Motion193

電動直進ステージ

MFAシリーズ

ミニ直進ステージ
Miniature Linear Stages• 低価格かつコンパクトで25 mmの移動量を実現• 2本の直線状精密研磨ボールベアリングにより、非常になめらかで高精度の直進移動を実現

ECI• 高分解能のエンコーダフィードバックにより、100 nmの感

ANTE

NSGU
SP

CompliantARED

RoHS

度で非常になめらかな位置決めが可能

F I C ATI OCONEX-MFACCは、MFA-CC直進ステージと統合型CONEX-CCコントローラ／ドライバを組み合わせたものです。CONEX-CCは、Newport社の低電力DCサーボモータ駆動の装置に使用される非常にコンパクトで低価格のドライバです。開梱後すぐに使えるように、CONEX-CCはMFA-CCに事前に組み込まれて納品されます。

MFA-PP

MFA-PPD

最大速度

MFA-CC

1.25 mm/s

2本の直線ボールベアリング

1 mm/s

駆動機構

送りネジ (バックラッシュ補正あり)

ドライブスクリューピッチ(mm)

50 N

25 N

50 N軸耐荷重 (+Cx)

10 N

5N

10 N

逆軸耐荷重 (-CX)

-10 N

-5 N

-10 N

0.10 ȝm

精度 (代表値)±0.7 ȝm±1.0 ȝm±0.9 ȝm

±0.08 ȝm±0.12 ȝm±0.15 ȝm

一方向再現性 (保証値)±0.75 ȝm双方向再現性 (代表値)±0.15 ȝm±0.25 ȝm±1.0 ȝm

±0.75 ȝm±0.2 ȝm

±0.2 ȝm

ピッチ (代表値)±25 ȝradピッチ (保証値)±100 ȝrad

ヨー (代表値)±30 ȝradヨー (保証値)±50 ȝrad原点再現性±2.5 ȝm

機械式スイッチ
ホーミングによるモータ側のリミットを利用、再現性＜5 ȝm (代表値)

原点
ケーブル長さ (m)3 (付属)
DCモータ型で10-6 hPaまでの真空対応モデルあり。
(MFA-CCV6)
最大負荷、速度および加速度は半分になります

真空仕様

Z1.5 m3m

真空対応

NA10,000時間(25%負荷、30%デューティ周期)10-6 hPaNA

10,000時間(25%負荷、30%デューティ周期)

αyCz

DQ
αz±Cx

X

準拠

測定機器

3m

CE

フィードバック

荷重特性と剛性

ケーブル長

MTBF

MFA-PP: 1:43
MFA-CC: モータ搭載のロータリーエンコーダ利用(2,048 カウント／ 1回転) MFA-PP：なし

電動光学マウント

双方向再現性 (保証値)

減速ギア

リミットスイッチ±3.0 ȝm

精度 (保証値)
一方向再現性 (代表値)0.5
MFA-CC: 1:14

コントローラ&ドライバ

中心耐荷重

最小移動量

ステンレススチール

ベアリング

25 mm
2.5 mm/s

基材

ヘキサポッド設計仕様仕様 (暫定)電動アクチュエータ

MFAシリーズはコンパクトなオールスチール構造を持つ直進ステージで、最小移動量0.3 μmの高精度なモーションを提供し、優れた安定性と剛性をもたらします。MFA-CC DCモータバージョンはギアボックスを内蔵し、またモータマウント型の高分解能ロータリーエンコーダを装備しています。高い信頼性と小さいバックラッシュで、より高速のモーションを可能にするこのステージは、高いダイナミックレンジで繰り返し再現性が良く、微小な最小移動量が必要なアプリケーションに最適です。MFA-PPおよびMFA-PPDステッピングモータバージョンは、要求レベルがそれほど厳しくないアプリケーションに適したより安価なソリューションです。さらにこのバージョンには、高い剛性-重量比と優れた熱的安定性をもたらすオールスチール構造、きわめてスムーズなモーションを実現する複列リニアボールベアリング設計、ベースマウントとXY/XYZ構造に取り付けるための間隔を空けた4つの穴を備えるといった特徴があります。標準用途には、光ファイバアライメント、レーザーダイオード研究、生物医学的アプリケーション、および検査システムなどが挙げられます。

