䋳䋮ฦ䊁䊷䊙䈱ᚑᨐ⹦⚦㩷㩷 㪊㪅㪉㩷 శนേ䊚䊤䊷⵾ㅧᛛⴚ㐿⊒㩷㩷 㩷 శ䉴䉟䉾䉼䈱㜞♖ᐲടᎿᛛⴚ䈱㐿⊒㩷㩷䋨䋱䋩⎇ⓥ᭎ⷐ㩷ᧄ⎇ⓥ㐿⊒ഥᚑ੐ᬺߢߪ‫ޔ‬శนേࡒ࡜࡯ߩᔕ↪⵾ຠߢ޽ࠆ㧹㧱㧹㧿࠲ࠗࡊߩశࠢࡠࠬࠦࡀࠢ࠻㧔OXC㧕╬ߩታ↪ൻߦਇนᰳߥᔅⷐߥ㜞♖ᐲടᎿᛛⴚࠍ㐿⊒ߒ‫ߩࠄࠇߎޔ‬㧹㧱㧹㧿⵾ຠࠍታ↪ൻߔࠆߎߣࠍ⋡ᮡߣߒߚ‫ޕ‬ታ㓙ߦߪએਅߩ⎇ⓥ㐿⊒ࠍታᣉߒߚ‫ޕ‬Ԙ 㜞♖ᐲ 3㧰ടᎿᛛⴚ㐿⊒ԙ 㜞♖ᐲ೙ᓮᛛⴚ㐿⊒Ԛ ା㗬ᕈ࡮⸘᷹࡮⹏ଔᛛⴚ㐿⊒ԛ శࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗࡕࠫࡘ࡯࡞⵾૞࿑㧝㧙㧝 శนേࡒ࡜࡯଀Ԙ㜞♖ᐲ3㧰ടᎿᛛⴚ㐿⊒ 㜞♖ᐲ㧟D ടᎿᛛⴚߪ‫ޔ‬ㅢା↪ SW ߣߒߡ㊀ⷐߥ‫ޔ‬ᝌ౉៊ᄬ╬ߩశቇ․ᕈࠍᏀฝߔࠆ‫ޔ‬MEMS ࡒ࡜࡯ߩ⴫㕙☻ߐ෸߮࠰࡝ࠍૐᷫߔࠆߎߣࠍ⋡ᮡߣߒߡ‫ޔ‬MEMS ࡒ࡜࡯ߩടᎿߦᔅⷐߥ᭽‫ߥޘ‬㜞♖ᐲߥടᎿᛛⴚࠍ㐿⊒ߒߚ‫ޕ‬એਅߩᢙ୯ࠍߘߩ⋡ᮡߦߒߚ‫ޕ‬࡮⴫㕙☻ߐߩ⛘ኻ୯߇‫ޔ‬㧝㧜㧜Ǵ㨙ⷺᐔᣇߩ㕙Ⓧߦᷰߞߡ PV㧔Peak-Valley:㗂ὐ㧕୯ߢ 50nm એਅii-1࡮ࡒ࡜࡯࠰࡝㊂߇㧝㧜㧜Ǵ㨙ⷺᐔᣇߩ㕙Ⓧߦᷰߞߡ PV ୯ߢ㧢nm ෸߮ 1.5nm એਅ㧝㧕ⷐ⚛ടᎿᛛⴚ㐿⊒ߩᚑᨐⷐ⚛ടᎿⴚ㐿⊒ߢߪ‫ޔ‬MEMS ࡒ࡜࡯ߩടᎿߦᔅⷐߥએਅߩⷐ⚛ടᎿᛛⴚߩ㐿⊒ࠍⴕߞߚ‫ޕ‬γ㧕⭯⤑ᚑ⤑ᛛⴚ ࡒ࡜࡯ࠍ᭴ᚑߔࠆ⭯⤑ߩౝㇱᔕജࠍ㜞♖ᐲߦ೙ᓮߔࠆ⭯⤑ടᎿᛛⴚߦขࠅ⚵ࠎߛ‫ޕ‬᭽‫⤑⭯ߥޘ‬ߩᚑ⤑ታ㛎ࠍⴕ޿‫ޔ‬ౝㇱᔕജࠍrᢙ 10MPa એਅߩ♖ᐲߢࠦࡦ࠻ࡠ࡯࡞ᛛⴚࠍ₪ᓧߒߚ‫ޕ‬δ㧕࡝࠰ࠣ࡜ࡈᛛⴚ 㜞ᕈ⢻ࡈࠜ࠻࡝࠰ࠣ࡜ࡈ㑐ㅪⵝ⟎ࠍዉ౉ߒߡ‫ޔ‬㜞♖ᐲടᎿᛛⴚࠍ₪ᓧߒߚ‫ޕ‬㜞ᲑᏅၮ᧼ߦኻᔕߒߚࡈࠜ࠻࡝࠰ᛛⴚߣ‫ޔ‬0.1Ǵ㨙࡟ࡌ࡞ߩ⴫ⵣ㕙วࠊߖ♖ᐲࠍታ⃻ߒߚ‫ޕ‬ε㧕ࠛ࠶࠴ࡦࠣᛛⴚ‫ޔ‬ਃᰴర㧹㧱㧹㧿ߩടᎿߦߪᰳ߆ߖߥ޿ Deep RIE ߦ╬ࠃࠆ㜞ᐲߥടᎿᛛⴚࠍ㐿⊒ߒߚ‫ޕ‬DeepRIE ․᦭ߩࠛ࠶࠴ࡦࠣ㕙ߩಳಲࠍૐᷫߔࠆࡊࡠ࠮ࠬ㐿⊒ߒ‫⴫ޔ‬㕙☻ߐߩ⛘ኻ୯߇‫ޔ‬100Ǵ㨙ⷺᐔᣇߩ㕙Ⓧߦᷰߞߡ PV ୯ߢ 50nm એਅߩ⋡ᮡࠍߪࠆ߆ߦࠢ࡝ࠕ࡯ߔࠆ‫ޔ‬ᢙ 100nm એਅࠍታ⃻ߒߚ‫ޔߦࠄߐޕ‬Pt ߩࠃ߁ߦࠛ࠶࠴ࡦࠣ߇࿎㔍ߥ㊄ዻ᧚ᢱࠍ࠼࡜ࠗ㔓࿐᳇ߢࠛ࠶࠴ࡦࠣߔࠆᛛⴚ߿‫ޔ‬MEMS ࡒ࡜࡯ടᎿࡊࡠ࠮ࠬߢ߽ᄙ↪ߔࠆᒝࠕ࡞ࠞ࡝᳓ṁᶧࠍ↪޿ߚ Si ⚿᥏⇣ᣇᕈࠛ࠶࠴ࡦࠣߦ㑐ߒߡ߽‫ޔ‬㜞♖ᐲࠛ࠶࠴ࡦࠣᛛⴚࠍ㐿⊒ߒߚ‫ޕ‬ζ㧕ߘߩઁߩടᎿᛛⴚᚑ⤑‫ࠣࡦ࠴࠶ࠛޔ‬ᛛⴚએᄖߩశ MEMS ߦ↪޿ࠆ㜞ᐲߥ࠺ࡃࠗࠬടᎿᛛⴚࠍ㐿⊒ߒߚ‫ޕ‬ૐ᷷࠙ࠛࡂធวᛛⴚ‫ޔ╬ࠣࡦࠪࠗ࠳ࠩ࡯࡟ޔ‬ᰴ਎ઍߩశ MEMS ࠍታ⃻ߔࠆߩߦ᦭ᦸߥടᎿᛛⴚࠍ₪ᓧߒߚ‫ޕ‬
㧞㧕MEMS ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬടᎿᛛⴚ     ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬࠍᒻᚑߔࠆߚ߼ߩടᎿᛛⴚ‫⹜ޔ‬૞ߦ↪޿ߚടᎿᛛⴚ㐿⊒ߩᚑᨐࠍႎ๔ߔࠆ‫ޕ‬శ
MEMS‫ߦ․ޔ‬శࠬࠗ࠶࠴࠺ࡃࠗࠬߦ㑐ߔࠆടᎿᛛⴚߩਛߢ‫ޔߪߢߎߎޔ‬㜞♖ᐲടᎿᛛⴚߩ⋡ᮡߢ޽ࠆ‫ߡߒ⋡⌕ߦ࡝࠰ߩ࡯࡜ࡒޔ‬ႎ๔ߔࠆ‫ޕ‬     ߹ߕ‫⹜ޔ‬૞ߒߚ㧞⒳㘃ߩࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬߦߟ޿ߡ‫ޔ‬γ㧕ടᎿ⋡ᮡ࡮઀᭽ࠍᢛℂߔࠆ‫ޕ‬ᰴߦ࠺ࡃࠗࠬടᎿࡊࡠ࠮ࠬߩᎿ⒟ਛߦ↢ߓࠆδ㧕⭯⤑ߩౝㇱᔕജߩᄌൻߦߟ޿ߡႎ๔ߔࠆ‫ߩߘޕ‬ᓟ‫ޔ‬ᄦ‫ࡒߩޘ‬࡜࡯࠺ࡃࠗࠬടᎿᛛⴚ㐿⊒ࠍε㧕ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬ A‫ޔ‬ζ㧕ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬ B ߦߟ޿ߡ‫ᦨޔ‬ᓟߦη㧕ࡒ࡜࡯ߩ࠰࡝એᄖߩ࠺ࡃࠗࠬ઀᭽ߦᓇ㗀ߔࠆࡊࡠ࠮ࠬᛛⴚ㐿⊒ߩ⚿ᨐߦߟ޿ߡ߽ႎ๔ߔࠆ‫ޕ‬γ㧕ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬടᎿ⋡ᮡ࡮઀᭽੹࿁ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬߪᗐቯߒߡ޿ࠆశࠬࠗ࠶࠴ࠪࠬ࠹ࡓߩ઀᭽߇⇣ߥࠆ㧞ߟߩ࠲ࠗࡊߩ࠺ࡃࠗࠬࠍ㐿⊒ߒߚ‫⺖ߩࠇߙࠇߘޕ‬㗴ߦߟ޿ߡ߹ߣ߼ࠆ‫ޕ‬⴫ ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬടᎿ⋡ᮡ䊚䊤䊷䊂䊋䉟䉴㩷 䊧䊋䊷᧚ᢱ㩷䊚䊤䊷䊂䊋䉟䉴䌁㩷䊚䊤䊷䊂䊋䉟䉴䌂㩷㪪㫀㩷㪧㪠㸢㪪㫀㪥㩷ᦛ₸ඨᓘ䋨䈠䉍䋩㩷䋾䋱㪅䋰䌭㩷䋨㪈㪅㪉㪌䌮䌭䋯䋱䋰䋰㱘䌭䂔䋩㩷䋾䋰䋮䋲䌭㩷䋨䋶䌮䌭䋯䋱䋰䋰㱘䌭䂔䋩㩷ii-2ⷺᐲ೙ᓮ㩷ା㗬ᕈ㪄㩷ታᣉ㩷㪉㪆㪈㪇㪇㪇ᐲ㩷ታᣉ㩷δ㧕⭯⤑ߩౝㇱᔕജߩᄌൻMEMS ࡒ࡜࡯ߩ෻኿⤑ߣߒߡᄙ↪ߐࠇߡ޿ࠆ‫ޔ‬Au/Cr ⤑ߣ Al ⤑ߦߟ޿ߡ‫ޔ‬ᚑ⤑ᓟߩᓟಣℂߢᔕജ߇ᄌൻߒ‫߇࡝࠰ߩ࡯࡜ࡒޔ‬ᄌൻߔࠆ᭽ሶࠍႎ๔ߔࠆ‫ޕ‬ε㧕ࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗࡕࠫࡘ࡯࡞㧦ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬ㧭ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬ㧭ߪ‫ޔ‬೨ࡍ࡯ࠫߩ⴫ߢ␜ߒߚࠃ߁ߦ‫ߩࠬࠗࡃ࠺ޔ‬ౝㇱߦⷺᐲ࠮ࡦࠪࡦࠣᯏ⢻ࠍ଻᦭ߒߡ޿ߥ޿ߩߢᲧセ⊛ࠪࡦࡊ࡞ߥ᭴ᚑߩࡒ࡜࡯ߢ޽ࠆ‫࡯࡜ࡒޕ‬෻኿ၮ᧼ߩ᭴ㅧ߿‫⴫ޔ‬㕙ᳪᨴߩኻ╷╬ࠍⴕ޿‫⋡ޔ‬ᮡߩࡒ࡜࡯ߩ࠰࡝㊂ 1.25㨚㨙㧛100Ǵ㨙‫غ‬એਅࠍ㆐ᚑߒߚ‫ޕ‬ζ㧕ࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗࡕࠫࡘ࡯࡞㧦ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬ㧮     ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬ㧮ߪ‫ࠨࡦ࠮ޔ‬ᯏ⢻ࠍ᦭ߒߡ޿ࠆ‫ࠬࠗࡃ࠺࡯࡜ࡒޔ߃ࠁࠇߘޕ‬㧭ߩࡒ࡜࡯ߣᲧセߔࠆߣ‫ⶄޔ‬㔀ߥ᭴ᚑߦߥࠄߑࠆࠍᓧߥ޿‫ߩࡓ࠹ࠬࠪޔߚ߹ޕ‬శቇ઀᭽ߩ㆑޿߆ࠄ‫ޔ‬หߓᒻ⁁ߢߪࠃࠅࡒ࡜࡯ߩ㚟േᝄࠇⷺ߇ᄢ߈ߊߥࠆࠃ߁ߦࡅࡦࠫ᧚ᢱ߽ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬ㧭 ߢߪ‫ޔ‬Si ߢ޽ߞߚߩ߇‫ࠅࠃޔ‬ᨵࠄ߆޿᧚ᢱߩ SiN ࠍㆬᛯߒߚ‫ޕ‬     ․ߦ‫࡯࡜ࡒޔ‬ၮ᧼ߩ᭴ᚑ߇ⶄᢙ㔚ᭂࠍⷐߔࠆߎߣߦࠃࠅ‫ⶄޔ‬ᢙߩ⭯⤑ߩౝㇱᔕജࠍ⠨ᘦߒߚ᭴ㅧࠍ㐿⊒ߒߡ‫࡝࠰࡯࡜ࡒޔ‬㊂ߩ 6.0㨚㨙㧛100Ǵ㨙‫ࠍغ‬㆐ᚑߒߚ‫ޕ‬㧟㧕ടᎿ♖ᐲ⹏ଔᛛⴚߩ㐿⊒ߩᚑᨐ㧝㧕‫ޔ‬㧞㧕ߢㅀߴߚടᎿᛛⴚ㐿⊒ࠍㆀⴕߔࠆߦߪ‫⹏ޔ‬ଔᛛⴚߩ㐿⊒߇ਇนᰳߢ޽ߞߚ‫ޔߜࠊߥߔޕ‬ࡒ࡜࡯ߩ⴫㕙♖ᐲะ਄߿⭯⤑ౝㇱᔕജߩ೙ᓮ♖ᐲะ਄ߦߪ‫ޔ‬㜞♖ᐲߩ㧟D ᒻ⁁⹏ଔᛛⴚ߇ᔅⷐߢ޽
ࠆ‫ޔߚ߹ޕ‬ၮ᧼⴫㕙ߛߌߢߪߥߊ‫߫߃଀ޔ‬ౝㇱߦᒻᚑߐࠇߚࠠࡖࡆ࠹ࠖ᭴ㅧߩᒻ⁁⹏ଔ߽㊀ⷐߢ޽ࠆ‫ߥࠢ࠶ࡒ࠽ࠗ࠳ߩࠬࠗࡃ࠺࡯࡜ࡒޔߦࠄߐޕ‬േ૞ᤨߩ㕙♖ᐲߪ‫ޔ‬శ SW ߩേ૞ㅦᐲߦ⋥ធᓇ㗀ߔࠆߩߢ‫ޔ‬േ⊛ᝄࠆ⥰޿ߩ⸃ᨆᛛⴚߩ㐿⊒ߦ߽ขࠅ⚵ࠎߛ‫ޕ‬ᦨᓟߦࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬ․᦭ߩశቇ․ᕈ߿ࠕ࡟ࠗൻߒߚ࠺ࡃࠗࠬߩᄖⷰ⹏ଔ߿േ૞․ᕈߦ㑐ߔࠆ⹏ଔᛛⴚ߽₪ᓧߒߚ‫ޕ‬ԙ 㜞♖ᐲ೙ᓮᛛⴚ㐿⊒ᓸዊࡒ࡜࡯ࠍ↪޿ߡశ೙ᓮࠍⴕ߁శนേࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗࠍశㅢାߦ↪޿ࠆ㓙ߩᄢ߈ߥ⺖㗴߇‫࡯࡜ࡒޔ‬࿁ォⷺߩ㜞♖ᐲⷺᐲ೙ᓮߢ޽ࠆ‫ߩߎޕ‬㜞♖ᐲߩ೙ᓮᕈ߇᳞߼ࠄࠇࠆℂ↱ߪ‫ޔ‬ᰴߩᓸዊᯏ᪾㧔MEMS㧕ߩᜬߟ㧞ߟߩ⺖㗴ࠍ㜞♖ᐲⷺᐲ೙ᓮߦࠃߞߡస᦯ߔࠆᔅⷐ߇޽ࠆߚ߼ߢ޽ࠆ‫ޕ‬ ࡮⚻ᤨᄌൻ‫ޔ‬ᾲ࠼࡝ࡈ࠻ߦࠃࠆਇ቟ቯᕈ‫․ߩᤨ᠄ⴣޔ‬ᕈਇ቟ቯᕈ ࡮㜞ㅦേ૞․ᕈߩ⏕଻ ․ߦᚒ‫߇ޘ‬㐿⊒࠲࡯ࠥ࠶࠻ߣߒߡ޿ࠆᵄ㐳ㆬᛯ SW ߪ‫ޔ‬ᄢ߈ߥⓨ㑆శቇ♽ࠍ೨ឭߦߒߡ޿ࠆߩߢ࡟࡯ࠩశߩⓨ㑆વ᠞㐳߇㐳ߊߥࠆ‫ޕ‬ᓥߞߡ‫ߪࠄࠇߎޔ‬㊀ⷐߥ⺖㗴ߣ⸒߃ࠆ‫ޕ‬ᧄᛛⴚ㐿⊒ߢߪ‫ޔߕ߹ޔ‬ᓸዊ࠮ࡦࠪࡦࠣߩᣇᑼߩᬌ⸛ࠍⴕ޿‫ޔ‬ᓸዊࡒ࡜࡯ߩⷺᐲ࠮ࡦࠨߣߒߡㆡߒߡ޿ࠆ࠮ࡦࠨߣߒߡ‫ޔ‬᭴ᚑߩኈᤃߐ෸߮ᗵᐲ․ᕈ߆ࠄኈ㊂࠮ࡦࠨࠍㆬᛯߒ‫ߦࠇߘޔ‬วࠊߖߚ‫ࡊࡦࠕޔ‬IC ߩ⸳⸘ࠍⴕߞߚ‫ޕ‬ೋᦼߩᬌ⸛↪ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬߣࠕࡦࡊ㧵㧯ࠍ↪޿ߡ‫ޔ‬ၮᧄ⊛ߥⷺᐲ࠮ࡦࠪࡦࠣߪታ⸽ߢ߈ߚ߇‫ޔ‬㧿㧺߇ૐ޿ߎߣ߿ࠢࡠࠬ࠻࡯ࠢ߇޽ࠆ╬ߩ⺖㗴߽᣿ࠄ߆ߦߥߞߚ‫ ࡊࡦࠕޔߢߎߘޕ‬ICߩ․ᕈᡷༀ‫ޔ‬ታⵝၮ᧼ߩᡷ⦟‫ࠣࡦࠪࡦ࠮ߩࠬࠗࡃ࠺࡯࡜ࡒޔߪߦࠄߐޔ‬᭴ᚑߩᡷ⦟╬ࠍⴕ޿‫⋡ޔ‬ᮡߩⷺᐲ೙ᓮಽ⸃⢻ 2/1000 ᐲࠍ߶߷㆐ᚑߒߚ‫ޕ‬ii-3ⷺᐲ࠮ࡦࠨ಴ജߢࡒ࡜࡯ࠍ೙ᓮߔࠆ‫ޕ‬㜞♖ᐲ࠮ࡦࠨ෸߮ߘߩ๟ㄝ࿁〝߇ᔅⷐ‫ޕ‬Ԛ  ା㗬ᕈ࡮⸘᷹࡮⹏ଔᛛⴚ㐿⊒శนേࡒ࡜࡯ߩታ↪ൻࠍ㒖ࠎߢ޿ࠆ৻ߟߩේ࿃ߪ‫ޔ‬ା㗬ᕈߩ໧㗴ߣ⸒ࠊࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬శㅢାะߌߩࠬࠗ࠶࠴ߩታ↪⊛ߥା㗬ᕈࠍ଻㓚ߔࠆߚ߼ߦߪ‫⋡ޔ‬ᮡ㧝㧜㧝㧜࿁㧔㧝㧜㧜ం࿁㧕એ਄ߩ㚟േേ૞࿁ᢙ߇ᔅⷐߢ޽ࠆ‫ޕ‬ߘߎߢ‫࡯࡜ࡒޔ‬㚟േା㗬ᕈࠍਛᔃߦ᭽‫ޔߥޘ‬ታ↪਄໧㗴ߦߥࠆߢ޽ࠈ߁‫ޔ‬㗄⋡ߦߟ޿ߡା㗬ᕈ⹜㛎ࠍⴕߞߚ‫ߩߎޔߚ߹ޕ‬ା㗬ᕈ⹜㛎ߦᔅⷐߥ⸘᷹⹏ଔᛛⴚ㐿⊒߽วࠊߖߡⴕߞߚ߇‫ޔߪ⚦⹦ߩߘޔ‬㧔㧞㧕⎇ⓥߩ⹦⚦ႎ๔ߢߩߴࠆ‫ޕ‬ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬߩା㗬ᕈߦଥࠊࠆᛛⴚ㐿⊒ߣߒߡ‫ޔ‬㚟േା㗬ߛߌߢߪߥߊ‫ޔ‬㧝㧕ࡒ࡜࡯෻኿㕙ߩశቇ․ᕈߩ⚻ᤨᄌൻ‫ޔ‬㧞㧕ࡒ࡜࡯㚟േ↪㈩✢ߩା㗬ᕈ‫ޔ‬㧟㧕㔚ᭂၮ᧼ߩ⛘✼⠴ᕈ‫ޔ‬㧠㧕ࡒ࡜࡯㚟േା㗬ᕈߩ㧠㗄⋡ߦߟ޿ߡା㗬ᕈ⹏ଔࠍታᣉߒߚ‫ޕ‬㧝㧕ࡒ࡜࡯෻኿㕙ߩశቇ․ᕈߩ⚻ᤨᄌൻߢߪ‫ޔ‬Au ࡒ࡜࡯ߣ Al ࡒ࡜࡯ߩ㧞⒳㘃ߩࡒ࡜࡯ߦߟ޿ߡ⠴ਭᕈ⹜㛎ࠍታᣉߒߡ‫ߩ࡯࡜ࡒޔ‬శቇ෻኿₸ഠൻߦ㑐ߔࠆା㗬ᕈ⹏ଔࠍⴕߞߚ‫ޔߦ߽ߣޕ‬㜞᷷㜞Ḩ⠴ᕈ⹜㛎ߢ߽‫޿ߒ⪺ޔ‬ഠൻߪߥߊ‫ޔ‬ା㗬ߩ㜞޿⤑᭴ㅧߢ޽ࠆߎߣࠍ⏕⹺ߒߚ‫ޕ‬㧞㧕ࡒ࡜࡯㚟േ↪㈩✢ߩା㗬ᕈ⹜㛎ࠍታᣉߒ‫ࠫࡦࡅޔ‬ㇱߦ৻૕᭴ᚑߐࠇࠆ㈩✢᭴ㅧߦଥࠊࠆ᭴ㅧߩ⺖㗴ࠍ᣿⏕ߦߒߚ‫ޕ‬㈩✢᧚ᢱ߿଻⼔⤑ߩ⒳㘃ߦࠃࠅ‫ޔ‬ഠൻߩ᭽ሶ߇⇣ߥࠆߎߣ߇್ߞߚ‫੹ޕ‬࿁ߩ⚿ᨐ߆ࠄ‫ޔ߽ߢࠬ࡟࠻ࠬ࡞ࠞ࠾ࠞࡔޔ‬㔚᳇⊛ߥࠬ࠻࡟ࠬߢ߽ Cu ㈩✢ߩ⠴ਭᕈ߇Ყセ⊛⦟޿ߎߣ߿‫ޔ‬PI㧔ࡐ࡝ࠗࡒ࠼㧕଻⼔⤑߽․᦭ߥലᨐ߇޽ࠆߎߣ߇್ߞߚ‫ޕ‬㧟㧕㔚ᭂၮ᧼ߩ⛘✼⠴ᕈߢߪ‫㉄ࡑ࠭࡜ࡊޔ‬ൻ⤑ߩ⛘✼⠴ᕈࠍ⹏ଔߒߚ‫㉄ࡑ࠭࡜ࡊޕ‬ൻ⤑ࠍ㕒㔚ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ⛘✼ጀߣߒߡ૶↪ߒߡ߽‫ޔ‬లಽ⛘✼⠴ᕈ߇޽ࠆߎߣࠍ⏕⹺ߒߚ‫ޕ‬㧠㧕ࡒ࡜࡯㚟േା㗬ᕈߩ⹏ଔߢߪ‫ޔ‬PI ࡅࡦࠫ‫ޔ‬SiN ࡅࡦࠫ‫ޔ‬Si ࡅࡦࠫᄦ‫ߩޘ‬᭴ㅧߩࡒ࡜࡯ߩ㐳ᦼേ૞⹜㛎ࠍታᣉߒߚ‫᧚ࠫࡦࡅߩࠇߕ޿ޕ‬ᢱߢ߽⋡ᮡߩ 1010 ࿁࡟ࡌ࡞ߩ㚟േା㗬ᕈ߇޽ࠆߎߣࠍ⏕⹺ߒߚ‫ޔߚ߹ޕ‬Si ࡅࡦࠫߦߟ޿ߡߪ‫ޔ‬㚟േߦ઻߁᡿㓚ࡕ࡯࠼ࠍ⺞ߴߚ‫⚿ߩߘޕ‬ᨐ‫⏴ޔ‬⠻᡿㓚ဳߢߪߥߊೋᦼ᡿㓚ဳߢ޽ࠆߣ⚿⺰ߒߚ‫ޕ‬ԛ శࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗࡕࠫࡘ࡯࡞⵾૞ߎࠇ߹ߢㅀߴߡ߈ߚ‫ޔ‬ԘടᎿᛛⴚ‫ޔ‬ԙ೙ᓮᛛⴚࠍ㚟૶ߒߡ‫ޔ‬శࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬߩታ↪ൻߦะߌߚ‫ޔ‬ࡕࠫࡘ࡯࡞ࠍ૞ᚑߒ‫⹏ޔ‬ଔߒߚ‫ᦼ࠻ࠢࠚࠫࡠࡊޕ‬㑆ߢߪ‫ߣ࡞࡯ࡘࠫࡕ࠻ࡠࡊޔ‬శ SW ࡕࠫࡘ࡯࡞ߩ㧞ߟߩࡕࠫࡘ࡯࡞ࠍ૞ᚑߒߚߩߢ‫ޔ‬㗅⇟ߦႎ๔ߔࠆ‫ޕ‬ii-4

    㐿⊒ߒߚశ㧿㨃ࡕࠫࡘ࡯࡞ߪ WXC㧔ᵄ㐳࡟ࡌ࡞శࠢࡠࠬࠦࡀࠢ࠻㧕ࠍᗐቯߒߚ‫ޕ‬ਅ࿑ߦߘߩᵄ㐳ㆬᛯဳߩశࠬࠗ࠶࠴ߩࠗࡔ࡯ࠫ࿑ࠍߩߖࠆ‫ޕ‬䉺䊷䉭䉾䊃䈫䈜䉎శSW䈱䉟䊜䊷䉳– ᵄ㐳ㆬᛯဳ䈱శ䉴䉟䉾䉼» ᵄ㐳ᄙ㊀䈘䉏䈢౉ജశ䈮ኻ䈚䇮ᵄ㐳䈗䈫䈮಴ജ䊐䉜䉟䊋䈱ಾ䉍ᦧ䈋䉕ⴕ䈉ᵄ㐳ᄙ㊀䈘䉏䈢౉ജశ౉಴ജ↪ శ䊐䉜䉟䊋

