Pirani Standard Gauge
PSG550
PSG552
PSG554

Gebrauchsanleitung

inkl. EU-Konformitätserklärung

tina60d1-c(2023-01)

1

Produktidentifikation
Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes
erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein.

2

tina60d1-c(2023-01)

Gültigkeit
Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihe PSG55x.
Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte angeführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und unterscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter(z. B. werkseitige Schaltpunkteinstellung).

tina60d1-c(2023-01)

3

*)
**)

ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0 (→  [7])ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 (→  [8])

***)
****)

Halbleiterrelais
Mechanische Relais

Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit
Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF und Anzeige. Sie gelten sinngemäß auch für die anderen Messröhren.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten.

4

tina60d1-c(2023-01)

Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die Pirani Standard Gauges PSG55x erlauben die Vakuummessung von Gasen im Bereich von 5×10-5 … 1000 mbar.
Sie dürfen nicht für die Messung von leicht entzündbaren oderbrennbaren Gasen im Gemisch mit einem Oxidationsmittel (z. B.
Luftsauerstoff) innerhalb der Explosionsgrenzen verwendet
werden.
Sie können mit einem INFICON Messgerät 1) für Kompakt-Messröhren oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben
werden.

Marke
VCR®

Swagelok Marketing Co.

PatenteEP 0689669 B1, 0689670 B1
US Patente 5608168

Lieferumfang
1× Messröhre
1× Taststift
1× Gebrauchsanleitung1)

tina60d1-c

Nur Messröhren mit Messsignal 0.61 … 10.23 V (dc).
(2023-01)

5

Inhalt

6

Produktidentifikation
Gültigkeit
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Marke
PatenteLieferumfang

2
3
5
5
5
5

1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und Gewährleistung

8
8
8
9
9

2 Technische Daten
2.1 Beziehung Messsignal – Druck
2.2 Gasartabhängigkeit

10
19
24

3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
3.2 Elektrischer Anschluss
3.2.1 Stecker FCC 68, 8-polig
3.2.2 Stecker D-Sub, 9-polig
3.2.3 Stecker D-Sub HD, 15-polig
3.2.4 Stecker D-Sub HD, 15-polig, RS485 INF
3.2.5 Stecker DeviceNet
3.2.6 Stecker Profibus
3.2.7 Stecker EtherCAT
3.2.8 Stecker Profinet

25
25
28
29
30
31
32
33
34
35
36

4 Betrieb
4.1 Anzeigen
4.2 Gasartabhängigkeit
4.3 Schaltfunktionen SP1, SP2
4.4 Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle)
4.5 DeviceNet-Betrieb
4.6 Profibus-Betrieb
4.7 EtherCAT-Betrieb
4.8 Profinet-Betrieb

37
37
41
41
47
48
51
53
54

tina60d1-c(2023-01)

5

Ausbau6 Instandhaltung, Instandsetzung
6.1 Messröhre abgleichen
6.2 Sensor austauschen
6.3 Fehlerbehebung

55
57
57
59
60

7

Produkt zurücksenden

62

8

Produkt entsorgen

63

9

Zubehör

64

10 Ersatzteile

65

Weitere Informationen

68

ETL-Zertifizierung

70

EU-Konformitätserklärung

71

UKCA-Konformitätserklärung

72

Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→  XY) verwendet, für Verweise auf weitere, unter "Weitere Informationen" aufgelistete, Dokumente das Symbol (→  [Z]).

tina60d1-c(2023-01)7

1Sicherheit

1.1

Verwendete Symbole
GEFAHR
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art.

WARNUNG
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden.

Vorsicht
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten
kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen.
Hinweis<…>1.2

Beschriftung

Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur
durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete
technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult worden sind.

8

tina60d1-c(2023-01)

1.3

Grundlegende Sicherheitsvermerke• Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die
Schutzmaßnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen (z .B. Explosion)der Prozessmedien infolge Eigenerwärmung des Produkts.
• Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmaßnahmen zulässig. Beachten Sie zudem die in diesem Dokument angegebenen
Sicherheitsvermerke.
• Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften undhalten Sie die Schutzmaßnahmen ein.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer
weiter.

1.4

Verantwortung und Gewährleistung
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen• dieses Dokument missachten• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungenusw.) vornehmen• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zugehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder
Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B.
Heizfaden), fallen nicht unter die Gewährleistung.

tina60d1-c(2023-01)

9

2Technische Daten
Weitere technische Daten für Messröhren mit serieller
Schnittstelle →  [4], [5], [6], [7], [8], [9].
Messprinzip
Messbereich
Genauigkeit (N2)5×10-4 … 1×10-3 mbar
1×10-3 … 100 mbar
100 … 1000 mbar
Auflösung (bei 1000 mbar)
Wiederholbarkeit (N2)
1×10-3 … 100 mbar
Ausgangssignal (Messsignal)
Spannungsbereich
3PIx-0xx-xxx0
3PIx-0xx-xxx1
3PIx-0xx-xxx2
3PIx-0xx-xxx3
Messbereich
3PIx-0xx-xxx0
3PIx-0xx-xxx1
3PIx-0xx-xxx2
3PIx-0xx-xxx3
Fehlersignal
Beziehung Spannung-Druck
3PIx-0xx-xxx0
3PIx-0xx-xxx1
3PIx-0xx-xxx3
3PIx-0xx-xxx2

10

Wärmeleitung nach Pirani
5×10-5 … 1000 mbar
±50% des Messwertes±15% des Messwertes±50% des Messwertes±0.15% des Messwertes±2%

des Messwertes

0 … +10 V
0 … +8.5 V
0 … +5.529 V
0 … +8.875 V+0.61 … +10 V+1.2 … +8.5 V+0.375 … +5.529 V+1.57 … +8.875 V
0 … 0.5 V
1.286 V/Dekade,logarithmisch
1 V/Dekade, logarithmisch
1 V/Dekade, logarithmisch→  21

tina60d1-c(2023-01)

Ausgangsimpedanz

2 × 4.7 Ω, kurzschlussfest

Lastimpedanz
Ansprechzeit≥10 kΩ<10 ms

Messröhrenidentifikation
FCC 68 (+0.61 … +10 V)

27 kΩ

HV-Messröhrenabgleichbei <10-5 mbar

Halbleiterrelais
Einstellbereich (N2)
Hysterese 2)
Schaltverhalten 2)
Kontaktbelastung

Schaltpunkte SP1/2
5.0×10-5 … 1000 mbar
10% des Schwellwertes
Low Trip Point<30 V (ac) / (dc), ≤0.3 A
ohmschLED leuchtet
LED aus<30 msgeschlossen
offen
Schaltzeit
Mechanische Relais
Einstellbereich (N2)
Hysterese 2)
Schaltverhalten 2)
Ausführung
Kontaktbelastunggeschlossen
offen
Schaltzeit
Diagnostik-Port, Anschluss2)

tina60d1-c

Schaltpunkte SP1/2
5.0×10-5 … 1000 mbar
10% des Schwellwertes
Low Trip Point
1 potentialfreier Schließer
pro Schaltfunktion<30 V (ac) / (dc), ≤1 A
ohmschLED leuchtet
LED aus<30 ms
Klinkenstecker 2.5 mm,
3-polig

Hysterese und Schaltverhalten können über die serielle Schnittstelleoder über den Diagnostik-Port umprogrammiert werden.
(2023-01)

11

Speisung

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV)
und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung(LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur
Messröhre ist abzusichern. 3)
Versorgungsspannung
an der Messröhre
RippleLeistungsaufnahmeohne Feldbus
DeviceNet, Profibus
EtherCAT, Profinet
Sicherung vorzuschalten 3)
Anschluss elektrisch
3PIx-0xx-x0xx
3PIx-0xx-x1xx
3PIx-0xx-x2xx
3PIx-0xx-x4xx≤2.5 W≤3 W≤4.5 W
1 AT

