オープンタイプ
リニアエンコーダ

06/2021

オープンタイプリニアエンコーダ

リニアエンコーダは、機械に直接取付けて直線軸の位置を測定します。これにより、次のよ
うに考えられる多くの誤差要因を除去することができます。
• ボールねじの熱膨張による位置決め誤差• 方向反転誤差• ボールねじのピッチ誤差による動的誤差
このように、リニアエンコーダは高精度位置決めと高速加工の要求を満たす機械に必要不可
欠と言えます。

オープンタイプリニアエンコーダは、高い精度が要求される機器に使用されています。その主な用途は下記の通りです。
• 半導体産業用計測装置および製造装置• PCB基板実装装置• 光学部品用ダイアモンド旋盤、磁気記憶ディ
スク用表面旋盤、フェライト部品用研磨装置などの超精密機械用• 高精度工作機械• 計測機械、コンパレータ、計測顕微鏡およびその他の精密測定機器• ダイレクトドライブ搭載機

目次

機械的デザインオープンタイプリニアエンコーダは、ガラスス
ケールまたはスケールテープおよび走査ヘッドから構成され、非接触で走査します。
オープンタイプリニアエンコーダのスケールは取付面に直接取付けられます。したがって高精度を実現するためには、取付け面の高い平坦度が必要となります。

概要
オープンタイプリニアエンコーダ

2

選択の手引き

4

測定の原理

8

信頼性

12

測定精度

14

エンコーダ型式別取付け

17

機械的仕様

21

機能安全

22

LIC 4113、LIC 4193

24

LIC 4115、LIC 4195

26

LIC 4117、LIC 4197

28

LIC 4119、LIC 4199

30

LIC 4119 FS

32

LIC 3117、LIC 3197

34

LIC 3119、LIC 3199

36

LIC 2117、LIC 2197

38

LIC 2119、LIC 2199

40

LIP 38242

LIP 211、LIP 281、LIP 291

44

LIP 6071、LIP 6081

46

LIF 471、LIF 481

48

LIDA 473、LIDA 483

50

LIDA 475、LIDA 485

52

LIDA 477、LIDA 487

54

LIDA 479、LIDA 489

56

LIDA 277、LIDA 287

58

LIDA 279、LIDA 289

60

PP 281 R

62

インターフェース

64

診断・検査機器71

インターフェースユニット

73

技術的特性

仕様
アブソリュート位置測定用

高精度用

高速制御用

その他、以下についての資料もご用意しております。製品の詳しい情報は、弊社までお問い
合わせください。
• ベアリング内蔵角度エンコーダ• 光学走査方式組込み型角度エンコーダ• 磁気走査方式組込み型角度エンコーダ• ロータリエンコーダ• サーボモータ用エンコーダ• NC工作機械向けリニアエンコーダ• インターフェースユニット

関連資料:

このカタログの発行により、前版カタログとの差替えをお願いいたします。
ハイデンハインへの注文は契約時の最新カ
タログを御覧ください。
ISO、IEC、ENなどの規格はカタログに明記されているものに限ります。

各インターフェースおよび電気的仕様に関しての詳しい説明は、カタログ
ハイデンハインエンコーダのインターフェース(ID 1078628-xx)を参照してください。
ケーブルに関しての詳しい説明は、カタログ
ケーブル・コネクタ (ID 1206103-xx)を参照
してください。

2軸座標測定用
電気的接続

選択の手引きアブソリュートエンコーダ

アブソリュート位置値測定
オープンタイプリニアエンコーダLICシリーズは、
最長28 mの測定長において高速での絶対位置測定を可能にしています。

真空アプリケーション用エンコーダ
ハイデンハインの標準的なエンコーダは低、中真空度で使用することができます。高真空および超高真空での用途で使用するエンコーダ
は、真空のための特別な要件を満たす必要があります。設計と使用される部材は真空に適合させなければなりません。さらに詳しい情報は、
技術情報真空技術のためのリニアエンコーダ
を参照してください。

基準精度
精度等級
LIC 4100
超高精度用

1)

±1 µm
±3 µm
±5 µm

LIC 3100
高精度用

内挿精度

測定長

インターフェース 型式

ページ±20 nm

240 mm ～3040 mm

EnDat 2.2

LIC 4113
LIC 4113 V

245)

LIC 4193
LIC 4193 V

挟ピッチ精度≦ ±0.275 µm/ ガラスまたはガラスセラミックを
接着テープにより取付け面に固定
10 mm
もしくはクランプ留め≦ ±0.750 µm/ アルミ固定ホルダにスケールテープを挿入し両端をテンション留め
50 mm
(標準値)

±20 nm

±3 µm
2)
±5 µm
±15 µm2)≦ ±0.750 µm/ スケールテープをアルミホルダに挿入し取付け
50 mm(標準値)±20 nm±3 µm
3)±15 µm≦ ±0.750 µm/ スケールテープを接着テープにより取付け面に直接貼付
50 mm
(標準値)

±20 nm±5 µm

リニアエンコーダLIC 4113 VとLIC 4193 Vは、高真空用に設計されています。さらに詳しい
情報は、各製品情報を参照してください。

スケール本体と取付け

3)±15 µm≦ ±0.750 µm/ スケールテープをアルミホルダに挿入し中央クランプ留め
50 mm
(標準値)

±100 nm

140 mm ～28 440 mm

EnDat 2.2

LIC 41155)

LIC 4195

240 mm ～6040 mm

EnDat 2.2

LIC 41175)

LIC 4197

70 mm ～
1020 mm

EnDat 2.2

LIC 41195)

LIC 4199

70 mm ～
1820 mm

EnDat 2.2

LIC 4119

32

最長
10 000 mm

EnDat 2.2

LIC 3117

34

5)

LIC 3197

EnDat 2.2

LIC 31195)

LIC 3199

EnDat 2.2

LIC 2117

5)

LIC 2197

EnDat 2.2

LIC 21195)

LIC 2199

スケールテープを接着テープにより取付け面に直接貼付
LIC 2100
取付けが容易

±15 µm±15 µm1)
2)4

最大測定長(ML) = 1640 mm
測定長(ML) = 1240 mmから選択可––

スケールテープをアルミホルダに挿入し取付けスケールテープを接着テープにより取付け面に直接貼付

±2 µm

±2 µm

3)

LIC 41x3

120 mm ～3020 mm
120 mm ～3020 mm±5 µm 後続電子部で直線誤差補正後
ハイデンハイン製インターフェースユニット使用時
5)
ファナックÞiインタフェース、三菱、パナソニック、安川

26

28

30

LIC 41x5

LIC 41x7

LIC 31x938
LIC 21x7

40

LIC 21x94)

5

選択の手引き
インクリメンタルエンコーダ

超高精度オープンタイプリニアエンコーダLIPは、超高精度と高い繰り返し精度、そして超高分解能を特徴としています。OPTODUR位相格子目盛を干渉走査方式により測定します。リニアエン
コーダLIP 211とLIP 291は位置値情報をシリ
アルデータで出力します。正弦波の走査信号
は、走査ヘッド内で内挿分割され内蔵のカウン
タ機能により位置値に変換されます。全てのインクリメンタルエンコーダと同様に絶対的な基準値はスケールの原点を用いて確立します。
高精度
オープンタイプリニアエンコーダLIFは、
SUPRADUR製法によって形成されたスケール
本体を干渉走査方式により測定します。高精度と高い繰り返し精度を特徴としています。取付けも簡単です。また、リミットスイッチ機能とホーミング機能も利用できます。特別バージョンのLIF 481 Vは、最大10–5 Paまでの高真空度での使用が可能です。
(別途、製品情報を参照ください)
高速対応
オープンタイプリニアエンコーダLIDAは、10 m/s
までの高速制御用として設計されており、用途により取付け方法を選択することができます。
METALLUR目盛のスケールには用途に応じてスチールテープ、ガラス、ガラスセラミックを使用しています。リミットスイッチ機能も搭載し
ています。

基準精度

スケール本体と取付け

内挿精度

信号周期 測定長

インター
フェース

型式

ページ

≦ ±0.075 µm/ インバー材にZerodurガラスセラミック
5 mmが固定されており、そのインバー材をねじ留め±0.01 nm0.128 µm 70 mm ～270 mm» 1 VPPLIP 38242≦ ±0.125 µm/ Zerodurガラスセラミックを
5 mm
クランプ留め±0.4 nm0.512 µm 20 mm ～3040 mm

EnDat 2.2

LIP 211» 1 VPPLIP 281

精度等級1) 挟ピッチ精度
LIP
超高精度用

3)

±0.5 µm±1 µm2)±3 µm

7)

LIP 38244

ファナックÞi LIP 291
インタフェース
三菱

LIF
高精度用

±1 µm5)±3 µm≦ ±0.175 µm/ Zerodurガラスセラミックまたはガラス
5 mm
スケールを接着テープもしくは取付けクランプにより固定

8)≦ ±0.175 µm/ Zerodurガラスセラミックまたはガラス
5 mm
スケールを接着テープもしくは取付けクランプにより固定–≦ ±0.225 µm/ Zerodurガラスセラミックまたはガラス
5 mm
スケールをPRECIMET接着テープで
固定

–

±1 µm
±3 µm

5)

±1 µm
±3 µm

LIDA
高速制御と長尺測定用

2軸座標測定2軸座標測定用エンコーダPPは、平面ガラスにTITANID製法(DIADUR製法を直交させる)によって形成された位相格子を干渉走査方式
により測定します。そのため、同時に平面2軸の位置検出が可能です。

9)

±1 µm
±3 µm
±5 µm

≦ ±0.275 µm/ ガラスセラミックまたはガラスを接着テープにより取付け面に直接貼付
10 mm

±5 µm

≦ ±0.750 µm/ アルミ固定ホルダにスケールテープを挿入し両端をテンション留め
50 mm
(標準値)

2)

±3 µm
±5 µm
±15 µm6)2)≦ ±0.750 µm/ スケールテープをアルミホルダに挿入し取付け
50 mm
(標準値)

–
±4 nm

4 µm

±12 nm4 µm±12 nm–20 µm±45 nm–20 µm±45 nm–20 µm±45 nm–±3 µm
±15 µm6)≦ ±0.750 µm/ スケールテープを接着テープにより取付け面に直接貼付
50 mm
(標準値)

±45 nm±15 µm––

スケールテープをアルミホルダに挿入し取付け

4 µm

20 µm

200 µm±2 µm
±15 µm–

スケールテープを接着テープにより取付け面に直接貼付–

200 µm±2 µm
PP
2軸座標測定用±2 µm–

ガラスプレートを接着固定±12 nm7)

1)

5)

2)

6)

任意の1 mの区間または測定長1 m以下において(精度等級)
最大測定長(ML) = 1020 mm もしくは 1040 mm
3)
これ以上の精度等級の製品についてはお問い合わせください
4)
他の測定長/測定範囲についてはお問い合わせください

4 µm

20 mm ～
3040 mm« TTL

LIP 6071» 1 VPPLIP 6081« TTL

LIF 171» 1 VPPLIF 181« TTL

LIF 471» 1 VPPLIF 481
LIF 481 V« TTL

LIDA 473 50» 1 VPPLIDA 483« TTL

LIDA 475 52» 1 VPPLIDA 485

240 mm ～6040 mm« TTL

LIDA 477 54» 1 VPPLIDA 487

最長
6000 mm4)« TTL

LIDA 479 56» 1 VPPLIDA 489

70 mm ～
3040 mm4)
70 mm ～
1640 mm

240 mm ～3040 mm
140 mm ～30 040 mm

46

LIP 281

製品情報を参照
LIP 6081

48

LIF 481

LIDA 489

最長
« TTL
4)
10 000 mm» 1 VPPLIDA 277 58

最長
« TTL
4)
10 000 mm» 1 VPPLIDA 279 60

測定範囲:» 1 VPP
68 x 68 mm4)

PP 281

LIDA 287

LIDA 287

LIDA 28962

測定長ML 1020 mmまでのZerodurガラスセラミックのみ± 5 µm 後続電子部で直線誤差補正後
7)ハイデンハイン製インターフェースユニット使用時
8)
最大測定長(ML) = 1640 mm
9)
測定長ML 1640 mmまでのRobaxガラスセラミックのみ
PP 28167

測定の原理スケール本体ハイデンハインエンコーダは光学走査方式を採用しており、格子構造で形成される目盛をスケール本体に使用しています。これらの目盛は、ガラスまたはスチール上に精密に形成されます。長尺測定用のスケールには、スチー
ルテープが使われています。
ハイデンハインは特別に開発された各種フォト
リソグラフィー製法により精密目盛を製造しています。
• METALLUR:
金の表面に汚れに耐性を持った20 µmの金属の目盛を構成• SUPRADUR:
汚れに対して特に強い平面構造の光学三次元位相格子目盛、目盛周期は8 µmまたはそれ以下
• OPTODUR:
特に高い反射率を持つ平面構造の光学三次元位相格子目盛、目盛周期は通常2 µm
以下• TITANID:
極めて頑強で高い反射率を持つ光学三次元位相格子目盛、目盛周期は8 µm

アブソリュート測定方式

インクリメンタル測定方式

アブソリュート測定方式では、電源をONするとすぐにエンコーダからの位置情報を入手でき、また後続電子部によって随時呼び出すことが可能です。原点位置を探すために軸を移動させる必要はありません。そのアブソリュート位
置値情報は、連続したアブソリュートコード構
造として形成されたスケール目盛から読み出されます。独立したインクリメンタルトラックは、
位置値用に内挿されると同時に、有効なインクリメンタル信号を発生させるために使用されます。(インターフェースにより異なります)

インクリメンタル測定方式では、目盛は周期的な構造になっています。位置情報は、個々の基点からの増加量(測定ステップ数)をカウントすることによって得られます。ただし、測定上の絶対位置を確立するためには、絶対的となる基準が必要となります。その絶対的な基準を確立するため、スケールには原点を備えた
補助トラックが設けられています。絶対位置を確立することのできる原点は、正確に1信号周期分に同期するよう作られています。このように絶対的な基準を確立するために、原点を走査する必要があります。

ある状況においては、原点を見つけるために、測定長全長を通過させる必要があります。そのような「原点復帰」を迅速に、かつ容易に行うために、多くのエンコーダでは、絶対番地化
原点(数学的アルゴリズムに従って個々に間隔を設けた多重原点)を用意しています。隣接す
る2つの原点を通過、すなわち数ミリの移動のみで、後続電子機器では絶対的な基準点を見つけることができます(下表参照)。
絶対番地化原点付きリニアエンコーダは、型式名の後に「C」を付けています(例: LIF 181 C)。
絶対番地化原点を使用する場合、絶対的な基準は2つの原点間の信号周期をカウントする
ことにより、以下の式を使用して算出されます。

P1 = (abs R–sgn R–1) x N + (sgn R–sgn D) x abs MRR
22

これらの各製法は、精巧かつ均一に極めて微細な格子間隔を形成することができます。これらの格子は鮮明なエッジを形成しています。
光電走査方式とともに、これらの特徴が高い
品質の出力信号を得るために重要です。

ここでR = 2 x MRR–N

ハイデンハインは、独自の製造技術により高精度なマスター目盛を製造しています。

記号の意味:
P1 =	最初に通過した原点の位置(信号周期で表記)N=	2つの原点の間の基本信号周期の数(下表参照)

abs = アブソリュート値D=	移動方向 (+1 または –1)。
走査ユニットが右方向(正しく取付けられている場合)へ移動する場合は+1。

sgn =	サイン関数 (“+1” または “–1”)MRR =	通過した原点間の信号周期の数

アブソリュートリニアエンコーダの目盛

アブソリュートトラックとインクリメンタルトラックの概念図(例: LIC 411x)8

インクリメンタルリニアエンコーダの目盛

信号周期

基本信号周期の数N

最大移動距離LIF 1x1 C

4 µm

5000

20 mm

LIDA 4x3 C

20 µm

1000

20 mm

絶対番地化原点付きインクリメンタル目盛の概念図(例: LIDA 4x3 C)

9

光電走査

ほとんどのハイデンハインのエンコーダでは、
光電走査方式を使用しています。光電走査は非接触で摩耗がありません。光電走査では、
わずか数µm幅以下の極めて細い目盛でも信号検出を行い、非常に小さい信号周期の信号を出力します。
スケール本体の格子間隔が微細であるほど、光の回折は大きくなります。ハイデンハインでは、この回折の有無により、二種類の走査方式を使用しています。
• 投影走査方式(格子間隔10 µm ～ 200 µmに適用)• 干渉走査方式(例えば、格子間隔4 µm以下の微細目盛に適用)

投影走査方式
投影走査方式は、間隔の等しい2つの格子(スケール側と走査レチクル側)へ光を投射し、相対的に移動させることで得られる投影光の強弱を信号とする方式です。走査レチクル側の目盛は、透明な材質上に付けられますが、スケール側の目盛は透明材質(透過型)か、反射材質上(反射型)に付けられます。

信号周期360° elec.

平行な光が格子を通過すると、特定の間隔で明るい面と暗い面が投影されます。そこに同じ格子間隔を持つ相手格子(走査レチクル側)が置かれています。2つの格子が互いに相対移動すると、入射光は変調します。格子の無い部分が揃うと、光は通過しますが、一方の格子の目盛が他方の目盛の無い部分に一致す
ると光は通過しません。投影光を受ける複数の受光素子はこれら光の強さの変化を、電気信号(出力信号)に変換します。走査レチクルの格子は、出力信号が正弦波波形となるように作られています。格子構造の格子間隔が細かいほど、走査レチクルとスケール間の距離は狭くなり、公差も厳しくなります。実用的な取付
け公差を考慮し、格子間隔が10 µm以上のエンコーダで投影走査方式が用いられています。

センサは、ほぼ正弦波に近い電流信号として、互いに90°の位相差を持つ4つの信号(I0°、I90°、I180°、I270°)を生成します。これらの走査信号は、ゼロレベルラインに対しては対称になっていません。そのため、受光素子は逆並列接続されており、互いに90°の位相差を持つ、ゼロレベルラインに対し対称となる2つの出力信号I 1およびI 2を生成します。
オシロスコープのX/Y表示では、リサージュ
波形として表示されます。理想的な出力信号は真円です。真円に対する位置偏差は
位置誤差によるため、測定結果に直接影響します。円の大きさの変化はある特定の範囲であれば測定精度に影響を与えません。

干渉走査方式
干渉走査方式では、細かい目盛に当たる光の回折と干渉を利用して移動を測定する信号を作り出します。
スケール本体には高さ0.2 µmの段状の格子が平坦な面に施されています。走査レチクル(スケールと同じ格子間隔を持つ透明な位相格子)は、そのスケール本体の正面にあります。
光が走査レチクルを通過すると、ほぼ同等の光度を持つ反射回折次数+1、0、–1の3つの部分波に回折されます。その部分波はさらにスケールにより回折され、反射回折次数+1と–1として検出されます。これらの部分波は再び
走査レチクルの位相格子で回折干渉し、3つの位相差がある波が作られます。これらは異なる
角度で走査レチクルを透過し、受光素子がこれら光の強さの変化を電気信号に変換します。

干渉走査方式は、格子間隔が8 µm、4 µm、それより微細のエンコーダに採用されています。その走査信号は基本波以外の調波をほとんど含まないため、高倍率で内挿できます。
そのため、これらのエンコーダは、高分解能および高精度の要求を満たすことができます。
それにもかかわらず、干渉走査方式は実用に適した取付け公差も満たします。
リニアエンコーダLIPとLIF、および2軸座標測
定エンコーダPPには、干渉走査方式が採用されています。

スケールと走査レチクルの相対移動によって、回折された部分波の移動が得られます。格子が1間隔分移動すると、次数1の波は1波長分、正方向に移動し、次数–1の波は1波長分、負方向に移動します。2つの波は、格子を出る時に互いに干渉するので、相対的に波長2つ分
位相シフトすることになります。この結果、1格子間隔分の相対移動から2信号周期分の位相シフトが生じることになります。

リニアエンコーダLICとLIDAには、投影走査方式が採用されています。

90°
elec.

位相差
出力信号のX/Yグラフ

スケール

ウィンドウ

配列センサ

スケール

回折次数
–1 0
+1

DIADUR位相格子付きスケール

コンデンサレンズ

LED光源

走査レチクル
コンデンサレンズ
目盛間隔
インデックス格子

LED光源

スチールテープを用いた投影走査方式とシングルフィールド走査による光電走査(LIDA 400)

10

走査レチクル:
透過位相格子

受光素子

干渉走査方式とシングルフィールド走査による光電走査

11

信頼性

硬質な格子構造
オープンタイプリニアエンコーダは、そのデザイ
ン上、時に厳しい環境にさらされます。そのため、ハイデンハインでは特別な製法による強固な目盛格子を作成しています。
OPTODURおよびSUPRADUR製法では、まず、反射一次層の上に透過層が形成され、そして極めて薄い硬質なクロム層による三次元の位相格子が形成されます。投影走査方式を採用している場合には、これと似た構造を持つMETALLUR製法によって目盛が作成されます。反射層は、薄いガラス層で覆われ、その上には吸収体として機能するクロムの目盛の層が形成されます。数ナノメートルの厚さのため、クロム層は半透過です。OPTODUR、
SUPRADURまたはMETALLUR製法で製作された目盛は、特に汚れに対して優れた効力を発揮します。形成された格子の段差が低く、
特に塵、埃、水分などの粒子が蓄積する面がないためです。

耐環境性
高品質の目盛格子と光電走査方式を用いた
ハイデンハインリニアエンコーダは、高精度と信頼性を保証します。ハイデンハインのオープン
タイプリニアエンコーダはシングルフィールド
走査方式を採用しています。1つの広い走査フィールドが走査信号を生成するために使用されます。スケール表面上の汚染物(例えば、取付けの際に付いた指紋やガイドからのオイルなど)による走査信号への影響を小さくできます。この汚れにより信号振幅は変化しますが、オフセットや位相差においては変化しません。
そのため、1信号周期内の位置誤差も小さく、分割性能は高いままでご使用になれます。

信号 [VPP] 

2)

オイル

1.2
1.0
0.8
0.6
0.4
0.2
0
0

40

60

80

100
120
位置 [mm] 

1

反射層

透過層

反射一次層

基質

METALLUR
半透過層
透過層

大きな取付け公差
格子間隔が狭く信号周期が小さい場合、走査ヘッドとスケール間の取付け公差は非常に狭くなります。これは格子構造から生じる光の回折のためです。これらはわずか±0.1 mmの変化で50 %の信号減衰を引き起こします。しかしながら、画期的な格子と走査方式により、微細な信号周期であるにもかかわらず、広い取付け公差を可能としました。
ハイデンハインオープンタイプリニアエンコーダの取付け公差は、出力信号にほとんど影響を及ぼしません。特に走査ヘッドとスケール間で指定された取付け公差が守られていれば、信号振幅においてほとんど変化することはありません。さらに、稼働中、HSP 1.0が信号の信頼性と安定性を向上させます。右の2つの図はLIDA 400とLIF 400シリーズのエンコーダの走査ギャップに対する信号振幅の相互関係を表しています。

反射一次層

取付け公差
例: LIDA 403/409

0–1= 取付け時 (HSP 1.0オフ)= 稼働時 (HSP 1.0オン)

走査ギャップ [mm] 

100 nm50 nm
0–50 nm–100 nm
信号処理ASIC HSP 1.0搭載
信号処理ASIC HSP 1.0なし
1)、2) = 滴径 ¬ 2 mmのオイル－インクリメンタルトラックを半分1)または完全2)に覆う汚れ

信号振幅 [%] リニアエンコーダLIDA、LIFおよびLIP 6000はハイデンハインの信号処理ASIC HSP 1.0を搭載しています。ASICは常に走査信号を監視し、信号振幅の変動を問題なく調整します。
走査レチクルやスケール本体の汚れによって信号振幅が減少した場合には、ASICはLED
電流を増加させることによって、これを修正します。LED光量の変化による信号安定化処
理はノイズ成分をほとんど増幅させません。結果として、汚れは内挿精度やポジションノイズ
にほとんど影響を及ぼしません。

オイル1)

ワイヤ

指紋

内挿精度およびノイズ [µm] 

また、広い走査フィールドとすることで、汚れに対し、より安定した出力信号を得ることができます。汚れにより異なりますが、これによりエンコーダの読取りエラー発生を防ぎます。例えばLIDA 400とLIF 400においては、目盛格子と比較して非常に広い(14.5 mm2)走査フィールドを持っており、LIC 4100では15.5 mm2です。プリンタトナー、PCBダスト、直径3 mmまでの水滴や油滴による汚れがある場合でさえも、質の高い信号を出力します。また、その時の位置誤差はリニアエンコーダの精度等級の値と比較しても、非常に小さいです。

OPTODUR
SUPRADUR

信号振幅 [%] ハイデンハインのオープンタイプリニアエンコー
ダは、位置決め精度や高速制御が求められる用途に対して、幅広く採用されています。オー
プンタイプという機械的なデザインであるにもかかわらず、耐環境性に優れ、長期間の安定性があります。取付けも素早く簡単にできます。

取付け公差LIF 400

汚れが付着したスケールを、従来の走査ヘッドと新しい走査ヘッド(信号処理ASIC HSP 1.0搭載)とで計測し、汚れによる影響を比較= 取付け時 (HSP 1.0オフ)= 稼働時 (HSP 1.0オン)

12

走査ギャップ [mm] 

13

測定精度

リニアエンコーダによる位置測定の精度は、主として次の要因によって決定されます。
• 格子目盛の品質• 目盛本体の品質• 信号走査の品質• 信号処理回路の品質• エンコーダの機械への取付け状態
これらは、エンコーダ特有の位置誤差およびアプリケーションに依存する問題に起因します。
システム精度を評価するために個別要因の全てを考慮する必要があります。

エンコーダに特有の位置誤差
エンコーダ特有の位置誤差は以下を含んでいます。
• スケール本体の精度• 内挿精度• ポジションノイズ(静止安定性)
スケール本体の精度
スケール本体の精度は、主として次の要因によって決定されます。
• 目盛の均質度とエッジ明瞭度• スケール本体上の目盛配置• 目盛本体の安定性

スケール本体の精度は、補正されていない
基準精度の最大値で示されます。精度を確認するには、理想状態において量産品の走査ヘッドを使用し、位置誤差を測定します。
測定点の間隔は信号周期の整数倍のため、内挿精度の影響は測定できません。

内挿精度
内挿精度は、主として次の要因によって決定されます。
• 信号周期の大きさ• 目盛の均質度とエッジ明瞭度• スキャニングフィルタの品質• センサの特性• 信号処理回路の品質

内挿精度はその典型的な値の最大値uで示されます。アナログインターフェースのエンコーダ
は、ハイデンハインの電子機器(例、EIB 741)
を用いて検査します。この値にはポジション
ノイズは含まれていません。

ポジションノイズ(静止安定性)
ポジションノイズは、繰り返し精度や停止後の変位につながります。その値は中心値に対して度数分布の形で表されます。
ポジションノイズは、走査信号の形成に関わる
信号処理回路の帯域幅に依存します。この値は一定の周期内におけるRMS値として示されます。
速度制御ループにおいてはポジションノイズが低速度での速度安定性に影響を与えることがあります。

アプリケーションに依存する位置誤差
エンコーダ特有の位置誤差に加えて、エンコー
ダの機械への取付けが測定精度に大きく影響します。全ての精度を評価するためには、
アプリケーションに依存する誤差の値を個別に測定かつ計算しなければなりません。

振動
正常な動作を行うため、エンコーダに振動を与えないよう考慮してください。強固で安定した機械要素が取付け面として有効です。エンコーダを中空部品に取付けたり、アダプタなどを介在させた振動の影響を受けやすい取付けは許容しません。

目盛の変形
目盛の変形による誤差も考慮する必要があります。これはスケール本体の取付け面が平らでない場合(例えば、凸面である場合)に発生
します。

温度の影響
温度の影響を避けるため、エンコーダを熱源から離して取付けてください。

設置場所
リニアエンコーダの設置位置や取付け調整が不十分な場合、誤差要因が拡大し、測定精度をさらに悪化させる可能性があります。アッべの誤差をできる限り小さくするために、スケー
ルは加工位置などの作業面近くに設置してください。また、取付け面がマシンガイドに対して確実に平行となるよう設置してください。

内挿精度は、極めて低い移動速度や一定速
度での往復運動に影響を与えます。特に速度制御ループでの使用においては速度変動の要因となります。

精度等級aは任意の範囲内(最大1 m)における基準精度の上限値を定義しています。
高精度用エンコーダには、特定の狭い範囲での精度(狭ピッチ精度)も明記されています。

内挿精度

ポジションノイズ

RMS

基準精度

位置誤差 

位置誤差 

位置誤差

スケール本体の精度

位置 

信号レベル 内挿精度

信号周期360° elec.

時間 

確率密度 

位置 

14

15

エンコーダ型式別取付け
スケール

精度表

ハイデンハインのリニアエンコーダはすべて、出荷前に精度と機能の検査が行われます。
検査は片側一方向からの測定だけでなく、両方向から行われます。また、広範囲の誤差だ
けでなく、1信号周期内の位置誤差も正確に求められるように数多くの測定点が選択されています。
製造者発行検査証明書に各エンコーダのシス
テム精度が記載されています。検定標準は、
公認の(ドイツ)国内規格または国際規格に合致するトレーサビリティ(ISO 9001に準拠)が確保されていることを保証するものです。
LIP、PPの各シリーズについては精度表に測定範囲全体に渡る位置誤差だけでなく、各測定パラメータや校正時の不確定性も記載されます。

LIP 201 R
ID 631000-13
SN 44408260

Quality Inspection Certificate

Qualitätsprüf-Zertifikat
DIN 55 350-18-4.2.2

DIN 55 350-18-4.2.2

スケール本体の種類
ハイデンハインは、各アプリケーションの要求精度を満たすためにさまざまな種類のスケール本体を用意しています。

Positionsabweichung F [µm]Position error F [µm]温度範囲
リニアエンコーダの校正は、20 °Cの基準温度において行われます。精度表に記載の位置誤差は、この温度において定めたものです。
Messposition PosE [mm] / Measured position PosE [mm]Die Messkurve zeigt die Mittelwerte der Positionsabweichungen
aus Vorwärts- und Rückwärtsmessung.

The error curve shows the mean values of the position errors frommeasurements in forward and backward direction.

Positionsabweichung F des Maßstab: F = PosM – PosE
PosM = Messposition der Messmaschine
PosE = Messposition des Maßstab

Position error F of the scale: F = PosM – PosE
PosM = position measured by the measuring machine
PosE = position measured by the scale

Maximale Positionsabweichung der Messkurve
innerhalb 670 mm

within 670 mm± 0.30 µm

Unsicherheit der Messmaschine

Uncertainty of measuring machine

U95% = 0,040 µm + 0,400 ·10–6 · L (L = Länge des Messintervalls)

U95% = 0.040 µm + 0.400 ·10–6 · L (L = measurement interval length)

Messparameter

Measurement parameters

Messschritt

1000 µm

Measurement step

1000 µm

Erster Referenzimpuls bei Messposition

335,0 mmFirst reference pulse at measured position

335.0 mm

Relative Luftfeuchtigkeit

max. 50 %Relative humidity

max. 50 %Dieser Maßstab wurde unter den strengen
HEIDENHAIN-Qualitätsnormen hergestellt und geprüft.
Die Positionsabweichung liegt bei einer Bezugstemperatur
von 20 °C innerhalb der Genauigkeitsklasse ± 1,0 µm.

This scale has been manufactured and inspected in accordance withthe stringent quality standards of HEIDENHAIN.
The position error at a reference temperature of 20 °C lies within
the accuracy grade ± 1.0 µm.

Kalibriernormale

Kalibrierzeichen

Calibration standards

Calibration references

Jod-stabilisierter He-Ne Laser
Wasser-Tripelpunktzelle
Gallium-Schmelzpunktzelle
Barometer
Luftfeuchtemessgerät

40151 PTB 11
61 PTB 10
62 PTB 10
A6590 D-K-15092-01-00 2012-120230 DKD-K-30601 2012-11

Iodine-stabilized He-Ne Laser
Water triple point cell
Gallium melting point cellPressure gauge
Hygrometer

40151 PTB 11
61 PTB 10
62 PTB 10
A6590 D-K-15092-01-00 2012-120230 DKD-K-30601 2012-11

LIP 6001
LIF 401
LIDA 403
LIC 4003
スケールは、PRECIMET接着テープで固定されます。取付けローラーにより、取付け面との密着度を均一にすることができます。熱膨張
基準点はエポキシ接着剤で固定します。

28.01.2014
DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH · 83301 Traunreut, Germany · www.heidenhain.de · Telefon: +49 8669 31-0 · Fax: +49 8669 5061

LIP 201
LIP 6001
LIC 4003
スケールは取付けクランプで固定されます。
熱膨張基準点設定には取付け部品を使用します。
LIC 41x3およびLIP 60x1用アクセサリ(別売):
取付けクランプ
ID 1176458-01
熱膨張基準点設定用
取付け部品
ID 1176475-01
スペーサ
ID 1176441-01
接着剤*
ID 1180444-01
ダブルカートリッジガン
ID 1180450-01
ディスペンサーノズルとミキシングチューブ
ID 1176444-01

Maximum position error of the error curve± 0,30 µm

オープンタイプリニアエンコーダは、2つの部品(走査ヘッドとスケールまたはスケールテープ)から構成されています。これらはマシンガイドに沿い、平行に走査するようそれぞれ取付けられます。このため機械側は以下のような必要条件に対応するよう、最初から設計されなけ
ればなりません。
• マシンガイドはエンコーダの取付け公差を満たす設計を行う(仕様 参照)。
• スケールの取付け面は平坦であること。
• 走査ヘッドをブラケットへ固定することで、取付け調整が容易となる。

Prüfer/Inspected by

LIP 201
スケール

LIP 6001
LIC 4003
スケール

LIF 101 C
スケール

LIP 6001
LIF 401
LIDA 403
LIC 4003
スケール

K. Sommerauer

別売品
取付けローラーID 276885-01* 注意: 航空輸送禁止(危険物)
商品名: 3M スコッチ・ウェルド エポキシ接着剤
DP-460 EG

1617エンコーダ型式別取付け
走査ヘッド

LIC 41x5
LIDA 4x5
LIC 41x5とLIDA 4x5は、長尺測定用に設計されています。最初に、スケールテープを保持するアルミホルダを、ねじまたはPRECIMET
接着テープにより取付け面へ固定します。そして、スケールテープを挿入し、規定されたテン
ションをかけて、スケール両端を取付け面へ固定します。そのため、LIC 41x5とLIDA 4x5の熱特性は、取付けられた面の熱特性と同じとなります。

LIC 4005、LIDA 405のスケール取付け

LIP 60x1の取付け
LIP 60xは側面および上部から取付けることができます。上部から取付ける場合、¬ 2 mm
もしくは¬ 3 mmの位置決めピンを挿入し、そこを基準に回転させることにより、信号の調整が容易になります。これにより、スケールに対して走査ヘッドを簡単に調整することができます。取付け終了後、位置決めピンは取外し可能です。

LIC 4007、LIC 2107、LIDA 207/407のスケール取付け

調整
スケールと走査ヘッド間の走査ギャップの調
整を、スペーサを用いて簡単に行うことができます。

取付け補助具(LIC 41x7、LIDA 4x7用)

PRECIMETバージョン用アクセサリ(別売)
取付けローラーID 276885-01
LIDA 2x9用取付け補助具 ID 1070307-01
LIC 21x9用取付け補助具 ID 1070853-01

18

スペーサ

LIC 4009、LIC 2109、LIDA 209/409のスケール取付け

LIP 6000

スペーサ

オプション 1

LIFの取付け
走査ヘッドの走査面側は、円柱状に加工されており、ブラケットに加工される位置決め穴の中で回転させることができます。またスケールに対し、平行に調整することができます。
LIC/LIDAの取付け
走査ヘッドの取付けには3種類の取付け姿勢
を選ぶことができます。(寸法図を参照ください)
スペーサを使用することにより走査ヘッドとスケール間のギャップ調整がとても簡単になります。取付けブラケットにより走査ヘッドの背面から固定するのが便利です。走査ヘッドは、ブラケットの穴から工具を使用して、非常に精密に調整することが可能です。

LIC 21x9
LIC 31x1
LIC 41x9
LIDA 2x9
LIDA 4x9
スチールスケールテープはPRECIMET接着
テープで取付け面に貼付します。取付けロー
ラーを使用することにより、取付け面との密着度を均一にすることができます。スケールテー
プを平行に取付けるには、取付け面に段差を設けるか、平行を調整するための高さ0.3 mmのレールを使用します。

LIP 200

LIP 2x1の取付け
LIP 2xは側面および上部から取付けることができます。ハウジングカバーには、最適に熱を逃がすための接触面があります。取付け部品に対し、接触面を押しつけるようにして取付けます。

LIC 21x7
LIC 31x7
LIC 41x7
LIDA 2x7
LIDA 4x7
これらのエンコーダも長尺測定用に設計されています。アルミホルダをPRECIMET接着テー
プで固定し、スケールテープを挿入します。
中央に取付けた固定金具でスケールテープの固定を行います。この取付け方法により、スケールの熱膨張基準点は中央で固定され、左右に金属(鋼鉄)と同じ熱特性で伸縮します。
LIC 41x7、LIDA 4x7用アクセサリ(別売)
取付け補助具ID 373990-01

オープンタイプリニアエンコーダを取付ける際には、正確な調整が必要となります。この調整状
態によっては、精度不良を引き起こすだけでな
く、エンコーダの性能を妨げる場合もあります。
そのため、スケールと走査ヘッドの位置関係を正しく保つことや、簡単で実用的な調整が行えるよう機械を設計することが望まれます。

LIC、LIP 6000およびLIP 200では、PWM 20/21を用いて、すばやくかつ簡単に信号の調整ができます。他のオープンリニアエンコーダでは、走査ヘッドをわずかに回転させてインクリメンタ
ルおよび原点信号を調整します。(LIDA 400の場合は右図のようにツールを使用することで調整が可能です)オプション 2

LIF 400
スペーサ

LIC/LIDA
スペーサ

ハイデンハインでは調整用として、出力信号の測定・検査機器を用意しています。
(診断・検査機器 参照)

3) LIDA 400のみ

19機械的仕様
信号品質表示LED

リニアエンコーダLIDA、LIFおよびLIP 6071には、3色LEDを用いたステータス表示機能を搭載しています。これにより稼働中でも迅速かつ簡単に信号品質を確認することができます。

温度範囲
使用温度範囲は、リニアエンコーダが仕様書に記載された数値を維持できる周囲温度範囲を表します。保存温度範囲–20 °C ～ +70 °C
は、梱包状態のまま保存する時の温度範囲です。

この信号品質表示LEDにより、以下項目が可能になります。
• 走査信号の品質状態を3色LEDで表示• 測定長全体においてインクリメンタル信号を常時監視• 原点信号の状態を表示• 調整治具を使用しない現場での簡易的な
信号品質確認
この信号品質表示LEDによりインクリメンタル
信号と原点信号の良否判定を行うことが可能です。インクリメンタル信号の品質は色の濃淡により確認ができます。これにより信号品質レベルを視覚的に確認することが可能です。
原点信号については、許容値範囲内かどうかの良否判定を行います。

熱特性
リニアエンコーダの熱特性は、機械の精度を保つための重要な要素となります。通常、リニア
エンコーダの熱特性は、工作物や測定物の熱特性と一致するものが選択されます。温度変化が発生した場合、リニアエンコーダは特定のポイントを基準にして伸縮し、機械との間に位置ずれを生じます。
LIDA: 信号品質表示LEDを走査ヘッドに搭載

ハイデンハインでは、それぞれ異なる熱膨張係数を持ったエンコーダを扱っており(仕様 をご参照ください)、このためアプリケーションに最適な熱特性を持つリニアエンコーダを選択することができます。
消耗品
ハイデンハインのエンコーダは、耐用年数の長い設計となっています。予防保全は必要ありません。しかし、アプリケーションや設置状況によっては摩耗しやすい部品が含まれています。
例えばケーブルは頻繁に屈曲させる場合は消耗品に含まれます。
また、ベアリング内蔵のエンコーダ用としてはベアリングが、ロータリおよび角度エンコーダ用としてはシャフトシーリングリングが、シールドタイ
プリニアエンコーダ用としてはシーリングリップが消耗品とされます。

インクリメンタル信号のLED表示
LED表示色走査信号の品質



最適



良



使用可能



許容値外

LIF、LIP 6071: 信号品質表示LEDをインターフェースユニットに搭載

保護等級(IEC 60529)
オープンタイプリニアエンコーダの走査ヘッドの保護等級は以下の通りです。
走査ヘッド

保護等級

LIC

IP 67

LIDA

IP 40

LIF

IP 50

LIP 200

IP 40

LIP 300
LIP 6000

IP 50

PP

IP 50

システム検査ハイデンハインのエンコーダは、通常、システ
ムの一部として組み込まれます。このような使用法では、エンコーダの仕様ではなく、システム全体での検査が必要となります。
カタログに記載の仕様は、システム全体ではなく、エンコーダのみに適用されるものです。
仕様の範囲外でのご使用や、意図されたア
プリケーション以外でご使用の場合には、弊社では責任を負いません。
安全性を重視したシステムにおいては、電源投入後に上位の制御システムにおいてエン
コーダの位置値を確認する必要があります。

しかし、スケール側は特別な保護をしていません。そのため、汚れる危険性があるときは、防護策を必要とします。
加速度
リニアエンコーダは、操作中ならびに取付け中に様々な種類の衝撃振動にさらされます。
• 振動に関し記載されている許容値は、周波数55 Hz ～ 2000 Hz(IEC 60 068-2-6)で評価された最大許容加速度の値です。この範囲を超える加速度は、アプリケーションや取付けによっては、例えば共振した結果、エンコーダの故障につながる恐れがあります。
したがって、システム全体の総合的テストが必要となります。
• 衝撃に関し記載されている許容値は、11 ms
もしくは6 ms(IEC 60 068-2-27)で評価された最大許容加速度の値(半正弦波衝撃値)です。いかなる場合でも、エンコーダの調整にハンマーまたは類似の道具を使用しないでください。

取付け
取付手順と取付寸法については、製品に添付されている取付説明書の記載に従ってください。このカタログに記載されている取付けについてのすべての情報は暫定的なもので、拘束力はありません。このカタログの情報は、契約の情報にはなりません。

原点信号のLED表示(機能確認)
原点通過時にLEDが赤もしくは青色に表示
 許容値外 許容値内調整限界のLED表示
LED表示が2.5秒おきに暗く点灯する場合は、走査ASICの調整限界に近づいていることを示します。この場合、取付説明書に記載の情報に従ってスケール本体と走査ヘッドを清掃する必要があります。エンコーダが正しく取付けられているかも確認する必要があります。
SUPRADUR、METALLUR、OPTODURは、いずれもDR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH, Traunreut,
Germanyの登録商標です。
Zerodurは、Schott-Glaswerke, Mainz, Germanyの登録商標です。

20

21

機能安全

アブソリュートリニアエンコーダLIC 4100により、ハイデンハインは安全対応の位置計測アプリ
ケーションの直線軸に理想的な解決法を提供します。安全制御装置と接続することで、このエンコーダはEN 61508規格のコントロールカ
テゴリSIL 2やISO 13849のパフォーマンスレ
ベル“d”に適合したアプリケーションのシング
ルエンコーダシステムとして使用することができます。

それぞれ独立して生成された2つの絶対位置値とエラービットにより位置値を確実に伝送します。これら位置値は安全制御装置に伝送されます。このエンコーダ機能はEN 61800-5-2に従うシステム全体における多数の安全作業に用いられます。
リニアエンコーダLIC 4100は常に安全アブソ
リュート位置値を提供します。(例えば、電源オ
ンの後、直ちに位置値を出力)ピュアシリアル
データは双方向通信EnDat 2.2インターフェー
スで伝送されます。

データインターフェースだけでなく、モータへの機械的接続もまた安全対応となっています。
EN 61800-5-2、電気モータに関する基準の表
D8では、エンコーダとモータ間の機械的接続の緩みを考慮を必要とするエラーと定義しています。制御装置がこのような異常を検知することを保証できないため、多くの場合、機械的接続の緩みに対する故障の除外が必要です。
特に指定のない限り、ハイデンハインのエンコー
ダの製品寿命は20年です。(ISO 13849に準拠)

材質
走査ヘッドおよびスケール本体の取付け面の材質は、表に記載のデータに従ってください。
取付け温度
ねじの接続に関するすべての情報は、取付け温度が15 °C ～ 35 °Cの場合におけるものです。
走査ヘッドの取付け
機械的故障の除外には同梱のM2ねじ(ISO 4762 8.8)を使用します。PWM 20/21とATSソフトウェアの取付けガイドを用いて取付け状態を確認し、最適化することができます。
スケールテープの取付け
スチールスケールテープはPRECIMET接着
テープで取付け面に貼付します。取付けロー
ラーを使用することにより、取付け面との密着度を均一にすることができます。スケールテー
プ上のパンチ穴に、ねじでさらに固定します。
同梱の取付け補助具を用いることで、ねじとパンチ穴の中心位置を合わせることができます。

機械的接続の緩みに関する故障除外
機械メーカーは駆動システムにおける機械的接続の寸法管理をしています。OEMは機械設計にとって最適なアプリケーションの状態を考慮しなければなりません。しかしながら、安全な接続に関する証明にはコストと時間がかかります。このため、ハイデンハインは機械的故障の除外に対応したLIC 4100シリーズを開発し、型式試験を実施してその機能を確認しています。

走査ヘッド用ブラケット

スケール本体
取付け面

材質

スチール

アルミニウムスチール、
アルミニウム

引張り張力 Rm

≧ 600 N/mm2≧ 220 N/mm2

該当なし

せん断力 τB≧ 390 N/mm2≧ 130 N/mm2

該当なし

弾性率 E

≧ 200 000 N/mm
～ 215 000 N/mm2≧ 70 000 N/mm2～ 75 000 N/mm2

該当なし

熱膨張係数 Þtherm

10 · 10–6 K–1 ～17 · 10–6 K–1

25 · 10–6 K–1

10 · 10–6 K–1 ～25 · 10–6 K–1

2

注意:
走査ヘッドは許容取付け公差およびスケール本
体の測定長の範囲内でのみ走査が可能です。

取付けおよび運転条件
機械的故障除外の認証は、エンコーダの幅広いアプリケーションに適用されます。故障除外
は下表に記載の運転条件で確保されます。

同梱品:
走査ヘッド
• 留め具セット		
(M2x16ねじ2個)• 留め具セット		
(M2x25ねじ2個)• スペーサ		スケール• ねじ1個• 取付け補助具

ID 1233536-01
ID 1233536-02
ID 578983-06
ID 1233558-01
ID 1244387-02

別売アクセサリ:• 取付けガイド(ATSソフトウェアの機能)• 取付けローラーID 276885-01
機械取付け

固定方法

スケール

ねじ留め

走査ヘッド

取付け方法 I および II:
ねじ留め:2)取付けねじ: M2x25 ISO 4762 8.8

1) 2)

3)

機械的接続の安全位置

仕様上の制限±0.0 mm仕様を参照してください
• 振動
• 衝撃

取付け方法 III:
ねじ留め:2)取付けねじ: M2x16 ISO 4762 8.8

取付けを参照してください• 使用可能な材料• 取付け状態

1)

スケールのねじ留めの際に回転止めの使用が必要です。(取付けもしくはサービス用)
摩擦係数クラスB(VDI 2230)
3)
機能安全非対応の標準のLIC 4100と比較
2)

22

23

LIC 4113、LIC 4193

最大測定長3 mのアブソリュートリニアエンコーダ• 最小分解能1 nm• ガラスセラミックまたはガラス• PRECIMET接着テープもしくは取付けクランプによりスケール本体を固定• 走査ヘッドとスケールで構成(ケーブル引出口 ストレートまたは直角)• 高真空対応製品を用意(製品情報を参照してください)
スケール

LIC 4003

スケール本体
熱膨張係数*METALLUR目盛格子付きガラスまたはガラスセラミックÞtherm  8 · 10–6 K–1 (ガラス)Þtherm = (0±0.5) · 10–6 K–1 (Robaxガラスセラミック)

精度等級*±1 µm (Robaxガラスセラミックのみ)、±3 µm、±5 µm

挟ピッチ精度≦ ±0.275 µm/10 mm

測定長 ML*(mm)240	  340	  440	  640	  840 1040 1240 1440 1640
2640 2840 3040 (RobaxガラスセラミックはML 1640まで)

質量

3 g + 0.11 g/mm (測定長)

走査ヘッド

LIC 411

LIC 419 F

LIC 419 M

LIC 419 P

LIC 419 Y

インターフェース

EnDat 2.2

ファナックシリアル
インターフェース
Þiインタフェース

三菱高速
シリアル
インターフェース

パナソニックシリアル
インターフェース

安川
シリアル
インターフェース

区分*

EnDat22

Þiインタフェース

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

分解能*

10 nm、5 nm、1 nm

ビット幅

36 ビット–

計算時間 tcal
クロック周波数≦ 5 µs≦ 16 MHz–

走査速度2)≦ 600 m/min

内挿精度±20 nm

電気的接続*

ケーブル長 1 m もしくは 3 m、8ピンM12カップリング(オス)もしくは15ピンD-subコネクタ(オス)付

33.2

取付けクランプ使用時

接着テープ使用時

0.05

取付けクランプ

7.15±0.1 使用時

0.75 +0.25−0.20 取付けクランプ使用時
0.75 ±0.25 接着テープ使用時

7.28±0.1接着テープ
使用時取付けクランプ

0.75 +0.25−0.20 使用時

0.75 ±0.25 接着テープ
使用時取付けクランプ
7.15±0.1 使用時

取付けクランプ
15.65 使用時

7.28±0.1接着テープ

15.78 接着テープ

F = マシンガイド* = 取付け誤差にガイドの動的誤差を加えた値Ⓢ = 測定長(ML)開始点Ⓒ = アブソリュートトラック開始点: 100±1 mmⓁ = スケール全長Ⓖ = 熱膨張基準点設定用取付け部品
1 = 取付け中、スペーサを用いてギャップを調整します
2 =	測定長(ML)に応じて、取付けクランプを追加してください

24

使用時

使用時

3
4
5
6

= 接着剤
= 走査ヘッドとスケール間の取付けクリアランス= 信号検出中心= 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向≦ 30 m

DC 3.6 V ～ 14 V

消費電力2) (最大)

3.6 Vにおいて: ≦ 700 mW 3.6 Vにおいて: ≦ 850 mW
14 Vにおいて: ≦ 800 mW 14 Vにおいて: ≦ 950 mW

消費電流(標準値)

5 Vにおいて: 75 mA(負荷なし)

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

取付けクランプ

使用時≦ 50 m

供給電圧0.75 +0.25−0.20 使用時

0.75 ±0.25 接着テープ

質量

2040

2240

2440

YEC07

1)

ケーブル長
≦ 100 m(ハイデンハイン製ケーブル使用時)

走査ヘッド取付け例(取付けクランプは図示していません)

1840

走査ヘッド
ケーブル
接続部品

≦ 50 m

5 Vにおいて: 95 mA (負荷なし)≦ 18 g (ケーブル含まず)
20 g/mM12カップリング: 15 g、D-subコネクタ: 32 g

* 注文時にご指定ください1)
三菱: 測定長(ML) ≦ 2040 mm
安川: 測定長(ML) ≦ 1840 mm
2)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース 内の電気的仕様 を参照ください
Robaxは、Schott-Glaswerke, Mainz, Germanyの登録商標です。

公差25

LIC 4115、LIC 4195

最大測定長28 mのアブソリュートリニアエンコーダ• 測定分解能1 nmまで
• アルミ固定ホルダにスケールテープを挿入し両端をテンション留め• 走査ヘッドとスケールで構成(ケーブル引出口 ストレートまたは直角)

126.23±0.1
2.5

6.1±0.1

3

0.55/50 *スケール

LIC 4005

スケール本体
熱膨張係数

METALLURスチール製スケールテープ (アブソリュートとインクリメンタルトラック付)
取付け面に準ずる

精度等級

±5 µm

挟ピッチ精度≦ ±0.750 µm/50 mm (標準値)

測定長 ML*(mm)140	  240	  340	  440	  540	  640	  740	  840	  940 1040
1540 1640 1740 1840 1940 2040

1140

1240

1340

1440

M3x7

16.5 1

8

3.7

3.5

7.3

測定長2040 mm以上については、1本のスケールテープと複数のアルミホルダを使用して最長28 440 mmまで対応可能

R>

質量

スケールテープ
固定金具等
ホルダ

3
8

30±0.1>8MLML5040)= 5040)
ML>>2040
2040(例(z.B.

31 g/m1)
80 g + n · 27 g
187 g/m

走査ヘッド

LIC 411

LIC 419 F

LIC 419 M

LIC 419 P

LIC 419 Y

インターフェース

EnDat 2.2

ファナックシリアル
インターフェース
Þiインタフェース

三菱高速
シリアル
インターフェース

パナソニックシリアル
インターフェース

安川
シリアル
インターフェース

区分*

EnDat22

Þiインタフェース

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

分解能*

2)

10 nm、5 nm、1 nm

ビット幅

36 ビット–

計算時間 tcal
クロック周波数≦ 5 µs≦ 16 MHz–

走査速度3)≦ 600 m/min

内挿精度±20 nm

電気的接続*

ケーブル長 1 m もしくは 3 m、8ピンM12カップリング(オス)もしくは15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長≦ 100 m(ハイデンハイン製ケーブル使用時)
走査ヘッド取付け例②

9.6±0.1②②

18.1±0.1
9.6±0.1

18.23±0.1

26

Ô = アルミホルダをねじ固定する場合
Õ =	アルミホルダをPRECIMETで固定する場合
F = マシンガイド
P = 調整用計測点* = 取付け誤差にガイドの動的誤差を加えた値Ⓒ = アブリュートトラック開始点: 100 mmⓈ = 測定長(ML)開始点Ⓩ = 測定長3040 mm以上用スペーサⓉ = アルミホルダ全長Ⓜ = 走査ヘッド取付け面
1 = 信号検出中心
2 =	走査ヘッドとスケール間の取付けクリアランス
3 =	正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向≦ 50 m≦ 30 m

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

消費電力3) (最大)

3.6 Vにおいて: ≦ 700 mW 3.6 Vにおいて: ≦ 850 mW
14 Vにおいて: ≦ 800 mW 14 Vにおいて: ≦ 950 mW

消費電流(標準値)

5 Vにおいて: 75 mA(負荷なし)

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

質量
公差

YEC07

走査ヘッド
ケーブル
接続部品

≦ 50 m

5 Vにおいて: 95 mA (負荷なし)≦ 18 g (ケーブル含まず)
20 g/mM12カップリング: 15 g、D-subコネクタ: 32 g

* 注文時にご指定ください1)
ML 3140 ～ 5040 mmの時 n = 1 、ML 5140 ～ 7040 mmの時 n =2 など*
2)
三菱: 1 nm: 測定長(ML) ≦ 2040 mm、 5 nm: 測定長(ML) ≦ 10 040 mm、 10 nm: 測定長(ML) ≦ 20 040 mm
安川: 1 nm: 測定長(ML) ≦ 1840 mm、 5 nm: 測定長(ML) ≦ 9040 mm、 10 nm: 測定長(ML) ≦ 18 040 mm
3)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース 内の電気的仕様 を参照ください27

LIC 4117、LIC 4197

最大測定長6 mのアブソリュートリニアエンコーダ• 測定分解能1 nmまで
• スケールテープをアルミホルダに挿入し中央クランプ留め• 走査ヘッドとスケールで構成(ケーブル引出口 ストレートまたは直角)

②

スケール

LIC 4007

スケール本体
熱膨張係数

METALLURスチール製スケールテープ (アブソリュートとインクリメンタルトラック付)
Þtherm  10 · 10–6 K–1

精度等級*±3 µm (測定長ML 1040 mmまで)、±5 µm (測定長ML 1240 mmから)、±15 µm1)

挟ピッチ精度≦ ±0.750 µm/50 mm (標準値)

測定長 ML*(mm)240	  440	  640	  840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840
3040 3240 3440 3640 3840 4040 4240 4440 4640 4840 5040 5240 5440 5640
5840 6040

質量

31 g/m20 g
68 g/m①

スケールテープ
固定金具等
ホルダ

0.55/50 *走査ヘッド

LIC 411

LIC 419 F

LIC 419 M

LIC 419 P

LIC 419 Y

インターフェース

EnDat 2.2

ファナックシリアル
インターフェース
Þiインタフェース

三菱高速
シリアル
インターフェース

パナソニックシリアル
インターフェース

安川
シリアル
インターフェース

区分*

EnDat22

Þiインタフェース

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

分解能*

10 nm、5 nm、1 nm2)

ビット幅

36 ビット–

計算時間 tcal
クロック周波数≦ 5 µs≦ 16 MHz–

走査速度3)≦ 600 m/min

内挿精度±20 nm

電気的接続*

ケーブル長 1 m もしくは 3 m、8ピンM12カップリング(オス)もしくは15ピンD-subコネクタ(オス)付

③

ケーブル長
≦ 100 m(ハイデンハイン製ケーブル使用時)
DC 3.6 V ～ 14 V

消費電力3) (最大)

3.6 Vにおいて: ≦ 700 mW 3.6 Vにおいて: ≦ 850 mW
14 Vにおいて: ≦ 800 mW 14 Vにおいて: ≦ 950 mW

消費電流(標準値)

5 Vにおいて: 75 mA(負荷なし)

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

②

②

公差

28

質量

F = マシンガイド
P = 調整用計測点* = 取付け誤差にガイドの動的誤差を加えた値Ⓒ = アブリュートトラック開始点: 100 mmⓈ = 測定長(ML)開始点Ⓣ = ホルダ全長
1 = 信号検出中心
2 = 走査ヘッドとスケール間の取付けクリアランス
3 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向≦ 30 m

供給電圧

走査ヘッド取付け例②≦ 50 m

走査ヘッド
ケーブル
接続部品

YEC07

≦ 50 m

5 Vにおいて: 95 mA (負荷なし)≦ 18 g (ケーブル含まず)
20 g/mM12カップリング: 15 g、D-subコネクタ: 32 g

* 注文時にご指定ください
1)±5 µm 後続電子部で直線誤差補正後
2)
三菱: 測定長(ML) ≦ 2040 mm
安川: 測定長(ML) ≦ 1840 mm
3)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース 内の電気的仕様 を参照ください29

LIC 4119、LIC 4199

最大測定長1 mのアブソリュートリニアエンコーダ• 測定分解能1 nmまで
• スケールテープを接着テープにより取付け面に直接貼付• 走査ヘッドとスケールで構成(ケーブル引出口 ストレートまたは直角)

スケール

LIC 4009

スケール本体
熱膨張係数

METALLURスチール製スケールテープ (アブソリュートとインクリメンタルトラック付)
Þtherm  10 · 10–6 K–1

精度等級*± 3 µm、 ± 15 µm1)

挟ピッチ精度≦ ±0.750 µm/50 mm (標準値)

測定長 ML*(mm)70

質量31 g/m

走査ヘッド

LIC 411

LIC 419 F

LIC 419 M

LIC 419 P

LIC 419 Y

インターフェース

EnDat 2.2

ファナックシリアル
インターフェース
Þiインタフェース

三菱高速
シリアル
インターフェース

パナソニックシリアル
インターフェース

安川
シリアル
インターフェース

区分*

EnDat22

Þiインタフェース

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

分解能*

10 nm、5 nm、1 nm

ビット幅

36 ビット–

計算時間 tcal
クロック周波数≦ 5 µs≦ 16 MHz–

走査速度3)≦ 600 m/min

内挿精度±20 nm

電気的接続*

ケーブル長 1 m もしくは 3 m、8ピンM12カップリング(オス)もしくは15ピンD-subコネクタ(オス)付

120

170

220

0.60/50 *走査ヘッド取付け例

0.425/25

0.30/25

0.30/2530

F = マシンガイド* = 取付け誤差にガイドの動的誤差を加えた値Ⓒ = アブリュートトラック開始点: 100 mmⓈ = 測定長(ML)開始点Ⓛ = スケールテープ全長
1 = 信号検出中心
2 = 走査ヘッドとスケール間の取付けクリアランス
3 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向

320

370

420

520

620

720

820

920

1020

YEC07

2)

ケーブル長
≦ 100 m4)
(ハイデンハイン製ケーブル使用時)≦ 50 m≦ 30 m

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

消費電力3) (最大)

3.6 Vにおいて: ≦ 700 mW 3.6 Vにおいて: ≦ 850 mW
14 Vにおいて: ≦ 800 mW 14 Vにおいて: ≦ 950 mW

消費電流(標準値)

5 Vにおいて: 75 mA(負荷なし)

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

質量

公差

270

走査ヘッド
ケーブル
接続部品

≦ 50 m

5 Vにおいて: 95 mA (負荷なし)≦ 18 g (ケーブル含まず)
20 g/mM12カップリング: 15 g、D-subコネクタ: 32 g

* 注文時にご指定ください
1)±5 µm 後続電子部で直線誤差補正後
2)
三菱: 測定長(ML) ≦ 2040 mm
安川: 測定長(ML) ≦ 1840 mm
3)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース 内の電気的仕様 を参照ください
4)
走査ヘッド LIC 411 FSの場合: クロック周波数: 8 MHz

31

LIC 4119

安全位置計測用高精度アブソリュートリニアエンコーダ• 測定分解能1 nmまで
• スケールテープを接着テープにより取付け面に直接貼付• 走査ヘッドとスケールで構成• 機械的接続の緩みに関する故障除外

2.5

12

5.5

L
ML





B

2.5

1.18

C

A

A

0.1
 F

7.3
0.43

14

13.14

14.5

19




3

B

0.55/ 50 *



C

A-A

C-C



スケール本体
熱膨張係数

METALLURスチール製スケールテープ (アブソリュートとインクリメンタルトラック付)
Þtherm  10 · 10–6 K–1

精度等級*
挟ピッチ精度±3 µm1)、±15 µm2)
≦ ±0.750 µm/50 mm (標準値)

測定長 ML*(mm)70	  120	  170	  220	  270	  320	  370	  420	  520	  620	  720	  8209203) 10203) 12203) 14203) 16203) 18203)

質量31 g/m<1g

M3 - 6H

 50 

走査ヘッド取付け例

0.75 



6



A
Rz 16
0.25/ 25 A

M2x25 (2x) 

0.9  18.1

4.2

Rz 16
0.25/ 25 A

A

B

4.68

A

4.68
M2

A
4:1
0.4

I, II, III = 取付け方法
F = マシンガイド* = 取付け誤差にガイドの動的誤差を加えた値
C = アブソリュートトラック開始点: 100 mm
ML = 測定長
L = スケールテープ全長(L = ML+38)
1 = 測定長(ML)開始点
2 = 走査ヘッドとスケールテープ間の取付けクリアランス
3 = 信号検出中心
4 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向
5 = ケーブル曲げ半径R:– 曲げて固定する場合 ≧ 8 mm
– 繰り返し曲げる場合 ≧ 40 mm
6 = ケーブル支持
7 = ねじ(パンチ穴と中心位置をあわせてください)、
トルクス(TORX)ソケット ISO 10664-10付。
ねじ緩み止め剤が必要です。
締付けトルク = 40 Ncm±2.4 Ncm
8 = M2x16 ISO 4762 - 8.8 + ISO 7089 - 2 - 200HV
9 = M2x25 ISO 4762 - 8.8 + ISO 7089 - 2 - 200HV
10 = 走査ヘッド用ブラケット
11 = スケール本体取付け面

0.4
B
4:1
M2



6

M2x25 (2x) 



Rz 16
0.25/ 25 A

M2x16 (2x)  0.75
1.6  
0.75 

0.81





C

Rz 16
  3.1>8 5  30

14

8



0.1

保護等級 4)

IP 00

走査ヘッド5)

LIC 411

インターフェース

EnDat 2.2

区分

EnDat22

分解能*

10 nm、5 nm、1 nm

ビット幅

36 ビット

計算時間 tcal
クロック周波数≦ 5 µs≦ 16 MHz

機能安全
以下条件で適用が可能• SIL 2 (EN 61508、EN 61800-5-2)• カテゴリ3、パフォーマンスレベル “d” (EN ISO 13849-1:2015)

時間あたりの故障発生確率(PFH)≦ 20 · 10

安全位置6)

エンコーダ本体: ±550 µm (安全測定分解能: SM = 220 µm)
機械的接続: 走査ヘッドとスケール間の緩みに関する故障除外(機能安全 を参照ください)

走査速度7)≦ 600 m/min

内挿精度±20 nm振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 200 m/s (IEC 60068-2-6)≦ 200 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

相対湿度≦ 93 % (IEC 60068-2-78に基づき40 °C/4日間の試験実施)、結露なし

A

13.18
 2.4  



Rz 16
0.05
0.1 F

スケールテープ
ねじ

1.70.05

2.4

R

16.5

9

3.7

3.5

0.75

(L-9)  

32

LIC 4009

46

B-B



スケール

C
4:1

4)

公差



–9

(ただし、設置場所は海抜6000 m以下)

