Review
波長 2µm 帯ナノ秒、フェムト秒
波長 μP 帯ナノ秒、フェムト秒
短パルス Tm レーザー光源の開発
短パルス 7P レーザー光源の開発


写真位置
削除しないでください

戸倉川*
戸倉川正樹正樹

M. Tokurakawa
１．まえがき本稿では我々が高効率・高出力動作を目指して開発を進 現在までにレーザー加工は我が国の主要な製造業、例えめてきた、パルス幅やエネルギーの異なる 4 種の波長 2 μm

ば自動車やスマートフォンなどの製造において必要不可

帯短パルス Tm レーザー光源：I. Tunable noise like pulse Tm

欠な技術となっている。レーザー加工はパラメータを変えfiber laser、II. All fiber noise like pulse Tm laser、III. Q スイ

ることによりその性質を変えることが可能であり、マスカッチ Tm ファイバーレーザー、VI.モード同期 Tm 固体レースタマイゼーションや IoT(Internet of Things)などと親和性

ザーについて報告する。の高い加工法であり、個々人の要求に応じたより高付加価値な製品を提供することを可能とする超スマート社会の２．7XQDEOHQRLVHOLNHSXOVH7PILEHUODVHU

実現においてもその役割は大きい。現在高精度なレーザー

ファイバーレーザーは長い作用長、導波路構造による横加工には主として高出力・高効率・高集光性を有した波長モード制御性、堅牢さと形状自由度などによって、高利得、1μm 帯 Yb レーザーやその高調波が用いられているが、従高平均出力、高ビーム品質、高安定、コンパクトなどの特来とは異なる性質を有す新材料開発も日々進められてお性を有した実用的な光源を可能とする。しかしその特性かり、対象物質や目的に応じて最適なレーザー波長を選択す

らラマン散乱や自己位相変調などの非線形光学効果によることが有効である。例えば 2 μm レーザー光は高分子材り、発生可能なパルスエネルギーは制限をうけ易い。

料であるプラスチック材料のマーキング、溶接などにおい

波長 2 μm 帯ファイバーレーザーはシングルモード動作て 1μm 帯のレーザー光に比べて吸収が強く有効であり、時のビーム径拡大側(ビームエリア∝λ2)から波長 1μm 帯レ

逆にシリコンなどでは線形吸収が小さく、ステルス加工やーザーに比べ非線形光学効果の抑制が可能であり、より高3 次元加工などの非線形加工に適している 1)。欧州では 2

パルスエネルギー動作が可能と考えられる(ソリトンモーμm ファイバーレーザーの EU プロジェクト ISLA などもド同期やナノ秒パルスではこれはおおむね正しい)。また走っているのに対して、我が国では 2 μm 帯レーザーの研Tm ファイバーは 2μm 帯に広い蛍光スペクトルを有してお究は遅れをとっており、産業応用と科学応用の両方の意義り、適切な共振器構成により、連続発振においては約 1750での早急な研究開発体制の強化が必要とされている。

nm-2100 nm の範囲で波長可変レーザー動作が実現されて

波長 2μm 帯を含む中赤外光(2-5 μm)は Ti:Al2O3 レーザーいる(2200 nm までの動作も報告されているが 6)、この波長や Yb レーザーの 0.8-1 μm 光を基本とし、酸化物系の非線帯は Ho レーザーがより一般的である)。このような波長可形結晶を用いた波長変換によって得ることが可能である

変性は応用上好ましいが波長 2 μm 帯では広帯域で低損が、システムが複雑化し全体の効率も制限されてしまうと失な波長可変素子はまだ少なく、共振器構成の複雑化や損いった問題がある。そこで固体レーザーやファイバーレー媒質を用いた 2 μm 帯レーザーが大きな注目を集めている。
Tm レーザーは 0.8 μm 帯のレーザーダイオードによる直接励起によって、交差緩和過程をともなう量子効率 2 の高効率なレーザー動作が可能であり(図１)、連続発振ファイバーレーザーでは平均出力１kW が 2010 年に報告されている 2)。また Tm レーザーを励起光源としても用いた Ho レーザーや遷移金属 Cr2+:ZnS レーザーなどの研究も盛んであり、前者は波長 2.1 μm 帯において高出力動作に優れ平均出力 400 W が達成されており 3)、後者は中赤外領域のTi:Al2O3 レーザーとも呼ばれ、波長~2.4 μm 帯で sub-30 fsの超短パルス動作が実現されている 4)。
* 電気通信大学

