ロックインアンプモジュール
LI5501（1CH）/ LI5502（2CH）

分析器・検査装置への組込みに広帯域10mHz〜1MHz

高感度10nVrms

高速応答
時定数 1μs

雑音に埋もれた微小な信号を検出

A5 サイズ

USB/LANロックインアンプモジュール

高精度計測器のコア部分をモジュール化。
微小信号測定に求められる信頼性を備えたロックインアンプ。そのコア部分をコンパクトなサイズに凝縮しました。
分析機器や検査装置などの信号検出部分に組込むことで、SN 比の大幅な改善が期待できます。
PC から USB/LAN を介して制御、表示部や操作部を排除して組込みに特化したシンプル設計です。

ロックインアンプとは
●赤外分光分析器●テラヘルツ分光分析器●熱物性評価装置●半導体検査装置

ロックインアンプは、雑音に埋もれた微小な交流信号を検出する計測器です。
検出信号を時間的に平均化することで、信号対雑音比（SN比）を大幅に改善できます。
微小信号を高精度に検出できることから、先端研究分野で広く採用されています。
●nV オーダの信号検出●電子顕微鏡●走査型顕微鏡

LI5501 / LI5502

実効的な帯域幅が狭いバンドパスフィルタとして働く●振幅と位相を測定など●SN 比の大幅改善

交流電圧計

バンドパスフィルタシステム組込み（1）基本的なシステム（2）多チャネルシステム

USB

信号発生器

PC

▲1 チャネルモデル（LI5501）

参照信号

PCLAN

信号発生器

参照信号

USB

▲2 チャネルモデル（LI5502）

測定信号
ロックインアンプ
モジュール

10mHz 〜 1MHz

広帯域

高感度

10nVrms

10nVrms から１Vrms までの感度が選択できます。幅広

機械振動や物性測定など幅広い領域をカバーします。

い入力電圧レンジを備え、測定対象信号に柔軟に対応が約 2 周期で参照信号にロックします。

可能です。

時定数 1μs

高速応答

ダイナミックリザーブ

測定信号

電源

10ｍHz の低周波から、1MHz の高周波までの広帯域。

100dB

時定数フィルタおよび移動平均フィルタを装備。時定数

ダイナミックリザーブは、信号測定レンジフルスケールにフィルタの最小時定数は 1μs で高速応答が得られます。

対し、許容できる雑音レベルの比です。雑音レベルに対し、移動平均フィルタと組み合わせることで、低周波において非常に小さな信号を検出できます。

も高速応答が期待できます。

DUT
DUT
電源

▶保存したメモリ設定による動作も可能、PCレスシステムも構築。

ロックインアンプモジュール▶発振器出力を信号発生器の代わりに使用可能。

●電源●ソフトウェア

●取り付け●動作電圧：±14 〜 16VDC 以内

取り付け金具を付属。底面にはゴム組込み開発用にサンプルプロ●電流 約+400mA / ‑110mA（LI 5501）

脚が用意されます。

グラムを用意しています。

約+480mA / ‑120mA（LI 5502）

ソフトウェア開発の参考として●コネクタ：DSUB 9pin

ご利用いただけます。

※供給側電源の電流容量は上記の2倍程度を推奨します。
※微小信号測定のためには、安定性および雑音性能の63 / 64）で測定が可能。

TTL レベルの方形波を選択可能。また、正弦波では出力2 階微分など高度な測定にも対応します。

振幅電圧に DC バイアスを設定できます。

USB/LAN インタフェース

2 チャネルモデル (LI5502)

