SmartAlignment

YRA-070
YRA-071
YRA-131
YRA-200

XYθ薄型アライメントステージシリーズ
YRA-071

Φ20Thru

4060

4-M4 Depth 6mm(120)

4-M3 Depth 6mm

4-M4 Depth 7mm
404-M3 Depth 5mm(140)Φ10 Thru

4060

YRA-070

4060

(130)

(150)

456060特徴型式
テーブルサイズ
移動範囲XY・θ
送り方式（3軸共通）
最小分解能XY（Half時）
最小分解能θ（Half時）	‌シリーズ最小のアライメントステージ	‌多様なモータ変更要求に対応可能	‌小型デバイスの組立に最適	‌多軸組合せ時のベースに最適	‌α Step交換にて脱調レス仕様に変更可能
YRA－070

YRA－071

70mm×70mm

70mm×70mm±3mm・±3°
ボールネジ±5mm・±5°

リード1mm1μm/step

ボールネジ

リード1mm0.5μm/step

0.00127°/step

0.0006366°/step

最高速度XY

10mm/sec （10kpps/half時）

10mm/sec （20kpps/half時）

最高速度θ

12.7°/sec （10kpps/half時）

12.7°/sec （20kpps/half時）

≦ 2μm

≦ 2μm

ロストモーションXY
ロストモーションθ

≦ 0.005°≦ 0.005°

真直度XY≦ 1μm/6mm≦ 1μm/10mm

繰返し位置決め精度≦ ±0.5μm≦ ±0.5μm≦ 0.001°≦ 0.001°

角度再現性
バックラッシュXY

≦ 1μm

≦ 1μm

バックラッシュθ≦ 0.005°≦ 0.005°≦5μm/±3°≦5μm/±5°面振れθ
偏心θ≦3μm/±3°≦3μm/±5°0.6arcsec／N・cm

0.3arcsec/N・cm

水平耐荷重

49N (5kgf)

68.6N(7kgf)

静止耐荷重－－モーメント荷重

自重
使用モータ（3軸共通）コネクタ型式（3軸共通）
価格

1.45kg2.25kg

PK513PB（0.35A／相）オリエンタルモーター

PK523HPMB（0.75A／相）オリエンタルモーター

RP13A－12JG－20PC
450,000円

ヒロセ

RP13A－12JG－20PC
460,000円

ヒロセ

YRA-131

NEW

4-M5 Depth 6mm

YRA-200
X

4-M4 Depth 6mm

4-M10×1.0 Depth 10mm
4-M6 Depth 8mm

4-M3 Depth 4mm

Y(20)506090110
130164(216)

2-φ5 Depth 4mm(200)

4-M4 Depth 5mm

140150130

4-M4 Depth 6mm
4-M5 Depth 6mm

120φ35

Φ48 Thru
4-M3 Depth 4mm

90110506090110130(181.5)(51.5)

22 2260(200)4-M4 Depth 5mm

6090110140(32)1601802105560(306.4)

150	‌中小型液晶やウエハの貼り合わせに最適	‌シリーズ最大の高耐荷重仕様	‌多様なモータ変更要求に対応可能	‌ワーク貼り合わせ時に荷重が掛かる箇所に最適	‌多様なモータ変更要求に対応可能※受注生産品YRA－131

YRA－200130mm×130mm

210mm×150mm±5mm・±5°
ボールネジ±5mm・±5°

リード1mm0.5μm/step

ボールネジ

リード1.0mm

0.5μm/step

0.000337°/step

0.000249°/step

10mm/sec （20kpps/half時）

10mm/sec （20kpps/half時）

6.74°/sec （20kpps/half時）

4.98°/sec （20kpps/half時）

≦ 2μm

≦ 2μm

≦ 0.005°≦ 0.005°≦ 1μm/10mm≦ 3μm/10mm≦ ±0.5μm≦ ±0.5μm≦ 0.001°≦ 0.001°

≦ 1μm

≦ 1μm

≦ 0.005°≦ 0.005°≦5μm/±5°≦5μm/±5°≦3μm/±5°≦5μm/±5°0.1arcsec／N・cm

X方向：0.03arcsec/N・cm

Y方向：0.05arcsec/N・cm

196N (20kgf)

343N (35kgf)－

1961N (200kgf)

4.5kg

5.15kgPK523HPMB（0.75A/相）
オリエンタルモーター

PK523HPMB（0.75A/相）
オリエンタルモーター

RP13A－12JG－20PC
700,000円

ヒロセ

RP13A-12JG-20PC
780,000円

ヒロセ

高耐久性ボールネジ回転ステージ
RA05A-T01

NEW

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

5040304030CCW(76.5)

CW(200)

4-M3 Depth 4mm
4-M3 Depth 4mm(1) (20) (1)(22)

706040(109)706040(0.5)(22)

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor

30CCWhru

φ 30 TCW□60

RA07A-T02(0.3) 21.2(107)

φ17 Thru(200)

4-for M4 screws

4-M3 Depth 5mm

RA10A-T02(139)
100906040Thr

mount from back side.
(0.4) 29.1 (0.5)(22)

100906040φ45Shaft length 5.5mmTapping hole for M5 screw(1) (28) (1)(140)

CW Limit Sensor
Home Position
CCW Limit Sensor
CCWuCW30□ 90

4-M4 Depth 5mm(200)
4-for M4 screws

4-M4 Depth 6mm
4-M3 Depth 4mm

型式
テーブルサイズ
案内方式
回転範囲
送り方式
最小分解能（Half時）
最高速度（20kpps/Half時）
ロストモーション
角度再現性
バックラッシュ面振れ
偏心モーメント荷重
水平耐荷重
材質
自重
使用モーター
コネクタ型式価格

RA05A-T01
50mm×50mm±3°0.002°/step
40°/sec≦0.001°≦5μm/±3°≦5μm/±3°0.31 arcsec/N・cm
58.9N（6kgf）
0.5kg
PK513PB¥192,000(157)

Shaft length 5.5mm
Tapping hole for M5 screw(1) (28) (1)4-M4 Depth 6mm

RA07A-T02
70mm×70mm
クロスローラベアリング

mount from back side.
(0.4) 29.1 (0.5)

RA10A-T02
100mm×100mm±5°
タンジェントバー方式 ボールネジ
0.000682°/step
0.0005°/step
13.64°
/sec
10°
/sec
≦0.005°≦0.003°≦0.002°≦0.005°≦5μm/±5°≦5μm/±5°0.15 arcsec/N・cm
0.05 arcsec/N・cm
78.5N（8kgf）
147N（15kgf）
アルミ合金
0.9kg
1.53kgPK523HPMB
RP13A-12JG-20PC¥198,000¥280,000

神津精機株式会社 http://www.kohzu.co.jp
お問い合わせ先E-mail:sale@kohzu.co.jp

本社／工場 〒215-8521 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15
TEL.044-981-2131 FAX.044-981-2181
大 阪 支 店 〒532-0004 大阪府大阪市淀川区西宮原2-7-38
新大阪西浦ビル202
TEL.06-6398-6610 FAX.06-6398-6620

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