操作手册
内符 EU 符合性声明

SKY® CDG02D-X3
电容膜片真空计

tina57c1-c(2024-08)

目录

INFICON目录
1 总则 ..................................................................................

41.1

产品标识...............................................................................

41.2

有效性 ..................................................................................

41.3

用途 ......................................................................................

51.4

工作原理...............................................................................

61.5

商标 ......................................................................................

61.6

专利号 ..................................................................................

62 安 全 .................................................................................

72.1使用符号...............................................................................

72.2人员要求...............................................................................

72.3一般安全规则........................................................................

82.4

责任和保用 ...........................................................................

83 技术参数............................................................................

94 安 装 .................................................................................

144.1真空连接...............................................................................

4.2

电源连接...............................................................................

14175 运 行 .................................................................................

195.1

显示器 ..................................................................................

195.2

真空计调零 ...........................................................................

205.35.2.1

ZERO 调整..................................................................

205.2.2

带斜坡功能的 ZERO 调整 ...........................................

22

开关功能...............................................................................

245.3.1

调整设点.....................................................................

24

激活工厂设定值 (工厂复位) ..................................................

27

6 卸 装 .................................................................................

27

7 维护, 检修 ..........................................................................

28

8 返回产品............................................................................

295.4

2

tina57c1-c(2024-08)

INFICON目录

9 处 置 .................................................................................

29

附加资料 ................................................................................

31

ETL 证书 ................................................................................

32

EU 符合性声明 ........................................................................

33

UKCA 符合性声明 ....................................................................

34

在本文件中用于前后参照的符号:
在此后文件中用于前后参照的符号:

tina57c1-c(2024-08)® 2 XY® & [Z]31 | 总则1INFICON

总则

|1.1

产品标识

|

与 INFICON, 公司联系时, 请告知产品铭牌上的信息.

INFICON AG, LI-9496 Balzers
Model:PN:
SN:
V

1.2W 3103457

有效性|

本文件适用于 SKY® CDG025D-X3系列产品.
标准产品的件号示于下面. OEM 产品有其它件号和不同的参数 设定值 (例如工厂的设点参数) 定义在相应的订货信息中.

4

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INFICON总则 | 1

3CB1-xxx-230x
筛选器
法兰

单位

全量程0 Þ 标准B Þ P 控制
1 Þ DN 16 ISO-KF
3 Þ DN 16 CF-R
9 Þ ½" 管C Þ 4 VCR 插头型D Þ 4 VCR 插座型E Þ 8 VCR 插座型5 Þ Torr (× 133 Pa; × 1.3 mbar)
6 Þ mbar (× 100 Pa)
3 Þ 0.1
4 Þ 0.25
5 Þ 0.5
6Þ 17Þ 28Þ 59 Þ 10A Þ 20
B Þ 50C Þ 100
D Þ 200
E Þ 500
F Þ 1000 (仅 Torr)
G Þ 1100 (仅 mbar)

件号 (PN) 可从产品名牌上看到.
如图例中未另有注明, 本文插图中 CDG025D-X3 规管的真空连接
为 DN 16 ISO KF.应用于其它真空的连接均类似.
我们保留不事先通知进行技术修改的权利.
全部尺寸单位为毫米.

1.3

用途|

电容膜片真空计 SKY® CDG025D-X3 系列用于各压强范围气压的绝对测量.是清洁室兼容和对污染双重保护的.
tina57c1-c(2024-08)

5

1 | 总则

INFICON真空计属于 SKY® Smart 传感器系列, 可连接 INFICON 真空计控制
器 (VGC系列) 或其它适当的测量单元.

1.4

工作原理

|

陶瓷膜片因压强变化而偏移.偏移反应为电容量的变更, 由数字 电子学测量并转换成模拟线性输出讯号.
输出讯号与气体类型无关.

1.5

商标|SKY®
VCR®

1.6

INFICON Holding AG
Swagelok Marketing Co.

