電動直進ステージ

182

Motion

VP-25X

精密小型直進ステージ

Precision Compact Linear Stages

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電動垂直ステージ• 超小型のボディで25 mmの精密移動• 最小移動量10 nmの高感度を実現• 精密で再現性の高いモーションを可能にするリニアエンコーダを搭載• 斬新なデザインの固定読み取りヘッドがケーブルの移動を回避

電動アクチュエータ
ヘキサポッドコントローラ&ドライバ
電動光学マウントNSF I C ATI O

GU

荷重特性と剛性

設計仕様
循環ボールベアリング

ドライブスクリューピッチ
(mm)

D

1.88(22.3).41(10.3)

駆動方法

バックラッシュなしのボールスクリュー

フィードバック

スチール製リニアスケール、信号周期20 ȝm
VP-25XA : 0.1ȝm分解能のRS422出力
VP-25XL : 1Vppアナログsin-cos出力

リミットスイッチ

測定機器

ANTE

VP-25Xシリーズの直進ステージは、超小型形状ながら高精度のポジショニング性能を発揮します。優れた推進力を実現し、また位置ドリフトの原因である熱を抑える低摩擦のボールスクリュードライブが、堅牢で信頼できる性能をもたらします。10 nmの卓越し た 最 小 移 動 量 と25 mmの 移 動 量 を 両 立 す るVP-25Xは、 小 型 部 品 の 細 か い 操 作 が 必 要 な ア プ リ ケ ー シ ョ ン に 最 適 で す。VP-25Xス
テージは手動調整ノブを備えているため汎用性に優れ、自動タスクと非自動タスクの両方を扱うことができます。一般的なアプリ
ケーションには、ファイバアライメント、マイクロアセンブリ、およびマイクロマシニングなどがあります。VP-25XAモデルと最小移動量の小さいVP-25XLモデルが用意されています。

ベアリング

特殊な製品

AR

CI

E

Compliant

SP

RoHS

ED

電動回転ステージ• 摩擦の少ないボールスクリューによりMTBF 20,000時間を実現

Cx
QV

光学式

原点

光学式、移動量の中心1.5m (付属)ケーブル仕様Z

VP-25XA VP-25XAVP-25XL VP-25XLXYZL1
XYZL2
精度 (保証値)±1.0 ȝm

±1.0 ȝm±1.0 ȝm±1.0 ȝm

精度 (代表値)±0.4 ȝm±0.4 ȝm±0.5 ȝm±0.5 ȝm

軸耐荷重(-Cx)

40 N

40 N

40 N

40 N

双方向再現性 (保証値)±0.10 ȝm±0.10 ȝm±0.07 ȝm±0.07 ȝm

双方向再現性 (代表値)±0.06 ȝm±0.06 ȝm±0.05 ȝm±0.05 ȝm

ケーブル長

1.5 m

1.5 m

3m3m

中心耐荷重

60 N

35 N

60 N

35 N

逆軸耐荷重(-Cx)

-40 N

-40 N

-40 N

-40 N

最大速度

25 mm/s

25 mm/s

25 mm/s

25 mm/s

DQHCzxkαkαykαz

X+Cx–Cx

最小移動量0.10 ȝm

0.10 ȝm

0.010 ȝm0.010 ȝm

モータ駆動軸X

XYZ - 左手系

X

XYZ - 左手系

Cz、垂直中心耐荷重

60 N

ピッチ (保証値)±50 ȝrad±50 ȝrad±50 ȝrad±50 ȝrad+Cx、-Cx、軸耐荷重

40 N

ピッチ (代表値)±22 ȝrad±22 ȝrad±20 ȝrad±20 ȝradkĮx、ロール方向剛性

20 ȝrad/N.m

移動量

25 mm

25 mm

25 mm

25 mm

kĮy、ピッチ方向剛性

20 ȝrad/N.m

自重1.5 kg5 kg

1.5 kg5 kg

KĮz、ヨー方向剛性

ヨー (保証値)±50 ȝrad±50 ȝrad±50 ȝrad±50 ȝradヨー (代表値)±17 ȝrad±17 ȝrad±20 ȝrad±20 ȝrad1. 右手系の場合は、Rで終わるバージョンを選択してください。
2. 右手系の場合は、Rで終わるバージョンを選択してください。
3. M-バージョンの取付穴は、ミリ仕様になっています。

Q、中心から離れた負荷

30 ȝrad/N.m
QH, QV ≤ Cz / (1+D/30)

