薄膜沉积控制产品完全满足您的需求的控制仪和监测仪

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目录
石英晶体沉积控制仪和监测仪
Cygnus 2薄膜沉积控制仪 .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . A1
IC6薄膜沉积控制仪.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . A7
XTC/3薄膜沉积控制仪.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . A13
SQC-310系列高精度顺序沉积或共沉积控制仪 .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . A18
IQM-233薄膜沉积控制仪卡.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . A22
IMM-100薄膜沉积监测仪.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . A25
IMM-200薄膜沉积监测仪.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . A28
SQM-160多层膜速率/膜厚监测仪 .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . A31
STM-2XM双通道速率/膜厚监测仪.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . A35
STM-2USB薄膜速率/膜厚沉积监测仪.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . A38

电子冲击发射光谱技术
Guardian™共沉积控制系统 .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . B1

石英晶体传感器和馈入件前载式单晶传感器.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C1
抽屉式单晶传感器.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C12
Easy Rate单晶传感器.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C19
前载式双晶传感器.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C28
抽屉式双晶传感器.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C34
Easy Rate双晶传感器.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C40
UHV可烘烤传感器.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C46
ALD传感器. .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C51
溅射传感器. .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C56
Crystal12®传感器.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C62
CrystalSix®传感器 .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C69
RSH-600旋转式传感头 .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . C77

SemiQCM™
750-7000-GXX传感器.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . D1

石英晶片
INFICON石英晶片.  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  .  . E1

薄膜沉积控制产品目录2021|i本页特意留白。

石英晶体沉积
控制仪和监测仪

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石英晶体沉积控制仪和监测仪

Cygnus 2薄膜沉积控制仪
OLED应用可选INFICON Crystal 12传感器可自动切换晶片，而不会中断您的过程。由此可实现连续速率监测，从而延长工具
排气的间隔时间。为了实现源控制、速率或膜厚监测和记录，Cygnus 2具有12路可分配模拟量输出，即6路标准输
出和6路附加输出 (可选)。此外，I/O功能还提供多达24路继电器输出、28路TTL输入和14路TTL输出。4米XIU选件使您能够对大型系统使用长真空传感器电缆。
特性一览

重复获得出色的结果

Cygnus 2薄膜沉积控制仪不仅具备INFICON薄膜控制仪
久经考验的高性能，其独有的功能也非常强大，可帮助您通过OLED过程获得尽可能高的收益。Cygnus 2利用
INFICON ModeLock频率测量系统实现稳定的高分辨率
速率和厚度测量，每1/10秒0.00433埃/秒的速率分辨率达到业界领先水平。Cygnus 2的性能、质量和功能使您能够重复获得出色的结果，其他石英晶体控制仪则无法与
之相媲美。
强大的性能

Cygnus 2能够同时独立地或以任意组合控制多达6个源；
不再需要两台或三台控制仪，从而降低了系统复杂性和成本。

•	INFICON ModeLock技术确保该控制仪能够实现最稳定、分辨率最高的速率和厚度测量，即使在速率非常
低时也不例外•	Auto-Z功能随着材料的沉积自动确定Z比值，从而提高厚度精度•	使用一台Cygnus 2便能同时独立地或以任意组合控制多达6个源，因此不再需要两台或三台控制仪
•	彩色TFT液晶显示屏使您能够轻松查看过程的进展情况•	测量频率为10赫兹•	100毫秒样本的频率分辨率为±0.0035赫兹
•	USB数据存储功能用于存储屏幕截图、配方存储和数据记录•	多源厚度求和功能•	测量速率求平均值功能，适用于速率非常低的低密度材料 (使用稳定源进行速率非常低的OLED掺杂材料沉积时长达30秒)•	显示速率分辨率可达0.001埃/秒•	4米XIU选件使您能够对大型系统使用长真空传感器电缆•	非沉积控制可在基体循环通过沉积室时实现连续源控制•	6路DAC标准输出，6路可选附加输出 (用于源控制、速率或膜厚监测)•	可选以太网通信•	符合RoHS标准

Auto-Z功能大大提高了多种材料和多层的厚度测量精度。

薄膜沉积控制产品目录2021|

A1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

Cygnus 2 (续)为了在沉积速率极低时实现稳定、高分辨率的速率和厚度
测量及控制，Cygnus 2具有测量速率求平均值功能；该
功能对沉积速率非常低的低密度材料非常有用 (使用稳定源进行速率非常低的OLED掺杂材料沉积时长达30秒)。
Auto-Z功能可自动确定有机材料的Z比值，在层状或掺杂材料沉积过程中保持厚度和速率精度。在材料的Z比值未
知的过程中或当两种或更多种材料共沉积时，Auto-Z功
能可确保更高的厚度精度。
凭借上述所有功能，您可以更轻松地测量沉积速率较低的低密度材料，并将这些测量值反馈至系统计算机，以实现可靠的过程控制。

如此处图中所示，在铟沉积中，INFICON ModeLock测量技术显著延长了晶体寿命。

MODELOCK的工作原理
轻松完成过程设置

Cygnus 2配备彩色TFT液晶显示屏和菜单驱动式导航，
操作起来既简单又直观。信息显示在清晰、明亮的屏幕
上，便于查看。软键可帮助您通过屏幕上的菜单快速操
作以高效编程。

久经考验的INFICON ModeLock测量系统能够以常规
有源振荡器”系统无可比拟的精度提供晶体频率信息。
它消除了无法使晶体振荡保持基频的“模式跳变”。
ModeLock不断地测试监测晶体是否以基频谐振，从而消除了常规测量方法固有的弱点。
常规测量方法将石英监测晶体用作振荡电路的有源元件。
因此，晶体控制振荡电路。这样，随着晶体的电特性在沉积过程中不断变化，振荡电路会变得不那么稳定，并
且可能“跳变”至另一谐振频率或完全失效，从而导致
薄膜厚度不精确。
比常规方法更强大、更精确、速度却更快的ModeLock
不断地测试并分析晶体的相频关系。晶体不是振荡电路的有源元件。ModeLock测量系统为晶体确定并应用精确
的频率，防止晶体“跳变”或以基频除外的其他频率振荡。该过程每秒进行数千次以确定谐振频率，精度可达0.0035赫兹/100毫秒。

明亮的TFT液晶显示屏以易读的格式提供信息。

A2 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

Cygnus 2 (续)订购资料

C Y G 2 –
扩展槽

0

基本配置
115伏，50/60赫兹
230伏，50/60赫兹

1
2

可选DAC模块(基本单元包含6路DAC输出)传感器测量模块(分别有两路传感器输入)标准模块2个标准模块
3个标准模块

可选功能
(当前
不可用)

0
1

1
2
3

无
附加6路DAC输出可选TTL继电器模块

01

附加计算机通信模块
(RS-232 标准)
无
以太网

0
1

无
8路继电器输出/14路TTL输出

附加I/O继电器模块(基本单元包含8路继电器
输出/14路TTL输入)

12

无
8路继电器输出/14路TTL输入

附件和替换件CYGNUS 2控制仪附件
755-262-G1

手持式功率控制仪 — 在控制仪处于手动模式时实现沉积功率水平远程控制的手持设备。手持式功率控制仪插在控制单元前面
板中。与Cygnus 2、IC6、XTC/3、IC/5和Cygnus兼容。

薄膜沉积控制产品目录2021|

A3

石英晶体沉积控制仪和监测仪

Cygnus 2 (续)附件和替换件 (续)CYGNUS 2和IC6的XIU组件及互连电缆XIU (振荡器) 组件包括控制仪与XIU (振荡器) 之间的所有电缆、一个XIU以及XIU与真空馈入件之间的电缆。将每个晶体传感器组件连接至控制仪需要一个XIU (振荡器组件)。
注意：将前载式双晶传感器或抽屉式双晶传感器与IC6或Cygnus 2一起使用时，需要一个XIU组件和一个CrystalTwo开关
(零件号779-220-G1或-G2) 或两个XIU组件。

CYGNUS 2和IC6的XIU (振荡器) 组件
781-611-G15

包含4.6米 (15英尺) 电缆的XIU组件 — 与Cygnus 2和IC6一起使用

781-611-G30

包含9.1米 (30英尺) 电缆的XIU组件 — 与Cygnus 2和IC6一起使用

781-611-G50

包含15.2米 (50英尺) 电缆的XIU组件 — 与Cygnus 2和IC6一起使用

781-611-G100

包含30.5米 (1000英尺) 电缆的XIU组件 — 与Cygnus 2和IC6一起使用

781-612-G15

包含4.6米 (15英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和6英寸BNC (XIU至馈入件)电缆781-612-G30

包含9.1米 (30英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和6英寸BNC (XIU至馈入件)电缆781-612-G50

包含15.2米 (50英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和6英寸BNC (XIU至馈入件)电缆781-612-G100

包含30.5米 (100英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和6英寸BNC (XIU至馈入件) 电缆

781-613-G15

包含4.6米 (15英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和20英寸BNC (XIU至馈入件) 电缆

781-613-G30

包含9.1米 (30英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和20英寸BNC (XIU至馈入件) 电缆

781-613-G50

包含15.2米 (50英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和20英寸BNC (XIU至馈入件) 电缆

781-613-G100

包含30.5米 (100英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和20英寸BNC (XIU至馈入件) 电缆

仅CYGNUS 2和IC6的XIU (无电缆)781-600-G1

IC6和Cygnus 2 XIU (振荡器) — 适用于XIU至传感头的电缆长度为15至183厘米 (6至72英寸)
的应用

781-600-G2

IC6和Cygnus 2 XIU (振荡器) — 适用于XIU至传感头的电缆长度为3至4米 (118至157英寸)
的应用

CYGNUS 2、IC6、XTC/3M和XTC/3S的互连电缆
755-257-G6

XIU至真空馈入件的15.2厘米 (6英寸) 电缆

600-1261-P15

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的4.6米 (15英尺) 电缆

600-1261-P30

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的9.1米 (30英尺) 电缆

600-1261-P50

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的15.2米 (50英尺) 电缆

600-1261-P100

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的30.5米 (100英尺) 电缆

A4 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

Cygnus 2 (续)
规格
测量性能
频率分辨率

±0.0035赫兹 @ 6兆赫兹每次测量的
厚度和速率分辨率1±0.00433埃

测量频率范围

6.0至4.5兆赫兹 (固定)

厚度精度

0.5%

测量间隔

0.10秒

多次测量求平均值允许0.1、0.4、1.0、4.0、10.0、20.0和30.0秒求平均值2

设计特性多传感器测量是 (多达6个传感器)

Auto-Z是共沉积

是 (多达6个源)过程配方和数据管理
材料程序6种独立的材料

USB存储

是

数据记录

是

硬件特性
传感器3
单晶

6

双晶/CrystalTwo

6 (每路传感器输入一个CrystalTwo开关)

CrystalSix

6

Crystal 12

6

通用

6

源控制
源数4

多达6

源控制电压

0至±10伏，可调输出分辨率整个范围 (0至10伏) 15位

坩埚位置

64

输入/输出
输入

14路标准输出，最多可选28路；TTL/CMOS逻辑兼容或对地闭合输出8路标准输出，最多可选24路可编程SPST继电器输出，额定电压为30伏 (直流) 或30伏 (交流)(有效值) 或42伏 (峰值) @ 2.5安；14路可选TTL输出记录器输出4

0至+10伏，可调逻辑语句100个，完全可编程；最多5个动作，每个语句5个事件

通信

1

标准

RS-232可选以太网

工具/密度 = 100/1，基频 = 6兆赫兹

2 因过程而异；相关数字反映的是典型精度

Cygnus 2有6路DAC标准输出，可再增加6路可选输出。12路输出均可配置为源控制电压或记录器输出，无论如何，可同时控制的源数都为6。

4 

3 

每种类型的最大配置

薄膜沉积控制产品目录2021|

A5

石英晶体沉积控制仪和监测仪

Cygnus 2 (续)规格 (续)
显示
厚度分辨率

1埃 (0至9.999千埃)
10埃 (10.00至99.99千埃)
100埃 (100.0至999.9千埃)
1千埃 (1000至9999千埃)

速率分辨率0.001埃/秒 (0至9.999埃/秒)
0.01埃/秒 (10.00至99.99埃/秒)
0.1埃/秒 (100.0至999.9埃/秒)

操作
电源要求

100至230伏 (交流) ± 15%50/60赫兹 ± 3赫兹

工作温度

0至50摄氏度 (32至122华氏度)尺寸 (不包括支座)(高 x 宽 x 深)133 x 483 x 330毫米 (5.25 x 19 x 13英寸)

重量

5.9公斤 (13磅)

A6 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IC6薄膜沉积控制仪
光学应用

重复获得出色的结果

IC6薄膜沉积控制仪不仅具备INFICON薄膜控制仪久经
考验的高性能，其独有的功能也非常强大，可帮助您通过沉积过程获得尽可能高的收益。IC6利用INFICON
ModeLock频率测量系统实现稳定的高分辨率速率和厚度
测量，每1/10秒0.00433埃/秒的速率分辨率达到业界领先
水平。光学过程 (例如反射膜、带通滤光片和增透膜) 将
受益于该系统的高分辨率、高可靠性以及处理50个分别
包含200层的过程的能力。IC6的性能、质量和功能使您能够重复获得出色的结果，其他石英晶体控制仪则无法
与之相媲美。
可靠的过程控制

凭借一系列完善的功能，很容易就能将IC6集成到您的系统中，以实现完整的过程控制。IC6能够同时控制多达6
个源，以实现速率和膜厚控制。多达12路模拟量输出可分配用于源控制或用于速率或厚度记录。

Auto-Z功能大大提高了多种材料和多层的厚度测量精度。

特性一览•	INFICON ModeLock技术确保该控制仪能够实现最稳定、分辨率最高的速率和厚度测量，即使在速率非常
低时也不例外•	Auto-Z功能随着材料的沉积自动确定Z比值，从而提高厚度精度•	同时共沉积的源多达6个•	彩色TFT液晶显示屏使您能够轻松查看过程的进展情况•	100毫秒样本的频率分辨率为±0.0035赫兹
•	USB数据存储功能用于存储屏幕截图、配方存储和数据记录•	强大的I/O功能，可使用可扩展输入 (28路) 和输出(24路继电器输出、14路TTL输出) 以及使用逻辑函数(100个逻辑语句) 灵活地集成到简单或复杂的系统中•	6路DAC标准输出，6路可选附加输出 (用于源控制、速率或膜厚监测)•	可处理多达50个分别包含200层的过程，可将这些过程关联到一起，即最多可处理10,000层•	可对多个传感器 (最多8个传感器) 求平均值•	4米XIU选件使您能够对大型系统使用长真空传感器电缆•	可选以太网通信•	符合RoHS标准

薄膜沉积控制产品目录2021|

A7

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IC6 — 光学应用 (续)IC6提供的逻辑和过程控制能力包括100个可编程逻辑语
句、20个计数器和20个计时器。I/O功能可提供多达24
路继电器输出、28路TTL输入和14路TTL输出。逻辑语句
可与外部输入或输出一起使用，使IC6能够执行原本需要
PLC或辅助设备才能执行的功能。每个逻辑语句最多可
包含5个可使用布尔逻辑链接的函数。
为了确保过程配方的灵活性，IC6能够处理50个分别包含200层的过程。可将这些过程关联到一起，即最多可处理
10,000层。
Auto-Z功能可自动确定Z比值，从而保持厚度和速率精度，并且不再需要用户估算声阻抗。在多种不同的材料
沉积到同一晶体上的过程中、在两种或更多种材料共沉
积的过程中，或是当某种材料的Z比值未知时，该功能尤为重要。
轻松完成过程设置

IC6配备彩色TFT液晶显示屏和菜单驱动式导航，操作起来既简单又直观。信息显示在清晰、明亮的屏幕上，便
于查看。软键可帮助您通过屏幕上的菜单快速操作以高效编程。

如此处图中所示，在铟沉积中，INFICON ModeLock测量技术显著延长了晶体寿命。

MODELOCK的工作原理

久经考验的INFICON ModeLock测量系统能够以常规
有源振荡器”系统无可比拟的精度提供晶体频率信息。
它消除了无法使晶体振荡保持基频的“模式跳变”。
ModeLock不断地测试监测晶体是否以基频谐振，从而消除了常规测量方法固有的弱点。
常规测量方法将石英监测晶体用作振荡电路的有源元件。因此，晶体控制振荡电路。这样，随着晶体的电特性在沉积过程中不断变化，振荡电路会变得不那么稳定，并且可能“跳变”至另一谐振频率或完全失效，从而导致薄膜厚度不精确。
比常规方法更强大、更精确、速度却更快的ModeLock
不断地测试并分析晶体的相频关系。晶体不是振荡电路的有源元件。ModeLock测量系统为晶体确定并应用精确
的频率，防止晶体“跳变”或以基频除外的其他频率振荡。该过程每秒进行数千次以确定谐振频率，精度可达0.0035赫兹/100毫秒。

明亮的TFT液晶显示屏以易读的格式提供信息。

A8 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IC6 — 光学应用 (续)订购资料

I C 6 –可选DAC模块(基本单元包含6路DAC输出)基本配置
115伏，50/60赫兹
230伏，50/60赫兹

0
1

1
2

传感器测量模块(分别有两路传感器输入)标准模块2个标准模块
3个标准模块
4个标准模块

以太网

附加6路DAC输出可选TTL继电器模块

0
1

1
2
3
4

无
8路继电器输出/14路TTL输出

附加I/O继电器模块(基本单元包含8路继电器
输出/14路TTL输入)

附加计算机通信模块
(RS-232标准)
无

无

0
1

1
2

无
8路继电器输出/14路TTL输入

附件和替换件IC6控制仪附件
755-262-G1

手持式功率控制仪 — 在控制仪处于手动模式时实现沉积功率水平远程控制的手持设备。手持式功率控制仪插在控制单元前面
板中。与Cygnus 2、IC6、XTC/3、IC/5和Cygnus兼容。

薄膜沉积控制产品目录2021|

A9

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IC6 — 光学应用 (续)附件和替换件 (续)CYGNUS 2和IC6的XIU组件及互连电缆XIU (振荡器) 组件包括控制仪与XIU (振荡器) 之间的所有电缆、一个XIU以及XIU与真空馈入件之间的电缆。将每个晶体传感器组件连接至控制仪需要一个XIU (振荡器组件)。
注意：将前载式双晶传感器或抽屉式双晶传感器组件与IC6或Cygnus 2一起使用时，需要一个XIU组件和一个CrystalTwo开关
(零件号779-220-G1或-G2) 或两个XIU组件。

CYGNUS 2和IC6的XIU (振荡器) 组件
781-611-G15

包含4.6米 (15英尺) 电缆的XIU组件 — 与Cygnus 2和IC6一起使用

781-611-G30

包含9.1米 (30英尺) 电缆的XIU组件 — 与Cygnus 2和IC6一起使用

781-611-G50

包含15.2米 (50英尺) 电缆的XIU组件 — 与Cygnus 2和IC6一起使用

781-611-G100

包含30.5米 (100英尺) 电缆的XIU组件 — 与Cygnus 2和IC6一起使用

781-612-G15

包含4.6米 (15英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和6英寸BNC (XIU至馈入件)电缆781-612-G30

包含9.1米 (30英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和6英寸BNC (XIU至馈入件)电缆781-612-G50

包含15.2米 (50英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和6英寸BNC (XIU至馈入件)电缆781-612-G100

包含30.5米 (100英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和6英寸BNC (XIU至馈入件) 电缆

781-613-G15

包含4.6米 (15英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和20英寸BNC (XIU至馈入件) 电缆

781-613-G30

包含9.1米 (30英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和20英寸BNC (XIU至馈入件) 电缆

781-613-G50

包含15.2米 (50英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和20英寸BNC (XIU至馈入件) 电缆

781-613-G100

包含30.5米 (100英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和
20英寸BNC (XIU至馈入件) 电缆仅CYGNUS 2和IC6的XIU (无电缆)781-600-G1

IC6和Cygnus 2 XIU (振荡器) — 适用于XIU至传感头的电缆长度为15至183厘米 (6至72英寸)
的应用

781-600-G2

IC6和Cygnus 2 XIU (振荡器) — 适用于XIU至传感头的电缆长度为3至4米 (118至157英寸)
的应用

CYGNUS 2、IC6、XTC/3M和XTC/3S的互连电缆
755-257-G6

XIU至真空馈入件的15.2厘米 (6英寸) 电缆

600-1261-P15

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的4.6米 (15英尺) 电缆

600-1261-P30

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的9.1米 (30英尺) 电缆

600-1261-P50

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的15.2米 (50英尺) 电缆

600-1261-P100

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的30.5米 (100英尺) 电缆

A10 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IC6 — 光学应用 (续)
规格
测量性能
频率分辨率

±0.0035赫兹 @ 6兆赫兹每次测量的
厚度和速率分辨率1±0.00433埃

测量频率范围

6.0至4.5兆赫兹 (固定)

厚度精度

0.5%

测量间隔

0.10秒

多次测量求平均值允许0.1、0.4、1.0、4.0、10.0、20.0和30.0秒求平均值2

设计特性多传感器测量是 (多达8个传感器)

Auto-Z

是

自动调谐

是

共沉积

是 (多达6个源)过程配方和数据管理
材料程序32

过程层 (每个过程)

200

过程

50 (可将这些过程关联到一起)

USB存储

是

数据记录

是

硬件特性
传感器3
单晶

8

双晶/CrystalTwo

4/8 (带CrystalTwo开关)

CrystalSix

8

Crystal 12

8

通用

8

源控制

1

源数4

多达6

源控制电压

0至±10伏，可调输出分辨率整个范围 (0至10伏) 15位

坩埚位置

64

工具/密度 = 100/1，基频 = 6兆赫兹

2 因过程而异；相关数字反映的是典型精度

IC6有6路DAC标准输出，可再增加6路可选输出。12路输出均可配置为源控制电压或记录器输出，无论如何，可同时控制的源数都为6。

4 

3 

每种类型的最大配置

薄膜沉积控制产品目录2021|

A11

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IC6 — 光学应用 (续)规格 (续)
输入/输出记录器输出4

0至+10伏，可调逻辑语句100个，完全可编程；最多5个动作，每个语句5个事件通信：

6.0至4.5兆赫兹 (固定)标准RS-232

可选

以太网

显示

允许0.1、0.4、1.0、4.0、10.0、20.0和30.0秒求平均值厚度分辨率

1埃 (0至9.999千埃)
10埃 (10.00至99.99千埃)
100埃 (100.0至999.9千埃)
1千埃 (1000至9999千埃)

速率分辨率0.001埃/秒 (0至9.999埃/秒，如果设置的速率过滤时间大于等于10秒)
0.01埃/秒 (0至99.99埃/秒)
0.1埃/秒 (100至999.9埃/秒)

操作
电源要求

100至230伏 (交流) ± 15%50/60赫兹 ± 3赫兹

工作温度

0至50摄氏度 (32至122华氏度)尺寸 (不包括支座)(高 x 宽 x 深)133 x 483 x 330毫米 (5.25 x 19 x 13英寸)

重量

5.9公斤 (13磅)A12 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

XTC/3薄膜沉积控制仪
特性一览适合单层或多层过程的先进、实惠的速率控制仪

现在，只需一台适合单层和多层过程的薄膜沉积控制仪便
能满足您的全部需求。采用ModeLock专利技术的XTC/3
提供久经考验的防模式跳变功能，以确保始终如一的质量。选择XTC/3薄膜沉积控制仪，您可以高度精确地控制
沉积速率和厚度，这款控制仪几乎能够处理任何层数，
安装简单，极高的可靠性可为您确保生产率。
作为薄膜沉积控制仪领域的全球领军者，INFICON现在
推出一款购置成本非常低，但却能够为您带来前所未有的价值的控制仪。

•	提供单层和多层型号•	ModeLock专利技术可防止因模式跳变而出现薄膜厚度错误•	支持INFICON Crystal 12®、CrystalSix®和双晶传感器自动晶片切换，以最大程度地提高生产率
•	XTC/3M多层型号支持多达99个过程、999层、32种
薄膜、2个传感器和2个源•	XTC/3S单层型号支持多达9种薄膜、2个传感器和2个源
•	TFT液晶显示屏提供易读的图形显示•	可为薄膜和过程分配唯一的描述性名称以方便检索
•	提供以太网连接•	可通过独立 (不需要计算机) 或可选Windows软件实现计算机操作•	即插即用地替换INFICON XTC/2控制仪 (限于XTC/2的功能和命令集)无论您的控制需求反映的是生产还是研发用途，
INFICON XTC/3都能精确匹配您的需求。
遍布全球的INFICON支持网络

无论您身在何处，您都将获得快速解答、贴心服务和最长正常运行时间。INFICON在世界各地都设有办事处，是唯一一家在全球范围内为客户提供本地服务和技术支
持的薄膜沉积控制仪制造商。

薄膜沉积控制产品目录2021|

A13

石英晶体沉积控制仪和监测仪

XTC/3 (续)订购资料
XTC/3S — 单层控制仪

X C 3 S –机架安装套件基本单元
XTC/3S @ 115伏
XTC/3S @ 230伏

1
2

0
1
2

无
单设备机架安装套件双设备机架安装套件远程手持式功率控制仪

01

附加计算机通信模块无 (仅RS-232)
以太网模块无
手持式功率控制仪

0
1

XTC/3M — 多层控制仪

X C 3 M –机架安装套件基本单元
XTC/3M @ 115伏
XTC/3M @ 230伏

1
2

0
1
2

无
单设备机架安装套件双设备机架安装套件远程手持式功率控制仪

01

附加计算机通信模块无 (仅RS-232)
以太网模块

0
1

A14 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1无
手持式功率控制仪

石英晶体沉积控制仪和监测仪

XTC/3 (续)附件和替换件XTC/3附件
780-700-G1

 太网计算机通信模块 — 一个提供行业标准信令协议的插入式以太网模块，以及多个用于
以
从远程命令源接受操作命令的连接器。

755-262-G1

 持式功率控制仪 — 在控制仪处于手动模式时实现沉积功率水平远程控制的手持设备。手手
持式功率控制仪插在控制单元前面板中。

780-702-G1

 设备机架安装套件 — 提供将一台XTC/3安装到标准48.3厘米 (19英寸) 机架中所需的全部
单
材料。

780-702-G2

 设备机架安装套件 — 提供将两台XTC/3并排安装到标准48.3厘米 (19英寸) 机架中所需的
双全部材料。

XTC/3的XIU组件和互连电缆XIU (振荡器) 组件包括控制仪与XIU (振荡器) 之间的所有电缆、一个XIU以及XIU与真空馈入件之间的电缆。将每个晶体传感器组件连接至控制仪需要一个XIU (振荡器组件)。
注意：将前载式双晶传感器或抽屉式双晶传感器与XTC/3一起使用时，需要一个XIU组件和一个CrystalTwo开关 (零件号779-220-G1或-G2) 或两个XIU组件。

XTC/3的XIU (振荡器) 组件
780-611-G15

包含4.6米 (15英尺) 电缆的XIU组件 — 与XTC/3一起使用

780-611-G30

包含9.1米 (30英尺) 电缆的XIU组件 — 与XTC/3一起使用

780-611-G50

包含15.3米 (50英尺) 电缆的XIU组件 — 与XTC/3一起使用

780-611-G100

包含30.5米 (100英尺) 电缆的XIU组件 — 与XTC/3一起使用

780-612-G15

包含4.6米 (15英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和15.2厘米 (6英寸) BNC(XIU至馈入件) 电缆 — 与XTC/3一起使用

780-612-G30

包含9.1米 (30英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和15.2厘米 (6英寸) BNC(XIU至馈入件) 电缆 — 与XTC/3一起使用

780-612-G50

包含15.3米 (50英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和15.2厘米 (6英寸)(XIU至馈入件) 电缆 — 与XTC/3一起使用

780-612-G100

包含30.5米 (100英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括4米真空电缆和15.2厘米 (6英寸)(XIU至馈入件) 电缆 — 与XTC/3一起使用

780-613-G15

包含4.6米 (15英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和50.8厘米 (20英寸)
BNC (XIU至馈入件) 电缆 — 与XTC/3一起使用

780-613-G30

包含9.1米 (30英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和50.8厘米 (20英寸)
BNC (XIU至馈入件) 电缆 — 与XTC/3一起使用

780-613-G50

包含15.3米 (50英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和50.8厘米 (20英寸)
BNC (XIU至馈入件) 电缆 — 与XTC/3一起使用

780-613-G100

包含30.5米 (100英尺) XIU电缆的4米XIU组件 — 包括3.5米真空电缆和50.8厘米 (20英寸)
BNC (XIU至馈入件) 电缆 — 与XTC/3一起使用

仅XTC/3 XIU (无电缆)780-600-G1

XTC/3 XIU (振荡器) — 适用于XIU至传感头的电缆长度为15至183厘米 (6至72英寸) 的应用

780-600-G2

XTC/3 XIU (振荡器) — 适用于XIU至传感头的电缆长度为3至4米 (118至157英寸) 的应用

薄膜沉积控制产品目录2021|

A15

石英晶体沉积控制仪和监测仪

XTC/3 (续)附件和替换件 (续)CYGNUS 2、IC6、XTC/3M和XTC/3S的互连电缆
755-257-G6

XIU至真空馈入件的15.2厘米 (6英寸) 电缆

600-1261-P15

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的4.6米 (15英尺) 电缆

600-1261-P30

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的9.1米 (30英尺) 电缆

600-1261-P50

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的15.2米 (50英尺) 电缆

600-1261-P100

Cygnus 2、IC6或XTC/3控制仪至XIU的30.5米 (100英尺) 电缆规格
功能、参数或规格XTC/3S单层控制仪

XTC/3M多层控制仪频率分辨率±0.028赫兹 @ 6兆赫兹

±0.028赫兹 @ 6兆赫兹测量频率范围

6.0至5.0兆赫兹 (固定)

6.0至5.0兆赫兹 (固定)

0.25秒

0.25秒

每次测量的厚度和速率分辨率±0.034埃

±0.034埃测量技术ModeLock

ModeLock

过程数

1

99

层数

1

999

材料程序 (或薄膜) 数

932传感器输入数两个两个支持CrystalSix/Crystal 12传感器

是是支持XTAL2开关

是

是

源输出数

两个

两个

计算机通信

RS-232 (标配)、以太网TCP/IP (可选)RS-232 (标配)、以太网TCP/IP (可选)RS-232最大波特率

115.2 kbps

115.2 kbps

自动切换晶片是是

继电器数12，事件不可分配

12，事件可分配测量间隔
1

工具/密度 = 100/1，基频 = 6兆赫兹

1 

A16 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

XTC/3 (续)规格 (续)
功能、参数或规格XTC/3S单层控制仪

XTC/3M多层控制仪可编程继电器功能数

1

1

每个继电器的功能

11继电器额定电压

30伏 (直流) 或30伏 (交流) (有效值) 或
42伏 (峰值) @ 2.5安30伏 (直流) 或30伏 (交流) (有效值) 或
42伏 (峰值) @ 2.5安输入数

8路TTL，最大24伏 (直流)

8路TTL，最大24伏 (直流)可编程输入功能数

1，事件不可分配

1，事件可分配记录器输出数1

1

手动模式/手持式功率控制仪

是

是

排气扇

无排气扇

无排气扇

测试模式

是

是

挡板延迟

是

是

辅助工具

是

是

外壳尺寸

半机架，高2个机架单位

半机架，高2个机架单位

速率和厚度显示分辨率

0.1埃/秒 (0.0至99.9埃/秒)，
1埃/秒 (100至999埃/秒)，
显示厚度分辨率 = 1埃

0.1埃/秒 (0.0至99.9埃/秒)，
1埃/秒 (100至999埃/秒)，
显示厚度分辨率 = 1埃通过输入选择薄膜

是否

用户指南语言

英文、中文

英文、中文

控制回路

PID

PID

从计算机操作的软件

是

是

数据记录

是

是

质量和稳定性功能

是是采样保持 (RateWatcher™)

是

是

坩埚选择

是

是

坩埚反馈输入是是选择控制电压极性

是，±2.5、5、10伏 (直流)；15位分辨率是，±2.5、5、10伏 (直流)；15位分辨率

程序锁代码

是

是

薄膜沉积控制产品目录2021|

A17

石英晶体沉积控制仪和监测仪

SQC-310系列
高精度顺序沉积
或共沉积控制仪
特性一览

最实惠、最先进的多层控制仪 — 技术领军者出品

INFICON SQC-310系列提供了任何竞争对手的薄膜控制
仪都不具备的功能。
除了先进的电子元件、改进的显示屏和实惠的价格之
外，SQC-310还可灵活配置，以满足任何应用的要求。
为了控制顺序沉积，SQC-310配备2路传感器输入、2路
源输出、8路数字量输入和8路继电器输出。可选扩展卡
使可用输入和输出数翻倍。对于共沉积，SQC-310C
最多可同时监测并控制4路传感器输入和4路源输出。
SQC-310C还提供16路数字量输入和16路继电器输出。
遍布全球的支持网络 — 我们的专门技术便是您的竞争优势

INFICON是唯一一家在全球范围内为客户提供本地服务
和技术支持的薄膜沉积控制仪制造商 — 服务范围包括使SQC-310系列控制仪功能更强大的众多传感器、馈
入件和附件。购买SQC-310系列控制仪或INFICON的任
何其他产品后，您一定能够获得快速解答、贴心服务和最长正常运行时间。

A18 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1•	明亮的彩色液晶显示屏 — 提供英文或中文显示•	标配RS-232和USB接口 (可选RS-232和以太网接口)•	可使用“Quick Setup”(快速设置) 菜单、6个上下文相关按钮和便捷的参数设置旋钮轻松进行设置和操作•	可使用Windows®程序进行过程开发、测试和下载，以及将控制仪数据记录至您的计算机，以进行过程分析和质量控制•	精确的过程控制，特别是在沉积速率较低时，每秒读
取10次时的频率分辨率可达±0.03赫兹•	存储容量可存储多达100个过程、1000层和50种薄膜•	通过单个传感器或多个传感器监测源材料，可实现精确的源分布监测

石英晶体沉积控制仪和监测仪

SQC-310系列 (续)订购资料S Q C 3 1 0 –

–

–

通道
2条QCM通道
4条QCM通道

24

接口
RS-232和USB
RS-232和以太网

显示

1
2

R
E

英文
中文

完整系统示例：
SQC310-2-R-1	
配备双通道、RS-232和USB接口以及英文显示的SQC-310顺序沉积控制仪
783-500-109-10	3米 (10英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和3米 (10英尺) BNC电缆SL-A0E47-30

带CF40馈入件的前载式单晶传感器，焊接在自晶片中心至CF40密封面30厘米长度处

008-010-G10

10片装镀金电极晶片 (6兆赫兹)，装在洁净室兼容型分片器中S Q C 3 1 0 C –

–

–

通道
4条QCM通道

4

接口RS-232和USB
RS-232和以太网

显示

R
E

1
2

薄膜沉积控制产品目录2021

英文
中文

|

A19

石英晶体沉积控制仪和监测仪

SQC-310系列 (续)附件和替换件
附件
782-900-017

手持式功率控制器，3米 (10英尺) 卷缆

782-900-007

3U机架扩展器 — 将一台SQC-310控制仪安装到48.3厘米 (19英寸) 机架中

782-900-016

3U机架适配器 — 将两台SQC-310控制仪安装到48.3厘米 (19英寸) 机架中

振荡器和电缆
783-500-109-10

3米 (10英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和3米 (10英尺) BNC电缆

783-500-109-25

7.6米 (25英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和7.6米 (25英尺) BNC电缆

783-500-109-50

15.2米 (50英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和15.2米 (50英尺) BNC电缆

783-500-109-75

22.8米 (75英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和22.8米 (75英尺) BNC电缆

783-500-013-G1

OSC-100振荡器

782-902-011

15.2厘米 (6英寸) BNC电缆，公头/母头

782-902-012-10

3米 (10英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-25

7.6米 (25英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-50

15.2米 (50英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-75

22.8米 (75英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-022

15.2厘米 (6英寸) BNC转Microdot®适配器电缆

A20 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

SQC-310系列 (续)规格
SQC-310

SQC-310C

2 (可选4)

4

检测误差
传感器输入
测量频率范围

6.5至1.0兆赫兹 (可调)频率分辨率1±0.012赫兹 @ 6兆赫兹每次测量的厚度和速率分辨率2±0.015埃

基准频率稳定度

总计±百万分之2，0至50摄氏度测量间隔

0.1至1.0秒 (可调)速率显示0.01埃/秒

控制100个过程、1000层、50种薄膜存储
源输出

2 (可选4)40至±10伏 (直流)，15位

输出信号
数字量输入/继电器PID

8/8 (可选16/16)

16 / 16

数字量输入

5伏 (直流)，非绝缘继电器

SPST型，1安，30伏 (直流)，最大2安接口

RS-232和USB (可选RS-232和以太网)远程功率控制可选显示
型号

1/4 VGA 320 x 240有源矩阵彩色液晶显示屏图形

速率、偏差、功率或全屏数字

一般
功率

100至240伏 (交流)，50/60赫兹，25瓦

符合性

CE，RoHS

Windows软件

包含

壳体/支座

13.3厘米 (5.25英寸) 半机架薄膜沉积控制产品目录2021|

A21

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IQM-233薄膜沉积
控制仪卡
特性一览

• PCI Express• 3路传感器输入，3路控制输出
•一 台计算机中可安装多张卡•多 源共沉积
•可 轻松集成到PLC中以增加I/O功能
•易
 于使用
•物
 有所值
选择适合您的软件解决方案

通过PCI EXPRESS卡实现低成本沉积控制

IQM-233的PCI Express卡可将您的计算机 (PC) 变成一
台薄膜沉积控制仪。这款产品由INFICON设计并制造，
是系统原始设备制造商或希望将薄膜沉积控制仪集成到
现有计算机或PLC控制系统中的所有客户的理想选择。安装很简单 — 您需要的只是一个空闲的PCI Express插
槽。IQM-233可以安装到标准或小型计算机塔中。
无可匹敌的功能每张IQM-233卡具有3路QCM传感器输入和3路源输出。
一台计算机中最多可安装两张IQM-233卡 (使用可选IQS-233软件)，最多可为您提供6路传感器输入和6路源输出。只有INFICON能够在完全集成式计算机控制QCM
控制仪中提供这种水平的灵活性。
IQM-233与零件号为782-900-010的INFICON振荡器兼
容，因此，更换SQM-242卡不需要新的振荡器。它也与
所有INFICON单晶和双晶传感头兼容。

A22 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

IQM-233包含Windows基础软件，通过一张IQM-233卡
便能设置和控制简单顺序或共沉积过程。可选IQS-233
Windows高级软件允许通过事件可选继电器/输入功能实现更加复杂的过程设置，包括多层共沉积、绘图和PLC集成。此外，IQS-233软件最多允许使用两张IQM-233卡。
作为希望编写自用软件的客户的替代方案，IQM-233包含LabVIEW™示例程序，可提供基本功能并演示编程技术。
遍布全球的INFICON支持网络

IQM-233卡由QCM控制仪领域的全球领军者INFICON
设计并提供支持。无论您身在何处，您都将获得使
INFICON产品保持平稳运行所需的快速解答、贴心服务
和支持。INFICON在世界各地都设有办事处，可在您需要时提供本地技术支持和服务。

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IQM-233 (续)IQM-233标准软件 (包含)

IQS-233共沉积软件 (可选)订购资料
782-IQM-233-G1

适合标准PCI Express插槽的IQM-233 QCM控制仪卡³782-IQM-233-G2

适合小型 (SFF) PCI Express插槽的IQM-233 QCM控制仪卡³782-IQS-233

IQS-233共沉积软件

600-1441-P1

IQM-233传感器输入的SMA转BNC适配器 (每路传感器输入需要1个)

包括1个SMA转BNC适配器 (600-1441-P1)

3 

IQM-233标准软件 (包含在IQM-233中)• Windows程序为一张IQM-233卡提供基本设置和沉积控制。
•可 同时监测和/或控制多达3个传感器和/或源。
•还 包含LabVIEW示例程序及其源代码。
可选IQS-233共沉积软件•为 一张或两张IQM-233卡提供完整的设置和沉积控制。
•可 同时监测和/或控制多达6个传感器和/或源。
•多 层过程配方、预处理/后处理、数据记录、实时数据绘图和数字量I/O功能 (需要PLC)。

IQM-233源输出至电源传感器

15.2厘米(6英寸)
BNC电缆
3米 (10英尺)
BNC电缆

安装有IQM-233
软件的PC
电源
振荡器

IQM-233传感器输入至振荡器薄膜沉积控制产品目录2021|

A23

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IQM-233 (续)附件和替换件振荡器和电缆
783-500-109-10

3米 (10英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和3米 (10英尺) BNC电缆

783-500-109-25

7.6米 (25英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和7.6米 (25英尺) BNC电缆

783-500-109-50

15.2米 (50英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和15.2米 (50英尺) BNC电缆

783-500-109-75

22.8米 (75英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和22.8米 (75英尺) BNC电缆

783-500-013-G1

OSC-100振荡器

782-902-011

15.2厘米 (6英寸) BNC电缆，公头/母头

782-902-012-10

3米 (10英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-25

7.6米 (25英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-50

15.2米 (50英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-75

22.8米 (75英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-022

15.2厘米 (6英寸) BNC转Microdot适配器电缆规格
对计算机的要求• 1.5 GHz或性能更好的CPU• 2 GB RAM• 200 MB硬盘可用空间
•最 小屏幕分辨率1152 x 648• Windows XP SP3、Windows 7 32/64位、Windows 8 32/64位、Windows 10 32位/64位•每 张IQM-233卡需要1个PCI Express插槽 (任意规格)IQM-233薄膜沉积控制仪卡传感器输入

3路QCM传感器输入输出

3路模拟量源输出连接器

SMA — 包含1个SMA转BNC适配器连接器

15针高密度D-Sub

6.1至4.0兆赫兹 (可调)信号

0至±10伏 (直流)频率分辨率

±0.10赫兹 @ 6兆赫兹分辨率

15位 (正) (每500毫秒样本)每次测量的厚度和速率
分辨率2±0.12埃

阻抗

50欧

测量间隔

0.1至2.0秒 (可调)计算机接口PCIe x1 — PCI Express插槽 (标准或SFF)

测量频率范围
1

1

0.25秒测量间隔对应的分辨率2

工具/密度 = 100/1，基频 = 6兆赫兹，测量间隔为0.25秒

A24 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IMM-100薄膜沉积监测仪
MODELOCK的工作原理

通过高精度速率和膜厚监测为您保护并增加利润

IMM-100是一款采用ModeLock技术设计的沉积监测仪，具有最高厚度精度、最佳测量分辨率和最低信噪比，可最大限度地提高重复性和均匀性。

久经考验的INFICON ModeLock测量系统能够以常规
有源振荡器”系统无可比拟的精度提供晶体频率信息它消除了无法使晶体振荡保持基频的“模式跳变”。
ModeLock不断地测试监测晶体是否以基频谐振，从而
消除了常规测量方法固有的弱点。常规测量方法将石英监测晶体用作振荡电路的有源元件。因此，晶体控制振荡电路。这样，随着晶体的电特性在沉积过程中不断变
化，振荡电路会变得不那么稳定，并且可能“跳变”至另一谐振频率或完全失效，从而导致薄膜厚度不精确。
比常规方法更强大、更精确、速度却更快的ModeLock
不断地测试并分析晶体的相频关系。晶体不是振荡电路的有源元件。ModeLock测量系统为晶体确定并应用精确
的频率，防止晶体“跳变”或以基频除外的其他频率振荡。该过程每秒进行数千次以确定谐振频率，精度可达0.0035赫兹/100毫秒。

IMM-100内置有振荡器，可以轻松集成到EtherCAT系统
中，并最大限度地减少硬件和占用空间。这种功能强大
的高精度测量监测仪必将使您生产过程的性能水平达到
新的高度。
特性一览

• INFICON ModeLock技术可确保最长晶体寿命，并确保该监测仪能够实现最稳定、分辨率最高的速率和厚度测量，即使在速率非常低时也不例外•通 过尽可能好的QCM厚度测量最大限度地提高产出•单 通道速率和膜厚监测仪省略了不必要的附加功能，
可最大限度地降低成本• 100毫秒样本的频率分辨率为±0.0035赫兹• EtherCAT通信可实现无缝集成•紧 凑的尺寸可节省工具占用空间，从而最大限度地降低集成成本•专 家应用支持能够讨论独特的应用需求，并提供比竞争对手更好的支持•符
 合RoHS标准如此处图中所示，在铟沉积中，INFICON ModeLock测量技术显著延长了晶体寿命。

薄膜沉积控制产品目录2021|

A25

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IMM-100 (续)
规格
传感器输入

1，母头BNC

测量频率范围

6.0至4.5兆赫兹 (固定)频率分辨率

±0.0035赫兹 @ 6兆赫兹

测量间隔

0.10秒

基准频率稳定度±百万分之2，0至50摄氏度

速率和厚度分辨率100毫秒样本0.0042埃 (新晶片)；0.0076埃 (晶片 @ 4.5兆赫兹)对应材料密度 = 1.0，Z比值 = 1.0输入电压

24 V (直流)

工作温度

0至50摄氏度 (32至122华氏度)尺寸

222.6毫米 (8.76英寸) x 106.1毫米 (4.18英寸) x 35.3毫米 (1.39英寸)

重量0.48公斤 (1.05磅)通信类型

EtherCAT，2个RJ45接口，支持数据菊链串接。通过交换机传输显式设备ID

附件
可选电源
下列电源的额定输入为100至249伏 (交流)，2安，50至60赫兹；最大输出为24伏 (直流)，3.34安，80瓦。
961-021-G1

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，美规插头

961-021-G2

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，美规插头，包含4.5米 (15英尺) 延长电缆961-021-G3

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，美规插头，包含9米 (30英尺) 延长电缆961-021-G4

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，230伏插头

961-021-G5

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，230伏插头，包含4.5米 (15英尺) 延长电缆961-021-G6

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，230伏插头，包含9米 (30英尺) 延长电缆961-021-G7

240伏IL电源套件

961-021-G8

IL电源套件，4.5米延长电缆

961-021-G9

IL电源套件，9.0米延长电缆

961-021-G10

240伏UK电源套件

961-021-G11

UK电源套件，4.5米延长电缆

961-021-G12

UK电源套件，9.0米延长电缆可选安装支架785-202-G1

带4个洁净室兼容型母头对母头不锈钢减振安装脚的安装支架785-201-G1

带4个公头对母头黑色氯丁橡胶减振安装脚的安装支架可选通信电缆
600-1190-P4

4米以太网电缆

600-1190-P8

7.6米以太网电缆600-1190-P15

15米以太网电缆

A26 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

IMM-100 (续)IMM-100 — 一款简单的QCM

下图所示为典型的IMM-100薄膜沉积系统。一个完整的QCM系统包含IMM-100、传感器、馈入件、计算机和晶片。

IMM-100的典型安装图薄膜沉积控制产品目录2021|

A27

石英晶体沉积控制仪和监测仪IMM-200薄膜沉积监测仪IMM-200内置有振荡器，可以轻松集成到以太网系统中并最大限度地减少硬件和占用空间。这种功能强大的高精度测量监测仪必将使您生产过程的性能水平达到新的高度。
MODELOCK的工作原理

通过高精度速率和膜厚监测为您保护并增加利润通过高精度速率和膜厚监测为您保护并增加利润
IMM-200是一款采用ModeLock技术设计的沉积监测仪，具有最高厚度精度、最佳测量分辨率和最低信噪比，可最大限度地提高重复性和均匀性。

久经考验的INFICON ModeLock测量系统能够以常规
有源振荡器”系统无可比拟的精度提供晶体频率信息。
它消除了无法使晶体振荡保持基频的“模式跳变”
ModeLock不断地测试监测晶体是否以基频谐振，从而
消除了常规测量方法固有的弱点。常规测量方法将石英监测晶体用作振荡电路的有源元件。因此，晶体控制振荡电路。这样，随着晶体的电特性在沉积过程中不断变
化，振荡电路会变得不那么稳定，并且可能“跳变”至另一谐振频率或完全失效，从而导致薄膜厚度不精确。
比常规方法更强大、更精确、速度却更快的ModeLock
不断地测试并分析晶体的相频关系。晶体不是振荡电路的有源元件。ModeLock测量系统为晶体确定并应用精确
的频率，防止晶体“跳变”或以基频除外的其他频率振荡。该过程每秒进行数千次以确定谐振频率，精度可达0.0035赫兹/100毫秒。

特性一览• INFICON ModeLock技术可确保最长晶体寿命，并确保该监测仪能够实现最稳定、分辨率最高的速率和厚度测量，即使在速率非常低时也不例外•通 过尽可能好的QCM厚度测量最大限度地提高产出•单 通道速率和膜厚监测仪省略了不必要的附加功能，
可最大限度地降低成本• 100毫秒样本的频率分辨率为±0.0035赫兹
•以 太网通信可实现无缝集成•紧 凑的尺寸可节省工具占用空间，从而最大限度地降低集成成本•专 家应用支持能够讨论独特的应用需求，并提供比竞争对手更好的支持•符
 合RoHS标准如此处图中所示，在铟沉积中，INFICON ModeLock测量技术显著延长了晶体寿命。

A28 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪IMM-200 (续)
规格
检测误差
传感器输入

1

测量频率范围

6.0至4.5兆赫兹 (固定)基准频率稳定度±百万分之2，0至50摄氏度频率分辨率

±0.0035赫兹 @ 6兆赫兹

速率和厚度分辨率1
 00毫秒样本0.0042埃 (新晶片)；0.0076埃 (晶片 @ 4.5兆赫兹)对应材料密度 = 1.0，Z比值 = 1.0

测量间隔100 ms测量技术

ModeLock

工作条件和尺寸输入电压

24 V (直流)

工作温度

0至50摄氏度 (32至122华氏度)尺寸

222.6毫米 (8.76英寸) x 106.1毫米 (4.18英寸) x 35.3毫米 (1.39英寸)

重量0.48公斤 (1.05磅)通信类型

以太网，1个RJ45接口

附件
可选电源
下列电源的额定输入为100至249伏 (交流)，2安，50至60赫兹；最大输出为24伏 (直流)，3.34安，80瓦。
961-021-G1

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，美规插头

961-021-G2

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，美规插头，包含4.5米 (15英尺) 延长电缆961-021-G3

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，美规插头，包含9米 (30英尺) 延长电缆961-021-G4

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，230伏插头

961-021-G5

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，230伏插头，包含4.5米 (15英尺) 延长电缆961-021-G6

80至250伏 (交流)/1.2米 (4英尺) 电源套件，230伏插头，包含9米 (30英尺) 延长电缆961-021-G7

240伏IL电源套件

961-021-G8

IL电源套件，4.5米延长电缆

961-021-G9

IL电源套件，9.0米延长电缆

961-021-G10

240伏UK电源套件

961-021-G11

UK电源套件，4.5米延长电缆

961-021-G12

UK电源套件，9.0米延长电缆可选安装支架785-202-G1

带4个洁净室兼容型母头对母头不锈钢减振安装脚的安装支架785-201-G1

带4个公头对母头黑色氯丁橡胶减振安装脚的安装支架薄膜沉积控制产品目录2021|

A29

石英晶体沉积控制仪和监测仪IMM-200 (续)
附件 (续)
可选通信电缆
600-1190-P4

4米以太网电缆

600-1190-P8

7.6米以太网电缆600-1190-P15

15米以太网电缆

IMM-200 — 一款简单的QCM

下图所示为典型的IMM-200薄膜沉积系统。一个完整的QCM系统包含IMM-200、传感器、馈入件、计算机和晶片。

IMM-200的典型安装图

A30 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

SQM-160多层膜速率/
膜厚监测仪
易于使用

明亮的大尺寸显示屏可非常清晰地同时显示膜厚和速率
读数。SQM-160使用起来非常简单。要开始进行速率和
膜厚测量，请按下ZERO (归零) 以使最后的膜厚读数为零，然后按下SHUTTER (挡板) 打开源或传感器挡板。
达到所需的膜厚时或经过一定的时间后，挡板关闭，相应的前面板指示灯亮起。随时按下XTAL LIFE (晶体寿命)
按钮查看剩余晶体寿命。
多通道石英晶体监测仪

SQM-160利用久经考验的INFICON石英晶体传感器技术
来测量薄膜沉积过程中的速率和膜厚。这款监测仪标配
两路传感器输入，可选4路附加传感器输入。两路记录器
输出提供模拟速率和膜厚信号。

两个菜单控制存储的99种薄膜的监测仪设置。要访问这两个菜单，请按下PROG (程序) 按钮。旋转控制旋钮可选择/编辑参数。主显示屏显示菜单提示，值在辅助(TIME (时间)) 显示屏中显示。
高精度，低成本传感器输入可分配给不同的材料，求平均值以在大型系
统中进行精确的沉积控制，或配置用于双晶传感器。速率采样模式使带挡板的传感器能够在高速率过程中延长
传感器寿命。用户可选择0.1埃/秒或0.01埃/秒的速率显
示。此外，还可选择频率或质量显示。4路继电器输出使
SQM-160能够控制源或传感器挡板、发出时间和膜厚设
定值信号以及发出晶片失效信号。数字量输入允许外部
信号开始/停止以及使读数归零。
SQM-160配备一个RS-232接口和Windows软件，由此可从计算机对该监测仪进行设置。可使用该软件设置和存储所有参数、操作监测仪并以Excel®文件格式保存过程
数据。可选USB或以太网接口可提高通信灵活性。

SQM-160提供标准频率分辨率型号 (SQM160-S) 和高分
辨率型号 (SQM160-H)。标准型号每秒读取10次时的频率分辨率为0.30赫兹。高分辨率型号将每秒读取10次时
的分辨率提高至0.03赫兹。整个工作范围内的温度稳定
度为百万分之2。高精度与高稳定性的这种结合在同价位监测仪中是无可匹敌的！
特性一览•标 配两条测量通道，可额外选装4条通道• 模拟量输出用于速率/膜厚记录•高 分辨率型号：每秒读取10次时的分辨率为0.03赫兹
• 标配RS-232接口，可选USB或以太网接口薄膜沉积控制产品目录2021|

A31

石英晶体沉积控制仪和监测仪

SQM-160 (续)典型的SQM-160系统

一个典型的QCM系统包含SQM-160监测仪、至少一个传
感器/馈入件组合以及每个传感器一个振荡器套件。

传感器
基体

监测仪

真空电缆
源挡板
馈入件
15.2厘米(6英寸)
BNC电缆增强型软件可直观显示过程数据，以简化过程分析和文档编制。
SQM-160设置数据备份可确保过程一致性。

3米 (10英尺)
BNC电缆

振荡器

订购资料

S Q M 1 6 0 –

–

–

基本控制仪
标准分辨率
高分辨率

S
H
接口

通道数
2 (标配)
6

A32 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

2
6

R
U
E

仅RS-232
RS-232和USB
RS-232和以太网石英晶体沉积控制仪和监测仪

SQM-160 (续)附件和替换件
附件
782-900-008

2U机架扩展器 — 将一台SQM-160或CI-100监测仪安装到48.3厘米 (19英寸) 机架中

782-900-014

2U机架适配器 — 将两台SQM-160或CI-100监测仪安装到48.3厘米 (19英寸) 机架中

振荡器和电缆
783-500-109-10

3米 (10英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和3米 (10英尺) BNC电缆

783-500-109-25

7.6米 (25英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和7.6米 (25英尺) BNC电缆

783-500-109-50

15.2米 (50英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和15.2米 (50英尺) BNC电缆

783-500-109-75

22.8米 (75英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和22.8米 (75英尺) BNC电缆

783-500-013-G1

OSC-100振荡器

782-902-011

15.2厘米 (6英寸) BNC电缆，公头/母头

782-902-012-10

3米 (10英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-25

7.6米 (25英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-50

15.2米 (50英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-75

22.8米 (75英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-022

15.2厘米 (6英寸) BNC转Microdot适配器电缆薄膜沉积控制产品目录2021|

A33

石英晶体沉积控制仪和监测仪

SQM-160 (续)
规格
传感器输入

标配：2；可选：4

测量频率范围

6.5至1.0兆赫兹 (可调)频率分辨率1

标准型号：±0.30赫兹 @ 6兆赫兹
高分辨率型号：±0.03赫兹 @ 6兆赫兹每次测量的厚度和速率分辨率2

标准型号：±0.37埃
高分辨率型号：±0.037埃

基准频率稳定度±百万分之2，0至50摄氏度测量间隔0.10至2.0秒 (可调)测量值过滤

1至20个读数

存储薄膜数

99

模拟量输出

2，0至5伏 (直流)，速率和膜厚

数字量输入/输出

2路输入，4路继电器输出通信接口

标配：RS-232
可选：USB或以太网

功率

100至120/200至240伏 (交流)，50/60赫兹，20瓦

CE合规

一类设备、
73/72/EEC LVD、89/336/EEC ECD

符合RoHS是壳体/支座

半机架柜，89 x 213 x 197毫米 (3.5 x 8.5 x 7.75英寸)

重量2.7公斤 (6磅)Windows软件 (包含)提供远程设置和操作、(包含) 数据记录功能

0.25秒测量间隔对应的分辨率1 

工具/密度 = 100/1，基频 = 6兆赫兹，测量间隔为0.25秒

2 

A34 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪STM-2XM
双通道速率/膜厚监测仪
特性一览•两
 条测量通道• 4路模拟量输出用于速率、速率偏差或膜厚• 8路可编程数字量输入• 8路可编程数字量输出•在 每秒读取10次时具有高精度•显 示质量或膜厚•共 沉积监测能力
操作简单，适合许多应用STM-2XM是一款双通道速率/膜厚监测仪，不仅精度高，可灵活编程，操作简单，而且价格实惠。
STM-2XM配备5种操作模式，适合从简单到复杂的所有过程。例如，简单模式用于仅监测最简单过程的一个传感
器，合金模式则用于共沉积监测。独立模式使STM-2XM
充当两个完全独立的监测仪。
两路传感器输入允许使用两个单石英晶体传感器或一个
双石英晶体传感器。每秒进行10次测量，每次测量的分
辨率可达0.037埃。

通过简单的前面板界面对STM-2XM进行操作和监控，或通过随附的LabVIEW软件为STM-2XM编程。这款简单的
软件可作用薄膜和系统参数的在线或离线编辑器，并且
易于使用。
易于使用

STM-2XM配备高对比度液晶显示屏和直观的菜单系统。
可在整个菜单中找到屏幕提示，以进行简单的引导编程和操作。易读的液晶显示屏可显示累积质量或厚度。

功能齐全

STM-2XM具有8路可编程数字量输入、8路可编程数字量输出和4路模拟量输出，可以达到价位更高的监测仪通常
具备的集成度。
可编程功能包括挡板延迟、时间/功率监测和速率采样。
使用上述所有功能可获得最精确的读数和最长晶体寿命。

薄膜沉积控制产品目录2021|

A35

石英晶体沉积控制仪和监测仪STM-2XM (续)订购资料
STM-2XM-G1

STM-2XM监测仪 (美规电源线)STM-2XM-G2

STM-2XM监测仪 (欧规电源线)

附件和替换件
附件
783-014-008

机架安装套件 — 将一台STM-2XM监测仪安装到48.3厘米 (19英寸) 机架中

783-014-009

双机架安装套件 — 将两台STM-2XM监测仪安装到48.3厘米 (19英寸) 机架中

783-500-109-10

3米 (10英尺) 振荡器套件 — 包括振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和3米 (10英尺) BNC

振荡器和电缆
783-500-109-10

3米 (10英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和3米 (10英尺) BNC电缆

783-500-109-25

7.6米 (25英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和7.6米 (25英尺) BNC电缆

783-500-109-50

15.2米 (50英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和15.2米 (50英尺) BNC电缆

783-500-109-75

22.8米 (75英尺) 振荡器套件 — 包括OSC-100振荡器、15.2厘米 (6英寸) BNC和22.8米 (75英尺) BNC电缆

783-500-013-G1

OSC-100振荡器

782-902-011

15.2厘米 (6英寸) BNC电缆，公头/母头

782-902-012-10

3米 (10英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-25

7.6米 (25英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-50

15.2米 (50英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-012-75

22.8米 (75英尺) BNC电缆，公头/公头

782-902-022

15.2厘米 (6英寸) BNC转Microdot适配器电缆A36 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体沉积控制仪和监测仪

规格
传感器输入

两个

兼容传感器

单晶/带挡板的单晶或双晶QCM传感器

测量频率范围

6.0至5.0兆赫兹 (固定)频率分辨率

±0.03赫兹 @ 6兆赫兹

基准频率稳定度±2 ppm每次测量的厚度和速率分辨率1±0.037埃

测量间隔

0.10秒

存储薄膜数

15

显示模式

厚度/质量

数字量输入

8

数字量输出

8

模拟量输出

4

模拟量输出额定值

0至±10伏，10毫安继电器额定值

最高48伏 (直流)，• 伏 (交流)，2安主电源

100至240伏 (交流) ± 10%，50/60赫兹，2.5伏安

重量

2.7公斤 (6磅)Windows软件 (包含)提供远程设置和操作、(包含) 数据记录功能

工具/密度 = 100/1，基频 = 6兆赫兹

1 薄膜沉积控制产品目录2021|

A37

石英晶体沉积控制仪和监测仪

STM-2
USB薄膜速率/膜厚沉积监测仪

传感器
基体

源挡板
监测仪
馈入件
源
USB电缆

15.2厘米
(6英寸)
BNC电缆
STM-2

尺寸小，价格低，性能高

STM-2将USB连接的简单性与精密测量引擎的精确性相结合，不仅设计紧凑，而且价格实惠。STM-2的小尺寸
和简单性有助于使设置和操作变得简单而高效。
性能出色

STM-2是业内精度最高的USB供电式薄膜监测仪。每秒
进行10次测量，每次测量的分辨率可达0.037埃。

图1：STM-2的典型安装图

要设置STM-2，只需将随附的BNC电缆从馈入件连接至
STM-2，然后使用标准迷你USB电缆将STM-2连接至计
算机。不需要外部振荡器或电源。
STM-2配备一个内部振荡器，当STM-2位于距离石英晶
体1米 (40英寸) 范围内时，可实现既简单又经济的安装。标准INFICON振荡器套件也可用于STM-2必须远离馈入件的应用。

安装简单灵活STM-2提供将QCM传感器/馈入件连接至Windows计算机
所需的一切。一台计算机最多可同时连接8个STM-2 (最多监测8个传感器)。

STM-2软件

STM-2包含LabVIEW软件，能够进行简单的操作和数据
记录。它也包含Windows软件，最多可对8个STM-2进行
操作和数据记录。

特性一览

•低 成本监测仪
• USB连接•内 部振荡器•在 每秒测量10次时具有高精度•与 外部振荡器兼容A38 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

STM-2 — 一款简单的QCM

图1所示为典型的薄膜沉积系统。一个完整的QCM系统
包含STM-2、传感器、馈入件、计算机和晶片。

石英晶体沉积控制仪和监测仪STM-2 (续)
订购资料
STM-2

STM-2沉积监测仪，包括：• Windows软件应用程序• 15.2厘米 (6英寸) BNC电缆 (将STM-2连接至馈入件)• 5米 (16.4英尺) USB电缆 (将STM-2连接至您的计算机)

规格
兼容传感器

不带挡板的单晶QCM传感器传感器输入

1，母头BNC

测量频率范围1

6.0至5.0兆赫兹 (固定)频率分辨率

±0.03赫兹 @ 6兆赫兹

测量间隔

0.10秒

基准频率稳定度±2 ppm

厚度和速率±0.037埃 (每次测量的分辨率)

厚度显示分辨率

1埃 (仅在软件上显示)

接口USB，v1.1或能够提供400毫安/5伏 (直流) 电源的更高版本

尺寸

11.4 x 7.6 x 2.5厘米 (4.5 x 3 x 1英寸)

重量57克 (2盎司)对计算机的要求

Windows 2000、Windows XP、Windows Vista、Windows 7、Windows 8或Windows 10，
可为每个STM-2提供一个USB 1.1 (或更高版本) 接口

工具/密度 = 100/1，基频 = 6兆赫兹

1 

图2：STM-2 Windows软件

薄膜沉积控制产品目录2021|

A39

本页特意留白。

电子冲击发射
光谱技术

本页特意留白。

电子冲击发射光谱技术

Guardian™共沉积控制系统
系统概述

新兴技术的精密控制

Guardian共沉积控制仪由电子冲击发射光谱 (EIES) 技术
提供支持，可在CIGS薄膜的制造过程中显著提高薄膜质
量的重复性。Guardian能够精密控制0.1至9999埃/秒的
沉积速率。该系统操作一个或两个传感器和多达8路光学
输入，并控制多达8个沉积源，可实现多达8种材料的共沉积。
INFICON独有的Guardian EIES传感器能够在监测CIGS过
程的同时更加精确地测量沉积速率，而不受残余气体的干扰。它的基于Windows的软件可实现对多材料薄膜沉积过程的简单设置和操作。它与INFICON Sentinel®传感器
完全兼容，可轻松集成到现有系统中。Guardian共沉积
控制仪是在太阳能电池CIGS、MBE和超导薄膜等应用中
控制多种材料同时沉积的理想选择。

一个完整的Guardian系统包括至少一个传感器、一个检
测器、一个滤光片、一个控制器/接口单元和一台安装有Guardian软件的Windows®兼容计算机 (用户自备)。EIES通常用于控制多种材料的沉积，因此，大多数EIES系统
包括附加的传感器、检测器、光学元件 (例如分束器) 以
及用于校准或控制某些材料的沉积速率的石英晶体监测仪
(QCM)。图1中的框图所示为Guardian系统的典型配置。
在该系统中，Guardian控制4种材料的沉积速率，对其中3种材料使用EIES，对第4种材料使用QCM。(太阳能电池
应用中CIGS材料沉积的常见配置。)
特性一览

•可 监测并控制多达8种材料的同时沉积• 沉积速率范围为0.1至9999埃/秒•集
 成式EIES和QCM薄膜过程控制• CIGS薄膜的理想选择
配置GUARDIAN共沉积系统时的注意事项沉积材料的主次发射波长是多少？如果不同材料的峰值
彼此过于接近，您可能需要监测信号强度较低的次波长。在沉积过程中，真空室中存在哪些背景气体？这些
气体的发射波长是多少？如果背景气体的发射干扰到沉
积材料，建议使用气体补偿传感器。EIES对原子种类的
唯一定义的光谱最有效。产生不稳定或较宽发射光谱的分子种类无法被精确测量。EIES不适合有机材料。上述
因素和其他因素决定了每种具体应用的最佳EIES系统配
置。已经发表的论文更详细地描述了这些注意事项。配置EIES系统时，请联系我们以充分讨论您的应用。

图1：概念化系统配置

薄膜沉积控制产品目录2021|

B1

电子冲击发射光谱技术

Guardian (续)标准传感器有一个热离子发射体 (细丝)，位于沉积材料
的蒸气流附近。产生的光穿过光管到达检测器。检测器
入口处的一个滤光片使特定的目标波长通过。该传感器
在高真空下工作良好。
除了标准传感器之外，气体补偿传感器还包含第二个细
丝。第二个细丝的位置使其只能看到背景气体，而看不到沉积材料的蒸气流。Guardian软件随后从有用信号中减
去背景气体，显著提高了稳定性。当背景气体 (例如H2O
和CO2) 的发射干扰到来自目标材料的信号时，建议使用气体补偿传感器。
检测器利用光电倍增管 (PMT) 将来自传感器的光信号转换为高分辨率数字信号。检测器入口处的一个滤光片选
择具体材料的有用波长。检测器入口有一个用于直径为
25毫米 (1英寸) 的标准滤光片的内置滤光片夹。对于单
材料系统，光检测器模块可直接安装到馈入件上。对于
多材料系统，可利用分束器将来自一个传感器的光信号耦合到多个检测器中。每个检测器的增益可针对不同的材料单独调节，以优化性能。

每个检测器的入口处都有一个滤光片，可阻挡除了一种波长 (通常是目标材料的主次发射波长) 之外的所有光。
窄带滤光片可滤除邻近的波长，但也会使较少的目标波长通过。市面上有许多滤光片；我们可为大多数应用提
供在带宽与信号电平之间实现良好平衡的滤光片。
Guardian控制仪为一个或两个传感器和最多6个光检测器
供电，最多可产生8路源控制输出信号，并提供数字量I/O
功能 (12路继电器输出，12路逻辑输入)。这款控制仪也
可充当上述所有功能与您的计算机之间的数字接口。这款
控制仪提供两种型号：基本型控制仪 (782-900-031) 操作
一个传感器，另一种型号 (782-900-050) 则操作两个传感器。两种型号都操作标准传感器或气体补偿传感器。

熟悉光束处理设备的用户可以使用许多供应商提供的标
准元件轻松地设计并制作自己的分束器。为了获得最佳结果，建议最多将主光束分成3道光束。我们提供将主传
感器光束分成2道或3道光束的光纤分束器。请联系我们以讨论您的需求。

Guardian软件提供具有6个光检测器和8路输出的多层共沉积控制仪
所需的全部功能。在沉积的各个阶段均可显示过程设置、数字数据
和图形。

EIES系统的决定性组件是您的计算机以及随每台控制仪
提供的Guardian软件。该软件可提供您设置和操作EIES
系统以及运行多材料薄膜沉积过程时所需的一切。
该软件集成有QCM (例如Q-pod变换器或SQM-242卡)，
用于按照QCM基准校准EIES，或用于沉积控制。
SQM-242和SAM-242选件卡也可用于校准和控制模拟设备。

B2 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1电子冲击发射光谱技术

Guardian (续)电子冲击发射光谱技术的工作原理

Guardian由电子冲击发射光谱 (EIES) 技术提供支持，
后者是在多层膜沉积过程中控制薄膜特性的一种非常先进的方法。沉积材料被热离子发射体激发，从而产生光子。产生的光穿过滤光片到达光电倍增管 (PMT) 检测

器，后者测量所通过波长的发射强度。Guardian随后产
生一个信号来控制这种材料的源。对于多种材料，可使
用带有适当滤光片的附加检测器。

规格传感器Guardian传感器，专利号：US 7,719,681 B2

工作压力< 5 x 10-4托

温度

工作和/或烘烤期间最高450摄氏度

尺寸 (近似)19 x 32 x 45毫米 (0.75 x 1.25 x 1.75英寸)

细丝寿命 (典型)约1000小时 @ 2毫安 (氧化钇)/4毫安 (钍) 发射电流

传感器与馈入件的连接刚性不锈钢管，可调范围为175至550毫米 (7至22英寸)

馈入件/法兰

2.75英寸CF (NW35CF) 上的1个光学馈入件和4个电气馈入件漏仪
光电倍增管 (PMT)

Hamamatsu R7518或同等产品

光谱响应

185至730纳米

检测极限优于5毫微微瓦光输入功率PMT增益

103至107 (检测器可独立调节)

输出分辨率

20位

光入射口

内置滤光片夹，用于直径不超过2.54厘米 (1英寸)，厚度为5毫米 (0.2英寸) 的滤光片

尺寸

3个面上的50 x 140 x 70毫米 (2 x 5.5 x 2.75英寸) 安装孔 (提供可选安装支架)

控制仪

82-900-031：操作一个传感器；782-900-050：操作一个或两个传感器传感器

16-600-G22：55.9厘米 (22英寸) 标准传感器组件；016-601-G22：55.9厘米 (22英寸) 气体补
偿传感器组件检测器

6条光检测器通道控制输出

6路源控制输出，0至±10伏 (直流)，可编程

数字量I/O12路继电器输出和12路逻辑输入功率100至240伏 (交流)，50/60赫兹，150瓦

尺寸

483 x 89 x 305毫米 (19 x 3.5 x 12英寸)

符合性

CE

用户界面

软件：

控制仪随附的基于Windows的设置程序

软件显示

沉积速率：

所有通道的4位数字显示，范围为0.001至9999埃/秒，以及具有可选比例的X-Y滚动图表

厚度：

4位数字显示，可选范围为0.001至9999千埃

薄膜沉积控制产品目录2021|

B3

电子冲击发射光谱技术

Guardian (续)规格 (续)
计算机用户自备：

配备Windows Vista/XP/2000/7/8/10操作系统以及以太网或RS-232接口的任何计算机

配置指南
Guardian利用电子冲击发射光谱 (EIES) 技术检测并监测薄膜沉积。它对于CIGS应用特别有用。一个完整的Guardian系统包括Guardian控制仪、带有适当的细丝电
缆的EIES传感器，以及带有适当的检测器电缆和滤光片
的光检测器。使用可选分束器和适当数量的检测器时，通过一个传感器最多可同时监测4种材料 (两个传感器
最多可同时监测8种材料)。Guardian也可与Q-pod或SQM-242 QCM系统配对，以通过Guardian软件自动
校准。

以下指南将帮助您选择组成完整的Guardian系统所需的选项和附件。

B4 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1电子冲击发射光谱技术

Guardian (续)订购资料GUARDIAN控制仪 (选择一款)782-900-031

用于一个 (标准或气体补偿) 传感器的Guardian控制仪
具有一路传感器输入的Guardian EIES控制仪。该控制仪将通过一个标准传感器或气体补偿传感器工作。

782-900-050

用于两个 (标准或气体补偿) 传感器的Guardian控制仪
具有两路传感器输入的Guardian EIES控制仪。该控制仪的两路输入将分别通过一个标准传感器或气体补偿传感器工作。

EIES传感器 (选择一款)016-600-G22

Guardian标准单晶传感器和馈入件组件，539毫米 (22英寸)，CF40法兰标准EIES单晶传感器。包括CF40 (2¾英寸ConFlat) 馈入件组件和真空硬件，标准508毫米 (20英寸) 光管和真空EIES电缆，539毫米 (22英寸)。可根据要求提供其他长度，最小159毫米 (6.25英寸)，最大813毫米 (32英寸)。

016-601-G22

Guardian气体补偿传感器和馈入件组件，539毫米 (22英寸)，CF40法兰气体补偿EIES传感器。使用额外的细丝减去残余气体发出的信号，以获得准确的基线。可检测使用标准单晶传感器时因残余气体而遇到困难的材料。可根据要求提供其他长度，最小229毫米 (9英寸)，最大879毫米 (34.6英寸)。

分束器 (可选)782-900-034

Guardian光纤分束器 (1:3) — 长度400毫米
将来自传感器的光束分成3道独立的光束。允许使用同一传感器检测3种材料。光检测器和滤光片必须分别连接至3个末端。

782-900-034-x-yyy

Guardian光纤分束器 (1:x) — 长度yyy毫米标准分束器的定制版本。x值决定光束被分成多少路 (选项包括2或4)，yyy值决定分束器的长度 (典型值为400毫米)。

细丝电缆 (每款传感器选择一款) 新型设计能够牢固地连接至馈入件。
将标准单晶传感器馈入件连接至Guardian控制仪的电缆
600-1406-P10

Guardian单丝电缆，3米 (10英尺)

600-1406-P40

Guardian单丝电缆，12米 (40英尺)将气体补偿传感器馈入件连接至Guardian控制仪的电缆
600-1407-P10

Guardian双丝电缆，3米 (10英尺)

600-1407-P40

Guardian双丝电缆，12米 (40英尺)

PMT检测器 (选择适当的数量)
782-900-030

Guardian PMT检测器与滤光片一起工作，以隔离并检测来自给定沉积材料的传感器的光。滤光片单独出售。

PMT检测器电缆 (选择适当的数量和长度)
将光检测器连接至Guardian的电缆782-505-065

Guardian检测器电缆，3米 (10英尺)782-505-065-40

Guardian检测器电缆，12米 (40英尺)薄膜沉积控制产品目录2021|

B5电子冲击发射光谱技术

Guardian (续)订购信息 (续)GUARDIAN EIES滤光片 (选择适当的数量和波长)对光检测器接收到的光束进行过滤，以选出指定的波长。这使Guardian能够监测特定的沉积材料。可根据要求提供其他滤光片。
782-900-035-202

Guardian滤光片 — 中心波长 — 202纳米，BP 10纳米，(Zn)782-900-035-241

Guardian滤光片 — 中心波长 — 241纳米，BP 10纳米，(Co、Au)

782-900-035-252

Guardian滤光片 — 中心波长 — 252纳米，BP 10纳米，(Si)782-900-035-265

Guardian滤光片 — 中心波长 — 265纳米，BP 10纳米，(Ge、Pt、Ta、Ir)

782-900-035-267

Guardian滤光片 — 中心波长 — 267纳米，BP 3纳米，(Au)782-900-035-294

Guardian滤光片 — 中心波长 — 294纳米，BP 2纳米，(Hf)(Ga [使用气体补偿传感器时])782-900-035-304

Guardian滤光片 — 中心波长 — 304纳米，BP 2纳米
(Ba、In [使用气体补偿传感器时])782-900-035-325

Guardian滤光片 — 中心波长 — 325纳米，BP 10纳米，(Cu、Cd)

782-900-035-358

Guardian滤光片 — 中心波长 — 358纳米，BP 10纳米，(Nb、U、Cr)

782-900-035-364

Guardian滤光片 — 中心波长 — 364纳米，BP 10纳米，(Ti、Pb)

782-900-035-396

Guardian滤光片 — 中心波长 — 396纳米，BP 10纳米，(Al)782-900-035-417

Guardian滤光片 — 中心波长 — 417纳米，BP 2纳米，(Ga)782-900-035-451

Guardian滤光片 — 中心波长 — 451纳米，BP 5纳米，(In)新型传感器和馈入件组件016-600-GXX和-601-GXX的替换件
016-400-G1

高速率流量传感器，用于传感器和馈入件组件016-600-Gxx

016-400-G2

标准速率流量传感器，用于传感器和馈入件组件016-600-Gxx

016-400-G5

气体传感器，用于传感器和馈入件组件016-601-Gxx

016-400-G6

流量传感器，用于传感器和馈入件组件016-601-Gxx

016-201-G1

发射极组件，用于016-600-Gxx和-601-Gxx中使用的所有016-400-Gx传感器

782-900-038

Guardian光电倍增管替换件替换光检测器中的光电倍增管。

016-509-G22

Guardian传感器EIES真空电缆，559毫米 (22英寸)，可提供其他长度。
一个气体补偿传感器使用两条电缆。用于改装新传感器。

已停产传感器的替换件
782-530-015

Guardian传感器细丝替换件 (用于已停产的782-900-029和-052传感器)
EIES传感器的替换细丝。一个气体补偿传感器使用两条细丝。

B6 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体
传感器和馈入件本页特意留白。

石英晶体传感器和馈入件前载式单晶传感器
INFICON前载式单晶传感器不仅具有久经考验的可靠性
和耐用性，在热稳定性方面，市面上的任何其他传感头
也无法与之相媲美。前载式设计允许在没有足够的空间进行侧向插入的应用中轻松插入晶片座。所有零件机械组装而非焊接在一起，必要时可在现场方便地更换。传
感器可单独或作为传感器/馈入件组合订购，可焊接或通过压力接头组装。
传感器配置提供两种传感器配置：标准型和直角 (紧凑) 型。标准型
设计用于从室的侧面或底部安装，冷却管平行于晶面。
直角型设计用于通过真空系统顶部安装，水冷管垂直于晶面。可选择订购带气动晶片挡板的传感器，以在源预热期间或在其他材料沉积期间不使用时为晶片提供保护，或在与RateWatcher™一起使用时延长晶片寿命。挡
板采用下拉式设计，易于更换晶片。
裸露的晶片电极完全接地，可以有效地消除射频干扰所导致的问题。
馈入件

INFICON提供两种类型的馈入件：1英寸螺栓馈入件或2¾英寸 (CF40) ConFlat®法兰馈入件。可根据要求提供
KF40馈入件。

馈入件连接

前载式单晶传感器可与馈入件组合订购。传感器/馈入件连接既可通过焊接又可通过压力接头实现。压力接头允许轻松调节，而无需钎焊或焊接。馈入件可沿着管的长
度移动，从而使“E”长度传感器位于真空系统内的长度
在20.3至71.1厘米 (8至28英寸) 的范围内可调。确定所需的长度后，压力接头可实现手紧程度的管密封。或者，也可选择焊接连接。
优势• 前载式晶片座• 安装简单
•	适用于：- CF40馈入件- 2.54厘米 (1英寸) 螺栓馈入件•	同时订购压力接头时长度可调•	传感器/馈入件组合可焊接至客户指定的长度•	同时订购压力接头或焊接至馈入件时无需钎焊薄膜沉积控制产品目录2021|

C1

石英晶体传感器和馈入件前载式单晶传感器 (续)订购资料前载式单晶传感器 (包含真空电缆)

S L –

–

传感器类型
(包含真空电缆。
晶片单独出售。)
标准型传感器(水管平行)

A

直角型传感器(水管垂直)

B

焊接传感器长度
参见注释2和5(仅在馈入件连接为7时使用)馈入件连接选项为0或8时不需要

71–99
71-99

焊接长度 (厘米)，
71至99厘米 (28至39英寸)。

挡板组件-参见注释3***

可提供其他长度：请联系工厂。
其他长度将被视为特殊订单，需额外付费并延长备货时间。

0
1

无
标配挡板

传感器长度-参见注释2

20–70

E

标准长度：
包含78.1厘米 (30.75英寸)
真空电缆

焊接长度 (厘米)，20至70厘米 (8至27.5英寸)。

馈入件连接 -参见注释3和4

0
7
8

馈入件-参见注释1

0
3
4

无
1英寸螺栓
CF40

以下组合不可用 (参见注释3和4)：SL-A1E38、SL-B1E38、
SL-A1E47和SL-B1E47
无效零件号示例包括没有馈入件连接或压力接头和焊接传感器
长度的所有选项；例如SL-A0E48-20、SL-B1E40-20等。

传感器未连接至馈入件传感器焊接至馈入件馈入件配备Ultra-Torr®压力接头(允许调节传感器长度)

注释1：
馈入件配置因所选选项 (前载式或抽屉式、带或不带挡板、馈入
件类型等) 而异。例如：SL-A0E37采用零件号为002-042的馈入
件，SL-A1E37则采用零件号为750-030-G1的馈入件。
注释2：传感器长度从晶片中心到馈入件的真空侧 (密封面) 进行测量。
焊接传感器订单一经确认，不可取消。
注释3：
与挡板和1英寸螺栓馈入件一起订购的前载式传感器只能焊接(压力接头不可用)。
注释4：
由于CF40的尺寸限制，与CF40馈入件和挡板一起订购的前载式传感器无法焊接。

传感器基体

控制仪或监测仪

真空电缆
源挡板
馈入件
15.2厘米(6英寸)
BNC电缆
振荡器或XIU

C2 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

振荡器 (XIU)
至控制仪或
监测仪的
互连电缆

注释5：
焊接至28至34英寸长度的前载式传感器将包含一条36英寸真空电缆。焊接至34至39英寸长度的传感器将包含一条48英寸真空电缆。

石英晶体传感器和馈入件前载式单晶传感器 (续)规格SL-A _ E _系列标准单晶传感器最高无水烘烤温度

130°C

最小水流量对应的等温环境最高工作温度

400°C

SL-A尺寸 (不包含挡板的最大封装)27 x 61.47 x 17.53毫米 (1.063 x 2.42 x 0.69英寸)

水管外径为3.175毫米 (1/8英寸) 的无缝不锈钢管晶片更换

前载式；易于更换的独立包装

安装

传感器体背面的两个#4-40螺纹孔

安装要求
馈入装置

外径为4.8毫米 (3/16英寸)，带Microdot同轴连接器的双通水管

水流量

最小水流量150至200立方厘米/分钟，最高30摄氏度 (不允许冻结)水质

外径3.175毫米 (0.125英寸) x 壁厚0.381毫米 (0.015英寸) 的无缝S-304不锈钢管材料
传感器体和传感器座

304型不锈钢

弹簧、电触点镀金铍铜合金水管

外径3.175毫米 (0.125英寸) x 壁厚0.381毫米 (0.015英寸) 的无缝S-304不锈钢管连接器 (Microdot)

Teflon®和玻璃绝缘不锈钢绝缘子> 99% Al2O3

导线

Teflon绝缘铜钎料

真空处理高温镍铬合金晶片

直径13.97毫米 (0.550英寸)

薄膜沉积控制产品目录2021|

C3

石英晶体传感器和馈入件前载式单晶传感器 (续)规格SL-B _ E _系列直角型单晶传感器规格
最高无水烘烤温度

130°C

最小水流量对应的等温环境
最高工作温度

400°C

SL-B _ E _尺寸

28.19 x 26.92 x 26.92毫米 (1.11 x 1.06 x 1.06英寸)(不包含挡板的最大封装)

水管

外径为3.175毫米 (1/8英寸) 的无缝不锈钢管晶片更换

前载式；易于更换的独立包装

安装

传感器体背面的两个#4-40螺纹孔

安装要求
馈入装置

外径为4.8毫米 (3/16英寸)，带Microdot同轴连接器的双通水管

其他

与具体控制仪配套的XIU或振荡器、用于带挡板的传感器的电磁阀组件750-420-G1

水流量

最小水流量150至200立方厘米/分钟，最高30摄氏度

水质

冷却液不应含有氯化物，否则可能出现应力腐蚀裂纹。
极脏的水可能导致冷却能力损失

材料传感器体和传感器座

304型不锈钢

弹簧、电触点镀金铍铜合金水管

外径3.175毫米 (0.125英寸) x 壁厚0.381毫米 (0.015英寸) 的无缝S-304不锈钢管连接器 (Microdot)

Teflon和玻璃绝缘不锈钢绝缘子> 99% Al2O3

导线

Teflon绝缘铜钎料

真空处理高温镍铬合金晶片

直径13.97毫米 (0.550英寸)

规格
馈入件规格
注意：传感器/馈入件组合的规格由规格最低的组件决定
1英寸螺栓和ULTRA-TORR (压力接头) 端接材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金、Viton

温度

工作环境温度最高300摄氏度 (水冷) 或165摄氏度 (无水冷)安装

直径为25.8毫米 (1.015英寸 ± 0.010英寸) 的孔

焊接端接CF40 (2¾英寸CONFLAT)：
材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金

温度

工作环境温度最高450摄氏度 (水冷) 或165摄氏度 (无水冷)安装

与内径最小为1.375英寸的2¾英寸ConFlat型法兰紧密配合

C4 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件前载式单晶传感器 (续)
备件列表
零件号

描述

零件号

描述

007-007固定弹簧 (用于晶片座)

321-039-G13

154.2厘米 (60英寸) 真空电缆

007-023陶瓷固定器

750-172-G1

晶片座 (包含固定弹簧)007-04478.1厘米 (30.75英寸) 真空电缆

750-174-P2

母头同轴连接器

080-018固定螺钉 (用于母头同轴连接器)

750-175-P1

绝缘子 (弹簧片下面)

082-044

Teflon螺钉 (用于弹簧片)

750-188-P3

弹簧片

750-115-P4

联轴器 (用于波纹管组件)

750-210-G1

挡板模块 (波纹管组件、轴组件和挡板组件)

750-169-P2

波纹管组件 (不包括联轴器)750-215-G1

轴组件 (挡板模块的组成部分)

750-171-P1

指状弹簧触点750-216-G1

挡板组件 (挡板模块的组成部分)
782.1[30.79]
33.8 [1.33]

尺寸

水

SL-A _ E _ _系列标准单晶传感器 (仅传感器)

27 [1.06]

23.4 [0.92]

注意：测量单位为毫米 [英寸]水26.4 [1.04]

挡板适配器
参考面

执行器参考面
17.5 [0.69]#4-40，4处
5.1 [0.20]

10.2 [0.40]

782.3 [30.80]

3.3 [0.13]
18.8 [0.74]

尺寸
SL-B _ E _ _系列直角型单晶传感器 (仅传感器)
注意：测量单位为毫米 [英寸]790.0 [31.1]

长度为781.0 [30.75] 的电缆

挡板适配器
参考面

57.0 [2.24]
46.5 [1.83]

水41.1 [1.62]
8.6 [0.34]

水
空气
紧凑型
晶体传感器组件
D750-209-G1

挡板模块组件B750-210-G1

双/标准
晶片座组件
B750-172-G1

挡板参考面(为了清楚起见，图中已旋转)

10.1 [0.40]

16.0 [0.63]
49.0 [1.93]
52.5 [2.08]#4-40，4处

5.1 [0.20]

18.8 [0.74]
8.9 [0.35]
3.3 [0.13]
8.9 [0.35]

776.5 [30.57]

26.4 [1.04]

24.9 [0.98]
17.5 [0.69]

14.7 [0.58]
11.7 [0.46]

水27.0 [1.06]

17.8 [0.70]

23.4 [0.92]

水10.2 [0.40]
14.7 [0.58] (参考值)

1.5 [0.06]

薄膜沉积控制产品目录2021|

C5

石英晶体传感器和馈入件前载式单晶传感器 (续)尺寸
用于SL-A0E47-XX、SL-A0E40、SL-B0E47-XX和SL-B0E40传感器/馈入件组合的馈入件(馈入件零件号002-043)
注意：测量单位为毫米 [英寸]

CL

32.8
[1.29]

6.73 [0.265] DIA. (SIX)

69.9[2.75]

4.77[0.188]10.2 [0.40]

CL

5.1 [0.20]
7.6 [0.30]

127 [5.0]

12.7 [0.5]15.2[0.60]

228.60 [9.0]尺寸
用于SL-A1E40和SL-B1E40传感器/馈入件组合的馈入件(馈入件零件号750-685-G1)
注意：测量单位为毫米 [英寸]6.73 [0.26]
6个孔均布在直径为58.7 [2.31] 的基准圆上

750-420-G1电磁阀的配套空气接头 (10-32)[0.90][0.45]

32.67[1.29]
8.89[0.35]

8.88[0.35]

12.69[0.50]
57.15[2.25]
69.34 [2.73]
CONFLAT法兰

C6 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

127.0
[5.0]

12.70
[0.50]
228.60[9.00]

石英晶体传感器和馈入件前载式单晶传感器 (续)尺寸
用于SL-A0E48和SL-B0E48传感器/馈入件组合的馈入件(馈入件零件号206-878-G2)
注意：测量单位为毫米 [英寸]6.73 [0.26]
6个孔均布在直径为58.7 [2.31] 的基准圆上

15.26[0.60]

251.83[9.91]

7.62[0.30]

5.07[0.20]

10.16[0.40]
32.78[1.29]

12.70[0.50]

127.0
[5.0]

69.34
[2.73]
CONFLAT法兰用于SL-A1E48和SL-B1E48传感器/馈入件组合的馈入件(馈入件零件号750-685-G2)
注意：测量单位为毫米 [英寸]6.73 [0.26]

750-420-G1电磁阀的配套空气接头 (10-32)

6个孔均布在直径为58.7 [2.31] 的基准圆上

15.26[0.60]
7.62[0.30]
8.86[0.35]

32.64[1.29]

8.76[0.35]

12.57[0.50]

57.15[2.25]

69.34 [2.73]
CONFLAT法兰

12.70[0.50]

127.0 [5.0]251.83 [9.91]

薄膜沉积控制产品目录2021|

C7

石英晶体传感器和馈入件前载式单晶传感器 (续)尺寸
用于SL-A0E37、SL-B0E37、SL-A0E30和SL-B0E30传感器/馈入件组合的馈入件(馈入件零件号002-042)
注意：测量单位为毫米 [英寸]AA
10.16 [0.40]

9.5 [0.30]
VITON O形圈#2-1225.08 [0.20]

50.8 [2.0]5.08 [0.20]#1-14-UNS螺纹垫圈

3.96 [0.156]

BNC连接器组件C206-779-G1
用于SL-A0E38和SL-B0E38传感器/馈入件组合的馈入件(馈入件零件号750-624-G1)
注意：测量单位为毫米 [英寸]C8 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

视图 “A - A”

石英晶体传感器和馈入件前载式单晶传感器 (续)尺寸
用于SL-A1E37-XX、SL-B1E37-XX、SL-A1E30和SL-B1E30传感器/馈入件组合的馈入件(馈入件零件号750-030-G1)
注意：测量单位为毫米 [英寸]12.70 [0.50]
6.35 [0.25]

7.11 [0.280]

4.78 [0.188 ]3.18 [0.125]

视图 “A - A”
薄膜沉积控制产品目录2021|

C9

石英晶体传感器和馈入件前载式单晶传感器 (续)尺寸
SL-A_ E _ _-XX传感器/馈入件组合的传感器长度规格
注意：测量单位为厘米 [英寸]0.466 REF

20–99
[8–39]

SL-B_ E _ _-XX传感器/馈入件组合的传感器长度规格
注意：测量单位为厘米 [英寸]002-043
206-878-G2
750-685-G1
750-685-G2

传感器或带挡板的传感器：
SL-BOE00 SL-B1EOO
SL-B0G00 SL-B1G00

20–99
002-042750-030-G1

C10 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1[8–39]

石英晶体传感器和馈入件薄膜沉积控制产品目录2021|

C11

石英晶体传感器和馈入件抽屉式单晶传感器
抽屉式™单晶传感器允许将晶片从侧面安装到传感器中，
可为没有足够的空间进行前载式晶片安装的系统提供方便。抽屉式单晶传感器采用抽屉式晶片座，后者由水冷壳体隔热，可确保出色的晶片性能。
传感器配置

提供两种传感器配置：标准型和直角型。标准型设计用于从室的侧面或底部安装，冷却管平行于晶面。直角型设计
用于通过真空系统顶部安装，水冷管垂直于晶面。两种型
号都可以带或不带晶片挡板。
裸露的晶片电极完全接地，可以有效地消除射频干扰所导致的问题。壳体提供有两个方便安装的螺纹 (4-40) 孔。
馈入件

IINFICON提供两种可选的馈入件连接类型：1英寸螺栓
馈入件或2¾英寸ConFlat®馈入件。
优势
馈入件连接

抽屉式单晶传感器必须与馈入件组合订购。传感器/馈入件连接既可通过焊接又可通过压力接头实现。
压力接头允许轻松调节，而无需钎焊或焊接。馈入件可沿着管的长度移动，从而使位于真空系统内的长度在10
至66厘米 (4至26英寸) 的范围内可调。确定所需的长度后，压力接头可实现手紧程度的管密封。
选择焊接CF40时，传感器的设计可用于可靠性至关重要的高温过程。它由不锈钢和陶瓷材料制成，适用于需要
高温烘烤的应用 (参见规格)。

C12 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1• 没有内部电缆• 抽屉式晶片座• 安装简单
• 同时订购焊接CF40法兰时可烘烤• 适用于：- CF40馈入件- 2.54厘米 (1英寸) 螺栓馈入件• 同时订购压力接头时长度可调• 同时订购压力接头时无需钎焊• 传感器/馈入件组合可焊接至客户指定的长度石英晶体传感器和馈入件抽屉式单晶传感器 (续)订购资料抽屉式单晶传感器 (包含隔水套管)
注意：测量单位为厘米 [英寸]C D S ––

传感器类型(包含用户手册，晶片单独出售)馈入件连接参见注释2、3和4

标准型Cool Drawer(水管平行于晶面)A

直角型Cool Drawer(水管垂直于晶面)B焊接传感器长度参见注释1和2(仅在馈入件连接为7时使用)馈入件连接选项为8时不需要。

10–66

挡板组件

0
1

无
标配挡板

焊接长度 (厘米)，
10至66厘米 (4至26英寸)。
可提供其他长度：请联系工厂。
其他长度将被视为特殊订单，需额外付费并延长备货时间。

***

传感器长度参见注释1和3

F

长度：10至66厘米(4至26英寸)
馈入件参见注释2和47传感器焊接至馈入件8馈入件配备Ultra-Torr压力接头(允许调节传感器长度)。不适
用于CF40馈入件和挡板组合

3
4

1英寸螺栓
CF40

以下组合不可用：CDS-A1F48、CDS-B1F48。无效零件号示例包括带压
力接头和焊接传感器长度的所有选项；例如CDS-A0F48-20等。

注释1：
焊接传感器/馈入件组合订单从晶片中心到馈入件的真空侧 (密封面)进行测量。焊接传感器订单一经确认，不可取消。

传感器
基体控制仪或监测仪

真空电缆
源挡板

注释3：
订购非焊接连接传感器 (选项“8”) 时，标准型抽屉式传感器的管长度
约为76.2厘米 (30英寸)，直角型抽屉式传感器的管长度约为66厘米(26英寸)。

馈入件

短6英寸
BNC电缆
振荡器或XIU

注释2：
馈入件配置因所选选项 (馈入件类型和连接) 而异。例如：由于标准CF40的尺寸限制，CDS-A1F47-XX和-B1F47-XX使用两件式混合馈入件设计。

振荡器 (XIU)
至控制仪或监测仪
的互连电缆

注释4：
如果没有馈入件，抽屉式传感器不可用，必须焊接或通过Ultra-Torr
接头连接。

薄膜沉积控制产品目录2021|

C13

石英晶体传感器和馈入件抽屉式单晶传感器 (续)规格CDS系列抽屉式单晶传感器规格表面

镀金不锈钢抽屉式

冷却水

0.2加仑/分钟，使用外径为1/8英寸的管 (不允许冻结)电气连接大气侧的一个标准母头BNC

晶片

行业标准0.550英寸直径

空气供应

带挡板的传感器需要55至60磅/平方英寸的调节压力。

1英寸螺栓和压力接头端接：材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金、Viton®

温度

工作环境温度最高300摄氏度 (水冷) 或165摄氏度 (无水冷)安装

直径为25.8毫米 (1.015英寸 ± 0.010英寸) 的孔

CF40 (2¾英寸CONFLAT) 焊接端接：材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金

温度

工作环境温度最高450摄氏度 (水冷) 或200摄氏度 (无水冷)安装

与内径最小为1.375英寸的2¾英寸ConFlat型法兰紧密配合

水管

外径3.175毫米 (0.125英寸) x 壁厚0.381毫米 (0.015英寸) 的无缝S-304不锈钢管连接器 (Microdot)

Teflon®和玻璃绝缘不锈钢绝缘子> 99% Al2O3

导线

Teflon绝缘铜钎料

真空处理高温镍铬合金晶片

直径13.97毫米 (0.550英寸)

备件列表
零件号

描述

零件号

描述

123417

挡板支架

084-026*六角螺母123418波纹管盖

084-064*锁紧垫圈

123419挡板

084-205*#4-40 x 3/16英寸十字头螺钉

147207波纹管和盖组件 (用*标记的备件包含在147207中)

800128#4锁紧垫圈

147402

连接

800371带肩螺钉

147403*

驱动装置

800372

垫圈

147406*

波纹管支架

800416*

6-32 x 3/16英寸固定螺钉147407*波纹管盖

803313*

弹簧

147408*螺纹轴123223-1

导管钎焊组件 — 长销

147411

间隔垫圈

123223-2

导管钎焊组件 — 短销

147424*波纹管的管147206-2*

带35英寸管的波纹管

803102用于5口可调馈入件的O形圈

803261

用于5口可调馈入件的垫圈

注意：用*标记的备件包含在147207中C14 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件抽屉式单晶传感器 (续)尺寸
CDS-A0F38和CDS-B0F38抽屉式单晶传感器/馈入件组合
注意：测量单位为厘米 [英寸]薄膜沉积控制产品目录2021|

C15

石英晶体传感器和馈入件抽屉式单晶传感器 (续)尺寸
CDS-A0F47-XX和CDS-B0F47-XX抽屉式单晶传感器/馈入件组合
注意：测量单位为厘米 [英寸]
10.16
[4.0]

10–66
[4–26]
2.84[1.12]

3.24[1.27]

7.0 [2.75]
直径1.27 [0.50] (参考值)对3处进行钎焊

2.84[1.12]CDS-A0F47
CDS-A0F47-XX

1.22[0.48]

密封

BNC连接器组件外径为0.32 [0.125] 的水管#4-40螺纹，两处

1.80[0.71]

直径0.67 [0.265]，6处7 (2¾) CONFLAT法兰

0.38[0.15]

0.79 [0.312]
直径

传感器晶面

10.16
[4.0]

10–66
[4–26]

7.0 [2.75]
直径1.27 [0.50] (参考值)

1.80 [0.71]
0.18 [0.07]

对3处进行钎焊

3.24[1.27]CDS-B0F47

BNC连接器组件密封

外径为0.32 [0.125] 的水管

传感器晶片面
直径0.67 [0.265]，6处
7 [2¾] CONFLAT法兰
3.63 [1.43](近似值)C16 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件抽屉式单晶传感器 (续)尺寸
CDS-A0F47-XX传感器/馈入件组合的传感器长度规格
注意：测量单位为厘米 [英寸]
10–66

X

1.20
[0.475](参考值)[4–26]

晶片孔中心线尺寸
CDS-A1F47-XX传感器/馈入件组合的传感器长度规格
注意：测量单位为厘米 [英寸]

10–66

1.20
[0.475](参考值)[4–26]

晶片孔中心线

尺寸
CDS-B0F47-XX传感器/馈入件组合的传感器长度规格
注意：测量单位为厘米 [英寸]

10–66

0.38
[0.15](参考值)[4–26]

传感器晶面

薄膜沉积控制产品目录2021|

C17

石英晶体传感器和馈入件抽屉式单晶传感器 (续)尺寸
CDS-B1F47-XX传感器/馈入件组合的传感器长度规格
注意：测量单位为厘米 [英寸]

传感器晶面
0.38
[0.15]
(参考值)

10–66

为了清楚起见，图中显示该间隙。
实际尺寸等于0。

[4–26]

2.06

4.46

本页特意留白。

尺寸
CDS-B0F37-XX传感器/馈入件组合的传感器长度规格
注意：测量单位为厘米 [英寸]10–66
外径5.1 [2.0] x 内径2.5 [1.0] 的垫圈[4–26]

螺母1-14 UNS X 1.4 [0.55] 厚
1.22[0.481]

2.84[1.12]

螺栓
晶片
VITON O形圈0.81
[0.318]
传感器晶片面

C18 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

BNC连接器

外径0.32 [0.125]x 壁厚0.16 [0.062] 的管

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate单晶传感器
INFICON Easy Rate单晶传感器不仅价格低，传感器寿命也更长，因此能够最大限度地降低石英晶体微天平(QCM) 总购置成本。该传感器通过最低的初期投资和总购置成本最大限度地降低生产成本。此外，这款长效
传感器所需的维护更少，因此能够最大限度地提高可用性。INFICON Easy Rate单晶传感器的设计和制造目标是为短时间光学和批量镀膜过程提供具有成本效益的高精度膜厚监测解决方案。
传感器配置

INFICON Easy Rate单晶传感器提供标准或直角方向。
标准型设计用于从室的侧面或底部安装，冷却管平行于
晶面。直角型设计用于通过真空系统顶部安装，水冷管
垂直于晶面。前载式设计允许在没有足够的空间进行侧向插入的应用中轻松插入晶片座。所有Easy Rate传感
器都与行业标准6兆赫兹晶片兼容，其设计易于更换晶
片，同时保持足够坚固，即使在最苛刻的沉积应用中也
不例外。
馈入件

INFICON Easy Rate传感器提供2.54厘米 (1英寸) 螺栓馈
入件或CF40 (2.75英寸) ConFlat®法兰馈入件。
馈入件连接传感器/馈入件连接既可通过用户现场焊接又可通过钻通
管接头实现。这些管接头允许轻松调节，而无需钎焊或焊接。管的长度可根据室的需要进行切割，由此可定制
位于真空系统内的长度，并简单快捷地连接馈入件。或者，如果使用定制馈入件或在现场弯曲传感器，可选择无连接选项以进行现场焊接。

优势• 以最低的预付成本最大限度地减少投资• 最低的总购置成本• 维护更少，可最大限度地提高吞吐量•	通过遍布全球的专家应用支持网络优化系统性能
• 提供两种配置
• 标准型 (水管平行)• 直角型 (水管垂直)
适用于• 2.54厘米 (1英寸) 螺栓馈入件•	CF40馈入件•	同时订购钻通管接头时位置可调•	提供挡板选项薄膜沉积控制产品目录2021|

C19

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate单晶传感器 (续)订购资料

E R S –

E 1
馈入件连接

传感器类型
标准型传感器(水管平行)

A0传感器未连接至馈入件

直角型传感器(水管垂直)

B

9

钻通管接头(使传感器水管滑入馈入件中。)

真空电缆无
25.4厘米 (10英寸) 真空电缆
76.2厘米 (30英寸) 真空电缆

馈入件

0
1
2

0
3
4

挡板组件
(参见注释1)
无

0

挡板

1

无
1英寸螺栓
CF40

传感器长度-参见注释3E标准型：771毫米 (30.35英寸)
直角型：776毫米 (30.55英寸)

以下组合不可用：ERS-BX1E1XX
注释1：挡板不适用于直角型单晶传感器。
注释2：晶片单独出售。
注释3：传感器长度从晶片中心到水管末端进行测量(参见图纸)。

C20 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate单晶传感器 (续)规格最高无水烘烤温度

175摄氏度
165摄氏度 (传感器和馈入件)

等温环境最高工作温度

400摄氏度

最小水流量对应的温度
尺寸 (不包含挡板的最大封装)3.25 x 4.04 x 1.53厘米 (1.28 x 1.59 x 0.60英寸)

尺寸 (包含挡板的最大封装)3.25 x 7.06 x 3.15厘米 (1.28 x 2.78 x 3.15英寸)

水管外径为4.76毫米 (0.188英寸) 的无缝不锈钢管

晶片更换

前载式

安装

传感器体背面的4个#4-40螺纹孔

安装要求
馈入装置

带一个Microdot同轴连接器，外径为6.35毫米 (0.250英寸) 的双通水管；外径为4.76毫米 (0.188英寸)
的单通空气管 (带挡板)其他与控制仪配套的XIU或振荡器、用于带挡板的传感器的电磁阀组件设施要求最小水流量150至200立方厘米/分钟，最高30摄氏度。对于带挡板的传感器，空气压力为70至80磅/平方英寸 (表压) {85至95磅/平方英寸 (绝压)} (5.8至6.5巴 (绝压)) [584至653千帕 (绝压)]不要超过100磅/平方英寸 (表压) {115磅/平方英寸 (绝压)} (7.9巴 (绝压)) [791千帕 (绝压)]。

水质

冷却液不应含有氯化物，否则可能出现应力腐蚀裂纹。极脏的水可能导致冷却能力损失。

晶片

直径13.97毫米 (0.550英寸)

材料
传感器体和传感器座

304型不锈钢

弹簧、电触点镀金铍铜合金水管

S-304，外径4.76毫米 (0.188英寸) x 壁厚0.51毫米 (0.020英寸)无缝不锈钢管连接器 (Microdot)

Teflon®和玻璃绝缘不锈钢绝缘子> 99%氧化铝、Teflon

导线

镀锡铜

薄膜沉积控制产品目录2021|

C21

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate单晶传感器 (续)规格
EASY RATE直角型单晶传感器最高无水烘烤温度

175摄氏度 (仅传感器，无馈入件)
165摄氏度 (传感器和馈入件)

等温环境最高工作温度

400摄氏度

最小水流量对应的温度
尺寸

3.25 x 4.04 x 1.53厘米 (1.28 x 1.59 x 0.60英寸)

水管外径为4.76毫米 (0.188英寸) 的无缝不锈钢管

晶片更换

前载式

安装

传感器体背面的4个#4-40螺纹孔

安装要求
馈入装置

外径为6.35毫米 (0.250英寸)，带一个Microdot同轴连接器的双通水管。外径为4.76毫米 (0.188英寸)
的单通空气管

其他

与控制仪配套的XIU或振荡器、用于带挡板的传感器的电磁阀组件设施要求最小水流量150至200立方厘米/分钟，最高30摄氏度对于带挡板的传感器，空气压力为70至80磅/平方英寸 (表压) {85至95磅/平方英寸 (绝压)}(5.8至6.5巴 (绝压)) [584至653千帕 (绝压)]。不要超过100磅/平方英寸 (表压) {115磅/平方英寸(绝压)} (7.9巴 (绝压)) [791千帕 (绝压)]。

水质

冷却液不应含有氯化物，否则可能出现应力腐蚀裂纹。

晶片

直径13.97毫米 (0.550英寸)

材料
传感器体和传感器座

304型不锈钢

弹簧、电触点镀金铍铜合金水管

S-304，外径4.76毫米 (0.188英寸) x 壁厚0.51毫米 (0.020英寸)

空气管

外径3.175毫米 (0.125英寸) x 壁厚0.381毫米 (0.015英寸) 的无缝S-304不锈钢管无缝不锈钢管连接器 (Microdot)

Teflon和玻璃绝缘不锈钢绝缘子> 99%氧化铝、Teflon

导线

镀锡铜

C22 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate单晶传感器 (续)规格馈入件注意：传感器/馈入件组合的规格由规格最低的组件决定此处
所示的外观将因传感器的相应要求而异。

1英寸螺栓馈入件
材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金、Viton®

温度

工作环境温度最高300摄氏度 (水冷) 或165摄氏度 (无水冷)安装

直径为25.8毫米 (1.015英寸 ± 0.010英寸) 的孔电气连接BNC连接器 (大气侧)

密封面

O形圈

规格
CF40馈入件
材料304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金、铜

温度

工作环境温度最高450摄氏度 (水冷) 或165摄氏度 (无水冷)安装

内径最小为1.375英寸的2¾英寸ConFlat型法兰

电气连接BNC连接器 (大气侧)MICRODOT连接器 (真空侧)
密封面

密封垫

备件列表
零件号

描述

零件号

描述

784-205-G1

Easy Rate传感器晶片座组件

783-500-023

25.4厘米 (10英寸) 真空电缆784-204-G1

陶瓷固定器

783-500-024

76.2厘米 (30英寸) 真空电缆784-404-P1

Easy Rate传感器定位环

059-0773

带管箍套件的0.125至0.188英寸钻通管接头784-403-P1

Easy Rate传感器晶片指状弹簧059-0774带管箍套件的0.188至0.250英寸钻通管接头784-300-P1

Easy Rate传感器晶片座

784-209-G1

执行器单套件784-307-P1

Easy Rate传感器双挡板

750-420-G1

24伏 (直流) 或24伏 (交流) 电磁阀

784-405-P1

Easy Rate传感器座指状弹簧080-011-P3

0-80 x 0.125英寸长通用不锈钢十字盘头螺钉784-322-P1

0-80固定板

784-323-P1

同轴连接器，母头，直边

薄膜沉积控制产品目录2021|

C23

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate单晶传感器 (续)尺寸
EASY RATE标准型单晶传感器
注意：测量单位为毫米 [英寸]

尺寸
EASY RATE带挡板的标准型单晶传感器
注意：测量单位为毫米 [英寸]C24 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate单晶传感器 (续)尺寸
EASY RATE直角型单晶传感器
注意：测量单位为毫米 [英寸]尺寸用于ERS-A_0E13_和ERS-B_0E13_传感器/馈入件组合的螺栓馈入件(馈入件零件号784-283-G1)
注意：测量单位为毫米 [英寸]薄膜沉积控制产品目录2021|

C25

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate单晶传感器 (续)尺寸
用于ERS-A_1E13_和ERS-B_1E13_传感器/馈入件组合的CF40馈入件(馈入件零件号784-284-G1)
注意：测量单位为毫米 [英寸]尺寸用于ERS-A_0E14_和ERS-B_0E14_传感器/馈入件组合的CF40馈入件(馈入件零件号784-273-G1)
注意：测量单位为毫米 [英寸]C26 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate单晶传感器 (续)尺寸
用于ERS-A_1E14_传感器/馈入件组合的CF40馈入件(馈入件零件号784-274-G1)
注意：测量单位为毫米 [英寸]薄膜沉积控制产品目录2021|

C27

石英晶体传感器和馈入件前载式双晶传感器
INFICON前载式双晶传感器不仅具有久经考验的可靠性
和耐用性，在热稳定性方面，市面上的任何其他传感头
也无法与之相媲美。双晶传感器提供一个备用晶片，对
于真空室中最好有第二片晶片的关键过程是必不可少的。
前载式设计允许在没有足够的空间进行侧向插入的应用
中轻松插入晶片座。所有零件机械组装而非焊接在一起，必要时可在现场方便地更换。传感器可单独或作为传感器/馈入件组合订购，可焊接或通过压力接头组装。
传感器配置

前载式双晶传感器提供标准安装配置，其中，水管平行
于晶面。标配气动晶片挡板用于保护备用晶片，主晶片则用于监测沉积速率。挡板采用下拉式设计，易于更换
晶片。

馈入件连接

裸露的晶片电极完全接地，可以有效地消除射频干扰所导致的问题。

前载式双晶传感器可与馈入件组合订购。传感器/馈入件连接既可通过压力接头又可通过焊接 (在与1英寸螺栓结
合使用时) 实现。压力接头允许轻松调节，而无需钎焊或焊接。馈入件可沿着管的长度移动，从而使位于真空系统
内的长度在20.3至71.1厘米 (8至28英寸) 的范围内可调。
确定所需的长度后，压力接头可实现手紧程度的管密封。

馈入件

优势

INFICON提供两种馈入件：1英寸螺栓馈入件或2¾英寸(CF40) ConFlat®法兰馈入件。可根据要求提供KF40馈
入件。

• 双晶片
• 晶片挡板• 前载式晶片座• 安装简单
•	适用于：- 2.54厘米 (1英寸) 螺栓馈入件- CF40馈入件•	同时订购压力接头时长度可调•	同时订购压力接头或焊接至馈入件时无需钎焊•	传感器/馈入件组合可焊接至客户指定的长度。

C28 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件前载式双晶传感器 (续)订购资料前载式双晶传感器 (包含真空电缆)

D L –

–

传感器类型
(包含真空电缆、
晶片固定器和用户手册。
晶片单独出售)标准型传感器(水管平行)

焊接传感器长度-参见注释2和5(仅在馈入件连接为7时使用)A馈入件连接选项为0或8时
不需要。

20–70

焊接长度 (厘米)，20至70厘米(8至27.5英寸)。

71–99

焊接长度 (厘米)，71至99厘米(28至39英寸)。

传感器长度-参见注释1和5
标准长度包括78.1厘米 (30.75英寸)
真空电缆 (参见注释4)。

E***

可提供其他长度：请联系工厂。
其他长度将被视为特殊订单，需额外付费并延长备货时间。

馈入件-参见注释2

0
3

无
1英寸螺栓

馈入件连接-参见注释3和5078以下组合不可用 (参见注释3和4)：
DL-AE47、DL-AG47、DL-AE38、DL-AG38

传感器未连接至馈入件传感器焊接至馈入件馈入件配备Ultra-Torr®压力接头

无效零件号示例包括没有馈入件连接或压力接头和焊接传感器长度的所有选项；例如DL-AE40-20、DL-BE40-20等。

注释1：
焊接传感器/馈入件组合订单从晶片中心到馈入件的真空侧 (密封面) 进
行测量。焊接传感器订单一经确认，不可取消。

传感器
基体控制仪或监测仪

(2) 真空电缆源挡板

注释3：
由于CF40的尺寸限制，与CF40馈入件一起订购的前载式双晶传感器无
法焊接。

馈入件
750-420-G1
电磁阀(2) 条短6英寸BNC电缆(2) 个振荡器或XIU

连接至55至60磅/
平方英寸 (表压)空气供应系统

注释2：
馈入件配置因所选选项 (前载式或抽屉式、带或不带挡板、馈入件类型等) 而异。例如：SL-A0E37采用零件号为002-042的馈入件，SL-A1E37则
采用零件号为750-030-G1的馈入件。

(2) 个振荡器 (XIU)
至控制仪或监测仪
的互连电缆
连接至晶片
切换继电器

注释4：
订购非焊接连接传感器 (选项“0”或“8”) 时，管长度约为76.2厘米 (30英寸)
注释5：
焊接至28至34英寸长度的前载式双晶传感器将包含一条36英寸真空电缆。焊接至34至39英寸长度的传感器将包含一条48英寸真空电缆。

注意：(2) 表示典型的双晶传感器安装需要两个XIU或振荡器组件
CrystalTwo开关选项779-220-G1允许仅使用一个振荡器 (XIU)。

薄膜沉积控制产品目录2021|

C29

石英晶体传感器和馈入件前载式双晶传感器 (续)规格DL-A E 0 0系列前载式双晶传感器规格
最高无水烘烤温度

130°C

最小水流量对应的等温环境最高工作温度

400°C

尺寸 (不包含挡板的最大封装)39.12 x 82.04 x 49.54毫米 (1.54 x 3.23 x 1.95英寸)“E”传感器的水管和同轴连接器长度

标准762毫米 (30英寸)

晶片更换前载式，易于更换的独立包装。
挡板采用上掀式设计，易于接近晶片座。

安装

传感器体背面的两个#4-40螺纹孔

安装要求
馈入装置

一个69.85毫米 (2¾英寸) ConFlat®馈入件，带两个Microdot®连接器，双通水管和空气管，或一个25.4毫米 (1英寸) 螺栓馈入件，带两个Microdot连接器，双通水管和空气管。

其他1) 用于空气管的阀组件 — 零件号750-420-G12) 两 个振荡器或一个振荡器和CrystalTwo开关779-220-G1，用于与沉积控制仪连接。
3) 为 了自动运行，沉积过程控制仪的设计必须能够实现该功能。

设施要求1) 最小水流量150至200立方厘米/分钟，最高30摄氏度 (不允许冻结)2) 空 气压力80磅/平方英寸 (5.5巴) [552千帕]，极少量，不要超过110磅/平方英寸 (7.6巴)[760千帕]水质

冷却液不应含有氯化物，否则可能出现应力腐蚀裂纹。
极脏的水可能导致冷却能力损失。

材料
传感器体和传感器座

304型不锈钢

弹簧镀金铍铜合金水管

外径3.175毫米 (0.125英寸) x 壁厚0.381毫米 (0.015英寸) 的无缝S-304不锈钢管绝缘子> 99% Al2O3

导线

Teflon绝缘铜

其他机械零件

304或18-8不锈钢钎料真空处理高温镍铬合金晶片

直径13.97毫米 (0.550英寸)

C30 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件前载式双晶传感器 (续)规格馈入件规格
注意：传感器/馈入件组合的规格由规格最低的组件决定

1英寸螺栓和ULTRA-TORR (压力接头) 端接：材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金、Viton

温度

工作环境温度最高300摄氏度 (水冷) 或165摄氏度 (无水冷)安装

直径为25.8毫米 (1.015英寸 ± 0.010英寸) 的孔

CF40焊接端接：材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金

温度

工作环境温度最高450摄氏度 (水冷) 或165摄氏度 (无水冷)安装

与内径最小为1.375英寸的2¾英寸ConFlat型法兰紧密配合

备件列表
零件号

描述

007-007固定弹簧 (用于晶片座)

007-023

陶瓷固定器

007-04478.1厘米 (30.75英寸) 真空电缆

080-018固定螺钉 (用于母头同轴连接器)

082-044

Teflon螺钉 (用于弹簧片)

750-115-P4

联轴器 (用于波纹管组件)

750-169-P2

波纹管组件 (不包括联轴器)750-171-P1

指状弹簧触点750-172-G1

晶片座 (包含固定弹簧)750-174-P2

母头同轴连接器

750-175-P1

绝缘子 (弹簧片下面)

750-188-P3

弹簧片

750-210-G1

挡板模块 (波纹管组件、轴组件和挡板组件)

750-215-G1

轴组件 (挡板模块的组成部分)

750-216-G1

挡板组件 (挡板模块的组成部分)

