MKBシリーズ

ユ ニット型 空 気 ば ね 式 除 振 装 置

Total Noise Solution

大荷重の精密機器の除振を低コストで実現します。
空気ばね、オイルダンパー、レベル維持センサーが一体になったコンパクトで大荷重に対応するユニット型除振装置です。全モデルの高さを155mmに統一しているので、フレキシブルな組合わせの対応が可能です。オイルダンパーが標準でついているので可動部がある装置の揺れも迅速に収束します。

適用分野

外形寸法図

ユ ニット 型 空 気 ば ね 式•計測・計量機器•半導体製造・精密加工

除振装置

AP-MK C seri es■ 主 な 仕 様 S pe c iﬁ c at ion s
型式 ModelMKB-0390

MKB-0590

MKB-0930

MKB-1500

固有振動数 Natural frequency

垂直Vertical：3.5〜4.3Hz / 水平Horizontal：3.0〜3.8Hz

除振方式 Vibration Isolation method

空気ばね Air suspension

制振方式 Damping method

オイルダンパー Oil damper

レベル維持方式 Leveling method

自動レベル維持機構（復帰精度±100μm）
Automatic Leveling by Mechanical air valve(Positioning Tolerance +/-100micrometers)

AP-MK H seri es
AP - MK H s e ri e s

MK B seri es

機体寸法 Dimensions W×D×H(mm)225×225×155

270×270×155

340×340×155

400×400×155

機体質量(kg)[空気ばね1個]
Mass (kg per unit)

19304561

搭載可能質量(kg)[空気ばね4個使用時]
Payload (kg/4units)

3800

5900

9300

15000

A×B(mm)200×200ΦC(mm)

12

供給圧力Supplied Air Pressure (MPa)AP - MK C s e ri e s

M KB se r ie s

210×210、240×240 250×250、308×308 300×300、368×368
1616160.5MPa（空気源：コンプレッサー・工場エアー・窒素ボンベ）(Air source: Compressed air by air compressor, relievinga factory's piping of its air, or liquid nitrogen gas)

ご用命は本社 〒221-0031 横浜市神奈川区新浦島町1-1-25
テクノウェイブ100ビル16階
TEL
（045）
453-5731（代）FAX（045）
453-3381

大阪営業所 〒532-0011 大阪市淀川区西中島1-9-20
新中島ビル7階TEL（06）6889-2121 FAX（06）
6889-2122
E-mail info@meiritz.jp

http://www.meiritz.jp

MP-15

ユ ニット型 空 気 ば ね 式 除 振 装 置

AP-MKCシリーズユ ニット型 空 気 ば ね 式 除 振 装 置

A P-M K Hシリーズ

可動部のある装置にも使用可能な最高グレードのパッシブ除振装置レベルの除振性能でありながら低固有振動数パッシブ除振ユニット可動部にも対応可能な低固有振動数パッシブ除振ユニット

明立精機の永年の技術と経験により、両立は難

明立精機パッシブ除振装置ラインナップの中でしいと言われていた低固有振動数且つステージも最高グレードの除振性能でありながらステー等可動部にも対応するパッシブ 除振ユニットをジ等可動部への対応も可能です。高精度・高ス開発いたしました。高精度・高スループットを要ループットを要求される製造装置に高コストパ求される製造装置に高コストパフォーマンスのフォーマンスの除振装置を提供いたします。

除振装置を提供いたします。
適用分野

外形寸法図

適用分野

外形寸法図

•計測・計量機器•計測・計量機器•半導体製造・精密加工•半導体製造・精密加工■ 主 な 仕 様 S pe c iﬁ c at ion s■ 主 な 仕 様 Speciﬁcations

