KEK 電子陽電子入射器モジュレータ用インバータ電源の現状 (2)PRESENT STATUS OF INVERTER POWER SUPPLIES FOR MODULATORSIN KEK ELECTRON-POSITRON LINAC (2)川村真人#, A), 明本光生 A), 中島啓光 A), 今井康雄 B), 東福知之 B), 馬場昌夫 B), 諸富哲夫 B),
遠藤治 C), 秋川藤志 C), 佐藤和行 C), 高山智也 D)#, A), Mitsuo AkemotoA), Hiromitsu NakajimaA), Yasuo ImaiB), Tomoyuki ToufukuB),
Masato Kawamura
Masao BabaB), Tetsuo MorotomiB), Osamu EndoC), Hisashi AkikawaC), Kazuyuki SatoC), Tomoya TakayamaD)
A)
KEK, High Energy Accelerator Research OrganizationB)
Mitsubishi Electric System & Service Co., Ltd.
C)
Nihon Koshuha Co., Ltd.
D)
Toshiba Electro-Wave Products Co., LtdAbstract
This report describes the specifications and operating status of the inverter power supplies for modulators in the KEK
electron-positron linac. The important problems are the measure to overcome the breakdown of diodes in Nihon Koshuhamachines, and the deliberate exchange of the capacitors in the voltage monitoring circuits in Toshiba machines.

1.

はじめにKEK 電子陽電子入射器において、2017 年 5 月中旬の運転終了時点で 13 台のインバータ電源[1]-[6]が使用され、更に低速陽電子実験施設専用ライナックに 1 台、テストスタンドに 5 台が使用された。また、2017 年 10 月からの SuperKEKB Phase-II の運転では、入射器にインバータ電源 2 台が追加される予定である。
前回、本インバータ電源について 2016 年 8 月初めまでの状況を報告した[1]。本論文では、2017 年 7 月下旬までの 1 年で、新たに得られた知見等を中心に報告する。

2.

インバータ電源の概要

KEK 電子陽電子入射器には 2017 年 3 月末までに、日本高周波製 21 台(高精度機 2 台、フラックスコンセントレータ電源[7]専用機 1 台を含む)、東芝製(東芝電波プロダクツ製) 16 台が納品されている。これらのインバータ
電源はクライストロン、フラックスコンセントレータ、電子銃を負荷としたモジュレータにおいて、PFN（パルス成形回路）等のコンデンサの充電器として使用されている。
2.1(a) Front view

インバータ電源の仕様

日本高周波製の通常型と高精度型の外形写真をFigure 1 に示す。主な仕様について通常型[1][5]を Table
1 に、高精度型[1][6]を Table 2 に示す。高精度型はFigure 1 の通り、下側の主電源と上側の補電源を積み重ねた構造になっている。高精度型の主電源と通常型は現在、完全に同一で交換が可能である。このため、高精度型主電源に通常型の通し番号を付けて一括管理している。
通常型（及び高精度型主電源）の構成図[1][5]をFigure 2 に、高精度型補電源の構成図[1][6]を Figure 3に示す。何れも、整流部、高速インバータ部、高電圧発___________________________________________# masato.kawamura@kek.jp(b) Rear view
Figure 1: Outward appearances of Inverter PS (shorterone) and Highly Precise Inverter PS (taller one).

Figure 2: Schematic diagram of Inverter PS.

Figure 3: Schematic diagram of Sub PS in highly precise Inverter PS.

Table 1: Specification of Inverter PS (for 0.62µF load)
Input voltage

AC 420V±5%

Table 2: Specification of Highly Precise Inverter PS (for0.62µF load)
Input voltage(3-phase)
Charging power

30 kJ/s

Output voltage

43kV

Average output current

1.6A

Repetition rate

50pps

Output voltage stability

0.2%p-p (at 43kV)

Cooling water

5L/minSize

480mm x 760mmx 680mm

AC 420V±5%(3-phase)

Charging power

35 kJ/s(Main : 30kJ/s , Sub : 5kJ/s)

Output voltage

43kV

Average output current

1.8A

Repetition rate

50pps

Output voltage stability

0.03%p-p (at 43kV)

Cooling

Water 5L/min (Main)

Size

480mm x 760mm x 980mm(Main :1.6A , Sub : 0.2A)

Air (Sub)生部で構成されている。高速インバータ部は IGBT を用いた直列共振回路であり、通常型は補電源に比べて電流が大きい（定格値、通常型 1.6A、補電源 0.2A）ので 2並列になっている。
高精度型のブロック図[1][6]を Figure 4 に示す。

負荷や上位制御との接続は全て補電源に集約されている。主電源の出力は補電源内部を経由する。

定となる不具合が発生し、5 号機と交換。5 号機は2017 年 3 月 10 日まで運転(KL_3T ステーション)。
 16 号機、2017 年 3 月 10 日まで運転、その後、日本高周波製 18 号機と交換 (KL_34 ステーション)。
 12 号機、性能を確認するため、2016 年 12 月 28 日から 2017 年 5 月 15 日まで運転。重大な不具合は無く、今後の運転における予備品とする(KL_15 ステーション)。
14 号機の不具合は、2015 年度に改修を行った 3 台（1号機、5 号機、12 号機）の不具合と類似しており、高圧検出ユニット内の分圧用マイカコンデンサの絶縁劣化[1]が疑われた。結局東芝電波プロダクツにて異常の兆候は
Figure 4: Block diagram of Highly Precise Inverter PS.
確認できなかったが、KEK で異常波形が観測された事
他にフラックスコンセントレータ電源専用機 (FC 機) が を重く見てマイカコンデンサを交換した。同時に 2 台のイあり、通常型とほぼ同型で定格出力電圧が 20kV である。 ンバータ電源(3、7 号機) も交換した。
今後、全ての東芝製インバータ電源のマイカコンデン
2.2 KEK 電子陽電子入射器用インバータ電源の、サを交換する予定である。
過去 1 年の運転状況概要
入射器の過去 1 年の運転は、2016 年 10 月 3 日から2017 年 5 月 15 日まで行われた。途中 2016 年 12 月19 日から 2017 年 1 月 30 日まで、2017 年 3 月 10 日から 4 月 3 日まで運転が休止された。立上げ日、立下げ日を含めた運転日数は 161 日だった。
インバータ電源の HV on 時間の平均は 3574.5h だった。期間内に「インバータ電源過電流保護」 (“InvOCP”、モジュレータのスイッチ素子であるサイラトロンの自爆時などに発報する) のインタロックによる HV off は 90 回あり、1.8 日に 1 回の割合だった。
インバータ電源通常型の波形の例を Figure 5 に示す。
青 が PFN 充 電電圧、水 色がインバ ータ電 流、緑がCharging gate 信号(この信号に同期して PFN のコンデンサが充電される)、赤が充電完了信号である。

4.

日本高周波製インバータ電源の運転状況

入射器における日本高周波製インバータ電源の使用台数は、低速陽電子実験施設専用ライナックを含め、過去 1 年間、概ね 12 台だった。また新品を 2016 年 9 月に1 台 (17 号機)、2017 年 3 月に 2 台(18、19 号機)購入した。
4.1

安定度の測定2016 年 11 月 7 日 (月) 、KL_A1_A ステーションにて、通常型(10 号機)と高精度型(主電源 15 号機＋補電源 2 号機) の入替えを行い、その際両方の出力電圧(PFN 充電電圧)の安定度を測定した。測定結果は以下の通り。
 通常型 10 号機、0.14～0.38% (約 10 分)。
 高精度型(主電源 15 号機＋補電源 2 号機)、
0.04～0.22% (約 10 分)。
高精度型の安定度を測定した際の波形を Figure 6 に示す。
仕様値 (通常型 0.2% 、高精度型 0.03%) と比較して若干大きく、また測定値に幅があるのは、trigger 信号が時間軸に対して常に振動しているためと見られる。またこの時間軸に対する振動は運転中に入射器全体で見られている。

Figure 5: Waveforms of input-output signals of Inverter
PS.

3.

東芝製インバータ電源の運転状況

入射器における東芝製インバータ電源の運転状況は以下の通りである。
 14 号機、2016 年 10 月 29 日(土)早朝に出力不安

Figure 6: Waveforms for measuring of voltage stability
charged by highly precise inverter PS.

4.2

12 号機の高圧整流ダイオード故障

過去 1 年間の運転で、特に報告すべき不具合は「12 号機の高圧整流ダイオード故障」である。
2016 年 11 月 3 日 (木) 20 時台に HV down した。再立ち上げしても HV down を繰り返し、HV down 時の波形を見るとインバータ電流が減少していた。また、設定電圧を下げて(40.0kV -> 35.0kV)立ち上げたところ数秒で異音(内部をたたくような音)が発生した。インバータ電源自体の不調と判断して交換した。交換時点の 12 号機の総運転時間が 4454.8h、前回の報告で述べた改善・変更[1]後の運転時間が 1759.3h であった。
日本高周波にて調査したところ、
 オイルタンク内部をクリアケース移して試運転を行い、充電電圧 40kV 設定時に高圧整流ダイオード基板付近で放電を確認した (高圧整流ダイオードは Figure 2 のオレンジ色枠内)。
 高 圧 整 流 ダ イ オ ー ド ( 全 波 整 流 器 、 HVCA 製
4HVFWB15KEUF)全 10 個のうち、高圧側の 2 個(CR1、CR2)が破損していた。CR1、CR2 の各 4 回路のうち 2 回路ずつ(計 4 ヶ所)で絶縁耐圧不良が発生しており(抵抗値 0.34Ω～58.93Ω)、該当箇所のモールド外面に亀裂や欠けが見られた。CR1 に対面する水冷銅板に放電痕が確認された。
 高圧トランス 2 次巻き線にゴミ等は見られなかった。
 オイルタンク底面に水分が溜まっていた。
2015 年度にインバータ電源 2 台(高精度 2 号機、7 号機)の不具合が発生し高圧整流ダイオードが破損した際は、高圧トランス 2 次巻き線のゴミが原因と判断していた[1]が、今回は当該のゴミ等が見られなかったので、別の故障原因を追究する必要が生じた。
故障品 2 個について、地方独立行政法人 東京都立産業技術研究センター(都産技研)[8]の、ナノフォーカス
X 線 CT 装置[9]を用いて非破壊検査を行った。都産技研で当該 X 線 CT 装置を用いて撮影した画像データをブルーレイディスクに保存してもらい、利用者が各 自 パ ソ コ ンに 無 料の ビュ ー ワ(Volume Graphics 製
myVGL[10])をダウンロードして分析を行った。

画像データの一例を Figure 7 に示す。比較対象として、未使用の高圧整流ダイオード 1 個の撮影も依頼した。
画像分析で判明した事を以下に述べる。故障品の内部ダイオード自体の破損は見られず、隣接した内部ダイオードの端子同士を半田付けしたと見られる箇所付近に放電痕を確認した。放電痕はモールド外面の亀裂や欠けの箇所と良く一致した。
破損の過程は、現在のところ以下のように考えられる。
 半田付け部に、局所的に高電圧が発生して放電が起こり、放電痕やモールド外面の亀裂・欠けが生じた。
 これらの影響で回路の絶縁破壊が生じた。
対策として、内部部品の形状・配置等を見直し、ダイオードと水冷銅板の絶縁距離(現在 12mm)を大きくする事を検討している。
4.3

その他の不具合と対策等について

14 号機の「TEMP」（IGBT 冷却用水冷銅板が 80℃以上になったことを意味する）のインタロックが発報した不具合[1]について。日本高周波や KEK のテストスタンドで不具合が確認されなかった事や、不具合の発生した KL_17 ステーションで新品(17 号機)を運転したところ同様の現象が見られた事などから、KL_17 ステーションにノイズが多いことが原因で、14 号機に不具合は無いと判断している。
KL_A1_A ス テ ー シ ョ ン で 高 精 度 機 を 運 転 中 、Charging gate のパルス幅が狭い場合に、主電源が出力せず、補電源のみ出力する現象が起こった(2016 年 11 月 9 日(水)、2017 年 2 月 1 日(水)の 2度)。日本高周波でも現象が再現された。補電源の設定を調整し、主電源の出力電圧が 8kV に達するまで補電源が出力しないように設定した。
6 号機の内部から時々異音(内部より小さな放電音)が発生したため交換。日本高周波にて運転を行ったが再現しなかった(KL_33 ステーション)。
2017 年 5 月運転終了前にトレンドグラフを確認した
ところ、KL_28 ステーションで運転していた 8 号機の出力が不安定になっていた(運転終了時の 8 号
機総運転時間 7316.1h、改修後 KL_28 ステーショ
ンでの運転時間 1884.6h)。テストスタンドで試運転したところ出力の不安定が再現した。6 月以降日本
高周波で試運転が行われているが、これまで出力の不安定は再現していない。
日本高周波にて高精度機の改修(主電源と通常型とを完全に同一にする改修)の際、動作確認中に補電 源 に あ る 逆 阻 止 ダ イ オ ー ド (HVCA 製
HVUF25000、4 本、Figure 3 のオレンジ色枠内)が破損した(ショートした)。部品の交換・形状の変更などを行って絶縁距離を確保し、またオイルタンクの油量を確認するためにリザーブタンク側面に油面計を取り付けた。

4.4

Figure 7: X-ray CT picture of CR2 diode.

先年度改修後の内部点検まとめ2016 年 4 月から秋にかけて、納品済の全インバータ電源を、前回の報告で述べた改善・変更[1] (クリーンルームでの作業、エポキシ系の接着剤使用、等)を行った。入射器では改善が済んだインバータ電源を順次使

(都産技研);用し、更に一定期間運転を行った後、交換して内部確認
https://www.iri-tokyo.jp/
を行っている。今年 7 月までに 11 台の点検を終えたの[9] 都産技研 ナノフォーカス X 線 CT 装置;
で、結果を以下にまとめる。
https://www.iri-tokyo.jp/setsubi/bio-h23-nfxct.html
オイルタンク内の沈殿物やトランスに付着物があった [10] myVGL ウェブサイト;
機器は以下の 4 台であった。
https://www.volumegraphics.com/ja/
 7 号機、改修後 3214.5h 運転。オイルタンク内に沈%E8%A3%BD%E5%93%81/myvgl/殿物、Ni、Cu、Fe、P、Mn、水分。
 16 号機 (旧高精度 2 号機主電源)、改修後 3426.4h運転。トランスに付着物、人毛。
 9 号機、改修後 1656.6h 運転。オイルタンク内に沈殿物。Fe、Ni、水分。トランスに付着物、エポキシ成分。
 12 号機、改修後、1759.3h で不具合発生。オイルタ
ンク内に沈殿物、水分。
一方、残りの 7 台(2、3、5、6、8、13、15(旧高精度 1 号機主電源)各号機)に沈殿物・付着物は無かった。改修
後の運転時間は 902.9h(15 号機)から 4122.5h(3 号機)まで様々である。
沈殿物・付着物があった方は、高圧整流ダイオードの破損があって交換したもの(7、12、16 各号機)、またはタンク内に放電による煤が確認されたもの(9 号機)であった。
これらの機器は今後も適宜内部点検を行う必要がある。

5.

まとめ

KEK 電子陽電子入射器モジュレータ用インバータ電源について、過去 1 年間の運転状況を報告した。
東芝機は高圧検出ユニット内の分圧用マイカコンデンサの未改修分の作業が必要であり、出来れば来年度中に終了したい状況である。
日本高周波機は高圧整流ダイオードの破損対策が現在の最重要課題となっている。その他個別の不具合もまだ見られるので、しばらく運転や点検を通じて対策を行う必要がある。

参考文献[1] 川村真人 他、第 13 回日本加速器学会年会(2016)、
MOP032;
http://www.pasj.jp/web_publish/pasj2016/proceedings/PDF/
MOP0/MOP032.pdf[2] 中島啓光 他、第 28 回リニアック技術研究会(2003)、
WD-4;
http://www.pasj.jp/web_publish/lam28/proceedings/
WD-4.pdf[3] 明本光生 他、第 5 回日本加速器学会年会・第 33 回リニアック技術研究会(2008)、TP094;
http://www.pasj.jp/web_publish/pasj5_lam33/contents/PDF/TP/TP094.pdf[4] 飯田謙二 他、第 27 回 リニアック技術研究会(2002)、
7P-47;
http://www.pasj.jp/web_publish/lam27/PDF/7P-47.pdf[5] 遠 藤 治 他 、 第 10 回 日 本 加 速 器 学 会 年 会 (2013) 、SAP065;
http://www.pasj.jp/web_publish/pasj10/proceedings/PDF/
SAP0/SAP065.pdf[6] 秋川藤志 他、第 11 回日本加速器学会年会(2014)、
THP066;
http://www.pasj.jp/web_publish/pasj2015/proceedings/
PDF/THP0/THP066.pdf[7] 明本光生 他、本研究会、TUP067.
[8] 地方独立行政 法人 東京都 立産業技 術研 究センター