MULTI-DOF
多自由度測定技術

06/2024

Dplus エンコーダによる理想的なモーションシステム
リニアエンコーダは機械部品を介在させずに直線軸の位置を測定するため、複数の誤差要因を排除することができます。
• ボールねじの熱膨張による位置決め誤差• 方向反転誤差• ボールねじのピッチ誤差による動的誤差
このように、リニアエンコーダは高精度位置決めと高速加工を要求される機械には必要不可欠な製品です。

オープンタイプリニアエンコーダは、高い測定精度が要求される装置や自動化システムに搭載されています。その主な用途は下記のとおりです。
• 半導体産業用製造装置および計測装置• PCB基板実装装置• 超精密機器用、例えば光学部品用ダイアモンド旋盤、磁気記憶ディスク用表面旋盤、フェライト部品用研磨装置• 高精度工作機械• 計測装置、コンパレータ、計測顕微鏡およびその他の精密測定機器• ダイレクトドライブ搭載機

目次
機械設計
オープンタイプリニアエンコーダは、ガラススケールまたはスケールテープと走査ヘッドで構成され、互いに接触しないで測定します。
オープンタイプリニアエンコーダのスケールは取付面に直接取付けられます。したがって高精度を実現するためには、取付け面に平坦度が必要となります。

概要

Dplusエンコーダ
Dplusエンコーダは、1つの機械軸において複数の自由度を測定することで、誤差とその誤差によって生じる装置の狂いを直接かつ正確に測定します。Dplusエンコーダは、特に高い動的性能と精度が要求されるモーションシステムの最適化に大きな可能性をもたらします。

Dplusエンコーダによる理想的なモーションシステム

2

多次元測定技術4

革新的な目盛構造

6

エンコーダ1台による多自由度測定

8

斜線目盛

10

面外ギャップ測定

12

出荷前検査時の精度を再現可能

14

ケーブル配線を減らし動的性能を向上

16

LIP 6031 Dplus

18

LIP 211 Dplus / LIP 281 Dplus / LIP 291 Dplus

20

PP 281 R

22

GAP 1081

24

ピン配列

26仕様

電気的接続

以下資料もご用意しています。製品の詳しい情報は、弊社までお問い合わせください。
• ベアリング内蔵角度エンコーダ• 組込み型角度エンコーダ
目盛ディスクタイプ• 組込み型角度エンコーダ
スケールドラム・スケールテープタイプ• ロータリエンコーダ• サーボモータ用エンコーダ• NC工作機械向けリニアエンコーダ• 信号変換器2

詳細情報:

このカタログの発行により、前版カタログとの差替えをお願いいたします。
ハイデンハインへの注文は契約時の最新カタログをご覧ください。
ISO、IEC、ENなどの規格はカタログに明記されているものに限ります。

各インターフェースおよび電気的仕様に関しての詳しい説明は、カタログ
ハイデンハインエンコーダのインターフェース(ID 1078628-xx)を参照してください。
必要な接続ケーブルについては、カタログ
ケーブル・コネクタ(ID 1206103-xx)を参照してください。

3

精度と動的性能の向上
これまで以上に生産性と精度が他社と多次元測定技術の差別化において重要となっています。
しかし、ここで重要になるのは生産プロセスの高速化と高精度化だけではありません。再現性と安定した品質も重要

従来のエンコーダは1自由度しか測定できないため、他の方向で生じる避けることのできないモーションシステムの精度は、以下の複数の要因に左右さです。特にハイエンドアプリケーションの誤差を検知できません。多軸システムでは、ひとつの軸で発生する誤差が他の軸に伝わり、れます:

領域では確実に高精度を達成するこモーションシステム全体に影響を与えます。1軸目で発生する誤差は、

 非線型ガイドウェイ誤差とで生産能力を大きく向上させることが2軸目のエンコーダ測定値を変動させたりします。

 垂直方向の平坦度、水平方向の真直度できます。

まだ、このような誤差は一般に測定できません。

 ピッチ、ヨー、ロール 直角度誤差

しかし、ハイデンハインのDplusエンコーダは1軸あたり複数の自由度を測定

 動的誤差することができるため、ひとつの軸で発生する誤差を測定し、以降の軸で補 熱膨張および熱によるその他影響正することが可能です。

 ヒステリシス

主要な軸において完璧に位置測定を行うことは重要な課題です。スケールと走査ヘッドを最適化するだけでは、モーションシステムの精度と動的性能を最大化するには十分とは言えません。
精度と動的性能への要求が高まるにつれ、機械設計上の各要因と熱変動がより重要になります。
LIP 6000 Dplusのような多次元リニアエンコーダを用いて、これらの要因を直接測定し補正を行うことができます。

= ガイドウェイ誤差45革新的な目盛構造
高精度測定により性能を最適化
干渉走査方式では、微細目盛に照射された光の回折と干渉を利用して信号を生成します。
目盛本体は高さ0.2 μmの目盛格子が施された平らな面で構成されています。これらの目盛は、スケールと同じ格子間隔で光透過性の位相格子を持つ走査レチクルにより読み取られます。
干渉走査方式のエンコーダは、信号周期が4 μm以下で、高調波成分をほとんど含まない走査信号を高逓倍することができます。そのため、干渉走査方式のエンコーダは、高分解能と高精度を要求される場合に最適です。
LIP 6000 DplusのようなDplusエンコーダは、斜線目盛(±45°)を取り入れた2つの独立した目盛トラックを搭載し、主方向とその直交方向を測定長全体にわたって、直接かつ高精度で測定することが可能です。
ハイデンハインは、2つの方向を同時測定する2軸座標測定用インクリメンタルエンコーダも用意しています。方向にメインとサブの区別はありません。このエンコーダでは高精度の直交目盛格子を採用しています。

2軸座標用インクリメンタルエンコーダPP 281 R

67

エンコーダ1台による多自由度測定

自由度: X、Y
Dplus スケール本体と走査ヘッド2個

Dplusエンコーダは、1本のスケール本体で複数の自由度を測定することができます。

自由度: X、Y
Dplus スケール本体と Dplus 走査ヘッド

多自由度を同時測定
空間中の物体は6軸に沿って動作することができます。これらは並進方向の自由度(X、Y、Z)と回転方向の自由度(RX、RY、RZ)に分けられます。
一般に多自由度を測定するには多くの構成部品を必要とします。標準的なエンコーダでは、各自由度に対して1個の走査ヘッドと1本のスケール本体を必要とします。しかし、ハイデンハインのDplusエンコーダは、部品点数を大幅に減らすことができます。
例えば、2個の目盛トラックを持ち、3個の走査ヘッドにより読み取るDplusスケール1本で3自由度まで測定できます。この技術により、シンプルかつコンパクトなデザインで複雑な測定作業を行うことが可能です。

自由度: X、Y、RZ
Dplus スケール本体と標準走査ヘッドおよびDplus 走査ヘッド

89

斜線目盛
正確な誤差測定によりメリットをいかす
位置値の計算Pos1

しかし、斜線目盛構造により、主方向とその直交方向の両方向で原点の同時参照が可能にY

1(Pos1 + Pos2)
x=¹2なります。
X1(Pos1 – Pos2)
y=¹2

各目盛が直角(0°と90°)に配置している場合、直交方向で原点を参照することができません。

原点参照により絶対位置を測定することで、機械精度の向上と誤差原因の特定を行うことがPos2できます。

Dplus–走査ヘッド
ハイデンハインが開発した特殊なDplus走査ヘッドは、同時に2自由度を測定することができます。
EnDat 3インターフェースにより、2つの位置値を1本のケーブルでコントローラに転送可能です。
ケーブル配線数を削減することにより、設置を簡単にするだけでなく、モーションシステムの動的性能を最適化することもできます。

1011

面外ギャップ測定
従来のエンコーダは一度に1自由度しか測定できません。しかし、Dplusエンコーダはエンコーダ平面内で最大3自由度まで測定できます(例えば、X、Y、RZ)。他の平面を測定する場合は、エンコーダを追加するなど、より複雑なシステム設計が必要となります。
垂直方向の測定を行うことができるギャップエンコーダGAP 1081は、測定方向を追加するシス
テム拡張を非常に簡単に省スペースで行うことが可能です。エンコーダの主要平面に取り付け

自由度: X、Zられているため、GAP 1081は装置を高速で直接測定することが可能です。

従来のスケール本体と走査ヘッド1個およびギャップエンコーダGAP 1081と走査ヘッド1個

このエンコーダを、垂直方向の簡単な位置決め作業や平面に沿って連続して垂直方向を測定するのに使用することができます。1本のミラーに2個の走査ヘッドを配置することで、測定対象軸のピッチやヨーを測定することもでき、計測システム設計を大幅に簡略化し、必要な設置作業を削減します。

自由度: X、Y、Z、RY、RZ
Dplusスケール本体と走査ヘッド3個およびギャップエンコーダGAP 1081と走査ヘッド2個

GAP 1081

自由度: X、Y、Z、RY、RZ
Dplusスケール本体1本に対し走査ヘッド3個(GAP 1081なし)

走査エリア

1213出荷前検査時の精度を再現可能
Dplus スケール本体のロバスト試験
アプリケーションにおけるシステム精度はエンコーダの取付け状態だけでなく使用時の周囲条件にも左右されます。スケール本体の校正をハイデンハイン社内の計測機械を用いて行っているため、測定システムの精度は向上し、現場では複雑な作業である、取付け後の校正作業は必要ありません。
スチール材に取り付けた
LIP 6001 Dplus スケール本体

出荷前にスケール本体を台座に取付け、ハイデンハイン社内で測定を行います。これにより、取り付け、周囲条件、そして輸送が原因で生じるマイナス要因からスケール本体を切り離すことができます。そのため、ハイデンハインで測定した精度を忠実にアプリケーション上で再現することができます。精度表が同梱されています。

セラミック材に取り付けた
LIP 6001 Dplus スケール本体

LIP 6001 Dplus

周囲条件

1000

輸送条件

測定1回目

測定2回目

低温

測定3回目

高温

測定4回目

湿度

測定5回目

振動
2–10 °C

50 °C / 50% RH

22 °C / 85% RH

6.86 m/s RMS*

• 加熱/冷却速度:±10K/h• 停止時間: 2 h• 加熱/冷却速度:±10K/h• 停止時間: 2 h• 湿度変化率:±20%• 停止時間: 2 h• 段ボール箱に梱包

測定6回目

落下試験
落下高さ: 0.8 m• 台座に取り付けたスケール本体を梱包

偏差 [nm] u

800
600400

測定1回目

測定4回目

測定2回目

測定5回目

測定3回目

測定6回目

2000-200-400-600-80024h
安定化時間(室温)

24h
安定化時間
(室温)

72 h
安定化時間
(室温)

*40 min: 3.92 m/s² RMS、15 min: 5.29 m/s² RMS、5 min: 6.86 m/s² RMS (ASTM D 4169)

14- 1000

04080120160200240280320360400440480520560

位置 [mm] u

測定長に対する真直度の偏差15ケーブル配線を減らし動的性能を向上
EnDat 3による複数ヘッドの処理複数のエンコーダを使用する場合、システム全体でのケーブル配線数が増え、システムの設置や信号処理がより複雑になります。EnDat 3インターフェースにより、ハイデンハインは多種多様なデータをたった1本のケーブルで伝送するのに最適なソリューションを用意しています。例えば、2つの位置値をDplusエンコーダのインターフェースPCB内で演算し1本のケーブルで伝送します。
1本のケーブルで伝送する場合、マルチヘッド処理ユニットが複数のエンコーダ位置信号を処理します。
このため、コストのかかるケーブル配線や別置の処理ユニットを必要とせずに複雑な計測システ
複数ヘッドの処理ムを簡単に導入することが可能です。

