高性能マルチチャンネル
プラズマ分光 / 計測システム
専用に開発された分析 ・ 解析用ソフトと独自の多分岐ファイバー等を使用して、 プラズマの幾つもの放射ピークを紫外域～近赤外域まで的確に捉えることが可能。
迷光が殆どなく高性能な AvaSpec-ULS2048L を複数使用し、ＣＨ毎にスリット ・ グレーティングを選択することにより、 高波長分解能実現！

用途
半導体
太陽電池
核融合炉
剃刀の刃
ガラスコーティング

低コスト 4CH 高波長分解能型
波長域 ： 200-1030nｍ
最小波長分解能 ： 0.18nｍ
多分岐ファイバー （FC4-UVIR400-2）

8CH 超高波長分解能型
波長域 ： 200-1070nｍ
最小波長分解能 ： 0.10nｍ
多分岐ファイバー （FC8-UVIR400-2）

革命！
5Gbps
bps
器
速G
光1
高場！
分超送!
登0伝.
初3
NEW
速B
界高業
US

超高速 USB3.0 & ギガビット 高速データ伝送分光器USB3.0 超高速通信 ： 5Gbps
USB2.0 の 10 倍
LAN 経由通信 ： 1Gbps
リモート測定可能
内部にデータ保存
内部にデータ保存： ：100Mpixel
100Mpixel
へ直接伝送可能（RAM不要）PC PC
へ直接伝送可能（RAM不要）早い反応測定
早い反応測定に最適

AvaSpec-ULS2048L-EVO◆LAN 直接接続でき遠距離伝送が簡単に可能

USB3.0 超高速 5Gbps とギガビットイーサネット 1Gbps 実現
AS7010 ボード上に従来の 50 倍 (100Mpixel) データ保存
迷光が殆どなく、 最小波長分解能＞0.06nm
マルチチャンネルの構築が可能で産業用に最適スリットサイズの交換が自在にできるタイプも選択可能
http://www.phototechnica.co.jp

波長域 : 200nm-1100nm
寸法 : 177x127x44.5mm〒336-0017 埼玉県さいたま市南区南浦和 1-2-17

TEL:048-871-0067 FAX:048-871-0068
e-mail:voc@phototechnica.co.jp

前付1

前付2

プラズマ・核融合学会

第 32 回年会

広告目次
た行

あ行

ツジ電子（株）

後付 9（株）エヌエフ回路設計ブロック 前付 1（株）TSL ソリューションズ

後付 10NU グローバル（株）

後付 3（株）テクノエーピー

後付 11（株）MTC

広告目次下（株）岡崎製作所

後付 4

オプトテック（株）

後付 5（株）アライドマテリアル

後付 2

か行

は行
伯東（株）

後付 12、13

浜松ホトニクス（株）

後付 14

パナソニック（株）AVC ネットワークス社 後付 1（株）北野製作所

前付 2フォトテクニカ（株）

表2

金属技研（株）

後付 6

ベガテクノロジー（株）

表 3 、表 4

さ行

ま行

システムワークス（株）

後付 7スリーエス（株）

後付 8

ゼネラル物産（株）

後付 16

三重光学（株）

米国TCI Shortwave Antenna 製品群: 短波アンテナ、Spectrum Monitoring
http://www.spx.com/en/tci/products-services/― 30 ―

