セパレートタイプ
リニヤスケール
ST36

ユーザーズマニュアル− 取扱説明書 −ご使用前に本書をよくお読みのうえ、
正しくお使いください。お読みになった後は、いつでも見られる所に必ず保管してください。

No. 99MBE048B4
2021 年 1 月 1 日 発行（1）*99MBE048B4*

 商品名および型番の対応
商品名
セパレートタイプ リニヤスケール

型番
ST36

 本書に関するお願いとご注意
y 本書に記載の使用法に依らない使用により損害が発生した場合には、弊社は一切その責任を負いかねます。
y 本商品を貸与または譲渡するときは、本書を本商品に添付してください。
y 本書を紛失または損傷されたときは、すみやかに営業または代理店に連絡してください。
y 本商品の操作は、本書をよく読んで内容を理解してから行ってください。
y 特に、冒頭の「安全上のご注意」「取り扱い上のご注意」の内容を十分にご理解いただいてから本商品をお使いください。
y 本書の内容は 2021 年 1 月現在の情報に基づいています。
y 本書の内容の一部または全部を転載・複製することは固くお断りいたします。
y 本文中の会社名、団体名、商品名などは、各社、各団体の商標、または登録商標です。
©2019-2021 Mitutoyo Corporation. All rights reserved.

No. 99MBE048B

取扱説明書で使用されるマーク
本書で使用されているマークは大別すると 3 種類（注意喚起、行為の禁止・強制、参考情報・参照先）
です。また、マークには、汎用的に使用されるものと特定の内容を示すものがあります。特定の内容を示す場合には、マーク内に具体的な内容を示す絵が描かれます。

 潜在的な危険性に対する注意喚起を示すマークや文字危険取り扱いを誤った場合、「死亡または重傷を負う危険が切迫して生じることが想定される」内容を示します。

警告取り扱いを誤った場合、「死亡または重傷を負う可能性が想定される」内容を
示します。

注意

取り扱いを誤った場合、「軽傷を負う可能性が想定される」内容を示します。

注記

取り扱いを誤った場合、「物的損害の発生が想定される」内容を示します。

感電の危険性があることを示します。

 行為の禁止および行為の強制を示すマークや文字行為の禁止の具体的な内容を示します。

行為の強制の具体的な内容を示します。

接地が必要であることを示します。

 参考情報や参照先を示すマークや文字
Tips

本文に記載されている操作方法や手順を特定の条件に適用する場合の参考情報などを示します。

本書または外部取扱説明書に、参照するべき情報がある場合は、参照先を示します。
例：○○の詳細は、「1.2 各部の名称と機能」（2 ページ）iNo. 99MBE048B

安全上のご注意
本商品の性能を十分に発揮するために、次のことを守ってご使用ください。

注記• ご使用の前に必ず本書をよくお読みください。
• 本商品を機械本体に取り付ける場合には、制御装置の電源がオフであることを確認してから行ってください。
• 各接続ケーブルのコネクターのねじ類は、シールドを確実に行うためしっかり締めてください。
• 接触不良を起こす恐れがありますので、コネクター部の接続端子には絶対に手を触れないでください。

取り扱い上のご注意 本商品の用途や取り扱いについて
y 本商品は測定器です。
本商品を測定以外の目的に使用しないでください。
y 本商品は工業用商品です。
本商品を工業用以外の用途で使用しないでください。
y 本商品は精密機器です。
本商品の取り扱いには十分ご注意ください。また、ご使用時に各部に衝撃を加えたり、無理な力をかけたりしないでください。

 設置環境z 振動に対して本商品を機械本体に取り付ける場合は、なるべく振動の少ない場所に設置してください。
振動の多い場所で長時間使用されますと、内部の精密部品に不具合が生じ、性能に影響を及ぼす場合があります。

z 衝撃・防塵・防水に対して本商品にワークなどが当たり強い衝撃が加わったり、切削油や切粉が直接スケール本体にかかるのを防止するために、スケール本体全体を覆うようなカバーを用意してください。

z 周囲温度および湿度に対して本商品の動作環境は、温度 0 ℃〜 40 ℃、湿度 20 % 〜 80 %RH ですが、急激に温度や湿度が変化する場所での使用は避けてください。

ii

No. 99MBE048B

電磁両立性について
本商品は、欧州 EMC 指令に適合していますが、この要求を超える電磁妨害に対しては保証外となり、適切な対策が必要となります。
本商品は工業用商品です。住宅環境での使用は意図しておりません。住宅環境で使用すると、他の機器に対して電磁妨害が発生する可能性があります。その場合には電磁妨害に対する適切な対策が必要となります。

輸出および非居住者への技術提供にあたってのご注意
本商品は、「外国為替および外国貿易法の輸出貿易管理令別表第 1 もしくは外国為替令別表に定める
16 の項」によるキャッチオール規制貨物・キャッチオール規制技術（プログラムを含む）です。
本商品の輸出および日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になる場合があります。
また、本商品に機能を追加するためにオプションの追加や改造を行った場合、「外国為替および外国貿易法の輸出貿易管理令別表第 1 もしくは外国為替令別表に定める 1 から 15 の項」によるリスト規
制貨物、リスト規制技術（プログラムを含む）に該当となることがあります。その場合の本商品の輸出および日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になります。事前に弊社にご相談ください。

EU（欧州）諸国への輸出に関するご注意
EU 加盟国へ本商品を輸出される際は、英文の取扱説明書 ･EU 適合宣言書（場合によっては輸出国公用語の取扱説明書 ･EU 適合宣言書）が必要となる場合があります。詳細につきましては弊社にご相談ください。

日本国内で本商品を廃棄する際のご注意
y 事業者として廃棄する場合は、廃棄物の処理および清掃に関する法律（廃棄物処理法）等の関連法令に従い、適正な廃棄処理をしてください。
y 個人として廃棄する場合は、各自治体の廃棄ルールに従ってください。

iii

No. 99MBE048B

分別処理を行っている EU（欧州）諸国で電気・電子機器の廃棄をする際のご注意
商品または包装に記されたこのシンボルマークは、EU 諸国の規制である廃電気電子機器指令（WEEE 指令）に基づくもので、本商品を廃棄する時に一般家庭ゴミと一緒に捨てないようにするためのものです。
土壌に埋め立てする量を減らし環境への影響を低減するために、商品の再利用とリサイクルに
ご協力ください。
本商品の廃棄方法については、お買い上げになった小売店や代理店にお問い合わせください。

保証
本商品は、厳重な品質管理のもとで製造されていますが、お客様の正常な使用状態において、万一お買い上げの日から 1 年以内に故障した場合には、無償で修理させていただきます。お求めの代理店、または弊社営業へご連絡ください。
次のような場合には、保証期間内でも有償修理となります。
y 使用による通常の損耗によって生じた故障および損傷
y メンテナンス上、修理上や取り扱い上の誤り、および不当な改造による故障および損傷
y お買い上げ後の移動、落下や輸送による故障および損傷
y 火災、塩害、ガス害、異常電圧、雷サージおよび天災地変などによる故障および損傷
y ミツトヨによって指定または許可されているハードウェアやソフトウェア以外のハードウェアやソフトウェアと組み合わせて使用したことによる故障および損傷
y 高度に危険な活動に使用したことによる故障および損傷
本保証は日本国内において適切に設置され、本書に記載される指示に従って操作されている場合にのみ有効です。
本保証に規定される場合を除き、適用される法によって許される最大の範囲で、あらゆる性質の、すべての明示的・黙示的な条件、表明および保証（商品性に関する保証、特定の目的への適合性の保証、
非侵害の保証または取引過程、使用または取引実務から生じる保証を含みますが、これらに限定されません）は、排除されます。
お客様は、お客様が意図された結果を実現するために本商品を選択したことによって生ずるすべての結果についての全責任を引き受けるものとします。

iv

No. 99MBE048B

免責
ミツトヨ、その関連会社およびそのサプライヤーは、いかなる場合においても、収益の損失、利益の損失、もしくはデータの損失、または本商品の使用もしくは使用不能によって生じた特別損害、直接
損害、間接損害、派生的損害、付随的損害、または懲罰的損害について、原因および責任理論の如何にかかわらず、たとえミツトヨ、その関連会社またはそのサプライヤーが当該損害の可能性について通知を受けていた場合であっても、責任を負いません。
前記にもかかわらず、ミツトヨが、お客様による本商品の使用によって生じた損害または損失に対して責任があると判断された場合でも、いかなる場合においても、ミツトヨ、その関連会社およびそのサプライヤーのお客様に対する責任は、契約に基づくと、（過失を含む）不法行為とを問わず、本商品に対してお客様が支払った金額を超えないものとします。
国、州、または管轄地によっては、派生的損害または付随的損害に対する責任の排除または制限を認めていない場合があります。そのような国、州、または管轄地におけるミツトヨの責任は、法に認められる最大の範囲内で排除または制限されるものとします。

v

No. 99MBE048B

本書について 本書の位置付け、ドキュメントマップ
z リニヤスケール関連
ST36
セパレートタイプ リニヤスケール
ユーザーズマニュアル（本書） 本書の対象読者と目的
z 対象読者
ST36 セパレートタイプ リニヤスケールをはじめてご使用になる方を対象にしています。
図面を読んで指示を理解できることを前提とします。

z 目的
本書は、ST36 セパレートタイプ リニヤスケールをご理解いただくことを目的としています。

vi

No. 99MBE048B

目次
取扱説明書で使用されるマーク ……………………………………………………………… i
安全上のご注意 ………………………………………………………………………………… ii
取り扱い上のご注意 …………………………………………………………………………… ii
電磁両立性について …………………………………………………………………………… iii
輸出および非居住者への技術提供にあたってのご注意 …………………………………… iii
EU（欧州）諸国への輸出に関するご注意 …………………………………………………… iii
日本国内で本商品を廃棄する際のご注意 …………………………………………………… iii
分別処理を行っている EU（欧州）諸国で電気・電子機器の廃棄をする際のご注意 … iv
保証 ……………………………………………………………………………………………… iv
免責 ……………………………………………………………………………………………… v
本書について …………………………………………………………………………………… vi
目次 ………………………………………………………………………………………………vii
1

2

概要 ………………………………………………………………………………………… 1
1.1

特長 …………………………………………………………………………………… 1

1.2

システムの構成および各部の名称 ………………………………………………… 1

1.3

主な作業の流れ ……………………………………………………………………… 3

取り付けの準備 …………………………………………………………………………… 5
2.1

機種の確認 …………………………………………………………………………… 5

2.2

スケール取り付け面の設計 ………………………………………………………… 8

2.3
3

2.2.1

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（接着固定タイプ）のスケール取り付け ……………… 82.2.2

有効測定長 100 mm 〜 3000 mm のスケール取り付け ………………………………… 9

検出ヘッドブラケットの設計 ………………………………………………………10

機械本体への取り付け ……………………………………………………………………11
3.1

梱包内容の確認 ……………………………………………………………………… 11

3.2

スケールの取り付け …………………………………………………………………12

3.3

検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け …………………………………15

3.4

フィードバックケーブルの接続 ……………………………………………………16

3.5

検出ヘッドの信号調整 ………………………………………………………………17
3.5.1

検出ヘッドの取り付け位置調整 ……………………………………………………………17

3.5.2

信号の調整 ……………………………………………………………………………………20vii

No. 99MBE048B

3.6

4

ケーブルの処理と取り付け状態の確認 ……………………………………………23
3.6.1

ケーブル処理 …………………………………………………………………………………23

3.6.2

取り付けおよび調整状態の確認 ……………………………………………………………24

3.6.3

保護カバーの取り付け ………………………………………………………………………25

仕様 …………………………………………………………………………………………27
4.1

仕様一覧 ………………………………………………………………………………27

4.2出力回路と信号波形 …………………………………………………………………28

4.3

4.2.1

主信号形態：A タイプ、C タイプ …………………………………………………………28

4.2.2

主信号形態：B タイプ、C タイプ …………………………………………………………29

4.2.3

主信号形態：D タイプ ………………………………………………………………………30

ピンアサイン …………………………………………………………………………32
4.3.1

主信号形態：A タイプ ………………………………………………………………………32

4.3.2

主信号形態：B タイプ ………………………………………………………………………32

4.3.3

主信号形態：C タイプ ………………………………………………………………………33

4.3.4

主信号形態：D タイプ ………………………………………………………………………33

4.4

フィードバックケーブルの製作 ……………………………………………………34

4.5

アラーム機能 …………………………………………………………………………35
4.5.1

主信号形態：A タイプ ………………………………………………………………………35

4.5.2

主信号形態：B タイプ、C タイプ …………………………………………………………36

4.6

チェックアダプター（別売）による信号調整 ……………………………………38

4.7

ヘッドケーブルの取り外し …………………………………………………………40

4.8出力設定の変更 ………………………………………………………………………41

4.9

最大応答速度 …………………………………………………………………………43

4.10 外観・取り付け寸法図 ………………………………………………………………44
4.10.1 取り付け寸法図 ………………………………………………………………………………44
4.10.2 取り付け寸法表 ………………………………………………………………………………45

5

トラブルシューティング …………………………………………………………………47

営業の窓口 ………………………………………………………………………………… App-1
サービスの窓口 …………………………………………………………………………… App-2

viii

No. 99MBE048B

1 概要

1

概要

本章では、本商品の特長、各部の名称と機能、本商品を使用するうえでの主な作業の流れについて説
明します。

1.1

特長

光電式のセパレートタイプリニヤスケールは、ガラススケールの格子目盛を元に発光素子と受光素子によって光量変化を検出し、変化量を出力します。
半導体製造での露光装置、ワイヤーボンディング、ステージをはじめ、さまざまな機器の移動量を正確に捉えることができます。
本商品は、指示精度± 0.5 μm（有効測定長 300 mm まで）の高精度なセパレートタイプリニヤスケー
ルです。また、検出ヘッドの厚さ 11.5 mm の薄型化、最大有効測定長 3000 mm に対応し、大型装置にも使用可能です。さらに、信号異常時の LED 表示機能も備えています。
本商品には、以下の 4 種類の出力信号形態が用意されています。
y 二相正弦波y 二相方形波y 二相方形波／二相正弦波
y 差動 1 Vpp 正弦波

1.2

システムの構成および各部の名称

本商品の構成および各部の名称を以下に示します。

出力コネクター（付属品）

制御装置

ST36（メインスケール、検出ヘッド、I/F Box）

フィードバックケーブルおよび制御装置（お客様手配）1

No. 99MBE048B

1 概要

①

②

④
⑤
③

⑦
⑥

⑨

⑩

⑧
No.

名称

①
②
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩

メインスケール（有効測定長 10 mm 〜 80 mm）
メインスケール（有効測定長 100 mm 〜 3000 mm）
スケール押さえばね
検出ヘッド
ヘッドケーブル
I/F Box
出力コネクター
ギャップスペーサー
S.UP ランプPOWER ランプ2

No. 99MBE048B

1 概要

1.3

主な作業の流れ

本商品を使用するために行う作業として、事前準備と機械本体への取り付け作業の流れを下図に示します。

 事前準備機種の確認「2.1 機種の確認」（5 ページ）

スケール取り付け面の設計「2.2 スケール取り付け面の設計」（8 ページ）

検出ヘッドブラケットの設計「2.3 検出ヘッドブラケットの設計」（10 ページ） 機械本体への取り付け作業
梱包内容の確認

スケールの取り付け「3.1 梱包内容の確認」（11 ページ）

「3.2 スケールの取り付け」（12 ページ）

検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け「3.3 検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け」（15 ページ）

フィードバックケーブルの接続「3.4 フィードバックケーブルの接続」（16 ページ）

検出ヘッドの信号調整

ケーブルの処理と取り付け状態の確認「3.5 検出ヘッドの信号調整」（17 ページ）

「3.6 ケーブルの処理と取り付け状態の確認」（23 ページ）

3

No. 99MBE048B

1 概要

MEMO

4

No. 99MBE048B

2 取り付けの準備

2取り付けの準備

この章では、本商品を機械本体に取り付けるための事前準備について説明します。

2.1

機種の確認

ST36 は、主信号出力形態、有効測定長、スケール原点、分解能／最小エッジ間隔／応答速度、ディレクション、アラーム出力形態、ヘッドケーブル長、特殊符号により型番を選択します。
ご購入のスケールユニットが、目的の仕様に対応した機種であることを確認してください。

ST36 □−□□□□□−□□□−□−□
主信号出力形態

特殊符号

有効測定長

ヘッドケーブル長スケール原点アラーム出力形態
ディレクション

分解能／
最小エッジ間隔／応答速度

 主信号出力形態
記号

出力

A

二相正弦波

B

二相方形波＋外部リセット入力

C

二相方形波＋二相正弦波

D

差動 1 Vpp 正弦波

 有効測定長
記号

有効測定長（mm）

記号

有効測定長（mm）

0010

10

0400

400

0025

25

0500

500

0050

50

0600

600

0075

75

0700

700

0080

80

0800

800

0100

100

0900

900

0150

150

1000

1000

0200

200

1100

1100

0250

250

1200

1200

0300

300

1300

1300

0350

350

1400

1400

5

No. 99MBE048B

2 取り付けの準備
記号

有効測定長（mm）

記号

有効測定長（mm）

1500

1500

2400

2400

1600

1600

2500

2500

1700

1700

2600

2600

1800

1800

2800

2800

2000

2000

3000

3000

2200

2200

 スケール原点
有効測定長 10 mm 〜 80 mm

記号B

中央 1 点Z

特殊位置指定有効測定長 100 mm 〜 3000 mm

記号A

50 mm ピッチB

中央 1 点Z

特殊位置指定Tips• 有効測定長 10 mm 〜 80 mm のスケール原点は、B（中央 1 点）が標準仕様になります。
• 有効測定長 100 mm 〜 3000 mm のスケール原点は、A（50 mm ピッチ）が標準仕様になります。

 分解能／最小エッジ間隔／応答速度125

最小エッジ間隔（ns）

250

500

1000

分解能（μm）
0.01

A：72

B：36

C：18

D：9

0.02

E：144

F：72

G：36

H：18

0.05

J：360

K：180

L：90

M：45

0.1

N：720

P：360

Q：180

R：90

−

Z：主信号出力形態が A（二相正弦波）または D（差動 1 Vpp 正弦波）の場合、最大応答速度は正弦波 –3 dB 減衰時で 1200 mm/s となります。

Tips• 記号 A 〜 R の数字は、最大応答速度（mm/s）を表します。
• 最小エッジ間隔は、使用条件により 0 % 〜 –10 % の範囲でばらつきます。

6

No. 99MBE048B

2 取り付けの準備

 ディレクション
記号

内容

1

正：PA 進相2

逆：PB 進相Z

主信号出力形態が A（二相正弦波）または D（差動 1 Vpp 正弦波）の場合、ディレクションは設定されません。

 アラーム出力形態
記号

内容

S

アラーム信号H

ハイインピーダンス

Z

主信号出力形態が A（二相正弦波）または D（差動 1 Vpp 正弦波）の場合、アラーム出力形態は設定されません。

 ヘッドケーブル長
記号

長さ

A

1 m（高屈曲仕様）

B

0.5 m（高屈曲仕様）

Z

特殊長さ指定（最大 2.5 m）

 特殊符号記号

内容なし

標準選択仕様Z

特別仕様

7

No. 99MBE048B

2 取り付けの準備

2.2

スケール取り付け面の設計
メインスケール背面より外乱光が入ると誤動作の原因になります。下図のように外乱光が入らないよう、メインスケール取り付け部を設計してください。

外乱光メインスケール
検出ヘッド

2.2.1

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（接着固定タイプ）のスケール
取り付け

有効測定長 10 mm 〜 80 mm（接着固定タイプ）のメインスケールは接着剤で固定して取り付けます。
「4.10.1 取り付け寸法図」（44 ページ）を参考に、メインスケール取り付け部は下図のように設計してください。

スケール取付基準面

接着剤塗布部

メインスケール
G マシンガイド

8

No. 99MBE048B

2 取り付けの準備

Tips
メンテナンスなどで、有効測定長 10 mm 〜 80 mm（接着固定タイプ）のメインスケールを再度取り付ける可能性がある場合は、下図のようなスケールブラケットにメインスケールを貼り付け、ボルトで固定するようにしてください。

2.2.2

有効測定長 100 mm 〜 3000 mm のスケール取り付け

有効測定長 100 mm 〜 3000 mm のメインスケールは、スケール押さえばねで固定して取り付けます。
「4.10.1 取り付け寸法図」（44 ページ）を参考に、スケール押さえばね A とスケール押さえばね B のボルトを締めるための作業スペースを確保してください。

スケール押さえばね B

スケール押さえばね B

スケール押さえばね A

9

No. 99MBE048B

2 取り付けの準備

2.3

検出ヘッドブラケットの設計• 下図を参考に、検出ヘッドブラケットを設計してください。検出ヘッドの位置調整（モアレ／ギャッ
プ）ができる形状とします。また、検出ヘッド固定ねじ穴は、検出ヘッドの位置調整を容易にするため、長穴にすることを推奨します。
M3（ボルト長さ＝ブラケット厚さ t+4mm）

5以

上
1（

参

32

考

値

）

）

値

考

参

3.4（

t（6 以上）ギャップ方向

ス

ケ

ー

ル

取

付

面

と

検

出

器

取

付

面

の

平

行

度

モアレ方向

32

（
t 6

以

上

）

5 以上

3.4（参考値）

1（参考値）
M3（ボルト長さ＝ブラケット厚さ t+4mm）• 検出ヘッドの取り付け面とスケール取り付け面の平行度が 0.03 mm 以内になるように設計してく
ださい。

10

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

3

機械本体への取り付け

この章では、本商品を機械本体に取り付ける手順、方法、注意事項について説明します。

3.1

梱包内容の確認

取り付け作業を開始する前に、次の部品がそろっていることを確認してください。
なお、購入されたスケールが指定の内容でない場合や不明点などがある場合には、お求めの代理店または弊社営業までご連絡ください。
名称

数量メインスケール

1

検出ヘッド＋ I/F Box1

備考
有効測定長を確認してください。
有効測定長 100 mm 以上のスケールに付属しま

スケール押さえばねす。個数は 「4.10.2 取り付け寸法表」で確認
してください。
出力コネクター1

ギャップスペーサー

1

シリアル番号シール

1

有効測定長 10 mm 〜 80 mm のスケールに付属します。

ユーザーズマニュアル

1

本書

精度表

1

保証書

1
• 検出ヘッドを取り付けるため、以下の部品を用意してください。
部品名

個数

六角穴付きボルト（M3 ×（ブラケット厚
2個
さ＋ 4 mm）以内）• 有効測定長 100 mm 〜 3000 mm のスケールを取り付ける場合、以下の部品を用意してください。
部品名

個数

六角穴付きボルト（M4 ×下穴寸法以内） スケール押さえばね数× 2 個
平座金（呼び径 4）

スケール押さえばね数× 2 個

ばね座金（呼び径 4）

スケール押さえばね数× 2 個

11

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

3.2

スケールの取り付け
注記

メインスケールはガラス製です。傷や破損に十分注意して取り扱ってください。
• メインスケールに汚れ・埃などが付着していると、誤動作や精度劣化の原因となります。アルコー
ルなどを浸した柔らかい布、またはクリーニングペーパーで汚れや埃を十分に拭き取っておいてください。機械装置のスケール取り付け面も、同様にアルコールなどで十分に清掃しておいてください。
• 有効測定長 10 mm 〜 80 mm（接着固定タイプ）のメインスケールの接着には弾性タイプの接着剤を使用してください。信越シリコーン社製 KE441T を推奨します。

Tips• メインスケールは、取り付ける部材とともに十分に温度慣らしをしたうえで固定してください。本商品は 20°C で精度保証をしています。温度慣らしの目安は、メインスケールおよびスケールを取り付ける部材ともに
20 °C で約 8 時間以上です。温度慣らし後、取り付け作業を実施してください。
• 温度慣らしを含めた温度環境が不十分な場合、所定の指示精度を得られないことがあります。

1 スケール取り付け面が下図のとおりにできていることを、てこ式インジケーターまたは電気マイクロメーターで確認する• 機械装置の運動軸に対するメインスケール取り付け面の平行度を確認してください。
• 平行度が不十分な場合は、機械装置を再調整してください。

G はマシンガイド

12

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

2 スケール保護テープを剥がす
メインスケール

スケール保護テープを剥がす

3 メインスケールを取り付ける• メインスケールは、目盛表面側（斜めから光を当てると虹色に見える面）に検出ヘッドが配置されるように取り付けます。
• ミツトヨロゴがあるスケールでは、検出ヘッド側から見てロゴが正しい向きとなる配置がメイン
スケールの正しい取り付け方向です。

メインスケール

Mitutoyo ロゴが見える方向
検出ヘッド• 有効測定長 10 mm 〜 80 mm（接着固定タイプ）のメインスケールでは、設置機械のスケール取り
付け部付近にシリアル番号シールを貼付してください。

13

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

 スケール押さえばねによる取り付け
1 スケール押さえばね A でメインスケール中央を仮固定する

スケール押さえばね B

スケール押さえばね B

スケール押さえばね A

2 スケール押さえばね B でメインスケールを仮固定する
スケール押さえばね B は、メインスケール中央に近いものから順に仮固定します。

3 1 時間〜 2 時間、温度慣らしをする
4 メインスケール中央から両端に向かって、順にスケール押さえばねのボルトを本締めする
スケール押さえばねのボルトの推奨締め付けトルクは、1.5 N･m です。

14

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

3.3

検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け
注記

取り付け作業中に I/F Box のピン部などに直接触れないように注意してください。静電気によって電子部品が破損することがあります。取り付け作業では静電気対策を十分に行ってください。
検出ヘッドを取り付けて使用する際には、装着するブラケットに加え、機械本体を電気的に確実に接地した状態にしてください。接地せずに使用した場合、外部ノイズの影響を受ける場合があります。
また、ブラケットの材質などで接地が難しい場合は、ヘッドケーブルのシールド部をアースバーなど
で確実に接地して使用してください。
アースバーなど

シールド線（網線）
ケーブルのビニール被覆を一部カット

ヘッドケーブル例）アースバー使用図

1 検出ヘッドの検出面に貼られている保護テープ（青色）を剥がす

保護テープ
検出ヘッド裏面

15

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

2 検出ヘッドを検出ヘッドブラケットに取り付ける
下図のようにギャップスペーサーを使用して、検出ヘッドとメインスケールの間の距離（ギャップ）
を 0.6 mm に調整してください。

ピッチ方向
ギャップスペーサー（付属）M3ギャップ方向

ラテラル
方向

ロール方向
検出ヘッド切り欠き部

3 検出ヘッドとメインスケールの平行度を、てこ式インジケーターまたは電気マイクロメーターで確認する
検出ヘッドとメインスケールの平行度を 0.03 mm 以下にしてください。

4 検出ヘッドを固定する• 検出ヘッド固定ねじの推奨締め付けトルクは 1.14 N･m 〜 1.5 N･m です。
• 検出ヘッドを固定した後、検出ヘッドのガラス面とメインスケールの間の距離（ギャップ）が0.6 mm であることをギャップスペーサーで確認してください。

3.4

フィードバックケーブルの接続• フィードバックケーブルによって制御装置にスケールユニットを接続する前には、制御装置の電源を必ずオフにしてください。
• フィードバックケーブルは、お客様の手配になります。 「4.4 フィードバックケーブルの製作」（34 ページ）を参照して、機種に対応したケ−ブルを準備してください。

1 I/F Box と制御装置をフィードバックケーブルで接続する
2 制御装置の電源をオンにする»

I/F Box の POWER ランプが点灯

16

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

3.5

検出ヘッドの信号調整

メインスケール、検出ヘッドを取り付け、フィードバックケーブルを接続した後、検出ヘッドの信号調整を行います。

3.5.1

検出ヘッドの取り付け位置調整

1 ねじ 2 本を外し、I/F Box カバーを取り外す

2 オシロスコープを以下のように設定する
項目

設定内容

測定電圧レンジ

0.5 V/div（10:1 プローブ使用時は 50 mV/div）

走査モード

X-Y

3 オシロスコープの 2 本のプローブを I/F Box の Vref、GND プローブを I/F Box の GND にそれぞれクリッ
プする 主信号出力形態：A（二相正弦波）
VR3:Zpp
VR2:Zdc

TP3:VrefVR1:ø A, B

TP5:GND

TP2: øB
TP1: øA

TP8:ø Z

17

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

 主信号出力形態：B（二相方形波＋外部リセット入力）、C（二相方形波＋二相正弦波）TP4: ø A

TP2:GND

TP1:+5V

TP7:VrefTP5: ø B
VR4:Zdc
VR5:Zpp
VR1: ø A, B

TP6: ø Z

 主信号出力形態：D（差動 1 Vpp 正弦波）
TP8: ø A
TP9: ø B

TP1:+5V

TP2:GND
TP3:Vref

VR3:Zpp
VR2:Zdc
VR1: ø A, B

TP6: ø Z

4 オシロスコープの輝点が中央になるよう、水平／垂直ポジションつまみを調整する
5 ch1 のプローブを øA（A 相）、ch2 のプローブを øB（B 相）にクリップする
6 I/F Box の出力信号が以下の規定値内であることを確認する
Tips
規定値外であった場合には、メインスケールまたは検出ヘッドを動かしながら検出ヘッドのモアレ方向を調整
してください。
ギャップ方向

検出ヘッド
モアレ方向

18

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け
項目

リサージュ波形

振幅電圧（Vpp）

B相

B 相 Vp-p

規定値

備考

2.0 ± 0.2 V

ギャップ（検出ヘッドとメ
インスケールのすきま）量および平行度、モアレ角の調整誤差により変化します。

A相A 相 Vp-p[Vref] ± 0.1 V 上記と同じ
A 相 VDCB 相 VDCA 相 Vref

中心電圧（VDC）

B 相 Vref0 ± 2°ｔ
B 相 VDC

上記と同じ

B 相 Vp-p

A 相 VDC

位相誤差（ø）ｓ
A 相 Vp-p

測定値が規定値内に収まらない場合は、ギャップを微調整します（ギャップ：0.6 ± 0.1 mm）。

Tips
• 検出ヘッドと I/F Box は、出荷時に出力信号が 1.8 V 〜 2.2 V になるよう調整されています。
• 振幅電圧（Vpp）は、できます。

「3.5.2 信号の調整」（20 ページ）で示す電気的な調整によって、さらに微調整• 位相誤差 ø は上図の t/s（長径と短径の比率）より求めます。
位相誤差
t/s

0°

2°

4°

6°

8°

1.000

0.966

0.933

0.901

0.871

10°
0.841

• 測定中はオシロスコープのドリフトに注意してください。

7 検出ヘッドを固定する
8 I/F Box からの出力信号が規定値内であることを確認する

19

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

3.5.2

信号の調整

 メイン信号の調整
1 オシロスコープの 2 本のプローブを I/F Box の Vref、GND プローブを I/F Box の GND にそれぞれクリッ
プする

2 オシロスコープの輝点が中央になるよう、水平／垂直ポジションつまみを調整する
3 ch1 のプローブを øA（A 相）、ch2 のプローブを øB（B 相）にクリップする
4 検出ヘッドを動かしながら、基板上のボリューム VR1 でメイン信号（振幅電圧）を調整する

A 相へ B 相へ

ch1 ch2

Ａ Ｂ

Tips• 主信号出力形態によって I/F Box の基板上のチェックピン（TP）およびボリューム（VR1）の位置が異なります。
• 測定中はオシロスコープのドリフトに注意してください。
振幅電圧、中心電圧、位相誤差の規定値については、
ページ）

20

「3.5.1 検出ヘッドの取り付け位置調整」（17

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

 原点信号の調整
スケールに複数の原点がある場合は、使用する原点（1 か所）で原点信号を調整してください。

1 オシロスコープを以下のように設定する
項目

設定内容

測定電圧レンジ

0.5 V/div DC モード（10:1 プローブ使用時は 50
mV/div）

走査モード

T-Y 20 ms

2 I/F Box の基板上のチェックピン øZ にオシロスコープの ch1 のプローブ、チェックピン GND に GND
プローブをそれぞれクリップする

3 メインスケールのスケール原点マーク近くに、検出ヘッドの中央を移動する

スケール原点マーク

4 スケールまたは検出ヘッドを測定方向に移動する
検出ヘッドの中央付近がスケール原点マークを通過した際に、原点信号波形がオシロスコープの画面に表示
ピークレベル≒ 2.2 〜 2.4V»

ノイズレベル≒ 2.5V

5 基板上のボリュームで、原点信号波形のノイズレベルを約 2.5 V に調整する
主信号出力形態調整するボリューム

A（二相正弦波）

VR2

B（二相方形波＋外部リセット入力）

VR4

C（二相方形波＋二相正弦波）

VR4

D（差動 1 Vpp 正弦波）

VR2

21

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

6 基板上のボリュームで、原点信号波形のピークレベルを約 2.2 V に調整する
主信号出力形態調整するボリューム

A（二相正弦波）

VR3

B（二相方形波＋外部リセット入力）

VR5

C（二相方形波＋二相正弦波）

VR5

D（差動 1 Vpp 正弦波）

VR3

 主信号出力形態 D での原点信号の調整• 主信号出力形態が D（差動 1 Vpp 正弦波）のスケールユニットでは、 「原点信号の調整」（21ページ）の調整作業に加えて、以下に示す原点信号の調整が必要です。
• 原点信号の調整は、使用する原点（1 か所）、原点復帰方法で行ってください。
• スケールユニットの取り付け、または他の調整を行った場合には、必ず原点信号を再調整してください。

1 I/F Box の基板上のディップスイッチ DPSW1 のスイッチ 3 をオンにする
DPSW1

黒部が ON 状態を
示す

LED4

LED2

LED3

2 スケールまたは検出ヘッドを原点復帰方向にゆっくりと（20 mm/s 以下）移動する
3 スケール原点マークを通過した際に、LED4 が点灯し、LED2 および LED3 が点灯／消灯することを確認する
スケールに複数の原点がある場合は、使用する原点（1 か所）を通過させてください。

4 LED2 および LED3 の点灯／消灯の状態により、ディップスイッチ DPSW1 のスイッチ 1 および 2 を
設定する

22

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け
LED の点灯／消灯状態
LED2

LED3

DPSW1 の設定
スイッチ 1スイッチ 2

点灯

点灯

オン

オン

点灯

消灯

オン

オフ

消灯

点灯

オフ

オン

消灯

消灯

オフ

オフ

Tips
• ディップスイッチ DPSW1 のスイッチ 4 はオンで固定です。
• 出荷時は、スイッチ 1 がオフ、スイッチ 2 がオンに設定されています。

5 ディップスイッチ DPSW1 のスイッチ 3 をオフにする

3.6

ケーブルの処理と取り付け状態の確認

3.6.1

ケーブル処理信号調整を終えた後、I/F Box およびフィードバックケーブルを固定してください。

1 ケーブルのねじれや曲がりに注意し、ケーブルを配置する
注記
フィードバックケーブルは、電気的なノイズ源となる他のケーブル類と束ねたり、大電流をオン／オフするリレーの近くに配置すると、ノイズにより誤作動することがあります。

2 I/F Box およびフィードバックケーブルをケーブルクランプなどで固定する
機械装置の稼働時に検出ヘッドに力が加わらないように、検出ヘッドとともに移動する近傍の部材にフィードバックケーブルをクランプしてください。

I/F Box の筐体は、必ず機械本体にねじで固定してください。

23

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

3.6.2

取り付けおよび調整状態の確認

I/F Box およびフィードバックケーブルの固定を終えた後、メインスケールおよび検出ヘッドの取り付けおよび調整状態を再確認します。

Tips
検出ヘッドがメインスケールまたは機械装置の部品と接触・干渉しないことを確認しながら、作業を進めてください。

1 各部のねじ類、クランプなどに締め忘れがないことを確認する
2 制御装置の電源をオフにし、5 秒〜 10 秒程度待って再度オンにする
Tips
制御装置の電源をオフにすることで、調整作業中に生じたアラームを解除します。

3 I/F Box 基板の +5 V チェックピンと GND チェックピンで、入力電源電圧が 5 V ± 5 % であることを
確認する
Tips
主信号出力形態が A（二相正弦波）の I/F Box では、出力コネクターの 3、4 番ピンで入力電源電圧を確認してください。
VR3:Zpp
VR2:Zdc

TP3:Vref
4 番ピン
3 番ピン
VR1:ø A, B

TP5:GND

TP2: øB
TP1: øA

TP8:ø Z

4 機械装置の移動範囲全域で、出力信号が規定値内であることを確認する
Tips
規定値を満足していない場合、メインスケールの汚れ、検出ヘッドの位置微調整、信号の電気的微調整などを再確認してください。

5 機械装置の移動範囲全域で、制御装置のアラームが発生しないことを確認する
6 オシロスコープのプローブを取り外す
7 I/F Box カバーをねじ 2 本で取り付ける

24

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

3.6.3

保護カバーの取り付け

メインスケールおよび検出ヘッドの取り付けおよび調整状態の再確認を終えた後、保護カバーを取り付けます。
• 保護カバーが機械装置の一部やスケールユニットのケーブルなどに接触しないようにしてください。
• 機械装置の移動範囲全域で、上記の問題がないことを確認してください。

25

No. 99MBE048B

3 機械本体への取り付け

MEMO

26

No. 99MBE048B

4 仕様

4

仕様

4.1

仕様一覧
項目

仕様

検出方式

光学式反射形リニアエンコーダー

メインスケール格子ピッチ

8 μm

主信号出力ピッチ

4 μm

出力信号形態

A：二相正弦波
B：二相方形波（リセット入力仕様）
C：二相方形波、二相正弦波
D：差動 1 Vpp 正弦波

有効測定長10 mm 〜 3000 mm

指示精度（20 °C ）有効測定長10 mm 〜 300 mm：± 0.5 μm

有効測定長350 mm 〜 500 mm：± 1.0 μm

有効測定長600 mm 〜 1000 mm：± 2.0 μm

有効測定長1100 mm 〜 3000 mm：± 2.0 μm/m

–6

線膨張係数

≈ 8 × 10 /K

最大応答速度1200 mm/s（二相正弦波出力時）
二相方形波出力の場合、分解能により以下のように変わります（最小エッジ間隔 125 ns の場合）。
0.1 μm：720 mm/s
0.05 μm：360 mm/s
0.02 μm：144 mm/s
0.01 μm：72 mm/s
※最小エッジ間隔が 2 倍になると、最大応答速度は 1/2 になります。

スケール原点あり（50 mm ピッチ、有効測定長 10 mm 〜 80 mm は中央 1 点）

スケール原点検出時の応答速度

20 mm/s

供給電源電圧DC5 V ± 5 %

最大消費電流A：120 mA
B：250 mA
C：250 mA
D：190 mA

使用温度範囲

0 °C 〜 40 °C

保存温度範囲–20 °C 〜 60 °C

使用・保存湿度範囲

20 %RH 〜 80 %RH（ただし結露なきこと）

アラーム表示機能

スケールユニットのアラームを I/F Box の LED で表示

CE マーキング

EMC 指令：EN 61326-1
Immunity test requirement：Clause6.2 Table 2
Emission limit：Class B
RoHS 指令：EN IEC 63000

