Nippon ITF Inc.

Advanced Coating System

iDS series®

iDS-mini｜iDS-500｜iDS-720｜iDS-1000

Advanced Coating System

iDS series®

アドバンスドコーティングシステムiDSシリーズは、各コンポーネントを高性能化したことにより、今までにない低コスト短サイクル（当社従来比）なコーティング処理を可能にした次世代アークイオンプレーティング装置です。

iDS series の特徴
ショートサイクル

多元素複合膜性能

排気コンダクタンスを最適化することにより真空排気速度を大幅に向上させ、従来装置よりサイクルタイムを短縮します。

回転テーブルのギヤ比を最適化することにより、丸棒上ワークに対して均一な多元素金属窒化膜の形成が可能です。

多彩な拡張性

低ランニングコスト

矩形フランジの採用により、ステアワン蒸発源や従来型蒸発源、スパッタ蒸発源等の多様なプラズマ源の搭載が可能です。

新型ステアワン蒸発源は回転磁石によりアークスポット制御し、ターゲットを均一消耗することでターゲットコストを抑えます。

高メンテナンス性

操作性

前後大型扉を採用し、チャンバー内部のメンテナンスアクセスが容易になるよう設計しています。

ボタン一つで動作チェック⇒真空排気⇒成膜⇒冷却⇒大気解放まで全自動処理を実施します。

iDS series 共通コンセプト
多様なプラズマ源への対応のため、真空チャンバーのフランジを縦長の矩形とし、下図を代表とする技術を搭載可能としたものです。
いずれのモデルも排気コンダクタンスを最適化して真空排気速度を向上させ、サイクルタイムの短縮を図っています。

アーク蒸発源

スパッタ蒸発源

ステアワン「STEER-ONE 」蒸発源
ステアワン蒸発源はφ160サイズのターゲットを採用し、独自の磁場配置とモーター駆動による磁場の回転でアークスポットを強制的にスキャンすることで、広範囲にターゲットを消耗させることを可能にしました。
当社従来型蒸発源と比較し、同じ成膜条件において23％成膜速度が高く、広い放射角度に対応して広い範囲の成膜エリアをカバーする事が可能です。
また、磁石の回転によってアークスポットが掃引されることで、ドロップレットが減少し、劇的な面粗度の向上を実現しました。

当社従来型蒸発源

ステアワン蒸発源

代表的なコーティング膜特性
膜種

TiN

TiCN

TiAlNCrNAlCrN

窒化チタン

炭窒化チタン

窒化チタンアルミ

窒化クロム

窒化アルミクロム

色

金色

灰色～紫色

紫色

銀色

黒灰色

膜厚（μm）

2～42～42～42～42～4

ビッカース硬度(Hv25gf)

1800～2200

2000～3000

2000～3000

1200～2200

2000～2500

耐摩耗性〇◎高荷重滑り環境◎高温切削環境◎高荷重滑り環境◎高温切削環境

耐熱性（℃）

600

500

800

800

900

処理温度（℃）

400～480

400～480

400～480

400～480

400～480

用途例

一般切削工具汎用金型

パンチ／ダイ
摺動部品

高速切削工具
高温金型

機械部品・エンジン部品
Ｃrメッキ代替

高速切削工具
高温金型

膜の特徴

汎用膜

低摩擦係数
高硬度

高温耐酸化性

耐摩耗性
耐熱性

高温耐酸化性

このほかにもターゲットの種類・配置によって多彩な膜が成膜可能です。

サポート
装置を長く安心してお使いいただけるよう、弊社では万全のサポート体制を整えています。
トラブルや故障時におきましては、お気軽にお問い合わせ下さい。
● リモートサポート対応

トラブル内容の詳細を確認させていただき、電話や電子メールでの対応に加えて、ご希望によりWeb会議システムやコーティング装置へのリモートアクセスによるサポートを提供します。
● オンサイトサポート対応

リモートサポート対応での復旧が困難な場合は、弊社サポート担当の派遣により、復旧処置にあたります。
※サポート担当の派遣リードタイムについては都度協議とさせて頂きます● 代替機貸し出しサービス

