Produktinformation

LIC 4113 V
LIC 4193 V
Offene Längenmessgeräte
für Hochvakuum

01/2020

LIC 4113 V, LIC 4193 V
Absolute Längenmessgeräte für Hochvakuum• Messlängen bis 3 m• Messschritte bis 0,001 µm• Maßverkörperung aus Glas oder Glaskeramik• Maßverkörperung wird mit Spannpratzen befestigt

Position der AnschlagstifteMontagemöglichkeiten des Abtastkopfes(Darstellung ohne Spannpratzen)

F = Maschinenführung* = Anbaufehler plus dynamischen FührungsfehlerⓈ = Beginn der Messlänge MLⒸ = Codestartwert: 100±1 mmⓁ = MaßstablängeⒼ = Fixpunktelement zur Definition des thermischen Fixpunktes
1 = Abstand wird bei Montage mit Abstandsfolie eingestellt
2 = abhängig von Messlänge ML, zusätzliches Spannpratzenpaar verwenden
3 = Klebstoff
4 = Montageabstand Abtastkopf zu Maßstab
5 = Optische Mittellinie
6 = Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende Positionswerte

2Produktinformation LIC 4113 V, LIC 4193 V   01/2020

Maßstab

LIC 4003

Maßverkörperung
Längenausdehnungs­
koeffizient*METALLUR-Gitterteilung auf Glaskeramik oder Glas–6 –1
Þtherm  8 · 10 K (Glas)Þtherm = (0±0,5) · 10–6 K–1 (Robax-Glaskeramik)

Genauigkeitsklasse*±1 µm (nur für Robax-Glaskeramik), ±3 µm, ±5 µm

Basisabweichung ±0,275 µm/10 mm

Messlänge ML* in mm

240	 340	 440	 640	 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440
2640 2840 3040 (Robax-Glaskeramik bis max. ML 1640)

Masse

3 g + 0,1 g/mm Messlänge

Abtastkopf

LIC 411V

LIC 419 F V

LIC 419 M V

LIC 419 P V

LIC 419 Y V

Schnittstelle

EnDat 2.2

Fanuc Serial­Interface Þi

Mitsubishi highspeed Interface

Panasonic
Serial Interface

Yaskawa
Serial Interface

Bestellbezeichnung*

EnDat22

Fanuc05

Mit03-4

Pana02

YEC07

Messschritt*

0,01 µm (10 nm)
0,005 µm (5 nm)
0,001 µm (1 nm)1)

Rechenzeit tcal
Taktfrequenz 5 µs16 MHzVerfahrgeschwindigkeit2)

 600 m/min

Interpolationsabweichung±20 nmElektrischer Anschluss

Kabel 1 m oder 3 m mit Stecker Sub-D, Buchse, 15-polig

Kabellänge(mit HEIDENHAIN-Kabel) 100 mVersorgungsspannung

DC 3,6 V bis 14 V2)Leistungsaufnahme (max.)

bei 3,6 V:  700 mW bei 3,6 V:  850 mW
bei 14 V:  800 mW bei 14 V:  950 mW

Stromaufnahme (typisch)bei 5 V: 75 mA(ohne Last)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 6 ms

 500 m/s2 (EN 60068-2-6)
 1000 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur–10 °C bis 50 °C

Ausheiztemperatur

100 °C

Vakuumklasse

Hochvakuum bis 10

Schutzart EN 60529

IP40Masse

Abtastkopf
Anschlusskabel
Steckverbinder

Mit03-2–

 50 m 30 m 50 mbei 5 V: 95 mA (ohne Last)–7mbar18 g (ohne Anschlusskabel)
21 g/mStecker Sub-D: 64 g

* Bei Bestellung bitte auswählen
1)
Mitsubishi: Messlänge  2040 mm; Yaskawa: Messlänge  1840 mm2)
Siehe Allgemeine elektrische Hinweise im Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten
Robax ist eine eingetragene Marke der Schott-Glaswerke, Mainz
Produktinformation LIC 4113 V, LIC 4193 V   01/2020

3

Messgeräte für den Einsatz im Vakuum

Restgasanalyse
Mittels Restgasanalysen kann der Einfluss
von Messgeräten auf die Qualität des Vaku­
ums bestimmt werden. Dazu wird eine
Probe in einer Vakuumkammer mindestensbis 10–6 mbar abgepumpt (Turbomolekular­pumpe; Saugleistung 15 l/s bis 200 l/s) undmit einem Massenspektrometer (PfeifferQMA 200) und einem Absolutdrucksensor(VACOM ATMION) die verbleibenden Rest­gase ermittelt. Werden dann noch die typi­
schen Restgase der leeren Kammer abge­
zogen, kann auf das Ausgasverhalten deruntersuchten Probe geschlossen werden.
Die Menge der verbleibenden Restgase ist
nicht nur von der Sauberkeit der Probe undden geprüften Materialien abhängig, son­dern auch vom verwendeten Pumpentyp
und dessen Saugleistung. Je mehr Saug­leistung für die Messung verwendet wird
und je länger man abpumpt, umso geringer
ist die Menge der verbleibenden Restgase.

