報告VACUUM2010第32回真空展の報告
間瀬一彦1・秋道斉2・黒岩3
雅英

Report on the 32nd Japan Vacuum Show ``VACUUM2010''
1, Hitoshi AKIMICHI 2 and Masahide KUROIWA 3
Kazuhiko MASE

1 Oho, Tsukuba, Ibaraki 3050801, Japan
1Institute of Materials Structure Science, KEK, 1
2National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 3,111 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 3058568, Japan
3Leader of the working for the Japan Vacuum Show
(Received October 11, 2010, Accepted November 8, 2010)

.

株）
芝浦メカトロニクス
，秋道

真空展と日本真空協会コーナーの報告

斉（産総研），荒川一郎（学株 アルバック），及川習院大），井上郁夫，細工英里子（永日 本 真 空 協 会 は ， 日 本 真 空 工 業 会 と 合 同 で VACU-

株 SNK エレクトロニクス）（日本真空協会），加藤敬具（，齊UM2010 第 32 回真空展を 2010 年 9 月 1 日（水)～ 3 日（金）株）
藤芳男（ KEK ），佐藤弘悦（佐藤真空，田村靖志（月島に東京ビッグサイト東 4 ホールにて開催しました（図）．

株）株），土岐和之（サンユー電子
，野中秀彦（産総研），
機械

真空展は真空ポンプ，真空計，各種真空装置など真空機器・

間瀬一彦（ KEK ），松田七美男（東京電機大），三澤啓一

技術に関する世界最大の展示会です．今年の出展社数は 92

株））を組織し，4 回の会合を重ねて日本真空協会（日本電子

社・団体，出展小間数は 203 小間でした．来場者数は 1 日の展示の立案と準備を進めてまいりました．そして，テーマ

2,190 名， 2 日 3,259 名， 3 日 3,498 名，合計 8,947 名でした．

ゾーンの日本真空協会コーナーにおいて，以下の企画を行な

昨年は出展社数 118 社・団体，出展小間数 220 小間，来場者いました．

数合計13,781名でしたのでかなり減少しました．また併催事

1)｢宇宙開発を支える真空技術」というテーマで，小惑業として，真空トピックス「201X 時代のスパッタリング技

星探査機「はやぶさ」の模型，国際宇宙ステーション術」（ 9 月 1 日 13  00 16  45 ），第 11 回真空シンポジウムの日本実験棟「きぼう」の模型，宇宙服のレプリカの「成膜技術の新しい展望，展開展示（図），ポスター展示，ビデオ上映（図）．

～ウェットもドライもナノスケールで制御～」（ 9 月 2 日 13  00 16  45 ）を日本真空2)工業会とともに主催しました．

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスター展示（ 45 件，図，表），要日本真空協会では昨年に引き続き，真空展ワーキング（黒株）
岩雅英（リーダー，東京電子
，宇都宮信明（副リーダー，

旨等を掲載した CDR の無償配布，
3)

日本真空協会の紹介（図），「日本真空協会入会のす
すめ」配布

4)

J.

Vac.

Soc.

Jpn. 誌のバックナンバー，真空誌

DVD，書籍「真空技術発展の途を探る」，研究部会例会

予稿集，ISSP プロシーディングスなどの販売（図 5 参

図真空展の入口．

1 高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所（〒 305 
0801 茨城県つくば市大穂 11）
2 産業技術総合研究所計測標準研究部門（〒3058563 茨城県つくば市梅園 1
11）
3 真空展ワーキングリーダー

Vol. 54, No. 1, 2011図―( 67 )―

小惑星探査機「はやぶさ」の模型，国際宇宙ステーショ
ンの日本実験棟「きぼう」の模型，宇宙服のレプリカ．

67

図 「宇宙開発を支える真空技術」というテーマでのポスター
展示，ビデオ上映．

図

図
図

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスター展示．

日本真空協会展示の受付．

テーマゾーンでの電気自動車の展示．

れています．ISSP はスパッタリングおよびプラズマプロセ
ス技術に関する国際シンポジウムとして 1991 年にスタート
し， 20 年にわたって隔年で開催されてまいりました．本年より 2010 年代に入ることを機に，スパッタリング技術の新照）．
また，日本真空工業会が企画した今回のテーマゾーンのたな可能性を探ることを目的として，第一線でご活躍の方々

テーマは電気自動車で（図），日本真空工業会コーナーでを講師にお招きしました．いずれも新時代の科学技術の展望

は日本真空工業会の活動，会報誌などが紹介されました．今が得られる興味深い内容でした．真空展の参加者が減少した

回も厳しい経済状況の下での展示となりましたが，充実した中，133名という参加者があり，スパッタリングおよびプラ企画を実行でき，参加者の方々に真空科学技術とその広がり

ズマプロセス技術のフロンティアに対する関心の深さがうかに対する理解を深めていただけたと思います．

がわれました．

毎年好評の学生ツアーは今年も日本真空工業会の主催で開プログラム

催され， 24 名が参加しました．真空関連産業の活気と魅力

13  00 13  05

株 村田製作所）
川原修（

を伝えることができたと思います．

.

