TECHNO-FRONTIER2013
出展製品ラインアップ集〒216-0003 神奈川県川崎市宮前区有馬 2-8-24

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超高真空環境対応
ダイレクトドライブサーボモータ

τDISC VD250-75-F 型◎超高真空環境で使用可能 !

10-5Pa レベル◎極低アウトガス◎蒸着装置・スパッタ装置・薄膜作成装置等に最適仕様
モータタイプ
モータ型式
フランジタイプ
使用電源
外径
高さ
定格トルク
最大トルク
定格回転数
定格出力
定格電流
エンコーダタイプ
検出パルス
検出分解能
絶対位置決め精度※1
許容モーメント荷重 ※2許容アキシャル荷重 ※2
ラジアル振れ(無負荷)
アキシャル振れ(無負荷)
ロータ慣性モーメント
質量
組合せドライバベーキング温度
許容Heリークレート

ACVmm(φ)
mm
N･mN･mrpsWApprarcsecarcsec
N･mkN
μmμmkg･m2kg

VD250-75-F
NMR-FEEJA2A-791A-S170
フランジ付
3相20026575
33
82.5
3622
6.8
磁気式1回転アブソリュート
1,048,576
1.24±15（オプション）
30
120200.025
16
NCR-□DA□A2A-801J℃

80Pa･m3/S

5×10-9
取付面への放熱（または水冷）

冷却方式※1：絶対位置補正機能オプションを使用した場合の値となります。
※2：荷重によりベアリング寿命、振れ精度は異なります。

110kW サーボモータ対応
電力回生型サーボドライバ* ダイレクトドライブ、リニアサーボモータにも対応

用途例

大型試験機、サーボプレス、制振装置、大型搬送装置他
各種ネットワークに接続可能

SSCNETⅢ/H（※）・SSCNETⅢ（※）・MECHATROLINK-Ⅲ・CC-Link・DeviceNet※組合せモータにより対応は要相談

電力回生の特長◎駆動時はサーボドライバとして、回生時は電力回生装置として機能する省エネ指向型サーボドライバです。
◎サーボドライバが発電機として働く際に得る回生電力の約 90% を供給電源に返すことが可能です。（100% 回生時）
◎電源入力力率≒1 とする制御で、装置の電源容量が通常のサーボドライバに対し約 2/3 になります。
又、「高調波規制ガイドライン」の基準をクリアし、ユーザー設備に配慮された装置です。
◎電力を電源に返す事で、回生抵抗器が不要となり、省スペース化、安全性の向上となります。
インバータ：NCR-*D**D9*-114

イ ン バータ型式
主電源

制御電源

ファ ン 用電源

DC660～760V / DC480～840V
128

入力電圧/許容電圧変動
定格電流[A]
定格容量[W]
電圧仕様
定格電流

DC24V / DC20.4～27.6V
3.380
単相AC400V/440V/480V（入力電圧によ り選択）
0.65A
110kW / 3相正弦波PWM
200 / （250）

出力容量/駆動方式
連続出力電流/（ｷｬﾘｱ周波数7.5kHz時）[Arms]
瞬時出力電流[Arms]
制御方式
制動方式
キャリア周波数
速度制御範囲最高速度周波数
重量[kg]
コン バータ型式

主電源

制御電源500
エン コーダ（リニアセン サ）フィードバックによ る セミクロ ーズドループ
回生制動（コン バータ側で吸収、回生）
10kHz/7.5kHz(パラ メータ選択)
1:500025Mpps 但し､エン コーダパルス4逓倍の周波数117
電力回生コンバータ：NCR-QXA0A3*-114NCR-QXA0A3*-114仕様
入力電圧許容電圧変動定格電流[Arms]
定格容量[kVA]
突入電流[A]
入力電圧/許容電圧変動
定格電流[A]
定格容量[W]

出力容量/駆動方式
出力電圧[Vdc]
連続出力電流[A]
瞬時出力電流[A]
回生方式
キャリア周波数
重量[kg]
付属品

仕様
NCR-*D**D9*-114

入力電圧/許容電圧変動
電源容量[kVA]①:AC360～420V ②:AC400～460V ③:AC440～500V、 50/60Hz、 3相①:AC340～440V ②:AC380～480V ③:AC420～520V、 50/60Hz、 3相①:220 ②:200 ③:180
136①:265 ②:285 ③:310 〔41ms〕※1DC24V / DC20.4～27.6V
2.970
110kW / 3相正弦波PWM①:660 ②:700 ③:745①:195 ②:184 ③:169①:390 ②:368 ③:338
電源回生
11kHz
122
ACリアクトルユニット※表中の①②③は次の入力電圧を意味します。 ①:AC380/400 入力時、 ②:AC420/440 入力時、 ③:AC460/480 入力時※1 〔 〕内の数字は、突入電流が収まるまでの目安です。

110kW サーボモータ対応 電力回生型サーボドライバ外形図

インバータ

電力回生コンバータ

AC リアクトルユニット（付属品）〒216-0003 神奈川県川崎市宮前区有馬 2-8-24

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無断転載を禁ずる

このカタログの記載内容は 2013 年 7 月現在のものです。
製品改良のため、予告なしに定格、仕様、寸法などの一部を変更する場合があります。予めご了承ください。
カタログ制作には、最善且つ慎重を期しておりますが、誤字、脱字などにより生じた損害については、責任を負いかねますので、予めご了承ください。
資料 No.N035A201307-2000

選択できる豊富なネットワーク

Servo Network
接続可能なネットワーク

ＳＳＣＮＥＴⅢ／Ｈ
ＳＳＣＮＥＴⅢ
ＭＥＣＨＡＴＲＯＬＩＮＫ−Ⅲ
ＣＣ−ＬｉｎｋＤｅｖｉｃｅＮｅｔ《モーションネットワーク》《モーションネットワーク》《モーションネットワーク》

ネットワーク対応サーボドライバ

VCⅡシリーズ◆ラインアップ（出力容量）
3 相 AC200V
100W 〜 37kW
3 相 AC400V
2.6kW 〜 110kW
単相 AC100V
50W 〜 200W
◆ラインアップ（機能）ドライバタイプ
コントローラ機能内蔵タイプ

VCⅡ-D タイプ
VCⅡ-C タイプ

VCⅡ-C タイプ機能
・コマンド方式によるプログラム運転が可能です。
動作コマンド、非動作コマンド、演算コマンド、ジャンプコマンド、連続制御コマンド（位置、トルク速度の連続制御）等
・VCⅡ-C タイプを使用する事で、位置決めコントローラを使わずに、CC-Link、DeviceNet 接続でのプログラム運転が簡単に実現できます。

様々なアプリケーションに対応する NIKKI サーボ駆動システム◆ダイレクトドライブサーボモータ◆大トルク・シリンダ形状 DD モータ

τDISC（タウ・ディスク）

τiD ロール（タウ・アイディ・ロール）※SSCNET 接続は商談毎に対応

τリニア※SSCNET 接続は未対応◆AC サーボモータ◆円弧型リニアサーボモータ

τサーボコンパス◆リニアサーボモータ◆リニアステージτリニアステージ

NA80/NA800 シリーズ
NA100/NA20 シリーズ
※SSCNET 接続は未対応