Laser patterning equipment

薄膜の高精細加工！！
高速で高品質なパターニングシステム
加工条件の設定・切替が簡単

高精細加工

薄膜レーザパターニングシステム
UV Laser / Green Laser / IR Laser
TLSM-202

For prototype production

TLPS series

For batch production

TLRP series

For wave processing

WWW.takei-ele.co.jp

レーザパターニングプロセスとはガラス基板やフイルム基材の上に成膜された機能性薄膜へ、レーザ光を照射することにより除去加工を行いデバイスとして必要となる回路や素子のパターンを形成するドライプロセスです。 精度良くレーザ光を高速で走査することにより、薄膜の様々なパターン処理を容易に行うことができます。

フォトエッチングと比較して・ 工程数が削減でき設備投資を低減
・ フォトマスクが不要で、PC上でのデータ入力による容易なパターン変更
・ 現像液や腐食液を用いないドライプロセスのため、ランニングコストを低減でき環境負荷を抑制

スクリーン印刷と比較して・ 50μm以下の微細なパターンにも対応
・ パターンに対応した複数のマスクとその維持管理が不要

インクジェットと比較して・ インク化できない材料にも対応
・ 厚さ100nm以下の薄膜のパターニングが可能

用 途
モバイル・タッチパネル

有機ＥＬディスプレイ

自動車●透明電極膜のパターニング●取出電極膜のパターニング●透明電極膜のパターニング●機能膜のトリミング●透明電極膜のパターニング●取出電極膜のパターニング●部品表面処理●マーキングデジタル家電●微細穴あけ●マーキング半導体・太陽電池●薄膜スクライブ●マーキングパターニング例

フイルム上のITO薄膜

ガラス基板上のITO薄膜

フイルム上の銀ペースト

ライン幅：30μm

ライン幅：25μm

ライン幅：25μm■ 近赤外波長から紫外波長までレーザ光源を選択でき様々なアプリケーションに対応■ レーザ光の高速出射制御による自在なパターニング■ 一定したレーザ光走査速度による均一な加工■ デジタルガルバノスキャナと駆動ステージを組み合わせた高精度パターニング■ 研究開発用途から量産用途にいたるまでの３タイプの装置をラインナップ

TLPS－series

量産用 バッチ タイプ(波長355nm/532nm/1064nm)

TLPS series は今までにない高品質なオールインワン微細加工を実現します。 独自の制御技術による高速微細パターニングが可能です。

XY高精度移動式加工テーブルにより最大ワークサイズは500mm×500mmです。
フィルム基材、ガラス基板の両方に対応したシステムです。
熱影響の低減高速均質加工低ランニングコスト

多品種対応

オールインワンだから設置も移動も簡単
必要なものはこの１台に筐体設計不要。レーザ加工ユニット、観察カメラ、操作パソコン、ＸＹ高精度移動式加工テーブル、安全対策などレーザパターニングシステムに必要な機能をコンパクトなボディーに集約しており、導入時や移設時に面倒な筐体設計など別途行う必要はありません。
レーザ加工ユニット

カメラ
制御ソフト
安全対策
光学系ユニット

XY高精度移動式加工テーブル（Max. 500mm×500mm対応）

操作パソコンTLSM－202

研究開発用 コンパクト タイプ(波長355nm/532nm/1064nm)
コンパクト

TLSM-202 は加工品質はそのままで、小さいワークに最適な機能にて小スペースに対応したレーザパターニング装置です。
高精細な加工で研究開発用途の試作に最適です。
簡単操作

小型ワークに最適

コストメリット

高さ約３割コンパクト （ＴＬＰＳ seriesと比較）

幅約３割コンパクト （ＴＬＰＳ seriesと比較）

装置外形寸法１ｍ(W)×１ｍ(D)×１．５ｍ(H)コンパクトだから設置場所を選びません

レーザ加工ユニット
安全対策
光学系ユニット

加工テーブル
微調整機構

操作パソコンTLRP－series

量産用 Ｒｏｌｌ to Ｒｏｌｌ タイプ(波長355nm/532nm/1064nm)
ロールのフィルムに対応

TLRP series はロール to ロールに対応した量産用途のレーザパターニングシステムです。
画像認識によりフィルム基材の伸縮を補正します。

ﾛｰﾙﾌｨﾙﾑ搬送

伸縮補正

大量生産

搬送用サクションロール
Suction roll for web feeding

フイルムの巻出・巻取からレーザ加工ユニットまで全てを搭載
フィルム搬送システム、レーザ加工ユニット、観察カメラ、操作パソコン、加工テーブル、安全対策など
ロールフィルムのレーザパターニングシステムに必要な機能を集約しております。
ＸＹガントリーステージ
レーザ光学系・集塵機
ローダ（巻出）フィルム

アンローダ（巻取）ガントリーステージ

パターニング形状はパソコンで簡単編集
基本操作は３つのステップ 「だれでも」「簡単に」編集できます。

step１

テキスト作成加工したい形状を簡単に編集できます。
操作パソコン画面で直接加工形状の作成ができます。
ＣＡＤで作成したＤＸＦファイルを読み込むこともできます。

step2

加工条件の調整・保存
何度でも同じ仕上げを実現できます。
レーザ加工条件はレーザパワー、加工スピード、周波数の３つの項目を調整しながら設定できます。
一度調整した条件は保存できますので、何度でも同じ仕上がりを実現します。

step
3

加工開始
最適な状態に加工します。
単純なスイッチ操作だけでレーザパターニングを開始します。
レーザパターニング状態をモニタ画面で確認することができます。
（画面イメージ）

オプション
●集塵機

集塵機

集塵した粉じん・ヒュームは集塵機内のフィルタ部に貯めて安全に交換が可能です。

●ローダ／アンローダ装置

周辺装置

装置周辺の搬送設備などＦＡ装置のご相談にもお応えしております。
・移載機による搬送システム
・ロボットによる周辺の搬送システム
・レーザ装置周辺のプロセス装置間搬送システム

加工例

一般的な加工ITO film

等速制御加工

SNW film（ITO filmと同パターンを加工）

CNT film

取出電極部 Ａｇペーストパターニング

Laser patterning equipment仕様
光学系
レーザ種類
ビームモード定格出力繰返し周波数
冷却方式
種別
走査対応エリア（エリア拡大別途相談）
繰返し位置決め精度
レーザ光走査速度
Z軸昇降機構加工位置補正レーザ発振器ガルバノスキャナ

焦点調整
画像カメラ

TLＰＳ series
TLSM-２０２
TLRＰ series
LD励起Nd:YVO4 波長355nm又は、532nm又は、1064nm
シングルモード～5W (λ=355nm), ～20W (λ=532nm), ～20W (λ=1064nm) 0.3W (λ=355nm),2W (λ=532nm),2W (λ=1064nm)～150kHz
空冷方式 or 水冷方式
空冷方式
デジタルエンコーダ式ガルバノスキャナ
100mm×100mm

200mm×200mm±3μrad最大3000mm/sec
サーボモータによるレーザヘッド昇降機能
ワーク固定ステージ昇降機能
1/3CCDカメラ（130万画素） ＰＣによる画像処理

一般仕様

TLＰＳ series

TLSM-２０２
TLRＰ series
三相 AC200V±10%
ブレーカ値 40A(8kVA)
ブレーカ値 10A(1kVA)
ブレーカ値 100A(20kVA)
0.5Mpa 200NL/min
0.5Mpa 20NL/min
0.5Mpa 900NL/min-80kpa 100NL/min-80kpa 50NL/min-67kpa 380NL/min（別途オプション）
23±2℃
70%RH以下 結露無きこと
約1500ｋｇ
約600ｋｇ
約13000ｋｇ
有毒ガス、腐食ガス、水滴、油分、電磁波、振動のない室内
W500mm×D500ｍｍ
W150mm×D150ｍｍ
W500mm×D1500mm
多孔質樹脂 真空吸着
真空ポンプ付属（別置き）
500mm/sec
固定固定（ｶﾞﾝﾄﾘｰ：1000mm/sec)±5μm（各軸単体）
固定テーブル
画像アライメント補正
W1500×D1500×H1988
W1000×D1000×H1420
W9150×D3300×H2400

入力電圧
消費電力（加工中）
供給圧縮空気（工場エアー）
供給真空圧
集塵機・排気使用周囲温度
耐環境
使用周囲湿度装置本体重量
設置条件
加工対象最大ワークサイズ
テーブル
真空源
ワーク吸着
加工テーブル
最大速度
繰返し位置決め精度
装置外形寸法

インポートデータ
TLＰＳ series
PC HDD容量ＯＳ
設定値
ファイル形式

入力内容

TLSM-２０２
TLRＰ series
320G
Ｗｉｎｄｏｗｓ 32bit タッチパネル対応ディスプレイ
レーザ出力、加工速度、繰返し周波数
CAD（DXF)

外形寸法
TLRＰ series※コンパクトサイズも御座います。

1195

1420

TLSM-202

1496

1988

TLＰＳ series

単位：ｍｍ （概略寸法）
1500

1500

10001000

Laser Patterning Equipment
TLPS / TLSM / TLRP
お問い合わせシート（TLPS －series ・ TLSM－202 ・ TLRP－series）
お問合せの際に本シートをご利用ください。

● ご依頼内容について□ お見積希望□ 詳細説明希望□ サンプル加工希望●現状をお聞かせ下さい。
□導入検討中□予算申請用（□興味をもって□その他（月申請））●装置のご希望□TLPS series□TLSM-202□TLRP series□まだ未定□波長532nm□波長1064nm□まだ未定●発振器のご希望□波長355nm●装置の導入ご希望時期□出来るだけ早い時期
ご住所 〒

□１年以内

□まだ未定

－会社名

部署名

役職名

フリガナ

お名前e-mail

お客様へ

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