規格標準報告会のご案内
加速器に求められる真空技術と、真空技術に関する国際規格の動向について
日本表面真空学会（JVSS）と日本真空工業会（JVIA）は、「規格標準合同検討委員会」を組織して真空技術に関するJISやISO規格の提案・検討を協力して行なっています。加速器は、物質・生命・宇宙の起源等の研究を進める上で、その重要性は増すばかりです。今年は、高エネルギー加速器研究機構(KEK)の末次先生と日本原子力研究開発機構(JAEA)の神谷先生の２名をお招きして、最先端加速器に求められる真空技術についてご解説いただきます。
また、合同検討委員会の取り組みとして、真空技術に関するISO・JIS制改定状況について報告するとともに、日本から提案した非蒸発ゲッターポンプのISO規格の取り組み状況について報告します。
日時：2020年 10月 16日（金）場所：東京ビックサイト

10:00～ 12:00

2020年10月14日～11月13日

南会議室B オンデマンド配信

主催：公益社団法人日本表面真空学会 規格標準化委員会/一般社団法人日本真空工業会

規格標

準委員会
参加費：無料

事前申込制

項目

講演時間

1. 最先端高エネルギー粒子加速器を支える超高真空技術

60分～SuperKEKBの真空システムを例として～
末次 祐介（大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構(KEK)）
2. 大強度陽子加速器における真空の挑戦

30分～J-PARCの真空技術～
神谷 潤一郎（国立研究開発法人 日本原子力研究開発機構(JAEA)）
3. 非蒸発ゲッターポンプのISO規格化の取り組み２吉田

15分

肇（国立研究開発法人 産業技術総合研究所）

4. 規格標準合同検討委員会活動報告～最近のISO・JISの制改定等について〜
吉川 康秀 (アズビル株式会社)

15分

規格標準報告会のご案内
パーティクルの付着と除去の解説と、真空技術に関する国際規格の動向について
日本表面真空学会（JVSS）と日本真空工業会（JVIA）は、「規格標準合同検討委員会」を組織して真空技術に関するJISやISO規格の提案・検討を協力して行なっています。近年、微細化が進む半導体、FPD、電子部品などの製造装置において、益々パーティクル管理が厳しさを増しています。今年は、大島商船高等専
門学校でパーティクル除去の研究をされていた高橋主人先生をお招きして、パーティクル付着のメカニズ
ムとドライ洗浄によるパーティクルの除去についてご解説いただきます。また、合同検討委員会の取り組
みとして、真空技術に関するISO・JIS制改定状況と日本開催のISO/TC112総会について報告するとともに、日本から提案した二規格の取り組み状況について報告します。
日時：2019年 9月 6日（金） 13:00
場所：パシフィコ横浜～ 15:00

展示ホール2階

会議室E205

主催：公益社団法人日本表面真空学会 規格標準化委員会/一般社団法人日本真空工業会
参加費：無料

規格標準委員会

事前申込制（7月下旬より受付開始）

項目

講演時間

1. パーティクル付着のメカニズム～ドライ洗浄によるパーティクルの除去～

60分

高橋 主人（元大島商船高等専門学校）
2. 規格標準合同検討委員会活動報告

30分～最近のISO・JISの制改定とISO/TC112総会の日本開催について～① 田中 智成（株式会社アルバック）② 新井

健太（国立研究開発法人 産業技術総合研究所）

3. 非蒸発型ゲッターポンプ（NEG）のISO規格化への取り組み

10分～日本提案の国際規格について①～
吉田 肇（国立研究開発法人 産業技術総合研究所）
4. NW63以上の大口径クイックカップリングのISO規格化への取り組み～日本提案の国際規格について②〜
新井 健太（国立研究開発法人 産業技術総合研究所）

講演とアンケートに関するご質問は、次の連絡先までお願いします。
日本真空工業会・事務局

電話(03)3459-1228

ファックス (03)3459-9405
e-mail: ikeda@jvia.gr.jp

10分

規格標準報告会のご案内
気体放出現象の解説と、気体放出量の測定に関する国際標準化について
日本表面真空学会（JVSS）と日本真空工業会（JVIA）は、「規格標準合同検討委員会」を組織して真空技術に関するJISやISO規格の提案・検討を協力して行なっています。今年は、加速器やKAGRAなどの大型真空装置の立ち上げの研究に携われている東京大学の齊藤先生をお招きして、気体放出現象についてご解説いただきます。引き続き、気体放出量の測定に関する国際標準化について解説いたします。また、真空技術に関するISO規格とJIS規格についての開発状況を報告します。
日時：2018年 9月 6日（木） 12:30 ～ 14:30（受付12：15）
場所：パシフィコ横浜 展示ホール2階 会議室E206
主催：公益社団法人日本表面真空学会 規格標準化委員会/一般社団法人日本真空工業会
標準委員会
参加費：無料
事前申込制（7月下旬より受付開始）
項目
1. 気体放出現象

講演時間
60分

～真空装置の中の気体分子～
齊藤 芳男（国立大学法人 東京大学）
2. 材料からの気体放出量測定方法の国際標準化～信頼性の高い気体放出測定のために～
吉田 肇（国立研究開発法人 産業技術総合研究所）

30分

3. 真空技術に関するISO規格とJIS規格～規格の制定に向けた状況～
田中 智成（株式会社アルバック）

20分

規格

規格標準報告会
テーマ：国際標準化の動向と、真空技術関連のISO規格とJIS規格の開発状況について
概要文：日本真空学会（VSJ）と日本真空工業会（JVIA）は、「規格標準合同検討委員会」を組織して真空技術に関するISO規格やJIS規格の提案・検討を協力して行なっています。
今年は、日本規格協会の方をお招きし、現在の国際標準化の動向について最近のトピックを含めてご解説いただきます。引き続き、真空技術関連のISO規格とJIS規格の開発状況、個別の事例になりますが、現在ISO規格制定中のピラニ真空計、現在JIS規格改定中の真空計用語について報告します。
日時：2017年9月7日（木）場所：パシフィコ横浜

会議室E206

主催：(一社)日本真空学会
参加費：無料

12:30～14:30（受付12：15）
規格・標準委員会/

日本真空工業会

規格標準委員会

事前申込制（7月下旬より）

講演プログラム項目

講演時間

1. 国際標準化の動向

50分～最近のトピック及び事例～
福田 泰和（一般財団法人

日本規格協会）

2. 真空技術に関するISO規格とJIS規格

20分～現在進行中の新規作成および改定プロジェクトの状況～
芦田

修

（株式会社

島津製作所）

3. ピラニ真空計の現状についての解説とISO19685規格

20分～規格の制定に向けた状況～
岡野

夕紀子

（株式会社

岡野製作所）

4. 真空計用語のISO規格とJIS規格及びその動向

20分～ISO 3529-3の改正とそのJIS化に向けた課題～新井健太（国立研究開発法人

産業技術総合研究所）

規格標準報告会のご案内「隔膜真空計の規格開発の現状報告と、真空と漏れの標準、ガス分析」(一社)日本真空学会（VSJ）と日本真空工業会（JVIA）は、「規格標準合同検討委員会」を組織して真空技術に関するJISやISO規格の提案・検討を協力して行なっています。
今年は、日本から国際標準化機構ISOに提案し審議中の隔膜真空計の規格の開発状況を報告いた
します。また真空計のJCSS制度、ガス分析、リークディテクタの感度校正の基準について解説いたします。
日時：2016年 9月 8日（木）場所：パシフィコ横浜

12:30～ 14:30（E206室）主催：(一社)日本真空学会 規格・標準委員会

日本真空工業会

規格標準委員会

事前登録：必要
参加費：無料項目

講演時間

１．ISO 20146 隔膜真空計の規格開発の状況

30分

規格の制定に向けて、現状を解説する
吉川 康秀（アズビル株式会社）

２． 真空計のJCSS制度

30分

その実際例を交えて解説する
長谷川 清孝3.

（一般財団法人 日本品質保証機構）

GC-MS、TG/DTA－MSの新展開

30分

水素などガス分析の最先端アプリケーションのご紹介
樋口 哲夫
4.

（日本電子株式会社）

リークディテクタの感度校正とその基準
トレーサビリティを利用したリーク検査結果の信頼性向上
新井 健太（産業技術総合研究所）

注：プログラム内容は変更する場合がございます。

30分

報

告

VACUUM2015真空展の報告
間瀬一 彦1,2

Report on the Japan Vacuum Show ``VACUUM2015''
1, 2Kazuhiko MASE

1 Oho, Tsukuba-shi, Ibaraki 3050801, Japan
1Institute of Materials Structure Science, KEK, 1
2SOKENDAI (The Graduate University for Advanced Studies), 1
1 Oho, Tsukuba-shi, Ibaraki 3050801, Japan(Received February 11, 2016, Accepted February 15, 2016).

立 30 周年記念 特別基調講演「真空技術と LED 開発の

真空展と日本真空学会コーナーの報告

歴史および未来の照明について」（ 9 月 9 日（水）），参VACUUM2015真空展（主催日本真空工業会，一般社団

加者450名．

法人日本真空学会，共催日刊工業新聞社）が2015年 9 月 83)日（火）～ 10 日（木）にパシフィコ横浜展示ホール B にて

（9 月 8 日（火）～10日（木）），参加者208名．

開催されました．今年は難加工技術展 2015 ，表面改質展

4)パーソナルモビリティ UNI CUB 乗車体験コーナー
学生ツアー（9 月 8 日（火）1000～1145），参加

者16名．

2015 との同時同会場開催でした．真空展は真空ポンプ，真空計，各種真空装置など真空機器・技術に関する世界最大級が開催され，いずれも大変盛況でした．

の展示会です．今年の出展社数は 71 社・団体，出展小間数

また，日本真空工業会コーナーではは177小間（企画ゾーンを含む），来場者数は 1 日目4,739名，

1) “省エネ”・“高効率”コンポーネントコーナー

2 日目 5,421 名， 3 日目 5,548名，合計 15,708 名（難加工技術

2)

真空なんでも相談コーナー

3)

CS 委員会活動紹介

展 2015 ，表面改質展 2015 来場者を含む）でした．昨年は出展 社 数 79 社 ・ 団 体 ， 出 展 小 間 数 181 小 間 ， 来 場 者 数 合 計
10,849名（真空展のみの参加者）でしたので，出展社数と出

展小間数は減少，来場者は増加でした． 8 日，9 日は台風にが開設されました．

.

規格標準報告会の報告

よる大雨， 10 日も雨であったにもかかわらず，来場者が増

日本真空学会規格・標準委員会は真空技術分野の日本工業

加したのは難加工技術展 2015 ，表面改質展 2015 の来場者が規格（JIS 規格）の原案作成団体および，同分野の国際規格

真空展にも来場したためです．実際，会場は昨年より賑わっ（ ISO 規格）の国内審議団体として登録されています．規格ておりました．

開発におきまして，国内のサプライヤ，ユーザーの意見も重

日本真空学会では昨年に引き続き，真空展ワーキング（主要であることから，日本真空工業会の規格標準委員会と合同

査，吉田秀樹（株式会社テクノポート））を組織し，日本真検討委員会を構成して関連メーカーと意見交換しながら議論

空学会の展示の準備を行ないました．そして，主催者ゾーンを重ねています．ここ数年は，特にISO/TC112（真空技術）の日本真空学会コーナーにおいて，以下の企画を行ないましの活動が活発で，多くの規格の新規提案，検討が進められてた．

います．日本も主要メンバーとして，規格の提案，検討に積1)

独労製造業における安全研究紹介コーナー（協力働安全衛生総合研究所）
2)

測，真空機器の試験及び評価結果に関するトレーサビリテ

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介（28件，表）3)

極的に参加しています．現在， ISO / TC112 では，真空計
ィ，不確かさの表記がキーワードになっています．今回の真空展では，9 月 8 日（火）1300～1505に会議室 E204にて「コンダクタンスとバルブ，真空技術に関する規格の紹介」

書籍販売コーナー

主催者企画としてはというタイトルで日本真空工業会の規格標準委員会との合同

1)

報告会を開催しました．プログラムは以下の通りです．参加

パネルディスカッション「民間による初の月面到達

プロジェクトを支える日本の技術力とは～「ルナドリーム カプセル プロジェクト」に迫る～」（ 9 月

者は46名でした．
節することは可能か」松田七美男（東京電機大教授）

8 日（火）），参加者150名．
2)

2014 年度ノーベル物理学賞受賞者，天野浩教授（名1 高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所（〒 305 
0801 茨城県つくば市大穂 11）0801 茨城県つくば市大穂 11）
2 総合研究大学院大学（〒305

｢バルブと容量係数 CV 真空装置に使用するバルブの2.

古屋大学大学院 工学研究科）による日本真空工業会創Vol. 59, No. 5, 2016

｢真空バルブとコンダクタンス真空バルブで流量を調1.

容量係数 CV と空気流量について」佐藤準治（フジキン）｢真空ポンプの排気速度測定とテスト・ドーム測定技

3.

術の変遷と規格化の課題」田中智成（アルバック）
4.

―( 29 )―

｢真空技術に関する国内外の規格こんな規格はあるか
141

表
分

野

番号

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスター展示（28件）．
タ

イ

ト

ル

発

表

者

所

属

1

10－9 Pa から 10－3 Pa の国際比較（パイロッ
トスタディ）の結果報告

吉田 肇，小松栄一，新井健太，
小畠時彦

産総研計測標準研究部門

2

圧力吸着状態密度変換式による水排気曲線
の解析

武安光太郎

阪大院理

3

真空容器の排気過程に関する新しい物理的描像

杉本敏樹

京大院理

4

低コストピル積層型 NEG ポンプの開発

菊地貴司（ 1 ），田中正人（ 2 ）， （ 1) KEK 物構研，（ 2 )千葉大院融合
伊田直也（ 3 ），小玉 開（ 4 ）， 科学，（ 3 )弘前院理工，（ 4 )横国大
間瀬一彦（1, 5）
院工，（5)総研大

5

放射光を用いた NEG コーティング表面の真空特性に関する研究

谷本育律（ 1 ），本田 融（ 1 ）， （ 1 ) KEK 加 速 器 研 究 施 設 ，（ 2 )Marton Ady（2）， Roberto Ker- CERN
sevan（2），Paolo Chiggiato（2）6

ナノテクノロジープラットフォーム事業における高品質真空技術・微細加工技術分野での設備共用支援

山本節夫

山口大工

7

大型低温重力波望遠鏡 KAGRA

内山隆

東大宇宙線研究所

8

超小型衛星試験センター

趙

孟佑

9

低反力ベローズを用いた J PARC RCS での
真空作業性の向上

引地裕輔

日本原子力研究開発機構

10

次世代の高ルミノシティコライダー SuperKEKB 加速器

柴田

KEK 加速器研究施設

11

フォトンファクトリーの現状と物質・生命科
学研究

宇佐美徳子

12

東京大学放射光アウトステーション SPring 原田慈久
8 BL07LSU

東大放射光連携研究機構，東大物性研

13

シラス薄膜の基礎物性評価と機能性薄膜材料としての可能性

野口大輔

都城高専

14

スパッタ製膜プロセスにおける粒子の熱化と
輸送過程

中野武雄

成蹊大理工

15

反応性スパッタによる遷移領域内での透明導電膜の高速成膜賈

青山学院大院理工16

ハイブリッド対向スパッタ開発とその応用展開

諸橋信一

山口大工

17

グリーンイノベーション研究拠点形成プロジ
ェクト

平松美根男

名城大理工

18

X 線顕微鏡によるサステナブル科学の推進

武市泰男

KEK 物構研

撮像素子

19

高い放射線耐性をもつ微小真空冷陰極アレイ
撮像素子の開発（）後藤康仁（ 1 ），辻 博司（ 1 ）， （1)京大院工，（2)産総研，（3)静大，
高木郁二（ 1 ），長尾昌善（ 2 ）， （ 4 )木更津高専，（ 5 )大阪府立大，根尾陽一郎（3），増澤智昭（3）， （6)京大原子炉
三村秀典（ 3 ），岡本 保（ 4 ），秋吉優史（5），佐藤信浩（6）

電子材料・
プロセス

20

薄型 AE センサによるプラズマプロセス中の異常放電の検出笠嶋悠司

産総研製造技術研究部門

21

工学院大学総合研究所 エネルギー変換エコ
マテリアルセンター研究成果報告（）

鷹野一朗

工学院大

22

紫外光励起活性酸素曝露による Polystyrene
製細胞培養基板の改質と滅菌の一括処理方法の確立

細谷和輝，大家23

1 分子分析を実現する高感度・高空間分解能
量子センサー技術

渡邊幸志

産総研

24

解離性イオン散乱を用いた極表面の機械物性
測定

乾

徳夫

兵庫県立大院工25

STM を用いた分子接合の作製と伝導度計測

奥山

弘

26

表面反射分光を用いたシリコン酸化過程の高感度非破壊計測

大神田航平

横国大院

27

KEK 低速陽電子実験施設の全反射高速陽電子回折（TRHEPD）実験ステーション

和田

KEK 物構研

28

ZnO コーティングを用いたベアリングシス
テムの開発佐々木道子，本田博史，鈴木 裕， 物質・材料研究機構
後藤真宏，笠原 章，土佐正弘

真空科学

宇宙科学

加速器科学

放射光施設

薄膜

ナノ構造

応用表面科
学

表面科学

表面工学

142

九工大超小型衛星試験センター

恭

KEK 物構研軍軍，重里有三健―( 30 )―

渓，岩森

暁

東海大

京大院理

J. Vac. Soc. Jpn.

表な」平田正紘（規格標準合同検討委員会委員長）

.

第
回真空シンポジウムの報告｢超高真空技術」講座の受講者へのアンケート結果．

第16回 真空シンポジウム「新世代産業と真空」（9 月10日（木） 13 00～ 15 30，会議室 E204 ）を主催しました．プ

仕事に役立つ内容か

ログラムは以下の通りです．参加者は55名でした．
｢重力波観測用干渉計 KAGRA の建設」齊藤芳男（東

1.

難

＞

＞

＞

易

3

25

32

7

3

役立つ

＞

＞

＞

役立たない

21

33

15

0

1

長

＞

＞

＞

短

6

9

43

9

3

難易度

講義の時間

京大宇宙線研特任教授/KAGRA プロジェクトマネージャー）｢高真空内で生きたまま濡れたままの生物を電子顕微

2.

鏡観察する NanoSuit 法」針山孝彦（浜松医科大教授）｢真空の未来と人と環境に優しいビジネスへの展開」

3.

中西貴之（宇部興産サイエンスコミュニケータ）

.

.

おわりに

今年も日本真空学会らしい企画を計画・実施して，無事に｢ディスプレイ・半導体産業，成膜，表面分析に役立つ超高真空技術」講座の報告

真空展を終了することができました．また，日本真空学会の活動と役割も広くアピールできました．日本真空学会コーナーの企画や真空シンポジウム，規格標準報告会，超高真空

今回，初めての試みとして「ディスプレイ・半導体産業，

技術講座は来場者数の増加にも貢献できたと思います．今後

成膜，表面分析に役立つ超高真空技術」講座（9 月 8 日（水）もこの実績をもとに充実した企画を実現したいと考えており

1230～1430，会議室 E205，9 月 9 日（水）1230～14

ます．

30，会議室 E204，講師間瀬一彦（高エ研，日本真空学会

真空シンポジウム，規格標準報告会の講師の先生方，真空

教育委員長））を主催しました．受講者は 8 日 31名， 9 日 42

科学・技術・応用の最先端研究を紹介するポスターを出展さ名の合計73名でした．受講者にアンケートをとり，5 段階でれた皆様，安全研究紹介コーナーを担当された皆様，ご協力

評価してもらったところ，以下の結果となりました（表）．

いただいた日本真空工業会の皆様，そして，真空展に来場くださったすべての方々に感謝いたします．

Vol. 59, No. 5, 2016―( 31 )―

143

報

告

VACUUM2014真空展の報告
2・米原
間瀬 一彦1,

3, 4
直人


Report on the Japan Vacuum Show ``VACUUM2014''
1, 2 and Naoto YONEHARA 3, 4Kazuhiko MASE

1 Oho, Tsukuba-shi, Ibaraki 3050801, Japan
1Institute of Materials Structure Science, KEK, 1
0801, Japan
2SOKENDAI(The Graduate University for Advanced Studies), 11 Oho, Tsukuba-shi, Ibaraki 3053DIAVAC LIMITED, 495 Owadashinden, Yachiyo-shi, Chiba 276
0046, Japan
4Vacuum Society of Japan, Leader of the working group for the Japan Vacuum Show
(Received December 16, 2014, Accepted March 12, 2015)

.

が行なわれました．見学者は延べ180名程度で，真空中での真空展と日本真空学会コーナーの報告

風船の膨張・破裂，空気抵抗の減少，水の凍結，揚力の減少

VACUUM2014真空展（主催日本真空工業会，一般社団など，興味深い現象を体感いただきました．

法人日本真空学会，共催日刊工業新聞社）が 2014 年 10 月

真空産業で働く人のための安全紹介コーナーでは，「感電15日（水)～17日（金）に東京ビッグサイト東ホールにて開災害の現状製造業を中心として」，静電気による火災・爆催されました．今年は「 2014洗浄総合展」，「 Japan

発の実験ビデオの放映，真空・気体と静電気緩和について，

Week

Robot

2014」，「モノづくりマッチングJapan 2014」との同

機械安全に関する書籍の案内，「年だから

若いから

時開催でした．真空展は真空ポンプ，真空計，各種真空装置

年齢で気をつけよう」（年齢と労働災害の関係について），など真空機器・技術に関する世界最大級の展示会です．今年「危ない写真にタッチで危険要因を覚えよう」（タブレットの出展社数は79社・団体，出展小間数は181小間でした．来

端末を利用した安全教育教材のデモンストレーション）な

場者数は 1 日目3,157名，2 日目3,567名，3 日目4,125名，合ど，実演等を交えながら，真空・ロボット産業に関連した労計 10,849 名でした．昨年は出展社数 82 社・団体，出展小間働災害の現状と防止に向けた研究の紹介が行なわれました．

数 163 小間，来場者数合計 9,935 名でしたので，出展社数はわずかに減少，出展小間数，参加者数は増加しました．

主催者企画としては宇宙飛行士，山崎直子氏の特別講演・
対談会「“宇宙”極限の真空環境が人にもたらす未来を見つ

日本真空学会では昨年に引き続き，真空展ワーキング（主める」（10月15日（水）1230～1330，参加者数206名），

査，米原直人）を組織し，日本真空学会の展示の準備を行なパーソナルモビリティ ``UNI CUB'' による真空展会場内ツいました．そして，主催者ゾーンの日本真空学会コーナーにアー（10月15日（水)～17日（金），定員 1 回あたり 4 名，1

おいて，以下の企画を行ないました．

日当たり 6 回開催，3 日間合計での参加者数74名）が企画

1)

真空体感コーナー

2)

真空産業で働く人のための安全紹介コーナー（協力

され，いずれも大変盛況でした．

独 労働安全衛生総合研究所）
3)

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介（28件，表）4)

書籍販売コーナー

日本真空工業会コーナーでは1)``MEMS'' 展示・体験ゾーン2)

低真空なんでも相談コーナー

3)

工業会活動紹介

書籍販売コーナーが企画されました．日本真空工業会主催の学生ツアー参加者

真空体感コーナーでは，荒川一郎（学習院大），戸坂亜希（横浜市立大），中野武雄（成蹊大），柴田恭（ KEK ），神谷潤一郎（原子力研究機構），松本益明（学芸大），アルバイト
学生 9 名による真空体感実験として，1 日 2 回30分ずつ，

は 8 名でした．

.

真空トピックスの報告

真空トピックス「スマート社会を実現するためのマイルス

1.

真空中での風船の大きさの変化

トーン―2020年ヘ向けて―」（10月15日（水）1300～162.

真空中での羽毛と鉄球の落下

35，会議棟606会議室）を日本真空工業会と共に開催しまし3.

真空中での水の蒸発と凍結た．今回は日本真空学会スパッタリングおよびプラズマプロ

4.

真空中でのヘリコプターの飛行

セス技術部会第 140回定例研究会・国際会議「 ISSP（ International Symposium on Sputtering and Plasma Processes）

1

 高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所（〒 305 
0801 茨城県つくば市大穂 11）0801 茨城県つくば市大穂 11）
2 総合研究大学院大学（〒305
3 大亜真空株式会社（〒 276 0046 千葉県八千代市大和田新田
495）
4 一般社団法人 日本真空学会 真空展ワーキング，主査

190

2015 」のプレセッションとして様々なデバイス・製品を支える，“スパッタリング”を中心としたプラズマプロセスの第一線で活躍する研究者・技術者が講演しました．プログラ
ムは以下の通りです．参加者は31名でした．
13  00 ～ 13  10―( 26 )―

｢開会の挨拶」加藤和広（ ISSP2015 実行
J. Vac. Soc. Jpn.

表
分

野

番号

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスター展示（28件）．
タ

イ

ト

ル

発

表

者

所

属

1

標準コンダクタンスエレメントを用いて測定した分圧真空計のパターン係数と比感度係数吉田

2隔膜真空計の隔膜変位量の精密測定

新井健太

3

非蒸発ゲッター（ NEG ）ピル積層型ポンプの排気速度測定菊地貴司（ 1 ），田中正人（ 2 ）， （ 1) KEK 物構研，（ 2 )千葉大院融合
伊田直也（ 3 ），小玉 開（ 4 ）， 科学，（ 3 )弘前院理工，（ 4 )横国大
間瀬一彦（1, 5）
院工，（5)総研大

4

ナノテクノロジープラットフォーム事業における高品質真空技術・微細加工技術分野での設備共用支援

山本節夫

山口大

5

建設開始大型低温重力波望遠鏡 KAGRA

内山隆

東大宇宙線研究所

6

超小型衛星試験センター

趙

孟佑

7

小型エネルギー回収型線形加速器 cERL の
真空システム

谷本育律，本田 融，野上隆史，
高井良太，浅岡聖二，内山隆司

8

次世代光源用高輝度電子銃における極高真空技術の利用

山本将博（ 1 ），内山隆司（ 1 ）， （ 1) KEK 加速器施設，（ 2)産総研，
宮島 司（ 1 ），本田洋介（ 1 ）， （3)山口大
小林正典（ 1 ），吉田 肇（ 2 ），栗巣普揮（3）9J PARC RCS に於ける真空系の現状と改修の概要

能代谷彰二，神谷潤一郎，金正倫
計

日本原子力研究開発機構

10

次世代の高ルミノシティコライダー SuperKEKB 加速器

柴田

KEK 加速器研究施設

11

フォトンファクトリーの現状と物質・生命科
学研究

宇佐美徳子

12

東京大学放射光アウトステーション SPring 原田慈久，松田
8 BL07LSU

13

斜め蒸着膜を用いた光導波路センサーの開発

栗山頌平，高垣宗寛，中嶋
木村健二，鈴木基史

14

反応性スパッタリングによる超高純度窒化物
製膜

中野武雄

15

高度に制御された反応性スパッタによる様々な透明導電性酸化物の成膜酸化錫を例に

米川早紀，古武重里有三

16

ハイブリッド対向スパッタ開発とその応用展
開

諸橋信一

山口大工

17

新たなデバイス・材料機能として利用可能な同位体ダイヤモンド

渡邊幸志

産総研

18

ナノ炭素材料のナノエレクトロニクス・スピ
ントロニクス応用

境 誠司（ 1 ），圓谷志郎（ 1 ）， （1)日本原子力研究開発機構，
楢本 洋（1），松本吉弘（2）（2)総合科学研究機構

19

X 線顕微鏡によるサステナブル科学の推進

武市泰男

撮像素子

20

高い放射線耐性をもつ微小真空冷陰極アレイ
撮像素子の開発

後藤康仁（ 1 ），辻 博司（ 1 ）， （1)京大院工，（2)産総研，（3)静大，
秋吉優史（ 1 ），高木郁二（ 1 ）， （4)木更津高専
長尾昌善（2），根尾陽一郎（3），増澤智昭（ 3 ），三村秀典（ 3 ），岡本 保（4）

電子材料・
プロセス

21

工学院大学総合研究所 エネルギー変換エコ
マテリアルセンター研究成果報告（）

鷹野一朗

工学院大

22

炭素系分子と金属電極の接合界面のデザイン

笠井秀明

阪大院工，阪大院工アトミックデザ
イン研究センター

23

活性酸素照射と酸素プラズマによる汎用プラ
スチックフィルムの表面改質特性の差異

佐々木俊亮（1），渡邊亮太（1）， （1)東海大院工，（2)東海大工
大家 渓（2），岩森 暁（1, 2）

24

巨大クラスターのイオンビームによる有機物の選択的スパッタリング

盛谷浩右，乾25

STM を用いた分子間相互作用の可視化と制御

奥山

26

分子配向を制御した表面酸化反応

倉橋光紀

物質・材料研究機構

27

KEK 低速陽電子実験施設の全反射高速陽電子回折（TRHEPD）実験和田

KEK 物構研

28

コンビナトリアルテクノロジーを用いたトラ
イボコーティングの開発

佐々木道子，本田博史，鈴木 裕， 物質・材料研究機構
後藤真宏，笠原 章，土佐正弘

真空科学

宇宙科学

加速器科学

放射光施設

薄膜

ナノ構造

応用表面科
学

表面科学

表面工学

Vol. 58, No. 5, 2015

肇，新井健太，藤井賢一

産総研計測標準研究部門

九工大超小型衛星試験センター

恭

弘

健

―( 27 )―

産総研計測標準研究部門

KEK 加速器施設

KEK 物構研巌，和達大樹薫，

東大放射光連携研究機構，東大物性
研
京大院工
成蹊大理工

悠，賈

軍軍，

青山学院大院理工

KEK 物構研

徳夫，持地広造

兵庫県立大院工京大院理191

委員長，セントラル硝子）
1310～1355

4.

1355～1440

参加報告」高橋直樹（アルバック）｢成膜技術を用いたデバイス開発と人セン

シングへの応用」三林浩二（東京医科歯科大）5.

｢半導体技術を活用したメディカルデバイ

ス・システム」丹羽大介（ローム）｢ISO/TC112 ``Vacuum Technology'' の総会（韓国釜山）｢閉会の挨拶」伊藤隆生（日本真空工業会）

.

第回真空シンポジウムの報告

1440～1500

休憩

1500～1545｢欧州のフレキシブルエレクトロニクス関る～家庭から福島第一まで～」（10月16日（木）1430～16

連技術開発動向と日本」鈴木巧一（サーフテックトランス

50 ，東 1 ホールワークショップ会場 B ）を日本真空工業会

ナショナル）

と共に主催しました．今回のシンポジウムでは，我々の日常

1545～1630

第15回 真空シンポジウム「真空技術とニーズの未来を探｢生活支援ロボットの実用化の問題点～生

生活を支える真空技術の応用例，微小真空管を用いた高温や活支援ロボット安全検証センターの紹介を通じて～」大場

放射線照射下でも使用可能な電子素子開発，ファブの巨大投光太郎（産総研）

資問題を回避する超小型半導体生産システム開発など，社会1630～1635｢閉会の挨拶」沖村邦雄（日本真空学会ス的要請に応える真空技術の現状と今後の展望について紹介まパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会部会長，東した．プログラムは以下の通りです．参加者は59名でした．

海大）

1430～1435

.

｢開会挨拶」土岐和之（日本真空学会産学連携委員会委員長）

規格標準報告会の報告

1435～1515

日本真空学会規格・標準委員会は真空技術分野の日本工業規格（JIS 規格）の原案作成団体および，同分野の国際規格（ISO 規格）の国内審議団体として登録されています．規格｢生活に欠かせない真空利用技術」木ノ切恭治（真空テクノサポート・元日本真空工業会専務理事）
15  15 ～ 15  55

｢真空管から真空ナノエレクトロニクスへ」後藤康仁（京都大学）

開発におきまして，国内のサプライヤ，ユーザーの意見も重1555～1605

休憩

要であることから，日本真空工業会の規格標準委員会と合同

1605～1645｢ミニマルファブ構想～装置と部品の小型検討委員会を構成して関連メーカーと意見交換しながら議論化の挑戦～」原史朗（産総研）を重ねています．ここ数年は，特に ISO/TC112（真空技術）

1645～1650｢閉会挨拶」冨江の活動が活発で，多くの規格の新規提案，検討が進められています．日本も主要メンバーとして，規格の提案，検討に積極的に参加しています．現在， ISO / TC112 では，真空計

崇（日本真空学会産学連携委員会，副委員長）

.

