Motion

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電動直進ステージ

UTSシリーズ

スチール製ミッドトラベル直進ステージ
Mid-Travel Steel Linear Stages• 剛性と熱安定性に優れたオールスチール製• DCモータに20,000カウント/回転の回転エンコーダを取り付けたモデルは分解能0.1 ȝmの厳密な位置コントロールに対応

電動垂直ステージ• 150 mmまでの移動量に対応する超薄型コンパクト設計• 感度と経済性に優れたステッピングモータモデルもラインナップ

ANTE

E

NS

GU
SP

Compliant

AR

CI

ED

RoHS

電動回転ステージ• 10-6 hPaまでの真空仕様

F I C ATI O

移動量

UTS100CC

UTS150CC

UTS50CCUTS100PP

UTS150PP

UTS50PP

100 mm

150 mm

50 mm

100 mm

150 mm

50 mm

最大速度

40 mm/s

20 mm/s
0.30 ȝm
200 N

軸耐荷重 (+Cx)

50 N

逆軸耐荷重 (-CX)-10 N

精度 (代表値)±1.5 ȝm

±2.0 ȝm

±1.1 ȝm±1.7 ȝm±2.0 ȝm±1.2 ȝm

精度 (保証値)±2.75 ȝm±3.25 ȝm±2.25 ȝm±3.5 ȝm±4.0 ȝm

±2.5 ȝm±0.5 ȝm

一方向再現性 (保証値)±1.75 ȝm双方向再現性 (保証値)±3.0 ȝm

±0.30 ȝm±0.20 ȝm±0.30 ȝm±0.20 ȝm双方向再現性 (代表値)±0.8 ȝm

±0.6 ȝm

±2.3 ȝm

±2.2 ȝrad

±25 ȝradピッチ (代表値)
ピッチ (保証値)±50 ȝrad±17 ȝrad±60 ȝrad±25 ȝrad±37 ȝrad±55 ȝrad±17 ȝrad±60 ȝrad±37 ȝradヨー (代表値)±20 ȝrad±30 ȝrad±12 ȝrad±20 ȝrad±30 ȝrad±12 ȝradヨー (保証値)±35 ȝrad±45 ȝrad±25 ȝrad±35 ȝrad±45 ȝrad±25 ȝrad±0.5 ȝm原点再現性±2.5 ȝm

ケーブル長
自重

電動光学マウント

一方向再現性 (代表値)

コントローラ&ドライバ

最小移動量
中心耐荷重

ヘキサポッド仕様

電動アクチュエータ

UTSシリーズの直進ステージは、オールスチール構造を持つ薄型デザインのステージで、温度管理が十分でない環境に最適です。優れた剛性、熱的安定性、および耐荷重性が得られるように設計され、150 mmまでの移動範囲と0.3 ȝmの最小移動量を実現しています。DCモータバージョンは、リードスクリューに取り付けられた超高分解能エンコーダと、高精度の最小移動性能と高度な動的速度コントロールを実現する減速ベルトを備えています。ステッピングモータバージョンは、要求レベルがあまり厳しくないアプリケーションに適した安価なソリューションです。高出力トルクのステッピングモータがステップ欠損のリスクを最小限に抑えて、最適な最小移動量を実現します。すべてのUTSシリーズのステージは、均一なスチール設計、ダイアモンド研磨補正されたリードスクリュー、およびバックラッシュ防止予荷重と高性能デカップリングシステムを採用した精密ラッピングナットなどを備えています。

3m
3.2 kg

3.7 kg

2.8 kg

3.3 kg20,000時間 (25%負荷、10%デューティ周期)CE

準拠

3.8 kg

2.9 kg
測定機器

MTBF

特殊な製品

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください電動直進ステージ

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Motion荷重特性と剛性
ZDQCzkαyYX

電動垂直ステージ
電動回転ステージ
電動アクチュエータ
ヘキサポッド

x
kα+Cx
–Cx

Cz、垂直中心耐荷重

200 N+Cx、軸荷重

50 N-Cx、逆方向軸荷重

10 N

kĮx、ロール方向剛性

10 ȝrad/Nm

kĮy、ピッチ方向剛性

15 ȝrad/Nm

KĮz、ヨー方向剛性

15 ȝrad/Nm

Q、偏心荷重Q Cz/(1+D/50)

D、カンチレバー距離 (mm)設計仕様

発注のご案内基本材料

スレンレススチール

ベアリング

リニアボールベアリング

駆動方法

精密研磨バックラッシュ補正リードスクリュー、デカップリングナット付

ドライブスクリューピッチ
2(mm)CC: スクリューにマウントしたロータリーエンコーダ、
フィードバック
PP、PPV6：フィードバックなしリミットスイッチ

光学検出

原点

光学式、移動範囲中央

モータ

DCサーボ、マイクロステッパ

ケーブル長さ3 m (付属)モデル シリーズ 移動量 ドライブ
(mm)
50CC
MUTS
100
PP150

真空仕様 (1)

V6

例：
UTS50CCは、50 mm移動量およびDCモータドライ
ブのUTSステージです。

1)

10-6 hPaまでの真空に対応。
この場合、最大速度と耐荷重は1/2になります。
M-： ミリ仕様バージョンの場合
CC： DCモータ
PP： ステッピングモータ

寸法
M4用ザグリ穴×4、拘束ネジ用、2.48（63）角上M4ネジ穴×4、1.34（34）角上、深さ：0.16（4）.20(5)

B

E

電動光学マウント

コントローラ&ドライバ

FG

2.99(76)

4.13(105)

UTS50CCおよびUTS150CCを使用したXYアセ
ンブリの例
SUB-D15コネクタ
（オス）
UTS50
UTS100
UTS150A
7.24 (184)9.21 (234)
11.18 (284)B
3.54 (90)4.53 (115)
5.51 (140)

貫通穴×4、
φ0.30（φ7.5）、ステージ固定拘束
ネジアクセス用M6ネジ穴 x 9、0.98 (25) 間隔
深さ：0.47 (12)H
UTS-PP図のモデル：UTS100PP
UTS-PPV6

3.07(78)

1.26(32) 1.24(31.5)

C.39(10).31(8)

D
4.17(106)––F.76(19.7).65(16.5)G
2.26(57.5)
2.54(64.5)

H
1.57(40)
1.50(38)

UTS-CC &UTS-PP UTS-PPV6
1.41 (35.8) 1.67 (42.3)
最大
最大

C

D（UTS-PPのみ）A

UTS-PPV6.12 (3.15) 最大下面UTS100CC
M5ネジ穴×4 □92、深さ0.26（7）E
3.62(92)
3.54(90)

2.39(109)

M4用ザグリ穴×4、拘束ネジ用、2.48（63）角上

測定機器.51(13)2.91(74)

1.95(49.5).26(7)

2.44(62) 2.91(74)垂直マウントの構成にはEQ100シリーズ
直角ブラケットを使用します。

.47 (12)

特殊な製品

SUB-D15コネクタ（オス）
通し穴×4、φ0.30（φ7.5）、荷台マウント拘束ネジアクセス用

3.23(82)

CADファイルについては、弊社までお問合せください。

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください