3M™ 金属イオン除去フィルターソリューション

3M の金属イオン除去フィルターソリュー
半導体の微細化が進み、より金属が低減された高純度な半導体用薬液が求められます。
3M は独自技術を駆使したフィルターで貢献します。
3M™ 金属イオン除去フィルター
MIPシリーズ

3M™ Zeta Plus™
吸着デプスフィルター
カートリッジECシリーズ

3M™ Zeta Plus™
活性炭吸着デプスフィルターカートリッジ
Sシリーズ

フォトレジスト原料、
溶 剤 、水 溶 系 材 料 の金属イオン除去

フォトレジスト原料、溶剤などからの金属除去

フォトレジスト原料、溶剤などからの金属除去、脱色、有機物除去

製品構成

ポリエチレン/IX樹脂

セルロース/活性炭

形状ラインナップ

カートリッジセルロース/ケイソウ土/(IX樹脂）

代表的な用途ターゲットの金属除去レベル

ppb - ppt レベル*

3M特殊粉体成形テクノロジーを用いて強酸性陽イオン交換樹脂、またはキレート樹脂と、ポリエ

特長/強み

ppm - ppb レベル*

ディスク型カートリッジ

ゼータ電 位と多 孔 質 体 によりチレン支持体を強固なブロック状コロイドやゲル状 物 質 を吸 着カートリッジ。厚みのある構造の40Qグレードに関してはイオンのろ材にしたデプスフィルター

ため一般的なメンブレンタイプの同様のフィルターとくらべ高い除去。

交換能力も付加ppm - ppb レベル*

ディスク型カートリッジ

ゼータ電 位と多 孔 質 体による吸着ろ過に加え、活性炭による吸着除去機能を付加

金属除去性能を有す

効果を得やすい金属

SCPタイプ（強酸性イオン交換樹脂）

N a , C a , K などのアルカリ金 属またはアルカリ土類金属
APPタイプ（キレート樹脂）

Fe, Ce, Znなどの重金属

Na,Fe,Cr Al,微量コロイド

触媒に使用されるPd,PtやNi,Cu,Znなどの重金属* 原液の金属含有レベルやろ過条件に依ります。

**組み合わせて使用することによりさらに多くの金属を除去できます。

ション

3M™ 金属イオン除去フィルター

ppb - ppt
レベル *（3M™ Metal Ion Puriﬁer：略称MIP）は、昨今の電子業界でのより厳しい金属低減要求に貢献するために開発をいたしました。
3M特殊粉体成形テクノロジーを用いて強酸性陽イオン交換樹脂、またはキレート樹脂と、ポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィ

リソグラフィ
ルターカートリッジです。薬液中の金属イオンを50ppt以下レベル※1まで低減し、プロセスで使用されるPGMEAなどの溶剤や、BARCなどの高純度ポリマー溶液からワンパスでも効果的に金属イオンを低減します。
※1. 社内評価による：金属除去性能項目参照

高い金属除去性能

ろ材がデプス構造（厚みのある構造）のため溶液とろ材との長い接触時間を実現

●
●

SCP

イオン交換容量が大きい

金属溶出が少ない●

メンブレンタイプのイオン交換膜フィルター●●

安定した金属除去性能を発揮●と比較し数倍のイオン交換容量を持つ

MIP の断面図

独自の製造方法によりイオン交換樹脂と比較して金属溶出を低減 ※2

前処理時間の短縮と作業の簡易化を実現※2. 社内評価による：金属溶出について項目参照

MIP の構造模式図

厚みがあり、接触時間が多くなる
イオン交換容量も大きくなる

ろ材厚み

1次側

イオン交換基MIP断面図写真

サイズラインナップ

スクリーニング用★

量産スケール用

Φ 47mm ディスクタイプ

20インチカートリッジタイプ- コネクター形状: 222- エンドキャップ形状：フィンキャップ

スケールアップ評価及び少量ろ過用

2インチカートリッジタイプ- コネクター形状: 222- エンドキャップ形状：フラットエンドキャップ

2次側

量産スケール用

10インチカートリッジタイプ- コネクター形状: 222- エンドキャップ形状：フラットエンドキャップ※試験には専用の PTFE 製ハウジングが必要です。
★ディスクは厚みがカートリッジと違うため、効果確認スクリーニング用サンプルとなります。

APP

約2 倍

ろ材部 : 細孔ブロック

約5倍

コネクター
O リング

ろ材ラインナップ

多くの溶液に対応できるように２種類のタイプをラインナップいたしました。

SCP（イオン交換タイプ）

強酸性イオン交換樹脂（官能基：スルフォン酸）

Na, Ca, Kなどのアルカリ金属、またはアルカリ土類金属を捕捉し易い傾向があります。

APP（キレートタイプ）

キレート樹脂（官能基：アミノリン酸）

キレート効果によってFe, Cr, Znなどの重金属を捕捉し易い傾向があります。

※金属イオンの補足傾向はお客様溶液の組成や液中の各金属イオンの含有比によってに大きく左右されます。上記傾向はあくまで参考情報として頂き、実液でのご評価を推奨いたします。

薬液中の金属イオンを50ppt 以下レベル まで※1仕様（10インチカートリッジ）
バインダー樹脂

項

目

SCP

樹脂パーツ

APP

超高分子量ポリエチレン
高密度ポリエチレン

O リング
樹脂

強酸性陽イオン交換樹脂

最高使用温度FEP 被覆フッ素ゴム

キレート樹脂60℃

最大許容差圧

0.28MPa

イオン交換容量と流量特性
サイズ

SCP

イオン交換容量*（mEQ）（Static Method）

APP

8.247 mm ディスク

112インチカートリッジ

100

130

20インチカートリッジ

960

1300

10インチカートリッジ

510

2 インチ、10 インチ、20 インチ、
SOE APP、SCP カートリッジ

100 mL/min
0.7 L/min

710

3.5 L/min
7 L/min* イオン交換容量の表示方法を変更いたしましたが、仕様には変更はございません

表の見方

120

縦軸が圧力損失、横軸が流量×粘度を示しており、3 つの要素から構成されています。
例えば、10 インチの APPD に 5 mPa・sの流体を流量 2 L/min でろ過する場合、横軸の流量 × 粘度は 10 となり圧力損失は 48 kPa と想定されます。

100
圧力損失（kPa）

流体粘度別流量特性

推薦流量（粘度 1cP の時）

8060402002インチAPP

2インチSCP

20インチAPP

20インチSCP

10インチSCP
0102030流量（L/min）× 粘度（mPa・s）

40

5010インチAPP※データは粘度を変えた時のグリセリン水溶液の流量表から作成しています

品番リスト
サイズ

47 mm ディスク
2インチカートリッジ
10インチカートリッジ
20インチカートリッジ

タイプ

品番

SCP

MIR-DA47-SCPD

SCP

MIRE-0020FK-SCPD

APP
APP
SCP

APP
SCP

APP

MIR-DA47-APPD

MIRE-0020FK-APPD
MIRE-0100FK-SCPD

MIRE-0100FK-APPD

MIRE-0200HK-SCPD

MIRE-0200HK-APPD

価格、納期等につきましては、弊社営業担当へお問い合わせください。
2 インチ、10 インチカートリッジの O-ring について原材料供給の困難になったため、パーフルオロエラストマーから FEP 被覆フッ素ゴムに変更いたしました

47mm ディスク仕様

2 インチ222 コネクター（フィン無し）、FEP 被覆フッ素ゴムO-ring
10 インチ222 コネクター（フィン無し）、FEP 被覆フッ素ゴムO-ring
20 インチ222 コネクター（フィン）FEP 被覆フッ素ゴムO-ring
47mm ディスクは 1 箱 3 枚単位での販売になります。
2 インチ、10 インチ、20 インチは 1 箱 1 本単位での販売になります。

で 低減。金属除去の最先端デプスフィルター※1. 社内評価による：金属除去性能項目参照

金属除去性能（社内評価）
性能評価事例（参考データ）
分析金属定量限界

原液SCPAPPNa81510<8Li

1<1<113<13<13<13K

68<6<6Ti

4<4<46CaV<67<6<7000<10<10<10Fe2450<24<24Ni

12<1<1Cu03Zn

13Sr0As<3<1<100<2<22<2<2<20000Ba0Pb0W<3<20000

金属溶出について（社内評価）000

定量限界以下であったため参考値とする。

<132CdSn<30

金属含有量分析：ICP-MS（Agilent 7500）

補足：グレーアウトした領域は Na 以外の各金属単体では0<132超純水通液流量：2 L/min

0060

1Ag00●000

3M™ 金属イオン除去フィルター MIPシリーズ（弊社技術報告書 SCED19-016 抜粋）● 超純水通液流量：2 L/min● 金属含有量分析：ICP-MS（Agilent 7500）● 補足：グレーアウトした領域は Na 以外の各金属単体では定量限界以下であったため参考値とする。

事前浸漬と通液フラッシングの関係

本評価条件においてMIP10インチカートリッジは12 時間事前浸漬ありで超純水を流量 2 L/min にて 6 L 通液フラッシング処理することで、2 次側通液中の22 元素 * の合計金属含有量は 50 ppt 以下に到達する。

*22 元素 : Li, Na, Mg, Al, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, As, Ag, Cd, Sn, Ba, W, Pb

SCP

10" SCPD

100,000

Total Metal (ppt)

APP

12時間浸漬なしSCP
12時間浸漬ありSCP10,000
1,000
100
1050 ppt

0246

Flashing Throughput (L)810" APPD

100,000

Total Metal (ppt)Co

1●0100●<7CrMn（弊社技術報告書 SCED19-016 抜粋）<6<7<4

社内試験 自社評価 金属イオン添加 PGMEA ろ過試験

<1Mg
Al

自社評価 PEGMEA ろ過試験

単位：ppt10

12時間浸漬なしAPP
12時間浸漬ありAPP

10,0001,000
1001050 ppt

0246

Flashing Throughput (L)810

電子産業用、ゼータ電位の吸着作用による微量金属、微量コロイド除去に

3M™ Zeta Plus™ 吸着デプスフィルターカートリッジ（エレクトロニクス用）ECシリーズ
微量金属（Na,Fe,Cr,Al等）、微量コロイド等のろ過に適用ppbレベルまで除去● SHグレードは、特にNa、Kの除去効率に優れた製品● ゼータ電位による吸着作用と機械的ろ過作用とのダブルキャッチシステム●ppm - ppb
レベル *

●

- 優れた粒子捕捉能力●- 微粒子、コロイド粒子等の異物を効率良く捕捉

テスト用47mm、90mmディスクからカートリッジにスケールアップが可能

ファインケミカル：樹脂、有機溶剤
フォトレジスト：フォトレジスト原料樹脂、CD/HD 用樹脂、液晶用顔料樹脂、オーバーコート材 等● 洗浄液：IPA 等
●
●流量表

グレード

SHグレード（40Q）、
GNグレード（020 、050）

25201520SH
40Q

1050N0G0515SH
40Q

10※SHグレードは特殊レジンです。

ろ過グレード表

25N0G05

圧力損失（kPa）

82℃（ただし液により確認が必要な場合があります）

30020G
N

最高使用
温度

30

圧力損失（kPa）

材質

セルロース、酸洗浄済み
ケイソウ土、レジン※

020GN

仕様

500.5

11.52

流量（KL/hr/m2）＜条件＞温度：常温、流体：水02.500.05

0.1

0.150.2

流量（KL/hr/m2）＜条件＞温度：常温、粘度：10mPa･s

0.25

SHグレード 40Q
GNグレード 020
GNグレード 0500.2

注文ガイド表12 インチガスケットタイプ
CD

注文例

EC12セル数

8 セル
16 セル

16セル

D

グレード40QSH
020GN
050GN
40QSH

40QSH

EC12D40QSH(T)

注文コード：

ガスケット材質

E
VT

24

ソフトPTFE

ご注文は箱単位でお願いいたします。
入り数 2個/箱※フィルター選定時の目安としてご利用ください。

8 インチ O- リングタイプ

EPDM
フッ素ゴム
ソフト PTFE（T）

0.5

ろ過精度（μm）

注文例

セル数

2 セル
4 セル

4セル

EC8PI4

グレード
40QSH
020GN
020GN

020GN

EC8PI4020GN(K)

注文コード：

ガスケット材質

EVK

EPDMフッ素ゴム
被覆フッ素ゴム

被覆フッ素ゴム（K）

ご注文は箱単位でお願いいたします。
入り数 4個/箱

活性炭による金属除去性能を付与したフィルターカートリッジ

3M™ Zeta Plus™ 活性炭吸着デプスフィルターカートリッジ
Sシリーズ

●

活性炭による金属除去性能- 触媒に使用されるPd, PtやNi Cu Znなど重金属の金属除去に効果を発揮

ppm - ppb
レベル *S シリーズは一般工業向け● ラボレベルから実生産レベルまでスケールアップが容易● 脱色、不純物除去、エンドトキシン除去等に優れた効果● 粉末活性炭を安全で取り扱いやすい形状に成型● 従来の粉末活性炭の問題を解決●- ダストの発生がほとんどない- 安全衛生上の問題を解決可能- 下流工程への汚染の問題を解決- 粉末の投入、撹拌の必要なし- 活性炭除去用の後処理工程が不要

仕様
材 質脱色

●

フォトレジスト原料などからの金属除去ろ材

セルロース、活性炭、レジン

ガスケット・O-リング

シリコーンゴム /PTFE

部材

最高使用温度30ポリプロピレン、SUS316

80℃

2512 インチ径

15121℃、30 分、1 サイクル（オートクレーブ、インラインスチーム）

滅菌条件

10ろ過グレード表
R5■（粘度1～20 mPa・s）

0.10.5主精度

ろ過精度（μm）

対応可能精度12

注文ガイド表C08
C12外 径形 状

D

ガスケットタイプ、7 セル（0.23 m2）

12インチ

CD

ガスケットタイプ、13 セル（1.2 m2）

C12

注文コード：

48インチ

12インチ
注文例

35C12DAR53S

5010※フィルター選定時の目安としてご利用ください。

■には活性炭グレードが入ります。推奨グレードと推奨用途例は下記の通りです。
53グレード：各種工業液体原料の脱色 55グレード：各種工業液体原料の脱色

ガスケットタイプ、9 セル（0.9 m2）

ガスケットタイプ、7 セル（0.23 m2）

D

R53S

208 インチ径

カートリッジ形 状流量表

圧力損失（kPa）●AE0接続パッキン材質

シリコーンゴム
PTFE

シリコーンゴムA

10203040流量（L/min/m2）＜水、21℃＞

R55

R53R53

グレード

S

一般グレード一般グレードS50

金属除去性能測定事例

下記の薬液での測定結果がございます*
薬品名PGMEA

一般/特級グレード

PGME

メタノール

●

●

GBL

ホルマリン溶液●

調整液 (金属イオンもしくは樹脂等を添加)

●

PGEE
NMP

ELグレード*下記リストは一例です

●

●
●

●

●

●

●

●

お問い合わせについて

3M™ 金属イオン除去フィルター MIP シリーズの動画を作成しました！
右記2次元バーコードを読取頂き、動画をご覧ください。

https://go.3M.com/MIP_Movie

評価用サンプルのご提供、ハウジングテスト機の貸出実施中！

オンラインでの製品説明の実施や弊社での分析サポートを実施しておりますのでお気軽にお問い合わせください。

右記2次元バーコードを読取頂き、問い合わせフォームより問い合わせをお願いします。

https://go.3m.com/ﬁlter-inquiry

ご使用にあたっての注意事項

3M™ Metal Ion Puriﬁer（3M™金属イオン除去フィルター）は、リソグラフィケミカル用溶剤や高純度樹脂でのご使用を想定しています。
飲用水、飲食料、医薬品の用途には使用しないでください。

本製品の構成材料と化学的に適合しない用途には使用しないでください。
硝酸などの強力な酸化剤は、特定の状況下で、イオン交換樹脂と反応する可能性があります。わずかなイオン交換樹脂の分解から激しい発熱反応（爆発）にいたるまでの事象が想定されています。

3M™ Metal Ion Puriﬁer（3M™金属イオン除去フィルター）は、微細粒子除去用のろ過材として機能するように設計されていません。
本フィルターは、意図された用途に適したメンブレンフィルターの上流側に設置する必要があります。

保証、有限補償、免責事項：該当する3M製品パッケージまたは製品文書（補償内容）に異なった記載がない限り、各3M製品は、製品出荷時において当該製品の仕様を満たしているものであることを保証します。3Mは、商品適格性、特定目的適合性および取引上の取り扱い、習慣外、使用以外で生じたものを含むがそれに限定されない、上記以外のなんらの保証、条件設定を明示的、黙示的を問わず行わないものとします。3M製品が上記保証に準拠していない場合は、3Mの選択により、当該製品の交換または製品購入価格の返金のいずれかにてのみ対応させていただきます。

3Mの保証責任範囲：上記に規定された補償を除き、また法律で禁止されている範囲を超える場合を除き、3Mは、直接的、間接的、特別的、付随的、派生的を問わず、また保証、契約、過失または厳格責任を含む法理論にかかわらず、3M製品から生じる、またはそれに関連して生じるいかなる損失または損害（利益または機会損失を含むが、それに限定されない）にも責任を負いません。

各種数値は参考値であり、保証値ではありません。
仕様及び外観は、予告なく変更されることがありますのでご了承ください。
本書に記載してある事項、技術上のデータ並びに推奨は、すべて当社の信頼している実験に基づいていますが、その正確性若しくは完全性について保証するものではありません。
使用者は使用に先立って製品が自己の用途に適合するか否かを判断し、それに伴う危険と責任のすべてを負うものとします。
売主及び製造者の義務は、不良であることが証明された製品を 取り替えることに限定され、それ以外の責任は負いません。
本書に記載されていない事項若しくは推奨は、売主及び製造者の役員が署名した契約書によらない限り、当社は責任を負いません。
3M、Zeta Plus は、3M 社の商標です。

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フィルター製品事業部

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