おわりに

測，真空機器の試験及び評価結果に関するトレーサビリテ

今年も日本真空学会らしい企画を計画・実施して，無事に

ィ，不確かさの表記がキーワードになっています．今回の真真空展を終了することができました．また，日本真空学会の空展では， 10月 16日（木）11 00～ 13 10に東京ビッグサ

活動と役割も広くアピールできました．日本真空学会コー

イト 東 1 ホール展示場内 ワークショップ会場で「規格標ナーの企画や真空トピックス，真空シンポジウム，規格標準

準報告会―真空に関する規格の動向と真空計測の不確かさに報告会などは来場者数の増加にも貢献できたと思います．今ついて」というタイトルで日本真空工業会の規格標準委員会

後もこの実績をもとに充実した企画を実現したいと考えておとの合同報告会を開催しました．プログラムは以下の通りでります．

す．参加者は54名でした．
1.
2.

3.

真空トピックス，真空シンポジウム，規格標準報告会の講｢真空計測における定量測定と不確かさの考え方につい師の先生方，真空科学・技術・応用の最先端研究を紹介するて」吉田

ポスターを出展された皆様，真空体感コーナーを準備・担当

肇（産総研）｢真空ポンプ性能測定 JIS 原案作成委員会の中間報告」

された皆様，真空産業で働く人のための安全紹介を担当され濱口宗久（大阪真空機器製作所），田中智成（アルバッ

た皆様，ご協力いただいた日本真空工業会の皆様，そして，

ク）

真空展に来場くださったすべての方々に感謝いたします．

｢真空装置用図記号の新旧 JIS 比較」平田正紘（規格標
準合同検討委員会委員長）

192―( 28 )―

J. Vac. Soc. Jpn.

報

告VACUUM2013―真空展の報告
間瀬

1・米原
一彦

3
直人2,

Report on the Japan Vacuum Show ``VACUUM2013''
1 and Naoto YONEHARA 2, 3
Kazuhiko MASE

1 Oho, Tsukuba-shi, Ibaraki 3050801, Japan
1Institute of Materials Structure Science, KEK, 1
2DIAVAC LIMITED, 495 Owadashinden, Yachiyo-shi, Chiba 276
0046, Japan
3Vacuum Society of Japan, Leader of the working group for the Japan Vacuum Show
（Received December 9, 2013, Accepted January 7, 2014）.

真空・ロボット産業に関連した労働災害の現状と防止に向け

真空展と日本真空学会コーナーの報告た研究の紹介が行なわれました．また，日本真空工業会・

VACUUM2013―真空展（主催日本真空工業会，一般社

CS 委員会が発行する安全に関するガイドラインや各社の対団法人日本真空学会，共催日刊工業新聞社）が 2013 年 11 月

応についての冊子が展示され，希望者には無料で配布されま

6 日（水）～8 日（金）に東京ビッグサイト東ホールにて開した．3 日間で説明を受けた来場者は約50名で，そのうち35催されました．今年は「 2013国際ロボット展」，「 2013部品

名がタブレットによる教育教材を体験しました．

供給装置展」，「SAMPE JAPAN 先端材料技術展2013」とのまた，主催者ゾーンの真空体感コーナーでは，荒川一郎（学同時開催でした．真空展は真空ポンプ，真空計，各種真空装習院大），戸坂亜希（横浜市立大），中野武雄（成蹊大），柴置など真空機器・技術に関する世界最大級の展示会です．今田恭（KEK），福谷克之（東大生研），松本益明（学芸大），

年の出展社数は82社・団体，出展小間数は163小間でした．

アルバイト学生 9 名による真空体感実験として，1 日 2 回30

来場者数は 1 日目3,156名，2 日目3,233名，3 日目3,546名，分ずつ

合計9,935名でした．昨年は出展社数89社・団体，出展小間

1)

真空中での風船の大きさの変化（図）

数183小間，来場者数合計12,158名でしたので，出展者数，2)

真空中での羽毛と鉄球の落下

団体，出展小間数，参加者数ともに減少です．

3)

真空中での水の蒸発と凍結

4)

真空中でのヘリコプターの飛行

日本真空学会では昨年に引き続き，真空展ワーキング（主査，米原直人）を組織し，日本真空学会の展示の準備を行なが行なわれました．見学者は延べ150名程度で，真空中でのいました．そして，主催者ゾーンの日本真空学会コーナーに風船の膨張・破裂，一瞬での水の凍結など，興味深い現象をおいて，以下の企画を行ないました．

体感いただきました．

1)

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスター展示（28件，表）2)

紹介されました．日本真空工業会主催の学生ツアー参加者は

日本真空学会の紹介，「日本真空学会入会のすすめ」

14名でした．

株 安川電
真空内で使われるロボットの展示（協力

した企画を実行でき，来場者の方々に真空科学技術とその広配布
3)

今回も厳しい経済状況の下での展示となりましたが，充実機）
4)

がりに対する理解を深めていただけたと思います．
真 空 ・ ロボ ッ ト 産業 で 働 く人 の 安全 の た めに ― 電

気・機械・人間（協力三浦独崇，高橋明子，梅崎重夫，

労働安全衛生総合研究所）
5)

日本真空工業会コーナーでは日本真空工業会の活動などが.

真空トピックスの報告

真空トピックス「やわらかい基板へのプラズマ成膜」（日J. Vac. Soc. Jpn. 誌のバックナンバー，真空誌 DVDなどの販売．

本真空学会講演・研究会企画委員会・スパッタリングおよび
プラズマプロセス技術部会合同研究会，11月 6 日（水）13 :今回，新しく開設された真空と安全コーナーでは，感電災

00～16 : 55，東京ファッションタウンビル（TFT ビル東館）

害の現状，静電気放電の体感，静電気による火災・爆発の実

会議室909）を日本真空工業会と共に開催しました．今回は

験ビデオの放映，産業分野でのリスク管理・機械安全国際規高分子フィルムをはじめとする「やわらかい基板」への機能格等に関する書籍の案内，タブレット端末を利用した安全教

性薄膜コーティング最新動向を取り上げました．プログラム

育教材のデモンストレーションなど，実演等を交えながら，は以下の通りです．参加者は49名でした．
13 : 05 ～ 13 : 451

 高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所（〒 305 
0801 茨城県つくば市大穂 11）
2 大亜真空株式会社（〒 276 0046 千葉県八千代市大和田新田
495）
3 一般社団法人日本真空学会 真空展ワーキング，主査

