CFor Chemicals

フローコントローラ

FLC4000R

Flow controller

流量制御に必要な全ての機能を専用コントローラとして開発搭載しました。
接液部は全てフッ素樹脂にて製作されており耐薬品性を向上させました。
■ 接液部はエアー制御弁と超音波流量計のみのシンプルな構成。
■ モータ駆動方式に比較し高速応答できるエアー駆動方式を採用。
■■

Developed as a proprietary controller providing full functions needed for the flow control.
Fluorocarbon resin is all used for the wetted part and improved the chemical resistance.
■ Simply constructed so that there are only a pneumatic control valve and ultrasonic flowmater in the control valve unit.
■ Employed air-driven system enabling a high-speed operation compared to the motor-driven type.
■■

型式 Model number selection
規格Std.

FLC4000R -流体名Fluids-

流量単位 最大流量Units
Max. flow-

アナログ設定Analog setting-

特殊項目
For specialized item

出力 Output

入力 Input

AA

4-20mA

B

B

1-5V

CC

0-5V

最大流量をご記入下さい。 Shows here Max. flowrate.

Max.
AmL/min

B

L/min

1

水 Water9

特殊 For specialized fluid＊1
接続 Pipe connection

規格 Std. 制御流量範囲 Control flow range

1/4″NEW PFAチューブ 1/4” NEW PFA tube connection

30〜300mL/min

G08＊250〜500mL/min
100〜1000mL/min
200〜2000mL/min
300〜3000mL/min
400〜4000mL/min
G10

500〜5000mL/min＊1: 特殊項目については型式末尾に順番に明記下さい。詳細は当社にお問合せ下さい。
＊2：制御流量範囲を参照下さい。
＊1: For specialized items specify them at end ofModel number Selection in order. For details,consult us with your specification.
＊2: Refer to a table of Control flow range.

3/8″NEW PFAチューブ 3/8” NEW PFA tube connection

0.1〜1L/min
0.2〜2L/min
0.3〜3L/min
0.4〜4L/min
0.5〜5L/min

構成図 Configurational diagram
接液部 Control valve unit
薬液供給 Chemical feed
IN

制御流量 Controlling flow

流量制御バルブ
Flow control valve

超音波流量計Ultrasonic flowmeter

OUT
制御エアー Control air

電装部 Control unit
エアー制御ユニット
Air control unit

流量計AMP
Flowmeter AMP

エアー供給 Air supply

コントローラ Controller

0点リセットReset atzero point

216

2023

流量信号
アナログ出力Flow signal
at Analog output

警報出力
Fail出力１点
Alarm output
at Fail output one points

アナログ
設定入力
Analogsetting input

プリセット
制御ON/OFFFAIL処理リセット設定入力
PresetControl ON/OFF
FAIL process
Reset setting input

電源供給 Power to source

C
薬液・純水用仕様 Specifications
接液部 Control valve unit
エアー式制御バルブ Air-operated

接液部材質 Wetted materials

PTFE、NEW PFA

流体 Fluid

純水、薬液（電装部記載流体）DI water, Chemicals (Fluid type indicated on control valve unit)

制御流量範囲 Flow range

流量精度 Flow accuracy
制御精度 Control accuracy

FLC4000R−Ｇ0830〜300 mL/min

FLC4000R−G1050〜500 mL/min

FLC4000R−G10100〜1000 mL/min

FLC4000R−G10200〜2000 mL/min

FLC4000R−G10300〜3000 mL/min

FLC4000R−G10400〜4000 mL/min

FLC4000R−G10500〜5000 mL/min

F.S.±1.0％※1R.D.±2.0％※1

フローコントローラ

バルブ駆動方式 Valve type

供給圧力：Aタイプ Supply pressure: type A

供給圧力：Bタイプ Supply pressure: type B

50mL／min未満：±1mL For < 50 mL/min, ±1 mL
0〜50℃

動作環境温度 Operating temperature

15〜40℃

供給圧力 Supply pressure

A タイプ type A：0.05〜0.3MPa(G)(1次側圧力) (Inlet)

B タイプ type B：0.1〜0.3MPa(G)

応答性 Response time

3s以内 Within 3 seconds

再現性 Repeatability±0.5％（通常20℃）(Normally calibrated at 20°C)※2

FLC4000R

使用温度範囲 Fluid temperature

湿度が80％以下（結露なき事） ≦ 80% of Humidity (No dewing)

差圧：0.05MPa(G)以上 Differential pressure: ≧ 0.05MPa(G)
差圧：0.1MPa(G)以上 Differential pressure: ≧ 0.1MPa(G)チューブエンド接続 Tube ends
接続口径 Connection size

ケーブル/チューブ長さ Cable / Tube length
騒音値 Noise level
耐圧 Withstand pressureG08（チューブ径 Tube diameter：φ1／4

φ6.35×φ4.35）

G10（チューブ径 Tube diameter：φ3／8φ9.53×φ6.35）

SMBコネクタ付ケーブル：3m Cable with SMB connectors: 3 m
制御エアーチューブφ4×φ2：最大2m Tube for air-operated valve: Max. 2 m
80dB以下 ≦ 80dB
接液部0.5MPa(G) Flow meter: 0.5MPa(G)

制御エアー部

0.4 MPa(G) Air control unit: 0.4MPa(G)※1 使用薬液相当の流量校正が必要 ※1 Accuracy is ensured with water※2 使用温度での校正が必要 ※2 Calibration is required at the fluid temperature you use.

電装部 Control unit
電源 Power source

DC24V（±10％）消費電流 Current consumption

0.3A以下 ≦ 0.3 A

動作環境温度 Operating temperature

15〜40℃
4-20mA

電源投入時（2.5A）When locating power (2.5A)

湿度が80％以下（結露なき事）≦ 80% of Humidity (No dewing)
入力抵抗20Ω 4-20 mA (Input resistance 20 Ω)

外部アナログ入力 Analog input

0-5V

入力抵抗1MΩ 0-5 V (Input resistance 1 MΩ)

選択式 Selectable

1-5V

入力抵抗1ＭΩ 1-5 V (Input resistance 1 MΩ)

入力方式：シングルエンド入力（電源とは非アイソレーション）Input signaling: Single ended (Non-isolated to power)
アナログ出力 Analog output
選択式(一点) Selectable (One point)
比較動作 # of alarm points
比較出力 Alarm signal output type
Fail処理動作 Fail process type4-20mA 出力 負荷抵抗 300Ω以下 4-20 mA, Load resistance: ≦ 300 Ω0-5V 出力 負荷抵抗 1kΩ以上 0-5 V, Load resistance: ≧1 kΩ
1-5V 出力 負荷抵抗 1kΩ以上 1-5 V, Load resistance: ≧1 kΩ
瞬時値

上下限二段警報出力動作 2 points for Instant. flow rate

＊Fail処理機能時1接点 *Only 1 point is available when “Fail” is processed（上限・上限／上限・下限／下限・下限）(Upper / upper, Upper / lower, Lower / lower)
オープンコレクタ出力 Open collector output
出力印加電圧：DC35V以下、シンク電流：100mA以下（Vol=1.3V）Applied voltage: ≦ 35 V DC, Sink current: ≦ 100 mA (Vol=1.3 V)
a．測定不具合の場合バルブフルクローズ及びFail出力動作 a. When flow measurement error occurs, valve will be fully closed with fail processedb．測定不具合の場合バルブホールド及びFail出力動作 b. When flow measurement error occurs, valve will keep its position with fail processed

Fail出力 Fail signal output type

オープンコレクタ出力 Open collector output（流量計異常出力）(Flow meter error)

出力印加電圧：DC35V以下、シンク電流：100mA以下（Vol=1.3V）Applied voltage: ≦35 V DC, Sink current: ≦100 mA (Vol=1.3 V)

騒音値 Noise level

80dB以下 ≦ 80dB

エアー供給圧力 Supply AIR pressure

0.4〜0.5MPa(G)（ドライエアー) (Dry air)

制御とゾーン Control type (# of zones)

PID制御方式（ゾーンPID：最大6分割) PID-type (max. 6) ※3※3 電装部のコントローラーには、専用PIDコントローラーが装備されております。専用PIDコントローラー（MEC100SV）の操作につきましては別紙の取扱説明書をご参照ください。
※3 The PID-controller is installed on the control unit.The instruction manual of the controller modelled “MEC100SV” is separately provided.

2023

217

CFor Chemicals

構造図 Structural drawing
接液部 Control valve unit
188

50682035.25(12)

5.7

R246

Flow controller

50200

4×①②③Air ININ
15④49.3

65.5

188

46210

パネルカット Panel cut-out
20±0.1

56

107

OUT

4×M5

名称 Names of parts

No.

備考 Remarks

1SMBコネクタ付きケーブル（白）Cable with SMB connector (White)

3m2Air 配管 Piping for air

3NEW PFAチューブ NEW PFA tube

NEW PFAチューブ付属 NEW PFA tube is attached：φ4×φ2×2m
G08 : 1/4″（φ6.35×4.35）
G10 : 3/8″（φ9.53×6.35）

4SMBコネクタ付きケーブル（黒）Cable with SMB connector (Black)

200±0.1※接液部取付ネジは、M5×12以上のネジを使用してください。
※For mounting screws of the control valve unit,
use screws having a size of M5x12 or larger

3m（10）

電装部 Control unit

背面図 Rear view
①②

③④82

CN 2AIROUT

パネルカット Panel cut-out

BLACK WHITE

63150

AIRINFG846±0.1

ERRORPOWER

72

CN 1844.5⑤9993×764642182023⑦⑧※電装部取付ネジは、M4×5以上のネジを使用してください。
※For mounting screws of the control valve unit,use screws having a size of M4x5 or larger

5.22R⑥4×M493±0.1No.

名称 Name of parts

1

電源用コネクタ Power connector port2

信号用コネクタ Signal connector port

3

制御エアー接続ポート OUT Air-outlet port

4

制御エアー接続ポート IN Air-inlet port

5

SMBコネクタ接続ポート SMB connector port

6

電源ランプ Power lamp

7

エラーランプ Error lamp

8FG

備考 Note

適用チューブ径 Tube diameter：φ4×φ2

取付け推奨端子 Recommended ring terminal size for FG：R1.25-3.5

C
薬液・純水用配線方法 Structural drawing
電源ケーブル Power cable
信号ケーブル Signal cable

フローコントローラ

NEW PFAチューブ NEW PFA tube

AIROUT

CN 2

CN 1AIRIN
BLACK WHITEAirチューブ径φ４（お客様でご用意下さい）
Tube for air supply, OD of φ4 (Prepared by user)

FG
ERROR
POWER

FLC4000R

SMBコネクタ（黒）SMB connector (Black)

SMBコネクタ（白）SMB connector (White)

電源ケーブル Power cable
リセプタクルハウジング Receptacle housing
SMR-02V-N（日本圧着端子製） (Made by J.S.T.Mfg.Co.,)
ピンコンタクト Pin contact
SYM-001T-P0.6（日本圧着端子製） (Made by J.S.T.Mfg.Co.,)
EXT-2 2C×24AWG（TAIYO製） (Made by TAIYO)
２１収縮チューブ
(35)

shrinkable tube
2000

内容 Function

線径 Wire dia.

1桃 Pink

色 Cable colors

電源DC＋24V Power source at + 24 V DC

AWG 242空 Sky blue

電源DC 0V Power source at 0 V DC

AWG 24

ピン Pin No.

(40)

信号ケーブル signal cable
リセプタクルハウジング Receptacle housing
SMR-18V-N（日本圧着端子製） (Made by J.S.T.Mfg.Co.,)１ ２ ３ ・ ・ ７ ８ ９１０ １１ １２・１６ １７ １８

ピンコンタクト Pin contact
SYM-001T-P0.6（日本圧着端子製） (Made by J.S.T.Mfg.Co.,)

ピンPinNo.

色 Color

内容 Function

MIX15（AWG 26,24）SR-SV（20276）アース線（緑）AWG 22（被服外形1.06/導体0.76）L＝70
Earth cable (Green) AWG 22 (Shielded outer did. 1.06 / Conductor0.76) L＝70

収縮チューブshrinkable tube
(40)

2000

(50)

線径 Wire dia.

備考 Remarks

0点リセット Zero point reset
流量計の0点調整を行います。 Zero Adjustment is made for flowmeter.
0点リセット Zero point reset
流量出力 アナログ出力OUT Flow output Analog output OUT
測定流量出力として使用します。They are used for the flowrates to be measured.
流量出力 アナログ出力COM Flow output Analog output COM
プリセット1 Preset 1
使用しません。 This terminal is not available flowrates to be measured.
プリセットCOM Preset COMControl ON/OFF by turning ON/OFF on preset terminal 2.
プリセット端子2 ON/OFFにより制御ON/OFF
通常時はプリセット端子2はＯＮ(制御ＯＮ)で使用して下さい。 Preset terminal 2 should be normally used with ON (Control ON).
プリセット2 Preset 2

6

赤太 Red thick黒太 Black thick
橙 Orange
緑 Green
黄 Yellow
灰 Gray7

白 White8

桃 Pink
CP1 CP1
上限又は下限の警報出力として使用します。 CP1 and CP2 is used as a alarm output of the upper or lower limits.
空 Sky blue
CPCOM CP COM
草 Grass green
CP2 CP2
未接続 No connection
未接続 No connection
未接続 No connection
紫 Purple
USF通信 RS-485 GND USF communication RS-485 GND 流量計の通信機能として使用します。(流量値校正用として使用します。)
茶 Brown
USF通信 RS-485＋ USF communication RS-485 +※左記以外の御使用はしないで下さい。
They are used as communication function with flowmeter. (They are used for calibrating the flowrates) Do not use for any purpose other than above.
青 BlueUSF通信 RS-485− USF communication RS-485 赤 Red
外部入力 アナログ入力 IN External input Analog input IN
設定値入力として使用します。
黒 Black
外部入力 アナログ入力COM External input Analog input COM They are used for entering the setting values.

12
3
4
5910
1112131415
161718AWG 24
AWG 24
AWG 26
AWG 26
AWG 26
AWG 26AWG 26
AWG 26
AWG 26
AWG 26

AWG 26
AWG 26
AWG 26
AWG 26
AWG 262023219