Vacuum Control Catalog 2021 - 2023
Messröhren, Bauteile und DurchführungenINHALTSVERZEICHNIS

InhaltÜBERSICHT MESSGERÄTEVAKUUMMESSGERÄTE
Aktive Vakuummessgeräte & Controller
Porter™ CDG020D Umgebungskapazitätsmembranmessgerät ......................................................................................... A1
SKY® CDG025D, CDG025D-S Umgebungskapazitätsmembranmessgerät ...................................................................... A7
SKY® CDG025D-X3 Umgebungskapazitätsmembranmessgerät ....................................................................................... A11
SKY® CDG025D-X3 4-20mA current loop Umgebungskapazitätsmembranmessgerät ..................................................... A15
Edge™ CDG025D2 with EtherCAT Umgebungskapazitätsmembranmessgerät ................................................................. A19
SKY® CDG045D Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ............................................................................................... A25
Edge™ CDG045D2 Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ........................................................................................... A31
Stripe™ CDG045Dhs Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ........................................................................................ A37
Cube™ CDGsci Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ................................................................................................. A43
SKY® CDG100D Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ............................................................................................... A47
Edge™ CDG100D2 Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ........................................................................................... A53
Stripe™ CDG100Dhs Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ........................................................................................ A57
SKY® CDG160D / CDG200D Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ........................................................................... A61
VGD500 Druckanzeige für CDG ......................................................................................................................................... A67
Anwendungsspezifische CDG-Lösung ............................................................................................................................... A69
PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S Pirani-Standardmessgerät ........................................................................ A71
PSG550, PSG552, PSG554 Pirani-Standardmessgerät ...................................................................................................... A75
PGE500 Pirani-Messgerät-Enhanced ................................................................................................................................. A83
PGE500 DeviceNet Pirani-Messgerät-Enhanced ................................................................................................................ A89
PGE300 Pirani-Messgerät-Enhanced ................................................................................................................................. A95
PCG550, PCG552, PCG554 Pirani-Kapazitätsmembran-Manometer .................................................................................A101
BAG302 Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre .............................................................................................................A109
BAG402 Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre .............................................................................................................A115
BPG400 Bayard-Alpert-Pirani-Messgerät ...........................................................................................................................A119
BPG402-S Bayard-Alpert-Pirani-Messgerät ........................................................................................................................A123
TripleGauge® BCG450 Bayard-Alpert-Pirani-Kapazitätsmembran-Manometer .................................................................A129
HPG400 Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät ......................................................................................................A135
Gemini™ MPG55x / MAG55x Invertiertes Magnetron/Invertiertes Magnetron-Pirani-Messgerät ........................................A141
MPG400/401 Invertiertes Magnetron-Pirani-Messgerät ......................................................................................................A149
Augent™ OPG550 Optisches Plasma-Messgerät ................................................................................................................A153
VGC501, VGC502, VGC503 Vakuummessgerät-Controller ................................................................................................A157
PGD500 Pirani-Messgerät-Display .....................................................................................................................................A161
Passive Vakuummessgeräte & Controller
PGE050 Pirani-Messgerät-Enhanced - Passiv ....................................................................................................................A165
VGC031 Vakuummessgerät-Controller - Passiv .................................................................................................................A169
BAG050 - BAG053 & BAG055 Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe - Passiv .......................................................................A173
MAG050, MAG060 Invertierte Magentron-Köpfe - Passiv ..................................................................................................A177
VGC083A, VGC083B, VGC083C Vakuummessgerät-Controller - Passiv ...........................................................................A181
Vakuumschalter
VSA100A Vakuumschalter ..................................................................................................................................................A187
VSA200, VSD200 Vakuumschalter ......................................................................................................................................A189
VSC150A Vakuumschalter ..................................................................................................................................................A193

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | iii

INHALTSVERZEICHNIS

Services
Vacuum Gauges Kalibrierservice .......................................................................................................................................A197
Vacuum Control Prüfbescheinigungsservice ......................................................................................................................A199

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN
Vakuumdurchführungen
FRH DN 16 – DN 63 Drehbare Durchführungen ISO-KF / ISO-K ........................................................................................ B1
FRU DN 16 - DN 40 Drehbare Durchführungen CF ............................................................................................................ B3
FCH DN 16 - DN 40 ISO-KF Durchführungen für Dreh- und Linearbewegung .................................................................. B5
FPU DN 16 - DN 40 Lineardurchführungen CF ................................................................................................................... B7
DN 16 ISO-KF Elektrische Durchführungen ........................................................................................................................ B9
DN 40 ISO-KF Elektrische Durchführungen ........................................................................................................................ B11
DN 16 CF-F Elektrische Durchführungen ............................................................................................................................ B13
DN 40 CF-F Elektrische Durchführungen ............................................................................................................................ B15
DN 40 ISO-KF Hochstrom-Durchführung ............................................................................................................................ B19
BNC / MHV DN 16 - 40 Koaxialdurchführungen ISO-KF/CF-F ............................................................................................ B21
Metal-Ceramic Connections Vakuumdurchführungen ........................................................................................................ B23
DN 40 Flüssigkeitsdurchführungen ISO-KF/CF-F ............................................................................................................... B25
DN 16 - DN 50 ISO-KF Schaugläser ................................................................................................................................... B27
DN 63 - DN 160 ISO-K Schaugläser ................................................................................................................................... B29
DN 16 - DN 160 CF Schaugläser ........................................................................................................................................ B31
DN 63 - DN 160 ISO-F Schaugläser ................................................................................................................................... B33
Vacuum Ball Bearings Vakuumdurchführungen ................................................................................................................. B35
Lubricants and Sealing Materials Vakuumdurchführungen ................................................................................................ B37

VAKUUMANSCHLÜSSE
Technische Daten
Seals Materials & Pressure Ranges Technische Daten ......................................................................................................

C1

ISO-KF Kleinflanschkomponenten
Connection Elements ISO-KF Kleinflanschkomponenten ................................................................................................... C3
Seals ISO-KF Kleinflanschkomponenten ............................................................................................................................ C9
Flanges ISO-KF Kleinflanschkomponenten ........................................................................................................................ C19
Pipe Fittings ISO-KF Kleinflanschkomponenten ................................................................................................................. C21
Bellows/Hose with Flanges ISO-KF Kleinflanschkomponenten .......................................................................................... C27
Transition Pieces ISO-KF Kleinflanschkomponenten .......................................................................................................... C31
Hose, Hose Connection ISO-KF Kleinflanschkomponenten ............................................................................................... C37
ISO-K Klammerflanschkomponenten
Connection Elements ISO-K Klammerflanschkomponenten ............................................................................................... C41
Seals ISO-K Klammerflanschkomponenten ........................................................................................................................ C43
Flanges ISO-K Klammerflanschkomponenten .................................................................................................................... C47
Pipe Fittings ISO-K ............................................................................................................................................................. C49
Bellows/Hose with Flanges ISO-K Klammerflanschkomponenten ..................................................................................... C53
Transition Pieces ISO-K Klammerflanschkomponenten .................................................................................................... C55
Protective Lids ISO-K Klammerflanschkomponenten ........................................................................................................ C59
ISO-F Festflanschkomponenten
Flange Components ISO-F Festflanschkomponenten ........................................................................................................ C61
UHV CF Komponenten
Connection Elements UHV CF Komponenten ..................................................................................................................... C65
Seals UHV CF Komponenten .............................................................................................................................................. C67
iv | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

INHALTSVERZEICHNIS

Flanges UHV CF Komponenten .......................................................................................................................................... C71
Pipe Fittings UHV CF Komponenten ................................................................................................................................... C77
Bellows/Hose with Flanges UHV CF Komponenten ............................................................................................................ C81
Transition Pieces UHV CF Komponenten ........................................................................................................................... C83
Protective Lids UHV CF Komponenten ............................................................................................................................... C85

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | v

INHALTSVERZEICHNISVACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | viÜbersicht MessgeräteÜBERSICHT MESSGERÄTE

ii | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ÜBERSICHT MESSGERÄTE

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | iiiÜBERSICHT MESSGERÄTE

iv | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Vakuummessgeräte

VAKUUMMESSGERÄTE | INHALTSVERZEICHNIS

Vakuummessgeräte
Aktive Vakuummessgeräte & Controller
Porter™ CDG020D Umgebungskapazitätsmembranmessgerät ......................................................................................... A1
SKY® CDG025D, CDG025D-S Umgebungskapazitätsmembranmessgerät ...................................................................... A7
SKY® CDG025D-X3 Umgebungskapazitätsmembranmessgerät ....................................................................................... A11
SKY® CDG025D-X3 4-20mA current loop Umgebungskapazitätsmembranmessgerät ..................................................... A15
Edge™ CDG025D2 with EtherCAT Umgebungskapazitätsmembranmessgerät ................................................................. A19
SKY® CDG045D Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ............................................................................................... A25
Edge™ CDG045D2 Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ........................................................................................... A31
Stripe™ CDG045Dhs Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ........................................................................................ A37
Cube™ CDGsci Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ................................................................................................. A43
SKY® CDG100D Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ............................................................................................... A47
Edge™ CDG100D2 Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ........................................................................................... A53
Stripe™ CDG100Dhs Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ........................................................................................ A57
SKY® CDG160D / CDG200D Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät ........................................................................... A61
VGD500 Druckanzeige für CDG ......................................................................................................................................... A67
Anwendungsspezifische CDG-Lösung ............................................................................................................................... A69
PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S Pirani-Standardmessgerät ........................................................................ A71
PSG550, PSG552, PSG554 Pirani-Standardmessgerät ...................................................................................................... A75
PGE500 Pirani-Messgerät-Enhanced ................................................................................................................................. A83
PGE500 DeviceNet Pirani-Messgerät-Enhanced ................................................................................................................ A89
PGE300 Pirani-Messgerät-Enhanced ................................................................................................................................. A95
PCG550, PCG552, PCG554 Pirani-Kapazitätsmembran-Manometer .................................................................................A101
BAG302 Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre .............................................................................................................A109
BAG402 Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre .............................................................................................................A115
BPG400 Bayard-Alpert-Pirani-Messgerät ...........................................................................................................................A119
BPG402-S Bayard-Alpert-Pirani-Messgerät ........................................................................................................................A123
TripleGauge® BCG450 Bayard-Alpert-Pirani-Kapazitätsmembran-Manometer .................................................................A129
HPG400 Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät ......................................................................................................A135
Gemini™ MPG55x / MAG55x Invertiertes Magnetron/Invertiertes Magnetron-Pirani-Messgerät ........................................A141
MPG400/401 Invertiertes Magnetron-Pirani-Messgerät ......................................................................................................A149
Augent™ OPG550 Optisches Plasma-Messgerät ................................................................................................................A153
VGC501, VGC502, VGC503 Vakuummessgerät-Controller ................................................................................................A157
PGD500 Pirani-Messgerät-Display .....................................................................................................................................A161
Passive Vakuummessgeräte & Controller
PGE050 Pirani-Messgerät-Enhanced - Passiv ....................................................................................................................A165
VGC031 Vakuummessgerät-Controller - Passiv .................................................................................................................A169
BAG050 - BAG053 & BAG055 Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe - Passiv .......................................................................A173
MAG050, MAG060 Invertierte Magentron-Köpfe - Passiv ..................................................................................................A177
VGC083A, VGC083B, VGC083C Vakuummessgerät-Controller - Passiv ...........................................................................A181
Vakuumschalter
VSA100A Vakuumschalter ..................................................................................................................................................A187
VSA200, VSD200 Vakuumschalter ......................................................................................................................................A189
VSC150A Vakuumschalter ..................................................................................................................................................A193
Services
Vacuum Gauges Kalibrierservice .......................................................................................................................................A197
Vacuum Control Prüfbescheinigungsservice ......................................................................................................................A199

ii | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Umgebungskapazitätsmembranmessgerät

Porter™ CDG020D
Porter™ CDG020D
Umgebungskapazitätsmembranmessgerät

Das Umgebungskapazitätsmembranmessgerät
INFICON Porter CDG020D ist ein qualitativ
hochwertiger, kostengünstiger und gasartunabhängiger
Absolutdrucksensor. Der Porter-Sensor ist für den
stabilen Langzeiteinsatz in Industrieumgebungenausgelegt. Der Keramiksensor bietet ausgezeichnete
Messbereichsstabilität über viele Jahre hinweg sowie
einen wartungsfreien Betrieb in Verbindung mit
hervorragender Nullpunktstabilität. Die aus einem
einzigen Werkstoff bestehende korrosionsbeständige
Sensorarchitektur garantiert eine ausgezeichnete
Temperaturkompensation. Die volldigitale Elektronik unddie geringe Einbaufläche setzen neue Maßstäbe für die
Integration in beliebige Anlagen. Das PorterVakuummessgerät ist einfach, zuverlässig, immer
verfügbar und überzeugt durch sein attraktives PreisLeistungsverhältnis.
VORTEILE• Ausgezeichnete Messbereichsstabilität —gasartunabhängig
• Korrosionsbeständiger Aluminiumoxid-Sensor• Kompakt, kleinste Baugröße in seiner Klasse• Einfache Integration, beliebige Einbaulage• Digitale Signalverarbeitung• Wartungsfrei
ANWENDUNGEN• Vakuumbeschichtung• Vakuumüberwachung• Sterilisation• Lebensmittel und Verpackungen• Vakuumöfen, Ziehanlagen• Analytik• Chemische Vakuumprozesse

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A1

VAKUUMMESSGERÄTE | UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Porter™ CDG020D
BESTELLINFORMATIONEN

3 C A 3 – F 5 1 – 0 1 0 0Electrical connection

Accuracy
1%
0.5%

0
1
A

3
4

FlangeFull Scale (FS)(Torr only)(mbar only)

10
20
50
100
200
500
1000
1100

FCC, 8-pin
D-Sub, 9-pin
Binder, M12, 8-pin

1
3
9
C
D
E

9
A
B
C
D
E
F
G

Unit
5
6

fett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.

A2 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD ½ in. tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female

Torr (× 1.33 mbar; × 133 Pa)
mbar (× 100 Pa)

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Porter™ CDG020D
TECHNISCHE DATEN
Messbereich FS (Full Torr
1000
100
10
500
200
50
20
110.000 10.000 1000
2.666
Scale)
Pa
133.322 13.332 1.333 66.661 26.664 6.666
667
267
66,7
27
1100
100
10
mbar
1333
133
13,3
Genauigkeit1)
3CA3-xxx-xxx% des1
Messwertes
0,5
3CA4-xxx-xxx% desMesswertes
Temperatureffekt
Auf Null% FS / °C
0,02
Auf Bereich
% des
0,02
Messwertes /°C
Auflösung% FS
0,05
Langzeitstabilität% FS / Jahr
0,5
Niedrigster Messwert
% FS
0,05
Temperaturkompensierter °C+10 ... +50
BereichZulässige
Temperatur
Betrieb (Umgebung)°C
0 ... +70
2)
Ausheizen am Flansch°C≤110
Lagerung°C–20 ... +85
Grenzwerte für die% RH<80%, nicht kondensierend
Umgebungsluftfeuchtigkeit
Versorgungsspannung
V (DC)+13 ... +30
LeistungsaufnahmeW≤0,3Ausgangssignal (analog)
V (DC)
0 ... +10
Max. Ausgangsspannung V (DC)+10,24
Ansprechzeit3)ms
100
Schutzart
IP 40
Standards
CE-Konformität
EMV (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 und RoHSETL-Zertifizierung
UL 61010-1, CAN/CSA C22.2 Nr. 61010-1
SEMI-Compliance
SEMI S2
Elektrischer Anschluss
3CAx-xxx-0000
FCC, 8-polig
D-Sub, 9-polig, Stecker
3CAx-xxx-0100
Binder M12, 8-polig, Stecker
3CAx-xxx-0A00
Materialien, die dem
Aluminiumoxidkeramik (AI2O3), Edelstahl 1.4404 (AISI 316L)
Vakuum ausgesetzt sindFestigkeit
mbar l/s<1x10-9
Einbaulage
Beliebig
Internes Volumen
1/2"-Rohr
cm3 (Zoll3)
3,6 (0,219)
DN 16 ISO-KF
cm3 (Zoll3)
3,7 (0,226)
DN 16 ISO-CF
cm3 (Zoll3)
5,0 (0,305)®
334 VCR malecm (Zoll )6,1 (0,372)
4 VCR® female
cm3 (Zoll3)
5,6 (0,342)
8 VCR® female
cm3 (Zoll3)
5,1 (0,311)
1)
2)
3)

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Nichtbetrieb
Anstieg 10 ... 90% FS

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A3

VAKUUMMESSGERÄTE | UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Porter™ CDG020D
Messbereich FS (Full Torr
Scale)
Pa
mbar
Gewicht
1/2"-Rohrg
DN 16 ISO-KF
g
DN 16 ISO-CFg
4 VCR® maleg
4 VCR® femaleg
8 VCR® femalegWartung
1)
2)
3)

1000
100
10
133.322 13.332 1.333
1333
133
13,3

500
66.661667

200
26.664
267

50
6.666
66,7

20
2.666
27

110.000 10.000 1000
1100
100
10

~94
~110
~135
~123
~133
~159
Keine

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Nichtbetrieb
Anstieg 10 ... 90% FS

A4 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Porter™ CDG020D
ABMESSUNGENVACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A5

VAKUUMMESSGERÄTE

Porter™ CDG020D

A6 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Umgebungskapazitätsmembranmessgerät

SKY® CDG025D, CDG025D-S
SKY® CDG025D, CDG025D-S
Umgebungskapazitätsmembranmessgerät

Die Kapazitätsmembranmessgeräte der INFICON SKY
CDG025D-Reihe sind hochpräzise
temperaturkompensierte Manometer mit stabiler
Performance in anspruchsvollen Prozessumgebungen.
Die fortschrittliche digitale Elektronik verbessert die
Performance des Messgerätes und umfasst
bedienerfreundliche Funktionen, wie z.B. einen
Nullpunktabgleich per Knopfdruck und eine
Sollwertjustierung. Der korrosionsbeständige ultrareine
Keramiksensor bietet eine exzellente Nullpunktstabilität
mit einer langen Lebenserwartung von mehreren
Millionen Druckzyklen, einschließlich
Atmosphärendruckeinbrüchen. Der einzigartige, zum
Patent angemeldete Sensorschutzschild schützt das
Messgerät vor prozessbedingten Verunreinigungen. Die
robuste mechanische Konstruktion und die digitale
Elektronik verbessern die EMV-Kompatibilität,
Langzeitstabilität und Temperaturkompensation. Das
CDG025D setzt neue Standards in Bezug auf schnelle
Stabilität nach dem Einschalten und schnelle Erholung
nach Atmosphärendruckexposition.
VORTEILE• Full Scale Bereich von 100 mTorr … 1000 Torr
• Schnelle Stabilität nach dem Einschalten• Schnelle Erholung nach Atmosphärendruckexposition• Korrosionsbeständiger Keramiksensor• Ausgezeichnete Langzeit-Signalstabilität• Temperaturkompensation• Kontaminationsgeschützter Sensor• Nullpunktabgleich mit einem einzigen Tastendruck• Vielfältige Stromversorgungsmöglichkeiten• Zwei Sollwerte (optional)• RS232-Schnittstelle (optional)
ANWENDUNGEN• Halbleiterherstellung (Etch, CVD, PVD und ALD)
• Produktionsanlagen für Data Storage und Displays• Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren• Allgemeine Druckmessung mit hoher Präzision

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A7

VAKUUMMESSGERÄTE | UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG025D, CDG025D-S
BESTELLINFORMATIONEN

CDG025D, TEMPERATURKOMPENSIERT
Full Scale Bereich
Torr
1000
100
10
1
0,1

Pascal133.32213.332
1.333
133
13,3

Flanschart
mbar
1333
133
13,3
1,3
0,13

1/2-Zoll-Rohr
375-000
376-000
377-000
378-000
379-000

DN 16 ISO-KF
375-001
376-001
377-001
378-001
379-001

DN 16 CF-R
375-002376-002377-002378-002379-002

8 VCR
375-003376-003377-003378-003379-003

DN 16 CF-R
375-302375-502382-302376-302376-502383-302377-302377-502378-302378-502385-302379-302379-502

8 VCR
375-303375-503382-303376-303376-503383-303377-303377-503378-303378-503385-303379-303379-503

CDG025D, MIT 2 SCHALTPUNKTEN UND RS232-SCHNITTSTELLE,TEMPERATURKOMPENSIERT
Full Scale Bereich
Torr
1000
–
200
100
–
20
10
–
1
–
0,25
0,1
–

Pascal133.322110.000
26.66413.33210.000
2.666
1.333
1.000
133
100
33,3
13,3
10

Flanschart
mbar
1333
1.100
267
133
100
26,7
13,3
10
1,3
1
0,33
0,13
0,1

1/2-Zoll-Rohr
375-300
375-500
382-300
376-300
376-500
383-300
377-300
377-500
378-300
378-500
385-300
379-300
379-500

fett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.

A8 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

DN 16 ISO-KF
375-301375-501
382-301
376-301
376-501
383-301
377-301
377-501378-301378-501385-301379-301379-501

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

SKY® CDG025D, CDG025D-S
TECHNISCHE DATEN (TORR-BASIERTE STANDARDPRODUKTE)
Messbereich FS (FullScale)
Genauigkeit1)
Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Auflösung
Druck, max.
Ansprechzeit2)
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener
Messwert
Niedrigster empfohlener
Regeldruck
Temperatur
Betrieb (Umgebung)Ausheizen am Flansch3)
Lagerung
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Ausgangssignal (analog)
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
Elektrischer Anschluss
Schaltpunkt4)Relaiskontakt
Hysterese
Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO KF
DN 16 CF-R
8 VCR®
Gewicht
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO KF
DN 16 CF-R
8 VCR®
1)
2)
3)
4)
5)
6)

Torr
Pa
mbar
% des
Messwertes

1000
133.322
1333
0,2

100
13.332
133
0,2

10
1.333
13,3
0,2

1
133
1,3
0,25

0,1
13
0,13
0,5

% FS / °C% desMesswertes / °C
% FS
kPa (absolut)
ms
% FS
% FS

0,005
0,01

0,005
0,01

0,005
0,01

0,015
0,01

0,02
0,03

0,003
400
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
130
130

0,01
0,05

% FS

0,5

°C
°C
°C
V (DC)W
V (DC)+5 ... +50≤110–40 ... +65+14 ... +30≤1
0 ... +10
IP 30

V (DC) / A (DC)% FS

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)gggg

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, RoHS
EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 Nr. 61010-1
D-Sub, 15-polig, Stecker
Zwei Schaltpunkte (SP1, SP2)
30 / ≤0,5
1
Aluminiumoxidkeramik (AI2O3), Vacon 705), Edelstahl (AISI 316L6)),
AgCuTi Hartlot, Dichtglas
3,6 (0,22)
3,6 (0,22)
3,6 (0,22)
3,6 (0,22)
310
330
350
370

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
Nichtbetrieb
Nur CDG025D-S
28% Ni, 23% Co, 49% Fe
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A9

VAKUUMMESSGERÄTE | UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG025D, CDG025D-S
TECHNISCHE DATEN (TORR-BASIERTE ANDERE BEREICHE)
Messbereich FS (FullScale)
Genauigkeit1)
Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Auflösung
Druck, max.
Ansprechzeit2)
1)
2)

Torr
Pa
mbar
% des
Messwertes–
110.000
1000
0,2

200
26.664267
0,2–110.000
100
0,2

20
2.666
26,7
0,2

–
1.000
10
0,2

–
100
1
0,2

0,25
33,3
0,33
0,25

–
10
0,1
0,5

% FS / °C% desMesswertes / °C
% FS
kPa (absolut)
ms

0,005
0,01

0,005
0,01

0,005
0,01

0,005
0,01

0,005
0,01

0,015
0,01

0,02
0,03

0,02
0,03

0,003
400
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
130
130

0,003
130
130

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS

Weitere technische Daten finden Sie in der obigen Tabelle.
ABMESSUNGEN, INTERNES VOLUMEN, GEWICHT

A10 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Umgebungskapazitätsmembranmessgerät

SKY® CDG025D-X3
SKY® CDG025D-X3
Umgebungskapazitätsmembranmessgerät

Die Kapazitätsmembranmessgeräte der INFICON SKY
CDG025D-Reihe sind hochpräzise
temperaturkompensierte Manometer mit stabiler
Performance in anspruchsvollen Prozessumgebungen.
Die fortschrittliche digitale Elektronik verbessert die
Performance des Messgerätes und umfasst
bedienerfreundliche Funktionen, wie z.B. einen
Nullpunktabgleich per Knopfdruck und eine
Sollwertjustierung. Der korrosionsbeständige ultrareine
Keramiksensor bietet eine exzellente Nullpunktstabilität
mit einer langen Lebenserwartung von mehreren
Millionen Druckzyklen, einschließlich
Atmosphärendruckeinbrüchen. Der einzigartige, zum
Patent angemeldete Sensorschutzschild schützt das
Messgerät vor prozessbedingten Verunreinigungen. Die
robuste mechanische Konstruktion und die digitale
Elektronik verbessern die EMV-Kompatibilität,
Langzeitstabilität und Temperaturkompensation. Das
CDG025D setzt neue Standards in Bezug auf schnelle
Stabilität nach dem Einschalten und schnelle Erholung
nach Atmosphärendruckexposition.
VORTEILE• Full Scale Bereich von 100 mTorr ... 1000 Torr
• Schnelle Stabilität nach dem Einschalten• Schnelle Erholung nach Atmospärendruckexposition• Korrosionsbeständiger Keramiksensor• Ausgezeichnete Langzeit-Signalstabilität• Temperaturkompensation• Doppelter Schutz des Sensors vor Verunreinigung• Nullpunktabgleich mit einem einzigen Tastendruck• Vielfältige Stromversorgungsmöglichkeiten• Zwei Schaltpunkte• RS232-Schnittstelle• Reinraumtauglich
ANWENDUNGEN
Präzise und schnelle Druckmessung für anspruchsvolle
Anwendungen:• Halbleiterherstellung (Etch, CVD, PVD und ALD)
• Produktionsanlagen für Data Storage und Displays• Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren• Allgemeine Druckmessung mit hoher Präzision

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A11

VAKUUMMESSGERÄTE | UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG025D-X3
BESTELLINFORMATIONEN

3 C B 1 – 6 5 1 – 2 3 0 00BStandard
P control 1)

Full Scale (FS)(Torr only)(mbar only)
1)

0.1
0.25
0.5
1
2
5
10
20
50
100
200
500
1000
1100

3
4
5
6
7
8
9
A
B
C
D
E
F
G

Optimierte Signalfiltereinstellung für die Druckregulierung

fett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.

A12 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Flange1
3
9
C
DE

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD ½ in. tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female

Unit
5
6

Torr (× 1.33 mbar; × 133 Pa)
mbar (× 100 Pa)

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

SKY® CDG025D-X3TECHNISCHE DATEN (TORR-BASIERTE STANDARDPRODUKTE)
MessbereichFS (FullScale)
Genauigkeit1)
Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Auflösung
Druck, max.
Ansprechzeit2)
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener
Messwert
Niedrigster empfohlener
Regeldruck
Temperatur
Betrieb (Umgebung)Ausheizen am Flansch4)
Lagerung
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Ausgangssignal (analog)
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
Elektrischer Anschluss
Schaltpunkt
Relaiskontakt
Hysterese
Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO KF
DN 16 CF-R
8 VCR®
Gewicht
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO KF
DN 16 CF-R
8 VCR®
1)
2)
3)
4)
5)

Torr
Pa
mbar
% des
Messwertes

1000
133.322
1333
0,2

100
13.332
133
0,2

10
1.333
13,3
0,2

1
133
1,3
0,2

0,1
13
0,13
0,5

% FS / °C% desMesswertes / °C
% FS
kPa (absolut)
ms
% FS
% FS

0,005
0,01

0,005
0,01

0,005
0,01

0,015
0,01

0,02
0,03

0,003
400
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
130
130 / 303)

0,01
0,05

% FS

0,5

°C
°C
°C
V (DC)W
V (DC)+5 ... +50≤110–20 ... +65+14 ... +30≤1
0 ... +10
IP 30

V (DC) / A (DC)% FS

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)gggg

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010, RoHSUL 61010-1, CSA 22.2 Nr.61010-1
D-Sub, 15-polig, Stecker
Zwei Schaltpunkte (SP1, SP2)
30 / ≤0,5
1
Aluminiumoxidkeramik (AI2O3), Edelstahl (AISI 316L5))3,6 (0,22)
3,6 (0,22)
3,6 (0,22)
3,6 (0,22)
310
330
350
370

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
Nur für Ausführung mit Druckregulierung
Nichtbetrieb
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A13

VAKUUMMESSGERÄTE | UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG025D-X3TECHNISCHE DATEN (TORR-BASIERTE ANDERE BEREICHE)
Messbereich FS (FullScale)
Genauigkeit1)
Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Auflösung
Druck, max.
Ansprechzeit2)
1)
2)
3)

Torr
Pa
mbar
% des
Messwertes–
110.000
1000
0,2

200
26.664267
0,2–110.000
100
0,2

20
2.666
26,7
0,2

–
1.000
10
0,2

–
100
1
0,2

0,25
33,3
0,33
0,25

–
10
0,1
0,5

% FS / °C% desMesswertes / °C
% FS
kPa (absolut)
ms

0,005
0,01

0,005
0,01

0,005
0,01

0,005
0,01

0,005
0,01

0,015
0,01

0,02
0,03

0,02
0,03

0,003
236
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
260
30

0,003
130
130

0,003
130
130 / 303)

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
Nur für Ausführung mit Druckregulierung

Weitere technische Daten finden Sie in der obigen Tabelle.
ABMESSUNGEN, INTERNES VOLUMEN, GEWICHT

A14 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Umgebungskapazitätsmembranmessgerät

SKY® CDG025D-X3 4-20mA Stromschleife
SKY®
CDG025D-X3 4-20mA Stromschleife
Umgebungskapazitätsmembranmessgerät

Die Kapazitätsmembranmessgeräte der INFICON SKY
CDG025D-Reihe sind hochpräzise
temperaturkompensierte Manometer mit stabiler
Performance in anspruchsvollen Prozessumgebungen.
Die fortschrittliche digitale Elektronik verbessert die
Performance des Messgerätes und umfasst
bedienerfreundliche Funktionen, wie z.B. einen
Nullpunktabgleich per Knopfdruck und eine
Sollwertjustierung. Der korrosionsbeständige ultrareine
Keramiksensor bietet eine exzellente Nullpunktstabilität
mit einer langen Lebenserwartung von mehreren
Millionen Druckzyklen, einschließlich
Atmosphärendruckeinbrüchen. Der einzigartige, zum
Patent angemeldete Sensorschutzschild schützt das
Messgerät vor prozessbedingten Verunreinigungen. Die
robuste mechanische Konstruktion und die digitale
Elektronik verbessern die EMV-Kompatibilität,
Langzeitstabilität und Temperaturkompensation. Das
CDG025D setzt neue Standards in Bezug auf schnelle
Stabilität nach dem Einschalten und schnelle Erholung
nach Atmosphärendruckexposition.
VORTEILE• Full Scale Bereich von 100 mTorr ... 1000 Torr
• Schnelle Stabilität nach dem Einschalten• Schnelle Erholung nach Atmosphärendruckexposition• Korrosionsbeständiger Keramiksensor• Ausgezeichnete Langzeit-Signalstabilität• Temperaturkompensation• Doppelter Schutz des Sensors vor Verunreinigung• Nullpunktabgleich mit einem einzigen Tastendruck• Schnittstelle mit 2-adriger Stromschleife• Kabellänge bis zu 300 m• Niedriger Energiebedarf• Remote-Zero integriert• Reinraumtauglich• Status-LED
ANWENDUNGEN• Halbleiterherstellung (Etch, CVD, PVD und ALD)
• Produktionsanlagen für Data Storage und Displays• Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren• Allgemeine Druckmessung mit hoher Präzision

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A15

VAKUUMMESSGERÄTE | UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG025D-X3 4-20mA Stromschleife
BESTELLINFORMATIONEN

3 C B 1 – 6 5 1 – 0 1 E 0
Full Scale (FS)(Torr only)(mbar only)

0.1
0.25
0.5
1
2
5
10
20
50
100
200
500
1000
1100

3
4
5
6
7
8
9
A
B
C
D
E
F
G

fett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.

A16 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Flange1
3
9
C
DE

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD ½ in. tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female

Unit
5
6

Torr (× 1.33 mbar; × 133 Pa)
mbar (× 100 Pa)

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

SKY® CDG025D-X3 4-20mA Stromschleife
TECHNISCHE DATEN (TORR-BASIERTE STANDARDPRODUKTE)
Messbereich FS (Full Scale)

Genauigkeit1)
Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Auflösung
Druck, max.
Ansprechzeit2)
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener
Messwert
Niedrigster empfohlener
Regeldruck
Temperatur
Betrieb (Umgebung)Ausheizen am Flansch3)
Lagerung
Versorgungsspannung
Ausgangssignal (analog)
Verhältnis Strom-Druck
Signalbereich
Messbereich (Null ... FS)
Impedanz bei Nennabschluss
RLΩabsolut
Remote-Zero-Eingang
Hoher Pegel (Impuls > 1s)
Niedriger Pegel
Remote-Zero-Funktion
Hoher Pegel (Impuls > 1s)
Niedriger Pegel
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
Elektrischer Anschluss
Sensorkabel
Ohne Remote-Zero
Mit Remote-ZeroMaterialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen
1/2"-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR®
1)
2)
3)
4)
5)

Torr
Pa
mbar
% des
Messwertes

1000
133.3221333
0,2500...10
66.661...1.333
66,7...13,3
0,2

1
133
1,3
0,2

0,25
33,3
0,33
0,25

0,1
13
0,13
0,5

% FS / °C% desMesswertes / °C
% FS
kPa (absolut)
ms
% FS
% FS

0,005
0,01

0,005
0,01

0,015
0,01

0,02
0,03

0,02
0,03

0,003
300
≤100

0,003
200
≤100

0,003
200
≤100

0,003
200
≤100

0,003
130
≤100

0,01
0,05

% FS

0,5

°C
°C
°C
V (DC)+5 ... +60≤110–20 ... +65+21 ... +27
2-adrige Stromschleife
linear
3,8 ... 20,2
4,0 ... 20,0mA
mA

typisch 500Ω±1% 24±3 V (DC)4)
309 ... 657Ω bei 24 V (DC)4)
Digitaleingang, potenzialfreier Kontakt+21 ... +27 V (DC) / ≤8 mA≤2
autom. Zero-Anpassung
Messbetrieb
IP 30
EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHSUL 61010-1, CSA 22.2 Nr.61010-1
D-Sub, 9-polig, Stecker
zweiadriges Kabel plus Abschirmung, verdrillt
vieradriges Kabel plus Abschirmung, verdrillt
Aluminiumoxidkeramik (AI2O3), Edelstahl (AISI 316L5))

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)

3,6 (0,22)
3,6 (0,22)
3,6 (0,22)
3,6 (0,22)

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
Nichtbetrieb
Versorgungsspannung am Messgerät
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A17

VAKUUMMESSGERÄTE | UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG025D-X3 4-20mA Stromschleife
Messbereich FS (Full Scale)

Gewicht
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR®
1)
2)
3)
4)
5)

Torr
Pa
mbar

1000
133.3221333

500...10
66.661...1.333
66,7...13,3

g
g
g
g

1
133
1,3

0,25
33,3
0,33
310
330
350
370

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
Nichtbetrieb
Versorgungsspannung am Messgerät
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

ABMESSUNGEN

A18 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

0,1
13
0,13

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Umgebungskapazitätsmembranmessgerät

Edge™ CDG025D2 mit EtherCAT
Edge™ CDG025D2 mit EtherCAT
Umgebungskapazitätsmembranmessgerät

Das temperaturkompensierte INFICON
Kapazitätsmembranmessgerät Edge CDG025D2 mit
EtherCAT Schnittstelle bietet äußerst genaue
Vakuummessungen in rauer Fertigungsumgebung.
Der bewährte, temperaturkompensierte,korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor
bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele
Jahre hinweg sowie eine exzellente Nullpunktstabilität.
Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentiertem
Sensorschutz geliefert, der den Sensor vor
unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Die
moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten
Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alleAnwendungen mit einer EtherCAT-Feldbus-Schnittstelle.
VORTEILE• Einfache Integration, EtherCAT-Schnittstelle, breites
Spektrum an Messbereichen und Flanschen,Standard mit zwei Schaltpunkten• Einfacher "Zero"-Befehl, entweder manuell per
Knopfdruck oder über Remote-Signal, einstellbarer
Zero-Offset• Diagnose-Port für schnellen Service und schnelle
Wartung• Korrosionsbeständiger Keramiksensor• Ausgezeichnete Langzeit-Signalstabilität• Temperaturkompensation• Kontaminationsgeschützter Sensor• Compliance & Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
ANWENDUNGEN• Halbleiterherstellung (Etch, CVD, PVD und ALD)
• Produktionsanlagen für Data Storage und Displays• Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren• Allgemeine Druckmessung mit hoher Präzision

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A19

VAKUUMMESSGERÄTE | UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Edge™ CDG025D2 mit EtherCATBESTELLINFORMATIONEN

3 C B 5 – 9 5 1 – 2 3 G 00BStandard
P control 1)

Full Scale (FS)(Torr only)(mbar only)

0.1
0.25
0.5
1
2
5
10
20
50
100
200
500
1000
1100

3
4
5
6
7
8
9
A
B
C
D
E
F
G

Flange1
3
9
C
DE

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD ½ in. tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female

Unit
5
6
1)

Optimierte Signalfiltereinstellung für die Druckregulierung

fett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.

A20 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Torr (× 1.33 mbar; × 133 Pa)
mbar (× 100 Pa)

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Edge™ CDG025D2 mit EtherCATTECHNISCHE DATEN (TORR-BASIERTE STANDARDPRODUKTE)
Messbereich FS (Full Scale)

Genauigkeit1)
Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Auflösung
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener
Messwert
Niedrigster empfohlener
Regeldruck
Temperatur
SensorBetrieb (Umgebung)Ausheizen am Flansch
Lagerung
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Bei Betriebstemperatur
Ausgangssignal (analog)
Ansprechzeit2)
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
SEMI-Compliance
Elektrischer Anschluss
Schaltpunkt
Anzahl Schaltpunkte
Relaiskontakt
Hysterese
Diagnose-PortProtokoll
Lesen
Einstellen
Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen
1/2"-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR®
1)
2)
3)
4)

Torr
Pa
mbar
% des
Messwertes

1000
133.3221333
0,2% FS / °C
0,005
% des
0,01
Messwertes / °C
kPa (absolut)
400
% FS
% FS
% FS

500 ... 1066.661 ... 1.333
66,7 ... 13,3
0,2

1
1333
1,3
0,2

0,25
33,3
0,33
0,25

0,1
13
0,13
0,5

0,005
0,01

0,015
0,01

0,02
0,03

0,02
0,03

260

260

130

130

0,003
0,01
0,05

% FS
0,5
°C
°C
°C
°C

W
V (DC)
ms

25+5 ... +50≤110–20 ... +65+14 ... +30 V (DC) oder ± 15 V (±5%)<3 W
0 ... +1030

130130/303)

IP 40
EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 & RoHSUL 61010-1, CSA 22.2 Nr.61010-1
SEMI S2
D-Sub, 15-polig, Stecker

V (DC) / A (DC)% FS

2 (SP1, SP2)
≤30 / ≤0,5
1
RS232-C
Druck, Status, ID
Schaltpunkte, Filter, Zero-Anpassung, Rücksetzung auf Werkseinstellung, DC-Offset
Aluminiumoxidkeramik (AI2O3), Edelstahl (AISI 316L4))

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
Nur für Ausführung mit Druckregulierung
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A21

VAKUUMMESSGERÄTE | UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Edge™ CDG025D2 mit EtherCAT
Messbereich FS (Full Scale)

Gewicht
1/2"-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR®
1)
2)
3)
4)

Torr
Pa
mbar

1000
133.3221333

500 ... 1066.661 ... 1.333
66,7 ... 13,3

g
g
g
g

1
1333
1,3

0,25
33,3
0,33

0,1
13
0,13

837
852
875
897

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
Nur für Ausführung mit Druckregulierung
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

EtherCAT®
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenratem (ft.)
Kbps

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)100000

A22 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UMGEBUNGSKAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Edge™ CDG025D2 mit EtherCATABMESSUNGENVACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A23

VAKUUMMESSGERÄTE

Edge™ CDG025D2 mit EtherCAT

A24 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

SKY® CDG045D
SKY® CDG045D
Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

INFICON SKY CDG045D-Manometer sind die beste
Wahl für die hochpräzise Totaldruckmessung und regelung. Für bestmögliche Signalstabilität und
Wiederholbarkeit sind CDG045D-Messgeräte auf 45°C
temperaturgeregelt. Sie sind für Full Scale Bereiche von
50 mTorr bis 1000 Torr sowie mit allen gebräuchlichen
Flanschtypen und Feldbusschnittstellen erhältlich undgeben ein lineares, gasartunabhängiges Drucksignal
von 0 bis 10 V aus.Kapazitätsmanometer von INFICON
verwenden eine ultrareine, korrosionsbeständige
Keramikmembran aus Aluminiumoxid. Die Vorteile desKeramiksensors sind eine bessere Signalstabilität,
schnellere Erholung nach Atmosphärendruckexposition,
kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange
Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ
hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren füranspruchsvolle Vakuumanwendungen.
VORTEILE• Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere
Aufheizung und energieeffizienter niedriger
Stromverbrauch• Einfache Integration, breites Spektrum an Full Scales,
Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei
Schaltpunkten• Einfacher "Zero"-Befehl, entweder manuell per
Knopfdruck oder über Remote-Signal, einstellbarer
Zero-Offset• Diagnose-Port für schnellen Service und schnelle
Wartung• Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit
fortschrittlichem Heizkonzept und Sensorschutz• Keine langfristige Rekalibrierung aufgrund vonexzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit,
selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen• Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
ANWENDUNGEN• Etch-, CVD-, PVD- und andere
Halbleiterfertigungsprozesse• Chemische und korrosive Vakuumprozesse• Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse• Referenzsensor zur Überwachung von Prüfgeräten
gemäß internationaler Standards• Transferstandards zur Rückführbarkeit der Messung

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A25

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG045D
BESTELLINFORMATIONEN

3 C C 1 – 6 5 1 – 2 3 0 0
Full Scale (FS)(Torr only)(mbar only)

0.05
0.1
0.25
0.5
1
2
5
10
20
50
100
200
500
1000
1100

0
B

2
3
4
5
6
7
8
9
A
B
C
D
E
F
G

Fieldbus interface
0
1
2
A
E
G

(× 1.33 mbar; × 133 Pa)(× 100 Pa)

1)
2)

Torr
mbar

5
6

23
01

1
3
9
C
D
E
H

Optimierte Signalfiltereinstellung für die Druckregulierung
Nicht möglich mit Feldbus-Schnittstellenfett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.

ZUBEHÖR
Typ
Kommunikationsadapter (2 m) für PC, serieller RS232-Anschluss1)1)

None
DeviceNet TM
Profibus DP TM
Profinet TM
4...20mA current loop
EtherCAT

Connector

Flange
Unit

Standard
P control 1)

Teilenr.
303-333

Diagnose-SW auf Anfrage verfügbar

A26 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD ½ in. tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female
8 VCR female long

15-pin D-Sub, 2SP
9-pin D-Sub 2)

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

SKY® CDG045D
TECHNISCHE DATEN (TORR-BASIERTE STANDARDPRODUKTE)
TypGenauigkeit 1)
Temperatureffekt
Auf Null
Temperatureffekt
Auf Bereich
Druck, max.
Auflösung
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener
Messwert
Niedrigster empfohlener
Regeldruck

1000 Torr, 1100 mbar
% desMesswertes
Prozent FS/°C

0,0025% desMesswertes / °C
kPa (absolut)
Prozent FS
Prozent FS
Prozent FS

0,01
400

Prozent FS
Temperatur
Betrieb (Umgebung)Ausheizen am Flansch
Lagerung
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Beim Aufwärmen
Bei Betriebstemperatur
Ausgangssignal (analog)
Ansprechzeit 2)
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
SEMI-Compliance
Elektrischer Anschluss
Schaltpunkt
Anzahl Schaltpunkte
Schaltpunkt
Relaiskontakt
Relaiskontakt
Schaltpunkt
Hysterese
Diagnose-PortProtokoll
Lesen
Einstellen

Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sind

1)
2)
3)
4)

500 ... 1 Torr / mbar
0,15

260
0,003
0,01
0,05

130

0,5

°C
°C
°C

W
W
V (DC)
ms

0,5 ... 0,05 Torr / mbar

+10 … +40
≤110
–20 … +65
+14 … +30 V (DC) oder
±15 V (±5%)

30

≤12
≤8
0 … +1030
IP 40

130/30 3)

EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 & RoHSUL 61010-1, CSA 22.2 Nr.61010-1
SEMI S2
D-Sub, 15-polig, Stecker
2 (SP1, SP2)
V (DC)A (DC)≤30≤0,5Prozent FS

1
RS232-C
Druck, Status, ID
Schaltpunkte, Filter, ZeroAnpassung, Rücksetzung auf Werkseinstellung,
DC-Offset
Aluminiumoxidkeramik (AI2O3),
Edelstahl (AISI 316l 4))

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
Nur für Ausführung mit Druckregulierung
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A27

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG045D
TypInternes Volumen
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO KF
DN 16 CF-R
8 VCR®
Gewicht
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO KF
DN 16 CF-R
8 VCR®
1)
2)
3)
4)1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)

0,5 ... 0,05 Torr / mbar

4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)

g
g
g
g

837
852
875
897

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
Nur für Ausführung mit Druckregulierung
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

TECHNISCHE DATEN (TORR-BASIERTE ANDERE BEREICHE)
Messbereich

Torr

500

200

50

20

5

2

0,5

0,25

FS (Full Scale)Pa

66.66126.664

6.666,1

2.666

666,61

266,66

66,66

33,3

666,61

267

66,67

26,7

6,6661

2,67

0,67

0,33

Genauigkeit 1)

mbar
% des
Messwertes% FS / °C% desMesswertes / °C
kPa (absolut)
ms

0,00250,01

0,00250,01

0,00250,01

0,00050,01

0,00050,01

Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Ansprechzeit 2)
1)
2)

0,15

0,00250,01

0,00250,01

0,0025
0,01

400

260
30

130
130

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS

Weitere technische Daten finden Sie in der obigen Tabelle.

TECHNISCHE DATEN (MBAR-BASIERTE PRODUKTE)
Messbereich

mbar

1100

100

10

1

0,1

FS (Full Scale)
Genauigkeit 1)

Pa
% des
Messwertes

110.000

10.000

1.000
0,15

100

10

% FS / °C% desMesswertes / °C
kPa (absolut)
ms

0,00250,01

0,00250,01

0,0025
0,01

0,005
0,01

0,005
0,01

Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Ansprechzeit 2)
1)
2)
3)

400

260
30

130
130 / 30 3)

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
Nur für Ausführung mit Druckregulierung

Angaben zu weiteren technischen Daten finden Sie in den Tabellen «TECHNISCHE DATEN (Torr-basierte
Standardprodukte)» und «TECHNISCHE DATEN (Torr-basierte andere Produkte)».

A28 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

SKY® CDG045D

TECHNISCHE DATEN DEVICENET
DeviceNet™
Protokoll
Datenraten-Switch
Kabellänge
125 kbps
250 kbps
500 kbps
MAC-ID
Digitale Funktionen

kBaud
m (ft.)m (ft.)m (ft.)

Analoge Funktionen
Visuelle Kommunikationsanzeigen
Spezifikation
Gerätetyp
I/O-Slave Nachrichtenaustausch
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Schaltleistung
Versorgungsspannung für DeviceNet™
Versorgungsspannung für Messgerät
Anschluss für DeviceNet™
Anschluss für Messgeräte (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)V / A (DC)V / A (DC)

DeviceNet™, nur Slave der Gruppe 2
125, 250, 500 oder über Netzwerk programmierbar
500 (1650)
250 (825)
100 (330)
Zwei Switches (Adresse 00 – 63) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
LED Netzwerkstatus (grün / rot)
LED Modulstatus (grün / rot)
DeviceNet™ "Geräteprofil Vakuummessgerät""CG" für Combination Gauge (Kombimessgerät)
Nur Abruf
2-9
1 × 10 … 100
NO (Schließer), potentialfrei
1060 / 0,5+11 - +25 / 0,5+20 - +28 / 0,8
Microstyle, 5-polig
D-Sub, 15-polig, Stecker

TECHNISCHE DATEN PROFIBUS DP
Profibus DP
Baudraten
AdresseDigitale Funktionen

Analoge Funktionen

kBaud
MBaud

9,6 / 19,2 / 93,75 / 187,5 / 500
1,5 / 12Zwei Switches (Adresse 00 - 127) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus, Filament-Status"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A29

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG045D
Profibus DP
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit

2
1 × 10-9 ... 100
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,5

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)Anschluss für Profibus DP
Anschluss für BPG (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 15-polig, Stecker

TECHNISCHE DATEN ETHERCATEtherCAT®
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenratem (ft.)
Kbps

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)100000TECHNISCHE DATEN PROFINET
Profinet™
Kommunikationsprotokoll
Physical Layer
Digitale Funktionen
lesen
einstellen
Profinet-Anschluss
Kabel
Kabellänge

m (ft.)

Datenrate

Kbps

spezielles Protokoll für Profinet
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Druck, Status, ID
Schaltpunkte, Filter, Zero-Anpassung, Reset, DC-Offset
2 × RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Spezielles Ethernet-Patchkabel oder Crossover-Kabel, geschirmt (CAT5e oderhöher)≤100 (330)100000ABMESSUNGEN

A30 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

Edge™ CDG045D2
Edge™ CDG045D2
Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

Das Edge-Kapazitätsmembranmessgerät von INFICON
bietet äußerst genaue Vakuummessungen in rauer
Fertigungsumgebung. Der bewährte,
temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige undultrareine Keramiksensor bietet hervorragende
Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie eineexzellente Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird
mit INFICONs patentiertem Sensorschutz geliefert, derden Sensor vor unerwünschten Prozessnebenprodukten
schützt. Die moderne Elektronik ermöglicht eine übereinen breiten Bereich konfigurierbare
Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine
optional erhältliche EtherCAT®-Feldbus-Schnittstelle.
Das innovative Heizkonzept macht es möglich, dasssich die Außenfläche kühl anfühlt. Zudem spart es Platz
bei der Integration in die Anlage.
Das INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät
seiner Art.
VORTEILE• Kompakt, spart wertvollen Platz bei der Integration in
die Anlage• Einfache Integration, EtherCAT-Schnittstelle, breites
Spektrum an Messbereichen und Flanschen,Standard mit zwei Schaltpunkten• Einfacher "Zero"-Befehl, entweder manuell per
Knopfdruck oder über Remote-Signal, einstellbarer
Zero-Offset• Diagnose-Port für schnellen Service und schnelle
Wartung• Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit
fortschrittlichem Heizkonzept und Sensorschutz• Keine langfristige Rekalibrierung aufgrund vonexzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit,
selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen• Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
ANWENDUNGEN• CVD-, Etch-, PVD- und andere
Halbleiterfertigungsprozesse

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A31

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Edge™ CDG045D2
BESTELLINFORMATIONEN

3 C C 5 – 9 5 1 – 2 3 0 0
Full Scale (FS)(Torr only)(mbar only)

1
2
5
10
20
50
100
200
500
1000
1100

0
B

6
7
8
9
A
B
C
D
E
F
G

Fieldbus interface
0
G

Unit

1)
2)

Torr
mbar

5
6

Optimierte Signalfiltereinstellung für die Druckregulierung
Nicht möglich mit Feldbus-Schnittstellenfett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.

A32 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

None
EtherCAT

Connector
2301

15-pin D-Sub, 2 SP
9-pin D-Sub 2)

Flange(× 1.33 mbar; × 133 Pa)(× 100 Pa)

Standard
P control 1)

1
3
9
C
D
E

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD ½ in. tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Edge™ CDG045D2
TECHNISCHE DATENTypGenauigkeit1)
Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Auflösung
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener Messwert
Niedrigster empfohlener Regeldruck
Temperatur
Betrieb (Umgebung)Ausheizen am Flansch
Lagerung
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Beim Aufwärmen
Bei Betriebstemperatur
Ausgangssignal (analog)
Ansprechzeit2)
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
SEMI-Compliance
Elektrischer Anschluss
Schaltpunkt
Anzahl Schaltpunkte
Relaiskontakt
Hysterese
Diagnose-PortProtokoll
Lesen
Einstellen
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sindInternes Volumen
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR® female
Gewicht
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR® female
1)
2)
3)

1000 Torr, 1100 mbar
% desMesswertes% FS / °C% desMesswertes / °C
kPa (absolut)
% FS
% FS
% FS
% FS
°C
°C
°C

W
W
V (DC)
ms

500 ... 1 Torr / mbar
0,15

0,0025
0,01
400

260
0,003
0,01
0,05
0,5
+10 … +40
≤110
–20 ... +65+14 ... +30 V (DC) oder ±15 V
(±5%)
≤12
≤8
0 ... +1030
IP 40

EMV (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 und RoHSUL 61010-1, CSA 22.2 Nr. 61010-1
SEMI S2
D-Sub, 15-polig, Stecker

V (DC) / A (DC)% FS

2 (SP1, SP2)
≤30 / ≤0,5
1
RS232-C
Druck, Status, ID
Schaltpunkte, Filter, Zero-Anpassung, Rücksetzung auf Werkseinstellung, DC-Offset
Aluminiumoxidkeramik (Al2O3), Edelstahl (AISI 316L3))

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)gggg

4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
~837
~852
~875
~897

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A33

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Edge™ CDG045D2
Typ
EtherCAT
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenrate1)2)
3)1000 Torr, 1100 mbar

m (ft.)
Kbps

500 ... 1 Torr / mbar

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)100000Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

SPEZIFIKATION ETHERCATEtherCAT®
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenratem (ft.)
Kbps

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)100000

A34 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Edge™ CDG045D2
ABMESSUNGENVACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A35

VAKUUMMESSGERÄTE

Edge™ CDG045D2

A36 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

Stripe™ CDG045Dhs
Stripe™ CDG045Dhs
Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

Die INFICON Stripe HochgeschwindigkeitsKapazitätsmembranmessgeräte sind die schnellsten
hochgenauen Vakuummessgeräte auf dem Markt. Mit
Ansprechzeiten von weniger als 2 ms eröffnen sich in
Verbindung mit der EtherCAT-Feldbus-Schnittstelle
vollständig neue Anwendungsmöglichkeiten. Der
bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige
und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende
Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie eineexzellente Nullpunktstabilität. Das Stripe-Messgerät wird
mit INFICONs patentiertem Sensorschutz geliefert,
welche den Sensor vor unerwünschten
Prozessnebenprodukten schützt. Das INFICON Stripe
nutzt ein innovatives Heizkonzept, dass eine berührbare
Außenfläche garantiert. Die hohe Geschwindigkeit
ermöglicht eine beispiellose Produktivitätssteigerung,die es zum fortschrittlichsten Vakuumgerät seiner Art
macht.

Stripe CDG045Dhs ist stolzer Gewinner desrenommierten 2014 R&D 100 Award!
VORTEILE• Hohe Produktivität — Ansprechzeit unter 2 ms (FS >50 mTorr)• Flexible Integration — EtherCAT-Feldbus• Lange Lebensdauer — bewährter Keramiksensor• Rekalibrierung praktisch eliminiert — Full Scale
Stabilität von 90 ppm/Jahr
ANWENDUNGEN• Atomlagenabscheidung• Hochgeschwindigkeits-Prozesssteuerung• PVD, CVD, Ätzen
• Allgemeine Hochtemperatur-Vakuumanwendungen

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A37

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Stripe™ CDG045Dhs
BESTELLINFORMATIONEN

3 C C 9 – 6 5 1 – 2 3 G 0
Full Scale (FS)0.01 1) 2)
0.02 1)0.05 1)
0.1
0.25
0.5
1
2
5
10
20
50
100
200
500
(Torr only) 1000
(mbar only) 1100
1)
2)

S
1
2
3
4
5
6
7
8
9
A
B
C
D
E
F
G

Einbaulage: vertikal
nur Torrfett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.

A38 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Flange1
3
9
C
DE

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD ½ in. tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female

Unit
5
6

Torr (× 1.33 mbar; × 133 Pa)
mbar (× 100 Pa)

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Stripe™ CDG045Dhs
TECHNISCHE DATENTypGenauigkeit 1)
Präzision
Temperatureffekt
Auf Null
1000 …1 Torr/mbar
0,5 …0,05 Torr/mbar
0,02 …0,01 Torr
Auf Bereich
Druck, max.
1000 Torr/mbar
500…1 Torr/mbar
0,5…0,01 Torr/mbar
Auflösung
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener
Messwert
Niedrigster empfohlener
Regeldruck
Temperatur
Betrieb (Umgebung)Ausheizen am Flansch
Lagerung
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Beim Aufwärmen
Bei Betriebstemperatur
Ausgangssignal (analog)
Messrate
Ansprechzeit 2)
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
SEMI-Compliance
Elektrischer Anschluss
Schaltpunkt
Anzahl Schaltpunkte
Relaiskontakt
Hysterese
Diagnose-PortProtokoll
Lesen
Einstellen
Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR® female1)2)% des Messwertes% des Messwertes% FS / °C% FS / °C% FS / °C% des Messwertes / °C

1000 Torr / 1100 mbar 0,5 Torr /
mbar
0,15
-

0,02 ... 0,01 Torr / mbar

0,00250,00 5
0,01

0,01
0,01

0,2

kPa (absolut)kPa (absolut)kPa (absolut)
% FS
% FS
% FS

400
260
130
0,003
0,01
0,05

% FS

0,5

°C
°C
°C

+10 … +40
≤110
–20 … +85
+14 ... +30 V (DC) oder ±15 V (±5%)

WW
V (DC)
kHz
ms

≤14
≤9
0 ... +10
1
2 ... 20
IP 30
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010 und RoHSUL 61010-1, CSA 22.2 Nr. 61010-1
SEMI S2
D-Sub, 15-polig, Stecker

V (DC) / A (DC)% FS

2 (SP1, SP2)
≤30 / ≤0,5
1
USB
Druck, Status, ID
Schaltpunkte, Filter, Zero-Anpassung, Rücksetzung auf Werkseinstellung, DC-Offset
Aluminiumoxidkeramik (Al2O3), Edelstahl (AISI 316L)

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A39

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Stripe™ CDG045Dhs
Typ
Gewicht
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR® female1)2)1000 Torr / 1100 mbar 0,5 Torr /
mbar
g
g
g
g

0,02 ... 0,01 Torr / mbar

837
852
875
897

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS

TECHNISCHE DATEN ETHERCATEtherCAT®
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenratem (ft.)
Kbps

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)100000

A40 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Stripe™ CDG045Dhs
ABMESSUNGENVACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A41

VAKUUMMESSGERÄTE

Stripe™ CDG045Dhs

A42 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

Cube™ CDGsci
Cube™ CDGsci
Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

Das INFICON Cube Kapazitätsmembranmessgerät ist
das genaueste (≤ 0,025 % Rd Genauigkeit; ≤ 50 ppm
F.S. Wiederholbarkeit) und stabilste, kommerziell
erhältliche Vakuummessgerät (< 5 ppm F.S./ °C
Temperaturstabilität; < 70 ppm F.S./ Jahr
Langzeitstabilität). Das Cube wurde als reine
Referenzvorrichtung zur Standardisierung von
Vakuummessanlagen konzipiert und ist die beste Wahl
für Anwendungen in der Vakuumforschung. Der
bewährte, temperaturgeregelte, korrosionsbeständige
ultrareine Keramiksensor von INFICON bildet das
Kernstück für die hervorragende Leistung des Cube. Mit
einem 20 Bit-Analogausgang und RS232-C, TCP/IP und
HTML-Digitalausgang über eine drahtlose oderdrahtgebundene Ethernet-Schnittstelle setzt Cube neue
Massstäbe in puncto moderne Kommunikation und
Benutzerflexibilität.Jedes Gerät wird mit einem
Qualitätssicherungszertifikat geliefert, welches von den
führenden Anwendungsforschern eigenhändig
unterschrieben wurde. Cube wird in einem
wiederverwendbaren Hartschalenkoffer ausgeliefert und
ist darin zur zwischenzeitlichen Aufbewahrung oder fürden Transport an Kalibrierlabors optimal geschützt.
Dies untersreicht seinen professionellen Charakter als
Referenzmessgerät.
VORTEILE• Hochpräzise Druckmessung — Keramiktechnologie• Hochstabile Signalausgabe — belegt durch PTB• Flexible Kommunikation — verschiedene moderne
Schnittstellen• Alle Funktionen sind integriert — kein Controller
erforderlich• Direkte Kammermontage — optimierter Schwerpunkt• Transport ohne Absperrventil möglich
ANWENDUNGEN• Transferreferenzstandard• Primäres Referenzmessgerät• Forschung• Firmeneigener Referenzstandard

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A43

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Cube™ CDGsci
BESTELLINFORMATIONEN

3 C S 1 – C 1 1 – 2 3 0 0
Full Scale (FS)
0.1
1
10
100
1000

Flange
3
6
9
C
F

1
3
E

Andere Flanscharten auf Anfrage.

A44 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR female

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Cube™ CDGsci
SPEZIFIKATION
TypGenauigkeit 1)
Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener
Messwert
Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Beim Aufwärmen
Bei Betriebstemperatur
Ausgangssignal (analog)
Ansprechzeit 2)
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
SEMI-Compliance
Elektrischer Anschluss% desMesswertes% FS / °C% desMesswertes / °C
bar (absolut)
% FS
% FS

1000 Torr
0,025

100 … 1 Torr
0,025

100 mTorr
0,05

0,00050,001

0,0005
0,001

0,005
0,01

3

2,5
0,01
0,05

1,5

°C
°C

W
W
V (DC)
ms+10 … +40
–10 … +50
+14 ... +30 V (DC) oder ±15 V (±5%)
≤15
≤10

≤15
≤10
0 ... +10100
IP 40
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 und RoHSUL 61010-1, CSA 22.2 Nr. 61010-1
SEMI S2
D-Sub, 15-polig, Stecker;
2 × LEMO Coax; Ethernet FCC

Schaltpunkt
Anzahl Schaltpunkte
Relaiskontakt
Hysterese
Diagnose-PortProtokoll

V (DC) / A (DC)
% FS

Lesen
Einstellen
Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR female
Gewicht
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR female

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)

g
g
g

~1670
~1670
~1670

1)
2)
3)

≤12
≤8

2 (SP1, SP2)
≤30 / ≤0,5
1
Webseiten, REST
Services, RS232-ASCII

Webseiten, REST
RS232-C
Services, RS232-ASCII
Druck, Status, ID
Schaltpunkte, Filter, Zero-Anpassung, Rücksetzung auf Werkseinstellung, DC-Offset
Aluminiumoxidkeramik (Al2O3), Edelstahl (AISI 316L 3))

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A45

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Cube™ CDGsci
ABMESSUNGEN

A46 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

SKY® CDG100D
SKY® CDG100D
Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

INFICON SKY CDG100D-Manometer sind die beste
Wahl für die präzise Totaldruckmessung und -regelung.
CDG100D-Messgeräte sind für optimale Performance inanspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf
100°C temperaturgeregelt. Sie sind für Full Scale
Bereiche von 100 mTorr bis 1000 Torr sowie mit allen
gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen
erhältlich und geben ein lineares, gasartunabhängiges
Drucksignal von 0 bis 10 V aus. Kapazitätsmanometer
von INFICON verwenden eine ultrareine,korrosionsbeständige Keramikmembran aus
Aluminiumoxid. Die Vorteile des Keramiksensors sindeine bessere Signalstabilität, schnellere Erholung nach
Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eineaußerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs
sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive
Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasmaund Vakuumanwendungen.
VORTEILE• Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere
Aufheizung und energieeffizienter niedriger
Stromverbrauch• Einfache Integration, breites Spektrum an Full Scale
Bereichen, Flanschen und Schnittstellen,
standardmäßig mit zwei Schaltpunkten• Einfacher "Zero"-Befehl, entweder manuell per
Knopfdruck oder über Remote-Signal, einstellbarer
Zero-Offset• Diagnose-Port für schnellen Service und schnelle
Wartung• Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit
fortschrittlichem Heizkonzept und Sensorschutz• Keine langfristige Rekalibrierung aufgrund vonexzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit,
selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen• Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
ANWENDUNGEN• Etch-, PVD-, CVD- und andere
Halbleiterfertigungsprozesse• Chemische und korrosive Hochtemperaturprozesse• Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, dieeinen Messgeräteschutz erfordern

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A47

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG100D
BESTELLINFORMATIONEN

3 C D 1 – 6 5 1 – 2 3 0 0
Full Scale (FS)(Torr only)(mbar only)

0.1
0.25
0.5
1
2
5
10
20
50
100
200
500
1000
1100

0
B

3
4
5
6
7
8
9
A
B
C
D
E
F
G

Fieldbus interface
0
1
2
A
E
G

1)
2)

Torr
mbar

23
01

15-pin D-Sub, 2 SP
9-pin D-Sub 2)

Flange
1
3
9
C
D
E
H

5
6

Optimierte Signalfiltereinstellung für die Druckregulierung
Nicht möglich mit Feldbus-Schnittstellenfett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.
ZUBEHÖR
Typ
Kommunikationsadapter (2 m) für PC, serieller RS232-Anschluss1)1)

None
DeviceNet TM
Profibus DP TM
Profinet TM
4...20mA current loop
EtherCAT

Connector

Unit(× 1.33 mbar; × 133 Pa)(× 100 Pa)

Standard
P control 1)

Teilenr.
303-333

Diagnose-SW auf Anfrage verfügbar

A48 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD ½ in. tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female
8 VCR female long

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

SKY® CDG100DSPEZIFIKATION (TORR-BASIERTE STANDARDPRODUKTE)
Messbereich

Torr

1000

100

10

1

0,1

FS (Full Scale)Pa1333.322

13.332

1.333

133

13

Genauigkeit 1)

mbar
% des
Messwertes

1333
0,2

133
0,2

13,3
0,2

1,3
0,2

0,13
0,4

0,00250,02

0,00250,02

0,0025
0,02

0,005
0,02

260

260

260

130

Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Auflösung
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener
Messwert
Niedrigster empfohlener
Regeldruck
Temperatur
Betrieb (Umgebung) 2)
Ausheizen am Flansch
Lagerung
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Beim Aufwärmen
Bei Betriebstemperatur
Ausgangssignal (analog)
Ansprechzeit 3)
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
SEMI-Compliance
Elektrischer Anschluss
Schaltpunkt
Relaiskontakt
Hysterese
Diagnose-PortProtokoll
Lesen
Einstellen
Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen½-Zoll-Rohr
DN 16 ISO KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1)
2)
3)
4)
5)

% FS / °C
0,0025% des0,02
Messwertes / °C
kPa (absolut)
400
% FS
% FS
% FS

0,003
0,01
0,05

% FS

0,5

°C
°C
°C

+10 ... +50≤110–20 ... +65+14 ... +30 V (DC) oder ±15 V (±5%)

WW
V (DC)
ms≤15≤10
0 ... +10
30

30

30

30

130 / 30 4)

IP 40

V (DC) / A (DC)% FS

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010
UL 61010-1, CSA 22.2 Nr.61010-1
SEMI S-2
D-Sub, 15-polig, Stecker
Zwei Schaltpunkte (SP1, SP2)
≤30 / ≤0,5
1
RS232-C
Druck, Status, ID,
Schaltpunkte, Filter, Zero-Anpassung, Rücksetzung auf Werkseinstellung, DC-Offset
Aluminiumoxidkeramik (AI2O3), Edelstahl (AISI 316L 5))

cm3 (Zoll3)4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Umgebungstemperaturen >40°C können Oberflächentemperaturen über die SEMI S2- Konformitätsstufen ansteigen lassen — Warnhinweis "Achtung, heiß!" anbringen
Anstieg 10 ... 90% FS
Nur für Ausführung mit Druckregulierung
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A49

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG100D
Messbereich

Torr

1000

100

10

1

0,1

FS (Full Scale)Pa1333.322

13.332

1.333

133

13

mbar

1333

133

13,3

1,3

0,13

Gewicht½-Zoll-Rohr
DN 16 ISO KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1)
2)
3)
4)
5)

g

837
852
875
897

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Umgebungstemperaturen >40°C können Oberflächentemperaturen über die SEMI S2- Konformitätsstufen ansteigen lassen — Warnhinweis "Achtung, heiß!" anbringen
Anstieg 10 ... 90% FS
Nur für Ausführung mit Druckregulierung
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

TECHNISCHE DATEN (ANDERE BEREICHE)
Messbereich

Torr

500

200

50

FS (Full Scale)Pa

66.66126.664

Genauigkeit 1)

mbar
% des
Messwertes

666,61
0,2

267
0,2

% FS / °C% desMesswertes / °C
kPa (absolut)
ms

0,00250,02400
30Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Ansprechzeit 2)
1)
2)

20

5

2

0,5

0,25

6.666,1

2.666

666,61

266,66

66,66

33,3

66,67
0,2

26,7
0,2

6,6661
0,2

2,67
0,2

0,67
0,4

0,33
0,4

0,00250,02

0,00250,02

0,0025
0,02

0,002
0,025

0,0025
0,02

0,005
0,02

0,005
0,02

260
30

260
30

260
30

260
30

260
30

130
130

130
130

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS

Weitere technische Daten finden Sie in der obigen Tabelle.
TECHNISCHE DATEN (MBAR-BASIERTE PRODUKTE)
Messbereich

mbar

1100

100

10

1

0,1

FS (Full Scale)
Genauigkeit 1)

Pa
% des
Messwertes

110.000

10.000

1.000

100

10
0,4

% FS / °C% desMesswertes / °C
kPa (absolut)
ms

0,00250,02

0,00250,02

0,0025
0,02

0,005
0,02

Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Ansprechzeit 2)
1)
2)
3)

0,2

0,0025
0,02

400

260
30

130
130 / 30 3)

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Anstieg 10 ... 90% FS
Nur für Ausführung mit Druckregulierung

Angaben zu weiteren technischen Daten finden Sie in der Tabelle «TECHNISCHE DATEN (Torr-basierte
Standardprodukte)».
TECHNISCHE DATEN DEVICENET
DeviceNet™
Protokoll
Datenraten-Switch

kBaud

A50 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

DeviceNet™, nur Slave der Gruppe 2
125, 250, 500 oder über Netzwerk programmierbar

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

SKY® CDG100D
DeviceNet™
Kabellänge
125 kbps
250 kbps
500 kbps
MAC-ID
Digitale Funktionen

m (ft.)m (ft.)m (ft.)

Analoge Funktionen
Visuelle Kommunikationsanzeigen
Spezifikation
Gerätetyp
I/O-Slave Nachrichtenaustausch
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Schaltleistung
Versorgungsspannung für DeviceNet™
Versorgungsspannung für Messgerät
Anschluss für DeviceNet™
Anschluss für Messgeräte (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)V / A (DC)V / A (DC)500 (1650)
250 (825)
100 (330)
Zwei Switches (Adresse 00 – 63) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
LED Netzwerkstatus (grün / rot)
LED Modulstatus (grün / rot)
DeviceNet™ "Geräteprofil Vakuummessgerät""CG" für Combination Gauge (Kombimessgerät)
Nur Abruf
2
1 × 10-9 … 100
NO (Schließer), potentialfrei
1060 / 0,5+11 - +25 / 0,5+20 - +28 / 0,8
Microstyle, 5-polig
D-Sub, 15-polig, Stecker

TECHNISCHE DATEN PROFIBUS DP
Profibus DP
Baudraten

kBaud
MBaud

AdresseDigitale Funktionen

Analoge Funktionen
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit
Anschluss für Profibus DP
Anschluss für BPG (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)9,6 / 19,2 / 93,75 / 187,5 / 500
1,5 / 12Zwei Switches (Adresse 00 - 127) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus, Filament-Status"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
2-9
1 × 10 ... 100
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,5
D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 15-polig, Stecker

TECHNISCHE DATEN ETHERCATEtherCAT®
Protokoll

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A51

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG100D
EtherCAT®
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenratem (ft.)
Kbps

Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)100000SPEZIFIKATION PROFINET
Profinet™
Kommunikationsprotokoll
Physical Layer
Digitale Funktionen
lesen
einstellen
Profinet-Anschluss
Kabel
Kabellänge

m (ft.)

Datenrate

Kbps

spezielles Protokoll für Profinet
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Druck, Status, ID
Schaltpunkte, Filter, Zero-Anpassung, Reset, DC-Offset
2 × RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Spezielles Ethernet-Patchkabel oder Crossover-Kabel, geschirmt (CAT5e oderhöher)≤100 (330)100000ABMESSUNGEN

A52 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

Edge™ CDG100D2
Edge™ CDG100D2
Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

Das Edge-Kapazitätsmembranmessgerät von INFICON
bietet äußerst genaue Vakuummessungen in
anspruchsvollen Fertigungsbedingungen. Der
bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige
und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende
Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie eineexzellente Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird
mit INFICONs patentiertem Sensorschutz geliefert, derdas Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten
schützt. Die moderne Elektronik ermöglicht eine übereinen breiten Bereich konfigurierbare
Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine
optional erhältliche EtherCAT-Feldbus-Schnittstelle. Dasinnovative Heizkonzept macht es möglich, dass sich die
Außenfläche kühl anfühlt. Zudem spart es wertvollen
Platz bei der Integration in die Anlage. Das INFICON
Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.
VORTEILE• Kompakt, spart wertvollen Platz bei der Integration in
die Anlage.
• Einfache Integration, EtherCAT-Schnittstelle, breites
Spektrum an Messbereichen und Flanschen,Standard mit zwei Schaltpunkten• Einfacher "Zero"-Befehl, entweder manuell per
Knopfdruck oder über Remote-Signal, einstellbarer
Zero-Offset• Diagnose-Port für schnellen Service und schnelle
Wartung• Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit
fortschrittlichem Heizkonzept und Sensorschutz• Keine langfristige Rekalibrierung aufgrund vonexzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit,
selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen• Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
ANWENDUNGEN• CVD-, Etch-, PVD- und andere
Halbleiterfertigungsprozesse

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A53

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Edge™ CDG100D2
BESTELLINFORMATIONEN

3 C D 5 – 9 5 1 – 2 3 0 0
Full Scale (FS)(Torr only)(mbar only)

1
2
5
10
20
50
100
200
500
1000
1100

0
B

6
7
8
9
A
B
C
D
E
F
G

Fieldbus interface0G(× 1.33 mbar; × 133 Pa)(× 100 Pa)

1)
2)

Torr
mbar

5
6

Optimierte Signalfiltereinstellung für die Druckregulierung
Nicht möglich mit Feldbus-Schnittstellenfett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.

A54 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

None
EtherCAT

Connector
2301

15-pin D-Sub, 2 SP
9-pin D-Sub 2)

Flange
Unit

Standard
P control 1)

1
3
9
C
D
E

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD ½ in. tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Edge™ CDG100D2TECHNISCHE DATENTypGenauigkeit 1)
Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Auflösung
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener
Messwert
Niedrigster empfohlener
Regeldruck
Temperatur
Betrieb (Umgebung) 2)
Ausheizen am Flansch
Lagerung
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Beim Aufwärmen
Bei Betriebstemperatur
Ausgangssignal (analog)
Ansprechzeit 3)
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
SEMI-Compliance
Elektrischer Anschluss
Schaltpunkt
Anzahl Schaltpunkte
Relaiskontakt
Hysterese
Diagnose-PortProtokoll
Lesen
Einstellen
Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR® female
Gewicht
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR® female
1)
2)
3)
4)

1000 ... 500 Torr / mbar

200 ... 1 Torr / mbar

% desMesswertes

0,15% FS / °C% desMesswertes / °C
kPa (absolut)
% FS
% FS
% FS

0,0025
0,02
400

260
0,003
0,01
0,05

% FS

0,5

°C
°C
°C

+10 … +50
≤110
–20 ... +65+14 ... +30 V (DC) oder ±15 V (±5%)

WW
V (DC)
ms≤20≤14
0 ... +1030
IP 40
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 und RoHSUL 61010-1, CSA 22.2 Nr. 61010-1
SEMI S2 2)
D-Sub, 15-polig, Stecker

V (DC) / A (DC)% FS

2 (SP1, SP2)
≤30 / ≤0,5
1
RS232-C
Druck, Status, ID
Schaltpunkte, Filter, Zero-Anpassung, Rückstellung auf Werkseinstellung, DC-Offset
Aluminiumoxidkeramik (Al2O3), Edelstahl (AISI 316L 4))

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)gggg

4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
~837
~852
~875
~897

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Umgebungstemperaturen >40°C können Oberflächentemperaturen über die SEMI S2- Konformitätsstufen ansteigen lassen — Warnhinweis "Achtung, heiß!" anbringen
Anstieg 10 ... 90% FS
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A55

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Edge™ CDG100D2
SPEZIFIKATION ETHERCATEtherCAT®
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenratem (ft.)
Kbps

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)100000ABMESSUNGEN

A56 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

Stripe™ CDG100Dhs
Stripe™ CDG100Dhs
Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

Die INFICON Stripe HochgeschwindigkeitsKapazitätsmembranmessgeräte sind die schnellsten
hochgenauen Vakuummessgeräte auf dem Markt. Mit
Ansprechzeiten von weniger als 2 ms eröffnen sich in
Verbindung mit der EtherCAT-Feldbus-Schnittstelle
vollständig neue Anwendungsmöglichkeiten. Der
bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige
und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende
Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie eineexzellente Nullpunktstabilität. Das Stripe-Messgerät wird
mit INFICONs patentiertem Sensorschutz geliefert, derdas Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten
schützt. Das INFICON Stripe nutzt ein innovatives
Heizkonzept, dass eine berührbare Außenfläche
garantiert. Die hohe Geschwindigkeit ermöglicht eine
beispiellose Produktivitätssteigerung, die es zum
fortschrittlichsten Vakuumgerät seiner Art macht.
VORTEILE• Hohe Produktivität — Ansprechzeit unter 2 ms
• Flexible Integration — EtherCAT-Feldbus• Lange Lebensdauer — bewährter Keramiksensor• Rekalibrierung praktisch eliminiert — Full Scale
Stabilität von 90 ppm/Jahr
ANWENDUNGEN• Atomlagenabscheidung• Hochgeschwindigkeits-Prozesssteuerung• PVD, CVD, Ätzen
• Allgemeine Hochtemperatur-Vakuumanwendungen

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A57

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Stripe™ CDG100Dhs
BESTELLINFORMATIONEN

3 C D 9 – 6 5 1 – 2 3 G 0
Full Scale (FS)(Torr only)(mbar only)

0.1
0.25
0.5
1
2
5
10
20
50
100
200
500
1000
1100

3
4
5
6
7
8
9
A
B
C
D
E
F
G

fett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.

A58 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Flange1
3
9
C
DE

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD ½ in. tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female

Unit
5
6

Torr (× 1.33 mbar; × 133 Pa)
mbar (× 100 Pa)

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Stripe™ CDG100Dhs
TECHNISCHE DATENTypGenauigkeit
Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Auflösung
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener
Messwert
Niedrigster empfohlener
Regeldruck
Temperatur
Betrieb (Umgebung)Ausheizen am Flansch
Lagerung
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Beim Aufwärmen
Bei Betriebstemperatur
Ausgangssignal (analog)
Ansprechzeit
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
SEMI-Compliance
Elektrischer Anschluss
Schaltpunkt
Anzahl Schaltpunkte
Relaiskontakt
Hysterese
Diagnose-PortProtokoll
Lesen
Einstellen
Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR® female
Gewicht
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR® female% desMesswertes% FS / °C% desMesswertes / °C
kPa (absolut)
% FS
% FS
% FS

1000 ... 500 Torr / mbar
0,2

200 ... 1 Torr / mbar
0,20,5 ... 0,1 Torr / mbar
0,4

0,00250,02

0,0025
0,02

0,005
0,02

400

260
0,003
0,01
0,05

130

% FS

0,5

°C
°C
°C

+10 … +50
≤110
–20 … +85
+14 ... +30 V (DC) oder ±15 V (±5%)

WW
V (DC)
ms≤16≤11
0 ... +102
IP 30
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 und RoHSUL 61010-1, CSA 22.2 Nr. 61010-1
SEMI S2
D-Sub, 15-polig, Stecker

V (DC) / A (DC)% FS

2 (SP1, SP2)
≤30 / ≤0,5
1
USB
Druck, Status, ID
Schaltpunkte, Filter, Zero-Anpassung, Rückstellung auf Werkseinstellung, DC-Offset
Aluminiumoxidkeramik (Al2O3), Edelstahl (AISI 316L)

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)gggg

4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
4,2 (0,26)
~837
~852
~875
~897

SPEZIFIKATION ETHERCATEtherCAT®
Protokoll

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A59

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

Stripe™ CDG100Dhs
EtherCAT®
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenratem (ft.)
Kbps

Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)100000ABMESSUNGEN

A60 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

SKY® CDG160D / CDG200D
SKY® CDG160D / CDG200D
Beheiztes Kapazitätsmembranmessgerät

Die Hochtemperaturmanometer INFICON SKY
CDG160D und CDG200D sind die beste Wahl für die
präzise Totaldruckmessung und -regelung. CDG160Dund CDG200D-Messgeräte sind zur besseren
Performance in anspruchsvollen Halbleiter- undPlasmaprozessen auf 160°C bzw. 200°C
temperaturgeregelt. Sie sind für Full Scale Bereiche von
1 Torr bis 1000 Torr sowie mit allen gebräuchlichen
Flanschtypen und Feldbusschnittstellen erhältlich undgeben ein lineares, gasartunabhängiges Drucksignal
von 0 bis 10 V aus. Kapazitätsmanometer von INFICON
verwenden eine ultrareine, korrosionsbeständige
Keramikmembran aus Aluminiumoxid. Die Vorteile desKeramiksensors sind eine bessere Signalstabilität,
schnellere Erholung nach Atmosphärendruckexposition,
kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange
Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ
hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren füranspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und
Vakuumanwendungen.
VORTEILE• Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere
Aufheizung und energieeffizienter niedriger
Stromverbrauch• Einfache Integration, breites Spektrum an Full Scale
Bereichen, Flanschen und Schnittstellen,
standardmäßig mit zwei Schaltpunkten• Einfacher "Zero"-Befehl, entweder manuell per
Knopfdruck oder über Remote-Signal, einstellbarer
Zero-Offset• Diagnose-Port für schnellen Service und schnelle
Wartung• Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit HTHeizkonzept und Sensorschutz• Keine langfristige Rekalibrierung aufgrund vonexzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit,
selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen• Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
ANWENDUNGEN• Etch-, CVD-, PVD- und andere
Halbleiterfertigungsprozesse• Chemische und korrosive Hochtemperaturprozesse• Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, dieeinen Messgeräteschutz erfordern

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A61

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG160D / CDG200D
BESTELLINFORMATIONEN

3 C E 1 – 6 5 E – 2 3 0 0
Sensor temperature °C
160
200

E
F

0
B

Full Scale (FS)

Fieldbus interface(Torr only)(mbar only)

1
2
5
10
20
50
100
200
500
1000
1100

0
1
2
E
G

6
7
8
9
A
B
C
D
E
F
G

1)
2)

Torr
mbar

23
01

15-pin D-Sub, 2SP2)9-pin D-Sub
Flange

1
3
9
C
D
E
H

5
6

Optimierte Signalfiltereinstellung für die Druckregulierung
Nicht möglich mit Feldbus-Schnittstellenfett = Standardprodukte
Andere Flanscharten auf Anfrage.
ZUBEHÖR
Typ
Kommunikationsadapter (2 m) für PC, serieller RS232-Anschluss1)1)

None
DeviceNet TM
Profibus DP TM
4...20mA current loop
EtherCAT

Connector

Unit(× 1.33 mbar; × 133 Pa)(× 100 Pa)

Standard
P control 1)

Teilenr.
303-333

Diagnose-SW auf Anfrage verfügbar

A62 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
OD ½ in. tube
4 VCR male
4 VCR female
8 VCR female
8 VCR female long

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

SKY® CDG160D / CDG200DTECHNISCHE DATEN (TORR-BASIERTE STANDARDPRODUKTE)
MessbereichTorr

FS (Full Scale)mbar

Genauigkeit 1)

Pa
% des
Messwertes

Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Auflösung
Niedrigster Messwert
Niedrigster empfohlener
Messwert
Niedrigster empfohlener
Regeldruck
Temperatur
Betrieb (Umgebung) 2)
Ausheizen am Flansch
Lagerung
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme beim
Aufwärmen
CDG160D
CDG200D
Leistungsaufnahme bei
Betriebstemperatur
CDG160D
CDG200D
Ausgangssignal (analog)
Ansprechzeit 3)
Schutzart
Standards
CE-Konformität
ETL-Zertifizierung
SEMI-Compliance
Elektrischer Anschluss
Schaltpunkt
Relaiskontakt
Hysterese
Diagnose-PortProtokoll
Lesen
Einstellen
Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1)
2)
3)
4)

% FS / °C% desMesswertes / °C
kPa (absolut)
% FS
% FS
% FS

1000
133.322
1333

100

10

1

13.332

1.333

133

13,3

1,3

260

260

133
0,4

0,005
0,02
400

260
0,003
0,01
0,05

% FS

0,5

°C
°C
°C

+10 ... +50≤200–20 ... +65+21 ... +30 V (DC) oder ±15 V (±5%)

W
W

≤18
≤25

W
W
V (DC)ms

V (DC) / A (DC)
% FS

≤12
≤18
0 ... +1030
IP 40
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010
UL 61010-1, CSA 22.2 Nr.61010-1
SEMI S-2
D-Sub, 15-polig, Stecker
Zwei Schaltpunkte (SP1, SP2)
≤30 / ≤0,5
1
RS232-C
Druck, Status, ID,
Schaltpunkte, Filter, Zero-Anpassung, Rücksetzung auf Werkseinstellung, DC-Offset
Aluminiumoxidkeramik (AI2O3), Edelstahl (AISI 316L 4))

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)4,2 ( 0,26)
4,2 ( 0,26)
4,2 ( 0,26)
4,2 ( 0,26)

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Umgebungstemperaturen >40°C können Oberflächentemperaturen über die SEMI S2- Konformitätsstufen ansteigen lassen — Warnhinweis "Achtung, heiß!" anbringen
Anstieg 10 ... 90% FS
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A63

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG160D / CDG200D
MessbereichTorr

FS (Full Scale)

mbar

1000
133.322
1333

100

10

1

13.332

1.333

133

133

13,3

1,3

Pa
Gewicht
1/2-Zoll-Rohr
DN 16 ISO KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1)
2)
3)
4)

g
g
g
g

837
852
875
897

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
Umgebungstemperaturen >40°C können Oberflächentemperaturen über die SEMI S2- Konformitätsstufen ansteigen lassen — Warnhinweis "Achtung, heiß!" anbringen
Anstieg 10 ... 90% FS
18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

TECHNISCHE DATEN (ANDERE BEREICHE)
Messbereich

Torr

500

200

50

20

5

2

FS (Full Scale)Pa

66.66126.664

6.666,1

2.666

666,61

266,66mbar% desMesswertes

666,61

267

66,67

26,7

6,6661

2,67

Genauigkeit 1)
Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Auflösung1)% FS / °C% desMesswertes / °C
kPa (absolut)
% FS

0,4

0,005
0,02
400

260
0,003

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb

Weitere technische Daten finden Sie in der obigen Tabelle.
TECHNISCHE DATEN (MBAR-BASIERTE PRODUKTE)
Messbereich

mbar

1100

100

10

1

FS (Full Scale)
Genauigkeit 1)

Pa
% des
Messwertes

110.000

10.000

1.000
0,4

100

Temperatureffekt
Auf Null
Auf Bereich
Druck, max.
Auflösung1)% FS / °C% desMesswertes / °C
kPa (absolut)
% FS

0,005
0,02
400

260
0,003

Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25°C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb

Angaben zu weiteren technischen Daten finden Sie in der Tabelle «TECHNISCHE DATEN (Torr-basierte
Standardprodukte)».
TECHNISCHE DATEN DEVICENET
DeviceNet™
Protokoll
Datenraten-Switch
Kabellänge
125 kbps
250 kbps
500 kbps

kBaud

DeviceNet™, nur Slave der Gruppe 2
125, 250, 500 oder über Netzwerk programmierbarm (ft.)m (ft.)m (ft.)

500 (1650)
250 (825)
100 (330)

A64 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

SKY® CDG160D / CDG200D
DeviceNet™
MAC-ID
Digitale Funktionen

Analoge Funktionen
Visuelle Kommunikationsanzeigen
Spezifikation
Gerätetyp
I/O-Slave Nachrichtenaustausch
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Schaltleistung
Versorgungsspannung für DeviceNet™
Versorgungsspannung für Messgerät
Anschluss für DeviceNet™
Anschluss für Messgeräte (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)V / A (DC)V / A (DC)Zwei Switches (Adresse 00 – 63) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
LED Netzwerkstatus (grün / rot)
LED Modulstatus (grün / rot)
DeviceNet™ "Geräteprofil Vakuummessgerät""CG" für Combination Gauge (Kombimessgerät)
Nur Abruf
2
1 × 10-9 … 100
NO (Schließer), potentialfrei
1060 / 0,5+11 - +25 / 0,5+20 - +28 / 0,8
Microstyle, 5-polig
D-Sub, 15-polig, Stecker

SPEZIFIKATION PROFIBUS DP
Profibus DP
Baudraten

kBaud
MBaud

AdresseDigitale Funktionen

Analoge Funktionen
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit
Anschluss für Profibus DP
Anschluss für BPG (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)9,6 / 19,2 / 93,75 / 187,5 / 500
1,5 / 12Zwei Switches (Adresse 00 - 127) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus, Filament-Status"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
2
1 × 10-9 ... 100
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,5
D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 15-polig, Stecker

TECHNISCHE DATEN ETHERCATEtherCAT®
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A65

VAKUUMMESSGERÄTE | BEHEIZTES KAPAZITÄTSMEMBRANMESSGERÄT

SKY® CDG160D / CDG200D
EtherCAT®
Kabel
Kabellänge
Datenratem (ft.)Kbps

ABMESSUNGEN

A66 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)100000DRUCKANZEIGE FÜR CDG | VAKUUMMESSGERÄTE

Druckanzeige für CDG

VGD500
Druckanzeige VGD500
für CDG

Die Vakuummessgerät-Display VGD500 von INFICON
ist ein 4-stelliges Display zum Anschluss an unsere
CDG-Produkte. Die kompakte Einheit zeigt den Druckdes angeschlossenen Messgeräts an. Der
Druckmesswert kann in Einheiten von Torr, mTorr, mbar
und Pa angezeigt werden.
VORTEILE• 4 stelliges Display für gute Ablesbarkeit• 10 mm großes, aktives LED-Display - aus der
Entfernung und mit einem großen Betrachtungswinkel
gut ablesbar• In-line Plug Design - Zwischen Gerät undGerätestecker• 15pin D-Sub, kein zusätzlicher Stromanschluss• Kompakte Größe• Kompatibel mit allen Full Scales; 100 mTorr• Druckeinheiten auswählbar (Torr, mTorr, mbar undPa)• CE-zertifiziert

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A67

VAKUUMMESSGERÄTE | DRUCKANZEIGE FÜR CDG

VGD500BESTELLINFORMATIONEN
Typ
Vakuummessgerät-Display
VGD500

VGD500399-653TECHNISCHE DATEN
Typ
Display
Anschluss
Messgeräteseite
Messkabelseite
SignalDruckeinheit (einstellbar)
Stromversorgung
Leistungsaufnahme
Spannung
Schutzart
Temperatur
Betrieb
Lagerung
Einsatz
Anschließbare Geräte bei der
Messung
Bereich (FS) 0,1 mbar/Torr bis
1000 mbar/Torr
Gewicht
Abmessungen

VGD5004-stellig
D-Sub, 15-polig, Buchse
D-Sub, 15-polig, Stecker
Digitaleingang RS232
Torr (Standard), mTorr, mbar, PaW≤1+14 - +30 V(DC) oder +/- 15 V(AC)
IP 40

°C
°C

+5 - +50-20 - +85
Nur in Innenräumen
CDG025D / -S, CDG025D-X3, CDG045D
CDG200D, CDG045D2 … CDG100D2

g
mm

58
50x63x34

A68 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ANWENDUNGSSPEZIFISCHE CDG-LÖSUNG | VAKUUMMESSGERÄTE

Anwendungsspezifische CDG-Lösung

Anwendungsspezifische CDG-Lösung
Anwendungsspezifische CDG-Lösung

Die innovative Keramik-Kapazitätsmembrantechnologie von INFICON bietet neue und einzigartige Lösungen. Die
flexible Plattform ermöglicht es, am Markt nicht mehr erhältliche ältere Geräte direkt, schnell und gezielt zu
ersetzen. Wenden Sie sich bitte für weitere Informationen an unseren Vertrieb.
REMOTE-CDG, KUNDENSPEZIFISCH

Die standardmäßigen beheizten CDG-Produkte erfüllen
nicht Ihre konstruktiven Anforderungen? Beheizte
Remote-CDG könnten in dem Fall die perfekte Lösung
sein.
• Sensor integriert in Hochtemperaturumgebung• Sensor integriert in Bereich mit beschränkten
Platzverhältnissen

UHP-PORTER

Sie benötigen ein UHP-kompatibles CDG? INFICONs xParts-Beschichtung steigert die
Produktleistung auf UHP-Niveau entsprechend einer Reinraum-Doppelverpackung.
• Niedrigere Partikelkontaminierung• Chemikalienbeständig
• Geringere Metallverunreinigung

ALLCERAMIC, DAS CDG FÜR METALLFREIE PROZESSE

Nur keramische Oberflächen (Aluminiumoxid) werden durch Prozessmedien benetzt.
Diese Option ist für alle CDG-Produkte (SKY, Edge, Stripe) verfügbar.
• Höhere Korrosionsbeständigkeit• Geringere Metallverunreinigung• Niedrigere Partikelkontaminierung• Längere Lebensdauer, niedrigerer Wartungsaufwand

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A69

VAKUUMMESSGERÄTE | ANWENDUNGSSPEZIFISCHE CDG-LÖSUNG

Anwendungsspezifische CDG-Lösung
RETROFIT-DIRECT DROP IN REPLACEMENTS

Sie benötigen einen Ersatz für ein am Markt nicht mehr
erhältliches Messgerät einer beliebigen Marke? Kein
Problem, INFICON bietet attraktive Drop-in-Lösungenfür die meisten Altprodukte an, die der Pinbelegung und
der Funktionalität des jeweils anderen Herstellers
entsprechen.
"Klicken Sie hier, um alle Drop-in-Produkte von INFICON
anzuzeigen"
Beispiele:• Dual-Output• Auslösepunktversionen mit Pinbelegung und
Auslösepunkt-Spannungspegel
Pin

Alt-Messgerät

1
2
3

Auslösepunkt A VPegel
Drucksignalausgang
Auslösepunkt A N.C.

4

Auslösepunkt A N.O.

5

Stromrückführung

6
7-15 VDC+15 VDC

8
9

Auslösepunkt A Com
Auslösepunkt B N.O.

10

Auslösepunkt B N.C.

11
12

Auslösepunkt B Com
Drucksignalrückführu
ngAuslösepunkt B VPegel
Keine Verbindung
Gehäuse-Erdung

13
14
15

INFICON
INFICON Drop-inStandardmessgerät Produkte
SP1 allgemein
SP1
Spannungspegel
Signalausgang
Signalausgang
StatusSP1 Öffnerkontakt
N.C.
SP1 no
SP1 Schließkontakt
N.O.
Versorgung
Versorgung
allgemeinallgemein
Versorgung (-15 V) Versorgung (-15 V)
Versorgung (+14...
Versorgung (+14...
+30 V)+30 oder +15V)
SP2 no
SP1 allgemein
SP2 allgemein
SP2 Schließkontakt
N.O.
MessgeräteSP2 ÖffnerIdentifikation
Stromversorgung
SP2 allgemein
Signal allgemein
SP2
Spannungspegel
RS232 TxD
SP2Spannungspegel
RS232 RXD
Nicht verwendet
Gehäuse-Erdung
Gehäuse (GehäuseErdung)

SIE HABEN NICHT DAS PASSENDE CDG FÜR IHRE ANWENDUNG GEFUNDEN?

INFICONs Keramik-Kapazitätsmembrantechnologie, in
Verbindung mit digitaler Signalverarbeitung und unsere
bewährte technische Kompetenz ermöglichen die
Realisierung herausragender und innovativer
Lösungen.

A70 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-STANDARDMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Pirani-Standardmessgerät

PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S
PSG500/-S, PSG502-S,
PSG510-S, PSG512-S
Pirani-Standardmessgerät

Die INFICON Pirani-Standardmessgeräte PSG500,
PSG500-S PSG502-S, PSG510-S und PSG512-S nutzen
die modernste digitale Pirani-Technologie, die derzeit
auf dem Markt verfügbar ist. Dank ihrer robusten
Edelstahlsensorzelle und dem kompakten Aufbau
eignen sie sich ideal für die Verwendung in
Halbleitersystemen sowie für unzähligeStandardvakuumanwendungen.
VORTEILE• Taster für ATM- und HV-Abgleich• Platzsparendes und robustes Design• Aluminiumgehäuse• Messperformance unabhängig von der Einbaulage
des Gerätes. Dies ermöglicht maximale Freiheit bei
der Integration in Ihre Vakuumanlage.
• Messzelle aus Edelstahl• Logarithmischer Signalausgang für einfacheIntegration• 10 bar absoluter Überdruck bei Schraubverbindungen• 250°C ausheizbare Version• Optional mit Nickelfilament für korrosive
Anwendungen• Keramikdurchführung für extrem korrosive
Anwendungen (PSG510 und PSG512)• Optionale Schaltpunkte• RoHS-Compliance
ANWENDUNGEN• Überwachung von HochvakuumIonisationsmessgeräten• Vakuum-Drucküberwachung• Sicherheitskreise in Vakuumsystemen• Allgemeine Vakuummessung und -regelung im Feinund Grobvakuumbereich

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A71

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-STANDARDMESSGERÄT

PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S
BESTELLINFORMATIONEN
Typ

PSG500

PSG500-S

Schaltpunkte
Filament
Durchführung
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
1/8 Zoll NPT
8 VCR
4 VCR
1/2-Zoll-Rohr
7/16-20 UNF
DN 16 ISO-KF long tube
DN 16 CF-R long tube

Keine
WolframGlas
350-060
350-062
350-061
350-064
350-065
350-063350-066
350-067
350-068

Zwei Schaltpunkte Zwei Schaltpunkte Zwei Schaltpunkte Zwei Schaltpunkte
WolframNickelWolframNickelGlas
Glas
Keramik
Keramik
350-080
350-140
350-200
350-300
350-082
350-142350-081350-141
350-084
350-144
350-085
350-145
350-083
350-143
350-086
350-146
350-087
350-147
350-088350-148-

PSG502-S

PSG510-S

PSG512-S

Austauschsensor

PSG500/-S

PSG502-S

PSG510-S

PSG512-S

Filament
Durchführung
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
1/8 Zoll NPT
8 VCR
4 VCR
1/2-Zoll-Rohr
7/16-20 UNF
DN 16 ISO-KF long tube
DN 16 CF-R long tube

WolframGlas
350-920350-922350-921350-924350-926
350-923350-925350-927350-928

NickelGlas
350-900
350-902350-901
350-904
350-906
350-903350-905
350-907350-908

WolframGlas
350-930-

NickelKeramik
350-940-

A72 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-STANDARDMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S
TECHNISCHE DATEN
TypPSG500

PSG500-S

Filament
Durchführung
Messprinzip
Messbereich (Luft, O2, CO, N2)
Genauigkeit (N2)
1 × 10-3 … 100 mbar
5 × 10-4 … 1 × 10-3 mbar
100 … 1000 mbar
Wiederholbarkeit (Luft) 1 × 10-3 … 100 mbar

Wolfram
Glas

WolframNickelWolframGlas
Glas
Keramik
Wärmeleitfähigkeit nach Pirani
5 × 10-4 bis 1000
±15%
±50%
±50%
2%

Ausgangssignal (Messsignal)
Spannungsbereich
Messbereich
Spannung vs. Druck
Fehlersignal
Ausgangsimpedanz
Minimale Lastimpedanz
Ansprechzeit
Messgeräte-Identifikation

mbar
% des
Messwertes% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes
VV

Versorgungsspannung
Am Messgerät
Welligkeit
Stromaufnahme
Leistungsaufnahme
Elektrischer Anschluss
Sensorkabel
Kabellänge

V
Ω
kΩ
ms
kΩ

27,0, in Bezug auf Versorgung allgemein

1)
2)

PSG512-S
NickelKeramik

Ein Taster für ATM- und HV-Abgleich
Keine
mbar
% des
Messwertes
V (DC) A (DC)ms
V (DC)VppmA
Wm

Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sindFilament-MaterialInternes Volumen
DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF
DN 16 ISO-KF und DN 16 CF-R long tube
1/8 Zoll NPT, 4 VCR, 8 VCR, 1/2-Zoll-Rohr
Zulässiger Druck

PSG510-S

0 … +10,3
V +1,9 … +10,0
Logarithmisch 1,286 V/Dekade
0 … +0,5 (Filament-Bruch)
2 × 4,710, kurzschlusssicher
80

Abgleich
Schaltpunkt
Einstellbereich
Hysterese
Relaiskontakt
Schaltzeit

PSG502-S

2
2 × 10-3 … 500
10% über unterem Grenzwert
30 / 0,5 potenzialfrei< 20+14 … +30
≤1<500 (max. Einschaltstrom)≤1
FCC 68 / RJ45 Geräteanschluss, 8-polig, Stecker
8-polig plus Abschirmung≤100 (8 × 0,14 mm2)
Glas, Ni, NiFe
DIN 1.4301/1.4305/1.4435
WW
Ni

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)bar (absolut)

Al2O3, Ni,
DIN 1.3981/1.4305/1.4435
WNi

1,5 (0,092)
10 (0,61)
2 (0,122)
10, beschränkt auf Inertgase

In horizontaler Einbaulage
Long tube

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A73

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-STANDARDMESSGERÄT

PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S
Typ

PSG500

PSG500-S

PSG502-S

PSG510-S

PSG512-S

Filament
Durchführung
Zulässige Temperatur
Betrieb
Vakuumanschluss 1)
Lagerung
Einbaulage
Schutzart
Gewicht
DN 16 ISO-KF, 7/16-20 UNF
DN 16 CF-R, 4 VCR
1/8 Zoll NPT, 1/2-Zoll-Rohr
8 VCR, DN 16 ISO-KF long tube
DN 16 CF-R long tube

Wolfram
Glas

Wolfram
Glas

NickelGlas

Wolfram
Keramik

NickelKeramik

1)
2)

°C
°C
°C

+5 … +60
80 / 250 2)–20 … +65
beliebig
IP40

g
g
g
g
g

80
100
70
130
140

In horizontaler Einbaulage
Long tube

ABMESSUNGEN

65 (2.56)

20.9 (0.82)

70.3 (2.77)

50 (1.97)mm (in.)115 (4.53)

DN 16 CF-R

116 (4.57)

A74 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

1/2" tube

24 (0.95)

19 (0.75)

29 (1.14)

41.5 (1.63)

4 VCR

8 VCR

1/8" N PT
DN 16 ISO-KF* ) PSG51x-S: 20 (0.78)

31.5 (1.24)

14 (5.5)

DN 16 CF-R

DN 16 ISO-KF

15 (0.59) *)32.8 (1.29)

7/16-20 UNF

PIRANI-STANDARDMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Pirani-Standardmessgerät

PSG550, PSG552, PSG554
PSG550,
PSG552, PSG554
Pirani-Standardmessgerät

Das INFICON Pirani-Standardmessgerät (PSG55x)
arbeitet wie seine Brüder PCG55x und PSG5xx mit dermodernsten digitalen Pirani-Technologie, die auf dem
Markt erhältlich ist. Der robuste Sensor mit seiner
kompakten Größe und seinen vielfältigen
Funktionsmerkmalen prädestiniert dieses Produkt für
Messungen vom Nieder- bis zum Hochvakuumbereich.
VORTEILE• Mit Wolfram- (PSG550) oder Nickel-Filament (PSG552)
oder mit vollständig keramikbeschichteter (PSG554)
Sensoreinheit für hochkorrosive Anwendungenerhältlich• Optionales Display, Schaltpunkte und digitale
Schnittstellen, z.B. EtherCAT®, DeviceNet™, Profinet
usw.
• Aktuellste EtherCAT®-Protokollgeneration• Einfach wechselbarer Plug-and-Play-Sensorkopf• Wählbares Ausgangssignal und verschiedene
Steckerversionen für die einfache Integration in die
Kundenapplikation• Optionale Schaltpunktrelais, Display und digitale
Schnittstellen, z.B. EtherCAT®, DeviceNet™, Profinet
usw.
• Messperformance unabhängig von der Einbaulage
des Gerätes.
• Diagnose-Port bei allen Versionen• Compliance und Standards: CE, EN, UL, CSA, RoHS
ANWENDUNGEN• Vakuum-Druckmessung• Sicherheitskreise in Vakuumsystemen• Allgemeine Vakuummessung und -regulierung vom
Nieder- bis zum Hochvakuumbereich

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A75

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-STANDARDMESSGERÄT

PSG550, PSG552, PSG554
BESTELLINFORMATIONEN

3 P I 1 – 0 0 1 – 1 1 0 1
Measurement range

Filament
Tungsten
NickelCeramic coatedTungsten, galv. isolated 1)
Nickel, galv. isolated 1)
Ceramic coated, galv. isolated 1)

1
2
3
6
7
8

0
1
2
3

0.61 … 10.23 V 3)
1.2 … 8.68 V
0.375 … 5.659V
1.57 … 9.05 V

Digital interface
0
1
2
G
-

Unit 2)
mbar
Torr
Pa
micron0123None 3)
DeviceNet TM 4) 7)
Profibus DP TM 1) 7)® 1) 7) 9)
EtherCAT
8)
RS485

Electrical connection
Flange
DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF long tube
DN 16 CF-F
DN 16 CF-R long tube
DN 25 ISO-KF
4 VCR female
8 VCR female1/8 in. NPT
Surface mount 29 mm / 1.15 in.
4 VCR 90° female
7/16-20 UNF male
1)
2)
3)
4)
5)
6)
7)
8)
9)

1
2
4
5
6
D
E
F
K
M
N

0
1
2
4

FCC, 8-pin 3)
D-Sub, 9-pin
D-Sub, 15-pin HD
D-Sub, 15-pin HD, with RS485 5) 7)

Display, switching functions
0
1
2
4
6

None
LCD
2 setpoints (solid state)
LCD and 2 setpoints (solid state)
2 setpoints (mechanical) 6)

Nur mit 9-poligem D-Sub-Anschluss erhältlich
Bei Auswahl des LCD (Liquid Crystal Display) geben Sie die gewünschte Druckeinheit an
Wählen Sie die Einstellungen, wenn ein INFICON VGC40x oder PGD400 Controller verwendet wird oder wenn Sie "4" unter elektrische
Anschlüsse wählen
Nur mit 9-poligem D-Sub-Anschluss und galvanisch getrennt erhältlich
Nur ohne zusätzliche digitale Schnittstelle erhältlich
Nur mit 9-poligem D-Sub-Anschluss ohne LCD erhältlich
Feldbus-Optionen nur zusammen mit Schaltfunktionen verfügbar (wählen Sie Nummer "2" oder "4" in der Tabelle "Display, Schaltfunktionen")
Einfach auswählbar über Nummer "4" in der Tabelle "Elektrischer Anschluss"
EtherCAT-Protokollgeneration 2.0; Protokollgeneration 1.0 auf Anfrage weiterhin erhältlich

A76 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-STANDARDMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

PSG550, PSG552, PSG554
Austauschsensor

PSG550Wolfram355-925355-926355-927355-928355-929355-932355-931355-930355-934355-935355-933

DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF long tube
DN 16 CF-F
DN 16 CF-R long tube
DN 25 ISO-KF
4 VCR female
8 VCR female
1/8 Zoll NPT
Oberflächenmontage 29 mm (1,15 Zoll)
4 VCR 90° female
7/16-20 UNF male

Zubehör
Zentrierring mit Filter (DN 16 ISO-KF)
Diagnose: Kommunikationsadapter (2 m) fürPC, serieller RS232C-Anschluss1)
1)

PSG552
Nickel355-936355-937355-938355-939355-940355-943355-942355-941355-945355-946355-944

PSG554
Keramikbeschichtet
355-947355-948355-949355-950355-951355-954355-953355-952355-956355-957355-955

211-097
303-333

Diagnose-SW auf Anfrage verfügbar

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A77

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-STANDARDMESSGERÄT

PSG550, PSG552, PSG554
TECHNISCHE DATENTypPSG550Filament
Messbereich
Genauigkeit (N2)
5 × 10-4 … 1 × 10-3 mbar
1 × 10-3 ... 100 mbar
100 ... 1000 mbar

WolframWiederholbarkeit (N2) 1 × 10-3 … 100 mbar
Zulässiger Druck
Druck, max.
Zulässige Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Ausheizen am FlanschLong tube
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Ohne Feldbus
DeviceNet™
Profibus DP
EtherCAT®
Ausgangssignal analog
3PIx-0xx-xxx0
3PIx-0xx -xxx1
3PIx-0xx -xxx2
3PIx-0xx -xxx3
Messbereich
3PIx-0xx-xxx0
3PIx-0xx-xxx1
3PIx-0xx-xxx2
3PIx-0xx-xxx3
Spannung vs. Druck
3PIx-0xx-xxx0
3PIx-0xx-xxx1
3PIx-0xx-xxx2
3PIx-0xx-xxx3
Lastimpedanz
Schaltpunktrelais
Bereich (N2)
Relaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit
Halbleiterrelais
Mechanische Relais
Schaltzeit

mbar (Torr)% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertesbar (absolut) bar(absolut)
°C
°C
°C
°C
V / A (DC)PSG552

±50
±15
±50

±2
≤5
10
+10 … +50
–20 … +65
≤80
≤250
+15 … +30

W
W
W
W

≤2,5
≤3
≤3
≤4,5

V
V
V
V

0 ... +10
0 ... +8,5
0 ... +5,529
0 ... +8,875

V
V
V
V

+0,61 ... +10+1,2 ... +8,5
+0,375 ... +5,529+1,57 ... +8,875

V / Dekade
V / Dekade
V / Dekade
V / Dekade
kΩ
mbar
% des
Grenzwerts
V / A (DC)V / A (DC)ms

Schnittstelle (digital)

A78 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PSG554

NickelKeramikbeschichtet
5×10-5 ... 1000 (3,8×10-5 ... 750)

1,286
1
1
1
>10
2
5 × 10-5 … 1000
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,3
≤30 / ≤1
≤30
RS232CPIRANI-STANDARDMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

PSG550, PSG552, PSG554
Typ

PSG550

PSG552

PSG554Filament
Elektrischer Anschluss
3PIx-0xx-x0xx
3PIx-0xx -x1xx
3PIx-0xx -x2xx
3PIx-0xx -x4xx
Kabellänge
RS232C Betrieb
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sind

WolframNickelKeramikbeschichtet

Internes Volumen
DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF long tube
DN 16 CF-F
DN 16 CF-R long tube
DN 25 ISO-KF, 4 VCR
8 VCR
1/8 Zoll NPT, 7/16-20 UNF
Oberflächenmontage 29 mm (1,15 Zoll)
4 VCR 90°
Gewicht
Ohne Feldbus-Schnittstelle
Mit Feldbus-Schnittstelle
Schutzart
Standards

m (ft.)m (ft.)

FCC, 8-polig
D-Sub, 9-polig, Stecker
D-Sub, 15-polig HD, Stecker
D-Sub, 15-polig HD, mit RS485, Stecker≤100 (≤330)≤30 (≤100)
W, Ni, NiFe, Glas, SnAg,
Ni, NiFe, Glas, SnAg,
Al2O3, Edelstahl
Edelstahl
Edelstahl

cm3
cm3
cm3
cm3
cm3
cm3
cm3
cm3
cm3

4,7
14,5
8
14
5,5
7
5,2
4,9
7,9

g
g

115 … 130230 ... 250
IP 40
EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 Nr. 61010-1

TECHNISCHE DATEN DIGITALE SCHNITTSTELLEN
DeviceNet™
Protokoll
Datenraten-Switch
Kabellänge
125 kbps
250 kbps
500 kbps
MAC-ID
Digitale Funktionen

kBaud
m (ft.)m (ft.)m (ft.)

Analoge Funktionen
Visuelle Kommunikationsanzeigen
Spezifikation
Gerätetyp
I/O-Slave Nachrichtenaustausch
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Schaltleistung

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)

DeviceNet™, nur Slave der Gruppe 2
125, 250, 500 oder über Netzwerk programmierbar
500 (1650)
250 (825)
100 (330)
Zwei Switches (Adresse 00 – 63) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
LED Netzwerkstatus (grün / rot)
LED Modulstatus (grün / rot)
DeviceNet™ "Geräteprofil Vakuummessgerät""CG" für Combination Gauge (Kombimessgerät)
Nur Abruf
2
1 × 10-9 … 100
NO (Schließer), potentialfrei
1060 / 0,5

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A79

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-STANDARDMESSGERÄT

PSG550, PSG552, PSG554
DeviceNet™
Versorgungsspannung für DeviceNet™
Versorgungsspannung für Messgerät
Anschluss für DeviceNet™
Anschluss für Messgeräte (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

V / A (DC)V / A (DC)

EtherCAT®
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenrate

Profibus DP
Baudratenm (ft.)
Kbps

kBaud
MBaud

AdresseDigitale Funktionen

Analoge Funktionen
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)+11 - +25 / 0,5+20 - +28 / 0,8
Microstyle, 5-polig
D-Sub, 15-polig, Stecker

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)1000009,6 / 19,2 / 93,75 / 187,5 / 500
1,5 / 12Zwei Switches (Adresse 00 - 127) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus, Filament-Status"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
2
1 × 10-9 ... 100
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,5

Anschluss für Profibus DP
Anschluss für BPG (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

RS485C
Baudraten
AdresseDigitale Funktionen
Anschluss für RS485

D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 15-polig, Stecker

kBaud

9,6 / 19,2 / 38,4 /57,6
Zwei Switches (Adresse 00 – 255)
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa, Mikrometer, CountsÜberwachung Messgerätestatus, detaillierte Alarm- und Warninformationen,"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
D-Sub, 15-polig HD, Stecker

A80 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-STANDARDMESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

PSG550, PSG552, PSG554
ABMESSUNGEN

mm (in.)Standard

ADDRESS
2
P

BUS

RATE

4 0
6

8

MSD

4
6

NET MOD

LSD

I/O

45 (1.77)

ST
DIA

SP2

2 4 6 2 4 60
8 0
8E C A E C A
MSD

LA

LSD

LA

IN

I/O

ADDRESS
SP1

OUT

SP2

2

MSD
6

2

RATE
6 2
6

E

A

E

LSD

A E

ST

A
ADJ

I/O

3 2 1 ON
ST
DIA

SP1

SP2

DIA

ST
DIA

SP1

ADJ

SP2

ADJ

BUS

SP1
ADJ

65 (2.56)

D-Sub

130.2 (5.13)

DN 16 CF-R long

30.9
(1.22)

DN 16 CF-F

4-VCR 90°
8 VCR

130.8 (5.15)

24.3(0.96)

DN 16 ISO-KF long

4 VCR

31.5
(1.26)

46.3 (1.82)

29.2×29.2 mm

DN 16 ISO-KF

7/16-20 UNF

14.5 (0.57)

1/8" NPT34(1.34)
42.7 (1.68)

DN 25 ISO-KF

36.5(1.44)

36(1.42)

21.5(0.85)

87.5 (3.44)

79.5 (3.13)

Micro-Style65 (2.56)

FCC

50 (1.97)

67 (2.64)

65 (2.56)

D-Sub

RS485

2 4 6 2 4 6 2 4 6
ERR 0
8 0
8 0
8 RUN
A E
A E
A
E
x100
x10
x1

BUS

ADDRESSSTATUS

2 5 P
1

2

0

EtherCAT

Profibus
56 (2.20)

28(1.10)

DeviceNet

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A81

VAKUUMMESSGERÄTE

PSG550, PSG552, PSG554

A82 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED | VAKUUMMESSGERÄTE

Pirani-Messgerät-Enhanced

PGE500
PGE500
Pirani-Messgerät-Enhanced

Das INFICON Pirani-Messgerät-Enhanced (PGE) ist mit
der neuesten digitalen, konvektionsverstärkten PiraniTechnologie ausgerüstet, die auf dem Markt erhältlich
ist. Aufgrund der physikalischen Eigenschaften der
Konvektion bietet dieser Pirani-Typ höhere
Messgenauigkeit im Bereich zwischen 530 und 1333
mbar. Dank der Kombination des robusten Messgerätund Sensor-Designs mit zahlreichen werkseitig
integrierten Features, wie beispielsweise die helle,kontrastreiche OLED-Anzeige mit integrierter Tastatur,die digitale RS485/RS323-Schnittstelle und 4 frei
wählbare analoge Ausgangssignale, bietet das PGE500
hohe Qualität bei niedrigen Betriebskosten. Aufgrund
dieser Funktionsmerkmale ist dieses Messgerät fürzahlreiche Anwendungen geeignet, die eine
wirtschaftliche Vakuummessung im Nieder- bis
Hochvakuumbereich erfordern.
VORTEILE• Konvektionsverstärkte Pirani-Technologie für einen
großen Messbereich und deutlich verbesserte
Genauigkeit im Bereich hin zu ATM Druck.
• Aktives All-in-One Messgerät mit integriertem Display,
2 Schaltpunkten, 4 analogen Ausgangssignalen und 2
digitalen Schnittstellen• Helles, digitales OLED-Display mit Tastenfeld zur
einfachen Einrichtung, Kalibrierung und Bedienung• 4 optionale analoge Ausgangssignale (3 vom
Benutzer auswählbar, 1 default Signal)• Analoges Ausgangssignal werksseitig voreingestelltoder über Tastenfeld auswählbar• Anzeigeeinheiten werksseitig voreingestellt oder überTastenfeld auswählbar• Benutzerprogrammierbare Schaltpunktrelais (fürVolumenbestellungen auf Anfrage werksseitig
voreingestellt)• Vergoldetes Wolframfilament, Platin-Filament fürhöhere Korrosionsbeständigkeit auf Anfrage erhältlich• Mechanische Festigkeit, äußerst robust und weniger
empfindlich gegen mechanische Erschütterungen und
Schwingungen• Verschiedene Flanschoptionen verfügbar
• Compliance & Standards: CE, RoHS
• Direkter Drop-in kompatibler Ersatz für die meisten
Granville-Phillips® Mini-Convectron® Modules (GP275)
ANWENDUNGEN• Vakuum-Druckmessung
VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A83

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED

PGE500• Allgemeine Vakuummessung und -regulierung vom
Nieder- bis zum Hochvakuumbereich*Granville-Phillips® und Mini-Convectron® sindeingetragene Marken von, Andover, MA

A84 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED | VAKUUMMESSGERÄTE

PGE500BESTELLINFORMATIONEN

3 P E 5 – 0 0 1 – B 7 F 0
Output Signal Analog

Unit
mbar
Torr
Pa

0
2
5
-

0
1
2

1.15 … 10.215 V 1)
0.375 … 5.659 V 2)
1 … 8 V 3)
0 … 10 V 4)

Flange
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-R
4 VCR female
8 VCR female1/8 in. NPT
1)
2)
3)
4)

loglinear, p=100,778(U-c)
nichtlinear S-Kurve, kompatibel mit den meisten Granville-Phillips® Mini-Convectron® Modulen (GP275)
loglinear, p=10(V-5)
linear, bei allen Geräten standardmäßig an Pin 9 verfügbar

Netzteil für PGE300 & PGE5001)
Eingangsleistung:Ausgangsleistung:Kabellänge:
1)

1
3
6
7
8
D
E
F

V (AC)V (DC)m (ft)

352-525
100 … 240
+24 bei 2,5 A (60 W)
2 (6)Die IEC 60320 AC-Netzanschlussbuchse ermöglicht die einfache Verwendung aller weltweit erhältlichen AC-Netzanschlusskabel

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A85

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED

PGE500TECHNISCHE DATEN
Typ
Messbereich

Genauigkeit (N2)1)
1,3 × 10-4 … 1,3 × 10-3 mbar
1,3 × 10-3 … 530 mbar
530 … 1333 mbar
1 × 10-4 … 1 × 10-3 Torr
1 × 10-3 … 400 Torr
400 … 1000 Torr

Wiederholbarkeit (N2)1)
Zulässige Temperatur
Betrieb
Lagerung
Ausheizen (Elektronik ausgebaut)
Versorgungsspannung
Ausgangssignal (analog)
3PE5-0xx-B7F0
3PE5-0xx-B7F2
3PE5-0xx-B7F5
3PE5-0xx-B7F-3)
Spannung vs. Druck
3PE5-0xx-B7F0
3PE5-0xx-B7F5
Schaltpunktrelais
Elektrischer Anschluss
Einbaulage
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sindInternes Volumen
Interne Oberfläche
Gewicht
1)
2)
3)
4)

PGE500Wolfram vergoldet
1,3 × 10-4 … 1333
1 × 10-4 … 1000
1,3 × 10-2 … 133000

mbar
Torr
Pa

0,1 × 10-3 mbar Auflösung
±10±2,50,1 mTorr Auflösung
±10
±2,5

% des
Messwertes% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes

±2

°C
°C
°C
V (DC)

0 ... +40
-40 ...+70≤150+12 ... +28) 2)

V (DC)V (DC)V (DC)V (DC)

1,15 ...10,215 (loglinear)
0,375 ... 5,659 (nichtlineare S-Kurve)
1 ... 8 (loglinear)
1 ...10 (linear)V / Dekade
V / Dekade

cm3 (Zoll3)
cm2 (Zoll2)
g (oz)

1,286
1
2 (einpolige Umschaltrelais (SPDT))
1 A bei 30 V (DC) resistiv oder V (AC) induktionsfrei
D-Sub, 9-polig, Stecker und D-Sub, 15-polig HD, Stecker (mit RS485)
horizontal empfohlen 4)
vergoldetes Wolfram, 304 & 316 Edelstahl, Glas, Nickel, Teflon®
26 (1,589)
59,7 (9,25)
340 (12)

typisch
2 W geschützt gegen Verpolung und transiente Überspannungenbei allen Geräten standardmäßig an Pin 9 verfügbar
Ausrichtung hat keinen Einfluss auf Messungen unterhalb von 1,3 mbar (1 Torr)

A86 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED | VAKUUMMESSGERÄTE

PGE500ABMESSUNGEN
Abmessungen A
DN 16 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 40 CF-R
4 VCR female
8 VCR female
1/8" NPT

mm
29,5
29,5
29,5
34
34
43,7
40,9
21,8

(Zoll)(1,16)(1,16)(1,16)(1,34)(1,34)(1,72)(1,61)(0,86)mm (in.)VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A87

VAKUUMMESSGERÄTE

PGE500A88 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED | VAKUUMMESSGERÄTE

Pirani-Messgerät-Enhanced

PGE500 DeviceNet™
PGE500 DeviceNet™
Pirani-Messgerät-Enhanced

Die INFICON Pirani-Messgerät-Enhanced (PGE)
DeviceNet-Version ist mit der neuesten digitalen,
konvektionsverstärkten Pirani-Technologie ausgerüstet,die auf dem Markt erhältlich ist.Aufgrund derphysikalischen Eigenschaften der Konvektion bietet
dieser Pirani-Typ höhere Messgenauigkeit im Bereichzwischen 530 und 1333 mbar. Dank der Kombination
des robusten Messgerät- und Sensor-Designs mit
zahlreichen werkseitig integrierten Features, wie
beispielsweise der hellen, kontrastreichen OLEDAnzeige mit integrierter Tastatur, auswählbare
Maßeinheiten und 2 programmierbaren Schaltpunkten,
bietet die PGE500 DeviceNet-Version hohe Qualität bei
niedrigen Betriebskosten. Aufgrund dieser
Funktionsmerkmale ist dieses Messgerät für zahlreiche
Anwendungen geeignet, die eine wirtschaftliche
Vakuummessung im Nieder- bis Hochvakuumbereich
erfordern. Die PGE500 DeviceNet-Version ist einedirekte Drop-in-Nachrüstlösung für die DeviceNetVersionen von MKS / Granville-Phillips® MiniConvectron® (so genannte GP275-Module). Die ErsatzSensorköpfe des INFICON PGE500 DeviceNet Gerätes
können auch in Granville-Phillips® GP275-Module
eingebaut werden. Somit dienen sie dort ebenfalls als
günstiges und schnell verfügbares Ersatzteil.
VORTEILE• Konvektionsverstärkte Pirani-Technologie für einen
weiten Messbereich und verbesserte Genauigkeit im
Bereich des Atmosphärendruckes.
• Aktives All-in-One Messgerät mit integriertem Display,
2 Schaltpunkten und einer digitalen DeviceNet™Schnittstelle• Helles, digitales OLED-Display mit Tastenfeld zur
einfachen Einrichtung, Kalibrierung und Bedienung• Anzeigeeinheiten für Messung werksseitig
voreingestellt oder über Tastenfeld auswählbar• Benutzerprogrammierbare Schaltpunktrelais (fürGroßaufträge auf Anforderung werksseitig
voreingestellt)• Vergoldetes Wolframfilament oder Platin-Filament für
korrosive Anwendungen• Mechanische Festigkeit, äußerst robust und weniger
empfindlich gegen mechanische Erschütterungen und
Schwingungen• Im Feld austauschbare Ersatzsensoreinheiten• Verschiedene Flanschoptionen verfügbar
• Compliance & Standards: CE, RoHSVACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A89

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED

PGE500 DeviceNet™
• Direkter Drop-in kompatibler Ersatz für die meisten
DeviceNet-Versionen von MKS / Granville- Phillips®
Mini-Convectron® (GP275-Module)
ANWENDUNGEN• Vakuum-Druckmessung• Allgemeine Vakuummessung und -regulierung vom
Nieder- bis zum Hochvakuumbereich*Granville-Phillips® und Mini-Convectron® sindeingetragene Marken von, Andover, MA

A90 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED | VAKUUMMESSGERÄTE

PGE500 DeviceNet™
BESTELLINFORMATIONEN

3 P E 5 – 0 0 1 – B 7 H Z
FlangeFilament
PlatinumGold plated Tungsten

1
3
6
7
8
D
E
F

0
1

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-R
4 VCR female
8 VCR female
1/8" NPT
Unit

0
2
5

Austauschsensor
Vergoldeter Wolframsensor
DN 16 ISO-KF, W
DN 25 ISO-KF, W
DN 40 ISO-KF, W
DN 16 CF-R, W
DN 40 CF-R, W
4 VCR female, W
8 VCR female, W
1/8" NPT, W
Platinsensor
DN 16 ISO-KF, Pt
DN 25 ISO-KF, Pt
DN 40 ISO-KF, Pt
DN 16 CF-R, Pt
DN 40 CF-R, Pt
4 VCR female, Pt
8 VCR female, Pt
1/8" NPT, Pt

mbar
Torr
Pa

PGE500 DeviceNet
352-550352-551352-552352-553352-554352-555352-556352-557352-560352-561352-562352-563352-564352-565352-566352-567*Diese Austauschsensoren sind nur für die PGE500 DeviceNet-Version geeignet. Nicht für die analoge / RS485Version des PGE500.

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A91

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED

PGE500 DeviceNet™
TECHNISCHE DATEN
Typ
Messbereich

mbar
Torr
Pa

Genauigkeit (N2)1)
1,3 × 10-4 … 1,3 × 10-3 mbar
1,3 × 10-3 … 530 mbar
530 … 1333 mbar
1 × 10-4 … 1 × 10-3 Torr
1 × 10-3 … 400 Torr
400 … 1000 Torr
530 … 1333 mbar
-2

-1

1,3 × 10 … 1,3 × 10 Pa
1,3 × 10-1 … 53 kPa
53 … 133 kPa

Wiederholbarkeit (N2)1)
Zulässige Temperatur
Betrieb
Lagerung
Ausheizen (Elektronik ausgebaut)
Versorgungsspannung
Schaltpunktrelais

2)3)0,1 mTorr Auflösung
±10
±2,5

% des
Messwertes% desMesswertes

0,1 × 10-1 mbar Auflösung
±10
±2,5

% des
Messwertes% desMesswertes% desMesswertes

±2

°C
°C
°C
V (DC)

0 ... +40
-40 ...+70≤150+12 ... +262)
2 (einpolige Umschaltrelais (SPDT)
1 A bei 30 V (DC) resistiv oder V (AC) induktionsfrei
Vakuummessgerät / Druckmessgerät
Schaltpunkt, Maßeinheiten,
Vakuum- und Atmosphärenkalibrierung
Polled I/O und Explicit
125K, 250K oder 500K (einstellbar über Drehknopf)
D-Sub, 9-polig, Stecker für Schaltpunktrelais und 5-polig Mikro für Strom und
DeviceNet-Schnittstelle
horizontal empfohlen 3)
Platin, 304 & 316 Edelstahl, Glas, Nickel, Teflon®
vergoldetes Wolfram, 304 & 316 Edelstahl, Glas, Nickel, Teflon®

NachrichtenaustauschBaudraten
Elektrischer Anschluss
Einbaulage
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sind
3PE4-0xx-B7HZ
3PE5-0xx-B7HZInternes Volumen
Interne Oberfläche
Gewicht

0,1 × 10-3 mbar Auflösung
±10
±2,5

% des
Messwertes% desMesswertes

DeviceNet-Schnittstelle
Gerätetyp
Einstellbare Parameter

1)

PGE500DeviceNet
1,3 × 10-4 … 1333
1 × 10-4 … 1000
1,3 × 10-2 … 133000

cm3 (Zoll3)
cm2 (Zoll2)
g (oz)

typisch0,22 A, 2,4 W max. geschützt gegen Verpolung und transiente Überspannungen
Ausrichtung hat keinen Einfluss auf Messungen unterhalb von 1,3 mbar (1 Torr)

A92 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

26 (1,589)
59,7 (9,25)
340 (12)PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED | VAKUUMMESSGERÄTE

PGE500 DeviceNet™
ABMESSUNGEN
Abmessungen A
DN 16 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 40 CF-R
4 VCR female
8 VCR female
1/8" NPT

mm
29,5
29,5
29,5
34
34
43,7
40,9
21,8

(Zoll)(1,16)(1,16)(1,16)(1,34)(1,34)(1,72)(1,61)(0,86)mm (in.)VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A93

VAKUUMMESSGERÄTE

PGE500 DeviceNet™

A94 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED | VAKUUMMESSGERÄTE

Pirani-Messgerät-Enhanced

PGE300
PGE300
Pirani-Messgerät-Enhanced

Das INFICON Pirani-Messgerät 300 (PGE300) ist wie
sein großer Bruder PGE500 mit der neuesten digitalen,
konvektionsverstärkten Pirani-Technologie ausgerüstet,die auf dem Markt erhältlich ist. Mit identischen
Sensorkomponenten wie das PGE500 liefert das
PGE300 dieselben hochwertigen Messergebnisse im
Messbereich zwischen 530 und 1333 mbar. Das
PGE300 beschränkt sich auf wesentlichsen
Funktionsmerkmale, die von den meisten Kunden in der
Vakuumindustrie gewünscht werden. Damit werden fürden Kunden die Anschaffungskosten reduziert ohne
das auf eine zuverlässige und genaue Messung
verzichtet werden muss.Dank der Kombination desrobusten Messgerät- und Sensor-Designs mit einfach
abzulesender LED-Anzeige, 3 wählbaren analogen
Ausgangssignalen und einem Schaltpunktrelais bietet
das PGE300 nicht nur für OEM-Kunden, sondern für alle
Kunden, hohe Qualität bei niedrigen Betriebskosten.
Aufgrund dieser Funktionsmerkmale ist dieses
Messgerät für zahlreiche Anwendungen geeignet, dieeine wirtschaftliche Vakuummessung im Nieder- bis
Hochvakuumbereich erfordern. Mit seinem weiten
Messbereich und der hohen Genauigkeit, besonders
bei niedrigeren Drücken, sowie den kostengünstigen
integrierten Funktionen ist das PGE300 auch die erste
Wahl, wenn es um den Austausch von ThermocoupleMessgeräten in Ihrem Vakuumsystem geht.
VORTEILE• Konvektionsverstärkte Pirani-Technologie für einen
weiten Messbereich und bessere Genauigkeit im
Bereich nahe Atmosphärendruck.
• Aktives All-in-One Messgerät mit integriertem Display,
1 Schaltpunkt und 3 auswählbaren Ausgangssignalen• Helles digitales LED-Display für benutzerfreundliche
Kalibrierung und Bedienung• 3 optionale analoge Ausgangssignale (vom Benutzer
auswählbar)• Analoges Ausgangssignal werksseitig voreingestelltoder über Benutzerschnittstelle auswählbar• Benutzerprogrammierbares Schaltpunktrelais• Vergoldetes Wolframfilament, Platin-Filament für
bessere Korrosionsbeständigkeit auf Anfrage
erhältlich• Mechanische Festigkeit, äußerst robust und weniger
empfindlich gegen mechanische Erschütterungen und
Schwingungen• Verschiedene Flanschoptionen verfügbar
VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A95

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED

PGE300• Compliance & Standards: CE, RoHS
• Direkter Drop-in kompatibler Ersatz für die meisten
Granville-Phillips® Mini-Convectron® Modules (GP275)
sowie als ideales Upgrade beim Austausch Ihrer
vorhandenen Thermocouple-Messgeräte
ANWENDUNGEN• Vakuum-Druckmessung• Allgemeine Vakuummessung und -regulierung vom
Nieder- bis zum Hochvakuumbereich*Granville-Phillips® und Mini-Convectron® sindeingetragene Marken von, Andover, MA

A96 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED | VAKUUMMESSGERÄTE

PGE300BESTELLINFORMATIONEN

3 P E 5 – 0 0 1 – A 7 0 0
Output Signal Analog

Unit
mbar
Torr

0
2
5

0
1

0.61 … 10.23 V
0.375 … 5.659 V
1…8VFlange
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-R
4 VCR female
8 VCR female1/8 in. NPTNetzteil für PGE300 & PGE5001)
Eingangsleistung:Ausgangsleistung:Kabellänge:1)

V (AC)V (DC)m (ft)

1
3
6
7
8
D
E
F

352-525
100 … 240
+24 bei 2,5 A (60 W)
2 (6)Die IEC 60320 AC-Netzanschlussbuchse ermöglicht die einfache Verwendung aller weltweit erhältlichen AC-Netzanschlusskabel

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A97

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED

PGE300TECHNISCHE DATEN
Typ
Messbereich

Genauigkeit (N2)1)
1,3 × 10-4 … 1,3 × 10-3 mbar
1,3 × 10-3 … 530 mbar
530 … 1333 mbar
1 × 10-4 … 1 × 10-3 Torr
1 × 10-3 … 400 Torr
400 … 1000 Torr
Wiederholbarkeit (N2)1)
Zulässige Temperatur
Betrieb
Lagerung
Ausheizen
Versorgungsspannung
Ausgangssignal (analog)
3PE5-0xx-A700
3PE5-0xx-A702
3PE5-0xx-A705
Spannung vs. Druck
3PE5-0xx-A700
3PE5-0xx / -A705
Schaltpunktrelais
Elektrischer Anschluss
Einbaulage
Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen
Interne Oberfläche
Gewicht
1)
2)
3)

PGE300Wolfram vergoldet
1,3 × 10-4 … 1333
1 × 10-4 … 1000
1,3 × 10-2 … 133000

mbar
Torr
Pa

% des Messwertes% des Messwertes

0,1 × 10-3 mbar Auflösung
±10
±2,5

% des Messwertes% des Messwertes% des Messwertes

0,1 mTorr Auflösung
±10
±2,5
±2

°C
°C
°C
V (DC)

0 ... +40
-40 ...+70≤70+12 ... +28) 2)

V (DC)V (DC)V (DC)

0,61 ...10,23 (loglinear)
0,375 ... 5,659 (nichtlineare S-Kurve)
1 ... 8 (loglinear)V / Dekade
V / Dekadevergoldetes

1,286
1
1 (einpoliges Umschaltrelais (SPDT))
1 A bei 30 V (DC) resistiv oder V (AC) induktionsfrei
D-Sub, 9-polig, Stecker
horizontal empfohlen 3)
Wolfram, 304 & 316 Edelstahl, Glas, Nickel, Teflon®

cm3 (Zoll3)
cm2 (Zoll2)
g (oz)

26 (1,589)
59,7 (9,25)
136 (4,8)

typisch
2 W geschützt gegen Verpolung und transiente Überspannungen
Ausrichtung hat keinen Einfluss auf Messungen unterhalb von 1,3 mbar (1 Torr)

A98 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED | VAKUUMMESSGERÄTE

PGE300ABMESSUNGEN
Abmessungen A
DN 16 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 40 CF-R
4 VCR female
8 VCR female
1/8" NPT

mm
33
33
33
27,4
37,3
47,2
44,5
25,4

(Zoll)
(1,3)
(1,3)
(1,3)
(1,08)(1,47)(1,86)(1,75)(1)

mm (in.)VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A99

VAKUUMMESSGERÄTE

PGE300A100 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER | VAKUUMMESSGERÄTE

Pirani-Kapazitätsmembran-Manometer

PCG550, PCG552, PCG554
PCG550, PCG552, PCG554
Pirani-Kapazitätsmembran-Manometer

Das INFICON Pirani-Kapazitätsmembran-Messgerät(PCG55x) kombiniert die INFICON Pirani-Technologie
mit den Vorteilen eines keramischen
Kapazitätsmembransensors in einem einzigen Produkt.
Im Messbereich zwischen 10 mbar undAtmosphärendruck bietet die
Kapazitätsmembrantechnologie gasartunabhängige,
hochpräzise Werte für zuverlässige Druckmessungen.
Darüber hinaus bietet das PCG55x eine Vielzahl anwählbaren Features, mit denen sich die richtige
Produktkonfiguration für die gewünschte Applikation
erzielen lässt.
VORTEILE• Gasartunabhängig im Druckbereich >10 mbar –dadurch sicheres Entlüften mit beliebigen
Gasmischungen• Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit im
Atmospährendruckbereich - zur zuverlässigen
Erkennung atmosphärischer Drücke• Schnelle Atmosphärendruckerkennung – dadurch
kürzere Prozesszyklen ohne Wartezeiten• Messperfomance unabhängig von der Einbaulage
des Gerätes für maximale Freiheitsgrade bei derIntegration in die Anlage• Mit Wolfram- (PCG550) oder Nickel-Filament(PCG552) oder mit vollständig keramikbeschichteter(PCG554) Sensoreinheit für hochkorrosive
Anwendungen erhältlich• Einfach wechselbarer Plug-and-Play-Sensorkopf mit
integriertem Calibration Data Chip – gewährleistet
hohe Reproduzierbarkeit und niedrige Betriebskosten• Auswählbares Ausgangssignal für einfacheIntegration• Optionaler ATM-Switch, Display und digitale
Schnittstellen, z.B. EtherCAT®, DeviceNet™ usw.,
erhältlich• Aktuellste EtherCAT®-Protokollgeneration• Diagnoseport bei allen Versionen• Compliance und Standards: CE, EN, UL, CSA, RoHS
ANWENDUNGEN• Load-Lock-Steuerung• Vorvakuumdruckmessung• Sicherheitskreise in Vakuumsystemen• Allgemeine Vakuummessung und -regelung im Mittelund Grobvakuumbereich

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A101VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER

PCG550, PCG552, PCG554
BESTELLINFORMATIONEN

3 P C 1 – 0 0 1 – 1 1 0 1
Measurement range

Filament
Tungsten
NickelCeramic coatedTungsten, galv. isolated 1)
Nickel, galv. isolated 1)
Ceramic coated, galv. isolated 1)

1
2
3
6
7
8

0
1
2
3

0.61 … 10.23 V 3)
1.2 … 8.68 V
0.375 … 5.659 V
1.57 … 9.05 V

Digital interface
0
1
2
G
-

Unit 2)
mbar
Torr
Pa
micron0123None 3)
DeviceNet TM 4) 7)
Profibus DP TM 1) 7)® 1) 7) 9)
EtherCAT
8)
RS485

Electrical connection
Flange
DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF long tube
DN 16 CF-F
DN 16 CF-R long tube
DN 25 ISO-KF
4 VCR female
8 VCR female1/8 in. NPT
Surface mount 29 mm / 1.15 in.
4 VCR 90° female
7/16-20 UNF male

1)
2)
3)
4)
5)
6)
7)
8)
9)

1
2
4
5
6
D
E
F
K
M
N

0
1
2
4

FCC, 8-pin 3)
D-Sub, 9-pin
D-Sub, 15-pin HD
D-Sub, 15-pin HD, with RS485 5) 7)

Display, switching functions
0
1
2
3
4
5
6
7

None
LCD display
2 setpoints (solid state)
ATM and 2 setpoints (solid state)
LCD display and 2 setpoints (solid state)
ATM and LCD display and 2 setpoints (solid state)
2 setpoints (mechanical) 6)
ATM and 2 setpoints (mechanical) 6)

Nur mit 9-poligem D-Sub-Anschluss erhältlich
Bei Auswahl des LCD (Liquid Crystal Display) geben Sie bitte die gewünschte Druckeinheit an
Wählen Sie diese Einstellungen, wenn die INFICON VGC40x/PGD Controller verwendet werden oder wenn Sie "4" unter elektrische Anschlüsse
wählenNur mit 9-poligem D-Sub-Anschluss und galvanischer Trennung erhältlich
Nur ohne zusätzliche digitale Schnittstelle erhältlich
Nur mit 9-poligem D-Sub-Anschluss ohne LCD-Display erhältlich
Feldbus-Optionen nur zusammen mit Schaltfunktionen verfügbar (wählen Sie Nummer "2", "3", "4" oder "5" in der Tabelle "Display,
Schaltfunktionen")
RS485 auswählbar über Nummer "4" in der Tabelle "Elektrischer Anschluss"
Aktuellste EtherCAT-Protokollgeneration; Vorgänger-Protokollgeneration auf Anfrage weiterhin erhältlich

A102 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER | VAKUUMMESSGERÄTE

PCG550, PCG552, PCG554
Ersatzteile
DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF long tube
DN 16 CF-F
DN 16 CF-R long tube
DN 25 ISO-KF
4 VCR female
8 VCR female
1/8 Zoll NPT
Surface mount 29 mm (1,15 Zoll)
4 VCR 90° female
7/16-20 UNF male

PCG550Wolfram357-925357-926357-927357-928357-929357-932357-931357-930357-934357-935357-933

Zubehör
Zentrierring mit Filter (DN 16 ISO-KF)
Diagnose: Kommunikationsadapterkabel (2 m) für PC, serieller RS232C-Anschluss
1)

1)

PCG552
Nickel357-936357-937357-938
357-939357-940357-943357-942357-941357-945357-946357-944

PCG554
Keramikbeschichtet
357-947357-948357-949357-950357-951357-954357-953357-952357-956357-957357-955

Teilenr.
211-097
303-333

Diagnose-SW auf Anfrage verfügbar

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A103VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER

PCG550, PCG552, PCG554
TECHNISCHE DATEN
Typ
Messbereich
Genauigkeit
5 × 10-4 … 1 × 10-3 mbar (N2)
1 × 10-3 … 100 mbar (N2)
100 … 950 mbar
950 … 1050 mbar

Wiederholbarkeit
1 × 10-3 … 1100 mbar (N2)Zulässiger Druck
Druck, max.
Zulässige Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Ausheizen am FlanschLong tube
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Ohne Feldbus
DeviceNet™
Profibus DP
EtherCAT®
Ausgangssignal analog
3PCx-0xx-xxx0
3PCx-0xx-xxx1
3PCx-0xx-xxx2
3PCx-0xx-xxx3
Messbereich
3PCx-0xx-xxx0
3PCx-0xx-xxx1
3PCx-0xx-xxx2
3PCx-0xx-xxx3
Spannung vs. Druck
3PCx-0xx-xxx0
3PCx-0xx-xxx1
3PCx-0xx-xxx2
3PCx-0xx-xxx3
Lastimpedanz
Schaltpunktrelais
Bereich (N2)
Relaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit
Halbleiterrelais
Mechanische Relais
Schaltzeit

PCG550Wolframmbar (Torr)

PCG552
PCG554
NickelKeramikbeschichtet
5 × 10-5 … 1500 (3,8 × 10-5 … 1125)% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes

±50
±15
±5
±2,5

% des
Messwertesbar (absolut)bar (absolut)

±2

°C
°C
°C
°C
V / A (DC)

+10 … +50
-20 … +65
≤80
≤250
+15 … +30

≤5
10

W
W
W
W

≤2,5
≤3
≤3
≤4,5

V
V
V
V

0 … +10,23
0 … +8,68
0 … +5,659
0 … +9,05

V
V
V
V+0,61 … +10,23+1,2 … +8,68+0,375 … +5,659+1,57 … +9,05

V / Dekade
V / Dekade
V / Dekade
V / Dekade
kΩ
mbar
% des
Grenzwerts
V / A (DC)V / A (DC)ms

Schnittstelle (digital)

A104 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

1,286
1
1
1
>10
2
5 × 10-5 … 1500
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,3
≤30 / ≤1
≤30
RS232CPIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER | VAKUUMMESSGERÄTE

PCG550, PCG552, PCG554
TypElektrischer Anschluss
3PCx-0xx-x0xx
3PCx-0xx-x1xx
3PCx-0xx-x2xx
3PCx-0xx-x4xx
Kabellänge
RS232C Betrieb
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sindInternes Volumen
DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF long tube
DN 16 CF-F
DN 16 CF-R long tube
DN 25 ISO-KF, 4 VCR
8 VCR
1/8 Zoll NPT, 7/16-20 UNF
Surface mount 29 mm (1,15 Zoll)
4 VCR 90°
Gewicht
Ohne Feldbus-Schnittstelle
Mit Feldbus-Schnittstelle
Schutzart
Standards

PCG550Wolfram

PCG552
NickelPCG554
Keramikbeschichtet

FCC, 8-polig
D-Sub, 9-polig, Stecker
D-Sub, 15-polig HD, Stecker
D-Sub, 15-polig HD, mit RS485, Stecker≤100 (≤330)≤30 (≤100)
W, Ni, NiFe, Al2O3,
Ni, NiFe, Al2O3, SnAg,
Al2O3, Edelstahl
Edelstahl,Glas
SnAg, Edelstahl,Glasm (ft.)m (ft.)

cm3
cm3
cm3
cm3
cm3
cm3
cm3
cm3

4,7
14,5
8
14
5,5
7
5,2
4,9
7,9

g
g

115 … 130
230 … 250
IP 40
EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 Nr. 61010-1

TECHNISCHE DATEN DIGITALE SCHNITTSTELLEN
DeviceNet™
Protokoll
Datenraten-Switch
Kabellänge
125 kbps
250 kbps
500 kbps
MAC-ID
Digitale Funktionen

kBaud
m (ft.)m (ft.)m (ft.)

