観察等の顕微鏡画像の形態のデータが対象になるが、材料の画像やSPring-8等のX線計測データへ機械学習技術を応用した事例や成果について紹介する。
(2 )実験時間の最適化[1]マイクロビームX線におけるベイズ最適化の事例について示す。実験はSPring-8のBL11XUであり、Si-Ge基板に対し5μmピッチでスポットサイズ約1μmのXRDパターンをx,y方向へ走査させる事
で面内分布を把握出来る。一辺150μmの視野を走査する場合、961のXRDパターンを得る為に約8時間の測定時間を要する。これに対し、測定を行いながら面内分布を予測するベイズ最適化を用いる事で最短で約25分で計測が終了する。限られたビームタイムを効率的に使用する為にこの様な技術を使ったスクリーニングは効果的と考えられる。
(3 )in-situ実験データの解釈

ここでは、二つの事例を紹介する。一つ目はSPring-8 BL08B2で実施された、XAFSおよびXRDののin-situ実験の事例である。ここでは正極へLi(Ni1/3Mn1/3Co1/3)O2 (NMC)、グラファイトを負極とした電池をサンプルとして用いた。詳細は文献[2,3]に詳しいが、実際に充放電試験を行いながら、
XAFS(Ni、Mn、CoのK吸収端)とXRDを測定し、それから機械学習を用い酸化還元機構の支配因子を抽出した。EXAFSとXRDはカーブフィットによりピーク位置、強度、デバイワーラ因子、原子間距
離を、XANESは多変量解析を使いスペクトル形状をそれぞれ数値化した。充電深度0から150%まで10%刻みで得た標本数16のデータについてスパース
モデリングとアンサンブル学
習から支配因子を抽出した。決定係数を基準に選定した結果、
LASSOの計算結果が最良のモデルである事が明らかになった。

Fig1. LASSO により得られた主要成分

その時の係数をFig.1へ示したが、この結果は、Niの電子状態がNMCの酸化還元電位を支配する事を示し、材料領域における結果と良く一致した。
次に、二つ目の事例として同様のサンプルに透過法 in-situ XRD実験へ適応し支配因子を説明する取り組みを示す。この場合、二次元検出器を使い約2秒毎に充放電試験を行いながら計測する
為、約3000のスペクトルが得られる。一つ目の事例と異なり計測データが多くカーブフィット等
で説明変数を抽出する事が困難な点が異なる。
最近、深層学習等の予測根拠を可視化するeXplainable Artificial Intelligence (XAI)が活発−1−

に研究されているが、機械翻訳領域で実績のある注意機構(attention)をこの実験へ適用した。
Fig.2の左は学習で用いたXRDパターン、右は充放電曲線である。先ず、横軸範囲11.5～39.5°の
XRDパターンを256次元ベクトルで表現し、そして、充放電試験における電位をaからfまでの6段階へbin化した。その上で畳み込みニューラルネットワークを使う事で、XRDパターンから充放電電位を分類する96%の精度を持った予測モデルを作成した。次に、検証データを使いネットワークの重みを注意機構の手続きに従いXRDパターンへ投影した結果をFig.2中へ示した。黒色部分は注目領域に相当し、正極のメインピークであるNMC(003)周辺に注目して電位を予測している事が理解できる。また、NMC(101)とAl(111)ピークも同様である。NMCは充放電に伴い格子定数が変化する
ので、NMCのピーク位置に注目しているこの結果は合理的と思われる。

NMC(003) Graphite(002) NMC(101) Al(111)

Voltage (V)3.6Time (s)0

3.9 4.2

a

1000

b

2000

c

3000

d

4000

e

5000

f

11.5

15.5

19.5

23.5

27.5

2theta (degree)

31.5

35.5

39.5 11.5

15.5

19.5

23.5

27.5

2theta (degree)

31.5

35.5

39.5

Fig.2 in-situ XRD に対する注意機構の適用事例(左) XRD パターン、(中) Visualized attention weight、(右)充放電曲線
この様な手法は複雑なデータを解析する場合などで応用が出来ると期待される。
(4 )

謝辞

今回の報告は、(株)コベルコ科研

森拓弥博士、狩野 恒一氏、理化学研究所、量子科学技術研

究開発機構、兵庫県、情報統合型物質・材料開発イニシアティブ(MI2I)の関係各位のご協力を得て実施いたしました。感謝します。
(5)

参考文献

[1]

“放射光Ｘ線回折パターンの特徴抽出と空間マッピング(II)”、第66回応用物理学会、沓

掛健太朗、神岡武文、世木隆、佐々木拓生、藤川誠司、高橋正光[2]Takuya Mori, Takashi Segi, Takayuki Tsubota, Lei Li, and Kazushi Yokoyama,“Data driven analysis of the redox factor of LixNi1/3Co1/3Mn1/3O2 based on feature selection
from in-situ XAFS/XRD data by machine-learning”, Materials Research Meeting 2019,
Yokohama, (2019)[3]“計測インフォマティクスへの取り組み”、こべるにくす、No.49、2019

−2−

O-02
Ｘ線吸収分光の標準化状況の総合報告
木村正雄 1,2
1

2

高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所
総合研究大学院大学 高エネルギー加速器科学研究科

大学や公的機関等で得られた様々な計測データをデータベースとして公開し活用していくこと
は、科学技術の発展だけでなく、産業利用の観点からも重要である。さらに情報科学を活用した
materials informatics が急速に発展しており、情報のオープンリソース化の流れが進んでいる。そうしたニーズの多様化に対応していくには、各施設で計測されるデータの相互検証が不可欠であり、その代表的な取り組みがラウンドロビンである。また得られたデータを有効活用するには、他の様々な情報と連携していくデータベースのあり方が重要になる。
そうした背景を踏まえ、光ビームプラットフォーム事業の活動のひとつとして、国内の放射光施設と連携して、X 線吸収分光（硬軟 X 線 XAFS）、HAXPES、小角散乱、について、ラウンドロビ
ン実験が進められている[1][1a]。本発表では、材料評価の手法として産官学の広いユーザーに利用されている X 線吸収分光（硬 X 線 XAFS）を取り上げ、同事業でのラウンドロビンの取り組み、
データベースを巡る状況について報告する。
硬 X 線 XAFS でのラウンドロビン実験は、九州 SR、SPring-8、あいち SR、KEK-PF の各施設で実施している。標準的な純物質（金属、酸化物）からスタートし、より実用的な試料（触媒の標準試料等）での取り組みにも着手している[1b]。本取り組みでは、各施設で標準的に用いている条件
で測定を行うことにより、異なる施設を横断して活用するユーザーの便に供すると共に、日頃少ない施設職員の相互交流による測定基盤の標準化の一助になることも目指している。また国際的な連携でのラウンドロビン実験への展開も進めている[2]。
近年の情報科学の発達を背景に、今まで個々の手法毎に進められていたデータベースを複合利用
して材料研究に活用する試み（Materials informatics）が盛んになっている。硬 X 線 XAFS に関しても XAFS 単独のデータベースとしては、国内外のそれぞれの各放射光施設や大学・研究機関で構築が進められてきた。そうしたデータを他の様々な材料データと連携して活用していくことを目標として、日本 XAFS 討論会の有志が中心となり、国内の放射光施設の関係者を横断してデー
タベースの整備に関して議論が進んでいる[1c, 1d, 3]。
言うまでもなく、ラウンドロビンおよびデータベースの整備を進めて行くには、多くの方々の協力が不可欠である。現在の取り組み内容を紹介し、皆様のご意見・ご協力を頂き契機となれば幸いである。
[1] 例えば、第33回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム、企画講演 『X線吸収分
光におけるラウンドロビン・データベースを巡る状況』(2020年1月12日)参照[1a] 同企画講演大会、「光ビームプラットフォームでの取り組み概要」 渡辺義夫
[1b] 同企画講演大会、「硬X線XAFSラウンドロビン実験」 君島堅一
[1c] 同企画講演大会、「硬X線XAFSデータベースにむけて」 朝倉清高
[1d] 同企画講演大会、「NIMS材料データベース・放射光研究データリポジトリの接点」石井真史[2] C. T. Chantler et al., J. Synchrotron Radiation, 25, 935(2018).
[3] K. Asakura et al., J. Synchrotron Radiation, 25, 967(2018).

−3−

O-03

施設連携利用における戦略的利用
大林組技術研究所 人見 尚
１．はじめにゼネコンにおける材料研究の取り組みは多岐にわたり，筆者らの担当範囲も大深度地下の坑道の長期安定性から，宇宙空間での材料の劣化予測まで様々な研究が進められている。共通する内容としては，ミクロオーダーの現象の把握と理解が近年必要ということである。建設材料として欠かせないコンクリートは，一般的な材料と比べて数十年以上と供用期間が圧倒的に長く，実験室でその耐久性を追うためには短期間でのミクロなスケールの現象を正確に捉える必要がある。
宇宙に目を向けると，宇宙エレベーター構想で有力な素材として軽量かつ高強度な炭素系材料が期待されている。しかしながら地上と大きく異なる宇宙空間の環境の中での材料の挙動に関する
知見はほとんど得られていないため，素材レベルからの知見を自分たちで得なければならない。
２．施設関連系利用
筆者らは，これらの解決のため，放射光施設を活用している。コンクリートの長期健全性評価に関しては，SPring-8 を中心に検討を進め，炭素系材料に関してはあいち SR を中心に検討を進めている。筆者らは，2002 年にコンクリート系材料の空隙構造の把握のため，イメージングを中心に SPring-8 の高分解能 CT の利用を開始した。その後，劣化現象の把握の高度化のため X 線回折との連成など，オリジナルの技術開発に取り組んでいる。炭素系材料に関しては，2016 年に宇宙空間での曝露を経た炭素系材料の劣化の把握を目的に，X 線光電子分光を中心にあいち SR で利用を開始した。施設の選択には，筆者らの研究の（歴史的）経緯も大きいが，施設の特徴もその一因となる。
筆者らの施設利用の特徴として，SPring-8 では新たな技術の独自開発を含めた利用に対し，あいち SR では，施設の既設の装置を用いた利用となっている。基本的に半年単位である SPring-8と随時利用も可能なあいち SR の課題申請スタイルと成果公開・占有などで定まる利用料金などの違いも上述の利用方法を決める一因となっている。
極論すると，半年に 1 回の申請を経て計画性を持った勝算の高い実験を SPring-8 では要求されるのに対し，トライアルな実験があいち SR では可能であるところで，施設の選択が決まると思われる。X 線 CT や HAXPES は SPring-8 でのみ可能と考えていたが，それぞれ利用可能になり，それぞれの機関でしかできないことは一般的には解消の傾向にあると思われる。
３．その他
実際の実験は，現地に赴いて行うことになり，アクセスや実際の生活にもそれぞれの特徴が現れている。これらについても時間が許せばコメントしたい。