真空機器、電源・制御機器等の故障に際しては、代替機の貸し出しによる迅速な復旧をサポートします。

メンテナンス
コーティング装置の性能維持や安定稼働には、予防保守メンテナンスが必要です。コーティング装置は成膜処理を実施するにあたり、稼働時間とともに炉内に成膜生成物が堆積し、それによる真空排気性能の低下や真空漏れ、皮膜性能の低下などのトラブルに結び付きます。
また、絶縁部品の劣化や汚れにより、絶縁安定性が保てなくなり、成膜チャンバーの溶損や電源の故障等、重大トラブルに発展する可能性もございます。
● 定期点検、オーバーホール

弊社サービスエンジニアにより、蒸発源、真空排気バルブ、駆動部の点検と分解清掃、パッキン類や消耗品の交換を実施致します。

● センドバックオーバーホール

真空ポンプや電源のセンドバックオーバーホールを承ります。弊社
サービスエンジニアによる交換作業や運転確認を実施する事も可能です。

オプション
お客様の要望に応じた、様々なオプション機能を準備しております。
例えばお客様の基材に合った治具の製作、お客様の要望に応えた装置の改造等、装置をご購入される際、ご購入された後もお気軽にお声がけください。

リモート監視制御システム● アラームメール送信機能

設備にアラームが発生した際、Eメールにてアラームをお知らせすることができます。
● リモート監視機能

ネットワーク経由により、離れた場所から装置を監視・操作を行う事ができます。
● リモート診断

弊社の作業員がお客様の装置を遠隔から診断し、発生したトラブルを解決いたします。

その他
コーティング技術のコンサルティング、お客様に合わせた装置改造などのご相談、装置運転・メンテナンスのトレーニング等も承ります。

Entry ModeliDS -mini®

低コスト・省スペースを実現した
小規模生産・研究開発用のコーティング入門機

プラズマ源
フランジ3面標準アーク
蒸発源数6units※研究開発用は3units

最大導入
ガス系数

4系統
標準軸数6軸■ ステアワン蒸発源搭載により、低材料コスト、高平滑性のコーティングが可能。
■ 矩形フランジの採用により、従来型２Ｓ蒸発源やスパッタ蒸発源の搭載も可能。
■ 高出力ヒーターを採用し、基材加熱時間を大幅に短縮。
■ 接地面積の少ない省スペース設計。
■ 入門機としての必要なスペックを備え、最小限のプラズマ源の取り付けは研究機にも最適。
■ お客様ご希望に応じた仕様のバリエーションが豊富。
■ シンプルでメンテナンス性の高い設計。

装置型式
装置本体寸法
装置本体重量
電源制御盤寸法
電源制御盤重量
有効成膜エリア
プラズマ源フランジ
標準アーク蒸発源数
ステアワン蒸発源
従来型蒸発源
スパッタ源
ヒーター最大温度
温度測定モニター
最大導入ガス系数
回転テーブル標準軸数
主排気ポンプ
主な用途
推奨設置スペース
蒸発源シャッター
ダストブースiDS-mini
約W2000×D1300×H2025（ｍｍ）
約2300Kg
約W2500×D1000×H2000（ｍｍ）
約1900Kg約1700Kg
φ450×H420（ｍｍ）
φ450×H180（ｍｍ）
3面6units
3units○○○
800℃
熱電対計測2点
熱電対計測1点
4系統
6軸自公転治具
ターボ分子ポンプ（口径12インチ）1台
小規模生産用
研究開発用
W3500×D5200×H3000（ｍｍ）
××Middle range ModeliDS -500®

iDSシリーズの基本となる
次世代アークイオンプレーティング装置

プラズマ源
フランジ

4面

標準アーク
蒸発源数

9units
最大導入
ガス系数

6系統
標準軸数

8軸
■ ステアワン蒸発源搭載により、低材料コスト、高平滑性のコーティングが可能。
■ 矩形フランジの採用により、従来型２Ｓ蒸発源やスパッタ蒸発源の搭載も可能。
■ 高出力ヒーターを採用し、基材加熱時間を大幅に短縮。
■ 成膜冶具は前後扉のどちらからも出し入れが可能。
■ GBU2重フィラメント切り替えシステムを採用し、ガスボンバード時のフィラメント断線による処理停止リスクを防止。

■ ダストブースの設置により、周囲環境を汚さない設計。
（オプション）■ 蒸発源シャッターを採用し、停止中のターゲット表面の汚染防止。
（オプション）

装置型式
装置本体寸法
装置本体重量
電源制御盤寸法
電源制御盤重量
有効成膜エリア
プラズマ源フランジ
標準アーク蒸発源数
ステアワン蒸発源
従来型蒸発源
スパッタ源
ヒーター最大温度
温度測定モニター
最大導入ガス系数
回転テーブル標準軸数
主排気ポンプ
主な用途
推奨設置スペース
蒸発源シャッター
ダストブース

iDS-500
約W3380×D1500×H2200（ｍｍ）
約3200Kg
約W2500×D1030×H2500（ｍｍ）
約2200Kg
φ500×H500（ｍｍ）
4面
9units（拡張可能）
○
○
○
800℃
熱電対計測3点
6系統
8軸自公転治具
ターボ分子ポンプ（口径12インチ）1台
中規模量産用W5000×D6400×H3000（ｍｍ）〇〇

Large Scale ModeliDS -720®

大型金型や大量基材の対応が可能なラージスケールモデル

プラズマ源
フランジ

4面

標準アーク
蒸発源数12units
最大導入ガス系数6系統
標準軸数

12軸
■ ステアワン蒸発源搭載により、低材料コスト、高平滑性のコーティングが可能。
■ 矩形フランジの採用により、従来型２Ｓ蒸発源やスパッ蒸発源の搭載も可能。
■ 高出力ヒーターを採用し、基材加熱時間を大幅に短縮。
■ 成膜エリアが大きく、低生産コスト。
■ 大型金型処理や一度に大量の基材が処理可能な大規模量産装置。
■ 蒸発源シャッターを採用し、停止中のターゲット表面の汚染防止。
（オプション）

装置型式
装置本体寸法
装置本体重量
電源制御盤寸法
電源制御盤重量
有効成膜エリア
プラズマ源フランジ
標準アーク蒸発源数
ステアワン蒸発源
従来型蒸発源
スパッタ源
ヒーター最大温度
温度測定モニター
最大導入ガス系数
回転テーブル標準軸数
主排気ポンプ
主な用途
推奨設置スペース
蒸発源シャッター
ダストブース

iDS-720
約W2870×D1735×H2550（ｍｍ）
約5000Kg
約W2600×D1030×H2500（ｍｍ）
約2500Kg
φ720×H800（ｍｍ）
4面12units（拡張可能）○○○
800℃熱電対計測3点
6系統
12軸自公転治具
ターボ分子ポンプ（口径12インチ）1台
大規模量産用W4500×D7000×H3000（ｍｍ）〇×High End ModeliDS -1000®

多機能性に優れた
iDSシリーズのハイエンドマシン

プラズマ源
フランジ

7面

標準アーク
蒸発源数

12units
最大導入
ガス系数

6系統
標準軸数

14軸
■ 多機能性に優れるチャンバー設計。
■ ８角形チャンバーの７面に様々なプラズマ源が搭載可能。
■ 矩形フランジの採用により、従来型２Ｓ蒸発源やスパッ蒸発源の搭載も可能。
■ 高出力ヒーターを採用し、基材加熱時間を大幅に短縮。
■ 成膜エリアが大きく、低生産コスト。
■ 大型金型処理や一度に大量の基材が処理可能な大規模量産装置。
■ 蒸発源シャッターを採用し、停止中のターゲット表面の汚染防止。
（オプション）

装置型式
装置本体寸法
装置本体重量
電源制御盤寸法
電源制御盤重量
有効成膜エリア
プラズマ源フランジ
標準アーク蒸発源数
ステアワン蒸発源
従来型蒸発源
スパッタ源
ヒーター最大温度温度測定モニター
最大導入ガス系数
回転テーブル標準軸数
主排気ポンプ
主な用途
推奨設置スペース
蒸発源シャッター
ダストブース

iDS-1000
約W4660×D2500×H2900（ｍｍ）
約9500Kg
約W2500×D1030×H2500（ｍｍ）
約2200Kg
φ1000×H1000（ｍｍ）
7面12units（拡張可能）
○
○
○
800℃
熱電対計測3点
6系統
14軸自公転治具
ターボ分子ポンプ（口径12インチ）2台
大規模量産用W6500×D8500×H3000（ｍｍ）〇×

● 本製品は、日本国の外国為替及び外国貿易法に基づく輸出規制対象品に該当します。

輸出等により日本国外に持ち出される場合は、日本国政府の許可が必要となります。
● iDSは日本アイ・ティ・エフ株式会社の登録商標です。

日本アイ・ティ・エフ株式会社

装置部〒601-8205 京都市南区久世殿城町575番地
TEL：075-276-2759 FAX：075-276-2886 http://www.nippon-itf.co.jp/