掲載内容 目次▼ALT TECHNICAL News No.67 January 2009「スキャンビーム用レーザパワーメータ」 ........................ 2▼ALT TECHNICAL News No.68 February 2009 「超小型プロジェクター」 .............................................. 4▼ALT TECHNICAL News No.69 March 2009 「月面の地形を計る」 .......................................................... 6▼ALT TECHNICAL News No.70 April 2009 「航空レーザ測深」 ................................................................ 8▼ALT TECHNICAL News No.71 May 2009 「光切断法」 .......................................................................... 10▼ALT TECHNICAL News No.72 June 2009 「粒子検出センサ」 .............................................................. 13▼ALT TECHNICAL News No.73 July 2009 「ＡＯＭ」 .............................................................................. 15▼ALT TECHNICAL News No.74 August 2009 「光ＭＥＭＳスキャナのドライブ」 ................................. 18▼ALT TECHNICAL News No.75 September 2009 「残留農薬分析」 ........................................................ 20▼ALT TECHNICAL News No.76 October 2009 「主流はどこへ

グリーンレーザ」 ................................ 22▼ALT TECHNICAL News No.77 November 2009 「レーザ加工」 ............................................................. 25▼ALT TECHNICAL News No.78 December 2009 「光 MEMS 検査装置に関して」 ................................. 27

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▼ALT TECHNICAL News No.67 January 2009「スキャンビーム用レーザパワーメータ」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□ ALT TECHNICAL News No.67 January 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
新年、あけましておめでとうございます。
景気の良い話は聞けないお正月でしたが、今年は何とか明るい年にしていきたいと思います。
この欄の担当は長船でしたが、今回から藤田が担当します。
皆様に少しでも役立つようなメールマガジンを配信出来る様に頑張っていきたいと思っております。
本年も宜しくお願いいたします。
●INDEX●
１．スキャンビーム用レーザパワーメータ
２．お知らせ
１）展示会
２）記事掲載※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
ポリゴンミラーを回転させるスキャナですと、ポリゴンミラーを所定の角度に静止させれば、ビーム径、レーザパワーを測定できます。
ところが、光ＭＥＭＳスキャナの場合は、共振させなければスキャンできない為に、スキャンした状態で、ダイナミックにビーム径とレーザパワーを測定しなければなりません。
最近、光ＭＥＭＳスキャナの応用製品が次々と開発されていますので、当社
ではこれらに対応した開発を進めています。
ダイナミックにビーム径を測定する機器としては、ダイナビームとスーパー
ダイナビームを用意しています。
現在ダイナミックにレーザパワーを測定する計測器を開発中です。
スキャン対応の光パワーメータが市販されていますが、スキャン速度に限度があるために高速スキャンの光ＭＥＭＳスキャナでは、測定できません。
高速でレーザパワーを測定すればいいのですが、どれぐらい変動を小さくできるかが鍵になります。
方式としてはサンプルホールドタイプと高速サンプリングタイプがあります
が、前者ではホールド精度、後者では分解能とノイズが問題になります。
スキャンビーム中のレーザパワーでお困りの場合は、一度ご相談を下さい。
(井上)㈱オフィールジャパン センサヘッドカタログ
http://www.ophirjapan.co.jp/lpm/slc-gd_081125.pdf（スキャンビーム対応ヘッドＢＣ２０は、Ｐ６５）㈱ニューオプト ピークパワーメータ
http://www.newopto.co.jp/opm/opm-100bc.pdf
コヒーレント社 パワーメータ
http://www.coherent.co.jp/Products/measure/meter/epm1000.ph
２．お知らせ１）展示会
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下記展示会に出展します。是非ともブースにお立ち寄り下さい。
レーザー＆オプティクス２００９
併催：インターネプコンジャパン
エレクトロテストジャパン
プリント基板ＥＸＰＯ
電子部品商談展
半導体パッケージング技術展
カーエレクトロニクス技術展
２００９年１月２８日（水）－３０日（金）東京ビッグサイト（小間番号東１２－９）
出品：●ＭＥＭＳスキャナ検査装置●スーパーダイナビームＬＳＵ検査システム●レーザ投光ユニット◆公式サイト http://www.laseropt.jp◆e--ガイドブック（和文サイト）
https://www.r-exhibit.jp/inwcar2009/search/jp/cond.asp?
entexhibit=LOP&selexhibit=LOP◆e-ガイドブック（英文サイト）
https://www.r-exhibit.jp/inwcar2009/search/en/cond.asp?
entexhibit=LOP&selexhibit=LOP
２）記事掲載レーザービームプロファイラの特集に記事を掲載いたしました。ご一読お願
いいたします。
「光アライアンス」（日本工業出版社）2009 年 1 月号（P50）
レーザープロファイラ特集「産業界で使用されているレーザープロファイラ」
筆者：エーエルティー㈱高野裕☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。
【本メール内容に関してのお問い合わせ先】
ご購読ありがとうございました。
バックナンバーは当社ホームページに掲載しています
http://www.alt.co.jp
配信の中止、アドレス変更及び本メールに対するご意見ご要望は
info@alt.co.jp
配信元：エーエルティー株式会社〒176-0014 東京都練馬区豊玉南 1-21-10
tel 03-5946-7336 fax 03-5946-7316

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▼ALT TECHNICAL News No.68 February 2009 「超小型プロジェクター」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□ ALT TECHNICAL News No.68 February 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
暦の上では春になりますがまだまだ寒い日が続きますね。
毎年のことですが、この時期インフルエンザに感染する方が急増しています。
現在、WHO ではインフルエンザのパンデミック警戒レベルを 6 段階のうちの 3としているそうです。
警戒レベルの初期ですが、今後急速に変わる場合もあります。
現在公開中の映画にパンデミック（感染爆発）をテーマにしたものがありま
すが、映画のようにならないように、警戒だけで済む事を祈りたいですね。
