走査型トンネル顕微鏡（STM）や原子間力顕微鏡（AFM）に代表される、走査型プローブ顕微鏡（SPM）が登場して35年以上が経過しました。現在では、測定環境を問わずナノスケールイメージングができる顕微鏡として浸透しており、製造工程管理におけるルーティーン計測や、固体の表面観察、材料分析、高分子材料、生体材料の研究など、様々な用途で使われています。 AFM・SPM測定のキーは、サンプルとの相互間力を検知するAFMプローブです。
世界最大の、プローブメーカーNanoWorldグループメンバーである㈱NanoAndMoreジャパンが、皆様に最適なプローブをご提供します。

グループブランドのご紹介
nanotools GmbHのコアテクノロジーはEBDプロー
ブです。高密度アモルファスダイヤモンドライク
カーボン (HDC)で探針を形成することで、高アスペクト比、かつ鋭い探針を実現。半導体、ハイテク産業のニーズに合わせた製品開発をおこない、インラインのプロセスコントロールに広く使用されています。
高分解能AFM測定を行うお客様のために、より品質を重視した製品を取り揃えています。
主に、大学や研究所に製品を供給しています。また、プローブにとどまらず、マイクロ・ナノ加工技術をベースにした様々なナノテクノロジー製品を開発しています。

ミドルレンジのAFMプローブを提供しています。
安定した製造工程によるばらつきの少ない製品は、主に産業向けに広くご使用いただいています。

Innovative Solutions Bulgaria Ltdは2001年にブルガリアで設立されました。AFMプローブ、ウェブサービス、プログラミングサービスなどをご提供しています。AFMプローブ部門では、
BudgetSensors® MikroMasch® OPUSのブランド名でプローブと関連アクセサリーを製造販売しています。主にミドルレンジから手ごろな価格の製品群です。

ACモード ノンコンタクトモード
ハイエンド
研究開発での使用や、特別に高分解能なデータを要求される場合には、NanoSensorsプローブをお使いください。先端が鋭く、特性ばらつきの小さい高品質プローブをご提供します。
製品例

k [N/m]f [kHz]

PPP-NCH

42330


ATEC-NC45335ミドルレンジ

PPP-NCHAuD

42285

タッピングモード、ノンコンタクトモードでの標準的な測定には、使用実績が豊富で短納期のNanoWorldプ
ローブやMikroMaschプローブが適しています。

HQ:NSC15/NoAl

40325

160AC-NN

26300

240AC-NN

270

Tap300-G

40300※背面金コートk [N/m]f [MHz]USC-F5-k30

30

5USC-F1.2-k0.15

0.15

1.2

55AC-NG

85

1.2

ARROW-UHF-2

NanoWorld Arrowシリーズ
MikroMasch HQシリーズ

コストパフォーマンス
スタンダードな測定モードを使ったルーティーン測定にはOPUS、BudgetSensorsプローブがお勧めです。
様々なプローブを組み合わせて購入する“コンボボックス”もございます。


製品例

NanoSensors PPPシリーズ
NanoSensors ATECシリーズ

OPUS160AC各シリーズ
OPUS240AC各シリーズ
BudgetSensors Tap各シリーズ

高速スキャン対応プローブ
ハイエンドSPMに搭載されている高速スキャン対応のプローブです。MHzレンジの共振周波数を持ち、高速フィードバックループを備えたSPMに取り付けて使用することで数イメージ/秒を達成します。


USC(Ultra short cantilever)シリーズ
OPUS 55ACシリーズ
Arrow UHFシリーズ

コンタクトモード フォースディスタンス測定
低ばね定数のカンチレバーは、ポリマー、細胞や分子など、柔らかいサンプルの測定に適しています。形状測定の他にも、対象物の機械的特性を測定するフォースディスタンス測定にも使われます。
製品例

k [N/m]f [kHz]

窒化シリコン製コンタクトモードプローブ

PNP-TR※

0.32/0.08

67/17

XNC12/Cr-Au

0.08/0.32

17/67




SiNi

0.27/0.06

30/10

NanoWorld PNP-TRシリーズ
MikroMasch XNC12シリーズ
BudgetSensors SiNi

※ ACモードでも使用できます

シリコン製コンタクトモードプローブ

製品例

k [N/m]f [kHz]