Kabellänge
RS232C-Betrieb

FCC 68
D-Sub 9-polig, Stifte
D-Sub 15-polig HD, Stifte
D-Sub 15-polig HD,
RS485 INF, Stifte
abgeschirmt,
0.14 mm2/Ader≤100 m≤30 m

Erdkonzept→ "Elektrischer Anschluss"

Messkabel

Vakuumanschluss und
Signalerde

3)

12

Klasse 2 / LPS+15 … +30 V (dc)
≤1 Vppverbunden über 10 kΩ

INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
tina60d1-c(2023-01)

RS232C / RS485C-SchnittstelleÜbertragungsrate
Datenformat

57600 Baud (ab Werk)
binär
8 Daten-Bits
ein Stop-Bit
kein Parity-Bit
kein Handshake→ "Elektrischer Anschluss"
Weitere Informationen zu der RS232C / RS485C-Schnittstelle→  [4].
DeviceNet-Schnittstelle
Spezifikation, Datenformat,
Kommunikationsprotokoll
Schnittstelle physikalischÜbertragungsrate (mit Schalter<RATE> einstellbar)

Knotenadresse (MAC ID)(mit Schalter <ADDRESS>,<MAD>, <LSD> einstellbar)
DeviceNet-Anschluss
Kabel
Kabellänge, Systemverdrahtung→  [10]
CAN-Bus125 kBaud
250 kBaud
500 kBaud (ab Werk)<P> (programmierbar 125 /
250 / 500 kBaud überDeviceNet, →  [5])0 … 63dec (63dec ab Werk)<P> (programmierbar
0 … 63 über DeviceNet,→  [5])Micro-Style, 5-polig, Stifte
5-poliges, abgeschirmtes
DeviceNet-Spezialkabel,→  33, →  [11]gemäß DeviceNet-Spezifikationen, →  [10], [11]Weitere Informationen zur DeviceNet-Schnittstelle →  [5]tina60d1-c(2023-01)

13

Profibus-Schnittstelle
Spezifikation, Datenformat,
Kommunikationsprotokoll
Schnittstelle physikalischÜbertragungsrate
Geräteadresse
lokal (mit hexadezimalen
Schaltern <ADDRESS>,<MAD>, <LSD> einstellbar)
ab Werküber Profibus("ADDRESS" Schalter auf>7Dhex (>125dec)
Profibus-Anschluss
Kabel

Kabellänge, Systemverdrahtung→  [12]RS485≤12 Mbaud (→  [6])00 … 7Dhex (0 … 125dec)
01hex
00 … 7Dhex (0 … 125dec)
D-Sub, 9-polig, Buchsen
abgeschirmtes ProfibusSpezialkabel, →  34,→  [13]
gemäß Profibus-Spezifikationen, →  [12], [13]Weitere Informationen zur Profibus-Schnittstelle →  [6]EtherCAT-Schnittstelle
Spezifikation, Datenformat,
Kommunikationsprotokoll
3PIx-0xx-xxGx
3PIx-0xx-xx8x→  [16], [17]→  [14], [15]Übertragungsrate
Knotenadresse

100 Mbps
eindeutige Identifizierung

EtherCAT-Anschluss

2×RJ45, 8-polig, Dose
Ein- und Ausgang
8-poliges, abgeschirmtes
Ethernet Patchkabel (Qualität CAT5e oder höher)≤100 m

Kabel
Länge

Weitere Informationen zur EtherCAT-Schnittstelle →  [7], [8]14tina60d1-c(2023-01)

Profinet-Schnittstelle
Spezifikation, Datenformat,
Kommunikationsprotokoll→  [14]Übertragungsrate
Knotenadresse

100 Mbps
eindeutige Identifizierung

Profinet-Anschluss

2×RJ45, 8-polig, Dose
Ein- und Ausgang
8-poliges, abgeschirmtes
Ethernet Patchkabel (Qualität CAT5e oder höher)≤100 m

Kabel
Länge

Weitere Informationen zur Profinet-Schnittstelle →  [9].
Werkstoffe gegen Vakuum
Vakuumanschluss
Heizfaden
3PI1 / 6-0xx-xxxx
3PI2 / 7-0xx-xxxx
3PI3 / 8-0xx-xxxx
Vakuumdurchführung
Blende 4)
Weitere Werkstoffe
Inneres Volumen
DN 16 ISO-KF
DN 16 ISO-KF, langes Rohr
DN 16 CF-F
DN 16 CF-R, langes Rohr
DN 25 ISO-KF
4 VCR® weiblich
8 VCR® weiblich
1/8" NPT
Flansch 29×29 mm
4 VCR® 90°, weiblich
7/16-20 UNF
Maximaldruck (absolut)
Berstdruck (absolut)

4)

tina60d1-c

Edelstahl 1.4435
W
Ni
Keramik beschichtet
Glas
Edelstahl 1.4301
Ni, NiFe, Edelstahl 1.4301
4.7 cm3
14.5 cm38 cm314 cm35.5 cm3
5.5 cm3
7 cm3
5.2 cm3
5 cm3
7.9 cm3
5.2 cm3≤5 bar
10 bar

Nur bei DN 16 ISO-KF und DN 16 CF-F.
(2023-01)

15

Zulässige Temperaturen
Betrieb
Vakuumanschluss 5)
langes Rohr 5)
Heizfaden
Lagerung
Relative Feuchte
Jahresmittel
an 60 Tagen
Einbaulage
Verwendung
Verschmutzungsgrad
Schutzart≤65% (nicht kondensierend)≤85% (nicht kondensierend)
beliebignur in Innenräumen,
Höhe bis zu 2000 m NN
2
IP 40

Gewichtohne Feldbus-Schnittstelle
mit Feldbus-Schnittstelle<130 g
230 g … 250 g

5)

16+10 °C … +50 °C≤80 °C≤250 °C<160 °C–20 °C … +65 °C

Bei waagrechtem Einbau. Beim Ausheizen können die technischen
Daten von Messbereich, Genauigkeit und Wiederholbarkeit abweichen.
tina60d1-c(2023-01)

≈65

Abmessungen [mm]

46.3

42.7

DN 25 ISO-KF

36

21.5

28

79.5

45

1/8" NPT

34

4 VCR

8 VCR

130.2

DN 16 CF-R lang

DN 16 CF-F

30.9
130.8

DN 16 ISO-KF lang

31.5

7/16-20 UNF

DN 16 ISO-KF

36.5

14.5

29.2×29.2 mm

24.4
4-VCR 90°
tina60d1-c(2023-01)

17

DeviceNet

Profibus

BUS

ADDRESS
2 4 6 2 4 6
080
8ECA ECA
MSD

67

LSD

56

10.8

67

I/O
ST
DIA

SP2

SP1
ADJ

ADDRESS

BUS

RATE STATUS

NET MOD
LSD

56

MSD

I/O
ST
DIA

SP2

SP1
ADJ

EtherCAT

RS485
67

MSD
LSD RATE
SP2 2
6 2
6
6 2
E

A E

A E

ST

A
ADJ

56

ADDRESSSP1

3 2 1 ON

DIA
BUS

Profinet

18

tina60d1-c(2023-01)

2.1

Beziehung Messsignal – Druck
Messbereich 0.61 … 10 V
Druck p
1E+06

Pa

1E+05
1E+04

mbar

1E+03

Torr

1E+01
1E+00

Fehler

1E+02

1E–01

O

1E–02
1E–03
1E–04
1E–05

0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5
0.61

Messsignal U [V]p = 100.778(U-c)
gültig im BereichU = c +1.286log10 p

5×10 mbar <p< 1000 mbar

U

p

c

U

p

c

[V]
[V]
[V]
[V]

[mbar][µbar][Torr][mTorr]

6.143
2.287
6.304
2.448

[V]
[V]
[V]

[micron]
[Pa]
[kPa]

2.448
3.572
7.429

wobei

tina60d1-c⇔-5p Druck
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)(2023-01)

19

Messbereich 1.2 … 8.5 V
Druck p
1E+05

Pa

1E+04

mbar

1E+03

Torr

1E+01
1E+00

Fehler

1E+02

1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0
1.2

Messsignal U [V]p = 10(U-c)

5×10-5 mbar <p< 1000 mbar

gültig im Bereich
U

p

c

U

p

c

[V]
[V]
[V]
[V]

[mbar][µbar][Torr][mTorr]

5.5
2.5
5.625
2.625

[V]
[V]
[V]

[micron]
[Pa]
[kPa]

2.625
3.5
6.5

wobei

20

U = c + log10 p⇔

p Druck
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)tina60d1-c(2023-01)

Messbereich 0.375 … 5.529 V
Messsignal U
[V]
0.375
0.376
0.377
0.379
0.384
0.392
0.417
0.455
0.523
0.682
0.876
1.155
1.683
2.217
2.842
3.675
4.206
4.577
4.846
4.945
5.019
5.111
5.224
5.329
5.419
5.495
5.529

tina60d1-c(2023-01)[mbar]<5×10-50.000133322
0.000266645
0.000666612
0.001333224
0.002666447
0.006666118
0.013332237
0.026664474
0.066661184
0.133322368
0.266644736
0.66661184
1.33322368
2.66644736
6.6661184
13.3322368
26.6644736
66.661184
133.322368
266.644736
399.967104
533.289472
666.61184
799.934208
933.256576
1000

Druck p[Pa]
<6.65×10-3
0.013332237
0.026664474
0.066661184
0.133322368
0.266644736
0.66661184
1.33322368
2.66644736
6.6661184
13.3322368
26.6644736
66.661184
133.322368
266.644736
666.61184
1333.22368
2666.44736
6666.1184
13332.2368
26664.4736
39996.7104
53328.9472
66661.184
79993.4208
93325.6576
100000[Torr]<5×10-50.00010.00020.00050.00100.00200.00500.01000.02000.05000.10000.20000.50001.00002.00005.000010.0000
20.0000
50.0000
100.0000
200.0000
300.0000
400.0000
500.0000
600.0000
700.0000
750.0637

21

Gültig im Bereich 0.375 … 2.842 V

p = a + bU + cU2 + dU3 + eU4 + fU5
a–0.02585c

0.04563e–0.04158b

0.03767d0.1151f

0.008737a, b, c, d, e, f

Konstante

wobei

p Druck in Torr
U Messsignal

Gültig im Bereich 2.842 … 4.945 Vp=a + cU + eU2
1 + bU + dU2 + fU3

a0.1031c–0.02322e

0.07229b–0.3986d0.07438f–0.006866a, b, c, d, e, f

Konstante

wobei

p Druck in Torr
U Messsignal

Gültig im Bereich 4.945 … 5.529 Vp=

1 + bU + dU2

a100.624c–20.5623b–0.37679d0.0348656

wobei

22

a + cUp Druck in Torr
U Messsignal

a, b, c, dKonstante

tina60d1-c(2023-01)

Messbereich 1.57 … 8.875 V
Druck p
1E+05

Pa

1E+04

mbar

1E+02

Torr

1E+01
1E+00

Fehler

1E+03

1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5
1.57
8.875

Messsignal U [V]p = 10(U-c)

5×10-5 mbar <p< 1000 mbar

gültig im Bereich
U

p

c

U

p

c

[V]
[V]
[V]
[V]

[mbar][µbar][Torr][mTorr]5.87512.8751
6
3

[V]
[V]
[V]

[micron]
[Pa]
[kPa]

3
3.8751
6.8751wobei

tina60d1-c

U = c + log10 p⇔

p Druck
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)(2023-01)

23

2.2

Gasartabhängigkeit
Angezeigter Druck (Messröhre abgeglichen für Luft)p (mbar)
102

H2

8
6

Ne

He

4
2

101

Luft / Air
O2
CO
N2
CO2
Ar

8
6

Freon 12
Kr

4
2

Xe

100
8
6
4
2

10–1
8
6
4
2

10–2

H2O-Dampf

8
6
4
2

10–3
10–3 24

6

10–2 24

6

10–1 2

4

6

100

2

4

6

101

2

4

6

102

peff (mbar)

Kalibrierfaktoren
gültig für den Pirani-Druckbereich unter 1 mbar

peff = C × angezeigter Druck24

GasartKalibrierfaktor C

GasartKalibrierfaktor C

He
Ne
Ar
Kr
Xe

0.8
1.4
1.7
2.4
3.0

H2
Luft, O2, CO, N2
CO2
Wasserdampf
Freon 12

0.5
1.0
0.9
0.5
0.7

tina60d1-c(2023-01)

3

EinbauGEFAHR
Ausströmendes Prozessmedium
Starke mechanische, chemische oder thermische
Beanspruchung kann Lecks im Messsensor verursachen. Dies kann bei Überdruck im Vakuumsystem zu Gefahren durch ausströmende Prozessmedien führen.
• Starke mechanische, chemische oder thermische Beanspruchung und Überdruck im Vakuumsystem vermeiden.
• Durch geeignete Maßnahmen (z.B. Gaszufuhr
unterbrechen, Absaugung, Lecktest) sicherstellen, dass durch ausströmende Prozessmedien
keine Gefahren oder Schäden entstehen.

3.1

Vakuumanschluss
GEFAHRÜberdruck im Vakuumsystem >1 barÖffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.

tina60d1-c(2023-01)

25

GEFAHRÜberdruck im Vakuumsystem >2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtungen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr standhalten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.

GEFAHR
Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im
Störungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten
Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindungmuss den Anforderungen einer Schutzverbindungnach EN 61010 entsprechen:• CF-, NPT-, UNF- und VCR- Anschlüsse entsprechen dieser Forderung.
• Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender
Spannring zu verwenden.
• Beim ½"-Rohr und beim 29×29 mm Flansch istdiese Anforderung durch geeignete Maßnahmen
zu erfüllen.

Vorsicht
Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

26

tina60d1-c(2023-01)

Vorsicht
Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen.

Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Einbaulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel
nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechtebis stehende Einbaulage zu bevorzugen und eventuelleine Dichtung mit Zentrierring und Filter zu verwenden.
Für einen manuellen Abgleich der Messröhre im eingebauten Zustand ist die Zugänglichkeit zu den Tastern
mit einem Stift zu gewährleisten.
Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem anschließen.

Dichtung mit Zentrierring
Spannelement

oder
Schutzkappe
Dichtung mit Zentrierring
und Filter

Schutzkappe aufbewahren.

tina60d1-c(2023-01)

27

3.2

Elektrischer Anschluss
Die Messröhre muss ordnungsgemäß an der Vakuumapparatur angeschlossen sein (→  25).

GEFAHRDie Messröhre darf nur an Speise- oder Messgeräte angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV)
und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung(LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur
Messröhre ist abzusichern. 6)

Erdschleifen, Potentialunterschiede oder EMV können
das Messsignal beeinflussen. Für beste Signalqualität
beachten Sie bitte die folgenden Einbauhinweise:• Kabel mit Geflechtsschirm und metallischem Steckergehäuse verwenden.
• Den Kabelschirm nur einseitig flächenhaft über das
Steckergehäuse mit der Erde verbinden. Das andere
Schirmende offen lassen.
• Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutzerde verbinden.
• Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte
Signal- und Speisungserde).
• Potentialdifferenz zwischen Speisungserde undGehäuse ≤18 V (Überspannungsschutz)

6)

28

INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
tina60d1-c(2023-01)

3.2.1

Stecker FCC 68, 8-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen.

Elektrischer Anschluss
Pin 1
Speisung
Pin 2
Speisungserde, GND
Pin 3
Messsignal oder
Schwellwerte SP1, SP2
Pin 4
Messröhrenidentifikation
Pin 5
SignalerdePin 6, 8 Relais SP2, Schließer
Gemeinsamer Kontakt (com)
Pin 7, 8 Relais SP1, Schließer
Gemeinsamer Kontakt (com)tina60d1-c(2023-01)

1
8

FCC 688-polig
Stecker29

3.2.2

Stecker D-Sub, 9-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen.

SP1
SP2
4.7Ω

Messsignal

4.7Ω

10k

+24V

+
–

3
4

+
–

18V

Elektrischer Anschluss
Pin 1 Relais SP1, Schließer
Pin 2 n.c.
Pin 3 Speisung
Pin 4 Speisungserde, GND
Pin 5 Messsignal oder
Schwellwerte SP1, SP2
Pin 6 Relais SP1
Gemeinsamer Kontakt (com)
Pin 7 Relais SP2
Gemeinsamer Kontakt (com)
Pin 8 SignalerdePin 9 Relais SP2, Schließer

30

1
6
7
9
5
8

5

9

1

6

D-Sub
9-polig
Buchsenlötseitig

tina60d1-c(2023-01)

3.2.3

Stecker D-Sub HD, 15-polig
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen.
TxD
RxD
SP2
SP1
Messsignal

4.7Ω
4.7Ω

10k

+24V

13
14
12
11
15
10
5
6

+
–

3
4

+
–

18V

Elektrischer Anschluss
Pin 1, 2n.c.
Pin 3Speisung
Pin 4
Speisungserde, GND
Pin 5Signalausgang (Messsignal)
Pin 6
SignalerdePin 7, 8, 9 n.c.
Pin 10Relais SP1 (NO)Pin 11
Relais SP2 (NO)Pin 12
Relais SP2
Gemeinsamer Kontakt (com)
Pin 13
RS232, TxD
Pin 14
RS232, RxD
Pin 15
Relais SP1,
Gemeinsamer Kontakt (com)tina60d1-c(2023-01)

5
1

10
15
11
6

D-Sub HD
15-polig
Buchsenlötseitig

31

3.2.4

Stecker D-Sub HD, 15-polig, RS485 INF
Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Messkabel anschließen.

Elektrischer Anschluss
Pin 1
RS485 B+
Pin 2
RS485 A–
Pin 3
Speisung
Pin 4
Speisungserde, GND
Pin 5Signalausgang (Messsignal)
Pin 6
SignalerdePin 7, 9 Reserviert
Pin 8
RS485 GND
Pin 10 Relais SP1 (NO)Pin 11 Relais SP2 (NO)Pin 12 Relais SP2
Gemeinsamer Kontakt (com)
Pin 13 Relais SP2 (NC)Pin 14 Relais SP1 (NC)Pin 15 Relais SP1,
Gemeinsamer Kontakt (com)
32

10
15

5
1

11
6

D-Sub HD
15-polig
Buchsenlötseitig

tina60d1-c(2023-01)

3.2.5

Stecker DeviceNet
Falls kein DeviceNet-Kabel vorhanden ist, ein Kabel gemäß
folgendem Schema herstellen. DeviceNet-Kabel anschließen.
1
2

4
3

Pin 1
Pin 2
Pin 3
Pin 4
Pin 5

Micro-Style, 5-polig,(DeviceNet) Buchsen, lötseitig

5

Drain
Speisung
Speisungserde
CAN_H
CAN_L

+15 … +30 V (dc)
GND

DeviceNet Kabel

tina60d1-c(2023-01)33

3.2.6

Stecker Profibus
Falls kein Profibus-Kabel vorhanden ist, ein Kabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Profibus-Kabel anschließen.
1

5

D-Sub, 9-polig, Stifte, lötseitig
6

Pin 1, 2
Pin 3
Pin 4
Pin 5
1)
2)

9

nicht anschließen
RxD/TxD-P
CNTR-P 1)
DGND 2)VP 2)nicht belegt
RxD/TxD-N

Wird nur bei Verwendung von optical link-Modulen angeschlossen.
Wird nur bei Endgeräten im Profibussystem zum Leitungsabschluss
benötigt (→  [13]).

Profibus Kabel

34

Pin 6
Pin 7, 9
Pin 8

Sensor Kabel

tina60d1-c(2023-01)

3.2.7

Stecker EtherCAT
Falls keine EtherCAT-Kabel vorhanden sind, Kabel gemäß
folgendem Schema herstellen. EtherCAT-Kabel anschließen.
FCC68, 8-polig, lötseitig
8

1

Pin 1
TD+
Sendedaten +Pin 2
TDSendedaten Pin 3
RD+
Empfangsdaten +Empfangsdaten Pin 6
RDPin 4, 5, 7 und 8: nicht belegt

tina60d1-c(2023-01)35

3.2.8

Stecker Profinet
Falls keine Profinet-Kabel vorhanden sind, Kabel gemäß
folgendem Schema herstellen. Profinet-Kabel anschließen.
FCC68, 8-polig, lötseitig
8

1

Pin 1
TD+
Sendedaten +Pin 2
TDSendedaten Pin 3
RD+
Empfangsdaten +Empfangsdaten Pin 6
RDPin 4, 5, 7 und 8: nicht belegt

36

tina60d1-c(2023-01)

4

Betrieb
Nach dem Anlegen der Speisespannung steht am elektrischen
Anschluss das Messsignal zur Verfügung (→ "Elektrischer
Anschluss).
Eine Stabilisierungszeit von mindestens 10 Minuten ist zu beachten. Die Messröhre sollte unabhängig vom anliegenden
Druck immer eingeschaltet bleiben.
Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Langzeitbetrieb und
Verschmutzung können zu einer Nullpunktverschiebung führen
und periodisch eine Nullpunkteinstellung erfordern Zusätzlich
empfehlen wir, nach jedem Wiedereinbau einen Nullpunkt- und
ATM-Abgleich durchzuführen (Messröhre abgleichen →  57).

4.1

Anzeigen
Leuchtdioden (LEDs)ST
DIA SP2

Status

ADJ

LED

Zustand

Bedeutung

<ST>

aus
leuchtet grün
leuchtet oder
blinkt rot
leuchtet grün
ausleuchtet grün
ausKeine Versorgungsspannung
Messmodus

<SP1>
<SP2>

tina60d1-c

SP1(2023-01)

Fehler (→  60)
Relais SP1 geschlossen
Relais SP1 offen
Relais SP2 geschlossen
Relais SP2 offen
37

Flüssigkristallanzeige (LCD)

LCD

Bedeutungausleuchtet grün
leuchtet rot

Keine Versorgungsspannung
Mess- / Parametermodus
Fehler

Die Anzeige kann über den Diagnostik-Port um 180 °gedreht werden.
In Betrieb nehmen

Nach dem Anlegen der Speisespannung erscheint kurz die Softwareversion.

38

tina60d1-c(2023-01)

Messmodus

tina60d1-c(2023-01)

39

Parametermodus

Schaltfunktionen <S>
Nach Drücken des Tasters <SP1>
oder <SP2> wird der entsprechende
Schwellwert angezeigt. Die jeweilige
Relais-Anzeige blinkt.

Schwellwert
Fehleranzeige (Fehlerbehebung →  60)

Pirani-Sensorfehler

EEPROM-Fehler

Sensor-Fehler40

tina60d1-c(2023-01)

4.2

Gasartabhängigkeit
Das Messsignal ist gasartabhängig. Der Messwert gilt für
trockene Luft, O2, CO und N2. Für andere Gase ist er umzurechnen (→ "Technische Daten").
Wird die Messröhre mit einem INFICON-Messgerät betrieben,
kann für diese Fälle ein Kalibrierfaktor zur Korrektur des angezeigten Messwerts eingegeben werden (→  des entsprechenden Messgeräts).

4.3

Schaltfunktionen SP1, SP2
Die zwei Schaltpunkte sind auf einen beliebigen Druck im ganzen Messbereich der Messröhre einstellbar. Für jeden Schaltpunkt steht ein Relais zur Verfügung.
Der jeweils aktuelle Schwellwert• kann über den Diagnostik-Port gelesen und geschrieben
werden• steht nach Drücken des Tasters <SP1> oder <SP2> am
Messsignalausgang an Stelle des Drucksignals zur Verfügung, kann mit Hilfe eines Voltmeters gemessen werden undwird im LCD angezeigt• kann über die DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT-, Profinet- und
RS485-Schnittstelle gelesen und geschrieben werden.

Schaltverhalten und Hysterese
Das Schaltverhalten und die Hysterese des jeweiligen Schaltpunktes können programmiert werden (→  44).
Low Trip Point (ab Werk)
Ist der Druck im Vakuumsystem niedriger als der eingestellte
Schwellwert, leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>)
und das entsprechende Relais ist geschlossen.

tina60d1-c(2023-01)

41

Messsignal(Druck p)

ert
Messw

Schaltpunkt

Hysterese(10% des Schwellwertes)
Schwellwert

Zeit t
Aus

Ein

Aus

Die Schaltpunkte SP1 und SP2 sind ab Werk an der unteren
Messbereichsgrenze eingestellt, sodass sie nicht schalten.
High Trip Point
Ist der Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte
Schwellwert, leuchtet das jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>)
und das entsprechende Relais ist geschlossen.
Messsignal(Druck p)

Schwellwert

Schaltpunkt

Hysterese(10% des Schwellwertes)

Messw
e rt
Zeit t
Aus

42

Ein

Aus

tina60d1-c(2023-01)

High & Low Trip Point
Dem jeweiligen Schaltpunkt ist gleichzeitig ein High Trip Point
und ein Low Trip Point zugeordnet. Ist beim High Trip Point der
Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte Schwellwert,
leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>) und das entsprechende Relais ist geschlossen. Ist beim Low Trip Point der
Druck niedriger als der eingestellte Schwellwert, leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>) und das entsprechende Relais
ist geschlossen.
Messsignal(Druck p)

Schwellwert
Hysterese(10% des Schwellwertes)

Schaltpunkt

High Trip Point

Hysterese(10% des Schwellwertes)
Schwellwert

Schaltpunkt
Low Trip Point

Zeit t
Aus

Ein

Aus

Ein

Aus

Der jeweilige Schwellwert kann nur programmiert
werden über• den Diagnostik-Port (→  [4])• die DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT-, Profinet- und
RS485-Schnittstelle (→  [4], [5], [6], [7], [8], [9]).

tina60d1-c(2023-01)43

4.3.1

Einstellen der Schwellwerte SP1, SP2
Das Schaltverhalten und die Hysterese des jeweiligen
Schaltpunktes können nur programmiert werden über• den Diagnostik-Port (→  [4])• die DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT-, Profinet- und
RS485-Schnittstelle (→  [4], [5], [6], [7], [8], [9]).
Der Schwellwert des jeweiligen Schaltpunktes kanneingestellt werden über• den jeweiligen Taster an der Messröhre• den Diagnostik-Port (→  [4])• die DeviceNet-, Profibus-, EtherCAT-, Profinet- und
RS485-Schnittstelle (→  [4], [5], [6], [7], [8], [9]).
Ist einem Schaltpunkt gleichzeitig ein High Trip Point
und ein Low Trip Point zugeordnet, kann nur der Low
Trip Point mit dem jeweiligen Taster eingestellt werden.

GEFAHR
Fehlfunktion
Falls mit dem Signalausgang Prozesse gesteuert
werden, ist zu beachten, dass durch Drücken eines
Tasters <SP> das Messsignal unterbrochen und
am Messsignalausgang statt dessen der entsprechende Schwellwert ausgegeben wird. Dies kannzu Fehlfunktionen führen.
Taster <SP> nur drücken, wenn gewährleistet ist,
dass keine Fehlfunktion ausgelöst wird.
Schwellwert SP1 mit Taster einstellen Taster <SP1> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) drücken undhalten: Die Messröhre wechselt in den Schaltfunktionsmodus und gibt am Messsignalausgang bzw. auf dem LCD
während 5 s den aktuellen Schwellwert aus und das jeweilige <S> in der Anzeige blinkt.

44

tina60d1-c(2023-01)

Danach ändert sich die Schwellwerteinstellung Richtung
obere Einstellgrenze, bis der Taster losgelassen wird oder
die Einstellgrenze erreicht ist.

Taster gedrückt halten

 Taster <SP1> erneut drücken:
Feineinstellung
innerhalb 0...1 s:

Schwellwert ändert um eine Einheit

Richtungswechsel
innerhalb 2...3 s:

Schwellwerteinstellung ändert ihre
Richtung Taster <SP1> länger als 5 s nicht mehr drücken: Der

Schwellwert wird gespeichert und die Messröhre kehrt inden Messmodus zurück.
Der obere Schwellwert liegt ab Werk beim Low Trip
Point um 10% höher, beim High Trip Point um 10%
tiefer (Hysterese).
Wird nach dem Umprogrammieren der Hysterese derjeweilige Taster <SP1> oder <SP2> gedrückt, wird die
entsprechende Hysterese auf Werkseinstellung (10%)
zurückgestellt.

tina60d1-c(2023-01)

45

Schwellwert SP1 programmieren
Programmierbare Parameter:(→  [4], [5], [6], [7], [8], [9])Low Trip Point
Low Trip Enable
Low Trip Point Hysteresis
High Trip Point
High Trip Enable
High Trip Point Hysteresis
Setpoint Mode

Schwellwert SP2 einstellen
Der Einstellvorgang für SP2 entspricht demjenigen von SP1.

46

tina60d1-c(2023-01)

4.4

Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle)Über den Diagnostik-Port <DIA> können parallel der Messwert
und alle Statusinformationen ausgelesen sowie alle Einstellfunktionen vorgenommen werden (→  [4]).
→ "Zubehör"

tina60d1-c(2023-01)

47

4.5

DeviceNet-Betrieb
Vorsicht
Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die DeviceNet-Messröhre mit der
RS232C-Schnittstelle zu betreiben, führt zu fehlerhaften Daten und Störungen der Datenübertragung.
Ein Betrieb dieser Messröhre mit der RS232CSchnittstelle ist nicht zulässig.
Die Messröhre muss vor der Inbetriebnahme im DeviceNet konfiguriert werden. Dies geschieht mit einem Konfigurations-Toolund der gerätespezifischen EDS-Datei (Electronic Data Sheet)
im Integer- oder Real-Format. Diese Software kann von unserer
Website heruntergeladen werden (www.inficon.com).
Produkt

ProduktCode

PSG55x21

EDS-Datei
PSGX-PC21 Int.eds
PSGX-PC21 Real.eds

Knotenadresse einstellen
Die Knotenadresse (0 … 63dec) muss mit den
Schaltern <ADDRESS>, <MSD> und <LSD>
eingestellt werden (ab Werk 63dec). Dieser Wert
wird bei der Initialisierung der Messröhre vonder Firmware abgefragt. Weicht dieser Wert vondem gespeicherten Wert ab, wird der neue Wert
im NVRAM gespeichert. Falls eine Adresse größer als 63 eingestellt wurde, gilt der bereits gespeicherte Wert als Adresse.
In Position <P> ist die Knotenadresse überDeviceNet programmierbar (→  [5]).

48

tina60d1-c(2023-01)

2

Beispiel: Knotenadresse = 63:

6
P
MSD

4

LSD

Übertragungsrate einstellen
Die Übertragungsrate lässt sich mit dem Schalter<RATE> auf 125 (<1>), 250 (<2>) oder 500 kBaud(<5>) einstellen (ab Werk 500 kBaud).
In der Position <P> ist die Übertragungsrate überDeviceNet programmierbar (→  [5]).
RATE
2Beispiel: Übertragungsrate = 250 kBaud:

Messwerte übertragen
Gemäß verwendetem Feldbus-Standard darf die Messröhre erst
dann Messwerte übertragen, wenn sie vom Master dazu autorisiert wurde.
Nach der Inbetriebnahme gelangt die Messröhre in den Status
IDLE (falls kein Fehler vorliegt) und an Stelle des Messwertes
wird der im Safe State festgelegte Wert übertragen.
Messwerte werden im Status EXECUTING übertragen. Um vom
IDLE in den EXECUTING Status zu gelangen, muss im IDLE
Status ein Start-Befehl ausgeführt oder der I/O-Poll Betrieb gestartet werden.

Status-LED
Zwei LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung
des Röhrenzustandes und des aktuellen DeviceNet-Status.

tina60d1-c(2023-01)

49

"STATUS MOD"(Messröhren-Status):
LED

Bedeutungaus
blinkt grün-rot
leuchtet grün
leuchtet rot
blinkt rot

Keine Versorgungsspannung
Selbsttest
Betrieb
Nicht korrigierbarer Fehler
Korrigierbarer Fehler(z. B. fehlende DeviceNet-Speisung)<STATUS NET> (Netzwerk-Status):
LED

Bedeutungaus

Messröhre ist nicht online:• Selbsttest ist noch nicht abgeschlossen

blinkt grün

• Keine Speisung, → "Status MOD"
Messröhre ist online, hat aber keine Verbindung:• Messröhre hat den Selbsttest beendet,
ist online, hat aber keine Verbindung zu
anderen Knoten

leuchtet grün
blinkt rot
leuchtet rot

50• Messröhre ist keinem Master zugewiesen
Messröhre ist online und die notwendigen
Verbindungen bestehen
Eine oder mehrere Ein-/ Ausgabeverbindungen sind im "Time-Out"-Status
Kommunikationsfehler. Die Messröhre hat
einen Fehler entdeckt, der eine Kommunikation über das Netzwerk nicht zulässt (z.B.
eine Knotenadresse (MAC ID) zweimal vorhanden, oder "Bus-off")

tina60d1-c(2023-01)

4.6

Profibus-Betrieb
Vorsicht
Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die Profibus-Messröhre mit der
RS232C-Schnittstelle zu betreiben, führt zu fehlerhaften Daten und Störungen der Datenübertragung.
Ein Betrieb dieser Messröhre mit der RS232CSchnittstelle ist nicht zulässig.
Der Betrieb der Messröhre am Profibus erfordert bei der übergeordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre
spezifischen Stammdatei (GSD-Datei). Diese Datei kann vom
Internet heruntergeladen werden (www.inficon.com).

Gerätedresse einstellen (ab Werk 01hex)
Die eindeutige Identifikation der Messröhre am Profibus erfordert
die Zuweisung einer Geräteadresse.
ADDRESS
2 4 6 2 4 6
8080
ECA ECA
MSD

LSD

Geräteadresse 0 … 125dec

Diese wird in hexadezimaler Form (00 … 7Dhex)
mit den Schaltern <MSD> und <LSD> eingestellt. Sie kann nicht über Profibus geändert
werden.

68EBeispiel: Geräteadresse = 7Dhex:

tina60d1-c(2023-01)

MSD

C
LSD

51

Geräteadresse >7Dhex (>125dec)

Die Messröhre startet mit der Adresse 126dec. Sie kann überProfibus geändert werden ("Set slave address", →  [6]).
Zusätzlich kann mit dem Attribut "NO_ADD_CHG" festgelegt
werden, ob über Profibus weitere Adressänderungen zulässigsind.
Die Adresse und das Attribut werden nichtflüchtig gespeichert.
Will man diese ändern, muss die Messröhre zuerst mit einer
Adresseinstellung <126dec gestartet werden. Dabei werden die
gespeicherte Adresse und das Attribut gelöscht.

Messwerte übertragen
Gemäß verwendetem Feldbus-Standard darf die Messröhre erst
dann Messwerte übertragen, wenn sie vom Master dazu autorisiert wurde.
Nach der Inbetriebnahme gelangt die Messröhre in den Status
IDLE (falls kein Fehler vorliegt) und an Stelle des Messwertes
wird der im Safe State festgelegte Wert übertragen.
Messwerte werden im Status EXECUTING übertragen. Um vom
IDLE in den EXECUTING Status zu gelangen, muss im IDLE
Status ein Start-Befehl ausgeführt oder der zyklische Datenaustausch gestartet werden.

52

tina60d1-c(2023-01)

4.7

EtherCAT-Betrieb
Vorsicht
Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die EtherCAT-Messröhre mit der
RS232C-Schnittstelle zu betreiben, führt zu fehlerhaften Daten und Störungen der Datenübertragung.
Ein Betrieb dieser Messröhre mit der RS232CSchnittstelle ist nicht zulässig.
Der Betrieb der Messröhre mit EtherCAT erfordert bei der übergeordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre
spezifischen Stammdatei (ESI-Datei). Diese Datei kann vonunserer Website heruntergeladen werden (www.inficon.com).

Spezifische Gerätedresse ändern (ab Werk 00hex)
Während der Initialisierung liest die Gerätefirmware die am
Gerät eingestellte Adresse. Diese Adresse wird als spezifische
Geräteidentifikation an den Master übertragen.
24 6 24 6 24 6
8
80
0
80
E A E A E A

Die Spezifische Gerätedresse wird inhexadezimaler Form (00 … FFFhex) mit
den Schaltern <x100>, <x10> und <x1>
eingestellt.

Beispiel: Geräteadresse = 0xDDD (dec 3549):
0x100 * 0xD (dec 3328) + 0x10 * 0xD (dec 208) + 0x1 * 0xD(dec 13)

tina60d1-c(2023-01)53

Status-LED
LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung desRöhrenzustandes und des aktuellen EtherCAT-Status (→  [7],
[8]).

4.8

Profinet-Betrieb
Vorsicht
Datenübertragungsfehler
Der Versuch, die Profinet-Messröhre mit der
RS232C-Schnittstelle zu betreiben, führt zu fehlerhaften Daten und Störungen der Datenübertragung.
Ein Betrieb dieser Messröhre mit der RS232CSchnittstelle ist nicht zulässig.
Der Betrieb der Messröhre mit Profinet erfordert bei der übergeordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre
spezifischen Stammdatei (GSDML-Datei). Diese Datei kann vonunserer Website heruntergeladen werden (www.inficon.com).

Status-LED
LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung desRöhrenzustandes und des aktuellen Profinet-Status (→  [9]).

Gerätename
Um mit einem Profinet-Gerät kommunizieren zu können, mussdem Gerät zuerst ein Name zugewiesen werden.

54

tina60d1-c(2023-01)

5

AusbauGEFAHR
Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.

Vorsicht
Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten.

Vorsicht
Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon
mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen.

 Vakuumsystem belüften.
tina60d1-c(2023-01)

55

 Messröhre außer Betrieb setzen.
 Arretierungsschraube(n) lösen und Messkabel ausziehen.
 Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutzkappe aufsetzen.

Schutzkappe56

tina60d1-c(2023-01)

6

Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzungoder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B. Heizfaden), fallen nicht unter die Gewährleistung.
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung,falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten
selber ausführen.

6.1

Messröhre abgleichen
Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen. Langzeitbetrieb und
Verschmutzung können zu einer Nullpunktverschiebung führen
und periodisch eine Nullpunkteinstellung erfordern. Zusätzlich
empfehlen wir, nach jedem Wiedereinbau einen Nullpunkt- und
ATM-Abgleich durchzuführen.
Nullpunkteinstellung bei den gleichen, konstanten Umgebungsbedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei derdie Messröhre normalerweise verwendet wird.
Die Messröhre wird auf Standardwerte abgeglichen, kann aberauch auf andere Druckwerte eingestellt werden. Dies bedingt
jedoch, den exakten Druckwert zu kennen (Referenzmessung).

 Eventuell eingesetzte Dichtung mit Zentrierring und Filter
auf Verschmutzung prüfen und nötigenfalls ersetzen(→ "Ausbau").

 Messröhre in Betrieb nehmen und mindestens 10 Minuten
bei Atmosphärendruck betreiben.

tina60d1-c(2023-01)

57

 Für den ATM-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift (max.
ø1.1 mm) kurz drücken: Der Pirani-Sensor gleicht auf
1000 mbar (Standard) ab.

ATM
HV Vakuumsystem auf p <<10 mbar evakuieren, anschlie-5ßend mind. 2 Minuten warten.

 Für den HV-Abgleich Taster <ADJ> mit einem Stift drü-cken: Die Messröhre gleicht auf 5×10-5 mbar (standard) ab.
HV-Abgleich auf anderen Druck →  [4].

Wird am Messsignalausgang oder im LCD der Druck
4.99×10-5 mbar ausgegeben, war der Abgleich erfolgreich.
Andernfalls den Abgleich wiederholen.

58

tina60d1-c(2023-01)

6.2

Sensor austauschen
Der Sensor kann bei starker Verschmutzung oder Defekt ersetzt
werden.

Voraussetzung
Messröhre ausgebaut (→  55).

 Innensechskantschrauben herausschrauben und Sensor
ohne Drehbewegung entfernen.

2 mm

 Ersatzsensor ohne Drehbewegung aufsetzen und festschrauben.

tina60d1-c(2023-01)

59

6.3

Fehlerbehebung
Ist ein Fehler aufgetreten, empfehlen wir, die Versorgungsspannung auszuschalten und nach 5 s wieder
einzuschalten.

StörungMögliche Ursache

Behebung

Messsignal
dauernd ≈0 V
<ST> leuchtet rot

Messkabel defekt oder nicht
korrekt angeschlossen

Messkabel prüfen

Speisung fehlt

Speisung einschalten

FehlerFehler beheben

Messröhre in undefiniertem
ZustandMessröhre ausschalten undnach 5 s wieder einschalten

Pirani-Sensor defekt

Sensor austauschen(→  59)

Elektronikeinheit nicht korrekt
auf Sensor aufgesetzt

Verbindung Elektronikeinheit - Sensor prüfen

FAIL EEPROM

EEPROM-Fehler

Messröhre ausschalten undnach 5 s wieder einschalten

FAIL SENSOR

Elektronikeinheit mit Sensor
inkompatibel

FAIL PIR1<ST> leuchtet rot<ST> blinkt rot

Messröhre austauschen<ST> leuchtet rot

Sensor austauschen(→  59)
Messröhre austauschen

60

tina60d1-c(2023-01)

Fehlerdiagnose am Sensor (Pirani Heizfaden)
Wird die Ursache einer Störung im Sensor selber vermutet, lässt
sich mit einem Ohmmeter zumindest eine grobe Diagnosedurchführen.
Der Sensor muss für den Test von der Elektronikeinheit getrennt
werden (→  59).
Mittels Ohmmeter kann nun folgende Messung an den Kontaktstiften des Sensors durchgeführt werden.

Mögliche Ursache

Sensor
PSG550 (W)PSG554 (W)

40 ± 1 [Ω]>>40 Ω

Verschmutzung<<40 Ω

Verschmutzung∞
PSG552 (Ni)

35 ± 1 [Ω]Fadenbruch>>35 Ω

Verschmutzung<<35 Ω

Verschmutzung∞

Fadenbruch

Behebung
Alle nach der obigen Methode festgestellten Sensor-Fehler erfordern den Austausch des Sensors (→  59).

tina60d1-c(2023-01)

61

7

Produkt zurücksenden
WARNUNG
Versand kontaminierter Produkte
Kontaminierte Produkte (z.B. radioaktiver, toxischer, ätzender oder mikrobiologischer Art) können
Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei
von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunternehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung *) beilegen.
*)

Formular unter www.inficon.com

Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte
werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kostenpflichtig zurückgesandt.

62

tina60d1-c(2023-01)

8

Produkt entsorgen
GEFAHR
Kontaminierte Teile
Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen.
Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeitenüber eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang
mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmeneinhalten.

WARNUNG
Umweltgefährdende Stoffe
Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Umweltschäden verursachen.
Umweltgefährdende Stoffe gemäß den örtlichen
Vorschriften entsorgen.

Unterteilen der Bauteile
Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in folgende Kategorien zu unterteilen:• Kontaminierte Bauteile
Kontaminierte Bauteile (radioaktiv, toxisch, ätzend, mikrobiologisch, usw.) müssen entsprechend den länderspezifischen
Vorschriften dekontaminiert, entsprechend ihrer Materialartgetrennt und entsorgt werden.
• Nicht kontaminierte Bauteile
Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen
und der Wiederverwertung zuzuführen.

tina60d1-c(2023-01)

63

9

Zubehör
Bestellnummer
Zentrierring mit Feinfilter DN 16 ISO-KF
Kommunikationsadapter (2 m) 7)

7)64

211-097
303-333

Die Diagnose-Software (Windows NT, XP) kann von unserer Website
herunter geladen werden.
tina60d1-c(2023-01)

10Ersatzteile
Bestellen Sie Ersatzteile immer mit:
• allen Angaben gemäß Typenschild• Beschreibung und Artikelnummer
Sensor für Messröhre mit Wolfram-Heizfaden
3PI1-0x1-xxxx
3PI6-0x1-xxxx
3PI1-0x2-xxxx
3PI6-0x2-xxxx
3PI1-0x4-xxxx
3PI6-0x4-xxxx
3PI1-0x5-xxxx

PSG550

3PI6-0x5-xxxx
3PI1-0x6-xxxx
3PI6-0x6-xxxx
3PI1-0xD-xxxx
3PI6-0xD-xxxx
3PI1-0xE-xxxx
3PI6-0xE-xxxx
3PI1-0xF-xxxx
3PI6-0xF-xxxx
3PI1-0xK-xxxx
3PI6-0xK-xxxx
3PI1-0xM-xxxx
3PI6-0xM-xxxx
3PI1-0xN-xxxx
3PI6-0xN-xxxx

tina60d1-c(2023-01)

Bestellnummer

DN 16 ISO-KF

355-925

DN 16 ISO-KF, langes Rohr

355-926

DN 16 CF-F

355-927

DN 16 CF-R, langes Rohr

355-928

DN 25 ISO-KF

355-929

4 VCR weiblich

355-932

8 VCR weiblich

355-931

1/8" NPT

355-930

29×29 mm355-934

4 VCR 90° weiblich

355-935

7/16-20 UNF männlich

355-933

65

Sensor für Messröhre mit Nickel-Heizfaden
3PI2-0x1-xxxx
3PI7-0x1-xxxx
3PI2-0x2-xxxx
3PI7-0x2-xxxx
3PI2-0x4-xxxx
3PI7-0x4-xxxx
3PI2-0x5-xxxx
3PI7-0x5-xxxx

PSG552

3PI2-0x6-xxxx
3PI7-0x6-xxxx
3PI2-0xD-xxxx
3PI7-0xD-xxxx
3PI2-0xE-xxxx
3PI7-0xE-xxxx
3PI2-0xF-xxxx
3PI7-0xF-xxxx
3PI2-0xK-xxxx
3PI7-0xK-xxxx
3PI2-0xM-xxxx
3PI7-0xM-xxxx
3PI2-0xN-xxxx
3PI7-0xN-xxxx

66

Bestellnummer

DN 16 ISO-KF

355-936

DN 16 ISO-KF, langes Rohr

355-937

DN 16 CF-F

355-938

DN 16 CF-R, langes Rohr

355-939

DN 25 ISO-KF

355-940

4 VCR weiblich

355-943

8 VCR weiblich

355-942

1/8" NPT

355-941

29×29 mm355-945

4 VCR 90° weiblich

355-946

7/16-20 UNF männlich

355-944

tina60d1-c(2023-01)

Sensor für Messröhre mit Al2O3 beschichtetem
Heizfaden
3PI3-0x1-xxxx
3PI8-0x1-xxxx
3PI3-0x2-xxxx
3PI8-0x2-xxxx
3PI3-0x4-xxxx
3PI8-0x4-xxxx
3PI3-0x5-xxxx
3PI8-0x5-xxxx

PSG554

3PI3-0x6-xxxx
3PI8-0x6-xxxx
3PI3-0xD-xxxx
3PI8-0xD-xxxx
3PI3-0xE-xxxx
3PI8-0xE-xxxx
3PI3-0xF-xxxx
3PI8-0xF-xxxx
3PI3-0xK-xxxx
3PI8-0xK-xxxx
3PI3-0xM-xxxx
3PI8-0xM-xxxx
3PI3-0xN-xxxx
3PI8-0xN-xxxx

tina60d1-c(2023-01)

Bestellnummer

DN 16 ISO-KF

355-947

DN 16 ISO-KF, langes Rohr

355-948

DN 16 CF-F

355-949

DN 16 CF-R, langes Rohr

355-950

DN 25 ISO-KF

355-951

4 VCR weiblich

355-954

8 VCR weiblich

355-953

1/8" NPT

355-952

29×29 mm355-956

4 VCR 90° weiblich

355-957

7/16-20 UNF männlich

355-955

67

Weitere Informationen

68

 [1]

Gebrauchsanleitung
Einkanal-Messgerät VGC401
tinb01d1 deutsch
tinb01e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [2]Gebrauchsanleitung
Zwei- und Dreikanal-Messgerät VGC402, VGC403
tinb07d1 deutsch
tinb07e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [3]Gebrauchsanleitung
Ein-, Zwei- und Dreikanal-Messgerät VGC501, VGC502,
VGC503
tina96d1 deutsch
tina96e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [4]Kommunikationsanleitung
Serielle Schnittstelle RS232C, RS485C
PCG55x, PSG55x
tira59d1 deutsch
tira59e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [5]Kommunikationsanleitung
DeviceNet™ PCG55x, PSG55x
tira58e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [6]Kommunikationsanleitung
Profibus PCG55x, PSG55x
tira56e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [7]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
EtherCAT® PCG55x, PSG55x (ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0)
tira85e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein

tina60d1-c(2023-01)

 [8]

Kommunikationsanleitung
EtherCAT® PCG55x, PSG55x (ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0)
tirb51e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [9]www.inficon.com
Kommunikationsanleitung
Profinet PCG55x, PSG55x
tirb72e1 englisch
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [10] Common Industrial Protocol (CIP™) Ed. 3.5 andDeviceNet™ Adaption of CIP Ed. 1.6 (Open DeviceNet
Vendor Association)

 [11] www.odva.org

Open DeviceNet Vendor Association, Inc. DeviceNet™
Specifications

 [12] IEC 61158 Type 3 elements: Industrial communication

networks – Fieldbus specifications
IEC 61784: Industrial communication networks –Fieldbus profiles

 [13] www.profibus.com

Profibus user organization

 [14] ETG.5003.1 S (R) V1.0.0: Semiconductor Device profile– Part 1: Common Device Profile (CDP) [15] ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0: Semiconductor Device

profile – Part 2080: Specific Device Profile (SDP):
Vacuum Pressure Gauge [16] ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Semiconductor Device profile– Part 1: Common Device Profile (CDP) [17] ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Semiconductor Device

profile – Part 2080: Specific Device Profile (SDP):
Vacuum Pressure Gauge

tina60d1-c(2023-01)

69

ETL-Zertifizierung
RECOGNIZEDCOMPONENTETL LISTED
The products PSG550, PSG552 and PSG554• conform to the UL Standard UL 61010-1• are certified to the CAN/CSA Standard
C22.2 No. 61010-1-12

3103457

70

tina60d1-c(2023-01)

EU-Konformitätserklärung
Hiermit bestätigen wir, INFICON, für die nachfolgenden Produkte
die Konformität zu folgenden Richtlinien:• 2014/30/EU, Abl. L 96/79, 29.3.2014(EMV-Richtlinie; Richtlinie über die elektromagnetische Verträglichkeit)• 2011/65/EU, Abl. L 174/88, 1.7.2011(RoHS-Richtlinie; Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten)Pirani Standard Gauge
PSG550 PSG552 PSG554
NormenHarmonisierte und internationale/nationale Normen sowie
Spezifikationen:• EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit)• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung)• EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC2019(Sicherheitsbestimmungen für Elektrische Mess- und Steuereinrichtungen)• EN 61326-1:2013; Gruppe 1, Klasse B (EMV-Anforderungen fürelektrische Mess- und Steuereinrichtungen)

Hersteller / Unterschriften
INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

tina60d1-c

18. Januar 2023

18. Januar 2023

Dr. Christian Riesch
Head of Development

Marco Kern
Product Manager(2023-01)

71

UKCA-Konformitätserklärung
Hiermit bestätigen wir, INFICON, für die nachfolgenden Produkte
die Konformität zu folgenden Verordnungen:• S.I. 2016/1091, 11.2016(EMV-Verordnung, Verordnung über die elektromagnetische Verträglichkeit)• 2012/3032, 12.2012(RoHS-Verordnung, Verordnung zur Beschränkung der Verwendung
bestimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten)Pirani Standard Gauge
PSG550, PSG552, PSG554
NormenHarmonisierte und internationale/nationale Normen sowie
Spezifikationen:• EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit)• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung)• EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC2019(Sicherheitsbestimmungen für Elektrische Mess- und Steuereinrichtungen)• EN 61326-1:2013; Gruppe 1, Klasse B (EMV-Anforderungen fürElektrische Mess- und Steuereinrichtungen)

Hersteller / Unterschriften
INFICON AG, Alte Landstraße 6, LI-9496 Balzers

72

18. Januar 2023

18. Januar 2023

Dr. Christian Riesch
Head of Development

Marco Kern
Product Manager
tina60d1-c(2023-01)

Notizentina60d1-c(2023-01)

73

Notizen74

tina60d1-c(2023-01)

Notizentina60d1-c(2023-01)

75

Original: Deutsch

LI–9496 Balzers
LiechtensteinTel +423 / 388 3111
Fax +423 / 388 3700
reachus@inficon.com
www.inficon.com