Motion

173

高性能ロングトラベル 直進ステージ
High-Performance Long-Travel Linear Stages• 剛性が大きく、FEMで最適化された成形アルミニウム製のボディは熱変形を防止• 予荷重をかけたバックラッシュのないボールスクリュードライブに電動垂直ステージ• 単軸またはガントリ構造で最大1,200 mmまで移動が可能

電動直進ステージ

IMSシリーズ

NSわない正確なリニアモーションを実現

F I C ATI O• 狭い設置面積で高い力学応答性と高信頼性を実現する非接触駆動シ
ステムのLMバージョン

発注のご案内IMS-LM
成型アルミニウム

ベアリング

ケージ付きボールを使用した複列再循環
ボールベアリング
3相同期アイロンコア
リニアモータ(ホール効果センサなし)

5-

ドライブスクリュー
ピッチ (mm)

フィードバック

CC、PP：
スクリューに取り付けたスチール製
ロータリーエンコーダ、リニアスケール、4,000ポイント／回転、
信号周期20 ȝm、1 Vpp、
インデックスパルス
XPSコントローラ使用時はCCHA：スチール製リニアス
信号を32,768分割
ケール、信号周期20 ȝm

リミットスイッチ

光学式
光学式

ケーブル長 (m)5 (付属)推奨モーションコントローラ：

力学仕様 (LMモデル)
最大速度 (mm/s)、負荷なし

XPS P283、288を参照

XPS-D、XPS-RL

ESP301 P292を参照

IMS-PPのみ

測定機器

原点

電動光学マウント

バックラッシュのない
ボールスクリューモデル シリーズ 移動量 ドライブ 4点(mm)
取り付け
300
例：
400
CC
M-IMS800LM-SAは、800 mm
500
CCHA
移動量、リニアモータドラ
MIMS
600
イブ、および4点取り付けのPP
800 (1)LM-SA (2) ミリ仕様バージョンのIMS
1000 (1)
ステージです。
1200 (1)1)
LMドライブバージョンのみ。
2)
800、1,000、および1,200 mm移動量に対応。
M-:
ミリ仕様バージョンの場合
CC:
ロータリーエンコーダ付きDCモータ
CCHA: リニアエンコーダ付きDCモータ
PP:
ロータリーエンコーダ付きステッピングモータ
LM: リニアモータ
SA:
4点取り付けコントローラ&ドライバ

IMS
基本材料

駆動方法

ヘキサポッド設計仕様

電動アクチュエータ

IMSシリーズの直進ステージは、ILSシリーズより長い300 〜 1,200 mmの直進移動を可能にしてILSシリーズを補完します。低価格ながら堅牢なデザインと高い性能を実現しており、精密な産業用および実験用アプリケーションに適したコスト効率の高いソリューションです。このステージは、優れた荷重性能と長寿命をもたらす再循環ボールベアリングスライド、負荷中の曲がりやたわみを防止するFEMで最適化された成形アルミニウム製のボディなどを備えています。IMSシリーズには、ボールスクリューとリニアモータドライブのバージョンがあります。予荷重をかけたバックラッシュのないボールスクリューバージョンは、短いステップ時間および整定時間でのすばやい移動を可能にします。PPおよびCCモデルでは、スクリューに直接取り付けられた1回転につき4,000ポイントのエンコーダで位置の測定値が読み取られます。CCHAモ
デルは、0.1 ȝmの分解能でのフィードバックが可能なリニアスケールを搭載しています。リニアモータバージョンのIMS-LMシリーズは、中央に配置された鉄を使わない高効率3相同期リニアモータを駆動素子として採用して、高速、高加速度、および高システム応答性を実現しています。
IMSシリーズのステージは、半導体ウェーハ検査、マイクロエレクトロニクスの試験と組み立て、ピックアンドプレイス、DNAシーケンシング、あるいはレーザマシニングなどのさまざまな精密産業用アプリケーションに最適です。また、4点取り付けのIMS-LM-SAバージョンは、遅延ラインや、その他の平坦でない取り付け面のアプリケーションに最適です。

電動回転ステージ• 精密循環ボールベアリングスライドがボールケージの移動をともな

ANTE

ED

ARCI

E

Compliant

SP

RoHS

GU

より、短いステップ時間および整定時間でのすばやい移動が可能

500
26

最大力 (連続) (N)100

最大力 (ピーク) (N)140

仕様の定義については、P302「モーションの基礎と基準」をご覧ください。

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

特殊な製品

最大加速度 (m/s2)、負荷なし

電動垂直ステージ

電動直進ステージ

174

Motion仕様
IMS300LM-S

IMS400LM-S

IMS500LM-S

IMS600LM-S

IMS800LM-S

IMS1000LM-S

IMS1200LM-S

300 mm

400 mm

500 mm

600 mm

800 mm1000 mm

1200 mm

移動量
最大速度1
最小移動量1000 mm/s
0.020 ȝm

継続動力

100 N

ピーク動力

210 N
600 N

中心耐荷重
±1.7 ȝm

精度 (代表値)±2.0 ȝm
±4.5 ȝm

精度 (保証値)±0.08 ȝm双方向再現性 (代表値)±0.08 ȝm電動回転ステージ
電動アクチュエータ

ピッチ (保証値)

ヘキサポッドコントローラ&ドライバ±0.12 ȝm±50 ȝrad±75 ȝrad±100 ȝrad
±200 ȝrad

±75 ȝrad±0.5 ȝm
±9.0 ȝm
±0.10 ȝm±0.13 ȝm±0.50 ȝm±112 ȝrad

±125 ȝrad
±250 ȝrad

±225 ȝrad
±40 ȝrad±150 ȝrad

±0.05 ȝm原点再現性5m

ケーブル長
17 kg

自重

19 kg

21 kg

MTBF

23 kg

24 kg

28 kg

32 kg

20,000時間 (25%負荷、30%デューティ周期)

IMS300CC

IMS400CC

IMS500CC

IMS600CC

300 mm

400 mm

500 mm

600 mm最大速度1IMS300CCHA IMS400CCHA IMS500CCHA IMS600CCHA
300 mm

400 mm

500 mm

600 mm±2.5 ȝm
±5.0 ȝm

±3.5 ȝm±6.5 ȝm±0.20 ȝm±0.20 ȝm±25 ȝrad200 mm/s
1.25 ȝm

最小移動量0.20 ȝm
600 N

中心耐荷重
軸耐荷重 (+Cx)

30 N

逆軸耐荷重 (-CX)-30 N±2.5 ȝm
±5.0 ȝm

精度 (保証値)

電動光学マウント±0.09 ȝm±4.0 ȝm

±125 ȝrad
±30 ȝrad±25 ȝrad±75 ȝrad±50 ȝradヨー (保証値)

精度 (代表値)

測定機器±0.09 ȝm±37 ȝrad±75 ȝradピッチ (代表値)

移動量±3.0 ȝm
±7.5 ȝm±0.25 ȝm

双方向再現性 (保証値)

ヨー (代表値)±2.5 ȝm
±5.5 ȝm

一方向再現性 (代表値)±0.45 ȝm双方向再現性 (代表値)±0.70 ȝm±3.0 ȝm±6.0 ȝm±4.0 ȝm±9.0 ȝm±0.75 ȝm±0.75 ȝm±0.50 ȝm±0.75 ȝm±2.0 ȝm±4.0 ȝm±0.50 ȝm±0.12 ȝm±0.20 ȝm±0.20 ȝm±1.25 ȝm±0.65 ȝm

双方向再現性 (保証値)
一方向再現性 (保証値)±0.50 ȝm±0.25 ȝm

ピッチ (代表値)±37 ȝrad±50 ȝrad±37 ȝrad±50 ȝradピッチ (保証値)±75 ȝrad±125 ȝrad±30 ȝrad±75 ȝrad±15 ȝrad±125 ȝrad±30 ȝrad±15 ȝradヨー (代表値)±25 ȝrad±50 ȝradヨー (保証値)±25 ȝrad±75 ȝrad±50 ȝrad±75 ȝrad0ptical

リミットスイッチ±0.5 ȝm

原点再現性±0.1 ȝm5m

ケーブル長17 kg

自重18.7 kg

20.3 kg

MTBF

22 kg

17 kg

18.7 kg

20.3 kg

22 kg

20,000時間 (25%負荷、30%デューティ周期)

ステッパモータIMS-PPバージョンもあります。

1. -PPバージョンは最大速度が100mm/秒になります。
2. ミリ仕様の-Mバージョンもあります。

荷重特性と剛性IMS (CC、PP、CCHA)
Cz、通常の中心耐荷重 (N)IMS-LM

600 N-Cx、+Cx、軸耐荷重

100 N

<30 N

-

1 ȝrad/N.m

2 ȝrad/N.m

KĮy、ピッチ方向剛性 (ȝrad/Nm)

0.2 ȝrad/N.m

2 ȝrad/N.m

KĮz、ヨー方向剛性 (ȝrad/Nm)

1 ȝrad/N.m

1 ȝrad/N.m

QH、QV ≤ Cz / (1 + D/90)
およびQVは≤ Cxでなければならない

Cx-KĮx、ロール方向剛性 (ȝrad/Nm)

Q、中心から離れた負荷D

IMS-LM-SA66
QV

QH、QV ≤ Cz / (1 + D/90) およびQVは≤ Cxでなければならない

D、荷重の重心とベアリング中心間のカンチレバー距離 (mm)
Z
DZ

特殊な製品

DYX

Cz

QH

HkαyX

xkαCz

Ykαz+Cx–Cx

IMSの荷重IMS-LMの荷重

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認くださいMotion175

電動直進ステージ

寸法 (IMS PP、CC、CCHA)
3.54(90)
1.10(28)

L1

電動垂直ステージ

7.09(180)

4.45(113)

1.81(30)

電動回転ステージ

2.96(75.2)

図のモデル：IMS300
寸法インチ表記（カッコ内（mm））

L25.91 (150)

5.91 (150)

SUB-D25Mコネクタ

5.91 (150)

M6ネジ用通し穴n1x2

電動アクチュエータ

6.0(152.4)

5.91(150)

1/4-20ネジ用通し穴n2x2

5.0 (127)

5.0 (127)

5.0 (127)

モデル（ミリ仕様）(M-)IMS300LM

n14n2
4

移動量
11.81 (300)

L1
26.30 (668)L2
20.20 (513)(M-)IMS400LM(M-)IMS500LM

444615.75 (400)
19.69 (500)30.24 (768)34.17 (868)24.13 (613)28.07 (713)(M-)IMS600LM

66

23.62 (600)38.11 (968)32.01 (813)

EQ180を使用してIMSステージに垂直に取り付けたRV160 (P229参照)

ヘキサポッド

寸法 (IMS-LM)
L

図のモデル：IMS300LM

7.09(180)

寸法インチ表記（カッコ内（mm））

側面図（M-）IMS300LM〜（M-）IMS600LM

コントローラ&ドライバ

CADファイルについては、弊社までお問合せください。

7.05(179)

電動光学マウント

3.54(90)
1.10(28).83(21).83(21)
5.91 (150)

5.91 (150)

5.91 (150)

側面図（M-）IMS800LM（-SA）〜（M-）IMS1200LM（-SA）
M6ネジ用通し穴n1x2
6.0(152.4)

5.91(150)

7.09(180)

5.0 (127)

1/4-20ネジ用
通し穴n2x2

5.0 (127)

n1n2

移動量L

(M-)IMS300LM(M-)IMS400LM

4444

11.81 (300)
15.75 (400)

21.85 (555)
25.79 (655)(M-)IMS500LM(M-)IMS600LM

4666

19.69 (500)
23.62 (600)

29.72 (755)
33.66 (855)(M-)IMS800LM

6–31.49 (800)44.48 (1,130)(M-)IMS1000LM(M-)IMS1200LM

78––

39.36 (1,000)
47.23 (1,200)

52.35 (1,330)
60.22 (1,530)(M-)IMS800LM-SA(M-)IMS1000LM-SA

26 x 6（600 x 150）上のネジ穴x4 31.49 (800)28 x 6（750 x 150）上のネジ穴x4 39.36 (1,000)

44.48 (1,130)
52.35 (1,330)(M-)IMS1200LM-SA

34 x 6（900 x 150）上のネジ穴x4 47.23 (1,200)

60.22 (1,530)

IMS1000LM

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

特殊な製品

5.0 (127)

モデル（ミリ仕様）

測定機器

4.36(111)