２０１８．
２ 改訂

CATALOGUE No.EC06

For Semiconductor
半導体産業用製品■本社〒141-6024 東京都品川区大崎 2-1-1（ThinkPark Tower 24Ｆ）

■ 営業本部● 営業１課（東京）Tel（. 03）5434-7374 Fax（
. 03）5436-0564● 宇部駐在所

Tel（. 0836）31-2727 Fax（
. 0836）32-0771● 営業２課（東京）Tel（. 03）5434-7374 Fax（
. 03）5436-0564● 北九州営業所

Tel（. 093）521-4181 Fax（
. 093）531-4755●カスタマーサービス課（東京）Tel（. 03）5434-7374 Fax（
. 03）5436-0564● 長崎営業所

Tel（. 095）861-2545 Fax（
. 095）862-0126● 札幌営業所

Tel（. 011）736-5620 Fax（
. 011）736-5621● 熊本駐在所

Tel（. 096）364-3511 Fax（
. 096）364-3570● 仙台営業所

Tel（. 022）264-5514 Fax（
. 022）265-0266● 延岡駐在所

Tel（. 0982）92-0193 Fax（
. 0982）92-0192●日立営業所Tel（. 0294）22-2317 Fax（
. 0294）24-6519● 大分駐在. 097）555-9340
Tel.（090）2502-6125 Fax（

● 京浜営業所

Tel（. 045）444-1715 Fax（
. 045）441-0228● 高崎駐在所

Tel（. 027）341-8469 Fax（
. 027）341-6717● 厚木駐在所

Tel（. 046）401-1554 Fax（
. 046）401-1553● 営業部（東京）Tel（. 03）5434-7382

Fax（. 03）5436-0562● 富士駐在所

Tel（. 0545）87-2757 Fax（
. 0545）87-2213● 営業部（大阪）Tel（. 06）6265-5036

Fax（. 06）6265-5042● 名古屋営業所

Tel（. 052）811-6451 Fax（
. 052）811-6474● 豊田営業所. 0566）77-7002
Tel（. 0566）77-7011 Fax（

● 四日市駐在

Tel（. 059）353-6952 Fax（
. 059）353-6950

Tel（. 03）5434-7376

Fax（. 03）5436-0562● 彦根営業所

Tel（. 0749）26-3191 Fax（
. 0749）26-7503● 北陸営業所

Tel（. 076）442-0522 Fax（
. 076）442-0523● 営業課（大阪）Tel（. 06）6265-5031 Fax（
. 06）6265-5040●カスタマーサービス課
（大阪）

Tel（
. 06）6265-5032 Fax（
. 06）6265-5041● 堺駐在所

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. 072）227-1681● 姫路営業所

Tel（. 079）241-9827 Fax（
. 079）241-8571● 岡山営業所

Tel（. 086）435-9511 Fax（
. 086）435-9512● 松山営業所

Tel（. 089）974-3331 Fax（
. 089）972-3567● 中国営業所

Tel（. 0827）54-2462 Fax（
. 0827）54-2466● 広島駐在所

Tel（. 082）250-7551 Fax（
. 082）256-8623● 周南営業所

Tel（. 0834）27-5012 Fax（
. 0834）22-5166■ 高機能エラストマー事業部■ 海外統括本部● 貿易チーム■ 株式会社バルカーエスイーエス
●本

社（千葉）

● 鹿島営業所

Tel（. 0436）20-8511

Fax（. 0436）20-8515

Tel（. 0479）46-1011

Fax（. 0479）46-2259■ 株式会社バルカーテクノ●本社（東京営業所）

Tel（. 03）5434-7520

Fax（. 03）5435-0264● 大阪営業所

Tel（. 06）4801-9586

Fax（. 06）4801-9588● 福山営業所

Tel（. 084）941-1444

Fax（. 084）943-5643■ バルカー・ガーロック・ジャパン株式会社
●本

社

Tel（
. 03）5510-2177

Fax（. 03）-3591-5377●ご用命はこのカタログの内容は製品の機能向上またはその他の理由により、予告なく変更することがありますのでご了承ください。
このカタログの記載数値は参考値であり、あらゆる条件に機能を保証するものではありません。
また許可なく転載、複製することを禁じます。

Nippon Valqua reserves the right to change technical specifications inthis catalogue without notice. The data contained with in this catalogue can only be taken as a guide.
All Rights Reserved.

2018.2Ⓒ2000 FULLERTON TECHNOLOGY CO.,LTD.

カタログ記載内容：2018年2月現在

CATALOGUE No.EC06 -- SEN

http://www.valqua.co.jp

目 次Contents
製 品
Products

分 類
Categories

名 称
Name

No.

工 程
Processデバイス製造工場建設
ウエーハ
Device Manufacturing
頁
建屋・プラント
製 造
前工程ウエット 前工程ドライ 後工程
Page
Plant Building
Wafer
Wet Wafer
Dry Wafer Assembly
Manufacturing
and Utility
Process
Process
Process

製 品
Products
分 類
Categories

1-1

加工品

コードシール（ソフト）
6-1 バルフロン
12
VALFLON Cord Seal <Soft>

3

PTFE角槽1-2 バルフロン
VALFLON PTFE Tanks

3・加工品
1-3 成型品
Molded and Machined Products

4

Molded
素材・テープand MachinedMaterials and Tapes
Products,
・テープ
Tapes,
2-1 素材Materials and Tapes
and Tubes

シール製品
Seal Related
Products

VALFLON
Lined
Products

6

EXチューブ
3-2 PTFE
PTFE EX Tubes

6

ベンダロンチューブ
3-3 バルフロン
VALFLON Corrugated Tubes

6

その他
Othersバルフロン ライニング製品
VALFLON Lined Products

7

5-1 アーマーシリーズ
ARMOR Series

8

ッツシリーズ
5-2 フローリ
FLUORITZ Series

9

シール製品 5-3 VALQUA Bonded Gate Seal

9

Seal Related
Products
5-4 ビクトラ-ER
VICTRA-ER

10

シリコーンゴム
（VMQ）
Silicone Rubbers

11

5-5

資料
Data

エラストマーElastomers

バルカーボンデッドゲートシール

12

ジャケットガスケット
6-3 バルフロン
VALFLON Envelope Gasket

12

6-4 メタル中空Oリング
Metal Hollow O-ring13

6-5 トライパック
TRYPACK

13

ベローズ・その他製品
Bellows and other products

3-1 PTFEチューブ
PTFE Tubes

4-1 配管部品
Pipes and Fittings

ソフトシート
6-2 バルフロン
VALFLON Soft Sheetト
6-6 高純度無酸素銅ガスケッ
High Purity Oxygen-Free Copper Gasket 13

5

チューブ
Tubes

配管材料

デバイス製造工場建設
ウエーハ
Device Manufacturing
頁
建屋・プラント
製 造
前工程ウエット 前工程ドライ 後工程
Page
Plant Building
Wafer
Wet Wafer
Dry Wafer Assembly
Manufacturing
and Utility
Process
Process
Process

ガスケット
Gaskets

成型品・加工品
Molded and Machined Products
バルフロン
切削加工品・溶接加工品
VALFLON PTFE Machined Products
and Welded Products

名 称
Name

No.

工 程
Process（FKM）
5-6 ふっ素ゴム
Fluoro-Rubbers

11

ラバー
5-7 HUVc
HUVc Rubber

11

Mシリーズ
7-1 ダイナミックベローズ
DYNAMICBELLOWSTM M Series

14

Vシリーズ
7-2 ダイナミックベローズ
DYNAMICBELLOWSTM V Series

14ト
7-3 クリーンボル
Clean Bolt

14

ドシャフト
7-4 スライSliding Shaft

14

ふっ素樹脂の特性比較表
Fluorocarbon Plastics Comparison Table

15

各種エンジニアリングプラスチックの特性比較表
Engineering Plastics Comparison Table

16

バルフロン（ふっ素樹脂製品）の取扱いに関してのご注意●本製品は、人体に移植したり、体液や生体組織に接触する医療器具への使用を目的として特別に設計製造したものではありません。
当該用途に使用される場合は、事前に弊社にご相談ください。
●200℃を越えて加熱されるところでは、排気や換気を十分に行い、分解ガスを吸わないようにしてください。
●廃棄する場合は「廃棄物の処理及び清掃に関する法律」
に従って処理を行い、絶対に焼却をしないでください。
※ 労働安全衛生上の注意については SDS（製品安全データシート）をご確認ください。

登録商標一覧

当カタログ中には、商標に関する表示を省略しておりますが、以下は弊社の日本における登録商標です。
● アーマー● アーマークリスタル● アルティックアーマー● コードシール● スプレーボール● スポックアーマー● ダイナミックベローズ● トライパック● バルフロン● フリッドアーマー● フローリッツ

Safety precautions regarding VALFLON（VALQUA PTFE product）●Products in this catalog are not designed for usage on medical equipment that may come in contact with body fluids or any
organic tissues. Please consult us for any application that may result in the situation described above.
●Please take necessary precautions when applying heat above 200℃. Ventilate appropriately and ensure that decomposed gas is
not inhaled.
●Please dispose the items in compliance to local regulations. DO NOT INCINERATE.
※ Please refer to the Material Safety Data Sheets (SDS) for environmental health and safety information.

List of registered trademarks.

❶

Registered trademarks are abbreviated within descriptions for the purpose of this catalog. Below is the list of Valquaʼs registered trademarks within Japan.
● ARMOR ● ARMOR CRYSTAL ● FLID ARMOR ● FLUORITZ ● SPOQ ARMOR ● ULTIC ARMOR ● VALFLON ● VICTRA-ER❷

1 成型品・加工品

Molded and Machined Products

1-1 バルフロン 切削加工品・溶接加工品

1-3 成型品・加工品

高度な切削加工技術を駆使したバルフロン 切削加工品です。

バルフロン PFA・PTFEはご要望に応じた様々な形状に溶接

バルフロン PFAを中心とした成型品はご要望に応じて様々な加工が可能です。特殊形状品、試作検討、薬品シール等様々形に射出成型加工、切削加工が可能です。

VALFLON PTFE Machined Products and Welded Products

Our PTFE shapes are processed using advanced machining
techniques.

な用途に対応できます。
VALFLON PFA and PTFE parts can be welded into various
shapes upon request. Examples include customized designs,
prototyping,chemical seals, and other applications.

Molded and Machined Products

PFAに限らず、他のふっ素樹脂やPEEK、PEIなどの超エンプラ類についても、
ご相談ください。

VALFLON PFA and other molded products can be made invarious forms through extrusion and machining. Other
fluorocarbon resins and engineering plastics such as PEEK
and PEI are also available upon request.

■寸法表

Size Table

種類
Kind
平小ねじ
cylinder head bolts
さら小ねじ
ﬂat head bolts
六角ボルト
hexagon head bolts
六角ナット
hexagon nuts

PFA ボルト・ナット
M4、M5、M6：平小ねじ、
さら小ねじ、首下30mm
M8：六角ボルト 首下40mm
PFA bolts and nuts for size M4, M5, M6 : cylinder head and flat headbolt with 30mm nominal length for size M8 : hexagonal head bolt with
40mm nominal length

PTFE 切削加工品
PTFE Machined Products

備考
Remark

ねじの寸法（mm）Size
ねじの呼び
ピッチ
H
Nominal Diameter
Pitch

呼び番号
C

Part
Number

M4
M5
M6
M4
M5
M6

0.7
0.8
1
0.7
0.8
1

2.6
3.4
4.0
2.6
3.0
3.4

HM04307
9.2 HM0530
10.3 HM0630
7.8 SM0430
9.9 SM0530
11.8 SM0630

M8

1.25

6.0

16.1

RM0840

M4
M5
M6
M8

0.7
0.8
1
1.25

3.4
4.2
5.2
6.8

8.1
9.3
11.5
15.1

NM0434
NM0542
NM0652
NM0868Hはボルト頭、ナットの高さ Cはボルト頭、ナットの径
H:height of head for bolts or thickness of nut.
C:width across corners of bolts head or nut.

