Original-Betriebsanleitung

LDS Retrofit Kit
Elektronikmodul
Katalognummern
560-400
Ab Software-Version
2.72 (LDS3000) / 2.72 (CU1000)

jinb10de1-03-(1903)

INFICON GmbH
Bonner Straße 498
50968 Köln, Deutschland

INFICON

Inhaltsverzeichnis

Inhaltsverzeichnis
1 Über diese Anleitung ........................................................................................................................................ 5
1.1 Warnhinweise ........................................................................................................................................... 5
1.2 Mitgeltende Dokumente............................................................................................................................ 5
1.3 Zielgruppen............................................................................................................................................... 6
2 Sicherheit.......................................................................................................................................................... 7
2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung.......................................................................................................... 7
2.2 Anforderungen an den Betreiber .............................................................................................................. 7
2.3 Pflichten des Bedieners ............................................................................................................................ 8
2.4 Gefahren................................................................................................................................................... 8
3 Lieferung, Transport, Lagerung ........................................................................................................................ 9
4 Beschreibung.................................................................................................................................................. 10
4.1 Funktion .................................................................................................................................................. 10
4.2 Geräteaufbau.......................................................................................................................................... 10
4.3 Technische Daten................................................................................................................................... 11
5 Installation ...................................................................................................................................................... 13
5.1 Aufstellen ................................................................................................................................................ 13
5.2 Gerät mit MSB-Box des LDS3000 verbinden ......................................................................................... 14
5.3 Gerät anschließen bei externem Einbau der CU1000 ........................................................................... 15
5.4 Gerät anschließen bei Einbau der CU1000 im Einbauschacht des Geräts ............................................ 16
5.4.1 CU1000 einbauen und anschließen............................................................................................ 17
5.5 Gerät an das Stromnetz anschließen ..................................................................................................... 18
5.6 Kompatibilitätsmodus einrichten ............................................................................................................. 18
5.7 Benutzerdefinierte Parameter einstellen................................................................................................. 18
5.8 Vakuumanbindung zwischen Gerät und bestehender Dichtheitsprüfanlage herstellen.......................... 19
5.8.1 Betriebsarten LDS1000............................................................................................................... 19
5.8.2 Vakuumtechnische Spezifikation der Vorvakuumpumpe ........................................................... 19
5.8.3 Empfohlene Anlagenkonfiguration für Betriebsart GROSS mit Pumpmodul .............................. 20
5.8.4 Empfohlene Anlagenkonfiguration für Betriebsart FINE mit Pumpmodul ................................... 21
5.8.5 Betriebsarten LDS3000............................................................................................................... 22
5.8.6 LDS3000 konfigurieren ............................................................................................................... 23
5.8.6.1

Anschlüsse LDS3000......................................................................................................... 23

5.8.6.2

Spezifikationen LDS3000................................................................................................... 23

LDS-Retrofit-Kit-Betriebsanleitung-jinb10de1-03-(1903)

iii

Inhaltsverzeichnis

INFICON

5.8.6.3

Vakuumkonfiguration LDS3000 für Betriebsart GROSS mit Pumpmodul.......................... 24

5.8.6.4

Vakuumkonfiguration LDS3000 für Betriebsart FINE mit Pumpmodul............................... 25

5.8.6.5

Vakuumkonfiguration LDS3000 für Betriebsart ULTRA mit Pumpmodul ........................... 26

5.8.6.6

Vergleich der Spezifikationen LDS1000 und LDS3000...................................................... 27

5.8.7 Vakuumanbindung übertragen von LDS1000 nach LDS3000 .................................................... 28
5.8.7.1

Vakuumanbindug übertragen für die Betriebsart GROSS ................................................. 28

5.8.7.2

Vakuumanbindung übertragen für die Betriebsart FINE .................................................... 29

5.8.7.3

Vakuumanbindung übertragen für die Betriebsart FINE nach ULTRA............................... 29

5.9 Schnittstellenprotokolle LDS1000/LDS2010........................................................................................... 29
6 Betrieb ............................................................................................................................................................ 30
7 Fehlermeldungen............................................................................................................................................ 31
8 Wartung und Reparatur .................................................................................................................................. 32
8.1 Gerät reinigen ......................................................................................................................................... 32
8.2 Zur Reparatur einsenden........................................................................................................................ 32
9 Außerbetriebnahme........................................................................................................................................ 33
9.1 Gerät entsorgen...................................................................................................................................... 33
9.2 Gerät einsenden ..................................................................................................................................... 33
10 Anhang ........................................................................................................................................................... 34
10.1 CE-Konformitätserklärung ...................................................................................................................... 34

iv

LDS-Retrofit-Kit-Betriebsanleitung-jinb10de1-03-(1903)

INFICONÜber diese Anleitung | 1

1 Über diese Anleitung
Dieses Dokument gilt für die auf der Titelseite angegebene Softwareversion.
Im Dokument werden unter Umständen Produktnamen erwähnt, die lediglich zu
Identifizierungszwecken angegeben werden und Eigentum der entsprechenden
Rechteinhaber sind.

1.1 Warnhinweise
GEFAHR
Unmittelbar drohende Gefahr mit Tod oder schweren Verletzungen als Folge

WARNUNG
Gefährliche Situation mit möglichem Tod oder schweren Verletzungen als
Folge

VORSICHT
Gefährliche Situation mit leichten Verletzungen als Folge

HINWEIS
Gefährliche Situation mit Sach- oder Umweltschäden als Folge

1.2 Mitgeltende Dokumente
Name

Dokumentennummer

Betriebsanleitung LDS3000 MS-Modul

jiqa54Betriebsanleitung Bedieneinheit CU1000

jina54Betriebsanleitung Bus-Modul

jiqb10Betriebsanleitung I/O-Modul

jiqc10Betriebsanleitung XL Sniffer Adapter

jinxa54

Interface Protocols

jira54LDS-Retrofit-Kit-Betriebsanleitung-jinb10de1-03-(1903)

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1 | Über diese Anleitung

INFICON

1.3 Zielgruppen
Diese Betriebsanleitung richtet sich an den Betreiber und an technisch qualifiziertes
Fachpersonal mit Erfahrung im Bereich der Dichtheitsprüftechnik und Integration vonDichtheitsprüfgeräten in Dichtheitsprüfanlagen. Der Einbau und die Anwendung desGeräts erfordern außerdem Kenntnisse im Umgang mit elektronischen Schnittstellen.

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Sicherheit | 2

2 Sicherheit
2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung
Unter bestimmten Voraussetzungen arbeitet das Gerät auch in Dichtheitsprüfanlagenmit LDS2000. Wenden Sie sich im Falle eines verbauten LDS2000 an den INFICON
Service.
Das Gerät bildet die Schnittstelle zwischen der bestehenden Dichtheitsprüfanlage unddem nachgerüsteten LDS3000. Der LDS3000 kann dadurch ohne elektrische
Anpassungen genutzt werden.
• Sie dürfen das Gerät ausschließlich gemäß dieser Betriebsanleitung installieren,
betreiben und warten.
• Halten Sie die Anwendungsgrenzen ein, siehe „Technische Daten“.
• Betreiben Sie das Gerät ausschließlich in Verbindung mit bestehenden
Dichtheitsprüfanlagen, in denen bereits ein LDS1000/LDS2010 eingesetzt wird
und die mit einem LDS3000 nachgerüstet werden.
Fehlanwendungen

Vermeiden Sie folgende, nicht bestimmungsgemäße Verwendungen:• Betrieb bei zu hoher Umgebungstemperatur• Einsatz des Geräts außerhalb des spezifizierten Bereichs
Das Gerät ist ein Zubehörteil zum nachträglichen Einbau in bestehende
Dichtheitsprüfanlagen mit LDS1000/LDS2010. Das Gerät wird in Verbindung mit
einem LDS3000 eingebaut.

2.2 Anforderungen an den Betreiber
Die folgenden Hinweise sind für Unternehmer bestimmt oder für diejenigen, die für die
Sicherheit und den effektiven Gebrauch des Produkts durch den Nutzer, Angestellteoder Dritte verantwortlich sind.

Sicherheitsbewusstes Arbeiten• Betreiben Sie das Gerät nur, wenn es in technisch einwandfreiem Zustand ist undkeine Beschädigungen aufweist.
• Betreiben Sie das Gerät ausschließlich bestimmungsgemäß, sicherheits- undgefahrenbewusst unter Beachtung dieser Betriebsanleitung.
• Erfüllen Sie die folgenden Vorschriften und überwachen Sie deren Einhaltung:– Bestimmungsgemäße Verwendung– Allgemein gültige Sicherheits- und Unfallverhütungsvorschriften

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2 | Sicherheit

INFICON– International, national und lokal geltende Normen und Richtlinien– Zusätzliche gerätebezogene Bestimmungen und Vorschriften• Verwenden Sie ausschließlich Originalteile oder vom Hersteller genehmigte Teile.
• Halten Sie diese Betriebsanleitung am Einsatzort verfügbar.

Personalqualifikation• Lassen Sie nur eingewiesenes Personal mit und am Gerät arbeiten. Das
eingewiesene Personal muss eine Schulung am Gerät erhalten haben.
• Stellen Sie sicher, dass beauftragtes Personal vor Arbeitsbeginn diese Anleitung
und alle mitgeltenden Dokumente gelesen und verstanden hat.

2.3 Pflichten des Bedieners• Lesen, beachten und befolgen Sie die Informationen in dieser Betriebsanleitung
und in den vom Eigentümer erstellten Arbeitsanweisungen. Dies betrifft
insbesondere die Sicherheitshinweise und Warnungen.
• Beachten Sie bei allen Arbeiten immer die vollständigen Bedienungsanweisungen.
• Wenden Sie sich bitte bei Fragen zur Bedienung oder Wartung, die nicht in dieser
Anleitung beantwortet werden, an den Kundendienst.

2.4 Gefahren
Das Gerät ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten
sicherheitstechnischen Regeln gebaut. Dennoch sind bei unsachgemäßer
Verwendung Gefahren für Leib und Leben des Nutzers oder Dritter bzw. Schäden am
Gerät und weitere Sachschäden möglich.
Gefahren durch

Flüssigkeiten und chemische Stoffe können das Gerät beschädigen.

