NoiseProPlus™と SENTIO®を使った1/f ノイズ自動測定
NoiseProPlus™ とSENTIO® プロ―バー制御用ソフトウェアをご使用いただくことによりMPIセミオート・プローバー(TS3000-SE等)を使って自動で1/fノイズ測定が可能となります。本アプリケーションノートでは自動測定の手順を説明します。以下はNoiseProPlus™を使った代表的な1/fノイズ測定の手順となります。

ウェハーロード (プロ―バー)
プローバーにウェハーを正しくロードするためにはTS3000-SEプローバーシリーズのユーザーマニュアルをご参照ください。下記は手順の概要となります。
(1)チャックをロードポジションに移動(2)真空を解除する(3)チャックにウェハーをのせる(4)真空を有効にする(5)アライメントポジションにウェハーを合わせる(6)ウェハー・マップ・エディタを使ってダイ/サブダイ用のウェハー・マップを作製(7)作成したウェハー・マップを使ったアライメント高さでチャックがダイ/サブダイの正しいポジションまで移動するか確認してください。

図1 General Information setupNoiseProPlusTM で新しいデバイスを登録する
新しいデバイスを登録するにはNoiseProPlusTMソフトウェアを起動し、ツールバーより「Setup」→「General Information Setup」に進み該当するデバイスタイプを選択します(図1参照)。本アプリケーションノートではNMOSを測定例として使います。
次に「Setup」→「Device Information」よりパラメータを入力します(図2参照)。

図2 Device Information setup

APPLICATION NOTE - QMS-C-AS-117-01, 11-2018 © MPI Corporation 2018 - 仕様は予告なく変更することがあります。

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I-Vメーター、スペクトラム・アナライザ、ノイズ・アナライザの登録
ハードウェアを登録するにはツールバーより「Setup」→「Measurement Setup」を選択、タブ間を移動し登録するハードウェア(I-Vﾒｰﾀｰ、ｽﾍﾟｸﾄﾗﾑ･ｱﾅﾗｲｻﾞ、ﾉｲｽﾞ･ｱﾅﾗｲｻﾞ等)の情報を入力します。(図3参照)。

図3 Measurement setup

プローバーのセットアップ
プローバーをセットアップするには「Setup」→「Measurement Setup」→「Prober Setup」を選択します。「UseProber」を有効(無効の場合)にし、「Nucleus with GPIB (emulator mode)」をProber Modelより選択します。
正しいGPIBのアドレスを入力し、ソフトウェアとプローバーの接続確認のため「Start」をクリックします(図4)。エミュレー
タ・モードでプローバーを制御する際はプローバーのドライバーパスは入力(指定)する必要はありません(編集できないようになっています)。またSENTIO®側でCascade社製Nucleusソフトウェアのコマンドを変換できるようになっていることもご確認ください。

図4 Prober setup

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次にSENTIO®上でウェハーマップを取り込んでください(図5)。テストするダイは手動で選択していただくことも可能で、「.trex」拡張子を使うことでウェハーマップのインポート/エクスポートが可能です。SENTIO®とNoiseProPlusTMが違うパソコンにインストールされている場合、プローバーの「Wafer map」ファイルをNoiseProPlusTMのパソコンよりアクセスできるところにコピーしてください。本作業はウェハー・マップのファイルがプローバー上にある場合はNoiseProPlusTMよりプローバーを制御することが可能なので、必要のないステップとなります。プローバーのセットアップを完了するためには、「Load」
ボタンをクリックしデバイス情報(DUTの詳細を入力後 図4参照)のをロードする必要があります。NoiseProPlusTMではノイズデータは自動的にテンポラリディレクトリに保存され、ユーザーにより編集、希望するノイズデータのフォーマット形式で保存も可能です。データ保存時に「Data Path and Format」の該当オプションを選択いただくことにより、ダイ/サブダイの情報は保存されたファイル名に埋め込むことができます。セットアップが完了しましたら「Apply」をクリック後「OK」 をクリックし、デバイスタブのセットアップをロードします。

図5: SENTIO® Software Suite: Wafer map setup (GPIB)

自動測定先に説明したエミュレーションモードのウェハーマップが選択されている場合、「Use prober」オプションが有効で、複数サイト(ダイ/サブダイ)が選択されていればNoiseProPlusTMは自動的に自動測定と認識します。次にメニューより「Measure → Measure Noise」を選択すると、新しいウィンドウ「Sid Spectrum DSA channel:1」が開きます。測定を開始するには「Measure → Measure 1/f Noise」を選択します。または「measurement」ウィンドウより「Measure→ Measure 1/f Noise for Multi-Device」を選択いただいても測定は開始できます。NoiseProPlusTM は自動測定、マルチデバイス・スクリプトファイルをロードし、ダイからダイ、サブダイからサブダイのノイズ測定を開始し、データをご指定のディレクトリに保存します。

図6 NoiseProPlusTM マルチダイノイズデータを表示しているデバイス画面

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3自動測定手順は自動で新しいスクリプトをロードする以外(ウェハーマップが存在していれば)は手動測定と全く同じ手順となります。NoiseProPlusTMは自動測定モードで指定されたディレクトリにマルチダイノイズ・データタブを作製します(図6参照)。本マルチダイデータをご使用いただくことによりウェハー上のノイズのばらつきを可視化することもできます。

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