GPS 安全性要約書整理番号 JIPS_MSP_GS-104

GPS/JIPS 安全性要約書
1. 物質名 （SUBSTANCE NAME）
六フッ化エタン ( CAS 番号 76-16-4 )2. 物質の概要 （GENERAL STATEMENT）
六フッ化エタンは常温で安定な無色、無臭の不燃性ガスであり、温室効果ガスに指定されています。取扱いにあたっては、酸欠及び高圧ガスの注意が必要です。
当社の六フッ化エタンは、クリーニングガスとして半導体製造工程に利用される高品質のガスです。

3. 化学的特性 （CHEMICAL IDENTITY）
項目
化学名又は一般名
製品名
別名CAS 番号
その他の番号
化学式等
構造式

内容
六フッ化エタン
高純度 FC-116
パーフルオロエタン、ヘクサフルオロエタン、FC-116
76-16-4
官報公示整理番号 化審法： (2)-88 安衛法： 既存化学物質
C2F6

出典・備考

株式会社レゾナック発行の SDS 第 3 項

FF CFFC FF

4. 使用・用途と適用 （USES AND APPLICATIONS）
主な用途

当社の六フッ化エタンは、高品質の半導体材料用ガスとして、エッチングガス、クリーニングガスに利用されます。 その他の用途として、六フッ化エタンは冷媒等にも用いられることがあります。

5. 物理化学的特性 （PHYSICAL/CHEMICAL PROPERTIES）
六フッ化エタンは、常温・常圧において無色の気体です。
外観色
臭い
融点/沸点
引火点
自然発火点
蒸気圧
相対蒸気密度 (20 ℃)
相対密度
水への溶解度
出典・備考

液化ガス
無色
エーテル臭
-100.6 ℃ / -78.15 ℃
不燃性
870 ℃
3.03 MPa (19.7 ℃)
4.8 (空気=1､21.1℃）
1.109（0℃、液体）
水に不溶
株式会社レゾナック発行のSDS第9項

Page 1/5

GPS 安全性要約書整理番号 JIPS_MSP_GS-104

6. ヒト健康影響 （HEALTH EFFECTS）
危険有害性項目急性毒性(経口)急性毒性(経皮)
急性毒性(吸入：気体)
急性毒性(吸入：蒸気)
急性毒性(吸入：粉じん、ミスト)
皮膚腐食性／刺激性眼に対する重篤な損傷性／眼刺激性
呼吸器感作性
皮膚感作性
生殖細胞変異原性
発がん性
生殖毒性
特定標的臓器毒性(単回ばく露)
特定標的臓器毒性(反復ばく露)
誤えん有害性
出典・備考

GHSによる分類結果および評価コメント
分類できない分類できない分類できない区分に該当しない（非該当）
区分に該当しない（非該当）
分類できない分類できない分類できない分類できない分類できない分類できない分類できない分類できない分類できない区分に該当しない（非該当）
株式会社レゾナック発行のSDS第11項

・GHS (Globally Harmonized System of Classification and Labelling of Chemicals)： 世界的に統一されたルールに従い、化学品を危険有害性の種類と程度により分類し、その情報をラベルで表示し、安全データシートを提供したりするシス
テムです。
・区分に該当しない(非該当）：GHSで定義される物理的性質に該当しないため、当該区分での分類の対象となっていません。
・区分に該当しない：GHS分類を行うのに十分な情報が得られており、分類を行った結果、GHSで規定するいずれの区分にも該当しないと考えられます。
・分類できない：分類を確定するための十分に信頼性のあるデータがなく、分類できません。

7. 環境影響 （ENVIRONMENTAL EFFECTS）
危険有害性項目
水生環境有害性 短期（急性）
水生環境有害性 長期（慢性）オゾン層への有害性
出典・備考
環境中の運命・動態
土壌中の移動性
残留性・分解性
生体蓄積性

PBT/vPvBの結論

その他
出典・備考

GHSによる分類結果および評価コメント
分類できない分類できない分類できない株式会社レゾナック発行のSDS第12項

Koc=200
情報なし
LogPow=2.0
BCF=10
生体蓄積性は低いと考えられます。
PBT（環境中に残留し、高い生物蓄積性と強い毒性を有する）、vPvB（環境中に非常に残留しやすく、非常に高い生物蓄積性を有する）には該当しないと考えられます。
温室効果ガス(地球温暖化係数 GWP(100年)12200(IPCC2007))
株式会社レゾナック発行のSDS第12項

Page 2/5

GPS 安全性要約書整理番号 JIPS_MSP_GS-104

8. ばく露 （EXPOSURE）
詳細
作業者ばく露消費者ばく露環境ばく露

注意事項

ばく露の可能性
当該物質は、閉鎖系プロセスで製造され、使用されるので、製造作業者へのばく露の可能性は極めて限られます。ただし、サンプリング作業等を行う場合は、吸入や皮膚・眼との接触の可能性があります。
当該物質は、一般消費者にて使用されることはありません。
当該物質は、閉鎖系プロセスで製造、使用されるので環境への放出は極めて限られます。当該物質は常温及び常圧で気体であり、環境へ放出された場合は、大気中に分配されると考えられます。
他の用途におけるばく露の可能性がある場合、推奨するリスク管理措置を参考に適切な措置を実施して下さい。

9. 推奨するリスク管理措置 （RISK MANAGEMENT RECOMMENDATIONS）
推奨するリスク管理措置により、8項のばく露シナリオによる作業者、消費者及び環境に対するリスクは、最小化可能と考えられます。
詳細
作業者