｢開会の挨拶」， ISSP2011 実行委員長，中13  05 13  45

真空トピックスの報告｢次世代電子デバイス用スパッタ成膜技

株 半導体装置技術部）術」，中川隆史（キヤノンアネルバ

今年の真空トピックスは，「 201X 時代のスパッタリング

13  45 14 25｢ミニマルファブ構想～ハーフインチ化に技術」というタイトルで，日本真空協会研究部会とスパッタよる生産性向上」原

リングおよびプラズマプロセス技術部会の合同研究会， In-

ロニクス研究部門）

ternational Symposium on Sputtering and Plasma Processes(ISSP) 2011プレセッションとして開催されました．スパッ
タリング技術は，各種産業の基盤技術としてのみならず，最先端プロセスにおいても不可欠な成膜手法として広く認知さ
68

14251505

史朗（産業技術総合研究所エレクト｢Impact of Sputter Materials and Sputter

Techniques on Large Area Coatings」，Dr. Gerd Kleideiter(Applied Materials GmbH & Co. KG)
15201600―( 68 )―

｢透明酸化物半導体最近の展開から」，細J. Vac. Soc. Jpn.

表

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスターリスト．

真空科学・宇宙科学

1 松本益明，岡野達雄（東大生研)

半導体基板表面上の金属超平坦薄膜作製に関する研究

2 吉田肇，城真範，新井健太，平田正紘，秋道斉（産総研計測標準)

分子流におけるコンダクタンスの表面材料と粗さの影響

3 城真範，平田正紘，秋道斉（産総研計測標準)

分子流におけるオリフィスの通過確率

4 新井健太，秋道斉，平田正紘（産総研計測標準)

隔膜真空計の零点安定性評価

5 秋道斉，小松栄一，平田正紘（産総研計測標準)

膨張法による中真空標準の現状

6 鈴木淳（産総研計測フロンティア)

太陽電池製造装置で使用するシラン―水素濃度計の実用化研究

7 永井秀和（産総研計測フロンティア)

真空紫外光によるソフトイオン化

8 高橋竜太郎（自然科学研究機構国立天文台)

大型低温重力波検出器 LCGT9 河野誠司（九工大超小型衛星試験センター)

超小型衛星試験センター

加速器・放射光施設・加速器利用研究

10 備前輝彦（理研，高輝度光科学研究セ X 線自由電子レーザー計画
合同推進本部)

未来を拓く新たな光X 線自由電子レーザー（XFEL)

11 淡路晃弘（高輝度光科学研究セ広報室)

大型放射光施設 SPring8

12 原田慈久（東大院工，東大放射光連携研究機構)

東京大学放射光アウトステーション SPring
8 BL07LSU

13 瀬戸山寛之（九州シンクロトロン光研究センター)

九州シンクロトロン光研究センターの現状と利用研究

14 柴田恭，石橋拓弥（高エ機構加速器研究施設)

次世代の高ルミノシティコライダーSuperKEKB 加速器

15 谷本育律（高エ機構加速器研究施設)

電子貯蔵リングにおけるダストトラッピングの研究～電子ビームの寿命を急落させる犯人を直接観測～

16 宇佐美徳子（高エ機構物構研)

フォトンファクトリーの現状と物質・生命科学研究17 雨宮健太（高エ機構物構研)

軟 X 線可変偏光ビームライン PFBL16A における物質科学の展
開18 福谷克之（東大生研)

核反応法とレーザー共鳴分光法

薄膜・電子材料プロセス

19 野中秀彦（産総研計測フロンティア)

高純度オゾンの発生とその利用

20 渡邊幸志（産総研ダイヤモンド研究ラボ)

材料の王様ダイヤモンド

21 武藤優，岡伸人，重里有三（青山学院大)ユニポーラパルス反応性 dc スパッタ法による様々な透明導電膜の高速成膜

22 諸橋信一（山口大院理工)対向スパッタの回転機能とスパッタモード可変機能による高性能化

23 鈴木敏正（日本工業大工)

トリエチルアミン（TEA）を用いた族窒化物半導体薄膜の低温

MBE･MOCVD 成長
24 有明順（秋田県産業技術総合研究センター高度技術研)

微細磁性ドットアレイの作製とその構造，磁気評価

25 後藤康仁（京大院工)電界放出微小電子源を用いた真空トランジスタの開発

26 岩森暁（東海大工)

機能性有機薄膜を応用したガス検知センサ・活性酸素種検知セン
サの開発

27 菊地直人（産総研)

夏季の冷房負荷を低減させる日射熱反射コーティング

分析・ナノ構造・顕微鏡

28 鈴木裕，笠原章，後藤真宏，荒木弘，土佐正弘（物材機構材料信頼性センター)
29 保坂哲也（関東学院大工)

微小材料の機械強度測定

真空蒸着 AuPd
Sb 膜のナノ付着破壊観察（Nanoadhesion frac-ture observation of the vacuumevaporated AuPdSb ˆlm)
30 清水哲夫，内藤泰久（産総研ナノシステム)

半導体局所プラズマ加工装置の技術開発

31 山本節夫，栗巣普揮（山口大院理工)ナノテクノロジーネットワーク高品質真空利用技術の支援成果

32 上田一之（奈良先端大院)

