126VOL.

2024.Jul. Quarterly

Samco-Interview — 2
国立研究開発法人理化学研究所 光量子工学研究センター
フォトン操作機能研究チーム チームリーダー
開拓研究本部 田中マテリアル研究室 主任研究員

田中 拓男 先生

À la carte — 4
京の台所を訪ねて17

エル・ボガバンテ346

Information — 5

第三研究開発棟の地鎮祭を執り行いました
米国ジェームズ・マディソン大学の学生らに会社見学会を実施
京都の半導体産業振興、東高瀬川エリア活性化の取り組み
Technical-Report — 6

Aqua Plasma® による金の表面処理

かわどこ

京の夏を愉しむ風物詩に『貴船の川床』あり蒸し暑い夏の「涼」を求めて、京の北側に位置する奥座敷に1300年以上昔の天武天皇の白鳳時代から伝わる神社「貴船神社」が有ります。そこから流れ出る御神水の貴船川沿いに並ぶ『川床』風景は「京の夏の風物詩」にもなっています。川
床ならではの料理と涼を謳歌して、歴史ある神社の良縁をいただきに訪れてはいかがでしょうか。
写真・取材協力：川床・料理旅館 ひろ文

撮影 ⓒ 中田 昭

Samco-Interview
国立研究開発法人理化学研究所 光量子工学研究センター
フォトン操作機能研究チーム チームリーダー
開拓研究本部 田中マテリアル研究室 主任研究員

田中 拓男 先生
たなかたくお今回の Interview は、理化学研究所を訪ね、田中拓男先生にメタマテリアルなどのご研究についてお話を伺いました。
略

歴 1996年 3月
1996年 4月－2003年 3月
2003年 4月－2005年 3月
2003年 4月－2005年 3月
2005年 4月－2008年 3月
2008年 4月－2017年 3月
2010年 4月－2019年 3月
2010年 4月－現在
2012年 4月－2023年 3月
2014年 4月－現在
2017年 4月－現在
2017年 9月－現在
2019年 3月－現在
2019年 4月－現在
2023年 4月－現在

大阪大学大学院 工学研究科応用物理学専攻 博士後期課程修了 博士（工学）大阪大学大学院 基礎工学研究科 助手
大阪大学大学院 工学研究科 特任助教授 併任
理化学研究所 ナノフォトニクス研究室 研究員
理化学研究所 河田ナノフォトニクス研究室 先任研究員
理化学研究所 田中メタマテリアル研究室 准主任研究員
北海道大学 電子科学研究所理研 - 北大連携研究室 客員教授
埼玉大学 大学院理工学研究科 連携教授
学習院大学 理学部物理学科 講師
理化学研究所 光量子工学研究領域 フォトン操作機能研究チーム チームリーダー
理化学研究所 田中メタマテリアル研究室 主任研究員
台湾 国立清華大学 客員教授
徳島大学 ポストLEDフォロニクス研究所 特別招聘教授
フィリピン大学ディリマン校 客員教授
学習院大学 理学部物理学科 客員教授

自在に光を制御できる全く新しい光機能性材料とフォトニクスにおける新しいサイエンスの創出を目指しております。
▶ 先生の現在のご研究についてご紹介ください。
現在、理化学研究所の2つのグループに所属しており、1つは光量子工学研究センターのフォトン操作機能研究チーム、もう1つは田中メタマテリアル研究室です。どちらのグループでも“メタマテリアル ”をメインテーマにした研究をしております。メタマテリアルは2000年頃から欧米を中心に研究が活発化してきた分野で、当時はマイクロ波の領域で産声を上げました。私がメタマテリアルの研究を始めたのは2003年から2004年頃で、当時は光の領域のメタマテリアルの研究は存在しておらず、まだ若い研究分野であると言えます。
メタマテリアルについて広く認 知されている定義はありませんが、一言で定義するならば「人工的に導入した波長より細かな構造体によって物質の特性を制御し、単なる複合体の限界を超える特殊な性質を付与した疑似物質」となります。これまで物質の電磁気学的な特性は、物質固有のものであり、物質が決まれば自動的に決まってしまうものとされてきました。メ
タマテリアル研究室では、この物質固有と考えられてきた誘電率や透磁率といった光学特性をナノ構造体を用いることで人工的に制御し、

図1：サブ波長アルミニウム構造によるメタマテリアル光吸収体を用いた「色」

vol.126 / 2024. JUL.

自在に光を制御できる全く新しい光機能性材
料とフォトニクスにおける新しいサイエンスの創出を目指しております。また、フォトン操作機能研究チームでは、メタマテリアルというサブ波長スケールの極微細構造と光波との相互作用やそこから生み出される光学現象や光機能を研究し、フォトンを思いのままに創成・操作する技術として深化させています。そして、その新しい光科学技術を用いて、ナノスケールの極微細の構造を有する立体構造物を自由に作りだす光加工技術や、分子を1つずつ検出・同定できる超高感度な光センシング技術などの実現へと展開しています。図1はその一例で、(a)はサブ波長サイズのアルミニウム構造からなる光吸収体で作った理化学研究所のロゴの電子顕微鏡写真です。光の波長と比較して遙かに小さくて薄い構造にも関わらず、そのサイズや形で決まる特定の波長の光を選択的にほぼ完全に吸収します。この構造に白色光を照射して観察したのが (b)で、高い精度で原図の色を再現できています。構造のサイズを変化させれば、(c) のように可視光全体をカバーする様々な色を発色させることもできます。
▶ ご研究を始められたきっかけと、現在に至る経緯についてご紹介ください。
学生時代は、大阪大学で光学顕微鏡の研究をしていました。光学顕微鏡の課題は2点あり、その１つは三次元構造を見ることができないことでした。植物の細胞や葉の気孔を見ようとしても、三次元の物体を二次元にスライスする必要があり、立体的な厚みのあるものは見えません。もう1つの課題は、光の波長より短いものは見ることができないことです。私はこれらの課題のうち前者を克服するための研究チームに在籍していました。ちなみに研究していた技術は今日では、共焦点顕微鏡や二光子顕微鏡のように立体的なサンプルを直接可視化できる顕微鏡として市販されています。博士課程では顕微鏡で小さなものを見るだけでなく別の用途に使えないかと考え、光ディスクの研究を始めました。CD、DVD、Blu-rayなどの光ディスクは、直 径12cm のディスク上に並んだ小さな凹凸をレーザー光で検出して情報を読み出しますが、そのピックアップ光学系は光学顕微鏡とほぼ同じです。光
ディスクの長所の１つはメディアに直接触れずに情報を読み出せることであり、そのおかげでCDでは家の外へ持ち出して動きながら音楽を聴くことが可能になりました。一方、光学顕微鏡と同様にピックアップは3次元が見えないので、情報は１層しか記録できません。CD の厚さは約1mmですが、その中の情報の記録層は約1 µmの1層のみと薄く、CD の厚さの僅か0.1％だけで、残りの99.9％はそれを支える板なので非常に勿体ない構造になっています。そこで私は三次元の顕微鏡をCDに持ち込めば多層に情報を記録することが可能になるのではと考え、光メディア・光記録に研究をシフトし、多層記録できる光メモリーに関する研究で学位を取得しました。その後、阪大の助手となり、光メモリーの研究をしていた最中、色素と金のイオンとの相互作用で立体的に情報を記録できるメディアを作りました。阪大の頃を思い出すと、恩師の河田聡先生（現：大阪大学 名誉教授、理化学研究所 名誉研究員）には大変お世話になりました。研究の道に進むきっかけは河田先生による影響が大きかったかなと思います。
2003年、その前年に河田先生が理研に立ち上げられた研究室に移籍することを決めました。ちょうど光メモリーの研究を企業にお渡しするようなステージになったタイミングと重なり、基礎研究を始めたいと思ったことも移籍の決め手です。メタマテリアルと出会ったのもその頃です。光を専門分野にしていた私は、メタマ▶ 座右の銘をお教えください。
テリアルを光の領域に持ち込みたいと思い、研“ 好きこそものの上手なれ ”という、ことわざを究を開始しました。理論的な解析を進めることご存知でしょうか。誰でも好きな物事に対して熱で、マイクロ波だけでなく光の領域でもメタマテ中するため上達が早いという意味のことわざでリアルが作れることを示しました。そして、当時すが、研究は自分の好きなことや興味のあることマイクロ波の領域では銅の利用が主流でしたが大前提にあるべきと考えています。日々の実が、光の領域では電気抵抗が極めて低い金や験は大半が上手くいかないことばかりで、失敗し銀の方が適していることを理論的に証明しましてもまた次に頑張ろうという気持ちが湧いてくるた。その後、極微小の構造を立体的に作り出には、本当に研究が好きかどうか、自分が面白いすことに苦労しながらも、光メモリーの研究でICPエッチング装置RIE-400iPと田中先生と感じるかどうかが大切になってきます。若い研使っていた好きな場所の金属イオンを金属に還究者や学生の皆さんも、自分が好きと思えるよう元するという技術をメタマテリアルに融合させな研究を存分にやってもらいたいですね。
た研究をしました。それ以降、ありとあらゆる方や、地震から建物を守る地震波メタマテリアル法を使ったメタマテリアルの研究に取り組み、 など、光メタマテリアル以外の分野においても▶ 休日はどのようにお過ごしでしょうか？
将来的には自己組織的に大量生産することを研究が進んでおり、従来の物質では予想もつ自宅が自転車で数分の距離にあるため、実は見据えて、パラレルに研究を進めています。
かなかった面白い応用が考案されています。
昨今、「この研究は何休日も職場に出ていることが多かったりします。に役立つのか？」と問わテレワークが苦手でして、コロナ禍でも何かと理学生でも良い成果やデータを出してくれるので、れることが 多くなりまし由を付けては強引に職場で仕事をしてまして、建た。私は理研に移ってか使い勝手はかなり良い装置であると感じています。 物の中に私1人しかいない時もありました( 笑 )趣味は映画鑑賞、音楽鑑賞です。ジャンル
ら、もっぱら基 礎 研 究をにこだわらずに何でも見たり聴いたりしますね。
メインにしていますが、メタマテリアルが活気づあえて挙げるならば SF 映画は好んで見るといいた2000年から約四半世紀が経過しました。 ▶ 弊社の装置をご使用いただいておりますが、ご感想をお聞かせください。
うところでしょうか。あとは職場の真向かいにそろそろメタマテリアルが使い物になることをある和光市の体育館のジムに通うことが多い私どもの力で示さねばなりません。そのためア理研の中では共用設備としてサムコさんの複です。様々な運動プログラムが用意されているプリケーションも考慮しつつ、研究を加速させ数の装置を使わせていただいておりますが、私ています。の 研 究 室 ではICP-RIE 装 置（ RIE-400iP）、 のが楽しくて、週3回程度は行っています。職場とは全く異なるコミュニティの知り合いができRIE 装置（ FA-1）を使用させていただいており▶ ご研究の今後の展望についてお聞かせて、斬新なアイディアが貰えることもあります。
ます。特にICP-RIE 装 置はメタマテリアルをください。
ジム中心の生活になり過ぎているのではと妻作るためには欠かせないエッチング装置で、10学問分野にはトレンドや波があります。今でいからの評判はあまり良くないのですが ( 笑 ) ベ
nm、20 nmといったナノスケールの高精度なうとAI や量子の分野です。こういったトレンドストセラーにもなった書籍 “ 運動脳 ”でも、運動加工ができる装置として活躍しています。先ほを無視する訳にはいきませんし、ただ流される
ど申し上げた海外の大学との共同研究では、 によってストレス耐性ができたり、脳細胞が増だけでも良くはありませんので、トレンドをキャッえたり、記憶力が向上するといった効用がある窒化ガリウム（ GaN）のエッチングにも使用してチしながら将来に役立つ技術を育てたいと考と言及されています。
おり、大変重宝しています。また、クリーンルーえています。理研の中で私どもの研究室は工学
ムに装置を設置する際は、限られたスペースに▶ 最後にサムコに対して、一言お願いします。
（エンジニアリング）にカテゴリーされておりま装置を納めていただき、助かりました。学生でも繰り返しになりますが、私どもがメタマテリアすので、やはり何かの役立つこと、使えることが良い成果やデータを出してくれるので、使い勝ルの研究をやる上で、サムコさんの最先端の第一になります。メタマテリアルの技術を何らか手はかなり良い装置であると感じています。
エッチング装置は欠かせないものです。メタマの役立つ技術に仕上げていくことが目標です。
▶ 日頃のご研究において、心掛けておられる
現在は、科学技術振興機構（ JST）の戦略
テリアルという言葉は新しくても、そのアイディことをお聞かせください。
的創造研究推進事業（CREST）に採択された
ア自体は100年前、200年前の研究者たちも「メタマテリアル吸収体を用いた背景光フリー
研 究 主 宰 者（ PI:Principal investigator） 考えはしていたはずですが、当時はその加工超高感度赤外分光デバイス」という研究テー技術や解析・設計技術がありませんでした。しになってからは、“ 安全維持 ”を第一に心掛け
マに2019年から取り組み、本年で最終年度
かし、周辺技術の発達により、今ようやく実現ています。当たり前のことかもしれませんが、自を迎えます。金属ナノ共振器で構成されるメタできるような時代になってきました。その一方分の研究室で事故が起きて誰かが怪我をする
マテリアル吸収体を用いて、赤外分光法におでメイドインジャパンの最先端装置が国内の機ようなことは絶対に無いように日頃から気を付ける余計な背景光を抑制して信号光のみを検関にはなく、海外のライバルの手に渡っているけています。私が学生の頃は、装置は全て手出することで、その測定感度を飛躍的に向上ことも危惧しています。サムコさんには日本の作業で操作して、オーバーホールも自分でやるさせ、その技術を利用した超高感度分子検出装置メーカーとして、今後も日本の最先端の研ことで、装置の構造や役割を理解できていましデバイスの開発を目指しています。
究開発を支えてもらえるような装置を次々と開たが、今の装置はほとんどが全自動化している
メタマテリアルの研究は世界中で進んでお発し続けてもらいたいと思います。
ため、ある意味でブラックボックスになっていまり、私どもは国立台湾大学や成功大学、オーす。今の若い人達はそれを恐いことと感じない
お忙しいところ貴重なお時間をいただき、ストラリア国立大学の研究者らとグループを組ようで、私はとても心配に感じてしまいます。
ありがとうございました。
み、焦点距離を制御できるメタレンズなどの共あとは“日頃の研究をいかに楽しむか ”とい同開発もしています。将来的には超小型のデうことですね。この業界ジタルカメラや光学顕微鏡、光学センサーなでは研究を楽しまないとサムコさんには日本の装置メーカーとして、今後もど、小型で高性能な光学機器の創出に貢献で損だと思って、日々の業日本の最先端の研究開発を支えてもらえるようなきると期待しています。海外では、石油の掘削務に邁進しています。
装置を次々と開発し続けてもらいたいと思います。
プラントを津波から守る水面波メタマテリアル

2-3À la carte
エージャに対して、スペインでは一般的なメロッソ（とろっとしたおじや風）仕上げを選ぶ

17

こともできます。

̶̶《 海外編4》

昼でも、夜と同じアラカルト（一品料理）を京都で本格スペイン料理を味わいたいなら「エル・ボガ
サンヨンロク
バンテ346」へ。三条通り西洞院にある同店の目印はスペイン国旗です。荒川三四郎シェフがスペイン料理について語ってくれます。

注文することができ、昼しかないランチセットもあります。パエージャランチは5種類あり、スペイン風オムレツ、ミニクロケッタ（クリームコロッケのこと）、サラダ付き。中でも「オマール海老のパエージャ」ランチは、特に￥2,838と価格が抑えられています。
テ346」をオープン。

店舗前にはテラス・屋外席が設けられ、ここでくつろぐお客様の姿も珍しくありませ「スペイン食文化の花というのは、タパエル・ボガバンテは、“ススだと思うんです。バルをはしごしてそれ

ペイン語の冠 詞＋オマー

ぞれ異なる美味しさのタパスをつまむ。そル海老 ”を意味する語で、れを一皿で表現したのが、前菜 “おつまみ346はシェフのファースト

タパスの盛り合わせ ”です」。これは8種ネーム“ 三 四 郎 ”をもじっ盛りで、定番のスペイン風オムレツや、季た数字です。

節の料理で構成されており、ご利用人数「ガストロバルは、美食分のオーダーを受けています（ 1人当たりバルと訳しています。カ¥1,408）。

ジュアルな雰囲気の中で「本日のお料理」も好まれ、「コルドバ風気 軽に食べていただきた

トマトの冷製スープ サルモレホ」￥1,155、いけれど、料理はレストラ「自家 製 ポークショルダ ーハム ラコン」

ンクオリティ。厳選した美味しいワインも用￥935など、ランチタイムから多彩な料理が意しました」と荒川シェフ。

テーブルを彩ります。常連客も多く、欧米かん。店内はゆっくりと食事が楽しめるように同店は、スペイン政府が優良スペイン料らのお客様も1日に1、2組来店し、美味しなっており、テーブル席・カウンター席の24理店として認定する「レストランズフロムス

い料理とワインを求めるそうです。人気店席と、6～8名様用の半個室を完備していペイン」です。荒川シェフは、J.S.A（日本のため事前の来店予約がお勧めです。

ます。

ソムリエ協会）認定のソムリエであるととも「私自身は日本人なので、これからもスペ荒川三四郎シェフは「一つのジャンルのに、スペイン政府が公認するスパニッシュワイン料理を勉強しなければなりません。そ料理を突き詰めたい」と思っていた20代半インスペシャリスト。「スペインは、ブドウのれから重要なのは後進の育成です」。京都

ば、京都の老舗「ラ・マーサ」（当時）にお栽培面積が世界第1位で、放っておいてものスペイン料理店を中心としたシェフが集いてスペイン料理と運命的に出合い、ほど美味しいブドウが育ち、自ずと美味しいワイ

まり、「 D.O.KIOTO」というグループをなくスペイン各地を訪ねました。

ンが醸造されます。嫌味がな「現地の方々がタパス（小皿料理）をつまくて素直な味わいゆえ、料理スペイン料理ではこう使うんみながら美味しいワインを楽しんでいるのをにも合わせやすいんです」

だよと若 手 料 理 人に伝え、ディーオー キオト発足。「京都の食材などを見て、これが私のやりたかったことに一番近一番の名物は、「オマールスペイン料理に一層興味をいと感じました」。レシピ本を購入し、帰国

海老のパエージャ」¥2,838もってもらえればと話し合っ後は原書を翻訳しながら勉強を重ねます。 （ 以 下も価 格 表 示は税 込 ）ています」。これから活動が2006年にバルセロナに留学。調理学校にです。パエージャはスペイン本格化するそうです。京都通いながら夜間はレストランで修業しまし

語の発音で、「パエリア」のにおけるスペイン料理の発た。2008年、ガストロバル「エル・ボガバンことです。おこげをつけるパ展が予感できます。

エル・ボガバンテ346
京都市中京区塩屋町53 ORYZA三条西洞院1F
TEL 075-255-9892
URL https://www.elbogavante346.com
営業時間 ランチ 12:00～15:00（ラストオーダー14:30）
ディナー 17:30～22:00（ラストオーダー21:30）※最終入店時刻はラストオーダーの30分前

定 休 日 水曜日
京都市営地下鉄「烏丸御池」駅より徒歩7分

vol.126 / 2024. JUL.

4

Information

第三研究開発棟の地鎮祭を執り行いました
当社は自社施設敷地（京都市伏見区竹田田中宮町93番地）に建設を計画しておりました
第三研究開発棟の地鎮祭を、4月25日に執り行いました。
地鎮祭は、伏見区の城南宮を斎主に、当社取締役、執行役員、技術開発部員、施工業者、メディア関係者など約30名が参列のうえ執り行われ、工事の安全を祈願いたしました。土地の神様に工事の開始を奉告する「地鎮の儀」では、盛砂に代表取締役会長の辻いむすきが斎 鋤を入れ、土地の神様を鎮め工事の安全と事業の繁栄を祈願いたしました。続いて、
しんしゅはいたい

神酒拝戴では京都伏見の酒蔵会社の日本酒にてお祝いし、ご参列の皆様とともに建屋工事の安全、そして将来の成功を祈願いたしました。
第三研究開発棟は、12月中旬に完成を予定しており、稼働を開始する予定です。最新の設備を導入し、従業員にとって魅力的で働きやすい環境を整備いた

地鎮の儀します。多様な従業員が活躍し、多様なアイディアから生まれる革新的な製品やサービスを通して、より良い社会の実現に貢献していきたいと考えております。

関係者一同

米国ジェームズ・マディソン大学の学生らに会社見学会を実施
3月14日、米国バージニア州のジェームズ・マディソン
大学で経営学修士（ MBA）取得を目指す学生ら約40名が来社され、当社の事業内容や歴史を紹介する講演会および工場見学を実施いたしました。外部の教育機関による見学会の開催は5年ぶりとなりましたが、今後も国内外を問わずに外部との交流、情報交換の機会を積極的に増やしていく計画です。

当社 生産技術研究棟にて京都の半導体産業振興、東高瀬川エリア活性化の取り組み
3月13日、京都リサーチパークにて京都府および（公財）京都産業21主催の京都半導体産業振興フォーラムにて、「半導体産業の展望と京都の可能性」と題したパネルディスカッションに代表取締役会長の辻が登壇いたしました。また、3月18日、京都市成長産業創造センターにて、当社の本社が位置する京都市伏見区の東高瀬川エリアに、半導体やライフサイエンス関連企業を集積する「東高瀬川ビジネスコミュニティ」発足に際したシンポジウムが開催され、同団体の会長に辻が就任いたしました。
京都リサーチパークにて

当社では、京都府や京都市などの地元の行政や近隣企業などと連携しながら、京都および東高瀬川エリアにおける地域産業の振興への取り組みも進めてまいります。

読者アンケートのお願い
サムコナウへのご意見・ご感想をぜひお聞かせください。
今後の誌面の改善に役立てさせていただきます。

vol.126 / 2024. JUL.

アンケートはこちらから5Technical-Report

Aqua Plasma®による金の表面処理
サムコ㈱ 新規事業統括部▪ はじめに▪ 結果と考察

金は、銅や銀と同様に電極として広く用いられている。極めていずれのサンプルも処理前後でAu の外観は変化しなかった。

酸化されにくい金属であるが、酸素プラズマにより酸化されて表しかし、XPS 分析では酸素プラズマ処理品はAu2O3 のピーク報告されている理品には観察されなかった。さらに、酸素プラズマ品にAqua

