SERVOPRO

MultiExact 4100 マルチガス分析計
高精度なガス純度測定を可能とし、新機能、操作性を刷新、産業ガスに特化した次世代の多成分ガス分析計

主なアプリケーション
 空気分離プラントにおける製品の純度管理およびプロセスコントロール
 ガス充填アプリケーション
 空気分離プロセスへの供給
ガス中の微量CO2モニター
 医療ガス（O2, 合成空気）のバリデーション

MultiExact 4100
SERVOPRO MultiExact 4100は、O 2（高精度、汎用型標準精度、微量センサー）、CO 2、CO（％または微量ppm）、N 2O、 CH 4 （微量）などの様々なサンプルガスを同時に分析可能なマルチガス分析計です。

特長• 最大4流路のガスを同時分析• AquaXact露点トランスミッターも利用可能
工業用および医療用ガスメーカーのニーズに対応するために特別に設計されたMultiExact 4100は、磁気ダンベル式、ジルコニア式、GFXセンサー（ガスフィルター相関法赤外センサー）、シングルビーム式IRセンサー、酸化アルミニウム式露点トランスミッターが利用可能です。
非消耗型のセンサーは、高信頼性で且つ長期間に亘り効率的にプロセス運転を実現させることができます。

• RS232 / RS485 Modbus、Profitbus（Ethernet Modbus TCP / IP）が利用可能• アイコン表示によるカラータッチスクリーン• データログまたはソフトウェアアップグレー
ド用のUSBポート• オプションの自動キャリブレーションにより保守コストの削減

Learn more about the SERVOPRO MultiExact 4100

Visit www.servomex.com /PRODUCTDATA : MultiExact 4100
MultiExact 4100で利用可能なセンサー
センサー名

対象ガス

センサー分類

AquaXact露点トランス
ミッター

微量水分トランスミッター型（シャーシ外に取付け）

磁気ダンベル式
O2センサー

純酸素
パーセントレベル酸素

ショートセンサー

1520 / 1522型
IRセンサーパーセントレベルCO2, CO

ショートセンサー

ジルコニア式

微量酸素

ショートセンサー

1210D型GFXセンサー

微量レベル（PPM)
CO2, CO, N2O, CH4

ロングセンサー備考

ロングセンサーが3つ以上の場合は、拡張シャーシとなります。（右図参照）
AquaXact露点トランスミッターは測定ポイントにセンサーを取り付け、MultiExact 4100本体とケーブルで接続します。

132.5mm

481.6mm標準シャーシ（ショートセンサー×4個またはロングセンサー×2個）

265.5mm

481.6mm拡張シャーシ（ロングセンサー×3～4個）

サンプリング方式 － サンプルガスを安定してセンサーに供給します。
サンプリング方式

対応センサー特長

フロードリブン

1210D型GFX
1520/1522型IR
磁気ダンベル式O2ジルコニア式O2

一定の流量で調整されたサンプルガスを分析計にガスを導入する標準タイプ
シンプルな構造でサンプルガスの消費を抑えられる。

プレッシャードリブン

1210D型GFX
1520/1522型IR
磁気ダンベル式O2ジルコニア式O2

フロー入口
外部フィルター（オプション）

圧力を一定にし分析計に導入する。
（0.014MPa - 0.056MPa）

センサー

出口

センサー

出口

サンプル流量計（オプション）

バイパス
流量計（オプション）

内部のバイパス構造によりサン
プル圧力の変動に対応できる。

入口
外部フィルター（オプション）

センサープローブ

AquaXact露点トランスミッター

測定ポイントに直接に取り付けが可能

サンプル流量計（オプション）

5 / 8”-18 ユニファイねじ

サンプルブロック（オプション）

サンプルブロック（1/4”Swagelok、VCR他）

PRODUCTDATA : MultiExact 4100
MultiExact 4100 マルチガス分析計 仕様選定シート（各機能の詳細な仕様につきましては次項からの仕様書を参照ください。）

センサーモジュールモジュール番号

1210D型GFXセンサーセンサー

1520 / 1522型
IRセンサー

磁気ダンベル式
O2センサー

フローメータ―
背圧弁 （BPV）
フィルター
設定可能なアラーム
電圧出力
デジタル入力アナログ入力0 - 5 / 100 ppm CO2
0 - 50 / 500 ppm CO2
0 - 10 / 50 ppm CO
0 - 50 / 500 ppm CO
0 - 50 / 500 ppm CH4
0 - 50 / 500 ppm N2O
0 - 1% CO
0 - 2.5% CO
0 - 10 % CO
0 - 2500 ppm CO2
0 - 5000 ppm CO2
0 - 1% CO2
0 - 2.5% CO2
0 - 5% CO2
0 - 10 % CO2
0 - 25% CO2
0 - 50 % CO2
0 - 100 % CO2
0 - 100 % O2 標準精度
0 - 100 % O2 高精度(小数点以下2桁表示)
0 - 100 % O2 高精度(小数点以下3桁表示)
0 - 210,000 ppm O2 微量O2ジルコニア式
不要
500 ml / min (サンプル流量)2500 ml / min (サンプル流量) 1210Dセンサー用
5000 ml / min (バイパス流量)
磁気ダンベルセンサー（高精度）用フィルター付き
2点アラーム4点アラーム
8点アラーム0 - 10 VDC OP
2 デジタル IP
不要
アイソレート 4-20mA

1台の分析計に最大4モジュールまで搭載可能
1234□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□

いずれか選択いずれか選択センサーモジュー
ル1個につきアラーム2点が必須

いずれか選択AquaXact露点トランスミッター

オプション

サンプルブロック NPT 1 / 4"
Swagelok
サンプルブロック VCO 継手
サンプルブロック VCR 継手
サンプルシステム（別途お打合せ）□□□

いずれか選択

□

5m
10m
ケーブル
100m
ケーブル無し（コネクタのみ）
AquaXact用3 / 4“アダプター
1688型トランスディーサーチップ （交換用スぺア）

□□
□
□
□
□

自動校正□
□□
□
□
□

一般的仕様
流量アラームシリアル通信

取り付け

Flow Alarm (1210Dセンサーのみ)
RS232 Communication
RS485 Communication
RS232 & RS485 Comm Combo
Modbus RDU
Profibus
ベンチトップラックマウント 耳付き
ラックマウント スライド式

TECHNOLOGIES

□
□
□
□
□□
□
□
□

いずれか選択いずれか選択リレー接点

拡張シャーシ（AquaXactには適用不可）
4点リレー（標準）8点リレー、コネクター付き
16点リレー、コネクター付き
24点リレー、コネクター付き
32点リレー、コネクター付き「MultiExact 4100で利用可能なセンサー」 を参照ください。

□いずれか選択PRODUCTDATA : MultiExact 4100
MultiExact 4100共通仕様

接液部材質
トランスデューサー

使用環境
環境条件

屋内でのみ使用可

操作時温度範囲

5 ～ 45 ℃

保管時温度範囲

0 ～ 50 ℃

操作時圧力範囲

101.3 kPa ± 10 %(1.013 bar ± 10 %)

操作時湿度範囲

10 ～ 90 % RH 結露の無いこと

運転場所の標高-500 m （海面以下）～ 2000 m （海抜）

保護等級

IP20

機械的仕様

材質

磁気ダンベル式

ジルコニア式

1210型
GFX
センサー

1520型
IR
センサー

標準
精度

高精度

ステンレス303

✔

✔

✔

✔

✔

ステンレス316

✔

✔

✔

✔

✔

バイトン

✔

✔

✔

✔

✔

ポリプロピレン✔

ホウケイ酸ガラス

✔

✔

プラチナ✔

✔

寸法(L x H x W)