水素顕微鏡とその応用

33 箕田弘喜（東京農工大工)

極限環境観察用 TEM の開発とその応用

Vol. 54, No. 1, 2011―( 69 )―

69

表

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスターリスト（つづき)．

34 越川孝範（大阪電気通信大)，中西彊（名大院理)，竹田和美（名大院工)

高偏極・高輝度スピン偏極低エネルギー電子顕微鏡

35 大西桂子（物材機構)

AFM 像補正のためのプローブ形状の推測

36 井上雅彦（摂南大理工)

電池駆動モバイル走査電子顕微鏡

表面科学

37 藤田大介（物材機構)

グラフェン超薄膜の創製と計測評価技術

38 水野清義，水田典章，伊藤由人，胡宝山，吾郷浩樹（九大院総合理工)観察

39 笠井秀明（阪大院工)固体高分子形燃料電池の電極における原子スケール・ダイナミク

単結晶遷移金属薄膜上での CVD によるグラフェン成長と LEED

スの研究

40 吉信淳（東大物性研)

有機分子電極系の構造・電子状態と電荷移動ダイナミクス

41 倉橋光紀（物材機構)

表面修飾によるハーフメタル最表面スピン偏極制御

42 田中正俊（横国大院工)Si（001）表面上のオリゴチオフェン分子吸着のリアルタイム光学計測

43 鈴木隆則（防衛大)低温シリコン表面上のアルカリ原子クラスター形成

44 小澤健一（東工大院理工)

酸化亜鉛の表面金属化～水素吸着による半導体
金属転移の機構～

45 奥山弘（京大院理工)金属表面における水分子クラスタ形成の STM 観測学科教授）

野秀雄（東京工業大学フロンティア研究センター）
16001640｢FPD 用大型ガラス基板へのスパッタリン

グ技術」新井16401645

株 アルバック千葉超材料研究所）
真（｢閉会の挨拶」，日本真空協会研究部会長，株 東芝）
杉山直治（

.

16401645｢閉会の挨拶」，齊藤芳男（日本真空協会副会長，高エネルギー加速器研究機構教授）

.

規格・標準部会の報告

日本真空協会規格・標準部会は真空技術分野の日本工業規第回真空シンポジウムの報告格（JIS 規格）の原案作成団体として，また，同分野の国際第 11 回真空シンポジウム「成膜技術の新しい展望，展開規格（ISO 規格）の国内審議団体としても登録されており，～ウェットもドライもナノスケールで制御～」では，従来の日本真空工業会の規格標準委員会との合同検討委員会を中心

物理蒸着（Physical Vapor Deposition, PVD），化学蒸着として，関連メーカーの意見をお聞きしながら議論を重ねて（Chemical Vapor Deposition, CVD）等の成膜技術の範疇にいます．ここ数年は，特に ISO/TC112 （真空技術）の活動

とらわれず，今後の発展が期待される成膜プロセスを学際的が活発で，多くの規格の新規提案，検討が進められていまに取り上げました．超薄膜と厚膜，ウェット（液相）プロセ

す．日本も主要メンバーとして，規格の提案，検討に積極的

スとドライ（気相）プロセス等の対比により，これらの成膜に参加しています．今回の真空展では，合同検討委員会としプロセスにおいてどのような可能性があるのか，それぞれのて展示を行ないました．合同検討委員会の組織と活動報告，分野でご活躍のリーダーにご講演をお願いしました．新しい真空技術関連の国内外の規格（ JIS ， ISO ）の紹介，真空標

発想のヒントは異分野・異質なところあると期待されます．

準および JCSS（計量法に基づく真空計の校正システム）に

参加者は78名でした．

ついてパネルで紹介しました．また，毎年行なわれている規プログラム

格標準報告会の内容の展示も行ないました．

13001305｢開会の挨拶」，土岐和之（日本真空協会産業部会部会長）13  05 13  25

また， 9 月 2 日（木） 13  00 ～ 16  20 に東京ビッグサイ
ト会議棟606会議室において真空計とその標準に関するアン｢イントロダクトリートーク」，岡野達雄（日本真空協会会長，東京大学生産技術研究所教授）

ケートおよび関連情報の報告を行ないました．近年，トレー
サブルな圧力真空標準の立ち上げや JIS Z 8750 「真空計校｢酸化物の原子層制御エピタキシーとその正方法」の改訂（ 2009 年 3 月）および JCSS 制度の整備な集積化による機能開発」，川崎雅司（東北大学原子分子材

ど，日本における真空計の基準に大きな改編がありました．

料科学高等研究機構教授）

そこで，日本真空協会と日本真空工業会とで組織される規格13 25 14  25

14401540｢AD（エアロゾルデポジション）法による標準合同検討委員会では，新しい真空標準や JCSS 制度の認

常温セラミックスコーティング」，明渡純（産業技術総合

知度，真空計の使用方法や校正の実情，さらには，真空計研究所先進製造プロセス研究部門主幹研究員）

測・標準に対する要望や抱える問題点を把握するために，真｢ウェットプロセスによる機能薄膜・表面空計を取り扱うメーカー・ユーザー等を対象にアンケート調形成と応用」，本間敬之（早稲田大学先進理工学部応用化

