MAGMAX®

EGM7300C
静電容量式
概一体形電磁流量計

要MAGMAX® EGM7300C は、従来の接液形電極に代わって、セラミック測定管の外側に配置された面電極により信号を検出する静電容量式の電磁流量計です。
静電容量検出方式・非接液電極により、極低導電率液・高濃度スラリー・付着性流体などの安定した測定を可能にしました。
また、自己診断機能の充実により、検出部のモニタリング機能等を装備しています。

特長❏ 0.05 µS/cm までの極低導電率液の測定が可能
有機溶剤や純水など、これまでの電磁流量計では測定できなかった極低導電率液の測定が可能になりました。
❏ 高耐食、耐摩耗および電極トラブルなしを実現
非接液電極および高純度セラミック測定管により、腐食・摩耗・電極トラブルの心配がありません。
❏ 高濃度スラリー液も安定した測定が可能
非接液電極により、電極表面へ固形物が接触する時に発生するノイズがなく、安定した指示が得られます。
❏ 付着性流体の安定した測定が可能● 接液部材質

測定管 ：口径 25mm：ジルコニアセラミック（ZrO2）

非接液電極により、接液形電極に比べて測定管壁への付着に強く、

口径 40 〜 100mm：アルミナセラミック

メンテナンスフリーを実現しました。

（99.7% Al2O3）❏ 高い耐振動性能を実現

アースリング ：ステンレス鋼（SS316）〔標準〕、ハステロイ B、®

Microsystems Technology によりセラミック測定管上に直接、面電極・プリアンプを形成して内部配線等の振動影響を排除。従来の静電容量式電磁流量計に比べて、配管振動による指示変動を大

ハステロイ C、チタン、タンタル®

アースリング用 ：テフロンジャケット形（ノンアスジョイントシート
ガスケット（＊ 3）

幅に低減しました。
❏ 表示部には、青色ドットマトリックス LCD（バックライト付き）を採用。
1 〜 3 行表示など多彩な表示が可能。
❑ クイックセットアップ機能を搭載して、流量レンジ、パルスレートなどの変更にも容易に対応。

相当）
● 塗

装：グレー（変換部本体）、ジェードグリーン（変換● 配線接続口： 2×G1/2 めねじ、または 2×1/2 NPT めね部カバー／端子箱カバー）
じ、または 2×M20 防水グランド（オプション：G1/2 用防水グランド）さずに設定変更が可能。
❑ パルス出力は 10kHz の高速化を実現。短いバッチプロセスにも対応可能。
❑ コンパクトながら高性能。パルス出力、正逆測定、２重レンジ、状態出力（流量警報等）、コントロール入力などを標準装備。

標準仕様：矩形波励磁径：25、40、50、80、100mm● 測定範囲：流速

最小：0 〜 0.3m/s
最大：0 〜 12m/s

流量

最小：0 〜 0.531m3/h（口径 25mm の最小値）：ポリシロキサンエポキシ樹脂塗装（＊ 4）● 塗装色

また、赤外線によるタッチセンサ方式により、変換部カバーを外● 口

中芯、バルカー No.N7035 相当）〔標準〕、または充填材入りフッ素樹脂（バルカ No.7020❏ 高精度・指示値の ±0.5％● 励磁方式、（＊ 2） （＊ 3）（オプション：配線接続口数；3 個）● 電源：AC100 〜 230V（85 〜 253V）
オプション；DC24V（11 〜 31V）

● 電源周波数：48 〜 63Hz（AC 電源）● 消費電力：約 22VA（AC 電源）、約 12W（DC 電源）● 周囲温度：− 40 〜＋ 65℃（流体温度≦ 100℃）● 接：接地抵抗 100Ω 以下（D 種接地）

− 50 〜＋ 70℃（保存）地● プロセス接続：ウエハ（配管フランジはさみ込み）接続● 適合フランジ：JIS10K / 20K / 30K / 40K 相当
ASME クラス 150/300 相当
DIN PN16/40

最大：0 〜 339m3/h（口径 100mm の最大値）● 保護等級：IP66 / 67（IEC 60529）● ハウジング材質

検出部 ：ステンレス鋼（SS304）
変換部 ：アルミニウム合金（＊ 1）（＊ 1）防食塗装（＊ 2）タンタルアースリングはテフロンジャケット形ガスケット（中芯：フッ素ゴム）と一体品（＊ 3）流体温度・圧力範囲については「アースリング用ガスケット使用範囲」を参照してください。
（＊ 4）塗装は変換部のみ、検出部ステンレスハウジングは無塗装。

TG-F2233-J01
2 版 2023 11 K
初版 2022 02 K

静電容量式MAGMAX®

一体形電磁流量計

EGM7300C● 流体仕様● 入出力端子の割付

導電率 ：0.05 µS/cm 以上（ただし、水の場合は 1 µS/cm 以上）* 使用条件により制限がありますので、3 ページの「流体導電率の下限値」を参照してください。
温度 ：−40 〜 ＋100℃

圧

力 ：口径 25 〜 80mm ： 0 Pa（abs）〜 4 MPa
口径 100mm： 0 Pa（abs）〜 1.6 MPa

端子

─B（B、B－）

状態出力

コントロール入力

C（C、C－）

状態出力─

D（D、D－）パルス出力

状態出力● ローカットオフ機能：

電流出力、パルス出力、表示毎に個別設定可能  （急加熱：ΔT ≦ 120℃）

設定値： 0.0 〜 20.0% FS

温度下降時（冷却）： ΔT ≦ 100℃ ／ 10 分間以下、標準設定値
電流出力、パルス出力；オン 1%、オフ 2% FS  
（急冷：ΔT ≦ 80℃）

表示器；ローカットなし

表示・出力仕様● 表示器 ： 青色ドットマトリックス LCD（バックライト付き）● 時定数：

電流出力、パルス出力、表示毎に個別設定可能            128×64 ピクセル（59×31mm）

設定値： 0.0 〜 100.0s

表示機能 ：最大 2 画面の切り替えで 1 画面に 1 〜 3 行

以下、標準設定値まで表示可能

電流出力、表示器；4s

表示内容は、瞬時流量、流速、積算流量、
コイル温度：DC4-20mA（Max. 22mA；エラー時振切り

パルス出力；時定数ゼロ● 入出力アイソレーション：

電源、電極入力、励磁出力、端子 A、端子 B、端子 C、端子 Dモード）
内部電源使用時：負荷抵抗 1000Ω 以下

外部電源使用時：外部電圧 DC32V 以下● パルス出力設定変更による切替

電流出力

許容温度衝撃 ：温度上昇時（加熱）： ΔT ≦ 125℃ ／ 10 分間● 電流出力

標準設定

A（A、A＋／A－）：積算パルス出力（標準設定）と周波数出力のの各回路間はアイソレーションされています。

標準機能● 任意単位設定機能 ：容積（または質量）単位と時間単位を最大 7文字で設定し、任意の流量単位で表示可能いずれかを選択可能
オープンコレクタ出力
負荷定格 ：DC32V 以下、20mA 以下（≦ 10kHz）、● 自動ゼロ調整機能 ：ゼロ調モードで自動ゼロ調整実施（流体静止時）● 正逆両方向測定機能：流れ方向判別信号を状態出力および電流出力

100mA 以下（≦ 100Hz）  パルスレート ：2 〜 36,000,000 パルス /h（0.00056Hz 〜 10kHz）にて出力可能● 2 重レンジ測定機能

レンジ比 ：1：20 〜 1：1.25（低レンジの設定範囲：高レンジの 5 〜 80%）

パルス幅 ：以下のいずれかを選択可
1） 自動；フルスケール周波数においてデューティ  50% となるパルス幅2） デューティ比固定；常に１: １3） 任意設定；0.05 〜 2000ms
ただし、積算パルス出力（標準設定）において１）または２）を選択した場合、10Hz 未満のパルスレー

レンジ切換 ：自動またはコントロール入力切替● 励磁周波数切換機能

標準モード ：1/6× 電源周波数
特殊モード ：1/50 〜 1/2× 電源周波数（＊5）● 自己診断機能

出力モジュール、出力接続

トでは 50msec 固定のパルス幅となります。
● 状態出力：以下、主なエラーメッセージ

機能診断 ：コイル断線、CPU、メモリー、ソフトウェア、
状態診断 ：流速分布、直線性、励磁電流 / 周波数、オープンコレクタ出力

オーバーレンジ、カウンタオーバーフロー、

負荷定格 ：DC32V 以下、100mA 以下
出力内容 ：以下、主な出力選択

停電検知● 停電補償機能：EEPROM（不揮発性メモリー）により機能設● テスト機能：電流、パルス、状態出力の模擬出力機能を内

1） 状態出力なし〔標準設定値〕
2） 流れ方向判別

定データおよび積算値を 10 年以上保持

3） オーバーレンジ

蔵4） エラー

電流出力テスト ：0.0 〜 22.0mA まで任意出力

5） 流量警報

パルス出力テスト ： 1Hz 〜 10kHz まで任意出力

6） レンジ判別（2 重レンジ選択の場合）
7） 空検知状態出力テスト ：On/Off● タッチセンサ（赤外線）設定機能● コントロール入力：4 つの赤外線センサにより、カバーを取り外

電圧入力：Low；DC0 〜 2.5V、High；DC19 〜 32V
制御内容 ：以下、主な制御選択
1） コントロール入力なし〔標準設定値〕
2） 出力ホールド

さずに外部からデータ設定可能● HART 通信機能：標準装備（＊ 5）脈動流などアプリケーション毎に切換可能

3） 出力 0% ロック4） 積算値リセット
5） エラーリセット6） レンジ切換（2 重レンジ選択の場合）

2TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-F2233-J01静電容量式

MAGMAX®

● ATEX 防爆品［準備中］

流体／導電率下限値（μS/cm）

口 径（mm）

度（＊ 6）● 表示およびパルス出力

流速 1m/s 以上：指示値の ±0.5％
流速 1m/s 未満：流速誤差 ±0.005m/s
3.0

純水

純水以外の流体25

1.0（5.0）

0.05（0.5）40

1.0（5.0）

0.05（0.5）50

1.0（2.5）

0.05（0.2）80

1.0（2.5）

0.05（0.2）100

1.0（2.5）

0.05（0.2）

精度（指示値の±％）（ ）内は、応答性を要求する流量制御用に使用する場合の導電率下限値を（注）示します。
導電率がこの値以下の時は、出力時定数を大きく設定することが必要な場合があります。

2.5
2.01.51.0

低導電率液測定時の注意

0.5

1. 直管長0.0

EGM7300C

流体導電率の下限値

防爆仕様
精一体形電磁流量計

純水やアルコールなど粘度が低い低導電率液では、フローノイズ
01

流速（m/s）

212の影響が大きくなることがあります。
下表に示す値以上の上下流直管長を確保してご使用ください。

● 電流出力：表示・パルス出力精度に ±0.01mA を付加

流体の種類

上流側

（＊ 6） 基準条件
流体

：水

流体温度
導電率

： 10 〜 30℃： 150 µS/cm 以上

電源電圧： 定格電圧 ±2%

周囲温度： 18 〜 28℃

上流 / 下流直管長： 10D/2D（D；口径）

低粘度・低導電率流体（純水、アルコール等）

上記以外の流体

ウォームアップ時間： 約 10 分
測定時間

： 100sアースリング用ガスケット使用範囲
ガスケットの種類

10D

拡大管制御弁
仕切弁半開20D収縮管
エルボ・ティー
仕切弁全開

5D

拡大管
制御弁
仕切弁半開

10D

2D

2D

（D：口径（mm））

流体圧力

流体温度

テフロンジャケット形（ノンアスジョイントシート中芯）（バルカーNo.N7035相当）

1.5MPa以下

100℃以下充填材入りフッ素樹脂（バルカーNo.7020相当）

4MPa以下100℃以下タンタルアースリング（テフロンジャケット形ガスケットと一体品）

0.7MPa以下

100℃以下TG-F2233-J01

下流側

収縮管
エルボ・ティー
仕切弁全開

2. 制御弁や半開で使用する仕切弁は、できるだけ流量計の下流側に設置してください。
3. ポンプからは 30D 以上の配管長さを取って設置してください。

流量レンジ
設定可能流量レンジ（m3/h）

口 径（mm）

最小（流速：0～0.3 m/s）

最大（流速：0～12 m/s）

250 ～ 0.531

0 ～ 21.2

400 ～ 1.36

0 ～ 54.2

500 ～ 2.130 ～ 84.8

800 ～ 5.430 ～ 217

1000 ～ 8.490 ～ 339

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静電容量式

一体形電磁流量計

EGM7300C

外形図
口径：25～100mm
260
137

12014014038 38

ESC

H2H3（H）（26） 821076

アースリング

接地端子

H1φd（M5）

W

L
標準流れ方向寸

口 径（mm）

L※（H）

H1法（mm）
H2H3Wd質 量（約kg）

2569

271

34

167

237

102

686409428642174244

11784750114

304

51183

253

136

102880164

33667199

269

168

134

11100214361

79212282

193

15813

※1 面間寸法 L は、アースリング用ガスケットが PTFE ジャケット形の場合を示します。
アースリング用ガスケットが充填材入りフッ素樹脂の場合、面間寸法は（L − 2）mm となります。
※2 アースリングがタンタルの場合、口径 2.5 〜 15mm の面間寸法は（L − 5）mm、口径 25 〜 100mm の面間寸法は（L − 1）mm となります。

DiDa

セラミック測定管寸法
寸 法（mm）

口 径（mm）

DaDiX

Y25242026554037303680

50494051100807860701501009880

103200X
Y4TOKYO KEISO CO., LTD.

