技術シーズの御紹介
富士通セミコンダクター株式会社
2018年7月12日
静岡県産学官技術交流促進事業
知的財産マッチング会in浜松
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED

会社紹介1
社名
富士通セミコンダクター株式会社
所在地
神奈川県横浜市港北区新横浜二丁目100番45（新横浜中央ビル）
600億円
資本金
2008年3月21日
設立
事業内容 システムメモリ、ウェハファウンドリ、販売にかかる事業主要株主 富士通株式会社（持株比率100％）
従業員数 2990名 （FSL全グループ）
ホームページ http://www.fujitsu.com/jp/fsl/

開放特許 連絡先
知的財産部
安達 <sadachi@fujitsu.com>
丸岡 <maruoka@fujitsu.com>
蜂谷 <hachiya.noriko@fujitsu.com>
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会社紹介２
 YouTube三重工場(３分9秒)
https://www.youtube.com/watch?v=AuOFf9cHTA8
FRAMメモリ(３分53秒)
https://www.youtube.com/watch?v=xbMwp1kBqVU

2Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED目次：開放特許
1
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4
5
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8

流出孔を工夫したガス圧力センサー式液面検知装置

UVを利用するクリーニング方法及び装置

9

特許5381607/特許5678671

液だまりを回避できる片面めっき装置

10

特許3886919

QCMガスセンサーを有する空気清浄装置の保守方法

11

特許4571422

外部からの影響を受けにくいU字形状アンテナ素子
特許5040926

パッキング内にアンテナを配置した無線装置
特許4788623

特許4418151

圧力を加えると情報を表示するカード12

特許3928082

温度センサー付き電子タグ

13

特許4214163

迷子検知システム

14

特許4781968

ブレーキ手段を備えた安全な入れ子状台車

15

特許5245693

水素及び酸素トラップを有する熱処理装置
特許5304647

商品への関心度情報を収集するシステム
特許5040661

異物の再付着を防止する洗浄方法
特許5834406

反応ガスの再析出を防止する排気手段
特許5834406

光触媒と吸着フィルターを使用した高効率な排ガス浄化装置
特許4447213/特許5126192/特許5532783
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED1．UVを利用するクリーニング方法及び装置
日本特許第5,678,671号、第5,381,607号

UV照射により活性化されたガスにより、被処理部材にダメージを与えることなく炭素汚染を除去することが可能な装置
活性種ガス

4

UV光源

Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED1．UVを利用するクリーニング方法及び装置
日本特許第5,678,671号

UV照射により活性化されたガスにより、被処理部材にダメージを与えることなく炭素汚染を除去することが可能な装置■被処理部材に制限はない■励起ガスは酸素及びエチレ 酸素ガス
ンを使う
■ナノオーダの炭素コンタミを分解除去可能ランプ

エチレンガス

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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED2．液だまりを回避できる片面めっき装置
日本特許第3,886,919号

めっき液の排出時にめっきが進行してめっき膜の表面に荒れが発生することを防止できるめっき装置
めっき槽
電極

6

めっき対象物

Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED2．液だまりを回避できる片面めっき装置
日本特許第3,886,919号

・めっき液の排出時に開口部に液溜まりを回避するため、開口部壁面に排出溝を有する片面めっき装置
・壁面に浸透性部材（ガラス繊維、カーボン繊維)を使用
めっき槽

電極

めっき対象物

排出溝
断面図
めっき液排出7

Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED3．QCMガスセンサーを有する空気清浄装置の保守方法
日本特許第4,418,151号

QCMガスセンサーを用いることにより、フィルタの正確な交換の時期がわかる■ケミカルフィルタをモニタリングしてその受信データを分析することで、フィルター交換時期の予測や在庫管理など、IoT化を実現する保守方法。

ケミカルフィルタ

換気ファン

QCM；Quartz Crystal Microbalance の略で、水晶振動子をセンサ基板として微小重量変化を測定する方法
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED3．QCMガスセンサーを有する空気清浄装置の保守方法
日本特許第4,418,151号

QCMガスセンサーを用いることにより、フィルタの正確な交換の時期がわかる■ QCMガスセンサーに関して技術導入実績有

QCM；Quartz Crystal Microbalance の略で、水晶振動子をセンサ基板として微小重量変化を測定する方法
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4． 圧力を加えると情報を表示するカード
日本特許第3,928,082号

圧電素子に圧力を加えると電圧が発生し、不揮発性メモリ内の情報を表示部に表示できるカード
プリペイドカード等
表示部
LSIチップ(不揮発性メモリで残高などの情報を記憶)
1 ICカード

圧電素子 (特殊セラミックなど)
湾曲や押圧することで、圧電素子が変形し発電
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4． 圧力を加えると情報を表示するカード
日本特許第3,928,082号

圧電素子に圧力を加えると電圧が発生し、不揮発性メモリ内の情報を表示部に表示できるカード【応用例:プリペイドカードでの残高表示】

プリペイドカード等表示部

表示例)
残高5,000円以上

LSIチップ(不揮発性メモリで残高などの情報を記憶)

残高2,000円以下
残高1,000円以下(あるいはデジタル表示でもOK)

1 ICカード

圧電素子 (特殊セラミックなど)■Suicaのように端末にタッチすることなく、手でカードに圧力を加えるだけで起電し、簡単にメモリ内の情報を表示可能
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5．温度センサー付き電子タグ
日本特許第4,214,163号

温度センサ付き電子タグを例えば生鮮食料品(ex.肉、野菜)に付けることで流通過程での温度を計測・記録し、効率的な品質管理を行える②スーパーでの温度を計測し、電子タグ内のメモリに記憶③メモリ内の温度情報を読み取り、鮮度を確認！

温度センサ付き
電子タグ①倉庫での温度を計測し、電子タグ内のメモリに記憶
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED6．迷子検知システム
日本特許第4,781,968号

電子タグを用いた位置情報追跡システム
例1）遊園地などで子供がはぐれたら、電子タグから園内に配置されたリーダーに自動的に発信することで子供の位置を追跡把握

親の端末

電子タグ
リーダー

①通常、子供の情報を発信②もしも親とはぐれたら、子供の情報を電子タグリーダーに発信

子供の電子タグ
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED6．迷子検知システム
日本特許第4,781,968号

例2）患者が病室を離れ、病院内を移動している時に病院内に配置されたリーダーにより患者の位置を追跡把握する②病室を離れると、病院内各所に設置された電子タグリーダーにより、患者の位置を把握可能①通常、病室で患者の存在を確認
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED7．ブレーキ手段を備えた安全な入れ子状台車
日本特許第5,245,693号

磁石と樹脂シートを用いたブレーキ手段を有する収納スペースを取らない入れ子状台車
入れ子状になるので、狭いスペースにも収納可能

適用例
所定以上の傾きで制動制御棒がリンク部材から外れ、樹脂シートが落下しキャスタに巻き込まれ台車が停止する

ブレーキ手段
断面図
磁石
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樹脂シート
Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED8．光触媒と吸着フィルターを使用した高効率な排ガス浄化装置
日本特許第4,447,213号、第5,126,192号、第5,532,783号

流体(気体又は液体)中の汚染物質を高効率に分解、吸着することにより除去する装置■分子量小さい有機物⇒光触媒 ■分子量大きい有機物⇒吸着剤フィルタ
Ex) C6H42,C6H10O,C6H5CH2CH3Ex) (CH3)CO2,CH3OH,C2H5OH,CH3COC2H5

光触媒ユニット

吸着剤フィルタ

光触媒(TiO2)
回転

被処理ガス

被処理ガス

バルブ制御部
UV光源
流体浄化装置(JP213,JP192)

光触媒ユニット(JP783)
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED8．光触媒と吸着フィルターを使用した高効率な排ガス浄化装置
日本特許第4,447,213号、第5,126,192号

HEPAフィルタで除去しにくい流体中の汚染物質(ガス、ミスト)を高効率に分解、吸着することにより除去する環境制御装置■分子量小さい有機物⇒光触媒 ■分子量大きい有機物⇒吸着剤フィルタ
Ex) C6H42,C6H10O,C6H5CH2CH3Ex) (CH3)CO2,CH3OH,C2H5OH,CH3COC2H5

光触媒ユニット

吸着剤フィルタ

被処理ガス

バルブ制御部■低分子量汚染物質を光触媒にて先に分解除去することで、低分子量汚染物質は吸着剤フィルタユニットに至ることがなくなるので、吸着剤フィルタの寿命を延ばせる流体浄化装置(JP213,JP192)
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED8．光触媒と吸着フィルターを使用した高効率な排ガス浄化装置
日本特許第5,532,783号

流体中の汚染物質を高効率に分解、吸着することにより除去する装置■光触媒ユニット■UV光源が中心軸にある。
■円筒状光触媒は周囲に配置され、回転しながら除外処理
光触媒(TiO2)
回転

被処理ガス

被処理ガス

UV光源
光触媒ユニット(JP783)
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9．流出孔を工夫したガス圧力センサー式液面検知装置
日本特許第4,571,422号

ガス圧力センサーによって液面を検知する装置において、流出孔を工夫することに依って液面が揺れるのを防止する■高温の強酸化剤のタンク■液面監視して空焚き防止■気泡は窒素を使用

ガス

液面を検知
気泡

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9．流出孔を工夫したガス圧力センサー式液面検知装置
日本特許第4,571,422号

ガス圧力センサーによって液面を検知する装置において、流出孔を工夫することに依って液面が揺れるのを防止する。

■気泡と気泡の間；液体を逃がす流出孔が空いている■流出孔の大きさを規定
気泡■流出孔の形状は限定なし

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ガス流出孔

Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED10．外部からの影響を受けにくいＵ字形状アンテナ素子
日本特許第5,040,926号

U字形状で、そのU字の中に貫通孔を有するアンテナ素子
U字内に、基板の誘電率とは異なる誘電率の領域を設ける

グランド領域(基板裏面に設置)

アンテナの共振周波数帯域が拡がることで、アンテナが組込まれる無線機器の筐体や近傍の導体の影響を軽減

基板

U字アンテナ素子(基板表面に設置)

U字アンテナ素子(基板裏面に設置)
貫通孔 (基板の誘電率とは異なる誘電率の領域)
21Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED11．パッキング内にアンテナを配置した無線装置
日本特許第4,788,623号

パッキング内に電気的接続が容易なアンテナを配置した無線装置
開口筐体

無線装置本体L字ダイポールアンテナ

開口筐体に挟まれたパッキング内にアンテナを内蔵

無線装置外観図
開口筐体

パッキング
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED11．パッキング内にアンテナを配置した無線装置
日本特許第4,788,623号

パッキング内に電気的接続が容易なアンテナを配置した無線装置
L字アンテナコネクタ

スルーホール

プリント配線板(送受信回路)

L字アンテナのスルーホールをパッキング領域外とすることで、プリント配線板のコネクタとの電気的接続が容易となる

パッキング構造図

パッキング

フレキシブルプリント配線板
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED12．水素及び酸素トラップを有する熱処理装置
日本特許第5,304,647号

水素及び酸素の濃度を低減する雰囲気調整機構を有し、保護絶縁膜の劣化を防止することが可能な熱処理装置

酸素トラップ１１５
オキシゲントラップ

水素トラップ１１４
チタン系水素吸蔵合金

雰囲気調節機構１１２
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED12．水素及び酸素トラップを有する熱処理装置
日本特許第5,304,647号

水素及び酸素の濃度を低減する雰囲気調整機構を有し、保護絶縁膜の劣化を防止することが可能な熱処理装置■出荷前の電気的試験の際に温度保証範囲で正常に機能するかどうか調べるエージング処理を行う熱処理装置■大気より低減された酸素と水素濃度にて熱処理を行う。
■劣化しやすいノボラック樹脂でも、熱処理可能であり、選択できる樹脂の材質が増える。
■ノボラック樹脂は実施例であって、半導体基板であれば材料の限定はしていない。
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED13．商品への関心度情報を収集するシステム
日本特許第5,040,661号

商品に対応させて商品棚に配置されたＩＣタグへのデータアクセスに基づいて、潜在的な商品の価値を解析するＩＣタグの機能を利用した情報収集システム【問題点】
店舗の商品には売上の高い商品と売上の低い商品がある☞売上の低い商品の中で、・全く売れそうにない商品なのか？
or・もう少しで売れる商品なのか？
を判断するのは難しい。
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED13．商品への関心度情報を収集するシステム
日本特許第5,040,661号

商品に対応させて商品棚に配置されたＩＣタグへのデータアクセスに基づいて、潜在的な商品の価値を解析するＩＣタグの機能を利用した情報収集システム
ICリーダー①シャンプー売り場の商品リストを送信③商品Aのアクセスがあった旨を送信

サーバでアクセス数蓄積④顧客ポイント付与

シャンプーA【商品説明】○○を配合し、潤いが持続…

シャンプーA
RFIDタグ【価格】
800円 (税込)②顧客がリスト内の商品Aの詳細情報にアクセス
27
4

商品Aのアクセス回数が売上個数より多ければ→消費者は商品Aに関心あり！
+αの工夫で今後売れる可能性ありと判断し、潜在需要を認識可

Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED14．異物の再付着を防止する洗浄方法
日本特許第5,834,406号

対象物に付着した異物を効率的に除去し、異物の再付着を抑制しうる洗浄方法及び洗浄装置を提供する【解決したい課題】
何らかの原因により対象物に付着した異物は、除去する工程が必要である。
その際、例えば風圧によって対象物の異物を吹き飛ばす洗浄処理では、吹き飛ばした異物の再付着を完全に防止することは困難である。

処理室

異物

対象物

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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED14．異物の再付着を防止する洗浄方法
日本特許第5,834,406号

対象物と処理室の内壁との間に温度勾配を設け、除去した異物の熱泳動を誘発し、異物の再付着を抑制する洗浄方法及び装置
処理室

気体噴射ノズル(気体噴射機構)

クーリングプレート

室温よりも高い温度のガス(冷却装置)
対象物

基板キャリア

多孔板

クーリングプレートの冷却方法
クーリングプレート
ガス冷却部
キャリア支持台

フィルタ

真空ポンプ

(支持台)
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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED15．反応ガスの再析出を防止する排気手段
日本特許第5,315,631号

真空ポンプの排気経路を加熱する手段であり、反応ガスの析出による障害の発生を防止する排気手段【解決したい課題】
反応装置で発生した反応ガスは、配管を通って真空ポンプから排出される。
この時、ジャケットヒータ13のみでは十分な温度を維持できず、反応ガスの昇華点よりも低い温度になると反応ガスが固体化して配管内に析出する。

ジャケットヒータ
反応装置

電力供給
配線

真空ポンプ

固体化した
反応ガス
配管内部の拡大図

配管内部

配管内部

反応ガス

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Copyright 2018 FUJITSU SEMICONDCUTOR LIMITED15．反応ガスの再析出を防止する排気手段
日本特許第5,315,631号

排気経路を外側(ジャケットヒータ)及び内側(シール部材)から加熱することにより、反応ガスの析出を防止するジャケットヒータ
抵抗
発熱体19

シール部材

配線L4
温度センサ1631

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