接液部オールフッ素樹脂による流量制御を実現

FC6500 シリーズ
分離型流量コントロールシステム

概要

FC6500シリーズは分離型の流量コントロールシステムです。
各種センサからの流量信号をアナログ入力で取り込み、目標値で流量が一定になるようバルブが動作します。FC6500シリーズ
は、接液部がオールフッ素樹脂性のコントロール弁と流量コントローラで構成されております。
• 流量コントロール弁 ：FCV シリーズ
• 流量コントローラ：FCA6500 シリーズ

コントロール弁のラインナップの充実により広範囲の流量制御が可能です。また、コントロール弁と制御部を分離することで、安全性を向上し、自由なレイアウトを可能としています。
半導体プロセスをはじめとする各種薬液、純水のプロセス管理等に最適です。
また、流量だけでなく制御対象を流量コントロール弁とした温度制御、圧力制御のコントロールシステムとしてもご使用いただけます。

特長❏ 安全性の向上、自由なレイアウトが可能
プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測制御部を分離することで液漏れなどに対する安全性が向上し、レイアウトも自由に選べます。
❏ 広範囲の流量制御が可能
FCV シリーズは最小 10 〜 100mL/min から最大 1 〜 10L/minの流量範囲で制御できるコントロール弁をご用意しております。
❏ CE マーキング
EU EMC、RoHS2、低電圧指令に対応（EMC 適合規格：EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013）

主要用途❏ 薬液や DIW の供給量の設定
定量ポンプやタンクへの加圧により制御していたさまざまな薬液や DIW の供給ラインに流量コントロールシステムを設置することで、高精度かつ安定した供給量の制御が可能となります。
❏ 濃度管理薬液を純水等で希釈して一定濃度にする場合、薬液ラインと純水ラインに流量コントロールシステムを設置することで、安定した濃度管理が可能となります。
❏ 分岐ラインの流量、圧力管理
メイン配管から分岐された各ラインにコントロールユニットを設置することで、ライン間の相互干渉の影響を受けずに安定した流量設定が可能となります。
また、バイパスラインにコンロトール弁を配置し、メインラインの圧力制御にもご使用いただけます。

TG-F2305-J00
初版 2023 03 K

FC6500 シリーズ 分離型流量コントロールシステム

仕形式コード様コントロール弁
形

FC65 □ □ – □□ □ /式

FCV-1000S タイプ

駆動部

FCV-3000 タイプ

高分解能ステッピングモータ

接続ケーブル

多芯ケーブル

接液部材質

外被材質 PVC

長さ 5m（標準）φ3/8”、φ1/2”

φ1/4”

制御差圧範囲

0.05 ～ 0.2MPa

最大使用圧力0.3MPa

使用温度範囲5 ～ 50°C

使用周囲温度範囲

5 ～ 50°C

形

式

FCA6510

FCA6520

FCA6530

200mA

消費電流

デジタル入力（制御切替）
アナログ出力（流量再出力）FCA65204-20mA/4-20mA

FCA6530

※

特殊バルブ
形式

0FCV-3000 タイプ

1

FCV-1000S タイプ

32
3

FCV-3000D タイプ
特殊
10 〜 100mL/min
20 〜 200mL/min
50 〜 500mL/min
100 〜 1000mL/min
200 〜 2000mL/min
300 〜 3000mL/min
400 〜 4000mL/min
600 〜 6000mL/min
800 〜 8000mL/min
1 〜 10L/min
特殊1/4 チューブ接続
3/8 チューブ接続

41/2 チューブ接続

– 02
03
04
0506
0708
091011※

DC4–20mA

DC0–10VDC4–20mA

入力インピーダンス： 入力インピーダンス： 入力インピーダンス：
250Ω
730kΩ
250Ω

バルブ接続口径※

無電圧接点入力
短絡時 ON：制御開始、解放時 OFF：制御停止

特殊仕様（2）

DC1–5V

DC0–10VDC4–20mA※ 内容によりコードを決定

許容負荷抵抗：500kΩ 以上

許容負荷抵抗：500kΩ 以上

許容負荷抵抗：500Ω 以内

デジタル出力（警報）

トランジスタ接点出力（定格：DC30V，50mA）
論理：A 接点（NO）／ B 接点（NC） メーカ設定

表示方法

バックライト付 16 文字・2 段 LCD（液晶表示）
警報表示：赤色 LED×1、動作表示：緑色 LED×1

表示桁、単位

X.XXX 〜 XXXX（有効 4 桁）
mL/min, L/min, L/h, %, kPa, °C etc.

構造 / 取付

屋内配線（IP20 相当）/ パネル取付線

電源線（接地線）、バルブケーブル、各種信号線

コネクタ

バネ接続式分離型コネクタ 3P、5P、6P、10P

ケース材質・色

ABS・黒

周囲温度

0 ～ 50°C（LCD 除く）

制御精度

現在流量（PV）＞ 30%FS：目標流量（SP）の ±3%
現在流量（PV）≦ 30%FS：目標流量（SP）の ±5%応答性

応答時間 3 秒以内※ 検出器からのアナログ入力が遅延なく更新されること

2

0-10V/0-10V

3

スタート時：1A

アナログ入力
（現在流量）

配2

流量範囲

DC24V±10%TOKYO KEISO CO., LTD.

備FCA6510※

コントローラ容

4-20mA/1-5V

PTFE、PFA

接続口径

電源電圧

電気仕様

内□1考5 種類。最小 10mL/min から最大 2L/min まで6 種類。最小 200mL/min から最大 10L/min
二重シール（耐薬型）
FCV-3200
FCV-3300
FCV-3400
FCV-3500
FCV-3600/1100S
FCV-1200S
FCV-1300S
FCV-1400S
FCV-1500S
FCV-1600S
FCV-3000 シリーズ
FCV-1000S（4L/min 以下）
FCV-1000S のみ（6L/min 以上）

特殊
空欄 標準
※
特殊

TG-F2305-J00

FC6500 シリーズ 分離型流量コントロールシステム

外形図
FCV1000S（3/8”タイプ）

FCV1000S（1/2”タイプ）

2-M5 深サ 6固定用

2-M5 深サ 6固定用

FCV-3000

FCV-3000D

2-M3 深サ 5固定用

TG-F2305-J00

2-M3 深サ 5固定用

TOKYO KEISO CO., LTD.

3

FC6500 シリーズ 分離型流量コントロールシステム

FCA6500

パネルカット図（パネル厚さ 0.8～5mm）コントローラ端子図
CN3123

CN112345

CN4123456

CN5321

CN213579
2 4 6 810

4TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-F2305-J00

FC6500 シリーズ 分離型流量コントロールシステム

コントローラ配線
CN

12※1 CN2番 号 極 性
内 容
モータ駆動コネクタ
1FG
モータグランド2
緑モータ A+ 相
3
黒モータ A– 相
4白モータ B+ 相
5赤モータ B– 相コントローラコネクタ
1+
制御開始／停止入力 ※12–3+
弁体警報出力4–5未使用
67+
現在流量出力8–9+現在流量入力
10–
1, 2

無電圧入力

CN
345番 号 極 性
内 容
電源コネクタ
1+24V
電 源
20V3FG
フレームグランド
警報出力コネクタ
1未使用
23+流量監視 14–5+
流量監視 26–
シリアル通信コネクタ
12
弊社メンテナンス用
3

短絡時：開始、開放時：停止

制御性能・精度
FCA6500 は現在流量（PV 値）をアナログ入力で取り込み、表示器で設定する目標流量（SP 値）になるようコントロール弁の開度を自動調整するフィードバック制御用コントローラです。
目標流量の R.D.±3% 以内に 3 秒以内に追従しますが、センサ側のデータ更新周期、時定数に依存します。
サンプリング周期や時定数が 100ms 以上のセンサでは応答遅れが発生しますので、検出器を選定する際はご注意ください。

諸注意1）コントロール弁は必ず流量計の 2 次側に配管してください。
2）コントロール弁と検出器は 500mm 以内の間隔で配管してください。
3）大きな脈動がある配管ではご使用できません。
（例：ダイヤフラムポンプによる流量供給の場合等）
4）超音波流量計（UCUF シリーズ）と組み合わせる場合は、流量コントローラ（FC6000 シリーズ）を選定してください。
5）目標流量をアナログ入力で取り込むカスケード（RSP）
制御は、信号変換モジュールを介して実現できますので、ご相談ください。

TG-F2305-J00

TOKYO KEISO CO., LTD.

5