Dが荷重量の中心とベアリング中心間のカンチレバー距離
上面とベアリング中心間の距離

22.3 mm

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

YMotion

推奨モーション
コントローラ：モデル (ミリ仕様)

内容

VP-25XA (M-VP-25XA)

精密小型リニアステージ、移動量、0.1 mm Res.、DCサーボタック付き

VP-25XL (M-VP-25XL)

精密小型リニアステージ、移動量、0.005 mm Res.、DCサーボタック付き

XPS-RL、XPS-D(P283、288参照)
ESP301 (P292参照)

VP-BK (M-VP-BK)

M-VP-25X リニアステージ用の多軸ブラケット、メートル仕様

SMC100CC (P294参照)

VP-25XAおよびVP-25XL
VP-25XAのみ
VP-25XAのみ

VP-25XL-XYZL (M-VP-25XL-XYZL)小型XYZステージスタック、左利き、M-VP-25XLブラケット付きステージ

VP-25XL-XYZR (M-VP-25XL-XYZR)

小型XYZステージスタック、右利き、M-VP-25XLブラケット付きステージ

VP-BP

ユニバーサルベースプレート

VP-BC

4つのベースクランプのセット

CADファイルについては、弊社までお問合せください。

電動垂直ステージ

VP-25XA-XYZL (M-VP-25XA-XYZL) 小型XYZステージスタック、左利き、M-VP-25XAブラケット付きステージ
VP-25XA-XYZR (M-VP-25XA-XYZR) 小型XYZステージスタック、右利き、M-VP-25XAブラケット付きステージ

電動直進ステージ

発注のご案内183

ウルトラアライン™ ポジショニングシステム用アリ機構レール
長さ: 3.7 in. (94 mm)

561-RAIL-1

長さ: 1 in. (25.4 mm)電動回転ステージ

562-RAIL-3.7

注：XYZスタックは±50 ȝrad XY直交で組み立てられています；±100 ȝrad およびXY直交。

寸法4.34 (110.3).29(7.4)

ネジ穴×2 Ø 1.6,9.525スペース

ネジ穴×5 Ø C
12.7.79 (20.1)

ネジ穴×16 Ø A、
深さ: 9、Bスペース

12.7

3.58(91).47(12)

1.50(38.1)

ネジ穴×4 Ø 4.5

1.50(38.1)

2.95 (75)25ピン D-サブコネクタ、ケーブル長さ1.5 m

コントローラ&ドライバ.45(11.4)

3.94(100)

ヘキサポッド4.34(110.3)

電動アクチュエータ.61(15.6)

1.54 (39)

電動光学マウント
測定機器

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

特殊な製品

VP25XL-XYZRシングルモードファイバアライメントのセットアップVP-25Xステージは、オプションのVP-BKブラケットによってXYZ構造内に簡単に取り付けることができます。この図は、左手系の (M-) VP-25X-XYZLです。

電動直進ステージ

184

MotionXYZアセンブリ
2.0 (50)

1.20 (31)

寸法 in. 表記 (mm)NOTE: ブラケットの図面は、メトリックバージョン

2.0(50).50(12.7)

3.0 2.32(76.2) (59)2.32(59.15)

138.45
最大1.0(25)

電動回転ステージ

電動垂直ステージ

1.70(43,5).52 (13.25)

Ø1.6×2×2、間隔9.525

ØDネジ穴×4×2、深さ: 6

ØCネジ穴×7、深さ: 66.35 (161.3) MAX.
4.33 (110).52 (13.5)

電動アクチュエータ

ØAネジ穴 × 9、深さ: 9、間隔B

2.20 (56)1.0(25)5.08 (129)2.0 (50)

ØAネジ穴×8、深さ: 9、間隔B

1.0(25)

1.67(42.5)

2.0(50) 1.59(40.5)

5.79(147)

ヘキサポッド.64 (16.5).14(4)
H

J

4.13 ±.50(105 ±12.7)

VP-BP図面6.50 (165)

電動光学マウント

コントローラ&ドライバ

ØDネジ穴×4×2、深さ: 6

M6用ザグリ穴×43.94 (100) 上
5.31(135).39 (10)

測定機器

M4ネジ穴×4
3.94 x 2.95 (100 x 75) 上

特殊な製品

M6用ザグリ穴×4、4 x 3 (101.6 x 76.2)上ザグリ穴 ø 0.31 (8)、ø 0.51 (13) x 4
4.96 x 3.97 (126 x 100.8) 上

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください