半導体カーブトレーサ
シリーズ
CS-10000
10kV～15kV ～8,000A
シリーズ
CS-50005kV ～1,500A
シリーズ
CS-30003kV ～1,000A

リークも大電流も一台。自動測定も可能
小容量から大容量までIGBTやMOSFET、トランジスタ、ダイオードなど各種半導体の特性測定

特長

使い易さを追求した先進の機能■配線状態がグラフィックで確認できる「CONFIGURATION」
デバイスの測定時に誤接続を回避できます。

■印加電圧と電流を波形で確認可能なWaveモード
・デバイスへの印加波形（電流、電圧）をオシロスコープの様に時間軸で確認しながらパルス幅と測定ポイント（タイミング）の指定ができます。
・波形を確認することにより、適切なパルス幅と測定タイミングを決められます。
・オシロスコープ等のプロービングによる波形変化も無く、異常信号を確認できます。
・発熱などによる発振など熱異常の確認が容易です。

I-V波形/時間軸波形の切換

電流波形

測定項目
/レンジ

パルス幅
測定ポイント

電圧波形

パソコンとの高い親和性で全自動を実現■半導体パラメータ測定

CS-810（オプション）
本体のリモート制御により、様々な自動測定を可能にするソフトウェア
従来カーブトレーサでは難しかったストレス試験や、ホットプレートや恒温槽を同時に制御して、多素子の温度特性を全自動で実行します。

■USBメモリ
画像、データ、セットアップの保存が出来ます。
画像はTIFF,BMP,PNG
背景の黒/白選択、カラー/モノクロの選択可能。
波形データはテキスト、バイナリ同時保存も可能■リモートコントロールツール（無償）セキュリティの関係で、USBメモリが使用できない場合でも、PCにインストールするリモートコ
ントロールツールが解決します。

■イーサネット
標準装備（本体背面）

パソコンとの高い親和性・スキャナ・恒温槽等とつなげて自動測定も可能-2-

CURVE TRACER CS Series■SWEEP■Vth･hFE自動サーチ機能（オプションCS-800）

ポイント数は可変です。スイープ速度と分解能に応じて設定できます。
用途に応じてスイープ方向を変えられます。また、カスタムスイープは必
要な部分のみをスイープできるので、特に自動測定時に高速高分解能測定を実現します。

従来は煩雑な操作が必要な測定ですが、条件の設定で自動測定します。

■リミット･スイープ機能（オプションCS-800）
通常のSWEEP測定に電流、電圧で制限を掛ける機能です。 被測定デバ
イスに掛ける電流値、電圧値に制限を掛けての保護、狙った値での
SWEEP停止などに使用できます。

CUSTOMUPSWEEP開始時点

DOWN

使い易さの追求 基本操作は独立ノブ
独立した
ステップジェネレータ
オフセットノブ簡単操作
ファンクションキー

ワンタッチでハードコピー
独立キー

REPEAT

USBメモリーに波形、設定など
簡単に保存

STOP/ SWEEPSINGLE（STOP時出力の継続/停止選択可能）

安全に配慮したブレーカー式
コレクタサプライスイッチ

独立したノブ
電流レンジ、電圧レンジ■CONSTANT機能（オプションCS-800）
定電圧または定電流を印加します。
半導体パラメータ測定ソフトウェアCS-810と組み合わせることにより、カーブトレーサで自動ストレス試験を可能にする機能です。

-3-

5kV

CS-5000 シリーズ

3,300V耐圧のパワーデバイスのブレークダウン測定に最適● 最大ピーク電圧5,000V（高電圧モード）● 最大ピーク電流1,500A（CS-5400大電流モード)● 全機種LEAKAGEモード搭載（カーソル分解能1pA）

