Motion

URSシリーズ

精密回転ステージ
Precision Rotation Stages

QRコードをスキャンしてビデオを見る• バックラッシュの無い連続的な回転、MTBF20,000時間性を実現

CI• 高い動作感度がありながら低価格なステッパモータバージョンあり

ANTE

F I C ATI O

URSシリーズは、薄型のパッケージで精密な360度連続動作を提供します。URSシリーズのステージは、独自設計のボールベアリングを採用して優れた剛性、高い信頼性、優れた揺動と偏心性を実現しています。また、ウォームスクリューの傾斜配置により取付け穴が対称的に4個設けられているため、中心軸をはずれた負荷をより良く保持できます。さらに、調整可能なリミットスイッチが過度に移動するのを防ぎ (URS50Bを除く)、柔軟な予荷重システムが20,000時間のMTBFでバックラッシュの無い動作を保証します。DCモータバージョンは、ウォームスクリューに取り付けられた8,000カウント／回転の超高解像度エンコーダを備え、双方向再現性に優れた高精度のモーションを実現しています。また、
DCモータバージョンは、最高のダイナミック速度レンジを実現し、最大で80度／秒の回転速度を可能にします。ステッピングモータバージョンは、要求がそれほど厳しくない用途向けの低価格ソリューションで、その高い出力トルクがステップの欠落のリスクを最小にし、命令されたステップ数とステージの動きの間に優れた線形性を与えます。URSには、10e-6hPaまでの真空対応バージョンもあります。また、CONEX-URS50BCCはCONEX-CCコントローラ／ドライバを内蔵するURS50BCC回転ステージで、開梱後すぐに使えるように極めて高いレベルまで事前の組込みが行われています。CONEX-CCは、Newport社の低電力DCサーボモータ駆動の装置に使用される非常にコンパクトで低価格のドライバです。

仕様
URS100BCC URS150BCC URS50BCC

URS75BCC URS100BPP URS150BPP

移動量
最大トルク

コントローラ&ドライバ

ARNSCompliant

80°/s
1 Nǜm

2 Nǜm

中心耐荷重

300 N

ネジタイプ

M6

最小移動量20°/s

80°/s

0.25 Nǜm0.5 Nǜm

100 N

200 N

40°/s
1 Nǜm

2 Nǜm300 N

M32.0 mdeg

0.25 Nǜm

0.5 Nǜm

100 N

M6200 N
M31.0 mdeg

2.0 mdeg

0.20 mdeg

0.50 mdeg

0.20 mdeg±0.35 mdeg

±0.35 mdeg

±0.30 mdeg

±0.35 mdeg

±0.35 mdeg

±0.60 mdeg

±0.35 mdeg

双方向再現性 (代表値)±1.4 mdeg±1.1 mdeg

N/A±0.30 mdeg

±0.35 mdeg

±0.60 mdeg

±0.35 mdeg
±6.0 mdeg

一方向再現性 (保証値)±1.0 mdeg

双方向再現性 (保証値)±3.0 mdeg

N/A±3.0 mdeg±6.0 mdeg±3.0 mdeg

精度 (代表値)±6.0 mdeg±10 mdeg±6 mdeg±8.0 mdeg±12 mdeg±8 mdeg

精度 (保証値)±11.5 mdeg

±20 mdeg±11.5 mdeg

±15 mdeg±25 mdeg±15 mdeg

揺動 (代表値)±12 ȝrad揺動 (保証値)±25 ȝrad偏心 (代表値)
横方向コンプライアンス±0.40 ȝm±0.50 ȝm±3.0 ȝm

±0.30 ȝm±0.40 ȝm±0.50 ȝm±3.0 ȝm

±0.30 ȝm10 ȝrad/Nǜm

5 ȝrad/Nǜm

100 ȝrad/Nǜm

30 ȝrad/Nǜm

10 ȝrad/Nǜm

5 ȝrad/Nǜm

100 ȝrad/Nǜm

30 ȝrad/Nǜm±25 mdeg±0.25 mdeg

±25 mdeg±20 mdeg±0.25 mdeg

リミットスイッチ±20 mdeg

個別に調整可能な光学リミットスイッチ×2

ケーブル長
測定機器

URS75BPP

一方向再現性 (代表値)

原点再現性

特殊な製品

URS50BPP360°

最大速度

電動光学マウント

GURoHSED

電動アクチュエータ

• 独自の2ピースベアリング設計によりコンパクトで優れた揺動と偏心E

ヘキサポッド• DCモータに8,000cts/revロータリエンコーダを採用、分解能0.0005°

SP

電動回転ステージ

電動垂直ステージ

電動直進ステージ

2363m

開口部直径

50 mm

90 mm

25.7 mm

30 mm

50 mm

90 mm

25.7 mm

30 mm

自重2 kg

3.4 kg

0.7 kg

1.7 kg2 kg

3.4 kg

0.7 kg

1.7 kg

MTBF

20,000時間 (25%負荷、10%デューティ周期)

CE

準拠

1. URS50とURS75は、真空対応バージョン(-PPV6)もあります。
2. URS75BPPV6の最大速度は20°/sです。
3. URS75BPPV6の一方向再現性は変動します。
4. URS75BPPV6の双方向再現性は変動します。

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください237Motion

推奨モーション
コントローラモデル(ミリ仕様)

内容

URS50BCC

精密回転ステージ、DCモータ、連続360度モーション、URS50

URS50BPP

精密回転ステージ、ステッピングモータ、連続360度モーション、URS50

URS50BPPV6

真空対応精密回転ステージ、ステッピングモータ、URS50
精密回転ステージ、DCモータ、連続360度モーション、URS75
精密回転ステージ、ステッピングモータ、連続360度モーション、URS75

URS75BPPV6

真空対応回転ステージ、ステッピングモータ、URS75

URS100BCC

精密回転ステージ、DCモータ、連続360度モーション、URS100

URS100BPP

精密回転ステージ、ステッピングモータ、連続360度モーション、URS100

URS150BCC

精密回転ステージ、DCモータ、連続360度モーション、URS150

URS150BPP

精密回転ステージ、ステッピングモータ、連続360度モーション、URS150
CONEXコントローラ内蔵URS50BCC回転ステージ

URS75TP (M-URS75TP)

固定トップ取り付け板、URS75シリーズ、M6ネジ穴

URS100TP (M-URS100TP)

固定トップ取り付け板、URS100シリーズ、M6ネジ穴

URS150TP (M-URS150TP)

固定トップ取り付け板、URS150シリーズ、M6ネジ穴

URS75P1

URS75ステージのB25.4レンズ鏡胴用アダプタ

URSBK

90度取り付けブラケットURSシリーズ回転ステージ

SMC100CC P294参照

CCバージョンのみ

SMC100PP P294参照

PPバージョンのみ

荷重特性

電動回転ステージ

CONEX-URS50BCC1

XPS-RL、XPS-D
P283、288参照
ESP301 P292参照

電動垂直ステージ

URS75BCC
URS75BPP

1

電動直進ステージ

発注のご案内CONEX-PS AC電源は別売り
電動アクチュエータ

設計仕様
基材

アルミニウム製の本体と高硬度鋼製

ベアリング
駆動機構

大径ボールベアリング
ウォームギア方式

リミットスイッチ

2個の独立に調整可能な光学的スイッチ(URS50Bを除く)

原点

光学的原点、0度で固定モータ

DCサーボあるいはステッパ

ケーブルの長さ3m (付属)URS50 URS75 URS100 URS150
3005552

コントローラ&ドライバ

Cz、通常の中心耐荷重
100200300(N)a、構造
パラメータ202535(mm)KĮ、横方向の剛性
1003010(μrad/Nm)
Mz、
0.250.5
1
定格トルク
(Nm)
Q、中心からQ ≤ Cz / (1 + D/a)
離れた負荷
D、カンチレバー距離(mm)ヘキサポッドフィードバック

CC：ウォームギアに取り付けのロータリーエンコーダ(8,000カウント／ 1回転、指標パルスつき)。
PP：なし

電動光学マウント

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

特殊な製品

10-6 hPaまでの真空に対応した
URS75BPPV6バージョン

測定機器

図はCONEX-URS50BCC

Motion

寸法
寸法インチ表記 (カッコ内 (mm))

MODEL URS100B
ザグリ穴ø.31 (Ø 7.8) (2)ø.45 (Ø11.5) x4、P角上
SUB-D15
サブコネクタ(オス)

電動垂直ステージ

電動直進ステージ

238.57(14.5)

2.05(52)

2.28(58)

ØEhD

8°

G

電動回転ステージF
M4ネジ穴x4、有効深さ6注）URS150Bは、45度ずらして4穴あり

øHネジ穴x4
J角上有効深さK

モデル：URS100BPP
寸法：インチ（ミリ）ØA1.50(38).98(0.25)

電動アクチュエータ

URS-BPP: 1.40 (35.6)
URS-BCC: 1.38 (35).72(18.3).79 (10)
B

MODEL (M-)URS100TP

URS100BCCの底面図
SUB D15ピンコネクタ（オス）

F

URS150B:M5ネジ穴x3、120度、øN上
有効深さ0.79（10）1.06(27).53(13.5)

ØM1.95(49.5)

ヘキサポッド4.04(102.5)
URS75B & URS100B:
M3ネジ穴x4、N角上有効深さ0.24(6)URS150BB
8.19(208)
9.13(232)11.14(283)

CDEF.08-.20 (1) 3.54 1.18 +.00051
0(-5) (1) (90) (30 +.013(2)0 ).26.71
4.49 1.97 +.00063
0(18) (114) (50 +.016(6.5)
0 ).41
2.56 6.50 3.54 +.00087
0+.022(65) (165) (90 0 ) (10.5)

M6ネジ穴x4
1.97 (50)角上

3.00(75)

C

1/4-20 (M6)ネジ穴x21
有効深さ.26 (7)G.83(21)1.02(26)
1.14(29)

HM3M6M6J
1.26(32)
1.97(50)
2.95(75)

K.24(6).24(6).31(8)

LM
1.50(38)
1.89角 2.28(48角) (58)
ø4.92 4.13(Ø 125) (105)
–N
P
1.34
2.98(34)(75.6)
2.13
3.97(54)(100.8)
3.86
5.91および6 (2)(98) (150および152.4) (2)3.00 (75)ø3.86 (Ø 98).31 (8).37 (9.5)-.00039

注）

ø1.97 -.00118
-.01

1）

URS75BCCのドライブボックスは20in（5mm）
本体からはみでます(Ø 50 -.03)

2）

URS150B：4スロットカウンターボード

CADファイルについては、弊社までお問合せください。

特殊な製品

測定機器

電動光学マウント

コントローラ&ドライバ

URS100BA
1.97(50)
3.07(78)
5.18(131.5)

1.00(25)

1.00 (25)B

URS75B

2.00 (50)角1.00 (25)角

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください