PT5cn-0520

高灵敏度毒性气体检测仪FP-300AGZS
使用说明书

邮编：174-8744 东京都板桥区小豆泽 2-7-6
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目录
页码1．产品概要 ·········································································································· 41-1 概 要 ..............................................................................................................................41-2 注意事项 ...........................................................................................................................52．产品功能 ·········································································································· 72-1 附件一览 ...........................................................................................................................72-2 框图 ..................................................................................................................................72-3 外形图 ..............................................................................................................................82-4 各部名称 ...........................................................................................................................92-4-1 前面板部分 ................................................................................................................92-4-2 背面板部分 ................................................................................................................92-4-3 操作面板部分...........................................................................................................103．使用方法 ········································································································· 113-1 安装上的处理 ................................................................................................................. 113-2 配 管 ............................................................................................................................123-3 接 线 ............................................................................................................................123-3-1 注意事项 ..................................................................................................................133-3-2 端子图......................................................................................................................133-4 盒式气体检测带 ..............................................................................................................143-4-1 盒式气体检测带的处理 ............................................................................................143-4-2 盒式气体检测带的管理 ............................................................................................163-4-3 盒式气体检测带的归还 ............................................................................................164．操作方法 ········································································································· 17
4-1 准 备 ............................................................................................................................174-1-1 确认事项 ..................................................................................................................174-1-2 电源输入 ..................................................................................................................174-1-3 接通电源 ..................................................................................................................184-1-4 盒式气体检测带的安装 ............................................................................................184-1-5 流量 .........................................................................................................................184-2 操 作 ............................................................................................................................194-3 警报设置值的简易确认 ...................................................................................................19
5．各种功能 ········································································································· 20
5-1 LCD 显示 ........................................................................................................................205-1-1 显示格式 ..................................................................................................................205-1-2 气体浓度显示...........................................................................................................205-2 警报功能 .........................................................................................................................20
5-2-1 气体警报 ..................................................................................................................215-2-2 警报动作时间图 .......................................................................................................22
5-3 外部输出 .........................................................................................................................23
5-3-1 外部输出接点...........................................................................................................23
5-3-2 外部信号输出(4-20mA) ...........................................................................................25
5-3-3 外部输出动作...........................................................................................................256．保养检查 ········································································································· 26
6-1 日常检查 .........................................................................................................................26
6-2 定期检查 .........................................................................................................................26
6-3 盒式气体检测带更换方法 ...............................................................................................26
6-4 维护模式 .........................................................................................................................272

6-4-1 警报测试 ..................................................................................................................29
6-4-2 LCD 对比度调整 ......................................................................................................30
6-5 推荐定期更换部件列表 ...................................................................................................31
7．异常时的处理 ··································································································· 317-1 自我诊断功能 .................................................................................................................327-2 故障原因及处理方法 ......................................................................................................338．停止运行的方法 ································································································ 359．产品的报废 ······································································································ 3510．产品规格一览 ·································································································· 36
11．检测原理 ········································································································ 37

31．产品概要
1-1 概 要在半导体制造工序中大量使用的气体均具有极强的毒性。此类气体一旦泄漏就会对人体造成危险，因此根据一般高压气体安全保障规则的要求，使用此类气体的设施必须安装气体检测警报器。
气体检测仪必须高度可靠且具有优异的长期稳定性，以连续监控气体瓶放置场和生产线是否存在微量气体泄漏。
本仪器对于低浓度的气体检测高度可靠，进行气体检测后重新设置（零位），因此也具有优异的长期稳定性。
本仪器的主要功能及优点如下所示。

・ 本仪器采用2档警报方式，分别是预警和警报。
・ 气体检测带采用盒式，易于更换。
・ 只需每月更换2次盒式的气体检测带，即可保持规定的性能。
・ 由泵吸入的检测对象气体一接触气体检测带，就会根据气体浓度做出显色反应。检测接触气体前后的显色的变化率（光反射率的变化），将其转换为气体浓度。
・ 由于本仪器的检测原理，几乎不受酒精、氢气等干扰气体的影响。

43-3 接 线
3-3-1 注意事项① 电流输出等的信号线请使用屏蔽线（CVVS线缆等），在不易受噪声影响的状态下使用。
② 请将电源开关置于OFF（○侧）后进行接线施工。如果在通电状态下进行接线，可能因接线时的短路等导致仪器破损。

3-3-2 端子图
外接端子排的排列①②③＋－

电流输出(4-20mA)
［4］
⑧NO

④⑨NC

警报
(ALARM)［2］（未使用）

⑩COM

⑪NO

⑤⑥⑦NONCCOM预警(WARNING)
［1］
⑫NC

⑬COM

故障警报
(TROUBLE)［3］ＬＮＥ

电源输入(AC100～240V)
［5］

［1］
［2］
［3］
［4］

预警(WARNING)输出…………无电压接点（c 接点）
警报(ALARM)输出……………无电压接点（c 接点）
故障警报(TROUBLE)…………无电压接点（c 接点）
电流输出(4-20mA)……………请注意极性。
线性输出 0～F.S.的浓度。
0： 4mAF.S.
： 20mA
故障： 0.5mA
初始清空： 2.5mA
维护： 2.5mA
气体浓度超过 F.S.时，最大输出 22mA。
［5］电源输入……………………AC100V～240V

各警报接点的额定值为AC125V 0.5A。根据连接的负载，为保持性能，可能需要火花抑制器等保护部件。

134-2 操 作
如果将前面板的电源开关置于ON（｜侧），显示功能检查和必要的信息后进入检测状态。
电源开关：ON↓
POWER/TROUBLE 指示灯：连续点亮

MODEL FP-300......为 FP-300 时

VER． 00000......显示程序版本↓C5F8 :5.0ppm......显示测量对象气体名称和全量程
值

L:2.0

H:4.0......警报点

↓暖机状态（20 分钟）WARMING UP20MIN↓↓↓↓↓↓↓为了检测而正在进纸STAND BY......测量准备状态TAPE CHECK......检测带检查中(1)(1) 气体名称(2) 气体浓度显示(3) 检测带余量显示

4-3 警报设置值的简易确认・未安装检测带时，显示检测带设置不良：〔TAPE SET MISS〕。
请按照【6-3 盒式气体检测带更换方法】安装检测带。

↓(2)

C5F8 :0.0ppm ......测量状态TAPE VALID 60 D
(3)

在正常测量状态下，按下前面板的［LAMP RESET］开关后，警报设置值显示如下约 2 秒。
但是，正常测量状态指没有发生气体警报、故障警报的状态。
C5F8 : 0.0ppm

・・L:2.0 H:4.0

19

・L：预警(WARNING)
・H：警报(ALARM)

5．各种功能
5-1 LCD显示
5-1-1 显示格式

LCD显示采用以下格式显示。
□□□□□
①：

TAPE VALID□□□□②ppm□□③D① 以化学式等表示气体名称。…………… 例）C5F8② 表示气体浓度。………………………… 以单位ppm表示。
③ 显示检测带的剩余天数。

5-1-2 气体浓度显示本仪器的气体浓度显示具有以下特点。
・ 气体浓度显示的数值在每个检测周期结束时更新。
・ 气体浓度显示为检测周期时间内的气体浓度平均值。
・ 气体浓度显示会输出上一个检测周期的检测结果（平均值）。
下图为气体浓度每小时发生变化时的浓度显示的时间图。
测量周期

气体浓度变化

Ｆ．Ｓ．
2／3Ｆ．Ｓ．
1／3Ｆ．Ｓ0浓度值转换

Ｆ．Ｓ．
2／3Ｆ．Ｓ．
1／3Ｆ．Ｓ0气体浓度显示20经过时间

5-2 警报功能5-2-1 气体警报本仪器通过在单位时间内让一定量的气体接触含有特殊试剂的检测带，检测因与气体产生反应而引起的变色。换言之，如果不经过一定的单位时间（检测周期），就无法显示准确的气体浓度。另一方面，
如果发生了高浓度气体，需尽快发出警报。
本仪器基于下图所示的思路发出气体警报，因此能做到更及时地对应。

＊注记关于4-20mA输出，由于测量周期结束后给予浓度值指示，因此警报等级的输出晚于警报接点输出的发出时间。

检测周期

检测周期

F.S.

ALARM
WARNING检测带变色变色 →浓度值转换变色 →浓度值转换

检测带变色

F.S.

ALARM
WARNING

测量时间

测量时间

测量时间

测量时间

WARNING发出WARNING
ALARM

浓度值指示

发出

发出

21

浓度值指示

5-2-2 警报动作时间图
警报正常

警报点

复位

ALARM

WARNING气体浓度
自我保持动作（标准）警报点警报灯(1st)警报接点(1st)警报灯(2nd)警报接点(2nd)

蜂鸣器停止
B.S.

B.S.

警报灯复位
L.R.

蜂鸣器
警报灯

(1st)

警报接点(1st)警报灯(2nd)警报接点(2nd)

蜂鸣器B.S.
警报灯(1st)警报接点(1st)警报灯(2nd)警报接点(2nd)

蜂鸣器
B.S.
警报灯(1st)警报接点(1st)警报灯(2nd)警报接点(2nd)

蜂鸣器自动复位动作（选项）警报灯(1st)警报接点(1st)警报灯(2nd)警报接点(2nd)

B.S.

B.S.

蜂鸣器22

L.R.

参考：根据负载条件不同，CR电路有时也可以装在接点侧。需确认负载的动作后装入。

SK：用于吸收浪涌的过滤器

VFP-300AGZS

SK

负 载

线圈

SK

警报接点V
电源

电源
转接继电器
（低压继电器）--对于感性负载的警报接点思路--

将感性负载用于警报接点时，会产生相当高的逆电动势，因此容易发生以下故障。
・・・・

继电器的接点部熔敷，接点停止动作。
高压进入指示计内部，某些电气部件会被破坏。
产生很大噪声，导致CPU失控，执行异常动作。
与感性负载无关，可能会有不可预测的噪声侵入接点，引发上述故障。
为了将此类故障防患于未然，需采取以下预防措施。

・ 原则上不使用电感性的负载。（绝对不使用荧光灯、电机等）・ 使用感性负载时，在外部放大接点。但是，外部继电器的线圈也属于感性负载，因此请使用低压（AC100V以内）驱动的继电器，用适当的电涌吸收器进行保护。
・ 直接控制较轻的感性负载时，必须用适当的浪涌保护器保护接点。
此时接点的额定规格为电阻负载的50%以下。
AC100V 0.25A以下
感性负载有以下例子。
・ 背光灯、外部继电器、蜂鸣器、警报器、风扇、荧光灯、电机等。

24

5-3-2 外部信号输出(4-20mA)
本仪器有支持LCD气体浓度显示的4-20mA输出。
FP-300AGZS 的 4-20mA 输出具有以下特点。
・ 数值在每个检测周期结束时更新。
・ 为检测周期时间内的气体浓度平均值。
・ 输出上一个检测周期的检测结果（平均值）。
下图为气体浓度每小时发生变化时的4-20mA的时间图。

测量周期

气体浓度变化

F.S.
2/3 F.S.
1/3 F.S.
020mA

4mA

4-20mA 输出

5-3-3 外部输出动作
输 出负载电阻：：经过时间

4-20mA输出
300Ω以下4mA ……………… 气体浓度的指示 020mA ……………… F.S.
22mA ……………… 超过F.S.的气体浓度
0.5mA ……………… 故障时
2.5mA ……………… 初始阶段接通电源后（至进入检测状态的期间）维护时

25

《维护模式》
检测模式
按 MODE 键 3 秒。

C5F8 :0.0ppm
TAPE VALID 60 DMODE警报测试进行警报测试。

BZ STOP⇔

C5F8 :0.0ppm
PL TEMP：500 c

BZ STOP⇔

C5F8 :0.0ppm
0.50L/min 25P

BZ STOP⇔

C5F8 :0.0ppm
POT ： 95

▽

↓↑

▽

↓↑▽

↓↑

▽

↓↑

▽

C5F8 :0.0ppm
PUMP CHECK ?
△光量确认显示
显示当前的光量水平。

↓↑C5F8 :0.0ppm
ADJ FLOW ?
△泵送率检查设置设置泵输出的 ON/OFF。正常使用中
请勿变更。

LCD对比度⇒ P.30C5F8 :0.0ppm
AUTO FLOW ?
△流量调整
进行流量传感器的设置。正常使用中
请勿变更。

BZ STOP⇔▽

C5F8 :0.0ppm
NOW FLOW ?
△流量自动调整设置设置流量自动调整的 ON/OFF。正常使用中请勿变更。

警报测试⇒ P.29▽

C5F8 :0.0ppm
NOW PL TEMP ?
△流量/泵送率显示显示当前的流量和泵输出。

↓↑

BZ STOP⇔

C5F8 :0.0ppm
PL TEMP SET ?
△热解器温度显示
显示当前的热解器温度。

↓↑C5F8 :0.0ppm
LCD CONTRAST ?
△热解器温度设置
设置热解器温度。正常使用中请勿变更。

MOC5F8 :0.0ppm
ALARM TEST？
△LCD 对比度调整
进行对比度调整。

↓↑DE↓↑▽

C5F8 :0.0ppm
NOW POT ?
△↓↑▽C5F8 :0.0ppm
ALARM TEST?

28

6-4-2 LCD对比度调整LCD对比度调整模式
按下BZ STOP键。

调整每次按△键，显示值都会变浓，每次按▽键，显示值都会变淡。
按 BZ STOP 键就会确定对比度，并返回菜单画面。

C5F8 :0ppm
LCD CONTRAST?

C5F8 :0ppm
CONTRAST SET

C5F8 :0ppm
LCD CONTRAST?

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6-5 推荐定期更换部件列表
No.

名称

检查周期

1

泵（不包括隔膜）

6个月

1～3

12

泵隔膜

6个月

1～2

13

泵支架

1年

3～614传感器头部

－－－

2～4

一套

5

内部配管（橡胶类）

6个月

1～3

一套

6

内部配管（特氟隆）

6个月

3～8一套

7

1年

3～61－－－

7～91－－－

7～91－－－

4～6

1

11过滤器支架（带O形圈）减速电机（盒座驱动用）减速电机（检测带卷取用）
开关调节器
（主机用）
开关调节器
（热解器用）－－－

2～4112

主电路板－－－

7～8113（端子排电路板）－－－7～8114开关电路板(LCD)

1年

7～8115

保险丝(3A)－－－

8216流量传感器

1年

5117

风扇

1年

2～4

118

SSR

－－－

7～8119

催化剂管6个月

1120

催化剂用Ｏ型圈

－－－3～6221

内置过滤器(Balston)－－－2～4122

外部滤尘器

6个月

6个月～1

18910

更换周期（年） 数量（个/台）＊注记
・ 以上更换周期是大致标准，可能根据使用条件而不同。
另外，该周期不表示保修期。更换时期可能根据定期检查的结果而改变。
・ 电路板部受电容器等的劣化影响。

31

7．异常时的处理
7-1 自我诊断功能本仪器具备各种自我诊断功能。
发现异常时会出现如下的消息和动作，因此请进行恢复作业。

自我诊断

LCD信息

POWER/TROUBLE指示灯

警报接点

传感器不良

FAIL = SENSOR

闪变警报状态

流量降低

FAIL = FLOW闪变警报状态

流量传感器故障

FAIL = FLOW SENS闪变警报状态

检测带破损FAIL = TAPE闪变警报状态

盒式气体检测带更换预告

CHANGE TAPE

闪变正常状态检测带用完

TAPE END

闪变警报状态

检测带不良

FAIL = TAPE LEVEL闪变警报状态

检测带设置不良TAPE SET MISS闪变警报状态

系统异常

FAIL = SYSTEM

闪变警报状态

电机异常FAIL = MOTOR闪变警报状态加热器异常（低温）FAIL = HEATER(L)闪变警报状态加热器异常（高温）

FAIL = HEATER(H)闪变警报状态风扇异常FAIL = FAN闪变警报状态

＊注记本仪器存在多种故障状态时，在LCD右侧显示〔→〕。
按前面板的〔 LAMP RESET 〕开关，就会显示其他的故障内容。

32

7-2 故障原因及处理方法
异常内容传感器不良
FAIL=SENSOR

主要原因

处理方法

传感器（检测部）断线及连接器脱落、
委托制造商进行修理 。
功率劣化等。
测量光路（LED、传感器）部分非常同上。
脏。

流量降低
FAIL=FLOW泵随着时间经过而劣化或气体通道 更换过滤器仍无法恢复时，委托制造有杂质堵塞。
商进行修理。

流量传感器故障
FAIL=FLOW SENS

流量传感器异常同上。

没装好盒式检测带时。

切实重新安装新的盒式检测带。

安装盒式检测带时损伤了检测带。

同上。

盒式气体检测带更换预告CHANGE TAPE

检测带快用完了。

换上新的盒式检测带。

检测带用完
TAPE END

检测带用完了。

换上新的盒式检测带。

检测带破损FAIL=TAPE检测带不良
FAIL=TAPE LEVEL

试图使用变色达到规定等级以上的检测带进行检测时。
换上新的盒式检测带。
使用已过了使用期限的检测带、使用放在冰箱外的检测带时。
光源(LED)的光量降低时

委托制造商进行修理 。
安装盒式检测带。取出盒式检测带，确认检测带的状态，如果没有问题，再次将其装入。
尝试重新接通电源。不复位时，委托制造商进行修理 。

检测带设置不良
TAPE SET MISS

未安装盒式检测带。存在某些安装错误。

系统异常
FAIL=SYSTEM

仪器的系统异常

电机异常
FAIL=MOTOR

减速电机的故障等

委托制造商进行修理 。

加热器不加热。
内部电源故障委托制造商进行修理 。

加热器周围的异常低温

移往环境温度高的场所。

暖机时间不足通电 1 小时以上仍不复位时，委托制造商进行修理。

加热器异常（低温）
FAIL=HEATER(L)加热器异常（高温）
FAIL=HEATER(H)风扇异常FAIL=FAN

加热器周围的异常过热。
移往环境温度低的场所或不会直接受
仪器安装场所的环境温度异常高时，幅射热影响的场所。
或受到电炉等的辐射热的影响时风扇故障
委托制造商进行修理 。
内部电源故障33异常内容无法接通电源FLOW 指示灯闪烁

主要原因

处理方法

电源端子脱落。

切实连接端子排。

保险丝断线。或未安装保险丝。

安装额定规格的保险丝。

供应电源电压不达标。

确认供应电源的电压。

根据采样条件（IN 和 OUT 侧产生压差），即使泵的驱动电平较低，也可以确保流量。
采样条件出现压差（即使泵驱动电平较低，也能确保流 在此状态下虽然可以使用，由于本仪量。
）
器的泵驱动电平诊断功能，FLOW 指示灯会闪烁。
请在确认使用状况后，采取措施。
流量传感器的性能可能在下降。
此时，即使流量显示为规定值，流量也可能无法进入 0.5L/min±10%的范
在流量传感器的定期诊断时检测到 围。
异常虽然未发生流量损失（故障警报）时
可以进行气体检测，但需要更换流量传感器才能恢复正常。请咨询本公司
营业部。

34

10．产品规格一览
标准规格
检测原理
待检测气体
浓度显示
检测量程检测带光电光度法C5F8/C4F6LCD 数字显示C5F8：0～5ppm
C4F6：0～5ppm
测量周期C5F8：20 秒
C4F6：20 秒
测量方法时间内累积值测量
检测方式
泵吸入式/热解式吸入流量
约 0.5L/min警报设置值C5F8：2ppm(1st)/4ppm(2nd)C4F6：2ppm(1st)/4ppm(2nd)电源显示
PW/TR 指示灯点亮（绿色）各种显示气体名称显示/检测带余量显示外部输出
气体浓度信号/气体警报接点/故障警报接点
警报精度（同一条件下）警报设置值的±30%以内
警报延迟时间（同一条件下） 给予相当于警报设置值 1.6 倍气体后 60 秒以内（1 个测量周期内。不包括配管延迟）气体警报类型
2 级警报（H-HH）
气体警报显示1st：WARNING 指示灯闪烁或点亮（橙色）、蜂鸣器
2nd：ALARM 指示灯闪烁或点亮（红色）、蜂鸣器气体警报动作
自我保持或自动复位气体警报接点
无电压接点各 1C
故障警报、自我诊断系统异常、传感器不良、流量降低、电机异常、检测带破损、盒式检测带更换预
告、检测带用完、检测带不良、检测带设置不良、加热器异常、风扇异常故障警报显示PW/TR 指示灯闪烁（绿色）、内容显示（LCD 信息）
故障警报动作自动复位故障警报接点无电压接点 1C
接点容量AC125V、0.5A（电阻负载）
传输方式模拟传输
传输规格DC4～20mA（非绝缘、负载电阻 300Ω以下）
AC100V～240V±10%・50/60Hz电源功耗
最高 150VA
连续使用时间
气体检测带使用期：最长 2 个月（无气体时）配管连接口
Rc1/4(O.Dφ6-1t、带特氟隆管用半联管节<PP>)
暖机时间约 20 分
使用温度范围
5～35℃（无骤变）使用湿度范围
30～90%Rh（无结露）
结构台式
外形尺寸
约 250(W)×198(H)×300(D)mm（突起部分除外）
重量约 9.5kg外观颜色曼塞尔 5Y8.4/0.5
标准附件・盒式气体检测带……………1 个・滤尘器………………………1 个・使用说明书…………………1 份另售品・盒式气体检测带
・滤尘器・保险丝36

修订记录版次0修 订
初版(PT5-0522)

发行日期
2020/11/2