レーザー新世代研究センター

1.5

normalized output power

ザーによる高効率な直接発生が望まれ、近年特に Tm 添加(a)core pumpclad pump

10.50
1700 1800 1900 2000 2100

wavelength (nm)
図 1 (a)励起方法の異なる共振器構成おける Tm fiber
laser の波長可変特性.(b) Tm3+イオンのエネルギー準位図.利得波形は参考文献 6 などを参考に

准教授- 105 -
図 2 波長可変 SESAM モード同期 Tm ファイバーレーザー実験装置概要
失の上昇を伴ってしまうことも多い。また波長 2 μm を超長 2 μm 帯においてシングル横モードであるとともに、異えるような中赤外領域で超短パルス発振を支えることの常分散を有している。

できる透過バンド幅を有するような波長可変素子は現在得られたレーザーの出力特性を図 3a に示す。HR ミラーのところ非常に乏しい。そこで本研究では、変調素子としおよび SESAM を使用したとき、前者では最大出力 213て SESAM(半導体可飽和吸収体鏡)を使用した直線型共振

mW 、スロープ効率 7.4%が、後者では最大出力 195 mW、器構成の下、任意波長で利用可能なレンズの色収差を利用スロープ効率 6.8%が得られた。SESAM 使用時には出力がした波長可変機構を備えた、2 μm 帯波長可変 SESAM モ

86 mW を超えたところから時間波形に大きな変調が乗っード同期 Tm ファイバーレーザーの開発を行った。

た繰り返し周波数 20.5MHz のパルス列がオシロスコープ開発した波長可変 SESAM モード同期 Tm ファイバーレにて観測され、出力が 176 mW を超えたところから変調のーザーの構成を図 2 に示す。利得ファイバーには、Tm 添少ないパルス列が観測された(3b)。この繰り返し周波数は加シリカガラスファイバー(コア径 10 μm、NA≈0.13、Tm共振器のファイバー長に一致しており、パルスエネルギー添加濃度≈0.2wt.%, Uni. Southampton.)を用いており、励起は最大出力時で約 9.5 nJ と推測される。出力 195 mW 時の光源には波長 1555 nm、Er:Yb ファイバーMOPA を使用しスペクトル半値全幅は 18.9 nm であり(図 3c)、Sech2 型のフ

WDM の A ポート(図 2)を通して C ポートに融着された利ーリエ限界パルスを仮定するとパルス幅 (FWHM)は約得ファイバーをコア励起している。WDM の B ポートには、200fs と計算されるが、パルスエネルギーとファイバーのミラーを端面に蒸着したファイバー(反射率 R ≈ 60%)を融分散値から基本ソリトンのパルス幅を計算すると約 30 fs着し出力鏡として用いている。 利得ファイバーのもう一程度と計算され、基本ソリトンの状態では発振していない方の端面には APC コネクタ処理がなされたファイバーがことが推測される。またケリーサイドバンド 7)やマルチパ

融着され、そこからの出射光はレンズ系によって SESAM

ルス発振特有のスペクトル構造 8)も現れておらず、自己相または HR ミラー上に集光、反射され、ファイバーに再結

関波形(図 3d)は中心部の幅~335 fs x 1.55 のピークと、幅＞合される。使用しているファイバーは全て非偏波保持で波200 ps の土台成分によって構成されており、7 GHz(立ち上
1.2(b)HRSESAMnormalized intensity

200 (a)

(c)

0.6

100

18.9 nm0.4

500pump power [mW]1.2(d)

measuredSech2 fit
1.55 x 335 fs

3.4

101900 1910 1920 1930 1940 1950 1960

wavelength [nm]250

47 .5 nm(e)2000.80.60.43.20.23-2 -1.5 -1 -0.5

00.5

1delay time [ps]1.5201880

1900

1920

1940

wavelength [nm]

1960

(f)

1960
1950
1940

150

1930

100

1920
1910

5000

1900
50 100 150 200 250 300 350 4001890

relative position of SESAM [m]

図 3 波長可変 SESAM モード同期 Tm ファイバーレーザー(a) 出力特性、(b)パルストレイン、(c) 195 mW 出力時スペクトル. (d) 測定された自己相関波形の代表例、(e)スペクトルの SESAM 位置依存性、(f)出力(●)、測定された中心波長(■)、計算された中心波長(▲)の SESAM 位置依存性.