出力インターフェース:
EnDat 3

LIP 608走査ヘッド

LIP 6001スケール本体

LIP 603Dplus 走査ヘッド

1617

LIP 6031 Dplus
インクリメンタルオープンタイプリニアエンコーダ
 主方向とその直交方向を同時測定する±45°の2つの斜線目盛 ガラスセラミックスケール、PRECIMET接着テープと基準点設定用部品により取付け

0.75 ± 0.1

 ML +10(8.5)

9



2.9





 4.5

6.8



(17.5)
2.5

4.5

スケール

LIP 6001 Dplus

目盛本体
熱膨張係数

OPTODUR位相格子付きZerodurガラスセラミック、目盛間隔: 8 µm
Þtherm  (0 ±0.1) · 10–6 K–1

精度等級

X方向: ±3 µm、Y方向: ±20 µm

狭ピッチ精度X 方向: ±0.175 µm/5 mm、Y 方向: ±0.350 µm/5 mm

X方向の測定長(ML) (mm)*70 120 170
220 270	 320	 370770 820 870
920 970 1020 1140
2240 2440 2640 2840 3040

Y方向の測定長±2 mm

原点

測定長(ML)開始点から68 mmの位置に1箇所 (ML 120までは、測定長中央に1箇所)

質量0.15 g/mm

走査ヘッド

LIP 603 Dplus

インターフェース

EnDat 3

区分

E30-R4

測定分解能172 pm

位置値の取得X 方向: < 11 µs (12.5 Mビット/s時)、< 8.2 µs (25 Mビット/s時)1)
Y 方向: < 18.7 µs (12.5 Mビット/s時)、< 12.1 µs (25 Mビット/s時)2)

走査速度≦ 240 m/min3)

内挿精度±5 nm

ポジションノイズ RMS

0.5 nm (1 MHz)

電気的接続ケーブル長 (0.5 m / 1 m / 3 m) 、インターフェースユニット内蔵コネクタ(15ピンD-sub、オス)付

ケーブル長

12.5 Mビット/s: ≦ 100 m、25 Mビット/s: ≦ 40 m
PWM 21を用いた信号調整時: ≦ 3 m

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V (推奨: 12 V)

消費電力4) (最大)

3.6 V: ≦ 1.5 W、14 V: ≦ 1.8 W

消費電流

12 V: 110 mA (負荷なし、標準値)

振動 55 Hz ～ 2 kHz
衝撃 11 ms

≦   500 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 70 °C

質量

走査ヘッド: 30 g、コネクタ: 77 g、接続ケーブル: 36 g/m

3692045° 2 F816.55r

M2.536 37

ISO 7984 - M3x6
Md = 1.15 Nm



ISO 4762 - M2.5 x (a+6) - 8.8 /ISO 7092 - 2.7
Md = 0.83 Nm

0.1 / 32 A

0.75 ± 0.1

28



 37

 4x(32)

28



(32)

1045°

>816.5

18

=
=
=
=
=
=
=
=
=
=
=
=
=
=
=

マシンガイドスケール長
原点位置
測定長(ML)開始点
熱膨張基準点設定用取付け部品
測定長(ML)開始点からの原点位置
正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向
走査ギャップの調整
モアレ調整: 調整ピン: Ø 2m6
接着テープ
接着剤
走査ヘッド1および2の中心走査ヘッドの回転中心
信号品質表示LED
走査ヘッドの取付け面

4x  3.3
    
Md = 40 Ncm

5040.1

33.3

0.2 F

 2 F8

UNC 4/40

 0.1 A B

570 620
1540 1640

670
1840

7202040* 注文時にご指定ください	この値をパラメータ XEL.timeHPFout としてエンコーダに保存し、位置値要求(ラッチ)からマスタが位置値を取得するまでの時間間隔を出力します(ケーブル要因なし)
2)
最初のLPFで送信した場合
3)
原点通過時の最大走査速度(120 m/min)
4)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース の 電気的仕様 もしくは www.heidenhain.co.jpを参照してください。
1)

