Pressure Sensor
Rev.3

EK30

IO-Link 対応デジタル微差圧計
IO-Link compatible Digital Differential Pressure Sensor●●●□30mm 小形・機器組込用途

極微差圧レンジ10Pa〜20kPaレンジに対応 全レンジ50kPa の高耐圧を実現
精度：±1.0%F.S.（500Pa 以上）±1.5%F.S.（200Pa 以下）『微差圧測定』のＩＯ−Ｌｉ
ｎｋ対応が、工場設備の可能性を広げます！

NEW

表示ナシ

EK30

IO-Link 対応デジタル微差圧計

メンテナンス時もお任せ！

集中監視に最適！

EK30-D●●●

IO-Link compatible Digital Differential Pressure Sensor

EK30-N（表示ナシ）

現場での差圧確認●

操作ボタンによる設定値変更●

サブ表示で設定値確認

LED 表示による運転状態確認

製作仕様

表表示ナシ
圧力接続口

複色 LED バックライト付き LCD 表示（7 セグメント 4 桁×3）
OUT1：赤／ IO-Link：橙、OUT2：赤、〇：青（NPN）／緑（PNP）
動作用 LED 3 点 OUT1：赤／ IO-Link：橙 OUT2：赤 PWR：青（NPN）／緑（PNP）
M5（メネジ）

質

IODDファイル

システム構 成 例

仕 様
乾燥空気、N2 ガス等の非腐食性（水分、粉塵を含まないこと）

示

現場での設定変更を防止

材

項 目
測定流体

接ガス部
ケース

シリコン、ガラス、シリコーン、PBT
PBT

表示アリ
表示ナシ

24V DC±10% 消費電流：約 50mA DC（出力含まず）
24V DC（10〜35V DC） 消費電流：約 40mA DC（出力含まず）

電源電圧本器に接続する電源は、NEC（National Electrical Code）class2 又は LPS（Limited Power Source）を使用してください。

パラメータ
設定計 測データ

接点信号

出動作診断
エンジニアリングツール

エラー信 号通信出力IoTIO-Link

コンパレータ出力（2 出力）

デバイス
情 報

測アナログ出力（オプション）PLC

IO-Link マスタ

EK30計力管

理入出力コネクタ
使用温度範囲使用湿度範囲
保存温度範囲ケース保護構造データ活用● 相互通信によるオートメーション化されたデバイス管理● 再稼働までの時間を短縮 ̶ パラメータ設定が容易

UL 規格
規格番号
ファイル No.
汚染度
使用高度

アプリケーション
シリンダーキャビネット

V1.1・COM2（38.4kbps）
NPN（35V DC、180mA DC 以下）
オープンコレクタ
PNP（表示アリ：電源電圧，60mA DC 以下、表示ナシ：電源電圧，110mA DC 以下）
応答速度50ms 以下
動作モード
ヒステリシスモード（Single，Two）ウインドコンパレータモード
電流出力4〜20mA DC（400Ω以下）
電圧出力
1〜5V DC（10kΩ以上）
応答速度50ms 以下
e-CON（RITS コネクタ6ピン 1473562-6）
NPN、IO-Link：−10〜60℃、PNP：−10〜55℃（結露、凍結なきこと）
85%RH 以下（結露なきこと）−20〜70℃（結露、凍結なきこと）
IP40（屋内仕様）

