ታᣉ⺖㗴⇟ภ   㧦 2007A1903
ታᣉ⺖㗴ฬ    㧦

XMCD-PEEM ߦࠃࠆᰴ਎ઍ MRAM ⚛ሶߩ⏛ო⒖േⷰኤታ㛎⽿છ⠪ᚲዻᯏ㑐㧦ᣣᧄ㔚᳇ᩣᑼળ␠࠺ࡃࠗࠬࡊ࡜࠶࠻ࡈࠜ࡯ࡓ⎇ⓥᚲታ㛎⽿છ⠪᳁ฬ  㧦ᄢ᎑ೣ๺ 0018410

૶↪ࡆ࡯ࡓ࡜ࠗࡦ 㧦BL25SU

ታ㛎⚿ᨐ㧦 ਅ⸥XMCD-PEEM ߦࠃࠆᰴ਎ઍ MRAM ⚛ሶߩ⏛ო⒖േⷰኤᄢ᎑ೣ๺㧔ᣣᧄ㔚᳇ᩣᑼળ␠࠺ࡃࠗࠬࡊ࡜࠶࠻ࡈࠜ࡯ࡓ⎇ⓥᚲ㧕‫ޣ‬1. ߪߓ߼ߦ‫ޤ‬ࠊࠇࠊࠇߪࠬࡇࡦ㔚ᵹߦࠃࠆ⏛ო⒖േ⃻⽎ߩࡔࡕ࡝ᔕ↪ߣߒߡ U ሼᒻ⁁ߩᓸዊ⏛ᕈࡄ࠲࡯ࡦࠍ↪޿ߚ DW Domain Wall Seesaw ࠍឭ᩺ߒ‫ߩߘޔ‬ታ⸽ࠍㅴ߼ߡ޿ࠆ[1-2]‫ޕ‬
DW Seesaw ߢߪ‫ޔ‬U ሼᒻ⁁ߦᒻᚑߐࠇߚ࠮࡞ߦන৻⏛ოࠍዉ౉ߒ‫ߢ࠻ࠗࠨࡊ࠶࡜࠻ࠍࠇߎޔ‬޽ࠆ U ሼߩ 2 ߟߩⷺߩ㑆ߢേ߆ߒߡ 0,1 ⁁ᘒߣߔࠆߎߣ߇ᦠ߈ㄟߺേ૞ߣߥࠆ[1-2]‫ޔ߼ߚߩߎޕ‬ࡔࡕ࡝േ૞ߩᬌ⸽‫ߪ޿ࠆ޽ޔ‬ᒻ⁁╬ߩᦨㆡൻߦࠃࠆᕈ⢻ะ਄ߩᬌ⸛ߦߪ‫⏛ޔ‬඙ࠍ⋥ធⷰኤߔࠆߎߣ߇᦭ലߢ޽ࠆ‫ޕ‬DW Seesaw ࠮࡞ߪࠨࡉࡒࠢࡠࡦࠨࠗ࠭✢᏷ࠍ᦭ߔࠆᓸዊ⏛ᕈ૕ߢ޽ࠅ‫ޔ‬ᒻᚑߐࠇࠆ⏛ო߇⏛႐ߩᓇ㗀ࠍฃߌ߿ߔ޿‫ⷰߩߘޔߡߞ߇ߚߒޕ‬ኤߦߪ㜞ಽ⸃⢻ߢⷰኤᤨߩ⏛᳇⊛ߥᡓੂߩߥ޿⏛඙ⷰኤᚻᴺ߇᳞߼ࠄࠇࠆ‫᧦ߥ߁ࠃߩߎޕ‬ઙࠍḩߚߔⷰኤᚻᴺߣߒߡ X ✢⏛᳇౞ੑ⦡ᕈࠍ೑↪ߒߚశ㔚ሶ㗼ᓸ㏜ XMCD-PEEM ᴺ߇޽ࠆ‫ޕ‬XMCD-PEEM ߪ‫ޔ‬ಽ⸃⢻߇⚂ 100nm ߣㆡᐲߦ㜞ߊ‫ⷰޔ‬ኤᤨߦ⏛႐ࠍ೑↪ߒߥ޿ᚻᴺߢ޽ࠅ‫ߚ߹ޔ‬ర⚛ㆬᛯᕈࠍ᦭ߔࠆ᷹ቯᚻᲑߢ޽ࠆߎߣ߆ࠄⓍጀ⤑᭴ㅧࠍ᦭ߔࠆᓸዊ⏛ᕈ૕ߢᒻᚑߐࠇࠆ DW Seesaw ࠮࡞ߩⷰኤߦㆡߒߡ޿ࠆߣ⠨߃ࠄࠇࠆ[3]‫ⷰߚߒ߁ߎޕ‬ὐ߆ࠄ‫ ߪࠇࠊࠇࠊޔ‬2006B ᦼ߆ࠄ DW Seesaw ࠮࡞ߦ↪޿ࠆ U ሼᒻ⁁ NiFe ࡄ࠲࡯ࡦߩ⏛඙ⷰኤࠍ߅ߎߥߞߡ޿ࠆ‫ޔߦߢ߹ࠇߎޕ‬U ሼᒻ⁁ࡄ࠲࡯ࡦ߇⌕⏛ᣇะߦහߒߚ⏛ൻ㈩⟎ࠍߣࠅන৻⏛ო߇ U ሼߩⷺߦዉ౉ߐࠇࠆߎߣ‫⏛ޔ‬႐ශടߦࠃࠆ⏛ო⒖േߢ࠻࡜࠶ࡊࠨࠗ࠻㑆ࠍ⏛ო߇⒖േߔࠆ࠮࡞‫⏛ޔ‬ოࠍᶖᄬߔࠆ࠮࡞‫࠻ࠗࠨࡊ࠶࡜࠻ޔ‬㑆ߢ⏛ო߇ᱛ߹ࠆ࠮࡞ߣ޿ߞߚᄙ᭽ߥ⏛ൻࡄ࠲࡯ࡦ߇ᒻᚑߐࠇࠆߎߣࠍ᣿ࠄ߆ߦߒߡ޿ࠆ[4]‫⚿ߩߎޕ‬ᨐߪ‫ޔ‬XMCD-PEEM ⷰኤߢ⏛႐㚟േߦࠃࠆ DW Seesaw ߩၮᧄേ૞⏕⹺߇ߢ߈ߚߎߣ‫⏛ߚ߹ޔ‬႐ශടߦߣ߽ߥ߁ᄙ᭽ߥ⏛඙ᒻᚑߣ޿߁࠮࡞᭴ㅧ໧㗴ὐߩ᛽಴߇น⢻ߢ޽ࠆߎߣࠍ␜ߒߡ߅ࠅ‫ޔ‬XMCD-PEEM ⷰኤߩ DW Seesaw 㐿⊒߳ߩㆡ↪߇᦭ലߢ޽ࠆߎߣࠍ⃻ߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬ߎߩ⚿ᨐࠍฃߌ‫ޔ‬2007A ᦼߢߪ U ሼᒻ⁁ߩࠃ߁ߥᄙ᭽ߥ⏛ൻ㈩⟎ࠍᒻᚑߒߥ޿ DW Seesaw ࠮࡞ߩᒻࠍ᳿߼ࠆߚ߼ߩⷐ࿃ࠍ XMCD-PEEM ⷰኤߢ⺞ߴࠆߎߣߦߒߚ‫ޔߪߢߎߎޕ‬ၮᧄߣߥࠆᓥ᧪ဳߩ U ሼᒻ⁁ߣ⏛ൻ࿕ቯ㗔ၞࠍᓥ᧪ᒻ⁁ࠃࠅ߽㐳ߊߒߚ U ሼᒻ⁁‫⏛ޔ‬ൻ࿕ቯጀࠍ⏛ო⒖േ㗔ၞߩ਄ਅߦߟߌߚ H ሼᒻ⁁ߩ 3 ߟߩࡄ࠲࡯ࡦࠍ૞⵾ߒߡ⏛ოߩ⏛႐⒖േࠍⷰኤߒ‫ߩߘޔ‬ᝄࠆ⥰޿ࠍ⸃ᨆߒߚ‫⚿ߩߘޕ‬ᨐ‫⏛ޔ‬ൻ࿕ቯ㗔ၞߩ㐳޿ U ሼᒻ⁁‫ޔ‬H ሼᒻ⁁ߩࡄ࠲࡯ࡦߪ޿ߕࠇ߽࠻࡜࠶ࡊ㑆⏛
ო⒖േ߇ᡰ㈩⊛ߦ⿠ߎࠅ‫ޔ‬න৻ߥ⏛඙᭴ㅧߦߥࠆߎߣ߇ࠊ߆ߞߚ‫ᧄޕ‬ႎ๔ߢߪߘߩ⚿ᨐߦߟ޿ߡ⸥ㅀߔࠆ‫ޕ‬‫ޣ‬2. ታ㛎‫ޤ‬2-1. ⹜ᢱ500nm ߩᾲ㉄ൻ SiO2 ࠍᒻᚑߒߚ Si ၮ᧼਄ߦ DC ࡑࠣࡀ࠻ࡠࡦࠬࡄ࠶࠲ᴺߢ Ta 15nm /NiFe 10nm /Ru 20nm //ၮ᧼ߥࠆ᭴ᚑߩ⏛ᕈ⤑ࠍ૞⵾ߒߚ‫ ߢࠖࡈ࡜ࠣ࠰࡝࠻ࠜࡈߦ⤑ߩߎޕ‬DW Seesaw ߩ࡟ࠫࠬ࠻ࡄ࠲࡯ࡦࠍᒻᚑߒ‫ޔ‬Ar ࡒ࡝ࡦࠣߢ⏛ᕈ૕ࡄ࠲࡯ࡦߦടᎿߒߚ‫ޕ‬ᒻ⁁ߪ‫ޔ‬ᓥ᧪ဳߩ⏛ൻ࿕ቯ㗔ၞ㐳ߐ 1Pm ߩ U ሼᒻ⁁㧔U ሼᒻ⁁㧕‫⏛ޔ‬ൻ࿕ቯጀࠍ 2.5Pm ߣ㐳ߊߒߚ U ሼᒻ⁁㧔એਅ‫ޔ‬⡊㐳 U ሼᒻ⁁ߣ⇛ߔ㧕‫ޔ‬H ሼᒻ⁁ߩ㧟⒳㘃ߢ޽ࠅ‫✢⚦߽ࠇߕ޿ޔ‬᏷ߪ 320nm ߢ޽ࠆ‫ޕ‬X ✢ᾖ኿ߦߣ߽ߥ߁⹜ᢱ⴫㕙ߩ࠴ࡖ࡯ࠫࠕ࠶ࡊࠍ㒐ߋߚ߼‫ޔ‬ਅ࿾ጀ Ru ࠍᢙ nm ᱷߒߡࡄ࠲࡯ࡦ࠾ࡦࠣࠍ߅ߎߥߞߚ‫⹜ޕ‬ᢱടᎿߩᓟ‫ޔ‬ቶ᷷ߢ 1kOe ߩ⏛႐ࠍ⚛ሶߦኻߒߡ 30q௑ߌߚᣇะ߆ࠄශടߒ‫⹜ޔ‬ᢱߩ⌕⏛ࠍ߅ߎߥߞߚ‫ޕ‬2-2. ⷰኤ⏛඙ⷰኤߦߪᄢဳ᡼኿శᣉ⸳ SPring-8 ߩ BL25SU㧔エ㨄✢ಽశࡆ࡯ࡓ࡜ࠗࡦ㧕ߦ⸳⟎ߐࠇߡ޿ࠆ ELMITEC ␠⵾ߩ XMCD-PEEM ⵝ⟎ PEEMSPECTOR ࠍ↪޿ߚ‫⹜ޕ‬ᢱ⴫㕙ߦᒻᚑߐࠇߚ㉄ൻ‛ࠍ㒰෰ߔࠆ⋡⊛ߢⵝ⟎ߩ preparation chamber ߢ 900sec ߩ Ar ࠗࠝࡦࠛ࠶࠴ࡦࠣࠍ߅ߎߥߞߚᓟ‫ޔ‬Ni L-III ࡇ࡯ࠢ㧔853.2eV㧕ࠍ᷹ቯࠛࡀ࡞ࠡ࡯ߦ᳿߼ߡ DW Seesaw ࡄ࠲࡯ࡦࠍⷰኤߒߚ‫ⷞޕ‬㊁ᓘߪ10PmI‫ޔ‬25PmIߣߒߚ‫ޕ‬⏛႐ߪ PEEM ⵝ⟎ౝߦ⸳⟎ߐࠇߡ޿ࠆࠦࠗ࡞㧔ᦨᄢ⚂ 100Oe㧕ࠍ↪޿ߚ‫ ⚂ޕ‬1msec ߩࡄ࡞ࠬ⁁㔚ᵹࠍࠦࠗ࡞ߦᵹߒߡ⊒↢ߔࠆ⏛႐ࠍࡄ࠲࡯ࡦߩ⏛ო⒖േ㗔ၞߦᐔⴕߥᣇะ߆ࠄਈ߃ߚ‫ޕ‬‫ޣ‬3. ⚿ᨐ‫ޤ‬
Fig.1 ߦ U ሼᒻ⁁‫ޔ‬Fig.2 ߦ⡊㐳 U ሼᒻ⁁‫ޔ‬Fig.3 ߦ H ሼᒻ⁁ߩ⏛႐ශട೨ᓟߩ⏛඙௝ࠍ␜ߔ‫ޕ‬߹ߕ‫ޔ‬ᓥ᧪ဳߢ޽ࠆ U ሼᒻ⁁ߩ⏛඙௝ࠍ⷗ࠆ‫ޕ‬2006B ᦼߢߪ✢᏷ 400nm ߦߟ޿ߡⷰኤߒߚ߇‫ޔ‬੹࿁ߪ✢᏷ࠍ 320nm ߣ⚦޿߽ߩࠍ⷗ߡ޿ࠆ‫ޔߪࠇߎޕ‬XMCD-PEEM ߇ߎߩࠨࠗ࠭ߩⷰኤߦචಽߥಽ⸃⢻߇޽ࠆߎߣߣ‫✢⚦ޔ‬ൻߦࠃߞߡᒻ⁁⇣ᣇᕈ߇Ⴧߒߡ⏛ო߇቟ቯൻߔࠆน⢻ᕈ߇޽ࠆߩߢ‫ޔ‬ߘߩലᨐࠍᦼᓙߒߚߎߣߦࠃࠆ‫ޕ‬Fig.1 a ߦ␜ߒߚ⊕৻⦡ߩ௝ߪೋᦼ⌕⏛ᓟߩ⏛඙௝ߢ޽ࠆ‫ߩߎޕ‬௝߆ࠄ‫⏛ޔ‬ო⒖േ㗔ၞ‫⏛ޔ‬ൻ࿕ቯ㗔ၞ޿ߕࠇ߽ X ✢ߦኻߒߡᐔⴕᣇะߩ⏛ൻᚑಽࠍ᦭ߒߡ߅ࠅ‫ޔ‬⏛ൻ࿕ቯ㗔ၞߩ⏛ൻ߇ฝਅ‫⏛ޔ‬ო⒖േ㗔ၞߩ⏛ൻ߇Ꮐਅࠍะ߈‫ޔ‬ฝਅߦ head-head ⏛ოࠍᒻᚑߒߚ
㈩⟎ߢ޽ࠆߎߣ߇ࠊ߆ࠆ‫ ߦࡦ࡯࠲ࡄߩߎޕ‬40Oe ߩ⏛႐ࠍශടߒߚߣ߈ߩ⏛ოᄌൻࠍ␜ߒߚߩ߇
Fig.1 b ߢ޽ࠆ‫⏛ޕ‬ო⒖േㇱಽ߇㤥ߊ⏛ൻ࿕ቯ㗔ၞߩ௝ߪ⊕޿߹߹ߩࡄ࠲࡯ࡦ߇ᄙߊᒻᚑߐࠇߡ޿
ࠆ‫⏛ߪࠇߎޕ‬ო߇ฝਅߩ࠻࡜࠶ࡊࠨࠗ࠻߆ࠄ⒖േߒߡᏀ਄ߩⷺߦ⒖േߒߚ⚿ᨐ‫⏛ޔ‬ൻᣇะ߇෻ォߒߚߎߣࠍ⃻ߒߡ޿ࠆ㧔࿑ਛԘ㧕‫ޕ‬DW Seesaw ߩേ૞ࠍታ⃻ߢ߈ࠆ⏛ൻ㈩⟎ߢ޽ࠆ‫ޔߚ߹ޕ‬ਛߦߪ⏛ო⒖േ㗔ၞ߇㤥ߊ⏛ൻ࿕ቯ㗔ၞ߇⊕߆ࠄἯ⦡ߦߥࠆ௝߽޽ࠆ‫⏛ޔߪࠇߎޕ‬ო߇⒖േߒ‫ޔ‬Ꮐ਄ߩⷺߩ࠻࡜࠶ࡊࠨࠗ࠻ࠍㅢࠅ⿧ߒߡ⏛ൻ࿕ቯ㗔ၞߩ⏛ൻࠍ෻ォߐߖߚ⚿ᨐ‫ޔ‬න⏛඙ߣߥࠅ⏛ო߇ᶖᄬߒߚ߽ߩߢ޽ࠆ㧔ԙ㧕‫⏛ޔߦᦝޕ‬ო⒖േ㗔ၞߢ㤥⊕߇ᒻᚑߐࠇߡ޿ࠆ߽ߩߪ‫⏛ޔ‬ო߇࠻࡜࠶ࡊࠨ
ࠗ࠻ࠍᛮߌ಴ߒߚ߽ߩߩ⒖േ㗔ၞߩㅜਛߢᱛ߹ߞߡߒ߹ߞߚ߽ߩߢ޽ࠆ㧔Ԛ㧕‫ߦࠇߎޕ‬ೋᦼ⁁ᘒߩ߹߹ᄌൻߒߥ޿߽ߩ㧔ԛ㧕ࠍട߃ߡ 4 ߟߩ⏛ൻ㈩⟎߇ᷙ࿷ߒߡ޿ࠆߎߣ߇ࠊ߆ࠆ‫✢ޔߪࠇߎޕ‬᏷
400nm ߩ U ሼᒻ⁁ࡄ࠲࡯ࡦߦ⷗ࠄࠇߚ௝ߣหߓ⚿ᨐߢ޽ࠆ‫ޕ‬U ሼᒻ⁁ࡄ࠲࡯ࡦߢߪ⏛႐ශടߦࠃࠅᄙ᭽ߥ⏛඙᭴ㅧࠍߣߞߡߒ߹߁ߎߣ߇ౣ⃻ߐࠇߚ‫⏛ޕ‬႐ශടᣇะࠍㅒォߒߚߣ߈ߩ⏛ო⒖േߩ

᭽ሶࠍⷰኤߒߚ⚿ᨐࠍ Fig.1 c ߦ␜ߔ‫ᦨޕ‬ೋߩ⏛႐ශടߢ⏛඙᭴ㅧ߇߫ࠄߟ޿ߚߩߦኻᔕߒߡ‫ޔ‬⏛ო⒖േࠍ⿠ߎߔ߽ߩ‫ޔ‬ᄌൻߩߥ޿߽ߩ߇ᷙ࿷ߒߚ⏛඙ࡄ࠲࡯ࡦ߇ᒻᚑߐࠇߡ޿ࠆ‫ޔߣࠆߺߊࠃޕ‬ᦨೋߩ⏛႐ශടߢ⒖േߒߡ࠻࡜࠶ࡊࠨࠗ࠻ߦ࿕ቯߐࠇߚ⏛ოߪ‫ޔ‬ශട⏛႐ߩ෻ォߦࠃࠅరߦᚯߞߡ⊕޿௝ߣߥࠆ߽ߩ߇ᄙ޿㧔Ԙ㧕‫ߦࠇߎޕ‬ኻߒߡ‫⏛ޔ‬ო߇ᛮߌߡන⏛඙ߣߥߞߚ߽ߩ߿⏛ო߇ਛ㑆૏⟎ߢ஗ᱛߒߚ߽ߩߩ⏛඙ߪᄌൻߒߡ޿ߥ޿㧔ԙ‫ޔ‬Ԛ㧕‫ޕ‬ᄙ᭽ߥ⏛඙௝ߪ⏛႐ශടࠍ➅ࠅ㄰ߒߡ߽
ᄌࠊࠄߥ޿ߎߣ߇ࠊ߆ࠆ‫ޕ‬ᰴ޿ߢ‫ޔ‬⡊㐳 U ሼᒻ⁁ࡄ࠲࡯ࡦߩ⏛඙௝ࠍ⷗ࠆ‫ޕ‬Fig.2 a ߪ‫ޔ‬ೋᦼ⌕⏛ᓟߩ⁁ᘒߢ޽ࠆ‫ޕ‬Uሼᒻ⁁ߣห᭽ߦ⊕৻⦡ߩࡄ࠲࡯ࡦߢ޽ࠅ‫⏛ޔ‬ൻ࿕ቯ㗔ၞߩ⏛ൻ߇ฝਅ‫⏛ޔ‬ო⒖േ㗔ၞߩ⏛ൻ߇Ꮐਅࠍะ߈‫ޔ‬ฝਅߦ head-head ⏛ოࠍᒻᚑߒߚ㈩⟎ߢ޽ࠆߎߣࠍ␜ߒߡ޿ࠆ‫⏛ߦࠇߎޕ‬႐ࠍශടߒߚ
ᓟߩ௝ࠍ Fig.2 b ߦ␜ߔ‫ ⚂ޕ‬20Oe ߩ⏛⇇ߢⷞ㊁ਛߩ߶ߣࠎߤߩࡄ࠲࡯ࡦ⏛ო⒖േ㗔ၞߩ⏛ൻ߇⏛႐ߩᣇะࠍะߊ‫⏛ޕ‬ൻ࿕ቯ㗔ၞ߹ߢᄌൻߒߚ⚛ሶߪⷞ㊁ਛ߭ߣߟߛߌߢ޽ࠆ‫ޕ‬U ሼᒻ⁁ߣᲧセߒߡ⏛ო⒖േ߇৻᭽ߦ⿠ߎࠆߎߣ‫⏛ߦ࠻ࠗࠨࡊ࠶࡜࠻ߚ߹ޔ‬ო߇࿕ቯߐࠇᤃߊߥߞߚߎߣࠍ⃻ߒߡ޿ࠆ‫⏛ޕ‬႐ࠍㅒォߐߖࠆߣ‫⏛ޔ‬ო߇࠻࡜࠶ࡊࠨࠗ࠻ࠍ⿧߃ߡන⏛඙ൻߔࠆ߽ߩ߽⷗ࠄࠇࠆ߇‫ޔ‬ᄙߊߩ࠮࡞ߢ⏛ო߇࠻࡜࠶ࡊࠨࠗ࠻㑆ࠍ⒖േߒߡೋᦼ⁁ᘒߣหߓ⊕޿⏛඙ࡄ࠲࡯ࡦߦᚯࠆߎߣ߇ࠊ
߆ࠆ Fig.2 c ‫ޕ‬⡊㐳 U ሼᒻ⁁ߢߪ‫ޔ‬ᒻ⁁ߦࠃࠆ⏛ൻ࿕ቯ㗔ၞߩ⏛᳇⇣ᣇᕈࠍ㜞߼ࠆߎߣߢ࿕ቯ㗔ၞߩ⏛ൻ෻ォࠍᛥ೙ߒ‫⏛ޔ‬ოߛߌ߇േߊࠃ߁ߦ⸳⸘ߒߡ޿ࠆ‫߇ࠇߎޕ‬ᬌ⸽ߐࠇߚߎߣࠍ␜ߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬ᦨᓟߦ‫ޔ‬H ሼᒻ⁁ࡄ࠲࡯ࡦߩ⏛඙௝ࠍ Fig.3 ߦ␜ߔ‫ޕ‬ೋᦼ⏛ൻ⁁ᘒߩ௝߇ Fig.3 a ߢ޽ࠆ‫ޕ‬਄
⸥ 2 ߟߩᒻ⁁ߣห᭽ߦ⊕৻⦡ߩࡄ࠲࡯ࡦߢ޽ࠆ‫⏛ޕ‬ൻ࿕ቯ㗔ၞߩ⏛ൻ߇ฝਅ‫⏛ޔ‬ო⒖േ㗔ၞߩ⏛ൻ߇Ꮐਅࠍะ߈‫ޔ‬ฝਅߦ head-head ⏛ოࠍᒻᚑߒߚ㈩⟎ߢ޽ࠆ‫⏛ߦࠇߎޕ‬႐ 50Oe ࠍශടߒߚ௝ࠍ
Fig.3 b ߦ␜ߔ‫⏛ߢࡦ࡯࠲ࡄߩߤࠎߣ߶ޕ‬ო⒖േ㗔ၞߛߌߩࠦࡦ࠻࡜ࠬ࠻߇ᄌൻߒ‫⏛ޔ‬ო⒖േߦࠃࠆ⏛ൻᣇะߩ෻ォ߇⿠ߎߞߡ޿ࠆ‫⏛ޕ‬ო߇േ߆ߥ޿߽ߩ߽ߺࠄࠇߡ޿ࠆ߇‫⏛ޔ‬ოߩᶖᄬ߿⏛ო⒖േ㗔ၞߩਛ㑆ߢ⏛ო߇ᱛ߹ߞߚ᭴ㅧߪߥ޿‫ޕ‬⡊㐳 U ሼᒻ⁁ห᭽‫⏛ޔ‬ო⒖േ߇৻᭽ߦ↢ߓ‫࠻ߚ߹ޔ‬࡜࠶ࡊࠨࠗ࠻ߦ⏕ታߦ࿕ቯߐࠇߚߎߣࠍ⃻ߒߡ޿ࠆ‫⏛ޕ‬႐ශടᣇะࠍㅒォߐߖߚߣ߈ߩ⏛඙௝ࠍ
Fig.3 c ߦ␜ߔ‫⏛ߢࡦ࡯࠲ࡄߩߤࠎߣ߶ޕ‬ო߇రߩ૏⟎ߦᚯࠅ‫޿⊕ޔ‬௝ߦᄌൻߔࠆ‫ޕ‬⡊㐳 U ሼᒻ⁁ࠃࠅ߽రߩ૏⟎ߦᚯࠆ㗫ᐲߪ㜞ߊ‫ޔ‬DW Seesaw ߣߒߡ⦟ᅢߥ⏛ო⒖േ․ᕈࠍ␜ߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬H ሼᒻ⁁ߪᔅߕ⏛ო߇ዉ౉ߐࠇࠆ᭴ㅧߦߥߞߡ߅ࠅ‫ޔ‬න⏛඙ൻߪߘ߽ߘ߽߅ߎࠄߥ޿‫࡜࠻߼ߚߩߎޕ‬࠶ࡊࠨࠗ࠻㑆ߩ⏛ო⒖േ߇቟ቯൻߐࠇߣ⠨߃ࠄࠇࠆ‫⏛ޕ‬ო߇రߦᚯࠄߥ޿ࡄ࠲࡯ࡦߪ‫ޔ‬H ሼߩฝ਄‫ޔ‬Ꮐਅߩ 2 ߟߩ⏛ൻ࿕ቯ㗔ၞߣ⏛ო⒖േ㗔ၞߢ⏛ൻ෻ォߒ‫ޔ‬H ሼߩⷺ 2 ࠞᚲߦ⏛ოࠍᒻᚑߒߡ޿ࠆ‫⏛ޕ‬ოࠍ 2 ୘ᒻᚑߒ⏛᳇⁁ᘒ߇቟ቯൻߒߚߚ߼‫ޔ‬⒖േ߇↢ߓߥߊߥߞߚߣ⠨߃ࠄࠇࠆ‫ߣߚޕ‬߃߫⏛ൻ࿕ቯ㗔ၞࠍ㐳ߊߔࠆߥߤߩᚻᴺߢ⏛᳇⇣ᣇᕈࠍᦝߦᒝߊߔࠆߥߤߢേ૞ࠍ቟ቯߦߔࠆᔅⷐ߇޽ࠆ‫ޕ‬  એ਄ߩ⚿ᨐߪ‫⏛ޔ‬ൻ࿕ቯ㗔ၞߩ⏛ൻ෻ォࠍᒻ⁁೙ᓮߦࠃࠅᛥ೙ߔࠇ߫‫ޔ‬ᓥ᧪ဳߩ U ሼᒻ⁁ߩࠃ߁ߥᄙ᭽ߥ⏛ൻ㈩⟎ࠍᒻᚑߖߕ‫࠻ࠗࠨࡊ࠶࡜࠻ޔ‬㑆ߛߌߢ⏛ო⒖േࠍ⿠ߎߔߎߣ߇ߢ߈ࠆࠃ߁
ߦߥࠆߎߣࠍ␜ߒߡ޿ࠆ‫⏛ޕ‬ൻ࿕ቯ㗔ၞߩ⏛ൻ෻ォߩᛥ೙‫ ߦ․ޔ‬H ሼᒻ⁁ߩࠃ߁ߦන⏛඙ൻߒߥ޿᭴ㅧߢ⏛ൻ࿕ቯ㗔ၞࠍ቟ቯൻߔࠆߎߣ߇⏛ო⒖േേ૞ߩ቟ቯൻߦߪ᦭ലߣ⠨߃ࠄࠇࠆ‫ޕ‬‫ޣ‬4. ߹ߣ߼‫ޤ‬
DW Seesaw ߩേ૞ࠍ቟ቯൻߢ߈ࠆ࠮࡞ᒻ⁁ࠍត⚝ߔࠆߎߣࠍ⋡⊛ߣߒߡ U ሼᒻ⁁‫ޔ‬⡊㐳 U ሼᒻ⁁‫ޔ‬H ሼᒻ⁁ߦߟ޿ߡ⏛႐ශട೨ᓟߩ XMCD-PEEM ߦࠃࠆ⏛඙௝ࠍⷰኤߒߚ‫ޕ‬U ሼᒻ⁁ߢߪ⏛႐ශടߦߣ߽ߥߞߡᄙ᭽ߥ⏛ൻ㈩⟎ࠍᒻᚑߒߚ߇‫⏛ޔ‬ൻ࿕ቯጀࠍ㐳ߊߒߚ⡊㐳 U ሼᒻ⁁‫޿ࠆ޽ޔ‬ߪ⏛ൻ࿕ቯጀࠍ⏛ო⒖േ㗔ၞߩ਄ਅߦߟߌߚ H ሼᒻ⁁ߢߪ࠻࡜࠶ࡊࠨࠗ࠻㑆ߢߩ⏛ო⒖േ߇ᡰ㈩⊛ߣߥࠅ‫ޔ‬2 ୯ࠍߣࠅ߿ߔ޿᭴ㅧߣߥࠆߎߣࠍ⏕⹺ߢ߈ߚ‫⏛ޕ‬ൻ࿕ቯ㗔ၞߩ⏛ൻᣇะࠍᒝߊ࿕ቯߔࠆߎߣߢ⏛ო⒖േ߇࠻࡜࠶ࡊࠨࠗ࠻㑆ౝߦ೙㒢ߐࠇ‫ޔ‬DW Seesaw ߩേ૞ࠍ቟ቯൻߐߖࠆߎߣ߇ߢ߈ߚߣ⠨߃ࠄࠇࠆ‫ޕ‬ᒻ⁁೙ᓮߦࠃࠆ⇣ᣇᕈߩჇᒝ߇᦭ലߥᚻᴺߢ޽ࠆߎߣࠍ XMCD-PEEM ⷰኤߦࠃࠅ⏕⹺ߢ߈ߚ‫੹ޕ‬ᓟߪ‫ࡦࡇࠬޔ‬㔚ᵹߦࠃࠆ DW Seesaw ߩ⏛ო⒖േⷰኤࠍ⹜ߺࠆ੍ቯߢ޽ࠆ‫ޕ‬‫⻢ޣ‬ㄉ‫ޤ‬
XMCD-PEEM ⷰኤߦߏදജ޿ߚߛ߈‫ ߚ޿ߛߚ޿ߡߒ⺰⼏ޔ‬SPring-8 ⑔ᧄᕺ♿᳁‫⺖ޔ‬㗴↳⺧߆ࠄታ㛎߹ߢ᦭ᗧ⟵ߥ⼏⺰ࠍߒߡ޿ߚߛ޿ߚ SPring-8 ᧁਅ⼾ᒾ᳁‫ޔ‬ਛ᧛ື਽᳁‫ޔ‬ᷰㄝ⟵ᄦ᳁‫ޔ‬NEC㧔⃻ JST㧕ᴰᒄ৻᳁ߦᗵ⻢ߒ߹ߔ‫⹜ޕ‬ᢱߩ૞ᚑ‫⹏ޔ‬ଔߥߤߦߪ NEC ੖ච፲ᔘੑ᳁‫ޔ‬᳗ේ⡛ਁ᳁‫ޔ‬ᷓ⷗ବテ᳁‫ޔ‬ᴧ↰⑲ᤘ᳁ߦߏදജࠍᓧ߹ߒߚ‫ߦߎߎޕ‬ᗵ⻢ߒ߹ߔ‫⎇ߩߎޕ‬ⓥߪ‫ޔ‬SPring-8 ߩ㊀ὐ↥ᬺ⺖㗴㧔⺖㗴⇟ภ 2007A1903㧕ߣߒߡታᣉߐࠇߚ߽ߩߢߔ‫ޕ‬‫ޣ‬ෳ⠨ᢥ₂‫ޤ‬[1]

H. Numata and S. Tahara, Intermag 2006, Technical Digest HQ-03.

[2]

H. Numata, et. al., Tech. Digest of Symposium on VLSI technology 2007, 232.

[3]ߚߣ߃߫ᧁਅ⼾ᒾ ࿕૕‛ℂ 40, 13 2005 .

[4]ᄢ᎑ೣ๺߶߆ ᐔᚑ 18 ᐕᐲవ┵ᄢဳ⎇ⓥᣉ⸳ᚢ⇛ᵴ↪ࡊࡠࠣ࡜ࡓᚑᨐႎ๔ᦠ 87.

X-ray(a)(c)(b)

㽲2Pm㽴 㽳 㽵㽲㽴㽳

Fig.1 Uሼᒻ⁁ࡄ࠲࡯ࡦߩXMCD-PEEM௝(a) ೋᦼ⌕⏛ᓟ‫( ޔ‬b) ⏛ო⒖േ㗔ၞߩ⏛ൻߣㅒะ߈ߦ⏛႐ශടᓟ‫ޔ‬(c) (b)ߩᓟ‫ޔ‬ㅒะ߈ߦ⏛႐ශടᓟ


X-ray(a)(c)

(b)

5Pm

Fig.2 ⡊㐳Uሼᒻ⁁ࡄ࠲࡯ࡦߩXMCD-PEEM௝(a) ೋᦼ⌕⏛ᓟ‫( ޔ‬b) ⏛ო⒖േ㗔ၞߩ⏛ൻߣㅒะ߈ߦ⏛႐ශടᓟ‫ޔ‬(c) (b)ߩᓟ‫ޔ‬ㅒะ߈ߦ⏛႐ශടᓟ

X-ray(a)(c)(b)5Pm

Fig.3 Hሼᒻ⁁ࡄ࠲࡯ࡦߩXMCD-PEEM௝(a) ೋᦼ⌕⏛ᓟ‫( ޔ‬b) ⏛ო⒖േ㗔ၞߩ⏛ൻߣㅒะ߈ߦ⏛႐ශടᓟ‫ޔ‬(c) (b)ߩᓟ‫ޔ‬ㅒะ߈ߦ⏛႐ශടᓟ