今後も自分だけじゃなくて、周りの人のためにもマスク、うがい、手洗いなどの対策をすることが大事ですね。
（藤田）●INDEX●
１．超小型プロジェクター
２．お知らせ１）展示会ご来場御礼※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
1.超小型プロジェクター
今回は超小型プロジェクターを紹介させていただきます。
昨年頃から、米国以外にもアジア・欧米の各企業がプロジェクターの軽量化に乗り出し、凌ぎを削っています。
現在では、パーソナルプレーヤーや携帯電話などのモバイル機器に接続して使用する手のひらサイズの超小型プロジェクターが注目を集めています。
現在実用化されているのは３つの方式があります。
１つは LCOS の方式で超小型プロジェクターは光学モジュール(赤・緑・青色)とメイン基板で構成されています。
まず、光源に LED を使用するため、発する熱を効率良く放熱するため取付
フィン、放熱ファンのそばには筐体に通気口を設けて熱拡散させる工夫しています。
表示素子には LCOS を用いています。LCOS とは、シリコン基板の上に液晶を形成した液晶表示パネルのこと。光を反射または透過させて表示させる方式です。
もう１つは DLP テクノロジーで中核には DLP チップという光半導体があります。
CMOS 半導体上に独立して 動くミラーが 48 万～200 万個敷き詰められています。
この DLP チップにＬＥＤやレーザ光をあてて、鏡に反射した光にレンズを通して投影する方式です。
小型プロジェクターではこの DLP チップが 1 個使用されています。
これらはデバイスの分解能が画像分解能になりますので現在ＶＧＡ程度です。
最後は光源に小型で高出力、高効率な半導体レーザーを用い、微小な MEMS のミラーでレーザー光を２次元に走査する方式です。
この方式では高分解能でフォーカスフリーが可能になります。
多種多様の製品が紹介され国内でも一部の製品は販売されていますが、今後も、高分解能化、高輝度化と低コストの超小型プロジェクターの動向に期待したいです。
(富樫）
LED レーザープロジェクター：4 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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http://www.itmedia.co.jp/bizid/articles/0809/30/news078.html
超小型カラープロジェクター向け高出力半導体レーザー：
http://www.phileweb.com/news/d-av/200901/20/22873.html
MEMS レーザープロジェクタモジュール
http://www.technohands.co.jp/blog/40
LOCS モバイルプロジェクター：http://av.watch.impress.co.jp/docs/20081114/3m.htm
DLP チップ：
http://web.tij.co.jp/jrd/dlp/docs/technology/index.htm
２．お知らせ１）展示会ご来場御礼
下記展示会に出展し、多数の方のご来場を戴きありがとうございました。
戴きましたお問い合わせやご要望を今後ともフォローさせていただきます。
よろしくお願いいたします。
レーザー＆オプティクス２００９
２００９年１月２８日（水）－３０日（金）東京ビッグサイト
出品：●ＭＥＭＳスキャナ検査装置●スーパーダイナビームＬＳＵ検査システム●レーザ投光ユニット☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。
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▼ALT TECHNICAL News No.69 March 2009 「月面の地形を計る」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□ ALT TECHNICAL News No.69 March 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
徐々に暖かくなってきましたが、まだまだ寒さの厳しい日も多く、過ごしや
すい陽気にはなかなかなりませんね。さらに、花粉の飛散量が増え、花粉症の方にとっては、またつらい季節がやってきてしまったと思われるかもしれません。
さて、いよいよ今月５日から第２回ＷＢＣの１次予選がスタートするということで、盛り上がってきていますね。前回大会は、優勝することができまし
たが、今回は、はたしてどうなるでしょうか。
大会に向けての強化試合でも好調を保っているようですし、この調子で本大会も活躍していただき、是非とも連覇してほしいですね。
ＷＢＣ日本代表の健闘を祈りましょう。
（藤田）●INDEX●
１．月面の地形を計る
２．お知らせ１）展示会※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
１．月面の地形を計る
２００７年９月に宇宙航空研究開発機構（ＪＡＸＡ）から打ち上げられた月周回衛星”かぐや”には色々な観察機器が搭載されています。
その中で月の地形を計るレーザ高度計（ＬＡＬＴ）について紹介します。
主な性能は測定距離：５０～１５０Ｋｍ、測定周期：１秒、測定精度：５ｍです。
”かぐや”のホームページには測定された月の地図が載っていますが、同じく搭載されている月レーダサウンダーとの併用により内部構造も測定しています。
これにより月は球形では無く､かつ重心が偏っているため常に地球に対して同じ面が向いていることが明らかになりつつあります。
使用されているレーザは YAG の１０６４ｎｍ、１００ｍＪでパルス幅が１７ｎｓですので実にピークパワー６ＫＷになります。
これを口径７３ｍｍのコリメータレンズで０．４ｍｒａｄで放射しています。
受光系は口径１００ｍｍのカセグレン光学系でＡＰＤで受光しています。
開発は国立天文台と日本電気で２０００年にはプロトタイプが出来ていたようです。
すばらしいのはこれだけの性能が外形：数１０ｃｍ角の重量：１９Ｋｇ，消費電力４４Ｗに収まっていることで、さすが宇宙仕様です。
当社も月面作業車用のレーザ距離計開発のお手伝いをしておりますが、最近では東大阪の中小企業でも衛星が打ち上げられ宇宙も身近なものになってきました。
宇宙という厳しい環境のなかで動作するシステムの技術は身近な機器の技術向上にも応用されています。
これからも日本の宇宙航空技術の発展に期待したいです。
（高野）
月周回衛星”かぐや”（ＣＥＬＥＮＥ）のホームページ
6 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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http://www.selene.jaxa.jp/index_j.htm
レーザ高度計の紹介
http://www.selene.jaxa.jp/ja/equipment/lalt_j.htm
日本惑星学科学会誌のＬＡＬＴ論文
https://www.wakusei.jp/book/pp/2008/2008-3/2008-3-04.pdf
国立天文台によるプロトタイプの記事
http://www.nao.ac.jp/A_Report/A_Report_2000_J/j006.pdf
東大阪宇宙開発協同組合”まいど１号”のホームページ
http://www.sohla.com/
２．お知らせ１）展示会
下記展示会に出展します。是非ともブースにお立ち寄り下さい。
レーザーＥＸＰＯ
併催：レンズ設計・製造展
光ファイバ応用技術展
２００９年４月２２日（水）－２４日（金）パシフィコ横浜
出品：●ＭＥＭＳスキャナ検査装置●スーパーダイナビームＬＳＵ検査システム●レーザ投光ユニット☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。
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ご購読ありがとうございました。
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▼ALT TECHNICAL News No.70 April 2009 「航空レーザ測深」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□
ALT TECHNICAL News No.70 April 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
東京でも桜の開花宣言され、お花見の時期になりました。
短い期間ですが存分にお花見を楽しみたいですね。
さて新年度がスタートしました。
新年度の始まりといえば４月１日。
４月１日といえばエイプリルフールですね。
エイプリルフールといえば嘘をついてもよいという風習ですが、害のない嘘に限られます。
この日には、世界中で新聞が嘘の内容の記事を掲載したり、ＴＶニュース
でジョークニュースを報道したりといった事が広く行われています。
インターネットが普及してからは、実用性のない冗談ＲＦＣが公開されたり、ウェブサイトが大がかりなジョークページを公開したりといったことも行われています。
今年はどんなものが行われるのか楽しみですね。
（藤田）●INDEX●
１．航空レーザ測深２．お知らせ１）展示会※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
１．航空レーザ測深レーザ技術を応用した測量の中に航空レーザ測深と言うのがあります。
これは、航空機に搭載したレーザ測深機で上空からレーザ光を発射して海の深さを測るものです。
測深は水深測量とも言われ海の深さを測定することで、その方式により錘測、
音響測深、レーザ測深といった種類があります。
この航空レーザ測深は、１９６０年代から研究開発が始まり１９８０年代からアメリカ、カナダ、オーストラリアで実用化され、日本でも２００３年に初めて導入され試験が行われました。
航空レーザ測深は、測量船で測深を行うことが困難な岩礁やサンゴ礁等の多い海岸線付近の広大な海域で行われており、その原理は、主に海面で反射される赤色のレーザ光と主に海底で反射される緑色のレーザ光を併用して両者の反射時間の差から求められ、海面までの距離は YAG レーザによる近赤外パルス光(1064nm)の反射ならびにラマン散乱光（640nm）の反射を、水深30～40m の海底までの距離は緑パルス光(532nm）の反射を利用しています。
また、発射されるレーザ光は機体の左右方向にスキャンされるため航空機下の水深だけでなく左右に幅をもって多数の水深値が測定できます。
現在では、海上からは測量船に搭載したマルチビーム音響測深機で、また上空からは航空機に搭載した航空レーザ測深機で、広範囲の水深データの収集が可能となっています。
日本発の航空レーザ測深機試験
http://www1.kaiho.mlit.go.jp/KAN6/kisyareku/030724-3.htm
海底調査法
http://www.mirc.jha.jp/knowledge/seabottom/research.html
8 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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様々な海洋の科学的調査
http://www.kaiho.mlit.go.jp/info/books/report2007/tokushu/p033.html
レーザ測深機http://www.opt-techno.com/product/orion.html【住廣】
２．お知らせ１）展示会
下記展示会に出展します。是非ともブースにお立ち寄り下さい。
レーザーＥＸＰＯ
併催：レンズ設計・製造展
光ファイバ応用技術展
２００９年４月２２日（水）－２４日（金）パシフィコ横浜 ブースＮｏ．Ａ－２９
出品：●ＭＥＭＳスキャナ検査装置●スーパーダイナビームＬＳＵ検査システム●レーザ投光ユニット
展示会専用サイト
http://www.optronics.co.jp/le/
事前登録サイトhttp://www.optronics.co.jp/opt_w/entry/☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。
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▼ALT TECHNICAL News No.71 May 2009 「光切断法」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□
ALT TECHNICAL News No.71 May 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
今年のゴールデンウィークは如何お過ごしでしたか？
今年は高速道路の休日割引制度を利用して、車で出かけられた方も多かったのではないでしょうか。
ＧＷ中も連日新型インフルエンザのニュースが報道されていましたね。
今回確認された豚インフルエンザＨ１Ｎ１は、高病原性鳥インフル
エンザ（Ｈ５Ｎ１）が新型になった場合と比べ、感染してもおおむね軽症で済む弱毒性とみられているそうですが、人の間で感染を繰り返す
うちに病原性が強まることもあり、注意が必要のようです。
現在、日本国内においての感染報告はありませんが、ＧＷ期間中に多くの方が、海外旅行や多くの人が集まる場所に出かけたと思いますので、予防対策を心がけたいですね。
（藤田）●INDEX●
１．光切断法２．お知らせ１）展示会ご来場の御礼
２）ミラー・ガラスの特急カットを始めました３）【中小企業庁】元気なモノ作り中小企業 300 社に選定されました※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
１．光切断法
４／２２－２４にパシフィコ横浜でレーザーEXPO2009 エキスポが開催され当社も出展いたしました。
今回は特に光切断法による 3 次元計測のお問い合わせが多かったように見受けられました。
「光切断法」は比較的容易に実用的な 3 次元計測を行うことができます。
ライン光（スリット光やシート光ともいいます）をワークに照射し、ワー
ク上の曲がって見えるライン光をカメラで撮影し、画像のライン光の位置から高さ方向の位置を求めます。
市販の安価な画像処理装置で対応できます。
ライン光には光源から角度を持って照射される標準的なライン光（ALT7100､7400 ｼﾘｰｽﾞ）やテレセントリック（平行光）やデガウス（光分布を改善）光学系を持ったものがあります。
限定されたワークの 3 次元（高さ）計測には標準的なライン光でも充分対応できます。
例えば、溶接部の肉盛り状況や、精密加工品の仕上がり確認、などによく使用されます。
基本的には三角測量の原理ですので、光源とカメラの距離（基線長）を長く取る事により、測定精度が向上します。
また、ライン光の幅（太さ）を細くすることにより、より位置精度が高まりますが、ライン光の幅方向の光はガウシャン分布ですので幅方向の光量のピーク点を得ることによりライン幅より細かな計測精度を得ることができます。
このように光を投影し、受光デバイスで受光する能動的な 3 次元計測には10 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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他に「スポット光走査方式」や「コード化パターン投影法」があります。
両方式とも基本的には三角測量方式の応用ですが、「コード化パターン
投影法」は測定対象の２次元平面上の各点をカメラの撮像フレーム毎に対応した時系列の２進数コードで符号化した縦格子のパターンを投影し、少ない投影回数で距離情報を得る投影法です。
縦格子の投影コードは一般にグレーコードが用いられます。
精密な 3 次元計測というよりは高速に大まかな 3 次元の空間位置が認識できるため、ロボットの目に適しています。
以下に当社に関係した応用例をご紹介いたします。
（植村）ＡＬＴライン光源
http://www.alt.co.jp/html/sub2_4_2n.htm
スポット光走査方式
http://www.optoware.co.jp/2008-11Rapid3D.pdf
ライン光による光切断法
http://www.ise-products.com/komono/
http://www.optoware.co.jp/densen.pdf
コード化パターン投影法による 3 次元計測（ロボットの目）
http://robonable.typepad.jp/report/2009/03/post-3df7.html
２．お知らせ１）展示会ご来場御礼
下記展示会に出展し、多数の方のご来場を戴きありがとうございました。
戴きましたお問い合わせやご要望を今後ともフォローさせていただきます。
今後ともよろしくお願いいたします。
レーザーEXPO２００９
２００９年４月２２日（水）－２４日（金）パシフィコ横浜
出品：●スーパーダイナビームＬＳＵ検査システム●レーザ投光ユニット
２）ミラー・ガラスの特急カットを始めました。
ご注文いただいて 3 日（翌々日）に発送させていただきます。
光学実験用に至急ミラーやガラスが必要になった。またはレンズを至急カットや丸めが必要になったというご要求に特急で対応させていただきます。
詳細は当社宛お問い合わせください。
http://www.alt.co.jp/pdf/cut.pdf