Flüssigkeiten und• Saugen Sie mit dem Gerät keine Flüssigkeiten ein.

chemische Stoffe• Versuchen Sie niemals, mit dem Gerät toxische, ätzende, mikrobiologische,
explosive, radioaktive oder andere Schadstoffe aufzuspüren.

Gefahren durch

Es besteht Lebensgefahr beim Berühren stromführender Teile im Inneren des Geräts.

elektrische Energie• Trennen Sie vor allen Installations- und Wartungsarbeiten das Gerät von derStromversorgung. Stellen Sie sicher, dass die Stromversorgung nicht unbefugt
wiederhergestellt werden kann.
Das Gerät enthält elektrische Bauteile, die durch hohe elektrische Spannung
beschädigt werden können.
• Stellen Sie vor dem Anschluss an die Stromversorgung sicher, dass die auf dem
Gerät angegebene Netzspannung mit der Netzspannung vor Ort übereinstimmt.

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INFICON

Lieferung, Transport, Lagerung | 3

3 Lieferung, Transport, Lagerung
Lieferumfang

ArtikelAnzahlLDS Retrofit Kit

1

Betriebsanleitung

1

Spannungsversorgungsleitung 24 V, 3 m

1

Spannungsversorgungsleitung 24V, 5 m

1

EU Netzanschlussleitung 2,5 m

1

USA Netzanschlussleitung 2,5 m

1

Tab. 1: Lieferumfang

Prüfen Sie den Lieferumfang nach Erhalt des Produktes auf Vollständigkeit.
Transport

HINWEIS
Beschädigung durch Transport
Das Gerät kann beim Transport in einer ungeeigneten Verpackung beschädigt
werden.
► Bewahren Sie die Originalverpackung auf.
► Transportieren Sie das Gerät nur in der Originalverpackung.
Lagerung

Lagern Sie das Gerät unter Beachtung der technischen Daten, siehe Technische
Daten [} 11].

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4 | Beschreibung

INFICON

4 Beschreibung
4.1 Funktion
Das Gerät ist ein Zubehörteil zum nachträglichen Einbau in bestehende
Dichtheitsprüfanlagen mit LDS1000/LDS2010. Das Gerät wird in Verbindung mit
einem LDS3000 eingebaut.
Unter bestimmten Voraussetzungen arbeitet das Gerät auch in Dichtheitsprüfanlagenmit LDS2000. Wenden Sie sich im Falle eines verbauten LDS2000 an den INFICON
Service.
Das Gerät bildet die Schnittstelle zwischen der bestehenden Steuerung derDichtheitsprüfanlage und dem nachgerüsteten LDS3000. Sie nehmen den LDS3000
dadurch als Plug and Play Gerät in Betrieb.
Die Vakuumtechnik passen Sie in Abhängigkeit von der bestehenden
Dichtheitspüfanlage an.

4.2 Geräteaufbau

Abb. 1: Vorderansicht

1 Frontplattengriff

3 Abdeckung Einbauschacht

CU10002 LED-Betriebsanzeige

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Beschreibung | 4

Abb. 2: Rückansicht

1 Sicherung T 0,8 A

7 Digital out, Relaisausgang

2 Anschluss für Modul IO1000

8 Anschluss für Bedieneinheit CU1000

3 Anschluss Multi Function SPS (PLC)

9 24 V DC Out

4 RS 232-Anschluss, Sub-D, 9-polig

10 Netzkabelanschluss mit 2 St. Sicherungen T

3,15 A
5 Typenschild

11 Ein/Aus-Schalter

6 Analog out, Schreiberausgang
Die Belegung der einzelnen Schnittstellen 3, 4, 7 und 6 entnehmen Sie den
Betriebsanleitungen für den LDS1000 (jina50) oder LDS2010 (jina52).

4.3 Technische Daten
Grundgerät
Abmessungen (B x H x T)

483 × 133 × 375 mm

Gewicht

7,0 kgÜberspannungskategorie (nach DIN EN

II

61010-1)
Tab. 2: Mechanische Daten

Zulässige Umgebungstemperatur (im5 °C bis 45 °C

Betrieb)

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4 | Beschreibung

INFICON

Max. relative Luftfeuchte

80% bis 31 °C
linear abfallend von 80% auf 50% im
Bereich von 31 °C bis 40 °C
50% über 40 °C

Max. Höhe über Meeresspiegel

2000 mTab. 3: Umgebungsbedingungen

Stromversorgung

100 V ... 230 V AC
50 Hz ... 60 Hz
280 VA

Schutzart

IP 20

Tab. 4: Elektrische Daten

Schreiberausgang Analog Out

0 ... 10 Volt @ max. 1 mA
±15 mV Offset, zusätzlich ±1% vom
Messwert (aktuelle Ausgangsspannung)als Linearitätsfehler (bei 25 °C)
Auflösung typ. 2,5 mV

Relaisausgänge Digital Out

Max. 60 VDC / 25 VAC / 1 A

Steuereingänge Multifunktion

Typ 24 V / 7mA / max. 35 V

24 V / GND

Aktives Signal: U = 13 ... 35 V (typisch 24
V), I = ca. 7 mA
Inaktives Signal: U < 7 V (typisch 0 V), I =0 mA
24 V (T 0,8A)

