直線回転導入機アクセサリー【製品コード】
1) GRABSHOM:グリッパー(ID=8mm)2) TSMDH-XXXX:MD40/MD16-ADCF16TS用片側チューブサポート
3) TSMD-XXXX:MD40/MD16-ADCF16TS用チューブサポート
4) ADMRL:チューブサポート付直線回転導入機用回転リミッター
5) ADCF16TS:CF16チューブサポートアダプター6) LRMD:直線回転導入機/ウォブルスティック用ロックリング(ID=11mm)7) SERKMD16:MD16直線回転導入交換ベアリング
8) SERFMD16:MD16直線回転導入機機工場オーバーホール
9) SERKMD40:MD40直線回転導入機交換ベアリング
10) SERFMD40:MD40直線回転導入機機工場オーバーホール※補足説明:MD40=ICF70/MD16/CF16=ICF34

1)

2)

7)

3)

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9)

5)

6)

10)

【使用例】

1)

2)

3)

4)

5)

直線回転導入機アクセサリー
名称グリッパー(ID8mm)

MD40/MD16-ADCF16TS用

MD40/MD16-ADCF16TS用

チューブサポート

片側チューブサポート

スリット

外観図
サンプルプレート

概要

製品コード
特⾧

・グリッパーにはサンプルプレートのハンドル用スリ・MD40及びMD16(TS)-ADCF16TSのチューブサットが備えられています。
ポート2本のφ8mmのシャフトがチューブユニット・グリッパーのスリットにサンプルプレートのハンドを偶発的な曲げから保護します。
ルを差し込んで左右いずれかの方向に90°回転させ・DN16CF(ICF34)用アダプター:ADCF16TSることで、サンプルプレートは所定の位置にカチッと収まり、内蔵されているバネ式ピストンで静かに保持されます。
・再び90°回転させることで、サンプルプレートを外すことができます。
・他メーカーの同様のグリッパーとは異なり、このグリッパー(GRABSHOM8)には固定リミットストッパーがありません。従って、サンプルプレートの比較的デリケートなハンドルをねじったり、ひっくり返したりして壊してしまうようなことはありません。
・どちらの方向に回しても、1/4回転でサンプルプレートがロックされたりリリースされたりするので、ユーザーは回転方向に関係なく安全な回転操作ができます。
GRABSHOM8

TSMD-XXXXTSMDH-XXXX

安全な連続回転操作ーーー

0 – 823mm / 2 x φ8mm

50 – 850mm / 1 x φ8mm

200℃

ーーーー

チューブサポート⾧/径仕様

許容加熱温度・MD40及びMD16(TS)-ADCF16TSのの片側チューブ
サポート1本のφ8mmのシャフトがチューブユニットを偶発的な曲げから保護します。
・DN16CF(ICF34)用アダプター:ADCF16TS

ステンレス (SUS304)
ピンサー/作動ピン材料

ベリリウム銅合金 (CuBe2)
チタン (Ti)

直線回転導入機アクセサリー
名称

チューブサポート付直線回転導入機用
回転リミッター

MD16チューブサポートアダプター

直線回転導入機/ウォブルスティック用
ロックリング(ID=11mm)

外観図

概要

・直線回転導入機の回転を自由角度に設定して、制限することができます。

・ADCF16TSを使用すると、TSMDまたはTSMDH
チューブサポートをICF34 直線回転導入機に取り付けることができます。

・直線回転導入機及びウォブルスティック用ロックリング(ID11mm)

製品コード

ADMRL

ADCF16TS

LRMD

特⾧

調整可能角度:0° - 346°ー

内径:φ11mm

材料

Al / SUS304

ーアルマイト合金仕様
組立図

直線回転導入機:MD16/MD40

直線回転導入機:MD16

直線回転導入機:MD40/MDG40

1軸ウォブルスティック:WM40
チューブサポート:TSMD/TSMDH

チューブサポート:TSMD/TSMDH

1軸/2軸ウォブルスティック:WM40/WMG40

直線回転導入機アクセサリー
名称

MD16直線回転導入機

MD16直線回転導入機用

MD40直線回転導入機

MD40直線回転導入機用

交換ベアリング

工場オーバーホール

交換ベアリング

工場オーバーホール

外観図

概要仕様

・スライドベアリング(グラスファイバー ・スライドベアリング(グラスファイバー25%入りPTFE)は、直線回転導入機25%入りPTFE)は、直線回転導入機の摩耗する唯一の部品ですの摩耗する唯一の部品です。
・MD40を使用する際には、動きの滑ら・度重なるベークアウトによりスライドかさを時々確認することが重要であり、ベアリングがわずかに変形することが引っかき音がしたり、異常な摩擦を感あります。それにより動きの滑らかさじたりしないことを確認してください。
が損なわれ、アウトガスの発生率が高・摩耗したベアリングは、動作中の大量くなります。
ガス放出の原因となる可能性があり、・インナーベアリングとアウターベアリ上記のいずれかが発生した場合、スラングの完全な工場オーバーホールを行イドベアリングを交換してください。
います。

・スライドベアリング(グラスファイバー ・スライドベアリング(グラスファイバー25%入りPTFE)は、直線回転導入機25%入りPTFE)は、直線回転導入機の摩耗する唯一の部品ですの摩耗する唯一の部品です。
・MD40を使用する際には、動きの滑ら・度重なるベークアウトによりスライドかさを時々確認することが重要であり、ベアリングがわずかに変形することが引っかき音がしたり、異常な摩擦を感あります。それにより動きの滑らかさじたりしないことを確認してください。
が損なわれ、アウトガスの発生率が高・摩耗したベアリングは、動作中の大量くなります。
ガス放出の原因となる可能性があり、・インナーベアリングとアウターベアリ
上記のいずれかが発生した場合、スラングの完全な工場オーバーホールを行イドベアリングを交換してください。
います。

製品コード

SERKMD16

SERFMD16

SERKMD40

SERFMD40

サービス内容ー・分解と超音波洗浄・スライドベアリング交換(大気/真空側)
・機能検査

ー

・分解と超音波洗浄・スライドベアリング交換(大気/真空側)・機能検査

Instruction for bearing
replacement

Declaration of contamination ofmanipulator

材料

フルUHV適合材料

洗浄UHV規格準拠

許容加熱温度

最大200℃

部品交換手順書
返送用必要書類

Instruction for bearing
replacement

Declaration of contamination ofmanipulator

12778101030

15.75

Oxygen-free copper shim for 7mm shafts
M4 grub screw - adjust depth in shaft toset spring tension as required(1:1)
M3 grub screws to secure grabberhead on shaft

Sample plate not included.

Material: All UHV compatible

Grabber Tool ID 7 and ID 8 for
SHOM Plates

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

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THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
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630 100 300 1000
nominal over 1dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale

2:1
Rev.

DDrawnDatechanged

von Gunten
21.09.2015
09.10.2020 MM

GRABSHOM

5205848

118.5

XXX

MDG40(RL)

Ra 1.6+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K
Material: ....

TSMD

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Tube Support for MD40

ScaleTSapplication example MDG40(RL)-TSMD

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
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1:1

Drawn
Date
Revisedvon Gunten
03.12.2010
.....

TSMD

sheet 1/1

5839

M316118.5

XXX

1320

MDG40(RL)

Ra 1.6+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K

TSMDH

Material: ....

Tube Support for MD40 singlesided

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

ScaleTSapplication example MDG40(RL)-TSMDH

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
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2:1Drawn
DateRevisedvon Gunten
03.12.2010.....

TSMDHsheet 1/1

Application Example
in combination with MD40-TSMD

gle

8Locked rotation: 0°322424fe
rean

23.7

Max rotation: 333.5°

10333.5

Material: Aluminium, stainless steel

Rotation adapter for linear /rotary feedtrough andwobblesticks with tube supportFerrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout
Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

2:1
Rev.

B

Drawn
Date
ChangedM. Müller
09.11.2020
26.01.2022 CW

ADMRL
A4 sheet 1/1