CS-5400

5kV
CS-5400 1,500A（HCモードパルス）
CS-5200/5300

5kV
CS-5300 1,000A（HCモードパルス）
CS-5200 400A（HCモードパルス）
CS-5100

5kV
CS-5100 （HCモード非搭載）
コレクタサプライ HVモード
モデル

CS-5000シリーズ共通

モード/極性

全波整流/+－、 DC/+－、 LEAKAGE/+－、

最大ピーク
電圧/電流

AC

最大ピーク電圧

最大ピーク電流（最大ピークパルス電流）

5kV

25mA（25mA）

300V

750mA（1.5A）

30V

7.5A（15A）

最大ピーク電力

5kV時：320mW/3.2W/32W

水平軸レンジ

50mV～500V/div

30V,300V時：120mW/1.2W/120W/390W

コレクタサプライ HCモード（CS-5100はHCモード非搭載）
モデル

CS-5100 CS-5200

CS-5300

CS-5400

HCモード
モード/極性
最大ピーク電流最大ピーク電力
最大ピーク電圧

Pulse／+－
HC
モード
非搭載

最大ピーク
電流 / 電力

最大ピーク
電圧

最大ピーク
電流 / 電力

400A / 4kW

40V

1,000A / 10kW 40V

1,500A / 12kW 30V

400A / 4kW

40V

600A / 4.5kW

30V

40A / 400W

40V

60A / 450W

30V

40A / 400W 40V

パルス幅

パルス幅は50μs~400μs（10μs分解能）で可変

測定ポイント

測定ポイントの指定が可能（10μ分解能）

垂直軸レンジ-4-

テスト･フィクスチャ

100mA～50A/div
CS-303

100mA～100A/div

最大ピーク
電圧

最大ピーク
電流 / 電力

100mA～200A/div
CS-304

最大ピーク
電圧

3kV

CS-3000 シリーズ

IGBTやMOSFET、トランジスタ、ダイオードなど
各種半導体の特性測定に最適なスタンダードモデル
CS-3200/3300● 最大ピーク電圧3,000V（高電圧モード）● 最大ピーク電流1,000A（CS-3300大電流モード)● 全機種LEAKAGEモード搭載（カーソル分解能1pA）● UL/CE対応

3kV
CS-3300 1,000A（HCモードパルス）
CS-3200 400A（HCモードパルス）
CS-3100

3kV
CS-3100 （HCモード非搭載）
コレクタサプライ HVモード
モデル

CS-3000シリーズ共通

モード/極性

全波整流/+－、 DC/+－、 LEAKAGE/+－、

最大ピーク
電圧/電流

AC

最大ピーク電圧

最大ピーク電流（最大ピークパルス電流）

3kV

75mA（150mA）

300V

750mA（1.5A）

30V

7.5A（15A）

最大ピーク電力

120mW / 1.2W / 120W / 390W*（*最大ピーク電圧3kV使用時は設定不可）

水平軸レンジ

50mV～500V/div

コレクタサプライ HCモード（CS-3100はHCモード非搭載）
モデル

CS-3100

CS-3200

CS-3300

HCモード
モード/極性

Pulse／+－

最大ピーク電流最大ピーク電力
最大ピーク電圧

HC
モード
非搭載

最大ピーク
電流 / 電力

最大ピーク電圧

最大ピーク
電流 / 電力

最大ピーク電圧

400A / 4kW

40V

1,000A / 10kW

40V

40A / 400W

40V

400A / 4kW

40V

40A / 400W

40V

パルス幅

パルス幅は50μs~400μs（10μs分解能）で可変

測定ポイント

測定ポイントの指定が可能（10μ分解能）

垂直軸レンジ

100mA～50A/div

テスト･フィクスチャ

CS-301

100mA～100A/div

CS-302

アナログカーブトレーサ

10kV～

高電圧用のダイオード、サイリスタの耐電圧測定
出力部
電圧波形

： 商用電源半波整流波形

最大電圧： 10kVピーク（無負荷時）

最大電流： 100mAピーク または 400mA

表示部
電圧レンジ ： 50V/div～1,000V/div（1-2-5ステップ）
電流レンジ ： 0.1mA/div～10mA/div または 50mA/div※特別仕様承ります。ご相談ください。

-5-

10kV, 12kV, 15kV

CS-10000 シリーズ

超高電圧・大電流 CS-3100の機能にUHVとHCを追加
CS-15800 15kV 8,000A
CS-12800 12kV 8,000A
CS-10800 10kV 8,000A
CS-10400 10kV 4,000A
本シリーズは受注生産品です。
お見積時に仕様、納期をご確認ください。
特別仕様も承ります

パルスユニットオプション
発熱による特性の変化や破壊を防ぐためのオプションです
立上り時間は3段階の切換、パルス幅は1ms～20ms、インターバ
ル時間は100ms～2sの設定が可能です。
（本オプションはカーブトレーサ内部に追加しますので、本体と同時にご注文いただくか、本体を既にお使いの場合は弊社工場に本体を引き取らせていただきます。）
Max Peak Voltage
Tr<1/3/5ms
Pulse Width
1ms~20ms

