放射光第巻第号

()研究会報告

第 7 回 X 線顕微鏡国際会議 XRM2002に参加して篭島靖 （姫路工業大学大学院理学研究科）

去る 7 月 29 日から 8 月 2 日にかけて，標記の国際会議しくなったことです。硬 X 線の利用研究の増加傾向は前がフランス のグルノー ブルで行わ れました。 ホストは回の会議でも見られましたが，今回遂に発表件数においてESRF でした（ Organized by ESRF ）。会場はグルノーブ両者が互角になったわけです。 ESRF, APS, SPring-8 のル駅に隣接した World Trade Center (WTC) で，私は本格的利用が軌道に乗っていること考えれば当然の結果とWTC に 併 設 さ れ て い る NOVOTEL に 宿 泊 し ま し た のも言えますが，ゾーンプレートを使った軟 X 線顕微鏡ので，極めて快適に会議に参加することができました。会議開発に関する研究が中心になって始まった本会議ですかの前半は暑く，特にポスター会場は熱気のため暑さが助長

ら，会議の内容は「様変わりした」と言っても過言ではな

され不評でしたが，後半は気温が下がり比較的過ごしやすいでしょう。硬 X 線の利用は実験室レベルでも可能なたくなりました。私はこの会議の後スイスのジュネーブで開めその装置技術と利用研究両面において蓄積されたノウハ

かれた国際結晶会議にも出席したため，日本の異常な暑さ

ウは裾野が広く，今後 X 線顕微鏡は硬 X 線の利用が主流を避けることができました。になるのではないかと思われます。

主催者の報告及び参加者名簿によると参加者は合計239

今回の会議で私の印象に残ったことを幾つか述べたいと名（前回 XRM99 ＠Berkeley は 182 名）で，その主な内訳思います。まず空間分解能が着実に向上していることではフランス 70 （同 17 ），日本 33 （同23 ），アメリカ 33 （同す。顕微鏡に関する会議ですから，空間分解能は本分野の79），ドイツ30（同26），イギリス14（同 9），イタリア14

進展度合いを示す最も重要な指標と言えるでしょう。軟（同 6 ），スウェーデン 8 （同 6 ）といったところです。フ

X 線顕微鏡では， ALS の XM 1 で 25 nm に達しています

ランスは開催国でしたのでもう少し参加者があってもよか（ G. Denbeaux ら）。 20 nm の Line-&-Space がはっきりとったように思います。韓国と台湾からそれぞれ 4 名の参解像されていました。遂に空間分解能が波長の 10 倍以内加があったことは注目に値します。彼らは自国に放射光施に入りました。軟 X 線では本当の意味での回折限界が見設を有し， X 線顕微鏡分野でも着実に実力をつけているえつつあります。また，これまで走査型顕微鏡にはアンジ印象を受けました。全発表件数は 194 件（前回 XRM99 はュレータが必須と言われてきましたが， ALS の偏向電磁172 件）で，招待講演は 27 件（日本人 2 件），口頭発表が石ビームラインで実用的な走査型軟 X 線顕微鏡装置が開29 件 （ 日 本 人 3 件 ）， ポ ス タ ー 発 表 が 135 件 （ 前 回発されました（ H. Ade ら）。偏向電磁石光源でも十分なXRM99 は 119 件）でした。前回より概ね一割強会議の規コヒーレントフラクッスが得られるわけですから，第三世模が大きくなったと言えます。口頭発表には106件の申込

代放射光源の威力を如実に示した例と言えるでしょう。最があり，国際プログラム委員によって全アブストラクトが外 幅 40 nm の ゾ ー ン プ レ ー ト を 使 い 30 nm の Line-&-評点され，その結果 29 件が選ばれたことを付記しておき

Space を11のコントラストで解像しています。SPring-8ます。

で は ， 248 m 長 ビ ー ム ラ イ ン に お い て 8 keV の X 線 で

 Instrumentation,  Applications, 
セッションは，ゾーンプレートをコヒーレントに照明し，120 nm 径のマMethods and Novel Approaches の三つに分けられ，それイクロビームを得ています（Y. Suzuki の招待講演）。100

 Instrumentation では招待講演 8 件（日本人 1 件）
，ぞれ

nm の Line-&-Space が高いコントラストで解像されてお口頭発表 6 件（日本人 1 件），ポスター発表51件（日本人り，硬 X 線でも100 nm を切るマイクロビームがいよいよ

 Applications では招待講演 12 件，口頭発表 1212 件），視野に入ってきました。ESRF のグループは，4 keV のエ Methods件，ポスター発表 49 件（日本人 5 件），

ネルギーで 60 nm の空間分解能を報告していました（ U.

andNovel Approaches では招待講演 7 件（日本人 1 件），口頭Neuh äausler ら）。彼らは，この分解能でゼルニケ式の位相発表11件（日本人 2 件），ポスター発表31件（日本人 8 件）差顕微鏡を開発し，電子回路素子の位相コントラスト像をでした。これらの数字からも， X 線顕微鏡に関する研究示していました。自分の発表で恐縮ですが，私は 10 keVが装置開発から利用研究に大きくシフトしつつあることがの X 線による結像型顕微鏡で60 nm の Line-&-Space まで読みとれます。また，日本では外国に比べてまだ応用研究解像できることを示しました。多分これは 10 keV 以上のがあまり行われていないこともわかります。さらにもう一エネルギーでは世界最高の空間分解能だと自負していまつ大きな変化を指摘しなければなりません。それは，軟す 。 あ く まで も 私 見 です が ， 10 keV 以 上 （ ぎ りぎ り 8

X 線の利用研究と硬 X 線の利用研究の発表件数がほぼ等

keV ） が 一 つ の 技 術 的 な 壁 に な っ て い る と 思 い ま す 。

――(C) 2002 The Japanese Society for Synchrotron Radiation Research放射光第巻第号()ESRF や APS で は middle energy range と 称 し て 4 keVの研究は，もはや走査型軟 X 線顕微鏡は一つのツールに前後で非常に解像度の高い仕事をしていますが，このエネ過ぎない存在になってしまったような気がしました。また，

ルギー領域は軟 X 線の技術の延長で何とかなる感じで，P. Fischer による Magnetic imaging の発表では，磁区構10 keV 以上では急に要素技術が難しくなります。逆にそ造について計算と実験を比較するまでに実験技術が成熟しこが SPring-8 を有する日本の狙い所だと思います。ていて驚きを隠せませんでした。研究成果と言うよりは，次ぎに特徴的なことは，硬 X 線での位相コントラストむしろ宣伝の趣の強かった発表がありました。 Y. Wangのイメージングに関する発表が増えてきたことです。これ

らは，実験室光源（ rotating-anode ）でゾーンプレートをは軽元素においては，複素屈折率（n ＝1 －d －ib）の d が使った X 線顕微鏡装置の商品化に成功しました。5.4 keV

b よりも 3 桁程度大きいために，位相コントラストの方がの X 線を用い， 80 nm の空間分解能で露光時間 10 分とい吸収コントラストよりもはるかに感度が高いことに基礎をうことでした。また，理由は分かりませんが，今回の会議おいたイメージング法です。この研究領域は日本が先導的では PEEM に関する発表が少なかったのが少し気になりな 役 割 を 果 た し て い ま す 。 前 回 の XRM99 に お い て A.

ました。その他の発表内容については，XRM02のホームMomose が干渉系による位相コントラスト CT についてペー ジ（ http: // www.esrf.fr / conferences / XRM2002 / in-招待講演をしましたが，今回は干渉系の構成に工夫を凝らdex.html）をご参照下さい。
前 回 設 立 さ れ た 「 THE

し，空間分解能の向上を図る発表をしています（I. Koya-ma ら）。また， SPring-8 の高いコヒーレンスを活かして

WERNER

MEYER ILSE

MEMORIAL AWARD」には 8 人のノミネートがあり，初 め て 可 能 と な る 硬 X 線 の ホ ロ グ ラ フ ィ ー （ N.

Award Committee による厳正な審議の結果，ニューヨー

Watanabe らの招待講演）やプリズムを用いた二光束干渉

ク州立大学の M. Feser が受賞者となりました。Segment-系（Y. Kohmura ら）等はまだ日本でしか行われていない

ed Detector を開発し走査型軟 X 線顕微鏡へ応用し，全モユニークな研究で，世界に誇れる成果だと思います。これード（Bright ˆeld, Dark ˆeld, Nomarski diŠerential In-

ら SPring-8 の顕微鏡に関するアクティビティーは初日のterference Contrast）の顕微鏡像が取得できるシステムをY. Suzuki の招待講演で紹介されましたが，中尺ビームラ開発したことが評価されました。 PhD の学生のレベルをインによるコヒーレンスの有効利用や 80 keV という極め遥かに越えるレベルに達している研究成果だと思いました。て高いエネルギーの結像実験など，先に進み過ぎていて外次回の会議（ XRM2005 ）は SPring-8 がホストとなり国勢には多少消化不良だったかも知れません。次の特徴と日本で行われることになりました。開催場所としては姫路

しましては，とにかく CT による 3 次元立体構造の報告がが予定されています。誘致世話人幹事の筑波大学の青木貞多かったことです。三次元像のインパクトはとても強く，雄教授の演説が奏功し，日本への誘致に成功しました。3

特に Power Point を使った動画の発表ではその威力が遺年間に及ぶ誘致準備が実り，関係者の一人として非常に嬉憾なく発揮されます。多くの CT に関する発表の中では，しく思います。本国開催の次回会議では，諸外国の参加者

P. Cloetens らの Holotomography は秀逸でした。得られを驚かせるような優れた研究成果がたくさん発表されるこた位相分布像は芸術の域に達していると思いました。とを期待しています。最後に今回の会議のプロシーディン

硬 X 線領域では新しい装置開発や方法論の発表が顕著でしたが，軟 X 線顕微鏡は応用研究花盛りといった感がグスは Journal de Physique IV から出版されることをお知らせして，拙文を終わりにいたします。

ありました。 A. Hitchcock らの m-XAFS によるポリマー――