論表面科学 Vo
l.18,No･12,pp7
80‑785,1997

文

6K における Si(100)ダイマー間相互作用 と位相欠陥のダイナ ミックス
重川秀実 ･三宅晃司 ･石 田真彦 ･畠 賢治
小沢聡 ･大井川治宏 ･吉崎亮造*

筑波大学物質工学系,先端学際領域研究センター 唇 305 茨城県つ くば市天王台 1‑1‑1'
筑波大学物理工学系,低温センター,先端学際領域研究セ ンター 面 305 茨城県つ くば市天王台 1‑1‑1(
1997年 4月 9日受付 ;1997年 7月 8日掲載決定)

Int
eract
ionbetweenSi(100)SurfaceDi
nersandDynami csofPhas
eDef
ectsFom edt
JdiedbyScannjrL
gTunneJjngMj
eroscopyoT
IDi
nerRowsat6K St
ahj
koIsⅢDA,Kerlj
iHATA,
Hi
demiSHIGEKAWA,Koj
iMI
YAKE,Mas
SaL
oshiOzAWA,HaruhiroOl
GAWAandRyozoYosHLZAKI,UniversIL
yOrTs
ukuba.
Ts
ukuba305
T
nst
itut
eofMa
te
ri
alsSc
i
ence,Centerf
orTs
ukubaAdva
ncedResearchAlliance(TARA)‑T
nstil
ULeOrPhysicsEngi
neer
ing,
CryogenicsCenter,
CenterforTs
ukubaAdva
nce
dRe
sear
chAl
ll
anCe(TARA)
Uni
ve
r
si
tyorTsukuba,Tsukuba305(Receive
dApri
l9,1997;
AcceptedJuly8,1997)(100)sur
f
ac
edl
me
rr
ows
,Wa
sS
t
udi
e
da
t6KbyscannlngDynamic
softheder
ecl,pha
s
ede
fec
l̀
t
ype
‑
P'for
me
donSi
twa
sobs
en′edl
ha
Lt
unnel
i
ngmi
cr
osc
opy･Paircr
eatlOnanda
nnl
hi
lat
i
onoft
het
yp
e‑
Pdef
ect
swer
eobs
erve
dcL
ear
l
y･T
st
epe
dgesa
nddl
mC
rVa
c
anc
yder
e
clswor
ka
ss
ourc
e
sa
nda
bs
or
ber
sofl
het
ype
‑
pdef
e
c
ls･T
nl
er
aC
li
onbe
t
we
e
nt
hepha
s
edef
ec
t
seXi
st
l
ngOnt
hea
dj
ac
entdi
ne
rr
owswa
sve
r
yweaka
t6Kc
ompar
edt
ot
ha
tobs
er
ve
da
t〜100K.
Thi
sr
e‑
sulte
dint
hec
ompa
r
a
blest
uc
r
t
ur
alc
ha
ngebe
t
we
e
nc
(4×2)andp(2×2)arr
angements;dyna
Tni
c
sort
het
ype
‑
Pdefec
ts
一
ooke
dalr
nos
lequi
va
le
ntl
nC
(4×2)andp(2×2)arrangementsa
t6K Wi
t
hc
ons
ider
at
i
onoft
hel
nt
er
aCtl
Onbe
t
we
endimer
s,t
heobs
er
ve
dc
har
acter
l
S
ti
cpr
oper
ti
eswer
ec
onsideredtoberelatedtothete
mper
atur
ede
enp
denceoft
hedi
r
ner
inter
acnons
,ina
ddJ
t
i
ont
ot
hephenoT
nenaOrl
heor
dinar
yor
de
トdis
or
derpha
setr
ans
it
i
onbe
t
we
enc
(4×2)+p(2×2)
anduniquec(4×2)slr
uCtur
eS･