16



 4.5



F
lr
sgr
1
2
3
45
6
789470 520
1340 1440

a

取付けに必要な寸法

4201240

19LIP 211Dplus/LIP 281Dplus/LIP 291Dplus
インクリメンタルオープンタイプリニアエンコーダ
 主方向とその直交方向を同時測定する±45°の2つの斜線目盛 ガラスセラミックスケール、PRECIMET接着テープと基準点設定用部品により取付け

n x 100
10037M3x6 ISO 7984 < 60+ISO 7092-3



45° 

14.5

4

7.5

3.2 ± 0.1






25



2.5mrad B

0.01/10 F(7.825)2533 ± 0.1.5
1245°



 60(52.201)

8M3

n x 100
100(67.073)

7.825

2.5mrad B

22.9

 = ML + 40

 3.70.02 A CZ
(beideAbtastköpfe)(両走査ヘッド)

16.5 ± 0.5.51611 .5.0
66

10.512

マシンガイドスケール長
原点位置
測定長(ML)開始点
接着剤
熱膨張基準点設定のために塗布する接着剤用の取付け部品
走査ヘッドの回転中心 (スケール面の0.2 mm下)測定長(ML)に応じて、取付けクランプを一組追加してください
正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向
信号検出中心横断線 ML: ±0.6 mm

2489.25247.

33.357.



目盛本体
熱膨張係数

OPTODUR位相格子付きZerodurガラスセラミック、目盛間隔:2.048 µm
Þtherm  (0 ±0.1) · 10–6 K–1

精度等級

X方向: ±3 µm、Y方向: ±20 µm

狭ピッチ精度X 方向: ±0.125 µm/5 mm、Y 方向: ±0.225 μm/5 mm

X方向の測定長(ML) (mm)*70

Y方向の測定長±2 mm1)

原点

測定長中央に1箇所

質量7.2 g + 0.18 g/mm

走査ヘッド

LIP 21

インターフェース

EnDat 2.2

区分

EnDat22

分割倍率

16 384倍 (14 ビット)

クロック周波数≦ 16 MHz––計算時間 tcal

≦ 5 µs––

測定分解能

0.03125 nm (31.25 pm)

–

信号周期

–

0.512 µm–

≧ 3 MHz

走査速度≦ 120 m/min≦ 90 m/min

内挿精度±0.4 nm3)

ポジションノイズ RMS

0.12 nm

電気的接続

ケーブル (0.5 m) もしくは1 m (1 VPPの場合、2 m および 3 m )、インターフェースユニット内蔵コネクタ(15ピンD-sub、オス)付ケーブル長インターフェースに関する記述を参照してください。
ただし、≦ 15 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時、1 VPPの場合は ≦ 30 m)
PWM 21を用いた信号調整時: ≦ 3 m

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V

DC 5 V ±0.25 V

消費電力5) (最大)

14 V: 2500 mW、3.6 V: 2600 mW

–

消費電流

5 V: 300 mA (負荷なし、標準値)≦ 390 mAレーザー走査ヘッドとスケールをともに取付けた場合: クラス 1、走査ヘッド単体の場合: クラス 3B

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 200 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 400 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度

0 °C ～ 50 °C

質量

走査ヘッド: 59 g、コネクタ: 140 g、接続ケーブル: 22 g/m

カットオフ周波数

UNC 4/40.5

=
=
=
=
=
=
=
=
=
=
=



 3.70.2

31 .5
16


12Flr
skg
1
2
3
45

76.5 ± 0.5.5

5:1

10Z

M2.5
4 deep (4x)42.5 ± 0.5



9.35

0.02/100 F

2 ± 0.1
2.9 ± 0.1

ZLIP 201 Dplus

18M3x6 ISO 7984rスケール–3 dB

INVISIBLE LASER RADIATION
IEC60825-1:2007
Pmax = 4 mW
λ= 850 nm
CLASS 3B LASER PRODUCT

1201702202)