３）【中小企業庁】2009 年元気なモノ作り中小企業 300 社「キラリと光るモノ作り小規模企業」部門に選定されました。
選定結果は下記「中小企業庁ホームページ」に掲載されております。
「2009 年元気なモノ作り中小企業 300 社」の選定について
http://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/2009/090424mono300sya.htm
選定企業一覧
http://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/2009/download/090424ShineShokiboKigyo.pdf☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。
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11 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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tel 03-5946-7336 fax 03-5946-7316

12 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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▼ALT TECHNICAL News No.72 June 2009 「粒子検出センサ」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□
ALT TECHNICAL News No.72 June 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
今年のゴールデンウィークは如何お過ごしでしたか？
今年は高速道路の休日割引制度を利用して、車で出かけられた方も多かったのではないでしょうか。
ＧＷ中も連日新型インフルエンザのニュースが報道されていましたね。
今回確認された豚インフルエンザＨ１Ｎ１は、高病原性鳥インフル
エンザ（Ｈ５Ｎ１）が新型になった場合と比べ、感染してもおおむね軽症で済む弱毒性とみられているそうですが、人の間で感染を繰り返す
うちに病原性が強まることもあり、注意が必要のようです。
現在、日本国内においての感染報告はありませんが、ＧＷ期間中に多くの方が、海外旅行や多くの人が集まる場所に出かけたと思いますので、予防対策を心がけたいですね。
（藤田）●INDEX●
１．粒子検出センサ
２．お知らせ１）ミラー・ガラスの特急カットを始めました２）【中小企業庁】元気なモノ作り中小企業 300 社に選定されました※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
１．粒子検出センサ
粒子検出センサは投光エリア内にある粒子の散乱光を検出信号とする反射型と投受光の光路上に粒子が入って来た時に光量の減衰量を検出信号とする
透過型があります。これらのセンサはクリーンブースの埃量検出や液体の濁度検出、煙検知等で実用化されてきました。
このようなセンサを設計するにあたって粒子流量が少ない場合の応答をあまり必要としない粒子検出センサでは安価な LED やフォトセンサの組み合わせで検出可能と思いますが、粒子の流量が少なく、検出サイズが小さい高感度センサの場合、投光源はスポットサイズを絞りやすい半導体レーザを採用します。
検出サイズによってスポットサイズは大きくても良いのですが、検出サイズの小さいものにはスポットサイズを小さくする工夫が必要です。また、受光素子は粒子の通過速度に追従させる必要がありますので高速の場合は APD（ｱﾊﾞﾗﾝｼｪﾌｫﾄﾀﾞｲｵｰﾄﾞ）や PMT（光電子倍増管）等を採用する場合があります。
電気回路も高速でかつ微小信号を増幅させますのでノイズ対策に悩まされます。
粒子検出センサはあまり目立った用途では使われていませんが以外と色々な用途で活躍しているようです。
下記は似たような技術を使っている他社のリンク先です。
（菅原）
http://microtech.st/genri.htm
http://www.shinyei.co.jp/STC/optical/index.html
http://www.iijima-e.co.jp/support/principle_4
13 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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http://www.netdecheck.com/emerging_technologies/fire%20alarm/page1.htm
２．お知らせ１）ミラー・ガラスの特急カットを始めました。
ご注文いただいて 3 日（翌々日）に発送させていただきます。
光学実験用に至急ミラーやガラスが必要になった。またはレンズを至急カットや丸めが必要になったというご要求に特急で対応させていただきます。
詳細は当社宛お問い合わせください。
http://www.alt.co.jp/pdf/cut.pdf
２）【中小企業庁】2009 年元気なモノ作り中小企業 300 社「キラリと光るモノ作り小規模企業」部門に選定されました。
選定結果は下記「中小企業庁ホームページ」に掲載されております。
「2009 年元気なモノ作り中小企業 300 社」の選定について
http://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/2009/090424mono300sya.htm
選定企業一覧
http://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/2009/download/090424ShineShokiboKigyo.pdf☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。
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14 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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▼ALT TECHNICAL News No.73 July 2009 「ＡＯＭ」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□
ALT TECHNICAL News No.73 July 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
今年は去年より短い梅雨となりそうみたいですが、梅雨明けが待ち遠しいですね。
さて、今年の 7 月 22 日には日食が起こります。
日本では、全国で部分日食を観察することができるようです。
奄美大島北部、トカラ列島、屋久島、種子島南部などでは、皆既日食を観察することができます。
日本の陸地に限ると、皆既日食が観察できるのは 1963 年 7 月 21 日の北海道東部で見られた皆既日食以来、実に 46 年ぶりです。
日食は、見る場所によって、どのくらい深く欠けるかも違いますし、日食が始まる時刻や一番大きく欠ける時刻・日食が終わる時刻も違います。
日食の欠ける深さを「食分」という数値で表し、食分 0.1 とは、太陽の直径の 10%まで太陽面上に月が入り込み、太陽が欠けることを意味しています。
東京では食の始めが、9 時 55 分 33 秒、食の最大が 11 時 12 分 58 秒で最大食分が0.749 と約 4 分の 3 まで月が入り込み、食の終りが 12 時 30 分 20 秒となります。
観測の際は、正しい方法で観察しないと、目を痛めたり、最悪の場合失明したりする危険性がありますので、十分注意して観測してください。
次回は 2035 年 9 月 2 日の北陸・北関東などで見られる皆既日食まで 26 年間起こりませんので、ぜひこの機会に観測してみてはいかがでしょうか？
（藤田）●INDEX●
１．ＡＯＭ
２．お知らせ１）ポリゴンスキャナーの在庫品販売
２）マイクロマシン／ＭＥＭＳ展に出展
３）【中小企業庁】2009 年元気なモノ作り中小企業 300 社※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
１．ＡＯＭ
AOM とは AcostoOpticModulator の略で音響光学素子と呼ばれ、二酸化テルル
や水晶単結晶などに超音波を伝搬させることでその結晶内に周期的な屈折構造を作ります。これが回折格子の役割を果たし入射されたレーザ光が屈折率周期に応じ回折されます。
このような音響光学効果を用いたデバイスには光変調器、光偏光器などがあります。
光変調器では AM 変調された超音波を入力することで 1 次光の明るさを変える事ができ、光偏光器では超音波の周波数を変化させる事でスキャナーとして使う事ができます。
光学系の制限が多く偏光角も比較的小さいですが小型化、高速スキャンが可能です。
最近では２次元タイプもあり、レーザ顕微鏡や分析機器に使用されています。
当社では AOM を使用した光学系も手がけていますのでご興味をお持ちの方は是非お問合せください。
（河村）
BRIMROSE 社
http://www.brimrose.com/products/acousto_optics.html
15 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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Gooch＆Housego 社
http://www.goochandhousego.com/products/cat/1
ISOMET 社
http://www.isomet.com/index.html
Ｉnrad 社
http://www.inrad.com/
New Focus 社
http://www.newfocus.com/
２．お知らせ１）ポリゴンスキャナーの在庫品販売
実験用や試作用に当社在庫のポリゴンスキャナーを販売いたします。
お探しの方は概略の要求仕様と共にお問い合わせください。
ガルバノスキャナーも一部ございます。
面数：4、5、6、8 面面間寸法：27、40、58、67、95mm
面厚：2、4、5、6、10、15mm
回転数：4724、7800、8267、11137、18064、3500、43000、45000RPM
お問い合わせ E メール：info@alt.co.jp
２）マイクロマシン／ＭＥＭＳ展に出展
マイクロマシン／ＭＥＭＳ展にテクノハンズ株式会社様のご厚意でＭＥＭＳ
スキャナ計測システムを出品します。
終日、説明員を配置し、当社製品のご質問やご相談をお受けいたしますので是非、足を向けていただく様お願いいたします。
出展内容
展示会： マイクロマシン／ＭＥＭＳ展
日時： 2009 年 7 月 29 日(水)～7 月 31 日(金)場所： 東京ビッグサイト東５ホール
テクノハンズ株式会社様ブース(D17)
展示品： ＭＥＭＳスキャナ計測システム（ALT-9A44)３）【中小企業庁】2009 年元気なモノ作り中小企業 300 社「キラリと光るモノ作り小規模企業」部門に選定された事をお知らせ
しましたが、「中小企業庁ホームページ」に内容の紹介があります
ので掲載させていただきます。
紹介記事下記 10/17 ページ
http://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/mono2009/pdf/shine/tokyo.pdf
選定企業一覧
http://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/2009/download/090424ShineShokiboKigyo.pdf☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。
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17 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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▼ALT TECHNICAL News No.74 August 2009 「光ＭＥＭＳスキャナのドライブ」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□
ALT TECHNICAL News No.74 August 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
梅雨明けが発表されましたが、戻り梅雨となり、パッとしない天気が続いていますね。
7 月 22 日の日食の日もあいにくの曇り空で、テレビやインターネットで見るという方が大半だったのではないでしょうか。
間もなくお盆休みに入り、帰郷や旅行する方も多いと思いますが、気温も徐々に上がってきていますので、お体に気を付けてお過ごしください。
（藤田）●INDEX●
１．光ＭＥＭＳスキャナのドライブ
２．お知らせ１）マイクロマシン／ＭＥＭＳ展に出展※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
１．光ＭＥＭＳスキャナのドライブ
光ＭＥＭＳスキャナの方式は、電磁タイプ、静電タイプ、ピエゾタイプがあります。
電磁タイプは、コイルを巻いて電流を流して磁場を発生させ、反対側の磁石を吸着、反発でミラーを駆動させます。コイル仕様で電流が決まりますが、数Ｖから１０Ｖぐらいの正弦波を入力します。電圧が低いので、ドライブするアンプＩＣの選択が容易です。
静電タイプは、電極間に電圧をかけて静電気力で吸着、もしくは反発してミラーを駆動させます。数十Ｖから数百Ｖの正弦波又はパルス波を入力します。電圧が高いので、アンプＩＣの選択に苦労します。
ピエゾタイプは、ＰＺＴの圧電材質に電圧をかけて歪を生じさせて、その振動を利用してミラーを駆動させます。数十Ｖの正弦波を入力します。
これも、電圧が高いので、アンプＩＣの選択に苦労します。
どのタイプも、ファンクションジェネレータの信号を電圧増幅すれば、
簡単に、ミラーが共振します。
ところが、ポリゴンスキャナやガルバノスキャナと違って、共振する時のスキャンには、困った問題があります。
ポリゴンスキャナでは、等速走査をする時にｆθレンズを使用し、走査端にＢＤセンサを設置すれば、簡単に、精度の良い同期信号で、等速走査が可能です。
一方、光ＭＥＭＳスキャナは、走査速度が正弦波になりますので、逆に走査端で走査速度を早くするアークサインレンズを作らなければいけません。走査端では走査速度はゼロですので、光ＭＥＭＳスキャナの走査
長の６０％ぐらいまでが有効走査長になるぐらいのレンズになります。
ここまでは、レンズを設計すれば良いのですが、同期を取るためにＢＤ
センサは走査端にしか設置できません。光ＭＥＭＳスキャナの場合、
等間隔の２点間ジッタを走査位置別に細かく測定すると、走査端に行けば行くほどジッタが悪くなります。走査速度が正弦波で変化しますので、感覚的にそうかも知れません。入力信号に共振するので、動作周波数は変化しないのですが、走査長やリニアリティが変化しています。
18 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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周囲環境によっても変化しますので、走査端のＢＤセンサで同期を取ろうとしても、なかなかうまくいきません。
どちらにしても、光ＭＥＭＳスキャナの走査長を大きくして、有効走査長を短くする方が奇麗な画像を得られると思われます。
弊社のＭＥＭＳ検査では、ウォブル、ジッタ、光学振り角、共振周波数を測定できます。
現在、ウォブルとジッタは、１スキャン毎のデータをチェックできるのですが、光学振り角も１スキャン毎の光学振り角の測定も可能ですので、前述の同期の問題点の解決を含め、光ＭＥＭＳスキャナのドライブ部の開発にもお役に立てると思います。
ＭＥＭＳ動作原理
http://www.alt.jp/mems1.html
２．お知らせ１）マイクロマシン／ＭＥＭＳ展に出展
マイクロマシン／ＭＥＭＳ展にテクノハンズ株式会社様のご厚意で出品しました。
ＯＰＵＳ社より光ＭＥＭＳによるピコプロジェクタの発表もあり、関連して当社の計測システムにもたくさんの方から関心を戴き、有難うございました。
今後共機会があればいろいろな展示会に出展させていただきますので宜しくお願いいたします。
出展内容
展示会： マイクロマシン／ＭＥＭＳ展
日時： 2009 年 7 月 29 日(水)～7 月 31 日(金)場所： 東京ビッグサイト
展示品： ＭＥＭＳスキャナ計測システム（ALT-9A44)☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。
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▼ALT TECHNICAL News No.75 September 2009 「残留農薬分析」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□
ALT TECHNICAL News No.75 September 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
9 月 1 日に消費者行政を一元的に担う消費者庁が発足しました。
消費者安全法、景品表示法などの法律を取り扱うほか、消費者行政の全般にわたって指導、勧告する権限を持ち、自治体や各省庁は消費者庁に対し、重大事故の報告が義務付けられています。
多くの死者を出したガス湯沸かし器事故や、こんにゃくゼリーの窒息死事故の一因には、各省の対応の遅れがありました。情報収集の不足や相談のたらい回し、省庁のはざまで問題を放置してきたことが、取り返しのつかない被害を生み、消費者庁はこれらの反省のうえにつくられたので、ぜひとも「消費者の目線」に徹して、課題に取り組んでいってもらいたいですね。
なお、全く新しい中央官庁の創設は１９７１年の環境庁（当時）以来３８年ぶりだそうです。
各地で新型インフルエンザが流行していますが、これから秋冬にかけて
更なる流行が予想されていますので、みなさんも予防対策をしっかりとって、お気を付け下さい。
（藤田）●INDEX●
１．残留農薬分析
２．お知らせ１）光源＆レーザ展に出展※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
１．残留農薬分析
一般に、残留農薬分析は操作が煩雑であり、高価な分析機器を必要とし分析時間もかかります。
また、多量の有機溶媒を使用することから、分析担当者の健康及び環境への負荷が懸念され、これらの解決が課題になっています。
主に、クロマトグラフィーの原理を利用した分析機器は、高速液体クロマト
グラフ質量分析計（ＬＣ/ＭＳ/ＭＳ）、ガスクロマトグラフ質量分析計（ＧＣ/ＭＳ）、高速液体クロマトグラフ、ガスクロマトグラフ（ＥＣＤ、
ＮＰＤ、ＦＩＤ、ＦＰＤ検出器付）だどのシステムがあります。
最近、コリンエステラーゼ阻害反応を利用した簡易測定キットは、酵素活性阻害の程度を試験紙の呈色反応として捉えることによって、短時間のうちに
有機リン系及びガルバメート系農薬の存在を把握する事が出来ます。
先般問題になった中国製餃子のメタミドホスも有機リン系ですので検出することができます。
今後も環境分析への応用が期待され、現在では、特別な機器がいらず、短時間で判定できる低コストの簡易キットが主流になりつつあります。
この検査手段は、簡単に早く結果がわかりますが、呈色の度合いを目視判定のために個人差が出やすいという欠点もあります。
そこで、弊社では手のひらサイズの簡易型計測器の開発を手がけており、試験紙の呈色の度合いを光計測し、数値表示する事により、作業現場での残留農薬の判定を容易にしたいと考えております。
年々、残留農薬の問題について世間の関心も高まり、今後も展開が図れると
思います。
(富樫)
20 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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クロマトグラフィーの原理：
http://www.advantec.co.jp/japanese/hinran/tanpin/02_073.html
有機リン系及びガルバメート系農薬検査キット：
http://www.arbrown.com/agristick/
分析機器(ガスクロマトグラフ/液体クロマトグラフ分析計)：
http://www.jalos.or.jp/main2/shiken/images/souti2.gif
２．お知らせ１）光源＆レーザ展に出展
光源＆レーザ展に出品します。計測用光源を中心に出展します。
是非ともお立ち寄りいただき、ご意見お問い合わせまたは各種情報交換をさせていただきますよう宜しくお願いいたします。
出展内容
展示会： 光源&レーザー展
併設展示会：VISION Japan 展、ﾎﾟｼﾞｼｮﾆﾝｸﾞ EXPO 展、ｸﾞﾘｰﾝ･ﾌｫﾄﾆｸｽ展
日時： 2009 年 9 月 30 日(水)～10 月 2 日(金)10:00～17:00
場所： パシフィコ横浜
展示品： 計測用レーザ光源他☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。
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21 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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▼ALT TECHNICAL News No.76 October 2009 「主流はどこへ

グリーンレーザ」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□
ALT TECHNICAL News No.76 October 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
秋も深まり、朝夕はだいぶ冷え込むようになってまいりました。
3 日にデンマークの首都・コペンハーゲンで開催された 2016 年夏季オリンピック開催都市を決定する投票の結果、開催都市は、ブラジル・リオデジャ
ネイロに決定しました。
南米では初めてのオリンピック開催となります。
東京は 64 年大会以来の 2 回目となる夏季オリンピック招致を目指していまし
たが、落選してしまいました。
ブラジルでは、2014 年にサッカーのＷ杯も開催されるので、ブラジル経済の成長は加速していくのではないでしょうか。
今回は残念でしたが、いつか日本で夏季五輪が再び開催されるのを見てみたいですね。
（藤田）●INDEX●
１．主流はどこへ グリーンレーザ
２．お知らせ１）三洋電機レーザダイオード生産終息
２）光源＆レーザ展に出展※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
１．主流はどこへ グリーンレーザ
超小型のプロジェクターがピコプロジェクターと呼ばれるようになり、２月にはサムスンからＤＭＤタイプのプロジェクター内蔵携帯電話が発売されました。
１０月にはニコンからＬＣＯＳタイプのプロジェクター内蔵デジタルカメラが発売されます。
これらは光源としてはＬＥＤでも使用できますがフォーカスフリー、解像度
で勝るＭＥＭＳスキャン方式にはＲＧＢのレーザが必要となります。
９月にはマイクロビジョンから単体のピコプロジェクターが発売されましたが、これのキーコンポーネントの一つがグリーンレーザです。
赤と青については半導体レーザが実用化されていますが、グリーンについては開発が遅れていました。
現在レーザポインターなどで使用されているグリーンレーザはＤＰＳＳという方法で１０６４ｎｍの波長をＫＴＰなどの結晶で波長を半分の５３２ｎｍにする方式です。
こちらの方法は変換効率が５～１５％と悪いのと変換に時間がかかるので基本的に連続発光しか使用できませんでした。
今年の８月には住友電工からＧａＮを用いた半導体レーザの室温連続動作が発表されると、同月オスラムからもＩｎＧａＮでの５０ｍＷでの発光が発表されました。
レーザプロジェクターはＸＧＡ解像度では６５ＭＨｚのスイッチング周波数が必要でダイレクトの半導体レーザはこれを満足することができます。
これに対して前述の波長変換するタイプでも（この変換素子をＳＨＧといいます）ＰＰＬＮという構造をとることで５０％以上の効率で１００ＭＨｚく
らいのスイッチング周波数を得られる研究がされていました。
コーニング社は商品化を進めてＧ－１０００とういう１００ｍＷの素子を開発し、マイクロビジョンのピコプロジェクターに採用されました。
22 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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その他にも韓国のＣＯＭＭＡＸや米国のＣＴＩなどで商品化が進められています。
そのなかで今週には日本のＱＤレーザーから量子ドット構造でＳＨＧを使用したレーザの発表があり小型、省電力化にさらなる可能性が見えてきました。
今年に入って一気に色々なアナウンスがあり、また光ＭＥＭＳスキャナの開発も進み、色々なアプリケーションで商品化が進む中でどれが主流になっていくか目が離せない状況です(高野）
サムスン プロジェクター内蔵携帯
http://japan.internet.com/allnet/20090216/3.html
ニコン プロジェクター内蔵デジタルカメラ
http://www.nikon-image.com/jpn/products/camera/compact/coolpix/style/s1000pj/index.htm?
cid=IJD98BJZIJ090
マイクロビジョン ピコプロジェクター
http://www.microvision.com/
住友電工 グリーンレーザ
http://www.sei.co.jp/president_blog/2009/08/post_152.html
オスラム グリーンレーザ
http://www.lfw-japan.jp/news2009/news_20090817_03.html
コーニング グリーンレーザ
http://www.corning.com/r_d/emerging_technologies/green_laser.aspx
ＣＯＭＭＡＸ グリーンレーザ
http://web.skku.ac.kr/~dhyoon/DATA/dominent2007/3.pdf
ＣＴＩ グリーンレーザ
http://www.crystaltechnology.com/products/CongruentLithiumNiobate.html
ＱＤレーザー グリーンレーザ
http://www.qdlaser.com/japanese/20090928_PR_J.pdf
２．お知らせ１）三洋電機レーザダイオード生産終息
三洋電機が青紫レーザダイオードを中心とした事業に特化し、従来の産業用の赤・赤外レーザダイオードの生産を終息するとの通知を受けました。
産業用赤・赤外レーザダイオードの最終オーダは２０１０年３月となっています。
保守用が必要な方は手配できますのでご用命ください。
２）光源＆レーザ展に出展
光源＆レーザ展に計測用光源を中心に出展致しました。
レーザ駆動電流に高周波電流を重畳しスペックルノイズを軽減する機種の拡充を展示し、多数のお問い合わせをいただきました。
また 3.7φ×13mm の超小型のレーザコリメーション光源にも多数のご興味を戴きました。
今後とも有用な計測用光源を提供させていただきます。
宜しくお願いいたします。
出展内容
展示会： 光源&レーザー展
日時： 2009 年 9 月 30 日(水)～10 月 2 日(金)場所： パシフィコ横浜
展示品： 計測用レーザ光源他☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。．：*・゛☆．。
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配信の中止、アドレス変更及び本メールに対するご意見ご要望は
info@alt.co.jp
配信元：エーエルティー株式会社〒176-0014 東京都練馬区豊玉南 1-21-10
tel 03-5946-7336 fax 03-5946-7316

24 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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▼ALT TECHNICAL News No.77 November 2009 「レーザ加工」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□
ALT TECHNICAL News No.77 November 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
11 月に入り、一段と寒さが厳しくなってまいりました。
紅葉も各地で見ごろになってきましたね。
休日には、紅葉狩りに行く方も多いのではないでしょうか。
紅葉を見に行くのに、なぜ「紅葉見」ではなく「紅葉狩り」なのでしょうか。
知ってる方も多いと思いますが、「狩り」には、「花や草木をさがし求めて観賞すること」という意味もあるようです。恥ずかしながら私は知りませんでした。
11 月中は各地で紅葉を楽しむことができますので、様々な場所に行き、様々な紅葉を楽しむのもいいですね。
（藤田）●INDEX●
１．レーザ加工
２．お知らせ１）当社ＩＰフォン回線廃止の件
２）三洋電機レーザダイオードの代替※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
１．レーザ加工
加工対象にレーザ光を照射し、その表面を蒸発・燃焼・溶解させて行うレーザ加工は、その特徴を生かし幅広い多くの分野で利用されてきています。
例えば、板金加工では金型不要のレーザ切断（レーザカッター）、金属、樹
脂、木材表面へのマーキングにレーザ彫刻（レーザマーカー）、ガラエポ/
セラミックスのプリント基板へのスルーホール加工としてレーザ穴あけ、溶接（溶着）分野でのレーザ溶接（溶着）、ワークの先端や細い部分への局部的な熱処理にレーザ焼入れ等があります。
その加工に用いられるレーザとしては、ＣＯ2 レーザ（波長 10.6μm）、YAG
レーザ(Yttrium Aluminum Garnet：基本波の 1064nm、第 2 高調波（SHG）532
nm、第 3 高調波(THG)355nm、第 4 高調波(FHG)266nm さらに第 5 高調波 193nm の研究開発も進んでいます）､ＹＶＯ4 レーザ（Yttrium Orthovanadate：1064nm）、半導体レーザ（LD）等があります。
レーザ加工では、加工対象に照射された光エネルギーのほとんどが熱エネルギーに変換され、加工対象は融解、分解、飛散による加工が進行するため、照射部位だけでなく周辺にもその熱による損傷が及びます。
そこで、微細加工を要求される分野では、レーザを短波長化し、レーザ
パルス幅を短くして照射パワー密度を大きくすることにより熱的加工から非熱的な蒸発除去加工（アブレーション加工）へ移行させ、微細加工に適した加工を行っています。
さらに最近のフェムト秒レーザを用いた加工では、上述の CO2 レーザやナノ
秒 YAG レーザとは異なり、照射部位周辺が熱的にも化学的にも殆ど損傷を受けず、例えば透明材料の加工では、サブマイクロ光造形でも見られる非線形光学現象の「多光子吸収反応」により加工が進行するため、対象の表面を損傷せず 3 次元的に加工領域を限定した内部の加工が可能となります。
また、この現象は焦点付近の極微少空間で生じるため、照射波長の回折限界を超えた加工分解能が得られます。
25 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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このようにフェムト秒レーザによる新たな加工分野への展開が期待されています。
弊社でもレーザカッター、レーザ剥離、レーザ樹脂溶着の分野でご協力しています。
【住廣】
ＹＶＯ４レーザマーカ
http://www.keyence.co.jp/marking/laser_marker/md_v9600a/;jsessionid=298E98101AA1798765E542E655E02767
ＹＡＧ/ＹＶＯ４レーザマーカ
http://www.miyachi.com/products/maker/index.html
ＣＯ2 レーザカッター（ＶａｒｓａLASER）
http://www.ulsinc.com/versalaser/japanese/laser_systems/laser_systems.html
高出力半導体レーザ溶着システム
http://www.enshu.co.jp/enshu2/product/laser/index.html
フェムト秒レーザ
http://www.cyber-laser.com/j/pns/index.html
２．お知らせ１）当社ＩＰフォン回線廃止の件
当社はＩＰフォン回線(050-3345-6007)を持っておりましたが、この度、回線の整理増設に伴い、同回線は廃止しましたのでご連絡させていただきます。
従来の 03-5946-7336 の代表回線の接続本数の増設しましたのでこちらへ連絡いただくようお願いいたします。
２）三洋電機レーザダイオードの代替
三洋電機が赤・赤外レーザダイオードの生産を終息するとのご連絡を先月させていただきましたが、関連して代替ＬＤの提案のご要求をお受けすることが多くあります。
そこで当社での使用実績が大きい ARIMA 社（TAIWAN）の互換表をホームページに掲載することとしました。今週末に更新いたしますのでご参考にお願いいたします。
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【本メール内容に関してのお問い合わせ先】
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26 | ALT TECHNICAL News Back number 2009
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▼ALT TECHNICAL News No.78 December 2009 「光 MEMS 検査装置に関して」□□□■■□■■■＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊□□■□■□□■□□■□■■□□■□
ALT TECHNICAL News No.78 December 2009■□■■■■■■□＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊――＊★。、：*：・´゛☆。、：*：・´゛★。、：*：・´゛☆。、：*：・★
早いもので年内も残り少なになって参りました。この一年はどんな年だったでしょうか。
さて、12 月 5 日に、総トン数 22 万トンという世界最大の豪華客船「オアシス・オブ・ザ・シーズ」が、米フロリダ州で就航するそうです。
このオアシス・オブ・ザ・シーズ号は、全長 361 メートル、全幅 63 メートル、高さ 73 メートルという巨大さで、世界的に有名なクイーン・エリザベス 2 号の 3 倍、タイタニック号の 5 倍にも上るようです。
船内には、ショッピングモールや運動設備、カジノに劇場、さらには、1 万
2,000 本の木々が植えられた公園まであり、まさに海上を移動する街ですね。
時間とお金に余裕があれば、一度でいいので、このような船に乗船してみたいものですね。
この一年拙い一言にお付き合いいただきまして有難うございます。
来年もよろしくお願いします。
（藤田）●INDEX●
１．光 MEMS 検査装置に関して
２．お知らせ１）フォトニクスジャパンに出展
２）三洋電機レーザダイオード生産終息
３）トランジスタ技術 １２月号出筆※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※
１．光 MEMS 検査装置に関して
光 MEMS デバイスについて何度か紹介し、当社の検査装置をご紹介させていた
だいていましたが、ピコプロジェクタの市場投入が本格的に始まり、光 MEMSの開発及び応用開発に拍車がかかってきたのではないかと感じます。
そこで今回は当社の光 MEMS 検査装置（ALT-9A44）のオプションのご紹介をさせていただきます。
基本システムでは振幅及び共振周波数の測定とジッタ、ウォブルの計測が主体ですが、最もご要求が多いオプションは全自動での像面の各位置及び深度
方向の同測定です。実験・開発の効率の向上に役立ちます。
また、デバイスの動作メカニズムや応用に関連しますが、目標振幅を得るた
めに、周波数や電圧・電流を変化させサーチが必要となることがあります。
同時に長時間の挙動を監視する要求も多くあります。
次に多いのが、温度･圧力雰囲気での計測です。光 MEMS デバイスはベア状態
では空気の流れの影響を受けるため、工夫した小型チャンバーが必要になります。
ミラー表面の平面度、反射率測定についてはスタティックな測定とダイナ
ミックな測定があります。ダイナミックな測定については現在開発中です。
２次元の光 MEMS デバイスの場合はラスタースキャン状態でのジッタ、ウォ
ブルの計測が必要となります。ポインタビリティの試験も重要です。
量産が具体的になってきますと耐久試験が必要となります。耐久試験は光MEMS デバイスの動作メカニズムによる要求及び応用から要求が出る検査項
目に関して長期間の監視を行います。
ご紹介しました光 MEMS 検査装置の関連計測に関して理想どおりに測定でき
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ない場合もありますが、代替特性を含め何らかの形で対応を行っています。
光 MEMS デバイスの開発及び応用の開発に携わられ、お困りのことがございましたらぜひご相談ください。
（植村）
マイクロビジョン社ピコプロジェクター
http://www.microvision.com/
MEMS マイクロミラーの疲労寿命試験法の開発
http://www.fml.t.u-tokyo.ac.jp/~izumi/papers/Micromaterial_3rd_MEMS_Fatigue.pdf
明日を拓く、光 MEMS スキャナー
http://www.alt.jp/
２．お知らせ１）フォトニクスジャパンに出展
フォトニクスジャパン展にＭＥＭＳ計測機器及び計測用光源を中心に出展します。
光センシング計測展、オプティクス展、レーザー加工展が併催されます。
ご来場いただき、この機会にご意見ご要望をお聞かせ願えれば幸いです。
出展内容
展示会： フォトニクスジャパン展
日時： 2010 年 1 月 20 日(水)～1 月 22 日(金)場所： 東京ビッグサイト 東 10-19
展示品： ＭＥＭＳ計測機器、計測用レーザ光源他
２）三洋電機レーザダイオード生産終息
三洋電機が青紫レーザダイオードを中心とした事業に特化し、従来の産業用の赤・赤外レーザダイオードの生産を終息するとの通知を受けました。
産業用赤・赤外レーザダイオードの最終オーダは２０１０年３月となっています。保守用として必要な方は当社でも手配できますのでご用命ください。
３）トランジスタ技術 １２月号 出筆
当社 高野が｢レーザ走査による外形測定器の試作｣記事を出稿しています。
光ＭＥＭＳスキャナの原理なども載っていますので興味のある方は書店でご覧ください。
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