1.はじめ

同じダイマー列内ではダイマーが交互にバ ック リングのに向きを変 える方が安定であることか ら= ),隣 り合 うダSi
(100)表面では,隣 り合 う二つの原子のダング リンイマー列間でのダイマー相互間のバ ック リングの方向のグボン ドが結合 して,2塩体 (ダイマー)を形成するが,関係に よ りC(4×2) お よび p(2×2) の二つの表面再構それだけではまだ不十分で,更にダイマーが傾いて (バ成榊進が存在する (Fig.1)｡常温における走査 トンネル
電子顕微鈍 (ST…) 測定ではダイマーは対象 な構造 とック リングを起 こ して)エネルギーを下げることによ り安定化す るとされている■)｡再梯成 を起 こす前の理想表して観察 されているが,常温で もダイマ‑はバ ック リン

面か ら対称なダイマー構造の形成により約 2eV, また,グ してお り,バ ック リングの向きを変 える振動が STM

バ ック リングを起 こして非対称な構造を形成することに観察の時間スケールに比べ て早いため,STM 像では振よ り更に約 02eVエネル ギーが低 下す る｡ この とき,動が平均化されて対称な構造に観察 されると考えられてHoT
nePa
ge:ht
lP.
//W… JmS.
lSUkuba.
acjp/Jab/shigekawa/index.
html

いるO‑方,低温ではバ ック リングの振動が凍結 され,二つの相の うちいずれかが一面を襟 う静かな海になるも‑ 46‑

韮川秀実 ･三宅晃司 .石 E
EEn:彦 .畠賢治 .小沢聡 ･大井川治宏 .吉崎苑造

781のとされてきた｡実験的には,電子線 回折 (LEED) に中ロで開んであるように二つの隣 り合 うダイマーが同 じ4×2)‑の相転移の観察2㌧
よる〜200Kでの 2×Iか ら C(側 にバ ックル した梯辻 を持 ち,C欠陥9)と同様 にその両00K での広 い範陶にわたる C(4お よび,sTM による〜1側でダイマーのバ ック リングの位相をず らす｡ したが っ×2) 榊進の観察3〜5)
等によ り,一般には,C(4×2) 再桃て, P欠陥が存在する とその片側で,隣 り合 うダイマー(100) 表面の基底状態で ある とされ ている.FJl成が SJ4×2) お よび p(2×2) の間で変化
列 との問の構造が C(論計算の結果で も,C(4×2)構造が最安定相 とされていすることになる｡ しか も,C欠陥 とは異な りp欠陥はダるが,二つの桃造間のエネルギーの差異は lmeV のオイマー列内を移動することが可能で, これによ り二つの)｡いずれにせ よ,低温では単一ーダー と非常に小 さい1相聞での構造変化が生 じる｡ p欠陥を桝成す る二つのダの秩序相が表面を桜 うと考えられている｡

イマーのどち らかが逆側にバ ック リングすることによ り

しか し,最近, これ までの予想に反 して,更に温度を4下げた 6K辺 りの低温において,表面超構造が上記 C(

榔迄が隣にダイマー一つ分移るが, この繰 り返 しによ り
p欠陥の移動が生 じる｡

×2) および p(2×2) の二つの相の間で大き く揺 らぐ様

Fl
g3のモデルに従 うと,C(4×2) お よび p(2×2) 領)｡6K における表面での柵子が STM により観察 された6

域 のダ イマ ー の エ ネ ル ギ ー は そ れ ぞれ ‑2V十2D‑造変化は,ダイマー列内に存在する孤立 したバ ックリン

4H, ‑2V‑2D+4H とな り,わずかではあるが,2Dp欠陥)の位礎的な揺 らぎによ り引き起
グの位相欠陥 (と 4H のエネルギー差が C(4×2),p(2x2)榔進 の安定

0K で も観察 さこされ る｡同様 の位相欠陥 の存在は〜8性を決めることになる｡ もし,C(4×2)構造が最安定相れたが,80Kではダイマー列間の相互作用が強 く,隣であるな ら,Fig,3 (a) では, P欠陥は p(2×2) 仙 こ動

4
り合 うダイマー列上の位相欠陥が対 を作 るな どして C(4×2) 構造 を形成す る方 向に変化す るはずであ
いて C(×2) の桃進が保たれることが明 らかにされた7)｡

る｡実際,〜80K の STM 観察では P欠陥のダイナ ミッ4x2) お よび
本論文では,6K において観案 された C(クスは p(2×2) 榊迄 を持つ領域 をできるだ け減 らす方p(2×2) 二つの相の間の揺 らぎの機構をより明 らかにす00
向を持つ ことが確認 されている7)｡一万 ,6K では〜1p欠陥のダイナ ミッる目的で,6K にお ける位相 欠陥/K と比べて P欠陥の移動がかな り自由に生 じ, Fig･2にクスについてより詳細な観察 と検討を行った｡

2×2)領域が C(4×2)領域 とほぼ同見 られ るよ うに p(等の割合で現れる とされている｡P欠陥の移動は,孤立2
暮実験および結果した位相欠陥の移動を意味 し,一種のフェイゾン的な振Fig.2に 6Kで得 られ た Si
(100)表 面 の STM 像 の例る舞いを示す｡欠陥を形成する二つのダイマーのエネルを示す｡試 料 は P ドー プ,抵抗 〜oolオ ーム,探 針 にg3 (a), (b) の両構造で等 しく, ‑2V十G でギーは Flは W を用 いている｡列の構造が ジグザ グにな って見えある｡先に述べたよ うに, P欠陥が移動す る と,移動 しるのは,ダイマー列にそって交互に異なる向きにバ ックた領域で P欠陥の存在す るダイマー列 とその両側のダリング したダイマーの上側に飛び出た原子が観察 されてイマー列の間で位相が反転 して構造の変化が現れ ること4×2) と p(2×2) の雨桃いるためである｡共存す る C(になる｡ したが って,ダイマー列間の位相の時間変化を進の領域をそれぞれ禄,常色で塗 り分け,拡大 した像を調べ ることに よ りP欠陥の移動の梯子 を追 うことがで併せて示 してある｡ Fig.2に見 られ るよ うに p(2×2) 柄きる｡

進 を持つ領域 の割合は多 く, も し青色の領域 をLFIJLりこ

P欠陥は位相欠陥であ り,(1)C欠陥の片側に C 欠陥

STM で観察 され る と p(2×2)桝造が最安定な榔進 と結2)孤と対をな して存在すると考 えられるものの他に,(立 した状態で欠陥やステ ップか ら導入 された り,また,

L

慧孟苦宝器

賃 三豊三;;芸芸';三三D
5に' =れ ら領域が(3)ペアーで生成することによ り表面に導入 され ると考以前の結果で明 らかにされたよ うに,南柏構造の境界

え られ, これ ら過程 の一部が観察 され ている6,7)｡ ここには位相欠陥が存在 し,相構造の変化に関与 している｡

では,その詳細を解析 した｡

Fig.
3に (a) C(4×2) また は p(2×2) 領 域 内,お よ

表面での実際の柄造変化の様子を見るために同一場F所r

び (b) C(4×2),p(2×2)領域の相境界,それぞれ に存g.4に示す｡(a),(b)で 1分の間隔で取 られた連続像を Fi在す る P型 欠陥をイ ジングス ピンモデルを用いて示 しはそれぞれ,上記 (1), (2)の過程に対応する像である｡

C) にはダイマー間の相互作用のカ ップてある｡ また, (Fig.
4(a) の中央部に明る く見えるのが C 欠陥で, P欠リング定数を示 してある｡第‑原理,および シミュレー陥 を赤色で示 してある｡二つの P欠陥が時間 と共 に右シ ョンによって求めた V,G,H,Dそれぞれの値の絶手か ら左手に進み,下側 の P欠陥は C欠陥に捕 らえ ら

6,3.
6meV で あ る8)｡p欠 陥 は 図
対 値 は,51.
9,40,6.