2

保護等級 IEC 60529

IP 67

質量

≦ 18 g (ケーブル含まず)
20 g/mM12カップリング: 15 g、D-subコネクタ: 32 g

走査ヘッド
ケーブル
コネクタ

* 注文時にご指定ください1)
最大測定長(ML) = 1020 mm
2)± 5 µm 後続電子部で直線誤差補正後
3)
取付け面の材質がスチールの場合のみ
4)	エンコーダを組込む機械内において、飛沫(粉塵、水滴、油滴など)から保護する必要があります。
必要な場合は、シールや圧縮空気などで適切な保護措置を施してください。
5)
電気的接続 については、機能安全非対応の標準のLIC 411を参照ください。
6)
エンコーダ位置値出力後に、後続電子機器側で公差が発生する場合があります。その場合、後続電子機器メーカーにお問い合わせください。
7)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース 内の電気的仕様 を参照ください

33

LIC 3117、LIC 3197

最大測定長10 mのアブソリュートリニアエンコーダ• 測定分解能10 nmまで
• スケールテープをアルミホルダに挿入し中央クランプ留め• 走査ヘッドとスケールで構成②①
0.60/50 *③

スケール

LIC 3107

スケール本体
熱膨張係数

スチール製スケールテープ (アブソリュートとインクリメンタルトラック付)
Þtherm  10 · 10–6 K–1

精度等級±15 µm

挟ピッチ精度≦ ±0.750 µm/50 mm (標準値)

ロールテープ長*

3 m、5 m、10 m

質量

31 g/m20 g
68 g/m1)

スケールテープ
固定金具等
ホルダ

走査ヘッド

LIC 311

LIC 319 F

LIC 319 M

LIC 319 P

LIC 319 Y

インターフェース

EnDat 2.2

ファナックシリアル
インターフェース
Þiインタフェース

三菱高速
シリアル
インターフェース

パナソニックシリアル
インターフェース

安川
シリアル
インターフェース

区分*

EnDat22

Þiインタフェース

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

分解能0.01 µm (10 nm)

計算時間 tcal
クロック周波数≦ 5 µs≦ 16 MHz

走査速度2)≦ 600 m/min

内挿精度±100 nm

電気的接続*

ケーブル長 1 m もしくは 3 m、8ピンM12カップリング(オス)もしくは15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長≦ 100 m(ハイデンハイン製ケーブル使用時)

走査ヘッド取付け例

0.425/25②②

0.30/25

0.30/25

②

公差

34

–

≦ 50 m≦ 30 m

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

消費電力2) (最大)

3.6 Vにおいて: ≦ 700 mW 3.6 Vにおいて: ≦ 850 mW
14 Vにおいて: ≦ 800 mW 14 Vにおいて: ≦ 950 mW

消費電流(標準値)

5 Vにおいて: 75 mA(負荷なし)

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

質量

走査ヘッド
ケーブル
接続部品

YEC07

≦ 50 m

5 Vにおいて: 95 mA (負荷なし)≦ 18 g (ケーブル含まず)
20 g/mM12カップリング: 15 g、D-subコネクタ: 32 g

* 注文時にご指定ください
1)±5 µm 後続電子部で直線誤差補正後
2)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース 内の電気的仕様 を参照ください
F = マシンガイド
P = 調整用計測点* = 取付け誤差にガイドの動的誤差を加えた値Ⓢ = 測定長(ML)開始点Ⓣ = ホルダ全長
1 = 信号検出中心
2 = 走査ヘッドとスケール間の取付けクリアランス
3 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向

35

LIC 3119、LIC 3199

最大測定長10 mのアブソリュートリニアエンコーダ• 測定分解能10 nmまで
• スケールテープを接着テープにより取付け面に直接貼付• 走査ヘッドとスケールで構成

スケール

LIC 3109

スケール本体
熱膨張係数

スチール製スケールテープ (アブソリュートとインクリメンタルトラック付)
Þtherm  10 · 10–6 K–1

精度等級±15 µm

挟ピッチ精度≦ ±0.750 µm/50 mm (標準値)

ロールテープ長*

3 m、5 m、10 m

質量

31 g/m

走査ヘッド

LIC 311

LIC 319 F

LIC 319 M

LIC 319 P

LIC 319 Y

インターフェース

EnDat 2.2

ファナックシリアル
インターフェース
Þiインタフェース

三菱高速
シリアル
インターフェース

パナソニックシリアル
インターフェース

安川
シリアル
インターフェース

区分*

EnDat22

Þiインタフェース

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

分解能0.01 µm (10 nm)

計算時間 tcal
クロック周波数≦ 5 µs≦ 16 MHz

走査速度2)≦ 600 m/min

内挿精度±100 nm

電気的接続*

ケーブル長 1 m もしくは 3 m、8ピンM12カップリング(オス)もしくは15ピンD-subコネクタ(オス)付

1)0.60/50 *ケーブル長≦ 100 m(ハイデンハイン製ケーブル使用時)

走査ヘッド取付け例

YEC07

–

≦ 50 m≦ 30 m≦ 50 m

0.425/25

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

消費電力2) (最大)

3.6 Vにおいて: ≦ 700 mW 3.6 Vにおいて: ≦ 850 mW
14 Vにおいて: ≦ 800 mW 14 Vにおいて: ≦ 950 mW

消費電流(標準値)

5 Vにおいて: 75 mA(負荷なし)

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

0.30/25

0.30/25

質量

公差

36

F = マシンガイド* = 取付け誤差にガイドの動的誤差を加えた値Ⓢ = 測定長(ML)開始点Ⓛ = スケールテープ全長
1 = 信号検出中心
2 = 走査ヘッドとスケール間の取付けクリアランス
3 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向

走査ヘッド
ケーブル
接続部品

5 Vにおいて: 95 mA (負荷なし)≦ 18 g (ケーブル含まず)
20 g/mM12カップリング: 15 g、D-subコネクタ: 32 g

* 注文時にご指定ください
1)±5 µm 後続電子部で直線誤差補正後
2)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース 内の電気的仕様 を参照ください37

LIC 2117、LIC 2197

最大測定長3 mのアブソリュートリニアエンコーダ• 分解能100 nm または 50 nm• スケールテープをアルミホルダに挿入し中央クランプ留め• 走査ヘッドとスケールで構成

スケール

LIC 2107

スケール本体
熱膨張係数

アブソリュートトラック付スチール製スケールテープÞtherm  10 · 10–6 K–1

精度等級±15 µm

測定長 ML*(mm)

120
320
520
770
1020 1220 1520 2020 2420 3020
(これ以上の測定長は、お問い合わせください。ただし、6020 mmまで。)

質量20 g/m70 g/m

スケールテープ
ホルダ

走査ヘッド

LIC 211

LIC 219 F

LIC 219 M

LIC 219 P

LIC 219 Y

インターフェース

EnDat 2.2

ファナックシリアル
インターフェース
Þiインタフェース

三菱高速
シリアル
インターフェース

パナソニックシリアル
インターフェース

安川
シリアル
インターフェース

区分*

EnDat22

Þiインタフェース

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

分解能*

100 nm、50 nm

ビット幅

32ビット

計算時間 tcal
クロック周波数≦ 5 µs≦ 16 MHz

走査速度1)≦ 600 m/min

内挿精度

±2 µm

電気的接続*

ケーブル長 1 m もしくは 3 m、8ピンM12カップリング(オス)もしくは15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長≦ 100 m(ハイデンハイン製ケーブル使用時)
走査ヘッド取付け例

公差

38

F
*
Ⓒ
Ⓢ
Ⓣ
1
2
3
4

=
=
=
=
=
=
=
=
=

マシンガイド
走査中の最大傾き
アブリュートトラック開始点: 100 mm
測定長(ML)開始点
ホルダ全長
信号検出中心取付け側ねじ穴、M3、深さ5 mm
走査ヘッドとスケールテープ間の取付けクリアランス
正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向––≦ 50 m≦ 30 m

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

消費電力1) (最大)

3.6 Vにおいて: ≦ 700 mW 3.6 Vにおいて: ≦ 850 mW
14 Vにおいて: ≦ 800 mW 14 Vにおいて: ≦ 950 mW

消費電流(標準値)

5 Vにおいて: 75 mA(負荷なし)

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

質量

走査ヘッド
ケーブル
接続部品

YEC07

≦ 50 m

5 Vにおいて: 95 mA (負荷なし)≦ 18 g (ケーブル含まず)
20 g/mM12カップリング: 15 g、D-subコネクタ: 32 g

* 注文時にご指定ください
1)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース 内の電気的仕様 を参照ください

39

LIC 2119、LIC 2199

最大測定長3 mのアブソリュートリニアエンコーダ• 分解能100 nm または 50 nm• スケールテープを接着テープにより取付け面に直接貼付• 走査ヘッドとスケールで構成

②

①

③

R

スケール

LIC 2109

スケール本体
熱膨張係数

アブソリュートトラック付スチール製スケールテープÞtherm  10 · 10–6 K–1

精度等級±15 µm

測定長 ML*(mm)

120
320
520
770
1020 1220 1520 2020 2420 3020
(これ以上の測定長は、お問い合わせください。ただし、6020 mmまで。)

質量20 g/m

走査ヘッド

LIC 211

LIC 219 F

LIC 219 M

LIC 219 P

LIC 219 Y

インターフェース

EnDat 2.2

ファナックシリアル
インターフェース
Þiインタフェース

三菱高速
シリアル
インターフェース

パナソニックシリアル
インターフェース

安川
シリアル
インターフェース

区分*

EnDat22

Þiインタフェース

Mit03-4 Mit03-2 Pana02

分解能*

100 nm、50 nm

ビット幅

32ビット

計算時間 tcal
クロック周波数≦ 5 µs≦ 16 MHz

走査速度1)≦ 600 m/min

内挿精度

±2 µm

電気的接続*

ケーブル長 1 m もしくは 3 m、8ピンM12カップリング(オス)もしくは15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長≦ 100 m(ハイデンハイン製ケーブル使用時)
走査ヘッド取付け例

②

②

②

–
–

≦ 50 m≦ 30 m

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

消費電力1) (最大)

3.6 Vにおいて: ≦ 700 mW 3.6 Vにおいて: ≦ 850 mW
14 Vにおいて: ≦ 800 mW 14 Vにおいて: ≦ 950 mW

消費電流(標準値)

5 Vにおいて: 75 mA(負荷なし)

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

質量

走査ヘッド
ケーブル
接続部品

YEC07

≦ 50 m

5 Vにおいて: 95 mA (負荷なし)≦ 18 g (ケーブル含まず)
20 g/mM12カップリング: 15 g、D-subコネクタ: 32 g

* 注文時にご指定ください
1)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース 内の電気的仕様 を参照ください

公差

40

F
*
Ⓒ
Ⓢ
Ⓛ
1
2
3

=
=
=
=
=
=
=
=

マシンガイド
走査中の最大傾き
アブリュートトラック開始点: 100 mm
測定長(ML)開始点
スケールテープ全長
信号検出中心走査ヘッドとスケールテープ間の取付けクリアランス
正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向

41

LIP 382

超高精度インクリメンタルリニアエンコーダ• 推奨分解能 ～ 1 nm
• ねじによりスケール本体を固定

LIP 382①

スケール本体
熱膨張係数

Zerodurガラスセラミック表面にDIADUR位相格子、目盛間隔 0.512 µm
Þtherm = (0 ±0.1) · 10–6 K–1

精度等級±0.5 µm (さらに高い精度等級についてはお問い合わせください)

挟ピッチ精度≦ ±0.075 µm/5 mm

測定長 ML*(mm)

70

原点

なし

インターフェース

» 1 VPP

分割倍率
信号周期

–
0.128 µm

カットオフ周波数 –3 dB≧ 1 MHz

走査周波数*
エッジ間隔 a–

走査速度

≦ 7.6 m/min

内挿精度
ポジションノイズRMS±0.01 nm0.06 nm (1 MHz1))

レーザー

走査ヘッドとスケールをともに取付けた場合: クラス 1
走査ヘッド単体の場合: クラス 3B
レーザーダイオード使用時: クラス 3B

電気的接続

ケーブル長0.5 m(インターフェースユニットAPE付)、APE接続用アダプタケーブル(1 m/3 m/6 m/9 m)

ケーブル長

インターフェースに関する記述を参照ください。ただし、≦ 30 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.25 V

消費電流< 190 mA

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 4 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 50 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度

0 °C ～ 40 °C

質量

120

150

170

220

270

走査ヘッド
150 g
インターフェースユニット 100 g
スケール
ML 70 mm: 260 g、ML ≧ 150 mm: 700 g
ケーブル
38 g/mVISIBLE LASER RADIATION

公差* = 走査中の最大傾き
F = マシンガイドⓈ = 測定長(ML)開始点Ⓜ = 走査ヘッド取付け面
1 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向

42

IEC60825-1:2007
Pmax = 5 mW
λ= 670 nm* 注文時にご指定ください
1)
後続電子部のカットオフ周波数–3 dBにおいて

CLASS 3B LASER PRODUCT43

LIP 211、LIP 281、LIP 291

超高精度で、かつ高い位置安定性を実現したインクリメンタルリニアエンコーダ• 推奨分解能1 nm以下
• 高速制御と長尺測定用• 取付けクランプによりスケール本体を固定• 走査ヘッドとスケールで構成




14.5



12.5

ISO 7984 – M3x6 ISO 7984 – M3x6
ISO 7092 – 3







スケール

LIP 201

スケール本体
熱膨張係数

OPTODUR位相格子付きZerodurガラスセラミック、目盛間隔 2.048 µm
Þtherm = (0±0.1) · 10–6 K–1

精度等級*

±1 µm

挟ピッチ精度≦ ±0.125 µm/5 mm

測定長 ML*(mm)   20	   30	   50	   70	  120	  170	  220270	  320	  370	  420	  470	  520	  570620	  670	  720	  770	  820	  870	  920970 1020

原点

測定長中央に1箇所

質量1.1 g + 0.11 g/mm (測定長)

走査ヘッド

LIP 21

インターフェース



距離rはスケールの種類により異なります(通常 r = ML/2)

370	  420	  470	  520	  570	  620	  670720	  770	  820	  870	  920	  970 1020
1140 1240 1340 1440 1540 1640 1840
2040 2240 2440 2640 2840 3040

LIP 29 F

LIP 29 M

LIP 28

EnDat 2.2

ファナックシリアル
インターフェース1)

三菱高速シリアル
インターフェース1)» 1 VPP

区分

EnDat22

Þインタフェース

Mit02-4–

分割倍率

16384 (14ビット)

クロック周波数≦ 16 MHz––

計算時間 tcal≦ 5 µs––

分解能

0.03125 nm (31.25 pm)

–

信号周期

–

0.512 µm

カットオフ周波数 –3 dB–≧ 3 MHz

走査速度≦ 120 m/min≦ 90 m/min

内挿精度
ポジションノイズRMS±0.4 nm4)0.12 nm±0.4 nm0.12 nm (3 MHz3))

電気的接続*

ケーブル長 0.5 m もしくは 1 m (2 mおよび3 mは1 VPP用)、インターフェースユニット内蔵15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長

インターフェースに関する記述を参照ください。ただし、≦ 15 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時、1 VPPの場合は≦ 30 m)、PWM 21を用いた信号調整時: ≦ 3 m

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

DC 5 V ±0.25 V

消費電力2) (最大)14 Vにおいて: 2500 mW、3.6 Vにおいて: 2600 mW

–

消費電流

5 Vにおいて: 300 mA (負荷なし、標準値)≦ 390 mA

レーザー

走査ヘッドとスケールをともに取付けた場合: クラス 1、走査ヘッド単体の場合: クラス 3B

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 200 m/s (IEC 60068-2-6)≦ 400 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度

0 °C ～ 50 °C

質量

走査ヘッド: 59 g、コネクタ: 140 g、ケーブル: 22 g/m

1)

取付けクランプ間の距離 d は次式で表されます。

取付けクランプの組数n(両端は取付けクランプを使用)

走査ヘッド取付け例

±3 µm(測定長1140 mm以上のさらに高い精度等級については
お問い合わせください)








公差

INVISIBLE LASER RADIATION

F = マシンガイドⓇ = 原点位置Ⓛ = スケール全長Ⓢ = 測定長(ML)開始点Ⓔ = 取付説明書に従った接着剤Ⓐ = 走査ヘッド取付け面
1 = 熱膨張基準点設定のために塗布する接着剤用の取付け部品
2 = ねじ頭部の最大高さ: 0.5 mm
3 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向
4 = 信号検出中心

IEC60825-1:2007
Pmax = 4 mW
λ= 850 nm
CLASS 3B LASER PRODUCT

–

4)

2

* 注文時にご指定ください。測定長(ML) = 70 mm以下の場合、接着テープによる固定を推奨します。
“位置値2“にて原点位置を通過後、絶対位置値を確立
2)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース 内の電気的仕様 を参照ください
3)
4)
後続電子部のカットオフ周波数–3 dBにおいて		
ハイデンハイン製インターフェースユニット使用時
1)

44

45

LIP 6071、LIP 6081

超高精度インクリメンタルリニアエンコーダ• 限られた設置スペースに対応• 推奨分解能 ～ 1 nm
• 高速制御と長尺測定用• ホーミング機能とリミットスイッチ機能付き• 接着テープもしくは取付けクランプによりスケール本体を固定取付けクランプ使用時
15±0.1(ML+10)±0.5



10

ISO 7984–M3x6

16



5











(ML+10)/2

スケール

LIP 6001

スケール本体*
熱膨張係数

OPTODUR位相格子付きZerodurガラスセラミックもしくはガラス、目盛間隔 8 µm
Þtherm = (0±0.1) · 10–6 K–1 (Zerodurガラスセラミック)、Þtherm  8 · 10–6 K–1 (ガラス)精度等級*±1 µm (測定長ML 1020 mmまでのZerodurガラスセラミックのみ)、±3 µm

挟ピッチ精度≦ ±0.175 µm/5 mm

測定長 ML*(mm)   20	   30	   50	   70	  120	  170	  220	  270	  320	  370	  420	  470	  520	  570620	  670	  720	  770	  820	  870	  920	  970 1020 1140 1240 1340 1440 1540
1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040

原点

測定長中央に1箇所

質量1.1 g + 0.11 g/mm (測定長)

走査ヘッド

LIP 608

LIP 607

インターフェース

» 1 VPP

TTL1)

分割倍率*
信号周期

–
4 µm

5倍
0.8 µm

カットオフ周波数 –3 dB≧ 1 MHz

走査周波数

–

–
–
≦ 250 kHz≦ 125 kHz≦ 62.5 kHz ≦ 12.5 kHz–≦ 312.5 kHz ≦ 125 kHz≦ 62.5 kHz ≦ 31.25 kHz ≦ 6.25 kHz≦ 312.5 kHz ≦ 156.25 kHz ≦ 62.5 kHz ≦ 31.25 kHz ≦ 15.63 kHz ≦ 3.13 kHz

エッジ間隔 a–––≧ 0.135 µs

走査速度2)≦ 240 m/min ––≦ 60 m/min ≦ 30 m/min ≦ 15 m/min ≦ 3 m/min≦ 75 m/min ≦ 30 m/min ≦ 15 m/min ≦ 7.5 m/min ≦ 1.5 m/min–≦ 75 m/min ≦ 37 m/min ≦ 15 m/min ≦ 7.5 m/min ≦ 3.7 m/min ≦ 0.75 m/min

内挿精度
ポジションノイズRMS±4 nm
0.4 nm3)(1 MHz )電気的接続*

ケーブル出口 左側もしくは右側
1 VPP : ケーブル長 0.5 m、1 m、3 m、15ピンD-subコネクタ(オス)付
TTL: ケーブル長 0.5 m もしくは 1 m、インターフェースユニット内蔵15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長

ハイデンハイン製ケーブル使用時: ホーミング、リミット: ≦ 10 m、インクリメンタルのみ: ≦ 20 m、PWM 21を用いた信号調整時: ≦ 3 m

供給電圧

DC 5 V ±0.5 V

消費電流≦ 150 mA

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

(ML+10)±0.5

接着テープ使用時



10±2

16







1.15
3

1.15



LE
0.13 A IKS
0.08 A RI*





6.85

14.85
17



LE
0.06 A IKS
0.04 A RI*

 0.75±0.2

ISO 7092–3±0.1 RI*

0±0.2±0.1 RI*







9

a

0.03 A IKS
0.02 A RI*

0.75±0.2±0.1 RI*

ISO 4762–M2.5x (a+4.9) - 8.8
ISO 7092–2.5


6.8±0.03(10.45) 取付けクランプ使用時(10.58) 接着テープ使用時

10倍
0.4 µm

–≧ 0.07 µs≧ 0.135 µs

25倍0.16 µm

50倍0.08 µm

100倍0.04 µm

500倍
0.008 µm

≧ 0.03 µs≧ 0.07 µs≧ 0.135 µs–a

ISO 4762–M3x (a+6) - 8.8

F = マシンガイド* = 走査中の最大傾き
IKS = インクリメンタル目盛
RI = 原点目盛Ⓜ = 走査ヘッド取付け面Ⓛ = スケール全長Ⓢ = 測定長(ML)開始点Ⓖ = 熱膨張基準点設定用固定点Ⓡ = 原点位置
1 = 信号検出中心
2 = スケールに対する走査ヘッドの取付けクリアランス(スペーサにより調整)
3 = スケール固定面
4 = 測定長(ML)に応じて、取付けクランプを追加してください
5 = 接着剤
6 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向
7 = モアレ調整方法1: 調整ピン ¬ 3m6、取付け例の場合のみ使用可能
8 = モアレ調整方法2: 調整ピン ¬ 2m6
10 = 接着テープ (スケールを接着固定する場合のみ)

46



0.05

4.9±0.1

走査ヘッド取付け例(取付けクランプは図示していません)

M3



12.7

>3.4

20.8±0.05

0±0.2±0.1 RI*26>R8

2.6±0.05

オプション: ケーブル出口 左側

7.5

2.9±0.1

12.7

10

20.8

2.7

3.4

0.13±0.01

M2.5x52.6

0.05 B
0.01 B

IKS
RI*

7.5

走査ヘッドとスケール取付けクランプ使用時/接着テープ使用時

10

2.6±0.05

(ML+10)/2

15±0.156.8±0.03(10.45) 取付けクランプ使用時(10.58) 接着テープ使用時

質量

公差

走査ヘッド
コネクタ
ケーブル

≦ 300 mA (負荷なし)

 5 g (ケーブル含まず)
AK LIP 608  71 g、AK LIP 607  74 g
 24 g/m* 注文時にご指定ください。測定長(ML) = 70 mm以下の場合、接着テープによる固定を推奨します。
1)
2)
内部クロックに同期しないTTLx1はお問い合わせください		
TTL: 原点通過時の最大走査速度: 16.8 m/min (70 kHz)3)
後続電子部のカットオフ周波数–3 dBにおいて

47

LIF 471、LIF 481

PRECIMET接着テープにより取付けが容易なインクリメンタルリニアエンコーダ• 推奨分解能 ～ 2 nm
• ホーミング機能とリミットスイッチ機能付き• PRECIMET接着テープによりスケール本体を固定• 走査ヘッドとスケールで構成• 高真空対応製品を用意 (製品情報 を参照してください)• インターフェース回路をコネクタに内蔵

①

 4.5

40.1

33.3

UNC 4/40②

スケール

LIF 401 R

スケール本体*
熱膨張係数

SUPRADUR位相格子付きZerodurガラスセラミックもしくはガラス、目盛間隔 8 µm
Þtherm = (0±0.1) · 10–6 K–1 (Zerodurガラスセラミック)Þtherm  8 · 10–6 K–1 (ガラス)精度等級*±1 µm (測定長ML 1020 mmまでのZerodurガラスセラミックのみ)、±3 µm

挟ピッチ精度≦ ±0.225 µm/5 mm

測定長 ML*(mm)   70	  120	  170	  220	  270	  320	  370	  420	  470	  520	  570	  620	  670720	  770	  820	  870	  920	  970 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640

原点

測定長中央に1箇所

質量0.8 g + 0.08 g/mm (測定長)

走査ヘッド

LIF 48

LIF 47

インターフェース

» 1 VPP

 TTL

分割倍率*
信号周期

–
4 µm

5倍
0.8 µm

カットオフ周波数 –3 dB≧ 1 MHz–

走査周波数*–

エッジ間隔 a10倍
0.4 µm20倍
0.2 µm50倍
0.08 µm

100倍0.04 µm≦ 500 kHz≦ 250 kHz≦ 125 kHz≦ 250 kHz≦ 125 kHz≦ 62.5 kHz≦ 250 kHz≦ 125 kHz≦ 62.5 kHz≦ 100 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 12.5 kHz–≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs≧ 0.040 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.040 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.040 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs

走査速度1)≦ 240 m/min≦ 120 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 24 m/min≦ 12 m/min≦ 6 m/min≦ 12 m/min≦ 6 m/min≦ 3 m/min

内挿精度
ポジションノイズRMS–±12 nm2)
0.6 nm (1 MHz )電気的接続*

ケーブル長 0.5 m、1 m、3 m、インターフェースユニット内蔵15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長

インターフェースのページを参照ください。
ただし、インクリメンタル: ≦ 30 m、ホーミング、リミット: ≦ 10 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.25 V

消費電力 (最大)走査ヘッド: 130 mW、LIF 48コネクタ: 640 mW、LIF 47コネクタ: 720 mW (負荷なし)

消費電流< 150 mA

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 400 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度

0 °C ～ 50 °C

50* = 走査中の最大傾き
F = マシンガイド
ML = 測定長Ⓔ = ML < 170の場合のエポキシ塗布面
1 = リミットスイッチの寸法
2 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向

公差

関連資料:

製品情報

LIF 471 V/481 V
高真空用
オープンタイプリニアエンコーダ

真空バージョンに関する詳しい情報は、
製品情報LIF 471V/481Vを参照してください。

関連資料:

製品情報

LIF 171
LIF 181
インクリメンタルリニアエンコーダ

絶対番地化原点や、測定長1640 mmを超える製品については、
製品情報LIF 171、LIF 181を参照してください。

02/202105/2018質量

走査ヘッド*
ケーブル
コネクタ< 165 mA (負荷なし)

Zerodurガラスセラミック用: 25 g
ガラススケール用: 9 g
38 g/m75 g* 注文時にご指定ください
1)
TTL: 原点通過時の最大走査速度: 9.6 m/min (40 kHz)2)
後続電子部のカットオフ周波数–3 dBにおいて

48

49

LIDA 473、LIDA 483

リミットスイッチ機能付インクリメンタルリニアエンコーダ• 推奨分解能 ～ 10 nm• ガラスセラミックまたはガラス• PRECIMET接着テープによりスケール本体を固定• 走査ヘッドとスケールで構成
スケール

LIDA 403

スケール本体
熱膨張係数*METALLUR目盛格子付ガラスもしくはガラスセラミック、目盛間隔 20 µmÞtherm  8 · 10–6 K–1 (ガラス)Þtherm = (0±0.5) · 10–6 K–1 (Robaxガラスセラミック)

精度等級*±1 µm (Robaxガラスセラミックのみ)、±3 µm、±5 µm

挟ピッチ精度≦ ±0.275 µm/10 mm

測定長 ML*(mm)240	  340	  440	  640	  840 1040 1240 1440 1640
2640 2840 3040 (RobaxガラスセラミックはML 1640まで)

原点*

LIDA 4x3: 測定長中央に1箇所、LIDA 4x3 C: 絶対番地化原点

質量3 g + 0.11 g/mm (測定長)

走査ヘッド

LIDA 48

LIDA 47

インターフェース

» 1 VPP

 TTL

分割倍率*
信号周期

–
20 µm

5倍
4 µm

カットオフ周波数 –3 dB≧ 500 kHz–

走査周波数*–

エッジ間隔 a1)

公差

50

2040

2240

2440

10倍
2 µm

50倍
0.4 µm100倍0.2 µm≦ 400 kHz≦ 200 kHz≦ 100 kHz≦ 50 kHz≦ 200 kHz≦ 100 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 12.5 kHz≦ 25 kHz≦ 12.5 kHz≦ 6.25 kHz–≧ 0.100 µs≧ 0.220 µs≧ 0.465 µs≧ 0.950 µs≧ 0.100 µs≧ 0.220 µs≧ 0.465 µs≧ 0.950 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs

走査速度1)≦ 600 m/min≦ 480 m/min≦ 240 m/min≦ 120 m/min≦ 60 m/min≦ 240 m/min≦ 120 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 7.5 m/min

内挿精度±45 nm–

リミットスイッチ

L1/L2 (2種類のマグネットにより左右認識可)、出力信号: TTL (ラインドライバなし)

電気的接続

ケーブル長 0.5 m、1 m、3 m、15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長

インターフェースの記述を参照ください。ただし、リミット: ≦ 20 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.5 V

消費電流< 130 mA

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

走査ヘッド取付け例

F = マシンガイド* =	走査中の最大傾き(IKS: インクリメンタル目盛、RI: 原点目盛)Ⓢ = 測定長(ML)開始点Ⓡ = 原点位置 (LIDA 4x3)
Ⓒ = 原点位置 (LIDA 4x3 C)Ⓛ = スケール全長Ⓐ = リミットスイッチ位置選択マグネットⓂ = 走査ヘッド取付け面
1 = 信号品質表示LED
2 = 走査ギャップ
3 = スケール固定面
4 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向

1840

質量

走査ヘッド
ケーブル
コネクタ

< 150 mA (負荷なし)

20 g (ケーブル含まず)
22 g/m32 g* 注文時にご指定ください
1)
対応するカットオフ周波数または走査周波数の場合
Robaxは、Schott-Glaswerke, Mainz, Germanyの登録商標です。

51

LIDA 475、LIDA 485

測定長30 mまでのインクリメンタルリニアエンコーダ• 推奨分解能 ～ 10 nm• リミットスイッチ• アルミ固定ホルダにスケールテープを挿入し両端をテンション留め• 走査ヘッドとスケールで構成
ML  2040

スケール

LIDA 405

スケール本体
熱膨張係数

METALLUR目盛格子付きスチールテープ、目盛間隔 20 µm
取付け面に準ずる

精度等級

±5 µm

挟ピッチ精度≦ ±0.750 µm/50 mm (標準値)

測定長 ML*(mm)140	  240	  340	  440	  540	  640	  740	  840	  940 1040
1540 1640 1740 1840 1940 2040

1140

1240

1340

1440

測定長2040 mm以上については、1本のスケールテープと複数のアルミホルダを使用して最長30 040 mmまで対応可能

ML > 2040 (例 ML = 5040)

走査ヘッド取付け例

公差52

Ô = アルミホルダをねじ固定する場合
Õ =	アルミホルダをPRECIMETで固定する場合
F = マシンガイド* =	走査中の最大傾き(IKS: インクリメンタル目盛、RI: 原点目盛)
P = 調整用計測点Ⓢ = 測定長(ML)開始点Ⓡ = 原点位置Ⓐ = リミットスイッチ位置選択マグネットⓉ = アルミホルダ全長Ⓩ =	測定長3040 mm以上用スペーサⓂ = 走査ヘッド取付け面
1 = 信号品質表示LED
2 = 走査ギャップ
3 = アルミホルダ固定面
4 =	正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向

原点

測定長中央に1箇所

質量115 g + 0.25 g/mm (測定長)

走査ヘッド

LIDA 48

LIDA 47

インターフェース

» 1 VPP

 TTL

分割倍率*
信号周期

–
20 µm

5倍
4 µm

カットオフ周波数 –3 dB≧ 500 kHz–

走査周波数*–

エッジ間隔 a1)

10倍
2 µm

50倍
0.4 µm100倍0.2 µm≦ 400 kHz≦ 200 kHz≦ 100 kHz≦ 50 kHz≦ 200 kHz≦ 100 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 12.5 kHz≦ 25 kHz≦ 12.5 kHz≦ 6.25 kHz–≧ 0.100 µs≧ 0.220 µs≧ 0.465 µs≧ 0.950 µs≧ 0.100 µs≧ 0.220 µs≧ 0.465 µs≧ 0.950 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs

走査速度1)≦ 600 m/min≦ 480 m/min≦ 240 m/min≦ 120 m/min≦ 60 m/min≦ 240 m/min≦ 120 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 7.5 m/min

内挿精度±45 nm–

リミットスイッチ

L1/L2 (2種類のマグネットにより左右認識可)、出力信号: TTL (ラインドライバなし)

電気的接続

ケーブル長 0.5 m、1 m、3 m、15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長

インターフェースの記述を参照ください。ただし、リミット: ≦ 20 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.5 V

消費電流< 130 mA

< 150 mA (負荷なし)
2

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

質量

走査ヘッド
ケーブル
コネクタ

20 g (ケーブル含まず)
22 g/m32 g* 注文時にご指定ください
1)
対応するカットオフ周波数または走査周波数の場合

53

LIDA 477、LIDA 487

測定長6 mまでのインクリメンタルリニアエンコーダ• 推奨分解能 ～ 10 nm• リミットスイッチ• スケールテープを接着テープ付きアルミホルダに挿入し中央クランプ留め• 走査ヘッドとスケールで構成

ML  2040(例 ML = 840)

スケール

LIDA 407

スケール本体
熱膨張係数

METALLUR目盛格子付きスチールテープ、目盛間隔 20 µmÞtherm  10 · 10–6 K–1

精度等級*±3 µm (測定長ML 1040 mmまで)、±5 µm (測定長ML 1240 mmから)、±15 µm1)

挟ピッチ精度≦ ±0.750 µm/50 mm (標準値)

測定長 ML*(mm)240	  440	  640	  840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840
3040 3240 3440 3640 3840 4040 4240 4440 4640 4840 5040 5240 5440 5640
5840 6040

原点

測定長中央に1箇所

質量25 g + 0.1 g/mm (測定長)

走査ヘッド

LIDA 48

LIDA 47

インターフェース

» 1 VPP

 TTL

分割倍率*
信号周期

–
20 µm

5倍
4 µm

カットオフ周波数 –3 dB≧ 500 kHz–

走査周波数*–

エッジ間隔 a2)

10倍
2 µm

50倍
0.4 µm100倍0.2 µm≦ 400 kHz≦ 200 kHz≦ 100 kHz≦ 50 kHz≦ 200 kHz≦ 100 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 12.5 kHz≦ 25 kHz≦ 12.5 kHz≦ 6.25 kHz–≧ 0.100 µs≧ 0.220 µs≧ 0.465 µs≧ 0.950 µs≧ 0.100 µs≧ 0.220 µs≧ 0.465 µs≧ 0.950 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs

走査速度2)≦ 600 m/min≦ 480 m/min≦ 240 m/min≦ 120 m/min≦ 60 m/min≦ 240 m/min≦ 120 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 7.5 m/min

内挿精度±45 nm–

リミットスイッチ

L1/L2 (2種類のマグネットにより左右認識可)、出力信号: TTL (ラインドライバなし)

電気的接続

ケーブル長 0.5 m、1 m、3 m、15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長

インターフェースの記述を参照ください。ただし、リミット: ≦ 20 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.5 V

消費電流< 130 mA

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

ML > 2040(例 ML = 5040)

走査ヘッド取付け例

公差54

F = マシンガイド* =	走査中の最大傾き(IKS: インクリメンタル目盛、RI: 原点目盛)
P = 調整用計測点Ⓢ = 測定長(ML)開始点Ⓡ = 原点位置Ⓐ = リミットスイッチ位置選択マグネットⓉ = ホルダ全長Ⓜ = 走査ヘッド取付け面
1 = 信号品質表示LED
2 = 走査ギャップ
3 = アルミホルダ固定面
4 =	正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動
方向

質量

走査ヘッド
ケーブル
コネクタ

< 150 mA (負荷なし)

20 g (ケーブル含まず)
22 g/m32 g* 注文時にご指定ください
1)±5 µm 後続電子部で直線誤差補正後2)対応するカットオフ周波数または走査周波数の場合

55

LIDA 479、LIDA 489

測定長6 mまでのインクリメンタルリニアエンコーダ• 推奨分解能 ～ 10 nm• リミットスイッチ• スケールテープを接着テープにより取付け面に直接貼付• 走査ヘッドとスケールで構成

走査ヘッド取付け例

公差

F = マシンガイド* =	走査中の最大傾き(IKS: インクリメンタル目盛、RI: 原点目盛)Ⓢ = 測定長(ML)開始点Ⓡ = 原点位置Ⓛ = スケールテープ全長Ⓐ = リミットスイッチ位置選択マグネットⓂ = 走査ヘッド取付け面
1 = 信号品質表示LED
2 = 走査ギャップ
3 = スケールテープ固定面
4 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向

スケール

LIDA 409

スケール本体
熱膨張係数

METALLUR目盛格子付きスチールテープ、目盛間隔 20 µmÞtherm  10 · 10–6 K–1

精度等級*± 3 µm、 ± 15 µm1)

挟ピッチ精度≦ ±0.750 µm/50 mm (標準値)

測定長 ML*(mm)

70
420

原点

測定長中央に1箇所

質量31 g/m

走査ヘッド

LIDA 48

LIDA 47

インターフェース

» 1 VPP

 TTL

分割倍率*
信号周期

–
20 µm

5倍
4 µm

カットオフ周波数 –3 dB≧ 500 kHz–

走査周波数*–

エッジ間隔 a2)

120
520

170
620

220
720

270
820

320	  370
920
1020

ロールテープによる供給: 2 m、4 m、6 m
50 mm毎3)

10倍
2 µm

50倍
0.4 µm100倍0.2 µm≦ 400 kHz≦ 200 kHz≦ 100 kHz≦ 50 kHz≦ 200 kHz≦ 100 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 50 kHz≦ 25 kHz≦ 12.5 kHz≦ 25 kHz≦ 12.5 kHz≦ 6.25 kHz–≧ 0.100 µs≧ 0.220 µs≧ 0.465 µs≧ 0.950 µs≧ 0.100 µs≧ 0.220 µs≧ 0.465 µs≧ 0.950 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs≧ 0.080 µs≧ 0.175 µs≧ 0.370 µs

走査速度2)≦ 600 m/min≦ 480 m/min≦ 240 m/min≦ 120 m/min≦ 60 m/min≦ 240 m/min≦ 120 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 60 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 30 m/min≦ 15 m/min≦ 7.5 m/min

内挿精度±45 nm–

リミットスイッチ

L1/L2 (2種類のマグネットにより左右認識可)、出力信号: TTL (ラインドライバなし)

電気的接続

ケーブル長 0.5 m、1 m、3 m、15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長

インターフェースの記述を参照ください。ただし、リミット: ≦ 20 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.5 V

消費電流< 130 mA

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

質量

走査ヘッド
ケーブル
コネクタ

< 150 mA (負荷なし)

20 g (ケーブル含まず)
22 g/m32 g* 注文時にご指定ください
1)±5 µm 後続電子部で直線誤差補正後2)対応するカットオフ周波数または走査周波数の場合
3)
稼働中、1つの原点のみ使用します。推奨: 特別な走査ヘッドLIDA 4xRを使用してください。

56

57

LIDA 277、LIDA 287

取付け公差の大きいインクリメンタルリニアエンコーダ• 推奨分解能 ～ 100 nm• ロールテープによる供給• スケールテープを接着テープ付きアルミホルダに挿入し取付け• 3色LEDによる信号品質表示機能搭載• 走査ヘッドとスケールで構成
スケール

LIDA 207

スケール本体
熱膨張係数

スチールスケールテープ、目盛間隔 200 µm
therm  10 · 10–6 K–1

精度等級±15 µm

ロールテープ長*

3 m、5 m、10 m

原点

100 mm毎に選択可能

質量

走査ヘッド取付け例

スケールテープホルダ

20 g/m70 g/m

走査ヘッド

LIDA 28

LIDA 27

インターフェース

» 1 VPP

« TTL

分割倍率*
信号周期

–
200 µm

10倍
20 µm

50倍
4 µm

100倍
2 µm

カットオフ周波数
走査周波数
エッジ間隔 a≧ 50 kHz–––≦ 50 kHz≧ 0.465 µs–≦ 25 kHz≧ 0.175 µs–≦ 12.5 kHz≧ 0.175 µs

走査速度≦ 600 m/min≦ 300 m/min≦ 150 m/min

内挿精度

±2 µm

電気的接続*

ケーブル長 1 m もしくは 3 m、15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長

インターフェースに関する記述を参照ください。ただし、≦ 30 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.25 V

消費電流< 155 mA

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 200 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

質量

走査ヘッド
ケーブル
コネクタ

–

< 140 mA (負荷なし)

20 g (ケーブル含まず)
30 g/m32 g* 注文時にご指定ください
公差* = 走査中の最大傾き
F = マシンガイドⓇ = 原点位置Ⓛ = スケールテープ全長Ⓢ = 測定長(ML)開始点
1 = LED (取付け確認用に搭載)
2 = 両端にねじ穴
3 = 走査ヘッドに対する原点の位置
4 = 走査ヘッドとスケール間の取付けクリアランス
5 = 取付け側ねじ穴、M3、深さ5 mm
6 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向
原点:
k = 測定開始点から最初の原点位置までの距離(カットにより異なる)

58

59

LIDA 279、LIDA 289

取付け公差の大きいインクリメンタルリニアエンコーダ• 推奨分解能 ～ 100 nm• ロールテープによる供給• スケールテープを接着テープにより取付け面に直接貼付• 3色LEDによる信号品質表示機能搭載• 走査ヘッドとスケールで構成

走査ヘッド取付け例

スケール

LIDA 209

スケール本体
熱膨張係数

スチールスケールテープ、目盛間隔 200 µm
therm  10 · 10–6 K–1

精度等級±15 µm

ロールテープ長*

3 m、5 m、10 m

原点

100 mm毎に選択可能

質量20 g/m

走査ヘッド

LIDA 28

LIDA 27

インターフェース

» 1 VPP

« TTL

分割倍率*
信号周期

–
200 µm

10倍
20 µm

50倍
4 µm

100倍
2 µm

カットオフ周波数
走査周波数
エッジ間隔 a≧ 50 kHz–––≦ 50 kHz≧ 0.465 µs–≦ 25 kHz≧ 0.175 µs–≦ 12.5 kHz≧ 0.175 µs

走査速度≦ 600 m/min≦ 300 m/min≦ 150 m/min

内挿精度

±2 µm

電気的接続*

ケーブル長 1 m もしくは 3 m、15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長

インターフェースに関する記述を参照ください。ただし、≦ 30 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.25 V

消費電流< 155 mA

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 200 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 500 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

質量

公差

走査ヘッド
ケーブル
コネクタ

–

< 140 mA (負荷なし)

20 g (ケーブル含まず)
30 g/m32 g* 注文時にご指定ください* = 走査中の最大傾き
F = マシンガイドⓇ = 原点位置Ⓛ = スケールテープ全長Ⓢ = 測定長(ML)開始点
1 = LED (取付け確認用に搭載)
2 = 両端にねじ穴
3 = 走査ヘッドに対する原点の位置
4 = 接着テープ
5 = スチールスケールテープ
6 = 走査ヘッドとスケール間の取付けクリアランス
7 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向
原点:
k = 測定開始点から最初の原点位置までの距離(カットにより異なる)
j = 原点の間隔は100 mm毎6061

PP 281 R

2軸座標インクリメンタルエンコーダ• 推奨分解能 1 µm ～ 0.05 µm

①

③

③

公差

* = 走査中の最大傾き
F = マシンガイドⓇ = 原点位置
1 = 取付け時の調整方向
2 = 目盛側
3 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向



②
PP 281 R
スケール本体
熱膨張係数

2軸交差型TITANID位相格子付きガラス、目盛間隔 8 µm
Þtherm  8 · 10–6 K–1

精度等級

±2 µm

測定範囲

68 mm x 68 mm(他の測定範囲についてはお問い合わせください)

原点

1)

各軸1箇所 (いずれも測定長開始点から3 mm)

インターフェース

» 1 VPP

信号周期

4 µm

カットオフ周波数 –3 dB≧ 300 kHz

走査速度

≦ 72 m/min

内挿精度
ポジションノイズ RMS±12 nm2 nm (450 kHz2))

電気的接続

ケーブル長 0.5 m、インターフェースユニット内蔵15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長

インターフェースに関する記述を参照ください。ただし、≦ 30 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.25 V

消費電流< 185 mA (1軸あたり)振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 80 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 100 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度

0 °C ～ 50 °C

質量

走査ヘッド
グリッド目盛本体
ケーブル
コネクタ

3)

170 g (ケーブル含まず)
75 g
37 g/m140 g

1)

原点信号のゼロクロスオーバーK、Lはインターフェースカタログ記載の仕様とは異なります(取付説明書をご覧ください)
後続電子部のカットオフ周波数–3 dBにおいて
3)
ハイデンハイン製インターフェースユニット使用時(例、EIB 741)
2)

62

63

インターフェース
インクリメンタル信号 » 1 VPP

ハイデンハインエンコーダで »1 VPP インターフェース形式のものは、高い内挿分割を可能とする電圧信号を出力します。

リミットスイッチ

リニアエンコーダLIDA 400シリーズは、磁石により動作する磁気センサを内蔵しており、その信号をリミットスイッチ機能として利用することができます。リミットスイッチは、接着した磁石のS極N極を判別することにより左限/右限を区別します。磁石の配置により、ホーミングトラッ
クを作ることも可能です。リミットスイッチからの各信号L1とL2は異なる信号線により出力されます。なお、これらの信号線に使用されるケーブルは、3.7 mm径の細いケーブルが使用されているため、装置の可動部への負荷は最小限に抑えられます。

信号周期360° elec.

正弦波インクリメンタル信号A相とB相は90°(elec.)の位相差を有し、信号振幅は通常
1 VPPです。図で表示した出力信号のシーケン
ス(B相がA相に遅れて出力)は、個別の寸法図に示される方向に動作した際に得られる信号です。
原点信号Rはインクリメンタル信号の特定の位置に明確に割り当てられます。出力信号は原点位置周辺では多少変化します。

関連資料:
各インターフェースおよび電気的仕様に関しての詳しい説明は、カタログ
ハイデンハインエンコーダのインターフェース
を参照してください。

インクリメンタル信号は、1 VPPもしくはTTLイン
ターフェースに準拠します。

代替信号波形(規定値)

A、B、R はオシロスコープにて差動で測定される関連資料:
各インターフェースおよび電気的仕様に関しての詳しい説明は、カタログ
ハイデンハインエンコーダのインターフェース
を参照してください。

インクリメンタル信号 « TTL

ハイデンハインエンコーダで « TTL インターフェース形式のものは、正弦波走査信号を分割して、または分割なしで、デジタル化する回路を内蔵しています。
インクリメンタル信号は、90°(elec.)の位相差をもった矩形波パルスUa1、Ua2として送信されます。原点信号は1個以上の原点パルスUa0
からなり、インクリメンタル信号によりゲートがかけられています。さらに、内蔵電子回路では
反転信号¢、£、¤を発生し、ノイズに強い信号伝送が行えます。図で表示した信号シー
ケンス(すなわちUa2がUa1に遅れて出力される)は、個別の寸法図に示されている方向に動作した際に得られる信号です。

リミットスイッチ/ホーミング機能

4逓倍評価後の測定分解能

リニアエンコーダLIF 4x1とLIP 60x1は、インク
リメンタル信号に加えて、リミットスイッチとホー
ミング機能を備えています。
リミット信号Lとホーミング信号Hは、それぞれ異なる信号線により、TTL矩形波にて出力されます。なお、これらの信号線には4.5 mm径(LIF 4x1)もしくは3.7 mm径(LIP 60x1)の細いケーブルが使用されているため、装置の可動部への負荷は最小限に抑えられます。

関連資料:
各インターフェースおよび電気的仕様に関しての詳しい説明は、カタログ
ハイデンハインエンコーダのインターフェース
を参照してください。

インクリメンタル信号は、1 VPPもしくはTTLイン
ターフェースに準拠します。
反転信号 ¢、£、¤ は表示していません

アラーム信号 ¥ は電源ラインの断線や光源の異常などの故障状況を知らせます。
1、2、もしくは4逓倍評価後のインクリメンタル
信号Ua1とUa2の連続する2つのエッジ間の距
離が、測定分解能となります。

64

異常発生時

信号周期 360° elec.

関連資料:
各インターフェースおよび電気的仕様に関しての詳しい説明は、カタログ
ハイデンハインエンコーダのインターフェース
を参照してください。

65インターフェース
ピン配列 (1 VPP/TTL)

LIDA

LIP 281およびPP 281 R

15ピンD-subコネクタ

15ピンD-subコネクタ

供給電圧
4
« TTL

UP

» 1 VPP2)

12

インクリメンタル信号

210センサ4) 0 V
5V

センサ
0V

青

茶/緑

白/緑

4)

白

その他信号

供給電圧

1

9

3

11

14

7

13

8

6

15

5

Ua1

¢

Ua2

£

Ua0



¥

L1

3)

L23)

PWT1)

空き

A+

A–

B+

B–

R+

R–

–

–

空き

茶

緑

灰

ピンク

赤

黒

紫

黄

/

緑/黒

黄/黒

1)

シールドはハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと。

PWT用にTTL/11 µAPP切換え
2)接続ケーブルの芯線色
3)LIDA 400のみ
4)
LIDA 200: 空き

12

2

10

1

9

3

11

14

7

13

5

6/8

15

» 1 VPP

UP

センサ
5V

0V

センサ
0V

A+

A–

B+

B–

R+

R–

–
空き3)

1)

–1)
空き3)

/

–
空き3)

2)

茶/緑

青

白/緑

白

茶

緑

灰

ピンク

赤

黒

紫

赤/黒

/

黄

15ピンD-subコネクタ

12ピンM23カップリング

« TTL

12

2

10

1

9

3

11

14

7

13

8

6

15

5

UP

センサ
5V

0V

センサ
0V

Ua1

¢

Ua2

£

Ua0



¥

H

3)

L3)

PWT1)

空き

« TTL

A+

A–

B+

B–

R+

R–

–

–

空き

» 1 VPP

茶

緑

灰

ピンク

赤

黒

紫

黄

/

2)

茶/緑

青

白/緑

白

シールドはハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと。

緑/黒

黄/黒

1)

PWT用にTTL/11 µAPP切換え
接続ケーブルの芯線色
3)
LIP 6000/LIF 400のみ
2)

関連資料:
ケーブルに関しての詳しい説明は、カタログケーブル・コネクタを参照してください。

66

調整時のみ使用、稼働中は使用しないでください。
接続ケーブルの芯線色
3)
PP 281 R
2)

12ピンM23コネクタ

供給電圧

4

» 1 VPP
2)

その他信号

1)

1)

シールドはハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと。

LIDA 400 特殊コネクタ

インクリメンタル信号

その他信号

4

LIFおよびLIP 6000

供給電圧

インクリメンタル信号

インクリメンタル信号

その他信号

12

2

10

11

5

6

8

1

3

4

7

9

UP

センサ
UP

0V

センサ
0V

Ua1

¢

Ua2

£

Ua0



¥

PWT

A+

A–

B+

B–

R+

R–

L1

L2

青

白/緑

白

茶

緑

灰

ピンク

赤

黒

紫

黄

茶/緑

シールドはハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと。

1)
2)

1)

PWT用にTTL/11 µAPP切換え
接続ケーブルの芯線色

関連資料:
ケーブルに関しての詳しい説明は、カタログケーブル・コネクタを参照してください。

67インターフェース
位置値

ファナックおよび三菱用ピン配列

区分

コマンドセット

EnDat01

EnDat 2.1 もしくは EnDat 2.2 あり

EnDat21なし

EnDat02

EnDat 2.2あり

EnDat22

EnDat 2.2なし

アブソリュートエンコーダ

関連資料:

8ピンM12カップリング

ケーブルに関しての詳しい説明は、カタログケーブル・コネクタを参照してください。

15ピンD-subコネクタ

後続電子部» 1 VPP A*

エンコーダメーカのパラメータ
オペレーティング オペレーティング OEMメーカの
パラメータ
ステータス
パラメータ

EnDat 2.1

8ピンM12カップリング*) エンコーダにより異なる

EnDat 2.2

シリアルデータ伝送

8

2

5

1

3

4

7

6

4

12

2

10

5

13

8

15

UP

センサ
UP

0V

センサ
0V

シリアル
データ

シリアル
データ

リクエスト

リクエスト

茶/緑

青

白/緑

白

灰

ピンク

紫

黄

シールドはハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと。

三菱用ピン配列
ハイデンハインのエンコーダで、型式の最後にMが付いているものは、次のインターフェース
搭載の三菱電機社の制御装置およびモータ
システムに対応しております。

15ピンD-subコネクタ

供給電圧

供給電圧

» 1 VPP B*

EnDat用ピン配列

三菱高速シリアルインターフェース• 区分: Mit01
4線式• 区分: Mit02-4
4線式• 区分: Mit03-2
2線式• 区分: Mit03-4
4線式

三菱用ピン配列

シリアルデータ伝送

8

2

5

1

3

4

7

6

4

12

2

10

5

13

8

15

UP

センサ
UP

0V

センサ
0V

DATA

DATA

CLOCK

CLOCK

青

白/緑

白

灰

8ピンM12カップリング

15ピンD-subコネクタ

供給電圧
ピンク

紫

黄

シールドはハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと。

Mit03-4

シリアルデータ伝送

8

2

5

1

3

4

7

6

4

12

2

10

5

13

8

15

UP

センサ
UP

0V

センサ
0V

シリアル
データ

シリアル
データ

リクエスト
フレーム

リクエスト
フレーム

空き

空き

リクエスト
データ

リクエスト
データ

灰

ピンク

紫

黄

Mit03-2
関連資料:
ケーブルに関しての詳しい説明は、カタログケーブル・コネクタを参照してください。

68

関連資料:

EnDatインターフェースの種類

アブソリュート
位置値

茶/緑

ファナックシリアルインターフェース• 区分: Þiインタフェース(高速度、1対通信)
ÞiインタフェースはÞインタフェース(標準および高速度、2対通信)と互換性があります。

ファナック用ピン配列

インクリメンタル
信号*

各インターフェースおよび電気的仕様に関しての詳しい説明は、カタログ
ハイデンハインエンコーダのインターフェース
を参照してください。

ファナック用ピン配列
ハイデンハインのエンコーダで、型式の最後にFが付いているものは、次のインターフェース
搭載のファナック社の制御装置およびモータ
システムに対応しております。

インクリメンタル信号

EnDatインターフェース

EnDatインターフェースは、エンコーダ用のデジ
タル双方向インターフェースです。インクリメン
タルエンコーダの位置値の出力と、エンコーダに保存された情報の読み出し、または更新が可能で、エンコーダに新しい情報を保存することもできます。シリアル伝送方式のため、4本の信号線だけで処理できます。データ(DATA)
は後続電子部からのCLOCK信号と同期して伝送されます。伝送のタイプ(位置値、パラメー
タ、診断等)は、後続電子部がエンコーダへ送るモードコマンドで選択します。EnDat 2.2
モードコマンドのみでしか利用できない機能が
あります。

茶/緑

青

白/緑

白

シールドはハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと。

69

診断・検査機器
パナソニックおよび安川用ピン配列

パナソニック用ピン配列
ハイデンハインのエンコーダで、型式の最後にPが付いているものは、次のインターフェース
搭載のパナソニック社の制御装置およびモータ
システムに対応しております。

関連資料:
ケーブルに関しての詳しい説明は、カタログケーブル・コネクタを参照してください。

インクリメンタルエンコーダは、主に1 VPP、TTL
もしくはHTLインターフェースを搭載しています。
TTLおよびHTL出力のエンコーダは内部で信号振幅の監視を行い、簡単なアラーム信号を生成します。1 VPP信号の場合は、別の検査用機器もしくは後続電子機器(アナログ診断イ
ンターフェース)の処理機能を用いてのみ出力
信号の解析を行うことが可能です。

• 区分: Pana02

パナソニック用ピン配列
8ピンM12カップリング

15ピンD-subコネクタ

供給電圧

シリアルデータ伝送

8

2

5

1

3

4

7

6

4

12

2

10

5

13

8

15

UP

センサ
UP

0V

センサ
0V

空き

空き1)

リクエスト
データ

リクエスト
データ

茶/緑

青

白/緑

白

灰

ピンク

紫

黄

1)

シールドはハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと。
1)
PWM 21を用いた調整時に必要

安川用ピン配列
ハイデンハインのエンコーダで、型式の最後にYが付いているものは、次のインターフェース
搭載の安川電機社の制御装置およびモータ
システムに対応しております。

関連資料:
ケーブルに関しての詳しい説明は、カタログケーブル・コネクタを参照してください。

• 区分: YEC07

安川用ピン配列
8ピンM12カップリング

15ピンD-subコネクタ

供給電圧

シリアルデータ伝送

8

2

5

1

3

4

7

6

4

12

2

10

5

13

8

15

UP

センサ
UP

0V

センサ
0V

空き

空き

データ

データ

茶/緑

青

白/緑

白

灰

ピンク

紫

黄

1)

ハイデンハイン製エンコーダは、調整、監視、診断に必要な全ての情報を出力します。入手可能な情報は、エンコーダの種類(アブソリュート
またはインクリメンタル)、および出力インター
フェースの種類により異なります。

1)

アブソリュートエンコーダは、シリアルデータ伝送を行います。インターフェースの種類により異なりますが、1 VPPのインクリメンタル信号を出力できるアブソリュートエンコーダもあります。
エンコーダ内部で広範囲にわたって信号の監視を行います。監視結果(特に評価番号)をシ
リアルインターフェース経由で位置値と一緒に後続電子機器(デジタル診断インターフェース)に伝送することが可能です。伝送できる情報は以下の通りです。
• エラーメッセージ:
位置値が不正確である• 警告:
エンコーダにあらかじめ設定した限界値に達している• 評価番号:– エンコーダに保存されている詳細情報– 全てのハイデンハイン製エンコーダのスケーリングを統一– 周期的出力が可能
後続電子機器はクローズド・ループ制御時であってもエンコーダの現在の状況を簡単に評価することが可能です。
ハイデンハインは、これらのエンコーダの解析に適している診断機器PWMや検査機器PWTを用意しています。診断方法には以下の2種類があり、これらの機器の接続方法により異なります。
• エンコーダ診断:
エンコーダに診断・検査機器を直接接続することにより、エンコーダ機能の詳細な解析が可能になります。
• 制御ループ内での診断:
例えば適切な検査用アダプタを通して、PWMをクローズド・ループ制御内に組込むことが可能です。これによりエンコーダを搭載した機械またはシステムを運転中でのリアルタイム診断が可能です。機能はインターフェースの種類により異なります。

PWM 21/ATSソフトウェアを用いた診断

PWM 21/ATSソフトウェアを用いた調整

シールドはハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと。
1)
PWM 21を用いた調整時に必要70

71

診断・検査機器

PWM 21
ハイデンハイン製エンコーダの診断および調整用として、PWM 21とATSソフトウェアとをセットで用意しています。

インターフェースユニット

PWM 21
エンコーダ入力• EnDat 2.1またはEnDat 2.2(インクリメンタル信号「あり」もしくは「なし」のアブソリュート値)• DRIVE-CLiQ• ファナックシリアルインターフェース• 三菱高速シリアルインターフェース• 安川シリアルインターフェース• SSI• 1 VPP/TTL/11 µAPP

インターフェース

USB 2.0 ‍

供給電圧

AC 100 V ～ 240 V もしくは DC 24 V

寸法258 mm x 154 mm x 55 mm ‍
ATS

表示言語

ドイツ語 または 英語(選択可)機能• 位置値表示• 接続用対話画面• 診断• EBI/ECI/EQI、LIP 200、LIC 4100等用取付け操作ガイド• 付加機能(エンコーダによりサポートされている場合)• メモリ内容

さらに詳しい情報は、
製品情報PWM 21/ATSソフトウェア
を参照ください。
システム要件PC (デュアルコアプロセッサ搭載、クロック周波数 2 GHz以上)
RAM 容量 2 GB以上
対応OS: Windows XP、Vista、7 (32ビット版/64ビット版)、8、10200 MBのハードディスク空き容量

ハイデンハイン製インターフェースユニットは、
エンコーダ信号を後続電子機器に中継します。
後続電子部がハイデンハイン製エンコーダからの出力信号を直接受信できない場合や高い分割倍率を必要とする場合に使用できます。

インターフェースユニットの入力信号
ハイデンハイン製インターフェースユニットには正弦波アナログ出力の1 VPP(電圧信号)もしくは11 µAPP(電流信号)を接続することができます。EnDatもしくはSSIシリアルインターフェース
搭載のエンコーダも接続可能なインターフェー
スユニットも用意しています。
インターフェースユニットの出力信号
以下の信号形式を出力するインターフェース
ユニットを用意しています。
• TTL矩形波信号• EnDat 2.2• DRIVE-CLiQ• ファナックシリアルインターフェース• 三菱高速シリアルインターフェース• 安川シリアルインターフェース• PROFIBUS

ボックスタイプ

コネクタタイプ

正弦波入力信号の内挿分割
インターフェースユニット内では、信号変換の他に正弦波信号を内挿分割することも可能です。これにより高い分解能が達成できるため、より高品質の制御や位置決め精度の向上が可能になります。
位置値の生成インターフェースユニットの中にはカウント機能を搭載したものを用意しています。絶対番地化
原点付き目盛において、最後に通過した原点
位置を基準とした絶対位置値を生成し、後続
電子部に出力します。

組込み基板タイプ

DRIVE-CLiQはSiemens AG社の登録商標です。

DINレール取付けタイプ

PWT 101 ‍PWT 101は、ハイデンハイン製アブソリュート/
インクリメンタルエンコーダの機能確認や調整を行う検査機器です。小型で頑丈な筐体であるため、PWT 101は現場に持ち運んで使用するのに最適です。

72

PWT 101 ‍エンコーダ入力
ハイデンハイン製
エンコーダのみ• EnDat• ファナックシリアルインターフェース• 三菱高速シリアルインターフェース• パナソニックシリアルインターフェース• 安川シリアルインターフェース• Z1トラック付1 VPP• 1 VPP• 11 µAPP
• TTL

表示画面

4.3インチ タッチパネル

供給電圧

DC 24 V
消費電力: 最大15 W

使用温度

0 °C ～ 40 °C

保護等級 IEC 60529

IP20

寸法

約 145 mm x 85 mm x 35 mm

73

内挿分割

型式

ボックスタイプ – IP 65

5/10倍

IBV 101

20/25/50/100倍

IBV 102

分割なし

IBV 600

25/50/100/200/400倍

IBV 660 B

5/10倍

IBV 317120/25/50/100倍

IBV 3271

5/10倍

IDP 181

20/25/50/100倍

IDP 182

5/10倍

EXE 101

20/25/50/100倍

EXE 102

組込み基板タイプ – IP 00

5倍

IDP 101

ボックスタイプ – IP 65

2倍

IBV 6072

5/10倍

IBV 6172

5/10/20/25/50/100倍

IBV 6272

ボックスタイプ – IP 65≦ 16384分割

EIB 192

コネクタタイプ – IP 40≦ 16384分割

EIB 3922

ボックスタイプ – IP 65≦ 16384分割

EIB 1512

入力

インターフェース 軸数

インターフェース

軸数

« TTL

» 1 VPP1

1

コネクタタイプ – IP 40

組込み基板タイプ – IP 00» 11 µAPP« TTL/» 1 VPP
切換可

EnDat 2.2

DRIVE-CLiQ

21» 1 VPP» 1 VPP1)

形状 – 保護等級

出力

1

1

1

ボックスタイプ – IP 65

1

EnDat 2.2

1

ボックスタイプ – IP 65–

EIB 2391 S

ファナック
1
シリアル
インターフェース

» 1 VPP1

ボックスタイプ – IP 65≦ 16384分割

EIB 192 F

コネクタタイプ – IP 40≦ 16384分割

EIB 392 F

2

ボックスタイプ – IP 65≦ 16384分割

EIB 1592 F

1

ボックスタイプ – IP 65≦ 16384分割

EIB 192 M

コネクタタイプ – IP 40≦ 16384分割

EIB 392 M

2

ボックスタイプ – IP 65≦ 16384分割

EIB 1592 M

三菱高速
1
シリアル
インターフェース

» 1 VPP

安川シリアル1
インターフェース

EnDat 2.22)

1コネクタタイプ – IP 40–

EIB 3391 Y

PROFIBUS DP 1

EnDat 2.1、EnDat 2.2

1

DINレール取付けタイプ–

PROFIBUS
ゲートウェイ1)2)

切換可
分解能5 nm (LIC 4100)、分解能50 nm/100 nm (LIC 2100)、分解能10 nm (LCシリーズ)に対応

74

Mastering nanometer accuracy

www.heidenhain.co.jp
本社

名古屋営業所

大阪営業所

九州営業所

〒102-0083
東京都千代田区麹町3-2
ヒューリック麹町ビル9F
 (03) 3234-7781
 (03) 3262-2539〒460-0002
名古屋市中区丸の内3-23-20
HF桜通ビルディング10F (052) 959-4677
 (052) 962-1381〒532-0011
大阪市淀川区西中島6-1-1
新大阪プライムタワー16F
 (06) 6885-3501
 (06) 6885-3502〒802-0005
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 (093) 511-6696
 (093) 551-1617

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