電動回転ステージ• 10-6 hPaまでの真空対応モデルあり

移動量

電動垂直ステージ• 耐荷重と剛性に優れたステンレス製

Y

50 N

-Cx、+Cx、軸受け荷重

10 N

kĮx、回転の剛性 (ロール)60 ȝrad/Nm

kĮy、回転の剛性 (ピッチ)10 ȝrad/Nm

Q、中心から離れた負荷

QCz / (1 + D/20)

D 中心からの距離 (mm)定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

特殊な製品

Cz、通常耐荷重

Motion

推奨モーション
コントローラ：

発注のご案内モデル
MFA-CC内容
ミニ直進ステージ、DCモータ

MFA-PP

ミニ直進ステージ、ステッピングモータ、9ピンmini-DINコネクタ(NSC200専用)

MFA-PPD

ミニ直進ステージ、ステッピングモータ、25ピンD-Subコネクタ(SMC100PP、ESP301、およびXPS専用)

SMC100CC (P294参照)

MFA-PPおよびMFAPPDを除く

XPS-RL、XPS-D(P283、288参照)
ESP301 (P292参照)

MFA-PPを除く
MFA-PPを除く

MFA-CCV6真空対応型ミニ直進ステージ、DCモータ

SMC100PP (P294参照)

MFA-PPDのみ

CONEX-MFACC1CONEXコントローラ内蔵MFA-CC直進ステージ

CONEX-CC (P296参照)

CONEX-MFACCに付属

MFA-BK

汎用上面プレート、XZおよびXYZ取り付け用モータケーブル付属

MFA-TP (M-MFA-TP)

上面プレート、MFAシリーズミニ直進ステージ、インチネジ

MFA-BP

汎用ベースプレート

電動アクチュエータ

電動回転ステージ

電動垂直ステージ

電動直進ステージ

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CONEX-MFACC統合型直進ステージとコントローラ

ヘキサポッドXYZ構成のMFAステージ

寸法
MFA-CCおよびMF-PP

MFA-BP

電動光学マウント

コントローラ&ドライバ

MFA-PP:
9ピンmini-DINコネクタ
40 (M3) 通し穴 x 4.24(6)ø.26 (Ø 7.5) 通し穴 x 4
2.98 x 1.00 (75.8 x 25.4)上MFA-PPD & MFA-CC:
25ピンD-SUBコネクタ
1.42 .79(36) (20).87 ±.49(22 ±12.5).98(25)M3ネジ穴 x 8

1.42(36)
3.50 (89).39 (10)1.42(36)
1.77(45)

1.97(50)

M3ネジ x 6有効深さ.20 (5)1.42(36)
1.89 (48)ケーブル長さ59（1.5m）.79(20)ø.79(Ø 20)

1.42 .79(36) (20)

5.26 (133.5)
M3ネジ x 2
有効深さ.20 (5)MFA-TP

MFA-BK
øC用通し穴 x 4` 1.42 x .79 (36 x 20)上

測定機器

40 (M3) ネジ用
通し穴 x 4.79 (20) 上

M2ネジ x 4
有効深さ.12 (3).79(20).24(6).38(9.65)

6-øDネジ.31(8).24 (6)

1.26 (32)A

M2用通し穴 x 4

1.77(45)

1.42 .79(36) (20)
AB

特殊な製品

2.48 (63)40 (M3) 通し穴 x 2

寸法[in. (mm)]
MFA-TPM-MFA-TPA
1.00(25.4).98(25.0)

B
2.00(50.8)
1.97(50.0)

ネジ
CD

4-40

8-32

M3

M4.79
1.21(20)(30,65)2.17 (55)6-ø.24 (Ø6)

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください