超音波流量計

NEW PRODUCTS

USF500N/600N/560N Series
DSP機能搭載で安定性・応答性・耐気泡性の向上。
2チャンネル採用で省スペース化を実現。
■ 脱着式ケーブルで配線作業が容易。
■ 高温流体対応可能。
（Max.200℃，高温仕様 )■ マルチ通信。
（最多31台連結可能）■■

Faster and more stable flow measurement is available with the new feature of DSP. Anti-bubble capability enhanced as well.
The new driver unit is capable of accepting up to 2 input signals, resulting in small foot print and minimized volume.
■ Easy wiring since cables can be disconnected from the tranceducer.
■ A fluid temperature of ≦ 200℃ is usable. ■ Up to 31 units connectable■■

注 意 本製品の接液部材質に対し、浸透性のある薬液のご使用における故障は補償しかねます。
CautionWe cannot be responsible for the failure caused by the use of the penetrating chemicals on the materials of the wetted part of this product.

型式 Type selection

型式欄にご記入頂き、そのままFAXでもOK! お見積もり、ご注文承ります。

CH1
規格
Std.

USF

CH2 ※未使用の場合は無記入 No need to select models when CH2 is not necessary

口径標準/高温 流量単位 最大流量 標準SET
口径 標準/高温 流量単位 最大流量 標準SET CH1流体名 CH2流体名Connection size Std. / High temp.
Units
Units
CH1 fluids
CH2 fluids
Max. flow
Std. SET Connection size Std. / High temp.
Max. flow
Std. SET------

特殊項目
For specialized item

CH2の流体名を記入
Add a fluid name for CH2
CH1の流体名を記入
Add a fluid name for CH1

CH2
無記入 Blank
F

CH1を参考にＣＨ2の仕様を記入
Fill in the specifications of CH2 with reference to CH1

標準仕様 Standard spec.
フローコントロールバルブ FCV-Cとのセット仕様
Shipped with flow control valve (FCV-C) ＊Max. 下記測定範囲の最大流量を記入 Max. flow rate selected from the available flow range below
mL/min ＊対応口径：G08/10 GZ08/10 GC08/10 Connection size: G08 / 10, GZ08 / 10, GC08 / 10AL/min
B
無記入 Blank 標準仕様 Standard spec.
HK
高温仕様 High-temperature spec.
流体温度 Fluid Temperature
検出器
測定範囲
接続口径
形状
Measuring range
Connection size
ShapeTransducer unit
高温 Hight-temp.
標準 Std.

０〜3L/minTube 1/4″(φ6.35×4.35)
G08
MAX.180℃
０〜6L/minTube 3/8″(φ9.53×6.33)
G10
MAX.90℃
０〜20L/min
Tube 1/2″(φ12.7×9.53)
G15
MAX.200℃
0〜50L/min
Tube 3/4″(φ19.0×15.8)
G20
ー0〜80L/min
Tube 1″(φ25.4x22.2)
G25
０〜3L/minTube 1/4″(φ6.35×4.35)
GZ08
MAX.180℃
０〜6L/minTube 3/8″(φ9.53×6.33)
GZ10MAX.90℃０〜20L/min
Tube 1/2″(φ12.7×9.53)
GZ15MAX.200℃0〜50L/min
Tube 3/4″(φ19.0×15.8)
GZ200〜80L/min
Tube 1″(φ25.4x22.2)
ーGZ250〜3L/min
Tube 1/4″(φ6.35×4.35)
GC08
MAX.90℃
ー0〜6L/min
Tube 3/8″(φ9.53×6.33)
GC10
検出器にUSF500/500Z typeを選択した場合の型式はUSF500Nとなります。
500N
The base model will be USF500N in case that you select the transducer units for USF500 or USF500Z
検出器にUSF600 typeを選択した場合の型式はUSF600Nとなります。
600N
The base model will be USF600N in case that you select the transducer units for USF600
検出器にUSF500/500Z/600 typeを混在選択した場合の型式はUSF560Nとなります。
560N
The base model will be USF560N in case that you select mixed transducer units for USF500 / 500Z / 600＊G25／GZ25及びGC08／GC10は、フローコントロールバルブFCV-Cとのセットは未対応です。
＊The flow control valve modeled "FCV-C" is not available on G25 / GZ25 and GC08 / GC10

記入例 : 1CH 使用の場合 Example selection) When 1CH selected

1CH: USF500 (3/8", 〜 20L/min, 高温仕様 High-temperature spec , H2SO4)
2CH: 空き N/C
型式 Model : USF500N-G15HK-B20-H2SO4
記入例 : 2CH 使用の場合 Example selection) When 2CH selected

1CH: USF500 (1/4", 〜 3000mL/min, 高温仕様 High-temperature spec , H2SO4)
2CH: USF600 (3/8", 〜 6000mL/min, H3PO4)
型式 Model : USF560N-G08HK-A3000-GC10-A6000-H2SO4-H3PO4

USF500 type

USF500Z type

USF600 type

性能 Performance
型式 Types

標準 Std. 0.001L/min
チューブエンド Tube end チューブエンド Tube end
1/4″(φ6.35×4.35) 3/8″
(φ9.53×6.33)

最小流量 Minimum flow rate
接続口径 Connection size

±1％ of R.D.

測定流量精度 (出荷校正時）

チューブエンド Tube end
1/2″(φ12.7×9.53)

Instantaneous flow accuracy is ensured with stable DI water of 200C (ambient temperature of 250C)
2チャンネル Channel 210ｍs

データ更新周期 Measurement updated cycle
最高使用圧力 90℃以下 below
Max. operating pressure
90〜200℃(or 90〜180℃) ※0.5MPa（G）

0.5MPa(G) ※60℃以下
0.5 MPa(G) ＊≦ 600C

0.2MPa（G）

0.2MPa(G)(60℃〜200℃)

G08：0.98MPa（G） G10：1.03MPa（G）
GC08：1.96MPa（G） GC10：2.16MPa（G）
200℃（180℃、90℃）

最高流体温度 標準 Std.
Max. operating fluid
高温 High-temperature ※temperature
使用環境温度 Ambient operating temperature

0.78MPa（G）0.49MPa（G）

180℃

200℃

0〜80℃（検出器 Transducer unit）/ 0〜50℃（変換器 Driver unit）結露なきこと No dewing

入力信号(デジタル入力)
Input signals (Digital input)●TTLまたは無電圧接点入力 TTL level or No-volt contact input●入力ポート2系統 1系統につき1種類の入力のみリセット可能 2-port. 1 reset type per port
●各CHの積算値リセット入力 及び ゼロ点調整入力より選択
Selectable between totalized flow volume reset and zero-point reset for each channel

出力信号 Output signals

アナログ出力 Analog output

超音波伝搬時間差方式 Measuring propagation time difference between sending

デジタル出力(NPNオープンコレクタ) Digital output (NPN open collector)

0.36MPa（G）

常温破壊圧力に200℃(G08：180℃、GC08/10：90℃)の破壊圧力低下係数を掛け合わせた規格値です。
ご使用の際は規格値の1/2〜1/5以下で運用いただくことを推奨いたします。
The above are specified values calculated from multiplying burst pressure at ambient temperature by reduction factor of burst pressure at 2000C(G08：1800C, GC08 / 10：900C). It is recommended to operate with 1/2 to 1/5 of the specified values or lower.
90℃-計測方式 Measuring method
接点 Contact

チューブエンド Tube end1″(φ25.4×22.2)※ 測定流量範囲の10％以下：±0.1％ of F.S. ※ ≦10% of the flow ranges: ±0.1% of F.S.

計測チャンネル数 Available number of measurement channel

破壊圧力burst pressure

標準 Std. 0.01L/min
チューブエンド Tube end
3/4″(φ19.0×15.8)「純水20℃（室温25℃）、流量安定状態で校正された瞬時流量精度」となります。

Measuring flow accuracy (Ensured at Factory)

変換器 Driver unit

NEW PRODUCTS

流体 Fluid
測定流量範囲 Measuring flow ranges

USF500N-G10
USF500N-G08
USF500N-G15
USF500N-G20
USF500N-G25HK
USF600N-GC10
USF600N-GC08
純水, スラリー, 薬液(IPA, H₂O₂, H₂SO₄, H₃PO₄, HF, HCl, O₃, NH₃など) DI water, Slurry, Chemicals (IPA, H2O2, H2SO4, H3PO4, HF, HCl , O3, NH3, etc.)
0〜80L/min
0〜3L/min
0〜6L/min
0〜20L/min
0〜50L/min

