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Katashi Kiyoharaa, Tomoki Aoyamaa, Sumito Ohzawaa, Hajime Niia, Hideo Uedaa,Yoshio Suzukib, Akihisa Takeuchib, Kentaro Uesugib, Yasuko Teradab, Hiromoto Nakazawaca㻔ᰴ㻕ᇼሙ〇సᡤ, b㻔㈈㻕㧗㍤ᗘග⛉Ꮫ◊✲ࢭࣥࢱ࣮, c㻔⊂㻕≀㉁࣭ᮦᩱ◊✲ᶵᵓ aHORIBA, Ltd., bJASRI, cNIMSᨺᑕගࢆ฼⏝ࡋࡓ X ⥺㢧ᚤ㙾ࡣࠊ⏕యჾᐁ࣭⣽⬊࡞࡝ࡢ⏕≀ヨᩱࡸྛ✀ᮦᩱࡢᚤ⣽ᵓ㐀ศᯒࠊ㟁Ꮚࢹࣂ࢖ࢫࡢᨾ㞀ゎᯒ࡞࡝ᵝࠎ࡞ศ㔝࡛฼⏝ࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋࡋ࠿ࡋࠊCT ᐃࡸ㧗㏿࢖࣓࣮ࢪࣥࢢ࡬ࡢᛂ⏝࡟࠾࠸࡚ࠊග㔞୙㊊ࡀ㞀ᐖ࡜࡞ࡗ࡚࠸ࡿࠋࡑࡇ࡛ࠊ↷᫂⏝඲཯ᑕᆺ࢟ࣕࣆࣛࣜ㸦௨ୗࠊ࢟ࣕࣆࣛࣜ㸧ࡢ᭷⏝ᛶホ౯࡜ࡋ࡚ X ⥺㢧ᚤ㙾ീࡢ᧜ᙳࢆ⾜ࡗࡓࠋࡑࡢ⤖ᯝࠊᚑ᮶ࡢࢥࣥࢹࣥࢧࣞࣥࢬࢆ⏝࠸࡚㞟ගࡋࡓሙྜ࡟ẚ࡭ࠊ22.2 ಸࡢග㔞ࢆᚓࡿࡇ࡜ࡀ࡛ࡁࡓࠋ࣮࣮࢟࣡ࢻ㸸 X ⥺㢧ᚤ㙾ࠊ࢟ࣕࣆࣛࣜࠊ඲཯ᑕࠊCTᐃ⫼ᬒ࡜◊✲┠ⓗ㸸 X ⥺㢧ᚤ㙾ࡣᚤᑠ㡿ᇦࢆ㠀◚ቯ࡛㎿㏿࡟ ᐃ࡛ࡁࡿࡇ࡜࠿ࡽࠊ㟁Ꮚࢹࣂ࢖ࢫࠊྛ✀ᮦᩱ࡞࡝ࡢᨾ㞀ゎᯒࠊ⏕≀ヨᩱࠊᩥ໬㑇⏘࡞࡝ࡢศᯒ࡟࠾࠸࡚ᗈࡃ฼⏝ࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋX ⥺⟶ࢆ౑⏝ࡋࡓ X ⥺㢧ᚤ㙾ࡣᚑ᮶࠿ࡽ฼⏝ࡉࢀ࡚࠸ࡿࡀࠊ✵㛫ศゎ⬟ࡣග※ࡢ኱ࡁࡉ࡟ࡼࡗ࡚Ỵࡲࡾࠊᩘⓒ nm ௨ୗ࡟ࡍࡿࡇ࡜ࡣ㞴ࡋ࠸ࠋ୍᪉ࠊᨺᑕගࢆ฼⏝ࡋࡓ X ⥺㢧ᚤ㙾࡛ࡣ✵㛫ศゎ⬟ࡣᑐ≀ࣞࣥࢬࡢ↔Ⅼࢧ࢖ࢬ࡛Ỵࡲࡿࠋᑐ≀ࣞࣥࢬ࡟ࢰ࣮ࣥࣉ࣮ࣞࢺࢆ⏝࠸ࢀࡤࠊ50 nm ௨ୗࡢ✵㛫ศゎ⬟ࢆᚓࡿࡇ࡜ࡀྍ⬟࡛࠶ࡿࠋࡋ࠿ࡋࠊග㔞ࡀ୙㊊ࡍࡿࡓࡵࠊCT ᐃࡸ㧗㏿࡛ࡢ࢖࣓࣮ࢪࣥࢢࡀᅔ㞴࡛࠶ࡗࡓࠋ X ⥺⤖ീගᏛ⣔ࡢ↷᫂࡟࢟ࣕࣆࣛࣜࡢࡼ࠺࡞඲཯ᑕᆺࡢගᏛ⣲Ꮚࢆ⏝࠸ࡿࡇ࡜ࡣࠊࡑࡢ㞟ගຠ⋡ࡢⰋࡉ࠿ࡽࠊ㧗࠸᭷⏝ᛶࡀ௨๓࠿ࡽᣦ᦬ࡉࢀ࡚࠸ࡿࠋࡋ࠿ࡋࠊᐇ㝿࡟ᨺᑕගࡢ⤖ീගᏛ⣔࡜ࡢ࣐ࢵࢳࣥࢢࢆ᭱㐺໬࡛ࡁࡿࡼ࠺࡞࢟ࣕࣆࣛࣜࡢ〇సࡣ㞴ࡋ࠿ࡗࡓࠋ࢟ࣕࣆࣛࣜࢆ⏝࠸ࡓ↷᫂⏝ࢥࣥࢹࣥࢧࣞࣥࢬࡀᐇ⏝໬ࡉࢀࢀࡤࠊCT ᐃࡢ㧗㏿໬୪ࡧ࡟ࠊ࣐࢖ࢡࣟ㹼࣑ࣜ⛊࡛ࡢ㧗㏿/㧗ศゎ⬟࢖࣓࣮ࢪࣥࢢࡀྍ⬟࡜࡞ࡿ࡜ᮇᚅࡉࢀࡿࠋ⌧ᅾࠊᨺᑕග⏝࢟ࣕࣆࣛࣜࢆ〇సࡋࠊX⥺㢧ᚤ㙾ࡢ↷᫂⏝ࢥࣥࢹࣥࢧࣞࣥࢬ࡜ࡋ࡚౑⏝ࡋ࡚㢧ᚤ㙾ീࢆ᧜ᙳࡋࠊࡑࡢ᭷⏝ᛶࢆホ౯ࡋ࡚࠸ࡿࠋ๓ࠎᅇ㻔2008B1948㻕ࡢᐇ㦂࡛ࡣࠊᚑ᮶↷᫂࡜ࡋ࡚⏝࠸࡚࠸ࡿࢥࣥࢹࣥࢧ
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[1]Yoshio Suzuki, Akihisa Takeuchi, Hidekazu Takano, and Hisataka Takenaka, Japanese Journal of AppliedPhysics, Vol.44,No.4A,2005,1994-1998