Pulse Interval
100ms～2s

コレクタサプライ HVモード
モデル

CS-10000シリーズ共通

モード/極性

全波整流/+－、 DC/+－、 LEAKAGE/+－、

最大ピーク
電圧/電流

最大ピーク電力AC

最大ピーク電圧

最大ピーク電流（最大ピークパルス電流）

3kV

75mA（150mA）

300V

750mA（1.5A）

30V

7.5A（15A）

120mW / 1.2W / 120W / 390W*（*最大ピーク電圧3kV使用時は設定不可）

コレクタサプライ UHVモード
モデル

CS-10400/CS-10800

モード/極性DC / +

最大ピーク
電圧/電流

最大ピーク電力

CS-12800

CS-15800

最大ピーク
電圧

最大ピーク
電流

最大ピーク
電圧

最大ピーク
電流

最大ピーク
電圧

最大ピーク
電流

10kV

400mA

12kV

266mA

15kV

266mA

40W / 400W / 4kW

32W / 320W / 3.2kW

40W /400W / 4kW

コレクタサプライ HCモード
モデル

CS-10400

モード/極性

Pulse／+－

最大ピーク電流最大ピーク電力
最大ピーク電圧-6-CS-10800/12800/15800

最大ピーク電流 / 電力

最大ピーク電圧

最大ピーク電流 /電力

最大ピーク電圧

4,000A / 60kW

60V

8,000A / 80kW

40V

400A / 6kW

60V

4,000A / 60kW

60V

40A / 600W

60V

400A / 6kW

60V

40A / 600W

60V

パルス幅

50μs~900μs , 50μs~1,200μs（8,000A時）（10μs分解能）

測定ポイント

測定ポイントの指定が可能（10μ分解能）

垂直軸レンジ

100mA～1,000A/div

アクセサリー

各種ディスクリート･パッケージに対応。テスト･アダプタ

CS-500 （標準添付品）
テスト・アダプタ
お客様がご用意される治具をテス
ト･フィクスチャのコネクタに接続するために使用します。

耐熱TOソケット
200℃、350A（500μs）

TSSOP 14用
※テスト･フィクスチャ
CS-301使用不可

CS-508SMDタイプ用アダプタ※テスト･フィクスチャ
CS-301使用不可
ソケット底面コネクタ部

CS-501A

CS-502CS-503CS-504CS-505

CS-506

CS-507

CS-509TO

AXIAL

TO-263-3/
D2PAK

TO-252-3

TO-263-7

TO-252-5

SC-70-3/
SOT-323-3

SC-59A/
SOT-23-3

CS-510SC-62/
SOT-89※ここに掲載されていないタイプについてはご相談ください。

標準添付品
テスト･フィクスチャは蓋を開けると測定を中止する安全機構を備えております。

テスト･フィクスチャS

テスト･フィクスチャM

測定にはテストアダプ
タを使用します。

235mm×180mmまでのデバイスをテスト･フィクスチャ内で安全に測定可能ですTOアダプタ使用時は付属のパッチパネルを装着します。

テスト･フィクスチャM用
パッチパネル（CS-3100を除く全機種標準添付）

テスト･フィクスチャS

テスト･フィクスチャM

テスト･フィクスチャM（CS-3100標準添付）（CS-3200/3300標準添付）（CS-5400標準添付）

CS-301

CS-302
CS-303

CS-304（テストアダプタはオプション）（CS-5100/5200/5300標準添付）

High Current用ケーブル （2本セット）
標準リードセット

CS-005（CS-3100を除く全機種標準添付）
バナナケーブル 30cm
(HV用赤2本、緑2本、黒2本、黄1本）
ワニ口（赤2個、緑2個、黒2個、黄1個）

CS-006（CS-5400標準添付）20cm

CS-007（CS-10400/10800/12800/15800標準添付) 30cm
端子、長さ、耐圧等の特注品承ります。

-7-

スキャナ･システム
6in1(7in1)や2in1モジュールなどの各チップの繋ぎ替えや複数のデバイスの繋ぎ替えを自動化します。
半導体パラメータ測定CS-810（外部PCにインストール）で各リレーユニットを制御し端子の接続切換を自動化します。
CS-810は本体、リレーユニット、恒温槽やホットプレートも制御することにより、6in1モージュール各チップの温度特性を自動で測定することも可能となります。
リレーユニットは並列接続が可能です。最大10台(100ch)可能です。

半導体パラメータ測定ソフトウェア
CS-810

テスト･フィクスチャL CS-307

カーブトレーサ CS-5400

スキャナシステム■スイッチコントロールユニット

CS-701背面

CS-701

PCとイーサネットで接続することで、半導体パラメータ測定ソフトウェアCS-810より各ユニットを総括制御する必須ユニットです。
1台で最多8ユニットを制御可能です。IPアドレスを割り当てることで複数台（最多10台）を用いた並列動作も可能です。

■リレーユニット
IN/OUT1

CH1
CH2
CH3

LVリレーユニット

HVリレーユニット

HCリレーユニット

300V/7.5A/30A(Pulse)
10CH

5kV/0.5A
10CH

2kV/7.5A/1,500A(Pulse)
10CH

HV-HCリレーユニット

HV-HCリレーユニット

CS-702

IN/OUT2
CH10

CS-703CS-704

6in1モジュール等測定時に測定していない素子のG-E間
またはC-G間をショート可能
ゲート/ショートユニット
IN/OUT1
IN/OUT2

BASE/GATE CH1
OPEN/SHORT CH1
BASE/GATE CH10
OPEN/SHORT CH10

CS-707

カーブトレーサ側:
300V/7.5A/15A(Pulse)
デバイス側:
5kV/7.5A/15A(Pulse)
10CH

CS-708CS-7095kV/7.5A/1,500A(Pulse)
2CH

5kV/7.5A/1,500A(Pulse)
4CH■エクステンションユニット

エクステンションユニット

HV/HCスイッチユニット

HV/HCスイッチユニット

5kV/1,000A(Pulse)
CS-5400を使用する場合は改造が必要

5kV/1,000A(Pulse)
HV/HC切換（手動可）機能付き
・CS-3200/3300/5200/5300用

5kV/1,500A(Pulse)
HV/HC切換(手動可)機能付き
・CS-5400用

CS-706

CS-705

HC(CH2)
HV(CH1)

HIGH VOLTAGE
orHIGH
CURRENT

HC(CH2)
HV(CH1)

HIGH VOLTAGE
orHIGH CURRENT

BASE / GATEBASE /GATE

EMITTEREMITTER

CS-3200/3300
5200/5300-8-

CS-710CS-5400

温度特性測定

温度特性評価試験の省力化
スキャナシステム

半導体パラメータ測定ソフトウェア
CS-810ICｰVGE

VCEsat Vth

ゲートしきい値

オン抵抗
カーブトレーサCSシリーズ

温度

CS-810自動制御対応ホットプレート/恒温槽

T=b℃

IC

コレクタ･エミッタ間電流

半導体パラメータ測定ソフトウェアCS-810からカーブトレーサ、スキャナシステム、ホットプレートを自動制御することにより、温度特性評価の省力化を可能とします。

T=c℃
T=a℃

ゲート･エミッタ間電圧 VGE■ホットプレート/恒温槽
半導体パラメータ測定ソフトウェアCS-810対応機器
コントローラー部

ホットプレート部

ホットプレート機能付き
テスト･フィクスチャ CTJ1050
最大温度：200℃
デバイス最大印加電圧：5kV（ヒータ表
面5kVの絶縁処理）
最大電流：1,000A
インターロック機能（カバーを開けると、カーブトレーサの出力を停止）■プローバーケーブル
プローバー、テスト･フィクスチャボックス等の内側にカーブトレーサの各端子を設置する為のケーブルです。（インターロック用端子装備）

温度センサー部

ホットプレート PA3020/PA3040
製造元：株式会社MSAファクトリー
最高温度：300℃
外部温度センサーによる温度監視可能,RS485による制御
CE対応

恒温槽対応可能です。
担当営業にお問合せください。

（付属品：コントローラー、温度センサー、RS485-USB変換器）－ホットプレート部寸法－
PA3020：200×200（mm）消費電力:800W
PA3040：200×400（ｍｍ）消費電力:1500W■テスト･フィクスチャL
ホットプレート設置可能／インターロック（扉を開けると測定中止）対応
プローバーケーブル付属（CS-306またはCS-5400用）

内部端子部分
（CS-5400用）

プローバーケーブル

CS-308

CS-5400用

テスト･フィクスチャL
プローバーケーブル

CS-306

CS-3xxx/5xxx用（CS-5400を除く）

CS-305シグナルライト、サーモスイッチ、
クーリングファン、LEDライト装備
外形寸法630W×520H×530D（mm）

テスト･フィクスチャL

CS-307

インターロック装備、スキャナシステム対応
外形寸法500w×520H×520D（mm）
写真はCS-5400用プローバーケーブル付属例-9-半導体パラメータ測定ソフトウェア

