システム
製品SystemProducts
産業用
Industrial

実験用
Experimental

検査システム／ステージ検査について
Kohzu Stage Inspection Standards

累積リード誤差（位置決め精度）
Accumulated Lead Error (Positioning Accuracy)

手動精密
ステージ
ManualStage

レーザ測長器Laser length measuring machine

X・XY
X・XY

理論値
Theoretical value

ZZ

実測値
Measured value

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

誤差△lError△l

自動精密ステージ
Motorized
Stage

誤差△ＬError△Ｌ
移動距離Moving distance

X・XY
X・XY

ZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

The positioning accuracy depends on errors in six degree offreedom. In a case of a linear positioning stage, thepositioning accuracy is influenced by angular error (pitch,yaw, and roll), straightness (vertical and horizontal), and thelead error. Here is defined the positioning error is came fromthe lead error of screw as one of main reason and it isaccumulated when the linear stage moves unidirectional
within the full stroke. That’s why it is called as “Accumulated
Lead Error (ALE).” It is difference between a real output andideal / calculated input. When the linear stage makes
positioning in each position by each commanded values,
there is an error between them. It is measured andc a l c u l a t e d l i ke f o l l o w i n g ; ( A c t u a l d i s p l a c e m e n t ) –(Commanded displacement value). The maximum deviation
within the full stroke is defined as the ALE.

繰返し位置決め精度
Repeatability
レーザ測長器Laser length measuring machine

アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController

基準点（端点）から、一方向に一定間隔で順次位置決めを行い、それぞれの位置決め地点での測定値（基準点から実際に移動した位置）と指令値（指令した実際に移動すべき位置）との差をテーブルの移動範囲で測定し、その差分の最大差を累積リード誤差（位置決め精度）としています。

Maximum error
最大差

自動Xステージ
Motorized X stage

ドライバボックス
DriverBox
アプリ
ケーション
Application

同じ方向からの任意の1点（基準とする測定点）に位置決めし、その位置を測定します。この測定点に対して7回の測定を行い、その最大差を求めます。この操作を所定の位置で行い、求めた値の最大値の1/2に±を付けた値を、繰返し位置決め精度としています。
ただし、所定の位置とは、Xステージは中央・両端の３点で、スイベル及びZステージは中央の１点とします。
Positioning is repeated 7 times at an arbitrary point fromthe same direction, the stop position is measured. Perform
this operation on three (3) points: at the center and at bothends. Then multiply the maximum deviation by 1/2.
Repeatability is indicated by adding ± to one half of themaximum deviation. The load is only a corner cube placedon the center of the table.
レーザ測長器Laser length measuring machine

モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix
オートコリメータ
Autocollimator

アクセ
サリー
Accessories

自動スイベルステージ
Motorized Swivel stage

検査システムInspection
SystemP-002

P.indd 2CONTACT

自動Zステージ
Motorized Z stage

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 19:52

システム
製品SystemProducts
産業用Industrial

ロストモーション
Lost Motion

実験用Experimental

レーザ測長器Laser length measuring machine

L1'
L2'
L3'

L1L4'

所定の位置（基準とする測定位置）に対して、正の向き（モーター回転CW方向）から位置決めし、その位置を測定します（L1）。
さらに正の向きに移動させた後、負の向き（モーター回転CCW方向）に同量の指令を与え移動させて位置決めし、その位置を測定します（L1'）。
さらに負の向きに移動させた後、正の向きに同量の指令を与え、移動させて位置決めし、その位置を測定します（L2）。
この位置決め測定を、正の向き・負の向きで7回行い、それぞれの差分を求め、その値を平均化し、そして所定の位置の中での最大値をロストモーションとしています。
ただし、所定の位置とは、Xステージは中央・両端の３点で、スイベル及びZステージは中央の１点とします。

L2
L3
L4

自動Xステージ
Motorized X stageAround a defined position, a stage moves in back andfor th displacement with the same command (sameamount of pulse).
The back and forth displacement takes place 7 times,
and the difference between the average displacement(back and forth in 7 times) is determined. This should bemeasured at center and both ends of motion, and themaximum difference is defined as the "Lost Motion".

手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転
Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

L1'
L1

L2

L3L2'

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
L3'

L4

アライ
メントステージ
XYθ
真空ステージ
VacuumStage

オートコリメータ
Autocollimator

自動スイベルステージ
Motorized Swivel stage

レーザ測長器Laser length measuring machine

制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver

L4'

L3'

L4

L2'

L3

モーター
ケーブル
Motor
Cable

L1'

L2

付録
Appendix

L1

自動Zステージ
Motorized Z stage

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

P.indd 3

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemP-003

2022/07/28 19:52

システム
製品SystemProducts
産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage

検査システム／ステージ検査について
Kohzu Stage Inspection Standards

真直度（垂直成分）
Straightness (Within the vertical plane)
手動・自動Xステージ
Manual & Motorized
X Stage真直度（水平成分）
Straightness (Within the horizontal plane)
手動・自動Xステージ
Manual & Motorized X Stage

X・XY
X・XY

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密
ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ

基準線
Baseline

＋Δ Z2

＋Δ Z1

移動距離

Moving Distance

変位量Horizontal displacement

回転Rotation

変位量Vertical displacement

ZZ

基準線
Baseline＋Δ Z2＋Δ Z1

移動距離Moving Distance

基準位置から一方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置での垂直方向（vertical）、水平方向(horizontal)変位長さと基準位置との差を測定し、測定値の始点・終点を結んだ直線からの変位の最大差を真直度とします。
真直度は垂直成分と水平成分があります。それぞれの成分の最大値をステージの真直度としています。
Place a reference plane (such as a straight edge) on the table top face, trace a displacement gauge in the table moving
range, and obtain the maximum value of displacement from the straight line that connects the start point and the end
point. This value is defined as straightness.
The straightness has a vertical component and a horizontal component. The maximum value of each component is definedas the stage straightness.

垂直度（2方向）
Verticality (two directions)

真空ステージ
VacuumStage

変位計
Indicator
石スコヤ
Stone
standard square

制御装置
Control
Electronics

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

手動・自動Zステージ
Manual & Motorized Z Stage

ストローク端Stroke end

Displacement

ドライバ
ボックス
Driver
Box

変位量

モーター
コントローラ
Motor
Controller

ΔL

移動距離 Moving Distance

テーブル上面に取り付けた変位計で、石スコヤの鉛直基準面をテーブルの移動範囲内で一定方向へなぞらせ、変位の最大値を垂直度としています。
An indicator is set up at the table so that it touches the perpendicular surface of the standard square, and then it israised while measuring the displacement.
Displacement when moving from the starting point of one stroke end (displacement 0) to the opposite stroke end isdefined as verticality.

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemP-004

P.indd 4

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 19:52

システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

バックラッシュBacklash

実験用Experimental

テーブルをORG位置または移動範囲の中央を基準位置とし、基準位置に移動する際の送り方向と同一な方向に規定の負荷を加えたあと、負荷をはずします。
基準位置と負荷をはずしたあとの位置の差をバックラッシュとしています。

負荷Loadレーザ測長器Laser length measuring machine

自動Xステージ
Motorized X stage

Linear Stage (X, XY, Z)
The backlash is defined as the remained value shown by theindicator after applying a force 1 kg to the same direction of
the last displacement of stage with a push gauge andreleasing it. For example, the indicator is attached to theedge of a table after the stage moves 5 mm to motor sidefrom the original position. After the setting, the 1 kg force isapplied to the same direction and released. The remainedvalue indicator shows is the backlash.
Swivel Stage (Goniometer)
The table is moved from the anti-motor side to the centerand is stopped. The position is read with an autocollimator,
and the position is used as a reference. The table ispushed with a force of 1 kg in the tangential direction ofthe arc, motor side direction, then the force is released.
The value of the autocollimator is defined as the backlashfor swivel stage.

負荷
LoadZZ

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転
Rotation

アライメントステージXYθ

自動スイベルステージ
Motorized Swivel stage

自動回転ステージ
Motorized Rotation stage

X・XY
X・XY

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

オートコリメータ
Autocollimator

負荷Load

手動精密ステージ
ManualStage

任意の位置を基準点と定め、基準位置に移動する際の送り方向と同一の接線方向に規定の負荷を加えたあと、負荷をはずします。基準位置と負荷をはずしたあとの位置の差をバックラッシュとしています。

真空ステージ
VacuumStage

Rotation Stage
The table is rotated clockwise and stopped at an arbitrary
angular position which is taken as an origin. Then, a 1kg
force is applied tangentially in the clockwise direction
from the external portion by means of a push gauge andthe push gauge is released. The backlash is defined as
the angular difference between the origin and the position
where the table stops after releasing the force.

モーター
コントローラ
Motor
Controller

制御装置
ControlElectronics

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

P.indd 5P-005

2022/07/28 19:52

システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

実験用
Experimental

検査システム／ステージ検査について
Kohzu Stage Inspection Standards

モーメント剛性（ロール剛性）
Moment Load Stiffness (Roll Direction)

手動精密ステージ
ManualStage

テーブルをORG位置または移動範囲の中央に止め、任意のモーメント剛性（軸はずし荷重）をかけた際の、テーブル上面の変位した角度(単位N・cmあたり)をモーメント剛性としています。

負荷
Load

X・XY
X・XY

When an force in the roll direction is applied, the tabletilts. Momentum Load is defined as the tilt angle of thetable per momentum unit. Units are [ arcsec / N·cm ].

Δθ

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

手動・自動Xステージ
Manual & Motorized X Stage

自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

負荷
LoadZZΔθ
回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージXYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics

手動・自動スイベルステージ
Manual & Motorized Swivel StageWe define this parameter as table tilting under an off
table center load (load of W kg is applied to the table at adistance l cm, perpendicular to the rotation axis from thetable center). Units are [ arcsec / N·cm ].

負荷
LoadΔθ

モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application

手動・自動回転ステージ
Manual & Motorized Rotation Stage

モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
SystemP-006

P.indd 6CONTACT

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 19:52

システム
製品SystemProducts
産業用
Industrial

回転中心変位量Rotation Center Error

実験用
Experimental

テーブル上方の実際の回転軸に基準点を設置し、テーブル全移動範囲を動作させたとき、基準点の振れをCCDカメラで追い、その振れ量を回転中心変位量としています。

手動・自動スイベルステージ
Manual & Motorized Swivel Stage

CCD カメラ
CCD camera

Set a reference point on the actual rotation axis above
the table and while operating the table in the full moving
range, follow the deflection of the reference point with aCCD camera. The amount of deflection is defined as therotation center error.

手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

ワークディスタンス
Work Distance

ZZ

手動・自動スイベルステージ
Manual & Motorizedl Swivel Stage

CCD カメラ
CCD camera

回転中心変位量測定時に設けた基準点から、テーブル上面の距離をワークディスタンスとしています。

回転Rotation

The distance from the reference point set for measuring
the rotating center displacement to the table top face isdefined as the working distance.

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックスDriverBox

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
ステージを水平に設置したときに、テーブル中心にかけられる限界荷重としています。
（精度保証ができる限界の荷重です。）
A limit load is applied at the center of the table when thetable is installed horizontally.
All specification of the table can be guaranteed.

注）設置状態によって耐荷重は変化します、お客様の使用条件にもよりますので、詳しくは弊社営業部までお問い合せください。

Note 1: In a case where an excessive load is to beapplied, please consult with us, first.
Note 2: The withstand load varies with the installation
state. The value depends also on the customer's
operating conditions. For details, contact our sales
department.

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspectionSystem

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

P.indd 7P-007

2022/07/28 19:52

システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

実験用
Experimental

検査システム／ステージ検査について
Kohzu Stage Inspection Standards
自動回転ステージ
Motorized Rotation Stage

エンコーダ
Encoder

手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

自動回転ステージ（θステージ）の累積誤差、ロストモーション、角度再現性及びピッチ誤差の精度検査は、エンコーダ（左図）を用いて検査を実施しています。

回転Rotation

An encoder (shown in the left figure) is used for
precision inspections of the accumulated lead error,
lost motion, angle repeatability, and pitch error of
motorized rotary stage (θstage).

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

累積誤差
Accumulated Lead Error
任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い、それぞれの位置決め地点での測定値（基準点から実際に移動した位置）と指令値（指令した実際に移動すべき位置）との差を360°で測定し、その最大差を累積誤差としています（左図の△L）。

回転Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

誤差ErrorL

アライ
メントステージ
XYθ90°

真空ステージ
VacuumStage

180°

ドライバ
ボックスDriverBox360°

自動回転ステージ
Motorized Rotation Stage

ロストモーション
Lost Motion

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver

復路
Motion Backward ロストモーション
Lost motion

モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

誤差Error
終点
Arrival Point

アクセ
サリー
Accessories

P.indd 8

折返点
Turning Point

往路
Motion Forward
出発点
Departure Point

自動回転ステージ
Motorized Rotation Stage

検査システムInspection
SystemP-008

An error as shown in the left diagram appears in aninterval of one worm wheel rotation (360°).
Accumulated Lead Error = △L