査を行ないました．今回の報告会では，「真空計とその標準15 40 16  40

70―( 70 )―

J. Vac. Soc. Jpn.

に関するアンケートの結果報告」と共に「改訂された真空計

ナーの企画や真空トピックス，真空シンポジウム等は来場者

校正方法の規格」，「真空標準と JCSS」，「リークに関する規数の増加にも貢献できたと思います．今後もこの実績をもと格化の現状」などについて報告しました．参加者は103名でに充実した企画を実現してゆこうと考えております．
｢はやぶさ」の模型，「きぼう」の模型，宇宙服のレプリカした．
なお，今回の展示のパネルやブースの準備などを日本真空等の展示に関して独立行政法人宇宙航空研究開発機構

工業会規格標準委員会の芦田委員長（株式会社 島津製作所）

JAXA にご協力をいただきました．この場を借りて感謝いに，全面的なご協力をいただきました．感謝いたします．

たします．また，真空トピックス，真空シンポジウムの講師

.

の先生方，真空科学・技術・応用の最先端研究を紹介するポ

おわりにスターを出展された皆様，ご協力いただいた日本真空工業会

今年も日本真空協会らしい企画を計画・実施して，無事に真空展を終了することができました．また，日本真空協会のの皆様，そして，真空展に来場くださったすべての方々に感謝いたします．

活動と役割も広くアピールできました．日本真空協会コー

Vol. 54, No. 1, 2011―( 71 )―

71

報

告

第 5 回規格標準報告会について
平田

正紘・秋道

斉1

Report of the 5th VSJ･JVIA Joint Meeting on Vacuum Standards
Masahiro HIRATA and Hitoshi AKIMICHINational Metrology Institute of Japan, AIST Tsukuba Central 3, Umezono 111, Tsukuba, Ibaraki, 3058563 JAPAN(Received March 10, 2010, Accepted April 3, 2010)

日本真空協会規格・標準部会と日本真空工業会規格標準委ンとして ISO の 5TC と 4 国際機関（CERN, EC, IUVSTA,

員会は規格標準合同検討委員会を設け，真空関連規格の審議

PNEUROP ） で 構 成 さ れ て い る ． 規 格 は ， TC112 直 下 のと真空標準等の検討を協力して行っている1)．毎年12月に規3WG （ WG1, 2, 3 ）で開発されている．真空ポンプ担当の格標準報告会を開き，その年の活動状況を報告している2)．

WG1 のコンビナーは，平田が代理を数年間務めてきた．真2009年は12月18日（金）1400～1700，機械振興会館地

空計担当の WG2 のコンビナーはドイツ物理工学研究所の下 3 階 B32 号室にて開催した．今回は漏れ試験規格の現状

Dr. Jousten，真空部品担当の WG3 のコンビナーは平田であも紹介された（表）．参加者は 25名である．標準化のそのる．

後の進捗も含め，会議内容を紹介したい．

ISO 規 格の 開 発 ， 維持 ， 改 正 ，廃 止 は ， 1 )新 作 業 項 目（ NP ）の提案， 2 )作業原案（ WD ）の作成， 3 )委員会原案

. ISO/TC112 中国総会

（CD）の作成，4)国際規格原案（DIS）の照会及び策定，5)

ISO /TC112 （真空技術）は， 1964年に組織された真空技

最終国際規格案（FDIS）の策定，6)国際規格の発行，7)定術の ISO 規格を審議する技術委員会である3)．幹事国はドイ

期見直し（ SR）の順に行なわれる．これらを円滑に進める

ツ，幹事はドイツ機械工業連盟の Mr. Eisenreich，委員長はため， TC112 はほぼ 1 年に 1 回，総会と WG 委員会を開催

Gardner Denver 社の Dr. Justen （任期 2011 年まで）であし，新規の規格化項目，前回会議からの進捗状況確認と賛否る．Pメンバー11カ国，Oメンバー16カ国，及び，リエゾ

投票の結果（規格案に対するコメントなど）の対処方針を審議している． 2008年の総会と WG 委員会は， 9 月 810日に東京で開催された2)．

表

2009年の総会と WG 委員会は，9 月2123日（9 月21日午第 5 回規格標準報告会「 ISO / TC112 中国総会の報告と漏れ試験の規格化の現状」

前WG3，午後WG2, 9月22日午前WG1，午後総会，

1400

9 月23日テクニカルツアー）に中国杭州で開催した．参加

開会の挨拶

ISO/TC112 中国総会報告
総会報告

山本博義
（真空工業会)国（参加者数）はドイツ（3 名），中国（13名），韓国（4 名），
日本（ 4 名），英国（ 1 名），米国（ 1 名）の 6 カ国（合計 26

平田正紘（産総研)

1405

芦田 修
（島津製作所)1415

ISO/DIS 21360
2, NWIP 21360
3 田中智成（アルバック)1430

ISO/NWIP 14291
ISO 35291, 2, 3

吉田肇（産総研)秋道斉（産総研)

1450
1505

（ ISO 27894, 27895, ISO / TS 27893 ）がこの 1 年間に制定

ISO 28611, ISO/TS 36692

黒河内智（バックス・エスイーブイ)

