ICF70 1軸ウォブルスティック・1996年以来、Ferrovac社製磁気駆動式ウォブルスティックは、超高真空システムでの繊細で正確な操作の基準となっています。
・磁力結合の原理により、シャフトの動きは大気圧と超高真空との圧力差の影響を受けずに制御されているため、ウォブルスティックをほとんど力を使わずスムーズに操作することができます。
・従来のウォブルスティックは、直線運動のために⾧いベローズスタックを採用していたのに対し、磁気カップリングはリークのリスクを最小限に抑え、⾧寿命を実現しています。
・磁気駆動のウォブルスティックは、常にシャフトの連続回転を可能にしますので、UHVドライバーとして使用できます。
【1軸ウォブルスティック各部名称とハンドリング】
WM40-XXXX-YYYY【仕様】
・標準ストローク:100/150/200/250/300mm
・カスタマイズストローク:50 - 700mm
・取付フランジ:ICF70・振れ角 (標準):±20° (ワイドアングルバージョン:±28°)・直進力:30N / トルク:0.5Nm (高トルクバージョン:直進力:60N / トルク:1Nm)
・許容加熱温度:磁石を含めて200℃
・圧力範囲:1E-11 to 1000mbar(hPa)・作動時の低ガス放出※最も注文された構成:WM40-XXXX-0080-GRABSHOM-TSWM
サンプルプレート用グリッパーおよびサポートレール付1軸ウォブルスティック【振れ角】
WM40: ±20°
WMWA40:±20°

ICF70 1軸ウォブルスティック
名称

1軸ウォブルスティック

グリッパー/パーキングレール付

高トルク

ワイドアングル

1軸ウォブルスティック

1軸ウォブルスティック

1軸ウォブルスティック

・1Nmの高トルクと60Nの直進力を特徴とするWM40HTは、サンプルホルダーのロック、サーマルリンクの接続、または電気接点の閉鎖のためのUHVドライバーとして最適です

・WMWA40モデルは、±28°の非常に広い角度範囲を備えています。この拡張された振れ角範囲を使用するには、WMWAウォブルスティックを非常に短い特大のチューブに取り付ける必要があります。
溶接ベローズとウォブルスティックのシャフトがチューブやチャンバーの壁に当たらないように特別な注意を払う必要があります。

WM40HT-XXXX-YYYY

WMWA40-XXXX-YYYY【アプリケーション】

外観図
パーキングレール:TSWM
グリッパー:GRABSHOM7

概要【アプリケーション】
WM40-XXXX-YYYY-GRABSHOM7-TSWM
・上右図は、グリッパーを使用してサンプルプレートを操作する為の理想的なツールを表しています。
・サンプルプレートのハンドル部をグリッパー先端のスリットに差し込んでいずれかの方向に90°回転させると、カチッと音がして所定の位置に固定されバネ式のピストンによって静かに保持されます。再び90°回転させることで、外すことができます。
・グリッパーの特⾧:
他社製と異なり固定のリミットストッパーがないので、回転方向の制限がなく、どちらの方向に回しても、1/4回転でサンプルプレートを固定したり、開放したりできるので、安全な操作が可能です。

製品コード

WM40-XXXX-YYYY
アプリケーション:WM40-XXXX-YYYY-GRABSHOM7-TSWM

ストローク⾧ (XXXX)

標準:100/150/200/250/300mm
特注:50 - 700mm

標準:100/150/200mm
特注:50 - 700mm

標準:100/150/200mm
特注:0 - 600mm

リトラクト⾧ (YYYY)

標準:60mm
特注:60/80 – 200mm

標準:60mm
特注:60 – 200mm

標準:75mm
特注:60 – 200mm

±20°

振れ角仕様

±28°

直進力

30N

60N

30N

トルク

0.5Nm

1Nm

0.5Nm

許容加熱温度

200℃

圧力範囲

1E-11mbar – 1000mbar

構造材料

フルUHV適合材料

XXXX+ 180.6

retracted lenght=YYYY(min. 80)

linear travel=XXXX

69.5
6242

720

12035

-225+/30

GRABSHOM

13

flange DN40CF
31

XXXX+ 50

TSWM (removeable)

M4 grub screw to adjust spring tension

2x M3 grub screws(sample plate not included)
Ra 0.8Material: ....

Single Shaft Wobblestick DN40CFwith Grabber for Flag Style
Plates
WM40-GRABSHOM-TSWM-XXXX-YYYYFerrovac
CH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

+0.2+0.1(-0.1-0.2)

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout
Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

1:2
Rev.

A

Drawn
Date
ChangedC.Strässle
19.08.2021............

WM40-GRABSHOMTSWM
A4 sheet 1/1

retracted length=YYY (min. 60)⌀ 69.5

XXX + 80.6
42linear travel=XXXA62

⌀ 26°

⌀ 20

A
A-A (2:1)

14.5
R26

⌀72.5

8
M413-20

flange DN40CF+/⌀ 35

25Ra 1.6+0.2+0.1(-0.1-0.2)

Allgemeintoleranzen ISO 2768-K
Material: fully UHV compatible materials

Single Shaft Wobblestick
DN40CF

Ferrovac
CH-8050 Zürich

GmbHNennmass überbis1630 100 300 1000
630 100 300 1000 2000
0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2Toleranz ±Massstab gezeichnet Denys SutterDatum
03.02.2010
geändert 15.11.18 CW

1:2

WM40

YYYY (standard 74mm; minimum 56mm)

DN40CF11⌀ 35linear travel XXXX

⌀ 26A+/A39-

2856°

XXXX + 16.6
XXXX + 91.6
14.5

A-A (2:1)⌀76

M4R22.58Ra 1.6+0.2+0.1(-0.1-0.2)

Allgemeintoleranzen ISO 2768-K
Material: fully UHV compatible materials

bis

WMWA40-XXXX-YYYY
Wobblestick Manipulator Wide Angle

Ferrovac
CH-8050 Zürich

Nennmass überGmbH

1630 100 300 1000
630 100 300 1000 2000
0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Toleranz ±Massstab gezeichnet Denys Sutter
Datum
03.02.2010
geändert 01.06.2015OA

1:2

WMWA40-XXXX-YYYY

YYYY = retracted length in mm

XXXX = linear travel in mm

69.5

351823.7

26

100

116.5
DN40CF

13XXXX + 130.625
shaft tip
(2:1)

14.5
86M471R21.5

MKSHT high torque magnet

Ra 1.6+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K
angular deflection +/-20 degrees (see note 1)
linear force: 75N
torque: 1Nmbakeout temperature: 150deg C max.
pressure range 1E-11mbar to 1000mbar
fully UHV compatible materials
note 1: if mounted to wobblestick flange

Material: all UHV compatible

Wobblestick manipulator
with high torque magnet
WM

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale

1:2
(2:1)

Rev.

CDrawnDatechangedDenys Sutter
07.04.2011
28.04.15 vG

WM40HT-XXXXYYYYウォブルスティックフランジ

Limited Deflection

Standard DN40CF FlangeStandard DN40CF Rotatable Flange

Our design excludes the possibility ofaccidental crashing of bellows!

Max. Deflecti on
WobblestickFlanges

Wide Tube Flange DN40CF

Bellows Protection Flange: BP40