WORKSHOP AND COMMITTEE REPORT

3-Way X-ray Optics Workshop (XOW) IVの報告

財団法人高輝度光科学研究センター
ビームライン・技術部門 大橋 治彦
第10回三極ミーティング（2006年６月20日〜21日）に先立ち、第４回X線光学ワークショップ（XOW-した。J. Maser（APS）は、WSi2/Siの1588層の多層膜をスライスしたラウエレンズにより、効率33％

IV, Organizers : C. Morawe, S. Goto, A. Macrander,の集光性能を示した。またO. Hignette（ESRF）は、

C. Brun, E. Jahn and D. Davison）が、2006年６月

台形平面ミラーの機械ベントによる手法で非球面19日にESRFにて開催された。本ワークショップはKB集光系を構築し、41nmのプロファイルを得てお三極ミーティングの分科会として位置づけられ、り、ID19、ID22でユーザ利用されていることを報ESRF、APSそしてSPring-8におけるX線光学分野告した。また、APSとESRFでは、新しい多層膜成の情報交換や人材交流を目的としている。2001年11

膜装置の開発状況がそれぞれの担当者から詳細に報月にESRFで第１回が開催され、2003年５月にAPS、告された。K. Tamasaku（SPring-8）は、ダイヤモ

2004年11月にSPring-8にて開催されている。今回のンド表面を機械研磨に加え、大阪大学で開発された参加者は30名弱であった（写真１）。

PCVM（Plasma Chemical Vaporization Machining）

最初に、S. Goto（SPring-8）, A. Macrander（APS）そして C. Morawe（ESRF）が、各施設の処理することで、ロッキングカーブの裾ダレの解消を示した。

光学系の現状を紹介した。ナノフォーカス光学系は光学素子のオフラインでの評価については、前いずれの施設においてもホットトピックスであり、回のワークショップ（XOW-Ⅲ、2004年11月 於

引き続きひとつのセッションが設けられた。

SPring-8）に引き続き、Round Robin Testの現状

H. Mimura（Osaka Univ.）は独自開発の研磨方をA. Macrander（APS）, A. Rommeveaux（ESRF）,法により製作した高精度非球面ミラーによりH. Ohashi（SPring-8）が報告した。X線用のさま

SPring-8で25nmの集光結果を示し、応用例としてざまな仕様のミラーを３つの施設で持ちまわり

蛍光X線分析による細胞内の元素マッピングを紹介

round

写真１

robin 、表面形状（slope error, figure

3-Way X-ray Optics Workshop IVの参加者

277 SPring-8 Information／Vol.11 No.4 JULY 2006

研究会等報告

error）、粗さ（microroughness）を対象に、測定や解析方法の標準化を議論しつつ、現場担当者相

optics at ESRF O. Hignette（ESRF）
11:10-11:30

Nanometer focusing of X-rays using

互の技術交流を深めている。昨年まで実施された

diffractive optics: concept, limits and１st Round Robinでは、２枚の高精度平面ミラーと、approaches J. Maser（APS）

1m長のトロイダルミラーについて、三施設の計測11:30-11:50

結果が見事に一致することが示された。２nd Round

Silicon nano-focusing lenses for highenergy X-rays A. Snigirev（ESRF）

Robinではナノフォーカスを実現した高精度楕円面

11:50-13:00

ミラーが測定対象とされた。現状で入手しうる最もSession 3（Chair: S. Goto）

高精度なX線非球面ミラーに対して、現在の標準的

13:00-13:20

Round-Robin results of SPring-8

13:20-13:40

Results of aspheric Round-Robinな測定装置（Long Trace Profiler : LTP）による計測限界がいよいよ強く認識され、共通の評価技術開H. Ohashi（SPring-8）

発が話題となった。

measurements and other developments at

講演会に引き続き、全体討論が行われ、データ、

the APS metrology laboratory A.

ソフトウエア、サンプル、スタッフのさらなる協力体制の推進が合意された。具体的テーマとしてX線

LunchMacrander（APS）
13:40-14:00

Second Round-Robin between the APS,

ミラーのRound Robin Testの継続、多層膜テスト

SPring-8 and ESRF metrology

試料の交換などが今後実施される。また、Be窓、

laboratories focused on aspheric mirrors

研磨手法、1kmビームラインでの実験なども議論となった。

A. Rommeveaux（ESRF）
14:00-14:20

ESRFの光学グループ・ラボの見学ツアーでは、

Reflectivity and stress responses of
W/B4C and Ru/B4C multilayers upon

既存の多層膜成膜装置、結晶の研磨・加工室や光学

isothermal treatment C. Borel（ESRF）

素子評価用クリーンルームに加えて、新規導入の大14:20-14:50

型多層膜成膜装置用の実験室（建設中）を案内されSession 4 （Chair: A. Macrander）

た。ESRFでは建屋も含め新規投資が着実に進めら

14:50-15:10

Results from and design of the APS rotary

15:10-15:30

Design and status of the new ESRF

れている点が印象的であった。その後、Grenobleの夜景が一望できるBastille城址で深夜まで親交を温deposition system R. Conley（APS）め合った。次回は2007年にAPSでの開催が予定され

multilayer deposition system J.-C. Peffenている。

（ESRF）
15:30-15:50

３-Way X-ray Optics Workshop（XOW）
IV program
08:40-08:45

Coffee break + Posters （Entrance Hall)

Welcome C. Morawe（ESRF）

Characterization of IIa diamond K.
Tamasaku（SPring-8）

15:50-16:10

Status of the characterization of HPHT

Session１（Chair: A. Freund）

type IIa diamonds for X-ray optical

08:45-09:10 Overview of optics at SPring-8 S. Goto

applications at the ESRF J. Härtwig（SPring-8）（ESRF）

09:10-09:35 Optics fabrication and metrology at the

16:10-17:00

Posters + Discussion（Entrance Hall）

APS: a status report A. Macrander

17:00-18:30

Optics Laboratories Visits（APS）

19:30-22:30

Dinner at the Bastille in Grenoble

09:35-10:00

Overview of optics development at ESRF

10:00-10:30

Coffee break + Posters（Entrance Hall）

C. Morawe（ESRF）
Session２（Chair: C. Morawe）
10:30-10:50

Hard X-ray nano-focusing with ultra
precisely figured mirrors H. Mimura

大橋 治彦 OHASHI Haruhiko（財）
高輝度光科学研究センター ビームライン・技術部門〒679-5198 兵庫県佐用郡佐用町光都1-1-1
TEL : 0791-58-0831 FAX : 0791-58-0830
e-mail : hohashi@spring8.or.jp（Osaka University）
10:50-11:10

Nanofocusing programme with reflective
SPring-8 利用者情報／2006年７月 278