Edge™ CDG045D2 - 45°C (F.S.R. 1 … 1000 Torr /mbar)
Edge™ CDG045D2 - 45°C - Hot Inside, Small Outside

Das Edge™-Kapazitätsmembranmessgerät von INFICON bietetäußerst genaue Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen.
Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige undultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilitätüber viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das EdgeMessgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung
geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten
schützt. Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten
Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungensowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle. Das innovative
Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart
wertvollen Werkzeugbauraum. Das INFICON Edge ist das kleinste
Vakuummessgerät seiner Art.

VORTEILE
nKompakt, spart wertvollen Werkzeugplatz

nEinfache Integration, EtherCAT, eine Vielzahl von Messbereichen und Flanschen, standardmäßig mit zweiSollwertennEinfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbarnDiagnoseanschluss für schnelle WartungsarbeitennZwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und MessgerätschutznKeine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei
anspruchsvollen PlasmaanwendungennCompliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

1Edge™ CDG045D2 - 45°C (F.S.R. 1 … 1000 Torr / mbar) - Edge™ CDG045D2 - 45°C Hot Inside, Small Outside

BESTELLINFORMATIONEN

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TECHNISCHE DATEN
Typ1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

% of reading

0.15

0.15

percent FS/°C

0.00250.0025

auf Bereich% of reading / °C

0.01

0.01

Druck, max.

kPa (absolute)

400

260

Auflösungpercent FS

0.003

0.003

Niedrigster messbarer Druck

percent FS

0.01

0.01

Niedrigster empfohlener
Messdruck

percent FS0.050.05

Niedrigster empfohlener
Steuerdruck

percent FS

0.5

0.5Sensor°C

4545

Betrieb (Umgebung)°C+10 … +40

+10 … +40

Ausheizen am Flansch°C

≤110

≤110

Lagerung°C–20 … +65

–20 … +65

+14 … +30 VDC or ±15 V(±5%)+14 … +30 VDC or ±15 V(±5%)

Genauigkeit (1)Temperatureinfluss
auf Nullpunkt
Temperatureinfluss

Temperatur

Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Während Aufheizphase

W

≤15

≤15

Bei Betriebstemperatur

W

≤10

≤10

Ausgangssignal (analog)

V (dc)

0 … +100 … +10Ansprechzeit (2)ms3030

IP 40

IP 40

Schutzart
NormenCE-Konformität

EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010& RoHS& RoHSETL-Zertifizierung

UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1

UL 61010‑1, CSA 22.2
No.61010‑1

SEMI-Einhaltung

SEMI S2

SEMI S2

Elektrischer Anschluss

D-sub, 15 pole, male

D-sub, 15 pole, male

2 (SP1,SP2)

2 (SP1,SP2)

Schaltpunkt
Anzahl Schaltpunkte
Schaltpunkt

3

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TECHNISCHE DATEN
Typ1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

V (dc)≤30≤30A (dc)

≤0.5

≤0.5

11Protokoll

RS232-C

RS232-C

Lesenpressure, status, ID

pressure, status, ID

Einstellen

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,factory reset, DC offset

Werkstoffe gegen Vakuum

Aluminum oxide ceramic(AI₂O₃), stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

Aluminum oxide ceramic(AI₂O₃), stainless steel (AISI
316L ⁽⁴⁾)

RelaiskontaktSchaltpunkt
Relaiskontakt
Schaltpunkt
Hysterese

percent FS

Diagnostik-Port

Inneres Volumen
Inneres Volumen 1/2'' Rohr

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Inneres Volumen DN 16 ISO
KF

cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Inneres Volumen DN 16 CF-R cm³ (in.³)

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

Inneres Volumen 8 VCR®

4.2 (0.26)

4.2 (0.26)

cm³ (in.³)

Gewicht
Gewicht 1/2'' Rohrg

837

837

Gewicht DN 16 ISO KF

g

852

852

Gewicht DN 16 CF-Rg

875

875

Gewicht 8 VCR®

g897

897

protocol specialized for
EtherCAT

protocol specialized for
EtherCAT

Kommunikationsstandards

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0
Common Device
ProfileETG.5003.2080 S (R)V1.3.0 Specific Device
Profile: Vacuum Gauge

ETG.5003.1 S (R) V1.1.0
Common Device
ProfileETG.5003.2080 S (R)V1.3.0 Specific Device
Profile: Vacuum Gauge

Knotenpunktadresse

Explicit Device Identification

Explicit Device Identification

Physikalische Schicht

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

100BASE-Tx (IEEE 802.3)

pressure, status, ID

pressure, status, ID

set points, filter, zero adjust,reset, DC offset

set points, filter, zero adjust,reset, DC offset

EtherCAT
Protokoll EtherCAT

Digitale Funktionen gelesen
Digitaler Funktionssatz

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TECHNISCHE DATEN
Typ1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

Mailbox (CoE)SDO requests, responses
and information

SDO requests, responses
and information

Prozessdaten

Fixed PDO mapping andconfigurable PDO mapping

Fixed PDO mapping andconfigurable PDO mapping

EtherCAT-Stecker

2 x RJ45, 8-pin (socket), INand OUT

2 x RJ45, 8-pin (socket), INand OUT

Kabel

shielded Ethernet CAT5e or
highershielded Ethernet CAT5e or
higherKbps

100000100000m (ft.)≤100 (330)≤100 (330)

EtherCAT
Datenrate
EtherCAT
Kabellänge(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C
Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffektenach 2-stündigem Betrieb(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts(3) Nur für Druckregelungstyp(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

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ABMESSUNGEN

www.inficon.com

reachus@inficon.com

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