システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

実験用
Experimental

自動回転ステージガイダンス
Understanding Motorized Rotation Stage

スペック表の見方
Understanding Specifications

手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

RA07A-W02

ZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller

スペック表 Specifications

説明 Description

型式
RA07A-W02
Model Number
勝手違い型式RA07A-W02-R
Mirror Model Number
テーブル面
Φ68mm
Table Size
案内方式
アンギュラベアリング
Guide Mechanism
Angular Bearing
回転範囲
±135°
Angular Range
送り方式
ウォーム＆ウォームホイール 1/90
Lead Mechanism
Worm & Worm Wheel 1/90
フル/ハーフ ステップ0.004°/0.002°
Full/Half Step
分解能Resolution
マイクロステップ（1/20分割）
0.0002°
Micro Step (1/20 div)

① 型式の名称です。
Kohzu's significant alpha-numeric model numbers offer quick product insight.
② 型式①に対する逆勝手仕様の型式です。
Mirror symmetry of standard stage.
③ ステージテーブル面の大きさです。
Table size refers to the stage's valid mounting table size.
④ ステージの案内方式です。
Type of guide mechanism used on this stage.
⑤ 中心点を基準としてプラス、マイナスで表示します。
Stage travel range in the positive and negative directions from it's centered or neutral position.
⑥ ステージの送り方式と減速比です
Feeding Mechanism and Reduction Ratio.

最高速度
Maximum Speed
累積誤差
Accumulated Lead Error
ロストモーション
Lost Motion
角度再現性
Angular Repeatability
ピッチ誤差
Pitch Error
バックラッシュBacklash
面振れSurface Runout
偏心
Eccentricity
モーメント剛性
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重Weight

ドライバ
ボックス
DriverBox

5相ステッピングモーター
5 Phase Stepper Motor

アプリ
ケーション
Application

モーター軸径Motor Shaft Diameter
コネクタ
Connector
ステージ結線タイプ
Stage Wiring Type
センサ基板型式
Sensor Model

モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

20°/sec≦0.015°/360°≦0.006°≦0.003°≦0.01°/4°≦0.001°≦20μm/360°≦5μm/360°
0.51 arcsec/N・cm
58.8N（6kgf）
アルミ合金
Aluminum Alloy
白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing
1.2kg
PK544PMB（オリエンタルモーター:
定格電流 0.75A/相，基本ステップ角0.36°, リード線5本）
PK544PMB(Oriental Motor: Phase
Current 0.75A, Basic Step Angle
0.36°, 5-Leads)⑦ マイクロステップ分割数の違いによる、ステージの各分解能です。
Variation of the stage resolution which is defined by microstep division.
⑧ ステージが動作できる最高速度（ハーフステップ、10kpps時）です。
Maximum Speed of standard stage (half step, 10kpps).
⑨ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-008ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-008.
⑩ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-008ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-008.
⑪ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-009ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-009.
⑫ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-009ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-009.
⑬ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-005ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-005.
⑭ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-009ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-009.
⑮ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-009ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-009.
⑯ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-006ページ
S ee "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-006.
⑰ ステージ中央での搭載可能重量です。
Maximum load capacity is for a horizontally orientated stage with load centered on top-plate.
⑱ 主に使用されている材料を示します。
Material specification is for stage's main body components only.
⑲ 外観の色や表面処理を示します。
Surface finish type and color.
⑳ 製品の重量です。
Stage weight includes all components depicted in product photograph.
 使用されているモーターの型式及び仕様を示します。
Motor type and specification.

Φ5mm オプションハンドル：A type
 モーターの軸径と適合オプションハンドルを示します。
Φ5mm Conformance option handle: A type
丸形20ピン（ヒロセ: RP13A-12JG-20PC）  ステージに使用されているコネクタの形状とピン数です。
（詳細はN-014ページ）
20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC)
Connector type of standard stage. See page N-014.
 ステージの結線形式です。 ←N-018ページ〜
V3
Wiring type is connection of stage. N-018 page〜 ステージに使用するセンサーの型式です。
F-101(HOME,LIMIT)
Sensor model for the stage.
 型式①対するクリーングリス仕様の型式です。 ←C-003ページ
クリーングリス仕様型式
This is a model number with clean room lubricunt specification for model number ①. See pageRA07A-W02-C
Clean Room Lubricant Model NumberC-003
 型式①対する真空グリス仕様の型式です。 ←C-003ページ
真空グリス仕様型式
This is a model number with vacuum lubricunt specification for model number ①. See page
RA07A-W02-R-V
Vacuum Lubricant Model NumberC-003

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
SystemJ-002

J.indd 2

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

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産業用
Industrial

案内方式
Guide Mechanism Type

実験用
Experimental●アンギュラベアリング Angular Bearing
アンギュラベアリングとは接触角を持ったベアリングで、一方向のアキシアル荷重または合成荷重を受けるのに適しています（図-１参照）。案内方式としてこのベアリン
グを用いる際は、対向方向に向かい合わせて使用しています。それにより、ラジアル方向とアキシアル方向の両方の荷重に対して剛性を持たせることが出来ます。

手動精密ステージ
ManualStage
接触角Contact Angle

The angular bearing has a contact angle appropriate to receive a unidirectional
axial load or a combined radial and axial load (see Fig. 1). To use this bearing asa guide system, set two bearings back-to-back arrangement (DB). This
arrangement provides rigidity for loads both in the radial and axial directions.

X・XY
X・XY

図-1Fig.1●クロスローラベアリング Cross-Roller Bearingクロスローラベアリングとは、90°のV溝を持つローラレースと円筒コロからなる案内方式です（図-２参照）。ローラレースの摺動面は、焼入れ研磨されて摺動面の平面度の精度が高く硬質に仕上げてあります。円筒コロはこの2本のローラレースに挟まれた空間に互い違いに配置されています。ステージが駆動する際には、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化（静止摩擦と動摩擦の差）が小さく、作動すべりが起こりにくくなっています。また、クロスローラベアリングは、線接触で荷重を支えるため、ボールガイド機構よりも剛性が高くなっています。
図-2
The cross-roller bearing is a limited stroke linear and bending guide that consists of aFig.2
roller race and rollers. The roller race has 90 degree V-shape surface and it is harden
and precisely polished. It is not only had a polished precise surface but also precisely correct 90 degree. The cylindricalshaped rollers are inserted between two roller races and they are aligned alternately. When the stage is moved, theserollers are rolling smoothly at the same time with the same tension because the gap between roller race is correctly
arranged and maintained for the same distance. There is no slipping, no stopping due to the effective contact. As one ofthe feature, it has highly rigid more than ball guide because it has a longer contact line.

ZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZ
Z

回転
Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システム
Inspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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J-003

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産業用
Industrial

実験用
Experimental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation自動回転ステージガイダンス
Understanding Motorized Rotation Stage

送り方式
Lead Mechanism●ウォーム＆ウォームホイール

ウォームホイール
Worm wheel

Worm & Worm Wheel

ウォーム＆ウォームホイールは、高い精度で研削加工されたウォームホイールと精密研磨加工されたウォームから構成されています（図-３参照）。
The worm wheel is ground at high precision and the worm shaft was processed with a
precision abrasive finish (see Fig. 3).
・分解能
送り方式がウォーム＆ウォームホイールの回転ステージの分解能は、下記の計算式から求められます。
Δθs =

Δθ
n・m

Δθs：分解能 (°)Δθ：モーターの基本ステップ角 (°)

Δθs =

Δθ
n・m

Δθs：Resolution (°)Δθ
：Basic step angle of motor (°)

n：ウォーム＆ウォームホイールの減速比
m：マイクロステップの分割数

自動精密ステージ
MotorizedStage●タンジェントバー方式（ボールネジ） Tangent-Bar System (Ball Screw)

ZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver

図-3
Fig.3

・ResolutionR esolution of worm & worm wheel lead mechanism rotation
stage are calculated based on the following formula.

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

X・XY
X・XY

ウォーム
Worm shaft

n：Reduction ratio of Worm and Worm wheel
m：Division number of micro-step

回転軸から伸びたバーの先端にボールネジで接線方向に直線変位を与えることで回転運動を作っています。回転範囲は狭くなりますが、高分解能と耐久性の両立を兼ね備えています。
Rotary movement is generated by applying linear displacement to the bar tip extending from the rotary axis in thetangential direction by means of a ball screw.This is the optimum feed system when the rotation range is small but a finerotary movement at a high resolution is required.
・分解能
送り方式がタンジェントバー方式の回転ステージの分解能は、下記の計算式から求められます。

（Δθs = tan-1）

Δθ・PΔθs：分解能 (°)
360・R・m Δθ
：モーターの基本ステップ角 (°)

P：ボールネジのリード(mm)R : タンジェントバーの長さ(mm)R＝27.5ｍｍ (RA05A-T01)
R=42mm (RA07A-T02)
R=57mm (RA10A-T02)
m：マイクロステップの分割数注）原点（0°）からの計算式です。

•Resolution
Resolution of Tangent-bar lead mechanism rotation stage
are calculated based on the following formula.

（Δθs = tan-1）

Δθ
・P Δθs：Resolution (°)
360・R・m Δθ
：Basic step anguler of motor (°)

P：Ball screw lead (mm)
R : Length of tangent-bar (mm)R=27.5mm (RA05A-T01)
R=42mm (RA07A-T02)
R=57mm (RA10A-T02)
m：Division number of micro-step
Note: Angular motion is calculated from origin point(0°).

最高速度
Maximum Speed
最高速度は、高速域でのモーターとドライバのトルク特性に依存しますが、弊社ではドライバをハーフステップに設定し、10kppsで動作させたときの速度として定義しています。10kpps以外の場合は、各仕様欄へ記載してあります。
Maximum speed depends on motor torque characteristics in higher speed area. However, we calculate maximum speed at
10kpps with motor in half-step mode.Except of 10kpps, the value is fill in each specification.

モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
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産業用
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ザグリ穴の首下寸法について About the shaft length of counterbore
33

カタログ図面ではステージ取り付けの際に用いる実験用
Experimental
手動精密
ステージ
ManualStage

ザグリ穴の首下寸法を、「Shaft Length ** mm」と表記します（右図、左）。
ザグリ穴が無く直接ネジを取り付ける場合はこの

4-for M3 screws

表記がなく、板厚が首下寸法となります（右図、右）。

Shaft Lentgh 3mm

4-for M3 screws

The length of counterbore’s shaft for mounting is described “Shaft Length ** mm” (Top figure, left) in catalog drawing.

X・XY
X・XYZ
Z

If counterbore does not exist on mounting part, depth size of base will be shaft length size (Top figure, right).
回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

ステージ結線表
Stage wiring list

自動精密ステージ
Motorized
Stage

自動回転ステージ
Motorized Rotation Stage
型式
Model Number

結線タイプ
Wiring Type

センサ基板型式
Sensor Type

モーター/定格電流値
Motor / Phase Current

基本ステップ角
Basic Step Angle

コネクタ形状Connector Type

RA04A-W01
RA05B-W02

V4F-113※PK524HPMB/0.75A

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin RoundV3

F-113 / PM-L25

PK525HPMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA05B-RT02

V3F-116

PK525HPMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA05B-RT02-R

V3F-116R

PK525HPMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA07A-W02

V3F-101

PK544PMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA07A-T02

V3F-115

PK523HPMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA07A-T02-R

V3F-115R

PK523HPMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA07A-RT02

V3F-116

PK544PMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA07A-RT02-R

V3F-116R

PK544PMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA10A-W01

V3F-101

C090P-9015P/0.75A

0.72°丸形20ピン, 20 Pin Round

RA10A-T02

V3F-115

PK523HPMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA10A-T02-R

V3F-115R

PK523HPMB/0.75Ａ

0.36°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA10A-RT01

V3F-101

C087Q-9215P/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin RoundRA16A-WH01

V3F-115

C090P-9015P/0.75A

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA20A-WH01

V3F-115

C087Q-9215P

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin Round

RA30A-WH01

V3F-116

C087Q-9215P

0.72°

丸形20ピン, 20 Pin Round「勝手違い型式」によりセンサ基板型式の異なる機種は、赤字表記となっておりますRed colored character means different sensor type cased by mirror model
出力側軸端をカットしています※Cut off the edge of motor shaft's output side.

X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
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ケーション
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ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
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