1515

さ れ た ． 開 発 中 の 規 格 が 2 件 （ FDIS 27892, DIS 21360 

1530（ NWIP 14291, 21360 3 ）， 改 正 提 案 中 の ISO 規 格 が 1 件

ISO/FDIS 27892

秋道

斉（産総研)（ISO/TS 36692）ある．8 件（ISO/TS 3567,
1540

休憩
漏れ試験の規格化の現状
社 非破壊検査協会での規格化計画


田村芳一
1600
(キャノンアネルバテクニクス)

ISO/TC135（非破壊検査）の現状 土屋武雄
(東芝ドキュメンツ)
閉会の挨拶
懇親会

2009 年 12 月末の時点で， TC112 の発行済み ISO 規格は
ISO / TS （技術仕様書）を含め 21 件3) あり，この内の 3 件2），新作業項目（NP）提案の賛否投票段階のテーマが 2 件

規格化進捗状況と今後の計画

ISO および JIS 規格化計画について名）である．次回の総会と WG 委員会は 2010年秋にフランクフルトで開催することにした．

平田正紘（産総研)

1620
1650
1700

ISO 5302,

1609, 28611, 2, 35291, 2, 3）の定期見直しが行われ，

そ の 内 の 3 件 （ ISO 2861 1, 3529 2, 3 ） は 改 正 ， 1 件（ISO 28612）は廃止，残り 4 件は継続にすることを確認した．
FDIS 27892（ターボ分子ポンプの急停止トルク測定方法）

は，12月28日締切りの投票で ISO 規格になることになった．
DIS 21360 2 （ ISO 1607 1, 2 の改正，容積移送式真空ポ

独 産業技術総合研究所（〒3058563 つくば市梅園 111 つく
1 
ば中央 3）

Vol. 53, No. 7, 2010

ンプの性能試験方法）は， 11 月 26 日締切りの投票で FDIS
21360 2 に進むことになった． NWIP 21360 3 （ルーツポ―( 35 )―

463

ンプの試験法）は中国から積極的に提案説明されたが， 11
月 10 日締切りの投票で新プロジェクトになっていない．
NWIP 14291 （四極子分圧真空計の仕様）は 8 月 28 日締切

NDIS 34202000「超音波リーク試験方法」
NDIS 3423  2004 「蛍光染料及び現像剤を使用した液体漏れ試験方法」

りの投票でエキスパート輩出国不足（1 カ国）で新規プロジ

JIS Z23292002「発泡漏れ試験方法」

ェクトになっていない． ISO / TS 3669 2 （ナイフエッジフ

JIS Z23301992「ヘリウム漏れ試験方法の種類及びそのランジの形状寸法）の改正は，米国から改正案が出た時点で選択」

賛否投票にかけられる． ISO 28611（クランプ形継ぎ手のJIS Z23312006「ヘリウム漏れ試験方法」

形状と寸法）は口径50 mm まで大口径化することになった．

JIS Z23321993「放置法による漏れ試験方法」

使用例の少ない ISO 28612（スクリュー形継ぎ手の形状とJIS Z23332005「アンモニア漏れ試験方法」

寸法）は廃止することになった． ISO 3529 2, 3 （真空用語の真空ポンプ編と真空計編）は，種々のドライポンプやス
ピニングローター真空計などの新用語の追加や ISO 規格間の整合を図るために改正することになった． ISO 3529 1

JIS Z8754  1999 「真空技術質量分析形リークディテク

タ校正方法」
ISO 3530  1979 「 Vacuum

technology― Mass-spec-

trometer-type leak-detector calibration」（基礎編）の改正はこれらの進捗を見て決めることになった．

資格認証に先駆け NDIS 3431 「もれ試験方法通則」を作

将来テーマに，熱伝導真空計や隔膜真空計の仕様，真空測定

成中で，さらに新 NDIS 規格「非破壊試験漏れ試験技術者の不確かさの求め方などが上げられた．

の資格及び認証」の原案作成 WG が近日中に発足される．
JIS Z2330 の改正がドイツの漏れ試験方法のガイドラインを

. JIS 規格化計画

参考に行われている．この改正で圧力変化漏れ試験方法が新2009 年 12 月 31 日現在の制定済み JIS 規格は 21 件あり，そJIS に含められ， NDIS 3411 は廃止される． JIS Z2332 もの内の 2 件（ JIS Z8750, B8328 ）が 2009 年に制定（改正）「圧力変化漏れ試験方法」に改正予定である．この協会の担された． JIS B8328 「真空技術ターボ分子ポンプの性能試当になっている ISO 3530 とその翻訳規格 JIS Z8754 は，験方法」（発行 2009 年 9 月 24 日）は， ISO 5302 を基準に最近のデジタル形リークディテクタへ適用困難なため，定期制定された．JIS 規格は ISO 規格との整合が強く要求されて見直しで廃止予定にある．