Analoge Funktionen
Visuelle Kommunikationsanzeigen
Spezifikation
Gerätetyp
I/O-Slave Nachrichtenaustausch
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Schaltleistung

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)

DeviceNet™, nur Slave der Gruppe 2
125, 250, 500 oder über Netzwerk programmierbar
500 (1650)
250 (825)
100 (330)
Zwei Switches (Adresse 00 – 63) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
LED Netzwerkstatus (grün / rot)
LED Modulstatus (grün / rot)
DeviceNet™ "Geräteprofil Vakuummessgerät""CG" für Combination Gauge (Kombimessgerät)
Nur Abruf
2
1 × 10-9 … 100
NO (Schließer), potentialfrei
1060 / 0,5

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A105

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER

PCG550, PCG552, PCG554
DeviceNet™
Versorgungsspannung für DeviceNet™
Versorgungsspannung für Messgerät
Anschluss für DeviceNet™
Anschluss für Messgeräte (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

V / A (DC)V / A (DC)

EtherCAT®
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenrate

Profibus DP
Baudratenm (ft.)
Kbps

kBaud
MBaud

AdresseDigitale Funktionen

Analoge Funktionen
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)+11 - +25 / 0,5+20 - +28 / 0,8
Microstyle, 5-polig
D-Sub, 15-polig, Stecker

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)1000009,6 / 19,2 / 93,75 / 187,5 / 500
1,5 / 12Zwei Switches (Adresse 00 - 127) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus, Filament-Status"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
2
1 × 10-9 ... 100
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,5

Anschluss für Profibus DP
Anschluss für BPG (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

RS485C
Baudraten
AdresseDigitale Funktionen
Anschluss für RS485

D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 15-polig, Stecker

kBaud

9,6 / 19,2 / 38,4 /57,6
Zwei Switches (Adresse 00 – 255)
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa, Mikrometer, CountsÜberwachung Messgerätestatus, detaillierte Alarm- und Warninformationen,"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
D-Sub, 15-polig HD, Stecker

A106 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER | VAKUUMMESSGERÄTE

PCG550, PCG552, PCG554
ABMESSUNGEN
mm (in.)Standard

Profibus

ADDRESS
2
P

BUS

RATE

4 0
6

8

MSD

4
6

NET MOD

LSD

I/O

45 (1.77)

ST
DIA

SP2

MSD

RS485

2 4 6 2 4 6 2 4 6
ERR 0
8 0
8 0
8 RUN
A E
A E
A
E
x100
x10
x1

2 4 6 2 4 60
8 0
8E C A E C A

LA

LSD

LA

IN

I/O

ADDRESS
SP1

OUT

SP2

2

MSD
6

2

RATE
6 2
6

E

A

E

LSD

A E

ST

A
ADJ

I/O

3 2 1 ON
ST
DIA

SP1

SP2

DIA

ST
DIA

SP1

ADJ

SP2

ADJ

BUS

SP1
ADJ

65 (2.56)

D-Sub

130.2 (5.13)

DN 16 CF-R long

30.9
(1.22)

DN 16 CF-F

4-VCR 90°
8 VCR

130.8 (5.15)

24.3(0.96)

DN 16 ISO-KF long

4 VCR

31.5
(1.26)

46.3 (1.82)

29.2×29.2 mm

DN 16 ISO-KF

7/16-20 UNF

14.5 (0.57)

1/8" NPT34(1.34)
42.7 (1.68)

DN 25 ISO-KF

36.5(1.44)

36(1.42)

21.5(0.85)

87.5 (3.44)

79.5 (3.13)

Micro-Style65 (2.56)

FCC

50 (1.97)

67 (2.64)

65 (2.56)

D-Sub

EtherCAT

BUS

ADDRESSSTATUS

2 5 P
1

2

0

56 (2.20)

28(1.10)

DeviceNet

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A107

VAKUUMMESSGERÄTE

PCG550, PCG552, PCG554

A108 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BAYARD-ALPERT-HEISSIONISATIONSMESSRÖHRE | VAKUUMMESSGERÄTE

Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre

BAG302
BAG302
Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre

Die INFICON Bayard-Alpert-SingleHeißionisationsmessröhre BAG302 deckt einen weiten
Messbereich von 1,3 × 10-9 mbar bis 6,7 × 10-2 mbar
(1 × 10-9 Torr bis 5 × 10-2 Torr) ab. Das kompakte All-inOne BAG302 bietet einen einfach auszutauschenden
Sensor mit zwei Filamenten, ein integriertes OLEDDisplay, ein Schaltpunktrelais und einen logarithmischlinearen Analogausgang sowie eine integrierte digitale
RS485-Schnittstelle für mehr Flexibilität bei derIntegration.
In Verbindung mit dem robusten Design machen dieseMerkmale das BAG302 zu einem erschwinglichen
Messinstrument für die Prozess- bis
Basisdruckmessung. Die BAG302 steht für hohe
Qualität bei niedrigen Betriebskosten.Die BAG302 ist
als OEM-Gerät für die direkte Anbindung an die SPS
des Kunden ausgelegt. Sie wird daher nicht von den
Steuergeräten der Serie VGC50x unterstützt.
VORTEILE• Weiter Messbereich von 1,3 × 10-9 mbar bis 6,7 × 10-2
mbar (1 × 10-9 Torr bis 5 × 10-2 Torr)• Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete
Iridiumfilamente• Wolframfilamente bei gesonderter Bestellung
erhältlich• Aktives All-in-One Messgerät mit integriertem Display,
Schaltpunkt, analogem Ausgang und standardmäßig
integrierter, digitaler RS485-Schnittstelle• Helles, digitales OLED-Display mit Tastenfeld zur
einfachen Einrichtung, Bedienung und
Programmierung• Benutzerprogrammierbares Schaltpunktrelais• Benutzerprogrammierbare Anzeigeeinheiten (mbar,
Torr oder Pa)• Vom Benutzer auswählbare automatische Anpassung
des Emissionsstroms• Mechanische Festigkeit und Belastbarkeit• Verschiedene Flanschoptionen verfügbar
• Einfach auszutauschender Sensorkopf• Compliance & Standards: CE, RoHS
• Direct Drop-in Ersatz für die MKS/ Granville-Phillips®
354 und 355 Micro-Ion Modules® - identische
Steuerfunktionen inklusive Softwarebefehle (RS485)

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A109

VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-HEISSIONISATIONSMESSRÖHRE

BAG302ANWENDUNGEN• Druckmessung in Halbleiterprozess- undTransferkammern• Industrielle Beschichtung• Allgemeine Vakuummessung und -regulierung im
niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

A110 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BAYARD-ALPERT-HEISSIONISATIONSMESSRÖHRE | VAKUUMMESSGERÄTE

BAG302BESTELLINFORMATIONEN
Sensortyp1)
DN 16 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 16 CF-R
3/4"-Rohr
8 VCR female
1)

Yt2O3-beschichtete Iridiumfilamente

Austauschsensor1)
DN 16 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 16 CF-R
3/4"-Rohr
8 VCR female
1)

BAG302(OLED, SP, Analogausgang, RS485)
352-050
352-051
352-052352-053352-054352-055
352-056

BAG302352-060
352-061352-062352-063352-064352-065352-066

Yt2O3-beschichtete Iridiumfilamente

Zubehör
Netzteil für BAG302 1)

BAG302352-075

Eingangsleistung: 100 ... 240 V (AC)Ausgangsleistung: +24 V (AC) @2,5 A (60 W)
Kabellänge: 2 (6) m (ft.)1)

Die IEC 60320 AC-Netzanschlussbuchse ermöglicht die einfache Verwendung aller weltweit erhältlichen AC-Netzanschlusskabel

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A111

VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-HEISSIONISATIONSMESSRÖHRE

BAG302TECHNISCHE DATEN
Typ
Messbereich

Genauigkeit (N2)1)
1,3 × 10-8 … 6,7 × 10-2 mbar
1 × 10-8 … 5 × 10-2 Torr
Wiederholbarkeit 1)
Degas 2)
p < 6,7 × 10-5
p < 5,00 × 10-5
Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Ausheizen am Flansch(nur Sensor, Elektronik ausgebaut)
Versorgungsspannung
Ausgangssignal analog
Spannung vs. Druck
Schaltpunktrelais% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes

1)
2)
3)

±15
±15
±5

mbar
Torr

Electron Bombardment, 2 Min. (Standard)(programmierbar zwischen 2 … 10 Min.)°C°C

0 … +40-40 … +70

°C
V (DC)V
V / Dekade

Digitale Funktionen
Schnittstelle (digital)
Emissionskontrolle
Filament
Filament-Status
Elektrischer Anschluss
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sind
Einbaulage
Internes Volumen
Gewicht KF / CFBAG302
1,3 × 10-9 … 6,7 × 10-2
1 × 10-9 … 5 × 10-2
1,3 × 10-7 … 6,7

mbar
Torr
Pa

cm3 (Zoll3)
g (lb)

200+20 … +28 3)
0 … +9 (loglinear)1
1 (einpoliges Umschaltrelais (SPDT))
1 A bei 30 V (DC) resistiv oder V (AC) induktionsfrei
Degas, Filament ein/aus und Emissionskontrolle
RS485
Manuell
Zwei Yt2O3-beschichtete Ir
Anzeige / Digitalausgang
D-Sub, 9-polig, Stecker für analog
D-Sub, 9-polig, Buchse für RS485
Yt2O3, Ir, W, Ta, Edelstahl, Glas, Ni
beliebig
16,4 (1,0)
270 (0,6)

typischReduzierte Genauigkeit während Degas
30 W geschützt gegen Verpolung und transiente Überspannungen

A112 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BAYARD-ALPERT-HEISSIONISATIONSMESSRÖHRE | VAKUUMMESSGERÄTE

BAG302ABMESSUNGEN
Abmessungen A
DN 16 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 40 CF-R
8 VCR female
3/4"-Tube

mm
37
37
37
47
33
65
55

(Zoll)(1,45)(1,45)(1,45)(1,85)(1,7)(2,58)(2,16)VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A113

VAKUUMMESSGERÄTE

BAG302

A114 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BAYARD-ALPERT-HEISSIONISATIONSMESSRÖHRE | VAKUUMMESSGERÄTE

Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre

BAG402
BAG402
Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre

Die INFICON Bayard-Alpert-SingleHeißionisationsmessröhre BAG402 deckt einen weiten
Messbereich von 5 × 10-10 mbar bis 2,7 × 10-2 mbar
(3,75 × 10-10 Torr bis 2 × 10-2 Torr) ab. Die INFICON
BAG402 ermöglicht erschwingliche, wiederholbare
Prozess- bis Basisdruckmessungen in einem
kompakten aktiven Messgerät. Die einzigartige
Aufhängung der beiden Filamente garantiert unerreichte
Genauigkeit, Langzeitstabilität und Langlebigkeit. Die
BAG402 ist als OEM-Gerät für die direkte Anbindung an
die SPS des Kunden ausgelegt. Sie wird daher nicht
von den Steuergeräten der Serie VGC50x unterstützt.
VORTEILE• Messbereich von 5 × 10-10 mbar bis 2,7 × 10-2 mbar
(3,75 × 10-10 Torr bis 2 × 10-2 Torr)• Ausgezeichnete Wiederholbarkeit imProzessdruckbereich von 10-8 ... 10-2 mbar von ±5%• Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete
Iridiumfilamente• Emissionsstromauswahl reduziert
Steuerungskomplexität• Leicht austauschbarer Sensorkopf mit integriertem
Calibration Data Chip garantiert hohe
Reproduzierbarkeit und einfachen Austausch des
Messkopfes im Feld
• RoHS-Compliance
ANWENDUNGEN• Druckmessung in Halbleiterprozess- undTransferkammern• Industrielle Beschichtung• Allgemeine Vakuummessung und -regulierung im
niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A115

VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-HEISSIONISATIONSMESSRÖHRE

BAG402BESTELLINFORMATIONEN
Sensortyp
DN 25 ISO-KF
DN 40 CF-R

BAG402353-600
353-601

Austauschsensor
DN 25 ISO-KF
DN 40 CF-R

BAG402354-484354-485

Zubehör
BaffleZentrierring mit Baffle DN 25 ISO-KF

353-512211-113

Baffle: Verhindert die Kontaminierung des Sensors, schneller und einfacher Einbau.
Standard

A116 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BaffleBAYARD-ALPERT-HEISSIONISATIONSMESSRÖHRE | VAKUUMMESSGERÄTE

BAG402TECHNISCHE DATEN
Typ
Messbereich (Luft, O2, CO, N2)
Genauigkeit 10-8 … 10-2 mbar
Wiederholbarkeit 10-8 … 10-2 mbar
Degas 1) p < 7,2 × 10-6
Druck, max. bar
Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Ausheizen am Flanschohne Elektronik
Versorgungsspannung
Ausgangssignal analog
Messbereich
Spannung vs. Druck (logarithmisch)Fehlersignal
Lastimpedanz, min.
Schnittstelle (digital)
Emissionskontrolle
Filament
Filament-Status
Elektrischer Anschluss
Kabellänge, max.
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sindInternes Volumen KF / CF
Gewicht KF / CF
Schutzart
1)

mbar (Torr)% desMesswertes% desMesswertesmbarbar (absolut)°C°C°C
V / A (DC)VV
V / DekadeVkΩm (ft)
cm3 (Zoll3)g

BAG402
5 × 10-10 … 2,7 × 10-2 (3,75 × 10-10 ... 2 x10-2)±15
5Electron Bombardment, max. 3 Min.
2
0 … +50-20 - +70
80
+20 - +28 / ≤ 0,8
0 - +10,5
0,57 ... 8,31
1
>10
10
Diagnose-Port, RS232C, Klinkenstecker. 2,5 m, 3-polig
Manuell über Schnittstelle
Zwei Yt2O3-beschichtete Ir
LED
D-Sub, 9-polig, Stecker
100 (330)
Yt2O3, Ir, Pt, Mo, W, NiFe, NiCr, Edelstahl, Glas
24 (1,46) / 34 (2,1)
450 / 710
IP30

Reduzierte Genauigkeit während Degas

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A117VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-HEISSIONISATIONSMESSRÖHRE

BAG402ABMESSUNGEN

mm (in.)BAG40259(2.32)(D-Sub, 9-pin)

48(1.89)

42(1.65)

112.5(4.43)

67(2.64)

DN 25 ISO-KF

DN 40 CF-R

A118 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BAYARD-ALPERT-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Bayard-Alpert-Pirani-Messgerät

BPG400
BPG400
Bayard-Alpert-Pirani-Messgerät

Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät
BPG400 von INFICON bietet zwei Messgeräte in einer
einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von
5 × 10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 × 10-10 Torr
bis Atmosphäre). Durch die Kombination verschiedenerMesstechnologien wird die Komplexität bei derInstallation, Einrichtung und Integration in die
Applikation spürbar reduziert. Das BPG400 ermöglicht
erschwingliche, wiederholbare Messungen im Prozessbis Basisdruckbereich in einem kostengünstigen Paket.
VORTEILE• Extrem großer Messbereich von 5 × 10-10 mbar bis
Atmosphärendruck (3,8 × 10-10 Torr bis Atmosphäre)• Ausgezeichnete Wiederholbarkeit imProzessdruckbereich von 10-8 ... 10-2 mbar von 5%• Das Pirani-Interlock schützt das Bayard-Alpert-Systemvor vorzeitigem Ausbrennen des Filaments undübermäßiger Verunreinigung durch den Betrieb inhöheren Druckbereichen• Langlebiges Yttriumoxid-beschichtetes Iridiumfilament• Optionales grafisches Display und FeldbusSchnittstellen erhältlich• Automatischer Hochvakuum-Pirani-Abgleich reduziert
die erforderlichen Bedienereingriffe• RoHS-Compliance
ANWENDUNGEN• Druckmessung in Halbleiterprozess- undTransferkammern• Industrielle Beschichtung• Allgemeine Vakuummessung und -regulierung im
niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A119VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-PIRANI-MESSGERÄT

BPG400BESTELLINFORMATIONEN
SensortypBPG400

BPG400

BPG400

BPG400

DN 25 ISO-KF
DN 40 CF-R

ohne LCD
353-500
353-502

mit LCD
353-501535-503

mit Profibus DP
353-505353-506

mit DeviceNet™
353-507353-508

Austauschsensor

BPG400

BPG400

BPG400

BPG400

DN 25 ISO-KF
DN 40 CF-R

ohne LCD
354-490354-491

mit LCD
354-490354-491

mit Profibus DP
354-490354-491

mit DeviceNet™
354-490354-491

Zubehör
Netzteil 24 V (DC) / RS232C-Kabel
Ausheizverlängerung, 100 mm (3,94 Zoll)
BaffleZentrierring mit Baffle DN 25 ISO-KF
Power supply 24 V (dc) / RS232C line
RS232 to PC / PLC
D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 15-pin, female

Teilenr.
353-511353-510353-512211-113
Bakeout extension:

Baffle:Allows measurement at flange temperatures up to 150°C.
Easy installation into the vacuum connection - no tools required.

Prevents contamination of the sensor.
Fast and easy installation.

5m

Standard

24 V (dc) supply
5m
1.8 m
90 ... 250 V (ac) supply

A120 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BaffleBAYARD-ALPERT-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

BPG400TECHNISCHE DATEN

Messbereich (Luft, O2, CO, N2)
Genauigkeit 10-8 … 10-2 mbar
Wiederholbarkeit 10-8 … 10-2 mbar
Degas 1) p < 7,2 × 10-6
Druck, max.
Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Ausheizen
Am Flansch mit Verlängerung
Am Flansch ohne Verlängerung
Elektronik ausgebaut
Versorgungsspannung
Ausgangssignal analog
Messbereich
Spannung vs. Druck
Fehlersignal
Lastimpedanz, min.
Schnittstelle (digital) 2)
Elektrischer Anschluss
Kabellänge, max.3)
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sindInternes Volumen KF / CF
Gewicht KF / CF
Schutzart
1)
2)
3)

BPG400 Standard
BPG400 Display
5 × 10-10 … 1000 (3,8 × 10-10 … 750)
±15
5mbar (Torr)% desMesswertes% desMesswertesmbarbar (absolut)

Electron Bombardment, max. 3 Min.
2

°C
°C

0 … +50–20 … +70

°C°C°C
V / A (DC)VV
V / Dekade
V
kΩ

150
80
150
+20 … +28 / 0,8
0 … +10+0,774 … +10
0,75
0,3 / 0,510RS232CD-Sub, 15-polig, Stecker
100 (330)
Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, Edelstahl, Glas
24 (1,46) / 34 (2,1)
285 / 550
IP30m (ft.)
cm3 (Zoll3)gReduzierte Genauigkeit während Degas
Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder von Controllern der VGC40x- und VGC50x-Serie mit Feldbus ist nicht zulässig
Für den RS232C-Betrieb <30 m

TECHNISCHE DATEN DIGITALE SCHNITTSTELLEN
DeviceNet™
Protokoll
Datenraten-Switch
Kabellänge
125 kbps
250 kbps
500 kbps
MAC-ID
Digitale Funktionen

Analoge Funktionen
Visuelle Kommunikationsanzeigen
Spezifikation
Gerätetyp
I/O-Slave NachrichtenaustauschkBaudm (ft.)m (ft.)m (ft.)

DeviceNet™, nur Slave der Gruppe 2
125, 250, 500 oder über Netzwerk programmierbar
500 (1650)
250 (825)
100 (330)
Zwei Switches (Adresse 00 – 63) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
LED Netzwerkstatus (grün / rot)
LED Modulstatus (grün / rot)
DeviceNet™ "Geräteprofil Vakuummessgerät""CG" für Combination Gauge (Kombimessgerät)
Nur Abruf
VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A121VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-PIRANI-MESSGERÄT

BPG400DeviceNet™
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Schaltleistung
Versorgungsspannung für DeviceNet™
Versorgungsspannung für Messgerät
Anschluss für DeviceNet™
Anschluss für Messgeräte (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)Profibus DP
Baudraten% desMesswertes
V / A (DC)V / A (DC)V / A (DC)

kBaud
MBaud

AdresseDigitale Funktionen

Analoge Funktionen
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit

2
1 × 10-9 … 100
NO (Schließer), potentialfrei
1060 / 0,5

mbar

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)+11 - +25 / 0,5+20 - +28 / 0,8
Microstyle, 5-polig
D-Sub, 15-polig, Stecker

9,6 / 19,2 / 93,75 / 187,5 / 500
1,5 / 12Zwei Switches (Adresse 00 - 127) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus, Filament-Status"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
2
1 × 10-9 ... 100
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,5

Anschluss für Profibus DP
Anschluss für BPG (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 15-polig, Stecker

ABMESSUNGEN

mm (in.)A122 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BAYARD-ALPERT-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Bayard-Alpert-Pirani-Messgerät

BPG402-S
BPG402-S
Bayard-Alpert-Pirani-Messgerät

Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät
BPG402-S von INFICON bietet zwei Messgeräte in einer
einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von
5 × 10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 × 10-10 Torr
bis Atmosphäre). Durch die Kombination verschiedenerMesstechnologien wird die Komplexität bei derInstallation, Einrichtung und Integration spürbar
reduziert. Das BPG402-S mit 2 Yttriumoxidbeschichteten Iridiumfilamenten ermöglicht
erschwingliche, wiederholbare Messungen im Prozessbis Basisdruckbereich in einem kostengünstigen Paket.
Sensorköpfe mit integriertem Calibration Data Chipgarantieren hohe Reproduzierbarkeit beim Austauschder Messköpfe.
VORTEILE• Extrem großer Messbereich von 5 × 10-10 mbar bis
Atmosphärendruck (3,8 × 10-10 Torr bis Atmosphäre)• Ausgezeichnete Wiederholbarkeit imProzessdruckbereich von 10-8 ...10-2 mbar von 5%• Pirani-Interlock schützt das Filament vor vorzeitigem
Ausbrennen• Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete
Iridiumfilamente• Optionales grafisches Display und FeldbusSchnittstellen erhältlich, z.B. EtherCAT, DeviceNet,
Profinet usw.
• Aktuellste EtherCAT-Protokollgeneration• Automatischer Hochvakuum-Pirani-Abgleich reduziert
die erforderlichen Bedienereingriffe• Einfach auszutauschender Sensorkopf mit
integriertem Calibration Data Chip garantiert hohe
Reproduzierbarkeit und einfachen Austausch im Feld
• RoHS-Compliance
ANWENDUNGEN• Druckmessung in Halbleiterprozess- undTransferkammern• Industrielle Beschichtung• Allgemeine Vakuummessung und -regulierung im
niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A123VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-PIRANI-MESSGERÄT

BPG402-S
BESTELLINFORMATIONEN
Typ

DN 25 ISO-KF
DN 40 CF-R
1)
2)

BPG402-S

BPG402-S

BPG402-SL

BPG402-SP

BPG402-SD

BPG402-SE

ohne Display

mit Display

mit Profibus
DP1)

mit
DeviceNet™1)

mit
EtherCAT®2) 1)

353-570353-571353-572353-573

mit
Flanschverlän
gerung ohne
Display353-578353-574353-575

353-576353-577353-596353-597

BPG402-SP
354-494354-495

BPG402-SD
354-494354-495

BPG402-SE
354-494354-495

Kommunikationsstandard ETG.5 == 3.2080 S (R) V1.3.0; alte Version V1.0.0 auf Anfrage weiterhin verfügbar
nicht erhältlich mit LCD

Ersatzteile
Austauschsensor DN 25 ISO-KF
Austauschsensor DN 40 CF-R

BPG402-S
354-494354-495

BPG402-S
354-494354-495

BPG402-SL
354-496

Zubehör
Netzteil 24 V (DC) / RS232C-Kabel
BaffleZentrierring mit Baffle DN 25 ISO-KF
Power supply 24 V (dc) / RS232C line

Baffle:
RS232 to PC / PLC
D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 15-pin, female
5m

Teilenr.
353-511353-512211-113

Prevents contamination of the sensor.
Easy installation into the vacuum connection - no tools required.
Standard

24 V (dc) supply
5m
1.8 m
90 ... 250 V (ac) supply

A124 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BaffleBAYARD-ALPERT-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

BPG402-S
TECHNISCHE DATEN

Messbereich (Luft, O2, CO, N2)
Genauigkeit 10-8 … 10-2 mbar
Wiederholbarkeit 10-8 … 10-2 mbar
Degas 1) p < 7,2 × 10-6
Druck, max.
Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Ausheizen am Flansch ohne
Elektronik
BPG402-S
BPG402-SL
Versorgungsspannung
Ausgangssignal analog
Messbereich
Spannung vs. Druck
Fehlersignal
Lastimpedanz, min.
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit
Digitale Funktionen
Schnittstelle (digital) 2)
Emissionskontrolle
Filament
Filament-Status
Elektrischer Anschluss
Kabellänge, max. 3)
Materialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sindInternes Volumen KF / CF
Gewicht KF / CF
Schutzart
1)
2)
3)

BPG402-S / -SL Standard
BPG402-S Display
5 × 10-10 … 1000 (3,8 × 10-10 … 750)
±15
5mbar (Torr)% desMesswertes% desMesswertesmbarbar (absolut)

Electron Bombardment, max. 3 Min.
2

°C
°C

0 - +50–20 - +70

°C
°C

80
150

V / A (DC)VV
V / DekadeVkΩ+20 - +28 / ≤0,8
0 - +10+0,774 - +10
0,75
0,1 / 0,3 / 0,5
10
1
1 × 10-9 … 100
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,5

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)Degas
RS232C
Automatisch / manuell über Schnittstelle
Zwei Yt2O3-beschichtete Ir
LED / Digitalausgang
D-Sub, 15-polig, Stecker
100 (330)
Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, Edelstahl, Glasm (ft.)

cm3 (Zoll3)g

24 (1,46) / 34 (2,1)
450 / 710
IP30

Reduzierte Genauigkeit während Degas
Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder von Controllern der VGC40x- und VGC50x-Serie mit Feldbus ist nicht zulässig
Für den RS232C-Betrieb <30 m

TECHNISCHE DATEN DIGITALE SCHNITTSTELLEN
DeviceNet™
Protokoll
Datenraten-Switch
Kabellänge
125 kbps
250 kbps
500 kbps
MAC-ID

kBaud
m (ft.)m (ft.)m (ft.)

DeviceNet™, nur Slave der Gruppe 2
125, 250, 500 oder über Netzwerk programmierbar
500 (1650)
250 (825)
100 (330)
Zwei Switches (Adresse 00 – 63) oder über Netzwerk programmierbar

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A125

VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-PIRANI-MESSGERÄT

BPG402-S
DeviceNet™
Digitale Funktionen

Analoge Funktionen
Visuelle Kommunikationsanzeigen
Spezifikation
Gerätetyp
I/O-Slave Nachrichtenaustausch
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Schaltleistung
Versorgungsspannung für DeviceNet™
Versorgungsspannung für Messgerät
Anschluss für DeviceNet™
Anschluss für Messgeräte (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)V / A (DC)V / A (DC)

EtherCAT®
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenrate

Profibus DP
Baudraten
AdresseDigitale Funktionen

Analoge Funktionen

m (ft.)
Kbps

kBaud
MBaud

Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
LED Netzwerkstatus (grün / rot)
LED Modulstatus (grün / rot)
DeviceNet™ "Geräteprofil Vakuummessgerät""CG" für Combination Gauge (Kombimessgerät)
Nur Abruf
2
1 × 10-9 … 100
NO (Schließer), potentialfrei
1060 / 0,5+11 - +25 / 0,5+20 - +28 / 0,8
Microstyle, 5-polig
D-Sub, 15-polig, Stecker

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)1000009,6 / 19,2 / 93,75 / 187,5 / 500
1,5 / 12Zwei Switches (Adresse 00 - 127) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus, Filament-Status"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B

A126 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BAYARD-ALPERT-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

BPG402-S
Profibus DP
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit

2
1 × 10-9 ... 100
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,5

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)Anschluss für Profibus DP
Anschluss für BPG (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 15-polig, Stecker

ABMESSUNGEN
BPG402-SD(DeviceNet)

BPG402-SP(Profibus)

BPG402-SE(EtherCAT)

59(2.32)

BPG402-S/-SL

48(1.89)

42(1.65)

112.5(4.43)

14(0.55)

67(2.64)

DN 40 CF-R

155.2
(6.11)

DN 25 ISO-KF

mm (in.)
DN 40 CF-R
long tube

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A127VAKUUMMESSGERÄTE

BPG402-S

A128 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BAYARD-ALPERT-PIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER | VAKUUMMESSGERÄTE

Bayard-Alpert-Pirani-Kapazitätsmembran-Manometer

TripleGauge® BCG450
TripleGauge® BCG450
Bayard-Alpert-Pirani-Kapazitätsmembran-Manometer

Das INFICON Bayard-Alpert-Pirani-KapazitätsmembranManometer BCG450 vereinigt die Vorteile dreierverschiedener Messtechnologien in einem einzigen,kompakten und wirtschaftlichen Gerät zur Messung vonProzess- und Basisdruck im Bereich von 5 × 10-10 bis
1500 mbar (3,75 × 10-10 bis 1125 Torr). Das BCG450
wurde entwickelt, um drei einzelne Messgeräte ersetzen
zu können (Heißioni, Pirani/ konvektionsverstärktes
Pirani und Vakuumschalter). Die Kombination dieseMessprinzipien in einem Gerät reduziert die Kosten undverringert den Platzbedarf auf der Vakuumanlage
deutlich.Jetzt mit digitaler Profinet-Schnittstelleerhältlich.
VORTEILE• Das BCG450 spart Kosten und Platz und reduziert die
Komplexität bei der Integration in die
Kundenapplikation.
• Die Druckmessung im Bereich >10 Torr bietet einezuverlässigere Load-Lock-Steuerung, unabhängig vonder verwendeten Gasart.
• Pirani-Interlock schützt das Heiß-Ioni-Filament vor
vorzeitigem Ausbrennen• Der automatische Hochvakuum-Pirani-Abgleich
reduziert die erforderlichen manuellen Eingriffe desBedienpersonals• Differenzdruckmessung bei Atmosphärendruck gibt
zusätzliche Sicherheit bei sich änderndem
Atmosphärendrucks• Leicht austauschbarer Sensorkopf mit integriertem
Calibration Data Chip garantiert höchste
Reproduzierbarkeit• Optionale Display- oder Feldbus-Schnittstellen
erhältlich, z.B. EtherCAT®, DeviceNet™, Profinet® usw.
• Aktuellste EtherCAT-Protokollgeneration• RoHS-Compliance
ANWENDUNGEN• Druckmessung in Halbleiterprozessen, Transfer- undLoadlock Applikationen• Industrielle Beschichtungsprozesse• Allgemeine Vakuummessung und -regulierung vonSystemen im niedrigen bis UHV Bereich

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A129VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-PIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER

TripleGauge® BCG450BESTELLINFORMATIONEN
Typ

DN 25 ISO-KF
DN 40 CF-R
Austauschsensor 25 ISO-KF
Austauschsensor 40 CF-R
1)
2)

BCG450BCG450BCG450-SP

BCG450-SD

BCG450-SE

BCG450-PN

mit LCD

mit LCD
353-552353-553354-492354-493

mit
DeviceNet™1)353-557353-558354-492354-493

mit
EtherCAT®1) 2)
353-598353-599354-492354-493

mit Profinet®

353-550353-551354-492354-493

mit Profibus
DP1)353-554353-556354-492354-493

nicht erhältlich mit LCD
Kommunikationsstandard ETG.5 == 3.2080 S (R) V1.3.0; alte Version V1.0.0 auf Anfrage weiterhin verfügbar

Zubehör
Netzteil 24 V (DC) / RS 232 C-Kabel
BaffleZentrierring mit Baffle DN 25 ISO-KF
Power supply 24 V (dc) / RS232C line

Baffle:
RS232 to PC / PLC
D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 15-pin, female
5m

Teilenr.
353-511353-512211-113

Prevents contamination of the sensor.
Fast and easy installation.
Standard

24 V (dc) supply
5m
1.8 m
90 ... 250 V (ac) supply

A130 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Baffle353-517353-518354-492354-493BAYARD-ALPERT-PIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER | VAKUUMMESSGERÄTE

TripleGauge® BCG450TECHNISCHE DATEN

Messbereich
Genauigkeit
10-8… 50 mbar
50 … 950 mbar
950 … 1050 mbar

Wiederholbarkeit 10-8 … 10-2 mbar
Heiß-Ioni-Emission ein(hoch / niedrig auswählbar, über RS232 /Feldbus)Degas1) p < 7,2 × 10-6
Druck, max.
Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Ausheizen
Am Flansch
Elektronik ausgebaut
Versorgungsspannung
Ausgangssignal analog
Messbereich
Verhältnis Spannung / Druck
Fehlersignal
Minimale Last
Schnittstelle (digital) 2)
Anschluss
Kabellänge, max. 3)
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sindInternes Volumen KF / CF
Gewicht KF / CF
Schutzart
1)
2)
3)

BCG450 Standard
BCG450 Display
5 × 10-10 bis 1500 (3,75 × 10-10 bis 1125)

mbar (Torr)% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes
mbar
mbar

±15
±5
±2,5

2 × 10-2 (hoch)
8 × 10-3 (niedrig)mbarbar (absolut)

Electron Bombardment, max. 3 Min.
5

5

°C
°C

0 … +50–20 … +70

°C°C
V / A (DC)VV
V / Dekade
V
kΩ

80
150
20 … 28 / 0,8
0 … 10,3
0,774 … 10,30,75
0,3 / 0,510RS232CD-Sub, 15-polig, Stecker
100 (330)
Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, Edelstahl, Glas
24 (1,46) / 34 (2,1)
285 / 550
IP30m (ft.)
cm3 (Zoll3)gReduzierte Genauigkeit während Degas
Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder von Controllern der VGC40x- und VGC50x-Serie mit Feldbus ist nicht zulässig
Für den RS232C-Betrieb <30 m

TECHNISCHE DATEN DIGITALE SCHNITTSTELLEN
DeviceNet™
Protokoll
Datenraten-Switch
Kabellänge
125 kbps
250 kbps
500 kbps
MAC-ID
Digitale Funktionen

kBaud
m (ft.)m (ft.)m (ft.)

DeviceNet™, nur Slave der Gruppe 2
125, 250, 500 oder über Netzwerk programmierbar
500 (1650)
250 (825)
100 (330)
Zwei Switches (Adresse 00 – 63) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A131VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-PIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER

TripleGauge® BCG450
DeviceNet™
Analoge Funktionen

0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
LED Netzwerkstatus (grün / rot)
LED Modulstatus (grün / rot)
DeviceNet™ "Geräteprofil Vakuummessgerät""CG" für Combination Gauge (Kombimessgerät)
Nur Abruf
2
1 × 10-9 … 100
NO (Schließer), potentialfrei
1060 / 0,5

Visuelle Kommunikationsanzeigen
Spezifikation
Gerätetyp
I/O-Slave Nachrichtenaustausch
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Schaltleistung
Versorgungsspannung für DeviceNet™
Versorgungsspannung für Messgerät
Anschluss für DeviceNet™
Anschluss für Messgeräte (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)V / A (DC)V / A (DC)

EtherCAT®
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenrate

Profibus DP
Baudratenm (ft.)
Kbps

kBaud
MBaud

AdresseDigitale Funktionen

Analoge Funktionen
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)+11 - +25 / 0,5+20 - +28 / 0,8
Microstyle, 5-polig
D-Sub, 15-polig, Stecker

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)1000009,6 / 19,2 / 93,75 / 187,5 / 500
1,5 / 12Zwei Switches (Adresse 00 - 127) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus, Filament-Status"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
2-9
1 × 10 ... 100
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,5

A132 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

BAYARD-ALPERT-PIRANI-KAPAZITÄTSMEMBRAN-MANOMETER | VAKUUMMESSGERÄTE

TripleGauge® BCG450
Profibus DP
Anschluss für Profibus DP
Anschluss für BPG (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 15-polig, Stecker

Profinet™
Kommunikationsprotokoll
Physical Layer
Digitale Funktionen
lesen
einstellen
Profinet-Anschluss
Kabel
Kabellänge

m (ft.)

Datenrate

Kbps

spezielles Protokoll für Profinet
100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Druck, Status, ID
Schaltpunkte, Filter, Zero-Anpassung, Reset, DC-Offset
2 × RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Spezielles Ethernet-Patchkabel oder Crossover-Kabel, geschirmt (CAT5e oderhöher)≤100 (330)100000ABMESSUNGEN

mm (in.)BCG450-SD(DeviceNet)

BCG450-SP(Profibus)

BCG450-SE(EtherCAT)

59(2.32)BCG45048(1.89)

42(1.65)

112.5(4.43)

14(0.55)

67(2.64)

DN 25 ISO-KF

DN 40 CF-R

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A133VAKUUMMESSGERÄTE

TripleGauge® BCG450

A134 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

HOCHDRUCK-HEISSIONISATIONS-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät

HPG400HPG400Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät

Das Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät
HPG400 von INFICON vereint Hochdruck-Heißionisation
und Pirani-Sensoren in einem einzelnen, kompakten undkostengünstigen Paket für Druckmessungen im Bereich
von 2 x 10-6 mbar bis Atmosphärendruck (1,5 x 10-6 Torr
bis Atmosphäre). Die HPG400 ermöglicht
Druckmessungen mit hoher Wiederholbarkeit undReproduzierbarkeit für eine präzise Druckkontrolle vor
allem in Sputter-Prozessen.
VORTEILE• Das HPG400 spart Kosten und Platz und reduziert die
Komplexität bei der Integration in die Anlage• Das Hochdruck-Heißionisationsmessgerät bietet
präzise, zuverlässige Druckmessungen von 1 x 10-5 ...
1 mbar zur besseren Prozesssteuerung• Vom Benutzer auswählbare Aktivierung der Heiß-IoniEmission zwischen 5 x 10-2 und 1 mbar
• Pirani-Interlock schützt das Filament vor vorzeitigem
Ausbrennen• Optionale Display- oder Feldbus-Schnittstellen
erhältlich• Automatischer Hochvakuum-Pirani-Abgleich reduziert
die erforderlichen Eingriffe durch das Bedienpersonal• RoHS-Compliance
ANWENDUNGEN• Sputter-Anwendungen in der Halbleiterfertigung• Industrielle Beschichtung• Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im
Nieder- bis Hochvakuumbereich

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A135

VAKUUMMESSGERÄTE | HOCHDRUCK-HEISSIONISATIONS-PIRANI-MESSGERÄT

HPG400BESTELLINFORMATIONEN
Typ

HPG400ohne LCD
353-520353-522354-487354-488

DN 25 ISO-KF
DN 40 CF-F
Austauschsensor 25 ISO-KF
Austauschsensor 40 CF-R
1)

HPG400
mit LCD
353-521353-523354-487354-488

HPG400-SP
mit Profibus DP 1)
353-525353-526354-487354-488

nicht erhältlich mit LCD

Zubehör
Netzteil 24 V (DC) / RS232C-Kabel
Zentrierring mit Baffle DN 25 ISO-KF
Power supply 24 V (dc) / RS232C line
RS232 to PC / PLC
D-Sub, 9-pin, female

D-Sub, 15-pin, female
5m
24 V (dc) supply
5m
1.8 m
90 ... 250 V (ac) supply

A136 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Teilenr.
353-511211-113

HPG400-SD
mit DeviceNet™ 1)
353-527353-528354-487354-488

HOCHDRUCK-HEISSIONISATIONS-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

HPG400TECHNISCHE DATEN

Messbereich (Luft, N2)
Genauigkeit 10-5 ... 1 mbar
Wiederholbarkeit
10-5 ... 10-1
10-1 … 100 mbar

Heiß-Ioni-Emission ein, auswählbar
Option 1
Option 2
Option 3
Option 4
Option 5
Druck, max.
Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Ausheizen
Am Flansch
Elektronikeinheit abgenommen
Versorgungsspannung
Ausgangssignal analog
Messbereich
Heisskathode
PiraniSpannung vs. Druck
Heisskathode
PiraniFehlersignal
Heisskathode
Pirani
Lastimpedanz, min.
Schnittstelle (digital) 2)
Elektrischer Anschluss
Kabellänge, max.3)
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sindInternes Volumen KF / CF
Gewicht KF / CF
Schutzart
1)
2)
3)

HPG400 Standard
HPG400 Display
2 × 10-6 … 1000 (1,5 × 10-6 … 750)
±15 1)

mbar (Torr)% desMesswertes

2
30

% des
Messwertes% desMesswertes
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
bar (absolut)

1
5 × 10-1
2 × 10-1
1 × 10-1
5 × 10-2
2°C°C

0 … +50–20 … +70

°C°C
V / A (DC)
V

80
150
20 … 28 / 0,8
0 … +10,2

VV

1,5 … 7,5
8,5 … 9,75

V / Dekade
V / Dekade

1
0,25

V
V
kΩ

0,3
0,5
10
RS232CD-Sub, 15-polig, Stecker
100 (330)
Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, Edelstahl, Glas
20 (1,2) / 30 (1,8)
430 / 695
IP30

m (ft.)
cm3 (Zoll3)gGenauigkeit von 10-5 mbar bis zum ausgewählten Wert für "Heiß-Ioni-Emission ein"
Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder von Controllern der VGC40x- und VGC50x-Serie mit Feldbus ist nicht zulässig
Für den RS232C-Betrieb <30 m

TECHNISCHE DATEN DIGITALE SCHNITTSTELLEN
DeviceNet™
Protokoll
Datenraten-Switch
Kabellänge
125 kbps
250 kbps
500 kbps

kBaud

DeviceNet™, nur Slave der Gruppe 2
125, 250, 500 oder über Netzwerk programmierbarm (ft.)m (ft.)m (ft.)

500 (1650)
250 (825)
100 (330)
VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A137

VAKUUMMESSGERÄTE | HOCHDRUCK-HEISSIONISATIONS-PIRANI-MESSGERÄT

HPG400DeviceNet™
MAC-ID
Digitale Funktionen

Analoge Funktionen
Visuelle Kommunikationsanzeigen
Spezifikation
Gerätetyp
I/O-Slave Nachrichtenaustausch
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Schaltleistung
Versorgungsspannung für DeviceNet™
Versorgungsspannung für Messgerät
Anschluss für DeviceNet™
Anschluss für Messgeräte (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)Profibus DP
Baudraten

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)V / A (DC)V / A (DC)

kBaud
MBaud

AdresseDigitale Funktionen

Analoge Funktionen
Schaltpunktrelais
BereichRelaiskontakt
Hysterese
Kontaktbelastbarkeit

mbar
% des
Messwertes
V / A (DC)Zwei Switches (Adresse 00 – 63) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
LED Netzwerkstatus (grün / rot)
LED Modulstatus (grün / rot)
DeviceNet™ "Geräteprofil Vakuummessgerät""CG" für Combination Gauge (Kombimessgerät)
Nur Abruf
2
1 × 10-9 … 100
NO (Schließer), potentialfrei
1060 / 0,5+11 - +25 / 0,5+20 - +28 / 0,8
Microstyle, 5-polig
D-Sub, 15-polig, Stecker

9,6 / 19,2 / 93,75 / 187,5 / 500
1,5 / 12Zwei Switches (Adresse 00 - 127) oder über Netzwerk programmierbar
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa
Degas-Funktion, Pirani Full Scale AnpassungÜberwachung Messgerätestatus, Filament-Status"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
Detaillierte Alarm- und Warninformationen
0 … 10 V Analogausgang Druckanzeige
Zwei Schaltpunktrelais A + B
2
1 × 10-9 ... 100
NO (Schließer), potentialfrei
10≤30 / ≤0,5

Anschluss für Profibus DP
Anschluss für BPG (Analogausgang,
Versorgungsspannung, Schaltpunkte)

A138 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 15-polig, Stecker

HOCHDRUCK-HEISSIONISATIONS-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

HPG400ABMESSUNGEN

mm (in.)'1,62.)DN 40 CF-F

mm (in.)VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A139VAKUUMMESSGERÄTE

HPG400A140 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

INVERTIERTES MAGNETRON/INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Invertiertes Magnetron/Invertiertes Magnetron-Pirani-Messgerät

Gemini™ MPG55x / MAG55x
MPG55x / MAG55x
Invertiertes Magnetron/InvertiertesGemini™
Magnetron-Pirani-Messgerät

Das invertierte Magnetron-Vakuummessgerät Gemini™
von INFICON ist das "Arbeitspferd" für alle VakuumMessanwendungen. Während das Gemini MPG50x zwei
Sensorsysteme in einem kompakten Gerät für die
Messung von Atmosphärendruck bis runter zu 1 × 10-9mbar vereint, ist das Gemini MAG50x ein reines
Kaltkathoden-Sensorsystem (ohne Pirani-Element) fürden Messbereich von 1 × 10-2 mbar bis 1 × 10-9 mbar.
Das patentierte Messgerätedesign mit seinem extrem
geringen magnetischen Streufeld eröffnet eine völlig
neue Dimension an Anwendungsmöglichkeiten. Eineeinzigartige, austauschbare 2-Kammer-Sensoreinheit
macht eine regelmäßige Reinigung überflüssig undreduziert dadurch den Wartungsaufwand. Dies macht
Gemini zum robustesten und wirtschaftlichsten
Vakuummessgerät seiner Art.
MAG und MPG Gemini sind mit EtherCAT-Feldbus und
Schaltpunkten als MAG55x und MPG55x erhältlich.
Für korrosive Anwendungen empfehlen wir die
keramikbeschichtete Version MxG5x4. Bei dieser sindzur Verbesserung der Korrosionsbeständigkeit die
Durchführung und das Pirani-Element im Sensorkopf
vollständig keramikbeschichtet.
VORTEILE• Lange Lebensdauer in rauen Einsatzumgebungen• Zuverlässige und schnelle Zündung• Äusserst geringes magnetisches Streufeld• Wählbarer Messstrom• Schnelle Wartung - austauschbare Ionisationskammer• Durchführung & Sensorkopf korrosionsbeständig
• Digitale EtherCAT- und RS232/RS485-Schnittstelle• Kompakte Baugröße - einfache Integration• 2 Relais-Schaltpunkte (MxG55x)
ANWENDUNGEN• Überwachung und Steuerung des Basisdrucks vonAtmosphäre bis Hochvakuum in Verdampfungs- undSputter-Beschichtungswendungen• Allgemeine Vakuummessung – Industrieöfen,Architekturglas, Halbleiterfertigung, Produktionslabors
usw.
• Analytik- und F&E-Anwendungen –Massenspektrometrie, Elektronenmikroskope,
Ophtalmik, Optik, Medizin und Hochenergiephysik

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A141VAKUUMMESSGERÄTE | INVERTIERTES MAGNETRON/INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT

Gemini™ MPG55x / MAG55x
BESTELLINFORMATIONEN

Output signal((1.667xU)-11.33)

MPG: p = 10^
mbar Inverted Magnetron Pirani
MAG: p = 10^ ((U-12.1.666) / 1.33) [hPa|mbar] Penning
MAG: p = 10^ (U-10.5) [hPa|mbar] Inverted Magnetron 2)PQN

3 MA 0 – 0 0 6 – 0 0 0 Q
Digital interface

Type
Inverted Magnetron
Inverted Magnetron Pirani

0
3
5
G

A
B

Sensor version
Standard
Ceramic coated feedthrough0
3Electrical connection
0
1
2
4

Ionization chamber
Stainless steel (SS)
Titanium (TI) 1)

0
1

High current
Low current

FCC, 8-pin
D-Sub, 9-pin 2)
D-sub HD, 15-pin, EtherCAT 2), 3)
D-sub HD, 15-pin, RS232/485 2)

Switching functions

Emission current
0601
Flange
6
7
8
Q

1)
2)
3)

None
RS485
RS232
EtherCAT 3)

DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-R
DN 40 CF-F

Nur für Low-Current-Version
Nicht geeignet für den Betrieb mit einem INFICON Vakuummessgerät-Controller VGC40x oder VGC50x
Neuer Sensor MxG55x in großem Gehäuse und mit Schaltfunktionen

A142 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

None
2 setpoints (mechanical) 2)

INVERTIERTES MAGNETRON/INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Gemini™ MPG55x / MAG55x
Ersatzteile
MAG500 Ersatzsensor
25 KF, SS
25 KF, TI
40 KF, SS
40 KF, TI
40 CF-F, SS
40 CF-F, TI
40 CF-R, SS
40 CF-R, TI

MAG5xx

MPG5xx351-500
351-502351-512351-514351-524351-526351-536351-538

–
–
–
–
–
–
–
–

351-501351-503351-513351-515351-525351-527351-537351-539

–
–
–
–
–
–
–
–

–
–
–
–
–
–
–
–

351-506351-508351-518351-520351-530351-532351-542351-544

MPG504 Ersatzsensor
25 KF, SS
25 KF, TI
40 KF, SS
40 KF, TI
40 CF-F, SS
40 CF-F, TI
40 CF-R, SS
40 CF-R, TI
MxG50x Ersatzteile Zündhilfe (10 Stück)
Ersatz-Ionisationskammer SS
Ersatz-Ionisationskammer TI

–
–
–
–
–
–
–
–
351-995351-555351-556351-507351-509351-519351-521351-531351-533351-543351-545351-995351-555351-556

Zubehör
Baffle für DN 25 KF-Flansch
Zentrierring mit Baffle DN 25 KF
Zentrierring mit Feinfilter DN 25 KF
MxG50x Zündwerkzeugsatz

MAG5xx353-512211-113
211-098351-550

MPG5xx353-512211-113
211-098351-550

MAG504 Ersatzsensor
25 KF, SS
25 KF, TI
40 KF, SS
40 KF, TI
40 CF-F, SS
40 CF-F, TI
40 CF-R, SS
40 CF-R, TI
MPG500 Ersatzsensor
25 KF, SS
25 KF, TI
40 KF, SS
40 KF, TI
40 CF-F, SS
40 CF-F, TI
40 CF-R, SS
40 CF-R, TI

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A143

VAKUUMMESSGERÄTE | INVERTIERTES MAGNETRON/INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT

Gemini™ MPG55x / MAG55x
TECHNISCHE DATEN
TypMesssystem

Messbereich (Luft, N2)
mbar
Torr
Genauigkeit (N2)
1 × 10-8 ... 1x10-2 mbar
1 × 10-2 ... 100 mbar
100 ... 1000 mbar

