Motion

227

電動直進ステージ

RGV-Sシリーズ

高速精密回転ステージ

High-Speed Precision Rotation Stage
高い信頼性、および優れた位置感度を達成• 115 mm × 115 mmの極めて狭い設置面積 (RGV100の場合)• 精密ガラススケールエンコーダによる卓越した繰り返し再現性

GUE

CI

ANTE

NS

SP

Compliant

ンしてビデオを見る

AR

ED

RoHS

QRコードをスキャ

F I C ATI O

設計仕様

一般的仕様
アルミニウムベアリング

大直径スチールボールベアリング

モータ初期化

希土類マグネットを使用する高トルクブラシレスDC
モータ
初期化中に大きな動きを引き起こさず、ホール効果セン
サを必要としないプロセス (特許取得済み) を用いてXPSコントローラが実施します。

RGV100BL

RGV100HL-S

移動量
最大速度 (負荷なし)

720

最小移動量

0.10

0.04

中心耐荷重

1002700

フィードバックRGV100：1回転あたり15,000ラインペアを持つガラススケー
ルエンコーダ (1 Vpp)、XPSコントローラ併用の場合は信号を32,768分割
RGV160：1回転あたり28,800ラインペアを持つガラススケー
ルエンコーダ (1 Vpp)、XPSコントローラ併用の場合は信号を1,250分割

リミットスイッチ

RGV100：±168°近くに2個の光学式リミットスイッチ、外部スイッチから動作禁止設定可能
RGV160：リミットスイッチなし

双方向再現性(代表値)
一方向再現性(代表値 (保証値))
精度(代表値 (保証値))
揺動(代表値 (保証値))
偏心(代表値 (保証値))
慣性 (負荷なし)

原点

光学式、0°位置に固定、メカニカルゼロシグナル付き

自重

ケーブル長 (m)

5

MTBF

±0.15
±0.08 (±0.15)±0.10 (±0.15)±3.0 (±5.0)±5.0 (±10)±1.0 (±1.5)

内容RGV100BL-S

高速、高精密回転ステージ
360度、ブラシレスダイレクト駆動、超小型

RGV100HL-S

高トルク、高精密回転ステージ
360度、ブラシレスダイレクト駆動、超小型RGV160BL-S

高荷重、高速回転ステージ360度、ブラシレスダイレクト駆動、小型±5.0 (±10)±0.8 (±2.0)0.00104

0.001230.02411

2.6

3.6

17.5

90 kg負荷、1,000°/s速
5 kg負荷、720°/s速度および30%度および30%デューデューティーサイクルで20,000
ティーサイクルで時間
20,000時間
準拠
30110(1) 代表値仕様と保証値仕様の違いについては、www.newport.comのMotion
Control Metrology Primer (モーションコントロール計測方法入門) のページをご覧ください。

XPS-RL、XPS-D P283、288参照

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

特殊な製品

推奨モーションコントローラ：

測定機器

モデル

na (±7.5)±7.0 (±20)

CE
開口部直径±0.05 (±0.15)

電動光学マウント

XPSコントローラがエンコーダ信号通信を行います。

1000

コントローラ&ドライバ

モータ通信

発注のご案内RGV160BL-S

360連続

ヘキサポッド

基本材料

モータ

電動アクチュエータ

RGVシリーズはダイレクト駆動方式のコンパクトな回転ステージで、極めて優れた最小移動量と卓越した位置決め性能を兼ね備えた超高速回転を実現します。摩耗のないダイレクト駆動モータにより信頼性に優れた操作が保証されます。また、位置決めの高い繰り返し再現性を実現する高精密ガラススケール、高い剛性をもたらしブレを低く抑える大直径ベアリングを備えています。RGVは、位置決めへの使用やスピンドルとしての利用が可能です。用途としては、半導体ウェハ検査、マイクロロボティクス、精密計測、モーションシミュレータなどが挙げられ、特にMEMS、ジャイロ、加速度計の試験に適しています。RGVは、速度とトルクの要件に応じたドライバオプションを装備したXPSコントローラと互換性があります。

電動回転ステージ• 高効率ブラシレスDCトルクモータが、利用可能なトルクを最適化してすばやい2点間移動を実現

電動垂直ステージ• ブラシレスダイレクト駆動方式により高速回転、高トルク、Motion

荷重特性と剛性モデル
Cz、通常の中心耐荷重

RVG100

RGV160100 N2700 NKĮ、横方向の剛性

15 ȝrad/Nm

1 ȝrad/Nm

Mz、最大トルク(BL) 0.42 Nm@0°/S (HL) 1.43

39 Nm@0°/S

Jz、最大慣性0.032 kgm2

-Q ≤ Cz/(1+D/35)

Q ≤ Cz/(1+D/50)

Q、中心から離れた負荷

DQCz
Mz
kα

およびQ ≤ (Jz-Jq)/D2

D＝カンチレバー距離 (mm)、Jq＝搭載荷重慣性

寸法
RGV100:M6ネジ穴x4、1.97（50）角上深さ：.31（8）Pネジ穴xn、Q角上深さ：R

電動回転ステージ

電動垂直ステージ

電動直進ステージ

228(図はRGV100BL)

øG深さ：H図のモデル：RGV100HL

電動アクチュエータ

寸法インチ表記（カッコ内（mm））

注意： 各RGVステージの寸法に関する詳細については、㈱日本レーザーまでお問い合わせください。

C

コントローラ&ドライバ

ヘキサポッドRGVシリーズ回転ステージを使用した高速モーションシミュレータ
D

RGV100HL: M6ネジ穴x4、深さ：.47（12）2.95 x 1.97（75 x 50）上RGV160BL: M8ネジ穴x4、深さ：.63（16）5.91 x 1.97（150 x 50）
上–3側面上コネクタ
øFBE

電動光学マウント

A角

RGV100BL
RGV100HL

測定機器

RGV160BL

B
C
D
2.36 3.05 2.56(60) (77.5) (65)E
2.44(62)

FG
H
JK
3.07 1.97 +.00063.31 1.18 +.00051
00–(78)(50H7)(8)(30H6)
4.53 3.19 3.05 2.56 2.65 3.07 1.97 +.00063.31 1.18 +.00051
00–(115) (81) (77.5) (65) (67.3) (78)(50H7)(8)(30H6)
10.24 3.94
5.28 4.37 +.0014.56 4.33 +.0014
.56
00–––
(260) (100)(134) (111H7) (14.3) (110H7) (14.3)

øJ深さ：K

RGV100BL
RGV100HL
RGV160BL

Sネジ穴xn、
øT上深さ：U

特殊な製品

A
4.53(115)

øLザグリ穴x4M角上LM.29
3.97(7.5) (100.8).29
3.97(7.5) (100.8).35
7.87(9) (200)

nP

4

M44

M4

6

M5

Q
R
1.89 (48) .24
角(6)1.89 (48) .24
角(6)ø4.72.91(120)
(23)

S
M3
M3M5T1.38(35)1.38(35)
4.72(120)U.24(6).24(6).28(7)

RGV100:M5ネジ穴x4、
3.35（85）
角上
深さ：.31（8）定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください