あらゆる気体の質量流量を高精度制御

TC シリーズ

サーマル マスフローコントローラ

概要
TC シリーズはサーマルマスフローメータとコントロールバルブを組み合せ、各種気体の質量流量を高精度で自動的に制御するマスフローコントローラです。
使用圧力 0.99MPa までの一般形 TC-1000 シリーズと 10MPa までの高圧用 TC-2000 シリーズがあり、各種用途に幅広く対応します。

特長❑ 広い流量範囲
最小 0 〜 5mL/min(nor)、最大 0 〜 500L/min(nor) の広い流量範
囲 に 対 応 し ま す。
（ 高 圧 タ イ プ TC-2000 形 は 最 小 0 〜 50mL/min(nor)、最大 0 〜 100L/min(nor)）❑ 高精度
精度 ±1％ F.S. の高精度で各種気体の質量流量が制御できます。
❑ 優れた応答性
設定流量、ライン圧力の如何によらず３秒以内で設定値の 98％の流量に到達する速い応答性能により、バッチシステムにも好適です。
❑ 圧力・温度影響が小さい。
使用圧力範囲での圧力影響は 0.25％ F.S. 以下、温度影響はゼロ点
0.05％ F.S./℃以下、スパン 0.1％ F.S./℃以下と圧力・温度の影響が小さく、広い圧力・温度範囲で正確に質量流量が制御できます。
❑ 高性能
多種多様な気体で正確に質量流量が設定できます。

動作原理
マスフローコントローラに流入したガスは、流量センサ部とバイパス部に分流されます。流量センサ部は金属の毛細管と毛細管を加熱する2 本の抵抗線が巻かれており、その 2 本の抵抗線は電気回路の抵抗とブリッジ回路を構成しています。ブリッジ回路はガスが流れていない時には平衡状態にあり、ガスが流れると上流側抵抗線で加熱された熱が下流側に移動し、ブリッジ回路の平衡がくずれて出力信号が得られます。熱の移動量はガスの質量流量と比熱で決まり、普通比熱は圧力によらず、温度が大きく変化しなければ一定とみなすことができ、ブリッジ回路の出力信号により圧力、温度の影響を受けずに質量流量を計測できます。このブリッジ回路からの出力は、増幅回路を経て 0〜 5V の信号として出力されるとともに、比較制御回路に送られます。
ここで流量設定器からの設定信号と比較され両方の信号が等しくなるようにコントロールバルブの開度を調整し正確に流量を制御します。
コントロールバルブは電磁式アクチュエータで電源 OFF 時に閉となるノーマルクローズ形に設計されています。

TG-F2082-J03
4 版 2024 02 K
初版 2021 04 K

TC THERMAL MASS FLOW CONTROLLER

TC-1000

一般用コントローラ
GENERAL PURPOSE THERMAL MASS FLOW CONTROLLER

形式コード

標準仕様

-

TC-1
流 量
区 分口

2-型

ガス名式

流量範囲＊1（フルスケール）

100

MAX

10L/min(nor)

200

MAX

20L/min(nor)

流量制御範囲300

MAX

80L/min(nor)

350

MAX

100L/min(nor)

応答性（98％応答）

400

MAX

300L/min(nor)

550

MAX

500L/min(nor)フルスケール

接-続規

5mL/min(nor)精度

10mL/min(nor)

制御差圧(MPa)

200

20mL/min(nor)

最大操作圧力(MPa)300

30mL/min(nor)周囲およびガス温度

500

50mL/min(nor)101

100mL/min(nor)201

200mL/min(nor)301300mL/min(nor)501500mL/min(nor)102

1L/min(nor)202

2L/min(nor)

接ガス部材質302

3L/min(nor)

ガス接続

502

5L/min(nor)

質量(kg)

103

10L/min(nor)153

15L/min(nor)203

20L/min(nor)303

30L/min(nor)503

50L/min(nor)703

70L/min(nor)80L/min(nor)100L/min(nor)154

150L/min(nor)204

200L/min(nor)254

250L/min(nor)304

300L/min(nor)404

400L/min(nor)504

500L/min(nor)

格径P

Rc

N

NPTS

SW

R

VCR

O

VCO

10～20L/min(nor)0.06～0.3

0.06～0.3

温度影響
TC-1100

圧力影響
電源

DC＋15V
DC－15V

25mA Max
200mA Max

Rc1/4, OD1/4SW, VCR, VCO
1.1

1.4

TC-1200

外形寸法
TC-1300

TC-1100

TC-1350

TC-1400

TC-1550

TC-1200

04

1/4″

TC-1100, 1200

06

3/8″

TC-1300, 1350

08

1/2″

TC-1400

123/4″

161″

TOKYO KEISO CO., LTD.

5mL/min(nor)～
10L/min(nor)

設定信号

100

104

TC-1200

流量出力信号

050

803

TC-1100

TC-1400, 1550

TG-F2082-J03

TC THERMAL MASS FLOW CONTROLLER

TC-1300
20～80L/min(nor)TC-1350

TC-1400

TC-155080～100L/min(nor) 100～150L/min(nor) 150～200L/min(nor) 200～300L/min(nor)300～500L/min(nor)フルスケールの2～100％
4秒以内

3秒以内
DC0～5V
DC0～5V±1％F.S.（25℃基準）
0.1～0.45

0.07～0.3

0.12～0.35

0.15～0.35

0.18～0.5

0.99
5～50℃
スパン
ゼロ点

±0.1％F.S./ ℃Max
±0.05％F.S./ ℃Max

0.25％F.S.（使用圧力範囲にて）
DC＋15Ｖ
DC－15Ｖ

25mA Max
320mA Max

DC＋15Ｖ
DC－15Ｖ

25mA Max
200mA Max

SUS316, SHOMAC＊2またはSUS430＊3, PTFE, フッ素ゴムまたはCR
Rc3/8, OD3/8SW、VCR、VCO2.03.2

Rc1/2、3/4、1、OD1/2、3/4SW

Rc3/4、16.0

6.2＊（1）N2を基準とした流量です。詳細は形式コード表参照願います。
＊（2）特殊高純度フェライト系ステンレス鋼（高耐食、強磁性材料）＊（3）TC-1300・TC-1350はSUS430、その他の形式はSHOMAC

TC-1300

TC-1350

TC-1400

TC-1550

TG-F2082-J03

TOKYO KEISO CO., LTD.

3

TC THERMAL MASS FLOW CONTROLLER

TC-2000

高圧用コントローラ
HIGH PRESSURE THERMAL MASS FLOW CONTROLLER

形式コード標準仕様

-TC-2

--

ガス名

形式

流量区分

50mL/min(nor)
流量範囲
＊(1)
（フルスケール流量） ～10L/min(nor)

100

MAX

10L/min(nor)

200

MAX

20L/min(nor)

流量制御範囲応50mL/min(nor)

流量出力信号

101100mL/min(nor)

設定信号入力201

200mL/min(nor)精301300mL/min(nor)

一次側最大圧力501

500mL/min(nor)102

1L/min(nor)202

2L/min(nor)302

3L/min(nor)502

5L/min(nor)103

10L/min(nor)153

15L/min(nor)MAX

フルスケール203

20L/min(nor)303

30L/min(nor)503

50L/min(nor)703

70L/min(nor)803

80L/min(nor)104

接 続 規 格

Rc

N

NPT

径

SW

04

1/4″

TC-2100/TC-2200

06

3/8″

TC-2300

20～100L/min(nor)DC 0～5V±1％F.S.（25℃基準）

度

10MPa ＊(2)操作可能二次圧範囲

一次側圧力の50～80％

周囲およびガス温度

5～50℃

スパン

±0.1％F.S./ ℃max

ゼロ点

±0.05％F.S./ ℃max
±0.1％F.S./（0.1MPa）max.（N2の場合）＊(3)電源接続

DC＋15V25mA

DC－15V

320mA

SUS316, SHOMAC®＊(4), PTFE, フッ素ゴム, CR

接ガス部材質TC-2300

10～20L/min(nor)DC 0～5V

圧力影響
TC-2200

TC-2300

フルスケールの2～100％

性

温度影響

100L/min(nor)PS
口

TC-2100

答

TC-2200

3秒以内（設定値の98％に達する時間）

100L/min(nor)

500

300

TC-2100

口

径

規格

OD1/4

OD3/8

スウェジロック，Rc(＝PT)，NPT＊（1）N2を基準とした流量です。H2の最小流量範囲は250mL/min（nor）となります。詳細は形式コード表参照願います。
＊（2）使用圧力9.8MPaまでは、実圧力による流量校正を実施致します。
9.8MPaを超える仕様については使用圧力に基づく耐圧試験と圧力換算による流量校正を実施致します。
ガスの状態によっては最大使用圧力が制限されます。別途ガス
物性値をご確認の上、ご使用願います。
（参考：CO2ガスは最大3MPaまで）＊（3）1MPaを超えると使用圧力、流体によって圧力影響の大きさが変動します。
＊（4）特殊高純度フェライト系ステンレス鋼（高耐食、強磁性材料）

外形寸法図

TC-2100

4TOKYO KEISO CO., LTD.

TC-2200

TC-2300

TG-F2082-J03

TC THERMAL MASS FLOW CONTROLLER

周辺機器○専用ケーブル
各種機器間を接続する専用ケーブルです。
形式末尾はケーブル長を m 単位でご選択ください。
（例：SC-CM ケーブルで 2m の場合→”SC-CM-02”）

ケーブル形式

用途

標準長さ

TC-1000/TC-2000←→TM-1400

SC-CM-□□

2m（最大100mまで）
TC-1000/TC-2000←→客先所掌電源

SC-TC-□□○ TM-1400 コンバータユニット
TM-1400 シリーズコンバータユニットは TC-1000、TC-2000 シリー
ズ マスフローコントローラと組み合わせて使用する専用変換器です。
マスフローコントローラへの電源供給、瞬時流量のスケーリング表
示、外部設定 / マニュアル設定切換付きの流量設定機能を備えていますので、各種気体の流量制御システムを構成することが容易になりました。
詳細は、TM-1400 テクニカルガイダンスをご参照下さい。

2572

5.5

147

パネルカット寸法と取付間隔

1290以上ZERO
EXT2DIRECT

10910090
80 70

SET100以上

FLOW SET
FULL
30 20

REF
EXT150 40

SCALE ZERO

6072

67 +0.7-0

TM-1000 CONVERTER

67 +0.7-0

TOKYO KEISO

TG-F2082-J03

TOKYO KEISO CO., LTD.

5

TC THERMAL MASS FLOW CONTROLLER

システム構成例
TM-1400 シリーズ専用コンバータユニットを使用する場合

客先所掌電源を使用する場合

専用ケーブル（SC-CM-□□）

TM-1000 CONVERTER

アナログ出力FLOW SETFULL

1EXT2 ZERODIRECT

TC-1000/2000
マスフローコントローラ

09090

30 20

1080 70

SET50 40

REF
EXT160SCALE ZERO

AC電源TOKYO KEISO

TM-1400
ミニコンバータユニット

TC-1000/2000 マスフローコントローラ

マスフローメータとコントローラで２種類のガスの一定比率混合を行う場合

TM3000
ミニコンバータユニット

6TOKYO KEISO CO., LTD.

TM-1400
ミニコンバータユニット

TG-F2082-J03

TC THERMAL MASS FLOW CONTROLLER

形式の選定例
流量レンジは N2 ガスを基準として流量を表しています。
N2 ガス以外のガスをはかる場合は、下表に示すコンバージョンファクタ（以下「CF」と記載）を用いて、N2 ガスの流量に換算してご希望の形式に入っているか確認して下さい。
単成分ガス（ガスが一種類だけ）の計算式
お客様の仕様ガス流量

形式選定流量=（N 2ガス換算）

CF

混合ガス
（ガスが二種類以上）の計算式
混合ガスの場合は混合ガスの CF を求めてから、単成分ガスと同様に N2 換算を行います。
混合ガスのCF =1X1X2X6++…+
CF1CF2CF6X1 ：成分1の構成比率（VOL%/100）
X2 ：成分2の構成比率（VOL%/100）⋮X6 ：成分6の構成比率（VOL%/100）
CF1 ：成分1のCF
CF2 ：成分2のCF⋮
CF6 ：成分6のCF
形式選定流量=（N 2ガス換算）

お客様の混合ガスの流量
混合ガスのCF

代表的なガスの CF
流体名
窒素
空気
アルゴン
一酸化炭素
二酸化炭素※b
ヘリウム
水素
ネオン
アンモニア
一酸化窒素

分子式N2AIR
Ar
CO
CO2He
H2Ne
NH 3NO

CF
1.000
1.001
1.2※a0.998
0.745
1.404
1.007
1.403
0.769
0.976

流体名
二酸化窒素
亜酸化窒素
酸素メタン
エチレン
エタン
プロピレン
プロパンnブタン

分子式NO2N 2O
O2CH4C2H4C2H 6C2H 6C 3H 8n-C 4H10CF
0.740
0.714
0.984
0.782
0.623
0.505
0.407
0.3510.266※a： ArはN 2換算は1.2ですが、CFによるガスの補正時はCF=1.4となります。
※b： 二酸化炭素は最高で3MPaが使用限界です（TC-2000シリーズ）。
圧力が使用限界の場合、ガス温度30℃以上としてください。
例）流体名、ヘリウム、流量、25L/min（nor）、圧力0.1MPa、温度20℃、継手1/4"SWLのとき

N 2ガス換算流量=25L/min（nor）
1.404（CF）=17.8

17.8L/min（nor）となり、TC-1200-203-S04となります。

ご使用上の注意・水平取付、コネクタ上向きとなるよう設置してください。
・一次圧力は仕様伺い時の常用圧力としてご使用ください。
・測定気体の流れ方向は製品本体上の矢印と同じ向きとしてください。

TG-F2082-J03

TOKYO KEISO CO., LTD.

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TC THERMAL MASS FLOW CONTROLLER

仕様伺いご注文、お引合に際しては下記仕様をご連絡願います。
○本体形
気体

名

一 次 側 圧 力
差TC-□□□□-□□□-□□□

名圧範

温最大MPa

常用MPa

囲～度℃

続口

径

□1/4″

□3/8″

接続規格

□スウェジロック□1/2″□Rc（＝PT）

MPa
MPa

フ ル ス ケ ー ル
接最小

□NPT

□mL/min(nor)□L/min(nor)

□3/4″

□1″

□VCR

□VCO

○付属品

コ ン バ ー タ専 用 ケ ー ブ ル8

□TM-14□0-□□（指示・設定）□不要

SC-CM-□□□標準2m□m（Max.100m）

SC-TC-□□□標準2m□m（Max.100m）

TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-F2082-J03