東京エレクトロンについて

サステナビリティの展開

製品競争力

顧客対応力

生産性向上

経営基盤

TEL FOR GOOD

データ集

顧客対応力

20

顧客価値創造

P.21

フィールド
ソリューションの取り組み

P.21

お客さまの安全のために

P.23

顧客満足度の向上

P.24

SDGs への取り組み■

革新的な技術や最適なソリュー
ションの提案により、お客さまのイノベーションの創出および価値創造に寄与■

産業の多様化や製品への付加価値創造■

資源利用効率の向上やクリーン技術および環境に配慮した技術の導入拡大■

安全・環境への配慮などにより、製品ライフサイクルを通じてサステナブルな生産消費形態を確保■

さまざまな世代の装置の安定稼動をサポートするとともに、生産性の■さらなる向上やリユース・リサイク

お客さまのご要望を的確かつタイムリーに把握し、先の世代を見据えた革新的な技術を提供することにより、お客さまの最先端デバイスの製造に貢献■

多彩な製品群を有する装置メーカーとして、お客さまの価値創造に寄与する最適なソリューションを提案■

最先端の AI やデジタル技術を駆使し、装置の安定稼動をサポートする付加価値の高い保守サービスを提供■

創業以来、重要な経営テーマである顧客満足度のさらなる向上に向けて PDCA サイクルを継続的に展開

ルを推進■

廃棄物の発生防止や削減、再生利用および再利用による廃棄物の削減■

お客さまとのグローバル・パート
ナーシップの強化により、強固な信頼関係の構築

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2022

東京エレクトロンについてサステナビリティの展開

製品競争力

顧客対応力

顧客価値創造

生産性向上

経営基盤

TEL FOR GOOD

また、最先端の技術開発のみならず、量産装置の性能改善を継続的におこない、複数世代にわた顧客価値創造のための体制
2021 年度は、コロナ禍による外出・渡航の制限などが継続する中、データ社会への移行が一層るお客さまのご要望に迅速かつ適切にお応えで加速し半導体市場が過去最大規模となり、また当社が参画する半導体製造装置の市場も大きく高い技術力が必要となるパターニングにおい成長しました。この成長に伴い、お客さまからはこれまで以上にさまざまなご要望やお問い合わては、成膜、塗布・現像、エッチング、洗浄などのせをいただいています。

各種プロセスに対応する幅広い製品群を生かし東京エレクトロンの「Account Sales 本部」では、メモリ、ロジック、ファウンドリなどにおけた提案をおこなっています。製造装置のみならずシステムやソフトウエアを含めた最適なソ部」は、急成長する中国市場および産業用 IoT 市場に向け、通信デバイスやイメージセンサー、パリューションを提供することで、半導体製造におワーデバイスなどを取り扱う 100 社を超える国内外のお客さまのご要望に対応しています。

ける生産性の追求と品質の向上をサポートし、おデバイスのみならずほぼすべてのデバイスアプリケーションに関するご要望にお応えし、将来

洗浄TELINDY
PLUS™

EXPEDIUS™-成膜きるよう努めています。

る次世代最先端技術のニーズを見据え、新技術開発を推進しています。また、「Global Sales 本

これらの 2 つの本部が、装置を取り扱うビジネスユニットやグローバル拠点と連携し、最先端

21

データ集

Trias +™
CELLESTA™-

NT333™
EXIM™

Episode™ UL

エッチング

Tactras™

CLEAN TRACK™
LITHIUS Pro™ Z

塗布・現像

客さまの製造工程の最適化や競争力強化に寄与していきます。

を見据えた最適なソリューションをご提供することで、お客さまの課題解決と価値創造に寄与しています。
また当社は、お客さまの製品開発や製造オペレーションにおける課題や要請などを的確に把場と当社を結ぶフロントライン機能の強化に取り組んでいます。お客さまとキーテクノロジー

