第 34 回電子材料シンポジウム

ノーベル物理学賞記念シンポジウム
2015 年 7 月 15 日(水)ラフォーレ琵琶湖(滋賀県守山市)

2014 年、ノーベル物理学賞が高輝度低消費電力白色光源を可能にした高効率青色 LEDの発明に対して、赤﨑勇先生、天野浩先生、
中村修二先生に授与されました。高効率青色
LED を可能にした窒化物半導体は電子材料シンポジウムで長年にわたり活発な議論が続けられており、その中から多くの素晴らしい
成果も生まれています。受賞された先生方は
電子材料シンポジウム（EMS）に長く深いご縁がありますことから、第 34 回 EMS ではこのたびの受賞を記念して、赤﨑先生、天野先
生、中村先生をお迎えして記念シンポジウム
を企画、開催いたしました。
記念シンポジウムでは、前半では赤﨑勇先
生と EMS 運営委員長の大野英男先生との対談が行われました。ノーベル賞授与式の様子
や赤﨑先生の学生時代、さらに先生が窒化物
半導体に取り組みはじめた当時のお話を伺いました。対談の後半では EMS の創設者である京都大学名誉教授の佐々木昭夫先生もお招きして、赤﨑先生と佐々木先生の研究のお付き合い、EMS（旧、混晶エレクトロニクス
シンポジウム）発足当時の様子など、普通では聞くことのできない大変興味深いお話を伺うことができました。
EMS 論文委員会として、この貴重な対談を記録に残すべく、講演録を作成しました。登壇された赤﨑先生、
佐々木先生のご快諾を頂き、ここに研究者のみなさまに公開することに致しました。対談後、全員で撮った記
念写真をここに掲載致します。
（PC 上、拡大することによって、詳細に見分けられます。
）
語り手：
名城大学大学院理工学研究科終身教授

京都大学名誉教授、ユタ大学 Clyde Chair 教授

名古屋大学特別教授・名誉教授

大阪電気通信大学名誉教授
赤﨑勇先生

司会： 神戸大学 喜多隆（EMS 論文委員長）
聞き手：東北大学 大野英男（EMS 運営委員長）

佐々木昭夫先生

電子材料シンポジウム開会式
喜多：それでは第 34 回 EMS を開会させていただきた
いと思います。開会にあたりまして、運営委員

いしたいと思います。
大野：それでは、まずは赤﨑先生をお迎えしたいと思います。どうぞ、拍手でよろしくお願いいたします。

長の大野英男先生からご挨拶を頂きます。
大野：皆さま、こんにちは。34 回目の EMS が今、始

（赤﨑先生ご入場）

まろうとしています。この会議は日本語でとことん議論ができるということで、夜中、あるい

大野：本来ですと、ここで赤﨑先生のご経歴の紹介をは朝まで議論ができる、非常に珍しい、今となするということになろうかと思いますけども、っては唯一と言っていいくらいの会議です。34

赤﨑先生のご経歴は既に皆さんご承知のこと回目ということで 1 回目の頃に生まれた方がと思いますので、早速、先生のお話を伺いたい

今や中堅の若手として活躍していらっしゃいと思います。その前にちょっとだけ、私、大野ます。世代から世代へと伝統が継承されつつあの自己紹介をさせていただきたいと思います。

ることを感じます。

私が赤﨑先生とお会いしたのは、今から 36 年

さて、みなさんご存じのように、昨年、窒化前、私が修士の 2 年生のときに、結晶成長に関物半導体でノーベル物理学賞の受賞がありまするスクールか何かに参加させてもらったとした。窒化物半導体は EMS の大きなテーマの一きです。確かそのときは、赤﨑先生は、名古屋

つであり、しかも、受賞された先生方は本シン大学に教授として着任される前、松下電器の東ポジウムを活動の場とされていた先生方です。

京研究所にお勤めの頃だったと思います。

このようなご縁で今回、ノーベル賞を受賞した

まだ私は論文を一つも書いていませんでし

3 先生、赤﨑先生、天野先生、そしてアメリカ

たが、赤﨑先生にいろいろ質問させていただきから中村先生をそろってお迎えし、特別シンポました。駆け出し間もない修士学生の質問にもジウムを開催できることになりました。日本語かかわらず、先生は非常にていねいに答えて下で、かつ温かい雰囲気の中でこれまでやってまさったことを覚えています。そういう意味で、いりました EMS です。ぜひ、この機会を利用し後進にどういうふうに接するべきなのかといて、皆さまもノーベル物理学賞 3 先生の素顔にうことを、身を持って示していただいたことが触れ、将来の糧にしていただきたく思います。

強く印象に残っております。また、昨年、大変特別シンポジウムから始まる今日からの 3 日

光栄なことに、応用物理学会・第５回赤﨑勇賞

間、どうぞよろしくお願いいたします。

を私が頂くことになりまして、そういうわけで、

喜多：ありがとうございます。それでは早速、最初の過去 36 年間にわたって、赤﨑先生とお付き合セッションに移りたいと思います。引き続き大野先生、よろしくお願いします。
大野：それでは、「ノーベル物理学賞記念シンポジウ
ム」と題しまして、まずは前半、赤﨑勇先生をお迎えしてお話を伺いたいと思います。そして後半には、この EMS、電子材料シンポジウムを創設された、京都大学名誉教授の佐々木昭夫先
生にもご登壇いただきまして、赤﨑先生、佐々木先生に電子材料シンポジウム創設当時のお話をお伺いしつつ、このシンポジウムと窒化物
半導体の研究開発の進展の歴史を、改めてお伺いをさせていただいております。

ノーベル賞授賞式

ろが、ノーベルウィークの行事ではいつも私が最初なんです。特に授賞式の時、控室でみんな

大野：それでは早速ですけれども、まずはこちらの映が「赤﨑教授の後でその通りにやればいいよ」

像をご覧いただきたいと思います。こちらは昨というようなことで、気楽なことを言うもので年の 12 月 10 日にスウェーデン、ストックホル

すから、ちょっと、こちらが逆に緊張してしまムで行われたノーベル賞授賞式の様子でございました。受賞式の前日にリハーサルがありまいます。

して、演台での立ち位置だとか、膝の向きだとか、いろいろ細かい指示があるんですけども、ちゃんと守ってたのは日本人の 3 人くらいか、あるいは次の化学賞の方くらいまでで、あとの人は適当にやっていたような気がします。日本
人の性格を表しているのかなと思います。
大野：先生が一番最初っていうのは、物理学賞がまずは最初で。
赤﨑：そう、ノーベル賞は物理、化学、生理学・医学、
それから文学、経済学ですか。そういう順番で決まってるんですね。
大野：物理学賞の３人の中の順番っていうのは決められていたんですか。
赤﨑：その順番も決まっているようです。
大野：アルファベット順でしょうか。ABC 順だと赤﨑先生が多分、一番最初ですね。あいうえお順でもそうなってきますけれども。
赤﨑：どういうのか知りませんが、私が最初ということになっていました。

赤﨑先生の学生時代
大野：この EMS は、先生もよくご存じのように、学生諸君が非常に大きな割合を占めている会議ですので、赤﨑先生の学生時代がどういうものだ
大野：ノーベルウィークではさまざまな行事が開催

ったかをお聞きしたいと思います。確か、1949されたと思いますけれども、赤﨑先生、特に印年に京都大学理学部の化学科にご入学された象に残っているようなことをお話いただけまということで、その時の赤﨑先生はどういう学すでしょうか。

生だったのだろうかっていうのは、われわれ、

赤﨑：ありがとうございます。何しろ、スウェーデン
では国をあげてのおもてなしでした。たとえば、

ときどき勝手に想像して話すんですけれども。
赤﨑：実は、私は物理に行こうか、化学に行こうかっ

われわれ受賞者が乗る車っていうのは決めらて最後の最後まで迷いました。どちらかというれておりまして、それが通る所はどこも信号がと物理のほうが好きだったんですが、化学に親

全て青なんですね。ちょっとびっくりしました。

しい先輩がおられまして、その方がまた西堀栄

もう一つ、今ちょうど映像にありましたけれ

三郎という、更にその先輩とよく懇意だったな

ども、受賞者は全体で 12 名でしたかね。とこんかで、最後の最後に化学を選んだのです。

大部分の方はご存じないかもしれませんが、私は旧制大学の学生1でした。どちらかというう言葉すら忘れかけているような時代でしたから。

と、私は化学の学生としては不真面目で、物理

京都は空襲をまぬがれていて焼けていなかの講義によく行っていました。あと、これはちったんですが、地方に行くとまだ、戦後復興途

ょっとあまり関係のないことですけど、文学部

上で、日本人は食べることすらままならなかっの講義へ行ったりなんかしてた、そんな学生でた時代です。ノーベル賞どころじゃなかった。

した。あんまり真面目な学生ではありませんでそういうときに、そういう言葉を聞いたので、した。

最初は「えっ？」と思ったんですけど、ちょっ

大野：そうするとやはり、ご興味、ご関心が非常に広かったということでしょうか。
赤﨑：どうでしょうね。なんか、京都という環境もそと冷静になって考えてみましたら、京大の湯川先生がノーベル賞をもらわれたんだ、と改めて気がついた訳です。

うなんですが、周りに神社、仏閣がたくさんあそのことを考えながら学食に向かいまして、って、合間を縫ったりしてよく遊びに行ってまそう、熊野の下宿から大学の食堂まで医学部わしたね。

きのポプラ並木を通って行ったんですけど、当時学生の私から見れば京都大学教授の湯川先生はもちろん、湯川先生の中間
子理論のお仕事も、学生の私には本当に雲の上の出来事で、その時、自分がノーベル賞を将来どうしようなどとは全く思いませんでした。ただ、なにか小さいことでもいいから、今まで人がやってないこととか、何かそういうことを自分もやりたいとそのとき思いました。
大野：やはりそうしますと、湯川先生のご受賞というのは、先生の中で小さな、
当時は小さかったかもしれませんけど、種になったといえますでしょうか。
赤﨑：そうですね。その翌日、理学部の湯川研の所へ行ったんですが、湯川先生はちょ

大野：赤﨑先生がご入学された年に京都大学の湯川

うどプリンストンでしたか、海外に招聘されて秀樹先生がノーベル賞物理学賞を受賞された

おられて、いらっしゃらなかったんですが、なと思います。そのときに何か印象を持たれたこんとなしに研究室の周りをちょっとうろついとはございますか。

た記憶があります。

赤﨑：そうですね。たしか、学食に行こうと熊野にあ大野：そうですか。じゃあ赤﨑先生がご受賞されたとった下宿を出る時に、下宿屋のおばさんから受きに、先生の周りを学生がうろついたりされた賞のニュースを聞いたと思います。おばさんがのではないでしょうか。

「ノーベル賞って赤﨑さん、ご存知ですか」っ

赤﨑：ええ、学生だけじゃなくて（苦笑）て言われて。非常になんか、ショックといえば

大野：マスコミですね。昨年は本当に受賞の知らせ以

良いのか、どういう表現でしょうかね。大きな降、本当に大変だったと思います。

衝撃を受けました。日本人がノーベル賞ってい1

昭和 24 年入学までは旧制大学の制度であり、大学は 3 年制で現在の大学 3・4 年と大学院の修士課程前半を合わせたようなカリキュラムになっていた。

青色 LED の研究を始めた当時

その頃、たまたまなんですが、Semiconducting III–V Compounds (C. Hilsum and A. C. Rose-innes: Pergamon

大野：さて、少しまた時を下りますけれども、先生はPress. 1961)を見ていましたら、窒化ガリウム

松下電器の東京研究所で青色、窒化物半導体の(GaN)のバンドギャップが 3.3 eV、本当は 3.4 eV

LED の研究をスタートされた。1973 年頃でしょなんですが、そう書いてあったんです。そうだ、うか、当時、窒化物半導体 LED は社内で正式なAlN に GaN を混ぜればバンドギャップが小さくテーマではなかったというふうに伺っていまなってちょっとは伝導性がでるかもしれないす。

と思ってやったんですけど、なかなか当時の技術では難しかったのです。
X 線回折を測定すると AlNと GaN のピークが別々に出てきたりして。
で、しばらくそのテーマは置いていて、本格的な取り組みをはじめたのが 73年だったのです。ところが、研究所内で GaN の研究を提案すると、「えっ？これはⅢ-Ⅴなの？」っていうよ
うなことを言われて研究テーマとして取り合ってもらえなかったのです。
大野：なるほど。
赤﨑：73 年当時はそういう時代でした。その後もかなり長い間、窒化物は

赤﨑：そうですね。当時は As 系や P 系などの III-V 族
半導体が発光素子材料として国内外で非常に半導体材料として認められないという状況は続いたような気がします。

活発に研究されていました。窒素も V 族なので

大野：でも、そういう意味では、GaN の MIS 型青色発

すが、どういうわけか III 族窒化物は、III-V 族の光素子2を松下で開発されていて、しかも、赤﨑一員として認めてもらえなかったのです。

先生が作った GaN MIS 型はその当時の世界最高

私は、実は 1973 年の GaN 系 LED 開発以前か

効率を出されたそうですが、それにもかかわらら窒化物に興味を持っていました。66 年からず、社内では認められなかったのでしょうか。

67 年にかけて窒化アルミニウム(AlN)を作って赤﨑：それに途中にいろいろ経緯がありました。それいたんです。当時は AlN はセラミックス材料と以前から私は松下で、As 系、P 系のⅢ-Ⅴ族半位置づけられていたんですが、私は単結晶を作

導体をやっていまして、VPE とか LPE などの方って、赤外反射からフォノンの振動数なんか調法で結晶を作って、赤色 LED を開発して企業とべたり、そういうことをやっていたんです。一

して製品化につながる成果もあげていました。

方では、AlN を粉にしますと蛍光体になりまし

赤色で成果をあげていたので当然その先としてね、で、青く光る AlN 蛍光体を作ったりしてて、前人未踏の青色ということで GaN をやらせたんですけど、何しろ電気が通らない。
2

金属-絶縁体-半導体構造。当時は p 型 GaN を作製することが不可能だったため、金属と高抵抗 GaN、n 型 GaN を積層した素子構造が取られていた。

てもらえると思って提案したんですけど、どうも認めてくれなかったんですね。でもしつこく食い下がっていた
ら、最後は研究所長が諦めたような感じで、赤﨑君が言うなら、しかたがない、勝手にやれよ、というような感じになって認めてもらえることになりました。でも、研究予算はつけてもらえなかった。
それで、自分で勝手に所内の古い蒸着装置を持ってきた
りして、最初は MBE でやったんですね。
その MBE でやったというのは、その当時、誰赤﨑：今でもそうなんですか。で、当時、GaN の MIS

も GaN を MBE でやっている人はいなかったん

型発光素子というのはアメリカの RCA の報告です。それで、MBE でやってるうちに、なんとだったんですけれど、
0.01%というのが論文にあか、曲がりなりにもですね、それは、実験ノーったんですね。で、通産省の後ろには東京大学

トに記録が残っていますけど、ウェハーの中のの田中昭二先生がおられて、田中昭二先生がじ一部分に、GaN ができたんですね。それは X 線

ゃあ 10 倍だということで、0.1%が目標だと。そで測っても、他の方法で分析をしてもそれはれが数値目標になったんです。

GaN だったんです。

それで、私が HVPE で作ったのは 0.12%だった

MBE で GaN ができて、確か、その 3 カ月くらんですね。で、かろうじてそれをクリアするこい後だったと思いますが、当時の通産省3が未とができました。確かに最高記録だったんです

踏革新技術というプロジェクトを公募したんけど、やっぱり MIS 構造ですから、ウェハーをですね。その「未踏」という語句が、私には非作ってから、素子を作るまでが非常に大変だっ

常に魅力的に聞こえたんです。それで、それにたんです。大木くんと一緒にやってて。

申請した。それにはいろいろな経過がありまし大野：それはまだ 70 年代の頃でしょうか？

たけど最後には採択されまして、通産省から研赤﨑：発表は 81 年ですね。78 年の成果ですが、当時究費が来て、やっと所内の正式なテーマになりの松下技研、松下電器東京研究所から名前が変ました。それで、MBE だけじゃなくて他の成長わっていたのですが、会社ではこの種の学会発方法も試そうということになって、いろいろや