型式 ModelAP-230MKC

AP-270MKC

AP-330MKC

型式 ModelAP-230MKH

AP-270MKH

AP-330MKH

固有振動数 Natural frequency

垂直Vertical：1.5〜2.0Hz / 水平Horizontal：1.0〜1.5Hz

固有振動数 Natural frequency

垂直Vertical：1.5〜2.0Hz / 水平Horizontal：0.7〜1.0Hz

除振方式 Vibration Isolation method

空気ばね Air suspension

除振方式 Vibration Isolation method

空気ばね Air suspension

制振方式 Damping method

オリフィスによるエアーダンピング Damping by Oriﬃce

制振方式 Damping method

オリフィスによるエアーダンピング Damping by Oriﬃce

レベル維持方式 Leveling method

自動レベル維持機構（復帰精度±100μm）
Automatic Leveling by Mechanical air valve(Positioning Tolerance +/-100micrometers)

レベル維持方式 Leveling method

自動レベル維持機構（復帰精度±100μm）
Automatic Leveling by Mechanical air valve(Positioning Tolerance +/-100micrometers)

機体寸法 Dimensions W×D×H(mm)300×300×220

320×320×220

370×370×220

機体寸法 Dimensions W×D×H(mm)320×320×325

320×320×325

370×370×325

機体質量(kg)[空気ばね1個]
Mass (kg per unit)

46

56

72

機体質量(kg)[空気ばね1個]
Mass (kg per unit)

54

64

81

搭載可能質量(kg)[空気ばね4個使用時]
Payload (kg/4units)

6200

8600

13000

搭載可能質量(kg)[空気ばね4個使用時]
Payload (kg/4units)

6200

8600

13000

A×B(mm)270×270290×290340×340A×B(mm)290×290290×290340×340

ΦC(mm)

131313

ΦC(mm)

131313

供給圧力Supplied Air Pressure (MPa)0.5MPa（空気源：コンプレッサー・工場エアー・窒素ボンベ）(Air source: Compressed air by air compressor, relievinga factory's piping of its air, or liquid nitrogen gas)

供給圧力Supplied Air Pressure (MPa)0.5MPa（空気源：コンプレッサー・工場エアー・窒素ボンベ）(Air source: Compressed air by air compressor, relievinga factory's piping of its air, or liquid nitrogen gas)ユ ニット型 空 気 ば ね 式 除 振 装 置

AP-MKCシリーズ

ユ ニット型 空 気 ば ね 式 除 振 装 置

A P-M K Hシリーズ

可動部のある装置にも使用可能な最高グレードのパッシブ除振装置レベルの除振性能でありながら低固有振動数パッシブ除振ユニット可動部にも対応可能な低固有振動数パッシブ除振ユニット

明立精機の永年の技術と経験により、両立は難

明立精機パッシブ除振装置ラインナップの中でしいと言われていた低固有振動数且つステージも最高グレードの除振性能でありながらステー等可動部にも対応するパッシブ 除振ユニットをジ等可動部への対応も可能です。高精度・高ス開発いたしました。高精度・高スループットを要ループットを要求される製造装置に高コストパ求される製造装置に高コストパフォーマンスのフォーマンスの除振装置を提供いたします。

除振装置を提供いたします。
適用分野

外形寸法図

適用分野

外形寸法図

•計測・計量機器•計測・計量機器•半導体製造・精密加工•半導体製造・精密加工■ 主 な 仕 様 S pe c iﬁ c at ion s■ 主 な 仕 様 Speciﬁcations

型式 ModelAP-230MKC

AP-270MKCAP-330MKC

型式 ModelAP-230MKH

AP-270MKH

AP-330MKH

固有振動数 Natural frequency

垂直Vertical：1.5〜2.0Hz / 水平Horizontal：1.0〜1.5Hz

固有振動数 Natural frequency

垂直Vertical：1.5〜2.0Hz / 水平Horizontal：0.7〜1.0Hz

除振方式 Vibration Isolation method

空気ばね Air suspension

除振方式 Vibration Isolation method

空気ばね Air suspension

制振方式 Damping method

オリフィスによるエアーダンピング Damping by Oriﬃce

制振方式 Damping method

オリフィスによるエアーダンピング Damping by Oriﬃce

レベル維持方式 Leveling method

自動レベル維持機構（復帰精度±100μm）
Automatic Leveling by Mechanical air valve(Positioning Tolerance +/-100micrometers)

レベル維持方式 Leveling method

自動レベル維持機構（復帰精度±100μm）
Automatic Leveling by Mechanical air valve(Positioning Tolerance +/-100micrometers)

機体寸法 Dimensions W×D×H(mm)300×300×220

320×320×220

370×370×220

機体寸法 Dimensions W×D×H(mm)320×320×325

320×320×325

370×370×325

機体質量(kg)[空気ばね1個]
Mass (kg per unit)

46

56

72

機体質量(kg)[空気ばね1個]
Mass (kg per unit)

54

64

81

搭載可能質量(kg)[空気ばね4個使用時]
Payload (kg/4units)

6200

8600

13000

搭載可能質量(kg)[空気ばね4個使用時]
Payload (kg/4units)

6200

8600

13000

A×B(mm)270×270290×290340×340

A×B(mm)290×290290×290340×340

ΦC(mm)

131313ΦC(mm)131313

供給圧力Supplied Air Pressure (MPa)0.5MPa（空気源：コンプレッサー・工場エアー・窒素ボンベ）(Air source: Compressed air by air compressor, relievinga factory's piping of its air, or liquid nitrogen gas)

供給圧力Supplied Air Pressure (MPa)0.5MPa（空気源：コンプレッサー・工場エアー・窒素ボンベ）(Air source: Compressed air by air compressor, relievinga factory's piping of its air, or liquid nitrogen gas)

MKBシリーズ

ユ ニット型 空 気 ば ね 式 除 振 装 置

Total Noise Solution

大荷重の精密機器の除振を低コストで実現します。
空気ばね、オイルダンパー、レベル維持センサーが一体になったコンパクトで大荷重に対応するユニット型除振装置です。全モデルの高さを155mmに統一しているので、フレキシブルな組合わせの対応が可能です。オイルダンパーが標準でついているので可動部がある装置の揺れも迅速に収束します。

適用分野

外形寸法図

ユ ニット 型 空 気 ば ね 式•計測・計量機器•半導体製造・精密加工

除振装置

AP-MK C seri es■ 主 な 仕 様 S pe c iﬁ c at ion s
型式 ModelMKB-0390

MKB-0590

MKB-0930

MKB-1500

固有振動数 Natural frequency

垂直Vertical：3.5〜4.3Hz / 水平Horizontal：3.0〜3.8Hz

除振方式 Vibration Isolation method

空気ばね Air suspension

制振方式 Damping method

オイルダンパー Oil damper

レベル維持方式 Leveling method

自動レベル維持機構（復帰精度±100μm）
Automatic Leveling by Mechanical air valve(Positioning Tolerance +/-100micrometers)

AP-MK H seri es
AP - MK H s e ri e s

MK B seri es

機体寸法 Dimensions W×D×H(mm)225×225×155

270×270×155

340×340×155

400×400×155

機体質量(kg)[空気ばね1個]
Mass (kg per unit)

19304561

搭載可能質量(kg)[空気ばね4個使用時]
Payload (kg/4units)

3800

5900

9300

15000

A×B(mm)200×200ΦC(mm)

12

供給圧力Supplied Air Pressure (MPa)AP - MK C s e ri e s

M KB se r ie s

210×210、240×240 250×250、308×308 300×300、368×3681616160.5MPa（空気源：コンプレッサー・工場エアー・窒素ボンベ）(Air source: Compressed air by air compressor, relievinga factory's piping of its air, or liquid nitrogen gas)

ご用命は本社 〒221-0031 横浜市神奈川区新浦島町1-1-25
テクノウェイブ100ビル16階
TEL
（045）
453-5731（代）FAX（045）
453-3381

大阪営業所 〒532-0011 大阪市淀川区西中島1-9-20
新中島ビル7階TEL（06）6889-2121 FAX（06）
6889-2122
E-mail info@meiritz.jp

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