27

No. 99MBE048B

4 仕様

4.2

出力回路と信号波形

4.2.1

主信号形態：A タイプ、C タイプ

 出力回路正弦波出力信号（A 相、B 相）および基準信号の出力回路は下図のとおりです。
A 相 , B 相（正弦波）出力回路

A相,B相

基準信号（Vref）出力回路

 信号波形
正弦波出力信号（A 相、B 相）の波形は下図のとおりです。

Vref

A相
出力信号ピッチ 4μm

B相

Vref

位相差 90°（Typ）

Vref（Vcc/2 ≒ 2.5 V）

28

No. 99MBE048B

4 仕様

4.2.2

主信号形態：B タイプ、C タイプ

 出力回路方形波出力信号（A 相、B 相）、原点信号、アラーム信号の出力回路は下図のとおりです。

差動ラインドライバー
AM26C31 相当

 信号波形
方形波出力信号（A 相、B 相）、原点信号の波形は下図のとおりです。
VOH
PA

VOL

PA
PB
PB
td
PZ

Z 相パルス幅200 ± 100μm

PZ

VOH=2.5 V（最小）VOL=0.5 V（最大）td：エッジ間隔、分解能

Tips• PZ 信号と PA 信号（または PB 信号）との位相差は関係しません。
• 上図は、I/F Box のディップスイッチ DPSW2 のスイッチ 8 がオンで、検出ヘッドが以下のように移動した際の波形です。
検出ヘッド移動方向
原点トラックヘッドケーブル

スケールトラック29

No. 99MBE048B

4 仕様

4.2.3

主信号形態：D タイプ

 出力回路差動 1 Vpp 正弦波出力信号（A 相、XA 相、B 相、XB 相）、原点信号（Z 相、XZ 相）の出力回路および推奨受信回路は下図のとおりです。
推奨受信回路スケールユニット出力回路
ケーブル（ツイスト仕様シールドケーブル）

A, B, Z 相
A, B, Z 相
TH4130（相当品）

RC4157（相当品）
XA, XB, XZ 相

30

No. 99MBE048B

4 仕様

 信号波形
差動 1 Vpp 正弦波出力信号（A 相、XA 相、B 相、XB 相）、原点信号（Z 相、XZ 相）の波形は下図のとおりです。
出力信号ピッチ λ=4 μm=360°

A相

XA 相

B相

位相差 90°± 10°

XB 相

Z相

XZ 相

31

No. 99MBE048B

4 仕様

4.3

ピンアサイン

4.3.1

主信号形態：A タイプ
1

9

8

15

ピン No.

信号名

1

0 V（GND）

2

0 V（GND）

3+5 V（Vcc）

4+5 V（Vcc）

5

A 相（正弦波）

6

B 相（正弦波）

7、10

Vref（≒ Vcc/2）

8

PZ（原点信号パルス）

9、11 〜 14

N.C.

15

F.G

Tips
適合コネクター（付属品）は、D15-403N-110（テクニカル電子製）です。

4.3.2

主信号形態：B タイプ
1

9

8

15

ピン No.

信号名

1

0 V（GND）

2

0 V（GND）

3+5 V（Vcc）

4+5 V（Vcc）

5

リセット入力 AL（アノード）

6

リセット入力 AL（カソード）

7

Vref（≒ Vcc/2）

8

PZ（原点信号パルス _ 正相）

9

ALM（アラーム）

10

PA（主信号パルス _ 正相）

11

PA（主信号パルス _ 逆相）

12

PB（主信号パルス _ 正相）

13

PB（主信号パルス _ 逆相）

14

PZ（原点信号パルス _ 逆相）

15

F.G

Tips
適合コネクター（付属品）は、D15-403N-110（テクニカル電子製）です。

32

No. 99MBE048B

4 仕様

4.3.3

主信号形態：C タイプ
1

9

8

15

ピン No.

信号名

1

0 V（GND）

2

0 V（GND）

3+5 V（Vcc）

4+5 V（Vcc）

5

A 相（正弦波）

6

B 相（正弦波）

7

Vref（≒ Vcc/2）

8

PZ（原点信号パルス _ 正相）

9

ALM（アラーム）

10

PA（主信号パルス _ 正相）

11

PA（主信号パルス _ 逆相）

12

PB（主信号パルス _ 正相）

13

PB（主信号パルス _ 逆相）

14

PZ（原点信号パルス _ 逆相）

15

F.G

Tips
適合コネクター（付属品）は、D15-403N-110（テクニカル電子製）です。

4.3.4

主信号形態：D タイプ
1

9

8

15

ピン No.

信号名

1

XA 相（正弦波）

2

XB 相（正弦波）

3

Z 相（パルス）

4+5 V（Vcc）

5+5 V（Vcc）

6

N.C.

7

N.C.

8

N.C.

9

A 相（正弦波）

10

B 相（正弦波）

11

XZ 相（パルス）

120 V（GND）

13

0 V（GND）

14

N.C.

15

F.G

Tips
適合コネクター（付属品）は、D15-403N-150 インチねじ仕様（テクニカル電子製）です。

33

No. 99MBE048B

4 仕様

4.4

フィードバックケーブルの製作
フィードバックケーブルには、以下の条件を満たすものを使用してください。
• シールドケーブルを使用してください。
• シールド（FG）は、付属コネクターの金属ケースにクランプしてください。困難な場合はピン番
号 15 へ接続してください。
• I/F Box 側での電源電圧が 4.75 V 以上となるようにケーブルインピーダンスおよび長さを設定してください。
Vsp −（Rc ÷ 2）× L × 2 × 0.25 ≧ 4.75 V
Vsp：制御装置からの供給電源電圧（Volts）
Rc：ケーブルの電源・グランド線インピーダンス（Ω/m）
L：ケーブルの長さ（m）
0.25：スケールユニットの最大消費電流（A）

主信号出力形態が B（二相方形波＋外部リセット入力）または C（二相方形波＋二相正弦波）のスケー
ルユニットで二相方形波を使用する場合、以下のように I/F Box と制御装置を接続してください。
I/F Box 側

制御装置側
接続ケーブル
PA

A相

PA
PB

B相

PB
PZ

Z相

PZ

R2
11
R1

R1

R1

R1

12
R2
13

ラインドライバー
AM26C31: TI

+5V

8
R2
14
4.7 kΩ

ALM

+5V

R1
10

R1

1.8 kΩ

9

4.7 kΩ
+5V+5V

ラインレシーバー
AM26C32: TI
R1=560 Ω
R2=110 Ω

3
4
1
2
15

シールド

34

No. 99MBE048B

4 仕様• A 相／ B 相（PA，PA，PB，PB）に対する断線検出機能が制御装置にある場合は、ALM 出力を接続する必要はありません。この場合は、I/F Box の基板上のディップスイッチ DPSW2 でスイッチ
7 をオンにしハイインピーダンスモードに設定します。
• 断線検出機能が制御装置にない、または A 相／ B 相出力をハイインピーダンス状態にすることがシステム上問題になる場合は、ALM 出力を接続してください。この場合、I/F Box の基板上のディッ
プスイッチ DPSW2 でスイッチ 7 をオフにし、アラーム信号を出力するようにしてください。
I/F Box の基板上のディップスイッチの詳細は、

4.5

アラーム機能4.5.1

主信号形態：A タイプ「4.8 出力設定の変更」（41 ページ）

 検出内容I/F Box への入力正弦波信号の波形が以下の設定範囲であった場合、異常信号を検出したとして
POWER ランプが赤色で点灯します。
領域

POWER ランプ

設定範囲（目安）

正常

緑色で点灯

2.0 ± 0.2 Vpp

異常

赤色で点灯

1.1 Vpp 以下

Tips
上記の設定範囲は、電源電圧が 5.0 V のときの値です。電源電圧が変動した場合、入力範囲とともに電圧比例で設定範囲も変動します。

異常領域

 アラームの解除
1 異常信号となった原因を解消する
2 制御装置の電源をオフにし、10 秒以上待って再度電源をオンにする

35

No. 99MBE048B

4 仕様

4.5.2

主信号形態：B タイプ、C タイプ

 検出内容z オーバースピード
出力パルスの最小エッジ間隔および分割数の設定によって決められた最大応答速度を超過した場合、
POWER ランプが赤色で点灯します。

z 異常信号検出
I/F Box への入力正弦波信号の波形が注意領域または異常領域となった場合、POWER ランプおよびS.UP（セットアップ）ランプが赤色で点滅／点灯します。
S.UP ランプ領域

