WORKSHOP AND COMMITTEE REPORT

三極ワークショップサテライト−Nanoscience with X-rays−報告

財団法人高輝度光科学研究センター
利用研究促進部門
木村 滋

三極ミーティング（2008年３月18、19日）のサテ

JASRIの自主事業として「ナノテクノロジー支援領

ライトワークショップの１つとして、Nanoscience域」を重点領域に指定して、ナノテクノロジー研究with X-raysが前日の３月17日に開催された。本ワを支援している。これらナノテク研究推進に共通しークショップはSPring-8が開催を提案し、APS、ている点は、これまでの放射光研究は、どちらかとESRFが承認する形で行われた。オーガナイザーは、いうと装置開発研究が主になってきたが、ナノテク

Isaacs氏（APS）、Susini氏（ESRF）、および筆者研究では問題解決型の研究が重要になってくるといが勤めた。本ワークショップはナノサイエンス、ナう点である。そのために重要なのが、複数の手法

ノテクノロジーの分野における放射光利用研究につ（複数のビームライン、TEM、SPMなどの放射光以いて、サイエンスと装置開発の両側から新規な研究外の評価手法）にどのようにアクセスするか、といについて討論し、共同研究の機会を探ることを目的

う点であり、どこの施設でもこれを可能にする方法として開催された。正確な参加人数は把握できていを検討している。その点で、CNMは、TEM、SPMないが、30〜40名ほどの参加者があり、活発な議論などの評価装置、EB露光装置などの微細加工装置、が行われた。発表内容については文末に示すプログ

各種製膜装置を備えており、非常にうらやましい環

ラムを参照していただくとして、ここでは筆者の感境であった。

想を中心に報告する。

次に、技術開発に関する課題としては、照射ダメ全体的な印象として、APS、ESRF、SPring-8のージの克服と試料のマニュピレーションに関する技

すべての施設において、ナノサイエンス、ナノテク術が重要視されているように感じた。特に、集光しノロジー研究が今後の放射光研究の大きな柱の１つたナノビームを利用する場合、フラックス密度が非になっているということが確認できた。APSに関し常に高くなっており、照射ダメージの問題がソフては、米国エネルギー省が整備している５つのナノト・バイオマテリアル関係では深刻な問題になってテク研究拠点のうちの１つ、Center for NanoscaleMaterials（CNM）がAPSに隣接して建設されており（図１）、ナノテク研究を強力に推進する体制が整いつつある。また、CNMの１つの設備として
Sector 26に「硬X線ナノプローブ」ビームラインが新規に整備され、ちょうど最初のユーザー実験が開始されるとのことであった。ESRFでは昨年度に作成されたパープルブックとよばれる2008〜2017年度のアップグレードプログラムに５つの分野が選定されているが、その１つにナノサイエンス、ナノテクノロジー分野が含まれており、今後、ビームラインの整備も含めてナノテク研究を推進していくようである。一方、SPring-8では昨年度までの５年間、文部科学省の「ナノテクノロジー総合支援プロジェクト」を実施し、放射光を利用したナノテクノロジー研究がかなり進んでいる。また、今年度からも272 SPring-8 Information／Vol.13 No.3 MAY 2008

図1 APS放射光リングとCNM。手前の建物がCNMで、Electronic & Magnetic, Materials & Devices,Nanobio Interface, Nanofabrication Nanophotonics,Theory & Modeling, X-ray Microscopyの６つのグループが活動している。

研究会等報告いる。現状、試料を冷却することぐらいしか有効な解決策がなく一番の関心事となっていた。試料のマニュピレーションに関しては、Comin氏（ESRF）
からSPMとX線測定を組み合わせて、その場測定を行う取り組みについて発表があったが、ナノスケールの試料をどのように観察し、ハンドリングするかは今後の開発が必要不可欠な技術であろう。
今後の研究開発の取り組みの方向性として、非常に注目を集めたのが、高田氏（理研）の発表した「ピンポイント構造計測」であった。時分割測定とマイクロ／ナノビーム計測の統合はどの施設でも目標にしている計測であり、高田氏の発表はかなり先進的なものであった。これについては、Isaacs氏に

図2三極ミーティングで報告をするIsaacs氏

より行われた本サテライトミーティングの報告（三極ミーティング内）でも最も重要なトピックスとし14:00て取り上げられた（図２）。
これまで、ナノテクノロジー研究に関わる放射光

Z. Cai, APS, ANL
14:30

Nanocatalysis

15:00

Nanoscale phenomena near phase transitions

施設の研究者が集まる今回のようなワークショップは無かったため、お互いの顔を知る、という意味でX-ray diffraction in nanostructures

S. Vajda, CSE/CNM

今回のワークショップは非常に有意義なものであっ

M. Holt, CNMた。これを機に各施設との情報交換が進むことを期

15:30

break

待している。

15:45

Diffraction with nm-spatial and ps-time resolution
M. Takata, RIKEN

プログラム

16:15

Nano-diffraction at ESRF

16:45

Workshop summary and discussion

Morning session - J. Susini, chair
08:50

Welcome and workshop objectives
E. Isaacs, CNM

09:00

C. Riekel, ESRF
All

Hard x-ray nanoprobe and nanofocus
G.B. Stephenson, MSD/CNM

09:30

Nano-engineering platforms / challenges
J. Susini, ESRF

10:00

break

10:15

Coherent diffraction imaging

10:45

Q. Shen, APS, ANL
Scanning probes/x-ray nanoprobe integration

木村 滋 KIMURA Shigeru（財）高輝度光科学研究センター 利用研究促進部門〒679-5198 兵庫県佐用郡佐用町光都1-1-1
TEL：0791-58-0919 FAX：0791-58-0830

F. Comin, ESRF
11:15

Imaging tomography using zone platesK. Uesugi, JASRI

11:45

Nanotechnology program at SPring-8
S. Kimura, JASRI

12:15

lunch and discussions at the Guest House（no-host）

Afternoon session - S. Kimura, chair
13:30

Surface, interface and nanoscale structure
O. Sakata, JASRI
SPring-8 利用者情報／2008年５月 273