製品情報

LIC 4113V
LIC 4193V
高真空用オープンタイプリニアエンコーダ

01/2020

LIC 4113V、LIC 4193V
高真空用オープンタイプリニアエンコーダ• 最大測定長 3 m• 最小分解能 0.001 µm• ガラスセラミックまたはガラス• 取付けクランプによりスケール本体を固定

固定ピンの位置

走査ヘッド取付け例(取付けクランプは図示していません)

公差

2

F =
* =
=
=
=
=
1 =
2 =
3 =
4 =
5 =
6 =

マシンガイド
取付け誤差にガイドの動的誤差を加えた値
測定長(ML)開始点
コード開始点: 100±1 mm
スケール全長熱膨張基準点設定用取付け部品
取付け時にスペーサを用いてギャップを調整
測定長(ML)に応じて、取付けクランプを追加してください
接着剤
走査ヘッドとスケール間の取付けクリアランス
信号検出中心正方向カウント値を得るための走査ヘッド移動方向

製品情報 LIC 4113 V / LIC 4193 V   01/2020

スケール

LIC 4003

スケール本体
熱膨張係数*METALLUR目盛格子付ガラスセラミックまたはガラス–6 –1
Þtherm  8 · 10 K (ガラス)Þtherm = (0±0.5) · 10–6 K–1 (Robaxガラスセラミック)

精度等級*±1 µm (Robaxガラスセラミックのみ)、±3 µm、±5 µm

狭ピッチ精度≦ ±0.275 µm/10 mm

測定長 ML*(mm)240	  340	  440	  640	  840 1040 1240 1440 1640
2640 2840 3040 (RobaxガラスセラミックはML 1640まで)

質量

3 g + 0.1 g/mm (測定長)

走査ヘッド

LIC 411 V

LIC 419 F V

LIC 419 M V

LIC 419 P V

インターフェース

EnDat 2.2

ファナックシリアル
インターフェース
Þiインタフェース

三菱高速シリアルインターフェース

パナソニックシリアル 安川シリアルインターフェース
インターフェース

区分*EnDat22

Þiインタフェース

Mitsu03-4 Mitsu03-2 Pana02分解能*

0.01 µm (10 nm)
0.005 µm (5 nm)
1)0.001 µm (1 nm)

計算時間 tcal
クロック周波数≦ 5 µs16 MHz2)≦ 600 m/min

内挿精度±20 nm

電気的接続

ケーブル長 1 m もしくは 3 m、15ピンD-subコネクタ(メス)付≦ 50 m≦ 30 m

供給電圧

DC 3.6 V ～ 14 V2)
消費電力 (最大)

3.6 V において: ≦ 700 mW 3.6 V において: ≦ 850 mW
14 V において: ≦   800 mW 14 V において: ≦ 950 mW

消費電流(標準値)

5 V において: 75 mA(負荷なし)

振動 55 Hz ～ 2000 Hz
衝撃 6 ms≦ 500 m/s2 (IEC 60 068-2-6)≦ 1000 m/s2 (IEC 60 068-2-27)

使用温度–10 °C ～ 50 °C

ベークアウト温度

100 °C真空度

高真空 10–5 Pa まで

保護等級 IEC 60 529

IP 40

質量18 g (ケーブル含まず)
21 g/m
D-subコネクタ: 64 g

走査ヘッド
ケーブル
コネクタ

2040 2240 2440

LIC 419 Y V

YEC07–走査速度

ケーブル長≦ 100 m(ハイデンハイン製ケーブル使用時)

1840≦ 50 m

5 V において: 95 mA(負荷なし)* 注文時にご指定ください1)
三菱: 測定長 ≦ 2040 mm; 安川: 測定長 ≦ 1840 mm
2)
カタログハイデンハインエンコーダのインターフェース 内の電気的仕様  を参照ください
Robaxは、Schott-Glaswerke, Mainz, Germanyの登録商標です。
製品情報 LIC 4113 V / LIC 4193 V   01/2020

3

真空アプリケーション対応のエンコーダ

真空仕様のエンコーダは、以下の特別な処置を講じています。

10–7• 通気孔• クリーンルームでの製造• 特殊洗浄と梱包• PTFEを使用したケーブル被覆と網銅線への錫メッキ
残留ガス分析
エンコーダが真空の質に与える影響は、残留ガス分析で明らかになります。残留ガス分析では、真空チャンバー内の気体サンプルを少なくとも10–4 Paで排気し(排気速度15 l/s ～ 200 l/sのターボ分子ポンプ使用)、質量分析計(Pfeiffer社製QMA 200)および絶対圧センサ(VACOM社製ATMION)を用いて残留ガスを測定します。
そして空間内の残留ガス標準値を引き算すると、検証した気体サンプルのアウトガス量を得ることができます。
残留ガスの量は、気体サンプルや検証に用いた材料の清浄度だけでなく、使用したポンプの種類とその排気速度にも左右されます。測定の排気速度がより速く、ガスの排気時間が長ければ長いほど、残留ガスの量は少なくなります。

