デジタルマイクロスコープ

DSX1000「スピード」と「精度」、解析のすべて

未知のサンプルや不具合を解析する際に発生するトライ&エラーの時間を削減することで、解析業務スピードの飛躍的な向上を実現
測定のトレーサビリティも備えた、デジタルマイクロスコープDSX1000誕生解析業務の操作フロー

あたりづけ

詳細解析

マクロからミクロまで、マルチ対応力
解析業務を広くサポート

レンズラインアップ
デジタルマイクロスコープ

DSX1000

作業時間の大幅削減▶

5 – 10▶

さまざまな角度から観察可能

フリーアングル観察システム▶

ワンタッチで簡単操作

レンズと観察方法の瞬間切替▶

11 – 16

瞬時に欠陥を見つけ出す、マルチアプローチ

微細な欠陥も逃がさない

多彩な観察方法

全倍率での測定精度保証
高精度測定が可能

テレセントリック光学系▶

エビデンスとして活用可能

17 – 20▶

正確さと繰り返し性のダブル保証

12

解析のワークフローを大きく革新、観察・解析にかかる時間とワークスペースを大幅に削減

実体顕微鏡

DSX1000
デジタルマイクロスコープ

光学顕微鏡

従来のデジタルマイクロスコープと光学顕微鏡を併用しているケース
レンズ交換の度に場所探しが大変

照明変更多くの作業時間を要してしまう。

従来のデジタルマイクロスコープを2台並べて使用しているケース（低倍率用・高倍率用）
あたりづと詳細解析で機器を使い分けるのが手間

観察切替はワンクリック

作動距離は気にしない

撮影

作動距離が短くて観察できない欠陥をすばやく見つけられる

詳細解析

あたりづけと詳細解析で装置の使い分けが必要であり、合わせ観察ユニットの装着が手間

あたりづけ

ピ ント

合わせ

DSX1000なら、あたりづけと詳細解析が１台でサンプル設置

ピ ント

使い方が難しい

場所探し

倍率UP

照明変更

レンズの交換が手間

倍 率UP

解像度が不足している

照明アダプターの装着が手間

場所探し

場所探し

照明変更

倍率UP

レンズは瞬間交換

業界最高クラスの解像度

レンズごとに照明方法が異なり脱着が大変

用途別レンズ

解像度が不足している

ピ ント
3

合わせ

各操作は直感的かつスピーディに行えるため、トータル作業時間を飛躍的に短縮することが可能。
観察・解析者は、複雑な操作によるストレスからも解放されます。

4

マクロからミクロまで、マルチ対応力
マルチな対応力で、さまざまな困難を解決します
これまでは・
・・サンプルや観察目的によって、観察装置の使い分けが必要でした
現象を見極めるための「あたりづけ」にはサンプルまでの作動距離が長いデジタルマイクロスコープ、詳細解析には高解像の光学顕微鏡。それぞれの特長を理解したうえでの使い分けが必要でした。
斜め観察
±90°

DSX1000

従来のデジタルマイクロスコープ

光学顕微鏡

メ リ ット：作動距離が長い

メ リ ット：解像度が高い

焦点深度が深い

観察方法が豊富

デメリット：解像度の不足

デメリット：作動距離が短い

レンズ交換の手間

DSX1000なら操作が難しい

業界最高クラスの解像度●●

作動距離が長い●

焦点深度が深い

レンズは瞬間交換●

1台で「あたりづけ」から「詳細解析」まで対応。

作動距離
最大66 ｍｍ

これまでは・
・・デジタルマイクロスコープでは解像度が足りず、微細な欠陥を捉えることは困難でした
凹凸が大きいサンプルを観察する際、サンプルとレンズの距離を確保できるデジ電動ステージ±90°

従来のデジタルマイクロスコープ

DSX1000

タルマイクロスコープは有効でした。一方、倍率を上げても解像度の不足により詳細を把握できないケーズもありました。

20～7000倍

DSX1000ならオリンパス独自の光学技術により、高解像度観察を実現し、多彩なサンプルを解析可能。

観察倍率

これまでは・・・光学顕微鏡では、凹凸の大きなサンプルの観察が困難でした
凹凸が多いサンプルを光学顕微鏡で詳細観察すると、サンプルとレンズの距離が近くなるため作業が困難でした。

対物レンズとサンプルが衝突してしまうため、観察できない。

DSX1000なら5長作動距離と高解像の両立により、従来諦めていたサンプルも観察可能。
6

マルチに対応するための多彩なレンズラインアップ
倍率のラインアップはもちろん、超長作動距離レンズや高性能・高NA・高解像度対物レンズなど、17種類のレンズをご用意。
「見たい画像」に多彩かつ幅広く対応します。
サンプルの全体像を把握する 焦点深度が深い、超長作動距離対物レンズ
最大66.1 mmの作動距離と、深い焦点深度を実現。凹凸が大きいサンプルでもレンズとの干渉を気にすることなく高品質な観察が可能になります。

SXLOB シリーズ

レンズの詳細ページ→ P27、P28

圧倒的な観えを実現する

高解像度と長い作動距離を両立 高解像度・長作動距離対物レンズ

20倍～7000倍のワイドな観察倍率

明瞭で歪みが少なく、色再現性に優れた画像を提供します。高解像度と長作動距離の両立により、従来諦めていた自動車部品や機械加工部品などの凹凸が大きいサンプルの詳細観察が可能になります。

解析に必要な機器の選択が不要となり、すぐに観察・解析がスタートできます。
しかも、従来のデジタルマイクロスコープや光学顕微鏡では不可能だった観察領域も、簡単に観察・解析可能です。

20X

100X

500X

XLOB シリーズ

最高NA0.95を実現 高性能・高NA・高解像度対物レンズ

光学顕微鏡で使用する色収差を極めて高いレベルで補正した対物レンズを搭載。卓越した光学技術により、金属組織などの詳細解析の場面で、依頼先や解析者が納得する、ありのままの観えを提供します。

7000X
74000X

2000X

UIS2 シリーズ

8サンプルの全体像を把握する

傾斜、回転情報を認識する 角度センサー

フリーアングル観察システム

チルトフレームの傾斜角度や XY 電動ステージの回転角度を検傾斜角度センサー知するセンサーを内蔵。傾斜角度センサーにより、あらかじめ設斜め観察（±90°）定された角度に傾けるとアラームにより、衝突を未然に防ぎます。さらに、回転角度センサーにより、ステージが回転した状態ヘッドを傾けても視野がずれることのないユーセントリック設でXY 移動をさせても、モニター上の XY 方向に合わせて移動す計。 従来の光学顕微鏡による観察とは異なり、サンプルを傾けるので、スピーディーに位置調整や観察が可能です。

ることなくさまざまな現象や欠陥をスピーディに捉えることが可能です。

傾斜角度 : 45°

回転させたままステージ移動も可能

右90°

右45°

0°

左45°

左90°

マクロマップ機能）
回転観察（±90°
ステージを±90 °回転させて観察が可能。斜め観察と組み合わせることで、さまざまな角度からサンプルを観察できます。

ズームや倍率を上げて視野が狭くなっても、観察場所を常に表示できるため、観察箇所を見失うことはありません。
観察場所を常に表示する「マクロマップ」

コンソール操作右45°右45°/左回転45°

右45°/右回転45°

左45°/左回転45°

右45°/左回転45°左45°

ジョイスティックでXY方向、斜め方向にステージを移動できます9

微動ハンドルでズームヘッドを上下へ移動

10瞬時に欠陥を見つけ出す、マルチアプローチ
瞬間アプローチにより、作業時間の大幅短縮を実現します
スライド式ノーズピース

ワンタッチ
交換

これまでは・・・レンズごとの観察方法の制約や交換作業により、重大な欠陥を見落としたり、見つけるまでに多くの時間が必要でした
従来のデジタルマイクロスコープは、観察方法を変えるためにレンズを交換する必要がありました。また、その度にカメラやケーブルなどの脱着作業も必要となり、時間がかかったり、微細な欠陥を見失ってしまうなどの課題がありました。

従来のデジタルマイクロスコープの観察方法の制約
観察方法A

多彩な観察方法

瞬間電動切換

観察方法B

観察方法C

レンズ A

不可

不可可能

レンズ B

不可

不可可

能

レンズ C可能

条件付き可能 条件付き可能

レンズユニットの交換作業

これまでは・・・観察方法の切り替えの操作や設定が複雑で使いこなせないケースがありました
光学顕微鏡には、さまざまな観察方法が搭載されていますが、使い方を知らないと、各種光学ユニットの操作や設定が難しいという課題がありました。

コンソール

簡単操作

DSX1000なら11レンズはワンタッチ交換可能、しかもすべてのレンズで6つの観察方法をワンプッシュで切り替えることができるため、欠陥の見逃しを防ぎ、微細な欠陥も瞬時に捉えます。

12

マクロからミクロ領域まで 倍率を簡単に、素早く切り替え

簡単操作でサンプルに適した観察 観察方法や照明方法の瞬間切り替え

従来のデジタルマイクロスコープは、倍率を変えようとするとレンズ交換の際に、都度、カメラやケーブルの脱着作業も必要でした。さ従来のデジタルマイクロスコープは、レンズごとに照明方法の制限がありました。

らに、作業中に観察対象を見失うことが多く、観察・分析時間の増加に繋がっていました。

また、光学顕微鏡は、異なる観察方法を試すためには複数のユニットが必要であり、切り替えに手間と時間がかかりました。

DSX1000は、従来のデジタルマイクロスコープのマクロ領域の倍率から、光学顕微鏡のミクロ領域の倍率まで、簡単に、スピーディに切り替え可能。観察対象を見失いません。

観察方法切り替えボタンを押すだけで、観察方法を瞬時に切り替え

スライド式ノーズピースによる瞬間切り替え
最大2本の対物レンズをヘッドに同時装着可能。対物レンズをス前レンズライドさせるだけの簡単操作で、瞬時に倍率切り替え可能です。

後レンズ
BF（明視野）レンズアタッチメントによる瞬間切り替え

偏射DF（暗視野）

MIX（BF＋DF）

PO（偏光）

DIC（微分干渉）

対物レンズを瞬間的に交換可能なため、サンプルが変わっても、対物レンズの選定を誤っても、解析に適した倍率の対物レンズをスピーディに選択できます。また、レンズアタッチメントにはマグネットセンサーを内蔵。倍率や視野情報も自動的に連動します。

前後へ移動
観察の途中でも、ソフトを一時終了することなく取り替え可能「照明制御つまみ」を回すだけで照明の調整が可能* 観察方法によって照明の調整内容は異なります。

レンズアタッチメントのワンタッチ交換
ワンクリックで切り替える コンソール
スピーディーかつスムーズな解析業務を可能にする多機能型コンソールを標準搭載。2D/3D撮影やXYZステージの移動などもワン電動光学ズームによる瞬間切り替え

クリック。現象の解明に費やす時間の飛躍的な短縮だけではなく、欠陥の早期発見や見落とし予防にも大きく貢献します。

コンソールのジョグダイヤルを回すだけで光学ズームを制御可

DSX1000は、すべての観察方法を電動光学ズームヘッド内に設計しているため、画面上、コンソールを押すだけで時間をかけること能。従来の顕微鏡とは異なり、DSX1000ではヘッドにズーム光なく、容易に解析業務が行えます。

学系を搭載しているため、1本の対物レンズで幅広い倍率レンジをカバーできます。また、フル電動のため、従来のデジタルマイXYステージ調整つまみ

照明制御つまみ

微動ダイヤル（Z方向調整）

クロスコープのような手動による倍率設定も不要で、測定ミスもなくなります。

ジョグダイヤル

各種機能ボタン2D/3D撮影、貼り合わせ、1本のレンズで最大10倍ズーム比

13

画像改善機能など

観察方法切り替えボタン

明るさ調整つまみ

14観察・分析対象を見逃さない

ギラツキを簡単除去

MIX（BF+DF）

ヘッド内蔵観察機能
さまざまなサンプルに対応するため、BF（明視野）/偏射/DF（暗視野）/MIX（ BF+DF ）/PO（簡易偏光）/DIC（微分干渉）/コント
ラストUP の観察機能を搭載しています。ヘッド内蔵観察機能を活用することにより、解析対象を見逃すことなく観察できます。

明視野の見やすさと暗視野の検出力をミックスした観察方法

円筒状の金属表面などで発生する、ギラギラして斜面が暗くなBF（明視野）の見やすさにDF( 暗視野）の検出力をプる現象を防ぎます。従来、除去することが困難とされていたギララスすることで従来の顕微鏡では見つけにくかったキツキをワンタッチ取り付けで簡単に除去できます。

ズや欠陥を容易に検出することがでる観察方法です。

BF

BF（明視野）拡散照明アダプター

DFMIXPO（偏光）

偏光照明アダプター装着前

偏光照明アダプター装着後

偏光照明アダプター
フィルム表面やガラスなどの透明体越しに観察する際に発生すキズのある鏡面を観察すると、正反射した表面の中でキズのある場所が暗く観えます。フラットなサンプル2 枚の偏光板（アナライザー・ポラライザー）を互いにの微細な構造を観察するのに適しています。

直行に配置。金属組織や鉱物など、サンプルの偏光特来、除去することが困難とされていた表面のリング状の反射をワ性に応じたコントラスト、色づきが得られます。

拡散照明アダプター装着後

フィルム表面などに発生するリング状の反射を除去

偏光特性を持ったサンプルに適した観察方法

平らなサンプルに適した観察方法

拡散照明アダプター装着前

る、表面の一部が極端に明るくなる現象を偏光板で防ぎます。従ンタッチ取り付けで簡単に除去できます。

高速かつ高解像度でリアルな全焦点3D画像を撮影

クイックスキャン
偏射

DIC（微分干渉）

表面の凹凸を強調したい時に適した観察方法

ナノレベルの凹凸や異物、キズなどの可視化に適した観察方法

BF（明視野）の照明を、一方向に限定して照射することBF（明視野）では捉えられない、表面上のナノレベルで、表面の凹凸を強調する観察方法です。凹凸やうねの凹凸に高低差を付けて可視化。ウエハーやフィルりのあるサンプル、切削痕などの観察に適しています。

ム、液晶ACF、ガラス表面などの観察に適しています。

サンプルの凹凸が大きくすべての面に焦点が合わない場合でも、クイックスキャンにより、ワンプッシュで全焦点・3D 画像が取得可能です。操作は観察したい箇所を決めて、3Dボタンを押すだけなので、簡単、瞬時に画像を取得することが可能です。

フルフォーカス画像

3D 画像
金属破断面

高品質・高付加価値画像を提供する

DF（暗視野）コントラストUP

キズなどの欠陥検出に適した観察方法

輪郭をより際立たせたい場合の観察方法

付着したゴミやキズなどに斜めから光を当て、サンプ光学素子の照明開口絞りを絞ることでコントラストを

3D画像は貼り合わせ機能と組合せることができます。広範囲のルの散乱光や反射光を観察できます。暗い視野の中強調。明るい部分をより明るく、黒い部分をより黒く表に、ゴミやキズが光って見えます。

現するため、シャープで鮮やかな画像が得られます。

フルフォーカスした3D 画像を撮影できるため、今までの顕微鏡貼り合わせ機能を超えるデータの撮影が可能です。

貼り合わせ画像1516

全倍率での測定精度保証
すべての対物レンズで信頼性の高い測定ができるようになりました
これまでは・・・デジタルマイクロスコープで信頼性の高い測定を行うのは困難でした
従来のデジタルマイクロスコープや光学顕微鏡でも、寸法測定や高さ測定は出来るものの、得られた結果の妥当性はわかりませんでした。

従来の測定（イメージ）

DSX1000精度保証（イメージ）

9 μm?
11 μm?

不正確な測定DSX1000なら10 μm

正確な測定「正確さ」と「繰り返し性」をダブル保証。エビデンスとして活用できる測定結果を提供します。

これまでは・・・設置環境下における測定精度が明確ではありませんでした
メーカー出荷時の性能保証では、実際の使用環境下において測定性能を満たさない場合があります。

従来

DSX1000なら17？

DSX1000校正証明書

専門の技術者がお客様先で校正を実施。
校正証明書、検査成績書も発行することが可能です。
18

安定した高精度測定を実現 テレセントリック光学系

すべての倍率で正確な測定結果 正確さと繰り返し性のダブル保証

DSX1000は、高精度測定機にも搭載されているテレセントリック光学系を採用することにより、人によるばらつきも低減し、安定したDSX1000から得られる測定結果は、国家標準に繋がるトレーサ測定が可能です。

ビリティー体系に準拠しているため、安心して活用頂けます。

従来のデジタルマイクロスコープ（非テレセントリック光学系）

DSX1000（テレセントリック光学系）

測定対象物 : 1.0-mm 標準スケール
測定回数

測定結果

1234567

1.0 mm1.02 mm0.99 mm
1.01 mm
1.0 mm
1.0 mm
0.99 mm

測定回数

平均値

71.00 mm

トレーサビリティ体系図
日本標準
独立行政法人 産業技術総合研究所
計量標準総合センター

繰り返し性「繰り返し性」とJAB 認定校正機関 RCL00510
オリンパス
（株）
試験評価センター「正確さ」

DSX1000専用
XYキャリブレーション

正確さ

サンプル

DSX1000専用
Zキャリブレーション
サンプル

DSX1000
視野上の左端と右端で大きさが変わらない。

視野内の左端（サンプル上側）と右端（サンプル下側）の大きさが異なる。

お客様の元へ出張

テレセントリック光学系とは？
テレセントリックレンズは、レンズとサンプルの距離を変えても像の大きさが一定で、視野周辺部でも画像の歪みがないという特長があり、寸法測定に必須の機能です。

非テレセントリック光学系
ピントが合う上側と下側の画像で寸法測定を行うと、測定結果が異なる
一般的なレンズ

専門の技術者がお客様の元で対応

お客様の使用環境下で測定性能を保証

出荷時の性能保証だけでは、実際の使用環境における性能保証を満たさない場合があります。オリンパスは、専門技術者がお客

テレセントリック光学系
ピントが合う上側と下側も同じ測定結果様の使用環境下で校正を実施し、校正証明書、検査成績書を発行するサービス（オプション）も承っているので、安心してお使い頂けます。

テレセントリックレンズ

お客様ご自身でも上側ピント位置

測定精度のばらつきを軽減

オートキャリブレーション機能

上側ピント位置測定精度のばらつきをより低減
一般のレンズでは、被写体表面の一部が凹凸で隠れることがあるするために、対物レンズ、ズーム

テレセントリックレンズでは、被写体表面が凹凸で隠れることはない

倍率、各々のキャリブレーションをお客様が実施することも可能です。DSX1000 は、オートキャリブレーション機能を搭載。キャリブレーション設定を正しくかつ像の大きさが変わる
下側ピント位置簡単に行うことが可能です。

像の大きさに変化がない
下側ピント位置

キャリブレーション サンプル

1920ハイレベルな基本性能で使いやすさを加速
高性能画像エンジンをはじめとする、多くの機能を搭載。使いやすさを徹底的に追求しました。
高速・高精細ライブを実現

過去事例と類似した条件で解析を行う際に役立つ観察・解析をよりわかりやすく

観察条件の再現画像処理機能

業界最高レベルの最大60fpsのカメラを搭載しました。欠陥を探撮影・保存した画像には、撮影条件も付加されます。画像さえあ露出の異なる複数画像を合成し、明部と暗部のより精細な構造をす際の素早いステージ操作やフォーカス操作においてもタイムラ

れば、撮影条件をワンクリックで再現し、作業者によらず「いつで捉えられるHDR機能、反射の強いサンプルのギラツキを除去しグが生じにくく、スムーズに追従するため、快適に観察可能です。

も」同じ条件で観察可能です。て表面状態を把握するハレーション防止機能も搭載しています。

最大60fpsの高フレームレート

高色再現・高精細な画像の取得を実現

サンプル A

サンプル Aサンプル Aと同じようなサンプル

サンプル Aと同じようなサンプル

3CMOSモード

高品質な光学系で得られた情報をありのままに再現するエンジンとして、高性能CMOSを採用。超高精細を実現する3CMOSモードを搭載し、隅々までクリアで鮮明な画像を表示します。
12

右隣の画素にシフト最適に調整した画像を保存すれば撮影条件も一緒に保存。ワ
ンクリックで、同一条件に再現可能。

3左下の画素にシフト4

毎日撮影条件を探す必要が無いため、効率的に解析業務を行えます。

更に右隣の画素にシフト狙った箇所を自由に測定

2D、3D測定機能

3CMOS モードなし

3CMOS モードあり

表面状態の違いを数値化

表面粗さ測定機能

2D測定に必要な2点間距離、線幅、面積、角度、直径などの測定Ra、Rzなど、パラメーターを用いた粗さ測定を実現。線粗さ、表機能はもちろん、3D 測定に必要な高さ、体積、断面積などの測面粗さの測定により、表面状態の違いを容易に数値化できます。

定機能まで、解析に必要なさまざまな機能を搭載しています。

センサーの位置をずらして繰り返し撮影することで、3 板カメラ同等の画像を取得できます。

低倍率時でもシャープネスに選ぶだけで最適な結果が得られる

低倍率特有のフレア除去機能

マルチプレビュー機能

オリンパス独自の光学技術により、従来の光学顕微鏡やデジタワンクリックで、さまざまな観察方法で撮影された複数のサンルマイクロスコープで生じていたフレアを除去し、クリアな観察プル画像を瞬時に自動提示。最も観察しやすい画像を選ぶだけが可能です。特別な操作は不要なので、誰でも簡単に高品質なで、観察方法を切り替え可能。サンプルを観ながら観察方法を検画像を取得できます。

討できるため効率的に観察・解析作業を進めることができます。

従来

DSX1000より高度な解析が可能

ワンクリックで自在にレイアウト可能

粒度解析など、専門的な画像解析用に、画像解析ソフトウェア解析結果を瞬時にレポート出力可能。出力形式は、再編集可能な「 OLYMPUS Stream 」をご用意。また、測定やレポート作成まDSX専用形式のほかに、エクセル形式やPDF形式、RTF形式にも対での作業を効率化する「OLS5000-BSW」もご用意しています。

応。
また、お客様の出力形式に合わせたカスタマイズも可能です。

「OLYMPUS Stream」、「OLS5000-BSW」 レポート作成ツール2122

アプリケーション

自動車

電子部品

自動車ボディの塗装面の異物観察

ダイシング後のＩＣのチッピング測定

観察・測定の目的：異物から混入経路の特定

観察・測定の目的：チッピング不良原因の解析

よくある困りごと

ソリューション

よくある困りごと

対物レンズの解像力が低く、表面状態

DSX1000は専用対物レンズを用意し測長したデータに十分信頼を置けない。

を詳細に観察できない。ており、同じ倍率でも従来よりクリアの正確さと繰り返し性の２つを保証しな画像を取得できます。ているため、信頼性の高い測定結果をICウエハー（ダイシング前）

ソリューション
DSX1000 はすべての倍率で測定値得られます。
従来（倍率1700Ｘ）全体的にボヤケている

DIC（倍率2500X）DIC画像でチッピングの端面がはっきり認識できる

DSX1000（倍率1700Ｘ）異物の形状はもちろん、異物周辺の気泡もくっきり検出

積層セラミックコンデンサー外観測定

ラジエーターフィンの断面観察
観察・測定の目的：ラジエーターフィンの溶接不良の解析
よくある困りごと

ラジエーターフィン断面観察・測定の目的:クラックなど表面の欠陥チェックと外寸測定

ソリューション

よくある困りごと

ソリューション

どの観察方法で検査すれば見たい部分

DSX1000 はコンソールの観察方法

外部電極と誘電体の光の反射レベルがDSX1000はコンソールボタンをワンの画像を見れるかすぐにわからない。

切り替えボタンを押すだけで観察方法大きく違い、全体に適切な明るさで観クリックするだけで、さまざまな照明方を瞬時に切り替えることができます。

察することができない。

法を瞬間に切り替えることができ、目的の画像をすぐに探すことができます。

明視野（倍率300X）
ラジエーターフィンと溶接の境界が変わりづらい明視野（倍率150X)表面全体がクリアに観察でき、観察と同時に外観寸法を測定することもできる

偏光（倍率300X）溶接の剥がれ具合が良く観察できる

その他

金属加工
金属材料の研磨サンプルの観察

金属破断面の貼り合わせ画像による広範囲観察
観察・測定の目的：破断した金属製品の原因の解析
よくある困りごと

金属破断面観察・測定の目的:金属材料の特性や欠陥の解析

ソリューション

よくある困りごと

ソリューション

断面を高倍率で広範囲に観察したい

DSX1000 は画像貼り合わせ機能のサンプルを十分に研磨できず、研磨面凹凸や傾きが発生してしまった研磨サが、従来の画像貼り合わせ機能では貼アルゴリズムを向上させ、貼り合わせ全体にピントの合った画像が撮れない。

ンプルでも、全面にピントの合った画像り合わせの継ぎ目が目立ってクリアなムラのない画像を提供します。

を簡単に撮影できます。

画像を取得できませんでした。
明視野（100X）
AlSiの研磨サンプル

貼り合わせ画像（1000X）

複数の高さに焦点を合わせた画像を合成することにより、全面にピントの合った画像を作成

研磨状態が不均一で、一部分しかピントが合わない破損したドリル刃先端の観察

プリント配線板のガラスエポキシ基板の断面観察

観察・測定の目的：
ドリル刃先の破損の解析

観察・測定の目的:ガラス繊維と樹脂のはく離不良の解析

よくある困りごと

ソリューション

よくある困りごと

ソリューション

一部分が明るくなり、サンプル全体をDSX1000は一部分がぎらつくことな

ガラスエポキシ基板の断面はエッチン

DSX1000 の専用対物レンズは深い観察することが困難。

く、全体の状態をきれいに観察するこグで凹凸があり、ピントが合わせにくい。

焦点深度と高い解像力を両立。基板とができる。

断面のクリアな画像を提供します。

暗視野（倍率700X）
ガラス繊維が1本1本クリアに観察できる

23

24

ラインアップモデル

システムダイヤグラム
エントリーモデル

チルトモデル

高解像度モデルハイエンドモデル

ズームヘッドユニバーサルズームヘッド
DSX10-UZH

スタンダードズームヘッド
DSX10-SZH

対物レンズ
超長作動対物レンズ
DSX10-SXLOB1X
DSX10-SXLOB10X

デジタルマイクロスコープの基本機能を標準装備、誰でも簡単操作

特長

標準装備

電動ズーム
ヘッド

ユニバーサルズームヘッド*DIC：微分干渉*焦点深度UP*高解像3CMOSモード
スタンダードズームヘッド

顕微鏡
フレーム

ステージ

日頃の解析で凹凸形状の観察が多い方ー●

顕微鏡を使用されている方で、もっと高度な解析をスピーディーに行いたい方

多種多様なサンプルをさまざまな観察方法で解析したい方

●●●

●

●

●

●

チルトフレーム(±90°)

ー●ー●

正立フレーム●ー●ーーー

手動XYステージ●コンソール

DSX10-LAXL

DSX10-LAUIS

(3枚)

対物レンズ
アダプター
BD-M-ADUIS対物レンズ
MPLFLN5XBDPMPLFLN10XBDPMPLFLN20XBDPMPLFLN50XBDPLMPLFLN10XBDLMPLFLN20XBD
LMPLFLN50XBDUIS対物レンズ
MPLAPON50X
MPLFLN1.25X
MPLFLN2.5X

●

●

●

対物レンズ保管ケース
DSX10-LC

DSX10-SXLOB3X用
拡散照明アダプター
DSX10-DIAD3X（レンズアタッチメント3枚収納可能）

ステージ
回転機構付き電動XYステージ
DSX10-RMTS●●

DSX10-SXLOB1X/10X用
拡散照明アダプター
DSX10-DIAD1X10X

手動ステージ用アダプター
DSX10-MSTAD

電動XYステージ
DSX10-MTS

手動ステージ
U-SIC4R2ーーー●

ウェハーホルダープレート
U-WHP2超長作動距離対物レンズ
対物レンズ

UIS用レンズ
アタッチメント(2枚)

長作動対物レンズ
DSX10-XLOB3X
DSX10-XLOB10X
DSX10-XLOB20X
DSX10-XLOB40X

DSX10-SXLOB用
偏光照明アダプター
DSX10-POAD

電動XYステージ

XLOB用レンズ
アタッチメントー観察方法
BF ：明視野
DF ：暗視野OB ：偏射MIX ：MIXPOL ：偏光θ回転機構付き)
電動XYステージ (±90°

超長作動対物レンズ
DSX10-SXLOB3X

長作動距離対物レンズ*対物レンズの詳細はP27～28の一覧表を参照ください

ステージプレート
U-MSSP4

回転ウェハーホルダー
BH2-WHR43

UIS2対物レンズ
アプリケーションソフトウェア
その他

キャリブレーションサンプル●●●●

コントロールPC/モニターオプションアダプター

ソフトウェアその他

コントロールボックス

フレーム

偏光照明アダプター

□□

□

□

拡散照明アダプター

□□

□

□

エッジ測定

□□

□

□

粒子解析□□□□

対物レンズ保管ケース

□□

□

□
● : 標準チルトフレーム
DSX10-TF

正立フレームDSX10-UF
コントロールボックス
DSX10-CB□ : オプション

383
100

520

166

コンソール

338
600

520

312

オプション
基本アプリケーションソフトウェア
DSX10-BSW

381

コンソール
DSX10-CSL

キャリブレーション
サンプル
DSX-CALS-HR

透過照明ユニット
DSX10-ILT

PC

220

25

表示用モニター(オプションソフトウェア)
エッジ測定 アプリケーションソフトウェア
DSX10-ASW-EDM
粒子解析 アプリケーションソフトウェア
DSX10-ASW-PAM

383

26

オリンパスが誇る多彩なレンズラインアップ
モニター倍率

20X

40X

100X

200X

500X

1000X

2000X

5000X

W.D.

対物レンズ

超長作動距離対物レンズ●サンプルとレンズ間の距離が長い対物レンズ

DSX10-SXLOB1X
DSX10-SXLOB3X（凸凹の大きいサンプル向け）

DSX10-SXLOB10X

高解像度・長作動距離対物レンズ

DSX10-XLOB3X●顕微鏡同様の高分解能と長い作動距離を両立した対物レンズ

20 – 200X
42 – 420X
140 – 1400X
42 – 420X
140 – 1400X

DSX10-XLOB20X

280 – 2800X

DSX10-XLOB40X

高性能・高NA・高解像度対物レンズ●NAを重視した高解像度の対物レンズ

MPLFLN10XBDP

NA

実視野（μm）

51.7

0.03

19,200 – 2,740

66.1

0.09

9,100 – 910

41.1

0.20

2,740 – 270

30.0

0.09

9,100 – 910

30.00.30

2,740 – 270

20.00.40

1,370 – 140

4.5

0.80

690 – 70

12.00.15

5,480 – 550

6.50.25

2,740 – 270

3.00.40

1,370 – 140（作動距離）（開口数）（mm）

DSX10-XLOB10X

MPLFLN5XBDP

7000X

560 – 5600X
70 – 700X
140 – 1400X

MPLFLN20XBDP

280 – 2800X

MPLFLN50XBDP

700 – 7000X

1.00.75

550 – 50MPLAPON50X

700 – 7000X

0.35

0.95

550 – 50

10.0

0.25

2,740 – 270

12.0

0.40

1,370 – 140

10.6

0.50

550 – 50

LMPLFLN10XBDLMPLFLN20XBD
LMPLFLN50XBD

140 – 1400X
280 – 2800X
700 – 7000X* DSX10-SXLOB1,3,10X、DSX10-XLOB3XはPO不可* MPLAPON50XはDF,MIX不可* MPLFLN1.25X, 2.5X対物レンズ使用可（BFおよび偏射）

一歩先を見つめた光学技術と匠の技によ 「黄綬褒章」受章につながったオリンパス
るものづくり
高度技能者育成制度
レンズ加工を、より高い精度で、自動的に行うために。

平成30年度秋の褒章において、2μm以下の微細な加工が必要最高レベルの光学技術が必要とされる顕微鏡開発から発展しな高精度対物レンズの加工法の確立、技能を生かした後進育成

たオリンパスは、そのオプトデジタルテクノロジーによって、1万と社会貢献活動などを評価され、オリンパス社員が「黄綬褒章」分の1mmという高精度レンズの自動研磨加工を実現。

を受章しました。オリンパスは、「人は製造の財産」という創業時

オリンパスは、レンズ加工・研磨技術の限界に挑み続け、今日現からの思想にもとづいた『高度技能者育成制度』を確立。受け継在も、次々と新しい価値を生み出しています。

がれてきた優れた技術を、未来へとつないでいくことに、積極的に取り組んでいます。この度の受章にも、この『高度技能者育成制度』が活かされています。

2728

仕様

メインユニット仕様
DSX10-SZH

ヘッド部

DSX10-UZH
テレセントリック光学系

光学方式

光学系

対物レンズ 1 本におけるズーム比

10X

ズーム変倍方法

電動キャリブレーション

自動レンズアタッチメント

全レンズ装着可
ワンタッチ脱着・対物レンズ識別機能付

7,000X

最大総合倍率（モニター上・光学）
作動距離（W.D.）

66.1 - 0.35 mm
正確さ（倍率）: 3%
繰り返し性（倍率）: ±2% = 3σn-1

精度保証（X-Y面）*

1

精度保証（Z軸）*

繰り返し性(高さ):σn-1≦1μm

撮像素子

1/1.2inch, 235万画素CMOS

2冷却
カメラ

光源

ペルチェ冷却
最大60 fps

フレームレート

1,200×1,200（1:1）/ 1,600×1,200（4:3）

標準
高精細モードー

超高精細モードー

1,200×1,200（1:1）/ 1,600×1,200（4:3）
3,600×3,600（1:1）/ 4,800×3,600（4:3）

種類

LED

寿命

60,000 h（設計値）

BF（明視野）

標準偏斜

標準
標準

DF（暗視野）観察法

LEDリング照明の4分割が可能
標準

MIX（(明視野+暗視野）

BF+DFの同時観察

PO（簡易偏光）

標準

DIC（微分干渉）ー

標準コントラストUP

標準

焦点深度UP機能

ー

標準
標準*3

透過照明
焦準部

駆動方式

電動

Zストローク101 mm（電動）*1 当社サービススタッフによる校正作業が必要となります。XYの正確さの保証には、DSX-CALS-HR(キャリブレーションサンプル)を用いた校正作業が必要となります。
校正証明書の発行には、当社サービススタッフによる校正作業が必要となります。

*2 20X以上の対物レンズを使用した場合。
*3 オプションのDSX10-ILTが必要となります。
レンズ部

DSX10-SXLOBDSX10-XLOB

UIS2

最大標本高さ

50 mm

115 mm

145 mm

140 mm75 mm

レンズアタッチメント

レンズ一体型

ありあり

総合倍率

20X - 1,400X

42X - 5,600X

23X*4 - 7,000X

視野サイズ

17,100 µｍ－50 µｍ

50 mm

最大標本高さ（フリーアングル観察時）
同焦距離
対物レンズ

レンズアタッチメント

45 mm

19,200 µｍ - 270 µｍ

9,100 µｍ - 70 µｍ

拡散照明アダプター（オプション）

ありーー

偏光照明アダプター（オプション）

ありー

ー

2本

3本1本（レンズアタッチメントとレンズ一体型）

取付可能対物レンズ数

3 つのレンズアタッチメントを収納可能

対物レンズケース*4 MPLFLN1.25X使用時の総合倍率
ステージ部

DSX10-RMTS

DSX10-MTS

U-SIC4R2

電動 / 手動回転機能付き電動ステージ

電動ステージ

手動ステージ

XY ストローク

ストローク優先モード : 100 mm × 100 mm
回転優先モード : 50 mm × 50 mm

100 × 100 mm

100 × 105 mm

回転角度ストローク優先モード : ± 20°回転優先モード : ± 90°

回転角度表示

あり
（GUI）

ーー

5kg

耐荷重
フレーム部

正立フレームZ ストローク

チルトフレーム

50 mm（手動）フリーアングル角度ーー

あり
（GUI）

フリーアングル方式

ー

手動、固定/解除ハンドル

全システム
定格

モニター部

23型 LCDモニター

画素数

1,920 × 1,080± 90°

フリーアングル角度表示

コントローラー）
質量（本体、電動ステージ、LCDモニター、291kg

正立フレームシステム

チルトフレームシステム

約 43.7kg

約 46.7kg

100 - 120V / 220 - 240V、1.1 / 0.54A、50 / 60Hz

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●当社は環境マネジメントシステムISO14001の認証取得企業です。
●当社は品質マネジメントシステムISO9001の認証取得企業です。
● このカタログに記載の社名、商品名などは各社の商標または登録商標です。
● 本カタログの記載内容は、2019年3月時点での当社調べであり、予告なく変更する場合があります。
● 本カタログの記載内容および精度保証値は、当社指定の条件での特性および値であり、必ずしも満足するものではありません。
詳細は取扱説明書をご確認ください。
● モニター画像ははめ込み合成です。
● 仕様・外観については、予告なしに変更する場合があります。あらかじめご了承ください。

N8601455-032019