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静電容量式一体形電磁流量計

EGM7300C

結線図
表示部取付方向バージョンA

A－ A＋ B B－ C C－ D D－NL

（L－）
（L＋）

EGM7300C は表示部を流れ方向に合わせて変更することができます。

バージョンB

バージョンC

ご注文時に取付方向をご指定いただけますと、それに合わせて出荷Aいたします。
また、矢印は標準の流れ方向を示します。
流れ方向は設定データ変更により逆向きに設定することができます。

電源端子には、保護用のカバーがあります。
電源端子カバー

端 子

内 容

L／L＋

AC電源／DC電源の場合L＋（＋）・L－（－）

N／L－

アース接続
端 子

内 容

D－
C－＋
̶

状態出力

C
B－＋
̶

状態出力またはコントロール入力

B

電流出力（4～20mA／HART：内蔵電源）

A－
A

̶

パルス出力または状態出力

D

A＋

極 性

電流出力
（4～20mA／HART：内蔵電源）

＋＋

電流出力
（4～20mA／HART：外部電源）

̶̶＋● 端子構造：差込式ねじ締付形端子● 適合電線：0.5 〜 2.5mm2TG-F2233-J01

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静電容量式一体形電磁流量計

EGM7300C

形式および仕様コード● 口径：25 〜 100mm

形式：EGM7300C
検出部仕様コード
検出部コード（固定コード）口 径

V N 1 9 4
V N 1 94N

1 C 08B
CE
F

プロセス接続用途タイプ（固定コード）N
01 C0

アースリング／アースリング用ガスケット ※1（固定コード）
保護等級（固定コード）
校 正（固定コード）
特殊仕様

変換部仕様コード
変換部コード（固定コード）
タイプ
電 源
用途
配線接続口
（固定コード）ハウジング（固定コード）
出力タイプ（固定コード）特殊仕様※1※2

60 0 0 0 0 0 2 0 0 0 0 0

V N 3 0 4 5
V N 3 045

1
236K
LRST9内容
ウエハ形、セラミックタイプ、静電容量式
常に4
配管側フランジサイズ
25A1"25mm
40A1-1/2"
40mm
50A
2"
50mm
80A
3"
80mm
100A
4"
100mm
ウエハ接続（フランジはさみ込み）
一般形
（非防爆）
一体形
（EGC300/CAP変換器）
常に0ステンレス鋼（SS316）/PTFE
流体圧力：
ハステロイ® C/PTFE
1.5MPa以下
ハステロイ® B/PTFE
チタン/PTFE
ステンレス鋼（SS316）/充填材入りフッ素樹脂
流体圧力：
ハステロイ® C/充填材入りフッ素樹脂
4MPa以下ハステロイ® B/充填材入りフッ素樹脂
チタン/充填材入りフッ素樹脂
流体圧力：0.7MPa以下
タンタル/PTFE（ガスケット一体形）
その他
常に00IP66/IP67
0常に000 00
標準校正
常に0200000
0 2 0 0 0 0 0（空欄） なし
あり ※2／Z

内容
変換部形式：EGC300/CAP（丸形ハウジング）
常に4LCD表示付
1DC24V（11～31V）
AAC100～230V（85～253V）
0一般形（非防爆）41/2 NPTめねじ
5G 1/2 めねじ
6M20防水グランド付
2 0 0
常に 2001標準（アルミニウム合金)
2常に21標準（電流出力+パルス出力+コントロール入力+状態出力）
0 0 0 0 0
常に00000（空欄） なし／Zあり ※2
2 0 0 1 2 1 0 0 0 0 0

標準品
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○

○
○
○
○
○
○

標準品
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○

アースリング用ガスケットについては、「アースリング用ガスケット使用範囲」を参照してください。
特殊仕様がある場合には、コードの末尾に「／Z」を記入して内容を別記してください。
（製作可否については事前にお問い合わせください。

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静電容量式

一体形電磁流量計EGM7300C

標準付属品● 設定データシート：1 枚● 取扱説明書：1 冊

オプション● 配管用ボルト、ナット 1 組〔略号：BN〕

材質：SUS304、JIS10K フランジ用● 配管用 PTFE ジャケット形ガスケット 2 枚〔略号：FG〕

バルカー No. N7030、JIS10K フランジ用注） ボ ル ト・ ナ ッ ト、 ガ ス ケ ッ ト 付 で 配 管 側 フ ラ ン ジ がJIS10K 以外の場合はフランジ規格をお知らせください。
● G1/2 配線接続口用防水グランド〔略号：WG〕● 配線接続口数：3 個〔略号：3G〕

ご注文時指定事項
1. 形式および仕様コード例）形式：EGM7300C
検出部仕様コード：VN1948N01C01000000200000
変換部仕様コード：VN3045A0520012100000
2.フルスケール流量（オプション NS の場合は不要）
3.オプション仕様（必要な場合のみ指定）
オプションの項目を参照の上、略号でご指定ください。
4.流体名TG-F2233-J01

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