れ,隣 り合 う三つのダイマーが同 じ側にバ ックリングす‑47‑

表面科学7g2

第 18巻

第 12号

(1997)｡｡
t･T･‑･論 詩 ● I= '(C)==二コ==ーGi̲U̲̲I∨
了一､D‑■
■

一山‑

ニー̲
I
̲

Fig.
3

る C'
欠陥t
D'にな っている｡隣の列の P欠陥はその後 も隣 を過 ぎた後,C(4×2) とp(2×2)の境界 のダイマー左手に進み,ステ ップに吸収される｡ステ ップ端でのバ列上を進み ステ ップに抜 ける｡同 P欠陥を含むダイマ

ック リング柵進の変化を Oで示 してあ り,その変化か ら,一列は,最初,上隣のダイマー列 とp(2×2)･下隣 とC(4p欠陥が吸収された様子がわかるo同 p欠陥は C欠陥の×2)構造を形成 しているが,P欠陥が通過す るこ とに'‑ 48‑

韮川秀実 ･三宅晃司 r石 田炎彦 ･畠よ り, これ ら上下の構造が逆額云したのが見て とれ る｡

賢治 ･小沢聡 ･大井川治宏 ･吉崎発進

783

今の ところ明 らかではないが,周囲の構造に依存す るは

g.
3(a) の P欠陥の場合 と同様 にC欠陥の片側 では Fl

g.3か らわか る よ うに,P欠陥 の周辺 でダずである｡Fip(2×2) 郁迄が形成 され るが,〜100Kでは完全な p(2イマー列間の柄進はかな り異な り,先に述べた よ うに,×2) 構造の ドメイ ンは不安定でバ ック リングの振動 を障壁 の大 きさに差異が存在す ることが期待 され る｡6K

頻 繁 に起 こ して対 象 ダ イ マ ー に な る と考 え られ て いで Fi
g.
3(a), (b) 雨林迄 にお ける p欠陥 のダイナ ミッ

欠陥 を形成 し,完全な p(2る5,8)｡ しか し, ここでは C■

クスに差が出た場合,上記エネルギーに関す る議論か ら×2) 構造 を持つダイマー列が安定に存在 している こ と列間相互作用 の差 を用 いた 80K と同様 の議論は難 しい｡

か ら,6K では,ダイマー列間の相互作用がかな り弱 く

しか し,逆に,列間相互作用が小 さいことを考慮すれば,g.
4(a) に見なっているこ とを示唆 している｡一方,Fi上で述べた障壁 の高 さに対す る情報 を得 られ る可能性が4×2)と p(2×2)の二つの相境界の構造は 〜100
られ る C(あることになる｡位相の欠陥を含む場合の構造は これ ま)｡イ ジングス ピンを用 いたモデKで も見 られ ているL J

で取 り扱われてはお らず,詳細 を明 らかにす るためには,ルに よる と相境界にあたるダイマー列のエネルギーは‑よ り走出的な解析 を可能にす るデータの蓄轍 と,位拍欠

2V で C(4×2) と p(2×2) の領 域 に存在す るダイ マ ー

陥を含む場合の柵迄や障壁 の高 さに対す る理論計算が必が持つエネルギーの中間に位置す る｡したが って,〜 100

要であ る｡ また,各パ ラメー タの温度 依存性 を考 える

Kでは,完全な p(2×2) 配 列 は不 安定 で あ るが,相境00K にお け る現象 を対象 と して求 めた G の値と. 〜1

界の桃道 としては十分安定に存在できる温度領域 となっについて も改めて検討が必要なのか もしれない｡ また,00Kでは列間相ていることにな る｡ いずれ にせ よ,〜1

将来的には長距離に及ぶ相互作用 を考慮す る必要 もあろ4×2) と p(2×2) 構造 の配 列互作 用 が か な り強 く, C(う｡の差が表面桃迄 の安定性 に大 き く関わ ってい る7)｡p型

Fig.
4(b) では,中央部にダイマーが一つ欠損 した A

欠陥が移 動す る と,C(4×2),p(2×2)構造 の間 の面税欠陥が存在す るが,その右手で両隣のダイマー列の関係

FLg3 (a)). 二つの相 の境界が変化す るこ とにな るが (2×2) ーC(4×2)‑p(2×2) と変化 してお り,P欠が p(では P欠陥が移 軌 して も全体 としては南柏 の面柵が変陥が A 欠陥か ら導入 され たか, または吸収 され た こ と

Fig.
3(b)
),P欠陥の移動が容易で,列間相互作化せず (2)の過程であるが,を示 している｡ これは先にあげた (00K では, P欠陥のダイナ ミックスにお用 の大 きい〜 14×2)2 p(2×2) の変 化 が 見 られ る
pの通過 に よ り C(いて相境界が重要な役割 を果たす ことが考え られ る7)｡
Fig.3 (a) で P欠陥を形成す る二つのダイマ‑の内,4×2),p(2×2) 両榊進 のエネ
こ とか ら, ここで も,C(ルギー差が小 さくなっていることが示 されている｡

C(4×2),お よび p(2×2) 領域側 にあるダイマーのエネ

続 いて,Fig.5に対生成,対消滅の過程 を示す｡Fig.
2ル ギ ‑ は,そ れ ぞ れ ,HcニーV+G+2D‑4H,Hp=と同 じく,C(4×2),p(2×2) 両領域 をそれ ぞれ 緑,育‑V+G‑2D+4H となる｡一方 ,Flg.3(b)の境 界に存色で示 してあるがそれぞれ の領域が時間 とともに変化 し在す る p欠陥 を形成 す る二 つのダ イマ ーのエネル ギー

てい るのがわか る｡ 中央部 では緑 の C(4×2) 領域 が現は,それ ぞれ ,HD‑‑V+G と等 しい｡H｡<HB<H,でれ るが,像の左側では逆に消滅 している0両構造 の ドメ

3(a) の C(4×2) 側 とあ り,実験か らは,P欠陥は F唱.

イ ンの境界には赤色の点で示す よ うに P欠陥が存在 し,p(2×2)側 の どち ら側 に も同様 に移動す る｡ したが って,これ ら孤立 した P欠陥の移 動,生 成 ･消滅 と相 の変 化

Hcと Hpの差は各ダイマーがバ ック リングを反転 させ る

g5 (a) の中央部 にあが対応す ることが確認で きる｡Fi

確立にはほ とん ど効かない ことになる｡一方,ダイマー

g.5 (b) のる Plが,2ダイマーユニ ッ ト分移 動 して Fiが反転す る際に越 えねばな らない障壁の高 さに関 してはpl'になる とともに隣 のダイマ ー 列 に P2,P3の対 がFi
g･1 SchematlCSOftheSl(100)‑C(4×2)and‑p(2×2)Struclures･Fi
g･2 STM imageofSi(100)sur
fac
eobs
en′edat6K (Vs=1･5V,Js=1･5nA)･A,Teaswi
thc(4×2)andp(2×2)arr
angeme
nt
sar
ecol
ore
dbygr
eena
ndbl
ue,r
es
pect
ive
l
y･Ma
gni
Rc
at
i
onsoft
het
woa
r
easar
es
hownt
oget
her
･
Fi
g.
3 Schematic
soft
hePdefects,aphas
ede
fectf
or
me
donadlmerr
ow,indicate
dbyt
heJslngspi
nmodeL;(a)inac(4×2)/p(2×2)reglOn,(b)onadi
rnerr
ow a
Hheboundar
ybet
weenc
(4×2)andp(2×2)arr
ange
menl
S,and(C)c
oupl
i
ngc
ons
tan【sbeL
weenl
si
ngs
plnS
･
Fig･
4 STM image
sorth
edynamic
sofPdef
ect
sobt
ai
ne
dinac
onhnuousscans(Vs=115V,Is=15nA)･Eachareaint
hei
m‑age
sshowsthechangeduringabou(onemlnUt
e･Pdefect
sar
ei
ndi
catedbyT
edd tsFi
g･5 STM I
magesOft
hedynamlC
SOrPdefectsobt
ainedinacont
lnuOuSscans(Vs=115V,Js=115nA)
･Ea
char
ealnt
hei
m‑age
ss
howst
hec
han
gedur
lnga
boutoneml
nUt
ePdef
ect
sar
ei
ndi
cate
dbyr
eddoI
S･Paircr
eatl
Ona
nda
nnihllati
onofthePdefectsareshown.
o‑49‑I

784

表 面科学

第18巻

第12号

(1997)

関係が実際に 6Kで観察 された結果に対応 している可能性 もある｡その場合,理論計算の結果は〜100K近辺での強い列間相互作用を再現する機構 とは異なる可能性 も
あ り,Si(100)表面の超構造を相互作用の温度依存性 まp(2x2)C(4x2)で含 めて も う一度検討 し直す 必要があるもの と思われ

Fig.
6 Sc
hematl
COfap
ot
enti
aLmod
elf
oraSi(100)sur
facedimerinc(4×2)andp(2×2)arrange
ments,

る｡
最初に述べたように,常温での対称ダイマーは,バ ックリングの早い振動が平均化されて現れた見かけ上の構生 じている｡Plの移動だけであれば pl
̀の両側で位相造 と考え られている｡ しか し,光電子分光の結果は,ダが p(2×2) か ら C(4×2) に変 化す るはずであるが, こイマー列に沿 って,反強磁性的な,互いにバ ック リング

こでは隣の列に P2,P3が現れ てい るた め,Pl'の左の向きが交互に逆転 した構造を取るとして計算 したバン側では相は C(4×2) のままにな っている｡また,FI菖.
5

EEDの結果 も,ダイマード桃進に一致す る")｡また,Lg.
5(b) では消滅(a) の左側 にある二つ の P欠陥が Fi

列に沿った構造の秩序は常温近辺で もかな り保たれてい

し,それ とともに C(4×2)構造 の領域 も p(2×2)構造ることを示 している2㌧ 一方, P欠陥の速い移動 によ りに変化 している｡先のペアーの生成の所で,Plの移動ダイマー列が STM で対象ダイマー として観察 される とに伴 って P2,P3が生成 された可能性 もあるが,〜100

考えると,ダイマー列の多 くの領域は反強磁性的な構造

K辺 りの様 子に比べ る と多 くの例 で P欠陥はか な り自を保ち,ダイマー列に沿 っては常温近辺でも反強磁性的由に動き回 ってお り,Fig.
4の結果 と併せてダイマー列間の相互作用はかな り弱い といえる｡

な構造 を取る とす る光電子分光1■)
やLEEDZ)の結果 ともLEEDで観察 された 200K近辺か らの相転移,即ち熱的に励起 されバ ック リングの位相が乱れて C(4×2) と p一致することになる｡ したが って,対称ダイマーの構造も p欠陥のダイナ ミックスに よ り説明 され る可能性が商い｡現在,詳細を検討中である'2)｡(2×2) が共存する構造か ら,バ ック リングの振動が凍3.ま4×2)構造‑の変化は,〜100K近辺で結 した単一の C(の STM による観察結果 とも良 く一致す る｡実際,80Kとめ

6Kにおけるダイマー構造の位相欠陥 (p欠陥)のダ

では列間相互作用が強 く,た とえ p欠陥が導入 され て

イナ ミックスを STM 観察の結果を もとに検討 した｡ま)｡ したがも C(4×2)構造を保つ ことが確認 されている7ず,孤立 した P欠陥の生成 ･消滅等が 明瞭 に観察 されって,6Kでの揺 らぎは,〜100Kで一度消えた p(2×2)構造が,更に温度 を下げることによ り〜6Kで再び現れた｡対生成 ･消滅の他に,ステ ップ端やダイマー欠損にることを意味 してお り,通常の (秩序 ･無秩序)相転移れた｡ダイマー間相互作用 の考察か ら,6K近辺の低温の機構だ けでは説明が付かない.一つの可能性 として2×2)構造が再び現れる現象は,通常の秩序 ･領域で p(よる欠陥が,P欠陥の導入 .吸収源になる梯子 も確認 さは,〜100Kか ら 6K辺 りの低温に向けてダイマー聞相