专利号|EP 1070239 B1, 1040333 B1
美国专利号 6528008, 6591687, 7107855, 7140085

6

tina57c1-c(2024-08)

INFICON

2

安全|2

安全

|

2.1

使用符号|

危险有关防止任何伤害人身安全的信息.

警告有关防止损坏设备与环境的信息.

小心正确掌握或使用的信息.无视可导致故障或设备损坏.
注意事项
标签2.2

人员要求

|

本文中所述的全部工作必须由经过技术培训和有足够经验或由产品的最终用户授权的人员执行.

tina57c1-c(2024-08)

7

2|安全

2.3

INFICON

一般安全规则

|· 遵守适用的规程和对使用的过程介质采取必要的防护措施.
考虑与产品材料可能引起的反应.
· 遵守适用的规程和对全部要做的工作采取必要的防护措施, 并遵守本文件中的安全规则.
· 在工作开始前, 检查任何真空元件是否已污染.遵守相关的规程和对污染部件采取必要的防护措施.
将安全规则通知全部其它用户.

2.4

责任和保用

|

INFICON 将不再承担任何责任和保用, 如用户或第三方· 无视本文件中的信息· 不适当的方式使用产品
· 对产品进行任何干预 (修改, 变更等)· 使用未列入产品文件中的附件.
最终用户对使用的过程介质承担全部责任.
由于污染引起的真空计故障不包含在保修范围内.

8

tina57c1-c(2024-08)

INFICON

3

技术参数 | 3

技术参数|

tina57c1-c测量范围® "有效性"

精度1)≥0.5 Torr/mbar (绝对)0.25 Torr/mbar (全量程)
0.1 Torr/mbar (全量程)

0.20% 读值0.25% 读值
0.50% 读值零点温度效应
≥5 Torr/mbar (绝对)0.5 / 0.5 / 1 Torr/mbar (FS)
0.1 / 0.25 Torr/mbar (绝对)0.0050% FS/ °C
0.015% FS/ °C
0.020% FS/ °C

满量程温度效应
≥0.5 Torr/mbar (绝对)0.1 / 0.25 Torr/mbar (绝对)0.01% 读值 / °C
0.03% 读值 / °C

分辨率

0.003% FS

与气体类型的关系无输出讯号模拟
(测量讯号)
测量范围电压范围电压与压强的关系

0 … +10 V–5 … +10.24 V
线性

输出阻抗

0 Ω (短路保护)

负载阻抗>10 kΩ响应时间≥0.5 Torr/mbar (绝对)≤0.25 Torr/mbar (全量程)30 ms
130 ms / 30 ms2)1)

运行 2 h 小时后在校准范围内, 在 23 °C 环境工作温度下非线性, 滞后, 重复性无温度效应.

2)

用于P 控制仅需30 ms.
(2024-08)9

3 | 技术参数INFICON真空计标识电阻 R标识
开关功能设定范围滞后
继电器触点闭合
开启开关时间
RS232C 接口
传输率
数据格式

13.2 kΩ 参考至电源公共端
SP1, SP2
0 … +10 V
1% FS
30 V (dc) / ≤0.5 A (dc) 浮点 (常开)在低压强下 (LED 亮)
在高压强下 (LED 灭)≤50 ms9600 Baud二进制, 8数据位, 一个停止位, 无奇偶位, 无信号交换有关 RS232C 接口的详细信息 ® & [5]电源危险
与真空计连接的电源, 仪器或控制设备必须符合极低压保护接地(PELV) 和有限电源 (LPS), 2级的要求.
· 规管的连接必须通过保险丝 3).
电源电压真空计纹波2 级 / LPS+14 … +30 V (dc)
≤1 Vpp电流 (最大启动电流)<500 mA

功耗 (取决于电源电压)≤1 W3)

10

INFICON 控制器满足此要求.
tina57c1-c(2024-08)

INFICON

技术参数 | 3保险丝 3)

1 AT (慢熔), 自动复位(Polyfuse)电源电压的极性变更时, 真空计受保护.
电连接件

15 脚 D-sub, 插头型传感器电缆

13芯,带屏蔽电缆长度≤100 m (0.14 mm²/导线)较长的电缆,要求使用较大截面的导线 (R电缆 ≤1.0 W).
接地概念
真空法兰 - 讯号公共
电源公共 - 讯号公共暴露于真空的材料
法兰, 管
传感器和膜片不锈钢AISI 316L
陶瓷 (Al2O3 ≥99.5%)

内容积

≤5.1 cm3

漏率<1×10-9 mbar l/s

容许压强 (绝对)≥200 Torr/mbar (绝对)0.5 … 100 Torr/mbar (绝对)0.1 / 0.25 Torr/mbar (绝对)4 bar
2.6 bar
1.3 bar

爆裂压强 (绝对)

5 bar

允许温度
贮存
运行烘烤 (未运行)–40 °C … +65 °C+5 °C … +50 °C≤110 °C 在法兰处相对湿度

tina57c1-c

参见 "电连接”
通导隔离; 用于差分测量
(10 Ω)(2024-08)≤80% 在温度 ≤+31 °C 时减至 50% 在 +40°C

11

3 | 技术参数INFICON

使用仅室内, 海拔高至 2000 mNN

污染等级

2

保护等级

IP3055½" *)79

DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R
8 VCR插座型*) 外径

重量1264264469

3.8

尺寸 [mm]

4 VCR

插座型

4 VCR
插头型

285 g … 342 gtina57c1-c(2024-08)

INFICON

技术参数 | 3模拟测量讯号与压强的关系压强 p
1.1×全量程
1.0×全量程
0.9×全量程
0.8×全量程
0.7×全量程
0.6×全量程
0.5×全量程
0.4×全量程
0.3×全量程
0.2×全量程
0.1×全量程
0.0×全量程
012

34

5678
测量讯号 U输出 [V]910

p = (U输出 / 10 V) × p(全量程)转换 Torr ↔ Pascal
Torrmbar 4)

Pa 4)

1.00

1013.25 / 760 =
1.3332…

101325 / 760 =
133.3224…

例

真空计全量程为 10 Torr 全量程
测量讯号 U输出 = 6 V
p = (6 V / 10 V) × 10 Torr= 0.6 × 10 Torr = 6 Torr4)

tina57c1-c

源自: NPL (国家物理实验室)压强和真空测量指南, ISBN 0904457x / 1998(2024-08)

13

4|安装

4

INFICON

安装|警告
易碎元件
陶瓷传感器可因碰撞而损坏.
· 切勿跌落产品和防止冲击或碰撞.

危险工艺介质泄漏
高强度的机械、化学或热冲击可能会导致测量传感器的泄漏。因此，如果真空系统中发生过压，工艺介质可能会泄漏，并可能造成危险。
· 避免高强度机械、化学或热冲击和真空系统中的超压。
· 采取适当措施（如切断供气、抽气、泄漏测试）等，避免工艺
介质泄漏造成的危险或损坏。

4.1

真空连接

|

危险真空系统中过压 >1 bar
当真空系统中处于压力状态时, 打开夹环可导致松脱的部件或泄放的过程气体伤害人身安全.
· 当真空系统处于压力下时, 切勿打开任何夹环.使用适合于过压的夹环类型.

14

tina57c1-c(2024-08)

INFICON安装|4危险真空系统中过压 >2.5 bar用橡胶密封件 (如 O 圈) 的KF 法兰连接件不能经受 此压力.从而过
程介质可能泄漏, 伤害人身健康.
· 使用带有外对中环的 O 圈.

危险保护接地未正确接地的产品在事故情况下是十分危险的.将真空计连接到接地的真空室上. 连接必须符合规程 EN 61010中规定的保护要求:· CF 和 VCR 法兰满足这个要求.
· 带有 KF 法兰的真空计, 采用导电的金属夹环.
· 带有 ½" 管的真空计, 采取适当的措施满足这个要求.

