自動X・XYステージ / テーブルサイズ 70×70

システム
製品
SystemProducts

Motorized X, XY Linear Stage / Table size 70×70

産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage
X・XY
X・XYZ
Z

XA07A-R2H01

回転Rotation

YA07A-R2H01※画像のコネクターケーブルの長さは、実物と異なります。また曲げ半径は40mmとなります。
※The length of the connector cable in the image is different from the actual one. The bending radius is 40mm.

XA07A-R2H01(140.5)スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

7060
4030(70.5)

自動精密ステージ
MotorizedStage

4H8(31.5)20(200)

X・XY
X・XY

3040607018

裏面
Back SideZZ4-M4 Depth 5mm

4-M3 Depth 5mm
4-M3 Depth 5mm

38

回転Rotation

CCW

φ4H8 Depth 4mm

5Depth 4mm

40CW

Home Position
CW Limit Sensor

CCW Limit Sensor

YA07A-R2H01(140.5)
7060
4030

制御装置
Control
Electronics(70.5)
5

モーターコントローラ
Motor
Controller

モーター
ドライバ
Motor
Driver7060
403830(172)

Depth 4mm

φ4H8 Depth 4mm

184-M4 Depth 5mm
裏面Back Side

(200)

アプリ
ケーション
Application(200)
4-M3 Depth 5mm
4-M3 Depth 5mm(70.5)

ドライバ
ボックス
DriverBox4020

真空ステージ
VacuumStage□60

4-for M4 screws
Shaft length 6mm4H8(1.5)

アライメント
ステージXYθ28(24)(2.5)

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

モーター
ケーブル
MotorCable

検査システムInspection
SystemH-016

H.indd 164-for M4 screws
Shaft length 6mm

CONTACT□60(1.5)

28

アクセ
サリー
Accessories

(28)

28

付録
Appendix

TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/09/06 16:12

アルミ / クロスローラガイド / ボールネジ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Ball Screw
型式
Model Number
勝手違い型式※1Mirror Model Number
テーブル面Table Size
案内方式
Guide Mechanism移動範囲Motion Range
送り方式
Lead Mechanism
フル/ハーフ ステップ
Full/Half Step分解能※2Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
Micro Step (1/20 div)
最高速度
Maximum Speed
累積リード誤差
Accumulated Lead Error
繰返し位置決め精度
Repeatability
ロストモーション
Lost Motion
水平Horizontal
真直度
Straightness
垂直Vertical
バックラッシュBacklash
モーメント剛性※3
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重
Weight直交度
Perpendicularity
5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor
モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ※4Stage Wiring Type
センサ基板型式
Sensor Model
クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number
真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number
※1※2

産業用
Industrial

XA07A-R2H01

YA07A-R2H01

XA07A-R2H01-R

YA07A-R2H01-RRR

実験用
Experimental

70mm×70mm
手動精密ステージ
ManualStage

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide
±10mm

X・XY
X・XY

ボールネジ, リード 1.0mm
Ball Screw, Lead 1.0mm
2μm/1μmZZ

0.1μm
10mm/sec≦5μm/20mm（AVE. 1.37μm/20mm）≦5μm/20mm≦±0.2μm（AVE. ±0.08μm）≦±0.2μm≦0.5μm（AVE. 0.39μm）≦0.5μm

≦0.5μm/20mm（AVE. 0.17μm/20mm）≦0.5μm/20mm≦1μm/20mm（AVE. 0.45μm/20mm）≦1μm/20mm≦0.5μm（AVE. 0.24μm）≦0.2μm0.05 arcsec/N・cm（AVE. 0.03 arcsec/N・cm）

0.15 arcsec/N・cm

98N（10kgf）

88.2N（9kgf）

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

ZZ

アルミ合金
Aluminum Alloy
白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing
0.65kg1.3kg－≦5μm/20mm

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

TS3664N29E4（多摩川精機: 定格電流 0.75A/相，基本ステップ角 0.72°, リード線5本）
TS3664N29E4 (Tamagawa Seiki: Phase Current 0.75A, Basic Step 0.72°, 5-Leads)
Φ5mm オプションハンドル：A typeΦ5mm Conformance option handle: A type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)

アライメントステージ
XYθ真空ステージ
VacuumStage

V3F-115(HOME,LIMIT), 勝手違い: F-115R(HOME,LIMIT)
F-115(HOME,LIMIT), Mirror Model: F-115R(HOME,LIMIT)XA07A-R2H01-C

YA07A-R2H01-C

XA07A-R2H01-V

YA07A-R2H01-V

勝手違い、重ねの組勝手についてはH-005ページを参照して下さい。
Refer to page H-005 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.
ステージの検査はハーフステップで行っております。
Stage is inspected by half step setting.

※3Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

※4

ステージ結線の詳細についてはN-026～N-027ページを参照して下さい。
Refer to page N-026~N-027 for stage wiring connection information.

制御装置
ControlElectronics
モーターコントローラ
MotorController

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information.

対応するモーターコントローラ・ドライバについてはN-002ページを参照して下さい。
Refer to page N-002 for information on corresponding motor controller and driver.

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

お客様のご要望により製品の改造も承ります。詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-005ページを参照して下さい。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-005 forfurther information.

対応するモーターケーブルについてはN-014～N-015ページを参照して下さい。
Refer to page N-014~N-015 for information on corresponding motor cable.

アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.
オプションハンドルはO-008ページを参照して下さい。
Refer to page O-008 for information on Option Handle.

XA07A-R2H01、YA07A-R2H01はモーター交換が出来ません。
XA07A-R2H01, YA07A-R2H01 are impossible to change the motor.

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システム
Inspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

H.indd 17H-017

2022/09/06 16:12