白金イリジウム合金✔

✔

ベンチトップ

432 x 141.2 x 544.2 mm

無電解ニッケル✔

✔

拡張シャーシ付き
ベンチトップ

432 x 274.2 x 544.2 mm

ステンレス310✔

ラックマウント

482 x 132.5 x 544.2 mm

アルミニウム✔

拡張シャーシ付き
ラックマウント

482 x 265.5 x 544.2 mm

イットリア安定化ジルコニア

✔

ニッケル鉄

✔

重量

メインユニット約14kg
拡張シャーシ約13.7 kg

シーリングガラス

✔

金

✔

供給電源
電圧

100 ～ 240 VAC, 50 ～ 60 Hz(最大許容値± 10 %)ヒューズ

6.3 AH / 250V. サイズ 20 x 5 mm

最大消費電力500 VAリレー

30 V (DC または AC) / 1A
リレー出力は無電圧接点✔

フッ化カルシウム

✔

ニッケル

✔

サファイア

✔

エポキシ樹脂✔

オプション部品材質

mA 出力
最大負荷抵抗1 kΩ

絶縁電圧（対アース）

500 V (DC または AC)

出力範囲
通常測定

4 ～ 20 mA

フォルト時

0 mA, 2 mA. ユーザー設定可能

フロードリブン

ポリプロピレン

プレッシャードリブン

ポリスホン
ポリプロピレン

流量計

ホウケイ酸ガラス
ジュラルミン

フローアラームガラス
ナイロン
シリコンゴムアルミニウム内部フィルター

ポリカーボネート
ガラスファイバ

外部フィルターステンレス316

電圧出力（オプション）
最小負荷抵抗100 kΩ

絶縁電圧（対アース）

250 V （DC または AC）

出力範囲
通常測定

0 ～ 10 V

フォルト時

フォルト時の設定は購入時に指定可能です。

アンダー範囲適応せず

13417eaHK

PRODUCTDATA : MultiExact 4100
AquaXact露点トランスミッター仕様
測定原理

大容量薄膜式Al2O3

測定範囲-100 ℃ to +20 ℃

精度

±3℃

繰返し性（2σ）± 0.5 ℃

応答速度

約15分 （48時間の安定後に-39.4℃dpから62.2℃dpまで上昇した場合）

温度範囲-20 ℃ ～ +70 ℃

サンプル圧力範囲

0 ～ 3.4MPa

サンプル流量範囲

2 ～ 15 L / min

保管温度-40 ℃ ～ +80 ℃

センサー保護100μステンレス焼結による校正法

NIST / NPL トレーサブルな多点校正

認証

CEとの電磁適合性、認定された検査室での試験および認定

交換周期

Servomex社はトランスデューサーチップを毎年交換することを推奨します。

寸法

Φ31.5mm x L136 mm （トランスデューサーとコネクタ部）

重量

0.175 Kg

本体材質

ステンレス

動作温度

-30 ℃ ～ +70℃

プロセス接続5 / 8”-18 ユニファイねじ （他のアダプターも可能）

電気接続

工業規格9.4mm 7ピンコネクタIP65

ケーブル

デジタル7線ケーブルまたは2線4-20mAケーブルはCE要件を満たすためにシールドする必要があります。
周囲温度が60℃を超える場合は、配線温度定格が予想最大周囲温度より高いことを確認して下さい。

最大ケーブル長

200 m（メーカー標準品は100mまで）

消費電力

13 VDC (最小) ～ 33 VDC (最大)分解能0.1 ℃dp

単位℃dp、 °Fdp、ppmV

コントロール

RS485による AquaXact コントローラー

出力

アナログ出力（4-20 mA）
選択した単位に対してリニアに出力範囲は数値で設定可能
分解能は0.1℃dpまたは0.25μAの大きい方
デジタル出力（RS485）
露点と温度を出力

アイソレート電流ループはAquaXactハウジングから電気的に絶縁されています。

PRODUCTDATA : MultiExact 4100
磁気ダンベル式O2センサー
測定原理

リファレンスガス封入型、磁気式

分類

標準精度

高精度

測定範囲

0 – 100 %0 – 100 %最小推奨出力範囲

0 – 5%

0 – 0.5%精度（固有誤差）

0.10%

0.01%

リニア誤差
（本質的にリニアですが校正ガスにより異なります）

0.05%

0.05%

繰返し性（2σ）

0.1%

0.01%

応答速度 (T90)

15秒 （200 ml / min）

12 秒 （200 ml / min）

ゼロドリフト / 週

0.05% O2

0.01% O2

スパンドリフト / 週

0.1% O2

0.02% O2

出力のばらつき (ピーク間の差)

0.05% O2

0.01% O2 (99 – 100 %の範囲で)

他ガスの干渉産業ガス分析においては影響なし

周囲圧力係数

ベント圧力に直接比例

ベント圧力の1％の変化に対して読み値の0.003％以下

周囲温度系数 (10 ℃毎)選択された範囲の1% または0.1% O2選択された範囲の0.2%または0.02% O2

入口圧力変化による影響（0.014MPaから0.056MPa上昇における）選択された範囲の2% または読み値の0.1%以下 ど
ちらか大きい方.

0.1% O2

サンプル流量影響50～200 ml / min

選択された範囲の2% または読み値の0.1%以下 ど
ちらか大きい方

0.1% O2

推奨される最小範囲

スケールの80 %精度（本質的誤差）

測定範囲の1%

直線性

測定範囲の1%

繰返し性（2σ）

測定範囲の1%応答速度 (T90)

20 秒 （200 ml / min）

ゼロドリフト / 週

測定範囲の2%

スパンドリフト / 日

測定範囲の1%

出力のばらつき(ピーク間の差)

測定範囲の0.5%または指示値の1.0 %未満のどちらか大きい方

大気圧の影響

1mbar毎に指示値の0.2%

周囲温度による影響（10℃変化における）測定範囲の1%または指示値の±2.0 %未満

入口圧力変化による影響（0.014MPaから0.056MPa上昇における）測定範囲の1.5%または指示値の3.0 %未満のどちらか大きい方

サンプル流量による影響（50 ～ 200 ml / min）

測定範囲の1.5%または指示値の3.0 %未満のどちらか大きい方

低キャリブレーション

推奨周期
： 毎週
キャリブレーションガス ： 高純度窒素のご使用を推奨します。

高キャリブレーション

推奨周期
： 毎日
キャリブレーションガス ： 高キャリブレーションガスは、トランスデューサのフルスケールの80〜110 %の範囲のガスを推奨します。

0 - 100 %0 - 50 %0 - 25%0 - 5%

0 - 2.5%

測定範囲

0 - 1%

CO2
0 - 5000 ppm

CO0 - 2500 ppm

測定ガス

0 - 10 %1520型IRセンサー

0 - 2.5%1522型
IRセンサー

0 - 1%

測定原理

0 - 10 %1520 / 1522型IRセンサー仕様

PRODUCTDATA : MultiExact 4100
1210D型 GFXセンサー仕様
測定原理

1210型 GFX（ガスフィルター相関法赤外式）センサー

測定ガス

微量CO2

微量CO2

微量CO

微量CO

微量CH4

微量N2O *

測定範囲
（さらに高範囲も対応可）

0 – 10 ppm

0 - 500 ppm

0 – 50 ppm

0 – 500 ppm

0 – 50 ppm

0 – 50 ppm

推奨最小範囲0 – 5 ppm

0 - 50 ppm

0 – 10 ppm

0 – 50 ppm

0 – 10 ppm

0 – 10 ppm

精度（本質的誤差）

指示値の1%または0.1 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

直線性

指示値の1%または0.1 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

繰返し性（2σ）

指示値の1%または0.1 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

応答速度 (T90)

20 秒 （2000 ml / min）

ゼロドリフト / 週

0.2 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

1 ppm

スパンドリフト / 週

指示値の2%または0.2 ppm**

指示値の2%または1 ppm**

指示値の2%または1 ppm**

指示値の2%または1 ppm**

指示値の2%または1 ppm**

指示値の2%または1 ppm**

出力のばらつき(ピーク間の差)

指示値の1%または0.1 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

指示値の1%または0.5 ppm**

大気圧の影響（分析計ベント圧力の1%変化における）0.40 %

0.40 %

0.25%

0.25%

1%

0.50 %

周囲温度による影響（10℃変化における）指示値の3%または0.25 ppm CO2**

指示値の3%または1 ppm CO2 **指示値の3%または1 ppm CO **指示値の3%または1 ppm CO **指示値の3%または1.5 ppm CH4 **指示値の3%または1 ppm N2O **入口圧力変化による影響（0.014MPaから0.056MPa上昇における）0.25 ppm CO2

1 ppm CO2

0.5 ppm CO

0.5 ppm CO

1.5% of reading,or 0.5 ppm CH4**

1 ppm N2O

サンプル流量による影響（50 ～ 200 ml / min）

指示値の1%または0.25 ppm CO2**

指示値の1%または1 ppm CO2 **指示値の1%または0.25 ppm CO**

指示値の1%または0.25 ppm CO**

1.5% of reading,or 0.5 ppm CH4**

指示値の1%または0.5 ppm N2O**

低キャリブレーション

推奨周期 ： 毎週
キャリブレーションガス ： 測定するガスの濃度より±5ppmのガスにて低キャリブレーションを行います。
高純度窒素のご使用を推奨します。

高キャリブレーション

推奨周期 ： 毎月
キャリブレーションガス ： 高キャリブレーションガスは、トランスデューサのフルスケール6〜110 %のガスを使用できます。
範囲の上限で高キャリブレーションガスを選択してください。

干渉無し

2% H2O ～ 0.5ppm

他ガスの干渉干渉無し

備考*O2バックグラウンドのガスについても測定可能

2% H2O ～ 0.5ppm** どちらか大きい方

1% O2 ～ 0.5 ppm
0.2ppm CO ～ 0.5ppm
0.5% H2O < 1 ppm

500 ppm CO2 ～0.5 ppm
10 ppm CO ～0.5 ppm
2% H2O ～ 0.5ppm

PRODUCTDATA : MultiExact 4100
ジルコニアセンサー仕様
測定原理

704型ジルコニア式

測定ガス

微量O2

測定範囲

0 - 210,000 ppm ***推奨される最小範囲

0 - 5 ppm

精度 （本質的誤差）

0.1 ppm O2 **直線性

0.1 ppm O2 +繰返し性（2σ）

0.1 ppm O2 +応答速度 (T90)

15 秒 （400 ml / min）

ゼロドリフト / 週

指示値の0.1% または 250 ppb *スパンドリフト / 日

指示値の0.1% または 250 ppb *出力のばらつき (ピーク間の差)

指示値の0.5% または 10 ppb +他ガスの干渉5 ppm H25 ppm CO5 ppm CH4
上記のガスにより 1 ppm O2 の指示誤差が発生

大気圧の影響影響無し

周囲温度による影響（10℃変化における）指示値の1% または 10 ppb *入口圧力変化による影響（0.014MPaから0.056MPa上昇における）指示値の0.15% または 0.1% ppm *サンプル流量による影響（50 ～ 200 ml / min）

0.15 ppm または 指示値の2% *低キャリブレーション

推奨周期
： 毎月
キャリブレーションガス ： 低キャリブレーションガスは、微量酸素を含む純粋なバックグラウンドガス（純度99.9999%の高純度窒素） 100～1000 ppmまたはそれ以下の酸素を含むガス

高キャリブレーション

推奨周期
： 毎月
キャリブレーションガス ： 高キャリブレーションガスは、209500 ppmの酸素（20.95％）を含むクリーンな乾燥空気

備考* どちらか大きい方*** 21 % O2 の数値も表示** キャリブレーションガスによる+ 0 - 100 ppm の範囲で
本カタログは2018年7月現在の内容であり、予告なく変更されることがあります。

本分析計は93 / 42 EEC医療機器指令に記述される様な人命に係る使用や医療用途にはご使用できません。

Website:E-mail:https://www.ybk.co.jp/
yashima_info@ybk.co.jp

東日本支社〒107-8484 東京都港区赤坂 3-9-1
TEL 03-3588-6371
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岡山支店〒712-8044 岡山県倉敷市東塚 6-7-31
TEL 086-455-7010
FAX 086-455-7094

名古屋支店〒464-0075

愛知県名古屋市千種区内山 3-29-10
朝日生命千種 AM ビル 5 階
TEL 052-732-1611
FAX 052-732-1650

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四日市営業所〒510-0864 三重県四日市市中里町 21-3
TEL 059-347-1371
FAX 059-345-2250

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大阪支店〒534-0025

周南オフィス〒745-0034

長野オフィス〒390-0851

大阪府大阪市都島区片町 2-2-48
JEI 京橋ﾋﾞﾙ 8 階
TEL 06-7166-0512
FAX 06-7166-0513
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島内駅前ﾃﾅﾝﾄﾋﾞﾙ 2 階
TEL 0263-40-5270
FAX 0263-40-5271

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