モーター駆動トランスファーロッド
■ トランスファーロッドを電動化することで、確実で安全かつ正確な移動、位置決め、ハンドリングを実現します。
■ Ferrovac社製モーター駆動トランスファーロッドは、微細なステップ分解能と頑丈な構造という必要な条件を備えています。
■ 異なるユーザーが操作する場合、自動化は特に有利であり、貴重な作業時間を節約することもできます。
■ 右写真(下)は、RMトランスファーロッド用モーター駆動リニアロータリードライブです。モーター駆動により、シャフトの自動的かつ再現性のある伸展が可能です。回転運動は手動で行います。
■ 左写真(下)は、SHOMサンプルプレート用ピンサーを備えた2軸2回転ICF70 トランスファーロッド用モーター駆動リニアロータリードライブです。 各シャフトを個別に回転させることで、ピンサーを開閉したり回転させたりできるため、ピンサーの操作性が向上します。

【製品コード】1) DRVRMOTL-XXXX:1軸1回転ICF70トランスファーロッド用モーター駆動リニアドライブ
2) RM40-0500-0030-DRVRMOTL:1軸1回転ICF70トランスファーロッド用モーター駆動リニアドライブ
3) DRVRMOTLR-XXXX:1軸1回転ICF70トランスファーロッド用モーター駆動リニアロータリードライブ
4) DRVRMOTLRR-XXXX:2軸2回転ICF70トランスファーロッド用モーター駆動リニアロータリードライブ
5) RMDG40-XXXX-YYYY-DRVRMOTLRR-PGRMS(OMH):PGRMS付2軸2回転ICF70トランスファーロッド用モーター駆動リニアロータリードライブ【国内納入例】
広島大学:HiSOR
2軸2回転ICF70 トランスファーロッド用
モーター駆動リニアダブルロータリードライブモーター駆動トランスファーロッド
ピンサー付2軸2回転ICF70トランスファーロッド用モーター駆動リニアロータリードライブ

名称

外観図
ピンサー

概要

・RMDG40-DRVRMOTLRR-PGRMS(OMH)は、内軸と外軸を独立して回転させることができる2軸2回転トランスファーロッドで、モーター駆動リニアダ
ブルロータリードライブとSHOMサンプルプレート用ハードグリップピンサーを備えています。
・高精度モーター駆動リニアダブルロータリードライブはRMDG40-PGRMS(OMH)の外側マグネットに連結されており、直線運動を制御します。リニアド
ライブのガイドに取り付けられた２つのステッパーモーターが、それぞれ内側シャフト及び外側シャフトの独立した回転を制御します。各シャフトの別々の回転は開閉/回転させることで、PGRMS(OMH)ピンサーの操作を可能にします。頑丈な直線ユニットは、すべてのコンポーネントの安定したアラインメン
トと一貫した位置合わせを保証します。ベーキングのためにモーター駆動リニアダブルローターリードライブを取り外さなければなりません。
RMDG40-XXXX-YYYY-DRVRMOTLRR-PGRMS(OMH)

製品コード

ピンサー付2軸2回転ICF70 トランスファーロッド仕様

注文コード

モーター駆動リニアダブルロータリードライブ

直進力

70N

リニアユニット

トルク

5Nm

精度

許容加熱温度

200℃

許容リーク量ロータリーユニット±0.1mm/300mm

最大回転速度

60°/秒

歯付ベルト減速比

1:1

最小ステップサイズ

100~0.0003°<1*10E-10mbar*l/s

スピンドルピッチ3mm

ウォームギア

1:100

1E-11mbar – 1000mbar

2xエンドスイッチ

前部:調整型
後部:固定型

2xエンドスイッチ

調整型(0-360°)

サンプルプレート自由度±2° (水平及び垂直)ステッパーモーター

構造材料

フルUHV適合材料

電圧

圧力範囲

リニアドライブ(1個):ロータリードライブ(2個):

ST5918L1008

ST2818L1006-A

8.8VDC

4.37VDC

ストローク⾧ (XXXX)

300/500/750/1000mm/特注

電流/位相

1.0A

0.95A

リトラクト⾧ (YYYY)

最小90mm抵抗/位相8.8±10%Ω

4.6±15%Ω

ストローク⾧ (XXXX)
リトラクト⾧ (YYYY)

・RMDG40-1000-0095-DRVRMOTLRR-PGRMS(OMH)
XXXX=1000mm
YYYY=95mm

保持トルク

1.32Nm

0.09Nm(ギアユニット無し)

ステップ角1.8°±5%1.8°±5%

モーター駆動トランスファーロッド
名称

1軸1回転ICF70トランスファーロッド用モーター駆動リニアドライブ

外観図RM40-0500-0030-DRVRMOTL

概要

・DRVRMOTLは、モーター駆動リニアドライブです。
・モーター駆動リニアドライブが、外側の磁石に結合されており、直線運動を制御します。
・頑丈なモーター駆動リニアドライブは、すべてのコンポーネントの安定したアライメントと一貫した位置決めを保証します。
・RMトランスファーロッドは、このオプションを装備することができます。
・ベーキングのためにモーター駆動リニアドライブを取り外さなければなりません。
DRVRMOTL-XXXX

製品コード

モーター駆動リニアドライブ
リニアユニット仕様

注文コード

リニアユニット用ステッパーモーター

外形寸法

95 – 1366mm

データシート精度±0.1mm/300mm

電圧ST5918L2008
8.8VDC

許容加熱温度

200℃

電流/位相2.0A

歯付ベルト減速比

1:1

抵抗/位相

8.8±10%Ω

回転運動

手動

保持トルク

1.32Nm

スピンドルピッチ3mm

ステップ角1.8°±5%

エンドスイッチ

前部:調整型 / 後部:固定型

ストローク⾧ (XXXX)
リトラクト⾧ (YYYY)