いるが，国内事情を考慮し規定の一部を緩和している． JIS
B8328 制定に伴い， PNEUROP 規格を参考に制定された日

. ISO/TC135（非破壊検査）の現状

本真空協会規格 JVIS 005「ターボ分子ポンプの性能試験方

ISO / TC1353) は，非破壊検査の各検査技術別の国際規格法」は廃止となる． JIS Z8750 「真空計校正方法」（改正（用語，試験方法）の制定，及び，非破壊検査技術者の技量

2009年 3 月20日）は，ISO/TS 3567 の翻訳規格であるが，認定のための各国規格の統一を目指している．幹事国は日国内事情を考慮し規定の一部を緩和している．これら JIS 規本，議長は羽田野氏（東京理科大学），国際幹事は土屋氏格の内容（本体）は日本工業標準調査会（ JISC ）のホーム

株 東芝ド キュメン ツ）であ る． TC135 は直 下に 3WG と（

ページでから閲覧できる4)．

8SC を有する．TC135/WG3「非破壊検査技術者の技量認定

今後， ISO / TS 27893 （比較校正の不確かさ評価）， ISO
27894（熱陰極電離真空計の仕様），27895（真空バルブの漏に 関 す る ISO 9712 と 欧 州 規 格 （ EN 473 ） と の 整 合 」 とTC135/SC6「漏れ試験」も日本が幹事国である．

れ試験）， 21360 （真空ポンプの性能試験法）， 21358 （ L 形

TC135 は， 29 カ国の P メンバー， 39 カ国の O メンバー

バルブの面間形状と寸法），98031（クランプ形継ぎ手の形で構成され， P メンバーの数の上でも技術面でも欧州の勢状と寸法），98032（クランプ形ナイフエッジフランジ継ぎ力が大きいが， BRICS，特にブラジル，アルゼンチンなど

手の形状と寸法）などの新規 JIS 化，あるいは既存 JIS の改の活動が活発になっている．米国は Oメンバーである．活正が必要で， ISO / TS 27893 の JIS 化は 2010 年 1 月に原案

動の中心は，2 大規格 ISO 9712 と EN 473 の差異に起因す

作成委員会が発足した．

.

る混乱の解消と効率化のための技量認定の国際統一化， X
線 CT やデジタルラジオグラフィを用いた新損傷探傷技術の漏れ試験の規格化の現状

ISO 化である．旧来技術分野の活動は低調である．日本の課

社 日本非破壊検査協会5)
漏れ試験は非破壊検査の一部で，題として，アジア各国における日本のプレゼンス向上， JIS

が JIS 規格の原案作成と ISO 規格の国内審議を担当してい規格と ISO 規格との整合の更なる推進， JIS 規格の ISO 規

る．工業分野の非破壊試験（放射線透過，超音波探傷，磁粉格への提案が上げられている．

探傷，浸透探傷，渦流探傷，ひずみ測定など）を実施する技

TC135 / SC6 は， P メンバー 14 カ国， O メンバー 14 カ国

術者に対する資格認証制度を有していて，漏れ試験についてで構成される．米国は脱退している．日本の課題として，も制度を開始すべく規格整備を行っている．制定済み，改正

TC135/SC6 でも JIS 規格の ISO 規格への提案，SC6 の活性作業中，新規制定中，あるいは廃止予定の漏れ試験の規格と化，標準リークの標準確立と国際規格化が上げられている．

して，非破壊検査協会（ NDIS ）規格が 4 件， JIS 規格が 6件，ISO 規格が 1 件ある．

漏れ試験の国際相互承認には国家標準にトレーサブルなリーク標準システムが国内にあることが必要で，産総研と真NDIS 34071999「ハロゲンリーク試験方法」

空協会に標準リークの比較校正法の JIS 規格の制定への協力

NDIS 34111996「もれ試験方法の種類及びその選択」が要請されている．

464―( 36 )―

J. Vac. Soc. Jpn.

.

おわりに

〔文

日本に不利な規格ができないように TC112 活動への積極的な参加を継続する，日本主導で規格ができるように新規提案する，規格開発の遅い段階の意見は規格に反映し難いので，コメントは早い段階にだす，ことが重要である．皆様の協力をお願いする．

Vol. 53, No. 7, 2010

献〕

1) M. Hirata: Shinku, 50 (2007) 507.
2) H. Akimichi: J. Vac. Soc. Jpn., 52 (2009) 468.
3 ) http: // www.iso.org / iso / standards _ development / technical _committees/list_of_iso_technical_committees.htm4) http://www.jisc.go.jp/
5) http://wwwsoc.nii.ac.jp/jsndi/jis-ndis/index.html―( 37 )―

465

報

告

規格標準報告会「ISO/TC112東京総会の報告とこれからの規格化計画」
秋道

斉1

Report of the VSJ・JVIA Meeting on Vacuum Standards
1
Hitoshi AKIMICHI1National Metrology Institute of Japan, AIST Tsukuba Central 3, Umezono 111
Tsukuba, Ibaraki, 3058563 JAPAN（Received May 21, 2009, Accepted June 6, 2009）

日本真空協会規格・標準部会と日本真空工業会規格標準小「ISO/TC112東京総会」

委員会は「規格標準合同検討委員会」を設けて活動し，1 年

ISO / TC112 の現在の幹事国はドイツであるが，日本はに 1 回「規格標準報告会」を開催して，活動内容を紹介しTC112傘下 WG のとりまとめを行うなど，11ヵ国の Pメンている．委員会の 2008 年の最大イベントは真空関係の ISO