計測出力 DC4-20mAOutput 4-20 mA●分解能: 12bit（約1/4000 ステップ）Number of step: 12bit (Approx. 1/4000)●精度：4mA ±0.05mA、20mA ±0.1mA Accuracy: 4 mA ±0.05 mA, 20 mA ±0.1 mA●最大負荷抵抗: 600Ω Max load resistance: 600 Ω●出力ポート: 2系統 1系統につき1種類の出力のみ設定可能 Output port: 2 ports. 1 output selectable per port.
各CHの瞬時流量値、積算値より選択 Selectable between instantaneous flow value and totalized flow value in each channel●瞬時流量範囲: 上記 測定流量範囲同じ Instantaneous flow range: Same as above flow range●積算流量範囲: 上限設定（20mA）
は任意に設定可能 Totalized Flow range: Arbitrary setting can be made up to upper limit (20mA)
G08 / GC08 G10 / GC10：〜32.000L (設定ステップ 0.001L Setting STP 0.001L)
G15 / G20 / G25HK：〜320.00L (設定ステップ 0.01L Setting STP 0.01L)

出力定格 Rated Output

35V（VoL＝1.3V）Impressed voltage: Max. 35 V VoL＝1.3 V）＊VoL＝ローレベル出力電圧 VoL =low-level output voltage●印加電圧: Max．
●シンク電流: Max．
100mA Sink current: Max. 100 mA●出力ポート: 2系統 1系統につき1種類の出力を設定可能（アクティブ LOW）Output port: 2 ports. One output type is selectable per port (Active LOW)
各CHの瞬時周波数出力, 積算パルス出力, 比較出力4種類, エラー出力より選択
Selectable between frequency output of instantaneous flow, totalized pulse output, 4 types of alarm output, and Fail output in each channel.

●出力可能周波数: 10〜3000Hz（F.S.周波数は500〜3000Hzの範囲で任意設定可能）※機器により周波数を正常に取り込みできない場合は、周波数の最大値を下げて使用ください。
瞬時周波数出力（瞬時流量）
Frequency range: 10-3000Hz (selectable between500 and 3000Hz for F.S.)
Instant frequency output＊In case that your device such as PLC is unable to take frequency signal properly, try lowering the max. frequency value of your USF600S with the software or via Modbus.
(Instantaneous flowrate)●出力可能流量: χ〜F.S.流量 ※χ＝F.S.流量によってオフセット Available range (flow rate based): χ - F.S ※χ is determined based on F.S. value
積算パルス出力（積算流量）
Integrating pulse output(Integrated flowrate)●パルス流量設定: 1パルスあたりの積算流量を任意で設定可能 Flow rate setup per pulse: Value selectable for totalized flow per pulse
G08 / GC08 / G10 / GC10: 設定範囲 0.001〜32.000L（設定ステップ 0.001L）
08 / GC08 / G10 / GC10: Setup range 1-32.000L (Setting STP: 0.001L)
G15 / G20/ G25HK: 設定範囲 0.01〜320.00L（設定ステップ 0.01L）G15 / G20 / G25HK: Setup range 1-320.00L (Setting STP: 0.01L)●パルス幅設定:1〜800ms（設定ステップ 1ms）Pulse width setup: 1-800ms (Setting STP: 1ms)

比較出力 Comparative output●出力設定: 瞬間流量、積算流量と上限出力、下限出力より選択
OUTPUT: Selectable between instantaneous flow rate and totalized flow volume with upper or lower limit●比較値設定: 瞬時流量 L/min・積算流量 L Trip-point setup: Instantaneous flow L/min・Totalized flow L
G08 / GC08 / G10 / GC10：設定範囲 0〜32.000（設定ステップ 0.001）
G08 / GC08 / G10 / GC10: Setup range: 0-32.000 (Setting STP: 0.001)
G15 / G20 / G25HK：設定範囲 0〜320.00（設定ステップ 0.01）G15 / G20 / G25HK : Setup range: 0-320.00 (Setting STP: 0.01)

エラー出力 Error output●計測エラー時に出力ON Activated when measurement failure occurs

通信機能 Communicating function
電源電圧 Power supply voltage
消費電流 Current consumption
接液部材質 Wetted Material
検出器Transducer unit ケーブル長 Cable length※USF600 typeは未対応。*N/A on USF600 typeRS-485(Modbus-RTU/USFプロトコル）最多変換器31台連結可能 Up to 31 units connectable
通信速度 Communication speed：9600,19200,38400,57600bps
DC24V±10%

通常時 Regular time: 170mA以下（突入電流: 約9A / 0.5ms以下）≦ 170 mA (Inrush current: Approx. 9A / 0.5ms below)
NEW PFA
USF500N：標準ケーブル(PVC被覆)：3000mm(許容曲げ半径：約11mm)
Standard cable (PVC-jacketed): 3000 mm (allowable bend radius: approx. 11 mm)
ETFEケーブル(ETFE被覆)：3000mm(許容曲げ半径：約15mm)
ETFE cable (ETFE jacketed): 3000 mm (allowable bend radius: approx. 15 mm)
USF600N：標準ケーブル(PVC被覆)：3000mm(許容曲げ半径：短径側 約22mm、長径側 曲げ不可)Standard cable (PVC-jacketed): 3000 mm (allowable bend radius: Minor axis approx. 22 mm, Major axis N/A)

構造図 Structural drawing
変換器 Driver unit

CN1

NEW PRODUCTS

7115

精密マイナスドライバー(刃先サイズ：2.0×0.4)

Precision flat-head screwdriver (Tool edge: 2.0×0.4 )9配線 Wiring

精密マイナスドライバー(刃先サイズ：2.5×0.4)

CN290

CN2Precision flat-head screwdriver(Tool edge: 2.5×0.4 )15

配線 Wiring

コネクタ：DINKLE 製 Connector: Made by DINKLECN126

USF RC2UL規格(AWG) UL standard (AWG)No.

型番 Type selection

CN1

ESC250V-10P

単線 Solid：28〜20

CN20134-4106

撚線 Twisted：28〜14端子接続 Terminal connection
CN112CN2

出力信号(アナログ出力1) Output signals (Analog output 1)
DC4〜20mA

123出力信号(デジタル出力1) Output signals (Digital output 1)

3 F.G.

4出力信号(デジタル出力2) Output signals (Digital output 2)

45COM

56入力信号(デジタル入力2) Input signals (Digital input 2)

8910RS-485

6 GND

入力信号(デジタル入力1) Input signals (Digital input 1)

7

電源 Power supply
DC24V

出力信号(アナログ出力2) Output signals (Analog output 2)
DC4〜20mA

検出器 Transducer unit
L

■ USF500Z type

4×Φ4.532■ USF500 type

ALB
φ6.5B

白 White白 White

4×Φ4.5C

IPコード : X7相当

40A

3φ6.5

※ 取付姿勢はカタログUSF500Sをご参照ください。
*Refer to the catalog USF500S for the installation orientation.

規格寸法 Standard dimensions
規格 Std.

AB

CDL

G08/GZ08

138

80

104.5

185

94.6

G10/GZ10145

80

124.5

225

101.6

G15/GZ15178

110

124.5

225

134.6

G20/GZ20

184

110

124.5

225

140.6

G25/GZ25

192

110

131.5

233

148.2

403224.5

D

324.5

IP Cord: X7 equivalent

構造図 Structural drawing
固定ブラケット Secring bracket
材質 Material : PBT
55.8
22

皿穴
24025(65)31110Countersunk hole2×Φ4.53115.5(65)標準ケーブル

Cable

223000mm

皿穴

Countersunk hole412×Φ4.532.2

ケース Case材質 Material : PBT

32.5

固定ブラケット

10Secring bracket※ 取付姿勢はカタログUSF600Sをご参照ください。
*Refer to the catalog of USF600S for the installation orientation.

ケーブル Cable
USF500/500Z type 標準ケーブル(PVC被覆) Standard cable (PVC jacketed)
3000
20

マーカー : 白 Marker: White

被覆 : 黒 Shielded: Black

マーカー : 黒 Marker: Black

被覆 : 黒 Shielded: Black100

マーカー : 白 Marker: White

USF500/500Z type ETFEタイプ(ETFE被覆) - オプション対応 ETFE type (Shielded with ETFE) - Option correspondence.
3000

マーカー : 黒 Marker: Black

被覆 : 白 Shielded: White

マーカー : 黒 Marker: Black

被覆 : 黒 Shielded: BlackUSF600 type 標準ケーブル（PVC被覆）Standard cable (PVC jacket)※ ETFEケーブルは未対応です。*ETFE jacketed cable is not available.
3000100100

マーカー : 白 Marker : White
被覆 : 黒 Shielded : Black
マーカー : 黒 Marker : BlackE-mail. sales@tofco.jp URL. http://www.tofco.jp

1223φ7.1

NEW PRODUCTS

検出器 Transducer unit
■ USF600 type