−4−

O-04

施設横断合同研修会の実施報告
須田耕平1、陰地宏1,2、柴田佳孝1、上原康1、渡辺義夫1、安野聡3、廣沢一郎3
1

科学技術交流財団あいちシンクロトロン光センター、

2

名古屋大学シンクロトロン光研究センター、3高輝度光科学研究センター

近年、放射光は基礎研究から産業応用まで広く活用されている。半導体、電池、触媒、農作物、土壌、化粧品など、放射光を利用する分野も広く、また、オペランド測定や、放射光測定と計算科学の融合など、新たな測定技術や活用方法も開発されている。その一方で、様々な測定が可能となった分、放射光を活用できるユーザーとそうでないユーザーの格差が広がる可能性が大きくなっている[1]。そのような格差を無くすためには、放射光を未経験のユーザーに放射光測定を体験してもらい、その有用性を認識してもらうことが重要である。また、放射光利用の深化も重要である。例えば、数ある放射光施設の中から自身の測定に適したビームラインを選び使い分けることや、複数の放射光施設のビームラインを組み合わせた施設横断利用などが挙げられる。このよ
うな利用を促進するためには、ユーザーだけでなくビームラインスタッフも、各施設のビームラインの特徴を把握し、時には他施設での測定をユーザーに提案し、さらに場合によっては、ユー
ザーとともに他施設に赴き測定を支援することなどが必要となると考えられる。
放射光測定に新たに取り組むユーザーに、各放射光施設のビームラインの特徴を理解していただくことを目的とし、光ビームプラットフォーム事業では、AichiSRとSPring-8が中心となり施設
横断合同研修会を2017年度から毎年開催している[2, 3]。この研修会では、今後AichiSRあるいはSPring-8での測定を予定している新規ユーザーを主な対象にして、ユーザー自身が用意した試料を使用し、各施設のビームラインで放射光による測定実習を体験し、測定の手順や、各ビームラ
インの特徴、放射光で得られるデータの有用性を認識していただいている。また、両施設のスタ
ッフも研修会に参加し、各ビームラインの特徴を把握すると共に、ビームライン機器や測定装置、
ユーザー利用の傾向などを始めとした情報共有も行っている。
施設横断合同研修会は、初年度の2017年度は粉末X線回折、2018年度は小角X線散乱をテーマに開催した。本年度のテーマはX線光電子分光（XPS）とし、AichiSRで開催した研修会にはユーザー
7名、SPring-8スタッフ1名、AichiSRスタッフ4名が参加した。ユーザーの持ち込み試料はナノ粒子や薄膜など様々であったが、ユーザーの方々の要望に共通したことは、実験室系XPSよりも励起エネルギーの高いXPSを用いて自身の試料を測定した際に、どの程度の深度までの分析が可能であるかを実際に確認したいというものであった。本発表では、本年度の活動状況の詳細を報告する
と共に、過去2年間の施設横断合同研修会の活動概要も紹介する。
参考文献[1] 髙尾正敏、学術の動向、2
20 (5) pp.5_68‐5_69 (2015).
[2] 大坂恵一 他、あいちシンクロトロ光センター2017 年度公共等利用成果報告書、201706045.
[3] 吉見考正 他、あいちシンクロトロ光センター2018 年度公共等利用成果報告書、201803015-1.

−5−

パネルディスカッション「先端研究施設の共用における課題と将来への期待」－ Sustainable な仕組み作りへ －モデレータ：KEK 名誉教授 野村 昌治

パネリスト：

北海道大学グローバルファシリティセンター 副センター長 佐々木 隆太
総合科学研究機構（CROSS）中性子科学センター 研究開発部長 鈴木 淳市
ナノテクノロジープラットフォームセンター 運営室長 吉原 邦夫
あいちシンクロトロン光センター コーディネーター 上原 康
高輝度光科学研究センター 産業利用推進室 室長 廣沢 一郎
九州シンクロトロン光研究センター 所長 妹尾 与志木−6−

KEK IMSS PF

P-01

光ビームプラットフォームシンポジウム 2020 (2020/2/26)

Photon Factory
施設報告
高エネルギー加速器研究機構（KEK）放射光実験施設（フォトン
ファクトリー、PF）は大学共同利用機関法人の共同利用施設として、毎年約3000人に及ぶ産学官のユーザーに広く利用されており、約800件/
年の有効課題の実験が行われている（図1）。施設の運転時間は経年で減少しているが年間約3000時間は確保し、2019年度では前年度に引き続き、施設利用収入で運転経費を賄う「産業利用促進運転日」（7日間）を第1期（5-7月）に行なって、実験時間を増やす自助努力を行った。また、成果占有・有償利用の利用制度においても、解析支援などのオプションや試行利用割引制度（有償）等を用意し、学術貢献とともにイノベーション貢献の取組を進めている（表1）。

概 要

図2. 運転時間の経年推移

図1. 有効課題数と登録ユーザー数

表1 利用制度（2020年1月現在）
制度

利用料

有効期間

共同利用

無償

2年（基本）

募集／年 成果の取扱 備考： ビームライン
2回

公開

学術目的であること
応募資格に制限有り※1

優先施設利用

有償

年度内

随時

公開

標準性能BL: 12,800円／時
高性能BL: 25,600円／時
有償

共同研究

有償

半年～複
数年

随時

公開

一般施設利用

有償※2

―

随時

非公開可

通常ライン: 27,800円／時
高性能ライン: 54,500円／時

試行施設利用

有償※3

―

随時

非公開可

通常ライン: 12,800円／時
高性能ライン: 25,600円／時

軟Ｘ線領域の可変偏光
アンジュレータを光源とした新たなビームライン（BL-19）が2019年度5月より共同利用に公開された。新BL-19は、走査型透過X線顕微鏡 (STXM)
常設のAブランチとフリー ポートのBブランチから構成される。
東京大学・高橋嘉夫教授を実験責任者とするS1課題や、一般（G型）課題で利用が始まった。

ビームラインの状況※1： 国又は国が所管する機関のプロジェクトで採択された研究課題であること（科研費を除く）。
※2： 一部ではオプションとして、実験・解析支援、代行測定、コンサルティングなども用意。
※3： 初めて施設利用をご利用する場合を対象としたもので、12時間までの実験を2回可能。

研究成果トピックス （最近のプレスリリースより）

KEK-PFのプレスリリースから抜粋したものです。その他のトピックスはウェブサイト
をご覧ください ⇒ （https://www2.kek.jp/imss/news/press.html）

磁気スキルミオン形成の定説を覆す物質の開発に成功 (BL-3A)

電子スピンを自在に操ることのできる積層材料の開発に成功 (BL-7A)

車地 崇, 十倉 好紀（理研），山崎 裕一（NIMS)，佐賀山 基（KEK-PF）

李 松田，境 誠司（QST），雨宮 健太 (KEK-PF)，桜庭 裕弥 (NIMS)他

磁性体の中で磁気モーメントがナノスケールで渦を巻いている構造である「磁気スキルミオン」は，スピントロニクスデバイスの情報媒体としても期待されている。これまでスキルミオン物質は、空間反転対
称性が破れている物質のみに発現すると考えられてきたが、研究グループはスキルミオンを安定化させる新たな設計指針として「磁気フラストレーション」に着目した探索を行い、空間反転対称性を持つ

スピントロニクスデバイス用の新たな積層材料として、磁性体の中で最もスピン偏極率が高いホイス
ラー合金と、非磁性体の中でスピンの伝達能力に最も優れるグラフェンを積層することに世界で初めて成功した。深さ分解X線磁気円二色性分光法を用いて、この積層材料では、グラフェンとホイスラー合金が接する界面においても、それぞれの材料が本来持っている性質を保持していることを見出した。