321-039-G13

152.4厘米 (60英寸) 真空电缆

薄膜沉积控制产品目录2021|

C31

石英晶体传感器和馈入件前载式双晶传感器 (续)尺寸用于DL-AE37和DL-AE30传感器/馈入件组合的馈入件(馈入件零件号750-707-G1)
注意：测量单位为毫米 [英寸]

尺寸
DL-AE00前载式双晶传感器 (仅传感器)
注意：测量单位为毫米 [英寸]C32 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件前载式双晶传感器 (续)尺寸用于DL-AE40传感器/馈入件组合的馈入件(馈入件零件号002-080，图示包含750-420-G1电磁阀)
注意：测量单位为毫米 [英寸]尺寸用于DL-AE48传感器/馈入件组合的馈入件 (馈入件零件号206-890-G2)
注意：测量单位为毫米 [英寸]薄膜沉积控制产品目录2021|

C33

石英晶体传感器和馈入件抽屉式双晶传感器
抽屉式™双晶传感器设计用于真空室中最好有第二片晶片
的关键过程。水冷铸造不锈钢传感器体、两个抽屉式晶片座和一个气动挡板可确保坚固的传感头，备用晶片则
能进一步提高可靠性。真空室内没有同轴电缆，因此能够更清洁、更可靠地安装真空系统。
传感器配置提供两种传感器配置：标准型和直角型。标准型设计用
于从室的侧面或底部安装，冷却管平行于晶面。直角型
设计用于通过真空系统顶部安装，水冷管垂直于晶面。
在两种配置中，传感头的长度范围均为10至66厘米(4至26英寸)。
馈入件

INFICON有两种类型的馈入件可供选择：1英寸螺栓馈入件或CF40馈入件。
馈入件连接抽屉式双晶传感器必须与馈入件组合订购。传感器/馈入件连接既可通过焊接又可通过压力接头实现。
压力接头允许轻松调节，而无需钎焊或焊接。传感头
长度的可调范围为10至66厘米 (4至26英寸)。选择焊接CF40时，传感器的设计可用于可靠性至关重要的高温过
程。它由不锈钢和陶瓷材料制成，适用于需要高温烘烤
的应用 (参见规格)。
带CF40法兰的抽屉式双晶传感器预装在专用两件式7厘米(2¾英寸) ConFlat®馈入件中。这使传感头能够独立于法兰旋转，并规避CF40法兰的尺寸限制。可在10至66厘米(4至26英寸) 的范围内指定传感器/馈入件长度。

C34 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

优势

• 双晶片
• 抽屉式晶片座• 没有内部电缆• 晶片挡板• 适用于：- CF40馈入件- 2.54厘米 (1英寸) 螺栓馈入件• 同时订购焊接CF40法兰时可烘烤• 同时订购压力接头时长度可调• 传感器/馈入件组合可焊接至客户指定的长度石英晶体传感器和馈入件抽屉式双晶传感器 (续)订购资料抽屉式双晶传感器 (包含隔水套管)

C D D ––

传感器类型(包含用户手册，晶片单独出售)馈入件连接参见注释1标准型Cool Drawer(水管平行于晶面)A

直角型Cool Drawer(水管垂直于晶面)

B

10–66

焊接传感器长度
(仅在馈入件连接为7时使用)馈入件连接选项为
8时不需要。
焊接长度 (厘米)，
10至66厘米 (4至26英寸)。
可提供其他长度：请联系工厂。
其他长度将被视为特殊订单，需额外付费并延长备货时间。

***

传感器长度参见注释3F长度：10至66厘米(4至26英寸)

78馈入件参见注释2和4

3
4

1英寸螺栓
CF40

传感器焊接至馈入件馈入件配备
Ultra-Torr®压力接头(允许调节传感器长度)。
不适用于CF40馈入件

以下组合不可用：CDD-AF48、CDD-BF48。无效零件号示例包括具有压力接头和焊接传感器长度的所有选项；例如CDD-AF48-20等。
传感器基体

控制仪或监测仪

(2) 真空电缆源挡板

注释2：馈入件配置因所选选项 (馈入件类型和连接) 而异。例如：由于标准CF40的尺寸限制，CDD-AF47-XX和-BF47-XX使用两件式混合馈入件设计。

馈入件
750-420-G1
电磁阀(2) 条短6英寸BNC电缆(2) 个振荡器或XIU

连接至55至60磅/
平方英寸 (表压)空气供应系统

注释1：
焊接传感器/馈入件组合订单从晶片中心到馈入件的真空侧 (密封面)进行测量。焊接传感器订单一经确认，不可取消。

(2) 个振荡器 (XIU)
至控制仪或监测仪
的互连电缆
连接至晶片
切换继电器

注释3：
订购非焊接连接传感器 (选项“8”) 时，标准型抽屉式传感器的管长度
约为76.2厘米 (30英寸)，直角型抽屉式传感器的管长度约为66厘米(26英寸)。
注释4：
如果没有馈入件，抽屉式传感器不可用，必须焊接或通过Ultra-Torr接头连接。

注意：(2) 表示典型的双晶传感器安装需要两个XIU或振荡器组件。

薄膜沉积控制产品目录2021|

C35

石英晶体传感器和馈入件抽屉式双晶传感器 (续)规格CDD系列抽屉式双晶传感器规格表面

镀金不锈钢抽屉式™

冷却水

0.2加仑/分钟，使用外径为1/8英寸的管，最高30摄氏度 (不允许冻结)晶片 (单独出售)行业标准0.550英寸直径

空气供应

55至60磅/平方英寸调节压力电气连接大气侧的两个标准母头BNC

1英寸螺栓和压力接头密封端接材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金、Viton

温度

工作环境温度最高300摄氏度 (水冷) 或165摄氏度 (无水冷)安装

直径为25.8毫米 (1.015英寸 ± 0.010英寸) 的孔

CF40焊接端接材料

304不锈钢、陶瓷、铍镍合金

温度

工作环境温度最高450摄氏度 (水冷) 或200摄氏度 (无水冷)安装

与2¾英寸ConFlat®型法兰紧密配合

备件列表
零件号

描述

零件号

描述

147206-2*

带35英寸管的波纹管

082-064*锁紧垫圈

147207波纹管和盖组件 (包括用*标记的所有零件)

084-205*#4-40 x 3/16英寸十字头螺钉

147401挡板

800128#4锁紧垫圈

147402

连接

800371带肩螺钉

147403*

驱动装置

800372

垫圈

147406*

波纹管支架

800416*

6-32 x 3/16英寸固定螺钉147407*波纹管盖

803313*

弹簧

147408*螺纹轴123223-2

导管钎焊组件 — 短销

147411间隔垫圈

803102用于5口可调馈入件的O形圈

147424*波纹管的管803261

用于5口可调馈入件的垫圈

082-026*六角螺母

注意：用*标记的备件包含在147207中C36 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件抽屉式双晶传感器 (续)尺寸
CDD-AF37-XX、CDD-AF38和CDD-BF38抽屉式双晶传感器/馈入件组合抽屉式双晶传感器/馈入件组合
注意：测量单位为厘米 [英寸]CDD-AF37-XX
标准配置薄膜沉积控制产品目录2021|

C37

石英晶体传感器和馈入件抽屉式双晶传感器 (续)尺寸
CDD-AF47-XX和CDD-BF47-XX抽屉式双晶传感器/馈入件组合
注意：测量单位为厘米 [英寸]CDD-AF47-XX
标准配置
CDD-AF47-XX
标准配置

1.27
[0.50]
1.27[0.50]
5.08
[2.0]
5.08
[2.0]

1.8
[0.71]
0.76[0.30]

1.8[0.71]

6.35
[2.5]

0.76
[0.30]

4.70[1.85]

1.64[0.65]
X2

A#4-40螺纹，4处

4.70[1.85]

1.64[0.65]
X2

6.35
[2.5]

[2.50][2.25][1.25] [2.50]
10.54[0.12][4.15](典型值)视图A - A
[1.12]

视图A - A尺寸

4 – 2610 – 66

1.80 [0.71]
0.76 [0.30]
10.54[4.15][1.12]

铜垫圈A#4-40螺纹，4处 [2.25][1.25]

4 – 2610 – 66

1.80 [0.71]
0.76 [0.30]

铜垫圈

CDD-BF47-XX
直角配置
CDD-BF47-XX
直角配置

两条引出线管(2) 个BNC连接器空气管
11/2六角螺母1-20 UNS
内径为1英寸的垫圈(2)条水管两条引出线管空气管[0.12](典型值)

4.45[1.75]

钎焊口，(5) 处(2)条水管A

钎焊口，(5) 处

4.45[1.75](2) 个BNC连接器

2¾英寸CF法兰，带额外的刀口
11/2六角螺母1-20 UNS
内径为1英寸的垫圈
2¾英寸CF法兰，带额外的刀口A

CDD-AF37-XX传感器/馈入件组合的传感器长度规格
注意：测量单位为厘米 [英寸]10 – 66[4 – 26]

1.27[0.50](参考值)晶片孔中心线

尺寸
CDD-AF47-XX传感器/馈入件组合的传感器长度规格
注意：测量单位为厘米 [英寸]10 – 66[4 – 26]

1.27 cm[0.50](参考值)晶片孔中心线

C38 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

为了清楚起见，图中显示该间隙。
实际尺寸等于0。

石英晶体传感器和馈入件抽屉式双晶传感器 (续)尺寸
CDD-BF47-XX传感器/馈入件组合的传感器长度规格
注意：测量单位为厘米 [英寸]10 – 66[4 – 26]0.38[0.15](参考值)x

为了清楚起见，图中显示该间隙。
实际尺寸等于0英寸

传感器晶面

尺寸
CDD-BF37-XX传感器/馈入件组合的传感器长度规格
注意：测量单位为厘米 [英寸]10 – 66[4 – 26]0.38[0.15](参考值)x

传感器晶片面薄膜沉积控制产品目录2021|

C39

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate双晶传感器
INFICON Easy Rate双晶传感器不仅价格低，传感器
寿命也更长，因此能够最大限度地降低石英晶体微天
平 (QCM) 总购置成本。该传感器通过最低的初期投资
和总购置成本最大限度地降低生产成本。此外，这款长
效传感器所需的维护更少，因此能够最大限度地提高可用性。
INFICON Easy Rate双晶传感器的设计和制造目标是为
短时间光学和批量镀膜过程提供具有成本效益的高精度
膜厚监测解决方案。
传感器配置

INFICON Easy Rate双晶传感器提供标准或直角方向。
标准型设计用于从室的侧面或底部安装，冷却管平行于
晶面。直角型设计用于通过真空系统顶部安装，水冷管
垂直于晶面。标配气动晶片挡板用于在沉积过程中保护
未使用的晶片，主晶片则用于监测沉积速率。挡板采用侧移式设计，易于更换晶片。
前载式设计允许在没有足够的空间进行侧向插入的应用
中轻松插入晶片座。所有Easy Rate传感器都与行业标准6兆赫兹晶片和馈入件兼容，其设计易于更换晶片，同时
保持足够坚固，即使在最苛刻的沉积应用中也不例外。
馈入件

INFICON Easy Rate传感器提供2.54厘米 (1英寸) 螺栓馈
入件或CF40 (2.75英寸) ConFlat®法兰馈入件。

优势• 以最低的预付成本最大限度地减少投资• 最低的总购置成本•	维护更少，可最大限度地提高产量• 提供两种配置
• 标准型 (水管平行)• 直角型 (水管垂直)馈入件连接传感器/馈入件连接既可通过用户现场焊接又可通过钻通
管接头实现。这些管接头允许轻松调节，而无需钎焊或焊接。管的长度可根据室的需要进行切割，由此可定制
位于真空系统内的长度，并简单快捷地连接馈入件。或者，如果使用定制馈入件或在现场弯曲传感器，可选择无连接选项以进行现场焊接。
适用于• 2.54厘米 (1英寸) 螺栓馈入件• CF40馈入件•	同时订购钻通管接头时位置可调

C40 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate双晶传感器 (续)订购资料

E R D –E 1

传感器类型
(包含真空电缆。
晶片单独出售。)

馈入件连接标准型传感器 (水管平行)A

直角型传感器 (水管垂直)B

0

传感器未连接至馈入件

9

钻通管接头
(使传感器水管
滑入馈入件中。)

真空电缆无
25.4厘米 (10英寸) 真空电缆
76.2厘米 (30英寸) 真空电缆传感器长度-参见注释1

0
1
2

馈入件

0
3
4

无
1英寸螺栓
CF40

E

标准型：806毫米 (31.72英寸)
直角型：776毫米 (30.55英寸)

传感器
基体

控制仪或监测仪

注释1：
传感器长度从晶片中心到水管末端进行测量 (参见图纸)。
注释2：
晶片单独出售

(2) 真空电缆源挡板
馈入件
750-420-G1
电磁阀(2) 条短6英寸BNC电缆(2) 个振荡器或XIU

连接至55至60磅/
平方英寸 (表压)空气供应系统

(2) 个振荡器 (XIU)
至控制仪或监测仪
的互连电缆
连接至晶片
切换继电器

薄膜沉积控制产品目录2021|

C41

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate双晶传感器 (续)规格
EASY RATE标准型双晶传感器
最高无水烘烤温度

175摄氏度 (仅传感器，无馈入件)
165摄氏度 (传感器和馈入件)

最小水流量对应的等温环境最高工作温度

400摄氏度

尺寸

3.25 x 9.00 x 3.15厘米 (1.28 x 3.55 x 1.24英寸)

水管外径为4.76毫米 (0.188英寸) 的无缝不锈钢管晶片更换

前载式；可轻松拆下挡板以接近晶片座

安装

传感器体背面的两个#4-40螺纹孔

安装要求
馈入装置

带两个Microdot同轴连接器，外径为6.35毫米 (0.250英寸) 的双通水管外径为4.76毫米 (0.188英寸)
的单通空气管其他

 具体控制仪配套的震荡器震荡器或振荡器、挡板的电磁阀组件。为了自动运行，沉积过程控与制仪的设计必须能够实现该功能。

设施要求 小水流量150至200立方厘米/分钟，最高30摄氏度
最空气压力70至80磅/平方英寸 (表压) {85至95磅/平方英寸 (绝压)} (5.8至6.5巴 (绝压)) [584至653千帕 (绝压)]不要超过100磅/平方英寸 (表压) {115磅/平方英寸 (绝压)} (7.9巴 (绝压)) [791千帕 (绝压)]水质冷却液不应含有氯化物，否则可能出现应力腐蚀裂纹极脏的水可能导致冷却能力损失

晶片

直径13.97毫米 (0.550英寸)

材料
传感器体和传感器座

304型不锈钢

弹簧、电触点镀金铍铜合金水管

外径4.76毫米 (0.188英寸) x 壁厚0.51毫米 (0.020英寸) 的无缝S-304不锈钢管空气管

外径3.175毫米 (0.125英寸) x 壁厚0.381毫米 (0.015英寸) 的无缝S-304不锈钢管连接器 (Microdot)

Teflon®和玻璃绝缘不锈钢绝缘子> 99%氧化铝、Teflon

导线

镀锡铜

C42 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate双晶传感器 (续)
规格
馈入件
安装要求
材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金、Viton®

温度

工作环境温度最高300摄氏度 (水冷) 或120摄氏度 (无水冷)安装

直径为25.8毫米 (1.015英寸 ± 0.010英寸) 的孔电气连接BNC连接器 (大气侧)Microdot连接器 (真空侧)

密封面

O形圈

注意：传感器/馈入件组合的规格由规格最低的组件决定。此处所示的外观将因传感器的相应要求而异。

规格CF40馈入件
安装要求
材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金、铜

温度

工作环境温度最高450摄氏度 (水冷) 或165摄氏度 (无水冷)安装

内径最小为1.375英寸的2¾英寸ConFlat型法兰

电气连接BNC连接器 (大气侧)Microdot连接器 (真空侧)

密封面

密封垫

备件列表
零件号

描述

零件号

描述

784-205-G1

Easy Rate传感器晶片座组件

784-206-G1

Easy Rate传感器执行器

784-204-G1

陶瓷固定器

784-306-P1

Easy Rate传感器执行器夹

784-404-P1

Easy Rate传感器定位环

084-054#4不锈钢开口锁紧垫圈

784-403-P1

Easy Rate传感器晶片指状弹簧

084-027

4-40 x 0.250英寸长不锈钢内六角螺钉

784-300-P1

Easy Rate传感器晶片座

784-210-G1

Easy Rate传感器双挡板套件

784-307-P1

Easy Rate传感器双挡板

783-500-023

25.4厘米 (10英寸) 真空电缆784-405-P1

Easy Rate传感器座指状弹簧

783-500-024

76.2厘米 (30英寸) 真空电缆

080-011-P3

0-80 x 0.125英寸长通用不锈钢十字盘头螺钉

059-0773

带管箍套件的0.125至0.188英寸钻通管接头784-322-P1

0-80固定板

059-0774带管箍套件的0.188至0.250英寸钻通管接头784-323-P1

同轴连接器，母头，直边

750-420-G1

24伏 (直流) 或24伏 (交流) 电磁阀

薄膜沉积控制产品目录2021|

C43

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate双晶传感器 (续)尺寸
EASY RATE双晶传感器
注意：测量单位为毫米 [英寸]

尺寸
EASY RATE双晶传感器
注意：测量单位为毫米 [英寸]C44 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

Easy Rate双晶传感器 (续)尺寸
用于ERD-A_E14_和ERD-B_E14_传感器/馈入件组合的馈入件(馈入件零件号784-275-G1)
注意：测量单位为毫米 [英寸]尺寸
用于ERD-A_E13_和ERD-B_E13_传感器/馈入件组合的馈入件(馈入件零件号784-285-G1)
注意：测量单位为毫米 [英寸]薄膜沉积控制产品目录2021|

C45

石英晶体传感器和馈入件

UHV可烘烤传感器
INFICON UHV可烘烤传感器不仅具有久经考验的可靠性
和耐用性，在热稳定性方面，市面上的任何其他传感头
也无法与之相媲美。UHV可烘烤传感器由304不锈钢、钼、Inconel、镍和氧化铝材料制成，其设计可承受高达
450摄氏度的连续烘烤温度 (仅用于烘烤，实际沉积监测
需要水流量)。前载式设计允许在没有足够的空间进行侧向插入的应用中轻松插入晶片座。
传感器配置

UHV可烘烤传感器提供标准安装配置，其中，水管平行
于晶面。可选择订购带气动晶片挡板的传感器，以在源预热期间或在其他材料沉积期间不使用时为晶片提供保护，或在与RateWatcher™一起使用时延长晶片寿命。
裸露的晶片电极完全接地，可以有效地消除射频干扰所导致的问题。
优势馈入件和馈入件连接

所有UHV可烘烤传感器均可焊接至CF40 (2¾英寸
ConFlat®) 法兰馈入件。

C46 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1• 高温钎焊和焊接结构• 烘烤温度高达450摄氏度
• 晶片挡板 (选项)• 前载式晶片座• 安装简单
• CF40馈入件• 不需要钎焊或焊接至馈入件• 传感器/馈入件组合可焊接至客户指定的长度石英晶体传感器和馈入件

UHV可烘烤传感器 (续)订购资料UHV可烘烤传感器

B K ––焊接传感器长度 参见注释1和2

传感器类型(包含晶片固定器
和用户手册。)

A标准型
(水管平行于晶面)

10–70

焊接长度 (厘米)，10至70厘米(8至27.5英寸)。

71–99

焊接长度 (厘米)，71至99厘米(28至39英寸)。
传感器长度-参见注释1

挡板组件-参见注释3

F

0
1

无
标配挡板

标准长度：
带挡板的传感器：17至99厘米(28至39英寸)
不带挡板的传感器：10至99厘米(28至39英寸)***长度超过76.2厘米 (30英寸) 的传感器需额外付费，备货时间
也需延长2至4周。

注释1：
UHV可烘烤传感器订单从晶片中心到馈入件的真空侧 (密封面) 进行测量。焊接传感器订单一经确认，不可取消。

传感器
基体控制仪或监测仪

真空电缆

注释2：
所有UHV可烘烤传感器都焊接至CF40馈入件。
注释3：挡板空气管使用VCR接头连接至馈入管，可现场更换。

源挡板
馈入件

短6英寸
BNC电缆

振荡器 (XIU)
至控制仪或监测仪
的互连电缆振荡器或XIU

薄膜沉积控制产品目录2021|

C47

石英晶体传感器和馈入件

UHV可烘烤传感器 (续)规格
不带挡板的BK-A0F系列UHV可烘烤传感器

带挡板的BK-A1F系列UHV可烘烤传感器

最高温度(仅用于烘烤；水流量建议用于实际沉积监测)450摄氏度 (连续)400摄氏度 (连续)馈入装置

CF40 (2¾英寸ConFlat®)，与传感头构成整体

CF40 (2¾英寸ConFlat®)，与传感头构成整体

水管和同轴管 径3毫米 (0.125英寸) x 壁厚0.4毫米 (0.015英寸)
外的无缝304不锈钢水管；外径5毫米 (0.188英寸) 的
同轴管

外径3毫米 (0.125英寸) x 壁厚0.4毫米 (0.015英寸)
的无缝304不锈钢水管和空气管；外径5毫米(0.188英寸) 的同轴管

传感头尺寸 (最大封装)34 x 35 x 24毫米高
(1.35 x 1.38 x 0.94英寸高)34 x 35 x 31毫米高
(1.35 x 1.38 x 1.21英寸高)晶片更换 载式，易于更换的独立包装。凸轮型锁紧手柄前可确保轻松拆卸和良好的热接触。

前载式，易于更换的独立包装。凸轮型锁紧手柄
可确保轻松拆卸和良好的热接触。气动挡板采用上掀式设计，易于更换晶片

安装

传感器体背面的4个#4-40螺纹孔

传感器体背面的4个#4-40螺纹孔设施要求最小水流量150至200立方厘米/分钟，最高30摄氏度
(不允许冻结)(客户应提供在烘烤期间轻松断开6.4毫米 (0.25英寸)
水管的方法。)

1) 最小水流量150至200立方厘米/分钟，最高30摄氏度 (不允许冻结) (客户应提供在烘烤期间轻松断开6.4毫米 [0.25英寸] 水管的方法。)
2) 经过滤的无油空气，调节压力为80磅/平方英寸(表压) {95磅/平方英寸 (绝压)} 6.5巴 (绝压)[653千帕 (绝压)] (最大)3) 需要零件号为750-420-G1的24伏 (交流) 或
24伏 (直流) 电磁阀或同等阀

晶片

直径13.97毫米 (0.550英寸)

直径13.97毫米 (0.550英寸)

传感器体和传感器座

304型不锈钢

304型不锈钢

弹簧

钼和Inconel X-750

钼和Inconel X-750

其他机械零件

18-8或304不锈钢

18-8或304不锈钢绝缘子>> 99% Al2O3 (真空)；其他应用使用其他高密度
陶瓷> 99% Al2O3 (真空)导线1) 镍 (真空)2) 镀镍铜 (其他应用)1) 镍 (真空)2) 镀镍铜 (其他应用)钎料

真空处理高温镍铬合金真空处理高温镍铬合金

材料

C48 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

UHV可烘烤传感器 (续)
备件列表
零件号

描述

零件号

描述

007-064

陶瓷固定器

007-267-P2

撑杆

007-094夹紧弹簧

007-268-P1

带肩垫圈

007-095

手柄

007-269-P1

带肩垫圈

007-098

母头连接器 (包含套箍和螺母)

084-069-P1#4-40 x 3/16英寸螺钉

007-099

可烘烤传感头触点

750-018-P3

开口夹

007-100

BNC绝缘子

750-018-P5

开口夹

007-103可烘烤传感头触点绝缘子

750-022-G7

波纹管组件 — 76.2厘米 (30英寸)

007-104

BNC体

750-028-G7

带空气管的钎焊组件 — 76.2厘米 (30英寸)

007-157

钎焊组件 — 76.2厘米 (30英寸)

750-115-P4

联轴器

007-147#4-40 x / 英寸螺钉750-118-P4

执行器支架007-007固定弹簧 (晶片座的组成部分)

