トランスファーロッドアクセサリー【製品コード】
1) GRABSHOM8:グリッパー
2) PGRMS(OMH):ピンサー
3) PGRMS(CUSOM):カスタマイズピンサー
4) RSCRMJ40M:ギア駆動回転ストレージプラットフォーム
5) PGRMWAF:ウエハーハンドリングピンサー
6) FRKLIFT:ウエハーハンドリング＆リフティングデバイス
7) DRVRM-XXXX:ハンドホイール付手動リニアドライブ
8) RMSUPWHEEL63:トランスファーロッド用真空内サポートホイール
1)

2)

8)

9) TSRMB-XXXX:ピボットマウントシャフトチューブサポート
10) TSRMBS-XXXX:ピボットマウントシャフト高剛性チューブサポート
11) IVBR-XXXX:1軸/中空軸トランスファーロッド真空ブレーキ12) MKRMDGRS:回転止付マグネットカップリング
13) TSRMBD-XXXX:ハンドホイール(直線・回転)付ベルトドライブ
14) LRRMTSBS:チューブサポートブラケット
15) LRBR:クイックファスナー付ロックリング3)9)4) 3DOF

10)5)

11)

12)

6)

13)

7)

14)

15)

【使用例】

1)

2)

4) 2DOF

5)

6)

8)

12)

ピンサー
名称

グリッパー

ピンサー

カスタマイズピンサー

スリット

外観図
サンプルプレート

概要

製品コード

・RMJ/RMD/RMJG/RMDG2軸トランスファーロッドに適合します。
・様々なサンプルホルダーに対応できるようにカスタマイズしたピンサーにも対応できます。
・ピンサーの開閉は、トランスファーロッドの外側のマグネットアセンブリーを約1/4回転させることで行われます。
・上図は、SHOMサンプルプレートまたはマッシュルームタイプのサンプルホルダー(VGスタブ)のいずれかを掴むために使用できるハイブリッドバージョ
ンです。

GRABSHOM8

PGRMS(OMH)

PGRMS(CUSTOM)

安全な連続回転操作

ー

特注可能

開口部角度

ー

26°

特注可能

角度クリアランス(水平/垂直方向)ー±2°ーステンレス (SUS304/SUS301)
ベリリウム銅合金 (CuBe2)
チタン (Ti)

ステンレス (SUS304)
ベリリウム銅合金 (CuBe2)

ステンレス (SUS304)
ベリリウム銅合金 (CuBe2)

特⾧仕様・グリッパーにはサンプルプレートのハンドル用スリ・RMJ/RMD/RMJG/RMDG2軸トランスファーロッットが備えられています。
ドに適合します。
・グリッパーのスリットにサンプルプレートのハンド・様々なサンプルホルダーに対応できるようにカスタルを差し込んで左右いずれかの方向に90°回転させマイズしたピンサーにも対応できます。
ることで、サンプルプレートは所定の位置にカチッ・ピンサーの開閉は、トランスファーロッドの外側のと収まり、内蔵されているバネ式ピストンで静かにマグネットアセンブリーを約1/4回転させることで保持されます。
行われます。
・再び90°回転させることで、サンプルプレートを外・上図は、SHOMサンプルプレートまたはマッシュルすことができます。
ームタイプのサンプルホルダー(VGスタブ)のいず・他メーカーの同様のグリッパーとは異なり、このグれかを掴むために使用できるハイブリッドバージョリッパー(GRABSHOM8)には固定リミットストッンです。
パーがありません。従って、サンプルプレートの比較的デリケートなハンドルをねじったり、ひっくり返したりして壊してしまうようなことはありません。
・どちらの方向に回しても、1/4回転でサンプルプレートがロックされたりリリースされたりするので、ユーザーは回転方向に関係なく安全な回転操作ができます。

材料
許容加熱温度

200℃

ピンサー
ギア駆動回転ウエハーハンドリングピンサー

ウエハーハンドリング＆リフティングデバイス

概要

・RSCRMJ回転サンプルキャリアは、2軸トランスファーロッドに取り付けらフれた4xSHOMサンプルプレートストレージの連続方位角回転(360°)が可能です。
・(上図) 2DOF(X軸・Y軸)
RMJ40トランスファーロッド
・(下図) 3DOF(X軸・Y軸・Z軸)
RMJG40トランファーロッド
・サンプルを上記平面内・空間内で真空チャンバー内のほぼすべてのフランジ軸に位置合わせすることができます。
・Dicronite™ Dry Lubeコーティング
・RECOMレシーバー(バネ式)内蔵・すべての2軸トランスファーロッドと互換性のある
このピンサーは、パーキングポジションまたはストレージスタックからウエハーを直接掴むことができます。
・ピンサーの顎のFKMVITON®O-リングは、ウエハーが傷付くのを防ぐと同時にしっかりとした保持力を保証すると同時にウエハーが金属と接触するするのを防ぎます。
・ピンサーの開閉は、2軸トランスファーロッドの外側の マグネットアセンブリーを約4分の3の回転させて行います。

