Vibration Control

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テスト･解析・設計

S-2000 Stabilizer™

自動レベル調整機能付き空気圧式除振装置
Pneumatic Isolators with Automatic Re-Leveling

光学テーブル• 除振帯域幅と安定性を最大化するハイブリッドチャンバ設計• 共振振動を最小に抑えるラミナーフローダンピング機構• 極めて正確なレベル調製機構• 目視によるフィードバックが可能なレベル表示器の実装により、適正レベルでのテーブルのフローティングを実現

テーブルアクセサリー• クリーンルーム対応バージョンと非磁性バージョンを用意

タイバーに対応したS-2000A除振装置

除振脚

ラミナーフローダンピング機能はNewport社の独占技術で、高性能スタビライザの心臓部です。このスタビライザは、単独のダンピングオリフィスではなく何千もの微小オリフィスを採用して、全体的なダンピング効率を向上させています。さらに、移動ピストンとダンパー間の制御空気量を最小化するハイブリッドチャンバ設計を組み合わせることにより、優れた保護性能を実現しています。

ブレッドボード

S-2000除振装置は、評判の高い従来製品のI-2000から、特許取得済みのセルフセンタリング振り子設計、ラミナーフローダンピングシステム、および高精密自動レベル調整バルブなどの数多くの機能を取り入れて、優れた除振性能を実現しています。また、新しいS-2000の設計は、改良型のレベル表示器、埋め込み式のリフティングチャネル、および超低透磁率設計などの機能やメリットを追加することにより、使いやすさと機能性を大幅に向上させています。除振装置1台あたり2,000 lbの耐荷重を実現しているS-2000は、光学テーブル、大型検査機器、重器材、および広い下張りフロアの除振に最適なソリューションです。S-2000除振装置には、標準、クリーンルーム対応、および非マグネットのバージョンがあります。

数々の優れた性能のうちのいくつかを以下に示します。
• 速い収束時間により大規模および小規模の外乱に対応します。

タイバーシステム• 共振時の振幅が最小限に抑えることにより、システム全体の安定性を最大化しています。

• 高さ調整機構が組み込まれているため、詰め木やパテによる高さ調整をしなくても、テーブルの高さを最適化したり、平でない床面を補償したりすることができます。

ハニカム＆グラナイト構造• 目視によるフィードバックが可能なレベル表示器の実装により、適正レベルでのテーブルのフローティングを実現しています。

ワークステーション＆• 固有振動数を下げることにより、除振が困難な5 Hz以下の低周波数に対する優れた保護性能を実現しています。

除振プラットフォーム• アルミニウム製ケースにより、非磁性用途に利用可能な低透磁率を実現しています。非磁性バージョンは、アルミニウムと316ステンレススチールで製作されています。

振動の基礎知識定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

テスト･解析・設計

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Vibration Control

特許技術のセルフセンタリングピストンの使用により、設置は迅速かつ容易に行えます。ピストンの垂直ストロークの上端と下端でピストンが自動的にセンタリングされるため、動きが制約されずに最適な性能が得られます。除振装置をテーブルに取り付ける際は、SafeLock™マウントブラケットが除振装置とテーブル穴との正確な位置合わせを不要にします。また、高さ調整機構を備えているため、テーブル高の調整が簡単かつ迅速に行え、平でない床面の補償も可能です。さらに、目視によるフィードバックが可能な表示器を実装しているため、適正レベルでのテーブルのフローティングが可能です。

光学テーブル

S-2000シ リ ー ズ に はS-2000A、S-2000AC、 お よ びS-2000ANの3つ の バ ー ジ ョ ン が あ り ま す。
S-2000Aバージョンはレベル調整バルブを備えた標準の除振装置で、S-2000ACはレベル調整バルブを備えたクリーンルーム対応除振装置です。また、S-2000ANはレベル調整バルブを備えた非磁性バージョンで、アルミニウムと非磁性316ステンレススチールで製作されています。

S-2000-ACクリーンルーム対応バージョン

テーブルアクセサリー仕様
除振仕様
垂直除振*

ブレッドボード共振

水平除振*

共振時振幅5Hz 10Hz 共振 5Hz 10Hz 垂直 水平(%) (%) (Hz) (%) (%) (dB) (dB)

ダンピング
エレメントの空気制御

水平
ダンピング

除振装置
あたりの荷重モデル(Hz)

S-2000Aシリーズ

19498

1.58595109標準

オイル[lb (kg)]
2,000(900)

S-2000ACシリーズ

19498

1.58595109標準オイル

2,000(900)

