Capacitance Diaphragm Gauge
CDG100D 4-20 mA Current Loop

Gebrauchsanleitung

inkl. EU-Konformitätserklärung

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Produktidentifikation
Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes
erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein.

Gültigkeit
Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihe
CDG100D 4-20 mA Current Loop.
Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte angeführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und unterscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter(z. B. werkseitige Schaltpunkteinstellung).

2

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Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit
Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF. Sie gelten sinngemäß auchfür die anderen Vakuumanschlüsse.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.

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Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die temperaturgeregelten Capacitance Diaphragm Gauges der
CDG100D 4-20 mA Current Loop Serie sind Vakuum-Messröhren und erlauben die Absolutdruck-Messung von Gasen in
unterschiedlichen Messbereichen (→  2).
Die Messröhren gehören zu der Familie SKY® Smart Sensors
und können mit einem kundeneigenen 4 … 20 mA Auswertegerät betrieben werden.

Funktion
Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt.
Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digitale Elektronik in ein Gleichstrom-Ausgangssignal umgewandelt.
Das Ausgangssignal ist linear mit dem zu messenden Druck undunabhängig von der zu messenden Gasart.
Der auf konstant 100 °C geheizte Sensor erlaubt sehr genaue
Druckmessungen. Durch die Temperaturregelung werden Umgebungseinflüsse weitgehend vermieden. Bei Prozessanwendungen wird die Ablagerung von Prozess- und Prozessnebenprodukten reduziert.

MarkenSKY®
VCR®

INFICON Holding AG
Swagelok Marketing Co.

PatenteEP 1070239 B1, 1040333 B1
US Patente 6528008, 6591687, 7107855, 7140085

4

tinb58d1(2020-11)

Lieferumfang
1× Messröhre CDG100D
1× Schutzschale
1× Taststift
1× Kalibrierzertifikat
1× Gebrauchsanleitung deutsch
1× Gebrauchsanleitung englischtinb58d1(2020-11)5

Inhalt
Produktidentifikation
Gültigkeit
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Funktion
MarkenPatenteLieferumfang

2
2
4
4
4
4
5

1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und Gewährleistung

7
7
7
8
8

2

Technische Daten

9

3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
3.2 Elektrischer Anschluss

15
15
19

4 Betrieb
4.1 Anzeigen
4.2 Messröhre abgleichen
4.3 Schaltfunktionen
4.4 Werkseinstellung laden (Factory Reset)
4.5 Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle)

21
21
22
26
29
30

5 Ausbau
5.1 Elektrischen Anschluss trennen
5.2 Vakuumanschluss trennen

31
31
31

6

Instandhaltung, Instandsetzung

34

7

Produkt zurücksenden

34

8

Produkt entsorgen

35

9

Zubehör

36

ETL-Zertifizierung

36

EU-Konformitätserklärung

37

Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→  XY) verwendet.
6

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1

Sicherheit

1.1

Verwendete Symbole
GEFAHR
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art.

WARNUNG
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden.

Vorsicht
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten
kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen.
Hinweis<…>1.2

Beschriftung

Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur
durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete
technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult wurden.

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1.3

Grundlegende Sicherheitsvermerke• Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die
Schutzmaßnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien.
• Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmaßnahmen zulässig.
Beachten Sie zudem die in diesem Dokument angegebenen
Sicherheitsvermerke.
• Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften undhalten Sie die Schutzmaßnahmen ein.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer
weiter.

1.4

Verantwortung und Gewährleistung
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen• dieses Dokument missachten• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungenusw.) vornehmen• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung.

8

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2

Technische Daten
Messbereich→ "Gültigkeit"

Genauigkeit 1)≤0.5 Torr/mbar F.S.
≥1 Torr/mbar F.S.
Temperatureinfluss auf Nullpunkt≤0.5 Torr/mbar F.S.
≥1 Torr/mbar F.S.
Temperatureinfluss auf Bereich
AuflösungGasartabhängigkeit
Ausgangssignal (Messsignal)
Signalbereich
Messbereich (Zero … F.S.)
Fehlerstatus
Beziehung Strom-Druck
Lastimpedanz RL (Bürde)18.5 … 33.3 V (dc) 2)

0.4% vom Messwert
0.2% vom Messwert
0.0050% F.S./ °C
0.0025% F.S./ °C
0.02% vom Messwert / °C
0.003% F.S.
keine
2-Draht, current loop
3.8 … 20.4 mA
4.0 … 20.0 mA
22.8 mA
linear500 Ω16.2 … 31.0 V (dc) 2) 400 Ω
13.9 … 28.8 V (dc) 2) 300 Ω
11.7 … 26.5 V (dc) 2) 200 Ω
9.4 … 24.2 V (dc) 2) 100 Ω

Ansprechzeit 3)≥0.25 Torr/mbar (F.S.)
0.1 Torr/mbar (F.S.)

1)

tinb58d1

100 ms
130 msNichtlinearität, Hysterese, Wiederholgenauigkeit im kalibrierten Bereichbei 25 °C Umgebungstemperatur ohne Temperatureinfluss nach 2 h
Betrieb.

2)

Versorgungsspannung an der Stromschnittstelle.

3)

Anstieg 10 … 90 % F.S.R.

(2020-11)9

Identifikation
Widerstand RIdent
Spannung
Remote Zero Adjust
Externer Schaltkontakt
ImpulsSchaltfunktion
Einstellbereich
Hysterese
Relaiskontaktgeschlossen
offen
Schaltzeit
Status-Relais
Relaiskontaktgeschlossen
offen

Diagnostik-Port, Anschluss

1013.2 kΩ gegen Speisungserde≤5 V
Digitaler Eingang für den
Nullpunktabgleich mit externem Schaltkontakt (→  22)
30 V (dc) / <5 mA (dc)
>1 s … <5 s
SP1, SP2
0 … 99% F.S. (0 … 9.9 V)
1% F.S.
30 V (dc) / ≤0.5 A (dc)potentialfrei (NO)p ≤ pSP (LED leuchtet)p ≥ pSP (LED aus)
≤50 ms30 V (dc) / ≤0.5 A (dc)verbunden mit Speisungserde (Pin 5)
Messmodus
Warnungkeine Versorgungsspannung
aufwärmen
Fehler
Klinkenstecker 2.5 mm,
3-polig

tinb58d1(2020-11)

Speisung

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungender geerdeten Schutzkleinspannung und einer
Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der
Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur Messröhre
ist abzusichern.
Versorgungsspannung
an der Messröhre

Klasse 2 / LPS+14 … +30 V (dc) oder
±15 V (±5%)≤1 VppRippleLeistungsaufnahme
während Aufheizphase≤15 W
in Betrieb≤10 W
Sicherung vorzuschalten
1.6 AT
Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung undÜberlast geschützt.
Anschluss elektrisch
Messkabel CDG

D-Sub 15-polig, Stifte
15-polig plus Abschirmung

Kabellänge CDG
Versorgungsspannung 15 V

≤ 8 m (0.14 mm²/Leiter)≤15 m (0.25 mm²/Leiter)
Versorgungsspannung 24 V
≤43 m (0.14 mm²/Leiter)≤75 m (0.25 mm²/Leiter)
Versorgungsspannung 30 V
≤88 m (0.14 mm²/Leiter)≤135 m (0.25 mm²/Leiter)
Für längere Kabel sind größere Leiterquerschnitte erforderlich(RLeiter ≤1.0 Ω).
Kabellänge Stromschnittstelle<25 m
25 …50 m>50 … 300 m
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0.14 mm² / Leiter0.25 mm² / Leiter0.50 mm² / Leiter11

Erdkonzept→ "Elektrischer Anschluss"

Werkstoffe gegen Vakuum

Keramik (Al2O3 ≥99.5%),
Edelstahl AISI 316L
≤4.2 cm3

Inneres Volumen
Maximaldruck (absolut)
200 / 500 / 1000 / 1100 F.S.
1 / 2 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 F.S.
0.1 / 0.25 / 0.5 F.S.
Berstdruck (absolut)
Zulässige Temperatur
Lagerung
Betrieb
Ausheizen
Relative Feuchte
Verwendung
Schutzart

12

4 bar
2.6 bar
1.3 bar
6 bar| 400 kPa
| 260 kPa
| 130 kPa
| 600 kPa

–40 °C … +65 °C+10 °C … +40 °C≤110 °C am Flansch≤80% bei Temperaturen≤+31 °C abnehmend auf
50% bei +40 °C
nur in Innenräumen,
Höhe bis zu 2000 m
IP 40

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Abmessungen [mm]Gewicht

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837 … 897 g

13

Beziehung Messsignal analog – Druckp = [(Iout – 4 mA) / 16 mA] × p (F.S.)

Torrc
Beispiel:

1.00

Umrechnung Torr ↔ Pascal
mbar 4)Pa 4)1013.25 / 760 =
1.3332…

101325 / 760 =
133.3224…

Messröhre mit 10 Torr F.S.
Messsignal Iout = 12 mA
p = [(12 mA – 4 mA) / 16 mA] × 10 Torr
= 0.5 × 10 Torr = 5 Torr

4)

14

Quelle: NPL (National Physical Laboratory)
Guide to the Measurement of Pressure and Vacuum, ISBN 0904457x /1998
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3

EinbauWARNUNG
Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zerstören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge vermeiden.

3.1

Vakuumanschluss
GEFAHRÜberdruck im Vakuumsystem >1 barÖffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.

GEFAHRÜberdruck im Vakuumsystem >2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtungen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.

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15

GEFAHR
Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im
Störungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten
Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindungmuss den Anforderungen einer Schutzverbindungnach EN 61010 entsprechen:• CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser
Forderung.
• Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender
Spannring zu verwenden.
• Beim ½"-Rohr ist diese Anforderung durch geeignete Maßnahmen zu erfüllen.

Vorsicht
Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

Vorsicht
Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen undsauberes Werkzeug benutzen.

16

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Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Einbaulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel
nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechtebis stehende Einbaulage zu bevorzugen. Für einen
manuellen Abgleich der Messröhre im eingebauten
Zustand ist die Zugänglichkeit zu den Tastern mit einem
Stift zu gewährleisten (→  22).

 Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem anschließen.

Dichtung mit Zentrierring

Schutzkappe
Spannelement

Schutzkappe aufbewahren.

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 Schutzschalen anbringen.
Schutzschale18

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3.2

Elektrischer Anschluss
Die Messröhre muss ordnungsgemäß an der Vakuumapparatur angeschlossen sein (→  15).

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungender geerdeten Schutzkleinspannung und einer
Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der
Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur Messröhre
ist abzusichern.
Erdschleifen, Potentialunterschiede oder EMV können das
Messsignal beeinflussen. Für beste Signalqualität beachten Sie
bitte die folgenden Einbauhinweise:• Typischerweise den Kabelschirm nur einseitig auf der Messröhrenseite über das Steckergehäuse flächenhaft mit derErde verbinden. Das andere Schirmende offen lassen.
• Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutzerde verbinden.
• Situationsbedingt kann- eine einseitige Erdung des Kabelschirms auf der Speiseseite, oder
- eine beidseitige Erdung des Kabelschirms
zu besserer Signalqualität führen.
• Potentialdifferenz zwischen Speisungserde und Gehäuse≤18 V (Überspannungsschutz)

tinb58d1(2020-11)

19

Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen (Kabellänge und -querschnitt →  11).

Pin 1,4
Pin 2
Pin 3
Pin 5
Pin 6
Pin 7, 11
Pin 8, 9
Pin 10
Pin 12
Pin 15case
RL

20

Relais SP1, Schließer
Positive Exitation
StatusSpeisungserde CDG
Speisung CDG (-15 V)
Speisung CDG (+14 … +30 V oder
+15 V)
Relais SP2, Schließer
Messröhrenidentifikation oder
Remote Zero Adjust
Negative Exitation
GehäuseSteckergehäuse

15-polig
D-Sub
Buchsen,lötseitig→9

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4

Betrieb
Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb.
Beachten Sie eine Aufwärmzeit der Messröhre von mindestens
90 Minuten, bei Präzisionsmessungen mindestens 3 Stunden.

4.1

Anzeigen
DIAG
I/O

ST

S

P2

AT
US

1

SP

SP ZEROLED

Zustand

Bedeutung<STATUS>ausleuchtet grün
blinkt grün
kurzes Aufblinken
langes Aufblinken
leuchtet rot
leuchtet grün
blinkt grün
ausleuchtet grün
blinkt grün
ausKeine Versorgungsspannung
Messmodus

<SP1>

<SP2>

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Warnung, außerhalb Messbereich
Aufwärmen
Fehlerp ≤ Schaltpunkt 1
Schaltpunkt 1 einstellenp > Schaltpunkt 1
p ≤ Schaltpunkt 2Schaltpunkt 2 einstellenp > Schaltpunkt 2

21

4.2

Messröhre abgleichen
Die Messröhre ist ab Werk in vertikal stehender Lage abgeglichen (→ "Calibration Test Report").
Wir empfehlen den Nullpunkt bei der Erstinbetriebnahme einzustellen.
Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunktverschiebung führen und periodisch eine Nullpunkteinstellung
erfordern.
Nullpunkteinstellung bei den gleichen, konstanten Umgebungsbedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei
denen die Messröhre normalerweise verwendet wird.
Das Ausgangssignal ist von der Einbaulage abhängig. DieÄnderung von vertikal stehender zu waagrechter Einbaulage
beträgt:

4.2.1

F.S.

∆U / 90°

1000 Torr/mbar
100 Torr/mbar
10 Torr/mbar
1 Torr/mbar
0.1 Torr/mbar≈0.02 F.S.
≈0.1 F.S.
≈0.5 F.S.
≈3% F.S.
≈18% F.S.

<ZERO> Adjust
Der Nullpunktabgleich kann erfolgen über• den Taster <ZERO> an der Messröhre,• den Diagnostik-Port,• den digitalen Eingang "Remote Zero": Am Pin 10 die
Versorgungsspannung anlegen (Impuls →  10).
Während der Aufwärmphase und bei Atmosphärendruck
ist der Nullpunktabgleich verriegelt, um Fehlbedienungen zu verhindern.

22

tinb58d1(2020-11)

 Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entsprechend der nachfolgenden Tabelle:

Empfohlener Enddruck
bei Nullpunkteinstellung

F.S.
1100
1000
500
200
100
50
20
10
5
2
1
0.5
0.25
0.1

mbar
Torr
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar
Torr/mbar−<5×10-2 Torr
<3×10-2 Torr
<10-2 Torr
<5×10-3 Torr
<3×10-3 Torr
<10-3 Torr
<5×10-4 Torr
<3×10-4 Torr
<10-4 Torr
<5×10-5 Torr
<3×10-5 Torr
<10-5 Torr
<5×10-6 Torr

<7×100 Pa<7×100 Pa<4×100 Pa<2×10-0 Pa<7×10-1 Pa<4×10-1 Pa<2×10-1 Pa<7×10-2 Pa<4×10-2 Pa<2×10-2 Pa<7×10-3 Pa<4×10-3 Pa<2×10-3 Pa<7×10-4 Pa<7×10-2 mbar−
<4×10-2 mbar
<2×10-2 mbar
<7×10-3 mbar
<4×10-3 mbar
<2×10-3 mbar
<7×10-4 mbar
<4×10-4 mbar
<2×10-4 mbar
<7×10-5 mbar
<4×10-5 mbar
<2×10-5 mbar
<7×10-6 mbar

Wird die Nullpunkteinstellung bei zu hohem Enddruck
durchgeführt (>25% von F.S.), kann Zero nicht erreicht
werden und die LED <STATUS> blinkt grün. In diesem
Fall erst die Werkseinstellungen aktivieren und dann den
Nullpunkt erneut abgleichen (→  29).

 Die Messröhre mind. 90 Minuten betreiben (bis Messwert
stabil ist).

 Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz
drücken, oder ….

tinb58d1(2020-11)23

… beim Remote Zero am Pin 10 die Versorgungsspannung
anlegen (Impulse →  10, Schema →  20).
Der Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch. Die<STATUS> Anzeige blinkt, bis der Abgleich (Dauer ≈8 s)
abgeschlossen ist.
Nach dem Nullpunkt-Abgleich kehrt die Messröhre automatisch in den Messmodus zurück.
Die LED <STATUS> blinkt grün,• wenn die Messröhre bei Enddruck ein negatives Ausgangssignal (< -20 mV) zeigt, oder
• wenn der Nullpunkt-Abgleich fehlgeschlagen ist.

4.2.2

<ZERO> Adjust mit Rampenfunktion
Mit der Rampe kann der Nullpunkt bei einem bekannten Referenzdruck eingestellt werden, welcher im Messbereich der
Messröhre liegt.

