サンプルプレートレシーバー【製品コード】※サンプルプレート/サンプルホルダーが、両サイドからの抜き差しができるようにストッパー加工がされています。
1) RECOMCREC13V2:13x電気接点付極低温サンプルプレートレシーバー (任意方向取付可能)
2) RECOMEC13:13x電気接点付サンプルプレートレシーバー
3) RECOM:サンプルプレートレシーバー

1)

2)

3)

4)

5)

6)

4) RECOMLT(CUAU):低温バージョンサンプルプレートレシーバー
5) RECOMLT(MO):温度可変バージョンサンプルプレートレシーバー
6) RECOMLTRA:背面光アクセス孔サンプルプレートレシーバ
7) RECOM3S:3xルビー球付サンプルプレートレシーバー
8) RECOMRA:背面光アクセス孔サンプルプレートレシーバー
9) RECOMDC:DC加熱サンプルプレートレシーバー
10) RECOMDCRA:背面光アクセス孔付DC加熱サンプルプレートレシーバー
11) RECURS:1”ウエハ固定サンプルプレートレシーバー
12) RECOMHTR1001S:Boralectric ™ヒーター取付用サンプルプレートレセプタクル
13) RECOMZEBH:VG電子ビーム加熱用サンプルプレートレセプタクル
7)8)

9)

10)

11)

※「GRABSHOM」で操作できません。

互換性【サンプルプレート】

SHOM

SHOM3SSHOSSHOMTCHSHOMTCHR

13)※「GRABSHOM」で操作できません。

SHOMT

互換性【サンプルホルダー】

SHOMTCH

12)

SHOMEC13

SHOM3T

SHOM4T

SHOMDCSHOMDCRA

RECOMCREC13V2:13x電気接点付極低温サンプルプレートレシーバー(任意方向取付可能)【13x電気接点付極低温サンプルプレートレシーバー(任意方向取付可能)｜製品コード:RECOMCREC13V2】■ 13個の電気接点とレバーロック機構を備えたサンプルプレート用レシーバーです。
■ 13個の電気接点を持っているため、サンプルホルダーのデバイスに配線することができますので、サンプル温度の直接測定及び抵抗加熱ができます。
■ このV2タイプは、任意の向きでインストールでき、極低温アプリケーション用として最適化されています。
■ レバーロック機構は、極低温用途のためにサンプルホルダーを冷却面にしっかりと押し付けることができます。
サンプルホルダーのロックには、2軸ウォブルスティックのピンサーを使ってロックネジを約1/4回転させることで行われます。更にロックネジを締めることで、レバー機構がサンプルホルダーの両サイドを押し、サンプルホルダーを強制的に押し下げて冷却面にしっかりと押し付けることで良好な熱接触が行われサンプルとサンプルレシーバーの温度差はわずか約2ケルビンになります。
■ サンプルホルダーのロード・アンロードとレバーロック機構操作用ロックネジの操作につきましては、下図をご参照ください。

【13x電気接点付モリブデンサンプルホルダー｜製品コード:SHOMEC13(MO)】■ SHOMEC13(MO)には、デバイス配線用13個の電気的高品質スプリングコンタクトが取り付けられたAlN(窒化アルミニウム)アイソレーターが搭載されています。
■ AINアイソレーターのスリットにDT-670シリコンダイオード温度センサー、熱電対、Pt100抵抗体の取付が可能です。

【サンプルホルダーの固定・圧着】
ピンサー付2軸ウォブルスティック
製品コード:WMG40-XXXX-YYYY-PGWMS(OM)

ロッキングネジへのアクセス

ロッキングネジのロック【サンプルホルダー圧着】

グリッパー付1軸ウォブルスティック/1軸直線回転導入機
製品コード:WM40-XXXX-YYYY-GRABSHOM/MD40-XXXX-YYYY

ウォブルスティックの解除

SHOMEC13(MO)RECOMCREC13V2SHOMEC13(MO)レバーロック機構
操作用ロックネジ

ロッキングネジのロック【サンプルホルダー圧着】

グリッパーの解除

13本xミニチュア同軸ケーブル(50Ω)(In-vacuum connector)

RECOMCREC13V2

レバーロック機構
グリッパー

RECOMCREC13V2:13x電気接点付極低温サンプルプレートレシーバー(任意方向取付可能)
13x電気接点付極低温サンプルプレートレシーバー (任意方向取付可能)

名称

概要

製品コード

RECOMCREC13V2

電気接点数

13個

温度範囲

～10K～500K（達成可能な最低温度はクライオセットアップと熱シールドに依存します）

材料仕様

・13個の電気接点を持っているため、サンプルホルダーのデバイスに配線することができますのでサンプル温度、抵抗加熱の直接測定ができます
・サンプルホルダーのロックには、2軸ウォブルスティックでピンサーを使って約1/4回転させることで行われます。更にロックネジを締めることで、レバー機構がサンプルホルダーの両サイドを押し、サンプルホルダーを強制的に押し下げて冷却面にしっかりと押し付けることで冷却面への熱接触が改善され、サンプルとサンプルレシーバーの温度差はわずか約2ケルビンになり、極低温アプリケーション用として最適化されています。
・上記サンプルのロード/アンロードとロックネジの操作には、WMG40-PGMWS(OM)ピンサー付2軸ウォブルスティック が必要です。
(WM40-GRABSHOMグラバー付1軸ウォブルスティックを使用することはお勧めしません。)

位置固定球

3xルビー球

電気接点

非磁性Ni-P金メッキベリリウム銅合金 (CuBe2)

本体

非磁性Ni-P金メッキ2.1247ベリリウム銅合金 (CuBe2)

冷却体

非磁性Ni-P金メッキ2.0040無酸素銅

アイソレーター

PEEK

シールドキャップ

非磁性Ni-P金メッキ2.1247ベリリウム銅合金 (CuBe2)

バネステンレス (SUS316Ti)

ネジ

ステンレス (グレードA2以上)

サンプルホルダー

SHOMEC13(MO)/SHOMEC13(MO-DT)(電気接点のないすべての一般的なサンプルプレート)

配線キット

配線は含まれておりませんので、事前設定済の工場配線ケーブルセットの使用を強く推奨します。

取付方向

このリリースV2は、サンプル面を任意の方向に取り付けることができます。

サンプルホルダー:SHOMEC13(MO)RECOMEC13:13x電気接点付サンプルプレートレシーバー
名称

13x電気接点付サンプルプレートレシーバー (SUS製)

3個の位置決めルビー球

13x電気接点付サンプルプレートレシーバー (CuBe2製)
SHOMEC13(MO)サンプルホルダー

アイソレーター

ルビー球プリロード用板バネ

外観図

ハウジング

シールドキャップ

概要

・RECOMEC13(ST)サンプルプレートレシーバーには13個x電気接点が用意されています。
・RECOMEC13(ST)サンプルプレートレシーバーの3個のルビー球とSHOM3Sスリット付サンプルプレートの3個のスリットで高精度で位置決めを再現し、板バネでプリロードされた2個のルビー球が上から押さえるようになっています。

・RECOMEC13(CB)サンプルプレートレシーバーには13個x電気接点が用意されています。
・RECOMEC13(CB)サンプルプレートレシーバーの3個のルビー球とSHOM3Sスリット付サンプルプレートの3個のスリットで高精度で位置決めを再現し、板バネでプリロードされた2個のルビー球が上から押さえるようになっています。

製品コードRECOMEC13(ST)RECOMEC13(CB)

電気接点数

13個

位置固定球

3個xルビー球

プリロード球2個xルビー球

最高温度

200℃
電気接点
本体仕様
材料

オプション:
同軸ケーブル

非磁性Ni-P金メッキベリリウム銅合金 (CuBe2)
ステンレス (SUS304)

ベリリウム銅合金 (CuBe2)

アイソレーター

PEEK

シールドキャップ

ベリリウム銅合金 (CuBe2)

板バネ

ステンレス (SUS316L)

モリブデン (MO)

ネジ

ステンレス (グレードA2以上)

モリブデン (MO)

サンプルホルダー
同軸ケーブル配線キット

SHOMEC13(MO)オプション:IVWCOAXEC13UNT

サンプルプレートレシーバー
低温バージョン

スタンダードバージョン

名称温度可変バージョン

背面光アクセス孔

3xルビー球バージョン

外観図「GRABSHOM」
で操作できません。

背面光アクセス孔

製品コード

RECOM(CB)

RECOM(MO)RECOM(ST)RECOM(TA)RECOM(TI)

RECOMLT(CUAU)

RECOMLT(MO)

RECOM3S(CB)

RECOM3S(MO)RECOM3S(ST)

RECOM3S(TA)RECOM3S(TI)

RECOMRA

本体材料

ベリリウム銅

モリブデン

ステンレス

タンタル

チタン

金メッキ無酸素
高純度銅

モリブデン

ベリリウム銅

モリブデン

ステンレス

タンタル

チタン

特注可能

最高温度

500℃

2000℃

450℃

2000℃

800℃

500℃

~2000K

500℃

2000℃

450℃

2000℃

800℃

〇

表面処理

〇

〇

〇

〇

〇

〇

〇

〇

〇

〇

〇

〇

〇

非磁性〇

〇ーー〇

〇

ーーーーーー〇

極低温〇ーーーー〇〇 (<4K)ーーーーー〇

位置固定球

2xルビー球2xルビー球

2xルビー球2xルビー球2xルビー球2xルビー球2xルビー球3xルビー球3xルビー球3xルビー球3xルビー球3xルビー球

4xルビー球板バネ材料

ベリリウム銅

モリブデン

ステンレスモリブデン

モリブデン

ベリリウム銅

モリブデン

ベリリウム銅

モリブデン

ステンレスモリブデン

モリブデン

〇

背面光アクセス孔ーーーーーーーーーーーー

D=9mm（１）RECOMLT(CUAU)（低温バージョン）
・非磁性Ni-Pに金メッキを施した無酸素高純度銅(OFHC)Cu-OFE製サンプルレシーバーは、SHOMサンプルプレートとの良好な熱接触に最適化されています。
・極低温アプリケーション用サンプルレシーバーとして、2つのルビー球がSHOMサンプルプレートをハウジングの冷たい表面に押し付けています。 金メッキと高品質の表面により、SHOMサンプルプレートへの良好な熱接触が保証されます。
（２）RECOMLT(MO)（可変温度バージョン）
・温度可変アプリケーション用レシーバーです。
・1000K以上で使用する場合は、レシーバーに溶融付着される恐れのあるMo製SHOMサンプルプレートを使用しないで下さい。タングステン、タンタル、アルミナ材料を選択して、付着を防ぐようにして下さい。
・融点が2900Kのモリブデンは、高温用途に最適な材料です。 一方、高熱伝導率と低膨張係数により4K未満の非常に低い温度での実験にも理想的な選択肢です。
・2個のルビー球がSHOMサンプルプレートをレシーバーの低温または高温の表面に押し付けています。 モリブデンの高い熱伝導率と優れた表面品質により、SHOMサンプルプレートとの良好な熱接触が保証されます。

（３）RECOM3S（3xルビー球バージョン）
・SHOM3S3スリット付サンプルプレートの正確で特に再現性のある位置決めのために作られています。 ル
ビー球体は、適切な3点接触によりサンプルの位置を固定します。
（４）RECOMRA（背面光アクセス孔付）
・特定の実験では、SHOMサンプルプレートへの背面アクセスが必要です。 中央の開口部(貫通孔:φ9mm)
は、サンプルプレートの電子衝撃またはレーザー加熱も可能にします。SHOMサンプルプレートは、板バネによってサンプルプレートの底面に押し付けられる4つのルビー球体によって固定されています。
（５）表面処理:オプション
・Dicronite™ (WS2) Dry Lubeコーティング
付着及び焼付の影響を減らすために、オプションでコーティングすることができます。

