超高真空計用のBPG402-Sx ATM

INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲー
ジ、BPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10から大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。テクノロジーを組合せることによってインストー
ル、セットアップ、統合の複雑さを軽減しました。経済的なパッケー
ジ1台で基準気圧計測ができ、手頃に再現性あるプロセスを実現する、2本の酸化イットリウムコーティングのイリジウムフラメントを備えたBPG402-Sをお選びください。センサ部にオンボード校正データが含まれていることにより、交換時の高い再現性が保証されます。

利点
n

5×10-10 mbar～大気圧(3.8×10-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測

n

優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%n

ピラニインターロック機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止

n

長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント

n

オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもありますn

自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減

n

交換が容易なセンサー部と、オンボード較正データにより高い再現性を保証

n

RoHSコンプライアンス

注文の情報

1

超高真空計用のBPG402-Sx ATM

タイプ

BPG402-S

BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-572

BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-573

BPG402-S DN 40 CF-R

353-571

BPG402-S DN25KF (ディスプレイ無し)

353-570

BPG402-SD DN25KF

353-576

BPG402-SD DN40CF-R

353-577

BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF

353-596

BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R

353-597

BPG402-SE ECAT、DN 25 ISO-KF

353-590

BPG402-SE ECAT、DN 40 CF-R

353-591

BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-578

BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-574

BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-575

交換センサー BPG402/DN25KF

354-494

交換用センサ BPG402/DN40CF

354-495

仕様
タイプ

BPG402-S

測定範囲 (Air、O₂、CO、N₂)

mbar

5×10⁻¹⁰ … 1000

測定範囲 (Air、O₂、CO、N₂)

Torr

3.8×10⁻¹⁰ … 750

精度
10⁻⁸ ～ 10⁻² mbar

% of reading±15% of reading5

再現性
10⁻⁸ ～ 10⁻² mbar
脱ガス (1)
p < 7.2 × 10⁻⁶mbar最大圧力bar (absolute)electron bombardment, max. 3 min
2温度
使用温度 (周囲)°C

0 … +50

保存°C-20 … +70

ベークアウト（電子ユニット
BPG402-S 取外しフランジにおいて）

°C

80

2

超高真空計用のBPG402-Sx ATM

仕様
タイプ

BPG402-S

ベークアウト（電子ユニット °C
BPG402-SL 取外しフランジにおいて）

150

供給電圧

V (dc)+20 … +28

供給電圧

A (dc)≤0.8

アナログ出力信号
出力信号

V

0 … +10

測定範囲

V+0.774 … +10

エラー信号

V

0.1 / 0.3 / 0.5

アナログ出力信号
電圧と圧力の関係

volts per decade

0.75kΩ

10

アナログ出力信号
最小負荷インピーダンス
セットポイントリレー
セットポイント数1

リレー接点n.o., potential free

セットポイントリレー
レンジmbar

1×10⁻⁹ … 100

セットポイントリレー
ヒステリシス% of reading

10V (dc)≤30A (dc)≤0.5

セットポイントリレー
接点定格
セットポイントリレー
接点定格
デジタル機能degas

インターフェース (デジタル) (2)RS232C

エミッションコントロール

automatic / manual via interface

フィラメント

two Yt₂O₃ coated Ir

フィラメントの状態/リレー

LED / relay

電気接続

D-Sub, 15-pin, male

ケーブル長、最大 (3)m (ft.)

接ガス材料

Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel,glass

内部容積 KF / CF

cm³ (in.³)

重量 KF / CFg

保護クラス

3100 (330)超高真空計用のBPG402-Sx ATM

24 (1.46) / 34 (2.1)
450 / 710
IP30

仕様
タイプ

BPG402-S

Profibus DP
ボーレート

kBaud

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

Mbaud

1.5 / 12

Profibus DP
ボーレート
Profibus DP
アドレス

2 switches (address 00 - 127) or network
programmable

デジタル機能read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission
control, degas function, monitor gauge status,filament status, safe state allows definition ofbehavior in case of error, detailed alarm and warn

アナログ機能0 … 10 V analog output pressure indication, two
setpoint relays A + B

セットポイントリレー： セットポイント数

2

セットポイントリレー： リ
レー接点n.o., potential freeProfibus DP 用コネクター

D-Sub, 9-pin, female

CDG 用コネクタ(アナログ出力、供給電圧、セットポイント)

D-Sub, 15-pin, male

Profibus DP
セットポイントリレー： レンジmbar

1×10⁻⁹ … 100

Profibus DP
セットポイントリレー： ヒス
テリシス% of reading

10V (dc)≤30A (dc)≤0.5

Profibus DP
セットポイントリレー： 接点
定格
Profibus DP
セットポイントリレー： 接点
定格
DeviceNet™
プロトコル
MAC ID

4

DeviceNet™, group 2 slave only
2 switches (address 00 - 63) or network
programmable

超高真空計用のBPG402-Sx ATM

仕様
タイプ

BPG402-S

デジタル機能read pressure, select units: Torr, mbar, Pa ; emission
control, degas function , monitor gauge status,filament status , safe state allows definition ofbehavior in case of error , detailed alarm andアナログ機能0 … 10 V analog output pressure indication , two
setpoint relays A + B仕様

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

デバイスタイプ''CG'' for combination gauge

I/O スレーブメッセージング

polling only

セットポイントリレー：セットポイント数

2

セットポイントリレー： リ
レー接点n.o., potential freeDeviceNet™ 用コネクター

Microstyle, 5-pin

BPG 用コネクタ (アナログ出力、供給電圧、セットポイン
ト)D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™
データレートスイッチ

kBaud

125, 250, 500 or network programmable

ケーブル長さ 125 kbps

m (ft.)

500 (1650)

ケーブル長さ 250 kbps

m (ft.)

250 (825)

ケーブル長さ 500 kbps

m (ft.)

100 (330)

mbar

1×10⁻⁹ … 100

DeviceNet™

DeviceNet™
セットポイントリレー： 設定範囲
DeviceNet™
セットポイントリレー： ヒス
テリシス% of reading

10

セットポイントリレー： 接点
定格

V (dc)≤30

DeviceNet™ 用供給電圧

V (dc)+11 … +25

ゲージ用供給電圧

V (dc)+20 … +28

セットポイントリレー： 接点
定格

A (dc)≤0.5

DeviceNet™ 用供給電圧

A (dc)≤0.5

DeviceNet™

DeviceNet™

5超高真空計用のBPG402-Sx ATM

仕様
タイプ

BPG402-S

ゲージ用供給電圧

A (dc)≤0.8

EtherCAT
Protocol EtherCAT

protocol specialized for EtherCAT

通信規格ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device
Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part
2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum
Pressure Gauge

ノードアドレス

Explicit Device Identification

物理層100BASE-Tx (IEEE 802.3)

デジタル機能 EtherCAT

read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission
control, degas function monitor gauge status, filament
status safe state allows definition of behavior in caseof error detailed alarm and warning

処理データ

Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

Mailbox（CoE）

SDO requests, responses and information

EtherCATコネクタRJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

ケーブル

shielded Ethernet CAT5e or higher

EtherCAT
ケーブル長m (ft.)≤100 (330)1) 脱気中の精度低下
2) RS232CまたはVGC40xシリーズコントローラーとFieldbusの同時使用は不可
3) RS232Cのオペレーションは<30m

スペア部品
BPG402-S
交換センサー BPG402/DN25KF

354-494

交換用センサ BPG402/DN40CF

354-4956超高真空計用のBPG402-Sx ATM

アクセサリBPG402-S
BAFFLE for BPG400

353-512Centering ring with baffle DN 25 KF

211-113Power supply BPG400 24VDC

353-511

寸法www.inficon.com

reachus@inficon.com

製品向上のプログラムを続行するため、仕様は通知なく変更されます。
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