真空分野のISO規格とJIS一覧（2024年7月9日現在）(a)

用語・図記号

ISO 規格番号

ISO規格名対応JIS規格番号

JIS規格名ISO 3529-1:2019

Vacuum technology -- Vocabulary -- Part 1: General terms

JIS Z 8126-1:2022

真空技術―用語―第１部：一般用語

JIS Z 8126-2:2023

真空技術-用語-第2部：真空ポンプ及び関連用語

JIS Z 8126-3:2018

真空技術―用語―第３部：真空計及び関連用語

ISO 3529-2:2020

ISO 3529-3:2014

ISO 14617-115:2002-2005

Vacuum technology -- Vocabulary -- Part 2: Vacuum pumps and relatedterms
Vacuum technology -- Vocabulary -- Part 3: Total and partial pressure
vacuum gauges

Graphical symbols for diagramsシリーズ

JIS Z 8617-1-15：20082009（JISがないものについてはISO規格名の仮訳）

ダイヤグラム用図記号シリーズ―

JIS Z 8617-5,8,9,12：2023 ダイヤグラム用図記号シリーズ（追補）―JIS Z 8207:1999

真空装置用図記号

対応JIS規格番号

JIS規格名JIS B 8317-1:1999

蒸気噴射真空ポンプ―性能試験方法―第１部：体積流量（排気速度）の測定

JIS B 8317-2:1999

蒸気噴射真空ポンプ―性能試験方法―第２部：臨界背圧の測定

JIS B 8329-1:2015

真空技術―真空ポンプの性能試験方法―第１部：共通試験方法

JIS B 8329-2:2015

真空技術―真空ポンプの性能試験方法―第２部：容積移送式真空ポンプの試験方法(b)

真空ポンプ関連（WG1）

ISO 規格番号

ISO 1608-1:1993

ISO 1608-2:1989

ISO 21360-1:2020

ISO 21360-2:2020

ISO規格名Vapour vacuum pumps -- Measurement of performance characteristics -Part 1: Measurement of volume rate of flow (pumping speed)

Vapour vacuum pumps -- Measurement of performance characteristics -Part 2: Measurement of critical backing pressure

Vacuum technology -- Standard methods for measuring vacuum-pumpperformance -- Part 1: General description
Vacuum technology -- Standard methods for measuring vacuum-pumpperformance -- Part 2: Positive displacement vacuum pumps（JISがないものについてはISO規格名の仮訳）

Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum pump
ISO 21360-3:2019

performance — Part 3: Specific parameters for mechanical booster vacuum ―(メカニカルブースターポンプの性能試験方法）

pumps

ISO 21360-4:2018

ISO 21360-5:2023

ISO 21360-6:2023

ISO 27892:2010(c)

performance — Part 4: Turbomolecular vacuum pumps

Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pumpperformance — Part 5: NEG vacuum pumps

Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pumpperformance — Part 6: Cryo vacuum pumps
Vacuum technology -- Turbomolecular pumps -- Measurement of rapid
shutdown torque

JIS B 8328:2009

真空技術―ターボ分子ポンプの性能試験方法―(NEGポンプの性能試験方法）―(クライオポンプの性能試験方法）―(ターボ分子ポンプの急停止トルクの測定方法）

対応JIS規格番号

JIS規格名JIS Z 8126-3:2018

真空技術―用語―第３部：真空計及び関連用語真空計測関連（WG2）

ISO 規格番号
ISO 3529-3:2014

ISO 3567:2011

ISO 14291:2012
ISO 19685:2017

ISO 20146:2019

ISO 27893:2011

ISO 27894:2009

ISO 24477:2022

ISO/TS 6737
ISO/TS 20175:2018

ISO/TS 20177:2018(d)Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump

ISO規格名Vacuum technology -- Vocabulary -- Part 3: Total and partial pressure
vacuum gauges

Vacuum gauges -- Calibration by direct comparison with a reference gauge JIS Z 8750:2009
Vacuum gauges -- Definitions and specifications for quadrupole massspectrometers
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration andmeasurement uncertainties for Pirani gauges
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration andmeasurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges

Vacuum technology -- Vacuum gauges -- Evaluation of the uncertainties ofresults of calibrations by direct comparison with a reference gauge
Vacuum technology -- Vacuum gauges -- Specifications for hot cathodeionization gauges
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration andmeasurement uncertainties for spinning rotor gauges
Vacuum technology — Vacuum gauges —Characteristics for a stableionisation vacuum gauge
Vacuum technology — Vacuum gauges — Characterization of quadrupole
mass spectrometers for partial pressure measurement
Vacuum technology — Vacuum gauges — Procedures to measure andreport outgassing rates（JISがないものについてはISO規格名の仮訳）

真空計校正方法―（四重極質量分析計の仕様の表記法）―（ピラニ真空計の仕様の表記法、校正方法、及び測定不確かさの評価方法）―（隔膜真空計の仕様の表記法、校正方法、及び測定不確かさの評価方法）―（真空計の比較校正における不確かさの評価方法）

JIS Z 8129:2014

真空技術―真空計―熱陰極電離真空計の仕様の表記法―（スピニングロータ真空計の仕様の表記法、校正方法、及び測定不確かさの評価方法）―（高安定電離真空計の特性）―（四重極質量分析計の特性評価方法）―（ガス放出率の測定方法）

JIS Z 8751 :1994

液柱差を使う真空計による真空度測定方法

JIS Z 8752 :1989

熱陰極及び冷陰極電離真空計による圧力測定方法

JIS Z 8753 :1989

熱伝導真空計による圧力測定方法

真空コンポーネント関連（WG3）

ISO 規格番号

ISO規格名対応JIS規格番号

JIS規格名（JISがないものについてはISO規格名の仮訳）

ISO 1609:2020

Vacuum technology -- Dimensions of non-knife edge flanges

JIS B 2290:2024(予定）

真空技術－非ナイフエッジフランジの形状及び寸法

ISO 2861:2020

Vacuum technology -- Dimensions of clamped-type quick-release couplings JIS B 8365:2024（予定）

真空技術―クランプ型クイックカップリングの形状及び寸法

ISO 3669:2020

ISO 9803-1:2020

ISO 9803-2:2020

ISO 21358:2020

ISO 27895:2009

Vacuum technology --Dimensions of knife-edge flanges

Vacuum technology -- Mounting dimensions of pipeline fittings -- Part 1:
Non knife-edge flange type
Vacuum technology -- Mounting dimensions of pipeline fittings -- Part 2:
Knife-edge flange type
Vacuum technology -- Right-angle valve -- Dimensions and interfaces forpneumatic actuator
Vacuum technology -- Valves -- Leak test

JIS B 2294:2022

真空技術―ナイフエッジフランジの形状及び寸法

JIS B 2293:2000

真空配管継手の取付け寸法―第１部：非ナイフエッジフランジ―（真空配管継手の取付け寸法―第2部：ナイフエッジフランジ）―（L形バルブ—圧空バルブの形状とインターフェイス）―（バルブのリークテスト）

非ナイフエッジフランジは、通称ISOフランジ、ナイフエッジフランジは、通称ICFフランジまたはCFフランジと呼ばれる。
クランプ形クイックカップリングは、KFフランジ、またはNWフランジとも呼ばれる。