Motion

265

Vacuum and Ultrahigh-Vacuum Picomotor™ Actuators

対応• 移動距離1/2インチ、1インチそして2インチ、回転動作タイプ、電動垂直ステージ• UHVバージョンは10-9Torr、Vacuumバージョンは10-6 Torrまで

電動直進ステージ真空仕様および超高真空仕様Picomotor™アクチュエータ

ヨーロピアンマウントタイプご利用可能

Compliant

電動アクチュエータ

New Focus社の真空対応及び超高真空対応Picomotorアクチュエータにはテフロン®コーティングされた短いリードが付いており、真空チャンバのフィードスルーと接続できるようになっています。しかし、X線や他の高放射線アプリケーションでご使用になる場合は、カプトン®コーティングの延長ワイヤつきの特注品をご注文されることをお勧めします。テフロンは高真空環境で使用できますが、X線などが繰返し照射されるような高放射線アプリケーションでの使用には不向きです。このような環境で使用すると、劣化して剥がれ落ち、電気ショートを招く場合があります。高放射線アプリケーションに使用できるようにカスタマイズしたこれらのPicomotorバージョンのアクチュエータのご注文については、日本レーザーまでお問い合せください。

電動回転ステージ• 優れた長時間安定性：セット位置を確実に保持

RoHS

仕様
8302-V

8303-V

8321-V

8322-V

8341-V

8353-V<30<30<30<30<30NA<308310-V<30

角度分解能1 (mrad)<0.6<0.6<0.6<0.6<0.6<1<0.6<0.6

軸耐荷重 (+Cx) (N)2222222222NA

1322

最大トルク (My) (Nm)

0.018

0.018

0.018

0.018

0.018

0.018

0.014

0.018

定格寿命2最大速度
操作温度範囲 (°C)
マウント方式
ケーブル長 [m (ft.)]>1x109 ステップ >1x109 ステップ >1x109 ステップ >1x109 ステップ >1x109 ステップ >1x109 ステップ >1x109 ステップ >1x109 ステップ0.50 (12.7)

1.00 (25.4)

2.00 (50.8)

0.50 (12.7)

1.00 (25.4)

1.2 mm/min
1.2 mm/min
1.2 mm/min
1.2 mm/min
1.2 mm/min@ 2 kHz@ 2 kHz@ 2 kHz@ 2 kHz@ 2 kHz
パルスレート パルスレート パルスレート パルスレート パルスレート
10 - 40

10 - 40

10 - 40

10 - 40

10 - 40NA
3-4 RPM0.50 (12.7)

0.50 (12.7)

1 mm/min.
1.2 mm/min@ 1.75 kHz@ 2 kHz
パルスレート パルスレート

10 - 40

10 - 40

10 - 40

0.375 in.
シャンク

0.375 in.
シャンク

0.375 in.
シャンク

12 x 0.5 mm
ネジ

12 x 0.5 mm
ネジ

0.375 in.
シャンク

0.25 in.
シャンク

0.375 in.
(9.5 mm)
シャンク

2.1 (7)2.1 (7)2.1 (7)2.1 (7)2.1 (7)2.1 (7)2.1 (7)

1.8 (6)8302-UHV-KAP
8302-UHV

8321-UHV-KAP
8321-UHV

8341-UHV

最小移動量 (nm)<30<30<30NA<30

角度分解能1 (mrad)<0.6 ȝrad

<0.6 ȝrad

<1 ȝrad<1 ȝrad<0.6 ȝrad

8353-UHV

222222NA13

最大トルク (My) (Nm)

0.018

0.018

0.018

0.018

0.014

>1x109 ステップ

>1x109 ステップ

>1x109 ステップ

>1.5x109 ステップ0.50 (12.7)

1.00 (25.4)

0.50 (12.7)NA

0.50 (12.7)

1.2 mm/min @ 2 kHz
パルスレート1.2 mm/min @ 2 kHz
パルスレート1.2 mm/min @ 2 kHz
パルスレート3-4 RPM

1.2 mm/min @ 2 kHz
パルスレート

10 - 40

10 - 40

10 - 40

10 - 40

10 - 40

0.375 in. シャンク
(9.5 mm シャンク)

0.375 in. シャンク
(9.5 mm シャンク)

12 x 0.5 mm ネジ(12x0.5-mm ネジ)

0.375 in. シャンク
(9.5 mm シャンク)

0.25 in. シャンク
(6.4 mm シャンク)

2.1 (7)2.1 (7)2.1 (7)2.1 (7)2.1 (7)

定格寿命2
直進移動量 (mm)
最大速度
操作温度範囲 (°C)
マウント方式
ケーブル長 [m (ft.)]

これらの電動コンポーネントはエンコーダを内蔵していないため、再現性は規定/保証されていません。順方向と逆方向のステップサイズは20%以上異なります。
2
寿命はアクチュエータを5 lbの軸荷重において片道1 mmの移動範囲で回転させてテストしています。
- UHVモデルは10-9Torr の真空対応です。
- KAPはカプトンコーティングワイヤ付モデルです。

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

特殊な製品

1

測定機器

軸耐荷重 (+Cx) (N)

電動光学マウント

8301-UHV-KAP
8301-UHV

コントローラ&ドライバ

直進移動量in (mm)

ヘキサポッド

8301-V
最小移動量 (nm)

電動直進ステージ

266

MotionModel 8310-V

クローズドループ真空仕様Picomotorアクチュエータ

米国特許 #5,394,049、#6,911,763、および#5,410,206• 10-6 Torrまで対応可能• 従来のPicomotorアクチュエータのすべての利点を備えた較正済みの高精度ポジショニング• 弊社のモジュラ式iPico™ネットワーク
コントローラと完全に互換
3.085"(78.36)

0.375"(9.50)

Model 8310-V

0.25"
(6.4)

0.795"(12.57)

Picomotor™アクチュエータUltra

移動量：最小0.78"（19.8）〜最大1.28"

取付け板：
R 0.094" 最小厚さ0.24"（6.1）(2.38)
440Cボール
取付け板：
止めナット
最大厚さ0.34"
（8.7）

取付け面

• VUV/EUV & UHV環境下での使用に最適な超クリーンタイプ• 分解能< 30 nm &先端無回転

1.150"(29.21)

ツイストペア排出ユニット追加用の0.09"（2.4）
クリアランス• ライフタイム：> 5,000
0.67" (17.02)

Model 8338ケーブルを取り付けたModel 8330
PEEK製小型151. 上図に示されたケーブルは長さ19インチで、ピンSub-Dコネクタが付いています。センサワイヤは11コンダクタのテフロン製リボンケーブルであり、Picomotorワイヤはシールドされた2線ツイストペアです。

Model 8321

ヘキサポッド電動アクチュエータ

電動回転ステージ

電動垂直ステージ

メモ1

Model 830X

米国特許 #5,394,049 & #5,410,206

米国特許 #5,394,049 & #5,410,206

2.23" (56.5) 8301-UHV用
2.83" (63.5) 8302-UHV用

2.23" (56.5)
3/8-40
保持ナット

1.31" (33.3)

3/8-40保持ナット

0.60"(15.2)

ストッパーナット

0.20"
(5.1)

0.080"(2.03)

0.37" (9.5)
0.30" (7.62)

0.63" (16.0)

1.31" (33.3)
0.81" (20.6)
0.60"(15.2)

0.20"
(5.1)

0.63" (16.0)

0.163" (4.14)
0.34" (8.6)
1.27"(32.2)
0.19"(4.8) ball

電動光学マウント

コントローラ&ドライバ

0.81" (20.6)

1.27"(32.2)

0.188" (4.76)
0.55" (14.0)
0.16" (4.0)

1/8" 六角形

0.55"(14.0)

白いワイヤ
長さ1.75" (44.5)
テフロン 0.02 (0.5)
メタル 0.01 (0.3)

0.37" (9.5)

0.64"(16.4)

0.16" (4.0)
0.58"(14.7)

白いワイヤ
長さ1.75" (44.5)
テフロン 0.02 (0.5)
メタル 0.01 (0.3)

最小 0.26" (6.6)
最大 0.34" (8.6)

0.64" (16.4)
0.58"(14.7)

赤いワイヤ
長さ1.75" (44.5)
テフロン 0.02 (0.5)
メタル 0.01 (0.3)

特殊な製品

測定機器

赤いワイヤ
長さ1.75" (44.5)
テフロン 0.02 (0.5)
メタル 0.01 (0.3)

モデル

内容

8301-V

真空対応Picomotorアクチュエータ、0.5 in.移動量、0.375 in.シャンク

8302-V

真空対応Picomotorアクチュエータ、1.0 in.移動量、0.375 in.シャンク

8303-V

真空対応Picomotorアクチュエータ、2.0 in.移動量、0.375 in.シャンク

8321-V

真空対応Picomotorアクチュエータ、12.7 mm移動量、12x0.5 mmネジ

8322-V

真空対応Picomotorアクチュエータ、25.4 mm移動量、12x0.5 mmネジ

8341-V

真空対応Picomotorアクチュエータ、回転シャフト

8310-V

真空対応クローズドループPicomotorアクチュエータ、12.7 mm移動量

8353-V

真空対応Tiny Picomotorアクチュエータ、0.5 in.移動量

定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください