（平行開閉チャック）

マイクロチャック

マイクロ タイプ
厚さわずか 10mm、質量 20g。女性の小指のように小さな〔超小型〕2 本爪平行開閉チャックです。従来、比較的軽量で小型な部品の供給には、真空チャックが使用されてきましたが、その際、部品の形状や仕上がりの状態によってはチャッキングミスを起こすことが多くありました。そうしたミスを防ぎ、より正確でより確実なチャッキングをおこなうには、平行開閉チャックが最善。微少ワークの供給を要求する FA 機器のための超デリケートな指先として、MEG の設計・製作技術の総力を結集して開発した注目のマイクロ MEPAC です。

ピンセットのようにデリケートに極小にして偏平。小ささを極めました

小さくても MEPAC です。極小のボディの中に独創の機構を内蔵。ワークに対してつねにチャックの当たり面が一定になる理想の平行開閉モーションですから、じつに安定。デリケートにして確実クランプを実現しました。

サイズが小さいだけではありません。優れた製造技術があって初めて可能にした超偏平形状。
狭いピッチに配列できるため、省スペースで使用することが可能になります。

高速化に強く、取り扱いも容易です■ 取付例

極めて軽量のために慣性が小さく、高速化を図れます。しかも、チャックボディをバーブ継手と一体にした設計ですから配管作業は簡単に行なえます。

※詳細は A-75

A-66

マイクロ

personality model■ 開閉動作単動

常時開（NO）は、ポートからエアを入れるとピストンが大ピストンを押しアクションレバーが旋回し【閉】にします。
（外径把持）
常時閉（NC）は、ポートからエアを入れると小ピストンがアクションレバーを旋回させ【開】にします。
（内径把持）
チャック

ポートA

マイクロ

■ 機構図
ポートA

ピストン

小ピストン

スプリング

スプリング

大ピストン

大ピストン

アクションレバーフィンガ

単動（NO）

アクションレバーフィンガ

単動（NC）

A-67

（平行開閉チャック）マイクロ X960 □● 厚さわずか 10mm、質量 20g。女性の小指のように小さな〔超小型〕2 本爪平行開閉チャックです。

■ バリエーション
ストローク（mm）

モデルNo.

4X9600○X9605○

NO（常時開） NC（常時閉）○○X960モデルNo.

■ 取付例

サイズ記号

■ 基本仕様動作方式

単動型／平行開閉使用流体

清浄空気（ろ過済み圧縮空気）

使用圧力範囲 0.4〜0.5MPa
周囲温度5〜50℃

給油

無給油またはタービン油JIS♯90相当

配管接続口

φ4×φ2.5チューブ用継手付

使用頻度

40CPM（max）

繰返し位置精度 ±0.05mm※ 注意事項 A-74〜をあわせてご覧ください。

A-68

マイクロ

personality model■ 型式
最大許容荷重（N） 質量モデルNo. シリンダ径 ストローク 理論クランプ力 最大把持点タイプ
単 常時開
動 常時閉
備（mm）

（mm）

（N）

（mm）

F1F2（g）

X9600

64.0

3.017.010320X9605

64.0

3.017.010320※1※2考※3・4チャック■ 備考説明
※ 3 最大許容荷重は静的許容荷重であり、フィンガが動作可能な範囲ではありません。
※ 4 最大許容荷重は目安であり、保証値ではありません。外力はできるだけ軽減させてください。

●最大把持点●最大許容荷重
F1外径クランプF1F2内径クランプ■ 寸法図X9600・X9605
191105 -0.03

φ238.2422S

φ18φ3.66.58231664.5.5
R0φ6 h6

φ7.84584-M2.610開閉
S 4 0A-69マイクロ※ 1 ストローク公差は 0 〜 +1mm 程度になります。
※ 2 クランプ力は空気圧 0.5MPa での理論値です。
0.4MPa X9600 : 2.4N X9605 : 1.4N

Ｖ型開閉チャック
マイクロＶ X9606V● 小型 □10mm・超軽量11g。
● V型クランプにて幅広い用途にて活躍。
● 狭い空間でピンセットのように微小ワークの供給を要求する超デリケートな指先として開発したマイクロシリーズのVタイプです。

■ バリエーション
モデルNo.

ストロークX9606V

0〜14° NO（常時開）○○X9606V
モデルNo.

■ 実行把持力8■ 基本仕様

X9606V

使用流体

清浄空気（ろ過済み圧縮空気）

使用圧力範囲 0.2〜0.5MPa

5

周囲温度

5〜50℃

給油

無給油（リチウム系グリス塗布済み）

0.3 MPa

配管接続口

M3×0.5

0.2 MPa

使用頻度120CPM（MAX)

0.5 MPa
0.4 MPa

31
102030支点距離（mm）

フィンガ支点支点距離

42A-70単動型／支点開閉

67.3

実効把持力（N）

7動作方式

繰返し位置精度 ±0.01mm※ 注意事項 A-74〜をあわせてご覧ください。

マイクロV

personality model■ 寸法図X9606V
エアーポート
M3×0.5 深さ50

φ9h70（軸用C形止め輪 呼び6用）
φ5.7 -0.043631612121.3

7.3

7°

13閉端

11.8
2×2-M2 深さ2.5(アタッチメント取付用ねじ)

40-0.03

開端10.6※ φ6h7部の止め輪を使用する場合、お客様にてご用意ください。
※ φ6h7部を割締めクランプして取り付けてください。
※ φ9部はクランプしないで下さい。
※ 閉じ代は4°（片側2°）残すことをおすすめします。

A-71

マイクロ

1.2

40.3+0.025

20

フィンガ支点

32.3

6.2

48Ｒ

14.

φ6h71チャック

0.8 +0.10□10 -0.05

（平行開閉チャック）

設計上の注意■ フィンガ部（全機種）● フィンガアタッチメントはお客様でご用意ください。

チャック● フィンガに過大な衝撃荷重がかからないよう、使用してください。
フィンガやワークピースを供給部につきあてないでください。破損の原因になります。
● ワークピースがフィンガ幅の範囲内でつかめるようにフィンガアタッチメントを取り付けてください。横方向のオーバハング荷重は摺動部にこじれを起こし早期摩耗の原因になります。
● フィンガアタッチメントは、軽量に短く作ってください。
※オーバハング量は各タイプの製品仕様で定める規定値以内にしてください。
● 保持・搬送が可能な質量は、理論把持力の10％程度となります。
またワークピース・フィンガアタッチメントの材質・形状・ワークピースの搬送状態によって搬送可能な質量はより小さくなります。

● フィンガは閉じきってしまうとクランプ力が得られません。
0.5mm 以上の閉じしろを残すことをおすすめします。
（閉時把持）

閉じ切った状態

スキ間閉じた状態から0.5mm以上のスキ間

スキ間不可可注）ワークピースの把持部の公差は、最小値で設定してください。（閉時把持）注）開時把持の場合は、開きしろ 0.5mm を残しワークピースの把持部公差は最大値で設定してください。
注）ワークピースが変形する場合は、この限りではありません。

オバ
ハン
グ

■ フローティングタイプ（X956□-FL-P）

必要以上に長すぎる

必要以上に重すぎる

不可不可● 基本仕様のフロート荷重をご確認の上、下記の検討をしてください。下記に該当する場合は別の供給方法をご採用ください。

可● フィンガアタッチメント取付の証面は下図のとおりです。フィンガの根元部分は R 形状になっており、証面にはできません。
〔エコノミタイプは除く〕

R部
証面

A-74

・ ワークピースが変形してしまう恐れがある場合。
・ ワークピース挿入力不足の恐れがある場合。
・ 把持部の摩擦抵抗が大きくフロート荷重が加わった状態では開閉動作不良の恐れがある場合。
● この製品はショックアブソーバのように大きな衝撃荷重を吸収できる機能やローディングユニット側の推力を止めるストッパ的な機能はありません。必ずローディングユニット側にストロークエンドストッパを設けてください。
● フィンガが上を向いた垂直状態ではフローティング機構の能力が充分発揮できないた
め、使用できません。

設計上の注意● 本製品は全方向に働くフローティング機構を兼ね備えていません。
● フロート量は基本仕様のフロート量× 0.9 以内でご使用ください。不足する恐れがある場合は別の供給方法をご採用ください● フロート荷重は、ローディングユニットのスピードにより大きくなる可能性があります。

■ エコ・エコ マルチ（X9608,X961 □）● ワークを掴む前に爪同士が干渉することの無いように、爪の設計には十分ご配慮ください。
2×A以上

AA

爪取付面

● 取付基準としてフィンガの基準溝を利用できます。
アタッチメントに平行ピン（JISB1354-1988B）
種を固定してから溝に入れてください。溝にピンを入れる時、叩いたりねじったりしないでください。平行ピンはお客様でご用意ください。

+0.02

溝G 0平行ピンB種（JISB1354-1988）
φG×LモデルNo. G（mm）L（mm）
X9608
1.24X9612
1.25X9618
1.58■ エコ メカ・エコ マルチ メカ（X9608M,X961 □ M）
● プッシュヘッド押付け荷重の方向は、プッシュヘッド動作方向と平行にしてください。
また、プッシュヘッドに当たる部材は剛性の高いリニアガイドなどで保持しストローク直角方向にガタの出ないようにしてください。
偏荷重の場合、把持異常や摩耗などによる早期故障の原因になります。

偏荷重● 爪の証面は下図のとおりです。幅広の爪はもう一方のフィンガに干渉するので逃がしが必要です。

逃がし証● ワークの横方向案内を設ける場合は、下図の方法（片側のみ）を推奨します。把持が不安定になる恐れがあります。

● プッシュヘッドの中心を押してください。中心を外れると把持異常や早期破損などの原因になります。
● プッシュヘッドをストロークエンドまで押さないでください。本体に押しつけが加わり動作異常や早期破損の原因になります。
ストロークエンド案内

ワークピースA-75

チャック・ ワークピースの有無や把持した状態にかかわらずチャックのフロート位置が安定しない恐れがある場合。
（チャック周辺部の剛性不足、異物の混入、ワークピースの公差 etc.）
・ 後工程での製品検査でワークピースの有無や状態が検出不可能な場合。

● 爪の取付ネジの長さは爪取付面から A 寸法以内にしてください。これ以上になりますと、反対側のフィンガを押し破損につながります。
A● フロート位置検出センサは、把持したワークピースの状態をチャックの高さにて間接的に検出する簡易式です。
下記に該当する場合は別の方法をご採用ください。

（平行開閉チャック）

取付上の注意■ 全機種■ テイスト（X95□□T-P）● ブラケットはお客様でご用意ください。

● チャックの固定は、ボディのシャンク部φda または取付面と取付穴をご利用ください。
その他の部分での固定は、ボディに変形を起こし動作不良の原因になるので、おこなわないでください。

チャック■ スタンダード（X95 □□）● チャックの固定は、ボディのシャンク部φda とφ db（復動のみ）を利用してください。
その他の部分での固定は、ボディに変形を起こし動作不良の原因になるので、おこなわないでください。
● φ db で固定する場合、シリンダ内部に変形が起きることを防ぐため、図のように抱きしめ固定方法にしてください。

● φ da で固定する場合、シリンダ内部に変形が起きることを防ぐため、図のように抱きしめ固定方法にしてください。
ブラケット

ブラケット

ブラケット

φda

φda

φdb

φdc

φdc

押え板

復動単動

● ブラケットは抱きしめ固定方法にすることで高さと角度の調整ができます。

参考図（ブラケット）
φ10H8

φ8H8

参考図（ブラケット）

φ4.5
φ5.5
8

4.5

105
φD1H8

X9558

X9559 / X9560 / X9561
X9562 / X9570
X9571 / X9572● センサを使用しない場合φ dc はサポータ（振れ止めのインロー）として使用してください。
● ブラケットは抱きしめ固定方法にすることで高さと角度の調整ができます。

A-76

L16φ6.5モデルNo.

D1

L1X9563T / 73T

2217X9564T / 74T

2619

取付上の注意■ インフィニティ
（X967□IT/IP）● 横面取付けは、ボディ側面のタップ穴を利用して固定します。チャックの取付け座面が平坦でない場合は、シリンダ部に変形を起こし、動作不良となることがあります。

● 横面取付けは、ボディ側面のタップ穴を利用して固定します。チャックの取付け座面が平坦でない場合は、シリンダ部に変形を起こし動作不良となることがあります。

● 相手側から固定ボルトが通せない場合は、広い座面のスペーサを挟んで 1 ランク小径のボルトを使用し、チャック側より固定してください。タップ下穴は貫通です。

● 相手側から固定ボルトが通せない場合は、広い座面のスペーサを挟んで 1 ランク小径のボルトを使用し、チャック側より固定してください。
（タップ下穴は貫通です。）● シャンク取付けとする場合は、シリンダ内に変形を起こさないように抱きしめ固定方法で（φ d）部をクランプしてください。この方法は、高さや向きの調整が容易にできる利点もあわせ持っています。

※ センサ付の場合、この固定方法はできません。センサとネジが干渉及び、センサ誤作動の原因になります。

ブラケット

φdスペーサスペーサ

W

参考図（スペーサ）
参考図（ブラケット）
L2

D1H8

L16

φ6.1

X9660
X9661
X9662
X9663
X9664

1820222634

L11516171923

L 1 L2 W
26 18 1238 26 15T44

L1T

モデルNo. D1

X9670
X9672

● センサ付の場合、周囲の強磁性体の影響により誤作動する恐れがあります。センサ仕様
A-86〜をお読みになり、正しく設置してください。

A-77チャック

■ オールマイティ（X966□-P）

（平行開閉チャック）

取付上の注意■ マイクロ（X960 □）■ ショート（X95 □□ B）● チャックの固定はボディのシャンク部φ daを利用してください。φ db での固定はシリンダ内蔵部に変形を起こし動作不良の原因になるので、おこなわないでください。

● チャックの固定は、ボディ端面の取付け用タップ穴を使用します。

● 抱きしめ固定方法をとることで高さと角度の調整が容易になります。

ブラケット

ブラケット

チャック

● φ da 部を抱きしめ固定することもできますが、シリンダ内蔵部に変形を起こさないようにブラケットの精度をあげて使用してください。

φdaφdaφdb

参考図（ブラケット）
フィンガ

参考図（ブラケット）
φD1H8L1

φ6H874.5

φ4.5● 慣性によってチャックが不安定になるような場合は、φ da 部を固定してからφ db 部に振れ止めを取り付けるように設計してください。

A-78

6φ6.5モデルNo.

D1L1X9558B

1815X9559B

2217X9560B

2518.5

X9562B

3423取付上の注意■ フローティング（X956 □ FL-P）■ エコノミ メカ（X9610M）● 横面取り付けは、ボディ側面のタップ穴を利用して固定します。また、上部取付面にはフロート荷重を受けるストッパを取り付けることをお奨めします。
ストッパ● 製品を PPU やロボットに取り付けるときは、シャンク部または、取付面と取付穴をご利用ください。

シャンク部取り付け● 上部取り付けは、ボディ端面の取付け用タップ穴を使用します。
規格：軸用 C 型止め輪 12

インロー部

注意
● インロー部は割り締め固定できません。
動作不良の原因になります。

● チャックの取付け座面が平坦でない場合は、シリンダ部に変形を起こし動作不良となることがあります。

■ エコ・エコ マルチ（X9608・X961 □）● 横面取付は、ボディ側面のタップ穴を利用して固定します。チャックの取付座面が平坦でない場合は、シリンダ部に変形をおこし、動作不良となることがあります。
また、フィンガ近辺は変形をおこしやすいので取付部品が接触しないよう逃がしを施してください。ネジの有効長さは 2 × d 以下にしてください。
2×ｄ以下

取付面と取付穴部取り付け● チャック取付面が平坦でない場合は、ピストン部に変形を起こし動作不良の原因になります。
● 側面取付穴は貫通していますが、M3 等の小径ネジではさみ込む取り付けはおやめください。
取り付けが不安定になるばかりでなく動作不良の原因につながります。
（下図左）● 側面取付はフィンガ近辺で変形を起こしやすいので取付部品が接触しないよう逃がしを施してください。
（下図右①）● 本製品はプッシュヘッドを本体に接触させない範囲で使用するものです。万が一、装置調整時や運転中の異常時にプッシュヘッドを押し込み過ぎ本体とぶつかる恐れがある場合は止め板を用いて、本体外れ防止処置を施してください。
（下図右②）● 側面取付のネジ有効長さ（下図③）は 8mm 以内にしてください。

