ポートアライナー＆ヘキサポッドポートアライナー■ ポートアライナーは、角度調整、直線調整、補正により、マニピュレーターとチャンバー間、チャンバーとチャンバー間の搬送軸の位置合わせに使用され、超高真空でのサンプル操作や搬送メカニックのほとんどに必要不可欠な装置です。
■ ヘキサポッドポートアライナーは角度調整、直線調整、補正に加え横軸変位を可能にします。
この柔軟性により、例えばサンプルトランスポートの軸を、1回のセッティングで2つの異なるサンプル交換位置に合わせることができます。
■ ヘキサポッドポートアライナーは頑丈にできていますが、ベローズの損傷を防ぐために下表「Incorrect adjustments」のようにサポートユニットを同時に調整しないでください。
【ポートアライナー:製品コード】
1) PA16:ICF34
2) PA40:ICF70
3) PA40E:ICF70 (コンパクトタイプ)
4) PA40EC:ICF70 (M6タップ付)
5) PA63:ICF114
6) PA100:ICF152
7) PA100E:ICF152 (コンパクトタイプ)
8) PA160E:ICF203 (コンパクトタイプ)
9) PA160GS:ICF203 (ガス圧スプリング)【ヘキサポッドポートアライナー調整:詳細は「Alignment Manual」をご参照下さい。】【ヘキサポッドポートアライナー:製品コード】
1) PA40HEX:ICF70
2) PA63HEX:ICF114
3) PA100HEX:ICF152
4) PA160HEX(T2):ICF203 (M8タップ付)
5) PA250HEX:ICF305

横軸調整:
U軸、V軸、またはW軸の横方向の移動のために、反対に配置されたサポートユニットを調整します。

角度調整:
A軸、B軸、C軸を中心とした角度回転のために、反対に配置されたサポートユニットのペアを調整します。

縦方向調整:
Z軸に沿った直線移動のために、サポートユニットのペアの⾧さを1つずつ調整します。

axis
UVW

axisABC

axis
Z

support unit

support unit
1 and 42 and 5
3 and 6

support unit

support unit
lengthen 1 and 2 / shorten 4 and 5lengthen 3 and 4 / shorten 6 and 1
lengthen 2 and 3 / shorten 5 and 6【ポートアライナー】
1)

2)

3)

4)

5)

6)

【ヘキサポッドポートアライナー】
1)

2)

3)

4)

5)

7)

8)

9)

【調整上の注意】
右表のサポートユニット(support unit)を同時に調整しないでください。これによりねじり負荷が生じ、ベローズが損傷する可能性があります。
ヘキサポッドポートアライナーを調整する際は常にベローズに目を配り、異常なベローズの動きに注意して深刻な損傷を防止してください。

support unit

support unit
lengthen 1 and 2,
than lengthen 3 and 4,
than lengthen 5 and 6

ヘキサポッドポートアライナー
ICF70

ICF114

ICF152

ICF305

外観図概要

製品コード・自由度を最大限に高めるためのヘキサポッド構造(1) 角度調整(2) ⾧さ調整(3) 横軸変位・このポートアライナーには、通常の3本ではなく6本の位置合わせネジがあります。 左右のネジ付き六角ナットで角度、直線、横方向(軸外)の調整が可能です。
・位置合わせネジの両端にはピボットマウントが付いています。
・ヘキサポッド構造はポートアライナーをさらなる頑丈なものにしております。
・PA63HEX実装例(左図参照):
Imagine Optic社製HASO EUV波面センサーの調整部品として正式に採用されています。

PA40HEX

PA63HEX

PA250HEX

200℃

許容加熱温度仕様

PA100HEX

圧力範囲

1E-11mbar – 1000mbar

構造材料

フルUHV適合材料

製品コード

フランジ(貫通穴)

挿入⾧

横方向変位

偏向角

ボア径

PA40HEX

ICF70

90mm

±5mm

±5°

Φ38mm

PA63HEXICF114

110mm

±5mm

±5°

Φ65mm

PA100HEXICF152

120mm

±5mm

±5°

φ102mm

PA250HEXICF305

220mm

±10mm

±5°φ250mmポートアライナー
ICF70

ICF114

ICF152

ICF305

外観図概要

製品コード
製品コード

・PA16:左右3本のネジ付六角ナットにより、角度調整と直線調整が可能です。アライメントスクリューの一端にはピボットマウントが装備され、もう一端はICF70フランジにボルトで固定されています。ICF34直線回転導入機の角度調整に特に有効です。
・PA40:左右3本のネジ付六角ナットにより、角度調整と直線調整が可能です。アライメントスクリューの一端にはピボットマウントが装備され、もう一端はICF70フランジにボルトで固定されています。RM40(ICF70)トランスファーロッドの角度調整に特に有効です。
・PA40E:ネジ付きボルトの3個のナットは、挿入⾧さと角度たわみを調整します。RMD40(ICF70)トランスファーロッドの角度調整に特に有効です。
・PA40EC:タップM6を備えた両側のICF70フランジで、可能な限り短い挿入⾧さを実現します。ネジ付ボルトの3つのナットは、⾧さと角度たわみを調整します。
RMD(ICF70)トランスファーロッドの移動距離のロスを最小限に抑えます。
PA16フランジ

PA40

PA40E

PA40EC

挿入⾧横方向変位偏向角

ボア径

許容加熱温度

PA16

ICF34・両端フランジ(貫通穴)・ピボットマウント

51±6mm±5mm

±5°

φ16mm

200℃

PA40

ICF70
・両端フランジ(貫通穴)・ピボットマウント

90±5mm

±5mm

±5°

φ38mm

200℃

PA40E

ICF70
・ベースフランジ(貫通穴)・トラベルフランジ(タップM6)・ボルトナット固定

60+4/-11.3mm

±5mm

±5°

φ38mm

250℃

PA40EC

ICF70
・両端フランジ(タップM6)・ボルトナット固定

53+4/-11.3mm

±10mm

±5°

φ38mm

250℃

ポートアライナー
ICF114

ICF152

ICF152

概要・PA63:左右3ネジ付六角ナットは、角度調整と直線調整を可能にします。位置合わせネジには、一方の端にピボットマウントが装備され、もう一方の端にICFフランジにボルトで固定されています。
・UHV装置の角度調整に使用されるシンプルな装置です。

・PA100:左右3ネジ付六角ナットは、角度調整と直線調整を可能にします。位置合わせネジには、一方の端にピボットマウントが装備され、もう一方の端にICFフランジにボルトで固定されています。
・UHV装置の角度調整に使用されるシンプルな装置です。

・PA63:左右3ネジ付六角ナットは、挿入⾧さと角度たわみを調整します。
・UHV装置の角度調整に使用されるシンプルな装置です。

製品コード

PA63

PA100

PA100E

外観図

製品コード

フランジ(貫通穴)

挿入⾧偏向角ボア径

許容加熱温度

PA63

ICF114100±5mm±5°

φ65mm

200℃

PA100

ICF152100±5mm±5°

φ104mm

200℃

PA100EICF15290±5mm±3°

φ102mm250℃

ポートアライナー
ICF203

ICF203

ガス圧スプリング付ポートアライナー

外観図

概要

・PA160E:左右3ネジ付六角ナットは、挿入⾧さと角度たわみを調整します。 ・このポートアライナーは、溶接されたベローズで作られています。これは、・UHV装置の角度調整に使用されるシンプルな装置です。
2つのUHVチャンバーの横方向および角度方向の調整用に特別に設計されて・サイクル寿命:10,000サイクルいます。
・4個のガススプリングが、真空吸着したポートアライナーの力を補正するた
め、軸方向ストロークは真空の影響を受けません。
・ガス圧スプリングサポートポートアライナーは、ガススプリングを使用した場合、150℃までのベークが可能です。
・4xガス圧バネ:360N

製品コード

PA160E

PA160GS

製品コード

フランジ(貫通穴)

挿入⾧

偏向角

ボア径

許容加熱温度

PA160EICF20395±10mm±3°

φ127mm

250℃

PA160GS

ICF203210mm

横方向タワミ:±35mm

Φ150mm(横方向80mm完全偏向型)

150℃

386.556.5

Free Inner Diameter =106.5
Insertion Length =90 mm +/- 5mmLateral range:
5mmAngle deflection: 5°
Length range:
5mmPressure range: 1*10E-11mbar to 1000mbar
max. bakeout temperature: 200°C
Material: all UHV compatible

Hexapod Port Aligner DN40CF
PA40HEX

(1:2)

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2
Drawn
D.Rechsteiner
Scale

Date

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19.12.2011

1:1 Checked 20.10.2012(1:2)
PA40HEX
Rev. B

sheet 1/1

Free Inner Diameter
17.5

66

17.5
13570

8.5

13Rotatable

113.5
Insertion Length = 110 +/- 5mm

150

Lateral range:±5mm
Angle deflection: ±5°
Length range:±5mm
Pressure range: 1*10E-11mbar to 1000mbar
max. bakeout temperature: 200°C
Material: AISI 316L

Hexapod Port Aligner DN63CF
PA63HEX

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

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630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2
Drawn
D.Rechsteiner
Scale

1:2
Rev. B

Date
Checked13.01.2012

01.07.2020 MFM

PA63HEXsheet 1/1

201
insertion length =120+/-5mm

angular deflection +/-5°
lateral deflection +/-5mm

102

free bore

Ra 0.8+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K
Material: 316L & 304L

Hexapod Port Aligner DN100CF

Scale

Clear holes

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 6
30 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

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1:2
Rev.

B

Drawn
Date
changedU. Maier
17.1.201414.10.2014DS

PA100HEX
sheet 1/1

M12 (3x)25(32x)08.4304i n s t a l a t i o n l e n g t h = 2 2 0 ±10~363.5

Ra 0.8flange 1: DN250CF (12" OD), through holes
flange 2: DN250CF (12" OD), through holes
insertion length: 220mm
lateral range: +/-10mm
angular range: +/-5deg
free bore: 250mm
pressure range 1E-11mbar to 1000mbar
fully UHV compatible materials
max. bakeout temperature 200°C

Hexapod Port Aligner DN250CF for
angular and lateral displacement)

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
dimensions

Scale

1:2

PA250HEX

CH-8050 Zurich

(-0.1
-0.2

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: all UHV comaibleFerrovac+0.2+0.1

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(1:5)
Rev.

A

DIN ISO 2768-f-H
Drawn
Date
Changed

C.Weiss
23.12.2021............

PA250HEX
A3 sheet 1/1

4.3

DN16CF

54.3

Free Inner Diameter = 16mm

Insertion Length = 51mm +/-5mm
55

Ra 1.6+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K
Material: all UHV compatible

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Port Aligner DN16CF

ScalePA(1:1)

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

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2:1
(1:1)

Drawn
Date
CheckedDenys Sutter
15.03.2011
NamePA16

6.4

38.4

+/- 56.4

Free bore =1111

Insertion Length = 90 +/-5mm
94Angle deflcetion: +/- 5°
Length range:+/- 5mm
Pressure range: 1E-11mbar to 1000mbar
max. bakeout temperature: 200°C
nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: 1.4404 (316L)(1:2)

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Port Aligner DN40CF

Scale

PAFerrovac
CH-8050 Zurich

1:1
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(1:2)
Rev.

A

Drawn
Date
ChangedM. Müller
28.10.2021............

PA40
A4 sheet 1/1

6.5

M638
Insertion length =60+4/-11.3
111

Insertion length: +4 / -11.3mm
Angle deflection: +/- 5°
max. bakeout temperature: 200°C
Material: All UHV compatible

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Port Aligner DN40CF

(1:2)

Scale

PAFerrovac GmbHCH-8050 Zurich

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1:1(1:2)
Rev.

B

Drawn
Date
changedU. Maier
14.01.2014
30.09.2020 MFM

PA40E

sheet 1/1⌀ 111±5M6M6DN40CF

17Insertion Length = 53mm +4/-11.3⌀ Free Inner Diameter = 38mm

Material: All UHV-compatible

Port aligner DN40CF
both flanges Tapped M6(1:2)

Ferrovac
CH-8050 ZurichGmbHovernominal
dimension up totolerance
Scale

1:21
630 100 300 1000
630 100 300 1000 2000
± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Drawn

Datechanges

Denys Sutter
07.03.2011
13.1.14 UM

PA40EC

8.5

DN63CF

7.58.5

Free Inner Diameter = 65mm

Insertion Length = 100mm +/-5mm

156

Ra 1.6+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K
Material: all UHV compatible

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 6
30 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Port Aligner DN63CF

ScalePAFerrovac GmbHCH-8050 Zurich

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1:2Drawn
Date
CheckedDenys Sutter
15.03.2011
NamePA63195

100 +/-5mm

2x DN100CF
clear holes

511511

free bore

104

Ra 0.8+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K
Material: 1.4301

Port Aligner DN100CF L=100+/-5mm

Scale

PAFerrovac GmbHCH-8050 Zurich

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

THE INFORMATION CONTAINED IN
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1:2
Rev.

A

Drawn
Date
changedDenys Sutter
25.06.2014...........

PA100

sheet 1/1

+/- 3° angular deflection

2M 121090+/-5mm

180108200Ra 0.8

Port Aligner DN100CF)

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

PACH-8050 Zurich(-0.1-0.2nominal
30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: all UHV compatible

Ferrovac GmbH+0.2+0.1

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1:2
Rev.

A

Drawn
Date
ChangedJ.Buechi14.03.2018............

PA100E
A4 sheet 1/1

+/- 3° angular deflection

7M 121295

181+/-10mm

230

108

Ra 0.8

Bellows Unit DN160CF
3x Adjustment Bolts M12

Port Aligner DN160CF)

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

PACH-8050 Zurich(-0.1-0.2

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./RunoutMaterial: all UHV compatible

Ferrovac GmbH+0.2+0.1

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1:2
(1:5)
Rev.

B

Drawn
Date
ChangedJ.Buechi22.11.2018
26.11.2018 JB

PA160E
A4 sheet 1/2

B12950+/-10mm

36

B-B (1:2)

2.52304120x

139.7

135.7

3°+/-

9127

18
R

137.8

182.

5

101020B

120M 1220202103Ra 0.8

Port Aligner DN160CF)

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

ScalePA

CH-8050 Zurich(-0.1-0.2

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: all UHV compatible

Ferrovac GmbH+0.2+0.1

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1:2
Rev.

B

Drawn
Date
ChangedJ.Buechi22.11.2018
26.11.2018 JB

PA160E
A4 sheet 2/2