バーの中でも主要メンバーの位置にある． TC112 はドイツ

規格を作成する ISO/TC112（真空技術委員会）の総会を日が幹事国に就任した 2002 年以来活動が活発化し， 10 件以上本で開催したことで， 2008年の報告会を「 ISO/ TC112 東京のプロジェクトが提案・採択され，その内の 6 件は既に規総会の報告とこれからの規格化計画」というテーマで， 12格になっている．現在の真空関係 ISO 規格の総数は 18 件で月19日13001830，機械振興会館において開催した．年

ある．日本真空協会は国内審議団体として日本真空工業会と末であったにも関わらず 25 名の参加があった．ここでは，協力して活動に参加している． TC112 の総会は， 2005 年 12東京総会の報告を兼ね，報告会の報告を行う．

月にソウル（韓国），2007年 7 月にサンフランシスコ（米国）と，ほぼ毎年開催されている．東京総会は， 2008 年の国際

独 産業技術総合研究所（〒 305
8563 つくば市梅園 111
1 
央第 3），日本真空協会規格・標準部会長

468

中―( 42 )―

J. Vac. Soc. Jpn.

真空展（ Vacuum 2008 ）の直前の 9 月 8 9 日，産総研（臨されず，現在の技術要求に対応しきれない事例があった．国海副都心センター別館）で開催され，今までで最多の 9 ヵ

際技術仕様書 ISO /TS 3567 （真空計の比較校正法）が 2005

国（ドイツ，スイス，スペイン，フランス，米国，中国，韓

年に日本も積極的に参加して発行されたので，この仕様書の国，英国，日本）から総勢32名の参加があった．

内容をほぼ全面的に採用した JIS Z8750の改正が行われていTC112 総会の前に WG 委員会が開催され， 9 月 8 日午前る（3 月20日付けで発行済み）．

の WG3（真空部品）委員会では，バルブのリーク試験の方

ターボ分子ポンプの性能試験法は PNEUROP 規格を参考

法（ ISO/CD 27895 ）， 9 月 8 日午後の WG2（真空計）委員に作成された日本真空協会規格 JVIS 005 が国内で広く使わ会では，比較校正の参照真空計の不確かさの求め方（ ISO /れてきたが，2004年に制定された ISO 5302を基準にした新DTS 27893）と熱陰極電離真空計の仕様（ISO/CD 27894），

規の JIS 化が進められている． JISC における JIS 原案の最9 月 9 日午前の WG1 （真空ポンプ）委員会では，ターボ分

終審議が 5 月中ぐらいには開催されるので，今年中には JIS

子ポンプの瞬間停止時のトルク測定法（ISO/CD 27892）とになると考えている．

容 積 輸 送 式 真 空 ポ ン プ の性 能 試 験 法 （ ISO / WD 21360 2（ISO 16071, 2 の改正））などが審議された．9 月 9 日午後「今後の規格化計画と日本の戦略」に TC112 総会が開催され， WG1, 2, 3 委員会の審議結果がISO の規格化計画表，ISO 規格と JIS 規格との対応表，及承認された．今後の標準化計画等が審議され，四極子形質量

び，ISO 規格と JIS 規格の制定の流れ，国際標準の制定作業

分析計の仕様，クイックカップリングの形状寸法の大口径化への積極的参加の啓蒙記事の説明・紹介があった．これらを（ ISO 2861 1 の改正）及び真空用語（ ISO35291, 2, 3 のもとに，今後の ISO 規格の制定計画への対応，並びに，JIS改正）などのプロジェクトを立ち上げることになった．次の規格の制定計画について，質疑応答形式で意見交換が行わ

総会は， 2009 年 9 月に中国， 2010 年に欧州での開催が予定

れ，これまで，「規格は外から降ってくる（誰かが制定する）

された．なお，9 月10日には，高エネルギー加速器研究機構

もの」ととらえられることが多かったが，より積極的，戦略（ KEK ）と産総研計測標準研究部門（ AIST / NMIJ ）の見学

的に規格（ルール）作りに参加する（自分で作る）ことの重ツアーが行なわれた．

要性が認識された．

「JIS 化進捗状況」「韓国の真空標準と真空技術」

日本真空協会は，真空技術に関する JIS 規格の原案作成団

来日中の Dr. S. S. Hong（KRISS韓国標準科学研究所）体である．現在，真空計校正方法（JIS Z8750の改正）とターに，特別講演をお願いし， KRISS の真空技術センターを中ボ分子ポンプの性能試験法の 2 件の JIS 化が進められている．

心に韓国の真空標準と真空技術についての最新情報を紹介し

旧 JIS Z8750 は， 1962 年に制定されて以来大きな改訂がVol. 52, No. 8, 2009ていただいた．

―( 43 )―

469

報

告

第 3 回規格標準報告会について秋道

斉1,2

Report of the 3rd VSJ･JVIA Meeting on Vacuum Standards
Hitoshi AKIMICHI18563 JAPAN1National Metrology Institute of Japan, AIST Tsukuba Central 3, Umezono 111, Tsukuba, Ibaraki, 305(Received February 8, 2008, Accepted March 1, 2008)