–8

分圧 [Pa]1010–910–10

質量 [u]
ケーブル長1 mの走査ヘッドAK LIC 411 Vの残留ガス分析(排気速度107 l/s、圧力6 · 10–6 Paの場合)

アウトガスの量を最小限に抑えるため、ハイデンハインは高真空の状態において100 °Cで48時間の加熱を推奨しています。
図は走査ヘッドAK LIC 411 V(ケーブル長1 m、D-subコネクタ付)の残留ガス分析の分布を示しています。走査ヘッドは高真空の状態において100 °Cでベーク処理されています。基準点を固定したスケールからのアウトガスはほとんど測定されません。

4

製品情報 LIC 4113 V / LIC 4193 V   01/2020

電気的接続ケーブル

PUR被覆接続ケーブル [1 x (4 × 0.06 mm2) + 4 x 0.06 mm2]; AP = 0.06 mm2
PUR被覆接続ケーブル [2 x (2 × 0.09 mm2) + 2 x (2 × 0.16 mm2)]; AP = 0.16 mm2 ¬ 6 mm

¬ 3.7 mm1)

8ピンM12コネクタ(メス)と8ピンM12カップリング(オス)付

1036372-xx

1118858-xx

8ピンM12直角コネクタ(メス)と8ピンM12カップリング(オス)付

1036386-xx

1118863-xx

8ピンM12コネクタ(メス)と15ピンD-subコネクタ(オス)付、PWM 2x/ EIB 74x等用

1036526-xx

1118865-xx

8ピンM12直角コネクタ(メス)と15ピンD-subコネクタ(オス)付、PWM 2x/ EIB 74x等用

1133855-xx

1118867-xx

8ピンM12コネクタ(メス)と片側切り落とし(バラ線加工なし)

1129581-xx–

8ピンM12直角コネクタ(メス)と片側切り落とし(バラ線加工なし)

1133799-xx–1)
最大長(全長) 6 m
AP: 電源線の断面積

製品情報 LIC 4113 V / LIC 4193 V   01/2020

5電気的接続ピン配列

ファナック、三菱、パナソニック、安川の接続ケーブルおよびピン配列は、カタログオープンタイプリニアエンコーダ
を参照ください。

EnDat用ピン配列
15ピンD-subコネクタ供給電圧

シリアルデータ転送

51271441119UP

センサ
UP0V

センサ
0V

DATA

DATA

CLOCK

CLOCK

茶/緑

青白/緑白

灰ピンク

紫黄

シールドはハウジングへ; UP = 供給電圧
センサ: センサ線は内部にて電源線と接続されています。
未使用のピンまたは線は使用しないこと!

この製品情報の発行により、前版製品情報との差替えをお願いいたします。
ハイデンハインへの注文は契約時の最新製品情報を御覧ください。
詳細情報:
エンコーダを正しく動作させるために以下資料の記載内容にしたがってください。
• カタログ: オープンタイプリニアエンコーダ			• カタログ: ケーブル・コネクタ			• カタログ: ハイデンハインエンコーダのインターフェース• 技術情報: 真空技術のためのリニアエンコーダ		

www.heidenhain.co.jp
本社

名古屋営業所

大阪営業所

九州営業所

〒102-0083
東京都千代田区麹町3-2
ヒューリック麹町ビル9F
 (03) 3234-7781
 (03) 3262-2539〒460-0002名古屋市中区丸の内3-23-20
HF桜通ビルディング (052) 959-4677
 (052) 962-1381〒532-0011
大阪市淀川区西中島6-1-1
新大阪プライムタワー16F
 (06) 6885-3501
 (06) 6885-3502〒802-0005
北九州市小倉北区堺町1-2-16

1133 597-J3 · PDF · 3/2020 版権保持 ※仕様は改善のため、事前にお断りなく変更することがあります。

十八銀行第一生命共同ビルディング6F

 (093) 511-6696
 (093) 551-1617

208960-xx
1206103-xx
1078628-xx
627568-xx