システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZ
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics

薄型アライメントステージガイダンス
Understanging Motorized XYθ Stage

スペック表の精度についてUnderstaging Specifications
検査システム（P-002〜）を参照して下さい。
See “Kohzu Stage Inspection Standards” section, page P-002〜

送り⽅式
Lead Mechanism●タンジェントバー⽅式（ボールネジ） Tangent-Bar System (Ball Screw)
回転軸から伸びたバーの先端にボールネジで接線⽅向に直線変位を与えることで回転運動を作っています。回転範囲は狭くなりますが、⾼分解能と耐久性の両⽴を兼ね備えています。
Rotary movement is generated by applying linear displacement to the bar tip extending from the rotary axis in thetangential direction by means of a ball screw. This is the optimum feed system when the rotation range is small but a finerotaty movement at a high resolution is required.
・YRA シリーズのθ軸の分解能は、以下の計算式から求められます。
Δθs = tan-1（Δθ･P
360･R･m）Δθs ：分解能（°）Δθ ：モーターの基本ステップ角（°）
Ｐ ：ボールネジのリード（ｍｍ）
Ｒ ：タンジェントバーの⻑さ（mm）
ｍ ：マイクロステップの分割数注）原点（0°）からの計算式です。

・Resolution of θ axis is calculated based on the formulabelow.

（Δθs = tan-1Δθ･P
360･R･m）Δθs ：Resolution（°）Δθ ：Basic step angle of motor（°）
Ｐ ：Feed screw lead（mm）
Ｒ ：Length of tangent-bar（mm）
ｍ ：Division number of micro step
Note: Angular motion is calculated from origin point（0°）.

タンジェントバーの⻑さ：R（mm）
Length of Tangent-Bar : R (mm)型式

Model Number
YRA-070
YRA-071
YRA-131
YRA-200

Ｒ
454585115

モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
SystemL-002

L.indd 2

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2023/08/07 16:43

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製品
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産業用
Industrial

薄型アライメントステージの取り扱い
Notes for Motorized XYθ Stage <YRA series>

実験用
Experimental

1. 本製品は、精密部品で製作されています。丁寧な取り扱いをお願いいたします。
Do not apply strong impact to the stage because it is assembled precisely.
衝撃や過⼤な負荷を受けると、精度に影響するばかりでなく、破損する恐れがありますのでご注意をお願いいたします。
Take care of strong impact or overload, because it leads to not only deterioration of positioning accuracy, but also
serious damage.
2. 本製品のテーブル上⾯に、お客様でご⽤意された「搭載品を脱着する」際は、製品付属（出荷時は側⾯装着）の「脱着&運搬時使⽤治具を取り付けた状態」で搭載品の脱着を⾏って下さい。
 o not remove the yellow–labelled plate mounted on the side during mounting some parts on the stage. This plate
Dprotects the stage from excessive torque in screw fastening.
製品出荷時
Factorydefault

搭載品の⼀例（□70mm プレート）

搭載品脱着時In mounting
some parts

Mounting some parts(e.g.)

脱着&運搬時使⽤治具（製品付属）

治具（製品付属）は取り付けたまま

Yellow-labelled plate (attached parts) for mount and carryKeep to mount the Yellow-labelled plate (attached parts)

脱着&運搬時使⽤治具を取り付けずに搭載品の脱着を⾏いますと、θテーブルが回転して衝撃が加わり精度に影響を及ぼす恐れがあります。
Do not remove the yellow-labelled plate mounted on the side during mounting some parts on the stage. This plate
protects the stage from excessive torque in screw fastening and prevents from rotating the theta axis.
・搭載品脱着の際、取り付けネジを締め過ぎないように注意して下さい。参考値、M4ネジの締付トルク=3.4N･m。
Please note the maximum allowable fixing torque (Reference value: screw size M4 = 3.4N·m)
・本製品のテーブルサイズを超える範囲で搭載品の脱着を⾏う際は、治具等を製作し「製品の回転⽅向への負荷を軽減させる」対策を⾏って下さい。
If size of mounting parts is over the table size while mounting, prepare to reduce the road of rotation direction withusing some suitable tools.
3. 動作前には必ず製品付属の脱着&運搬時使⽤治具を取り外してご使⽤下さい。

Mounting some parts(e.g.)

動作時
In useZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
DriverBox
アプリ
ケーション
Application

Remove the yellow-labeled plate after mounting some parts.
搭載品の⼀例（□70mm プレート）

X・XY
X・XY

自動精密
ステージ
Motorized
Stage

⼯具の⽀点に⼿を添えてボルトを緩め、または締めて下さい
Fasten screws with putting a
thumb on the supporting pointof a hexagonal wrench. It helps
to control fixing torque lessthan the allowable torque.

搭載品脱着後After somemounting parts

手動精密
ステージ
ManualStage

治具(製品付属)を取り外す
Remove the yellow-labeled plate (attached parts)

モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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L-003

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