サンプルレシーバー:Thermal Interface Area(熱界面領域)【RECOM:スタンダードサンプルレシーバー】■ サンプルプレートは、板バネによってサンプルプレートの背面に押し付けられる2つのルビー球で固定されています。(上図接触面:赤色部)■ 補足説明:1) サンプルレシーバーは、Dicronite ドライ潤滑コーティングすることで固着や摺動性の不具合を軽減できます。
2) 本体材料:
・ステンレス鋼(ST)・チタン(TI)
・ベリリウム銅(CB)・モリブデン(MO):高温バージョン・タンタル(TA):高温バージョン【RECOMLT:温度可変・低温バージョンサンプルレシーバー】■ サンプルプレートは、モリブデン製板バネによって2つのルビー球を介してサンプルレシーバーの高品質表面(冷却表面:<4Kまたは高温表面:~2000K)に押し下げられ、良好な熱接触が確保されます。(上図接触面:赤色部)■ 補足説明:1) 温度可変バージョン｜製品コード:RECOMLT(MO)・融点が2900Kであるモリブデンは、高温アプリケーション向けの優れた材料です。一方、高い熱伝導率と低い膨張係数もあり、非常に低い温度(4K以下)での実験にも理想的な選択肢となります。
・1000K以上で使用する場合、モリブデン製サンプルプレートがサンプルレシーバーに非常に高い確率で、溶着される可能性がありますので、使用しないことを強く推奨します。
・サンプルプレートが溶着しないように、タングステン、タンタル、またはセラミック材料を選択してください。
・サンプルレシーバーは、Dicronite ドライ潤滑コーティングすることで固着や摺動性の不具合を軽減できます。
2) 低温バージョン｜製品コード:RECOMLT(CBAU)
・非磁性のリン酸ニッケルに金メッキが施されたベリリウム銅製サンプルレシー
バーで金メッキと高品質の表面がサンプルプレートとの良好な熱接触を最適化しています。

DC加熱サンプルプレートレシーバー
名称

DC加熱サンプルプレートレシーバー

背面光アクセス孔付DC加熱サンプルプレートレシーバー
配線ワイヤー用
絶縁コンタクトレール

配線ワイヤー用
絶縁コンタクトレール

外観図

概要

製品コード
位置固定球仕様・Si(7x7)再構成のような清浄な半導体表面を準備するために、SHOMDCサンプルプレートのDC加熱用に2x大電流電気接点を備えています。
・RECOMDCは、必要なレシーバーに、ワイヤーを取り付けるための絶縁されたコンタクトレールを提供します。
・RECOMDCVTRAは、ハウジングの片側を平らにして冷却ブレードを取り付けます。(下図の矢印 をご参照ください。)
RECOMDCRECOMDCRA

2xルビー球

4xルビー球本体材料

ステンレス (SUS304)

アイソレーター材料

シェイパルM (AIN)

板バネ/ネジ材料

モリブデン (MO)

背面光アクセス穴
配線ワイヤー取付ーD=φ9mm
絶縁コンタクトレール
DC加熱サンプルプレート:SHOMDC

適合サンプルプレート

アース接点付DC加熱サンプルプレート:SHOMDC(N)サンプルプレートレシーバー
名称1”ウエハ固定用大型サンプルプレートレシーバー

外観図

概要

・SHUPSCHサンプルプレート用のRECUPSサンプルプレートレシバーは1つのブロックから製造されています。サンプルプレートは、板ばねによってサンプルプレー
トの背面に押し付けられている2つのルビー球によって固定されています。
・このレシーバーはステンレスでできています。他の 材料で作られたバージョンもご利用いただけます。

製品コードRECUPS

位置固定球

2xルビー球本体材料

ステンレス (SUS304)

板バネ材料

モリブデン (Mo)

背面光アクセス開口部

D=φ12mm
SHUPSCH
1”ウエハ固定サンプルプレート

参考図抵抗ヒーター用サンプルプレートレセプタクル

外観図

概要

・RECOM(MO製SHOMサンプルプレート用レシーバー)をBoralectric 抵抗ヒーターの上に直接取付けて加熱ステージを簡単に構築できるアダプターです。
・GRABSHOMグリッパーでは操作できません。

製品コードRECOMHTR1001S

組付用ヒーター(オプション)仕様

丸形ヒーティングBoralectric 抵抗ヒーター(組立ネジオプション)

位置固定球

4xルビー球本体材料

モリブデン (MO)

板バネ材料

モリブデン (MO)

構造材料

フルUHV適合材料
SHOMサンプルプレート【Boralectric 抵抗ヒーター:標準タイプ】【製造メーカー】ドイツ国Tectra社【製品コード】 HTR-1001
・外形寸法:約25mm x 35mm・抵抗@室温:7.4 - 10.1 Ω

