システム
製品
SystemProducts
産業用
Industrial

実験用
Experimental

手動Zステージガイダンス
Understanding Manual Vertical Linear Stage

スペック表の見方
Understanding Specifications

手動精密ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

ZM07A-S3K

Z
Z

回転Rotation

スペック表 Specifications
ZM07A-S3K① 型式の名称です。
Kohzu's significant alpha-numeric model numbers offer quick product insight.

勝手違い型式
Mirror Model Number

ZM07A-S3K-R② 型式①に対する逆勝手仕様の型式です。
Mirror symmetry of standard stage③ ステージテーブル面の大きさ。
Table size refers to the stage's valid mounting table size.

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

テーブル面
Table Size

70mm x 70mm

案内方式
Guide Mechanism

精密クロスローラガイド
Cross-Roller Guide

自動精密ステージ
Motorized
Stage

移動範囲
Motion Range

粗動 ±3mm, 微動 0.15mm
Coarse ±3mm, Fine 0.15mm

垂直度
Verticality≦4μm/6mm

X・XY
X・XYZ
Z

最小読み取りMinimum Readout

アライ
メントステージXYθ④ ステージの案内方式を示します。
Type of guide mechanism used on this stage.
⑤ 中心点を基準としてプラス、マイナスで表示します。
Stage travel range in the positive and negative directions from it's centered or neutral position.
⑥ 検査方法を参照して下さい。 ←検査方法P-004ページ
See "Kohzu Stage Inspection Standards" section, page P-004.

粗動 5μm/目盛, 微動 0.25μm/目盛 ⑦ マイクロメータヘッド等で読み取ることのできる最小値です。
Coarse 5μm/Scale, Fine 0.25μm/Scale
Minimum readout is the smallest measurable actuator motion increment.

水平耐荷重
Load Capacity (Horizontal)

29.4N（3kgf）⑧ ステージ中央での搭載可能重量です。
Maximum load capacity is for a horizontally orientated stage with load centered on top-plate.

材質
Material

アルミ合金
Aluminum Alloy⑨ 主に使用されている材料を示します。
Material specification is for stage's main body components only.

外観
Finish

白色仕上げ
Clear-Matt Anodizing

自重
Weight0.9kg

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

説明 Description

型式
Model Number

駆動方式
Actuator⑩ 外観の色や表面処理を示します。
Surface finish type and color.
⑪ 製品の重量です。
Stage weight includes all components depicted in product photograph.

精密ポジショナー FPP03-13（13mm） ⑫ 使用されているアクチュエータの型式や移動量を示します。
Fine Pitch Positioner FPP03-13 (13mm)
Actuator model number and travel range.

クリーングリス仕様型式
Clean Room Lubricant Model Number

YM07A-S3-CL-C

真空グリス仕様型式
Vacuum Lubricant Model Number

YM07A-S3-CL-V⑬型式①対するクリーングリス仕様の型式です。 ←C-003ページ
This is a model number with clean room lubricunt specification for model number ①. See pageC-003
⑭ 型式①対する真空グリス仕様の型式です。 ←C-003ページ
This is a model number with vacuum lubricunt specification for model number ①. See pageC-003

真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
System

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CONTACTTEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzuprecision.com

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産業用
Industrial

案内方式
Guide Mechanism Type

実験用
Experimental●クロスローラガイド Cross-Roller Guides
クロスローラガイドとは、90°のV溝を持つローラレースと円筒コロからなる案内方式です。ローラレースの摺動面は、焼入れ研磨仕上げにより平面度の精度が高く硬質に仕上げられています。円筒コロはこの2本のローラレースに挟まれた空間に互い違いに配置されています。ステージが駆動する際には、ローラレース上を複数の円筒コロが転がるため、停止時から起動時への摩擦の変化（静止摩擦と動摩擦の差）が小さく、作動すべりが起こりにくくなっています。また、クロスローラガイドは、線接触で荷重を支えるため、ボールガイド機構よりも剛性が高くなっています。このクロスローラガイドは、独自に設計された剛性が強く精度の高いものを使用し、ローラレースと円筒コロ間の予圧を精密に管理して高剛性を維持しています。

手動精密
ステージ
ManualStage
X・XY
X・XY

Z
Z

The cross-roller guide is a limited stroke linear and bending guide that consists of a roller race and rollers. The roller race
has 90 degree V-shape surface and it is harden and precisely polished. It is not only had a polished precise surface but
also precisely correct 90 degree. The cylindrical shaped rollers are inserted between two roller races and they are aligned
alternately. When the stage is moved, these rollers are rolling smoothly at the same time with the same tension because
the gap between roller race is correctly arranged and maintained for the same distance. There is no slipping, no stopping
due to the effective contact. As one of the feature, it has highly rigid more than ball guide because it has a longer contactline.

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)●クサビ型クロスローラガイド Wedge Type Cross-Roller Guides

自動精密ステージ
MotorizedStage

クサビ型クロスローラガイドとは、一組のクロスローラガイドは水平面に、もう一組は正接が1/4になるように（約14°）傾けて配置してあります（図-１参照）。片側からクサビを押し込むと、中心軸上に固定されたテーブルが上下動します。傾いたクロスローラガイドが水平方向成分の力を支えるため、テーブル上面のモーメント剛性が強化されています。

図-1
Fig.1

X・XY
X・XY

ZZ

One set of wedge type cross-roller guides are mounted on the horizontal
plane and the other set of guides are tilted so that tangent is 1/4(approximately 14°) (see Fig. 1). If the wedge is pushed in from one side, thetable fixed to the central axis moves vertically. Since the tilted cross roller
guide supports the horizontal component of force, the moment load rigidity
on the table top face is reinforced.

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ

●ゴシックアーク Gothic Arc
ゴシックアークとは、擬円筒の摺動面とボールからなる案内方式です（図-２参照）。擬円筒の摺動面は、テーブルとベースに直接加工され、焼入れ研磨仕上げとなっています。ボールは、摺動面の作る擬円筒の溝に挟まれて配置されています。擬円筒面とボールは、互いに４点で接触するため、作動すべりが起こりにくい構造になっています。また、予圧管理はボールの大きさで行なわれ、部品点数を少なくしています。
Gothic arc is guide mechanism that is consist from the pseudo-cylindricalsliding surface and the ball (see fig-2). This sliding surface is processed
into both of table and base of the stage, and finish in quench and grind. Theball is set between groove of sliding surface. The sliding surface touch theball in each 4 point, then this point contact mechanism not likely to bring up
differential slip. And the size of ball is used for pressurizing control, it bringdecreasing of parts number.

回転Rotation

真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electronicsモーター
コントローラMotorController

図-2
Fig.2

ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
MotorCable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
検査システムInspection
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お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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実験用
Experimental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY

Z
Z

回転
Rotation

手動Zステージガイダンス
Understanding Manual Vertical Linear Stage
●四面フラットローラーガイド Tetrahedral Flat Roller
四面フラットローラとは、移動柱の四方向に円筒コロを配置し、その外側を四枚のガイド板で構成する案内方式です。移動柱、ガイド板は焼き入れ研磨仕上げにより平面、直角の精度が高く、硬質に仕上げられています。クロスローラガイドと比べ円筒コロの長さ、数が多く接触面積が多い為、剛性が高く、姿勢安定性に優れた構造です。
Tetrahedral Flat Roller is guide mechanism, put the ground bearing on to four-way oftransfer post, and set the four guide plate on the outside of bearing. The transfer post
and guide plate are finished highly flatness, squareness and toughened by quench
ground method. Compare with cross roller guide, longer than length and more quantityof the ground bearing, then bearing area is large. It is superior in terms of stiffness andangular stability as bearing contact area is large that's why longer and more quantity ofthe ground bearing than cross-roller guide.

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
DriverBox

送り方式
Lead Mechanism●マイクロレバー方式

Micrometer and Lever

図-3
Fig.3

マイクロメータヘッドなどの横方向の力を、レバーによって上下方向の力に変換し、ステージを上下動させる方式です（図-３参照）。基本的な構造は全て同じで、マイクロメータ
ヘッド式と精密ポジショナー式の2種類があります。
This system converts the horizontal force of the micrometer head to a vertical force and moves the stage vertically bymeans of a lever (see Fig.3). The basic structure is the same for all types and two actuators, the micrometer head andfine pitch positioner are available.

●クサビ方式

Wedge type Cross-Roller Guides

マイクロメータヘッドなどの横方向の力を、クサビによって上下方向の力に変換し、ステージを上下動させる方式です（前ページ
図-１参照）。基本的な構造は全て同じで、ハンドルの回転を研削ネジに直結させて駆動させる方式と精密ポジショナー式でクサビを押す方式の2種類があります。
This system converts the horizontal force of the micrometer head to a vertical force by means of a 1/4-wedge and moves
the stage vertically (see Fig. 1 on the previous page). The basic structure is the same for all types and two actuators,
direct connection of the handle-wheel rotation to the driving ground screw and a fine pitch positioner for pushing thewedge, are available.

アプリ
ケーション
Application
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix

アクセ
サリー
Accessories
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移動量Accurate Travel Distance※

実験用
Experimental以下のタイプのZステージは、マイクロメータの読み取りと実際の移動量が異なります。
The following type stage, the micrometer measurement display matches the actuator movement distance. With otherstages, the display may not accurately match the actual movement distance.

手動精密ステージ
ManualStage
X・XY
X・XY

●レバー駆動タイプ Micrometer and Lever
マイクロメータヘッドで押した力をレバーによって上下方向の力に変換しています（図3参照）。厳密な移動距離は、レバーの支点から力点と作用点までの距離とマイクロメータヘッドの先端形状の関数で表されます。マイクロメータヘッドの移動量の約1/2が上下の移動量となります。
The force that is generated by pushing with the micrometer head is converted to a vertical force by means of a lever (seeFig.3). The precise movement distance is indicated by a function of distances from the fulcrum of the lever to the power
point and to the action point, and by the shape of the micrometer head tip. The vertical movement distance isapproximately 1/2 of the micrometer head movement distance.

●クサビ駆動タイプ Wedge Type Cross-Roller Guides
ハンドルに直結した研削ネジもしくは精密ポジショナーでクサビを差込むことで上部ステージが上下動します（前ページ図-1参照）。ク
サビは縦横の比が1：4のため、クサビの押し込み量の1/4が上下動の移動量です。ハンドルタイプの場合、1回転あたり0.125mm、1目盛あたり10μm移動します。精密ポジショナータイプ場合、粗動で1目盛あたり2.5μm、微動1目盛あたりで0.125μm移動します。
The upper stage moves vertically by either of two means: the ground screw that is directly connected to the handle or byinserting a wedge to the fine pitch positioner (see Fig. 1 on the previous page). Since the vertical-to-horizontal ratio of thewedge is 1:4, the vertical movement distance is 1/4 of the wedge push-in depth. For the handle-wheel type, one rotation
corresponds to 0.125 mm and one division of the scale corresponds to 10 μm of movement. For the fine pitch positioner
type, coarse adjustment can be made in 2.5 μm increments and fine adjustment in 0.125 μm increments.

縦置き型Ｚステージ
Bracket Type Vertical Linear Stage負荷
weightホルダ変更無し
No holder change

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)
自動精密ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XYZZ

回転Rotation

スイベル（ゴニオ）
Swivel(Tilt)

マイクロホルダ
Micrometer Holder

縦置き型Zステージは、X軸ステージをスタンドタイプにカスタマイズしたものです。
通常、ステージは動作時の影響がステージ上面に及ぶのをなるべく抑えるため、送り機構はステージ下面に取り付けてあります。ただしこの状態で縦置きにして用いた場合は、ステージ内のバネが伸びる方向に負荷がかかるため、重力によってステージが下がる場合があります（右図左）。この状態をマイクロホルダ取付位置の変更によって解消したのが、縦置き型Zステージです（右図右）。

ZZ

負荷
weightホルダ変更ありholder change

The bracket type vertical linear stage has an X-axis stage customized to a stand type.
Typically, to suppress any influence from the stage top face, the feed mechanism is mounted on the stage bottom plate. If
the stand type is used with this mounting configuration, a load is applied along the spring extension of the stage and thestage height may drop due to gravity (as shown in the left part in the right figure). Bracket type vertical linear stage may
solve this problem by position change of micrometer holder.(see the right part in the right figure).

アライメントステージ
XYθ
真空ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
ControlElectronics
モーター
コントローラMotorController
ドライバ
ボックス
DriverBox
アプリ
ケーション
Application

3

カタログ図面ではステージ取り付けの際に用いる

3

ザグリ穴の首下寸法について About the shaft length of counterbore

モーター
ドライバ
MotorDriver
モーター
ケーブル
Motor
Cable

ザグリ穴の首下寸法を、「Shaft Length ** mm」と表記します（右図、左）。
ザグリ穴が無く直接ネジを取り付ける場合はこの

4-for M3 screws

表記がなく、板厚が首下寸法となります（右図、右）。

Shaft Lentgh 3mm

4-for M3 screws

The length of counterbore’s shaft for mounting is described “Shaft Length ** mm” (Top figure, left) in catalog drawing.
If counterbore does not exist on mounting part, depth size of base will be shaft length size (Top figure, right).

付録
Appendix

アクセサリー
Accessories
検査システムInspection
System

お問い合わせは＊TEL:044-981-2131／ FAX:044-981-2181 【E-mail】sale@kohzu.co.jp 【URL】www.kohzu.co.jp

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