- 106 -peak wavelength [nm]3.620μs

500 1000 1500 2000 2500 3000 3500

3.80.2

average power [mW]

0SHG signal (a.u.)

10.8

150

normalized intensity

output power [mW]

250がり時間~50 ps)のオシロスコープでは 200~300 ps のパルス幅が観測された。これらスペクトルおよび自己相関波形の特徴はノイズライクパルス発振状態の特徴に良く一致しており、我々のレーザーが基本ソリトンではなくノイズライクパルス状態であることが推測される 9)。ノイズライクパルス発振では共振器中で光パルスがソリトン形成と崩壊を繰り返し複数のパルスに分裂し、パルス群を形成し、群としての実効的なパルス幅は ps~ns に増加してしまうが、100 nJ 以上の高い実効的パルスエネルギーを発振器から直接発生することも可能である。
またこの実験系において、SESAM 位置を光軸方向に~320 μm 程度移動することにより 10~20 nm という広いスペクトル幅を有するノイズライクパルス発振状態で約 48nm の波長可変性が得られ（図 3e）、同様の波長可変性はSESAM を高反射ミラーに変えても得られた。SESAM の相対位置と平均出力、ピーク波長の関係は図 3f のように示され、ミラーの移動量に対する波長変化は中心波長1930nm までは線形であり、微分量は~1.7 x 10-4 であった。

図  全ファイバー型高効率・高出力ノイズライクパル
ス 7P レーザー概略図。 D 発振器、 E 増幅器

３．$OOILEHUQRLVHOLNHSXOVH7PODVHU
長期安定動作を考える上ではレーザーの全てがファイ

この波長可変性の理由は、集光レンズ系の色収差によってファイバーへの結合効率が波長と SESAM 位置に依存するためと考えられる。各波長に対する結合効率のミラー位置依存性を計算すると図 4 のように示され、約 50 nm の波長シフトに対して必要とされる SESAM 移動量は~230 μm と見積もられ、微分係数 dλ/dz は~1.7 x 10-4 となり、これは実験で得られた値によく一致している。発振波長のシフトは共振器の損失変化によっても起こりえるが、上記の計算と実験の一致により、本実験の波長シフトはレンズの色収差によって引き起こされていると推測される。QP より長波長側での線形からの逸脱は利得幅限界から生じていると推測される。また計算よりレンズ系透過バンド幅は半値全幅で 20~30 nm となりこれは現在のモード同期レーザーの帯域幅を制限していると考えられ、レンズ系やファイバー長の最適化によって更なる短パルス化や波長可変性が得られることが期待できる。さらにこれを種光源とすることにより波長可変性を有した平均出力 10 W 以上、パルスエネルギーμJ 以上の増幅システムを開発することもcouplling effeciency (MFA ratio)可能である。

こで本研究では自由空間を排除し、全ファイバー化された高効率･高出力ノイズライクパルス Tm ファイバーレーザーの開発を行った。図 5a に開発した全ファイバー型 Tm
レーザー構成図を示す。励起光源と利得ファイバーは前述の実験と同様であり、可飽和吸収機構には SESAM に変えて分岐比 10/90 のカップラーを用いた非線形ループミラー10)を使用した。ループファイバーには 114 m の SMF28 を利用しており、偏波制御のため偏波コントローラーを設置している。このループファイバーは繰返し周期を低下させ、パルスエネルギーの増加にも寄与する。出力はループミラー後に融着された分岐比 40/60 のカップラーの 40 側ポートから取り出し,最大平均出力 200 mW、スペクトル幅 13.9nm、繰り返し周波数 1.6 MHz、パルス幅～5 ns、パルスエ
ネルギー125 nJ のノイズライクパルス発振が得られた。
この出力を種光として図 5b に示すようなダブルクラッド Tm ファイバー(長さ:1m, NA:0.13,コア径:13 μm, クラッド径：128μm)を用いた増幅器を開発した。次頁図 6a に増幅特性、図 6b に最大出力時のスペクトルを示す。このと1.2き利得ファイバーを水冷却することによって中心波長230 um11940 nm
1930nm
1920nm1910 nm1900 nm1890 nm0.80.60.41893 nm という Tm の再吸収の影響を強く受ける短波長領域においてスロープ効率 44%、最大平均出力 10.2 W、パルスエネルギー 6.4 μJ の増幅動作が得られた。パルス幅は増幅前からほぼ変化がなく約 5ns となっている。スペク
トルに見られる周期的な構造は増幅器においてエタロン