POWER ランプ

アラーム出力

正常

緑色で点灯

緑色で点灯

なし

注意

赤色で点滅

緑色で点灯

なし

異常

消灯

赤色で点灯

あり

Tips
• 注意領域で使用した場合、アラームにはなりませんが、分割精度が低下します。
• 異常信号検出では、以下のように入力正弦波信号の波形の大きさ（大きすぎる／小さすぎる）を、正常、注意、異常の 3 つの領域に分け LED で表示しています。
B相
異常
領域

正常
領域

A相
注意
領域

理想リサージュ
2.5 V（Vref）± 0.1 V• 注意領域、異常領域の設定範囲は、以下のとおりです。
領域

設定範囲（目安）

注意

0.9 Vpp 以下または 2.7 Vpp 以上

異常

0.5 Vpp 以下または 2.9 Vpp 以上• 上記の設定範囲は、電源電圧が 5.0 V のときの値です。電源電圧が変動した場合、入力範囲とともに電圧比
例で設定範囲も変動します。

36

No. 99MBE048B

4 仕様

 アラーム時の動作項目

ラインドライバー出力

動作

すべての出力がハイインピーダンス（電ハイインピーダンスモードがオン
気的に H でも L でもなく、浮いた状態）の場合になります。
AL 信号（アクティブ L）を出力します。
ハイインピーダンスモードがオフ
ただし、他の出力（PA、PA、PB、PB、の場合
PZ、PZ）も継続して出力されます。
POWER ランプが緑色から赤色に変わります。

アラームランプ アラームの解除
z 電源の再投入
1 アラームとなった原因を解消する
2 制御装置の電源をオフにし、10 秒以上待って再度電源をオンにする

z アラームリセット信号
3 アラームとなった原因を解消する
4 アラームリセット信号（パルス幅 10 ms 以上）を入力する
Tips• アラームリセット信号によるアラームの解除は、主信号出力形態が B（二相方形波＋外部リセット入力）の場合のみ可能です。
• アラームリセット入力回路は、電流が 3 mA 〜 10 mA になるように接続してください。
• 本商品内部に抵抗（1.2 kΩ）を内蔵していますので、リセット入力 AL（アノード）、リセット入力 AL（カソード）間に 5 V 〜 12 V を与えることでアラームを解除できます。
I/F Box 側

制御装置側
フォトカプラの場合

TLP521+V
1.2 kΩ リセット入力 AL（アノード）
リセット入力 AL（カソード）

リレーの場合+V

5
6-V

リセット入力• 12 V 以上を与える場合には、外部に抵抗を追加してください。

37

No. 99MBE048B

4 仕様

4.6

チェックアダプター（別売）による信号調整
信号調整時以外は、I/F Box からチェックアダプターを取り外してください。

Tips• チェックアダプターによる信号調整は、主信号出力形態が B（二相方形波＋外部リセット入力）または C（二相方形波＋二相正弦波）のスケールユニットのみで行えます。
• チェックアダプターはシールドされていないため、信号調整時に測定値に若干ノイズが加わることがあります。

別売（パーツ番号：06ACE468）のチェックアダプターを使用することで、信号調整を効率よく行えます。

1 チェックアダプターを I/F Box の出力コネクターとフィードバックケーブルの間に接続する

ハーネスチェックアダプター（別売：No.06ACE468）

チェックアダプター本体

出力ケーブル

2 チェックアダプターに付属のハーネス（角型コネクター付きリード線）で、チェックアダプター基板の CNP3 と I/F Box 基板の CNP3 を接続する

38

No. 99MBE048B

4 仕様

3 チェックアダプターの GND_AN に、オシロスコープの GND プローブをクリップする

4 オシロスコープの 2 本のプローブを、チェックアダプター基板上の Vref にクリップする
5 オシロスコープの輝点が中央になるよう、水平／垂直ポジションつまみを調整する
6 ch1 のプローブをチェックアダプター基板上の øA（A 相）、ch2 のプローブをチェックアダプター基
板上 øB（B 相）にクリップする

7 検出ヘッドを動かしながら、I/F Box 基板上のボリューム VR1 でメイン信号（振幅電圧）を調整する»

メイン信号の調整については、「メイン信号の調整」（20 ページ）

Tips
チェックアダプターの PA、PB、PZ で、分割された方形波および原点信号パルスを確認できます。確認する場
合は、オシロスコープの GND プローブをチェックアダプターの GND にクリップしてください。

8 チェックアダプター基板上の øZ に、ch1 のプローブをクリップする
9 メインスケールのスケール原点マーク近くに、検出ヘッドの中央を移動する
10 スケールまたは検出ヘッドを測定方向に移動する»

検出ヘッドの中央付近がスケール原点マークを通過した際に、原点信号波形がオシロスコープの画面に表示»

原点信号の調整については、「原点信号の調整」（21 ページ）

11 I/F Box 基板上の VR4 で、原点信号波形のノイズレベルを約 2.5 V に調整する
12 I/F Box 基板上の VR5 で、原点信号波形のピークレベルを約 2.2 V に調整する
13 チェックアダプターとハーネスを取り外す

39

No. 99MBE048B

4 仕様

4.7

ヘッドケーブルの取り外し

検出ヘッドや I/F Box を交換しなければならない場合には、I/F Box からヘッドケーブルを取り外します。

1 ねじ 2 本を外し、I/F Box カバーを取り外す

2 ケーブルフランジのねじ 2 本を緩める
3 基板上のコネクターからヘッドケーブルを引き抜く
Tips• ヘッドケーブルを取り付ける場合は、上記と逆の手順で作業してください。
• 基板上のコネクターにヘッドケーブルを差し込む場合は、コネクターノッチの向きを間違えないように注意
し、最後まで確実に差し込んでください。
• ケーブルフランジのねじ 2 本は、しっかりと固定してください。
• コネクターへの差し込みや、ねじ類の固定が不十分であった場合、誤作動の原因になります。

40

No. 99MBE048B

4 仕様

4.8

出力設定の変更

Tips
出力設定の変更は、主信号出力形態が B（二相方形波＋外部リセット入力）または C（二相方形波＋二相正弦波）のスケールユニットのみで行えます。
I/F Box 基板上のディップスイッチ DPSW2 で、出力設定を変更できます。

ＯＮ

１

２

３

４

５

６

７

８

最小エッジ間隔

ディレクション切り替え

分解能

アラーム出力形態

 最小エッジ間隔
1

最小エッジ間隔

2

125 nsオン

オン

250 nsオン

オフ

500 nsオフ

オン1000 ns

オフ

オフ

工場出荷時の設定●

Tips
工場出荷時の設定は、お客様の要望により変更されることがあります。

 分解能
3

分解能

4

5

6

0.01 μm

オフ

オン

オフ

オン

0.02 μm

オフ

オフ

オフ

オン

0.05 μm

オフ

オン

オン

オフ

0.1 μm

オン

オフ

オン

オフ

工場出荷時の設定●

上記以外の設定での動作は保証されません。

Tips
工場出荷時の設定は、お客様の要望により変更されることがあります。

41

No. 99MBE048B

4 仕様

 アラーム出力形態
7
アラーム発生時、出力がハイイン
ピーダンスとなる。

オン

アラーム発生時、アラーム信号を出
力する。

オフ

工場出荷時の設定●

Tips
工場出荷時の設定は、お客様の要望により変更されることがあります。

 ディレクション切り替え
8

ディレクション
正：PA 進相オン

逆：PB 進相オフ

工場出荷時の設定●

Tips
工場出荷時の設定は、お客様の要望により変更されることがあります。

42

No. 99MBE048B

4 仕様

4.9

最大応答速度

Tips
最大応答速度は、I/F Box 基板上のディップスイッチ DPSW2 で出力設定を変更できる主信号出力形態が B（二相方形波＋外部リセット入力）または C（二相方形波＋二相正弦波）のスケールユニットのみで変更できます。
設定
分解能

最小エッジ間隔

最大応答速度（mm/s）（分割数）+0 %、-10 %（主信号出力ピッチ：4 μm）

0.01 μm

125 ns72（400）

250 ns36

500 ns

18

1 μs

9

0.02 μm

125 ns144（200）

250 ns72

500 ns

36

1 μs

18

0.05 μm

125 ns360（80）

250 ns180

500 ns

90

1 μs

45

0.1 μm

125 ns

720（40）

250 ns360

500 ns

180

1 μs

90

43

No. 99MBE048B

4 仕様

4.10 外観・取り付け寸法図

有効測定長10～80 mm

有効測定長100～3000 mm

4.10.1 取り付け寸法図

44No. 99MBE048B

4 仕様

4.10.2 取り付け寸法表
コード No.
（※ 1）
579-501-0 □579-502-0 □579-503-0 □579-504-0 □579-505-0 □579-506-0 □579-507-0 □579-508-0 □579-509-0 □579-510-0 □579-511-0 □579-512-0 □579-513-0 □579-514-0 □579-515-0 □579-516-0 □579-517-0 □579-518-0 □579-519-0 □579-520-0 □579-521-0 □579-522-0 □579-523-0 □579-524-0 □579-525-0 □579-526-0 □579-527-0 □579-528-0 □579-529-0 □579-530-0 □579-531-0 □579-532-0 □579-533-0 □579-534-0 □

型番
有効測定長
（※ 2）
L1（mm）
ST36 ◇ -10
10
ST36 ◇ -25
25
ST36 ◇ -50
50
ST36 ◇ -75
75
ST36 ◇ -80
80
ST36 ◇ -100 100
ST36 ◇ -150 150
ST36 ◇ -200 200
ST36 ◇ -250 250
ST36 ◇ -300 300
ST36 ◇ -350 350
ST36 ◇ -400 400
ST36 ◇ -450 450
ST36 ◇ -500 500
ST36 ◇ -600 600
ST36 ◇ -700 700
ST36 ◇ -800 800
ST36 ◇ -900 900
ST36 ◇ -1000 1000
ST36 ◇ -1100 1100
ST36 ◇ -1200 1200
ST36 ◇ -1300 1300
ST36 ◇ -1400 1400
ST36 ◇ -1500 1500
ST36 ◇ -1600 1600
ST36 ◇ -1700 1700
ST36 ◇ -1800 1800
ST36 ◇ -2000 2000
ST36 ◇ -2200 2200
ST36 ◇ -2400 2400
ST36 ◇ -2500 2500
ST36 ◇ -2600 2600
ST36 ◇ -2800 2800
ST36 ◇ -3000 3000

スケール全長 スケール固定 スケール押さ スケール押さ
L2（mm） ピッチ L3（mm） えばね A（個） えばね B（個）
30
−
−
−
45
−
−
−
70
−
−
−
90
−
−
−
100
−
−
−
140
50
1
2
190
75
1
2
240
100
1
2
290
60
1
4
340
75
1
4
390
85
1
4
440
100
1
4
490
75
1
6
540
80
1
6
640
100
1
6
740
85
1
8
840
100
1
8
940
90
1
10
1040
100
1
10
1140
90
1
12
1240
100
1
12
1340
130
1
10
1440
100
1
14
1540
125
1
12
1640
100
1
16
1740
120
1
14
1840
100
1
18
2040
100
1
20
2240
100
1
22
2440
100
1
24
2540
95
1
26
2640
100
1
26
2840
100
1
28
3040
100
1
30

※ 1：コード No. の□印は、以下を示します。
1：二相正弦波
2：二相方形波＋外部リセット入力
3：二相方形波＋二相正弦波
4：差動 1 Vpp 正弦波※ 2：型番の◇印は、以下を示します。
A：二相正弦波
B：二相方形波＋外部リセット入力
C：二相方形波＋二相正弦波
D：差動 1 Vpp 正弦波

45

No. 99MBE048B

4 仕様

MEMO

46

No. 99MBE048B

5 トラブルシューティング

5

トラブルシューティング

この章では、初期電源投入時のトラブルや動作中に発生したアラームの原因確認の方法について説明します。
トラブル発生ANO

トラブル解消

YES

終了

制御装置
断線アラーム非表示

NO

制御装置の設定およびI/F Boxの設定（最小分解能、最小エッジ間隔、
ディレクションなど）を確認

YES

I/F Box
POWERランプが赤色点灯

フィードバックケーブルの結線は正しい（シールド線を含む）

NO

NO

フィードバックケーブルの
手直し

YES

A

YES

フィードバックケーブルのシールド線がアースバーに接地されている

NO

YES

YES

A

YES

検出ヘッドとメインスケールとの取り付け
位置関係は正しいヘッドケーブルの導通は問題ない

手直し

NO

NO

ヘッドケーブルの交換（弊社サービ
スセンタまたは最寄りの営業所へご連絡ください）

A

再取り付け

A

弊社サービスセンタまたは
最寄りの営業所へご連絡ください47

No. 99MBE048B

5 トラブルシューティング

MEMO

48

No. 99MBE048B

営業の窓口2020 年 11 月現在
仙台営業所
宇都宮営業所
新潟営業所

伊勢崎営業所
さいたま営業所
川崎営業所
厚木営業所

諏訪営業所
浜松営業所
安城営業所
中部オートモーティブ営業所
名古屋営業所
金沢営業所
大阪営業所
京滋営業所
岡山営業所
広島営業所
福岡営業所

仙台市若林区卸町東 1-7-30〒 984-0002

電話：(022) 231-6881

ファクス：(022) 231-6884

宇都宮市平松本町 796-1〒 321-0932

電話：(028) 660-6240

ファクス：(028) 660-6248

新潟市中央区新和 1-6-10
リファーレ新和 1 階 B 号室

〒 950-0972

電話：(025) 281-4360

ファクス：(025) 281-4367

伊勢崎市宮子町 3463-13〒 372-0801

電話：(0270) 21-5471

ファクス：(0270) 21-5613

さいたま市北区宮原町 3-429-1〒 331-0812

電話：(048) 667-1431

ファクス：(048) 667-1434

川崎市高津区坂戸 1-20-1〒 213-8533

電話：(044) 813-1611

ファクス：(044) 813-1610

厚木市岡田 1-7-1
ヴェルドミール SUZUKI 105 号室〒 243-0021

電話：(046) 226-1020

ファクス：(046) 229-5450

諏訪市中洲 582-2〒 392-0015

電話：(0266) 53-6414

ファクス：(0266) 58-1830

浜松市東区和田町 587-1〒 435-0016

電話：(053) 464-1451

ファクス：(053) 464-1683

安城市住吉町 5-19-5〒 446-0072

電話：(0566) 98-7070

ファクス：(0566) 98-6761

安城市住吉町 5-19-5〒 446-0072

電話：(0566) 98-7070

ファクス：(0566) 98-6761

名古屋市昭和区鶴舞 4-14-26〒 466-0064

電話：(052) 741-0382

ファクス：(052) 733-0921

金沢市桜田町 1-26

〒 920-0057

ドマーニ桜田電話：(076) 222-1160

ファクス：(076) 222-1161

大阪市住之江区南港北 1-4-34〒 559-0034

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ファクス：(06) 6613-8817

草津市大路 2-13-27

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岡山市北区田中 134-107〒 700-0951

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東広島市八本松東 2-15-20〒 739-0142

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電話：(092) 411-2911

ファクス：(092) 473-1470

App-1

センシング営業部 1 課・2 課

川崎市高津区坂戸 1-20-1〒 213-8533

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 商品の故障および操作方法に関してのご相談・お問い合わせカスタマーサポートセンタ

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サービスの窓口
y 商品の検査／校正、および修理のご依頼は最寄りのサービスセンタへ
仙台サービスセンタ
宇都宮サービスセンタ
川崎サービスセンタ
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電話：(044) 455-5021

ファクス：(044) 455-5019

App-2

改訂履歴
発行年月日
2019 年 3 月 1 日
2021 年 1 月 1 日

版数
改訂 3 版
改訂 4 版

改訂内容
全面改訂し発行
欧州整合規格変更に伴う対応ほか

No. 99MBE048B

株式会社 ミツトヨ
神奈川県川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒 213-8533
ホームページ : http://www.mitutoyo.co.jp

Printed in Japan
No. 99MBE048B