溶接加工品（PTFE-PFA）
PTFE-PFA Welded Products

1-2 バルフロン PTFE角槽
VALFLON PTFE Tanks

バルフロン PTFEを成型加工して製作した角槽です。比較的厚VALFLON tanks are molded and machined. Thicker tankthicknesses make it suitable for use at higher temperatures.
Joints and fittings may be welded upon request. Cylindricalなど部品類の溶接加工も可能です。丸形槽の製作も可能です。
tanks are also available.
肉なため高温用途にもご使用いただけます。ご要望により継手

単体角槽
Rectangular Tank❸

フランジ付角槽
Rectangular Tank with Flange

オーバーフロー槽
Overflow Tank

PTFE切削加工品（スプレーボール）
PTFE Machined Products（Spray Ball）

ポリイミドフィルムヒーター
Polyimide Film Heaters

エンプラ切削加工品（PTFE, PEEK）
Machined Engineering Plastics（PTFE, PEEK）

ポリイミド加工品
Polyimide Machined Products

ニューバルフロン 中空容器
New VALFLON Bottles❹

2 素材・テープ

Materials and Tapes

3 チューブTubes

2-1 素材・テープ

3-1 PTFEチューブ

バルフロン 素材、テープはご要望の色々な形状に切削加工れており、高純度薬品の移送用として適しています。

Materials and Tapes

PTFE Tubes
PTFEチューブは純粋性、化学的安定性、透明性、不燃性に優またはカットしてご使用いただけます。特にテープには特殊な■寸法表

表面処理による接着性テープや粘着材を塗布した接着テープもございます。

Size Table
インチサイズ（Inch Sizes）

ミリサイズ（mm Sizes）

また、素材はPTFEをはじめPFA・PCTFEなどにも対応出来

呼び

外径

内径

肉厚

呼び

外径

内径

肉厚

6

6

4

8

8

6

1

1/8

3.18

1.65

0.76

1

1/4

6.35

3.96

10

10

1.19

8

1

3/8

9.53

6.35

nominal size outer diameter inner diameter wall thickness

ますので、ご相談ください。
Our VALFLON Materials and tapes are available in various designs
via machining or cutting. Tape products are also available insurface treated cementable and adhesive coated forms.
We support other materials including, PFA, and PCTFE. Pleasecontact us for details.

PTFE tubes have excellent purity, chemical stability,transparency, and non-combustibility, making it suitable
for transfer of high purity chemicals.

nominal size outer diameter inner diameter wall thickness

12

12

10

1

1/2

12.70

9.53

12.7

12.7

10.7

1

3/4

19.05

15.87

1.59

備考１ 標準在庫品 色：自然色 長さ：１０m巻、５０m巻
２ 標準寸法以外のものも製作いたします。
Remarks１ Standard stocks / color : natural,
length : 10m, 50m
2 Non-standard items are available by custom
orders.

バルフロン シート
VALFLON Sheets

3-2 PTFE EXチューブ
PTFE EX Tubes
EXチューブは屈曲疲労性、透明性、熱融着性、2次加工性に優れたPFAと同等の特性を有するPTFEチューブです。
■寸法表

EX tubes are special PTFE tubes with similar flex life,transparency, thermal fusibility, and machining properties
as PFA tubes.

Size Table
インチサイズ（Inch Sizes）

ミリサイズ（mm Size）
呼び

外径

内径

肉厚

3
4
6
8
10
12
14
16
17
19

3
4
6
8
10
12
14
16
17
19

2
3
4
6
8
10
12
14
15
16

0.5
0.5
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
1.0
1.5

nominal size outer diameter inner diameter wall thickness

バルフロン スリーブ
VALFLON Sleeves

バルフロン ロッド
VALFLON Rods

呼び

外径

内径

肉厚

1/8
1/4
3/8
1/2
3/4

3.18
6.35
9.53
12.70
19.06

1.65
3.96
6.35
9.53
15.87

0.76
1.19

nominal size outer diameter inner diameter wall thickness

備考
Remark1.59

その他のサイズについてはご相談ください。
Please contact us for custom sizes.

3-3 バルフロン ベンダロンチューブ
VALFLON Corrugated Tubes
EXチューブを同心円状にコイル加工したチューブで最小曲げ半径、曲げ荷重が小さくコンパクトな配管設計が可能です。
Corrugated tubes are EX tubes with bellows-like shapes.
The bellows portion reduces the tube's bending radiusand load, allowing for smaller, more compact piping
designs.
バルフロン テープ
VALFLON Tapes❺

バルフロン 接着性テープ
VALFLON Cementable Tapes■最小曲げ半径Minimum Bending Radius Unit

単位：mm
呼び径

最小曲げ半径nominal diameter

minimum bending radius

6
8
10
1/4
3/8

8
11
13
10
18

■寸法表
呼び径
nominaldiameter

6
8
10
インチ
サイズ 1/4
Inch
3/8
size

ミリ
サイズ
Milli
size

（1）

Size Table
チューブ
外径

肉厚

d

t

tube outer tube wall
diameter thickness

6
8
10
6.35
9.53

1
1.19
1.59

単位：mm

unit

ベローズ
端部 ベローズ部 中間部
外径
直管長さ 長さ
直管長さ

全長

bellowsouterdiameterlength ofstraight
portion at
both ends

D

A

B

100

84
99
102
82
98

7.8
10.4
13.0
8.3
12.4

bellows
lengthlength ofstraight
portionbetweenbellows

total
length

C

L(m)

200

10

注（1） 中間部直管を切断して継手接続の場合は、ベローズ部端部より50mmは避けてください。
（＊ 印部分）備考
上記以外の寸法については別途ご相談ください。
Note（１） When cutting the tube for joint connections, leave at least 50mm of thestraight segment（＊ marked portion）.
RemarkPlease contact us for custom sizes.

❻

4 バルフロン ライニング製品 VALFLON Lined Products
4-1

配管部品

5 エラストマー
5-1 アーマーシリーズ

Pipes and Fittings
バルフロン配管部品は接液部を全てふっ素樹脂（PTFEまたはPFA）でライニングしたクリーンな耐薬品性配管ラインを実現します。弊社標準で様々なアセンブリー部品がご用意出

Elastomers

ARMOR Series
VALFLON PTFE or PFA Lined pipes and fittings offer ahigh level of chemical resistance for clean handling.
Various assemblies and parts are available.

来ますので、
ご相談ください。

アーマーシリーズは弊社独自のゴム変性改質技術により、純
粋性、非粘着性、及び耐プラズマ性などの機能を付与した製品です。
ARMOR series provides high purity, low adhesion, andhigh plasma resistance through our original rubber
modification method.
製品名

アーマークリスタル
ARMOR CRYSTAL

アルティックアーマーFULTIC ARMOR F

アーマークリスタル

PRODUCTS

アルティックアーマーF

ARMOR CRYSTAL

グレード、色Description & ColorULTIC ARMOR F

パーティクル対策グレード

パーティクル対策グレード（琥珀透明）（濃紺）

卓越した純粋性

卓越した純粋性

耐プラズマ性

耐クリーニングガス性Particle Contamination Prevention

Particle Contamination Prevention

Transparent Amber

特長

Features

Deep Blue

Excellent Purity

Excellent Purity

Resistance to Plasma

Resistance to Cleaning Gas

非粘着性（対金属及び石英）

Less-adhesive to Metal snd Quartz

耐プラズマ性Resistance to Plasma

主用途

CVD装置

CVD装置

ドライエッチング装置

ドライエッチング装置

パーティクルの発生が特に問題となるプラズマ処理装置のシール材

パーティクルの発生が特に問題となるプラズマ処理装置のシール材

CVD Equipment

Main Applications

CVD Equipment

Dry Etcher

推奨使用部位（例）Location

Dry Etcher

Seal for plasma equipment with extensive need for preventing particle contamination.

Seal for plasma equipment with extensive need for preventing particle contamination.

耐クリーニングガス性が必要なシール箇所
Seal for chemical resistance

最高連続使用温度（1）
（℃）

150

Max Continuous Operating Temperature

バルフロン 配管部品
VALFLON Lined Pipe

バルフロン フレキシブルホース
VALFLON Flexible Hose（with Wire Braid）（真空装置ゲート向け標準普及グレード） （石英非粘着グレード）

FLID ARMOR（フリッドアーマー）

SPOQ ARMOR（スポックアーマー）（パーティクル対策耐熱グレード）（アッシング装置向け耐O2プラズマグレード）Standard Grade for Vacuum Gate

Less Adhesion to Quartz

Particle and Heat ResistanceO2 Plasma Resistance for Ashing Equipment

製品名

フリッドアーマー

標準普及グレード

特殊低摩擦グレード

石英非粘着グレード

パーティクル対策耐熱グレード

（黒）

（黒）

（白）

（濃琥珀透明）

Deep Transparent Amber

（青）

純粋性

純粋性

純粋性

卓越した純粋性

非粘着性（対石英）

耐摩耗性

耐摩耗性

非粘着性（対石英）

耐プラズマ性

耐酸素プラズマ性

FLID

グレード、色Description & Color

Standard Grade
Black

特長

Features

PurityLow Friction

PurityMain Application

・搬送用ベルト
Carrier Belt

・真空装置ゲート部

Vacuum Equipment
Gate

推奨使用部位（例）Location Example

・ウェハへの汚染（接触痕、摩耗粉等）を嫌う
搬送用ベルトTransfer belt requiring
minimal wafer
contamination(contact marks,
abrasion particles, etc.)

最高連続使用温度（1）（℃）
Max Continuous Operating Temperature

200

Less Adhesion to Quartz

PurityResistance to Abrasion

非粘着性（対金属）

・真空装置ゲート部

Vacuum Equipment
Gate

ハイレックアーマー TM

SPOQ ARMOR

White

Less-adhesive to metal

主用途

スポックアーマー

FLID ARMOR

Black

Resistance to Abrasion

バルフロン PTFEベローズ
VALFLON Expansion Joint

HYREC ARMORTM（ハイレックアーマーTM） LABE ARMORTM（レイブアーマーTM）

フリッド

PRODUCTS

バルフロン PFAライニングボールバルブ
VALFLON PFA Lined Ball Valve200

Less-adhesive to Quartz

耐プラズマ性Resistance to plasma

Heat and Plasma Resistant

Excellent Purity

Resistance to plasma

耐熱性Less Adhesion to Quartz, Oxygen
Plasma ResistantBlue

Resistance to plasma

Resistance to Heat

・CVD装置・ドライエッチング装置

・ドライエッチング装置

Dry Etcher

LABE ARMORTM

石英非粘着・耐酸素プラズマグレード

Less-adhesive to Quartz

・CVD装置CVD Equipment

レイブアーマー TM

HYREC ARMORTM

CVD Equipment

・アッシング装置
Asher

Dry Etcher

・特に摩耗によるパーティ ・石英との固着が問題となるシール部 ・パーティクルの発生が特に問題となる ・石英との固着が問題となるシール部
Sealing area to eliminate quartz
Sealing area to eliminate quartz
プラズマ処理装置のシール材（2）クル発生が問題となる
adhesionadhesion
Seal for plasma equipment with extensive
真空装置ゲート部（2）・プラズマ処理装置のシール材
need for particle contamination prevention ・耐酸素プラズマ性が必要となる
Vacuum equipment
Seal for plasma Equipment
gates where abrasion
・耐熱性が必要なシール箇所
シール箇所（2）causes particles
・腐食性ガスを用いるCVD装置のシール材
Heat resistant seal locations
Seal for Oxygen plasma resistance
Seal for CVD Equipment using
corrosive gas

200

200

200

200

注
（1） 最高連続使用温度は、
あくまで目安であり、使用される装置環境により変化します。
Notes（1） Max temperatures are for reference only, and actual performance will depend on the equipment environment.
（2） エッチング・プラズマガスが原因で装置が使用できない場合は、弊社にご相談ください。
（2） Please contact us for any issues with seal use in certain etching or plasma gas environments.

❼❽

5 エラストマー

Elastomers

5-2 フローリッツシリーズ

5-4 ビクトラ-ER

FLUORITZ Series

VICTRA-ER
Our FLUORITZ Perfluoroelastomer（FFKM）series has
excellent chemical stability. It is resistant to a wide rangeof chemicals and can seal at elevated temperatures.

パーフロロエラストマー（FFKM）であるフローリッツは化学的安定性に優れていることから、広範囲の極めて優れた耐薬品性を有し、更に高温下の使用においても優れたシール性を

VICTRA-ERはふっ素ゴムなどのエラストマーとPTFEを組み合わせることで、高いシール性と卓越した耐ラジカル性を兼ね備えた製品です。

VICTRA-ER combines an elastomer such as FKM withPTFE to achieve both high sealing performance andexcellent radical resistance.

