ICF70 1軸直線回転導入機■ ICF70 1軸直線回転導入機は、最大700mmまで可能ですが、最大500mmまでの短距離および中間距離でのコンパクトなサンプル搬送装置として推奨されます。
■ 特定の直線位置で回転運動が必要な場所で使用できます。調整可能なストップリングを特定の直線位置に設定し、大気側ハンドルをロックするためのロックネジが付いています。
■ 0.5Nmの比較的高いトルクと30Nの直進力により、必要に応じて真空内の任意の装置に力を伝達できます。
■ 直線回転導入機:
1) ICF70 1軸直線回転導入機
2) 高トルク1軸直線回転導入機(トルク:1Nm・直進力:60N)
3) 回転リミッター付1軸直線回転導入機
4) チューブサポート付ゼロリトラクト1軸直線回転導入機(UHVスーツケース用サンプルプレートストレージスタック保持・操作するために使用されます。)【ICF70 1軸直線回転導入機】
MD40-XXXX-YYYY【オプション＆アクセサリー】【高トルク1軸直線回転導入機】
MD40HT-XXXX-YYYY【回転リミッター付1軸直線回転導入機】
MD40(RL)-XXXX-YYYY(回転リミッター:ADMRL)【チューブサポート付ゼロリトラクト
1軸直線回転導入機】
MD40(Y0)-TSMDH-0080-0001

GRABSHOM:
グリッパー

PA40HEX:ヘキサポッドポートアライナー

TSMDH:
片側チューブサポート

TSMD:
チューブサポート

ADMRL:
回転リミッター

RSC40M:
サンプルキャリア

RECOMSTACK(10H04S):
ストレージスタック

RSCFL40M:
サンプルキャリア

DRVMDMDTLR16
モーター駆動リニアドライブ

SERKMD16:
交換ベアリングICF70 1軸直線回転導入機
チューブサポート付ゼロリトラクト

ICF70 1軸直線回転導入機

高トルク1軸直線回転導入機

MD40-XXXX-YYYY

MD40HT-XXXX-YYYY

ストローク (XXXX)

標準:100/200/300/400/500mm
特注:50 – 700mm

標準:100/200/300/400/500mm
特注:50 – 700mm

標準:80mm
特注:50 – 500mm

リトラクト (YYYY)

標準:30mm
特注:10 – 250mm

標準:30mm
特注:10 – 250mm

標準:1mm名称

1軸直線回転導入機

外観図

製品コード仕様MD40(Y0)-TSMDH-0080-0001

取付フランジ

ICF70

ICF70

ICF70

直進力

30N

60N

30N

トルク

0.5Nm

1Nm

0.5Nm

許容加熱温度

200℃

200℃

200℃

圧力範囲

1E-11mbar – 1000mbar

1E-11mbar – 1000mbar

1E-11mbar – 1000mbar

構造材料

フルUHV適合材料

フルUHV適合材料

フルUHV適合材料

ICF70 1軸直線回転導入機
名称

回転リミッター付1軸直線回転導入機

回転リミッター/チューブサポート付

回転リミッター/片側チューブサポート付

1軸直線回転導入機

1軸直線回転導入機

MD40(RL)-XXXX-YYYY-TSMD

MD40(RL)-XXXX-YYYY-TSMDH

外観図

製品コード仕様MD40(RL)-XXXX-YYYYストローク (XXXX)

標準:100/200/300/400mm
特注:10 – 700mm

リトラクト (YYYY)

標準:30mm
特注:11.8 – 100mm

回転リミッター(ADMRL)
回転角度設定(右図参照)

0 – 333.5°
回転のカスタマイズ可能な機械的停止で、0°を選択した場合、回転は完全にロックされます。また、90°を選択した場合、90°の範囲内での回転が可能で、それ以上の回転は回転リミッターで停止されます。

取付フランジ

ICF70

直進力

30N (高トルクプション:60N)

トルク

0.5Nm (高トルクプション:1Nm)

許容加熱温度

200℃

圧力範囲

1E-11mbar – 1000mbar

構造材料

フルUHV適合材料【オプション＆アクセサリー】

GRABSHOM:
グリッパー【ADMRL:回転リミッター】

ADMRL:
回転リミッター【ADMRL組立図】

retracted shaft length YYY in mm
linear travel XXX in mm

1310.655

69.5723.7~ 17.75

shaft tip (2:1)
12M4388 h6

DN40CF

6.60-0.009

6x1.5Ra 1.6+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K
Material: all UHV compatible

Linear/Rotary feedthrough DN40CF

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale(1:2)
MD

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART ORAS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:1(1:2)(2:1)

Rev. D

DrawnDate
RevisedDenys Sutter
22.03.2011
30.09.19 CW

MD40

retracted length YYY in mm
69.5

linear travel XXX in mm
1313.6100

9~ 1.15~ 17.75

A
14.5
Detail A(2:1)

6.6 (6x)

76R2

M4

2.5

DN40CF81.5(1:2)

8 h6

0-0.01

Ra 0.8High torque Linear/RotaryFeedthrough
MD40HT
CH-8050 Zurich(-0.1-0.2)

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: all UHV compatible

Ferrovac GmbH+0.2+0.1

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

1:1
(1:2)

Rev.

C

Drawn
Date
ChangedD.Rechsteiner
07.12.2011
30.09.2019 CW

MD40HT-XXXX-YYYY
A4 sheet 1/1

retracted shaft length YYYY in mm
1311.59.1

linear travel XXXX in mm

69.5

6.6

23.7

848100DN40CF

shaft tip (2:1)
3.5

128(1:2)

8 h60-0.009

XXXX + 129.5

Ra 1.6+0.2+0.1(-0.1-0.2)

M4

general tolerances ISO 2768-K
Material: all UHV compatible

1.5

Linear/Rotary feedthrough DN40CF
with high torque magnetic cluch
MD40(HT)-TSMD

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

630 100 300 1000
nominal over 1dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2
Drawn
D.RechsteinerScale

1:1(1:2)
(2:1)

Date
Checked07.12.2011
08.12.11 vG

MD40(HT)-TSMD

retracted shaft length YYYY in mm
1311.59.1

linear travel XXXX in mm

69.5

6.6

23.7

848

100

DN40CFshaft tip (2:1)
3.5

128(1:2)

8 h6

0-0.009

XXXX + 129.5

Ra 1.6+0.2+0.1(-0.1-0.2)

M4

general tolerances ISO 2768-K
Material: all UHV compatible

1.5

Linear/Rotary feedthrough DN40CF
with high torque magnetic cluch
MD40(HT)-TSMDH

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2
Drawn
D.Rechsteiner
Scale

1:1
(1:2)
(2:1)

Date
Checked28.09.2012...

MD40(HT)-TSMDH

69.5

13

linear travel XXXX
55

23.7

2423.7

1.45

XXXX+86

shaft connection
MKS0-0.036

6.683DN40CF

TUMD408 h9

1281.5

TSMDH
(1:2)

M4Ra 1.640087

Linear/Rotary feedthrough DN40CF
with single sided tube support

40035

Retracted Length = 0mm
CH-8050 Zurich(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K

Material: all UHV compatible

Ferrovac GmbH+0.2+0.1

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale

1:1
THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

(1:2)
(2:1)

REVBDrawn
DatechangedU. Maier
08.11.2013
07.09.18 CW

MD40(Y0)-TSMDHMD Deflection vs Extended Length at different Loads
1000

Deflection in mm

100

101

load 2.5 N
load 5 N
load 7.5 N
load 10 N

0.1

0.01

0200

400

600
800
1000
Extended Length in mm

1200

14001600