テーブル（ウォームホイール）1回転
Table (Worm Wheel) rotation angle

制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController

270°

CONTACT任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い1回転測定したあと、反転させ同様に基準点まで測定します。
それぞれの位置決め地点での往路と復路の位置の最大差をロストモーションとしています。
※ Xステージのロストモーションと定義が異なります。
※ タンジェントバー式回転ステージのロストモーションの定義は、自動スイベルステージと同様です。
When moving rotation stage from 0° to 360° or viceversa, maximum error between motion forward andmotion backward is defined as lost motion.
※ The definition of lost motion is difference to X linear stage’s.
※ The definition of lost motion of tangent- bar lead mechanism
motorized rotation stage is same as motorized swivel stage.

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 19:52

システム
製品
SystemProducts

角度再現性
Angular Repeatability
第2折返点
SecondTurning Point

出発点
Departure
Point

第1復路
First
Motion Backward

角度再現性
AngularRepeatability

第2往路
Second Motion Forward

第1折返点
First
Turning Point

第1往路
First
Motion Forward

自動回転ステージ
Motorized Rotation Stage

ピッチ誤差
Pitch Error

誤差
Error

L
90°

180°

270°

ウォーム軸1回転Worm shaft rotation angle

360°

自動回転ステージ
Motorized Rotation Stage

任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い1回転目を測定したあと、反転させ基準点まで戻します。
その後、更に反転させ1回転目と同様に2回転目の測定を行います。
それぞれの位置決め地点での1回転目と2回転目の最大差を角度再現性としています。
※ タンジェントバー式回転ステージの角度再現性の定義は、自動スイベルステージの繰返し位置決め精度と同様です。
The angular repeatability is defined as the maximum difference(regardless of the direction) when a rotation stage rotates twiceof full turns of CW and CCW direction. The difference iscalculated by comparing actual positioning in each angle fromthe first and second same directional rotation, and a bigger
difference from CW and CCW rotations is defined as themaximum difference and same as the angular repeatability.
※ The definition of angular repeatability of tangent-bar leadmechanism motorized rotation stage is same as motorizedswivel stage.
任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い、それぞれの位置決め地点での測定値（基準点から実際に移動した位置）と指令値（指令した実際に移動すべき位置）との差をウォームホイールの1歯（ウォーム軸1回転）分の範囲で測定し、その最大差（左図のΔL）をピッチ誤差としています。

実験用Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

Speed reduction ratio in the worm wheel used for our rotation
stage is basically 1 / 180. This means that the gear has 180
teeth at the circumference. This defines the extent of deviationfrom the standard 2° 00' 00'' for each tooth.

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

面振れSurface Runout

アライ
メントステージ
XYθ

手動・自動回転ステージ
Manual & Motorized Rotation Stage

偏心Eccentricity

手動・自動回転ステージ
Manual & Motorized Rotation Stage

真空ステージ
VacuumStage

テーブルを1回転させ、上面の外周付近で上下方向の変位を測定し、その最大差を面振れとしています。
※ タンジェントバー式は回転範囲（フルストローク）で測定しています。
An indicator is placed into contact in the vicinity of external
periphery of the table, and a measurement is made at 36
points for every 10°.
Maximum error ( peak to peak ) is obtained. This value is thesum of deviations resulting from surface runout errors and thatderive from finished table surface irregularities.
※ The surface runout of tangent-bar lead mechanism rotation
stage is measured in full stroke angular range.

制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application

テーブルを1回転させ、回転軸の水平方向の変位を測定し、その測定値の最大差を偏心としています。
※ タンジェントバー式は回転範囲（フルストローク）で測定しています。
The inner diameter as a reference is provided in the main shaft.
During final assembly, displacement of this inner diameter ismeasured with an indicator. This value is the sum of roundness
deviations of the inner diameter and eccentricity, and we define
this value as eccentricity (only for Mont-Blanc series).
※ T he eccentricity of tangent-bar lead mechanism rotation
stage is measured in full stroke angular range.

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

P.indd 9

産業用
Industrialモーター
ドライバ
MotorDriverモーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendixアクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

P-009

2022/07/28 19:52