HIGHLIGHT

太陽電池製造装置事業の展開に向けて太陽電池製造装置事業への展開に向けて再生可能エネルギーへの社会からの期待が高まる中、東京エレクトロングループでは、太陽電池製造装置の事業化を進めます。

太陽光発電とは気候変動、地球温暖化問題の解決は、私たち人類にとっての最重要課題となりました。このような中、従来のように化石燃料に頼ったエネルギーへ依存するのではなく、再生可能エネルギーガスを排出しない、または低減することで、地球温暖化の防止

薄膜Si太陽電池製造装置生産量（GW）

市場規模（億円）

100

18,000の利用による低炭素社会への転換が期待されています。再生可能エネルギーは、半永続的な利用が可能であることや、温暖化

薄膜Si太陽電池製造装置市場

太陽電池生産規模
結晶Si太陽電池
薄膜Si太陽電池

80

2007–2020

15,00025%

12,000平均成長率

ギーを利用した太陽光発電です。一方で、太陽光エネルギーをHIGHLIGHT新・コストダウンが必要とされています。

37%

9,000
40

2007–2020
平均成長率

52%

20

6,000 2007–2015
平均成長率

3,000

電力に変える変換効率の向上や製造に用いる材料の不足、効率・コストの改善が課題とされており、今後のさらなる技術革平均成長率60に大きく寄与できると考えられています。
この再生可能エネルギーの代表とも言えるのが、太陽エネル

2015–2020

044%

02007

20152020

2007

20152020

出典：電力需要予測をもとに、東京エレクトロンで推定

当社グループは、技術で環境問題に取り組む、という信念のもと、太陽電池製造装置分野に参入し、環境問題の解決に貢献していきます。

当社グループの太陽電池事業について
当社グループでは、これまで太陽電池製造装置について基礎MANAGEMENT Report的な研究を行っていましたが、この度事業化を進めることを決定しました。
このような中、薄膜シリコン太陽電池用プラズマCVD装置を製品化するにあたり、シャープ株式会社様（以下、シャープ ）と、技術革新により、その開発を目的とした合弁会社「東京エレクトロンPV株式会さらに様々な場面で社 」の設立に合意しました。
（今回の合意は、薄膜シリコン太陽数多くの太陽電池が電池プラズマCVD装置に関してのみであり、FPD製造装置他の活躍します。

事業を含めた包括的提携ではありません。）
薄膜シリコン太陽電池は、近年注目を浴びている太陽電池の種類の一つで、ガラス基板上に薄膜のシリコン層を形成するタ

EHS Report

イプの太陽電池です。当社グループが半導体および FPD製造装置で培ってきた真空プラズマを用いた量産装置技術と、太陽電池のリーディングカンパニーであるシャープがかねてより培ってきた薄膜シリコン太陽電池製造技術を融合させることで、より生産性の高い薄膜シリコン太陽電池プラズマCVD装置を開発することが期待できます。装置開発は当社グループおよびシャープが出資する合弁会社が行い、装置の製造および販売についてSOCIAL Reportは、当社グループが行います。初号機出

8

荷は、2009年を予定しています。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 2008

「低炭素社会」の実現に向け、長年培われてきた東京エレクトロングループの装置技術に期待します。

シャープ株式会社
執行役員
ソーラーシステム事業本部長

東京エレクトロン株式会社
常務執行役員 兼 FPD 事業部長

小野里 充

村松 哲郎 様（工学博士）

シャープは 1959 年に太陽電池の研究開発をスタートして以来、約半世紀にわたり太陽光発電の普及・拡大に取り組ん

当社グループは、私たちの技術の蓄積を生かして、本業で社できました。これまでは結晶系の太陽電池を中心に事業を拡会の本質的な問題解決に取り組もうと考え、その考えを東京エ大してきましたが、これに加え、現在、薄膜系太陽電池の開発・レクトロンの使命で示しました（P.6−7参照）。

事業の強化を進めています。

その最初の取り組みが太陽電池製造装置事業です。

薄膜太陽電池は結晶系に比べてシリコン使用量が約 100 分の 1 と少なく、高温での発電量の低下が少ないなどの特徴を社グループが開発に着手するのは、薄膜シリコンを使った太陽持っており、欧米を中心とした電力用途をターゲット市場に電池製造用のプラズマCVD装置です。

しています。

開発にあたっては、太陽電池のリーディングカンパニーであ

もう一つ大きな特徴は、生産プロセスが短いという点で、そるシャープ株式会社様の技術と、私たちの半導体および FPDのプロセスの鍵を握るのがプラズマCVD装置です。そして、製造装置で培ったプロセス技術と装置技術を合体させること

変換効率の向上と、大幅な低価格化といった技術革新はプラによって、発電効率の良い太陽電池を開発し、世界に安価に供ズマCVD装置のなかでつくる太陽電池セルで決まるといっ給できるようにしよう、というのが本プロジェクトの目的です。ても過言ではありません。
当社はこれまでプラズマCVD装置を自社内でつくってきましたが、量産性とさらなる性能向上を図るため、この度、半私たちにとって、半導体事業は、ビジネスの形態や人々の思導体や液晶製造装置のリーダー企業として高度な技術を保有

考方法、社会の要請は何かなど、関連するすべてのことをよくされ、また太陽光発電の発展に深いご理解と確固たる戦略を知っており、何をどうすれば良いかを経験によってわかってい持たれている東京エレクトロン株式会社様と共に取り組んでる世界です。

いくことと致しました。

対して、エネルギー関連事業は、まったく別な世界です。太陽

現在建設中の堺新工場では、このプラズマCVD装置を導入

電池製造装置の技術的な側面だけでなく、その市場、また、太していきます。まず第 1 次展開として 480MWの生産体制を陽光発電をどう利用するか、という観点で、電力政策関係者や、構築、さらに海外にも工場を展開して、グローバルで 1GWの途上国の人々との協働など、私たちにとって未知の世界に足を体制にまで拡大する計画です。

踏み入れることになります。しかし、十年先を見据え、まずは第EREC（欧州再生可能エネルギー評議会 ）の予測によれば、一歩を踏み出すことにしました。半導体や FPD事業からの派生

全世界の電力需要が 2040 年に現在の約 2 倍に拡大するな

ビジネスという考え方ではなく、長期的な視点をもって、新しかで、その約 25%が太陽光発電で賄われるとされています。
術と、当社の薄膜太陽電池技術を融合させることにより、人類注ぐエネルギーです。当社グループで製造する装置でできたの目指す「低炭素社会」の実現がさらに一歩近づくものと確信

太陽電池が、途上国を含むすべての地域の人々に使われるこしております。とによって、低炭素社会の実現に貢献できるよう、努力してま

SOCIAL Report

東京エレクトロン株式会社様が長年培われてこられた装置技

太陽光は、先進国にも途上国にもすべての人に平等に降り

EHS Report本格的な共同開発はこれからスタートしますが、全力を上げて必ず良い太陽電池をつくろう、と両社で語りあっています。

MANAGEMENT Report

太陽電池の製造にはいろいろな方法がありますが、今回、当い DNAをつくっていきたいと思います。

HIGHLIGHT

気候変動が起きていること、刻々と厳しさを増していることを肌で感じます。

太陽電池製造装置事業への展開に向けて太陽エネルギーの利用を世界に拡げて、環境問題の解決に貢献したいと考えます。

いります。

TOKYO ELECTRON 環境・社会報告書 20089