270320370

420470520

570620LIP 29 F

LIP 29 M

LIP 28

ファナックシリアル
インターフェース2)

三菱高速シリアル
インターフェース2)» 1 VPPÞインタフェース

Mit02-4–670720–4)

0.12 nm (3 MHz )* 注文時にご指定ください
原点通過時のY方向の測定長: ±0.6 mm、2) “位置値2“にて原点位置を通過後、絶対位置値を確立、3) ハイデンハイン製信号変換器使用時、
4)
後続電子部のカットオフ周波数–3 dBにおいて、5)カタログ ハイデンハインエンコーダのインターフェースの電気的仕様 を参照してください。
1)

2021

PP 281 R
2軸座標インクリメンタルエンコーダ
 推奨分解能 1 µm ～ 0.05 µm

PP 281 R①



②

目盛本体
熱膨張係数

2軸交差型TITANID位相格子付きガラス、目盛間隔 8 µm
Þtherm  8 · 10–6 K–1

精度等級

±2 µm

測定範囲

68 mm x 68 mm(他の測定範囲についてはお問い合わせください)

1)

③原点

各軸1箇所 (いずれも測定長開始点から3mm)

インターフェース

» 1 VPP

信号周期

4 µm

カットオフ周波数③–3 dB≧ 300 kHz

走査速度

≦ 72 m/min

内挿精度
ポジションノイズ RMS±12 nm3)
2 nm (450 kHz2))

電気的接続

ケーブル長 0.5 m、インターフェースユニット内蔵15ピンD-subコネクタ(オス)付

ケーブル長

インターフェースに関する記述を参照してください(各インターフェースユニットに準ずる)。
ただし、≦ 30 m (ハイデンハイン製ケーブル使用時)

供給電圧

DC 5 V ±0.25 V

消費電流< 185 mA (1軸あたり)振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 11 ms

≦ 80 m/s2 (IEC 60068-2-6)
2≦ 100 m/s (IEC 60068-2-27)

使用温度

0 °C ～ 50 °C

質量

走査ヘッド: 170 g (ケーブル含まず)、グリッド目盛本体: 75 g、コネクタ: 140 g1)

*Fr1
2
3

22==
=
=
=
=

走査中の最大傾き
マシンガイド原点位置
取付け時の調整方向
目盛側
正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向

原点信号のゼロクロスオーバーK、Lはインターフェースカタログ記載の仕様とは異なります(取付説明書を参照してください)
後続電子部のカットオフ周波数–3 dBにおいて
3)
ハイデンハイン信号変換器使用時(例、EIB 741)
2)

23

GAP 1081
インクリメンタルオープンタイプリニアエンコーダ
 垂直方向のギャップ測定用
 ガラス上にミラー、PRECIMET接着テープにより取付け
ISO 4762 M3x (a-t+3) -A2
Md = 0.85 Nmat

12

GAP 1001

6

ミラー本体熱膨張係数

OPTODUR表層付きガラスもしくはガラスセラミックÞtherm  (0±0.1) · 10–6 K–1 (Zerodur ガラスセラミック)

2.6





10

B18

 = (ML+18) ± 0.5
18.7

912





 0.2 F

エンコーダ取付け用の穴

APin  2.5

17.51911

  0.02 A BPin  3187.769

 6.5

 3 H718

 2.5 H7

 3.4

A-A

0.25

2x0,72 x ML

0.44.590°

 0.03 A



A40

16

Md = 40 Ncm

UNC 4/40

33.3

 3.7

  0.03 A B

 = スケール長
1 = 走査ヘッド取付け面
MSMS=スケール取付け面
 = z方向測定開始点 (同時にx方向に動作する場合)
 = 原点位置
ML = 測定長
F = マシンガイド
1 = 信号検出中心
2 = ミラースケール
3 = ケーブル長
4 = 接着テープ
5 = 固定ピンの位置、推奨  36 = 正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向
7 = クランプねじ (対辺距離: 1.3 mm)、Md = 30 ±1.8 Nm

