蛍光検出型放射光 X 線ビーム位置モニター
工藤統吾
西野吉則

財団法人高輝度光科学研究センター〒6795198 兵庫県佐用郡佐用町光都 111

理化学研究所播磨研究所放射光科学総合研究センター〒6795148 兵庫県佐用郡佐用町光都 111

井上 忍
石川哲也

財団法人高輝度光科学研究センター〒6795198 兵庫県佐用郡佐用町光都 111

財団法人高輝度光科学研究センター〒6795198 兵庫県佐用郡佐用町光都 111

理化学研究所播磨研究所放射光科学総合研究センター〒6795148 兵庫県佐用郡佐用町光都 111

要旨

チタン箔からの蛍光 X 線を利用した高輝度放射光 X 線ビーム位置モニターを開発した。本ビーム位置モニター

は複数の PIN ダイオードを検出器として用いており，従来の PSIC （位置敏感型電離箱）と比べると大強度 X 線ビームにおいても線形性が保たれるという利点をもつ。ビームラインでテストした結果，本ビーム位置モニターは0.2 um 以下の位置分解能を有することが確認された。また分光器安定化システム（MOSTAB）と組み合わせることで，ビーム位置変動が標準偏差で4.9 um から0.5 um に抑制された。

1. はじめに失い，ビーム位置演算値の S /N 比が著しく減少する。そのため挿入光源光でのビーム位置計測に用いることができ第 3 世代放射光源の性能を十分に引き出し「使い切っない場合がある。てゆく」ために放射光 X 線ビーム位置の安定度は極めて

本稿では挿入光源用の新しいビーム位置モニターの一つ重要である。このため SPring-8 では軌道安定化1) や Top-である蛍光検出型放射光 X 線ビーム位置モニターを紹介

up 運転2) など光源加速器の安定化への努力とともに，光する。これは APS で先行して開発改良が進められている学系特に分光器の安定化について様々な努力がなされてきものであり10,11) ，金属箔に X 線ビームが透過して発生すた3,4) 。 2 結晶分光器が冷却系配管の振動などにより不安る蛍光 X 線を複数の PIN フォトダイオードで検出して定化すれば，ビーム位置変動を引き起こす。これは集光系ビーム位置を算出するものである。このビーム位置モニを用いたマイクロ（ナノ）ビーム形成における設計上の光ターは広ダイナミックレンジの高輝度放射光用ビーム強度源点（フロントエンドスリットや挿入光源の中心部など）

モニター12) を発展させて開発されたものであり，挿入光を狂わせる要因になり，空間コヒーレスの低下につなが源光のビーム位置計測に有利であると考えられる。またこる5)。また実験ハッチでは数十ミクロン以下のスリットサのビーム位置モニターはソフトウェアベースの分光器制御イズを用いてビーム整形を行うことが多く，ビーム位置のでビーム安定化にも用いられている13) 。以下， SPring-8

変動はスリット後のビーム強度の変動となる。にお いて我々 が行った同 モニターの試 作試験と， その我々は分光器の振動やドリフトに起因するビーム不安定

MOSTAB への適用結果につき述べる。

性 の 改 善 に Monochromator Stabiliation: ( MOSTAB ) が有効であることを確認し6,7)，現在 SPring-8 の多くのビー

2. モニターの原理と構成ムラインに MOSTAB が導入されている。MOSTAB は 2結晶分光器の結晶の平行度を閉ループフィードバックで制本ビーム位置モニターは X 線を透過させる金属箔（こ御して，分光器下流での X 線ビームの安定化を行うシスこではチタン箔）と，チタン箔から発生する蛍光 X 線のテムである。MOSTAB は元来ビーム強度安定化の技術と検出器（PIN フォトダイオード）からなる（Fig. 1）。図のして開発されたが8)，我々は位置敏感電離箱（PSIC: Posi-左側から Ti の K 吸収端4.966 keV 以上の X 線ビームビー

tion Sensitive Ionization Chamber)9)との組み合わせによムがチタン箔に入射すると，箔上のビーム入射点から蛍光りサブミクロンオーダーのビーム位置安定化にも応用できX 線（Ka 線4.51 keV ）が等方的に発生する。この蛍光ることを確認した6,7) 。しかし PSIC は大強度の X 線ビー

X 線を，チタン箔からみてビームライン上流側に配置しムに対してイオンの再結合による飽和現象により線形性をた 2 個の PIN フォトダイオードが検出する。 PIN フォト

放射光 Nov. 2005 Vol.18 No.6 ● 373(C) 2005 The Japanese Society for Synchrotron Radiation Researchダイオードを箔の上流に配置する理由は，下流配置の場合いる。光電池モードの PIN フォトダイオードは広ダイナ

チ タ ン 箔 か ら 発 生 す る 回 折 X 線 が 形 成 す る powder

ミックレンジであり，放射光 X 線強度測定に頻繁に用い(Debye-Sherrer) ring の影響が大きく，位置精度が悪化すられている15)。

るからである10)。
チ タン箔を蛍 光体として 用いる X 線ビーム 位置モニ

3. モニターの設計製作と性能ター（X-ray beam position monitor: XBPM）であることから，以下このモニターを Ti XBPM と略記する。チタ

Fig. 1 に示された各部寸法を，フォトダイオードの実効ン箔上のビーム入射点の位置が変わると， 2 つの PIN フ

長 L ＝ 10 mm ，原点とフォトダイオードの端までの距離ォトダイオードが検出する蛍光 X 線の強度比が変わる。

Yd ＝6.71 mm ，金属箔とフォトダイオードの水平距離 Rd

ここで 2 つの PIN フォトダイオードの信号強度を i1 およ＝ 8.89 mm として製 作した Ti XBPM を Fig. 2 に示す。

び i2 とすると，ビームが 2 つの PIN フォトダイオードかFig. 2A は光学ロッドに取り付けた本体外観である。Fig. 2B

ら等距離の位置を通過する時は i1 ＝ i2 となる。この時のは本体を 3 つのパーツに分解したものである。Fig. 2B のビーム位置を Ti XBPM の原点とする。但しここで 2 つ

左から順に，（a ) PIN フォトダイオードホルダー部，（ b )の PIN フォトダイオードの検出効率は等しいとする。原

ジュラコンスペーサ部，（c )チタン箔ホルダー部である。

点からの光軸のずれ量 Dy が小さい場合は， i1, i2 及び Dy

2 次元のビーム位置情報が得られるように( a )においての間には式(1)の関係が成り立つ。

PIN フォトダイオード 4 つを上下左右に配置した。4 つのPIN フォトダイオードは，G10ガラス基板上に半田付けさi1－i2
D y＝ ki1＋i2(2)れ，アクリル製押さえ具により位置が固定されている。
（ b )のジュラコンスペーサは Rd を正確に決定するために挿入される。（c )のチタン箔ホルダーは，テーパ状のジュ

ここで k は実験的に求める比例定数である。

ラコン押さえ具によりチタン箔を平面に保持する。このTi XBPM を透過した X 線ビームは下流において実験

テーパ状ジュラコン押さえ具の取り付けねじはアクリル製に用いられる。従って蛍光体の金属箔はできる限り薄くのものを用いた。本品は株式会社帝国電機製作所16) によし，用いるビームエネルギー範囲での X 線透過率を上げり製作された。アクリル及びジュラコン（ポリアセタールる必要がある。我々は 5 mm 厚のチタン箔（ NIRAKO 製）樹脂）は，本体を構成するアルミニウムからの蛍光 X 線を用いた。 5 mm 厚 Ti 箔は，例えば12 keV での X 線透過ノイズを吸収する。

率が86 ， 24 keV では 98であるが，より薄い箔を用いFig. 2B ( a )のビーム入射口をポリイミドフィルムでシーれば更に吸収によるロスが少なくなる。また逆に高エネルルすると本体内部は密閉となる。この状態で内部にヘリウ

ギー X 線ビーム位置計測においては，吸収率の減少に伴ムガスをフローしチタン箔の酸化を防止する。ヘリウム雰い蛍光強度が減少する。この場合は箔の厚さの調整や，材囲気中で，X 線照射による光電効果で Ti 箔および本体金質の変更などにより蛍光強度を増大させて対応する10)。

属部がチャージアップするとしばしば放電が起きる。これPIN フォトダイオードとしてここでは浜松ホトニクスを防止するため本体金属部をアースする。 PIN フォトダの S359009 を光電池モードすなわち無バイアス電圧で用イオードの出力電流信号は本体側面の LEMO コネクターから取り出し，電流電圧変換アンプにて電圧信号とし，AD ボードなどにより数値化した後( 1 )式により Dy を得る。ここで 4 個の PIN フォトダイオードのうち，上下にFig. 2
Fig. 1

Geometrical conˆguration of TiXBPM. Yd: distance between the bottom of a PIN photodiode and the center of twodiodes. L: active length of the PIN photodiode. Rd: horizontal distance between the Tifoil and PIN photodiode. Dy:
beam shift from the origin of the TiXBPM.

374 ● 放射光 Nov. 2005 Vol.18 No.6

Photographs of a TiXBPM. A: TiXBPM mounted on an
optical rod. B: (a) photodiode holder, (b) spacer, (c) Ti
foil holder. The x-ray beam passes through a 9 mm diameter
central hole of (a), and transmits the Tifoil on (c).
Fluorescent x-rays from the Tifoil are detected using thefour PIN photodiodes on (a). Helium gas ‰ows in the Ti
XBPM to prevent the oxidation of the Tifoil.

実験技術 ■ 蛍光検出型放射光 X 線ビーム位置モニター配置されたもの 2 個を用いて計算すると垂直ビーム位置ギー依存性を持つ。したがって，ビームエネルギー変更毎が，左右に配置されたもの 2 個を用いて計算すると水平のキャリブレーションにより k 値を求めてビーム位置計算ビーム位置が得られる。

を行う必要がある。

Fig. 3 は BL46XU において， 12 keV ～ 24 keV 単色光 X

Fig. 4 は BL29XU 実 験 ハ ッ チ に お い て ， PSIC と Ti 

線ビームに対して Ti XBPM を水平方向に駆動しながらXBPM をタンデムに配置し，垂直方向ビーム位置を同時水平方向のビーム位置を測定したものである。グラフ縦軸測定したものである。（a )は二結晶分光器の分光結晶を完はステージの移動量（すなわちビームシフト量 Dy ），横全平行としてビーム強度を最大化した場合，（b)は第一結軸は（ i1 －12)/(i1 ＋i2）である。－1 mm ＜Dy＜ 1 mm に晶をデチューニングしてビーム強度を最大の 50 とした

おけるこのグラフの直線性からのずれはいずれのビームエ場合である。ビーム強度最大の場合(a )は PSIC が線形性ネルギーにおいても 5 以下であった。ただし原点でのを失うことで S /N が悪化した。ビーム強度を 50 とした

グラフの傾斜（即ち式(1 )の k）は，このエネルギー範囲場合( b )は PSIC と Ti XBPM の測定値はよく一致した。

内で 17 変化した。これは散乱 X 線の混在による影響と（b )の条件において PSIC と Ti XBPM で測定された各点考えられる。ビームエネルギーにより蛍光 X 線と散乱 Xでのビーム位置の差の標準偏差は 0.2 mm であった。した線の強度比は変化する。また蛍光 X 線の 3 次元プロファがって双方のモニターともに(b)の条件では0.2 mm 以下のイルは入射ビームエネルギーに依存しないが，散乱 X 線分解能を有すると考えられる。大強度 X 線ビームでの S /の 3 次元 プ ロ ファ イ ルは 入 射ビ ー ムの 偏 光度 と エ ネル

N がよいことから，TiXBPM は PSIC よりも挿入光源光ギーに応じて変化する。これらにより k 値はビームエネルのビーム位置測定において有利と考えられる。

3. MOSTAB によるビーム位置の安定化
BL46XU 実 験 ハ ッ チに お い て Fig. 5 の 構 成 で Ti 

XBPM と MOSTAB に よ る ビ ー ム 位 置 安 定 化 を 行 っ た（Fig. 6）。Fig. 5 の中で MOSTAB と記して囲った部分は専用のフィードバック回路 MOSTAB PID01 （帝国電機製作所製16) ）を利用した。本回路には式(1)に則った演算処理が含まれており，ビーム位置安定化のシステムが容易に構成できる。MOSTAB により水平ビーム位置変動の標準偏差は4.9 mm から0.5 mm に減少した。BL46XU の 2 結晶
分光器は傾斜配置型の結晶を用いているので，第一結晶のDu（デチューニング角）調整によりビーム位置は主としFig. 3

Horizontal beam position sensitivities of a TiXBPM for 12,
18 and 24 keV synchrotron radiation x-ray beam
monochromatized using a Si 111 double crystal monochromator. The measurement was performed at BL46XU.

