<別添> 平成30年度 学生研修プログラムリスト
微細構造解析
No.

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

1

走査型プローブ顕微鏡による表面原子構造の 北海道大学
観察・解析

2

FIBによる電顕観察試料作製とTEMによる観 東北大学
察・分析の研修2018/4/12更新
研修期間

定員

研修概要

対象学年など

柴山 環樹
松尾 保孝
アグス・スパギョ

走査型トンネル顕微鏡（STM）を含めた走査型プローブ顕微鏡（SPM）装置を使用した先端研究内容についての講義学習、 学部4年、修士課程、7/23～8/24
3名 STM探針の作製や半導体・金属表面の清浄化およびSTM観 高専専攻科（このうち3日間）
察の実習を行うことにより、表面科学における基礎的学習を ※未経験者歓迎
行う。

今野 豊彦
西嶋 雅彦

学部4年、修士課程、博士課程、高専4～5
8/1～9/15
透過型電子顕微鏡(TEM)とFIBの概略を学び、FIB-SEMによる
2名
年、高専専攻科（このうち4日間）
TEM観察試料の作製とTEMによる観察操作等を研修する。
※FIB,TEMの未経験
者歓迎

特記事項

3

FIBによる試料作製とTEMによる観察・分析の研修

物質・材料研竹口 雅樹
究機構

集束イオンビーム加工装置(FIB)と透過型電子顕微鏡(TEM)の 学部1～4年、修士課
4名 基礎を学び、FIBによる試料作製とTEM操作(HRTEM、STEM- 程、博士課程、高専4
EDSなど)を研修する。
～5年、高専専攻科

4

走査型ヘリウムイオン
顕微鏡(SHIM)によるナ 物質・材料研
大西 桂子
ノスケール表面観察お 究機構
よびナノ加工の基礎

7/18～7/20（3日間。日程は変更可。応相談）

走査型ヘリウムイオン顕微鏡(SHIM)の動作原理、SHIMによる 学部1～4年、修士課
2名 観察・加工例等の基礎を学び、基本的な観察および加工の操 程、博士課程、高専4～5年、高専専攻科
作を習得する。

8/29～8/31（3日間）

走査型トンネル顕微鏡(STM)の動作原理と超高真空環境の創 学部1～4年、修士課
2名 製法の学習、STM探針の作製とシリコン表面の観察実習を通 程、博士課程、高専4～5年、高専専攻科
じて、原子分解能表面観察技術を体験する。

8/20～8/24（5日間）

走査プローブ顕微鏡（SPM）の歴史・発展の過程を理解する。 学部1～4年、修士課 ・高専、学部1～3年の参加
4名 また、SPMの原理を理解して、実環境（真空中、溶液中等）で 程、博士課程、高専4 者は、右記と若干異なるプのナノ材料の形状、ナノ物性測定の基本技術を習得する。
～5年、高専専攻科 ログラムを用意する。

走査型プローブ顕微鏡

6 （SPM）の原理と実環境 産業技術総
合研究所

井藤 浩志

ナノ物性計測研修場所

SPM評価技術に関する講義、STM探針の北海道札幌市北区北13条西8
作製・SEM観察
丁目
2日目 Si(111)の清浄化およびSTM観察 実習北海道大学工学研究科棟Au(111)表面やHOPG表面のSTM観察 実 L115実験室
3日目
習
イントロ（安全教育含む）・施設見学、FIBと1日目
TEMの概略宮城県仙台市片平2-1-1
2日目
FIBによるTEM試料作製の実習
・観察試料持ち込みは対応
東北大学 金属材料研究所2
可能と判断出来る場合は可号館6階及び地下1階〔午前〕FIBによるTEM試料作製の実習
3日目（要事前相談）東北大学 先端電子顕微鏡セ〔午後〕TEMの実習
ンター〔午前〕TEMの実習
4日目〔午後〕まとめ・試料持ち込みの希望や研 1日目 オリエンテーション、FIBとTEMの基礎講
義、安全ガイダンス
修内容の希望がある場合茨城県つくば市千現1-2-1
2日目
FIBの実習は、申請書に記載ください。
物質・材料研究機構
必ずしも希望に添えない場 3日目 FIBの実習
精密計測実験棟
合がありますことを予めご了 4日目 TEMの実習
解ください。
5日目 TEMの実習
SHIMについての基礎講義、SHIMによる観1日目
茨城県つくば市千現1-2-1
察の実習・観察したい試料があれば物質・材料研究機構
ご相談ください2日目 SHIMによる観察の実習
材料信頼性実験棟
3日目 SHIMによる加工の実習とまとめ
STMについての講義・施設見学、超高真空
1日目
茨城県つくば市千現1-2-1の創製
物質・材料研究機構
2日目 STM探針およびシリコン清浄表面の作製 界面制御実験棟
3日目 STMによるシリコン表面の観察実習
施設紹介、利用ルール説明、安全教育な
どの簡単なガイダンス
・施設見学と走査プローブ顕微鏡（SPM）の
1日目
基礎
・SPMの原理の説明・走査型トンネル顕微
鏡の探針の作成法①7/23～7/27②7/30～8/3③8/6～8/10（上記のうちいずれかの5日間）

物質・材料研鷺坂 恵介
5 走査型トンネル顕微鏡
による原子分解能観察 究機構

研修スケジュール

1日目

超高真空下（UHV）でのシリコン表面の原
2日目 子像(STM)観察（電子回折・STM原子像の 茨城県つくば市東1-1-1
つくば中央第2事業所
観察・比較）
カンチレバーの動作と変位検出方法を理
3日目 解し、原子間力顕微鏡（AFM）の基本測定技術を習得する
ナノ物性計測法の習得（弾性率、または、4日目
電気測定から選択）
5日目 溶液中でのAFM計測（DNA観察等）の体験

7

最表面原子層を観測でき、仕事関数・電子親
和力・バンド曲がりを評 産業技術総
価する極端紫外光光 合研究所
電子分光（EUPS）－原
理と測定実習

松林 信行
富江 敏尚

7/17～7/19（3日間）

EUPSは、産総研で独自開発した極端紫外光パルス
安全教育（255.17eV）で励起する光電子分光法で、最表面２－３原子層
1日目 講義：EUPSの原理についての光電子スペクトルが得られ、価電子帯トップの電子
実習：試料の準備
状態も高感度で測定できる。高エネルギー分解能、広エネル
ギー帯域のスペクトルを飛行時間法電子分光で一挙に取得 修士課程、博士課程
講義：EUPSの測定例
3名 でき、仕事関数やバンド曲がりも高エネルギー分解能で評価 ※物理系もしくは化学 ・試料持ち込み可（要事前相 2日目
実習：試料の測定できるという特徴を有する。また、新規考案分析法で電子親和 系大学院生に限る。 談）
力（伝導帯の底）も測定できる。帯電による影響も極端に小さ
く、有機材料、粉末触媒など様々な材料の分析に威力を発揮
講義：データ処理、解析法
3日目
する。EUPSの特徴、原理の講義の後、各自の試料のEUPS測実習：データの解析 まとめ
定、そのデータ解析までを実習する。

1/8

茨城県つくば市東1-1-1
つくば中央第2事業所

No.

8

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

超伝導検出器による軟X 線分光測定の基礎
産業技術総講習
超伝導X線検出器付き 合研究所
走査型電子顕微鏡での材料分析実習

藤井 剛

研修期間

7/2～7/5
（4日間）

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

シリコンドリフト検出器に匹敵する効率と波長分散型検出器に匹敵するエネルギー分解能を両立している超伝導体を用いた学部4年、修士課程、
X線検出器（超伝導X線検出器）の動作原理、作成方法、検出
博士課程、高専専攻
特性などについて講義を行う。さらに、超伝導X線検出器付き
科
走査型電子顕微鏡で得られた分析結果についても紹介する。
※SEM-EDX、EPMA、 ・測定希望の試料の持ち込
4名 実技として、超伝導X線検出器付き走査型電子顕微鏡で標準XRFなどのX線分光分 みは大歓迎です。
試料のX線分光分析を行う。測定希望のサンプルがある場合
析の経験を有することはそのサンプルの分析を行う。その後、得られたX線分光のが望ましいが、未経験
結果について解析を行い、データの解釈に関して議論を行う。
者も歓迎いたします。
その他先端分析装置、超伝導X線検出器の作製現場（クリーンルーム）の見学を行う。

研修スケジュール

研修場所

1日目 午後：安全教育
2日目 午前：講義、午後：講義、見学
3日目 終日：実技（分析）茨城県つくば市梅園1-1-1
産業技術総合研究所
つくば中央2-12棟

4日目 午前：実技（解析）
安全教育
1日目 講義： XAFS、蛍光X線分析の基本原理、装置、検出器の基本原理と操作

9

超伝導検出器による軟産業技術総
X線領域の蛍光X線合研究所
XAFS測定の基礎

志岐 成友

7/2～7/4（3日間。日程は
要相談）

XAFS、蛍光X線分析の基本原理、実験編（装置、検出器の基・放射光を利用した測定で施設の見学（高エネルギー加速器研究機
本原理と操作）、測定試料作成法について講義のあと、実際 修士課程、博士課程
3名
はなく、模擬測定での実習と構（Photon Factory））に装置を使って、模擬測定を行う。その後、サンプル測定デー ※大学院生に限る。
2日目
なります。
実習： 超伝導検出器による蛍光X線測定
タの整理、解析を通してXAFS法の基本の理解を目指す。
(基本操作）

茨城県つくば市梅園1-1-1
産業技術総合研究所
つくば中央2-10棟

講義：測定データの整理、解析法、実試料への応用、まとめ時間分解分光法についてのイントロ・安全
1日目 教育・施設見学,ナノ秒時間分解蛍光測定
茨城県つくば市梅園1-1-1中の説明、実習央第2ピコ秒時間分解蛍光測定, ナノ秒過渡吸収 産業技術総合研究所 つくば中
2日目
測定の説明、実習
央第2事業所 2-10棟
フェムト秒過渡吸収測定の説明、データ解
3日目
析、全体のまとめ等
安全教育
1日目 講義：NMRの基本原理
施設の見学
茨城県つくば市東1-1-1
講義：固体NMRから得られる情報
つくば中央第5事業所
2日目
実習：NMR測定の基本
講義：固体高分解能NMRの測定技術
3日目
実習：固体試料の測定
低速陽電子ビームについてのイントロ・施
1日目
設見学
茨城つくば市梅園1-1-1
低速陽電子ビームの発生法・計測法・応用 産業技術総合研究所
2日目
についての講義つくば中央第二事業所 2-4棟
3日目 陽電子寿命データの解析法の講義と実習
3日目

10 時間分解分光

産業技術総
合研究所

産業技術総
11 固体NMR計測・解析技
術合研究所

低速陽電子ビームによ 産業技術総合研究所

12 る欠陥評価法

細貝 拓也

林 繁信

7/1～9/14（このうち3日間。日程は要相談）

時間分解分光について基礎から応用まで習得するため、ナノ学部3～4年、修士課
秒とピコ秒時間分解蛍光寿命測定の説明、実習、また時間分
程、博士課程、高専43名
解過渡吸収測定の説明、実習、データ解析等を行い、時間分～5年、高専専攻科
解分光法の基礎的概念と測定技術を習得する。

7/17～7/19（3日間）

講義では、固体NMRの基本原理・理論をわかりやすく解説し、 学部4年、修士課程、固体NMRを用いることにより固体物質や材料についてどのよ 博士課程、高専専攻
うな知見が得られるかを理解する。測定実習では、固体NMR 科
5名 装置を用いて固体試料から得られるシグナルを観測し、講義 ※化学系、生化学
系、物理系もしくはそをした固体NMRの基本原理・理論をより深く理解する。同時に、講義では触れることの無い実際の測定手順とその際に注 れに関連した専攻に限る。
意すべきことを理解する。

オローク ブラ 7/17～7/19
イアン
（3日間）

学部4年、修士課程、博士課程
低速陽電子ビームについて基礎から応用まで習得するため、※理・工学系所属の3名 陽電子ビームの発生法・計測法・データ解析法の講義・演習・試料持込可
学部4年生及び大学を行い、陽電子寿命測定法による欠陥評価技術を習得する。
院生に限る。経験不問。

TEMの基礎（講義）・TEMでどんなデータ（情報・信号）が得られるか
1日目 ・TEM操作のための簡単なTEMの原理と構造・試料作製法13 初心者のためのTEM
基本操作

東京大学

保志 一

7/30～8/3（5日間）

TEM について基礎から応用まで習得するため、JEM3名 1400/JEM-2100F を使用したTEM 操作実習を行い、TEM 操
作・観察の技術を習得する。

学部4年、修士課程、博士課程、高専専攻 ・試料持込みは可能です
科が、試料作製の規制もあり※初心者（基礎から基 ますのでその際は、研修担本的操作を学びたい 当者と予めご相談下さい。
方）

基本操作実習（試料交換から観察まで）
・電子線の発生2日目
・照射系軸合わせ・結像系軸合わせ
制限視野電子回折と暗視野法
・結晶方位合わせ
3日目
・制限視野電子回折法
・明暗視野法
種々の観察法
4日目 ・高分解能像法
・低倍像観察法
5日目 操作実習（復習）とまとめ

2/8

東京都文京区弥生二丁目1116
東京大学大学院工学系研究科総合研究機構

No.

研修テーマ

14 電子顕微鏡の基礎講
習と実技講習

機関名

研修先
ホスト氏名

名古屋大学

山本 剛久

15 得（講義と実技）から

名古屋大学

山本 剛久

16 STEM-EELSによる構造観察と化学分析

京都大学

倉田 博基

FIB試料作製技術の習
TEM観察まで

大阪大学
17 透過電子顕微鏡法による材料微細構造解析

保田 英洋

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

〔9：00-10：00〕施設利用についての安全教
育・施設見学
1日目〔10：00-17：00〕電子顕微鏡を用いた実習
7月～8月
名古屋市千種区不老町（基礎）（このうち3日
名古屋大学 超高圧電子顕微間。日程が決ま〔9：00-17：00〕電子顕微鏡の基礎について 鏡施設
2日目
り次第連絡）の講義
参加者の研究テーマと関連付けた実習（応3日目用）とまとめＦＩＢ試料作製装置の仕組みや使い方の講
1日目
学部1～4年、修士課
名古屋市千種区不老町
義
7月～9月上旬
ＦＩＢ試料作製装置の基礎を習得するため、講義と装置を使用
3名
程、博士課程、高専4 ・試料持ち込み可名古屋大学 超高圧電子顕微（このうち3日間）した実習を行い、ＴＥＭ観察試料作製の技術を習得する。
2日目 ＦＩＢ試料作製装置実習～5年、高専専攻科
鏡施設
3日目 作製した試料のＴＥＭ観察
分析電子顕微鏡についての概要に関する
走査型透過電子顕微鏡（STEM）に電子エネルギー損失分光
1日目
講義と施設見学（EELS）やエネルギー分散型X線分光（EDS）を組み合わせた
STEMの結像法とEDSによる分析に関する 京都府宇治市五ヶ庄・試料持ち込み可分析電子顕微鏡に関する講義と実習を行い、構造観察と分析
2日目
修士課程、博士課程
京都大学／化学研究所
8/1～8/4
基礎的な講義と実習
・3日目は設備利用講習会と2名 技法の基礎を習得することを目的としている。特に、分析技法※未経験者歓迎
超高分解能分光型電子顕微（4日間）
同時開催の可能性がある。
としてはEELSに力点を置き、モノクロメータを搭載した電子顕
EELS分析技法に関する基礎的な講義と実 鏡棟3日目
微鏡を用いた実習を通じて、高エネルギー分解能EELSの特習徴や状態分析についても研修を行う予定である。
4日目 個別の研究テーマに関連した応用とまとめ
電子顕微鏡について基礎から応用まで習得するため、講義
学部1～4年、修士課（電子顕微鏡概論）を受け、基礎的な知識を得る。透過走査電程、博士課程、高専4子顕微鏡を実際に使用して、電子顕微鏡の操作、基礎技術を3名～5年、高専専攻科習得する。電子顕微鏡を初めて使う学生、顕微鏡を使う予定※電子顕微鏡の未経の学生を中心に、持ち込み試料を自身で観察することも可験者歓迎能。ただし、TEM試料作製については別途相談。

〔13：00～〕透過電子顕微鏡法についてのイントロ・安全教育・施設見学
1日目
イントロ、施設説明
・透過電子顕微鏡観察試料
透過電子顕微鏡法について基礎から応用までを習得するた
透過電子顕微鏡法概要
7月～9月中旬を持参し、その試料の観察
2名 め、講義と透過電子顕微鏡装置を使用した操作実習を行い、 修士課程、博士課程
高分解能電子顕微鏡法（このうち3日間）
法の実習を行うことも可能でデータの解析法を理解する。
ある。
2日目 透過電子顕微鏡法についての実習
3日目

18 固体表面の光電子分
光分析実習

日本原子力
研究開発機
構

量子科学技
術研究開発
19 高温高圧法による新規
物質合成
機構

研修場所

吉越 章隆

7/1～8/31（このうち4日間。実施の日程
調整は、担当者との事前の相談が必要となります。）

齋藤 寛之

7/23～9/14（このうち5日間。7/30～8/3は不可）

茨木市美穂ヶ丘7-1
大阪大学 超高圧電子顕微鏡センター

透過電子顕微鏡法についての実習
データ解析

・放射光を使った実習はマ〔午前〕SPring-8手続き
シンタイムスケジュールに従1日目 〔午後〕大型放射光施設見学、実習の概要
います（日時）。従って、スケ
説明
学部3～4年、修士課
ジュール等の関係上、実験程、博士課程、高専4室光源での実習となる場合～5年、高専専攻科もあります。
固体表面の光電子分光分析の基礎を習得するために、
放射光および光電子分光に関する講義と※経験や研究分野は2日目
・SPring-8の実験ホール内
SPring-8の日本原子力研究開発機構の軟X線専用ビームライ
光電子分光実験の見学
兵庫県佐用郡佐用町1丁目1問いません。興味がでの実習となるため、ンに常設・稼働の表面反応分析装置を用いて光電子分光実
1
ある人を歓迎します。
4名
SPring-8の所定の手続き
験（放射光軟X線または実験室X線源）を行う。内殻光電子分
放射光物性研究棟
実習の説明上、物理（放射線業務）を行うことが光スペクトル測定を中心に行い、固体表面の化学状態分析なや化学の基礎（原子3日目
光電子分光データ測定の実習必須となります。
どの基礎の習得を目指します。
分子、量子力学の初・装置不具合など思わぬ場歩など）が必要となり合も想定されます。その場ます。
合は実習が実施できないこともありますので、あらかじ 4日目 まとめと質疑
めご了承ください。
高温高圧合成についてのイントロダクショ
1日目
ン・安全教育新規物質合成のための強力な手法の一つである数百度・数マルチアンビルプレスを使用した高温高圧
万気圧領域での高温高圧合成について基礎から応用まで修・高温高圧処理を希望する 2日目 合成の実習得するため、キュービックマルチアンビル装置を使用した高温学部1～4年、修士課 試料の持ち込みは、技術面
マルチアンビルプレスを使用した高温高圧 兵庫県佐用郡佐用町光都1高圧合成実習を行い、高温高圧発生と合成された試料の分
程、博士課程、高専4 および安全面で問題の無い 3日目
合成の実習
1-1
3名 析技術の習得を目指す。実習では、実験のためのセルパーツ～5年、高専専攻科 範囲で可。持ち込みを希望
放射光物性研究棟
作製、キュービックマルチアンビル装置を用いた高温高圧実※未経験者歓迎する際は事前に担当者と打
微小部X線回折装置、走査型電子顕微鏡、
験、および、常温常圧下に回収された試料について粉末X線
4日目
ち合わせを行ってください。
熱分析装置を使用した合成試料の分析
回折測定、走査電子顕微鏡、熱分析装置を用いた評価などを行う。
放射光その場観察についての講義・施設
5日目
見学、実習のまとめ

3/8

No.

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

施設見学（超顕微解析研究センター）
電子顕微鏡の原理から最新の分析電子顕
1日目
微鏡法まで（講義）、
電子顕微鏡の操作原理（講義）九州大学
20 透過電子顕微鏡による微細構造解析法

松村 晶

9/3～9/7（5日間）

学部2～4年、修士課
初心者を対象に、透過電子顕微鏡を使いこなすために必要な 程、博士課程、高専4 ・参加者が観察を希望する
装置の基礎知識と操作法、電子回折の基礎と解析法を習得 ～5年、高専専攻科 試料があれば対応します
4名する。
※初心者を対象としま ・参加者の研究テーマに関講義、実習（200kV の透過電子顕微鏡を使用）、演習を行う。 す（大学院進学予定 する相談に応じますの学部生歓迎））電顕の簡単な操作、 照射系軸合せ、結像系軸合せ（実習）
電顕の操作、焦点合せ、非点補正、像観 福岡市西区元岡744
3日目 察（明視野像 制限視野回折 暗視野像） 九州大学超顕微解析研究セン（実習）、電子回折演習問題（演習）ター CE21棟
2日目

電顕像のコントラスト、電子回折の基礎（講4日目 義）、電顕実習（参加者が観察を希望する
試料があれば対応します）
電顕像の解釈、電子回折図形の解析（参5日目 加者の研究テーマに関する相談に応じます）、まとめ

微細構造解析・微細加工
No.

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

オリエンテーションおよびEBリソと評価技術に関する講義
2日目 電子ビーム描画 実習
電子ビーム描画装置を用いた金属ナノ構造作製と、作製したスパッタリング成膜およびリフトオフによる3日目
北海道札幌市北区北21条西構造についてのFIB・電子顕微鏡（STEM等）を用いたナノ構造 学部4年、修士課程、
ナノ構造作製実習
評価についての基礎的な実験を行うこと、またそれらを適用し 博士課程
・電子顕微鏡観察について
10丁目
3名
4日目 集束イオンビーム加工装置 実習
た先端研究内容についての講義学習を併せて行うことによ※未経験者を歓迎し は試料持ち込み可北海道大学創成研究機構
5日目 透過電子顕微鏡観察 実習
創成科学研究棟り、微細加工から各種電子顕微鏡による分析手法までの一連 ます研究テーマに関する実習と研修全体のまとの基礎技術の習得を行う。
6日目
め
開始時間等は参加者の都合に合わせて調整します。
1日目

微細加工による金属ナ
21 ノ構造作製とFIB・TEM 北海道大学による構造解析

笹木 敬司
松尾 保孝
柴山 環樹
アグス・スパギョ

7/26～8/2
（6日間）

微細加工
No.

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

イントロ、安全教育、フォトリソグラフィ、イオン注入、ランプアニール、施設見学
SiO2 TEOS-PECVD、フォトリソグラフィ、
2日目
SiO2ウェットエッチング、Alスパッタリング 宮城県仙台市青葉区荒巻字
フォトリソグラフィ、Alウェットエッチング、Al 青葉519-1176
3日目
東北大学西澤潤一記念研究
シンタリング、フォトリソグラフィ
Si DeepRIE、ダイシング、ワイヤボンディン センター
4日目
グ
プリント基板実装、マイコンプログラミング、
5日目
評価、まとめ
1日目

MEMSフォースセンサ

22 ～センサの試作から
IoT応用まで～

東北大学

ピエゾ抵抗形のMEMSフォースセンサ（force sensor）の試作を通して、微細加工プロセスの基礎を習得します。さらに、IoTの学部1～4年、修士課
入口として、試作したセンサをプリント基板に実装し、無線モ
程、博士課程、高専4
7月～9月中旬
ジュール、インターネットを介してスマートフォン等で測定値を戸津 健太郎～5年、高専専攻科
5名（このうち5日間）
モニタリングできるようにします。微細加工プロセスとしては、※どなたでも参加いた
フォトリソグラフィ、イオン注入、CVD、ウェットエッチング、ス
だけます
パッタリング、シリコンDeepRIE、ダイシング、ワイヤボンディン
グなどを行います。

物質・材料研 渡辺 英一郎
23 グラフェンマイクロデバ
イスの作製
究機構
津谷 大樹

【研修内容】2次元層状物質“グラフェン”を用いたグラフェンマ
1日目 概要説明・安全教育・施設見学
イクロデバイスを作製する。フォトリソグラフィや成膜プロセス，
エッチングプロセス，電気伝導測定など一連の微細加工プロ
セス技術の基礎・装置操作を習得する。
2日目 機械的剥離法およびグラフェン加工【実験プロセス】単層・多層グラフェンは機械的剥離法により基学部3～4年、修士課
9/3～9/14
板上に転写する。転写したグラフェンは、リソグラフィプロセス
・研修期間中はクリーンルー
程、博士課程、高専
2名（このうち4日間）とエッチングプロセスにより任意の形状に加工する。その後、
ム内での実験となります
専攻科
リソグラフィプロセス，成膜プロセス，リフトオフプロセスにより
3日目 グラフェンへのコンタクト電極作製
金属電極を形成し，電気伝導測定まで実施する。
【使用装置】高速マスクレス露光装置，12連電子銃型蒸着装置，多目的ドライエッチング装置，ウエハRTA装置，プロー
4日目 電気特性評価およびまとめ
バーシステムなど

4/8

茨城県つくば市千現1-2-1
材料信頼性実験棟1階 クリー
ンルーム

No.

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

7/30～8/3（5日間）

概要説明・安全ガイダンス・パターン設計(CAD)・実習(フォトリソグラフィ)
真空蒸着装置などによる成膜、マスクレス露光装置によるフォ実習(成膜2工程・リフトオフ・薄膜の特性評
トリソグラフィ技術を習得し、薄膜酸化物トランジスタを試作す
2日目
価)る。リング発振器の回路設計から試作プロセス、電気特性評
実習(フォトリソグラフィ・エッチング・パター
価といった一連の工程を通して、大学で学んだ半導体デバイ
3日目
ン観察)
ス物理、及び半導体プロセス技術を実体験する。
学部4年、修士課程、 ・研修期間中はクリーンルー
茨城県つくば市梅園1-1-1
3名
参加者の興味によって、物性寄りの場合は膜の特性評価、回 博士課程
ム内での実験となります
中央第2 2-12棟
実習(成膜・リフトオフ・特性評価・構造観
4日目
路寄りの場合はリング発振器以外の他の色々な回路の動察)
作、微細加工よりの場合は設計パターンと出来上がりパター
回路の動作確認,発表資料作成,プレゼン
5日目
ンの露光条件での違いなどを含む評価を体験できるようにアテーション・ディスカッション
レンジいたします。
原則 9:00開始, 17:30解散。遠方から参加などで移動の都合がある場合は考慮します。

8/1～8/3（3日間）

微細パターン形成の強力なツールである電子線リソグラフィについてその基礎を修得する。
研修では電子線露光についての講義、露光パターン及び露学部3～4年、修士課
光ファイル作成及び電子線露光実習を行い、電子ビームリソ
程、高専専攻科
3名 グラフィを理解していただく。
※未経験者・初心者
電子線露光実習では、Jeol6300電子線露光装置を使い、装向け置立ち上げ（装置調整・装置操作）から位置合わせ露光（重ね露光）まで行う。露光結果はSEM（走査型電子顕微鏡）観察により評価する。

1日目

24 酸化物トランジスタ製
作

25 電子ビームリソグラフィ

産業技術総
合研究所

東京工業大
学

大塚 照久
有本 宏
多田 哲也

宮本 恭幸

豊田工業大
学

京都大学
28 MEMS技術を用いたマ
イクロ流路の作製

マスクレスフォトリソグ
29 ラフィによるフォトマスク 大阪大学
作製

3日目

東京都目黒区大岡山2-12-1
東京工業大学 未来産業技術研究所

1)作成ファイルによる露光。 SEM観察。
2)まとめ半導体集積回路についてのイントロ・安全
愛知県名古屋市千種区不老町
教育・施設見学名古屋大学大学院工学研究科8号館南棟および2日目 pn接合ダイオード作製実習
名古屋大学未来材料システム
研究所先端技術共同研究施設
3日目 pn接合ダイオードの特性評価
1日目

中塚 理

佐々木 実

本講習会では、クリーンルーム内体験実習をとおして、半導体プロセスの理解を深めます。講義は、1日目に「MEMSセンサと製作プロセス－車載･人検出センサ－」を、2日目に「省エネル
1日目 プロセス実習、講義１、施設見学
ギー社会を支える化合物半導体デバイス（仮）」を取り上げま
9/13～9/14
名古屋市天白区久方二丁目す。また、実習は、熱電対デバイスを製作すると共に、酸化・（2日間。9/15を・一般向けの本実習・講習
12番地1
拡散、リソグラフィ（ホト・電子線描画）、PVD (Physical Vapor 学部4年、修士課程、
台風等で休校に 2名会に合流して参加頂くことに豊田工業大学 講義室、クリー
Deposition)、薄膜のウェットエッチング、およびRIE (Reactive 博士課程なった際の予備なります。
ンルーム
Ion Etching)、特性評価等の一連のプロセスを実習します。
日とする）
ホール係数の測定実習等も行います。
講義２（プロセス実習を第2日目に実施する
2日目
第1日：プロセス実習、講義１、施設見学ことも可能）
第2日：講義２（プロセス実習を第2日に行うコースもあります。）

習

27 半導体プロセス実習・講習会

1)重ね露光実習（アライメント露光実習）。
2日目 露光パターンのSEM観察。
2) 露光パターン（露光ファイル）作成

8/6～8/10（このうち3日間。日程は要相談）

半導体集積回路作製

26 プロセス技術の基礎実 名古屋大学

1)電子ビーム露光について（講義）
1日目 2)露光装置操作及び露光、レジスト塗布・現像等 プロセス説明

松嶋 朝明

法澤 公寛
柏原 美紀

8/22～8/24（3日間）

半導体集積回路作製プロセスについて基礎から応用まで習修士課程、博士課程得するため、イオン注入装置、熱処理装置、エッチング装置、3名※理系を専攻している蒸着装置および露光装置を利用してpn接合ダイオードを作製
大学院生
し、その特性評価を行う。

各自がデザインしたマイクロ流路をレーザー直接描画装置等 学部1～4年、修士課
3名 を用いて作成（PDMS／ガラス基板）し、２種類の液体を流して 程、博士課程、高専4混合状態を観察・評価する。
～5年、高専専攻科

7月頃
LED描画システムやマスクアライナーを使い、フォトリソグラ
2名（このうち3日間）
フィについての基礎を習得する。

5/8

学部4年、修士課程、博士課程、高専4～5
年※未経験者歓迎、初
心者向け

①安全講習
②マイクロ流体デバイスに関する概要説明③実習の説明
1日目④マイクロ流路の設計とパターンデータの作成、レーザー描画装置を用いたフォトマ 京都市左京区吉田本町
工学部物理系校舎378号室
スク作製
京都大学ナノテクノロジーハブ①マスクアライナーを用いたレジスト原盤 拠点 実験室（鋳型：SU-8）作製2日目②PDMS調合・成形／PDMSによるマイクロ
流路プレート作製
3日目 マイクロ流路組立・評価／まとめ
フォトマスク作製についての概要説明、Cr
1日目
スパッタ
大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
フォトマスクCAD設計、LED描画、ウェット 大阪大学ナノテクノロジー設備
2日目
供用拠点（産業科学研究所
エッチング作製したフォトマスクを使ったフォトリソグラ 内）
3日目
フィ実習

No.

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

静電吸着力による触感

30 提デバイスの製作と評 香川大学

石塚 裕己

価

31 CMOSトランジスタ・IC
作製実習

広島大学

山口大学
32 真空技術に関する基礎
講義と実習

公益財団法
CMOS集積回路要素技 人北九州産
33 術実習
業学術推進
機構

研修期間

8/6～8/8
（3日間）

定員

研修概要

対象学年など本研修では，最初に，静電アクチュエータの技術を応用した触感提示デバイスの原理とマイクロファブリケ－ション技術の基礎を座学として学び，その後，実際のデバイス作製と駆動に関する評価の実習を行う．具体的には，スパッタリング装置を用いて，導電体表面への絶縁膜の形成を行う等して，触感提 学部4年、修士課程
2名
デバイスを製作する．その後，マイコンや回路の仕組みを学 ※未経験者歓迎
習することで，マイコンや回路に関する基礎知識を学び，続いてマイコンに入力するプログラムを変えることで電圧制御を行って，デバイスへの入力電圧の信号波形によってどのように触感が変化するか等を評価する．

横山 新
8/20～8/25
田部井 哲夫 （6日間）

NMOS、PMOSトランジスタを用いたCMOS ICの試作実習を通じて、プロセス基礎技術とトランジスタ・回路の基本技術全体を学ぶ。イオン注入、酸化、リソグラフィー、エッチングなど基本技術を学ぶ。作製する回路は、CMOSインバータを基本とす
学部4年、修士課程、
るリングオシレータ、SRAMなど。時間短縮のためN-ウェル形
博士課程、高専4～5
5名 成までは研修前に準備する。受講生は主にトランジスタ回路
年、高専専攻科
設計及びデバイス作製途中のパターン観察と完成後の特性※未経験者歓迎評価を行う。半導体製造装置によるデバイス作製は主にスタッフが行う(受講生は簡単な作業と操作を見ながら講義を受ける)。最小加工寸法はマスクレス露光を用いた3ミクロンとす
る。

栗巣 普揮
浅田 裕法

9/11～9/14（4日間）

微細加工や薄膜形成装置は真空を利用していることから、真学部4年、修士課程、
空技術について習得しておくことが重要である。本研修では真
5名
博士課程、高専専攻
空技術について基礎から応用まで習得するため、真空科学・科
技術に関する講義と実習を行う。

7/4～7/6（3日間）

集積回路（IC）の製造は，パーティクル（微小なゴミ）及び温湿度管理された特殊な環境であるクリーンルームで行われる．
学部1～4年、修士課
本研修では，IC製造プロセスの一つであるCMOS集積回路の程、博士課程、高専45名 製造技術を主体に，クリーンルーム内の微細加工設備を使い～5年、高専専攻科
要素技術（設計、製造、組立、評価等）を実習形式で体験する※未経験者歓迎
ことで， CMOS集積回路製造プロセスへの理解を深めることを目的とする．

上野 孝裕
安藤 秀幸
竹内 修三

特記事項

研修スケジュール

研修場所

1日目

研修概要，静電アクチュエータの技術に関する座学，安全指導

2日目

マイクロファブリケ－ション技術に関する座 香川県高松市林町2217-20
香川大学 工学部
学，デバイス作製3日目 デバイスの評価，研修の纏め
1日目 安全講習およびトランジスタ回路設計
チャネル、チャネルストップインプラ（酸化、2日目
リソ、エッチング、イオン注入）実習
ソース/ドレイン、コンタクトホール形成（リ 東広島市鏡山一丁目四番二
3日目
ソ、イオン注入）実習号
Alゲート、配線形成（スパッタ、リソ、エッチ 広島大学ナノデバイス・バイオ
4日目
融合科学研究所
ング、アニール）実習
トランジスタ特性,回路特性測定（Id-Vd, Id5日目
Vg, gm他）
6日目 特性評価（続）およびまとめ
1日目 講義:真空工学の基礎
2日目 講義:真空コンポーネント
講義:真空システム、実習:真空排気実習
山口県宇部市常盤台2-16-1
3日目
講義１コマ
山口大学工学部
4日目 実習:リークテスト実習
ご希望に合わせ内容・日数を調整することも可能です。
1日目

集積回路製造技術講義，シミュレーション，
レイアウト設計（FET，CMOSインバータ）

福岡県北九州市若松区ひびき
要素技術実習（安全教育，薄膜形成，リソ の1番5号
2日目
共同研究開発センター
グラフィ等）
3日目

要素技術実習（イオン注入，組立），電気特性評価実習

分子・物質合成
No.

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

自己組織化現象についての講義、機能性材料の構造作成実習

自己組織化現象を利千歳科学技

34 用したナノ構造の作製 術大学とイメージング

オラフ カートハウス

7/31～8/3（4日間）

自己組織化現象を利用したメゾスコピック構造（サブマイクロ
ンのドット、ライン、多孔質構造）の作成方法について基礎か
学部2～4年、修士課
ら応用まで習得するため、原料調製から自己組織化構造の作
3名
程、博士課程、高専4 ・試料持込可製まで行う。また、基板に構築したメゾスコピック構造を様々な～5年、高専専攻科
イメージング法（電顕、蛍光顕微鏡、原子間力顕微鏡など）を用いて多角的解析を行う。

Introduction to self-organization and sample
preparation (crystallizable low molecular weight
1日目 compounds or polymers that are soluble in
ethyl acetate). If you want to bring your own
compounds, please feel free; we might be able
to investigate their self-organization
properties. The typical concentration is 3-10
mg/ml, and 1 ml is enough for the experiments. 北海道千歳市美々758番地65

千歳科学技術大学 研究棟・
電子顕微鏡についての講義、測定ガイダン
実験棟・大学院等
2日目 ス、実習
Electron microscopy / EDX on the samples

原子間力顕微鏡についての講義、測定ガ
3日目 イダンス、実習
AFM imaging of the samples

実習まとめ
4日目 Summary, discussion and preparation of a shortpresentation.

6/8

No.

研修テーマ

機関名

研修先
ホスト氏名

研修期間

35 細胞実験基礎講習

物質・材料研 服部 晋也
箕輪 貴司
究機構

8/27～8/31（5日間）

36 ナノカーボンと複合材（コンポジット）の合成

信州大学

8/28～8/30
（3日間）

北陸先端科
学技術大学
37 集束イオンビーム装置
実習
院大学

38 分子科学研究所
夏の体験入学

分子科学研
究所

橋本 佳男

赤堀 誠志
東嶺 孝一
宇野 宗則
伊藤 真弓

横山 利彦

8/1～8/3（3日間）

8/7～8/10（4日間）

ナノバイオデバイスによる分子・細胞計測の39 基礎技術習得(細胞染 名古屋大学
色〜超解像イメージン
グ)

馬場 嘉信

8/27～9/1
（6日間）

名古屋工業
40 分子・物質合成と機能
評価
大学

日原 岳彦
（代表）

8/7～9月中旬（選択テーマ数
により1～5日間）

カーボンナノチューブ
41 の可溶化とナノ構造解 九州大学
析

藤ヶ谷 剛彦
利光 史行

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所

細胞培養・滅菌法・バイオハザードについ
1日目 て・安全教育（座学）、細胞への刺激の添加（実技）
学部1～4年、修士課
・No.42「動物細胞の電子顕 2日目 遺伝子解析について（座学）、培養細胞か培養細胞を用いた刺激応答実験を体験し、細胞培養、遺伝子 程、博士課程、高専4らの遺伝子の回収（実技）
微鏡観察実習」と同時に開茨城県つくば市千現1-2-1
2名 解析、細胞イメージングに関する基礎的な技術を身に着け～5年、高専専攻科
催し、そちらの参加者とも交 3日目 PCR、アガロースゲル電気泳動（実技）
物質・材料研究機構※バイオ系未経験者
る。
流する予定。
細胞の染色について（座学）、蛍光色素を歓迎します。
4日目
用いた染色（実技）
蛍光顕微鏡による観察（実技）、全体につ5日目
いてのまとめ
炭素源となる炭化水素ガスと化学反応を容易にする触媒源を
1日目 合成、混練法の講義、施設見学
熱するだけの簡単なプロセスで、最新のナノカーボンを合成します。（化学気相堆積CVDと言います。）さらに、この性質を高学部4年、修士課程、ナノカーボンの化学合成、複合材の混練
強度部材などに応用する場合によく用いられる複合材（コンポ
2日目
高専専攻科
長野県長野市若里4－17－1（混ぜ合わせる作業）ジット）を合成します。混ぜて練り合わせる混練法（ラボプラス
3名※未経験者歓迎。参信州大学 工学部 総合研究
トミル使用）を用います。分析については、光を利用したラマン
加者の技術レベルに棟
3日目 分析評価および合成条件の検討
散乱や形を電子顕微鏡で見る方法を紹介します。希望があれ
合わせて指導します。
ば、3000℃近い高温で熱処理することで炭素が激変する様
子、メタンからダイヤモンド（微小な粒のダイヤモンドが薄く堆
4日目 希望により追加することもあります。
積した状態）の合成も紹介いたします。
様々な試料の形態観察や、微小領域スパッタリング加工および膜形成に幅広く利用されている、集束イオンビーム(FIB)技
学部3～4年、高専専
4名 術について、液体金属Gaをイオン源として用いるGa-FIB装置
攻科や、電界電離ガスイオン源(GFIS)を用いるGFIS-FIB装置を使用して、ビーム調整や形態観察、微細加工の実習を行う。

1日目 講義(安全教育を含む)、施設見学

分子科学研究所教授・准教授による様々な分子科学研究のテーマ（２５件程度）のうち１つを選び、実験あるいは理論計算を実習し、その方法等を習得する。
30名
学部1～4年、修士課
詳細は「夏の体験入学」のWebサイト
程度
程
https://www.ims.ac.jp/education/2018.html
を参照して下さい。指定のWeb申込期間中に分子研宛にも必ず参加希望申込みをして下さい。

1日目 分子研の全体紹介・オリエンテーション

2日目 ビーム調整と形態観察、微細加工の実習
3日目 微細加工の実習、まとめ

2日目 テーマ別講義・実習
3日目 テーマ別実習・まとめ

石川県能美市旭台1-1
北陸先端科学技術大学院大学ナノマテリアルテクノロジーセンター

愛知県岡崎市明大寺町
字西郷中38 または 字東山
1-1

4日目 全体発表会

ナノバイオデバイスについての基礎講義、
1日目 デバイスのデザインと作製技術についての実習作製したデバイスの表面改質と表面状態
2日目
解析
ナノ・マイクロデバイスを使ったバイオ分析の基本技術を習得
名古屋市千種区不老町
学部1～4年、修士課する。デバイスのデザインと作製技術、ナノバイオ材料によるナノバイオ材料による細胞の染色と細胞機
名古屋大学 大学院工学研究2名
程、高専4～5年、高3日目細胞の染色、細胞の超解像イメージング実験などの実習を行
能評価
専専攻科
科
い、ナノバイオ研究の基礎知識と実験操作を学ぶ。
4日目 デバイスを用いた単一細胞イメージング
デバイスを用いた単一細胞の超解像イメー
5日目
ジング
デバイスを用いた単一細胞の超解像イメー
6日目
ジング＆予備日
気相合成法によるナノ粒子の合成につい1日目ての講義と実習
分子合成用マイクロラボの作製についての2日目
分子・物質合成と機能評価に関する次の５つのテーマについ講義と実習て、基礎から応用まで習得するため講義と実習を行い技術をナノカーボン材料の合成についての講義と・ご希望の時期によっては 3日目 実習
愛知県名古屋市昭和区御器習得します。①気相合成法によるナノ粒子の合成と燃料電池
学部4年、修士課程、全ての研修課題を実施でき
所町
3名 触媒性能の評価、②分子合成用マイクロラボの作製、③ナノ博士課程
生体分子の合成と構造解析についての講 名古屋工業大学
ないことがあります。
カーボン材料の合成、④生体分子の合成と構造解析、⑤メス
4日目
義と実習
バウアー分光法による磁性体または錯体の分析。各テーマは1日で実施し、特定の課題について選択することも可能です。
5日目 メスバウアー分光法についての講義と実習

カーボンナノチューブ（CNT）の可溶化と構造解析について、
学部1～4年、修士課
8/1～8/10
基礎から応用まで習得するため、実際に数種のCNTに対し3名
程、博士課程、高専4（このうち3日間）て、数種の可溶化剤を用いて可溶化を行い、得られたCNT溶～5年、高専専攻科
液の解析技術を習得する。

7/8

基本的には10時開始、終了時間は実施テーマに依存します。
1日目 CNTについての基礎学習
2日目 CNT可溶化についての実習
可溶化CNTの構造解(分光測定)などにつ3日目
いての実習とまとめ

福岡市西区元岡744番地
九州大学伊都キャンパス
ウエスト3号館612号室

微細構造解析・分子・物質合成
No.

研修テーマ

42 動物細胞の電子顕微
鏡観察実習

機関名

研修先
ホスト氏名

鴻田 一絵
物質・材料研
森田 浩美
究機構
箕輪 貴司

研修期間

8/27～8/31
（5日間）

定員

研修概要

対象学年など

特記事項

研修スケジュール

研修場所〔午前〕オリエンテーション(安全教育含む)、
1日目 電子顕微鏡の基礎（座学）〔午後〕細胞固定
学部1～4年、修士課
培養細胞を透過型電子顕微鏡で観察できる試料に調製する
・No.35「細胞実験基礎講習」 2日目 細胞試料の包埋、施設見学、細胞培養実
茨城県つくば市千現1-2-1
程、博士課程、高専4
習1（培養細胞の播種、計数法）
1名 工程を実習形式で学ぶとともに細胞培養の基礎、光学顕微鏡と同時に開催し、そちらの参～5年、高専専攻科
物質・材料研究機構
を用いた細胞観察についても実習する。
加者と交流する予定。
細胞培養実習2（培養細胞の光学顕微鏡※未経験者歓迎
3日目
観察、卓上電顕観察）
4日目 TEMの実習1（切片作製）
5日目 TEMの実習2（TEM観察）とまとめ

8/8