組付図

・電圧:35 V
RECOMHTR1001S

HTR-1001
Boralectric 抵抗発熱体

・標準消費電力:220 W
・最大電流:8 A
・標準厚さ:1.40 ± 0.25mm
・標準平坦度:1.0/100

VG-Omniax EBヒーター用サンプルプレートレセプタクル
SHOMサンプルプレート

外観図

概要

仕様

・VG-Scienta製E-ビームヒーター(ZEBH)に変更を加えることなく適合するように設計されています。
・2つのセラミックシリンダーをホルダー表面に押し付けてサンプルを所定の位置に保持します。

製品コードRECOMZEBH

組付用ヒーター

高温バージョン (<2000℃)

本体材料

モリブデン (Mo) / 非磁性

10.1~824.4
10M22x1030.7

4.1

2x2.

3

resulting force
rotate to fix

Ra 0.8

Cryo Sample Receiver with 13
electrical Contacts
RECOMCREC13S
CH-8050 Zurich(-0.1-0.2)

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: All UHV compatible

Ferrovac GmbH+0.2+0.1

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IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

2:1
Rev.

B

Drawn
Date
ChangedC.Weiss
18.04.2018
09.05.2019 JB

RECOMCREC13A4 sheet 1/2

PGWMS2.756.99.8

SHOMEC1324.4
102x M22xGRABSHOM

2.21025.7

rotate to fix

both manipulation axes need to be parallelZ

resulting forcenominal
30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: All UHV compatible

Cryo Sample Receiver with 13
electrical Contacts, mounting inarbitrary orientation

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

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Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

2:1
Rev.

B

Drawn
Date
ChangedM. Müller
26.01.2021
23.06.21 CWRECOMCREC13V3
A4 sheet 1/1

1419 .5 8

7.2

2.1

1.2

1

6.05

1

1.4

3

1.6

0.45

A-A8

max. oute r cabe l

0. 8

90

min . oute r cabe l

0.6 5

cross section max .

0. 2

18.5

D(4:1)

24.4
10D

10

2.2

R3

4

7.5

scale 5:1

M2

8.0 3

12.1

CACAC-C

22Ra 0.8+0.2+0.1(-0.1-0.2

Ra 0.8)general tolerances ISO 2768-K

all materials uhv compatible

nominaldimension

Receiver for SHOMEC13tolerance

160.05

ScaleDrawn

Material:

Slim Version
with 13 electrical contacts

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

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5:1
Rev.

C

overup to+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K

6300.1

Date
Changed30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
C.Weiss21.06.2017
10.10.2018 CWRECOMEC13
sheet 1/2

Material:

all materials uhv compatible

nominaldimension

Receiver for SHOMEC13tolerance
Scalewith 13 electrical contacts

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

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2:1
Rev.

C

overup to1
60.05

630
0.1

Drawn
Date
Changed30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
C.Weiss
21.06.2017
10.10.2018 CWRECOMEC13sheet 2/2

155.64.8 51151010A

B-B

B
A

A

A-A

2,3A-A

B-B

17M2

2.5(2x)

2

3.1

2.2

1.2M2B4A

1.2

4,318.5

21.5

16101021,518.5

BB

Ra 0.8+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K

Material:

according to order

Receptacle for SHOM sample plates

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurichtolerance

160.05

Scale

Drawn

nominaldimension

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5:1

overup toDate
Revised6300.130 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
M. Nyirö
11.10.2010
14.12.2010 MNRECOM
sheet 1/2

Material:....

nominaldimension

Receptacle for SHOM sample plates

tolerance
ScaleRECOMLTFerrovac GmbHCH-8050 Zurich

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5:1(2:1)
Rev.

B

overup to160.05

6300.1Drawn
Date
Changed30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
C.Weiss
08.03.2015
07.02.2017 CWRECOMLTsheet 1/1

18.5

Application Example

1.6

Ra 0.8Three-Point Drawer Style
Receivers for Flag Style Plates
RECOM3S
CH-8050 Zurich+0.2+0.1(-0.1-0.2)

nominal30mm DIN ISO 2768-f-H
dimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

Material: ....

