システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

薄型アライメントステージ / テーブルサイズ 210×150
Motorized XYθ Stages / Table Size 210 x 150

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

YRA-200

YRA-200※ケーブル長 200mm※Cable Length 200mmX

Y

自動精密ステージ
MotorizedStage

Φ48 Thru

θCW※CW※※

CW(200)

X・XY
X・XY

My

60
90
110
140
150

120130Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ

4-M6 Depth 8mm
4-M10×1.0 Depth 10mm

6090
110
140160180210(306.4)

真空ステージ
VacuumStage4-M4 Depth 8mm
4-M4 Depth 8mm
4-M5 Depth 8mm
4-M5 Depth 8mm

Mx

55

制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
DriverBox

4-for M6 screws

210

Shaft length 4mm

5510

アプリ
ケーション
Application

120
110

モーター
ドライバ
Motor
Driver5モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

Depth 5mm

アクセ
サリー
Accessories

φ5 Depth 5mm
55

検査システムInspection
SystemL-010

L.indd 10

CONTACT110

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/29 20:10

アルミ / リニアガイド&クロスローラベアリング/ボールネジ

システム
製品
SystemProductsAluminum Body / Linear Guide & Cross-Roller Bearing / Ball Screw

産業用Industrial

型式
Model Number

YRA－200

テーブル面
Table Size

210mm×150mm

案内方式
Guide Mechanism

XY：精密リニアガイド θ：クロスローラベアリング
XY: Linear Guide θ: Cross-Roller Bearing

移動範囲
Motion Range

XY：±5mm θ：±5°

送り方式（3軸共通）
Lead Mechanism (same at 3-axes)

ボールネジ リード1.0mm
Ball Screw Lead 1.0mm

分解能 フル/ハーフ ステップ
※１
Resolution Full/Half Step

XY：1μm/0.5μm θ:

最高速度
Maximum Speed

XY：10mm/sec : Half 20kpps

ロストモーション
Lost Motion
真直度
Straightness

0.000498°/0.000249°
θ：4.98°/sec : Half 20kpps

手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
ZX：≦ 2μm（AVE. 0.666μm） Y：≦ 2μm（AVE. 1.097μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0013°）

水平HorizontalX：≦ 3μm/10mm（AVE. 0.358μm/10mm） Y：≦ 3μm/10mm（AVE. 0.473μm/10mm）

垂直VerticalX：≦ 3μm/10mm（AVE. 0.176μm/10mm） Y：≦ 3μm/10mm（AVE. 0.345μm/10mm）

繰返し位置決め精度
Repeatability

X：≦±0.5μm（AVE. ±0.133μm） Y：≦±0.5μm（AVE. ±0.186μm）

角度再現性
Angular Repeatabilityθ：≦ 0.001°（AVE. 0.0001°）

バックラッシュBacklashX：≦ 1μm（AVE. 0.353μm） Y：≦ 1μm（AVE. 0.589μm） θ：≦ 0.005°（AVE. 0.0008°）

面振れSurface Runout

θ：≦5μm/±5°（AVE. 1.938μm/±5°）

偏心Eccentricity

θ：≦5μm/±5°（AVE. 1.277μm/±5°）モーメント剛性
Moment Load Stiffness

X：0.03arcsec／N・cm（AVE. 0.029 arcsec/N・cm） Y：0.05arcsec／N・cm（AVE. 0.013 arcsec/N・cm）

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

343N (35kgf)

静止時負荷容量※2
Load Capacity (static)

1961N (200kgf)

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重Weight

5.15kg

5相ステッピングモーター（3軸共通）
5 Phase Stepper Motor (same at 3-axes)※4

PK523HPMB（オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.36°, リード線5本）
PK523HPMB (Oriental Motor: Phase Current 0.75A, Basic Step Angle 0.36°, 5-Leads)

コネクタ（3軸共通）
Connector (same at 3-axes)

丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

ステージ結線タイプ（3軸共通）※3Stage Wiring Type (same at 3-axes)

V3

センサ基板型式
Sensor Model

XY:F-115(HOME, LIMIT), θ:F-115R(HOME, LIMIT)※1

実験用
Experimental

ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

ワーク重心がステージ中央（垂直方向等分布）で、かつ動作させないときに耐えうる荷重。
※2
The load capacity (static) is defined at the gravity point of work is center(Uniform distribution to vertical direction) and static condition.

※3

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027を参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

※4

出力側軸端をカットしています。
Cut off the edge of motor shaft's output side.

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーターコントローラ
MotorController
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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