小心真空元件污染和损坏影响真空元件的功能.
· 取拿真空元件时, 采取适当的确保清洁与防止损坏的措施.

小心对污染敏感的区域
用裸手接触产品或部件将增大退吸率.
· 在这个区域工作时, 始终戴上清洁的无纤维手套和 使用清洁的工具.

tina57c1-c(2024-08)

15

4|安装

INFICON

安装真空计使它无震动发生. 真空计可任意方位安装.为
防止凝聚物和微粒进入测量室, 最好选取水平至直立的位置, 并使用带对中环和过滤件的密封圈. 如真空计安装后需调整, 要确保安装后可插入针杆调整按钮

取下保护盖, 将真空计连接在真空系统上.

带对中环的密封件

或保护盖带对中环与过滤件的密封件
夹环将保护盖收藏好.

16

tina57c1-c(2024-08)

INFICON

4.2

安装|4

电源连接|

确保真空连接已妥善完成危险
与真空计连接的电源, 仪器或控制设备必须符合极低压保护接地(PELV) 和有限电源 (LPS), 2级的要求.
· 规管的连接必须通过保险丝 5).

接地环路, 电位差, 或 EMC 问题可影响测量讯号.为最佳
化讯号质量, 请务必遵守下列注意事项:· 通过机壳仅连接电缆屏蔽的一端接地. 屏蔽的另一端
切勿接地.
· 在电源上, 直接将电源公共连接保护接地.
· 采用差分测量输入 (讯号公共与电源公共通导分离).
· 电源公共与机壳之间的电位差 ≤18 伏 (过电压保护).
如无传感器电缆, 按下图做一根.连接传感器电缆.

5)

tina57c1-c

INFICON 控制器满足此要求.
(2024-08)17

4|安装INFICON

SP1SP2标识TxD
RxD100nF

1 MW18 V10 W

4189101314212711515
外壳

脚 1, 4脚2脚5脚 7, 11脚 8, 9脚 10脚 12脚 13脚 14脚 15外壳

18

继电器SP1, 闭合触点
讯号输出或阈值SP1/2
电源公共, GND电源继电器SP2, 闭合触点规管标识讯号公共
RS232, TxD
RS232, RxD
机壳 (机架地)
连接件外壳

815

19D-sub, 15 脚插座型钎焊侧

tina57c1-c(2024-08)

INFICON

5

运行|5

运行

|

将真空计投入运行.如您使用 INFICON 的VGC40x系列控制器, 定义测量范围.
预热时间· 通常测量 (在规范的范围内)>¼ 小时· 调零和精确测量
>2 小时

5.1

显示器

|

RUN1tina57c1-cZERO
2SPLED状态

含义

<RUN>

亮
闪烁

测量模式
其它模式, 警告, 过 / 欠量程, 误差<1>亮闪烁p ≤ 设点值 1
调整设点 1<2>亮闪烁p ≤ 设点值 2
调整设点 2(2024-08)

19

5|运行

5.2

INFICON真空计调零|真空计在工厂按 "直立" 的方位校准 (® "校准测试报告").
当真空计首次工作时, 建议执行零点调整.
由于长期工作或污染, 可发生零点漂移, 必须调整零点.
为调整零点, 将真空计工作在相同的室温条件下和与常规使用时 同
样的安装方位.
输出讯号 (测量的讯号) 与安装方位有关. 垂直与水平安装方位 之间的讯号差别为:
全量程1000 Torr/mbar
100 Torr/mbar
10 Torr/mbar
1 Torr/mbar
0.1 Torr/mbar

DU / 90°≈2 mV≈10 mV≈50 mV≈300 mV≈1.8 V

如真空计通过控制器运行, 必须在控制器上调整整个测量系统的零点:· 首先, 调整真空计的零点, 接着调整控制器的零点.