表はやりにくい雰囲気でした。81 年に名古屋った結果、HVPE で作ったもので MIS ができたん

大学に移っていましたので、大木君ら松下のメですね。通産省っていうのは、文部省の科学研ンバーと名大・赤﨑の連名で発表しました。

究費と違って、数値目標が大事なんですね。必大野：先ほど、先生がおっしゃった MBE っていうのず数値目標を掲げるんです。今はどうかしりま

は、先生が名古屋大学に教授として戻られたとせんが。

きに一緒に持って行かれた装置ですか？

大野：今でもそうですね。

赤﨑：通産省のプロジェクトの MBE ですね。ちょっと、ややこしいのですが、通産省のプロジェク

3

通商産業省、現在の経済産業省。

トが終わった頃、東京大学の榊裕之先生が IBM

大野：100 パーセント確実だと？

の研究所から東大に戻られた頃だったと思う

赤﨑：ええ。とにかく非常に微小だけどきれいな結晶

んですが、榊先生がここにいらっしゃらないのの部分があるということは、これは可能性は 1

で、ちょっとこういうこと申し上げていいかどだと思ったんですね。そうなると問題は、結晶

うか分かりませんが、榊先生が松下の私の研究

成長だなと思ったんです。いかにウェハー全体

室に来られて「なんでもいいですから」とおっにきれいな結晶を広げるか。この顕微鏡サイズ

しゃったんで、通産省から貰った（もう原価償のものをですね、いかにウェハー全体に広げる

却も済んでいた）MBE 装置を松下で廃棄処分をか。それをずっと考えていたのが、78 年からのしてその装置を差し上げたんです。

5 年間くらいですね。

その装置が榊先生にとってどのくらいお役

で、結晶成長の原点に戻ろうと思って、いろにたったのかどうか分かりませんけど、その後、いろ考えたんです。それまで、私、さっき申し

私が名古屋大学に行くときに、今度は逆に榊先上げたように MBE を経験していましたし、それ生が「先生、これがお要りようだったらお返し

から HVPE は随分、大木くんと一緒にやりましします」とおっしゃって、返して下さったんでた。で、考えてみますと、GaN にとって HVPE のす。それ、いまだに名古屋大学にございます。

最大の欠点っていうのは、リバーシブル、可逆
反応で、これは良くないと思いまして、いろい
ろ考えているうちに、MOVPE だと思ったんです。

GaN の可能性を確信

実は GaN の MOVPE には前例があって、いろいろな材料を MOVPE でやっていた H. M. Manasevit さん

大野：そうですか。赤﨑先生は名古屋大学から松下にが当時 1 件だけ GaN について報告していたん

行かれて、そして再び名古屋大学に戻られて、ですが、その時の結晶っていうのは非常に品質

それが 81 年でしたでしょうか。そのときに、が悪く、アメリカでは無理だろうと諦められて今おっしゃられた MBE あるいは HVPE などではいたようです。

なくて、MOVPE を選択されたんですけども、それはどういう理由がございますか。

でも、MOVPE っていうのは、これは考えてみると、ソースは全部ガスですよね。そうすると、

赤﨑：先ほどの松下時代に、HVPE で作った結晶で、一番大事な結晶のクオリティを決める成長速

発光素子の効率は 0.1%ぐらいあって、視認性が度っていうのは、ガスの流量の制御だけでできいいものですから、まあまあ昼間でもなんとかる。私は、それは非常に素晴らしいことだと思見える。ところがやっぱり、所詮は MIS 構造でったんです。しかも熱分解反応ですから、これすから、電圧はバラつくし、明るさの向上にもは本質的に HVPE でやっかいだったリバーシブ限界がある。これではダメだと。

ルな反応がないですよね。

で、前から私にはそういう習慣があったんでその二つが決定的だったんですが、更に加え

すけど、作った結晶は出来が良くても、悪くてていうと、将来、ドーピングするときも非常にも、時間があればよく顕微鏡で眺めていたんで具合がいいと。更にその先のデバイスですよね。

すね。すると、クラックがあったりピットがあ混晶を作るときに、ガスを混合すればできる。

ったりするんですけど、その結晶の中に、今でで、その MO をやろうと決心したのは、79 年。

もその結晶、大学に残っていますけど、非常にまだ松下にいた頃です。しかし、それから松下

局所的なんですけれど、きれいな所がありましでは研究するのは難しくなって、で、名古屋大てね、その部分は本当にきれいな結晶だったんに移って本格的にやることになるんですけど。

です。それを見つけたとき、一瞬、凍りつきましてね。で、そのとき何を思ったかっていいま
すと、GaN の可能性は 0 ではなくて 1 だと。

ができていくんですけど、ちょっと温度が足りなかったりすると、そこで引っかかっちゃって欠陥ができてしまう。当時 NTT におられて MBE を精力的にされていた堀越先生にそれを冗談で言ったことがあるんです。「MBE
上にモビリティの高い結晶をお作りになっているけれど、もしできれば、大量に作ったものを溶かして、比重を測ってみると、ひょっとしたら MO のほうが重いんじゃないかな」と。
それはずーっと昔、私の最初の名古屋大学時代に、ゲルマニウムの単結晶やってる頃に図書館で、APL の論文の中に、シリコンの結晶の比重を測った人が、作り方によってシリコ
大野：そういえば、赤﨑先生が多分、名古屋に戻られてからだったように思いますけれども、その時分、私は GaAs 系の MBE をやってまして、赤﨑先生に学会で「大野さん」って呼び止められて「MBE で作るガリウムヒ素って柔らかくないか」って言われたことがあるんです。そう言われて後で考えてみると、そうかもしれないなって思いまして。というのは、例えば LPE で作るときに比べると、MBE のほうが成長条件の自由度が高いので、その分、同じ GaAs でもいろんな意味でいろんなものができちゃう。一つのものに決まらないなっていうか、そういう意味でおっしゃられたのかなって、ずっとその一言を、結晶成長するたびに考えたんですけど、あれはどういう意味で言われたんですか。
赤﨑：随分失礼なことを申し上げたんですね。あちこ
ちでそういう暴言を吐いたらしくてですね。私は、赤色 LED を GaAsP でやっていて、それを、そうですね。MBE で作ったものと MOVPE で作ったものとの比較をしてるときに、それは松下電子工業のデータも含めてなんですけど、モビリ
ティは両方とも同じくらい。あるいは、MBE の
ほうがちょっと良かったかもしれないですが、LED で重要なルミネッセンスに関しては、2 割
くらい、MO のほうがいいんですね。
で、なぜだろうとずっと考えていたんですけ
ど、成長温度が違うんですね。それで、多分ですけど、MBE も化学量論組成を保ちながら結晶

ンの結晶の比重が違うと書いてあったんですね。ひょっとしたら、デンシティが違うのかなと、なんか気がしてたんですね。
それで、モビリティっていうのは電子が通りやすい所を通るので、ちょっとマクロな数字かなと。で、ルミネッセンスは、なんかやっぱり光る時はミクロに見て悪いところが効いてきて、より重要なのかなという、そんな感じがして、先生にそういうことを申し上げたかもしれません。つい、遠慮なく申し上げて失礼しました。
大野：そういう、その感覚といいますか、その感覚をたくさん結晶成長する中から得られて、最終的には MOVPE を選ばれた。
赤﨑：本当、そうですね。

低温バッファ層による高品質 GaN 結晶
大野：MOVPE で 1985 年でしたでしょうか。高品質のうしようと思ったんですね。自分が長い間ずっとそう思っていたことが、ここで崩れてしまうと。

GaN を作るのにはじめて成功したときは、多分、

ここで慌てて発表でもしたら大変なことにこの質問は、いろんなところでいろんな方が先なると思って、とにかく、非常にあのときはち生にお伺いしてると思いますけど、改めて、高ょっとそういう意味では複雑な気持ちでした

品質のものができたというときに、どういうふけど、確か、天野くんに三つ私は言ったと思う

うにお感じになられたかというのを。

んです。X 線回折とモビリティとルミネッセン

赤﨑：それはですね、天野先生、当時学生の、天野くスを測って、と。

んって呼ばせてもらいますけど、天野くんがサ大野：で、その結果、表面モフォロジーだけではなくファイア上に成長した鏡面の GaN 結晶を持っ結晶性も優れていて、先生のお考えの外見と中て教授室に飛び込んできたんですね。私はそれ身が一致しているということが確認された訳を見たとき、最初はビックリしました、一瞬。

ですね。ちょっとそこからのお話は、次のセッ

でも、できたと言って実は全くできていなかっションで少しお伺いするようなことがあろう

た誤報というのは学会で良くあることで、頭のかと思います。

中にそういうのがいろいろありまして、我に返ったんです。
赤﨑：私は、常々、結晶の表面がきれいになると、結晶の中身もきれいになるものだと。外見と中身は一致しなきゃいけないという信念とでもいいましょうか、そういうのがずっと前からあったんですね。助手時代のゲルマニウム結晶の研究をした頃から、松下でいろいろな III-V 族結晶をやっているときも。で、それをときどき、ある言葉で表現していることがあるんですけど。
で、天野くんが持ってきたときはものすごくびっくりしましたけども、期待通りにびっくりしたっていうのが一つと、だけ
どその一方です
ね、もし、結晶の表面はきれいだ
けど結晶の中身がそれほど良くなかったら、ど大野：ここからは、後半の部に入らせて頂いて、電子材料シンポジウムにまつわるお話をお伺い

混晶半導体の命名紆余曲折と定着させて頂ければと思います。そういう意味で、

佐々木：特定研究の混晶エレクトロニクスが 1985 年

この電子材料シンポジウムを創設された佐々に立ち上がった頃と言うことで、赤﨑先生が特木先生にご登壇を頂きまして、お話を頂きたい

定研究に参加されたお話しをしたいと思いまと思います。佐々木先生、どうぞよろしくお願す。このスライドが私の今日の話の表題です。

い申し上げます。
（佐々木先生ご登壇）
大野：佐々木先生は、1985 年に特定研究、当時、そういう科学研究費の枠組みがありまして、先生は「混晶エレクトロニクス」という研究領域を組織され、その領域代表として混晶の結晶成長、混晶の物理と化学、そしてエレクトロニクス応用を提示する、非常に大きなプロジェクトを推進し、成功に導かれました。
その特定研究メンバーの成果発表会、セミナ

佐々木：1985 年の当時はいろいろありました。表にーが発展して、1990 年からは一般に開かれた出すことができないこともいろいろ苦労もあ

シンポジウムとして「混晶エレクトロニクスシったのです。

ンポジウム」英語では Alloy Semiconductor Physics

まず、そもそも混晶とはなんぞやという話がand Electronics Symposium、ASPECS、そういうシンポございましてね。例えば InAs と GaAs とを混ぜジウムを佐々木先生が創設されて、さらにそれる。混合というのは塩と砂糖とを混ぜるようなが発展して、現在の Electronic Materials Symposium、ものですね。一方、固溶体というのは合金で、EMS になっています。

混晶というのは何かと。InAs と GaAｓを混ぜる

前半の部で赤﨑先生からいろいろなお話を

本質は固溶体なのですが、私は、それを言うのお伺いしましたけれども、特定研究の混晶エレにどの言葉を使おうかということで、考えたん

クトロニクスで佐々木先生は、窒化物半導体のです。物理的には固溶体、だとすると命名する研究を進められていた赤﨑先生をメンバーにとしたら「固溶体半導体」、でも、こんな名前お招きになられて発足させたというふうに伺付ければ誰も使ってくれない。言いにくい。で、っていますけれど、当時は、GaN 高品質結晶の混晶というのを、理化学事典で調べてみて、結実現前夜の頃だと思うのですが、当時の状況と晶が混ざっている混合という意味もあります

いうのは佐々木先生、どういうものだったかおが、結晶の格子点に元素が混ざるという、いわ話し頂けますでしょうか。

ゆる固溶体という意味合いもあるというようなことが分かった。これだ！と思って「混晶半導体」という言葉を作ったのです。
これに文句がついたのは、特定研究の準備段
階の、総合研究 A の成果報告会、審議会の時でした。こういう成果が得られましたと説明した
ときに、審議委員の先生、開口一番、成果の内容ではなく「混晶は間違っている」と言う、東北大の金属工学の大先生、どなたか名前が出てこないですが。それで困っていたときに助け舟