Partialdruck in mbar

Die vakuumtauglichen Geräte zeichnen sichdurch folgende Merkmale aus:
• Entlüftungsbohrungen• Fertigung im Reinraum• Spezielle Reinigung und Verpackung• Kabel mit PTFE-Abschirmung mit­verzinntem Kupfergeflecht

Masse in uRestgasanalyse eines Abtastkopfes AK LIC 411 V mit 1 m Kabel (Saugleistung 107 l/s,
Druck 6 · 10–8 mbar)

Um niedrigste Ausgaswerte zu erreichen,empfiehlt HEIDENHAIN ein Ausheizen bei
100 °C für 48 Stunden unter Hochvakuum­
bedingungen.
Die Abbildung zeigt das Spektrum der Rest­
gasanalyse eines Abtastkopfs AK LIC 411 V
mit 1 m Kabel und Stecker Sub-D. Der Ab­
tastkopf wurde 48 Stunden bei 100 °C im
Hochvakuum ausgeheizt.
Für den Maßstab (mit Fixpunktklebung)wurden kaum messbare bzw. darstellbare
Ausgasungen ermittelt.

4Produktinformation LIC 4113 V, LIC 4193 V   01/2020

Elektrischer Anschluss
Kabel

Verbindungskabel PUR [4 x (2 x 0,09 mm2)]; AV = 0,09 mm2
Verbindungskabel PUR [(4 × 0,14 mm2) + (4 × 0,34 mm2)]; AV = 0,34 mm2¬ 6 mm¬ 3,7 mm1)

mit Stecker M12, Buchse, 8-polig
und Kupplung M12, Stift, 8-polig

1036372-xx

801142-xx

mit Stecker M12, Buchse, 8-polig,
abgewinkelt und Kupplung M12, Stift,8-polig

373289-xx

801149-xx

mit Stecker M12, Buchse, 8-polig,
und Stecker Sub-D, Stift,15-polig,
für PWM 20, EIB 74x usw.

524599-xx

801129-xx

mit Stecker M12, Buchse, 8-polig,abgewinkelt und Stecker Sub-D, Stift,15-polig, für PWM 20, EIB 74x usw.

722025-xx

801140-xx

mit Stecker M12, Buchse, 8-polig,
freies Kabelende

634265-xx–

mit Stecker M12, Buchse, 8-polig,
abgewinkelt, freies Kabelende,
abgeschnitten

606317-xx–1)

maximale Gesamtkabellänge 6 m
AV: Querschnitt der Versorgungsadern

Produktinformation LIC 4113 V, LIC 4193 V   01/2020

5Elektrischer Anschluss
Anschlussbelegung

Verbindungskabel und Anschlussbelegungen für Fanuc, Mitsubishi, Panasonicund Yaskawa finden Sie im Prospekt
Offene Längenmessgeräte.

Anschlussbelegung EnDat
Stecker Sub-D, 15-polig

Spannungsversorgung

serielle Datenübertragung

51271441119UP

Sensor
UP0V

Sensor
0V

Data

Data

CLOCK

CLOCK

braun/grün

blau

weiß/grün

weiß

grau

rosa

violettgelb

Kabelschirm mit Gehäuse verbunden; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist im Messgerät mit der jeweiligen Spannungsversorgung verbunden.
Nicht verwendete Pins oder Adern dürfen nicht belegt werden!

          
 

1133597 · 02 · A · 01 · 01/2020 · PDF

Mit Erscheinen dieser Produktinformation verlieren alle vorherigen Ausgaben ihre
­Gültigkeit. Für Bestellungen bei HEIDENHAIN ist immer die zum ­Vertragsabschluss
aktuelle Fassung der Produktinformation maßgebend.

Weitere Informationen:
Zur bestimmungsgemäßen Verwendung des Messgeräts sind die Angaben in folgenden
Dokumenten einzuhalten:• Prospekt Offene Längenmessgeräte	 208960-xx• Prospekt Kabel und Steckverbinder
1206103-xx• Prospekt Schnittstellen von HEIDENHAIN-Messgeräten
1078628-xx• Technische Information Längenmess­geräte zum Einsatz im Vakuum	 627568-xx