装置組込み、実証プラントから一般プロセスまで

M-900 シリーズ
マイクロフローメータ
概 要
M-900 シリーズ“マイクロフローメータ " は、微小流量計測用として設計された面積流量計で、高温・高圧下でも安心してご使用いただけるようすべて金属で構成されています。
コンパクトな形状で各種装置への組込みから、小口径プロセスまで幅広い用途に使用できます。
高圧ガス保安法対象品、原子力用途など高度なプロセスにも多くの納入実績を誇ります。
現場指示タイプのほか警報発信および空気圧発信タイプがありリモート監視、コントロールに対応します。
特 長

基本構造

❏ コンパクトな構造
コンパクトで軽量のため、ねじ、フランジ接続やパネル取付けが容易。

テーパ管をはさんで上下に接続用接手部があり、指示部ケース内を貫通しています。
マグネットが封入されたフロートは、流量に応じてテーパ管内を上下します。

❏ 高感度
軽い指針とピボット軸受により目盛指針の遅れがな
く、高感度です。
❏ 腐食性・不透明流体に最適仕様に応じチタン、MA276（ハステロイ C 相当）などの特殊金属も製作可能。

このフロートの動作は磁気接手によって指針が回転連動し、円弧状の目盛板に表示された流量を指示します。
接 続 部

®

OUT

指 示 計
目 盛 板

❏ 見やすい目盛と指針
長い指針とワイドなリニア目盛で流量指示が読みやすい。

指 針

フロート

❏ 付属品が豊富
流量調整弁、ストレーナ、定流量弁など用途に応じた品種が豊富。

(マグネット内蔵)

テーパ管
フロート軸

IN

TG-F2286-J02
3 版 2024 11 K
初版 2022 09 K

M-900 シリーズ

マイクロフローメータ

形式コード
形式コード
M‒9構

造機

能IS ‒

流れ方向付加機能
付属品
特殊仕様

0151
2
345‒

‒

内 容

防塵・防滴
本質安全防爆＊1
現場指示
空気発信
警報発信（リードスイッチ）
下→上下→上横下横→上横下横→上下後→上後（現場指示のみ）D
液体ダンパ付＊2‒ DU
ガスダンパ付‒VU ニードルバルブ（下流側）‒ VL ニードルバルブ（上流側）‒/Z＊＊

1：本質安全防爆形は警報発信タイプのIS-M-95□のみの製作となります。
2：液体ダンパは流れ方向下横→□、下後→上後のみに付加できます。

付加仕様
1. 液体ダンパ（形式 M-9□□-D）
気体および蒸気流量計測では、特に低圧仕様の場合はフロートのハンチング防止のためダンパ機構を設ける必要があります。
この液体ダンパは本体下部に緩衝油を入れたダンパ体を取り付け、フロート軸と連動するダンパがその液中を上下動するときの抵抗を利用してフロートのハンチングを緩和し、精度および耐久性を保持するものです。
また、液体計測でも脈動流が想定される場合はこの液体ダンパの取り付けをお勧めします。

3. ニードルバルブ（形式 M-9□□-V□）
流量調節用のニードルバルブです。
特に気体計測の場合はフロートのハンチング防止のため流量計の下流側にニードルバルブの取り付けをお勧め致します。
また、液体計測で脈動流が想定される場合は流量計の上流側に取り付けることで緩和効果を期待することもできます。
4. マグネットストレーナ（付属品参照）
計測流体中に鉄粉などが混入していると、フロート内のマグネットに吸着され動作不良の原因となります。このような場合流量計の上流側にマグネットストレーナを設置して混入物を除去します。
マイクロフロメータ専用マグネットストレーナの標準フィルターは 100 メッシュ（特注品は 200 メッシュ）をご用意しております。
5. パージセット（付属品参照）
M-900 マイクロフローメータと定流量弁の組み合わせで、一次側圧力または二次側圧力が変動しても一定流量を保持します。

2. ガスダンパ（形式 M-9□□-DU）
気体計測用にダンパ液を必要としないガスダンパを組み込んだ製品も製作致します。
この方式はフロート軸受部にピストンとシリンダで構成されるメカニカルなダンパ機構を組み込んでいます。
本体下部にダンパを取り付ける必要が無いため流量計の流れ方向に制約がなく、配管設計の自由度向上に寄与します。
また、ダンパ液の注入の手間もなくメンテナンス上も有利です。
特にフロートがハンチング発生し易い低圧の気体
計測で、ダンパ液を使用できない場合は有効であり、0.3MPa 未満の使用圧力でメータ近傍の下流側にニードルバルブが付かない場合はガスダンパを必ず選択するようにしてください。
本タイプは気体専用で液体、およびドレン化する蒸気には使用できません。また化合物を生成し易い塩素ガスや異物（錆び、ゴミ、油分など）が混入する気体は、ピストン部の機能に支障をきたす場合が有り、お勧めできません。

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M-900 シリーズ

付属品

マイクロフローメータ

Accessories

ニードルバルブ
流量調節用のニードルバルブです。
ご指定により流量計に組み付けて納入致します。

● M-901-V 形

外形寸法図

標準タイプ
(Max.66)●標準仕様
び径

Rc 3/8

流 体 圧 力最高 3MPa流 体 温 度

− 15 〜 150℃

材

SUS316/PTFE

質140L

高圧仕様品も対応致します。お問合せください。

120呼4350.562112.5

接続ねじ呼径Rc 1/4Rc 3/8Rc 1/2L (mm)

245

225275

Rc 3/8以外はオスメスソケット付です。
＊

ガスダンパ付のL寸法は下流側に40mmプラスとなります。

マグネットストレーナ
ご指定により流量計に組み付けて納入致します。

●マグネットストレーナ

外形寸法図

●標準仕様
呼び

径

1/4，3/8，1/2B

流 体 圧 力最高 1.5MPa

流 体 温 度

最高 200℃

フ ィ ル タ標準 100 メッシュ（特注品 200 メッシュ）

材

SUS304，SUS316

質パージセット
詳細別紙 C シリーズテクニカルガイダンスをご用意しています。お申● CM-21-900 形パージセット

し付けください。

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M-900 シリーズ

マイクロフローメータ

現場指示タイプ

Local Indication type◆標準タイプ
概 要
M-900 は現場指示形の微小流量計です。
各種液体、気体の瞬時流量を指針と目盛板で表示します。純機械構造で電気、空気などのユーティリティは必要ありません。
標準仕様
液体および気体（低圧気体（0.3MPa 未満）の場合、60L/h（nor）以上であればダンパ付きをご使用ください。）
大流量タイプ300 ～600
8500 ～17000

液体 ※1
[L/h]
気体 ※1
[L/h(nor)]

0.5 ～
215 ～
60 ※2

※1：液体仕様 / 水（1.0g/cm3、1.0mPa・s）、気体仕様 / 空気（0°C、0MPa）の場合※2：ダンパ付きは製作不可。
※3：許容温度衝撃は 80°C以下。
※4：ダンパ付きは製作不可。ニードルバルブ付きは–15 ～ 150°Cとなります。
※5：液体の場合、粘度により上記精度では製作出来ない場合がございます。

外形寸法●標準タイプ、ねじ接続

M-901

1202～5～10 ～51030060 ～ 150 ～ 300 ～範囲
1503008500
最高 10（特注 20)
流体圧力（フランジ接続の場合は、フランジ規格の圧力範囲内）[MPa]（液体ダンパ付きは最高 2.94）
流体温度
0～0 ～ 149[℃ ]120 ※3 （高、低温タイプ：–20 ～ 200 ※4）
指示精度 ※5±5±3±5[%F.S.]（高精度品：±3） （高精度品：±2）
10：2
目盛範囲
10：2 （特注10：110：1）
3/8、
1/2
ねじ
1/4、3/8（標準）、1/2（標準）、
3/4
接続
15A、フランジ
10A、15A、20A、25A
20A、25A

流量

L

標準タイプ

140タイプ

4350.562112.5

接続ねじ呼径1/4

3/81/2L (mm)

180160190

3/8以外はオスメスソケット付です。
ガスダンパ付のL寸法は下流側に40mmプラスとなります。

＊＊

計測流体

液体計測での粘度限界
最大流量
2L/hまで2 〜 20L/h
20 〜 50L/h
50L/h以上

粘度限界（mPa・s）
151020●標準タイプ、フランジ接続

M-901

製作可能材質本 体

SUS304

SUS316,（SCS14）
SUS316L
MA276相当＊1, チタン＊1

テーパ管

SUS304＊2

SUS316, SUS316L
MA276相当＊1, チタン＊1

フロート

SUS304

SUS316, SUS316L
MA276相当＊1, チタン＊1＊1: ガスダンパタイプは製作致しません。
＊2: 液体2L/h未満または、気体60L/h（nor）未満の場合、耐熱ガラス/FEP/PTFEとなります。
（外部耐圧部ではなくなります。）

塗 装 色
周囲温度
指示計構造
4

マンセル 7.5BG4/1.5（指示計ハウジング部）− 30 〜 80℃
防塵・防沫形（IP54 相当）（特殊：IP65 相当）

TOKYO KEISO CO., LTD.

43120

標 準260

部品名称140

製作材質

50.5

62112.5＊ガスダンパ付の面間寸法は下流側に 40mmプラスとなります。

TG-F2286-J02

M-900 シリーズ

●大流量タイプ、ねじ接続

M-901

120

M-901

140120LL

140●高、低温タイプ、ねじ接続

マイクロフローメータ

(53)

50.5

(79)

62
112.5

50.5
4362
112.5

接続ねじ呼径1/4

3/81/2

接続ねじ呼径3/8

1/23/4L (mm)

180

160

190

L (mm)

230

265

245

3/8以外はオスメスソケット付です。
高、低温タイプのガスダンパ付は製作致しません。

＊＊＊

ガスダンパ付は製作致しません。
（AMタイプを推奨致します。）

M-901

140

330

120

●大流量タイプ、フランジ接続

(53)
(79)

50.5

120

M-901

260

140●高、低温タイプ、フランジ接続

62112.5
4350.562112.5＊高、低温タイプのガスダンパ付は製作致しません。

TG-F2286-J02＊ガスダンパ付は製作致しません。（AM タイプを推奨致します。
）

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M-900 シリーズ

マイクロフローメータ◆

気体用液体ダンパ付

概要

標準仕様

M-90 □ -D は液体ダンパを装備した低圧気体計測専用です。
その他の仕様は一般形 M-900 シリーズと同じです。
（高・低温タイプは製作致しません。）

流量範囲
タイプ

気体＊L/h(nor)標準タイプ

60～ 8500

大流量タイプ

8500～17000＊

空気 0℃，1atm

流体圧力

最高 3MPa（フランジ接続の場合はフランジ規格以内）

接続フランジ呼径 10A 15A 20A 25A
標準タイプ

L240

240 240 240

A100

100 100 100

大流量タイプ

L290 290 290

A

100 100 100

接続ねじ呼径 1/4 3/81/2標準タイプ

A40大流量タイプ

L260 260 270 240

A40210 190 215
45454545

外形寸法
M-904-D
標準タイプ、ねじ接続

大流量タイプ、ねじ接続

4362112.5

L (3/4)62112.5(150)

(150)

50.5

L (1/4，3/8，1/2)

120

140

L (1/4，1/2)

120

L (3/8)140(53)50.5

AA

標準タイプ、フランジ接続

大流量タイプ、フランジ接続

4362
112.5

120140L

L

120140(53)

50.5

62
112.5A

6TOKYO KEISO CO., LTD.

(150)

(150)

50.53/4LA

TG-F2286-J0255

M-900 シリーズ

空気圧発信タイプ
概マイクロフローメータ

With Pneumatic output

要M-910 は空気圧発信器を搭載した微小流量計です。
各種液体、気体の瞬時流量を指針と目盛板で表示するとともに、流量値を 20 〜 100kPa の空気圧信号として出力します。供給および出力圧力を表示する圧力計が付属していますので、動作状態を簡単に確認することができます。オプションでエアセット（フィルタレギュレータ）を付属したのも製作致します。
標準仕様
計 測 流 体液体および気体（圧力 0.3MPa 未満の低圧気体の計測にはダンパ付き M-91 □ -D または M-91 □ -DU 形をご選定ください。）

流 量 範 囲タイプ

液体＊1 L/h

気体＊2 L/h(nor)標準タイプ

2～30060～8500＊＊

1：水（密度1.0g/cm3，粘度1.0mPa・s）
2：空気 0℃，1atm

外形寸法●標準タイプ、ねじ接続

M-911

流 体 温 度 0 〜 80℃
指 示 精 度 ±5％ F.S.
指 示 計 構 造 防塵・防沫形（IP54 相当）

空気圧発信器仕様出力空気圧20 〜 100kPa（0 〜 100％流量に対して）
供 給 空 気 圧 0.14（±0.01）MPa
空 気 消 費 量 約 14L/min(nor)
周 囲 温 度 − 30 〜 60℃
空気導管接続 Rc1/4 めねじ（入力、出力用）
入 力 圧 力 計 0 〜 0.2MPa
出 力 圧 力 計 0 〜 0.2MPa
発  信  精  度 ±1%F.S.（流量目盛に対して）
発 信 器 構 造 防塵・防沫形（IP54 相当）

イプおよび大流量タイプは製作致しません。）

1/4

3/8

1/2

L (mm)

180160190

3/8以外はオスメスソケット付です。
ガスダンパ付のL寸法は下流側に40mmプラスとなります。

＊＊

その他の仕様は一般形 M-900 シリーズと同じです。（高・低温タ接続ねじ呼径●エアセット組付タイプ、フランジ接続 M-911＊ガスダンパ付の場合は下流側に 40mmプラスとなります。

TG-F2286-J02

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M-900 シリーズ

マイクロフローメータ

警報発信タイプ
概With Alarm Contact

要M-950 はリードスイッチ警報接点を搭載した微小流量計です。
各種液体、気体の瞬時流量を指針と目盛板で表示すると共に、所定点で警報接点出力を行います。

標準仕様
計 測 流 体液体および気体
圧力 0.3MPa 未満の低圧気体の計測にはダンパ付き
M-95 □ -D または M-95 □ -DU（標準タイプのみ）
形をご使用ください。（ダンパ付きの大流量タイプは製作致しません。）（結線図

下記の結線図は警報の出ていない場合を示します。

） ターミナル
12

流 量 範 囲3リードスイッチタイプ

液体＊1 L/h

気体＊2 L/h(nor)

標準タイプ

2～300

60～ 8500

大流量タイプ

300～600

8500～17000

外形寸法●標準タイプ、ねじ接続

M-951

防塵・防沫形（IP54 相当）
L0 〜 80℃

指示計構造

140

流 体 温 度120＊＊

1：水（密度1.0g/cm3，粘度1.0mPa・s）
2：空気 0℃，1atm

最大負荷電流最大使用電圧絶 縁 抵 抗
耐 電 圧
配 線 口
安全保持器

50.5

6235(33)180.5
接続ねじ呼径1/4

3/8

1/2L (mm)180160190

3/8以外はオスメスソケット付です。
ガスダンパ付のL寸法は下流側に40mmプラスとなります。

●標準タイプ、フランジ接続

45

その他の仕様は一般形 M-900 シリーズと同じです。（高・低温タM-951

120

接 断 差
最大接点容量43260

設 定 精 度G1/2140

警 報 設 定リードスイッチ方式 1 点（a または b 瞬時接点）
警報を保持する場合は保持回路をご用意ください。
流量目盛範囲内可能（外部設定つまみ付）±3％ F.S. 以内（流量目盛に対して）（指示精度と同じ値となります。）
30％ F.S. 以内（流量目盛に対して）
AC10VA（抵抗負荷）
DC10W
0.25A
DC100V，AC125V
100MΩ 以上 /DC500V メガー
AC1500V/1 分間
G 1/2 めねじご用命下さい（IDEC 製 EB3C-R タイプ）＊＊

接 点 構 成45

警報仕様

イプは製作致しません。）
G1/2
43

50.5

62
180.535(33)＊ガスダンパ付の面間寸法は下流側に 40mmプラスとなります。

8TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-F2286-J02

M-900 シリーズ

TG-F2286-J02

マイクロフローメータ

TOKYO KEISO CO., LTD.

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