佐々木先生：次に時期的に見ていきましょう。これを出して頂いた先生が他でもない東北大学の第 1 回セミナー。昭和 57 年だから 1982 年ですね。

西澤潤一先生です。「エレクトロニクス分野でこの時代パソコンと云うのが無いので、当時私新たに概念を作ってやろうとしている」と言っの助教授だった藤田茂夫先生が、彼は達筆で、て下さったのです。

手書きしてくれたのです。ここに赤線を引いてそれで、私は、混晶半導体というのを命名す

いる東工大院生の吉野淳二というのは現在の吉るときに、拠り所としたのは理化学事典だと。

野先生ですね、これは当時助手だった藤田静雄

理化学事典によれば、混合物ではなくちゃんと先生。お二人はこんにち、EMS の実行委員長をし固溶体であるという意味合いもあるのです、とて貰っていますね。

訴えたのです。すると予期せぬ答えが返って来

大野：はい、されています。

ました。
「誰がその理化学事典を書いたのか！」、

佐々木：総合研究 A で、3 年経ちました。第３回セミ

私に尋ねられるのです。そこに書いてあるのはナー です。いよいよ特定研究の申請をします

間違いだと言われ、なんだかんだと答えましたということで、仲間も増えました。東京大学ののですが、やっとこさ許してもらって、今では西永先生、現在、総務をやっておられる西永さ

教科書、学界でも混晶半導体というのが普通にんのお父さん。それと、柊元先生、私の 3 人と使われるようになり、定着しております。

が集まってですね、特定研究に持って行くのに、それぞれ手分けしまして、柊元先生には東工大

混晶エレクトロニクスの創設秘話の然るべき先生に「こういうことします、混晶
半導体とは何かっていうこと」を説明に行って貰いました。

総合研究 A「混晶エレクトロニクスの基礎研究」第 1 回セミナー・メンバ―◎混合、固溶体、混晶の中で、なぜ混晶を用いたのか ？

企業からの参加者数：林厳雄氏を含め 20 名

私は、京大の方の然るべき先生のところへ、部

課題が「混晶」なんですね。だから、GaN は混晶じ屋に入って行ったのです。
「何しに来た」って言ゃないので、非常にご遠慮なされて、私が入ってわれたのですけど、「先生はこういう審議のこと

成果が上がらなかったら申し訳ない、と、こういに非常に造詣が深いので、どのように申請した

うことをおっしゃられていました。先ほど赤﨑先らいいですか。お知恵を拝借しに来ました」と生も申されていたように、GaN は III-V 族半導体とは言ったのです。それ以来、その先生には、折に認められてないよと言われていた。その時、「先生、触れて電子材料シンポジウムの現状の報告をしそう言わないで参加して下さい」と言って参加しております。

て頂いた結果、30 年経ってこういう話をするよう

佐々木：はい。それで、特定研究の準備が認められになるとは、夢々思ってなかったです。

て、総合研究 B を組織して第四回セミナーの

大野：当時は総合研究 A で準備をはじめて、総合

メンバーを示します。名大の赤﨑先生、澤木研究 B になって、それで特定研究ですね。

先生、平松先生、さらに大野先生にも参加し

佐々木：そう。赤﨑先生は名古屋大学に戻って来て頂きました。

いと言われたのですね。それで松下技研から移

この時、私が赤﨑先生に「これこれこういうられたのですが、当時は窒化物が半導体と認め

特定研究を実施するので、ぜひ参加して下さい、られずに、科研費申請してもなかなか予算が通先生」と云うと、先生はそのとき、1981 年にリ難い。

名大に返って来られて、数年経った頃でした。

大野：それで、この特定領域に。

総合研究 B「混晶エレクトロ二クスの研究」第 4 回セミナ・メンバ－

官公庁研究所、企業からの参加者数 32名

赤﨑先生グループの研究成果最適化したアルミニウムガリウムナイトライド
バッファ層を形成することにより、表面平坦性

佐々木：特定研究を遂行して、3 年たって、文部省にが極めて優れた混晶層の成長を可能にした」と提出のための研究成果報告書を纏めました。昭書いてある。ここで非常にありがたいのは、改和 62 年、1987 年。赤﨑先生の研究グループは、

めて赤﨑先生と天野先生に言いたいのは、これ、先生を長として、澤木、平松、天野の諸先生か

混晶の研究なので AlxGa1-xN と書いてある。混晶なら構成されていました。研究題目が、「広エネんですが、
x イコール大なり 0 と書いてあります。

ルギーギャップ混晶半導体の光電物性の研究」

イコールを付けて頂いているので、バッファ層でした。広い字句によりワイドを表現していま

上 GaN の高品質の成果も成果報告に一緒に入っした。赤﨑先生グループの、成果報告を示しまておったと。ノーベル財団の受賞の解説に書いす。

てある AlN バッファ層上の高品質 GaN のお仕事で中身を見ますと、「AlxGa1-xN 層の成長に先立ち、す。

サファァイア C 面上に厚みで 500Å と堆積温度を混晶エレクトロニクスにおける赤﨑グループの研究成果

混晶エレクトロニクスと日米セミナー

﨑先生、天野先生、改めて御礼申します。ありがとうございました。
大野：はい。ありがとうございます。赤﨑先生、当翌年に「混晶半導体の物理とエレクトロニクス」

時を振り返りましていかがでしょうか。混晶エのテーマで、日本学術振興会、米国 National Science

レクトロニクスと、佐々木先生の混晶エレクト

Foundation (NSF)の支援で、ハワイ East-West Center に

ロニクスの特定研究が果たした役割といいまて日米セミナーを開催しました。これがその時のすか、どういうふうに今、お考えでしょうか。

写真です。

赤﨑：当時、佐々木先生がだいぶ頑張られまして、
文部省を中心にもう何度も何度も伺いました。

佐々木：日本側から特定研究の各班長、東大の西永佐々木先生のやり方っていうのは、何ていいま

先生、東工大の柊元先生、東大生産研の生駒先すかね。非常に周到でしたね。関係のありそう

生等が参加し、米国側から代表のユタ大の Prof.

な先生方には全て、あらかじめご了解を取ってStringfellow, Berkeley National 研究所 の Dr. Liliental

おられて、それで、実際の審査の時はもうセレ-Weber, National Renewable Energy

モニーであったような感じがします。

研 究 所 の Dr.

Zunger 等が参加しております。

私、参加するのをお断りしたっていうのは、

このセミナーを通じて、混晶半導体が国内外に

ちょっとあって躊躇していたのですが、佐々木

おいて確固たる研究課題と印象付けられまし

先生に捕まったらどうしようもなくなって、そた。次に、この特定研究に赤﨑先生が参加してう言うと失礼な言い方なのですが。それで参加頂いたと云うことが、この混晶エレクトロニク

させて頂いたのです。特定研究の最後に行なわスの非常に有難い成果となりました。本当、赤れたこの日米セミナーで感じましたことは、「 混 晶 物 理 と エ レ ク ト 二 ク ス 」 日 米 セ ミ ナ ー

於 ハワイ東西センター

前列左から 3 人目 Prof. Stringfellow,

1988 年 10 月 25-27 日

最後列右から 1 人目 Dr.Liliental-Weber、7 人目 Dr..Zunger

1988 年 10 月 25-27 日

3 人目 Prof. Stringfellow,

5 人目 筆者、 8 人目 赤﨑先生

5 人目 筆者、 8 人目 赤﨑先生

この日米セミナーで感じましたことは、and Electronics だったのですが、もっと範囲を広Stringfellow を始めとして、Zunger だとか本当に世

げようと、混晶半導体だけでなく、電子材料を界的に有名な人たちが、日本の混晶半導体の、全部包括するという意味で、それで後に電子材

その実験的な研究を含めて、何ていいましょう

料となりました。

かね。実力と言ってはちょっと変な言い方にな研究会の名前をどうするか。セミナーかカンるかもしれませんが、そういうのを、本当に認

ファレンスか、何がいいだろうかということをめて呉れたという感じがしましたね。セミナー

考えて、いろいろ模索していたら、シンポジウの合間にロビーで話をしていて、また個人的にムというのがどうやら、くつろぎながら自由に話して、そう思いました。それは、本当に佐々討論する、そんなことをするのがシンポジウム

木先生の熱意の賜だったと思っています。

の言葉の本来の意味だということで、絶対これだということを決めて、混晶エレクトロニクス

なぜ「シンポジウム」か

シンポジウムそして現在の電子材料シンポジ
ウムと、いう具合になりました。この名前がこ

大野：ありがとうございます。その特定研究、混晶のシンポジウムの名物のナイトセッションに

エレクトロニクスが現在の EMS、電子材料シン

つながっていると思うのです。電子材料シンポ

ポジウムに発展したわけですけども、佐々木先

ジウムという名前の由来はそういうことなん

生、このシンポジウムを作ろうと思われた経緯、です。

あるいはその辺のお考えはいかがだったのでしょうか。

それで、電子材料シンポジウムになったとこ
ろで、私は引退したのです。あとは、赤﨑先生

佐々木：総合研究 A を行っているときに、応用物理と天野先生に運営委員長、実行委員長っていう学会で毎回シンポジウムを開催したわけです。

のをお任せして。その後、赤﨑先生から次の運

そして、メンバーは必ず研究室の学生を何名以営委員長の人選について、誰がいいかというの上参加させるっていうのを徹底しまして、それを、私に意見を求められたのですが、私は引退をずーっと学術審議会、文部省にですね、シンしましたから、何も言いませんと答えませんでポジウムを開催すると聴講者が沢山集まって、した。そうしたばっかりに、赤﨑先生は交代で社会からこれだけ興味をもたれるということ

きず 2 期、3 期とおやりになられる羽目になりを説き、特定研究申請書に記しました。特定研

まして、でも、そのお陰で EMS はこの通り、本究が採択になり企業の方にもどうぞ参加して当に力がつきました。改めてまた、すみません

下さいと言って、参加して貰って、一応、それでした。赤﨑先生。（赤﨑先生に向かって頭をで 3 年終わりました。

下げる。）本当に。

さて、これで特定研究は終わる、解散してしまうのは勿体ないので何か継続させたいと。そ大野：赤﨑先生は運営委員長を務められていかがでしたでしょうか。

こで考えたのは、研究会を続けていこうと。そ赤﨑：私は確か、1991 年に、あれは名古屋だったの

れには資金が要る。そこで、企業の人たちに、かな。ICVGE-7 という国際会議をやりまして、

関心がもしあれば、ゴルフみたいに会員権としその打ち上げに、もちろん佐々木先生も、それて一口幾ら拠金のお願いの手紙を 30 通くらいから先ほどの Stringfellow も来ておられたのです

書きました。一口 30 万円。なんでしたら、分けれど。どうにか国際会議を無事終えることが割払いでもいいですよと言って、それで集まっできたと思っていたら、佐々木先生から EMS

たお金が 1000 万円近かったのです。 これをの運営委員長か実行委員長をやって欲しいとベースにして、以降、企業からはお金を一切頂言われまして。やっと国際会議の委員長が終わくことなく、そして若い人たちのためにやってったところなのにと思っていたので、本当に困いこうと。名称は最初が Alloy Semiconductor Physics