フィールドソリューションの取り組みを含む長期の技術ロードマップについて綿密に確認や調整をおこなうことで技術開発を加速さフィールドソリューション事業握し、それらをタイムリーに主要な開発や製造の拠点へフィードバックするため、お客さまの現医療や金融、また交通や製造などのさまざまな分野で半導体の需要が高まる中、CPU やメモせ、さらにお客さまの現場に高いスキルを有するカスタマーエンジニアを配置し、装置の稼動率向上やお客さまの潜在的なニーズの理解に努めていきます。
加えてサービスサポート活動におけるさらなる品質の向上や安定化のため、全世界に 4,700リデバイスの高性能化に向けた微細化や高集積化がさらに進んでいます。お客さまにおいては、これらの動向に対応すべく、装置の稼動率向上が極めて重要なテーマとなっています。

名以上いるフィールドエンジニアの技術および対人スキルの向上や海外現地法人による装置の東京エレクトロンでは、出荷した装置が市場で長期にわたり安定稼動することを目指し、据付、また工数管理システムによる作業効率の向上などに関する情報共有や社内連携の強化にフィールドサービスにおけるナレッジマネジメントの推進や、フィールドエンジニアの継続的取り組んでいます。当社がもつこれらの知見やシステムを活用し、お客さまの課題に対するカスなスキルアップ、トータルサポートセンター (TSC)＊ によるグローバルサポート体制の強化なタマイズされたソリューションを提案することで、より付加価値の高いサービスの提供を目指

ど、フィールドソリューション事業のさらなる強化に努めています。
また、新型コロナウイルス感染症の影響による海外への渡航制限などさまざまな規制に対応しています。

すべく、遠隔保守サポートや教育ツールの開発などを進め、お客さまのビジネスオペレーションに貢献する付加価値の高いフィールドソリューション事業の展開に努めています。

幅広い製品群を生かした提案活動＊

トータルサポートセンター (TSC) : P.22 参照

当社は、生産性の向上と省スペース化による装置単位面積当たりの効率化や歩留まりの改善など、製造現場のニーズに応えるべく、お客さまの声を起点とする製品開発を実践しています。お客さまの次々世代以降の製造技術に対するご要望を「Account Sales 本部」で把握し、それらの製品への具現化を「Corporate Innovation 本部」で検討するなど、それぞれの本部が密接に連携し取り組んでいます。
TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2022

東京エレクトロンについてサステナビリティの展開

製品競争力

顧客対応力

生産性向上

経営基盤

TEL FOR GOOD

22

データ集

環境負荷低減の取り組み
当社は、IoT 関連製品などの生産をおこなうお客さまのニーズにお応えするため、200mm

ナレッジマネジメント

ウェーハに対応する前世代の装置をベースとした新たなリニューアルモデルの開発・生産体制をジマネジメント＊1 を推進しています。フィールドサービスの分野では、お客さまの装置のサポー整えています。このリニューアルモデルでは、既存プロセスとの互換性を保ちつつ古いユニットトやトラブルの履歴をデータベース化し、一元管理できる Service CRM＊2 を構築しています。

や部品を新しく置き換え搬送速度などにおいて最新装置レベルの性能を実現することで、お客日本国内からこの Service CRM の運用を開始し、グローバルに展開しています。

さまにおける生産性の向上と環境負荷の軽減に貢献しています。
また、環境負荷低減の取り組みの一環として、装置のライフサイクルを延長するサポートサー
ビス「LEAP＊」を展開しています。

当社では、品質の高いテクニカルサービスを迅速にご提供できるよう、グループ全体でナレッ

ナレッジマネジメントツールでは、複数のシステムにおける装置履歴の一括検索が可能であり、トラブル対応時間の短縮化に寄与しています。
「装置のカルテ」のツールでは装置のシリアルナンバーをもとに、過去のお客さまのトラブル修復情報やパーツの交換履歴などを、また「ナレッ数万点のパーツで構成される半導体製造装置のサポートは、通常、生産中止後 7 〜 8 年で終了

ジの検索」のツールでは装置トラブルの内容をキーワード入力することで、データベースに保存します。その主たる要因は、パーツの生産中止や、安全および品質維持が困難となることです。こされているファイルや文書から過去のトラブル情報を、それぞれ一括検索することが可能です。のため、後継装置への入れ替えが推進され、古い装置は廃棄されていました。このような状況に2021 年度には、装置データベースの多言語化を進め、日本語と英語に加え、韓国語や中国語へおいて、お客さまのニーズにお応えし、また SDGs の観点も鑑み、生産中止パーツの再設計をおこの対応をおこなうことで、グローバルに活動するフィールドエンジニアがナレッジマネジメンなうとともに、修理などサポート体制を強化し再構築することにより、生産中止後 15 年を超えるトツールをより有効に活用することが可能となりました。今後もグループ全体のさまざまなシ装置に対するライフサイクルの延長サポートの提供が可能となりました。こうした新たなサポーステムを One Platform＊3 で管理することにより、作業の効率化を推進しお客さまへの対応のさトサービスにより装置の廃棄を減らし長期間にわたる継続利用への貢献に取り組んでいます。

らなる向上に努めていきます。

＊ LEAP: Lifecycle Extension and Availability Program

ナレッジマネジメントツール

装置のカルテ
装置履歴一括検索「装置番号 (SerialNumber) 」軸トータルサポートセンター
当 社 は、日 本、米 国、

トータルサポートセンター

装置履歴一括検索

トラブル情報「トラブル」軸

知識中 国、欧 州 の 各 地 域 にトータルサポートセン

サービス顧客管理

タ ー (TSC) を 開 設 し、パーツ注文履歴

日本を中心としたグ
ローバルネットワーク

ナレッジの検索装置データベース

BKM
Best Known
MethodTroubleshooting
manual

海外レポート
TSC グローバルネットワークサポート

シリアルナンバー検索

症状検索によって海外現地法人をサポートしています。

TSC の各拠点では、専任の担当者がお客さま＊1 ナレッジマネジメント : 個人がもつ暗黙知を企業内で共有することで新たなイノベーションを促し、全体的な生産性を向上させるための管理手法＊2 Service CRM: Service Customer Relationship Management＊3 One Platform: 共通化したデータベースとシステムで情報を管理する取り組み。

P.26 業務効率化参照の装置に関する情報や類似したトラブルの事例をデータベースとして蓄積し、それらを活用してサポートの充実を図るとともに「TELeMetrics™」などの運用を通じて遠隔保守サービスを実施しています。2021 年度も、世界中の TSC が各地域の時差を生かして相互にサポートし合う体制を構築し、グローバルネットワークの強化を図りました。これらの取り組みにより、さらに迅速かつ的確に、世界中のお客さまからのお問い合わせやトラブルに対応しています。
TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2022

東京エレクトロンについてサステナビリティの展開

製品競争力

顧客対応力

リモートサポートシステム

生産性向上

経営基盤

TEL FOR GOOD

23

データ集

ルドエンジニアを対象に、デジタルトランスフォーメーション＊ (DX) 専門のデータアナリスト

当社は、製造装置のダウンタイムを最小限を育成するトレーニングも実施しています。に抑え、大きな欠陥が発生する前に異常な動2021 年度には、DX スキルを習得したフィールドエンジニアが、業務効率化に寄与するプログ作を検出し、装置の安定稼動を支援する遠隔ラムを開発し、グローバルに展開しています。本プログラムをフィールド情報のデータベースと保守サービスである「TELeMetricsTM」による連携させることで、フィールド情報の更新や分析、また見える化を自動でおこなうことが可能とリモートサポートを推進しています。

なりました。

また、新型コロナウイルス感染症拡大に伴＊ デジタルトランスフォーメーション :う 渡 航 制 限 や 各 国 の 規 制 に よ り、現 地 のフィールドエンジニアに対する遠隔支援ニー

P.18 デジタルトランスフォーメーション (DX) による製品競争力の強化参照
P.26 デジタルトランスフォーメーション (DX) による生産性向上参照

スマートグラス使用 ( イメージ )ズが高まっていることから、高度なリモートサポートシステムを開発しています。これによりお客さまの製造拠点からの映像や音声をリアルタイムに共有できるだけでなく、情報の秘匿性も向上させています。

2021 年度は、既存のスマートグラス＊の機能に、情報保護、映像送信制限、通話翻訳などの当社独自の機能を加え、リモートサポートの利便性を高めるとともに、お客さまの環境に応じてタブレット端末の選択肢を増やすなど、サポート品質のさらなる向上に努めています。

紛失や盗難の際にも情報を守るためのセキュリティ機能

お客さまへの情報提供
東京エレクトロンでは、お客さまに製品を安全にご使用いただくために製品の安全に関する情報を十分にご提供するよう努めています。
ご購入いただいたすべての製品には、「TEL 安全と環境に関する指

当社が独自に加えた機能
情報保護

お客さまの安全のために映像送信制限

通話翻訳

危険領域設定機能情報セキュリティの観点から、 音声をテキストに変換して、 事前に設定しておいた危険領
必 要 な 映 像 の み を 送 信 する 翻訳後に表示する機能 ( 多言 域に近づくと警告する機能
機能語対応 )

針」マニュアルを添付しています。製品使用時に想定される危険事例とその回避方法、製品に施された安全対策や製品の廃棄方法などについて、化学的・電気的・機械的・人間工学的などのカテゴリー別に記載するとともに、世界中のお客さまに正しくご理解いただけるよう、12 の言語＊で制作しています。
またこのマニュアルに加えて、製品の仕様に合わせた製品別マニュ＊ スマートグラス : メガネのように装着し、グラス越しに映像やデジタル情報を表示することができる

アルもご提供しています。

TEL 安全と環境に関する指針

製品の出荷後、安全に関する新たな注意事項が確認された場合には、対象となるお客さまに速やかにご報告する他、特に危険性の高い化学物質や高電圧を使用する製品を導入されたお客さ

エンジニアのスキルアップ
当社はフィールドエンジニアのトレーニング体制の強化やグローバル化の推進を目的として、2019 年にトレーニングオペレーションセンターを設立しました。同センターは、SEMATECH( 米国半導体共同開発機構 ) の基準を満たした当社グループ共通のスキル管理体制を構築しています。客観的に測定されたエンジニアのスキル情報をもとに、最適な人材配置をおこない、お客さまへのサービス提供に役立てています。

まに対しては、必要な情報が確実に伝わるよう努めています。
＊ 12 言語 : 日本語、英語、ドイツ語、フランス語、イタリア語、オランダ語、ロシア語、ポルトガル語、韓国語、中国語 ( 繁体字 ) 、中国語 ( 簡体字 ) 、フィンランド語

お客さま向けトレーニングのグローバル展開
当社では、製品を安全にご使用いただけるよう開発生産拠点を中心に世界各地にトレーニング

2020 年度は、海外現地法人におけるエンジニアのスキル向上のため、エキスパートエンジニセンターを開設し、装置の操作方法やメンテナンスに関するトレーニングを実施しています。

ア教育を開始しました。海外のテクニカルサポートエンジニアがテクニカルサポートのみなら

2021 年度は、新型コロナウイルスの感染拡大の影響により、現地における装置トレーニングの開ず、開発に関わる高度なスキルを国内製造拠点で実践的に習得できるトレーニングなどを展開

催が困難な状況が続き、ウェブ教育やリモートトレーニング ＊の需要が増加しました。このようなしています。また、2020 年度に設置されたグローバルデータエンジニアリングチームのフィー＊ リモートトレーニング : 遠隔ではあるものの、実際の装置をモニター越しに見ながら講師と受講者がリアルタイムでやり取りをしてトレーニングを受ける

TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2022

東京エレクトロンについてサステナビリティの展開

顧客対応力

製品競争力

生産性向上

経営基盤

TEL FOR GOOD

データ集

24

状況において、当社では多くの装置に関するリモートトレーニングを提供しており、見やすいアン開発など ) ごとに分析をおこない、その結果を営業、装置・工場、サービスなどの各関連部門とグルで撮影した映像を事前に用意しビデオコンテンツとして部分的に活用することなどにより、共有することで実務レベルの改善につなげています。また調査方法についても、設問や分析手内容のさらなる充実化を図っています。また導入した機材や手法を各トレーニングセンターで共法、活動全体の運営など、あらゆる面からの改善を重ねています。

有することにより、リモートトレーニングのみならずウェブ教育の品質改善にも努めています。
加えて、海外渡航が困難な状況を考慮し、各現地法人のトレーニングセンターにおける装置ラインアップの拡張も進めています。
今後も、お客さまの安全を第一にトレーニング環境のさらなる整備を進めていきます。

製品の安全設計
当社は、開発段階から製品のライフサイクルを考慮してリスクアセスメントを実施し、その結果を本質安全設計＊1 に反映させることで、装置が人に危害をおよぼすリスクの低減を図っています。
＊2＊3

厳格化が進む法規制をグローバルに調査し、国際的な安全規格や SEMI S2 、CE マーキング

2021 年度には新たな視点による分析を目的として、従来の TEL CS Survey に設問を 2 項目追加し、Advanced CS Survey として調査を実施しました。この調査においては約 1,400 名( 回答率 76.1%) のお客さまからご回答いただき、その平均点は全調査項目において 3 点以上( 大変満足または満足 ) となりました＊。サステナビリティ年度目標である「大変満足」または「満足」回答を選択した割合は、2020 年度の 96.7% より 3.3 ポイント向上し 100% を達成しました。一方で、1 点 ( 大変不満足 ) のご回答をいただいたお客さまへの対応を速やかにおこなうな
ど、早い段階で改善活動に取り組む Shift Left を推進しています。
今後もサステナビリティ年度目標を継続して達成していけるよう、全社一丸となって CSSPによる活動に取り組んでいきます。
＊ご回答いただいたすべてのお客さまのスコア平均値を設問ごとに算出に基づき、当社から出荷する装置について第三者審査機関による適合確認をおこなっています。
また、装置を納入する各国・各地域の安全規制に対応する体制を構築し、海外現地法人と連携改善事例

2017 年度に実施した TEL CS Survey では、ソフトウエアに対する改善要望が多く見られまししながら適切に対応しています。
＊1 本質安全設計 : 機械の設計を工夫することにより、機械が人に危害をおよぼす原因そのものを取り除くこと＊2 SEMI S2: 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン。欧米の有力半導体デバイスメーカーを中心に、半導体のみならず、世界中で電気電子デバイス製造装置の安全仕様として採用されている装置安全設計に関するガイドラインとなっている＊3 CE マーキング : 欧州 EU 圏に製品を輸出する際には EU が定めたルール ( 指令 ) に従い、その製品が安全であることを確認し、その証として CE マークを表示することが定められているた。それ以降システムソフトウエア開発部門では、関連する設問について重点的に調査・分析を実施し、その結果を関係者と共有することでプロダクトごとの課題解決に向けた取り組みを継続的におこなっています。プロダクトを超えた横断的な意見交換や改善施策の検討、進捗報告をおこなう PDCA 活動を展開しています。
お客さまの声を真摯に受け止め開発支援ツールの導入や開発用シミュレーターの改善、業務の進捗に関する各種 KPI の設定、また計測などの改善計画を実施した結果、2021 年度の調査で顧客満足度の向上

はソフトウエアに関する設問はすべて当社がサステナビリティ年度目標に掲げる 3 点以上を達成することができました。

顧客満足度調査
東京エレクトロンでは、独自の顧客満足度調査(TEL CS Survey) を実施し、お客さまからいただいた評価を改善につなげています。2003 年度に一部の部門から開始したこの調査は、2013 年度には半導体製造装置全部門へ、2015 年度にはフラットパ

PDCA サイクル「大変満足」または「満足」
回答を選択した割合

100％

CS Survey
活動準備

お客さまへの調査実施

ネルディスプレイ製造装置部門および海外現地法人へと調査対象を拡充し、現在は Customer

Satisfaction Survey Program (CSSP) として全社で展開しており、その一環として TEL CS
Survey を実施しています。
CSSP では年に一度、同じ時期に、具体的な設問による調査をお客さまに実施し、調査で得られた情報についてはビジネスユニット ( プロダクト ) 、アカウント ( お客さま ) 、機能 ( ソフト・お客さまへのフィードバック
各部門改善活動の実施
改善活動の進捗確認

回答結果の分析、報告
改善計画の検討
TOKYO ELECTRON SUSTAINABILITY REPORT 2022