ウォブルスティックアクセサリー【製品コード】1) TSWM-XXXX:パーキング/プロテクションレール
2) TSWMIL-XXXX:インラインパーキング/プロテクションレール
3) TSWMF-XXXX:TSWMA/TSWMDL用パーキング/プロテクションレール
4) TSWMV-XXXX:垂直用パーキング/プロテクションレール
5) TSWMPA-XXXX:角度調整付チューブサポート
6) ADOMO:オミクロンピンサーSA02-1862(STM1)用アダプター
7) ADOMO2:オミクロンピンサーGA02-1810/GA02-1119用アダプター
8) ADOMS:オミクロンストレートピンサーGA02-182用アダプター
9) TSWMA:偏向アライナー
1)

2)

9)

10)

3)

11)

12)

4)

13)

10) TSWMDL(3):偏向(3°)リミッター
11) TSWMLR:パーキング/プロテクションレールロックリング
12) BP40:フランジ(ID<38mm)アダプター
13) ZLCF63CF40WM:ゼロレングスレデュースフランジ
14) LRMD:ロックリング(ID=11mm)15) HEXKEY-XXXX:六角レンチ
16) SERKPG:ピンサーグリップ交換用ピン17) SERKWM40(S7):WM40ウォブルスティック(7mm軸)用交換ベアリング
18) SERFWMG40:WMG40ウォブルスティック工場オーバーホール
5)

14)

6)

15)

16)

7)

17)

8)

18)

【使用例】

1)

2)

3)

4)

9)

10)

11)

12)

ウォブルスティックアクセサリー
名称

インラインパーキング/

パーキング/プロテクションレール

プロテクションレール

パーキング/プロテクションレール

垂直用パーキング/
プロテクションレール

外観図

・移動範囲が⾧いウォブルスティックでは、使用していないときにオペレータ
ーが誤ってウォブルスティックのシャフトを曲げないように保護しサポートします。
・パーキングレールはウォブルスティッ
クのフランジに差し込み、操作中には引き抜きます。

・移動範囲が⾧いウォブルスティックでは、使用していないときにオペレーターが誤ってウォブルスティックのシャフトを曲げないように保護しサポートします。
・パーキングレールはウォブルスティッ
クのフランジに差し込み、操作中には引き抜きます。

・移動距離が⾧いウォブルスティックでは、使用していないときにオペレーターが誤ってウォブルスティックのシャフトを曲げないように保護しサポートします。
・レールはウォブルスティックのフランジに差し込み、操作中には引き抜くことができます。
・水平方向以外の使用でもサポート。
・TSWMA及びTSWMDL(3°)と組み合わせて使用することをお勧めします。

・垂直に取り付けられた移動距離が⾧いウォブルスティックでは、使用していないときにオペレーターが誤ってウォブルスティックのシャフトを曲げないように保護しサポートします。
・パーキングレールはウォブルスティッ
クのフランジに差し込み、操作中には引き抜きます。
・上部プレートのポケットがウォブルスティックを固定します。

製品コード

TSWM-XXXXTSWMIL-XXXXTSWMF-XXXXTSWMV-XXXX

シャフト⾧

0 – 850mm

0 – 750mm

0 – 850mm

0 – 750mm

インライン/アウトライン

インライン/アウトライン

概要

アウトライン仕様

インラインチャンバーフランジ
ボルト穴位置プロテクション範囲

ー

360°

ー

最適アプリケーション

水平

非水平

垂直

ウォブルスティックアクセサリー
名称

オミクロンピンサー

オミクロン直交ピンサー

オミクロンストレートピンサー

SA02-1862(STM1)用アダプター

GA02-1810/GA02-1119用アダプター

GA02-182用アダプター

外観図

概要

・オミクロンの古い真空システムで使用されている ・オミクロンの古い真空システムで使用されている従・オミクロンの古い真空システムで使用されている従従来のベローズシール付ウォブルスティックの寿来のベローズシール付ウォブルスティックの寿命は、来のベローズシール付ウォブルスティックの寿命は、命は、プッシュ/プル動作の回数によって制限さプッシュ/プル動作の回数によって制限されます。
プッシュ/プル動作の回数によって制限されます。
れます。
・磁気結合のおかげで、Ferrovac2軸ウォブルティッ・磁気結合のおかげで、Ferrovac2軸ウォブルスティ・磁気結合のおかげで、Ferrovac2軸ウォブルスクの寿命は⾧くなります。それらは、ほとんどフォーックの寿命は⾧くなります。それらは、ほとんどフォティックの寿命は⾧くなります。それらは、ほとスフリーで動作し、機械的損傷の影響を受けにくくなースフリーで動作し、機械的損傷の影響を受けにくく
んどフォースフリーで動作し、機械的損傷の影響っています。
なっています。
を受けにくくなっています。
・オミクロン直交ピンサーは、通常は良好な状態であり ・オミクロンストレートピンサーは、通常は良好な状態
・オミクロンピンサーは、通常は良好な状態にあり、 古いウォブルスティックから簡単に取り外せるので、であり、古いウォーブルスティックから簡単に取り外
古いウォブルスティックから簡単に取り外せるの
ADOMS/ADOMO/ADOMO2アダプターを使用して、せるので、ADOMS/ADOMO/ADOMO2アダプター
で、ADOMS/ADOMO/ADOMO2アダプターをWMG40 2軸ウォブルスティックに直接取り付けるを使用して、WMG40 2軸ウォブルスティックに直使用して、WMG40 2軸ウォブルスティックに直ことができます。
接取り付けることができます。
接取り付けることができます。

製品コード仕様ADOMO

ADOMO2

ADOMS

アダプター材料ステンレス (SUS304)

許容加熱温度

200℃

ADOMO

ADOMO2ADOMS

ウォブルスティックアクセサリー
名称

偏向アライナー

偏向リミッター

パーキング/プロテクションレール
ロックリング

角度調整付チューブサポート

外観図

概要

製品コード
偏向角

・ウォブルスティック用の位置合わせツールです。
・ウォブルスティックの軸を±8°調整するために、3本のローレットネジが使用されます。
・ICF70フランジのボルトを使用して直接取り付けられます。
・ウォブルスティックチューブを保護するために、TSWMFパーキングレールを組み合わせることをお勧めします。

・TSWMDL(3)は、WM40/WMG40
・パーキング/プロテクションレールを1軸/2軸ウォブルスティックの偏向角ウォブルティックのフランジに差し込度を3°に制限します。
んで使いますが、このロックリングを・この制限は、角度範囲を大きくすると、ウォブルスティックのフランジに取りウォブルスティックが真空チャンバー付けることで非操作時にパーキング/内の他のデバイスと衝突する可能性がプロテクションレールが外れないようある場合に役立ちます。に3本のローレットネジでロックする
・衝突防止にTSWMパーキングレールをことができます。
組み合わせることを推奨します。

・ウォブルスティックサポート構造により、ウォブルスティックを任意の角度に設定して保持するクランプ機構です。
・レバーを再度開くと、通常の操作が制限なく可能になります。
・サポートはウォブルスティックのフランジに固定していつでもアップグレードできます。
・特に移動距離が⾧いウォブルスティッ
クは、使用していないときにオペレー
ターが誤ってチューブを曲げないように、特別な注意を払う必要があります。
この場合でも、非操作時にはチューブサポート(TSWMなど)を使用することをお勧めします。

TSWMA

TSWMDL(3)TSWMLR

TSWMPA-XXXX±8°3° (設定角度特注可能)ー

任意角度設定クランプ機構

シャフト⾧ー45 - 595mm

許容加熱温度

ー

150℃

仕様

使用例

ウォブルスティックアクセサリー
名称

フランジ(ID<38mm)アダプター

ゼロレングスレデュースフランジ

ロックリング(ID=11mm)

六角レンチ

・直線回転導入機及びウォブルスティッ
ク用ロックリング(ID11mm)

・ボールヘッドアレンキーは、理想的な真空スクリュードライバーになります。
・典型的なアプリケーションは、低温実験セットアップでサンプルホルダーへのサーマルリンクを使用することです。
・WM40 1軸ウォブルスティック用です。

LRMD

HEXKEY-XXXX

ステンレス (SUS304)

アルマイト合金

アダプター:ステンレス (SUS304)
キー:ステンレス (SUS420J2)

200℃

ー200℃

内径:φ11mm

全⾧:65mm / キー:25mm

外観図

概要

製品コード

・ウォブルスティックは、下図のオーバ
・ZLCF63CF40WMのベローズとの衝ーサイズチューブを備えたICF70フラ突による損傷を避けるためフライス加ンジに取り付けられるのが理想です。
工された内側エッジは、取り付けられ・このようなフランジを使用しない場合、たウォブルスティックの全角度範囲のウォブルスティックのベローズが衝突使用を保証します。
して損傷する可能性があるため、動作・レデューシングフランジサイズ:
角度が制限されます。同時にフランジ
1) ICF63/ICF70の内径<38mmによる制限もあるため、
2) フライス加工:7mmx45°
BP40を使用することで、ベローズの損傷及び角度制限を解消することができます。
・ウォブルスティックの調整には、TSWMA偏向アライナーを推奨します。
BP40

材料
許容加熱温度ZLCF63CF40WM

1E-11mbar - 1000mbar

圧力範囲
仕様

加工寸法

φ69.5mm x 26mm

45° x 7mm

1軸ウォブルスティック:WM40
直線回転導入機:MD40
使用例

メトリック(M)サイズ:
1.5 / 2 / 2.5 / 3 / 4 / 5mm
インチ(I)サイズ:
1/16”, 3/32”, 1/8”, 5/32", 3/16”

ウォブルスティックアクセサリー
名称

1軸ICF70 ウォブルスティック用

2軸ICF70 ウォブルスティック

交換ベアリング

工場オーバーホール

ピンサーグリップ交換用ピン

外観図

仕様

概要

・スライドベアリング(グラスファイバー25%入りPTFE)は、ウォブルスティックの唯一の摩耗する部品です。
・ウォブルスティックの使用中に引っかき音が聞こえたり、異常な摩擦を感じたり、動きの滑らかさを確認することが重要です。
・摩耗したベアリングは、動作中の広範囲なガス放出の原因となりますので、上記のいずれかが発生した場合、スライドベアリングを交換します。

・スライドベアリング(グラスファイバー25%入り・コーティングプレスピン:2xDicronite™
PTFE)は、ウォブルスティックの唯一の摩耗する部
・コーティングワッシャー:4xDicronite™
品です。
・繰り返されるベーキングは、スライドベアリングのわずかな変形につながり、滑らかな運動が妨げられることで、ガス放出率が高くなる可能性があります。
・インナーベアリングとアウターベアリングのフルオーバーホールとあらゆるウォブルスティックの工場再調整を提供します。

製品コード

SERKWM40

SERFWMG40SERKPG

サービス内容ー・分解と超音波洗浄
・スライドベアリング交換(大気/真空側)
・機能検査

図面参照

材料

フルUHV適合材料

ベリリウム銅合金 (CuBe2)

洗浄UHV規格準拠

ー200℃

許容加熱温度
部品交換マニュアル
返送用必要書類

WM40マニュアル(6.2章)
ーー
Declaration of contamination of manipulatorーlinear travel +50

58.760

2.

5

M3R1R35

67adjustable

2x 7523x 40044

Material: ....

Parking Rail for Wobblestick630 100 300 1000
nominal min. 1
dimension max. 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale

Manipulators DN40CF
6x 12103003

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:1DrawnDateRevised

U. Maier
1.6.2010
.....

TSWM

sheet 1/1

1507052560666

4x 40044

68x 12103003

2x 4080

general tolerances ISO 2768-K
Material: ....

Support Rail for Wobblestick
Inline Bolt Hole Orientation

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

630 100 300 1000
nominal min. 1
dimension max. 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale

1:1DrawnDate
RevisedU. Maier
17.5.2010.....

