システム構成
画像処理装置コントローラ（PLC等）

カメラ

カメラ

超高精度 Alignment Stage

モータードライバー

High Resolution
Triangle

用途例
ウェハ接合装置

露光装置

各種基板の通電検査装置

サブミクロンの各種アライメント

信頼を生む測定技術
神津精機では世の中のニーズに応える為に、製品の高精度化を進めてきました。
そこで不可欠であったのは「測定技術」の向上です。
当社では、高精度な測定器を各種取り揃え、経験豊かな測定担当者が綿密な精度検査を実施しています。

◦レーザー測長機（分解能1nm）：直線方向の位置決め精度
主な測定器

Stable Motion◦ロータリーエンコーダ（分解能0.00005°）：回転方向の位置決め精度◦オートコリメータ（分解能0.001秒）：姿勢変化、あおり方向の位置決め精度◦電気マイクロメータ（分解能0.01μm）：走りの真直性

弊社ホームページ（https://www.kohzu.co.jp/technology/actualvalue/）では、過去に行った特殊測定の実績をご紹介しております。ご用途に応じた精度測定も可能ですので、ご相談ください。

このパンフレットに記載された内容、仕様は予告なく変更されることがあります。

神津精機株式会社 http://www.kohzu.co.jp

お問い合わせ先E-mail:sale@kohzu.co.jp

本社／工場 〒215-8521 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15 TEL.044-981-2131 / FAX.044-981-2181
大 阪 支 店 〒532-0004 大阪府大阪市淀川区西宮原2-7-38 新大阪西浦ビル202 TEL.06-6398-6610 / FAX.06-6398-6620

2020.01高い追従性0.1μm±20nmを実現

仕様

スケール等のフィードバックを掛けずにサブミクロンでのステップを綺麗に刻みます。
参考データ

測定機器：Renishaw XL-80

測定環境：室温23℃0.1μmピッチの10ステップで1往復（1目盛=0.1μm）
X軸型

湿度40%0.1秒ピッチの11ステップで1往復(1目盛=0.1秒)
Y軸式

RSTA-005サイズφ400mm

透過穴

φ230mm

耐荷重60kg

材

質

アルミ合金

外観白色アルマイト

モータ型式
分解能

θ軸ストローク※サーボモーター搭載も可能です。

寸法図

PK523HPMB-H50S (オリエンタルモーター)
X : 20nm Y : 約11.55nm θ: 約0.01366秒（マイクロステップ1/4時）
XY : ±3mm θ: 2°
モーター型式：HG-KR053（三菱電機）

大口径透過穴構 造 上、透 過 穴 サ イ ズ に 制 約 を も た ら す ベ ア※上記グラフはサーボモーター搭載機で測定したデータです。

リングを使用していない為、大口径の透過穴を設けることが可能です。

バランスの取れた正三角形配置

テーブルサイズ自在

RST Aligner最大の特徴である駆動ユニットの配置。この軸配置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にします。

駆動部をユニット化したことにより、搭載ワーク制御に必要な計算式は無償提供いたします。に応じて、テーブルサイズ、形状を自由に設計できます。

■ 駆動イメージ

Z機構の追加可能
貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加のご提案も可能です。

X方向

Y方向

左記のQRを読み取って頂くと動画を見ることが出来ます。

θ方向

その他、カスタム対応◦ストローク変更◦高耐荷重仕様◦外観色の変更

専用設計の駆動ユニット
RST Aligner用に専用設計した駆動ユニット。モンブランシ
リーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、感度良く追従します。

仕様等、お気軽にご相談ください。

高い追従性0.1μm±20nmを実現

仕様

スケール等のフィードバックを掛けずにサブミクロンでのステップを綺麗に刻みます。
参考データ

測定機器：Renishaw XL-80

測定環境：室温23℃

0.1μmピッチの10ステップで1往復（1目盛=0.1μm）
X軸型

湿度40%0.1秒ピッチの11ステップで1往復(1目盛=0.1秒)
Y軸式

RSTA-005

サイズ

φ400mm

透過穴

φ230mm

耐荷重60kg

材

質アルミ合金外観

白色アルマイトモータ型式
分解能

θ軸ストローク※サーボモーター搭載も可能です。

寸法図

PK523HPB-H50S (オリエンタルモーター)
X : 20nm Y : 約11.55nm θ: 約0.01366秒（マイクロステップ1/4時）
XY : ±3mm θ: 2°
モーター型式：HG-KR053（三菱電機）

大口径透過穴構 造 上、透 過 穴 サ イ ズ に 制 約 を も た ら す ベ ア※上記グラフはサーボモーター搭載機で測定したデータです。

リングを使用していない為、大口径の透過穴を設けることが可能です。

バランスの取れた正三角形配置

テーブルサイズ自在

RST Aligner最大の特徴である駆動ユニットの配置。この軸配置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にします。

駆動部をユニット化したことにより、搭載ワーク制御に必要な計算式は無償提供いたします。に応じて、テーブルサイズ、形状を自由に設計できます。

■ 駆動イメージ

Z機構の追加可能
貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加のご提案も可能です。

X方向

Y方向

左記のQRを読み取って頂くと動画を見ることが出来ます。

θ方向

その他、カスタム対応◦ストローク変更◦高耐荷重仕様◦外観色の変更

専用設計の駆動ユニット
RST Aligner用に専用設計した駆動ユニット。モンブランシ
リーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、感度良く追従します。

仕様等、お気軽にご相談ください。

システム構成
画像処理装置コントローラ（PLC等）

カメラ

カメラ

超高精度 Alignment Stage

モータードライバー

High Resolution
Triangle

用途例
ウェハ接合装置

露光装置

各種基板の通電検査装置

サブミクロンの各種アライメント

信頼を生む測定技術
神津精機では世の中のニーズに応える為に、製品の高精度化を進めてきました。
そこで不可欠であったのは「測定技術」の向上です。
当社では、高精度な測定器を各種取り揃え、経験豊かな測定担当者が綿密な精度検査を実施しています。

◦レーザー測長機（分解能1nm）：直線方向の位置決め精度
主な測定器

Stable Motion◦ロータリーエンコーダ（分解能0.00005°）：回転方向の位置決め精度◦オートコリメータ（分解能0.001秒）：姿勢変化、あおり方向の位置決め精度◦電気マイクロメータ（分解能0.01μm）：走りの真直性

弊社ホームページ（https://www.kohzu.co.jp/technology/actualvalue/）では、過去に行った特殊測定の実績をご紹介しております。ご用途に応じた精度測定も可能ですので、ご相談ください。

このパンフレットに記載された内容、仕様は予告なく変更されることがあります。

神津精機株式会社 http://www.kohzu.co.jp

お問い合わせ先E-mail:sale@kohzu.co.jp

本社／工場 〒215-8521 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15 TEL.044-981-2131 / FAX.044-981-2181
大 阪 支 店 〒532-0004 大阪府大阪市淀川区西宮原2-7-38 新大阪西浦ビル202 TEL.06-6398-6610 / FAX.06-6398-6620

2020.01