無秩序転移だけでは説明がつかず,ダイマー列間の相互互作用 に強い温度依存性が存在す ることが考 え られ る

作用 に温度依存性 を組み込む必要があることが示 され(Fig.
6)｡近接相互作用 のみ を考慮す る Fig.
3(C) のイジングスピンのモデルでは,両相の安定性は先に述べたた｡今後,定量的な検討を行 うためには,P欠･脇 のダイよ うに 2H‑
4D とい う項の正負 によ り決まってお り,最依存性を含めた理論計算 との比較が緊急の課題である｡

ナ ミックスに関する, より詳細なデータの蓄積 と,温度近接相互作用 のみ を考慮す る場合には,H/Dの変化が本研究は筑波大学先端学際領域研究セ ンター (TARA現象を支配する可能性が強い｡実際,6K において も,センター)室川プロジェク トにおいて行われたものであ構造の変化は全 く無秩序なバ ック リングの変化によるのる｡また,低塩での測定では,ユニ ソク株式会社の協力

ではな く,P欠陥の導入を通 して生 じていることを考えを得た｡

ると,ダイマー列内に沿 ったダイマー間の相互作用の関係は低温で も保たれていることが示唆 される｡いずれに文

献せよ,これまでに得 られている理論計算の値は絶対 0度の ものであ り,実は今回測定の行われた 6Kの状態に近い｡第一原理の計算によれば,南柏のエネルギー差が I
mevのオーダーであれば,両相の安定性 を断定することはかな り困難で,得 られている微妙なエネルギー蓋の⊥50‑1)A･Ra
mslad,G･B一oc
ksandP･J･Ke
lly:Phys･Rev･B51,
14505(1995).
2)M.Kubot
aandY.
Murata:Phys.
Rev.
B49,4810(1994)
.
3)R.
Wol
kow:Phys.
Rev･L
e1
1.
68,2636(1992)･

玉川秀実 ･三宅晃司 ･石田英彦 .畠 賢治 .小沢 聴 ･大井川治宏 ･吉崎発進

4)AISmilh,F,Men,K ChaoandC.Shlh:I.Vac.Sc)
Technol･B14,914(1996)
5)H･Tochihara.
T･Amakusaa
ndM.I
walSuki:Phys.Rev.B
50,12262(1994)
6)H･Shigekawa,K･Mi
yake,M.ls
hida,K.Hata,H Oi‑gawa,Y･Na
nnl
Chj,A･Ka
wazu,R.
YoshJ
Zaki,T.Abe,T.
Oz
awaa
ndT･Nagamura:JJpn･AppLPhys･35,L1081(1996).
7)H Shigekawa.K･Ml
yake,MITshlda,K･Ha
ta:JIJpn.
AppLPhys,36,L294(1997),7858)Y･Na
kamura,H KawaiandM.Nakayama:Phys.Rev.B52,8231(1995).
9)RJ Ha
mersa
ndUK･Kohler:∫Vac･Sci･Technol･A7,2854(1989).
,R,Yoshl‑10)M･Uc
hikawa,M.I
shida,K.Mi
yake,K.Ha
tazakjandH,
Shlgekawa.
Surf.
Scj,357/358,468(1996).
ll)J･E･Nor
lhrup.
･Phys･Rev･
B47,10032(1993)
12)H･Shi
gekawa,K･Ha
ta,K･Mj
yake,M,)shidaandS･Oza
wa:Phys･Re
v･B55,15448(1997)
I

一二51‑