ロードロックシステム【FastLoaderCube 直線回転導入機付UHVロードロック】
・FastLoaderCubeモジュラーロードロックシステムは、3xICF114と3xICF70のタップ付フランジを備えた6方キューブをベースにしています。アクセサリーパッケージにより、ビルディングブロックスタイルでオーダーメイドのロードロック構成を構築することができます。
・ガイドレールに取り付けられた直線回転導入機により、サンプルを素早く簡単に導入できます。直線回転導入機は、KF70で密閉されています。バルクヘッドクランプが搭載されているため、ワンタッチでフランジの開閉が可能です。
また、RECOMSTACKやRSC4(OM)など、豊富なサンプル収納アクセサリーもご用意されています。
・直線回転導入機とガイドレールの直線移動範囲(XXXXmm)を、自由に設定することができます。
【製品コード】FL40X63A

構成:
・P1 ICF70 トランスファーポート:- ミニUHVゲートバルブ(VATシリーズ10)- ストレートアダプター(L=60mm)
・P2 ICF114 トップポート:- ビューポート・P3 ICF70 マニピュレーターポート:- KF40 直線回転導入機- バルクヘッドKF-クイックコネクター- リニアガイドレール付アダプタフランジ
・P4 ICF114 サイドポート:- ビューポート・P5 真空計ポート・P6 ポンプポート
・アニール銅ガスケット
・オプション:-直線回転導入機エンドエフェクター-サンプルプレートストレージスタック【球状UHVチャンバー】
・製品コード:CB633XCF63T3XCF40T
・球状キューブは、UHVロードロックシステムを構築するのに最適です。
この特定のキューブは、3つのICF114および3つのICF70のポートを備えています。ICF114ポートは、ポンプ、クイックアクセスドアの取付、サンプルの保管、ビューポートに使用され、ICF70ポートは搬送マニピュレーター、ゲートバルブ、真空ゲージに使用されます。

仕様:
・トランスファーポート:IDF70
・ポンピングポート:ICF114
・高速エントリーポート:FKM-O-リングシール
・KODIALビューポート:ICF70
・チャンバー材料:ステンレス鋼AISI 304L
・ビューポートフランジ材料:ステンレス鋼AISI 304L
・バルブアダプター材料:ステンレス鋼AISI 340L
・リニアトラベル(XXXXmm):カスタマイズ可能・許容加熱温度:200℃
・Heリークレート:<1E-9 mbar*l*s-1

ロードロックシステム【FastLoaderCube UHVロードロックターンキーシステム】■ FL40X63B FastLoaderCubeロードロックシステムは、完全なターンキーシステムで、Ferrovac社の幅広いサンプルハンドリングソリューションを使用してロードロックシス
テムを構築する方法の一例を示しています。
この構成では、すべてのポンピング装置と真空測定装置、プログラマブル制御ユニットが含まれており、真空レベルを測定し、ポンピングとベントのサイクルを完全に制御するようにあらかじめ設定されており、すぐに使用することができます。
【構成】
・P1 ICF70 トランスファーポート:- ICF70 ミニUHVゲートバルブ(VATシリーズ10)- ポートアライナー(L=60±3 mm)
・P2 ICF114 トップポート:- 2xICF34 サイドポート(照明/予備)付ICF70-ICF114 変換フランジ- 6xサンプルプレート用ストレージスタック付ICF70 垂直リフト- USB充電ケーブル付S1R Baton II LEDランプ
・P3 ICF70 マニピュレーターポート:- GRABSHOM グリッパー付ICF70 直線回転導入機
・P4 ICF114 サイドポート:- QAD63 O-リングシールクイックドア
・P5 ICF70 真空計ポート:- Pfeiffer PKR361 広域真空計
・P6 ICF114 ポンプポート:- Pfeiffer HiPace80 ターボ分子ポンプ(保護グリッド付)
・PUM013 メンブレンポンプ
・LSC1 真空システム用コントロールユニット
・フルケーブルセット
・ファスナー/アニール銅ガスケット【球状UHVチャンバー】【製品コード】CB633XCF63T3XCF40T■ 球状キューブは、UHVロードロックシステムを構築するのに最適です。
この特定のキューブは、3つのICF114および3つのICF70のポートを備えています。ICF114ポートは、ポンプ、クイックアクセスドアの取付、サンプルの保管、ビューポートに使用され、ICF70ポートは搬送マニピュレーター、ゲートバルブ、真空ゲージに使用されます。