Wiederholbarkeit (N2)
1 × 10-8 ...1 × 10-2 mbar
1 × 10-2 ... 100 mbar
Einbaulage
Zulässiger Druck
Zulässige Temperatur
Betrieb (Umgebung)Ausheiztemperatur am
Flansch 1)
Lagerung
Filament
Relative Luftfeuchtigkeit für 30
Tage im Jahr
1 × 10-7 1 × 10-2 mbar
1 × 10-8 1 × 10-2 mbar
Versorgungsspannung
Am Messgerät 2)
Welligkeit
Leistungsaufnahme
Anzuschließende Sicherung
Spannungsbereich(Analogausgang)
Ausgangsimpedanz
Lastimpedanz
Messbereich
3MAx-xxx-xxxN
3MBx-xxx-xxxP
3MAx-xxx-xxxQ
Spannung vs. Druck
3MAx-xxx-xxxN
3MBx-xxx-xxxP
3MAx-xxx-xxxQ
Sprungansprechzeit(druckabhängig)>1x10-6 mbar
1x10-6 ... 1x10-8 mbar
Messgeräte-Identifikation
1)
2)

MAG5xx
Kaltkathoden-Ionisation
Messsensor (gemäß
Prinzip des invertierten Magnetrons)

MPG5xx
Pirani und Kaltkathode
Ionisationsmessung
Sensor (gemäß
Prinzip des invertierten Magnetrons)

1 × 10-9 ... 1 × 10-2
7,6 × 10-10 ... 7,6 × 10-3

1 × 10-9 ... 1000
7,6 × 10-10 ... 760% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes

30
–
–

30
30
50

% des
Messwertes% desMesswertes

5
–

5
5
beliebig
10 (beschränkt auf Inertgase <55°C)

bar (absolut)
°C
°C
°C
°C

+5 ... +55≤150–40 ... +70
120 (nur MPG5xx)

% RH
% RH

≤95 (nicht kondensierend)≤70 (nicht kondensierend)

V (DC)Vpp
W
AT
V+14,5 ... +30≤1≤2≤1
0 ... +10,5ΩkΩ

2 × 4,7≥10 (kurzschlusssicher)VVV+1,5 ... +8,5
+1,398 ... +8,598+0,667 ... +10

V/Dekade
V/Dekade
V/Dekade

1 (logarithmisch)
0,6 (logarithmisch)
1,33 (logarithmisch)

ms
s
kΩ

< 100
≈1
100

Ohne Elektronik
Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur Länge des Sensorkabels erhöht werden

A144 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

85

INVERTIERTES MAGNETRON/INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Gemini™ MPG55x / MAG55x
TypStatussignal (Digitalausgang)
FCC-Stecker
Nennstrom
Hochspannung ist EIN
Hochspannung ist AUS
D-Sub-Stecker
Nennstrom
Hochspannung ist EIN
Hochspannung ist AUS
Versorgungsspannung
Elektrischer Anschluss
3Mxx-00x-000x
3Mxx-00x-010x
3Mxx-0xx-000x
3Mxx-0xx-010x
3Mxx-0xx-04xx
3Mxx-xxx-x2Gx
Sensorkabel
3Mxx-00x-000x
3Mxx-0xx-000x
3Mxx-0xx-010x
3Mxx-0xx-04xx
3Mxx-xxx-x2Gx
Kabellänge
50 m Kabel
75 m Kabel
100 m Kabel
300 m Kabel
FCC-Anschlusskabel
Hochspannung (in der
Messkammer)
Zündspannung
Betriebsspannung
Strom (in der Messkammer)
High Current
Low Current
Schaltpunktrelais (MxG55x)
Bereich (N2)
Relaiskontakt
Hysterese
Schaltleistung vonmechanischen Relais
Schaltzeit

MAG5xx

MPG5xxmA
V (DC)V (DC)

100+14,5 ... +30 (abhängig von Versorgungsspannung)0mA
V (DC)V (DC)V (DC)

100 (Senke)
0
offen
≤30
FCC68, 8-polig, Buchse
D-Sub, 9-polig, Stecker
FCC68, 8-polig, Buchse
D-Sub, 9-polig, Stecker
D-Sub HD, 15-polig, Stecker (für RS232/485-Version)
D-Sub HD, 15-polig, Stecker (für EtherCAT-Version)
8-polig, geschirmt
8-polig, geschirmt
9-polig, geschirmt
15-polig, geschirmt (für RS232/485-Version)
15-polig, geschirmt (für EtherCAT-Version)

m
m
m
m
m

≤50 (8x0,14 mm2)
≤75 (8x0,25 mm2)≤100 (8x0,34 mm2)≤300 (8x1,00 mm2)
≤50 (0,14 mm2/Leiter)

kV
kV

≤4,5
≤3,3

μA
μA

≤380
≤130

mbar/bar–% desGrenzwertes
V/A

5 × 10-5 ... 1500
Schließer (NO), potentialfrei
10≤30 / ≤1
≤30

ms
1)
2)

Ohne Elektronik
Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur Länge des Sensorkabels erhöht werden

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A145

VAKUUMMESSGERÄTE | INVERTIERTES MAGNETRON/INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT

Gemini™ MPG55x / MAG55x
TypMaterialien, die dem Vakuum
ausgesetzt sind
3Mx0-00x-0x0x
3Mx3-00x-0x0x
3Mx0-xxx-xxxx
3Mx3-xxx-xxxx
3Mx0-11x-xxxx
3Mx3-11x-xxxx
Internes Volumen
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
DN 40 CF-R
Gewicht
MxG50xDN 25 ISO-K
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F & CF-R
MxG55xDN 25 ISO-K
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F & CF-R
Schutzart
Standards CE-Konformität
EMV
RoHS
Sicherheit
Baudraten (RS232C/485C)
Adresse (RS232C/485C)
Digitale Funktionen

MAG5xxW, Ni-Legierung, AI2O3, Glas, Edelstahl
Ni-Legierung, AI2O3, Edelstahl
Ni-Legierung, Mo, AI2O3, Glas, Edelstahl
Mo, AI2O3, Edelstahl
Ni-Legierung, Mo, AI2O3, Glas, Ti, Edelstahl
Mo, AI2O3, Ti, Edelstahl

cm3
cm3
cm3
cm3

≈19,9
≈20,9
≈25,2
≈25,6

g
g
g

< 280
< 320
< 570

g
g
g

≤500
≤320
≤780
IP40
2014/30/EU (EN 61000-6-2, EN61000-6-3 EN61326-1)
2011/65/EU
EN 61010-1
9,6 / 19,2 / 38,4 / 57,6
2 Switches (Adresse 00 - 255)
Druck auslesen, Einheiten auswählen: Torr, mbar, Pa, Mikrometer, Counts ÜberwachungMessgerätestatus, detaillierte Alarm- und Warninformationen,"Safe State"-Modus ermöglicht Definition des Verhaltens im Fehlerfall
D-Sub HD, 15-polig, Stecker

KBaud

Anschluss für RS232 & RS485
1)2)

MPG5xxOhne Elektronik
Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur Länge des Sensorkabels erhöht werden

TECHNISCHE DATEN ETHERCATEtherCAT®
Protokoll
Kommunikationsstandards
Prozessdaten
EtherCAT-Stecker
Kabel
Kabellänge
Datenratem (ft.)
Kbps

EtherCAT®, Firmware-Generation 2.0
Halbleitergeräteprofil
ETG.5003 Teil 1 Allgemeines Geräteprofil
ETG.5003 Teil 2080 “Spezifisches Geräteprofil - Vakuum-Druckmessgerät"
Festes PDO-Mapping und konfigurierbares PDO-Mapping
RJ45, 8-polig (Buchse), IN und OUT
Geschirmtes Ethernet CAT5e oder höher≤100 (330)100000

A146 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

INVERTIERTES MAGNETRON/INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Gemini™ MPG55x / MAG55x
ABMESSUNGEN

MxG50xmm (in.)60(2.36)mm (inch)

44(1.73)

44(1.73)

DIA

44
1.73

44
1.73

44
1.73

HV-ST
E 0 2
C
4
A 8 6

44
(1.73)

ADJ

DIA

D-sub
9-pin

D-sub HD
15-pinD-sub HD
15-pin

DN 40 CF-R

23
(0.91)

23(0.91)

17(0.67)

DN 40 ISO-KF

44
1.73

CAL

FCC68
8-pin

15
(0.59)

44(1.73)

79(3.11)HV-ST

CAL

DN 25 ISO-KF

RS485

ST

ST

ADJ

E 0 2
C
4
A 8 6

RS232

DN 40 CF-F

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A147

VAKUUMMESSGERÄTE | INVERTIERTES MAGNETRON/INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT

Gemini™ MPG55x / MAG55x
MxG55x67

DN 25 ISO-KF

23

17

15

98

56

3.5

mm (in.)

DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
DN 40 CF-R

A148 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Invertiertes Magnetron-Pirani-Messgerät

MPG400/401
MPG400/401
Invertiertes Magnetron-Pirani-Messgerät

Die invertierten Magnetron-Pirani-Messgeräte MPG400
und MPG401 von INFICON messen im Bereich von
5 × 10-9 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 × 10-9 Torr bis
Atmosphäre). Die Kombination von 2 Messtechnologien
in einem einzigen, kompakten Gerät mit nur einem
logarithmischen analogen Ausgangssignal vereinfacht
die Komplexität bei der Installation, Einrichtung undIntegration.
VORTEILE• Kombinationsmessgerät - invertiertes Magnetron und
Pirani• Großer Messbereich von 5 × 10-9 mbar bis
Atmosphärendruck• Kein Filament, das ausbrennen kann• Hervorragende Zündeigenschaften• Einfache Reinigung• FPM- oder metallgedichtete Durchführung• LED-Anzeige für anliegende Hochspannung• Logarithmisches analoges Ausgangssignal
ANWENDUNGEN• Hochvakuum-Drucküberwachung• Basisdruck für Verdampfungs- und Sputter-Systeme• Allgemeine Vakuummessung und -regelung im Mittelund Hochvakuumbereich

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A149VAKUUMMESSGERÄTE | INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT

MPG400/401
BESTELLINFORMATIONEN
Typ
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F

MPG400FPM-gedichtet
351-010351-011351-012MPG401Metallgedichtet
351-020351-021351-022

Ersatzteile
Umfang des Wartungskits:
Stütz-/Zentrierring
DichtungenZündhilfe
Umfang des Reparaturkits:
Pirani-Element
Anode
Anodenverlängerung 1)
Cu-Dichtung 1)
Verschraubung 1)
Stütz-/Zentrierring
DichtungenZündhilfe
Umfang des Zündhilfekits:
Zündhilfe
Montagewerkzeug für Zündhilfe

MPG400FPM-gedichtet
351-999

MPG401Metallgedichtet
351-997351-998351-996351-995351-995351-994351-994

MPG400FPM-gedichtet
351-023

MPG401Metallgedichtet
351-023

1)

Nur MPG401

Zubehör
Magnetische Abschirmung
TECHNISCHE DATEN

Messbereich (Luft, N2)
Genauigkeit (N2)1 × 10-8 … 100 mbar
Wiederholbarkeit 1 × 10-8 … 100 mbar
Einbaulage
Zulässiger Druck
Zulässige Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Ausheizen 1)
Filament (Pirani)
1)2)

mbar (Torr)% desMesswertes% desMesswertes

MPG400FPM-gedichtet
MPG401Metallgedichtet
5 × 10-9 … 1000 (3,8 × 10-9 … 760)≈±30%bar (absolut)≈±5%
beliebig≤10 (beschränkt auf Inertgase)

°C
°C
°C
°C

Ohne Elektronik und magnetische Abschirmung
Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur Länge des Sensorkabels erhöht werden

A150 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

+5 … +55–40 … +65
150
120

INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

MPG400/401
MPG400FPM-gedichtet
Versorgungsspannung
Am Messgerät
An der Versorgungseinheit mit max.
Kabellänge 2)
Welligkeit
Leistungsaufnahme
Anzuschließende Sicherung
Ausgangssignal (Messsignal)
Spannungsbereich
Messbereich
Spannung vs. Druck
Fehlersignal
Ausgangsimpedanz
Minimale Lastimpedanz
Ansprechzeitp > 10-6 mbar
p = 10-8 mbar
Messgeräte-Identifikation
StatusModus "nur Pirani"
Kombinierter Pirani-/Kaltkathodenmodus
LED
Elektrischer Anschluss
Sensorkabel
Kabellänge
Betriebsspannung
Betriebsstrom
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sindInternes Volumen
Gewicht
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F
SchutzklasseStandards
1)
2)

V (DC)V (DC)Vpp
W
AT

MPG401Metallgedichtet+15 … +30
+16 … +30
≤1
≤2
≤1

V
V
V
V
Ω
kΩ

0 … +10,5+1,82 … +8,6
Logarithmisch 0,6 V/Dekade<0,5 (keine Versorgung)>9,5 (Pirani-Sensor, Filament-Bruch)
2 × 1010, kurzschlusssicher

ms
ms
kΩ

< 10
≈1000
85, in Bezug auf Versorgung allgemein

VV
LED grün

m
kV
μA

cm3
g
g
g

0 (niedrig)
15 … 30 (hoch)
Hochspannung EIN
FCC 68 Geräteanschluss, 8 polig, Buchse
8-polig plus Abschirmung≤50 (8 × 0,14 mm2)
≤3,3
≤500
Edelstahl, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W Edelstahl, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au,
W
≈20
≈700
≈720
≈980

≈730
≈750
≈1010

IP 40
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

Ohne Elektronik und magnetische Abschirmung
Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur Länge des Sensorkabels erhöht werden

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A151VAKUUMMESSGERÄTE | INVERTIERTES MAGNETRON-PIRANI-MESSGERÄT

MPG400/401
ABMESSUNGEN

60

75

mm (in.)75

MPG40132

ø 63.518.5

ø 63.5

18

28

15.5

92

55

105

55

60

MPG400

DN 25 ISO-KF

24

DN 40 ISO-KF

DN 40 CF-F

A152 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

OPTISCHES PLASMA-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Optisches Plasma-Messgerät

Optisches Plasmamessgerät Augent™ OPG550
Optisches Plasmamessgerät
OPG550Optisches Augent™
Plasma-Messgerät

Das optische Plasma-Messgerät INFICON Augent™ ist
eine kompakte und intelligente Lösung für die
Vakuumüberwachung. Augent™ vereint zwei
Sensortechnologien in einem kompakten Gerät für die
Gasartüberwachung von 1 × 10-7 bis 5 mbar und die
gleichzeitige Messung des Totaldrucks vonAtmosphärendruck bis 1 × 10-7 mbar. Augent™ wird
durch einen integrierten Pirani-Sensor geschützt, der füreine Plasma-Abschaltung bei einem Druck von über 20
mbar sorgt.
Im Messbereich zwischen 1 × 10-7 und 5 mbar
ermöglicht das Gerät den Nachweis von Gasen wie
Sauerstoff, Stickstoff, Wasserstoff oder Argon.
VORTEILE• Hochgeschwindigkeits-Lecksuche ermöglicht die
Kammerleckprüfung
• Höhere Produktivität und Ertrag• Lange Lebensdauer, kein Ausbrennen des Filaments,
Schutz vor Lufteinbruch• Beständigkeit gegenüber Prozesschemie• Intelligenter Algorithmus für eine einfache Integration• Kompaktes Design und geringer Platzbedarf• Zuverlässige und schnelle Inbetriebnahme
ANWENDUNGEN• Kammerleckprüfung, Test derAnstiegsgeschwindigkeit (RoR, Rate of Rise)• Lecksuche zum Aufspüren von internen Lecks in
Gasleitungen• Endpunktkontrolle in Echtzeit• Kontrolle der Gasart und der Gaskonzentrationen

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A153VAKUUMMESSGERÄTE | OPTISCHES PLASMA-MESSGERÄT

Optisches Plasmamessgerät Augent™ OPG550
BESTELLINFORMATIONEN

3 O F 0 – 0 0 1 – 0 1 0 P
Flange13
6EAustauschsensor
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 25 ISO-KF
8VCR, female

A154 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 25 ISO-KF
8 VCR female

OPG550351-590351-591351-592351-593OPTISCHES PLASMA-MESSGERÄT | VAKUUMMESSGERÄTE

Optisches Plasmamessgerät Augent™ OPG550
TECHNISCHE DATEN
Typ
Messbereich N2
Nachweisgrenze 25-Liter-Kammer
O2-Leckagen in DruckanstiegsmethodeO2-Leckagen beim Abpumpen vonAtmosphäre mit N2-Hinterfüllung
Genauigkeit Totaldruckmessung N2
1 × 10-7 ... 100 mbar
Druck
Beschränkt auf Inertgase <50°C
Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Ausheizen am Flansch mit Elektronikeinheit
Ausheizen am Flansch ohne Elektronikeinheit
Relative Luftfeuchtigkeit für 30 Tage im Jahr
Versorgungsspannung
Am Messgerät
RippleLeistungsaufnahme
Anzuschließende Sicherung
Ausgangssignal
AnalogDigitalElektrischer Anschluss
Hochspannung (in der Messkammer)
Zündspannung
Betriebsspannung
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sind
Allgemein
Anode
Ionisationskammer
Zündhilfe
Vakuum FlanschInternes Volumen
Gewicht
Abmessungen
Footprint
Höhe
IP-Schutzart
Standards

mbar (Torr)

OPG5501 × 10-7 ... 5 (7,6 10-8 ... 3,8)

mTorr / Min.
mTorr / Min.

≥0,3
≥1

% des
Messwertes

5bar (absolut)

≤10

°C
°C
°C
°C
%

+5 ... +50-20 ... +70≤80≤120≤95 (nicht kondensierend)

V (DC)V(p-p)
W
AT+14,5 ... +30
≤1
≤5
≤1

V (DC)

0 ... +10
RS232CD-Sub, 9-polig, SteckerkVkV

cm3 (Zoll3)
g
mm
mm

≤4,5
≤3,3
AI2O3, Edelstahl 1.4435
Molybdän
Titan, Edelstahl 1.4016
Edelstahl 1.4310
DN16 ISO-KF
DN25 ISO-KF
DN16 CF-R
8VCR, female≤20 (1,22)≤700
68 × 68
< 137
IP40
CE

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A155

VAKUUMMESSGERÄTE | OPTISCHES PLASMA-MESSGERÄT

Optisches Plasmamessgerät Augent™ OPG550
ABMESSUNGENmm (Zoll)

A156 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER | VAKUUMMESSGERÄTE

Vakuummessgerät-Controller

VGC501, VGC502, VGC503
VGC501, VGC502, VGC503
Vakuummessgerät-Controller

Nachhaltige Lösung für Prozessmessung,
Prozesskontrolle und Datenerfassung
Die mit einer Vielzahl von aktiven INFICON-Messgeräten
kompatiblen aktiven Messgerät-Controller der VGC50xSerie dienen der Überwachung und Datenerfassungüber den gesamten Druckbereich von 10-10 bis 1500
mbar (10-10 bis 1125 Torr) und des Schaltpunktstatus.
VORTEILE• Einfache Bedienung mit menügeführtem
Punktmatrixdisplay für Parameter-, Sensor- oderallgemeine Einstellungen• Sehr helles und klares Display zur bequemen
Geräteablesung über große Entfernungen• Balkendiagramm-Anzeige mit Darstellung vonSchaltpunkten oder Druck vs. Zeit
• Daten- und Parameter-Log Funktion mit USBAnschluss (Rückseite) und USB-Stick (Vorderseite)• Ethernet-Schnittstelle• Firmware-Upgrade online oder über USB-Stick• Zwei unabhängig definierbare Schaltpunkte pro Kanal
mit einstellbarer Hysterese• Hohe Auflösung - 16-Bit-A/D-Wandler• Automatische Erkennung aller INFICON-ActiveMessgeräte• Programmierbarer 0 bis 10 V Chart Recorder
Ausgang mit logarithmischen oder linearen
Eigenschaften für Single Technology Messgeräte oderMessgerätkombinationen (nur VGC502 und VGC503)

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A157

VAKUUMMESSGERÄTE | VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER

VGC501, VGC502, VGC503
BESTELLINFORMATIONEN
Typ
Vakuummessgerät-Controller
Adapter für Rackschrank-Einbau 2HE / 3HE
Adapter USB zu RS232

VGC501
398-481398-499
398-487

VGC502398-482398-487

VGC503398-483398-487

Zubehör

PCG, PEG, PSG, MAG, MPG,
Porter

BCG, BPG, HPG, CDG-D

CDG (ungeheizt)

Kabel zu Messgeräten in m (ft)3 (9,0)5 (16,5)
10 (33,0)
15 (49,5)
20 (66,0)30 (99,0)398-500
398-501398-502398-503398-504398-505398-520398-521398-522398-523398-524398-525398-540398-541398-542398-543398-544398-545

Signal-Auslesung und Kommunikation
Kabelanschlüsse

nur analog
FCC / FCC

digital RS232 / analog
D-Sub1) / D-Sub1)

nur analog
FCC / D-Sub1)

1)

D-Sub 15-polig

Andere Längen auf Anfrage
TECHNISCHE DATEN
TypMesskanäle
Display
Rate
Anschließbare Messgeräte mit
Anzeigebereich
CDG (A/D)
PCG
PSG
MPG
PEG
MAG
BCG
BPG
HPG
Anschließbare Messgeräte mit
Anzeigebereich
PCG
PSG
MPG
PEG
MAG
BCG
BPG
HPG
Maßeinheit(auswählbar)

VGC5011
1/s

VGC502
2
LCD, LED hintergrundbeleuchtet
10

Torr
Torr
Torr
Torr
Torr
Torr
Torr
Torr
Torr

1 × 10-3 × F.S … 1 × F.S
3,75 × 10-4 … 1125
3,75 × 10-4 … 750
3,75 × 10-9 … 750
7,5 × 10-10 … 7,5 × 10-3
7,5 × 10-10 … 7,5 × 10-3
3,75 × 10-10 … 1125
3,75 × 10-10 … 750
1,5 × 10-6 … 750

mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar

5 × 10-4 … 1500
5 × 10-4 … 1000
1 × 10-9 … 1000
1 × 10-9 … 1 × 10-2
1 × 10-9 … 1 × 10-2
5 × 10-10 … 1500
5 × 10-10 … 1000
2 × 10-6 … 1000

A158 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

mbar, Torr, Pa, hPa, Mikrometer, V

VGC503
3

VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER | VAKUUMMESSGERÄTE

VGC501, VGC502, VGC503
TypSchaltpunkte
Schaltpunktrelais
Kanalzuweisung
Einstellbereich
Hysterese
Relaiskontakt
Anschluss
Schaltleistung

V (AC) / A
V (DC) / A

Analoger Ausgang
BereichV

Analoger Ausgang
programmierbarer analoger Ausgang
Anschluss
Schnittstelle
Anschluss
Strom
Versorgung
Frequenz
Leistungsaufnahme
Betriebstemperatur(Umgebung)

VGC501

VGC502

VGC5032
1
sensorabhängig
einstellbar
potentialfreier Wechsel
D-Sub, 15-polig, Stecker
30 / 160 / 0,5

4
1 oder 2
sensorabhängig
einstellbar
potentialfreier Wechsel
D-Sub, 25-polig, Buchse
30 / 160 / 0,5

6
1, 2 oder 3sensorabhängig
einstellbar
potentialfreier Wechsel
D-Sub, 25-polig, Buchse
30 / 160 / 0,5

0 ... 10,3, analoges
Sensor-Ausgangssignal

0 ... 10,3, analoges
Sensor-Ausgangssignal

0 ... 10,3, analoges
Sensor-Ausgangssignal

1
D-Sub, 15-polig, Stecker

2
1
D-Sub, 9-polig, Stecker

3
1
D-Sub, 9-polig, Stecker

USB Slave, Master und Ethernet, USB Typ A (Stick), USB Typ B, FCC68/RJ45
V (AC)
Hz
W
°C

≤45

100 ... 240
50 ... 60≤65+5 ... +50≤90

ABMESSUNGEN

mm (in.)VGC501106.3 (4.19)≈285 (≈11.2)

91.4 (3.6)

203.5 (8.01)

2.5 (0.1)

103.6 (4.08)

2.5 (0.1)

103.6 (4.08)

106.3 (4.19)

67.3 (2.65)≈285 (≈11.2)

91.4 (3.6)

203.5 (8.01)

110 (4.33)

128.5 (5.06)

ø3.5 (0.14)

122.5 (4.82)

VGC502
VGC50384 (3.3)

78 (3.07)

ø3.5 (0.14)

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A159

VAKUUMMESSGERÄTE

VGC501, VGC502, VGC503

A160 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-MESSGERÄT-DISPLAY | VAKUUMMESSGERÄTE

Pirani-Messgerät-Display

PGD500
PGD500
Pirani-Messgerät-Display

Das Pirani-Messgerät-Display PGD500 von INFICON
bietet in Kombination mit dem INFICON PiraniStandardmessgerät PSG5xx eine kostengünstige
Lösung zur Drucküberwachung. Obwohl es die
Bezeichnung Pirani-Messgerät-Display trägt, unterstützt
das PGD500 auch unsere Messgeräte der Baureihen
PCG55x und MPG.
VORTEILE• Vom Benutzer auswählbare Maßeinheit (Pa, mbaroder Torr)• Kompaktes Tischmodell kann leicht in einem
Schaltschrank oder in einem 19-Zoll-Rack montiert
werden• Ausgangssignal von 0 bis 10 V kann in SPS oder zur
Diagrammaufzeichnung verwendet werden• Ein frei einstellbarer Schaltpunkt• Vom Benutzer auswählbares Messgerät PSG, PCG
und MPG
ANWENDUNGEN• Vakuum-Druckmessung• Druckmessung und Anzeige für Anwendungen in derKälte- und Klimatechnik und im Automobilbau (Filling
stations z.B.)• Druckmessung in Glühbirnen-Fertigungsstraßen• Allgemeine Vakuummessung und -regelung im Mittelund Grobvakuumbereich

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A161

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-MESSGERÄT-DISPLAY

PGD500BESTELLINFORMATIONEN
TypPirani-Messgerät-Display

Zubehör
Sensorkabel 1)
Dichtung mit Zentrierring und Filter
Adapter für Rack-Einbau 2HE / 3HE
1)

PGD500398-802

1,3 m (4,27 ft.)
DN 16 ISO-KF

Teilenr.
398-498
211-090398-499

Andere Längen auf Anfrage

TECHNISCHE DATEN

Messkanäle (zu verbindende Sensoren)
Display
BereichMessrate
Maßeinheit (auswählbar)
Schaltpunkt
Schaltpunktrelais
Einstellbereich
Hysterese
Relaiskontakt
Schaltleistung
Anschluss
Analoger Ausgang
Strom
Stromversorgung
Häufigkeit
LeistungsaufnahmeTemperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Relative Luftfeuchtigkeit
Schutzart
Gewicht

Pa
mbar
1/s

V (AC) / A
V
V (AC)
Hz
VA
°C
°C

kg

A162 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PGD5001 (PSG5xx-, PCG5xx- oder MPG-Serie)LED
5 × 10-2 ... 1 × 105
5 × 10-4 ... 1000
30
Pascal, mbar, Torr
1
1 × 10-3 ... 500≥10% des Messwertes
Potentialfreier Wechselkontakt
50 / 5
D-Sub, 9-polig, Stecker
0 … 10,3, Sensor-Ausgangssignal
100 … 240
50 … 60≤30+5 … +50-20 … 60
≤80% bis +31°C
Verringerung auf 50% bei +40°C
IP20
0,85

PIRANI-MESSGERÄT-DISPLAY | VAKUUMMESSGERÄTE

PGD500ABMESSUNGEN
mm (in.)

106.2

212

91.2

131.5

3.5

104

FUSE
T1.0A

OUTPUT

62

84

78

ø3

set

SENSOR

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A163VAKUUMMESSGERÄTE

PGD500

A164 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED - PASSIV | VAKUUMMESSGERÄTE

Pirani-Messgerät-Enhanced - Passiv

PGE050
Pirani-Messgerät-Enhanced PGE050- Passiv

Das Pirani-Messgerät-Enhanced 050 (PGE050) von
INFICON ist die passive Ausführung unserer aktiven
konvektionsverstärkten Pirani-Messgeräte PGE300 und
PGE500. Das mit derselben Sensortechnologie
ausgerüstete PEG050 wird in Verbindung mit unseren
passiven Messgerät-Controllern VGC031/ VGC083
betrieben und liefert gleichermaßen präzise Ergebnisse
im Messbereich zwischen 530 und 1333 mbar. Mit
seinem größeren Messbereich und höherer
Genauigkeit, besonders bei niedrigeren Drücken, ist
das PGE050 auch die erste Wahl beim Austausch vonThermoelement-Messgeräten anderer Hersteller in
Ihrem Vakuumsystem. Diese robuste Messgerät/SensorKombination macht das PGE050 zu einer
hervorragenden Wahl mit einem sehr gutem PreisLeistungs-Verhältnis für zahlreiche Anwendungen, dieeine wirtschaftliche Vakuummessung im Nieder- bis
Hochvakuumbereich erfordern.
VORTEILE• Konvektionsverstärkte Pirani-Technologie für einen
weiten Messbereich und bessere Genauigkeit im
Atmosphärendruckbereich• Vergoldetes Wolframfilament, Platin-Filament fürerhöhte Korrosionsbeständigkeit auf Anfrage erhältlich• Mechanische Festigkeit, äußerst robust und weniger
empfindlich gegen mechanische Erschütterungen und
Schwingungen• Verschiedene Flanschoptionen verfügbar
• Compliance & Standards: CE, RoHS
• Direkter Drop-in-Ersatz für das MKS/ GranvillePhillips® 275 Convectron Vacuum Gauge ® (gleicher
Stecker/gleiche Anschlussbelegung)• PGE050 kann mit Granville-Phillips® Convectron®
Controller, Kabeln betrieben werden• Ideales Messgerätsensor-Upgrade, um installierte
Thermoelement-Messgeräte anderer Hersteller zu
ersetzen
ANWENDUNGEN• Vakuum-Druckmessung• Allgemeine Vakuummessung und -regulierung vom
Atmosphären- bis Hochvakuumbereich*Granville-Phillips® und Mini-Convectron® sindeingetragene Marken von, Andover, MA

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A165

VAKUUMMESSGERÄTE | PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED - PASSIV

PGE050BESTELLINFORMATIONEN
Typ

PGE050Wolfram vergoldet
352-500
352-501352-502352-503352-504352-505352-506352-507

DN 16 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 40 CF-R
4 VCR female
8 VCR female
1/8" NPTTECHNISCHE DATEN
Typ
Messbereich

Genauigkeit (N2) 1)
1,3 × 10-4 … 1,3 × 10-3 mbar
1,3 × 10-3 … 530 mbar
530 … 1333 mbar
1 × 10-4 … 1 × 10-3 Torr
1 × 10-3 … 400 Torr
400 … 1000 Torr

Wiederholbarkeit (N2) 1)
Temperatur
Betrieb (Umgebung)Ausheizen 2)
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sindInternes Volumen
Interne Oberfläche
Gewicht
1)
2)

PGE050Wolfram vergoldet
1,3 × 10-4 … 1333
1 × 10-4 … 1000
1,3 × 10-2 … 133000

mbar
Torr
Pa

0,1 × 10-3 mbar Auflösung
±10±2,50,1 mTorr Auflösung
±10
±2,5

% des
Messwertes% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes% desMesswertes°C°C
cm3 (Zoll3)
cm2 (Zoll2)
g (oz)±2

0 … +50≤150
vergoldetes Wolfram, 304 & 316 Edelstahl, Glas, Nickel, Teflon®
26 (1,589)
59,7 (9,25)
85 (3)

typischaußer Betrieb, mit gezogenen Elektronikkabel

A166 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PIRANI-MESSGERÄT-ENHANCED - PASSIV | VAKUUMMESSGERÄTE

PGE050ABMESSUNGEN
Abmessungen A
DN 16 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 16 CF-R
DN 40 CF-R
4 VCR female
8 VCR female
1/8" NPT

mm
33
33
33
27,4
37,3
47,2
44,5
25,4

(Zoll)
(1,3)
(1,3)
(1,3)
(1,08)(1,47)(1,86)(1,75)(1)

mm (in.)VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A167

VAKUUMMESSGERÄTE

PGE050

A168 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER - PASSIV | VAKUUMMESSGERÄTE

Vakuummessgerät-Controller - Passiv

VGC031
Vakuummessgerät-ControllerVGC031- Passiv

Der INFICON Vakuummessgerät-Controller VGC031 ist
für die Verwendung mit dem konvektionsverstärkten
Pirani-Messgerät 050 (PGE050) von INFICON ausgelegt
und dient als komfortable Stromquelle und als Steuerund Anzeigeeinheit. Der VGC031 und das PGE050 sindeine flexible Kombination zur Vakuummessung im
Bereich von 1,3 × 10-4 bis 1333 mbar (1 × 10-4 bis 1000Torr). Der VGC031 besitzt ein platzsparendes Gehäuse
für die Schaltschrankmontage und unterstützt eine
Vielzahl von technischen Funktionen wie 2
Schaltpunktrelais, 4 vom Benutzer auswählbare
Analogausgänge und digitale RS232/RS485Schnittstellen. Das helle, kontrastreiche undübersichtliche OLED-Display mit integriertem Tastenfeld
rundet dieses benutzerfreundliche VakuummessgerätController-Paket ab. Das robuste Industriedesign macht
den VGC031 in Verbindung mit dem
konvektionsverstärkten PGE050-Messgerätsensor zu
einer ausgezeichneten Wahl für Vakuumanwendungen,die kostengünstige Messungen im Atmosphären- bis
Hochvakuumbereich erfordern.

VORTEILE• Anzeige und Regulierung eines weiten Messbereichsvon 1,3 × 10-4 bis 1333 mbar (1 × 10-4 bis 1000 Torr).
• Helles, digitales OLED-Display mit Tastenfeld zur
einfachen Einrichtung und Bedienung• 4 vom Benutzer auswählbare analoge
Ausgangssignale• 2 Schaltpunktrelais• Digitale RS232/RS485-Schnittstelle• Platzsparendes Design - 1/8-DINSchaltschrankgehäuse zum Rack-Einbau oder als
eigenständige Einheit• Stromversorgung durch benutzerseitige 12 bis 28 VGleichstromquelle oder über das Netzteil VGC031 von
INFICON• Compliance & Standards: CE, RoHS
• Der VGC031-Controller mit konvektionsverstärktem
PGE050-Messgerätsensor und Kabel können als
Direct-Drop-in Replacement die GranvillePhillips® Controller 375 und 475 und die 275
Convectron® Messgerätsensoren und -kabel (RemoteSchnittstelle, Relais und Stromanschlüsse sindanders) ersetzen

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A169

VAKUUMMESSGERÄTE | VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER - PASSIVVGC031ANWENDUNGEN• Vakuum-Druckmessung• Allgemeine Vakuummessung und -regulierung vom
Nieder- bis zum Hochvakuumbereich*Granville-Phillips® und Mini-Convectron® sindeingetragene Marken von, Andover, MA

A170 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER - PASSIV | VAKUUMMESSGERÄTE

VGC031
BESTELLINFORMATIONEN
Typ

VGC031
399-570

Zubehör
Netzteil für VGC0311)
Kabel VGC031 zu PGE050 in m (ft)2)
3 (10)
8 (25)
15 (50)Gegensteckerkit für PGE050
Eingangsleistung:Ausgangsleistung:Kabellänge:VGC031
399-575

1)
2)

V (AC)V (DC)m (ft.)

399-580399-581399-582399-591
100 ... 240
+24
2 (6)

Die IEC 60320 AC-Netzanschlussbuchse ermöglicht die einfache Verwendung aller weltweit erhältlichen AC-Netzanschlusskabel
Andere Längen auf Anfrage

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A171VAKUUMMESSGERÄTE | VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER - PASSIVVGC031TECHNISCHE DATEN
TypMesskanäle
DisplayAnzeigeaktualisierungsrate
Anschließbares Messgerät mit Anzeigebereich
PGE050 (siehe PGE050)

1/s

VGC031
1
OLED
0,5 s

mbar
Torr
Pa

1,3 × 10-4 … 1333
1 × 10-4 … 1000
1,3 × 10-2 … 133000

Anschluss
Messgerät
Analogausgang, serielle Schnittstelle
Relaisausgänge
Strom
Maßeinheit (auswählbar)
Schaltpunktrelais

D-Sub, 9-polig, Buchse 1)
D-Sub, 9-polig, Stecker
6-poliger steckbarer Klemmenblock 2)
2-poliger steckbarer Klemmenblock 2)
mbar, Torr, Pa
2 (einpolige Umschaltrelais (SPDT))
1 A bei 30 V (DC) resistiv oder V (AC) induktionsfrei

Analoger Ausgang
Bereich (auswählbar)

V (DC)V (DC)V (DC)V (DC)

Schnittstelle (digital)
Versorgungsspannung
Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Gehäuse
Gewicht
1)
2)
3)

0 … 7 oder 1 … 8 (loglinear, 1 V/Dekade)0 … 10 (linear)
0,375 … 5,659 (nichtlineare S-Kurve)
0 … 9 (nichtlineare S-Kurve)
RS232, RS485+12 … +28 3)

V (DC)°C°Cg

0 … 40–40 … +70
1/8-DIN-Gehäuse für die Schaltschrankmontage (Aluminium-Extrusion)
250 (9)

Gegenstecker als Teil des Messgerätkabels bereitgestellt
Gegenstecker im Lieferumfang
2 W geschützt gegen Verpolung und transiente Überspannungen

ABMESSUNGEN
mm (in.)A172 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

91 (3.58)
44 (1.75)

91 (3.58)
50 (1.95)

96 (3.8)

BAYARD-ALPERT-VAKUUMMESSKÖPFE - PASSIV | VAKUUMMESSGERÄTE

Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe - Passiv

BAG050, BAG051, BAG052, BAG053, BAG055
BAG050,
BAG051, BAG052, BAG053, BAG055
Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe- Passiv

Die passiven Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe
BAG050, BAG051, BAG052 und BAG053 von INFICON
sind für die Verwendung mit den INFICON
Vakuummessgerät-Controllern VGC083A und VGC083B
ausgelegt. Die mit Yttriumoxid beschichteten Filamente
werden für allgemeine Vakuumanwendungen in Luftund Inertgasen wie N2 und Argon verwendet. Wählen
Sie Wolframfilamente für Gase, die nicht mit Yttriumoxidbeschichteten Iridiumfilamenten kompatibel sind.
BAG05x-Messgeräte können auch mit kompatiblen
Vakuummessgerät-Controllern anderer Hersteller
betrieben werden. Die passiven INFICON BayardAlpert-Ionisations-Sensoren (BAG05x) werden in vierunterschiedlichen Konfigurationen angeboten:• BAG050 ist ein Eintauch-UHV-Ionisations-Sensor mit
EB-Degas zur Messung von Drücken bis zu
2 x 10-11 Torr.
• BAG051 ist ein Eintauch-Ionisations-Sensor mit
resistivem Degas (I2R) zur Messung von Drücken bis
zu 4 x 10-10 Torr.
• BAG052 und BAG053 sind in Glas eingeschlossene
Ionisations-Sensoren mit resistivem Degas (I2R) zur
Messung von Drücken bis zu 4 x -10 Torr.
• BAG055 ist ein Eintauch-UHV-Ionisations-Sensor mit
EB-Degas zur Messung von Drücken bis zu 1 × 10-9
Torr.
VORTEILE• Zuverlässiges und bewährtes Messkopfdesign• Direkter Drop-in-Ersatz für die meisten passiven
Eintauch-Heissioni-Sensoren anderer Hersteller• Weiter Emissionsstrombereich (100 μA bis 10 mA)• Erhältlich mit einem oder mit zwei Yttriumoxidbeschichteten Iridiumfilamenten oder mit zwei
Wolframfilamenten in der Kathodeneinheit• Degas: Alle Modelle lassen sich mit Electron
Bombardment (EB) entgasen. BAG051, BAG052 und
BAG053 können auch resistiv entgast werden (I2R)
ANWENDUNGEN• UHV und Forschung• Industrielle Beschichtung• Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im
niedrigen bis UHV Bereich

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A173VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-VAKUUMMESSKÖPFE - PASSIV

BAG050, BAG051, BAG052, BAG053, BAG055
BESTELLINFORMATIONEN
BAG050BA nude EB-Degas, DN40CF, 2 × Iridium-Filament (Ir)
BA nude EB-Degas, DN40CF, 2 × Wolfram-Filament (W)
2 × Iridium-Ersatzfilament (Ir)
2 × Wolfram-Ersatzfilament (W)399-720399-721399-730
399-731

BAG051BA I2R, DN40CF, 1 × Iridium-Filament (Ir)
BA nude I2R, DN40CF, 2 × Iridium-Filament (Ir)
BA I2R, DN40CF, 2 × Wolfram-Filament (W)V-Iridium-Ersatzfilament (Ir)
2 × Iridium-Ersatzfilament (Ir)
2 × Wolfram-Ersatzfilament (W)399-725399-726399-727399-735399-736399-737

BAG052BA Glas I2R, ¾" Einlassanschluss aus Kovar-Metall, 1 × Iridium-Filament (Ir)BA Glas I2R, 1" Einlassanschluss aus Kovar-Metall, 1 × Iridium-Filament (Ir)BA Glas I2R, ¾" Glas-Einlassanschluss, 1 × Iridium-Filament (Ir)BA Glas I2R, 1" Glas-Einlassanschluss, 1 × Iridium-Filament (Ir)BA Glas I2R, DN 25 ISO-KF, 1 × Iridium-Filament (Ir)BA Glas I2R, DN 40 ISO-KF, 1 × Iridium-Filament (Ir)BA Glas I2R, DN 16 ISO-CF, 1 × Iridium-Filament (Ir)BA Glas I2R, DN 40 ISO-CF, 1 × Iridium-Filament (Ir)

399-740399-741399-742399-743399-744399-745399-746399-747

BAG053BA Glas I2R, ¾" Einlassanschluss aus Kovar-Metall, 2 × Wolfram-Filament(W)
BA Glas I2R, 1" Einlassanschluss aus Kovar-Metall, 2 × Wolfram-Filament(W)
BA Glas I2R, ¾" Glas-Einlassanschluss, 2 × Wolfram-Filament (W)BA Glas I2R, 1" Glas-Einlassanschluss, 2 × Wolfram-Filament (W)BA Glas I2R, DN 25 ISO-KF, 2 × Wolfram-Filament (W)BA Glas I2R, DN 40 ISO-KF, 2 × Wolfram-Filament (W)BA Glas I2R, DN 16 ISO-CF, 2 × Wolfram-Filament (W)BA Glas I2R, DN 40 ISO-CF, 2 × Wolfram-Filament (W)
BAG055BA EB-Degas, ¾"-Röhre, Yt2O3 beschichtetes 2 × Iridium-Filament (Ir)
BA EB-Degas, DN 16 ISO-KF, Yt2O3 beschichtetes 2 × Iridium-Filament (Ir)
BA EB-Degas, DN 25 ISO-KF, Yt2O3 beschichtetes 2 × Iridium-Filament (Ir)
BA EB-Degas, DN 40 ISO-KF, Yt2O3 beschichtetes 2 × Iridium-Filament (Ir)
BA EB-Degas, DN 16 CF-R, Yt2O3 beschichtetes 2 × Iridium-Filament (Ir)
BA EB-Degas, DN 40 CF-R, Yt2O3 beschichtetes 2 × Iridium-Filament (Ir)
BA EB-Degas, 8 VCR female, Yt2O3 beschichtetes 2 × Iridium-Filament (Ir)

A174 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

399-750
399-751399-752399-753399-754399-755399-756399-757399-760399-761399-762399-763399-764399-765399-766BAYARD-ALPERT-VAKUUMMESSKÖPFE - PASSIV | VAKUUMMESSGERÄTE

BAG050, BAG051, BAG052, BAG053, BAG055
ELEKTRISCHER ANSCHLUSSTECHNISCHE DATEN (TORR-BASIERTE STANDARDPRODUKTE)
Typ
Messung
Bereich

mbar
Torr
Pa
Genauigkeit (N2) 1)%
Wiederholbarkeit (N2) %1)

Röntgenlimit
Empfindlichkeit (N2)
Degas
EB 1)
I2R 2)
Filament
Strom
Spannung
Potential
Gitterspannung
Kollektorspannung
Ausheiztemperatur
Kollektor
1)
2)
3)
4)
5)

BAG0502,7 × 10-11 … 1,3 × 10-3
2 × 10-11 … 1 × 10-3
2,7 × 10-9 … 1,3 × 10-1
+20
+5

Torr
Torr

2 × 10-11
25-1

W
V (AC)≤40
─A
V (DC)V (DC)V (DC)
V°C

2,5 … 3,5
3…5
+30

450
Wolfram (W), ø0,005"

BAG051

BAG0525,3 × 10-10 … 1,3 × 10-3
4 × 10-10 … 1 × 10-3
5,3 × 10-8 … 1,3 × 10-1
+20
+5

BAG053

4 × 10-10
10-1
70 nominell, ≤100
6,3 … 7,5 V (AC)bei 10 A≤100
6,3 … 7,5 V (AC)bei 10 A
4…6
3…5
+30
+180
0
450
Wolfram (W), ø0,010"

BAG055
1,3 × 10-9 … 6,7 × 10-2
1 × 10-9 … 5 × 10-2
1,3 × 10-7 … 6,7 × 10-2
+15 2)+5 2)
5 × 10-10
10-1 nominell≤100
6,3 … 7,5 V (AC)bei 10 A≤3
─

2 … 2,5
1,5 … 2+30

200
Wolfram (W), ø0,010"

typisch1,3x10-8 ... 6,7x10-2 mbar ( 1x10-8 ... 5x10-2 Torr)
Abhängig vom Flansch
Edelstahl
Für Angaben zu passenden Kabeln für die Verbindung des Messgeräts mit dem VGC083x-Controller siehe Datenblatt des VGC083x tiba59e1 oder Bedienungsanleitung
des VGC083x tinb29e1

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A175

VAKUUMMESSGERÄTE | BAYARD-ALPERT-VAKUUMMESSKÖPFE - PASSIV

BAG050, BAG051, BAG052, BAG053, BAG055
TypFilament

BAG0502 × Yttriumoxidbeschichtet
Iridiumoder
2 × Wolfram

Gitterfotogeätzt geschlossen
SS 3) Käfiggitter
Keramik─

Isolator
Glashülle
Einbaulage
Länge
GesamtEinführlänge
Flanschmaterial
Kompatibler INFICON
Controller 5)

1)
2)
3)
4)
5)

Zoll
Zoll

4⅛
3
SS 304 4)

BAG051
1×/2x
Yttriumoxidbeschichtet
Iridiumoder
2 × Wolfram

BAG052
1 × Haarnadel
Typ Yttriumoxidbeschichtet
Iridium

BAG0532 × Wolfram

Standfestes 0,025 Zoll Wolfram-Gitter mit Doppelhelix

BAG055
2 × Yttriumoxidbeschichtet
Iridium

geätzt SS

Keramik─Glas zu Metall
Ø2 ¼" × 5"
lang
beliebig

Glas zu Metall
Ø2 ¼" × 5"
lang

Glas
─

4⅛
3
SS 304 4)

6─Glas Nonex
7720
VGC083B(PN 399-701)

6
─Glas Nonex
7720

2,7 … 3,8 3)
─
SS 304 4)

VGC083A(PN 399-700)

VGC083A(PN 399-700)

typisch1,3x10-8 ... 6,7x10-2 mbar ( 1x10-8 ... 5x10-2 Torr)
Abhängig vom Flansch
Edelstahl
Für Angaben zu passenden Kabeln für die Verbindung des Messgeräts mit dem VGC083x-Controller siehe Datenblatt des VGC083x tiba59e1 oder Bedienungsanleitung
des VGC083x tinb29e1

A176 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

INVERTIERTE MAGENTRON-KÖPFE - PASSIV | VAKUUMMESSGERÄTE

Invertierte Magentron-Köpfe - Passiv

MAG050, MAG060
MAG050, MAG060
Invertierte Magentron-Köpfe- Passiv

Die passiven INFICON Kaltkathoden-Messköpfe
MAG050 und MAG060 sind für die Verwendung mit
dem INFICON Controller VGC083C ausgelegt. Sie
besitzen ein kompaktes Design und sind ein einfaches
und dennoch robustes Messgerät für zahlreiche
industrielle Anwendungen. Der MAG050 Sensorkopf ist
im Inneren mit einer Elastormerdichtung ausgestattet,
während der Messkopf MAG060 eine Metalldichtung
besitzt, welche Druckmessungen im UHV-Bereich
ermöglicht. Der Messkopf lässt sich leicht zerlegen undreinigen, was für Langlebigkeit und minimale
Wartungszeiten sorgt. Eine auf der Anode montierte
Zündhilfe innerhalb des Messkopf verkürzt die
Inbetriebnahme Zeit/ Zündzeit
Die MAG050 misst bis zu 2 × 10-9 hPa | mbar und die
MAG060 bis zu 1 × 10-10 hPa | mbar.
Die MAG050 ist bis auf 150°C ausheizbar undhauptsächlich für den Einsatz in verschiedenen
industriellen Anwendungen vorgesehen.
Die MAG060 ist für F&E-Anwendungen bis zu 1 × 10-10
hPa | mbar konzipiert. Er ist bis zu 250°C ausheizbar
und strahlungsbeständig.
VORTEILE• Zuverlässiges und bewährtes Messkopfdesign• Ausheizbar bis 150°C (MAG050) oder 250°C(MAG060)• Gute Zündeigenschaften• Korrosionsbeständig dank Keramikdurchführung• MAG060 mit strahlungsbeständigem Design• Einfache Wartung

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A177VAKUUMMESSGERÄTE | INVERTIERTE MAGENTRON-KÖPFE - PASSIV

MAG050, MAG060
BESTELLINFORMATIONEN
Typ
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F

Zubehör

Kabel zu VGC083C
3 m (9,0 ft)
8 m (25,0 ft)
15 m (50,0 ft)

MAG050399-840399-841399-842MAG060399-845399-846

MAG050/060
250°C

MAG050/060
80°C

399-830
399-831399-832399-820399-821399-822MAG050MAG060TECHNISCHE DATEN
Typ

FPM-gedichtet
Messsystem
Messbereich (Luft N2)
Genauigkeit (N2, typisch)
Wiederholbarkeit (typisch)Überdruck
Einbaulage
Zulässige Temperatur
Betrieb
mit normalem Kabel
mit Hochtemperaturkabel
Ausheizen
Lagerung
Relative Luftfeuchtigkeit
Einsatz
Strahlungsbeständigkeit
Betriebsspannung (in Messkammer)
Betriebsspannung (in Messkammer)
Elektrischer Anschluss
Anschluss
Typ
Kabellänge zwischen Messgerät & MesseinheithPa | mbar
% desMesswertes% desMesswerteskPa (bar)

°C
°C
°C
°C

rad
kV
μA

1)

5
≤900 (9)beliebig+5 … +80+5 … +80+5 … +150+5 … +250
150
250-40 … +80
-40 … +80
max. 80 % bei Temperaturen bis +31°C, Verringerung auf 50 % bei +45°C
Nur in Innenräumen, Höhe bis 2000 m
─
109
≤3,3
≤700
SHV
KoaxialkabelmMaterialien, die dem Vakuum ausgesetzt sindInternes Volumen
Gewicht
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
DN 40 CF-F

metallgedichtet
Kaltkathoden-Ionisation(gemäß Prinzip des invertierten Magnetrons)
2 × 10-9 … 5 × 10-3
1 × 10-10 … 5 × 10-3
1)
30

≤100
≤40, wenn die untere Grenze des
Messbereichs verwendet wird

≤100
≤6, wenn die untere Grenze des
Messbereichs verwendet wird
Edelstahl, AI2O3, Ag, Mo

Edelstahl, AI2O3, FPM, Mo
cm3
g
g
g

Bei Verwendung mit dem VGC083C

A178 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

20
600
600
850

─
600
850

INVERTIERTE MAGENTRON-KÖPFE - PASSIV | VAKUUMMESSGERÄTE

MAG050, MAG060
Typ

MAG050

CE-Compliance 1)

1)MAG060

FPM-gedichtet
metallgedichtet
2014/30/EU, EN61000-6-2, EN61000-6-4, EN61326-1
EN61010-1
2011/65/EU

EMV
Sicherheit
RoHS

Bei Verwendung mit dem VGC083C

ABMESSUNGEN

97.5

92

ø63.5

mm (in.)VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A179VAKUUMMESSGERÄTE

MAG050, MAG060

A180 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER - PASSIV | VAKUUMMESSGERÄTE

Vakuummessgerät-Controller - Passiv

VGC083A, VGC083B, VGC083C
VGC083A, VGC083B, VGC083C
Vakuummessgerät-Controller- Passiv

Der Vakuummessgerät-Controller VGC083 von INFICON
ist zur Verwendung mit den passiven Messköpfen
BAG05x oder MAG0x0 und PGE050 in einer festen
Kombination von zwei PGE050-Messgeräten und einem
BAG05x- oder MAG0x0-Messgerät ausgelegt. Der
VGC083 regelt und überwacht Vakuumdrücke vonAtmosphärendruck bis 2,7 × 10-11 hPa | mbar unter
Verwendung der BAG- und PGE-Messröhren. Sechs (6)einpolige Relais, die beliebigen Messköpfen zugeordnet
werden können, sowie RS232- und RS485-Schnittstellen
unterstützen die Systemintegration. Mit seinem robusten
Industriedesign in Verbindung mit passiven Messköpfen
ist der VGC083 ein zuverlässiges und wirtschaftliches
System für Vakuumanwendungen, die einen weiten
Messbereich erfordern.
VORTEILE• Einfache Bedienung mit spezieller OLED-Anzeige für
die Einrichtung von Parametern, des Sensors odervon allgemeinen Einstellungen über Softkeys• Sehr helles und deutliches LED-Display zur
bequemen Ablesung des Vakuumdrucks über große
Entfernungen• Drei analoge Ausgänge, vom Benutzer beliebigen
Messgeräten zuweisbar• Degas durch Electron Bombardment oder I2R
Widerstandsheizung zur Messgerätkonditionierung jenach Messkopftyp• Digitaler Remote-I/O-Sensor und Emission Ein/Aus• Sensor 1 kann von Sensor 2 oder 3 aus automatischein- und ausgeschaltet werden• Drei definierbare Schaltpunkte pro Kanal mit
einstellbarer Hysterese• Serielle RS232/RS485-Kommunikation• 6 zuweisbare Schaltpunktrelais mit einpoligem
Umschalter• Ionisationsmessgerät mit Überdruckschutz• Alternative Verwendung als aktives Messgerät• Benutzerwählbares Filament• Direct-Drop-in-Ersatz für Granville-Phillips® 307
Bayard-Alpert Messgerät-Controller

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A181

VAKUUMMESSGERÄTE | VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER - PASSIVVGC083A, VGC083B, VGC083C
BESTELLINFORMATIONEN
Typ
Vakuummessgerät-Controller
Stromversorgung VGC083x
Adapter für Rack-Einbau für ein VGC083x
Adapter für Rack-Einbau für zwei VGC083x

VGC083A
399-700
399-710-

VGC083B
399-701399-710399-714399-715

VGC083C
399-702399-711-

Zubehör

BAG050

BAG050

BAG055

PGE050200 °C

50 °C

50 °C

50 °C

399-770399-771399-772399-780399-781399-782399-810399-811399-812399-580399-581399-582

BAG051

BAG051

BAG052/053

PGE050200 °C

50 °C

50 °C

50 °C

399-770399-771399-772399-780399-781399-782399-790399-791399-792399-580399-581399-582MAG050/060

MAG050/060

PGE050200 °C

80 °C

50 °C

399-830
399-831399-832399-820399-821399-822399-580399-581399-582

Heißionisationsmessröhre BAG050
BA nude EB-Degas, DN 40 CF, 2 × Iridium-Filament (Ir)
BA nude EB-Degas, DN 40 CF, 2 × Wolfram-Filament (W)

VGC083A
399-720399-721

VGC083B––

VGC083C––

Heißionisationsmessröhre BAG051
BA nude I2R, DN 40 CF, 1 × Iridium-Filament (Ir)
BA nude I2R, DN 40 CF, 2 × Iridium-Filament (Ir)
BA nude I2R, DN 40 CF, 2 × Wolfram-Filament (W)

VGC083A––––

VGC083B
399-725399-726399-727

VGC083C–––

Heißionisationsmessröhre BAG052
BA Glas I2R, ¾" Einlassanschluss aus Kovar-Metall,
1 × Iridium-Filament (Ir)BA Glas I2R, 1" Einlassanschluss aus Kovar-Metall,
1 × Iridium-Filament (Ir)BA Glas I2R, ¾" Glas-Einlassanschluss, 1 × Iridium-Filament(Ir)
BA Glas I2R, 1" Glas-Einlassanschluss, 1 × Iridium-Filament(Ir)
BA Glas I2R, DN 25 ISO-KF, 1 × Iridium-Filament (Ir)

VGC083A–

VGC083B
399-740

VGC083C––

399-741––399-742––399-743––399-744–

Kabel zu VGC083A für
3 m (9,0 ft)
8 m (25,0 ft)
15 m (50,0 ft)

Andere Längen auf Anfrage

Kabel zu VGC083B für
3 m (9,0 ft)
8 m (25,0 ft)
15 m (50,0 ft)

Andere Längen auf Anfrage

Kabel zu VGC083C für
3 m (9,0 ft)
8 m (25,0 ft)
15 m (50,0 ft)

Andere Längen auf Anfrage
ANSCHLIESSBARE MESSGERÄTE

A182 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER - PASSIV | VAKUUMMESSGERÄTE

VGC083A, VGC083B, VGC083C
Heißionisationsmessröhre BAG052
BA Glas I2R, DN 40 ISO-KF, 1 × Iridium-Filament (Ir)BA Glas I2R, DN 16 CF, 1 × Iridium-Filament (Ir)BA Glas I2R, DN 40 CF, 1 × Iridium-Filament (Ir)

VGC083A–––

VGC083B
399-745399-746399-747

VGC083C–––

Heißionisationsmessröhre BAG053
BA Glas I2R, ¾" Einlassanschluss aus Kovar-Metall,
2 × Wolfram-Filament (W)BA Glas I2R, 1" Einlassanschluss aus Kovar-Metall,
2 × Wolfram-Filament (W)BA Glas I2R, ¾" Glas-Einlassanschluss, 2 × WolframFilament (W)BA Glas I2R, 1" Glas-Einlassanschluss, 2 × Wolfram-Filament(W)
BA Glas I2R, DN 25 ISO-KF, 2 × Wolfram-Filament (W)BA Glas I2R, DN 40 ISO-KF, 2 × Wolfram-Filament (W)BA Glas I2R, DN 16 CF, 2 × Wolfram-Filament (W)BA Glas I2R, DN 40 CF, 2 × Wolfram-Filament (W)

VGC083A–

VGC083B
399-750

VGC083C––

399-751––399-752––399-753

–

–
–
–
–

399-754399-755399-756399-757––––

Heißionisationsmessröhre BAG055
BA, ¾" Röhre, Yt2O3 beschichtetes 1 × Iridium-Filament (Ir)BA, DN 16 ISO-KF, Yt2O3 beschichtetes 1 × Iridium-Filament (Ir)BA, DN 25 ISO-KF, Yt2O3 beschichtetes 1 × Iridium-Filament (Ir)BA, DN 40 ISO-KF, Yt2O3 beschichtetes 1 × Iridium-Filament (Ir)BA, DN 16 CF-R, Yt2O3 beschichtetes 1 × Iridium-Filament (Ir)BA, DN 40 CF-R, Yt2O3 beschichtetes 1 × Iridium-Filament (Ir)BA, 8 VCR female, Yt2O3 beschichtetes 1 × Iridium-Filament (Ir)

VGC083A
399-760399-761399-762399-763399-764399-765399-766

VGC083B
–
–
–
–
–
–
–

VGC083C
–
–
–
–
–
–
–

Pirani-Messgerät PGE050
Pirani-Messgerät, DN 16 ISO-KF, Wolfram-Filament (W)Pirani-Messgerät, DN 25 ISO-KF, Wolfram-Filament (W)Pirani-Messgerät, DN 40 ISO-KF, Wolfram-Filament (W)Pirani-Messgerät, DN 16 CF-R, Wolfram-Filament (W)Pirani-Messgerät, DN 40 CF-R, Wolfram-Filament (W)Pirani-Messgerät, 4 VCR female, Wolfram-Filament (W)Pirani-Messgerät, 8 VCR female, Wolfram-Filament (W)Pirani-Messgerät, 1/8" NPT, Wolfram-Filament (W)

VGC083A
352-500
352-501352-502352-503352-504352-505352-506352-507

VGC083B
352-500
352-501352-502352-503352-504352-505352-506352-507

VGC083C
352-500
352-501352-502352-503352-504352-505352-506352-507

Kaltkathodenmesskopf MAG050
Kaltkathodenmesskopf, DN 25 ISO-KF, FPM-gedichtet
Kaltkathodenmesskopf, DN 40 ISO-KF, FPM-gedichtet
Kaltkathodenmesskopf, DN 40 CF-F, FPM-gedichtet

VGC083A–––

VGC083B–––

VGC083C
399-840399-841399-842

Kaltkathodenmesskopf MAG060
Kaltkathodenmesskopf, DN 40 ISO-KF, metallgedichtet
Kaltkathodenmesskopf, DN 40 CF-F, metallgedichtet

VGC083A––

VGC083B––

VGC083C
399-845399-846

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A183

VAKUUMMESSGERÄTE | VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER - PASSIVVGC083A, VGC083B, VGC083C
CONTROLLER-KONFIGURATIONVGC083A

ODER

BAG050

PLUS

BAG055

2 x PGE050

VGC083B

ODER

BAG051

PLUS

BAG052
BAG053

VGC083C

ODER

BAG0502 x PGE050

PLUS

BAG055

2 x PGE050

TECHNISCHE DATEN
TypMesskanäle
Anzeige
Druckanzeige
Programmier- & Einrichtungsbildschirm
Anschließbare Messgeräte mit Anzeigebereich
PGE050
BAG050
BAG051
BAG052, BAG053
BAG055MAG050MAG060

1)
2)
3)
4)

VGC083A
3

VGC083B
3

VGC083C
3

LED - 3 unabhängige Druckanzeigekanäle
OLED
hPa | mbar
Torr
hPa | mbar
Torr
hPa | mbar
Torr
hPa | mbar
Torr
hPa | mbar
Torr
hPa | mbar
Torr
hPa | mbar
Torr

1,3 × 10-4 … 1333
1 × 10-4 … 1000
2 × 10-11 … 1,3 × 10-3
2 × 10-11 … 1 × 10-3
1,3 × 10-9 … 6,7 × 10-2
1 × 10-9 … 5 × 10-2-

Kabelbaugruppen für Messgerät von INFICON bereitgestellt
Befehlsprotokoll-Kompatibilität mit GP307
Bei Verwendung mit BAG050, BAG051, BAG052, BAG053
Bei Verwendung mit BAG055

A184 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

1,3 × 10-4 … 1333
1 × 10-4 … 1000
4 × 10-10 … 1333
4 × 10-10 … 1000
4 × 10-10 … 1333
4 × 10-10 … 1000-

1,3 × 10-4 … 1333
1 × 10-4 … 1000
2 × 10-9 … 5 × 10-3
1,5 × 10-9 3,75 × 10-3
1 × 10-10 … 5 × 10-3
0,75 × 10-10 3,75 × 10-3

VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER - PASSIV | VAKUUMMESSGERÄTE

VGC083A, VGC083B, VGC083C
Typ
Sensor 1 Überdruckschutz(schaltet Heißionisationsmessröhre bei den
folgenden
werksseitigen Standardeinstellungen ab)Anschlüsse
BAG Versorgung
BAG KolMAG
PGE050Digitale Remote-I/0
RS232
RS485
Analog Out
Analog In
Relais
DC-Strom

VGC083A
VGC083B-3
1 × 10 Torr bei 100 μA Emissionsstrom
5 × 10-4 Torr bei 4 μA Emissionsstrom
1 × 10-4 Torr bei 10 μA Emissionsstrom

CPC 1)BNC 1)

Kombi BAG & PGE
Analoger PGE-Ausgang

Schnittstelle (digital)
Versorgungsspannung (extern)
Betriebstemperatur (Umgebung)
Lagerungstemperatur
Luftfeuchtigkeit
Gehäuse
Gewicht
1)
2)
3)
4)

CPC 1)BNC 1)

SHV
D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 9-polig, Stecker
D-Sub, 9-polig, Stecker
D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 9-polig, Stecker
D-Sub, 9-polig, Stecker
2-polig steckbar
2-polig steckbar
3-polig steckbar
3-polig steckbar
je 3-polig steckbar
je 3-polig steckbar
3-polig steckbar
3-polig steckbar
Klemmenblock,Klemmenblock,Gegenstecker imGegenstecker im
Lieferumfang
LieferumfanghPa | mbar (Standard), Torr, Pa
6 einpolige Umschaltrelais (SPDT), vom Benutzer beliebigen Messgeräten
zuweisbar
5 A bei 30 V (DC), 5 A bei 250 V (AC), ohmsche Last

D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 9-polig, Stecker
D-Sub, 9-polig, Buchse
D-Sub, 9-polig, Stecker
2-polig steckbar
3-polig steckbar
je 3-polig steckbar
3-polig steckbar
Klemmenblock,Gegenstecker im
Lieferumfang

Maßeinheit (auswählbar)
Schaltpunktrelais
Schaltleistung
BAG & analoger Kombi-Ausgang
BAG

VGC083C
KaltionV (DC)V (DC)V (DC)V (DC)V (DC)V (DC)V (DC)V (DC)V (DC)°C°Ckg

0 … 9 (loglinear, 1 V/Dekade)1,7 … 9,3 (nominell 1,8 8,7 (loglinear, 0,8 V/Dekade)0 … 10 (linear, nutzbar über 3 Dekaden)
0,5 … 7 (loglinear, 0,5 V/Dekade)1 … 8 (loglinear, 1 V/Dekade)0 … 7 (loglinear, 1 V/Dekade)0 … 10 (linear, nutzbar über 3 Dekaden)
0,375 … 5,659 (nichtlinear, S-Kurve nutzbar über 3 Dekaden)
RS232, RS485 2)
3)+20 … +28, 200 W /+20 … +28, 200 W+20 … +28, 12W
36W4)+0 … +40-40 … +70
0 … 95% relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend
Aluminiumgehäuse
0,7 / 1,7

Kabelbaugruppen für Messgerät von INFICON bereitgestellt
Befehlsprotokoll-Kompatibilität mit GP307
Bei Verwendung mit BAG050, BAG051, BAG052, BAG053
Bei Verwendung mit BAG055

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A185

VAKUUMMESSGERÄTE | VAKUUMMESSGERÄT-CONTROLLER - PASSIVVGC083A, VGC083B, VGC083C
ABMESSUNGEN
mm (in.)107 (4.2)

18.5 (0.73)

78 (3.08)

183 (7.2)

Threaded Male PEM Stud
(10 - 32 × 0.4 in.) × 4

OPTIONALER ADAPTER FÜR DEN RACK-EINBAU DER VGC083A, VGC083B, VGC083C
GERÄTE
Optionale Adapterplatte für Rack-Einbau (Aluminium – Pulverlackierung) für die rechts- oder linksseitige
Installation eines VGC083x in einem 19 Zoll breiten 2U-Rack.

OPTIONALER ADAPTER FÜR RACK-EINBAU FÜR ZWEI VGC083A, VGC083B
Optionale Adapterplatte für Rack-Einbau (Aluminium – Pulverlackierung) für die Seite-an-Seite-Installation vonzwei VGC083x in einem 19 Zoll breiten 2U-Rack.

A186 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

VAKUUMSCHALTER | VAKUUMMESSGERÄTE

Vakuumschalter

VSA100A
VSA100A
Vakuumschalter

Der Druckschalter VSA100A wird als Sicherheitsschalterin Vakuumsystemen verwendet. Er wird beispielsweise
eingesetzt, um die Gaszufuhr bei der Entlüftung von
Vakuumsystemen mit einem Spülgasdruck von 6 mbar
unter Atmosphärendruck automatisch zu unterbrechen.
Bei einem Differenzialdruck von 6 mbar bzw. einem
Rückschaltdruck von 3 mbar unter Atmosphärendruck
betätigt eine elastische Membran einen
Umschaltkontakt, der wiederum zur direkten Schaltung
zusätzlicher Komponenten verwendet werden kann.
Die elektrischen Anschlüssen sind mit einer
Kunststoffabdeckung geschützt.
VORTEILE• Zuverlässiger und kostengünstiger Vakuumschalter• Lange Lebensdauer• Robuste Bauweise• Einfache Integration• IP 44-Schutz• Kann an eine programmierbare Steuerung
angeschlossen werden
ANWENDUNGEN• Steuerung von Schleusenkammern• Sicherheitsabschaltung von Vakuumsystemen

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A187

VAKUUMMESSGERÄTE | VAKUUMSCHALTERVSA100A
BESTELLINFORMATIONEN
Typ
DN 16 ISO-KF, inklusive Kabel 3 m (9,9 ft.)

VSA100A
399-001TECHNISCHE DATEN

Schaltdruck
Rückschaltung
Betriebsdruck (absolut)
Helium-Permeation
Leckrate
Temperatur
Betrieb
Lagerung
Schaltkontakte (vergoldet)
Spannung max.
Strom max.
Last min.
Elektrischer Anschluss
Kabellänge, standardmäßig
Vakuumanschluss
Schutzart
Einbaulage
Internes Volumen
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sind
Gewicht

mbar
mbar
bar
mbar l/s
mbar l/s°C°C
V (SC) / V (AC)mA
mA
m (ft.)

cm3 (Zoll3)g

VSA100A
6 ± 2 (unter Atmosphärendruck)3 ± 2 (unter Atmosphärendruck)<2< 10-6<5 × 10-8
0 ... +85
-20 ... +85
Wechselkontakt
24/24
30 (24 V (DC)) / 100 (24 V (AC))
1Kabel, blanker Draht
3 (9,9)DN 16 ISO-KF
IP 44
Vertikal (aufrecht)
2 (0,122)
Edelstahl 1.4305, EPDM, PTFE (Teflon)
315

Technischer Hinweis: Bedingt durch das verwendete Membranmaterial (EPDM) ist der Vakuumschalter VSA100A
nicht für Anwendungen geeignet, bei denen das Prozessgas große Mengen Helium enthält. Die Leckrate derMembran für Helium beträgt <10-6 mbar l/s.

50 (1.97)

72 (2.83)

ABMESSUNGEN

DN16 KF
ø48.5 (ø1.9)

A188 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

mm (inch)VAKUUMSCHALTER | VAKUUMMESSGERÄTE

Vakuumschalter

VSA200, VSD200
VSA200,
VSD200Vakuumschalter

Vakuumschalter von INFICON sind für die genaue undzuverlässige Druckerkennung konzipiert. Dieserobusten elektronischen Schalter werden in allen
Vakuumanwendungen eingesetzt, u.a. auch in
druckabhängigen Schaltsperren (Pressure Interlock)Die
Schalter sind in zwei Ausführungen lieferbar: als
Absolutdruckschalter (relativ zum Vakuumdruck) oderals Differenzdruckschalter (relativ zum
Umgebungsdruck).
VORTEILE• Korrosionsbeständiges Design aus Edelstahl• Relais-Ausgang mit potentialfreien Kontakten• Einfache Installation mit werksseitig voreingestellten
oder im Feld einstellbaren Schaltpunkten• Hochgenauer temperaturkompensierter Sensor• Robustes Design, reinraumkonform• Druckbereich 1 × 10-9 mbar … 2 bar• CE, RoHS
ANWENDUNGEN• Atmosphärendruckerkennung bei allen
Vakuumanwendungen• Druckabhängige Schaltsperre / Pressure Interlock(Stromversorgung, Gasversorgung, Pumpen, Ventile,
Stellglieder usw.)• Vakuum bis Hochvakuum

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A189

VAKUUMMESSGERÄTE | VAKUUMSCHALTERVSA200, VSD200
BESTELLINFORMATIONENBESTELLINFORMATIONEN VSA200 ABSOLUTDRUCKSCHALTER

3 S A 1 – F 5 1 – 9 7 0 0
Setpoint value
FS

Unit

1000 Torr
110 mbar

FG

5
6Flange
DN 16 ISO-KF
4 VCR male
4 VCR female

1)

1
C
D

0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
C 1)

0
1
2
3
4
5
6
7
8
9

0
1
2
3
4
5
6
7
8
9

C=10

Beispiel:

Schaltpunkt bei 970 Torr Absolutdruck, DN 16 ISO-KF:
Schaltpunkt bei 1080 mbar Absolutdruck, 4 VCR male:

3SA1-F51-9700
3SA1-G6C-C800

BESTELLINFORMATIONEN VSD200 DIFFERENZDRUCKSCHALTER

3 S D 1 – M 5 1 – B 2 0 0
Setpoint value
Unit
Torr
mbar

5
6
Flange

DN 16 ISO-KF
4 VCR male
4 VCR female

1
C
D

0
1
2
3
4
5
6
7
8
9

0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
Sign

A
B
Beispiel:

20 Torr unter Umgebungsdruck, DN 16 ISO-KF:

A190 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

+ (plus)– (minus)

3SD1-M51-B200

VAKUUMSCHALTER | VAKUUMMESSGERÄTE

VSA200, VSD200ZUBEHÖR
Typ
Kommunikationsadapter (2 m) für PC, USBAnschluss 1)
1)

Teilenr.
303-336

Software zum Lesen und Schreiben von Daten unter Windows kann auf unserer Website heruntergeladen werden

SPEZIFIKATIONVSA200
Full Scale (FS)Differenzbereich 1)
Schaltpunktbereich
Zulässiger Druck
Schaltpunktrelais
Relaisausgang
Schaltleistung
Schaltpunktgenauigkeit
Temperatureffekt auf Null und Bereich
Ansprechzeit
Hysterese
Elektrischer Anschluss
Versorgungsspannung
Leistungsaufnahme
Zulässige Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Materialien, die dem Vakuum ausgesetzt sind
Einbaulage
Internes Volumen
DN 16 ISO-KF
4 VCR
Gewicht
Schutzart
Sensorschutz
1)

mbar (absolut)
Torr (absolut)
mbar
Torr
mbar
Torr
bar (absolut)

V / A (DC)V / A (AC)% FS
% FS / °C
ms% FS
V (DC)W°C°C

cm3 (Zoll3)
cm3 (Zoll3)
g

–
1000
–
–

VSD2001100–
30 … 1060-

20 ... 970––––100 … +50–––100 … +50––99 … +46–

–99 … +46

5

2
Schließer, Öffner, potentialfrei
30 / 1125 / 0,30,5≤±0,02≤45
2D-Sub, 9-polig
14 … 30< 0,5
0 … 70–40 … 80
Edelstahl
Beliebig

2,81 (0,17)
0,93 (0,057)
140
IP 40
Kurzschlussschutz und Verpolungsschutz

Verweise auf Umgebungsdruck

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A191

VAKUUMMESSGERÄTE | VAKUUMSCHALTERVSA200, VSD200
ABMESSUNGEN

24.2



117.5

ø26.5

117

86

ø30

104.5

34

10

101.5

5.5

ป 60

mm (in.)

DN 16 ISO-KF
4 VCR female

A192 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

4 VCR male

VAKUUMSCHALTER | VAKUUMMESSGERÄTE

Vakuumschalter

VSC150A
VSC150A
Vakuumschalter

Der Vakuumschalter VSC150 von INFICON ist ein
Absolutdruckschalter mit einem von 0,5 bis 2000 mbar
einstellbaren elektrischen Schaltkontakt. Die
mechanische Bauweise ermöglicht einen kurzzeitigenÜberdruck von 3000 mbar, ohne die Schaltgenauigkeit
von ±0,1 mbar zu beeinträchtigen. INFICON bietet einekundenspezifische Einstellung von Druckschaltern.
VORTEILE• Hohe Schaltgenauigkeit (±0,1 mbar)• Ausgelegt für den zuverlässigen Langzeitbetrieb• Robustes, korrosionsbeständiges Design• Verbesserte Schaltfähigkeit bei Einsatz eines
Schaltverstärkers• Schutz vor Prozessmedien durch Schaltkontakte(Öffner) in der Referenzkammer• Adapter für Differenzdruckmessung erhältlich
ANWENDUNGEN• Druck- oder Differenzdruckschalter zur Steuerung vonVentilen, Pumpen und Stromversorgungseinheiten• Schleusenkammern• Prozesskammern

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A193

VAKUUMMESSGERÄTE | VAKUUMSCHALTER

VSC150A
BESTELLINFORMATIONEN
Typ
DN 16 ISO-KF

VSC150A
399-005

ZUBEHÖR
Typ
SV-Schaltverstärker
Druckschaltereinstellung
Differenzdruckadapter

Teilenr.
399-008399-006
399-007

TECHNISCHE DATEN

Netzversorgung (auswählbar)
Netzfrequenz
Leistungsaufnahme
Ausgangsrelais
Schaltspannung
Schaltstrom
Schaltleistung
Ansprechzeit
Auslösezeit
Steuerkreis
Betriebstemperatur
Gewicht

V
A
VA
ms
ms
V / mA°Ckg

SV-Schaltverstärker
110 ... 130, 220 ... 240
50 / 603
Wechselkontakt
250
5
500
30
7
24 / 10
5 ... 50
0,36

mbar
mbar
mbar
mbar

Vakuumschalter VSC150A
0,5 … 2000
0,1
3000
0,5

V
Hz
VA

TECHNISCHE DATEN

Schaltbereich
AnsprechempfindlichkeitÜberlastgrenze
Schalthysterese
Temperatur
Betrieb (Umgebung)
Lagerung
Ausheizen (max. 8 h)
Koeffizient des Schaltpunkts
Vakuumanschluss
Elektrischer Anschluss
Schalter
Schaltspannung
Schaltstrom
Kontaktwiderstand
Schutzklasse
Materialien, die mit dem Medium in KontaktkommenSensorvolumen
Referenzvolumen
Sensorvolumen 1)
Referenzvolumen
Gewicht
1)

°C
°C
°C
% / K des Schaltwerts

VmAΩ

5 … 90–20 … 70
120
0,4
DN 16 ISO-KF
Geschützter Stecker (DIN 43650)
Öffner
24
10
<1
IP 65
Edelstahl 1.4301, 1.4401, 1.4310, 1.3541, FPM75
Edelstahl 1.4301, 1.4401, 1.3541, Glas, Gold

cm3
cm3
kg

≈4
≈20
1,3

Einschließlich Verbindungsanschluss

A194 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

VAKUUMSCHALTER | VAKUUMMESSGERÄTE

VSC150A
ABMESSUNGEN

VSC150A Vacuum Switch

SV Switching Amplifier

Option:Differential pressure
adapter DN 16 KF

55,5

121
109

15
4,2
21

133

10 5

21

80

50,5

19
51

Pg 9
Pg 9
14

21,5

163

18
DN 16 KF

mm

85

mm

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A195

VAKUUMMESSGERÄTE

VSC150A

A196 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

KALIBRIERSERVICE | VAKUUMMESSGERÄTE

Kalibrierservice

Vakuummessgeräte
Vakuummessgeräte
Kalibrierservice

INFICON bietet Kalibrierservices für Vakuummessgeräte an. Wahlweise kann ein DAkks-Kalibrierzertifikat(Deutsche Akkreditierungsstelle gemäß DIN EN ISO/IEC 17025:2005) oder ein Werkskalibrierzertifikat erstellt
werden.
Alle ausgestellten Prüfbescheinigungen entsprechen der europäischen Norm EN 10204.
VORTEILE• Bekannte Abweichung von Kalibrierstandards• Kontrollierte langfristige Qualität
ANWENDUNGEN• Verweis auf Standard ist erforderlich• Referenz für kundeninternen Kalibrierservice für Vakuummessgeräte
DAKKS-KALIBRIERUNGDie Deutsche Akkreditierungsstelle (DAkks) stellt die Rückführbarkeit von industriellen Messungen auf die
nationalen Kalibrierstandards sicher. Sie wird gemeinsam von der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB),
der Industrie, dem Bundeswirtschaftsministerium und dem Western European Metrology Club (WEMC) betrieben.
Die in der DK-Kalibriereinrichtung verwendeten Transfernormale werden regelmäßig durch die PTB überprüft (undrekalibriert).
WERKSSEITIGE KALIBRIERUNG
Werkskalibrierungen werden auf die DAkks-Transferstandards zurückgeführt.
CDG-Messgeräte werden auf einer speziell dafür vorgesehenen Prüfeinrichtung kalibriert, die auf nationale
Standards der PTB zurückgeführt werden kann.
Die Rückführbarkeit auf nationale Standards ist in beiden Fällen sichergestellt.
ANDERE KALIBRIERUNGEN
NIST-Kalibrierung auf Anfrage erhältlich. Kontaktieren Sie uns bezüglich Verfügbarkeit und Kosten.
BESTELLINFORMATIONEN
DAkks-Kalibrierung 1)

Werkskalibrierung 1)

398-900-

398-910398-913

1 × 10-3 ... 1000-

398-914

1 × 10-6 ... 30

398-902-

5 × 10-7 ... 1000-

398-912

Kalibrierservice fürKalibrierbereich

Pirani, Pirani-Kombinationsmessgeräte
Kapazitätsmembran-Manometer[mbar], [Torr]
1 × 10-3 ... 30
1 × 10-3 … 10001 × 10-3 …
1000

Kapazitätsmembran-Manometer(Messgeräte mit Messkabel zum Controller)
Bayard Alpert-, Kaltkathoden-, Hochdruck- undKombinationsmessgeräte
Bayard Alpert-, Kaltkathoden-, Hochdruck- undKombinationsmessgeräte
1)Druckmedien: Stickstoff

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A197

VAKUUMMESSGERÄTE

Vakuummessgeräte

A198 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

PRÜFBESCHEINIGUNGSSERVICE | VAKUUMMESSGERÄTE

Prüfbescheinigungsservice

Vakuumregelung
Vakuumregelung
Prüfbescheinigungsservice

INFICON bietet einen Prüfbescheinigungsservice für Produkte zur Vakuumregelung an.
Alle ausgestellten Prüfbescheinigungen entsprechen der europäischen Norm EN 10204.
VORTEILE• Auswahl aus drei verschiedenen Prüfbescheinigungen für individuelle Kundenanforderungen• Prüfbescheinigungen gemäß Europäischer Norm EN 10204

BESTELLINFORMATIONEN
Bezeichnung der Prüfbescheinigung
Werksbescheinigung 2.1

Typ
EN 10204-2.1

Bestellnummer
211-801

Werkszeugnis 2.2

EN 10204-2.2

211-802

Abnahmeprüfzeugnis 3.1

EN 10204-3.1

211-800

Bitte überprüfen Sie die Angaben in der folgenden Tabelle, um die richtige Prüfbescheinigung für Ihren Bedarf
auszuwählen, und bestellen Sie das Dokument zusammen mit dem zugehörigen Produkt zur Vakuumregelung.
Die Prüfbescheinigung wird zusammen mit Ihrer Ware geliefert und/oder kann Ihnen als pdf-Datei zugesendet
werden. Preisanfragen oder spezifische Fragen zu den Prüfbescheinigungen richten Sie bitte an unseren
Customer Service, der Ihnen gerne weiterhilft.

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | A199

VAKUUMMESSGERÄTE | PRÜFBESCHEINIGUNGSSERVICE

VakuumregelungPRÜFBESCHEINIGUNGSSERVICE
PrüfbescheinigungenPrüfbescheinigung
Art der Prüfung

Inhalt der Prüfbescheinigung

Lieferbedingungen

EN 10204-2.1
Werksbescheinigung 2.1
Unspezifische Prüfung.
Die geprüften Produkte sind nichtzwangsläufig die Produkte, dietatsächlich geliefert werden.
Erklärung des Herstellers, dass diegelieferten Produkte mit den
Anforderungen der Bestellungübereinstimmen, ohne Angabe vonPrüfergebnissen.
In Übereinstimmung mit den
Bedingungen der Bestellung.

EN 10204-2.2
Werkszeugnis 2.2
Unspezifische Prüfung.
Die geprüften Produkte sind nichtzwangsläufig die Produkte, dietatsächlich geliefert werden.
Erklärung des Herstellers, dass diegelieferten Produkte mit den
Anforderungen der Bestellungübereinstimmen, mit Angabe vonPrüfergebnissen basierend auf derunspezifischen Prüfung.
In Übereinstimmung mit den
Bedingungen der Bestellung.

EN 10204-3.1
Abnahmeprüfzeugnis 3.1
Spezifische Prüfung.
Die geprüften Produkte sind die
Produkte oder Teile der Produkte,
die tatsächlich geliefert werden.
Erklärung des Herstellers, dass diegelieferten Produkte mit den
Anforderungen der Bestellungübereinstimmen, mit Angabe vonPrüfergebnissen basierend auf derspezifischen Prüfung.

Gemäss den behördlicher
Bestimmungen und den
entsprechenden technischen
Vorschriften.
Prüfbescheinigung bestätigt durch
Den Hersteller
Den Hersteller
Den von der Fertigungsabteilung
unabhängigen Abnahmebeauftragten
des Herstellers
Beispiel für einen Bestellvorgang bei Tragen Sie in Ihrer Bestellung die
Tragen Sie in Ihrer Bestellung die
Tragen Sie in Ihrer Bestellung die
INFICON
Bestellnummer 211-801 in einer
Bestellnummer 211-802 in einer
Bestellnummer 211-800 in einer
gesonderten Bestellposition direkt
gesonderten Bestellposition direkt
gesonderten Bestellposition direktnach der Position desnach der Position desnach der Position desentsprechenden Teils ein, für das Sie entsprechenden Teils ein, für das Sie entsprechenden Teils ein, für das Sieeine Werksbescheinigung wünschen. ein Werkszeugnis wünschen.
ein Abnahmeprüfzeugnis wünschen.
Hinweise von INFICON
Wenn diese Bescheinigung für alle
Das Werkszeugnis kann nur für eine Dieses Abnahmeprüfzeugnis kannBestellpositionen benötigt wird,
bestimmte Teilenummer in Ihrer
nur für eine bestimmte Teilenummer
können Sie einfach die
Bestellung ausgegeben werden. Es in Ihrer Bestellung ausgegeben
Bestellnummer 211-801 am Ende kann nicht für mehrere
werden. Es kann nicht für mehrere
Teilenummern gelten. Es muss
Teilenummern gelten. Es muss
Ihrer Bestellung als letzte Position
ausdrücklich für das jeweilige
eintragen und angeben, dass sie für ausdrücklich für das jeweilige
Produkt bestellt werden, für das es
Produkt bestellt werden, für das es
die gesamte Bestellung gelten soll.
gilt (tragen Sie die Bestellnummer
gilt (tragen Sie die Bestellnummer
211-802 direkt nach dem
211-800 direkt nach dem
dazugehörigen Produkt ein).
dazugehörigen Produkt ein).
Das Original-Abnahmeprüfzeugnis
wird immer zusammen mit dem
dazugehörigen Produkt geliefert. Auf
Kundenwunsch können wir es
parallel zur Produktlieferung auch als
PDF per E-Mail oder auf dem
Postweg (Kopien) versenden.
Prüfbescheinigung verfügbar fürAlle INFICON-Produkte zur
Alle INFICON-Produkte zur
Den Großteil unserer
Vakuumregelung
Vakuumregelung
Vakuumbauteile (im Normalfall wird
diese Bescheinigung für
Vakuumbauteile wie Flansche,
Rohrbauteile usw. aus Edelstahl und
Aluminium bzgl. ihrer spezifischen
chemische Zusammensetzung /Schmelze angefordert).
Andere Produkte zur
Vakuumregelung auf Anfrage und in
Abhängigkeit von der Machbarkeit.
Geben Sie in Ihrer Anfrage bitte eine
konkrete Anzahl an, die geprüft undbescheinigt werden soll.
Für diese Art von Prüfzeugnissengelten Standardpreise. Wir behalten
uns jedoch das Recht vor, weitere
Gebühren für Zusatzarbeiten zu
erheben, sofern solche Arbeiten
anfallen.

A200 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

VakuumdurchführungenVAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | INHALTSVERZEICHNIS

Vakuumdurchführungen
Vakuumdurchführungen
FRH DN 16 – DN 63 Drehbare Durchführungen ISO-KF / ISO-K ........................................................................................ B1
FRU DN 16 - DN 40 Drehbare Durchführungen CF ............................................................................................................ B3
FCH DN 16 - DN 40 ISO-KF Durchführungen für Dreh- und Linearbewegung .................................................................. B5
FPU DN 16 - DN 40 Lineardurchführungen CF ................................................................................................................... B7
DN 16 ISO-KF Elektrische Durchführungen ........................................................................................................................ B9
DN 40 ISO-KF Elektrische Durchführungen ........................................................................................................................ B11
DN 16 CF-F Elektrische Durchführungen ............................................................................................................................ B13
DN 40 CF-F Elektrische Durchführungen ............................................................................................................................ B15
DN 40 ISO-KF Hochstrom-Durchführung ............................................................................................................................ B19
BNC / MHV DN 16 - 40 Koaxialdurchführungen ISO-KF/CF-F ............................................................................................ B21
Metal-Ceramic Connections Vakuumdurchführungen ........................................................................................................ B23
DN 40 Flüssigkeitsdurchführungen ISO-KF/CF-F ............................................................................................................... B25
DN 16 - DN 50 ISO-KF Schaugläser ................................................................................................................................... B27
DN 63 - DN 160 ISO-K Schaugläser ................................................................................................................................... B29
DN 16 - DN 160 CF Schaugläser ........................................................................................................................................ B31
DN 63 - DN 160 ISO-F Schaugläser ................................................................................................................................... B33
Vacuum Ball Bearings Vakuumdurchführungen ................................................................................................................. B35
Lubricants and Sealing Materials Vakuumdurchführungen ................................................................................................ B37

ii | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

DREHBARE DURCHFÜHRUNGEN ISO-KF / ISO-K | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Drehbare Durchführungen ISO-KF / ISO-K

FRH DN 16 – DN 63
FRH ISO-KF
DN 16 –/ DN
63
Drehbare Durchführungen
ISO-K

EIGENSCHAFTEN• Zur Übertragung hoher Drehmomente• Mit FPM-Wellendichtung und Kugellagern

BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.
1)

FRH016-H
214-300

FRH025-H
214-302

FRH040-H
214-304

FRH063-H
214-3061)

FRH040-H
DN 40 ISO-KF
FPM
Ø12
25
750
≤5
≤10

FRH063-H
DN 63 ISO-KF
FPM
Ø20
100
500
≤10
≤20

Zentrierring / CR / Aluminium Teilenr. 212-251 / FPM / Edelstahl Teilenr. 212-281 nicht Bestandteil der Lieferung

TECHNISCHE DATEN
Typ
Vakuumanschluss
Durchführung / Dichtung
WellengrößeÜbertragbares Drehmoment
Drehzahl1)
Leerlaufdrehmoment unter Vakuum
Anlaufdrehmoment unter Vakuum
Wellenlast, vakuumseitig
Radialkraft
Axialkraft
Lebensdauer
Festigkeit, statisch
Druck (absolut)
Betriebstemperatur
Ausheiztemperatur
Materialien, die Prozessmedien ausgesetzt sind
Gewicht
1)

mm
Nm
U/min
Ncm
Ncm
N
N
Umdrehungenmbar l/s

FRH016-H
DN 16 ISO-KF
FPM
Ø5
1,5
1500
≤3
≤6

FRH025-H
DN 25 ISO-KF
FPM
Ø8
6
1000
≤4
≤8

60
30
20 000 000

150
50
20 000 000

500
100
10 000 000

0,1

0,2

2

°C
°C

kg

250
60
20 000 000
1 × 10-9
1 × 10-9 mbar ... 1 bar
50
110
Edelstahl 420/1.4021
Aluminium 6082
Elastomer FPM
0,6

Wenn eine reduzierte Lebensdauer akzeptabel ist, kann die Drehzahl bis um den Faktor 2 erhöht werden

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B1

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | DREHBARE DURCHFÜHRUNGEN ISO-KF / ISO-K

FRH DN 16 – DN 63
ABMESSUNGEN

50

100

150

230

ø12g6

6h9×32

B2 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

65

ø66g6

53

30

46.5

ø60

32

105

ø28g6

4h9×20

52

30

67

21.5

41.5

ø45g6

37
20

ø8g6

21.5

ø5g6
ø20g6

6h9×32

ø38

75

15 26.5

32

7
20

15

29

14

ø23

14

FRH063-H

ø20g6

4h9×20

ø8g6

ø5g6
ø15

FRH040-H
ø12g6

50

FRH025-H

4.5

FRH016-H

DREHBARE DURCHFÜHRUNGEN CF | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Drehbare Durchführungen CF

FRU DN 16 - DN 40
DN 16 - DN CF
40
Drehbare FRU
Durchführungen

EIGENSCHAFTEN• Mit Balgdichtung• Ganzmetallversion• Für sehr anspruchsvolle Vakuumanforderungen

BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.

FRU016-H
214-310

FRU040-N
214-312

FRU040-L
214-314

FRU016-H
DN 16 CF-F
Balg
4

FRU040-N
DN 40 CF-F
Balg
8

FRU040-L
DN 40 CF-F
Balg
12

Nm
Nm
Nm
U/min
U/min

0,4
0,2
0,2
200

4
2
3
1000
500

10
2
5
500
300

N
N
UmdrehungenGradmbar l/s

1051 000 000
1060
20
2 000 000
─
5 × 10 -11-10
1 × 10 mbar ... 2 bar
300
300
304L/1.4306
304/1.4301
–
1,5

100
30
1 000 000─TECHNISCHE DATEN
Typ
Vakuumanschluss
Durchführung / Dichtung
WellenanschlussÜbertragbares Drehmoment
DynamischDynamisch, bei 300°C
StatischDrehzahl
Bei max. Drehmoment
Wellenlast, vakuumseitig
Radialkraft
Axialkraft
Lebensdauer
Skalenteilung
Festigkeit
Druck (absolut)
Betriebstemperatur
Ausheiztemperatur
Materialien, dieProzessmedien ausgesetzt sind
Gewicht

mm

°C
°C

kg

304L/1.4306
304/1.4301–/2.43600,3304L/1.4306
304/1.4301
303/1.4305
3,0

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B3

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | DREHBARE DURCHFÜHRUNGEN CF

FRU DN 16 - DN 40
ABMESSUNGEN
FRU016-H

FRU040-N
ø4 g6

FRU040-L
ø33.5

ø30 g6
ø8 g6

4h9×20

30

41

25

36.5

30

3h9×16

102

ø58

194

132

ø12 f7

M4×10

224

ø80

ø8 g6

30

3h9×16
48.5

25

52

ø45

4h9×20

ø34 g6
M4×10

ø12 f7
ø35 g6

B4 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF DURCHFÜHRUNGEN FÜR DREH- UND LINEARBEWEGUNG | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

ISO-KF Durchführungen für Dreh- und Linearbewegung

FCH DN 16 - DN 40
FCH
DN 16 - DN 40
ISO-KF Durchführungen für Dreh- undLinearbewegung

EIGENSCHAFTEN• Zwei FPM-Wellendichtungen• Direkte Push/Pull- und Drehbetätigung• Mit Sperrring und optionaler Verdrehsicherung

BESTELLINFORMATIONEN
TypDreh-/Schiebedurchführung
Verdrehsicherung

FCH016-H
214-320214-072

FCH025-H
214-322214-073

FCH040-H
214-324
214-074

FCH016-H
DN 16 ISO-KF
FPM
M 3 / Ø 5mm
50

FCH025-H
DN 25 ISO-KF
FPM
M 4 / Ø 8mm
100

FCH040-H
DN 40 ISO-KF
FPM
M 6 / Ø 12mm
150

10
2

15
8

30
20

0,1

1 × 10-9
1 × 10-8 mbar ... 1 bar
50
110
Edelstahl 304/1.4301
Aluminium 6082
0,2

0,3

TECHNISCHE DATEN
Typ
Vakuumanschluss
Durchführung / Dichtung
Wellenanschluss
Arbeitsweg
Wellenlast
Radialkraft bei max. Arbeitsweg
Torsionsdrehmoment
Festigkeit, statisch
Druck (absolut)
Betriebstemperatur
Ausheiztemperatur
Materialien, dieProzessmedien ausgesetzt sind
Gewicht

mmNNm
mbar l/s°C°C

kg

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B5

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | ISO-KF DURCHFÜHRUNGEN FÜR DREH- UND LINEARBEWEGUNGFCH DN 16 - DN 40
ABMESSUNGEN

FCH016-H

FCH025-H

FCH040-H

FeedthroughFeedthroughFeedthroughAnti-rotation device

Anti-rotation device

B6 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Anti-rotation device

LINEARDURCHFÜHRUNGEN CF | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Lineardurchführungen CF

FPU DN 16 - DN 40
FPU DN 16 - DN CF
40
Lineardurchführungen

EIGENSCHAFTEN• Mit Balgdichtung für sehr anspruchsvollere
Vakuumanforderungen• Direkte Push/Pull-Betätigung• Hochpräzise Einstellung mittels Mikrometerschraube

BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.

FPU016-H
214-330

FPU040-H
214-332

FPU016-Z
214-334

FPU040-Z
214-336

FPU016-H
DN 16 CF-R
Balg
M4x16 mm
Manuell25

FPU040-H
DN 40 CF-R
Balg
M6x10 mm, Ø10 mm
Manuell50

510FPU016-Z
DN 16 CF-R
Balg
M4x16 mm
Mikrometerschraube
20
0,5
0,01

FPU040-Z
DN 40 CF-R
Balg
M6x10mm, Ø10 mm
Mikrometerschraube
50
1
0,005

N
N
N
Nm
mbar l/s

20
85
100
0,2

100
140
200
0,5

20
185
200
0,2
5 × 10-11
1 × 10-10 mbar ... 2 bar

100
440
500
0,5

°C
°C

300

300

300
100
Edelstahl 304L/1.4306
Edelstahl 316Ti/1.4571

300
100

kg

0,15

0,75

TECHNISCHE DATEN
Typ
Vakuumanschluss
Durchführung/Dichtung
Wellenanschluss
Stellglied
Arbeitsweg
Arbeitsweg pro Umdrehung
Skalenteilung
Wellenlast
Radialkraft bei max.
Axialkraft vakuumseitig
Axialkraft gegen atm
Torsionsdrehmoment
Festigkeit
Druck (absolut)
Ausheiztemperatur
Durchführung
Mikrometerschraube
Materialien, dieProzessmedien ausgesetzt
sind
Gewicht

mm
mm
mm

0,25

1

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B7

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | LINEARDURCHFÜHRUNGEN CF

FPU DN 16 - DN 40
ABMESSUNGEN
FPU016-H

FPU040-H

FPU016-Z

500
ø10 –0.1

105.5

183

ø33

77.5

15

M6×10

B8 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

FPU040-Z

ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNGEN | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Elektrische Durchführungen

DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF
Elektrische Durchführungen

BESTELLINFORMATIONEN
Typ

4 Durchführungen mit
ATM-Anschluss

9 Durchführungen mit
ATM-Anschluss

Durchführung
Anschluss: Vakuumseite
Anschluss: Atmosphärenseite214-111─
214-171

214-112─
214-172Typ

4 Durchführungen mit
ATM-Anschluss

9 Durchführungen mit
ATM-Anschluss

Vakuumanschluss
Anzahl der DurchführungenSpannung pro Pol
Strom pro Pol
Anschluss
Vakuumseite
Atmosphärenseite
Durchmesser des Anschlussdrahts
Festigkeit
Druck (absolut)
Ausheiztemperatur(Durchführung und Anschluss)
Gehäuse
Isolator
Dichtung
Kontakte (Durchführung und Anschluss)

DN 16 ISO-KF
450
1

DN 16 ISO-KF
950
2

Lötverbindung
Anschluss
0,6

Lötverbindung
Anschluss
1,2
1 × 10-9-8
1 × 10 mbar … 2,5 bar
130

9 Durchführungen mit
ATM- &
Vakuumanschluss214-113214-191214-172TECHNISCHE DATEN

V
A

mm
mbar l/s°C

9 Durchführungen mit
ATM- &
Vakuumanschluss
DN 16 ISO-KF
950
2
Anschluss
Anschluss
1,2

Edelstahl 303/1.4305
PEEK / Araldit
FPM
vergoldetes Messing / Bronze / Edelstahl

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B9

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNGEN

DN 16 ISO-KF
ABMESSUNGEN

214-111214-112214-113

ø14
ø1.2

23.2

6.8

8×ø0.8ø16

FeedthroughFeedthroughFeedthrough214-191

Connector:
vacuum side214-171

214-172214-172

Connector:
air side

B10 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNGEN | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Elektrische Durchführungen

DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
Elektrische Durchführungen

BESTELLINFORMATIONEN
Typ

7 Durchführungen mit 7 Durchführungen mit
ATM-Anschluss
ATM- &
Vakuumanschluss214-121214-122─
214-193214-174
214-174

4 Durchführungen mit
ATM- &
Vakuumanschluss214-123214-194214-175

4 Durchführungen mit
ATM- &
Vakuumanschluss
4
800
16

1 Durchführung mit
ATM-Anschluss

VA

7 Durchführungen mit 7 Durchführungen mit
ATM-Anschluss
ATM- &
Vakuumanschluss
7
7
380
380
16
16

mm

Lötverbindung
Anschluss
1,8

Anschluss
Anschluss
1,8

Anschluss
Anschluss
2,5

Schraubverbindung
Anschluss
5

kV/HZ

–

–

Vergoldete Bronze

Edelstahl 303/1.4305
PTFE/Araldit
FPM
Vergoldete Bronze
Vergoldete Bronze

Durchführung
Anschluss: Vakuumseite
Anschluss:
Atmosphärenseite

1 Durchführung mit
ATM-Anschluss214-131─
214-180TECHNISCHE DATEN
TypAnzahl der DurchführungenSpannung pro Pol
Strom pro Pol
Anschluss
Vakuumseite
Atmosphärenseite
Durchmesser desAnschlussdrahts
Prüfspannung
Druck (absolut)
Ausheiztemperatur(Durchführung und Anschluss)
Gehäuse
Isolator
Dichtung
Kontakt(Durchführung und Anschluss)°C–
1 × 10-8 mbar … 2,5 bar
130

1
6000
25

15/50

Vernickeltes Messing

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B11

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNGEN

DN 40 ISO-KF
ABMESSUNGEN

214-193214-194

110

ø11.2

ø35

Connector:
vacuum side

Connector:
vacuum side214-121214-122214-123214-131

FeedthroughFeedthroughFeedthroughFeedthrough214-174

214-174

214-180

Connector:
air side

Connector:
air side

113

113

ø36

ø36

ø11.2

ø11.2

Connector:
air side214-175

Connector:
air side

B12 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNGEN | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Elektrische Durchführungen

DN 16 CF-F
DN 16 CF-F
Elektrische Durchführungen

BESTELLINFORMATIONEN
TypDurchführung
Anschlussstück: Vakuumseite
Anschluss: Atmosphärenseite

1 Durchführung DN 16 CF-F
214-126214-195214-176

TECHNISCHE DATEN
Typ
Vakuumanschluss
Anzahl der DurchführungenSpannung pro Pol
Strom pro Pol
Ausheiztemperatur
Festigkeit
Druck (absolut)
FlanschLeiterIsolator
Gewicht
Anschlussstück: Vakuumseite
Teile
Strom max.
Ausheiztemperatur
Material
Anschluss: Atmosphärenseite
Teile
Strom max.
Isoliert, für Verwendung bis zu
Ausheiztemperatur
Kontakt

kV
A°C
mbar l/skg

1 Durchführung DN 16 CF-F
DN 16 CF-F
1
4
150
400
5 × 10-11
1 × 10-10 mbar ... 2 bar
Edelstahl 304L/1.4306
OF-Kupfer 2.0040
Aluminiumoxidkeramik Al2O3
0,15

A
°C

2
100
400
Edelstahl 304/1.4301

A
V (AC) / V (DC)
°C

2
100
Nicht isoliert
150
Versilbertes Messing

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B13

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNGEN

DN 16 CF-F
ABMESSUNGEN
214-195214-126214-176







º

6:

0

B14 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

.8

ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNGEN | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Elektrische Durchführungen

DN 40 CF-F
DN 40 CF-F
Elektrische Durchführungen

BESTELLINFORMATIONEN
TypDurchführung
Anschlussstück: Vakuumseite
Anschluss: Atmosphärenseite
Anschluss Atm.-seite, H2O-gekühlt

1
1
Durchführung Durchführung
DN 40 CF-F
DN 40 CF-F
(Hochstrom)214-136214-127
214-195214-196214-176
214-177─
214-1782
4
9Durchführung Durchführung Durchführung
en DN 40 CF-F en DN 40 CF-F en DN 40 CF-F

1
1
Durchführung Durchführung
DN 40 CF-F
DN 40 CF-F
(Hochstrom)
DN 40 CF-F
DN 40 CF-F
1
1
0,3
1
70
200/1000 1)

2
4
9Durchführung Durchführung Durchführung
en DN 40 CF-F en DN 40 CF-F en DN 40 CF-F

214-128214-195214-176─

214-116214-192
214-173─

214-117214-198214-181─

TECHNISCHE DATEN
Typ

Vakuumanschluss
Anzahl der DurchführungenSpannung pro Pol
Strom pro Pol
Ausheiztemperatur
Festigkeit
Druck (absolut)
FlanschLeiterIsolator
Gewicht
Anschlussstück: Vakuumseite
Teile
Strom
Ausheiztemperatur
Material
1)

kV
A
°C
mbar l/s

kg

A°C

DN 40 CF-F
91
8304L/1.4306
OFC 2.0040
Al2O3
0,15

DN 40 CF-F
DN 40 CF-F
2
4
4
1
150
8
400
5 × 10-11-10
1 × 10 mbar ... 2 bar
304L/1.4306
304L/1.4306
304L/1.4306
OFC 2.0040
OFC 2.0040
304/1.4301
Al2O3
Al2O3
Al2O3
0,5
0,45
0,3

2
20
400
304/1.4301

110001)
400
2.00601012400
304/1.4301

2
100
400
304/1.4301

5
12
400
304/1.4301

304L / 1.4306
304/1.4301
Al2O3
0,5

Mit Wasserkühlung

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B15

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNGEN

DN 40 CF-F
TypAnschluss: Atmosphärenseite
Teile
Strom max.
Isoliert, für Verwendung bis zu
Ausheiztemperatur
Kontakt
1)

1
1
2
4
9
Durchführung Durchführung Durchführung Durchführung Durchführung
DN 40 CF-F
DN 40 CF-F
en DN 40 CF-F en DN 40 CF-F en DN 40 CF-F
(Hochstrom)A
V (AC) / V (DC)
°C

2
100
Nicht isoliert
150
Versilbertes
Messing

Mit Wasserkühlung

B16 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

1
250
30/60
150
Versilbertes
Messing

2
100
30/60
50
Versilbertes
Messing

5
25
30/60
50
Vergoldetes
Messing

10
25
30/60
50
Vergoldetes
Messing

ELEKTRISCHE DURCHFÜHRUNGEN | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

DN 40 CF-F
ABMESSUNGEN
214-195214-196214-195214-192

214-198

ø2.1

15

15

ø2.1

8

8
Connector vacuum side

Connector vacuum side

Connector vacuum side

Connector vacuum side

Connector vacuum side214-136214-127

214-128214-116214-117

º





º



.+

FeedthroughFeedthroughFeedthroughFeedthroughFeedthrough214-176

214-177

214-176

214-173214-181Connector air side
With soldered joint

Connector air side
With soldered joint


106



46
61



6:



º

ø25





º

6:

SW 19

0

.8

0

.8

M12

Connector air side

Connector air side214-178

ø10

313

190

ø6

ø28

24

Connector air side

M12

With water-proof 1)
Current max.
Not insulated, for use up to
Bakeout temperature
Contact

A
°C

1000
24
120
Silver-plated brass

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B17

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

DN 40 CF-F

B18 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

HOCHSTROM-DURCHFÜHRUNG | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Hochstrom-Durchführung

DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
Hochstrom-Durchführung

EIGENSCHAFTEN• Auswahl von drei Elektroden• In montierte Durchführung schieben• Stromanschluss mit Wasserkühlung

BESTELLINFORMATIONEN
TypDurchführung mit O-Ring KF40
Stromanschluss mit Wasserkühlung 1)
Gerade ElektrodeWinkelelektrode1)

1 Hochstrom-Durchführung DN 40 ISO-KF
214-141214-145
214-142214-143

Nicht isoliert

TECHNISCHE DATEN
Typ
Vakuumanschluss
Anzahl der DurchführungenSpannung
Strom
Festigkeit
Druck (absolut)
Ausheiztemperatur
Gehäuse
Isolator
Dichtung
1)

VA
mbar l/s°C

1 Hochstrom-Durchführung DN 40 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
1
100
250/1500 1)
1 × 10-9
1 × 10-8 mbar … 2,5 bar(max. 10 bar mit externem Zentrierring)110
Aluminium 6082
Thermoplast und Duroplast
FPM

Mit Wasserkühlung

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B19

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | HOCHSTROM-DURCHFÜHRUNG

DN 40 ISO-KF
ABMESSUNGEN
214-141214-145

FeedthroughCurrent connection
with water coolingcopper/brass

214-142214-143

Electrodes copper/brass

Electrodes copper/brass

B20 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

KOAXIALDURCHFÜHRUNGEN ISO-KF/CF-F | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Koaxialdurchführungen ISO-KF/CF-F

BNC / MHV DN 16 - 40
BNC / MHVDN 16 - 40
Koaxialdurchführungen
ISO-KF/CF-F

EIGENSCHAFTEN• Basierend auf MIL-C-39012A• Spannung bis zu 5 kV DC• Mit Atmosphärenanschluss

BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.

BNC
MHV
BNC
DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F
214-151
214-152
214-155

MHV
DN 16 CF-F
214-156

MHV
DN 40 CF-F
214-157

BNC
DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF
1

MHV
DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF
1

BNC
DN 16 CF-F
DN 16 CF-F
1

MHV
DN 16 CF-F
DN 16 CF-F
1

MHV
DN 40 CF-F
DN 40 CF-F
3

0,35
0,5
3
150
50-60
1010
1 × 10-9
1 × 10-8 mbar
… 2,5 bar

3,5
5
3

0,35
0,5
3
150
50-60
1010
1 × 10-10
1 × 10-10 mbar
… 10 bar

3,5
5
3

3,5
5
3

1010
1 × 10-10
1 × 10-10 mbar
… 10 bar1010
1 × 10-10
1 × 10-10 mbar
… 10 bar

TECHNISCHE DATEN
Typ
Vakuumanschluss
Anzahl der DurchführungenSpannung
AC, 50 Hz
DC
Strom
Häufigkeit
Impedanz
Isolationswiderstand bei 20°C
Festigkeit
Druck (absolut) 1)
Material
Gehäuse, Flansch, Leiter
Durchführung, Dichtung
Ausheiztemperatur
Mit Anschluss
Ohne Anschluss
Standardanschluss
Atmosphärenanschluss
Kabel
Gewicht
1)

kV
kV
A
MHz
Ω
Ω
mbar l/s

1010
1 × 10-9
1 × 10-8 mbar
… 2,5 bar

Edelstahl
Al2O3
°C
°C

50
200

50
200

50
400

50
400

50
400

kg

UG 88/URG 58/U
0,1

UG 932/U
RG 59/U
0,1

UG 88/URB 58/U
0,14

UG 932/U
RG 59/U
0,14

UG 932/U
RG 59/U
0,5

Druck bei 400°C : 2 bar

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B21

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | KOAXIALDURCHFÜHRUNGEN ISO-KF/CF-F

BNC / MHV DN 16 - 40
ABMESSUNGEN
214-151

214-152

214-155

B22 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

214-156214-157

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Vakuumdurchführungen

Metallkeramikanschlüsse
Metallkeramikanschlüsse
Vakuumdurchführungen

EIGENSCHAFTEN• Qualitativ hochwertige Werkstoffe für wiederholtes
Ausheizen bis 400°C

BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.

3-kV-Anschluss214-1612-kV-Anschluss214-162

5-kV-Anschluss214-163

10-kV-Anschluss214-1643-kV-Anschluss
3 kV

2-kV-Anschluss
2 kV

5-kV-Anschluss
5 kV
Al2O3

10-kV-Anschluss
10 kV

Fe-Ni
Fe-Ni

Fe-Co
Edelstahl
304/1.4301

Fe-Ni
Edelstahl
304/1.4301

5

12

Fe-Co
Edelstahl
304/1.4301
400
5 × 10-11
25

TECHNISCHE DATENTypSpannung 1)
Isolator
Anschlussab
Ausheiztemperatur
Festigkeit
Gewicht
1)°C
mbar l/sg90

Basierend auf VDC 0110 für Luft und Oberflächenleckage in der Atmosphäre auf beiden Seiten.
Bis zu zweimal höhere Werte sind zulässig bei einem Druck von <10-4 mbar.

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B23

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Metallkeramikanschlüsse
ABMESSUNGEN





º

º

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

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B24 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

FLÜSSIGKEITSDURCHFÜHRUNGEN ISO-KF/CF-F | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Flüssigkeitsdurchführungen ISO-KF/CF-F

DN 40
DN 40
Flüssigkeitsdurchführungen ISO-KF/CF-F

EIGENSCHAFTEN• Für H2O und LN2• Wärmeisoliert• Speziell geeignet für sehr heiße und sehr kalte
Anwendungen
BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.

DN 40 ISO-KF Liquid214-101

DN 40 CF-F Liquid214-102

DN 40 ISO-KF Liquid
DN 40 ISO-KF
Geschweißt
Ø8×1
2
1 × 10-9
10-8 mbar ... 10 bar-200 ... +150
Edelstahl 304/1.4301
0,3

DN 40 CF-F Liquid
DN 40 CF-F
Geschweißt
Ø8×1
2
1 × 10-10
10-9 mbar ... 10 bar-200 ... +400
Edelstahl 304/1.4301
0,3

TECHNISCHE DATEN
Typ
Vakuumanschluss
Durchführung/Dichtung
RohrabmessungenAnzahl Rohre
Festigkeit
Druck
Temperaturbereich
Material
Gewichtmm
mbar l/s°C
kg

ABMESSUNGEN

214-101

214-102

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B25

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

DN 40

B26 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

SCHAUGLÄSER | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Schaugläser

DN 16 - DN 50 ISO-KF
DN 16 - DN
50 ISO-KF
Schaugläser

Average transmittance curve
Sapphire
KodialBorosilicate

EIGENSCHAFTEN• Breiter Sichtwinkel

BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.

DN 16 ISO-KF
Viewport
214-002

DN 25 ISO-KF
Viewport
214-003

DN 40 ISO-KF
Viewport
214-004

DN 16 ISO-KF
Viewport
DN16 ISO-KF

DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF
Viewport
Viewport
DN 25 ISO-KF
DN 40 ISO-KF
Borosilikatglas
FPM
Aluminium 6082
150
1 × 10-9
1 × 10-8 mbar ... 4 bar
3
3,8
20
30

DN 50 ISO-KF
Viewport
214-005

TECHNISCHE DATEN
Typ
Vakuumanschluss
Schauglas
Dichtung
FlanschAusheiztemperatur
Festigkeit
Druck (absolut)
Max. bei 150°C
Schauglasdicke
Gewicht°Cmbar l/s
bar
mm
g

15

DN 50 ISO-KF
Viewport
DN 50 ISO-KF

50

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B27

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | SCHAUGLÄSER

DN 16 - DN 50 ISO-KF
ABMESSUNGEN

214-005

ø41

ø26

214-004

ø52

214-003

ø16

214-002

10
10
10
10

Mounting

Claws, screws andclamping ring not included

B28 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

SCHAUGLÄSER | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Schaugläser

DN 63 - DN 160 ISO-K
DN 63 - DN
160 ISO-K
Schaugläser

Average transmittance curve
Sapphire
KodialBorosilicate

EIGENSCHAFTEN• Breiter Sichtwinkel

BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.1)
1)

DN 63 ISO-K Viewport
214-006

DN 100 ISO-KF Viewport
214-007

DN 160 ISO-K Viewport
214-008

DN 63 ISO-K Viewport
DN 63 ISO-K

DN 100 ISO-K Viewport
DN 100 ISO-K
Borosilikatglas
FPM
Aluminium 6082
150
1 × 10-9
1 × 10-8 mbar ... 2 bar
1
80,3

DN 160 ISO-K Viewport
DN 160 ISO-K

Pratzen nicht enthalten

TECHNISCHE DATEN
Typ
Vakuumanschluss
Schauglas
Dichtung
FlanschAusheiztemperatur
Festigkeit
Druck (absolut)
Max. bei 150°C
Schauglasdicke
Gewicht°Cmbar l/s
bar
mm
kg

6
0,2

10
0,4

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B29

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | SCHAUGLÄSER

DN 63 - DN 160 ISO-K
ABMESSUNGEN[mm]
214-006

214-007

Mounting

B30 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

214-008

SCHAUGLÄSER | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Schaugläser

DN 16 - DN 160 CF
DN 16 -Schaugläser
DN 160 CF

Average transmittance curve
Sapphire
KodialBorosilicate

EIGENSCHAFTEN• Schutzfenster• Mit Fe-Ni-Legierung als Übergangsmaterial

BESTELLINFORMATIONEN
Typ

DN 16 CF-F
Viewport

DN 40 CF-F
Viewport

DN 63 CF-F
Viewport

DN 100 CF-F
Viewport

DN 160 CF-F
Viewport

Schauglas
Schraubensatz

214-021213-416

214-022
Standard

214-023
Standard

214-024
Standard

214-025
Standard

Typ

DN 16 CF-F
Viewport

DN 40 CF-F
Viewport

DN 63 CF-F
Viewport

DN 100 CF-F
Viewport

DN 160 CF-F
Viewport

Vakuumanschluss
Schauglas
Dichtung
Flansch

DN 16 CF-F
Kodial-Glas

DN 40 CF-F
Kodial-Glas

DN 63 CF-F
DN 100 CF-F
Kodial-Glas
Kodial-Glas
Eisen/Nickel
Edelstahl
304/1.4301
400
5 × 10-11

DN 160 CF-F
Kodial-Glas

DN 40 CF-F
Viewport(Saphir)
214-032
Standard

TECHNISCHE DATEN

Ausheiztemperatur
Festigkeit°Cmbar l/s

DN 40 CF-F
Viewport(Saphir)
DN 40 CF-F
Saphir-Glas

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B31

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | SCHAUGLÄSER

DN 16 - DN 160 CFTyp

DN 16 CF-F
Viewport

Druck (absolut)
Min.
Max.
Max. bei 400°C
Schauglasdicke
Gewicht

mbar
bar
bar
mm
kg

1,5
0,04

DN 40 CF-F
Viewport

3
0,24

DN 63 CF-F
Viewport

DN 100 CF-F
Viewport

1 × 10-10
2
1
6
1,4

3,5
0,85

DN 160 CF-F
Viewport

DN 40 CF-F
Viewport(Saphir)

8
2,8

3
0,35

ABMESSUNGEN[mm]
214-022214-032

214-023

214-024

ø65

214-021

17.5

Mounting

B32 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

214-025

SCHAUGLÄSER | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Schaugläser

DN 63 - DN 160 ISO-F
DN 63 - DN
160 ISO-F
Schaugläser

Average transmittance curve
Sapphire
KodialBorosilicate

EIGENSCHAFTEN• Breiter Sichtwinkel

BESTELLINFORMATIONEN
TypSchauglas1)
Schutzglas, 5 Stck.
1)

DN 63 ISO-F
Viewport
214-016
214-046

DN 100 ISO-F
Viewport
214-017214-047

DN 160 ISO-F
Viewport
214-018
214-048

DN 63 ISO-F
Viewport
DN 63 ISO-F

DN 100 ISO-F
Viewport
DN 100 ISO-F

DN 160 ISO-F
Viewport
DN 160 ISO-F

Pratzen, Schrauben, Muttern und Unterlegscheiben nicht enthalten

TECHNISCHE DATEN
Typ
Vakuumanschluss
Material
Schauglas
Dichtung
FlanschZentrierring
Sprengring
Ausheiztemperatur
Festigkeit°Cmbar l/s

Borosilikatglas
FPM
Schwarz eloxiertes Aluminium 6082
Aluminium 6082
Edelstahl 304/1.4301
150
1 × 10-9

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B33

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | SCHAUGLÄSER

DN 63 - DN 160 ISO-F
Typ

DN 63 ISO-F
Viewport

Druck (absolut)
Max. bei 150°C
Dicke
Schauglas
Schutzglas
Gewicht

DN 100 ISO-F
Viewport
1 × 10-8mbar ... 2 bar
1

bar
mm
mm
kg

7,5
2,3
0,8

DN 160 ISO-F
Viewport

11
2,3
1,4

15
2,3
3

ABMESSUNGEN

214-017214-018

ø142

ø92

ø154

ø70

ø60

214-016

ø100

[mm]

20

22
Mounting

B34 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

30

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Vakuumdurchführungen

Vakuumkugellager
Vakuumkugellager
Vakuumdurchführungen

EIGENSCHAFTEN• Speziell geeignet für saubere Vakuumanwendungen
und extreme Restgasanforderungen• Mit Abdeckung (nicht scheuernde/berührungsarme
Abdichtung)• Mit Trockenschmierung• Lagerspiel

BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.

624
Kugellager
214-211605
Kugellager
214-212626
Kugellager
214-213608
Kugellager
214-2146000
Kugellager
214-2156001
Kugellager
214-216624
Kugellager

605
Kugellager

626
Kugellager

608
Kugellager

6000
Kugellager

6001
Kugellager

TECHNISCHE DATEN
TypLebensdauer1) (Umdrehungen)
Druck (absolut)
Betriebstemperatur2)
Material
Innenring, Außenring, Kugeln
Käfig
Beschichtung (Trockenschmierung)
Innenring, Außenring, Käfig
Drehzahl bei
20°C
300°C
Belastbarkeit 3)
Statische Tragzahl (Co)
Dynamische Tragzahl (C)Axiallast
Einbau empfohlen nach ISO
Gewicht
1)
2)
3)

mbar
°C

> 20 Mio.
1 × 10-12 ... 1 × 10-2-200 ... +300

AISI/DINAISI/DIN

Edelstahl – /1.4037
Edelstahl 430 / 1.4016
Wolfratherm®

U/min
U/min

5000
1500

4000
1500

3000
1000

2500
800

2000
500

1500
300

N
N

400
50
<<C
G6 / f6
3

400
50
<<C
G6 / f6
4

800
100
<<C
G6 / f6
8

1000
150
<<C
G6 / f6
13

1500
200
<<C
G6 / f6
20

2000
250
<<C
G6 / f625

g

Bei halber Last und >1000 U/min
Bei -200°C Reduzierung der Zähigkeit
Bei 20°C, halber Wert bei 300°C

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B35

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Vakuumkugellager
ABMESSUNGEN

[mm]

º







B36 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023



º

º

º

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º

º



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º

º

º



ºVAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

VakuumdurchführungenSchmiermittel und Abdichtmaterialien
SchmiermittelVakuumdurchführungenund Abdichtmaterialien

HOCHTEMPERATUR-SCHMIERMITTEL• Verhindert Festfressen vonEdelstahlschraubverbindungen unter
Atmosphärendruck selbst bei hohen Temperaturen• Effektiv für mindestens 10 Ausheizzyklen
BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.

C100
214-231TECHNISCHE DATEN
Typ
Temperaturbeständigkeit
In Verpackungseinheiten von

C 100
1000°C
28 g

DICHTUNGSMATERIAL• Zum Abdichten kleiner Lecks

BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.

CAF 4
214-233TECHNISCHE DATEN
Typ
Temperaturbeständigkeit
VersionIn Verpackungseinheiten von

°C
g

CAF 4
-40 – 200
Paste
100

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | B37

VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN | VAKUUMDURCHFÜHRUNGEN

Schmiermittel und Abdichtmaterialien
VAKUUMFETT/-ÖL• Für bewegliche Elastomerdichtungen• Niedriger Dampfdruck• Gutes Haftvermögen

BESTELLINFORMATIONEN
TypTeilenr.

Apezon M
214-236

Dow Corning
214-237

FU 090214-238

FM 090214-239

OL 090214-240

Apezon M
10 – 30

Dow Corning-40 – 200

FU 090-20 – 200

FM 090-60 – 300

OL 090-60 – 300

<10-8

<5 × 10-7<7 × 10-6
50 g
Silikonfett<10-12< 10-7
10 g
Fluoriertes Fett<10-12< 10-7
10 ml
Fluoriertes Öl

Gut

Gut

<10-12< 10-730 g
Fluoriertes Fett
mit MoS2
Gut/sehr gut

Sehr gut
Gut
Sehr gut

Sehr gut
Sehr gut
Gut

Sehr gut
Sehr gut
Gut

Sehr gut
Sehr gut
Gut

TECHNISCHE DATEN
Typ
Temperaturbeständigkeit
Dampfdruck bei
20°C
100°C
In Verpackungseinheiten vonMaterial
Schmierfähigkeit
Beständigkeit gegen
Oxidation
Chemikalien
Thermische Zersetzung

°C
mbar
mbar

25 g
Mineralisches
FettSehr gut

B38 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Gut

Vakuumanschlüsse

VAKUUMANSCHLÜSSE | INHALTSVERZEICHNIS

Vakuumanschlüsse
Technische Daten
Seals Materials & Pressure Ranges Technische Daten ......................................................................................................

C1

ISO-KF Kleinflanschkomponenten
Connection Elements ISO-KF Kleinflanschkomponenten ................................................................................................... C3
Seals ISO-KF Kleinflanschkomponenten ............................................................................................................................ C9
Flanges ISO-KF Kleinflanschkomponenten ........................................................................................................................ C19
Pipe Fittings ISO-KF Kleinflanschkomponenten ................................................................................................................. C21
Bellows/Hose with Flanges ISO-KF Kleinflanschkomponenten .......................................................................................... C27
Transition Pieces ISO-KF Kleinflanschkomponenten .......................................................................................................... C31
Hose, Hose Connection ISO-KF Kleinflanschkomponenten ............................................................................................... C37
ISO-K Klammerflanschkomponenten
Connection Elements ISO-K Klammerflanschkomponenten ............................................................................................... C41
Seals ISO-K Klammerflanschkomponenten ........................................................................................................................ C43
Flanges ISO-K Klammerflanschkomponenten .................................................................................................................... C47
Pipe Fittings ISO-K ............................................................................................................................................................. C49
Bellows/Hose with Flanges ISO-K Klammerflanschkomponenten ..................................................................................... C53
Transition Pieces ISO-K Klammerflanschkomponenten .................................................................................................... C55
Protective Lids ISO-K Klammerflanschkomponenten ........................................................................................................ C59
ISO-F Festflanschkomponenten
Flange Components ISO-F Festflanschkomponenten ........................................................................................................ C61
UHV CF Komponenten
Connection Elements UHV CF Komponenten ..................................................................................................................... C65
Seals UHV CF Komponenten .............................................................................................................................................. C67
Flanges UHV CF Komponenten .......................................................................................................................................... C71
Pipe Fittings UHV CF Komponenten ................................................................................................................................... C77
Bellows/Hose with Flanges UHV CF Komponenten ............................................................................................................ C81
Transition Pieces UHV CF Komponenten ........................................................................................................................... C83
Protective Lids UHV CF Komponenten ............................................................................................................................... C85

ii | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

TECHNISCHE DATEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Technische Daten

Dichtungsmaterialien & Druckbereiche
DichtungsmaterialienTechnische& Druckbereiche
Daten

DICHTUNGEN
DichtungsmaterialienElastomer
NBR
CR
FPM
MetallIndiumAluminium
KupferVersilbertes Kupfer

Temperatur

Wiederverwendbarkeit

°C
°C
°C

-30 - +90
-40 - +100
-15 - +150

Ja
Ja
Ja

°C
°C
°C
°C

-196 - +60-196 - +200
-196 - +200
-196 - +450

Ja
Nein
Nein
Nein

DRUCKBEREICH
Code-Bezeichnung
ISO-KF

Aluminium

Edelstahl

ISO-K
CF-F/R

Edelstahl
Edelstahl

DruckbereichFestigkeit

Zentrierung

Anschluss(mbar - bar)
10-7 - 2
10-7 - 5
10-7 - 10
10-8 - 2
10-8 - 5
10-8 - 10
10-8 - 2
10-12 - 1

(mbar l/s)
10-8
10-8
10-8
10-9
10-9
10-9
10-9
10-9

innen
außen
außen
innen
außen
außen
innen
─

Spannring
Spannring
Spannelement / Kettenklemme
Spannring
Spannring
Spannelement / Kettenklemme
Spannschraube, Klauenklemmen
Schrauben

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C1

VAKUUMANSCHLÜSSE

Dichtungsmaterialien & Druckbereiche

C2 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-KF Kleinflanschkomponenten

Verbindungselemente
Verbindungselemente
ISO-KF Kleinflanschkomponenten

SPANNRING MIT FLÜGELMUTTER

Aluminium 380.0
Stahl vernickelt
Zinklegierung
vernickelt

DN ... ISO-KF
10 – 16
20 – 25
32 – 40
50

Teilenr.
211-001
211-002
211-003211-004

A
45
55
70
95

B
61
72
90
123

C
16
16
18
25

C

A

Spannringhälfte:
Schraube:
Mutter:B

SPANNRING MIT SECHSKANTMUTTER
DN ... ISO-KF
10 – 16
20 – 25
32 – 40
50

Teilenr.
211-611211-612211-613211-614

A
45
55
70
95

B
61
72
90
123

C
16
16
18
25

A

Aluminium 380.0
Stahl vernickelt

C

Spannringhälfte:
Schraube undMutter:B

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C3

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Verbindungselemente
SCHNELLSPANNRING

Stahl
Aluminium 380.0
Polyamid

Temperatur≤80°C

DN ... ISO-KF
10 – 16
20 – 25
32 – 40

Teilenr.
211-005
211-006
211-007

A
52
61
75

B
70
81
98

C
16
16
18

C

A

Feder:
Spannringhälfte:
Hebelarm:

B

SCHNELLSPANNRING GANZMETALL
DN ... ISO-KF
Feder:
Spannringhälfte:
Hebelarm:

Edelstahl
Aluminium 380.0
Aluminium–/3.2582

10 – 16
20 – 25
32 – 40

Teilenr.
<b />211-036
211-037
211-038

A

B

C

53
61
78

71
82
99

16
16
18

Temperatur

CA≤150°CB

C4 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Verbindungselemente
SPANNKETTE

Kettenglied:
Schraube & Mutter& Bolzen:

Teilenr.
211-021211-022211-023
211-024

A
72
82,5
88
119

B
52
62
77
95

Nm1)
2,5 / 2,5
3,5 / 3
5/3
6/3

C
18
18
18
20

Anzugsmoment Aluminium max. / Elastomer max.

A

1)

Aluminium 6081
Stahl 1.6582 /teniferbehandelt

DN ... ISO-KF
10 – 16
20 – 25
32 – 4050CB

SPANNELEMENT
A
52
75
90
115

C
18
20
23
28

A

Aluminium 380.0
Edelstahl
Stahl verzinkt

Teilenr.
211-008
211-009
211-010211-011

C

Spannelement:
Schraube:
Mutter:

DN ... ISO-KF
10 – 16
20 – 25
32 – 4050

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C5

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Verbindungselemente
SCHLAUCHSCHELLEN SPANNRING
DN ... ISO-KF
10 – 16
20 – 25
32 – 40

Teilenr.
211-016
211-017
211-018

A
42
52
67

B
54
64
79

C
16
16
16

C

A

Spannringhälfte:
Aluminium 380.0
Band:
Edelstahl
Schraube, Mutter & Stahl verzinkt
Gewinde:BÜBERWURF-HALBSCHALEN (BULKHEAD) MIT METRISCHEN SCHRAUBEN

Spannelement:
Schraube:

Unterlegscheibe:

Aluminium 6082
10 – 16
Sechskantschraube 20 – 25;
32 – 40
DIN933, A2,50
M5x20;
versilbert
Unterlegscheibe
DIN 125 A
A2, 5,3/10x1

Teilenr.

A

211-541 38,1
48
211-54262
211-543
211-544 82,55

B

C

D

E

51
61
75
95

22
32
47
62

9,5
9,5
9,5
10

5,3
5,3
5,3
5,3

Schr
aube
n
6
Stck.
6
Stck.
6
Stck.
8
Stck.

C
E
D

DN ... ISO-KF

A
B

C6 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

VerbindungselementeÜBERWURF-HALBSCHALEN (BULKHEAD) MIT ZOLLSCHRAUBEN

Unterlegscheibe:

Aluminium 6082
Zylinderschraube;
Inox, 10-32
UNF × 5/8'';
versilbert
Unterlegscheibe
DIN 125 A
A2, 5,3/10x1

Teilenr.

A

10 – 16
20 – 25
32 – 4050

211-545 38,1
48
211-54662
211-547
211-548 82,55

B

C

D

E

51
61
75
95

22
32
47
62

9,5
9,5
9,5
10

5,3
5,3
5,3
5,3

Schr
aube
n
6
Stck.
6
Stck.
6
Stck.
8
Stck.

C
E
D

Spannelement:
Schraube:

DN ... ISO-KF

A
B

PRATZE MIT SECHSKANTSCHRAUBE
A

B

C

D

E

10 – 50

211-015

19,5

11,5

12,5

20

14

Satz
mit
4
Stck.

A
B

M6

E

Aluminium 6081
Edelstahl

Teilenr.

D
C

Greifer:
Schraube &Unterlegscheibe:

DN ... ISO-KF

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C7

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Verbindungselemente
PRATZE MIT INNENSECHSKANTSCHRAUBE

Greifer:
Schraube:

Aluminium 6081
Edelstahl

DN ... ISO-KF

Teilenr.

A

B

C

D

E

10 – 50

211-040

19,5

11,5

12,5

20

14

Satz
mit
4
Stck.

* empfohlen für MAG / MPG

A

D
C

B

E

M6

C8 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-KF Kleinflanschkomponenten

DichtungenDichtungen
ISO-KF Kleinflanschkomponenten

ZENTRIERRING ALUMINIUM

Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer NBR
ng:

Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer EPDM
ng:

Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer VMQ (Silikon)ng:Teilenr.
211-051
211-052
211-053
211-054
211-055
211-056
211-057
211-058
211-059
211-060
211-061
211-062
211-063
211-064
211-651
211-652
211-653
211-654
211-655
211-656
211-657
211-658
211-659
211-660
211-661
211-662
211-663
211-664
211-665
211-666
211-667
211-668
211-669
211-670
211-671

A
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52

B
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50

C
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8

D
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9

C

øB

Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer FPM
ng:

DN … ISO-KF
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50

øA

Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer CRng:

D

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C9

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Dichtungen
ZENTRIERRING EDELSTAHL 303

Ring: Edelstahl 303/1.4305
Dichtu Elastomer NBR
ng:

Ring: Edelstahl 303/1.4305
Dichtu Elastomer EPDM
ng:

Ring: Edelstahl 303/1.4305
Dichtu Elastomer VMQ (Silikon)ng:Teilenr.
211-672
211-673
211-674
211-675
211-676
211-677
211-678
211-065
211-066
211-067
211-068
211-069
211-070
211-071
211-679
211-680
211-681211-682
211-683
211-684
211-685
211-686
211-687
211-688
211-689
211-690211-691
211-692
211-693
211-694
211-695
211-696211-697
211-698
211-699

A
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52

C10 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

B
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50

C
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8

D
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9

C

øB

Ring: Edelstahl 303/1.4305
Dichtu Elastomer FPM
ng:

DN … ISO-KF
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50

øA

Ring: Edelstahl 303/1.4305
Dichtu Elastomer CRng:

DISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Dichtungen
ZENTRIERRING EDELSTAHL 316L

Ring: Edelstahl 316L/1.4404
Dichtu Elastomer NBR
ng:

Ring: Edelstahl 316L/1.4404
Dichtu Elastomer EPDM
ng:

Ring: Edelstahl 316L/1.4404
Dichtu Elastomer VMQ (Silikon)ng:Teilenr.
211-735
211-736
211-737
211-738
211-739
211-740
211-741
211-742
211-743
211-744
211-745
211-746
211-747
211-748211-749
211-750
211-751
211-752
211-753
211-754
211-755
211-756
211-757
211-758
211-759
211-760
211-761
211-762
211-763
211-764
211-765
211-766
211-767
211-768
211-769

A
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52

B
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50

C
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8

D
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9

C

øB

Ring: Edelstahl 316L/1.4404
Dichtu Elastomer FPM
ng:

DN … ISO-KF
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50

øA

Ring: Edelstahl 316L/1.4404
Dichtu Elastomer CRng:

D

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C11

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Dichtungen
ZENTRIERRING OHNE O-RING

Edelstahl 316L/1.4404

Teilenr.
201-301
201-302201-303201-304
201-305
201-306
201-307201-308
201-309201-310201-311201-312201-313201-314201-375
201-376201-377
201-378
201-379
201-380
201-381

DN … ISO-KF
10-16
20-25
32-40
50
10-16
20-25
32-40
50
10-16
20-25
32-40
50
10-16
20-25
32-40
50
10-16
20-25
32-40
50

Teilenr.
211-081211-082
211-083
211-084
211-085
211-086
211-087
211-088
211-700
211-701
211-702
211-703211-704
211-705
211-706
211-707
211-708
211-709
211-710211-711

A
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52
12
17
22
26
34
41
52

B
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50

C
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8

C

øB

Edelstahl 303/1.4305

DN … ISO-KF
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50

øA

Aluminium 6026/EN AW-6026 T6

EXTERNER ZENTRIERRING

Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer NBR
ng:
Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer EPDM
ng:
Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer VMQ (Silikon)ng:

C12 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

B
30,2
40,2
55,2
75,2
30,2
40,2
55,2
75,2
30,2
40,2
55,2
75,2
30,2
40,2
55,2
75,2
30,2
40,2
55,2
75,2

C
7
7
7
7
7
7
7
7
7
7
7
7
7
7
7
7
7
7
7
7

D
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9

C

øB

Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer FPM
ng:

A
32
42
57
77
32
42
57
77
32
42
57
77
32
42
57
77
32
42
57
77

øA

Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer CRng:

DISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Dichtungen
REDUZIER-ZENTRIERRING

Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer NBR
ng:
Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer EPDM
ng:
Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer VMQ (Silikon)ng:
Ring: Edelstahl 303/1.4305
Dichtu Elastomer CR
ng:
Ring: Edelstahl 303/1.4305
Dichtu Elastomer FPM
ng:
Ring: Edelstahl 303/1.4305
Dichtu Elastomer NBR
ng:
Ring: Edelstahl 303/1.4305
Dichtu Elastomer EPDM
ng:
Ring: Edelstahl 303/1.4305
Dichtu Elastomer VMQ (Silikon)ng:Teilenr.
211-072
211-073
211-074
211-075
211-076
211-077
211-712211-713211-714
211-715
211-716
211-717
211-718
211-719211-720
211-721211-722211-723
211-078
211-079
211-080
211-724
211-725
211-726
211-727
211-728
211-729
211-730
211-731211-732

A
17
26
41
17
26
41
17
26
41
17
26
41
17
26
41
17
26
41
17
26
41
17
26
41
17
26
41
17
26
41

B
10
20
32
10
20
32
10
20
32
10
20
32
10
20
32
10
20
32
10
20
32
10
20
32
10
20
32
10
20
32

C
12
22
34
12
22
34
12
22
34
12
22
34
12
22
34
12
22
34
12
22
34
12
22
34
12
22
34
12
22
34

D
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8
8

E
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9

DN … ISO-KF
10
16
25
40
50

Teilenr.
211-089
211-090
211-092
211-094
211-095

A
12
17
26
41
52

B
8
14
23
38
48

C
8
8
8
8
8

D
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9

E1)
0,5
1,2
4,2
11,3
18,1

C

øB

Ring: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer FPM
ng:

DN … ISO-KF
10 / 1620 / 25
32 / 40
10 / 1620 / 25
32 / 40
10 / 1620 / 25
32 / 40
10 / 1620 / 25
32 / 40
10 / 1620 / 25
32 / 40
10 / 1620 / 25
32 / 40
10 / 1620 / 25
32 / 40
10 / 1620 / 25
32 / 40
10 / 1620 / 25
32 / 40
10 / 1620 / 25
32 / 40

øARing: Aluminium 6026
Dichtu Elastomer CRng:

D

ZENTRIERRING MIT FILTER

Ring: Edelstahl 303/1.4305
Dichtu Elastomer FPM
ng:
Edelstahl 316L/1.4404
Filter:C

Luft bei 20°C, 200 mbar Differenzdruck in m3/h

øA

1)

øB

Porengröße: 0,02 mm
E: Durchfluss m3/h

D
Recommended gas flow direction

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C13

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Dichtungen
ZENTRIERRING MIT FEINFILTER

Innenring:Sicherungsri
ng:Dichtung:
Filter:Edelstahl 303/1.4305
Edelstahl 304/1.4301
Elastomer FPM
Edelstahl 316L/1.4404

DN … ISO-KF
10
16
25
40
50

Teilenr.
211-096
211-097
211-098
211-099
211-100

A
12
17
26
41
52

B
9
13
22
35,5
45,7

C
8
8
8
8
8

D
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9

C

øA

øB

Porengröße: 0,004 mm
Abscheidungsgrad bei 0,001 mm bis zu 98%

D

ZENTRIERRING MIT DROSSEL

Ring:
Innenteile:
Dichtung:

Aluminium 6082
Edelstahl 301/1.4310
Edelstahl 303/1.4305
Elastomer FPM

DN … ISO-KF
16
25
40
50

Teilenr.
211-622211-623
211-624
211-625

A
17
26
41
52

B
13
18
30
42

C
8
8
8
8

D
3,9
3,9
3,9
3,9

E
6,2
9
14,3
19,9
E

øA

øB

C

D
Recommended gas flow direction

C14 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Dichtungen
ZENTRIERRING MIT BAFFLE

Ring: Edelstahl 303 / 1.4305
Baffle: Edelstahl 301 / 1.4310
Dichtu Elastomer FPM
ng:

DN … ISO-KF
20 – 25

Teilenr.
211-113

A
26

B
25

C
8

øA

øB

C

D
Recommended gas flow direction

O-RING

Elastomer FPM

DN … ISO-KF
10
16
20
25
32
40
50
10
16
20
25
32
40
50

Teilenr.
211-146
211-147
211-148211-149
211-150
211-151
211-152
211-153
211-154
211-155
211-156
211-157
211-158
211-159

A
15
18
25
28
40
42
55
15
18
25
28
40
42
55

B
5
5
5
5
5
5
5
5
5
5
5
5
5
5

Satz mit
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.

BøA

Elastomer CR

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C15

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Dichtungen
INDIUM-DICHTUNG

Edelstahl 304/1.4301
Aluminium 5012
Indium

DN … ISO-KF
10-16
20-25
32-40
50

Teilenr.
211-162
211-163
211-164
211-165

A
32
42
57
77

B
18
28
43
63

C
30
40
55
75

D
3,9
3,9
3,9
3,9

E
7
7
7
7

Betriebstemperatur -196° … +60°C

E

øA

øB
øC

Innenring:
Außenring:
Dichtung:D

ALUMINIUMDICHTUNG

Aluminium gehärtet 6082

DN … ISO-KF
10-16
20-25
32-40
50

Teilenr.1)
211-167
211-168
211-169
211-170

A
25,6
35,6
50,6
65,6

B
19,6
29,6
44,6
59,6

C
4,5
4,5
4,5
4,5

D
22,6
32,6
47,6
62,6

Satz mit 3 StückøBøD

für Stützring siehe gesonderte Bestellinformationen "Stützring für Aluminiumdichtung"

øA

1)

C

C16 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

DichtungenSTÜTZRING FÜR ALUMINIUMDICHTUNG

Edelstahl 301/1.4310

Teilenr.1)
211-171
211-172
211-173
211-174

A
32
42
57
77

B
7
7
7
7
B

für Aluminiumdichtung siehe gesonderte Bestellinformationen "Aluminiumdichtung"øA1)

DN … ISO-KF
10-16
20-25
32-40
50

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C17

VAKUUMANSCHLÜSSE

Dichtungen

C18 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-KF Kleinflanschkomponenten

FlanscheFlansche
ISO-KF Kleinflanschkomponenten

BLINDFLANSCH

Aluminium 6082

Edelstahl 304/1.4301

Edelstahl 316L/1.4404

DN ... ISO-KF
10
16
25
40
50
10
16
25
40
50
10
16
25
40
50

Teilenr.
211-176
211-177
211-178
211-179
211-180
211-181211-182
211-183
211-184
211-185
211-791
211-792
211-793
211-794
211-795

DN ... ISO-KF
10
16
25
40
50
10
16
25
40
50
10
16
25
40
50

Teilenr.
211-201
211-202211-203211-204
211-205
211-211211-212211-213211-214211-215
211-826
211-827
211-828
211-829
211-830

A
5
5
5
5
6
5
5
5
5
6
5
5
5
5
6

FLANSCH MIT ROHR, KURZ

Edelstahl 304/1.4301

Edelstahl 316L/1.4404

A
20
20
20
20
20
20
20
20
20
20
20
20
20
20
20

B
12
16
26
41
51
12
16
26
41
50
12
16
26
41
50

C
16
20
30
45
55
16
20
30
45
54
16
20
30
45
54

øB
øC

Stahl 1.0037

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C19

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

FlanscheFLANSCH MIT ROHR, MITTEL

Edelstahl 316L/1.4404

DN ... ISO-KF
10
16
25
40
50
10
16
25
40
50

Teilenr.
211-221211-222211-223
211-224
211-225
211-831211-832
211-833
211-834
211-835

A
30
30
30
30
30
30
30
30
30
30

B
12
16
26
41
50
12
16
26
41
50

C
16
20
30
45
54
16
20
30
45
54

øB
øC

Edelstahl 304/1.4301

A

FLANSCH MIT ROHR, LANG

Edelstahl 304/1.4301

Edelstahl 316L/1.4404

DN ... ISO-KF
10
16
25
40
50
10
16
25
40
50
10
16
25
40
50

Teilenr.
211-206
211-207211-208211-209211-210211-216
211-217211-218
211-219211-220211-836
211-837
211-838
211-839
211-840

A
70
70
70
70
70
70
70
70
70
70
70
70
70
70
70

B
12
16
26
41
51
12
16
26
41
50
12
16
26
41
50

C
16
20
30
45
55
16
20
30
45
54
16
20
30
45
54

øB
øC

Stahl 1.0037

A

C20 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-KF Kleinflanschkomponenten

Rohrbauteile
Rohrbauteile
ISO-KF Kleinflanschkomponenten

BOGEN 90° ALUMINIUM
DN ... ISO-KF
10
16
25
40

Teilenr.
211-251
211-252
211-253
211-254

A
30
40
50
65

B
12
16
25
39

A

øB

Aluminium 6082

A

BOGEN 90° EDELSTAHL
Teilenr.
211-286
211-287
211-288
211-289
211-290

A
30
40
50
65
70

B
9
15
25
40,5
49

øB

DN ... ISO-KF
10
16
25
40
50

A

Edelstahl 304/1.4301

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C21

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Rohrbauteile
BOGEN 45°
Teilenr.

A

B

C

211-307211-308211-309

13,6
16,7
15,1

55
68,8
87,7

15
25
37

A

B

45°

A

Edelstahl 304/1.4301

DN ... ISOKF
16
25
40

øC

T-STÜCK
Teilenr.
211-261
211-262
211-263
211-264
211-291
211-292
211-293211-294
211-295

A
30
40
50
65
30
40
50
65
70

B
60
80
100
130
60
80
100
130
140

C
12
16
25
39
12
16
25
40,5
53

A

Edelstahl 304/1.4301

DN ... ISO-KF
10
16
25
40
10
16
25
40
50

øC

Aluminium 6082

A
B

C22 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Rohrbauteile
T-REDUZIERSTÜCK
DN ... ISO-KF
25 / 1640 / 1640 / 25
50 / 1650 / 25
50 / 40

Teilenr.
211-316
211-317211-318
211-319211-320211-321

A
50
65
65
70
70
70

B
100
130
130
140
140
140

C
40
40
50
50
65
65

C

Edelstahl 304/1.4301

A
B

KREUZSTÜCK
A
30
40
50
65
30
40
50
65
70

B
60
80
100
130
60
80
100
130
140

C
12
16
25
39
12
16
25
40,5
53

øC

Teilenr.
211-266
211-267
211-268
211-269
211-296211-297211-298
211-299211-300

B

Edelstahl 304/1.4301

DN ... ISO-KF
10
16
25
40
10
16
25
40
50

A

Aluminium 6082

A
B

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C23

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Rohrbauteile
REDUZIERKREUZSTÜCK

Aluminium 6082

Edelstahl 304/1.4301

DN ... ISO-KF
25 / 1640 / 16

Teilenr.
211-271
211-272

A
35
40

B
70
80

C
35
45

D
70
90

E
25
39

F
16
16

25 / 1640 / 1650 / 16

211-301
211-302211-303

35
40
50

70
80
100

35
45
50

70
90
100

25
40,5
53

17
16
16
DN 016 ISO-KF

A

D

øE

øF

A
DN 016 ISO-KF
B

ZWISCHENSTÜCK

Aluminium 6082

Teilenr.
211-227
211-228
211-229
211-277
211-278
211-599211-279
211-280

A
80
100
130
80
100
76,2
130
140

B
16
25
40
16
25
40,5
40,5
53

øB

Edelstahl 304/1.4301

DN ... ISO-KF
16
25
40
16
25
40
40
50

A

C24 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Rohrbauteile
REDUZIERSTÜCK

Edelstahl 304/1.4301

DN ... ISO-KF
25 / 1640 / 1640 / 25
50 / 40
25 / 1640 / 1640 / 25
50 / 1650 / 25
50 / 40

Teilenr.
211-231211-232
211-233
211-234
211-281211-282
211-283
211-323
211-324
211-284

A
40
40
40
40
40
40
40
40
40
40

B
16
16
25
40
16
16
26
16
26
40

øB

Aluminium 6082

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C25

VAKUUMANSCHLÜSSE

Rohrbauteile

C26 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-KF Kleinflanschkomponenten

Bälge/Schläuche mit FlanschBälge/Schläuche
mit Flansch
ISO-KF
KleinflanschkomponentenBÄLGEFlansche:
Bälge:

Edelstahl 304/1.4301
Edelstahl 316Ti/1.4571

Max. Innendruck: 4 bar
A = unbelastete Länge
D = max. Abweichung von Achse
E = seitliche Verschiebung

DN ... ISO-KF
10
16
25
40
50

Teilenr.
211-326
211-327
211-328
211-329
211-330

A
70
70
80
100
100

B
3,5
6,4
8
11
10

C
3
4,1
5
7
6

D
23°
21°
17°
15°
15°

E
5
4
3,5
7
8

A

B

C

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C27

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Bälge/Schläuche mit Flansch
METALLSCHLAUCH, HOCHFLEXIBEL

Edelstahl 304
Edelstahl 316L/1.4404

Teilenr.

A

B

C

211-331211-332
211-333
211-334
211-335
211-336
211-337
211-338
211-531211-532
211-339
211-340
211-341
211-342
211-533
211-534
211-343
211-344
211-345
211-346
211-535
211-536
211-347
211-348211-349
211-350

250
500
750
1000
250
500
750
1000
1500
2000
250
500
750
1000
1500
2000
250
500
750
1000
1500
2000
250
500
750
1000

100
100
100
100
70
70
70
70
70
70
100
100
100
100
100
100
130
130
130
130
130
130
200
200
200
200

17
17
17
17
50
50
50
50
50
50
60
60
60
60
60
60
100
100
100
100
100
100
130
130
130
130

B = Radius für mehrfaches Biegen
C = Radius für einmaliges Biegenmax. Innendruck 4 bar

C28 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

A

B/C

Flansche:Bälge:

DN ... ISOKF
10
10
10
10
16
16
16
16
16
16
25
25
25
25
25
25
40
40
40
40
40
40
50
50
50
50

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Bälge/Schläuche mit Flansch
METALLSCHLAUCH, FLEXIBEL

Edelstahl 316/(304)
Edelstahl 316L/(316Ti)

DN ... ISO-KF
10
10
10
10
16
16
16
16
16
16
25
25
25
25
25
25
40
40
40
40
40
40

Teilenr.
211-851
211-852
211-853
211-854
211-857
211-858
211-859
211-860
211-861
211-862
211-863
211-864
211-865
211-866
211-867
211-868
211-869
211-870
211-871
211-872
211-873
211-874

A
250
500
750
1000
250
500
750
1000
1500
2000
250
500
750
1000
1500
2000
250
500
750
1000
1500
2000

B
40
40
40
40
60
60
60
60
60
60
115
115
115
115
115
115
149
149
149
149
149
149

A

B/C

Flansche:Bälge:

B = Radius für einmaliges Biegenmax. Innendruck 4 bar

PVC-SCHLAUCH

PVC mit eingegossener
Stahlspirale
Aluminium 6082
Edelstahl 430

DN ... ISO-KF
16
16
16
25
25
25
25
40
40

Teilenr.
211-406
211-407211-509211-408211-409211-412211-413211-410211-411

A
500
1000
1500
500
1000
2000
5000
500
1000

B
130
130
130
200
200
200
200
260
260

C
65
65
65
100
100
100
100
130
130

A

B/C

Schlauch:
Nippel:Schlauchs
chelle:B = Radius für mehrfaches Biegen
C = Radius für einmaliges Biegen

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C29

VAKUUMANSCHLÜSSE

Bälge/Schläuche mit Flansch

C30 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-KF KleinflanschkomponentenÜbergangsstückeÜbergangsstücke
ISO-KF Kleinflanschkomponenten

ADAPTER ISO-KF/ISO-K

Aluminium 6082
Edelstahl 303/1.4305

ISO-KF/ISO-K
40 / 63
50 / 63
40 / 63
50 / 63
40 / 100
25 / 63

Teilenr.
212-171
212-172
212-173212-174
212-175
212-176

A
40
45
40
45
40
50

A

ADAPTER ISO-KF/ISO-CF-F
ISO-KF/CF-F
16 / 1625 / 16
16 / 40
25 / 40
40 / 40
40 / 63
40 / 100

Teilenr.
213-251
213-252
213-254
213-255
213-256
213-259
213-262

A
35
35
30
30
50
35
50

B
16
16
16
26
37
41
41

øB

Edelstahl 304L/1.4306

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C31

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Übergangsstücke
ADAPTER ISO-KF/VCR FEMALE

Flansc Edelstahl 304/1.4301
h:
Edelstahl 316L/1.4435
Mutter:

ISO-KF/VCR
16 / ¼ Zoll
25 / ¼ Zoll
25 / ½ Zoll
40 / ¾ Zoll

Teilenr.
211-359
211-480
211-360
211-361

A
35,8
35,8
40,6
53,3

Schlüsselweite in ZollA

ADAPTER ISO-KF/VCR MALE

Flansc Edelstahl 304/1.4301
h:
Edelstahl 316L/1.4435
Mutter:

ISO-KF/VCR
16 / ¼ Zoll
25 / ¼ Zoll
25 / ½ Zoll
40 / ¾ Zoll

Teilenr.
211-362
211-481211-363
211-364

A
35,8
35,8
40,6
53,3

Schlüsselweite in ZollA

C32 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Übergangsstücke
ADAPTER ISO-KF/SWAGELOK®

Flansc Edelstahl 304/1.4301
h:
Edelstahl 316L/1.4435
Mutter:

1)
2)

ISO-KF/
Swagelok®
16 / 6 mm
25 / 10 mm
40 / 16 mm
16 / ⅛ Zoll
25 / ¼ Zoll
40 / ¼ Zoll
40 / ½ Zoll

Teilenr.

A

B

211-356 1)
211-357 1)
211-358 1)
211-476 2)
211-477 2)
211-478 2)
211-479 2)

37
45
53
35
37
37
47

15,3
17,2
24,4
12,7
15,5
15,5
23

B

Schlüsselweite metrisch (SI)
Schlüsselweite in ZollA

GLASROHRANSCHLUSS
DN ... ISO-KF
1040

Teilenr.
211-351
211-353

A
50
65

B
8
22

C
10
26

D
30
45

øB
øC

Flansch: Aluminium 6082
Dichtung Elastomer FPM:
Glas Pyrex
Rohr:

D
A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C33

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Übergangsstücke
EINSCHRAUBFLANSCH

Flansch: Edelstahl 303/1.4305
Dichtung Elastomer FPM:

ISO-KF/DN
16 / M16x1,5
10 / G ⅜ Zoll
16 / G ½ Zoll
25 / G 1 Zoll
40 / G 1 ½ Zoll

Teilenr.
211-372
211-366
211-367
211-368
211-369

A
42
35
35
45
50

B
11,5
15
15
25
30

C
M16x1,5G ⅜ Zoll
G ½ Zoll
G 1 Zoll
G1½
Zoll

D
10,5
12
16
25
41

Schlüsselweite metrisch (SI)

øD
øC

B

A

ANSCHRAUBFLANSCH

Flansch: Edelstahl 303/1.4305
Dichtung Elastomer FPM:

ISO-KF/DN
10 / G ⅜ Zoll
16 / G ½ Zoll
25 / G 1 Zoll
40 / G 1 ½ Zoll

Teilenr.
211-376
211-377
211-378
211-379

A
35
35
45
50

B
15
15
25
30

C
G ⅜ Zoll
G ½ Zoll
G 1 Zoll
G1½
Zoll

D
10
15
24
38

Schlüsselweite metrisch (SI)

øD
øC

B

A

C34 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Übergangsstücke
ADAPTER ISO-KF/NPT FEMALE
ISO-KF/NPT
16 / ⅛ Zoll
16 / ¼ Zoll
25 / ⅛ Zoll
25 / ¼ Zoll
25 / ½ Zoll
25 / 1 Zoll
40 / ¼ Zoll
40 / ½ Zoll
40 / 1 Zoll

Teilenr.
211-566
211-567
211-569
211-570
211-571
211-572
211-574
211-575
211-576

A
19
19
19
19
26
42
19
26
26

B
10
13
10
13
18
24
13
18
23

C
12
15
12
15
25
25
15
25
29

D
⅛-27 NPT¼-18 NPT⅛-27 NPT¼ -18 NPT½-14 NPT
1-11 ½ NPT¼ -18 NPT
½ -14 NPT
1-11 ½ NPT

B

Schlüsselweite in ZolløDøC

Edelstahl 303 / 1.4305

A

ADAPTER ISO-KF/NPT MALE
Teilenr.
211-551
211-552
211-554
211-555
211-556
211-557
211-559
211-560
211-561
211-562
211-563
211-564

A
40
40
40
40
50
60
40
50
60
50
50
50

B
17
22
17
22
30
32
21
30
33
31,5
28
27

C
5
7
5
7
14
25
7
14
25
32
32
40

D
⅛-27 NPT¼-18 NPT⅛-27 NPT¼-18 NPT½ -14 NPT
1-11 ½ NPT¼-18 NPT½-14 NPT
1-11 ½ NPT
1¼-11 ½ NPT
1 ½-11 ½ NPT
2-11 ½ NPT

BøDISO-KF/NPT
16 / ⅛ Zoll
16 / ¼ Zoll
25 / ⅛ Zoll
25 / ¼ Zoll
25 / ½ Zoll
25 / 1 Zoll
40 / ¼ Zoll
40 / ½ Zoll
40 / 1 Zoll
40 / 1 ¼ Zoll
40 / 1 ½ Zoll
40 / 2 ZolløC

Edelstahl 303 / 1.4305

Schlüsselweite in ZollA

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C35

VAKUUMANSCHLÜSSE

Übergangsstücke

C36 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-KF Kleinflanschkomponenten

Schlauch, Schlauchanschluss
Schlauch,
Schlauchanschluss
ISO-KF
Kleinflanschkomponenten

SCHLAUCHADAPTER 90°
A
40
50
65

B
40
50
65

C
16
25
40

D
13
22
37

A

øC

Teilenr.
211-257
211-258
211-259

øD

DN ... ISO-KF
16
25
40
C = Nennanschluss für Manschette / Schlauch
Aluminium 6082

B

SCHLAUCHADAPTER FÜR GUMMISCHLAUCH

Aluminium 6082

Edelstahl 303

DN ... ISO-KF
16
25
40
16
25
40

Teilenr.
211-387
211-388
211-389
211-392
211-393
211-394

A
40
40
40
40
40
40

B
7
7
7
7
7
7

C
12
12
12
12
12
12

øB
øC

C = Nennanschluss für SchlauchA

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C37

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Schlauch, Schlauchanschluss
SCHLAUCHANSCHLUSS
A
40
40
40
40

B
13
13
22
37

C
16
16
25
40

øC

Teilenr.
211-401
211-402
211-403211-404

øB

DN ... ISO-KF
25
16
25
40
C = Nennanschluss für Manschette / Schlauch
Aluminium 6082

A

MANSCHETTE MIT SCHLAUCHSCHELLE

Schlauchs Edelstahlchelle:Manschett Elastomer CR
e:Max. Innendruck: 1 bar

DN ... ISO-KF
16
25
40

Teilenr.
211-417
211-418
211-419

A
58
60
64

B
7
9
13

C
14
16
20

D
16
25
40

E
44
50
68

A

C38 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

øE

øD

B–C

ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Schlauch, Schlauchanschluss
SCHLAUCHSCHELLE

Edelstahl 430

DN ... ISO-KF
16
25
40

Teilenr.
211-461
211-462
211-463

A
13
19
26

B
32
44
76

A–

B

PVC-SCHLAUCH
DN ... ISO-KF
16
25
40

Teilenr.
211-442
211-443
211-444

DN ... ISO-KF
10
16
20

Teilenr.
211-451
211-452
211-453

A
22
33
49

B
16
25
40

C
130
200
260
Cm

in

für Vakuumanwendungen
Längenangabe in MeternøBøA

Mit eingegossener Spirale

Für Vakuumanwendungen
Naturkautschuk NR

A
17
25
32

B
7
10
16

øB
øA

GUMMISCHLAUCH

Längenangabe in Metern
Härte: 45 ± 5 Shore A
Temperatur: -30 … +75°C

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C39

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-KF KLEINFLANSCHKOMPONENTEN

Schlauch, Schlauchanschluss
SCHUTZDECKEL
DN ... ISO-KF
10-16
20-25
32-40
50

Teilenr.
211-427
211-428
211-429
211-430

A
32
42
57
77

B
29
39
54
74

C
7,5
7,5
7,5
7,5

øB
øA

Polyethylen

C

C40 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-K Klammerflanschkomponenten

Verbindungselemente
Verbindungselemente
ISO-K Klammerflanschkomponenten

Edelstahl 316

1)

Teilenr.1)

A

B

C

63-250320-500
630
63-250320-630

212-225212-226212-227212-228212-240

60
78
88
61
82

17
27
31
18
29

27
39
49
28
47

Gewindeg
röße
M10
M12
M12
M10
M12

Satz mit 4 Stück

A

Stahl verzinkt 1045

DN ... ISO-K

B–C

KLAMMERSCHRAUBENPRATZE FÜR GRUNDPLATTE OHNE DICHTNUT

Pratze: Stahl verzinkt 1045
Schraub Stahl verzinkt 1045e:

DN ... ISO-K

Teilenr.1)

A

B

C

63-100160-250
320-500
630

212-231212-232
212-233
212-234

22,5
23
36,5
41,5

35
35
50
55

13,9
13,9
20,6
25,6

Teilenr.1)

A

B

C

212-235
212-236212-237212-233

18,6
19
31
36,5

30
35
45
50

10
10
15
20,6

Gewinde
größe
M8
M10
M12
M12
B

1)

C

A

Flansch und Grundplatte ohne Dichtnut
Satz mit 4 Stück

PRATZE FÜR GRUNDPLATTE MIT DICHTUNGSNUT

1)

Satz mit 4 StückA

63-100160-250
320-500
630
Klammerflansch / Grundplatte mit Dichtungsnut

B

Pratze: Stahl verzinkt 1045
Schraub Stahl verzinkt 1045e:

Gewinde
größe
M8
M10
M12
M12

C

DN ... ISO-K

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C41

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN

Verbindungselemente
PRATZE FÜR FLANSCH MIT DICHTUNGSNUT

1)

B

C

212-247
212-248212-249
212-233

20,6
21,1
33,9
36,5

30
35
45
50

12
12
18
20,6

Satz mit 4 Stück

C42 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

Gewinde
größe
M8
M10
M12
M12

A

63-100160-250
320-500
630
Klammerflansch mit Dichtungsnut/ GrundplatteA

B

Pratze & Schraube: Stahl verzinkt 1045

Teilenr.1)

C

DN ... ISO-K

ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-K Klammerflanschkomponenten

DichtungenDichtungen
ISO-K Klammerflanschkomponenten

ZENTRIERRING

Aluminium 6082
Aluminium 6082
Elastomer CR

Innenring:
Außenring:
Dichtung:

Aluminium 6082
Aluminium 6082
Elastomer FPM

Innenring:
Außenring:
Dichtung:

Edelstahl 304
Aluminium 6082
Elastomer FPM

DN ... ISO-K
63
80
100
160
200
250
320
400
500
630
63
80
100
160
200
250
320
400
500
630
800
1000
63
80
100
160
200
250

Teilenr.
212-251
212-091
212-252
212-253
212-254212-255
212-256
212-257
212-258212-259212-261
212-092
212-262212-263212-264
212-265
212-266
212-267
212-268
212-269
212-270
212-271
212-281212-093212-282
212-283
212-284
212-285

A
96
109
128
179
239
287
358
440
541
691
96
109
128
179
239
287
358
440
541
691
840
1040
96
109
128
179
239
287

B
70
83
102
153
213
261
318
400
501
651
70
83
102
153
213
261
318
400
501
651
800
1000
70
83
102
153
213
261

C
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
5,6
5,6
5,6
5,6
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
5,6
5,6
5,6
5,6
5,6
5,6
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9
3,9

D
8
8
8
8
8
8
14
14
14
14
8
8
8
8
8
8
14
14
14
14
14
14
8
8
8
8
8
8

D

øB
øA

Innenring:
Außenring:
Dichtung:C

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C43

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN

Dichtungen
ZENTRIERRING MIT FEINFILTER

A
62
94

B
69,8
101,8

C
3,9
3,9

D
8
8

D

øB

Teilenr.
212-291
212-292

øA

DN ... ISO-K
Innenring:
Edelstahl 304
63
Außenring:Aluminium 6082
100
Dichtung:
Elastomer FPM
Sprengring:
Edelstahl 304
Filterkörnung: Edelstahl 304
Filter:Edelstahl 316L
Porengröße 0,004 mm
Abscheidungsgrad bei 0,001 mm bis zu 98%

C

O-RING

Elastomer FPM

DN ... ISO-K
63
80
100
160
200
250
63
80
100
160
200
250
320
400
500
630

Teilenr.
212-386212-387
212-388212-389212-390212-391
212-392
212-393212-394
212-395
212-396212-397212-366
212-367
212-368
212-369

A
75,6
88,3
107,3
158,1
208,9
253,4
75,6
88,3
107,2
158,1
208,9
253,4
329,6
405,3
506,9
658,9

C44 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

B
5,3
5,3
5,3
5,3
5,3
5,3
5,3
5,3
5,3
5,3
5,3
5,3
7
7
7
7

Satz mit
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
1 Stck.
1 Stck.
1 Stck.
1 Stck.

BøAElastomer CR

ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Dichtungen
ALUMINIUMDICHTUNG

Anzahl der
DN 63 ISO -K
DN 100 ISO-K
DN 160 ISO-K
DN 250 ISO-K

Teilenr.
212-301212-302212-303212-305
Pratzen/
Klammers
chrauben
4
6-8
8
12

A
85,6
116,6
166,6
276,6

B
83
114
164
274

C
69,8
101,8
152,8
260,8

D
2,6
2,6
2,6
2,6

E
4,5
4,5
4,5
4,5

E

øC

DN ... ISO-K
63
100
160
250

øA
øB

Aluminium gehärtet 6082

D

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C45

VAKUUMANSCHLÜSSE

Dichtungen

C46 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-K Klammerflanschkomponenten

FlanscheFlansche
ISO-K Klammerflanschkomponenten

BLINDFLANSCH

Stahl vernickelt A570

Edelstahl 304

DN ... ISO-K
63
100
160
200
250
320
63
100
160
250
63
80
100
160
200
250
320
400
500
630

Teilenr.
212-441212-442212-443
212-444212-445
212-446
212-001
212-002212-003212-005
212-011212-076
212-012212-013212-014212-015
212-016
212-017212-018
212-019

DN ... ISO-K
63
100
160
250
63
80
100
160
200
250
320
250
250

Teilenr.
212-021212-022212-023
212-025
212-031212-078
212-032
212-033
212-034
212-035
212-036212-385212-505

A
95
130
180
240
290
370
95
130
180
290
95
110
130
180
240
290
370
450
550
690

B
12
12
12
12
12
17
12
12
12
12
12
12
12
12
12
12
17
17
17
22

øA

Aluminium 6082

B

Edelstahl 304

Edelstahl 304

B
76,1
108
159
267
76,1
88,9
108
159
219,1
267
324
254
273

C
70,3
102,2
153,2
261
71,5
84,9
102
155
213,1
261
318
250
261

D
12
12
12
12
12
12
12
12
12
12
17
12
12

E
6
6
6
6
6
6
6
6
6
6
8,5
6
5

øB

Stahl A570

A
95
130
180
290
95
110
130
180
240
290
370
290
290

øA

Stahl /1.0831

øC

SCHWEISSFLANSCHEDVACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C47

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN

FlanscheFlansch:Rohr:

Edelstahl 304

Edelstahl 304/–

Stahl 1.0831
Stahl 1.0308

DN ... ISO-K
63
100
160
250

Teilenr.
212-041
212-042212-043
212-045

A
100
100
100
100

B
76,1
108
159
267

C
70,3
102,2
153,2
261

63
100
160
200
250
320
400
500
630
250

212-051
212-052
212-053
212-054
212-055
212-056
212-057
212-058
212-059212-506

100
100
100
100
100
100
100
100
100
100

76,1
108
159
219,1
267
324
406
508
660
273

71,5
104
155
212,7
261
318
400
500
650
267

øC
øB

FLANSCH MIT ROHR

A

C48 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-K| VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-K

Rohrbauteile
Rohrbauteile
ISO-K

BOGEN 90°

Edelstahl 304

DN ... ISO-K
63
100
160*
200*
250*
320*

Teilenr.
212-101
212-102212-103212-104
212-105212-106

A
88
108
138
178
208
250

B
66
100
150
213
250
318

A

øB

*

A

T-STÜCK
Teilenr.
212-111212-112212-113212-114212-115212-116

A
88
108
138
178
208
250

B
66
100
150
213
250
318

A

DN ... ISO-K
63
100
160
200
250
320

øB

Edelstahl 304

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C49

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-K

Rohrbauteile
T-REDUZIERSTÜCK
DN ... ISO-K
160/63
160/100
250/200

Teilenr.
212-196212-197212-198

A
138
138
190

B
276
276
380

C
130
131
208

C

Edelstahl 304

A
B

KREUZSTÜCK
DN ... ISO-K
63
100
160
200
250

Teilenr.
212-121212-122212-123212-124212-125

A
88
108
138
178
208

B
66
100
150
213
250

A

øB

Edelstahl 304

A

C50 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-K| VAKUUMANSCHLÜSSE

Rohrbauteile
REDUZIERKREUZSTÜCK

Edelstahl 304

DN ... ISO-K
63
100
160

Teilenr.
212-131212-132
212-133

A
88
100
100

B
44
50
50

C
66
82
107

1x DN 16 ISO-KF
1x DN 25 ISO-KF
1x DN 40 ISO-KF

D
64
80
107

E
59
77
105

DN 25 ISO-KF

BA

DN 40 ISO-KF

D

C

E

DN 16 ISO-KF

REDUZIERSTÜCK

Edelstahl 304

DN ... ISO-K
80/63
100/63
160/100
200/160
250/160
250/200

Teilenr.
212-084
212-161212-163212-166
212-169
212-170

A
50
50
50
50
50
50

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C51

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-K

Rohrbauteile
ZWISCHENSTÜCK
DN ... ISO-K
63
63
63

Teilenr.
212-191
212-192
212-193

A
100
176
500

B
70
70
70

øB

Edelstahl 304

A

C52 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN| VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-K Klammerflanschkomponenten

Bälge/Schläuche mit FlanschBälge/Schläuche mit Flansch
ISO-K KlammerflanschkomponentenBÄLGEFlansche:
Bälge:

Edelstahl 304
Edelstahl 316Ti

DN ... ISO-K
63
100
160
200
250
320

Teilenr.
212-201212-202212-203212-204212-205212-206

A
132
132
150
150
200
250

B
20
28
22
20
30
50

C
20
28
22
20
30
50

D
66
95
153
213
261
313

E
30°
30°
14°
12°
13°
7,5°

Max. Innendruck 1,5 bar
A = unbelastete Länge
E = max. Abweichung von Achse

øD

A

B

C

METALLSCHLAUCH

Flansche:
Bälge:

Edelstahl 304
Edelstahl 316Ti

DN ... ISO-K
63
63
63
63
100
100
100
100
160

Teilenr.
212-211212-212212-213212-214212-215212-216212-217212-218
212-222

A
250
500
750
1000
250
500
750
1000
1000

B
330
330
330
330
530
530
530
530
1050

C
90
90
90
90
130
130
130
130
215

A

B/C

Max. Innendruck 1,5 bar
B = Radius für mehrfaches Biegen
C = Radius für einmaliges Biegen

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C53

VAKUUMANSCHLÜSSE

Bälge/Schläuche mit Flansch

C54 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN| VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-K KlammerflanschkomponentenÜbergangsstückeÜbergangsstücke
ISO-K Klammerflanschkomponenten

ADAPTERFLANSCH ISO-K/ISO-F

Edelstahl 304

DN ... ISO-K/
ISO-F
160/63
160/100
200/100
200/160
250/160

Teilenr.

A

212-152
212-153
212-155
212-156
212-159

22
25
20
25
22

A

ADAPTERFLANSCH ISO-K/ISO-KF

Aluminium 6082
Edelstahl 304

DN ... ISO-K/
ISO-KF
63/40
63/50
63/25
63/40
63/50
100/40

Teilenr.

A

212-171
212-172
212-176
212-173212-174
212-175

40
45
50
40
45
40

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C55

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN

Übergangsstücke
ADAPTERFLANSCH CF/ISO-K

Edelstahl 304L

DN ... ISO-CF/
ISO-K
63/63
100/100
160/160

Teilenr.

A

B

C

213-271
213-272
213-273

90
90
90

1
1
1,5

1
1
1,5

A

ADAPTERFLANSCH DN/ISO-K
DN ... ISO-K
63
100
160

Teilenr.
212-181212-182
212-183

A
51
56
56

B
76
107
156

øB

Aluminium 6082

A

C56 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN| VAKUUMANSCHLÜSSE

Übergangsstücke
MANSCHETTE MIT SCHLAUCHSCHELLE
Teilenr.
212-186212-187
212-188

A
70
72
72

B
14
8
8

C
24
26
26

D
75
106
155

E
120
150
200
B–C

øE

DN ... ISO-K
63
100
160

øD

Manschett Elastomer CR
e:Edelstahl 304
Schlauchs
chelle:Max. Innendruck: 1 bar

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C57

VAKUUMANSCHLÜSSE

Übergangsstücke

C58 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-K KLAMMERFLANSCHKOMPONENTEN| VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-K Klammerflanschkomponenten

Schutzdeckel
Schutzdeckel
ISO-K Klammerflanschkomponenten

SCHUTZDECKEL
DN ... ISO-K
63
100
160
200
250
320
400
500
630

Teilenr.
212-311212-312212-313212-314212-315212-316212-317212-318
212-319

A
102
137
187
248
297,5
380
461
557
697

B
95
130
180
240
290
370
450
550
690

C
18
18
18
18,5
18,5
23,5
23,5
24
29

øB
øA

Polyethylen

C

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C59

VAKUUMANSCHLÜSSE

Schutzdeckel

C60 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-F FESTFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

ISO-F Festflanschkomponenten

Flanschkomponenten
Flanschkomponenten
ISO-F Festflanschkomponenten

Stahl vernickelt –/1.0831
Stahl vernickelt –/1.0037

Sprengring:

Stahl vernickelt

DN ... ISO-F
63
80
100
160
200
250
320
400
500
630

Teilenr.
212-061
212-081212-062
212-063
212-064
212-065
212-066
212-067
212-068
212-069

A
12
12
12
16
16
16
20
20
20
24

B
95,5
110,5
130,5
180,7
240,7
290,7
370,8
450,8
550,8
691

C
130
145
165
225
285
335
425
510
610
750

øB

Flansch:
DN 63 - 160:
DN 200 - 630:

øCÜBERWURFFLANSCH MIT SPRENGRINGA

ADAPTERFLANSCH ISO-K/ISO-F

Edelstahl 304/1.4301

DN ... ISO-K/
ISO-F
160 / 63
160 / 100
200 / 100
200 / 160
250 / 160

Teilenr.

A

212-152
212-153
212-155
212-156
212-159

22
25
20
25
22

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C61

VAKUUMANSCHLÜSSE | ISO-F FESTFLANSCHKOMPONENTEN

Flanschkomponenten
Aluminium 6082/3.2315
Edelstahl 304/1.4301

DN ... ISO-F
100
160
63
100
160

Teilenr.
212-142212-143
212-146
212-147
212-148

A
30
30
30
30
30

B
165
225
130
165
225

C
M8
M 10
M8
M8
M 10

øB

* Pratzen DN16 ISO-KF enthalten

1× DN 016 ISO-KF *MESSFLANSCHCASATZ SECHSKANTSCHRAUBEN
DN ... ISO-F
63-100160-250
320-500
630

Teilenr.
212-241212-242212-243
212-244

A
40
50
70
80

B
M8
M10
M12
M12

Satz mit
8 Stck.
12 Stck.
16 Stck.
20 Stck.

A

Stahl verzinkt

B

C62 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

ISO-F FESTFLANSCHKOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Flanschkomponenten
DICHTUNGSSCHEIBE

Aluminium 6082/3.2315
Elastomer CR

DN ... ISO-F
63
100
160
250
320
400
500
630
800
1000

Teilenr.
212-321212-322212-323212-325
212-326212-327212-328212-329212-330
212-331

A
73
107
160
270
330
415
515
656
825
1025

B
3,9
3,9
3,9
3,9
5,6
5,6
5,6
5,6
5,6
5,6

C
98
132
185
295
375
460
560
701
870
1070

øA
øC

Scheibe:O-Ring:B

O-RINGDN ... ISO-F
63
100
160
250
320
400
500
630
800
1000

Teilenr.
212-345
212-346212-347
212-349212-338212-339212-340
212-341212-342212-343

A
80
110
165
265
325
412
510
640
820
1023

B
5
5
5
5
8
8
8
8
8
8

Satz mit
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.

BøAElastomer CR

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C63

VAKUUMANSCHLÜSSE

Flanschkomponenten

C64 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UHV CF KOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

UHV CF Komponenten

Verbindungselemente
Verbindungselemente
UHV
CF Komponenten

SECHSKANTSCHRAUBEN MIT MUTTERN

Schraube: Edelstahl 316/1.4401
Unterlegsc Edelstahl 304/1.4301
heibe:
Edelstahl 316/1.4401
Mutter:

Teilenr.
213-401
213-402
213-403213-404
213-405
213-406
213-408
213-409

A
20
35
45
50
55
60
70
70

B
3,2
5
6,5
6,5
6,5
6,5
8
8

Satz mit
25 × M4
25 × M6
25 × M8
25 × M8
25 × M8
25 × M8
34 × M10
38 × M10

Nm1)
3,5
10
20
20
20
20
30
30

Anzugsmoment

B

A

1)

DN ... CF
16
40
63
100
160
200-250300
350

SECHSKANTSCHRAUBEN OHNE MUTTERN

Schraube: Edelstahl 316/1.4401
Unterlegsc Edelstahl 304/1.4301
heibe:

Teilenr.
213-411213-412213-413

A
16
25
35

Satz mit
25 × M4
25 × M6
25 × M8

Nm1)
4
10
20

Anzugsmoment

A

1)

DN ... CF
16
40
63-160VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C65

VAKUUMANSCHLÜSSE | UHV CF KOMPONENTEN

Verbindungselemente
SECHSKANTSCHRAUBEN MIT DOPPELMUTTERN
A

B

C

16
40
63
100
160

213-421213-422213-423
213-424
213-425

20
35
45
50
55

7
10
12
12
12

4
5
8
8
8

DN ... CF
16
40
63-100

Teilenr.
213-431213-432
213-433

Doppelmut
ter
6 × M4/3
6 × M6/3
8 × M8/4
16 × M8/8
20 × M8/1
0

Nm1)
4
10
20
20
20

Anzugsmoment

B

C

1)

Teilenr.

A

Schraube: Edelstahl 316/1.4401
Unterlegsc Edelstahl 304/1.4301
heibe:
Edelstahl 316/1.4401
Doppelmut
ter:

DN...CFSATZ STIFTSCHRAUBEN

Schraube: Edelstahl 316/1.4401
Unterlegsc Edelstahl 304/1.4301
heibe:
Edelstahl 316/1.4401
Mutter:Satz mit
6 × M46 × M6
16 × M8

Nm1)
4
10
20

Anzugsmoment

A

1)

A
20
35
45

GEWINDESCHMIERMITTEL

C100
28g
Effektiv für mindestens 10 Ausheizzyklen

Teilenr.
214-231

Temperaturbeständigkeit
1000°C

C66 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UHV CF KOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

UHV CF Komponenten

DichtungenDichtungen
UHV CF Komponenten

Hochwertige Kupferdichtungen und versilberte Kupferdichtungen wurden gezielt für den
Einsatz in anspruchsvollen UHV-Anwendungen konzipiert. Diese aus OFHC-Kupfer
bestehenden Dichtungen werden überprüft, gereinigt und einzeln verpackt, um höchste
Qualität sicherzustellen.

Hochwertiges
Kupfer OFHC 2.0040

DN ... CF
16
40
63
100
160
200
250
300
350

Teilenr.
213-451
213-452
213-453
213-454
213-455
213-456
213-457
213-458
213-459

A
2,1
2,1
2,1
2,1
2,1
2,1
2,1
2,1
2,1

B
21,3
48,1
82,4
120,5
171,3
222,1
272,9
326,2
376,5

C
16,2
39
63,6
101,8
152,6
203,4
254,2
307
357

Satz mit
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
5 Stck.
1 Stck.
1 Stck.

øCøBKUPFERDICHTUNGAKUPFERDICHTUNG VERSILBERT
DN ... CF
16
40
63
100
160
200
250

Teilenr.
213-461
213-462
213-463
213-464
213-465
213-466
213-467

A
2,1
2,1
2,1
2,1
2,1
2,1
2,1

B
21,3
48,1
82,4
120,5
171,3
222,1
272,9

C
16,2
39
63,6
101,8
152,6
203,4
254,2

Satz mit
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
10 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
5 Stck.
øCøB

Hochwertiges
Kupfer OFHC 2.0040
Doppelt versilbert

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C67

VAKUUMANSCHLÜSSE | UHV CF KOMPONENTEN

Dichtungen
FPM-DICHTUNG
Teilenr.

A

B

C

16
40

213-391
213-392

2
2,5

21
48,2

16
42

D

Satz
mit
5 Stck.
5 Stck.

øCøBElastomer FPM

DN ... CFA

A
213-393213-394
213-395
213-396

3,2
3,2
3,2
3,2

82,7
119,8
171,1
222,5

69,7
107,8
156
206

2,5
2,5
2,5
2,5

2 Stck.
2 Stck.
2 Stck.
2 Stck.

øC
øB

63
100
160
200

D

C68 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UHV CF KOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Dichtungen
FPM-DICHTUNG MIT STÜTZRING
A

B

C

D

250

213-397

5

266,5

248,3

256,2

Satz
mit
1 Stck.
AøCøD

Elastomer FPM
Aluminium 6082

Teilenr.

øBDichtung:
Stützring:

DN ... CF

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C69

VAKUUMANSCHLÜSSE

Dichtungen

C70 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UHV CF KOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

UHV CF Komponenten

FlanscheFlansche
UHV CF Komponenten

BLINDFLANSCH

Edelstahl 316LN/1.4429

DN ... CF-F
16
40
63
100
160
200
250
16
40
63
100
160
200
250

Teilenr.
213-001
213-002
213-003
213-004
213-005
213-006
213-007
213-101
213-102
213-103213-104
213-105
213-106
213-107

A
7,5
13
17,5
20
22
24,5
24,5
7,5
13
17,5
20
22
24,5
24,5

B
14
38
66
104
155
205
256
14
38
66
104
155
205
256

C
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4

C
øB

Edelstahl 304L/1.4306

A

BLINDFLANSCH, DREHBAR
Teilenr.
213-011
213-012213-013
213-014213-015
213-016
213-017213-111213-112213-113213-114213-115
213-116
213-117

A
7,5
13
17,5
20
22
24,5
24,5
7,5
13
17,5
20
22
24,5
24,5

B
5,8
7,6
12,6
14,3
15,8
17,1
18
5,8
7,6
12,6
14,3
15,8
17,1
18

C
18,6
41
71
109
160
206
257
18,6
41
71
109
160
206
257

D
14
38
66
104
155
205
256
14
38
66
104
155
205
256

E
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4
1,4

B

E
øC

Platte: Edelstahl 316LN/1.4429
Außenring: Edelstahl 304L/1.4306

DN ... CF-R
16
40
63
100
160
200
250
16
40
63
100
160
200
250

øD

Edelstahl 304L/1.4306

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C71

VAKUUMANSCHLÜSSE | UHV CF KOMPONENTEN

Flansche
SCHWEISSFLANSCH

Edelstahl 316LN/1.4429

A
7,5
13
17,5
20
22
24,5
24,5
28,5
28,5
7,5
13
17,5
20
22
24,5
24,5

B
3,3
7,5
8
9
10
12
12
15,8
15,8
3,3
7,5
8
9
10
12
12

C
17,2
39,5
66
104
155
205
256
306
356
17,2
39,5
66
104
155
205
256

D
18
40
70
108
159
205
256
306
356
18
40
70
108
159
205
256

E
1
1,5
2
2
2
2,5
3
3
3
1
1,5
2
2
2
2,5
3

B

E

Teilenr.
213-021213-022213-023
213-024
213-025
213-026
213-027
213-028
213-029
213-121213-122213-123
213-124
213-125
213-126
213-127

øD

Edelstahl 316L/1.4435

DN ... CF-F
16
40
63
100
160
200
250
300
350
16
40
63
100
160
200
250

øC

Edelstahl 304L/1.4306

A

SCHWEISSFLANSCH, DREHBAR
A
7,5
13
17,5
20
22
24,5
24,5
7,5
13
17,5
20
22
24,5
24,5

B
3,3
7,5
8
9
10
12
12
3,3
7,5
8
9
10
12
12

C
17,2
39,5
66
104
155
205
256
17,2
39,5
66
104
155
205
256

D
18
40
70
108
159
205
256
18
40
70
108
159
205
256

E
1
1,5
2
2
2
2,5
3
1
1,5
2
2
2
2,5
3

B

E

Teilenr.
213-041
213-042
213-043
213-044
213-045
213-046
213-047
213-141
213-142
213-143
213-144
213-145
213-146
213-147

øDInnenring: Edelstahl 316LN/1.4429
Außenring: Edelstahl 304L / 1.4306

DN ... CF-R
16
40
63
100
160
200
250
16
40
63
100
160
200
250

øC

Edelstahl 304L/1.4306

A

C72 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UHV CF KOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Flansche
SCHWEISSFLANSCH MIT GEWINDEBOHRUNGEN

Edelstahl 304L/1.4306

DN ... CF-F
16
40
63
100

Teilenr.
213-031213-032
213-033
213-034

A
7,5
13
17,5
20

B
3,3
7,5
8
9

C
17,2
39,5
66
104

D
18
40
70
108

E
1
1,5
2
2

Satz mit
6xM4
6xM6
8xM8
16xM8

øC

øD

E

B

A

SCHWEISSFLANSCH FÜR MESSGERÄTE

Edelstahl 304L/1.4306

DN ... CF-F
40

Teilenr.
213-092

A
24

B
17

C
38

D
69,5

E
1,75

F
48

G
10

H
4

*Schrauben 6xM6 enthalten

øD

øF

øC

E

G

H
B
A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C73

VAKUUMANSCHLÜSSE | UHV CF KOMPONENTEN

FlanscheFLANSCH MIT ROHR
DN ... CF-F
16
40
63
100
160

Teilenr.
213-051
213-052
213-053
213-054
213-055

A
38
63
105
135
167

B
17,2
39,5
66
104
155

C
18
40
70
108
159

D
1
1,6
2
2
2

øB

øC

D

Edelstahl 304L/1.4306

A

FLANSCH MIT ROHR, DREHBAR
DN ... CF-R
16
40
63
100
160

Teilenr.
213-061
213-062
213-063
213-064
213-065

A
38
63
105
135
167

B
17,2
39,5
66
104
155

C
18
40
70
108
159

D
1
1,6
2
2
2

øB

øC

D

Edelstahl 304L/1.4306

A

C74 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UHV CF KOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Flansche
REDUZIERFLANSCH CF-F/CF-F
A

B

C

D

40/16
63/40
100/40100/63
160/40160/63
160/100
40/16
63/40
100/40100/63
160/40160/100

213-071
213-073
213-075
213-076
213-078
213-079
213-080
213-171
213-173
213-175
213-176
213-178
213-180

13
17,5
20
20
22
24
22
13
17,5
20
20
22
22

16
39
39
66
39
66
104
16
39
39
66
39
104

22
50
55
85
60
85
120
22
50
55
85
60
120

5,5
9
9
11
9
13
11
5,5
9
9
11
9
11

Satz
mit
6xM4
6xM6
6xM6
8xM8
6xM6
8xM8
16xM8
6xM4
6xM6
6xM6
8xM8
6xM6
16xM8

D

øB

Edelstahl 316LN/1.4429

Teilenr.

øC

Edelstahl 304L/1.4306

DN ... CF-F

A

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C75

VAKUUMANSCHLÜSSE

FlanscheC76 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UHV CF KOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

UHV CF Komponenten

Rohrbauteile
Rohrbauteile
UHV CF Komponenten

ZWISCHENSTÜCK

Edelstahl 304L/1.4306

DN ... CF
16
40
63
100
160

Teilenr.
213-201
213-202
213-203213-204
213-205

A
76
126
210
270
334

B
0,5
1
1
1
1,5

C
0,5
1
1
1
1,5

D
16
37
66
104
155

CF-F

øD

CF-R

+B

A –C

ZWISCHENSTÜCK, ISOLIERTDN ... CF
40
63

Teilenr.
213-212213-213

A
70
90

B
1
1

C
1
1

D
25
53

E
30
45

F
34,5
66

G
44
65

CF-R

CF-F

øD
øF

Flansch: Edelstahl 304L/1.4306
Isolator: Keramik Al2O3
Übergangsisolator/Flansch: FeNi
Ausheiztemperatur: 350°C
G = Kriechstrom 20 kV bei 10-4 mbar

E
+B

A –C

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C77

VAKUUMANSCHLÜSSE | UHV CF KOMPONENTEN

Rohrbauteile
REDUZIERSTÜCK CF-F/CF-R

Edelstahl 304L/1.4306

DN ... CF
40/16
63/40
100/40100/63
160/100

Teilenr.
213-221213-223
213-225
213-226
213-230

A
45
75
75
95
105

B
1
1
1
1
1,5

C
1
1
1
1
1,5

D
16
37
37
66
104

CF-F

øD

CF-R

+B

A –C

ROHRBOGEN 90°

Edelstahl 304L/1.4306

DN ... CF
16
40
63
100
160

Teilenr.
213-301
213-302
213-303213-304
213-305

A
38
63
105
135
167

B
0,5
0,5
1
1
1,5

C
0,5
0,5
1
1
1,5

D
15
38
66
100
150

A –C

+B

øD

CF-F

CF-R

C78 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

+B

A –C

UHV CF KOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

Rohrbauteile
T-STÜCK

Edelstahl 304L/1.4306

DN ... CF
16
40
63
100
160

Teilenr.
213-311213-312213-313213-314213-315

A
38
63
105
135
167

B
0,5
0,5
1
1
1,5

C
0,5
0,5
1
1
1,5

D
15
38
66
100
150

CF-F

+B

A –C

øD

CF-R

CF-R

+B

A –C

KREUZSTÜCK
Teilenr.
213-321213-322213-323
213-324
213-325

A
38
63
105
135
167

B
0,5
0,5
1
1
1,5

C
0,5
0,5
1
1
1,5

D
15
38
66
100
150

CF-F
CF-F

øD

CF-R

+B

DN ... CF
16
40
63
100
160

A –C

Edelstahl 304L/1.4306

CF-R

+B

A –C

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C79

VAKUUMANSCHLÜSSE | UHV CF KOMPONENTEN

Rohrbauteile
DOPPELKREUZSTÜCK

Edelstahl 304L/1.4306

DN ... CF
40
63
100
160

Teilenr.
213-332
213-333
213-334
213-335

A
63
105
135
167

B
0,5
1
1
1,5

C
0,5
1
1
1,5

D
38
66
100
150

3 × Drehflansche
3 × Festflansche
CF-F
CF-F

A –C

+B

øD

CF-R

CF-R

+B

A –C

REDUZIERKREUZSTÜCK

Edelstahl 304L/1.4306
2 × DN 16 CF-F
2 × DN 40 CF-F

DN ... CF
100

Teilenr.
213-342

A
135

B
1

C
1

D
67,5

E
106

F
84

D

+B

A –C

CF-F

CF-R
DN 40 CF-F

E –C

+B

DN 16 CF-F

+B

F –C

C80 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UHV CF KOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

UHV CF Komponenten

Bälge/Schläuche mit Flansch, Kompensator
Bälge/Schläuche mit UHV
Flansch,Kompensator
CF Komponenten

KOMPENSATOR

Flansche:
Bälge:

Edelstahl 304L/1.4306
Edelstahl 316Ti/1.4571

DN...CF-F
40
63
100

Teilenr.
213-346
213-347
213-348

A
120
130
127

B
10
20
30

C
0
0
0

D
E
36,8 100
62 15492 192

F
10
13
13

G
10°
12°
12°

G

E

øD

Max. Innendruck für DN 40: 4 bar
Max. Innendruck für DN 63/100: 1,5 bar

+B

A –C

BÄLGE

A = unbelastete Länge
Max. Innendruck für DN 16/40: 4 bar
Max. Innendruck für DN 63 … 160: 1,5 bar

DN...CF
16
40
63
100
160

Teilenr.
213-351
213-352
213-353
213-354
213-355

A
76
126
139
142
250

B
4,1
3,5
23
26
23

C
6,4
5,5
23
26
23

D
15
40
62
92
154

E
F
G
22
16 21°
55 36,8 7,5°80
66 37°
116 102 28°
187 153 16°

CF-F

CF-R

øD
øE

Edelstahl 304L/1.4306
Edelstahl 316Ti/1.4571

øFFlansche:
Bälge:+B

A –C

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C81

VAKUUMANSCHLÜSSE | UHV CF KOMPONENTEN

Bälge/Schläuche mit Flansch, Kompensator
FLEXIBLER METALLSCHLAUCH
B
23
23
23
23
46
46
46
46

F = Radius für mehrfaches Biegen
G = Radius für einmaliges BiegenMax. Innendruck: 5 bar

C82 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

C
16
16
16
16
36,8
36,8
36,8
36,8

D
15
15
15
15
40,5
40,5
40,5
40,5

E
22,5
22,5
22,5
22,5
53
53
53
53

F
70
70
70
70
130
130
130
130

G
50
50
50
50
100
100
100
100

A
B

B

øE

Teilenr.
A
213-361 250
213-362 500
213-363 750
213-364 1000213-365 250
213-366 500
213-367 750
213-368 1000

øD

DN...CF
16
16
16
16
40
40
40
40

F/G

Edelstahl 304L/1.4306
Edelstahl 316Ti/1.4571

øCFlansche:
Bälge:

UHV CF KOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

UHV CF KomponentenÜbergangsstückeÜbergangsstücke
UHV CF
Komponenten

ADAPTER CF-F/ISO-KF
DN...CF-F/ISO-KF
16/16
16/25
40/16
40/25
40/40
63/40
100/40

Teilenr.
213-251
213-252
213-254
213-255
213-256
213-259
213-262

A
35
35
30
30
50
35
50

B
16
16
16
26
37
41
41

øB

Edelstahl 304L/1.4306

A

ADAPTER CF-F/ISO-K
DN...CF-F/ISO-K Teilenr.
63/63
213-271
100/100
213-27160/1602
213-27
3

A
90
90
90

B
1
1
1,5

C
1
1
1,5

D
66
104
155

øD

Edelstahl 304L/1.4306

+B

A –C

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C83

VAKUUMANSCHLÜSSE

Übergangsstücke

C84 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

UHV CF KOMPONENTEN | VAKUUMANSCHLÜSSE

UHV CF Komponenten

Schutzdeckel
Schutzdeckel
UHV CF Komponenten

SCHUTZDECKEL
DN ... CF
16
40
63
100
160
200
250

Teilenr.
213-441
213-442
213-443
213-444
213-445
213-446
213-447

A
36
71,5
115,5
154
205
262
308,5

B
34
69,5
113,5
152
202,5
253
303,5

C
9,5
17,5
22
24,5
27
26,5
30,9

øB
øA

Polyethylen

C

VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023 | C85

VAKUUMANSCHLÜSSE

Schutzdeckel

C86 | VACUUM CONTROL CATALOG 2021 - 2023

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