システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

手動X・XYステージ / テーブルサイズ 70×70
Manual X, XY Linear Stages / Table Size 70×70

実験用
Experimental
手動精密ステージ
ManualStage

XM07F-C1

XM07F-C3-CL

X・XY
X・XY

Z
Z

XM07F-C1

YM07F-C1

70
604030（16.5）

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage

YM07F-C3-CL（16.5）

回転Rotation

YM07F-C1

ClampΦ155-M4 Depth 5mm

70604030（5）ClampΦ15212121215-M4 Depth 5mm

7060403070604030

X・XY
X・XYZZ（26）8-M3 Depth 5mm（58.5）（58.5）

8-M3 Depth 5mm
回転Rotation

Micrometer Head

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver

18

XM07F-C3-CL

70604030ClampΦ155-M4 Depth 5mm（75.5）

8-M3 Depth 5mm

モーター
ケーブル
Motor
Cable

70604030（15）ClampΦ155-M4 Depth 5mm（36）8-M3 Depth 5mm

Micrometer Head FPP03-13

1821

付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories□60

YM07F-C3-CL（16.5）

ドライバ
ボックス
DriverBox

4-for M4 screws
Shaft Length 2.5mm

70604030

モーター
コントローラ
Motor
Controller□60（75.5）

制御装置
ControlElectronics（16.5）

真空ステージ
VacuumStage

4-for M4 screws
Shaft Length 2.5mm

70604030

アライ
メント
ステージXYθ

21

Micrometer Head
スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

4-for M4 screws
Shaft Length 2.5mm

Micrometer Head FPP03-13□60
4-for M4 screws
Shaft Length 2.5mm□60

検査システムInspection
SystemD-020

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

鉄 / クロスローラガイド / マイクロメータセンター押しシステム
製品
SystemProducts

Steel Body / Cross-Roller Guide / Center-Mount Micrometer

産業用
Industrial

型式
Model Number

XM07F-C1

YM07F-C1

XM07F-C3-CL

YM07F-C3-CL

勝手違い型式※1Mirror Model Number

XM07F-C1-R

YM07F-C1-RRR

XM07F-C3-R-CL

YM07F-C3-RRR-CL

テーブル面
Table Size

70mm×70mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

移動範囲
Motion Range

粗動 13mm, 微動 0.3mm
Coarse 13mm, Fine 0.3mm±6.5mm真直度
Straightness≦2μm/13mm

最小読み取りMinimum Readout

10μm/目盛10μm/div

粗動 10μm/目盛, 微動
Coarse 10μm/div, Fine

0.5μm/目盛
0.5μm/div

モーメント剛性※2
Moment Load Stiffness

0.08 arcsec/N・cm

0.16 arcsec/N・cm

0.08 arcsec/N・cm

0.16 arcsec/N・cm

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

117.6N（12kgf）

107.8N（11kgf）

117.6N（12kgf）

107.8N（11kgf）

材質Material

鉄Steel

外観Finish

ニッケルメッキ仕上げ
Nickel Plating

自重Weight

0.92kg1.84kg0.96kg

1.92kg直交度
Perpendicularity－≦20μm/13mm－≦20μm/13mm

駆動方式
Actuator

マイクロメータヘッド（13mm）
Micrometer (13mm)

精密ポジショナー FPP03-13（13mm）
Fine Pitch Positioner FPP03-13 (13mm)

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

XM07F-C1-C

YM07F-C1-C

XM07F-C3-CL-C

YM07F-C3-CL-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

XM07F-C1-V

YM07F-C1-V

XM07F-C3-CL-V

YM07F-C3-CL-V※1

勝手違い、重ねの組勝手についてはD-004ページを参照して下さい。
Refer to pageD-004 for Information on Standard and Mirror Symmetr yConfiguration.

※2

Xステージ単体のモーメント剛性はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction.

実験用Experimental
手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

縦置きZ仕様 Vertical X linear stage customizing

縦置き用ブラケットを用いることで、XステージをZステージとして利用することが可能です。ただし、落下防止のためにステージをZ仕様にする必要があります（無償で対応致します）。Z仕様への改造についてはD-004ページの組勝手表も併せてご覧下さい。標準タイプの縦置きZステージについてはE-016ページをご覧下さい。
X linear stage can utilize as a vertical stage by the use of an option bracket. However, such X linear stage should customize Z-specification(service without charge). Refer to pageD-004 for further information. About the standard vertical X linear stage, refer to page E-016 for further information.
 ーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照
オ
して下さい（マイクロメータヘッドはオーバーホール対象外となります）。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information (Micrometer is not included in the overhaul).
クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-003
ページを参照して下さい。C3-CL、C3-R-CL、C3-RRR-CLのグリス交換は、本体のみとなります。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant exchange is not available for actuators on stages
that include the C3 model.

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-003ペー
ジを参照して下さい。C3-CL、C3-R-CL、C3-RRR-CLのグリス交換は、本体のみとなります。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant exchange is not available for actuators on stages
that include the C3 model.
お客様のご要望により製品の改造も承ります。
詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jpD-021