24

tinb58d1(2020-11)

Weiterhin kann mit der Rampe ein Offset der Kennlinie eingestellt werden, um• einen Offset vom Messsystem auszugleichen, oder
• einen leicht positiven Nullpunkt für einen 0 … 10 V AD-Wandler zu erzeugen.
Der Offset sollte nicht größer als 2% vom F.S. (+200 mV) sein.
Bei größerem positivem Offset wird die obere Messbereichsgrenze überschritten.
Der Nullpunktabgleich mit Rampenfunktion kannerfolgen über• den Taster <ZERO> an der Messröhre,• den Diagnostik-Port.

 Die Messröhre mind. 90 Minuten betreiben (bis Messwert
stabil ist).

 Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) drücken

und halten. Die LED <STATUS> beginnt zu blinken. Nach
5 s wird der Zero-Adjust Wert ab dem aktuellen Ausgabewert kontinuierlich (Rampe) geändert, bis Taster losgelassen wird oder die Einstellgrenze (max. 25% F.S.) erreicht
ist. Die Signalausgabe am Signalausgang erfolgt dabei um
ca. 1 s verzögert.

tinb58d1(2020-11)25

• Richtungswechsel (Inversrampe): Den Taster loslassen
und innerhalb von 3 … 5 s erneut drücken und halten(die Blinkfrequenz der <STATUS> Anzeige ändert kurz).
• Feineinstellung des Zero-Adjust Wertes: Den Tasterloslassen und innerhalb von 3 s erneut kurz drücken.
Der Wert ändert in Einzelschritten (Taster ca. 1 mal pro
Sekunde drücken).
Wird der Taster <ZERO> länger als 5 s nicht mehr gedrückt, kehrt die Messröhre in den Messmodus zurück.
Die LED <STATUS> blinkt grün, wenn die Messröhre ein negatives Ausgangssignal (< -20 mV) zeigt.

4.3

Schaltfunktionen
Die beiden Schaltfunktionen können auf einen beliebigen Druckim ganzen Messbereich der Messröhre eingestellt werden(→  14).
Die aktuellen Schwellwerte• können über den Diagnostik-Port gelesen und geschrieben
werden, oder• stehen nach dem Drücken des Tasters <SP> an Stelle desDrucksignales an der Stromschnittstelle zur Verfügung.
Ist der Druck niedriger als der Schwellwert, leuchtet die entsprechende LED (<SP1> oder <SP2>) und das entsprechende
Relais (→  20) ist aktiviert.

26

tinb58d1(2020-11)

4.3.1

Einstellen der Schwellwerte
Die Schwellwerte können eingestellt werden über• die Taster an der Messröhre,• den Diagnostik-Port.

GEFAHR
Fehlfunktion
Falls mit dem Signalausgang Prozesse gesteuert
werden, ist zu beachten, dass das Drücken desTasters <SP> das Messsignal unterbricht und stattdessen den entsprechenden Schwellwert auf den
Ausgang gibt. Dies kann zu Fehlfunktionen führen.
Taster <SP> nur drücken, wenn gewährleistet ist,
dass keine Fehlfunktion ausgelöst wird.

Schwellwert <SP1> einstellen Taster <SP> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) drücken. Die

Messröhre wechselt in den Schaltfunktionsmodus und gibt
am Messsignalausgang während 10 s den aktuellen
Schwellwert aus (LED <SP1> blinkt).

tinb58d1(2020-11)27

 Zum Verändern des Schwellwertes Taster <ZERO>drücken und halten. Der Schwellwert wird ab dem aktuellen
Wert kontinuierlich (Rampe) geändert, bis Taster losgelassen wird oder die Einstellgrenze erreicht ist.

• Richtungswechsel (Inversrampe): Den Taster loslassen
und innerhalb von 3 … 5 s erneut drücken und halten(die Blinkfrequenz der <STATUS> Anzeige ändert kurz).
• Feineinstellung des Schwellwertes: Den Taster loslassen und innerhalb von 3 s erneut kurz drücken. Der
Wert ändert in Einzelschritten.
Wird der Taster <ZERO> länger als 5 s nicht mehr gedrückt, kehrt die Messröhre in den Messmodus zurück.
Der obere Schwellwert liegt automatisch um 1% F.S.
höher (Hysterese).

Schwellwert <SP2> einstellen
Taster <SP> zweimal betätigen (LED <SP2> blinkt). Der Einstellvorgang entspricht demjenigen von Schwellwert <SP1>.