・RM40-0500-0030-DRVRMOTLの場合:
XXXX=500mm
YYYY=30mmーモーター駆動トランスファーロッド
1軸1回転ICF70 トランスファーロッド用モーター駆動リニアドライブ

名称

外観図

概要

・RM40-DRVRMOTLは、モーター駆動リニアドライブを備えた、超高真空アプリケーション用トランスファーロッドです。
・モーター駆動リニアドライブは、RM40のエア側マグネットに連結されており、内軸の直線運動を制御します。
・頑丈なモーター駆動リニアドライブは、すべてのコンポーネントの安定したアライメントと一貫した位置決めを保証します。
・すべり軸受は、何度もベーキングサイクルを繰り返した後でも、トランスファーロッドの円滑な動作を保証します。
・ベーキングのためにモーター駆動リニアドライブを取り外さなければなりません。
RM40-0500-0030-DRVRMOTL

製品コード
1軸1回転トランスファーロッド仕様

ストローク⾧500mm

リトラクト⾧30mm

モーター駆動リニアドライブ
リニアユニット
精度

リニアユニット用ステッパーモーター±0.1mm/300mm

データシートST5918L2008

直進力70N

歯付ベルト減速比

1:1

電圧トルク5Nm

回転運動

手動

電流/位相

1.0A

許容加熱温度

200℃

スピンドルピッチ

3mm

抵抗/位相

8.8±10%Ω

圧力範囲

1E-11mbar – 1000mbar

エンドスイッチ

前部:調整型
後部:固定型

保持トルク

1.32Nm

構造材料

フルUHV適合材料

ステップ角1.8°±5%ー8.8VDC

モーター駆動トランスファーロッド
1軸1回転ICF70 トランスファーロッド用モーター駆動リニアロータリードライブ

名称

外観図

概要

・DRVRMOTLRは、モーター駆動リニアロータリードライブです。 外側の磁石に結合された高精度モーター駆動リニアロータリードライブです。
・モーター駆動リニアロータリードライブのスレッジに取り付けられた2番目のモーターは、サンプルを簡単に操作するためにシャフトの回転を制御します。
・頑丈なリニアユニットは、すべてのコンポーネントの安定したアライメントと一貫した位置決めを保証します。
・RMサンプルトランスポーターはこのオプションを装備することができます。
・ベーキングのためにモーター駆動リニアロータリードライブを取り外さなければなりません。
DRVRMOTLR-XXXX

製品コード

モーター駆動リニアロータリードライブ
リニアユニット
外形寸法

ロータリーユニット

0 – 1464mm

最大回転速度

リニアユニット/ロータリーユニット用ステッパーモーター

60°/秒

リニアドライブロータリードライブ

ST5918L2008

ST3518L1204-A

8.8VDC

4.08VDC

電流/位相2.0A

1.2A±0.1mm/300mm

最小ステップサイズ(1.8°/64)
100 – 0.0003°

許容加熱温度

200℃

ウォームギア
減速比1:100

歯付ベルト減速比

1:1

エンドスイッチ(2個)

調整型(0-360°)

スピンドルピッチ

3mm

ー

抵抗/位相

8.8±10%Ω

3.4±15%Ω

エンドスイッチ

前部:調整型
後部:固定型

ー保持トルク

1.32Nm

0.23Nm(ウォームギヤ無し)

ステップ角1.8°±5%1.8°±5%精度

仕様

ーデータシート電圧

モーター駆動トランスファーロッド
2軸2回転ICF70 トランスファーロッド用モーター駆動リニアダブルロータリードライブ

名称

外観図

概要

・DRVRMOTLRRは、モーター駆動リニアダブルロータリードライブです。 外側の磁石に連結された高精度モーター駆動リニアロータリードライブが直線運動を制御します。
・直線ユニットのガイド部に取り付けられた２つのさらなるモータが、それぞれ内側軸および外側軸の独立した回転を制御します。各シャフトのこの別々の回転は、それらを駆動し又回転させることによって、サンプルロック機構およびサンプルキャリアプラットフォームの動作を可能にします。
・頑丈な直線ユニットは、すべてのコンポーネントの安定したアライメントと一貫した位置決めを保証します。
・2軸2回転ICF70 トランスファーロッド(RMJG/RMDG)用はDRVRMOTLRRを装備することができます。
・ベーキングのためにモーター駆動リニアダブルロータリードライブを取り外さなければなりません。
DRVRMOTLRR-XXXX

製品コード

モーター駆動リニアダブルロータリードライブ
リニアユニット
外形寸法

0 – 1640mm

最大回転速度

リニアユニット/ダブルロータリーユニット用ステッパーモーター
リニアドライブ(1個)

ロータリードライブ(2個)

ST5918L2008

ST3518L1204-A

8.8VDC

4.08VDC

電流/位相2.0A

1.2A

60°/秒

±0.1mm/300mm

最小ステップサイズ(1.8°/64)
100 – 0.0003°

許容加熱温度

200℃

ウォームギア減速

1:100

歯付ベルト減速比

1:1

エンドスイッチ(2個)

調整型(0-360°)

スピンドルピッチ

3mm

ー

抵抗/位相

8.8±10%Ω

3.4±15%Ω

エンドスイッチ

前部:調整型
後部:固定型

ー保持トルク

1.32Nm

0.23Nm(ウォームギヤ無し)

ステップ角1.8°±5%1.8°±5%精度仕様

ロータリーユニットー

データシート電圧