消費者

環境

特記事項（漏出時の緊急措置など）
注意事項

推奨するリスク管理措置
技術的対策
当該物質を取扱う際には、手洗い、洗眼器及び安全シャワーを設置した上で、以下のような技術的対策を行って下さい。
局所排気・全体換気
製造・使用場所においては、局所排気装置、全体換気装置を設けるなどして、酸欠対策を行って下さい。
保護具
作業の際は、適切な保護眼鏡、送気マスク、及びヘキサフルオロエタンが透過しない材料の衣類・保護手袋を着用して下さい。
注意事項
作業責任者は、作業者に適切な保護具の選択や正しい使用方法、または作業現場の管理方法などの教育をして下さい。
通常、当該物質が一般消費者にて使用されることはありませんが、もし使用する場合は、上記「作業者暴露」と同様のリスク管理措置を行って下さい。
環境へのばく露を防止するために、使用後のヘキサフルオロエタンを含むガスは除害設備を用いて処理をするなど、大気への漏洩防止対策を講じるとともに、日常管理、取扱いに注意して下さい。
漏出した場合には、必ず保護具を着用し、適切に対応して下さい。廃棄の際には、関係法令に基づき処理して下さい。
通常での取扱い、緊急時対応、廃棄時、輸送時の管理措置は、株式会社レゾナック発行のSDSの4,5,6,7,8,13,14項を参照して下さい。

10. 政府機関のレビュー状況 （STATE AGENCY REVIEW）
国際機関、各国当局によるレビュー
IPCS
国際化学物質安全性カード（国際化学物質安全性計画） 情報なし
高生産量化学物質(HPV chemicals)点検計画
OECD
https://hpvchemicals.oecd.org/UI/Search.aspx（経済協力開発機構）
NITE-CHRIP（NITE化学物質総合情報提供システム）

https://www.nite.go.jp/chem/chrip/chrip_search/srhInput

Page 3/5

GPS 安全性要約書整理番号 JIPS_MSP_GS-104

政府によるGHS分類結果

https://www.nite.go.jp/chem/ghs/09-mhlw-0136.html

11. 法規制情報／GHS分類情報・ラベル情報（REGULATORY INFORMATION／GHS CLASSIFICATION AND
INFORMATION）

LABELLING

法規制情報
適用法令

規制状況

労働安全衛生法

通知対象物質ではありません

毒物及び劇物取締法

通知対象物質ではありません

船舶安全法

高圧ガス・非引火性非毒性高圧ガス（危規則第２，３条危険物告示別表第１）

航空法

高圧ガス・非引火性非毒性高圧ガス（施行規則第１９４条危険物
告示別表第１）

港則法

その他の危険物・高圧ガス（法第２１条第２項、規則第１２条、危険物の種類を定める告示別表）

道路法

車両の通行の制限（施行令第１９条の１３、（独）日本高速道路保有・債務返済機構公示第１２号・別表第２）

高圧ガス保安法

化学物質排出把握管理促進法（ＰＲＴＲ法）
地球温暖化対策推進法

フロンＲ－１１６
液化ガス（法第２条３）
液化ガス
不活性ガス（一般高圧ガス保安規則第２条４）
フルオロカーボン
通知対象物質ではありません

国連分類
国連番号

温室効果ガス・パーフルオロカーボン（法第２条第３項第５号、施行令第２条）
パーフルオロエタン
2.2
UN2193 HEXAFLUOROETHANE (REFRIGERANT GAS R 116)

GHS 分類情報
物理化学的危険性

高圧ガス 液化ガス

ラベル情報
絵表示又はシンボル

注意喚起語
危険有害性情報

警告
高圧ガス：熱すると爆発のおそれ (H280)

12. 連絡先 （CONTACT INFORMATION）
会社名
住所
担当部門
電話番号 / ファックス番号

株式会社レゾナック
神奈川県川崎市幸区大宮町1310
ミューザ川崎セントラルタワー23階
情報電子化学品事業部 ファイン製品部
044-520-1362 / 044-520-1366

Page 4/5

GPS 安全性要約書整理番号 JIPS_MSP_GS-104

13. 発行・改訂日、その他の情報（DATE OF ISSUE / REVISION, ADDITIONAL INFORMATION）
発行日： 2013年12月17日
改訂：改訂日2020年12月28日
2021年12月28日
2023年 1月 1日

改訂項目
3, 5, 6, 7, 10, 11, 12
5, 7, 93,5,6,7,9,12,13
11

改訂箇所
最新情報に更新
最新情報に更新
社名等変更
最新情報に更新

版
rev.2
rev.3
rev.4

記載の情報は、2023年1月1日 改訂版の安全データシート（SDS）に基づいています。

14. 免責条項 （DISCLAIMER）
安全性要約書は、化学産業界の自主的化学物質管理の取組み（GPS/JIPS：Japan Initiative ofProduct Stewardship）の一環として作成されたものです。安全性要約書の目的は、対象品に関する安全な取扱いに関する情報を概要として提供することであり、リスク評価のプロセス及びヒト健康や環境への影響などの専門的な情報を提供するものではありません。 また、安全データシート（SDS）や化学品安全性報告書（CSR）などのリスク評価に代わる文書として作成されたものではありません。本安全性要約書は、発行時点で入手可能な法令、資料、情報等のデータに基づいて、できる限り正確な記載に努めておりますが、すべてのデータを網羅したわけではありません。また、いかなる保証をするものでもありません。

Page 5/5