Motion

165

電動直進ステージ

XM-Sシリーズ

超精密リニアモータステージ
Ultra-Precision Linear Motor Stages

QRコードをスキャンしてビデオを見る• ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム• 精密ガラススケールエンコーダが80 nmの再現性で正確な位置をフィードバック• 超静音のアンチクリープ式クロスローラベアリングにより、ケージの移動を必要とせずにリップルなしのモーションを実現

ヘキサポッド11100.20

10100.15

98100.10

速さ (mm/s)

5432

100.0510099.95
99.90

199.85

0-1

99.80
0

5

1015202530035

481216202428323640

44

位置 (mm)

超高性能のXMステージは、管理された環境で適切な電子駆動を使用することで1 nmの最小移動量を可能にします。

XMステージは、連続スキャンやレーザマシニングアプリケーションにおいて比類のない速度安定性を実現します (ここに示したデータは、XMS50ステージの速度を干渉計を利用して1kHzのサンプリング速度で測定)。
0.7

1.5

0.6

1

電動光学マウント

時間（秒）コントローラ&ドライバ

位置（nm）

76

電動アクチュエータ

超高性能直進ステージのXMシリーズは、世界トップレベルの力学性能を提供して一貫性と信頼性に優れた1 nmの移動を可能にします。XMシ
リーズは、堅牢で再現性に優れたモーションを提供する革新的かつコンパクトなステージで、きわめて複雑な軌道で優れた精度を実現します。
精密工学を採用したコンポーネントと、摩耗とモータ過熱を最小限に抑える設計を特徴とするXMの性能は、モーションへの投資を長期にわたって最大化します。XMステージは、多軸アプリケーションのニーズに対応するために、他のNewportのステージと積載することができます。ク
リティカルな位置決めアプリケーションには、ミクロンレベルでの位置決め較正サービスの利用が可能で、XPSモーションコントローラのエラーマッピング補償機能を使用して、XMステージの軸上精度を100 mmトラベルあたり1 ȝmまで向上させることができます。アプリケーショ
ンには、レーザマシニング、半導体ウェーハ検査、センサの試験と較正、超精密アセンブリなどがあります。XMステージには試験証明書が無償で添付されます。

電動回転ステージ• 熱の発生を最小限に抑える超大型で高効率のリニアモータ

電動垂直ステージ• 最小移動量が1 nmの超高性能ステージ

0.5

エラー (μm)

00.4

測定機器

真直度(μm)

0.5

0.3

-0.5

0.2
-10.1
0-1.5-25-15-551525

位置 (mm)48121620242832364044

位置 (mm)

XMS50ステージの線形誤差補正後の精度。データは、ステージを100mm/sの速度で移動させながら10kHzのサンプリング速度で動的に採集。エンコーダと干渉計の位置は、差動信号間の待ち時間50ns未満でXPSモーションコントローラにより採集。

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

特殊な製品

XMステージは、多くの精密スキャンやウェーハ検査プロセスで要求されるリップルのないモーションを実現します。ここに示したデータは、
XMS50ステージの1サイクルの前進／後進で干渉計により測定。

0電動回転ステージ

電動垂直ステージ

電動直進ステージ

166Motion

設計仕様
基本材料

高強度7075アルミニウム

ベアリング

アンチクリープ式クロスローラベアリング

駆動方法

アイロンレス3相同期リニアモータ (ホール効果センサなし)

モータ整流

XPSコントローラがエンコーダ信号を使用して行う

フィードバック

ハイデンハイン製LIF 481スケール、1 Vpp、信号周期4 ȝm、XPSコントローラがnm以下の分解能で信号を細分。

リミットスイッチ

光学式、エンコーダの基準トラック上原点

光学式、移動の中心駆動タイプ

ブラシレスDCサーボ

ケーブル (m)5m (付属)仕様
XMS50-S

XMS100-S

XMS160-S

XML210-S

XML350-S

50 mm

100 mm

160 mm

210 mm

350 mm

移動量
最大速度1300 mm/s

中心耐荷重

100 N
±0.2 ȝm

ヘキサポッド電動アクチュエータ

精度 (代表値)

0.001 ȝm±0.030 ȝm

双方向再現性 (代表値)
継続動力325 N

ピーク動力100 N

コントローラ&ドライバ±0.032 ȝm±0.035 ȝm
50 N
240 N

±10 ȝradヨー (代表値)±10 ȝradピッチ (代表値)±12 ȝrad平坦度 (代表値) (保証値)4±0.37 (±0.75) ȝm

真直度 (代表値) (保証値)5±0.37 (±0.75) ȝm±15 ȝrad±20 ȝrad±0.75 (±1.50) ȝm±0.75 (±1.50) ȝm±0.025 ȝm

原点再現性
ケーブル長5m

MTBF20,000時間 (25%負荷、30%デューティ周期)CE

準拠
2.5 kg

3.5 kg

4.5 kg

13 kg

22 kg

1. 最大速度はドライバーによって異なります。詳しくはお問合せください。
2. 最小移動量(MIM)はドライバーの種類と環境によって異なります。詳細はデータシートをご覧ください。
3. 継続動力はドライバーによって異なります。詳しくはお問合せください。
4. 移動量の中間80%。arcsec単位を算出するには、マイクロラジアン値を4.8で除算してください。
5. 移動量の中間80%。

負荷特性
XMS50

モデル
Cz、通常の中心耐荷重 (N)XMS100

XMS160XML210100XML350
300

KĮx、ロール方向剛性 (ȝrad/Nm)

3.5

2.0

1.5

0.5

0.1

KĮy、ピッチ方向剛性 (ȝrad/Nm)

6.0

2.5

2.0

2.00.7

KĮz、ヨー方向剛性 (ȝrad/Nm)

8.0

3.5

2.0

1.00.2a、構造パラメータ109109109155155

Z

測定機器

電動光学マウント±0.5 ȝm

最小移動量2自重

Q

DX

特殊な製品

300 N

±0.3 ȝm

kαy

kα
Cz

kαzx

Y

Q

中心から離れた負荷、Q≤Cz/(1 + D/a)D

カンチレバー距離 (mm)Cz

ベアリング上の通常の中心耐荷重

XML210、XMS50およびGTS30Vを使用している代表的なアッセンブリ

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認くださいMotion167

内容

XMS50-S

超精密リニアモータステージ、50 mm移動量、XMSシリーズ

XPS-D, XPS-RL P283、288参照

XMS100-S

超精密リニアモータステージ、100 mm移動量、XMSシリーズ

XMS160-S

超精密リニアモータステージ、160 mm移動量、XMSシリーズ

XML210-S

超精密リニアモータステージ、210 mm移動量、XMLシリーズ

XML350-S

超精密リニアモータステージ、350 mm移動量、XMLシリーズ

XPS-DRV02通常のブラシレスDCドライバ、
P283、288参照
XPS-DRV02L低出力／低ノイズドライバ、P283、288参照

GB50

XMS50用グラナイトベース

GB100

XMS100用グラナイトベース

XPS-DRV11 ユニバーサルデジタルドライバ

GB160

XMS160用グラナイトベース

XPS-EDBL 高出力3相DCブラシレスドライバ

GB210

XML210用グラナイトベース

GB350

XML350用グラナイトベース

XPS-DRV02P高出力ドライバ、P283、288参照

表面の平面度は、モーションシステムの位置決めの精度と再現性にとって重要な要素です。研磨されたグラナイトプレートは、市販されている最も平坦な表面です。厳格な平面度公差と卓越した堅さを持つグラナイトは、Newportの超精密リニアモータXMシリーズのステージを補完する論理的オプションとなっています。GBシリーズのグラナイトベースプレートの3点取り付け機能により、非平面テーブルでの組み立てが可能です。また、エッジハンドルにより、ベースプレートの取り扱いと作業面への配置が簡単に行えます。

M6ネジ用通し穴、2×4、XMLステージを除く、
深さ：.47（12）[ ] 2.00 (100.8)

M4ネジ×4、深さ: .24 (6)、3.94 x 2.95 (100 x 75)上1.97(50)[ ]2.00(100.8)

1.97(50)

21°

XMLステージのみ：
M5ネジ×3、ø5.39 (Ø 137),
上に120° で深さ : .24 (6)ø.24 +.00050(Ø 6 H7)

M6ネジ×4、深さ: F

XMS100
XMS1607.28 (185)
9.84 (250)XML210XML35013.98 (355) 9.84 (250)
21.85 (555) 9.84 (250)

5.91(150)

2.95 (75)6.10 (155)
7.28 (185)1.77 (45)1.77 (45)D–E
2.95 (75)5.31 (135)7.87 (200)2.95 (75)2.95 (75)

3.94 (100) 5.31 (135) 3.94 (100)3.94 (100) 13.19 (335) 3.94 (100)

寸法 [in. (mm)]
G
–

H
–

J
.39 (10)K.28 (7)

XMS100
XMS160.28 (7).28 (7)––––.39 (10).39 (10).59 (15).59 (15)

XML210XML350.47 (12).47 (12)2.91 (74)3.15 (80)

2.66 (67.5)
3.15 (80).59 (15).59 (15)––

XMS50を除く：M4ネジ×4、深さ：.24（6）、両側XMSステージ：コネクタ用出口.39 (10)D.39 (10)

XMS: .41 (10.5)
XML: .61 (15.5)

XMS: 1.97 (50)XML: 3.15 (80)

XMSステージ
3.68 (93.5)

電動光学マウント

XMS: 4.92 (125)XML: 7.09 (180)A
XML350のみ：
M6ネジ用ザグリ穴×4（B参照）、ネジの頭の下の厚さ：.59（14.9）

3.25 (82.5)

XMSステージ
XMS160のみ：
M6ネジ用ザグリ穴×4（B参照）、ネジの頭の下の厚さ：.26 (6.5)

B2

A2A3B3

3.39 (86)JA2K
B1A1A4B4.26(6.5)

J

5.91 (150)A4B43.94(100)H

1.97(50)

マウント面、高さ：.017 (.5)

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

3.94 (100)1.97(50)

M6ネジ用ザグリ穴×4（A参照）
ネジの頭の下の厚さ：: .26 (6.5)

特殊な製品

3.94(100)

B3

E

B1 A1

GA3

E

測定機器

B2

M6ネジ用ザグリ穴×4（A参照）
ネジの頭の下の厚さ：.59（14.9）

コントローラ&ドライバ

XMS50

F.28 (7)

XMS＆XMLステージコネクタ：
SUB−D9オス、モータ用
SUB−D9メス、
FOR END−OF−RUNS & THERMISTANCE
SUB−D15、エンコーダ用

3.94 (100)
XMSステージ：ピッグテールケーブル用出口

XMS50

ヘキサポッドXMLステージのみ：
M4ネジ×4、深さ: .24 (6)、□2.98 (75.6)上 [ ]3.94(100)
XMS50を除く:
M4ネジ×4、深さ: .24 (6)B x C上寸法 [in. (mm)]B
C––

A
4.92 (125)電動アクチュエータ

XMLステージのみ：
M6ネジ用通し穴×4
XMLステージのみ：
M6ネジ用通し穴×4、□5.91（150）

電動回転ステージ

CADファイルについては、弊社までお問合せください。

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