手動回転ステージガイダンス

システム
製品
SystemProducts

Understanding Manual Rotation Stage

産業用
Industrial

スペック表の見方
Understanding Specifications

実験用
Experimental
手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

RM07A-C1

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密
ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver

スペック表 Specifications
型式
Model Number
勝手違い型式
Mirror Model Number
テーブル面
Table Size
案内方式
Guide Mechanism
粗動Coarse
回転範囲
Angular Range
微動Fine偏心Eccentricity
面振れSurface Runout
テーブル
Table
最小読み取りMinimum Readout
マイクロMicrometor
モーメント剛性
Moment Load Stiffness
水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)
材質
Material
外観
Finish
自重Weight
駆動方式
Actuator

RM07A-C1
RM07A-C1-R
Φ68mm
クロスローラベアリング
Cross-Roller Bearing360°±3°
15μm/360°
15μm/360°
1°/目盛
1°/div
0.013°/目盛0.013°/div
0.31 arcsec/N・cm
98N（10kgf）
アルミ合金
Aluminum Alloy
白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing
0.42kg
マイクロメータヘッド（6.5mm）
Micrometer (6.5mm)

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

YM07A-S3-CL-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

YM07A-S3-CL-V※

オーバーホール費に部品代は含まれません。
Parts price is not included overhaul price.

※

マイクロメータヘッドはオーバーホール対象外となります。
Micrometer is exempt overhaul.

説明 Description① 型式の名称です。
Kohzu's significant alpha-numeric model numbers offer quick product insight.
② 型式①に対する逆勝手仕様の型式です。
Mirror symmetry of standard stage.
③ ステージテーブル面の大きさ。
Table size refers to the stage's valid mounting table size.
④ ステージの案内方式を示します。
Type of guide mechanism used on this stage.
⑤ 粗動で回転出来るテーブルの範囲を示します。
Stage Angular range (coarse).
⑥ 中心点を基準としてプラス、マイナスで表示します。
Stage Angular range (fine) in the positive and negative directions from it's centered or neutral position.
⑦ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-009ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-009.
⑧ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-009ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-009.
⑨ テーブルの目盛で読み取ることのできる最小値です。
Minimum readout of Table is the smallest measurable value of motion.
⑩ マイクロメータヘッド、バーニア目盛等で読み取ることができる最小値です。
Minimum readout of Micrometer is the smallest measurable actuator motion increment at Micrometer or vernier scale.
⑪ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-006ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-006.
⑫ ステージ中央での搭載可能重量。
Maximum load capacity is for a horizontally orientated stage with load centered on top-plate.
⑬ 主に使用されている材料を示します。
Material specification is for stage's main body components only.
⑭ 外観の色や表面処理を示します。
Surface finish type and color.
⑮ 製品の重量です。
Stage weight includes all components depicted in product photograph.
⑯ 使用されているアクチュエータの型式と移動量を示します。
Actuator model number and travel range.
⑰ 型式①対するクリーングリス仕様の型式です。 ←C-003ページ
This is a model number with clean room lubricunt specification for model number ①. See pageC-003⑱ 型式①対する真空グリス仕様の型式です。 ←C-003ページ
T his is a model number with vacuum lubricunt specification for model number ①. See pageC-003●粗動クランプの取り扱いについて Coarse Clamping Torque:
粗動クランプの推奨締め付けトルクは下記の通りになります。
The preferred clamping torque of coarse clamp is difined as below.
RM05A〜RM07A：14.7N・cm
RM10A〜RM16A：19.6N・cm
粗動クランプを締めすぎると、動作に支障をきたす場合がありますのでご注意下さい。
Caution: Over-tightening of coarse clamp will result in restricted movement.
回転ステージのクランプ Rotary Stage Table-Lock & Travel-Stop

モーターケーブルMotorCable
付録Appendix

回転ステージには、2つのクランプが取り付いています。ひとつは粗動の動きを固定するクランプと、もうひとつはマイクロメータヘッドによって押されるバーを反対側から押さえつける微動クランプがあります（精密ポジショナー付回転ステージには、精密ポジショナーが破損する恐れがあるので附属致しません）。

アクセサリー
Accessories

Kohzu manual rotary stages are fitted with two separate locking mechanisms. First is a table-lock used to lock coarserotation. The second lock is an actuator travel-stop and is used to prevent fine rotation produced by stage actuator. The
travel-stop restricts forward (CW) actuator travel. However, it does not impede reverse (CCW) actuator travel. Stages fittedwith FPP differential actuators do not include a travel-stop, because it can damage the FPP actuator if improperly used.

検査システムInspection
SystemF-002

F.indd 2

CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

2022/07/28 17:20

システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

案内方式
Guide Mechanism Type

実験用
Experimental●クロスローラベアリング Cross-Roller Bearing

手動精密
ステージ
ManualStage

クロスローラベアリングとは、90°のV溝を持つローラレースと円筒コロからなる案
内方式です（図-１参照）。ローラレースの摺動面は、焼入れ研磨仕上げにより平面度の精度が高く硬質に仕上げられています。円筒コロはこの2本のローラレースに挟まれた空間に互い違いに配置されています。ステージが駆動する際には、ローラ
レース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化（静止摩擦と動摩擦の差）が小さく、作動すべりが起こりにくくなっています。また、クロスローラベアリングは、線接触で荷重を支えるため、ボールガイド機構よりも剛性が高くなっています。

図-1
Fig.1

ZZThe cross-roller bearing is a limited stroke linear and bending guide that consists of a roller race and rollers. The r ller race
has 90 degree V-shape surface and it is harden and precisely polished. It is not only had a polished precise surface but
also precisely correct 90 degree. The cylindrical shaped rollers are inserted between two roller races and they are aligned
alternately. When the stage is moved, these rollers are rolling smoothly at the same time with the same tension because
the gap between roller race is correctly arranged and maintained for the same distance. There is no slipping, no stopping
due to the effective contact. As one of the feature, it has highly rigid more than ball guide because it has a longer contactline.

●アリ摺動（すり合わせ） Slide GuideZZ

図-2Fig.2

アライ
メント
ステージ
XYθ

33

ザグリ穴の首下寸法を、「Shaft Length ** mm」と表記します（右図、左）。

4-for M3 screws

表記がなく、板厚が首下寸法となります（右図、右）。

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

ザグリ穴の首下寸法について About the shaft length of counterbore

Shaft Lentgh 3mm

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

X・XY
X・XYThe rotation stage has a special guide system which has two sliding planes
inside. It is possible to keep with the high load stiffness and high precise
eccentricity at the same time by using the precise sliding plane instead of popularbearing system. It has a precise ring which has an extremely flat surface of thehorizontal sides and completely smooth cylindrical surface for inner and outerradial planes. These surfaces are sliding between its table and base plate. For
those techniques, it is possible to keep with very high load capacity by the wide
supporting area and smooth rotation because lubricant is also circulating between the rotating surfaces.

ザグリ穴が無く直接ネジを取り付ける場合はこの回転
Rotation

自動精密ステージ
Motorized
Stage

アリ摺動とは、接触する2つの面からなる案内方式です（図-２）。固定面と移動面が摺動するため、機構を簡素化することができ、隙間に汚れが入りにくい構造です。また支える接触面積が大きいため、衝撃荷重や大きな荷重に耐えることができます。

カタログ図面ではステージ取り付けの際に用いる

X・XY
X・XY

4-for M3 screws

The length of counterbore’s shaft for mounting is described “Shaft Length ** mm” (Top figure, left) in catalog drawing.
If counterbore does not exist on mounting part, depth size of base will be shaft length size (Top figure, right).

真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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2022/07/28 17:20