MEMS䊚䊤䊷䉝䊧䉟ಽᵄ䊶วᵄశቇ♽䋺    ߹ߕ WXC ߣߒߡ᳞߼ࠄࠇࠆశቇ․ᕈ߿ᯏ⢻ࠍᗐቯߒߡ‫ޔ‬శቇ♽෸߮ࡕࠫࡘ࡯࡞ߩࡄ࠶ࠤ࡯ࠫࡦࠣᛛⴚ╬ߩ⸳⸘ⴕ޿‫࠻࠶ࠥ࡯࠲ޔ‬㧮ߩࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗ࠺ࡃࠗࠬࠍ៞タߒߚࡊࡠ࠻ࡕࠫࡘ࡯࡞ࠍ⹜૞ߒߚ‫ߡ޿↪ࠍ࡞࡯ࡘࠫࡕ࠻ࡠࡊߩߎޕ‬శવㅍ․ᕈ⹏ଔࠍታᣉߒߡ‫ޔ‬ᝌ౉៊ᄬ╬ߦ⺖㗴߇޽ࠆߎߣ߇᣿ࠄ߆ߦߥߞߚ‫ޕ‬ߎߩࡊࡠ࠻ࡕࠫࡘ࡯࡞⹏ଔ⚿ᨐ߆ࠄ‫ޔ‬ฦ⒳․ᕈࠍᡷༀߔࠆᬌ⸛ࠍㅴ߼‫ޔ‬శቇ⸳⸘‫ޔ⸘⸳ࠬࠗࡃ࠺ޔ‬ࠤ࡯ࠪࡦࠣߩౣ⸳⸘ࠍⴕ޿‫⚳ᦨޔ‬శ SW ࡕࠫࡘ࡯࡞ࠍ⵾૞ߒߚ‫ޔߪ࡞࡯ࡘࠫࡕޔߩߎޕ‬න૕ࡒ࡜࡯ߩ೙ᓮᯏ⢻ߛߌߢߪߥߊ‫ࠗ࡟ࠕޔ‬ൻߐࠇߚࡒ࡜࡯ߦኻߒߡ‫ⷺޔ‬ᐲ೙ᓮ߇಴᧪ࠆ᭴ᚑࠍขߞߡ޿ࠆ‫ޕ‬ᧄࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗߩ೙ᓮ♖ᐲ⹏ଔ߽ታᣉߒ 10/1000 ᐲએਅߩⷺᐲ೙ᓮᕈ⢻߇޽ࠆߎߣ߇⏕⹺ߐࠇߚ‫ޕ‬శቇવㅍ․ᕈ╬ߩ⹦⚦⹏ଔߪ‫੹ޔ‬ᓟ㐿⊒ࠍ⛮⛯ߔࠆਛߢታᣉߒߡⴕߊ‫ޕ‬㩷࿑ ࡊࡠ࠻ࡕࠫࡘ࡯࡞↪ࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗ㩷䋨䋲䋩ᚑᨐ䈱ᗧ⟵㩷㩷ᧄࡊࡠࠫࠚࠢ࠻ߢߪ‫ޔ‬శ㧹㧱㧹㧿‫ߦ․ޔ‬ㅢା↪ࡑࠗࠢࡠశࠬࠗ࠶࠴ߩታ⃻ߦᔅⷐߥ‫ޔ‬Ԙ㜞♖ᐲ㧟&ടᎿᛛⴚߩ㐿⊒‫ޔ‬ԙ㜞♖ᐲ೙ᓮᛛⴚ䈱㐿⊒䇮㽴㜞♖ᐲ⹏ଔ࡮ା㗬ᕈᛛⴚ‫ޔ‬ԛశ㧿㨃ࡕࠫࡘ࡯࡞ߩ㐿⊒ߎࠇࠄߩ㧠ߟߩᛛⴚ㐿⊒ߦขࠅ⚵ࠎߢ߈ߚ‫ޔߪߢߎߎޕ‬ᄦ‫ߩޘ‬ᚑᨐߩᗧ⟵ࠍႎ๔䈜䉎䇯㩷㩷Ԙ 㜞♖ᐲ㧟D ടᎿᛛⴚߩ㐿⊒㜞♖ᐲടᎿᛛⴚߣߒߡ‫ޔ‬MEMS ࡒ࡜࡯ߩ࠰࡝ࠍૐᷫߒߚ‫ޕ‬୘‫ߩޘ‬ᚑ⤑ߩౝㇱᔕജࠍ೙ᓮߔ
ii-5ࠆᛛⴚࠍ⏕┙ߔࠆߣߣ߽ߦ‫ࠬࠗࡃ࠺࡯࡜ࡒޔ‬᭴ㅧ‫ޔ‬ടᎿᎿ⒟ࠍᡷༀߔࠆߎߣߦࠃࠅ MEMS ᐔ㕙ࡒ࡜࡯ߩ࠰࡝ߪ‫⋡ߩ࠻ࠢࠚࠫࡠࡊޔ‬ᮡࠍ㆐ᚑߒߚ‫ޕ‬ ߎߩᚑᨐߪ‫ޔ‬਎⇇ᦨ㜞᳓Ḱߢ޽ࠆߣߣ߽ߦ‫ޔ‬MEMS ࡒ࡜࡯ߢశ SW ߩታ↪ൻ߇ㅴ߹ߥ߆ߞ
ߚⷐ࿃ߩ৻ߟࠍ⸃᳿ߒߚߣ⠨߃ߡ޿ࠆ‫ޕ‬߹ߚ‫ޔ‬Si ၮ᧼⴫㕙ߦኻߒߡု⋥ߦ Deep RIE ߢടᎿߒߡᒻᚑߔࠆࡒ࡜࡯ߢߪ‫ޔ‬㜞ᕈ⢻ⵝ⟎ࠍ↪޿ߡ‫ᦨޔ‬ㆡߥ᧦ઙࠍ⷗಴ߔߣ߽ߦ‫ࠬࠗࡃ࠺ޔ‬᭴ㅧߦࡑ࠶࠴ߒߚᓟടᎿᛛⴚࠍ㐿⊒ߔࠆߎߣߦࠃࠅ‫⴫ޔ‬㕙⨹ࠇࠍᓥ᧪ߩ㧝/㧟㨪㧝/㧡ߩᢙ 10nm એਅടᎿᛛⴚࠍ㐿⊒ߒߚ‫ߩࠄࠇߎޕ‬ᛛⴚߪ‫ޔ‬శ MEMS ߩ㐿⊒ߦߣߤ߹ࠄߕ‫ޔ‬Deep RIE ࠍ૶↪ߔࠆ᭽‫ ߥޘ‬MEMS ࠺ࡃࠗࠬߩടᎿ♖ᐲࠍ‫ޔ‬਎⇇ᦨ㜞᳓Ḱߩ࡟ࡌ࡞ߢㆡ↪ߢ߈ࠆᛛⴚ߹ߢ₪ᓧߒߚߣ⠨߃ߡ޿ࠆ‫ޕ‬ߐࠄߦ‫ޔ‬዁᧪ߩࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬߦᔅⷐߥ᭽‫ߥޘ‬ടᎿⷐ⚛ᛛⴚ㧔ធวᛛⴚ߿‫ࠣࡦ࠴࠶ࠛޔ‬ᛛⴚ╬㧕߽㐿⊒ߒߚ‫ᤨ⃻ޔ߽ࠇߕ޿ޕ‬ὐߢ਎⇇ᦨ㜞᳓ḰߩടᎿᛛⴚࠍ₪ᓧߒߚߣ⠨߃ߡ޿ࠆ‫ޕ‬ߎࠇࠄߩ㜞♖ᐲടᎿᛛⴚߪ‫੹ޔ‬ᓟ‫ޔ‬ታ↪ൻࠍ߹ߕㅴ߼ࠆᵄ㐳ㆬᛯࠬࠗ࠶࠴ߦߣ߹ࠄߕ‫ޔ‬᭽‫ޘ‬ߥశㅢାะߌߩ /'/5 ߳ߩᔕ↪߇⠨߃ࠄࠇ‫ޔ‬ታ↪ൻࠍടㅦߔࠆߣ⠨߃ߡ޿ࠆ‫ޔߚ߹ޕ‬ᑷ␠ߩࡈࠔࡦ࠼࡝᩺ઙ߳ߩㆡ↪ࠍㅴ߼ࠆߎߣߦࠃࠅ‫ޔ‬᭽‫ߥޘ‬㜞ᕈ⢻ /'/5 ߩታ↪ൻࠍടㅦߔࠆߣ⠨߃ࠆ‫ޕ‬ ԙ 㜞♖ᐲ೙ᓮᛛⴚߩ㐿⊒
MEMS ࡒ࡜࡯ߩⷺᐲ࠮ࡦࠪࡦࠣ߇น⢻ߥᓸዊ࠮ࡦࠪࡦࠣߩᣇᑼߩᬌ⸛ࠍⴕ޿‫ޔ‬ኈ㊂࠮ࡦࠪࡦࠣᣇᑼࠍㆬᛯߒߡ‫ࠬࠗࡃ࠺࡯࡜ࡒޔ‬ኾ↪ߩࠕࡦࡊ IC ߩ⸳⸘ࠍⴕ޿‫⋡ޔ‬ᮡߩⷺᐲಽ⸃⢻ࠍ㆐ᚑߒߚ‫ޕ‬䈖䈱ᓸዊ䊚䊤䊷䈱ⷺᐲ䉶䊮䉲䊮䉫ᛛⴚ䈲䇮਎⇇⊛䈮଀䈏ᱴ䈬䈭䈇䇯䈖䈱ᚑᨐ䈮䉋䉍䇮శㅢା䈪
MEMS ࡒ࡜࡯ߩታ↪ൻࠍ㒖ࠎߢ޿ࠆᄢ߈ߥ⺖㗴߇స᦯ߢ߈ࠆߣ⠨߃ߡ޿ࠆ‫ߩ⁁⃻ޕ‬శㅢାߩࠬࠗ࠶࠴ࡕࠫࡘ࡯࡞ߦ߅޿ߡ߽‫ޔ‬శାภࠍశᒝᐲࠍࡕ࠾࠲࡯ߔࠆߎߣߢࠪࠬ࠹ࡓߩ቟ቯൻࠍታᣉߒߡ޿ࠆ‫ߩߘޕ‬ᣇᴺߪ಴ജ஥ߩశାภࠍಽጘߒߡಽ㈩ߒߡశᒝᐲᄌൻࠍࡕ࠾࠲࡯ߔࠆᣇᴺߢ޽ࠆ‫ోࡓ࠹ࠬࠪޔߪࠇߎޕ‬૕ߩ᭴ᚑ߇ⶄ㔀ߦߥࠅ‫߇࠻ࠬࠦࡓ࠹ࠬࠪޔ‬㜞޿ේ࿃ߣߥߞߡ޿ࠆ‫ޕ‬ᧄᛛⴚ㐿⊒ߩᚑᨐߪ‫ోࡓ࠹ࠬࠪޔ‬૕ߩዊဳൻ‫ޔ‬ૐଔᩰൻࠍ߽ߚࠄߒ‫ޔ‬శㅢାߩታ↪ൻ߇ߐࠄߦടㅦߐࠇࠆߣ⠨߃ߡ޿ࠆ‫ޕ‬ߎࠇࠄߩᚑᨐߪ‫ޔ‬శ SW ↪ߩࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬ߳ߩ៞タߦߣߤ߹ࠄߕ‫⃻ޔ‬࿷ߩశࠬࠠࡖ࠽࡯↪ࡒ࡜࡯ࠍ㜞ᕈ⢻ൻߦነਈߢ߈ࠆᛛⴚߢ޽ࠆ‫ⷺ࡯࡜ࡒޔ߫߃଀ޕ‬ᐲࠍ㜞♖ᐲߦࠦࡦ࠻ࡠ࡯࡞ߢ߈ࠆߣ⴫␜ⵝ⟎‫ޔ‬ⓨ㑆శㅢା↪ߩㅍฃାᯏ‫ޔ‬ⓨ㑆శ૏⟎࠮ࡦࠨ‫߿ࠝࠗࡃޔ‬ක≮↪ߩశ⸘᷹࡮⸻ᢿⵝ⟎╬߳ߩᔕ↪ዷ㐿߇ㅴ߻ߣ⠨߃ߡ޿ࠆ‫ޕ‬㩷㽳 㜞♖ᐲ⹏ଔ࡮ା㗬ᕈᛛⴚ㐿⊒㩷శㅢା╬ߩᏒ႐ߢ‫ޔ‬శนേࡒ࡜࡯ߩታ↪ൻࠍ㒖ࠎߢ޿ࠆ߽߁৻ߟߩේ࿃ߪ‫ޔ‬ା㗬ᕈߩ໧㗴ߣ⸒ࠊࠇߡ޿ࠆ‫ߩࠬࠗࡃ࠺࡯࡜ࡒޔߢߎߘޕ‬ା㗬ᕈߦଥࠊࠆᛛⴚ㐿⊒ߣߒߡ‫ޔ‬㧝㧕ࡒ࡜࡯෻኿㕙ߩశቇ․ᕈߩ⚻ᤨᄌൻ‫ޔ‬㧞㧕ࡒ࡜࡯㈩✢ߩା㗬ᕈ‫ޔ‬㧟㧕㔚ᭂၮ᧼ߩ⛘✼⠴ᕈ‫ޔ‬㧠㧕ࡒ࡜࡯㚟േା㗬ᕈߩ㧠㗄⋡ߩା㗬ᕈ⹏ଔࠍታᣉߒߚ‫ޕ‬ᦨᣂߩା㗬ᕈߩ⹏ଔᛛⴚ‫⹏ޔ‬ଔ⚿ᨐߪ‫ߪߦ⥸৻ޔ‬ႎ๔ߐࠇߥ޿ߎߣ߇ᄙ޿‫ߩߎޕ‬ਛߢ‫ޔ‬㧞㧕ࡒ࡜࡯㈩✢ߩା㗬ᕈߪ‫੹ޔ‬ᓟߩนേᕈࡒ࡜࡯ߩା㗬ᕈߦߟ޿ߡ‫ޔ‬Cu ㈩✢ߩఝ૏ᕈ߿ PI ଻⼔⤑ߩࠃ߁ߥᨵࠄ߆޿଻⼔⤑ߩᔅⷐᕈ╬ᜰ㊎ࠍ␜ߔߎߣ߇ߢ߈ߚ‫ߥ⚦⹦ޕ‬ᬌ⸛߇ᔅⷐߣ⸒߁⺖㗴ࠍᱷߒߚ⚿ᨐߢ⚳ࠊߞߡߒ߹ߞߚ߇‫ޔ‬ㅒߦ⸒߃߫‫੹ޔ‬ᓟ‫ޔ‬ᛛⴚ⊛ߥ⊒ዷ߇ߐࠄߦᦼᓙߐࠇ
ii-6ࠆ‫ޕ‬ࡒ࡜࡯㚟േା㗬ᕈߩ⹏ଔߢߪ‫⎇ᧄޔ‬ⓥ㐿⊒ߩశㅢାะߌࡕࠫࡘ࡯࡞ߢ߽ㆡ↪ߒߚ‫ޔ‬㕒㔚㚟േᑼߩࡒ࡜࡯ߢ⋡ᮡߩ㚟േା㗬ᕈࠍ⏕଻ߔࠆߎߣࠍ⏕⹺ߒߚ‫ޔߪࠇߎޕ‬శㅢାߩ᭽ߦ‫␠ޔ‬ળࠗࡦࡈ࡜ࠍᜂ߁‫ޔ‬㕖Ᏹߦ㜞޿ା㗬ᕈ߇ⷐ᳞ߐࠇࠆಽ㊁ߦ߅޿ߡ߽‫ޔ‬MEMS ߩㆡ↪߇น⢻ߢ޽ࠆߎߣࠍ␜ߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬㩷ԛ శ㧿㨃ࡕࠫࡘ࡯࡞ߩ㐿⊒㩷ടᎿᛛⴚ‫৻ࠨࡦ࠮ޔ‬૕ൻ೙ᓮᛛⴚ෸߮㜞♖ᐲ⹏ଔᛛⴚࠍ㐿⊒ߔࠆߣߣ߽ߦ‫ࠍࠇߘޔ‬ᔕ↪ߒߚᵄ㐳ㆬᛯဳశ㧿㨃ࡕࠫࡘ࡯࡞ࠍ⵾૞ߒߚ‫ߩߘޕ‬ㆊ⒟ߢ‫ޔ‬శቇ⊛ߥ૏⟎วࠊߖ♖ᐲࠍ⏕଻ߒߚశ㧿㨃ኾ↪ߩࠗࡦ࠲࡯ࡈࠚࠗࠬߣࡕࠫࡘ࡯࡞ో૕ߩା㗬ᕈࠍ⏕଻ߔࠆߚ߼ߩࠤ࡯ࠪࡦࠣᛛⴚࠍ㐿⊒ߒߚ‫ޕ‬ߎࠇࠄߩᛛⴚߪ‫ޔ‬ᱜߦ⃻࿷ታ↪ൻ㐿⊒ࠍᕆ޿ߢ޿ࠆ‫ޔ‬ᵄ㐳ㆬᛯࠬࠗ࠶࠴ࡕࠫࡘ࡯࡞ߦᔕ↪ߐࠇࠆ‫ޔߦࠄߐޕ‬శ 59 એᄖߩశ /'/5 ࠍ៞タߔࠆ᭽‫⵾ߥޘ‬ຠ߳ᔕ↪ߔࠆߎߣ߇ᦼᓙߐࠇࠆ‫ޕ‬㩷䋨䋳䋩ᚑᨐ䈱᥉෸㩷㩷㩷 ᒰ␠ߪ‫ޔ‬㧞㧜㧜㧞ᐕ㧞᦬ߦࡈࠔࡦ࠼࡝ࠨ࡯ࡆࠬ੐ᬺࠍ㐿ᆎߔࠆߎߣࠍᄖㇱᱜᑼߦࠕ࠽࠙ࡦࠬߒߚ‫ޕ‬ㆃࠇࠆߎߣ৻ᐕ‫ޔ‬㧞㧜㧜㧟ᐕ㧠᦬߆ࠄ㧹㧱㧹㧿㐿⊒ᧄㇱߦ㧹㧱㧹㧿㑐ଥㇱ⟑߇⛔วൻߐࠇࠆߣߣ߽ߦ‫ޔ‬੐ᬺൻࠍផㅴߔࠆ‫ᧄޔ‬ㇱౝߦ㧹㧱㧹㧿੐ᬺផㅴㇱߐࠄߦߪ‫ޔ‬Ꮢ႐㐿⊒)߇⚵❱ߐࠇߚ‫ޕ‬ߎߩ)߇‫ࠍࠣࡦࠖ࠹࠶ࠤ࡯ࡑޔ‬ᜂᒰߔࠆࠣ࡞࡯ࡊߢ޽ࠅ‫ޔ‬Ⓧᭂ⊛ߦᵴേࠍⴕߞߡ޿ࠆ‫ޕ‬శㅢାะߌߩᏒ႐ߦะߌߡߪ‫ޔ‬࿖ౝࡈࠔࠗࡃ࡯ࠝࡊ࠹ࠖ࠶ࠢࠬዷ␜ળ㧔(1'㧕╬ߦ‫ޔ‬ᒰ␠ߩᛛⴚዷ␜ࠍⴕߞߡ޿ࠆ‫☨ߚ߹ޕ‬࿖ߩశㅢା㑐ㅪዷ␜ળ㧔2JQVQPKEU9GUV1(%╬㧕ߢ߽ࡉ࡯ࠬዷ␜ࠍⴕ޿‫ޔ‬శㅢାᏒ႐߳ߩࡉ࡜ࡦ࠼ߩિዷࠍ࿑ߞߡ޿ࠆ‫ޕ‬࿖ౝᄖ ⸘㧡࿁ ዷ␜⊒⴫‫ޕ‬࿑ ࿖ౝዷ␜ળ㧔㧲㧻㧱㧞㧜㧜㧡㧕ߩ᭽ሶߎࠇ߹ߢ‫ޔ‬శㅢାࡕࠫࡘ࡯࡞෸߮ߘࠇߦ៞タߔࠆࡒ࡜࡯ߩዷ␜ߪᰴߩዷ␜ળߦ㒢ߞߡታᣉߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬Ფᐕ㧞᦬ߦታᣉߐࠇߡ޿ࠆ‫ࠢ࠹ࡁ࠽ޔ‬ዷ␜ળߩ㧺㧱㧰㧻ࡉ࡯ࠬߢ㧼㧶ߩᚑᨐࠍ㧟࿁ዷ␜‫ޕ‬ߘߒߡ‫ࠬࡄࡦ࡝ࠝޔ‬ᛛⴚዷ␜ળ㧔㧞㧜㧜㧠㧘㧝㧝᦬㧕‫ࠬࡄࡦ࡝ࠝߩߘޔ‬ዷ␜ળߩ᭽ሶࠍਅߦタߖࠆ‫ޕ‬ii-7ㅍାర䈱േ↹વㅍ䈘䉏䈢േ↹WSS䈱䊂䊝ᯏ੍஻䈱䉼䊞䊮䊈䊦࿑ ࠝ࡝ࡦࡄࠬᛛⴚዷ␜ળߩ᭽ሶߎߩዷ␜ߢߪ‫ޔ‬ᵄ㐳ㆬᛯࠬࠗ࠶࠴ 㨃55ߩࡊࡠ࠻ࡕࠫࡘ࡯࡞̍࠺ࡕᯏ̍ࠍ↪޿ߚ‫ࠝ࠺ࡆޟ‬વㅍࠪࠬ࠹ࡓ‫ࠍޠ‬ዷ␜ߒߚ‫ޔߪߢߎߎޕ‬࡮㧞ߟߩേ↹ࠍశࡈࠔࠗࡃߢવㅍ࡮વㅍ⚻〝߇ㆤᢿߐࠇߡ߽955߇੍஻ࡈࠔࠗࡃ࡯⚻〝ߦಾࠅᦧ߃ߡേ↹વㅍࠍ⛮⛯‫ޕ‬ㅜಾࠇߥ޿ࡀ࠶࠻ࡢ࡯ࠢࠍታ⃻‫ޕ‬ߎߩࠃ߁ߦ‫ޔ‬955ߦࠃࠅࡈ࡟ࠠࠪࡉ࡞ߥવㅍࠪࠬ࠹ࡓ߇᭴▽ߢ߈ࠆߣ⸒߁࠺ࡕࠍⴕߞߚ‫ޕ‬ ߹ߚ‫ޔ‬శㅢାᏒ႐ߦ㑐ߒߡߪ‫ࠞ࡯ࡔࡓ࠹ࠬࠪޔ࡞࡯ࡘࠫࡕޔ‬ᄢᚻ߇ሽ࿷ߔࠆർ☨Ꮢ႐ࠍ⌮ࠎߢ‫ޔ‬☨࿖ሶળ␠ߦ㧹㧱㧹㧿⺞ᩏᜂᒰㇱ㐷ࠍ⸳⟎ߒᵴേߒߡ߈ߚ‫ߩ࡝࠼ࡦࠔࡈޕ‬㘈ቴߪ࿖ౝߦߣߤ߹ࠄߕ‫ޔ‬ᶏᄖߦ߽⓹ࠍ㐿ߌߡ‫ࠍࠬࡆ࡯ࠨޔ‬ታᣉߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬䌍䌅䌍䌓䊐䉜䊮䊄䊥੐ᬺ䈮䈧䈇䈩䈲䇮䊙䉟䉪䊨䊙䉲䊮䉶䊮䉺䊷䈪㐿௅䈘䉏䉎䇮৻⥸ะ䈔䉶䊚䊅䊷䉕ᆎ䉄䇮ฦ⒳ዷ␜ળ䇮䉶䊚䊅䊷䈮Ⓧᭂ⊛䈮䈖䉏䉁䈪ෳട䈚䇮ᒰ␠䈱䌍䌅䌍䌓ᛛⴚ䇮䊐䉜䊮䊄䊥੐ᬺ䉕䉝䊏䊷䊦䈚䈩䈇䉎䇯䉁䈢䇮ᒰ␠⁛⥄䈱ᄖㇱะ䈔䉶䊚䊅䊷䉅㐿௅䈚䈩㘈ቴ䈫䈱ធὐ䉕Ⴧ䉇䈜⹜䉂䉕ⴕ䈦䈩䈇䉎䇯㩷䈘䉌䈮䇮ኾ㐷⹹䇮ቇળ䈪䇮ᒰ␠䌍䌅䌍䌓ᛛⴚ䇮䌍䌅䌍䌓䊐䉜䊮䊄䊥䉕⚫੺䇮⸃⺑䈚䈢䈖䈫䉅଀ᄙ䈇䇯ᦨᓟ䈮䈖䉏䉌䈱ᄖㇱ⊒⴫ઙᢙ䉕䉁䈫䉄䉎䇯㩷㩷㩷㩷㩷㩷㩷㩷㩷㩷㩷␠ᄖMEMS䉶䊚䊅䊷㩷⺰ᢥ╬⚕਄⊒⴫䋨⺰ᢥ⹹䇮ቇળ⹹䇮࿖㓙ળ⼏䋩㩷ญ㗡⊒⴫㩷ႎ㆏䋨ᣂ⡞䇮㔀․⸵㩷࿖ౝ㩷࿖ᄖ㩷࿖ౝ㩷࿖ᄖ㩷࿖ౝ㩷࿖ᄖ㩷䋸㩷䋰㩷䋱㪍㩷䋰㩷䋴㩷䋰㩷ii-8⹹╬䋩㩷㪈㪏㩷㸊䋮ታ↪ൻ䇮੐ᬺൻ䈱⷗ㅢ䈚䈮䈧䈇䈩㩷䋨䋱䋩ᚑᨐ䈱ታ↪ൻน⢻ᕈ㩷 