超精密加工機の開発‑

機械加工でマイクロ〜ナノ形状に挑戦 ‑ファナック株式会社 ロボナノ事業部
河合 知彦,蛯原 建三,山本 明,小田 隆之,酒井田 康宏,見波 弘志,大木 武,中村 文信,矢羽多 義和

１．機械加工で微細加工に挑戦
ナノテクノロジーという言葉はメディアに頻繁に取り上げられているためか、医療、バイオなどと並んで、将来を期待される最先端技術として一般的に認知されている。国もナノテクノロジーに積極的に投資しており、各市場予測における規模や成長率の上位品目にナノテクノロジーを用いた商品がずらりと並んでいることからも、今後の重要技術の一つがナノテクノロジーであることに間違いはないだろう。
ただ一言でナノテクノロジーと言っても幅が広く、ナノメートル単位で物質を制御して何らかの機能を得る技術を総じてナノテクノロジー呼んでおり、例えば有名なカーボンナノチューブは、材料技術の一つと言える。これに対してこれから述べる技術は、刃物をナノメートル単位で動かして加工物を削り取る、切削や研削という非常に古典的な機械加工の手法を用いて、最先端のマイクロ〜ナノ形状を得ようとするものである。
マイクロ〜ナノ形状の加工で最もポピュラーな方法は、リソグラフィー、ドライエッチングに代表される半導体製造技術の応用技術であり、この方法で加工されたマイクロ〜ナノ形状が各研究機関や関連企業から次々と発表されている。新聞や雑誌等を賑わせているシリコンウエハ上に構成されたミクロンレベルのモータや歯車などは、ほとんどこの加工技術で作られたものである。
元々この方法は、マイクロ〜ナノ形状を機械加工するのが困難だったために考案されたものだが、ここ十年来、工作機械、工具、測定器などの性能が向上してきたことで、逆に半導体製造技術では加工困難な複雑形状に対応できる点や材料選択の自由度という面で、再び機械加工方法が見直されてきていると言える。
以後、機械加工によってミクロン〜ナノ形状に挑戦するために必要不可欠な、精度を極限まで高めた超精密工作機械の開発と、その加工事例を中心に述べていきたい。

２．市場の要求
携帯電話、DVD プレイヤー、デジタルカメラなどの各種ディジタル機器の性能向上と低価格化の速さには驚かされるが、これらを支えている技術の一つは、レンズ、プリズム、ミラー、回折格子などの光学素子を用いて光信号制御する光エレクトロニクス技術である。光学素子の殆どはプラスチックやガラスの成形品のため、これらを量産するための金型が製品性能を左右する重要な役割を担っている。
光学素子の特徴は、素子全体の大きさは数〜数十ミリレベルで、その表面を拡大するとサブミクロン〜数十ミクロンレベルのマイクロ構造体や曲面で構成されており、その形状精度や面粗さがナノメートルレベルであることである（図１）。光学部品は、光の波長を基準として設計されることが多いため（例
えば面粗さは波長の 1/20 以下など）、最近の光源の短波長化（話題のブルーレーザなど）や機器のサイズダウンに伴って、部品やその金型への精度要求はますます厳しくなっている。
また同じ光部品でも、液晶ディスプレイの導光板のように、絶対精度はそれほど必要ないものの、ナノメートルレベルの面粗さや均一性が求められるものもあり、この場合の判定基準は、「人間が目視で見て、綺麗か汚いか？」というメーカ泣かせの分野である。
最近では、バイオチップや注射針など医療・バイオ分野からも、マイクロ〜ナノ形状への要求が高まっている。バイオチップは血液などの微少サンプルを扱うため、それを構成するマイクロ流路には光学部品とはまた違った意味で、厳しい絶対精度と滑らかな面粗さが求められる。
ナノテクノロジーと聞くと、どこかの研究所で研究されているというイメージがあるが、このようにもっと身近な分野で既にマイクロ〜ナノ形状が必要になってきている。これらの民生機器は大半の人が所有していることを考えると、現在はマイクロ〜ナノ形状部品が世界中に氾濫しているという状態に突入していると言えるだろう。

図１ 光学素子の特徴

３．超精密工作機械の開発
機械加工でマイクロ〜ナノ加工に挑戦する上で最も重要な役割を担うのは、ナノメートル単位で工具やワーク位置を制御する超精密工作機械である。
こう聞くと、超精密工作機械には軸方向の位置決め精度がナノメートル単位で駆動できるステージがあれば良いと思われがちである。特に最近のコンピュータの処理速度向上やナノメートルの分解能をもつ各種フィードバックスケールの登場によって制御技術全体が飛躍的に向上しており、世の中にはナノメートルレベルの位置決めが可能と謳ったステージが数多く実用化されている。一見これらのステージを組み合わせただけのような超精密工作機械だが、両者の間には歴然たる違いがある。超精密工作機械においては、ナノメートル単位の位置決め精度だけでは不十分で、当たり前ではあるが、加工物をナノメートル精度で加工できるシステムとしてのトータルの完成度、具体的には、摩擦、熱、振動という制御技術では抑えることの難しい外乱要素を極力排する工夫が必要となる。
以降、これらを一つ一つ解決しながら開発した同時５軸制御の超精密工作機械(FANUC ROBONANO、図２)における、いくつかの特徴的な要素技術について順に述べる。
（参考に、軸構成を図３に示す）

図２ FANUC ROBONANO

図３ 機械軸構成

摩擦対策
第一に摩擦であるが、すべりやころがりなど摩擦が介在する軸受方式を用いてナノメートル位置決めをすると、必ずバックラッシュやスティックスリップという非線型な現象に悩まされる。仮にこれらを各種の制御技術や機構的工夫によって解決したとしても、基本的に物体同士が接触しているため、送り方向以外の運動誤差や発熱の問題が残る。
そこで原理的に摩擦を無くすために、全ての滑動部に静圧空気軸受を適用することにより、直線軸で1nm、回転軸では 0.00001deg の指令分解能での位置決めと滑らかな送り運動を実現することができた。
摩擦のないサーボ系では、モータに限りなく微少な電流を流せば、ステージは必ず限りなく微少量移動するため、理論的にはナノメートル以下の制御も十分可能である。図４に直動ステージの 1nm ステップ応答試験結果を示す。バックラッシュやスティックスリップのない良好な応答が確認できる。

(nm)

温度制御OFF(μm)
1115ｈ0(ms)

図４ 1nm ステップ応答試験-1-2-2-3-305

図５1015 (mm)15ｈ0-1-4

温度制御ON(μm)-4051015 (mm)

圧縮空気温度精密制御

熱対策
次に熱であるが、マイクロ〜ナノ加工を行なう上では、熱には相当気を使う必要がある。熱には機械内部から発生するもの（モータ発熱、摩擦熱、各種電気回路の発熱など）、機械外部の設置環境の温度変化、そして加工による発熱などが考えられるが、どれも発熱そのものより温度変化が問題になる。
そこでまず、摩擦がないことを利用して、通常運転時のモータ駆動電力を機械全体で 1W 以下に抑えた。
その上で、機械内部に張り巡らされた静圧空気軸受用の空気管路内の圧縮空気温度を±0.01℃で精密制御することで、±１℃程度の恒温室に設置した場合でも±0.01℃の部屋並みの温度環境に安定化させることに成功した。図５は、深さ可変の連続マイクロ V 溝を±１℃の恒温室内で長時間に渡って加工した結果の断面形状を、前述の温度制御した場合としない場合で比較した結果である。温度制御しない場合は、一日の温度変化に伴い最大 0.8μｍの形状誤差が発生しているが、制御したものでは 10nm 以下の形状誤差に抑えられていることがわかる。
振動対策
最後に振動であるが、振動には機械内部から発生する振動（モータの振動、加工時に発生する振動、スピンドルの振動など）と、外部から伝わってくる振動があるが、空気軸受の機械特有のものとして、各空気配管内や空気軸受の絞り部分、排気部分の空気の流れによる微小振動がある。そこで、この空気の流れが層流か乱流かに着目し、機械内全ての空気管路内の空気の流れを層流化することで、この振動を除去することを考えた。図６は層流と乱流のイメージで、層流は乱れのない流れ、乱流は小さな渦が発生する流れであり、両者の境界はレイノルズ数で 2500 前後になっている。よって本機械内の全ての配管はレイノルズ数で 2500 以下になるように設計した。
図７に機械内の空気の流れが乱流と層流の状態における機械振動の比較を示す。また、図８に本機でマイクロＶ溝の引き切り加工を行った時の、工具送り方向の加工面粗さを示す。引き切り加工方法（図９）は、工具とワーク間の相対振動がそのまま転写されやすい加工方法であるが、面粗さが Ra 0.7nm の良好な加工結果が得られた。

図６ 乱流と層流のイメージ

振動 (nm)１

振動 (nm)１
乱流空気軸受の振動0周波数

層流空気軸受の振動

600Hz

0周波数600Hz

図７ 層流化の効果

PV : 5nm、Ra : 0.7nm

図８ 引き切り加工の面粗さ

図９ 引き切り加工

４．超精密・超高速加工
先に述べた比較的緩やかな熱変化や定常的な振動以外にも、突発的な熱変化や振動により加工面が乱れることもあるため、総加工時間は短ければ短い方が良いのは通常の機械加工と同じである。特に最近では光学素子は小さくなる方向なので加工面積は減る一方、例えば回折格子のピッチは狭くなる傾向にあるのでマイクロ溝数は膨大になり、場合によって数日レベルで加工時間かかるものもある。
これまでのマイクロ〜ナノ加工と言えば、「精度は最高・加工時間も膨大」がまかり通っているが、現在のミクロンレベルの工作機械が「高速・高精度」を売り文句にしているように、マイクロ〜ナノの世界も「精度は当たり前、高速化の時代」が到来することは明らかである。
そこで、ある程度加工形状は限定されるものの、シャトルユニットと呼ばれる回折格子や導光板金型などの連続直線溝を 1 秒間に 3 ショットで高速加工する専用アタッチメントを開発した（図 10）。
機械本体同様に空気軸受を採用するとともに、10G にもなるシャトルの反転振動を機械本体に伝えないような無反動機構（図 11）を開発することで、超高速加工と超精密な面粗さ Ra 1nm が両立させることに成功した。例えば、図 12 のような 100mm 角の加工面にピッチ 70μm の V 溝が 1500 本で構成される導光板金型であれば僅か 8 分、図 13 のような 10mm 角の加工面にピッチ 2.4μm の V 溝が 4100 本で構成された回折格子でも 25 分という驚異的な速度で加工完了することができる。

工具
図１０ シャトルユニット

図１１ 無反動機構

5μm

100μm

面精度 ：PV 9nm Ra 1.4nm

2.4μm

図１２ 導光板金型

図１３ 回折格子

さらに本ユニットを用いて、ちょうどプリンターでスキャン印刷するようなイメージで、1.2m/s の高速送りの間に、工具を切り込み方向に更に高速に制御することにより、より複雑な３次元形状の高速加工を試みた（図 14）。この方式で加工した 100×30mm のデモサンプルを図 15 に示す。図中の文字部分はその他の部分に比べて 2μｍ高くなってピッチ 5μｍのマイクロ V 溝で構成され、その他の部分はピッチ 50μｍのマイクロV 溝で構成されている。
全部で 3600 本余りのマイクロ溝を 40 分で加工できた。

バイトの動きピックフィード方向(機械本体軸）図１４ シャトルユニットによる複雑形状の加工

50μm

5 μm
平面部分

文字部分
図１５ 複雑形状のデモサンプル

またＲ形状の工具を用いることで、自由曲面やマイクロレンズアレイなどの曲面複雑形状の高速加工にも期待される。図 16 はφ100μm、深さ 10μm のディンプルアレイを加工した例で、70mm 角の加工面上にある６万個のディンプルを僅か２分で加工することができた。

