2019年12月18日
アドバンテストIR技術説明会

今後のメモリ技術動向とテストソリューション
株式会社アドバンテスト
メモリ/ストレージ マーケティング＆ビジネスディベロップメント

横山 仁 (Jin Yokoyama)
All Rights Reserved - ADVANTEST CORPORATIONご注意

将来の事象に係る記述に関する注意– 本プレゼンテーション資料およびアドバンテスト代表者が口頭にて提供する情報には、将来の事象についての、当社の現時点における期待、見積りおよび予測に基づく記述が含まれております。これらの将来の事象に係る記述は、当社における実際の財務状況や活動状況が、当該将来の事象に係る記述によって明示されているものまたは暗示されているものと重要な差異を生じるかもしれないという既知および未知のリスク、不確実性その他の要因が内包されており、当社としてその実現を約束する趣旨のものではありません。

本資料の利用について– 本プレゼンテーション資料に記載されている情報は、各国の著作権法、特許法、商標法、意匠法等の知的財産権法その他の法律及び各種条約で保護されています。事前に当社の文書による承諾を得ない限り、法律によって明示的に認められる範囲を超えて、これらの情報を使用（改変、複製、転用等）することを禁止します。

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メモリテスト市場における当社のポジション

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業界唯一の全メモリテスト工程をカバーする製品群
ウエハレベルバーイン

ウエハレベル
ソート

パッケージレベル
コアテスト及びバーイン

パッケージレベル
高速インタフェース

B6700

T5503HS2

Repai
r
B6700S

T5830/T5833

プローブ・カード

バーイン・ボード周辺 - 治具・装置

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T5833/T5851

デバイス・インタフェース、ハンドラ

V93K HSM16G

世界No.1メモリATE*を維持するコア・コンピタンス◼ メモリテスト業界を牽引する高い技術力✓ ２０１８年 メモリATEマーケットシェア: ＞５０％
（DRAM・不揮発性メモリテストにおけるウエハ試験、パッケージ試験共に業界シェアNo.1）✓ 特に高性能・高速メモリ市場では、高い技術力にて常に業界標準◼ 厳格な品質保証プロセスによる製品長寿命と高品質✓ 業界最高のMTBF （平均故障間隔: Mean Time Between Failure）◼ 高度なメモリプロフェッショナル技術者集団によるグローバル・サポートネットワーク✓ 長年当社が培った高度なメモリテストの知識と経験を体現するエンジニア（SE,FE）を世界中に展開*ATE: Automated Test Equipment、半導体試験装置の略
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5Gインフラによるメモリ市場への影響

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次世代メモリ市場を牽引する主要アプリケーション群
あらゆる領域において求められるのが更なるメモリの高性能化・大容量化• LPDDR5 (~8.53Gbps)• UFS3.x / 4.x / PCIe Gen4
• xSPI NOR / Hyper-Flash• LPDDR5 (~8.53Gbps)• DDR5 (~6.4Gbps)• GDDR6→7 (32Gbps)

スマートフォン高精細化、Foldable、複眼化

Ultra HD / 有機EL
ADAS

• DDR5 (~6.4Gbps)• HBM3 (~6.4Gbps)• GDDR6→7 (32Gbps)• NV-DIMM (3DXP >4.8G)• PCIe Gen4 SSD(Toggle, ONFI ~2Gbps)

データセンター
AI/機械学習、クラウド• LPDDR5 (~8.53G)• UFS3.x / 4.x (~8.53G)• xSPI NOR / Hyper-Flash
自動運転（レベル2.x-3以降）• GDDR6→7 (32Gbps)• HBM3 (~6.4Gbps)• PCIe Gen4 SSD(Toggle, ONFI ~2Gbps)

ADAS、自動運転• GDDR6→7 (32Gbps)• HBM3 (~6.4Gbps)

VR / e-Sports / 据置ゲーム機(PS5, Xbox Scarlett)メモリ市場のアプリケーションドライバーは、データセンター/サーバーorスマホ/モバイル
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第５世代通信の特徴

アクセラレータ、超広帯域ネットワーク機器

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5G vs. 4G
ベースステーション数 (small cell)
アンテナ数(per station)

:5倍
: 16倍

5Gインフラによるメモリテスト市場への影響 (1/2)
 データセンター、クラウドサーバーの拡大
5Gの3大特徴①高速・大容量データ伝送の最大化②超多数個同時接続③超低レイテンシ➡セルタワーやアンテナといったインフラ整備加速➡エッジコンピューティング、データセンターの能力引き上げ

 ５Gインフラをベースとした、スマートフォン / モバイル機器の性能アップ➡世界販売台数はそれほど変化しないと思われるが、高精細化（映像、写真）、Foldable化、複眼化が加速

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5Gインフラによるメモリテスト市場への影響(2/2)
DRAM、NANDデバイストレンドとそのテストへの要求• DDR4→DDR5、GDDR5X→6 6/7（AI/DL, HPC, Gaming）: 高速、新デバイス機能対応•

HBM2/3（アクセラレータ、ネットワーク） ➡ メモリ高速ウエハプロービング•

PCIeG4/5 NVMe SSDの高速化 ➡ Raw NAND IF高速化、NVMテスト機能•

LPDDR4/X→5 （5G対応スマホ高精細化、複眼化、Foldableが牽引）➡ デバイス機能対応と高速化•

UFS2.1→UFS3.0/3.1（5G対応スマホ映像高精細化が組込みSSDパフォーマンスup）•

DRAM(大容量、微細化） ➡ ウエハ一括のGross数アップ

新興不揮発性メモリとエンベデッド、MCPの加速• 3DXpointやその他New NVM （MRAM, RRAM, NRAM）によるSCMを狙う
パ―シスタントメモリ技術加速、市場拡大 ➡ 高速NVMに最適なソリューション
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エッジコンピューティング、IoT拡大によるエンベデッド（MRAM, eDRAM, SIP）、ハイエンドuMCP5 ➡ 高速メモリプロービング

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新興市場にて期待されるグラフィックメモリ• DRAM全体で15~20%のビット成長率が期待されている中、グラフィック向けはその数%AD• しかしグラフィックメモリは据置型ゲーム機やe-Sports以外にもAI、機械学習、自動運転、ネットワーク機器へ用途拡大。メモリスピードの超高速化も期待される

AI/DL

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• この領域はメモリテスタへの性能要求も常に最高

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メモリファブ投資計画 2019-2025 各種報道より
■ 三星

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■ SKハイニックス■ マイクロン■ インテル

300K WPM

380K WPM

Pyeongtaek (NAND) 200K WPM
Xi’an (NAND)
100K WPM

Icheon (NAND) M14
80K WPM
Cheongju (NAND) M15 200K WPM
Wuxi (DRAM) HC-3 100K WPM

Singapore / Fab10A (NAND)
Japan (DRAM) Fab15 Expansion
Taiwan (DRAM) New Fab x 2

China Fab68 (Next plan)
US Fab11X (Start Memory)■ YMTC■ CXMT (Innotron)■ KIOXIA (旧東芝メモリ)■ ウィンボンド

300K WPM (100K x 3)

375K WPM (125K x3 )Wuhan (3D-NAND)

Hefei(合肥) (DRAM)

Japan NAND New FabYokkaichi Y6, Kitakami Y7

Taiwan Kaohsiung
DRAM New Fab

Wafer Capacity investigating

Wafer Capacity investigating

Wafer Capacity investigating

Wafer Capacity investigating

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今後のテストニーズとソリューション

All Rights Reserved - ADVANTEST CORPORATIONDDR / LPDDR DRAMテストフローとソリューション
ウエハレベル
バーイン

B6700S

パッケージレベル
コアテスト及びバーイン

ウエハレベル
ソート

T5833

B6700

T5833

パッケージレベル
高速インタフェース

T5503HS2

KGD・高速ウエハ
プロービングT5833

今後必要とされる要素
✓✓
✓
✓
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ウエハレベル: 微細化によるウエハGross(DPW) 数増加 ➡ 同測数アップ（ウエハ一括）
パッケージ メモリバーイン : 超多数個同時測定、チャンバー温度安定性（低温対応）、コアテストのカバー
DDR, LPDDRの新しいデバイス機能（低消費電力、信号品質、スピード帯域）への対応
高速プロービング: LPDDR5, DDR5（at speed >6.4Gbps）でのウエハレベルテストを実現させる（プローブ・カード技術）
All Rights Reserved - ADVANTEST CORPORATIONNANDフラッシュテストフローとソリューション
ウエハレベルバーイン

ウエハレベルソート

B6700S

T5830/33

パッケージレベル
コアテスト及びバーイン

B6700

T5833

パッケージレベル
高速インタフェース

T5833/T5851

KGD・高速ウエハ
プロービングT5833

今後必要とされる要素
✓✓
✓
✓
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3D NANDの多層レイヤ―による容量増加 ➡ デバイス信頼性の維持・向上（バーイン）、スループット最適化
パッケージ・メモリバーイン: 超多数個同時測定、チャンバー温度安定性（低温対応）、コアテストのカバー
Raw NANDインタフェースの高速化（2Gbps以上）、組込みプロトコルNANDの高速化 （UFS3.1, PCIeG4 BGA）への対応
高速プロービング: 3Dの大容量化のため、at speed でのウエハレベルテストが重要（プローブ・カード技術）
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注目されるメモリバーイン工程の重要性

B6700S

B6700L

B6700(車載要求: -40℃対応）注目されるメモリバーイン の重要性:✓ 3D NANDの多層レイヤ―による容量増加 ➡ 初期不良を排除し、デバイス信頼性の維持・歩留まり向上のためウエハレベル、パッケージレベルでのバーイン が重要✓ DRAMでも、1X, 1Y, 1Zと微細化が継続して進む中、セル間の干渉問題排除や信頼性維持のため、NAND同様にバーイン工程が従来以上にクリティカルになっている✓ 従来からあるバーインテスタの超多数個同時測定という特長、バーインテスト時間の有効活用、コスト面から、コアテスト側のテスト内容をバーイン工程でカバーさせることも検討されている
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All Rights Reserved - ADVANTEST CORPORATION今後のメモリ動向に対する当社の提案
ウエハレベルバーイン

ウエハレベル
ソート

パッケージレベル
コアテスト及びバーイン

パッケージレベル
高速インタフェース

Repair
• 高機能
• 高電力

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• 超多数個同時測定
1000→2000→3000para• 高速プロービング技術
2.4G→4.5G→6.4Gbps• 高電力• 温度制御カバレッジ-40 °C to +150°C• 高機能

All Rights Reserved - ADVANTEST CORPORATION• 超多数個同時測定
512para, 768para• 高周波数対応
8Gbps, 16Gbps
• 高精度

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