5.2.1

ZERO 调整|调整零点可通过:· 真空计上的 <ZERO> 按钮· RS232C 接口· INFICON 真空计控制器 (VGC 系列)

120

将真空计抽空至如下表的压强:

tina57c1-c(2024-08)

INFICON运行|5
全量程1100 mbar
1000 Torr
500 Torr/mbar
200 Torr/mbar
100 Torr/mbar
50 Torr/mbar
20 Torr/mbar
10 Torr/mbar
5 Torr/mbar
2 Torr/mbar
1 Torr/mbar
0.5 Torr/mbar
0.25 Torr/mbar
0.1 Torr/mbar推荐用于调零的最终压强[Torr]−<5×10‑2<2.5×10‑2<1×10‑2<5×10‑3<2.5×10‑3<1×10‑3<5×10‑4<2.5×10‑4<1×10‑4<5×10‑5<2.5×10‑5<1×10‑5<5×10‑6[Pa]<7×100<7×100<3×10‑0<1×10‑0<7×10‑1<3×10‑1<1×10‑1<7×10‑2<3×10‑2<1×10‑2<7×10‑3<3×10‑3<1×10‑3<7×10‑4[mbar]<7×10‑2−<3×10‑2<1×10‑2<7×10‑3<3×10‑3<1×10‑3<7×10‑4<3×10‑4<1×10‑4<7×10‑5<3×10‑5<1×10‑5<7×10‑6

如真空计的最终压强过高无法调零 (>25% 全量程), 零点 调整未能实现, 则指示灯 <RUN> 闪.如遇到这种情况, 启用工厂设定值重新调零 (® 2 27).

tina57c1-c2

运行真空计至少2 小时 (直到讯号稳定).

3用针杆 (最大ø1.1毫米) 短暂地按下 <ZERO> 按钮.零点调整将自动运行.<RUN> 指示灯闪 (持续时间 ≤8 秒)直到调整完成.

(2024-08)

21

5|运行

INFICON

短暂地按下按钮
最大 ø1.1 mm

零点调整后, 真空计自动回到测量模式. The <RUN> LEDlits.
<RUN> 指示灯绿色闪, 如:· 当最终压强达到时, 讯号输出是负值 (< -20 毫伏)· 零点调整失败.

5.2.2

带斜坡功能的 ZERO 调整|斜坡功能允许在真空计测量范围内的一个已知参考压强下调整 零点.
它还允许调整特性曲线的偏移量, 以· 补偿测量系统的偏移量或· 为 0 … 10 V AD 变换器获得稍正的零点值.
偏移量不应超过全量程 (+200 毫伏) 的 2%.较高的正偏移量将 超过测量范围的上限.
调整测量系统偏移量的推荐顺序: 参见 ® 2 20.

22

tina57c1-c(2024-08)

INFICON

运行|51运行真空计至少2 小时 (直到讯号稳定).

2用针杆 (最大ø1.1毫米) 按下 <ZERO> 按钮, 并保持按下状
态.<RUN> 指示灯开始闪.5 秒钟后, 零点调整值, 从当前的输出值开始, 保持连续改变 (斜坡) 直到按钮被释放或直到达到设定限值 (最大25% 全量程).相应的输出讯号延迟约1 秒.

保持按钮按下最大 ø1.1 mm· 细调: 释放按钮. 在0...3秒内再次短暂地按下. 零点调整值改变一个单元 (按 <ZERO> 按钮间隔时间 1 秒).
· 改变方向 (反向斜坡): 释放按钮.按下按钮和在 3...5 秒内再次保持按下 (<RUN>指示灯闪烁频率短暂变化).
如释放 <ZERO> 按钮大于 5 秒, 规管回到测量模式.

带基压-偏移的零点调整也可通过RS232C 接口调整(® & [5]).
如讯号输出为负值 (< -20 毫伏), 指示灯 <RUN> 闪.

tina57c1-c(2024-08)

23

5|运行

5.3

INFICON开关功能|两个开关功能可设定于整个测量范围内的任何压强
当前的设点设定· 是D sub 连接件上的输出而不是测量讯号按下 <SP> 按钮后可用电压表测量· 可通过 RS232C 接口读/写.
如压强低于设点值, 相应的指示灯 (<1> 或 <2>) 持续亮和 相应的继电器动作.