Vol. 57, No. 3, 2014

｢ポリマー基板への DLC 成膜」堀田篤（慶應義塾大学）
13 : 45 ～ 14 : 25

｢ソフトマテリアル―プラズマ相互作用と低ダメージプロセス（無機/有機積層デバイスからプラズマ医療）」節原裕一（大阪大学接合科学研究所）―( 39 )―

117

表
分

野

真空科学

番
号

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスター展示（28件）．
タイトル

発表者

1 極高真空計測の信頼性試験

吉田

所肇，新井健太，藤井属

産総研計測標準研究部門

賢一

2 日本のリーク標準の国際比較結果

新井健太

産総研計測標準研究部門

3 非蒸発ゲッター（NEG）ピル積層型ポンプと NEG ポン
プを用いた省エネルギーハイブリッド粗排気セットの開菊地貴司

KEK 物構研

4 ナノテクノロジープラットフォーム事業における高品質
真空技術・微細加工技術分野での設備共用支援

山本節夫

山口大

5 大型低温重力波望遠鏡 KAGRA

高橋竜太郎

東大宇宙線研6 超小型衛星試験センター

趙

九工大超小型衛星試験セン

発

宇宙科学

孟佑

ター
加速器科学

7 小型エネルギー回収型線形加速器 cERL の真空システム

谷本育律，本田融，野上KEK 加速器施設

隆史，高井良太，浅岡聖二，内山隆司8 JPARC RCS における真空機器再アラインメント計画

滑川裕矢，神谷潤一郎，山本昌亘，谷日本原子力研究開発機構

教夫，金正倫計

放射光施設

9 次世代の高ルミノシティコライダー SuperKEKB 加速器

柴田

KEK 加速器研究施設

10 九州シンクロトロン光研究センターにおける軟 X 線利用

小林英一

11 フォトンファクトリーの現状と物質・生命科学研究宇佐美徳子

KEK 物構研

12 東京大学放射光アウトステーション SPring
8 BL07LSU原田慈久

東大放射光連携研究機構，

恭

九州シンクロトロン光研究
センター

東大物性研
薄膜，プラズマ科 13 触媒援用 CVD によるグラフェンの作製
学技術
14 プラズマ電位を制御した大電力パルススパッタリング

ナノ構造

鈴木敏正

日本工大創造システム工学

中野武雄

成蹊大理工

15 ユニポーラパルス反応性 dc スパッタ法による SnO2 系
透明導電膜の超高速成膜

米川早紀，古武16 ハイブリッド対向スパッタによる高機能薄膜作製への展開諸橋信一

17 電界放出電子源アレイの過酷環境下における動作特性

後藤康仁，辻

18 高温斜め蒸着法による Ga2O3 ナノワイヤの成長

青山学院大院理工山口大院理工博司

京大院工南竹春彦（ 1 ），鈴木基史 （ 1 ）京大院工，（ 2 ）國立（ 1 ），中嶋薫（ 1 ），木村健二（1），許周

19 ナノ炭素・分子材料のスピントロニクスへの応用

悠，賈軍軍，重里有三清華大學

家 （2），立人（2）境 誠 司 （ 1 ）， 松 本 吉 弘 （ 1 ）原子力機構，（ 2 ）筑
（ 1 ），圓谷志郎（ 1 ），大伴 波大院数理物質
真名歩（ 1 ），新井大二朗（1, 2），谷本久典（2），楢本

電子材料・プロセ 20 新たなデバイス・材料機能として利用可能な同位体ダイ
ス
ヤモンド

洋（1）

渡邊幸志

産総研

21 シリコンクラスター超格子

岩田康嗣

産総研電子光技術研究部門

22 ナノ材料の低温形成，評価と実用化

種村眞幸，Kalita Golap

名古屋工業大学

株 ，（ 2 ）産
23 紫外線励起酸素を用いた滅菌システムおよび活性酸素計 吉 野 潔 （ 1 ）， 松 本 裕 之 （ 1 ）岩崎電気
測モニターの開発（2013年度真空技術賞）（ 1 ），岩崎達行（ 1 ），木下 総研，（3）東海大忍（ 1 ），野田和俊（ 2 ），岩森

24 工学院大学総合研究所 エネルギー変換エコマテリアル
センター研究成果報告（）118―( 40 )―

暁（3）

鷹野一朗

工学院大

J. Vac. Soc. Jpn.

表分

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスター展示（28件）．
（つづき)

番
号

野

タイトル

発表者

所

属

応用表面科学25 ガスクラスター SIMS による極浅表面分析（ 2012 年度
真空に関する連合講演会，優秀ポスター）

盛谷浩右

兵庫県立大院工表面科学

26 分子デバイスにおける電極接合界面のマテリアルデザイ
ン

笠井秀明

阪大院工

27 不活性化した Si（001）表面における有機分子薄膜成長
過程の光学計測小玉

28 先進トライボセラミックコーティング

佐々木道子・本田博史・鈴

表面工学

開，福井

僚，大野

横国大院工

真也，田中正俊

木

物材機構

裕・後藤真宏・笠原章・土佐正弘図

14 : 25 ～ 15 : 05

真空体感実験．

｢リフロー樹脂への斜方 EB 蒸着による反株 昭和真空）射防止膜形成」伊藤利展（15 : 05～15 : 20

休憩

15 : 20 ～ 16 : 00

｢高温・高湿でも抵抗値変化の少ない透明

休憩

15 : 00 ～ 16 : 00

｢希土類磁石最新動向（高性能化と真空技術の関わり）」松浦

株 東洋紡）
導電膜」多々見央（16 : 00 ～ 16 : 40

14 : 40～15 : 00

16 : 00 ～ 16 : 45株）裕（日立金属｢高機能素材が支える日本のものづくり」

富田純一（東洋大学）｢セルロースナノペーパーを基板とした導16 : 45 ～ 16 : 50

｢閉会挨拶」土岐和之（日本真空学会産学

電性配線の印刷技術」能木雅也（大阪大学）

連携委員会，委員長）

.

.

第
回真空シンポジウムの報告

規格標準報告会の報告

第 14 回真空シンポジウム「高機能素材製造技術を支える

日本真空学会規格・標準委員会は真空技術分野の日本工業

真空技術」（ 11月 7 日（木） 13 : 30 ～ 16 : 50 ，東京ファッシ

規格（JIS 規格）の原案作成団体として，また，同分野の国ョンタウンビル（ TFT ビル東館）会議室 909 ）を日本真空際規格（ISO 規格）の国内審議団体としても登録されており，工業会と共に主催しました．今回のシンポジウムは，産学連

日本真空工業会の規格標準委員会との合同検討委員会を中心

携委員会が企画し，日本のものづくりの基幹である素材の高として，関連メーカーの意見をお聞きしながら議論を重ねて機能化に真空技術がどのように寄与しているか，また，日本

います．ここ数年は，特に ISO/TC112 （真空技術）の活動のものづくりにおける先端素材の製造の果たす役割や今後のが活発で，多くの規格の新規提案，検討が進められていま展望について議論を行いました．プログラムは以下の通りです．日本も主要メンバーとして，規格の提案，検討に積極的す．参加者は20名でした．

に参加しています．今回の真空展では，11月 7 日（木）13 :

13 : 00 ～ 13 : 10

｢会長挨拶」尾浦憲治郎（日本真空学会会

13 : 10 ～ 13 : 40

30 ～ 15 : 40 に東京ビッグサイト東 6 ホール展示場内ワーク

ショップ会場にて，「真空に関する JIS 規格とガス流量測定

長，大阪大学）｢イントロ ダクトリ―トーク 」岡野達雄の現状」というタイトルで日本真空工業会の規格標準委員会（放送大学，前日本真空協会会長）との合同報告会を開催しました．プログラムは以下の通りで13 : 40～14 : 40

す．参加者は90名でした．

｢真空を利用した鉄鋼精錬技術発展の歴史」

株）樋口善彦（新日鐵住金
Vol. 57, No. 3, 2014

13 : 30 ～ 14 : 00―( 41 )―

｢真空フランジ及び旧 JIS フランジ（ VG /119VF）の現状―真空フランジ規格の制定，改正の経緯と今真空展を終了することができました．また，日本真空学会の後の対応―」平田正紘（規格標準合同検討委員会，委員長）

活動と役割も広くアピールできました．日本真空学会コー

14 : 00 ～ 14 : 30

｢熱陰極電離真空計 JIS 原案作成委員会のナーの企画や真空トピックス，真空シンポジウム，規格標準

中間報告―トレーサビリティを考慮した圧力測定のために報告会などは来場者数の増加にも貢献できたと思います．今

熱陰極電離真空計のカタログや技術仕様書に表記すべき項後もこの実績をもとに充実した企画を実現したいと考えてお株 アルバック）
目と定義―」高橋直樹（

ります．

14 : 30 ～ 15 : 00

｢産総研の 気体流量標準と流 量計校正方独 産業技術総合研究所）法」，森岡敏博（15 : 00 ～ 15 : 30

師の先生方，真空科学・技術・応用の最先端研究を紹介する｢マスフローコントローラの校正方法と実株 フジキン）
ガスの流量精度」氏家達朗（15 : 30～15 : 40

.

真空トピックス，真空シンポジウム，規格標準報告会の講ポスターを出展された皆様，真空体感実験を準備・担当された皆様，真空内ロボットの展示，真空と安全に関する展示担｢閉会の挨拶」

当された皆様，ご協力いただいた日本真空工業会の皆様，そして，真空展に来場くださったすべての方々に感謝いたしま

おわりに

す．

今年も日本真空学会らしい企画を計画・実施して，無事に120―( 42 )―

J. Vac. Soc. Jpn.

報

告VACUUM2012―真空展の報告
間瀬

1・宇都宮信明
2, 3
一彦


Report on the Japan Vacuum Show ``VACUUM2012''
1 and Nobuaki UTSUNOMIYA 2, 3
Kazuhiko MASE

1 Oho, Tsukuba-shi, Ibaraki 3050801, Japan
1Institute of Materials Structure Science, KEK, 1
2Sato Vac Inc., 5127 Oi, Shinagawa-ku, Tokyo 1400014, Japan
3Vacuum Society of Japan, Leader of the working group for the Japan Vacuum Show
(Received December 3, 2012, Accepted January 6, 2013)

.