0.20バーで構成され、自由空間を含まないことが望ましい。そ効果が生じているためであると推測しているが確証はな
0200

400600position of SESAM (um)800

図 4 各波長におけるファイバー結合効率のSESAM 位置依存性の計算結果

い。出力特性をみると空冷では 5 W 励起あたりから出力飽和が発生してし、水冷却時には増幅出力は線形に上昇した。現在の出力は励起パワーで制限されており、励起 LDを増設し適切な冷却とファイバー端面に End-cap などを施せば平均出力 50～100 W も可能と考えられる- 107 -を与えている。0 次の回折光を用いる場合に比べて損失変12(a)output power [W]

10調深さを大きくできるため、より多くの非飽和利得、すな

water cooling
air cooling8

わち短パルス性と高エネルギー性を得ることを可能としている。また AOM は偏光依存の回折効率と周波数シフト6を与えるため、偏波ファイバーの軸と合わせることによっ4て縦モードフリーの直線偏光出力も得られている。利得フ2

ァイバーのもう一方の端面は垂直にクリーブされ、フレネ

005101520

pump power [W]25

ル反射による約 3.6%反射の取り出しポートとして使用さ30れている。出力にはわずかながら残存励起光が含まれているためダイクロイックミラーによって分離している。
励起出力を 3W と固定し AOM の繰り返し周波数をnormalized intensity

1.21(b)

1kHz-100kH と変化させたときに得られたパルスエネルギーと平均出力、パルス幅とピーク光強度の関係をそれぞれ0.8

図 8a,図 8b に示す。平均出力は 20 kHz 以上では約 260 mW0.6で一定となり、20 kHz 以下では減少している。この減少

0.4は Tm の上準位寿命が～300 μs と比較的短いことから誘導

0.201860

図 

放出以外でのエネルギー消費が増加するためと考えられ
1880

1900

wavelength [nm]る。繰り返し周波数を低下させていくと 1 kHz まではパル

1920

スエネルギーは上昇し、1kHz の時に最大パルスエネルギー約 84 μJ、パルス幅 29 ns が得られた。最大ピーク光強度

D 増幅特性 E 最大出力時のスペクトルは約 3 kW となり、これは高非線形光ファイバーを利用した超広帯域光発生や試験的なレーザー加工実験に用いる動作によってモード同期レーザーに比べて遥かに高いパによる波長制御機構を加え、狭線幅性と波長可変性を加えることを行っている。

ルスエネルギーを得ることが可能である。我々はナノ秒パQ スイッチ Tm ファイバーレーザー開発を行っている。
開発したレーザー装置概要を図 7 に示す。共振器はファブリーペロー型であり、利得ファイバーは偏波保持型ダブルクラッドファイバー(コア径 10 μm,クラッド径 130μm)が用いられ、波長 793 nm マルチモード LD によって偏波保持励起コンバイナーを通して励起されている。ファイバ

0.40.35 (a)0.3

Average power (W)ルスによるレーザー加工実験のため波長可変性を有した

20peak power(kW)ィードバックとし、Q スイッチレーザー動作に必要な変調403(b)

10Frequency (kHz)

0100

200
peak power

pulse duration

1002101 
図  波長可変ナノ秒 4 スイッチレーザー概略

800.150.1

4学変調器(AOM)を用いて AOM が ON 時に 1 次回折光をフ10060ーを融着しフレネル反射による寄生発振を抑制している。
APC からの出射光を非球面レンズでコリメートし音響光

pulse energy

0.25
0.2

0.05
1ーの片短面には APC コネクタを取り付けた PM ファイバ

average power

Pulse energy (J)

数十 ns レベルのパルス幅であれば Q スイッチレーザーのに十分な値と考えられる。現在このレーザーに回折格子

pulse duration (ns)

４．ナノ秒 4 スイッチ 7P ファイバーレーザー

10

Frequency (kHz)0100

図  AOM の繰り返し周波数に対するパルスエネルギーと平均出力、ピーク光強度とパルス幅の関係- 108 -

５．モード同期 7P 固体レーザー 

得られ易くなる。また従来モード同期発振器に用いられて一般に非熱加工などを行う際にはサプ ps レベルのパル

いた Ti:Al2O3 励起と比べても安価で高効率・高出力・高安

ス幅が望ましいが 13)、このレベルのパルス幅で μJ～ｍJ定な励起光が得られる。③励起ファイバーレーザーの改良を超える高いパルスエネルギーを発生させるためには利により高エネルギーパルス励起なども可能となる。我々は得媒質にファイバーではなく固体媒質を利用することがこれらの特徴より従来のシステムでは得られなかったカ必要となるが、得られる出力特製は使用する利得媒質に強ーレンズモード同期レーザーによる超短パルス発生を目く依存する。

指した。
Tm3+:Sc2O3 結晶を用いたモード

図 10 に実験装置概略を示す。共振器は非点収差補正 Z同期レーザーの開発を行った。使用した Tm3+:Sc2O3 の特型共振器を用いており、励起光源には 1611 nm Er,Yb ファ

本研究では利得媒質に徴を幾つか上げると(表 1)、①Tm:YAG などと比べ、レーイバーMOPA(直線偏光、狭線幅) を用いた。利得媒質は長ザーの上準位寿命が 1/3 程度と短く蛍光断面積が大きいた

さ 3.7 mm、1％添加の Tm:Sc2O3 結晶をブリュースタ角でめ比較的にエネルギーを取り出し易い。②波長 2100～用いた。凹面鏡は曲率 100 mm、高反射コート 1850-2300 nm

2170nm という一般的な Tm、さらには Ho 添加媒質よりもを有している。エンドミラーは分散補償鏡とし分散補償を長波長帯において広帯域な利得を有している(図 9a)。この行い、出力鏡(OC)は透過率 0.5%, 1%、2.5%@2000-2300 nm

波長域は水の吸収が少なく、さらに長波長中赤外の 3 種類を使用した。

(~4-12μm)に波長変換する際に変換用の非線形結晶中の多光子吸収を低減させる上でも有用である。③Cr:ZnS などと比べて 3 桁大きな上準位寿命を有し、さらに非線形屈折率は 5 分の 1 程度であることから、増幅器として用いた場合出力スケーリングに優れる可能性が高い。 
また Tm 添加モード同期固体レーザーは励起光源として 800nm 帯の Ti3+:Al2O3 レーザーが用いられてきたが、本研究では新しく波長~1600 nm ファイバーレーザーによるin-band 励起システムを開発した(図 9b)。本励起システム

図  ファイバーレーザー励起 7P6F2レーザー実験図の特徴を述べると、①従来の 800 nm 励起では交差緩和過図 11 に透過率 0.5％出力鏡を用いたときの出力特性を程を伴う量子効率 2 の励起プロセスを効率的に発生させ示す。0.9W 励起時に出力 130 mW,パルス幅 72 fs (図 12a)、発熱量増加や非線形な緩和過程の発生が問題となってい繰り返し周波数 95 MHz のパルス発振が得られた。スペクたがそれらが抑制される。②LD 励起と比べると安定で高トル幅は約 67 nm(図 12b)、中心波長 2108 nm であり、カい空間励起ビーム品質が得られ、カーレンズモード同期がーレンズモード同期がかかった瞬間に 50 mW 程の出力増

12e (10^-21/cm2)

10Output power (mW)るため高濃度の Tm 添加が必要とされ､単位体積あたりの(a)864201800

図 190020002100wavelength (nm)

2200

150CWML

12090603000

D 7P 6F2 誘導放出断面積、 E QP 励起と
QPLQEDQG 励起の違い

Tm:Sc2O3
Tm:YAG
Yb:YAG
Ho:YAG
Cr:ZnS λ(nm)~1960~2120~2010~1030~2090~2400

BW(nm)~60~50~30~10~30~800

σ10-20cm2~1~0.3
0.15
2.1~0.9~140400

600

800

Pump power (mW)

1000

図  カーレンズモード同期 7P6F2 レーザー出力特性

表 1 各種レーザー利得媒質の比較
Table 1. Comparison of laser gain media

Material200τms
3.4
1018.50.006- 109 -στ
10-23s･cm2~3.4~1~1.5~2.1~7.6~0.84Is
kW/cm2~1.5~5~3.4~5~0.65~5K
W/m･kn210-15cm2

7~16~1.1

10~1110~11~10~27.2

0.570.57
0.576.3

SHG Intensity (a.u.)

1.2
1６．結び

(a)

我々は高効率・高出力動作が可能な波長 2μm 帯パルスレーザー光源の開発を行った。I. Tunable noise like pulse

0.8Tm fiber laser では、新しい波長可変方法により波長帯 2μm72fs x 1.55

0.6において 20nm 近くのスペクトル幅を有したノイズライク

0.4

パルス発振状態において波長可変幅 48nm を実現した。II.

