Imass 01-02

研究所では，地球規模での資源制約および環境制約の下，
自然と調和する豊かで安全な人間社会の持続的発展を支えるため，材料からシステムに至る領域の研究課題に取り組みます．
平成27年度に2つのセンターを新設しました．高度計測技術実践センターでは，
これまで培ってきた電子顕微鏡技術などを駆使し基礎科学の発展を推し進めます．未来エレク
トロニクス集積研究センターでは，
エネルギー消費の削減が期待できるパワーデバイスの開発に取り組みます．そのひとつである窒化ガリウム半導体は，本学が世界に誇る開発実績があり，今後オールジャパンのコンソーシアムと連携した研究の推進が期待されます．
材料創製部門，システム創成部門，寄附研究部門および産学協同研究部門では，先端的な材料･デバイス等の要素技術に関する基礎研究から社会実装のためのシステム技術までを一貫した研究を推進します．
さらに，学内外の多くの研究者と有機的に連携し，生活革新材料の開発にも取り組みます．
このような研究を通じて，大学院生や学内外の研究者の育成等の教育に貢献します．
新体制による研究所での成果にご期待いただき，一層のご支援をお願いする次第です．

所 長

1

In order to contribute toward the realization of an enriched, environment-compatible future society amidst
global-scale environmental and resource-related restrictions, Institute of Materials and Systems for Sustainability, IMaSS, will focus on research fields ranging from materials to systems technologies.
We established two new research centers in FY 2015: the Advanced Measurement Technology Center(AMTC), where electron microscopes and other facilities are employed for new developments in the basic
sciences, and the Center for Integrated Research of Future Electronics (CIRFE), where researchers areworking to develop power devices for reducing electric power consumption. Researches at CIRFE are expected to develop new power devices with gallium nitride semiconductor through joint research in collaboration with research consortiums throughout Japan.
Division of Materials Research (DM), Division of Systems Research (DS), Funded Research Division andIndustry-Academia Collaborative Chair are engaged in fundamental research on elemental technologies
including advanced materials and devices, and also systems technologies toward practical deployment insociety.
IMaSS staff will cooperate with other researchers both within and beyond the University to develop materials that revolutionize lifestyles. Such collaborative activities will also contribute to the education and trainingof graduate students, and young researchers beyond campus boundaries.

Masazumi Okido
Director

2

Imass P03-04 b

名古屋大学工学部助手，助教授を経て，1995年より理工科学総合研究センター教授．2002
年より工学研究科教授，2012年よりエコトピア科学研究所教授．2013年より副所長，2015年
より所長．専門は表面改質，水溶液プロセス，機能性薄膜など．溶液中での電気化学反応などを利用してエネルギー貯蔵，生体親和性などの機能を有する薄膜を創製し，低環境負荷材料プロセスの構築に貢献する．

所 長 Director

興戸 正純

M. Okido became a professor at Center for Integrated Research in Science and Engineering in
1995 after research associate, associate professor at School of Engineering, Nagoya University.
Professor at School of Engineering 2002-2012, EcoTopia Science Institute 2012-present respectively. He was vice-director of the Institute in 2013 and director in 2015. Research major includes
surface modification, aqueous solution processes, and functional thin films. His efforts contributetoward the creation of material processes with low environmental impact by fabricating thin films
for energy storage, biocompatibility using oxidation-reduction and precipitation reactions ofmetals, oxides in aqueous solutions.

材料創製部門 材料設計部 教授

OKIDO, Masazumi

副所長 Vice - Director

財満 鎭明
材料創製部門 材料物性部 教授

ZAIMA, Shigeaki

豊橋技術科学大学助手，名古屋大学講師，助教授を経て，1997年より名古屋大学教授．
2015年4月より名古屋大学副総長および未来社会創造機構長．専門は薄膜・表面界面物性，半導体デバイスなど．新しいIV族系半導体混晶材料の開発とデバイスへの応用に関する研究開発を行い，半導体集積回路デバイスの超低消費電力化や光機能融合，エネルギーハーベスティング
技術などに貢献する．
After serving as a research associate at Toyohashi University of Technology and lecturer andassociate professor at Nagoya University, Zaima became a professor at Nagoya University in
1997, and became the University's vice president as well as director of the Institute of Innovation
for Future Society in April 2015. His specializations include thin films, surface and interface properties, semiconductor devices, and others. He is involved in research related to the developmentof and device applications for new IV-group mixed-crystal semiconductors, and has made contributions toward advances in ultra-low power consumption and optical function integration for
semiconductor integrated circuit devices, energy harvesting technologies, and other areas.

1982年名古屋大学大学院工学研究科博士課程修了（工学博士）．
名古屋大学助手，
助教授を経て，2002年より名古屋大学教授．
2013年より研究所先端技術共同研究施設長，2016年より研究
所副所長．
専門は磁性材料を利用したナノデバイスやスピンエレクトロニクス．
電子のスピンに依存

副所長 Vice - Director

岩田 聡
附属高度計測技術実践センター
教授

S. IWATA

所長

未来材料・システム研究所

副所長

Director

M. OKIDO

組織図

Vice - Director

IWATA, Satoshi

S. ZAIMA

Institute of Materials and Systems for Sustainability

研究所事務部

Administration Office for
Research Institutes

Accounting Division

経理課

General Affairs Division

総務課

Research Support Office

研究支援室

Research Facility for Advanced Science and Technology

先端技術共同研究施設

High Voltage Electron Microscope Laboratory

超高圧電子顕微鏡施設

DENSO Automotive Power Electronics Industry-Academia Collaborative Chair

デンソー自動車用パワーエレクトロニクス産学協同研究部門

Toyota Advanced Power Electronics Industry-Academia Collaborative Chair

トヨタ先端パワーエレクトロニクス産学協同研究部門

AIST-NU GaN Advanced Device Open Innovation Laboratory

Circulation Systems Section

循環システム部

Network Systems Section

ネットワークシステム部

Conversion Systems Section

変換システム部

Materials Processing Section

材料プロセス部

Materials Design Section

材料設計部

Materials Physics Section

材料物性部

Nanofabrication & Characterization Section

ナノ加工計測部

X-Ray Spectroscopy Section

Ｘ線分光計測部

Elementary Particle Measurements Section

素粒子計測部Electromagnetic Wave Measurements Section

電磁波計測部Electron Nanoscopy Section

電子顕微鏡計測部

Industry-Academia Collaborative Research Section

産学協同研究部International Research Section

国際客員部

System Applications Section

システム応用部

Materials Nano-Characterization Section

先端物性解析部

Multiphysics Simulation Section

マルチフィジックスシミュレーション部

Device Innovation Section

未来デバイス部

産総研・名大 窒化物半導体先進デバイスオープン
イノベーションラボラトリ

Division of Systems
Research (DS)

Toyota Advanced Power Electronics Funded Research Division

システム創成部門

Division of Materials
Research (DM)

※システム
創成部門
関連

3

Satoshi Iwata received B.S., M.S. and Ph.D. degrees from Nagoya University, Japan in 1977,
1979, and 1982, respectively. After serving as an assistant professor and an associate professor
at Nagoya University, he became a professor at Nagoya University in 2002 and vice-director of
the Institute in 2016. Iwata specializes in the field of nano-magnetics and spin-electronics using
magnetic materials. He is involved in the research on magnetization reversal by spin transfer
torque and/or spin Hall effect for magnetic random access memory, magnetization control by ion
irradiation for bit patterned media, magnetic field sensors and strain sensors using giant magnetoresistance effect and energy harvesting devices using magnetostrictive materials.

トヨタ先端パワーエレクトロニクス寄附研究部門

Advanced Measurement
Technology Center (AMTC)

Energy Systems (Chubu Electric Power) Funded Research Division

材料創製部門

附属高度計測技術実践センター

エネルギーシステム︵中部電力︶寄附研究部門※

Center for Integrated Research of
Future Electronics (CIRFE)に従事．

Organization chart※

附属未来エレクトロニクス集積研究センター

した伝導現象を利用した省エネルギーデバイスやエネルギーハーベスティングデバイスの研究開発※未来エレクトロニクス集積研究センター関連

4Imass P05-06

センター長 Director of the Center

天野 浩

未来 エレクトロ ニクス
集積研究センター

教授

AMANO, Hiroshi
Professor

研究課題：窒化物系半導体デバイスの創成とシステム応用

Center for Integrated Research of
Future Electronics

Project：Generation of noble nitride-based devices and theircontribution to the development of new infrastructure

副センター長 Vice-director of the Center

大野 雄高
教授

CIRFE
未 来エレクトロニクス集 積 研 究センター

は，窒化ガリウムなどのポストシリコン材料を用いたデバイスに代 表される先 端 的エレ
クトロニクス研究を推進すると共に，高度な人材を育成し，未来のエレクトロニクス産業の基盤を創成することを目的として，平成27
年10月に設立されました．センターは６つの部から構成されており，各部において，それぞれの分野の世界トップクラスの専門 教員
およびインフラを揃えております．材 料・計
測・デバイス・応用システムの基礎科学から出口まで，一貫した連携研究・教育体制を構築します.
世 界に見てもほとんど試みのない省エネ
デバイス研究を通じて，21世紀のものづくりを主導する高度な人材の育成を進めます．

OHNO, Yutaka
Professor

センター長 Director

天野 浩
AMANO, Hiroshi
The Center for Integrated Research of Future Electronics(CIRFE) established in October 2015 engages in leading-edge electronics research—including research in theuntraversed area of devices with gallium nitride and otherpost-silicon materials—while also cultivating top-notch humanresources to lay the foundations of the future electronics
industry. CIRFE is divided into six sections, each staffed with
instructors who serve as leading specialists in their field andequipped with outstanding research infrastructures. The Center's fully integrated joint research and education systemcovers everything from basic scientific education on materials, measuring, devices and applied systems through tocompletion of student educational courses.
Through energy-saving device research, an area in whichvery little experimentation has been carried anywhere in theworld, CIRFE strives to foster well-trained human resources
who will lead the field of manufacturing in the twenty-first century.

研究課題：炭素系ナノ材料に基づく省エネルギー型先端デバイスの創出

Project：Development of energy-saving advanced electron devices based on nano-carbon materials

宇治原 徹
教授

UJIHARA, Toru
Professor

研究課題：結晶成長メカニズムに基づく新規プロセスの追求と機能性高品
質結晶（SiCやAlNなど）の実現

Project：Study on a novel processes based on crystal growththeory for high-quality crystal of functional materials (SiC, AlN,
etc.)

レーザー励起による窒化物半導体の発光特性評価

Nitride semiconductor luminescence characteristics by laser excitation

注：撮影のため安全に配慮して保護メガネを外しております．

Note: No safety goggles for photography purpose only.

本田 善央

牛田 泰久

HONDA, Yoshio

USHIDA, Yasuhisa

准教授

客員准教授

Associate Professor

研究課題：窒化物半導体による高機能デバイス創生

Project：Creation of sophisticated devices based on Nitride
semiconductor

Visiting Associate Professor
研究課題：GaNの応用研究

Project：Research of GaN to new product development

田川 美穂

出来 真斗

TAGAWA, Miho

DEKI, Manato

准教授

未来デバイス部 Device Innovation Section
未来デバイス部では，窒化ガリウムなどのワイドギャップ半導体やナノカーボン材料を中心とした先端エレクトロニクス材料について，新規結晶
成 長 手 法の確 立およびプロセス開 発を行い，新機能デバイス創生を行っています．結晶成長から
デバイス設計・作製・評価に至るまで一貫した研究を行うことで，トータルプロセスの確立を目指します．

In the areas of wide-bandgap semiconductors with gallium
nitride and other materials, cutting-edge electronics materials
with a central focus on nano-carbon materials, and other areas,
the Device Innovation Section creates new crystal-growth methods and carries out relevant process development, and also
develops novel functional devices. The Section aims to succeedin creating a single, unified process by pursuing everything fromcrystal growth to device design, manufacturing and assessment
via fully integrated research approaches.

Associate Professor

Assistant Professor

研究課題：生体分子の自己集合能力を利用した新規機能性ナノ結晶材料の研究課題：先進パワーデバイスを実現する窒化物系半導体結晶の欠陥エン

Project：The Creation of Bio-inspired Novel Functionalized Nanomaterials

Project：Defects Engineering on Nitride-based Semiconductor
Crystals for Realization of Advanced Power Devices

創製

ジニアリング

新田 州吾

原田 俊太

NITTA, Shugo

HARADA, Shunta

特任准教授

Designated Associate Professor
研究課題：革新的窒化物半導体結晶成長技術と未来デバイスの創出

Project：Creation of innovative nitride semiconductor crystal
growth technique and future devices

5

助教

助教

Assistant Professor
研究課題：結晶材料の欠陥制御と結晶成長

Project：Control of defects in crystalline materials and crystal
growth6

Imass P07-08

村山 健太

田中 敦之

MURAYAMA, Kenta

TANAKA, Atsushi

特任助教

研究員

Researcher

Designated Assistant Professor

研究課題：SiC結晶内の欠陥密度の低減に向けた溶液成長法の確立

Project：SiC solution growth for reduction of dislocations

研究課題：GaNを用いた次世代パワーデバイスの創始

Project：Initiation of the next-generation power devices
using GaN

永松 謙太郎LEKHAL Kaddour

研究員

研究員

NAGAMATSU, Kentaro
Researcher

研究課題：GaN系パワーデバイスの結晶成長に関する研究

Project：Study on crystal growth for high-power devices by
GaN related materials

先 端 物 性 解 析 部 Materials Nano-Characterization Section

Researcher
研究課題：HVPE法による長尺III族窒化物ナノワイヤ成長と機能性ナノシ
ステム集積化

Project：The organization of ultra-long III-nitrides nanowires
by HVPE and their integration into functional nanosystems.

電子顕微鏡・電子線ホログラフィーを用いた，動作状態におけるデバイスのナノスケール・オペランド解析技術を開発し，「デバイス動作の直接計測」
や，半導体界面の電子構造の電界応答計測を通じた「界面電子物性」研究を主なテーマとして研究を進めています．
The Materials Nano-Characterization Section develops
nano-scale operand analysis
techniques for semiconductor
devices under operating condition using electron microscopy and electron holography. These efforts are part ofresearch centered on thetheme of interface electronic
properties involving direct
measurement of device operations, electric-field response
measurements for semiconductor interface electronic
structures, etc.

原子分解能
電子顕微鏡分析Electron microscopy
analysis at atomic
resolution

ホログラフィー
ナノ電位分布解析
Electron holography
nano-scale potential
distribution analysis

動作状態ナノデバイス解析
Analysis of nano-devices underoperating condition

マルチフィジックスシミュレーション部 Multiphysics Simulation Section
高分解能電子顕微鏡・ホログラフィーを用いた，動作状態のナノスケールトランジスタ内部のポテンシャル可視化
Direct electrostatic potential mapping in nano-scaled FET under operation mode using electron holography

マルチフィジックスシミュレーション部では原子レベ
ルの第一原理計算とマクロスコピックな流体力学を熱力学解析を介して融合するマルチフィジックス体系に基づく予言可能な結晶成長のシミュレーションの実現を目
指して研究を行っています．その他，窒化ガリウム系新規パワーデバイスの提案も行っています．

五十嵐 信行

長尾 全寛

IKARASHI, Nobuyuki

NAGAO, Masahiro

教授

准教授

Professor

The Multiphysics Simulation Section is engaged inresearch with the aim of realizing multiphysical-system-based, predictable crystal-growth simulations that
integrated first-principle calculation with macroscopic
fulid dynamics via thermodynamic analysis. Additionally,
the Section is pursuing proposals for new gallium-nitride-based power devices.

Associate Professor

研究課題：ナノ物性研究と先端電子顕微鏡法による革新的デバイス研究開発

Project：Nano-science and advanced electron microscopy for
device innovation

研究課題：新規磁気デバイス開発に向けた先端電子顕微鏡法による物性解析

Project：Analysis of Magnetic Properties by Advanced Electron Microscopy toward the Development of New Devices

マルチフィジックスで解き明かす結晶成長過程

Crystal growth process clarified by the multi-physics simulation.

白石 賢二

洗平 昌晃

SHIRAISHI, Kenji

ARAIDAI, Masaaki

教授

Professor

研究課題：半導体結晶成長の計算シミュレーションによる研究

Project：Computational Studies on Semicondductor Crystal
Growth研究課題：第一原理電子状態計算手法による表面・界面物性の研究

Project：First-Principles Study on Electronic Property ofSurface and Interface

YOSHIMATSU, Katsunori

ARIKI, Taketo

研究課題：結晶成長シミュレーションの流体力学的研究

Project：Computational Science on Crystal Growth from a
Viewpoint of Fluid Dynamics

7

Assistant Professor

有木 健人

Associate Professor

国際客員部

研究員

Researcher

研究課題：流体乱流現象の理論解析と数値予測モデリング

Project：Theoretical Analyses and Simulation Modeling of
Fluid Turbulence

産学協同研究部

System Applications Section

International Research Section

Industry-Academia
Collaborative Research Section

先端エレクトロニクス材料を用いたデバイスについて，様々なシステ
ムへの実 装を検 討し社 会 実 装を目指した応用研究を行います．

招聘した外国人教員と共に研究開発を行います．
また国際的な研究
ネットワークを組織し，窒化物半導体研究の拠点形成に貢献します．

産学協同での研究開発の効率化を促進します．本研究所での成果を社 会 実 装するための橋 渡しを行います．

In the area of devices utilizing cutting-edge electronics materials,
this Section focuses on the integration of such devices into variouss y s t em s and pur s ues appliedresearch with an eye toward
real-life applications throughout
society.

The International Research Section
engages in research and development activities together with visiting
professors invited from overseas.
Additionally, the Section is cultivating an international research network as part of efforts to form acentral venue for nitride semiconductor research.

This Section aims to boost the efficiency of collaborative industry-academia research and development
activities, and also serves as a mediator to help realize actual applications in society for CIRFE
achievements and results.

助教

芳松 克則
准教授

システム応用部

8

Imass P09-10

脂肪滴

微絨毛

皮膚細胞の核高度計測技術実践センター

グリコーゲン（血管）内皮細胞

Advanced Measurement Technology Center

類洞（毛細血管）

小胞体

ペルオキシソーム

AMTC
高度計測技術実践センターは，
これまでの研究所のもつユニークな高度計測技術シーズを活用し，高度計測技術の開拓発展，機器共用と共 同 研 究および人 材 育 成を行うための組織として，平成27年4月に設立されました．
本センターでは，所内の超高圧電子顕微鏡施設と先端技術共同研究施設を核に，研究所と関連する工学研究科，理学研究科，環境学研
究科，
シンクロトロン光研究センター及び学外の知の拠点あいちシンクロトロン光センター，
核融合科学研究所などとの連携の下，電子顕微鏡計測，電磁波計測，素粒子計測，X線分
光計測，ナノ加工計測の5つの分野の高度計
測技術の実践と人材育成を推進しています．

ミトコンドリア2μm

センター長 Director

八木 伸也
YAGI, Shinya

The EcoTopia Science Institute has developed unique andadvanced measurements technologies in the High Voltage
Electron Microscope Laboratory, the Research Facility for
Advanced Science and Technology, and other facilities of
the Institute. The Advanced Measurement Technology
Center, which was established in April 2015, aims to
explore and develop novel measurement techniques, operate multi-user instruments, provide opportunities for collaborative research, and train highly skilled scientists andengineers. The Center is operated jointly by Nagoya University graduate schools and research centers with ties tothe EcoTopia Science Institute, including the Graduate
Schools of Engineering, Science, and Environmental Studies, and the Synchrotron Radiation Research Center, as
well as by external institutes, such as the Aichi Synchrotron
Radiation Center of the Knowledge Hub Aichi and the National Institute for Fusion Science. The Center is divided
into the following five sections :ラットの肝臓細胞小器官のFIB-SEM像

試料提供：藤田保健衛生大学 森山陽介 助教
FIB-SEM image of organelles in the rat hepatocyte. Sample preparation: Y. Moriyama, Fujita Health Unversity

副センター長 Vice-director of the Center

齋藤 晃

巽 一厳

SAITOH, Koh

TATSUMI, Kazuyoshi

准教授

教授

Professor

Associate Professor

研究課題：電子顕微鏡を用いたナノメーター領域の精密構造解析法およ研究課題：動力学的電子回折効果を用いた実用材料スピンモーメントナノ

Project：Development of Characterization Methods of Nanomaterials Using Electron Beams

Project：Spin Moment Nano-Level Measurement on Real Materials Using Dynamical Electron Diﬀraction Eﬀects

び物性測定法の研究

計測

武藤 俊介

川﨑 忠寛

MUTO, Shunsuke

KAWASAKI, Tadahiro

客員准教授

教授

Professor

Visiting Associate Professor

研究課題：複合電子顕微分光法によるナノデバイスの物性測定と可視化

Project：Analysis and Visualization of Materials Properties ofNano-Devices by Electron Micro/Spectroscopic Methods

研究課題：環境制御電子顕微鏡を用いた高分解能観察技術の開発と触媒
材料解析への応用

Project：Development of high-resolution environmental TEM
techniques and applications to in-situ observations of catalystmaterials

スタッフ紹介平山 司

山﨑 順

HIRAYAMA, Tsukasa

YAMASAKI, Jun

客員教授

電子顕微鏡計 測部 Electron Nanoscopy Section
電子顕微鏡を用いた精密構造解析法および物性 測 定 法として，原 子レベル空 間 ／ 電 子 構 造 解
析，収束電子回折法によるナノメーター領域の格子 歪みの精 密 測 定 ，電 子 線トモグラフィーによる三次元構造解析，電子線ホログラフィーによる電磁場の可視化，ガス環境下の化学反応その場観察／分析などの技術を発展させます．

This section develops techniques for detailed structural analyses and property measurements using electron microscopes.
Topics include atomic level analysis of spatial and electronic
structures, precise measurements of nanoscale lattice distortions using convergent beam electron diffraction, three-dimensional structural analysis with electron beam tomography,
visualization of electromagnetic fields using electron holography, and analysis of chemical reactions under different gas
environments.

Visiting Professor

研究課題：電子波干渉による位相計測技術の開発と先進材料解析への応用

Project：Phase measurement by electron wave interference andits application to studying advanced materials

Visiting Associate Professor

研究課題：透過電子顕微鏡を用いたナノおよびミクロン材料の構造解析
法の研究

Project：Methodological study for structure analyses of nanometer/micron-scaled materials using transmission electron microscopy

桒原 真人

石田 高史

KUWAHARA, Makoto

ISHIDA, Takafumi

准教授

Associate Professor

研究課題：新規分析手法の創出と先端材料への応用
Project：Development of New Analytical Electron Microscopy
and the Application to Advanced Materials

9

客員准教授

助教

Assistant Professor

研究課題：電子顕微鏡を用いた先端材料のための新しい観察技術の開発

Project：Development of New Imaging Techniques for Frontier
Materials using Electron Microscopy

10Imass P11-12

Ｘ 線 分 光 計 測 部 X-Ray Spectroscopy Section

電磁波計測部 Electromagnetic Wave Measurements Section

知の拠点あいちシンクロトロン光センターの電子蓄積リング及び分光ビームラインを活用しX線分光技
術の高度化を図るとともに，新素材や医薬品開発などへの応用研究を進めます．

プラズマ中の原子・分子からの線スペクトル観察によるプラズマ診断など，発光体や材料からの電磁波，反射光などの計測・診断技術を開発することにより，
プラズマ
核融合などのエネルギーシステムの制御技術の発展に貢献します．

This section works to realize innovative X-ray
spectroscopy techniques using the electron
storage ring and spectroscopy beamlines at the
Aichi Synchrotron Radiation Center of theKnowledge Hub Aichi. In addition, it conducts
applied research aimed at developing newmaterials and pharmaceuticals.

This section is dedicated to the advancement oftechniques to control energy systems, such as nuclear
fusion using plasmas. Research emphasizes
developing methods to measure line emissions fromatoms and molecules in plasmas and reflected lightfrom light-emitting bodies and other materials.

直線型プラズマ装置NAGDIS-IIにおけるヘリウムプラズマ

Helium plasma in the linear plasma device NAGDIS-II

梶田 信
准教授

KAJITA, Shin
Associate Professor

研究課題：先端的エネルギー源における粒子及び熱の輸送現象とその制御
Project：Heat and Particle Transport Phenomena and Its Control in
Advanced Energy Sourcesセンター長 Director of the Center

八木 伸也
教授

YAGI, Shinya
Professor

あいちシンクロトロン（BL6N1）の放射光XAFS-XPS分析装置

XAFS-XPS analysis system in Aichi SR (BL6N1)

研究課題：ナノ粒子と薄膜表面から成る機能性材料の開発と応用
Project：Developments and Applications of Functional Materials
Consisting of Nanoparticles and Thin Film Surface

素粒子計測部 Elementary Particle Measurements Section
ナ ノ 加 工 計 測 部 Nanofabrication & Characterization Section

独自に開発した技術を駆使して宇宙から地上へと降り注ぐ荷電粒子“宇宙線”の中の素粒子，
ミューオンを利用して巨大構造物（例えば溶鉱炉，富士山）の内部を透かし撮りする応用技術「ミューオンラジオグラフィ」の開発を行います．

先端技術共同研究施設に設置されている薄膜作成装置，微細加工装置，分析・計測装置などの共用
装置と，クリーンルームの設備を利用して、薄膜形成，ナノ材料作製、
ナノ加工，評価／計測に関する技術の高度化を図ります．

This section specializes in the development of muon radiography,
which is an applied technology to obtain images inside extremely
large structures (e.g., blast furnaces, Mt. Fuji). This technology
makes use of muons, which are elementary particles found in
charged cosmic rays from outer space that hit the Earth, and otherin-house conceived techniques.
超高速原子核乾板読み出し装置

Hyper Track Selector

中村 光廣

佐藤 修

NAKAMURA, Mitsuhiro

SATO, Osamu

教授

Professor

研究課題：最新原子核乾板技術を駆使した大型構造体の内部状態解析技術の開発
Project：Research and Development of Inner Status Investigation
Technology of Large Scale Structure Objects by Using Modern
Nuclear Emulsion Techniques

Assistant Professor

Project：Neutrino Oscillation, Dark Matter Search Experimentand Researches with Tracking by Nuclear Emulsion

森島 邦博

OHZEKI, Katsuhisa

MORISHIMA, Kunihiro

Visiting Professor

研究課題：大型構造物を高速に透視のための高度原子核フィルム技術の開発
Project：R&D of advanced nuclear emulsion ﬁlm technology forhigh speed muon radiography

微細加工を行うためのクリーンルーム

研究課題：ニュートリノ振動現象の解明、ダークマター探索と写真乳剤による応用研究

大関 勝久
客員教授

11

助教

This section is devoted to state-of-the-art
techniques related to thin-film formation,
nanomaterial synthesis, nanofabrication, andassociated measurements and evaluations.
Studies are conducted primarily at the Research
Facility for Ad-vanced Science and Technology
on shared instruments and in the clean room
facilities.

特任助教

Designated Assistant Professor

研究課題：革新的超高解像３次元放射線イメージング検出器「原子核乾板」の技術開発とその多分野への応用

Project：Development of Innovative High- Resolution Three-Dimensional Radiation Detector “Nuclear Emulsion” Technology and
Its Applications

Micro-fabrication clean room

副所長 Vice - Director

岩田 聡

大島 大輝

IWATA, Satoshi

OSHIMA, Daiki

教授

Professor

研究課題：スピンエレクトロニクスに基づくセンサ，記憶素子及びエネ
ルギー素子の研究開発

Project：Development of Magnetic Sensors, Memories andEnergy Devices Based on Spin Electronics

助教

Assistant Professor

研究課題：微小磁気パターン形成手法の開発とその応用

Project：Development of Fabrication Process of Micro
Magnetic Pattern and Its Application

12

Imass P13-14

副所長 Vice - Director

財満 鎭明

神谷 由紀子ZAIMA, Shigeaki

KAMIYA, Yukiko

教授

材料創製部 門

Professor

Division of Materials Research

研究課題：新しいIV族半導体混晶の開発と超低消費電力・光機能融合デバ
イスへの応用Project：Development of New Group-IV Semiconductor Alloys
and Its application to Electronic and Optoelectronic Devices

副部門長 Vice-director of the DivisionDM
材料創製部門では，様々な素材・材料の物性研
究，作製プロセス，組織制御，応用・性能評価，シミュレーションなどを行い，これらの材料をデバイ
ス設計や装置化に結び付ける研究，技術開発を推進しています．既存の物質・資源・エネルギーの効率的利用といった課題にとどまらず，将来のエネル
ギーシステムや省エネデバイスに役 立つ新 規 材
料・先端ナノ材料に関する研究を推進し、長期的な視点に立って省エネ・創エネのための材料創製研究を行います．

小澤 正邦
OZAWA, Masakuni
The Division of Materials Research (DM) carries out
research on various materials and substances; theirproperties, production processes, structural control,
evaluation of performance toward applications, and furthers development to achieve incorporation of thesematerials into devices as well as the device designs
themselves. In addition of research on improvement ofindustrial materials, utilization of resources and optimization of energy sources, the DM also promotes cutting-edge research on novel materials and nanomaterials that are useful in future energy systems, energy-saving devices and advanced materials systems fromlong-term perspective.

KUROSAWA, Masashi

特任講師

Designated Lecturer

研究課題：低環境負荷カーボン材料の創製と高性能化の研究

研究課題：IV族半導体混晶による新機能性材料・デバイスの開発

Project：Development of Nano-Carbon Materials with Low Environment Burden and Its High Functionalization

Project：Development of Advanced Functional Materials andDevices Using Group-IV Semiconductor Alloys

菊田 浩一

兼平 真悟

KIKUTA, Koichi

KANEHIRA, Shingo

教授（兼務）
Professor

助教

Assistant Professor

研究課題：エネルギー変換材料、システムの開発

研究課題：水素エネルギー用材料の開発と燃料電池への応用

Project：Development of Energy Conversion Materials and Systems

Project：Development of Hydrogen Energy Materials and Application to Fuel Cell

山本 剛久

寺澤 知潮

YAMAMOTO, Takahisa

TERASAWA, Tomo-oProfessor

研究員

Researcher

研究課題：ナノ構造制御に基づく新規機能性セラミック材料の開発

研究課題：ナノカーボン材料の作製

Project：Development of Ceramic Materials by Controlling theAtomic/Electronic Structures at Nano Scale

Project：Synthesis of nano-carbon materials

安田 耕二
准教授

YASUDA, Koji
Associate Professor

研究課題：理論化学、特に第一原理計算手法の開発と、それを用いた物質の設計
0.11nmのシリコンと炭素原子のダンベル像（矢印の黒いコントラスト）

Dumbbell-type image of silicon and carbon atom:black contrast marked with arrows

13

KUSUNOKI, Michiko

教授（兼務）The Materials Physics Section carries out thefundamental and applied researches ofdielectrics, magnetic materials, superconductors, ionic conductors, optical properties, catalytic properties and other materials functions. This Section performs the material
research of properties that are necessary toachieve new devices through the enhancement of properties and discovery of new functions.

Project：Development and Application of Nucleic Acids Based
Functional Materials

黒澤 昌志

Professor

材料物性部 Materials Physics Section
誘電体，磁性体 ，超伝導体，イオン伝導体，
可視紫外・光学物性，触媒性といった材料機能の基盤となる諸物性の基礎及び応用研究を行い，それらの物性の向上，発見によるデバイス化に必要な材料物性の研究を推進します．

Associate Professor

研究課題：核酸を利用した機能性材料の開発と応用

楠 美智子
教授

部門長 Director

准教授
（兼務）

Project：Quantum Chemistry, Methodology Development andMaterial Design

14Imass P15-16

材料設計部 Materials Design Section

小林 克敏

服部 将朋

KOBAYASHI, Katsutoshi

HATTORI, Masatomo

助教

生体・環境・エネルギー材料等の微細構造に着目し，2次元，3次元構造やそれらのナノ化といった視点から，従来材料の性能向上を目指すとともに，新規組成や複合化による性能の飛躍的向上のための材料設計の研究を推進します．

Assistant Professor

This Section promotes researches of material design with a focus on the
microstructures of organisms, environments, energy-related materials
and so forth. Toward the aim of improving the performance and also
making major strides in terms of performance enhancements, the MD
performs material researches through design of new compositions andcomposite from the perspective of two- and three-dimensional and nanometer-scaled structures.

塙 隆夫

OKIDO, Masazumi

HANAWA, Takao

客員教授

Visiting Professor

Professor

研究課題：表面構造制御による低環境負荷材料プロセスの構築

研究課題：金属基生体材料の研究開発

Project：Investigation on the Materials Processing with Low
Environmental Impact by Surface Structure Control

Project：Research and development of metal-based biomaterials

小澤 正邦

In addition to research related to material production processes, the Materials
Processing Section performs research on mechanical energy conversion
devices that make use of high-performance thermal-insulation and -shielding
materials, thermoelectric power-generating and dielectric elastomers, andother such materials, as well as research on high-efficiency hydrogen production, combustion, power-generation processes and so forth.
イオン液体：分離や化学変換プロセスに有用な環境調和型溶媒
Ionic liquid: a versatile, environmentally benign solvent for separation andchemical conversion processes

KURODA, Kensuke

OZAWA, Masakuni
Project：Nano-Crystals and Their Application toEnvironmental Pollution Control

Project：Development of functional composite materials for environmental puriﬁcation

准教授

教授

研究課題：ナノ結晶の創製とその環境浄化への応用

Project：Synthesis and Application of Metal/ Ceramic
Nanocrystalline Materials

黒田 健介

部門長 Director of the Division

Professor

研究課題：処理環境浄化性能を有する機能性複合材料の創製

材料製造プロセスに関する研究を進めるとともに，高性能な断熱・遮熱材料，熱電発電や誘電エラストマーを用いた機械的エネルギー変換デバイスの研究，高効率な水素製造・燃焼・発電プロセス等に関する研究等を推進します．

興戸 正純
教授

Designated Assistant Professor

研究課題：金属／セラミックスナノ結晶材料の合成と応用

材 料 プ ロ セ ス 部 Materials Processing Section

水溶液プロセスにより作製した生体活性の高い水酸アパタイト系皮膜の表面写真
Surface photo of a hydroxyapatite coating with a high bioactivity prepared by solution processing

所長 Director

特任助教

研究課題：省エネルギー型ウェットプロセスを用いた生体材料，電池材料
Project：Development of Functional Materials Using
Energy-Saving Hydroprocessing

熊谷 純

YOGO, Toshinobu

KUMAGAI, Jun

教授

Associate Professorなどの機能性材料の開発

余語 利信

准教授

Professor

研究課題：化学的手法による環境調和型機能材料の創製
Project：Development of Environment- Compatible Function-

al Materials via Chemical Process

Associate Professor

研究課題：ラジカル検出を通した光・放射線が誘発する化学反応・生物影
響の研究

Project：Chemical Reactions and Biological Eﬀects Induced by

Photo- and Ionizing Radiation as Studied by Detection of Radicals《東京分室 Tokyo Branch》

平岩 篤

松宮 弘明

特任教授

准教授（兼務）

HIRAIWA, Atsushi
研究課題：ワイドバンドギャップ半導体を用いたパワーデバイスおよび同ゲート絶縁膜の研究

Project：Development of wide bandgap semiconductor powerdevices and their gate insulators

技術

Project：Design of Chemical Separation, Analysis, and Reaction
Systems for Environmental Assessment and Material Recycling

ICHINO, Ryoichi

SAKAMOTO, Wataru

准教授

Professor

Associate Professor

研究課題：環境負荷物質の代替および無害化・安定化，資源のリサイクル技術

研究課題：環境に優しい高機能材料の創製

Project：Development of Alternative, Detoxiﬁcation and Stabilization Technology of Hazardous Substances, Material Recycling
Technology

Project：Research and Development of Eco-Friendly High-Performance Functional Materials

新家 光雄

網本 正哉

原田 勝可

林 幸壱朗

NIINOMI, Mitsuo

AMIMOTO, Masaya

HARADA, Katsuyoshi

HAYASHI, Koichiro

客員教授

Visiting Professor

15

Associate Professor

研究課題：環境評価・資源リサイクルのための化学的分離・計測・物質変換坂本 渉

教授（兼務）

MATSUMIYA, Hiroaki

Designated Professor

市野 良一

客員教授

客員准教授

Visiting Professor

Visiting Associate Professor

研究課題：生体構造用チタン合金の設計，開発および評価

研究課題：新規セラミックス色材の研究開発

Project：Design, development and evaluation of titanium alloys
for structural biomaterials

Project：Ceramic coloring materials

助教

研究課題：先端分野向けシリコン化合物とその薄膜の製造及び評価技術の開発

Project：Innovative development of production and evaluation
technologies of silicon compounds and their thin ﬁlms foradvanced ﬁelds.

Assistant Professor
研究課題：ナノ医療
Project：Nanomedicine

16Imass P17-18

システ ム 創 成 部 門

Division of Systems Researcha)伝熱管試料外観写真a)Picture of heat exchanger tubeb)灰付着炉にて30分曝露後の伝熱管試料外観写真

DS

システム創 成 部 門では，地 球 規 模あるいは地域規模において，持続発展可能でかつ環境調
和型のエネルギー変換・インフラ・ネットワーク
や物質変換・物質循環に関する様々な要素技術
開発とともに，それらを高度にネットワーク化させ社会に実装するための方法論の構築を目指しています．また，そのために必要となる高度なエ
ネルギー変換技術・システム，省資源・省エネル
ギーに資する環境負荷低減技術，
リサイクル技術や物質循環再生システムの開発，エネルギー
インフラの計画・制御技術の構築とそのために不可欠なるエネルギー・情報・物流に関する高度な情報ネットワーク技術に関する最先端の研究も推進しています．

b)Picture of ash deposition after 30 min

部門長 Director

成瀬 一郎
NARUSE, Ichiro
With efforts on both global and regional levels, the Division of Systems Research (DS) develops key technologies relating to energy conversion, and infrastructures
and their networks as well as material conversion and its
circulation, that enable ecologically sustainable development. The DS also strives to highly network those and toestablish the methodologies that enable their practicalimplementation in society. Toward these ends, the Division develops advanced energy conversion technologies
and systems, technologies that reduce environmentalload and contributes toward resource and energy conservation, and recycling technologies and circulation
systems of renewal materials, while also pursuing energy-infrastructure planning, creating energy-infrastructure
control technologies as well as conducting leading-edge
research on energy, information and distribution relating
to the advanced information network technologies necessary to achieve those.

Development of micro-hydraulic turbine excellent inforeign matter passage performance

部門長 Director of the Division

高効率で先進的なエネルギー変換システムの構築を目指した研究に取り組んでいます．微小な水力エネ
ルギーを利用した発電・蓄電システムの開発，石炭燃焼技術の改善，廃棄物エネルギーの資源化，太陽光および風力による発電量の予測，感圧・感温塗料を用いた熱流体現象の計測などを進めています．

This section is engaged in research aimed at the creation ofhigh-efficiency, cutting-edge energy conversion systems.
This includes development of power generation and storage
systems that utilize minute amounts of hydroelectric power,
improvement of coal-combustion technologies, conversionof waste-material energy for use as a resource, prediction of
power generation amount for solar and wind power generation processes, measurement of thermos-fluid phenomenausing pressure- and heat-sensitive coatings, and so forth.

c)Picture of heat exchanger tube in verticalash deposition furnace

成瀬 一郎

松田 佑

NARUSE, Ichiro

MATSUDA, Yu

教授

Professor

准教授

Associate Professor

研究課題：地球・地域環境調和型高効率エネルギー変換技術の開発

研究課題：熱流動現象を活用した好環境エネルギー機械システムの研究

Project：Development of Highly Eﬃcient Energy Conversion
Technologies for Global and Local Environment

Project：Environment-friendly energy system engineering basedon thermo-ﬂuid dynamics

内山 知実

植木 保昭

UCHIYAMA, Tomomi

UEKI, Yasuaki

教授

Professor

変換システム部 Conversion Systems Sectionc)灰付着炉内での伝熱管試料表面への灰付着状況

異物通過性に優れたマイクロ水車の開発

研究課題：流体現象の先進的シミュレーション方法の開発と自然流体
エネルギーの活用

Project：Development of Advanced Simulation Method for Flow
Problems and Utilization of Natural Flow Energy

助教

Assistant Professor

研究課題：鉄鋼製錬プロセスへの有機系廃棄物の有効利用
Project：Eﬀective Utilization of Organic Waste in Ironmaking Process

長谷川 達也教授

HASEGAWA, Tatsuya
Professor

研究課題：カーボンニュートラルバイオエネルギー技術及び省エネル
ギーヒートポンプ技術の研究と開発途上国との技術協力

Project：Study on technologies for carbon-neutral bioenergy andenergy saving by heat-pump in cooperation with developing
countries

17

18

Imass P19-20

ネットワークシステム部 Network Systems Section

循 環 シ ス テ ム 部 Circulation Systems Section

ネットワークシステム部では，社会の持続可能な発展を支える
様々な電力・熱エネルギー源と多様なエネルギー需要家をつなぐ
エネルギーインフラの計画・制御技術の構築，その高度かつ高信
頼化に不可欠な情報ネットワーク技術に関する最先端の研究を推進しています．

循環システム部では，環境調和型の物質変換・物質循環に関する様々な要素技術開発とともに，それらの技術を社会へ実装した場合の評価や評価法の開発を行っています．
また，そのために必要となる省資源に資する環境負荷低減技術，
リサイクル技術や物質循環再生システムの開発研究も推進しています．

The Network Systems Section plans and creates control technologies for the energy-related infrastructures that connect
power and thermal energy sources with the diverse range ofusers that require them, and pursues cutting-edge research on
the information network technologies vital for achieving
advancements and greater reliability for such infrastructures.

The Circulation Systems Section develops various key
technologies relating to ecological material conversions
and circulation, and also assesses such technologies
when they are deployed in society and develops theassessment methods. Furthermore, the Section is pursuingresearch and development on environmental-load-reducing technologies, recycling technologies, circulation systems of renewal materials and other technologies that contribute to reducing consumption of resources.

全天画像を用いた配電エリアにおける太陽光発電の把握・予測システム
Nowcasting/Forecasting System of Photovoltaic Power Generation inDistribution Network using All-sky Images

副部門長 Vice-director of the Division

電気微生物培養系
2 槽 式 培 養 系を用いて，電 気を用いて
微 生 物による汚 染 物 の 分 解 促 進 ある
い は 汚 染 水 からの 電 気 の 取 出し（ 発電）を行っている．

Electromicrobial culture system
Studies are carried out on the electrochemical enhancement of pollutant
degradation by microorganisms or the
microbial electric generation from
polluted water, using two-chamberbioelectrochemical culturing system.

加藤 丈佳
教授

KATO, Takeyoshi
Professor

水溶液中染料の超音波分解

Ultrasonic decomposition of dye in aqueous solution
環境計測・制御のための無線ネットワーク
Wireless networks for environmental monitoring and control

研究課題：エネルギー資源・需要の多様性を考慮した電力システムの計
画・制御手法の開発

電動アシスト自転車学内共同利用システム（太陽光発電屋根付き貸出デポ）

Project：Development of Planning and Control Method of Electric Power System Considering Diversity of Energy Resources
and Demands

Electric power-assisted bicycle sharing
system on campus (station with solar power
generation on the roof)

岡田 啓

片山 正昭
教授

Professor

研究課題：無線通信技術に関する研究とその成果の環境システムへの適用
Project：Wireless Communications and Their Applications forGreen Systems

Project：Wireless Communication Systems and Networks for
Smart Community

MIWA, Tomio

准教授

19

Associate Professor

研究課題：交通行動における意思決定過程のモデル化および都市交通シChemical luminescence in a sonochemical reactor

ステムの評価教授

Professor

准教授

Associate Professor

研究課題：エネルギ―・環境システム分析と影響評価

研究課題：放射性物質の資源循環と廃棄

Project：System analysis and impact assessment of energy andenvironment issues

Project：Recycle and Waste Treatment of Radioactive Materials

田中 啓司

大場 真

TANAKA, Keiji

OOBA, Makoto

客員教授

Visiting Professor

客員准教授

Visiting Associate Professor

研究課題：有機汚染化学物質の生体および環境中における代謝・分解

研究課題：バイオマスエネルギーシステム分析と統合評価

Project：Metabolism and Degradation of Organic Pollutants in
Biological and Environmental Systems

Project：Integrated modeling and assessment of biomass energy
systemProject：Modeling Travel Behavior and Evaluation of Transport
Systems

杉本 重幸

小林 健太郎SUGIMOTO, Shigeyuki

KOBAYASHI, Kentaro

Visiting Professor

化学ルミネッセンスによる超音波化学反応場の可視化

SAWADA, KayoYAMAMOTO, Toshiyuki

客員教授

理システム
Project：Energy-saving Microbial Technologies for Remediation of
Soil and Groundwater and Reclamation of Biological Wastes

HAYASHI, Kiichiro

三輪 富生

Project：Design of Environmentally Sustainable Urban Transport
SystemProfessor

研究課題：土壌・地下水の修復及び廃棄物処理のための省エネ型微生物処

Associate Professor

山本 俊行

研究課題：環境的に持続可能な都市交通システムのデザイン

Sonochemical reactor

澤田 佳代

ネットワーク

Professor

KATAYAMA, Arata

超音波化学反応器

林 希一郎

研究課題：スマートコミュニティ実現に向けた無線通信システム・無線

教授

教授

准教授

OKADA, Hiraku

KATAYAMA, Masaaki

片山 新太

助教

Assistant Professor

研究課題：再生可能エネルギーと商用電力系統の調和的融合に関する研究

研究課題：環境計測と遠隔制御のための無線通信システムに関する研究

Project：Research on Harmonic Fusion of the Renewable Energy
and the Commercial Electric Power System

Project：Wireless Communication Systems for Environmental
Monitoring and Remote Control

小島 義弘

粟田 貴宣

KOJIMA, Yoshihiro

AWATA, Takanori

准教授

Associate Professor

研究課題：材料・燃料調製，資源回収，廃水処理のためのソノ支援化学・物
理プロセスに関する研究

Project：Sono-Assisted Chemical and Physical Processes for
Preparations of Material and Fuel, Resource Recovery andWastewater Treatment

助教

Assistant Professor

研究課題：微生物を用いた環境浄化システム
Project：Environmental detoxiﬁcation system using microorganisms

20Imass P21-22

寄 附研究部門

Funded Research Division

エネルギーシステム（中部電力）寄附研究部門

トヨタ先端パワーエレクトロニクス寄附研究部門

本部門では，材料，機器技術からシステム評価にわたる広い視野に立って，持続的発展社会に向けた電気エ

人と地球が共生できる持続可能な社会を目指し，将来モビリティーのパワーエレクトロニクス技術の研究を

ネルギーシステムの構築をめざし，電力機器・系統の運転・制御手法の高度化，太陽光・風力発電出力の予測技

進めます．
ワイドギャップ半導体の材料，
デバイス，
システム応用の広い視野から研究を行い，高効率システムの術の開発，電力市場の提案などに関する研究を行っています．

実現と，次代を担う人材の育成に貢献します．

Operating with a broad focus encompassing everything from materials and device technologies to system evaluations
with the goal of establishing electric power systems that can help achieve sustainable development throughout society,this Division strives to achieve more advanced electric-power equipment, supply network operations, and control methods; develop predictive technologies for solar and wind power generation output volumes; and propose applications
within actual electric power markets.

For achieving a sustainable society that ensures a positive symbiotic relationship between humans and Earth, thefunded division researches power electronics technologies for future mobility. The division researches and develops wide-bandgap semiconductors at all levels from materials, devices, to system applications in a wide perspective contributing to realize high efficiency electronics systems as well as developing young researchers forthe next generation.

Energy Systems (Chubu Electric Power) Funded Research Division

Toyota Advanced Power Electronics Funded Research Division

Optimization of electric-power and energy system
planning and operations

人と地球が共生できる

持続可能なモビリティー社会

Sustainable mobility society in a future

Advancements in energy management
電力・エネルギーシステムを支える技術
Technology supporting electric power & energy systems

真鍋 勇介

FUNABASHI, Toshihisa

MANABE, Yusuke

Endowed Chair of Funded Research Division(Visiting Professor)

寄附研究部門助教

Endowed Assistant Professor ofFunded Research Division

研究課題：次世代の効率的・経済的な電力・エネルギーシステムの構築に

研究課題：RE 電源の大量導入や電気事業の規制緩和に適応した，新たなProject：Research on Construction of Next- Generation Eﬃcientand Economic Power & Energy System

Project：Operation, Planning and Evaluation Methods for New
Electric Power System, Adapted to Mass Penetration of
Re-Generation and Deregulation of Power Industry

関する研究

橋詰 保

森 勇介

HASHIZUME, Tamotsu

MORI, Yusuke

寄附研究部門教授

Endowed Professor of Funded Research Division

舟橋 俊久

寄附研究部門教員（客員教授）

21

Performance and reliability enhancements forelectric-power devices and systems

電力系統システムの運用，計画，評価手法

寄附研究部門教授

Endowed Professor of Funded Research Division

研究課題：GaN系材料の異種接合界面制御とパワーデバイス応用

研究課題：バルクGaN結晶成長

Project：Interface control of GaN-based heterostructures for
power device application

Project：Growth of bulk GaN crystal

宮本 恭幸

須田 淳

MIYAMOTO, Yasuyuki

SUDA, Jun

寄附研究部門教授

Endowed Professor of Funded Research Division

客員准教授

Visiting Associate Professor

研究課題：化合物半導体電子デバイスの開発

研究課題：GaNパワーデバイス

Project：Developments of compound semiconductor electron
devices

Project：GaN Power Devices

22Imass P23-24

産 学協同研究部門

トヨタ先端パワーエレクトロニクス 産学協同研究部門

Toyota Advanced Power Electronics Industry-Academia Collaborative Chair

Industry-Academia Collaborative Chair

窒化ガリウムパワー半導体デバイスの実用化を目指

産総研・名大 窒化物半導体先進デバイスオープンイノベーションラボラトリ
AIST - NU GaN Advanced Device Open Innovation Laboratory

窒化物半導体を中心に，材料から応用に至る幅広い研究を行ないます．
『事業化へ向けた』「 橋渡し」研究として，大学等における基礎研究の成果を選別し，効果的・効率的に応用に結びつけることを目的としています．
Our laboratory covers the research area from materials science to application of nitride semiconductors.
To function as a bridge between research and industry, we purposely examine basic research, and expedite connecting
research results to practical use.

し，欠陥や不純物を高精度で制御するプロセス技術，低損失化を実現するデバイス技術，
システム応用の広い視野から研究を進めます．
For realizing Gallium Nitride power semiconductor devices,
this division researches and develops process techniquesthat enable controllability of defects and impurities with highaccuracy, device techniques for low loss devices, and its
system applications in perspective of these new highperformance devices.

Cross-sectional TEM of GaN trench MOSFET

加地 徹

塩﨑 宏司

KACHI, Tetsu

SHIOZAKI, Koji

特任教授

Designated Professor

研究課題：窒化ガリウムパワーデバイスの作製プロセスおよびデバイス
構造の研究

Project：Research of Fabrication Process and Device Structureof GaN Power Devices

AlGaN/GaN HEMTGaNトレンチMOSFETの断面写真(豊田中研/トヨタ共同開発)

特任教授

Designated Professor

研究課題：窒化ガリウムパワーデバイスの研究と応用探索
Project：Research of GaN Power Device and Investigation of Its
Application

デンソー自動車用パワーエレクトロニクス産学協同研究部門

スィッチング特性

Switching characteristics

DENSO Automotive Power Electronics Industry-Academia Collaborative Chair

-30

-20

0 10

-10

-40
-50

20

~43°

Simulation
T=80K
I=200mA

エバネッセント光の結合効果を利用した指向性LEDの模式図

発光パターン

Emission pattern

Schematic of a novel directional LED
based on evanescent wave coupling

SHIMIZU, Mitsuaki
Designated Professor

23

60

70
Lambertian80
Experiment
90

-90

特任教授

動車，燃料電池自動車の電動化システムの大電力

50

-70

清水 三聡

研究部門では，将来のハイブリッド自動車，電気自

40

-60

-80

デンソー自動車用パワーエレクトロニクス産学協同

30

王 学論

化・高周波化・高効率化を見据え，次世代パワー半導体の材料研究，デバイス研究，および応用システ
ムの探索研究を推進します．
Denso automotive power electronics Industry-Academia
Collaborative Chair looking into the future of high power,
high frequency and high efficiency electric drive system
for hybrid car, EV and FCV, promotes exploratory
research into next-generation power semiconductormaterial, device and application system.

次世代パワー半導体の特長と応用

Characteristics and applications of next-generation power semiconductor

特任教授

恩田 正一

大原 淳士

Designated Professor

ONDA, Shoichi

OHARA, Junji

WANG, Xuelun

研究課題：GaNパワーエレクトロニクス

研究課題：光デバイス

Project：GaN power electronics

Project：Optical devices

特任教授

Designated Professor

研究課題：次世代パワー半導体材料の結晶成長および高品位化技術

Project：Development of Crystal growth of the next-generation
power-semiconductor materials

特任准教授

Designated Associate Professor
研究課題：将来パワーエレクトロニクスにおける材料解析および評価技術
Project：Analysis and evaluation research in the future powerelectronics and material

24

Imass P25-26

研究所施設共同利用・共同研究拠点

Facilities

超高圧電子顕微鏡施設 High Voltage Electron Microscope Laboratory

Joint Usage/Research Center

http://hvem.nagoya-microscopy.jp/

名古屋大学では，1965年に我が国で初めて50万ボルトの電子顕微鏡が設置されて以降，世界を先導する超高圧電子顕微鏡開発研究の隆盛を見るに至りました．特に2010年に設置された，新しい「反応
科学超高圧走査透過電子顕微鏡」
は，ガス中での各種の反応や現象を観察することが出来るため，環境・エネルギー関連材料の開発研究に適し，
グリーンイノベーションに大いに貢献することのできる装置です．
本施設は現在，その他の最先端電子顕微鏡群を有する共同利用研究施設として，本学の研究者はもとより共同研究を通して全国の大学，研究所，産業界の研究者にも共用されています．今後国際的な電子顕微鏡の研究センターとして，さらに機能の充実を図っていきます．

当研究所は，文科省から「革新的省エネルギーのための材料とシステム研究拠点」として認定され，エネル
ギーの創出・変換，蓄積，伝送，利用の高度化と超効率化を目指した省エネルギー技術に関する共同利用・共同研究を基礎研究から社会実装のためのシステム化まで幅広く推進しています．国内外の大学や研究機関の研究者は，本研究所の教員と共同研究を行うことで，様々な材料開発を行うための成膜装置，微細加工装置，電子顕微鏡をはじめとする多様な分析装置を共同利用することができます．共同利用・共同研究をご希望の方は，本研究所の教員と事前に打合せの上，年度当初にお申し込みください．共用装置のリストや申込み方法などの詳細は，下記URLをご覧ください．
http://www.imass.nagoya-u.ac.jp/joint/index.html

反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡 JEM1000K RS

Reaction science high voltage scanning transmission
electron microscope (JEM 1000K RS)

Since the installation of a 500 kV electron microscope in 1965, Nagoya University has seen prolific, world-leading research in
the field of high voltage electron microscopes in Japan. In particular, the 1000 kV Reaction Science High Voltage Scanning
Transmission Electron Microscope installed in 2010 enables reactions and phenomena occurring in gas environments to beobserved, aiding in the research and development of environmental and energy-related materials. This microscope cansignificantly contribute to the field of green-innovation research. The laboratory is operated as an open research facility for all
researchers in Nagoya University. Moving forward, as part of our efforts to become an international center of electron microscopy, joint projects with other universities, research institutes, and industries are encouraged.

共同利用申請の流れ

荒井 重勇
特任准教授

ARAI, Shigeo

Designated Associate Professor

IMaSS has been designated by the Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology (MEXT) as a
"Joint Usage/Research Center of materials and systems for innovative energy management." Through joint usage
and research related to energy management technologies, it serves as a venue for everything from fundamental
research through to system-building for actual deployment in society, aimed at more advanced, fully optimizedenergy creation, conversion, storage, transmission and utilization. At this facility, researchers from universities,
research institutions and other organizations based in Japan and abroad can engage in joint research together
with IMaSS personnel while utilizing a wide range of equipment including film-deposition systems, micro/nano-fabrication equipments, electron microscopes and many other types of analysis instruments, and more. If you
wish to apply for joint usage or research at this facility, please consult with the IMaSS staff in advance and apply
at the beginning of the academic year. Visit the website below for a list of joint-use equipment, information on
how to apply and other such details.
http://www.imass.nagoya-u.ac.jp/en/joint/index.html

Application Flow for Shared Use
共 同 利 用・共 同 研 究 申し込 み
Apply for shared use/joint research

研究課題：超高圧電子顕微鏡を用いた反応科学その場観察
Project：In-Situ Observation of Material Science Using High
Voltage Electron Microscopy

採択

Adopt

先端技術共同研究施設 Research Facility for Advanced Science and Technology
http://www.rfast.esi.nagoya-u.ac.jp/

先端技術共同研究施設のクリーンルーム等には，分子線エピタキシー，
CVD，
スパッタリング等の成膜装置，
マスクアライナ，電子線描画装置，ICP
エッチング装置等の微細加工装置，SEM, ESCA，原子間力顕微鏡，薄膜X
線回折等の分析装置など多くの先端的な機器が設置されており，各種材料の薄膜形成から，
マイクロ/ナノ加工，
さらに表面分析まで幅広い研究に活用されております．
また，文部科学省の微細加工ナノプラットフォーム事業によるナノ材料・ナノ加工に関する技術支援を推進しており，学内外の多くの研究者に利用されています．

未 来 材 料・システム研 究 所

大 学・研 究 機 関Institute of Materials & Systems for
Sustainability

Universities /Research institutes

共同利用のイメージ
Image of Shared Use

革新的省エネルギー（エネルギーの創出・変換、蓄積、伝送、消費の高度化・超効率化）の実現
Realize revolutionary energy-saving (further advancement/hyper-efficiency of creation, conversion,reserve, transmission and consumption of energy)

本研究所の施設、設備、データ等を利用した共同研究
先端的な材料･デバイス等の要素技術に関する基礎研究から社会実装のためのシステム技術
先端技術共同研究施設のクリーンルーム

Clean room of the facility

The clean rooms and other laboratories of the Research Facility for Advanced Science and Technology are equipped withmolecular beam epitaxy, chemical vapor deposition (CVD), a sputtering system, and other film deposition equipment; a maskaligner, electron-beam lithography, inductive coupled plasma (ICP) etching, and other micro-fabrication equipment; scanning electron microscopy (SEM), electron spectroscopy for chemical analysis (ESCA), an atomic force microscope, an x-ray
diffractometer, and other analytical equipment; as well as a wide range of other leading-edge equipment which is put to use
in a wide array of research operations ranging from thin-film deposition for various materials to micro- and nano-fabricationand material characterization. Furthermore, this facility enforces Nanofabrication Platform Consortium Project supported by
the Japanese Ministry of Education, Culture, Sports, Science and Technology (MEXT), where the facility provides technicalsupports on nano-material processing and nano-fabrication for numerous researchers by utilizing multi-user instruments.

Joint research by utilizing the facilities, equipments, data and so on of the IMaSS.
Wide range of research from fundamental research on advanced materials and devices to systemengineering for socially implementing them.

本研究所の教員及び本学以外の機関に所属する教員又は研究者を含む研究チーム
Academics or research teams of the IMaSS including
researchers from other institutes / universities.

名大Nagoya University

名大以外の研究者（研究代表者）

Researchers from otheruniversities(research representatives)25

26

Imass P27-28

主な設備一覧 Facilities and Equipment

8元マグネトロン
スパッタ装置Magnetron
sputtering with
8 sources

電子線露光装置
Electron beamlithography

ECR-SIMS
エッチング装置

ECR etching with SIMS

8元MBE装置

MBE with 8 sources

マスクアライナ
Mask aligner

3元マグネトロン
スパッタ装置Magnetron sputteringwith 3 sources

反応性イオン
エッチング装置

Reactive ion etching

フェムト秒レーザー
加工分析システム
イオン注入装置
Ion implantation

Femto-second laser
for micro-fabricationand measurement

集束イオンビーム加工機（FIB）

Focused ion beam
sample preparation
system
FB-2100

アルゴンイオン
研磨装置

Precision ion beam
milling system
PIPSⅡ

Rapid thermal annealing

収差補正
電子顕微鏡

収差補正
電子顕微鏡

電界放出型透過
電子顕微鏡

Aberration correctedscanning TEM
JEM ARM200F

Aberration correctedscanning TEM
JEM-10000BUTransmission electron
microscope
JEM2100F-HK

電気炉

Electric furnace

汎用電子顕微鏡Transmission electron
microscope
H-800

27

急速加熱処理装置

電子分光
電子顕微鏡

Electron Spectroscopic
scanning TEM
JEM2100M

高速加工観察
分析装置(FIB-SEM)

High-speed sample
fabrication/
analysis system
MI-4000L

Cross section polisher IB-09020CP

電界放射型分析
走査電子顕微鏡
三次元電子顕微鏡

3D electron microscope

Field-emission
scanning electron
microscope

走査型電子顕微鏡
FE-SEM

エネルギー分散型
X線分析装置付
走査型電子顕微鏡

Scanning electron
microscope withenergy dispersive x-ray
spectroscopy

薄膜X線回折装置

X-ray diffractometer

反応科学超高圧
電子顕微鏡
Reaction sciencehigh voltage
scanning TEM
JEM1000K RS

クロスセクションポリッシャー

原子間力顕微鏡
Atomic force
microscope

X線光電子分光装置
X-ray photoelectron
spectrometer

電動式小型遠心圧縮機試験装置
Test apparatus ofelectrically driven
small centrifugal
compressor

磁気特性評価システム群

Magnetometers

X線回折装置

X-ray diffractometer

X線光電子分光装置
X-ray
photoelectron
spectrometer

誘導結合
プラズマ発光分光分析装置Inductively coupledplasma atomic emission
spectrometer

ナノ構造解析用
液体クロマトグラフ
質量分析計

Liquid chromatograph/mass spectrometer

CHNコーダーCHN analyzer

１成分レーザドップラー
流速計測装置Laser doppler
velocimeter for one
velocity component

28

Imass P29-30

学際・国際的高度人材育成
ライフイノベーションマテリアル
創製共同研究プロジェクト

G aN 研 究 コ ン ソ ー シ ア ム
GaN Research Consortium

GaN研究コンソーシアムは，省エネルギーに資する材料として注目されているGaNを中心的な材料として，International, Interdisciplinary Joint Research Project in Pursuit ofLife Innovation Material Creation and Highly Skilled Human Resources
6大学6研究所（名古屋大学未来材料・システム研究所，大阪大学接合科学研究所、東北大学金属材料研究所、東京工業大学フロンティア材料研究所，早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構及び東京医科歯科大学生体
材料工学研究所）
が協力し，人々の生活を支える「生活革新材料（ライフイノベーションマテリアル）」を創製し，新しい社会基盤となる異分野横断的新学術分野を構築する．
具体的には，生活革新材料の基盤技術となる要素材料・技術開発分野，環境保全と持続可能社会のための材料開発分野，生体応用と医療福祉材料に貢献する分野等の材料について研究および開発を行う．
さらに，材料研究を共通基盤とした国際交流・大学・企業連携を推進し，高度人材育成の拠点形成を図る．
本連携研究プロジェクトは，我が国の材料関連研究と産業支援の牽引役となるのみならず，若手研究者の交流を促進して高度な人材の育成の連携拠点ともなる．
Six university research institutes (Nagoya University Institute of Materials and Systems for Sustainability, Osaka
University Joining and Welding Research Institute, Tohoku University Institute for Materials Research, Tokyo
Institute of Technology Laboratory for Materials and Structures (Institute of Innovative Research), Waseda
University Research Organization for Nano & Life Innovation, Tokyo Medical and Dental University Institute of
Biomaterials and Bioengineering) are collaborating to create "life innovation materials"—materials that support
people's lifestyles in innovative ways—and cultivate a new academic field incorporating various other fields whileserving as a new societal foundation.
More specifically, this involves the pursuit of research and development activities in various related fields,
including the development of component materials and technologies that serve as the technological foundations
for life innovation materials, the development of materials that contribute toward environmental preservation andthe realization of a sustainable society, fields that contribute toward biomedical applications and medical/welfare
materials, and others. We are also striving to make this project a shared platform for international exchange andcollaboration between universities and corporations in the field of materials research, thus achieving a venue forthe cultivation of highly skilled personnel.

世界をリードする省エネルギーイノベーションの創出を目的に，平成27年10月1日付けで設立されました．
産学官の各会員機関が組織の壁を越え共創するオープンイノベーションの場を構築し，我が国の持続的発展と各機関の成長に貢献すること，共創場での実践的教育を通して，高い専門性と俯瞰的な視点を兼備し，社会のための科学を志向する，21世紀型の若手研究者・技術者の育成に努めることを理念としています．
主な参加機関は，大学15機関（名大，名城大，名工大，豊田工大など），国立研究開発法人2機関（産総研，物材機構），企業28機関（トヨタ自動車（株），住友電気工業（株），大陽日酸（株）など）
で（平成28年3月現在），
基礎から応用まで，川上産業から川下産業までをカバーする体制を構築しており，参加機関は今後も拡大していく予定です．
The GaN Research Consortium was established on October 1, 2015 to achieve world-leading energy-saving
innovations with a central focus on gallium nitride (GaN) materials, thanks to their contributions toward greater
energy conservation.
It was established as a joint-creation, open-innovation venue that seamlessly integrates participatingorganizations via industry-academia-government collaboration. By contributions toward the sustainable
development of Japan as a nation, as well as growth and advancements at member institutions, and byproviding practical education through a venue for joint creation, this Consortium combines highly specialized
knowledge with an all-encompassing viewpoint and focuses on the fostering of young, twenty-first-century
researchers and technical experts who engage in scientific research for the good of society as a whole.
As of March 2016, member institutions include 15 universities (Nagoya University, Meijo University, Nagoya
Institute of Technology, Toyota Technological Institute, et al.), 2 incorporated national research institutions (theNational Institute of Advanced Industrial Science and Technology and the National Institute for Materials
Science), and 28 corporations (Toyota Motor Corporation; Sumitomo Electric Industries, Ltd.; Taiyo Nippon
Sanso Corporation; et al.). The Consortium boasts a framework that covers everything from the fundamentals topractical applications in areas ranging from upstream to downstream industry, and more institutions are
expected to join as members in the future.

In addition to playing a leading role in the areas of material-related research and industrial support measures,
this joint research project is being carried out with the goal of promoting exchanges between young researchersand establishing a shared stage for the fostering of advanced human resources.
東京医科歯科大学
生体材料工学研究所

生体医療福祉材料開発分野

生体・医療材料
Tokyo Medical and Dental University
Institute of Biomaterials andBioengineering
Biomedical Materials

名古屋大学
未来材料･システム研究所

環境・エネルギー材料
Nagoya University
Institute of Materials and Systems
for Sustainability
Environmental and Energy-relatedMaterials

Biomedical/Welfare Material
Development Field

大阪大学
接合科学研究所

接合界面制御技術
Osaka University
Joining and Welding Research Institute
Joining/Welding Interface
Control Technologies

環境材料開発分野

Environmental Material
Development Field

東京工業大学
フロンティア材料研究所

高機能セラミックス材料
Tokyo Institute of Technology
Laboratory for Materials and Structures(Institute of Innovative Research)
Highly Functional Ceramic Materials

要素材料・技術開発分野

東北大学
金属材料研究所

特異構造金属材料
Tohoku University
Institute for Materials Research
Metal Materials with
Unique Structures

29

早稲田大学
ナノ・ライフ創新研究機構

エレクトロニクス材料
Waseda University
Research Organization for Nano &Life Innovation

Component Material andTechnology Development Field
青色発光ダイオードの試作例

Prototype of Blue LED

Electronics Materials

30Imass P31-32

IMaSS DATA
教 員 数 Number of Members
部門等名Divisions

平成28年5月1日現在 As of May 1,2016

教授

Professors

未来エレクトロニクス集積研究センター

Center for Integrated Research of Future Electronics (CIRFE)

高度計測技術実践センター

Advanced Measurement Technology Center (AMTC)

材料創製部門Division of Materials Research (DM)

システム創成部門

Division of Systems Research (DS)准教授／講師

Associate Professors / Lecturers

Assistant Professors

2004年10月14日

3（1）一般社団法人電力中央研究所

2004年11月5日

愛知県

2004年11月26日

名古屋市

2004年11月26日

自然科学研究機構 核融合科学研究所

2007年9月13日

Chubu Electric Power

4 （2）

5
5 （2）

3 （2）

3（1）

5 （4）

4 （2）

3（1）

8 （2）

5 （1）

3

0 （1）

0（1）

産学協同研究部門

0 （5）

0 （1）

0

超高圧電子顕微鏡施設

0

0 （1）

0

23（17）

16（10）

12（4）High Voltage Electron Microscope Laboratory

計

Total

Excludes staff members who have other concurrent positions. Numbers in parentheses indicate those of designated faculty and visiting staff members.
平成28年4月1日現在 As of April 1,2016

3

中国科学院過程工程研究所

Institute of Process Engineering, Chinese Academy of Sciences

慶南大学校産学協力団

協定年月日

Agreement Dates

中国

2005年2月21日

China

February 21, 2005韓国

2005年6月13日

メリーランド大学・工学部機械工学科

米国

2005年8月8日

ワシントン大学・遺伝子工学材料科学工学センター

米国

2005年12月20日

Industry Academic Cooperation Foundation of Kyungnam University

Department of Mechanical Engineering, University of Maryland

Genetically Engineered Materials Sciences and Engineering Center, University of Washington

Republic of Korea

USA

USA

June 13, 2005

December 20, 2005

米国

2006年2月14日

ノースウエスタン大学材料研究所

米国

2006年7月14日

技術評価応用局環境工学センター

インドネシア

2006年11月6日

Materials Research Institute, Northwestern University

Center of Environmental Technology, Agency for the Assessment and Application of Technology

中国科学院生態環境研究中心

Research Center for Eco-Environmental Sciences, Chinese Academy of Sciences

USA

USA

Indonesia

中国

China

July 14, 2006

November 6, 2006

November 18, 2006

Science and Technology Research Institute, King Mongkut’s University of Technology North Bangkok

Thailand

インド工科大学デリー校

インド

2011年10月18日

Faculty of Science, Universiti Putra Malaysia

November 26, 2004

National Institute for Fusion Science, National Institutes of Natural Sciences

September 13, 2007

早稲田大学 現代政治経済研究所

2009年4月9日

Waseda Institute of Political Economy

India

マレーシア
Malaysia

April 9, 2009

研 究 所 の 財 政 Financial Information
費目

Category

平成27年度 Academic Year, 2015

件数

受入額（千円）Number of Adoptions

Amount (in thousand yen)

運営費交付金̶

409,871

科学研究費補助金

54351,390

その他補助金（政府資金）

2

11,342

受託研究費

16153,030

民間等との共同研究

42

128,844

奨学寄附金

35

32,620

その他

2

2,210

151

1,089,307

Management Expenses Grants

Joint Research with Industry

Donations for Scientific Research

Others計Total

教 育 貢 献 Educational Contributions

October 10, 2011

October 18, 20112013年3月21日
March 21, 2013

平成27年度 Academic Year, 2015

学部生・大学院生・研究員 Undergraduates, Graduates, Research Fellows
区分

Status

学部生

大学院生

Undergraduate Students

人数

Number of Students or Researchers

152（8）

Undergraduate Students

博士前期課程250（21）

博士後期課程83（38）

Master’ s Program

Doctoral Program

2006年11月18日

2011年10月10日

マレーシアプトラ大学理学部

City of Nagoya

February 14, 2006

タイ

Indian Institute of Technology Delhi (IITD)

November 26, 2004

August 8, 2005

カリフォルニア大学ロスアンゼルス校 カリフォルニアナノシステム研究所
California NanoSystems Institute, University of California, Los Angels

31

国名Countries

November 5, 2004

Aichi Prefecture

Contract Research

国外 International Collaboration
機関名

Central Research Institute of Electric Power Industry (CRIEPI)Other Grants (Government Funds)連 携 協 定 拠 点 Research Collaboration

Institutes

October 14, 2004

Grants-in-Aid for Scientific Research

兼務教員を除く．括弧内は特任，客員教員を示し，外数．

キングモングクツ工科大学 北バンコク校科学技術研究所

協定年月日

Agreement Dates

中部電力株式会社

0 （4）Industry-Academia Collaborative Chair

機関名

Institutes

助教

寄附研究部門Funded Research Division

国内 Collaboration in Japan

博士研究員

Postdoctoral Fellows

21 (9)

本研究所の所属教員が主たる指導教員となっている学生数または研究員数。
括弧内は外国人数（内数）．
Supervised by faculty affiliated to the Institute. Number of foreign students or researchers in parentheses.

学位審査数 Number of Degree Reviews
主査の実績

Number of Principal Examiners

20

本研究所の所属教員が，本学の博士号学位審査で主査を務めた実績
Aggregate number of times faculty affiliated to the Institute have taken on the role of the principal examiner in a doctoral degree review

32Imass P33-34

受 賞 Awards and Prizes

1 成分レーザードップラー流速計測装置

平成27年度 Academic Year 2015

受賞件数

Laser Doppler velocimeter for one velocity component

X 線光電子分光装置 ( 島津製作所製 ESCA-3300)

20

Number of Awards and Prizes

学生が代表受賞者である件数は除く
Not including awards and prizes given to students

X-ray photoelectron spectrometer (Shimadzu, ESCA-3300）

研究部

Research Divisions

誘導結合プラズマ発光分光分析装置（セイコーインスツルメンツ製 SPS7800）
Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometer (Seiko Instruments, SPS7800)

電界放射型分析走査電子顕微鏡 (JEOL 製 JSM-6330F&JED-2140GS)
Field emission scanning electron microscope (JEOL, JSM-6330F&JED-2140GS)

特 許 出 願 ・ 取 得 数 Number of Patent Applications and Granted Patents

X 線回折装置 ( リガク製 RINT2500TTR 試料水平型、加熱ステージ )平成27年度 Academic Year 2015

出願

X-ray diffractometer (Rigaku, RINT-2500 TTR）

CHN コーダー ( ヤナコ分析工業製 MT-6)

24

Applications

取得

CHN coder (Yanaco, MT-6)

反応科学超高圧走査透過電子顕微鏡 (JEM-1000K RS)

7

Granted Patents

Reaction science high voltage scanning transmission electron microscope (JEM-1000K RS)

超高圧電子顕微鏡施設

High Voltage Electron Microscope Laboratory

施 設・設 備 Facilities and Equipment

汎用電子顕微鏡（H-800）

Transmission electron microscope (H-800)

収差補正電子顕微鏡 (EM-10000BU)

Aberration corrected scanning transmission electron microscope (EM-10000BU)

平成28年4月1日現在 As of April 1, 2016

高分解能透過型電子顕微鏡 (JEM2100 HK)

High-resolution transmission electron microscope (JEM2100F HK)

電気炉（光洋リンドバーグ社製 MODEL272-2）

建物 Buildings

Furnace（Koyo Lindberg, MODEL272-2）

建物名

化学気相成長装置（国際電気製）

研究所使用面積（m 2 ）Chemical vapor deposition system（Hitachi Kokusai Electric）

Floor Space used by the Institute (m2）

Buildings

研究所共同館Ⅰ

スパッタリング成膜装置（ULVAC 製）
Sputtering system（ULVAC）

333

Research Institute BuildingⅠ

反応性イオンエッチング装置（サムコ社製 RIE-10NR）
Reactive ion etching system（SAMCO, RIE-10NR）

研究所共同館Ⅱ

3,804

共同教育研究施設2号館

3,169

研究室・実験室・事務室として使用している面積

ダイシングマシン

353

Floor space used as research space,laboratory space, oﬃce space

試料加熱装置（AG Associates 社製 Heatpulse610）

Research Institute BuildingⅡ

イオン注入装置（日新電機社製 NH-20SR-WMH）
Ion implantation system（Nissin Electric, NH-20SR-WMH）

Inter-Departmental Education and Research Facilities Building 2

共同教育研究施設第1実験棟

Inter-Departmental Education and Research Facilities, Laboratory 1

共同教育研究施設第3実験棟

Dicing machine

Rapid thermal annealing machine（AG Associates, Heatpulse610）

ボンディング装置（超音波工業製）

461

Inter-Departmental Education and Research Facilities, Laboratory 3

総合研究実験棟

Bonding machine（Ultrasonic Engineering）

マスクアライナー（キャノン社製 PLA-501(S)）

2,443

Research Laboratory Building

小計

Mask aligner (Canon, PLA-501(S))

スピンコーター（スピンナー）（ミカサ製 IH-D7）

10,563

Sub Total

高効率エネルギー変換研究施設

504

超高圧電子顕微鏡施設

996

Research Facility for Advanced Energy Conversion
High Voltage Electron Microscope Laboratory

先端技術共同研究施設

1,849

Research Facility for Advanced Science and Technology

小計

3,349

Sub Total

合計

13,912

Total

Spin coater（Mikasa, IH-D7）

先端技術共同研究施設

Research Facility for Advanced
Science and Technology

電界放出型走査電子顕微鏡（JEOL 製 JSM-6301F）
Field emission scanning electron microscope（JEOL, JSM-6301F）

電子ビーム描画装置（JEOL 製 JBX-6300FS）
Electron beam lithography system（JEOL, JBX-6300FS）

走査型トンネル顕微鏡及びオージェ電子分光複合装置（オミクロン製）

固有の建物

Individual buildings

Scanning tunneling microscope & Auger electron spectroscope (Omicron)

薄膜用 X 線回折装置（リガク製 RINT2100）
X-ray diffractometer（Rigaku, RINT2100）

薄膜 X 線回折装置（リガク製 ATX-G）
X-ray diffractometer（Rigaku, ATX-G）

フーリエ変換型赤外分光光度計（島津製作所製 FTIR-8200PC）
Fourier transform infrared spectrometer（Shimadzu, FTIR-8200PC）

段差膜厚計

Stylus surface profiler

原子間力顕微鏡 / 磁気力顕微鏡（Bruker 社製 AXS Dimension3100）

共通機器 Shared Equipment

Atomic force microscope/magnetic force microscope（Bruker, AXS Dimension3100）

設置場所

設備名

Installation Locations

Facilities and Equipment

ナノ構造解析用液体クロマトグラフ質量分析計

High-performance liquid chromatograph/mass spectrometer for the analysis of nano-structure

研究部

Research Divisions

エネルギー分散型 X 線分析装置付走査型電子顕微鏡

Scanning electron microscope with energy dispersive X-ray microanalyzer

電動式小型遠心圧縮機試験装置

Test apparatus of electrically driven small centrifugal compressor

33

分子線エピタキシー装置
Molecular beam epitaxy system

金属用 8 元スパッタリング装置

Sputtering system with 8 sources for metallic materials

二次イオン検出器付き電子サイクロトロン共鳴プラズマイオンエッチング装置
Electron cyclotron resonance reactive ion etching system with secondary ion mass spectrometer

X 線光電子分光装置（VG 製 ESCALAB 210）
X-ray photoelectron spectrometer（VG, ESCALAB 210）

フェムト秒レーザ加工分析システム ( 輝創社製

UFL-Hybrid)

Femto-second laser system for micro-fabrication and pump-probe measurement (Kisoh-tech, UFL-Hybrid)

34