Tokyo Electron

Annual Report 2011

環境・健康・安全に対する取り組み

東京エレクトロンは、人々 の健康と安全を最優先し、地球環の施策に関して、お客様と協議しながら多角的に各装置特性に境の保全に配慮することを、事業活動を行う企業としての重要あったアプローチを展開し、目標達成に向け積極的に取り組んな使命と考えています。

でいます。さらに、当社の装置だけでなく、お客様保有の周辺基本ポリシー機器の対策や用力の最適化運用なども含めてトータルな環境負荷低減を進めていきます。

東京エレクトロンでは、当社の継続的な成長と社会の持続的な発展のために、環境・健康・安全に対する取り組みを経営上2. 装置に含有される規制化学物質への取り組みの最重要課題の一つと位置付けています。当社が携わるあら東京エレクトロンでは、環境対策の一環として、製品に含まゆる分野で環境負荷を低減することに、また、当社やお客様のれる有害化学物質の削減を推進しており、製品に使用されるユ施設内における安全性について絶対の信頼を確保することにニットやパーツに含まれる化学物質を専用のデータベースを用積極的に取り組んでいます。

いて管理しています。製品を構成する部品の98.5% 以上が欧環 境 対 応 活 動 をより 加 速 させるため、2008 年 5 月 に州 RoHS 指令 *で規定された基準を満たしている製品を「含有「 Technology for Eco life 」を環境活動のスローガンに、東京化学物質削減装置」と位置付け、2008 年 10 月1 日から順次出エレクトロンの環境コミットメントを定めました。この中では、荷を開始しています。

2015 年に向けてお客様の工場での総合環境負荷の半減を可能にするための装置開発や、当社の事業活動や物流に伴う環境負荷の半減を進めることが定められました。また、これら環境・健康・安全への取り組みを進めるためには、ステークホルダーの皆様とのコミュニケーションを推進し、フィードバックを得る相互作用が不可欠と考えており、社会貢献活動等も積極的に行っています。

* 欧州 RoHS 指令：欧州の「電気電子機器中の特定の危険物質の使用制限に関する指令（2002/95/Ec ）」およびその修正指令を指す。当指令では、規制適用除外用途を除き、最大許容量を超える、鉛、水銀、カドミウム、六価クロム、PBB 、PBDEが製品に含有することを禁止している。

健康・安全への取り組み
東京エレクトロンでは、社員やお客様の安全と健康優先、装置の安全性に配慮した設計等、企業活動のあらゆる側面で「安全と健康」を推進しています。

EHSマネジメント

2011 年 3 月期の海外を含めた当社グループ全体での人身

東京エレクトロンでは、1997 年より、主に製造系の各事業所

事故災害件数は、応急処置を含めて前期に比較し増加しましを中心にISo14001に基づく環境管理システムを構築し、認証た。その原因としては、急激な市場の立ち上がりによる増産を取得しています。また、EHSマネジメントシステムの実効性を及び短納期での装置立ち上げ対応によるものが大きいと判断高めるために、継続的にシステムや成果のチェック機能を担うしています。今後はこのような環境下で監査のレベルアップを図っています。監査は事業所内やグルーも、作業者への安全教育、作業現場でのプ内、あるいは第三者による監査など様々な観点から行われ安全環境確保それに管理監督者による現ています。

場安全巡視をより一層強化して、全社一丸となって人身事故災害の撲滅に取り組んで製品における環境負荷低減への取り組みいきます。

先取りした環境配慮設計に向けて環境配慮設計の促進は極めて重要なものであると考えていより詳しい活動内容については、「東京エレクトロン環境・社ます。特に装置の省エネルギー化の促進や、規制含有化学物（2011 年 9 月発行予定）をご覧ください。
会報告書 2011」

質の削減・代替化を優先的に取り組むべき課題と位置付けてい

http：//www.tel.co.jp/environment/ehsreport.htmます。

1. 装置使用時における環境負荷低減への取り組み

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東京エレクトロンのコミットメント

各事業部において環境負荷低減に向けたロードマップに基

東京エレクトロングループでは、主要製品の調達から製造・づき、各装置のエネルギーや用力、使用化学物質の削減など物流・製品使用時といったライフサイクルにおける環境負荷をAnnual Report 2011

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把握し、2015 年に向けた目標を定め、環境負荷低減を進めてウェーハを原単位として、既に50% 削減が視野に入った装置います。もあります。顧客向け物流においては、空輸から海運への変更を容易にするために、輸送期間延長に見合う工期短縮および■ 2015 年に新設されるお客様工場の総合環境負荷を2007 年

装置の部品点数削減などによる重量の削減、現地化比率向上をベースとして半減することを可能にする装置の開発を目に努め、トンキロを原単位とした半減に向けて、お客様と進め指します。ていきます。また、生産する工場においても、従来からのco2■ 事業活動や物流に伴う環境負荷を2007 年をベースとして2015 年までに半減することを目指します。

排出量削減のための環境投資に加え、東日本大震災に伴う電力使用制限要請を確実に実行するための節電活動や太陽光発■ このコミットメントを達成するためにステークホルダーの方とともに活動を進めていきます。

電設備を宮城新工場および山梨事業所にも設置するなど対策を進め、活動を加速しています。
さらに、国内クレジット制度（国内排出削減量認証制度）などによるカーボンオフセットを活用することにより、売上原単位で半減することを進めます。
また、昨今、スマートフォンに代表される携帯製品は大幅な環境コミットメントの進捗状況

消費電力の削減が必須であり、当社の装置から生産される半導

当社は2015 年にco2 排出量を2007 年比原単位で半減する体やフラットパネルがより低消費電力を実現し、広く社会全体ことを目標にしております。お客様に納入する装置では300mmの co2 削減に貢献できるように引き続き努力していきます。

洗浄装置での取り組み
枚葉洗浄装置 cEllESTA™＋はデバイスの微細化・高性能化に伴

回転カップ採用により排気量を約 50% 削減

い求められる高制御性に加え、処理チャンバーの小型化により省フットプリント（設置面積）で12 スピナー※1 の搭載を可能にしました。枚葉
スピンチャンバーは処理液の飛散抑制や雰囲気制御が重要ですが、高速スピン処理でそれらを抑制するためには多くの給気と排気が必要とされます。cEllESTA™＋では、ウェーハと同期して回転する「回転カップコンセプト」の採用により、従来比 1/2 の省排気だけでなく、従来機

CELLESTA™＋同時にチャンバーの小型化も実現して単位面積当たりの生産性、c.o.o ※2を向上させています。
※ 1 スピナー：平滑な基材を高速回転させることにより遠心力で薄膜を構成する装置。
※ 2c.o.o（ cost of ownership ）：設備・機器などの導入、運用管理に必要な全経費。

東京エレクトロングループの環境への取り組み
環境に関する専門担当部署の設置

環境推進室

環境に関する最高責任機関

取締役会および執行役員会

環境監査の状況

内部、外部ともに年 1 回、その他グループ間における監査も不定期に実施

環境マネジメントシステムの導入形式

ISo14001を8 事業所において取得済み

廃棄物のゼロエミッション

全ての国内製造系事務所において達成済み。リサイクル品の社内利用推進

省エネルギーに対する目標設定

製品の省エネルギー化と事業所における省エネルギー化をともに目標を設定して実施中

従業員に対する環境教育

全ての従業員を対象に実施

環境規則違反による罰則

過去に罰則を科されたことはない

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