・ウエハーリフティングデバイスは、すべてのRMJG/RMDG磁気駆動2軸ウォブルスティックで使用できます。
・FRKLIFTリフトは、トランスファーロッドの外側の磁石アセンブリーの内側軸の回転を垂直の動きに変換します。
・適切な適切なフォークをセットすることで、半導体ウェハーは、パーキングステーションからピックアップし、移送され、別のパーキングポジションにスムーズに下げて保管させることができます。

製品コード

RSCRMJ40M

PGRMWAFFRKLIFT

名称

ストレージプラットフォーム

外観図

リフトトラベル仕様

材料
許容加熱温度±7.5mm
フルUHV適合材料【アプリケーション:2DOF】

ステンレス (SUS304L)
ベリリウム銅合金 (CuBe2)
PEEKおよびFKM
200℃

フルUHV適合材料

トランスファーロッドアクセサリー
ハンドホイール付

トランスファーロッド用

ピボットマウントシャフト

ピボットマウントシャフト

手動リニアドライブ

真空内サポートホイール

チューブサポート

高剛性チューブサポート

概要

・DRVRMは、手動駆動のリニアアクチ
ュエータ―で、特に精密な操作に使用されます。外側の磁石と連動した高精度スピンドルドライブが直線運動を制御します。
・シャフトの連続回転は、ロックネジでロック/アンロックできます。
・ブレースリニアユニットは、すべてのコンポーネントを一定した調整と安定した位置決めを保証します。

・DN63CFポートのトランスファーロッド用真空内サポートホイール
・65mmのチューブ径用・φ12mmの円筒形シャフト付トランス
ファーロッド用・チューブサポートは、外径10mmの2本のアライメント軸を備え、左/右ネジ付ピボットマウントにより、直線及び角度の調整が可能です。
・アライメント軸は、ポートアライナーと組み合わせてトランスファーロッド軸の適切な位置合わせに役立ち、同時に偶発的な曲げから保護します。

・チューブサポートは、外径16mmの2本のアライメント軸を備え、左/右ネジ付ピボットマウントにより、直線及び角度の調整が可能です。
・アライメント軸は、ポートアライナーと組み合わせてトランスファーロッド軸の適切な位置合わせに役立ち、同時に偶発的な曲げから保護します。

製品コード

DRVRM-XXXXRMSUPWHEEL63

TSRMB-XXXXTSRMBS-XXXX

スピンドルピッチ3mm

ーーー

リニアドライブ⾧

800mm

ーー

ー

アライメント軸⾧ーー

100 – 750mm

50 – 1800mm

アライメント範囲ー

ー

±10mm

±10mm

移動距離ロック機構ー

φ64.8mm - φ67mm

ーー材料

ー

フルUHV適合材料

ーーーーーー

名称

外観図

仕様

200℃

許容加熱温度オプション

・精密スケール付ハンドホイール
・1mmスケール定規ートランスファーロッドアクセサリー
名称

回転止付マグネットカップリング

1軸/中空軸トランスファーロッド

外観図

概要・2軸トランスファーロッドの安全性を考慮したマグネットカップリングです。
・後部マグネットを回転させることで挟み込みを開閉するため、トルク過負荷により精密な機械要素が損傷する可能性があります。そこで、Z軸方向の回転を120°以内に制限するストップピンを設けました。

ハンドホイール(直線・回転)付ベルトドライブ

真空ブレーキ・IVBR真空ブレーキは、垂直に取り付けられたトランスファーロッドに重要な安全対策を追加します。
・磁気カップリング及びシャフトが滑って突然落下した場合に備えて、トランスファーロッドのシャフトに制御された摩擦力を付加します。
・真空ブレーキは4本のネジで調整され、内部シャフトがどれだけ強く保持されるかを設定します。
・互換性:
RM/RMHS/RMD/RMJ/RMJG

・TSRMBDは、RM40/RMD40/GMD40トランスファーロッドを垂直方向で使用するベルトドライブです。
直線運動駆動:前面のハンドホイール
回転運動駆動:下側の小型精密ハンドホイール
・⾧い距離を素早く昇降させたい場合は、ベルトを手で引っ張るだけで使用できます。
・直線運動駆動用高速回転大型ハンドホイール:TSRMBD(BW)・トランスファーロッドの内軸には、安全のため必ずIVBR真空ブレーキの使用を推奨します。