真空展と日本真空学会コーナーの報告.

真空トピックスの報告

一般社団法人日本真空学会は，日本真空工業会と合同で真空トピックス「スパッタ・プラズマを利用した先端技術

VACUUM2012―真空展を2012年10月17日（水)～19日（金）とその基礎」（International Symposium on Sputtering andに東京ビッグサイト東ホールにて開催しました．今年はPlasma Processes 2013, ISSP2013のプレセッション，日本

2012 洗浄総合展， 2012 土壌・地下水環境展との同時開催で真空学会講演・研究会企画委員会・スパッタリングおよびプ

した．真空展は真空ポンプ，真空計，各種真空装置など真空ラズマプロセス技術部会合同研究会，2012年10月17日（水）

機器・技術に関する世界最大級の展示会です．今年の出展社

1300～1645，東京ビッグサイト会議棟605会議室）を日

数は89社・団体，出展小間数は183小間でした．来場者数は

本真空工業会と共に開催しました．スパッタリング技術・プ

1 日目 3,946名，2 日目4,127名， 3 日目4,085名，合計12,158

ラズマ技術は，各種産業の基盤技術として，また最先端の材名でした．昨年は出展社数 85 社・団体，出展小間数 160 小料開発・デバイス開発において不可欠なプロセスとして，広間，来場者数合計10,366名でしたので，出展者数，団体，出く利用されています．今回は現在注目を集めている各種薄膜

展小間数，参加者数ともに回復という状況です．

を応用したデバイスや機能材料の研究，あるいはそれに向け

日本真空学会では昨年に引き続き，真空展ワーキング（主た装置開発など様々な分野で活躍されている研究者・技術者

査，宇都宮信明）を組織し，日本真空学会の展示の準備を行の方々をお招きし，製膜プロセスに関連した知見がどのようないました．そして，主催者ゾーンの日本真空学会コーナーに活かされているかを含め，開発動向についてお話しいただ

において，以下の企画を行ないました．

きました．プログラムは以下の通りです．参加者は 68 名で1)

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスター展示（ 28件，表 1 ），要旨等を掲載した CD-R の無償配布．
2)

13  00 ～ 13  05

｢開会の挨拶」中野武雄（ ISSP2013 実

行委員長，成蹊大学）

日本真空学会の紹介，「日本真空学会入会のすすめ」

配布．
3)

した．

1305～1345｢固体薄膜二次電池の高機能化―制御されたナノ構造負極活物質を中心に―」馬場J. Vac. Soc. Jpn. 誌のバックナンバー，真空誌 DVDなどの販売．

1345～1425

また，主催者ゾーンのプレゼンテーションコーナーでは，
東京大学生産技術研究所福谷研究室の修士学生（ウェン・デ
ィー，浅川寛太，宮尾幸太郎）による真空実験などが行なわれました．日本真空工業会コーナーでは日本真空工業会の活守（岩手県立産業技術短期大学校）｢薄膜のクロミック現象を用いた調光ミ

ラーガラスの開発」吉村和記（産業技術総合研究所）
14  25～ 15 05｢半導体/金属錯体ハイブリッド光触媒による人工光合成―太陽光，水，二酸化炭素から有機物
株 豊田中央研究所）の直接合成―」荒井健男（動などが紹介されました．日本真空工業会主催の学生ツアー

1505～1520

休憩

参加者は24名でした．

1520～1600｢次世代不揮発性メモリ MRAM の量産

今回も厳しい経済状況の下での展示となりましたが，充実した企画を実行でき，来場者の方々に真空科学技術とその広がりに対する理解を深めていただけたと思います．

株）
技術の現状と課題」恒川孝二（キヤノンアネルバ

1600～1640

西岡｢新型不揮発性メモリ量産技術の現状」

株 アルバック）浩（1640～1645｢閉会の挨拶」杉山直治（日本真空学会株 東芝）
講演・研究会企画委員長，
1 高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所（〒 305 
0801 茨城県つくば市大穂 11）0014 東京都品川区大井 5127）
2 佐藤真空株式会社（〒140
3 一般社団法人日本真空学会真空展ワーキング主査

Vol. 56, No. 3, 2013

.

第回真空シンポジウムの報告

第 13 回真空シンポジウム「日本のモノづくりを支える最新の表面分析技術」（10月18日（木）1100～1615，東京―( 31 )―

107

表

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスター展示（28件)

番
号
真空科学

タイトル

発表者

所

属

1 隔膜真空計を用いた圧力測定のための熱遷移補正（2011年度真空進歩賞受賞)

吉田

2 スニッファ法用標準リークの校正システム

新井健太

産総研計測標準研究部門

3 真空容器内壁での分子の脱離と圧力変化―表面吸着状態
密度の導出

武安光太郎

東大生研

4 先端研究施設共用イノベーション創出事業 ナノテクノ
ロジー・ネットワーク『高品質真空利用技術に関する支

山本節夫

山口大

5 NEG コーティングの研究紹介

谷本育律

KEK 加速器施設

6 SUS430製真空容器の放出ガス速度測定（2011年度真空に関する連合講演会，優秀ポスター)

加藤新一（ 1 )，神谷潤一( 1 ）東北大院理，( 2 ）原子力機構肇，新井健太，小畠

産総研計測標準研究部門

時彦

援成果の紹介』真空科学，宇宙，加速器，放射光郎（ 2 )，山本風海（ 2 )，吉本政弘（ 2 )，金正倫計（ 2)

7 大型低温重力波望遠鏡 KAGRA

高橋竜太郎

東大宇宙線研8 超小型衛星試験センター

趙

九工大超小型衛星試験セン

孟佑

ター

9 次世代の高ルミノシティコライダー SuperKEKB 加速器

柴田

KEK 加速器研究施設

10 九州シンクロトロン光研究センターにおける軟 X 線利
用

瀬戸山寛之

11 フォトンファクトリーの現状と物質・生命科学研究宇佐美徳子

KEK 物構研

12 東 京 大 学 放 射 光 ア ウ ト ス テ ー シ ョ ン SPring 8原田慈久

東大放射光連携研究機構，

恭

九州シンクロトロン光研究センター

BL07LSU

東大物性研

薄膜，ナノ構造， 13 金ナノ粒子からの光音響放出の干渉による制御（ 2011年度真空に関する連合講演会，優秀ポスター)
応用表面科学

名村今日子（1,
基史（1)，中嶋

2)，鈴木
薫（1)，

(1）京大院工，(2）学振木村健二（1)

14 サファイア基板上および Si 基板上へのグラフェンの直
接成長

鈴木敏正

日本工大創造システム工学

15 サーファクタント・クリスタライゼーション法による結 三芝直也（ 1 )，稲瀬陽介
晶シリコン薄膜の効率的な作製手法の開発（ 1 )，庫井俊輔（ 1 )，細井

( 1 ）芝浦工大工，( 2 ）東大生研

崇宏（1)，武江敏範（1)，塙敦史（1)，廣瀬浩司（ 1 )，三浦寛之（ 1 )，山本拓也（1)，神子公男（2)，弓野健太郎（1)16 ユニポーラパルス反応性 dc スパッタ法による様々な透明導電膜の高速成膜

中臣

17 ハイブリッド対向スパッタ開発と高機能薄膜作製への展
開諸橋信一

18 電界放出電子源アレイの光・電子デバイス応用

後藤康仁，辻聡，米川早紀，賈青山学院大院理工軍軍，重里有三
山口大院理工博司

19 分子スピントロニクスの創製のためのナノカーボン材料 境 誠 司 （ 1 ) ， 松 本 吉 弘の物性および分光研究（ 1 )，圓谷志郎（ 1 )，大伴

京大院工( 1 ）原子力機構，( 2 ）東北大金材研

真名歩（1)，ソロキン
パベル（ 1 )，アブラモフ
パベル（1)，楢本 洋（ 1 )，桜庭裕弥（ 2 )，高梨弘毅（2)20 走査型ヘリウムイオン顕微鏡によるナノスケール計測・
加工

108―( 32 )―

大西桂子

物材機構

J. Vac. Soc. Jpn.

大学・公的機関における真空科学・技術・応用の最先端研究の紹介ポスター展示（28件)(つづき)

表
番
号

タイトル

発表者

所

属

電子材料・プロセ 21 ダイヤモンド省エネパワー半導体を目指して
ス，分析，表面科
22 工学院大学総合研究所 エネルギー変換エコマテリアル学センター（ECEC）活動報告（)

渡邊幸志

産総研

鷹野一朗

工学院大

23 電子スピンイメージング技術による産業イノベーション

小池和幸

北大創成研究機構

24 電界放出電子スピン分光法によるマグネタイト表面の 永 井 滋 一 （ 1 ) ， 畑 浩 一（ 1 )，岡田守弘（ 2 )，三村
Verwey 転移観測

( 1 ）三重大院工，( 2 ）静大電子工学研秀典（2)25 『銅酸化物を用いた自動車排出ガス浄化触媒の知的設計』 笠井秀明
～脱貴金属を目指して～

阪大院工26 カリウムドープをしたコロネン単分子膜に関する微視的研究

筑波大院数理物質科学

岡田遼介，矢野雅大，遠藤
めぐみ，山田洋一，佐々木正洋

27 K 吸着による Si（113）表面上のナノパターン形成

成重卓真

横国大院工

28 先進潤滑剤コーティング

佐々木道子・後藤真宏・笠

物材機構

原

ビッグサイト会議棟606会議室）を日本真空工業会と共に主催しました．今回のシンポジウムは，産学連携委員会と昨年

.

章・土佐正弘

規格標準報告会の報告

秋に新設された機能薄膜部会（部会長高橋研，東北大学教日本真空学会規格・標準部会は真空技術分野の日本工業規授，本学会理事）が合同で企画いたしました．メインテーマ

格（JIS 規格）の原案作成団体として，また，同分野の国際の検討では，昨今の我が国の製造業，特にかつては世界市場

規格（ISO 規格）の国内審議団体としても登録されており，をリードしたエレクトロニクス産業の国際競争力の低下が顕

日本真空工業会の規格標準委員会との合同検討委員会を中心在化し，我々の周囲の技術者もいささか元気と自信をなくしとして，関連メーカーの意見をお聞きしながら議論を重ねてているのではないかとの問題提起がなされました．そこからいます．ここ数年は，特に ISO/TC112 （真空技術）の活動

表面分析・評価技術の生産技術（モノづくり）への積極的活が活発で，多くの規格の新規提案，検討が進められていま

用が競争力回復につながる一つの方向ではないかと考え，講す．日本も主要メンバーとして，規格の提案，検討に積極的師の方々には，特に若い技術者・研究者に元気を与えていたに参加しています．今回の真空展では， 2012 年 10 月 18 日

だけるようなご講演をお願いいたしました．プログラムは以（木）1430～1630に東京ビッグサイト東ホール展示場内

下の通りです．参加者は26名でした．

ワークショップ会場にて，日本真空工業会の規格標準委員会

1100～1105｢会長挨拶」尾浦憲治郎（日本真空学会

会長，大阪大学）
1105～1115との合同報告会を開催しました．タイトルは「規格標準報告会真空と漏れに関する最新情報」として，真空ポンプの性｢イントロダクトリートーク」高橋研

能測定方法に関する ISO 規格，JIS 原案作成の状況を解説い（日本真空学会機能薄膜部会長，東北大学未来科学技術たしました．加えて真空と関係の深い漏れ試験の資格認証の共同センター）

情報（（一社)日本非破壊検査協会）と定量漏れ試験の基準と11  15 ～ 11  45

｢表面分析技術と化学産業」石田英之（大阪大学）
1145～1230

技術総合研究所）についても報告いたしました．プログラム｢表面分析技術と半導体技術性能・信株 富士通研究所基盤技術
頼性向上への寄与」中村友二（14  30 ～ 14  55

｢真空ポンプの性能測定方法（排気速株 大阪真空機器製作所）
解説」，濱口宗久（休憩

14  10 ～ 15  10

｢日本から発信する新しい表面分析技

14  55 ～ 15  20

｢容積移送式ポンプの性能測定方法

ISO21360: Part 2 紹介と現行 JIS 規格からの変更点」，

術」松尾二郎（京都大学大学院工学研究科）｢モノづくりを支える表面分析技術表

面分析の現状とその課題」田沼繁夫（物質・材料研究機

株 アルバック）岡本正智（

1520～1535｢熱陰極電離真空計 JIS 原案作成委員会の中間報告―トレーサビリティを考慮した圧力測定のた構）
1610～1615は以下の通りです．参加者は約114名でした．
度，到達圧力，圧縮比，臨界背圧）ISO21360 Part 1 の研究所）
1230～1410

1510～1610

独 産業
して用いられているヘリウム標準リークの最新情報（｢閉会の挨拶」土岐和之（日本真空学会

産学連携委員会委員長）

めに，熱陰極電離真空計のカタログや技術仕様書に表記
株 アルバック）
すべき項目と定義―」，高橋直樹（1535～1600
Vol. 56, No. 3, 2013―( 33 )―

｢漏れ試験に関する資格認証試験―今年109

から始まった資格認証試験の概要を報告する」田村芳一

活動と役割も広くアピールできました．日本真空学会コー（（一社)日本非破壊検査協会）

ナーの企画や真空トピックス，真空シンポジウム，規格標準

1600～1620｢漏れ量定量化の基準である標準リーク

報告会などは来場者数の増加にも貢献できたと思います．今―ヘリウム標準リークと産総研における校正サービスの後もこの実績をもとに充実した企画を実現したいと考えてお独 産業技術総合研究所）
紹介―」，新井健太（ります．

16  20 ～ 16  30

｢閉会の挨拶」，伊藤隆生（日本真空工

業会）

.

真空トピックス，真空シンポジウム，規格標準報告会の講師の先生方，真空科学・技術・応用の最先端研究を紹介する
ポスターを出展された皆様，真空実験を準備・担当された皆おわりに様，ご協力いただいた日本真空工業会の皆様，そして，真空今年も日本真空学会らしい企画を計画・実施して，無事に展に来場くださったすべての方々に感謝いたします．

真空展を終了することができました．また，日本真空学会の110―( 34 )―

J. Vac. Soc. Jpn.

規格標準報告会「真空計の選定と使い方のためのガイド」
日本真空協会（VSJ）と日本真空工業会（JVIA）は、共同で真空に関わる「規格標準合同検討委
員会」活動を行っております。
昨年度、最新の真空標準や JCSS（Ｊapan Ｃalibration Ｓervice System）制度の認知度、真空計の使用方法や校正の実情、ならびに真空計測・標準に対する要望や抱える問題点を把握するために、真空計を取り扱うメーカ・ユーザ等を対象にアンケート調査を行いました。その結果を昨年の真空展でご報告致しましたところ、多くの方々から注目していただきました。その中で、真空計測・標準に係る啓発が必要であると多くのご指摘を頂きました。
今年度は、その中で特にご要望の多かった真空計選定のためのガイドを「高真空計測」、「低真空計測」、「分圧計測」など用途別に分け、それぞれの原理、特性、使用方法や校正方法および最新の ISO・JIS 規格などを解説致します。また、「真空計の信頼性」や「日本の圧力真空標準」
についても併せてご報告します。
項目

イントロダクトリ トーク

講演時間
山本 博義（日本真空工業会）

高真空計測 ―熱陰極電離真空計の特性と使い方―

10 分
30 分

高橋 直樹（(株)アルバック）
分圧計測 ―四重極質量分析計の信頼性とカタログの読み方―
吉田肇（(独)産業技術総合研究所）

30 分

低真空計測 ―製造現場における真空計測と校正―田村

純 （三興コントロール(株)）30 分

真空計の信頼性と標準

秋道

斉 （(独)産業技術総合研究所）

30 分

閉会の挨拶

伊藤 隆生（日本真空工業会）

10 分

会期：2011 年 9 月 1 日（木）13：00 ～ 15：30
会場：東京国際展示場 西 1 ホール 展示会場内
主催：日本真空協会 規格・標準部会、日本真空工業会 規格標準委員会
参加費：無料