質

各種半導体製造装置

UL61010-1
E475503（表示ナシ） ＊表示アリは取得予定
規格 IEC60664-1 汚染度 2
標高 2,000m 以下量
表示アリ
表示ナシ

約 80g
約 75g

製作レンジ･表示値
EK30

ブロワ

EK30

差圧レンジ（デジタル出力桁）

排気N2ガス供給EK30
N2ガス、各種プロセスガス

プロセスチャンバー

シリンダーキャビネットの内圧監視プロセスチャンバー

N2 ガスのパージ圧計測

排気状態の監視

空気調和システム

許容最大圧力

0〜10Pa（10.00）±10Pa（10.00）

0〜25Pa（25.00）±25Pa（25.00）

0〜50Pa（50.00）±50Pa（50.0）

0〜100Pa（100.0）±100Pa（100.0）

0〜200Pa（200.0）±200Pa（200.0）

0〜500Pa（500.0）±500Pa（500）0〜1kPa（1.000）±1kPa（1.000）

0〜2kPa（2.000）±2kPa（2.000）±（1.0%F.S.+1digit）

0〜5kPa（5.000）±5kPa（5.00）

at 23℃±2℃

0〜10kPa（10.00）±10kPa（10.00）

0〜20kPa（20.00）±（1.5%F.S.+1digit）
at 23℃±2℃

クリーンルームの内圧監視

EK30

エアフィルターの目詰まり監視

温度係数＊1±0.15%F.S./℃

アナログ出力精度

開平演算精度＊2±1.5%F.S.
at 23℃±2℃±0.5%F.S.
但し差圧レンジの50kPa−＊1 ゼロ点･スパン共 ＊2 連成（±）の差圧レンジは製作不可
EK30

精 度

5〜100%F.S.におけるデジタル出力値に±0.10%F.S./℃±1.0%F.S.
at 23℃±2℃

対してEK30

IO-Link 対応デジタル微差圧計

IO-Link compatible Digital Differential Pressure Sensor
機

外形寸法

能表示・動作状態

単位：mm

表示アリ

EK30-D0□
コネクタ装着時□30❶IO-Link通信❶コンパレータ出力

背面図

1.934

高圧側圧力接続口
M5 深さ4（8.8）

28

表示ナシ

❷コンパレータ出力

低圧側圧力接続口
M5 深さ4入出力コネクタ
12●IO-Link通信●コンパレータ出力●コンパレータ出力●PWR(NPN) 、●PWR(PNP)●PWR(NPN) 、●PWR(PNP)

10（9.8）

1

取付穴
2×M3

表示ナシ29□30

1 :V+
2 :OUT2
3 :V4 :OUT1/IO-Link
5 :NC
6 :NC

23

低圧側圧力接続口
M5 深さ4入出力コネクタ
121取付穴2×M3

深さ4.5

メイン画面（差圧表示）

入出力コネクタ端子配列

10

OUT2 PWR.

背面図
高圧側圧力接続口
M5 深さ4（8.8）

OUT1/IO-Link
PRESSURE SENSOR
EK30-N01
S/N :21X00001R
RANGE :0〜50Pa
OUT1 :RD/IO-Link :OR
OUT2 :RD
PWR. :BL(NPN), GR(PNP)

コネクタ装着時（1.9）

20（9.8）

EK30-N0□

深さ4.520No.

結123456電源＋
OUT2
電源−OUT1/IO-Link

線

差圧表示

未接続（アナログ出力：出荷時オプション）
未接続

サブ画面（設定表示・動作状態）■ゼロ点調整モード

オプション

単位：mm

● パネルマウント用アダプタ（表示アリのみ＊）

操作■ループチェック表示

内 容● パネルカット寸法

操アダプタ2示内 容

ゼロ点調整失敗（ゼロ点調整可能範囲：圧力レンジの−10〜10%F.S.以内）

40

36 0+0.6

3秒以上長押し表

印加圧力に関係なく、表示やアナログ出力・コンパレータ出力を手動でテスト

++0.6

アダプタ1

作

MODE

ゼロ点調整成功36 040

表示範囲外（例：上限）■機能設定モード
43
パネル（厚さ1〜4mm）

4

コンパレータ1動作の選択● φ4 バーブ継手 2 個（39.5）（R4.5）

5.5）

17＊パネルマウント用アダプタの寸法上、表示アリのみ対応致します。

14.3（穴φ32×10

1.6

φ3.8NPN/PNP選択

3020

EK30-N1□（穴）

22

コンパレータ2動作の選択● M12コネクタ変換ケーブル（オス、PUR）.8

4φ1

非アクティブ（48）

46.8
1500

ピン配列はIO-Linkの規格に準拠

MODE0

スケーリング表示
表示レンジ最小値

NPN

スケーリング表示
表示レンジ最大−9999

温度単位設定MODE−10.0

フィルタの設定

フィルタなし

MODE

−9999

MODE

kPa

ローカットの設定
MODE

MODE

MODE

表示単位の選択

スケーリング表示
小数点位置
MODE

MODE

EK30-D1□

AMPx 5432 1穴）

17φ4.5（13● アタッチメント L 形取付金具

非アクティブMODE

φ3.8（44.5）※サブ設定内容はUP, DOWNキーによって変更

アナログスケーリング
出力最小値−100.0MODE℃

アナログスケーリング
出力最大値
MODE

−100.0形番構成 ご用命に際しては、形番、各仕様をご指定ください。
モデルNo.

EK30

1IO-Link対応デジタル微差圧計

③④A

①②D

アリ 複色LEDバックライト付きLCD表示（7セグメント 4桁×3）

N

ナシ 動作用LED3点形番

⑤⑥⑦

選択仕様
①表示
②圧力接続口

M5メネジ
（標準）

1

内径φ4チューブ用バーブ継手（2ヶセット)

1差圧表示

2開平演算機能付④差圧レンジ⑤精度

ご注文に際しては差圧レンジを別途ご指定ください⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮付加仕様（オプション）

0③機能⑧④⑤580〜10Pa④差圧レンジ

680〜25Pa

M

80〜50PaN

80〜100PaP

80〜200Pa

Q

70〜500PaR

70〜1kPaS

70〜2kPaT

70〜5kPaU

70〜10kPa

V

70〜20kPa

88±10PaA

8±25PaB

8±50PaC

8±100PaD

8±200PaE

7±500PaF

7±1kPaG

7±2kPaH

7±5kPaJ

7±10kPa⑥電源±（1.5%F.S.+1digit）
at 23℃±（1.0%F.S.+1digit）
at 23℃±（1.5%F.S.+1digit）
at 23℃
EK30-□□2は製作不可±（1.0%F.S.+1digit）
at 23℃

24VDC（表示アリ：24V±10%、表示ナシ：10〜35V DC）

1⑦コンパレータ出力

JK⑧アナログ出力⑨通信出力＊1 通信出力IO-Link V1.1 COM3はお問い合わせください。
＊2 M12コネクタのピン配列はIO-Linkの規格に準拠しています。
アナログ出力との併用についてはお問い合わせください。
＊3 パネルマウント用アダプタの寸法上、表示アリのみ対応致します。

⑤精度NPNオープンコレクタ（35V DC，180mA max.）
PNPオープンコレクタ（表示アリ：電源電圧，60mA max. 表示ナシ：電源電圧，110mA max.）

0ナシ

1

4〜20mA DC

8

1〜5V DC⑩コネクタケーブル

A⑪付属品※ 仕様項目が無い場合は、×をご指定ください。

【使用上の注意】
腐食性ガスや可燃性ガス、液体には使用できませんのでご注意ください。

⑮ドキュメント

IO-Link V1.1 COM2＊10ナシ

D＊2
M12コネクタ変換ケーブル（1.5m）

0ナシA

パネルアダプタ（表示アリのみ＊３）

B

L形取付金具0ナシ1アリ（ご希望のものを別途ご指示ください）
提出図、取扱説明書、検査要領書
検査成績表(1個1部)、検査・トレサビリティ証明書、立会検査

このカタログの記載事項は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。

販売店

長野計 器 株 式 会 社
本社 ／ 〒143-8544 東京都大田区東馬込一丁目30番4号 代表TEL 03（3776）5311 FAX 03（3776）5320●お問い合わせは下記をご利用ください。

コールセンター／ 0120-10-8790

ホームページ URL：

https://www.naganokeiki.co.jp/

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海 外 営 業 部 TEL 03-3776-5328 熊 谷 営 業 所 TEL 048-525-8751
神奈川営業所 TEL 046-222-0334
東 京 営 業 所 TEL 03-3776-5324・6
上 田 営 業 所 TEL 0268-25-3758
札 幌 駐 在 所 TEL 080-9025-9006 静 岡 営 業 所 TEL 054-253-4148
東関東営業所 TEL 0476-20-1670 大 阪 営 業 所 TEL 06-6265-3303

名古屋営業所 TEL 052-218-3366
富 山 営 業 所 TEL 076-441-6949
滋 賀 営 業 所 TEL 077-516-0201
四 国 営 業 所 TEL 087-812-3001
広 島 営 業 所 TEL 082-262-1590
九 州 営 業 所 TEL 092-572-5072

23年5月制作（SUN）