面にAu2O3を生成し電気伝導率の低下や接合阻害を生じると[1][2]が観察された（図2）。一方、このピークはAqua Plasma® 処。

Plasma® 処理を追加するとピークは消失した。これらの結果かAqua Plasma® はプラズマ中でH、OHとOラジカルが生成される。これらの化学的な反応により酸化した銅や銀の還元、表らAqua Plasma® の Au の酸化防止と還元効果が確認された。とからめっき前のデスカム、ボンディング前の洗浄、モールディンジカルが作用していると考えられる（図3）。

面の親水化や有機物の酸化分解効果が得られる（図1）。このこ還元機構には酸化銅や銀と同様にAqua Plasma® 中の Hラ

グ前の親水化などの半導体製造工程でウエハからリードフレー

また、還元と同時にAu 表面は20°以下に親水化される（図4）。さらに、有機物（フォトレジスト）は約20 nm/min のレートで。

アッシングされる（図5）。

本稿では金の酸素プラズマによる酸化とAqua Plasma® に

これらのことからAqua Plasma® は金表面の新しい処理方よる還元効果について調査した結果を紹介する。

法としての利用が期待される。実機でのデモンストレーションも▪ 実験可能である。ご関心があればお問い合わせいただきたい。

サンプルは金電極への効果を確認する目的で、 4″
シリコンウ

■参考文献

エハにスパッタ成膜した金薄膜（ 500 nm 厚）を用いた。装置は[1] H. Tsai et al., Surf Sci, vol. 537, no. 1–3, 2003.
[2] M. Yamamoto et al., Micromachines, vol. 10, no. 2, 2019.
[3] SAMCO NOW Vol.94, 96, 103, and 111[4] H. Terai, et al. IEEJ Trans. Sensors Micromachines 139, 157–162(2019).11–14, 2019.
[5] 妻屋円ほか , 第71回応用物理学会春季学術講演会 , 24a-61B-2, 2024.

Aqua Plasma® クリーナー AQ-2000を用いた。グランド電極にサンプルを設置し、加熱せずに処理した。処理条件はガス流量、プロセス圧力、RF パワー、処理時間を固定し、ガス種のみ変更した。条件は酸素プラズマ、Aqua Plasma®、酸素プラズ

マ後にAqua Plasma® 処理の3つで比較した。処理前後のサ

300000

ンプルはXPS（ X-ray Photoelectron Spectroscopy）で分酸化金属の15000010000090300000

H2O + eIntensity (a.u.)

酸化分解

表面の親水化

88868482Binding energy (eV)

酸化ピーク発現200000

Au2O389 eV150000100000

Au2O386 eV

50000
90

図1. Aqua Plasma AQ-2000と処理効果®

Au2O3+6H ➡ 2Au+3H2O
図3. Aqua Plasma®による還元機構の想定

88868482
Binding energy (eV)

092

90

30000025000020000088868482
Binding energy (eV)80

O2→Aqua Plasma®

酸化ピーク消失

15000010000009280

90888684
82
Binding energy (eV)80

図2. XPS Au4fナロースペクトル[5]アッシング量(nm)250

水接触角(°)

Au

10000050000

0921009080
706050403020100150000

80

O2プラズマ250000OH

不酸化20000050000

092H

Aqua Plasma®

25000050000

還元

有機物のAu200000300000InitialIntensity (a.u.)

Intensity (a.u.)

析し、Au 表面の酸化状態を評価した。

O

Au

250000Intensity (a.u.)

ムまで広く利用されている[3][4]

020

30

40

50

60

70

処理時間(s)

80

90

100

200

20 nm/min

150
100
5000

図4. Auの水接触角測定結果

vol.126
サムコ株式会社〒612-8443 京都市伏見区竹田藁屋町36

TEL 075-621-7841

E-mail koho@samco.co.jp

100

200

300

400

処理時間(s)500

図5. レジストのアッシング結果

2024年 7月発行
バックナンバーも、こちらからご覧いただけます。

600