極微量長尺単層カーボンナノチューブ添加による高硬度セラミックスのレーザー加工性の改善
香川大学 創造工学科教授 楠瀬 尚史（2019 年度 一般研究開発助成 AF-2019214-B2）

キーワード：窒化アルミニウム，カーボンナノチューブ，レーザー加工

１．研究の目的と背景い研究となることが予想される．

構造用セラミックスに代表される Al2O3 や AlN は高硬カーボンを複合化した場合，レーザー加工に与える効果度かつ高強度であるため機械加工が困難であり製品価格

としては，レーザーエネルギーの吸収体としての役割があの 70％が加工コストと言われている 1,2）．セラミックスがるカーボンはレーザー光によって昇華するほどのエネル金属に比べて優れた硬度，耐熱性，耐食性をもちながら，ギーを蓄えることができることが報告されている．この分その実用化が制限されている大きな要因はその加工コス散されたカーボンが得たエネルギーを隣接するセラミットからくる高価格にあると言われている．この高価な加工

クスにも伝搬することができれば，セラミックスのレーザコストのため，セラミックスは金属に比べ強度，耐熱性，ー加工性を改善することが期待できる．このようなカーボ耐摩耗性，耐腐食性などの優れた特性を持ちながら，そのン分散セラミックスにおいて理想的なカーボンの材料は，応用範囲が制限されてきた．そこで，我々は低コストで加カーボン材料の中でも最も高い光吸収性能を有し，さらに工できるレーザー加工に注目した．近年，小型のファイバより少量で連続的にマトリックス中に分散できるカーボーレーザー加工機の出現により加工機器価格が大幅に下ンナノチューブ（CNT）にあると思われる．一般的なアスがってきたため，その実用的な加工範囲の把握は，今後のペクト比 100 程度の CNT を複合化した場合，三次元的に加工分野のみならずセラミックス分野の動向に影響を与連続した構造を形成するために 1～3vol％程度の CNT 添加えると予想される．特に，急激に需要の伸びている電子部が必要になる．しかしながら，我々は長さが 600μm 程度あ品の基板に用いられるセラミックスでは複雑なパターンる長尺単層 CNT（SWCNT）をセラミックス中に分散するを必要とするが，比較的薄い 0.5～2mm の薄膜であること

ことにより従来の 10 分の 1 のわずか 0.1vol％添加するだが多くレーザー加工の適応性が高く，単なる加工分野の研けで三次元的な連続相を形成できることを確認している究のみならず，電子部品産業にも刺激を与える研究になる（図 1(a)(b)）．これより，より均一にセラミックス中にレーと予想される．

ザーエネルギーを取り入れることが可能になり，より低出

現在のところ，耐熱性が高いためレーザー加工が困難と力のレーザー出力で加工が可能になると期待できる．

考えられている構造用セラミックスの加工例や実績は，樹脂や金属材料に比べ圧倒的に少ないと言える．Al2O3 やZrO2 などでは加工例が報告されているが，加工可能かどうかという装置性能重視のポイントに焦点が置かれているため，加工できるようにするためには「何を改善すべきか」材料からのアプローチは全く進んでいない．本研究では，セラミックスをレーザー加工し易くするためにカーボンとの複合材料について検討を行う．耐熱性の高いカーボンは決してレーザー加工しやすい材料ではないが，レーザー光の吸収が良く，Al2O3 の約 3 分の 1 程度の出力で加工可能である．そのため，Al2O3 を加工する際にはレーザー

図 1 CNT のアスペクト比（直径ｄ✕長さ l）が加工をスムーズに導入するため，表面にカーボンの罫書き連続的に均一な分散に与える影響が施されることがある．これより，レーザー難加工性のセ
ラミックスにカーボンを複合化することによって，レーザ

本研究では，長尺 SWCNT を均一に分散するためにイオー光の吸収を促進し，何らかの加工性の向上が期待できる．

ン性の界面活性剤であるドデシルベンゼンスルホン酸ナ

また，レーザー加工における複合材料の知見としてはトリウム（SDBS），非イオン性界面活性剤であるポリビニ

CFRP がほとんどであるが，高硬度材料であるセラミックルピロリドン（PVP）を界面活性剤として加え，より少量スの複合材料においては報告例がなく理学的にも興味深の CNT を連続的かつ均一に分散できる作製条件を検討するために，極少量の 0.1～0.4vol％の長尺 SWCNT を含むKEITHLEY）を用い測定を行い，抵抗の低いサンプルにおAl2O3 および AlN 複合材料の作製を行った．比較のために，いては，低抵抗抵抗率計（ロレスタ GPMCP-T610 型，株一次元形状ではない等軸状のカーボン粒子も添加して導式会社三菱化学アナリテック）で測定を行った．