TSRMBD
ベルトドライブ

IVBR真空ブレーキ

直線運動駆動
ハンドホイール

IVBR真空ブレーキ

仕様

製品コード

IVBR-XXXXMKRMDGRSTSRMBD-XXXX

ブレーキをかける軸径

標準:φ12mm｜特注:φ5 –φ12mmーー

必要最小リトラクト⾧

32mm

ーー

直進力

ー

～70N

ー

トルクー～5Nm

ー

ベルト駆動

ーー

直線駆動用歯付ベルト: 0mm - 2584mm

材料ー

フルUHV適合材料

ー

許容加熱温度ー

200℃

200℃ (ベルトを取り外す必要があります。)

トランスファーロッドアクセサリー
名称

チューブサポートブラケット

クイックファスナー付ロックリング

外観図

概要

製品コード

・RMトランスファーロッドの後端に取り付けます。
・ID=40mm

LRRMTSBS・クイックファスナー付ロックリングは、2つの部分で構成されているため
RMトランスファーロッド磁石を取り外すことなく、いつでも後付けすることができます。
・直線運動のエンドストップを設定するのに便利です。
・締付用ハンドルは片手で操作できます。
LRBR12778101030

15.75

Oxygen-free copper shim for 7mm shafts
M4 grub screw - adjust depth in shaft toset spring tension as required(1:1)
M3 grub screws to secure grabberhead on shaft

Sample plate not included.

Material: All UHV compatible

Grabber Tool ID 7 and ID 8 for
SHOM Plates

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 6
30 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale

2:1
Rev.

DDrawnDatechangedvon Gunten
21.09.2015
09.10.2020 MMGRABSHOM

33

22

19

150.6

26

54
78
adjustable limit stop forthe different wafer sizes

R69171036( 67.4 )3.5
35
100116.6

Ra 0.8Straight Pincer High Force
Version for Wafer
PGHFWMWAF
CH-8050 Zurich(-0.1-0.2)

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: fully UHV compatible

Ferrovac GmbH+0.2+0.1

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

1:1
Rev.

A

Drawn
Date
Changed

C.Weiss
03.05.2018............

PGHFWMWAF
A4 sheet 1/1

"4 inch Wafer"4.9 inch Wafer"6 inch Wafer
67.4

42.4

54.9

R6620R

55R7.55.

5.

75

2"2 inch Wafer

7.4

17.4

Ra 0.83Straight Pincer High Force
Version for Wafer)

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

6

PGHFWMWAF
CH-8050 Zurich(-0.1-0.2nominal
30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: fully UHV compatible

Ferrovac GmbH+0.2+0.1

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FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:1
Rev.

A

Drawn
Date
Changed

C.Weiss
03.05.2018............

PGHFWMWAF
A4 sheet 1/1

4242105Shaft diameter

56.35

±7.5

M3303291025.5

Material: all UHV compatible

Fork Lifter for RMD40(FL)FRKLIFT

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurichover 1
6up to 630
tolerance
0.05 0.1
Drawn
Scale
Date
Changednominaldimension

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FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:1

Rev. B

30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
A.Zandonella
18.09.2012
31.01.2017 CWFRKLIFT
sheet 1/1

6.5

38.5

38.75

13.5

1521(XXXX)+-10

rotation centerrotation center

Material: ....

Tube support with pivot mounted
shafts OD 10
TSRMB-XXXX

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurichover 1
6up to 630
tolerance
0.05 0.1
Drawn
Scale
Date
Changednominaldimension

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:4Rev.

A

30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
Brunner
01.04.2015............

TSRMB-XXXX
A3 sheet 1/1

38.541

Ø92536(XXXX)+-10rotation center

Material: ....

rotation center

Tube support with pivot mounted
shafts OD 16
TSRMBS-XXXX

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurichover 1
6up to 630
tolerance
0.05 0.1
Drawn
Scale
Date
Changednominaldimension

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FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:4Rev.

A

30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
Brunner
01.04.2015............

TSRMBS-XXXX
A3 sheet 1/1

8695.6

25.6

XXXX

4212021640141105

R

Linear Travel = XXXX-84

Material: ....

Belt Drive Extension For Sample
Transporter
TSRMBD(1:5)

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurichover 16
up to 630
tolerance
Drawn
Scale
Date
Changednominaldimension

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FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:1
(1:5)

Rev.

D

30 100 300 1000
100 300 1000 2000
C.Weiss
21.10.2015
22.08.2016 CWTSRMBDA3 sheet 1/1

spreadspreading jaws

23drive grub screw M8

67

215.5

6.9

18.5

64

R7ball bearing.8nominal
30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: fully UHV compatible

23In-vacuum support wheel forsample transporters for
DN63CF ports

Ferrovac
CH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

1:1
Rev.

B

Drawn
Date
ChangedD.Rechtsteiner
24.06.2014
09.12.22 CS

RMSUPWHEEL63
A4 sheet 1/1