CS-810

PCにインストールするソフトウェアオプションで、イーサネットを介してカーブトレーサやスキャナ、ホットプレートなどを制御します。簡単な設定で、今まで手動でしか測定できなかったカーブトレーサでの測定を自動化でき、作業効率が向上します。

測定→記録→判定を自動化
手作業での選別や検査の効率化
Vces

VF

Vth

・・

Sample-1 *****A

Ices

****V

****V

****V

・・

Sample-2 *****A

****V

****V

****V

・・

Sample-3 *****A

****V

****V

****V

・・

:

:

:

:

:

:

モジュールや
複数のディスクリートデバイスを自動で切り替えながら測定

ホットプレートも同時に制御、６in1モジュールの温度特性も全自動で測定プログラミングの知識は不要
手動で測定したカーブトレーサの設定をPCに読み込む事によって、シーケンスを設定しますので、プログラミング等の知識は不要で、どなたでも簡単に設定できます。

カーブトレーサの設定をPCに保存ボタン
カーブトレーサへPCの設定を送出ボタン

xxx.xxx.xxx.xxx

測定値のレベル判定で選別取得した測定値よりA～Jの10段階でレベルを設定できます。
また、各レベルでアクション設定（測定停止、
測定スキップ、警告表示、波形（ハードコピー、CSV）取得が出来ます
レベル範囲の設定に便利な自動計算機能ウィンドウ

自動測定（リーク電流、サチュレーション電圧、VF,Vthなど）
測定タイプ：Sweep

測定タイプ：Stress> 設定値より大きい測定点< 設定値より小さい測定点≅ 設定値により近い測定点= 2点間を補間し、一定電圧または一定電流を長時間印
加して、電流または電流をロギングできます。 ストレス試験、信頼性試験に使用します。

設定値となるときの計算値

トライアル・メジャー
デバッグ用機能があり、動作を確認できます。

測定タイプ：Vth
カーブトレーサのVthサーチ機能を使用して測定します。

測定結果ウィンドウ
各Suite内Itemで一番悪いレベルを表示
多彩な
ログファイルのエクスポート書式選択されたSuite内詳細

選択されたItemの設定内容-10-

半導体パラメータ測定ソフトウェア

CS-810■波形比較機能
開発時のバラツキや不良解析など測定後に保存した多数の波形を比較できます。また波形の比較で良否判定も出来ます。
波形比較と判定
リファレンスデータに対する比較で良否判定ができます

波形表示
過去に取得したCSVファイルやカーブトレーサのリコール
波形、現在取得した波形を同一グラフ上に最大10波形同時に表示して比較することが出来ます。

リスケーリング機能
表示されている波形の電圧軸を任意の間隔でCSVファイルに保存します。測定結果を表にする場合に電圧軸を揃えることが出来ます。

カーソル機能表示されている波形の値が一覧で表示されます。
また、サンプリングポイント以外でも補間して値を表示します。

コメント表示各波形にコメントの表示、編集、移動が出来ます。

グラフの画像保存
グラフ、ファイルリスト、カーソル値を任意に組み合わせて、画像ファイルに保存できます。
（画像フォーマット：PNG/BMP/JPG/TIFF）

多彩なグラフ表示-- 設定可能項目 -グラフタイトル、プロットエリアの背景色、カーソル色、Line Dot（直線のみ、ドットのみ、直線とドット）
X軸、Y軸：軸タイトル、データ選択（Ic/Vce/Vbe）、スケール（Log/Linear）（Y軸のみ）、目盛間隔（Auto,1-2-5Step）、目盛の最小値、最大値、グリッド（表示色、非表示）■伝達特性の自動測定機能

X軸、Y軸にカーソルを表示します
測定データ間を補間して値を表示します。

VGE
ゲート･エミッタ間電圧

T=b℃

IC

コレクタ･エミッタ間電流

カーソル機能VCEsat

測定した特性をCSVファイルに保存
グラフを画像データとしてファイルに保存(画像フォーマット： PNG/BMP/JPG/TIFF）

コレクタ･エミッタ間飽和電圧

特性カーブのファイル保存

ICｰVGE

VCEｰVGE

伝達特性をカーブトレーサで自動測定できます。

T=c℃
T=a℃

ゲート･エミッタ間電圧 VGE

グラフエリアのカスタマイズ
グラフのタイトル、軸ラベル、背景色、軸レン
ジ等のカスタマイズが出来ます。

設定の保存/読出し特性測定の設定内容、グラフエリアのカスタ
マイズ設定内容をファイルへ保存と呼出がで
きます。

-11-

半導体パラメータ測定ソフトウェア

CS-810■デバイスの試験
複数のデバイス試験と記録を短時間で確実に実施できます。
複数の測定項目を自動実行します。
オペレータはポップアップの情報に従って、デバイスの交換、配線の差し替えや必要に応じてサンプル名の入力（サンプル名自動インクリメント機能搭載）するだけ
で、同じ条件で測定を繰り返すことが出来ます。
判定結果が測定毎に表示され、画像や波形データも自動保存します。
1