Fig. 4て水平方向に動く。従ってここではビームの水平方向の安定化が実現された。

Vertical beam position ‰uctuations in 1500 seconds measured using a tandem of PSIC and TiXBPM at the experimental hutch of BL29XU. Each measurement point stands for the averaged position over 1 s. The beamenergy was 10 keV monochromatized using a Si 111 double crystal monochromator; (a) double crystal
monochromator was tuned at the maximum intensity of the rocking curve; (b) double crystal monochromator
was detuned to 50 of the maximum intensity of the rocking curve in order to restore the linearity of PSIC.

放射光 Nov. 2005 Vol.18 No.6 ● 375

しろビーム強度やエネルギーの不安定化を引き起こすことがある。今後は光源を考慮したフィードバック制御を目指す必要がある。このため分光器上流のビーム位置を高精度計測できるビーム位置モニターの開発などが必要である。
謝辞
モニター本体と読み出し回路の設計製作において，株式会社帝国電機製作所の金本豊和氏，株式会社アイデンの安藤義之氏および白石英洋氏に尽力いただいた。試作品の設Fig. 5Schematic diagram of a beam position stabilization systemwith MOSTAB and TiXBPM. TiXBPM provides current
signals from PIN photodides. The signals are converted tovoltage signals, and fed to a MOSTAB module ``MOSTAB
PID0115)''. The MOSTAB module provides a control voltage
for a piezo electric translator that controls the detuning angleof the ˆrst crystal of the double crystal monochromator.
Thus the beam position measured by the TiXBPM is stabilized.

計製作および動作試験は JASRI 周辺技術チームの川瀬守弘氏，BL46XU での実験においては担当者の水牧 仁一朗
氏，木村滋氏の多大なるサポートを得た。また本モニターの運用の実際につき APS の E. Dufresne 氏から貴重な情報をいただいた。 Marcia Obuti 氏に図版等の英文のチェックをしていただいた。本研究は兵庫科学技術協会により支援され，高輝度光科学研究センターR&D課題

R03B47XU 0016N, R03B46XU 0025N, R04A46XU 0035N として実施された。

文献
1)
2)

3)
4)
5)
6)
Fig. 6 Beam position stabilization using a MOSTAB and a Ti
XBPM at the BL46XU experimental hutch. The standard deviationof the beam position measured by the TiXBPM was reduced from
4.9 mm to 0.5 mm. The beam energy was 24 keV monochromatizedusing a Si111 double crystal monochromator.

7)
8)
9)
10)

4. 運用の現状と今後の展望など
本ビーム位置モニターは現在 SPring-8 の複数のビームラインで MOSTAB とともに運用されビーム位置安定化に貢献している。特にマイクロビームを用いた実験で力を発揮している。ここで紹介したものは大気圧で使用するものであるが，真空仕様のものを現在開発中である。

11)

12)
13)
14)

MOSTAB によるビーム位置制御は一次元に限られており，制御できない方向については不安定性が残る。また以前から指摘されているとおり6)光源加速器の安定性が不十分な場合には，MOSTAB を用いたビーム位置安定化はむ

376 ● 放射光 Nov. 2005 Vol.18 No.6

15)
16 )

田中 均放射光 17, 72 (2004).
H. Tanaka et al.: ``Top-up Operation at SPring-8
Towards
Maximizing the Potential of a 3rd Generation Light Source'',
9th European Particle Accelerator Conference, 56 July,
2004 Lucerce.
T. Ishikawa, H. Yamazaki, K. Tamasaku, M. Yabashi, M.
Kuroda and S. Goto: Proc. SPIE 3448, 2 (1998).
K. Tamasaku, M. Yabashi, D. Miwa, T. Mochizuki and T.
Ishikawa: Proc. SPIE 4782, 132 (2002).
鈴木芳生Spring-8 年報 76 (2002).
Y. Nishino, T. Kudo, M. Suzuki and T. Ishikawa: Proc.
SPIE 5195, 94 (2003).
工藤統吾，西野吉則，鈴木基寛，谷田 肇，古川行人，広野等子，石川哲也放射光 16, 173 (2003).
A. Krolzig, G. Materlik, M. Swars and J. Zegenhagen: Nucl.
Instr. Meth. 219, 430 (1984).
K. Sato, H. Toyokawa, Y. Kohomura, T. Ishikawa and M.
Suzuki: Proc. SPICE 3774, 114 (1999).
R. W. Alkire, G. Rosenbaum and G. Evans: J. SynchrotronRad. 7, 61 (2000).
E. M. Dufresne, J. A. Guzman, S. B. Dierker, R. Clarke, D.
A. Arms and D. A. Walko: AIP conference proceedings 705,679 (2004).
R. W. Alkire and F. J. Rotella: J. Appl. Cryst. 30, 327(1997).
K. Lararski, R. W. Alkire, N. E. C. Duke and F. J. Rotella:
AIP conference proceedings 705, 612 (2004).
http://www.mhatt.aps.anl.gov/research/publications/reports/Guzman2001.pdf, ``A UHV X-ray Beam Positioning
System Using a quadrant PIN Photodiode Array'', Jesse
Guzman, August 2001.
張小威，杉山 弘，依田芳卓放射光 14, 292 (2001).
株式会社帝国電機製作所 〒 679 4395 兵庫県揖保郡新宮町平野60番地 電話0791
75
0471

実験技術 ■ 蛍光検出型放射光 X 線ビーム位置モニター● 著者紹介 ●工藤統吾

井上

高輝度光科学研究センター 副主幹研究員
E-mail: kudo＠spring8.or.jp
専門回路技術などをベースとした放射光技術分野での装置開発［略歴］
1989 年筑波大学大学院修士課程医科学研究科学修了，住友製薬株式会社（現大日本住友製薬株式会社），ツジ電子株式会社をへて1996年より現職。

E-mail: inoues＠spring8.or.jp
専門機械設計など［略歴］
1998 年信州大学繊維学部機能機械学科卒業。株式会社ヤスナ設計工房入社。
2002 年 9 月スプリングエイトサービス
株式会社入社 財団法人高輝度光科学研究センターに業務協力員として勤務。

西野吉則
理化学研究所播磨研究所放射光科学総合研究センター先任研究員
E-mail: nishino＠spring8.or.jp
専門X 線光学，X 線顕微法
［略歴］
1996 年大阪大学大学院理学研究科博士財課程修了，理学博士。1996年2001年
高輝 度光科 学研究 セン ター。 1998 年 2000 年ハンブルク放射光研究所客員研究員。2001年 4 月より現職。

忍

石川哲也
理化学研究所播磨研究所放射光科学総合研究センター 副センター長
E-mail: ishikawa＠spring8.or.jp
専門X 線光学［略歴］
1982 年東京大学大学院工学系研究科物理工学専攻博士課程修了。工学博士。高エネルギー物理学研究所放射光実験施設
助手，東京大学工学部助教授，理化学研究所マイクロ波物理研究室主任研究員を経て， X 線干渉光学研究室主任研究員。加速器工学， X 線光学等の研究に従事。本年 10 月より理化学研究所播磨研究所放射光科学総合研究センター副センター長。

A ‰uorescence-based synchrotron radiation
X-ray beam position monitor
Togo P. KUDO
Yoshinori NISHINO
Shinobu INOUE
Tetsuya ISHIKAWA

SPring-8/JASRI, Kouto 111, Sayo, Sayo, Hyogo 6795198
SPring-8/RIKEN, Kouto 111, Sayo, Sayo, Hyogo 6795148
SPring-8/JASRI, Kouto 111, Sayo, Sayo, Hyogo 6795198
SPring-8/JASRI, Kouto 111, Sayo, Sayo, Hyogo 6795198
SPring-8/RIKEN, Kouto 111, Sayo, Sayo, Hyogo 6795148

Abstract A ‰uorescence-based beam position monitor using a Titanium foil for high ‰ux synchrotron radiation x-ray beams has been examined. It provided a position resolution of less than 0.2 mm. Using a combinationof a monochromator stabilization technique and a beam position monitor, the beam position ‰uctuation wasreduced from s＝4.9 mm to s＝0.5 mm.

放射光 Nov. 2005 Vol.18 No.6 ● 377