USB 又は LAN を介して、ホストPC からの制御が可能です。

LI5502 は入力回路を 2 チャネル備え、同一参照信号にてLI5501/LI5502 の設定およびデータの収集を行います。

2 つの入力の周波数成分を同時に測定します。
チャネル間の振幅比と位相差も測定可能です。

▼Front発振器出力端子

信号
入力端子

▼Rear

株式会社 ベテル ハドソン研究所 様参照信号
入力端子

ステータス LED＊1

多機能熱拡散率熱伝導率測定装置
組込み事例■外形寸法図（LI5502）■入力端子／インタフェース（LI5502）

（１９．
５）

高調波だけでなく、基本波の分数倍の周波数（×1 / 1 〜システム構成をシンプルにできます。出力波形は正弦波とアナログ
出力端子
電源入力コネクタ

１５０

発振器出力を備え、参照信号として使用することにより良好な直流電源を推奨します。

（１８９）

分数調波測定10MHz 入力端子 ＊2LANUSBMODE スイッチ ＊3非接触で熱拡散率を測定、有機フィルムからダイヤモンドまで幅広いレンジで評価。

＊1 同期外れ、通信障害、信号飽和などの状態を表示します。

温度変調信号の処理に当社のロックインアンプモジュールを採用頂いています。

＊2 他の機器と内部発振器を同期させる場合に、基準信号を入力。
＊3 設定保存メモリの読み出しに使用します。

２００
（２３６）

（１９．
５）

発振器出力

単位：mm



仕様●「公称値」「代表値」「参考値」「約」の表記がある値は、製品を使用するにあたり参考となる補足データを示し、性能を保証するものではありません。
●性能保証温度：23±5 ℃

一般事項
電源

電圧 ±15 VDC±2%、±14〜±16 VDC以内
リニア電源（デュアルトラッキング）
推奨
電流 LI5501：約+400 mA / ‑110 mA
LI5502：約+480 mA / ‑120 mA
初期値、無信号、無負荷
設定保存メモリ
16組（ホストコンピュータなしで4bit切替可能）
1組はレジューム用、もう1組は工場出荷時設定
レジューム
電源オフ直前の設定を記憶し、再起動時に設定を復元
USB
USB 2.0フルスピード、デバイスクラス CDC
LAN10BASE-T / 100BASE-TX、TCP/IP（ソケット通信）動作 温度 0 〜 +50 ℃ 湿度 5 〜 85 %RH
環境条件
ただし絶対湿度は1 〜 25 g/m³、結露なきこと
高度 2000 m以下
保管 温度 ‑10 〜 +60 ℃ 湿度 5 〜 95 %RH
ただし絶対湿度は1 〜 29 g/m³、結露なきこと
汚染度2（屋内使用）ウォームアップタイム 20分
RoHS
Directive 2011/65/EU
外形寸法
（mm）
200（W）× 25（H）× 150（D） ただしマウント金具および突起部を除く
質量約700 g ただしマウント金具および付属品を除く

入力部● 信号入力

入力端子
チャネル数

BNC
LI5501：1
LI5502：2
シングルエンド
入力形式（公称値）、並列に20 pF（参考値）
入力インピーダンス 1 MΩDC 〜 1.05 MHz
周波数範囲
0.2、1、10、100倍の4レンジ
電圧利得
25 nV/ Hz（参考値） 周波数1 kHz、100倍設定、入力短絡
入力換算雑音‑70 dBc以下（参考値）
高調波ひずみ±5 V
最大入力電圧
非破壊最大入力電圧 ±10 V● 参照信号入力

入力端子
入力インピーダンス
周波数範囲
入力電圧範囲BNC、1チャネル
1 MΩ
（公称値）
、並列に20 pF（参考値）
DC 〜 1.05 MHz
正弦波
（SIN）
：0.4 〜 6 Vp-p
方形波
（TTL）
：0 〜 5 V、High 2.6 V以上、Low 0.8 V以下
パルス幅（方形波） 100 ns 以上（高レベル、低レベル 共）
非破壊最大入力電圧 ±10 V● 外部基準周波数

入力端子
周波数範囲
波形
入力インピーダンス
フローティング電圧
基準周波数源BNC、1チャネル
10 MHz±0.2 %正弦波 または 方形波（Duty 45 〜 55 %）、信号レベル 0.5 Vp-p 〜 5 Vp-p
約500 Ω
±42 Vpeak max（DC+AC）（対 接地 許容電圧）
内部、外部

出力部
● 発振器出力

出力端子
周波数波形
振幅
DCバイアス
最大出力電流推奨負荷
出力インピーダンス

BNC、1チャネル
同期周波数 ないし 内部発振周波数
正弦波、方形波
正弦波：1 Vrms、設定分解能1 mVrms
方形波：TTLレベル±5 V（正弦波のみ設定可能、設定分解能5 mV、公称値）±15 mA以上
500 Ω以上（信号グラウンドに接続した抵抗器）
53 Ω（公称値）● アナログデータ出力

出力端子
最高更新レート
出力電圧範囲最大出力電流出力インピーダンス
出力電圧確度

BNC、2チャネル
312.5 kサンプル/s±12 V（無負荷時、参考値）、分解能16bit±10 mA以上
440 Ω（公称値）±（0.5 % + 10 mV）対 測定値対応電圧値

分析機能
周波数範囲
測定
信号系 チャネル数9.5 mHz 〜 1.05 MHz
LI5501：1
LI5502：2位相検波器
2位相（Rcosθ，Rsinθ）
位相±0.001 °以内（参考値）
検波部 直交性
ダイナミックリザーブ 100 dB以上（参考値）
時定数フィルタ 時定数（TC）：1 μs 〜 10 ks（1-2-5シーケンス）
減衰傾度（SLOPE）：6，12，18，24 dB / oct
電圧感度DR設定：LOW1、LOW2、MED、HIGHの4点切替（AC GAINに連動）
DRAC GAIN
電圧感度
LOW1×100
10 nVrms 〜 10 mVrms
LOW2×10100 nVrms 〜 100 mVrms
MED×1
1 μVrms 〜
1 VrmsHIGH×0.2
5 μVrms 〜
1 Vrms
1-2-5シーケンス
電圧確度±0.5 %（1 kHz，信号レベル 1 Vrms）
移動平均フィルタ 平均化時間：オフ（0.4 μs）、1 μs 〜 100 （s 1-2-5シーケンス）、AUTO
位相ノイズ
0.001°rms（1 kHz、減衰傾度18 dB/oct以上、参考値）
位相温度ドリフト ±0.02°/ ℃（参考値）
位相確度±1°（参考値）
参照信号移相量 範囲：‑180.000°〜 +179.999°、分解能：0.001°
PSDアジャスト フルスケールの±25%の直流成分を除去可能
参照信号源
REF IN（外部参照信号）、INT OSC（内部発振器）参照
信号系 外部参照信号波形 SINE、TTL POS、TTL NEG
参照信号周波数範囲 9.5 mHz 〜 1.05 MHz
同期時間
2周期 + 50 ms（参考値）
周波数分解能 0.3 mHz
周波数測定確度 ±40 ppm（1 Hz以上，TTLの時）
調波測定
検波器に与える参照信号周波数をn / m倍で測定可能
n範囲（高調波）：1 〜 63m範囲（低調波）：1 〜 64周波数設定範囲 9.5 mHz 〜 1.05 MHz、分解能：0.1 mHz
内部±30 ppm（参考値）
発振器 周波数確度
LI5501：XA, YA, RA, θA
測定値 パラメタ
LI5502：XA, YA, RA, θA, XB, YB, RB, θB, G, P
出力部
測定範囲
X，
Y：感度の±0 〜 120 %、分解能：18 bit
R：感度の0 〜 120 %、分解能：19 bit
G：0 〜 200 %、分解能：19 bit
θ，
P：‑180.000°〜 +179.999°、分解能：0.001°
アナログ出力X，
Y：±10 VDC（感度±100 %の時）
電圧範囲
R：10 VDC（感度100 %の時）
G：10 VDC（振幅比が200 %の時）
θ，
P：±10 VDC（−180.000°ないし+179.999°の時）
オフセット
XおよびYに対して、感度の±120.00%、分解能0.01%

ディジタルデータ出力
出力モード
サンプル周期
出力パラメタコマンド（コマンド問い合わせに対して、ASCII形式で応答）
ストリーム（バイナリデータを絶え間なくストリームで出力）0.4 μs ×（1 〜 65536）
LI5501：XA, YA, RA, θA
LI5502：XA, YA, RA, θA, XB, YB, RB, θB, G, P、
参照信号周波数、ステータス※このカタログの記載内容は、2022年10月5日現在のものです。
●お断りなく外観・仕様の一部を変更することがあります。
●ご購入に際しては、最新の仕様・価格・納期をご確認ください。

株式会社マックシステムズ●本 社 〒460-0003
名古屋市中区錦1-7-2 楠本第15ビル6F
TEL：(052) 223-2811 FAX：(052) 223-2810●刈 谷 営 業 所 〒448-0003
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