サンプル名を入力してテスト･フィクスチャにセット

3

判定結果により一時停止と作業指示をPOPUP

4

測定項目により一時停止と作業指示をPOPUP

5

測定実行中は測定値と判定結果を表示

2

測定終了後はLOGファイルをCSVやエクセル形
式にエクスポートできます。 測定時には波形
画像やデータを自動保存します。
ストレス試験のログは別ファイルに保存します。
ログ表示画面から測定結果を選択して再測定も可能です。

■モジュールの測定
スキャナ・システムをカーブトレーサと同時にコントロールします。
各素子ゲートのオープン/ショートやHV/HC切換も制御でき、バスバーを外す事無く1モジュールの全自動測定を実現します。

CS-810の設定は1素子を設定後、素子の数コピーすることによって簡単に作成することが出来ます。
測定していない素子のゲー
トはエミッタとショートす
ることが出来ます(CS-707)

Step Gen.
Open
Short
CS-707

C

Step Gen.
Open
Short
CS-707

C1

C3

G1

G3
COLLECTOR
EMITTER

G2

G4

W

G6
E4

E6

Step Gen.
Open
Short

Step Gen.
Open
Short

Step Gen.
Open
Short

CS-707COLLECTOR

COLLECTOR
EMITTER

V

E2

E

-12-

C5

G5

COLLECTOR
EMITTERU

Step Gen.
Open
Short
CS-707

CS-707

CS-707

EMITTER

半導体パラメータ測定ソフトウェア

CS-810■半導体の温度特性評価
CS-810はホットプレートも同時に制御します。
時間の掛かる温度ごとのパラメータの測定についても、全自動で行えます。
自動温度制御ゲートしきい値

Vth
VCEsatホットプレート機能付きのテスト･フィクスチャもご用意しておりますが、ホットプレートのみや恒温槽についても順次対応しております。
対応温調器等につきましては、当社にお問合せください。

オン抵抗

温度

■ストレス試験
各種パラメータをストレス試験に組み込める●長時間の信頼性試験が可能。
●電流･電圧は常にカーブトレーサ側で自動監視しながら、電流と電圧の変化をロギングします。
●ストレス試験の途中や前後で各種パラメータの自動測定が出来ます。
●電流または電圧ともに下限値、上限値を設定し限界値を超えると印加を停止します。
一定の電圧または電流を保持（10秒～1,000時間)
IcおよびVceを測定（インターバル:10秒～2時間）
各種
パラメータ
測定

各種
パラメータ
測定

一定電流または電圧印加
電圧と電流の変化を
一定時間間隔でロギング

一定電流または電圧印加
電圧と電流の変化を
一定時間間隔でロギング

各種
パラメータ
測定

VCE

定ストレス加速
ステップストレス加速
DC定電流ストレス試験
DC定電圧ストレス試験
時間

Vth
VCES
VF
ICE

-13-

半導体パラメータ測定ソフトウェア

CS-810■ディスクリートデバイスの試験接続してワンクリックで複数個のデバイスを測定
同じ素子を順々に測定することが出来ます。
スキャナシステムCS-700シリーズは10CHあります※。
時間の掛かる温度特性など、10素子を全自動で測定します。
制御ソフトウェアCS-810の設定も、1素子をコピーすると完成です。

※ CS-700シリーズは10システムまで並列運転可能です■ウエハー測定への対応
プローバーシステムと結合することによってウエハー上のデバイスを測定

プローバーケーブル CS-306/308
プローバーとカーブトレーサとの接続用ケーブル（インターロック用端子装備）
プローバー側カーブトレーサ側

半導体パラメータ測定ソフトウェアはカスタマイズも承ります。

（写真はCS-306）

CS-306の例

測定器用台車高さ変更可能な上下積載台

測定器用台車MT-600L

683

63

主な装備：
スライド式テーブル
小物入れ（引出し）ロック機能付き四輪キャスター
測定器固定用ベルト

850

740
410

410

260

仕様：
最大積載重量：100kg
高さ：約850mm
積載台：590W×775D（mm）
水平固定
重量：約36kg

775
397

390

※組み立て式-14-850

モデル別出力範囲
HVモード 最大ピーク電圧/最大ピーク電流（パルス電流）
CS-5400
CS-5300
CS-5200
CS-5100

CS-10800
CS-10400--

10kV/400mA

3kV/75mA（150mA）

5kV/25mA（25mA）

CS-3300
CS-3200
CS-3100

モデル
モード
+DC
LEAKAGE/DC
全波整流/AC

CS-12800

CS-15800

12kV/266mA

15kV/266mA

3kV/75mA（150mA）
300V/750mA（1.5A）
30V/7.5A（15A）

HCモード 最大ピーク電流/最大ピーク電力/最大ピーク電圧
CS-5100
CS-3100

モデル
モード

±パルス

CS-5200
CS-3200

CS-5300
CS-3300

CS-5400-

1,000A/10kW/40V

1,500A/12kW/30V(HCモード非搭載）

CS-10400

CS-10800
CS-12800
CS-15800-

8,000A/80kW/40V
4,000A/60kW/60V

400A/4kW/40V

600A/4.5kW/30V

400A/6kW/60V

40A/400W/40V

60A/450W/30V

40A/600W/60V

共通仕様
ループ補正

ハードウェア

コレクタサプライとグランド間の浮遊容量を補正

ソフトウェアステップ・ジェネレータ

ソフトウェアの細線化処理で擬似的にループ処理

オフセット

設定範囲
分解能

STEP AMPLITUDE設定の-10倍～+10倍
STEP AMPLITUDE設定の1%

電流モード

振幅レンジ
最大電流
最大電圧

1ステップあたり50nA～200mA、21ステップ
2A
10V以上

電圧モード

振幅レンジ
最大電流
最大電圧

１ステップあたり50mV～2V、6ステップ 1-2-5切換±40V
500mA～(～8V)、200mA～(～15V)、10mA～(～40V)

ステップ・レート
パルス・ステップ

50Hzまたは60Hzの2倍（ACモード時は1倍）、HCモード時はパルス間隔
パルス幅

ステップ数
AUX出力

コレクタ電圧ベース/エミッタ電圧

表示

カーソル測定データ保存/読出しレンジ

HVモード：1μA/div～2A/div、20ステップ

確度

リードアウトの2%+0.05×VERT/divに以下の最大ピーク電圧別のループ補正誤差を加算
0.5μA（30V）、1μA（300V）、6μA（3kV）、12μA（5kV）
30V,300V,3kV最大ピーク電圧の10%以上、5kVは30%以上で規定