28

tinb58d1(2020-11)

4.4

Werkseinstellung laden (Factory Reset)
Sämtliche vom Anwender gesetzten/veränderten Parameter(z. B. Nullpunkt, Filter) werden auf die Standardwerte (Werkseinstellungen) zurückgesetzt.
Das Laden der Standardwerte kann nicht rückgängig
gemacht werden.
Werkseinstellungen laden:

 Messröhre außer Betrieb setzen.
 Während der Inbetriebnahme der Messröhre den Taster<ZERO> ≥5 s gedrückt halten.

tinb58d1(2020-11)

29

4.5

Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle)Über den Diagnostik-Port <DIAG> können parallel der Messwert
und alle Statusinformationen ausgelesen, sowie alle Einstellfunktionen vorgenommen werden.

30

tinb58d1(2020-11)

5

AusbauVoraussetzungen:• Vakuumsystem belüftet
• Vakuumsystem abgekühlt auf <50 °C

5.1

Elektrischen Anschluss trennen

 Messröhre außer Betrieb setzen.
 Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen.
5.2

Vakuumanschluss trennen
GEFAHR
Heiße Oberfläche
Das Berühren der heißen Oberfläche (>50 °C)kann zu Verbrennungen führen.
Das Produkt außer Betrieb setzen und abkühlen
lassenWARNUNG
Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zerstören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge vermeiden.

tinb58d1(2020-11)31

GEFAHR
Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmeneinhalten.

Vorsicht
Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

Vorsicht
Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen undsauberes Werkzeug benutzen.

32

tinb58d1(2020-11)

 Schutzschalen entfernen.

 Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutzkappe aufsetzen.

tinb58d1(2020-11)33

6Instandhaltung, Instandsetzung
Bei sauberen Betriebsbedingungen ist das Produkt wartungsfrei.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung
zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung.
Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen(→  22).
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten
selber ausführen.

7

Produkt zurücksenden
WARNUNG
Versand kontaminierter Produkte
Kontaminierte Produkte (z. B. radioaktiver, toxischer, ätzender oder mikrobiologischer Art) können
Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei
von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung*) beilegen.
*)

Formular unter www.inficon.com

Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte
werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.
34

tinb58d1(2020-11)

8

Produkt entsorgen
GEFAHR
Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

WARNUNG
Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Umweltschäden verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäß den örtlichen
Vorschriften entsorgen.

Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in folgende Kategorien zu unterteilen:• Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch, usw.) müssen entsprechend den länderspezifischen
Vorschriften dekontaminiert, entsprechend ihrer Materialartgetrennt und entsorgt werden.
• Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen
und der Wiederverwertung zuzuführen.
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Zubehör
Bestellnummer
Kommunikationsadapter (2 m) 5)

303-333

ETL-Zertifizierung
RECOGNIZEDCOMPONENT

3103457

5)36

ETL LISTED
The product CDG100D 4-20 mA Current Loop
• conforms to the UL Standard UL 61010-1• is certified to the CAN/CSA Standard
C22.2 No. 61010-1-12

Die Diagnose-Software (Windows NT, XP) kann von unserer Website
herunter geladen werden.
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EU-Konformitätserklärung
Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt
die Konformität zu folgenden Richtlinien:• 2014/30/EU, Abl. L 96/79, 29.3.2014(EMV-Richtlinie; Richtlinie über die elektromagnetische Verträglichkeit)• 2011/65/EU, Abl. L 174/88, 1.7.2011(RoHS-Richtlinie; Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten)Produkt

Capacitance Diaphragm Gauge
CDG100D 4-20 mA Current Loop
NormenHarmonisierte und internationale/nationale Normen sowie
Spezifikationen:• EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit)• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung)• EN 61010-1:2010 (Sicherheitsbestimmungen für elektrische Messund Steuereinrichtungen)• EN 61326-1:2013; Gruppe 1, Klasse B (EMV-Anforderungen fürelektrische Mess- und Steuereinrichtungen)

Hersteller / Unterschriften
INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

tinb58d1

27. November 2020

27. November 2020

Dr. Christian Riesch
Head of Development

Paolo De Filippo
Product Manager(2020-11)37

Notizen38

tinb58d1(2020-11)

Notizentinb58d1(2020-11)39

Original: Deutsch

LI–9496 Balzers
LiechtensteinTel +423 / 388 3111
Fax +423 / 388 3700
reachus@inficon.com
www.inficon.com