TSWMIL
sheet 1/1

XXXX
66704812062510649
987

Ra 0.812103003+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K
Material: .....

Protection Rail for Wobblesticks
DN40CF
TSFerrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale

1:3
Rev.

C

Drawn
Datechanged

J.Steinemann04.10.2017
25.08.2021

TSWMF

1218.2

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: 1.4301

Adapter for Original Omicron
Straight Pincer GA02-182

Ferrovac
CH-8050 Zurich8516.2

7Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

5:1
THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

(2:1)
Rev.

B

Drawn
Date
ChangedB. Guebeli18.01.2010
25.10.2021 MFM

ADOMS
A4 sheet 1/2

Application example

Dual Shaft Wobblestick

ADOMS

Pincer Grip Model: GA02-182

YYYY + 55nominal
30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: 1.4301

Adapter for Original Omicron
Straight Pincer GA02-182

Ferrovac
CH-8050 Zurich

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

5:1
THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

(2:1)
Rev.

B

Drawn
Date
ChangedB. Guebeli18.01.2010
25.10.2021 MFM

ADOMS
A4 sheet 2/2

818569.5

1385

18.5

XXXX

Material: 1.4301 / 3.3206

Wobblestick port aligner tube
supportTSWMPA

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurichover 1
6up to 630
tolerance
Drawn
Scale
Date
Changednominaldimension

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:2Rev.

B

30 100 300 1000
100 300 1000 2000
D.Rechsteiner
05.04.2016
16.10.2018 vG

TSWMPAA3 sheet 1/1

A

26through holesØ 45.5

Ø 69.5

DN40CF - flange

A

Material: fully UHV compatible material

Bellows Protection for
Wobblesticks
BPFerrovac GmbHCH-8050 Zurich

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FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

over 1
6up to 630
tolerance
0.05 0.1
Drawn
Scale
Date
Changednominaldimension1:1

Rev. A

30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
Brunner
31.03.2015
.....

BP40
sheet 1/2

3915Ø 35

26

Transition piece to enable movement

Ra 0.8+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K

Material: fully UHV compatible material

Bellows Protection forWobblesticks
BPFerrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

over 16up to 630
tolerance
0.05 0.1
DrawnScale
Date
Changednominaldimension

2:1

Rev.

A

30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
Brunner
31.03.2015
.....

BP40
A3 sheet 2/2

17.5
7 x45°

Ø 113.5

Bevel to avoide
collision between
flange and bellow

M6 x11

8.4

Reducing Flange CF63CF40

Material: 1.4301

Zero Length Reducing Flange
CF63CF40 for Wobblesticks
ZLCF63CF40WM

Ferrovac
CH-8050 Zurichover 1
6up to 630
tolerance
0.05 0.1
Drawn
Scale
Date
Changednominaldimension

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:1

Rev.

B

30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
Brunner
31.03.2015
11.08.22 CS

ZLCF63CF40WM
A3 sheet 1/1

code:HEXKEY-1500
-2000
-2500
-3000
-4000
-5000
-2381
-3175
-3969
-4763

A-A
1071650

LA

type: metric/imperial
size: from chart

metric
[mm]
1.5
2
2.5
3
45
2.381
3.175
3.969
4.763

imperial[inch]
3/32
1/8
5/32
3/16

L:[mm]
2626262626
2677
777777

A

Ra 0.8Hex Key for Wobblestick)Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

HEXKEYCH-8050 Zurich(-0.1-0.2

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: fully UHV compatible

Ferrovac

+0.2
+0.1

2:1
THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

(1:1)
Rev.

D

Drawn
Date
ChangedM. Nyirö
25.06.2010
29.10.21 CS

HEXKEYA4 sheet 1/1

press pins
push-in with force
force ~150N

dry-lubricated washers

Ra 0.8Service Kit for Pincer-grip Jaw
Axles
PGWMS
CH-8050 Zurich(-0.1-0.2)

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: All UHV compatible

Ferrovac+0.2+0.1

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

2:1
Rev.

A

Drawn
Date
ChangedM. Müller
01.07.2021............

SERKPG
A4 sheet 1/1