IO1000M12

CU1000

M12

RS-232

RS-232 (Sub-D 9-Pol)(1:1-Verbindung, RxD und TxD nicht
gekreuzt,
kein Null-Modem-Kabel)

24 V Out

24 V / 9,2 A / 220 W (Speakon)

Sicherungen

T 0,8 A / T 3,15 A

Tab. 5: Schnittstellen

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Installation | 5

5 Installation
5.1 Aufstellen
WARNUNG
Gefahr durch Feuchtigkeit und Elektrizität
In das Gerät eindringende Feuchtigkeit kann zu Personenschäden durch
Stromschläge und zu Sachschäden durch Kurzschlüsse führen.
► Betreiben Sie das Gerät nur in trockener Umgebung.
► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeits- und Feuchtigkeitsquellen.

HINWEIS
Sachschaden durch überhitztes Gerät
Das Gerät wird beim Betrieb warm und kann bei falscher Aufstellung überhitzen.
► Beachten Sie die technischen Daten, siehe Technische Daten [} 11].
► Halten Sie Wärmequellen vom Gerät fern.
► Setzen Sie das Gerät nicht direkter Sonnenstrahlung aus.

HINWEIS
Sachschaden durch elektrostatische Aufladung
Wenn Sie elektrostatisch aufgeladen sind, können Sie über die Anschlüsse Multi
Function SPS (PLC) Geräteschäden auslösen.
► Treffen Sie geeignete Erdungsmaßnahmen zur Vermeidung und Ableitung
statischer Ladung.

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5 | Installation

INFICON

5.2 Gerät mit MSB-Box des LDS3000 verbinden
Je nach Einbauvariante der CU1000 unterscheidet sich das Anschlussschema.
Wählen Sie eine der beiden Einbauvarianten für die CU1000 und verbinden Sie die
Geräte gemäß gewählter Einbauvariante:• in den Einbauschacht CU1000 im Gerät, siehe Gerät anschließen bei Einbau derCU1000 im Einbauschacht des Geräts [} 16].
• außerhalb des Geräts, z. B. in einen Schaltschrank, siehe Gerät anschließen bei
externem Einbau der CU1000 [} 15].

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Installation | 5

5.3 Gerät anschließen bei externem Einbau derCU1000Abb. 3: Anschlussschema, CU1000 extern eingebaut

1 LDS Retrofit Kit

5 Bedieneinheit CU1000

2 Spannungsversorgungsleitung

6 Anschlussleitung IO1000

24 V
3 Anschlussleitung CU1000

7 MSB-Box

4 Kundenspezifische Anschlüsse

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5 | Installation

INFICON

5.4 Gerät anschließen bei Einbau der CU1000 im
Einbauschacht des Geräts
GEFAHR
Lebensgefahr durch Stromschlag
Im Inneren des Geräts liegen hohe Spannungen an. Beim Berühren von Teilen an
denen elektrische Spannung anliegt besteht Lebensgefahr.
► Trennen Sie das Gerät von der Stromversorgung und sichern Sie es gegen
Wiederanschließen.

Abb. 4: Anschlussschema, CU1000 im Einbauschacht des Geräts eingebaut

1 LDS Retrofit Kit

4 Spannungsversorgungsleitung
24 V

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2 Kundenspezifische Anschlüsse

5 Anschlussleitung CU1000

3 Anschlussleitung IO1000

6 MSB-Box

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INFICON

Installation | 5

5.4.1 CU1000 einbauen und anschließen
GEFAHR
Lebensgefahr durch Stromschlag► Schalten Sie das Gerät aus und trennen es vom Netz.

1

Um die Abdeckung Einbauschacht CU1000 zu entfernen, lösen Sie die 4
Befestigungsschrauben.

2

Entnehmen Sie das Anschlusskabel aus dem Einbauschacht und verbinden Sie
es mit der CU1000.

3Montieren Sie die CU1000 mit den 4 Befestigungsschrauben.

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5 | Installation

INFICON

5.5 Gerät an das Stromnetz anschließen
WARNUNG
Gefahr durch Stromschläge
Nicht fachgerecht geerdete oder abgesicherte Produkte können im Störungsfall
lebens-gefährlich sein. Ein Einsatz des Geräts ohne angeschlossenen Schutzleiter ist
nicht zulässig.
► Verwenden Sie ausschließlich eine 3-adrige Netzanschlussleitung, wie im
Lieferumfang enthalten.

VORSICHT
Gefahr durch falsche Netzspannung
Eine falsche Netzspannung kann das Gerät zerstören und Personen verletzen.
► Überprüfen Sie, ob die auf dem Typenschild des Geräts angegebene
Netzspannung mit der vor Ort verfügbaren Netzspannung übereinstimmt.

5.6 Kompatibilitätsmodus einrichten
Um den LDS3000 als Ersatz für einen vorhandenen LDS1000/LDS2010 zu betreiben,
richten Sie den Kompatibilitätsmodus ein.

1

Notieren Sie vor dem Umbau die benutzerdefinierten Einstellungen desvorhandenen LDS1000/LDS2010 für die spätere Verwendung.

2

Schalten Sie das LDS Retrofit Kit ein.