Ferrovac GmbH

21.45

19.5

A(2x) M23

15.5

AA-A

3.26

10SHOM3S

4 (2x)

5.75

RECOM3S

2.2 (2x)21.5(flag style sample plate not incl.)

1.6

0.415.66.5

15.3

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Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

2:1
Rev.

A

Drawn
Date
ChangedD.Sutter
02.04.2014
05.05.2021 CWRECOM3S
A4 sheet 1/1

1.6

15
21.5

10

11.5

M

2

4.85

9x4
10

A

M2

B

1610

21,522156.5

B

18.52x

2.4

3.1

A-A

4,3

A

1,2

163.1

1.3

3.2

1.24.85

1.8

18.5
M2

B-B
Material:

according to order

tolerance

160.05

ScaleDrawn

nominaldimension

Receptacle with rear access for SHOM
sample plates
RECOMRA

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

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5:1

overup to6300.1

Date
Revised30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
M. Nyirö
04.01.2011.....

RECOMRAsheet 1/2

Material:

2,3gemäss Bestellung

NennmassReceptacle for SHOM sample plates

Toleranz
MassstabRECOM(SM2ST)

Ferrovac
CH-8050 Zürich

GmbH5:1

überbis1
60.05

630
0.1

gezeichnet
Datum
geändert

30 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
Denys Sutter
18.03.2010
22.12.2010 MN

RECOM(SM2ST)
1/2

Application Example

28sample15

1 power wire

sample plate for direct current heatingproduct code: SHOMDC or SHOMDC(N)

18.5

optional GND connection screw

1.2

8.55

2.6

16
13.45

2.2 (2x)M2 (2x)powerconnection 1powerconnection 2

from power connection 1to power connection 2

RECOMDC + SHOMDC

current flow
RECOMDC + SHOMDC(N)10from power connection 1 or 2 throughsample plate and receiver to GND

Ra 0.8Material: 1.4301, Mo, Shapal M, Ruby

Receiver for DC-heating

CH-8050 Zurich)

Sym./Runout >30mm DIN ISO 2768-H
formed part
DIN ISO 2768-f-H
dimensions

Scale

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(-0.1-0.2nominal
30mm DIN ISO 2768-f-Hdimensions >30mm DIN ISO 2768-m-K excluding Sym./Runout

RECOMDC

Ferrovac GmbH+0.2
+0.1

2:1
Rev.

A

Drawn
Date
Changed

C.Weiss
15.12.2020............

RECOMDC
A4 sheet 1/1

4.8 5

3429

A

31.5

34.5

B

2537

B

A-A

A

4.3
2.3

M2

Material:

12

according to order

3.1

1.2

B-B

nominaldimension

Receptacle for SHUPS sample plates

tolerance
Scale

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN THISDRAWING IS THE SOLE PROPERTY OF
FERROVAC GMBH. ANY REPRODUCTION
IN PART OR AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

5:1

overup to1
60.05

Drawn
DateRevised

6300.130 100 300 1000
100 300 1000 2000
0.3 0.5 0.8 1.2
C.Weiss
06.12.2017...

RECUPS
sheet 1/1

1.2
3.1

4.9

18.5

RECOMHTR1001S

21.5

32.5
28.2
14.1

18

Boralectric resistive heating element not included

259182292.3

Ra 0.8+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K

2.

28.2
35.2

Material: fully UHV compatible

3Receptacle for SHOM sample
plates
6.9

RECOMHTR1001SFerrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2
Drawn
D.Rechsteiner
Scale

1:2
Rev.

A

Date
changed07.03.2014...........

RECOMHTR1001S
sheet 1/1

27
18.3
15

1.2

1.15

3M1.4x2 Mo

4838
3.5
3.5

32

791.5

1215

1.5+0.2+0.1

Ra 1.610.
001.
03 ++35.

.

R

general tolerances ISO 2768-K

2414-0.1-0.2

Material: Molybdenum

Receptor for Omicron Plates on
VG-Scienta E-Beam HeaterFerrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale

5:1(2:1)

Drawn
Date
RevisedU. Maier24.11.2010
3.12.10 UM

RECOMZEBH
sheet 1/1