物質Gd2PdSi3 を見出した。電気伝導特性の測定やX線共鳴散乱を用いたスピン構造の解析の結果、この物質中では数nmサイズのスキルミオンが存在しており、創発電磁気応答のひとつ「トポロジカルホール効果」が従来のスキルミ
オン物質より1桁以上も大きく発現することを明らかにした。

T. Kurumaji et al., Science, 365, 914-918 (2019).

積層材料のホイスラー合金に含まれるCoとFeの磁気モーメントの深さ方向による変化（左）と各深さにおけるホイスラー合金のスピン偏極率（右）。

Gd2PdSi3で実現した磁気スキルミオン格子状態。Gdが三角格子を組
むように配列。交流帯磁率測定によりスキルミオン格子相の安定化を発見。

S. Li et al., Adv. Mater., 1905734 (2019).

海底堆積物に発見された微小マンガン粒の化学種分析 (BL-9A, 13A)

衝撃波による材料の破壊をナノ秒の時間分解能で観測 (AR-NW14A)

諸野 祐樹，稲垣 史生 (JAMSTEC)，浦本 豪一郎（高知大），高橋 嘉夫（東大），武市 泰男（KEKPF）他

一柳 光平（自治医大）, 野澤 俊介，深谷 亮，木村 正雄，足立 伸一（KEK-PF），高木 壮大（筑波大），
川合 伸明（熊本大）他

南太平洋環流域等の外洋の海底堆積物の中に、直径数ミクロンの鉄マンガン酸化物微粒子（微小マンガン粒）が、堆積物1ccあたり1億～10億個存在することを世界で初めて発見した。微小マンガン粒は、外洋域の酸素に富む堆積物環境にのみ見つかり、FeやMgだけでなくレアアースのような有用希少金属を多く含む。XAFS、STXMにより、Mgの化学種分析を行い、微小マンガン粒が海水中で形成されたことを明らかにした。これまで存在が知られていなかっ た金属酸化物の微粒子が、海洋での金属元素循環・物質保持に重要な役割を果たすことが明らかとなった。

純アルミニウム箔内の金属組織が衝撃波によって破壊される過程を、100psのパルスX線と8nsの高強度パルスレーザーを組み合わせた時間分解Ｘ線回折法により捉えることに成功した。μmサイズだった金属の結晶粒は衝撃破壊によりnmサイズまで細分化し、結晶内での不均一性が瞬間的に増大していることを見出した。
K. Ichiyanagi et al., Sci. Rep.,9, 7604 (2019).

G.I.Uramoto et al., Nature Comm., 10, 400 (2019)．

回折点が分散=結晶粒が大きい

海底堆積物の掘削サイト

回折点が連続的=結晶粒が細かい（上）時間分解Ｘ線回折測定。衝撃波伝搬中の回折像を3ns間隔で取得。
（右）衝撃破壊前後のＸ線回折像。

海底堆積物に含まれる微小マンガン粒

−7−

P-02

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P-05

光学材料データベースシステム

光ビームプラットフォームシンポジウム 2020 (2020/2/26)

大阪大学レーザー科学研究所
所在地：〒565-0871大阪府吹田市山田丘2-6
代表者：猿倉 信彦
T E L : 0 6 - 6 879-8723
E - m a i l : s a r u kura -n@i le.osa ka-u.a c.jp

ILE, OSAKA

I. 光ビームプラットフォームにおける主な活動

II. 施設概要と産業応⽤の実例
施設概要① 放射光・レーザー分野の⼈材育成
放射光とレーザー分野の融合領域は今後⼤きく発展すると期待されます。阪⼤レーザー研では異なる⼆つの分野を繋ぐ⼈材を育成する事を⽬的とし、以下の取り組みを⾏っています。

真空紫外から中⾚外域、フェムト秒からマイクロ秒、シングルショッ
トから⾼繰り返しまでの様々なレーザー光源だけでなく、計測⾯でも、本研究所独⾃の真空紫外ストリークカメラを始め、イメージング測定
系や低温クライオスタットも備えており、これらも利⽤可能です。

学⽣向け基礎セミナー×2講座を開講【主な利⽤可能設備】
・Ti:Sapphireレーザー（受講者総数︓45名）• 学部1年⽣にもわかる「放射光とレーザーの基礎」に加えて当該分野の「研究⽣活やキャリアアップ」
について講師それぞれの視点から解説• 学内外のレーザー・放射光分野の教職員によるオムニバス形式で授業を展開（※１）（※１）講師には本事業関係者を含む（阪⼤猿倉，理科⼤築⼭，兵庫県⼤宮本）(1 mJ, 200 fs, 1 kHz, 800 – 870 nm , 2ω以上も対応可能)

・YAGレーザー(nsレーザー︓1064 nm, 2ω以上も対応可能
ps再⽣増幅器︓10 Hz, 10 ns・500 mJ, 100 ps・50 mJ)・F2レーザー(1 mJ or 50 mJ, 200 fs, 1 kHz, 800 – 870 nm)

・ストリークカメラ(可視︓最⼩計測レンジ200 ps, VUV︓最⼩計測レンジ5 ns)

・その他光源、⾚外〜VUVオプティクス・分光器など② レーザー・放射光融合分野の活性化
レーザー及び放射光科学の融合分野の活性化による研究開発基盤の維持・発展を⽬指して本シンポジウムを開催しました．特に，今年度は海外からも参加者を募り，レーザー及び放射光分野の研究動向に関する情報共有の他，国内レーザー施設及び放射光施設の利⽤案内等を⾏いました．
レーザー・放射光合同シンポジウム2019（⽇時）2019年7⽉10⽇（⽔）（場所）東⼯⼤キャンパス・イノベーションセンター（CIC）（参加者）国内4名，国外11名（フィリピン⼤学他）「⾼速中性⼦ディテクター」
浜松ホトニクス株式会社【概要】
⾼速応答かつ⾼感度な6Liドープ中性
⼦シンチレーター素材の開発に成功した。阪⼤レーザー研の激光XII号レー
ザー実験において特性評価を⾏い、有⽤性が確認され商談につながった。この研究は７編の学術論⽂と2件の特許に加え、3名の研究者を輩出した。

【経済効果と社会的インパクト】
将来のエネルギー問題を解決しうる
レーザー核融合の内部過程を従来材料以上に⾼速に⾼感度に観測可能である。このシンチレータは基礎研究向けだけでな
く、放射線検出や核反応を利⽤した医学
APLFシンチレータを⽤いたなど幅広い分野に利⽤できる。

参加者集合写真

中性⼦計測器

③ レーザー・放射光施設の連携推進「ZnO透過オプティクスによる中⾚外領域センシング」

レーザー及び放射光施設間のユーザーの相互斡旋など，施設連携による新規ユーザー獲得を⽬的として，⼤阪⼤-KEK合同の施設⾒学ツアーを実施しました．⾒学ツアーには11名の国外研究者も参加しました．

レーザー・放射光合同施設⾒学ツアー（実施⽇）2019年7⽉11⽇（⾒学施設）⾼エネルギー加速器研究機構「フォトンファクトリ―」（参加⼈数）国内2名，国外11名（フィリピン⼤学他）

APLFガラスアレイ

株式会社福⽥結晶技術研究所【概要】
中⾚外領域イメージング研究としてスタートしたが、紫外光から軟X線においても⾼速応答・⾼空間分解測定が可能なZnO結晶の育成法・量産法の開発に成功した。この研究は17編の学術論
⽂、2件の特許、研究成果最適展開プロ
グラムA-STEPへの発展に加えて結晶販
売と2名の研究者輩出につながった。
【経済効果と社会的インパクト】
ステッパの光学系検査やEUV顕微鏡の撮影⾯の計測を従来材料より精密に計測できる。この技術はサファイア結晶を⽤いたLED基盤やスマートフォンのパネル開発にも発展した。

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パターン撮影P-06

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P-11

光ビームプラットフォームシンポジウム 2020 (2020/2/26)

HAXPESラ
ラウンドロビン実験の実施状況
1高
高輝度光科学研究センター, 2ああいちシンクロトロン光センター, 3名
名古屋大学,
安野 聡1, 陰地 宏2,3, 須田 耕平2, 柴田 佳孝2, 上原 康2, 廣沢 一郎1, 渡辺 義夫2

HAXPES(硬硬X線
線光電子分光)HAXPESのの現状、課題、目標

Hard X-ray Photoemission Spectroscopy: HAXPES
軟X線，実験室系*リ
リチウムイオン電池の正極材料分析*自自動車用タイヤのゴムに関する分析*電
電 子 デ バ イ スに お ける半 導体 材料 分析*鉄
鉄鋼材料の分析
など

応用事例

硬X線

課題

学術・産業利用が普及する中で，高エネルギーX線
線励起における• 正確な光電子の脱出深さ• 定量分析を行う為の物理パラメータに関する文献や報告が少ない

 HAXPESののメリット• 励起される光電子の運動エネルギーが大きい(検検出深さが 大きい )• 観測される内殻準位が多く，ピークの重なりを回避可能

目標

 HAXPESののデメリット(注注意点)
方位量子数が大きくな るほど 減少)• 光イオン化断面積が小さくなる(方• リコイル効果により光電子の運動エネルギーが変 化

さらなるHAXPESのの利便性向上のため、
HAXPES Gr.(SPring-8, あいちSR)ででは
有効減衰長さと相対感度係数に関する
ラウンドロビン実験を通してデータ収集・報告等の活動を実施する．

取り組み状況
2．
．定量分析のための相対感度係数データベース開発

１．分析深さの精密化に関する検討
分析深さ(光光電子の脱出深さ)は
は，物質内における電子の非弾性平均自由行程(λ, IMFP) によって推測される．分析深さを実験的に求めるには，ある基板上に膜厚の異なる材料を試料とし，基板および薄膜の光電子強度を評価することにより求められる有効減衰長さ(Effective attenuationが使われる．
length: EAL)が
HAXPESラ
ラウンドロビンでは、金属、酸化物薄膜から有効減衰長さを実験的 に 求 め る こ と を 実 施 し て いる 。

hv

HAXPESラ
ラウンドロビンでは，光電子励起光のエネルギー3~10 keVに お い て ， 相 対感 度係 数を求 め る実験 を 行 っている．
本実験では，酸素(O 1s)をを第1標
標準元素とし，遷移金属酸化物の測定を実施している．

試料準備状況

*酸
酸化物粉末など

Sa 

Overlayer film法
法
A についてI d ln  1  A 
I A 

Ｂについて

I a naI O1s nO1s

O1s is the standard
core level. (SO1s=1)

試料準備状況
・SiO2, Al2O3、TiO2薄膜・Pt, Mo, Ti薄
薄膜

 I 
d
 
ln  B 
 IB 

・h (3.0 keV) with Si double
crystal monochromator・Horizontal/vertical focusing mirror
・Analyzer: PHOIBOS 150CCD
・Slit size: 7 mm×25 mm curved
・Temperature: RT・Pass energy: 20 eV・Incident angle: 55°°
・Take off angle : 90°

Empirical
Theoretical

100

Si
Al

10

3 keV

Li

100

In4s

Si KLL

Empirical and Theoetical sensitivity factors,
relative to O 1s

Intensity (a.u.)

Zn3s

Si 1s

Intensity [arb. units]

0nm
5nm
10nm
20nm
30nm
40nm
50nm

Ga3s
Si2s

SiO2/SiににおけるSurvey Scan
Si 2s
Si 2p

O 1s

3 nm

7820

EAL実測値
TPP-2M
CS2
Seah and Dench

15

10

5
3000

4000

5000

6000

7000

Kinetic Energy (eV)

8000

9000

1000

1500
2000
2500
Kinetic energy [eV]
Effective attenuation length [nm]Effective Attenuation Length (nm)207780 7790 7800 7810
Kinetic Energy (eV)

10
8

EAL
TPP_2M

Si 2p

6
4

Si 1s

Si 2s

2
0
0

1000
2000
Kinetic energy [eV]

3000

Na

1

C

0.1

N

O

F

Si
Al

Binding Energy (eV)

C

Cl
P

Mn

K
Ti

N

O

Fe

10000

Cl

Ti

P

V

F

100

1000

10

Mg

1

C

0.1

10000

Binding Energy (eV)Empirical
Theoretical

100

K

6.9 keV

Li

0.01

Mg

1000

Si
MgAl

1
0.1

N

O

Si Cl
Al
P

K
Ti

Cr
Co
Cu

F

9.9 keV

Li

0.01
100

8 keV励励起の相対感度係数
Element 1s

10

10000

7.9 keVLi

Empirical
Theoretical

100

1000

Binding Energy (eV)

Li
C
N
O
F
Na
Mg
Al
Si
P
S
Cl
K
Sc
Ti
V
Cr
Mn
Fe
Co
Ni

0.01
0.30
0.57
1.0
1.6
3.9
5.7
8.1
11.1
14.9
19.7
25.4
30.1
26.9
25.6
24.4
23.3
22.3
21.3

2s

0.25
0.36
0.51
0.68
0.85
1.1
1.2
1.8
2.5
2.8
3.2
3.6
4.0
4.5
4.9
5.4

2p3/2

0.005
0.012
0.027
0.052
0.078
0.12
0.17
0.36
0.66
0.84
1.0
1.3
1.6
1.9
2.3
2.7

Element 2s

2p3/2

Cu
Zn
Ga
Ge
As
Se
Sr
Zr
Mo
Ru
Pd
Cd
In
Sn
Sb
Hf
Ta
W
Ir
Pb

3.2
3.8
4.5
5.3
6.2
7.2
12.6
16.3
20.7
25.8
31.9
39.1
43.2
47.7
52.4

5.9
6.5
7.1
7.8
8.5
9.3
12.8
14.8
17.0
19.3
21.9
24.6
26.1
27.7
29.3

3d5/2

0.038
0.080
0.11
0.31
0.44
0.58
0.72
0.88
2.3
2.7
3.0
3.4
18.1
21.1
25.4
42.7
100.2

10000

今後の計画

reference
7770

10

100

10 nm

1000

Binding Energy (eV)Empirical
Theoretical

100

0.01

5 nm

Mg

C

0.01

SiO2/IGZO/SiににおけるWideScan

P

F
O

1
0.1

Empirical and Theoetical sensitivity factors,
relative to O 1s

ひ・h (5.9, 7.9, 9.9 keV) with Si
double crystal and Si channel cut
monochromator・Analyzer: R4000-10keV・Slit size: 0.5 mm×25 mm curved
・Temperature: RT・Pass energy: 200 eV・Incident angle : 10°
・Take off angle : 80°

Empirical and Theoetical sensitivity factors,
relative to O 1s

SPECS PHOIBOS (Aichi SR BL6N1)

Scientaomicron R4000-10keV (SPring-8 BL46XU)

Empirical and Theoetical sensitivity factors,
relative to O 1s

各励起エネルギーにおける1s軌
軌 道 の 相対 感 度 係 数 の実験と計算値の比較 (h 3, 5.9, 7.9, 9.9 keV)

BLの
の比較

3000

• 有効減衰長さ
金属、酸化物薄膜を中心とした評価を進め、各種計算式(TPP-2Mなど)との比較から、さらに精密な分析深さを求める補正式の検討を進める．
• 相対感度係数
3, 6, 10 keVを中心とした測定を実施する。任意の励起エネルギーにおける相対感度係数の計算方法の検討なども行う．
⇒HAXPESラウンドロビンについて，ご提案等お待ちしております− 17 −

P-12

SPring-8 BL14B2

光ビームプラットフォームシンポジウム 2020 (2020/2/26)

SPring-8実験データ転送システムBENTENを活⽤した
BL14B2 XAFS標準試料データベースの構築
⼤渕博宣、松本崇博、本間徹⽣、横⽥滋、松下智裕(公財)⾼輝度光科学研究センター
ofuchi@spring8.or.jp

概要
従来、JASRIユーザー⽀援活動の⼀環として、SPring-8 BL14B2にて測定した標準試料のXAFS
スペクトルデータを収集し、系統的に整理して提供するXAFS標準試料データベース(URL︓https://sp8dr.spring8.or.jp/bl14b2/)を公開していた。本データベースには、SPring-8
BL14B2で測定したXAFSスペクトルデータ、測定条件、試料情報を収録している。XAFS標準試
料データベースをより活⽤し易くするため、SPring-8にて新たに開発された実験データ転送
システムBENTENを⽤い、新たな標準試料データ
ベース(URL︓https://benten.spring8.or.jp)を構築し、2019年4⽉よりデータ公開を始めた。
新データベースは従来のものと同様にディレク
トリ構造からの実験データ、メタデータ項⽬の閲
覧機能に加え、実験データのサムネイル表⽰を可能とした。また、測定条件、試料情報に関するメ
タデータ項⽬の強化により、より詳細な測定条件、試料情報の登録及び検索が可能となった。

SPring-8 実験データ転送システム

登録試料
 29元素、515試料、1045件のXAFSスペクトルデータを収録(2020年1⽉7⽇現在)
H† T. Matsumoto et al., AIP Conf. Proc. 2054, 060076 (2019).
 様々な実験データを実験条件等のメタデータを含めて管理蓄積できるシステム
 取得された実験データを保持し、インターネットを通した実験データの取得を可能にするだけでなく、計測システム側が対応すれば、電⼦化可能なすべての実験
パラメーターを記録することが可能

He

Li

Be

B

C

N

O

F

Na

Mg

Al

Si

P

S

Cl

K

Ca

Sc

Ti

V

Cr

Mn

Fe

Co

Ni

Cu

Zn

Ga

Ge

As

Se

Br

Kr

Rb

Sr

Y

Zr

Nb

Mo

Tc

Ru

Rh

Pd

Ag

Cd

In

Sn

Sb

Te

I

Xe
Rn

Cs

Ba

Hf

Ta

W

Re

Os

Ir

Pt

Au

Hg

Tl

Pb

Bi

Po

At

Fr

Ra

A

L

La

L

Ce

Pr

Nd

Pm

Sm

Eu

Gd

Tb

Dy

Ho

Er

Tm

Yb

Lu

A

Ac

Th

Pa

U

Np

Pu

Am Cm

Bk

Cf

Es

Fm

Md No

Lr

･･･K edge･･･K & L edge･･･L edge

2019年度内に公開予定

NeAl･･･unavailable

2020年度内に公開予定

 標準試料は窒化ホウ素と攪拌後、ペレット成形
 ⼤気中で不安定な試料はグローブボックス内で調整後、ガスバリア袋⼜はアルミラミネート袋に封⼊

BENTENシステム構成

 測定はいずれも室温で透過法にて測定

グローブボックス† T. Matsumoto et al., AIP Conf. Proc. 2054, 060076 (2019).

 アユミ⼯業株式会社製 GB-70
 不活性ガス循環精製機能付き
 酸素濃度及び⽔分値︓1ppm以下

BL14B2 XAFS標準試料データベース
ログイン画⾯https://benten.spring8.or.jp/

実験データ
閲覧画⾯

メールアドレス認証(2要素認証)
認証画⾯“DOWNLOAD CHECKED ITEMS” を押すと実験データをダウンロードできる

検索
ツリー表⽰

該当データ表⽰

サムネイル画像
メタデータ表⽰

BENTEN認証メール

BL14B2 XAFS標準試料
データベース紹介サイト
http://support.spring8.or.jp/xafs/
standardDB_02/standardDB.html

実験データの種類

 測定データ(9809フォーマット、拡張⼦dat)
 XAFS解析ソフトウェアAthena(拡張⼦txt)及びREX2000で(拡張⼦ex3)読み込み可能なデータ
 README.yml (標準試料に関する情報や測定条件を記載)

README.ymlの詳細
sample(ササンプルのカテゴリー)
name

試料名

chemical_formula

試料の化学式vendor試料の製造会社名

model_number
lot_number

試料の品番
試料のロット番号

測定パラメータのカテゴリー)
measurement(測absorption_edge

測定元素及び吸収端

net_plane

測定結晶面

start_energy[deg.]

測定開始時の分光器の角度

end_energy[deg.]

測定終了時の分光器の角度測定器のカテゴリー)
instrument(測type

測定時のI0及びI1検出器の種類

HV[V]

I0及びI1検出器への印可電圧値

gas

I0及びI1検出器に使用したガスの種類

amp_gain[V/A]

I0及びI1検出器のゲイン値

H_size[mm]4Dスリットサイズ((H)高さ)

W_size[mm]4Dスリットサイズ((W)幅)

local
measurement_time[sec]測定開始から終了までにかかった時間

xafs_filename

実験データファイル名(9809フォーマット)− 18 −

P-13（公財）高輝度光科学研究センター

光ビームプラットフォームシンポジウム 2020 (2020/2/26)

SPring-8ににおける研修会・講習会の実施状況
佐藤 眞直（公財）高輝度光科学研究センター（JASRI)〇 利用技術の教育による放射光利用の普及目的〇 潜在ユーザーの利用ニーズの開拓〇 施設間合同開催による施設間連携利用の促進〇 測定技術・解析技術の原理、利用事例についての座学

内容〇 持ち込み試料を用いた測定実習〇 フリーの解析ソフトウェアを用いた解析実習

2019年
年 度 以 下 の 研 修 会 が 光 ビ ー ム プ ラ ッ ト フ ォ ー ム 協 賛 の 下 、 実 施 さ れ た（ 注 １ ）
日程

タイトル

内容

参加人数

2019.5.14

X線イメージング実験研修会

測定技術実習2019.7.3

小角X線散乱測定研修会

2019.7.12

粉末回折測定研修会

常時募集（注2）

初中級者を対象とした
XAFS測定研修会

2019.8.29

産業利用を目的とした
XAFSデータ解析講習会20192019.10.30

施設横断合同研修会
８名
測定技術実習（産：５/学学：３）
硬X線光電子分光測定研修会

2019.11.27

2次元検出器を用いた
薄膜X線回折測定研修会

測定技術実習7名
名（産：２/学学：５）2019.11.28

放射光・中性子の連携利用に向けた合同研修会「小角X線散乱測定研修会」

測定技術実習１０名（産：２/学学：８）

2019.12.11

粉末回折測定研修会

測定技術実習６名（産：２/学学：４）2020.3.17

募集中
産業利用に役立つXAFSによる解析技術講習 〆切 2/14
先端材料の局所状態解析2020（1/31現
現在）

５名
（産：５）
９名
測定技術実習（産：９）５名
測定技術実習
（学：５）
９名
学：１）
測定技術実習 （産：７/学（５回実施）

解析技術講習１３名（産：７/学学：６）

あいちシンクロト
ロン光センター
共催

CROSS共催（注１） 光ビームプラットフォーム協賛以外のJASRI自自主開催の研修会は 5件
件 実施された（注２） 1グ
グループでも参加希望者があれば随時開催

量子ビーム間（放射光・中性子）連携利用による利用成果の拡大・深化− 19 −

P-14

ҾဋՋဏŴบ᢬ͤ‫پ‬τࡉჄᇌ‫ ܖٻ‬᭗ࡇငಅᅹ‫ܖ‬২ᘐᄂᆮ৑
'78Ȫǽǰȩȕǣȸᄂᆮ᧏ႆǻȳǿȸ
2019ᖺ䛻ᴟ➃⣸እ⥺䠄EUV䠅䝸䝋䜾䝷䝣䜱䞊䛿䚸༙ᑟయ䛾㔞⏘ᢏ⾡䛸䛧䛶฼⏝䛜㛤ጞ䛥䜜䛯䚹ᡃ䚻䛿䛣䜜䜎䛷䝙䝳䞊䝇䝞䝹䛷୍㈏䛧䛶㻱㼁㼂Ἴ㛗䛷䛾㻱㼁㼂㒊ᮦ䛾ホ౯䜢㐍䜑䛶䛝䛯䚹᭱㏆䛷䛿㌾䠴⥺䛻䜘䜛᭷ᶵ䠄㧗ศᏊ䠅ⷧ⭷䛾໬Ꮫ≧ែศᕸホ౯䠄✵㛫ศᩓ䚸┦ศ㞳䠅ᡭἲ䜒㛤Ⓨ䛧䛶䛔䜛䚹䜎䛯䚸Ỉ䜔Ỉ⣲⎔ቃ䛷䛾㻱㼁㼂↷ᑕ⪏ᛶ䠄Ỉ⣲⬤ᛶ䠅ホ౯䜒䚸ከ䛟䛺䛳䛶䛝䛶䛔䜛䚹
EUV䝸䝋䜾䝷䝣䜱䞊䛸䛿ศゎ⬟ 13 nm hp