質量1.1 g + 0.11 g/mm (ミラー長)

走査ヘッド

GAP 108

走査ギャップ(公称値)

4.139 mm

測定範囲±2 mm原点

お問い合わせください

インターフェース

1 VPP

カットオフ周波数21.7



VISIBLE LASER RADIATION

5120305070 120 170 220270620 670 720780 820 870 920
9701640 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040(mm)*

2.250.13

2.9 ± 0.1MS

測定長(ML)116.239±0.05
16.94.139530ミラー

 0.02/100


5.7B

8.25

37.4

B-B

IEC60825-1:2008
Pmax = 100 mW
λ= 660 nm–3 dB

320 3701020 1140

420 470
1240 1340

520
1440

5701540≧ 27 kHz

信号周期
熱膨張係数

2.220 ±0.002 µm–6 –1Þtherm  0.5 · 10 K

走査速度

3.6 m/min

精度等級±0.2 µm (測定方向における固定位置からの測定)±20 µm (測定方向に対して垂直な動作)

狭ピッチ精度≦ ±30/4 mm (測定方向における固定位置からの測定)≦ ±0.5 µm/5 mm (測定方向に対して垂直な動作の場合)

温度ドリフト≦ ±36 nm/K

内挿精度

±2 nm

再現性のない位置誤差

±5 nm

電気的接続

ケーブル長 (0.5 m/1 m/3 m)、インターフェースユニット内蔵15ピンD-subコネクタ(オス)付ケーブル長

ハイデンハイン製ケーブル使用時: ≦ 30 m
PWM 21を用いた信号調整時: ≦ 3 m

供給電圧

DC 5 V ±0.25 V

消費電流≦ 200 mA (負荷なし)

レーザー

クラス 3B振動 55 Hz ～ 2 kHz
衝撃 11 ms

≦ 200 m/s2 (IEC 60068-2-6)≦ 400 m/s2 (IEC 60068-2-27)

使用温度

10 °C ～ 40 °C

質量

走査ヘッド: 50 g、コネクタ: 80 g、接続ケーブル: 27 g/m* 注文時にご指定ください

CLASS 3B LASER PRODUCT

2425ピン配列
LIP 603

LIP 281およびPP 281 R

15ピンD-subコネクタ

15ピンD-subコネクタ

電源4UP1)

茶/緑

12センサ
UP/

その他信号
20V

白/緑

10センサ
0V/

1空き

9空き/

シールドはハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと。

/

3空き/

11空き/

シリアルデータ
伝送

14空き

7空き//1)

13空き/

5空き/

6空き/

8SD+

紫

15SD–

黄

接続ケーブルの芯線色

電源インクリメンタル信号

その他信号

4122

101

93

11

14

7

13

56/815» 1 VPP

UP

センサ
5V

0V

センサ
0V

A+

A–

B+

B–

R+

R––
空き3)

1)

–1)
空き3)

/–1)
空き3)

2)

茶/緑

青

白/緑

白

茶

緑

灰ピンク

赤

黒

紫

赤/黒

/

黄

シールドはハウジングへ、UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと。

1)

 整時のみ使用、稼働中は使用しないでください。
調
接続ケーブルの芯線色3)
PP 281 R2)

詳細情報:
ケーブルに関しての詳しい説明は、カタログ
ケーブル・コネクタを参照してください。
各インターフェースおよび電気的仕様に関しての詳しい説明は、カタログ
ハイデンハインエンコーダのインターフェース(ID 1078628-xx)を参照してください。

2627

Mastering nanometer accuracy

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1349070-J2 · PDF · 07/2024

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