昨年に引き続き，日本真空協会と日本真空工業会との規格

faces for pneumatic actuator（L 型バルブの形状寸法）

標準合同検討委員会が企画した規格標準報告会が開催された

ISO 9803 Mounting dimensions of pipeline ˆttings（ 2007 年 12 月 21 日（金） 13  00 ～ 18  30 ，機械振興会館― Part 1: Non knife-edge ‰ange type, Part 2: Knife-edge

地下 3 階 B3 2 号室）．今回は，「最近の JIS, ISO 規格の動‰ange type（フィッティングの形状寸法）

向」というテーマで，平田委員長（産総研），圷副委員長

ISO 36692 Bakable ‰anges ― Part 2: Dimensions of

株 芝浦メカトロニクス）
株 バックスエスイー，黒河内委員（（knife-edge ‰anges（ベーカブルフランジの形状寸法）

株 大阪真空機器製作所）
株フ，飯塚委員（ブイ），金戸委員（ISO 21360 Standard methods for measuring vacuum-

ジ・テクノロジー）および秋道（産総研）各氏による報告がpump performance ― General description（真空ポンプあった（図）．

の性能試験方法）

年末にも関わらず， 29 名の方々に参加いただき，多くの

ま た， 現 在審 議 中 の規 格 とし て は， 以 下の 4 項目 が あ

報告内容の概要は以下の通りである．

2007 年中に発行された真空関係の ISO 規格は，以下の 4項目があり，それぞれの簡単な紹介があった．

ment of rapid shutdown torque（ターボ分子ポンプの急第 3 回規格標準報告会「最近の JIS, ISO 規格の動向」のプログラム．

独 産業技術総合研究所（〒 305 
8563 つくば市梅園 1 1 1
1 
央第 3）
2 日本真空協会 規格・標準部会長

270

り，それぞれの簡単な内容紹介と進捗状況の報告があった．
ISO/WD 27892 Turbomolecular pumps ― Measure-ISO 21358 Right-angle valve ― Dimensions and inter-

図

詳しい内容については，真空誌の小特集「真空関連の規格の現状」（第50巻・第 8 号）を参照．

質問，意見交換が行なわれた．

中―( 36 )―

J. Vac. Soc. Jpn.

停止時に発生するトルクの測定方法)日本の提案であ

1 では，シート面，ベローズやフランジなどの漏れ試験

り，日本のメーカーの世界に占めるシェアーも大きく，方法が規定されている．韓国の提案であるが，日本もドまた，ヨーロッパのメーカーも関心を持っていることか

ラフトの作成に協力している．

ら，多くのコメントが寄せられ，活発な議論が行なわれ最後に，これからの規格化の予定が報告された．今後のISO で議論される規格としては，「残留ガス分析計の仕様」ている．
ISO/WD 27893 Vacuum gauges ― Evaluation of the un-と「ルーツポンプの試験方法」の新規作成，「 ISO 1607 1,

certainties of results of calibrations by direct comparison

2 （容積移送式ポンプの性能試験方法）」，「ISO 1608 1, 2

with a reference gauge（比較校正方法の不確かさの求め（蒸気式ポンプの性能試験方法）」，「 ISO 5302 （ターボ分子方 )  2005 年 に 発 行 さ れ た ISO / TS

ポンプの性能試験方法）」及び「 ISO 2861 1, 2 （クイック3567

Vacuumgauges ― Calibrations by direct comparison with a reference gauge（比較校正方法の規格）を補完し，一般的な

カップリンングの形状寸法）」の改正がある．
また，図記号に関して，これまで分野毎に，真空技術では，

不確かさの導出方法が記述されている．個々の真空計に

ISO 3753 が決められていたが，全分野の図記号の統一を図ついての不確かさの要因については，それぞれの規格にるために， ISO 14617 が制定され ISO 3753 は 2005 年に廃止規定される予定である．ドイツの提案ではあるが，日本されたこと，欧米では ISO 3753 に整合しない AVS 規格やもドラフトの作成に協力している．

DIN 規格などが使われていること，また，スピニングロー

ISO/WD 27894 Vacuum Gauges ― Speciˆcations for

タ真空計などの新しい項目の追加も必要になっていることな

hot cathode ionization gauges（熱陰極電離真空計の仕どが報告された．この機会に，図記号の世界的な統一，新し様)真空計のカタログや技術仕様書などに記すべき項

い項目の追加，及び，他の真空関連 ISO 規格との用語の不

目および不確かさの要因について規定されている．韓国

一致の解消を進めたいが，多くの課題があることが懸念されの提案であるが，日本もドラフトの作成に協力している．

ている．

ISO/WD 27895 Test procedure for vacuum valves Part

ここ数年，ISO の活動が活発になり，日本からの提案も 3

1. Leak test for vacuum valves（バルブの試験方法（漏件ある．また，2008年 9 月には，ISO/TC 112の総会が東京

れ試験))バルブには様々な試験項目があるが，パートで行なわれることになっている．

Vol. 51, No. 4, 2008―( 37 )―

271