システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

手動Zステージ / テーブルサイズ 100×100
Manual Vertical Linear Stages / Table Size 100×100

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

ZM10A-C3C

ZZ

回転Rotation

ZM10A-C6C

ZM10A-C3C

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

100（47.5）

31906040

自動精密
ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

10100
9060
400Z
Z

510045408-M4 Depth 7mm
4-M3 Depth 8mm

2

回転Rotation

スイベル
（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

50±1.5Micrometer Head FPP03-13

454035305真空ステージ
VacuumStage

43210□904-for M4 screwsShaft Length 3.5mm

1009060403122

アライメントステージ
XYθ

ZM10A-C6C

モーター
コントローラMotorController（44.5）

ClampΦ820

ドライバ
ボックス
DriverBox

50100906040

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver

2Handle Wheel

8-M4 Depth 8mm
4-M3 Depth 8mm

モーター
ケーブル
Motor
Cable

10550±2.5

付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories

54321□9022

制御装置
Control
Electronics

504-for M4 screws
Shaft Length 3.5mm

検査システムInspection
SystemE-014

E.indd 14

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 20:44

アルミ / クロスローラガイド / クサビ

システム
製品
SystemProducts

Aluminum Body / Cross-Roller Guide / Wedge

産業用Industrial

型式
Model Number

ZM10A-C3C

ZM10A-C6C

勝手違い型式
Mirror Model Number

ZM10A-C3C-R

ZM10A-C6C-R

テーブル面
Table Size

100mm×100mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

手動精密
ステージ
ManualStage

移動範囲
Motion Range

粗動 ±1.5mm, 微動 0.075mm
Coarse ±1.5mm, Fine 0.075mm±2.5mm

垂直度
Verticality≦3μm/3mm≦5μm/5mm

最小読み取りMinimum Readout

粗動 2.5μm/目盛, 微動 0.125μm/目盛
Coarse 2.5μm/div, Fine 0.125μm/div

10μm/目盛10μm/div

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

68.6N（7kgf）

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing
1.7kg

1.8kg

駆動方式
Actuator

精密ポジショナー FPP03-13（13mm）
Fine Pitch Positioner FPP03-13 (13mm)

ハンドル
Handle-Wheel

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

ZM10A-C3C-C

ZM10A-C6C-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

ZM10A-C3C-V

ZM10A-C6C-V

クリーングリス仕様の型式は末尾に“-C”が付きます。詳細についてはC-003
ページを参照して下さい。C3C、C3C-Rのグリス交換は本体のみとなります。
Clean room lubricant model has “-C” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant change is not avairable for actuators on stages that
include the C3C model.

X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

自重Weight

オーバーホール費に交換部品代は含まれません。詳細については15ページを参照して下さい（マイクロメータヘッドはオーバーホール対象外となります）。
Additional parts cost is not included on Overhaul cost. Refer to page 16 forfurther information (Micrometer is not included in the overhaul).

実験用
Experimental

真空グリス仕様の型式は末尾に“-V”が付きます。詳細についてはC-003ペー
ジを参照して下さい。C3C、C3C-Rのグリス交換は本体のみとなります。
Vacuum lubricant model has “-V” at the end of model number. Page C-003 forfurther information. Lubricant change is not avairable for actuators on stages that
include the C3C model.
お客様のご要望により製品の改造も承ります。
詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。
We appreciate the product customizing. Contact us for further information.
アクセサリについてはO-001ページを参照して下さい。
Refer to page O-001 for information on accessory.

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
DriverBox
アプリ
ケーション
Application
モータードライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

E.indd 15E-015

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