第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
サマリ V4

第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，マイクロ・ナノ工学シンポジウム，集積化 MEMS シンポジウム，化学とマイクロ・ナノシステム学会研究会と同時開催
1,005 名の参加者を迎え，札幌市民交流プラザで盛況裡に開催
次回は 2019 年 11 月 19 日（火）～11 月 21 日（木），アクトシティ浜松で開催へ
第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（以下センサシンポジウム）は，10 月 30 日（火）～11 月 1 日（木），札幌市民交流プラザにて開催されました。
北海道命名 150 年という節目の年に，センサシンポジウムとしては，初めて北海道での開催となりました。会場となった札幌市民交流プラザは，札幌創世 1.1.1 区北 1 西 1 地区市街地再開発事業の一環として札幌市中央区北 1 条西 1 丁目に建設された大型複合施設『さっぽろ創世スクエア』の一部として整備され，2018 年 10 月に誕生した会場です。
第 35 回となったセンサシンポジウムは，基調講演 2 件・エレクトロニクス実装学会による企画セッションを含み，オーラル発表 19 件，ポスター発表 235 件を含む，257 件の論文が発表されました。
同時開催の第 9 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム（日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門主催），第 10 回集積化 MEMS シンポジウム（応用物理学会 集積化 MEMS 技術研究会主催），さらに今回初めて同時開催となった，化学とマイクロ・ナノシステム学会主催 第 38 回研究会，NEDO インフラ維持管理技術シン ポ ジ ウ ム と 併 せ ， 「 Future Technologies fromSAPPORO」と称され，講演数は 613 件，参加者数は 1,005名と，最大の規模となりました。会期前日の 10 月 29 日に開催された北海道大学

ナノテクノロジー連携研究推進室へのテクニカルツアーには約 25 名が参加されました。
Future Technologies from SAPPORO は，マイクロナノシステム（MEMS）やセンサに関連する国内の研究者・技術者が一堂に会し，学協会の枠を超えた当該領域では実行委員長

産総研

野田和俊氏

国内最大級のシンポジウムです。
センサシンポジウム実行委員長の野田和俊氏（産業技術総合研究所）は，「2011 年東日本大震災以降，「想定外」という言葉が多く使われるようになりました。今年は西日本側で大1

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サマリ V4

雨や台風による被害，そして開催前月の 9 月の胆振東部地震では大規模な土砂崩れによる甚大な被害もありました。また，北海道全体が電力停止による「ブラックアウト」に陥る異常状態にもなりました。これらは本当に「想定外」なのでしょうか。かなり古い過去からのいろいろなデータを元に，危険場所や万が一の事故予想などのシミュレーションも可能となり，最悪の事態は想定できるはずですが，それが本当に起こるのかどうかが分からない中で客観的な判断が難しい状況です。人間が知恵をうまくいかせるかどうかにかかっていると思います。これから，計測の基礎であるセンサ・マイクロマシンの果たすべき役割は大きく，その重要性は今後も増すものと考えます。」と述べられました。また，「今年のシンポジウムも，昨年の広島大会同様，ポスター発表中心で行い，関係学会の学会員同士の交流が活性化されることを期待しております。この他，未来を担う若者を育てる目的で，初めて高校生による研究発表（ポスター）を学会員と同じエリアで実施しました。さらに，「アート・カルチャーとセンシング・マイクロマシンのつながり」をコンセプトに，「マイクロ・ナノ関係フォトコンテスト」，市民公開講座「SENSOR×MUSIC」として基調講演および北海道札幌国際情報高等学校吹奏楽部による「ダンプレライブ」も実施しました。北海道のみならず，日本全体，少しでも復興に役立つことを願っております。
」と，シンポジウ
ムがこれからの社会を担っていく層に果たす役割に大きな期待を込めて語られています。

オープニングには電気学会会長代理 中川 聡子氏/東京都市大学が出席されました2018 年 10 月にオープンした札幌市民交流プラザの札幌文化芸術劇場は 2,302 席を備え、本格的なオペラやバレエをはじめとした様々な公演が可能