【高速エントリーロードロック】高速エントリーロードロック

外観図概要

ヒンジ式クイックアクセスドア

ヒンジ式クイックアクセスドア

ヒンジ式クイックアクセスドア

着脱式クイックアクセスドア

製品コードKS40-MD16-TSMD-XXXX-YYYYY

KS63-MD16-XXXX-YYYYY

KS100-MD16-XXXX-YYYY

KS100(RD)-MD16-TSMDXXXX-YYYY

取付フランジ

ICF70

ICF114

ICF152

ICF152

・ICF34ポート付クイックアクセスドア(Oリング)
・取付ポート(ICF70回転:貫通)・排気ポート(ICF70回転:タップM6)・真空計ポート(ICF70回転:タップM6)
・ビューポート(ICF70固定:タップM6)

ポート

仕様

ストローク⾧ (XXXX)

最小:250mm
標準:10– 750mm

最小:250mm
標準:10 - 400mm

最初:250mm
標準:10 - 750mm

標準:250mm
特注:0 - 450mm

リトラクト⾧ (YYYY)

標準:30mm
特注:15 – 250mm

標準:30mm
特注:15 – 250mm

標準:30mm
特注:15 – 250mm

標準:30mm
特注:15 – 250mm

最大サンプル直径

φ35mm

MD16(ICF34) 直進力30N

MD16(ICF34) トルク0.5Nm

許容加熱温度

150℃

圧力範囲<1x10E9mbar*l/s

構造材料

フルUHV適合材料/本体＆フランジ:SUS1.4301(AISI 304L)

8114
67756710841384867

linear travel XXX

linear travel +212

DN40CF, rot, tapped M6
DN40CF, rotatable, tapped M6
TSKS

DN40CF, fixed, tapped M6

Ra 1.6

MD16+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K

DN40CF, rot, tapped M6

Material: 1.4301

KS40-MD16 Load Lock Chamber

Scale

KS40-MD16Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 6
30 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:5

Drawn
B.MoserDate...
Checked Date
KS40-MD16
sheet 1/1

129
C

XXX+84.5

38

67

linear travel xxx

134

66

3867

46

C
3875

DN63CFrotatableclear holes

122

DN40CFrotatable
tapped M6

welding general tolerances ISO 13920-A
all welds TIG
all welds on vacuumside, except reinforcements
surfaces glass ball blasted, except knife edges
ultrasonically cleaned
He-leak rate <= 1x10-9 mbar x l x sec-1
all flanges capped with plastic lids
no manufacturer labelling!

Ra 1.6+0.2+0.1(-0.1-0.2)

general tolerances ISO 2768-K
Material: 1.4301

DN40CFrotatable
tapped M6

DN40CF
fixed
tapped M6

KS63-MD16 Load Lock Chamber
MD16(RL)

Scale

KS63-MD16

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

630 100 300 1000
nominal over 1
dimension up to 6
30 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:2

Drawn
Date
CheckedB.Moser...
Date

KS63-MD16
sheet 1/1

8111

67
71

67

48

108 x267

linear travel XXX

linear travel +208
DN40CF, rot, tapped M6

8TSKS

DN100CF, fixed, throughhole

MD16
DN40CF,fixed, tapped M6

8 h9

M4+0.2+0.1(DN40CF, rot, tapped M6)

general tolerances ISO 2768-K
Material: 1.4301

KS100-MD16 Fast Entry Load Lock

630 100 300 1000
nominal min. 1
dimension max. 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

Scale

YYY-0.1-0.2

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:2

Drawn
Date
RevisedU. Maier
5.7.2010.....

KS100-MD16
sheet 1/2

linear travel=XXX

67

DN40CF,rotatable,
tapped

DN100CF,
fixed,
clear holes

DN40CF,
fixed,
tapped3867

MD16

DN40CF,rotatable,
tappedKS100(RD)

71
111
119

XXX+89

874

104

152

3.5

M48101A (2:1)A
Material: fully UHV compatible

630 100 300 1000
nominal min. 1
dimension max. 630 100 300 1000 2000
tolerance ± 0.05 0.1 0.3 0.5 0.8 1.2

KS100(RD)-MD16

Scale

Fast Entry Lockretracted length=YYY

Ferrovac GmbHCH-8050 Zurich

THE INFORMATION CONTAINED IN
THIS DRAWING IS THE SOLE
PROPERTY OF FERROVAC GMBH.
ANY REPRODUCTION IN PART OR
AS WHOLE WITHOUT OURPERMISSION IS PROHIBITED.

1:2Drawn
Date
RevisedM. Nyirö
13.07.2010.....

KS100(RD)MD16