水素雰囲気第一種場所まで対応

EP-TF-5300シリーズ EP-TC-1000シリーズ
H-EP-TF-5300シリーズ EP-TC-2000Vシリーズ

マスフローメータ/マスフローコントローラ

概要

EP-TF-5300シリーズは耐圧防爆形・気体用熱式質量流量計です。
各種ガスの質量流量を圧力、温度などプロセス条件に依存せず、計測することができます。
最小フルスケール5mL/min（nor）、最大フルスケール500L/min（nor）、最高使用圧力4.9MPaまでカバーするラインアップで幅広いアプリケーションに対応します。
また高圧用H-EP-TF-5300シリーズは最高使用圧力14.7MPaまで対応できます。
EP-TC-1000シリーズ マスフローコントローラは耐圧防爆形コント
ロールバルブでEP-TF-5300シリーズ マスフローメータを流量計測器として組み合わせて使用します。最大100L/min（nor）、最高使用圧力2.9MPaまで広い制御差圧により各種気体の質量流量を高精度で自動的に制御します。
高圧用EP-TC-2000VシリーズはH-EP-TF-5300シリーズと組み合わせて使用します。最高使用圧力 9.8MPaまで対応可能です。

特長❏ 耐圧防爆構造
マスフローメータ、マスフローコントローラともに水素雰囲気第一種場所まで対応します。用途が大きく広がりました。
❏ 高精度±1% F.S.
精緻な理論と長年のノウハウで気体質量流量を高精度に計測します。
❏ 広い流量範囲
実験プラントから大規模プロセスまで広い用途に役立ちます。
❏	 TM-1400/3000ミニコンバータユニットと組み合わせて表 示、積算（TM3000のみ）、制御が手軽にできます。

TG-F2301-J01
2 版 2024 02 K
初版 2022 10 K

EP-TF-5300 シリーズ

マスフローメータ / マスフローコントローラ（H-）EP-TF-5300

耐圧防爆・高圧用マスフローメータ

標準仕様

外形寸法（EP-TF-5300）

形式
流量範囲

（H-）EP-TF-5310（H-）EP-TF-5320（H-）EP-TF-5330（H-）EP-TF-5340
5mL/min（nor）〜 20～80～300～（フルスケール）20L/min（nor） 80L/min（nor） 300L/min（nor）500L/min（nor）
DC 0～5 V
流量出力信号
±1.0% F.S.（25℃基準）
精度
90% 応答時間 3秒以内
応答性能
4.9MPa（H-EP-TF-5300は14.7MPaまで）
最大使用圧力周囲およびガス温度

5～50℃

温度影響
圧力影響
構造
配線接続口
電源
接ガス材質
接続口径
（OD）
接続方式

スパン ± 0.1%F.S./℃ max.
ゼロ点 ±0.05%F.S./℃ max.
※
±0.1% F.S. /（0.1MPa）max.（N 2にて）耐圧防爆構造 JIS d3aG4
G1/2（=PF1/2）めねじ
DC+15V 25mA max.
DC-15V5mA max.
SUS316,フッ素ゴムまたはCR
1/4"
1/4",3/8"
3/8",1/2" 3/8",1/2",3/4"
スウェジ、VCR、VCO、Rc（=PT）、NPT、フランジ寸法

形式

EP-TF-5310
EP-TF-5320
EP-TF-5330
EP-TF-5340

H

L※

a177 107
183 116203 182
203 22216192929b

外形寸法（H-EP-TF-5300）

形式コード

●ネジ接続
流量0-

ガス接続

n-φ-d

概算質量6.0kg
7.0kg
10.5kg12.0kg（1）電覧口は流れ方向に対して90°変更可能です。

※1MPaを超える場合は使用圧力、流体によって影響の大きさが変動します。

形式
EP-TF-53c

268 60 4-M5-深10
261 60 4-M5-深10281 104 4-M10-深15
281 144 4-M10-深15●フランジ接続

流体名

A-B-C

H1234（A×10+B）
10c
単位mL/min（nor）
SROPNF0 40 60 8
1 2高圧用
5mL/min（nor）～20L/min（nor）
20L/min（nor）～80L/min（nor）
80L/min（nor）～300L/min（nor）
300L/min（nor）～500L/min（nor）
1L/min（nor）=1000mL/min（nor）
L/min（nor）: Normal
Liters perMinute
スウェジロック
VCR（EP-TF-5300のみ）
VCO（EP-TF-5300のみ）
Rc（=PT）
NPT
フランジ
1/4"
3/8"
1/2"
3/4"

流量計測のみ（TM3000 ミニコンバータ使用）

ネジ、スウェジ接続
形式

寸法

H

L

H-EP-TF-5310 183 124
H-EP-TF-5320 193 150
H-EP-TF-5330 205 223
H-EP-TF-5340 205 263

abcn-φd

概算質量19243030276 60 4-M5 深10 7.0kg
282 60 4-M5 深10 8.5kg
313 110 4-M10 深15 12.5kg
313 150 4-M10 深15 14.0kg（1）
スウェジロック付の場合、継手は付属品扱いとなり本体にねじこまれていません。
（2）電覧口は流れ方向に対して90°変更可能です。

フランジ接続SC-EP3専用ケーブル（最大100mまで）

面間表（mm）
電覧口が流れ方向に対して直角の場合
接続口径15A（1/2”）
または20A（3/4”）
形式

規格

H-EP-TF-5310
H-EP-TF-5320
H-EP-TF-5330
H-EP-TF-5340

JIS
10K 20K
250 270
270 290
340 360
380 400

ANSI・JPI
150Lb 300Lb 800Lb 1500Lb
250
270300
320
270
290
320
340
340
360
390
410
380400430450

概算質量（kg）
接続口径20A（3/4”）の概算質量
形式

規格

H-EP-TF-5310H-EP-TF-5320
H-EP-TF-5330
H-EP-TF-5340

2

TOKYO KEISO CO., LTD.

JIS
10K 20K
8.5
8.7
10.0 10.2
14.0 14.2
15.5 15.7

ANSI・JPI
150Lb 300Lb 800Lb 1500Lb
8.7
9.2
10.0
12.5
10.2
10.7
11.5
14.0
14.2
14.7
15.5
18.0
15.7
16.2
17.0
19.5

TG-F2301-J01

EP-TF-5300 シリーズ

マスフローメータ / マスフローコントローラ

EP-TC-1000/2000V マスフローコントローラ
EP-TCシリーズマスフローコントローラは耐圧防爆形コントロールバルブで（H-）EP-TF-5300マスフローメータを流量計測器として組み合せて使用します。

標準仕様 EP-TC-1000

標準仕様 EP-TC-2000V

形式

EP-TC-1000
最小 0～5mL/min（nor）
最大 0～100L/min（nor）
フルスケールの2～100%
流量制御範囲3秒以内（設定値の98%に達する時間）
応答性
DC 0～5V
設定信号2.9MPa
一次側最大圧力0.07～0.3MPa
操作可能差圧範囲
5～50℃
周囲およびガス温度
耐圧防爆構造 JIS d3aG4
構造
DC+15V 25mA max
TM-1400形コンバータ
電源ユニットをご利用下さい
DCｰ15V 320mA max
SUS316、SHOMAC®＊2 フッ素ゴムまたはCR
接ガス部材質OD1/4"、3/8"
口径
接続
スウェジ、VCR、VCO、Rc（=PT）、NPT
規格

流量制御範囲＊1（）＊1：‌N 2を基準とした流量です。H 2の最小流量範囲は250mL/min（nor）となります＊2：特殊高純度フェライト系 ステンレス鋼（高耐食、強磁性材料）

形式

EP-TC-2000V
最小 0～200mL/min（nor）
最大 0～100L/min（nor）
フルスケールの2～100%
流量制御範囲3秒以内（設定値の98%に達する時間）
応答性
DC 0～5V
設定信号
9.8 MPa
一次側最大圧力
F.S. 20L/min（nor）未満 一次圧力の20～80%
操作可能差圧範囲
F.S. 20L/min（nor）以上 一次圧力の20～40%
耐圧防 爆 構造 E xd I I CT6
構造
5～48℃
周囲およびガス温度
DC+15V 25mA max
TM-1400形コンバータ
電源ユニットをご利用下さい
DCｰ15V 320mA max
SUS316、SHOMAC®＊2 フッ素ゴムまたはCR
接ガス部材質3/8"
口径
接続
スウェジ（OD1/4"、3/8"）、Rc（=PT）
規格

流量制御範囲＊1（）

外形寸法（EP-TC-2000V）

外形寸法（EP-TC-1000）

60169

119

104-M5
深サ1016515686

底面図19

質量：6.4kg

100

流量計測/制御（TM-1400 ミニコンバータ使用）

TM-1000 CONVERTERFLOW SET
1100909030 20

SET50 40

ZERO70FULL80REF

EXT2DIRECT

EXT160SCALE ZEROTOKYO KEISO

TG-F2301-J01

TOKYO KEISO CO., LTD.

3

EP-TF-5300 シリーズ

マスフローメータ / マスフローコントローラ

形式の選定例
流量レンジはN 2ガスを基準として流量を表しています。
（以下「CF」と記載）を用いて、N 2ガスの流量に換算してご希望の形式に入っ
N 2ガス以外のガスをはかる場合は、下表に示すコンバージョンファクタているか確認して下さい。
単成分ガス（ガスが一種類だけ）の計算式
お客様の仕様ガス流量

形式選定流量=（N 2ガス換算）

CF

混合ガス（ガスが二種類以上）の計算式
混合ガスの場合は混合ガスのCFを求めてから、単成分ガスと同様にN 2 換算を行います。
混合ガスのCF =1X1
X2
X6++…+
CF1
CF2CF6X1 ：成分1の構成比率（VOL%/100）
X2 ：成分2の構成比率（VOL%/100）⋮X6 ：成分6の構成比率（VOL%/100）
CF1 ：成分1のCF
CF2 ：成分2のCF⋮
CF2 ：成分2のCF
形式選定流量=（N 2ガス換算）

お客様の混合ガスの流量
混合ガスのCF

代表的なガスのCF
流体名
窒素
空気
アルゴン
一酸化炭素
二酸化炭素※b
ヘリウム
水素
ネオン
アンモニア
一酸化窒素

分子式
N2
AIR
Ar
COCO 2
He
H2Ne
NH 3
NO

CF
1.000
1.001
1.2※a0.998
0.745
1.404
1.007
1.403
0.769
0.976

流体名
二酸化窒素
亜酸化窒素
酸素
メタン
エチレン
エタン
プロピレン
プロパンnブタン

分子式NO 2
N 2O
O2
CH 4
C2 H4
C2 H 6C3 H 6C3 H 8n-C4 H10

CF0.740
0.714
0.984
0.782
0.623
0.5050.407
0.351
0.266

※a：ArはN 2 換算は1.2ですが、CFによるガスの補正時はCF=1.4となります。
※b：二酸化炭素は最高圧力3MPa、温度は30℃以上の条件でのご使用が限界です（H-EP-TF-5300シリーズ）。
例）流体名、ヘリウム、流量、25L/min（nor）、圧力0.1MPa、温度20℃、継手1/4"SWLのとき

N 2ガス換算流量=25L/min（nor）
1.404（CF）=

17.8

17.8L/min（nor）となり、EP-TF-5310-253-S04となります。

4TOKYO KEISO CO., LTD.

TG-F2301-J01

EP-TF-5300 シリーズ

マスフローメータ / マスフローコントローラ

ご使用上の注意●マスフローメータの流量信号は0〜100%です。ゼロ点の最小桁のふらつきが気になる場合、変換器側でローカットを設定して下さい。
専用コンバータTM3000は標準2%以下カットオフとなっております。
●マスフローメータは流れ方向と逆側から流体が流れると、マイナスの信号が出力されます。
逆流が発生する場合、逆止弁を流量計の下流側に設置することをお勧めします。
●マスフローメータの流量出力特性はフルスケール流量時に5.000［V］で調整されていますが、オーバースケールをした場合の流量出力は、最初はリニアに立ち上がりますが徐々に低下していきます。
そのため、流量定格内でのご使用をお願いいたします。
●ゼロ点の調整は完全にガスを止めてから行なって下さい。詳細は取扱説明書を参照願います。
●センサ細管はSUS316TPですので、SUS316を腐食させるガスは流さないで下さい。
●水平取付（流れ方向）で取り付けて下さい。
●マスフローコントローラ使用時は、一次圧力を仕様伺い時の常用圧力として下さい。
●雨水滴が直接かからない場所に設置願います。
●取扱説明書をよく読んでご使用願います。

設置上の注意●センサ細管内径はφ0.3のため、埃、塵などが詰まり易くなっています。流量計取付前に配管内のフラッシングを行いゴミ、水分等を完全に除去して下さい。
●液化され易いガス（アンモニア、DMEなど）
は流量計の上流側にフィルターの設置をお勧めします。
●電気ノイズを避けるために配線はシールド線を使用し、他の電力、動力線との併設は避けて下さい。
●本体に流れを示す矢印があります。測定気体が矢印方向に流れるように配管して下さい。
●H-EP-TF-5300シリーズ（高圧用）
は、確実に水平になるように設置して下さい。
●高圧下で使用する場合、配管や流量計本体が冷やされることがあります。
このような場合は配管や流量計本体を保温材やテープヒータ等で施工し、ガスの液化を防止して下さい。

TG-F2301-J01

TOKYO KEISO CO., LTD.

5

EP-TF-5300 シリーズ

マスフローメータ / マスフローコントローラ

周辺機器・アクセサリー
防爆ターミナルボックス

TM-1400/3000 ミニコンバータユニット

EP-TC-1000/2000Vと組み合わせてマスフローコントローラとする場

DIN72角のコンパクトなコンバータユニットです。瞬時流量表示のほ合に危険場所での結線に使用します。

かマスフローコントローラとTM-1400の組み合わせで流量設定、比率形式
構造
材質
電覧口
塗装色設定なども可能です。

STH-1S-A
耐圧防爆構造JISd 2 G4
AC7A-F
3×G1/2（ケーブルグランド付属）
マンセル7.5BG6/1.5

TM-1400（マスフローコントローラ用）

TM3000（マスフローメータ用）

別紙TM-1400/3000 ミニコンバータユニットテクニカルガイダンスをご用意しています。お申し付け下さい。

仕様お伺い

専用ケーブルSC-EP3 （H-）
EP-TF-5300〜TM3000
SC-TM
STH 防爆ターミナルボックス〜TM-1400
SC-T-EPC（H-）
EP-TF-5300〜
STH防爆ターミナルボックス

6

最大100m
合計
最大100m

形名（H-）EP-TF-53□□/EP-TC-1000/2000V
気体名
一次側圧力 最大
MPa 常用
MPa 最小Mpa
二次側圧力〜
Mpa
変動範囲
温度℃
フルスケール□mL/min（nor） □L/min（nor）
接続口径 □1/4"
□3/8"
□1/2"
□3/4"
接続規格 □スウェジロック □Rc（=PT）□その他（）□TM32□□（指示・積算・警報） マスフローメータ用□TM-14□0-□□（指示・設定）
マスフローコントローラ用□m
SC-TM（合計Max.100m）
専用ケーブル SC-T-EPC□m
SC-EP3□m （Max.100m）
コンバータ

TG-F2301-J01