3

Wählen Sie auf dem Touchscreen der CU1000 " Menü (Symbol) > Einstellungen> Einrichten > Kompatibilität".

4

Wählen Sie die Einstellung für das vorhandene System: "LDS1000" oder
"LDS2010" und bestätigen Sie mit "OK".

ðDie CU1000 startet den LDS3000 neu. Nach dem Neustart befindet sich der
LDS3000 im Kompatibilitätsmodus mit den Werkseinstellungen des LDS1000/
LDS2010.

5.7 Benutzerdefinierte Parameter einstellen
Nehmen Sie die im Kompatibilitätsmodus notierten Einstellungen im LDS3000 vor(siehe Kompatibilitätsmodus einrichten [} 18]). Siehe dazu auch Betriebsanleitung
LDS3000 MS-Modul jiqa54.

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INFICON

Installation | 5

5.8 Vakuumanbindung zwischen Gerät undbestehender Dichtheitsprüfanlage herstellen
Der LDS3000 hat andere vakuumtechnische Spezifikationen als der LDS1000.
Passen Sie für den Austausch die vakuumtechnische Konfiguration an.

5.8.1 Betriebsarten LDS1000
Der LDS1000 besitzt zwei Betriebsarten (GROSS, FINE) für Vakuumanwendungen
und arbeitet mit einer festen Drehzahl der Turbopumpe von 1020 Hz.
Betriebsart GROSSGROSS: Das Gerät lässt einen Einlassdruck bis 3 mbar zu. Die kleinste nachweisbare
Leckrate beträgt 3,5·10

Betriebsart FINE

-10mbar·l/s.

FINE: das Gerät lässt einen Einlassdruck bis 0,3 mbar zu. Das Gerät hat dabei
schnelle Ansprechzeiten. Die kleinste nachweisbare Leckrate beträgt 5·10

-11

mbar·l/s.

Abb. 5: LDS1000

1GROSS (DN 16 KF)

2FINE (DN 16 KF)

5.8.2 Vakuumtechnische Spezifikation der Vorvakuumpumpe
Die für die Betriebsarten GROSS und FINE genannten Spezifikationen erreicht der
LDS1000 bei Einsatz einer Oerlikon Leybold Trivac Vorvakuumpumpe D4 B. Falls Sieeine andere Vorvakuumpumpe einsetzen, muss diese Vorvakuumpumpe folgende
vakuumtechnische Mindestspezifikationen erfüllen:3• Saugvermögen: ≥ 1,6 m / h
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5 | Installation

INFICON-3• Totalenddruck: ≤ 5 ·10 mbar

5.8.3 Empfohlene Anlagenkonfiguration für Betriebsart GROSS
mit Pumpmodul

Abb. 6: LDS1000 Vakuumkonfiguration für Betriebsart GROSS mit Pumpmodul

1 Massenspektrometer-Modul

11 Prüfling

2 Pumpmodul (Option)

12 Prüfkammer

3 Koax-Rohr

13 Prüfgasversorgung

4 Kreuzstück

14 Pumpenventil

5 Turbomolekularpumpe

15 Vakuumpumpstand

6 Massenspektrometer

16 Einlassventil

7 Anschluss FINE

17 T-Stück

8 Druckmessstelle pv

18 Anschluss GROSS

9 Internes Prüfleck (Option)

19 Anschluss Pumpmodul (Option)

10 Druckmessstelle der Prüfkammer
Der maximale Einlassdruck zum LDS1000 beträgt 3 mbar. Die kleinste nachweisbare
Helium-Leckrate beträgt 3,5·10-10

mbar·l/s. Bei einem Einlassdruck von 3 mbar ist die-5nachweisbare Helium-Leckrate 3·10 mbar·l/s. Solange das Pumpenventil geöffnet ist,
wird die kleinste nachweisbare Helium-Leckrate durch das Verhältnis desSaugvermögens des Pumpmoduls (2) und des Vakuumpumpstandes (15) bestimmt.
Wird das Pumpventil (14) geschlossen, erreicht die Anordnung bei konstantem
Einlassdruck die maximale Empfindlichkeit des Gesamtsystems bei diesem

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INFICON

Installation | 5

Einlassdruck. Das Pumpventil kann nur dann geschlossen werden, wenn das
Saugvermögen des Pumpmoduls so groß ist, dass der Vakuumdruck in derPrüfkammer nicht ansteigt (> 3 mbar).

5.8.4 Empfohlene Anlagenkonfiguration für Betriebsart FINE
mit Pumpmodul

Abb. 7: Empfohlene Anlagenkonfiguration für Betriebsart FINE mit Pumpmodul

1 Massenspektrometer-Modul

10 Druckmessstelle der Prüfkammer

2 Pumpmodul (Option)

11 Prüfling

3 ---12 Prüfkammer

4 Kreuzstück

13 Prüfgasversorgung

5 Turbomolekularpumpe

14 Pumpenventil

6 Massenspektrometer

15 Vakuumpumpstand7 Anschluss FINE

16 Einlassventil

8 Druckmessstelle pv

17 Anschluss Pumpmodul (Option)

9 Internes Prüfleck (Option)
Der maximale Einlassdruck beträgt 0,3 mbar. Die kleinste nachweisbare Helium-7

Leckrate beträgt 7·10 mbar·l/s bei einem Einlassdruck von 0,3 mbar. Solange das
Pumpenventil (14) göffnet ist, wird die kleinste nachweisbare Helium-Leckrate durch
die Gesamtgasabgabe des gesamten Vakuumsystems bestimmt. Wird das
Pumpenventil geschlossen, erreicht die Anordnung bei konstantem Einlassdruck die
maximale Empfindlichkeit des Gesamtsystems bei diesem Einlassdruck.

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5 | Installation

INFICON

5.8.5 Betriebsarten LDS3000
LDS3000 besitzt drei mögliche Betriebsarten für Vakuumanwendungen:• GROSS• FINE• ULTRALDS3000 arbeitet mit zwei wählbaren Turbopumpendrehzahlen:• 1000 Hz• 1500 Hz
Betriebsart GROSSIn der Betriebsart GROSS befindet sich der LDS3000 in der unempfindlichsten
Messanordnung mit deutlich verzögerter Ansprechzeit bei sehr hohem Einlassdruck-9

von 18 mbar (1000 Hz). Die Nachweisgrenze liegt bei 1·10 mbar·l/s. Wenn Sie die
Drehzahl von 1500 Hz wählen, fällt die Nachweisgrenze aufgrund der hohen-8

Kompression der Turbomolekularpumpe auf 2·10 mbar·l/s bei einem maximalen
Einlassdruck bis zu 15 mbar.
Betriebsart FINE

Die Betriebsart FINE hat eine - gegenüber GROSS - höhere Empfindlichkeit von
1·10

Betriebsart ULTRA-11

mbar·l/s bei 1000 Hz, bei reduziertem Einlassdruck von 0,9 mbar.

In der Betriebsart ULTRA befindet sich der LDS3000 in der empfindlichsten
Messanordung. Diese Anordnung realisiert sowohl das höchste Saugvermögen von 6l/s, als auch die maximale Empfindlichkeit von 5·10

-12

mbar·l/s (bei 1000 Hz) durch

Variation der Turbopumpendrehzahl.

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LDS-Retrofit-Kit-Betriebsanleitung-jinb10de1-03-(1903)

INFICON

Installation | 5

5.8.6 LDS3000 konfigurieren
5.8.6.1 Anschlüsse LDS3000

Abb. 8: Anschlüsse LDS3000

1 ULTRA (DN1 6 KF)

4 GROSS (DN 16 KF)

2 FINE (DN 16 KF)

5 FINE (DN 16 KF)

3 GROSS (DN 16 KF)

6 ULTRA (DN 25 KF)

5.8.6.2 Spezifikationen LDS3000
Betriebsart

ULTRA

FINE

GROSS

Turbopumpen-Drehzahl
1000 Hz

1500 HzKnL:

5·10-12mbar· l/s

1·10-11mbar· l/s

Pmax

0,2 mbar

0,2 mbar

S:

5 l/s

6 l/s

KnL:

1·10-11mbar· l/s

5·10-11mbar· l/s

Pmax

0,9 mbar

0,4 mbarS:

1,8 l/s

2,5 l/s

KnL:

1·10-9mbar· l/s

2·10-8mbar· l/s

Pmax

18 mbar

15 mbarS:

abhängig von der Vorvakuumpumpe

Tab. 6: Spezifikationen LDS3000

KnL = Kleinste nachweisbare Leckrate
S = Saugleistung

Die in der Tabelle aufgeführten Spezifikationen in werden nur mit einer zweistufigen
Drehschieberpumpe mit den folgenden Spezifikationen erreicht:

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5 | Installation

INFICON3• Saugvermögen: ≥ 2,5 m /h
-3

• Enddruck (total): ≤ 6·10 mbar

5.8.6.3 Vakuumkonfiguration LDS3000 für Betriebsart GROSS mit
Pumpmodul

Abb. 9: LDS3000 Vakuumkonfiguration für Betriebsart GROSS mit Pumpmodul

1 Massenspektrometer-Modul

9 Prüfkammer

2 Turbomolekularpumpe

10 Prüfgasversorgung

3 Druckmessstelle pv

11 Anschluss FINE

4 Externes Prüfleck

12 Prüfling

5 Kreuzstück DN 16 KF

13 Einlassventil

6 Pumpmodul (Option)

14 Pumpenventil

7 Druckmessstelle Prüfkammer

15 Vorpumpe

8 Anschluss ULTRA

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Installation | 5

5.8.6.4 Vakuumkonfiguration LDS3000 für Betriebsart FINE mit
Pumpmodul

Abb. 10: LDS3000 Vakuumkonfiguration für Betriebsart FINE mit Pumpmodul

1 Internes Prüfleck (Option)

8 Prüfkammer

2 Massenspektrometer

9 Prüfgasversorgung

3 Turbomolekularpumpe

10 Einlassventil

4 Druckmessstelle pv

11 Prüfling

5 Pumpmodul (Option)

12 Pumpenventil

6 Druckmessstelle Prüfkammer

13 Vorpumpe

7 Anschluss ULTRALDS-Retrofit-Kit-Betriebsanleitung-jinb10de1-03-(1903)

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5 | Installation

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5.8.6.5 Vakuumkonfiguration LDS3000 für Betriebsart ULTRA mit
Pumpmodul

Abb. 11: LDS3000 Vakuumkonfiguration für Betriebsart ULTRA mit Pumpmodul

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1 Internes Prüfleck (Option)

8 Prüfkammer

2 Massenspektrometer

9 Prüfgasversorgung

3 Turbomolekularpumpe

10 Prüfling

4 Druckmessstelle pv

11 Anschluss ULTRA

5 Pumpmodul (Option)

12 Anschluss FINE

6 Druckmessstelle Prüfkammer

13 Pumpenventil

7 Einlassventil

14 Vorpumpe

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Installation | 5

5.8.6.6 Vergleich der Spezifikationen LDS1000 und LDS3000
Hinweis: Beachten Sie, dass der LDS1000 ohne äußere Beschaltung nach dem
Hochlauf in den Zustand "Standby" wechselt. Der LDS3000 hingegen wechselt direkt
in den Messbetrieb.
In der folgenden Grafik sind die Spezifikationen der beiden Geräte LDS1000 und
LDS3000 zur besseren Vergleichbarkeit in zwei Diagrammen mit der jeweils gleichen
Skalierung aufgetragen.

Abb. 12: Vergleichsdiagramm der Spezifikationen von LDS1000 und LDS3000

Die blauen Bereiche zeigen die möglichen Messbereiche für die jeweils gewählte
Betriebsart an. Für jede Betriebsart und jeden Bereich sind zusätzlich die maximalenÜbergabedrücke angegeben.
Die schraffierten Zonen im unteren Bereich der Betriebsart FINE und ULTRA sind imindustriellen Betrieb nur mit hohem technischem Aufwand erreichbar.

Nachfolgend zwei Beispielkonfigurationen zum Überführen einer Vakuumanbindung
LDS1000 in eine Vakuumanbindung LDS3000.

Beispiel 1: LDS1000 im GROSS-Modus
Abhängig vom Arbeitsdruck der jeweiligen Applikation müssen Sie unterschiedliche
Konfigurationen wählen.
Arbeitsdruck zwischen 1 mbar und 3 mbar
Der maximale Übergabedruck des LDS1000 beträgt bei 1020 Hz 3 mbar. Die kleinste
nachweisbare Leckrate beträgt in diesem Modus 3,5 x 10

-10mbar l/sec. Der LDS3000

hat im GROSS-Modus einen maximalen Übergabedruck von bis zu 18 mbar, die

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untere praktische Nachweisgrenze liegt jedoch nur im Bereich 1 x 10 mbar l/s. Bei
Arbeitsdrücken zwischen 1 mbar und 3 mbar kann nur der GROSS Anschluss des
LDS3000 mit den reduzierten Ansprechzeiten und den geringeren Empfindlichkeiten-6(bis 1 x 10 mbar l/s) verwendet werden.
Arbeitsdruck kleiner 1 mbar
Wenn Sie den LDS1000 in diesem Arbeitsdruckbereich betreiben, können Sie den
FINE Anschluss des LDS3000 mit 1000 Hz wählen. Dieser Bereich ermöglicht
Messungen mit Empfindlichkeiten bis 1 x 10

-10mbar l/s.

Beispiel 2: LDS1000 im FINE-Modus
Abhängig vom Arbeitsdruck der jeweiligen Applikation ergeben sich auch hierunterschiedliche Konfigurationen.
Arbeitsdruck zwischen 0,2 mbar und 0,3 mbar
Wenn Sie den LDS1000 in diesem Arbeitsdruckbereich betreiben, können Sie die
Anlage auf den LDS3000 sowohl in die Betriebsart FINE für 1000 Hz als auch für1500 Hz umrüsten. Wählen Sie bevorzugt den Betrieb FINE mit 1000 Hz. Die
Betriebsart FINE mit 1000 Hz hat einen reduzierten Verschleiß der Turbopumpe zur
Folge.
Arbeitsdruck kleiner 0,2 mbar
Wenn Sie den LDS1000 in diesem Arbeitsdruckbereich betreiben, können Sie Anlage
in die Betriebsart ULTRA des LDS3000 umrüsten. Das Saugvermögen des LDS3000
ist in „ULTRA“ um den Faktor 2,7 höher. Dieses höhere Saugvermögen kommt einer
kürzeren Ansprechzeit zugute. Wählen Sie bevorzugt den Betrieb mit 1000 Hz. Diese
Betriebsart hat einen reduzierten Verschleiß der Turbopumpe zur Folge.

5.8.7 Vakuumanbindung übertragen von LDS1000 nach
LDS3000
5.8.7.1 Vakuumanbindug übertragen für die Betriebsart GROSS
Der maximale Übergabedruck beim LDS1000 beträgt bei 1020 Hz 3 mbar. Die
kleinste nachweisbare Leckrate beträgt in dieser Betriebsart 3,5·10-10

mbar·l/s. Um

diese Messanordnung vom LDS1000 auf den LDS3000 übertragen, wählen Sie den
FINE-Anschluss des LDS3000 mit 1000 Hz. Reduzieren Sie dazu den Übergabedruckbeim LDS3000 gegenüber dem LDS1000 auf < 1 mbar. Den direkten Transfer zum
GROSS-Anschluss des LDS3000 empfehlen wir aufgrund der reduzierten
Ansprechzeiten und geringeren Empfindlichkeiten des LDS3000 nicht. Wir empfehlen,dass Sie in der Betriebsart GROSS des LDS3000 nur Leckraten messen, die größer

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Installation | 5-5-6sind als 10 bis 10 mbar·l/s. Für Übergabedrücke die größer sind als 3 mbar, können
Sie nur den GROSS-Anschluss des LDS3000 mit den reduzierten Ansprechzeiten und
den geringeren Empfindlichkeiten verwenden.

5.8.7.2 Vakuumanbindung übertragen für die Betriebsart FINE
Der maximale Übergabedruck beim LDS1000 beträgt 3 mbar. Für den LDS3000 ist
der Übergabedruck für den FINE-Anschluss bei 1000 Hz auf 0,9 mbar reduziert. DerÜbergabedruck muss daher kleiner als 1 mbar sein, um einen sicheren Betrieb mit"FINE" zu gewährleisten. Für höhere Übergabedrücke verwenden Sie den GROSSAnschluss. Beachten Sie hierbei die reduzierten Ansprechzeiten und geringeren
Empfindlichkeiten.

5.8.7.3 Vakuumanbindung übertragen für die Betriebsart FINE nachULTRA
Das Saugvermögen des LDS3000 ist in "ULTRA" 2,7 mal höher als in "FINE". Das
höhere Saugvermögen verkürzt die Ansprechzeit und ermöglicht die problemlose
Anlagenumrüstung von LDS1000 "FINE" auf LDS3000 "ULTRA". Um den Verschleiß
der Turbopumpe zu reduzieren, wählen Sie den Betrieb mit 1000 Hz.

5.9 Schnittstellenprotokolle LDS1000/LDS2010
Die Schnittstellenprotokolle im Kompatibilitätsmodus des LDS3000 sindweitestgehend identisch mit den Standardprotokollen des LDS1000/LDS2010.
Fehlernummern des LDS3000 werden über die Schnittstelle in die entsprechenden
Fehlernummern des LDS1000/LDS2010 umgesetzt. Fehlernummern des LDS3000,
die keine Entsprechung im LDS1000/LDS2010 haben, werden in derSammelfehlernummer E99 dargestellt.
Das TIC Schnittstellenprotokoll des LDS2010 wird nicht mehr unterstützt.

Schnittstellenprotokolle• LDS1000: Dokument "Interface Description, jira50"• LDS2010: Dokument "Interface Description, jira53"• LDS3000: Dokument "Interface Description, jira54

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6 | Betrieb

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6 Betrieb
WARNUNG
Gefahr durch Feuchtigkeit und Elektrizität
In das Gerät eindringende Feuchtigkeit kann zu Personenschäden durch
Stromschläge und zu Sachschäden durch Kurzschlüsse führen.
► Betreiben Sie das Gerät nur in trockener Umgebung.
► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeits- und Feuchtigkeitsquellen.
Betreiben Sie das Gerät gemäß Betriebsanleitung LDS3000 MS-Modul jiqa54.

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Fehlermeldungen | 7

7 Fehlermeldungen
Bei Störungen der Spannungsversorgung oder bei nicht angeschlossener MSB-Box
erlischt die Betriebsanzeige, siehe Geräteaufbau [} 10]. Falls eine Bedieneinheit
CU1000 vorhanden ist, werden Fehlermeldungen am Display der CU1000 angezeigt.
Gültige Fehlermeldungen entnehmen Sie dem Dokument "Betriebsanleitung LDS3000
MS-Modul jiqa54".

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8 | Wartung und Reparatur

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8 Wartung und Reparatur
Das Gerät ist wartungsfrei.

8.1 Gerät reinigen
1

Schalten Sie das Gerät aus und trennen es vom Netz.

2

Verwenden Sie zur Reinigung des Gehäuses ein Mittel, das für Kunststoff- undMetalloberflächen üblich ist (z.B. leichte Haushaltsreiniger). Verwenden Sie
keine Lösungsmittel, die Kunststoff angreifen können.

8.2 Zur Reparatur einsenden
Sie können Ihr Gerät an den Hersteller senden, um es reparieren zu lassen. Weitere
Informationen zu diesem Thema siehe “Gerät einsenden [} 33]“.

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Außerbetriebnahme | 9

9 Außerbetriebnahme
9.1 Gerät entsorgen
Das Gerät kann vom Betreiber entsorgt oder zum Hersteller gesendet werden. Das
Gerät besteht aus Materialien, die wiederverwendet werden können. Um Abfall zu
vermeiden und die Umwelt zu schonen, sollte von dieser Möglichkeit Gebrauch
gemacht werden. Beachten Sie bei der Entsorgung die Umwelt- undSicherheitsbestimmungen Ihres Landes.

9.2 Gerät einsenden
Wenn Sie das Gerät zum Hersteller senden wollen, kontaktieren Sie den HerstellerService. Verwenden Sie zur Rücksendung die Originalverpackung.

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10 | Anhang

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10 Anhang
10.1 CE-Konformitätserklärung

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