(57)【要約】【目的】

光ファイバプローブの先端あるいは記録媒体を損傷することなく高密度記録を行なうことができる記録媒体を提供する。
【構成】

光ファイバプローブ２０の先端の先鋭部２１を、記録媒体１０を構成する記録光の波長以下の直径を有する微小球体２の頂点から光の波長以下の位置に移動させ、先鋭部と反対方向から記録項を入射させると、先鋭部２１の先端に設けられた記録光の波長以下程度の開口部２３から、エバネッセント光が放射される。エバネッセント光の光強度は、開口部２３からの距離が波長程度以上となると急激に減少し、感光体層４の凸部の周辺の凹部の感光体層４に到達する記録光の強度は、凸部における強度に比較して極めて弱くなり、凸部の感光体層
４のみが感光する。

(2)特開平８−１６０５６４

12【特許請求の範囲】

ローブの先鋭部と反対側のコアに入射させる記録光発生【請求項１】部と、平板状の基盤と、該基盤上に、記録光の波長以下の直径を有する微小球体

上記光ファイバプローブ又は上記記録媒体を移動させるを基盤上に配列させて形成された球体配列層と、駆動部と、該球体配列層の上部に形成された感光体層とを備えるこ

上記記録光発生部と駆動部の動作を制御する制御部とをとを特徴とする記録媒体。

備え、【請求項２】

前記微小球体がプラスチック又は高分子

制御部は、上記光ファイバプローブの先鋭部が、上記記化合物からなることを特徴とする請求項１記載の記録媒

録媒体を構成する微小球体の頂点上の感光層の上の記録体。

光の波長以下の位置となるように、上記駆動部を制御し【請求項３】

記録光の波長以下の直径を有する微小球

10た後、記録光発生部を制御して記録光を発生することを

体を液体に混合する混合工程と、特徴とする記録装置。

該微小球体を混合した液体を平板状の基盤に付着させる【請求項７】

付着工程と、

前記先鋭部の先端の曲率半径が前記記録光の波長以下で上記付着工程に先だって、上記基盤の表面の上記液体にあって、対する親和力を増加させる親和化工程と、先鋭部の表面に設けられた遮光部と、基盤を傾斜させた状態で、基盤に付着した液体を蒸発さ該遮光部の先端に設けられた記録光の波長以下の開口をせることにより、基盤上に球体を配列させた球体配列層と有することを特徴とする請求項６記載の記録装置。

を形成する配列工程と、【発明の詳細な説明】

球体配列層の上部に感光体層を形成する感光体形成工程【０００１】を備えることを特徴とする記録媒体の製造方法。
【請求項４】

20

前記混合工程において、プラスチック又前記光ファイバプローブは、【産業上の利用分野】本発明は、エバネッセント光を照射して記録を行なう記録媒体及びその製造方法に関すは高分子化合物からなる微小球体の表面の前記液体に対る。また、本発明は、エバネッセント光を記録媒体に照する親和力を増加させた後、液体に混合することを特徴射して記録を行なう記録方法及び記録装置に関する。

とする請求項３記載の記録媒体の製造方法。

【０００２】【請求項５】

平板状の基盤と、該基盤上に記録光の波【従来の技術】従来、記録媒体に光学的に記録を行なう

長以下の直径を有する微小球体を基盤上に配列させて形記録方法としては、レーザ光源等からの記録光をレンズ成された球体配列層と、該球体配列層の上面に形成され等の光学系を用いてスポット状に集光して記録媒体に照た感光体層とからなる記録媒体に記録を行なう記録方法

射し、記録媒体の偏光方向等の状態を変化させて記録をであって、行なう記録方法が知られており、このような記録方法

光を伝搬させるコアと、コア内を伝搬する光を遮光する

30は、例えば光学ディスク装置等で用いられている。

クラッドとからなる光ファイバの一端にコアが先細り状【０００３】しかしながら、このように光学系を用いてに先鋭化した先鋭部を有する光ファイバプローブを、上

記録光を集光する方法では、光の回折限界によって光の記先鋭部の先端が上記球体配列層を構成する微小球体の波長以下程度の領域に記録光を集光することはできず、頂点上の感光体層の上の記録光の波長以下の位置となる

記録密度の向上に限界があった。

ように、上記光ファイバプローブ又は記録媒体を移動さ【０００４】より小さな領域に光記録を行なう方法とし

せ、ては、空間中を伝搬する通常の光とは異なり、物質表面

上記光ファイバプローブの先鋭部と反対側のコアに記録の光の波長より小さな領域に局在するいわゆエバネッセ

光を入射させ、ント光を用いて、平板状の記録媒体に記録を行なう記録

該記録光に基づいて上記先鋭部から放射される放射光を方法（Shudong Jiang,Junichi Ishihashi,Hirosato Mon

上記微小球体の頂点上の受光体層に照射することによっ40

onobe,Masamichi Fujita and MotoichiOhtsu:OpticsComて記録媒体に記録を行なうことを特徴とする記録方法。

munications 106(1994)173.）が知られている。

【請求項６】

平板状の基盤と、該基盤上に記録光の波【０００５】すなわち、このような記録装置では、図１

長以下の直径を有する微小球体を基盤上に配列させて形３に示すように、その一端を先鋭化させた先鋭部７１を成された球体配列層と、該球体配列層の上面に形成され有し、この先鋭部７１の周囲を遮光性の被覆層７２で覆た感光体層とからなる記録媒体に記録を行なう記録装置

い、この被覆層７２の先端に先鋭部７１の先端が被覆層であって、７２から露出した開口部７３を有する構成の光ファイバ

光を伝搬させるコアと、コア内を伝搬する光を遮光する

プローブ７４を用い、この光ファイバプローブ７４の先

クラッドとからなる光ファイバの一端にコアが先細り状

鋭部７１を記録媒体７５の表面から記録光の波長程度のに先鋭化した先鋭部を有する光ファイバプローブと、
記録光を発生し、該発生した記録光を上記光ファイバプ

距離に接近させ、光ファイバプローブ７４の他端より記50

録光を入射し、この記録光に基づいて開口部７３から放(3)特開平８−１６０５６４

3

4

射されるエバネッセント光７６を記録媒体７５に照射す

体層を形成する感光体形成工程を備えることを特徴とすることにより記録を行なうようになっている。

る。

【０００６】ところで、エバネッセント光の伝搬は、物【００１５】また、本発明に係る記録媒体の製造方法

質表面との相互作用によって影響されるため、その強度は、混合工程において、プラスチック又は高分子化合物

分布も、物質表面の形状によって左右される。

からなる微小球体の表面の液体に対する親和力を増加さ【０００７】すなわち、上述のような、記録装置では、せた後、液体に混合することを特徴とする。

先鋭部７１から記録媒体７３の表面に照射されるエバネ【００１６】本発明に係る記録方法は、平板状の基盤

ッセント光７６は、先鋭部７１から離れるにしたがってと、該基盤上に記録光の波長以下の直径を有する微小球

拡散し、この拡散によって、先鋭部７１の先端の大きさ（曲率半径）に比較して大きな領域７７の記録媒質７８体を基盤上に配列させて形成された球体配列層と、該球10体配列層の上面に形成された感光体層とからなる記録媒の状態が変化する。

体に記録を行なう記録方法であって、光を伝搬させるコ【０００８】このため、高密度記録を行なうために記録

アと、コア内を伝搬する光を遮光するクラッドとからな

媒質７８の状態が変化する領域７７を小さくしようとする光ファイバの一端にコアが先細り状に先鋭化した先鋭

ると、先鋭部７１と記録媒体７５とをさらに接近させる部を有する光ファイバプローブを、先鋭部の先端が球体ことが必要となる。

配列層を構成する微小球体の頂点上の感光体層の上の記【０００９】

録光の波長以下の位置となるように、光ファイバプロー【発明が解決しようとする課題】しかしながら、先鋭部

ブ又は記録媒体を移動させ、光ファイバプローブの先鋭

７１と記録媒体７５とが接近した状態で、先鋭部７１の部と反対側のコアに記録光を入射させ、記録光に基づい位置を正確に制御することは難しく、例えばほんの少して先鋭部から放射される放射光を微小球体の頂点上の受

上下方向に移動しただけでも、先鋭部７１と記録媒体７20

光体層に照射することによって記録媒体に記録を行なう

５の表面が接触し、先鋭部７１あるいは記録媒体７５をことを特徴とする。

損傷する問題があった。

【００１７】本発明に係る記録方法は、光ファイバプロ

【００１０】本発明は、上述のような問題点に鑑みてなーブとして、先鋭部の先端の曲率半径が記録光の波長以されたものであり、光ファイバの先端あるいは記録媒体下であって、先鋭部の表面に設けられた遮光部と、遮光を損傷することなく高密度記録を行なうことができる記部の先端に設けられた記録光の波長以下の開口とを有す録媒体を提供することを目的とする。また、本発明は、

る光ファイバプローブを使用して記録を行なうことを特

高密度記録を行なうことができる記録媒体を容易に製造徴とする。

することができる記録媒体の製造方法を提供することを【００１８】また、本発明に係る記録装置は、平板状の目的とする。
【００１１】また、本発明は、光ファイバの先端あるい基盤と、基盤上に記録光の波長以下の直径を有する微小30

球体を基盤上に配列させて形成された球体配列層と、球は記録媒体を損傷することなく高密度記録を行なうこと

体配列層の上面に形成された感光体層とからなる記録媒ができる記録方法及び記録装置を提供することを目的と体に記録を行なう記録装置であって、光を伝搬させるコする。

アと、コア内を伝搬する光を遮光するクラッドとからな【００１２】る光ファイバの一端にコアが先細り状に先鋭化した先鋭【課題を解決するための手段】本発明に係る記録媒体部を有する光ファイバプローブと、記録光を発生し、発は、平板状の基盤と、基盤上に、記録光の波長以下の直生した記録光を光ファイバプローブの先鋭部と反対側の径を有する微小球体を基盤上に配列させて形成された球コアに入射させる記録光発生部と、光ファイバプローブ

体配列層と、球体配列層の上部に形成された感光体層と又は上記記録媒体を移動させる駆動部と、記録光発生部を備えることを特徴とする。

と駆動部の動作を制御する制御部とを備え、制御部が、【００１３】また、本発明に係る記録媒体は、微小球体

40

光ファイバプローブの先鋭部が、記録媒体を構成する微がプラスチック又は高分子化合物からなることを特徴と小球体の頂点上の感光層の上の記録光の波長以下の位置する。

となるように、駆動部を制御した後、記録光発生部を制【００１４】また、本発明に係る記録媒体の製造方法

御して記録光を発生することを特徴する。

は、記録光の波長以下の直径を有する微小球体を液体に【００１９】また、本発明に係る記録装置は、光ファイ混合する混合工程と、微小球体を混合した液体を平板状

バプローブが、先鋭部の先端の曲率半径が前記記録光のの基盤に付着させる付着工程と、付着工程に先だって、波長以下であって、先鋭部の表面に設けられた遮光部

基盤の表面の液体に対する親和力を増加させる親和化工と、遮光部の先端に設けられた記録光の波長以下の開口程と、基盤を傾斜させた状態で、基盤に付着した液体ををと有することを特徴する。

蒸発させることにより、基盤上に球体を配列させた球体
配列層を形成する配列工程と、球体配列層の上部に感光【００２０】
50【作用】本発明に係る記録媒体は、本発明に係る記録媒

(4)特開平８−１６０５６４56

体の製造方法によって製造される。

波長以下であることから、記録光の波長以下の領域の感【００２１】本発明に係る記録媒体の製造方法では、親光体層が感光されることになる。

和化工程において平板状の基盤の表面の混合工程で使用【００３４】本発明に係る記録方法は、本発明に係る記する液体に対する親和力を増加させる。

録装置において適用されている。

【００２２】そして、混合工程において微小球体を液体【００３５】また、本発明に係る記録装置は、本発明にに混合させる。あるいは、この混合工程において、プラ

係る記録媒体に光学記録を行なう。この記録装置では、

スチック又は高分子化合物からなる微小球体の表面の液制御部は、まず、光ファイバプローブの先鋭部が、記録体に対する親和力を増加させた後、液体に混合する。

媒体を構成する微小球体の頂点上の感光体層から記録光【００２３】つぎに、付着工程において微小球体を混合した液体を基盤に付着させ、配列工程において基盤を傾の波長以下の位置となるように、上記駆動部を制御す10る。そして、駆動部は、制御部からの制御に基づいて光斜させた状態で、基盤に付着した液体を蒸発させる。

ファイバプローブを移動させる。

【００２４】このとき、基盤が傾斜させられると、基盤【００３６】先鋭部の先端が、微小球体の頂点に相当すの上部での液体の層の厚さが、基盤の下部での液体の層る位置の感光体層から記録光の波長以下の位置に到達すの厚さに対して薄くなる。

ると、制御部は、記録光発生部を制御して記録光を発生【００２５】この状態で、液体が蒸発すると、まず基盤させる。

表面の上部での液体の層の厚さが微小球体の直径以下と【００３７】記録光発生部により発生された記録光は、なり、この位置の微小球体が移動できなくなって基盤に

光ファイバプローブの先鋭部と反対側のコアに入射さ固着される。

れ、コア中を伝搬して、先鋭部の先端から記録媒体に対【００２６】続いて、この固着された微小球体と、このして放射される。

微小球体付近に位置する微小球体との間に液体の凹面部

20【００３８】具体的には、光ファイバプローブの先鋭部が形成され、この凹面部に働く表面張力によって、これの先端の曲率半径は、記録光の波長以下程度となっておらの微小球体間に引力が働く。しかしながら、固着されり、先鋭部の表面には遮光部が形成されており、遮光部

た微小球体が移動しないため、固着された微小球体付近の先端には、記録光の波長以下の開口が設けられていに位置する微小球体が、固着された微小球体に引き寄せる。

られ、固着された微小球体に接触する。

【００３９】先鋭部の表面の遮光部が突出部からの光の【００２７】そして、液体の蒸発が進むと、これらの固放射を遮光する遮光部として機能する。このため、波長着された微小球体付近に位置する微小球体が徐々に引き以下の開口のみから記録光を感光体層に照射することが寄せられ、液体が全て蒸発してしまうと、微小球体が集できる。このような開口から放射される記録光は、物質

中されて２次元状に配列され、球体配列層が形成される。

表面の光の波長以下程度の領域に存在するいわゆるエバ
30

ネッセント光からなる。

【００２８】最後に、配列工程において形成された球体【００４０】このエバネッセント光は、先鋭部の先端か配列層の上面に感光体層を形成する。

らの距離が記録光の波長以上となると、その強度が急激【００２９】このようにして製造された本発明に係る記に減少する性質がある。

録媒体は、平板状の基盤上に記録光の波長以下の直径を【００４１】すなわち、先鋭部の先端が微小球体の頂点有する微小球体を配列させて形成された球体配列層の上と記録光の波長以下の距離にあり、双方が同程度の大き面に、感光体層を有している。

さである場合、エバネッセント光のカップリング効率が【００３０】球体配列層は、平板上の基盤と、基盤上に最大になり、かつエバネッセント光は、光の波長以下の記録光の波長以下の直径を有する微小球体を混合した液領域に局在しているため微小球体の頂点以外では、その体を付着させた後、基盤を傾けた状態で液体を蒸発させ強度が急激に減少する。

ることによって形成されているため、液体が蒸発する際

40【００４２】このため、微小球体の頂点のに相当する領に整列され、均一な配列となっている。

域のみに記録光が入射された状態と同様となり、この領【００３１】また、感光体層は、球体配列層の上に形成

域の感光体層のみを感光させる。

されているため、その上面に記録光の波長以下の間隔で【００４３】これにより、１つの微小球体の頂点に相当

規則的に繰り返す凹凸を有している。

する領域の感光体層のみを感光させることができる。

【００３２】このような感光体層の表面に記録光を照射【００４４】

すると、凹部での光強度に対して凸部での光強度が強く【実施例】以下、本発明の好適な実施例を図面を参照しなり、凸部の感光体がより強く感光される。

ながら詳細に説明する。

【００３３】また、１つの微小球体に対応する感光体層【００４５】まず、本発明に係る記録媒体を適用した第の凸部のみに記録光を照射すると、この微小球体の上部の感光体層のみが感光され、微小球体の直径が記録光の１実施例について説明する。
50【００４６】この記録媒体は、例えば図１に示すよう

(5)特開平８−１６０５６４

7

8に、スライドグラス等の平板状のガラス板からなる基盤【００５７】さらに、配列工程において基盤を傾斜させ

１と、この基盤１上に微小球体２が１層に配列された球た状態で、基盤に付着した液体を蒸発させる。

体配列層３と、この球体配列層３の上面に設けられた感【００５８】この配列工程では、例えば図３に示すよう

光体層４とからなる。

に、付着工程において液体５を付着させた平板状のスラ【００４７】球体配列層３を構成する微小球体２は、例

イドグラス等からなる基盤１をいわゆるペルチエ素子２

えば直径５０ｎｍ乃至１００ｎｍのラテックス球からな

０上に載置し、このペルチエ素子２０を５〜１０度程度る。このような微小球体２は、平板上で１つの粒子の周傾いた状態でチャンバー２１内に載置する。

囲に６つの粒子が接触するいわゆる２次元最密構造とな【００５９】そして、チャンバー２１内に窒素を供給っている。
【００４８】また、感光体層４は、いわゆるＬＢフィル

し、窒素の弱い流れ２２を発生させることにより湿度を
10

５０％程度に維持し、ペルチエ素子２０の温度を２５度ムからなり、蒸着等により球体配列層３の上面に１０ｎから０．１度の範囲内に制御した。

ｍ程度の厚さに形成されている。

【００６０】このとき、チャンバー２１内に傾斜させて【００４９】このような構造の記録媒体１０では、感光載置された基盤１上の液体５は、例えばその断面を図４

体層４は、球体配列層３上に形成されているため、そのに示すように、基盤１の上部での液体５の層の厚さが、表面に凹凸を有する。このため、この感光体層３の凸部

基盤１の下部での液体５の層の厚さに対して薄い状態とに集光した記録光を照射することにより、凸部の感光体なる。

層４が感光し、これによって光学記録を行なうことがで【００６１】このように、基盤１の上部での液体５の層きる。

の厚さが薄くなると、基盤１の上部での液体５がより蒸【００５０】また、１つの微小球体２に対応する感光体

発しやすい状態となる。

層４の凸部のみに記録光を照射することにより、記録光20【００６２】この状態で、液体が蒸発すると、例えば図の波長以下の領域の感光体層４を感光させることができ

５に示すように、まず、基盤１表面の上部での液体５のる。

層の厚さが微小球体２の直径以下となり、この位置の微【００５１】つぎに、本発明に係る記録媒体の製造方法

小球体２ａが移動できなくなって基盤１に固着される。

を適用した第２実施例について説明する。

【００６３】続いて、この固着された微小球体２ａと、【００５２】上述の図１に示すような構造を有する記録

この微小球体２ａ付近に位置する微小球体２ｂとの間に媒体は、本発明を適用した記録媒体の製造方法によって液体５の凹面部が形成され、この凹面部に働く表面張力製造される。

によって、これらの微小球体２ａ、２ｂ間に引力が働【００５３】この記録媒体の製造方法は、例えば図２にく。しかしながら、固着された微小球体２ａが移動しな示すように、親和化工程と、混合工程と、付着工程と、配列工程と、感光体形成工程とからなる。

いため、固着された微小球体２ａ付近に位置する微小球30

体２ｂが、固着された微小球体２ａに引き寄せられ、微【００５４】この記録媒体の製造方法では、まず、親和小球体２ａに接触する。

化工程において平板状の基盤の表面の混合工程で使用す【００６４】そして、液体５の蒸発が進むと、これらのる液体に対する親和力を増加させる。例えば混合工程に固着された微小球体２ａ、２ｂ付近に位置する微小球体

おいて使用する液体として水を使用する場合では、この２が徐々に引き寄せられ、液体５が全て蒸発してしまう

親和化工程では、９７％程度の濃度の能硫酸に２４時間と、微小球体２が集中されて２次元状に配列され、図６程度浸すことによって平板状の基盤の表面の水に対するに示すような球体配列層３が形成される。

親和力を増加させて親水化処理を行なう。

【００６５】ところで、平面上で球体が最密構造をとる【００５５】つぎに、混合工程においてプラスチック又場合、１つの球体の周囲に正６角形状に６つの球体が接は高分子化合物からなる微小球体を液体に混合する。例

触した配置となる。すなわち、４つの球体に着目する

えば微小球体として直径５０ｎｍ乃至１００ｎｍのラテ

40と、この４つの球体の中心が頂点となった菱形となり、ックス球を使用し、この微小球体を水あるいはアルコー

対角短辺の２つの球体が接触した状態に配置される。

ル等からなる液体に混合する。あるいは、この混合工程【００６６】具体的には、親水化処理を行なった直径５において、上述のラテックス球の代わりに、表面の水あ０μｍのラテックス球を微小球体２として用い、微小球

るいはアルコールに対する親水力を増加させたラテック

体２を混合する液体５として水を用いた場合には、例えス球を使用してもよい。

ば図７に示すように、一部に微小球体２の直径の不統一【００５６】そして、付着工程において微小球体を混合による乱れがあるが、全体として微小球体２が均一に配した液体を基盤に付着させる。この付着工程において基列された球体配列層３が得られる。

盤に付着させる液体の量及びこの液体中の微小球体の量【００６７】また、親水化処理を行なっていない直径５すなわち濃度は、液体層が広がる領域を１層の微小球体が覆うことができる程度となるように設定されている。

０μｍのラテックス球を微小球体２として用い、微小球
50

体２を混合する液体５として水を用いた場合には、例え

(6)特開平８−１６０５６４910ば図８に示すように、親水化処理を行なった直径５０μて、記録光を発生させるレーザ光源４０と、シャッタ４ｍのラテックス球を使用した場合に比して、均一性が劣１及びフィルタ４２を介した記録光を集光して上記光フり、微小球体２の集合とこれらの間の空間が生じるが、

ァイバ２０に入射させるレンズ４３とを有している。

微小球体２が良好に配列された球体配列層３が得られ【００７８】また、この記録装置は、光ファイバプロー

る。

ブ２０を上下方向に移動させるＺ駆動部４５と、記録媒【００６８】また、微小球体として直径１００μｍのラ体１０を水平方向に移動させるＸＹ駆動部４６とを有しテックス球を用い、微小球体２を混合する液体５としてており、これらのＺ駆動部４５、ＸＹ駆動部４６は、制水を用いた場合には、例えば図９に示すように、上述の御部４７からの制御に基づいて動作する。

図７に示す球体配列層３と同様に微小球体２が均一に配列された球体配列層３が得られる。

【００７９】また、制御部４７は記録を行なう前に感光10

体層４の表面の形状を測定しておき、記録時にはこの測【００６９】また、微小球体として直径１００μｍのラ定した感光体層４の表面形状に基づいて、記録媒体１０

テックス球を用い、微小球体を混合する液体としてアルを構成する微小球体２の頂点に相当する感光体層４かコールを用いた場合には、例えば図１０に示すように、ら、記録光の波長以下の位置に先鋭部２１の先端が位置

微小球体２の集合とこれらの間の空間を有する球体配列するようにＺ駆動部４５、ＸＹ駆動部４６を制御して光層３が得られる。この場合の微小球体２の集合の間の空

ファイバプローブ２０を移動させる。

間は、上述の図８に示す場合に比して大きくなってい【００８０】すなわち、この記録装置では、先鋭部２１る。

と感光体層４との距離を一定に保った状態で、上記ＸＹ【００７０】最後に、感光体形成工程において、球体配駆動部４６によって記録媒体１０を水平方向に走査さ列層３の上に、ＬＢフィルム等からなる感光体層４を形せ、圧電素子５０により光ファイバプローブ２０をその成する。具体的には、ＬＢフィルムの素材を、例えば水20

固有振動数で振動させ、先鋭部２１と感光体層４の表面

又はクロロフォルム等の有機溶媒に溶解させ、このＬＢとの距離に応じて先鋭部２１と感光体層４の表面の原子

フィルムの素材を溶解させた水又はクロロフォルム等のとの間に働く原子間力によって光ファイバプローブ２０

有機溶媒を、水の表面上に展開させ、単分子の膜を形成の振動の振幅が変化することを利用して先鋭部２１と感する。

光体層４との間の距離を測定することにより、感光体層【００７１】そして、この水の表面上に形成された単分４の表面の形状を測定する。

子の膜に、上述の球体配列層３の表面に付着させ、累積【００８１】具体的には、光ファイバプローブ２０の振することにより感光体層４を形成することができる。

幅の測定は、検出光源５１からの平行光線とされた検出【００７２】これにより、５０ｎｍ乃至１００ｎｍ程度

光を光ファイバプローブ２０の側面に照射し、光ファイの微小球体２からなる球体配列層３上に感光体層４が形成され、上述の図１に示すような構成の記録媒体１０がバプローブ２０によって散乱された検出光の散乱をスリ
30

ット５２を介してフォトダイオード５３により検出し、形成される。

このフォトダイオード５３の検出出力をアンプ５４によ【００７３】上述のような記録媒体の製造方法では、記って増幅し、いわゆるロックインアンプ５５によって検録光の波長以下の間隔で規則的に繰り返す凹凸を有する

出出力の振幅を測定することによって行なわれる。

感光体層４を容易に形成することができる。このため、【００８２】ところで、上記光ファイバプローブ２０

記録光の波長以下の微小領域に光学記録を行なうことがは、例えば図１２に示すように、先鋭部２１の表面に遮できる記録媒体を容易に製造することができ、記録媒体

光部２２を有し、この遮光部２２の先端に記録光の波長の製造コストを低減させることができる。

以下程度の開口部２３を有する。

【００７４】ここで、本発明の記録方法及び記録装置を【００８３】このような光ファイバプローブ２０に先鋭適用した第３実施例について説明する。

部２１の他端から入射された記録光は、先鋭部２１にお【００７５】この記録装置は、例えば図１１に示すよう

40

いて集光され、開口部２３から感光体層４に照射されな構成を有するフォトン走査トンネル顕微鏡に本発明をる。

適用したものであり、上述の図１に示すような構成の記【００８４】この記録光の波長以下程度の開口部２３か録媒体１０に記録を行なう記録装置として機能する。

ら感光体層４に照射される記録光は、空間を伝搬しない【００７６】すなわち、この記録装置では、光ファイバ

で波長以下程度の領域に存在するいわゆるエバネッセン

プローブ２０に記録光を入射し、光ファイバプローブ２

ト光となっている。

０の先端に設けられ、コアを先細り状に先鋭化した先鋭【００８５】このようなエバネッセント光の伝搬は、先部２１により記録光を集光し、先鋭部２１の先端から集鋭部２１の先端と、感光体層４の表面との相互作用によ光した記録光を記録媒体１０の表面の感光体層４に照射って起こっているため、感光体層４に入射された記録光することによって、記録を行なうようになっている。
【００７７】この記録装置は、その記録光発生部としの記録効率は、先鋭部２１の先端の局率半径と、感光体50

層４の表面の局率半径と、先鋭部２１の先端と感光体層

(7)特開平８−１６０５６４1112４の表面との距離が、それぞれ等しくなったときに最大鋭部と反対側のコアに記録光を入射させ、記録光に基づとなる。

いて上記先鋭部から放射される放射光を上記微小球体の【００８６】この場合では、先鋭部２１の先端の局率半

頂点上の受光体層に照射することにより、１つの微小球径と、感光体層４の表面の局率半径とがそれぞれ光の波体の頂点に相当する領域の感光体層のみを感光させるこ長以下程度となっているため先鋭部２１の先端と感光体とができる。

層４の表面との距離が上述のように光の波長以下となっ【００９４】また、この微小球体は、記録光の波長以下たときに記録効率が最大となる。

の直径を有しているため、このような記録によって波長【００８７】また、この記録装置では、記録時に上述し以下の領域に光学記録を行なうことができ、記録密度をたように先鋭部２１の先端を微小球体の頂点上すなわち
感光体層４の凹凸の凸部上に位置している。

向上させることができる。
10【００９５】また、本発明に係る記録方法では、光ファ【００８８】エバネッセント光の光強度は、光源からのイバプローブの先鋭部の表面の遮光部が突出部からの光距離が波長程度以上となると急激に減少するため、このの放射を遮光する遮光部として機能する。このため、波ような場合に感光体層４の凸部の周辺の凹部の感光体層長以下の開口のみから記録光を感光体層に照射すること４に到達する記録光の強度は、凸部における強度に比較ができ、安定した記録を行なうことができる。

して極めて弱くなる。このため、凸部の感光体層４のみ【００９６】また、本発明の記録装置では、制御部が、に記録光が照射された状態と等価となり、凸部の感光体

光ファイバプローブの先鋭部が、記録媒体を構成する微層４のみが感光する。

小球体の頂点上の感光体層から記録光の波長以下の位置【００８９】すなわち、この記録装置では、１つの微小となるように、上記駆動部を制御した後、記録光発生部

球体２の頂点に相当する領域の感光体層のみを感光させを制御して記録光を発生させることにより、１つの微小ることができ、また、微小球体２が記録光の波長以下の20

球体の頂点に相当する領域の感光体層のみを感光させる

直径を有することから、記録光の波長以下の領域の感光ことができるため、記録密度を向上させることができ

体層４に光学記録を行なうことができる。

る。

【００９０】【００９７】また、本発明の記録装置では、光ファイバ【発明の効果】本発明に係る記録媒体は、球体配列層のプローブの先鋭部の表面の遮光部が突出部からの光の放上に感光体層が形成されているため、感光体層は、その射を遮光する遮光部として機能し、波長以下の開口のみ上面に記録光の波長以下の間隔で規則的に繰り返す凹凸から記録光を感光体層に照射することができ、安定したを有している。このため、感光体層に記録光を照射する

記録を行なうことができる。

と、凹部での光強度に対して凸部での光強度が強くな【図面の簡単な説明】

り、凸部の感光体がより強く感光され、コントラスト比が高い光学記録を行なうことができる。

【図１】本発明を適用した記録媒体の構成を示す断面図
30

である。

【００９１】また、１つの微小球体に対応する感光体層【図２】本発明に係る光ファイバプローブの製造方法のの凸部のみに記録光を照射することにより、記録光の波製造工程を示す工程図（フローチャート）である。

長以下の領域の感光体層を感光させることができ、記録【図３】上記基盤の製造方法の配列工程において使用さ光の波長以下の微小領域に記録を行なうことができる。

れるチャンバーの構成を示す斜視図である。

【００９２】また、本発明では、記録光の波長以下の直【図４】上記基盤の製造方法の付着工程において、基盤径を有する微小球体を液体に混合し、平板状の基盤の表に付着された溶媒の断面形状を示す断面図である。

面の微小球体を混合した液体に対する親和力を増加させ【図５】上記基盤の製造方法の配列工程における微小球

た後、微小球体を混合した液体を基盤に付着させ、基盤体の配列プロセスを説明するための図である。

を傾斜させた状態で液体を蒸発させて微小球体が均一に【図６】上記配列工程において形成された球体配列層の配列された球体配列層を形成し、球体配列層の上面に感40構造を示す断面図である。

光体層を形成する。これにより、記録光の波長以下の間【図７】親水化処理を行なった５０μｍの粒子を微小球

隔で規則的に繰り返す凹凸を有する感光体層を容易に形体として用い、溶媒として水を用いた場合に上記配列工成することができ、記録光の波長以下の微小領域に光学

程において形成された球体配列層の構造を示す平面図で記録を行なうことができる記録媒体を容易に製造するこある。

とができ、記録媒体の製造コストを低減させることがで【図８】親水化処理を行なっていない５０μｍの粒子をきる。

微小球体として用い、溶媒として水を用いた場合に上記【００９３】また、本発明に係る記録方法では、光ファ配列工程において形成された球体配列層の構造を示す平

イバプローブの先鋭部が、記録媒体を構成する微小球体面図である。

の頂点上の感光体層から記録光の波長以下の位置となる
ように光ファイバを移動させ、光ファイバプローブの先【図９】微小球体として１００μｍの粒子を用い、溶媒
50として水を用いた場合に上記配列工程において形成され(8)特開平８−１６０５６４

13

14

た球体配列層の構造を示す平面図である。

＊５液体【図１０】微小球体として１００μｍの粒子を用い、溶

１０

記録媒体

媒としてアルコールを用いた場合に上記配列工程におい

２０

光ファイバプローブて形成された球体配列層の構造を示す平面図である。

２１

先鋭部

【図１１】本発明を適用した記録装置の構成を示すブロ

２２

遮光部

ック図である。

２３

開口【図１２】上記記録装置により記録媒体に光学記録を行

３０

ペルチエ素子なう際に、光ファイバプローブの先鋭部の先端から記録

３１

チャンバー

７１

先鋭部

７２

被覆層

【図１３】従来のエバネッセント光を用いた記録方法を

７３

開口部

説明するための図である。

７４

光ファイバプローブ【符号の説明】

７５

記録媒体

１

基盤

７６

エバネッセント光

２

微小球体

７７

領域

３

球体配列層

７８

記録媒質

４

感光体層

媒体に照射される記録光の強度分布を示す断面図であ
10

る。

＊
【図１】

【図３】

【図７】

【図４】

【図５】

【図６】

【図９】

【図８】

(9)

【図２】

【図１２】

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【図１０】

(10)

【図１１】

【図１３】

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