逃がしネジ径ｄ

この部分は取付部品に接触させないでください● ボディ側面のタップ穴は貫通していますが小径ネジで、はさみ込む取付はおやめください。
取付が不安定になるばかりでなく動作不良の原因につながります。

②M4タップM3M3タップ

M4③①A-79チャック● シャンク部の内部はピストンがスライドする構造のため必ず必ず抱き締め方法（下図）としてください。必要以上に締め過ぎますと機能と寿命の低下につながります。
● 本製品はプッシュヘッドを本体に接触させない範囲で使用するものです。万が一、装置調整時や運転中の異常時にプッシュヘッドを押し込み過ぎ本体とぶつかる恐れがある場合は止め輪を用いて、本体外れ防止処置を施してください。

（平行開閉チャック）

チャック

配管上の注意■ 全機種（エア タイプ）

■ テイスト（X95□□T-P）● 配管継手は慣性力を考慮して極力バーブ継手を使用してください。ワンタッチ継手類は形状が大きく、サポータやブラケットに干渉する恐れがあり、注意が必要です。

（1）配管
本製品にはエア配管用ポートが 2 個あります。
単動型は片側のポートのみに、復動型は両ポートとも配管してください。また、単動型については、配管後不要ポートにプラグ栓をしてください。

● 配管ラインにはスピードコントローラを取り付けて必ずフィンガ開閉速度の調整をおこない、できるだけソフトに掴むようにしてください。必要以上のスピードで使用すると、衝撃荷重が倍加され精度や寿命に悪影響をおよぼすことがあります。

バーブ継手
ポート DO：開
NO：閉（プラグ栓）■ スタンダード（X95 □□）（1）復動型 スタンダードタイプの配管
本製品にはエア配管用ポートが 2 個あります。両ポートとも、配管してください。

ポート DO：閉
NO：閉（プラグ栓）

ポート（開）（X9570は閉）
ポート（閉）（X9570は開）
バーブ継手（2）単動型 スタンダードタイプの配管
本製品にはエア配管用ポートが 2 個あります。2 つともクランプ用ですので使い勝手により配管してください。
ポート（NO：閉 NC：開）（プラグ栓）
ポート（NO：閉 NC：開）（プラグ栓）
バーブ継手

A-80■ オールマイティ（X966 □-P）
（1）復動型オールマイティタイプの配管
本製品にはエア配管用ポートが 2 個あります。両ポー
トとも、配管してください。

ポート（開）
ポート（閉）

バーブ継手（2）単動型オールマイティタイプの配管
本製品にはエア配管用ポートが 2 個あります。2 つともクランプ用です
ので型式に従い配管 し て く だ さ い。
不要ポートにはプラグ栓をしないでください。

ポート（開）
ポート（閉）

バーブ継手

配管上の注意■ インフィニティ（X967□IT/IP）■ フローティング（X956□FL-P）（1）復動型スマートタイプの配管（1）本製品にはエア配管用ポートが 1 個あります。
ポート（開）

本製品にはエア配管用ポートが 2 個あります。両ポートとも、配管してください。

ポート（NO：閉／NC：開）
バーブ継手

バーブ継手

ポート（閉）

チャック（2）単動型インフィニティタイプの配管ポート（開）

本製品にはエア配管用ポートが 2 個あります。閉ポートに配管してください。開ポートにはプラグ栓をしないでください。

バーブ継手

ポート（閉）● エア配管ポートもフロートするので、継手の固定は確実におこない、エアチューブは軟質系（ソフトナイロン・ポリウレタン）をご使用してください。
● 継手を締め付けるときの回り止めは、チャッ
ク本体でおこなってください。
（フィンガやフローティング本体ではおこなわないでください。）■ マイクロ（X960 □）■ エコ・エコマルチ（1）空圧ホースは継手の根元まで確実に差し込み、チャックが移動するとき口元よりホースが折れ曲がることのないように注意してください。

● メータインのスピードコントローラを使用してください。
● エコタイプはエア配管用ポートが 1 個あります。

X9600（閉）単動型マイクロタイプの配管本製品にはエア配管用ポートが 1 つあります。

X9605（開）

ポートバーブ継手● エコマルチタイプはエア配管用ポートが 2 個あります。
単動■ ショート（X95 □□ B）（1）単動型ショートタイプの配管
本製品にはエア配管用ポートがひとつあります。

ポート 複動バーブ継手

ポート
NO用：閉／NC用：開
バーブ継手

ポート複動

● X9608 は本体つらより継手の六角部が飛び出してしまうものがあります。干渉のある場合は小さな継手をご使用ください。
（参考 CKD. FTS4-M3）

A-81

（平行開閉チャック）■ 全機種■ フローティング（X956□FL-P）● MEPAC は精密部品でできています。ボディに打こんや変形を起こさないように取り扱ってください。
● 分解しないでください。機能や性能の再現ができないことがあります。
● ご使用の前に必ず取扱説明書をお読みになり、正しくお使いください。
● スタンダード・テイスト・ショート・オールマ
イティの実効把持力は下表をご参照ください。

● セ ン サ に つ い て は、 セ ン サ の 仕 様 A-84、A-88をお読みください。
● 指定外のバネは使用しないでください。
● フロートエンド（フローティング機構のストロークエンド）では使用しないでください。
衝撃などにより、チャックが破損またはフィンガ誤動作の原因になります。

■ スタンダード（X95□□）● プッシュヘッドは回転方向や横方向に外的負荷を加えないでください。把持異常や早期破損などの原因になります。
● プッシュヘッド及びフィンガ部に大きな衝撃や負荷などを加えないでください。把持異常や早期破損などの原因になります。

● センサについては、センサ仕様 A-86をお読みにください。
● センサは出荷時フィンガ開で ON するように調整してあります。

■ テイスト（X95□□T-P）● センサについては、センサ仕様 A-84をお読みください。

■ オールマイティ（X966P□-P）● センサについては、センサ仕様 A-84をお読みください。
● センサを 2 個付で使用される場合は、配管継手と干渉しないよう、エアポート側をフィンガ（閉）の確認用センサとして使用してください。
● センサは出荷時点で、それぞれ NO ／ NC ／DO タイプに組込み設定されています。何らかの理由で仕様を変更される場合は、性能保持のため弊社までお申し付けください。

■ メカタイプ■ エコマルチ 復動バネサポートタイプ● 復動バネサポートタイプはＢポートにエアを入れて掴んでください。エアダウン時、内蔵バネで閉じ状態を補助します。
● 爪にはワークを保持するガイド部や落下防止フックなどを設けることを推奨します。
● 配管ラインにメータインのスピードコントローラを取り付けて調整しできるだけソフトに掴んでください。Ｂポート側は内蔵バネにより速度調節が困難な場合はＡポートの配管ラインにメータインとメータアウトを取り付けて調整してください。
● ワークの質量は、実効クランプ力表のエアダウン時の保持力の1/10以下としてください。

■ 実効把持力（スタンダード、ショート、オールマイティ、テイスト）

1086X9559

100604022000120

51015把持点（mm）

20

オールマイティ閉時 実効把持力（0.5MPa 時）
X9660, X9661, X9662, X9663, X9664

10080X9664

60X9663

40X9662
X9661

200X9660

0A-82

510 15 20 25 30 35 40 45
把持点（mm）

X9574T8040

復動閉時 実効把持力（0.5MPa 時）
X9570, X9571, X9572, X9573T, X9574T

120

X9573T
X9571
X9570

05X9572

10 15 20 25 30 35 40 45
把持点（mm）

単動（NO）閉時 実効把持力（0.5MPa 時）
X9560, X9561, X9562, X9563T, X9564T

120
把持力（N）

把持力（N）X9558

把持力（N）

単動（NO）閉時 実効把持力（0.5MPa 時）
X9558, X9559

12把持力（N）

チャック

取扱い上の注意100
80X9564T

60X9563T

40X9562
X9561

200X956005

10 15 20 25 30 35 40 45
把持点（mm）