りましたが、結局お引き受けすることになりました。そういえば EMS には佐々木先生が作られた賞がありますね。
大野：はい。EMS 賞です。
赤﨑：そうですね。で、運営委員長としてそれを差し上げる仕事に何回か立ち会わせて頂きましたね。若い方に賞を差し上げるっていうのは、自分自身も非常にワクワクするような感じで、非常にいいものですね。それで、いつもそのとき申し上げていたのは、「賞を獲られた方には当選おめでとうございます。それから、仮に漏れた方も、来年は賞を獲れるようにと思って頑張って下さい」と。こういう賞というのは非常に良いですね。その賞は今でも続いているのですよね。
大野：はい。続いています。そろそろですね、予定の時間が来つつあるのですけども、やはり若い人たちが多い会議ですので、最後に佐々木先生、そして最後に赤﨑先生、若い人に一言頂けます
でしょうか。

京大名誉博士と電子材料シンポジウム
佐々木：しかし、赤﨑先生が京都大学の名誉博士を次に、下側の写真は贈呈式後の座談会の雰囲気取られたことを少し話したいと思います。

を示しております。こちらが赤﨑先生。これが大野：あの。若い人たちへの．
．
．
。

私です。それで次の趣意文、ここに名誉博士の佐々木：少しだけ。これはね、この 5 月 15 日に、赤贈呈の理由が書いてあります。ただ単に京都大

﨑先生が京大の名誉博士を受けられた時の写学を卒業してノーベル賞を受けられたという真です。上の左側の写真は、なぜ赤﨑先生に名だけじゃなく、赤﨑先生が京都大学の佐々木と誉博士を与えたかという趣意文を聞いている

一緒に科研費の特定研究で、ノーベル賞に繋がときです。右側の写真の、左側の人は京都大学

る成果を出したことと、それから、その特定研

山極総長で、右側は名誉博士に与えられる紫色

究から発展した EMS の実行委員長、運営委員長のカラーコードというものを着けた赤﨑先生

を赤﨑先生が務めて下さったという二点が京です。カラーコードは中世ヨーロッパの大司教

都大学から名誉博士が贈られる理由にもなりが身に着けることに依っています。

ました。これは、混晶エレクトロニクスがノーベル賞受賞の背景の一部ということになりま
す。

名

誉

博

士

贈

呈

趣

意

文

電子材料シンポジューム：conference, workshop, topical meetingのなかで
なぜsymposium なのか ？

若い研究者に贈る言葉

佐々木先生

ショックレーはそうですね、トランジスタ。こ大野：はい。それでは若い方に一言、よろしければ。

れは江崎先生でトンネル効果。で、これは、ス

佐々木：このスライドはエレクトロニクス関係でノ

ミスの CCD です。そして赤﨑先生、天野先生、

ーベル賞を受けた人をまとめたものです。

中村先生で青色発光ダイオード。江崎先生はトンネル効果、その発端となったのはトンネル

ダイオードの特性です。トンネル効果は物理

先生、あるいは上司から「いつまでそのような現象での大きな発見ですが、ダイオードは社

夢みたいなことをやっているのか」と言われる会では多く使われておりません。
それから CCD

ことがあるでしょう。そのときには、ここに赤もイメージセンサとして広く使われましたが、﨑先生の色紙があります。『吾が道、一を以っ

徐々に MOS イメージセンサに代わって来ていて之を貫く』。この気概をもち、さらに支援環ます。それに比べて、青色発光ダイオードと境を見出し、どうか若い人達、2 番目、3 番目いうのは、トランジスタと同様に、社会に対のノーベル受賞者が、この電子材料シンポジウ

するインパクト、使われ方の裾野が非常に広ムに参加している若い院生、研究者から出るこいのです。

とを願って、私のこの大学院生、若い人への言

素粒子の世界でノーベル賞と言えば湯川先生

葉としたいと思います。

ですね。中間子理論。受賞で新聞などに紹介さ大野： 佐々木先生、ありがとうございます。

れ、説明を聞いた方はそうですか、そうですねで終わるのですが、この青色発光ダイオードは違います。町の普通の人々でも非常に分かるのです。自転車に乗れば昔の発熱電球に比べて、発光ダイオードのランプがどれだけ楽か、すぐに分かります。そして、トランジスタがもとで、集積回路により 2 番目のノーベル賞を獲られた若い研究者に贈る言葉

赤﨑先生

大野：それでは赤﨑先生、最後に若い人たちに何か一言、よろしくお願いします。

ように、青色発光ダイオードは必ず、何かに関赤﨑：あまり口幅ったく申し上げることもないので係してノーベル賞がもう一つあるだろうと思い

すが、私がかねがね、うちの若い人に言っています。単に集積化すればよいかとは思われませることでよろしいですか。

んが。

大野：はい。もちろんです。

それでは最後に、若い人に。波打ち際を駆け赤﨑：みなさんには、あまり流行りの研究にとらわ

抜けるような研究課題。研究会では多くの人がれないで、本当に自分がやりたいと思っている

集まり、賑やかな、楽しい討論が行われます。

こと、そういうことをやってほしいと思います。

しかし、こうした課題では後ろを振り返ると、

本当に自分がやりたいことを見つけるという足跡が残ってないことが多い。

のは、ある意味難しいことかもしれません。それでも、日頃からそういう気持ちを抱いていたら、いつかそういうことが見つかるはずです。
それはたやすくできることではないかも知れません。何回も失敗するでしょうけど、失敗というのは失敗ではないのですね。いや、失敗は失敗なんだけど、こうしたらこう失敗したと見れば、それは一つの経験です。そうすれば、それを失敗と思わないで、本当にやりたいことを続けられると思います。非常に平凡なことかも知れませんが、そういうことをみなさんには心掛けて頂けたらと思います。

夢は Dream で名詞です。
Y を付けると Dreamy で、
夢みたいなになります。それで、夢をもって、夢みたいなことを実現する。そうすると、上の大野：赤﨑先生、貴重なお言葉を本当にありがとうございます。それでは時間になりましたので、佐々木先生、そして赤﨑先生、今日は大変貴重
なお時間を一緒に過ごさせて頂きまして、どうもありがとうございました。
編集：須田淳・岩谷素顕