HQ:CSC38/NoAl

0.09/0.03/0.05

20/10/14

CONT0.213

ContAl-G

0.213

製品例

k [N/m]f [kHz]qp-CONT

0.130

qp-SCONT

0.0111

qp-BioAC ※0.3/0.1/0.06

90/50/30

uniqprobe シリーズはSiプローブやSiNプローブに比べ、カンチレバーの共振周波数やバネ定数のバラツキが格段に小さく、高い再現性を求める繰り返し測定に非常に有効です。
また、ドリフトも小さく、液中測定にも適しています。

qp-BioAC-Cl ※0.3/0.1/0.06

90/50/30

qp-BioT ※0.3/0.08

50/20※ ACモードでも使用できます※シリーズの詳細については別頁をご覧ください

MikroMasch HQ:CSC38 他
NanoWorld CONTシリーズ
BudgetSensors ContAl-G

クォーツライクマテリアル製
コンタクトモードプローブ （ｑｐシリーズ）

NanoSensors qp-シリーズ

コロイドプローブ
製品例

k[N/m]

f [kHz]Biosphere B20-FM※カーボンコロイド

2.875

SD-Sphere-CONT-S-10※Si酸化物コロイド

0.213

CP-CONT-BSG-C
BSGコロイド

0.213

カンチレバー先端に粒子が取り付けてあるカンチレバーです。ティップ先端とサンプルの接触面積を制御でき、分子修飾なども可能です。AFM、SPMの応用事例が増えているポリマーやバイオサンプルののナノインデンテーション、ナノスケール粘弾性測定に最適です。コロイドの材質やサイズを測定内容に応じて選択いただけます。
nanotools Biosphereシリーズ
コロイドサイズ r 20～2000nm
NanoSensors SD-Sphereシリーズ
コロイドサイズ Φ0.8,2.0,4.0μm
sQube社 CPシリーズ
コロイドサイズ Φ1.5～15μm

クォーツライクマテリアル製 Uniqprobe (qp) シリーズ
uniqprobe シリーズはSiプローブやSiNプローブに比べ、寸法公差や材料固有のそり・たわみが小さいプローブです。
カンチレバーの共振周波数やバネ定数のバラツキが格段に小さく、高い再現性を求める繰り返し測定に非常に有効です。また、ドリフトも小さく、液中測定にも適しています。
■バネ定数・共振周波数のバラツキを大きく抑制 ドリフトも小さく液中測定に最適■カンチレバーと探針は水晶のような材質で製作■探針は双曲線の側面形状をもち、曲率半径は 10nm 未満（保証値 15nm） 高さ約 7μm(代表値)■窒化シリコンプローブの代替としてご使用ください

uniqprobeの探針側面

uniqprobe CONT
厚さ350nmでも湾曲が少ないストレート加工

uniqprobe SCONT
カンチレバーの端のみ金コート

qp- CONT / qp- SCONT

qp- BioAC-Cl

コンタクトモード用のqp-CONTとソフトコンタクト用のqp-SCONT は、短冊形のカンチレバーを持つプローブで、大気中、液中環境でのコンタク
トモード測定に最適です。

細胞イメージングのために開発されたプローブです。qp-BioACをベースに、探針先端を曲率半径30nm（代表値）に加工。柔らかいバイオサンプ
ル測定に特化したプローブです。

タイプコンタクト

型番

ソフトコンタクト

型番qp-SCONT

カンチレバー番号

qp-CONT

厚さ750 nm

350 nm

⻑さ125 μm

125 μm

幅35 μm

34 μm

バネ定数

0.1 N/m

0.01 N/m

共振周波数

30 kHz

11 kHzqp-BioAC-CI12

厚さ3400 nm⻑さ40 μm

60 μm

80 μm

幅20 μm

25 μm

30 μm

バネ定数

0.3 N/m

0.1 N/m

0.06 N/m

共振周波数

90 kHz

50 kHz

30 kHzqp- BioAC

qp- fast

サポートチップの片側に異なるサイズの短冊形カンチレバーを3本持ち、いずれも高い共振周波数と低いバネ定数を備えています。
小さな探針－試料間フォースで、安定かつ低ノイズのACモード測定が実現できます。

ソフトタッピング、スタンダードタッピング、高速タッピングに使用できる3本のカンチレバーを備えたプローブです。大気中・液中測定に使用でき、優れた安定性と高い感度、高速スキャン性能を併せ持っています。

型番
カンチレバー番号

型番

qp-BioAC
12厚さ

3400 nm⻑さ40 μm

60 μm

80 μm

幅20 μm

25 μm

30 μm

バネ定数

0.3 N/m

0.1 N/m

0.06 N/m

共振周波数

90 kHz

50 kHz

30 kHzqp- BioT
サポートチップの片側にサイズが異なる2つのトライアングル型カンチレバーを備えています。一般的なSiNカンチレバーと比べてティップが高く、開き角が小さい探針を備え、低ドリフトです。SiNプローブの代替品としてご使用いただけます。
型番
カンチレバー番号

qp-BioT
1厚さ2900 nm

⻑さ100 μm

200 μm

幅2 x 14 μm

2 x 28 μm

バネ定数0.3 N/m

0.08 N/m

共振周波数

50 kHz

20 kHz

カンチレバー番号

qp-fast1

厚さ232500 nm

⻑さ40 μm

60 μm

80 μm

幅22 μm

27 μm

32 μm

バネ定数

80 N/m30 N/m

15 N/m

共振周波数

800 kHz420 kHz250 kHz

qp- HBC
ブルカー社製AFMプローブ（ScanAsystおよびPeakForce Tapping）互換品
ブルカー社AFMのScanAsystおよびPeakForce Tapping用AFMプロー
ブと互換性能を持つプローブです。 コンタクトモード、ノンコンタクトおよびソフトタッピングモードでも使用可能です。
型番

qp-HBC

厚さ1000 nm⻑さ115 μm

幅2 x 25 μm

バネ定数0.5 N/m

共振周波数

60 kHz自己励振 自己検知
Akiyama Probe
アキヤマプローブ(Akiyama-Probe, A-Probe)は音叉型水晶振動子（チューニングフォーク）とマイクロカンチレバーを組み合わせたAFMプローブです。NANOSENSORS™ AdvancedTECをベースとしたカンチレバーを取り付けてあり様々なサンプルの表面イメージングを高分解能で実行できます。
自己検知・自己励振を行いますので、光学変位検出や外部励振が不要です。光に敏感なサンプルの測定や、新たな走査型プロー
ブ顕微鏡の開発にお使いいただけます。
また、チューニングフォークの自己励振を制御し、周波数を測定するコントローラ
TFSCも販売しています。このコントローラーは、Akiyama-Probeやその他の自己励振タイプのセンサーの制御と周波数測定を行うことができます。

AFMアクセサリー
キャリブレーション
サンプル

各種基板

XYのスキャナ駆動精度や、Z方向の精度確認、校正には適切な凹凸寸法の基準サンプ
ルをご使用ください。またティップ先端の状態を確認するTipcheckサンプルもございます。
2D200

水平方向キャリブレーションサンプル 200nmピッチ

TGXYZ02

XYZキャリブレーショングレーティング
ステップ高さ100nm ピッチ5µm 10µm

HS-100MG

高さスタンダードサンプル 100 nmTipcheck

AFMティップ形状評価サンプル

サンプルを固定するマイカ（雲母）やHOPGです。SPM測定、AFM測定での使用に適したグレードの高いサンプル基板を準備しています。
またSPMステージにサンプル基板をマグネット固定するための金属円盤や両面テープもお求め頂けます。

プローブの選択に迷ったら？
測定内容によって、適切なカンチレバー形状、ティップ形状、ばね定数、共振周波数が異なります。ご使用用途に適したプローブがご不明の場合
はNanoAndMoreにお問い合わせ下さい。経験豊富なスタッフが、数百種類ある製品の中からお客様のサンプルに最適なプローブをご案内します。

株式会社NanoAndMoreジャパン〒341-0018 埼玉県三郷市早稲田1丁目1-1KTT5ビル201
電話：048-951-0958 E-mail：sales@nanoandmore.jp

AFMプローブの仕様、価格の検索は
当社ウェブサイトへ
https://www.nanoandmore.jp