デュアル TITAN™ プローブ

デュアルTITAN™ プローブのご紹介
MPIのデュアルTITAN™プローブは、高周波測定分野における画期的なイノベーションです。このRFプローブは、MPI の卓越性へのコミットメントを証明するもので、シングルエンド型プローブの定評ある特長と先進のデュアル型プローブ機能を融合させたものです。無線からミリ波技術まで、さまざまなアプリケーション向けに設計されたデュアルTITAN™プローブは、測定精度、信頼性、汎用性において新たな基準を打ち立て、最新の測定、特性評価に不可欠な製品となっています。
デュアル型プローブへの要求
急速に進化する今日の技術状況により、デュアル型プローブの必要性はかつてないほど高まっています。デュアル型プローブ
は、複雑なマルチポート・デバイスや差動型デバイスを正確に特性評価するために不可欠な、より高度な測定能力を提供します。デュアル型プローブは異なるパラメータや位置情報の同時測定を可能にし、測定の効率と精度を高めます。特に高周波アプリケーションでは、デュアル型プローブは正確なデータ収集と解析に不可欠であり、最新のエレクトロニクス試験の課題に対応します。
ティップ視認性の向上
正確さが要求されるRFエンジニアリングにとっては、測定ツールの有効性が最も重要です。デュアルTITAN™プローブはこのことを念頭に置いて設計されており、RFエンジニアのニーズに特化した高度な機能を提供します。
精密測定のためのティップ視認性の最適化： MPIのデュアルTITAN™プローブは、RF試験と特性評価にとって重要な技術革新であるユニークな突出型ティップ設計を特徴としています。この設計によりティップの視認性が向上し、RF校正用標準器やDUTパッド、凹凸のある粗いメタライゼーション上でも正確で確実な位置決めが可能になります。RFアプリケーションやシグナ
ル・インテグリティ(SI)、プリント基板テストで、密集した試験ポイントや小さな形状を扱う場合に特に有効で、正確な接触と測定を保証します。
ユニークなティップ視認性と最小のフットプリント
下の写真はデュアルTITAN™プローブT67S-GSGSG0100がシリコンチップ上のアルミパッドに接触している様子を示したものです。20～30µmの垂直オーバートラベルをした後のティップが作るスクラブマークは約10x30µmの大きさです。

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1

RFアプリケーションのため特長• 比類のない校正精度
各プローブは50オームのMEMS接触ティップを装備しており、反射と挿入損失を最小限に抑えるようマッチングされています。この精度は、正確なSパラメータ測定に不可欠であり、DCからミリ波帯までの広い周波数範囲にわたって信頼性の高い特性評価を保証します。
• 幅広い使用に耐える堅牢な設計
RF試験での厳しい要求を認識し、デュアルTITAN™プローブは耐久性に優れた設計になっています。均一な磨耗メカニズムにより、電気的性能を損なうことなく長期間の使用が可能です。この長寿命と競争力のある価格設定により、継続的な高周波測定のための費用対効果の優れたソリューションを提供します。
• 広い周波数範囲での汎用性適応性を考慮して設計されたデュアルTITAN™プローブは、さまざまなRFアプリケーションで優れた性能を発揮します。高速デジタル回路の特性評価、複雑なマルチポート・ネットワーク解析、高度な無線デバイスやミリ波デバイスのテストにおいて、これらのプローブは信頼性の高い性能を一貫して提供します。

無線、シグナル・インテグリティ(SI)およびボードレベル測定
デュアルTITAN™プローブT26Dは26GHzまでの周波数をカバーするプローブでワイヤレス・アプリケーション、SI測定、ボードレベル測定に最適です。マルチポートおよび差動フロントエンド、集積回路、コンポーネントの特性評価において比類のない測定精度を提供します。優れたRF校正と測定、ユニークな接触構造および長寿命により、これらのプローブはSI測定の高忠実度を保証します。このプローブは新たな無線技術の開発に不可欠です。

26 GHz プローブ: T26D
代表的電気特性特性インピーダンス50 Ω

周波数範囲

DC ~ 26 GHz

挿入損失 (GSGSG構成)< 0.5 dB

リターンロス (GSGSG構成)> 16 dB

ポートクロストーク< -32 dB

DC 電流

<1A

DC 電圧

< 100 V

RF 電力 @ 10 GHz<=5W

接触抵抗(Au)、標準ティップ< 6 mΩ

接触抵抗(Al)、標準ティップ< 35 mΩ

温度範囲-40 °C ~ +175 °C

T26D-GSSG0100 プローブ

代表的機械特性コネクタSMA、メス (ブースト型, 2個)

ティップ材質ニッケル合金ティップ幅30 µm (標準)20 µm (RC)

ピッチ範囲、標準

GSGSG
50 ～ 550 µm、25 µm ステップでGSSG/SGS
50 ~ 550 µm、25 µm ステップで600 ~ 1250 µm、50 µm ステップでピッチ範囲, RC ティップ 50 ~ 125 µm、 25 µm ステップ
ティップ構成GSSG、SGS、GSGSG

コネクタスタイル

45°、アングル型

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代表的電気特性: デュアル 26 GHz GSGSGプローブ, 150 µmピッチ

本体寸法

19.05

9.04 5.84
3.45

28.32

10.16 10.16

4.5 THRU
7.2 3

7.91
36.23

単位: mmDATA SHEET - Dual TITAN™ Probes, QMS-C-AS-243-01, 04-2024 © MPI Corporation 2024 - 仕様は予告なく変更することがあります。

3ミリ波アプリケーション
TITAN™RFプローブは67GHzタイプの堅牢モデルにより、周波数範囲をミリ波帯まで拡張できます。TITAN™プローブ
はミリ波帯のマルチポートおよび差動IC、スイッチや広帯域高速データチャネルの特性評価用に設計されており、優れた特性を提供します。ユニークなティップ視認性と最小のフットプリント、長寿命そしてお求めやすい価格により、高度な電気通信や衛星通信のアプリケーションにご使用いただけます。
下はTITAN™ T67S-GSGSG0100、T26D-GSGSG0100および差動ミリ波ミキサの特性評価に使用されたマルチコンタクトMCP (100 µmピッチ)プローブの写真。

40 GHz プローブモデル: T40S
代表的電気特性特性インピーダンス50 Ω

周波数範囲DC ~ 40 GHz

挿入損失 (GSGSG 構成)< 0.8 dB

リターンロス (GSGSG 構成)> 11 dB

ポートクロストーク< -31 dB

DC 電流<1A

DC 電圧< 100 V

RF 電力 @ 10 GHz<=5W

接触抵抗(Au)、標準ティップ< 6 mΩ

接触抵抗(Al)、標準ティップ< 35 mΩ

温度範囲-40 °C ~ +175 °C

T40S-GSSG0150 プローブ

代表的機械特性コネクタ

K (2.92 mm)、メス (2個)ティップ材質ニッケル合金ティップ幅30 µm (標準)20 µm (RC)

ピッチ範囲、標準ティップ

GSGSG: 50 ~ 325 µm
GSSG/SGS: 50 ~ 250 µm

ピッチ範囲、RC ティップ

50 ~ 125 µm

ピッチ・ステップ

25 µm

ティップ構成GSSG、SGS、GSGSG

コネクタスタイル

45°、ストレート

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4代表的電気特性: 40 GHz GSGSG プローブ、150 µm ピッチ
T40S-GSGSG0150

0-20-30-1.0-1.5-40-50

S21(1)
S21(2)-0.5

Mag Sxx (dB)

Mag Sxx (dB)-10

T40S-GSGSG0150

0.0

S11(1)
S22(1)
S11(2)
S22(2)

01020
Frequency (GHz)3040-2.0010203040

Frequency (GHz)DATA SHEET - Dual TITAN™ Probes, QMS-C-AS-243-01, 04-2024 © MPI Corporation 2024 - 仕様は予告なく変更することがあります。

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50 GHz プローブモデル: T50S
代表的電気特性特性インピーダンス50 Ω

周波数範囲

DC ~ 50 GHz

挿入損失< 1 dB

リターンロス> 11 dB

ポートクロストーク< -31 dB

DC 電流<1A

DC 電圧< 100 V

RF 電力 @ 10 GHz<=5W

接触抵抗(Au)、標準ティップ< 6 mΩ

接触抵抗(Al)、標準ティップ< 35 mΩ

温度範囲-40 °C ~ +175 °C

T50S-GSGSG0150 プローブ

代表的機械特性コネクタ

Q (2.4mm)、メス (2個)ティップ材質ニッケル合金ティップ幅30 µm (標準)20 µm (RC)

ピッチ範囲、標準ティップ

50 ~ 325 μm、25 µm ステップでピッチ範囲、RC ティップ

50 ~ 125 µm、25 µm ステップでティップ構成

GSGSG

コネクタスタイル

45°、ストレート

代表的電気特性: 50 GHz GSGSG プローブ、150 µmピッチ
T50S-GSGSG0150

0-20-30-1.0-1.5-40-50

S21(1)
S21(2)-0.5

Mag Sxx (dB)

Mag Sxx (dB)

-10

T50S-GSGSG01500.0S11(1)S22(1)
S11(2)
S22(2)

0102030

Frequency (GHz)4050-2.001020304050

Frequency (GHz)DATA SHEET - Dual TITAN™ Probes, QMS-C-AS-243-01, 04-2024 © MPI Corporation 2024 - 仕様は予告なく変更することがあります。

667 GHz プローブモデル: T67S
代表的電気特性特性インピーダンス

50 Ω

周波数範囲

DC ~ 67 GHz

挿入損失< 1.3 dB

リターンロス> 10 dB

ポートクロストーク@50 GHz< -31 dB

DC 電流

<1A

DC 電圧

< 100 V

RF 電力@ 10 GHz<=5W

接触抵抗(Au)、標準ティップ< 6 mΩ

接触抵抗(Al)、標準ティップ< 35 mΩ

温度範囲-40 °C ~ +175 °C

T67S-GSGSG0200 プロ―ブ

代表的機械特性コネクタ

V (1.85 mm)、メス (2個)ティップ材質ニッケル合金

ティップ幅30 µm (標準)20 µm (RC)

ピッチ範囲、標準ティップ

50 ~ 250 µm、25 µmステップ

ピッチ範囲、RC ティップ

50 ~ 125 µm、25 µmステップ

ティップ構成GSGSG

コネクタスタイル

45°、ストレート

代表的電気特性: 67 GHz GSGSG プローブ、 200 µmピッチ
T67S-GSGSG0200

0-20-30-40-50

S21(1)
S21(2)-0.4
Mag Sxx (dB)

Mag Sxx (dB)

-10

T67S-GSGSG0200

0S11(1)
S22(1)
S11(2)
S22(2)

-0.8

-1.2

-1.6

02040
Frequency (GHz)6080-2.0020406080

Frequency (GHz)DATA SHEET - Dual TITAN™ Probes, QMS-C-AS-243-01, 04-2024 © MPI Corporation 2024 - 仕様は予告なく変更することがあります。

7ミリ波広帯域アプリケーション
TITAN™プローブ・ファミリはミリ波広帯域アプリケーションに優れ、220GHzまでの周波数に対応します。この特性は高度な防衛システムや高速データ伝送など、超高周波測定を必要とするアプリケーションに最適です。このプローブは比類のない周波数帯域で測定精度を保証しておりイノベーションと品質に対するMPIのコミットメントの証明です。
下はTITAN™ T220D-GSGSG0100（左）とT220D-GSGSG0100および広帯域差動ドライバの特性評価に使用されたマルチコンタクトMCP (100 µmピッチ)プローブの写真です。

Picture courtesy: Ulm University of Technologies

145 GHz プローブモデル: T145S
代表的電気特性特性インピーダンス

50 Ω

周波数範囲

DC ~ 145 GHz

挿入損失< 2 dB

リターンロス> 16 dB

DC 電流< 1.5 A

DC 電圧

< 50 V

接触抵抗(Au)、標準ティップ< 6 mΩ

接触抵抗(Al)、標準ティップ< 45 mΩ

温度範囲-40 °C ~ +150 °C

T145S-GSGSG0100 プローブ

代表的機械特性コネクタ

0.8 mm、メス(2個)ティップ材質ニッケル合金

ティップ幅15 µm

ピッチ範囲

50 ~ 125 µm、25 µmステップ

ティップ構成GSGSG

コネクタスタイル

45°、ストレート

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代表的電気特性: 145 GHz GSGSG プローブ、 100 µmピッチ
T145S-GSGSG0100

0Mag Sxx (dB)

Mag Sxx (dB)-10-20-30

T145S-GSGSG0100

0.0

S11(1)
S22(1)
S11(2)
S22(2)

S21(1)
S21(2)-2.0-4.0-40-500255075100125-6.015002550

Frequency (GHz)

75100125150

Frequency (GHz)

本体寸法
T40S, T50S, T67Sおよび T145S プローブモデル
3x4.5 THRU
7.4 2.4

35.59

22.37

9.33 5.84

2.53

6.33

28.32

10.16 10.16A

単位: mmDATA SHEET - Dual TITAN™ Probes, QMS-C-AS-243-01, 04-2024 © MPI Corporation 2024 - 仕様は予告なく変更することがあります。

9220 GHz プローブモデル: T220D
代表的電気特性特性インピーダンス

50 Ω

周波数範囲

DC ~ 220 GHz

挿入損失< 7 dB

リターンロス (ティップに於いて)> 13 dB

DC 電流< 1.5 A

DC 電圧

< 50 V

接触抵抗(Au)、標準ティップ< 6 mΩ

接触抵抗(Al)、標準ティップ< 45 mΩ

温度範囲-40 °C ~ +150 °C

T220D-GSGSG050 プローブ

代表的機械特性
インターフェース

0.6 mm 広帯域インターフェース、オス (2個)

測定器接続

Anritsu 差動型VNA ME7838G470 kHz–220 GHzに直接接続

ティップ材質ニッケル合金

ティップ幅

15 µm

ピッチ範囲

50 ~ 125 µm、25 µm ステップ

ティップ構成GSGSG

コネクタスタイルストレート、直接マウント

代表的電気特性: 220 GHz GSGSG プローブ、 100 µm ピッチ
T220D-GSGSG0100

0-20-30-40-50

S21(1)
S21(2)-10

Mag Sxx (dB)

Mag Sxx (dB)

-10

T200D-GSGSG0100

0S11(1)
S22(1)
S11(2)
S22(2)-20-30-40050

100

150Frequency (GHz)

200250-50050100150200250

Frequency (GHz)DATA SHEET - Dual TITAN™ Probes, QMS-C-AS-243-01, 04-2024 © MPI Corporation 2024 - 仕様は予告なく変更することがあります。

10本体寸法T220D プローブモデル

3862.5662.5645°
単位: mm

RF校正基板RF校正基板はRFプローブの特性を補完します。校正基板はRFプローブのフットプリントとピッチに合せて作成されています。これにより、RFエンジニアが求める非常に高精度な測定が可能になります。デュアルTITAN™プローブ・ファミリには、GSGSG、GSSG、およびSGSプローブ・ティップ構成をサポートする幅広い選択肢の新しいデュアルTCS RF校正基板が含まれています。PlanarCalコンソーシアムの推奨に従い、RF校正標準器の設計と最適化の新しいアプローチにより、220 GHz以上の周波数までの正確なプローブのRF校正が可能になりました。
現在のマルチポートVNAに実装されているシステマティックな測定誤差補正方法は、シングルエンドの測定プロセスに基づいています。プローブピッチと測定周波数が増加すると、Sパラメータのキャリブレーション精度が低下します。ICパッドのピッチを小さく保ち、GSGSGパッド構成を使用し、テストデバイスと同じプロセスでカスタムRF校正標準器を設計することが推奨されます。これらすべてがデュアル／差動ICのSパラメータRF校正と特性評価の最高の精度を保証します。
GSSGプローブ構成は、任意信号発生器による差動信号駆動、差動オシロスコープなどの測定構成による高速時間領域特性評価（例：アイダイアグラム）での使用が考えられます。
下は100 Gbps、140 Gbps、および160 Gbpsの信号の差動アイダイアグラムです。2つのT67S-GSSG0100プロー
ブが差動Thru標準器に接続されています。システムは、Keysight TechnologiesのIQToolsによってケーブル端で校正されています。
テスト：80 GHzまでのナイキスト周波数
データレイト100 Gbps (50 GHz)
(ナイキスト周波数)
システムベースライン(ケーブルのみ)

140 Gbps (70 GHz)

160 Gbps (80 GHz)

2個のT67S-GSSG0100
プローブをスルー構成

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11Sパラメータ・マルチポートVNA RF校正
推奨RF校正基板、GSGSG プローブ
RF校正基板モデル

ピッチ幅µm

TCS-GSGSG-0050-0050

50

TCS-GSGSG-0075-0075

75

TCS-GSGSG-0100-0100

100

TCS-GSGSG-0100-0125

125

TCS-GSGSG-0150-0200

150

TCS-GSGSG-0150-0200

175

TCS-GSGSG-0150-0200

200

TCS-GSGSG-0225-0325

225

TCS-GSGSG-0225-0325

250

TCS-GSGSG-0225-0325

275

TCS-GSGSG-0225-0325

300

TCS-GSGSG-0225-0325325

周波数範囲 (GHz)2640

推奨 -5067145■

使用可 -220■ ■無し -推奨RF校正基板、GSSG プローブ
RF校正基板モデル

ピッチ幅µm

TCS-GSSG-0050-0050

50

TCS-GSSG-0075-0075

75

TCS-GSSG-0100-0100

100

TCS-GSSG-0100-0125

125

TCS-GSSG-0150-0200

150

TCS-GSSG-0150-0200

175

TCS-GSSG-0150-0200

200

TCS-GSSG-0225-0325

225

TCS-GSSG-0225-0325

250

TCS-GSSG-0225-0325

275

TCS-GSSG-0225-0325

300

TCS-GSSG-0225-0325325

周波数範囲 (GHz)
264050

推奨 -■67

使用可 -■DATA SHEET - Dual TITAN™ Probes, QMS-C-AS-243-01, 04-2024 © MPI Corporation 2024 - 仕様は予告なく変更することがあります。

12おわりに
デュアルTITAN™プローブは、MPIの技術力と品質のこだわりの相乗効果の証明です。シングルエンド型プローブの主な利点である、優れたRF校正性能、ユニークな接触構造、優れた寿命、そしてお求め易さを統合することで、業界において優れた製品を提供しています。デュアルTITAN™プローブは単なるツールにとどまらず、高周波測定技術の限界を押し広げるというMPIの献身を証明するものです。

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