750-120-G3

轴组件

007-228#4-40 x / 英寸螺钉750-216-G1

挡板组件

059-0084

VCR密封垫

750-218-G1

晶片座

070-0201#4开口锁紧垫圈

3 8

5 8

薄膜沉积控制产品目录2021|

C49

石英晶体传感器和馈入件

UHV可烘烤传感器 (续)尺寸
BK-A0F传感器/馈入件组合
注意：测量单位为毫米 [英寸]

尺寸
BK-A1F传感器/馈入件组合
注意：测量单位为毫米 [英寸]17至990毫米(6.7至39英寸)

5.50
(参考值)

23.5毫米 (0.93英寸)

22毫米 (0.9英寸)
56.26毫米 (2.22英寸)
挡板打开11毫米 (0.45英寸)
38.1毫米 (1.5英寸)

34毫米(直径1.34英寸)
6.4毫米 (0.25英寸)

30.7毫米87毫米 (3.4英寸)

53毫米 (2.1英寸)

70毫米 (直径2.75英寸)
11毫米 (0.45英寸)

C50 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

通过所需的
最小直径

石英晶体传感器和馈入件

ALD传感器INFICON ALD传感器使原子层沉积 (ALD) 具有石英晶体
微天平 (QCM) 测量的重复性、精确性和持久性。ALD传
感器能够承受高达450摄氏度的温度，设计用于在ALD应
用的恶劣环境中运行。
INFICON ALD传感器的独特之处是配备一根气体管，用于通过惰性气体 (通常是氮气) 吹扫晶片背面和传感器腔。这可以防止反应室气体进入传感头，并保持晶片背面和电触点上没有沉积材料。

优势• 工作温度高达450摄氏度• 气体吹扫管可确保晶片背面没有沉积材料• 焊接CF40 (2¾英寸ConFlat) 提供定制长度，无需客户焊接• O形圈压力接头选项确保轻松调节传感器长度

INFICON ALD传感器可定制焊接长度或配备压力接头以实现可调长度，而无需钎焊或焊接。所有配置均使用
CF40 (2¾英寸ConFlat®) 法兰馈入件。

薄膜沉积控制产品目录2021|

C51

石英晶体传感器和馈入件

ALD传感器 (续)订购资料焊接ALD传感器

750-713-G4 –焊接传感器长度
焊接长度 (厘米)，10至70厘米 (4至27.5英寸).....10至70
焊接长度 (厘米)，71至99厘米 (28至39英寸).....71至99
注释1：
ALD传感器订单从晶片中心到馈入件的真空侧 (密封面) 进行测量。
焊接传感器订单一经确认，不可取消。

订购资料ALD传感器750-717-G2

可调ALD传感器，长度可调范围为101.6至393.7毫米 (4至15.5英寸)

750-717-G4

可调ALD传感器，长度可调范围为101.6至901.7毫米 (4至35.5英寸)

高温晶片
750-1058-G10120摄氏度优化晶片，6兆赫兹，14毫米 (0.55英寸)，金电极，10片装750-1059-G10240摄氏度优化晶片，6兆赫兹，14毫米 (0.55英寸)，金电极，10片装750-1060-G10285摄氏度优化晶片，6兆赫兹，14毫米 (0.55英寸)，金电极，10片装C52 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

ALD传感器 (续)规格
功能、参数或规格焊接ALD传感器

可调ALD传感器

(零件号750-713-G4-XX)(零件号750-717-G2和G4)

最高温度450摄氏度 (连续)130摄氏度 (连续)馈入装置2¾英寸ConFlat

配备O形圈压力接头的2¾英寸ConFlat

传感器/馈入件连接焊接 (无填料)

O形圈压力接头气体管和同轴管

气体管：外径3.2毫米 (0.125英寸) (真空侧)气体管：外径3.2毫米 (0.125英寸)

外径6.4毫米 (0.25英寸) (大气侧)同轴管：外径4.8毫米 (0.375英寸)

同轴管：外径4.8毫米 (0.375英寸)
传感头尺寸 (最大封装)34 x 35 x 24毫米 (1.35 x 1.38 x 0.94英寸)

34 x 35 x 24毫米 (1.35 x 1.38 x 0.94英寸)

晶片更换

前载式，独立包装

前载式，独立包装凸轮型锁紧手柄凸轮型锁紧手柄

安装

传感器体背面的4个#4-40螺纹孔

传感器体背面的4个#4-40螺纹孔设施要求客户应提供将气体管连接至吹扫气体供应系统
的方法

客户应提供将气体管连接至吹扫气体供应系统
的方法

晶片 (未随传感器提供)

直径14毫米 (0.55英寸)

直径14毫米 (0.55英寸)

传感器体和传感器座

304型不锈钢

304型不锈钢

弹簧

钼和Inconel X-750

钼和Inconel X-750

气体管和同轴管

无缝304不锈钢无缝304不锈钢

其他机械零件

18-8或304不锈钢

18-8或304不锈钢绝缘子> 99% Al2O3 (真空)；其他应用使用其他高密度
陶瓷> 99% Al2O3 (真空)；其他应用使用其他高密度
陶瓷导线1) 镍 (真空)2) 镀镍铜 (其他应用)1) 镍 (真空)2) 镀镍铜 (其他应用)钎料

真空处理高温镍铬合金真空处理高温镍铬合金

O形圈压力接头不适用304不锈钢、Viton

材料

薄膜沉积控制产品目录2021|

C53

石英晶体传感器和馈入件

ALD传感器 (续)
备件列表
零件号

描述

零件号

描述

007-064

陶瓷固定器

007-007固定弹簧 (晶片座的组成部分)

007-094夹紧弹簧

007-228#4-40 x 5/8英寸螺钉

007-095

手柄

070-0201#4开口锁紧垫圈

007-098

母头连接器 (包含套箍和螺母)

007-268-P1

带肩垫圈

007-099

可烘烤传感头触点

007-269-P1

带肩垫圈

007-100

BNC绝缘子

084-069-P1#4-40 x 3/16英寸螺钉

007-103可烘烤传感头触点绝缘子

750-018-P3

开口夹

007-104

BNC体

750-018-P5

开口夹

007-157

钎焊组件 — 76.2厘米 (30英寸)

750-022-G7

波纹管组件 — 76.2厘米 (30英寸)

007-147#4-40 x 3/8英寸螺钉750-216-G1

挡板组件

750-218-G1

晶片座

C54 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

ALD传感器 (续)尺寸
焊接ALD传感器，零件号750-713-G4-XX
注意：测量单位为毫米 [英寸]尺寸焊接ALD传感器，零件号750-713-G4-XX
注意：测量单位为毫米 [英寸]薄膜沉积控制产品目录2021|

C55

石英晶体传感器和馈入件溅射传感器
INFICON溅射传感器专为在所有溅射过程中使用而设计。传感器体和冷却管采用镀金铍铜合金制成，在溅射环境中可确保最大冷却效率。传感头内置磁体通过外
部磁场使溅射系统中的高能自由电子偏转，从而减少过热。后载式晶片座的设计易于更换晶片，而不必从系统
中取出传感头。
优势•	镀金铍铜合金传感器体和冷却管可确保最大冷却效率• 磁体使自由电子偏离监测晶片• 安装简单，可弯曲水管允许灵活放置传感器• 后载式晶片插入，易于更换晶片

订购资料
传感器

溅射传感器

基体

750-618-G1

溅射传感器

750-005-G1

溅射传感器挡板模块

注意：包含78厘米 (30.75英寸) 真空电缆、晶片固定器、10片装银电极晶片和手册 (可单独提供其他长度的真空电缆)

真空电缆
源挡板
馈入件

短6英寸
BNC电缆
振荡器或XIU

C56 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

控制仪或监测仪

振荡器 (XIU)
至控制仪或监测仪
的互连电缆

石英晶体传感器和馈入件溅射传感器 (续)规格
750-618-G1溅射传感器最高无水烘烤温度

105°C

最小水流量对应的等温环境最高
工作温度

400°C

尺寸 (最大封装)

外径1.36英寸 x 高度0.69英寸 (3.45厘米 x 1.75厘米)

水管、空气管和同轴管长度

标准76.2厘米 (30英寸)

晶片更换

后载式

安装

客户自备

安装要求
馈入装置

带同轴连接器的双通水管：2¾英寸ConFlat®法兰 — 零件号002-043；1英寸螺栓 — 零件号002-042

其他

客户应提供水管所需的真空密封钎焊接头或连接器。设计用于与特定沉积控制仪连接的XIU或振荡器。

水流量 小水流量750立方厘米/分钟，最高30摄氏度 (不允许冻结)。冷却液不应含有氯化物，否则可能出现最应力腐蚀裂纹。如果水管穿过冷冻罩，无论水流因何原因停止，请排空水管。

材料
晶片

直径1.4厘米 (0.550英寸)

传感器体和传感器座

镀金铍铜合金弹簧、电触点镀金铍铜合金水管

镀金铍铜合金，外径0.32厘米 (0.125英寸)

连接器304 不锈钢

绝缘子

99% Al2O3

导线

Teflon绝缘铜焊料无镉银铟合金磁体

ALNICO 5合金可选挡板组件750-005-G1的规格：
温度

130°C

材料

300系列不锈钢压力90至95磅/平方英寸 (表压) (6.2至6.55巴) [620至655千帕]，最大工作压力110磅/平方英寸 (表压)(7.6巴) [760千帕]挡板气动，需要零件号为750-420-G1的电磁阀钎料真空处理高温镍铬合金

薄膜沉积控制产品目录2021|

C57

石英晶体传感器和馈入件溅射传感器 (续)规格馈入件规格
注意：传感器/馈入件组合的规格由规格最低的组件决定

1英寸螺栓和ULTRA-TORR (压力接头) 端接：材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金、Viton

温度

工作环境温度最高300摄氏度 (水冷) 或165摄氏度 (无水冷)安装

直径为25.8毫米 (1.015英寸 ± 0.010英寸) 的孔

CF40 (2¾英寸CONFLAT) 焊接端接：材料

304不锈钢、Teflon、陶瓷、铍镍合金

温度

工作环境温度最高450摄氏度 (水冷) 或165摄氏度 (无水冷)安装

与内径最小为1.375英寸的2¾英寸ConFlat型法兰紧密配合

备件列表
零件号

描述

007-049

晶片座

007-007

晶片座固定弹簧

007-044真空电缆 (30.75英寸/78.1厘米)

007-047

带水管的溅射头盖

007-009溅射头盖磁体070-0440

定位环 (安装到挡板组件的轴上)

070-0442

定位环 (安装到挡板组件的轴上)

070-0441

间隔垫圈 (安装到挡板组件的轴上)

082-044750-619-G1溅射头主体的2-56 x 1/4英寸Teflon螺钉082-029-P1

750-619-G1溅射头主体的2-56 x 1/8英寸固定螺钉

750-005-G1

气动挡板组件750-009-P2

枢轴盖 (安装到挡板组件的轴上)

750-046-G2

气动挡板组件的挡板组件

750-048-P1

007-048和750-619-G1溅射头主体的固定弹簧

750-115-P4

联轴器 (安装到波纹管组件中)750-169-P4

气动挡板组件的波纹管组件

750-174-P2

750-619-G1溅射头主体的母头同轴连接器

750-175-P1

750-619-G1溅射头主体的绝缘子

750-188-P3

750-619-G1溅射头主体的弹簧片

750-619-G1

带同轴连接器的溅射头主体

750-626-P1

溅射头盖弹簧

C58 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件溅射传感器 (续)尺寸
750-618-G1溅射传感器
注意：测量单位为厘米 [英寸]

直径3.45厘米(1.36英寸) (参考值)
直径0.83厘米(0.328英寸)(参考值)

直径0.83厘米(0.328英寸)(参考值)

直径3.45厘米(1.36英寸) (参考值)
直径0.83厘米(0.328英寸)(参考值)

直径3.18厘米(1.25英寸) (参考值)

直径3.18厘米(1.25英寸) (参考值)

直径3.18厘米(1.25英寸) (参考值)

薄膜沉积控制产品目录2021|

C59

石英晶体传感器和馈入件溅射传感器 (续)尺寸
焊接ALD传感器，零件号750-713-G4-XX
注意：测量单位为毫米 [英寸]19.0 [0.75]

127.0 [5.00]
同轴母头连接器(零件号051-981)

AA

10.16 [0.400]
5.08 [0.200]

9.5 [0.30]

5.08 [0.200]

VITON O形圈#2-12250.8 [2.00]#1-14-UNS螺纹垫圈323.8 [12.75]

3.96 [0.156]

BNC连接器组件C206-779-G1

127.0 [5.00]

视图 “A - A”

19.0 [0.75]

尺寸
零件号002-043
注意：测量单位为毫米 [英寸]CL

32.8
[1.29]

6.73 [0.265] DIA. (SIX)

69.9[2.75]

CL

4.77[0.188]10.2 [0.40]

5.1 [0.20]
7.6 [0.30]
15.2[0.60]

C60 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

127 [5.0]

12.7 [0.5]228.60 [9.0]石英晶体传感器和馈入件溅射传感器 (续)尺寸
零件号750-030-G1
注意：测量单位为毫米 [英寸]19.0 [0.75]

127.0 [5.0]12.70 [0.50]

同轴母头连接器(零件号051-981)

A

6.35 [0.25]

A

7.11 [0.280]

9.7 [0.38]
VITON O形圈#2-12250.8 [2.0]4.78 [0.188 ]#1-14-UNS螺纹

3.18 [0.125]

垫圈

323.8 [12.75]

视图 “A - A”
BNC连接器组件C206-779-G1
127.0 [5.0]19.0 [0.75]

750-420-G1电磁阀的配套空气接头 (10-32)

尺寸
零件号750-685-G1
注意：测量单位为毫米 [英寸]750-420-G1电磁阀的配套空气接头 (10-32)

6.73 [0.26](6) 个孔均布在直径为
2.31 [58.7] 的基准圆上
15.24[0.60]

7.62[0.30]

32.67[1.29]
8.89[0.35]

8.88[0.35]

12.69[0.50]
57.15[2.25]
69.34 [2.73]
CONFLAT法兰

127.00[5.00]

0.50[12.70]228.60[9.00]

薄膜沉积控制产品目录2021|

C61

石英晶体传感器和馈入件

Crystal12®传感器
INFICON Crystal 12®传感器对于需要连续速率控制的长过程至关重要。Crystal 12传感器的一个传感头中包含12片石英监测晶片，无论在OLED、MBE、太阳能还是腔室通风间隔时间更长的其他过程中，都能确保安全性。与Cygnus 2、IC6、XTC/3M、XTC/3S、SQC310或SQC310C一起使用时，无论当前使用的晶片何时失效或变得不稳定，Crystal 12都能自动将新晶片旋转入位。晶片自动更换，而不会中断您的过程，由此可实现连续沉积速率监测。为了进一步最大限度地减少停机时间，晶片可预装到第二个可选转盘中，该转盘可以简单快捷地
与装有废晶片的转盘交换，从而最大限度地减少系统打开的时间。
晶片转位通过一个气动机构完成。与竞争对手的采用高
成本真空发热电机的单元相比，该气动机构可赋予晶片更好的热稳定性。1/8英寸水冷管不仅使传感头保持热稳定，而且允许灵活地放置传感器。
优势•	包含12片晶片，具有强大的自动切换功能，可最大限度地延长过程正常运行时间•	配备易于拆卸的转盘，可快速更换全部12片晶片•	晶片温度稳定，因为晶片切换以气动驱动方式实现(竞争对手的单元采用发热电机)•	1/8英寸管有助于保持热稳定性以及灵活地放置传感器•	易于拆卸的前沉积罩可防止晶片和转盘上积聚材料，从而最大限度地减少取出整个传感器以进行维护的需要

C62 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

Crystal 12传感器 (续)订购资料Crystal 12传感器

X L 1 2 –电磁阀参见注释2传感器类型(包含用户手册。
晶片单独出售)

0
1

0
1

无
基本单元- Crystal12传感器无电磁阀

安装柱和五金件

真空电缆组件长度参见注释3

0
1

0
1
2
3
4
5
6
7
8

无
78厘米 (30.75英寸)
15.2厘米 (6英寸)
30.5厘米 (12英寸)
61厘米 (24英寸)
91.4厘米 (36英寸)
121.9厘米 (48英寸)
52.4厘米 (60英寸)
182.9厘米 (72英寸)

无
安装柱套件

前沉积罩

0

1 (包含在基本单元中)1备用前沉积罩

晶片转盘总成0
1

1 (包含在基本单元中)备用晶片转盘总成

连接至80至90磅/平方英寸 (表压)空气供应系统

可提供定制零件、专用弯管和其他非标准零件 — 请咨询工厂

750-420-G1
电磁阀

注释1：
晶片自动切换功能仅在与IC6、Cygnus 2 、XTC/3M、XTC/3S、SQC-310和SQC-310C一起使用时可用。

振荡器或XIU

传感器
连接至晶片
切换继电器

振荡器 (XIU)
至控制仪或监测仪
的互连电缆

基体

源挡板
控制仪或监测仪

注释2：
Crystal 12传感器需要安装有节流孔的750-420-G1电磁阀 (节流孔零件号059-0189，包含在Crystal 12装运套件中)。
注释3：
IC6、Cygnus 2、XTC/3M和XTC/3S支持所有长度。SQC-310和
SQC-310C仅支持位于真空系统内的长度不超过30.75英寸的应用。
注释4：
与SQC-310或SQC-310C一起使用时，位置反馈功能不可用。

薄膜沉积控制产品目录2021|

C63

石英晶体传感器和馈入件

Crystal 12传感器 (续)规格CRYSTAL 12传感器规格
最高无水烘烤温度

130°C

最小水流量对应的等温环境最高
工作温度

300°C时

尺寸 (最大封装) 径4.0英寸 (102毫米) x 高度3.3英寸 (84毫米)
直直径4.75英寸 (121毫米) x 3.46英寸 (88毫米) (安装可选安装柱后)

水管和空气管长度标准762毫米 (30英寸)

晶片更换

前载式

安装

 感器体背面的6个#4-40螺纹孔、外圆周上的6个#4-40螺纹孔。3个#6-32螺纹孔和可选安装套件传
(零件号750-670-G1)

重量2.23公斤 (4.92磅)

安装要求
馈入装置

 量 (1) 2¾英寸ConFlat®馈入件，带一个同轴连接器，双通水管，单通空气管，零件号750-685-G1；
数或数量 (1) 750-685-G2馈入件，带一个同轴连接器，带Ultra-Torr压力接头的三通管；或数量 (1) 1英寸
螺栓馈入件，带一个同轴连接器，双通水管，单通空气管，零件号750-030-G1

安装 户应提供足以支撑Crystal 12的重量的安装结构，该结构的设计应方便在精确的位置以尽可能少的用变动完成拆卸和更换。为此，可订购零件号为750-670-G1的可选安装柱套件空气管和水管连接用户应提供水管和空气管所需的真空密封钎焊接头或连接器。用于空气管的阀组件，零件号750-420-G1(未提供)，包含由用户安装的0.022英寸节流孔。(节流孔包含在Crystal 12附件套件中。)

设施要求

 小水流量150至200立方厘米/分钟，最高30摄氏度 (不允许水冻结)。冷却液不应含有氯化物，否则
最可能出现应力腐蚀裂纹。调节空气供应压力80至90磅/平方英寸 (表压) (5.5至6.2巴) [550至620千帕]。
传感头与电磁阀之间的1/8英寸管最大长度为2米。

材料
晶片

直径13.97毫米 (0.550英寸)板、材料防护罩、机械零件、传感器体和转盘

304型不锈钢

弹簧、电触点镀金铍铜合金、镀金302不锈钢

水管和空气管外径3.2毫米 (0.125英寸) x 壁厚0.4毫米 (0.016英寸) x 长度762毫米 (30英寸) 的无缝S-304不锈钢管

连接器

不锈钢

绝缘子

Teflon、Peek®

电缆

Teflon绝缘镀铜钢C64 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

Crystal 12传感器 (续)
备件列表
零件号

描述

零件号

描述

750-276-P3

执行器盖

007-1260.125 x 30英寸 (3.175 x 762毫米) 无缝管

750-644-G1

壳体070-201#4开口锁紧垫圈

750-658-G1

沉积罩084-004#4-40 x 0.187英寸内六角螺钉750-286-P2

气动执行器

070-398

定位环

750-291-P1

止动器

070-867轴垫

750-294-P2

止动棘轮

070-170#2开口锁紧垫圈

750-293-P2

棘轮070-177#4-40 x 3.12英寸六角螺钉

750-256-P2

拉簧

080-038#0-80 x 0.375英寸十字盘头螺钉

750-252-P2

弹簧柱082-032#2内部锁紧垫圈

750-649-G1

电气连接082-045#2-56 x 0.187英寸十字头螺钉

750-295-G1

棘爪和执行器

084-054#4开口锁紧垫圈

750-258-P2

轴承轴

082-022#2平垫圈070-779滚珠轴承082-024#2-56 x 0.250英寸内六角螺钉750-652-G1

转盘082-032#2内部锁紧垫圈

750-650-P1

孔径板 (不带定位销)

750-292-P2

止动垫片

070-1253

定位销

080-013#0-80开口垫圈

750-651-P1

电阻排支架080-007-P1#0-80 x 0.170英寸平垫圈

750-655-P1

电阻排绝缘子

080-009-P1#0-80 x 0.188英寸内六角螺钉750-642-G1

电阻排084-048#4-40 x 0.250英寸平头螺钉

750-661-P1

接触端子 (转盘组件)

750-665-P1#2-56扭簧带肩螺钉

750-656-P1

晶片绝缘子 (转盘组件)

070-170#2开口锁紧垫圈

321-038-P6

弹簧片 (转盘组件)

082-045#2-56 x 0.187英寸十字头螺钉

750-657-P1

接地弹簧片

070-201#4开口锁紧垫圈

750-671-P1

扭簧084-093#4-40 x 1.125英寸内六角螺钉750-626-P1

弹簧

086-084-P2#6-32 x 0.125英寸固定螺钉

750-647-P1

主轴

086-041#6平垫圈070-1268

主轴轴承 (主轴组件)

086-038#6开口锁紧垫圈

070-1254

E型圈 (主轴组件)

086-036#6-32 x 0.375英寸内六角螺钉750-660-P1

定位螺钉 (主轴组件)

086-084-P2#6-32 x 0.125英寸固定螺钉

薄膜沉积控制产品目录2021|

C65

石英晶体传感器和馈入件

Crystal 12传感器 (续)尺寸
CRYSTAL 12传感器
注意：测量单位为毫米 [英寸]74.27
[2.92]

ਟ䘹྇Ԧ-ᆹ㻵ḡˈᮠ䟿3
䴦Ԧਧ750-670-G1

23.30 [0.92]

≤

58.39
[2.30].375 (ިර٬)[9.52]

48.87[1.92]

ਟ䘹
ⴤᖴ101.60[4.00]ⵏオ⭥㔶CRYSTAL12

750-667-G1

XXXXX৲㿱⌘䟺4ǃ6ǃ7

16.00 [0.616]

93.78[3.69]

4.75[120.65]オ≄

111.12[4.37]
ਟ䘹ਟ䘹

16.00 [0.639]
45.85 [1.80]#4-40 x .19 [4.8] ␡ᆹ㻵ᆄᮠ䟿631.75[1.25]

8.13 [0.32]
12.70[0.50]
3༴

88.01 [3.46]
ਟ䘹

25.40
[1.00]
3༴

尺寸
CRYSTAL 12传感器可与以下馈入件一起使用：
零件号750-030-G1
注意：测量单位为毫米 [英寸]19.00 [0.75]
12.70 [0.50]

127.0 [5.00]

6.35 [0.25]

7.11 [0.280]

MICRODOT
连接器A

4.78 [0.188 ]A

9.7 [0.38]
3.18 [0.125]

VITON O形圈#2-12250.8 [2.00]

323.8 [12.75]#1-14-UNS螺纹垫圈

BNC连接器127.0 [5.00]

19.0 [0.75]

C66 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

视图 “A - A”

石英晶体传感器和馈入件

Crystal 12传感器 (续)尺寸
零件号750-685-G1
注意：测量单位为毫米 [英寸]
直径6.73 [0.26](6) 个孔均布在直径为
58.7 [2.31] 的基准圆上

750-420-G1电磁阀的配套空气接头 (10-32)

15.24[0.60]

7.62[0.30]

32.67[1.29]
8.89[0.35]

8.88[0.35]

12.69[0.50]
57.15[2.25]

12.70[0.50]

127.00[5.00]

直径69.34 [2.73]

228.60[9.00]

CONFLAT法兰

尺寸
零件号750-685-G2
注意：测量单位为毫米 [英寸]
直径6.73 [0.26]

750-420-G1电磁阀的配套空气接头 (10-32)(6) 个孔均布在直径为
58.7 [2.31] 的基准圆上

15.24[0.60]
7.62[0.30]
32.64[1.29]

8.86[0.35]
8.76[0.35]

12.57[0.50]

57.15[2.25]

直径69.34 [2.73]
CONFLAT法兰

12.70[0.50]

127.00 [5.00]
251.83 [9.91]

薄膜沉积控制产品目录2021|

C67

石英晶体传感器和馈入件

本页特意留白。

C68 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

CrystalSix®传感器
INFICON CrystalSix传感器的设计和制造目标是为单晶
和双晶传感器的寿命无法坚持到完成整个过程的应用提
供质量和可靠性都尽可能高的膜厚监测。每个CrystalSix
传感器包含6片晶片，无论在OLED、MBE、太阳能、长时间光学镀膜还是腔室通风间隔时间更长的其他过程
中，都能最大限度地提高PVD产量，并通过低价格最大限度地降低成本。与INFICON薄膜控制仪一起使用时，无论当前使用的晶片何时失效或变得不稳定，CrystalSix
都能自动将新晶片旋转入位。晶片自动更换，而不会中
断您的过程，由此可实现连续沉积速率监测。
晶片转位通过一个气动机构完成。与竞争对手的采用高
成本真空发热电机的单元相比，该气动机构可赋予晶片更好的热稳定性。1/8英寸水冷管不仅使传感头保持热稳定，而且允许灵活地放置传感器。
与某些INFICON薄膜控制仪一起使用时，该传感器可提供位置反馈，因此，特定材料可以使用特定位置。
优势•	以最低的预付成本最大限度地减少投资•	通过最大限度地延长正常运行时间提高产量•	利用连续或多层膜沉积的实时速率控制确保产品质量•	安装简单，便于集成到系统中，从而节省时间•	通过遍布全球的专家应用支持网络优化系统性能
•	与业界领先的INFICON控制仪兼容
•	晶片温度稳定，因为晶片切换以气动驱动方式实现(竞争对手的单元采用发热电机)

薄膜沉积控制产品目录2021|

C69

石英晶体传感器和馈入件

CrystalSix传感器 (续)订购资料
CRYSTALSIX传感器
750-446-G1

CrystalSix传感器

SPS-1039-G1

带挡板的CrystalSix传感器连接至80至90磅/平方英寸 (表压)空气供应系统

注释1：
CrystalSix传感器需要安装有节流孔 (零件号059-0189，
包含在CrystalSix装运套件中) 的750-420-G1电磁阀。

750-420-G1
电磁阀振荡器或XIU

注释2：
CrystalSix传感器不能与薄膜沉积监测仪一起使用。
传感器

连接至晶片
切换继电器

振荡器 (XIU)
至控制仪或监测仪
的互连电缆

基体

源挡板
控制仪或监测仪

C70 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

CrystalSix传感器 (续)规格CRYSTALSIX传感器
750-446-G1 CrystalSix传感器规格

130°C

最高无水烘烤温度

130°C

最小水流量对应的等温环境最高
工作温度

400°C

水管、空气管和同轴管长度

76厘米 (30英寸)

晶片更换

前载式，需要拔取工具 (随单元提供)安装

传感器体背面的6个#4-40螺纹孔

尺寸 (最大封装)

直径9.7厘米 (3.8英寸) x 高度5.1厘米 (2.0英寸)

安装要求
馈入装置

 量 (1) 2¾英寸ConFlat®馈入件，带一个同轴连接器，双通水管，单通空气管，零件号750-685-G1；
数或数量 (1) 750-685-G2馈入件，带一个同轴连接器，带Ultra-Torr压力接头的三通管；或数量 (1)1英寸螺栓馈入件，带一个同轴连接器，双通水管，单通空气管，零件号750-030-G1

其他 户应提供水管和空气管所需的真空密封钎焊接头或连接器。用于空气管的阀组件，零件号750-420-G1
用(未提供)，包含由用户安装的0.022英寸节流孔。(节流孔包含在CrystalSix附件套件中。)

设施要求 户应提供水管和空气管所需的真空密封钎焊接头或连接器。用于空气管的阀组件，零件号750-420-G1
用(未提供)，包含由用户安装的0.022英寸节流孔。(节流孔包含在Crystal 12附件套件中。)

最小水流量

150至200立方厘米/分钟，最高30摄氏度 (不允许水冻结)
冷却液不应含有氯化物，否则可能出现应力腐蚀裂纹调节空气供应压力

80至90磅/平方英寸 (表压) (5.5至6.2巴) [550至620千帕]。传感头与电磁阀之间的1/8英寸管最大长度为2米

材料

直径13.97毫米 (0.550英寸)

晶片

直径13.97毫米 (0.550英寸)

板、座、材料防护罩、机械零件304型不锈钢

弹簧、电触点镀金铍铜合金、镀金Inconel、303不锈钢

水管和空气管外径0.32厘米 (0.125英寸) x 壁厚0.04厘米 (0.016英寸) x 长度76厘米 (30英寸) 的无缝S-304不锈钢管连接器 (Microdot)

不锈钢

绝缘子

> 99% Al2O3

电缆

Teflon绝缘铜传感器体和转盘

2024 T351铝合金

薄膜沉积控制产品目录2021|

C71

石英晶体传感器和馈入件

CrystalSix传感器 (续)
备件列表
零件号

描述

007-007固定弹簧 (晶片座的组成部分)

007-023

陶瓷固定器

007-04478厘米 (30.75英寸) 真空电缆

070-0170#2锁紧垫圈 (隔热罩组件的组成部分)

070-0398

定位环 (固定位于棘爪和执行器杆旁边的轴承)070-0777

压缩弹簧 (转盘轴上)070-0778

滚珠轴承 (转盘下面)

070-0779

轴承 (与棘爪和执行器杆接触)070-0870

Teflon垫圈 (转盘轴上)070-0877垫片 (隔热罩组件的组成部分)

070-0879轴承 (位于顶板焊接组件中心)073-1140.022 x 1.06英寸导线 (夹紧隔热罩定位销)

082-026#2-56螺母 (隔热罩组件的组成部分)

750-048-P1

固定弹簧 (将晶片座夹紧至转盘)

750-175-P1

底部绝缘子 (弹簧片下面)

750-188-P3

弹簧片

750-249-P2

定位销 (隔热罩组件的组成部分)

750-250-G1

隔热罩组件

750-256-P2

拉簧 (顶板焊接组件的组成部分)

750-257-P3

11.2厘米 (4.40英寸) 波形弹簧

750-261-G1

转盘组件 (包含电阻排和电触点)

750-262-G1

晶片座

750-265-G1

顶板焊接组件750-276-P2

执行器盖

750-278-P2

水管路

750-286-P2

波纹管组件

750-290-P3

转盘电触点 (8件套)

750-291-P1

止动器

750-293-P2

棘轮750-294-P2

止动棘轮

750-295-G1

棘爪和执行器杆750-336-G1

电阻排组件

750-338-P1

触点绝缘片 (转盘电触点下面)

C72 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

CrystalSix传感器 (续)尺寸
750-446-G1 CRYSTALSIX传感器
注意：测量单位为毫米 [英寸]

尺寸
CRYSTALSIX传感器750-446-G1可与以下馈入件一起使用：
零件号750-030-G1
注意：测量单位为毫米 [英寸]19.0 [0.75]

12.70 [0.50]

127.0 [5.0]6.35 [0.25]

同轴母头连接器(零件号051-981)

AA

7.11 [0.280]

4.78 [0.188 ]9.7 [0.38]
VITON O形圈#2-12250.8 [2.0]323.8 [12.75]

3.18 [0.125]#1-14-UNS螺纹垫圈视图 “A - A”

BNC连接器组件C206-779-G1
127.0 [5.0]19.0 [0.75]

薄膜沉积控制产品目录2021|

C73

石英晶体传感器和馈入件

CrystalSix传感器 (续)尺寸
零件号750-685-G1
注意：测量单位为毫米 [英寸]6.73 [0.26]
6个孔均布在直径为
58.7 [2.31] 的基准圆上

750-420-G1电磁阀的配套空气接头 (10-32)

15.24[0.60]

7.62[0.30]

32.67[1.29]

8.89[0.35]
8.88[0.35]

12.69[0.50]
12.70[0.50]

57.15[2.25]
127.00[5.00]

69.34 [2.73]

228.60[9.00]

CONFLAT法兰

尺寸
零件号750-685-G2
注意：测量单位为毫米 [英寸]6.73 [0.26]
6个孔均布在直径为
58.7 [2.31] 的基准圆上

15.24[0.60]

750-420-G1电磁阀的配套空气接头 (10-32)

7.62[0.30]
32.64[1.29]

8.86[0.35]
8.76[0.35]

12.57[0.50]

57.15[2.25]

69.34 [2.73]
CONFLAT法兰

12.70[0.50]

127.00 [5.00]
251.83 [9.91]

C74 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

CrystalSix传感器 (续)尺寸
带挡板的CRYSTALSIX传感器SPS-1039-G1可与零件号为750-683-G1的馈入件一起使用
注意：测量单位为毫米 [英寸]薄膜沉积控制产品目录2021|

C75

石英晶体传感器和馈入件

本页特意留白。

C76 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

RSH-600旋转式传感头
每个传感器包含6片晶片，传感器的设计持久耐用，能够
最大限度地提高PVD精度和产量。INFICON RSH-600传
感器的设计和制造目标是为一两片晶片的寿命无法坚持到完成整个过程的应用提供质量和可靠性都尽可能高的
膜厚监测。
质量

最大限度地提高薄膜质量：长寿命设计、高质量制造和有效的晶片冷却可最大限度地提高精度。RSH-600将6片晶
片封装在一个水冷隔热壳体中，确保晶片在温度高达300
摄氏度的环境中仍然具有出色的性能。
最大限度地提高产量：可在现场简单地维护，以最大限
度地延长正常运行时间。晶片安装在一个易于拆卸的不锈钢晶片座中。通过向115伏 (交流) 或24伏 (直流) 电磁阀施加一个1秒脉冲，晶片位置气动地递增。一个7针连
接器使开关单独对地闭合，以指示当前所用晶片的位置。

晶片固定器组件和
标配不锈钢盖

铜传感头盖

传感器配置

采用平头配置的RSH-600可通过O形圈密封馈入件 (未包括) 进行顶部安装。45度尖头配置则可通过腔室的侧面安装。标配传感头盖由不锈钢制成。对于温度至关重要的应用，可使用铜传感头盖。RSH-600提供的位于真空系统
内的长度如下：45度尖头优势• 200毫米 (7.9英寸)• 350毫米 (13.8英寸)• 450毫米 (17.7英寸)• 540毫米 (21.3英寸)• 650毫米 (25.6英寸)
注意：尖头会使位于真空系统内的长度增加11毫米
(0.4英寸)。(参见第C80页的图纸。)•	通过最高质量的设计和制造能力最大限度地提高产出和薄膜精度•	通过最大限度地延长正常运行时间提高产量•	晶片更换简单快捷，可最大限度地提高产量•	可在现场简单地维护和安装，从而节省时间•	通过遍布全球的专家应用支持网络优化系统性能

薄膜沉积控制产品目录2021|

C77

石英晶体传感器和馈入件

RSH-600旋转式传感头 (续)订购资料旋转式传感头 — RSH-600传感器

1 5 3 2 0

–
电压

1
2

传感器类型
不锈钢平头
不锈钢尖头
铜平头
铜尖头

6
7
8
9

115伏
24伏

传感器长度
(位于真空系统内的长度)
200毫米 (7.9英寸)
350毫米 (13.8英寸)
450毫米 (17.7英寸)
540毫米 (21.3英寸)
650毫米 (25.6英寸)

0
1
2
3
4

注意：尖头会使位于真空
系统内的长度增加11毫米 (0.4英寸)。

连接至55磅/平方英寸 (表压)空气供应系统

振荡器
或XIU
连接至晶片
切换继电器

振荡器 (XIU)
至控制仪或监测仪的
互连电缆

馈入件
传感器
基体

源挡板
控制仪或监测仪

C78 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶体传感器和馈入件

RSH-600旋转式传感头 (续)规格
RSH-600规格
晶片数

6

晶片尺寸

直径14毫米 (0.550英寸)

安装孔

直径50.8毫米 (2.0英寸)总长度参见下一页的图表电源要求24伏 (直流) 电磁阀

21.6至26.4伏 (直流)，40毫安
90至132伏 (交流)，36/32毫安 (有效值) (50/60赫兹)115伏 (交流) 电磁阀

晶片切换方法气动 @ 55磅/平方英寸 (4公斤/平方厘米) 调节压力

冷却方法

水冷 @ 5升/米 @ 2公斤/平方厘米 (28磅/平方英寸) (不允许冻结)空气管和水管连接

一个¼英寸快速接头 (空气管)，两个¼英寸压力接头 (水管)最高无水烘烤温度

130°C

工作温度

 高300摄氏度 (水冷和不锈钢传感头盖)
最最高400摄氏度 (水冷和铜传感头盖)重量

约3.8公斤 (8.5磅)，因总长度而异

材料

304不锈钢、Teflon®、铍镍合金

备件列表

附件

零件号

描述

零件号

描述

144-101平头晶片固定器的M3x6内六角螺钉

153202

RSH-600可调法兰

153706

弹簧座组件 — 平头

153204晶片固定器组件，平头

15370724伏 (直流) 电磁阀组件

153204-2

晶片固定器组件，尖头153709平头晶片固定器的固定螺钉

153708传感头盖，不锈钢，平头

153710晶片座 — 平头 (包含153709)

153713传感头盖，不锈钢，尖头153714弹簧座组件 — 尖头

153731传感头盖，铜，平头

153715

尖头晶片固定器的固定螺钉

153731-2传感头盖，铜，尖头153716

晶片座 — 尖头153722

信号和接地触点模块153724

弹簧座触点套件 — 平头 (6件套)153726晶片固定器组件的弹簧触点

注意：将平头改装为尖头需要零件号153204-2以及
153713或153731-2。将尖头改装为平头则需要零件号
153204以及153708或153731。

薄膜沉积控制产品目录2021|

C79

石英晶体传感器和馈入件

RSH-600旋转式传感头 (续)尺寸

C80 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

SemiQCM传感器本页特意留白。

SEMIQCM传感器

SemiQCM™750-7000-GXX传感器通过高精度速率和膜厚监测为您保护并增加利润

SemiQCM传感器是用于监测TDMAT前体的QCM系
统的一个组件，其他组件是IMM-200和FabGuard(19.12.00-a或更高版本)。
半导体过程监测可在半导体应用中用于通过监测前级管
道或腔室排气中的前体量进行终点检测和故障排除。
使用现场QCM可实现经济的过程监测并提高半导体过程的盈利能力。
至少可以在一片晶圆上检测到未能将前体输送至晶圆的情况。
优势•	实时现场过程监测•	防止过度蚀刻，识别腔室清洁终点•	识别设备或过程状态故障•	以10赫兹的频率监测QCM数据•	FabGuard将QCM数据与工具状态和过程步骤相关联•	精密测量沉积速率或蚀刻速率•	灵敏度和精度达到亚单层膜厚测量的要求薄膜沉积控制产品目录2021|

D1

SEMIQCM传感器

750-7000-GXX传感器INFICON 750-7000-GXX传感器安装在半导体腔室的前级管道上，作为前体输送故障检测系统的组成部分，提供了一项行之有效的解决方案。通过IMM-200连接至FabGuard®后，750-7000-GXX传感器成为该工具不可或缺的一部分。
该传感器通过KF40四通接头或KF40三通接头安装至前级管道，并主动监测每次晶圆运行的过量前体和前体衍生物。
至少可以在一片晶圆上检测到未能将前体输送至晶圆的情况。有关该前体输送故障检测系统的附加信息，请参见文档
TDMAT Precursor Monitoring with a Quartz Crystal Microbalance”(通过石英晶体微天平进行TDMAT前体监测)。
规格
最高温度

200 °C

传感头尺寸 (最大封装)外径23.87毫米 x 29.19毫米 (外径0.94英寸 x 1.15英寸)

安装馈入件

KF40法兰

材料
传感器体和传感器座

304 不锈钢

弹簧镀金铍铜合金同轴管

外径为5毫米 (1.88英寸) 的不锈钢管

其他机械零件

18-8或304不锈钢、Hastelloy® c276

绝缘子

< 99% Al2O3 (真空)；其他应用使用Teflon®

导线

1.	 镍 (真空)2.	 镀镍铜 (其他应用)钎料

真空处理高温镍铬合金晶片

直径13.97毫米 (0.550英寸)

D2 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

SEMIQCM传感器

750-7000-GXX传感器 (续)尺寸
750-7000-GXX传感器
注意：测量单位为毫米 [英寸]传感器零件号长度*

750-7000-G550毫米 (1.97英寸)

750-7000-G660毫米 (2.36英寸)

750-7000-G770毫米 (2.76英寸)

750-7000-G880毫米 (3.15英寸)

750-7000-G990毫米 (3.54英寸)

750-7000-G10100毫米 (3.94英寸)

750-7000-G11

110毫米 (4.33英寸)

750-7000-G12120毫米 (4.72英寸)

750-7000-G13130毫米 (5.12英寸)

750-7000-G14140毫米 (5.52英寸)

750-7000-G15

150毫米 (5.90英寸)

备件列表
零件号

描述

750-7013-G1S

晶片座组件

750-7005-G1S

带固定弹簧的晶片座

007-023陶瓷固定器

750-1070-G106兆赫兹晶片薄膜沉积控制产品目录2021|

D3

本页特意留白。

石英晶片

本页特意留白。

石英晶片

INFICON石英晶片
优化过程效率和耗材库存

INFICON石英晶片能够最大限度地减少过程中断并降低耗
材成本。每片晶片都经过测试和检验，以确保最一致、最可靠的晶片质量以及最长晶片寿命。通过灵活的交货计划，INFICON将与您一起优化库存管理。作为薄膜解决方案领域的全球领军者，我们将稳定供应关键组件。
交付您所需的晶片

INFICON可提供具有不同晶片直径、频率、电极图案、电极镀层和包装选项的真空沉积晶片，以满足每位客户的独特需求。此外，INFICON还生产应用特定专用晶片，例如ALD沉积定制晶片。有关晶片的所有变体及其用途的更多信息，请参阅应用说明“INFICON石英监测晶片指南”，请访问网站：https://goo.gl/UEHuXY
选择适当的晶片

我们对石英晶片特性的不断研究实现了持续改进，可为您的过程确保最高可靠性。对于大多数应用，建议使用金电极晶片。然而，在溅射等热负荷较高的过程中，银电极晶片将发挥出色的性能。它们还可以改善氧化物的沉积。对于使用介电材料的光学镀膜以及使用高应力材
料的半导体过程，建议使用合金电极晶片。
高温晶片

INFICON的高温石英晶片专为ALD和无法进行水冷的其他应用而设计，在持续高温下可为您提供出色的性能和频率稳定性。可提供针对各种温度经过优化的高温晶片。

规格齐全的薄膜控制仪

无论您的系统简单还是复杂 — 无论它涉及到热蒸发、溅射还是离子束过程 — 规格齐全的INFICON控制仪、
监测仪、传感器和馈入件都能满足您的需求，从而优化沉积过程并使您能够生产优质的产品。
优势•	通过最一致、最可靠的晶片最大限度地降低耗材成本•	通过更长的生产时间提高盈利能力并最大限度地实现
连续过程运行•	通过灵活的交货计划和库存产品优化库存管理•	由通过ISO认证的企业稳定供货•	通过遍布全球的应用支持网络最大限度地提高过程性能并获得定制解决方案•	在专家的支持下快速排除过程差异薄膜沉积控制产品目录2021

|

E1

石英晶片

INFICON石英晶片 (续)4种方便的包装全部经过测试和检验•	洁净室兼容型分片器 — 包含10片晶片，可使用
Teflon®镊子或使用提供的工具直接分发到传感器座中。
•	扁平封装转盘式分片器 — 包含10片晶片，可使用
真空笔、Teflon镊子提取，或直接分发到传感器座中。
扁平封装转盘式包装易于储存和堆放。
•	紧凑型包装盒 — 包含10片INFICON晶片，便于储
存，占用最少的货架空间。可使用塑料镊子或真空笔分发晶片。晶片由惰性低摩擦纸相互分开，并由泡沫垫提供缓冲。
•	50片装包装 — 一个透明的矩形塑料包装中包含50片
INFICON晶片。这种包装可为大量生产提供便利。50片装包装易于储存和堆放。可使用真空笔分发晶片。

INFICON在洁净室中制造并检验每片晶片，可为从石英原料到准备装运的最终包装产品的整个过程提供最高标
准的质量保证，所用标准如下：•	电阻：检验以确保测量稳定性和更长的镀层寿命•	曲率：检验以确保谐振稳定性•	频率：在安装电极前后检验以确保精确的厚度测量•	外观一致性：检验电极均匀性、是否存在表面缺陷以及其他可能指示附着力差或污染的缺陷•	外观一致性 — 检验每片晶片的电极均匀性、是否存在表面缺陷以及其他指示电极附着力差和污染的缺陷。

E2 | 薄 膜 沉 积 控 制 产 品 目 录 2 0 2 1

石英晶片

INFICON石英晶片 (续)
订购资料
零件号

描述 (除非另有说明，否则，晶片直径为14毫米 (0.55英寸)，每包10片晶片)

008-010-G10

6兆赫兹，金电极，装在洁净室兼容型分片器中

008-009-G10

6兆赫兹，银电极，装在洁净室兼容型分片器中750-679-G1

6兆赫兹，合金电极，装在洁净室兼容型分片器中SPC-1157-G10

6兆赫兹，金电极，抗热冲击，装在洁净室兼容型分片器中

750-1000-G10

6兆赫兹，金电极，装在扁平封装转盘式分片器中750-1001-G10

6兆赫兹，银电极，装在扁平封装转盘式分片器中750-1002-G10

6兆赫兹，合金电极，装在扁平封装转盘式分片器中SPC-1194-G10

6兆赫兹，金电极，抗热冲击，装在扁平封装转盘式分片器中SPC-1093-G10

6兆赫兹，金电极，装在紧凑型包装盒中

750-1014-G10

6兆赫兹，银电极，装在紧凑型包装盒中

750-1015-G10

6兆赫兹，合金电极，装在紧凑型包装盒中

750-225-G2

5兆赫兹，金电极，装在洁净室兼容型分片器中750-226-G2

5兆赫兹，银电极，装在洁净室兼容型分片器中750-678-G1

5兆赫兹，合金电极，装在洁净室兼容型分片器中

750-1005-G10

5兆赫兹，金电极，装在扁平封装转盘式分片器中750-1006-G10

5兆赫兹，银电极，装在扁平封装转盘式分片器中750-1007-G10

5兆赫兹，合金电极，装在扁平封装转盘式分片器中750-1016-G10

5兆赫兹，金电极，装在紧凑型包装盒中

750-1017-G10

5兆赫兹，银电极，装在紧凑型包装盒中

750-1018-G105兆赫兹，合金电极，装在紧凑型包装盒中

750-1020-G10

5兆赫兹，金电极，直径12.4毫米 (0.490英寸)，装在洁净室兼容型分片器中高温晶片
750-1058-G10120摄氏度优化晶片，6兆赫兹，14毫米 (0.55英寸)，金电极，10片装750-1059-G10240摄氏度优化晶片，6兆赫兹，14毫米 (0.55英寸)，金电极，10片装750-1060-G10285摄氏度优化晶片，6兆赫兹，14毫米 (0.55英寸)，金电极，10片装薄膜沉积控制产品目录2021|

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