発揮いたします。

製品名

Product

グレード

FLUORITZ-SB

FLUORITZ-TR

標準

耐クラック

FLUORITZ-HS

耐熱Standard

Crack ResistanceHeat Resistance

色

黒

濃褐色

黒

Color
Max Continuous Operating Temperature

硬度（ショアA）Black

Deep Brown

Black

200

260

300

77

72

77

100％モジュラス（MPa）

8.1

3.1

9.3

引張強度（MPa）

17.9

11.1

20.0

伸び（%）

Elongation

160

160

160

圧縮永久ひずみ率（%） 200℃×72hrs

44

5

10

特長

極めて優れた
耐薬品性

耐クラック性

極めて優れた耐熱性

Hardness (Shore A)
100% Modulus

Tensile Strength

Compression Set

Features

備考
RemarkExcellent Chemical
ResistanceExcellent Heat Resistance

Crack Resistance

低圧縮ひずみ性

純粋性

Low Compression Set

Purity

表中数値は測定値であり、規格値ではありません。
Values are measurements and not speciﬁcations.

特長

主用途

Seal Material

Main Usage

D2570＋PTFE

ドライエッチング装置

Features
Radical Resistance

CVD装置

Heat Resistance

NW継ぎ手

フローリッツHS

Grade

最高連続使用温度（℃）

フローリッツ-SB FLUORITZ-SB

シール材質

フローリッツの物理特性
FLUORITZ Series
フローリッツ-SB
フローリッツ-TR

NW Joints

耐ラジカル性Dry Etcher

耐熱性

CVD Equipment

NW継ぎ手
J27＋PTFENW Joints

耐ラジカル性Dry Etcher

純粋性

ドライエッチング装置
CVD装置

CVD Equipment

Radical ResistancePurity【コンセプト】 Concept
FFKM
良耐プラズマ性Plasma Resistance

Good

シール性

良

Seal Capability

Good

FKM
劣

Poor

PTFE
優

Excellent

優劣Excellent

Poor

PTFE
（耐ラジカル機能）

VICTRA-ER
優

Excellent

優Excellent

フローリッツ-TR FLUORITZ-TR

FKM（シール機能）

PTFE（Radical Resistance）

FKM（Sealing）【一般特性】 右記断面例のうち、FKM部に関してのデータ

Property Data for FKM Portion

5-3 バルカーボンデッドゲートシール〜高機能トランスファーゲートバルブ
VALQUA Bonded Gate Seal-High Performance Transfer Gate Valve
バルカーボンデッドゲートシールは、究極のゲートバルブシール材としての専用設計により、メタルタッチ防止・固着による脱落防止・転動を防止し、耐久性とメンテナンス性の向上を実現しました。また、充填材などを極力使用しない配合により高い純粋性を有しております。

VALQUA Bonded Gate Seals provide excellent performancethrough its original design. The design prevents metal tometal contact, dropout from adhesion, and rolling,
improving durability and ease of maintenance. High purity
is also maintained due to minimal use of filler materials.

■特長及び用途
シール材質

Seal Material

Feature and Application

シール材色
Seal Color

主用途

硬さ

引張強度

D2570＋PTFE

72

J27＋PTFE

64

シール材質

Seal Material

伸び100%モジュラス

圧縮永久ひずみ（1）

13.6

230

3.2

12

13.9

240

2.5

25

Hardness Tensile Strength（Shore A）（MPa）

Elongation（%）

100％ Modulus
（MPa）

注（1）
試験条件：200℃、圧縮率=25％、試験時間=72h
Note（1） Temperature: 200 deg C, Compression Ratio: 25%, Test Time: 72h
備考
表中の数値はすべて実測値であり、規格値ではありません。
Remark All values on the table are measured values and not standard values.

Compression Set
（％）

断面図

Cross Section Example

特長

Main Usage

Features

動的シールに適したFFKM材料

フローリッツ-T20
FLUORITZ-T20

黒

Black

PE-CVD・LP-CVD
プロセスチャンバー
Process Chamber

FFKM Material Selection for Dynamic Seal

純粋性High Purity

耐ラジカル性High Radical Property

耐熱性Heat Resistance

フリッド
FLID

❾

黒

Black

PVD搬送系

PVD Transfer

ロードロックLoad Lock

耐摩耗性

Abrasion Resistance

ゲートプレート金属とチャンバー金属の接触防止
No Metal to Metal Contact

金属への非粘着性

Less-adhesive to Metal❿

5 エラストマー

Elastomers

5-5 シリコーンゴム（VMQ）

バルフロンコードシール〈ソフト〉は、マシュマロ状のPTFEシ
付力で使用出来ます。

The following Silicone materials are examples of VALQUA's
compounding techniques for characteristics useful for
semiconductor manufacturing.
途

材 料 記 号

Applications
Heat and Cold Resistant

白色Compound No.

■断面図

E0170

■断面図

E0870

White Colored

Cross Section

Standard Size

（目安）

厚さ（mm）

幅（mm） Thickness 長さ（m）

5-6 ふっ素ゴム（FKM）
Fluoro-Rubbers
弊社のゴム配合技術により、例えば以下の種類があります。

用

途

真空用、一般用D0270、D2770

白

D9270

for Common and Vaccum

色White Colored

静電防止・帯電防止

D2270

耐酸用

D2470

Static Protective
for Acid

30
15
8
5
5
5

HUVc Rubber

放出ガス量 （Pa・m3/s・m2）
Outgassing Amount

真空用です。断面形状は角型、甲丸などがあります。

40
20
10
7

5
5

Length5

VALFLON Soft Sheet
VALFLON Soft Sheet layers unsintered PTFE films into alaminated sheet material for a flexible sealing material.

1 : High chemical resistance and purity.
2 : Soft and flexible for sealing at low tightening force.
3 : On-site cutting is easy with scissors or knives.
バルカー

区

分

Product
VALQUA Part Number

Shapes

7GP61

シート

7GP66

ガスケット

Sheet

呼び厚さ

大きさ

Thickness

0.5 1.0 1.5
2.0 3.0

GasketSize

1500×1500
打抜品最大外径：1450

Maximum Diameter

VALFLON Envelope Gasket-Outer Edge Welded TypeバルフロンPTFEジャケットで、中芯を完全に被覆し、外周を融着したガスケットです。

1×10−3①中芯が外部に露出していないため、環境、流体を汚染しない。
②外部から純水などがかかっても中芯材が濡れることが無いため、洗浄が容易に行えガスケット
自体へのダメージもない。

1×10−4
1×10−5
1×10−6102030

時 間 （h）
time （h）

40

50

Inner core sheet is completely enveloped with PTFE
envelope and its outer edge is sealed with welding.