0.20-400 -300 -200 -100 0All fiber noise like pulse Tm laser では、安定な全ファイバー
100 200 300 400型という構成のもと発振器から 100 nJ 以上のノイズライ

Time delay (fs)Intensity (a.u.)

1.2
1クパルス発振に成功し、それを増幅することによって平均出力 10 W 以上、パルスエネルギー6 μJ 以上を実現した。

(b)III. Q スイッチ Tm ファイバーレーザーでは、パルス幅 29ns,0.8

パルスエネルギー84 μJ を得ることに成功した。IV.モード

67nm

0.6

同期 Tm 固体レーザーではカーレンズモード同期に成功

0.4

し W レベルの平均出力の 300 fs パルスや、70fs 程度の超0.2短パルスレーザー発振に成功した。

02000

2100

2200

Wavelength (nm)

今後の展望として現在までに開発したパルス幅 100fs～

2300

100ns の 2μm 帯レーザーと今後開発を進める増幅器を組み

図  カーレンズモード同期 7P6F2 レーザーD 自己相関波形、 E 発振スペクトル合わせ、ポリマー材料の微細加工や、シリコンの 3D 加工への応用を進めていきたい。  加が見られた。発振スペクトルは 2120nm および 2150nm

謝 辞

中心の二つの利得帯全域(図 9a)にまで広がっている。

本研究は，公益財団法人天田財団からの一般研究助成に透過率 1%,及び 2.5％の出力鏡を用いて実験を行ったとより実施した研究に基づいていることを付記するとともき(この時は分散補償にはプリズム対を用いた)、前者ではに，同財団に感謝いたします．また本研究の一部は科学研

最大出力 420 mW、パルス幅 116 fs、後者では最大出力１究費補助金および最先端の光の創成を目指したネットワW、パルス幅 298 fs が得られた。前者においてはピーク光ーク研究拠点プログラムよりもご支援をうけて実施しま

強度は 40kW 近くに達しており、後者においては励起出力した。

3.7W であり、60％の吸収効率を仮定すると、対吸収パワーの効率は約 45％という非常に高効率な動作に成功した。
本研究の結果を他グループの報告と比較すると(図 13)、

参考文献
1)

Ti:Al2O3 励起に比べて高効率なファイバーレーザー励起の元、短パルス領域で数倍以上の高出力化に成功したこと

I. Mingareev et.al., Optics & LaserTechnology, 44,2095–2099 (2012)2)がわかる。今後共振器の分散量や励起出力の最適化をによ

T. Ehrenreich et al., SPIE Photonics West 2010 7580,
Session 16:Late-Breaking News January (2010)

り更なる短パルス化や高出力化が可能と考えられる。また

3)

N. Simakov, et. al, ECOC 2014, France Tu.3.4.1 (2014)

これを種光として LD 励起型の増幅器によってサブ ps レ

4)

S. Vasilyev et. al, Opt. Express 24, 1616-1623 (2016)

ベルのパルス幅を可能とする、高出力増幅システムを構築

5)

Y. Mashiko, E. Fujita, and M. Tokurakawa, Optics

することを現在目指している。

Express 24, 26515-26520 (2016)

4

Output power (mW)10

Sc2O3 Kerr-lens
Sc2O3
Lu2O3
LuScO3

310

KLuW
MgWO4
CLNGG
LuYO36)

J. Li, et. al., Opt. Express 22, 5387-5399 (2014)

7)

S. M. Kelly, Electron. Lett. 28 (8), 806 (1992),

8)9)J. Li, et.al., Opt. Express 22, 7875-7882 (2014)

10) K. Smith et al., Opt. Lett. 15 (22), 1294 (1990)

21011) M. Tokurakawa et. al.,Opt. Lett. 42, 3185-3188 (2017).
12) A. Suzuki, M. Tokurakawa, C. Kränkel, CLEO/Europe

110M. J. Lederer, et. al., J. Opt. Soc. Am. B 16, 895-904(1999)

050

100
150200
Pulse duration (fs)250

2019 CA-6.3, Germany (2019)

30013) 藤田雅之,J. Plasma Fusion Res. Vol.81, Suppl. 195－201 (2005)

図  他のグループの報告との比較．赤丸が我々の結果であり、aIV 領域で高出力動作に成功している

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