ステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」

HIGHLIGHT
ステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」－全体最適のための各社連携のありかたについて－

電子産業において、半導体製造プロセスは、電力、化学物質などの使用量が大きいため、その負荷削減は半導体産業全体の課題となっています。
今回、半導体メーカー、部品メーカー、装置メーカー、クリーンルームの設計・施工を担う建設企業の方々をお招きして、半導体工場の環境負荷を半減するには互いにどのような協力が必要かについて議論を行いました。
（開催日：2008年7月1日）

佐倉様：インテルでは、新しい製造プロセスの開発にあたっ座談会にお招きした方々●インテル株式会社● Samsung Electronicsて、SEMI、RoHS、EICC※3 などのガイドラインを活用し、省エ佐倉 英俊 様ネルギー化、有害物質使用制限、労働者安全などの項目を網羅

Dr. Tae-Jin Parkした指針を策定し、環境負荷を下げた製品を実現する仕組みを構築しています。

●株式会社東芝 セミコンダクター社

見方 裕一 様●エドワーズ株式会社

浦野 智秋 様エネルギー消費に関しては、2002 年から 2010 年にかけて、●株式会社荏原製作所

野路 伸治 様プロダクション・ユニット当たり年間平均4%減を目標として●大成建設株式会社

後町 智雄 様

きましたが、過去 5 年間の実績で 20%減を達成しています。今HIGHLIGHT

後も SEMI S23 を用いて、長期的に装置消費電力などの削減を目指し、各サプライヤーさんにもロードマップを提示して半導体業界の環境活動のこれまでと今後の課題

TEL斎藤：半導体の全プロセスにおける環境負荷低減は業界全体の責務という考えに立って、東京エレクトロングループいただき、取り組みを進めているところです。
※3 EICC：Electronic Industry Code of Conduct/電子業界行動規範。CSR観
点でサプライチェーン・マネジメントを行うためのガイドライン。

は、ITRS※1の方針に沿って、ウェーハの単位面積当たりの使用

パク様：ソウル首都圏では、CO2 をはじめ窒素酸化物、硫黄酸

エネルギーを 2010 年までに 1999 年比の 65%まで減らすとい化物などの排出物質の規制が、濃度ではなく総量による規制MANAGEMENT Report

う 計 画 を 立 て て い ま す。ま た、ITRSは 最 近 あ ら た に FABに変わり、2001年ベースで50%ほど減らさなければなりませEnergy全体を 2016 〜 2022 年にて、2007 年度ベースで半減ん。工場では、例えば除害装置の排出物質を解析し、その対策という Roadmapを提示し、これに対する業界全体の取り組などに取り組んでいるところです。省エネルギー化に関してみが必要と考えております。

は、半導体製造装置メーカーの努力のおかげで、かなりのレベさらに、環境の悪化が深刻化しつつある今、廃棄物、化学物ルに至っています。

EHS Report

質、リサイクルなど、SEMI S23 ※ 2 では明示されていない部分

見方様：CO2 削減は、電力コストの低減に直結するので、東芝でも目標を設定し、半導体業界の上流から下流にかかわる各社でも削減へのモチベーションは非常に高く、この 4 年ほどで単で協力して環境対策を加速する必要があると考えています。

位面積当たり 200mmウェーハの使用電力に対して、今はほぼ※1 ITRS：International Technology Roadmap for Semiconductors/半導体業界団体。技術、環境などの業界共通目標などを定める。

半減しました。ウェーハ口径が 300mmと大きくなったことが※2 SEMI S23：SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International/半導体・FPD製造装置と材料メーカーの国際的業界団体)が作成した半導体製造装置に関する省エネルギーのガイドライン。

大きな削減要因ですが、おかげで原単位が下がり、ここ 3 、4 年は生産増加にもかかわらず、CO2の伸びは抑えられています。

半導体製造にかかわる企業各社連携の現状
見方様：東芝では、製造装置をつくる装置メーカー、設備関係者、そして私たちの三者で協力する「クリーンルーム・エコノロジー※4・プロジェクト」を2004年から始めました。当社の生SOCIAL Report

産統括責任者がリーダーとなり、動力設備や製造設備などのワーキンググループで最適なスペックは何かを協議するようになって、エネルギーロスの削減が実現できたうえに、技術的なイノベーションや省エネルギー化の新しいアイディアも生まれています。
※4 エコノロジー：エコロジー＋テクノロジー＋エコノミーの造語。

10TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

ステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」

める機会が必要です。三者で「省エネルギー化はこういう方えば、新しい半導体製造プロセスが生まれた場合、製造工程の針でいきましょう 」と議論すれば、もっと成果は出るはずで各々で、温度や圧力が変化し、使用するガスや化学物質の状態す。そのためには充分な議論のための時間も必要ではないかも変わります。ところが、私たちの中には MSDS※5 の情報程度と思います。

しかなく、詳しいことがよくわからないこともあるため、装置

見方様：CO2 排出削減を進めるうえでは、生産性向上は非常にメーカーから情報面で助けていただいています。

重要です。単位時間あたりの処理能力を上げるとか、装置の稼働率を上げることで、同じ設備台数でより多くの半導体を製

浦野様：半導体メーカー各社は、CO2 排出削減などのロード造でき、使用電力の削減、そして CO2削減にもつながります。

マップを出していますが、「 では具体的に何をやるのか？」が重それから、待機電力の削減も課題です。というのも、ウェー要です。この対応として装置やコンポーネントなどの要素を一ハの加工中に四六時中動いているのはリソグラフィの装置ぐつひとつ検討していく努力が不可欠ですし、私たちは排気系のらいです。規模にもよりますが、全体の消費電力の 20 〜 30%担当ですので、コンポーネント単体での省エネ対応の努力をが待機電力の場合もあり、パソコンの「スリープモード 」のよ行っています。さらに、装置をどこに配置するのか、除害装置やうな節電の仕組みをぜひ設定していただけたらと思います。

ドライポンプとの距離はどのくらいかなど情報を開示していた

そのためには、スリープ状態の標準化をまず進めることが必要ですね。
「スリープモード 」について SEMIのス
TEL井深：そうですね。て、新しい技術についてかなり早い段階から情報交換するよタンダードなどでの再定義が必要だと思います。

うにしています。

野路様：消費電力を下げるという点で、荏原製作所は省エネル
ギーポンプのパイオニアとして 1995 年から、可変速モーターを使用したポンプをユーザーさんに提供しています。このポ

浦野様：半導体メーカーと装置メーカーは密に連携してプロンプを使用すると「スリープモード」も行えるのですが、ただ、セス開発を進めていくことが必要だと思います。例えば、無駄歩留まりやプロセスへの影響もあって、装置メーカー側ではのない配管の長さ、装置付近での処理などの工夫をすればエなかなか進めづらいところもあるようです。

ネルギー消費も抑えられます。ドライポンプも、全体の構成をその一方で、可変速モーターを使用することにより、当社の考えれば、小さくしてもっと安くできると思います。

ドライポンプはこの 10 年間で 8 割のエネルギー削減が実現でパク様：そういう議論は大いに必要だと思います。当社の製きています。今後、ポンプ構成部品の加工技術の向上で、さら造工程については、過去 3 回程見直しを行っていますが、連携にポンプ単体の省エネルギー化が期待できます。単体の性能プレーがなかなかうまくできませんでした。設備、装置、当社向上と待機時間のエネルギー削減などを総合的に組み合わせの三者が、それぞれ個別に施策を行うのではなく、それをまとることが大事だと思います。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

SOCIAL Report

今後の連携のありかたについて

EHS Report

だければ、もっと具体的な対策をご提案できると思います。
佐倉様：インテルでは、各装置メーカーと定期的に会合を持っMANAGEMENT Report※5 MSDS：Material Safety Data Sheet/化学物質等安全データシート

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パク様：たしかに、開発段階での三者の協議は必要ですね。例11

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HIGHLIGHT
ステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」

インテル株式会社

Samsung Electronics

株式会社東芝 セミコンダクター社

エドワーズ株式会社株式会社荏原製作所

大成建設株式会社

佐倉 英俊 様Dr. Tae-Jin Park

見方 裕一 様浦野 智秋 様野路 伸治様

後町 智雄 様HIGHLIGHT
MANAGEMENT Report
EHS Report
SOCIAL Report

12TEL石田：生産性の向上に関して言えば、不良品をつくらない

ラックボックスで、もっと勉強しなければなりませんが、こちことも重要です。デバイスをつくる工程数や工程ごとのコスらからは提案しづらいのが現状でもあります。

トについて、半導体メーカーと、装置メーカー、材料メーカーなどが今まで以上に情報交換をして協力できれば、不良品低個別の協力と、皆で行う標準化の両方が大切減の成果が上がるのではないでしょうか。

TEL山中：たしかに、発注するかどうか、任意契約になるかどもちろん、機密条項もあるので、開示できない部分はあるかうかなど、1 対 1 では話を進めるのが難しい面もありますが、と思いますが、それでも、次世代デバイスをつくっていくうえ

標準化できる側面については、団体同士で協議しながら解決で、各社が協議して進めることが不可欠だと考えます。

することはできるかもしれませんね。

TEL荒木：工場自体のレイアウトをどのようにつくり込んでTEL井深：SEMI、SEAJ（社団法人 日本半導体製造装置協会）、いくか、例えば、ポンプの配置や配管の長さを改善しただけJEITA（社団法人 電子情報技術産業協会）などの団体で話し合

で、生産性が 5 〜 10%上がったという事例もあります。その辺ううちに解決につながることもあります。業界内で議論しなりのご意見をいただけますか？

がらお互いの知識を共有し、必要に応じて機密に抵触しない

後町様：私ども建設会社としては、地震大国の日本で、丈夫で範囲で協力できると思います。

長持ちする建物を提供することを基本としています。クリー

TEL石田：連携という観点では、半導体メーカーが指揮を取らンルームに関しても、総合的な地震対策に取り組んでおり、制れるのが現実的かもしれませんね。

震技術や免震技術も開発しています。ただ、現実に半導体工場

見方様：連携に関しては、個々の半導体メーカー、装置メーを建設するにあたっては、入札時点に基本構想が与えられてカー、ゼネコンが工場新設などの個別の仕事の中で、それぞれから竣工までの期間は大変短いので、基本構想通りに実施設の会社が情報や知見のやり取りをすることが工場の無駄を減計を行うのが精一杯です。

らすために有効だと思います。

できれば企画段階から参加させていただきたいというのがその一方で、皆が参加して行う標準化も非常に重要ですね。

私どもの気持ちです。私たちにとっては、装置系の部分はブSEMI S23 でも、換算係数を統一して、装置メーカーと半導体TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

東京エレクトロン株式会社
マーケティング部

東京エレクトロン株式会社
経営戦略室

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター

荒木 郁

石田 大

山中 崇己

斎藤 聡

井深 成仁

星 丈治

TEL井深：環境の課題がこれほど大きな社会的要請になった削減する方向に持ってきました。要は、インターフェイスを合中、高い環境目標を設定してそれをクリアしていかなければ、わせて、お互いに押さえるべきところを押さえて協力関係を半導体産業全体への信頼が崩れかねないと思います。全体最築いていく必要があります。個別の協力と、皆が参画して行う適のために、密接なコラボレーションを皆で進めてまいりた標準化の両方が大切だと思います。

く思います。

TEL石 田：おっしゃる通りだと思います。私 たちも、例えばTEL斎藤：今回の議論の中で、例えば情報を良いタイミングでSEMI規格の研究も昔からさせていただいていて、環境対策や共有することだけでまだまだ無駄取りができるのではないか

生産性向上などに大きな役割が果たせたと思っています。もしと感じました。お客様、関連機器メーカー様、クリーンルーム

標準化せず、各メーカーがばらばらな仕様でつくってしまった

建設企業様など取り囲むステークホルダーの方々とともに知ら、単純なコストだけでなく、資源面でも無駄がたくさん出ます。

恵を絞りながら環境負荷低減を進めていきたいと考えており

見方様：例えば SEMI S23 では、換算係数で計算するとすべてます。のうち、どこで一番エネルギーを消費していて、どこを攻めればいいのかが分かって、とても使いやすい。使うメリットがあ座談会を受けてる標準化といえます。
ただし、こういう換算係数を求めるには、やはり半導体メー

当社グループの環境・社会報告書での座談会は、昨年に引きカー、装置メーカー、設備メーカーの三者がいなければ決めら続き、お客様、コンポーネントメーカー様、クリーンルームの設れません。やはり協力が必要なんですね。

計・施工を行う建設企業様をお招きして行いました。今後の具TEL星：S23 については、さまざまなエネルギーが換算係数

体的活動に一定の方向性が見えた有意義なものでした。

により一括で把握でき、便利になりました。しかし、例えば低2008 年 6 月 23 日 に 札 幌 に て 開 催 さ れ ま し た ISESH（ International Semiconductor ESH ）会議にて、会長の東が基調講演をさせていただいたのですが、その中で、当社グティーについての知識を当社グループの開発者が認識すれループは今後「革新、成長、環境 」を機軸にビジネスを展開しば、設備側の環境負荷を減らすことができる装置が開発できていくことと、SEMI、ISMI（ International SEMATECHると思います。

Manufacturing Initiative ）、JEITA、SEAJなど、業界が一丸

EHS Report

温と高温の冷却水の換算係数は違うというようなファシリ

MANAGEMENT Reportのエネルギー消費が数値ではっきりと出て、ライフサイクル

HIGHLIGHT

メーカーの要求をできるだけすり合わせ、エネルギー消費をステークホルダーとの座談会「半導体工場の環境負荷半減に向けて」

東京エレクトロン株式会社
国内営業サービス本部となって、環境問題、特に地球温暖化の防止に真摯に取り組んでいかなければならないと訴えました。
今日の座談会は、非常に有意義な内容でありましたが、やはり環境問題は、企業を超えて、また国を超えて、世界全体で解企業としてますます重要な響きをもったものになると確信しております。
東京エレクトロン株式会社
環境安全推進センター センター長

斎藤 聡

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

SOCIAL Report

決していくべき大きな課題であると思います。今後、CSR（ Corporate Social Responsibility ）という言葉は、まさに、13