ᧄ⎇ⓥ㐿⊒ഥᚑ੐ᬺߢ㐿⊒ߔࠆ㜞♖ᐲടᎿᛛⴚߦࠃࠅ૞ᚑߐࠇࠆశนേࡒ࡜࡯ߪ‫ޔ‬ㅢା↪ࡑࠗࠢࡠశࠬࠗ࠶࠴߿ࡑࠗࠢࡠశࠬࠠࡖ࠽࡯╬‫ޔ‬ᄙߊߩశ㧹㧱㧹㧿ߦ౒ㅢߩᯏ⢻⚛ሶߢ޽ࠆ‫ߩߘޕ‬ᔕ↪⵾ຠߪశㅢାᏒ႐߳ะߌߚశ㧿㨃ࡕࠫࡘ࡯࡞ߢ޽ࠆ‫⎇ᧄޕ‬ⓥ㐿⊒ߢߪ‫ޔ‬శ㧹㧱㧹㧿‫ߦ․ޔ‬ㅢା↪ࡑࠗࠢࡠశࠬࠗ࠶࠴ߩታ⃻ߦᔅⷐߥ‫ޔ‬Ԙ㜞♖ᐲ㧟&ടᎿᛛⴚߩ㐿⊒‫ޔ‬ԙ㜞♖ᐲ೙ᓮᛛⴚ䈱㐿⊒䇮㽴㜞♖ᐲ⹏ଔ࡮ା㗬ᕈᛛⴚ‫ޔ‬ԛశ㧿㨃ࡕࠫࡘ࡯࡞ߩ㐿⊒ ߎࠇࠄߩ㧠ߟߩᛛⴚ㐿⊒ߦขࠅ⚵ࠎߢ߈ߚ‫ޔߪߢߎߎޕ‬ᄦ‫ޘ‬ߩᚑᨐࠍታ↪ൻ䈱ⷞὐ䈪ႎ๔䈜䉎䇯㩷Ԙ 㜞♖ᐲ㧟& ടᎿᛛⴚߩ㐿⊒ᓸዊࡒ࡜࡯ࠍ㜞♖ᐲߦടᎿᛛⴚߣߒߡ‫ޔ‬ㅢା↪ SW ߣߒߡ㊀ⷐߥ‫ޔ‬ᝌ౉៊ᄬ╬ߩశቇ․ᕈࠍᏀฝߔࠆ‫ޔ‬MEMS ࡒ࡜࡯ߩ⴫㕙☻ߐ෸߮࠰࡝ࠍૐᷫߔࠆߎߣࠍ⋡ᮡߣߒߡ‫ޔߚ߹ޔ‬MEMS ࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗߩታ↪ൻߦᔅⷐߥ᭽‫ߥޘ‬㜞♖ᐲടᎿᛛⴚࠍ㐿⊒ߒߚ‫ޕ‬ⷐ⚛ടᎿᛛⴚ㐿⊒ߢߪ‫ࠍࠇ⨹߿࡝࠰࡯࡜ࡒޔ‬ᛥ߃ࠆߚ߼ߩᚑ⤑ࠛ࠶࠴ࡦࠣᛛⴚࠍ㐿⊒ߒߚ‫࡜ࡒޕ‬࡯ㇱ⴫㕙ߦ෻኿⤑ߣߒߡᒻᚑߐࠇߚߩ⭯⤑㊄ዻߩౝㇱᔕജߩૐᷫ߿ࡒ࡜࡯᭴ㅧߩᡷༀࠍⴕ޿‫ޔ‬ᐔ㕙ࡒ࡜࡯ߩ࠰࡝ߪ‫⋡ߩ࠻ࠢࠚࠫࡠࡊޔ‬ᮡࠍ㆐ᚑߒߚ‫ޔߚ߹ޕ‬Si ၮ᧼⴫㕙ߦኻߒߡု⋥ߦ Deep RIE ߢടᎿߒߡᒻᚑߔࠆࡒ࡜࡯ߢߪ‫⴫ޔ‬㕙⨹ࠇࠍᓥ᧪ߩ㧝/㧟㨪㧝/㧡ߦૐᷫߔࠆടᎿᛛⴚࠍ㐿⊒ߒߚ‫ޕ‬ߎࠇࠄߩᚑᨐߪㄭ‫ߦޘ‬ታ↪ൻࠍ࿑ࠆ WSS ↪ߩࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗ࠺ࡃࠗࠬ㧔࠲࡯ࠥ࠶࠻㧭㧕ߦ‫ޔ‬ᔕ↪
ߐࠇࠆ‫ޕ‬዁᧪ߩࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬߩടᎿߦᔅ㗇ߣ⠨߃ߡ޿ࠆ‫ޔ‬᭽‫ߥޘ‬ടᎿⷐ⚛ᛛⴚ㧔ធวᛛⴚ߿‫ࡦ࠴࠶ࠛޔ‬ࠣᛛⴚ╬㧕߽㐿⊒ߦ⌕ᚻߒߚ‫੹ޕ‬ᓟ‫ߩࠄࠇߎޔ‬ᛛⴚߪࡈࠔࡦ࠼࡝᩺ઙߩ⹜૞࡮㐿⊒࡮↢↥߳ߩㆡ↪
ࠍⓍᭂ⊛ߦⴕ޿‫ޔ‬ടᎿታ❣ࠍⓍߺ‫ޔ‬ടᎿ♖ᐲ߿ౣ⃻ᕈ╬ߩะ਄ࠍ࿑ߞߡⴕߊ‫ޔࠅࠃߦࠇߎޕ‬ᄦ‫ߩޘ‬ടᎿᛛⴚࠍߐࠄߦᵞ✵ߒ‫ޔ‬ᰴᯏ⒳‫ޔ‬ᰴ਎ઍߩశࠬࠗ࠶࠴↪ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬߦㆡ↪ߔࠆߎߣࠍ⠨߃ߚ޿‫ޕ‬߹ߚ‫੹ޔ‬ᓟ‫ޔ‬955 ߦߣߤ߹ࠄߕ‫ߥ⊛⥸৻ޔ‬శ 59 ߢ޽ࠆ 1:% ߳ߩㆡ↪߿‫੹ߦ࡯࡜ࡒ↪࡯࠽ࡖࠠࠬޔ‬࿁₪ᓧߒߚᛛⴚࠍㆡ↪ߒߡ‫ߩࠄࠇߘޔ‬శቇ․ᕈߩะ਄ࠍታ⃻ߒߡⴕ߈ߚ޿‫ޕ‬㽳 㜞♖ᐲ೙ᓮᛛⴚ䈱㐿⊒㩷ᓸዊࡒ࡜࡯ࠍ↪޿ߡశ೙ᓮࠍⴕ߁శนേࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗࠍశㅢାߦ↪޿ࠆ㓙ߩᄢ߈ߥ⺖㗴߇‫࡜ࡒޔ‬࡯࿁ォⷺߩ㜞♖ᐲⷺᐲ೙ᓮߢ޽ࠆ‫ߦ․ޕ‬ᚒ‫߇ޘ‬㐿⊒࠲࡯ࠥ࠶࠻ߣߒߡ޿ࠆᵄ㐳ㆬᛯ SW ߪ‫ޔ‬ⓨ㑆శቇ♽ࠍ೨ឭߦߒߡ޿ࠆߩߢ࡟࡯ࠩశߩⓨ㑆વ᠞㐳߇㐳ߊߥࠆ‫ޕ‬ᓥߞߡ‫࡯࡜ࡒޔ‬࿁ォⷺߩ㜞♖ᐲⷺᐲ೙ᓮᛛⴚߩ⏕┙ߪᄢ߈ߥ⺖㗴ߢ޽ࠆ‫ޕ‬੐ታ‫੹ޔ‬࿁ߩ㐿⊒ᦼ㑆ߢⴕߞߚ‫ࠗࡃ࠺࡯࡜ࡒࡊࠗ࠲࠻ࡠࡊޔ‬ࠬࠍ↪޿ߚ‫⹏ߩ࡞࡯ࡘࠫࡕޔ‬ଔ⚿ᨐߢ߽‫ߩ࡯࡜ࡒޔ‬೙ᓮߦ㑐ࠊࠆ⺖㗴߇᛽಴ߐࠇߚ‫ޕ‬ ᧄ⎇ⓥ㐿⊒ߢߪ‫ޔߕ߹ޔ‬ᓸዊࡒ࡜࡯ߩⷺᐲ࠮ࡦࠨߣߒߡㆡߒߡ޿ࠆ࠮ࡦࠨߣߒߡ‫ޔ‬ᱡ࠮ࡦࠨᣇᑼߣኈ㊂࠮ࡦࠨᣇᑼߩ⹜૞⹏ଔࠍⴕ޿‫ޔ‬ਔ⠪ߩ⚿ᨐࠍᲧセߒߡ‫ޔ‬ኈ㊂࠮ࡦࠨࠍㆬቯߒߚ‫ࠕޔߦࠄߐޕ‬ࡦࡊ IC ߩ⸳⸘ࠍⴕ޿‫ߣࠬࠗࡃ࠺࡯࡜ࡒޔ‬ታⵝ৻૕ൻߒߡ‫ޔ‬㜞ᗵᐲൻ߽࿑ߞߚ‫ߩߎޕ‬㐿⊒ߩㆊ⒟ߢ‫ޔ‬
S/N ߿ᗵᐲࠍᡷༀߔࠆߚ߼ߦࠕࡦࡊ IC ߩ․ᕈᡷༀ‫ޔ‬ታⵝၮ᧼ߩᡷ⦟‫ࠬࠗࡃ࠺ޔߪߦࠄߐޔ‬ਛߩ࠮ࡦࠪࡦࠣ᭴ᚑߩᡷ⦟╬ࠍⴕ޿‫⋡ޔ‬ᮡߩⷺᐲಽ⸃⢻ࠍ㆐ᚑߒߚ‫ޕ‬ ߎࠇࠄߩᚑᨐߪ‫੹ޔ‬ᓟశ SW ↪ߩࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬ߳ߩ៞タߦߣߤ߹ࠄߕ‫⃻ޔ‬࿷ߩశࠬࠠࡖ࠽࡯↪ࡒ࡜࡯ࠍ㜞ᕈ⢻ൻ߳ᔕ↪ߢ߈ࠆ‫ⷺ࡯࡜ࡒ࡯࠽ࡖࠠࠬޕ‬ᐲࠍ㜞♖ᐲߦࠦࡦ࠻ࡠ࡯࡞ߢ߈ࠆߣ⴫␜ⵝ
ii-9⟎‫ޔ‬ⓨ㑆శㅢା↪ߩㅍฃାᯏ‫ޔ‬ⓨ㑆శ૏⟎࠮ࡦࠨ‫߿ࠝࠗࡃޔ‬ක≮↪ߩశ⸘᷹࡮⸻ᢿⵝ⟎╬߳ߩᔕ↪
