Produktinformation

LIP 481 V
LIP 481 U
Offene Längenmessgeräte
zum Einsatz im Hochvakuum
bzw. Ultrahochvakuum

05/2019

LIP 481 V; LIP 481 U
Inkrementale Längenmessgeräte mit sehr hoher Genauigkeit• Spezielle vakuumtaugliche Ausführung für Hochvakuum bzw. Ultrahochvakuum• Für Messschritte < 3 nm
• Maßverkörperung wird mit Spannpratzen befestigt

Darstellung ohne
Abtastkopf

Darstellung ohne
Spannpratzen

F*LksrmndÀ

= Maschinenführung= max. Änderung bei Betrieb= Maßstablänge= Klebstoff - Aushärtung bei Raumtemperatur in 24 h= Beginn der Messlänge ML= Referenzmarkenlage= Montagefläche für Abtastkopf= Anzahl der Spannpratzenpaare= Abstand Spannpratzen=	Bewegungsrichtung der Abtasteinheit für steigende
Positionswerte

Produktinformation LIP 481V, LIP 481 U   05/2019

Technische Kennwerte

LIP 481 V

LIP 481 U

Einsatzgebiet

Hochvakuum, bis 1 · 10–7mbar

Ultrahochvakuum, bis 1 · 10–11 mbar

Maßverkörperung*
SUPRADUR-Phasengitter auf Glas- oder Zerodur-GlaskeramikLängenausdehnungskoeffizient Glas: Þtherm  8 · 10–6 K–1; Zerodur-Glaskeramik: Þtherm  (0 ± 0,1) · 10–6 K–1
Genauigkeitsklasse*±1 µm, ±0,5 µm

Basisabweichung ±0,175 µm/5 mm

Messlänge ML* in mm

70	 120	 170	 220	 270	  320	 370	 420

Referenzmarken

eine in der Mitte der Messlänge

Ausgangssignale» 1 VSS

Signalperiode

2 µm

Grenzfrequenz–3 dB

 300 kHz

Verfahrgeschwindigkeit

36 m/minInterpolationsabweichungPositionsrauschen RMS±7 nm
2 nm (450 kHz)

Versorgungsspannung
Stromaufnahme

DC 5 V ±5%< 190 mA

Elektrischer Anschluss

Stecker Sub-D, Stift, 15-polig; Schnittstellen-Elektronik im Stecker integriert

Gehäusedurchführung*­(siehe Seite 4)ohne (Schnittstellen-Elektronik im Vakuum)

Sub-D (nicht im Lieferumgang; Schnittstellen-­
Elektronik außerhalb Vakuum)

Kabellänge Abtastkopf
bis APE*0,5 m oder 1 m

0,5 m oder 1 m bis Gehäusedurchführung und
0,5 m bis APE

Andere Kabellängen auf Anfrage; jedoch  3 m zwischen Abtastkopf und APE
Kabellänge nach APE 20 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz
Schock 11 ms

 200 m/s2 (EN 60068-2-6)
 500 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

0 °C bis 40 °C

Ausheiztemperatur

100 °C

Materialien

Platine:Keramik
Klebstoffe: UHV-fähig, temperaturbeständig

Masse

Abtastkopf
Stecker
MaßstabAnschlusskabel

50 g (ohne Anschlusskabel)
32 g; mit integrierter Anpass-Elektronik: 140 g
5,6 g + 0,2 g/mm Messlänge
38 g/m* Bei Bestellung bitte auswählen
Produktinformation LIP 481V, LIP 481 U   05/2019

120 °CElektrischer Anschluss

LIP 481 VDas Anschlusskabel des Abtastkopfs ist
mit einem Stecker Sub-D, 15-polig, versehen, der die Schnittstellen-Elektronik beinhaltet. Als Zubehör sind Vakuumdurchführung (Stecker Sub-D, 15-polig, auf
DN63CF-Flansch) und Verlängerungskabel
lieferbar.

LIP 481 U
Beim Einsatz im Ultra-Hochvakuum darf
das Messgerät keine Elektronikkomponenten enthalten. Deshalb befindet sich dienotwendige Anpasselektronik außerhalb
des UHV-Bereichs.

Vakuum

Das LIP 481 U ist mit einem Anschlusskabel
und UHV-tauglichen Sub-D-Stecker ausge­
stattet. Im Lieferumfang enthalten ist ein
Adapterkabel mit der im SUB-D-Stecker
integrierten Anpasselektronik. Als Zubehör
sind Vakuumdurchführung (Sub-D-Stecker,15-polig auf DN63CF-Flansch) undVerlängerungskabel lieferbar.

Luft

HV-Systeme LIP 481V

UHV-Systeme LIP 481 U

Stecker Sub-D, 15-polig
mit integrierter
Schnittstellen-Elektronik

Spannungsversorgung

Inkrementalsignale

sonstige Signale

4122

10

1

93

11

14

7

13

8

6

UP

Sensor5V

0V

Sensor
0V

A+

A–

B+

B–

R+

R–

frei//

braun/
grün

blau

weiß/
grün

weiß

braun

grün

grau

rosa

rotschwarz

violett

grün/
gelb/
schwarz schwarz

Schirm liegt auf Gehäuse; UP = Spannungsversorgung
Sensor: Die Sensorleitung ist intern mit der jeweiligen Spannungsversorgung verbunden          
 

1037419 · 01 · A · 01 · 05/2019 · PDF

Mit Erscheinen dieser Produktinformation verlieren alle vorherigen Ausgaben ihre Gültigkeit.
Für Bestellungen bei HEIDENHAIN ist immer die zum Vertragsabschluss aktuelle­Fassung der Produktinformation maßgebend.
Weitere Informationen:
Für die bestimmungsgemäße Verwendung des M­ ess­geräts sind die Angaben in folgenden Dokumenten einzuhalten:• Prospekt Offene Längenmessgeräte
208960-xx• Technische Information Längenmessgeräte zum Einsatz im Vakuum
627568-xx