⼀般社団法⼈ミニマルファブ推進機構
ファブシステム研究会 主催
国⽴研究開発法⼈ 産業技術総合研究所 共催

SEMICON JAPAN 2018「ミニマルファブ講演会」開催のご案内
ミニマルファブは、⽣産に使われる局⾯となりいくつもの先端的プロセス技術が開発されました。SEMICON JAPANには、2010年度より毎年出展を⾏ってきましたが、今回は「ミニマルファブ先端へ」をテーマとし、ミニマルファブのアプリケーションとビジネス展開に関する展⽰を⾏います。今回の注⽬コーナーは、New Products（電⼦ビーム露光、イオン注⼊、ミラープラズマCVD、他）とDevice Applications（ミニマルファブで作成したデバイス）です。また、ビジネスの海外展開も具体的に紹介します。
同時に、講演会を下記の通り開催します。多品種少量の半導体ビジネス・デバイス試作、研究開発及びミニマルファブ装置の開発に関⼼を持つ⽅々の参加をお待ちしております。
【開催概要】
１.「ミニマルファブのビジネス講演会〜個別マーケットを切り拓く戦略と実践」
概要︓ミニマルファブのビジネス及び開発事例の講演
開催場所︓TechSPOT EXHIBITOR SEMINARS（東4ホール）

横河ソリューションサービス

２.「ミニマルファブコア技術講演会」
概要︓ミニマル装置の開発・技術に関する講演
主要企業が創出したコア技術を解説︕
開催場所︓横河ソリューションサービスブース（⼩間番号3720）

１． 「ミニマルファブのビジネス講演会〜個別マーケットを切り拓く戦略と実践」

東4ホール ルート

開催場所︓展⽰会場東４ホール（TechSPOT EXHIBITOR SEMINARS）
開催⽇

セミナー時間12⽉12⽇11:20-12:10（⽔）（受付開始11:15)

セミナータイトル
ミニマルファブを使ったビジネス事例の紹介
11:20-11:45 「横河のマーケティング戦略とビジネスモデル」
横河ソリューションサービス（株）
半導体サービスセンター エグゼクティブアドバイザー ⻄村 ⼀知
11:45-12:10 「（株）ピーエムティーが⽬指すミニマルファブを活⽤したFO-WLP試作ビジネス」（株）ピーエムティー ミニマルファウンドリ担当 執⾏役員 三宅 賢治

12:40-13:30

ミニマルファブを使ったアプリケーション開発事例

16:00-16:50

ミニマルファブの海外展開についての紹介（受付開始12:30） 12:40-13:05 「1kトランジスタレベルのCMOS集積化」（国研） 産業技術総合研究所 ナノエレクトロニクス研究部⾨ 柳 永勛
13:05-13:30 「ミニマル装置を⽤いたSi基板貫通エッチング技術」（国研） 産業技術総合研究所 ナノエレクトロニクス研究部⾨ ⽥中 宏幸（受付開始15:50） 16:00-16:05 「海外展開の概要」
横河ソリューションサービス（株）
半導体サービスセンター エグゼクティブアドバイザー ⻄村 ⼀知
16:05-16:20 「ミニマルファブ 〜 台湾への事業展開」
PHYTEK Corporation 副社⻑ 名倉 英俊
16:20-16:35 「ロシアCIS市場でのミニマルファブの展開」
東京貿易マシナリー（株） ロシア・CISマーケティング部 菅 啓輔
16:35-16:50 「Minimal Fab Overseas Sales Promotion」
JFE商事エレクトロニクス（株） 開発営業本部 本部⻑ 清宮 健⼀
12⽉13⽇（⽊）

10:20-11:10

ミニマルファブを使ったビジネス事例の紹介
10:20-10:45 「（株）ピーエムティーが⽬指すミニマルファブを活⽤したFO-WLP試作ビジネス」（受付開始10:10）（株）ピーエムティー ミニマルファウンドリ担当 執⾏役員 三宅 賢治
10:45-11:10 「横河のマーケティング戦略とビジネスモデル」
横河ソリューションサービス（株）

半導体サービスセンター エグゼクティブアドバイザー ⻄村 ⼀知
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無料 事前登録不要

２．「ミニマルファブコア技術講演会」

開催場所︓横河ソリューションサービスブース（⼩間番号3720）

開催⽇

No.

12⽉12⽇

第1部

（⽔）

開催時間
11:30-11:40 「ミニマルスパッター装置の開発」（国研） 産業技術総合研究所
11:40-11:50 「ミラープラズマCVD」

第2部

オープンセミナー形式

タイトル
ナノエレクトロニクス研究部⾨

野⽥ 周⼀（株）コーテック 営業技術部 ⼩林 誠治
12:30-12:40 「横河のマーケティング戦略とビジネスモデル」
横河ソリューションサービス（株）部⻑ 永井 亨／課⻑ 村國 ⼤志
12:40-12:50 「ミニマルマスクレス露光装置の進化と“両⾯”アライメントの実現」

第3部（株）ピーエムティー 技術管理部 部⻑ ⼊⽥ 亮⼀
13:30-13:40 「ミニマル光学式⼲渉膜厚計」（株）堀場エステック 開発本部 副本部⻑13:40-13:50 「ミニマル表⾯パーティクル検査装置」

第4部（株）⼭梨技術⼯房 技術部 課⻑ 名倉 義信
14:30-14:40 「ミニマルレーザ加熱装置とその技術紹介」
坂⼝電熱（株） 技術部
14:40-14:50 「⽔プラズマ装置」

第5部

⻄⾥ 洋

MKT製・商品開発課

千葉 貴史（株）⽶倉製作所 主任 相澤 洸
15:30-15:40 「SPPテクノロジーズが開発したミニマルファブ・プラズマ装置の紹介」
SPPテクノロジーズ（株） マーケティング部 野沢 善幸
15:40-15:50 「超⼩型プラズマエッチャーの開発 〜ミニマルマイクロプラズマエッチング装置〜」

第6部（株）三友製作所 テクノセンタ
16:30-16:40 「μFIXコントローラ」

設計開発部

作間 直史

（株）アルゴシステム 営業部 マネージャー 蓑輪 隆
16:40-16:50 「横河のマーケティング戦略とビジネスモデル」
横河ソリューションサービス（株）
12⽉13⽇

第1部（⽊）

部⻑ 永井 亨／課⻑ 村國 ⼤志

11:30-11:40 「ミニマルスパッター装置の開発」（国研） 産業技術総合研究所 ナノエレクトロニクス研究部⾨
11:40-11:50 「横河のマーケティング戦略とビジネスモデル」

第2部

野⽥ 周⼀

横河ソリューションサービス（株）部⻑ 永井 亨／課⻑ 村國 ⼤志
12:30-12:40 「超⼩型プラズマエッチャーの開発 〜ミニマルマイクロプラズマエッチング装置〜」（株）三友製作所 テクノセンタ 設計開発部 作間 直史
12:40-12:50 「SPPテクノロジーズが開発したミニマルファブ・プラズマ装置の紹介」
SPPテクノロジーズ（株）

マーケティング部

野沢 善幸

第3部

13:30-13:50 特別講演「ミニマル・マルチターゲット・ヘリコンスパッタ装置」

第4部

14:30-14:40 「ミニマルEBとvacPLADの開発紹介」

東北⼤学

准教授

⾼橋 和貴

（株）TCK 代表取締役 ⼩坂 光⼆
14:40-14:50 「ミニマルマスクレス露光装置の進化と“両⾯”アライメントの実現」
第5部（株）ピーエムティー 技術管理部 部⻑ ⼊⽥ 亮⼀
15:30-15:40 「ミラープラズマCVD」（株）コーテック 営業技術部 ⼩林 誠治
15:40-15:50 「横河のマーケティング戦略とビジネスモデル」
横河ソリューションサービス（株）

12⽉14⽇第1部（⾦）

部⻑ 永井 亨／課⻑ 村國 ⼤志

11:30-11:40 「横河のマーケティング戦略とビジネスモデル」
横河ソリューションサービス（株）
11:40-11:50 「ミニマルEBとvacPLADの開発紹介」

第2部（株）TCK 代表取締役
12:30-12:40 「⽔プラズマ装置」

部⻑ 永井 亨／課⻑ 村國 ⼤志

⼩坂 光⼆（株）⽶倉製作所 相澤 洸
12:40-12:50 「ミニマルレーザ加熱装置とその技術紹介」
坂⼝電熱（株）技術部

MKT製・商品開発課

千葉 貴史

第3部

13:30-13:50 特別講演「ミニマル・マルチターゲット・ヘリコンスパッタ装置」第4部

14:30-14:40 「ミニマル表⾯パーティクル検査装置」

東北⼤学

准教授

⾼橋 和貴

（株）⼭梨技術⼯房 技術部 課⻑
14:40-14:50 「ミニマル光学式⼲渉膜厚計」
第5部（株）堀場エステック 開発本部
15:30-15:40 「μFIXコントローラ」

名倉 義信
副本部⻑

⻄⾥ 洋（株）アルゴシステム 営業部 マネージャー 蓑輪 隆
15:40-15:50 「横河のマーケティング戦略とビジネスモデル」
横河ソリューションサービス（株）
2/2部⻑ 永井 亨／課⻑ 村國 ⼤志