図１６ マイクロディンプルアレイ

図１７ サブミクロンピッチの回折格子

５．機械加工による微細加工例
超精密工作機械 ROBONANO を用いた機械加工（主に切削）による微細加工例について以下に述べる。
機械の性能を最大限に引き出すため、工具は刃先が鋭利で凹凸の少ない単結晶ダイヤモンドを使い、加工材料はダイヤモンドが鉄と親和性があることや、結晶方位のないアモルファス材料が適しているため、鉄母材にニッケルリンメッキや銅メッキなどを数百ミクロン付けて、そのメッキ部分を加工することが多い。
加工方法は本機のフレキシブルな機械構造により、回転工具を用いるミリング、非回転工具を用いる引き切り、加工物を回転させる旋盤など、加工形状によって最適な方法を選択できる。
マイクロ溝
図 17 は、3mm 角の加工面にピッチ 0.3μm で開き角 90°のマイクロ V 溝が構成された回折格子のミリング（図 18）加工例である。加工面は、形状精度や面粗さがナノメートルレベルの滑らかな面が得られるだけでなく、機械振動を最小限に抑えているため、このような微細ピッチの V 溝であっても溝エッジにバリが発生しないのが特徴である。
図 19 は溝ピッチ 40μm、幅 20μm、高さ 200μm の角溝のミリング加工例である。このような機械加工では難しいとされる高アスペクト比の形状でも、切削反力が微少のため、微小な工具さえ製作可能であれば、折れたり曲がったりせずに加工可能である。

40μm

図１８ミリング加工

図１９ マイクロ角溝

図 20 は、φ4mm、ピッチ数〜数十μｍ可変で、深さ１μｍ一定の回折型フレネルレンズの金型の旋削加工例である。剣先バイトを用いて X、Z 直線 2 軸＋B 回転 1 軸で制御することで、ブレーズ側面はバイトの剣先部、平面部は側部で加工している。
図 21 は、R3mm 球面上に構成された深さ 15μm，幅 20μm、開き角 80°のマイクロ V 溝の引き切り加工例である。このように方向や角度、幅などが変化する溝形状は、例えばレンズ面などの曲面上に回折格子を構成して複数の光学部品を集約するなど、部品点数の大幅削減や精度向上に期待されている。

300μm10 μ m

図２０ 回折レンズ

図２１ 曲面上のマイクロ溝

レンズ形状
図 22 は直径 3mm の非球面レンズ金型の旋削加工例である。最近では、レンズの小径化に加えて、形状精度 50nm 以下、面粗さ 10nm 以下という厳しい精度が求められているため、レンズを磨く技術として一般的なポリッシングのような研磨技術を適用することは形状精度面で難しく、切削のみで形状精度と面粗さを両立させる必要がある。
図 23 はピッチ 60μm の凹球面レンズアレイ、図 24 は半径 660mm の大きな球面の一部を幅 1mm の瓦状に切り出したセグメントを並べた一種の凹レンズアレイで、ステッパーなどに用いられるフライアイミラーのミリング加工例である。従来このようなアレイ形状は、セグメントごとに加工してから組立てる方法であったが、このように一体加工を可能にすることで、精度や工数の向上が期待される。

φ3mm60μm
図２２ 非球面レンズ金型

4mm

図２３ マイクロレンズアレイ

600μm

図２４ フライアイミラー

300 μm
図２５ マイクロ仏像

複雑形状
図 25 は、刃先が R30μm に成形された単結晶ダイヤモンドエンドミルを５軸制御して、複雑な自由曲面形状であるφ1mm、高さ 2mm のマイクロ弥勒菩薩形状をミリング加工（図 26）したものである。このような完全なマイクロ立体形状の具体的なニーズはまだこれからであるが、医療やバイオ分野における複雑なマイクロ立体形状など、半導体製造技術の応用技術等では対応困難なアプリケーションに応用が期待される。
次に医療・バイオ分野への適用例の一つとして、「痛くない注射針」であるマイクロ針アレイの加工例を紹介する。図 27 は、0.5mm 角上に 9 本の針で構成されたマイクロ針アレイで、針の高さ 300μm、直径30μm、先端角 15 度である。針間隔に入る極細のエンドミルを用いて１本づつ切削しているが、機械振動と切削抵抗が非常に少ないため、このような細長い形状も折れたりすることがない。

30μm

図２６ ５軸制御ミリング加工

図２７ マイクロ注射針アレイ

脆性材料
ガラスやシリコンなどの脆性材料であっても、工具の切り込み量を小さくすることで、通常の金属加工のように延性モードと呼ばれる流れ型の切り屑を発生させる状態で切削加工できることはよく知られている。ただしこの方法は、切り込み量を小さくする必要があるのと、金型を製作してプラスチックやガラス成形で量産というプロセスでなく、最終製品そのものを加工するというプロセスになるため、効率的とはいえない。しかし最近では、レンズの精度を更に１段上げるために、成形後のガラスレンズを直接加工したり、光通信分野のキーデバイスである光導波路の材料であるニオブ酸リチウムや、赤外光学系で用いられるゲルマニウム製レンズなどの成形による複製が困難な材料へのマイクロ〜ナノ加工の要求が高まっている。特に溝形状など、研削では難しいシャープエッジが欲しい場合には、切削加工する必要がある。図 28 はガラス（BK7）を延性モードでミリング加工した時の流れ型の切り粉である。図
29 はニオブ酸リチウムにマイクロ V 溝をミリング加工した例で、エッジが欠けずに加工できている。

図２８ ガラス加工時の流れ型切粉

図２９ ニオブ酸リチウムへの微細加工例

６．おわりにオーソドックスな機械加工方法によるマイクロ〜ナノ加工について、開発した超精密加工機 ROBONANOの特長とその加工例を中心に述べた。
今後とも微細加工分野では、ますます精度要求が厳しく、形状も複雑化することが予想される。
機械加工の究極という意味では、原子の大きさである 0.1〜0.3nm を正確に切り取るのが限界ではないかと思われるが、残念ながら現在の面粗さのチャンピオンデータは P‑V 値で 3nm 程度で、まだ精進する余地は残っている。ただしこのレベルになると、工作機械の向上だけでなく、工具、加工物、計測、環境など、あらゆる関係技術の向上が必須なのは言うまでもない。
今後の当面の目標は、これらの厳しい要求に対応した機械性能や加工方法を提供していくことだが、究極の目標は、現在のマシニングセンタのような殆ど自動化された超精密加工機である。即ち、素人の作業者でもワークと工具をセットするだけで、次々にナノレベルの加工物が寸分違わず出来てくるという夢のような機械だが、もしそうなったら、もはや「超」精密加工機とは呼ばれないだろう。

７．関連特許国内：2002‑283174（4 項で述べたシャトルユニットに関するもの）
2003‑262226（3 項で述べた層流化空気軸受けに関するもの）
2004‑255494（3 項で述べた機械内の温度制御に関するもの）
その他関連特許（出願、公開、登録）４１件
海外：アメリカ、ドイツ、中国に関連特許（出願、公開、登録）３２件

関連文献(1) 室田真弘、鈴村宜暁、石田 徹、竹内芳美、河合知彦、澤田 潔：
超精密マイクロＶ形止り溝の創成、精密工学会誌、70-5 (2004.5)
677-682(2) 住田貴之、橋本義則、竹内芳美、河合知彦、澤田 潔、瀧野日出男、野村和司：フライアイミラーの超精密５軸制御加工と光学特性評
価、日本機械学会論文集（Ｃ編）、 70-697 (2004.9) 2723-2729(3) 久門哲也、石田 徹、竹内芳美、河合知彦、澤田 潔：
非回転工具を用いた超精密マイクロＶ溝加工、精密工学会誌、70-10 (2004.10)
1301-1305(4) K. Ebihara, T. Kawai, K. Sawada, Y. Takeuchi: High Speed Creation of Ultraprecision Straight Microgrooves by Means of a Shuttle Unit,Proc. of 4th Int. Conf. of EUSPEN, Glasgow (2004.5) 374-375(5) Y. Yoneyama, T. Kawai, Y. Takeuchi: 6-Axis Control Ultraprecision Microgrooving on a Sculptured Surface, Proc. 2nd Int. Symp on
Nanomanufacturing, KAIST, Daejeon (2004.11) 29-34(6) Y. Kikuchi, T. Kawai, Y. Takeuchi: Micro Sharp Corner and Character Line Creation by Means of 6-Axis Control Ultraprecision
Machining, Proc. 2nd Int. Symp on Nanomanufacturing, KAIST, Daejeon (2004.11) 606-611(7) N. Kitamura, T. Kawai, Y. Takeuchi: 5-and 6-Axis Control Hybrid Ultraprecision Machining of 3D Microparts, Proc. 2nd Int. Symp onNanomanufacturing, KAIST, Daejeon (2004.11) 612-617(8) F. Ando, A. Yamamoto, T. Kawai, H. Ohmori, T. Ishida, Y. Takeuchi: Microchannel Array Creation by Means of Ultraprecision Machining,Proc. 5th Int. Conf. on Machine Automation, Osaka (2004.11) 251-256