〔特長〕

FKM
HUVcラバー
HUVc Rubber

HUVcラバーOリングの放出ガス量経時変化
Outgassing Over Time for HUVc Rubber O-Ring

⓫

2
4
6
8
10
12

15

6-3 バルフロン ジャケットガスケット − 外周融着形 −（ODSタイプ）
A fluoro-rubber O-Ring is treated in a vacuum chamber for
degassing. This greatly reduces hydrocarbon outgassing,suitable for ultra high vacuum applications. Round andsquare shaped cross sections are available.

1×10

0

3

長さ（m）

Thickness

Characteristics,−2

1×10−72

太さ（mm）①耐薬品性に優れクリーン度の高い要求にも安心して使用出来る。
②ソフトで柔軟性に富み、低締付力でシール出来る。
③現場での加工がハサミ、ナイフなどで簡単に行える。

5-7 HUVc ラバー
たものです。炭化水素系など放出ガスを著しく減少させた超1

Length

〔特長〕

■寸法
Size

ふっ素ゴムを断面O形のリング状に成形し、真空脱ガス処理し

20
30
50
20
30
50
20
30
50

わせた柔軟なシート状のシール材料です。

材 料 記 号

D0675（D0970）

LengthWidth

バルフロンソフトシートは、未焼成のPTFEフィルムを重ね合Compound No.

耐熱水用

for Hot Water

1.5
3.0
4.0
5.0
6.0
6.0

Standard Size

6-2 バルフロン ソフトシート

The following Fluoro-Rubber materials are examples of
VALQUA's compounding techniques for characteristics
useful for semiconductor manufacturing.
Applications

（目安）

3
6
9
12
16
20

Cross Section

標準寸法（mm） 長さ（m）
Thickness 幅

標準寸法

■断面図

厚さ（mm）

Standard Size
Width

Cross Section

標準寸法

VALFLON Cord Seal <Soft>The VALFLON Cord Seal is a uniquely soft and tough
PTFE sealing material. It conforms nicely to the sealing
face and can be used under low tightening forces.

ール材です。ソフトで強靱なためシール面によくなじみ、低締

弊社のゴム配合技術により、例えば以下の種類があります。

耐熱耐寒用

Gaskets

6-1 バルフロン コードシール〈ソフト〉

Silicone Rubbers

用

6 ガスケット

融接着

Characteristics,
1 : Core is not exposed to the environment
or media, reducing risk of contamination.
2 : PTFE envelope protects the core fromliquids, for easier cleaning without
damaging the gasket.

ご注文の際は製品番号の末尾に-ODSをつけてください。
In case order, please put "-ODS" at the end of part number .
Example VALQUA No.(N)7030FLSS-ODS⓬

6 ガスケット

Gaskets

6-4 メタル中空Oリング

Metal Hollow O-ring

メタル中空Oリングは金属管を円形や所定の形状に曲げ加工

Metal tubes are bent into the required shape, then bothends are welded together and polished. Various surface
coatings are available.

し、両端を接合仕上げしたガスケットです。表面被覆処理も出
来ます。
（締付前）
before tightening■材料

Materials
材

料

サービス温度（℃）

Materials（SUS304）
ステンレス鋼（SUS316）（1）

管材質

Service Temperature Range−250〜540−250〜820−250〜820−250〜870

O-ring Material Stainless Steel＊（SUS316L）（SUS321）被覆

バルフロン コーティング
金メッキ

材質

Au Plating

ニッケルメッキ

Material（締付後）
after tightening−200〜260−250〜850−250〜760

VALFLON Coating

Coating

Ni Plating

注（1）
その他の材質もあります。
＊ 管径φ0.9 のみ対応、その他はご相談ください。
Note（1） other materials are available.

■材料

Performance and Manufacturing Limitations

基本形、肉厚 0.5t

Base Design 0.5mm Thickness

φ0.9、
φ1.6、
φ2.4、
φ3.2、
φ4.8、
φ6.4

内

径

φ6.35〜φ2,500

詳細は、カタログをご覧ください。
Please refer to the catalogue for details.

TRYPACK metal gaskets use a coil spring for elasticity,
covered in one or two metal layers. It can be used in ultrahigh vacuum across a wide range of temperatures whererubber and metal hollow O-rings might not be suitable.

ミニウムや被覆したOリング状金属ガスケットです。特に、ゴム
や、メタル中空Oリングでは問題を生じる超高真空領域でも幅広い温度領域で使用で出来ます。
■構成金属材料

標準外材料としては、下表のものも製作いたします。

Outer Layer（Aluminum A1050P）

コイルスプリング（ステンレス鋼 SUS304-WPB）
Coil Spring（Stainless Steel SUS304-WPB）

No. 3645
一重被覆品

Single Layer
TRYPACK

外被 Outer Layer

ステンレス鋼、ニッケル Stainless Steel, Nickel

内被 Inner Layer

インコネル

Inconel

コイルスプリング Coil Spring インコネル

Inconel■性能及び製作範囲
外被（アルミニウム A1050P）
Performance and Manufacturing Limitations
Outer Layer（Aluminum A1050P）

コイルスプリング（ステンレス鋼 SUS304-WPB）

圧

力

温

度

No. 3645LS
二重被覆品

Temperature

内被（ステンレス鋼 SUS304）

Ultra High Vacuum〜6.86MPa−270〜250℃

管径
（φd）

φ1.7、
φ2.6、
φ3.8、
φ5.6、
φ8.0、
φ10.0

内径
（φd）

φ5〜φ3,000

Thickness of O-ring

外被（アルミニウム A1050P）
Outer Layer（Aluminum A1050P）

超高真空〜6.86MPa

Pressure

Coil Spring（Stainless Steel SUS304-WPB）

Double Layer
TRYPACK

Materials and Structure

外被（アルミニウム A1050P） Non-standard materials that are available are as shown below.
Inner Layer（Stainless Steel SUS304）

Inner diameter of O-ring

備考
コイルスプリング（ステンレス鋼 SUS304-WPB） Remark
Inner Layer（Stainless Steel SUS304）

Coil Spring（Stainless Steel SUS304-WPB）

The metal welded bellows are developed using ourstructural analysis technology for long-term use. To lower
cost, the number of crests can be reduced by 40%
compared to the conventional bellows.

7-2 ダイナミックベローズ Vシリーズ

内径及び外径を溶接加工した金属溶接ベローズです。
Thin, metal plates are formed into rings with S-type or
Y-type cross sections, then welded at the inner and outer
diameter to form a bellows.

TRYPACK

内被（ステンレス鋼 SUS304）

ことが出来るため、低コストでの対応が可能です。

各種金属の薄板を断面がS型・Y型などのリング状に成形後、径トライパックはコイルスプリングを弾性要素とし、これにアルDouble Layer
TRYPACK

構造解析技術を駆使して開発した、長寿命対応の金属溶接ベローズです。従来のタイプと比較して、山数を約40％減らす

DYNAMICBELLOWSTM V Series

Inner Diameter of O-Ring

No. 3645
二重被覆品

DYNAMICBELLOWSTM M Series

超高真空〜6.86MPa

管

6-5 トライパック

7-1 ダイナミックベローズ Mシリーズ

Ultra High Vacuum〜6.86MPa

Thickness of O-Ring

備考
Remark7 ベローズ・その他製品 Bellows and Other Products

7-3 クリーンボルト
Clean Bolt
ステンレス鋼製六角穴ボルトに特殊化学研磨処理を施し、表面をクリーンに仕上げたボルトです。
Stainless steel bolts with a special chemical polishingtreatment for a clean surface finish.
〈特長〉

High Purity Oxygen-Free Copper Gasket ( for Bakeable Flange )弊社の無酸素銅はASTM F ６８ のCLASS1をクリアーする素材である。図に従来の無酸素銅とガスケットは平形の単純な形状であり、フランジ形
状にその特長がある。図に使用状態の構造を示す。 CLASS１の放出ガス分析例を示す。

7-4 スライドシャフト（磁気結合型移動回転用移送機器）
Sliding Shaft ( magnetically connected sliding and rotational movement transfer unit )■構造

Structure
The gasket is a flat, simple shape. The flange
structure is characteristic and is shown withthe gasket below.

VALQUA’s Oxygen Free Copper material satisfies
ASTM F68 Class 1 requirements. The figure below
compares outgassing characteristics of conventional
Oxygen Free Copper to that of a Class 1 material.

■ベーカブルフランジ使用状態図
Gasket Set Between Bakeable Flanges

１００

ガス放出率

Outgassing Ratio

５０⓭

ベーカブルフランジ
Bakeable Flange

例えば真空槽内の試料室に槽外から移動及び回転の運動を伝達します。
Sliding and rotational movement is transferred to a sample
in the vacuum chamber from outside.

全ガス

All Gases

〈特長〉

従来品

● 作動がスムース（シャフト部にリニアベアリング使用）● メンテナンスフリー（強力マグネット駆動）● 溶接接続構造● ストロークが長い（２００、
４００、
６００、
８００）

Conventional
Material

１０５Characteristics

CLASS1

Gasket-No oil, particles on surface-Low out-gassing-Smooth surface-Less particle generation from abrasion-Discourages thread biting

詳細は、カタログをご覧ください。
Please refer to the catalogue for details.

6-6 高純度無酸素銅ガスケット（ベーカブルフランジ用）

ガスケット

Characteristics● 油脂・塵埃などが付着していない● 放出ガスが少ない● 表面粗さが小さい● 摩耗粉が発生しにくい● カジリにくい１
加熱温度（℃） ３００ ４００ ５００
Heating Temperature（℃）-Smooth motion（linear bearings for shaft）-Maintenance free（strong magnetic drive）-Welded assembly-Long stroke（200, 400, 600, 800）

⓮

8

9

ふっ素樹脂の特性比較表

Characteristics Data of Fluorocarbon Plastics

性質

Properties
比重Speciﬁc Gravity

融点Melting Temperature

単

位

Unit

AS.T.M.
試験法

Test Method

D792
℃

−

PTFE

PFA

FEP

2.14-2.20 2.12-2.17 2.12-2.17
327

310

275

ETFE

CTFE

1.7

2.1-2.2

270

220

Engineering Plastics Property Comparison
AS.T.M.
試験法

PP

PC

PBT

PEI

PEEK

PPS

D792

0.92〜0.94

1.2

1.30〜1.38

1.27

1.3

1.35

℃

−

167〜170225

225

350〜370335285

線膨張係数 Linear Coeﬃcient of Thermal Expansion

10−5/ ℃

D696

8〜10

6.8

6.0〜9.5

熱伝導度

Thermal Conductivity

10−4cal/cm・s℃

C177

2.8

4.7

4.2〜6.9

1.6

6.0

6.9

屈折率

Index of Refraction

ND

D542

1.49

1.59

−

−

−

−

吸水率

Coeﬃcient of Water Absorption

％
（24h）

D570

＜0.01

0.15

0.08〜0.09

0.25

0.1〜0.14

0.01〜0.1

性

PVDF

1.68-1.69 1.75-1.78
245

166

−

8.5

質

単

Properties
比重Speciﬁc Gravity

融点Melting Temperature

位

Unit

Test Method

4〜4.7
4.7〜5.6 （＜150℃）

4.9

10−5/ ℃

熱伝導度

Thermal Conductivity

10−4cal/cm・s℃

C177

6.0

6.0

6.0

5.7

4.7-5.3

3.8

4.5-5.8

屈折率

Index of Refraction

ND

D542

1.35

1.35

1.34

1.40

−

−

1.42

吸水率

Coeﬃcient of Water Absorption

％
（24h）

D570

＜0.01

0.03

＜0.01

0.03

−

0.01

0.04-0.06

耐熱温度

Maximum Temperature (Continuous)

−

260

260

205

180

180

150

135

熱変形温度 Heat Deﬂection Temperature℃（1.8Mpa負荷）

D648

64

121〜13250〜85

197〜200160

105〜135

引張強さ

Tensile Strength

MPa

D638

14-35

28-30

19-22

46

32-42

49

39-52

引張強さ

Tensile Strength

MPa

D638

31〜41

64〜66

57

96

71〜10366〜80

伸 び

Elongation

%

D638

200-400300

250-330

100-400

80-250200-300

25-500

伸 び

Elongation

%

D638

300〜750

110〜12050-30060

30〜1501.0〜3.0

圧縮強さ

Compressive Strength

MPa

D695

12

−

16

50

32-52

−

61-70

圧縮強さ

Compressive Strength

MPa

D695

−

69〜86

59-100

140

124

110

曲げ強さ

Bending Strength

MPa

D790

−

−

−

39

52-65

49

61-77

曲げ強さ

Bending Strength

MPa

D790

−

93

82-115

152

110

96

曲げ弾性率 Flexural Modulus

GPa

D790

0.55

0.82

0.55-0.65

1.37

−

1.65

1.37

GPa
（22.8℃）

D790

1.2〜1.7

2.3

2.3〜2.7

3.3

3.7

3.8

kgf・cm/cm

D256

16.3

no breakno breakno breakkgf・cm/cm

D256

no break

破壊せず

65.3〜87.1

38-5.4

5.4〜6.5

8.7

2.7

ロックウェル

D785

−

−

−

R50

ロックウェル

D785

R80〜102

R120

R118

デュロメーター

Durometer

D1706

−

−

−

−

−

−

Ω-cm

D257

1015

1016

1015〜1016

1017

1016

1016

絶縁破壊強さ Dielectric Breakdown Strength（1/8in厚さ）（1/8 inch thickness）
kV/mm

D149

24〜30

15〜16

17〜22

19

−

15

誘電率

Dielectric Constant

106Hz

D150

2.6〜3.2

2.9

3.1〜3.3

3.5−

3.8〜5.5

誘電正接Dielectric Loss Tangent

106Hz

D150

0.35〜0.38

0.4〜9.02〜26

1.3〜2.0−

1.2〜3.0S

D495

10〜135

10〜12075〜19285〜128−34〜200

濃硫酸に溶解する

熱 硝 酸に侵される

Hardness

Rockwell

破壊せず

破壊せず

破壊せず

破壊せず

13.6-14.7 no break 19.6-21.8
R75-95

R95

D60-65

D75

−

−

D80

動摩擦係数 Kinetic Coeﬃcient of Friction（7kgf/cm2）（3m/min）

−

0.10

0.2

0.3

0.4

0.37

−

0.39

体積抵抗率 Speciﬁc Volume Resistivity

Ω-cm

D257

＞1018

＞1018

＞1018

＞1016

1.2×1018−

2.0×1014

Ω

D257

＞1016

＞1016

＞1016

5×1014−−−絶縁破壊強さ Dielectric Breakdown Strength（1/8in厚さ）（1/8 inch thickness）
kV/mm

D149

19.2

20

20-24

16

20-24

19.6

10.4

誘電率

Dielectric Constant（60Hz）（106Hz）

D150

＜2.1
＜2.1

＜2.1
＜2.1

2.1
2.1

2.6
2.6

2.24〜2.8
2.3 〜 2.5

−

8.4
6.43

誘電正接

Dielectric Loss Tangent（60Hz）（106Hz）

D150＜0.0002＜0.0002＜0.0002＜0.0003＜0.0002＜0.0005

0.00060.00120.005 0.009〜0.017

−

0.049
0.17

S

D495

＞300

＞300

＞300

電気的性質

Electrical Properties

耐薬品性

ChemicalResistance

溶融アルカリ金属、アルカリ金属の液体、アンモニア溶液、アルカリ金属の特殊な有機化合物、及び高温、高圧下のふっ酸以外はすべての薬品に対し不活性
Inert to all chemicals except molten alkali
metals, liquid alkali metals, ammonia
complexes, certain alkali metal - organic
compounds, and high temperature, highpressure hydroﬂuoric acid.

75

＞360

−

ハロゲン化 芳香族・エス
炭化水素に テル・ハロゲ
やや膨潤
ン化炭化水
Slight swell- 素に膨潤

芳香族・エステル・ハロゲン化炭化水素にやや膨
ing with halo- Swelling with 潤
g e n a t e d aromatics,
h y d r o c a r - esters, andbons.
halogenatedhydrocarbons.

S l i g h tswelling witharomatics,
e s t e r s ,halogenatedhydrocarbons.

Impact Strength

50〜70
極性溶媒に
溶解発煙硫
酸高温のア
ルカリに崩
壊
Decomposeswith polar
solvents,
oleum, andhigh temperature alkali
solutions.

Hardness

体積抵抗率 Speciﬁc Volume Resistivity

電気的性質

D64

Electrical Properties

D50-55

耐アーク性 Arc Resistance

衝撃強さ

かたさ

D1706

表面抵抗率 Suface Resistivity

曲げ弾性率 Flexural Modulus−

デュロメーター

Durometer

機械的性質

かたさ

Impact Strength

Mechanical Properties

衝撃強さ

物理的・熱的性質

機械的性質

Mechanical Properties

線膨張係数 Linear Coeﬃcient of Thermal Expansion

Physical Properties

物理的・熱的性質

Physical Properties

8.3〜10.5 9〜9.3
9.912
4.5〜7.0
D696 （23〜66℃）（21〜100℃）（−73〜71℃）（20〜90℃）

ECTFE

各種エンジニアリングプラスティックスの特性比較表

Rockwell

耐アーク性 Arc Resistance

酸 化 性 酸 に 酸、アルカリ 酸 、アルカリ メチレンクロ
侵されるに侵される。 に侵される。 ライド、
トリク
A t t a c k e d b y 芳 香 族 及 び 極 性 溶 剤 に ロロエチレン
oxidizing acid.
塩 素 炭 化 水 膨潤等の極性溶
C o r r o s i v e t o 媒に侵される
素に溶解

耐薬品性

Corrosive
reactions withacids and alkali
solutions.Soluble
to aromaticcompounds andchlorinatedhydrocarbons.

ChemicalResistance

備考
参考文献 Modern Plastics Encyclopedia 1981/1982
Remark Reference: Modern Plastics Encyclopedia 1981/1982

M109〜110 M98〜108

acids andalkali solutions.
Swells with
exposure topolar solvent.

S o l u b l e inconcentrated
sulfuric acid.

R123

Attacked by
hot nitric acid.

Corrosive reactions to methylene chloride, trichloroethylene, andother polar
solvents.

その他

備考
参考文献 Modern Plastics Encyclopedia 1981/1982 三井フロロケミカル（株）技術資料その他
Remark Above table is based on Modern Plastics Encyclopedia 1981/1982, Dupon't-Mitsui Fluoro chemicals Co.,Ltd.

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MEMO

⓱

MEMO

⓲

２０１８．
２ 改訂

CATALOGUE No.EC06

For Semiconductor
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