༙ᑟయ㔞⏘㛤ጞ䟿z ග※ฟຊ 250W@ASMLȪǽǰȩȕǣȸ২ᘐz 䝇䝹䞊䝥䝑䝖125 Wafer / hourᴟᚤ⣽䛺ᅇ㊰䝟䝍䞁䜢Si䜴䜵䝝ୖ䛻↝䛝௜䛡䠈༙ᑟయ䝕䝞䜲䝇䛻ᚤ⣽ຍᕤ䛩䜛ᢏ⾡䠊ゎീᗘ䛿Ἴ㛗䛻౫Ꮡ䛩䜛䚹z 2019ᖺ TSMC, Samsung, EUV䝸䝋䜾䝷䝣䜱䞊䛻䜘䜛༙ᑟయ㔞⏘㛤ጞࢼஹ২ᘐᲢขከ‫ٳ‬ዴȪǽǰȩȕǣȸᲣ

Huawei Kirin 990 5G(TSMC)

Ἴ㛗 193 nm ArF䝺䞊䝄䞊 䠇 ᾮᾐ 䠇 䝬䝹䝏䝟䝍䞊䝙䞁䜾' 78 Ტಊᇢከ‫ٳ‬ዴᲣȪǽǰȩȕǣȸSamsung Exynos 9825

Galaxy note 10䛻ᦚ㍕Ἴ㛗 13.5 nm 䝺䞊䝄䞊⏕ᡂ䝥䝷䝈䝬EUVග※, FEL

NewSUBARU䛻䛶ホ౯ᢏ⾡䜢㛤Ⓨ

7 nm, 5 nmୡ௦௨㝆䛾✲ᴟ䛾ග䝸䝋䜾䝷䝣䜱䞊䜸䝷䞁䝎 ASML♫ EUV㟢ගᶵ䠄NXE:3400䠅ᴫせᅗRef.) https://www.asml.com/
EUV䛿Ἴ㛗䛜▷䛔䛯䜑ゎീᗘ䛾኱ᖜྥୖ䛜ྍ⬟䚹䠴⥺㡿ᇦ䛾ග䛾䛯䜑䚸ග※䚸ගᏛ⣔䚸䝬䝇䜽䚸䝺䝆䝇䝖䛜ኚ໬䛧䚸䛭䜜䛮䜜せ⣲ᢏ⾡㛤Ⓨ䛜ᚲせ䚹ගᏛ⣲Ꮚホ౯ᢏ⾡䠄཯ᑕ⋡䞉㏱㐣⋡䞉ᩓ஘䠅䝣䜷䝖䝺䝆䝇䝖ホ౯EUVᖸ΅㟢ග䛻䜘䜛ᚤ⣽䝟䝍䞁ᙧᡂឤᗘ

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P-15

光学材料データベースシステム

光ビームプラットフォームシンポジウム 2020 (2020/2/26)

III. パルスレーザーを⽤いた時間分解分光計測
主な⽤途︓放射線計測⽤シンチレータ材料やレーザー材料の蛍光寿命測定

ILE, OSAKA装置の主な利⽤例
真空紫外ストリークカメラシステム

直接遷移型複合フッ化物の真空紫外発光測定

BaLiF3 single crystal

計測装置の仕様●瀬⾕・浪岡型分光器– 対応可能波⻑: 120-600 nm– 波⻑分解能: 1 nm

●ストリークカメラ

SCSS test acceletor– 時間分解能: >20 ps (slow scan)

希⼟類添加フッ化物の真空紫外発光測定

Nd3+:LuLiF4

酸化亜鉛シンチレータのガンマ線照射影響評価

Nd3+:LaF3
ZnO single crystal

100kGy➡ 深紫外デバイス（LED, LD, レーザー, シンチレータ等）の開発・評価に有効➡ 学内の設備を利⽤して放射線照射実験も可能
新たな計測機器として、真空紫外イメージング分光器を現在開発中
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Wavelength (nm)

試作機はほぼ完成

新規フッ化物結晶を組み合わせた半導体製造プロセスのプラズマ診断等への応⽤

真空紫外⾊消しレンズを開発
大阪大学レーザー科学研究所

所在地：〒565-0871大阪府吹田市山田丘2-6
代表者：猿倉 信彦
T E L : 0 6 - 0 6879-8723
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− 21 −

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佐賀県地域産業支援センター 九州シンクロトロン光研究センター
http://www.saga-ls.jp
ご利用相談窓口: riyou@saga-ls.jp
高輝度光科学研究センター（JASRI） SPring-8
http://www.spring8.or.jp
ご利用相談窓口: support@spring8.or.jp
兵庫県立大学 NewSUBARU放射光施設
http://www.lasti.u-hyogo.ac.jp
ご利用相談窓口: kyoyo@lasti.u-hyogo.ac.jp
大阪大学 レーザー科学研究所
https://www.ile.osaka-u.ac.jp/research/lam/
ご利用相談窓口: lam-sec@ile.osaka-u.ac.jp
立命館大学 SRセンター
http://www.ritsumei.ac.jp/acd/re/src/
ご利用相談窓口: sr1@sr.ritsumei.ac.jp
科学技術交流財団 あいちシンクロトロン光センター
http://www.astf-kha.jp/synchrotron/
ご利用相談窓口: aichisr@astf.or.jp
東京理科大学 赤外自由電子レーザー研究センター
https://www.rs.noda.tus.ac.jp/fel-tus/
ご利用相談窓口: liaison@rs.noda.ac.jp
高エネルギー加速器研究機構（KEK） フォトンファクトリー
https://www2.kek.jp/imss/pf/
ご利用相談窓口: pfexconsult@pfiqst.kek.jp