後付 15貴重な研究データの長期保存には、光ディスクを活用したアーカイブが最適です。

データアーカイバー

LB-DH8シリーズ

大容量！
最小構成から最大構成（1ラックあたり最大638.4 TB）まで実現

●

●

高信頼性！
●

●

スケーラブルなモジュール構成
で、フレキシブルな運用を実現●

最小構成（初期コストを抑えて導入可能）

運用コスト削減！

繰り返しの読み書きや経年変化に強く、データを確実に保護●RAID技術を適用し、高速データ転送（最大216 MB/s）と耐障害性を実現●

50年のデータ保存寿命で、マイグレーションコストを削減
メディアの保管時は通電不要・室温で管理可能なため、空調コストを削減

下位互換性サポートにより、長期見読性を保証

最大構成１

最大構成２

（低ビットコスト保存に最適）（マルチアクセス用途に最適）
録再ユニット x 7

録再ユニット x 1

ベースモジュール
録再ユニット x 1ベースモジュール

拡張モジュール
ボトムモジュール

容量： 最大 91.2 TB
録再ユニット数： 1台

100 GBの光ディスク12枚を格納

容量： 最大 638.4 TB
録再ユニット数： 1台

容量： 最大 638.4 TB
録再ユニット数： 7台

実験データのアーカイブ用途例

1.2 TB

実験設備

データ取得用サーバー

圧縮データ（日量 数TB規模）

ローカル I/F
圧縮データ（日量 数TB規模）

データ
アーカイバー（長期保存用）

データ参照
クライアント

データフロー
制御サーバー／
NASストレージ●お問い合わせ先
パナソニック株式会社 AVCネットワークス社 ストレージ事業部〒571-8504 大阪府門真市松生町1番15号

http://panasonic.biz/archiver/

後付1

optical-storage@gg.jp.panasonic.com

０３−５４１８−１８０１

経営企画部

後付2

取り扱い商品
主な商品として大気圧プラズマ技術を用いた小型装置を扱っています。
金属・樹脂等への表面改質やクリーニング・医療応用研究などさまざまな用途に応じた形でご提案します。
幅広プラズマ

極細プラズマ（プラズマセブンᵇ

大気圧プラズマ電源制御ユニット

スポットノズル（μAP）

ᵬᵳグローバル株式会社
愛知県名古屋市守山区大字中志段味字南原２６８６番地４２３
ᵲᵣᵪᴾᴾᵆᵎᵓᵐᵇᴾᵕᵕᵕᵋᵎᵎᵐᵓᶆᶒᶒᶎᵘᵍᵍᶕᶕᶕᵌᶌᶓᵋᶅᶊᶍᶀᵿᶊᵌᶁᶍᵌᶈᶎ
後付3

後付4

後付5

金属技研株式会社㻌㻌本㻌 㻌 㻌 㻌 社／㻌 〒㻝㻢㻠㻙㻤㻣㻞㻝㻌 東京都中野区本町 㻝㻙㻟㻞㻙㻞㻌 ハーモニータワー㻞㻣 階㻌㻌㻌㼀㻱㻸：㻜㻟㻙㻡㻟㻢㻡㻙㻟㻜㻡㻜㻌 㻌 㻌 㻲㻭㼄：㻜㻟㻙㻡㻟㻢㻡㻙㻟㻜㻡㻡㻌㻌ﾃｸﾆｶﾙｾﾝﾀｰ／〒㻞㻠㻟㻙㻜㻠㻞㻠㻌 神奈川県海老名市社家字業平㻌 㻣㻝㻟㻌
（神奈川工場内）㻌㼀㻱㻸：㻜㻠㻢㻙㻞㻟㻤㻙㻞㻟㻢㻝㻌 㻌 㻲㻭㼄：㻜㻠㻢㻙㻞㻟㻤㻙㻞㻟㻣㻡㻌群馬工場／㻌 〒㻟㻣㻜㻙㻝㻝㻟㻞㻌 群馬県佐波郡玉村町下新田㻥㻤㻟㻌神奈川工場／㻌〒㻞㻠㻟㻙㻜㻠㻞㻠㻌 神奈川県海老名市社家字業平㻌 㻣㻝㻟㻌滋賀工場／㻌〒㻡㻞㻥㻙㻝㻞㻜㻞㻌 滋賀県愛知郡愛荘町松尾寺㻌 㻝㻜㻢㻢㻌 㻌

㼀㻱㻸：㻜㻞㻣㻜㻙㻢㻡㻙㻡㻤㻝㻝㻌 㻲㻭㼄：㻜㻞㻣㻜㻙㻢㻡㻙㻡㻤㻝㻡㼀㻱㻸：㻜㻠㻢㻙㻞㻟㻤㻙㻞㻟㻢㻝㻌 㻌 㻲㻭㼄：㻜㻠㻢㻙㻞㻟㻤㻙㻞㻟㻣㻡㻌

茨城工場／㻌 〒㻟㻝㻜㻙㻜㻤㻠㻟㻌 茨城県水戸市元石川町㻞㻣㻢㻙㻞㻝㻌 水戸東部工業団地内㻌㼀㻱㻸：㻜㻞㻥㻙㻞㻠㻣㻙㻥㻢㻢㻜㻌 㻌 㻲㻭㼄：㻜㻞㻥㻙㻞㻠㻣㻙㻥㻣㻝㻜㼀㻱㻸：㻜㻣㻠㻥㻙㻟㻣㻙㻟㻟㻢㻝㻌 㻌 㻲㻭㼄：㻜㻣㻠㻥㻙㻟㻣㻙㻞㻢㻡㻟千葉工場／㻌 〒㻟㻝㻜㻙㻜㻤㻠㻟㻌 茨城県水戸市元石川町㻞㻣㻢㻙㻞㻝㻌 水戸東部工業団地内㻌姫路工場／㻌㼀㻱㻸：㻜㻠㻣㻥㻙㻤㻜㻙㻜㻣㻡㻡㻌 㻌 㻲㻭㼄：㻜㻠㻣㻥㻙㻤㻞㻙㻤㻞㻥㻜㻌〒㻢㻣㻥㻙㻠㻞㻟㻟㻌 兵庫県姫路市林田町下伊勢㻌 㻥㻣㻜㻌㼀㻱㻸：㻜㻣㻥㻙㻞㻢㻥㻙㻝㻟㻟㻝㻌 㻌 㻲㻭㼄：㻜㻣㻥㻙㻞㻢㻥㻙㻜㻝㻢㻝成田工場㻌 ／〒㻞㻤㻣㻙㻜㻞㻞㻡㻌 千葉県成田市吉岡㻣㻟㻡㻙㻝㻌 大栄工業団地㻌上海連絡事務所㻌 㻌 〒㻞㻜㻝㻞㻜㻠㻌 中国上海市浦東新区花小路㻤㻟㻤 号㻠 階㻠㻜㻞 室㻌㼀㻱㻸：㻜㻠㻣㻢㻙㻣㻟㻙㻢㻤㻡㻝㻌 㻌 㻲㻭㼄：㻜㻠㻣㻢㻙㻣㻟㻙㻢㻤㻡㻡㼀㻱㻸：㻗㻤㻢㻙㻞㻝㻙㻡㻜㻝㻜㻙㻝㻝㻥㻢㻌 㻌 㻲㻭㼄：㻗㻤㻢㻙㻞㻝㻙㻡㻜㻝㻜㻙㻝㻝㻥㻝

後付6

後付7

~~未来の創造を応援する～～
スリーエス株式会社
精密加工品、溶接加工品、機械加工品、特殊材質の加工品でお困りでは有りませんか？蓄積した技術力、弊社ノウハウを基に技術パートナーして、１２０％ご要望にお応えさせて頂きます。

企業概要
会社名スリーエス株式会社

所在地458-0835
愛知県名古屋市緑区
鳴海町上汐田156-1

TEL

052-625-1443

FAX

052-625-1453

E-mailinfo@threes-ltd.co.jp

主要業務★設計、製作販売･真空機器及び関連部品･真空部品･真空チャンバー･真空排気装置･各種機械加工品･各種ヒーター

http://www.threes-ltd.co.jp

後付8

後付9

OIM 7.21

A standard EBSD tool for microstructure analysis

OIM(Orientation Imaging Microscopy) は、EBSD法を用いたミクロな材料組織解析装置のスタンダーツールとして広く愛用されています。OIM7.21 は、EBSDパターン像から反射電子像を構築する新たなPRIAS法を可能とし、一段の機能強化を行いました。

OIM Data Collection 7.21
高速型検出器 Hikari Superは、定評のある3バンド法による指数付けを用い、最大測定可能速度1400ポイント/秒、実用レベルで600ポイント/秒の測定速度を実現しています。また、PRIAS法では反射電子検出器を装着することなく、EBSDパターンの輝度から反射電子像を構築するデータ収集を可能としました。

OIM Analysis 7.21結晶方位差解析やHighlight 機能を中心とした機能強化により、材料のミクロ組織の解析をこれまで以上に深めることが可能となりました。また、PRIAS法
では、組成像、チャンネリング像そして凹凸像など、これまでの固定された反射電検出器による反射電子像に比べはるかに多くの情報を提供できるようになりました。

In-Situ 実験装置

TSL ソリューションズでは、OIM と組み合わせて使用する、試料加熱装置、試料引張装置、試料曲げ装置などの開発･設計･製造･販売を行っています。試料加熱装置では、初めて試料加熱温度1000ﾟC にて安定したOIM観察を可能としました。これにより低炭素鋼の 変態の直接観察も可能となりました。

OIM 用試料引張装置(Max 1500N)

OIM 用試料加熱装置(Max 1100ﾟC)株式会社 TSL ソリューションズ
252-0131 神奈川県相模原市緑区西橋本5-4-30 SIC2-401
TEL: 042-774-8841, FAX: 042-770-9314
e-mail: info@tsljapan.com
Homepage: www.tsljapan.com

後付10Main products ( PICKUP )'LJLWDO3XOVH3URFHVVRU$39ከFK⤯⦕ቑᖜჾ䝴䝙䝑䝖 $38㻝㻳㻴㼦㻌㻝㻠㼎㼕㼠㻙㻭㻰㻯Ἴᙧྲྀᚓ㻛ゎᯒ 㧗᫬㛫ศゎ⬟䞉㧗䝇䝹䞊䝥䝑䝖㻝㻢㼏㼔䜰䜲䝋䝺䞊䝅䝵䞁䜰䞁䝥䝴䝙䝑䝖‫ە‬$'&‫ە‬ධຊ

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後付11$GGˡἜ৕‫ࢤ͖͵ͬͪͽݟ‬ഇో7(/ )$;85/KWWSZZZWHFKQRDSFRP
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電気的に中性なラジカルは計測がとても困難で、その計測⼿法は広く研究されています。世界初のプロセスで使える超⼩型計測器を様々なアプリケーションへご提案いたします。
＜特徴＞
・吸収分光法により、原⼦状の H、N、O の原⼦状ラジカルの絶対密度を計測します.
・ICF70 フランジに取り付け、各種プラズマ装置（EBEP処理装置、CCP エッチング/CVD、Cat プロセス/CVD、ICP エッチング/CVD 等）内のラジカルを計測します。
・真空プラズマはもちろん、⼤気圧プラズマのラジカル計測も可能です.
＜プラズマ装置への取り付け例＞

減圧制御が必要ない⼤気圧プラズマは装置コストを安価に抑えられるメリットがあります。半導体分野に限らず、エレクトロニクス⼀般、医療、環境分野等へ幅広く提案いたします。
＜特徴＞
・ホロー電極構造におけるホロー効果を活⽤した、1015 個/cm3 という⾼電⼦密度の⼤気圧プラズマです。
・下の写真の様に、⽤途に応じた各種プラズマ源をご提案致します。
鏡へのパターニング

スポットノズル

医療用ノズルワイドノズル＜プラズマ照射の効果、及び応⽤例＞
コンタクトレンズへの親水化処理

Beforeガラスへのパターニング

After

その他、表⾯処理（クリーニング、エッチング）、コーティング（親⽔性、疎⽔性、機密性など）、低温殺菌・減菌（医療、製薬など）に効果が期待されます。ご相談ください。

伯東株式会社
電⼦機器事業部

営業⼀部

営業第⼀グループ〒160-8910 東京都新宿区新宿 1-1-13
TEL: 03-3225-8073、FAX: 03-3225-8992
E-mail: F1@hakuto.co.jp
後付12⡿ᅜ㻌National Electrostatics Corp.䛿䝍䞁䝕䝮䛚䜘䜃䝅䞁䜾䝹䜶䞁䝗ᆺ䛾䝨䝺䝖䝻䞁ຍ㏿ჾ䝅䝇䝔䝮䚸ཬ䜃㻾㻮㻿䞉䝏䝱䝛䝸䞁䜾䞉㻼㻵㼄㻱䞉㻱㻾㻰䞉㻺㻾㻭ศᯒ䛾䛯䜑䛾඲䛶䛾㛵㐃ᶵჾ䜔䝕䞊䝍཰㞟䝋䝣䝖䜴䜵䜰䜢ᥦ౪䛧䜎䛩䚹㻾㻮㻿䛚䜘䜃㻼㻵㼄㻱䛻䛴䛔䛶䛿䝕䞊䝍ゎᯒ䝋䝣䝖䜴䜵䜰䜒ྵ䜎䜜䜎䛩䚹NEC〇RC43ᆺศᯒ䜶䞁䝗䝇䝔䞊䝅䝵䞁䛿䚸㎿㏿䛛䛴᏶඲䛺ᮦᩱศᯒ䜢⾜䛖䛯䜑䛻䚸䜸䞊䝖䝯䞊䝅䝵䞁䝋䝣䝖䜴䜵䜰䜢ྵ䜐」ᩘ䛾⿵㊊ⓗ䛺ᮦᩱศᯒ䜲䜸䞁䝡䞊䝮ᢏ⾡䛜⤫ྜ䛥䜜䛶䛔䜎䛩䚹䝋䝣䝖䜴䜵䜰䛿䚸」ᩘ䛾ศᯒᢏ⾡䜢䝸䜰䝹䝍䜲䝮䛷ྠ᫬䛻⾜䛖䛣䛸䛜ྍ⬟䛷䛩䚹䜎䛯RC43䛿䚸ṇ☜䛺3Dศᯒ䛾䛯䜑䚸⾲㠃䛾ඖ⣲ศᕸ䛸⤖ᬗᵓ㐀䛾䝬䝑䝢䞁䜾䜢⏕ᡂ䛧䜎䛩䚹NEC〇RFⲴ㟁ኚ᥮ᆺ㈇䜲䜸䞁※䛿䚸䝍䞁䝕䝮ᆺ䝨䝺䝖䝻䞁ຍ㏿ჾ䛻ධᑕ䛩䜛䛯䜑䛾㻌He- 䛚䜘䜃㻌H- 䝡䞊䝮䜢☜ᐇ䛻⏕ᡂ䛩䜛䛯䜑䛻䝕䝄䜲䞁䛥䜜䜎䛧䛯䚹ᮏ䜲䜸䞁※䛷䛿䚸2ȝA䛾㻌He- 䜢㐃⥆䛷1000᫬㛫௨ୖ⏕ᡂ䛷䛝䜛䛣䛸䛜ᐇド䛥䜜䛶䛔䜎䛩䚹䛥䜙䛻䚸15N+H ཯ᛂ䜢฼⏝䛩䜛Ỉ⣲䝥䝻䝣䜯䜲䝸䞁䜾䛾䛯䜑䛻᭷⏝䛺㻌NH- 䝡䞊䝮䛾⏕ᡂ䛻᭷ຠ䛺䜲䜸䞁※䛷䛩䚹䚷䚷䚷䚷䚷䚷䚷䚷䚷䚷䚷䚷䚷䚷㟁Ꮚᶵჾ஦ᴗ㒊㻌Ⴀᴗ஧㒊‫ٿ‬160-8910䚷ᮾி㒔᪂ᐟ༊᪂ᐟ1-1-13, TEL: 03-3225-8052, FAX: 03-3225-9011
E-mail: Contact@g5-hakuto.jp URL: http://www.g5-hakuto.jp

後付13優れたフォトンカウンティング能力をもつ
光半導体素子MPPC /MPPCモジュール
RMPPC (Multi-Pixel Photon Counter)は、Si-PM (Silicon Photomultiplier)と呼ばれるデバイスの1種で、ガイガーモードAPDをマルチピクセル化したフォトンカウンティング (光子計測)デバイスです。
光半導体素子でありながら、優れたフォトンカウンティング能力をもっており、フォトンカウンティングレベルの微弱光を検出するさまざまな用途に利用することができます。

特長■ 優れたフォトン
カウンティング能力■ 磁場の影響を受けない■ 小型、軽量■ 優れた時間分解能■ 常温で動作■ 低電圧動作

動作原理

●

●

6用

■ 蛍光計測途■ 粒径計測■ フローサイトメトリなど

フォトン

各ピクセルは、ガイガーモードでオシロスコープでみた出力イメージピクセルそれぞれ動作します。
●■ シンチレーション計測■ 高い増倍率：10 〜105

ガイガーモードのAPDピクセル

各ピクセルは、それぞれがフォトンの検出時に同じパルスを出力します。

3 p.e.

同時に複数のピクセルにフォトンが2 p.e.

入射した場合は、それぞれの1 p.e.

ピクセルでパルスが発生し、パルスの合計値が出力に現れます。
クエンチング抵抗

MPPC受光部

www.hamamatsu.com［固体営業推進部］〒435-8558 浜松市東区市野町1126-1
TEL (053) 434-3311

仙台営業所
筑波営業所
東京営業所
中部営業所
大阪営業所
西日本営業所〒980-0011 仙台市青葉区上杉1-6-11 (日本生命仙台勾当台ビル2階)
TEL (022) 267-0121〒305-0817 茨城県つくば市研究学園5-12-10 (研究学園スクウェアビル7階) TEL (029) 848-5080〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-8-21 (虎ノ門33森ビル5階)
TEL (03) 3436-0491〒430-8587 浜松市中区砂山町325-6 (日本生命浜松駅前ビル4階)
TEL (053) 459-1112〒541-0052 大阪市中央区安土町2-3-13 (大阪国際ビル10階)
TEL (06) 6271-0441〒812-0013 福岡市博多区博多駅東1-13-6 (竹山博多ビル5階)
TEL (092) 482-0390

後付14テラヘルツ用光学部品
TPX × 2t

Transmittance（Linear）

120
10080604020010.5MgO × 2t

100806040202Frequency[THｚ]

Si 10mm120

Transmittance（Linear）[%]

Transmittance（Linear）[%]

120

1.5

10080
6040200012314234

Frequency[THｚ]Frequency[THｚ]

赤外用光学部品

三重光学株式会社〒513-0037 三重県鈴鹿市十宮３－１５－１７
TEL：059-340-6636 FAX：059-340-5636

E-mail：mo1opt@cosmos.ocn.ne.jp

後付15

URL：http://www.mie-opt.com/

HiPIMS ユニポーラ/バイポーラパルス スパッタ電源ユニポーラ電源：最大出⼒ 6,000A@2,000V
バイポーラ電源：最大出⼒ 1,500A@1,000V

大電力パルスマグネトロンスパッタ法（HiPIMS/HPPMS）によるグロー放電は高密度の金属イオンが得られ、トライボロジー特性改善等の新しい成膜技術
或いは反応性スパッタや成膜の際の前処理技術としての有用性もあります。
MugPuls 社の高電流パルスパワーDC スパッタ電源
はプラズマイオン窒化プロセスでの利用を始め上記のプロセスに最適で最先端の技術を持った電源です。
【モデル⼀例 】

MP2-HC 200

MP2-HC 400

MP2- HC 600

MP2-HC 1000

MP2-HC 1500

0 – 1000V

Voltage
Current

0 – 20 A DC

0 – 40 A DC

0 – 60 A DC

0 – 100 A DC

0 – 150 A DC

0 – 200 A Puls

0 – 4000 A Puls

0 – 600 A Puls

0 – 1000 A Puls

0 – 1500A Puls

Power0 – 10kW DC

0 – 20 kW DC

0 – 30 kW DC

0 – 60 KW DC

O – 90kW DC

Pulse frequency

DC / 0.05Hz – 100kHz

DC / 0.05Hz – 100kHz

DC / 0.05Hz – 100kHz

DC / 0.05Hz – 100kHz

DC / 0.05Hz – 100kHz

Max. frequency with100 kHz @40 A

50 kHz @80 A

50 kHz @105 A

50 kHz @120 A

50 kHz @120 A

Max. pulse current

2 kHz @200 A

2 kHz @400 A

2 kHz @600 A

2 kHz @1,000 A

2 kHz @1,500 A

Pulse time settings

5.0 μs up to 100 sec

T on+/T on-/T off+/T off-

DC+ / DC- / Unipolar pulsed + / Unipolar pulsed - / Bipolar pulsed / programmable pulse patternPulse wave form

AC 230V単相, 50/60Hz or AC 115V単相, 50/60Hz

Mains supply
I max - Detection

0 – 10kW DC

0 – 20 kW DC

0 – 30 kW DC

0 – 60 KW DC

O – 90kW DC> 200ns

ARC Detection time

500 μs up to 1000 ms

OFF time after ARC detection

Var. di/dt threshold: 0A/μs up to 2000A/μs

di/dt dynamic change

Var. U threshold: 0% up to 100% UDC (optoion)n)Voltage drop ΔV

Var. U threshold 0V up to 1000VV x I – cross Detection

Var. I threshold: 0.1 x max. Ipeak up to 1 x max. Ipeak (option)> 100ns

ARC – Detection time

プラズマパラメータ測定
プラズマの応 用分野＃ 分類

説明
Semionシステムは、アプリケーションに最1 サブストレートのイオン相互作用適なイオンエネルギーとイオンフレックスを⾒つけ出すために、リアルタイムでプラズマ⼊⼒パラメータを調整して測定。
リニアドライブ・システムを備えた

2 バルク・プラズマ パラメータ

Langmuir Probeは、プラズマチャンバー内の異なる場所でプラズマ・パラメータを特徴づけるのに理想的。

測定要素

製品名

イオンエネルギー分布

Simon System

✓✓

✓

✓

✓

✓

✓

イオン⾓度とエネルギー分布

Vertex System✓✓✓✓

✓

✓

✓

Quantum System

✓✓

✓

✓✓

✓

✓

イオン質量とエネルギーSpecies System✓✓✓✓✓✓✓

プラズマパラメータ特性

Langmulir Probe

✓✓✓✓

✓

✓

プロセス対応プラズマ測定

Plato Probe✓✓✓

✓

✓

✓

RFプラズマの磁場測定

Bdot Probe✓✓

ニュートラルとイオンエネルギー分布

大気圧 Dusty エッチング HIPIMS イオンビーム

PECVD 宇宙 スパッタ

高圧アプリケーションで使われるプラズマ（大気圧プラズマ）は、近年より⼀般的にな
3 大気圧プラズマ パラメータりました。プラズマの測定能⼒とプラズマパ 大気圧プラズマ特性の測定

Atm ospheric Probe✓

ラメータの理解は、プロセスに対する大きな洞察を与えます。
マルチ周波数インラインのRF電圧、電流、位相、高調波測定等RF電⼒
4 プラズマ電⼒の測定の全てのパラメータを測定し、そのパラメータを個々の構成要素に分解し分析。同時に複数の基本周波数の波形を再構成します

RF電圧/電流/位相/インピーダンス Octive Poly✓✓

✓

✓

✓

Octive Suite

✓✓✓

✓

✓

Octive Mono✓✓✓✓✓/高調波測定
マルチ周波数RFシステムのプラズマ自己診断、波形解析
インラインRFの電⼒測定専任技術者によるテクニカルサポートの提供で迅速な対応をさせて頂きます。

後付16

sales@elva-1.com
www.elva-1.com

Millimeter wave instrumentsfor plasma diagnostics• ECE radiometers• Reflectometers• Interferrometerssales@elva-1.com
sales@elva-1.com
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Millimeter
Millimeter
Millimeterwave
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components•• Oscillators
Oscillators• Oscillators•• Receivers
Receivers• Receivers••TestTest• Testinstruments
instruments
instruments•• Industrial
Industrial• Industrial
equipment
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equipment==============日本総販売代理店=============================日本総販売代理店=============================日本総販売代理店===============

ベガ
ベガ
ベガ
テクノロジー株式会社
テクノロジー株式会社
テクノロジー株式会社〒182-0024〒182-0024〒182-0024
東京都調布市布田4-8-3
東京都調布市布田4-8-3
東京都調布市布田4-8-3
東京営業所〒182-0024
東京都調布市布田4-8-3
TEL
TELTEL042-499-3075（代）042-499-3075（代）042-499-3075（代）FAX
FAXFAX
042-499-3078
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TEL : 042-499-3075（代）
FAX : 042-499-3078〒328-0017〒328-0017〒328-0017
栃木県栃木市錦町7-43
栃木県栃木市錦町7-43
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e-mail:info@vegatechnology.co.jp
TEL
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0282-23-4811（代）0282-23-4811（代）0282-23-4811（代）FAX
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本社 〒328-0017FAX
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