߇ዷ㐿ߢ߈ࠆߣ⠨߃ߡ޿ࠆ‫ޕ‬㩷㽴 㜞♖ᐲ⹏ଔ࡮ା㗬ᕈᛛⴚ㩷శนേࡒ࡜࡯ߩታ↪ൻࠍ㒖ࠎߢ޿ࠆ߽߁৻ߟߩේ࿃ߪ‫ޔ‬ା㗬ᕈߩ໧㗴ߣ⸒ࠊࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬੐ታ‫ޔ‬శ㧿㨃ߩ㐿⊒଀ߩႎ๔ߢ߽‫ޔ‬ᢙජਁ࿁ߩേ૞ႎ๔଀߇޽ࠆ߇‫ޔߒ߆ߒޔ‬శㅢାᏒ႐ߦ߅޿ߡ‫ޔ‬ታ↪⊛ߥା㗬ᕈࠍ଻㓚ߔࠆߚ߼ߦߪ‫⋡ޔ‬ᮡߩ㧝㧜㧝㧜࿁㧔㧝㧜㧜ం࿁㧕એ਄ߩ㚟േേ૞࿁ᢙ߇ᔅⷐߢ޽ࠆ‫ޕ‬ߘߎߢ‫ߩࠬࠗࡃ࠺࡯࡜ࡒޔ‬ା㗬ᕈߦଥࠊࠆᛛⴚ㐿⊒ߣߒߡ‫ޔ‬㚟േേ૞ା㗬ᕈࠍ⹏ଔߒߚ‫ޕ‬ታ㓙ߦߪ‫ߩߎޔ‬㚟േା㗬ߛߌߢߪߥߊ‫ޔ‬㧝㧕ࡒ࡜࡯෻኿㕙ߩశቇ․ᕈߩ⚻ᤨᄌൻ‫ޔ‬㧞㧕ࡒ࡜࡯㈩✢ߩା㗬ᕈ‫ޔ‬㧟㧕㔚ᭂၮ᧼ߩ⛘✼⠴ᕈ‫ᦨޔ‬ᓟߦ㧠㧕ࡒ࡜࡯㚟േା㗬ᕈߩ㧠㗄⋡ߩା㗬ᕈ⹏ଔࠍታᣉߒߚ‫ޕ‬㧝㧕ࡒ࡜࡯෻኿㕙ߩశቇ․ᕈߩ⚻ᤨᄌൻߢߪ‫ޔ‬Au ࡒ࡜࡯ߣ Al ࡒ࡜࡯ߩ㧞⒳㘃ߩࡒ࡜࡯ߦߟ޿ߡ෻኿₸ഠൻߦ㑐ߔࠆା㗬ᕈ⹏ଔࠍታᣉߒߚ‫ޔߦ߽ߣޕ‬㜞᷷㜞Ḩ⠴ᕈߪలಽߥ᭴ㅧߢ޽ࠆߎߣࠍ⏕⹺ߒߚ‫ޕ‬㧞㧕ࡒ࡜࡯㈩✢ߩା㗬ᕈ߽ᬌ⸛ߒ‫ߦ࡯ࡃࡦ࡚ࠪ࡯࠻ޔ‬ᒻᚑߐࠇࠆ㈩✢᭴ㅧߦଥࠊࠆ᭴ㅧߩ⺖㗴ࠍ᣿⏕ߦߒߚ‫ߩࠬࠗࡃ࠺࡯࡜ࡒޕ‬ା㗬ᕈะ਄ߩᜰ㊎ࠍᓧࠆߎߣ߇಴᧪ߚߣ⠨߃ߡ޿ࠆ‫ޕ‬㧟㧕㔚ᭂၮ᧼ߩ⛘✼⠴ᕈߢߪ‫㉄ࡑ࠭࡜ࡊޔ‬ൻ⤑߇‫ޔ‬㜞㔚࿶ࠍᔅⷐߣߔࠆ㕒㔚ࠕࠢ࠴ࡘࠛ࡯࠲ߩ⛘✼⤑ߣߒߡ‫ޔ‬లಽ⠴ᕈ߇޽ࠆߎߣࠍ⏕⹺ߒߚ‫⚿ߩߎޕ‬ᨐߪశ㧹㧱㧹㧿ߦ㒢ࠄߕ‫ޔ‬㕒㔚㚟േࠍⴕ߁㧹㧱㧹㧿࠺ࡃࠗࠬ߳ㆡ↪ߢ߈ࠆ⚿ᨐߢ޽ࠆ‫ޕ‬㧠㧕ࡒ࡜࡯㚟േା㗬ᕈߩ⹏ଔߢߪ‫⋡ޔ‬ᮡߩ 1010 ࿁ߩ㚟േା㗬ᕈ߇޽ࠆߎߣࠍ⏕⹺ߒߚ‫⚿ߩߎޕ‬ᨐߪ‫ޔ‬MEMS ߩశ SW ߇ᦨ㜞㧝㧜ᐕ⒟ᐲߪㅪ⛯ߒߡ૶↪ߐࠇࠆߎߣ߇ᗐቯߐࠇࠆశ SW ࠪࠬ࠹ࡓࠍ᭴ᚑߔࠆࡕࠫࡘ࡯࡞‫ޔߡߒߣࠬࠗࡃ࠺ޔ‬లಽ‫ޔ‬ା㗬ᕈ߇޽ࠆߎߣࠍ␜ߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬ԛ శ㧿㨃ࡕࠫࡘ࡯࡞ߩ㐿⊒㩷ടᎿᛛⴚ‫৻ࠨࡦ࠮ޔ‬૕ൻ೙ᓮᛛⴚ෸߮㜞♖ᐲ⹏ଔᛛⴚࠍ㐿⊒ߔࠆߣߣ߽ߦ‫ࠍࠇߘޔ‬ᔕ↪ߒߚశSW ࡕࠫࡘ࡯࡞ࠍ⵾૞ߒߚ‫ߩߘޕ‬ㆊ⒟ߢ‫ޔ‬శቇ⊛ߥ૏⟎วࠊߖ♖ᐲࠍ⏕଻ߒߚశ㧿㨃ኾ↪ߩࠗࡦ࠲࡯ࡈࠚࠗࠬߣࡕࠫࡘ࡯࡞ో૕ߩା㗬ᕈࠍ⏕଻ߔࠆߚ߼ߩࠤ࡯ࠪࡦࠣᛛⴚࠍ㐿⊒ߒߚ‫ޕ‬శ /'/5 ࠍ៞タߔࠆ᭽‫⵾ߥޘ‬ຠߩᒻᘒߩ㆑޿ߪ߽ߜࠈࠎ‫ޔ‬ᵄ㐳ㆬᛯࠬࠗ࠶࠴ࡕࠫࡘ࡯࡞ߪ‫ࠪޔ‬ࠬ࠹ࡓߩ઀᭽ߦࠃߞߡ‫ޔ‬శቇ઀᭽߿ࡕࠫࡘ࡯࡞ᒻᘒߩ઀᭽߇߹ߜ߹ߜߢ޽ࠆ‫ޕ‬ᓥߞߡ‫ޔ‬㐿⊒ߔࠆࡕࠫࡘ࡯࡞ߦวࠊߖߚ㐿⊒߽੹ᓟᔅⷐߢ޽ࠆߎߣߪ⸒߁߹ߢ߽ߥ޿‫ޕ‬㩷䋨䋳䋩੐ᬺൻ䉁䈪䈱䉲䊅䊥䉥㩷ᧄ⎇ⓥ㐿⊒ഥᚑ੐ᬺߢ㐿⊒ߒߚᚑᨐߩ੐ᬺൻߦߟ޿ߡ‫ޔ‬㧔㧝㧕శㅢାะߌࡕࠫࡘ࡯࡞੐ᬺ‫⎇ߣޔ‬ⓥ㐿⊒ߩᵄ෸ലᨐߢ޽ࠆ㧔㧞㧕ࡈࠔࡦ࠼࡝ࠨ࡯ࡆࠬ੐ᬺߦߟ޿ߡႎ๔ߔࠆ‫ޕ‬Ԙ  శㅢାะߌࡕࠫࡘ࡯࡞੐ᬺ㧔Ꮢ႐⁁ᴫߣ/'/5ᣇᑼ955߳ߩᦼᓙ㧕 శㅢାᏒ႐ะߌߩశ㧹㧱㧹㧿࠺ࡃࠗࠬߪᦨㄭ‫ޔ‬ౣ߮⹤㗴ߦߥࠅ‫ޔ‬Ꮢ႐߽ᵴ⊒ߦផ⒖ߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬㧹㧱㧹㧿ߦࠃࠆ81#࠺ࡃࠗࠬ߇⵾ຠൻߐࠇ‫♽ࡠ࠻ࡔޔ‬శㅢାᏒ႐ߪᵴ⊒ߦߥߞߡ߈ߡ߅ࠅ‫ߦ․ޔ‬቟ଔߢᨵエߥࡀ࠶࠻ࡢ࡯ࠢㆇ↪ࠍน⢻ߦߔࠆ4GEQPHKIWTCDNGᕈࠍ㧹㧱㧹㧿ߦࠃࠅታ⃻ߢ߈ࠆߣ
ii-10ᄢ޿ߦᦼᓙߐࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬Ovum-RHK Startrax
Tokyo 2005䋨2005ᐕ12᦬䋩䉋䉍ᒁ↪

࿑䇮䊜䊃䊨ะ䈔WDMᏒ႐䈮䈍䈔䉎ROADM䈱િ䈶/'/5ࠍᵴ↪ߒߚ4GEQPHKIWTCDNG 1#&/㧔1RVKECN#FF&TQR㧕߇ᵈ⋡ᛛⴚߢ޽ࠅ‫ࠢࠚࠫࡠࡊᧄޔ‬࠻ߩᦨ⚳ࡕࠫࡘ࡯࡞ߪ߹ߐߦߘߩࠪࠬ࠹ࡓߦ↪޿ࠆࡕࠫࡘ࡯࡞ߢ޽ࠅ‫ޔ‬ᵄ㐳ㆬᛯࠬࠗ࠶࠴ࡕࠫࡘ࡯࡞㧔955㧕ߢ޽ࠆ‫⎇ߩߎޕ‬ⓥ㐿⊒ࡊࡠࠫࠚࠢ࠻ߢ㐿⊒ߒߚࡒ࡜࡯ߪߎߩ955↪ߩ㜞♖ᐲࡒ࡜࡯ࠕ࡟ࠗߢ޽ࠆ‫ޕ‬
41#&/ߪ‫ߩᧄޔ‬శࡈࠔࠗࡃߦⶄᢙߩᵄ㐳ࠍᄙ㊀ൻߒߡᄢኈ㊂વㅍߔࠆ&9&/ᣇᑼߩߟߢ‫ޔ‬㐿⊒ߒߡ޿ࠆᵄ㐳ㆬᛯࠬࠗ࠶࠴ߪ‫ޔ‬శࡈࠔࠗࡃ߆ࠄવㅍߐࠇߚశାภࠍᵄ㐳ߏߣߦಽ㔌ߒ‫ߦ┙⁛ޔ‬శ〝ࠍಾࠅ឵߃‫ޔߟ߆ޔ‬శߩᒝᐲߥߤ߽೙ᓮߢ߈ࠆᯏ⢻ࠍ᦭ߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬ਅߦߘߩේℂ࿑ࠍ␜ߔ‫ޕ‬

WDM Fiber IN
Front-End
OpticsSingle-l
orMulti- l
OutputFibersBackend Optics




Fiber
Concentrator
Array
MEMS
Mirrors

Diffraction
Grating 

Axis-of-Rotation

MirrorControl
Signals࿑ ᵄ㐳ㆬᛯࠬࠗ࠶࠴㧔955㧕ේℂ࿑ߎߩ‫ޔ‬ᵄ㐳ㆬᛯࠬࠗ࠶࠴ߪ‫ޔߪ⺧ⷐߩߡߒߣࡓ࠹ࠬࠪޔ‬㜞ㅦᄢኈ㊂ൻߣࠦࠬ࠻ૐᷫࠍਔ┙ߒߚ޿ߣ޿߁ߎߣߢ޽ࠆ‫ࠆ߃╵ߦ࠭࡯࠾ߩߎޕ‬ᣇᑼߣߒߡ‫ࠣࡦࠖ࠹࡯࡟ࠣޟ‬㧔ⓨ㑆శቇ♽㧕ߢಽᵄߒ‫ޔ‬
MEMSࡒ࡜࡯ߢࠬࠗ࠶࠴ߔࠆ‫ޠ‬ᣇᑼ߇‫߽ⷫᦨޔ‬๺ᕈ߇㜞޿㧔㧩WSSߦะ޿ߡ޿ࠆ㧕ߣᦼᓙߐࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬ᚒ‫ߪޘ‬੐ᬺࠍㅴ߼ࠆ‫ޔ‬㊀ⷐߥ‫ޔ‬㘈ቴ㧔ߎߩ㨃㧿㧿ߩ႐วߪ‫ޔ‬శㅢାะߌࠪࠬ࠹ࡓࡌ࡯࠳࡯㧕߳ߩ⽼ᄁ࡞࡯࠻ࠍ⏕┙ߔࠆߚ߼ߩᣉ╷߽ⴕߞߚ‫ޔ߇ࠇߘޕ‬/QXC\␠ߣߩวᑯળ␠ߩ⸳┙ߩℂ↱ߩ৻ߟߢ޽ࠆ‫ޕ‬੹ᐕ㧠᦬ ࠝ࡝ࡦࡄࠬߪ‫ߩߎޔ‬/QXC\␠‫ࠕࠫ࡯࡚ࠫ࡮ࠞ࡝ࡔࠕ␠ᧄޔ‬Ꮊࠕ࠻࡜ࡦ࠲‫ޔ‬%JCKTOCP
ii-11

CPF%'1㧦$KLCP-JQUTCXK㧕㧖ߣวᑯળ␠㧔␠ฬ㧦1N[ORWU/KETQU[UVGOU#OGTKEC+PEࠞ࡝ࡈࠜ࡞࠾ࠕᎺࠨࡦࡁ࠯㧕ࠍ⸳┙ߒߚ‫ߩࠬࡄࡦ࡝ࠝޕ‬/'/5ᛛⴚߣ/QXC\ߩశㅢାᏒ႐ߦ߅ߌࠆ⚻㛎ߣࠪࠬ࠹ࡓᛛⴚࠍวࠊߖᜬߟߎߣߢ‫┹ޔ‬੎ജߩ޽ࠆశㅢାࠪࠬ࠹ࡓ࡮ࠦࡦࡐ࡯ࡀࡦ࠻ߩឭଏࠍ࿑ࠆ⁓޿ߢ޽ࠆ‫ޕ‬㧔੐ᬺ⸘↹㧕੹࿁‫ޔ‬ታ↪ൻࠍ࿑ࠆ࠺ࡃࠗࠬߪ‫ޔ‬ᕈ⢻‫ޔ‬቟ቯᕈ෸߮ା㗬ᕈߩⷰὐߢ‫⵾ߩߢ߹ࠇߎޔ‬ຠࠍߪࠆ߆ߦಒ㚧ߒ‫ޔ‬๟ㄝ࿁〝ࠍ৻૕ൻߔࠆߎߣߦࠃࠅ㜞ᕈ⢻ߢ޽ࠅߥ߇ࠄ‫ޔ‬ૐଔᩰࡕࠫࡘ࡯࡞ࠍឭଏߔࠆ߽ߩߢ޽ࠆ‫ޕ‬ ߎߩశㅢାะߌࡕࠫࡘ࡯࡞੐ᬺൻߩᣣ⒟ߪ‫ᧄޔ‬ഥᚑ੐ᬺ⚳ੌᓟ‫⵾ߦߜ⋥ޔ‬ຠ⸳⸘࡮㐿⊒ࠍⴕ޿‫ޔ‬㧞ᐕ⋡߆ࠄ↢↥ࠍ㐿ᆎߔࠆ‫⃻ޕ‬࿷‫ޔ‬Ꮢ႐⺞ᩏ↪ߩ⹜૞ຠࠍߔߢߦḰ↢↥૕೙ߢ⹜૞ࠍᆎ߼ߡ߅ࠅ‫ޔ‬㧞㧜㧜㧢ᐕߩࡑࠗࠢࡠࡑࠪࡦዷߢߘߩ⹜૞ຠ955ࡕࠫࡘ࡯࡞ࠍዷ␜ߒߚ‫ޕ‬࿑ ⹜૞ຠ 955 ࡕࠫࡘ࡯࡞ߎߩࡕࠫࡘ࡯࡞ߦ៞タߐࠇߡ޿ࠆ‫ޔ‬శ 59 ߪ‫ޔ‬ၮᧄ⊛ߥ᭴ㅧߪ࠲࡯ࠥ࠶࠻㧭ࡒ࡜࡯࠺ࡃࠗࠬߢ޽ࠅ‫⎇ᧄޔ‬ⓥ㐿⊒ߩᚑᨐ߇ᔕ↪ߐࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬㩷㩷㧔㧞㧕ࡈࠔࡦ࠼࡝੐ᬺ
 /'/5ࡈࠔࡦ࠼࡝੐ᬺߪ‫⹤ޔ‬㗴߇వⴕߒߡ޿ࠆ߇‫ޔ‬੐ᬺᕈߣߒߡߪ㔍ߒ޿੐ᬺߣ⸒߁ߩ߇‫⥸৻ޔ‬ߦ⸒ࠊࠇߡ޿ࠆߣߎࠈߢ޽ࠆ‫ޕ‬੐ታ‫ᦨޔ‬ㄭߩᏒ႐⺞ᩏ⚿ᨐߢ߽ߘߩ᭽ሶ߇⷗ߡߣࠇࠆ‫ޕ‬੐ታ‫ޔ‬਎⇇⊛ߦ߽᦭ᢙߥ/'/5ࡈࠔࡦ࠼࡝ߢ߽ᄁ਄ߍߪᄢ߈ߊߡ߽ᢙචం౞ߢ޽ࠆߎߣ߇ࠊ߆ࠆ‫ޕ‬ߎࠇߪ‫ߦ࡝࠼ࡦࠔࡈޔ߇ࠆ޽ߢߣߎࠆࠇࠊ⸒߽ߢ੹ޔ‬ଐ⸤ߔࠆࠠ࡜࡯ࠕࡊ࡝߇ή޿ߎߣࠍ␜ߒߡ޿ࠆ‫ޔߒ߆ߒޕ‬୘೎ߩ/'/5࠺ࡃࠗࠬߩ㔛ⷐߪჇ߃‫ޔ‬ฦ␠ߣ߽ᐕߪિ߮ࠍ੍ᗐߒߡ߅ࠅ‫ޔ‬/'/5ߩᏒ႐ߪᰴ╙ߦᄢ߈ߊߥࠆߎߣ߽ᦼᓙߐࠇߡ޿ࠆ‫ޕ‬ᒰ␠ߩ⁁ᴫ߽‫ޔ‬ᄢ᏷ߦ㧹㧱㧹㧿ࡈࠔࡦ࠼࡝ߢߩᄁ਄ߍჇߦߪ೔ߞߡ޿ߥ޿߇‫ߩߎޔ‬㧟ᐕ㑆‫ޔ‬㗅⺞ߦ‫ߩࠬࡆ࡯ࠨ࡝࠼ࡦࠔࡈޔ‬໧޿วࠊߖߪ߽ߣࠃࠅ‫⹜ޔ‬૞࡮↢↥ߪჇടߒߡ޿ࠆ‫ޕ‬ ᒰ␠ߩࡈࠔࡦ࠼࡝ࠨ࡯ࡆࠬߪ‫ࠍ࠻ࠢࠚࠫࡠࡊᧄޔ‬ᆎ߼ߣߔࠆ᭽‫ߥޘ‬㧹㧱㧹㧿㐿⊒ߩ⚻㛎ࠍࡌ࡯ࠬߦ⸳⸘⹜૞߿㊂↥ߦ⇐߹ࠄߕ‫ߩߘޔ‬೨ߩ࠾࡯࠭࡟ࡌ࡞ߩ㘈ቴ߆ࠄⷐᦸࠍ⡞߈‫ߥ⊛⚳ᦨޔ‬㊂↥ࠨ

ii-12࡯ࡆࠬ߹ߢ᏷ᐢ޿ࠨ࡯ࡆࠬࠍ㘈ቴߦឭଏߢ߈ࠆߣߎࠈߦઁ␠ߦߪή޿ᒝߺ߇޽ࠆ‫ޕ‬䊐䊨䊷䈫㘈ቴ⓹ญ䈗⋧⺣䈗ឭ᩺严丶䷵义䶗ቴ᭽乊䈗⋧⺣䋨䉮䊮䉰䊦䉺䊮䊃䋩⸳⸘䊶䉲䊚䊠䊧䊷䉲䊢䊮⸃ᨆ଀⹜૞䋨䊒䊨䉶䉴㐿⊒䉕฽䉃䋩䉰䊮䊒䊦ਃᰴరടᎿ଀䊂䊋䉟䉴଀⹏ଔ䊶ᬌ⸽㊂↥⿥ዊဳታⵝⵝ⟎䍭䍐䍖䍹䍪䍅䍖䍢䍶಴⩄࿑ ࠝ࡝ࡦࡄࠬ㧹㧱㧹㧿ࡈࠔࡦ࠼࡝᭎ⷐ߹ߚ‫ޔ‬/'/5ࡊࡠࠫࠚࠢ࠻ࠍታᣉߔࠆߚ߼ߩᛩ⾗ߦട߃‫ߩ⥄⁛␠⥄ޔ‬ᛩ⾗߽ⴕ޿‫ޔ‬ㄖ㊁੐ᬺ႐㧔㐳㊁⋵㧕ߩ%4ⅣႺ‫⟎ⵝޔ‬Ⴧᒝࠍㅴ߼ߡ߈ߚ‫ޕ‬࿖ౝߩߺߥࠄߕߩ਎⇇⊛ߦ߽᦭ᢙߥ/'/5ടᎿ᜚ὐ߳ߣㅴൻߐߖߡ߈ߚ‫ޕ‬ ߎߩࠃ߁ߦᛛⴚߩఝ૏ᕈߣߘࠇࠍᡰ߃ࠆ%4╬ߩࠗࡦࡈ࡜ߩᢛ஻ߦࠃࠅᒰ␠ߩࡈࠔࡦ࠼࡝ࠨ࡯ࡆࠬ੐ᬺߩ੍ᗐߐࠇࠆ㓚ኂߣߒߡ‫੹ޔ‬ᓟߔߋߦ‫⌒ޔ‬೨ߦ಴ࠆ໧㗴ߪߥ޿ߣ⠨߃ߡ޿ࠆ‫ޕ‬ii-13