S-2000-AN
シリーズ

19498

1.58595109標準オイル

2,000(900)

アルミニウム鋳造と316シリーズ非磁性ステンレススチールで製作される
S-2000AN非磁性バージョン*満載時の除振垂直高さ調整範囲
1.3 (33)

水平10201020

1010Ø 6.75 (171)0.19 (4.8)

dB
0.1-200.01

ワークステーション＆ハニカム＆グラナイト構造

0.810
垂直周波数 (Hz)30dB
0.1-20H-40

0.01-60

0.001-40Ø 10.0 (254.0)0.810水平周波数 (Hz)-60

他のサイズも対応できます。

物理的仕様
高さ[in. (mm)]3016 (406) 、19.5 (495) 、22 (559) 、23.5 (597) 、28 (711)

寸法[in. (mm)]

高さ調整[in. (mm)]1.3 (33)

モデル

Hhバルブ

IPV-S1

S-2000A-N16、S-2000AC-N16、S-2000-AN-N16

16.0(406)

3.8(96.5)

S-2000A-N19.5、S-2000AC-N19.5、S-2000-AN-N19.5

19.5(495)

7.3(185.4)

S-2000A-N22、S-2000AC-N22、S-2000-AN-N2222.0(559)

9.8(248.9)

S-2000A-N23.5、S-2000AC-N23.5、S-2000-AN-N23.5

23.5(597)

11.3(287.0)

S-2000A-N28、S-2000AC-N28、S-2000-AN-N28

28.0(711)

15.8(401.3)

レベル再調整精度[in. (mm)]±0.010 (±.250)

整定時間1.5秒(代表値)

最大空気圧[psi (kg/cm2)]

20–85 (1.4-6.0)

セルフセンタリング機能あり

フローティング高さ表示あり

他のサイズも対応できます。

振動の基礎知識

除振プラットフォーム

0.001

伝達率

除振脚

伝達率

移動範囲± 0.25 (6)定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認くださいVibration Control

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テスト･解析・設計発注のご案内
除振装置発注のご案内
モデル
S-2000A-4H、S-2000-AC-4H、S-2000-AN-4H除振装置の台数

耐荷重[lb (kg)]4660 (330) - 8,000 (3,600)

S-2000A-6H、S-2000-AC-6H、S-2000-AN-6H

6990 (500) - 12,000 (5,400)

S-2000A-8H、S-2000-AC-8H、S-2000-AN-8H

81,320 (660) - 16,000 (7,200)
光学テーブル

発注に使用する一般形式：

S-2000XX-NH

機構付、非磁性対応

1) S-2000A-428-TC
2) TBC-48

除振脚高さ
1619.52223.528テーブルアクセサリー

例：S-2000A-428を使用すると、4台の28 in.
除振装置とレベル調整バルブのシステム 除振装置バージョン：
A ‒ 自動レベルが指定されます。4 ft×8 ftテーブル用のタ調整機構付
イバー・キャスターシステムを追加する AC‒ 自動レベル
場合は、モデル番号の後ろに-TCを追加調整機構付、します。タイバーおよび/またはキャスタ
クリーンルーム対応
AN‒ 自動レベル調整の発注方法を以下に示します。

1セットの除振脚数
1
468モデル(メートル仕様)

ブレッドボード

S-2000Aシリーズ (レベル調整バルブ付き標準バージョン)
仕様

S-2000A-116

S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置1台

S-2000A-119.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置1台

S-2000A-122

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置1台

S-2000A-123.5

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置1台
S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置1台
S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置4台セット

S-2000A-419.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置4台セット

S-2000A-422

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置4台セット

S-2000A-423.5

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置4台セット

S-2000A-428

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置4台セット

S-2000A-616

S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置6台セット

S-2000A-619.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置6台セット

S-2000A-628

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置6台セット

S-2000A-816

S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置8台セット

S-2000A-819.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置8台セット

S-2000A-822

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置8台セット

S-2000A-823.5

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置8台セット
S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置8台セット
S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能およびタイバーオプション付き標準除振装置1台

S-2000A-122-TC

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能およびタイバーオプション付き標準除振装置1台

S-2000A-123.5-TC

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能およびタイバーオプション付き標準除振装置1台

S-2000A-128-TC

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能およびタイバーオプション付き標準除振装置1台

S-2000A-419.5-TC

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能およびタイバーオプション付き標準除振装置4台

S-2000A-422-TC

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能およびタイバーオプション付き標準除振装置4台

S-2000A-423.5-TC

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能およびタイバーオプション付き標準除振装置4台

S-2000A-428-TC

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能およびタイバーオプション付き標準除振装置4台

ハニカム＆グラナイト構造

S-2000A-828
S-2000A-119.5-TC

ワークステーション＆

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置6台セット
S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付き標準除振装置6台セット

除振プラットフォーム

S-2000A-622
S-2000A-623.5

除振脚S-2000A-128
S-2000A-416

振動の基礎知識定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

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テーブルアクセサリー光学テーブル

S-2000ACシリーズ (レベルバルブ付きクリーンルームバージョン)
モデル(メートル仕様)

内容

S-2000AC-116

S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置1台

S-2000AC-119.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置1台

S-2000AC-122

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置1台

S-2000AC-123.5

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置1台

S-2000AC-128

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置1台

S-2000AC-416

S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置4台セット

S-2000AC-419.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置4台セット

S-2000AC-422

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置4台セット

S-2000AC-423.5

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置4台セット

S-2000AC-428

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置4台セット

S-2000AC-616

S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置6台セット

S-2000AC-619.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置6台セット

S-2000AC-622

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置6台セット

S-2000AC-623.5

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置6台セット

S-2000AC-628

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置6台セット

S-2000AC-816

S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置8台セット

S-2000AC-819.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置8台セットS-2000AC-822

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置8台セット

S-2000AC-823.5

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置8台セット

S-2000AC-828

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付きクリーンルーム対応除振装置8台セット

除振脚

ブレッドボード

S-2000ANシリーズ (レベルバルブ付き非マグネットバージョン)

除振プラットフォーム

ワークステーション＆ハニカム＆グラナイト構造
振動の基礎知識

Vibration Control

モデル(メートル仕様)

内容

S-2000AN-116

S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置1台

S-2000AN-119.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置1台

S-2000AN-122

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置1台

S-2000AN-123.5

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置1台

S-2000AN-128

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置1台

S-2000AN-416

S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置4台セット

S-2000AN-419.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置4台セット

S-2000AN-422

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置4台セット

S-2000AN-423.5

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置4台セット

S-2000AN-428

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置4台セット

S-2000AN-616

S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置6台セット

S-2000AN-619.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置6台セット

S-2000AN-622

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置6台セット

S-2000AN-623.5

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置6台セット

S-2000AN-628

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置6台セット

S-2000AN-816

S-2000シリーズ、高さ16 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置8台セット

S-2000AN-819.5

S-2000シリーズ、高さ19.5 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置8台セット

S-2000AN-822

S-2000シリーズ、高さ22 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置8台セット

S-2000AN-823.5

S-2000シリーズ、高さ23.5 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置8台セット

S-2000AN-828

S-2000シリーズ、高さ28 in、自動レベル調整機能付き非マグネット除振装置8台セット

タイバー・キャスターシステムオプション
標準タイバー・キャスターオプションは下記テーブルのサイズをご提供しております。下記のモデル番号から標準負荷タイバーシステ
ムを加え、表にキャスタ付きかなしで選択してください。別のテーブルサイズに関しては、弊社に価格とデリバリーについてお問い合わせください。
キャスタ付きタイバーテーブル[ft. (m)]モデル(メートル仕様)

タイバーのみテーブル[ft. (m)]モデル(メートル仕様)

4 (1.2) x 6 (1.8)

TBC-46 (M-TBC-46)

4 (1.2) x 6 (1.8)

TB-46 (M-TB-46)

4 (1.2) x 8 (2.4)

TBC-48 (M-TBC-48)

4 (1.2) x 8 (2.4)

TB-48 (M-TB-48)

4 (1.2) x 10 (3.0)

TBC-410 (M-TBC-410)

4 (1.2) x 10 (3.0)

TB-410 (M-TB-410)

4 (1.2) x 12 (3.6)

TBC-412 (M-TBC-412)

4 (1.2) x 12 (3.6)

TB-412 (M-TB-412)

5 (1.5) x 6 (1.8)

TBC-56 (M-TBC-56)

5 (1.5) x 6 (1.8)

TB-56 (M-TB-56)

5 (1.5) x 8 (2.4)

TBC-58 (M-TBC-58)

5 (1.5) x 8 (2.4)

TB-58 (M-TB-58)

5 (1.5) x 10 (3.0)

TBC-510 (M-TBC-510)

5 (1.5) x 10 (3.0)

TB-510 (M-TB-510)

5 (1.5) x 12 (3.6)

TBC-512 (M-TBC-512)

5 (1.5) x 12 (3.6)

TB-512 (M-TB-512)

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください