半導体装置など高クリーン度要求プロセスの流量計測に

Converter for Ultra Clean Ultrasonic Flowmeters

SFC4000
UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器

概要
UCUF シリーズ超音波流量計は、超純水や各種薬液などの小流量測定用に設計された流量計です。接液部はすべて特殊グレードのPFA 成形品で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすい Oリングなどの機械的シール部分もありません。理想的なクリーン構造で、半導体装置などの高度なクリーン度を要求されるプロセスに最適な流量計です。
SFC4000 は UCUF 形検出器用のパネルマウント形変換器です。
デジタルシグナルプロセッサ（DSP）等の最新の電子技術を採用し、半導体プロセス、薬液プロセス等で問題であった流体に含まれる気泡に対する影響を格段に軽減しました。表示・設定機能と通信機能を搭載しており、表示器を使用しながら通信を用いた集中管理が可能です。

特長❑ 耐気泡性能の向上
液体中に気泡が含まれると超音波の伝播が阻害されて流量計測が不能になります。豊富なフィールド経験とDSP 信号処理技術により、受信波形をチェックして気泡の影響を検知し、流量演算から除外して気泡の影響による異常出力の排除を実現しました。さらに超音波受信波形信号処理を見直し、従来機種と比較して耐気泡性能を向上させました。
❑ 表示付パネルマウントタイプ
表示・設定機能を搭載。瞬時流量や積算流量、各種ステータスが表示できるほか、容易な操作で各種設定の確認・変更が可能です。
❑ 通信機能RS-485 MODBUS 通信を標準搭載。通信を用いた流量監視・各種設定が可能です。
❑ 各種出力を選択可能
瞬時流量のアナログ出力（形式により選択）
瞬時流量の周波数出力または積算パルス出力
瞬時流量警報と積算プリセット警報の混在使用可能（合計 2 点）
❑ 動粘度 40mm2/s までの高粘度流体の測定が可能❑ 精度： UCUF 形検出器との組合せにて指示値の ±1%（流速 1m/s 以上において）❑ CE マーキング

・適合検出器および流量範囲
形式
UCUF-04K
UCUF-06K
UCUF04E
UCUF06E
UCUF-04M
UCUF-06M
UCUF-10K
UCUF-15K
UCUF-20K
UCUF-10M
UCUF-15M
UCUF-20M
電源電圧
消費電流
使用環境条件
保護等級
ケース材質
質量
取付方法
表示機能

標準仕様
測定対象 / 流体仕様（UCUF 形検出器との組合せ）
・測定対象
液体全般
・流体温度
5 〜 90°C
・流体音速
400 〜 2500m/s
・流体動粘度 0.3 〜 40mm2/s

設定機能
適合規格

流量レンジ（L/min）
最小
最大0 〜 0.05
0 〜 3.0
0 〜 0.4
0 〜 8.0
0 〜 0.05
0 〜 3.0
0 〜 0.4
0 〜 8.0
0 〜 0.05
0 〜 2.0
0 〜 0.4
0 〜 8.0
0 〜 1.0
0 〜 20.0
0 〜 3.0
0 〜 50.0
0 〜 4.0
0 〜 80.0
0 〜 1.0
0 〜 20.00 〜 3.0
0 〜 50.0
0 〜 4.0
0 〜 80.0

接続チューブサイズ½1½
1

DC24V±10%110mA max.（LCDバックライト点灯時）
電源投入時：約 200mA
周囲温度：0 〜 50°C
周囲湿度：30 〜 80%RH（結露しないこと）
IP20（屋内用）
ABS 樹脂（黒色）
約 200g
パネル取り付け警報表示：橙色LED
瞬時流量 / 積算流量 / 各種ステータス表示：
バックライト付16文字2行LCD
標準では10分でバックライトが消灯（消灯時間の設定可能）
パネルスイッチ × 4
流量計の各種設定が可能
EMC：EN 61326-1, EN 61326-2-3
RoHS2 (2011/65/EU)

TG-F1161-2
３版 2018 12 K
初版 2017 09 K

SFC4000 UCUF 液体用小口径超音波流量計変換器

入力信号

出力信号

端子台
通信機能
流量調整

センサ信号
積算リセット

BNC コネクタ ×2（専用ケーブル使用）
接点入力（短絡でリセット）
電流出力タイプ：4 〜 20mA（負荷抵抗：500Ω 以下）
瞬時流量
電圧出力タイプ：0 〜 10V、0 〜 5V または 1 〜 5V（負荷抵抗：1MΩ 以上）
オープンコレクタ出力： 負荷定格；DC30V、20mA 以内
周波数パルス出力・積算パルス出力または FAULT 出力を選択可能
・周波数パルス出力：パルスレート 1000Hz max.（フルスケール時出力）、デューティ比 1:1
パルス
・積算パルス出力：流量単位パルスを出力
1 パルスの値を次の乗数と単位の組み合わせで設定可能
・乗数：x0.1、x1、x10、x100 ・単位：mL、L、m3・FAULT 出力：変換器および検出器の異常検出時に出力。NO / NC を選択可能
オープンコレクタ出力（2 点）：負荷定格；DC30V、20mA 以内
警報
瞬時流量警報（上限・下限）、積算値警報（A・B）を組み合わせて使用可能。NO / NC を選択可能
差込式ねじ締め付け形端子 × 3（着脱可能プラグインタイプ）RS-485 プロトコル：MODBUS RTU（最大 32 台まで接続可能）
低流量カットオフ 0 〜 25%FS の範囲で設定可能
リニアライズ
動粘度による自動補正機能内蔵。手動リニアライザも付加可能（最大 20 点、折れ点近似方式）

外形図

端子配列

6② DETECTOR BNC CONN.
IN
OUT① CONNECTOR2PULSE OUT
ALARM OUT

(112)
96

90

1+

ULTRASONIC FLOWMETER

SFC40002-

345

AL1 COM AL248③ CONNECTOR1SOURCE 24 V DC
FLOW OUTRESET IN

ENTER

SHIFT

MENU

ZERO

234+24V 0V

1FG+ALARM
HI/LO
ERROR

5-6+④ CONNECTOR3RS-485

71-+2-3SG

パネル厚さ 0.8〜5mm①端子台 2（CONNECTOR 2）
パネルカット寸法

端子番号12345Min.70

45 +0.6-092 +0.8-0

端子名
PULSE OUT（+）
PULSE OUT（‒）
ALARM1 OUT（AL1）
ALARM1, 2 OUT（COM）
ALARM2 OUT（AL2）

内容パルス出力
警報出力② BNC コネクタ（DETECTOR BNC CONN.）
端子IN
OUT

識別色
赤黒極性
内容流入側（上流側）
センサ信号入力
流出側（下流側）③端子台 1（CONNECTOR 1）
端子番号
端子名
内容1
SOURCE DC24V（+24V） 電源電圧入力
2SOURCE DC24V（0V）
DC24V±10%Min.120

形式コード
SFC4000 ̶

瞬時流量出力2□内容34567

SOURCE DC24V（FG）
FLOW OUT（+）
FLOW OUT（‒）
RESET IN（+）
RESET IN（‒）

04 〜 20 mA

10 〜 10 V

20〜5 V④端子台 3（CONNECTOR 3）

3

1〜5 V

端子番号
端子名
1RS-485（+）
2
RS-485（‒）
3
RS-485（SG）

接地
瞬時流量出力
積算リセット入力

内容RS-485 通信

TG-F1161-2