レンジ

1nA/div～2mA/div、20ステップ 1-2-5切換（コレクタ・サプライのモードはLEAKAGE）

確度

リードアウトの2%+0.05×VERT/div+1nA以下

レンジ

HCモード：50mV/div～5V/div、7ステップ

確度

リードアウトの2%+0.05×HORIZ/div以下

レンジ

50mV/div～5V/div、7ステップ

確度

リードアウトの2%+0.05×HORIZ/div以下

外形寸法(mm)（突起部、付属品を除く）
質量（付属品を除く）

1-2-5切換（HCモードは別掲）

1-2-5切換（HVモードは別掲）

1-2-5切換

ディスプレイ8.4インチ TFT液晶

データ数

1,000ポイント/トレース（AC、全波整流）
20～1,000ポイント/トレース（SWEEPモード）

トレース表示点間補間表示、ドット表示

アベレージ

OFF、2～255回

パーシスタンス

OFF、SHORT、LONG、無限長

内部波形保存（REF）

４画面

DOT

Vert、Horiz、β または gm

fLINE

Vert、Horiz、1/grad, intercept

FREE

Vert、Horiz、β または gm

WINDOW

WINDOWエリアのVert、Horiz、β または gm

内部メモリセットアップ：256個、REF：4画面

外部メモリ

USB1.1：セットアップ、波形、画面ハードコピー（BMP、TIFF、PNG）

リモート
電源

OFF、 －40V～+40V（100mVステップで可変）
REPEAT、STOP/SINGLE、SWEEP

コレクタ電流エミッタ電流（LEAKAGE）
水平軸（フルスケール10div）

50μs～400μs（10μsステップ）
HCモード時はコレクタサプライのパルスに対して前後100μs広いパルス幅
0～20ステップ

レンジ

測定モード
垂直軸（フルスケール10div）

1-2-5切換

LAN接続によるリモート

10BASE-T/100BASE-TX 1ポート搭載

CS-3xxx,5xxx

AC100-240V 50/60Hz 、動作時最大電力：500VA、待機時：7W Max

CS-1xxxx

AC200V単相50/60Hz、動作時最大電力：10kVA

CS-3100,5100

424W x 220H x 555D、約28kg

CS-3200,3300,5200,5300,5400

424W x 354H x 555D、約43kg

CS-10400,10800,12800,15800

1,110W x 1,216H x 1,150D、約370kg-15-

オーダーインフォメーション
品
本体

名

型

半導体カーブトレーサ

テスト･フィクスチャ

番

備考CS-3100

3kV

CS-3200

3kV、400A

CS-3300

3kV、1,000A

CS-5100

5kV

CS-5200

5kV、400A

CS-5300

5kV、1,000A

CS-5400

5kV、1,500A

CS-10400

10kV、4,000A

CS-10800

10kV、8,000A

CS-12800

12kV、8,000A

CS-15800

15kV、8,000A

テスト･フィクスチャS

CS-301

CS-3100に標準添付

テスト･フィクスチャM

CS-302CS-3200/3300に標準添付

CS-303CS-5100/5200/5300標準装備

CS-304

CS-5400に標準装備

CS-305シグナルライト、サーモスイッチ、クーリングファン、LEDライト装備、インターロック

CS-307

スキャナシステムに対応、インターロック

CS-306

CS-3xxx/CS-5xxx用（CS-5400を除く）

CS-308

CS-5400用

テスト･フィクスチャL
プローバー
ケーブル

プローバーケーブル

ワニ口

小型ワニ口赤10個セット

CS-001小型ワニ口黒10個セット

CS-002高圧ワイヤ赤5本セット

CS-003

バナナ、5kV、30cm

ワイヤ黒5本セット

CS-004

バナナ、30cm

標準リードセット

CS-005

CS-3100を除く各本体に標準添付品、バナナケーブル30cm（HV用赤2本、緑2本、黒2本、黄1本）、ワニ口（赤2個、緑2個、黒2個、黄1個）

High Current用ケーブル

CS-00620cm,2本セット CS-5400に標準添付

High Current用ケーブル

CS-00730cm,2本セット CS-10400/10800標準添付

半導体パラメータサーチ

CS-800

本体に組み込んで使用

半導体パラメータ測定

CS-810

PCにインストール

テスト・アダプタ

CS-500

本体に1個標準添付

TOタイプテストアダプタ

CS-501AAXIALタイプアダプタ

CS-502AXIALタイプ

TO-263-3(D2PAK)タイプアダプタ

CS-503TO-263-3 / D2PAK

TO-252-3タイプアダプタ

CS-504TO-263-7タイプアダプタ

CS-505

TO-252-5タイプアダプタ

CS-506SC-70-3(SOT-323-3)タイプアダプタ

CS-507

スイッチコントロールユニット

CS-701

各ユニットを総括制御

LVリレーユニット

CS-702

300V/30A 10CH

HVユニットリレーユニット

CS-703

5kV/3A 10CH

HCリレーユニット

CS-7042kV/1,000A 10CH

HV-HCスイッチユニット

CS-7055kV/1,000A HV/HC切換機能付きエクステンションユニット

エクステンションユニット

CS-7065kV/15A

ゲート/ショートユニット

CS-707

カーブトレーサ側:300V/8A デバイス側:5kV/8A 10CH

HV-HCリレーユニット2CH

CS-7085kV/1,500A 2CH

HV-HCリレーユニット4CH

CS-7095kV/1,500A 4CH

HV-HCスイッチユニット（CS-5400用）

CS-7105kV/1,500A HV/HC切換機能付きエクステンションユニット

測定器用台車MT-600L

最大積載重量：100kg

測定ケーブル

ソフトウェア
テスト・
アダプタ

スキャナ・
ユニット

測定器用台車

品

名

型

番

備

ホットプレート機能付きテスト･フィクスチャ

CTJ1050

ヒーター表面5kV絶縁処理

ホットプレート

PA3020プレート部寸法 200×200mm

ホットプレート

PA3040プレート部寸法 200×400mm

最高温度200℃

受付時間

お客様フリーダイヤル

考

土日祝日を除く営業日の 9:00 ～ 12:00 / 13:00 ～ 17:00

0120-102-389
技術的なお問合せ：

E-mail：info-tme@iwatsu.co.jp※製品を破棄する場合には、地方自治体の条例・規則に従って破棄してください。
※社名、商品名等は各社の商標または登録商標です。

インターロック機能

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営

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