测量讯号 (压强 p)

滞后(1% 全量程)

设点阈值

时间 t灭

5.3.1

在灭

调整设点|

设点调整, 可通过
· 真空计上的按钮· RS232C 接口

24

tina57c1-c(2024-08)

INFICON

运行|5危险
故障
如过程由通过讯号输出控制, 记住: 按下 <SP> 按钮时测量讯号被抑制而输出的是相应的阈值.这可引起故障.
· 仅当您确认不会引起故障时, 才按下 <SP> 按钮.

调整设点 <1>1用针杆 (最大 ø1.1 毫米) 按下 <SP> 按钮.真空计变换至开关
功能模式和当测量值输出约 10 秒时, 输出当前的阈值 下限(指示灯 <1> 闪).

短暂地按下按钮
最大ø1.1 mm

2tina57c1-c为更改阈值, 按下 <ZERO> 按钮并保持按下状态. 阈值保持更改从当前值 (斜坡) 直至按钮被释放或直至达到设定范围的限值.

(2024-08)

25

5|运行

INFICON

保持按钮按下最大 ø1.1 mm· 细调: 释放按钮.在0...3秒内再次短暂地按下. 零点调整值改变一个单元 (按 <ZERO> 按钮间隔时间 1 秒).
· 改变方向 (反向斜坡): 释放按钮.按下按钮和在 3...5 秒内再次保持按下 (<RUN>指示灯闪烁频率短暂变化).
如释放 <ZERO> 按钮大于 5 秒, 规管回到测量模式.

阈值上限自动设定于下限以上1% 全量程 (滞后).

调整设点 <2>
按 <SP> 按钮两次 (指示灯 <2> 闪).调整顺序与设点 <1> 相同.

26

tina57c1-c(2024-08)

INFICON5.4

卸装|6激活工厂设定值 (工厂复位)|

全部用户定义的参数 (如零点, 筛选值) 被恢复至它们的默认值.
加载默认参数是不可逆的.

加载默认参数:61

规管退出运行.

2

当规管投入运行 (电源 ON) 时, 保持 <ZERO> 按钮按下至少5秒.

卸装|

警告
易碎元件
陶瓷传感器可因碰撞而损坏.
· 切勿跌落产品和防止冲击或碰撞.

危险污染的部件
污染的部件对健康和环境有害.
· 开始工作前查找是否任何部件被污染.当取拿污染的部件时, 遵
守相关的规定和采取必要的预防措施.

tina57c1-c(2024-08)27

7 | 维护, 检修INFICON

小心真空元件污染和损坏影响真空元件的功能.
· 取拿真空元件时, 采取适当的确保清洁与防止损坏的措施.

小心对污染敏感的区域
用裸手接触产品或部件将增大退吸率.
· 在这个区域工作时, 始终戴上清洁的无纤维手套和 使用清洁的工具.

71将真空系统放空.

2

将真空计退出运行, 卸下传感器电缆.

3将真空计从真空系统上卸下, 盖上保护盖.

维护, 检修|在清洁的工作条件下, 本产品无需维护.
由于污染引起的真空计故障不包含在保修范围内.
· 建议定期检查零点.
如最终用户或第三方对产品执行过任何检修工作, INFICON 将不再承担任何保修的责任.

28

tina57c1-c(2024-08)

INFICON8

返回产品 | 8

返回产品

|

警告
发送污染的产品
污染的产品 (如放射性, 毒性, 腐蚀性或生物危害性) 可损害健康和环境.
· 返回产品应无危害性物质.符合全部有关国家和公司的发运规
程, 并附有完整的污染申报表 (可从 www.inficon.com).
无明确 "无危害性物质" 申报的产品. 全部去污染费用由客户承担.
未附有完整污染申报表的产品将退回发送方, 全部费用由发送方 承担.

9

处置

|

危险
污染的部件
污染的部件对健康和环境有害.
· 开始工作前查找是否任何部件被污染.当取拿污染的部件时, 遵
守相关的规定和采取必要的预防措施.

警告
污染的部件
产品或部件 (机械和电气元件, 工作液体等) 可损害 环境.
· 按照当地相关的规程处置这些物质.

tina57c1-c(2024-08)

29

9|处置

INFICON元件分类
产品拆卸后, 按下列标准将它的元件分类:· 污染的元件
污染的元件 (放射性, 毒性, 腐蚀性或生物危害性等) 必须按照 相关的国家规定进行去污染, 按照它们的材料分类和处置.
· 其它元件
这些元件必须按它们的材料分类和回收.

30

tina57c1-c(2024-08)

INFICON

附加资料

附加资料
& [1]

操作手册
真空计控制器 VGC032
tinb02e1
INFICON AG, LI-9496 Balzers, Liechtenstein

& [2]

操作手册
单通道控制器 VGC401
tinb01e1
INFICON AG, LI-9496 Balzers, Liechtenstein& [3]操作手册双和三通道测量和控制单元 VGC402, VGC403
tinb07e1
INFICON AG, LI-9496 Balzers, Liechtenstein

& [4]

操作手册
Single-, Two- & Three-Channel Measurement and Control
Unit VGC501, VGC502, VGC503
tina96e1
INFICON AG, LI-9496 Balzers, Liechtenstein

& [5]

通讯协议
RS232C SKY® CDG025D-X3
tira49e1
INFICON AG, LI-9496 Balzers, Liechtenstein

tina57c1-c(2024-08)

31

ETL 证书

INFICONETL 证书
RECOGNIZEDCOMPONENTETL 证明产品产品CDG025D-X3· 遵从 UL 标准 UL 61010-1· 按 CSA 标准CSA C22.2#61010-1-12认证

3103457

32

tina57c1-c(2024-08)

INFICONEU 符合性声明

EU 符合性声明
制造商:

INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

本符合性声明由制造商全权负责签发.
SKY® CDG025D-X3

Product:

上述声明的产品符合以下欧盟的技术规范：· 2014/30/EU, OJ L 96/79, 29.3.2014(EMC 规程; 有关电磁兼容性的规程)· 2011/65/EU, OJ L 174/88, 1.7.2011(RoHS 规程; 限制在电气和电子学设备中使用某些有害物质的规程)

符合国际/国家标准和技术规范:· EN 61010‑1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019(用于测量,控制和实验室的电气设备的安全要求)· EN 61326‑1:2013; 1 组, B 级(用于测量,控制和实验室的电气设备的 EMC 要求)代表签署：INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496
Balzers

Balzers, 2024-08-26

Balzers, 2024-08-26

William Opie总经理Michael Wildi
市场总监

tina57c1-c(2024-08)

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UKCA 符合性声明

INFICON

UKCA 符合性声明
制造商:

INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

本符合性声明由制造商全权负责签发.
Product:

SKY® CDG025D-X3

上述声明的产品符合相关的英国法定文书：· S.I. 2016/1091, 11.2016(2016年电磁兼容性相关法规)· S.I. 2012/3032, 12.2012(关于限制在电气和电子设备中使用某些危险物质的规定，2012年)

符合国际/国家标准和技术规范:· EN 61010‑1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019(用于测量,控制和实验室的电气设备的安全要求)· EN 61326‑1:2013; 1 组, B 级(用于测量,控制和实验室的电气设备的 EMC 要求)代表签署：INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496
Balzers

Balzers, 2024-08-26

Balzers, 2024-08-26

William Opie总经理

Michael Wildi
市场总监

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tina57c1-c(2024-08)

INFICON

附注

tina57c1-c(2024-08)

35

LI–9496 Balzers
LiechtensteinTel +423 / 388 3111
reachus@inficon.com
www.inficon.com

Original: English tina57e1-c (2024-08)