基調講演には，「スペキュラティブエンジニアリング−技術と未来洞察−」（東京大学大学院 情報理工学系研究科 准教授 川原 圭博氏），「鳥の求愛コミュ
ニケーション：現在までの知見と展望」（北海道大学 理学研究院生物科学部門／生命科学院生命システム科学コース准教授 相馬 雅代氏）を，また，日本機械学会招聘の基調講

演「固体酸化物形燃料電池（SOFC）の課題と展望」（東京大学 生産技術研究所 教授 鹿園 直毅氏），日本応用物理学会招聘の基調講演「インフラの効率的維持管理に向けた振動センシングアプローチ」（京都大学大学院 工学研究科社会基盤工学専攻 特定教授 塩谷智基氏），化学とマイクロ・ナノシステム学会招聘の基調講演「ナノバイオデバイスと AIが拓く Society 5.0・健康長寿社会」（名古屋大学大学院 工学研究科 教授 馬場 嘉信氏）を迎え，分野を越え，日ごろの視野とは異なる観点から，集まった研究者・技術者・学生に今後の研究開発，事業，産官学連携に向けた大きな示唆を頂きました。
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Future Technologies From SAPPORO

基調講演「スペキュラティブエンジニアリング−技術と未来洞察−」
東京大学大学院
情報理工学系研究科 准教授

基調講演（開催日時順記載）

基調講演「ナノバイオデバイスと AI が拓く
Society 5.0・健康長寿社会」
名古屋大学大学院 工学研究科教授

川原 圭博氏馬場 嘉信氏

基調講演「固体酸化物形燃料電池（SOFC）の課題と展望」
東京大学 生産技術研究所
教授 鹿

基調講演
「鳥の求愛コミュニケーション：現在までの知見と展望」
北海道大学 理学研究院生物科学部門／生命科学院生命システム科学コース
准教授

園 直毅氏

相馬 雅代氏

基調講演「インフラの効率的維持管理に向けた振動センシングアプローチ」
京都大学大学院 工学研究科
社会基盤工学専攻 特定教授

塩谷 智基氏3

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第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
FACT SHEET【発表件数】
・基調講演
2件
・招待講演（エレクトロニクス実装学会セッション） 1 件・オーラル発表
19 件
・ポスター発表
235 件-----------------------------------------------------------------------------------------------------センサシンポジウム合計
257 件
・マイクロ・ナノ工学シンポジウム
178 件（基調講演 1 件，招待講演 6 件，ポスター 171 件）
・集積化 MEMS シンポジウム
24 件（基調講演 1 件，オーラル 19 件，ポスター 4 件）
・化学とマイクロ・ナノシステム学会 第 38 回研究会
125 件
（基調講演 1 件，ポスター124 件）
・NEDO インフラ維持管理技術シンポジウム
22 件（ポスター22 件）------------------------------------------------------------------------------------------------------------------Future Technologies from SAPPORO 合計
613 件【参加者数】*札幌市民公開講座のみの参加者を除く

1,005 名
センサシンポジウム，マイクロ・ナノ工学シンポジウム，集積化 MEMS シンポジウム，化学とマイクロ・ナノシステム学会，合計で 534 件のポスターが 3 日間にわたって発表されました4

第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
サマリ V4【第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム】シンポジウム 表彰論文】★五十嵐賞（若手（35 歳未満）の最も優秀な発表に授与される賞）「酵素型高分解能非標識 ATP イメージセンサの製作と海馬の細胞外イメージング」土井 英生(豊橋技術科学大学)★奨励賞（若手（35 歳未満）の優秀な発表に授与される賞）「感応膜ドリフト抑制に向けたトストライプゲート型半導体 pH センサの開発」
上村 渓介(静岡大学)「心臓鼓動を模倣する流体キャパシタを集積した肝臓」オルガノイド作製用マイクロ流体デバイス」
呉 家旭(京都大学)「極薄 Au 薄膜を用いた大気中・常温ウェハ接合のためのプラズマ処理方法の検討」
山本 道貴(東京大学, 産業技術総合研究所)「乳幼児の呼吸心拍一括計測を目指した気管挿管チューブ実装型 MEMS 流量センサシステムに関する研究」
光成 勇樹(広島市立大学)「バッファアンプを搭載した細胞内計測用ナノプローブアレイデバイス」
鶴原 秋平(豊橋技術科学大学)「毛包細胞の機能を模した高感度 MEMS シリコン毛デバイス」
濱本 晃輝(香川大学)「MEMS 力センサを用いた液滴衝突の制御」
Nguyen Thanh-Vinh(東京大学)
若手賞（五十嵐賞・奨励賞）受賞者と E 部門長

前中一介氏

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サマリ V4★最優秀技術論文賞（若手以外の最も優秀な発表論文に授与される賞）「減圧水蒸気プラズマによる酸化銅の還元」
寺井 弘和*, 有本 昌平, 田中 貴也, 橋本 泰知, 中野 博彦, 辻 理(サムコ)

最優秀技術論文賞受賞
電気学会 センサ・マイクロマシン部門（E 部門）長の前中一介氏から表彰状を授与される寺井 弘和氏★優秀技術論文賞（若手以外の優秀な発表論文に授与される賞）「自己スパッタ接合法を用いた常温による酸化物系材料と Si の直接接合」
内海 淳*
三菱重工工作機械「圧電薄膜共振子を利用した 3.5 GHz 帯 CMOS 発振回路の開発 と原子時計システムへの適用」
原 基揚*{1}, 矢野 雄一郎{1}, 梶田 雅稔{1}, 西野 仁{2}, 戸田 雅也{2}, 原 紳介{1}, 笠松 章史{1}, 伊藤浩之{3}, 小野 崇人{2}, 井戸 哲也{1}{1}情報通信研究機構, {2}東北大学, {3}東京工業大学「慣性センサの超低消費電力化に向けた CMOS 混載 SiGe-MEMS 技術の開発」
富澤 英之*{1}, 久留井 慶彦{1}, 秋田 一平{2}, 藤本 明{1}, 齋藤 友博{1}, 小島 章弘{1}, 柴田 英毅{1}{1}東芝,{2}産業技術総合研究所「微小孔アレイを用いたミクロンサイズ細胞外ベシクルの生成分離」
櫻田 一歩, 安田 隆*
九州工業大学
最優秀技術論文賞と優秀技術論文賞受賞者と E 部門長

前中一介氏

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サマリ V4★優秀ポスター賞（優秀なポスター発表に授与される賞）
高パワー密度(31mW/cm3/G2)を実現した MEMS 環境振動発電素子とその IoT 応用
本間 浩章*{1}, 山田 駿介{1}, 三屋 裕幸{2}, 橋口 原{3}, 年吉 洋{1}{1}東京大学, {2}鷺宮製作所, {3}静岡大学
流通品質管理システムを可能にする温度センシングインク
會田 航平*, 多田 靖彦, 森 俊介, 荒谷 康太郎, 石田 智利, 徳田 勇也, 川崎 昌宏
日立製作所
MEMS マイクロホンの犠牲層エッチング後に発生する柱状異物の発生メカニズムと抑制手法の検討
笠井 隆*, 小俣 輝明, 中島 康晴, 太田 貴文, 梶川 健太, 深尾 聡, 北野 茜, 若尾 和年, 石本 浩一
オムロン
金属基材薄膜センサ素子用塗布型粘土絶縁膜
丹羽 英二*{1}, 林 晋也{2}, 須貝 一郎{2}, 野口 幸紀{2}, 飯島 高志{3}, 棚池 修{3}, 蛯名 武雄{3}{1}電磁材料研究所, {2}イチネンケミカルズ, {3}産業技術総合研究所
レーザー消去された 0.13 μm CMOS-LSI マルチプロジェクトウェハへの TSV 加工
鈴木 裕輝夫*{1}, 畑 良幸{2}, 中山 貴裕{3}, 藤吉 基弘{2}, 平野 栄樹{1}, 室山 真徳{1}, 田中 秀治{1}{1}東北大学, {2}豊田中央研究所, {3}トヨタ自動車
静電植毛電極を用いた心電図測定における 接触圧力とモーションアーティファクトの関係
竹下 俊弘*{1}, 吉田 学{1}, 檜 顕成{2}, 大内 篤{1}, 内田 広夫{2}, 小林 健{1}{1}産業技術総合研究所, {2}名古屋大学
水晶発振回路式液体濃度センサの炭酸濃度非接触測定への応用
小黒 悠*, 谷村 実紀, 矢田 直人, 寒川 雅之, 安部 隆
新潟大学
う蝕定量評価を実現するマイクロ pH センサ
田畑 美幸*, Raranaporncharoen Chindanai, 北迫 勇一, 池田 正臣, 合田 達朗, 松元 亮, 田上 順次, 宮原 裕二
東京医科歯科大学
10 Hz 以下の低周波振動をターゲットとしたポリマー振動発電デバイスの開発
塚本 拓野*, 海野 陽平, 潮見 幸江, 山田 功, 鈴木 孝明
群馬大学
慣性装置用 MEMS ジャイロの高精度化
鈴木 カレブ*, 小林 健二, 中下 修治, 吉田 幸久
三菱プレシジョン
偏光無依存メタマテリアルを用いた高感度バイオ・ケミカルセンサ
金森 義明*, 清水 友己, 野村 慎一郎, 羽根 一博
東北大学
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サマリ V4

救急医療への応用を目的とした医療用汗中乳酸モニタリングシステムの開発
鈴木 悠亮*{1}, 工藤 寛之{1}, 細山 明子{2}, 森澤 健一郎{2}, 平 泰彦{2}{1}明治大学, {2}聖マリアンナ医科大学
機械的ストレス下における植物の根系発達過程の解析手法
肥田 博隆*{1}, 西脇 大維{1}, 神野 伊策{1}, 野田口 理孝{2}{1}神戸大学, {2}名古屋大学
優秀ポスター賞受賞者と E 部門長

前中一介氏

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第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
サマリ V4【最優秀展示賞】
SPP テクノロジーズ株式会社

33 機関 33 ブースでは「Lab to Market（研究から実用化へ）」の技術展示が盛況に開催されました。
センサ，MEMS デバイス関係およびその応用システム製品，各種設計ツール，製造装置，テスト評価装置，測定機器，実装技術関連，材料技術等，広くシンポジウム参加者に紹介され，開発と事業化の技術交流が活発になされました。
また，出展社による技術プレゼンテーション（各社 5 分）が 10 月 30 日（火），10 月 31日（水）に行われました。

ポスター会場と技術展示コーナーが一体化したホワイエ

9第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
サマリ V4

Future Technologies From SAPPORO
高校生のためのサイエンス・テクノロジー研究ポスター発表会
Future Technologies from SAPPORO では，高校生が授業や部活動で日頃研究しているサイエンス・テクノロジーの研究発表をプログラムの中に組み込みました。内容は，下記の通りです。
I 電子・機械分野の理系研究（物理，ロボット，コンピュータサイエンスなど）
II 化学分野の理系研究（化学，バイオなど。自然科学，環境なども含みます）
応募された下記 3 校 13 件のポスター発表とショートプレゼンテーションがなされ，その質の高さとプレゼンテーション力が評価され，それぞれ優秀賞が授与されました。

論文番号

研究発表のタイトル

高校名

当日の参加者氏名

31pm3-HS-1

クラスター化による女性の顔の検討

市立札幌開成中等教育学校

川村聡太, 古村凌太郎, 鳥井京祐

31pm3-HS-2

IoT技術を用いた風車の製作・改良

市立札幌開成中等教育学校

田寺将樹, 早坂郁人, 我妻賢太郎, 吉野さくら

31pm3-HS-3

自律型レスキューロボットの開発・研究

市立札幌開成中等教育学校

田寺将樹

31pm3-HS-4

定在波から求めた重力加速度

札幌日本大学高等学校

阿部真生子，能代川結香，今村美咲，菅野紗那，

31pm3-HS-5

ネオジム磁石と反磁性体間に働く斥力

札幌日本大学高等学校

31pm3-HS-6

太陽光RGB値の測定

札幌日本大学高等学校

31pm3-HS-7

金属パイプ内を落下するネオジム磁石球の速度

札幌日本大学高等学校

31pm3-HS-8ゴムに働く張力と伸びの関係

札幌日本大学高等学校

31pm3-HS-9ネオジム磁石を用いた地磁気の測定

札幌日本大学高等学校

小泉泰央，上原昂大，竹村康太郎，中山賢人，田中伯翼，高橋美乃里，阿部一羽，柳内大靖

31pm3-HS-10 北広島市におけるゴマシジミ生息地の特徴と保全 札幌日本大学高等学校
31pm3-HS-11 水素イオンによる放電の妨害

立命館慶祥高等学校

佐古田瑞穂, 関根康介

31pm3-HS-12 アンテナ内部で発生する共鳴現象の解明

立命館慶祥高等学校

飴健太郎

31pm3-HS-13 何が美瑛川の河川水を「青い池」に変えるのか

立命館慶祥高等学校

中川 鈴彩，宮腰 幸輝，佐野 愛斗

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第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
サマリ V4☆Future Technologies from SAPPORO テクニカルツアー
北海道大学 創成科学研究棟クリーンルームおよび同位体顕微鏡システム
当初，JR 北海道苗穂工場の見学を予定していましたが，9 月 5 日の台風 21 号，9 月 6 日の地震等の影響で，同工場内の建物，設備等に被害があり，復旧作業の関係から JR 側との協議の結果，安全上の観点から JR 北海道でのテクニカルツアーは急遽中止となりました。
新たなテクニカルツアーの見学先として，文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」
事業により整備された北海道大学の最先端の共有装置群を見学するツアーが企画されました。
北海道大学では「微細加工プラットフォームコンソーシアム」と，「微細構造解析プラットフォーム」の２つの領域において研究支援がおこなわれており，10 月 29 日（月）午後，25 名が，北海道大学創成科学研究棟クリーンルームおよび同位体顕微鏡システムなど，これらの一部を見学しました。
北海道大学「微細加工プラットフォームコンソーシアム」と，「微細構造解析プラットフォーム」にんついての詳細は下記をご覧ください。
http://www.cris.hokudai.ac.jp/cris/nanoplat/
北海道大学様のご協力に謹んで御礼申し上げます。

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第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
サマリ V4☆Future Technologies from SAPPORO
札幌市民公開講座

SENSOR X MUSIC

札幌市民公開講座の一環として開催された，北海道札幌国際情報高等学校吹奏楽部 25 期総勢 98 名によるダンプレ（歌って，踊って，演奏するダンス＆プレイ，略して「ダンプレ」。
生みの親は現監督の小出学先生）ライブがセンサシンポジウムを彩りました。

北海道教育委員会教育長
佐藤嘉大氏、吹奏楽部顧問
小出学氏、センサシンポジウ
ム実行委員との集合写真

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第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
サマリ V4☆Future Technologies フォトコンテスト～アートのようなマイクロ・ナノ テクノロジ～
MEMS（マイクロマシン）や微細加工等の写真を募集し，作品を掲示，掲示することで研究分野の異なる研究者間の交流や一般の方の興味を喚起することを目的としたフォトコン
テストが実施されました。今回は，18 作品の応募を頂きました。

最優秀賞は，京都大学の土屋智由氏のカッパドキアに授与されました。

最優秀賞「カッパドキア」
土屋智由氏（京都大学），中川洋人氏，鷹尾祥典(横浜国立大学）優秀賞「シリコン製ポスター展示会場」
峯田 貴氏（山形大学）「イースト細胞を操作する世界最小の遠隔操作可能な光駆動マイクロロボット」
生田幸士氏、嶋田直矢氏（東京大学）「0.3mm エリアのビル群」
鶴岡典子氏（東北大学）

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第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
サマリ V4

第 35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムの企画・運営を遂行された，実行委員，論文委員のメンバーです。

なお，今回の開催にあたり，北海道様，札幌市様から，ご後援を賜りましたこと，あらためまして御礼申し上げます。さらに，本シンポジウムは札幌市グリーンＭＩＣＥ推進奨励制度に基づき，環境配慮型ＭＩＣＥの実施に取り組んだことから、認証を受けております。
次回は 2019 年 11 月 19 日（火）～11 月 21 日（木），アクトシティ浜松にて開催されます。

次期実行委員長 鈴木 博章氏（筑波大学）へバトンタッチされました

写真撮影協力：明治大学

斎藤晴名さん14