電相の添加量および形状がレーザー加工性に与える影響

密度測定：相対密度は，焼結体の表面を 0.5mm 以上加工を調べた．また，導電相が連続相となったときには導電性した後，トルエンを用いたアルキメデス法により，かさ密も発現するため，放電加工性との違いについても調査した．

度を測定し，理論密度で割ることにより求めた．理論密度の計算には，混合した原料の組成から理論密度を決定し，２．実験方法
2・1

熱処理による反応は考慮しないこととした．計算に用いた

分散剤の効果原料の密度は，AlN：3.26 g/cm3，長尺 SWCNT：2.00 g/cm3，

本研究ではセラミックス粉末と CNT の混合において，Y2O3：5.031g/cm3，CeO2：7.215 g/cm3，MgO：3.34 g/cm3，

アルコール中で超音波分散を行う．しかしながら，直径CaO：3.65g/cm3 とした．

3~5nm 長 さ 100~600μm ア ス ペ ク ト 比 100000 の 長 尺

熱伝導率測定：熱伝導率は以下の計算式により求めた．

SWCNT（SG101，ゼオンナノテクのジー㈱）のアルコール

λ = α × Cp × ρ

中分散における分散剤の効果については報告されていな

λ：熱伝導率（W/mK），α：熱拡散率（m2/s），Cp：比熱

い．まず，セラミックス粉末として Al2O3 粉末（TM-DAR，（J/g・K），ρ：材料の密度（g/㎤）

大明化学，平均粒径 0.12µm）をモデルセラミックス粉末と作製した AlN/長尺 SWCNT 焼結体を 10mm 角✕厚さ 1mmして用い，分散剤としては，ドデシルベンゼンスルホン酸に加工し，熱拡散率 α を Xe フラッシュアナライザー

ナトリウム（Sodium dodecylbenzene sulfonate, SDBS）（東（LFA447 Nanofrash，Netzsch）によって測定した．また，

京化成工業株式会社）

ポリビニルピロリドン

比熱 Cp は示差走査熱量測定装置（DSC200F3，Netzsch）をPVP)（和光純薬工業株式会社）

用い-50℃～150℃まで比熱測定を行い，25℃における比熱K25(polyvinylpyrrolidone,を添加し，アルコール中で長尺 SWCNT の超音波分散を行を 0.7J/g・K であることを決定した．

った．分散剤の評価としては，作製した Al2O3 焼結体の電微細組織観察：AlN 焼結対中の長尺 SWCNT の分散状態を気抵抗率と相対密度から長尺 SWCNT の分散剤を決定した．

SEM（S-5000，日立ハイテクノロジーズ）により確認を行

2・2

AlN-長尺 SWCNT 混合粉末の作製

マトリックスとして AlN 粉末（高純度窒化アルミニウった．抵抗の高いサンプルは，オスミウムによる導電コートを行った．

ム粉末 E グレード，株式会社トクヤマ，粒径 1μm），導電レーザー加工：約 10mm 角×厚さ約 1.5ｍｍの AlN 焼結体相として長尺 SWCNT 粉末を用いた．長尺 SWCNT の添加をファイバーレーザーと CO2 レーザーにより加工した．

量が AlN に対して 0~0.4vol%となるように調整し粉末作

ファイバーレーザー加工は，加工装置（YLS-600/6000-製を行った．計量した AlN と SWCNT をエタノール中にQCW-AC，IPG フォトニクス）を使用し，レーザー出力分散させ，AlN 中に SWCNT を均一に分散させるためにホ1.8kW，パルス幅 0.3msec/繰り返し周波数 25Hz，送り速度

モジナイザーを用いて，超音波分散処理を行った．分散し35mm/min，アシストガス酸素の条件で，レーザースポッたスラリーからエバポレーターを用い，温浴層に超音波をト径 φ0.1ｍｍを用い，φ1ｍｍの穴あけ加工と直線の切断照射しながら溶媒を除去した．得られた乾燥混合粉末を，加工を行った（図 2(a)）．CO2 レーザー加工は，加工装置

さらに 45℃で 24 時間乾燥を行った．得られた混合粉末に（ML-3020D，三菱電機）を使用し，CO2 レーザー波長存在する大きな凝集体を乳鉢により手動で破砕し，焼結用

10.6µm，レーザー平均出力 60W/ピーク出力 3kW，デューの複合粉末とした．

ティー2％/繰り返し周波数 60Hz，送り速度 30mm/min，ア2・3AlN/長尺 SWCNT 焼結体の作製

得られた粉末は，N2 雰囲気中で 30MPa の一軸加圧下，シストガス酸素の条件で，レーザーのスポット径 φ0.14mmを用い，φ1mm の穴あけ加工を行った（図 2(b)）．

1700℃で 1 時間ホットプレス焼結（HP）を行った．昇温放電加工：10mm 角✕厚さ 1.5mm に加工した焼結体を放は，室温から 1000℃までを真空で行い，1000℃で窒素ガ電加工機（ソディック社製）を使用し，加工電圧 220Ｖ（コスの導入と一軸加圧を印加し，焼結温度まで 10℃/分で昇ンデンサ容量約 50pF）で φ1ｍｍの細穴放電加工を行った．

温した．また，AlN 焼結体に関しては，熱伝導率や焼結性の向上を期待して，液相焼結を促進する Y2O3（YT3CP，日本イットリウム株式会社，粒径 0.5~2μm）を超音波混合時に 1，2，5wt％添加し，同様に焼結体が作製された．
2・4

焼結体の特性評価

電気抵抗率測定：カーボンの連続相が焼結体中に構築されているかどうかの判断は，電気抵抗率の評価によって行った．本研究では，103Ωcm より高抵抗のサンプルは，ガード電極付きの直流二端子法により定電流測定計（A65217，

図2

レーザー加工図面

３．実験結果および考察
3・1

表 1.Al2O3/0.15vol％長尺 SWCNT

分散剤の効果CNT は構成原子のほとんどが表面原子であるため，隣接する CNT 間のファンデルワールス力による凝集が生じやすくなる．CNT の解凝集および均一分散させる方法として，界面活性剤を添加する方法があり，界面活性剤を分分散剤
無添加SDBS
PVP

電気抵抗率: Ω ㎝3.6✕1031.6✕1032.1✕103

相対密度：％
10099.699.1

散剤として用いる場合，一般的にイオン性の SDBS やドデシル硫酸ナトリウム（SDS）や非イオン性のポリビニルピ

3・2AlN/CNT 複合材料における CNT 形状の影響ロリドン（PVP）が用いられることが多い．本研究においレーザー加工において，CNTがセラミックス中で連続相ては，CNT を分散させるため，イオン性界面活性剤としになることが影響を与えるか調べることを本研究の目的ては分子中にベンゼン環をもつ SDBS を選択した．予備実の一つとしている．まず，CNTの異方性形状が連続相の形

験より，SDBS に関しては CNT 重量の 2 倍量，PVP に関成に与える影響について調べた．使用したCNTは，従来用しては 10 倍量で良好な分散状態が得られることが確認さいられている多層CNT（従来のCNT，外径20～30nm/内径れている（図 3）．今回は，Al2O3 粉末に長尺 SWCNT を1～2nm，長さ0.5～2µm，和光純薬工業），およびより異方0.15vol％を添加して，アルコール中で超音波ホモジナイザ性の大きな長尺SWCNTである．それぞれのCNT添加量をー混合した混合粉末を HP 焼結し，得られた焼結体の電気変化させ，1700℃でHP焼結を行った試料の電気抵抗率を抵抗率から用いる分散剤について検討した．表 1 に，分散

図4に示す．絶縁体であるAlN単相のみで作成した試料の剤無添加，CNT の 2 倍量の SDBS 添加，10 倍量の PVP 添

電気抵抗率が7.0×1015Ωcmという高抵抗に対して，従来の加のものの電気抵抗率と相対密度を表しています．当初のCNTを添加したものでは2vol％添加から抵抗が下がりは予想に反して，電気抵抗率の差があまり大きくなく，分散じめ，3vol%で2.6×102Ωcmとなった，一方，長尺SWCNT添剤の効果が顕著に現れるということがなかった．この理由加のもの では0.2vol ％添加から 抵抗が下がりはじめ ，としては，本研究では分散溶媒としてアルコールを用いて0.3vol%で1.2×102Ωcm にまで電気抵抗率が低下した．一般いるため，水溶媒よりもカーボンとの親和性が高かったた

的に，マトリックスと同程度の粒径で形状異方性のない導めと考えられる．しかしながら，相対的に見て分散剤を添電性第二相を添加する場合，20～30vol％の添加で抵抗の加した方が低抵抗化できることが確認できたため，次に分低下かが観察されることが報告されている3-5）．しかしな散剤についての比較を考察した．SDBS と PVP の違いにがら，一次元構造を有する形状異方性が大きなCNTを添加関しては，電気抵抗率ではあまり差がなかったものの，相することによって，粒子状導電相に比べ遙かに低添加量で対密度に関して大きな差が出ていることがわかる．本材料電気抵抗率が低下することが確認された．特に，長尺を電子部品製造装置での応用を考えたときに，材料表面にSWCNTを添加した試料は，従来の多層CNTの10分の1に匹存在する空孔は，パーティクルと言われる不純物の混入を敵するわずか0.3vol％で電気抵抗率が低下している．これ

招く最も大きな問題の原因になり得ることが分かっていは長尺SWCNTがAlN焼結体中において，図1の(a)および(b)る．この PVP における相対密度低下の原因としては，PVPに示したように，従来のCNTよりも効率的に導電経路を形の多量な添加にあるのではないかと考えられる．SDBS に成した結果と考えられる．これより，レーザー加工に有利関してはわずか 2 倍量であったあたため，影響は出なかっと考えられるカーボンの連続相の形成には，異方性の極度たが，10 倍量の分散剤は焼結時に分化した残存炭化成分に大きな長尺SWCNTの添加が有効であると考えられる．

がガス化して気孔を形成していることが予想される．これ
らの結果を考慮して，以後の実験ではカーボン成分の 2 倍量の SDBS を分散剤として添加して実験を行った．

図 4 AlN/CNT 焼結体の電気抵抗率に関する
図 3 界面活性剤添加による CNT 分散効果

CNT 形状の影響

3・3

AlN/長尺SWCNTにおけるSDBS分散剤の添加効果やや低下するという結果になった．

図4にはAlNにおける分散剤SDBSの効果も示されていAlN 粒子の粒成長を液相焼結により促進させ，密度，熱る．Al2O3と同様に決して大きいわけではないが，AlNマト伝導率を改善するために，AlN の溶解再析出に優れた特性

リックスに関しても，長尺SWCNT添加量0.2vol％において，を持つ希土類酸化物である Y2O3 を添加する実験を行った．

SDBS無添加では2.3×105Ωcmであったが，添加することに

Y2O3 は，1400℃以降において AlN の表面に存在する A2O3より1.7×102Ωcmまで低下した．この抵抗率の低下から考と反応し，濡れ性の良いイットリウムアルミネート複合酸えると，AlNにおいても優れた分散効果が得られているこ

化物の液相を形成する．AlN 粒子は，この液相中で溶解再とが期待される．図5には，長尺SWCNTを0.4vol％添加し析出を繰り返し，AlN 粒内の固溶酸素を取り除くとともに，たAlN焼結体の破面のSEM観察をしめす．SDBSを添加し粒成長および緻密化を達成する．てもしなくても，長尺SWCNTは凝集状態で分散している

図6に，1700℃で焼結したAlN/長尺SWCNT複合材料のことがわかる．AlNの原料粒径が1µmで焼結後に焼く3～電気抵抗率における長尺SWCNTとY2O3 の添加量との関5µmまで大きくなっていることから，粒成長過程において，係を示す．焼結助剤Y2O3 をSDBSに加えて添加すると，三重点などの多点粒界に移動したものが凝集していると1~2wt%のY2O3 添加では電気抵抗率はY2O3 無添加と比較考えられるので，混合時点ではこれらの写真よりは均一にして低下し，5wt%では上昇した．これは，Y2O3添加では分散していると予想される．SDBSを添加したものと，し緻密化と粒成長により粒界が減少し，導電経路の形成に寄なかったものの差としては，やはりSDBSを添加したもの与したが，CNTは1500℃以上でY2O3と反応して酸化するの方が，より均一に分散していることがわかる．さらに大ため，Y2O3添加量が増加し5wt%に達するとCNTと接触すきな差としてはSDBSを添加したものの破壊様式として，るY2O3の量も増加し，酸化するCNTが増えたことで，導電粒内破壊が多く見られたことにある．恐らく，SDBSを添相が減少したことが原因と考えられる．

加することにより，SWCNTの分散がより均一となったた
め，AlNの粒成長が抑制されたためと考えられる．粒径が大きい場合，粒界にかかる残留応力が大きくなり，粒界破壊を誘発しやすい．それゆえ，SDBS添加の焼結体で粒界破壊が多く見られたことも，やはりSDBSによる分散性の向上を支持していると言える．

図6

1700℃で焼結した AlN/長尺 SWCNT 複合材料の電気抵抗率における CNT と Y2O3 添加量の関係

図7および8に，図6と同様のサンプルの熱伝導率および相対密度における長尺SWCNTとY2O3の添加量との関係を示す．
CNT添加量の増加に伴い，熱伝導率はやや低下する傾向がみ
図 5 AlN/0.4vol％長尺 CNT 焼結体の破面の SEM 観察られた．わずかな低下ではあるが，導電相の添加量が増加す(a)(b)SDBS 無添加，(c)(d)SDBS 添加ることで，相対密度が低下する傾向にあり，粒成長も阻害されることから，熱伝導率が減少したと推察できる．しかしな

AlN/長尺SWCNTにおけるY2O3の添加効果

がら，粒成長と固溶酸素の除去のためにY2O3を添加したもの

AlNは耐熱性と高熱伝導性を有しているため，電子部品では添加量に伴い熱伝導率は上昇する傾向がみられた．同条の製造装置の中でも高温で使用できる部品として最も期件にてAlN単相で焼結した試料の熱伝導率は88W/mKであり，待されている．AlNの熱伝導性の向上には，AlN粒子内にAlN/0.1vol%長尺SWCNT/SDBS/1,2,5wt% Y2O3で焼結した試

固溶する酸素を焼結助剤を用いて溶解再析出機構により料の熱伝導率は，それぞれ96，109，110W/mKであることか取り除くことができる液相焼結で緻密化させることが望ら，Y2O3は焼結助剤としての役割を十分に果たし，熱伝導向ましい．先に記したように，SDBSによりCNTの凝集が解上に寄与したと言える．

3・4

消され分散性は改善したが，分散したCNTの影響でAlN粒子の粒成長が阻害され，後述するように密度，熱伝導率はンプルのうちでCNT無添加のものが灰色で，カーボンを添加した残りの4つのサンプルは黒色であった．また，長尺SWCNTを添加した3つのサンプルは電気抵抗率102Ωcm台以下でカーボンの連続相が焼結体中に形成されていることが予想される．しかしながら，本加工条件においては色やカーボンの連続性に関しては効果が得られなかった．加工表面のダメージに関して，CNT無添加のものに比べCNT複合材料で大きいようにも見られるが，無添加の灰色焼結体よりも黒色の4つのCNT複合材料で，より白色に見えるクラックが写りやすかったためと思われる．目視では大きな違いは見られなかった．
図71700℃で焼結した AlN/長尺 SWCNT 複合材料の熱伝導率における CNT と Y2O3 添加量の関係

図 9 ファイバーレーザーによる加工(a) AlN/0vol%長尺SWCNT/SDBS/5wt%Y2O3,(b) AlN/0.4vol%カーボン粒子
図81700℃で焼結した AlN/長尺 SWCNT 複合材料の/5wt%Y2O3,(c) AlN/0.4vol%長尺 SWCNT/SDBS/ 5wt%Y2O3

相対密度における CNT と Y2O3 添加量の関係
3・4

レーザー加工および放電加工

上記のサンプルのうち，高熱伝導と連続した長尺
SWCNT

分 散 性 を 示 す 低 抵 抗 が 得 ら れ た

AlN/0.3,0.4,0.5vol%長尺 SWCNT/SDBS/5wt%Y2O3，および
カ ー ボ ン を 添 加 し て い な い AlN/0vol% 長 尺
SWCNT/SDBS/5wt%Y2O3，さらに 0.4vol％カーボン粒子（＃2600，三菱化学㈱，粒径 13nm）を添加した AlN/0.4vol%
カーボン粒子/5wt%Y2O3 についてレーザー加工を行った．
カーボン粒子添加サンプルに関しては，連続的なカーボンの分散が必要か調べるためである．つまり低抵抗の長尺
SWCNT 添加のサンプルのみが加工できた場合は，AlN のレーザー加工には連続したカーボン相が有効ということ

図 10 CO2 レーザーによる加工(a) AlN/0vol%長尺になる．また，長尺 SWCNT およびカーボン粒子添加で加SWCNT/SDBS/5wt%Y2O3,(b) AlN/0.4vol%カーボン粒子工ができた場合，カーボン添加は有効であるが連続相は必/5wt%Y2O3, (c) AlN/0.4vol%長尺 SWCNT/SDBS/ 5wt%Y2O3

要で無いということになる．そして，全て加工できた場合
は，本レーザー加工条件において特にカーボンの添加は必要ないということになる．

図10にも，同様にCO2レーザーを用い，10秒で穴あけ加工を行った結果を示す．CO2レーザーでは黒色ほど有利に

図9に，CNT無添加，粒子状カーボン添加，0.4vol％長尺なると思われたが，実際こちらに関しても，サンプルの違SWCNT添加のファイバーレーザー加工結果を示す．穴あいによって大きな差が得られなかった．サンプルの差ではけ加工は10秒で行ったが，加工性は本試験で用いた5つのないが，ファイバーレーザーと大きく異なる点としては，サンプルに関して重要な差は検出できなかった．5つのササンプルのレーザー入射表面のダメージが，CO2レーザー

加工で大きいことがわかる．恐らく，CO2レーザーにおいするために，カーボン連続相を導入し，その効果についてては，サンプルの表面温度が広い範囲で上がっており，酸調べた．カーボン相として長尺SWCNTを添加することに化層がより大きく形成されたためと考えられる．また，長より，従来のCNTの10分の1であるわずか0.2vol％で，尺SWCNTの添加によって若干ダメージ層が広いように感100W/mKの高熱伝導を維持した状態で，102Ωcm台の低抵じられるかもしれないが，熱伝導率の低下が影響している抗を達成した．これより，長尺SWCNTを用いることによ可能性があると考えられる．

り，AlN中にわずか0.2vol％でカーボンの連続相を形成で以上の結果より，レーザー加工を試した全てのサンプルきることがわかった．

において大きな差がなく，厚さ1.5mmを約10で加工が可能

これらのサンプルにファイバーレーザーとCO2レーザであった．色およびカーボン層の連続性（電気抵抗率）にーの2種類のレーザー加工を行ったところ，全てのサンプ関して加工できることを重視して試験したため，出力が高ルにおいて同程度の加工が可能であり，レーザー吸収能力すぎた可能性もある．出力を下げて試験することによって，に優れたカーボン材料の導入に関して，色や連続性の影響これらの因子の影響を調べることは可能かもしれない．

を見ることはできなかった．より出力の低い加工条件を適また，本複合材料では長尺SWCNTをわずか0.4vol％添応することにより，効果を調べることが可能になるかもし加することによって，7×100Ωcmの電気抵抗率を示し，実れない．

際，放電加工可能な100Ωcm台の低抵抗を達成している．絶謝

縁体のセラミックスであっても微量の導電相で抵抗を下辞げて放電加工が可能になることが報告されている 6,7）．図

本研究は，公益財団法人天田財団の2019年度一般研究開11には放電加工の結果を示している．0.4vol％添加のもの

発助成（AF-2019214-B2）を受けて実施されたものであり，では放電が確認され芯出しまでできたが，貫通孔の形成は厚く謝意を表します．また，本研究を遂行するにあたり，不可能であった．しかしながら，0.5vol％以上添加するこ加工の試験をしていただいた東成エレクトロビーム㈱おとにより，貫通孔を作製することができた．ただし，加工よび伊藤精工㈱に深く御礼申し上げます．

時間が厚さ1.5mmのものでも，長尺SWCNT0.5vol％添加で

参考文献

54分，0.6vol％添加で34分を要し，レーザー加工よりもはるかに長い加工時間を要した．

１）T. Kusunose, Y. Kim, T. Sekino, T. Matsumoto, N. Tanaka,
T. Nakayama, K. Niihara: J. Matr. Res., 20 (2005) 183-190.
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５）T. Kusunose, T. Sekino: Ceram. Inter., 42 (2016) 13183-

図 11 放 電 加 工 (a) AlN/0.4vol% 長 尺 SWCNT/ SDBS/13189.

5wt%Y2O3,(b) AlN/0.5vol%長尺 SWCNT/ SDBS/ 5wt%Y2O3６）T. Kusunose, T. Sekino, K. Niihara: Acta Mater., 55 (2007)

４．結 言７）T. Kusunose, D. Tominaga, T. Sekino: J. Asia. Ceram Soc.,

6170-6175.
高硬度と高熱伝導性を有するAlNセラミックスの加工コストを低下させるために，レーザー加工を導入することは有効である．本研究では，AlNのレーザー加工を可能に

10 (2022) in print.